JP6642672B2 - Method of manufacturing projection optical system and method of manufacturing image display device - Google Patents

Method of manufacturing projection optical system and method of manufacturing image display device Download PDF

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Description

この発明は、投射光学系の製造方法および画像表示装置の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a projection optical system and a method for manufacturing an image display device.

反射型のライトバルブを用いる投射型の画像表示装置の一般的な構成と機能を、図1を参照して説明する。   The general configuration and function of a projection type image display device using a reflection type light valve will be described with reference to FIG.

図1は、投射型の画像表示装置として一般的な「プロジェクタ装置」の光学配置を説明図として示している。   FIG. 1 is an explanatory diagram showing an optical arrangement of a general “projector device” as a projection type image display device.

図中、符号LBはライトバルブ、符号LSはランプ光源、符号IRはインテグレータロッド、符号LNは照明用レンズ、符号Mはミラー、符号CMは曲面ミラー、符号POSは投射光学系を、それぞれ示している。   In the drawing, reference numeral LB denotes a light valve, reference numeral LS denotes a lamp light source, reference numeral IR denotes an integrator rod, reference numeral LN denotes an illumination lens, reference numeral M denotes a mirror, reference numeral CM denotes a curved mirror, and reference numeral POS denotes a projection optical system. I have.

ライトバルブLBは、画像表示素子であって反射型である。
ランプ光源LSは、ランプLPとリフレクタRFを有し、ライトバルブLBを照明するための照明光を放射する。
The light valve LB is an image display element and is of a reflection type.
The lamp light source LS has a lamp LP and a reflector RF, and emits illumination light for illuminating the light valve LB.

インテグレータロッドIR、照明用レンズLN、ミラーM、曲面ミラーCMは、ランプ光源LSから放射される照明光をライトバルブLBに導光する照明光学系を構成する。   The integrator rod IR, the illumination lens LN, the mirror M, and the curved mirror CM constitute an illumination optical system that guides illumination light emitted from the lamp light source LS to the light valve LB.

インテグレータロッドIRは、4つのミラーをトンネル状に組み合わせたライトパイプであり、入口部から入射する光をミラー面で反射させつつ出口部へ導光する。   The integrator rod IR is a light pipe in which four mirrors are combined in a tunnel shape, and guides the light incident from the entrance to the exit while reflecting the light on the mirror surface.

投射光学系POSは、ライトバルブLBからの反射光を、スクリーン等の被投射面にむけて投射し、被投射面上に「ライトバルブLBに表示された画像」を拡大して結像する。   The projection optical system POS projects the reflected light from the light valve LB toward a projection surface such as a screen, and enlarges and forms an “image displayed on the light valve LB” on the projection surface.

ライトバルブLBは、この例では「DMD(デジタル・マイクロミラー・デバイス)」であり、微小なミラーをアレイ状に配列してなる。個々の微小ミラーは、その法線方向を、互いに独立して、例えば「±12度の範囲」で変化させることができる。   The light valve LB is a “DMD (digital micromirror device)” in this example, and is configured by arranging minute mirrors in an array. The individual micromirrors can change their normal directions independently of each other, for example, within a range of “± 12 degrees”.

ランプLPから発せられた光をリフレクタRFで反射し、インテグレータロッドIRの入口部に集光する。入口部から入射した光は、インテグレータロッドIR内で反射を繰り返しつつ導光され、出口部から「照度ムラを均された」一様な照度の光として射出する。   The light emitted from the lamp LP is reflected by the reflector RF and condensed at the entrance of the integrator rod IR. The light incident from the entrance is guided while being repeatedly reflected in the integrator rod IR, and is emitted from the exit as light having uniform illuminance “even in illuminance unevenness”.

インテグレータロッドIRから射出した光は、照明用レンズLN、ミラーM、曲面ミラーCMからなる照明光学系を介してライトバルブLBを照射する。   Light emitted from the integrator rod IR illuminates the light valve LB via an illumination optical system including an illumination lens LN, a mirror M, and a curved mirror CM.

照明光学系の、照明レンズLNとミラーMおよび曲面ミラーCMは、インテグレータロッドIRの出口部における射出光を「光量むらの均された一様な照度の面光源」とし、この面光源の像をライトバルブLB上に形成する。即ち、ライトバルブLBは一様な照度の照明光で照射される。   The illumination lens LN, the mirror M, and the curved mirror CM of the illumination optical system use the light emitted from the exit of the integrator rod IR as a “surface light source having uniform illuminance with uniform light intensity” and an image of this surface light source. It is formed on the light valve LB. That is, the light valve LB is irradiated with illumination light having uniform illuminance.

ライトバルブLBにおける微小ミラーの傾き角を、例えば、−12度のとき、微小ミラーによる反射光が投射光学系POSに入射し、+12度のときは投射光学系POSに入射しないように定めて、ライトバルブLBと投射光学系POSとの位置関係を定め、さらに曲面ミラーCMからの照射光の「ライトバルブLBへの入射方向」を設定する。   For example, the tilt angle of the micro mirror in the light valve LB is determined such that when the angle is −12 degrees, the reflected light from the micro mirror is incident on the projection optical system POS, and when the angle is +12 degrees, the light is not incident on the projection optical system POS. The positional relationship between the light valve LB and the projection optical system POS is determined, and the “incident direction of the light from the curved mirror CM to the light valve LB” is set.

被投射面に投射結像するべき画像の画素に応じて、個々の微小ミラーの傾きを調整すれば、ライトバルブLBに画像を表示することができる。このように表示された画像を「表示画像」と呼ぶ。   The image can be displayed on the light valve LB by adjusting the inclination of each micromirror according to the pixel of the image to be projected and formed on the projection surface. The image displayed in this way is called a “display image”.

このようライトバルブLBに画像を表示し、照明光をライトバルブLBに照射すれば、投射光学系POSに入射する微小ミラーごとの反射光が、投射光学系POSにより結像光束とされて被投射面上に、上記画像の拡大画像として投射され結像する。このように被投射面上に結像した画像を「投射画像」と呼ぶ。   By displaying an image on the light valve LB and irradiating the light valve LB with the illumination light, the reflected light of each micromirror incident on the projection optical system POS is converted into an image forming light beam by the projection optical system POS to be projected. The image is projected and formed as an enlarged image of the image on the surface. The image formed on the projection surface in this way is called a “projection image”.

ライトバルブLBは「一様な照度分布の光」で照射されるので、表示された表示画像の拡大像である被投射面状の投射画像も一様な照度分布となる。このようにして、被投射面上に「デジタル画像」を表示できる。   Since the light valve LB is illuminated with “light having a uniform illuminance distribution”, the projection image on the projection surface, which is an enlarged image of the displayed image, also has a uniform illuminance distribution. In this way, a "digital image" can be displayed on the projection surface.

以上が、一般的なプロジェクタ装置による画像表示の説明である。   The above is the description of image display by a general projector device.

上記の如く、投射光学系POSの機能は「ライトバルブLBに表示された表示画像の実像である投射画像をスクリーン等の被投射面上に結像させる」ことであるが、被投射面上に表示させる投射画像のサイズや、プロジェクタ装置から被投射面までの距離は、プロジェクタ装置の具体的な使用状況により区々である。   As described above, the function of the projection optical system POS is to “form a projection image, which is a real image of the display image displayed on the light valve LB, on a projection surface such as a screen”. The size of the projected image to be displayed and the distance from the projector device to the projection target surface vary depending on the specific usage of the projector device.

被投射面上に投射画像を結像させるためには「ピント合わせ」が必要である。
図2(a)に示す「通常のプロジェクタ装置」では、投射光学系POS1は「共軸回転対称」であり、被投射面であるスクリーンSC上の投射画像のピント合わせは、投射光学系POS1全体を動かしてピントを合わせる「全体繰り出し方式」や、レンズ系中の1枚以上のレンズをセットとしたフォーカス群を移動させるフォーカシング方式が一般的である。なお、図2以下の各図において、投射光学系の共軸回転対称なレンズ系部分の光軸を符号「AX」で表す。
In order to form a projection image on a projection surface, “focusing” is required.
In the “normal projector device” shown in FIG. 2A, the projection optical system POS1 is “coaxially rotationally symmetric”, and the focus of the projection image on the screen SC as the projection surface is adjusted by the entire projection optical system POS1. In general, there is an "overall feeding system" for adjusting the focus by moving the lens, and a focusing system for moving a focus group in which one or more lenses in a lens system are set. In each of the drawings following FIG. 2, the optical axis of the lens system portion of the projection optical system that is rotationally symmetric with respect to the coaxial axis is represented by a symbol “AX”.

図2(b)に示す「複数枚レンズにより構成される屈折光学系POSL1と、この屈折光学系POSL1とは光軸を共有しない、非共軸の反射面により構成されるミラー光学系POSM1(図の例では1枚の凹面ミラーにより構成されている。)により構成される投射光学系を用いるプロジェクタ装置」が知られ、広く普及しつつある。   FIG. 2B shows a “refractive optical system POSL1 composed of a plurality of lenses and a mirror optical system POSM1 composed of a non-coaxial reflective surface that does not share an optical axis with the refractive optical system POSL1 (see FIG. 2B). In the example, a projector device using a projection optical system constituted by a single concave mirror is known.) And is becoming widespread.

