JP6636346B2 - Electrostatic suction sheet and method of manufacturing the same - Google Patents

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Description

本発明は、被着体に静電吸着可能な保護シートを備える静電吸着シートに関する。   The present invention relates to an electrostatic attraction sheet provided with a protective sheet that can be electrostatically attracted to an adherend.

導体として金属箔を備えるフレキシブルプリント基板(FPC)に対して、その製造、加工、製造、又は保管の間に、金属箔を保護するための保護フィルムが貼り付けられる。このような保護フィルムとして、接着剤が塗布された接着層を有し、この接着層を介して金属箔に貼り付けを行うポリエチレンフィルムが用いられている。しかしながら、接着層を有するポリエチレンフィルムは、被着体である金属箔への影響として、剥離した際に金属箔の表面状態が変化するなどの問題があった。そこで、再剥離可能な粘着剤が塗布された粘着層を介して金属箔に貼り付けを行うポリエチレンフィルムが用いられているが、この粘着層を有するポリエチレンフィルムも、高温環境下においては金属箔の表面状態が変化するなどの問題があった。   A protective film for protecting a metal foil is attached to a flexible printed circuit board (FPC) having a metal foil as a conductor during its production, processing, production, or storage. As such a protective film, a polyethylene film having an adhesive layer to which an adhesive is applied and which is attached to a metal foil via the adhesive layer is used. However, the polyethylene film having the adhesive layer has a problem that the surface state of the metal foil changes when peeled off as an effect on the metal foil as an adherend. Therefore, a polyethylene film that is attached to a metal foil through a pressure-sensitive adhesive layer coated with a removable adhesive is used.A polyethylene film having this pressure-sensitive adhesive layer is also a metal foil under a high-temperature environment. There were problems such as a change in the surface condition.

ところで、接着層又は粘着層を有しないフィルムとして、静電吸着による自己粘着性を有することで被着体へと貼り付けることができる、ポリプロピレンフィルムからなる保護フィルムが知られている。また、ポリプロピレン系エラストマーを含有する層を粘着層として設けることにより、粘着特性を向上させたポリプロピレンフィルムが開発されている(特許文献1参照)。   Meanwhile, as a film having no adhesive layer or pressure-sensitive adhesive layer, a protective film made of a polypropylene film, which has self-adhesiveness due to electrostatic adsorption and can be attached to an adherend, is known. In addition, a polypropylene film having improved adhesive properties by providing a layer containing a polypropylene elastomer as an adhesive layer has been developed (see Patent Document 1).

特開2014−200955号公報JP 2014-200955 A

上述したようなポリプロピレンフィルムからなる自己粘着性の保護フィルムは、金属箔の表面状態の変化などを生じさせないものの、高温環境下において熱変形又は熱収縮する物理的性質を有する。このため、被着体の温度が高温になった場合には、保護フィルムの変形に伴ってたわみが生じることで被着体から剥がれてしまう。また、ポリプロピレンフィルムからなる保護フィルムは、電荷保持力が十分ではなく、被着体の温度が高温になった場合に、電荷を放出することによっても吸着性能が低下する。   The self-adhesive protective film made of a polypropylene film as described above does not cause a change in the surface state of the metal foil, but has a physical property of being thermally deformed or contracted in a high-temperature environment. For this reason, when the temperature of the adherend is high, the protective film is deflected due to the deformation of the protective film, and thus peels off from the adherend. In addition, the protective film made of a polypropylene film does not have sufficient charge holding power, and when the temperature of the adherend becomes high, the charge is released to lower the adsorption performance.

フレキシブルプリント基板の製造工程、例えば樹脂層の形成の工程において、保護フィルムは、金属箔に貼り付けられた状態で、高温環境に曝されることがある。このような高温環境下においては、従来のポリプロピレンフィルムからなる自己粘着性の保護フィルムを使用した場合には、上述の通り吸着性能が低下するため、被着体の保護のために十分な性能を有するとはいえなかった。   In a manufacturing process of a flexible printed circuit board, for example, a process of forming a resin layer, the protective film may be exposed to a high-temperature environment while being attached to a metal foil. In such a high-temperature environment, when a self-adhesive protective film made of a conventional polypropylene film is used, since the adsorption performance is reduced as described above, sufficient performance for protecting the adherend is required. I could not say it did.

本発明は、かかる背景技術に鑑みてなされたものである。その目的は、高温環境下においても寸法変化が小さく、吸着性能を維持することができる静電吸着シートを提供することにある。   The present invention has been made in view of such background art. It is an object of the present invention to provide an electrostatic attraction sheet that has a small dimensional change even under a high-temperature environment and can maintain an attraction performance.

本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、特定の融点を有するポリオレフィン樹脂を用いることにより、高温環境下においても寸法変化が小さく、吸着性能を維持することができることを見出し、本発明を完成するに至った。   The present inventors have conducted intensive studies to solve the above problems, and as a result, have found that by using a polyolefin resin having a specific melting point, dimensional changes are small even under a high-temperature environment, and it is possible to maintain adsorption performance. Thus, the present invention has been completed.

すなわち、本発明は、以下に示す種々の具体的態様を提供する。
[1]被着体に静電吸着可能な保護シートと、前記保護シートに静電吸着した基材とを備
え、前記保護シートが、前記基材と接する側の面に設けられ且つ少なくとも1種以上のポ
リオレフィン樹脂を含有する吸着層と、前記基材と接する側の面と反対の面側に設けられ
たコート層とを有し、前記ポリオレフィン樹脂の少なくとも1種以上の融点が200℃以
上であることを特徴とする静電吸着シート。
That is, the present invention provides various specific embodiments described below.
[1] A protective sheet that can be electrostatically adsorbed to an adherend, and a substrate that is electrostatically adsorbed to the protective sheet, wherein the protective sheet is provided on a surface in contact with the substrate and is at least one type. an adsorption layer containing the above polyolefin resin, at least one or more of the melting point of the having a substrate and in contact with the side surface and the coating layer provided on the opposite side of the front Kipo Li olefin resin 200 An electrostatic adsorption sheet characterized by a temperature of at least ℃.

[2]前記融点が200℃以上のポリオレフィン樹脂が、モノマー成分として4−メチル−1−ペンテンを含むポリオレフィン(共)重合体を含む、上記[1]に記載の静電吸着シート。
[3]前記吸着層が、前記ポリオレフィン樹脂の総量に対して、前記融点が200℃以上のポリオレフィン樹脂50〜100質量%と、前記融点が200℃以上のポリオレフィン樹脂以外のポリオレフィン樹脂50〜0質量%とを含有する、上記[1]又は[2]に記載の静電吸着シート。
[4]前記保護シートは、前記吸着層側の面の表面抵抗率が1×1013〜9×1017Ωであり、前記基材は、前記吸着層と接する側の面の表面抵抗率が1×1013〜9×1017Ωである、上記[1]〜[3]のいずれか1項に記載の静電吸着シート。
[5]前記コート層側の面の表面抵抗率が1×10-1Ω〜9×1012Ωであり、前記基材側の面の表面抵抗率が1×10-1Ω〜9×1012Ωである、上記[1]〜[4]のいずれか1項に記載の静電吸着シート。
[6]前記保護シートは、前記吸着層側の中心面平均粗さ(SRa)が0.01〜5μmである、上記[1]〜[5]のいずれか1項に記載の静電吸着シート。
[7]上記[1]〜[6]のいずれか1項に記載の静電吸着シートの製造方法であって、前記保護シートに直流コロナ放電による電荷注入を施した後に前記基材を静電吸着させる、静電吸着シートの製造方法
[2] The electrostatic adsorption sheet according to the above [1], wherein the polyolefin resin having a melting point of 200 ° C or higher contains a polyolefin (co) polymer containing 4-methyl-1-pentene as a monomer component.
[3] The adsorption layer has a melting point of 50 to 100% by mass of a polyolefin resin having a melting point of 200 ° C. or more, and a polyolefin resin having a melting point of 200 ° C. or more, other than a polyolefin resin having a melting point of 50 to 0% based on the total amount of the polyolefin resin. % Of the electrostatic adsorption sheet according to the above [1] or [2].
[4] The protective sheet has a surface resistivity of 1 × 10 13 to 9 × 10 17 Ω on the surface on the adsorption layer side, and the substrate has a surface resistivity on a surface in contact with the adsorption layer. The electrostatic attraction sheet according to any one of the above [1] to [3], which has a resistance of 1 × 10 13 to 9 × 10 17 Ω.
[5] The surface resistivity of the surface of the coat layer side is 1 × 10 -1 Ω~9 × 10 12 Ω, the surface resistivity of the surface of the substrate side 1 × 10 -1 Ω~9 × 10 The electrostatic adsorption sheet according to any one of the above [1] to [4], which is 12 Ω.
[6] The electrostatic attraction sheet according to any one of [1] to [5], wherein the protective sheet has a center surface average roughness (SRa) of 0.01 to 5 μm on the side of the attraction layer. .
[7] The method for producing an electrostatic attraction sheet according to any one of the above [1] to [6] , wherein the base material is electrostatically charged after subjecting the protective sheet to charge injection by DC corona discharge. A method for producing an electrostatic attraction sheet to be adsorbed.

本発明によれば、高温環境下においても寸法変化が小さく、吸着性能を維持することができる静電吸着シートを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the dimensional change is small even in a high temperature environment, and the electrostatic adsorption sheet which can maintain adsorption | suction performance can be provided.

実施形態の静電吸着シートを模式的に示す断面図である。It is a sectional view showing typically an electrostatic attraction sheet of an embodiment. 実施例で使用した評価用サンプルを模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the sample for evaluation used in the Example. 実施例で使用した吸着力測定装置を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the adsorption-force measuring device used in the Example.

以下、図面を参照して本発明の各実施形態を説明する。なお、以下の各実施形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明はその実施の形態のみに限定されるものではない。また、以降においては特に断らない限り、上下左右等の位置関係は、図面に示す位置関係に基づくものとする。また、図面の寸法比率は、図示の比率に限定されるものではない。なお、本明細書において、「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The following embodiments are exemplifications for describing the present invention, and the present invention is not limited to only the embodiments. In the following description, unless otherwise specified, the positional relationship such as up, down, left, and right is based on the positional relationship shown in the drawings. The dimensional ratios in the drawings are not limited to the illustrated ratios. In addition, in this specification, the numerical range represented by using “to” means a range including numerical values described before and after “to” as a lower limit and an upper limit.

[静電吸着シート]
図1に示すように、本実施形態の静電吸着シート1は、保護シート11と基材41とを備え、保護シート11と基材41とが静電吸着により積層している。保護シート11は、基材41と接する側の面11bに設けられる吸着層31と、基材41と接する側の面11bと反対の面11a側に設けられるコート層21とを有する。すなわち、静電吸着シート1は、コート層21、吸着層31及び基材41をこの順に備えている。そして、この静電吸着シート1は、使用時に基材41を剥離シートとして除去して、保護シート11における吸着層31側の面31aを露出させ、その露出面(面31a)を被着体に静電吸着させることにより、被着体を保護する。以下、静電吸着シート1を構成する各部材について詳細に説明する。
[Electrostatic suction sheet]
As shown in FIG. 1, the electrostatic attraction sheet 1 of the present embodiment includes a protection sheet 11 and a base material 41, and the protection sheet 11 and the base material 41 are stacked by electrostatic attraction. The protective sheet 11 has an adsorbing layer 31 provided on a surface 11b on the side in contact with the base material 41 and a coat layer 21 provided on a surface 11a opposite to the surface 11b on the side in contact with the base material 41. That is, the electrostatic adsorption sheet 1 includes the coat layer 21, the adsorption layer 31, and the base material 41 in this order. Then, in the electrostatic adsorption sheet 1, the base material 41 is removed as a release sheet at the time of use, the surface 31 a of the protection sheet 11 on the adsorption layer 31 side is exposed, and the exposed surface (surface 31 a) is used as an adherend. The adherend is protected by electrostatic attraction. Hereinafter, each member constituting the electrostatic adsorption sheet 1 will be described in detail.

<吸着層>
吸着層31は、保護シート11を構成するものであって、電荷を保持し、その静電電荷によって保護シート11の静電吸着を可能とするものである。
<Adsorption layer>
The attraction layer 31 constitutes the protection sheet 11, holds electric charge, and enables electrostatic attraction of the protection sheet 11 by the electrostatic charge.

(特定ポリオレフィン樹脂)
吸着層31は、融点が200℃以上のポリオレフィン樹脂(以下、「特定ポリオレフィン樹脂」とも称する。)を少なくとも含有する。この特定ポリオレフィン樹脂は、耐熱性、絶縁性、加工性等に優れるため、高温環境下における寸法変化が小さく、また、高温環境下で被着体へ静電吸着させても吸着性能を維持することができる。また、ポリオレフィン樹脂は絶縁性があり内部に電荷を保持できることから、保護シート11の被着体への静電吸着を可能とする。
(Specific polyolefin resin)
The adsorption layer 31 contains at least a polyolefin resin having a melting point of 200 ° C. or higher (hereinafter, also referred to as “specific polyolefin resin”). This specific polyolefin resin is excellent in heat resistance, insulation, workability, etc., so it has a small dimensional change in a high temperature environment, and maintains its adsorption performance even when electrostatically adsorbed to an adherend in a high temperature environment. Can be. In addition, since the polyolefin resin has insulating properties and can hold an electric charge therein, it enables electrostatic adsorption of the protective sheet 11 to an adherend.

特定ポリオレフィン樹脂の融点は、好ましくは220℃以上、より好ましくは230℃以上である。また、特定ポリオレフィン樹脂の融点の上限は特に限定されないが、通常300℃以下、好ましくは250℃以下である。特定ポリオレフィン樹脂の融点が上記の範囲内であることにより、吸着層31は高温環境下においても寸法変化が小さくなる。よって、高温環境下における保護シート11の変形量が少なくタワミが発生し難くなり、保護シート11の吸着性能を維持することができる。また、被着体が高温になっても電荷の放出が少ないことも、吸着性能を維持に寄与すると推測される。なお、本明細書において融点とは、JIS K7121:2012に準拠して測定する融解温度を意味する。   The melting point of the specific polyolefin resin is preferably 220 ° C. or higher, more preferably 230 ° C. or higher. The upper limit of the melting point of the specific polyolefin resin is not particularly limited, but is usually 300 ° C or lower, preferably 250 ° C or lower. When the melting point of the specific polyolefin resin is in the above range, the dimensional change of the adsorption layer 31 is reduced even in a high temperature environment. Therefore, the amount of deformation of the protective sheet 11 in a high-temperature environment is small, and it is difficult for the warp to occur, and the adsorption performance of the protective sheet 11 can be maintained. Further, it is presumed that a small amount of charge release even when the temperature of the adherend becomes high contributes to maintaining the adsorption performance. In addition, in this specification, a melting point means the melting temperature measured based on JISK7121: 2012.

特定ポリオレフィン樹脂としては、エチレン又は炭素数3〜20のα−オレフィンの(共)重合体であって、融点が200℃以上のものを使用することができる。炭素数3〜20のα−オレフィンとしては、例えば、プロピレン、ブテン、ヘキセン、オクテン、ブタジエン、イソプレン等が挙げられるが、これらに特に限定されない。ここで、(共)重合体とは、上記モノマーの単独重合体、共重合体の双方を含む概念であり、特定ポリオレフィン樹脂は、これらオレフィン以外の、他の共重合成分(以下、単に「他のモノマー成分」とも称する。)をさらに含有していてもよい。他のモノマー成分としては、スチレン、α−メチルスチレン等のスチレン類;酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、ピバリン酸ビニル、カプロン酸ビニル、ラウリン酸ビニル、ステアリン酸ビニル、安息香酸ビニル、ブチル安息香酸ビニル、シクロヘキサンカルボン酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル類(或いは共重合後にこれらカルボン酸ビニルエステル類を鹸化して得られるビニルアルコール);アクリル酸、メタクリル酸、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類;(メタ)アクリルアミド、N−メタロール(メタ)アクリルアミド等の(メタ)アクリルアミド;メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、シクロペンチルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、フェニルビニルエーテル等のビニルエーテル類が挙げられるが、これらに特に限定されない。他のモノマー成分は、必要に応じ1種類若しくは2種類以上を適宜選択して用いることができる。   As the specific polyolefin resin, a (co) polymer of ethylene or an α-olefin having 3 to 20 carbon atoms and having a melting point of 200 ° C. or more can be used. Examples of the α-olefin having 3 to 20 carbon atoms include propylene, butene, hexene, octene, butadiene, and isoprene, but are not particularly limited thereto. Here, the (co) polymer is a concept that includes both a homopolymer and a copolymer of the above-mentioned monomers, and the specific polyolefin resin includes other copolymer components other than these olefins (hereinafter simply referred to as “others”). May also be included.). Other monomer components include styrenes such as styrene and α-methylstyrene; vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl pivalate, vinyl caproate, vinyl laurate, vinyl stearate, vinyl benzoate, and butyl benzoate. Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acrylate and vinyl cyclohexanecarboxylate (or vinyl alcohol obtained by saponifying these carboxylic acid vinyl esters after copolymerization); acrylic acid, methacrylic acid, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) ) Acrylate, butyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) (Meth) acrylic esters such as acrylate, isobonyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate; (meth) acrylamides such as (meth) acrylamide and N-methalol (meth) acrylamide; methyl vinyl ether, ethyl vinyl ether And vinyl ethers such as propyl vinyl ether, butyl vinyl ether, cyclopentyl vinyl ether, cyclohexyl vinyl ether, benzyl vinyl ether, and phenyl vinyl ether, but are not particularly limited thereto. One or more kinds of other monomer components can be appropriately selected and used as needed.

