JP6706750B2 - Optical system driving device, lens barrel, and optical device - Google Patents

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本開示は、少なくとも3自由度に移動自在な移動体を移動させるための光学系駆動装置、及び、それを備えるレンズ鏡筒及び光学装置に関する。 The present disclosure relates to an optical system driving device for moving a movable body that is movable in at least three degrees of freedom, and a lens barrel and an optical device including the optical system driving device.

特許文献1は、干渉計に備えられた撮像素子によって干渉縞画像を取得することで、光軸合わせ調整とキャッツアイ調整とを含むアライメント調整を自動的に行うことができる技術を開示している。 Patent Document 1 discloses a technique capable of automatically performing alignment adjustment including optical axis alignment adjustment and cat's eye adjustment by acquiring an interference fringe image by an image pickup element provided in an interferometer. ..

特開2009−2673号公報JP, 2009-2673, A

本開示は、少なくとも3自由度に移動可能な移動体の各自由度における位置を検出可能とし、高精度な位置調整が可能な光学系駆動装置、レンズ鏡筒及び光学装置を提供する。 The present disclosure provides an optical system driving device, a lens barrel, and an optical device capable of detecting the position of a movable body that is movable in at least three degrees of freedom in each degree of freedom and capable of highly accurate position adjustment.

本開示における光学系駆動装置は、少なくとも3自由度に移動可能な移動体と、移動体と一体的に設けられ、移動体とともに移動する光透過部とを備える。また、少なくとも3自由度のそれぞれに対して、移動体を移動させる駆動部と、少なくとも3自由度のそれぞれの移動体の位置を検出する検出部と、を備える。また、検出部は、光透過部に向けて光を照射する発光部と、発光部から照射され、光透過部を通った光を受光し、受光した光に基づく受光信号を出力する光検出器とを有する。また、検出部は、光検出器において受光したスポットの位置、及び、光透過部が基準位置にある場合のスポットの形状に対するスポットの形状の変化に基づいて、少なくとも3自由度のそれぞれの移動体の位置を検出する。 The optical system driving device according to the present disclosure includes a movable body that is movable in at least three degrees of freedom, and a light transmission unit that is provided integrally with the movable body and that moves with the movable body. Further, a driving unit that moves the moving body for each of at least three degrees of freedom and a detection unit that detects the position of each moving body having at least three degrees of freedom are provided. The detection unit includes a light emitting unit that emits light toward the light transmitting unit, and a light detector that receives light emitted from the light emitting unit and passes through the light transmitting unit and outputs a light reception signal based on the received light. Have and. In addition, the detection unit has at least three degrees of freedom on the basis of the position of the spot received by the photodetector and the change of the spot shape with respect to the spot shape when the light transmission unit is at the reference position. Detect the position of.

本開示における光学系駆動装置は、少なくとも3自由度に移動可能な移動体の各自由度における位置を検出し、高精度な位置調整を行うのに有効である。 The optical system driving device according to the present disclosure is effective for detecting the position in each degree of freedom of a movable body that is movable in at least three degrees of freedom and performing highly accurate position adjustment.

実施の形態1に係る光学装置として例示するデジタルカメラの概略構成を模式的に示す説明図Explanatory drawing which shows typically the schematic structure of the digital camera illustrated as an optical device which concerns on Embodiment 1. FIG. 実施の形態1に係る光学系駆動装置の斜視図1 is a perspective view of an optical system driving device according to a first embodiment. 実施の形態1に係る光学系駆動装置の正面図Front view of the optical system driving device according to the first embodiment 実施の形態1に係る光学系駆動装置の側面図Side view of the optical system driving device according to the first embodiment 実施の形態1に係る光学系駆動装置の背面図Rear view of the optical system driving device according to the first embodiment 実施の形態1に係る光学系駆動装置の磁石ユニット、第1コイル及び第2コイルの概略構成を示す側面図The side view which shows schematic structure of the magnet unit, 1st coil, and 2nd coil of the optical system drive which concerns on Embodiment 1. 実施の形態1に係る光学系駆動装置の各片部に取り付けられた光透過部を示す斜視図FIG. 3 is a perspective view showing a light transmitting portion attached to each piece of the optical system driving device according to the first embodiment. 実施の形態1に係る光学系駆動装置の第4片部と規制部とを示す斜視図FIG. 3 is a perspective view showing a fourth piece portion and a regulating portion of the optical system driving device according to the first embodiment. 実施の形態1に係る光学系駆動装置の第4片部と規制部とを示す正面図The front view which shows the 4th piece part and regulation part of the optical system drive device which concerns on Embodiment 1. 実施の形態1に係る光学系駆動装置の各光検出器の配置例を模式的に示す正面図The front view which shows typically the example of arrangement|positioning of each photodetector of the optical system drive device which concerns on Embodiment 1. 実施の形態1に係る光学系駆動装置の第1光透過部がZ軸方向負側に移動することにより、第1光透過部を透過した光のスポットが光検出器の受光面でどのように変化したかを示す説明図By moving the first light transmitting portion of the optical system driving device according to the first embodiment to the Z axis direction negative side, how the spot of the light transmitted through the first light transmitting portion is on the light receiving surface of the photodetector. Explanatory drawing showing whether it has changed 実施の形態1に係る光学系駆動装置の第1光透過部がZ軸方向の基準位置に移動することにより、第1光透過部を透過した光のスポットが光検出器の受光面でどのように変化したかを示す説明図By moving the first light transmitting part of the optical system driving device according to the first embodiment to the reference position in the Z-axis direction, how the spot of the light transmitted through the first light transmitting part is on the light receiving surface of the photodetector. Explanatory diagram showing whether it has changed to 実施の形態1に係る光学系駆動装置の第1光透過部がZ軸方向正側に移動することにより、第1光透過部を透過した光のスポットが光検出器の受光面でどのように変化したかを示す説明図By moving the first light transmitting section of the optical system driving device according to the first embodiment to the Z axis direction positive side, how the spot of the light transmitted through the first light transmitting section is on the light receiving surface of the photodetector. Explanatory diagram showing whether it has changed 実施の形態1に係るデジタルカメラの制御部が実行する撮影処理の流れを示すフローチャート6 is a flowchart showing the flow of shooting processing executed by the control unit of the digital camera according to the first embodiment. 実施の形態1に係る光学系駆動装置のレンズ制御部が実行する姿勢制御処理の流れを示すフローチャート4 is a flowchart showing the flow of attitude control processing executed by the lens controller of the optical system driving device according to the first embodiment. 実施の形態2に係る光学系駆動装置の斜視図FIG. 3 is a perspective view of the optical system driving device according to the second embodiment. 実施の形態2に係る光学系駆動装置の各片部に取り付けられた光透過部を示す斜視図FIG. 3 is a perspective view showing a light transmitting portion attached to each piece of the optical system driving device according to the second embodiment. 実施の形態2に係る光学系駆動装置の各光検出器の配置例を模式的に示す正面図The front view which shows typically the example of arrangement|positioning of each photodetector of the optical system drive which concerns on Embodiment 2. 実施の形態3に係る光学系駆動装置の斜視図FIG. 3 is a perspective view of an optical system driving device according to a third embodiment. 図16における17−17切断線からレンズ保持部を見た断面図Sectional drawing which looked at the lens holding|maintenance part from the 17-17 cutting line in FIG. 実施の形態3に係る光学系駆動装置の各光検出器の配置例を模式的に示す正面図The front view which shows typically the example of arrangement|positioning of each photodetector of the optical system drive device which concerns on Embodiment 3. 実施の形態3に係る光学系駆動装置のレンズ保持部の姿勢により、第3光検出器の受光信号と、第4光検出器の受光信号との違いを示すグラフ9 is a graph showing a difference between a light reception signal of the third photodetector and a light reception signal of the fourth photodetector, depending on the attitude of the lens holding portion of the optical system driving device according to the third embodiment. 実施の形態4に係る光学系駆動装置の斜視図A perspective view of an optical system driving device according to a fourth embodiment. 実施の形態4に係る光学系駆動装置のレンズ保持部が基準位置から移動していない場合、光透過部を透過した光のスポットが光検出器の受光面でどのように変化したかを示す説明図Description of how the spot of the light transmitted through the light transmitting portion changes on the light receiving surface of the photodetector when the lens holding portion of the optical system driving device according to the fourth embodiment has not moved from the reference position. Figure 実施の形態4に係る光学系駆動装置のレンズ保持部がX軸方向正側に移動した場合、光透過部を透過した光のスポットが光検出器の受光面でどのように変化したかを示す説明図When the lens holding part of the optical system driving device according to the fourth embodiment moves to the positive side in the X-axis direction, it shows how the spot of the light transmitted through the light transmitting part changes on the light receiving surface of the photodetector. Illustration 実施の形態4に係る光学系駆動装置のレンズ保持部がY軸方向正側に移動した場合、光透過部を透過した光のスポットが光検出器の受光面でどのように変化したかを示す説明図When the lens holding part of the optical system driving device according to the fourth embodiment moves to the Y axis direction positive side, it shows how the spot of the light transmitted through the light transmitting part changes on the light receiving surface of the photodetector. Illustration 実施の形態4に係る光学系駆動装置のレンズ保持部がZ軸方向正側に移動した場合、光透過部を透過した光のスポットが光検出器の受光面でどのように変化したかを示す説明図When the lens holding part of the optical system driving device according to the fourth embodiment moves to the Z axis direction positive side, how the spot of the light transmitted through the light transmitting part changes on the light receiving surface of the photodetector is shown. Illustration 実施の形態4に係る光学系駆動装置のレンズ保持部がZ軸方向負側に移動した場合、光透過部を透過した光のスポットが光検出器の受光面でどのように変化したかを示す説明図When the lens holding portion of the optical system driving device according to the fourth embodiment moves to the negative side in the Z-axis direction, it shows how the spot of the light transmitted through the light transmitting portion changes on the light receiving surface of the photodetector. Illustration 実施の形態4に係る光学系駆動装置のレンズ保持部がX軸周りに回転した場合、光透過部を透過した光のスポットが光検出器の受光面でどのように変化したかを示す説明図Explanatory drawing showing how the spot of the light transmitted through the light transmitting part changes on the light receiving surface of the photodetector when the lens holding part of the optical system driving device according to the fourth embodiment rotates around the X axis. 実施の形態4に係る光学系駆動装置のレンズ保持部がY軸周りに回転した場合、光透過部を透過した光のスポットが光検出器の受光面でどのように変化したかを示す説明図Explanatory drawing showing how the spot of the light transmitted through the light transmitting part changes on the light receiving surface of the photodetector when the lens holding part of the optical system driving device according to the fourth embodiment rotates around the Y axis.

以下、適宜図面を参照しながら、実施の形態を詳細に説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。 Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. However, more detailed description than necessary may be omitted. For example, detailed description of well-known matters or duplicate description of substantially the same configuration may be omitted. This is to prevent the following description from being unnecessarily redundant and to facilitate understanding by those skilled in the art.

なお、添付図面及び以下の説明は、当業者が本開示を十分に理解するために提供されるのであって、これらによって特許請求の範囲に記載の主題を限定することを意図するものではない。 It should be noted that the accompanying drawings and the following description are provided for those skilled in the art to fully understand the present disclosure, and are not intended to limit the subject matter described in the claims by these.

(実施の形態1)
以下、図1〜図13を用いて、実施の形態1を説明する。
(Embodiment 1)
The first embodiment will be described below with reference to FIGS. 1 to 13.

[1−1.構成]
[1−1−1.光学装置]
図1は、実施の形態1に係る光学装置として例示するデジタルカメラの概略構成を模式的に示す説明図である。図1に示すように、デジタルカメラ1は、カメラ本体2と、レンズ鏡筒3とを備えている。
[1-1. Constitution]
[1-1-1. Optical device]
FIG. 1 is an explanatory diagram schematically showing a schematic configuration of a digital camera exemplified as the optical device according to the first embodiment. As shown in FIG. 1, the digital camera 1 includes a camera body 2 and a lens barrel 3.

ここで、図1に示すように、本実施の形態では、3次元直交座標系を設定する。Z軸方向は、後述する光学系4の光軸5と一致している。ここで、Z軸方向正側とは、光軸方向における被写体側を意味し、その逆側を負側とする。X軸方向は、光軸5に直交する平面内のデジタルカメラ1の幅方向に一致している。Y軸方向は、光軸5に直交する平面内のデジタルカメラ1の高さ方向に一致している。 Here, as shown in FIG. 1, in the present embodiment, a three-dimensional orthogonal coordinate system is set. The Z-axis direction coincides with the optical axis 5 of the optical system 4 described later. Here, the positive side in the Z-axis direction means the subject side in the optical axis direction, and the opposite side is the negative side. The X-axis direction coincides with the width direction of the digital camera 1 in the plane orthogonal to the optical axis 5. The Y-axis direction coincides with the height direction of the digital camera 1 in the plane orthogonal to the optical axis 5.

レンズ鏡筒3は、光学系4と、ズーム用駆動部31と、フォーカス用駆動部32と、ズームエンコーダ33と、フォーカスエンコーダ34と、光学系駆動装置100と、を備えている。 The lens barrel 3 includes an optical system 4, a zoom drive unit 31, a focus drive unit 32, a zoom encoder 33, a focus encoder 34, and an optical system drive device 100.

光学系4は、第1レンズ群41と、第2レンズ群42と、第3レンズ群43とを備えている。 The optical system 4 includes a first lens group 41, a second lens group 42, and a third lens group 43.

第1レンズ群41は、光軸5に沿って移動することによって、ズームの倍率を可変とする。第2レンズ群42は、光軸5に対する姿勢が制御されることによって、光学系4の収差を補正する。第3レンズ群43は、光軸5に沿って被写体像のフォーカス状態を調整する。 The first lens group 41 changes the zoom magnification by moving along the optical axis 5. The second lens group 42 corrects the aberration of the optical system 4 by controlling the attitude with respect to the optical axis 5. The third lens group 43 adjusts the focus state of the subject image along the optical axis 5.

ズーム用駆動部31は、第1レンズ群41を光軸5に沿って移動させる、例えばステッピングモータが挙げられる。 The zoom drive unit 31 may be, for example, a stepping motor that moves the first lens group 41 along the optical axis 5.

フォーカス用駆動部32は、第3レンズ群43を光軸5に沿って移動させる、例えばステッピングモータが挙げられる。 The focus drive unit 32 is, for example, a stepping motor that moves the third lens group 43 along the optical axis 5.

ズームエンコーダ33は、第1レンズ群41のズーム位置(変倍位置)を検出し、カメラ本体2の制御部22(後述)に出力する。 The zoom encoder 33 detects the zoom position (variable magnification position) of the first lens group 41 and outputs it to the control unit 22 (described later) of the camera body 2.

フォーカスエンコーダ34は、第3レンズ群43の合焦位置を検出し、カメラ本体2の制御部22に出力する。 The focus encoder 34 detects the in-focus position of the third lens group 43 and outputs it to the control unit 22 of the camera body 2.

