JP6655778B2 - Liquid ejection device - Google Patents
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Description
本発明は、液体を加圧することにより液体を吐出する液体吐出装置に関するものである。 The present invention relates to a liquid ejection device that ejects a liquid by pressurizing the liquid.
電子機器製造分野など各種の技術分野では、接着剤やクリームはんだなどの液体を液滴状態で吐出する液体吐出装置が広く用いられている。吐出対象の液体には適正な吐出のために温度調節を必要とする高粘度のものが多いため、この種の液体を吐出対象とする液体吐出装置として、液体を吐出するニードルやノズルの近傍に温度制御手段を備えた構成が知られている(例えば特許文献1、2参照)。特許文献1に示す先行技術では、ディスペンサにおいてシリンジに加えてニードル近傍に温度制御手段を備え、ニードルの吐出孔近傍を所定温度に加熱保持する例が記載されている。また特許文献2に示す先行技術では、液体を吐出するノズルの外周面に接触するノズル加熱用筒状部材を備え、ノズル先端部の温度を目標温度に昇温保持する例が記載されている。
2. Description of the Related Art In various technical fields such as an electronic device manufacturing field, a liquid discharge device that discharges a liquid such as an adhesive or cream solder in a droplet state is widely used. Since many liquids to be ejected have a high viscosity that requires temperature adjustment for proper ejection, a liquid ejection device that ejects this type of liquid is located near a needle or nozzle that ejects the liquid. A configuration including a temperature control unit is known (for example, see
しかしながら上述の先行技術には、液体を吐出する吐出対象部位がワークに設けられた凹状部など狭隘部である場合には、液吐出部であるニードルやノズルなどを吐出対象部位にアクセスさせることが困難で、作業適用対象が制約されるという課題があった。すなわち上述の先行技術では、ニードルやノズルに温度制御手段を付加する構成となっていることから、液吐出部の断面サイズが増大することが避けられない。このため、吐出対象部位が凹状部など狭隘部を含む場合には、液吐出部を所望の位置まで接近させることができず、適正に温度調整された液体を良好な状態で吐出することが困難であった。 However, in the above-described prior art, when a discharge target portion for discharging a liquid is a narrow portion such as a concave portion provided on a work, a needle or a nozzle serving as a liquid discharge portion can access the discharge target portion. There is a problem that it is difficult and the application target of the work is restricted. That is, in the above-described prior art, since the temperature control means is added to the needle and the nozzle, it is inevitable that the cross-sectional size of the liquid discharge unit increases. For this reason, when the discharge target portion includes a narrow portion such as a concave portion, the liquid discharge portion cannot be brought close to a desired position, and it is difficult to discharge a properly temperature-controlled liquid in a good state. Met.
そこで本発明は、吐出対象部位が狭隘部を含む場合にあっても、適正に温度調整された液体を良好な状態で吐出することができる液吐出装置を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a liquid discharge apparatus that can discharge a liquid whose temperature has been appropriately adjusted in a favorable state even when a discharge target portion includes a narrow portion.
本発明の液体吐出装置は、液体を加圧することにより液体を吐出する液体吐出装置であって、ヘッド本体部と、前記ヘッド本体部に往復移動可能に装着され、その一端部が前記ヘッド本体部から露出している加圧部材と、前記ヘッド本体部に装着され、上面には前記加圧部材の一端部に臨む貯留室となる凹部を有し、下面には下方へ突出する突出部を有し、前記凹部から前記突出部の下端部に貫通した吐出流路を有する吐出ノズルと、前記加圧部材を往復移動させて前記貯留室の容積を変化させることにより前記吐出流路から液体を吐出させる駆動部と、前記ヘッド本体部を加熱する第1加熱部と、前記突出部を加熱する第2加熱部と、を備え、前記突出部の外周部に、前記突出部の突出方向に延びた切欠き部を有する筒状部材を備え、前記切欠き部に前記第2加熱部を装着した。 The liquid ejection device of the present invention is a liquid ejection device that ejects a liquid by pressurizing the liquid, and is mounted on the head body and the head body so as to be reciprocally movable, and one end of the head body is a pressure member which is exposed from the head main body portion is instrumentation wearing, the upper surface has a recess serving as a storage chamber facing the one end portion of the pressing member, the projecting portion projecting downward in the lower surface has a front and a discharge nozzle having a discharge flow path that passes through the lower end of the Ki凹part or al the projecting portion, the discharge flow by the change the volume of the reservoir chamber the pressure member is reciprocated A driving unit that discharges liquid from a path, a first heating unit that heats the head body, and a second heating unit that heats the protruding portion. A cylindrical member having a notch extending in a protruding direction, The second heating unit is mounted on the out portion.
