JP6708414B2 - Liquid ejection head, liquid ejection device, and method for manufacturing liquid ejection head - Google Patents

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Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法に関する。 The present invention relates to a liquid ejection head that ejects liquid, a liquid ejection device, and a method for manufacturing a liquid ejection head.

インクジェットプリンタのような液体吐出装置は、家庭用印刷に使用されるだけでなく、ビジネス用印刷やリテイルフォト用印刷等の業務用印刷や、電子回路描画やパネルディスプレイ製造等の産業用印刷等にも使用される。このような液体吐出装置では、特に業務用印刷の分野において、高速の印刷が強く要求されている。高速な印刷を可能にする技術としては、液体を吐出する液体吐出ヘッドの幅を被記録媒体の幅よりも長尺にし、液体の吐出口を従来よりも多く配置するライン型ヘッドが考えられている。
特許文献１には、液体吐出ヘッドを長尺化する技術として、記録素子基板を液体吐出ヘッドの長尺方向に１列に並べる技術が開示されている。 Liquid ejection devices such as inkjet printers are not only used for home printing, but also for business printing such as business printing and retail photo printing, and industrial printing such as electronic circuit drawing and panel display manufacturing. Also used. In such a liquid ejecting apparatus, high-speed printing is strongly required especially in the field of commercial printing. As a technology that enables high-speed printing, a line-type head in which the width of a liquid ejection head that ejects liquid is made longer than the width of a recording medium and more liquid ejection ports are arranged than in the past has been considered. There is.
Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-242242 discloses a technique of arranging the recording element substrates in one line in the lengthwise direction of the liquid ejection head as a technique of lengthening the liquid ejection head.

特許第４４９５７６２号明細書Patent No. 4495762

特許文献１に記載された技術では、互いに隣接する記録素子基板間の距離を十分に短くすることができないことがある。具体的には、記録素子基板と、記録素子基板に液体を供給するための流路が設けられた流路部材との接合には、一般的に接着剤が用いられる。この場合、互いに隣接する記録素子基板の間をある程度以上狭くすると、記録素子基板と流路部材との間からはみ出した接着剤が、その記録素子基板同士の間から、記録素子基板における吐出口が設けられた面まで這い上がり、吐出口を塞いでしまうことがある。したがって、接着剤の這い上がりを抑制するために、記録素子基板間にはある程度の長さが必要となる。
記録素子基板間の距離が長いと、互いに隣接する記録素子基板の隣接部において、各記録素子基板に設けられた吐出口列の走査方向のズレ幅が大きくなったり、各記録素子基板に設けられた吐出口列の長尺方向の間隔が間延びしたりする。このため、記録される画像における記録素子基板間の隣接部に対応する位置にムラ等が生じてしまうことがある。走査方向とは、記録素子基板１０の表面に平行な面内において、記録素子基板が並んだ方向である長尺方向と垂直な方向のことである。 According to the technique described in Japanese Patent Laid-Open No. 2004-187, it may not be possible to sufficiently shorten the distance between adjacent recording element substrates. Specifically, an adhesive is generally used for joining the printing element substrate and the flow path member provided with a flow path for supplying a liquid to the printing element substrate. In this case, when the distance between the recording element substrates adjacent to each other is narrowed to a certain extent or more, the adhesive protruding from between the recording element substrate and the flow path member causes the ejection port in the recording element substrate to come out from between the recording element substrates. It may climb up to the surface provided and block the discharge port. Therefore, in order to suppress the creep of the adhesive, a certain length is required between the recording element substrates.
When the distance between the recording element substrates is long, the gap in the scanning direction of the ejection port arrays provided on each recording element substrate becomes large in the adjoining portions of the recording element substrates adjacent to each other, or when the recording element substrates are provided on each recording element substrate. In addition, the intervals of the ejection port rows in the longitudinal direction may be extended. Therefore, unevenness or the like may occur at the position corresponding to the adjacent portion between the recording element substrates in the image to be recorded. The scanning direction is a direction perpendicular to the lengthwise direction, which is the direction in which the recording element substrates are arranged, in a plane parallel to the surface of the recording element substrate 10.

本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、互いに隣接する記録素子基板間の距離を低減することが可能な液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法を提供することである。 The present invention has been made in view of the above problems, and provides a liquid ejection head, a liquid ejection device, and a method for manufacturing a liquid ejection head that can reduce the distance between adjacent recording element substrates. is there.

本発明による液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口を備えた複数の記録素子基板と、前記複数の記録素子基板が並設された流路部材とを有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記流路部材は、前記記録素子基板が並設された前記液体吐出ヘッドの長尺方向において互いに隣接する前記記録素子基板の隣接部に対応する箇所に、該隣接部に面して開口する溝部を有し、前記記録素子基板と前記流路部材との間に、前記記録素子基板に形成された前記吐出口に連通する流路を覆う蓋部材が設けられ、前記記録素子基板は、前記溝部と重なる箇所に前記吐出口と前記流路とを備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。
本発明による液体吐出装置は、上記の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする。
本発明のよる液体吐出ヘッドの製造方法は、前記液体吐出ヘッドの製造方法において、前記蓋部材を前記記録素子基板における前記流路が形成された面に接合する工程と、前記蓋部材を接合した前記記録素子基板を、前記蓋部材及び前記流路部材が対向するように前記流路部材に接合する工程と、を有することを特徴とする。 The liquid ejection head according to the present invention is a liquid ejection head having a plurality of recording element substrates having ejection ports for ejecting liquid, and a flow path member in which the plurality of recording element substrates are arranged in parallel,
The flow channel member has a groove portion that opens at a position corresponding to an adjacent portion of the recording element substrates that are adjacent to each other in the longitudinal direction of the liquid ejection head in which the recording element substrates are arranged in parallel , facing the adjacent portion. And a lid member that covers a flow path communicating with the ejection port formed in the recording element substrate is provided between the recording element substrate and the flow path member, and the recording element substrate has the groove portion. A liquid discharge head , comprising: the discharge port and the flow path at a position overlapping with .
A liquid ejecting apparatus according to the present invention is characterized by including the above liquid ejecting head.
A method for manufacturing a liquid discharge head according to the present invention is the method for manufacturing a liquid discharge head, wherein the step of bonding the lid member to a surface of the recording element substrate on which the flow path is formed, and the lid member are bonded. Bonding the recording element substrate to the flow path member such that the lid member and the flow path member face each other.

本発明によれば、記録素子基板と記録素子基板を支持する流路部材との接合に接着剤を用いる場合においても、記録素子基板のつなぎ目での印刷物への走査方向への素子同士のズレ幅を低減し、吐出口列のズレ幅を低減することができる。その結果、つなぎ目の画像におけるムラ等の不具合を低減し、高品位な画像形成が可能となる。 According to the present invention, even when an adhesive is used to bond the recording element substrate and the flow path member supporting the recording element substrate, the deviation width between the elements in the scanning direction on the printed matter at the joints of the recording element substrates Can be reduced, and the deviation width of the ejection port array can be reduced. As a result, defects such as unevenness in the joint images can be reduced, and high-quality image formation can be performed.

本発明の適用例１に係る液体吐出装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the liquid discharge apparatus which concerns on the example 1 of application of this invention. 本発明の適用例１に係る第１の循環経路を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the 1st circulation path which concerns on the example 1 of application of this invention. 本発明の適用例１に係る第２の循環経路を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the 2nd circulation path which concerns on the example 1 of application of this invention. 本発明の適用例１に係る液体吐出ヘッドの概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view showing a schematic structure of a liquid discharge head concerning application example 1 of the present invention. 本発明の適用例１に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。FIG. 13 is an exploded perspective view of a liquid ejection head according to Application Example 1 of the present invention. 本発明の適用例１に係る流路部材の表面図である。It is a surface view of the flow path member according to the application example 1 of the present invention. 本発明の適用例１に係る流路部材内の流路の拡大透視図である。It is an expansion perspective view of the channel in the channel member which concerns on the example 1 of application of this invention. 本発明の適用例１に係る記録素子基板の平面図である。It is a plan view of a recording element substrate according to an application example 1 of the present invention. 図８（ａ）におけるＢ−Ｂ線における記録素子基板及び蓋部材の断面を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a cross section of the recording element substrate and the lid member taken along the line BB in FIG. 本発明の適用例１に係る記録素子基板の隣接部を部分的に拡大して示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing an adjacent portion of a recording element substrate according to Application Example 1 of the invention in a partially enlarged manner. 本発明の適用例２に係る液体吐出装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the liquid discharge apparatus which concerns on the example 2 of application of this invention. 本発明の適用例２に係る液体吐出ヘッドの概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view showing a schematic structure of a liquid discharge head concerning application example 2 of the present invention. 本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the liquid discharge head which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの上面図である。FIG. 3 is a top view of the liquid ejection head according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの吐出口列のズレを示す図である。FIG. 3 is a diagram showing misalignment of the ejection port arrays of the liquid ejection head according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施形態に係る記録素子基板間の隣接部の側面図である。FIG. 3 is a side view of adjacent portions between the recording element substrates according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施形態に係る流路部材の反りを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the curvature of the flow path member which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the liquid discharge head which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施形態に係る互いに隣接する記録素子基板の概略図である。FIG. 6 is a schematic view of recording element substrates adjacent to each other according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第２の実施形態の液体吐出ヘッドの製造工程を説明するためのフローチャートである。8 is a flowchart for explaining a manufacturing process of the liquid ejection head according to the second embodiment of the present invention.

以下、図面を用いて本発明の実施形態の例を説明する。ただし、以下の記載は本発明の範囲を限定するものではない。以下の各実施形態の液体吐出ヘッドでは、発熱素子により気泡を発生させて液体を吐出するサーマル方式が採用されているが、ピエゾ方式または他の液体吐出方式が採用されても良い。
以下の各実施形態の液体吐出装置では、インク等の液体をタンクと液体吐出ヘッド間で循環させる形態が採用されているが、他の形態が採用されても良い。例えば、液体吐出装置は、液体を循環せずに、液体吐出ヘッドの上流側と下流側に２つのタンクを設け、一方のタンクから他方のタンクへ液体を流すことで、圧力室内の液体を流動させる形態でも良い。
以下の各実施形態では、液体吐出ヘッドとして、被記録媒体の幅に対応した長さを有する、所謂ライン型の液体吐出ヘッドが採用されているが、被記録媒体に対してスキャンを行いながら記録を行うための所謂シリアル型の液体吐出ヘッドが採用されても良い。シリアル型の液体吐出ヘッドとしては、例えば、ブラックインク用及びカラーインク用の記録素子基板を１つずつ搭載するものが挙げられるが、この例に限らない。シリアル型の液体吐出ヘッドは、例えば、数個の記録素子基板を、吐出口列方向に吐出口がオーバーラップするように配置した被記録媒体の幅よりも短いヘッドでもよい。 Hereinafter, an example of an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the following description does not limit the scope of the present invention. In the liquid ejection head of each of the following embodiments, a thermal method in which bubbles are generated by a heating element to eject the liquid is adopted, but a piezo method or another liquid ejection method may be adopted.
In the liquid ejection apparatus of each of the following embodiments, a mode in which a liquid such as ink is circulated between the tank and the liquid ejection head is adopted, but other modes may be adopted. For example, a liquid ejecting apparatus is provided with two tanks on the upstream side and the downstream side of a liquid ejecting head without circulating the liquid, and by flowing the liquid from one tank to the other tank, the liquid in the pressure chamber is made to flow. It may be in a form that allows it.
In each of the following embodiments, a so-called line type liquid ejection head having a length corresponding to the width of the recording medium is used as the liquid ejection head, but recording is performed while scanning the recording medium. A so-called serial type liquid ejection head for performing the above may be adopted. As the serial type liquid ejection head, for example, one in which one recording element substrate for black ink and one recording element substrate for color ink are mounted is exemplified, but the invention is not limited to this example. The serial type liquid ejection head may be, for example, a head having a width shorter than the width of a recording medium in which several recording element substrates are arranged so that the ejection openings overlap in the ejection opening array direction.

（適用例１）
（インクジェット記録装置の説明）
図１は、本発明の適用例１に係る液体吐出装置の概略構成を示す図である。図１に示す液体吐出装置は、液体としてインクを吐出して記録を行うインクジェット記録装置１０００（以下、記録装置とも称す）である。記録装置１０００は、被記録媒体２を搬送する搬送部１と、被記録媒体２の搬送方向と略直交して配置されるライン型の液体吐出ヘッド３とを備え、被記録媒体２を連続的もしくは間欠的に搬送しながら１パスで連続記録を行うライン型記録装置である。被記録媒体２は、カット紙でも良いし、連続したロール紙でも良い。液体吐出ヘッド３は液体としてＣＭＹＫ（シアン、マゼンタ、イエロー、ブラック）インクを用いたフルカラー印刷が可能である。また、液体吐出ヘッド３は、後述するように液体を液体吐出ヘッドへ供給する供給路である液体供給手段、メインタンク及びバッファタンク（図２参照）が流体的に接続されている。また、液体吐出ヘッド３には、液体吐出ヘッド３へ電力及び論理信号を伝送する電気制御部が電気的に接続される。液体吐出ヘッド３内における液体経路及び電気信号経路については後述する。 (Application example 1)
(Description of inkjet recording device)
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a liquid ejection apparatus according to an application example 1 of the present invention. The liquid ejection apparatus shown in FIG. 1 is an inkjet recording apparatus 1000 (hereinafter also referred to as a recording apparatus) that ejects ink as a liquid to perform recording. The recording apparatus 1000 includes a conveyance unit 1 that conveys the recording medium 2 and a line-type liquid ejection head 3 that is arranged substantially orthogonal to the conveyance direction of the recording medium 2, and continuously records the recording medium 2. Alternatively, it is a line-type recording apparatus that performs continuous recording in one pass while intermittently conveying. The recording medium 2 may be cut paper or continuous roll paper. The liquid ejection head 3 is capable of full-color printing using CMYK (cyan, magenta, yellow, black) ink as the liquid. Further, the liquid discharge head 3 is fluidly connected to a liquid supply means which is a supply path for supplying the liquid to the liquid discharge head, a main tank and a buffer tank (see FIG. 2) as described later. Further, the liquid ejection head 3 is electrically connected to an electric control unit that transmits electric power and a logical signal to the liquid ejection head 3. The liquid path and the electric signal path in the liquid ejection head 3 will be described later.