中でも、耐熱性の観点から、特定ポリオレフィン樹脂は、共重合体成分として炭素数5〜8のα−オレフィンを含むポリオレフィン(共)重合体を含むことが好ましい。炭素数5〜8のα−オレフィンとしては、例えば、3−メチル−1−ブテン、3−メチル−1−ペンテン、4−メチル−1−ペンテン、4,4ジメチル−1−ペンテン、3−エチル−1−ペンテン、3−メチル−1−ヘキセン、4−メチル−1−ヘキセン、4−エチル−1−ヘキセン等が挙げられる。すなわち、上記モノマーの単独重合体として、ポリ(3−メチル−1−ブテン)、ポリ(3−メチル−1−ペンテン)、ポリ(4−メチル−1−ペンテン)、ポリ4,4(ジメチル−1−ペンテン)、ポリ(3−エチル−1−ペンテン)、ポリ(3−メチル−1−ヘキセン)、ポリ(4−メチル−1−ヘキセン)、ポリ(4−エチル−1ヘキセン)等の単独重合体であって融点が200℃以上のポリオレフィン樹脂を使用することができる。また、上記モノマーの共重合体として、2種以上の上記モノマーを共重合させたもの、又は1種若しくは2種以上の上記モノマーと、これとは別のモノマーとを共重合させたものであって、融点が200℃以上のポリオレフィン樹脂を使用することができる。このような共重合体としては、炭素数5〜8のα−オレフィンと他のα−オレフィンとの共重合体が挙げられる。これらの共重合体は、2元系でも3元系以上でもよく、またランダム共重合体でもブロック共重合体であってもよい。これらポリオレフィン樹脂の中でも、モノマーの製造が比較的容易なことから、4−メチル−1−ペンテンの(共)重合体、すなわち、4−メチル−1−ペンテンの単独重合体であるポリ(4−メチル−1−ペンテン)、4−メチル−1−ペンテンと他のα−オレフィンとの共重合体が好ましい。   Above all, from the viewpoint of heat resistance, the specific polyolefin resin preferably contains a polyolefin (co) polymer containing an α-olefin having 5 to 8 carbon atoms as a copolymer component. Examples of the α-olefin having 5 to 8 carbon atoms include 3-methyl-1-butene, 3-methyl-1-pentene, 4-methyl-1-pentene, 4,4dimethyl-1-pentene, and 3-ethyl. -1-pentene, 3-methyl-1-hexene, 4-methyl-1-hexene, 4-ethyl-1-hexene and the like. That is, as a homopolymer of the above monomers, poly (3-methyl-1-butene), poly (3-methyl-1-pentene), poly (4-methyl-1-pentene), poly4,4 (dimethyl- 1-pentene), poly (3-ethyl-1-pentene), poly (3-methyl-1-hexene), poly (4-methyl-1-hexene), poly (4-ethyl-1-hexene), etc. A polyolefin resin having a melting point of 200 ° C. or more, which is a polymer, can be used. Further, as the copolymer of the above-mentioned monomers, one obtained by copolymerizing two or more kinds of the above-mentioned monomers or one obtained by copolymerizing one or more kinds of the above-mentioned monomers and another monomer is used. Thus, a polyolefin resin having a melting point of 200 ° C. or more can be used. Examples of such a copolymer include a copolymer of an α-olefin having 5 to 8 carbon atoms and another α-olefin. These copolymers may be binary, ternary or higher, and may be random copolymers or block copolymers. Among these polyolefin resins, since the production of the monomer is relatively easy, a (co) polymer of 4-methyl-1-pentene, that is, poly (4-methyl-1-pentene), which is a homopolymer of 4-methyl-1-pentene, is used. Methyl-1-pentene), and a copolymer of 4-methyl-1-pentene and another α-olefin are preferred.

特定ポリオレフィン樹脂を構成する上記の各モノマー成分の含有量は、融点が200℃以上となる範囲で変更可能であり、特に限定されない。例えば、炭素数5〜8のα−オレフィンと他のα−オレフィンとの共重合体において、各モノマー成分の含有量は、モル基準で、(炭素数5〜8のα−オレフィンの含有量)/(他のα−オレフィンの含有量)が、80/20〜100/0の範囲が好ましく、90/20〜100/0の範囲がより好ましく、95/5〜100/0の範囲がさらに好ましい。   The content of each of the above monomer components constituting the specific polyolefin resin can be changed within a range where the melting point is 200 ° C. or higher, and is not particularly limited. For example, in a copolymer of an α-olefin having 5 to 8 carbon atoms and another α-olefin, the content of each monomer component is (molar basis) (content of α-olefin having 5 to 8 carbon atoms). / (Content of other α-olefin) is preferably in the range of 80/20 to 100/0, more preferably in the range of 90/20 to 100/0, and still more preferably in the range of 95/5 to 100/0. .

吸着層31に含有される特定ポリオレフィン樹脂として、官能基が導入された、官能基含有ポリオレフィン樹脂も用いることができる。   As the specific polyolefin resin contained in the adsorption layer 31, a functional group-containing polyolefin resin into which a functional group has been introduced can also be used.

官能基含有ポリオレフィン系樹脂の具体的な例としては、前記オレフィン類と共重合可能な官能基含有モノマーとの共重合体が挙げられる。かかる官能基含有モノマーとしては、スチレン、α−メチルスチレン等のスチレン類;酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、ピバリン酸ビニル、カプロン酸ビニル、ラウリン酸ビニル、ステアリン酸ビニル、安息香酸ビニル、ブチル安息香酸ビニル、シクロヘキサンカルボン酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル類(或いは共重合後にこれらカルボン酸ビニルエステル類を鹸化して得られるビニルアルコール);アクリル酸、メタクリル酸、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類;(メタ)アクリルアミド、N−メタロール(メタ)アクリルアミド等の(メタ)アクリルアミド;メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、シクロペンチルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、フェニルビニルエーテル等のビニルエーテル類が挙げられる。これら官能基含有モノマーの中から必要に応じ1種類若しくは2種類以上を適宜選択し共重合したものを用いることができる。   Specific examples of the functional group-containing polyolefin-based resin include a copolymer of the olefin with a functional group-containing monomer copolymerizable with the olefin. Examples of such functional group-containing monomers include styrenes such as styrene and α-methylstyrene; vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl pivalate, vinyl caproate, vinyl laurate, vinyl stearate, vinyl benzoate, and butyl. Vinyl carboxylate such as vinyl benzoate and vinyl cyclohexanecarboxylate (or vinyl alcohol obtained by saponifying these vinyl carboxylate after copolymerization); acrylic acid, methacrylic acid, methyl (meth) acrylate, ethyl ( (Meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (Meth) acrylic esters such as (meth) acrylate, isobonyl (meth) acrylate, and dicyclopentanyl (meth) acrylate; (meth) acrylamides such as (meth) acrylamide and N-methanol (meth) acrylamide; methyl vinyl ether And vinyl ethers such as ethyl vinyl ether, propyl vinyl ether, butyl vinyl ether, cyclopentyl vinyl ether, cyclohexyl vinyl ether, benzyl vinyl ether and phenyl vinyl ether. One or more of these functional group-containing monomers may be appropriately selected and copolymerized as necessary.

また、特定ポリオレフィン樹脂は、必要に応じて、そのグラフト変性物を使用することも可能である。
樹脂のグラフト変性には公知の手法を用いることができる。具体的には、不飽和カルボン酸又はその誘導体によるグラフト変性を挙げることができる。不飽和カルボン酸としては、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸等を挙げることができる。また上記不飽和カルボン酸の誘導体としては、酸無水物、エステル、アミド、イミド、金属塩等を挙げることができる。
In addition, as the specific polyolefin resin, a graft-modified product thereof can be used as necessary.
Known techniques can be used for graft modification of the resin. Specific examples include graft modification with an unsaturated carboxylic acid or a derivative thereof. Examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, citraconic acid and the like. Examples of the derivative of the unsaturated carboxylic acid include acid anhydrides, esters, amides, imides, and metal salts.

不飽和カルボン酸の具体的な例としては、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸グリシジル、マレイン酸モノエチルエステル、マレイン酸ジエチルエステル、フマル酸モノメチルエステル、フマル酸ジメチルエステル、イタコン酸モノメチルエステル、イタコン酸ジエチルエステル、(メタ)アクリルアミド、マレイン酸モノアミド、マレイン酸ジアミド、マレイン酸−N−モノエチルアミド、マレイン酸−N,N‐ジエチルアミド、マレイン酸−N−モノブチルアミド、マレイン酸−N,N−ジブチルアミド、フマル酸モノアミド、フマル酸ジアミド、フマル酸−N−モノエチルアミド、フマル酸−N,N−ジエチルアミド、フマル酸−N−モノブチルアミド、フマル酸−N,N−ジブチルアミド、マレイミド、N−ブチルマレイミド、N−フェニルマレイミド、(メタ)アクリル酸ナトリウム、(メタ)アクリル酸カリウム等を挙げることができる。   Specific examples of unsaturated carboxylic acids include maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, and (meth) acrylic acid. Glycidyl, maleic acid monoethyl ester, maleic acid diethyl ester, fumaric acid monomethyl ester, fumaric acid dimethyl ester, itaconic acid monomethyl ester, itaconic acid diethyl ester, (meth) acrylamide, maleic monoamide, maleic diamide, maleic acid-N Monoethylamide, maleic acid-N, N-diethylamide, maleic acid-N-monobutylamide, maleic acid-N, N-dibutylamide, fumaric acid monoamide, fumaric diamide, fumaric acid-N-monoethylamide, Fumaric acid-N, N-diethyl Amide, fumaric acid-N-monobutylamide, fumaric acid-N, N-dibutylamide, maleimide, N-butylmaleimide, N-phenylmaleimide, sodium (meth) acrylate, potassium (meth) acrylate, and the like. Can be.

グラフト変性物は、グラフトモノマーを各種ポリオレフィン樹脂に対して、通常0.005〜10質量%、好ましくは0.01〜5質量%用いてグラフト変性したものを使用しうる。   The graft-modified product may be a graft-modified product obtained by using a graft monomer in an amount of usually 0.005 to 10% by mass, preferably 0.01 to 5% by mass, based on various polyolefin resins.

(任意ポリオレフィン樹脂)
吸着層31には、上述した特定ポリオレフィン樹脂以外の、他のポリオレフィン樹脂(以下、単に「任意ポリオレフィン樹脂」とも称する。)を含有していてもよい。任意ポリオレフィン樹脂は、エチレン又は炭素数3〜20のα−オレフィンの(共)重合体であって、融点が200℃未満のものを意味する。任意ポリオレフィン樹脂の具体例としては、高密度ポリエチレンや低密度ポリエチレン等のエチレン単独重合体の一部、プロピレン単独重合体等が挙げられるが、これらに特に限定されない。任意ポリオレフィン樹脂は、1種を選択して単独で使用してもよいし、2種以上を選択して組み合わせて使用してもよい。
(Optional polyolefin resin)
The adsorption layer 31 may contain another polyolefin resin (hereinafter, also simply referred to as “optional polyolefin resin”) other than the specific polyolefin resin described above. The optional polyolefin resin is a (co) polymer of ethylene or an α-olefin having 3 to 20 carbon atoms and having a melting point of less than 200 ° C. Specific examples of the optional polyolefin resin include a part of an ethylene homopolymer such as high-density polyethylene and low-density polyethylene, and a propylene homopolymer, but are not particularly limited thereto. One of the optional polyolefin resins may be selected and used alone, or two or more may be selected and used in combination.

特定ポリオレフィン樹脂と任意ポリオレフィン樹脂とを併用する場合、これらの含有量は特に限定されないが、特定ポリオレフィン樹脂の含有量は、ポリオレフィン樹脂の総量に対して、50〜100質量部であることが好ましく、60〜100質量部であることがより好ましく、70〜100質量部であることがさらに好ましい。また、任意ポリオレフィン樹脂の含有量は、特定ポリオレフィン樹脂の総量に対して、50〜0質量部であることが好ましく、40〜0質量部であることがより好ましく、30〜0質量部であることがさらに好ましい。特定ポリオレフィン樹脂の含有量が上記範囲内にあることにより、吸着層31の高温への耐性が発揮され、高温環境下においても寸法変化が小さく、保護シート11の吸着性能を維持することができる。   When the specific polyolefin resin and the optional polyolefin resin are used in combination, the content thereof is not particularly limited, but the content of the specific polyolefin resin is preferably 50 to 100 parts by mass with respect to the total amount of the polyolefin resin, The amount is more preferably 60 to 100 parts by mass, and even more preferably 70 to 100 parts by mass. Further, the content of the optional polyolefin resin is preferably 50 to 0 parts by mass, more preferably 40 to 0 parts by mass, and more preferably 30 to 0 parts by mass with respect to the total amount of the specific polyolefin resin. Is more preferred. When the content of the specific polyolefin resin is within the above range, the resistance of the adsorption layer 31 to high temperatures is exhibited, the dimensional change is small even in a high temperature environment, and the adsorption performance of the protective sheet 11 can be maintained.

また、吸着層31は、上記の特定ポリオレフィン樹脂及び任意ポリオレフィン樹脂以外の他の樹脂を含有してもよい。この他の樹脂としては、ナイロン−6、ナイロン−6,6等のポリアミド系樹脂;ポリエチレンテレフタレートやその共重合体、ポリブチレンテレフタレート等の芳香族ポリエステル、又はポリブチレンサクシネート、ポリ乳酸等の脂肪族ポリエステル等の熱可塑性ポリエステル系樹脂;ポリカーボネート、アタクティックポリスチレン、シンジオタクティックポリスチレン等の熱可塑性樹脂が挙げられるが、これらに特に限定されない。   Further, the adsorption layer 31 may contain a resin other than the specific polyolefin resin and the optional polyolefin resin. Other resins include polyamide resins such as nylon-6 and nylon-6,6; polyethylene terephthalate and copolymers thereof, aromatic polyesters such as polybutylene terephthalate, and fats such as polybutylene succinate and polylactic acid. Thermoplastic polyester resins such as aromatic polyesters; and thermoplastic resins such as polycarbonate, atactic polystyrene, and syndiotactic polystyrene, but are not particularly limited thereto.

吸着層31が他の樹脂を含有する場合、特に限定されないが、他の樹脂の含有量は、上記のポリオレフィン樹脂100質量部に対して、0.1〜30質量部であることが好ましく、0.1〜20質量部であることがより好ましく、0.1〜10質量部であることがさらに好ましい。   When the adsorption layer 31 contains another resin, it is not particularly limited, but the content of the other resin is preferably 0.1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the above-mentioned polyolefin resin. 0.1-20 parts by mass, more preferably 0.1-10 parts by mass.

(無機微細粉末及び有機フィラー)
吸着層31は、無機微細粉末及び有機フィラーの少なくとも一方を含むものであってもよい。無機微細粉末又は有機フィラーを含むことにより、吸着層31が乳白色の半透明となり、保護シート11の存在が視認しやすくなることで、取扱性を向上させることができる。また、無機微細粉末又は有機フィラーを含むことにより、吸着層31の誘電率を調整することができるとともに、保護シート11の機械的強度を向上させることができる。また、無機微細粉末又は有機フィラーを含むことにより、吸着層31の表面に起伏を形成し、吸着層31又は保護シート11の製造の際に、シート同士を貼り付き難くすることができる。
(Inorganic fine powder and organic filler)
The adsorption layer 31 may include at least one of an inorganic fine powder and an organic filler. By containing the inorganic fine powder or the organic filler, the adsorption layer 31 becomes milky white and translucent, and the presence of the protective sheet 11 is easily visually recognized, so that the handleability can be improved. Further, by including the inorganic fine powder or the organic filler, the dielectric constant of the adsorption layer 31 can be adjusted, and the mechanical strength of the protective sheet 11 can be improved. In addition, by containing the inorganic fine powder or the organic filler, undulations are formed on the surface of the adsorption layer 31, and the sheets can be made difficult to stick together when the adsorption layer 31 or the protective sheet 11 is manufactured.

無機微細粉末としては、例えば、炭酸カルシウム、焼成クレイ、シリカ、けいそう土、白土、タルク、酸化チタン、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、アルミナ、ゼオライト、マイカ、セリサイト、ベントナイト、セピオライト、バーミキュライト、ドロマイト、ワラストナイト、ガラスファイバー等が挙げられるが、これらに特に限定されない。無機微細粉末を添加する場合には、平均粒子径が、通常は0.01〜15μm、好ましくは0.1〜5μmのものを使用する。なお、本明細書において平均粒子径とは、レーザー回折法による粒度分布測定装置を用いて測定される体積基準のメジアン径(D50)をいう。 Examples of the inorganic fine powder include calcium carbonate, calcined clay, silica, diatomaceous earth, clay, talc, titanium oxide, barium sulfate, barium titanate, alumina, zeolite, mica, sericite, bentonite, sepiolite, vermiculite, and dolomite. , Wollastonite, glass fiber and the like, but are not particularly limited thereto. When adding an inorganic fine powder, those having an average particle size of usually 0.01 to 15 μm, preferably 0.1 to 5 μm are used. In the present specification, the average particle diameter refers to a volume-based median diameter (D 50 ) measured using a particle size distribution measuring device by a laser diffraction method.

