JP6658517B2 - Optical characteristic measuring device and optical characteristic measuring method - Google Patents

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Description

本発明は、例えば輝度、色彩および光沢等の所定の光学特性を測定する光学特性測定装置および光学特性測定方法に関し、特に、測定角を可変できる光学特性測定装置および光学特性測定方法に関する。   The present invention relates to an optical characteristic measuring device and an optical characteristic measuring method for measuring predetermined optical characteristics such as luminance, color and gloss, and more particularly to an optical characteristic measuring device and an optical characteristic measuring method capable of changing a measurement angle.

近年、例えば、塗装、成形、印刷、繊維および農業等の各種産業分野において、製品の輝度、色彩および光沢等の所定の光学特性の管理が重要視されつつある。この前記所定の光学特性を測定する装置として例えば輝度計、分光測色計、色彩計(色彩色差計)および光沢計等の光学特性測定装置が知られており、その1つに、例えば、特許文献1に開示された二次元測色計がある。   In recent years, for example, in various industrial fields such as painting, molding, printing, textile, and agriculture, management of predetermined optical characteristics such as luminance, color, and gloss of a product has been emphasized. As devices for measuring the predetermined optical characteristics, for example, optical characteristic measuring devices such as a luminance meter, a spectral colorimeter, a colorimeter (color difference meter), and a gloss meter are known, and one of them is, for example, a patent. There is a two-dimensional colorimeter disclosed in Document 1.

この特許文献1に開示された二次元測色計は、試料からの光を第1の光路と第2の光路に分光するビームスプリッタと、上記第1の光路に導かれた光が通過する位置に配設され、分光透過率が所定の3次元表色系の等色関数に近似する第1、第2、第3の光学フィルタと、この第1、第2、第3の光学フィルタを通過した光をそれぞれ上記試料面の複数の測定点について受光する2次元受光検出手段と、上記測定点の中の特定点から上記第2の光路に導かれた光について分光分布を検出する分光検出手段と、検出された上記分光分布に基づいて上記3次元表色系の三刺激値を算出する三刺激値演算手段と、算出された上記三刺激値と上記特定点における上記2次元受光検出手段の検出結果との関係を用いて上記特定点以外の上記測定点について上記2次元受光検出手段の検出結果から上記三刺激値を算出する演算手段とを備えている。このような二次元測色計は、上記演算手段によって、上記三刺激値と上記特定点における上記2次元受光検出手段の検出結果との関係を用いて上記特定点以外の上記測定点について上記2次元受光検出手段の検出結果から三刺激値を算出するので、相対的に精度の低い2次元受光検出手段の検出結果を相対的に精度の高い三刺激値で補正できるから、上記特定点以外の上記測定点について簡素な構成で精度良く測定できる。   The two-dimensional colorimeter disclosed in Patent Document 1 includes a beam splitter that splits light from a sample into a first optical path and a second optical path, and a position through which the light guided to the first optical path passes. And first, second, and third optical filters whose spectral transmittances approximate color matching functions of a predetermined three-dimensional color system, and passing through the first, second, and third optical filters. Two-dimensional light receiving detecting means for receiving the measured light at a plurality of measuring points on the sample surface, and spectral detecting means for detecting a spectral distribution of light guided to the second optical path from a specific point among the measuring points And a tristimulus value calculating means for calculating the tristimulus values of the three-dimensional color system based on the detected spectral distribution; and the calculated tristimulus values and the two-dimensional light reception detection means at the specific point. Using the relationship with the detection results, And a calculating means for calculating the tristimulus values from the detection results of the two-dimensional light receiving detection means. In such a two-dimensional colorimeter, the calculating means uses the relation between the tristimulus value and the detection result of the two-dimensional light reception detecting means at the specific point to calculate the two-dimensional colorimeter for the measurement points other than the specific point. Since the tristimulus value is calculated from the detection result of the two-dimensional light reception detection means, the detection result of the two-dimensional light reception detection means having relatively low accuracy can be corrected with the tristimulus value having relatively high accuracy. The above measurement points can be accurately measured with a simple configuration.

ところで、前記特許文献1に開示された二次元測色計のように、光学特性を測定する互いの精度の異なる2個の第1および第2分光測定部を備える場合に、例えば、測定目的や装置の用途等に応じて、第1分光測定部の測定角と第2分光測定部の測定角との比率を変更したい、との要望がある。   By the way, as in the two-dimensional colorimeter disclosed in Patent Literature 1, when two first and second spectrometers having different precisions for measuring optical characteristics are provided, for example, the measurement purpose and There is a demand to change the ratio between the measurement angle of the first spectrometer and the measurement angle of the second spectrometer according to the use of the apparatus.

例えば、液晶ディスプレイの輝度分布の測定では、液晶ディスプレイの画面中央部が第1分光測定部によって測定角1°でスポット測定(spot測定)されるとともに、液晶ディスプレイの画面全体が第2分光測定部によって測定角10°で2次元測定される。一方、自動車のインパネ(インスツルメント パネル(instrument panel)、ダッシュボード)における表示キャラクターの輝度分布の測定では、表示キャラクターの中央部が第1分光測定部によって測定角1°でスポット測定(spot測定)されるとともに、インパネ全体が第2分光測定部によって測定角20°で2次元測定される。このような液晶ディスプレイの輝度分布の測定とインパネにおける表示キャラクターの輝度分布の測定とを1台の光学特性測定装置によって実現しようとすると、第1分光測定部の測定角と第2分光測定部の測定角との比率を変更する必要がある。しかしながら、従来では、例えば、前記特許文献1に開示された二次元測色計のように、前記比率は、固定であり、そのままでは、前記両測定を1台の光学特性測定装置によって実現できない。   For example, in the measurement of the brightness distribution of the liquid crystal display, the center of the screen of the liquid crystal display is spot-measured (spot measurement) at a measurement angle of 1 ° by the first spectrometer, and the entire screen of the liquid crystal display is measured by the second spectrometer. Is two-dimensionally measured at a measurement angle of 10 °. On the other hand, in the measurement of the brightness distribution of a display character on an instrument panel (instrument panel, dashboard) of a car, the center of the display character is spot-measured by a first spectroscopic measurement unit at a measurement angle of 1 ° (spot measurement). ), And the entire instrument panel is two-dimensionally measured by the second spectrometer at a measurement angle of 20 °. In order to realize the measurement of the luminance distribution of the liquid crystal display and the measurement of the luminance distribution of the display character on the instrument panel by using one optical characteristic measuring device, the measurement angle of the first spectrometer and the measurement angle of the second spectrometer are measured. It is necessary to change the ratio with the measurement angle. However, conventionally, for example, as in the two-dimensional colorimeter disclosed in Patent Document 1, the ratio is fixed, and the two measurements cannot be realized by one optical property measuring device as it is.

特開平6−201472号公報JP-A-6-201472

本発明は、上述の事情に鑑みて為された発明であり、その目的は、測定角を可変できる光学特性測定装置および光学特性測定方法を提供することである。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an optical characteristic measuring device and an optical characteristic measuring method capable of changing a measurement angle.

本発明にかかる光学特性測定装置および光学特性測定方法は、互いに異なる精度で第1および第2分光測定部によって被測定光を分光して測定し、それらの第1および第2測定結果に基づいて前記被測定光の所定の光学特性を求めるものであり、前記第1および第2分光測定部における第1および第2測定角のうちの少なくとも一方は、測定角可変光学系によって可変できるものである。したがって、このような光学特性測定装置および光学特性測定方法は、測定角を可変できる。   An optical characteristic measuring apparatus and an optical characteristic measuring method according to the present invention spectrally measure light to be measured by first and second spectrometers with different precisions from each other, and based on the first and second measurement results. A predetermined optical characteristic of the measured light is obtained, and at least one of the first and second measurement angles in the first and second spectrometers can be changed by a measurement angle variable optical system. . Therefore, such an optical characteristic measuring apparatus and optical characteristic measuring method can change the measurement angle.

上記並びにその他の本発明の目的、特徴及び利点は、以下の詳細な記載と添付図面から明らかになるであろう。   The above and other objects, features and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description and the accompanying drawings.

実施形態における光学特性測定装置の構成を示す図である。It is a figure showing composition of an optical characteristic measuring device in an embodiment. 一代表例として、アルミニウム製ミラーの入射角に対する偏光依存性を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating, as a typical example, the polarization dependence of an incident angle of an aluminum mirror. 前記光学特性測定装置における第2分光測定部の構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of a second spectrometer in the optical characteristic measuring device. 前記第2分光測定部における光学フィルタの分光応答度を説明するための図である。FIG. 9 is a diagram for explaining the spectral responsivity of an optical filter in the second spectrometer. 前記光学特性測定装置における測定角可変光学系の動作を説明するための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining an operation of a measurement angle variable optical system in the optical characteristic measuring device. 前記光学特性測定装置による輝度分布測定を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining luminance distribution measurement by the optical characteristic measuring device. 前記光学特性測定装置における変形形態の構成を示す図である。It is a figure showing composition of a modification in the optical property measuring device. 第1分光測定部の第1測定角で測定される第1領域と第2分光測定部の2次元センサとの関係を説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining a relationship between a first area measured at a first measurement angle of a first spectrometer and a two-dimensional sensor of a second spectrometer.

以下、本発明にかかる実施の一形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、適宜、その説明を省略する。本明細書において、総称する場合には添え字を省略した参照符号で示し、個別の構成を指す場合には添え字を付した参照符号で示す。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In each of the drawings, components denoted by the same reference numerals indicate the same components, and the description thereof will be omitted as appropriate. In this specification, a generic name is denoted by a reference numeral with a suffix omitted, and an individual configuration is denoted by a reference numeral with a suffix.

図1は、実施形態における光学特性測定装置の構成を示す図である。図2は、一代表例として、アルミニウム製ミラーの入射角に対する偏光依存性を示す図である。図2の横軸は、入射角であり、その縦軸は、反射率である。Rpは、P偏光の反射特性であり、Rsは、S偏光の反射特性であり、Rは、RpとRsとの平均反射特性である。図3は、前記光学特性測定装置における第2分光測定部の構成を示す図である。図3Aは、第1態様の第2分光測定部を示し、図3Bは、第2態様の第2分光測定部を示し、そして、図3Cは、第3態様の第2分光測定部を示す。図4は、前記第2分光測定部における光学フィルタの分光応答度を説明するための図である。図4Aは、CIE等色関数の場合を示し、図4BおよびCそれぞれは、その他の場合を示す。図4AないしCの各横軸は、nm単位で示す波長であり、図4AないしCの各縦軸は、応答度を示す。応答度は、或る入力に対してどれだけ出力があるかを示す。   FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of an optical characteristic measuring device according to an embodiment. FIG. 2 is a diagram showing, as a representative example, the polarization dependence of an aluminum mirror on the incident angle. The horizontal axis in FIG. 2 is the incident angle, and the vertical axis is the reflectance. Rp is a reflection characteristic of P-polarized light, Rs is a reflection characteristic of S-polarized light, and R is an average reflection characteristic of Rp and Rs. FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of a second spectroscopic measurement unit in the optical property measurement device. FIG. 3A shows a second spectrometer of the first embodiment, FIG. 3B shows a second spectrometer of the second embodiment, and FIG. 3C shows a second spectrometer of the third embodiment. FIG. 4 is a diagram for explaining the spectral responsivity of the optical filter in the second spectrometer. FIG. 4A shows a case of the CIE color matching function, and FIGS. 4B and 4C show other cases. Each horizontal axis in FIGS. 4A to 4C is a wavelength expressed in nm, and each vertical axis in FIGS. 4A to 4C indicates responsivity. The responsivity indicates how much output there is for a certain input.

本実施形態における光学特性測定装置Dは、例えば輝度、色彩および光沢等の所定の光学特性を測定する、例えば輝度計、分光測色計、色彩計(色彩色差計)および光沢計等の装置である。一例として、本実施形態では、光学特性測定装置Dが、所定の光学特性として、被測定光の色彩を測定する測色計である場合について以下に説明するが、もちろん、光学特性測定装置Dは、上記の通り、所定の光学特性として、例えば輝度を測定する輝度計であってよく、また例えば光沢を測定する光沢計であってよい。   The optical characteristic measuring device D in the present embodiment is, for example, a device that measures predetermined optical characteristics such as luminance, color, and gloss, such as a luminance meter, a spectrocolorimeter, a colorimeter (color difference meter), and a gloss meter. is there. As an example, in the present embodiment, a case will be described below in which the optical property measurement device D is a colorimeter that measures the color of light to be measured as predetermined optical characteristics. As described above, the predetermined optical characteristic may be, for example, a luminance meter for measuring luminance, or may be, for example, a gloss meter for measuring gloss.

この一例の測色計としての光学特性測定装置Dは、例えば、図1に示すように、第1分光測定部1と、第2分光測定部2と、測定角可変光学系3と、制御処理部4と、分岐ミラー5とを備え、本実施形態では、さらに、受光光学系6と、開口絞り7と、入出力部8と、記憶部9とを備えている。   An optical characteristic measuring device D as a colorimeter of this example includes, for example, as shown in FIG. 1, a first spectrometer 1, a second spectrometer 2, a measurement angle variable optical system 3, a control process This embodiment includes a unit 4 and a branching mirror 5, and in the present embodiment, further includes a light receiving optical system 6, an aperture stop 7, an input / output unit 8, and a storage unit 9.

受光光学系6は、測定域SPから放射された測定対象の被測定光を受け、開口絞り7および分岐ミラー5を介して所定の位置P1に測定対象の像(第1の像)IM1を作って前記受けた被測定光を収束する例えば対物レンズ等の光学系である。受光光学系6は、1または複数の光学レンズ等の光学素子を備えて構成される。図1に示す例では、受光光学系6は、全体として正の屈折力(光学的パワー、焦点距離の逆数)を有し、両凸の正レンズと像側に凸のメニスカスレンズとの接合レンズを備えて構成されている。被測定光は、測定域SPに測定対象の光源が配置され、前記光源から放射された光(光源自体の光)であってよく、また、測定域SPに測定対象の物体が配置され、所定の光源から放射された光が前記物体で反射された反射光であってもよい。   The light receiving optical system 6 receives the measurement target light emitted from the measurement area SP, and forms an image (first image) IM1 of the measurement target at a predetermined position P1 via the aperture stop 7 and the branching mirror 5. And an optical system such as an objective lens for converging the received light to be measured. The light receiving optical system 6 includes one or a plurality of optical elements such as an optical lens. In the example shown in FIG. 1, the light receiving optical system 6 has a positive refractive power (optical power, the reciprocal of the focal length) as a whole, and is a cemented lens of a biconvex positive lens and a meniscus lens convex on the image side. It is provided with. The light to be measured may be a light source to be measured arranged in the measurement area SP and light emitted from the light source (light of the light source itself). The light emitted from the light source may be reflected light reflected by the object.