（第１の循環経路の説明）
本適用例の記録装置に適用される、液体を循環させる循環経路について説明する。図２は、本適用例の記録装置に適用される循環経路の一形態である第１の循環経路を示す模式図である。図２において、液体吐出ヘッド３は、第１循環ポンプ（高圧側）１００１、第１循環ポンプ（低圧側）１００２、及びバッファタンク１００３等と流体的に接続している。また、図２では、説明を簡略化するためにＣＭＹＫインクの内の一色のインクが流動する経路のみが示されているが、実際には４色分の循環経路が、液体吐出ヘッド３及び記録装置１０００本体に設けられている。
サブタンクとして使用されるバッファタンク１００３はメインタンク１００６と接続される。バッファタンク１００３は、そのタンクの内部と外部とを連通する大気連通口（不図示）を有し、インク中の気泡を外部に排出することが可能である。バッファタンク１００３は、補充ポンプ１００５とさらに接続されている。補充ポンプ１００５は、液体吐出ヘッド３の吐出口から液体を吐出または排出する動作によって液体吐出ヘッド３で液体が消費された際に、消費された分のインクをメインタンク１００６からバッファタンク１００３へ移送する。液体を吐出または排出する動作としては、例えば、記録動作や吸引回復動作などが挙げられる。、
２つの第１循環ポンプ１００１及び１００２は、液体吐出ヘッド３の液体接続部１１１から液体を引き出してバッファタンク１００３へ流す機能を有する。第１循環ポンプとしては、定量的な送液能力を有する容積型ポンプが好ましい。具体的には、第１循環ポンプとしては、チューブポンプ、ギアポンプ、ダイヤフラムポンプ及びシリンジポンプ等が挙げられるが、例えば、一般的な定流量弁やリリーフ弁をポンプ出口に配して一定流量を確保する形態のものでもよい。液体吐出ヘッド３の駆動時には、第１循環ポンプ（高圧側）１００１及び第１循環ポンプ（低圧側）１００２によって、それぞれ共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２内を一定量の液体が流れる。この液体の流量は、液体吐出ヘッド３内の各記録素子基板１０間の温度差が、記録画像の画質に影響を与えない程度以上に設定されることが好ましい。しかしながら、あまりに大きな流量が設定されると、液体吐出ユニット３００内の流路の圧損の影響により、各記録素子基板１０間の負圧差が大きくなり過ぎ、画像に濃度ムラが生じてしまう。このため、各記録素子基板１０間の温度差と負圧差を考慮しながら、流量を設定することが好ましい。
負圧制御ユニット２３０は、第２循環ポンプ１００４と液体吐出ユニット３００との間の経路上に設けられている。負圧制御ユニット２３０は、記録デューティ（Duty）の差によって循環経路内の流量が変動した場合でも、負圧制御ユニット２３０よりも下流側の圧力を予め設定した所望の圧力を中心とする一定範囲内に維持するように動作する。負圧制御ユニット２３０よりも下流側は、負圧制御ユニット２３０よりも液体吐出ユニット３００に近い側である。負圧制御ユニット２３０は、互いに異なる制御圧が設定された２つの圧力調整機構を備えている。２つの圧力調整機構としては、それ自身よりも下流の圧力を、所望の設定圧を中心とする一定の範囲以下の変動で制御できるものであれば、特に限定されない。圧力調整機構は、例えば、所謂「減圧レギュレーター」を採用することができる。圧力調整機構として減圧レギュレーターを用いた場合、図２に示すように、第２循環ポンプ１００４によって、液体供給ユニット２２０を介して負圧制御ユニット２３０の上流側を加圧させることが好ましい。この場合、バッファタンク１００３の液体吐出ヘッド３に対する水頭圧の影響を抑制できるので、記録装置１０００におけるバッファタンク１００３のレイアウトの自由度を広げることができる。第２循環ポンプ１００４としては、液体吐出ヘッド３の駆動時に使用するインク循環流量の範囲において、一定圧以上の揚程圧を有するものであればよく、ターボ型ポンプや容積型ポンプ等を使用できる。具体的には、第２循環ポンプ１００４として、ダイヤフラムポンプ等が適用可能である。また第２循環ポンプ１００４の代わりに、例えば負圧制御ユニット２３０に対して所定の水頭差を有するように配置された水頭タンクを適用することも可能である。
２つの圧力調整機構の内、相対的に高圧設定側の機構と相対的に低圧設定側の機構は、液体供給ユニット２２０内を経由して、液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１と共通回収流路２１２とにそれぞれ接続されている。相対的に高圧設定側の機構は、図２においてＨで示され、相対的に低圧設定側の機構は、図２でＬと示されている。液体吐出ユニット３００には、共通供給流路２１１、共通回収流路２１２、及び各記録素子基板と連通する個別供給流路２１３ａ及び個別回収流路２１３ｂが設けられている。個別流路２１３（個別供給流路２１３ａ及び個別回収流路２１３ｂ）は、共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２と連通している。このため、共通供給流路２１１を流れる液体の一部が、共通供給流路２１１から記録素子基板１０の内部流路を通過して共通回収流路２１２へと流れる流れ（図２の矢印）が発生する。これは、共通供給流路２１１には高圧設定側の圧力調整機構Ｈが接続され、共通回収流路２１２には低圧設定側の圧力調整機構Ｌが接続されているため、２つの共通流路（共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２）間に差圧が生じているからである。
以上のように液体吐出ユニット３００では、液体が共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２のそれぞれを通過しつつ、その液体の一部が各記録素子基板１０を通過するような流れが発生する。このため、各記録素子基板１０で発生する熱を、共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２を流れる液体で記録素子基板１０の外部へ排出することができる。また、本構成により、液体吐出ヘッド３による記録が行われている際に、記録を行っていない吐出口や圧力室においても液体の流れを生じさせることができるため、それらの部位におけるインクの増粘を抑制できる。また増粘した液体や液体中の異物を共通回収流路２１２へと排出することができる。このため、本実施例の液体吐出ヘッド３は、高速で高画質な記録が可能となる。 (Explanation of the first circulation route)
A circulation path for circulating the liquid, which is applied to the recording apparatus of this application example, will be described. FIG. 2 is a schematic diagram showing a first circulation path which is one mode of the circulation path applied to the recording apparatus of this application example. In FIG. 2, the liquid discharge head 3 is fluidly connected to a first circulation pump (high pressure side) 1001, a first circulation pump (low pressure side) 1002, a buffer tank 1003, and the like. Further, in FIG. 2, only a path through which one color ink of the CMYK ink flows is shown for simplification of description, but in reality, the circulation paths for four colors are the liquid ejection head 3 and the recording. It is provided in the main body of the apparatus 1000.
The buffer tank 1003 used as a sub tank is connected to the main tank 1006. The buffer tank 1003 has an atmosphere communication port (not shown) that communicates the inside and the outside of the tank, and is capable of discharging bubbles in the ink to the outside. The buffer tank 1003 is further connected to the replenishment pump 1005. The replenishment pump 1005 transfers the consumed ink from the main tank 1006 to the buffer tank 1003 when the liquid is consumed in the liquid ejection head 3 by the operation of ejecting or discharging the liquid from the ejection port of the liquid ejection head 3. To do. Examples of the operation of ejecting or discharging the liquid include a recording operation and a suction recovery operation. ,
The two first circulation pumps 1001 and 1002 have a function of drawing the liquid from the liquid connection portion 111 of the liquid ejection head 3 and flowing it to the buffer tank 1003. As the first circulation pump, a positive displacement pump having a quantitative liquid feeding capacity is preferable. Specific examples of the first circulation pump include a tube pump, a gear pump, a diaphragm pump, and a syringe pump. For example, a general constant flow valve or relief valve is arranged at the pump outlet to ensure a constant flow rate. It may be in the form of. When the liquid ejection head 3 is driven, a fixed amount of liquid flows in the common supply passage 211 and the common recovery passage 212 by the first circulation pump (high pressure side) 1001 and the first circulation pump (low pressure side) 1002, respectively. It is preferable that the flow rate of the liquid is set to such an extent that the temperature difference between the recording element substrates 10 in the liquid ejection head 3 does not affect the image quality of the recorded image. However, if the flow rate is set to be too large, the negative pressure difference between the recording element substrates 10 becomes too large due to the influence of the pressure loss of the flow path in the liquid ejection unit 300, resulting in uneven density in the image. Therefore, it is preferable to set the flow rate while considering the temperature difference and the negative pressure difference between the respective recording element substrates 10.
The negative pressure control unit 230 is provided on the path between the second circulation pump 1004 and the liquid ejection unit 300. The negative pressure control unit 230 is configured such that the pressure on the downstream side of the negative pressure control unit 230 is within a predetermined range centered around a desired pressure even when the flow rate in the circulation path changes due to a difference in recording duty. Works to keep inside. The downstream side of the negative pressure control unit 230 is closer to the liquid ejection unit 300 than the negative pressure control unit 230. The negative pressure control unit 230 includes two pressure adjusting mechanisms in which different control pressures are set. The two pressure adjusting mechanisms are not particularly limited as long as they can control the pressure downstream of themselves with a fluctuation within a certain range centered around a desired set pressure. As the pressure adjusting mechanism, for example, a so-called "pressure reducing regulator" can be adopted. When a decompression regulator is used as the pressure adjusting mechanism, it is preferable that the second circulation pump 1004 pressurize the upstream side of the negative pressure control unit 230 via the liquid supply unit 220, as shown in FIG. In this case, since the influence of the head pressure of the buffer tank 1003 on the liquid ejection head 3 can be suppressed, the flexibility of the layout of the buffer tank 1003 in the recording apparatus 1000 can be expanded. As the second circulation pump 1004, a pump having a head pressure of a certain pressure or higher within a range of the ink circulation flow rate used when driving the liquid ejection head 3 may be used, and a turbo pump, a positive displacement pump, or the like can be used. Specifically, a diaphragm pump or the like can be applied as the second circulation pump 1004. Further, instead of the second circulation pump 1004, for example, a head tank arranged so as to have a predetermined head difference with respect to the negative pressure control unit 230 can be applied.
Among the two pressure adjusting mechanisms, the mechanism on the relatively high pressure setting side and the mechanism on the relatively low pressure setting side are common to the common supply flow passage 211 in the liquid ejection unit 300 via the liquid supply unit 220. Each of them is connected to the recovery channel 212. The mechanism on the relatively high pressure setting side is indicated by H in FIG. 2, and the mechanism on the relatively low pressure setting side is indicated by L in FIG. The liquid ejection unit 300 is provided with a common supply flow channel 211, a common recovery flow channel 212, and individual supply flow channels 213a and 213b that communicate with each recording element substrate. The individual flow channels 213 (the individual supply flow channels 213a and the individual recovery flow channels 213b) communicate with the common supply flow channel 211 and the common recovery flow channel 212. Therefore, a part of the liquid flowing through the common supply channel 211 flows from the common supply channel 211 through the internal channel of the recording element substrate 10 to the common recovery channel 212 (arrow in FIG. 2). Occur. This is because the high pressure setting side pressure adjusting mechanism H is connected to the common supply flow path 211 and the low pressure setting side pressure adjusting mechanism L is connected to the common recovery flow path 212. This is because a differential pressure is generated between the common supply channel 211 and the common recovery channel 212).
As described above, in the liquid ejection unit 300, a flow occurs in which the liquid passes through each of the common supply channel 211 and the common recovery channel 212, while a part of the liquid passes through each recording element substrate 10. .. Therefore, the heat generated in each recording element substrate 10 can be discharged to the outside of the recording element substrate 10 by the liquid flowing through the common supply channel 211 and the common recovery channel 212. Further, according to this configuration, when recording is performed by the liquid ejection head 3, it is possible to cause the liquid flow even in the ejection ports and the pressure chambers in which recording is not performed, so that the amount of ink in those portions is increased. It can suppress stickiness. Further, the thickened liquid and the foreign matter in the liquid can be discharged to the common recovery channel 212. Therefore, the liquid ejection head 3 of this embodiment can perform high-speed and high-quality recording.