光学系駆動装置100は、光軸5に対する第2レンズ群42の姿勢を制御する。光学系駆動装置100は、支持機構110(図2参照)と、収差補正用駆動部120と、発光部131と、光検出器132と、レンズ制御部36と、を備える。 The optical system driving device 100 controls the attitude of the second lens group 42 with respect to the optical axis 5. The optical system driving device 100 includes a support mechanism 110 (see FIG. 2 ), an aberration correction driving unit 120, a light emitting unit 131, a photodetector 132, and a lens control unit 36.

収差補正用駆動部120は、光軸5に対して第2レンズ群42を移動させる。 The aberration correction drive section 120 moves the second lens group 42 with respect to the optical axis 5.

発光部131及び光検出器132は、第2レンズ群42の位置を検出する。 The light emitting unit 131 and the photodetector 132 detect the position of the second lens group 42.

レンズ制御部36は、レンズ鏡筒3の中枢をつかさどる制御装置である。レンズ制御部36は、レンズ鏡筒3に搭載された各部に接続されており、レンズ鏡筒3の各種のシーケンス制御を行う。レンズ制御部36は、制御回路を含むCPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)などを備えている。レンズ制御部36は、ROMに格納されたプログラムがCPUに読み込まれることで、様々な機能を実現することができる。 The lens control unit 36 is a control device that controls the center of the lens barrel 3. The lens control unit 36 is connected to each unit mounted on the lens barrel 3 and performs various sequence controls of the lens barrel 3. The lens controller 36 includes a CPU (Central Processing Unit) including a control circuit, a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and the like. The lens control unit 36 can realize various functions by the programs stored in the ROM being read by the CPU.

支持機構110は、第2レンズ群42を移動可能に支持する。 The support mechanism 110 movably supports the second lens group 42.

光学系駆動装置100の詳細については後述する。 Details of the optical system driving device 100 will be described later.

カメラ本体2は、撮像素子21と、制御部22とを備える。 The camera body 2 includes an image sensor 21 and a control unit 22.

撮像素子21は、レンズ鏡筒3の光学系4により形成される光学的な像を電気的な信号に変換する例えばCCD(Charge Coupled Device)である。撮像素子21は、タイミング信号により駆動制御される。なお、撮像素子21は、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)センサでもよい。 The image sensor 21 is, for example, a CCD (Charge Coupled Device) that converts an optical image formed by the optical system 4 of the lens barrel 3 into an electrical signal. The image sensor 21 is drive-controlled by a timing signal. The image sensor 21 may be a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) sensor.

制御部22は、カメラ本体2の中枢をつかさどる制御装置である。制御部22は、シャッターボタンやズームレバーなどの操作部からの操作信号にもとづいて、デジタルカメラ1の各部を制御する。具体的には、制御部22は、CPU、ROM、RAMなどを備えている。ROMに格納されたプログラムがCPUに読み込まれることで、制御部22は様々な機能を実現することができる。例えば、ズームエンコーダ33からズーム位置が入力され、フォーカスエンコーダ34から合焦位置が入力されると、制御部22は、このズーム位置と合焦位置とに基づいて第2レンズ群42の位置補正値を算出し、当該位置補正値をレンズ制御部36に出力する。レンズ制御部36は、位置補正値と、光検出器132から出力された受光信号とに基づいて、収差補正用駆動部120を制御することで、第2レンズ群42の姿勢を制御する。 The control unit 22 is a control device that controls the center of the camera body 2. The control unit 22 controls each unit of the digital camera 1 based on an operation signal from an operation unit such as a shutter button or a zoom lever. Specifically, the control unit 22 includes a CPU, ROM, RAM and the like. The control unit 22 can realize various functions by the programs stored in the ROM being read by the CPU. For example, when the zoom position is input from the zoom encoder 33 and the focus position is input from the focus encoder 34, the control unit 22 determines the position correction value of the second lens group 42 based on the zoom position and the focus position. Is calculated and the position correction value is output to the lens controller 36. The lens control unit 36 controls the aberration correction drive unit 120 based on the position correction value and the light reception signal output from the photodetector 132, thereby controlling the posture of the second lens group 42.

[1−1−2.光学系駆動装置]
次に、光学系駆動装置100について説明する。
[1-1-2. Optical system drive]
Next, the optical system driving device 100 will be described.

図2は、実施の形態1に係る光学系駆動装置100の斜視図である。図3は、実施の形態1に係る光学系駆動装置100の正面図である。図4は、実施の形態1に係る光学系駆動装置100の側面図である。図5は、実施の形態1に係る光学系駆動装置100の背面図である。 FIG. 2 is a perspective view of the optical system driving device 100 according to the first embodiment. FIG. 3 is a front view of the optical system driving device 100 according to the first embodiment. FIG. 4 is a side view of the optical system driving device 100 according to the first embodiment. FIG. 5 is a rear view of the optical system driving device 100 according to the first embodiment.

図2〜図5に示すように、光学系駆動装置100は、支持機構110と、収差補正用駆動部120と、発光部131と、光検出器132と、を備える。 As shown in FIGS. 2 to 5, the optical system driving device 100 includes a support mechanism 110, an aberration correction driving unit 120, a light emitting unit 131, and a photodetector 132.

支持機構110は、レンズ保持部140と、光透過部150と、規制部160とを備える。 The support mechanism 110 includes a lens holding unit 140, a light transmitting unit 150, and a restricting unit 160.

レンズ保持部140は、少なくとも3自由度に移動可能な移動体の一例である。ここで自由度とは、一つの系の変位しうる度合いのことである。3次元直交座標系の場合では、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、X軸周りの回転方向、Y軸周りの回転方向、Z軸周りの回転方向の6つの移動方向のうち、移動可能な方向の総数を自由度として表す。例えば、1つの移動方向にのみ移動可能な場合は「1自由度」、2方向に移動可能な場合は2自由度と表す。 The lens holding unit 140 is an example of a moving body that can move in at least three degrees of freedom. Here, the degree of freedom is the degree to which one system can be displaced. In the case of the three-dimensional Cartesian coordinate system, the movement is made out of the six movement directions of the X axis direction, the Y axis direction, the Z axis direction, the rotation direction around the X axis, the rotation direction around the Y axis, and the rotation direction around the Z axis. Express the total number of possible directions as degrees of freedom. For example, when it is possible to move in only one moving direction, it is expressed as "1 degree of freedom", and when it is movable in two directions, it is expressed as 2 degrees of freedom.

レンズ保持部140は、第2レンズ群42のうち、2つのレンズ42a,42bを保持している。本実施の形態では、レンズ保持部140が2つのレンズ42a,42bを保持した場合を例示しているが、1つのレンズだけを保持しても、3つ以上のレンズを保持してもよい。 The lens holding unit 140 holds the two lenses 42a and 42b of the second lens group 42. Although the case where the lens holding unit 140 holds the two lenses 42a and 42b is illustrated in the present embodiment, only one lens may be held or three or more lenses may be held.

レンズ保持部140は、同軸上に並んだ2つのレンズ42a,42bの周囲を囲んで保持する。レンズ保持部140のY軸方向の両端部には、Y軸方向に沿って外側に向かって突出した第1片部141及び第2片部142がそれぞれ設けられている。また、レンズ保持部140のX軸方向の両端部には、X軸方向に沿って外側に向かって突出した第3片部143及び第4片部144がそれぞれ設けられている。第1片部141、第2片部142及び第3片部143には、光透過部150が取り付けられている。 The lens holding part 140 surrounds and holds the two lenses 42a and 42b arranged coaxially. A first piece portion 141 and a second piece portion 142, which protrude outward along the Y-axis direction, are provided at both ends of the lens holding section 140 in the Y-axis direction. In addition, a third piece portion 143 and a fourth piece portion 144 protruding outward along the X-axis direction are provided at both ends of the lens holding section 140 in the X-axis direction. The light transmitting portion 150 is attached to the first piece portion 141, the second piece portion 142, and the third piece portion 143.

レンズ保持部140の周囲における各片部141,142,143,144の間には、平面視略矩形状の枠体145,146,147,148がそれぞれ設けられている。枠体145,146,147,148は、それぞれ磁石ユニット170を保持している。また、各磁石ユニット170のZ軸方向の正側には、レンズ保持部140をX軸方向及びY軸方向に移動させるための第1コイル181が配置されている。各磁石ユニット170のZ軸方向負側には、レンズ保持部140をZ軸方向に移動させるための一対の第2コイル182が配置されている。 Frames 145, 146, 147, 148 having a substantially rectangular shape in plan view are provided between the respective pieces 141, 142, 143, 144 around the lens holding part 140. The frame bodies 145, 146, 147, 148 hold the magnet unit 170, respectively. A first coil 181 for moving the lens holder 140 in the X-axis direction and the Y-axis direction is arranged on the positive side in the Z-axis direction of each magnet unit 170. A pair of second coils 182 for moving the lens holding unit 140 in the Z-axis direction is arranged on the Z-axis direction negative side of each magnet unit 170.

図6は、実施の形態1に係る光学系駆動装置100の磁石ユニット170、第1コイル181及び第2コイル182の概略構成を示す側面図である。 FIG. 6 is a side view showing a schematic configuration of the magnet unit 170, the first coil 181, and the second coil 182 of the optical system driving device 100 according to the first embodiment.

図6に示すように、磁石ユニット170は、大きさの等しい2つの平面視長方形状の板状磁石171,172から構成されている。板状磁石171,172のZ軸方向で対向する一対の主面は、枠体145,146,147,148から露出しており、それぞれレンズ42a,42bの光軸に直交する平面に平行となっている。板状磁石171,172はそれぞれ厚み方向に異なる磁極が形成されるようにして磁化されている。板状磁石171,172は互いに異なる磁極を上方向(Z軸方向正側)に向けて隣接して配置されている。本実施の形態では、磁石ユニット170は板状磁石171,172の2枚の磁石を使用した場合を例示しているが、1つの板状磁石に着磁を行ったものを用いてもよい。 As shown in FIG. 6, the magnet unit 170 is composed of two plate magnets 171 and 172 having the same size and a rectangular shape in plan view. A pair of main surfaces of the plate magnets 171 and 172 facing each other in the Z-axis direction are exposed from the frame bodies 145, 146, 147, and 148 and are parallel to the planes orthogonal to the optical axes of the lenses 42a and 42b. ing. The plate magnets 171 and 172 are magnetized so that different magnetic poles are formed in the thickness direction. The plate-shaped magnets 171 and 172 are arranged adjacent to each other with their different magnetic poles facing upward (on the Z axis direction positive side). In the present embodiment, the magnet unit 170 exemplifies a case where two magnets of plate magnets 171 and 172 are used, but one plate magnet may be magnetized.

第1コイル181は、板状磁石171,172のZ軸方向正側の主面に対向するように配置されている。第1コイル181は、全体として実質的な楕円形状に巻かれており、その長軸方向が板状磁石171,172の長手方向に沿っている。また、第1コイル181は、2つの板状磁石171,172にまたがるように配置されている。さらに、第1コイル181における対向する一対の長手方向部分は、それぞれ板状磁石171,172の幅方向の実質的な中央部に対向するように配置されている。このため、板状磁石171,172のZ軸方向正側の主面に対して垂直な磁場M1が第1コイル181の長手方向部分のコイルと鎖交する。第1コイル181が給電されることで発生する電流は磁場M1と鎖交するため、X−Y平面内での推力(X−Y平面に平行な方向の推力)が発生することになる。すなわち、磁石ユニット170に対する第1コイル181の電流を制御することで、磁石ユニット170をX−Y平面内で(X−Y平面に平行な方向へ)移動させることが可能となっている。 The first coil 181 is arranged so as to face the main surfaces of the plate magnets 171 and 172 on the Z axis direction positive side. The first coil 181 is wound in a substantially elliptical shape as a whole, and the major axis direction is along the longitudinal direction of the plate magnets 171 and 172. The first coil 181 is arranged so as to straddle the two plate magnets 171 and 172. Further, the pair of longitudinal portions of the first coil 181 facing each other are arranged so as to face the substantially central portions in the width direction of the plate magnets 171 and 172, respectively. For this reason, the magnetic field M1 perpendicular to the main surface of the plate-shaped magnets 171 and 172 on the Z axis direction positive side interlinks with the coil of the longitudinal direction portion of the first coil 181. Since the current generated by supplying power to the first coil 181 links with the magnetic field M1, thrust in the XY plane (thrust in the direction parallel to the XY plane) is generated. That is, by controlling the current of the first coil 181 to the magnet unit 170, the magnet unit 170 can be moved within the XY plane (in the direction parallel to the XY plane).

他方、一対の第2コイル182は、板状磁石171,172のZ軸方向負側の主面に対向するように配置されている。第2コイル182は、全体として実質的な楕円形状に巻かれており、その長軸方向が板状磁石171,172の長手方向に沿っている。一対の第2コイル182は、それぞれ2つの板状磁石171,172に対向するように配置されている。さらに一対の第2コイル182の長手方向部分は、板状磁石171,172の幅方向の両端部に対向するように配置されている。このため、板状磁石171,172のZ軸方向負側の主面に対して平行な磁場M2が第2コイル182の長手方向部分のコイルと鎖交する。第2コイル182が給電されることで発生する電流は、磁場M2と鎖交するため、Z軸方向への推力が発生することになる。 On the other hand, the pair of second coils 182 are arranged so as to face the main surfaces of the plate-shaped magnets 171 and 172 on the Z axis direction negative side. The second coil 182 is wound in a substantially elliptical shape as a whole, and the major axis direction is along the longitudinal direction of the plate magnets 171 and 172. The pair of second coils 182 are arranged so as to face the two plate-shaped magnets 171 and 172, respectively. Further, the longitudinal direction portions of the pair of second coils 182 are arranged so as to face both end portions in the width direction of the plate magnets 171 and 172. Therefore, the magnetic field M2 parallel to the main surface of the plate-shaped magnets 171 and 172 on the negative side in the Z-axis direction interlinks with the coil in the longitudinal direction of the second coil 182. The current generated by the power supply to the second coil 182 is linked to the magnetic field M2, so that a thrust force in the Z-axis direction is generated.

すなわち、磁石ユニット170に対する一対の第2コイル182の電流を制御することで、磁石ユニット170をZ軸方向に移動させることができる。 That is, by controlling the current of the pair of second coils 182 with respect to the magnet unit 170, the magnet unit 170 can be moved in the Z-axis direction.

そして、全ての磁石ユニット170における第1コイル181及び一対の第2コイル182の電流を複合的に制御すれば、レンズ保持部140のZ軸に対する姿勢を制御することが可能である。具体的には、レンズ保持部140は、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、X軸周りの回転方向、Y軸周りの回転方向、Z軸周りの回転方向の6自由度で移動することができる。 By compositely controlling the currents of the first coils 181 and the pair of second coils 182 in all the magnet units 170, it is possible to control the attitude of the lens holding unit 140 with respect to the Z axis. Specifically, the lens holding unit 140 moves in 6 degrees of freedom in the X axis direction, the Y axis direction, the Z axis direction, the rotation direction around the X axis, the rotation direction around the Y axis, and the rotation direction around the Z axis. be able to.