開口絞り7は、当該開口絞り7を通過する光束のサイズ(光束サイズ、例えば光束径等)を規定する部材である。開口絞り7は、例えば、貫通孔を有し、被測定光の波長範囲に対し遮光性を有する材料によって形成された板状部材である。前記貫通孔のサイズは、当該開口絞り7を通過する前記光束のサイズに応じて設定される。開口絞り7は、分岐ミラー側に寄った所定の位置に配置される。   The aperture stop 7 is a member that defines the size of a light beam that passes through the aperture stop 7 (a light beam size, for example, a light beam diameter). The aperture stop 7 is, for example, a plate-shaped member having a through hole and formed of a material having a light-shielding property with respect to a wavelength range of light to be measured. The size of the through hole is set according to the size of the light beam passing through the aperture stop 7. The aperture stop 7 is arranged at a predetermined position close to the branch mirror side.

分岐ミラー5は、前記被測定光の光束中に配置され、前記被測定光の光束のうちの一部の光束の光路を曲げて第1分光測定部1へ導光するとともに、前記被測定光の光束のうちの残余の光束を第2分光測定部2へ導光する反射鏡である。分岐ミラー5は、図1に示す例では、当該分岐ミラー5が配置された位置(配置位置)での前記被測定光の光束サイズよりも小さいサイズである反射鏡である。このような分岐ミラー5は、前記被測定光の光束内に配置可能であり、前記被測定光の光束における断面積(光軸を法線とする平面での面積)の一部分の光束を反射して折り曲げて第1分光測定部1へ導光でき、前記断面積の残余部分の光束をそのまま第2分光測定部2へ導光できる。前記断面積の一部分の光束は、図1に示す例では、測定域SPから角度α2で拡散して行く光束であり、前記断面積の残余部分の光束は、測定域SPから角度α1で拡散して行く光束から前記角度α2の光束を除いた光束である(α1>α2)。   The splitting mirror 5 is disposed in the light beam of the light to be measured, and bends the optical path of a part of the light beam of the light to be measured to guide the light to the first spectroscopic measurement unit 1, and Is a reflecting mirror that guides the remaining luminous flux of the luminous flux to the second spectroscopic measurement unit 2. In the example shown in FIG. 1, the branching mirror 5 is a reflecting mirror having a size smaller than the light beam size of the measured light at the position (arrangement position) where the branching mirror 5 is arranged. Such a branching mirror 5 can be arranged in the light beam of the measured light, and reflects a part of the light beam of the measured light beam in a cross-sectional area (area on a plane with the optical axis as a normal). The light can be guided to the first spectroscopic measurement unit 1 and the luminous flux of the remaining portion of the cross-sectional area can be guided to the second spectroscopic measurement unit 2 as it is. In the example shown in FIG. 1, the luminous flux of a part of the cross-sectional area is a luminous flux that diffuses from the measurement area SP at an angle α2, and the luminous flux of the remaining part of the cross-sectional area diffuses at an angle α1 from the measurement area SP. It is a light beam obtained by removing the light beam at the angle α2 from the incoming light beam (α1> α2).

なお、分岐ミラー5は、例えば、貫通孔を有する反射鏡(ドーナツ型ミラー)であってもよい。このような分岐ミラー5は、前記被測定光の光束内にその貫通孔が位置するように配置されることによって、前記被測定光の光束のうちの前記貫通孔を通過した光束を第2分光測定部2へ導光でき、前記被測定光の光束のうちの残余の光束を、当該分岐ミラー5における前記貫通孔以外のミラー部分で反射して折り曲げて第1分光測定部1へ導光できる。   Note that the branch mirror 5 may be, for example, a reflecting mirror (a donut-shaped mirror) having a through hole. Such a split mirror 5 is arranged such that the through-hole is located within the light beam of the measured light, so that the light beam that has passed through the through-hole among the light beams of the measured light is subjected to the second spectral analysis. The light can be guided to the measurement unit 2, and the remaining light beam of the light beam to be measured can be reflected by a mirror portion other than the through-hole in the branch mirror 5 and bent to be guided to the first spectral measurement unit 1. .

また例えば、分岐ミラー5は、いわゆるハーフミラー(半透鏡)であってもよい。   Further, for example, the branch mirror 5 may be a so-called half mirror (semi-transparent mirror).

ここで、ハーフミラーは、一般に、比較的大きな偏光依存性を有するため、分岐ミラー5は、これら上述の相対的に小サイズの反射鏡や貫通孔を有する反射鏡であることが好ましい。特に、偏光依存性が小さい観点から、分岐ミラー5は、例えばアルミニウムや銀(それら合金を含む)等の金属材料で反射膜を形成した金属反射ミラーであることが好ましい。例えば、クロム(Cr)で反射膜を形成したハーフミラーは、その偏光依存性が約1.5倍であるが、アルミニウム(Al)で反射膜を形成した反射鏡は、その偏光依存性が約1.05倍である。なお、偏光依存性とは、P偏光の反射率とS偏光の反射率との比である。   Here, since the half mirror generally has a relatively large polarization dependency, it is preferable that the branch mirror 5 is a reflector having the above-mentioned relatively small size or a reflector having a through hole. In particular, from the viewpoint of low polarization dependence, the branch mirror 5 is preferably a metal reflection mirror having a reflection film formed of a metal material such as aluminum or silver (including their alloys). For example, a half mirror having a reflection film formed of chromium (Cr) has a polarization dependence of about 1.5 times, whereas a reflection mirror having a reflection film formed of aluminum (Al) has a polarization dependence of about 1.5 times. It is 1.05 times. The polarization dependence is a ratio between the reflectance of P-polarized light and the reflectance of S-polarized light.

また、分岐ミラー5がこれら上述の相対的に小サイズの反射鏡や貫通孔を有する反射鏡である場合では、分岐ミラー5は、光軸AXを法線とする基準面に対し45度未満の角度で配置されていることが好ましい。通常、ミラーの偏光依存性は、入射角に依存し、入射角が小さいほど小さい。特に、45度以上では、偏光依存性が大きくなる。図2には、一代表例として、アルミニウム製ミラーの場合における入射角に対する偏光依存性が示されている。このため、このように分岐ミラー5を前記基準面に対し45度未満の角度で配置することで、分岐ミラー5に対する被測定光の入射角は、45度未満となる。したがって、このような光学特性測定装置Dは、偏光依存性をより小さくできる。   When the branch mirror 5 is a reflective mirror having the above-described relatively small size or a reflective mirror having a through hole, the branch mirror 5 has an angle of less than 45 degrees with respect to a reference plane whose normal is the optical axis AX. Preferably, they are arranged at an angle. Usually, the polarization dependence of a mirror depends on the angle of incidence, and the smaller the angle of incidence, the smaller the polarization dependence. In particular, when the angle is 45 degrees or more, the polarization dependence increases. FIG. 2 shows, as a typical example, the polarization dependence of the incident angle in the case of an aluminum mirror. Therefore, by arranging the split mirror 5 at an angle of less than 45 degrees with respect to the reference plane, the incident angle of the light to be measured with respect to the split mirror 5 becomes less than 45 degrees. Therefore, such an optical characteristic measuring device D can further reduce the polarization dependence.

測定角可変光学系3は、前記所定の位置P1で受光光学系6によって第1の像IM1を作った被測定光が入射され、所定の位置P2に測定対象の像(第2の像)IM2を作って再収束するリレー光学系であり、本実施形態では、第2分光測定部2の第2測定角を可変するものである。このような測定角可変光学系3は、例えば、複数のレンズ群を備え、前記複数のレンズ群のうちの1または複数を光軸AX方向に沿って移動することによって、焦点距離(リレー倍率)を可変できる変倍光学系(リレー変倍光学系)である。このような測定角可変光学系3は、焦点距離を変えることで画角が変化し、第2測定角を可変できる。   The measurement angle variable optical system 3 receives the light to be measured, which has formed the first image IM1 by the light receiving optical system 6 at the predetermined position P1, and the measurement target image (second image) IM2 at the predetermined position P2. Is a relay optical system that reconverges and makes the second measurement angle of the second spectrometer 2 variable in the present embodiment. Such a measurement angle variable optical system 3 includes, for example, a plurality of lens groups, and moves one or more of the plurality of lens groups along the optical axis AX direction to thereby provide a focal length (relay magnification). Is a variable magnification optical system (relay variable magnification optical system). Such a measurement angle variable optical system 3 can change the angle of view by changing the focal length, and can change the second measurement angle.

一例では、測定角可変光学系3は、物体側から像側へ順に、全体として負の屈折力を有する負の第1レンズ群31と、全体として正の屈折力を有する正の第2レンズ群32とを備える。第1レンズ群31は、1または複数の光学レンズを備えて構成され、主にバリエーター(変倍系)として機能する。第2レンズ群32は、1または複数の光学レンズを備えて構成され、主にコンペンセーター(補正系)として機能する。これら第1および第2レンズ群31、32は、本実施形態では、変倍時に光軸方向に沿って移動し、これによって測定角可変光学系3は、焦点距離を可変する。   In one example, the measurement angle variable optical system 3 includes, in order from the object side to the image side, a first negative lens group 31 having a negative refractive power as a whole and a second positive lens group having a positive refractive power as a whole. 32. The first lens group 31 includes one or a plurality of optical lenses, and mainly functions as a variator (magnification system). The second lens group 32 includes one or a plurality of optical lenses, and mainly functions as a compensator (correction system). In the present embodiment, the first and second lens groups 31 and 32 move along the optical axis at the time of zooming, whereby the measurement angle variable optical system 3 changes the focal length.

このように本実施形態では、焦点距離を可変するリレー変倍光学系によって比較的簡単に測定角可変光学系3が実現されている。   As described above, in the present embodiment, the measurement angle variable optical system 3 is relatively easily realized by the relay variable power optical system that varies the focal length.

第1および第2分光測定部1、2は、それぞれ、制御処理部4に接続され、制御処理部4の制御に従って被測定光を分光して測定する装置である。分岐ミラー5によって反射されて光路を折り曲げられた、前記被測定光の全光束のうちの前記一部分の光束(角度α2の光束)が第1分光測定部1へ導光され、第1分光測定部1は、この前記一部分の光束を第1精度で分光して測定し、その測定結果(第1測定結果)を制御処理部4へ出力する。前記分岐ミラー5によって反射されて光路を折り曲げられなかった、前記被測定光の全光束のうちの前記残余の光束(角度α1の光束から角度α2の光束を除いた光束)が第2分光測定部2へ導光され、第2分光測定部1は、この前記残余の光束を第2精度で分光して測定し、その測定結果(第2測定結果)を制御処理部4へ出力する。これら第1および第2分光測定部1、2は、その精度が互いに異なる。本実施形態では、第1分光測定部1の第1精度は、第2分光測定部2の第2精度よりも高い。すなわち、第1分光測定部1は、第2分光測定部2よりも高精度である。   The first and second spectrometers 1 and 2 are devices that are connected to the control processor 4 and spectrally measure the light to be measured under the control of the control processor 4. The partial light beam (light beam at an angle α2) of the total light beam of the measured light, which is reflected by the splitting mirror 5 and whose optical path is bent, is guided to the first spectroscopic measurement unit 1, and is transmitted to the first spectroscopic measurement unit. 1 spectroscopically measures the light flux of the part with the first accuracy, and outputs the measurement result (first measurement result) to the control processing unit 4. The remaining light flux (light flux obtained by removing the light flux at the angle α2 from the light flux at the angle α1) of the total light flux of the light to be measured, which is reflected by the splitting mirror 5 and whose optical path has not been bent, is a second spectral measurement unit. 2, the second spectroscopic measurement unit 1 spectroscopically measures the remaining light flux with the second accuracy, and outputs the measurement result (second measurement result) to the control processing unit 4. The first and second spectrometers 1 and 2 have different accuracies. In the present embodiment, the first accuracy of the first spectrometer 1 is higher than the second accuracy of the second spectrometer 2. That is, the first spectrometer 1 has higher accuracy than the second spectrometer 2.

より具体的には、第1分光測定部1は、前記被測定光を1点として測定して1個の第1測定結果を出力するスポット測定(spot測定、1点測定)を行う装置であり、相対的に狭い測定域SP(例えば第1測定角が約0.1°〜約3°の範囲)から放射される被測定光を測定する。すなわち、第1分光測定部1は、被測定光の放射位置に関わらず被測定光を1つとして扱って測定する。このような第1分光測定部1は、例えば回折格子等の分光光学素子で被測定光を所定の波長間隔で分光して測定する分光型測光計である。この分光型の第1分光測定部1は、例えば、レンズ系12と、反射型回折格子13と、ラインセンサ14と、これらレンズ系12、反射型回折格子13およびラインセンサ14を収容する筐体10とを備える。筐体10は、ラインセンサ14の受光可能な波長範囲に対し遮光性を有する材料によって形成された箱体であり、その一側面には、分岐ミラー5で反射されて光路を折り曲げられた被測定光の前記一部分を当該筐体10内に導光する例えばスリット形状等の入射開口11が形成されている。第1分光測定部1は、この入射開口11が前記受光光学系6によって測定対象の像(第1の像)IM1を作って前記被測定光を収束する位置P3(前記位置P1に相当する位置)に位置するように、配置される。入射開口11から入射された前記被測定光は、レンズ系12に入射し、このレンズ系12によって平行化(コリメート)されて反射型回折格子13に入射し、反射型回折格子13によって回折されて反射される。この反射光は、再び、レンズ系12に入射し、このレンズ系12によってラインセンサ14の受光面上に光像の波長分散像として結像される。ラインセンサ14は、一方向に沿って配列された複数の光電変換素子を備えて構成される。前記光電変換素子は、例えば、シリコンホトダイオード(SPD)等である。ラインセンサ14は、前記受光面上に形成された光像の波長分散像を前記複数の光電変換素子それぞれによって光電変換することによって、各波長ごとの強度レベルを表す電気信号を生成する。そして、ラインセンサ14は、この電気信号(第1測定結果)を制御処理部4へ出力する。   More specifically, the first spectrometer 1 is a device that performs spot measurement (spot measurement, one-point measurement) that measures the light to be measured as one point and outputs one first measurement result. The light to be measured emitted from a relatively narrow measurement area SP (for example, the first measurement angle is in a range of about 0.1 ° to about 3 °) is measured. That is, the first spectroscopic measurement unit 1 performs measurement by treating the measured light as one regardless of the radiation position of the measured light. Such a first spectroscopic measurement unit 1 is a spectrophotometer that spectroscopically measures light to be measured at predetermined wavelength intervals using a spectroscopic optical element such as a diffraction grating. The first spectral measuring unit 1 of the spectral type includes, for example, a lens system 12, a reflective diffraction grating 13, a line sensor 14, and a housing for accommodating the lens system 12, the reflective diffraction grating 13, and the line sensor 14. 10 is provided. The housing 10 is a box formed of a material having a light-shielding property with respect to a wavelength range in which the line sensor 14 can receive light. On one side surface, the measured light reflected by the branch mirror 5 and having an optical path bent is formed. An entrance opening 11 having, for example, a slit shape for guiding the part of the light into the housing 10 is formed. The first spectroscopic measurement unit 1 is configured to provide a position P3 (a position corresponding to the position P1) where the entrance aperture 11 forms an image (first image) IM1 of the measurement target by the light receiving optical system 6 and converges the measured light. ). The light to be measured entering from the entrance aperture 11 enters the lens system 12, is collimated (collimated) by the lens system 12, enters the reflection type diffraction grating 13, and is diffracted by the reflection type diffraction grating 13. Is reflected. The reflected light again enters the lens system 12, and is formed as a wavelength dispersion image of the optical image on the light receiving surface of the line sensor 14 by the lens system 12. The line sensor 14 includes a plurality of photoelectric conversion elements arranged along one direction. The photoelectric conversion element is, for example, a silicon photodiode (SPD) or the like. The line sensor 14 generates an electric signal representing an intensity level for each wavelength by photoelectrically converting the wavelength dispersion image of the light image formed on the light receiving surface by each of the plurality of photoelectric conversion elements. Then, the line sensor 14 outputs the electric signal (first measurement result) to the control processing unit 4.