本発明によれば、吐出対象部位が狭隘部を含む場合にあっても、適正に温度調整された液体を良好な状態で吐出することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even when the discharge target part includes a narrow part, it is possible to discharge the liquid whose temperature has been appropriately adjusted in a favorable state.
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1を参照して、液体吐出装置1の全体構成を説明する。図1において、液体吐出装置1は液体を加圧することにより液体を吐出する機能を有するものであり、吐出対象の液体を供給する液体供給部2および供給された液体を吐出する吐出ヘッド3を備えている。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. First, the overall configuration of the
液体供給部2は、液体5を貯留するシリンジ形状のタンク4および空圧供給源であるエアコンプレッサ6を備えている。エアコンプレッサ6は電空レギュレータによって所定の圧力に調整された空圧をタンク4に送給する。これによりタンク4内の液体5は空圧によって押し出され、液送管7を介して吐出ヘッド3に供給される。
The
吐出ヘッド3は、底板部9aを有し上側が開口したコ字形状の吐出ノズル装着部9を有しており、吐出ノズル装着部9の開口側には平板形状のベース部8が装着されている。ベース部8および吐出ノズル装着部9は、吐出ヘッド3の本体を構成するヘッド本体部10となっている。
The
吐出ノズル装着部9の底板部9aの下面には、スペーサ16を介してノズル部材17が装着されている。ノズル部材17の下面17b(図2参照)には下方に突出する突出部18が設けられており、吐出ヘッド3による液体5の吐出は突出部18の下端面に形成された吐出口18a(図2参照)を介して行われる。スペーサ16、ノズル部材17および突出部18は、液体5を吐出する吐出ノズル19を構成する。
A
突出部18の外周部は、熱伝導性に優れた金属よりなる筒状部材22によって被覆されている。筒状部材22には突出部18の吐出方向に延びた切欠き部22a(図2参照)が設けられており、切欠き部22aには突出部18の温度を検出する温度センサ23および突出部18を加熱する第2加熱部24が装着されている。吐出ヘッド3による液体吐出に際しては、第2加熱部24により突出部18を所定の温度に加熱した状態で液体5の吐出が行われる。
The outer peripheral portion of the protruding
吐出ノズル装着部9には、環状バネ13を介して加圧部材11が装着されており、さらに加圧部材11とベース部8との間には圧電素子よりなるアクチュエータ12が配設されている。アクチュエータ12はアクチュエータ制御部14によって制御されて上下方向へ伸縮動作を行い、ベース部8はアクチュエータ12の伸張時の上向きの反力を支持する。これにより、アクチュエータ12の下面に配設された加圧部材11は往復移動して、液送管7およびノズル部材17を介して貯留室S(図2参照)に供給された液体5を、以下に説明する構成により吐出させる。
A
吐出ノズル装着部9の側板部9d(図2参照)の外側面には、第1加熱部20が装着されている。第1加熱部20は貯留室Sの液体5を加熱するためのものであり、側板部9dと底板部9aからの熱伝導によりにスペーサ16とノズル部材17を加熱する。
The
次に図2を参照して、吐出ヘッド3の詳細構成を説明する。吐出ノズル装着部9は平板形状の底板部9aの両側端部から側板部9dを上方に延出させた構成となっている。側板部9dの上端部にはベース部8が固定装着されており、側板部9dの外側面には第1加熱部20が装着されている。ベース部8の下面に上面を当接させたアクチュエータ12の下面には、加圧部材11が配設されている。
Next, a detailed configuration of the