このようなプロジェクタ装置で、従来よりもさらに至近距離(超至近距離)での投射を可能とするものが提案され、実施されつつある。   As such a projector device, a projector device capable of projecting at a closer distance (ultra-close distance) than ever before has been proposed and being implemented.

スクリーンSCに対して「至近距離あるいは超至近距離で画像を投射」する場合、通常「投射画像が見やすい」ように、投射画像の投射位置を「プロジェクタ装置よりも上方」に設定する必要がある。
このため一般に、図2に示すように画像表示素子LB(ここではDMD)の中心を、投射光学系の光軸AX上からずらし、偏心して配置する。
そして「投射光学系の性能保障範囲を広く取る」ために投射光学系を広角レンズにすることにより画像品位を保つ。
しかし、共軸回転対称なレンズ系による投射光学系の広角化には限界があり、「スクリーンSCにより近接した超至近位置」から投射画像を投射するには、ミラー光学系により「光路をかせぐ」必要がある。
When “projecting an image at a close distance or a very close distance” onto the screen SC, it is usually necessary to set the projection position of the projected image to “above the projector device” so that the projected image is easy to see.
For this reason, as shown in FIG. 2, the center of the image display element LB (here, DMD) is generally shifted from the optical axis AX of the projection optical system and arranged eccentrically.
The image quality is maintained by using a wide-angle lens for the projection optical system in order to “widen the performance guarantee range of the projection optical system”.
However, there is a limit to widening the angle of the projection optical system by a coaxial rotationally symmetric lens system. To project a projection image from a “super close position closer to the screen SC”, “make an optical path” by a mirror optical system. There is a need.

レンズ系による投射光学系の光路を平面ミラーで折り返すようにし、投射光学系の光軸をスクリーンに対して斜めに傾け、近距離での投射を行なう「斜め投射」方式もあるが、近距離投射は可能であるが、表示画面が台形状に歪む「台形歪み」の問題がある。   There is also a "diagonal projection" method, in which the optical path of the projection optical system by the lens system is folded back by a plane mirror, the optical axis of the projection optical system is inclined at an angle to the screen, and projection is performed at a short distance. Is possible, but there is a problem of "trapezoidal distortion" in which the display screen is distorted in a trapezoidal shape.

図2(b)に示す投射方式では、ミラー光学系POSM1を構成する凹面ミラーの鏡面形状を「自由曲面」とすることにより、投射画像の「台形歪み」を効果的に補正できる。
このような「自由曲面をもつミラーによる台形歪みの補正」に関しては、非特許文献1に詳しい説明がある。
In the projection method shown in FIG. 2B, the trapezoidal distortion of the projection image can be effectively corrected by setting the mirror shape of the concave mirror constituting the mirror optical system POSM1 to a “free-form surface”.
Non-Patent Document 1 describes such “correction of trapezoidal distortion by a mirror having a free-form surface” in detail.

図2(b)に示すような、屈折光学系POSL1とミラー光学系POSM1を用い、ミラー光学系POSM1に「自由曲面形状のミラー」を用いて台形歪みの補正を行なうプロジェクタ装置において、上述の「ピント合わせ」を行なうのに適したフォーカシング方式として「フローティングフォーカス方式」が考えられる。   As shown in FIG. 2B, in a projector apparatus that corrects trapezoidal distortion using a refractive optical system POSL1 and a mirror optical system POSM1 and using a “free-form mirror” for the mirror optical system POSM1, As a focusing method suitable for performing “focusing”, a “floating focus method” can be considered.

この場合の「フローティングフォーカス方式」は、ライトバルブLB(DMD)に最も近い「1枚以上のレンズ」を固定し、他の2以上のレンズやレンズ群、ミラーを光軸方向に移動させてピントを合わせするフォーカシング方式である。   In this case, the “floating focus method” is to fix the “one or more lenses” closest to the light valve LB (DMD) and move the other two or more lenses, lens groups, and mirrors in the optical axis direction to focus. This is a focusing method that matches

特に、至近距離や超至近距離でのピント合わせを「複数のレンズ群を、浮き木のように移動させてピントを合わせる」ところからフローティングフォーカス方式と呼ばれ、特に「一眼レフカメラの交換レンズ」で広く使われている。   In particular, focusing at a close distance or at a very close distance is called the floating focus method because it moves multiple lens groups like a floating tree to adjust the focus, and in particular, it is an `` interchangeable lens for single-lens reflex camera '' Widely used in

全体繰り出し方式や「単一のレンズやレンズ群」によるフォーカシングでは、スクリーンSCに対して至近距離から投射画像の投射を行なったときの台形歪みの補正が不足しがちであり、像面湾曲の補正も不十分となって、表示画面の中心と周辺のピントがずれる問題も生じる。   In the case of the whole feeding method and the focusing by “single lens or lens group”, correction of trapezoidal distortion when projecting a projected image from a close distance to the screen SC tends to be insufficient, and correction of field curvature is performed. Is also insufficient, causing a problem that the center of the display screen and the periphery thereof are out of focus.

フローティングフォーカス方式では、スクリーンSCに対して至近距離から投射画像の投射を行なったときに発生する画像の歪みを、主には「非共軸の曲面ミラー」で補正するため、台形歪みの補正や像面湾曲の補正も良好に行なうことが可能である。   In the floating focus method, distortion of an image generated when a projected image is projected from a close distance to the screen SC is mainly corrected by a “non-coaxial curved mirror”. Correction of curvature of field can be performed well.

より具体的に説明する。
図3(a)は「斜め投射」のプロジェクタ装置を示している。図示の簡単のために、光路を折り返す平面ミラーは図示を省略している。
This will be described more specifically.
FIG. 3A shows a projector device of “oblique projection”. For the sake of simplicity of illustration, the plane mirror that folds the optical path is not shown.

投射光学系POS0によりスクリーンSC上に投射画像を投射表示する。   A projection image is projected and displayed on the screen SC by the projection optical system POS0.

ライトバルブLBは「DMD」であり、その画像表示面は、図3(b)の上図のようにスクリーンSCの上下方向(Y方向)が短い「横長の長方形形状」であるが、スクリーンSC上に投射された投射画像は、図3(b)の下図のように「台形形状」である。   The light valve LB is “DMD” and its image display surface is “horizontally long rectangular shape” in which the vertical direction (Y direction) of the screen SC is short as shown in the upper diagram of FIG. The projected image projected above has a “trapezoidal shape” as shown in the lower diagram of FIG.

図4(a)は、屈折光学系POSL1とミラー光学系POSM1により構成された投射光学系による投射方式のプロジェクタ装置を示す。ミラー光学系POSM1は凹面ミラーである。   FIG. 4A shows a projection type projector device using a projection optical system including a refractive optical system POSL1 and a mirror optical system POSM1. The mirror optical system POSM1 is a concave mirror.

このプロジェクタ装置では、ライトバルブLB(DMD)の画像表示面は、図4(b)の上図のように長方形形状であり、屈折光学系POSL1により、この画像表示面の実像を、中間像Im0として、屈折光学系POSL1とミラー光学系POSM1との間に結像させ、ミラー光学系POSM1により、中間像Im0を物体像とする投射画像をスクリーンSC上に結像投射する。   In this projector device, the image display surface of the light valve LB (DMD) has a rectangular shape as shown in the upper diagram of FIG. 4B, and the refraction optical system POSL1 converts the real image of this image display surface into the intermediate image Im0. An image is formed between the refraction optical system POSL1 and the mirror optical system POSM1, and the mirror optical system POSM1 forms an image on the screen SC using the intermediate image Im0 as the object image.

屈折光学系POSL1により結像する中間像Im0は、図4(b)の中段の図のように「上部が狭い台形形状」で、このような歪曲収差を与えられて結像する。そして、この歪曲収差を、ミラー光学系POSM1により補正して、図4(b)の下図に示すように「長方形形状に補正された投射画像」をスクリーンSC上に結像する。   The intermediate image Im0 formed by the refractive optical system POSL1 has a “trapezoidal shape with a narrow upper portion” as shown in the middle part of FIG. Then, the distortion is corrected by the mirror optical system POSM1, and a “rectangularly corrected projected image” is formed on the screen SC as shown in the lower diagram of FIG. 4B.

図4のプロジェクタ装置で、スクリーンSC上に「より小さい投射画像」を表示するために、図5(a)に示すように、スクリーンSCを(図4(a)の位置よりも)Z方向の右側に移動させ、共軸系である屈折光学系POSL1の「Z方向への全体繰り出し」によりピント合わせを行なう場合を考える。   In order to display the “smaller projected image” on the screen SC with the projector device of FIG. 4, as shown in FIG. 5A, the screen SC is moved in the Z direction (from the position of FIG. 4A). Let us consider a case where the lens is moved to the right side and the focusing is performed by “entire extension in the Z direction” of the refracting optical system POSL1 which is a coaxial system.