（第２の循環経路の説明）
図３は、本適用例の記録装置に適用される循環経路のうち、上述した第１の循環経路とは異なる第２の循環経路を示す模式図である。第２の循環経路における第１の循環経路との主な相違点は、負圧制御ユニット２３０を構成する２つの圧力調整機構が共に、負圧制御ユニット２３０よりも上流側の圧力を制御することである。つまり、この２つの圧力調整機構が共に、この圧力を所望の設定圧を中心とする一定範囲内の変動で制御する機構（所謂「背圧レギュレーター」と同じ作用の機構）となっていることである。また他の相違点は、第２循環ポンプ１００４が負圧制御ユニット２３０の下流側を減圧する負圧源として作用することである。さらに他の相違点は、第１循環ポンプ（高圧側）１００１及び第１循環ポンプ（低圧側）１００２が液体吐出ヘッド上流側に配置され、負圧制御ユニット２３０が液体吐出ヘッド下流側に配置されていることである。
第２の循環経路において負圧制御ユニット２３０は、記録デューティ（Duty）の差によって循環経路内の流量が変動した場合でも、自身の上流側の圧力変動を、予め設定された所望の圧力を中心とする一定範囲内に維持するように動作する。負圧制御ユニット２３０の上流側とは、負圧制御ユニット２３０よりも液体吐出ユニット３００側のことである。図３に示すように、第２循環ポンプ１００４によって、液体供給ユニット２２０を介して負圧制御ユニット２３０の下流側が加圧されることが好ましい。この場合、液体吐出ヘッド３に対するバッファタンク１００３の水頭圧の影響を抑制できるので、記録装置１０００におけるバッファタンク１００３のレイアウトの自由度を広げることができる。第２循環ポンプ１００４の代わりに、例えば、負圧制御ユニット２３０に対して所定の水頭差を有するように配置された水頭タンクを適用することが可能である。
図３に示したように負圧制御ユニット２３０は、第１の循環経路と同様に、互いに異なる制御圧が設定された２つの圧力調整機構を備えている。２つの負圧調整機構の内、高圧設定側（Ｈ）の機構と低圧設定側（Ｌ）の機構は、液体供給ユニット２２０内を経由して、液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１と共通回収流路２１２とにそれぞれ接続されている。２つの負圧調整機構により共通供給流路２１１の圧力が共通回収流路２１２の圧力より相対的に高い。このため、共通供給流路２１１を流れる液体の一部が、共通供給流路２１１から個別流路２１３及び各記録素子基板１０の内部流路を介して共通回収流路２１２へと流れる流れが発生する（図３の矢印）。このように、第２の循環経路では、液体吐出ユニット３００に第１の循環経路と同様な液体の流れを作ることができ、さらに第１の循環経路とは異なる２つの利点がある。
第１の利点は、第２の循環経路では負圧制御ユニット２３０が液体吐出ヘッド３の下流側に配置されているため、負圧制御ユニット２３０から発生するゴミや異物が液体吐出ヘッド３へ流入する懸念が少ないことである。第２の利点は、第２の循環経路では、バッファタンク１００３から液体吐出ヘッド３へ供給する必要のある流量の最大値が、第１の循環経路の場合よりも少なくて済むことである。その理由は次の通りである。
液体を吐出していない記録待機時において、液体吐出ユニット３００内の各記録素子基板１０間の温度差を所望の範囲内にするために必要な、共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２内の流量の合計値の最小値を最小循環流量Ａとする。また、液体吐出ユニット３００の全ての吐出口からインクを吐出する全吐時における吐出流量をＦとする。
第１の循環経路の場合（図２の場合）では、第１循環ポンプ（高圧側）１００１及び第１循環ポンプ（低圧側）１００２の設定流量が最小循環流量Ａと等しくなるので、全吐時に必要な液体吐出ヘッド３への液体供給量はＡ＋Ｆとなる。このため、第１の循環経路における必要供給流量の最大値はＡ＋Ｆとなる。
一方、第２の循環経路の場合（図３の場合）、記録待機時に必要な液体吐出ヘッド３への液体供給量は最小循環流量Ａと等しくなり、全吐時に必要な液体吐出ヘッド３への供給量は、吐出流量Ｆと等しくなる。このため、第１循環ポンプ（高圧側）１００１及び第１循環ポンプ（低圧側）１００２の設定流量の合計値はＡ及びＦの大きい方となる。したがって、第２の循環経路における必要供給流量の最大値は、Ａ及びＦの大きい方となる。
したがって、同一構成の液体吐出ユニット３００を使用する場合、第２の循環経路における必要供給流量の最大値（Ａ又はＦ）は、第１の循環経路における必要供給流量の最大値（Ａ＋Ｆ）よりも必ず小さくなる。このため、第２の循環経路の場合、適用可能な循環ポンプの自由度が高まる。したがって、例えば、構成の簡便な低コストの循環ポンプを使用したり、本体側経路に設置される冷却器（不図示）の負荷を低減したりすることができ、記録装置本体のコストを低減できるという利点がある。この利点は、Ａ又はＦの値が比較的大きくなるライン型ヘッドで特に顕著となり、ライン型ヘッドの中でも長手方向の長さが長いほど顕著となる。
しかしながら、その一方で、第１の循環経路の方が第２の循環経路よりも有利になる点もある。例えば、第２の循環経路では、記録待機時に液体吐出ユニット３００内を流れる流量が最大であるため、記録デューティの低い画像であるほど、各吐出口に高い負圧が印加された状態となる。このため、特に共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２の流路幅（液体の流れ方向と直交する方向の長さ）を小さくしてヘッド幅（液体吐出ヘッドの短手方向の長さ）を小さくした場合、ムラの見えやすい低デューティ画像で吐出口に高い負圧が印加される。このため、サテライト滴の影響が大きくなる恐れがある。一方、第１の循環経路の場合、高い負圧が吐出口に印加されるのは高デューティ画像の形成時であるため、仮にサテライト滴が発生しても視認されにくい。このため、画像への影響は小さいという利点がある。
液体吐出ヘッド及び記録装置本体の仕様（吐出流量Ｆ、最小循環流量Ａ、及びヘッド内流路抵抗など）に応じて第１の循環経路及び第２の循環経路のうちの好ましい方を選択することができる。 (Explanation of the second circulation route)
FIG. 3 is a schematic diagram showing a second circulation path different from the above-described first circulation path among the circulation paths applied to the recording apparatus of the present application example. The main difference between the second circulation path and the first circulation path is that both of the two pressure adjusting mechanisms constituting the negative pressure control unit 230 control the pressure on the upstream side of the negative pressure control unit 230. Is. In other words, both of these two pressure adjusting mechanisms are mechanisms that control this pressure within a fixed range centered around the desired set pressure (a mechanism that operates in the same way as a so-called "back pressure regulator"). is there. Another difference is that the second circulation pump 1004 acts as a negative pressure source that reduces the pressure on the downstream side of the negative pressure control unit 230. Still another difference is that the first circulation pump (high pressure side) 1001 and the first circulation pump (low pressure side) 1002 are arranged on the upstream side of the liquid ejection head, and the negative pressure control unit 230 is arranged on the downstream side of the liquid ejection head. Is that
In the second circulation path, the negative pressure control unit 230 adjusts the pressure fluctuation on the upstream side of itself to a preset desired pressure even when the flow rate in the circulation path fluctuates due to the difference in the recording duty (Duty). And it works to keep it within a certain range. The upstream side of the negative pressure control unit 230 is the liquid ejection unit 300 side of the negative pressure control unit 230. As shown in FIG. 3, it is preferable that the second circulation pump 1004 pressurize the downstream side of the negative pressure control unit 230 via the liquid supply unit 220. In this case, the influence of the head pressure of the buffer tank 1003 on the liquid ejection head 3 can be suppressed, so that the layout flexibility of the buffer tank 1003 in the recording apparatus 1000 can be increased. Instead of the second circulation pump 1004, for example, a head tank arranged so as to have a predetermined head difference with respect to the negative pressure control unit 230 can be applied.
As shown in FIG. 3, the negative pressure control unit 230 includes two pressure adjusting mechanisms in which different control pressures are set, as in the first circulation path. Of the two negative pressure adjusting mechanisms, the high-pressure setting side (H) mechanism and the low-pressure setting side (L) mechanism pass through the inside of the liquid supply unit 220 and the common supply passage 211 in the liquid discharge unit 300. Each of them is connected to the common recovery channel 212. The pressure of the common supply channel 211 is relatively higher than the pressure of the common recovery channel 212 by the two negative pressure adjusting mechanisms. Therefore, a flow occurs in which a part of the liquid flowing through the common supply channel 211 flows from the common supply channel 211 to the common recovery channel 212 via the individual channels 213 and the internal channels of each recording element substrate 10. (Arrow in FIG. 3). Thus, in the second circulation path, it is possible to create the same liquid flow as the first circulation path in the liquid ejection unit 300, and there are two advantages different from the first circulation path.
The first advantage is that since the negative pressure control unit 230 is arranged on the downstream side of the liquid ejection head 3 in the second circulation path, dust and foreign matter generated from the negative pressure control unit 230 flow into the liquid ejection head 3. There is little concern about it. The second advantage is that the maximum value of the flow rate that needs to be supplied from the buffer tank 1003 to the liquid ejection head 3 in the second circulation path is smaller than that in the case of the first circulation path. The reason is as follows.
In the common supply channel 211 and the common recovery channel 212, which are necessary for keeping the temperature difference between the recording element substrates 10 in the liquid ejection unit 300 within a desired range during the recording standby state in which the liquid is not ejected. The minimum value of the total value of the flow rates of is the minimum circulation flow rate A. Further, the discharge flow rate at the time of complete discharge of ink from all the discharge ports of the liquid discharge unit 300 is F.
In the case of the first circulation path (in the case of FIG. 2 ), the set flow rate of the first circulation pump (high pressure side) 1001 and the first circulation pump (low pressure side) 1002 becomes equal to the minimum circulation flow rate A, so at the time of full discharge The required liquid supply amount to the liquid ejection head 3 is A+F. Therefore, the maximum value of the required supply flow rate in the first circulation path is A+F.
On the other hand, in the case of the second circulation path (in the case of FIG. 3 ), the liquid supply amount to the liquid ejection head 3 required during recording standby becomes equal to the minimum circulation flow rate A, and the liquid ejection head 3 required during full ejection is supplied. The supply amount is equal to the discharge flow rate F. Therefore, the total value of the set flow rates of the first circulation pump (high pressure side) 1001 and the first circulation pump (low pressure side) 1002 is the larger of A and F. Therefore, the maximum value of the required supply flow rate in the second circulation path is the larger of A and F.
Therefore, when the liquid discharge unit 300 having the same configuration is used, the maximum value (A or F) of the required supply flow rate in the second circulation path is higher than the maximum value (A+F) of the required supply flow rate in the first circulation path. It will definitely get smaller. Therefore, in the case of the second circulation path, the degree of freedom of the applicable circulation pump is increased. Therefore, for example, it is possible to use a low-cost circulation pump having a simple structure, reduce the load of a cooler (not shown) installed in the main body side path, and reduce the cost of the recording apparatus main body. There is an advantage that. This advantage is particularly remarkable in the line type head in which the value of A or F is relatively large, and becomes more remarkable as the length in the longitudinal direction is longer in the line type head.
However, on the other hand, there is also an advantage that the first circulation path is more advantageous than the second circulation path. For example, in the second circulation path, since the flow rate of the liquid flowing through the liquid ejection unit 300 is maximum during the recording standby, the higher the negative pressure is applied to each ejection port, the lower the printing duty of the image. Therefore, particularly, the channel width (the length in the direction orthogonal to the liquid flow direction) of the common supply channel 211 and the common recovery channel 212 is reduced to reduce the head width (the length in the lateral direction of the liquid ejection head). When is small, a high negative pressure is applied to the ejection port with a low duty image in which unevenness is easily seen. For this reason, the influence of satellite droplets may increase. On the other hand, in the case of the first circulation path, the high negative pressure is applied to the ejection port at the time of forming the high duty image, and therefore, even if satellite droplets are generated, it is difficult to visually recognize it. Therefore, there is an advantage that the influence on the image is small.
A preferred one of the first circulation path and the second circulation path is selected according to the specifications of the liquid ejection head and the recording apparatus main body (ejection flow rate F, minimum circulation flow rate A, flow path resistance in the head, etc.). You can

（液体吐出ヘッド構成の説明）
適用例１に係る液体吐出ヘッド３の構成について説明する。図４（ａ）及び図４（ｂ）は本適用例に係る液体吐出ヘッド３の斜視図である。液体吐出ヘッド３は、１つの記録素子基板１０でＣＭＹＫの４色のインクを吐出可能な記録素子基板１０を直線上に１５個配列（インラインに配置）したライン型の液体吐出ヘッドである。図４（ａ）に示すように、液体吐出ヘッド３は、各記録素子基板１０と、フレキシブル配線基板４０及び電気配線基板９０を介して電気的に接続された信号入力端子９１及び電力供給端子９２とを備える。信号入力端子９１及び電力供給端子９２は、記録装置１０００の制御部（不図示）と電気的に接続され、それぞれ、論理信号及び吐出に必要な電力を記録素子基板１０に供給する。電気配線基板９０内の電気回路によって配線を集約することで、信号入力端子９１及び電力供給端子９２の数を記録素子基板１０の数に比べて少なくできる。これにより、液体吐出ヘッド３の組み付け時又は液体吐出ヘッド３の交換時に着脱が必要な電気接続部数を少なくできる。図４（ｂ）に示すように、液体吐出ヘッド３の両端部に設けられた液体接続部１１１は、記録装置１０００の液体供給系と接続される。これによりＣＭＹＫ４色のインクが記録装置１０００の供給系から液体吐出ヘッド３に供給され、また液体吐出ヘッド３内を通ったインクが記録装置１０００の供給系へ回収される。このように各色のインクは、記録装置１０００の経路と液体吐出ヘッド３の経路を介して循環可能である。
図５は、液体吐出ヘッド３を構成する各部品またはユニットの分解斜視図である。図５では、液体吐出ユニット３００、液体供給ユニット２２０、及び電気配線基板９０が筺体８０に取り付けられている。液体供給ユニット２２０には、液体接続部１１１（図３）が設けられるとともに、液体供給ユニット２２０の内部には、供給される液体中の異物を取り除くため、液体接続部１１１の各開口と連通する各色別のフィルタ２２１（図２、図３）が設けられている。２つの液体供給ユニット２２０は、それぞれに２色分ずつのフィルタ２２１が設けられている。フィルタ２２１を通過した液体はそれぞれの色に対応して液体供給ユニット２２０上に配置された負圧制御ユニット２３０へ供給される。負圧制御ユニット２３０は、各色別の圧力調整弁からなるユニットであり、内部に設けられる弁やバネ部材等によって、液体の流量の変動に伴って生じる記録装置１０００の供給系内（液体吐出ヘッド３の上流側の供給系）の圧損変化を大幅に減衰させる。これにより、圧力制御ユニットよりも下流側（液体吐出ユニット３００側）の負圧変化をある一定範囲内で安定化させることが可能になる。各色の負圧制御ユニット２３０には、図２で記述したように、各色２つの圧力調整弁が内蔵されており、それぞれ異なる制御圧力に設定される。また、２つの圧力調整弁のうち高圧側が液体供給ユニット２２０を介して液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１と連通し、低圧側が液体供給ユニット２２０を介して液体吐出ユニット３００内の共通回収流路２１２と連通している。
筺体８０は、液体吐出ユニット支持部８１及び電気配線基板支持部８２から構成され、液体吐出ユニット３００及び電気配線基板９０を支持するとともに、液体吐出ヘッド３の剛性を確保している。電気配線基板支持部８２は、電気配線基板９０を支持するための部材であって、液体吐出ユニット支持部８１にネジ止めにより固定されている。液体吐出ユニット支持部８１は液体吐出ユニット３００の反りや変形を矯正して、複数の記録素子基板１０の相対位置精度を確保する機能を有し、それにより記録される画像におけるスジやムラを抑制する。そのため液体吐出ユニット支持部８１は、十分な剛性を有することが好ましく、材料としては、ＳＵＳ（ステンレス）やアルミ等の金属材料、もしくはアルミナ等のセラミックが好適である。液体吐出ユニット支持部８１には、ジョイントゴム１００が挿入される開口８３及び８４が設けられている。液体供給ユニット２２０から供給される液体は、ジョイントゴム１００を介して液体吐出ユニット３００を構成する第３流路部材７０へと導かれる。
液体吐出ユニット３００は、複数の吐出モジュール２００及び流路部材２１０からなり、液体吐出ユニット３００の被記録媒体側の面にはカバー部材１３０が取り付けられる。ここで、カバー部材１３０は、図５に示したように長尺の開口１３１が設けられた額縁状の表面を持つ部材であり、開口１３１からは吐出モジュール２００に含まれる記録素子基板１０及び封止材部１１０（図９）が露出している。開口１３１の周囲の枠部は、記録待機時に液体吐出ヘッド３をキャップするキャップ部材の当接面としての機能を有する。このため、開口１３１の周囲に沿って接着剤、封止材、充填材等を塗布し、液体吐出ユニット３００の吐出口面上の凹凸や隙間を埋めることで、キャップ時に閉空間が形成されるようにすることが好ましい。 (Description of liquid ejection head configuration)
The configuration of the liquid ejection head 3 according to Application Example 1 will be described. FIG. 4A and FIG. 4B are perspective views of the liquid ejection head 3 according to this application example. The liquid ejection head 3 is a line-type liquid ejection head in which 15 recording element substrates 10 capable of ejecting four color inks of CMYK on a single recording element substrate 10 are arranged in a straight line (arranged in line). As shown in FIG. 4A, the liquid ejection head 3 has a signal input terminal 91 and a power supply terminal 92 that are electrically connected to each recording element substrate 10 via the flexible wiring board 40 and the electrical wiring board 90. With. The signal input terminal 91 and the power supply terminal 92 are electrically connected to a control unit (not shown) of the printing apparatus 1000, and respectively supply a logic signal and power required for ejection to the printing element substrate 10. The number of the signal input terminals 91 and the power supply terminals 92 can be reduced as compared with the number of the recording element boards 10 by collecting the wirings by the electric circuits in the electric wiring board 90. This can reduce the number of electrical connection parts that need to be attached and detached when the liquid ejection head 3 is assembled or when the liquid ejection head 3 is replaced. As shown in FIG. 4B, the liquid connection portions 111 provided at both ends of the liquid ejection head 3 are connected to the liquid supply system of the recording apparatus 1000. As a result, four colors of CMYK ink are supplied from the supply system of the recording apparatus 1000 to the liquid ejection head 3, and the ink that has passed through the liquid ejection head 3 is collected by the supply system of the recording apparatus 1000. In this way, each color of ink can be circulated through the path of the recording apparatus 1000 and the path of the liquid ejection head 3.
FIG. 5 is an exploded perspective view of each component or unit forming the liquid ejection head 3. In FIG. 5, the liquid discharge unit 300, the liquid supply unit 220, and the electric wiring board 90 are attached to the housing 80. The liquid supply unit 220 is provided with a liquid connection portion 111 (FIG. 3), and communicates with the respective openings of the liquid connection portion 111 inside the liquid supply unit 220 in order to remove foreign matter in the supplied liquid. Filters 221 (FIGS. 2 and 3) for each color are provided. Each of the two liquid supply units 220 is provided with a filter 221 for two colors. The liquid that has passed through the filter 221 is supplied to the negative pressure control unit 230 arranged on the liquid supply unit 220 corresponding to each color. The negative pressure control unit 230 is a unit including a pressure adjusting valve for each color, and a valve, a spring member, and the like provided inside the negative pressure control unit 230 cause a change in the flow rate of the liquid in the supply system of the recording apparatus 1000 (the liquid ejection head). (3) The pressure loss change in the upstream supply system (3) is significantly attenuated. This makes it possible to stabilize the negative pressure change on the downstream side (the liquid ejection unit 300 side) of the pressure control unit within a certain fixed range. As described in FIG. 2, the negative pressure control unit 230 for each color has two pressure adjusting valves for each color built therein, and the control pressures are set differently. The high pressure side of the two pressure control valves communicates with the common supply channel 211 in the liquid ejection unit 300 via the liquid supply unit 220, and the low pressure side common recovery in the liquid ejection unit 300 via the liquid supply unit 220. It communicates with the flow path 212.
The housing 80 includes a liquid ejection unit support portion 81 and an electric wiring board support portion 82, supports the liquid ejection unit 300 and the electric wiring board 90, and secures the rigidity of the liquid ejection head 3. The electric wiring board support portion 82 is a member for supporting the electric wiring board 90, and is fixed to the liquid ejection unit support portion 81 by screwing. The liquid ejection unit support portion 81 has a function of correcting warpage and deformation of the liquid ejection unit 300 and ensuring relative positional accuracy of the plurality of recording element substrates 10, and thereby suppressing streaks and unevenness in an image recorded. To do. Therefore, the liquid discharge unit support portion 81 preferably has sufficient rigidity, and as a material thereof, a metal material such as SUS (stainless steel) or aluminum, or a ceramic such as alumina is suitable. The liquid discharge unit support portion 81 is provided with openings 83 and 84 into which the joint rubber 100 is inserted. The liquid supplied from the liquid supply unit 220 is guided to the third flow path member 70 forming the liquid discharge unit 300 via the joint rubber 100.
The liquid ejection unit 300 includes a plurality of ejection modules 200 and a flow path member 210, and a cover member 130 is attached to the surface of the liquid ejection unit 300 on the recording medium side. Here, the cover member 130 is a member having a frame-shaped surface provided with a long opening 131 as shown in FIG. 5, and from the opening 131, the recording element substrate 10 and the seal included in the ejection module 200 and the seal. The stopper material 110 (FIG. 9) is exposed. The frame portion around the opening 131 has a function as a contact surface of a cap member that caps the liquid ejection head 3 during recording standby. Therefore, an adhesive, a sealing material, a filling material, or the like is applied along the periphery of the opening 131 to fill the irregularities or gaps on the ejection port surface of the liquid ejection unit 300, thereby forming a closed space at the time of capping. It is preferable to do so.

