JP6654059B2 - Particle detection system and particle detection method - Google Patents
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- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
Description
本発明は検査技術に関し、粒子検出システム及び粒子の検出方法に関する。 The present invention relates to an inspection technique, and relates to a particle detection system and a particle detection method.
液中の物体を測定する装置としては、フローサイトメータ（例えば、特許文献１参照。）、パーティクルカウンタ（例えば、特許文献２参照。）、及び蛍光物質検出システム（例えば、特許文献３参照。）がある。 As a device for measuring an object in a liquid, a flow cytometer (for example, see Patent Literature 1), a particle counter (for example, see Patent Literature 2), and a fluorescent substance detection system (for example, see Patent Literature 3). There is.
ところで、精製水、製薬用水、及び注射用水等は、微生物に対する処置基準値が薬局方で定められている。処置基準値は、精製水の用途に応じて異なる。例えば、無菌であることが前提である注射用水に対する生菌数の処置基準としては、０．１ＣＦＵ／ｍＬ以下が適正とされており、注射用水を製造する際には、水の消費を抑制しつつ、微量の微生物を高感度で検出することが要求される。また、精製水に対する生菌数の処置基準としては、１００ＣＦＵ／ｍＬ以下が適正とされており、注射用水と比較して基準が緩い。精製水を製造する際に要求される微生物の検出感度は、注射用水を製造する際に要求される感度と比較して低いが、単位時間当たり多量の精製水を検査することが要求される。 By the way, for purified water, pharmaceutical water, water for injection, and the like, treatment standard values for microorganisms are determined by the Pharmacopoeia. The treatment reference value varies depending on the use of purified water. For example, as a standard for treating the number of viable bacteria in water for injection, which is premised on sterility, 0.1 CFU / mL or less is considered appropriate, and when producing water for injection, water consumption is suppressed. At the same time, it is required to detect a very small amount of microorganisms with high sensitivity. In addition, 100 CFU / mL or less is considered appropriate as a treatment standard for the number of viable bacteria in purified water, and the standard is looser than that for water for injection. Although the sensitivity of detecting microorganisms required for producing purified water is lower than the sensitivity required for producing water for injection, it is necessary to test a large amount of purified water per unit time.
このように、液体に含まれる微生物等の粒子を検査する際には、低スループットで比較的高感度な粒子検出が求められる場合と、高スループットで比較的低感度な粒子検出が求められる場合があることに、本発明者らは着目した。しかし、特許文献１から３に開示された装置は、このようなスループットと感度の変化に対応できない。そこで、本発明は、測定環境の変化に対応可能な粒子検出装置及び粒子の検出方法を提供することを目的の一つとする。 As described above, when inspecting particles such as microorganisms contained in a liquid, there are cases where low throughput and relatively high sensitivity particle detection are required, and cases where high throughput and relatively low sensitivity particle detection are required. To some extent, the present inventors have paid attention. However, the devices disclosed in Patent Documents 1 to 3 cannot cope with such changes in throughput and sensitivity. Therefore, an object of the present invention is to provide a particle detection device and a particle detection method that can respond to changes in the measurement environment.
本発明の態様によれば、（ａ）粒子を含むサンプル液が流れる流路と、（ｂ）サンプル液に検査光を照射する光源と、（ｃ）検査光を照射された粒子で生じる反応光を検出し、測定信号を発する光検出部と、（ｄ）測定信号からノイズを除去するノイズ除去フィルタと、（ｅ）サンプル液の流量を測定する流量計と、（ｆ）測定された流量を出力する出力装置と、（ｇ）ノイズ除去フィルタが除去するノイズの周波数の設定を受け付ける入力装置と、（ｈ）入力装置からの入力に従って、ノイズ除去フィルタが除去するノイズの周波数を制御する制御部と、を備える、粒子検出システムが提供される。 According to an aspect of the present invention, (a) a flow path through which a sample liquid containing particles flows, (b) a light source for irradiating the sample liquid with test light, and (c) reaction light generated by the particles irradiated with the test light. (E) a noise detection filter that detects noise and emits a measurement signal; (d) a noise removal filter that removes noise from the measurement signal; (e) a flow meter that measures the flow rate of the sample solution; An output device for outputting, (g) an input device for receiving a setting of a frequency of the noise to be removed by the noise removing filter, and (h) a control unit for controlling a frequency of the noise to be removed by the noise removing filter according to an input from the input device. And a particle detection system comprising:
上記の粒子検出システムが、サンプル液の流量を調整する流量調整装置をさらに備えていてもよい。上記の粒子検出システムにおいて、入力装置が、流量調整装置が調整する流量の設定を受け付け、制御部が、入力装置からの入力に従って、流量調整装置が設定するサンプル液の流量を制御してもよい。 The above-described particle detection system may further include a flow rate adjusting device that adjusts the flow rate of the sample liquid. In the above-described particle detection system, the input device may receive the setting of the flow rate adjusted by the flow control device, and the control unit may control the flow rate of the sample liquid set by the flow control device according to the input from the input device. .
上記の粒子検出システムにおいて、入力装置が、ノイズが除去された測定信号の検出パルスの検出強度の閾値の設定を受け付けてもよい。上記の粒子検出システムが、ノイズが除去された測定信号の閾値以上の強度の検出パルスを検出するパルス検出部をさらに備えていてもよい。上記の粒子検出システムにおいて、制御部が、入力装置からの入力に従って、パルス検出部が設定する閾値を制御してもよい。 In the above-described particle detection system, the input device may receive the setting of the threshold value of the detection intensity of the detection pulse of the measurement signal from which noise has been removed. The above-described particle detection system may further include a pulse detection unit that detects a detection pulse having an intensity equal to or greater than a threshold of the measurement signal from which noise has been removed. In the above-described particle detection system, the control unit may control the threshold value set by the pulse detection unit according to an input from the input device.
また、本発明の態様によれば、（ａ）粒子を含むサンプル液が流れる流路と、（ｂ）サンプル液に検査光を照射する光源と、（ｃ）検査光を照射された粒子で生じる反応光を検出し、測定信号を発する光検出部と、（ｄ）測定信号からノイズを除去するノイズ除去フィルタと、（ｅ）サンプル液の流量を測定する流量計と、（ｆ）サンプル液の流量に応じて、ノイズ除去フィルタが除去するノイズの周波数を制御するフィードバック制御部と、を備える、粒子検出システムが提供される。 According to the aspect of the present invention, (a) a flow path through which a sample liquid containing particles flows, (b) a light source that irradiates test light to the sample liquid, and (c) particles generated by irradiation of the test light. A light detection unit that detects reaction light and emits a measurement signal; (d) a noise removal filter that removes noise from the measurement signal; (e) a flow meter that measures the flow rate of the sample liquid; A feedback control unit that controls the frequency of noise removed by the noise removal filter according to the flow rate.