第2分光測定部2は、前記被測定光を面として2次元で測定して2次元分布の第2測定結果を出力する2次元測定を行う装置であり、相対的に広い測定域SP(例えば第2測定角が約10°〜約30°の範囲)から放射される被測定光を測定する。すなわち、第2分光測定部2は、被測定光の放射位置ごとに被測定光を測定して光学特性の分布を測定する。このような第2分光測定部2は、例えば光学フィルタ等で被測定光を所定の波長範囲に分光して測定する三刺激値型測光計である。このような三刺激値型の第2分光測定部2は、例えば、図1および図3Aに示す第1態様における回転方式の第2分光測定部2aである。この第1態様の第2分光測定部2aは、フィルタ選択部21と、2次元センサ(エリアセンサ)22とを備える。フィルタ選択部21は、複数の光学フィルタ211の中から、被測定光のフィルタリングに用いる1個の光学フィルタ211を選択的する装置である。フィルタ選択部21は、複数の光学フィルタ211と、これら複数の光学フィルタ211を保持するフィルタ保持部材212と、フィルタ保持部材212を移動するための駆動力を生成するモータ213とを備える。複数の光学フィルタ211は、図1および図3Aに示す例では、互いに異なる分光応答度を持つ3個の第1ないし第3光学フィルタ211−R、211−G、211−Bを備える。これら第1ないし第3光学フィルタ211−R、211−G、211−Bは、それぞれ、例えば、図4Aに示すようにCIE(国際照明委員会)等色関数に近似した分光応答度を持つ。すなわち、第1光学フィルタ211−Rは、CIE等色関数z(λ)に近似した分光応答度を持ち、第2光学フィルタ211−Gは、CIE等色関数y(λ)に近似した分光応答度を持ち、そして、第3光学フィルタ211−Bは、CIE等色関数x(λ)に近似した分光応答度を持つ。あるいは、これら第1ないし第3光学フィルタ211−R、211−G、211−Bは、それぞれ、例えば、図4Bや図4Cに示す分光応答度を持っても良い。フィルタ保持部材212は、例えば、周方向に等間隔に4個の第1ないし第4貫通開口を形成した円板である。これら第1ないし第4貫通開口は、第1ないし第3光学フィルタ211−R、211−G、211−Bに応じた大きさで形成されており、第1ないし第3貫通開口には、それぞれ、第1ないし第3光学フィルタ211−R、211−G、211−Bが嵌め込まれて、例えば接着剤等によって接着固定されている。なお、本実施形態では、第4貫通開口には、光学フィルタが嵌め込まれていない。あるいは、第4貫通開口には、NDフィルタが嵌め込まれて固定されても良い。そして、フィルタ保持部材212は、その中心位置に回転軸214が挿通され、その周面には、歯が歯切り加工されており、歯車(ギア)となっている。モータ213の出力軸には、ギアが装着されている。モータ213の前記ギアは、フィルタ保持部材212のギアと歯合し、モータ213の駆動力がフィルタ保持部材212に伝達される。これによってフィルタ保持部材212は、前記回転軸214を中心に回転駆動する。そして、フィルタ保持部材212は、第1ないし第3光学フィルタ211−R、211−G、211−Bの各光軸が順次回転するごとに第2分光測定部2の光軸と一致するように、測定角可変光学系3と2次元センサとの間に配置される。2次元センサ22は、互いに線形独立な2方向(例えば互いに直交する2方向)に2次元アレイ状に配列された複数の光電変換素子(画素の一例)を備えて構成される。前記光電変換素子は、例えば、シリコンホトダイオード(SPD)等である。2次元センサ22は、その受光面が前記測定角可変光学系3によって測定対象の像(第2の像)IM2を作って前記被測定光を再収束する前記位置P2に位置するように、配置される。このような第2分光測定部2では、分岐ミラー5で光路を折り曲げられずにそのまま進行した被測定光の前記残余の部分は、第1ないし第3光学フィルタ211−R、211−G、211−Bのいずれかを介して、測定角可変光学系3によって2次元センサ22の受光面上に測定対象の像(第2の像)IM2を作って再収束する。2次元センサ22は、前記受光面上に形成された前記第2の像IM2を前記複数の光電変換素子それぞれによって光電変換することによって、各光電変換素子(画素)ごとの強度レベルを表す電気信号を生成する。そして、2次元センサ22は、この電気信号(第2測定結果)を制御処理部4へ出力する。ここで、第1ないし第3光学フィルタ211−R、211−G、211−Bのうちのいずれかの光学フィルタ211が第2分光測定部2の光軸上に位置するように順次に選択されることで、当該光学フィルタ211に応じた第2測定結果が2次元センサ22から制御処理部4へ出力される。すなわち、上述の例では、CIE等色関数z(λ)の第1光学フィルタ211−Rが第2分光測定部2の光軸上に位置することで、Z刺激値に関する第2測定結果が2次元センサ22から制御処理部4へ出力され、CIE等色関数y(λ)の第2光学フィルタ211−Gが第2分光測定部2の光軸上に位置することで、Y刺激値に関する第2測定結果が2次元センサ22から制御処理部4へ出力され、そして、CIE等色関数x(λ)の第3光学フィルタ211−Bが第2分光測定部2の光軸上に位置することで、X刺激値に関する第2測定結果が2次元センサ22から制御処理部4へ出力される。   The second spectroscopic measurement unit 2 is a device that performs two-dimensional measurement in which the measured light is measured two-dimensionally as a surface and outputs a second measurement result of a two-dimensional distribution, and has a relatively wide measurement area SP (for example, The light to be measured emitted from the second measurement angle in the range of about 10 ° to about 30 °) is measured. That is, the second spectrometer 2 measures the measured light at each radiation position of the measured light to measure the distribution of the optical characteristics. Such a second spectroscopic measurement unit 2 is a tristimulus value photometer that measures the light to be measured within a predetermined wavelength range by using, for example, an optical filter or the like. Such a tristimulus value type second spectroscopic measurement unit 2 is, for example, the rotation type second spectroscopic measurement unit 2a in the first mode shown in FIGS. 1 and 3A. The second spectrometer 2a of the first embodiment includes a filter selector 21 and a two-dimensional sensor (area sensor) 22. The filter selecting unit 21 is a device that selects one optical filter 211 used for filtering the light to be measured from among the plurality of optical filters 211. The filter selection unit 21 includes a plurality of optical filters 211, a filter holding member 212 that holds the plurality of optical filters 211, and a motor 213 that generates a driving force for moving the filter holding members 212. In the example shown in FIGS. 1 and 3A, the plurality of optical filters 211 include three first to third optical filters 211-R, 211-G, and 211-B having different spectral responsivities. Each of the first to third optical filters 211-R, 211-G, 211-B has, for example, a spectral responsivity close to a CIE (International Commission on Illumination) color matching function, as shown in FIG. 4A. That is, the first optical filter 211-R has a spectral response approximating the CIE color matching function z (λ), and the second optical filter 211-G has a spectral response approximating the CIE color matching function y (λ). The third optical filter 211-B has a spectral responsivity close to the CIE color matching function x (λ). Alternatively, each of the first to third optical filters 211-R, 211-G, and 211-B may have, for example, the spectral responsivity shown in FIGS. 4B and 4C. The filter holding member 212 is, for example, a disk having four first to fourth through openings formed at equal intervals in the circumferential direction. These first to fourth through openings are formed in sizes corresponding to the first to third optical filters 211-R, 211-G, 211-B. The first to third optical filters 211-R, 211-G, 211-B are fitted and fixed by, for example, an adhesive. In the present embodiment, the optical filter is not fitted in the fourth through opening. Alternatively, an ND filter may be fitted and fixed in the fourth through opening. The rotation shaft 214 is inserted through the center of the filter holding member 212, and teeth are formed on the peripheral surface thereof to form a gear. The output shaft of the motor 213 is provided with a gear. The gear of the motor 213 meshes with the gear of the filter holding member 212, and the driving force of the motor 213 is transmitted to the filter holding member 212. Thus, the filter holding member 212 is driven to rotate about the rotation shaft 214. Then, the filter holding member 212 is aligned with the optical axis of the second spectrometer 2 each time the optical axes of the first to third optical filters 211-R, 211-G, 211-B are sequentially rotated. , Between the variable measurement angle optical system 3 and the two-dimensional sensor. The two-dimensional sensor 22 includes a plurality of photoelectric conversion elements (one example of a pixel) arranged in a two-dimensional array in two linearly independent directions (for example, two directions orthogonal to each other). The photoelectric conversion element is, for example, a silicon photodiode (SPD) or the like. The two-dimensional sensor 22 is arranged such that its light receiving surface is located at the position P2 where the measurement angle variable optical system 3 forms an image (second image) IM2 of the measurement target and re-converges the measured light. Is done. In such a second spectroscopic measurement unit 2, the remaining portion of the measured light that has proceeded without bending the optical path by the splitting mirror 5 is removed from the first to third optical filters 211-R, 211-G, and 211. The image (second image) IM2 of the measurement target is formed on the light receiving surface of the two-dimensional sensor 22 by the measurement angle variable optical system 3 via any one of -B and reconverge. The two-dimensional sensor 22 photoelectrically converts the second image IM2 formed on the light receiving surface with each of the plurality of photoelectric conversion elements, thereby generating an electric signal indicating an intensity level of each photoelectric conversion element (pixel). Generate Then, the two-dimensional sensor 22 outputs the electric signal (second measurement result) to the control processing unit 4. Here, any one of the first to third optical filters 211-R, 211-G, 211-B is sequentially selected so as to be located on the optical axis of the second spectroscopic measurement unit 2. Thus, the second measurement result corresponding to the optical filter 211 is output from the two-dimensional sensor 22 to the control processing unit 4. That is, in the above example, since the first optical filter 211-R of the CIE color matching function z (λ) is located on the optical axis of the second spectroscopic measurement unit 2, the second measurement result regarding the Z stimulus value is 2 The second optical filter 211-G of the CIE color matching function y (λ) is output from the dimensional sensor 22 to the control processing unit 4 and located on the optical axis of the second spectroscopic measurement unit 2, so that the Y stimulus value is obtained. 2 The measurement result is output from the two-dimensional sensor 22 to the control processing unit 4, and the third optical filter 211-B of the CIE color matching function x (λ) is located on the optical axis of the second spectral measurement unit 2. Then, the second measurement result regarding the X stimulus value is output from the two-dimensional sensor 22 to the control processing unit 4.

なお、第2分光測定部2は、この第1態様の分光測定部2aに限定されるものではなく、図3Bに示す第2態様における三板式プリズム方式の第2分光測定部2bであって良く、また、図3Cに示す第3態様における順次分岐方式の第2分光測定部2cであっても良い。   The second spectrometer 2 is not limited to the spectrometer 2a of the first embodiment, but may be a three-plate prism type second spectrometer 2b of the second embodiment shown in FIG. 3B. Alternatively, the second spectroscopic measurement unit 2c of the sequential branch type in the third mode shown in FIG. 3C may be used.