次に液体吐出ユニット３００に含まれる流路部材２１０の構成について説明する。図５に示したように、流路部材２１０は、第１流路部材５０、第２流路部材６０、第３流路部材７０を積層したものである。流路部材２１０は、液体供給ユニット２２０から供給された液体を各吐出モジュール２００に分配し、また吐出モジュール２００から環流する液体を液体供給ユニット２２０に戻す。流路部材２１０は液体吐出ユニット支持部８１にネジ止めで固定されており、これにより流路部材２１０の反りや変形が抑制されている。
図６（ａ）〜（ｆ）は、第１〜第３流路部材の各流路部材の表面と裏面を示した図である。図６（ａ）は、第１流路部材５０の、吐出モジュール２００が搭載される側の面を示し、図６（ｆ）は、第３流路部材７０の、液体吐出ユニット支持部８１と当接する側の面を示す。第１流路部材５０及び第２流路部材６０は、図６（ｂ）及び図６（ｃ）のそれぞれで示された当接面が互いに対向するように接合し、第２流路部材及び第３流路部材は、図６（ｄ）と図６（ｅ）のそれぞれで示された当接面が互いに対向するように接合する。第２流路部材６０及び第３流路部材７０を互いに接合すると、第２流路部材６０及び第３流路部材７０のそれぞれに形成される共通流路溝部６２及び７１により、流路部材の長手方向に延在する８本の共通流路が形成される。これにより色毎に共通供給流路２１１と共通回収流路２１２のセットが流路部材２１０内に形成される（図７）。第３流路部材７０の連通口７２はジョイントゴム１００の各穴と連通しており、液体供給ユニット２２０と流体的に流通している。第２流路部材６０の共通流路溝部６２の底面には連通口６１が複数形成されており、第１流路部材５０の個別流路溝部５２の一端部と連通している。第１流路部材５０の個別流路溝部５２の他端部には連通口５１が形成されており、連通口５１を介して、複数の吐出モジュール２００と流体的に連通している。この個別流路溝部５２により流路部材の中央側へ流路を集約することが可能となる。
第１〜第３流路部材５０〜７０は、液体に対する耐腐食性を有し、かつ線膨張率の低い材料で形成されることが好ましい。第１〜第３流路部材５０〜７０の材料としては、例えば、アルミナ、ＬＣＰ（液晶ポリマー）、ＰＰＳ（ポリフェニルサルファイド）またはＰＳＦ（ポリサルフォン）を母材として、無機フィラーを添加した複合材料（樹脂材料）が好適である。無機フィラーとしては、シリカ微粒子やファイバー等が挙げられる。流路部材２１０の形成方法としては、３つの流路部材を積層させて互いに接着しても良いし、材料として樹脂複合樹脂材料を選択した場合には、溶着による接合方法を用いても良い。 Next, the configuration of the flow path member 210 included in the liquid ejection unit 300 will be described. As shown in FIG. 5, the flow path member 210 is a stack of the first flow path member 50, the second flow path member 60, and the third flow path member 70. The flow path member 210 distributes the liquid supplied from the liquid supply unit 220 to each ejection module 200, and returns the liquid circulating from the ejection module 200 to the liquid supply unit 220. The flow path member 210 is fixed to the liquid ejection unit support portion 81 with screws, and thus the warp and deformation of the flow path member 210 are suppressed.
FIGS. 6A to 6F are views showing the front surface and the back surface of each flow path member of the first to third flow path members. FIG. 6A shows the surface of the first flow path member 50 on the side on which the discharge module 200 is mounted, and FIG. 6F shows the liquid discharge unit support portion 81 of the third flow path member 70. The surface on the contact side is shown. The first flow path member 50 and the second flow path member 60 are joined so that the contact surfaces shown in FIGS. 6B and 6C face each other, and the second flow path member and The third flow path member is joined such that the contact surfaces shown in FIGS. 6D and 6E face each other. When the second flow path member 60 and the third flow path member 70 are joined to each other, the common flow path groove portions 62 and 71 formed in the second flow path member 60 and the third flow path member 70, respectively, Eight common channels extending in the longitudinal direction are formed. As a result, a set of the common supply channel 211 and the common recovery channel 212 for each color is formed in the channel member 210 (FIG. 7). The communication port 72 of the third flow path member 70 communicates with each hole of the joint rubber 100 and is in fluid communication with the liquid supply unit 220. A plurality of communication ports 61 are formed on the bottom surface of the common flow channel groove portion 62 of the second flow channel member 60 and communicate with one end of the individual flow channel groove portion 52 of the first flow channel member 50. A communication port 51 is formed at the other end of the individual flow channel groove portion 52 of the first flow channel member 50, and is in fluid communication with the plurality of discharge modules 200 via the communication port 51. This individual flow channel groove portion 52 makes it possible to collect the flow channels on the center side of the flow channel member.
It is preferable that the first to third flow path members 50 to 70 are made of a material having a corrosion resistance against a liquid and having a low linear expansion coefficient. As a material for the first to third flow path members 50 to 70, for example, a composite material (alumina, LCP (liquid crystal polymer), PPS (polyphenyl sulfide) or PSF (polysulfone) as a base material and an inorganic filler added ( A resin material) is suitable. Examples of the inorganic filler include silica fine particles and fibers. As a method of forming the flow path member 210, three flow path members may be laminated and bonded to each other, or when a resin composite resin material is selected as a material, a joining method by welding may be used.

次に図７を用いて流路部材２１０内の各流路の接続関係について説明する。図７は、第１〜第３流路部材を接合して形成される流路部材２１０内の流路の一部を第１の流路部材５０の吐出モジュール２００が搭載される面側から拡大してみた透視図である。流路部材２１０には、色毎に液体吐出ヘッド３の長手方向に延びる共通供給流路２１１（２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃ、２１１ｄ）、及び共通回収流路２１２（２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄ）が設けられている。各色の共通供給流路２１１には、個別流路溝部５２によって形成される複数の個別供給流路（２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃ、２１３ｄ）が連通口６１を介して接続されている。また、各色の共通回収流路２１２には、個別流路溝部５２によって形成される複数の個別回収流路（２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ）が連通口６１を介して接続されている。このような流路構成により各共通供給流路２１１から個別供給流路２１３を介して、流路部材の中央部に位置する記録素子基板１０に液体を集約することができる。また記録素子基板１０から個別回収流路２１４を介して、各共通回収流路２１２に液体を回収することができる。
ここで、各色の共通供給流路２１１は対応する色の負圧制御ユニット２３０（高圧側）と液体供給ユニット２２０を介して接続されており、共通回収流路２１２は負圧制御ユニット２３０（低圧側）と液体供給ユニット２２０を介して接続されている。この負圧制御ユニット２３０により、共通供給流路２１１と共通回収流路２１２間に差圧（圧力差）を生じさせるようになっている。このため、図７に示したように各流路を接続した本適用例の液体吐出ヘッド３内では、各色で共通供給流路２１１〜個別供給流路２１３ａ〜記録素子基板１０〜個別回収流路２１３ｂ〜共通回収流路２１２へと順に流れる流れが発生する。 Next, the connection relationship of each flow path in the flow path member 210 will be described with reference to FIG. 7. FIG. 7 is an enlarged view of a part of the flow path in the flow path member 210 formed by joining the first to third flow path members from the surface side of the first flow path member 50 on which the discharge module 200 is mounted. It is the perspective view which it tried. The channel member 210 includes a common supply channel 211 (211a, 211b, 211c, 211d) and a common recovery channel 212 (212a, 212b, 212c, 212d) that extend in the longitudinal direction of the liquid ejection head 3 for each color. It is provided. A plurality of individual supply channels (213a, 213b, 213c, 213d) formed by the individual channel grooves 52 are connected to the common supply channel 211 of each color via the communication port 61. Further, a plurality of individual recovery channels (214a, 214b, 214c, 214d) formed by the individual channel grooves 52 are connected to the common recovery channel 212 of each color via the communication port 61. With such a flow channel configuration, the liquid can be collected from the common supply flow channels 211 through the individual supply flow channels 213 to the recording element substrate 10 located at the center of the flow channel member. Further, the liquid can be recovered from the recording element substrate 10 to each common recovery channel 212 via the individual recovery channel 214.
Here, the common supply channel 211 of each color is connected to the negative pressure control unit 230 (high pressure side) of the corresponding color via the liquid supply unit 220, and the common recovery channel 212 is the negative pressure control unit 230 (low pressure). Side) and the liquid supply unit 220. The negative pressure control unit 230 is configured to generate a differential pressure (pressure difference) between the common supply passage 211 and the common recovery passage 212. Therefore, in the liquid ejection head 3 of this application example in which the respective flow paths are connected as shown in FIG. 7, the common supply flow path 211 to the individual supply flow path 213a to the recording element substrate 10 to the individual recovery flow path for each color. A flow that sequentially flows from 213b to the common recovery channel 212 is generated.

（吐出モジュールの説明）
１つの吐出モジュールは、記録素子基板１０及びフレキシブル基板からなり、記録素子基板１０上の端子１６と、フレキシブル基板上の端子をワイヤーボンディングで電気的に接続しされている。フレキシブル基板の記録素子基板１０と反対側の端子は電気配線基板９０の接続端子９３（図５参照）と電気的に接続される。 (Explanation of discharge module)
One ejection module includes a recording element substrate 10 and a flexible substrate, and the terminals 16 on the recording element substrate 10 and the terminals on the flexible substrate are electrically connected by wire bonding. The terminal of the flexible substrate opposite to the recording element substrate 10 is electrically connected to the connection terminal 93 (see FIG. 5) of the electric wiring substrate 90.

