JP6579059B2 - Data processing method, data processing apparatus, and data processing program - Google Patents

Data processing method, data processing apparatus, and data processing program Download PDF

Info

Publication number
JP6579059B2
JP6579059B2 JP2016163831A JP2016163831A JP6579059B2 JP 6579059 B2 JP6579059 B2 JP 6579059B2 JP 2016163831 A JP2016163831 A JP 2016163831A JP 2016163831 A JP2016163831 A JP 2016163831A JP 6579059 B2 JP6579059 B2 JP 6579059B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
particle size
distribution data
particles
size distribution
data
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016163831A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2018031660A (en
Inventor
十時 慎一郎
慎一郎 十時
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP2016163831A priority Critical patent/JP6579059B2/en
Publication of JP2018031660A publication Critical patent/JP2018031660A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6579059B2 publication Critical patent/JP6579059B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

本発明は、試料からの回折散乱光を複数の受光素子で受光することにより得られる光強度分布データを処理することにより粒子径分布データを生成するデータ処理方法、データ処理装置及びデータ処理プログラムに関するものである。   The present invention relates to a data processing method, a data processing apparatus, and a data processing program for generating particle size distribution data by processing light intensity distribution data obtained by receiving diffracted and scattered light from a sample with a plurality of light receiving elements. Is.

従来から、試料中の粒子群の粒子径分布を測定するために、粒子径分布測定装置が用いられている。一般的な粒子径分布測定装置では、測定対象となる試料に対してレーザ光を照射し、試料で回折又は散乱された光を複数の受光素子で受光することにより、各受光素子における受光強度に基づいて、試料中の粒子群の粒子径分布を測定することができるようになっている。   Conventionally, a particle size distribution measuring device has been used to measure the particle size distribution of a group of particles in a sample. In a general particle size distribution measuring apparatus, a sample to be measured is irradiated with a laser beam, and light diffracted or scattered by the sample is received by a plurality of light receiving elements, so that the light receiving intensity in each light receiving element is increased. Based on this, the particle size distribution of the particle group in the sample can be measured.

この種の粒子径分布測定装置では、試料で回折又は散乱された光を複数の受光素子で受光することにより、各受光素子における受光強度を表す光強度分布データが得られる。そして、得られた光強度分布データに対して屈折率を用いた演算が行われることにより、各粒子径における粒子量を表す粒子径分布データが算出される。   In this type of particle size distribution measuring apparatus, light diffracted or scattered by a sample is received by a plurality of light receiving elements, whereby light intensity distribution data representing the received light intensity in each light receiving element is obtained. Then, calculation using the refractive index is performed on the obtained light intensity distribution data, whereby particle size distribution data representing the amount of particles at each particle size is calculated.

上記のような屈折率を表すパラメータは、例えば作業者が予め入力することにより設定される(例えば、下記特許文献1参照)。すなわち、試料に含まれる粒子は、特定の屈折率を有する1種類の粒子であり、その粒子の屈折率を表すパラメータが入力されることにより、当該パラメータを用いて演算が行われる。   The parameters representing the refractive index as described above are set, for example, when an operator inputs in advance (see, for example, Patent Document 1 below). That is, the particle contained in the sample is one kind of particle having a specific refractive index, and a parameter representing the refractive index of the particle is input, and calculation is performed using the parameter.

特開2011−220918号公報JP 2011-220918 A

このように、従来は、特定の屈折率を有する1種類の粒子を含む試料の粒子径分布しか測定することができなかった。試料中には、屈折率が異なる複数種類の粒子が混合されている場合があるが、このような場合でも、いずれか1種類の粒子に対応する屈折率を用いた演算しか行うことができないため、粒子径分布を精度よく測定することができないという問題があった。   Thus, conventionally, only the particle size distribution of a sample containing one kind of particles having a specific refractive index could be measured. There are cases where plural types of particles having different refractive indexes are mixed in the sample, but even in such a case, only calculation using the refractive index corresponding to any one type of particles can be performed. There is a problem that the particle size distribution cannot be measured with high accuracy.

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、屈折率が異なる複数種類の粒子が混合された試料の粒子径分布を精度よく測定することができるデータ処理方法、データ処理装置及びデータ処理プログラムを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and is a data processing method, data processing apparatus, and data processing capable of accurately measuring the particle size distribution of a sample in which a plurality of types of particles having different refractive indexes are mixed. The purpose is to provide a program.

(1)本発明に係るデータ処理方法は、データ入力受付ステップと、係数行列生成ステップと、粒子径分布データ生成ステップとを含む。前記データ入力受付ステップでは、屈折率が異なる複数種類の粒子が混合された試料からの回折散乱光を複数の受光素子で受光することにより得られる光強度分布データの入力を受け付ける。前記係数行列生成ステップでは、屈折率ごとに得られる光学モデルが結合された係数行列を生成する。前記粒子径分布データ生成ステップでは、前記光強度分布データ及び前記係数行列に基づいて演算を行うことにより、屈折率が異なる複数種類の粒子ごとの粒子径分布データを生成する。 (1) The data processing method according to the present invention includes a data input reception step, a coefficient matrix generation step, and a particle size distribution data generation step. In the data input receiving step, input of light intensity distribution data obtained by receiving diffraction scattered light from a sample mixed with a plurality of types of particles having different refractive indexes by a plurality of light receiving elements is received. In the coefficient matrix generation step, a coefficient matrix is generated by combining optical models obtained for each refractive index. In the particle size distribution data generation step, calculation is performed based on the light intensity distribution data and the coefficient matrix, thereby generating particle size distribution data for a plurality of types of particles having different refractive indexes.

このような構成によれば、屈折率ごとに得られる光学モデルが結合された係数行列を用いて演算を行うことにより、屈折率が異なる複数種類の粒子ごとの粒子径分布データを一度に生成することができる。これにより、屈折率が異なる複数種類の粒子が混合された試料であっても、複数種類の粒子ごとの粒子径分布を精度よく測定することができる。   According to such a configuration, particle size distribution data for a plurality of types of particles having different refractive indexes is generated at a time by performing an operation using a coefficient matrix in which optical models obtained for each refractive index are combined. be able to. Thereby, even for a sample in which a plurality of types of particles having different refractive indexes are mixed, the particle size distribution for each of the plurality of types of particles can be measured with high accuracy.

(2)前記係数行列生成ステップでは、各列が一次独立である前記係数行列を生成してもよい。 (2) In the coefficient matrix generation step, the coefficient matrix in which each column is linearly independent may be generated.

このような構成によれば、係数行列の各列が一次独立であるため、屈折率が異なる複数種類の粒子ごとの粒子径分布データを確実に区別することができる。したがって、複数種類の粒子ごとの粒子径分布をより精度よく測定することができる。   According to such a configuration, since each column of the coefficient matrix is linearly independent, the particle size distribution data for a plurality of types of particles having different refractive indexes can be reliably distinguished. Therefore, the particle size distribution for each of a plurality of types of particles can be measured with higher accuracy.