この場合、屈折光学系POSL1の全体繰出しの前後で、中間像Im0の歪曲は殆ど変化しないので、中間像Im0の形状は、図5(b)の中段の図のように、図4(b)の下図の場合と同様であり、スクリーンSC上での投射画像には、図5(b)の下段の図のように「上辺が短くなる台形歪み」が発生してしまう。   In this case, since the distortion of the intermediate image Im0 hardly changes before and after the entire feeding of the refractive optical system POSL1, the shape of the intermediate image Im0 is changed as shown in the middle part of FIG. This is the same as in the case of the lower diagram, and a “trapezoidal distortion in which the upper side is shortened” occurs in the projected image on the screen SC as shown in the lower diagram of FIG. 5B.

この現象を、図6以下を参照してより詳しく説明する。
図6(a)は、図4(a)を上方から見た状態、即ち、図4(a)のXZ断面を示す。
This phenomenon will be described in more detail with reference to FIG.
FIG. 6A shows a state in which FIG. 4A is viewed from above, that is, an XZ cross section of FIG. 4A.

図6(a)に示すように、凹面ミラーPOSM1を使った投射光学系は、スクリーンSC上の表示画面の、Y方向上方とY方向下方に向かう光の角度がXZ断面内で異なる。   As shown in FIG. 6A, in the projection optical system using the concave mirror POSM1, the angles of light directed upward and downward in the Y direction of the display screen on the screen SC are different in the XZ section.

図6(c)は、図6(a)のように、適正な投射が行なわれている場合の投射画像の形状であり、長方形形状である。   FIG. 6C shows a shape of a projected image when proper projection is performed as shown in FIG. 6A, and has a rectangular shape.

スクリーンSCを、図5(a)のように移動させると、この状態のXZ断面を示す図6(b)に示すように、表示画面の上と下で、スクリーンSCに到達するX方向の位置が異なり図6(d)に示すように「上辺が短い台形歪み」を発生する。   When the screen SC is moved as shown in FIG. 5A, as shown in FIG. 6B showing the XZ cross section in this state, the position in the X direction reaching the screen SC differs between the upper and lower portions of the display screen. As shown in FIG. 6D, “trapezoidal distortion with a short upper side” occurs.

ライトバルブと屈折光学系の距離(ライトバルブ法線方向の距離)が適正である場合には、台形歪みの補正や、全述の像面湾曲の補正には「フローティングフォーカス方式」は大変有効である。   When the distance between the light valve and the refractive optical system (the distance in the normal direction of the light valve) is appropriate, the "floating focus method" is very effective for correcting trapezoidal distortion and correcting the field curvature described above. is there.

フローティングフォーカス方式によるピント合わせでは、像面湾曲補正が強く作用するため、例えば、図7に示すように、スクリーンSCを、スクリーン位置SC(1)(図4の(a)の状態である。)から、スクリーン位置SC(2)(図5(a)の状態である。)まで、曲面ミラーPOSM1に近づけたときのように「ピント調整量が、表示画面の上と下で大きく異なるような場合」に有効である。   In focusing by the floating focus method, since the curvature of field strongly acts, for example, as shown in FIG. 7, the screen SC is moved to the screen position SC (1) (the state shown in FIG. 4A). To the screen position SC (2) (the state shown in FIG. 5A), as in the case where the focus adjustment amount is significantly different between the upper and lower portions of the display screen, as when approaching the curved mirror POSM1. It is valid.

しかし、表示画面全体で「合わせたいピント調整量が同じ場合」にはフローティングフォーカス方式によるピント合わせは、有効に機能せず、このような場合には「全体繰り出し方式や前群繰り出し方式によるピント合わせ」が有効である。   However, when the focus adjustment amount to be adjusted is the same over the entire display screen, focusing by the floating focus method does not function effectively. In such a case, the focus adjustment by the whole extension method or the front group extension method is performed. Is valid.

プロジェクタ装置のピント合わせに関しては、従来から、種々の方法が広く知られている(例えば、特許文献1〜3)。   Various methods for focusing a projector device have been widely known (for example, Patent Documents 1 to 3).

フローティングフォーカス方式によるピント合わせは、表示画面の「中心と周辺のピントずれ」を補正する機能が主であるが「屈折光学系とライトバルブとの距離のばらつき」や「屈折光学系の焦点距離ばらつき」により投射画像全体のピントが「ボケて」いるような場合に、これを補正するには不向きである。   Focusing by the floating focus method mainly has the function of correcting "center and peripheral defocus" on the display screen, but "variation in the distance between the refractive optical system and the light valve" and "variation in the focal length of the refractive optical system" When the focus of the whole projected image is "blurred" due to "", it is not suitable for correcting this.

この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、屈折光学系とミラー光学系を有し、表示画面の「上と下とで異なるフォーカス調整量」を補正する機能と、「投射画像全体のピントボケ」を補正する機能をもった投射光学系の製造方法の提供を課題とする。 The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and has a refractive optical system and a mirror optical system, and has a function of correcting “a different focus adjustment amount between upper and lower parts” of a display screen, and “ It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a projection optical system having a function of correcting "out of focus".

この発明の投射光学系の製造方法は、物体側から順に、複数のレンズ群を含む屈折光学系と、曲面ミラーを有するミラー光学系と、を配し、前記屈折光学系の最も前記物体側の共役面側のレンズ面と前記物体側の共役面との距離を保ったまま前記屈折光学系中の一部のレンズ群を、前記物体側の共役面の法線方向に移動させて表示画面の上と下とで異なるフォーカス調整量を補正する第1のフォーカス調整部と、前記屈折光学系の最も前記物体側の共役面側のレンズ面と前記物体側の共役面との距離を所定の距離に維持する第2のフォーカス調整部とを有し、物体の像を拡大して投射する投射光学系を製造する方法であって、前記第2のフォーカス調整部により、前記屈折光学系のレンズを移動させて前記屈折光学系の最も前記物体側の共役面側のレンズ面と前記物体側の共役面との距離を変更して表示画面全体のピントを調整するフォーカス調整を行ったのち、前記屈折光学系の最も前記物体側の共役面側のレンズ面と前記物体側の共役面との前記所定の距離を固定することを特徴とする。 The method for manufacturing a projection optical system according to the present invention includes, in order from the object side, a refractive optical system including a plurality of lens groups, and a mirror optical system having a curved mirror, and the most object-side refractive optical system on the object side. While maintaining the distance between the lens surface on the conjugate plane side and the conjugate plane on the object side, some lens groups in the refractive optical system are moved in the normal direction of the conjugate plane on the object side to display the display screen. A first focus adjustment unit that corrects a different focus adjustment amount between an upper side and a lower side, and maintains a predetermined distance between a lens surface closest to the object-side conjugate surface and the object-side conjugate surface of the refractive optical system. A projection optical system for enlarging and projecting an image of an object, wherein the lens of the refractive optical system is moved by the second focus adjustment unit. And the conjugate of the refractive optical system closest to the object side After performing focus adjustment to adjust the focus of the entire display screen by changing the distance between the lens surface on the side and the conjugate surface on the object side, the lens surface of the refractive optical system closest to the conjugate surface on the object side The predetermined distance from the conjugate plane on the object side is fixed.

上記の如く、この発明の製造方法で製造される投射光学系は、第1および第2のフォーカス調整部と言う、互いに別個の2つのフォーカス調整部を有し、第1のフォーカス調整部は、画像表示素子の実像を被投射面に投射してフォーカス合わせを行なうとき、フローティングフォーカス方式のピント合わせを可能とする。   As described above, the projection optical system manufactured by the manufacturing method of the present invention includes two separate focus adjustment units called first and second focus adjustment units, and the first focus adjustment unit includes: When the real image of the image display element is projected onto the projection surface to perform focusing, it is possible to perform focusing by a floating focus method.

また、第2のフォーカス調整部により、屈折光学系の最も物体側の共役面側のレンズ面
と物体側の共役面との距離を変更し、「屈折光学系とライトバルブとの距離のばらつき」や「屈折光学系の焦点距離ばらつき」に起因する「投射画像全体のピントボケ」を有効に補正でき、投射画像全体のフォーカスを調整することができる。
Further, the distance between the lens surface of the refractive optical system closest to the conjugate surface on the object side and the conjugate surface of the object side is changed by the second focus adjustment unit, and “variation in the distance between the refractive optical system and the light valve” is performed. And "focus blur of the entire projected image" due to "variation in the focal length of the refractive optical system" can be effectively corrected, and the focus of the entire projected image can be adjusted.

第2のフォーカス調整部により投射光学系のフォーカス調整を行い、このフォーカス調整後に第2のフォーカス調整部を固定するので、第2のフォーカス調整部は、第1のフォーカス調整部の動作時には固定されている。   The focus adjustment of the projection optical system is performed by the second focus adjustment unit, and the second focus adjustment unit is fixed after the focus adjustment. Therefore, the second focus adjustment unit is fixed when the first focus adjustment unit operates. ing.