加圧部材11は円板形状の径大部11aから円柱形状の一端部11b(図4参照)を下方に突出させた形状を有している。加圧部材11を吐出ノズル装着部9に装着した状態では、吐出ノズル装着部9の底板部9aに設けられた円形の開口部9cに、一端部11bが往復動可能に嵌合する。この状態では、一端部11bの外周面のパッキン溝に装着された第2のパッキン25Bによって、開口部9cと一端部11bの外周面とが密封される。すなわち加圧部材11はヘッド本体部10にアクチュエータ12に駆動されて往復動可能に装着され、一端部11bがヘッド本体部10からアクチュエータ12による往復動方向に露出した構成となっている。また底板部9aの上面と径大部11aの下面との間には、環状バネ13が介在している。
The
吐出ノズル装着部9の装着面9bには、スペーサ16の上面16bが第1ガスケット26Aを介して密着状態で装着されている。スペーサ16は、ヘッド本体部10に着脱自在な所定の厚みを有する板状部材であり、スペーサ16には開口部9cと同径もしくはやや小径サイズの開口部16aが、スペーサ16の厚みを貫通して設けられている。加圧部材11がヘッド本体部10の吐出ノズル装着部9に装着された状態では、吐出ノズル装着部9から下方へ露出する一端部11bは、開口部16aによって包囲される。
The upper surface 16b of the
開口部16aの上部には、第1のパッキン25Aを保持するための保持部16cが形成されている。保持部16cに第1のパッキン25Aを保持させることにより、第1のパッキン25Aはスペーサ16と加圧部材11の一端部11bの側面の間に位置する。これにより、貯留室Sの液体5が開口部9cの側面と一端部11bの側面との間の隙間に進入するのが防止される。第1のパッキン25Aを保持するための保持部16cを開口部16aの上部に設けることにより、保持部16cを形成するための加工を容易にするとともに、保持部16cに侵入した液体5やその他の異物の清掃を容易に行うことができる。
A
スペーサ16の下面側には第2ガスケット26Bを介してノズル部材17が装着されている。ノズル部材17は開口部16aを塞ぐ状態でスペーサ16に装着され、この状態では、ノズル部材17の装着面17aと一端部11bの下端面との間に貯留室Sが形成される。すなわちスペーサ16は加圧部材11の一端部11bを包囲するとともに貯留室Sとなる開口部16aを備えた形態となっている。
The
なお、ここではスペーサ16の上面に第1ガスケット26A、下面に第2ガスケット26Bを装着する例を示したが、スペーサ16の下面の第2ガスケット26Bは必須ではなく、少なくともヘッド本体部10の吐出ノズル装着部9とスペーサ16の間に第1ガスケット26Aを備えていればよい。特に、スペーサ16がガスケット機能を有さない材料で形成されている場合は、第1ガスケット26Aを装着する必要がある。このように第1ガスケット26Aを備えることにより、洗浄液や飛び散って付着した液体5がヘッド本体部10とスペーサ16の間から侵入して、加圧部材11の一端部11bと底板部9aの隙間に入り込むのを防止することができる。一方、スペーサ16がゴム等のガスケット機能を備えた材料で形成されている場合は、第1ガスケット26Aと第2ガスケット26Bを特別に備える必要はない。
Here, an example is shown in which the
ノズル部材17の一方側の側面17cには、図1に示す液送管7と接続され内部に入口部27aを有するジョイント27が植設されている。入口部27aは、ノズル部材17の内部に設けられ貯留室Sに液体5を導入する導入流路28と連通している。すなわち導入流路28はノズル部材17の装着面17aに開口した出口部28aを介して、貯留室Sと連通している。出口部28aは貯留室Sに吐出対象の液体5を供給する供給孔として機能する。
On one
ここで導入流路28はノズル部材17の側面に開口した入口部27aから出口部28aに向かって傾斜した形状となっている。これにより導入流路28はノズル部材17内部において屈曲部のない直線状に形成される。このため導入流路28内部において残留した液体5や異物などによる目詰まりが発生しにくい構造とすることができる。さらに液体の交換時などに必要とされるメンテナンス作業において、クリーニングピンなどのツールを導入流路28に挿通させて、容易に導入流路28の内部を清掃することが可能となっている。
Here, the
ノズル部材17には、貯留室Sの底面である装着面17aから突出部18の下端部の吐出口18aまで貫通した吐出流路21が設けられている。ここで、吐出流路21の位置は貯留室S内における中心位置から出口部28aと反対側に隔てた配置となっている。このような配置とすることにより、一端部11bを貯留室S内で往復移動させる液吐出において出口部28aから貯留室S内に供給された液体5は、貯留室S内にエアだまりを形成することなく全体を充填し、貯留室S内にエアだまりが残留することによる吐出不良を防止することができる。