(3)前記データ処理方法は、前記粒子径分布データ生成ステップにより生成された複数種類の粒子ごとの粒子径分布データの粒子径範囲が同一となるように補正を行うデータ補正ステップをさらに含んでいてもよい。 (3) The data processing method further includes a data correction step for performing correction so that the particle size ranges of the particle size distribution data for the plurality of types of particles generated by the particle size distribution data generation step are the same. May be.

このような構成によれば、複数種類の粒子ごとの粒子径分布データの粒子径範囲を同一として、粒子径分布データ同士を互いに比較しやすくすることができる。したがって、屈折率が異なる複数種類の粒子が混合された試料について、複数種類の粒子ごとの粒子径分布を容易に解析することができる。   According to such a configuration, it is possible to easily compare the particle size distribution data with each other by setting the particle size ranges of the particle size distribution data for a plurality of types of particles to be the same. Therefore, the particle size distribution for each of the plurality of types of particles can be easily analyzed for a sample in which a plurality of types of particles having different refractive indexes are mixed.

(4)前記データ処理方法は、前記データ補正ステップにより補正された複数種類の粒子ごとの粒子径分布データを、同一の表示領域に表示させる表示処理ステップをさらに含んでいてもよい。 (4) The data processing method may further include a display processing step of displaying the particle size distribution data for each of a plurality of types of particles corrected in the data correction step in the same display area.

このような構成によれば、複数種類の粒子ごとの粒子径分布データが同一の表示領域に表示されるため、粒子径分布データ同士を比較しやすい。特に、複数種類の粒子ごとの粒子径分布データの粒子径範囲が同一となるように補正されているため、各粒子径範囲における粒子量を容易に比較することができる。   According to such a configuration, the particle size distribution data for each of a plurality of types of particles are displayed in the same display area, so that it is easy to compare the particle size distribution data. In particular, since the particle size ranges of the particle size distribution data for a plurality of types of particles are corrected to be the same, the amount of particles in each particle size range can be easily compared.

本発明に係るデータ処理装置は、データ入力受付部と、記憶部と、粒子径分布データ生成部とを備える。前記データ入力受付部は、屈折率が異なる複数種類の粒子が混合された試料からの回折散乱光を複数の受光素子で受光することにより得られる光強度分布データの入力を受け付ける。前記記憶部は、屈折率ごとに得られる光学モデルが結合された係数行列を記憶する。前記粒子径分布データ生成部は、前記光強度分布データ及び前記係数行列に基づいて演算を行うことにより、屈折率が異なる複数種類の粒子ごとの粒子径分布データを生成する。   The data processing apparatus according to the present invention includes a data input receiving unit, a storage unit, and a particle size distribution data generating unit. The data input receiving unit receives input of light intensity distribution data obtained by receiving diffraction scattered light from a sample in which a plurality of types of particles having different refractive indexes are mixed with a plurality of light receiving elements. The storage unit stores a coefficient matrix in which optical models obtained for each refractive index are combined. The particle size distribution data generation unit generates particle size distribution data for each of a plurality of types of particles having different refractive indexes by performing calculations based on the light intensity distribution data and the coefficient matrix.

本発明に係るデータ処理プログラムは、データ入力受付部と、粒子径分布データ生成部としてコンピュータを機能させる。前記データ入力受付部は、屈折率が異なる複数種類の粒子が混合された試料からの回折散乱光を複数の受光素子で受光することにより得られる光強度分布データの入力を受け付ける。前記粒子径分布データ生成部は、前記光強度分布データ、及び、屈折率ごとに得られる光学モデルが結合された係数行列に基づいて演算を行うことにより、屈折率が異なる複数種類の粒子ごとの粒子径分布データを生成する。   The data processing program according to the present invention causes a computer to function as a data input receiving unit and a particle size distribution data generating unit. The data input receiving unit receives input of light intensity distribution data obtained by receiving diffraction scattered light from a sample in which a plurality of types of particles having different refractive indexes are mixed with a plurality of light receiving elements. The particle size distribution data generation unit performs an operation based on the light intensity distribution data and a coefficient matrix in which an optical model obtained for each refractive index is combined, thereby obtaining a plurality of types of particles having different refractive indexes. Generate particle size distribution data.

本発明によれば、屈折率が異なる複数種類の粒子が混合された試料であっても、複数種類の粒子ごとの粒子径分布を粒子量の相対的な大小の情報を含めて精度よく測定することができる。   According to the present invention, even for a sample in which a plurality of types of particles having different refractive indices are mixed, the particle size distribution for each of the plurality of types of particles is accurately measured including information on the relative magnitude of the amount of particles. be able to.

本発明の一実施形態に係るデータ処理装置を備える粒子径分布測定装置の構成例を示した概略図である。It is the schematic which showed the structural example of the particle diameter distribution measuring apparatus provided with the data processor which concerns on one Embodiment of this invention. 図1のデータ処理装置の具体的構成について説明するためのブロック図である。It is a block diagram for demonstrating the specific structure of the data processor of FIG. 表示部に対する粒子径分布データの表示態様の一例を示した図である。It is the figure which showed an example of the display mode of the particle diameter distribution data with respect to a display part. 表示部に対する粒子径分布データの表示態様の他の例を示した図である。It is the figure which showed the other example of the display mode of the particle diameter distribution data with respect to a display part. 屈折率が異なる複数種類の粒子が混合された試料の粒子径分布を測定する際の流れを示したフローチャートである。It is the flowchart which showed the flow at the time of measuring the particle diameter distribution of the sample with which multiple types of particle | grains from which refractive index differs were mixed.

図1は、本発明の一実施形態に係るデータ処理装置5を備える粒子径分布測定装置の構成例を示した概略図である。この粒子径分布測定装置は、試料に含まれる粒子群の粒子径と粒子量との関係を測定することにより、粒子径分布データを生成するためのものであり、試料の測定を行うための測定機構1を備えている。   FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration example of a particle size distribution measuring apparatus including a data processing apparatus 5 according to an embodiment of the present invention. This particle size distribution measuring device is for generating particle size distribution data by measuring the relationship between the particle size and the amount of particles contained in a sample, and is used for measuring a sample. A mechanism 1 is provided.

測定機構1には、光源11、集光レンズ12、空間フィルタ13、コリメータレンズ14、フローセル15、集光レンズ16及び検出器17などが備えられている。測定対象となる試料は、例えば超音波振動子が内蔵された循環式サンプラ2などの供給源からフローセル15に供給されるようになっている。   The measurement mechanism 1 includes a light source 11, a condensing lens 12, a spatial filter 13, a collimator lens 14, a flow cell 15, a condensing lens 16, a detector 17, and the like. A sample to be measured is supplied to the flow cell 15 from a supply source such as a circulation sampler 2 in which an ultrasonic transducer is incorporated.