磁石ユニット170、第1コイル181及び第2コイル182は、収差補正用駆動部120を構成する。 The magnet unit 170, the first coil 181, and the second coil 182 form the aberration correction drive unit 120.

図7は、実施の形態1に係る光学系駆動装置100の各片部に取り付けられた光透過部150を示す斜視図である。図7においては、光透過部150のみを示している。光透過部150は、光を集光する集光体である。例えばシリンドリカルレンズである。本実施の形態では凸型のシリンドリカルレンズを例示して説明する。しかし、光を集光するのであれば、凹型のシリンドリカルレンズを用いることも可能である。第1片部141に取り付けられた光透過部(第1光透過部150a)は、その軸心151がY軸方向に沿っており、凸面152がZ軸方向負側を向いている。また、第1光透過部150aにおける凸面152とは反対側の平面153は、レンズ42a,42bの光軸に直交する平面に平行となっている。第2片部142に取り付けられた光透過部(第2光透過部150b)においても同じである。 FIG. 7 is a perspective view showing the light transmitting portion 150 attached to each piece of the optical system driving device 100 according to the first embodiment. In FIG. 7, only the light transmitting portion 150 is shown. The light transmitting unit 150 is a light collector that collects light. For example, a cylindrical lens. In the present embodiment, a convex cylindrical lens will be described as an example. However, if the light is focused, it is also possible to use a concave cylindrical lens. The light transmission part (first light transmission part 150a) attached to the first piece part 141 has its axis 151 along the Y-axis direction, and the convex surface 152 faces the negative side in the Z-axis direction. The flat surface 153 of the first light transmitting portion 150a opposite to the convex surface 152 is parallel to the flat surface orthogonal to the optical axes of the lenses 42a and 42b. The same applies to the light transmitting portion (second light transmitting portion 150b) attached to the second piece portion 142.

第3片部143に取り付けられた光透過部(第3光透過部150c)は、その軸心151がX軸方向に沿っており、凸面152がZ軸方向負側を向いている。第3光透過部150cにおける凸面152とは反対側の平面153は、レンズ42a,42bの光軸に直交する平面に平行となっている。 The light transmission part (third light transmission part 150c) attached to the third piece part 143 has its axis 151 along the X-axis direction, and the convex surface 152 faces the Z axis direction negative side. A flat surface 153 of the third light transmitting portion 150c on the opposite side of the convex surface 152 is parallel to a flat surface orthogonal to the optical axes of the lenses 42a and 42b.

図2〜図5に示すように、第4片部144は、レンズ保持部140の周縁部からX軸方向に沿って突出している。第4片部144は、レンズ鏡筒3に固定された規制部160に係合されている。 As shown in FIGS. 2 to 5, the fourth piece portion 144 projects from the peripheral edge portion of the lens holding portion 140 along the X-axis direction. The fourth piece portion 144 is engaged with the restriction portion 160 fixed to the lens barrel 3.

図8は、実施の形態1に係る光学系駆動装置100の第4片部144と規制部160とを示す斜視図である。図9は、実施の形態1に係る光学系駆動装置100の第4片部144と規制部160とを示す正面図である。 FIG. 8 is a perspective view showing the fourth piece portion 144 and the restriction portion 160 of the optical system driving device 100 according to the first embodiment. FIG. 9 is a front view showing the fourth piece portion 144 and the regulating portion 160 of the optical system driving device 100 according to the first embodiment.

第4片部144は、本体部155と、アーム部156と、軸部157とを備えている。 The fourth piece portion 144 includes a main body portion 155, an arm portion 156, and a shaft portion 157.

本体部155は、レンズ保持部140の端部からX軸方向に沿って突出している。アーム部156は、本体部155の先端部から外方に向けて延び出ている。アーム部156は、本体部155よりもY軸方向の幅が狭く形成されている。軸部157は、実質的な球状に形成された突部であり、アーム部156の先端部に設けられている。軸部157の直径は、アーム部156のY軸方向の幅よりも広い。また、アーム部156のY軸方向の中心は、軸部157の中心に重なっている。これにより、軸部157のY軸方向の両端部は、アーム部156から同じ幅だけ突出している。 The main body portion 155 projects from the end portion of the lens holding portion 140 along the X-axis direction. The arm portion 156 extends outward from the tip portion of the main body portion 155. The arm portion 156 is formed to have a smaller width in the Y-axis direction than the main body portion 155. The shaft portion 157 is a protrusion formed in a substantially spherical shape, and is provided at the tip of the arm portion 156. The diameter of the shaft portion 157 is wider than the width of the arm portion 156 in the Y-axis direction. Further, the center of the arm portion 156 in the Y-axis direction overlaps the center of the shaft portion 157. As a result, both ends of the shaft portion 157 in the Y-axis direction project from the arm portion 156 by the same width.

規制部160は、レンズ保持部140の移動可能な自由度のうち、一つの自由度の移動を規制する。具体的には、規制部160は、Z軸周りの回転方向におけるレンズ保持部140の移動を規制する。これにより、レンズ保持部140は、5自由度に移動可能となる。 The restriction unit 160 restricts the movement of one of the movable degrees of freedom of the lens holding unit 140. Specifically, the restriction unit 160 restricts the movement of the lens holding unit 140 in the rotation direction around the Z axis. As a result, the lens holding unit 140 can move in five degrees of freedom.

規制部160は、レンズ保持部140の近傍であって、第4片部144に対向する位置に固定されている。規制部160は、基部161と、支持部162とを備える。基部161は、レンズ鏡筒3内の支持体(図示省略)からZ軸方向に沿って立設している。支持部162は、基部161の先端部からレンズ保持部140に向けてX軸方向に沿って延在している。支持部162は、軸部157を収容する収容凹部163を有する。収容凹部163は、支持部162のX軸方向正側の先端面からX軸方向負側に向けて凹んでおり、Z軸方向に対しても開放されている。収容凹部163をなす、Y軸方向に対向する一対の平面164,165は、互いに平行であり、それぞれZ−X平面に平行である。つまり、収容凹部163においてはY軸方向の幅Hがほぼ全体にわたって一様である。一対の平面164,165は、互いにY軸方向で軸部157を点接触で挟む。対向する一対の平面164,165は、当該軸部157に当接するように幅Hで離間している。つまり、軸部157は、外表面をなす球面が一対の平面164,165を摺動することにより、一対の平面164,165内であれば、X軸方向とZ軸方向とに並進することができる。さらに、3次元直交座標系の基準を軸部157の中心とした場合、軸部157は、外表面をなす球面が一対の平面164,165を摺動することにより、一対の平面164,165に挟まれた状態でX軸周りの回転方向、Y軸周りの回転方向、Z軸周りの回転方向に移動することができる。 The restricting portion 160 is fixed in the vicinity of the lens holding portion 140 and at a position facing the fourth piece portion 144. The restriction part 160 includes a base part 161 and a support part 162. The base 161 is erected from the support (not shown) in the lens barrel 3 along the Z-axis direction. The support portion 162 extends from the tip end portion of the base portion 161 toward the lens holding portion 140 along the X-axis direction. The support 162 has a housing recess 163 that houses the shaft 157. The accommodating recess 163 is recessed from the end surface of the support portion 162 on the positive side in the X-axis direction toward the negative side in the X-axis direction, and is also open in the Z-axis direction. The pair of flat surfaces 164 and 165 facing the Y-axis direction that form the accommodation recess 163 are parallel to each other, and are also parallel to the ZX plane. That is, the width H in the Y-axis direction of the accommodation recess 163 is substantially uniform. The pair of flat surfaces 164 and 165 sandwich the shaft portion 157 in point contact with each other in the Y-axis direction. The pair of flat surfaces 164 and 165 facing each other are separated by a width H so as to abut the shaft portion 157. That is, the shaft portion 157 can be translated in the X-axis direction and the Z-axis direction within the pair of flat surfaces 164 and 165 by sliding the spherical surface forming the outer surface on the pair of flat surfaces 164 and 165. it can. Further, when the reference of the three-dimensional orthogonal coordinate system is set to the center of the shaft portion 157, the shaft portion 157 is formed into a pair of flat surfaces 164 and 165 by the spherical surface forming the outer surface sliding on the pair of flat surfaces 164 and 165. In the sandwiched state, it can move in the rotation direction around the X axis, the rotation direction around the Y axis, and the rotation direction around the Z axis.

つまり、3次元直交座標系の基準を軸部157の中心とした場合、軸部157は、X軸方向、Z軸方向、X軸周りの回転方向、Y軸周りの回転方向、Z軸周りの回転方向の5自由度で移動可能である。 That is, when the reference of the three-dimensional Cartesian coordinate system is set to the center of the shaft portion 157, the shaft portion 157 has the X axis direction, the Z axis direction, the rotation direction around the X axis, the rotation direction around the Y axis, and the Z axis direction. It can move with 5 degrees of freedom in the direction of rotation.

ここでは軸部157の移動可能な自由度を説明した。しかし、レンズ保持部140に保持されたレンズ42a,42bから見ると、移動可能な自由度は異なる。軸部157のY軸方向への移動が規制部160によって規制されているために、3次元直交座標系の基準をレンズ42aの中心とした場合、レンズ保持部140は光軸(Z軸)周りの回転ができない。また、軸部157のY軸方向の移動が規制されていたとしても、軸部157を基準としたZ軸周りでレンズ保持部140を回転させつつ、軸部157をX軸方向に移動させると、レンズ保持部140をY軸方向に移動させることができる。 Here, the movable degree of freedom of the shaft portion 157 has been described. However, when viewed from the lenses 42a and 42b held by the lens holding unit 140, the movable degrees of freedom are different. Since the movement of the shaft portion 157 in the Y-axis direction is regulated by the regulation portion 160, when the reference of the three-dimensional orthogonal coordinate system is set to the center of the lens 42a, the lens holding portion 140 moves around the optical axis (Z axis). Can't rotate. Even if the movement of the shaft portion 157 in the Y axis direction is restricted, if the shaft portion 157 is moved in the X axis direction while rotating the lens holding unit 140 around the Z axis with the shaft portion 157 as a reference. The lens holder 140 can be moved in the Y-axis direction.

このように、3次元直交座標系の基準をレンズ42aの中心とした場合、レンズ保持部140は、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、X軸周りの回転方向、Y軸周りの回転方向の5自由度で移動することができる。 As described above, when the reference of the three-dimensional orthogonal coordinate system is set to the center of the lens 42a, the lens holding unit 140 rotates the X axis direction, the Y axis direction, the Z axis direction, the rotation direction around the X axis, and the rotation around the Y axis. It can move in 5 degrees of freedom in the direction.

なお、図示しないが、収容凹部163内から軸部157が外れないように、レンズ鏡筒3内には、軸部157の収容凹部163からの抜けを防止する規制片が設けられている。 Although not shown, a regulation piece is provided in the lens barrel 3 to prevent the shaft portion 157 from coming off the accommodation recess 163 so that the shaft portion 157 does not come off from the accommodation recess 163.

また、軸部157は、全体が球状でなくともよく、少なくとも一対の平面164,165が当接可能な範囲だけ球面に形成されていればよい。 The shaft portion 157 does not have to be spherical as a whole, and may be formed in a spherical surface as long as at least the pair of flat surfaces 164 and 165 can come into contact with each other.

発光部131は、光透過部150に向けて光を照射するものであり、例えばレーザー光を照射するレーザーダイオードである。発光部131は、図2〜図4に示すように、3つ備えられている。発光部131の各々は、光透過部150のZ軸方向正側で、光透過部150に向けて光を照射するように配置されている。なお、発光部131としてはLED(Light Emitting Diode)を用いることも可能である。 The light emitting unit 131 emits light toward the light transmitting unit 150, and is, for example, a laser diode that emits laser light. As shown in FIGS. 2 to 4, three light emitting units 131 are provided. Each of the light emitting units 131 is arranged on the Z axis direction positive side of the light transmitting unit 150 so as to emit light toward the light transmitting unit 150. An LED (Light Emitting Diode) can be used as the light emitting unit 131.

光検出器132は、発光部131から照射され、光透過部150を通った光を受光し、受光した光に基づく受光信号を出力する。光検出器132は、例えば4分割式のフォトディテクタであり、各分割領域で受光した光の光量を電圧に変換してその電圧を受光信号として外部に出力する。受光信号は、光があたった面積が大きいほど大きな値となる。光検出器132は、発光部131と組をなすように、3つ設けられている。各光検出器132は、光透過部150を介して発光部131に対向して配置されている。各光検出器132の受光面には、発光部131から照射されて光透過部150を通った光のスポットが形成される。 The photodetector 132 receives the light emitted from the light emitting unit 131 and passing through the light transmitting unit 150, and outputs a light reception signal based on the received light. The photodetector 132 is, for example, a 4-division photodetector, and converts the light amount of light received in each divided region into a voltage and outputs the voltage as a light reception signal to the outside. The received light signal has a larger value as the area exposed to the light is larger. Three photodetectors 132 are provided so as to form a pair with the light emitting unit 131. Each photodetector 132 is arranged to face the light emitting unit 131 via the light transmitting unit 150. On the light receiving surface of each photodetector 132, a spot of light emitted from the light emitting section 131 and passing through the light transmitting section 150 is formed.

発光部131及び光検出器132は、レンズ鏡筒3内の支持体(図示省略)に固定されており、互いの相対的な位置関係は変動しない。他方、光透過部150と、発光部131及び光検出器132との位置関係は変動する。 The light emitting unit 131 and the photodetector 132 are fixed to a support (not shown) in the lens barrel 3, and their relative positional relationship does not change. On the other hand, the positional relationship between the light transmitting section 150 and the light emitting section 131 and the photodetector 132 changes.

図10は、実施の形態1に係る光学系駆動装置100の各光検出器132の配置例を模式的に示す正面図である。 FIG. 10 is a front view schematically showing an arrangement example of each photodetector 132 of the optical system driving device 100 according to the first embodiment.

各光検出器132は、分割境界線L1,L2を備える。分割境界線L1,L2は、受光面の中央で直交するように設けられて、受光面を均等に4分割している。 Each photodetector 132 includes division boundary lines L1 and L2. The division boundary lines L1 and L2 are provided so as to be orthogonal to each other at the center of the light receiving surface, and divide the light receiving surface into four evenly.

図10に示すように、光検出器132は、分割境界線L1と分割境界線L2とがそれぞれX軸とY軸とに対し45度ずれるように、配置されている。 As shown in FIG. 10, the photodetector 132 is arranged such that the division boundary line L1 and the division boundary line L2 are displaced from each other by 45 degrees with respect to the X axis and the Y axis, respectively.