画像表示装置として一般的なプロジェクタ装置を説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining a general projector device as an image display device. 投射画像のピント合わせを説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining focusing of a projected image. 投射画像の台形歪みを説明するための図である。It is a figure for explaining trapezoidal distortion of a projection picture. 台形歪みの補正を説明するための図である。It is a figure for explaining correction of keystone distortion. ミラー光学系を用いる画像投射装置における台形歪みの補正が不十分な場合 を説明するための図である。FIG. 7 is a diagram for explaining a case where correction of trapezoidal distortion in an image projection device using a mirror optical system is insufficient. ミラー光学系を用いる画像投射装置における台形歪みの補正が不十分な場合 を説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining a case where correction of trapezoidal distortion in an image projection device using a mirror optical system is insufficient. ミラー光学系を用いる画像投射装置において、スクリーン位置が変化する場 合を説明するための図である。FIG. 9 is a diagram for explaining a case where a screen position changes in an image projection device using a mirror optical system. 参考例1の主要部を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a main part of Reference Example 1. 参考例2を説明するための図である。FIG. 9 is a diagram for explaining Reference Example 2. 実施の形態を説明するための図である。It is a figure for explaining an embodiment. 参考例1、2および実施の形態で用いられる屈折光学系の具体的な例を説明するための図である。FIG. 3 is a diagram for describing a specific example of a refractive optical system used in Reference Examples 1 and 2 and the embodiment. 屈折光学系の具体的な構成の1例を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a specific configuration of a refractive optical system. 実施例1の投射光学系の屈折光学系部分のデータを示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating data of a refractive optical system portion of the projection optical system according to the first embodiment. 実施例1のデータを示す図である。FIG. 4 is a diagram showing data of the first embodiment. 実施例1における凹面ミラーの鏡面形状のデータを示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating data of a mirror surface shape of a concave mirror according to the first embodiment. 投射光学系に外装OCを装荷したプロジェクタ装置を説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining a projector device in which a projection optical system is loaded with an exterior OC. 投射光学系に外装OCを装荷したプロジェクタ装置を説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining a projector device in which a projection optical system is loaded with an exterior OC.

以下、この発明の製造方法で製造される投射光学系、画像表示装置の実施の形態と具体的な実施例を説明する。   Hereinafter, embodiments and specific examples of a projection optical system and an image display device manufactured by the manufacturing method of the present invention will be described.

以下の説明において、画像表示素子であるライトバルブとして「DMD」を例示するが、この発明の製造方法で製造される画像表示装置における画像表示素子は、勿論、DMDに限るものではない。   In the following description, "DMD" is exemplified as a light valve as an image display element, but the image display element in the image display device manufactured by the manufacturing method of the present invention is not limited to DMD.

即ち、この発明の製造方法で製造される画像表示装置には、DMD以外のライトバルブ、例えば、LDパネルやLCOSパネル等、公知の種々のライトバルブの使用が可能である。   That is, a light valve other than the DMD, for example, various known light valves such as an LD panel and an LCOS panel can be used for the image display device manufactured by the manufacturing method of the present invention.

また、図の煩雑さを避けるため、以下の実施例の説明に用いる図面において、光源であるランプ光源や、ランプ光源からの照明光をライトバルブへ導光して照射する照明光学系の図示を省略する。   In addition, in order to avoid complication of the drawings, in the drawings used in the following description of the embodiments, a lamp light source as a light source and an illumination optical system for guiding illumination light from the lamp light source to a light valve for irradiation are shown. Omitted.

実際には、図1に示したような、ランプ光源LSからの照明光を、インテグレータロッドIR、照明用レンズLN、ミラーM、曲面ミラーCMは曲面ミラーによる照明光学系で、ライトバルブLB(DMD)を照明する場合が想定されている。   Actually, the illumination light from the lamp light source LS as shown in FIG. 1 is used by an integrator rod IR, an illumination lens LN, a mirror M, and a curved mirror CM as an illumination optical system using a curved mirror, and a light valve LB (DMD). ) Is assumed.

勿論、光源や照明光源の種類や構成は、この場合に限定されるものではなく、画像表示素子の種類や形態に応じて適宜のものが用いられることは言うまでもない。   Of course, the type and configuration of the light source and the illumination light source are not limited to this case, and it goes without saying that an appropriate type is used according to the type and form of the image display element.

「実施の形態1」
この発明の製造方法で製造される投射光学系の実施の形態1の主要部を図8に示す。
"Embodiment 1"
FIG. 8 shows a main part of Embodiment 1 of the projection optical system manufactured by the manufacturing method of the present invention.

ライトバルブLBはDMDであり、光学ハウジングHSに保持されている。   The light valve LB is a DMD and is held in the optical housing HS.

光学ハウジングHSには、中間部材InAを介して鏡胴CLが連結され、この鏡胴CL内に投射光学系の「屈折光学系」をなす複数枚のレンズが配置されている。
形態1においては「屈折光学系」は、4つのレンズ群、即ち、ライトバルブLB側から第1レンズ群LI、第2レンズ群LII、第3レンズ群LIII、第4レンズ群LIVを配して構成されている。
A lens barrel CL is connected to the optical housing HS via an intermediate member InA, and a plurality of lenses forming a “refractive optical system” of a projection optical system are arranged in the lens barrel CL.
In the first embodiment, the “refractive optical system” includes four lens groups, that is, a first lens group LI, a second lens group LII, a third lens group LIII, and a fourth lens group LIV from the light valve LB side. It is configured.

また、符号RMは「折り返しミラー」、符号CNMは「ミラー光学系」をなす凹面ミラーを示す。   Further, reference numeral RM indicates a “return mirror”, and reference numeral CNM indicates a concave mirror forming a “mirror optical system”.

図示されない光源からの照明光が、図示されない照明光学系によりライトバルブLBであるDMDの画像表示面に照射されると、画像表示面による反射光は、DMDに表示された表示画像により強度変調されて、投射光学系の「屈折光学系」に入射する。   When illumination light from a light source (not shown) is applied to the image display surface of the DMD as the light valve LB by an illumination optical system (not shown), the reflected light from the image display surface is intensity-modulated by the display image displayed on the DMD. Incident on the “refractive optical system” of the projection optical system.

屈折光学系から射出した光束は、折り返しミラーRMにより反射され、凹面ミラーCNMにより反射されると結像光束となって、図示されない被投射面(スクリーン)に向かい、被投射面上に表示画像を拡大した投射画像を結像する。   The light beam emitted from the refraction optical system is reflected by the return mirror RM and becomes an imaged light beam when reflected by the concave mirror CNM. The light beam travels toward a projection surface (screen) (not shown), and a display image is displayed on the projection surface. An enlarged projected image is formed.

折り返しミラーRMは、ホルダHLに中間部材InBを介して取り付けられている。   The folding mirror RM is attached to the holder HL via an intermediate member InB.

このような「折り返しミラーRMを経由する光学系」では、折り返しミラーRMで反射した光の拡散度合いを低くできるように、「屈折光学系と凹面ミラーRMの間の光路上に「表示画像の実像」を中間像として結像させることにより、光束を1度絞ることが好ましい。   In such an “optical system that passes through the return mirror RM”, “the actual image of the display image is displayed on the optical path between the refractive optical system and the concave mirror RM” so that the degree of diffusion of the light reflected by the return mirror RM can be reduced. Is formed as an intermediate image to reduce the luminous flux once.

フォーカシングによるピント合わせを説明する。
図8には図示されていないが、スクリーンの位置を、図7のスクリーン位置SC(1)からスクリーン位置SC(2)のように近づけた場合に、投射画像の「画面の上と下」とで異なるフォーカス調整量を補正するため、フローティングフォーカス方式でピント合わせを行なう。
形態1においては、屈折光学系を構成する4つのレンズ群のうち、第2レンズ群LIIと第3レンズ群LIIIを光軸方向へ移動させて、ピントあわせを行なう。
Focusing by focusing will be described.
Although not shown in FIG. 8, when the screen position is brought closer to the screen position SC (2) from the screen position SC (1) in FIG. 7, the projection image differs between “top and bottom of the screen”. In order to correct the focus adjustment amount, focusing is performed by a floating focus method.
In the first embodiment, of the four lens groups constituting the refractive optical system, the second lens group LII and the third lens group LIII are moved in the optical axis direction to perform focusing.

図8は、鏡胴CLの構造について詳しく図示していないが、第2レンズ群LIIと第3レンズ群LIIIを移動させるには、例えば、鏡胴CLにカム溝を形成し、第2レンズ群LIIと第3レンズ群LIIIのそれぞれに、このカム溝に合うピンを取り付けて、カム溝にはめ込み、鏡胴CLを回転させることにより、第2レンズ群LIIと第3レンズ群LIIIをそれぞれ、異なる方向に移動させることができる。   FIG. 8 does not show the structure of the lens barrel CL in detail, but in order to move the second lens group LII and the third lens group LIII, for example, a cam groove is formed in the lens barrel CL and the second lens group is moved. A pin matching this cam groove is attached to each of the LII and the third lens group LIII, fitted into the cam groove, and the lens barrel CL is rotated, so that the second lens group LII and the third lens group LIII are different from each other. Can be moved in any direction.