上記の粒子検出システムにおいて、フィードバック制御部が、サンプル液の流量が増加すると、ノイズ除去フィルタが除去するノイズの周波数を高くし、サンプル液の流量が減少すると、ノイズ除去フィルタが除去するノイズの周波数を低くしてもよい。 In the above-described particle detection system, the feedback control unit increases the frequency of the noise removed by the noise removal filter when the flow rate of the sample liquid increases, and decreases the frequency of the noise removed by the noise removal filter when the flow rate of the sample liquid decreases. May be lowered.
上記の粒子検出システムが、サンプル液の流量を調整する流量調整装置をさらに備えていてもよい。 The above-described particle detection system may further include a flow rate adjusting device that adjusts the flow rate of the sample liquid.
上記の粒子検出システムが、ノイズが除去された測定信号の閾値以上の強度の検出パルスを検出するパルス検出部をさらに備えていてもよい。フィードバック制御部が、サンプル液の流量が増加すると、パルス検出部が設定する閾値を高くし、サンプル液の流量が減少すると、閾値を低くしてもよい。 The above-described particle detection system may further include a pulse detection unit that detects a detection pulse having an intensity equal to or greater than a threshold of the measurement signal from which noise has been removed. The feedback control unit may increase the threshold value set by the pulse detection unit when the flow rate of the sample liquid increases, and may decrease the threshold value when the flow rate of the sample liquid decreases.
上記の粒子検出システムにおいて、ノイズ除去フィルタが、ローパスフィルタ又はバンドパスフィルタであってもよい。また、光検出部が光電子増倍管を備えていてもよい。 In the above particle detection system, the noise removal filter may be a low-pass filter or a band-pass filter. Further, the light detection section may include a photomultiplier tube.
さらに、本発明の態様によれば、（ａ）粒子を含むサンプル液を流路に流すことと、（ｂ）サンプル液に検査光を照射することと、（ｃ）検査光を照射された粒子で生じる反応光を検出し、測定信号を発することと、（ｄ）ノイズ除去フィルタで測定信号からノイズを除去することと、（ｅ）サンプル液の流量を測定することと、（ｆ）測定された流量を出力することと、（ｇ）ノイズ除去フィルタが除去するノイズの周波数の設定を受け付けることと、（ｈ）受け付けた設定に従って、ノイズ除去フィルタが除去するノイズの周波数を制御することと、を備える、粒子の検出方法が提供される。 Further, according to the aspect of the present invention, (a) flowing the sample liquid containing the particles through the flow channel, (b) irradiating the sample liquid with the inspection light, and (c) irradiating the particles with the inspection light. Detecting the reaction light generated in the above, and generating a measurement signal; (d) removing noise from the measurement signal with a noise removal filter; (e) measuring the flow rate of the sample liquid; (G) receiving the setting of the frequency of the noise to be removed by the noise removing filter; (h) controlling the frequency of the noise to be removed by the noise removing filter according to the received setting; There is provided a method for detecting particles, comprising:
上記の粒子の検出方法が、流量調整装置が調整するサンプル液の流量の設定を受け付け、受け付けた設定に従って、流量調整装置が設定するサンプル液の流量を制御することをさらに備えていてもよい。 The above-described particle detection method may further include receiving the setting of the flow rate of the sample liquid adjusted by the flow rate adjusting device, and controlling the flow rate of the sample liquid set by the flow rate adjusting device according to the received setting.
上記の粒子の検出方法が、ノイズが除去された測定信号の検出パルスの検出強度の閾値の設定を受け付け、受け付けた設定に従って、閾値以上の検出パルスを検出することをさらに備えていてもよい。 The above-described particle detection method may further include receiving a setting of the threshold value of the detection intensity of the detection pulse of the measurement signal from which the noise has been removed, and detecting a detection pulse having a threshold value or more according to the received setting.
またさらに、本発明の態様によれば、（ａ）粒子を含むサンプル液を流路に流すことと、（ｂ）サンプル液に検査光を照射することと、（ｃ）検査光を照射された粒子で生じる反応光を検出し、測定信号を発することと、（ｄ）ノイズ除去フィルタで測定信号からノイズを除去することと、（ｅ）サンプル液の流量を測定することと、（ｆ）サンプル液の流量に応じて、ノイズ除去フィルタが除去するノイズの周波数を制御することと、を備える、粒子の検出方法が提供される。 Still further, according to the aspect of the present invention, (a) flowing the sample liquid containing the particles through the channel, (b) irradiating the sample liquid with the inspection light, and (c) irradiating the inspection light with the inspection light. Detecting the reaction light generated by the particles and generating a measurement signal; (d) removing noise from the measurement signal with a noise removal filter; (e) measuring the flow rate of the sample liquid; Controlling the frequency of the noise removed by the noise removal filter according to the flow rate of the liquid.
上記の粒子の検出方法のノイズ除去フィルタが除去するノイズの周波数を制御することにおいて、サンプル液の流量が増加すると、ノイズ除去フィルタが除去するノイズの周波数を高くし、サンプル液の流量が減少すると、ノイズ除去フィルタが除去するノイズの周波数を低くしてもよい。 In controlling the frequency of the noise removed by the noise removal filter of the above particle detection method, when the flow rate of the sample liquid increases, the frequency of the noise removed by the noise removal filter is increased, and the flow rate of the sample liquid decreases. Alternatively, the frequency of the noise removed by the noise removal filter may be lowered.
上記の粒子の検出方法が、サンプル液の流量を調整することをさらに備えていてもよい。 The above-described method for detecting particles may further include adjusting a flow rate of the sample liquid.
上記の粒子の検出方法が、ノイズが除去された測定信号の閾値以上の強度の検出パルスを検出することをさらに備えていてもよい。ノイズが除去された測定信号の閾値以上の強度の検出パルスを検出することにおいて、サンプル液の流量が増加すると、閾値を高くし、サンプル液の流量が減少すると、閾値を低くしてもよい。 The above-described method for detecting particles may further include detecting a detection pulse having an intensity equal to or greater than a threshold value of the measurement signal from which noise has been removed. In detecting a detection pulse having an intensity equal to or greater than the threshold value of the measurement signal from which noise has been removed, the threshold value may be increased when the flow rate of the sample liquid increases, and the threshold value may be decreased when the flow rate of the sample liquid decreases.
上記の粒子の検出方法において、ノイズ除去フィルタが、ローパスフィルタ又はバンドパスフィルタであってもよい。光電子増倍管が反応光を検出してもよい。 In the above-described particle detection method, the noise removal filter may be a low-pass filter or a band-pass filter. A photomultiplier tube may detect the reaction light.
本発明によれば、測定環境の変化に対応可能な粒子検出装置及び粒子の検出方法を提供可能である。 According to the present invention, it is possible to provide a particle detection device and a particle detection method that can respond to changes in the measurement environment.
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, the drawings are schematic. Therefore, specific dimensions and the like should be determined in light of the following description. In addition, it is needless to say that dimensional relationships and ratios are different between drawings.