この図3Bに示す第2態様の第2分光測定部2bは、3個の第1ないし第3プリズム23−R、23−G、23−Bと、3個の第1ないし第3の2次元センサ24−R、24−G、24−Bとを備える。第1ないし第3プリズム23−R、23−G、23−Bは、大略、三角柱形状である。第3プリズム23−Bにおける互いに隣接する第1および第2側面それぞれには、第2プリズム23−Gの第1側面および第1プリズム23−Rの第1側面が当接している。この第3プリズム23−Bの第1側面および第2プリズム23−Gの第1側面のいずれか一方には、G(緑)の波長範囲の光を反射するとともにR(赤)およびB(青)の波長範囲の各光を透過する第1光学フィルタ膜が形成され、第3プリズム23−Bの第2側面および第1プリズム23−Rの第1側面のいずれか一方には、R(赤)の波長範囲の光を反射するとともにB(青)の波長範囲の光を透過する第2光学フィルタ膜が形成される。第3プリズム23−Bの第3側面には、その受光面が当該第3側面に対向するように、第3の2次元センサ24−Bが配置される。なお、第3プリズム23−Bの第3側面と第3の2次元センサ24−Bの受光面との間には、B(青)の波長範囲のみを透過するB光学フィルタ25−Bが介在してもよい。第2プリズム23−Bの第2側面は、被測定光の入射面となっており、第2プリズム23−Gの第3側面には、その受光面が当該第3側面に対向するように、第2の2次元センサ24−Gが配置される。なお、第2プリズム23−Gの第3側面と第2の2次元センサ24−Gの受光面との間には、G(緑)の波長範囲のみを透過するG光学フィルタ25−Gが介在してもよい。第1プリズム23−Rの第3側面は、射出面となっており、この第1プリズム23−Rの第3側面には、その受光面が当該第3側面に対向するように、第1の2次元センサ24−Rが配置される。これら第1ないし第3の2次元センサ24−R、24−G、24−Bは、それぞれ、2次元センサ22と同様に、2次元アレイ状に配置された複数の光電変換素子を備えて構成される。このような第2態様の第2分光測定部2bでは、前記被測定光は、第2プリズム23−Gの第2側面から入射する。この入射した被測定光のうちのG(緑)の波長範囲の光は、前記第1光学フィルタ膜で反射し、第2プリズム23−Gの第2側面でさらに反射してその第3側面から射出され、第2の2次元センサ24−Gによって受光され、光電変換される。前記被測定光のうちの、前記第1光学フィルタ膜を透過したR(赤)およびB(青)の波長範囲の各光は、第3プリズム23−Bの第2側面から第3プリズム23−Bへ入射する。この入射した被測定光のうちのB(青)の波長範囲の光は、前記第2光学フィルタ膜で反射し、第3プリズム23−Bの第3側面から射出され、第3の2次元センサ24−Bによって受光され、光電変換される。そして、前記被測定光のうちの、前記第2光学フィルタ膜を透過したR(赤)の波長範囲の光は、第1プリズム23−Rの第1側面から第1プリズム23−Rへ入射する。この入射した被測定光のうちのR(赤)の波長範囲の光は、第1プリズム23−Rの第3側面から射出され、第1の2次元センサ24−Rによって受光され、光電変換される。これら第1ないし第3の2次元センサ24−R、24−G、24−Bそれぞれによって光電変換されて生成された各電気信号(各第2測定結果)は、第1ないし第3の2次元センサ24−R、24−G、24−Bそれぞれから、制御処理部4へ出力される。   The second spectroscopic measurement unit 2b of the second embodiment shown in FIG. 3B includes three first to third prisms 23-R, 23-G, 23-B and three first to third two-dimensional prisms. And sensors 24-R, 24-G and 24-B. Each of the first to third prisms 23-R, 23-G, and 23-B has a substantially triangular prism shape. The first side surface of the second prism 23-G and the first side surface of the first prism 23-R abut on the first and second side surfaces adjacent to each other in the third prism 23-B. One of the first side surface of the third prism 23-B and the first side surface of the second prism 23-G reflects light in the G (green) wavelength range and R (red) and B (blue). A first optical filter film that transmits each light in the wavelength range of (3) is formed, and R (red) is provided on one of the second side surface of the third prism 23-B and the first side surface of the first prism 23-R. A) a second optical filter film that reflects light in the wavelength range of B) and transmits light in the wavelength range of B (blue). A third two-dimensional sensor 24-B is disposed on the third side surface of the third prism 23-B such that the light receiving surface faces the third side surface. Note that a B optical filter 25-B that transmits only the B (blue) wavelength range is interposed between the third side surface of the third prism 23-B and the light receiving surface of the third two-dimensional sensor 24-B. May be. The second side surface of the second prism 23-B is an incident surface of the light to be measured, and the third side surface of the second prism 23-G is arranged such that the light receiving surface faces the third side surface. A second two-dimensional sensor 24-G is provided. A G optical filter 25-G that transmits only the G (green) wavelength range is interposed between the third side surface of the second prism 23-G and the light receiving surface of the second two-dimensional sensor 24-G. May be. The third side surface of the first prism 23-R is an emission surface, and the first side surface of the first prism 23-R is provided with a first light receiving surface facing the third side surface. The two-dimensional sensor 24-R is arranged. Each of the first to third two-dimensional sensors 24-R, 24-G, 24-B includes a plurality of photoelectric conversion elements arranged in a two-dimensional array like the two-dimensional sensor 22. Is done. In the second spectroscopic measurement unit 2b according to the second aspect, the light to be measured enters from the second side surface of the second prism 23-G. Of the incident light to be measured, light in the wavelength range of G (green) is reflected by the first optical filter film, further reflected by the second side surface of the second prism 23-G, and reflected from the third side surface. The light is emitted, received by the second two-dimensional sensor 24-G, and photoelectrically converted. Of the light to be measured, each light having a wavelength range of R (red) and B (blue) transmitted through the first optical filter film is transmitted from the second side surface of the third prism 23-B to the third prism 23-B. Light is incident on B. The light in the wavelength range of B (blue) of the incident light to be measured is reflected by the second optical filter film, is emitted from the third side surface of the third prism 23-B, and is output by the third two-dimensional sensor. The light is received by 24-B and photoelectrically converted. Then, of the light to be measured, light having a wavelength range of R (red) that has passed through the second optical filter film enters the first prism 23-R from the first side surface of the first prism 23-R. . Of the incident light to be measured, light in the R (red) wavelength range is emitted from the third side surface of the first prism 23-R, received by the first two-dimensional sensor 24-R, and subjected to photoelectric conversion. You. Each electric signal (each second measurement result) generated by photoelectric conversion by each of the first to third two-dimensional sensors 24-R, 24-G, 24-B is converted into a first to third two-dimensional sensor. Each of the sensors 24-R, 24-G, 24-B is output to the control processing unit 4.

図3Cに示す第3態様の第2分光測定部2cは、2個の第1および第2ダイクロイックミラー26−G、26−Bと、3個の第1ないし第3光学フィルタ27−R、27−G、27−Bと、3個の第1ないし第3の2次元センサ28−R、28−G、28−Bとを備える。第1ダイクロイックミラー26−Gは、G(緑)の波長範囲の光を反射するとともにR(赤)およびB(青)の波長範囲の各光を透過する光学フィルタであり、第2ダイクロイックミラー26−Bは、B(青)の波長範囲の光を反射するとともにR(赤)の波長範囲の光を透過する光学フィルタである。第1光学フィルタ27−Rは、R(赤)の波長範囲のみを透過するR光学フィルタであり、第2光学フィルタ27−Gは、G(緑)の波長範囲のみを透過するG光学フィルタであり、第3光学フィルタ27−Bは、B(青)の波長範囲のみを透過するB光学フィルタである。これら第1ないし第3の2次元センサ28−R、28−G、28−Bは、それぞれ、2次元センサ22と同様に、2次元アレイ状に配置された複数の光電変換素子を備えて構成される。第1の2次元センサ28−Rにおける受光面上には、第1光学フィルタ27−Rが配置され、前記受光面の法線がその光軸(第1光軸)とされる。同様に、第2の2次元センサ28−Gにおける受光面上には、第2光学フィルタ27−Gが配置され、前記受光面の法線がその光軸(第2光軸)とされ、第3の2次元センサ28−Bにおける受光面上には、第3光学フィルタ27−Bが配置され、前記受光面の法線がその光軸(第3光軸)とされる。そして、これら第1の2次元センサ28−Rおよび第1光学フィルタ27−Rと、第2の2次元センサ28−Gおよび第2光学フィルタ27−Gと、第3の2次元センサ28−Bおよび第3光学フィルタ27−Bとは、第1の2次元センサ28−Rの第1光軸に対し、第2の2次元センサ28−Gの第2光軸および第3の2次元センサ28−Bの第3光軸それぞれが直交するように、配置され、第1の2次元センサ28−Rの第1光軸と第2の2次元センサ28−Gの第2光軸との交差する位置に第1の2次元センサ28−Rの第1光軸に対し45度で交差するように第1ダイクロイックミラー26−Gが配置され、そして、第1の2次元センサ28−Rの第1光軸と第3の2次元センサ28−Bの第3光軸との交差する位置に第1の2次元センサ28−Rの第1光軸に対し45度で交差するように第2ダイクロイックミラー26−Bが配置される。このような第3態様の第2分光測定部2cでは、前記被測定光は、第1ダイクロイックミラー26−Gに入射する。この入射した被測定光のうちのG(緑)の波長範囲の光は、この第1ダイクロイックミラー26−Gで反射し、第2光学フィルタ27−Gを介して、第2の2次元センサ28−Gによって受光され、光電変換される。前記被測定光のうちの、前記第1ダイクロイックミラー26−Gを透過したR(赤)およびB(青)の波長範囲の各光は、第2ダイクロイックミラー26−Bに入射される。この入射した被測定光のうちのB(青)の波長範囲の光は、前記第2ダイクロイックミラー26−Bで反射し、第3光学フィルタ27−Bを介して、第3の2次元センサ28−Bによって受光され、光電変換される。そして、前記被測定光のうちの、前記第2ダイクロイックミラー26−Bを透過したR(赤)の波長範囲の光は、第1光学フィルタ27−Rを介して、第1の2次元センサ28−Rによって受光され、光電変換される。これら第1ないし第3の2次元センサ28−R、28−G、28−Bそれぞれによって光電変換されて生成された各電気信号(各第2測定結果)は、第1ないし第3の2次元センサ28−R、28−G、28−Bそれぞれから、制御処理部4へ出力される。   The second spectroscopic measurement unit 2c according to the third embodiment shown in FIG. 3C includes two first and second dichroic mirrors 26-G and 26-B and three first to third optical filters 27-R and 27. -G, 27-B, and three first to third two-dimensional sensors 28-R, 28-G, 28-B. The first dichroic mirror 26-G is an optical filter that reflects light in the G (green) wavelength range and transmits each light in the R (red) and B (blue) wavelength ranges. -B is an optical filter that reflects light in the B (blue) wavelength range and transmits light in the R (red) wavelength range. The first optical filter 27-R is an R optical filter that transmits only the R (red) wavelength range, and the second optical filter 27-G is a G optical filter that transmits only the G (green) wavelength range. The third optical filter 27-B is a B optical filter that transmits only the B (blue) wavelength range. Each of the first to third two-dimensional sensors 28-R, 28-G, 28-B includes a plurality of photoelectric conversion elements arranged in a two-dimensional array like the two-dimensional sensor 22. Is done. A first optical filter 27-R is disposed on a light receiving surface of the first two-dimensional sensor 28-R, and a normal line of the light receiving surface is used as an optical axis (first optical axis). Similarly, a second optical filter 27-G is disposed on the light receiving surface of the second two-dimensional sensor 28-G, and the normal line of the light receiving surface is used as its optical axis (second optical axis). A third optical filter 27-B is disposed on the light receiving surface of the three two-dimensional sensor 28-B, and the normal to the light receiving surface is the optical axis (third optical axis). Then, the first two-dimensional sensor 28-R and the first optical filter 27-R, the second two-dimensional sensor 28-G and the second optical filter 27-G, and the third two-dimensional sensor 28-B And the third optical filter 27-B are defined by the second optical axis of the second two-dimensional sensor 28-G and the third two-dimensional sensor 28 with respect to the first optical axis of the first two-dimensional sensor 28-R. -B third optical axes are arranged so as to be orthogonal, and the first optical axis of the first two-dimensional sensor 28-R intersects with the second optical axis of the second two-dimensional sensor 28-G. A first dichroic mirror 26-G is disposed at a position so as to intersect at 45 degrees with a first optical axis of the first two-dimensional sensor 28-R, and a first dichroic mirror 26-G is disposed at the first position. At the position where the optical axis intersects with the third optical axis of the third two-dimensional sensor 28-B, a first two-dimensional A second dichroic mirror 26-B are arranged so as to first optical axis of the capacitors 28-R intersect at 45 degrees. In the second spectroscopic measurement unit 2c according to the third aspect, the measured light enters the first dichroic mirror 26-G. The light in the wavelength range of G (green) of the incident light to be measured is reflected by the first dichroic mirror 26-G and passes through the second optical filter 27-G to the second two-dimensional sensor 28. -G and are photoelectrically converted. Of the light to be measured, each light having a wavelength range of R (red) and B (blue) transmitted through the first dichroic mirror 26-G is incident on the second dichroic mirror 26-B. The light in the wavelength range of B (blue) of the incident light to be measured is reflected by the second dichroic mirror 26-B and passes through the third optical filter 27-B to the third two-dimensional sensor 28. -B and are photoelectrically converted. Then, of the light to be measured, light having a wavelength range of R (red) that has passed through the second dichroic mirror 26-B is passed through the first optical filter 27-R to the first two-dimensional sensor 28. -R is received and photoelectrically converted. Each electric signal (each second measurement result) generated by photoelectric conversion by each of the first to third two-dimensional sensors 28-R, 28-G, 28-B is converted into a first to third two-dimensional sensor. Each of the sensors 28-R, 28-G, and 28-B is output to the control processing unit 4.

図1に戻って、入出力部8は、制御処理部4に接続され、当該光学特性測定装置Dに対し所定の操作入力を行い、当該光学特性測定装置Dから所定の情報を出力するものである。入出力部8は、例えば、入力部81と、出力部82と、インターフェース部(IF部)83とを備える。   Returning to FIG. 1, the input / output unit 8 is connected to the control processing unit 4, performs a predetermined operation input to the optical property measuring device D, and outputs predetermined information from the optical property measuring device D. is there. The input / output unit 8 includes, for example, an input unit 81, an output unit 82, and an interface unit (IF unit) 83.

入力部81は、制御処理部4に接続され、例えば、被測定光の測定を指示するコマンド等の各種コマンド、および、例えば被測定光における識別子の入力等の測定する上で必要な各種データを光学特性測定装置Dに入力する機器であり、例えば、所定の機能を割り付けられた複数の入力スイッチや、キーボードや、マウス等である。出力部82は、制御処理部4に接続され、制御処理部4の制御に従って、入力部81から入力されたコマンドやデータ、および、光学特性測定装置Dによって測定された被測定光の測定結果(例えば、第1測定結果、第2測定結果、第1および第2測定結果に基づく所定の光学特性)を出力する機器であり、例えばCRTディスプレイ、LCDおよび有機ELディスプレイ等の表示装置やプリンタ等の印刷装置等である。   The input unit 81 is connected to the control processing unit 4 and, for example, receives various commands such as a command for instructing measurement of the measured light and various data necessary for measurement such as input of an identifier in the measured light. The input device to the optical property measuring device D is, for example, a plurality of input switches to which predetermined functions are assigned, a keyboard, a mouse, and the like. The output unit 82 is connected to the control processing unit 4, and under the control of the control processing unit 4, the command and data input from the input unit 81 and the measurement result of the measured light measured by the optical property measurement device D ( For example, it is a device that outputs a first measurement result, a second measurement result, and predetermined optical characteristics based on the first and second measurement results), such as a display device such as a CRT display, an LCD and an organic EL display, and a printer. A printing device.