ここでは、鏡胴CLを1部品のように扱って説明を簡単化したが、実際には複数部品による「より複雑な構成」を採るのが一般的である。   Here, the description is simplified by treating the lens barrel CL as one component, but in practice, a “more complicated configuration” using a plurality of components is generally employed.

このカム機構を「第1のフォーカス調整部」とする。   This cam mechanism is referred to as a “first focus adjustment unit”.

ところで、光学ハウジングHSを複数個作製すれば、製品には、当然に「寸法のばらつき」が生じる。
従って、鏡胴CLを光学ハウジングHSに直接組付けた場合、図8のライトバルブLBと第1レンズ群LIとの間の距離が「寸法ばらつき」に従って、ばらついてしまう。
また、形態1では、第1〜第4レンズ群LI〜LIVで構成される屈折光学系の各レンズも、凹面ミラーCNMも、複数個作製すれば、それぞれに「形状ばらつき」があり、特に「屈折光学系の焦点距離」のばらつきが発生し、ライトバルブLBと第1レンズ群LI間の「最適な距離」がばらついてしまう。
By the way, if a plurality of optical housings HS are manufactured, "dimension variation" naturally occurs in the product.
Therefore, when the lens barrel CL is directly assembled to the optical housing HS, the distance between the light valve LB and the first lens group LI in FIG. 8 varies according to “dimensional variation”.
In the first embodiment, if a plurality of lenses of the refractive optical system composed of the first to fourth lens groups LI to LIV and a plurality of concave mirrors CNM are manufactured, each has a “shape variation”. The "focal distance of the refractive optical system" varies, and the "optimum distance" between the light valve LB and the first lens unit LI varies.

これら2種の「ばらつき」があっても、ライトバルブLBと第1レンズ群LIとの間の距離を適正化できるように「中間部材InA」が配置される。   The “intermediate member InA” is arranged so that the distance between the light valve LB and the first lens group LI can be optimized even if there are these two types of “variation”.

中間部材InAとして、例えば、厚さ:0.1mm程度の薄い板を複数枚用い、光学ハウジングHSと鏡胴CLの間に介設する薄い板の枚数を変えることにより、中間部材InAの全厚みを調整するようにできる。このようにすると、ライトバルブLBと第1レンズ群LIとの間の距離を、0.1mm単位で調整することができる。   For example, a plurality of thin plates having a thickness of about 0.1 mm are used as the intermediate member InA, and the total thickness of the intermediate member InA is changed by changing the number of thin plates interposed between the optical housing HS and the lens barrel CL. Can be adjusted. In this way, the distance between the light valve LB and the first lens group LI can be adjusted in units of 0.1 mm.

あるいはまた別の方法として、厚みが0.1mm単位で異なる複数のアルミ等の板部材を中間部材InAとして用意し、光学ハウジングHSと屈折光学系の組み合わせごとに、「最適な厚さのアルミ板」を選択して挿入するようにすれば、ライトバルブLBと第1レンズ群LIとの間の距離を、0.1mm単位で調整することができる。   Alternatively, as another method, a plurality of plate members made of aluminum or the like having different thicknesses in units of 0.1 mm are prepared as the intermediate member InA, and for each combination of the optical housing HS and the refraction optical system, the “aluminum plate having an optimum thickness” Is selected and inserted, the distance between the light valve LB and the first lens group LI can be adjusted in units of 0.1 mm.

中間部材InAにより、光学ハウジングHS・鏡胴CLの位置関係を調整したのちは、これらの位置関係を固定するために、これらを「ネジなどで相互に固定」するのが良い。 After adjusting the positional relationship between the optical housing HS and the lens barrel CL by the intermediate member InA, it is preferable to fix them to each other with screws or the like in order to fix the positional relationship.

上記の如く、中間部材InAで、ライトバルブLBと第1レンズ群LIの位置関係を最適化すると、この最適化の操作により、第4レンズ群LIVと凹面ミラーCNMの位置関係が「組付け当初の関係」からずれてしまう。   As described above, when the positional relationship between the light valve LB and the first lens unit LI is optimized by the intermediate member InA, the positional relationship between the fourth lens unit LIV and the concave mirror CNM is changed by the optimization operation. Relationship ".

これを補正するために、折り返しミラーRMとホルダHLの間に介在する中間部材InBを用いて、第4レンズ群LIVと凹面ミラーCNMの間の光路長を調整する。   To correct this, the optical path length between the fourth lens group LIV and the concave mirror CNM is adjusted using the intermediate member InB interposed between the return mirror RM and the holder HL.

中間部材InBも、中間部材InAと同様に、複数枚の薄板や、厚みの異なるアルミ板を用いれば、上記光路長の調整を容易に高精度で実施することができる。   Similarly to the intermediate member InA, the adjustment of the optical path length can be easily performed with high accuracy by using a plurality of thin plates or aluminum plates having different thicknesses.

また、中間部材InA、InBとして、薄板を使用する場合、中間部材InAと光学ハウジングHS、あるいは中間部材InBとホルダHLの位置固定点(例えばネジで止める点)を複数個形成すれば、各位置固定点に挿入する薄板の枚数を変えることで「ライトバルブLBと屈折光学系の傾き誤差」や「曲面ミラーCNMと屈折光学系の傾き誤差」を補正することが可能である。   When a thin plate is used as the intermediate members InA and InB, if a plurality of position fixing points (for example, points fixed with screws) between the intermediate member InA and the optical housing HS or between the intermediate member InB and the holder HL are formed, each position can be adjusted. By changing the number of thin plates to be inserted at the fixed point, it is possible to correct "the tilt error between the light valve LB and the refractive optical system" and "the tilt error between the curved mirror CNM and the refractive optical system".

上に説明した中間部材InA、InBは「第2のフォーカス調整部」をなす。   The intermediate members InA and InB described above form a “second focus adjustment unit”.

鏡胴CLと光学ハウジングHSの間に、中間部材InAをはさむだけで調整可能なので、特別な構造体が不要であり、ライトバルブLBに近くて熱を持つ光学ハウジングHSと鏡胴CLを直接接触させないことで、鏡胴CLに熱が移りにくくなり、レンズの熱膨張によるピントずれが発生しない。   Since the intermediate member InA can be adjusted simply by sandwiching the intermediate member InA between the lens barrel CL and the optical housing HS, no special structure is required, and the optical housing HS and the lens barrel CL which are close to the light valve LB and have heat are in direct contact. By not performing this, heat is less likely to be transferred to the lens barrel CL, and a focus shift due to thermal expansion of the lens does not occur.

即ち、形態1の画像表示装置は上記の如く、第1および第2のフォーカス調整部を有する。
第1のフォーカス調整部では、被投射面と凹面ミラーCNMとの距離を変えたような場合に、屈折光学系における第2レンズ群LII、第3レンズ群LIIIを「異なる移動量で変位」させるフローティングフォーカス方式でピント合わせを行なう。
That is, the image display device according to mode 1 has the first and second focus adjustment units as described above.
In the first focus adjustment unit, when the distance between the projection surface and the concave mirror CNM is changed, the second lens unit LII and the third lens unit LIII in the refractive optical system are “displaced by different moving amounts”. Focusing is performed by the floating focus method.

これに対し、第2のフォーカス調整部では、画像表示装置の光学系を組み付ける工程において、ライトバルブ・屈折光学系・凹面ミラー(ミラー光学系)の位置関係を適切にすることにより、基準状態で投射画像のピントが合うようにする。そして、前記位置関係の調整後に、第2のフォーカス調整部を固定する。   On the other hand, in the second focus adjustment unit, in the process of assembling the optical system of the image display device, by appropriately setting the positional relationship among the light valve, the refractive optical system, and the concave mirror (mirror optical system), in the reference state. The projected image is focused. After the adjustment of the positional relationship, the second focus adjustment unit is fixed.

「実施の形態2」
実施の形態2を、図9を参照して説明する。
"Embodiment 2"
Embodiment 2 will be described with reference to FIG.

形態2は、上に説明した形態1の変形例であり、第2のフォーカス調整部のうち「ライトバルブLBと第1レンズ群LIの間の距離を調整する構造」を、形態1における中間部材InAに代えて「ネジ構造(図中に符号「BS」で示す。)」とした例である。   The second embodiment is a modification of the first embodiment described above. In the second focus adjustment unit, the “structure for adjusting the distance between the light valve LB and the first lens unit LI” is described as an intermediate member in the first embodiment. In this example, a screw structure (indicated by reference numeral “BS” in the drawing) is used instead of InA.

ネジ構造BSによりライトバルブLBと第1レンズ群LIとの間隔を調整する。ネジ構造BSは、中間部材InBとともに「第2のフォーカス調整部」を成すものであるから、ネジ構造BSによる間隔調整は、光学系の組み付け工程で行い、調整後はネジ構造BSを固定し、ユーザによる調整が簡単にはできないようにする。   The distance between the light valve LB and the first lens group LI is adjusted by the screw structure BS. Since the screw structure BS forms a “second focus adjustment unit” together with the intermediate member InB, the gap adjustment by the screw structure BS is performed in an assembly process of the optical system, and after the adjustment, the screw structure BS is fixed. Make adjustments by the user not easy.