（第１の実施の形態）
図１及び図２に示す第１の実施の形態に係る粒子検出システムは、粒子を含むサンプル液が流れる流路２と、サンプル液に検査光を照射する光源１０、検査光を照射された粒子で生じる反応光を検出し、測定信号を発する光検出部２０、５０、及び測定信号からノイズを除去するノイズ除去フィルタ２３、５３を備える検査装置１００と、サンプル液の流量を測定する流量計２００と、測定された流量を出力する出力装置４０１と、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数の設定を受け付ける入力装置４０２と、入力装置４０２からの入力に従って、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を制御する制御部３０１と、を備える。例えば、制御部３０１は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）３００に含まれる。
(First Embodiment)
The particle detection system according to the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2 includes a flow path 2 through which a sample liquid containing particles flows, a light source 10 that irradiates the sample liquid with test light, and a particle that is irradiated with the test light. An inspection apparatus 100 including light detectors 20 and 50 for detecting reaction light generated in the above and emitting a measurement signal, and noise removing filters 23 and 53 for removing noise from the measurement signal, and a flow meter 200 for measuring the flow rate of the sample liquid And an output device 401 for outputting the measured flow rate, an input device 402 for receiving the setting of the frequency of the noise to be removed by the noise removal filters 23 and 53, and the noise removal filters 23 and 53 according to the input from the input device 402. A control unit 301 for controlling the frequency of noise to be removed. For example, the control unit 301 is included in a central processing unit (CPU) 300.
流路２を流れるサンプル液は、例えば、プラントで製造される、純水、製薬用水、及び注射用水等の精製水であるが、これらに限定されない。流路２は、例えばサンプリングポート３を介してメインパイプ１から分岐している。 The sample liquid flowing through the flow path 2 is, for example, purified water such as pure water, pharmaceutical water, and water for injection, which is produced in a plant, but is not limited thereto. The flow path 2 branches off from the main pipe 1 via, for example, a sampling port 3.
検査装置１００は、流路２に設けられている。図２に示すように、光源１０は、検査装置１００に備えられている。検査装置１００は、検査光を照射された領域で生じる微生物粒子及び非微生物粒子の自家蛍光を含む蛍光帯域の光の強度を測定する蛍光測定器１０２と、検査光を照射された領域で生じる散乱光を測定する散乱光測定器１０５と、を備える。光検出部２０及びノイズ除去フィルタ２３は、蛍光測定器１０２に備えられている。また、光検出部５０及びノイズ除去フィルタ５３は、散乱光測定器１０５に備えられている。光源１０、蛍光測定器１０２、及び散乱光測定器１０５は、図１に示すＣＰＵ３００に電気的に接続されている。 The inspection device 100 is provided in the flow path 2. As shown in FIG. 2, the light source 10 is provided in the inspection device 100. The inspection apparatus 100 includes a fluorometer 102 that measures the intensity of light in a fluorescence band including autofluorescence of microbial and non-microbial particles generated in an area irradiated with the inspection light, and scattering generated in the area irradiated with the inspection light. A scattered light measuring device 105 for measuring light. The light detection unit 20 and the noise removal filter 23 are provided in the fluorometer 102. Further, the light detection unit 50 and the noise removal filter 53 are provided in the scattered light measuring device 105. The light source 10, the fluorescence measurement device 102, and the scattered light measurement device 105 are electrically connected to the CPU 300 shown in FIG.
図２に示す光源１０、及び光検出部２０、５０は、筐体３０内に設けられている。光源１０には、光源１０に電力を供給する光源駆動電源１１が接続されている。光源駆動電源１１には、光源１０に供給される電力を制御する電源制御装置１２が接続されている。図１に示した流路２を流れたサンプル液は、検査装置１００内において、図２に示す透明なセル４０の中を流れる。セル４０を流れたサンプル液は、例えば、図１に示す流路４に排出される。 The light source 10 and the light detection units 20 and 50 shown in FIG. The light source 10 is connected to a light source driving power supply 11 that supplies power to the light source 10. The light source driving power supply 11 is connected to a power supply control device 12 that controls electric power supplied to the light source 10. The sample liquid flowing through the flow channel 2 shown in FIG. 1 flows through the transparent cell 40 shown in FIG. The sample liquid flowing through the cell 40 is discharged to, for example, the flow path 4 shown in FIG.
図２に示す光源１０は、セル４０の中のサンプル液の水流に向けて、例えば広帯域波長の検査光を照射する。光源１０としては、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）及びレーザが使用可能である。検査光の波長は、例えば２５０ないし５５０ｎｍである。検査光は、可視光であっても、紫外光であってもよい。検査光が可視光である場合、検査光の波長は、例えば４００ないし５５０ｎｍの範囲内であり、例えば４０５ｎｍである。検査光が紫外光である場合、検査光の波長は、例えば３００ないし３８０ｎｍの範囲内であり、例えば３４０ｎｍである。ただし、検査光の波長は、これらに限定されない。 The light source 10 shown in FIG. 2 irradiates, for example, a broadband wavelength inspection light toward the water flow of the sample liquid in the cell 40. As the light source 10, for example, a light emitting diode (LED) and a laser can be used. The wavelength of the inspection light is, for example, 250 to 550 nm. The inspection light may be visible light or ultraviolet light. When the inspection light is visible light, the wavelength of the inspection light is, for example, in the range of 400 to 550 nm, for example, 405 nm. When the inspection light is ultraviolet light, the wavelength of the inspection light is, for example, in a range of 300 to 380 nm, for example, 340 nm. However, the wavelength of the inspection light is not limited to these.
光源１０から発せられた検査光は、例えばレンズを介して、セル４０中に収束される。セル４０内において、検査光が収束された点を含む領域を、検査領域という場合がある。セル４０の中のサンプル液に微生物粒子が含まれる場合、検査光を照射された微生物粒子に含まれるニコチンアミドアデニンジヌクレオチド及びリボフラビン等が、反応光としての自家蛍光を発する。また、検査光を照射された微生物粒子において、反応光としての散乱光が生じる。 The inspection light emitted from the light source 10 is converged in the cell 40 via, for example, a lens. In the cell 40, a region including a point where the inspection light is converged may be referred to as an inspection region. When the sample liquid in the cell 40 contains microorganism particles, nicotinamide adenine dinucleotide, riboflavin, and the like contained in the microorganism particles irradiated with the test light emit autofluorescence as reaction light. Further, scattered light as reaction light is generated in the microorganism particles irradiated with the inspection light.
微生物粒子が発する自家蛍光の波長及び強度は、微生物粒子の種類によって異なる。また、微生物粒子で生じる散乱光の強度は、微生物粒子の粒径に依存する。微生物粒子の粒径は、微生物粒子の種類毎に異なる。そのため、検出した蛍光の波長及び強度、並びに散乱光の強度から、サンプル液に含まれていた微生物粒子の種類を特定することが可能である。 The wavelength and intensity of the autofluorescence emitted by the microbial particles vary depending on the type of the microbial particles. Further, the intensity of the scattered light generated by the microorganism particles depends on the particle size of the microorganism particles. The particle size of the microbial particles differs for each type of microbial particle. Therefore, it is possible to specify the type of microorganism particles contained in the sample liquid from the wavelength and intensity of the detected fluorescence and the intensity of the scattered light.