図11Aは、実施の形態1に係る光学系駆動装置100の第1光透過部150a(図7)がZ軸方向に移動することにより、第1光透過部150aを透過した光のスポットが光検出器132の受光面でどのように変化したかを示す説明図である。図11Bは、同第1光透過部150aがZ軸方向の基準位置に移動することにより、第1光透過部150aを透過した光のスポットが光検出器132の受光面でどのように変化したかを示す説明図である。図11Cは、同第1光透過部150aがZ軸方向正側に移動することにより、第1光透過部150aを透過した光のスポットが光検出器132の受光面でどのように変化したかを示す説明図である。 FIG. 11A shows that when the first light transmitting portion 150a (FIG. 7) of the optical system driving device 100 according to the first embodiment moves in the Z-axis direction, the spot of light transmitted through the first light transmitting portion 150a becomes light. It is explanatory drawing which shows how it changed in the light-receiving surface of the detector 132. FIG. 11B shows how the spot of the light transmitted through the first light transmitting portion 150 a changes on the light receiving surface of the photodetector 132 by moving the first light transmitting portion 150 a to the reference position in the Z-axis direction. FIG. FIG. 11C shows how the spot of the light transmitted through the first light transmitting portion 150 a changes on the light receiving surface of the photodetector 132 by moving the first light transmitting portion 150 a to the Z axis direction positive side. FIG.

図11Bに示すように、第1光透過部150aがZ軸方向の基準位置にいる場合には、第1光透過部150aを透過した光は、受光面で実質的な円のスポットPを形成する。第1光透過部150aは、その軸心151がY軸方向に沿ったシリンドリカルレンズであるために、X軸方向の焦点位置とY軸方向の焦点位置がずれて非点収差が発生する。よって、スポットPの形状は光軸(Z軸方向)の距離によって変化する。具体的に、第1光透過部150aがZ軸方向負側に移動した場合、つまり、光検出器132に近づいた場合には、スポットPは図11Aのような楕円形状となる。他方、Z軸方向正側に第1光透過部150aが移動した場合、つまり、光検出器132から遠ざかった場合には、スポットPは図11Cのような楕円形状となる。第1光透過部150aが基準位置からZ軸方向の正側若しくは負側に移動するかによって、スポットPの楕円形状の長手方向が90度ずれる。 As shown in FIG. 11B, when the first light transmitting portion 150a is at the reference position in the Z-axis direction, the light transmitted through the first light transmitting portion 150a forms a substantially circular spot P on the light receiving surface. To do. Since the axis 151 of the first light transmitting portion 150a is a cylindrical lens along the Y-axis direction, the focal position in the X-axis direction and the focal position in the Y-axis direction are displaced, and astigmatism occurs. Therefore, the shape of the spot P changes depending on the distance along the optical axis (Z-axis direction). Specifically, when the first light transmitting portion 150a moves to the negative side in the Z-axis direction, that is, when it approaches the photodetector 132, the spot P has an elliptical shape as shown in FIG. 11A. On the other hand, when the first light transmitting portion 150a moves to the Z axis direction positive side, that is, when it moves away from the photodetector 132, the spot P has an elliptical shape as shown in FIG. 11C. The longitudinal direction of the elliptical shape of the spot P deviates by 90 degrees depending on whether the first light transmitting portion 150a moves from the reference position to the positive side or the negative side in the Z-axis direction.

そして、図7に示す第1光透過部150aがY軸方向に移動したり、X軸周りに回転したとしても、第1光透過部150aの軸心151がY軸方向に沿っているために、スポットPの位置及び形状に変動はない。第1光透過部150aがX軸方向に移動したり、Y軸周りに回転した場合には、スポットPの位置がX軸方向に移動する。これは、第2光透過部150bを透過し、第2光検出器132bの受光面に形成されるスポットにおいても同様である。 Even if the first light transmitting portion 150a shown in FIG. 7 moves in the Y-axis direction or rotates around the X axis, the axis 151 of the first light transmitting portion 150a is along the Y-axis direction. , The position and shape of the spot P do not change. When the first light transmitting portion 150a moves in the X-axis direction or rotates around the Y-axis, the position of the spot P moves in the X-axis direction. The same applies to the spot that is transmitted through the second light transmitting portion 150b and is formed on the light receiving surface of the second photodetector 132b.

また、図7に示す第3光透過部150cは、その軸心151がX軸方向に沿っているために、第3光透過部150cがX軸方向に移動したり、Y軸周りに回転したとしても、スポットの位置及び形状に変動はない。第3光透過部150cがY軸方向に移動したり、X軸周りに回転した場合には、スポットの位置がY軸方向に移動する。 Further, in the third light transmitting portion 150c shown in FIG. 7, since the axis 151 of the third light transmitting portion 150c is along the X axis direction, the third light transmitting portion 150c moves in the X axis direction or rotates around the Y axis. However, there is no change in the position and shape of the spot. When the third light transmitting portion 150c moves in the Y-axis direction or rotates about the X-axis, the position of the spot moves in the Y-axis direction.

これらのことから、以下の式(1)〜式(6)の関係が成り立つ。 From these, the relationships of the following expressions (1) to (6) are established.

具体的には、図10に示すように、a1,b1,c1,d1は、第1光透過部150a(図7)に対向する第1光検出器132aの各分割領域の受光信号(電圧値)である。a2,b2,c2,d2は、第2光透過部150b(図7)に対向する第2光検出器132bの各分割領域の受光信号である。a3,b3,c3,d3は、第3光透過部150c(図7)に対向する第3光検出器132cの各分割領域の受光信号である。 Specifically, as shown in FIG. 10, a1, b1, c1, and d1 are light receiving signals (voltage values) of the respective divided regions of the first photodetector 132a facing the first light transmitting portion 150a (FIG. 7). ). Reference characters a2, b2, c2, and d2 are light reception signals of the divided regions of the second photodetector 132b that face the second light transmission unit 150b (FIG. 7). a3, b3, c3 and d3 are light reception signals of the respective divided areas of the third photodetector 132c facing the third light transmitting portion 150c (FIG. 7).

また、以下において、xはレンズ42a,42bの中心のX座標を示す変数である。yはレンズ42a,42bの中心のY座標を示す変数である。zはレンズ42a,42bの中心のZ座標を示す変数である。θxはレンズ42a,42bの中心のX軸周りの角度を示す変数である。θyはレンズ42a,42bの中心のY軸周りの角度を示す変数である。また、α1,α2,α3,β11,β12,β21,β22,γ1,γ2は、補正係数である。補正係数は、種々の実験、シミュレーション等によって適切な値が求められている。 In the following, x is a variable indicating the X coordinate of the center of the lenses 42a and 42b. y is a variable indicating the Y coordinate of the center of the lenses 42a and 42b. z is a variable indicating the Z coordinate of the center of the lenses 42a and 42b. θx is a variable indicating the angle around the X axis at the center of the lenses 42a and 42b. θy is a variable indicating the angle around the Y axis at the center of the lenses 42a and 42b. Further, α1, α2, α3, β11, β12, β21, β22, γ1, and γ2 are correction coefficients. An appropriate value for the correction coefficient is obtained by various experiments, simulations, and the like.

PD11=a1−d1=α1×x+β21×θy・・・(1)
PD12=a1+d1−(b1+c1)=α3×z+β12×θx・・・(2)
PD21=a2−d2=α1×x+β21×θy・・・(3)
PD22=a2+d2−(b2+c2)=α3×z−β12×θx・・・(4)
PD31=c3−b3=α2×y+β11×θx・・・(5)
PD32=a3+d3−(b3+c3)=α3×z+β22×θy・・・(6)
これら式(1)〜式(6)を解くと以下の式(7)〜式(11)の関係が導き出される。
PD11=a1-d1=α1×x+β21×θy (1)
PD12=a1+d1-(b1+c1)=α3×z+β12×θx (2)
PD21=a2-d2=α1×x+β21×θy (3)
PD22=a2+d2-(b2+c2)=α3×z−β12×θx (4)
PD31=c3-b3=α2×y+β11×θx (5)
PD32=a3+d3-(b3+c3)=α3×z+β22×θy (6)
By solving these equations (1) to (6), the relationships of the following equations (7) to (11) are derived.

θx=γ1×(PD12−PD22)・・・(7)
θy=γ2×(PD32−(PD12+PD22/2))・・・(8)
x=PD11−β2×θy=(PD11−β21×γ2×(PD32−(PD12+PD22/2)))/α1・・・(9)
y=PD31−β1×θx=(PD31−β11×γ1×(PD12−PD22))/α2・・・(10)
z=(PD12+PD22)/(2×α3)・・・(11)
レンズ制御部36は、各光検出器132から出力された受光信号と、上述の関係式(1)〜(11)とに基づいて演算し、レンズ保持部140の各自由度の位置を検出する。レンズ制御部36は各自由度の位置を演算する演算部である。また、発光部131と、光検出器132と、レンズ制御部36とにより検出部200が構成される(図1参照)。
θx=γ1×(PD12−PD22) (7)
θy=γ2×(PD32−(PD12+PD22/2)) (8)
x=PD11−β2×θy=(PD11−β21×γ2×(PD32−(PD12+PD22/2)))/α1 (9)
y=PD31−β1×θx=(PD31−β11×γ1×(PD12−PD22))/α2 (10)
z=(PD12+PD22)/(2×α3) (11)
The lens control unit 36 calculates based on the received light signal output from each photodetector 132 and the above relational expressions (1) to (11), and detects the position of each degree of freedom of the lens holding unit 140. .. The lens control unit 36 is a calculation unit that calculates the position of each degree of freedom. Further, the light emitting unit 131, the photodetector 132, and the lens control unit 36 configure the detection unit 200 (see FIG. 1).

[1−2.動作]
以上のように構成されたデジタルカメラ1について、その動作を以下に説明する。
[1-2. motion]
The operation of the digital camera 1 configured as described above will be described below.

図12は、実施の形態1に係るデジタルカメラ1の制御部22が実行する撮影処理の流れを示すフローチャートである。 FIG. 12 is a flowchart showing the flow of a shooting process executed by the control unit 22 of the digital camera 1 according to the first embodiment.

図12に示すように、制御部22は、ズームレバーからズーム操作が行われると、その操作の間、レンズ制御部36を介してズーム用駆動部31を制御し、第1レンズ群41を光軸に沿って移動させる(ステップS1)。制御部22は、ズーム操作が完了した際のズームエンコーダ33からの出力結果に基づいて、第1レンズ群41のズーム位置を認識し、記憶する(ステップS2)。 As shown in FIG. 12, when a zoom operation is performed from the zoom lever, the control unit 22 controls the zoom drive unit 31 via the lens control unit 36 during the operation so that the first lens group 41 is illuminated. It is moved along the axis (step S1). The control unit 22 recognizes and stores the zoom position of the first lens group 41 based on the output result from the zoom encoder 33 when the zoom operation is completed (step S2).

次いで、制御部22は、シャッターボタンからオートフォーカス操作が行われると、その操作の間、レンズ制御部36を介してフォーカス用駆動部32を制御し、第3レンズ群43を光軸に沿って移動させる(ステップS3)。制御部22は、フォーカスエンコーダ34からの出力結果に基づいて、第3レンズ群43の合焦位置を認識し、記憶する(ステップS4)。 Next, when the autofocus operation is performed from the shutter button, the control unit 22 controls the focus drive unit 32 via the lens control unit 36 during the operation to move the third lens group 43 along the optical axis. It is moved (step S3). The control unit 22 recognizes and stores the in-focus position of the third lens group 43 based on the output result from the focus encoder 34 (step S4).

次いで、制御部22は、第1レンズ群41のズーム位置と、第3レンズ群43の合焦位置とから、第2レンズ群42の位置補正値を算出する(ステップS5)。 Next, the control unit 22 calculates the position correction value of the second lens group 42 from the zoom position of the first lens group 41 and the focus position of the third lens group 43 (step S5).

次いで、制御部22は、第2レンズ群42の位置補正値をレンズ制御部36に出力し、レンズ制御部36に姿勢制御処理を実行させる(ステップS6)。 Next, the control unit 22 outputs the position correction value of the second lens group 42 to the lens control unit 36 and causes the lens control unit 36 to execute the attitude control process (step S6).

図13は、実施の形態1に係る光学系駆動装置100のレンズ制御部36が実行する姿勢制御処理の流れを示すフローチャートである。 FIG. 13 is a flowchart showing the flow of the attitude control process executed by the lens controller 36 of the optical system driving device 100 according to the first embodiment.

図13に示すように、レンズ制御部36は、制御部22から取得した位置補正値に基づいて、全ての磁石ユニット170における第1コイル181及び第2コイル182の電流を制御する(ステップS61)。具体的には、レンズ制御部36は、位置補正値から、5自由度のそれぞれの補正値を求め、その各自由度の補正値から全ての磁石ユニット170における第1コイル181及び第2コイル182の電流値を決定する。 As shown in FIG. 13, the lens control unit 36 controls the currents of the first coils 181 and the second coils 182 in all the magnet units 170 based on the position correction values acquired from the control unit 22 (step S61). .. Specifically, the lens control unit 36 obtains each correction value of 5 degrees of freedom from the position correction value, and the first coil 181 and the second coil 182 in all the magnet units 170 are calculated from the correction value of each degree of freedom. Determine the current value of.

これにより、レンズ保持部140が、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、X軸周りの回転方向、Y軸周りの回転方向の5自由度で移動する(ステップS62)。 As a result, the lens holding unit 140 moves with five degrees of freedom in the X axis direction, the Y axis direction, the Z axis direction, the rotation direction around the X axis, and the rotation direction around the Y axis (step S62).

次いで、レンズ制御部36は、レンズ保持部140の各自由度の位置を検出する(ステップS63)。具体的には、レンズ制御部36は、各発光部131を発光させて、各発光部131から各光透過部150を介して各光検出器132に光を照射する。これにより、各光検出器132から各分割領域の受光信号がレンズ制御部36に出力される。レンズ制御部36は、この受光信号と上述の関係式とに基づいて演算し、レンズ保持部140の各自由度の位置を検出する。 Next, the lens control unit 36 detects the position of each degree of freedom of the lens holding unit 140 (step S63). Specifically, the lens control unit 36 causes each light emitting unit 131 to emit light, and irradiates each photodetector 132 with light from each light emitting unit 131 via each light transmitting unit 150. As a result, the light receiving signal of each divided area is output from each photodetector 132 to the lens controller 36. The lens control unit 36 calculates based on this received light signal and the above-mentioned relational expression, and detects the position of each degree of freedom of the lens holding unit 140.

次いで、レンズ制御部36は、検出したレンズ保持部140の各自由度の位置が、位置補正値に基づく各自由度の位置と一致しているか否かを判定する(ステップS64)。 Next, the lens control unit 36 determines whether the detected position of each degree of freedom of the lens holding unit 140 matches the position of each degree of freedom based on the position correction value (step S64).

ステップS64で一致していると判定した場合(ステップS64でYes)には、レンズ制御部36は、姿勢制御処理を終了して、図12に示すステップS7に移行する。 If it is determined in step S64 that they match (Yes in step S64), the lens control unit 36 ends the attitude control process and proceeds to step S7 shown in FIG.

