JP6629204B2 - ツールプロセスデータの多変量解析を提供するためのk近傍法に基づく方法及びシステム - Google Patents
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Description
ベクトルS=[rz,1 … rz,m] ステートメント2
式中、zはランの数であり、zは1〜nであり、m=センサであり、Sは基準行列R中の行である。
サンプルベクトルS=[s1 … sm] ステートメント4
式中、m=センサであり、Sは解析対称のサンプルランである。
C=[c1 … cm]
式中、m=センサ ステートメント5
Claims (15)
- 処理装置により実行される方法であって、
レシピの実行に関連するパラメータ内で機能している第1のツールに関する基準データと、前記基準データから決定された複数の最近傍値とを用いて、前記レシピを実行している前記第1のツールの基準フィンガープリントを作成することであって、前記基準フィンガープリントは、ターゲットベースラインと、前記ターゲットベースラインに基づいた一又は複数の許容可能な範囲とを含む、作成すること、
前記レシピを実行している第2のツールに関連するサンプルデータが、前記パラメータ内で機能しているか否かを、前記サンプルデータと前記基準フィンガープリントとの比較に基づいて決定することであって、前記第2のツールは、前記第1のツールであるか又は前記第1のツールと同じタイプの別のツールであり、前記サンプルデータは前記第2のツールのセンサのためのセンサデータを含む、決定すること、
前記サンプルデータと前記基準フィンガープリントとの前記比較に基づいて、前記第2のツールの分類を、システム又はユーザのうちの少なくとも一方に供給することであって、前記分類は、前記第2のツールが前記パラメータ内で機能しているか否かを示す、供給すること、並びに
前記基準フィンガープリントの前記パラメータ内にないサンプルデータに寄与しているセンサ(611、613)を特定することと、
を含む、方法。 - 前記サンプルデータと前記基準フィンガープリントとの間の一又は複数の偏差を特定すること、
前記一又は複数の偏差に基づいて、前記第2のツールが前記パラメータ内で機能していないと決定すること、並びに
前記第2のツールが前記パラメータ内で機能していないことの原因を特定するための追加のデータを供給すること
を更に含む、請求項1に記載の方法。 - 前記追加のデータは、前記第2のツールの複数のセンサの寄与を表す寄与データを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記サンプルデータが前記基準フィンガープリント内にある場合、前記分類がノーマルであり、前記サンプルデータが前記基準フィンガープリント内にない場合、前記分類がアブノーマルである、請求項1に記載の方法。
- 前記基準フィンガープリントを作成することが、
前記基準データを用いて前記複数の最近傍値のベクトルを作成することであって、前記ベクトルは、前記レシピについての前記第1のツールの複数のセンサのパフォーマンスを示す、作成すること、
前記ベクトルからターゲット値を決定することであって、前記ターゲット値は、前記複数のセンサの期待されているパフォーマンスを表す、決定すること、
前記ターゲット値に基づいて、前記複数のセンサの前記期待されているパフォーマンスの一又は複数の許容可能な範囲を決定すること、並びに
前記ターゲット値及び前記一又は複数の許容可能な範囲として、前記基準フィンガープリントを規定すること
を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記ターゲット値を決定することが、
前記ベクトル中の前記複数の最近傍値の平均を決定すること
を含む、請求項5に記載の方法。 - 前記一又は複数の許容可能な範囲を決定することが、
前記ターゲット値から、一又は複数の標準偏差を決定すること
を含む、請求項5に記載の方法。 - メモリ、並びに
前記メモリに連結された処理装置であって、
レシピの実行に関連するパラメータ内で機能している第1のツールに関する基準データと、前記基準データから決定された複数の最近傍値とを用いて、前記レシピを実行している前記第1のツールの基準フィンガープリントを作成することであって、前記基準フィンガープリントは、ターゲットベースラインと、前記ターゲットベースラインに基づく一又は複数の許容可能な範囲とを含む、作成すること、
前記レシピを実行している第2のツールに関連するサンプルデータが、前記パラメータ内で機能しているか否かを、前記サンプルデータと前記基準フィンガープリントとの比較に基づいて決定することであって、前記第2のツールは、前記第1のツールであるか又は前記第1のツールと同じタイプの別のツールであり、前記サンプルデータは前記第2のツールのセンサのためのセンサデータを含む、決定すること、