（記録素子基板の構造の説明）
本実施形態における記録素子基板１０の構成について説明する。図８（ａ）は記録素子基板１０の吐出口１３が形成される側の面の平面図であり、図８（ｂ）は図８（ａ）のＡで示した部分の拡大図であり、図８（ｃ）は図８（ａ）の裏面の平面図である。
図８（ａ）に示すように、記録素子基板１０の吐出口形成部材１２には、各インク色に対応する４列の吐出口列が形成されている。以下、複数の吐出口１３が配列される吐出口列が延びる方向を「吐出口列方向」と呼称する。
図８（ｂ）に示すように、各吐出口１３に対応した位置には液体を熱エネルギにより発泡させるための発熱素子である記録素子１５が配置されている。本発明において記録素子は発熱素子に限られず、圧電素子等、液体を吐出するために利用されるエネルギを発生する各種素子が適用可能である。隔壁２２により、記録素子１５を内部に備える圧力室２３が区画されている。記録素子１５は記録素子基板１０に設けられる電気配線（不図示）によって、図８（ａ）の端子１６と電気的に接続されている。記録素子１５は、記録装置１０００の制御回路から、電気配線基板９０（図５）及びフレキシブル配線基板を介して入力されるパルス信号に基づいて発熱して液体を沸騰させ、その沸騰による発泡の力で液体を吐出口１３から吐出する。図８（ｂ）に示すように、各吐出口列に沿って、一方の側には液体供給路１８が、他方の側には液体回収路１９が延在している。液体供給路１８及び液体回収路１９は記録素子基板１０に設けられた吐出口列方向に伸びた流路であり、それぞれ供給口１７ａ、回収口１７ｂを介して吐出口１３と連通している。
図８（ｃ）及び後述する図９に示すように、記録素子基板１０の、吐出口１３が形成される面の裏面にはシート状の蓋部材２０が積層されており、蓋部材２０には、後述する液体供給路１８及び液体回収路１９に連通する開口２１が複数設けられている。本実施形態においては、液体供給路１８の１本に対して３個、液体回収路１９の１本に対して２個の開口２１が蓋部材２０に設けられている。図８（ｂ）に示すように蓋部材２０のそれぞれの開口２１は、図６（ａ）に示した複数の連通口５１と連通している。図９に示すように蓋部材２０は、記録素子基板１０の基板１１に形成される液体供給路１８及び液体回収路１９の壁の一部を形成する蓋としての機能を有する。蓋部材２０は、液体に対して十分な耐食性を有していることが好ましく、また、混色防止の観点から、開口２１の開口形状及び開口位置には高い精度が求められる。このため蓋部材２０の材料としては、感光性樹脂材料やシリコン板を用い、フォトリソプロセスによって開口２１を設けることが好ましい。このように蓋部材２０は開口２１により流路のピッチを変換するものであり、圧力損失を考慮すると厚みは薄いことが望ましく、フィルム状の部材で構成されることが望ましい。 (Explanation of the structure of the recording element substrate)
The configuration of the recording element substrate 10 in this embodiment will be described. FIG. 8A is a plan view of the surface of the recording element substrate 10 on the side where the ejection ports 13 are formed, and FIG. 8B is an enlarged view of the portion indicated by A in FIG. FIG. 8C is a plan view of the back surface of FIG.
As shown in FIG. 8A, the ejection port forming member 12 of the recording element substrate 10 has four ejection port arrays corresponding to each ink color. Hereinafter, the direction in which the ejection port array in which the plurality of ejection ports 13 are arranged extends will be referred to as the “ejection port array direction”.
As shown in FIG. 8B, a recording element 15 which is a heating element for bubbling the liquid with thermal energy is arranged at a position corresponding to each ejection port 13. In the present invention, the recording element is not limited to a heating element, and various elements such as a piezoelectric element that generate energy used for ejecting liquid can be applied. The partition wall 22 defines a pressure chamber 23 having the recording element 15 therein. The recording element 15 is electrically connected to the terminal 16 of FIG. 8A by an electric wiring (not shown) provided on the recording element substrate 10. The recording element 15 generates heat based on a pulse signal input from the control circuit of the recording apparatus 1000 via the electric wiring board 90 (FIG. 5) and the flexible wiring board to boil the liquid, and the bubbling force due to the boiling. The liquid is discharged from the discharge port 13. As shown in FIG. 8B, a liquid supply path 18 extends on one side and a liquid recovery path 19 extends on the other side along each ejection port array. The liquid supply path 18 and the liquid recovery path 19 are flow paths provided in the recording element substrate 10 and extending in the ejection port array direction, and communicate with the ejection port 13 via the supply port 17a and the recovery port 17b, respectively.
As shown in FIG. 8C and FIG. 9 described later, a sheet-shaped lid member 20 is laminated on the back surface of the surface of the recording element substrate 10 on which the ejection ports 13 are formed. A plurality of openings 21 communicating with the liquid supply path 18 and the liquid recovery path 19 described later are provided. In the present embodiment, the lid member 20 is provided with three openings 21 for one liquid supply path 18 and two openings 21 for one liquid recovery path 19. As shown in FIG. 8B, each opening 21 of the lid member 20 communicates with the plurality of communication ports 51 shown in FIG. 6A. As shown in FIG. 9, the lid member 20 has a function as a lid that forms part of the walls of the liquid supply passage 18 and the liquid recovery passage 19 formed in the substrate 11 of the recording element substrate 10. The lid member 20 preferably has sufficient corrosion resistance to liquids, and from the viewpoint of preventing color mixing, the opening shape and the opening position of the opening 21 are required to have high accuracy. Therefore, it is preferable to use a photosensitive resin material or a silicon plate as the material of the lid member 20, and to provide the opening 21 by a photolithography process. As described above, the lid member 20 converts the pitch of the flow path by the opening 21, and it is desirable that the lid member 20 has a small thickness in view of the pressure loss, and it is desirable that the lid member 20 be formed of a film-shaped member.

次に、記録素子基板１０内での液体の流れについて説明する。図９は、図８（ａ）におけるＢ−Ｂ線における記録素子基板１０及び蓋部材２０の断面を示す斜視図である。記録素子基板１０はＳｉにより形成される基板１１と感光性の樹脂により形成される吐出口形成部材１２とが積層されており、基板１１の裏面には蓋部材２０が接合されている。基板１１の一方の面側には記録素子１５が形成されており（図８）、その裏面側には、吐出口列に沿って延在する液体供給路１８及び液体回収路１９を構成する溝部が形成されている。基板１１と蓋部材２０によって形成される液体供給路１８及び液体回収路１９はそれぞれ、流路部材２１０内の共通供給流路２１１と共通回収流路２１２と接続されており、液体供給路１８と液体回収路１９との間には差圧が生じている。液体吐出ヘッド３の複数の吐出口１３から液体を吐出して記録を行っている際に、吐出を行っていない吐出口１３では、この差圧によって、液体供給路１８内の液体は、供給口１７ａ、圧力室２３、回収口１７ｂを経由して液体回収路１９へ流れる。この液体の流れ（図１０の矢印Ｃで示した流れ）によって、吐出を行っていない吐出口１３や圧力室２３において、吐出口１３からの蒸発によって生じる増粘インクや、泡や異物等を液体回収路１９へ回収することができる。また吐出口１３や圧力室２３のインクの増粘を抑制することができる。液体回収路１９に回収された液体は、蓋部材２０の開口２１を通じて、流路部材２１０内の連通口５１、個別回収流路２１４、共通回収流路２１２の順に回収される。そして最終的には液体は記録装置１０００の供給経路へと回収される。
つまり、記録装置１０００本体から液体吐出ヘッド３へ供給される液体は、下記の順に流動し、供給及び回収される。液体は、先ず、液体供給ユニット２２０の液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の内部に流入する。そして、液体は、ジョイントゴム１００、第３流路部材に設けられた連通口７２及び共通流路溝部７１、第２流路部材に設けられた共通流路溝部６２及び連通口６１、第１流路部材に設けられた個別流路溝部５２及び連通口５１の順に供給される。その後、液体は、蓋部材に設けられた開口２１、基板１１に設けられた液体供給路１８及び供給口１７ａを順に介して圧力室２３に供給される。圧力室２３に供給された液体のうち、吐出口１３から吐出されなかった液体は、基板１１に設けられた回収口１７ｂ及び液体回収路１９、蓋部材に設けられた開口２１を順に流れる。さらに液体は、第１流路部材に設けられた連通口５１及び個別流路溝部５２、第２流路部材に設けられた連通口６１及び共通流路溝部６２、第３流路部材７０に設けられた共通流路溝部７１及び連通口７２、ジョイントゴム１００を順に流れる。そして、液体供給ユニットに設けられた液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の外部へ液体が流動する。図２に示す第１の循環経路においては、液体接続部１１１から流入した液体は負圧制御ユニット２３０を経由した後にジョイントゴム１００に供給される。図３に示す第２の循環経路においては、圧力室２３から回収された液体は、ジョイントゴム１００を通過した後、負圧制御ユニット２３０を介して液体接続部１１１から液体吐出ヘッドの外部へ流動する。
また図２及び図３に示したように、液体吐出ユニット３００の共通供給流路２１１の一端から流入した液体の全てが個別供給流路２１３ａを経由して圧力室２３に供給されるわけではない。個別供給流路２１３ａに流入することなく、共通供給流路２１１の他端から液体供給ユニット２２０に流動する液体もある。このように、記録素子基板１０を経由することなく流動する経路を備えることで、本実施形態のような微細で流抵抗の大きい流路を備える記録素子基板１０であっても、液体の循環流の逆流を抑制することができる。このように本適用例の液体吐出ヘッド３では、圧力室２３や吐出口１３近傍の液体の増粘を抑制できるため、吐出のヨレや不吐を抑制でき、結果として高画質な画像を記録することができる。 Next, the flow of liquid in the recording element substrate 10 will be described. FIG. 9 is a perspective view showing a cross section of the recording element substrate 10 and the lid member 20 taken along the line BB in FIG. The recording element substrate 10 has a substrate 11 made of Si and a discharge port forming member 12 made of a photosensitive resin, which are laminated, and a lid member 20 is bonded to the back surface of the substrate 11. A recording element 15 is formed on one surface side of the substrate 11 (FIG. 8 ), and a groove portion forming a liquid supply path 18 and a liquid recovery path 19 extending along the ejection port array is formed on the back surface side thereof. Are formed. The liquid supply passage 18 and the liquid recovery passage 19 formed by the substrate 11 and the lid member 20 are connected to the common supply passage 211 and the common recovery passage 212 in the flow passage member 210, respectively. A differential pressure is generated between the liquid recovery passageway 19 and the liquid recovery passageway 19. When the liquid is ejected from the plurality of ejection ports 13 of the liquid ejection head 3 and recording is performed, at the ejection ports 13 that are not ejecting, the liquid in the liquid supply path 18 is fed by the differential pressure. It flows to the liquid recovery path 19 via 17a, the pressure chamber 23, and the recovery port 17b. By the flow of the liquid (the flow indicated by the arrow C in FIG. 10), the thickened ink generated by the evaporation from the discharge port 13, the bubble, the foreign substance, and the like are discharged in the discharge port 13 and the pressure chamber 23 which are not discharging. It can be recovered to the recovery path 19. Further, it is possible to suppress the increase in the viscosity of the ink in the ejection port 13 and the pressure chamber 23. The liquid recovered in the liquid recovery path 19 is recovered through the opening 21 of the lid member 20 in the order of the communication port 51 in the flow path member 210, the individual recovery flow path 214, and the common recovery flow path 212. Finally, the liquid is collected in the supply path of the recording apparatus 1000.
That is, the liquid supplied from the main body of the recording apparatus 1000 to the liquid ejection head 3 flows, is supplied and collected in the following order. The liquid first flows into the liquid ejection head 3 from the liquid connection portion 111 of the liquid supply unit 220. Then, the liquid is the joint rubber 100, the communication passage 72 and the common flow passage groove portion 71 provided in the third flow passage member, the common flow passage groove portion 62 and the communication passage 61 provided in the second flow passage member, and the first flow. The individual flow channel groove portion 52 and the communication port 51 provided in the channel member are supplied in this order. Then, the liquid is supplied to the pressure chamber 23 through the opening 21 provided in the lid member, the liquid supply path 18 provided in the substrate 11 and the supply port 17a in order. Of the liquid supplied to the pressure chamber 23, the liquid that has not been discharged from the discharge port 13 flows through the recovery port 17b and the liquid recovery path 19 provided in the substrate 11 and the opening 21 provided in the lid member in order. Further, the liquid is provided in the communication port 51 and the individual flow channel groove portion 52 provided in the first flow channel member, the communication port 61 and the common flow channel groove portion 62 provided in the second flow channel member, and the third flow channel member 70. The common flow path groove portion 71, the communication port 72, and the joint rubber 100 are sequentially flowed. Then, the liquid flows from the liquid connection portion 111 provided in the liquid supply unit to the outside of the liquid ejection head 3. In the first circulation path shown in FIG. 2, the liquid flowing from the liquid connecting portion 111 is supplied to the joint rubber 100 after passing through the negative pressure control unit 230. In the second circulation path shown in FIG. 3, the liquid recovered from the pressure chamber 23 flows from the liquid connection portion 111 to the outside of the liquid ejection head via the negative pressure control unit 230 after passing through the joint rubber 100. To do.
Further, as shown in FIGS. 2 and 3, not all of the liquid that flows in from one end of the common supply channel 211 of the liquid ejection unit 300 is supplied to the pressure chamber 23 via the individual supply channel 213a. .. Some liquid flows from the other end of the common supply channel 211 to the liquid supply unit 220 without flowing into the individual supply channel 213a. As described above, by providing the flow path without passing through the recording element substrate 10, even in the recording element substrate 10 having the fine flow path with high flow resistance as in the present embodiment, the circulation flow of the liquid is Backflow can be suppressed. As described above, in the liquid ejection head 3 of the present application example, since the viscosity of the liquid in the vicinity of the pressure chamber 23 and the ejection port 13 can be suppressed, the ejection deviation or the ejection failure can be suppressed, and as a result, a high-quality image is recorded. be able to.

（記録素子基板間の位置関係の説明）
図１０は、互いに隣接する吐出モジュールにおける、記録素子基板１０間の隣接部を部分的に拡大して示す平面図である。図８に示すように、本実施形態では略平行四辺形状の記録素子基板１０を用いている。図１０に示すように各記録素子基板１０における吐出口１３が配列される各吐出口列１４ａ〜１４ｄは、被記録媒体の搬送方向に対して一定角度傾くように配置されている。これにより、記録素子基板１０同士の隣接部における吐出列は、少なくとも１つの吐出口が被記録媒体の搬送方向にオーバーラップする。
図１０では、線Ｄ上の２つの吐出口が互いにオーバーラップしている。このような配置によって、仮に記録素子基板１０の位置が所定位置から多少ずれた場合でも、オーバーラップする吐出口の駆動制御によって、記録画像の黒スジや白抜けを目立たなくするようにすることができる。複数の記録素子基板１０を千鳥配置ではなく、直線上（インライン）に配置してもよい。この場合でも、図１０のような構成により液体吐出ヘッド３の被記録媒体の搬送方向の長さの増大を抑えつつ、記録素子基板１０同士のつなぎ部における黒スジや白抜けを抑制することができる。なお、本実施形態では、記録素子基板１０の主平面は平行四辺形状であるが、これに限らず、例えば長方形状、台形状またはその他の形状の記録素子基板１０を用いた場合でも、本発明の構成を好ましく適用することができる。 (Explanation of positional relationship between printing element substrates)
FIG. 10 is a partially enlarged plan view of the adjacent portion between the recording element substrates 10 in the ejection modules adjacent to each other. As shown in FIG. 8, in this embodiment, the recording element substrate 10 having a substantially parallelogram shape is used. As shown in FIG. 10, the ejection port arrays 14a to 14d in which the ejection ports 13 of each recording element substrate 10 are arranged are arranged so as to be inclined at a constant angle with respect to the transport direction of the recording medium. As a result, at least one ejection port of the ejection rows in the adjacent portions of the recording element substrates 10 overlaps with each other in the transport direction of the recording medium.
In FIG. 10, the two discharge ports on the line D overlap each other. With such an arrangement, even if the position of the recording element substrate 10 is slightly deviated from the predetermined position, it is possible to make black streaks and white spots in the recorded image inconspicuous by driving control of overlapping ejection ports. it can. The plurality of recording element substrates 10 may be arranged in a straight line (in-line) instead of the staggered arrangement. Even in this case, the structure as shown in FIG. 10 can suppress an increase in the length of the liquid ejection head 3 in the conveyance direction of the recording medium, and can suppress black stripes or blank areas at the joint between the recording element substrates 10. it can. In the present embodiment, the main plane of the recording element substrate 10 has a parallelogram shape, but the present invention is not limited to this, and even when the recording element substrate 10 having a rectangular shape, a trapezoidal shape, or another shape is used, the present invention is not limited to this. The configuration of can be preferably applied.