また、サンプル液に非微生物粒子が含まれる場合も、非微生物粒子の材料によっては、非微生物粒子は自家蛍光を発する。また、粒子の材料に関わらず、検査光を照射された粒子においては、散乱光が生じる。 Also, when the sample liquid contains non-microbial particles, the non-microbial particles emit autofluorescence depending on the material of the non-microbial particles. Further, regardless of the material of the particles, scattered light is generated in the particles irradiated with the inspection light.
非微生物粒子が発する自家蛍光の波長及び強度は、非微生物粒子の種類によって異なる。また、非微生物粒子で生じる散乱光の強度は、非微生物粒子の粒径に依存する。非微生物粒子の粒径は、非微生物粒子の種類毎に異なる場合もある。そのため、検出した蛍光の波長及び強度、並びに散乱光の強度から、サンプル液に含まれていた非微生物粒子の種類を特定することが可能である。 The wavelength and intensity of the autofluorescence emitted by the non-microbial particles differ depending on the type of the non-microbial particles. Further, the intensity of the scattered light generated by the non-microbial particles depends on the particle size of the non-microbial particles. The size of the non-microbial particles may be different for each type of non-microbial particles. Therefore, it is possible to specify the type of non-microbial particles contained in the sample liquid from the detected wavelength and intensity of the fluorescence and the intensity of the scattered light.
蛍光測定器１０２は、微生物粒子及び非微生物粒子が発する自家蛍光等の蛍光帯域の光を検出する。蛍光測定器１０２の光検出部２０は、蛍光帯域の光を検出する。光検出部２０としては、光電子増倍管及びフォトダイオード等が使用可能であり、光を受光すると、光エネルギーを電気エネルギーに変換して、電気信号である測定信号を発する。 The fluorescence meter 102 detects light in a fluorescence band such as auto-fluorescence emitted by microbial particles and non-microbial particles. The light detection unit 20 of the fluorometer 102 detects light in the fluorescence band. As the photodetector 20, a photomultiplier tube, a photodiode, or the like can be used. Upon receiving light, the photodetector 20 converts light energy into electric energy and emits a measurement signal as an electric signal.
光検出部２０には、光検出部２０で生じた測定信号を増幅する増幅器２１が接続されている。増幅器２１には、増幅器２１に電力を供給する増幅器電源２２が接続されている。また、増幅器２１には、ノイズ除去フィルタ２３が接続されている。光検出部２０が蛍光を検出すると、測定信号に幅を持った検出パルスが現れる。測定信号のノイズの周波数は、通常、検出パルスの周波数よりも高いため、ノイズ除去フィルタ２３は、測定信号から高周波成分を除去して、ノイズを除去する。ノイズ除去フィルタ２３としては、ローパスフィルタ又はバンドパスフィルタが使用可能である。ノイズ除去フィルタ２３には、ノイズが除去された測定信号を受け取り、光検出部２０が受光した光の強度を算出する光強度算出装置２４が接続されている。光強度算出装置２４には、光強度算出装置２４が算出した光の強度を保存する光強度記憶装置２５が接続されている。 An amplifier 21 that amplifies the measurement signal generated by the light detection unit 20 is connected to the light detection unit 20. The amplifier 21 is connected to an amplifier power supply 22 that supplies power to the amplifier 21. Further, a noise removal filter 23 is connected to the amplifier 21. When the light detection unit 20 detects the fluorescence, a detection pulse having a width appears in the measurement signal. Since the frequency of the noise of the measurement signal is usually higher than the frequency of the detection pulse, the noise removal filter 23 removes the high frequency component from the measurement signal to remove the noise. As the noise removal filter 23, a low-pass filter or a band-pass filter can be used. A light intensity calculation device 24 that receives the measurement signal from which noise has been removed and calculates the intensity of light received by the light detection unit 20 is connected to the noise removal filter 23. The light intensity calculation device 24 is connected to a light intensity storage device 25 that stores the light intensity calculated by the light intensity calculation device 24.
蛍光測定器１０２は、例えば、連続的に蛍光の測定を続け、検出した蛍光の強度の記録を続ける。 For example, the fluorometer 102 continuously measures the fluorescence and continuously records the intensity of the detected fluorescence.
散乱光測定器１０５は、検査光を照射された微生物粒子及び非微生物粒子で生じる散乱光を検出する。散乱光測定器１０５の光検出部５０は、散乱光を検出する。光検出部５０としては、光電子増倍管及びフォトダイオード等が使用可能であり、光を受光すると、光エネルギーを電気エネルギーに変換して、電気信号である測定信号を発する。 The scattered light measuring device 105 detects scattered light generated by the microorganism particles and the non-microorganism particles irradiated with the inspection light. The light detection unit 50 of the scattered light measuring device 105 detects scattered light. As the light detection unit 50, a photomultiplier tube, a photodiode, or the like can be used. When light is received, light energy is converted into electric energy, and a measurement signal that is an electric signal is emitted.
光検出部５０には、光検出部５０で生じた測定信号を増幅する増幅器５１が接続されている。増幅器５１には、増幅器５１に電力を供給する増幅器電源５２が接続されている。また、増幅器５１には、ノイズ除去フィルタ５３が接続されている。光検出部５０が散乱光を検出すると、測定信号に幅を持った検出パルスが現れる。測定信号のノイズの周波数は、通常、検出パルスの周波数よりも高いため、ノイズ除去フィルタ５３は、測定信号から高周波成分を除去して、ノイズを除去する。ノイズ除去フィルタ５３としては、ローパスフィルタ又はバンドパスフィルタが使用可能である。ノイズ除去フィルタ５３には、ノイズが除去された測定信号を受け取り、光検出部５０が受光した光の強度を算出する光強度算出装置５４が接続されている。光強度算出装置５４には、光強度算出装置５４が算出した光の強度を保存する光強度記憶装置５５が接続されている。 An amplifier 51 that amplifies the measurement signal generated by the light detection unit 50 is connected to the light detection unit 50. The amplifier 51 is connected to an amplifier power supply 52 that supplies power to the amplifier 51. Further, a noise removal filter 53 is connected to the amplifier 51. When the light detection unit 50 detects the scattered light, a detection pulse having a width appears in the measurement signal. Since the frequency of the noise of the measurement signal is generally higher than the frequency of the detection pulse, the noise removal filter 53 removes high-frequency components from the measurement signal to remove noise. As the noise removal filter 53, a low-pass filter or a band-pass filter can be used. A light intensity calculation device 54 that receives the measurement signal from which noise has been removed and calculates the intensity of light received by the light detection unit 50 is connected to the noise removal filter 53. The light intensity calculating device 54 is connected to a light intensity storage device 55 for storing the light intensity calculated by the light intensity calculating device 54.