光源11は、例えばレーザ光源からなり、当該光源11から放射された光(測定光)が、集光レンズ12、空間フィルタ13及びコリメータレンズ14を通過することにより平行光となる。このようにして平行光とされた測定光は、試料が供給されているフローセル15に照射され、フローセル15内の試料に含まれる粒子群で回折又は散乱された光(回折散乱光)が、集光レンズ16を通って検出器17により受光されるようになっている。ただし、フローセル15に限らず、測定ごとに回分セル内に試料が収容されて測定が行われるような構成であってもよい。   The light source 11 is composed of, for example, a laser light source, and light (measurement light) emitted from the light source 11 passes through the condenser lens 12, the spatial filter 13, and the collimator lens 14 to become parallel light. The measurement light thus converted into parallel light is irradiated onto the flow cell 15 to which the sample is supplied, and light diffracted or scattered by the particle group included in the sample in the flow cell 15 (diffraction scattered light) is collected. The light is received by the detector 17 through the optical lens 16. However, not only the flow cell 15 but also a configuration in which a measurement is performed by storing a sample in the batch cell for each measurement.

検出器17は、試料からの光を検出するためのものであり、例えばフォトダイオードアレイにより構成される。検出器17は、例えば互いに異なる半径を有するリング状又は半リング状の検出面が形成された複数(例えば、64個)の受光素子171を、集光レンズ16の光軸を中心として同心円状に配置することにより構成されており、各受光素子171には、それぞれの位置に応じた角度の方向に回折又は散乱された試料からの光が入射する。したがって、検出器17の各受光素子171の検出信号は、入射角度に対応する光の強度を表すことになる。   The detector 17 is for detecting light from the sample, and is composed of, for example, a photodiode array. The detector 17 includes, for example, a plurality of (for example, 64) light receiving elements 171 formed with ring-shaped or semi-ring-shaped detection surfaces having different radii, concentrically around the optical axis of the condenser lens 16. The light from the sample diffracted or scattered in the direction of the angle corresponding to each position is incident on each light receiving element 171. Therefore, the detection signal of each light receiving element 171 of the detector 17 represents the intensity of light corresponding to the incident angle.

この図1の例では、フローセル15の前方(光源11とは反対側)にのみ検出器17が示されている。ただし、フローセル15の後方(光源11側)や側方(光の入射方向に対して直交する面内)にも、それぞれ試料で回折又は散乱された光を受光する受光素子を備えた検出器が設けられていてもよい。   In the example of FIG. 1, the detector 17 is shown only in front of the flow cell 15 (on the side opposite to the light source 11). However, a detector having a light receiving element for receiving light diffracted or scattered by the sample is also provided behind (on the light source 11 side) and on the side (in a plane perpendicular to the light incident direction) of the flow cell 15, respectively. It may be provided.

検出器17の各受光素子171の検出信号は、A/D変換器3によりアナログ信号からデジタル信号に変換された後、通信部4を介してデータ処理装置5に入力されるようになっている。これにより、検出器17の各受光素子171の素子番号と各受光素子171における検出強度とが対応付けられた光強度分布データが、データ処理装置5に入力される。   The detection signal of each light receiving element 171 of the detector 17 is converted from an analog signal to a digital signal by the A / D converter 3 and then input to the data processing device 5 via the communication unit 4. . Thereby, light intensity distribution data in which the element number of each light receiving element 171 of the detector 17 is associated with the detected intensity in each light receiving element 171 is input to the data processing device 5.

データ処理装置5は、試料の粒子径分布を測定する際のデータを処理する。データ処理装置5は、例えばコンピュータにより構成されており、制御部51、操作部52、表示部53及び記憶部54などを備えている。制御部51は、例えばCPU(Central Processing Unit)を含む構成であり、操作部52、表示部53及び記憶部54などの各部が電気的に接続されている。   The data processing device 5 processes data when measuring the particle size distribution of the sample. The data processing device 5 is configured by a computer, for example, and includes a control unit 51, an operation unit 52, a display unit 53, a storage unit 54, and the like. The control unit 51 includes, for example, a CPU (Central Processing Unit), and each unit such as an operation unit 52, a display unit 53, and a storage unit 54 is electrically connected.

操作部52は、例えばキーボード及びマウスを含む構成であり、ユーザが操作部52を操作することにより入力作業などを行うことができるようになっている。表示部53は、例えば液晶表示器などにより構成されており、測定機構1における測定結果などの各種情報が表示部53に表示される。記憶部54は、例えばRAM(Random Access Memory)及びハードディスクなどにより構成される。   The operation unit 52 includes, for example, a keyboard and a mouse, and the user can perform input work and the like by operating the operation unit 52. The display unit 53 is configured by a liquid crystal display, for example, and various types of information such as measurement results in the measurement mechanism 1 are displayed on the display unit 53. The storage unit 54 includes, for example, a RAM (Random Access Memory) and a hard disk.

図2は、図1のデータ処理装置5の具体的構成について説明するためのブロック図である。本実施形態における制御部51は、CPUがプログラムを実行することにより、データ入力受付部511、粒子径分布データ生成部512、データ補正部513及び表示処理部514などとして機能する。   FIG. 2 is a block diagram for explaining a specific configuration of the data processing device 5 of FIG. The control unit 51 in the present embodiment functions as a data input receiving unit 511, a particle size distribution data generation unit 512, a data correction unit 513, a display processing unit 514, and the like when the CPU executes a program.

記憶部54には、光強度分布データ記憶部541、粒子径分布データ記憶部542及び係数行列記憶部543などが割り当てられている。光強度分布データ記憶部541には、検出器17の各受光素子171からの入力信号に基づいて、光強度分布データが記憶される。制御部51は、光強度分布データ記憶部541に記憶されている光強度分布データに基づいて粒子径分布データを生成し、その粒子径分布データを粒子径分布データ記憶部542に記憶させる。制御部51が粒子径分布データを生成する際、係数行列記憶部543に記憶されている係数行列が用いられる。   A light intensity distribution data storage unit 541, a particle size distribution data storage unit 542, a coefficient matrix storage unit 543, and the like are allocated to the storage unit 54. The light intensity distribution data storage unit 541 stores light intensity distribution data based on input signals from the light receiving elements 171 of the detector 17. The control unit 51 generates particle size distribution data based on the light intensity distribution data stored in the light intensity distribution data storage unit 541 and stores the particle size distribution data in the particle size distribution data storage unit 542. When the control unit 51 generates the particle size distribution data, the coefficient matrix stored in the coefficient matrix storage unit 543 is used.

本実施形態における粒子径分布測定装置では、屈折率が異なる複数種類の粒子が混合された試料の粒子径分布を測定することができる。このような試料を測定機構1で測定し、試料中の各粒子(屈折率が異なる複数種類の粒子)からの回折散乱光を複数の受光素子171で受光することにより、光強度分布データが得られる。得られた光強度分布データは、光強度分布データ記憶部541に記憶される。   In the particle size distribution measuring apparatus according to this embodiment, the particle size distribution of a sample in which a plurality of types of particles having different refractive indexes are mixed can be measured. Such a sample is measured by the measurement mechanism 1, and diffracted and scattered light from each particle (a plurality of types of particles having different refractive indexes) in the sample is received by a plurality of light receiving elements 171 to obtain light intensity distribution data. It is done. The obtained light intensity distribution data is stored in the light intensity distribution data storage unit 541.