前記サンプルデータと前記基準フィンガープリントとの前記比較に基づいて、前記第2のツールの分類を、システム又はユーザのうちの少なくとも一方に供給することであって、前記分類は、前記第2のツールが前記パラメータ内で機能しているか否かを示す、供給すること、並びに
前記基準フィンガープリントの前記パラメータ内にないサンプルデータに寄与しているセンサ(611、613)を特定すること、
のための処理装置
を含む、システム。 - 前記処理装置が、更に
前記サンプルデータと前記基準フィンガープリントとの間の一又は複数の偏差を特定すること、
前記一又は複数の偏差に基づいて、前記第2のツールが前記パラメータ内で機能していないと決定すること、並びに
前記第2のツールが前記パラメータ内で機能していないことの原因を特定するための追加のデータを供給することであって、前記追加のデータは、前記第2のツールの複数のセンサの寄与を表す寄与データを含む、供給すること
のためのものである、請求項8に記載のシステム。 - 前記サンプルデータが前記基準フィンガープリント内にある場合、前記分類はノーマルであり、前記サンプルデータが前記基準フィンガープリント内にない場合、前記分類がアブノーマルである、請求項8に記載のシステム。
- 前記基準フィンガープリントを作成することは、前記処理装置が、
前記基準データを用いて前記複数の最近傍値のベクトルを作成することであって、前記ベクトルは、前記レシピについての前記第1のツールの複数のセンサのパフォーマンスを示す、作成すること、
前記ベクトルからターゲット値を決定することであって、前記ターゲット値は、前記複数のセンサの期待されているパフォーマンスを表す、決定すること、
前記ターゲット値に基づいて、前記複数のセンサの前記期待されているパフォーマンスの一又は複数の許容可能な範囲を決定すること、並びに
前記ターゲット値及び前記一又は複数の許容可能な範囲として、前記基準フィンガープリントを規定すること
を含む、請求項8に記載のシステム。 - 処理装置によって実行されると、前記処理装置に、下記:
レシピの実行に関連するパラメータ内で機能している第1のツールに関する基準データと、前記基準データから決定された複数の最近傍値とを用いて、前記レシピを実行している前記第1のツールの基準フィンガープリントを、前記処理装置によって作成することであって、前記基準フィンガープリントは、ターゲットベースラインと、前記ターゲットベースラインに基づく一又は複数の許容可能な範囲とを含む、作成すること、
前記レシピを実行している第2のツールに関連するサンプルデータが、前記パラメータ内で機能しているか否かを、前記サンプルデータと前記基準フィンガープリントとの比較に基づいて決定することであって、前記第2のツールは、前記第1のツールであるか又は前記第1のツールと同じタイプの別のツールであり、前記サンプルデータは前記第2のツールのセンサのためのセンサデータを含む、決定すること、
前記サンプルデータと前記基準フィンガープリントとの前記比較に基づいて、前記第2のツールの分類を、システム又はユーザのうちの少なくとも一方に供給することであって、前記分類は、前記第2のツールが前記パラメータ内で機能しているか否かを示す、供給すること、並びに
前記基準フィンガープリントの前記パラメータ内にないサンプルデータに寄与しているセンサ(611、613)を特定すること、
を含む動作を実施させる命令を含む、非一時的コンピュータ可読記憶媒体。 - 前記動作が、
前記サンプルデータと前記基準フィンガープリントとの間の一又は複数の偏差を特定すること、
前記一又は複数の偏差に基づいて、前記第2のツールが前記パラメータ内で機能していないと決定すること、並びに
前記第2のツールが前記パラメータ内で機能していないことの原因を特定するための追加のデータを供給すること
を更に含む、請求項12に記載の非一時的コンピュータ可読記憶媒体。 - 前記サンプルデータが前記基準フィンガープリント内にある場合、前記分類がノーマルであり、前記サンプルデータが前記基準フィンガープリント内にない場合、前記分類がアブノーマルである、請求項12に記載の非一時的コンピュータ可読記憶媒体。
- 前記基準フィンガープリントを作成することが、
前記基準データを用いて前記複数の最近傍値のベクトルを作成することであって、前記ベクトルは、前記レシピについての前記第1のツールの複数のセンサのパフォーマンスを示す、作成すること、
前記ベクトルからターゲット値を決定することであって、前記ターゲット値は、前記複数のセンサの期待されているパフォーマンスを表す、決定すること、
前記ターゲット値に基づいて、前記複数のセンサの前記期待されているパフォーマンスの一又は複数の許容可能な範囲を決定すること、並びに
前記ターゲット値及び前記一又は複数の許容可能な範囲として、前記基準フィンガープリントを規定すること、
を含む、請求項12に記載の非一時的コンピュータ可読記憶媒体。
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