散乱光測定器１０５は、例えば、連続的に散乱光の測定を続け、検出した散乱光の強度の記録を続ける。 For example, the scattered light measuring device 105 continuously measures the scattered light, and continues recording the intensity of the detected scattered light.
図１に示す流量計２００は、検査装置１００から排出されたサンプル液が流れる流路４に設けられている。流量計２００は、流路４を流れるサンプル液の流量を測定する。流路４を流れるサンプル液の流量は、図２に示した検査装置１００のセル４０を流れるサンプル液の流量とほぼ同じである。なお、図１に示す流量計２００は、検査装置１００の上流に設けられていてもよい。 The flow meter 200 shown in FIG. 1 is provided in the flow path 4 through which the sample liquid discharged from the inspection device 100 flows. The flow meter 200 measures the flow rate of the sample liquid flowing through the flow path 4. The flow rate of the sample liquid flowing through the flow path 4 is substantially the same as the flow rate of the sample liquid flowing through the cell 40 of the inspection device 100 shown in FIG. Note that the flow meter 200 shown in FIG. 1 may be provided upstream of the inspection device 100.
出力装置４０１としては、ディスプレイ装置、及びプリンタ等が使用可能である。出力装置４０１は、流量計２００が測定した、サンプル液の流量を出力する。 As the output device 401, a display device, a printer, or the like can be used. The output device 401 outputs the flow rate of the sample liquid measured by the flow meter 200.
ここで、図２に示す光検出部２０、５０が発する測定信号の検出パルスの幅は、サンプル液の流量に応じて変動する。具体的には、サンプル液の流量が多くなると、測定信号の検出パルスの幅は狭くなる傾向にあり、サンプル液の流量が少なくとなると、測定信号の検出パルスの幅は広くなる傾向にある。換言すれば、サンプル液の流速が速くなると、測定信号の検出パルスの幅は狭くなる傾向にあり、サンプル液の流速が遅くなると、測定信号の検出パルスの幅は広くなる傾向にある。 Here, the width of the detection pulse of the measurement signal emitted by the photodetectors 20 and 50 shown in FIG. 2 varies according to the flow rate of the sample liquid. Specifically, as the flow rate of the sample liquid increases, the width of the detection pulse of the measurement signal tends to narrow, and as the flow rate of the sample liquid decreases, the width of the detection pulse of the measurement signal tends to increase. In other words, when the flow rate of the sample liquid increases, the width of the detection pulse of the measurement signal tends to narrow, and when the flow rate of the sample liquid decreases, the width of the detection pulse of the measurement signal tends to increase.
図１に示すＣＰＵ３００には、入力装置４０２がさらに接続されている。入力装置４０２としては、キーボード及びマウス等が使用可能である。入力装置４０２は、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数の入力を受付可能である。ＣＰＵ３００の制御部３０１は、入力装置４０２が受け付けたノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数に従って、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を制御する。 The input device 402 is further connected to the CPU 300 shown in FIG. As the input device 402, a keyboard, a mouse, and the like can be used. The input device 402 can receive an input of the frequency of the noise to be removed by the noise removal filters 23 and 53. The control unit 301 of the CPU 300 controls the frequency of noise removed by the noise removal filters 23 and 53 according to the frequency of noise removed by the noise removal filters 23 and 53 received by the input device 402.
第１の実施の形態に係る粒子検出システムによれば、出力装置４０１に出力されたサンプル液の流量に応じて、オペレータが、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を制御することが可能となる。具体的には、出力装置４０１に出力されたサンプル液の流量が多くなった場合、オペレータが、入力装置４０２を介して、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を上げることが可能である。また、出力装置４０１に出力されたサンプル液の流量が少なくなった場合、オペレータが、入力装置４０２を介して、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を下げることが可能である。 According to the particle detection system according to the first embodiment, the operator can control the frequency of the noise removed by the noise removal filters 23 and 53 in accordance with the flow rate of the sample liquid output to the output device 401. It becomes possible. Specifically, when the flow rate of the sample liquid output to the output device 401 increases, the operator can increase the frequency of the noise removed by the noise removal filters 23 and 53 via the input device 402. is there. When the flow rate of the sample liquid output to the output device 401 decreases, the operator can lower the frequency of the noise removed by the noise removal filters 23 and 53 via the input device 402.
また、第１の実施の形態に係る粒子検出システムにおいて、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を下げることにより、測定信号のベースラインの揺らぎをスムージングすることが可能である。測定信号のベースラインの揺らぎは、光検出部２０、５０が光電子増倍管である場合に、大きくなる傾向にあるが、第１の実施の形態に係る粒子検出システムによれば、このような揺らぎもスムージングすることが可能である。 Further, in the particle detection system according to the first embodiment, it is possible to smooth the fluctuation of the baseline of the measurement signal by lowering the frequency of the noise removed by the noise removal filters 23 and 53. The fluctuation of the baseline of the measurement signal tends to increase when the photodetectors 20 and 50 are photomultiplier tubes, but according to the particle detection system according to the first embodiment, Fluctuations can also be smoothed.
なお、出力装置４０１が、オペレータが入力可能な周波数を、選択肢として出力してもよい。この場合、オペレータは、入力装置４０２を介して、選択肢として出力された周波数のいずれかを選択してもよい。また、光強度記憶装置２５、５５に、設定された周波数を記録してもよい。 Note that the output device 401 may output a frequency that can be input by the operator as an option. In this case, the operator may select any of the frequencies output as options via the input device 402. Further, the set frequency may be recorded in the light intensity storage devices 25 and 55.
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係る粒子検出システムは、図３に示すように、サンプル液の流量を調整する流量調整装置２１０をさらに備える。流量調整装置２１０は、例えば、流路４に設けられている。なお、流量調整装置２１０は、検査装置１００の上流に設けられていてもよい。流量調整装置２１０としては、流量を電気的制御に調整可能なバルブ（弁）等が使用可能である。第２の実施の形態において、入力装置４０２は、流量調整装置２１０が調整する流量の設定を受付可能である。制御部３０１は、入力装置４０２からの入力に従って、流量調整装置２１０が設定するサンプル液の流量を制御する。
(Second embodiment)
As shown in FIG. 3, the particle detection system according to the second embodiment further includes a flow rate adjusting device 210 that adjusts the flow rate of the sample liquid. The flow control device 210 is provided, for example, in the flow path 4. Note that the flow control device 210 may be provided upstream of the inspection device 100. As the flow rate adjusting device 210, a valve (valve) or the like capable of adjusting the flow rate to electric control can be used. In the second embodiment, the input device 402 can receive the setting of the flow rate adjusted by the flow rate adjustment device 210. The control unit 301 controls the flow rate of the sample liquid set by the flow rate adjustment device 210 according to the input from the input device 402.
第２の実施の形態に係る粒子検出システムのその他の構成要素は、第１の実施の形態と同様であるので、説明は省略する。 Other components of the particle detection system according to the second embodiment are the same as those of the first embodiment, and thus description thereof is omitted.