なお、入力部81および出力部82からタッチパネルが構成されてもよい。このタッチパネルを構成する場合において、入力部81は、例えば抵抗膜方式や静電容量方式等の操作位置を検出して入力する位置入力装置であり、出力部82は、表示装置である。このタッチパネルでは、表示装置の表示面上に位置入力装置が設けられ、表示装置に入力可能な1または複数の入力内容の候補が表示され、ユーザが、入力したい入力内容を表示した表示位置を触れると、位置入力装置によってその位置が検出され、検出された位置に表示された表示内容がユーザの操作入力内容として光学特性測定装置Dに入力される。このようなタッチパネルでは、ユーザは、入力操作を直感的に理解し易いので、ユーザにとって取り扱い易い光学特性測定装置Dが提供される。   Note that a touch panel may be configured by the input unit 81 and the output unit 82. In the case of configuring this touch panel, the input unit 81 is a position input device for detecting and inputting an operation position of, for example, a resistive type or a capacitive type, and the output unit 82 is a display device. In this touch panel, a position input device is provided on a display surface of the display device, one or more candidates for input content that can be input to the display device are displayed, and the user touches a display position where the input content desired to be input is displayed. Then, the position is detected by the position input device, and the display content displayed at the detected position is input to the optical characteristic measuring device D as the operation input content of the user. With such a touch panel, the user can easily and intuitively understand the input operation, so that the optical characteristic measuring device D that is easy for the user to handle is provided.

IF部83は、制御処理部4に接続され、制御処理部4の制御に従って、外部機器との間でデータの入出力を行う回路であり、例えば、シリアル通信方式であるRS−232Cのインターフェース回路、Bluetooth(登録商標)規格を用いたインターフェース回路、IrDA(Infrared Data Asscoiation)規格等の赤外線通信を行うインターフェース回路、および、USB(Universal Serial Bus)規格を用いたインターフェース回路等である。   The IF unit 83 is a circuit that is connected to the control processing unit 4 and that inputs and outputs data to and from an external device under the control of the control processing unit 4. For example, an interface circuit of an RS-232C serial communication system is used. , An interface circuit using the Bluetooth (registered trademark) standard, an interface circuit for performing infrared communication such as the IrDA (Infrared Data Association) standard, and an interface circuit using the USB (Universal Serial Bus) standard.

記憶部9は、制御処理部4に接続され、制御処理部4の制御に従って、各種の所定のプログラムおよび各種の所定のデータを記憶する回路である。前記各種の所定のプログラムには、例えば、被測定光を測定するための測定プログラム等の制御処理プログラムが含まれる。前記各種の所定のデータには、後述の補正演算部422で求められた補正係数が含まれる。このような記憶部9は、例えば不揮発性の記憶素子であるROM(Read Only Memory)や書き換え可能な不揮発性の記憶素子であるEEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)等を備える。そして、記憶部9は、前記所定のプログラムの実行中に生じるデータ等を記憶するいわゆる制御処理部4のワーキングメモリとなるRAM(Random Access Memory)等を含む。   The storage unit 9 is a circuit that is connected to the control processing unit 4 and stores various predetermined programs and various predetermined data under the control of the control processing unit 4. The various predetermined programs include, for example, a control processing program such as a measurement program for measuring the measured light. The various types of predetermined data include a correction coefficient obtained by a correction calculation unit 422 described later. Such a storage unit 9 includes, for example, a ROM (Read Only Memory) which is a nonvolatile storage element, an EEPROM (Electrically Erasable Programmable Read Only Memory) which is a rewritable nonvolatile storage element, and the like. The storage unit 9 includes a RAM (Random Access Memory) serving as a working memory of the so-called control processing unit 4 for storing data and the like generated during execution of the predetermined program.

制御処理部4は、光学特性測定装置Dの各部を当該各部の機能に応じてそれぞれ制御し、被測定光の光学特性を求めるための回路である。制御処理部4は、例えば、CPU(Central Processing Unit)およびその周辺回路を備えて構成される。制御処理部4には、制御処理プログラムが実行されることによって、制御部41および光学特性演算部42が機能的に構成される。   The control processing unit 4 is a circuit for controlling each unit of the optical characteristic measuring device D according to the function of each unit, and obtaining the optical characteristics of the measured light. The control processing unit 4 includes, for example, a CPU (Central Processing Unit) and its peripheral circuits. By executing the control processing program, the control processing unit 4 functionally includes a control unit 41 and an optical characteristic calculation unit 42.

制御部41は、光学特性測定装置Dの各部を当該各部の機能に応じてそれぞれ制御するためのものである。   The control section 41 is for controlling each section of the optical property measuring device D according to the function of each section.

光学特性演算部42は、第1および第2分光測定部1、2それぞれの第1および第2測定結果に基づいて前記被測定光の所定の光学特性(本実施形態では被測定光の色彩)を求めるものである。本実施形態では、第1分光測定部1は、上述したように、その第1精度が第2分光測定部2の第2精度よりも高くなっており、本実施形態の光学特性測定装置Dは、前記特許文献1と同様に、第2分光測定部1の第2結果を第1分光測定部1の第1結果で補正して前記被測定光の光学特性を求めるように構成されている。このため、光学特性演算部42は、第2分光測定部2の第2結果を第1分光測定部1の第1結果で補正して前記被測定光の光学特性を求めるものであり、そのために、光学特性演算部42は、特性演算部421と、補正演算部422とを機能的に備える。   The optical characteristic calculation unit 42 determines a predetermined optical characteristic (the color of the measured light in the present embodiment) of the measured light based on the first and second measurement results of the first and second spectroscopic measuring units 1 and 2, respectively. Is what you want. In the present embodiment, the first spectrometer 1 has the first accuracy higher than the second accuracy of the second spectrometer 2, as described above. As in Patent Document 1, the second result of the second spectrometer 1 is corrected by the first result of the first spectrometer 1, and the optical characteristic of the measured light is obtained. For this reason, the optical property calculating section 42 corrects the second result of the second spectroscopic measuring section 2 with the first result of the first spectroscopic measuring section 1 to obtain the optical property of the measured light. The optical property calculation unit 42 functionally includes a property calculation unit 421 and a correction calculation unit 422.

ここで、第1分光測定部1で測定した被測定光の分光分布(第1測定結果)をP(λ)であるとし、CIE等色関数をx(λ)、y(λ)、z(λ)とすると、被測定光の三刺激値は、次式(1)、式(2)および式(3)によって与えられる。なお、CIE等色関数x(λ)、y(λ)、z(λ)は、記憶部9に予め記憶される。
X=∫P(λ)・x(λ)dλ ・・・(1)
Y=∫P(λ)・y(λ)dλ ・・・(2)
Z=∫P(λ)・z(λ)dλ ・・・(3)
Here, it is assumed that the spectral distribution (first measurement result) of the measured light measured by the first spectral measurement unit 1 is P (λ), and the CIE color matching functions are x (λ), y (λ), z ( λ), the tristimulus values of the measured light are given by the following equations (1), (2), and (3). The CIE color matching functions x (λ), y (λ), z (λ) are stored in the storage unit 9 in advance.
X = ∫P (λ) · x (λ) dλ (1)
Y = ∫P (λ) · y (λ) dλ (2)
Z = ∫P (λ) · z (λ) dλ (3)

一方、第2分光測定部2で測定した被測定光の各画素(n、m)の各画素値(第2測定結果)をXc(n、m)、Yc(n、m)、Xc(n、m)とし、第1分光測定部1で測定した被測定光の点(スポット測定の測定点)に対応する第2分光測定部2上での画素を(n、m)とすると、次の式(4)、式(5)および式(6)が成り立つ。なお、(n、m)は、予め調べられて記憶部9に記憶される。
X=f{Xc(n、m)、Yc(n、m)、Zc(n、m)} ・・・(4)
Y=g{Xc(n、m)、Yc(n、m)、Zc(n、m)} ・・・(5)
Z=h{Xc(n、m)、Yc(n、m)、Zc(n、m)} ・・・(6)
On the other hand, each pixel value (second measurement result) of each pixel (n, m) of the measured light measured by the second spectroscopic measurement unit 2 is represented by Xc (n, m), Yc (n, m), Xc (n). , M), and the pixel on the second spectroscopic measurement unit 2 corresponding to the point of the light to be measured (the measurement point of the spot measurement) measured by the first spectroscopic measurement unit 1 is (n 0 , m 0 ). The following equations (4), (5) and (6) hold. Note that (n 0 , m 0 ) is checked in advance and stored in the storage unit 9.
X = f {Xc (n 0 , m 0), Yc (n 0, m 0), Zc (n 0, m 0)} ··· (4)
Y = g {Xc (n 0 , m 0), Yc (n 0, m 0), Zc (n 0, m 0)} ··· (5)
Z = h {Xc (n 0 , m 0), Yc (n 0, m 0), Zc (n 0, m 0)} ··· (6)

これら式(4)ないし式(6)における関数f、g、hの各係数が補正係数であり、これら式(4)ないし式(6)の関係式を、前記特許文献1と同様に、次式(7)のようにおくと、式(8)、式(9)および式(10)のように、補正係数CP1、CP2、CP3が求められる。   Each coefficient of the functions f, g, and h in the equations (4) to (6) is a correction coefficient, and the relational expressions of the equations (4) to (6) are calculated as follows in the same manner as in Patent Document 1. When the equation (7) is set, the correction coefficients CP1, CP2, and CP3 are obtained as in the equations (8), (9), and (10).

Figure 0006658517
Figure 0006658517

CP1=X/Xc(n、m) ・・・(8)
CP2=Y/Yc(n、m) ・・・(9)
CP3=Z/Zc(n、m) ・・・(10)
CP1 = X / Xc (n 0 , m 0 ) (8)
CP2 = Y / Yc (n 0 , m 0 ) (9)
CP3 = Z / Zc (n 0 , m 0 ) (10)

第2分光測定部2の補正された各画素の三刺激値は、次の式(11)、式(12)および式(13)によって与えられる。
X(n、m)=CP1・Xc(n,m) ・・・(11)
Y(n、m)=CP2・Xc(n,m) ・・・(12)
Z(n、m)=CP3・Xc(n,m) ・・・(13)
The corrected tristimulus values of each pixel of the second spectroscopic measurement unit 2 are given by the following equations (11), (12), and (13).
X (n, m) = CP1 · Xc (n, m) (11)
Y (n, m) = CP2 · Xc (n, m) (12)
Z (n, m) = CP3 · Xc (n, m) (13)

したがって、補正演算部422は、前記第1および第2分光測定部それぞれの第1および第2測定結果に基づいて、上述のように、補正係数CP1、CP2、CP3を求め、この補正係数CP1、CP2、CP3を記憶部9に記憶するものである。そして、特性演算部421は、第2分光測定部2の第2測定結果と、第1および第2分光測定部1、2それぞれの第1および第2測定結果に基づく補正係数CP1、CP2、CP3とに基づいて、上述の式(11)ないし式(13)を用いることで、被測定光の三刺激値を所定の光学特性として求めるものである。このように本実施形態では、第2分光測定部2の第2精度が相対的に低くても、第2分光測定部2の第2測定結果を、相対的に高い第1精度を持つ第1分光測定部1の第1測定結果で補正するので、本実施形態における光学特性測定装置Dは、第2分光測定部2の第2測定結果を、前記第2精度より向上できる。   Therefore, the correction operation unit 422 obtains the correction coefficients CP1, CP2, and CP3 based on the first and second measurement results of the first and second spectroscopic measurement units, respectively, as described above. CP2 and CP3 are stored in the storage unit 9. Then, the characteristic calculation unit 421 calculates the correction coefficients CP1, CP2, and CP3 based on the second measurement result of the second spectrum measurement unit 2 and the first and second measurement results of the first and second spectrum measurement units 1 and 2, respectively. Based on the above, the tristimulus values of the measured light are obtained as predetermined optical characteristics by using the above equations (11) to (13). As described above, in the present embodiment, even if the second accuracy of the second spectroscopic measurement unit 2 is relatively low, the second measurement result of the second spectroscopic measurement unit 2 is converted to the first measurement having the relatively high first accuracy. Since the correction is performed using the first measurement result of the spectrometer 1, the optical property measuring apparatus D according to the present embodiment can improve the second measurement result of the second spectrometer 2 with the second accuracy.

このような光学特性測定装置Dでは、測定が開始されると、被測定光は、受光光学系6で受光され、開口絞り7に入射される。開口絞り7を通過した被測定光は、その一部が分岐ミラー5で反射されてその光路が折り曲げられて第1分光測定部1へ導光され、残余の部分がそのまま測定角可変光学系3を介して第2分光測定部2へ導光される。第1分光測定部1へ導光された前記一部の被測定光は、分光されて測定され、その第1測定結果が第1分光測定部1から制御処理部4へ出力される。ここで、分岐ミラー5は、その偏光依存性が小さいので、第1分光測定部1は、被測定物が偏光特性を有している場合でもより精度良く測定できる。第2分光測定部2へ導光された前記残余の被測定光は、分光されて測定され、その第2測定結果が第2分光測定部2から制御処理部4へ出力される。ここで、第2分光測定部2へ導光された前記残余の被測定光は、測定角可変光学系3を介するので、第2分光測定部2は、その第2測定角γを後述のように可変できる。制御処理部4の光学特性演算部42は、補正演算部422によって第1および第2測定結果に基づいて補正係数CP1、CP2、CP3を求め、この求めた補正係数CP1、CP2、CP3と第2測定結果に基づいて、特性演算部によって被測定光における光学特性の2次元分布を求め、出力部82に出力する。また、必要に応じて、光学特性演算部42は、この求めた所定の光学特性を、IF部83を介して図略の外部機器へ出力する。なお、補正係数CP1、CP2、CP3は、測定ごとに求めて良く、また、所定の測定回数ごとに求めて良く、また、所定の期間ごとに求めて良い。所定の測定回数ごとに求める場合や所定の期間ごとに求める場合では、次回の使用のために、求めた補正係数CP1、CP2、CP3は、記憶部9に記憶される。   In such an optical characteristic measuring device D, when the measurement is started, the light to be measured is received by the light receiving optical system 6 and is incident on the aperture stop 7. A part of the light to be measured that has passed through the aperture stop 7 is reflected by the splitting mirror 5, its optical path is bent, and the light is guided to the first spectrometer 1, and the remaining part is directly measured by the measurement angle variable optical system 3. The light is guided to the second spectroscopic measurement unit 2 via. The part of the light to be measured guided to the first spectroscopic measurement unit 1 is separated and measured, and the first measurement result is output from the first spectroscopic measurement unit 1 to the control processing unit 4. Here, since the split mirror 5 has a small polarization dependency, the first spectroscopic measurement unit 1 can perform measurement with higher accuracy even when the object to be measured has polarization characteristics. The remaining light to be measured guided to the second spectroscopic measurement unit 2 is separated and measured, and the second measurement result is output from the second spectroscopic measurement unit 2 to the control processing unit 4. Here, since the remaining light to be measured guided to the second spectroscopic measurement unit 2 passes through the measurement angle variable optical system 3, the second spectroscopic measurement unit 2 sets the second measurement angle γ as described later. Can be changed to The optical characteristic calculation unit 42 of the control processing unit 4 calculates the correction coefficients CP1, CP2, and CP3 based on the first and second measurement results by the correction calculation unit 422, and calculates the calculated correction coefficients CP1, CP2, and CP3 and the second correction coefficient. Based on the measurement result, a two-dimensional distribution of the optical characteristics of the measured light is obtained by the characteristic calculation unit and output to the output unit 82. In addition, if necessary, the optical property calculation unit 42 outputs the obtained predetermined optical property to an external device (not shown) via the IF unit 83. Note that the correction coefficients CP1, CP2, and CP3 may be obtained for each measurement, may be obtained for each predetermined number of measurements, or may be obtained for each predetermined period. In the case where it is obtained every predetermined number of measurements or every predetermined period, the obtained correction coefficients CP1, CP2, and CP3 are stored in the storage unit 9 for the next use.