ステップS64で一致していないと判定した場合(ステップS64でNo)には、レンズ制御部36は、検出したレンズ保持部140の各自由度の位置から新たな位置補正値を算出し(ステップS65)、ステップS61に移行する。 When it is determined in step S64 that they do not match (No in step S64), the lens control unit 36 calculates a new position correction value from the detected position of each degree of freedom of the lens holding unit 140 (step S65). ), and proceeds to step S61.

図12に示すように、ステップS7では、制御部22はシャッターボタンが完全に押下されれば撮像を実行する。 As shown in FIG. 12, in step S7, the control unit 22 executes imaging when the shutter button is completely pressed.

[1−3.効果等]
以上のように、本実施の形態によれば、少なくとも3自由度に移動可能な移動体であるレンズ保持部140に対して光透過部150が一体的に設けられているため、当該光透過部150はレンズ保持部140とともに移動する。これにより、光透過部150は、レンズ保持部140と同じ自由度で移動する。光透過部150がレンズ保持部140とともに移動すればその移動に応じて、光透過部150を通って光検出器132上でなす光のスポットPの形状、強度、分布の少なくとも1つは変化する。光検出器132は、受光した光に基づく受光信号を出力する。したがって、この受光信号を用いれば、レンズ保持部140の各自由度の位置を高精度に求めることができる。
[1-3. Effect, etc.]
As described above, according to the present embodiment, since the light transmitting portion 150 is integrally provided with the lens holding portion 140 that is a movable body that can move in at least three degrees of freedom, the light transmitting portion is concerned. The lens holder 150 moves together with the lens holder 140. As a result, the light transmitting section 150 moves with the same degree of freedom as the lens holding section 140. If the light transmitting part 150 moves together with the lens holding part 140, at least one of the shape, the intensity, and the distribution of the light spot P formed on the photodetector 132 through the light transmitting part 150 changes according to the movement. .. The photodetector 132 outputs a light reception signal based on the received light. Therefore, by using this received light signal, the position of each degree of freedom of the lens holding unit 140 can be obtained with high accuracy.

したがって、少なくとも3自由度に移動可能な移動体の各自由度における位置を検出することができ、高精度な位置調整が可能になる。 Therefore, it is possible to detect the position of the movable body that can move in at least three degrees of freedom in each degree of freedom, and it is possible to perform highly accurate position adjustment.

また、各自由度の位置を検出するための光透過部150がレンズ保持部140と一体化されることにより、光透過部150がレンズ保持部140とともに同じ自由度で移動することができる。したがって、簡素な構成で少なくとも3自由度の位置を検出することが可能である。 Further, since the light transmitting portion 150 for detecting the position of each degree of freedom is integrated with the lens holding portion 140, the light transmitting portion 150 can move together with the lens holding portion 140 with the same degree of freedom. Therefore, it is possible to detect a position with at least three degrees of freedom with a simple configuration.

また、光透過部150が集光体であるので、光透過部150を通った光を集光させて光検出器132に照射することができる。光検出器132上では集光によって光の強度が増幅されることになるので、光の変動を確実に検出することができる。 Further, since the light transmitting section 150 is a light collector, it is possible to collect the light that has passed through the light transmitting section 150 and irradiate the light on the photodetector 132. On the photodetector 132, the intensity of the light is amplified by condensing, so that the fluctuation of the light can be reliably detected.

また、集光されることで光のスポットも小さくなるために、小型の光検出器132を用いることも可能となる。 Further, since the spot of light is reduced by being condensed, it is possible to use a small photodetector 132.

また、集光体がシリンドリカルレンズであるので、非点収差法を用いた正確な位置検出が可能となる。 Further, since the light condensing body is a cylindrical lens, accurate position detection using the astigmatism method is possible.

また、発光部131と、光検出器132とが3組設けられているので、3つの光検出器132の受光信号を組み合わせて用いれば、4自由度以上(本実施の形態では5自由度)のレンズ保持部140の位置を検出することができる。 Further, since three sets of the light emitting section 131 and the photodetector 132 are provided, if the light reception signals of the three photodetectors 132 are used in combination, four degrees of freedom or more (5 degrees of freedom in this embodiment). The position of the lens holder 140 can be detected.

以上のように、本実施の形態の光学系駆動装置100は、少なくとも3自由度に移動可能なレンズ保持部140に相当する移動体と、移動体と一体的に設けられ、移動体とともに移動する光透過部150とを備える。また、少なくとも3自由度のそれぞれに対して、移動体を移動させる収差補正用駆動部120に相当する駆動部と、少なくとも3自由度のそれぞれの移動体の位置を検出する検出部200と、を備える。また、検出部200は、光透過部150に向けて光を照射する発光部131と、発光部131から照射され、光透過部150を通った光を受光し、受光した光に基づく受光信号を出力する光検出器132とを有する。また、光検出器132の受光信号に基づいて、少なくとも3自由度のそれぞれの位置を検出する。これにより、少なくとも3自由度に移動可能な移動体の各自由度における位置を検出することができ、高精度な位置調整が可能である。 As described above, the optical system driving apparatus 100 according to the present embodiment is provided integrally with the moving body corresponding to the lens holding unit 140 that is movable in at least three degrees of freedom, and moves together with the moving body. And a light transmission part 150. Further, a drive unit corresponding to the aberration correction drive unit 120 that moves the moving body for each of at least three degrees of freedom, and a detection unit 200 that detects the position of each moving body of at least three degrees of freedom. Prepare In addition, the detection unit 200 receives light emitted from the light emitting unit 131 and passes through the light transmitting unit 150, and receives a light reception signal based on the received light. And a photodetector 132 for outputting. Further, each position of at least three degrees of freedom is detected based on the light reception signal of the photodetector 132. Accordingly, it is possible to detect the position of the movable body that can move in at least three degrees of freedom in each degree of freedom, and highly accurate position adjustment is possible.

また、光透過部150は、光を集光する集光体としてもよい。これにより、光検出器132が、光の変動を確実に検出することができる。 Further, the light transmitting section 150 may be a light collecting body that collects light. Thereby, the photodetector 132 can reliably detect the fluctuation of light.

また、集光体は、シリンドリカルレンズとしてもよい。これにより、非点収差法を用いた正確な位置検出が可能となる。 Further, the light collector may be a cylindrical lens. This enables accurate position detection using the astigmatism method.

また、検出部200は、発光部131及び光検出器132を3組以上有してもよい。これにより、4自由度以上の移動体の位置を検出することができる。 Further, the detection unit 200 may include three or more sets of the light emitting unit 131 and the photodetector 132. As a result, the position of the moving body having four or more degrees of freedom can be detected.

また、移動体は、少なくとも5自由度に移動可能としてもよい。これにより、移動体の5自由度の位置を検出することができる。したがって、部品点数の削減を図ることができる。 The moving body may be movable in at least 5 degrees of freedom. As a result, the position of the moving body with five degrees of freedom can be detected. Therefore, the number of parts can be reduced.

また、検出部200は、5自由度のそれぞれの移動体の位置を検出してもよい。これにより、部品点数の削減を図ることができる。 Further, the detection unit 200 may detect the position of each moving body having five degrees of freedom. As a result, the number of parts can be reduced.

また、本実施の形態の光学装置1は、光学系駆動装置100と、複数のレンズからなる光学系4と、を備えてもよい。また、複数のレンズのうち少なくとも一つは移動体に保持されていてもよい。これにより、移動体の高精度な位置調整が可能となる。 Further, the optical device 1 of the present embodiment may include the optical system driving device 100 and the optical system 4 including a plurality of lenses. Further, at least one of the plurality of lenses may be held by the moving body. This enables highly accurate position adjustment of the moving body.

また、本実施の形態の光学装置1は、光学系駆動装置100と、複数のレンズからなる光学系と、を備えてもよい。また、複数のレンズのうち少なくとも一つは移動体に保持され、光透過部150は、移動体に保持されたレンズであってもよい。これにより、移動体の高精度な位置調整が可能となる。 Further, the optical device 1 according to the present embodiment may include the optical system driving device 100 and an optical system including a plurality of lenses. Further, at least one of the plurality of lenses may be held by the moving body, and the light transmitting portion 150 may be a lens held by the moving body. This enables highly accurate position adjustment of the moving body.

(実施の形態2)
[2−1.構成]
以下、図14、図15A及び図15Bを用いて、実施の形態2を説明する。なお、実施の形態1と同様の構成については同じ符号を付し、同様の構成及び動作については説明を省略する場合がある。
(Embodiment 2)
[2-1. Constitution]
The second embodiment will be described below with reference to FIGS. 14, 15A and 15B. The same components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and description of the same components and operations may be omitted.

図14は、本実施の形態に係る光学系駆動装置100Aの斜視図である。 FIG. 14 is a perspective view of the optical system driving device 100A according to the present embodiment.

図14に示すように、光学系駆動装置100Aにおけるレンズ保持部140Aの第4片部144Aには、光透過部150(第4光透過部150d)が取り付けられている。図15Aに示すように、第4光透過部150dは、例えば凸型のシリンドリカルレンズであり、その軸心151がX軸方向に沿っていて、凸面152がZ軸方向負側を向いている。 As shown in FIG. 14, the light transmission part 150 (fourth light transmission part 150d) is attached to the fourth piece part 144A of the lens holding part 140A in the optical system driving device 100A. As shown in FIG. 15A, the fourth light transmitting portion 150d is, for example, a convex cylindrical lens, the axis 151 of which is along the X-axis direction, and the convex surface 152 faces the negative side in the Z-axis direction.

第1片部141A、第2片部142A、第3片部143A、第4片部144Aには、Z軸方向負側の主面に例えばバネなどの弾性体167が設けられている。弾性体167はZ軸方向に平行に延在しており、一端部が各片部141A,142A,143A,144AのZ軸方向負側の主面に取り付けられ、他端部がレンズ鏡筒3内の支持体(図示省略)に取り付けられている。レンズ保持部140Aは、これらの弾性体167によって、どの自由度の移動も規制されておらず、なおかつ揺動自在に保持されている。つまり、レンズ保持部140Aは、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、X軸周りの回転方向、Y軸周りの回転方向、Z軸周りの回転方向の6自由度で移動することができる。 The first piece 141A, the second piece 142A, the third piece 143A, and the fourth piece 144A are provided with an elastic body 167 such as a spring on the principal surface on the Z axis direction negative side. The elastic body 167 extends parallel to the Z-axis direction, one end thereof is attached to the main surface of each of the pieces 141A, 142A, 143A, 144A on the negative side in the Z-axis direction, and the other end is attached to the lens barrel 3. It is attached to an inner support (not shown). The lens holding portion 140A is held by the elastic body 167 so as not to be restricted in movement in any degree of freedom and to be swingable. That is, the lens holding unit 140A can move in six degrees of freedom in the X axis direction, the Y axis direction, the Z axis direction, the rotation direction around the X axis, the rotation direction around the Y axis, and the rotation direction around the Z axis. ..

第4光透過部150dを挟んでZ軸方向に対向するように、発光部131及び光検出器132が設けられている。 The light emitting unit 131 and the photodetector 132 are provided so as to face each other in the Z-axis direction with the fourth light transmitting unit 150d interposed therebetween.

図15Bは、実施の形態2に係る光学系駆動装置100Aの各光検出器132の配置例を模式的に示す正面図である。 FIG. 15B is a front view schematically showing an arrangement example of the photodetectors 132 of the optical system driving device 100A according to the second embodiment.

図15Bに示すように、光検出器132は、分割境界線L1と分割境界線L2とがそれぞれX軸とY軸とに対し45度ずれるように、配置されている。 As shown in FIG. 15B, the photodetector 132 is arranged such that the division boundary line L1 and the division boundary line L2 are shifted by 45 degrees with respect to the X axis and the Y axis, respectively.

第1光透過部150a、第2光透過部150b及び第3光透過部150cは、図10で例示したものと同じ配置である。 The first light transmitting portion 150a, the second light transmitting portion 150b, and the third light transmitting portion 150c have the same arrangement as that illustrated in FIG.

また、第4光透過部150dは、その軸心151がX軸方向に沿っているために、第4光透過部150dがX軸方向に移動したり、Y軸周りに回転したとしても、スポットPの位置及び形状に変動はない。第4光透過部150dがY軸方向に移動したり、X軸周りに回転した場合には、スポットPの位置がY軸方向に移動する。 Further, since the axis 151 of the fourth light transmitting portion 150d is along the X-axis direction, even if the fourth light transmitting portion 150d moves in the X-axis direction or rotates around the Y-axis, a spot is generated. There is no change in the position and shape of P. When the fourth light transmitting portion 150d moves in the Y-axis direction or rotates about the X-axis, the position of the spot P moves in the Y-axis direction.

これらのことから、以下の式(12)〜式(19)の関係が成り立つ。 From these, the relationships of the following equations (12) to (19) are established.

具体的には、図15Bに示すように、a1,b1,c1,d1は、第1光透過部150aに対向する第1光検出器132aの各分割領域の受光信号(電圧値)である。a2,b2,c2,d2は、第2光透過部150bに対向する第2光検出器132bの各分割領域の受光信号である。a3,b3,c3,d3は、第3光透過部150cに対向する第3光検出器132cの各分割領域の受光信号である。a4,b4,c4,d4は、第4光透過部150dに対向する第4光検出器132dの各分割領域の受光信号である。 Specifically, as shown in FIG. 15B, a1, b1, c1, and d1 are light reception signals (voltage values) of the respective divided regions of the first photodetector 132a facing the first light transmitting portion 150a. Symbols a2, b2, c2, d2 are light reception signals of the respective divided regions of the second photodetector 132b facing the second light transmitting portion 150b. a3, b3, c3 and d3 are light reception signals of the respective divided areas of the third photodetector 132c facing the third light transmitting section 150c. Symbols a4, b4, c4 and d4 are light reception signals of the respective divided areas of the fourth photodetector 132d that face the fourth light transmitting portion 150d.

また、以下において、xはレンズ42a,42bの中心のX座標を示す変数である。yはレンズ42a,42bの中心のY座標を示す変数である。zはレンズ42a,42bの中心のZ座標を示す変数である。θxはレンズ42a,42bの中心のX軸周りの角度を示す変数である。θyはレンズ42a,42bの中心のY軸周りの角度を示す変数である。θzはレンズ42a,42bの中心のZ軸周りの角度を示す変数である。また、α1,α2,α3,β11,β12,β21,β22,β3は、補正係数である。補正係数は、種々の実験、シミュレーション等によって適切な値が求められている。 In the following, x is a variable indicating the X coordinate of the center of the lenses 42a and 42b. y is a variable indicating the Y coordinate of the center of the lenses 42a and 42b. z is a variable indicating the Z coordinate of the center of the lenses 42a and 42b. θx is a variable indicating the angle around the X axis at the center of the lenses 42a and 42b. θy is a variable indicating the angle around the Y axis at the center of the lenses 42a and 42b. θz is a variable indicating the angle around the Z axis at the center of the lenses 42a and 42b. Further, α1, α2, α3, β11, β12, β21, β22, β3 are correction coefficients. An appropriate value for the correction coefficient is obtained by various experiments, simulations, and the like.