有機フィラーを添加する場合には、吸着層31に含有される特定ポリオレフィン樹脂とは異なる種類の樹脂を選択することが好ましい。本実施形態の吸着層31では、少なくとも1種以上の特定ポリオレフィン樹脂を含有することから、有機フィラーとして、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ナイロン−6、ナイロン−6,6、環状ポリオレフィン、ポリスチレン、ポリメタクリレート等の重合体であって、特定ポリオレフィン系樹脂の融点よりも高い融点(例えば200〜300℃)を有し、特定ポリオレフィン樹脂との溶融混練により相中への微分散が可能であり、かつ非相溶のものを使用することができる。   When adding an organic filler, it is preferable to select a different type of resin from the specific polyolefin resin contained in the adsorption layer 31. Since the adsorption layer 31 of the present embodiment contains at least one or more specific polyolefin resins, as the organic filler, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polycarbonate, nylon-6, nylon-6,6, cyclic polyolefin, polystyrene , A polymer such as polymethacrylate, which has a melting point higher than the melting point of the specific polyolefin resin (for example, 200 to 300 ° C.), and can be finely dispersed in a phase by melt-kneading with the specific polyolefin resin. And incompatible ones can be used.

無機微細粉末及び有機フィラーの吸着層31中への含有量は、所望性能に応じて適宜設定すればよく、特に限定されないが、吸着層31の総量に対して、0〜50質量%であることが好ましく、0〜30質量%であることがより好ましく、0〜10質量%であることがさらに好ましい。無機微細粉末及び有機フィラーの吸着層31中への含有量が上記範囲の上限値以下であることにより、保護シート11の機械的強度を向上させるとともに、帯電した電荷を逃げ難くして内部に保持することができる傾向にある。   The content of the inorganic fine powder and the organic filler in the adsorption layer 31 may be appropriately set according to the desired performance, and is not particularly limited, but is 0 to 50% by mass with respect to the total amount of the adsorption layer 31. Is preferably 0 to 30% by mass, and more preferably 0 to 10% by mass. When the content of the inorganic fine powder and the organic filler in the adsorption layer 31 is equal to or less than the upper limit of the above range, the mechanical strength of the protective sheet 11 is improved, and the charged electric charge is hard to escape and is retained inside. Tend to be able to.

吸着層31には、必要に応じて、熱安定剤(酸化防止剤)、光安定剤、分散剤、滑剤、核剤等の添加剤を添加することができる。熱安定剤を添加する場合は、通常、吸着層31の総量に対して、0.001〜1質量%の範囲内で使用する。熱安定剤としては、例えば、立体障害フェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤、アミン系酸化防止剤、及びイオウ系酸化防止剤等の安定剤を使用することができる。光安定剤を添加する場合は、通常、吸着層31の総量に対して、0.001〜1質量%の範囲内で使用する。光安定剤としては、例えば、立体障害アミン系光安定剤、ベンゾトリアゾール系光安定剤、及びベンゾフェノン系光安定剤等の光安定剤を使用することができる。分散剤や滑剤は、例えば無機微細粉末を分散させる目的で使用する。分散剤や滑剤を添加する場合は、吸着層31の総量に対して、0.01〜4質量%の範囲内で使用する。分散剤としては、例えば、シランカップリング剤、オレイン酸やステアリン酸等の高級脂肪酸、金属石鹸、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸ないしはそれらの塩等を使用することができる。   If necessary, additives such as a heat stabilizer (antioxidant), a light stabilizer, a dispersant, a lubricant, and a nucleating agent can be added to the adsorption layer 31. When a heat stabilizer is added, it is usually used in the range of 0.001 to 1% by mass based on the total amount of the adsorption layer 31. As the heat stabilizer, for example, stabilizers such as a sterically hindered phenol antioxidant, a phosphorus antioxidant, an amine antioxidant, and a sulfur antioxidant can be used. When a light stabilizer is added, it is usually used in the range of 0.001 to 1% by mass based on the total amount of the adsorption layer 31. As the light stabilizer, for example, a light stabilizer such as a sterically hindered amine light stabilizer, a benzotriazole light stabilizer, and a benzophenone light stabilizer can be used. The dispersant and the lubricant are used, for example, for the purpose of dispersing the inorganic fine powder. When adding a dispersant or a lubricant, it is used within a range of 0.01 to 4% by mass based on the total amount of the adsorption layer 31. As the dispersant, for example, a silane coupling agent, higher fatty acids such as oleic acid and stearic acid, metal soap, polyacrylic acid, polymethacrylic acid or salts thereof can be used.

(表面抵抗率)
保護シート11における吸着層31は、静電吸着能力を具備させるために、帯電処理を施し易く、且つ帯電処理による電荷を内部に保持し易い構造であることが好ましい。吸着層31における帯電処理の施し易さ及び電荷の保持性能は、表面抵抗率で示すことができる。なお、本明細書において表面抵抗率とは、表面抵抗率が1×107Ω以上の場合は、JIS K 6911に準拠し、温度23℃、相対湿度50%の条件下で、2重リング法の電極を用いて測定した値を意味する。表面抵抗率が1×107Ω未満の場合は、JIS K 7194に準拠し、温度23℃、相対湿度50%の条件下で、4端針により測定した値を意味する。
(Surface resistivity)
It is preferable that the adsorption layer 31 of the protection sheet 11 has a structure that is easy to perform a charging process and easily retains the charge due to the charging process in order to provide the electrostatic adsorption capability. The ease of performing the charging process and the charge retention performance of the adsorption layer 31 can be indicated by the surface resistivity. In the present specification, the term “surface resistivity” refers to a double ring method under the conditions of a temperature of 23 ° C. and a relative humidity of 50% according to JIS K 6911 when the surface resistivity is 1 × 10 7 Ω or more. Means the value measured by using the electrode. When the surface resistivity is less than 1 × 10 7 Ω, it means a value measured with a four-end needle at a temperature of 23 ° C. and a relative humidity of 50% in accordance with JIS K 7194.

吸着層31における基材41と接する側の面11bの表面抵抗率は、1×1013〜9×1017Ωの範囲であることが好ましく、5×1013〜9×1016Ωの範囲であることがより好ましく、1×1014〜9×1015Ωの範囲であることがさらに好ましい。面11bの表面抵抗率が上記範囲の下限値以上であることにより、帯電処理を施す際に与えた電荷が表面を伝って逃げ難くなり、帯電処理が施し易い傾向がある。また、吸着層31に一旦与えた電荷が、吸着層31の表面を伝って外部(大気中等)に逃げ難く、吸着層31が長期間電荷を保持できることで、保護シート11の静電吸着力を維持し易くなる傾向がある。面11bの表面抵抗率が上記範囲の上限値を上回るものであっても性能上は問題がないが、上記範囲の上限値以下であることが製造コストの面からは好ましい。このような表面抵抗率を有する保護シート11は、これを構成する樹脂の選定、及び保護シート11への表面処理の有無等により達成できる。 The surface resistivity of the surface 11b of the adsorbing layer 31 on the side in contact with the base material 41 is preferably in the range of 1 × 10 13 to 9 × 10 17 Ω, and in the range of 5 × 10 13 to 9 × 10 16 Ω. More preferably, it is more preferably in the range of 1 × 10 14 to 9 × 10 15 Ω. When the surface resistivity of the surface 11b is equal to or more than the lower limit of the above range, the charge given during the charging process is hard to escape along the surface, and the charging process tends to be easily performed. In addition, it is difficult for the charge once applied to the adsorption layer 31 to escape along the surface of the adsorption layer 31 to the outside (in the air or the like), and since the adsorption layer 31 can retain the electric charge for a long period of time, the electrostatic adsorption force of the protective sheet 11 is reduced. It tends to be easy to maintain. If the surface resistivity of the surface 11b exceeds the upper limit of the above range, there is no problem in performance, but it is preferable that the surface resistivity is equal to or less than the upper limit of the above range from the viewpoint of manufacturing cost. The protective sheet 11 having such a surface resistivity can be achieved by selecting a resin constituting the protective sheet, and by performing surface treatment on the protective sheet 11 or the like.

(厚み)
吸着層31の厚みは、所望性能に応じて適宜設定すればよく、特に制限されないが、20〜220μmの範囲であることが好ましく。35〜200μmの範囲であることがより好ましく、55〜180μmの範囲であることがさらに好ましく、90〜160μmの範囲であることが特に好ましい。吸着層31の厚みが上記範囲の下限値以上であることにより、充分な機械的強度が得られるとともに、保護シート11を被着体に貼り付ける際にシワが入り難く、上手く貼着できて外観が優れたものとなる。また、吸着層31の厚みが上記範囲の上限値以下であることにより、静電電荷をチャージでき、且つ保護シート11の自重が抑えられて、静電吸着力により自重を保持して被着体からの落下を防止することができる。
(Thickness)
The thickness of the adsorption layer 31 may be appropriately set according to desired performance, and is not particularly limited, but is preferably in a range of 20 to 220 μm. It is more preferably in the range of 35 to 200 μm, further preferably in the range of 55 to 180 μm, and particularly preferably in the range of 90 to 160 μm. When the thickness of the adsorptive layer 31 is equal to or more than the lower limit of the above range, sufficient mechanical strength is obtained, wrinkles are less likely to occur when the protective sheet 11 is attached to the adherend, and the protective sheet 11 can be adhered well. Will be excellent. When the thickness of the attraction layer 31 is equal to or less than the upper limit of the above range, electrostatic charges can be charged, and the self-weight of the protective sheet 11 is suppressed, and the self-weight is held by the Can be prevented from falling.

(坪量)
吸着層31は、特に限定されないが、その坪量が5〜200g/m2の範囲であることが好ましい。吸着層31の坪量は、7〜150g/m2の範囲であることがより好ましく、10〜100g/m2の範囲であることがさらに好ましい。吸着層31の坪量は、吸着層31内部に保持可能な静電電荷の容量と比例関係にある。そのため、吸着層31の坪量が上記範囲の下限値以上であることにより、保護シート11の静電容量が増加して、保護シート11の被着体への接着を維持し易くなる。また、吸着層31の坪量が上記範囲の上限値以下であることにより、吸着層31を含む保護シート11の燃焼熱量(例えば、コーンカロリーメーターによる総発熱量に代表される)を抑えることができる。
(Basis weight)
The adsorption layer 31 is not particularly limited, but preferably has a basis weight in the range of 5 to 200 g / m 2 . The basis weight of the adsorbent layer 31 is more preferably in the range of 7~150g / m 2, more preferably in the range of 10 to 100 g / m 2. The grammage of the adsorption layer 31 is proportional to the capacitance of the electrostatic charge that can be held inside the adsorption layer 31. Therefore, when the grammage of the adsorption layer 31 is equal to or more than the lower limit of the above range, the capacitance of the protection sheet 11 increases, and the adhesion of the protection sheet 11 to the adherend is easily maintained. When the grammage of the adsorbent layer 31 is equal to or less than the upper limit of the above range, the calorific value of the protective sheet 11 including the adsorbent layer 31 (e.g., represented by the total calorific value of the cone calorimeter) can be suppressed. it can.

(表面粗さ)
吸着層31の基材41と接する側の面11bの表面粗さは、特に限定されないが、0.01〜5μmであることが好ましく、0.05〜2μmであることがより好ましく、0.1〜1μmであることがより好ましい。面11bの表面粗さが上記範囲内にあることにより、吸着層31と被着体とが接する面のより高い平滑性が得られる。これによって、保護シート11が被着体に密着することで静電吸着力が十分に発揮され、吸着性能が向上する。なお、本明細書において表面粗さとは、触針式の三次元表面粗さ計を用いて測定する、表面の中心面平均粗さ(SRa)を意味する。中心面平均粗さ(SRa)の測定には、測定精度が0.01μm以下の装置を用いることが好ましい。
(Surface roughness)
The surface roughness of the surface 11b of the adsorption layer 31 on the side in contact with the base material 41 is not particularly limited, but is preferably 0.01 to 5 μm, more preferably 0.05 to 2 μm, and 0.1 More preferably, it is 1 μm. When the surface roughness of the surface 11b is within the above range, higher smoothness of the surface where the adsorption layer 31 and the adherend are in contact is obtained. Thereby, the protective sheet 11 is brought into close contact with the adherend, whereby the electrostatic attraction force is sufficiently exhibited, and the attraction performance is improved. In addition, in this specification, surface roughness means the center-surface average roughness (SRa) of a surface measured using a stylus type three-dimensional surface roughness meter. For the measurement of the center plane average roughness (SRa), it is preferable to use an apparatus having a measurement accuracy of 0.01 μm or less.

(吸着層の成形)
吸着層31の成形方法は、特に限定されない。例えば、スクリュー型押出機に接続された単層又は多層のTダイやIダイを使用して溶融したポリオレフィン樹脂をシート状に押し出すキャスト成形、カレンダー成形、圧延成形、インフレーション成形等の各種公知の成形方法により、吸着層31を成形することができる。さらに、得られた吸着層31に対して、延伸を行ってもよい。また、吸着層31に放電表面処理を施してもよい。
(Formation of adsorption layer)
The method for forming the adsorption layer 31 is not particularly limited. For example, various known moldings such as cast molding, calender molding, rolling molding, and inflation molding for extruding a molten polyolefin resin into a sheet using a single-layer or multilayer T-die or I-die connected to a screw type extruder. By the method, the adsorption layer 31 can be formed. Further, the obtained adsorption layer 31 may be stretched. Further, the adsorption layer 31 may be subjected to a discharge surface treatment.

(多層化)
吸着層31は、単層構造であってもよく、2層構造、3層以上の多層構造のものであってもよい。吸着層31は多層化によって、耐電圧性能の向上や、2次加工適性の向上等の様々な機能の付加が可能となる。吸着層31を多層構造にする場合には、公知の種々の方法が使用できるが、具体例としては、種々の接着剤を使用したドライラミネート方式、ウェットラミネート方式、及び溶融ラミネート方式や、フィードブロック、マルチマニホールドを使用した多層ダイス方式(共押出方式)や、複数のダイスを使用する押出しラミネーション方式や、種々のコーターを使用した塗工方法等が挙げられる。また、多層ダイスと押出しラミネーションを組み合わせて使用することも可能である。
(Multilayer)
The adsorption layer 31 may have a single-layer structure, a two-layer structure, or a multi-layer structure of three or more layers. Various functions such as improvement of withstand voltage performance and improvement of suitability for secondary processing can be added to the adsorption layer 31 by forming a multilayer structure. When the adsorption layer 31 has a multilayer structure, various known methods can be used. Specific examples include a dry lamination method, a wet lamination method, and a melt lamination method using various adhesives, and a feed block. And a multilayer die system (co-extrusion system) using a multi-manifold, an extrusion lamination system using a plurality of dies, and a coating method using various coaters. It is also possible to use a combination of a multilayer die and an extrusion lamination.

吸着層31が多層構造である場合、少なくとも一層が、特定ポリオレフィン樹脂を含むことが好ましく、全ての層が、特定ポリオレフィン樹脂を含むことがより好ましい。また、吸着層31が多層構造である場合、多層構造からなる吸着層31全体として、上述したポリオレフィン樹脂の総量に対する、特定ポリオレフィン樹脂の含有量と、任意ポリオレフィン樹脂の含有量とを充足することが好ましい。   When the adsorption layer 31 has a multilayer structure, at least one layer preferably contains a specific polyolefin resin, and more preferably all layers contain a specific polyolefin resin. In addition, when the adsorption layer 31 has a multilayer structure, the content of the specific polyolefin resin and the content of the optional polyolefin resin with respect to the total amount of the polyolefin resin described above may be satisfied as the entire adsorption layer 31 having the multilayer structure. preferable.

<コート層>
コート層21は、保護シート11を構成するものであって、吸着層31の片面に帯電防止性能を付与する目的から設けられている
<Coat layer>
The coat layer 21 constitutes the protective sheet 11 and is provided for the purpose of imparting antistatic performance to one surface of the adsorption layer 31.

コート層21はその組成として、帯電防止剤0.1〜100質量%と、高分子バインダー0〜99.9質量%と、顔料粒子0〜70質量%とを含むことが好ましい。コート層21は、これら成分を含む塗工剤として、吸着層31上に直接塗工により設けるか、或いは予め別のフィルム上に塗工してコート層21を形成しておき、これを吸着層31にラミネートすることで設けることができる。   The coating layer 21 preferably contains, as its composition, 0.1 to 100% by mass of an antistatic agent, 0 to 99.9% by mass of a polymer binder, and 0 to 70% by mass of pigment particles. The coating layer 21 may be provided as a coating agent containing these components by directly coating on the adsorption layer 31 or may be previously coated on another film to form the coating layer 21, 31 can be provided.