次に、第1分光測定部1の第1測定角と第2分光測定部2の第2測定角との比率の変更に関し、その動作を以下に説明する。図5は、本実施形態の光学特性測定装置における測定角可変光学系の動作を説明するための図である。図5Aは、第2測定角が10°の場合を示し、図5Bは、第2測定角が28°の場合を示す。図6は、本実施形態における光学特性測定装置による輝度分布測定を説明するための図である。図6Aは、液晶ディスプレイの輝度分布を測定する場合における測定の様子を示し、図6Bは、自動車のインパネにおける表示キャラクターの輝度分布を測定する場合における測定の様子を示す。   Next, the operation of changing the ratio between the first measurement angle of the first spectrometer 1 and the second measurement angle of the second spectrometer 2 will be described below. FIG. 5 is a diagram for explaining the operation of the measurement angle variable optical system in the optical characteristic measuring device of the present embodiment. FIG. 5A shows a case where the second measurement angle is 10 °, and FIG. 5B shows a case where the second measurement angle is 28 °. FIG. 6 is a diagram for describing luminance distribution measurement by the optical characteristic measuring device according to the present embodiment. FIG. 6A shows a state of measurement when measuring the luminance distribution of the liquid crystal display, and FIG. 6B shows a state of measurement when measuring the luminance distribution of the display character in the instrument panel of the car.

本実施形態における光学特性測定装置Dでは、第1分光測定部1の第1測定角βは、所定の角度β1(例えば、0.1°や0.2°や1°等)で固定されている(β=β1)。そして、第2分光測定部2の第2測定角γは、測定角可変光学系3によって所定の角度範囲γ1〜γ2で可変される(γ1≦γ≦γ2)。   In the optical characteristic measuring device D according to the present embodiment, the first measurement angle β of the first spectroscopic measurement unit 1 is fixed at a predetermined angle β1 (for example, 0.1 °, 0.2 °, 1 °, or the like). (Β = β1). Then, the second measurement angle γ of the second spectroscopic measurement unit 2 is changed by the measurement angle variable optical system 3 in a predetermined angle range γ1 to γ2 (γ1 ≦ γ ≦ γ2).

例えば、第2分光測定部2における2次元センサ22のサイズが5mmであり、受光光学系6の焦点距離f6が57mmである場合、第2測定角γを10°とするためには、図5Aに示すように、第1の像IM1の大きさが10mmとされ、測定角可変光学系3は、その焦点距離f3を22mmに、倍率δを−0.5にそれぞれ設定するように、第1および第2レンズ群31、32の位置を調整する。これによって大きさ10mmの第1の像IM1は、測定角可変光学系3によって大きさ5mm(=10×0.5)の第2の像IM2となって2次元センサ22の受光面上に結像し、第2測定角10°で測定可能となる。   For example, when the size of the two-dimensional sensor 22 in the second spectroscopic measurement unit 2 is 5 mm and the focal length f6 of the light receiving optical system 6 is 57 mm, in order to set the second measurement angle γ to 10 °, FIG. As shown in the figure, the size of the first image IM1 is set to 10 mm, and the measurement angle variable optical system 3 sets the first focal length f3 to 22 mm and the magnification δ to -0.5, respectively. And the positions of the second lens groups 31 and 32 are adjusted. As a result, the first image IM1 having a size of 10 mm becomes a second image IM2 having a size of 5 mm (= 10 × 0.5) by the measurement angle variable optical system 3, and is formed on the light receiving surface of the two-dimensional sensor 22. And an image can be measured at the second measurement angle of 10 °.

一方、第2測定角γを28°とするためには、図5Bに示すように、第1の像IM1の大きさが30mmとされ、測定角可変光学系3は、その焦点距離f3を12mmに、倍率δを−0.17にそれぞれ設定するように、第1および第2レンズ群31、32の位置を調整する。これによって大きさ30mmの第1の像IM1は、測定角可変光学系3によって大きさ5mm(=30×0.17)の第2の像IM2となって2次元センサ22の受光面上に結像し、第2測定角28°で測定可能となる。   On the other hand, in order to set the second measurement angle γ to 28 °, as shown in FIG. 5B, the size of the first image IM1 is set to 30 mm, and the measurement angle variable optical system 3 sets the focal length f3 to 12 mm. Then, the positions of the first and second lens groups 31 and 32 are adjusted so that the magnification δ is set to −0.17. As a result, the first image IM1 having a size of 30 mm becomes a second image IM2 having a size of 5 mm (= 30 × 0.17) by the measurement angle variable optical system 3, and is formed on the light receiving surface of the two-dimensional sensor 22. And an image can be measured at the second measurement angle of 28 °.

なお、第2測定角10°から第2測定角28°まで可変する間、図5に示すように、バリエーターとして機能する第1レンズ群31は、像側に凸の曲線を描く軌跡で移動し、コンペンセーターとして機能する第2レンズ群32は、物体側から像側へ単調に直線を描く軌跡で移動する。   Note that, while changing from the second measurement angle 10 ° to the second measurement angle 28 °, as shown in FIG. 5, the first lens group 31 functioning as a variator moves along a locus that draws a convex curve on the image side. The second lens group 32 functioning as a compensator moves along a locus that draws a monotonous straight line from the object side to the image side.

このように第2分光測定部2の第2測定角γを可変できるので、第1分光測定部1の第1測定角βと第2分光測定部2の第2測定角γとの比率、例えば、第1分光測定部1の第1測定角βに対する第2分光測定部2の第2測定角γの比γ/βは、γ1/β1〜γ2/β1の範囲で可変できる。図5に示す例では、β1=1°とした場合、前記比γ/βは、10〜28の範囲で可変できる。   Since the second measurement angle γ of the second spectrometer 2 can be changed in this manner, the ratio between the first measurement angle β of the first spectrometer 1 and the second measurement angle γ of the second spectrometer 2, for example, The ratio γ / β of the second measurement angle γ of the second spectrometer 2 to the first measurement angle β of the first spectrometer 1 can be varied in the range of γ1 / β1 to γ2 / β1. In the example shown in FIG. 5, when β1 = 1 °, the ratio γ / β can be varied in the range of 10 to 28.

このように本実施形態における光学特性測定装置Dは、前記比γ/βを可変できるので、例えば、図6A示すように、液晶ディスプレイの輝度分布の測定では、本実施形態における光学特性測定装置Dは、液晶ディスプレイの画面中央部を第1分光測定部1によって測定角1°でスポット測定し、液晶ディスプレイの画面全体を第2分光測定部2によって測定角10°で2次元測定できる。一方、図6B示すように、自動車のインパネにおける表示キャラクターの輝度分布の測定では、本実施形態における光学特性測定装置Dは、表示キャラクターの中央部を第1分光測定部1によって測定角1°でスポット測定し、インパネ全体を第2分光測定部2によって測定角20°で2次元測定できる。このように本実施形態における光学特性測定装置Dは、液晶ディスプレイの輝度分布の測定と自動車のインパネにおける表示キャラクターの輝度分布の測定とを前記比γ/βを変えて1台で実現できる。   As described above, the optical characteristic measuring device D according to the present embodiment can change the ratio γ / β. For example, as shown in FIG. 6A, in measuring the luminance distribution of the liquid crystal display, the optical characteristic measuring device D according to the present embodiment is used. Can measure the spot at the center of the screen of the liquid crystal display at a measurement angle of 1 ° by the first spectroscopic measurement unit 1 and perform the two-dimensional measurement of the entire screen of the liquid crystal display at the measurement angle of 10 ° by the second spectroscopic measurement unit 2. On the other hand, as shown in FIG. 6B, in the measurement of the luminance distribution of the display character in the instrument panel of the car, the optical characteristic measuring device D according to the present embodiment uses the first spectral measurement unit 1 to measure the center of the display character at a measurement angle of 1 °. Spot measurement is performed, and the entire instrument panel can be two-dimensionally measured by the second spectroscopic measurement unit 2 at a measurement angle of 20 °. As described above, the optical characteristic measuring apparatus D according to the present embodiment can realize the measurement of the luminance distribution of the liquid crystal display and the measurement of the luminance distribution of the display character on the instrument panel of the automobile by changing the ratio γ / β with one unit.

このように本実施形態における光学特性測定装置Dおよびこれに実装された光学特性測定方法は、測定角可変光学系3を備えるので、第2分光測定部2の測定角を可変できる。したがって、本実施形態における光学特性測定装置Dおよびこれに実装された光学特性測定方法は、第1分光測定部1の第1測定角と第2分光測定部2の第2測定角との比率を変更できる。   As described above, the optical characteristic measuring device D and the optical characteristic measuring method mounted on the optical characteristic measuring device D according to the present embodiment include the variable measurement angle optical system 3, so that the measurement angle of the second spectrometer 2 can be changed. Therefore, the optical characteristic measuring device D and the optical characteristic measuring method mounted on the optical characteristic measuring device D according to the present embodiment determine the ratio between the first measurement angle of the first spectrometer 1 and the second measurement angle of the second spectrometer 2. Can be changed.

そして、本実施形態における光学特性測定装置Dおよびこれに実装された光学特性測定方法では、第1分光測定部1は、スポット測定を実行でき、第2分光測定部2は、2次元測定を実行できるので、本実施形態における光学特性測定装置Dおよびこれに実装された光学特性測定方法は、スポット測定の第1測定角と、2次元測定の第2測定角との比率を可変できる。   Then, in the optical property measuring device D and the optical property measuring method mounted thereon in the present embodiment, the first spectroscopic measuring unit 1 can execute the spot measurement, and the second spectroscopic measuring unit 2 executes the two-dimensional measurement. Therefore, the optical property measuring apparatus D and the optical property measuring method mounted thereon according to the present embodiment can change the ratio between the first measurement angle for spot measurement and the second measurement angle for two-dimensional measurement.

また、本実施形態における光学特性測定装置Dおよびこれに実装された光学特性測定方法は、開口絞り7を備えることによって、受光光学系6のフォーカスを行っても受光光量を不変にできる。   Further, the optical characteristic measuring device D and the optical characteristic measuring method mounted on the optical characteristic measuring device D in the present embodiment can provide the received light amount unchanged even when the light receiving optical system 6 is focused by providing the aperture stop 7.

なお、上述の実施形態において、測定角可変光学系3の倍率に応じて、第1分光測定部の第1測定角βで測定される第1領域を、第2分光測定部2の2次元センサ22上に射影した場合に、この射影した前記第1領域の大きさ(面積)が変わる場合に、第2分光測定部2の2次元センサ22上に射影される前記第1領域の大きさに応じて、上述の補正係数CP1、CP2、CP3を求めるための2次元センサ22の画素が選択されても良い。   In the above-described embodiment, the first area measured at the first measurement angle β of the first spectroscopic measurement unit is changed to the two-dimensional sensor of the second spectroscopic measurement unit 2 according to the magnification of the measurement angle variable optical system 3. When the size (area) of the projected first region changes when projected onto the two-dimensional sensor 22, the size of the first region projected onto the two-dimensional sensor 22 of the second spectroscopic measurement unit 2 is changed. Accordingly, the pixels of the two-dimensional sensor 22 for obtaining the correction coefficients CP1, CP2, and CP3 described above may be selected.

図7は、前記光学特性測定装置における変形形態の構成を示す図である。図8は、第1分光測定部の第1測定角で測定される第1領域と第2分光測定部の2次元センサとの関係を説明するための図である。図8Bは、標準を示し、図8Aは、この図8Bに示す標準を基準に広角側(ワイド側)を示し、図8Cは、この図8Bに示す標準を基準に望遠側(テレ側)を示す。   FIG. 7 is a diagram showing a configuration of a modification of the optical characteristic measuring device. FIG. 8 is a diagram for explaining the relationship between the first region measured at the first measurement angle of the first spectrometer and the two-dimensional sensor of the second spectrometer. 8B shows a standard, FIG. 8A shows a wide angle side (wide side) based on the standard shown in FIG. 8B, and FIG. 8C shows a telephoto side (tele side) based on the standard shown in FIG. 8B. Show.

このような分光特性測定装置Daは、上述の分光特性測定装置Dに類似し、例えば、図7に示すように、第1分光測定部1と、第2分光測定部2と、測定角可変光学系3aと、制御処理部4aと、分岐ミラー5と、受光光学系6と、開口絞り7と、入出力部8と、記憶部9aとを備えている。これら変形形態の分光特性測定部Daにおける第1分光測定部1、第2分光測定部2、分岐ミラー、受光光学系6、開口絞り7および入出力部8は、それぞれ、上述の分光特性測定部Dにおける第1分光測定部1、第2分光測定部2、分岐ミラー、受光光学系6、開口絞り7および入出力部8と同様であるので、その説明を省略する。   Such a spectral characteristic measuring device Da is similar to the above-described spectral characteristic measuring device D. For example, as shown in FIG. 7, a first spectral measuring unit 1, a second spectral measuring unit 2, a variable measurement angle optical system, The system includes a system 3a, a control processing unit 4a, a branch mirror 5, a light receiving optical system 6, an aperture stop 7, an input / output unit 8, and a storage unit 9a. The first spectral measurement unit 1, the second spectral measurement unit 2, the branch mirror, the light receiving optical system 6, the aperture stop 7, and the input / output unit 8 in the spectral characteristic measurement unit Da of these modified embodiments are respectively the spectral characteristic measurement unit described above. D is the same as the first spectrometer 1, the second spectrometer 2, the splitting mirror, the light receiving optical system 6, the aperture stop 7, and the input / output unit 8, and the description thereof is omitted.