（適用例２）
本発明の適用例２による記録装置１０００及び液体吐出ヘッド３の構成を説明する。なお以降の説明においては、主として適用例１と異なる部分のみを説明し、適用例１と同様の部分については説明を省略することがある。
（インクジェット記録装置の説明）
図１１は、本発明の適用例２によるインクジェット記録装置を示す図である。適用例２の記録装置１０００は、ＣＭＹＫのインクのそれぞれに対応した単色用の液体吐出ヘッド３を４つ並列配置させることで被記録媒体２へフルカラー記録を行う点が適用例１とは異なる。適用例１では、１色あたりに使用できる吐出口列数は１列であったのに対し、本適用例においては、１色あたりに使用できる吐出口列数は２０列となっている。このため、記録データを複数の吐出口列に適宜振り分けて記録を行うことで、非常に高速な記録が可能となる。更に、不吐になる吐出口があったとしても、その吐出口に対して被記録媒体の搬送方向に対応する位置にある、他列の吐出口から補間的に吐出を行うことで信頼性が向上するため、商業印刷等に好適である。適用例１と同様に、各液体吐出ヘッド３に対して、記録装置１０００の供給系、バッファタンク１００３及びメインタンク１００６（図２）が流体的に接続される。また、各液体吐出ヘッド３には、液体吐出ヘッド３へ電力及び吐出制御信号を伝送する電気制御部が電気的に接続される。
（循環経路の説明）
記録装置１０００及び液体吐出ヘッド３間の液体循環経路としては、適用例１と同様に、図２及び図３に示した第１及び第２の循環経路のどちらも用いることができる。
（液体吐出ヘッド構造の説明）
本発明の適用例２に係る液体吐出ヘッド３の構造について説明する。図１２（ａ）及び（ｂ）は本適用例に係る液体吐出ヘッド３の斜視図である。液体吐出ヘッド３は液体吐出ヘッド３の長手方向に直線上に配列される１６個の記録素子基板１０を備え、１色の液体でも記録が可能なインクジェット式のライン型記録ヘッドである。液体吐出ヘッド３は、適用例１同様、液体接続部１１１、信号入力端子９１及び電力供給端子９２を備える。しかしながら、本適用例の液体吐出ヘッド３は、適用例１に比べて吐出口列が多いため、液体吐出ヘッド３の両側に信号入力端子９１及び電力供給端子９２が配置されている。これは記録素子基板１０に設けられる配線部で生じる電圧低下や信号伝送遅れを低減させるためである。 (Application example 2)
The configurations of the recording apparatus 1000 and the liquid ejection head 3 according to Application Example 2 of the invention will be described. In the following description, only the parts different from the application example 1 will be mainly described, and the description of the same parts as the application example 1 may be omitted.
(Description of inkjet recording device)
FIG. 11 is a diagram showing an ink jet recording apparatus according to the application example 2 of the present invention. The recording apparatus 1000 according to the application example 2 differs from the application example 1 in that full-color recording is performed on the recording medium 2 by arranging four single-color liquid ejection heads 3 corresponding to the CMYK inks in parallel. In Application Example 1, the number of ejection port arrays that can be used per color is one, whereas in this application example, the number of ejection port arrays that can be used per color is 20. Therefore, it is possible to perform extremely high-speed printing by appropriately distributing the print data to the plurality of ejection port arrays and performing printing. Furthermore, even if there is a discharge port that does not discharge, reliability can be improved by performing the interpolation discharge from the discharge port of another row, which is located at the position corresponding to the transport direction of the recording medium with respect to the discharge port. Since it improves, it is suitable for commercial printing and the like. Similar to Application Example 1, the supply system of the recording apparatus 1000, the buffer tank 1003, and the main tank 1006 (FIG. 2) are fluidly connected to each liquid ejection head 3. In addition, an electric control unit that transmits electric power and an ejection control signal to the liquid ejection head 3 is electrically connected to each liquid ejection head 3.
(Explanation of circulation route)
As the liquid circulation path between the recording apparatus 1000 and the liquid ejection head 3, as in the application example 1, both the first and second circulation paths shown in FIGS. 2 and 3 can be used.
(Description of liquid ejection head structure)
The structure of the liquid ejection head 3 according to the application example 2 of the present invention will be described. 12A and 12B are perspective views of the liquid ejection head 3 according to this application example. The liquid ejection head 3 is an ink jet line type recording head that includes 16 recording element substrates 10 that are arranged in a straight line in the longitudinal direction of the liquid ejection head 3 and that can record even one color liquid. The liquid ejection head 3 includes the liquid connection portion 111, the signal input terminal 91, and the power supply terminal 92, as in the application example 1. However, since the liquid ejection head 3 of this application example has more ejection port arrays than the application example 1, the signal input terminals 91 and the power supply terminals 92 are arranged on both sides of the liquid ejection head 3. This is to reduce the voltage drop and signal transmission delay that occur in the wiring portion provided on the recording element substrate 10.

（第１の実施形態）
図１３は、本実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す図である。具体的には、図１３（ａ）は液体吐出ヘッドの斜視図であり、図１３（ｂ）は液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
本実施形態の液体吐出ヘッド３は、図１３に示すように、複数の記録素子基板１０と、流路部材２１０とを有する。複数の記録素子基板１０は、流路部材２１０上に配置されている。
図１４は、液体吐出ヘッド３の上面図であり、記録素子基板１０の形状や配列の異なる４つの例が示されている。図１４（ａ）の例では、平行四辺形状を有する記録素子基板１０が一列に並んで配置されている。以下、液体吐出ヘッド３における記録素子基板１０が並んだ方向を長尺方向４０１とし、記録素子基板１０の表面に平行な面内において長尺方向４０１と垂直な方向を走査方向４０２とする。
図１４（ｂ）の例では、一方の組の対辺が平行であり、他方の組の対辺がそれぞれ階段状の形状を有する記録素子基板１０が一列に並んで配置されている。図１４（ｃ）の例では、図１４（ａ）の例と同様に平行四辺形状を有する記録素子基板１０が一列に並んで配置されているが、互いに隣接する記録素子基板同士が長尺方向４０１にずれている。図１４（ｄ）の例では、長方形状の記録素子基板１０が一列に並んで配置されている。
図１４（ａ）〜（ｃ）の例では、互いに隣接する記録素子基板１０が長尺方向及び走査方向の両方において、少なくとも部分的にはオーバーラップしている。図１４（ｄ）の例では、互いに隣接する記録素子基板１０が長尺方向においてオーバーラップしている。
図１５は、液体吐出ヘッド３の吐出口列のズレを示す図である。図１５（ａ）は、図１４（ａ）の例における互いに隣接する記録素子基板１０間の隣接部の拡大図であり、吐出口列のズレ幅４０３を示す。図１５（ａ）に示すように、吐出口列のズレは、記録素子基板１０の隣接部で発生し、互いに隣接する記録素子基板１０間の距離である素子間距離４０４が小さいほど、吐出口列のズレ幅４０３は小さくなる。このため、素子間距離４０４は小さいほどよい。これは、図１５（ａ）の例に限らず、互いに隣接する記録素子基板１０が長尺方向及び走査方向の両方において、図１５（ｂ）及び図１５（ｃ）の例のような、少なくとも部分的にオーバーラップしている液体吐出ヘッド３全般についても同様である。
図１５（ｂ）は、図１４（ｄ）の例における互いに隣接する記録素子基板１０間の隣接部の拡大図である。図１５（ｂ）の例では、吐出口列のズレは生じないが、素子間距離４０４が小さいほどよいことは、図１５（ａ）に示した液体吐出ヘッドと同様である。これは、素子間距離４０４が小さいほど、隣接部における吐出口列間の間隔４０５が小さくなるためである。以下、図１５（ａ）に示したような互いに隣接する記録素子基板１０が長尺方向及び走査方向の両方において少なくとも部分的にオーバーラップしている液体吐出ヘッド３を例に説明するが、同様な効果は図１５（ｂ）の例に対しても適応される。 (First embodiment)
FIG. 13 is a diagram showing the liquid ejection head according to the present embodiment. Specifically, FIG. 13A is a perspective view of the liquid ejection head, and FIG. 13B is an exploded perspective view of the liquid ejection head.
As shown in FIG. 13, the liquid ejection head 3 of this embodiment has a plurality of recording element substrates 10 and a flow path member 210. The plurality of recording element substrates 10 are arranged on the flow path member 210.
FIG. 14 is a top view of the liquid ejection head 3, and shows four examples in which the shape and arrangement of the recording element substrate 10 are different. In the example of FIG. 14A, the recording element substrates 10 having a parallelogram shape are arranged in a line. Hereinafter, a direction in which the recording element substrates 10 are arranged in the liquid ejection head 3 is referred to as a long direction 401, and a direction perpendicular to the long direction 401 in a plane parallel to the surface of the recording element substrate 10 is referred to as a scanning direction 402.
In the example of FIG. 14B, the recording element substrates 10 in which the opposite sides of one set are parallel to each other and the opposite sides of the other set have a stepwise shape are arranged in a line. In the example of FIG. 14C, the recording element substrates 10 having parallelogram shapes are arranged side by side in a row as in the example of FIG. 14A, but the recording element substrates adjacent to each other are arranged in the longitudinal direction. It is shifted to 401. In the example of FIG. 14D, the rectangular recording element substrates 10 are arranged in a line.
In the example of FIGS. 14A to 14C, the recording element substrates 10 adjacent to each other overlap at least partially in both the longitudinal direction and the scanning direction. In the example of FIG. 14D, the recording element substrates 10 adjacent to each other overlap in the longitudinal direction.
FIG. 15 is a diagram showing misalignment of the ejection port array of the liquid ejection head 3. FIG. 15A is an enlarged view of the adjacent portion between the recording element substrates 10 adjacent to each other in the example of FIG. 14A, and shows the deviation width 403 of the ejection port array. As shown in FIG. 15A, the displacement of the ejection port array occurs in the adjacent portions of the recording element substrates 10, and the smaller the inter-element distance 404, which is the distance between the recording element substrates 10 adjacent to each other, the smaller the ejection ports. The row shift width 403 becomes smaller. Therefore, the smaller the inter-element distance 404, the better. This is not limited to the example of FIG. 15A, but the recording element substrates 10 adjacent to each other may be at least as in the examples of FIGS. 15B and 15C in both the longitudinal direction and the scanning direction. The same applies to the liquid ejecting heads 3 that are partially overlapped with each other.
FIG. 15B is an enlarged view of the adjacent portion between the recording element substrates 10 adjacent to each other in the example of FIG. 14D. In the example of FIG. 15B, the displacement of the ejection port array does not occur, but the smaller the inter-element distance 404 is, the better, as in the liquid ejection head shown in FIG. 15A. This is because the smaller the inter-element distance 404, the smaller the interval 405 between the ejection port arrays in the adjacent portions. Hereinafter, the liquid ejection head 3 in which the recording element substrates 10 adjacent to each other as shown in FIG. 15A at least partially overlap in both the lengthwise direction and the scanning direction will be described as an example. Such an effect is also applied to the example of FIG.