第２の実施の形態に係る粒子検出システムによれば、出力装置４０１に出力されたサンプル液の流量に応じて、オペレータが、流量調整装置２１０が設定するサンプル液の流量を制御することが可能となる。例えば、サンプル液が、スループットよりも品質が優先される液体である場合、オペレータが、入力装置４０２を介して、サンプル液の流量を少なくし、かつ、オペレータが、入力装置４０２を介して、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を下げることが可能である。 According to the particle detection system according to the second embodiment, the operator can control the flow rate of the sample liquid set by the flow rate adjustment device 210 according to the flow rate of the sample liquid output to the output device 401. Becomes For example, if the sample liquid is a liquid whose quality is prioritized over the throughput, the operator reduces the flow rate of the sample liquid via the input device 402, and the operator controls the noise via the input device 402. It is possible to reduce the frequency of the noise removed by the removal filters 23 and 53.
また、サンプル液が、品質よりもスループットが優先される液体である場合、オペレータが、入力装置４０２を介して、サンプル液の流量を多くし、かつ、オペレータが、入力装置４０２を介して、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を上げることが可能である。 Further, when the sample liquid is a liquid in which the throughput is prioritized over the quality, the operator increases the flow rate of the sample liquid via the input device 402, and the operator increases the flow rate of the noise via the input device 402. It is possible to increase the frequency of the noise removed by the removal filters 23 and 53.
なお、出力装置４０１が、オペレータが入力可能な周波数と流量を、選択肢として表示してもよい。この場合、オペレータは、入力装置４０２を介して、選択肢として出力された周波数のいずれかと、流量のいずれかと、を選択してもよい。また、光強度記憶装置２５、５５に、設定された周波数と流量を記録してもよい。 Note that the output device 401 may display a frequency and a flow rate that can be input by the operator as options. In this case, the operator may select, via the input device 402, one of the frequencies output as options and one of the flow rates. Further, the set frequency and flow rate may be recorded in the light intensity storage devices 25 and 55.
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態に係る粒子検出システムは、図４に示すように、ノイズが除去された測定信号における強度が閾値以上の検出パルスを検出するパルス検出部２６、５６をさらに備える。具体的には、パルス検出部２６は、ノイズ除去フィルタ２３に接続されており、蛍光帯域の光由来の測定信号の検出パルスを検出する。また、パルス検出部５６は、ノイズ除去フィルタ５３に接続されており、散乱光由来の測定信号の検出パルスを検出する。
(Third embodiment)
As shown in FIG. 4, the particle detection system according to the third embodiment further includes pulse detection units 26 and 56 that detect a detection pulse whose intensity in a noise-removed measurement signal is equal to or greater than a threshold. Specifically, the pulse detection unit 26 is connected to the noise removal filter 23 and detects a detection pulse of a measurement signal derived from light in the fluorescent band. Further, the pulse detection unit 56 is connected to the noise removal filter 53 and detects a detection pulse of a measurement signal derived from scattered light.
第３の実施の形態に係る粒子検出システムのその他の構成要素は、第２の実施の形態と同様であるので、説明は省略する。第３の実施の形態において、図３に示す入力装置４０２は、ノイズが除去された測定信号の検出パルスの検出強度の閾値の設定を受付可能である。制御部３０１は、入力装置４０２からの入力に従って、パルス検出部２６、５６が設定する閾値を制御する。 Other components of the particle detection system according to the third embodiment are the same as those of the second embodiment, and thus description thereof is omitted. In the third embodiment, the input device 402 shown in FIG. 3 can receive the setting of the threshold value of the detection intensity of the detection pulse of the measurement signal from which noise has been removed. The control unit 301 controls a threshold value set by the pulse detection units 26 and 56 according to an input from the input device 402.
第３の実施の形態に係る粒子検出システムによれば、出力装置４０１に出力されたサンプル液の流量に応じて、オペレータが、図４に示すパルス検出部２６、５６が設定する閾値を制御することが可能となる。例えば、サンプル液が、スループットよりも品質が優先される液体である場合、オペレータが、入力装置４０２を介して、サンプル液の流量を少なくし、かつ、オペレータが、入力装置４０２を介して、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を下げることが可能である。また、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を下げることにより、ノイズ由来の測定信号の揺らぎがスムージングされるため、パルス検出部２６、５６が設定する閾値を下げて、微弱な検出パルスの検出が可能となる。そのため、オペレータが、入力装置４０２を介して、パルス検出部２６、５６が設定する閾値を下げて、検出パルスの検出感度を上げることが可能である。 According to the particle detection system according to the third embodiment, the operator controls the threshold value set by the pulse detection units 26 and 56 shown in FIG. 4 according to the flow rate of the sample liquid output to the output device 401. It becomes possible. For example, if the sample liquid is a liquid whose quality is prioritized over the throughput, the operator reduces the flow rate of the sample liquid via the input device 402, and the operator controls the noise via the input device 402. It is possible to reduce the frequency of the noise removed by the removal filters 23 and 53. Also, by lowering the frequency of the noise removed by the noise removing filters 23 and 53, the fluctuation of the measurement signal derived from the noise is smoothed. Therefore, the threshold value set by the pulse detectors 26 and 56 is lowered to detect the weak detection pulse. Can be detected. Therefore, the operator can lower the threshold value set by the pulse detection units 26 and 56 via the input device 402 to increase the detection sensitivity of the detection pulse.
上述したように、粒子検出システムにおいて、検査光を照射された領域を粒子が通過した際に得られる測定信号の検出パルスの幅は、サンプル液の流速に依存して変化し、サンプル液の流速が速い場合は、粒子由来の測定信号の検出パルスの幅は狭くなり、サンプル液の流速が遅い場合は、粒子由来の測定信号の検出パルスの幅は広くなる。 As described above, in the particle detection system, the width of the detection pulse of the measurement signal obtained when the particles pass through the area irradiated with the inspection light changes depending on the flow rate of the sample liquid, and the flow rate of the sample liquid Is faster, the width of the detection pulse of the measurement signal derived from the particles becomes narrower, and when the flow rate of the sample liquid is lower, the width of the detection pulse of the measurement signal derived from the particles becomes wider.
一方、測定信号のベースラインの揺らぎや、電気回路由来のノイズ等を含む、測定信号のバックグランドノイズの周波数は、サンプル液の流速に依存せずほぼ一定であり、検出パルスと比較すれば高周波数側に分布している。 On the other hand, the frequency of the background noise of the measurement signal, including the fluctuation of the baseline of the measurement signal and the noise derived from the electric circuit, is almost constant without depending on the flow rate of the sample liquid, and is higher than the detection pulse. Distributed on the frequency side.