データ入力受付部511は、粒子径分布データを生成する際に、光強度分布データ記憶部541に記憶されている光強度分布データの入力を受け付ける。粒子径分布データ生成部512は、光強度分布データ記憶部541から入力された光強度分布データに対して、屈折率を用いた演算を行うことにより、その屈折率に応じた粒子径分布データを生成する。本実施形態では、試料中に含まれる複数種類の粒子ごとに屈折率が異なるため、それぞれの屈折率に基づいて生成された1つの係数行列を用いて粒子径分布データ生成部512が行列演算を行うことにより、複数種類の粒子ごとの粒子径分布データを生成することができるようになっている。生成された各粒子径分布データは、粒子径分布データ記憶部542に記憶される。   The data input receiving unit 511 receives input of light intensity distribution data stored in the light intensity distribution data storage unit 541 when generating particle size distribution data. The particle size distribution data generation unit 512 performs calculation using the refractive index on the light intensity distribution data input from the light intensity distribution data storage unit 541, thereby obtaining the particle size distribution data corresponding to the refractive index. Generate. In this embodiment, since the refractive index is different for each of a plurality of types of particles included in the sample, the particle size distribution data generation unit 512 performs matrix calculation using one coefficient matrix generated based on each refractive index. By doing so, particle size distribution data for each of a plurality of types of particles can be generated. Each generated particle size distribution data is stored in the particle size distribution data storage unit 542.

粒子径分布データを演算する際には、下記式(1)の関係を用いることができる。

Figure 0006579059
When calculating the particle size distribution data, the relationship of the following formula (1) can be used.
Figure 0006579059

ここで、s、q及びAは、下記式(2)〜(4)で表される。

Figure 0006579059
Here, s, q, and A are represented by the following formulas (2) to (4).
Figure 0006579059

ベクトルsは、光強度分布データである。ベクトルsにおける各要素s(u=1,2,・・・,k)は、検出器17の各受光素子171、並びに、フローセル15の後方や側方に設けられた受光素子(いずれも図示せず)における検出強度である。 The vector s is light intensity distribution data. Each element s u (u = 1, 2,..., K) in the vector s is a light receiving element 171 of the detector 17 and a light receiving element provided behind or on the side of the flow cell 15 (both shown in FIG. (Not shown).

ベクトルqは、頻度分布%として表現される粒子径分布データである。この例では、屈折率が異なる2種類の粒子(粒子a及び粒子b)が試料に含まれる場合のベクトルqが示されており、各要素qai(i=1,2,・・・,n)が粒子aの粒子量、各要素qbj(j=1,2,・・・,m)が粒子bの粒子量をそれぞれ表している。すなわち、粒子a及び粒子bを含む粒子の全体が、n+m個の要素を持つベクトルqとして表されている。 The vector q is particle size distribution data expressed as a frequency distribution%. In this example, a vector q in the case where two types of particles (particle a and particle b) having different refractive indexes are included in the sample is shown, and each element q ai (i = 1, 2,..., N) is shown. ) Represents the particle amount of the particle a, and each element q bj (j = 1, 2,..., M) represents the particle amount of the particle b. That is, the entire particle including the particle a and the particle b is represented as a vector q having n + m elements.

より具体的には、各要素qai(i=1,2,・・・,n)は、粒子径の測定対象範囲(最大粒子径がx、最小粒子径がxn+1)をn分割し、それぞれの粒子径範囲を[x,xi+1]としたときに、各粒子径範囲[x,xi+1]に対応する粒子aの粒子量を示している。一方、各要素qbj(j=1,2,・・・,m)は、粒子径の測定対象範囲(最大粒子径がy、最小粒子径がym+1)をm分割し、それぞれの粒子径範囲を[y,yj+1]としたときに、各粒子径範囲[y,yj+1]に対応する粒子bの粒子量を示している。このように、粒子径分布データの粒子径範囲は、複数種類の粒子(粒子a及び粒子b)ごとに異なっている。もちろんn=mとして、nとmを同じ値にすることも可能である。 More specifically, each element q ai (i = 1, 2,..., N) divides the particle diameter measurement target range (maximum particle diameter is x 1 , minimum particle diameter is x n + 1 ) into n parts. When the respective particle diameter ranges are [x i , x i + 1 ], the amounts of particles a corresponding to the respective particle diameter ranges [x i , x i + 1 ] are shown. On the other hand, each element q bj (j = 1, 2,..., M) divides the particle diameter measurement target range (the maximum particle diameter is y 1 and the minimum particle diameter is y m + 1 ) into m parts. When the diameter range is [y j , y j + 1 ], the amount of particles b corresponding to each particle diameter range [y j , y j + 1 ] is shown. Thus, the particle size range of the particle size distribution data differs for each of a plurality of types of particles (particle a and particle b). Of course, it is possible to set n and m to the same value with n = m.

粒子量は体積基準で計算され、表示の際にはすべての粒子量の合計が100%となるように規格化される。すなわち、下記式(5)を満たすように表示される。また、表示としては、粒子aについての各要素qa1〜qanの合計が100%とする表示、すなわち式(6)を満たす表示や、粒子bについての各要素qb1〜qbmの合計が100%とする表示、すなわち式(7)を満たす表示を採用してもよい。

Figure 0006579059
The amount of particles is calculated on a volume basis and is normalized so that the total amount of all particles is 100% when displayed. That is, it is displayed so as to satisfy the following formula (5). As the display, display the sum of the elements q a1 to q an, for the particles a is 100%, i.e. the display and satisfying the equation (6), the sum of each element q b1 to q bm of the particle b A display that is 100%, that is, a display that satisfies Expression (7) may be adopted.
Figure 0006579059

行列Aは、粒子径分布データqを光強度分布データsに変換するための係数がマトリクス状に配列された係数行列である。行列Aは、複数種類の粒子の屈折率ごとに得られる光学モデル(理論光強度)が結合されることにより生成されている。この例では、屈折率が異なる2種類の粒子(粒子a及び粒子b)についての光学モデルA1及びA2が結合されている。光学モデルA1における各要素au,i(u=1,2,・・・,k、i=1,2,・・・,n)は、各粒子径範囲[x,xi+1]に属する単位体積の粒子aに単位強度の測定光を照射したときのu番目の受光素子171における回折散乱光の受光強度である。光学モデルA2における各要素au,j(u=1,2,・・・,k、j=1,2,・・・,m)は、各粒子径範囲[y,yj+1]に属する単位体積の粒子bに単位強度の測定光を照射したときのu番目の受光素子171における回折散乱光の受光強度である。 The matrix A is a coefficient matrix in which coefficients for converting the particle size distribution data q into the light intensity distribution data s are arranged in a matrix. The matrix A is generated by combining optical models (theoretical light intensity) obtained for each of the refractive indexes of a plurality of types of particles. In this example, optical models A1 and A2 for two types of particles (particle a and particle b) having different refractive indexes are combined. Each element a u, i (u = 1, 2,..., K, i = 1, 2,..., N) in the optical model A1 belongs to each particle diameter range [x i , x i + 1 ]. This is the received light intensity of diffracted and scattered light in the u-th light receiving element 171 when the unit volume of particles a is irradiated with unit intensity measurement light. Each element a u, j (u = 1, 2,..., K, j = 1, 2,..., M) in the optical model A2 belongs to each particle diameter range [y j , y j + 1 ]. This is the received light intensity of diffracted scattered light in the u-th light receiving element 171 when the unit b of particle b is irradiated with unit intensity measurement light.