帯電防止剤は、コート層21に帯電防止性能を付与するためのものである。具体的には、ステアリン酸モノグリセリド、アルキルジエタノールアミン、ソルビタンモノラウレート、アルキルベンゼンスルフォン酸塩、アルキルジフェニルエーテルスルフォン酸塩等に代表される低分子量有機化合物系の帯電防止剤;ITO(インジウムドープド酸化錫)、ATO(アンチモンドープド酸化錫)、グラファイトウィスカ等に代表される導電性無機充填剤;ポリチオフェン、ポリピロール、ポリアニリン等の分子鎖内のパイ電子により導電性を発揮するいわゆる電子導電性ポリマー;ポリエチレングリコール、ポリオキシエチレンジアミン等の非イオン性ポリマー系の帯電防止剤;ポリビニルベンジルトリメチルアンモニウムクロライド、ポリジメチルアミノエチルメタクリレート四級化物等の第四級アンモニウム塩型共重合体;アルキレンオキシド基及び/又は水酸基含有ポリマーへのアルカリ金属イオン添加物等のアルカリ金属塩含有ポリマーに代表される帯電防止機能を有するポリマー等が挙げられるが、これらに特に限定されない。   The antistatic agent is for imparting antistatic performance to the coat layer 21. Specifically, low molecular weight organic compound type antistatic agents represented by stearic acid monoglyceride, alkyldiethanolamine, sorbitan monolaurate, alkylbenzenesulfonate, alkyldiphenylethersulfonate, etc .; ITO (indium-doped tin oxide) , ATO (antimony-doped tin oxide), conductive whiskers, etc .; conductive inorganic fillers; so-called electron conductive polymers, such as polythiophene, polypyrrole, and polyaniline, which exhibit conductivity by pi electrons in their molecular chains; polyethylene glycol And non-ionic polymer antistatic agents such as polyoxyethylenediamine; quaternary ammonium salts such as polyvinylbenzyltrimethylammonium chloride and polydimethylaminoethyl methacrylate quaternary compounds; Coalescing; Although polymers having an antistatic function typified by alkali metal salts containing polymers such as alkali metal ions additives to alkylene oxide groups and / or hydroxyl group-containing polymers include, but are not particularly limited thereto.

これらの帯電防止剤はそれぞれに特性がある。例えば、低分子量有機化合物系の帯電防止剤は、環境湿度に帯電防止性能が大きく影響され易い。一方、第四級アンモニウム塩型共重合体やアルカリ金属塩含有ポリマーは、帯電防止性能が良好であり、環境湿度の帯電防止性能への影響が小さいため、好ましい。   Each of these antistatic agents has characteristics. For example, a low molecular weight organic compound-based antistatic agent is likely to be greatly affected by the environmental humidity. On the other hand, a quaternary ammonium salt type copolymer or an alkali metal salt-containing polymer is preferable because it has good antistatic performance and the influence of environmental humidity on the antistatic performance is small.

高分子バインダーは、その結着力若しくは凝集力によって、コート層21とこれを設ける吸着層31との間に良好な密着性を持たせるためのものである。高分子バインダーの具体例としては、ポリエチレンイミン、炭素数1〜12のアルキル変性ポリエチレンイミン、ポリ(エチレンイミン−尿素)、ポリ(エチレンイミン−尿素)のエチレンイミン付加物、ポリアミンポリアミド、ポリアミンポリアミドのエチレンイミン付加物、及びポリアミンポリアミドのエピクロルヒドリン付加物等のポリエチレンイミン系重合体;アクリル酸エステル共重合体、メタクリル酸エステル共重合、アクリル酸アミド−アクリル酸エステル共重合体、アクリル酸アミド−アクリル酸エステル−メタクリル酸エステル共重合体、ポリアクリルアミドの誘導体、及びオキサゾリン基含有アクリル酸エステル系重合体等のアクリル酸エステル系重合体;ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール等、加えて、酢酸ビニル樹脂、ウレタン樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリエステル樹脂、尿素樹脂、テルペン樹脂、石油樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体樹脂、塩化ビニリデン樹脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体樹脂、塩素化エチレン樹脂、塩素化プロピレン樹脂、ブチラール樹脂、シリコーン樹脂、ニトロセルロース樹脂、スチレン−アクリル共重合体樹脂、スチレン−ブタジエン共重合体樹脂、アクリルニトリル−ブタジエン共重合体等が挙げられるが、これらに特に限定されない。   The polymer binder is used to give good adhesion between the coat layer 21 and the adsorption layer 31 on which the coat layer 21 is provided by its binding force or cohesive force. Specific examples of the polymer binder include polyethyleneimine, an alkyl-modified polyethyleneimine having 1 to 12 carbon atoms, poly (ethyleneimine-urea), an ethyleneimine adduct of poly (ethyleneimine-urea), polyamine polyamide, and polyamine polyamide. Polyethyleneimine polymers such as ethyleneimine adducts and epichlorohydrin adducts of polyamine polyamides; acrylic ester copolymers, methacrylic ester copolymers, acrylic acid amide-acrylic acid ester copolymers, acrylic acid amide-acrylic acid Ester-methacrylic ester copolymers, polyacrylamide derivatives, and acrylate polymers such as oxazoline group-containing acrylate polymers; polyvinylpyrrolidone, polyethylene glycol, and the like, Vinyl acid resin, urethane resin, polyether resin, polyester resin, urea resin, terpene resin, petroleum resin, ethylene-vinyl acetate copolymer, vinyl chloride resin, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer resin, vinylidene chloride resin, chloride Vinyl-vinylidene chloride copolymer resin, chlorinated ethylene resin, chlorinated propylene resin, butyral resin, silicone resin, nitrocellulose resin, styrene-acryl copolymer resin, styrene-butadiene copolymer resin, acrylonitrile-butadiene copolymer Examples thereof include polymers, but are not particularly limited thereto.

これらの高分子バインダーは、いずれか1種を単独で使用してもよいし、2種類以上を混合して使用してもよい。これらの高分子バインダーは、有機溶剤又は水に希釈又は分散した態様で用いることができる。中でも、ポリエチレンイミン系重合体、ポリエーテルウレタン、ポリエステルポリウレタン、アクリルウレタン等のウレタン樹脂、若しくはアクリル酸エステル共重合体が、前述の帯電防止機能を有するポリマーとの相性(相溶性)がよく、混溶して塗料とした際に安定しており、塗工し易く好ましい。   One of these polymer binders may be used alone, or two or more thereof may be used in combination. These polymer binders can be used in a form diluted or dispersed in an organic solvent or water. Among them, urethane resins such as polyethyleneimine polymers, polyether urethanes, polyester polyurethanes, and acrylic urethanes, or acrylate copolymers have good compatibility (compatibility) with the above-mentioned polymer having an antistatic function. It is stable when melted into a paint, and is preferable because it is easy to apply.

コート層21は、顔料粒子を含んでいてもよく、含まなくてもよい。コート層21への顔料粒子の添加により形成されるコート層21表面の凹凸付与によるブロッキング防止等の性能向上、紫外線反射材として耐光性や耐候性等の性能付与を図ることができる。顔料粒子はこれら求める性能を考慮し適宜選択して使用するものであり、必要に応じて添加される。   The coat layer 21 may or may not include pigment particles. It is possible to improve performance such as blocking prevention by imparting unevenness on the surface of the coat layer 21 formed by adding pigment particles to the coat layer 21, and to impart performance such as light resistance and weather resistance as an ultraviolet reflecting material. The pigment particles are appropriately selected and used in consideration of these required properties, and are added as necessary.

顔料粒子としては、公知の有機ないし無機の微細粒子が使用できる。具体的な例としては、酸化ケイ素、炭酸カルシウム、焼成クレイ、酸化チタン、酸化亜鉛、硫酸バリウム、珪藻土、アクリル粒子、スチレン粒子、ポリエチレン粒子、ポリプロピレン粒子等を使用することができる。顔料粒子の粒子径は、好ましくは20μm以下であり、より好ましくは15μm以下であり、さらに好ましくは3μm以下である。また、顔料粒子の粒子径は、好ましくは0.01μm以上、より好ましくは0.1μm以上である。顔料分子の粒子径が上記の上限値以下であることにより、形成したコート層21からの顔料粒子の脱落、及びこれに伴う粉吹き減少を抑制することができる。また、顔料分子の粒子径が上記の下限値以上であることにより、コート層21表面に起伏を形成し、静電吸着シート1を重ねて保管した際のブロッキングを防止する傾向にある。コート層21中の顔料粒子含有量は、好ましくは0〜70質量%であり、より好ましくは0〜60質量%であり、さらに好ましくは0〜50質量%である。顔料粒子の含有量が上記範囲以下であることにより、バインダー樹脂量が十分となることで、コート層21の凝集力を向上させて、吸着層31への接着力や、保護シート11の層間強度を改善することができる。   Known organic or inorganic fine particles can be used as the pigment particles. Specific examples include silicon oxide, calcium carbonate, calcined clay, titanium oxide, zinc oxide, barium sulfate, diatomaceous earth, acrylic particles, styrene particles, polyethylene particles, polypropylene particles, and the like. The particle size of the pigment particles is preferably 20 μm or less, more preferably 15 μm or less, and further preferably 3 μm or less. Further, the particle size of the pigment particles is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.1 μm or more. When the particle diameter of the pigment molecules is equal to or less than the above upper limit, the falling off of the pigment particles from the formed coat layer 21 and the accompanying reduction in powder blowing can be suppressed. Further, when the particle diameter of the pigment molecule is equal to or more than the above lower limit value, undulations are formed on the surface of the coat layer 21, and there is a tendency that blocking when the electrostatic adsorption sheet 1 is stored in a stacked state is prevented. The pigment particle content in the coat layer 21 is preferably from 0 to 70% by mass, more preferably from 0 to 60% by mass, and still more preferably from 0 to 50% by mass. When the content of the pigment particles is equal to or less than the above range, the amount of the binder resin is sufficient, so that the cohesive force of the coat layer 21 is improved, and the adhesive strength to the adsorption layer 31 and the interlayer strength of the protective sheet 11 are improved. Can be improved.

コート層21は、上記成分を含む塗工液を調製し、吸着層31上に塗工し、これを乾燥、固化させて塗工層として設けることが可能である。塗工には、従来公知の手法や装置を利用することができる。   The coating layer 21 can be provided as a coating layer by preparing a coating liquid containing the above components, coating the coating liquid on the adsorption layer 31, drying and solidifying the coating liquid. Conventionally known methods and devices can be used for coating.

また、コート層21は、吸着層31上にラミネートにより設けることも可能である。この場合はあらかじめコート層21を設けた別のフィルムを作成し、吸着層31上にこれをラミネート加工すればよい。ラミネート加工は、通常のドライラミネート、又は溶融ラミネート等の手法により行うことができる。   Further, the coat layer 21 can be provided on the adsorption layer 31 by lamination. In this case, another film provided with the coat layer 21 in advance may be prepared and laminated on the adsorption layer 31. Lamination processing can be performed by a method such as ordinary dry lamination or melt lamination.

吸着層31へのコート層21の設置は、後述する帯電処理を実施する前に行うことが好ましい。コート層21の持つ帯電防止性能により、帯電処理後であっても静電吸着シート1の外部への静電吸着力を抑止することが可能となる。   It is preferable to install the coat layer 21 on the adsorption layer 31 before performing a charging process described later. Due to the antistatic performance of the coat layer 21, it is possible to suppress the electrostatic attraction force of the electrostatic attraction sheet 1 to the outside even after the charging process.

(表面抵抗率)
コート層21によって、吸着層31の片面に帯電防止性能が付与される。コート層21の表面抵抗率は、1×10-1〜9×1012Ωの範囲であることが好ましく、1×103〜9v×1011Ωの範囲であることがより好ましく、1×106〜9×1010Ωの範囲であることさらに好ましい。コート層21の表面抵抗率が上記範囲の上限値以下であることにより、十分な帯電防止性能が付与されて、保護シート11や静電吸着シート1が持つ静電吸着力を充分に抑止することができ、保護シート11の貼合加工の際にロールへの貼り付きやシート同士の貼り付き等のトラブルを抑えることができ、また静電吸着シート1同士の貼り付きを抑えることができる。また、表面抵抗率が上記範囲の下限を下回るものであっても性能上は問題がないが、上記範囲の下限値以上であることが製造コストの面からは好ましく、保護シート11の静電吸着力を保持できる点からも好ましい。
(Surface resistivity)
The coating layer 21 imparts antistatic performance to one surface of the adsorption layer 31. The surface resistivity of the coat layer 21 is preferably in the range of 1 × 10 −1 to 9 × 10 12 Ω, more preferably in the range of 1 × 10 3 to 9v × 10 11 Ω, and more preferably 1 × 10 Ω. More preferably, it is in the range of 6 to 9 × 10 10 Ω. When the surface resistivity of the coat layer 21 is equal to or less than the upper limit of the above range, sufficient antistatic performance is provided, and the electrostatic attraction force of the protection sheet 11 and the electrostatic attraction sheet 1 is sufficiently suppressed. Therefore, troubles such as sticking to a roll and sticking between sheets can be suppressed when the protective sheet 11 is stuck, and sticking between the electrostatic adsorption sheets 1 can be suppressed. Although there is no problem in performance even if the surface resistivity is lower than the lower limit of the above range, it is preferable that the surface resistivity is higher than the lower limit of the above range from the viewpoint of manufacturing cost. It is preferable from the viewpoint that the force can be held.

(厚み)
コート層21の厚みは、所望性能に応じて適宜設定すればよく、特に制限されないが、0.001〜50μmの範囲であることが好ましく。0.1〜20μmの範囲であることがより好ましく、1〜10μmの範囲であることがさらに好ましい。コート層21の厚みが上記範囲の下限値以上であることにより、コート層21の均一性を維持することができ、帯電防止性能を安定して発揮させることができる。また、コート層21の厚みが上記範囲の上限値以下であることにより、保護シート11の自重が抑えられて、静電吸着力により自重を保持して被着体からの落下を防止することができる。
(Thickness)
The thickness of the coat layer 21 may be appropriately set according to desired performance, and is not particularly limited, but is preferably in the range of 0.001 to 50 μm. It is more preferably in the range of 0.1 to 20 μm, and still more preferably in the range of 1 to 10 μm. When the thickness of the coat layer 21 is equal to or more than the lower limit of the above range, the uniformity of the coat layer 21 can be maintained, and the antistatic performance can be stably exhibited. Further, when the thickness of the coat layer 21 is equal to or less than the upper limit of the above range, the self-weight of the protective sheet 11 is suppressed, and the self-weight is held by the electrostatic attraction force to prevent the protection sheet 11 from dropping from the adherend. it can.

(坪量)
コート層21の坪量(塗工量)は、固形分換算で、0.01〜50g/m2であることが好ましく、0.05〜30g/m2であることがより好ましく、0.1〜10g/m2であることがさらに好ましく、0.3〜8g/m2であることが特に好ましい。コート層21の坪量が上記範囲の下限値以上であることにより、コート層21の均一性を維持することができ、帯電防止性能を安定して発揮させることができる。また、コート層21の坪量が上記範囲の上限値以下であることにより、吸着層31に設けた際に吸着層31の静電吸着力が損なわれることを防止でき、また吸着層31の自重が抑えられて、静電吸着力により自重を支えて被着体から剥れ落ちることを防止でき、また吸着層31と基材41との間の静電吸着力の低下を抑えることができる。
(Basis weight)
The basis weight (coating amount) of the coat layer 21 is preferably 0.01 to 50 g / m 2 , more preferably 0.05 to 30 g / m 2 , in terms of solid content, and more preferably 0.1 to 30 g / m 2. further preferably to 10 g / m 2, and particularly preferably 0.3~8g / m 2. When the grammage of the coat layer 21 is equal to or more than the lower limit of the above range, the uniformity of the coat layer 21 can be maintained, and the antistatic performance can be stably exhibited. Further, when the grammage of the coat layer 21 is equal to or less than the upper limit of the above range, it is possible to prevent the electrostatic attraction force of the adsorbent layer 31 from being impaired when the adsorbent layer 31 is provided on the adsorbent layer 31. , And can be prevented from peeling off from the adherend by supporting its own weight by the electrostatic attraction force, and a decrease in the electrostatic attraction force between the attraction layer 31 and the base material 41 can be suppressed.

<保護シート>
図1に示すように、保護シート11は、上面側にコート層21が、下面側に吸着層31がそれぞれ配置された構成を有する。このため、保護シート11における面31aの表面抵抗率及び表面粗さは、上述した吸着層31の面11bの表面抵抗率及び表面粗さと同様の範囲となる。これにより、上述した好ましい表面抵抗率となる面31aを有する保護シート11は、吸着層31側の面31aに静電吸着能力を有している。よって、保護シート11は、使用時には基材41から剥離されて、面31aの静電吸着能力により、被着体に貼り付けすることができる。
<Protective sheet>
As shown in FIG. 1, the protective sheet 11 has a configuration in which a coat layer 21 is disposed on an upper surface side and an adsorption layer 31 is disposed on a lower surface side. For this reason, the surface resistivity and the surface roughness of the surface 31 a of the protective sheet 11 are in the same range as the surface resistivity and the surface roughness of the surface 11 b of the adsorption layer 31 described above. Thus, the protective sheet 11 having the surface 31a having the above-described preferable surface resistivity has the electrostatic attraction ability on the surface 31a on the attraction layer 31 side. Therefore, the protective sheet 11 is peeled off from the base material 41 at the time of use, and can be attached to the adherend by the electrostatic attraction ability of the surface 31a.

(厚み)
保護シート11の厚みは、コート層21及び吸着層31の厚みに応じて適宜設定され、特に限定されないが、20〜250μmであることが好ましく、35〜220μmであることがより好ましく、60〜200μmであることがさらに好ましく、90〜170μmであることが特に好ましい。保護シート11の厚みが上記範囲の下限値以上であることにより、保護シート11を被着体に貼り付ける際にシワが入り難くなり、上手く貼着できて外観が優れたものとなる。また、吸着層31の厚みが上記範囲の上限値以下であることにより、保護シート11の自重が抑えられて、静電吸着力により自重を保持して被着体からの落下を防止することができる。
(Thickness)
The thickness of the protective sheet 11 is appropriately set according to the thicknesses of the coat layer 21 and the adsorption layer 31, and is not particularly limited, but is preferably 20 to 250 μm, more preferably 35 to 220 μm, and more preferably 60 to 200 μm. Is more preferable, and particularly preferably 90 to 170 μm. When the thickness of the protective sheet 11 is equal to or greater than the lower limit of the above range, wrinkles are less likely to be formed when the protective sheet 11 is attached to an adherend, and the protective sheet 11 can be attached well and the appearance is excellent. When the thickness of the attraction layer 31 is equal to or less than the upper limit of the above range, the self-weight of the protective sheet 11 is suppressed, and the self-weight is held by the electrostatic attraction force to prevent the protection sheet 11 from falling from the adherend. it can.