PD11=a1−d1=α1×x+β21×θy+β3×θz・・・(12)
PD12=a1+d1−(b1+c1)=α3×z+β12×θx・・・(13)
PD21=a2−d2=α1×x+β21×θy−β3×θz・・・(14)
PD22=a2+d2−(b2+c2)=α3×z−β12×θx・・・(15)
PD31=c3−b3=α2×y+β11×θx+β3×θz・・・(16)
PD32=a3+d3−(b3+c3)=α3×z+β22×θy・・・(17)
PD41=c4−b4=α2×y+β12×θx−β3×θz・・・(18)
PD42=a4+d4−(b4+c4)=α3×z−β22×θy・・・(19)
これら式(12)〜式(19)を解くと以下の式(20)〜式(25)の関係が導き出される。
PD11=a1-d1=α1×x+β21×θy+β3×θz (12)
PD12=a1+d1-(b1+c1)=α3×z+β12×θx (13)
PD21=a2-d2=α1×x+β21×θy−β3×θz (14)
PD22=a2+d2-(b2+c2)=α3×z−β12×θx (15)
PD31=c3-b3=α2×y+β11×θx+β3×θz (16)
PD32=a3+d3-(b3+c3)=α3×z+β22×θy (17)
PD41=c4-b4=α2×y+β12×θx−β3×θz (18)
PD42=a4+d4-(b4+c4)=α3×z−β22×θy (19)
By solving these equations (12) to (19), the relationships of the following equations (20) to (25) are derived.

θx=(PD12−PD22)/(2×α3)・・・(20)
θy=(PD32−PD42)/(2×α3)・・・(21)
θz=(PD11−PD21+PD31−PD41)/(4×β3)・・・(22)
x=((PD11+PD21)−β21×(PD32−PD42)/α3)/(2×α3)・・・(23)
y=((PD31+PD41)−(PD11−PD21+PD31−PD41)/2)/(2×α3)・・・(24)
z=(PD12+PD22+PD32+PD42)/4・・・(25)
レンズ制御部36は、各光検出器132から出力された受光信号と、上述の式(12)〜(25)とに基づいて演算し、レンズ保持部140の各自由度の位置を検出する。レンズ制御部36は、実施の形態1(図13)と同様に取得した位置補正値に基づいて、全ての磁石ユニット170における第1コイル181及び第2コイル182の電流を制御する。これにより、レンズ保持部140Aが、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、X軸周りの回転方向、Y軸周りの回転方向、Z軸周りの回転方向の6自由度で移動する。
θx=(PD12−PD22)/(2×α3) (20)
θy=(PD32−PD42)/(2×α3) (21)
θz=(PD11−PD21+PD31−PD41)/(4×β3) (22)
x=((PD11+PD21)−β21×(PD32−PD42)/α3)/(2×α3)...(23)
y=((PD31+PD41)−(PD11−PD21+PD31−PD41)/2)/(2×α3) (24)
z=(PD12+PD22+PD32+PD42)/4 (25)
The lens control unit 36 calculates based on the received light signal output from each photodetector 132 and the above equations (12) to (25), and detects the position of each degree of freedom of the lens holding unit 140. The lens control unit 36 controls the currents of the first coils 181 and the second coils 182 in all the magnet units 170 based on the position correction values acquired as in the first embodiment (FIG. 13). As a result, the lens holding unit 140A moves with 6 degrees of freedom in the X-axis direction, the Y-axis direction, the Z-axis direction, the rotation direction around the X axis, the rotation direction around the Y axis, and the rotation direction around the Z axis.

[2−2.効果等]
以上のように、本実施の形態によれば、発光部131と、光検出器132とが4組設けられているので、4つの光検出器132の受光信号を組み合わせて用いれば、6自由度の位置を検出することができる。これにより、精度な位置調整が可能である。
[2-2. Effect, etc.]
As described above, according to the present embodiment, since four sets of the light emitting section 131 and the photodetector 132 are provided, if the light receiving signals of the four photodetectors 132 are used in combination, six degrees of freedom are obtained. The position of can be detected. Thereby, accurate position adjustment is possible.

(実施の形態3)
[3−1.構成]
以下、図16〜図19を用いて、実施の形態3を説明する。なお、実施の形態1と同様の構成については同じ符号を付し、同様の構成及び動作については説明を省略する場合がある。
(Embodiment 3)
[3-1. Constitution]
The third embodiment will be described below with reference to FIGS. 16 to 19. The same components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and description of the same components and operations may be omitted.

図16は、実施の形態3に係る光学系駆動装置100Bの斜視図である。 FIG. 16 is a perspective view of the optical system driving device 100B according to the third embodiment.

図16に示すように、光学系駆動装置100Bに係るレンズ保持部140Bには、第1片部141〜第3片部143が設けられておらず、軸部157を有する第4片部144のみが設けられている。軸部157のY軸方向の移動が規制部160によって規制されているために、実施の形態1と同じく、レンズ保持部140Bは、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、X軸周りの回転方向、Y軸周りの回転方向の5自由度で移動することができる。 As shown in FIG. 16, the lens holding portion 140B of the optical system driving device 100B is not provided with the first to third piece portions 141 to 143, but only the fourth piece portion 144 having the shaft portion 157. Is provided. Since the movement of the shaft portion 157 in the Y-axis direction is regulated by the regulation portion 160, the lens holding portion 140B is arranged in the X-axis direction, the Y-axis direction, the Z-axis direction, and around the X-axis as in the first embodiment. It can move in five degrees of freedom in the rotation direction and the rotation direction around the Y axis.

図17は、図16における17−17切断線からレンズ保持部140Bを見た断面図である。具体的には、17−17切断線はX軸に平行な、レンズ42a,42bの中心を通過する線である。 FIG. 17 is a cross-sectional view of the lens holding unit 140B taken along the line 17-17 in FIG. Specifically, the 17-17 cutting line is a line parallel to the X axis and passing through the centers of the lenses 42a and 42b.

図17に示すように、レンズ42aのX軸方向正側の外方には、発光部131Bが設けられている。発光部131Bは、レンズ42aのX軸方向正側の端部に向けてX軸方向に沿う光を照射する。発光部131Bから照射された光の一部は、レンズ42aのX軸方向正側の端部表面で反射する。このレンズ42aの表面で反射した光の光路上に光検出器132Bが配置されている。 As shown in FIG. 17, a light emitting portion 131B is provided outside the lens 42a on the positive side in the X-axis direction. The light emitting unit 131B emits light along the X-axis direction toward the end of the lens 42a on the positive side in the X-axis direction. Part of the light emitted from the light emitting unit 131B is reflected by the end surface of the lens 42a on the positive side in the X-axis direction. The photodetector 132B is arranged on the optical path of the light reflected by the surface of the lens 42a.

また、発光部131Bから照射された光の一部は、レンズ42a内に進入し、何回(本実施の形態では3回)かレンズ42aの境界面で全反射してから、レンズ42aのX軸方向負側の端部表面からレンズ42a外に出射する。このレンズ42aから出射した光の光路上に光検出器132Bが配置されている。 Further, a part of the light emitted from the light emitting unit 131B enters the lens 42a and is totally reflected by the boundary surface of the lens 42a several times (three times in the present embodiment), and then X of the lens 42a. The light is emitted from the end surface on the negative side in the axial direction to the outside of the lens 42a. The photodetector 132B is arranged on the optical path of the light emitted from the lens 42a.

このように、発光部131Bから照射された光は、レンズ42aを通って(反射又は透過)して光検出器132Bに到達する。つまり、レンズ42aが光透過部として機能している。 In this way, the light emitted from the light emitting unit 131B passes (reflects or transmits) through the lens 42a and reaches the photodetector 132B. That is, the lens 42a functions as a light transmitting portion.

同様に、Y軸方向においても1つの発光部131Bと、一対の光検出器132Bとが設けられている。Y軸方向に設けられた発光部131Bは、レンズ42aのY軸方向正側の外方に配置されている。この発光部131Bから照射された光の光路上に一対の光検出器132Bが配置されている。Y軸方向においても、発光部131Bから照射された光は、レンズ42aを通って(反射又は透過)して光検出器132Bに到達する。 Similarly, one light emitting portion 131B and a pair of photodetectors 132B are also provided in the Y-axis direction. The light emitting portion 131B provided in the Y-axis direction is arranged outside the lens 42a on the positive side in the Y-axis direction. A pair of photodetectors 132B is arranged on the optical path of the light emitted from the light emitting section 131B. Also in the Y-axis direction, the light emitted from the light emitting unit 131B passes through the lens 42a (reflection or transmission) and reaches the photodetector 132B.

図18は、実施の形態3に係る光学系駆動装置100Bの各光検出器132の配置例を模式的に示す正面図である。 FIG. 18 is a front view schematically showing an arrangement example of each photodetector 132 of the optical system driving device 100B according to the third embodiment.

図18に示すように、光検出器132Bは、分割境界線L1がY軸に沿って、分割境界線L2がX軸方向に沿うように配置されている。 As shown in FIG. 18, the photodetector 132B is arranged such that the division boundary line L1 is along the Y axis and the division boundary line L2 is along the X axis direction.

図18において、a1,b1,c1,d1は、Y軸方向正側に配置された光検出器(第1光検出器132Ba)の各分割領域の受光信号である。a2,b2,c2,d2は、Y軸方向負側に配置された光検出器(第2光検出器132Bb)の各分割領域の受光信号である。a3,b3,c3,d3は、X軸方向正側に配置された光検出器(第3光検出器132Bc)の各分割領域の受光信号である。a4,b4,c4,d4は、X軸方向負側に配置された光検出器(第4光検出器132Bd)の各分割領域の受光信号である。 In FIG. 18, a1, b1, c1, and d1 are light reception signals of the respective divided regions of the photodetector (first photodetector 132Ba) arranged on the Y axis direction positive side. Symbols a2, b2, c2, and d2 are light reception signals of the respective divided areas of the photodetector (second photodetector 132Bb) arranged on the Y axis direction negative side. a3, b3, c3, d3 are light reception signals of the respective divided areas of the photodetector (third photodetector 132Bc) arranged on the X axis direction positive side. Symbols a4, b4, c4 and d4 are light reception signals of the respective divided regions of the photodetector (fourth photodetector 132Bd) arranged on the negative side in the X-axis direction.

図19は、実施の形態3に係る光学系駆動装置100Bのレンズ保持部140Bの姿勢により、第3光検出器132Bcの受光信号と、第4光検出器132Bdの受光信号との違いを示すグラフである。 FIG. 19 is a graph showing the difference between the light reception signal of the third photodetector 132Bc and the light reception signal of the fourth photodetector 132Bd depending on the attitude of the lens holding unit 140B of the optical system driving device 100B according to the third embodiment. Is.

図19に示すように、レンズ保持部140BがZ軸方向正側に変動した場合には、第3光検出器132Bcの受光信号は正に大きな値となり、第4光検出器132Bdの受光信号は0に近い値となっている。レンズ保持部140BがZ軸方向負側に変動した場合には、第3光検出器132Bcの受光信号は負に大きな値となり、第4光検出器132Bdの受光信号は0に近い値となっている。 As shown in FIG. 19, when the lens holding unit 140B moves to the Z axis direction positive side, the light reception signal of the third photodetector 132Bc becomes a positively large value, and the light reception signal of the fourth photodetector 132Bd becomes The value is close to 0. When the lens holding unit 140B moves toward the negative side in the Z-axis direction, the light reception signal of the third photodetector 132Bc has a large negative value, and the light reception signal of the fourth photodetector 132Bd has a value close to 0. There is.

レンズ保持部140BがX軸周りに正側に変動した場合には、第3光検出器132Bcの受光信号は正に小さな値となり、第4光検出器132Bdの受光信号は負に小さな値となっている。レンズ保持部140BがX軸周りに負側に変動した場合には、第3光検出器132Bcの受光信号は負に小さな値となり、第4光検出器132Bdの受光信号は正に小さな値となっている。 When the lens holding unit 140B moves to the positive side around the X axis, the light reception signal of the third photodetector 132Bc has a positively small value, and the light reception signal of the fourth photodetector 132Bd has a negatively small value. ing. When the lens holder 140B is moved to the negative side around the X axis, the light reception signal of the third photodetector 132Bc has a small negative value, and the light reception signal of the fourth photodetector 132Bd has a small positive value. ing.

レンズ保持部140BがY軸方向正側に変動した場合には、第3光検出器132Bcの受光信号は0に近い値となり、第4光検出器132Bdの受光信号は負に大きな値となっている。レンズ保持部140BがY軸方向負側に変動した場合には、第3光検出器132Bcの受光信号は0に近い値となり、第4光検出器132Bdの受光信号は正に大きな値となっている。このようにZ軸方向の変動、Y軸方向の変動、及びX軸周りの回転に対する光検出器132Bへの受光信号の感度が異なるように、発光部131と光検出器132Bを配置している。 When the lens holder 140B is moved to the positive side in the Y-axis direction, the light reception signal of the third photodetector 132Bc has a value close to 0, and the light reception signal of the fourth photodetector 132Bd has a large negative value. There is. When the lens holding unit 140B moves to the negative side in the Y-axis direction, the light reception signal of the third photodetector 132Bc has a value close to 0, and the light reception signal of the fourth photodetector 132Bd has a positively large value. There is. As described above, the light emitting unit 131 and the photodetector 132B are arranged so that the sensitivities of the received light signals to the photodetector 132B with respect to the variation in the Z-axis direction, the variation in the Y-axis direction, and the rotation around the X-axis are different. ..

同様に、第1光検出器132Baの受光信号と、第2光検出器Bbの受光信号との違いも求める。これらのことから以下の式(26)〜式(39)の関係が成り立つ。 Similarly, the difference between the light reception signal of the first photodetector 132Ba and the light reception signal of the second photodetector Bb is also obtained. From these facts, the relationships of the following expressions (26) to (39) are established.

以下において、xはレンズ42a,42bの中心のX座標を示す変数である。yはレンズ42a,42bの中心のY座標を示す変数である。zはレンズ42a,42bの中心のZ座標を示す変数である。θxはレンズ42a,42bの中心のX軸周りの角度を示す変数である。θyはレンズ42a,42bの中心のY軸周りの角度を示す変数である。また、α1,α2,α3,β1,β2は、補正係数である。補正係数は、種々の実験、シミュレーション等によって適切な値が求められている。 In the following, x is a variable indicating the X coordinate of the center of the lenses 42a and 42b. y is a variable indicating the Y coordinate of the center of the lenses 42a and 42b. z is a variable indicating the Z coordinate of the center of the lenses 42a and 42b. θx is a variable indicating the angle around the X axis at the center of the lenses 42a and 42b. θy is a variable indicating the angle around the Y axis at the center of the lenses 42a and 42b. Further, α1, α2, α3, β1, β2 are correction coefficients. An appropriate value for the correction coefficient is obtained by various experiments, simulations, and the like.