各光学モデルA1,A2における各要素au,i,au,jの値は、粒子a,bの屈折率をパラメータの一つとして用いて予め理論的に計算することができる。例えば、粒子径が光源11からの測定光の波長に比べて十分に大きい場合(例えば10倍以上)には、フラウンホーファ回折理論を用いて計算することができる。一方、粒子径が光源11からの測定光の波長と同程度、又は、それより小さい場合には、ミー散乱理論を用いて計算することができる。このようにして得られた各粒子a,bについての光学モデルA1,A2は、行数kが同じであり、互いに異なる列を構成するように横に並べて結合されることにより行列Aが生成される。結果的に、行列Aは、k行、(n+m)列の要素を持つ行列となる。 The value of each element a u, i , a u, j in each optical model A1, A2 can be theoretically calculated in advance using the refractive index of the particles a, b as one of the parameters. For example, when the particle diameter is sufficiently larger than the wavelength of the measurement light from the light source 11 (for example, 10 times or more), it can be calculated using Fraunhofer diffraction theory. On the other hand, when the particle diameter is about the same as or smaller than the wavelength of the measurement light from the light source 11, it can be calculated using Mie scattering theory. The optical models A1 and A2 for the particles a and b thus obtained have the same number of rows k, and are arranged side by side so as to form different columns, thereby generating a matrix A. The As a result, the matrix A is a matrix having elements of k rows and (n + m) columns.

行列Aを生成する際には、行列Aの各列が一次独立となるように各要素au,i,au,jの値が選択される。すなわち、行列Aの各列ベクトルに係数を乗算して足し合わせた値が0となるのは、係数が全て0のときだけである。行列Aの各列が一次独立であるか否かは、行列Aの階数(ランク)を計算することにより確認することができ、階数が行列Aの列数(n+m)よりも小さければ、行列Aは一次独立ではないと判断することができる。この場合、粒子径分布データの粒子径範囲を複数種類の粒子ごとに調整すれば、各列が一次独立である行列Aを生成することができる。 When generating the matrix A , the values of the elements a u, i , a u, j are selected so that the columns of the matrix A are linearly independent. That is, the value obtained by multiplying each column vector of the matrix A by the coefficient and adding up is 0 only when the coefficients are all 0. Whether or not each column of the matrix A is linearly independent can be confirmed by calculating the rank (rank) of the matrix A. If the rank is smaller than the number of columns (n + m) of the matrix A, the matrix A Can be determined not to be primary independent. In this case, if the particle size range of the particle size distribution data is adjusted for each of a plurality of types of particles, a matrix A in which each column is linearly independent can be generated.

粒子径分布データ生成部512による行列演算では、上記式(1)に基づいて、下記式(8)によりベクトルqが求められる。ただし、AはAの転置行列である。この場合、求められたベクトルqが粒子径分布データとなり、各要素qai(i=1,2,・・・,n)が粒子aの粒子量、各要素qbj(j=1,2,・・・,m)が粒子bの粒子量として算出される。

Figure 0006579059
In the matrix calculation by the particle size distribution data generation unit 512, the vector q is obtained by the following equation (8) based on the above equation (1). Where AT is a transposed matrix of A. In this case, the obtained vector q becomes the particle size distribution data, each element q ai (i = 1, 2,..., N) is the particle amount of the particle a, and each element q bj (j = 1, 2, .., M) are calculated as the amount of particles b.
Figure 0006579059

このように、本実施形態では、屈折率ごとに得られる光学モデルA1,A2が結合された係数行列(行列A)を用いて演算を行うことにより、屈折率が異なる複数種類の粒子a,bごとの粒子径分布データを一度に生成することができる。これにより、屈折率が異なる複数種類の粒子a,bが混合された試料であっても、複数種類の粒子a,bごとの粒子径分布を、粒子aと粒子bの相対的な粒子量の大小の情報を含めて、精度よく測定することができる。   As described above, in the present embodiment, the calculation is performed using the coefficient matrix (matrix A) in which the optical models A1 and A2 obtained for each refractive index are combined, whereby a plurality of types of particles a and b having different refractive indexes are obtained. Each particle size distribution data can be generated at once. As a result, even in a sample in which a plurality of types of particles a and b having different refractive indexes are mixed, the particle size distribution for each of the plurality of types of particles a and b is represented by the relative amount of particles a and b. It is possible to measure accurately including large and small information.

特に、本実施形態では、係数行列(行列A)の各列が一次独立であるため、屈折率が異なる複数種類の粒子a,bごとの粒子径分布データを確実に区別することができる。したがって、複数種類の粒子a,bごとの粒子径分布をより精度よく測定することができる。   In particular, in this embodiment, since each column of the coefficient matrix (matrix A) is linearly independent, the particle size distribution data for each of a plurality of types of particles a and b having different refractive indexes can be reliably distinguished. Therefore, the particle size distribution for each of the plurality of types of particles a and b can be measured with higher accuracy.

データ補正部513は、上記のようにして生成された複数種類の粒子a,bごとの粒子径分布データに対する補正を行う。具体的には、複数種類の粒子ごとの粒子径分布データの粒子径範囲が同一となるように補正が行われる。すなわち、粒子aについての粒子径範囲[x,xi+1]と、粒子bについての粒子径範囲[y,yj+1]とが同一となるように補正される。このような補正は、周知の補間法を用いることにより行うことができる。 The data correction unit 513 corrects the particle size distribution data for each of the plurality of types of particles a and b generated as described above. Specifically, correction is performed so that the particle size ranges of the particle size distribution data for a plurality of types of particles are the same. That is, the particle diameter range [x i , x i + 1 ] for the particle a and the particle diameter range [y j , y j + 1 ] for the particle b are corrected to be the same. Such correction can be performed by using a known interpolation method.

表示処理部514は、粒子径分布データを表示部53に表示させるための処理を行う。本実施形態では、データ補正部513により補正された複数種類の粒子a,bごとの粒子径分布データが、表示部53における同一の表示領域に表示されるようになっている。   The display processing unit 514 performs processing for causing the display unit 53 to display the particle size distribution data. In the present embodiment, the particle size distribution data for each of a plurality of types of particles a and b corrected by the data correction unit 513 is displayed in the same display area in the display unit 53.