<基材>
本実施形態の静電吸着シート1を構成する基材41は、保護シート11の静電吸着力又は自身の静電吸着力により保護シート11の片面に積層されている。基材41は、保護シート11の使用時には感圧粘着ラベルの剥離紙の如く除去される。
<Substrate>
The base material 41 constituting the electrostatic attraction sheet 1 of the present embodiment is laminated on one surface of the protection sheet 11 by the electrostatic attraction force of the protection sheet 11 or the own electrostatic attraction force. The base material 41 is removed like a release paper of a pressure-sensitive adhesive label when the protective sheet 11 is used.

基材41は、保護シート11を使用するまでの間、保護シート11に蓄えられた電荷が外部に流出するのを封じ込めるものであり、且つ保護シート11内部の静電吸着力を内部に留めて保護シート11を取扱い易くするものである。   The base material 41 is used to prevent the charge stored in the protection sheet 11 from leaking to the outside until the protection sheet 11 is used, and to keep the electrostatic attraction force inside the protection sheet 11 inside. This is to make the protection sheet 11 easy to handle.

基材41は、樹脂フィルム層からなり、この樹脂フィルム層は、熱可塑性樹脂を含むことが好ましく、誘電体であり、絶縁性があって内部に電荷を保持できる樹脂を含むことがより好ましい。基材41の吸着層31と接する側の面41aは、吸着層31又は自身の静電吸着力によって、吸着層31に接着される。   The base material 41 is made of a resin film layer, and this resin film layer preferably contains a thermoplastic resin, and is more preferably a dielectric material, and more preferably contains a resin that is insulative and can hold charges inside. The surface 41a of the substrate 41 on the side in contact with the adsorption layer 31 is adhered to the adsorption layer 31 by the adsorption layer 31 or its own electrostatic adsorption force.

基材41は、単層構造でもよく、2層以上からなる多層構造でもよい。基材41は、面41aが、吸着層31と接触して静電吸着可能であり、且つ面41aと反対の面41bが帯電防止性能を持つように構成することが好ましいことから、多層構造とすることが好ましい。   The substrate 41 may have a single-layer structure or a multilayer structure including two or more layers. The base material 41 is preferably configured such that the surface 41a is in contact with the adsorption layer 31 so as to be electrostatically attractable and the surface 41b opposite to the surface 41a has antistatic performance. Is preferred.

(熱可塑性樹脂)
基材41に用い得る熱可塑性樹脂は、その種類は特に制限されず、例えば、高密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン、プロピレン系樹脂、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン系樹脂;エチレン・酢酸ビニル共重合体、エチレン・アクリル酸共重合体、マレイン酸変性ポリエチレン、マレイン酸変性ポリプロピレン等の官能基含有ポリオレフィン系樹脂;ナイロン−6、ナイロン−6,6等のポリアミド系樹脂;ポリエチレンテレフタレートやその共重合体、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンサクシネート、ポリ乳酸等の脂肪族ポリエステルを含む熱可塑性ポリエステル系樹脂;ポリカーボネート、アタクティックポリスチレン、シンジオタクティックポリスチレン等が挙げられる。
(Thermoplastic resin)
The kind of the thermoplastic resin that can be used for the base material 41 is not particularly limited. For example, high-density polyethylene, medium-density polyethylene, low-density polyethylene, propylene-based resin, polyolefin-based resin such as polymethylpentene; ethylene / vinyl acetate Functional group-containing polyolefin resins such as copolymers, ethylene / acrylic acid copolymers, maleic acid-modified polyethylene, and maleic acid-modified polypropylene; polyamide resins such as nylon-6, nylon-6,6; polyethylene terephthalate and copolymers thereof. Thermoplastic polyester resins containing aliphatic polyesters such as polymers, polybutylene terephthalate, polybutylene succinate, and polylactic acid; polycarbonate, atactic polystyrene, syndiotactic polystyrene, and the like.

中でも加工性に優れるポリオレフィン系樹脂、官能基含有ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、熱可塑性ポリエステル系樹脂等を用いることが好ましく、ポリオレフィン系樹脂を用いることがより好ましい。   Among them, it is preferable to use a polyolefin-based resin, a functional group-containing polyolefin-based resin, a polyamide-based resin, a thermoplastic polyester-based resin, or the like, which is excellent in workability, and more preferably a polyolefin-based resin.

(比誘電率)
基材41は、保護シート11における吸着層31の電荷が外部に逃げないように封じ込める役割を担っている。この電荷を封じ込める能力は、基材41の比誘電率(基材41の誘電率εと真空の誘電率ε0の比(ε/ε0))で示すことができる。基材41における比誘電率は、好ましくは1.1〜5.0、より好ましくは1.2〜4.0、さらに好ましくは1.5〜3.0の範囲である。基材41の比誘電率が上記範囲の上限値以下であることにより、吸着層31が電荷を長期間保持でき、保護シート11の静電吸着力を維持し易くなる傾向がある。また、基材41の比誘電率が上記範囲の下限を下回るものは、性能上は問題ないが、空気(真空)の比誘電率よりも低くなるため、このような素材は現在の技術上、入手が困難である。このような比誘電率は、基材41が上述の樹脂から構成されることや、内部に空隙を形成する加工等により、所望の範囲を達成することができる。
(Relative permittivity)
The base material 41 has a role of sealing the charge of the adsorption layer 31 in the protective sheet 11 so as not to escape to the outside. The ability to confine this charge can be indicated by the relative dielectric constant of the base material 41 (the ratio of the dielectric constant ε of the base material 41 to the dielectric constant ε 0 of vacuum (ε / ε 0 )). The relative dielectric constant of the base material 41 is preferably in the range of 1.1 to 5.0, more preferably 1.2 to 4.0, and still more preferably 1.5 to 3.0. When the relative dielectric constant of the base material 41 is equal to or less than the upper limit of the above range, the adsorbing layer 31 can hold a charge for a long period of time, and tends to easily maintain the electrostatic attraction force of the protective sheet 11. If the relative permittivity of the base material 41 is lower than the lower limit of the above range, there is no problem in performance, but the material is lower than the relative permittivity of air (vacuum). It is difficult to obtain. Such a relative dielectric constant can be achieved in a desired range by forming the base material 41 from the above-described resin, forming a gap therein, or the like.

比誘電率の測定は、測定周波数範囲に適した測定法が選定される。測定周波数が10Hz以下の場合には超低周波ブリッジを用い、10Hz〜3MHzの場合には変成器ブリッジを用い、1MHzを越える場合には、並列T型ブリッジ、高周波シェリングブリッジ、Qメーター、共振法、定在波法、空洞共振法を用いることが好ましい。また、測定周波数の交流信号に対して、回路部品に対する電圧・電流ベクトルを測定し、この値から静電容量を算出するLCRメーター等でも測定できる。   For the measurement of the relative permittivity, a measurement method suitable for the measurement frequency range is selected. If the measurement frequency is 10 Hz or less, use an ultra-low frequency bridge. If it is 10 Hz to 3 MHz, use a transformer bridge. If it exceeds 1 MHz, use a parallel T-type bridge, high-frequency Schering bridge, Q meter, resonance method. It is preferable to use a standing wave method and a cavity resonance method. In addition, for an AC signal of a measurement frequency, a voltage / current vector for a circuit component is measured, and an LCR meter or the like that calculates a capacitance from this value can be used.

基材41の比誘電率を測定する測定装置としては、平行に配設した平板状印可電極と平板状ガード電極との間に試料を一定圧力で挟み込み、5V程度の電圧が印加でき、測定周波数が任意に選定できる測定装置が好ましい。このような測定機によれば、周波数を変更することにより、試料の周波数依存性が把握でき、適性使用範囲の指標にできる。試料は、できるだけ厚みが均一で表面が平滑なものが好ましい。表面状態が悪いと、試料と電極との間に空隙(空気層)が形成され、測定値に大きな誤差を与える。この場合、試料と電極との電気的接触を完全にするために、銀ペースト等の銀導電性塗料を塗工するか真空蒸着することが好ましい。   As a measuring device for measuring the relative dielectric constant of the base material 41, a sample is sandwiched between a plate-shaped applying electrode and a plate-shaped guard electrode arranged in parallel at a constant pressure, and a voltage of about 5 V can be applied. Is preferred. According to such a measuring instrument, by changing the frequency, the frequency dependence of the sample can be grasped, and can be used as an index of the appropriate use range. The sample preferably has a thickness as uniform as possible and a smooth surface. If the surface condition is poor, a gap (air layer) is formed between the sample and the electrode, giving a large error to the measured value. In this case, it is preferable to apply a silver conductive paint such as a silver paste or to perform vacuum deposition in order to complete electrical contact between the sample and the electrode.

(表面抵抗率)
基材41における吸着層31と接する側の面41aは、電荷の移動を少なくする観点から、吸着層31と同様にその表面抵抗率が高いほど好ましい。具体的には面41aの表面抵抗率は1×1013〜9×1017Ωの範囲であることが好ましく、5×1013〜9×1016Ωの範囲であることがより好ましく、1×1014〜9×1015Ωの範囲であることがさらに好ましい。面41aの表面抵抗率が上記範囲の下限値以上であることにより、基材41と吸着層31とが接触した際に、吸着層31の電荷が基材41を伝って外部に逃げ難く、吸着層31が長期間電荷を保持できることで、保護シート11の静電吸着力を維持し易くなる傾向がある。また、面41aの表面抵抗率が上記範囲の上限値を上回るものであっても性能上は問題がないが、上記範囲の上限値以下であることが製造コストの面からは好ましい。
(Surface resistivity)
The surface 41a of the base material 41 on the side in contact with the adsorption layer 31 is preferably higher in surface resistivity as in the case of the adsorption layer 31, from the viewpoint of reducing the movement of charges. Specifically, the surface resistivity of the surface 41a is preferably in the range of 1 × 10 13 to 9 × 10 17 Ω, more preferably in the range of 5 × 10 13 to 9 × 10 16 Ω, and more preferably 1 × 10 13 to 9 × 10 16 Ω. More preferably, it is in the range of 10 14 to 9 × 10 15 Ω. When the surface resistivity of the surface 41a is equal to or more than the lower limit of the above range, when the substrate 41 and the adsorption layer 31 come into contact with each other, it is difficult for the charge of the adsorption layer 31 to escape to the outside through the substrate 41, Since the layer 31 can hold a charge for a long time, the electrostatic attraction of the protective sheet 11 tends to be easily maintained. Although there is no problem in performance even if the surface resistivity of the surface 41a exceeds the upper limit of the above range, it is preferable that the surface resistivity is equal to or less than the upper limit of the above range from the viewpoint of manufacturing cost.

一方、静電吸着シート1とした際のハンドリング性を高める目的から、基材41は、面41aと反対の面41bに帯電防止性能を有することが好ましい。これにより、基材41と保護シート11と組み合わせた静電吸着シート1の最表面1bに帯電防止性能を持つようになる。   On the other hand, it is preferable that the base material 41 has antistatic performance on the surface 41b opposite to the surface 41a for the purpose of improving the handling property when the electrostatic suction sheet 1 is formed. Thereby, the outermost surface 1b of the electrostatic attraction sheet 1 combined with the base material 41 and the protection sheet 11 has antistatic performance.

基材41への帯電防止性能の付与は、基材41に、帯電防止剤を練り込んだ樹脂フィルムを用いる方法や、面41bに、直接蒸着、転写蒸着、蒸着フィルムのラミネート等によりアルミニウム等の金属薄膜を設ける方法や、帯電防止処理した又は帯電防止性能を有する紙、合成紙、樹脂フィルム、織布、若しくは不織布や、帯電防止剤を練り込んだ樹脂フィルムを貼合積層して多層構造とする方法、等が挙げられる。   The provision of antistatic performance to the base material 41 can be achieved by a method using a resin film in which an antistatic agent is kneaded, or by direct evaporation, transfer evaporation, or lamination of an evaporation film on the surface 41b. A method of providing a metal thin film, a paper having an antistatic treatment or having an antistatic performance, a synthetic paper, a resin film, a woven fabric, or a nonwoven fabric, or a resin film in which an antistatic agent is kneaded and laminated to form a multilayer structure. And the like.

帯電防止剤を練り込んだ樹脂フィルムを用いる様態においては、同フィルム面にコロナ放電表面処理やフレーム表面処理を行わないと帯電防止効果が発現しない場合があり、特に延伸フィルムでは表面処理の処理面と未処理面とでは帯電防止効果が大きく異なる場合がある。この現象を利用して、帯電防止剤を練り込んだ熱可塑性樹脂を延伸したものを基材41とし、この片面にコロナ放電等の表面処理を行うことで、単層構造ながら片面に帯電防止性能を有する基材41を形成することも可能である。   In an embodiment using a resin film in which an antistatic agent is kneaded, an antistatic effect may not be exhibited unless a corona discharge surface treatment or a frame surface treatment is performed on the film surface. In some cases, the anti-static effect differs greatly from that of the untreated surface. By taking advantage of this phenomenon, the base material 41 is formed by stretching a thermoplastic resin into which an antistatic agent is kneaded, and a surface treatment such as corona discharge is performed on one side of the base material 41, so that the antistatic performance is provided on one side despite the single-layer structure. It is also possible to form the base material 41 having.

上記の種々の方法により、基材41の面41bの表面抵抗率は、1×10-1〜9×1012Ωの範囲内とすることが好ましく、1×100〜9×1012Ωの範囲とすることがより好ましい。面41bの表面抵抗率が上記範囲の上限値以下であることにより、充分な帯電防止性能が付与されて、静電吸着シート1の周囲への貼り付きやシート同士の貼り付きが抑えられて、ハンドリング性が向上する。また、面41bの表面抵抗率が上記範囲の下限を下回るものであっても性能上は問題がないが、上記範囲の下限値以上であることが製造コストの面からは好ましい。 According to the various methods described above, the surface resistivity of the surface 41b of the base material 41 is preferably in the range of 1 × 10 −1 to 9 × 10 12 Ω, preferably 1 × 10 0 to 9 × 10 12 Ω. More preferably, it is within the range. When the surface resistivity of the surface 41b is equal to or less than the upper limit of the above range, sufficient antistatic performance is provided, and sticking to the periphery of the electrostatic adsorption sheet 1 and sticking between sheets are suppressed, Handleability is improved. Further, if the surface resistivity of the surface 41b is lower than the lower limit of the above range, there is no problem in performance, but it is preferable that the surface resistivity is more than the lower limit of the above range from the viewpoint of manufacturing cost.

(厚み)
基材41の厚みは、所望性能に応じて適宜設定すればよく、特に制限されないが、1〜200μmの範囲であることが好ましく。10〜150μmの範囲であることがより好ましく、60〜110μmの範囲であることがさらに好ましい。基材41の厚みが上記範囲の下限値以上であることにより、基材41と保護シート11とを接着した際に、面41aから基材41の厚みを介して電荷が流出することを防ぎ、静電吸着シート1内の電荷を封じこめて、保護シート11の静電吸着力を維持することができる。また、基材41の厚みが上記範囲の上限値以下であることにより、静電吸着シート1の厚みが抑えられて、印刷工程や断裁工程での作業性を向上させることができる。
(Thickness)
The thickness of the substrate 41 may be appropriately set according to the desired performance, and is not particularly limited, but is preferably in the range of 1 to 200 μm. The range is more preferably from 10 to 150 μm, and even more preferably from 60 to 110 μm. When the thickness of the base material 41 is equal to or more than the lower limit of the above range, when the base material 41 and the protective sheet 11 are bonded, it is possible to prevent the charge from flowing out from the surface 41a through the thickness of the base material 41, The electric charge in the electrostatic attraction sheet 1 is contained, and the electrostatic attraction force of the protection sheet 11 can be maintained. Further, when the thickness of the base material 41 is equal to or less than the upper limit of the above range, the thickness of the electrostatic adsorption sheet 1 is suppressed, and the workability in the printing process and the cutting process can be improved.

(坪量)
基材41は、その坪量が20〜500g/m2の範囲であることが好ましい。基材41の坪量は、30〜400g/m2の範囲であることがより好ましく、40〜300g/m2の範囲であることがさらに好ましい。基材41は、吸着層31が内部に保持する電荷と同等の電荷を保持することが望ましいところ、基材41の坪量が上記範囲の下限値以上であることにより、基材41の静電容量が増加して、電荷を保持し易くなる。これによって、保護シート11と基材41とが静電吸着した際に、吸着層31が保持する電荷を保つことが可能となり、保護シート11の被着体への接着を維持し易くなる。また、基材41の坪量が上記範囲の上限値以下であることにより、静電吸着シート1の重量が抑えられて、取扱性が向上する。
(Basis weight)
The substrate 41 preferably has a basis weight in the range of 20 to 500 g / m 2 . The basis weight of the substrate 41, more preferably in the range of 30 to 400 g / m 2, more preferably in the range of 40~300g / m 2. The base material 41 desirably retains a charge equivalent to the charge held by the adsorbing layer 31. However, when the basis weight of the base material 41 is equal to or greater than the lower limit of the above range, the electrostatic charge of the base material 41 is reduced. The capacity is increased, and the charge is easily held. Thereby, when the protective sheet 11 and the base material 41 are electrostatically adsorbed, the electric charge held by the adsorbing layer 31 can be maintained, and the adhesion of the protective sheet 11 to the adherend can be easily maintained. Further, when the basis weight of the base material 41 is equal to or less than the upper limit of the above range, the weight of the electrostatic adsorption sheet 1 is suppressed, and the handleability is improved.