PD11=(a1+b1)−(c1+d1)=α3×z・・・(26)
PD12=(a1+c1)−(b1+d1)=α1×x+β1×θx・・・(27)
PD21=(a2+b2)−(c2+d2)=α2×y・・・(28)
PD22=(a2+c2)−(b2+d2)=α1×x+β1×θx・・・(29)
PD31=(a3+c3)−(b3+d3)=α3×z・・・(30)
PD32=(a3+b3)−(c3+d3)=α2×y+β2×θy・・・(31)
PD41=(a4+c4)−(b4+d4)=α1×x・・・(32)
PD42=(a4+b4)−(c4+d4)=α2×y+β2×θy・・・(33)
PD12=PD22・・・(34)
PD32=PD42・・・(35)
PD11−PD21=α3×z−α2×y・・・(36)
PD12−PD31=α1×x−α3×z・・・(37)
PD31−PD41=α3×z−α1×x・・・(38)
これら式(26)〜式(38)を解くと以下の式(39)〜式(43)の関係が導き出される。
PD11=(a1+b1)-(c1+d1)=α3×z (26)
PD12=(a1+c1)-(b1+d1)=α1×x+β1×θx (27)
PD21=(a2+b2)-(c2+d2)=α2×y (28)
PD22=(a2+c2)-(b2+d2)=α1×x+β1×θx (29)
PD31=(a3+c3)-(b3+d3)=α3×z (30)
PD32=(a3+b3)-(c3+d3)=α2×y+β2×θy (31)
PD41=(a4+c4)-(b4+d4)=α1×x (32)
PD42=(a4+b4)-(c4+d4)=α2×y+β2×θy (33)
PD12=PD22...(34)
PD32=PD42...(35)
PD11-PD21=α3×z−α2×y (36)
PD12-PD31=α1×x−α3×z (37)
PD31-PD41=α3×z−α1×x (38)
By solving these equations (26) to (38), the relationships of the following equations (39) to (43) are derived.

x=α1×PD31・・・(39)
y=α2×PD21・・・(40)
z=α3×(PD11+PD31)/2・・・(41)
θx=(PD12−α1×PD31)/β1・・・(42)
θy=(PD32−α2×PD21)/β2・・・(43)
レンズ制御部36は、各光検出器132から出力された受光信号と、上述の式(26)〜(44)とに基づいて演算し、レンズ保持部140の各自由度の位置を検出する。レンズ制御部36は、実施の形態1(図13)と同様に取得した位置補正値に基づいて、全ての磁石ユニット170における第1コイル181及び第2コイル182の電流を制御する。これにより、レンズ保持部140Aが、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、X軸周りの回転方向、Y軸周りの回転方向の5自由度で移動する。
x=α1×PD31 (39)
y=α2×PD21...(40)
z=α3×(PD11+PD31)/2 (41)
θx=(PD12−α1×PD31)/β1...(42)
θy=(PD32−α2×PD21)/β2 (43)
The lens control unit 36 calculates based on the received light signal output from each photodetector 132 and the above equations (26) to (44), and detects the position of each degree of freedom of the lens holding unit 140. The lens control unit 36 controls the currents of the first coils 181 and the second coils 182 in all the magnet units 170 based on the position correction values acquired as in the first embodiment (FIG. 13). As a result, the lens holding unit 140A moves with five degrees of freedom in the X axis direction, the Y axis direction, the Z axis direction, the rotation direction around the X axis, and the rotation direction around the Y axis.

[3−2.効果等]
以上のように、本実施の形態によれば、実施の形態1及び2と同様の効果に加えて、以下の効果を奏する。すなわち、レンズ保持部140Bに保持されたレンズ42aが光透過部であるので、位置検出専用の光透過部を別途設けなくとも、レンズ保持部140Bの移動可能な各自由度の位置を検出することができる。したがって、部品点数の削減を図ることができる。
[3-2. Effect, etc.]
As described above, according to the present embodiment, the following effects are obtained in addition to the same effects as those of the first and second embodiments. That is, since the lens 42a held by the lens holding portion 140B is a light transmitting portion, the position of each movable degree of freedom of the lens holding portion 140B can be detected without separately providing a light transmitting portion dedicated to position detection. You can Therefore, the number of parts can be reduced.

さらに、1つの発光部131Bに対して2つの光検出器132Bが対応しているので、発光部131Bと光検出器132Bとを一つずつ対応付けした形態よりも発光部131Bの設置個数を減らすことができ、部品点数を削減することができる。 Further, since the two light detectors 132B correspond to one light emitting unit 131B, the number of light emitting units 131B to be installed is reduced as compared with the configuration in which the light emitting units 131B and the photodetectors 132B are associated one by one. Therefore, the number of parts can be reduced.

(実施の形態4)
[4−1.構成]
以下、図20と図21A〜図21Gを用いて、実施の形態4を説明する。
(Embodiment 4)
[4-1. Constitution]
Hereinafter, Embodiment 4 will be described with reference to FIGS. 20 and 21A to 21G.

図20は、実施の形態4に係る光学系駆動装置100Cの斜視図である。なお、実施の形態1と同様の構成については同じ符号を付し、同様の構成及び動作については説明を省略する場合がある。 FIG. 20 is a perspective view of the optical system driving device 100C according to the fourth embodiment. The same components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and description of the same components and operations may be omitted.

図20に示すように、光学系駆動装置100Cに係るレンズ保持部140Cには、第1片部141と第2片部142が設けられておらず、第3片部143と、軸部157を有する第4片部144のみが設けられている。軸部157のY軸方向の移動が規制部160によって規制されているために、実施の形態1と同じく、レンズ保持部140Cは、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、X軸周りの回転方向、Y軸周りの回転方向の5自由度で移動することができる。 As shown in FIG. 20, the lens holding portion 140C of the optical system driving device 100C is not provided with the first piece portion 141 and the second piece portion 142, and is provided with the third piece portion 143 and the shaft portion 157. Only the 4th piece part 144 which it has is provided. Since the movement of the shaft portion 157 in the Y-axis direction is regulated by the regulation portion 160, the lens holding portion 140C is arranged in the X-axis direction, the Y-axis direction, the Z-axis direction, and around the X-axis as in the first embodiment. It can move in five degrees of freedom in the rotation direction and the rotation direction around the Y axis.

第3片部143には、実質的な円盤状の集光レンズなどの光透過部150Cが取り付けられている。発光部131は、光透過部150CのZ軸方向正側で、光透過部150Cに向けて光を照射するように配置されている。また、光透過部150Cを介して発光部131に対向する位置には、光検出器132Cが設けられている。光検出器132Cは、例えばCCDなどの撮像素子である。撮像素子は、スポットPを撮像して画素毎に光を電圧に変換して受光信号として出力する。撮像素子は、4分割式のフォトディテクタよりも多数の受光面(画素)を備えているため、スポットPの形状、強度、分布をより高精細に検出することができる。 A light transmitting portion 150C such as a substantially disk-shaped condenser lens is attached to the third piece portion 143. The light emitting section 131 is arranged on the Z axis direction positive side of the light transmitting section 150C so as to emit light toward the light transmitting section 150C. Further, a photodetector 132C is provided at a position facing the light emitting unit 131 via the light transmitting unit 150C. The photodetector 132C is an image pickup device such as a CCD. The image pickup device picks up an image of the spot P, converts light into voltage for each pixel, and outputs it as a light reception signal. Since the image sensor has a larger number of light receiving surfaces (pixels) than the four-division photo detector, the shape, intensity, and distribution of the spot P can be detected with higher precision.

発光部131から照射されて光透過部150Cを透過した光のスポットPは、レンズ保持部140Cが移動するとその変化量、移動方向に応じて光検出器132Cの受光面で変化する。 The spot P of the light emitted from the light emitting unit 131 and transmitted through the light transmitting unit 150C changes on the light receiving surface of the photodetector 132C according to the amount of change and the moving direction when the lens holding unit 140C moves.

図21Aは、実施の形態4に係る光学系駆動装置100Cのレンズ保持部140Cが基準位置から移動していない場合、光透過部150Cを透過した光のスポットPが光検出器132Cの受光面でどのように変化したかを示す説明図である。なお、図21A〜図21Gにおいて左右方向がX軸方向であり、上下方向がY軸方向である。図21Bは、実施の形態4に係る光学系駆動装置100Cのレンズ保持部140CがX軸方向正側に移動した場合、光透過部150Cを透過した光のスポットPが光検出器132Cの受光面でどのように変化したかを示す説明図である。図21Cは、同レンズ保持部140CがY軸方向正側に移動した場合、光透過部150Cを透過した光のスポットPが光検出器132Cの受光面でどのように変化したかを示す説明図である。図21Dは、同レンズ保持部140CがZ軸方向正側に移動した場合、光透過部150Cを透過した光のスポットPが光検出器132Cの受光面でどのように変化したかを示す説明図である。図21Eは、同レンズ保持部140CがZ軸方向負側に移動した場合、光透過部150Cを透過した光のスポットPが光検出器132Cの受光面でどのように変化したかを示す説明図である。図21Fは、同レンズ保持部140CがX軸周りに回転した場合、光透過部150Cを透過した光のスポットPが光検出器132Cの受光面でどのように変化したかを示す説明図である。図21Gは、同レンズ保持部140CがY軸周りに回転した場合、光透過部150Cを透過した光のスポットPが光検出器132Cの受光面でどのように変化したかを示す説明図である。 In FIG. 21A, when the lens holding unit 140C of the optical system driving device 100C according to the fourth embodiment is not moved from the reference position, the spot P of the light transmitted through the light transmitting unit 150C is the light receiving surface of the photodetector 132C. It is explanatory drawing which shows how it changed. 21A to 21G, the horizontal direction is the X-axis direction, and the vertical direction is the Y-axis direction. FIG. 21B shows that, when the lens holding unit 140C of the optical system driving device 100C according to the fourth embodiment moves to the positive side in the X-axis direction, the spot P of the light transmitted through the light transmitting unit 150C is the light receiving surface of the photodetector 132C. It is explanatory drawing which shows how it changed. FIG. 21C is an explanatory diagram showing how the spot P of the light transmitted through the light transmitting portion 150C changes on the light receiving surface of the photodetector 132C when the lens holding portion 140C moves to the Y axis direction positive side. Is. FIG. 21D is an explanatory diagram showing how the spot P of the light transmitted through the light transmitting portion 150C changes on the light receiving surface of the photodetector 132C when the lens holding portion 140C moves to the Z axis direction positive side. Is. FIG. 21E is an explanatory diagram showing how the spot P of the light transmitted through the light transmitting unit 150C changes on the light receiving surface of the photodetector 132C when the lens holding unit 140C moves to the Z axis direction negative side. Is. FIG. 21F is an explanatory diagram showing how the spot P of the light transmitted through the light transmitting portion 150C changes on the light receiving surface of the photodetector 132C when the lens holding portion 140C rotates around the X axis. .. FIG. 21G is an explanatory diagram showing how the spot P of the light transmitted through the light transmitting portion 150C changes on the light receiving surface of the photodetector 132C when the lens holding portion 140C rotates around the Y axis. ..

図21Aでは、スポットPの中心が光検出器132Cの中心と一致している。図21Bでは、レンズ保持部140CがX軸方向に移動すると、その移動量に応じてスポットPもX軸方向に移動する。図21Cでは、レンズ保持部140CがY軸方向に移動すると、その移動量に応じてスポットPもY軸方向に移動する。図21Dでは、レンズ保持部140CがZ軸方向正側に移動すると、その移動量に応じてスポットPは大きくなり全体として光が弱まる。図21Eでは、レンズ保持部140CがZ軸方向負側に移動すると、その移動量に応じてスポットPは小さくなり全体として光が強まる。図21Fでは、レンズ保持部140CがX軸周りに回転すると、その回転量に応じてスポットPのY軸方向正側若しくは負側が発散する。図21Gでは、レンズ保持部140CがY軸周りに回転すると、その回転量に応じてスポットPのX軸方向正側若しくは負側が発散する。 In FIG. 21A, the center of the spot P coincides with the center of the photodetector 132C. In FIG. 21B, when the lens holding unit 140C moves in the X-axis direction, the spot P also moves in the X-axis direction according to the amount of movement. In FIG. 21C, when the lens holder 140C moves in the Y-axis direction, the spot P also moves in the Y-axis direction according to the amount of movement. In FIG. 21D, when the lens holding unit 140C moves to the Z axis direction positive side, the spot P increases according to the amount of movement, and the light weakens as a whole. In FIG. 21E, when the lens holding unit 140C moves to the negative side in the Z-axis direction, the spot P becomes smaller according to the amount of movement and the light becomes stronger as a whole. In FIG. 21F, when the lens holding unit 140C rotates about the X axis, the positive side or the negative side of the spot P in the Y axis direction diverges according to the rotation amount. In FIG. 21G, when the lens holding unit 140C rotates around the Y axis, the positive side or the negative side of the spot P in the X axis direction diverges according to the rotation amount.

これらの関係を複合的に解析することによって、光検出器132CでスポットPを撮像し、取得した多数画素の受光信号からレンズ保持部140Cの各自由度の位置を検出することができる。 By analyzing these relationships in a composite manner, the spot P can be imaged by the photodetector 132C, and the position of each degree of freedom of the lens holding unit 140C can be detected from the received light signals of many pixels.

[4−2.効果等]
以上のように、本実施の形態によれば、実施の形態1及び2と同様の効果に加えて、以下の効果を奏する。すなわち、光検出器132Cが撮像素子であるので、スポットPの形状、強度、分布をより高精細に検出することができる。よって、光検出器132Cが1つであってもレンズ保持部140Cの各自由度の位置を検出することができる。また、光検出器132Cが1つならば、発光部131も1つでよくなり、部品点数をより削減することができる。
[4-2. Effect, etc.]
As described above, according to the present embodiment, the following effects are obtained in addition to the same effects as those of the first and second embodiments. That is, since the photodetector 132C is an image sensor, the shape, intensity, and distribution of the spot P can be detected with higher precision. Therefore, even if there is only one photodetector 132C, the position of each degree of freedom of the lens holder 140C can be detected. Further, if the number of photodetectors 132C is one, the number of light emitting units 131 is also one, and the number of parts can be further reduced.

(他の実施の形態)
以上のように、本出願において開示する技術の例示として、実施の形態1〜4を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。また、上記実施の形態1〜4で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施の形態とすることも可能である。
(Other embodiments)
As described above, the first to fourth embodiments have been described as examples of the technique disclosed in the present application. However, the technique in the present disclosure is not limited to this, and can be applied to the embodiment in which changes, replacements, additions, omissions, etc. are appropriately made. Further, it is also possible to combine the constituent elements described in the first to fourth embodiments to form a new embodiment.

そこで、以下、他の実施の形態を例示する。 Therefore, other embodiments will be exemplified below.

実施の形態1〜4では、光学系駆動装置100がレンズを移動させる場合を例示して説明したが、その他の光学素子を移動させることに用いることも可能である。レンズ以外の光学素子としては鏡、導光板などが挙げられる。 In the first to fourth embodiments, the case where the optical system driving device 100 moves the lens has been described as an example, but it is also possible to use it for moving other optical elements. Examples of optical elements other than lenses include mirrors and light guide plates.