図3Aは、表示部53に対する粒子径分布データの表示態様の一例を示した図である。この例では、粒子aの粒子径分布データを表す折れ線グラフG11と、粒子bの粒子径分布データを表す折れ線グラフG12とが、同一の表示領域Dに同時に表示されている。各折れ線グラフG11,G12は、同一の粒子径範囲に対応付けて、それぞれの粒子径範囲における粒子a,bの粒子量を示している。   FIG. 3A is a diagram showing an example of a display mode of particle size distribution data on the display unit 53. In this example, a line graph G11 representing the particle size distribution data of the particles a and a line graph G12 representing the particle size distribution data of the particles b are simultaneously displayed in the same display area D. Each line graph G11, G12 shows the amount of particles a and b in each particle size range in association with the same particle size range.

図3Bは、表示部53に対する粒子径分布データの表示態様の他の例を示した図である。この例では、粒子aの粒子径分布データを表す棒グラフG21と、粒子bの粒子径分布データを表す棒グラフG22とが、同一の表示領域Dに同時に表示されている。各棒グラフG21,G22は、同一の粒子径範囲に対応付けて、それぞれの粒子径範囲における粒子a,bの粒子量を示している。この例では、それぞれの粒子径範囲において各棒グラフG21,G22が積層されて(積算されて)表示されることにより、各粒子径範囲における粒子a,b全体の粒子量の積算値を確認することができるようになっている。   FIG. 3B is a diagram showing another example of a display mode of particle size distribution data on the display unit 53. In this example, a bar graph G21 representing the particle size distribution data of the particles a and a bar graph G22 representing the particle size distribution data of the particles b are simultaneously displayed in the same display area D. Each bar graph G21, G22 indicates the amount of particles a and b in each particle size range in association with the same particle size range. In this example, the bar graphs G21 and G22 are stacked (accumulated) in each particle size range and displayed, thereby confirming the integrated value of the total amount of particles a and b in each particle size range. Can be done.

図3A及び図3Bに例示されるように、本実施形態では、複数種類の粒子a,bごとの粒子径分布データの粒子径範囲を同一として、粒子径分布データ同士を互いに比較しやすくすることができる。したがって、屈折率が異なる複数種類の粒子a,bが混合された試料について、複数種類の粒子a,bごとの粒子径分布を容易に解析することができる。   As illustrated in FIGS. 3A and 3B, in this embodiment, the particle size distribution data for each of a plurality of types of particles a and b are made the same, and the particle size distribution data can be easily compared with each other. Can do. Therefore, the particle size distribution for each of the plurality of types of particles a and b can be easily analyzed for a sample in which a plurality of types of particles a and b having different refractive indexes are mixed.

また、複数種類の粒子a,bごとの粒子径分布データが同一の表示領域Dに表示されるため、粒子径分布データ同士を比較しやすい。特に、複数種類の粒子a,bごとの粒子径分布データの粒子径範囲が同一となるように補正されているため、各粒子径範囲における粒子量を容易に比較することができる。   Moreover, since the particle size distribution data for each of the plurality of types of particles a and b are displayed in the same display area D, it is easy to compare the particle size distribution data. In particular, since the particle size ranges of the particle size distribution data for a plurality of types of particles a and b are corrected to be the same, the amount of particles in each particle size range can be easily compared.

図4は、屈折率が異なる複数種類の粒子が混合された試料の粒子径分布を測定する際の流れを示したフローチャートである。試料中に屈折率が異なる複数種類の粒子が含まれる場合には、それらの屈折率に基づいて係数行列(行列A)が予め生成され、係数行列記憶部543に記憶される(ステップS101:係数行列生成ステップ)。このとき、係数行列は、作業者が操作部52を操作することにより生成されてもよいし、予め生成された係数行列が外部からデータ処理装置5に入力されてもよい。   FIG. 4 is a flowchart showing a flow when measuring a particle size distribution of a sample in which a plurality of types of particles having different refractive indexes are mixed. When a plurality of types of particles having different refractive indexes are included in the sample, a coefficient matrix (matrix A) is generated in advance based on the refractive indexes and stored in the coefficient matrix storage unit 543 (step S101: coefficient). Matrix generation step). At this time, the coefficient matrix may be generated by the operator operating the operation unit 52, or a coefficient matrix generated in advance may be input to the data processing device 5 from the outside.

その後、測定機構1において試料の測定が行われた場合には、その試料からの回折散乱光が検出器17の各受光素子171で受光されることにより光強度分布データが生成され、データ入力受付部511により当該光強度分布データの入力が受け付けられる(ステップS102:データ入力受付ステップ)。ただし、光強度分布データは、測定機構1から直接入力されるような構成に限らず、予め試料を測定することにより得られた光強度分布データが外部からデータ処理装置5に入力されてもよい。   Thereafter, when the sample is measured in the measurement mechanism 1, the light intensity distribution data is generated by receiving the diffraction scattered light from the sample by each light receiving element 171 of the detector 17, and the data input is accepted. The input of the light intensity distribution data is received by the unit 511 (step S102: data input receiving step). However, the light intensity distribution data is not limited to the configuration that is directly input from the measurement mechanism 1, and the light intensity distribution data obtained by measuring the sample in advance may be input to the data processing device 5 from the outside. .

光強度分布データが入力されると、係数行列記憶部543から係数行列(行列A)が読み出され、光強度分布データ及び係数行列に基づいて、粒子径分布データ生成部512により上記式(8)に示す行列演算が行われる。これにより、複数種類の粒子ごとの粒子径分布データが生成され(ステップS103:粒子径分布データ生成ステップ)、生成された粒子径分布データは粒子径分布データ記憶部542に記憶される。   When the light intensity distribution data is input, the coefficient matrix (matrix A) is read from the coefficient matrix storage unit 543, and the particle diameter distribution data generation unit 512 uses the above equation (8) based on the light intensity distribution data and the coefficient matrix. ) Is performed. Thereby, particle size distribution data for each of a plurality of types of particles is generated (step S103: particle size distribution data generation step), and the generated particle size distribution data is stored in the particle size distribution data storage unit 542.

粒子径分布を測定するだけであれば、ステップS103までの処理で終了となるが、測定した粒子径分布を表示部53に表示させる際には、さらにステップS104及びS105の処理が行われる。具体的には、まず、ステップS103で生成された複数種類の粒子ごとの粒子径分布データの粒子径範囲が同一となるように、データ補正部513により各粒子径分布データに対する補正が行われる(ステップS104:データ補正ステップ)。   If only the particle size distribution is measured, the processing up to step S103 is completed. However, when displaying the measured particle size distribution on the display unit 53, the processing of steps S104 and S105 is further performed. Specifically, first, the data correction unit 513 corrects each particle size distribution data so that the particle size ranges of the particle size distribution data for each of the plurality of types of particles generated in step S103 are the same ( Step S104: Data correction step).