<帯電処理>
本実施形態の静電吸着シート1は、保護シート11の面31a、及び基材41の面41aの少なくとも一方に帯電処理を施し、次いで両者を静電吸着力によって貼合して得た、保護シート11/基材41の積層体を備えるものである。帯電処理は、吸着層31や基材41の内部に電荷を注入することで、これに静電吸着力を持たせるために実施する。
<Electrification treatment>
The electrostatic adsorption sheet 1 of the present embodiment is obtained by applying a charging treatment to at least one of the surface 31a of the protection sheet 11 and the surface 41a of the base material 41, and then bonding the both by an electrostatic adsorption force. It has a laminate of the sheet 11 and the base material 41. The charging process is performed to inject an electric charge into the interior of the adsorption layer 31 or the base material 41 to give the electrostatic adsorption force to the electric charge.

帯電処理は、公知の種々の方法に従って行なうことができる。処理方法としては、例えば、フィルムを成形した後、フィルムの表面にコロナ放電やパルス状高電圧を加える方法(エレクトロエレクトレット化法)や、同フィルムの両面を誘電体で保持し、両面に直流高電圧を加える方法(エレクトロエレクトレット化法)や、同フィルムにγ線や電子線等の電離放射線を照射してエレクトレット化する方法(ラジオエレクトレット化法)等が挙げられる。   The charging treatment can be performed according to various known methods. Examples of the treatment method include a method of forming a film and then applying a corona discharge or a pulsed high voltage to the surface of the film (electro-electret method), holding both surfaces of the film with a dielectric, and applying a direct current to both surfaces. A method of applying a voltage (electro electret method) and a method of irradiating the same film with ionizing radiation such as γ-rays or electron beams to form an electret (radio electret method) are exemplified.

保護シート11又は基材41への帯電処理は、コロナ放電や高電圧を加えるエレクトロエレクトレット化法により行うことが好ましい。エレクトロエレクトレット化法の好ましい例としては、直流高圧電源に繋がった印加電極とアース電極の間に、フィルムを固定して電圧をかける方法(バッチ式)や、フィルムを通過させて電圧をかける方法(連続式)が挙げられる。本手法を用いる場合には、主電極(印加電極)に針状のものを等間隔で多数配置したものや、金属ワイヤーを使用し、対電極(アース電極)に平坦な金属板や金属ロールを使用することが望ましい。   The charging treatment of the protective sheet 11 or the base material 41 is preferably performed by an electro-electret forming method in which corona discharge or high voltage is applied. Preferred examples of the electro-electretization method include a method of applying a voltage by fixing a film between an application electrode connected to a DC high-voltage power supply and an earth electrode (batch type), and a method of applying a voltage by passing through a film ( Continuous type). When using this method, a main electrode (applied electrode) with many needle-shaped ones arranged at equal intervals, or a metal wire is used, and a flat metal plate or metal roll is used for the counter electrode (earth electrode). It is desirable to use.

本実施形態において帯電処理は、直流式コロナ放電処理であることが好ましい。直流式コロナ放電処理は、針状やワイヤー状の主電極(印加電極)と平板状やロール状の対電極(アース電極)を直流高圧電源に繋げた装置を用いる。直流式コロナ放電処理では、対電極上に保護シート11又は基材41を設置し、主電極と対電極の間に直流高電圧をかけることで発生するコロナ放電により、保護シート11又は基材41に電荷を注入する。   In the present embodiment, the charging process is preferably a DC corona discharge process. The DC corona discharge treatment uses a device in which a needle-shaped or wire-shaped main electrode (applied electrode) and a plate-shaped or roll-shaped counter electrode (earth electrode) are connected to a DC high-voltage power supply. In the direct current corona discharge treatment, the protective sheet 11 or the base material 41 is placed on the counter electrode, and the corona discharge generated by applying a high DC voltage between the main electrode and the counter electrode causes the protective sheet 11 or the base material 41. Charge is injected into the

このとき、主電極と対電極の間隔は1〜50mmが好ましく、2〜30mmがより好ましく、5〜20mmがさらに好ましい。主電極と対電極の間隔が上記の範囲内であることにより、コロナ放電を安定して発生させるとともに、電極間距離を均一に保って、幅方向に均一な帯電処理を行い、均一な帯電処理を施すことができる。
場合がある。
At this time, the distance between the main electrode and the counter electrode is preferably 1 to 50 mm, more preferably 2 to 30 mm, and still more preferably 5 to 20 mm. When the distance between the main electrode and the counter electrode is within the above range, the corona discharge is generated stably, the distance between the electrodes is kept uniform, the charging process is performed uniformly in the width direction, and the uniform charging process is performed. Can be applied.
There are cases.

両極間に印加する電圧は、保護シート11及び基材41の電気特性、主電極と対電極の形状や材質、主電極と対電極の間隔により決定されるものであるが、具体的には1〜100kVが好ましく、3〜70kVがより好ましく、5〜50kVがさらに好ましく、10〜40kVが特に好ましく、16〜30kVが最も好ましい。主電極の極性はプラスでもマイナスでも良いが、主電極側をマイナス極性にした方が比較的安定したコロナ放電状態となるため好ましい。
主電極と対電極の材質は、導電性の物質から適宜選択されるが、鉄、ステンレス、銅、真鍮、タングステン等の金属製又はカーボン製のものが好ましい。
The voltage applied between the two electrodes is determined by the electrical characteristics of the protective sheet 11 and the base material 41, the shapes and materials of the main electrode and the counter electrode, and the distance between the main electrode and the counter electrode. -100 kV is preferred, 3-70 kV is more preferred, 5-50 kV is still more preferred, 10-40 kV is particularly preferred, and 16-30 kV is most preferred. The polarity of the main electrode may be positive or negative, but it is preferable to make the main electrode side a negative polarity because a relatively stable corona discharge state results.
The materials of the main electrode and the counter electrode are appropriately selected from conductive substances, and are preferably made of metal such as iron, stainless steel, copper, brass, and tungsten, or made of carbon.

これらの帯電処理によって保護シート11又は基材41に導入される電荷の量は、処理時に主電極と対電極間に流れた電流量に依存する。この電流量は両電極間の電圧が高いほど多くなることから、印加電圧は保護シート11又は基材41が絶縁破壊しない程度に高くに設定することが好ましい。   The amount of electric charge introduced into the protective sheet 11 or the base material 41 by these charging processes depends on the amount of current flowing between the main electrode and the counter electrode during the processing. Since the amount of current increases as the voltage between the two electrodes increases, it is preferable that the applied voltage be set high enough to prevent dielectric breakdown of the protective sheet 11 or the base material 41.

本実施形態の静電吸着シート1を構成する保護シート11及び/又は基材41は、帯電処理後に除電処理を行うことも可能である。除電処理を行なうことにより過剰な帯電を除去して断裁工程、印刷工程等の加工工程でのトラブルを回避することが可能となる。このような除電処理には、電圧印加式除電器(イオナイザ)や自己放電式除電器等公知の手法を用いることができる。これら一般的な除電器は、表面の電荷の除去はできるが、吸着層31又は基材41の内部に蓄積した電荷までは除去できない。したがって除電処理により、吸着層31又は基材41の静電吸着力が大きく損なわれることはない。   The protection sheet 11 and / or the base material 41 constituting the electrostatic adsorption sheet 1 according to the present embodiment may be subjected to a charge elimination process after the charging process. By performing the charge elimination process, it is possible to remove excessive charge and avoid troubles in processing steps such as a cutting step and a printing step. A known method such as a voltage application type static eliminator (ionizer) or a self-discharge static eliminator can be used for such static elimination processing. These general static eliminators can remove the charge on the surface, but cannot remove the charge accumulated inside the adsorption layer 31 or the base material 41. Therefore, the electrostatic attraction force of the adsorption layer 31 or the base material 41 is not significantly impaired by the charge removal processing.

<静電吸着シート>
静電吸着シート1は、吸着層31に帯電処理を施した保護シート11と、基材41とを接触させることによって得られる。この場合、吸着層31の内部に蓄積した電荷により、これに接する基材41が誘電、すなわち静電分極し、両者は静電吸着力により接着する。又は、静電吸着シート1は、帯電処理を施した基材41と、保護シート11の吸着層31とを接触させて静電吸着させることによって得られる。この場合、基材41の内部に蓄積された電荷により、これに接触する吸着層31を誘電することで、両者は静電吸着力により接着する。なお、どちらの手法で製造しても、同等の性能の静電吸着シート1を得ることができる。
<Electrostatic suction sheet>
The electrostatic attraction sheet 1 is obtained by contacting the base sheet 41 with the protection sheet 11 on which the attraction layer 31 has been subjected to charging treatment. In this case, the electric charge accumulated inside the adsorption layer 31 causes the base material 41 in contact with the dielectric layer to be dielectrically, that is, electrostatically polarized, and both are adhered by an electrostatic adsorption force. Alternatively, the electrostatic attraction sheet 1 is obtained by bringing the base material 41 subjected to the charging treatment into contact with the attraction layer 31 of the protection sheet 11 and electrostatically adsorbing the same. In this case, the electric charge accumulated inside the base material 41 causes the adsorbing layer 31 that comes into contact with the electric charge to be insulated, and the two adhere to each other by electrostatic attraction. It should be noted that the electrostatic suction sheet 1 having the same performance can be obtained by either method.

図1に示すように、静電吸着シート1は、その上面にコート層21が設けられており、その下面に基材41が設けられている。このため、静電吸着シート1におけるコート層21側の最表面1aの表面抵抗率は、上述したコート層21の表面抵抗率と同様の範囲となる。また、静電吸着シート1における基材41側の最表面1bの表面抵抗率は、上述した基材41の面41bの表面抵抗率と同様の範囲となる。これにより、上述した好ましい表面抵抗率となる最表面1a,1bを有する静電吸着シート1は、保護シート11が剥離される前の静電吸着シート1の態様では、吸着層31の高い静電吸着力を保持しながら、両面に帯電防止性能が付与されたものとなっている。よって、静電吸着シート1は、外部への静電吸着力が抑えられており、静電吸着シート1の運送、保管、印刷等の取扱時に周囲への張り付きや、静電吸着シート1同士の張り付きが生じ難く、ハンドリング性が良好となっている。   As shown in FIG. 1, the electrostatic adsorption sheet 1 is provided with a coat layer 21 on its upper surface and a base material 41 on its lower surface. Therefore, the surface resistivity of the outermost surface 1a on the coat layer 21 side of the electrostatic adsorption sheet 1 is in the same range as the surface resistivity of the coat layer 21 described above. In addition, the surface resistivity of the outermost surface 1b on the substrate 41 side of the electrostatic attraction sheet 1 is in the same range as the surface resistivity of the surface 41b of the substrate 41 described above. Thereby, the electrostatic attraction sheet 1 having the outermost surfaces 1a and 1b having the above-described preferable surface resistivity has a high electrostatic attraction layer 31 in the form of the electrostatic attraction sheet 1 before the protective sheet 11 is peeled off. The antistatic performance is imparted to both surfaces while maintaining the suction force. Therefore, the electrostatic attraction sheet 1 has a reduced electrostatic attraction force to the outside, and sticks to the surroundings during handling of the electrostatic attraction sheet 1 during transportation, storage, printing, and the like, and between the electrostatic attraction sheets 1. Sticking is unlikely to occur and handling is good.

[用途]
本実施形態の静電吸着シート1を構成する保護シート11は、基材41から剥離して、被着体に貼り付けることにより、被着体を保護するためのシートとして使用することができる。このとき、保護シート11の静電吸着力によって被着体に貼着することから、貼り直しが容易であり、被着体との間に空気溜りが生じたとしても手で除けばどの方向からも空気を抜くことが容易であり、最終的な仕上がりが良好であるという利点がある。またこの保護シート11は、使用時には静電吸着力が高く、静電吸着力の持続性も充分で長期に亘り被着体上に表示使用することができ、且つ使用後は金属箔の表面状態に変化が無く、容易に被着体から分離することができる。
[Use]
The protective sheet 11 constituting the electrostatic adsorption sheet 1 of the present embodiment can be used as a sheet for protecting the adherend by peeling it off from the base material 41 and attaching it to the adherend. At this time, since the protective sheet 11 is adhered to the adherend by the electrostatic attraction force, reattachment is easy, and even if air pockets are formed between the adherend and the adherend, it can be removed from any direction by hand. Also, there is an advantage that the air can be easily removed and the final finish is good. In addition, the protective sheet 11 has a high electrostatic attraction force when used, has sufficient durability of the electrostatic attraction force, and can be used for display on an adherend for a long period of time. , And can be easily separated from the adherend.

また、保護シート11は、被着体の接着面が平滑な材質であれば貼り付けることができ、例えば、銅、銀、金、鉄、ステンレス、アルミニウム等の金属、ガラス、樹脂、陶磁器製のタイル等からなる面に貼り付けることができる。保護シート11の被着体としては、例えば、掲示版、看板、サインボード、ホワイトボード、壁、天井、柱、ドア、パーティション、床、ロッカー、机、棚、窓(ガラス製、樹脂製)、冷蔵庫(金属面、ガラス面、プラスチック面)、ショーケース、各種機器(工作機、印刷機、成形機等)、及び車内(自動車、バス、電車)、船舶内、航空機内の壁面等が挙げられる。   Further, the protective sheet 11 can be attached as long as the adhered surface of the adherend is a smooth material. For example, metals such as copper, silver, gold, iron, stainless steel, and aluminum, glass, resin, and ceramics It can be attached to a surface made of tiles or the like. Examples of the adherend of the protection sheet 11 include a signboard, a signboard, a signboard, a whiteboard, a wall, a ceiling, a pillar, a door, a partition, a floor, a locker, a desk, a shelf, a window (made of glass and resin), Refrigerators (metallic surfaces, glass surfaces, plastic surfaces), showcases, various devices (machine tools, printing machines, molding machines, etc.), and in-cars (automobiles, buses, trains), ships, airplanes, etc. .

さらには、保護シート11は、吸着層31が、所定の融点を有するポリオレフィン樹脂を含むことにより、高温への耐性を有し、高温環境下においても寸法変化が小さく、吸着性能を維持することができる。このため、保護シート11は、被着体又は被着体の周囲の環境が高温となることで、保護シート11が高温に曝される分野において好適に用いことができる。このような保護シート11の用途としては、例えば、金属箔の保護が挙げられ、中でも、フレキシブル基板に設けられた銅箔の保護に好適に用いることができる。なお、ここでいう高温とは、100℃以上をいう。   Furthermore, since the protective layer 11 includes the polyolefin resin having the predetermined melting point, the protective layer 11 has resistance to high temperatures, has a small dimensional change even in a high-temperature environment, and can maintain the adsorption performance. it can. For this reason, the protection sheet 11 can be suitably used in a field in which the protection sheet 11 is exposed to a high temperature due to the high temperature of the adherend or the environment around the adherend. Examples of the use of such a protective sheet 11 include, for example, protection of a metal foil, and particularly, it can be suitably used for protection of a copper foil provided on a flexible substrate. In addition, high temperature here means 100 degreeC or more.

以下、製造例及び実施例を挙げて本発明を具体的に説明する。なお、以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Production Examples and Examples. In addition, the materials, usage amounts, ratios, processing contents, processing procedures, and the like shown in the following examples can be appropriately changed without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the present invention is not limited to the following examples.

[評価手法]
各実施例、比較例で得られた静電吸着シートの評価は、以下の方法で行った。
[Evaluation method]
The electrostatic adsorbing sheets obtained in each of the examples and comparative examples were evaluated by the following methods.

<厚み>
各製造例及び各実施例で得られた吸着層の厚みを、JIS K 7130:1999に準拠して、定圧式厚み計(商品名:PG−01J、(株)テックロック製)を用いて測定した。
<Thickness>
The thickness of the adsorption layer obtained in each of the production examples and examples was measured using a constant-pressure thickness gauge (trade name: PG-01J, manufactured by Tech Rock Co., Ltd.) in accordance with JIS K 7130: 1999. did.

<表面粗さ>
各製造例で得られた保護シートの中心面平均粗さ(SRa)を、三次元表面粗さ計(商品名:サーフコム1500DX3、東京精密(株)製)を使用し、測定速度:0.2mm/sec、測定長さ:5mm、送りピッチ20μmの条件で測定して求めた。表面粗さの測定は、保護シートの吸着層側の面について行った。
<Surface roughness>
The center surface average roughness (SRa) of the protective sheet obtained in each production example was measured using a three-dimensional surface roughness meter (trade name: Surfcom 1500DX3, manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.) at a measurement speed of 0.2 mm. / Sec, measurement length: 5 mm, and feed pitch: 20 μm. The measurement of the surface roughness was performed on the surface of the protective sheet on the adsorption layer side.