また、実施の形態1〜4では、光学装置としてデジタルカメラ1などの撮像装置を例示して説明したが、その他の光学装置であってもよい。その他の光学装置としては、プロジェクタなどの投影装置が挙げられる。 Further, in Embodiments 1 to 4, the image pickup apparatus such as the digital camera 1 is exemplified as the optical apparatus, but other optical apparatuses may be used. Other optical devices include a projection device such as a projector.

また、実施の形態1〜4では、駆動部として、磁石ユニット170、第1コイル181及び第2コイル182を備えた収差補正用駆動部120を例示して説明した。駆動部は、移動可能な自由度に対してレンズ保持部140(移動体)を移動させるものであればよい。例えば、モータを用いた多自由度アクチュエータを駆動部として用いてもよい。 In addition, in the first to fourth embodiments, the aberration correction drive unit 120 including the magnet unit 170, the first coil 181, and the second coil 182 is illustrated as the drive unit and described. The drive unit may be any unit that moves the lens holding unit 140 (moving body) with respect to the movable degree of freedom. For example, a multi-degree-of-freedom actuator using a motor may be used as the drive unit.

また、実施の形態1〜4では、移動体であるレンズ保持部140が5自由度或いは6自由度で移動可能な場合を例示した。しかし、レンズ保持部140は少なくとも3自由度で移動可能であればよい。 Further, in the first to fourth embodiments, the case where the lens holding unit 140, which is a moving body, can be moved with 5 degrees of freedom or 6 degrees of freedom is illustrated. However, the lens holding unit 140 only needs to be movable with at least three degrees of freedom.

実施の形態4では、光検出器の一例である撮像素子としてCCDを例示した。撮像素子は、光のスポットを撮像して各画素毎に光を電圧に変換して受光信号として出力するものであればよい。したがって、撮像素子は、CCDに限定されない。ただし、撮像素子としてCCDを用いれば、安価に撮像素子を入手可能である。また、CMOSイメージセンサを撮像素子として用いてもよい。撮像素子としてCMOSイメージセンサを用いれば、消費電力の抑制に有効である。 In the fourth embodiment, the CCD is exemplified as the image pickup element which is an example of the photodetector. The image sensor may be any device that images a spot of light, converts the light into a voltage for each pixel, and outputs the voltage as a light reception signal. Therefore, the image pickup device is not limited to the CCD. However, if a CCD is used as the image sensor, the image sensor can be obtained at low cost. Moreover, you may use a CMOS image sensor as an imaging element. The use of a CMOS image sensor as the image pickup element is effective in suppressing power consumption.

実施の形態1〜4では、演算部の一例としてレンズ制御部36を説明した。演算部は、光検出器132の受光信号から各自由度の位置を検出することができるものであれば、物理的にどのように構成してもよい。また、演算部として、プログラム可能なマイクロコンピュータを用いれば、プログラムの変更により処理内容を変更できるので、演算部の設計の自由度を高めることができる。また、演算部は、ハードロジックで実現してもよい。演算部をハードロジックで実現すれば、処理速度の向上に有効である。演算部は、1つの素子で構成してもよいし、物理的に複数の素子で構成してもよい。複数の素子で構成する場合、特許請求の範囲に記載の各制御を別の素子で実現してもよい。この場合、それらの複数の素子で一つの演算部を構成すると考えることができる。また、演算部と別の機能を有する部材とを1つの素子で構成してもよい。 In the first to fourth embodiments, the lens control unit 36 has been described as an example of the calculation unit. The arithmetic unit may have any physical configuration as long as it can detect the position of each degree of freedom from the light reception signal of the photodetector 132. Further, if a programmable microcomputer is used as the arithmetic unit, the processing content can be changed by changing the program, so that the degree of freedom in designing the arithmetic unit can be increased. Further, the arithmetic unit may be realized by hard logic. It is effective to improve the processing speed if the arithmetic unit is realized by hard logic. The arithmetic unit may be composed of one element or may be physically composed of a plurality of elements. When it is configured by a plurality of elements, each control described in the claims may be realized by another element. In this case, it can be considered that one of the plurality of elements constitutes one arithmetic unit. Further, the arithmetic unit and the member having a different function may be configured by one element.

以上のように、本開示における技術の例示として、実施の形態を説明した。そのために、添付図面及び詳細な説明を提供した。 As described above, the embodiments have been described as examples of the technology according to the present disclosure. To that end, the accompanying drawings and detailed description are provided.

したがって、添付図面及び詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のために必須な構成要素だけでなく、上記技術を例示するために、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須ではない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることをもって、直ちに、それらの必須ではない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。 Therefore, among the constituent elements described in the accompanying drawings and the detailed description, not only constituent elements essential for solving the problem but also constituent elements not essential for solving the problem in order to exemplify the above technology. Can also be included. Therefore, it should not be immediately recognized that the non-essential components are essential, because the non-essential components are described in the accompanying drawings and the detailed description.

また、上述の実施の形態は、本開示における技術を例示するためのものであるから、特許請求の範囲またはその均等の範囲において種々の変更、置き換え、付加、省略などを行うことができる。 Further, since the above-described embodiment is for exemplifying the technique in the present disclosure, various changes, replacements, additions, omissions, etc. can be made within the scope of the claims or the scope of equivalents thereof.

本開示は、少なくとも3自由度に移動自在な移動体を移動させるための光学系駆動装置及びそれを備える光学装置に適用可能である。具体的には、デジタルカメラ、ムービー、プロジェクタなどに、本開示は適用可能である。 The present disclosure can be applied to an optical system drive device for moving a movable body that is movable in at least three degrees of freedom and an optical device including the same. Specifically, the present disclosure is applicable to digital cameras, movies, projectors, and the like.

1 デジタルカメラ(光学装置)
2 カメラ本体
3 レンズ鏡筒
4 光学系
5 光軸
21 撮像素子
22 制御部
31 ズーム用駆動部
32 フォーカス用駆動部
33 ズームエンコーダ
34 フォーカスエンコーダ
36 レンズ制御部(演算部)
41 第1レンズ群
42 第2レンズ群
42a レンズ
42b レンズ
43 第3レンズ群
100 光学系駆動装置
100A 光学系駆動装置
100B 光学系駆動装置
100C 光学系駆動装置
110 支持機構
120 収差補正用駆動部
131 発光部
131B 発光部
132 光検出器
132B 光検出器
132C 光検出器
132a 第1光検出器
132b 第2光検出器
132c 第3光検出器
132d 第4光検出器
132Ba 第1光検出器
132Bb 第2光検出器
132Bc 第3光検出器
132Bd 第4光検出器
140 レンズ保持部(移動体)
140A レンズ保持部
140B レンズ保持部
140C レンズ保持部
141 第1片部
141A 第1片部
142 第2片部
142A 第2片部
143 第3片部
143A 第3片部
144 第4片部
144A 第4片部
145 枠体
146 枠体
147 枠体
148 枠体
150 光透過部
150a 第1光透過部
150b 第2光透過部
150c 第3光透過部
150d 第4光透過部
151 軸心
152 凸面
153 平面
160 規制部
161 基部
162 支持部
163 収容凹部
164 平面
165 平面
170 磁石ユニット
171 板状磁石
172 板状磁石
181 第1コイル
182 第2コイル
200 検出部
1 Digital camera (optical device)
2 camera body 3 lens barrel 4 optical system 5 optical axis 21 image sensor 22 control unit 31 zoom drive unit 32 focus drive unit 33 zoom encoder 34 focus encoder 36 lens control unit (arithmetic unit)
41 first lens group 42 second lens group 42a lens 42b lens 43 third lens group 100 optical system driving device 100A optical system driving device 100B optical system driving device 100C optical system driving device 110 support mechanism 120 aberration correction driving unit 131 light emission Part 131B Light emitting part 132 Photodetector 132B Photodetector 132C Photodetector 132a First photodetector 132b Second photodetector 132c Third photodetector 132d Fourth photodetector 132Ba First photodetector 132Bb Second light Detector 132Bc Third photodetector 132Bd Fourth photodetector 140 Lens holder (moving body)
140A lens holding part 140B lens holding part 140C lens holding part 141 first piece part 141A first piece part 142 second piece part 142A second piece part 143 third piece part 143A third piece part 144 fourth piece part 144A fourth One part 145 Frame body 146 Frame body 147 Frame body 148 Frame body 150 Light transmitting portion 150a First light transmitting portion 150b Second light transmitting portion 150c Third light transmitting portion 150d Fourth light transmitting portion 151 Shaft center 152 Convex surface 153 Flat surface 160 Restriction part 161 Base part 162 Support part 163 Housing recess 164 Flat surface 165 Flat surface 170 Magnet unit 171 Plate magnet 172 Plate magnet 181 First coil 182 Second coil 200 Detection part

Claims (12)

少なくとも3自由度に移動可能な移動体と、
前記移動体と一体的に設けられ、前記移動体とともに移動する光透過部と、
前記少なくとも3自由度それぞれに対して、前記移動体を移動させる駆動部と、
前記少なくとも3自由度それぞれの前記移動体の位置を検出する検出部と、を備え、
前記検出部は、
前記光透過部に向けて光を照射する発光部と、
前記発光部から照射され、前記光透過部を通った光を受光し、受光した光に基づく受光信号を出力する光検出器と、
を有し、
前記検出部は、前記光検出器において受光したスポットの位置、及び、前記光透過部が基準位置にある場合のスポットの形状に対するスポットの形状の変化に基づいて、前記少なくとも3自由度のそれぞれの前記移動体の位置を検出する
光学系駆動装置。
A moving body that can move in at least three degrees of freedom,
A light transmission part that is provided integrally with the moving body and moves together with the moving body;
A drive unit that moves the moving body for each of the at least three degrees of freedom;
A detection unit that detects the position of the moving body in each of the at least three degrees of freedom,
The detection unit,
A light emitting unit that emits light toward the light transmitting unit,
A photodetector that is irradiated from the light emitting unit, receives light that has passed through the light transmitting unit, and outputs a light reception signal based on the received light.
Have
The detection unit, based on the position of the spot received by the photodetector , and the change in the shape of the spot with respect to the shape of the spot when the light transmission unit is at the reference position, each of the at least three degrees of freedom. An optical system driving device for detecting the position of the moving body.
前記光透過部は、光を集光するシリンドリカルレンズである請求項1記載の光学系駆動装置。 The optical system driving device according to claim 1, wherein the light transmitting portion is a cylindrical lens that collects light. 前記検出部は、前記発光部及び前記光検出器を3組以上有する請求項1に記載の光学系駆動装置。 The optical system driving device according to claim 1, wherein the detection unit includes three or more sets of the light emitting unit and the photodetector. 前記光検出器は、撮像素子である請求項1に記載の光学系駆動装置。 The optical system driving device according to claim 1, wherein the photodetector is an image sensor. 前記移動体は光学素子を支持可能な構成を有し、
前記少なくとも3自由度は、
光軸である第1軸に沿って前記移動体が変位し得る度合いと、
前記第1軸に直交する平面内であって前記第1軸に直交する第2軸に沿って前記移動体が変位し得る度合いと、
前記平面内において前記第2軸と直交する第3軸に沿って前記移動体が変位し得る度合いとを含む、
請求項1に記載の光学系駆動装置。
The moving body has a structure capable of supporting an optical element,
The at least 3 degrees of freedom are
The degree to which the movable body can be displaced along the first axis that is the optical axis,
The degree to which the movable body can be displaced along a second axis orthogonal to the first axis in a plane orthogonal to the first axis;
The degree of displacement of the moving body along a third axis orthogonal to the second axis in the plane,
The optical system driving device according to claim 1.
前記移動体は、少なくとも5自由度に移動可能であり、
前記検出部は、前記光検出器において受光したスポットの位置、前記受光信号の大きさ、及び、前記光透過部が基準位置にある場合のスポットの形状に対するスポットの形状の変化に基づいて、前記少なくとも5自由度のそれぞれの前記移動体の位置を検出する、
請求項1に記載の光学系駆動装置。
The movable body is movable in at least 5 degrees of freedom,
The detection unit, based on the position of the spot received in the photodetector, the magnitude of the received light signal, and the change in the shape of the spot with respect to the shape of the spot when the light transmission unit is at the reference position, Detecting the position of each said moving body in at least 5 degrees of freedom,
The optical system driving device according to claim 1.
前記移動体は光学素子を支持可能な構成を有し、
前記少なくとも5自由度は、
光軸である第1軸に沿って前記移動体が変位し得る度合いと、
前記第1軸に直交する平面内であって前記第1軸に直交する第2軸に沿って前記移動体が変位し得る度合いと、
前記平面内において前記第2軸と直交する第3軸に沿って前記移動体が変位し得る度合いと、
前記第2軸周りに前記移動体が変位し得る度合いと、
前記第3軸周りに前記移動体が変位し得る度合いと、を含む、
請求項6に記載の光学系駆動装置。
The moving body has a structure capable of supporting an optical element,
The at least 5 degrees of freedom are
The degree to which the movable body can be displaced along the first axis that is the optical axis,
The degree to which the movable body can be displaced along a second axis orthogonal to the first axis in a plane orthogonal to the first axis;
The degree to which the movable body can be displaced along a third axis orthogonal to the second axis in the plane,
The degree to which the moving body can be displaced around the second axis,
And a degree to which the movable body can be displaced around the third axis,
The optical system driving device according to claim 6.
前記少なくとも3自由度は更に、前記第1軸周りに前記移動体が変位し得る度合いを含む、
請求項7に記載の光学系駆動装置。
The at least three degrees of freedom further includes a degree to which the moving body can be displaced around the first axis,
The optical system driving device according to claim 7.
請求項1に記載の光学系駆動装置と、
一以上の光学素子を含む光学系と、を備え、
前記一以上の光学素子のうち少なくとも一つは前記移動体に保持されているレンズ鏡筒。
An optical system driving device according to claim 1;
An optical system including one or more optical elements,
At least one of the one or more optical elements is a lens barrel held by the moving body.
請求項1に記載の光学系駆動装置と、
一以上の光学素子を含む光学系と、を備え、
前記一以上の光学素子のうち少なくとも一つは前記移動体に保持され、
前記光透過部は、前記移動体に保持された光学素子であるレンズ鏡筒。
An optical system driving device according to claim 1;
An optical system including one or more optical elements,
At least one of the one or more optical elements is held by the moving body,
The light transmission part is a lens barrel which is an optical element held by the moving body.
請求項9に記載のレンズ鏡筒と、
前記レンズ鏡筒の光学系を介して像を取得又は投影する本体部と、
を備える光学装置。
A lens barrel according to claim 9;
A main body for acquiring or projecting an image through the optical system of the lens barrel,
An optical device comprising.
請求項10に記載のレンズ鏡筒と、
前記レンズ鏡筒の光学系を介して像を取得又は投影する本体部と、
を備える光学装置。
A lens barrel according to claim 10;
A main body for acquiring or projecting an image through the optical system of the lens barrel,
An optical device comprising.
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