そのため、サンプル液の流速を遅くし、ノイズ除去フィルタ２３、５３が通過させる信号の周波数を低周波数側に設定すると、粒子由来の検出パルスは低周波数側であるためノイズ除去フィルタ２３、５３で減衰されにくいが、バックグラウンドノイズは、検出パルスと比較すれば高周波数側であるため、ノイズ除去フィルタ２３、５３で減衰され、信号雑音比（ＳＮ比）が向上する。そのため、検出パルスの検出強度の閾値を下げて、高感度な検出をすることが可能である。 Therefore, if the flow rate of the sample liquid is reduced and the frequency of the signal passed by the noise removal filters 23 and 53 is set to the low frequency side, the detection pulse derived from the particles is on the low frequency side and is attenuated by the noise removal filters 23 and 53. However, the background noise is on the high frequency side as compared with the detection pulse, and thus is attenuated by the noise removal filters 23 and 53, and the signal-to-noise ratio (SN ratio) is improved. Therefore, it is possible to perform high-sensitivity detection by lowering the threshold value of the detection intensity of the detection pulse.
また、サンプル液が、品質よりもスループットが優先される液体である場合、オペレータが、入力装置４０２を介して、サンプル液の流量を多くし、かつ、オペレータが、入力装置４０２を介して、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を上げ、かつ、オペレータが、入力装置４０２を介して、パルス検出部２６、５６が設定する閾値を上げて、検出パルスの検出感度を下げることが可能である。 Further, when the sample liquid is a liquid in which the throughput is prioritized over the quality, the operator increases the flow rate of the sample liquid via the input device 402, and the operator increases the flow rate of the noise via the input device 402. The frequency of the noise removed by the removal filters 23 and 53 can be increased, and the operator can increase the threshold value set by the pulse detectors 26 and 56 via the input device 402 to reduce the detection sensitivity of the detected pulse. It is.
なお、出力装置４０１が、オペレータが入力可能な周波数、流量、及び閾値を、選択肢として表示してもよい。この場合、オペレータは、入力装置４０２を介して、選択肢として出力された周波数のいずれかと、流量のいずれかと、閾値のいずれかと、を選択してもよい。また、光強度記憶装置２５、５５に、設定された周波数、流量、及び閾値を記録してもよい。 Note that the output device 401 may display a frequency, a flow rate, and a threshold value that can be input by the operator as options. In this case, the operator may select, via the input device 402, one of the frequencies output as options, one of the flow rates, and one of the threshold values. Further, the set frequency, flow rate, and threshold value may be recorded in the light intensity storage devices 25 and 55.
（第４の実施の形態）
第４の実施の形態に係る粒子検出システムは、図５に示すように、ＣＰＵ３００が、サンプル液の流量に応じて、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を制御するフィードバック制御部３０２を備える。フィードバック制御部３０２は、流量計２００に接続されており、流量計２００から、サンプル液の流量の情報を受け取る。フィードバック制御部３０２は、サンプル液の流量が増加すると、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を高くし、サンプル液の流量が減少すると、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を低くする。この際、フィードバック制御部３０２は、測定信号に現れる複数のパルスの幅の平均値に基づいて、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を制御してもよい。
(Fourth embodiment)
As shown in FIG. 5, in the particle detection system according to the fourth embodiment, the CPU 300 controls the frequency of the noise removed by the noise removal filters 23 and 53 in accordance with the flow rate of the sample liquid. Is provided. The feedback control unit 302 is connected to the flow meter 200, and receives information on the flow rate of the sample liquid from the flow meter 200. The feedback control unit 302 increases the frequency of the noise removed by the noise removal filters 23 and 53 when the flow rate of the sample liquid increases, and increases the frequency of the noise removed by the noise removal filters 23 and 53 when the flow rate of the sample liquid decreases. Lower. At this time, the feedback control unit 302 may control the frequency of the noise removed by the noise removal filters 23 and 53 based on the average value of the widths of a plurality of pulses appearing in the measurement signal.
第４の実施の形態に係る粒子検出システムのその他の構成要素は、第１の実施の形態と同様であるので、説明は省略する。第４の実施の形態に係る粒子検出システムによれば、サンプル液の流量に応じて、ノイズ除去フィルタ２３、５３が除去するノイズの周波数を自動的に制御することが可能となる。 The other components of the particle detection system according to the fourth embodiment are the same as those of the first embodiment, and a description thereof will not be repeated. According to the particle detection system according to the fourth embodiment, it is possible to automatically control the frequency of the noise removed by the noise removal filters 23 and 53 according to the flow rate of the sample liquid.
（第５の実施の形態）
第５の実施の形態に係る粒子検出システムは、図６に示すように、サンプル液の流量を調整する流量調整装置２１０をさらに備える。第５の実施の形態において、フィードバック制御部３０２は、所定の期間において所定の回数以上、粒子を検出した場合、サンプル液の流量が少なくなるよう、流量調整装置２１０を制御する。また、フィードバック制御部３０２は、所定の期間において所定の回数未満、粒子を検出した場合、サンプル液の流量が多くなるよう、流量調整装置２１０を制御する。
(Fifth embodiment)
As shown in FIG. 6, the particle detection system according to the fifth embodiment further includes a flow rate adjusting device 210 that adjusts the flow rate of the sample liquid. In the fifth embodiment, the feedback control unit 302 controls the flow rate adjusting device 210 so as to reduce the flow rate of the sample liquid when particles are detected a predetermined number of times or more in a predetermined period. Further, when the particles are detected less than a predetermined number of times in a predetermined period, the feedback control unit 302 controls the flow rate adjustment device 210 so that the flow rate of the sample liquid increases.
第５の実施の形態に係る粒子検出システムのその他の構成要素は、第４実施の形態と同様であるので、説明は省略する。例えば、精製水等を製造するプラントにおいて、微生物粒子による汚染が発生すると、サンプル液中に微生物粒子が連続的に検出される。この際、流量調整装置２１０によってサンプル液の流量を少なくすることにより、粒子で生じる反応光を高感度で分析することが可能となる。 The other components of the particle detection system according to the fifth embodiment are the same as those of the fourth embodiment, and a description thereof will not be repeated. For example, in a plant for producing purified water or the like, when contamination by microorganism particles occurs, the microorganism particles are continuously detected in the sample liquid. At this time, by reducing the flow rate of the sample liquid by the flow rate adjusting device 210, it is possible to analyze the reaction light generated by the particles with high sensitivity.