その後、補正された各粒子径分布データが、表示処理部514により表示部53の同一の表示領域Dに表示される(ステップS105:表示処理ステップ)。これにより、屈折率が異なる複数種類の粒子が混合された試料について、複数種類の粒子ごとの粒子径分布の測定結果が分かりやすく表示部53に表示される。   Thereafter, each corrected particle size distribution data is displayed on the same display area D of the display unit 53 by the display processing unit 514 (step S105: display processing step). Thereby, the measurement result of the particle size distribution for each of the plurality of types of particles is displayed on the display unit 53 in an easy-to-understand manner for a sample in which a plurality of types of particles having different refractive indexes are mixed.

以上の実施形態では、屈折率が異なる2種類の粒子a,bが試料に含まれる場合について説明したが、屈折率が異なる3種類以上の粒子が試料に含まれていてもよい。この場合、各粒子についての光学モデルを3つ以上横に並べて結合することにより、係数行列(行列A)を生成すればよい。   In the above embodiment, the case where two types of particles a and b having different refractive indexes are included in the sample has been described. However, three or more types of particles having different refractive indexes may be included in the sample. In this case, a coefficient matrix (matrix A) may be generated by combining three or more optical models for each particle side by side.

表示部53に粒子径分布データを表示させる際の態様は、折れ線グラフG11,G12や棒グラフG21,G22に限られるものではない。すなわち、複数種類の粒子ごとの粒子径分布データを同一の表示領域Dに表示させることができるような態様であれば、他のグラフや、グラフ以外の表示態様で粒子径分布データが表示されてもよい。   The mode of displaying the particle size distribution data on the display unit 53 is not limited to the line graphs G11 and G12 and the bar graphs G21 and G22. That is, as long as the particle size distribution data for each of a plurality of types of particles can be displayed in the same display region D, the particle size distribution data is displayed in another graph or a display mode other than the graph. Also good.

また、以上の実施形態では、粒子径分布データを算出するためのデータ処理装置5が、粒子径分布測定装置に備えられた構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、粒子径分布測定装置とは別にデータ処理装置5が設けられた構成であってもよい。この場合、粒子径分布測定装置の測定機構1から出力される光強度分布データは、有線通信又は無線通信を介してデータ処理装置5に入力されるような構成であってもよいし、記憶媒体(図示せず)に一旦記憶された後、当該記憶媒体からデータ処理装置5に入力されるような構成などであってもよい。   In the above embodiment, the configuration in which the data processing device 5 for calculating the particle size distribution data is provided in the particle size distribution measuring device has been described. However, the configuration is not limited to such a configuration, and a configuration in which the data processing device 5 is provided separately from the particle size distribution measuring device may be used. In this case, the light intensity distribution data output from the measurement mechanism 1 of the particle size distribution measuring device may be configured to be input to the data processing device 5 via wired communication or wireless communication. The configuration may be such that the data is once stored in (not shown) and then input to the data processing device 5 from the storage medium.

データ処理装置5は、測定機構1から入力される光強度分布データを、光強度分布データ記憶部541に一旦記憶してから演算に用いるような構成に限らず、外部から入力される光強度分布データから、そのまま粒子径分布データが算出されるような構成であってもよい。   The data processing device 5 is not limited to a configuration in which the light intensity distribution data input from the measurement mechanism 1 is temporarily stored in the light intensity distribution data storage unit 541 and then used for calculation, but the light intensity distribution input from the outside. The particle size distribution data may be calculated from the data as it is.

また、上記実施形態に係るデータ処理装置5のように、光強度分布データに基づいてデータを処理するためのデータ処理装置5を提供することができるだけでなく、データ処理装置5としてコンピュータを機能させるためのプログラム(データ処理プログラム)を提供することも可能である。この場合、上記プログラムは、記憶媒体に記憶された状態で提供されるような構成であってもよいし、有線通信又は無線通信を介してプログラム自体が提供されるような構成であってもよい。   Moreover, not only can the data processing device 5 for processing data based on the light intensity distribution data be provided as in the data processing device 5 according to the above-described embodiment, but also the computer functions as the data processing device 5. It is also possible to provide a program (data processing program) for this purpose. In this case, the program may be configured to be provided in a state stored in a storage medium, or may be configured to provide the program itself via wired communication or wireless communication. .

1 測定機構
2 循環式サンプラ
3 A/D変換器
4 通信部
5 データ処理装置
11 光源
12 集光レンズ
13 空間フィルタ
14 コリメータレンズ
15 フローセル
16 集光レンズ
17 検出器
51 制御部
52 操作部
53 表示部
54 記憶部
171 受光素子
511 データ入力受付部
512 粒子径分布データ生成部
513 データ補正部
514 表示処理部
541 光強度分布データ記憶部
542 粒子径分布データ記憶部
543 係数行列記憶部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Measurement mechanism 2 Circulating sampler 3 A / D converter 4 Communication part 5 Data processing apparatus 11 Light source 12 Condensing lens 13 Spatial filter 14 Collimator lens 15 Flow cell 16 Condensing lens 17 Detector 51 Control part 52 Operation part 53 Display part 54 Storage Unit 171 Light Receiving Element 511 Data Input Accepting Unit 512 Particle Size Distribution Data Generation Unit 513 Data Correction Unit 514 Display Processing Unit 541 Light Intensity Distribution Data Storage Unit 542 Particle Diameter Distribution Data Storage Unit 543 Coefficient Matrix Storage Unit

Claims (6)