The
上記構成において、スペーサ16、ノズル部材17および突出部18より成る吐出ノズル19は、ヘッド本体部10の吐出ノズル装着部9に着脱自在であり、側面17cと下面17bと上面16bを有する形状となっている。そして吐出ノズル19は、上面16bがヘッド本体部10に密着した状態で装着され、上面16bには加圧部材11の一端部11bに臨む貯留室Sとなる凹部を有する構成となっている。
In the above configuration, the
すなわちノズル部材17の装着面17aとスペーサ16の開口部16aによって包囲される空間が、貯留室Sとなる凹部に相当する。そして吐出ノズル19を構成するノズル部材17の下面17bには下方へ突出する突出部18を有し、貯留室Sに液体5を導入する導入流路28と凹部の底である装着面17aから突出部18の下端部まで貫通して吐出口18aに連通する吐出流路21を有する構成となっている。このように、下方へ突出する突出部18を備えることにより、吐出対象部位が凹状部など狭隘部を含む場合にあっても、吐出口18aを所望の位置まで接近させることができ、より良好な状態で液体5の塗布を行うことができる。
That is, the space surrounded by the mounting surface 17a of the
なお本実施の形態においては、ノズル部材17とは別部材であるスペーサ16を介してノズル部材17を装着面9bに装着する構成の吐出ノズル19の例を示したが、同様の機能を有する吐出ノズルとして、ノズル部材17とスペーサ16とを同一部材とした構成を用いてもよい。この場合には、ノズル部材17とスペーサ16とを同一部材とした吐出ノズルの上面に、貯留室Sとなる凹部が形成される。
In this embodiment, the example of the
ここで突出部18に設けられた温度制御手段の構成および機能について説明する。突出部18の外周部は筒状部材22によって覆われており、筒状部材22に上下方向(突出部18の突出方向)に設けられた切欠き部22aには、温度センサ23および第2加熱部24が装着されている。すなわち突出部18には突出部18の温度を検出する温度センサ23が設けられている。このように筒状部材22に設けられた切欠き部22aに温度センサ23および第2加熱部24を装着する構成とすることにより、吐出ノズル19における液吐出用の突出部分の外形サイズを極力小さくして、より狭い狭隘部を液吐出対象とすることが可能となっている。
Here, the configuration and function of the temperature control means provided on the
液体吐出装置1は温度制御部30を備えており、温度制御部30は温度センサ23で検出した突出部18の温度に基づいて第2加熱部24を制御する。これにより、吐出ノズル19から吐出される液体5の温度を所定の温度に調節することが可能となっている。ここで温度センサ23は第2加熱部24よりも突出部18の先端側に装着されており、吐出口18aから吐出される液体5の温度をより正確に検出することができるようになっている。なお本実施の形態においては、筒状部材22の材質として突出部18を構成する材質よりも熱伝導性に優れた材質を用いるようにしている。これにより、吐出される液体5の温度調節をより高精度で行うことができる。
The
液体吐出装置1による液体5の吐出に際しては、まず液体供給部2から液送管7および導入流路28を介して貯留室S内に液体5を供給する。次いでアクチュエータ制御部14によってアクチュエータ12を充電し、環状バネ13による付勢力に抗して加圧部材11を所定のストロークだけ伸張させる。これにより貯留室Sの容積が変化して、吐出流路21を介して突出部18の下端部の吐出口18aから液体5が吐出される。この液吐出において、吐出ノズル19には突出部18が設けられていることから、吐出対象部位に障害物の隙間や凹状部の底などの狭隘部が含まれる場合にあっても、突出部18の下端部の吐出口18aを所望の位置まで接近させて、適正な塗布条件で液体5を塗布することができる。
In discharging the