以下、本実施形態の特徴についてより詳細に説明する。
図１６は、互いに隣接する記録素子基板１０間の隣接部の側面図である。図１６（ａ）に示すように、流路部材２１０には、互いに隣接する記録素子基板１０の隣接部に対応する箇所に溝部４００が形成されている。溝部４００は、記録素子基板１０間の隙間と連通することで、記録素子基板１０の隣接部に面して開口している。溝部４００の幅（長尺方向における幅）４００ａは、互いに隣接する記録素子基板１０間の距離である素子間距離４０４よりも長い。このため、記録素子基板１０と流路部材２１０との接合面４１１が記録素子基板１０の端部４１２から記録素子基板１０の内側に入り込んでいる。このとき、記録素子基板１０間の隙間の中心と溝部４００の中心が同一線上に並び、互いに隣り合う記録素子基板１０のそれぞれにおける溝部４００の重なる部分の長さ（長尺方向における長さ）が等しいことが望ましい。また、溝部４００は、図１６では、走査方向４０２に対して記録素子基板１０の外側に延びているが、記録素子基板１０の内側に収まっていてもよい。記録素子基板１０と流路部材２１０とは接着剤で接合されている。接着剤は、例えば、液体状の接着剤、ゲル状の接着剤、または接着シートなどである。
以上の構成により、記録素子基板１０と流路部材２１０との接合に用いた接着剤が記録素子基板１０における吐出口が設けられた表面４１３まで這い上がることを抑制することができる。具体的には、図１６（ｂ）に示すように、記録素子基板１０と流路部材２１０との接合に用いた接着剤４２０のうち、接合面４１１からはみ出した接着剤４２１は、流路部材２１０の溝部の中、つまり、記録素子基板１０の裏面に留まる。したがって、互いに隣接する記録素子基板１０間の距離である素子間距離４０４を小さくしても、接着剤が記録素子基板１０の表面４１３まで這い上がることを抑制することができる。このため、互いに隣接する記録素子基板１０のそれぞれに設けられた吐出口列の走査方向に関するズレ幅を低減することが可能になる。したがって、記録素子基板１０と流路部材２１０との接合に接着剤４２０を用いた場合でも、記録される画像の隣接部に対応する箇所のムラ等の不具合を低減することが可能になり、その結果、高画質な画像を形成することが可能となる。
特に、接着剤４２０を厚塗りする必要がある場合、接合面４１１からはみ出す接着剤４２１の量が多くなるため、上記の効果が大きい。接着剤４２０を厚塗りする必要がある場合としては、記録素子基板１０と流路部材２１０の接合面４１１の面精度が低い場合が挙げられる。面精度が低いと、接合強度を上げたり、流路部材２１０内を流れる液体のリークを防止したりするためには、接合面４１１の凹凸を吸収できる十分な量の接着剤４２０が必要となるからである。本願発明者等の実験では、流路部材２１０の接合面４１１の凹凸が５０μｍ以上の場合、接着剤４２０の塗布厚みが１５０μｍあれば、十分な接合強度を確保しつつ、液体のリークを抑制することができた。この場合、上記構成により、記録素子基板１０間の素子間距離４０４を３０μｍにしても、接着剤４２１が表面４１３に這い上がることを抑制することができた。このときの溝部の幅は５００μｍ、深さは５００μｍとした。
また、接着剤４２０を厚塗りする必要がある場合としては、流路部材２１０が長尺方向に反っている場合が挙げられる。図１７は、流路部材２１０が長尺方向に反っている場合における液体吐出ヘッドの側面図である。
図１７に示すように流路部材２１０が長尺方向に反っている場合、複数の記録素子基板１０のそれぞれを表面４１３が同一平面上に形成されるためには、記録素子基板１０毎に流路部材２１０との接合のための接着剤の厚みを変える必要がある。この場合、接着剤４２０を厚塗りする必要がある箇所が生じる。例えば、流路部材２１０の反りの高さが５０μｍの場合、接着剤４２０の厚みが１０μｍ程度でよい箇所から６０μｍ程度必要な箇所がある。したがって、接着剤４２０の塗布時に接着剤４２０の厚みを７０μｍ程度とした場合、接着剤４２０が６０μｍ程押しつぶされる箇所がある。この場合、多くの余分な接着剤４２０が記録素子基板１０の周囲にはみ出してしまう。このような場合でも、本実施形態の液体吐出ヘッド３では、接着剤４２１が表面４１３に這い上がることを抑制することができる。
溝部４００は、互いに隣接する記録素子基板１０の隣接部に対応する箇所以外に設けられてもよい。例えば、溝部４００は流路部材２１０における記録素子基板１０の外周部に対応する箇所に設けられてもよい。この場合、例えば、記録素子基板１０における他の記録素子基板１０と隣接していない辺の近傍に吐出口１３が配置され、かつ、その辺の近傍の流路部材２１０に電気配線基板等を配置する場合などに有効である。具体的には、溝部４００が備わっていることで、電気配線基板等に接着剤がはみ出ることを抑制することが可能になる。
流路部材２１０における記録素子基板１０が並設された箇所の長さは、記録装置１０００にセット可能な被記録媒体２の最大幅以上になっていることの望ましい。この場合、記録素子基板１０間の隣接部に対応する箇所の画像を高画質にしつつ、その高画質な画像を被記録媒体２の幅方向全体に記録することが可能になる。 Hereinafter, the features of the present embodiment will be described in more detail.
FIG. 16 is a side view of an adjacent portion between the recording element substrates 10 adjacent to each other. As shown in FIG. 16A, in the flow path member 210, a groove portion 400 is formed at a position corresponding to an adjacent portion of the recording element substrates 10 adjacent to each other. The groove portion 400 communicates with the gap between the recording element substrates 10 to open toward the adjacent portion of the recording element substrate 10. The width (width in the lengthwise direction) 400a of the groove portion 400 is longer than the inter-element distance 404 which is the distance between the recording element substrates 10 adjacent to each other. For this reason, the joint surface 411 between the recording element substrate 10 and the flow path member 210 enters the inside of the recording element substrate 10 from the end 412 of the recording element substrate 10. At this time, the centers of the gaps between the recording element substrates 10 and the centers of the groove portions 400 are aligned on the same line, and the lengths (the lengths in the lengthwise direction) of the overlapping portions of the groove portions 400 of the recording element substrates 10 adjacent to each other are determined. It is desirable to be equal. Further, although the groove portion 400 extends to the outside of the recording element substrate 10 with respect to the scanning direction 402 in FIG. 16, it may be accommodated inside the recording element substrate 10. The recording element substrate 10 and the flow path member 210 are joined with an adhesive. The adhesive is, for example, a liquid adhesive, a gel adhesive, an adhesive sheet, or the like.
With the above configuration, it is possible to prevent the adhesive used for joining the recording element substrate 10 and the flow path member 210 from creeping up to the surface 413 of the recording element substrate 10 on which the ejection ports are provided. Specifically, as shown in FIG. 16B, among the adhesives 420 used for bonding the recording element substrate 10 and the flow path member 210, the adhesive 421 protruding from the bonding surface 411 is the flow path member. It stays in the groove portion 210, that is, on the back surface of the recording element substrate 10. Therefore, even if the inter-element distance 404, which is the distance between the recording element substrates 10 adjacent to each other, is reduced, it is possible to prevent the adhesive from creeping up to the surface 413 of the recording element substrate 10. Therefore, it is possible to reduce the deviation width in the scanning direction of the ejection port arrays provided on the respective recording element substrates 10 adjacent to each other. Therefore, even when the adhesive 420 is used to bond the recording element substrate 10 and the flow path member 210, it is possible to reduce defects such as unevenness in a portion corresponding to an adjacent portion of an image to be recorded. As a result, it is possible to form a high quality image.
In particular, when the adhesive 420 needs to be applied thickly, the amount of the adhesive 421 protruding from the joint surface 411 is large, so that the above effect is large. As a case where the adhesive 420 needs to be thickly applied, there is a case where the surface accuracy of the bonding surface 411 of the recording element substrate 10 and the flow path member 210 is low. If the surface accuracy is low, a sufficient amount of the adhesive 420 capable of absorbing the irregularities of the bonding surface 411 is required in order to increase the bonding strength and prevent the liquid flowing in the flow path member 210 from leaking. Because. According to the experiments conducted by the inventors of the present application, when the unevenness of the joint surface 411 of the flow path member 210 is 50 μm or more, and the application thickness of the adhesive 420 is 150 μm, sufficient joint strength is ensured and liquid leakage is suppressed. I was able to do it. In this case, with the above configuration, it was possible to prevent the adhesive 421 from creeping up to the surface 413 even when the element distance 404 between the recording element substrates 10 was 30 μm. At this time, the width of the groove was 500 μm and the depth was 500 μm.
Further, as a case where the adhesive 420 needs to be applied thickly, there is a case where the flow path member 210 is warped in the longitudinal direction. FIG. 17 is a side view of the liquid ejection head when the flow path member 210 is warped in the longitudinal direction.
When the flow path member 210 is warped in the lengthwise direction as shown in FIG. 17, in order to form the front surface 413 on each of the plurality of recording element substrates 10 on the same plane, the flow is different for each recording element substrate 10. It is necessary to change the thickness of the adhesive for joining with the road member 210. In this case, there are places where the adhesive 420 needs to be applied thickly. For example, when the height of the warp of the flow path member 210 is 50 μm, there are places where the thickness of the adhesive 420 may be about 10 μm to about 60 μm. Therefore, when the thickness of the adhesive 420 is set to about 70 μm when the adhesive 420 is applied, the adhesive 420 may be crushed by about 60 μm in some places. In this case, a large amount of extra adhesive 420 will squeeze out around the recording element substrate 10. Even in such a case, the liquid ejection head 3 of the present embodiment can prevent the adhesive 421 from creeping up on the surface 413.
The groove part 400 may be provided at a position other than the part corresponding to the adjacent part of the recording element substrates 10 adjacent to each other. For example, the groove portion 400 may be provided in the flow path member 210 at a position corresponding to the outer peripheral portion of the recording element substrate 10. In this case, for example, the ejection port 13 is arranged in the vicinity of a side of the recording element substrate 10 that is not adjacent to another recording element substrate 10, and the electric wiring board or the like is arranged in the flow path member 210 in the vicinity of the side. It is effective when doing. Specifically, since the groove portion 400 is provided, it is possible to prevent the adhesive from protruding to the electric wiring board or the like.
It is desirable that the length of the portion of the flow path member 210 where the recording element substrates 10 are arranged in parallel be equal to or larger than the maximum width of the recording medium 2 that can be set in the recording apparatus 1000. In this case, it is possible to record the high quality image in the entire width direction of the recording medium 2 while improving the quality of the image of the portion corresponding to the adjacent portion between the recording element substrates 10.

（第２の実施形態）
図１８及び図１９は、本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す図である。図１８は、液体吐出ヘッドの概略図である。具体的には、図１８（ａ）は、液体吐出ヘッドの斜視図であり、図１８（ｂ）は、液体吐出ヘッドの分解斜視図である。また、図１９は、互いに隣接する記録素子基板の概略図である。具体的には、図１９（ａ）は、液体吐出ヘッドの上面図であり、図１９（ｂ）は、図１９（ａ）のＣ−Ｃ線に沿った断面図である。
本実施形態の液体吐出ヘッドは、図１８及び図１９に示すように、第１の実施形態の液体吐出ヘッドと比較して、記録素子基板１０と支持部材３０との間に蓋部材２０が設けられている点で異なる。また、本実施形態の液体吐出ヘッドでは、吐出口１３に液体を供給するための裏面供給路４３０が記録素子基板１０の裏面に設けられており、蓋部材２０は裏面供給路４３０の蓋として機能する。さらに裏面供給路４３０に液体を供給するための供給口１７ａが蓋部材２０に設けられている。供給口１７ａは、例えば、流路部材２１０内に設けられた流路と連通している。蓋部材２０は流路部材２１０よりも薄いことが望ましい。
また、本実施形態の液体吐出ヘッド３では、記録素子基板１０の端部における溝部４００の上に突き出した箇所にも吐出口１３が配置されている。裏面供給路４３０が蓋部材２０で覆われるので、この溝部４００の上に突き出した箇所の吐出口１３にも液体を供給することができる。
なお、裏面供給路４３０の蓋である蓋部材２０は、記録素子基板１０と同等の加工精度で加工が可能となるように、流路部材２１０よりも厚みの小さい部材となっている。例えば、蓋部材２０は、シリコン基板を加工することで形成することができ、この場合、蓋部材２０の厚みは１ｍｍ以下にすることができる。シリコン基板の加工には、リソグラフィによる加工、ウエハ加工用のブレードダイシングによる加工またはレーザー加工を用いることが可能であり、これらの場合、記録素子基板１０の加工精度と同等な加工精度が得られる。また、蓋部材２０は、樹脂フィルムを加工することで形成することができ、この場合、蓋部材２０の厚みは０．１ｍｍ以下にすることができる。樹脂フィルムの加工には、シリコン基板の加工と同様に、リソグラフィによる加工、ウエハ加工用のブレードダイシングによる加工またはレーザー加工を用いることが可能であり、これらの場合、記録素子基板１０の加工精度と同等な加工精度が得られる。さらに、記録素子基板１０と蓋部材２０とは、液体の接着剤を用いずに互いに接合されることが望ましい。この場合、記録素子基板１０や蓋部材２０内の供給路に接着剤が入り込むことを抑制することができる。
本実施形態では、記録素子基板１０における溝部４００と重なる箇所、即ち記録素子基板１０における溝部４００の上に突き出した箇所にも吐出口１３が配置されている。このため、本実施形態では、第１の実施形態と比較して、互いに隣接する記録素子基板１０間の互いに隣接する吐出口１３の距離をさらに短くすることができる。したがって、互いに隣接する記録素子基板１０間の隣接部における吐出口列のズレ幅をさらに低減することが可能になる。
例えば、第１の実施形態と同様に、互いに隣接する記録素子基板１０間の素子間距離４０４が０．０２ｍｍの場合と、０．２ｍｍの場合について考える。これらの場合、記録素子基板１０の端から０．０５ｍｍの位置に吐出口１３が配置される。記録素子基板１０の斜辺の角度が４５度の場合には、吐出口列のズレ幅は、約０．１７ｍｍまたは約０．４２ｍｍとなる。このため、第１の実施形態と比較して、吐出口列のズレ幅を大幅に低減することが可能になる。
以上のように本実施形態では、記録素子基板１０と流路部材２１０とを接着剤で接合しても、互いに隣接する記録素子基板１０の隣接部における被記録媒体２の走査方向の記録素子基板１０間のズレ幅を低減することができる。したがって、吐出口列のズレ幅４０３を低減することができ、その結果、記録される画像における隣接部に対応する箇所に生じるムラ等の不具合を低減し、高画質な画像を形成することが可能になる。
なお、第１の実施形態において、本実施形態と同様に記録素子基板１０における溝部４００の上に突き出した箇所に吐出口１３を設けることは可能である。この場合、溝部４００の上に突き出した箇所の吐出口１３に液体を供給するための供給路を、吐出口１３が形成された面に形成する必要がある。しかしながら、この場合、供給路の高さは最大でも数十μｍであるのに対して、第２の実施形態のような裏面供給路４３０の高さは数百μｍにすることができる。したがって、第２の実施形態の方が記録素子基板１０における溝部４００の上に突き出した箇所に設けられた吐出口１３に液体を十分に供給しやすく、記録される画像における隣接部に対応する箇所をより高画質にすることができる。
また、裏面供給路４３０が形成されている裏面とは、記録素子基板１０における吐出口１３が形成された面の実質的な裏面である。つまり、記録素子基板１０が複数の基板を重ねた構造の場合、裏面とは、吐出口１３が形成された基板の、吐出口１３が形成された面の裏面ではなく、記録素子基板１０全体の吐出口１３が形成された面の裏面である。
また、互いに隣接する記録素子基板１０間の距離と、互いに隣接する蓋部材２０間の距離とは、図１９の例では等しいが、記録素子基板１０間の距離が蓋部材２０間の距離よりも短くてもよい。 (Second embodiment)
18 and 19 are diagrams showing a liquid ejection head according to the second embodiment of the present invention. FIG. 18 is a schematic view of the liquid ejection head. Specifically, FIG. 18A is a perspective view of the liquid ejection head, and FIG. 18B is an exploded perspective view of the liquid ejection head. Further, FIG. 19 is a schematic view of recording element substrates adjacent to each other. Specifically, FIG. 19A is a top view of the liquid ejection head, and FIG. 19B is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 19A.
As shown in FIGS. 18 and 19, the liquid ejection head of the present embodiment has a lid member 20 provided between the recording element substrate 10 and the support member 30 as compared with the liquid ejection head of the first embodiment. It is different in that it is done. Further, in the liquid ejection head of the present embodiment, the back surface supply passage 430 for supplying the liquid to the ejection port 13 is provided on the back surface of the recording element substrate 10, and the lid member 20 functions as a lid of the back surface supply passage 430. To do. Further, the lid member 20 is provided with a supply port 17a for supplying the liquid to the back surface supply passage 430. The supply port 17a communicates with, for example, a flow channel provided in the flow channel member 210. The lid member 20 is preferably thinner than the flow path member 210.
In addition, in the liquid ejection head 3 of the present embodiment, the ejection ports 13 are also arranged at the end portions of the recording element substrate 10 that project above the groove portions 400. Since the back surface supply passage 430 is covered with the lid member 20, the liquid can be supplied also to the ejection port 13 at the portion protruding above the groove portion 400.
The lid member 20, which is a lid of the back surface supply path 430, is a member having a smaller thickness than the flow path member 210 so that the lid member 20 can be processed with the same processing accuracy as the recording element substrate 10. For example, the lid member 20 can be formed by processing a silicon substrate, and in this case, the thickness of the lid member 20 can be 1 mm or less. For processing the silicon substrate, processing by lithography, processing by blade dicing for wafer processing or laser processing can be used. In these cases, processing accuracy equivalent to that of the recording element substrate 10 can be obtained. The lid member 20 can be formed by processing a resin film, and in this case, the thickness of the lid member 20 can be 0.1 mm or less. Processing of the resin film may be performed by lithography, processing by blade dicing for wafer processing, or laser processing, similar to the processing of the silicon substrate. In these cases, processing accuracy of the recording element substrate 10 and Equivalent processing accuracy can be obtained. Further, it is desirable that the recording element substrate 10 and the lid member 20 be bonded to each other without using a liquid adhesive. In this case, it is possible to prevent the adhesive from entering the supply paths in the recording element substrate 10 and the lid member 20.
In the present embodiment, the ejection ports 13 are also arranged at a portion that overlaps the groove portion 400 of the recording element substrate 10, that is, a portion that protrudes above the groove portion 400 of the recording element substrate 10. Therefore, in the present embodiment, the distance between the ejection ports 13 adjacent to each other between the recording element substrates 10 adjacent to each other can be further shortened as compared with the first embodiment. Therefore, it is possible to further reduce the deviation width of the ejection port array in the adjacent portion between the recording element substrates 10 adjacent to each other.
For example, as in the first embodiment, consider a case where the inter-element distance 404 between the recording element substrates 10 adjacent to each other is 0.02 mm and 0.2 mm. In these cases, the ejection port 13 is arranged at a position of 0.05 mm from the end of the recording element substrate 10. When the angle of the hypotenuse of the recording element substrate 10 is 45 degrees, the deviation width of the ejection port array is about 0.17 mm or about 0.42 mm. Therefore, it is possible to significantly reduce the deviation width of the ejection port array as compared with the first embodiment.
As described above, in the present embodiment, even if the recording element substrate 10 and the flow path member 210 are bonded with an adhesive, the recording element substrate in the scanning direction of the recording medium 2 in the adjacent portions of the recording element substrates 10 adjacent to each other. The deviation width between 10 can be reduced. Therefore, it is possible to reduce the deviation width 403 of the ejection port array, and as a result, it is possible to reduce defects such as unevenness occurring in a portion corresponding to an adjacent portion in the image to be recorded and form a high-quality image. become.
Note that, in the first embodiment, it is possible to provide the ejection port 13 at a portion protruding above the groove portion 400 in the recording element substrate 10 as in the present embodiment. In this case, it is necessary to form a supply path for supplying the liquid to the ejection port 13 at the portion protruding above the groove 400 on the surface on which the ejection port 13 is formed. However, in this case, the height of the supply path is several tens of μm at the maximum, whereas the height of the back surface supply path 430 as in the second embodiment can be several hundreds of micrometers. Therefore, in the second embodiment, it is easier to sufficiently supply the liquid to the ejection port 13 provided in the portion protruding above the groove portion 400 in the recording element substrate 10, and the portion corresponding to the adjacent portion in the image to be recorded. Can have higher image quality.
Further, the back surface on which the back surface supply passage 430 is formed is a substantial back surface of the surface of the recording element substrate 10 on which the ejection ports 13 are formed. That is, when the printing element substrate 10 has a structure in which a plurality of substrates are stacked, the back surface is not the back surface of the substrate on which the ejection ports 13 are formed but the surface on which the ejection ports 13 are formed, but the entire printing element substrate 10. This is the back surface of the surface on which the ejection ports 13 are formed.
Although the distance between the recording element substrates 10 adjacent to each other and the distance between the lid members 20 adjacent to each other are equal in the example of FIG. 19, the distance between the recording element substrates 10 is larger than the distance between the lid members 20. May be short.