屈折率が異なる複数種類の粒子が混合された試料からの回折散乱光を複数の受光素子で受光することにより得られる光強度分布データの入力を受け付けるデータ入力受付ステップと、
屈折率ごとに得られる光学モデルが結合された係数行列を生成する係数行列生成ステップと、
前記光強度分布データ及び前記係数行列に基づいて演算を行うことにより、屈折率が異なる複数種類の粒子ごとの粒子径分布データを生成する粒子径分布データ生成ステップとを含むことを特徴とするデータ処理方法。
A data input receiving step for receiving input of light intensity distribution data obtained by receiving diffraction scattered light from a sample in which a plurality of types of particles having different refractive indexes are mixed with a plurality of light receiving elements;
A coefficient matrix generating step for generating a coefficient matrix in which optical models obtained for each refractive index are combined;
A particle size distribution data generating step for generating particle size distribution data for each of a plurality of types of particles having different refractive indexes by performing calculations based on the light intensity distribution data and the coefficient matrix. Processing method.
前記係数行列生成ステップでは、各列が一次独立である前記係数行列を生成することを特徴とする請求項1に記載のデータ処理方法。   The data processing method according to claim 1, wherein in the coefficient matrix generation step, the coefficient matrix in which each column is linearly independent is generated. 前記粒子径分布データ生成ステップにより生成された複数種類の粒子ごとの粒子径分布データの粒子径範囲が同一となるように補正を行うデータ補正ステップをさらに含むことを特徴とする請求項1又は2に記載のデータ処理方法。   3. A data correction step for correcting the particle size distribution data for each of a plurality of types of particles generated by the particle size distribution data generation step so that the particle size ranges are the same. The data processing method described in 1. 前記データ補正ステップにより補正された複数種類の粒子ごとの粒子径分布データを、同一の表示領域に表示させる表示処理ステップをさらに含むことを特徴とする請求項3に記載のデータ処理方法。   The data processing method according to claim 3, further comprising a display processing step of displaying the particle size distribution data for each of the plurality of types of particles corrected in the data correction step in the same display area. 屈折率が異なる複数種類の粒子が混合された試料からの回折散乱光を複数の受光素子で受光することにより得られる光強度分布データの入力を受け付けるデータ入力受付部と、
屈折率ごとに得られる光学モデルが結合された係数行列を記憶する記憶部と、
前記光強度分布データ及び前記係数行列に基づいて演算を行うことにより、屈折率が異なる複数種類の粒子ごとの粒子径分布データを生成する粒子径分布データ生成部とを備えることを特徴とするデータ処理装置。
A data input receiving unit that receives input of light intensity distribution data obtained by receiving diffraction scattered light from a sample in which a plurality of types of particles having different refractive indexes are mixed with a plurality of light receiving elements;
A storage unit for storing a coefficient matrix combined with an optical model obtained for each refractive index;
Data comprising: a particle size distribution data generation unit that generates particle size distribution data for each of a plurality of types of particles having different refractive indexes by performing calculations based on the light intensity distribution data and the coefficient matrix. Processing equipment.
屈折率が異なる複数種類の粒子が混合された試料からの回折散乱光を複数の受光素子で受光することにより得られる光強度分布データの入力を受け付けるデータ入力受付部と、
前記光強度分布データ、及び、屈折率ごとに得られる光学モデルが結合された係数行列に基づいて演算を行うことにより、屈折率が異なる複数種類の粒子ごとの粒子径分布データを生成する粒子径分布データ生成部としてコンピュータを機能させることを特徴とするデータ処理プログラム。
A data input receiving unit that receives input of light intensity distribution data obtained by receiving diffraction scattered light from a sample in which a plurality of types of particles having different refractive indexes are mixed with a plurality of light receiving elements;
A particle size that generates particle size distribution data for a plurality of types of particles having different refractive indexes by performing calculations based on the light intensity distribution data and a coefficient matrix in which optical models obtained for each refractive index are combined. A data processing program for causing a computer to function as a distribution data generation unit.
JP2016163831A 2016-08-24 2016-08-24 Data processing method, data processing apparatus, and data processing program Active JP6579059B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016163831A JP6579059B2 (en) 2016-08-24 2016-08-24 Data processing method, data processing apparatus, and data processing program

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016163831A JP6579059B2 (en) 2016-08-24 2016-08-24 Data processing method, data processing apparatus, and data processing program

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018031660A JP2018031660A (en) 2018-03-01
JP6579059B2 true JP6579059B2 (en) 2019-09-25

Family

ID=61304317

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016163831A Active JP6579059B2 (en) 2016-08-24 2016-08-24 Data processing method, data processing apparatus, and data processing program

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6579059B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022270208A1 (en) 2021-06-21 2022-12-29 富士フイルム株式会社 Light scattering measurement device and light scattering measurement method
EP4361594A1 (en) * 2021-06-21 2024-05-01 FUJIFILM Corporation Particle measurement device and particle measurement method

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0224533A (en) * 1988-07-13 1990-01-26 Shimadzu Corp Apparatus for measuring distribution of grain size
JP3058571B2 (en) * 1994-11-05 2000-07-04 株式会社堀場製作所 Particle size distribution analysis method
JP5088288B2 (en) * 2008-10-21 2012-12-05 株式会社島津製作所 Particle size distribution measuring apparatus and particle size distribution measuring program
JP5418383B2 (en) * 2010-04-13 2014-02-19 株式会社島津製作所 Particle size distribution measuring apparatus and program
US9377481B1 (en) * 2010-06-16 2016-06-28 The United States Of America As Represented By The Administrator Of National Aeronautics And Space Administration Multi-parameter scattering sensor and methods
JP6218453B2 (en) * 2013-06-24 2017-10-25 株式会社堀場製作所 Particle size distribution measuring device
JP6240416B2 (en) * 2013-06-24 2017-11-29 株式会社堀場製作所 Particle size distribution measuring device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018031660A (en) 2018-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108327255A (en) The system and method for additivity the manufacture built-in assessment and correction of laser alignment precision for multi-laser system
Zieleniewski et al. HSIM: a simulation pipeline for the HARMONI integral field spectrograph on the European ELT
CN103592108A (en) CCD chip modulation transfer function test device and method
JP6579059B2 (en) Data processing method, data processing apparatus, and data processing program
JP6880059B2 (en) Program for particle size distribution measuring device and particle size distribution measuring device
JP6555164B2 (en) Particle size distribution measuring apparatus, data processing method, and data processing program
JP6772838B2 (en) Image information processing device, image information processing system, image information processing method, and image information processing program
JP5088288B2 (en) Particle size distribution measuring apparatus and particle size distribution measuring program
JP6112025B2 (en) Data processing device for particle size distribution measurement, particle size distribution measuring device equipped with the same, data processing method for particle size distribution measurement, and data processing program for particle size distribution measurement
JP6277973B2 (en) Bubble diameter distribution measuring method and bubble diameter distribution measuring apparatus
CN108871559B (en) Calibration method of light beam quality β factor measurement system
JP5915758B2 (en) Particle size distribution data processing device, particle size distribution measuring device including the same, particle size distribution data processing method, and particle size distribution data processing program
JP6900789B2 (en) Data processing method, data processing device and data processing program for measuring bubble diameter distribution
JP6065127B2 (en) Data processing device for particle size distribution measurement, particle size distribution measuring device equipped with the same, data processing method for particle size distribution measurement, and data processing program for particle size distribution measurement
JP2016211945A (en) Particle size distribution measuring apparatus, particle size distribution measuring method and particle size distribution measuring program
JP6787278B2 (en) Particle size distribution measuring device and particle size distribution measuring method
CN113432731B (en) Compensation method in grating transverse shearing interference wavefront reconstruction process
JP6729724B2 (en) Data processing device and data processing program
CN109844453B (en) Display device
JP2016173278A (en) Refractive index measured data processing device
Braig et al. Diffraction compensation of slope errors on strongly curved grating substrates
WO2018070411A1 (en) Particle diameter distribution measurement device and program for particle diameter distribution measurement device
JP6923931B2 (en) Necessary component separation method for thickness and shape measurement
JP6695553B2 (en) Display control device and particle size distribution measuring device
WO2019235391A1 (en) Beam-quality evaluation method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20181129

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190711

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190730

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190812

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6579059

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151