（第６の実施の形態）
第６の実施の形態に係る粒子検出システムは、第５の実施の形態と同様に、図６に示すフィードバック制御部３０２を備え、かつ、第３の実施の形態と同様に、ノイズが除去された測定信号の閾値以上の強度の検出パルスを検出する、図４に示す、パルス検出部２６、５６を備える。フィードバック制御部３０２は、サンプル液の流量が増加すると、パルス検出部２６、５６が設定する閾値を高くして検出パルスの検出感度を下げ、サンプル液の流量が減少すると、閾値を低くして検出パルスの検出感度を上げる。第６の実施の形態に係る粒子検出システムのその他の構成要素は、第３及び第５の実施の形態と同様であるため、説明は省略する。
(Sixth embodiment)
The particle detection system according to the sixth embodiment includes the feedback control unit 302 illustrated in FIG. 6 as in the fifth embodiment, and removes noise as in the third embodiment. Pulse detection units 26 and 56 shown in FIG. 4 for detecting a detection pulse having an intensity equal to or greater than the threshold value of the measured signal. When the flow rate of the sample solution increases, the feedback control unit 302 increases the threshold value set by the pulse detection units 26 and 56 to decrease the detection sensitivity of the detection pulse, and when the flow rate of the sample solution decreases, the threshold value decreases and the detection is performed. Increase the pulse detection sensitivity. The other components of the particle detection system according to the sixth embodiment are the same as those of the third and fifth embodiments, and a description thereof will be omitted.
（第７の実施の形態）
第７の実施の形態に係る粒子検出システムは、図７に示すように、蛍光測定器１０２が、２つのノイズ除去フィルタ２３、２７を備え、散乱光測定器１０５も、２つのノイズ除去フィルタ５３、５７を備える。図８に示すように、ノイズ除去前の測定信号には、高周波ノイズと、ベースラインの揺らぎが現れる場合がある。ノイズ除去フィルタ２３、５３は、図９に示すように、測定信号から高周波ノイズを除去する。また、ノイズ除去フィルタ２７、５７は、図１０に示すような測定信号のベースラインをスムージングし、図１１に示すような、高周波ノイズが除去され、ベースラインがスムージングされた測定信号を生成する。ノイズ除去フィルタ２３、２７、５３、５７が除去するノイズの周波数は、サンプル液の流量に応じて、フィードバック制御部３０２により制御される。
(Seventh embodiment)
In the particle detection system according to the seventh embodiment, as shown in FIG. 7, the fluorescence measurement device 102 includes two noise removal filters 23 and 27, and the scattered light measurement device 105 also includes two noise removal filters 53. , 57. As shown in FIG. 8, the measurement signal before noise removal may show high-frequency noise and fluctuation of the baseline. The noise removal filters 23 and 53 remove high frequency noise from the measurement signal as shown in FIG. The noise removal filters 27 and 57 smooth the baseline of the measurement signal as shown in FIG. 10 and generate a measurement signal from which the high-frequency noise has been removed and the baseline has been smoothed as shown in FIG. The frequency of the noise removed by the noise removal filters 23, 27, 53, 57 is controlled by the feedback control unit 302 according to the flow rate of the sample liquid.
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、ノイズ除去フィルタは、移動平均法によりノイズを除去してもよい。あるいは、ノイズ除去フィルタに、デジタルフィルタ、無限インパルス応答（ＩＩＲ）フィルタ、又は有限インパルス応答（ＦＩＲ）フィルタ等を用いてもよい。いずれの種類のフィルタを用いる場合も、サンプル液の流量の変動に応じたパルス幅の変動に応じて、窓関数や透過周波数の値を適宜調整すればよい。この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。
(Other embodiments)
As described above, the present invention has been described by the embodiments. However, it should not be understood that the description and drawings forming a part of the present disclosure limit the present invention. From this disclosure, various alternative embodiments, embodiments, and operation techniques will be apparent to those skilled in the art. For example, the noise removal filter may remove noise by a moving average method. Alternatively, a digital filter, an infinite impulse response (IIR) filter, a finite impulse response (FIR) filter, or the like may be used as the noise removal filter. In the case of using any type of filter, the value of the window function or the value of the transmission frequency may be appropriately adjusted according to the variation of the pulse width according to the variation of the flow rate of the sample liquid. Thus, it should be understood that the present invention includes various embodiments and the like not described herein.
以下に限定されないが、本発明は、医薬用精製水、食品用精製水、飲料用精製水、及び半導体装置製造用精製水の製造現場等で利用可能である。 Although not limited to the following, the present invention can be used in a manufacturing site of purified water for medicine, purified water for food, purified water for drinking, and purified water for semiconductor device production.
１ メインパイプ
２、４ 流路
３ サンプリングポート
１０ 光源
１１ 光源駆動電源
１２ 電源制御装置
２０、５０ 光検出部
２１、５１ 増幅器
２２、５２ 増幅器電源
２３、５３、２７、５７ ノイズ除去フィルタ
２４、５４ 光強度算出装置
２５、５５ 光強度記憶装置
２６、５６ パルス検出部
３０ 筐体
４０ セル
１００ 検査装置
１０２ 蛍光測定器
１０５ 散乱光測定器
２００ 流量計
２１０ 流量調整装置
３００ 中央演算処理装置
３０１ 制御部
３０２ フィードバック制御部
４０１ 出力装置
４０２ 入力装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Main pipe 2, 4 Flow path 3 Sampling port 10 Light source 11 Light source drive power supply 12 Power supply control device 20, 50 Light detection unit 21, 51 Amplifier 22, 52 Amplifier power supply 23, 53, 27, 57 Noise removal filter 24, 54 Light Intensity calculation device 25, 55 Light intensity storage device 26, 56 Pulse detection unit 30 Case 40 Cell 100 Inspection device 102 Fluorescence measurement device 105 Scattered light measurement device 200 Flow meter 210 Flow control device 300 Central processing unit 301 Control unit 302 Feedback Control unit 401 Output device 402 Input device
Claims (7)
前記サンプル液に検査光を照射する光源と、
前記検査光を照射された粒子で生じる反応光を検出し、測定信号を発する光検出部と、
前記測定信号からノイズを除去するノイズ除去フィルタと、
前記サンプル液の流量を測定する流量計と、
前記サンプル液の流量に応じて、前記ノイズ除去フィルタが除去するノイズの周波数を制御するフィードバック制御部と、
を備える、粒子検出システム。 A flow path through which a sample liquid containing particles flows,
A light source for irradiating the sample liquid with test light,
A light detection unit that detects reaction light generated by the particles irradiated with the inspection light and emits a measurement signal,
A noise removal filter for removing noise from the measurement signal;
A flow meter for measuring the flow rate of the sample liquid,
According to the flow rate of the sample liquid, a feedback control unit that controls the frequency of the noise removed by the noise removal filter,
A particle detection system comprising:
前記サンプル液に検査光を照射することと、 Irradiating the sample liquid with test light,
前記検査光を照射された粒子で生じる反応光を検出し、測定信号を発することと、 Detecting reaction light generated by the particles irradiated with the inspection light, and emitting a measurement signal,
ノイズ除去フィルタで前記測定信号からノイズを除去することと、 Removing noise from the measurement signal with a noise removal filter;
前記サンプル液の流量を測定することと、 Measuring the flow rate of the sample liquid;
前記サンプル液の流量に応じて、前記ノイズ除去フィルタが除去するノイズの周波数をフィードバック制御することと、 According to the flow rate of the sample solution, to feedback control the frequency of the noise removed by the noise removal filter,
を備える、粒子の検出方法。 A method for detecting particles, comprising:
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