そして吐出後にはアクチュエータ12を放電することによりアクチュエータ12の伸張を元に戻し、環状バネ13の付勢力により加圧部材11が押し上げられて次回の液吐出が可能な状態となる。すなわちアクチュエータ12、環状バネ13、アクチュエータ制御部14は、加圧部材11を往復移動させて貯留室Sの容積を変化させることにより、吐出流路21から液体5を吐出させる駆動部15となっている。
After the ejection, the
この液体吐出において、吐出ノズル装着部9は第1加熱部20によって予め所定温度まで加熱された状態にある。これにより、貯留室S内に供給された液体5は吐出ノズル装着部9から加圧部材11およびスペーサ16を介して伝達された熱によって加熱される。さらに突出部18は、先端側に装着された温度センサ23で検出した突出部18の温度に基づいて制御される第2加熱部24によって加熱される。これにより、液体5は予め設定された適正な温度に温度調節された状態で吐出口18aから吐出される。したがって、吐出対象の液体5が高粘度液体など適正な吐出に際して温度調節を要する種類のものであっても、突出部18を備えた構成の吐出ノズル19によって安定して液滴を塗布することができる。
In this liquid ejection, the ejection
図3は、吐出ノズル装着部9の装着面9bに組み付けられる部品を分解した斜視図を示している。すなわち、これらの部品を組み付ける際には、吐出ノズル装着部9の装着面9bから突出した加圧部材11の一端部11bに、第1のパッキン25Aを装着する。次いで、第2ガスケット26B、スペーサ16、第1ガスケット26Aおよびノズル部材17を重ねて、ノズル部材17の下面17bに設けられた締結孔17dに締結ボルト29を挿通させて、装着面9bに形成されたねじ孔9eに螺合させてねじ締結する。これにより図4に示すように、吐出ノズル装着部9の装着面9bには、スペーサ16、下面17bに突出部18を有するノズル部材17を重ねた吐出ノズル19(図1、図2参照)が、締結ボルト29によりねじ締結された状態となる。
FIG. 3 is an exploded perspective view of components assembled on the mounting
上記説明したように、本実施の形態では、ヘッド本体部10を構成する吐出ノズル装着部9に往復移動可能に装着され、その一端部11bが吐出ノズル装着部9から往復移動方向に突出した加圧部材11と、側面と下面と上面を有して吐出ノズル装着部9に着脱自在であり、上面が吐出ノズル装着部9に密着した状態で装着され、上面には加圧部材11の一端部11bに臨む貯留室Sとなる凹部を有し、下面には下方へ突出する突出部18を有し、貯留室Sに液体を導入する導入流路28と凹部の底から突出部18の下端部に貫通した吐出流路21を有する吐出ノズル19とを備え、貯留室Sの液体5を加圧することにより液体5を吐出する構成の液体吐出装置1において、吐出ノズル装着部9を加熱する第1加熱部20と、突出部18を加熱する第2加熱部24とを備えた構成となっている。
As described above, in the present embodiment, the
これにより、液体5の吐出に際して、吐出ノズル装着部9を第1加熱部20によって加熱し、さらに突出部18を第2加熱部24によって加熱して、液体5を適正な温度に温度調節することができる。したがって、吐出対象部位が狭隘部を含む場合にあっても、適正に温度調整された液体5を良好な状態で吐出することができる。
Accordingly, when the
本発明の液体吐出装置は、吐出対象部位が狭隘部を含む場合にあっても、適正に温度調整された液体を良好な状態で吐出することができるという効果を有し、貯留室の液体を加圧することにより液体を吐出する分野において有用である。 The liquid discharge device of the present invention has an effect that even when the discharge target portion includes a narrow portion, it is possible to discharge the liquid whose temperature is appropriately adjusted in a good state, and to discharge the liquid in the storage chamber. It is useful in the field of discharging liquid by pressurization.