測定角可変光学系3aは、上述の測定角可変光学系3に類似し、上述の第1および第2レンズ群31、32にさらに加えて、駆動部33を備える。駆動部33は、制御処理部4aに接続され、制御処理部4aの制御部41aの制御に従って、入力部81から入力された第2分光測定部2の第2測定角γに応じて上述のような軌跡で第1および第2レンズ群31、32を光軸方向に沿って移動させる機構である。なお、この変形形態では、第1および第2レンズ群31、32は、駆動部33で移動されるが、例えばいわゆるズームリング等を備え手動で移動されても良い。   The variable measurement angle optical system 3a is similar to the variable measurement angle optical system 3 described above, and includes a drive unit 33 in addition to the first and second lens groups 31 and 32 described above. The drive unit 33 is connected to the control processing unit 4a, and operates under the control of the control unit 41a of the control processing unit 4a according to the second measurement angle γ of the second spectral measurement unit 2 input from the input unit 81 as described above. This is a mechanism for moving the first and second lens groups 31 and 32 along an optical axis along a suitable locus. In this modification, the first and second lens groups 31 and 32 are moved by the drive unit 33. However, the first and second lens groups 31 and 32 may be manually moved with a so-called zoom ring or the like.

制御処理部4aは、上述の制御処理部4に類似し、制御部41aおよび光学特性演算部42aにさらに加えて、エリア処理部43を機能的に備える。   The control processing unit 4a is similar to the above-described control processing unit 4, and functionally includes an area processing unit 43 in addition to the control unit 41a and the optical property calculation unit 42a.

エリア処理部43は、2次元センサ22における複数の画素(本実施形態では複数の光電変換素子)の中から、第1分光測定部1の第1測定角βで測定される第1領域に相当する1または複数の画素を求めるものである。   The area processing unit 43 corresponds to a first area measured at the first measurement angle β of the first spectroscopic measurement unit 1 from a plurality of pixels (a plurality of photoelectric conversion elements in the present embodiment) in the two-dimensional sensor 22. One or a plurality of pixels to be obtained are obtained.

測定角可変光学系3は、上述したように、リレー変倍光学系であり、第1分光測定部1は、この測定角可変光学系3に入射される前に、分岐ミラー5によって分岐した一部の被測定光を受光する一方、第2分光測定部2は、測定角可変光学系3を介して前記分岐ミラー5によって分岐した被測定光の残余の部分を受光する。このため、第1分光測定部1の第1測定角βで測定される第1領域SP1の大きさ(面積)は、仮に、第2分光測定部2の2次元センサ22の受光面上に投影すると、図8に示すように、測定角可変光学系3の倍率に応じて可変する。より具体的には、測定角可変光学系3が標準より広角側である場合には、図8Aに示すように、第2分光測定部2の2次元センサ22の受光面上に投影した第1領域SP1は、図8Bに示す第1領域SP1より小さくなり、また、測定角可変光学系3が標準より望遠側である場合には、図8Cに示すように、第2分光測定部2の2次元センサ22の受光面上に投影した第1領域SP1は、図8Bに示す第1領域SP1より大きくなる。エリア処理部43は、2次元センサ22における複数の画素(本実施形態では複数の光電変換素子)の中から、このような第1分光測定部1の第1測定角βで測定される第1領域SP1に相当する1または複数の画素を求めるものである。より具体的には、測定角可変光学系3の倍率、すなわち、第2分光測定部2の第2測定角γと、前記第1領域SP1に相当する前記1または複数の画像との対応関係が例えばテーブル形式で予め記憶部9aに記憶され、エリア処理部43は、入力部81から入力された第2分光測定部2の第2測定角γに基づいて、前記対応関係を参照することで、前記第1領域SP1に相当する前記1または複数の画像を求める。なお、上述したように、測定角可変光学系3aにおける第1および第2レンズ群31、32がズームリング等を用いた手動で移動される場合には、第1および第2レンズ群31、32のうちの少なくとも一方における光軸方向に沿った位置を検出する位置センサがさらに備えられ、記憶部9aは、第2分光測定部2の第2測定角γと、前記第1領域SP1に相当する前記1または複数の画像との前記対応関係に代え、前記第1および第2レンズ群31、32のうちの少なくとも一方における光軸方向に沿った位置と、前記第1領域SP1に相当する前記1または複数の画像との対応関係を記憶する。   As described above, the variable measurement angle optical system 3 is a variable power relay optical system, and the first spectroscopic measurement unit 1 splits the light by the split mirror 5 before entering the variable measurement angle optical system 3. The second spectrometer 2 receives the remaining part of the light to be measured branched by the branching mirror 5 via the variable measurement angle optical system 3 while receiving the light to be measured. Therefore, the size (area) of the first region SP1 measured at the first measurement angle β of the first spectroscopic measurement unit 1 is temporarily projected on the light receiving surface of the two-dimensional sensor 22 of the second spectroscopic measurement unit 2. Then, as shown in FIG. 8, the measurement angle varies according to the magnification of the variable optical system 3. More specifically, when the measurement angle variable optical system 3 is on the wide angle side from the standard, as shown in FIG. 8A, the first light projected on the light receiving surface of the two-dimensional sensor 22 of the second spectroscopic measurement unit 2 is displayed. The area SP1 is smaller than the first area SP1 shown in FIG. 8B, and when the variable measurement angle optical system 3 is on the telephoto side of the standard, as shown in FIG. The first area SP1 projected on the light receiving surface of the dimensional sensor 22 is larger than the first area SP1 shown in FIG. 8B. The area processing unit 43 is configured to measure a first measurement angle β of the first spectral measurement unit 1 from a plurality of pixels (a plurality of photoelectric conversion elements in the present embodiment) of the two-dimensional sensor 22. One or a plurality of pixels corresponding to the area SP1 are obtained. More specifically, the correspondence relationship between the magnification of the measurement angle variable optical system 3, that is, the second measurement angle γ of the second spectroscopic measurement unit 2 and the one or more images corresponding to the first region SP1 is determined. For example, the area processing unit 43 is stored in the storage unit 9a in a table format in advance, and the area processing unit 43 refers to the correspondence based on the second measurement angle γ of the second spectral measurement unit 2 input from the input unit 81, The one or more images corresponding to the first area SP1 are obtained. As described above, when the first and second lens groups 31 and 32 in the measurement angle variable optical system 3a are manually moved using a zoom ring or the like, the first and second lens groups 31 and 32 are used. A position sensor that detects a position along the optical axis direction in at least one of the first and second regions, and the storage unit 9a corresponds to the second measurement angle γ of the second spectroscopic measurement unit 2 and the first region SP1. Instead of the correspondence with the one or a plurality of images, the position along at least one of the first and second lens groups 31 and 32 along the optical axis direction and the one corresponding to the first region SP1 Alternatively, the correspondence relationship with a plurality of images is stored.

制御部41aは、上述の制御部41に類似し、さらに、上述のように、測定角可変光学系3aにおける第1および第2レンズ群31、32を光軸方向に沿って移動するように駆動部33を制御するものである。   The control unit 41a is similar to the above-described control unit 41, and drives the first and second lens groups 31, 32 in the measurement angle variable optical system 3a to move along the optical axis direction as described above. It controls the unit 33.

光学特性演算部42aは、上述の光学特性演算部42に類似し、エリア処理部43で求められた前記1または複数の画素の画素値に基づいて、第2分光測定部2の第2測定結果を第1分光測定部1の第1測定結果で補正するための補正係数CP1、CP2、CP3を求め、この求めた補正係数CP1、CP2、CP3を用いて第2分光測定部2の第2測定結果を第1分光測定部1の第1測定結果で補正して被測定光の所定の光学特性を求めるものであり、そのために、光学特性演算部42aは、上述と同様の特性演算部421と、補正演算部422aとを機能的に備える。補正演算部422aは、補正演算部422に類似し、上述のように、前記第1および第2分光測定部1、2それぞれの第1および第2測定結果に基づいて補正係数CP1、CP2、CP3を求めるが、この際に、エリア処理部43で求められた前記1または複数の画素の画素値を用いる。   The optical property calculation unit 42a is similar to the above-described optical property calculation unit 42, and based on the pixel values of the one or more pixels obtained by the area processing unit 43, the second measurement result of the second spectral measurement unit 2 Are determined by the first measurement result of the first spectroscopic measurement unit 1 to obtain correction coefficients CP1, CP2, and CP3, and the second measurement of the second spectroscopic measurement unit 2 is performed using the obtained correction coefficients CP1, CP2, and CP3. The result is corrected by the first measurement result of the first spectroscopic measurement unit 1 to obtain a predetermined optical characteristic of the measured light. Therefore, the optical characteristic calculation unit 42a includes the same characteristic calculation unit 421 as described above. , A correction operation unit 422a. The correction operation unit 422a is similar to the correction operation unit 422, and as described above, the correction coefficients CP1, CP2, and CP3 based on the first and second measurement results of the first and second spectral measurement units 1 and 2, respectively. At this time, the pixel values of the one or more pixels obtained by the area processing unit 43 are used.

記憶部9aは、上述の記憶部9に類似し、さらに前記対応関係を記憶するものである。   The storage unit 9a is similar to the storage unit 9 described above, and further stores the correspondence.

このような変形形態によれば、2次元センサ22における複数の画素の中から、第1分光測定部1の第1測定角βで測定される第1領域SP1に相当する1または複数の画素が求められ、この求められた画素の画素値に基づいて補正係数CP1、CP2、CP3が求められ、この求められ補正係数CP1、CP2、CP3を用いて第2分光測定部2の第2測定結果を第1分光測定部1の第1測定結果で補正するので、より適切に補正できる。   According to such a modification, one or a plurality of pixels corresponding to the first area SP1 measured at the first measurement angle β of the first spectroscopic measurement unit 1 are selected from the plurality of pixels in the two-dimensional sensor 22. The correction coefficients CP1, CP2, and CP3 are obtained based on the obtained pixel values of the obtained pixels, and the second measurement result of the second spectroscopic measurement unit 2 is calculated using the obtained correction coefficients CP1, CP2, and CP3. Since the correction is performed based on the first measurement result of the first spectrometer 1, the correction can be performed more appropriately.

また、上述の実施形態では、第2分光測定部2の測定角を可変するために、光学特性測定装置Dは、第2分光測定部2の入射側に測定角可変光学系3を備えて構成されたが、第2分光測定部2の入射側に代え、光学特性測定装置Dは、第1分光測定部1の入射側に測定角可変光学系3を備えて構成されてもよく、あるいは、第2分光測定部2の入射側に追加して、光学特性測定装置Dは、第1および第2分光測定部1、2の各入射側それぞれに測定角可変光学系3を備えて構成されてもよい。   In the above-described embodiment, in order to change the measurement angle of the second spectrometer 2, the optical property measuring device D includes the variable measurement angle optical system 3 on the incident side of the second spectrometer 2. However, instead of the incident side of the second spectroscopic measurement unit 2, the optical characteristic measuring device D may include a measurement angle variable optical system 3 on the incident side of the first spectroscopic measurement unit 1, or In addition to the incident side of the second spectrometer 2, the optical property measuring apparatus D is provided with a variable measurement angle optical system 3 on each of the incident sides of the first and second spectrometers 1, 2. Is also good.

また、上述の実施形態では、第1分光測定部1は、分光型であったが、第2分光測定部2の光学フィルタ211より高精度な分光応答度を持つ光学フィルタを用いることで、三刺激値型であってもよい。   Further, in the above-described embodiment, the first spectroscopic measurement unit 1 is of a spectral type, but by using an optical filter having a higher spectral response than the optical filter 211 of the second spectroscopic measurement unit 2, It may be a stimulus value type.

また、上述の実施形態では、光学特性測定装置Dが測色計であるため、第2分光測定部2は、互いに分光応答度の異なる3個の光学フィルタ211−R、211−G、211−Bを用いることで3種類の分光感度で被測定光を測定したが、光学特性測定装置Dが輝度計である場合には、第2分光測定部2は、1種類の分光感度で被測定光を測定すればよい。   Further, in the above-described embodiment, since the optical property measuring device D is a colorimeter, the second spectral measuring unit 2 includes three optical filters 211-R, 211-G, and 211-G having different spectral responsivities. B, the light to be measured is measured with three types of spectral sensitivities. However, when the optical characteristic measuring device D is a luminance meter, the second spectral measuring unit 2 uses the single type of spectral sensitivity to measure the light to be measured. Should be measured.

また、上述の実施形態において、第2分光測定部2は、例えばベイヤー配列等で構成されたカラーエリアセンサを備えて構成されても良い。   Further, in the above-described embodiment, the second spectroscopic measurement unit 2 may be configured to include a color area sensor configured with, for example, a Bayer array or the like.

本明細書は、上記のように様々な態様の技術を開示しているが、そのうち主な技術を以下に纏める。   The present specification discloses various aspects of the technology as described above, and the main technology is summarized below.

一態様にかかる光学特性測定装置は、互いに異なる第1および第2精度で被測定光を分光して測定する第1および第2分光測定部と、前記第1分光測定部の第1測定角および第2分光測定部の第2測定角のうちの少なくとも一方を可変する測定角可変光学系と、前記第1および第2分光測定部それぞれの第1および第2測定結果に基づいて前記被測定光の所定の光学特性を求める光学特性演算部とを備える。   An optical characteristic measuring device according to an aspect includes first and second spectrometers for spectroscopically measuring light to be measured with first and second accuracy different from each other, and a first measurement angle and a first measurement angle of the first spectrometer. A measurement angle variable optical system that changes at least one of a second measurement angle of a second spectrometer, and the measured light based on first and second measurement results of the first and second spectrometers, respectively. And an optical characteristic calculation unit for obtaining the predetermined optical characteristic.