なお、第2のフォーカス調整部は、上記中間部材InA、InBやネジ構造BSなどに限定されるものではなく、上記と同じ機能を達成可能であればどのような構造でもよい。   The second focus adjustment unit is not limited to the intermediate members InA and InB, the screw structure BS, and the like, and may have any structure as long as the same function as described above can be achieved.

「参考例」
参考例を、図10を参照して説明する。なお、繁雑を避けるため、混同の恐れがないと思われるものについては、各部の符号を共通化する。
"Reference example"
A reference example will be described with reference to FIG. In order to avoid complications, components that do not seem likely to be confused are denoted by the same reference numerals.

図10に構成を示す実施の形態では、屈折光学系は第1レンズ群LI〜第4レンズ群LIVにより構成される。   In the embodiment whose configuration is shown in FIG. 10, the refractive optical system includes the first lens unit LI to the fourth lens unit LIV.

参考例では「第2レンズ群LIIと第3レンズ群LIIIの移動によりフローティングフォーカス方式のピント合わせ」を行なう。このとき、第4レンズ群LIVは固定されている。即ち、第2レンズ群LIIと第3レンズ群LIIIと、これらを変位させる機構は「第1のフォーカス構造」を構成する。   In the reference example, “focusing by the floating focus method by moving the second lens unit LII and the third lens unit LIII” is performed. At this time, the fourth lens group LIV is fixed. That is, the second lens unit LII, the third lens unit LIII, and the mechanism for displacing them constitute a “first focus structure”.

一方「第2のフォーカス構造」は、第4レンズ群LIVとこれを光軸方向に移動させる構造により構成される。   On the other hand, the “second focus structure” includes a fourth lens unit LIV and a structure for moving the fourth lens unit LIV in the optical axis direction.

第4レンズ群LIVの光軸方向への移動により、上述の形態1、2の「全体繰り出しによるフォーカシング」と略同じ効果が得られる。
第4レンズ群LIVの移動は、第2、第3レンズ群LII、LIIIを行なうカム構造とは異なるカム構造で行うようにし、光学系の組み付け工程で実施し、調整後は固定してユーザによる操作が簡単には出来ないようにする。
By moving the fourth lens unit LIV in the optical axis direction, substantially the same effect as the above-described “focusing by whole extension” of the first and second embodiments can be obtained.
The movement of the fourth lens unit LIV is performed by a cam structure different from the cam structure for performing the second and third lens units LII and LIII, and is performed in an optical system assembly process. Make operation difficult.

投射画像の投射中には、第1のフォーカス構造で、第2、第3レンズ群LII、LIIIを変位させてピント合わせを行なう。第1のフォーカス構造と、第2のフォーカス構造は、互いに別個のカム機構とすることにより、フォーカシングのために動かすレンズ単位が小さく、調整で発生する傾きなどの誤差の影響を小さく抑えられるため、全体繰り出しよりも好ましい面がある。   During the projection of the projection image, the second and third lens units LII and LIII are displaced and focused by the first focus structure. Since the first focus structure and the second focus structure are formed of separate cam mechanisms, the lens unit to be moved for focusing is small, and the influence of errors such as tilt caused by adjustment can be suppressed. There are aspects that are more favorable than whole feeding.

しかし、第4レンズ群LIVを図10に示すように、ライトバルブLBから離れる方向に動かす場合、図8や図9に示すような「折り返しミラーRMを用いる光学構造」では、折り返しミラーRMで反射した光が、凹面ミラーCNMに向かう途中で、第4レンズ群IVによって遮られないようにする必要がある。   However, when the fourth lens group LIV is moved in a direction away from the light valve LB as shown in FIG. 10, in the “optical structure using the folding mirror RM” as shown in FIGS. 8 and 9, the light is reflected by the folding mirror RM. It is necessary to prevent the reflected light from being blocked by the fourth lens group IV on the way to the concave mirror CNM.

上に説明した形態1、2や参考例で用いられる屈折光学系の具体的な例を、図11以下を参照して説明する。   Specific examples of the refractive optical system used in the first and second embodiments and the reference example described above will be described with reference to FIG.

図11(a)、(b)において、符号2〜5は「照明光学系の部品」、符号1は光源である「ランプ光源」、符号2は「インテグレータロッド」、符号3は「照明用レンズ」、符号4は「ミラー」、符号5は「曲面ミラー」を示す。曲面ミラー5は「球面形状の反射面を有する凹面鏡」である。   11A and 11B, reference numerals 2 to 5 denote “parts of an illumination optical system”, reference numeral 1 denotes a “lamp light source” which is a light source, reference numeral 2 denotes an “integrator rod”, and reference numeral 3 denotes a “lens for illumination”. , 4 indicates a “mirror”, and 5 indicates a “curved mirror”. The curved mirror 5 is a “concave mirror having a spherical reflecting surface”.

符号6〜10は「投射光学系の部品」であって、符号6はライトバルブの防塵カバーガラス、符号7はライトバルブ本体、符号8は「投射光学系」を示す。   Reference numerals 6 to 10 denote “parts of the projection optical system”, reference numeral 6 denotes a dust-proof cover glass of the light valve, reference numeral 7 denotes a light valve main body, and reference numeral 8 denotes a “projection optical system”.

図11(b)における符号8−1は「屈折光学系」、符号9は「自由曲面である凹面ミラー(上の説明における凹面ミラーCNM)」を保護する防塵ガラスを示し、符号10は、第1〜第4レンズ群を保持する「鏡胴」を示す。   In FIG. 11B, reference numeral 8-1 denotes a “refractive optical system”, reference numeral 9 denotes a dust-proof glass that protects a “concave mirror that is a free-form surface (concave mirror CNM in the above description)”, and reference numeral 10 denotes a dust-proof glass. The "lens barrel" holding the first to fourth lens groups is shown.

鏡胴10は、4つのレンズ群中の3つのレンズ群が「別個に移動できる」ように、3本の異なるカム溝が彫ってある。なお「最もライトバルブ7寄りのカム溝」は移動量が0なのでフォーカスには無関係である。   The lens barrel 10 is carved with three different cam grooves so that three of the four lens groups can be "moved separately." Note that the "cam groove closest to the light valve 7" has nothing to do with focusing because the movement amount is 0.

屈折光学系8−1の具体的な構成を図12に示す。
屈折光学系8−1は、図12に示すように「4群11枚」構成である。
「実施例1」
図12に構成を示す屈折光学系の具体例の1例を実施例1とし、そのデータを図13〜図15に示す。
図13は、各面の曲率半径、面間隔を「mm単位」で示し、材質の屈折率とアッベ数を示す。開口絞りについては開口半径を示す。また、曲率半径:0.000は、曲率半径:∞大、即ち平面を表す。
「偏芯Y」は、屈折光学系POSLの光軸の「Y方向(図5(a)に示す上下方向)のマイナス側(図5(a)の下方側)」へのシフト量を「mm」単位で示す。
FIG. 12 shows a specific configuration of the refractive optical system 8-1.
The refractive optical system 8-1 has a “four groups, eleven elements” configuration as shown in FIG. 12.
"Example 1"
One example of a specific example of the refractive optical system having the configuration shown in FIG. 12 is Example 1, and the data is shown in FIGS.
FIG. 13 shows the curvature radius and the surface interval of each surface in “mm units”, and shows the refractive index and Abbe number of the material. For an aperture stop, the aperture radius is shown. A radius of curvature: 0.000 indicates a radius of curvature: large, that is, a plane.
“Eccentric Y” indicates the amount of shift of the optical axis of the refractive optical system POSL to the negative side (the lower side in FIG. 5A) in the “Y direction (the vertical direction shown in FIG. 5A)”. "In units.

「偏芯α」は、投射光学系の凹面ミラーCNMおよび防塵ガラスGの、上記光軸(Z方向)とライトバルブLBの短手方向を含む面に対するシフト量を「mm」単位で示す。   “Eccentric α” indicates the amount of shift of the concave mirror CNM and the dustproof glass G of the projection optical system with respect to a plane including the optical axis (Z direction) and the lateral direction of the light valve LB in “mm” units.

また、非球面の欄において「黒丸」を付した面は非球面である。   Further, the surface marked with “black circle” in the column of aspherical surface is an aspherical surface.

面番号の欄において、「LB(0)」は、ライトバルブLB(DMD)の画像表示面、面番号「1、2」はカバーガラスCGの両面である。面番号「4、5」は、屈折光学系の最も画像表示面側のレンズの入射側および射出側のレンズ面であり、これらは共に非球面である。   In the field of the surface number, “LB (0)” is the image display surface of the light valve LB (DMD), and surface numbers “1, 2” are both surfaces of the cover glass CG. The surface numbers “4, 5” are the lens surfaces on the entrance side and the exit side of the lens closest to the image display surface of the refractive optical system, and these are both aspherical.