<表面抵抗率>
各製造例及び各実施例で得られた保護シートの表面抵抗率を、JIS K 6911:1995に準拠して、温度23℃、相対湿度50%の条件下で、二重リング法の電極を用いて測定した。表面抵抗率の測定は、保護シートの吸着層側の面、及びコート層側の面、並びに基材の吸着層と接する側の面、及び基材の吸着層と接する側の面と反対の面について行った。
<Surface resistivity>
The surface resistivity of the protective sheet obtained in each production example and each example was measured using a double-ring method electrode at a temperature of 23 ° C. and a relative humidity of 50% in accordance with JIS K 6911: 1995. Measured. The surface resistivity is measured by measuring the surface of the protective sheet on the side of the adsorbing layer and the side of the coating layer, and the surface of the substrate that is in contact with the adsorbing layer and the surface of the substrate that is opposite to the surface that is in contact with the adsorbing layer I went about.

<評価用サンプルの作製>
実施例及び比較例の静電吸着シートを10cm×11cmの形状に切断し、相対湿度50%の雰囲気下で1日間保管した。その後、同雰囲気下で、静電吸着シートより保護シート11を剥がして、図2に示すように、保護シート11を厚み200μmの鏡面仕上げ銅箔52に貼り付けた。このとき、吸着面積が10cm×10cmとなり、保護シート11の一端の1cm幅分が銅箔52からはみ出す様に貼り付けを行った。さらに、ゴムロールを使用して内部のエアーを抜いて評価用サンプル51を得た。得られた評価用サンプル51を相対湿度50%の雰囲気下で1日間保管した後、150℃のオーブンにて5分加熱し、オーブンから取出し後10分間室温にて冷却して、下記の外観、吸着力、及び表面状態の変化の評価を順に実施した。
<Preparation of evaluation sample>
The electrostatic adsorption sheets of Examples and Comparative Examples were cut into a shape of 10 cm × 11 cm, and stored for one day under an atmosphere of a relative humidity of 50%. Thereafter, under the same atmosphere, the protective sheet 11 was peeled off from the electrostatic attracting sheet, and as shown in FIG. 2, the protective sheet 11 was attached to a mirror-finished copper foil 52 having a thickness of 200 μm. At this time, the attachment was performed so that the adsorption area became 10 cm × 10 cm, and the 1 cm width of one end of the protection sheet 11 protruded from the copper foil 52. Furthermore, the inside air was evacuated using a rubber roll to obtain a sample 51 for evaluation. After the obtained evaluation sample 51 was stored in an atmosphere of 50% relative humidity for 1 day, it was heated in an oven at 150 ° C. for 5 minutes, taken out of the oven, and cooled at room temperature for 10 minutes to obtain the following appearance, The evaluation of the adsorption force and the change in the surface state were performed in order.

<外観>
目視により保護シートの外観を観察して、以下の基準で2段階評価を行った。
○:良好(シワが発生せずに被着体からの剥がれが認められない)
×:不可(シワが発生して被着体からの剥がれが認められる)
<Appearance>
The appearance of the protective sheet was visually observed, and a two-step evaluation was performed based on the following criteria.
:: good (no wrinkling occurred and no peeling from the adherend was observed)
×: Not possible (wrinkles are generated and peeling from the adherend is observed)

<吸着力>
外観の評価を行った後、図3に示すように、吸着力測定装置61を使用して吸着力の評価を行った。吸着力測定装置61は、支柱62,63によって、ガラス板64を垂直に立てた状態でその両端を保持している。このガラス板64に対して、評価用サンプル51のはみ出した一端の部分が下側となるようにして、評価用サンプル51の銅箔52の上側の端部を固定用粘着テープ65によって貼り付ける。この状態で、保護シート11のはみ出した下端部分にクリップ66を取り付ける。クリップ66に取り付けた糸67を介して、10gの分銅68を1つずつクリップ66に追加して行き、保護シート11が銅箔52から滑り落ちた時の分銅68の重さから、平米当りの重量キログラム(kgf/m2)に換算したものを吸着力として求め、以下の基準で評価した。
○:良好(吸着力が5kgf/m2以上)
×:不良(吸着力が5kgf/m2未満)
<Adsorption power>
After the appearance was evaluated, the attraction force was evaluated using an attraction force measuring device 61 as shown in FIG. The suction force measuring device 61 holds both ends of the glass plate 64 in a state of being vertically erected by the columns 62 and 63. The upper end of the copper foil 52 of the evaluation sample 51 is attached to the glass plate 64 with the fixing adhesive tape 65 such that the protruding end of the evaluation sample 51 is on the lower side. In this state, the clip 66 is attached to the protruding lower end portion of the protection sheet 11. 10 g of weights 68 are added to the clip 66 one by one via the thread 67 attached to the clip 66, and the weight of the weight 68 when the protective sheet 11 slides down from the copper foil 52 is calculated based on the weight of the weight 68 per square meter. The value converted to kilograms (kgf / m 2 ) was determined as an adsorption force and evaluated according to the following criteria.
:: good (adsorption force is 5 kgf / m 2 or more)
×: defective (adsorption force is less than 5 kgf / m 2 )

<表面状態の変化>
吸着力の評価を行った後、保護シートを剥離した後の銅箔の表面状態を目視にて観察して、下記の基準にて糊残りを評価した。
○:良好(保護シートを吸着させた場所の表面と吸着させなかった場所の表面とで光沢感が変化していない)
×:不可(保護シートを吸着させた場所の表面と吸着させなかった場所の表面とで光沢感が変化している)
<Change in surface condition>
After the evaluation of the attraction force, the surface state of the copper foil after peeling the protective sheet was visually observed, and the adhesive residue was evaluated according to the following criteria.
:: Good (the glossiness is not changed between the surface where the protective sheet is adsorbed and the surface where the protective sheet is not adsorbed)
×: Not possible (the glossiness differs between the surface where the protective sheet was adsorbed and the surface where it was not adsorbed)

[吸着層の製造]
表1に、吸着層の製造例において原料樹脂として使用した熱可塑性樹脂a〜dの詳細を示す。
[Manufacture of adsorption layer]
Table 1 shows details of the thermoplastic resins a to d used as the raw material resins in the production examples of the adsorption layer.

Figure 0006636346
Figure 0006636346

<吸着層の製造例1>
樹脂a(ポリメチルペンテン(三井化学(株)製、商品名:TPX MX004))を、290℃に設定した押出機を用いて溶融混練し、290℃に設定した押出ダイよりシート状に押し出し、押し出したシートを60℃に設定した冷却ロールにより冷却した。このシートの両端部をスリットして、次いで、シートの片面にコロナ放電処理を施して、製造例1の吸着層aを得た。吸着層aの厚みは、50μmであった。
<Production example 1 of adsorption layer>
The resin a (polymethylpentene (trade name: TPX MX004, manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.)) was melt-kneaded using an extruder set at 290 ° C., and extruded into a sheet shape from an extrusion die set at 290 ° C. The extruded sheet was cooled by a cooling roll set at 60 ° C. Both ends of this sheet were slit, and then one surface of the sheet was subjected to a corona discharge treatment to obtain an adsorption layer a of Production Example 1. The thickness of the adsorption layer a was 50 μm.

<吸着層の製造例2>
樹脂aに代えて、樹脂b(ポリメチルペンテン(三井化学(株)製、商品名:TPX DX845))を用いる以外は、製造例1と同様に行い、製造例2の吸着層bを得た。吸着層bの厚みは、100μmであった。
<Production Example 2 of adsorption layer>
Adsorption layer b of Production Example 2 was obtained in the same manner as in Production Example 1, except that resin b (polymethylpentene (trade name: TPX DX845) manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) was used instead of resin a. . The thickness of the adsorption layer b was 100 μm.

<吸着層の製造例3>
樹脂aに代えて、樹脂c(ポリメチルペンテン(三井化学(株)製、商品名:TPX MX002))を用いる以外は、製造例1と同様に行い、製造例3の吸着層cを得た。吸着層cの厚みは、30μmであった。
<Production example 3 of adsorption layer>
An adsorption layer c of Production Example 3 was obtained in the same manner as in Production Example 1, except that resin c (polymethylpentene (trade name: TPX MX002) manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) was used instead of resin a. . The thickness of the adsorption layer c was 30 μm.

<吸着層の製造例4>
樹脂aに代えて、樹脂aを70質量%と、樹脂d(プロピレン単独重合体(日本ポリケム(株)製、商品名:ノバテックPP FY4))を30質量%とのブレンドを用いる以外は、製造例1と同様に行い、製造例4の吸着層dを得た。吸着層dの厚みは、50μmであった。
<Production Example 4 of adsorption layer>
Production was performed except that a blend of 70% by mass of resin a and 30% by mass of resin d (propylene homopolymer (trade name: Novatec PP FY4) manufactured by Nippon Polychem Co., Ltd.) was used instead of resin a. In the same manner as in Example 1, an adsorption layer d of Production Example 4 was obtained. The thickness of the adsorption layer d was 50 μm.

<吸着層の製造例5>
樹脂aに代えて、樹脂dを用いて、押出機の温度を250℃にし、押出ダイの温度を250℃にした以外は、製造例1と同様に行い、製造例5の吸着層eを得た。吸着層eの厚みは、100μmであった。
<Production Example 5 of Adsorption Layer>
The adsorption layer e of Production Example 5 was obtained in the same manner as in Production Example 1 except that the temperature of the extruder was changed to 250 ° C. and the temperature of the extrusion die was changed to 250 ° C. using resin d instead of resin a. Was. The thickness of the adsorption layer e was 100 μm.

<吸着層の製造例6>
吸着層eのコロナ放電処理の未処理面にもコロナ放電処理を施し、片方の面に接着剤(東洋インキ製造(株)製、商品名:TM320とCAT−13Bの1:1混合液)を乾燥後の厚みが2μmになる様に塗工し、乾燥後の塗工面に、吸着層aのコロナ放電表面処理面を貼り合せた。次いで、この吸着層eのもう片方の面に接着剤(東洋インキ製造(株)製、商品名:TM320とCAT−13Bの1:1混合液)を乾燥後の厚みが2μmになる様に塗工し、乾燥後の塗工面に、吸着層aのコロナ放電表面処理面を貼り合せた。さらに、一方の吸着層aの面にコロナ放電表面処理を施して、層構成(吸着層a/吸着層e/吸着層a(樹脂a/樹脂d/樹脂a))の吸着層fを得た。吸着層fの厚みは154μm、樹脂aの含有量が63%であった。
<Production Example 6 of adsorption layer>
Corona discharge treatment is also applied to the untreated surface of the adsorbing layer e that has not been subjected to corona discharge treatment, and an adhesive (a 1: 1 mixture of TM320 and CAT-13B, manufactured by Toyo Ink Mfg. Co., Ltd.) is applied to one surface. Coating was performed so that the thickness after drying became 2 μm, and the corona discharge surface-treated surface of the adsorption layer a was bonded to the coated surface after drying. Next, an adhesive (trade name: 1: 1 mixture of TM320 and CAT-13B, manufactured by Toyo Ink Mfg. Co., Ltd.) is applied to the other surface of the adsorption layer e so that the thickness after drying becomes 2 μm. The treated surface of the adsorbent layer a was subjected to a corona discharge treatment on the coated surface after drying. Further, the surface of one adsorbing layer a was subjected to corona discharge surface treatment to obtain an adsorbing layer f having a layer configuration (adsorbing layer a / adsorbing layer e / adsorbing layer a (resin a / resin d / resin a)). . The thickness of the adsorption layer f was 154 μm, and the content of the resin a was 63%.

[コート剤の調製]
<帯電防止剤の調製例>
ポリエチレングリコールモノメタクリレート(日本油脂(株)製、商品名:ブレンマーPE−350)100質量部、過塩素酸リチウム(和光純薬工業(株)製、試薬)20質量部、ヒドロキノン1質量部、及びメチルエチルケトン400質量部を、攪拌機、コンデンサー、窒素導入管、温度計を装着した四つ口フラスコに導入し、系内を窒素置換し、60℃で40時間反応させた。これにステアリルメタクリレート20質量部、n−ブチルメタクリレート20質量部、アゾビスイソブチロニトリル1質量部を添加し、80℃で3時間重合反応した後、メチルエチルケトンを添加して固形分を20質量%に調整して、質量平均分子量約30万、固形分中のリチウム濃度0.8wt%の帯電防止剤溶液を得た。
[Preparation of coating agent]
<Example of preparation of antistatic agent>
100 parts by mass of polyethylene glycol monomethacrylate (manufactured by NOF Corporation, trade name: Blemmer PE-350), 20 parts by mass of lithium perchlorate (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), 1 part by mass of hydroquinone, and 400 parts by mass of methyl ethyl ketone was introduced into a four-necked flask equipped with a stirrer, a condenser, a nitrogen inlet tube, and a thermometer, and the inside of the system was purged with nitrogen and reacted at 60 ° C. for 40 hours. To this, 20 parts by mass of stearyl methacrylate, 20 parts by mass of n-butyl methacrylate, and 1 part by mass of azobisisobutyronitrile were added, and after a polymerization reaction at 80 ° C. for 3 hours, methyl ethyl ketone was added to reduce the solid content to 20% by mass. To obtain an antistatic solution having a mass average molecular weight of about 300,000 and a lithium concentration of 0.8 wt% in solids.

<高分子バインダーの調製例>
2−ヒドロキシエチルメタクリレート15質量部、メチルメタクリレート50質量部、エチルアクリレート35質量部、及びトルエン100質量部を、攪拌機、環流冷却管、及び温度計を装着した三つ口フラスコに仕込み、窒素置換後、2,2´−アゾビスイソブチロニトリル0.6質量部を開始剤として加え、80℃で4時間重合させた。得られた溶液は、水酸基価65の水酸基含有(メタ)アクリル酸エステル共重合体樹脂の50質量%トルエン溶液であった。次いで、この溶液100質量部に塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体(新第一塩ビ(株)製、商品名:ZESTC150ML)の20質量%メチルエチルケトン溶液を40質量部、ヘキサメチレンジイソシアネート(日本ポリウレタン工業(株)製、商品名:コロネートHL)75質量%酢酸エチル溶液を20質量部加え、さらにこの混合物にトルエンとメチルエチルケトンを1:1で混合した溶媒を添加して固形分を20質量%に調整して、高分子バインダー溶液を得た。
<Preparation example of polymer binder>
15 parts by mass of 2-hydroxyethyl methacrylate, 50 parts by mass of methyl methacrylate, 35 parts by mass of ethyl acrylate, and 100 parts by mass of toluene were charged into a three-necked flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, and a thermometer, and then purged with nitrogen. , 2,2'-azobisisobutyronitrile was added as an initiator and polymerized at 80 ° C for 4 hours. The obtained solution was a 50% by mass toluene solution of a hydroxyl group-containing (meth) acrylate copolymer resin having a hydroxyl value of 65. Next, 40 parts by mass of a 20 mass% methyl ethyl ketone solution of a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer (trade name: ZESTC150ML, manufactured by Shin-Daiichi Vinyl Co., Ltd.) was added to 100 parts by mass of this solution, and hexamethylene diisocyanate (Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.) Co., Ltd., trade name: Coronate HL) 20 parts by mass of a 75% by mass ethyl acetate solution, and a solvent obtained by mixing toluene and methyl ethyl ketone at a ratio of 1: 1 to this mixture was added to adjust the solid content to 20% by mass. Thus, a polymer binder solution was obtained.

<コート剤の調製例>
メチルエチルケトン8kgをカウレスミキサーにて静かに攪拌しながら、平均粒子径1.6μm、吸油量180cc/100gの沈降性シリカ(水澤化学工業(株)製、商品名:ミズカシル P−527)1kgと平均粒子径0.3μmの硫酸バリウム(堺化学工業(株)製、商品名:BARIACE B−32)1kgをそれぞれ計量したものを少しずつ加え、固形分濃度20質量%になるように調整した後、カウレスミキサーの回転数を上げて30分間攪拌して、顔料分散液を得た。
<Example of preparation of coating agent>
While gently stirring 8 kg of methyl ethyl ketone with a Cowles mixer, 1 kg of sedimentable silica (Mizukasil P-527, manufactured by Mizusawa Chemical Industry Co., Ltd., trade name: 1.6 μm in average particle size, oil absorption: 180 cc / 100 g) was averaged. 1 kg of barium sulfate having a particle diameter of 0.3 μm (trade name: BARIACE B-32, manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.) was added little by little, and adjusted to a solid concentration of 20% by mass. The rotation speed of the Cowles mixer was increased and the mixture was stirred for 30 minutes to obtain a pigment dispersion.

次いでカウレスミキサーの回転数を落とし、この顔料分散液に、上記の高分子バインダーの調製例で得られた高分子バインダー溶液11.8kg、上記の帯電防止剤溶液の調製例で得られた帯電防止剤溶液2.5kg、及び予め酢酸エチルにて固形分20質量%に希釈したヘキサメチレンジイソシアネート(日本ポリウレタン工業(株)製、商品名:コロネート HL)0.8kgをこの順に添加し、そのまま20分間攪拌して混合し、その後100メッシュのフィルターを通し粗粒径物の除去を行い、コート剤を得た。   Next, the number of revolutions of the Cowles mixer was reduced, and 11.8 kg of the polymer binder solution obtained in the above-described preparation example of the polymer binder and the charge obtained in the above-described preparation example of the antistatic agent solution were added to the pigment dispersion. 2.5 kg of an inhibitor solution and 0.8 kg of hexamethylene diisocyanate (trade name: Coronate HL, manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.) previously diluted to a solid content of 20% by mass with ethyl acetate are added in this order, and 20 The mixture was stirred for minutes and mixed, and then passed through a 100-mesh filter to remove coarse particles, thereby obtaining a coating agent.