このような光学特性測定装置は、測定角可変光学系を備えるので、測定角を可変できる。したがって、上記光学特性測定装置は、第1分光測定部の第1測定角と第2分光測定部の第2測定角との比率を変更できる。   Since such an optical characteristic measuring apparatus includes a measurement angle variable optical system, the measurement angle can be changed. Therefore, the optical characteristic measuring device can change the ratio between the first measurement angle of the first spectrometer and the second measurement angle of the second spectrometer.

他の一態様では、上述の光学特性測定装置において、前記測定角可変光学系は、焦点距離を可変するリレー光学系である。   In another aspect, in the above-described optical characteristic measuring device, the measurement angle variable optical system is a relay optical system that varies a focal length.

このような光学特性測定装置では、焦点距離を可変するリレー光学系(リレー変倍光学系)によって比較的簡単に測定角可変光学系が実現され得る。   In such an optical characteristic measuring apparatus, a measurement angle variable optical system can be realized relatively easily by a relay optical system (relay variable magnification optical system) that changes the focal length.

他の一態様では、これら上述の光学特性測定装置において、前記第1分光測定部は、前記第1精度が前記第2分光測定部の第2精度よりも高く、前記光学特性演算部は、前記第2分光測定部の前記第2測定結果を前記第1分光測定部の前記第1測定結果で補正して前記被測定光の所定の光学特性を求める。   In another aspect, in the above-described optical characteristic measuring device, the first spectral measurement unit has the first accuracy higher than the second accuracy of the second spectral measurement unit, and the optical characteristic calculation unit includes: The second measurement result of the second spectrometer is corrected with the first measurement result of the first spectrometer to obtain a predetermined optical characteristic of the measured light.

このような光学特性測定装置は、第2分光測定部の第2精度が相対的に低くても、第2分光測定部の第2測定結果を、相対的に高い第1精度を持つ第1分光測定部の第1測定結果で補正するので、第2分光測定部の第2測定結果を、前記第2精度より向上できる。   Such an optical characteristic measuring apparatus is capable of converting the second measurement result of the second spectroscopic measurement unit into the first spectrometer having a relatively high first accuracy even if the second accuracy of the second spectroscopic measurement unit is relatively low. Since the correction is performed using the first measurement result of the measurement unit, the second measurement result of the second spectroscopic measurement unit can be improved from the second accuracy.

他の一態様では、上述の光学特性測定装置において、前記第2分光測定部は、前記被測定光を面として2次元で測定するものであって、2次元アレイ状に配列された複数の画素を持ち前記被測定光を前記複数の画素で受光する2次元センサを備え、前記2次元センサにおける前記複数の画素の中から、前記第1分光測定部の第1測定角で測定される第1領域に相当する1または複数の画素を求めるエリア処理部をさらに備え、前記光学特性演算部は、前記エリア処理部で求められた前記1または複数の画素の画素値に基づいて、前記第2分光測定部の前記第2測定結果を前記第1分光測定部の前記第1測定結果で補正するための補正係数を求める。   In another aspect, in the above-described optical characteristic measuring apparatus, the second spectroscopic measurement unit measures the light to be measured in two dimensions as a plane, and includes a plurality of pixels arranged in a two-dimensional array. A two-dimensional sensor that receives the measured light at the plurality of pixels and has a first one that is measured at a first measurement angle of the first spectrometer from among the plurality of pixels of the two-dimensional sensor. The image processing apparatus further includes an area processing unit that obtains one or a plurality of pixels corresponding to an area, wherein the optical characteristic calculation unit performs the second spectral analysis based on the pixel values of the one or the plurality of pixels obtained by the area processing unit. A correction coefficient for correcting the second measurement result of the measurement unit with the first measurement result of the first spectroscopic measurement unit is obtained.

このような光学特性測定装置は、2次元センサにおける複数の画素の中から、第1分光測定部の第1測定角で測定される第1領域に相当する1または複数の画素を求め、この求めた画素の画素値に基づいて補正係数を求め、この求めた補正係数を用いて前記第2分光測定部の前記第2測定結果を前記第1分光測定部の前記第1測定結果で補正するので、より適切に補正できる。   Such an optical characteristic measuring device obtains one or a plurality of pixels corresponding to a first region measured at a first measurement angle of a first spectroscopic measurement unit from a plurality of pixels of a two-dimensional sensor. A correction coefficient is obtained based on the pixel value of the obtained pixel, and the second measurement result of the second spectral measurement unit is corrected with the first measurement result of the first spectral measurement unit using the obtained correction coefficient. Can be corrected more appropriately.

他の一態様では、これら上述の光学特性測定装置において、前記第1分光測定部は、前記被測定光を1点として測定して1個の測定結果を出力するスポット測定を行い、前記第2分光測定部は、前記被測定光を面として2次元で測定して2次元分布の測定結果を出力する2次元測定を行う。   In another aspect, in the above-described optical characteristic measuring apparatus, the first spectroscopic measurement unit performs the spot measurement of measuring the light to be measured as one point and outputting one measurement result, and The spectrometer performs two-dimensional measurement in which the measured light is measured two-dimensionally as a surface and a measurement result of a two-dimensional distribution is output.

このような光学特性測定装置は、スポット測定(spot測定)の第1測定角と、2次元測定の第2測定角との比率を可変できる。   Such an optical characteristic measuring device can change the ratio between the first measurement angle of spot measurement (spot measurement) and the second measurement angle of two-dimensional measurement.

そして、他の一態様にかかる光学特性測定方法は、互いに異なる第1および第2精度で被測定光を分光して測定する第1および第2分光測定工程と、前記第1および第2分光測定工程それぞれの第1および第2測定結果に基づいて前記被測定光の所定の光学特性を求める光学特性演算工程とを備え、前記第1および第2分光測定工程のうちの少なくとも一方は、測定角を可変する測定角可変光学系を介して前記被測定光を分光する。   The optical characteristic measuring method according to another aspect includes a first and second spectroscopic measuring steps of spectroscopically measuring the light to be measured with first and second precisions different from each other, and the first and second spectroscopic measuring steps. An optical characteristic calculating step of obtaining predetermined optical characteristics of the measured light based on the first and second measurement results of each of the steps. At least one of the first and second spectral measurement steps includes a measurement angle The measured light is split through a measurement angle variable optical system that varies the wavelength.

このような光学特性測定方法では、第1および第2分光測定工程のうちの少なくとも一方は、測定角可変光学系を介して前記被測定光が分光される。このため、上記光学特性測定方法は、第1分光測定工程での第1測定角と第2分光測定工程での第2測定角との比率を変更できる。   In such an optical characteristic measuring method, at least one of the first and second spectroscopic measurement steps disperses the measured light through a measurement angle variable optical system. For this reason, the optical characteristic measuring method can change the ratio between the first measurement angle in the first spectral measurement step and the second measurement angle in the second spectral measurement step.

この出願は、2014年5月29日に出願された日本国特許出願特願2014−111350を基礎とするものであり、その内容は、本願に含まれるものである。   This application is based on Japanese Patent Application No. 2014-111350 filed on May 29, 2014, the contents of which are included in the present application.

本発明を表現するために、上述において図面を参照しながら実施形態を通して本発明を適切且つ十分に説明したが、当業者であれば上述の実施形態を変更および/または改良することは容易に為し得ることであると認識すべきである。したがって、当業者が実施する変更形態または改良形態が、請求の範囲に記載された請求項の権利範囲を離脱するレベルのものでない限り、当該変更形態または当該改良形態は、当該請求項の権利範囲に包括されると解釈される。   Although the present invention has been described above appropriately and sufficiently through the embodiments with reference to the drawings in order to express the present invention, it is easy for those skilled in the art to modify and / or improve the above-described embodiments. It should be recognized that it is possible. Therefore, unless a modification or improvement performed by those skilled in the art is at a level that departs from the scope of the claims set forth in the claims, the modification or the improvement will not be included in the scope of the claims. Is interpreted as being included in

本発明によれば、光学特性測定装置および光学特性測定方法を提供できる。
According to the present invention, an optical characteristic measuring device and an optical characteristic measuring method can be provided.

Claims (7)

被測定物からの被測定光を集光する受光光学系と、
前記受光光学系を通過した前記被測定光を互いに異なる第1および第2精度で分光して測定する第1および第2分光測定部と、
前記受光光学系で作られた第1の像を第2の像に再収束させるとともに、前記第2分光測定部の焦点距離を可変するリレー光学系からなる測定角可変光学系と、
前記第1および第2分光測定部それぞれの第1および第2測定結果に基づいて前記被測定光の所定の光学特性を求める光学特性演算部とを備え、
前記第2分光測定部は、前記被測定光を面として2次元で測定するものであり、
前記リレー光学系による前記第2分光測定部の焦点距離の変更に伴って前記第1分光測定部の測定角と前記第2分光測定部の測定角との比率が変更すること
を特徴とする光学特性測定装置。
A light receiving optical system for condensing light to be measured from the object to be measured,
First and second spectrometers for spectroscopically measuring the measured light having passed through the light receiving optical system with first and second precisions different from each other;
A measurement angle variable optical system including a relay optical system that varies a focal length of the second spectrometer while refocusing the first image formed by the light receiving optical system on a second image ;
An optical property calculation unit for obtaining a predetermined optical property of the measured light based on the first and second measurement results of the first and second spectrometers, respectively;
The second spectrometer is configured to measure the two-dimensionally measured light as a surface,
The ratio between the measurement angle of the first spectrometer and the measurement angle of the second spectrometer is changed in accordance with the change of the focal length of the second spectrometer by the relay optical system. Characteristic measuring device.
前記第1分光測定部の第1精度が前記第2分光測定部の第2精度よりも高いこと
を特徴とする請求項1に記載の光学特性測定装置。
The optical characteristic measuring device according to claim 1, wherein the first accuracy of the first spectrometer is higher than the second accuracy of the second spectrometer.
被測定物からの被測定光を集光する受光光学系と、
前記受光光学系を通過した前記被測定光を前記第1および第2分光測定部へそれぞれ導く光学部材と、
前記受光光学系を通過した前記被測定光を分光して測定する第1分光測定部と、
前記受光光学系を通過した前記被測定光を分光して前記第1分光測定部の精度より低い精度で測定する第2分光測定部と、
前記光学部材と前記第2分光測定部の間に設けられ、前記受光光学系で作られた第1の像を第2の像に再収束させるとともに、前記第2分光測定部の焦点距離を可変するリレー光学系と、
前記第1および第2分光測定部それぞれの第1および第2測定結果に基づいて前記被測定光の所定の光学特性を求める光学特性演算部と
を備えたことを特徴とする光学特性測定装置。
A light receiving optical system for condensing light to be measured from the object to be measured,
An optical member that guides the measured light that has passed through the light receiving optical system to the first and second spectrometers;
A first spectral measurement unit that spectrally measures the measured light that has passed through the light receiving optical system,
A second spectroscopic measurement unit that disperses the light to be measured that has passed through the light receiving optical system and measures the light with lower accuracy than the accuracy of the first spectrometer;
A first image formed by the light receiving optical system is provided between the optical member and the second spectroscopic measurement unit to reconverge into a second image, and a focal length of the second spectroscopic measurement unit is variable. Relay optics
An optical property calculation unit for obtaining a predetermined optical property of the measured light based on the first and second measurement results of the first and second spectrometers, respectively.
前記光学特性演算部は、前記第2分光測定部の前記第2測定結果を前記第1分光測定部の前記第1測定結果で補正して前記被測定光の所定の光学特性を求めること
を特徴とする請求項2または3に記載の光学特性測定装置。
The optical characteristic calculating unit corrects the second measurement result of the second spectroscopic measurement unit with the first measurement result of the first spectroscopic measurement unit to obtain a predetermined optical characteristic of the measured light. The optical characteristic measuring device according to claim 2 or 3, wherein
前記第2分光測定部は、2次元アレイ状に配列された複数の画素を持ち前記被測定光を前記複数の画素で受光する2次元センサを備え、
前記2次元センサにおける前記複数の画素の中から、前記第1分光測定部の第1測定角で測定される第1領域に相当する1または複数の画素を求めるエリア処理部をさらに備え、
前記光学特性演算部は、前記エリア処理部で求められた前記1または複数の画素の画素値に基づいて、前記第2分光測定部の前記第2測定結果を前記第1分光測定部の前記第1測定結果で補正するための補正係数を求めること
を特徴とする請求項4に記載の光学特性測定装置。
The second spectrometer includes a two-dimensional sensor having a plurality of pixels arranged in a two-dimensional array and receiving the light to be measured by the plurality of pixels,
An area processing unit that obtains one or a plurality of pixels corresponding to a first region measured at a first measurement angle of the first spectral measurement unit from the plurality of pixels in the two-dimensional sensor,
The optical property calculation unit calculates the second measurement result of the second spectrometry unit based on a pixel value of the one or more pixels obtained by the area processing unit, The optical characteristic measuring apparatus according to claim 4, wherein a correction coefficient for correcting with one measurement result is obtained.
前記第1分光測定部は、前記被測定光を1点として測定して1個の測定結果を出力するスポット測定を行い、
前記第2分光測定部は、前記被測定光を面として2次元で測定して2次元分布の測定結果を出力する2次元測定を行うこと
を特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の光学特性測定装置。
The first spectroscopic measurement unit performs spot measurement that measures the light to be measured as one point and outputs one measurement result,
The said 2nd spectroscopic measurement part performs the two-dimensional measurement which measures the said to-be-measured light in two dimensions and outputs the measurement result of a two-dimensional distribution, The Claim 1 characterized by the above-mentioned. Item 2. The optical characteristic measuring device according to item 1.
互いに異なる第1および第2精度で被測定光を分光して測定する第1および第2分光測定工程と、
前記第1および第2分光測定工程それぞれの第1および第2測定結果に基づいて前記被測定光の所定の光学特性を求める光学特性演算工程とを備え、
前記第2分光測定工程では、前記被測定光を面として2次元で測定し、第1の像を第2の像に再収束させるとともに焦点距離を可変するリレー光学系を介して前記第1分光測定工程における測定角と前記第2分光測定工程における測定角との比率を変更すること
を特徴とする光学特性測定方法。
First and second spectroscopic measurement steps of spectroscopically measuring the light to be measured with first and second precisions different from each other;
An optical property calculating step of obtaining a predetermined optical property of the measured light based on the first and second measurement results of the first and second spectroscopic measurement steps, respectively.
In the second spectroscopic measurement step, the light to be measured is measured two-dimensionally as a surface, and the first image is re-converged to a second image , and the first image is measured via a relay optical system that varies the focal length. An optical characteristic measuring method, wherein a ratio between a measuring angle in the measuring step and a measuring angle in the second spectroscopic measuring step is changed.
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