なお、曲率半径の欄において「1.0E+18」は「1×1018」を意味し、これらの曲率半径を持つ面は「実質的な平面」である。曲率半径の値は、非球面については「近軸曲率半径」である。 In the column of the radius of curvature, “1.0E + 18” means “1 × 10 18 ”, and a surface having these radii of curvature is a “substantially flat surface”. The value of the radius of curvature is “paraxial radius of curvature” for an aspheric surface.

図14(a)は、非球面データである。
非球面は、近軸曲率(近軸曲率半径の逆数):C、楕円定数(コーニック定数):K、高次の非球面係数:E2j(j=2、3、4、5、6、7、8)、光軸直交方向の座標:H、光軸方向のデプス:Dにより、周知の式、
D=CH/[1+√{1−(1+K)C}]
+ΣE2j2j(j=1〜8)
で表現される。
FIG. 14A shows aspherical surface data.
The aspherical surface has paraxial curvature (reciprocal of the paraxial curvature radius): C, elliptic constant (conic constant): K, higher order aspherical surface coefficient: E 2j (j = 2, 3, 4, 5, 6, 7, 7) , 8), coordinates in the direction orthogonal to the optical axis: H, depth in the direction of the optical axis: D, a well-known formula:
D = CH 2 / [1+ {1- (1 + K) C 2 H 2 }]
+ ΣE 2j H 2j (j = 1 to 8)
Is represented by

実施例1の屈折光学系に用いられている非球面では、何れも楕円定数:Kは0である。   For any aspherical surface used in the refractive optical system of the first embodiment, the elliptic constant: K is zero.

図14(b)は、「第1ミラー(折り返しミラー)に最も近いレンズ面の面頂点」を基準とする、第1ミラー、第2ミラー(凹面ミラーCNM)、防塵ガラスの第1、第2面、スクリーン距離1(前記スクリーン位置SC(1))、スクリーン距離2(スクリーン距離(2))のX、Y、Z方向の位置のデータである。   FIG. 14B shows the first mirror, the second mirror (concave mirror CNM), and the first and second dustproof glasses on the basis of “the surface vertex of the lens surface closest to the first mirror (folding mirror)”. This is data of the X, Y, and Z positions of the plane, the screen distance 1 (the screen position SC (1)), and the screen distance 2 (the screen distance (2)).

図14(c)は、スクリーン距離が、スクリーン距離1、2であるときの、各レンズ群の具体的な移動量データを「mm単位」で示している。   FIG. 14C shows specific movement amount data of each lens group in “mm units” when the screen distance is the screen distances 1 and 2.

図15は、凹面ミラーCNMの「鏡面形状のデータ」である。   FIG. 15 shows “mirror shape data” of the concave mirror CNM.

凹面ミラーCNMの鏡面形状は「自由曲面」であり、光軸上の近軸曲率半径:c、コーニック定数:k、高次の係数:Cj(j=2〜72)、光軸直交方向の距離:r、光軸に平行な「面のサグ量:z」、図5におけるX方向の座標:x、Y方向の座標:yを用いて、以下の式で与えられる。   The mirror surface shape of the concave mirror CNM is a “free-form surface”, a paraxial radius of curvature on the optical axis: c, a conic constant: k, a higher-order coefficient: Cj (j = 2 to 72), and a distance in a direction perpendicular to the optical axis. : R, the "sag amount of the surface: z" parallel to the optical axis, the coordinates in the X direction: x, and the coordinates in the Y direction: y in FIG.

z=cr/[1+√{1−(1+k)c}]
+ΣC・x(j=2〜72)
図15で、例えば、C40を係数とする「x**4*y**7」は「x×y」を表す。
z = cr 2 / [1+ {1- (1 + k) c 2 r 2 }]
+ ΣC j · x m y n (j = 2~72)
In FIG. 15, for example, “x ** 4 * y ** 7” using C40 as a coefficient represents “x 4 × y 7 ”.

6枚構成の第1レンズ群LIは、画像表示装置の使用中におけるフォーカス時に固定であり、第2〜第3レンズ群LII〜LIIIの「間隔が変化する変位」によってフローティングフォーカス方式のピント合わせが行なわれる。
図12ないし図15に示す投射光学系の具体的なデータに示されているように、実施例1の投射光学系は「物体側に非テレセントリック」である。
The first lens group LI having a six-lens configuration is fixed at the time of focusing during use of the image display device. Done.
As shown in the specific data of the projection optical system shown in FIGS. 12 to 15, the projection optical system of the first embodiment is “non-telecentric on the object side”.

図16、図17に、この投射光学系に外装OCを装荷したプロジェクタ装置を示す。
ライトバルブLB、屈折光学系POSL、ミラー光学系RM、CNMを外装OCに内装し、カバーガラスCGを介して結像光束を射出させ、スクリーンSC上に結像させる。
FIG. 16 and FIG. 17 show a projector device in which an exterior OC is loaded on the projection optical system.
The light valve LB, the refracting optical system POSL, the mirror optical system RM, and the CNM are housed in the exterior OC, and an image forming light beam is emitted through the cover glass CG to form an image on the screen SC.

フローティングフォーカス方式のピント合わせを行なう第1のフォーカス調整部の「操作部(フォーカスレバー)」が、外装OCの外側に露出するように「鏡胴メカ構造」を設定し、例えば、図16で、スクリーンSCを上下(Y)方向に動かした場合には、第1のフォーカス調整部のフォーカスレバーを動かすことにより、フローティングフォーカス方式のピント合わせを実施すれば「投射画面全体で好適な解像感」を得ることができる。   The “lens barrel mechanical structure” is set so that the “operation unit (focus lever)” of the first focus adjustment unit that performs focusing by the floating focus method is exposed outside the exterior OC. For example, in FIG. When the screen SC is moved in the up-down (Y) direction, the focus lever of the first focus adjustment unit is moved to perform the floating focus type focusing. Can be obtained.

「第2のフォーカス調整部」は、外装OCの内部に収納固定し、外部に露呈させず、ユーザが第2のフォーカス調整部を簡単には操作することができないようにする。   The “second focus adjustment unit” is housed and fixed inside the exterior OC and is not exposed to the outside, so that the user cannot easily operate the second focus adjustment unit.

第2のフォーカス調整部は、折り返しミラーを用いない場合は「屈折光学系全体をライトバルブの法線方向に移動させる全体繰り出し機構」であることができる。   The second focus adjustment unit may be an “entire feeding mechanism that moves the entire refractive optical system in the normal direction of the light valve” when the folding mirror is not used.

全体繰り出し機構は、屈折光学系を保持する鏡胴に設けられたネジ構造の、ネジ回転によって行なわれることができる。   The whole feeding mechanism can be performed by screw rotation of a screw structure provided on a lens barrel that holds the refractive optical system.

全体繰り出し機構は、屈折光学系を保持する鏡胴と、ライトバルブを保持する光学ハウジングの間に設けられる1以上の中間部材として構成され、前記鏡胴と光学ハウジングが前記中間部材を介して組みつけられることができる。   The whole feeding mechanism is configured as one or more intermediate members provided between a lens barrel holding a refractive optical system and an optical housing holding a light valve, and the lens barrel and the optical housing are assembled via the intermediate member. Can be found.

参考例の場合は、第2のフォーカス構造は、屈折光学系内部のレンズ群のうち、ライトバルブから最も遠いレンズ群を、ライトバルブの法線方向に移動させる、前群フォーカス機構である。   In the case of the reference example, the second focus structure is a front group focus mechanism that moves the lens group farthest from the light valve among the lens groups inside the refractive optical system in the normal direction of the light valve.

画像表示装置は、被投射面に投射画像を投射表示するとき、ライトバルブを出た光が屈折光学系を介してミラー光学系に入射し、ミラー光学系で反射された後に前記被投射面に向かうように、屈折光学系とミラー光学系が配置され、投射光学系は、屈折光学系とミラー光学系の間に光路折り曲げ用の折り返しミラーを有し、該折り返しミラーが、設置位置を調整可能な構造体で保持されていることができる。   The image display device, when projecting and displaying a projection image on the projection surface, the light that has exited the light valve enters the mirror optical system via the refractive optical system, and is reflected on the mirror optical system, after which the light is projected onto the projection surface. The refracting optical system and the mirror optical system are arranged so as to face each other, and the projection optical system has a folding mirror for bending the optical path between the refractive optical system and the mirror optical system, and the folding mirror can adjust the installation position Can be held in a simple structure.