[保護シートの製造]
<保護シートの製造例1>
吸着層aのコロナ放電表面処理面に、上記のコート剤の調製例で得られたコート剤を、乾燥後の厚みが表2に記載の厚みとなる様に塗工し、70℃に設定したオーブンで60秒乾燥して、製造例1の保護シートaを得た。
[Manufacture of protective sheet]
<Production example 1 of protective sheet>
The coating agent obtained in the above-mentioned preparation example of the coating agent was applied to the corona discharge surface-treated surface of the adsorption layer a so that the thickness after drying would be the thickness shown in Table 2, and set at 70 ° C. After drying in an oven for 60 seconds, a protective sheet a of Production Example 1 was obtained.

<保護シートの製造例2〜6>
保護シートaに代えて、表2に示す吸着層を用いて、コロナ放電表面処理面に、乾燥後の厚みが表2に記載の厚みとなる様にコート剤を塗工する以外は、製造例1と同様に行い、製造例2〜6の保護シートb〜fを得た。
<Production Examples 2 to 6 of protective sheet>
A production example except that a coating agent was applied to the corona discharge surface-treated surface so that the thickness after drying became the thickness shown in Table 2 using the adsorption layer shown in Table 2 instead of the protective sheet a. In the same manner as in Example 1, protective sheets b to f of Production Examples 2 to 6 were obtained.

表2に、保護シートの物性を示す。   Table 2 shows the physical properties of the protective sheet.

Figure 0006636346
Figure 0006636346

[基材の製造]
<基材の製造例1>
厚み60μmの合成紙((株)ユポ・コーポレーション製、商品名:FPG60)の片面に、接着剤(東洋インキ製造(株)製、商品名:TM320、CAT−13Bの1:1混合液)を乾燥後の厚みが2μmになる様に塗工し、乾燥後の塗工面に、厚み20μmの2軸延伸ポリプロピレンフィルム(東洋紡性(株)製、商品名:P2102)のコロナ放電処理面が接着面となる様に貼合して、製造例1の基材Aを得た。
[Manufacture of base material]
<Example 1 of manufacturing base material>
An adhesive (a 1: 1 mixture of Toyo Ink Mfg. Co., Ltd., trade name: TM320, CAT-13B) was applied to one side of a synthetic paper (trade name: FPG60, manufactured by Yupo Corporation) having a thickness of 60 μm. Coating is performed so that the thickness after drying becomes 2 μm, and the corona discharge treated surface of a biaxially stretched polypropylene film having a thickness of 20 μm (manufactured by Toyobo Co., Ltd., trade name: P2102) is applied to the coated surface after drying. The base material A of Production Example 1 was obtained.

<基材の製造例2>
厚み50μmの2軸延伸ポリプロピレンフィルム(フタムラ化学(株)製、商品名:FOP−K)のコロナ放電処理面に、接着剤(東洋インキ製造(株)製、商品名:TM329、CAT−18Bの1:1混合液)を塗工し、乾燥後の塗工面に、厚み12μmのアルミニウム蒸着PETフィルム(尾池工業社製、商品名:テトライトPC)のアルミニウム蒸着面が外側にくる様に貼合して、製造例2の基材Bを得た
<Example 2 of manufacturing base material>
An adhesive (manufactured by Toyo Ink Mfg. Co., Ltd., trade names: TM329, CAT-18B) was applied to the corona discharge treated surface of a biaxially stretched polypropylene film (manufactured by Futamura Chemical Co., Ltd., trade name: FOP-K) having a thickness of 50 μm. (1: 1 mixture), and bonded to the coated surface after drying such that the aluminum-deposited surface of a 12 μm-thick aluminum-deposited PET film (trade name: Tetraite PC, manufactured by Oike Industry Co., Ltd.) is on the outside. Thus, a base material B of Production Example 2 was obtained.

表3に、基材の製造例において原料樹脂として使用した材料の内容、及び基材の物性を示す。なお、基材Aでは、表面抵抗率が高い2軸延伸ポリプロピレンフィルム側を吸着層と接する側として、合成紙側を吸着層と接する側と反対側として、表面抵抗率を示した。また、基材Bでは、表面抵抗率が高い2軸延伸ポリプロピレンフィルム側を吸着層と接する側として、アルミニウム蒸着PETフィルム側を吸着層と接する側と反対側として、表面抵抗率を示した。   Table 3 shows the contents of the materials used as the raw material resins in the production examples of the base material and the physical properties of the base material. In the case of the substrate A, the surface resistivity was indicated such that the side of the biaxially oriented polypropylene film having a high surface resistivity was in contact with the adsorbing layer, and the side of the synthetic paper was on the side opposite to the side in contact with the adsorbing layer. Further, in the base material B, the surface resistivity was indicated such that the side of the biaxially stretched polypropylene film having a high surface resistivity was in contact with the adsorption layer, and the side of the aluminum vapor-deposited PET film was in the opposite side to the side in contact with the adsorption layer.

Figure 0006636346
Figure 0006636346

[静電吸着シートの製造]
<実施例1>
保護シートaのコート層側の面とは反対側の面に、直流コロナ放電処理による電荷注入処理を施した。まず、電荷注入処理の条件の設定のため、主電極の針間距離10mm、主電極−アース電極間距離10mmに設定したエレクトレット化装置のアース電極盤上に、保護シートaのコート層側の面がアース電極面と接触するように置いた。この状態で、吸着層側の面への印加電圧を1KVから少しずつ上昇させることで局所火花放電により保護シートaが破壊される電圧を測定し、この火花放電電圧よりも1kv低い電圧を電荷注入処理の放電電圧とした。そして、表4に記載の加工条件の放電電圧を用いて、吸着層側の面に直流コロナ放電処理による電荷注入処理を施した。続いて、保護シートaの電荷注入処理を施した面と、基材Aの表面抵抗率が高い方(2軸延伸ポリプロピレンフィルム側)の面とが接するように積層し、両者を圧着ロールで加圧接着して、実施例1の静電吸着シートを得た。
[Manufacture of electrostatic attraction sheet]
<Example 1>
The charge injection process by the DC corona discharge process was performed on the surface of the protective sheet a opposite to the surface on the coat layer side. First, in order to set the conditions for the charge injection process, the surface of the protective sheet a on the coat layer side was placed on the earth electrode board of the electretization apparatus in which the distance between the needles of the main electrode was set to 10 mm and the distance between the main electrode and the ground electrode was set to 10 mm. Was placed in contact with the ground electrode surface. In this state, the voltage applied to the surface on the adsorption layer side is gradually increased from 1 KV to measure the voltage at which the protective sheet a is destroyed by the local spark discharge, and a voltage 1 kv lower than the spark discharge voltage is injected. The discharge voltage of the treatment was used. Then, using the discharge voltage under the processing conditions described in Table 4, the charge injection process by the DC corona discharge process was performed on the surface on the adsorption layer side. Subsequently, the surface of the protective sheet a subjected to the charge injection treatment and the surface of the substrate A having the higher surface resistivity (the biaxially oriented polypropylene film side) are laminated so that they are in contact with each other. The electrostatic adhesion sheet of Example 1 was obtained by pressure bonding.

<実施例2>
基材Aに代えて基材Bを用い、保護シートaに代えて保護シートbを用い、表4に記載の加工条件の放電電圧を用いる以外は、実施例1と同様に行い、実施例2の静電吸着シートを得た。
<Example 2>
Example 2 was repeated except that the base material B was used in place of the base material A, the protection sheet b was used in place of the protection sheet a, and the discharge voltage under the processing conditions shown in Table 4 was used. Was obtained.

<実施例3>
保護シートaに代えて保護シートcを用い、表4に記載の加工条件の放電電圧を用いる以外は、実施例1と同様に行い、実施例3の静電吸着シートを得た。
<Example 3>
An electrostatic attraction sheet of Example 3 was obtained in the same manner as in Example 1, except that a protective sheet c was used instead of the protective sheet a and discharge voltages under processing conditions shown in Table 4 were used.

<実施例4>
保護シートaに代えて保護シートdを用いる以外は、実施例1と同様に行い、実施例4の静電吸着シートを得た。
<Example 4>
An electrostatic attraction sheet of Example 4 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the protection sheet d was used instead of the protection sheet a.

<実施例5>
基材Aに代えて基材Bを用い、保護シートaに代えて保護シートfを用い、表4に記載の加工条件の放電電圧を用いる以外は、実施例1と同様に行い、実施例5の静電吸着シートを得た。
<Example 5>
Example 5 was repeated except that the base material B was used in place of the base material A, the protection sheet f was used in place of the protection sheet a, and the discharge voltage under the processing conditions shown in Table 4 was used. Was obtained.

<比較例1>
保護シートaに代えて保護シートeを用い、表4に記載の加工条件の放電電圧を用いる以外は、実施例1と同様に行い、比較例1の静電吸着シートを得た。
<Comparative Example 1>
An electrostatic attraction sheet of Comparative Example 1 was obtained in the same manner as in Example 1, except that the protective sheet e was used instead of the protective sheet a, and the discharge voltage under the processing conditions shown in Table 4 was used.

<比較例2>
市販のPET粘着保護シート(オカモト(株)社製、商品名:50AN)を比較例2の静電吸着シートとして、そのまま使用した。
<Comparative Example 2>
A commercially available PET adhesive protection sheet (trade name: 50AN, manufactured by Okamoto Co., Ltd.) was used as the electrostatic adsorption sheet of Comparative Example 2.

Figure 0006636346
Figure 0006636346

[評価]
表4に静電吸着シートの物性と評価結果を示す。
実施例1〜5の静電吸着シートは、融点が200℃以上であるポリオレフィン樹脂を含む吸着層を備える。表4に示すとおり、実施例1〜5の静電吸着シートでは、保護シートを銅箔に張り付けて高温環境下においても、吸着力に優れるとともに、シワが生じずに被着体への張り付いた状態を保っており、優れた吸着性能が維持されていた。また、剥がした際にも表面状態に変化が無く、銅箔の汚染を生じないものとなっていた。
[Evaluation]
Table 4 shows the physical properties and evaluation results of the electrostatic adsorption sheet.
The electrostatic adsorption sheets of Examples 1 to 5 include an adsorption layer containing a polyolefin resin having a melting point of 200 ° C. or higher. As shown in Table 4, in the electrostatic suction sheets of Examples 1 to 5, the protection sheet was stuck to the adherend without sticking while having excellent adhesion even in a high temperature environment by sticking the protective sheet to a copper foil. In this state, excellent adsorption performance was maintained. In addition, there was no change in the surface state when peeled off, and no contamination of the copper foil occurred.

また、実施例1〜5の静電吸着シートでは、保護シートのコート層側の面の表面抵抗率は、吸着層側の面よりも抑えられている。また、基材の吸着層と接しない側の面の表面抵抗率は、吸着層と接する側の面よりも抑えられている。これにより、保護シートと基材とが接着した態様では、静電吸着シートの最表面は両側とも表面抵抗率が抑えられたものとなる。よって、実施例1〜5の静電吸着シートは、ハンドリング性が良好でありながら、保護シートの性能は上述の通り良好なものとなっている。   Further, in the electrostatic attraction sheets of Examples 1 to 5, the surface resistivity of the surface of the protective sheet on the coat layer side is lower than that of the surface on the attraction layer side. Further, the surface resistivity of the surface of the base material on the side not in contact with the adsorption layer is suppressed more than the surface on the side in contact with the adsorption layer. Thereby, in a mode in which the protective sheet and the base material are bonded, the outermost surface of the electrostatic attraction sheet has a reduced surface resistivity on both sides. Therefore, the performance of the protective sheet is favorable as described above, while the electrostatic suction sheets of Examples 1 to 5 have good handling properties.

比較例1の静電吸着シートは、吸着層がプロピレン単独重合体のみからなり、被着体への静電吸着が可能であるため、金属箔の表面状態が変化する問題は生じなかった。しかしながら、高温環境下においた際に、吸着力に劣るのみならず、高温処理後に収縮に伴いシワが生じており、貼り付いた状態を維持することができなかった。   In the electrostatic adsorption sheet of Comparative Example 1, since the adsorption layer was made of only a propylene homopolymer and could be electrostatically adsorbed to an adherend, there was no problem that the surface state of the metal foil was changed. However, when placed in a high-temperature environment, not only is the adsorption power inferior, but also wrinkles are generated due to shrinkage after high-temperature treatment, and the adhered state cannot be maintained.

比較例2のPET粘着保護シートは、粘着層により銅箔への接着を可能とするものであるため、高温環境下においた際に、吸着力は十分であり、シワの発生が無かった。しかしながら、粘着層に起因する表面の光沢変化が生じており、銅箔の汚染を起こすものであった。   Since the PET pressure-sensitive adhesive protective sheet of Comparative Example 2 enables the adhesion to the copper foil with the pressure-sensitive adhesive layer, when placed in a high-temperature environment, the adsorptive power was sufficient and no wrinkles were generated. However, the gloss of the surface was changed due to the adhesive layer, and contamination of the copper foil was caused.

1 静電吸着シート
1a コート層側の最表面
1b 基材側の最表面
11 保護シート
11a 基材と接する側の面と反対の面
11b 基材と接する側の面
21 コート層
31 吸着層
31a 吸着層側の面
41 基材
41a 吸着層と接する側の面
41b 吸着層と接する側の面と反対の面
Reference Signs List 1 electrostatic adsorption sheet 1a outermost surface 1b on coat layer side outermost surface 11 on base material side protective sheet 11a surface 11b opposite to surface in contact with substrate 21b surface in contact with substrate 21 coating layer 31 adsorption layer 31a adsorption Layer-side surface 41 Base material 41a Surface 41b in contact with the adsorption layer 41b Surface opposite to the surface in contact with the adsorption layer

Claims (7)

被着体に静電吸着可能な保護シートと、前記保護シートに静電吸着した基材とを備え、
前記保護シートが、前記基材と接する側の面に設けられ且つ少なくとも1種以上のポリオレフィン樹脂を含有する吸着層と、前記基材と接する側の面と反対の面側に設けられたコート層とを有し、
前記ポリオレフィン樹脂の少なくとも1種以上の融点が200℃以上である
ことを特徴とする静電吸着シート。
A protective sheet that can be electrostatically adsorbed to the adherend, and a substrate that is electrostatically adsorbed to the protective sheet,
The protective sheet, an adsorption layer provided on a surface in contact with the base material and containing at least one or more polyolefin resin, and a coat layer provided on a surface side opposite to the surface in contact with the base material And
The melting point of at least one kind of the polyolefin resin is 200 ° C. or more.
前記融点が200℃以上のポリオレフィン樹脂が、モノマー成分として4−メチル−1−ペンテンを含むポリオレフィン(共)重合体を含む、
請求項1に記載の静電吸着シート。
The polyolefin resin having a melting point of 200 ° C. or more includes a polyolefin (co) polymer containing 4-methyl-1-pentene as a monomer component,
The electrostatic attraction sheet according to claim 1.
前記吸着層が、前記ポリオレフィン樹脂の総量に対して、前記融点が200℃以上のポリオレフィン樹脂50〜100質量%と、前記融点が200℃以上のポリオレフィン樹脂以外のポリオレフィン樹脂50〜0質量%とを含有する、
請求項1又は2に記載の静電吸着シート。
The adsorption layer, based on the total amount of the polyolefin resin, the melting point is 50 to 100% by mass of a polyolefin resin having a melting point of 200 ° C or more, and the melting point is 50 to 0% by mass of a polyolefin resin other than the polyolefin resin having a melting point of 200 ° C or more. contains,
The electrostatic adsorption sheet according to claim 1.
前記保護シートは、前記吸着層側の面の表面抵抗率が1×1013〜9×1017Ωであり、
前記基材は、前記吸着層と接する側の面の表面抵抗率が1×1013〜9×1017Ωである、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の静電吸着シート。
The protective sheet has a surface resistivity of 1 × 10 13 to 9 × 10 17 Ω on the surface on the adsorption layer side,
The substrate has a surface resistivity of 1 × 10 13 to 9 × 10 17 Ω on a surface in contact with the adsorption layer,
The electrostatic adsorption sheet according to claim 1.
前記コート層側の面の表面抵抗率が1×10-1Ω〜9×1012Ωであり、
前記基材側の面の表面抵抗率が1×10-1Ω〜9×1012Ωである、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の静電吸着シート。
The surface resistivity of the surface on the coat layer side is 1 × 10 −1 Ω to 9 × 10 12 Ω,
The surface resistivity of the substrate-side surface is 1 × 10 −1 Ω to 9 × 10 12 Ω,
The electrostatic attraction sheet according to claim 1.
前記保護シートは、前記吸着層側の面の中心面平均粗さ(SRa)が0.01〜5μmである、
請求項1〜5のいずれか1項に記載の静電吸着シート。
The protective sheet has a center plane average roughness (SRa) of 0.01 to 5 μm on a surface on the adsorption layer side.
The electrostatic attraction sheet according to claim 1.
請求項1〜6のいずれか1項に記載の静電吸着シートの製造方法であって、
前記保護シートに直流コロナ放電による電荷注入を施した後に前記基材を静電吸着させる、静電吸着シートの製造方法
It is a manufacturing method of the electrostatic attraction sheet according to any one of claims 1 to 6,
A method for manufacturing an electrostatically attracting sheet, wherein the substrate is electrostatically attracted after charge injection by DC corona discharge is performed on the protective sheet.
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