（第２の実施形態の液体吐出ヘッドの製造工程）
図２０は、第５の実施形態の液体吐出ヘッドの製造工程を説明するためのフローチャートである。
先ず、液体を発泡させるための記録素子１５のような必要な回路などが形成された記録素子基板１０に対して吐出口１３を形成する吐出口形成工程が行われる（ステップＳ５０１）。このとき、記録素子基板１０は、ウエハの状態である。続いて、記録素子基板１０の裏面に裏面供給路４３０を形成する裏面供給路形成工程が行われる（ステップＳ５０２）。さらに、記録素子基板１０の裏面に蓋部材２０を形成する蓋部材形成工程が行われる（ステップＳ５０３）。その後、記録素子基板１０の外形を加工して、記録素子基板１０をウエハの状態からチップの状態にする切断工程が行われる（ステップＳ５０４）。さらに蓋部材２０と流路部材２１０が対向するように記録素子基板１０を流路部材２１０に接合する接合工程が行われる（ステップＳ５０５）。
以上のように、接合工程（ステップＳ５０５）の前に、蓋部材形成工程（ステップＳ５０３）によって記録素子基板１０の裏面に蓋部材２０が形成されることで、第２の実施形態の液体吐出ヘッドを作成することができる。したがって、記録素子基板１０と流路部材２１０との接合に接着剤を用いる場合であっても、互いに隣接する記録素子基板１０の走査方向におけるズレ幅を低減して、吐出口列のズレ幅を低減することができる。よって、記録される画像の、記録素子基板１０の隣接部に対応する箇所で生じるムラ等の不具合を低減し、高画質な画像を形成することが可能となる。
蓋部材２０がシリコン基板で形成される場合、ウエハ状態の記録素子基板１０にウエハ状態のシリコン基板で形成された蓋部材２０を接合することができる。このため、チップ状態の記録素子基板１０のそれぞれに対して蓋部材２０を接合するよりも工程数を削減することが可能となる。
また、蓋部材２０は樹脂フィルムで形成される場合、ウエハ状態の記録素子基板１０にフィルム状態の樹脂をラミネートすることで蓋部材２０を接合することができる。このため、シリコン基板で形成される場合と同様に、チップ毎に蓋部材２０を接合するよりも工程の削減が可能となる。
なお、本実施形態で説明した製造工程は単なる一例であって、これに制限されるものではない。例えば、吐出口形成工程（ステップＳ５０１）、裏面供給路形成工程（ステップＳ５０２）、蓋部材形成工程（ステップＳ５０３）及び切断工程（ステップＳ５０４）の順序は、本実施形態に限定されるものではない。接合工程（ステップＳ５０５）の前に蓋部材形成工程（ステップＳ５０３）があればよい。 (Manufacturing Process of Liquid Ejection Head of Second Embodiment)
FIG. 20 is a flow chart for explaining the manufacturing process of the liquid ejection head of the fifth embodiment.
First, the ejection port forming step of forming the ejection port 13 is performed on the recording element substrate 10 on which a necessary circuit such as the recording element 15 for bubbling the liquid is formed (step S501). At this time, the recording element substrate 10 is in a wafer state. Then, a back surface supply path forming step of forming a back surface supply path 430 on the back surface of the recording element substrate 10 is performed (step S502). Further, a lid member forming step of forming the lid member 20 on the back surface of the recording element substrate 10 is performed (step S503). After that, a cutting process is performed in which the outer shape of the recording element substrate 10 is processed and the recording element substrate 10 is changed from a wafer state to a chip state (step S504). Further, a bonding step of bonding the recording element substrate 10 to the flow path member 210 is performed so that the lid member 20 and the flow path member 210 face each other (step S505).
As described above, the lid member 20 is formed on the back surface of the recording element substrate 10 by the lid member forming step (step S503) before the joining step (step S505), and thus the liquid ejection head of the second embodiment. Can be created. Therefore, even when an adhesive is used to bond the recording element substrate 10 and the flow path member 210, the displacement width in the scanning direction of the recording element substrates 10 adjacent to each other is reduced to reduce the displacement width of the ejection port array. It can be reduced. Therefore, it is possible to reduce defects such as unevenness occurring in a portion of the recorded image corresponding to the adjacent portion of the recording element substrate 10 and form a high quality image.
When the lid member 20 is formed of the silicon substrate, the lid member 20 formed of the silicon substrate in the wafer state can be bonded to the recording element substrate 10 in the wafer state. Therefore, it is possible to reduce the number of steps as compared with joining the lid member 20 to each of the recording element substrates 10 in the chip state.
When the lid member 20 is formed of a resin film, the lid member 20 can be joined by laminating a resin in a film state on the recording element substrate 10 in a wafer state. Therefore, as in the case of forming the silicon substrate, it is possible to reduce the number of steps as compared with joining the lid member 20 for each chip.
The manufacturing process described in this embodiment is merely an example, and the present invention is not limited to this. For example, the order of the discharge port forming step (step S501), the back surface supply path forming step (step S502), the lid member forming step (step S503), and the cutting step (step S504) is not limited to this embodiment. .. The lid member forming step (step S503) may be performed before the joining step (step S505).

以上説明した液体吐出ヘッド３及び記録装置１０００は、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用可能である。例えば、液体吐出ヘッド３及び記録装置１０００は、バイオチップ作製や電子回路印刷などの用途としても用いることができる。 The liquid ejection head 3 and the recording apparatus 1000 described above can be applied to an apparatus such as a printer, a copying machine, a facsimile having a communication system, a word processor having a printer unit, and an industrial recording apparatus combined with various processing apparatuses. Is. For example, the liquid ejection head 3 and the recording device 1000 can be used for applications such as biochip fabrication and electronic circuit printing.

３ 液体吐出ヘッド
１０ 記録素子基板
１３ 吐出口
２０ 蓋部材
２１０ 流路部材
４００ 溝部 3 Liquid Ejection Head 10 Recording Element Substrate 13 Ejection Port 20 Lid Member 210 Channel Member 400 Groove

Claims (12)

液体を吐出する吐出口を備えた複数の記録素子基板と、前記複数の記録素子基板が並設された流路部材とを有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記流路部材は、前記記録素子基板が並設された前記液体吐出ヘッドの長尺方向において互いに隣接する前記記録素子基板の隣接部に対応する箇所に、該隣接部に面して開口する溝部を有し、
前記記録素子基板と前記流路部材との間に、前記記録素子基板に形成された前記吐出口に連通する流路を覆う蓋部材が設けられ、
前記記録素子基板は、前記溝部と重なる箇所に前記吐出口と前記流路とを備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。 In a liquid ejection head having a plurality of recording element substrates having ejection ports for ejecting liquid, and a flow path member in which the plurality of recording element substrates are arranged in parallel,
The flow channel member has a groove portion that opens at a position corresponding to an adjacent portion of the recording element substrates that are adjacent to each other in the longitudinal direction of the liquid ejection head in which the recording element substrates are arranged in parallel , facing the adjacent portion. Have
Between the recording element substrate and the flow path member, a lid member that covers the flow path communicating with the ejection port formed in the recording element substrate is provided.
The liquid ejection head according to claim 1, wherein the recording element substrate includes the ejection port and the flow path at a position overlapping the groove . 前記長尺方向において、前記溝部の幅は、互いに隣接する記録素子基板の間の距離よりも長いことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。 And have you previously Sulfur butterfly longitudinal direction, the width of the groove, the liquid discharge head according to claim 1, characterized in that longer than the distance between the recording element substrate adjacent to each other. 前記長尺方向と交差する方向において、前記溝部の長さは、前記流路部材の長さよりも短いことを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。The liquid ejection head according to claim 1, wherein a length of the groove portion is shorter than a length of the flow path member in a direction intersecting with the lengthwise direction. 前記蓋部材は、前記流路部材よりも薄いことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 The lid member, the liquid discharge head according to any one of claims 1 to 3, characterized in thinner than the flow path member. 前記蓋部材の厚みは、１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to any one of claims 1 to 4, wherein the lid member has a thickness of 1 mm or less. 前記蓋部材の厚みは、０．１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to any one of claims 1 to 5 , wherein the lid member has a thickness of 0.1 mm or less. 前記蓋部材は、シリコン基板または樹脂フィルムで形成されることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 The lid member, the liquid discharge head according to any one of claims 1 6, characterized in that it is formed of a silicon substrate or a resin film. 前記複数の記録素子基板は、接着剤で前記流路部材に接合されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。The liquid ejection head according to claim 1, wherein the plurality of recording element substrates are bonded to the flow path member with an adhesive. 液体を吐出するために利用されるエネルギを発生する記録素子と、前記記録素子を内部に備える圧力室と、前記圧力室に液体を供給するための供給流路と、前記圧力室から液体を回収するための回収流路とを備え、前記圧力室内の液体は前記供給流路及び前記回収流路を介して外部との間で循環されることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 A recording element that generates energy used for ejecting a liquid, a pressure chamber having the recording element inside, a supply channel for supplying the liquid to the pressure chamber, and a liquid recovery from the pressure chamber. and a recovery flow path for the pressure chamber of the liquid any one of claims 1 to 8, characterized in that is circulated between the outside through the supply passage and the recovery flow channel 1 The liquid discharge head according to the item. 請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする液体吐出装置。 A liquid discharge apparatus characterized by having a liquid discharge head according to any one of claims 1 9. 前記液体吐出ヘッドは、当該液体吐出装置にセットされた被記録媒体に対して前記吐出口から液体を吐出し、
前記複数の記録素子基板が並設された長さは、当該液体吐出装置にセット可能な前記被記録媒体の最大幅以上である、請求項１０に記載の液体吐出装置。 The liquid ejection head ejects liquid from the ejection port to a recording medium set in the liquid ejection device,
The liquid ejecting apparatus according to claim 10, wherein a length in which the plurality of recording element substrates are arranged in parallel is equal to or larger than a maximum width of the recording medium that can be set in the liquid ejecting apparatus. 請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記蓋部材を前記記録素子基板における前記流路が形成された面に接合する工程と、
前記蓋部材を接合した前記記録素子基板を、前記蓋部材と前記流路部材とが互いに対向するように前記流路部材に接合する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
The method for manufacturing a liquid ejection head according to claim 1 , wherein
Bonding the lid member to the surface of the recording element substrate on which the flow path is formed,
And a step of joining the recording element substrate to which the lid member is joined to the flow path member such that the lid member and the flow path member face each other. ..
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