折り返しミラーの設置位置調整を行なう構造体は、折り返しミラーを保持する保持部品と、折り返しミラーの間に配置された1以上の中間部材で構成されることができる。
ミラー光学系の曲面ミラーは凹面ミラーで、屈折曲光学系により、屈折光学系とミラー光学系の間の光路に、画像表示素子の実像を中間像として形成することが好ましい。
以上、発明の好ましい実施の形態について説明したが、この発明は上述した特定の実施形態に限定されるものではなく、上述の説明で特に限定していない限り、特許請求の範囲に記載された発明の趣旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
この発明の実施の形態に記載された効果は、発明から生じる好適な効果を列挙したに過ぎず、発明による効果は「実施の形態に記載されたもの」に限定されるものではない。
The structure that adjusts the installation position of the folding mirror can be configured by a holding component that holds the folding mirror and one or more intermediate members disposed between the folding mirrors.
It is preferable that the curved mirror of the mirror optical system is a concave mirror, and the real image of the image display element is formed as an intermediate image on the optical path between the refractive optical system and the mirror optical system by the refractive optical system.
As described above, the preferred embodiments of the present invention have been described. However, the present invention is not limited to the specific embodiments described above, and unless otherwise specified in the above description, the invention described in the claims. Various modifications and changes are possible within the scope of the spirit of the present invention.
The effects described in the embodiments of the present invention merely enumerate preferred effects resulting from the invention, and the effects of the invention are not limited to those described in the embodiments.

LB ライトバルブ
LI 第1レンズ系
LII 第2レンズ系
LIII 第3レンズ系
LIV 題4レンズ系
RM 折り返しミラー
CNM 曲面ミラー
InA 中間部材
InB 中間部材
SC スクリーン
LB light valve
LI first lens system
LII Second lens system
LIII 3rd lens system
LIV title 4 lens system
RM folding mirror
CNM curved mirror
InA intermediate member
InB intermediate member
SC screen

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光技術コンタクト Vol.39,No.9(2001)Optical Technology Contact Vol. 39, no. 9 (2001)

Claims (9)

物体側から順に、複数のレンズ群を含む屈折光学系と、曲面ミラーを有するミラー光学系と、を配し、前記屈折光学系の最も前記物体側の共役面側のレンズ面と前記物体側の共役面との距離を保ったまま前記屈折光学系中の一部のレンズ群を、前記物体側の共役面の法線方向に移動させて表示画面の上と下とで異なるフォーカス調整量を補正する第1のフォーカス調整部と、前記屈折光学系の最も前記物体側の共役面側のレンズ面と前記物体側の共役面との距離を所定の距離に維持する第2のフォーカス調整部とを有し、物体の像を拡大して投射する投射光学系を製造する方法であって、
前記第2のフォーカス調整部により、前記屈折光学系のレンズを移動させて前記屈折光学系の最も前記物体側の共役面側のレンズ面と前記物体側の共役面との距離を変更して表示画面全体のピントを調整するフォーカス調整を行ったのち、前記屈折光学系の最も前記物体側の共役面側のレンズ面と前記物体側の共役面との前記所定の距離を固定することを特徴とする投射光学系の製造方法。
In order from the object side, a refractive optical system including a plurality of lens groups and a mirror optical system having a curved mirror are arranged, and the lens surface of the refractive optical system closest to the conjugate surface on the object side and the lens surface on the object side A part of the lens group in the refractive optical system is moved in the normal direction of the conjugate plane on the object side while maintaining the distance to the conjugate plane to correct different focus adjustment amounts at the top and bottom of the display screen. A first focus adjustment unit, and a second focus adjustment unit that maintains a distance between a lens surface closest to the object-side conjugate surface of the refractive optical system and the object-side conjugate surface at a predetermined distance. A method of manufacturing a projection optical system for enlarging and projecting an image of an object,
The second focus adjustment unit moves the lens of the refractive optical system to change and display the distance between the lens surface of the refractive optical system closest to the object-side conjugate plane and the object-side conjugate plane. After performing focus adjustment for adjusting the focus of the entire screen, fixing the predetermined distance between the lens surface of the refractive optical system closest to the conjugate plane on the object side and the conjugate plane on the object side. Of manufacturing projection optical system.
請求項1記載の投射光学系の製造方法において、The method for manufacturing a projection optical system according to claim 1,
前記所定の距離が変化しないように、第2のフォーカス調整部によるフォーカス構造を固定することを特徴とする投射光学系の製造方法。A method of manufacturing a projection optical system, comprising: fixing a focus structure by a second focus adjustment unit so that the predetermined distance does not change.
請求項1または2記載の投射光学系の製造方法において、The method for manufacturing a projection optical system according to claim 1 or 2,
前記第2のフォーカス調整部は、屈折光学系全体を物体側の共役面の法線方向に移動させることを特徴とする投射光学系の製造方法。The method of manufacturing a projection optical system, wherein the second focus adjustment unit moves the entire refractive optical system in a direction normal to a conjugate plane on the object side.
請求項3記載の投射光学系の製造方法において、The method for manufacturing a projection optical system according to claim 3,
前記第2のフォーカス調整部は、屈折光学系を保持する鏡胴に設けられたネジ構造であることを特徴とする投射光学系の製造方法。The method of manufacturing a projection optical system, wherein the second focus adjustment unit has a screw structure provided on a lens barrel that holds a refractive optical system.
請求項1ないし4の何れか1項に記載の投射光学系の製造方法において、The method of manufacturing a projection optical system according to claim 1,
屈折光学系とミラー光学系の間に光路折り曲げ用の折り返しミラーを有し、該折り返しミラーが、設置位置を調整可能な構造体で保持されていることを特徴とする投射光学系の製造方法。A method for manufacturing a projection optical system, comprising: a folding mirror for bending an optical path between a refractive optical system and a mirror optical system, wherein the folding mirror is held by a structure whose installation position is adjustable.
請求項5記載の投射光学系の製造方法において、The method for manufacturing a projection optical system according to claim 5,
折り返しミラーの設置位置調整を行なう構造体は、折り返しミラーを保持する保持部品と、折り返しミラーの間に配置された1以上の中間部材で構成されることを特徴とする投射光学系の製造方法。A method for manufacturing a projection optical system, characterized in that a structure for adjusting the installation position of the return mirror includes a holding component for holding the return mirror and one or more intermediate members disposed between the return mirrors.
請求項1〜6の何れか1項に記載の投射光学系の製造方法において、The method for manufacturing a projection optical system according to any one of claims 1 to 6,
ミラー光学系の曲面ミラーは凹面ミラーで、屈折光学系により、屈折光学系とミラー光学系の間の光路に、物体の実像を中間像として形成することを特徴とする投射光学系の製造方法。A method for manufacturing a projection optical system, characterized in that a curved mirror of a mirror optical system is a concave mirror, and a real image of an object is formed as an intermediate image on an optical path between the refractive optical system and the mirror optical system by a refractive optical system.
物体側から順に、複数のレンズ群を含む屈折光学系と、曲面ミラーを有するミラー光学系と、が配され、前記屈折光学系の最も画像表示素子側のレンズ面と前記画像表示素子との距離を保ったまま前記屈折光学系中の一部のレンズ群を、前記画像表示素子の法線方向に移動させて表示画面の上と下とで異なるフォーカス調整量を補正する第1のフォーカス調整部と、前記屈折光学系の最も前記物体側の共役面側のレンズ面と前記物体側の共役面との距離を所定の距離に維持する第2のフォーカス調整部とを有し、前記画像表示素子に表示された画像を拡大して投射する投射光学系を有する画像表示装置を製造する方法であって、In order from the object side, a refractive optical system including a plurality of lens groups and a mirror optical system having a curved mirror are arranged, and a distance between the lens surface of the refractive optical system closest to the image display element and the image display element. A first focus adjustment unit that moves a part of the lens groups in the refractive optical system in the normal direction of the image display element to correct different focus adjustment amounts at the top and bottom of the display screen while maintaining A second focus adjustment unit that maintains a distance between a lens surface of the refractive optical system closest to the conjugate plane on the object side and a conjugate plane on the object side at a predetermined distance, and displays the image on the image display element. A method for manufacturing an image display device having a projection optical system for projecting an enlarged image,
前記第2のフォーカス調整部により、前記屈折光学系のレンズを移動させて前記屈折光学系の最も前記物体側の共役面側のレンズ面と前記物体側の共役面との距離を変更して表示画面全体のピントを調整するフォーカス調整を行ったのち、前記屈折光学系の最も前記物体側の共役面側のレンズ面と前記物体側の共役面との前記所定の距離を固定することを特徴とする画像表示装置の製造方法。The second focus adjustment unit moves the lens of the refractive optical system to change and display the distance between the lens surface of the refractive optical system closest to the conjugate surface on the object side and the conjugate surface on the object side. After performing focus adjustment for adjusting the focus of the entire screen, fixing the predetermined distance between the lens surface of the refractive optical system closest to the conjugate surface on the object side and the conjugate surface on the object side. Of manufacturing an image display device.
請求項8記載の画像表示装置の製造方法において、The method for manufacturing an image display device according to claim 8,
前記第2のフォーカス調整部は、前記屈折光学系を保持する鏡胴と、前記画像表示素子を保持する光学ハウジングの間に設けられる少なくとも1つの中間部材であることを特徴とする画像表示装置の製造方法。  The image display apparatus according to claim 1, wherein the second focus adjustment unit is at least one intermediate member provided between a lens barrel holding the refractive optical system and an optical housing holding the image display element. Production method.
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