1 液体吐出装置
2 液体供給部
3 吐出ヘッド
4 タンク
5 液体
8 ベース部
9 吐出ノズル装着部
9c 開口部
10 ヘッド本体部
11 加圧部材
11b 一端部
12 アクチュエータ
13 環状バネ
14 アクチュエータ制御部
15 駆動部
16 スペーサ
17 ノズル部材
18 突出部
19 吐出ノズル
20 第1加熱部
21 吐出流路
22 筒状部材
23 温度センサ
24 第2加熱部
27a 入口部
28 導入流路
28a 出口部
S 貯留室
REFERENCE SIGNS
Claims (5)
ヘッド本体部と、
前記ヘッド本体部に往復移動可能に装着され、その一端部が前記ヘッド本体部から露出している加圧部材と、
前記ヘッド本体部に装着され、上面には前記加圧部材の一端部に臨む貯留室となる凹部を有し、下面には下方へ突出する突出部を有し、前記凹部から前記突出部の下端部に貫通した吐出流路を有する吐出ノズルと、
前記加圧部材を往復移動させて前記貯留室の容積を変化させることにより前記吐出流路から液体を吐出させる駆動部と、
前記ヘッド本体部を加熱する第1加熱部と、
前記突出部を加熱する第2加熱部と、を備え、
前記突出部の外周部に、前記突出部の突出方向に延びた切欠き部を有する筒状部材を備え、前記切欠き部に前記第2加熱部を装着した液体吐出装置。 A liquid ejection device that ejects a liquid by pressurizing the liquid,
A head body,
A pressure member mounted reciprocally on the head main body, one end of which is exposed from the head main body;
Wherein the instrumentation wear to the head body portion, the upper surface has a recess serving as a storage chamber facing the one end portion of the pressing member has a protrusion protruding downward in the lower face, either before Ki凹unit A discharge nozzle having a discharge flow path penetrating the lower end of the protrusion from
A drive unit that ejects liquid from the ejection flow path by changing the volume of the storage chamber by reciprocating the pressure member,
A first heating unit for heating the head body,
A second heating unit that heats the protrusion ,
A liquid ejecting apparatus comprising: a cylindrical member having a notch extending in a protruding direction of the protruding portion on an outer peripheral portion of the protruding portion, wherein the second heating unit is mounted on the notch .
前記温度センサで検出した前記突出部の温度に基づいて前記第2加熱部を制御する温度制御部を備えた、請求項1に記載の液体吐出装置。 A temperature sensor for detecting the temperature of the protrusion is provided on the protrusion,
The liquid ejection device according to claim 1, further comprising a temperature control unit that controls the second heating unit based on a temperature of the protrusion detected by the temperature sensor.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016015227A JP6655778B2 (en) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | Liquid ejection device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016015227A JP6655778B2 (en) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | Liquid ejection device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017131854A JP2017131854A (en) | 2017-08-03 |
JP6655778B2 true JP6655778B2 (en) | 2020-02-26 |
Family
ID=59504776
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016015227A Active JP6655778B2 (en) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | Liquid ejection device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6655778B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018124663A1 (en) | 2018-10-05 | 2020-04-09 | Vermes Microdispensing GmbH | Dosing system with dosing agent cooling device |
JP7208667B1 (en) | 2021-10-12 | 2023-01-19 | 株式会社ナカリキッドコントロール | Liquid ejector |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2630759B2 (en) * | 1995-06-23 | 1997-07-16 | 株式会社ソフィアシステムズ | Polymer thick film extrusion equipment |
JP3754326B2 (en) * | 2001-06-06 | 2006-03-08 | 東京エレクトロン株式会社 | Coating film forming apparatus and method |
JP2006043509A (en) * | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Nippon Oil Corp | Joint filler filling apparatus |
JP2012081376A (en) * | 2010-10-07 | 2012-04-26 | Ricoh Microelectronics Co Ltd | Hot melt coating method and its apparatus |
JP5884018B2 (en) * | 2012-09-10 | 2016-03-15 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Liquid discharge head, liquid discharge apparatus, and liquid discharge method |
-
2016
- 2016-01-29 JP JP2016015227A patent/JP6655778B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017131854A (en) | 2017-08-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20160525 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181107 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190725 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190910 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191217 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191230 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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