JP6577898B2 - Liquid mixture supply jig and method of manufacturing separation membrane structure using the same - Google Patents

Liquid mixture supply jig and method of manufacturing separation membrane structure using the same Download PDF

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Description

本発明は、液状混合物供給治具、及びそれを用いた分離膜構造体の製造方法に関する。   The present invention relates to a liquid mixture supply jig and a method for producing a separation membrane structure using the same.

従来、多孔質体に設けられた1以上の貫通孔の内表面に多孔質膜を成膜する手法として、流下法が知られている(例えば、特許文献1参照)。流下法とは、多孔質体の上端に固定した漏斗を用いて、1以上の貫通孔に液状混合物を流し込む手法である。   Conventionally, a flow-down method is known as a technique for forming a porous film on the inner surface of one or more through holes provided in a porous body (see, for example, Patent Document 1). The flow-down method is a method in which a liquid mixture is poured into one or more through holes using a funnel fixed to the upper end of a porous body.

特開2009−189941号公報JP 2009-189941 A

しかしながら、漏斗を用いて液状混合物を流し込んだ場合、多孔質体に液状混合物を均一に供給することが困難であるため、貫通孔の内表面に多孔質膜の膜厚が不均一になりやすい。具体的には、多孔質体が1つの貫通孔を有する場合、当該貫通孔の内表面に成膜される多孔質膜において膜厚差が生じやすく、多孔質体が複数の貫通孔を有する場合、各貫通孔の内表面に成膜される多孔質膜間において膜厚差が生じやすい。   However, when the liquid mixture is poured using a funnel, it is difficult to uniformly supply the liquid mixture to the porous body, and thus the film thickness of the porous film tends to be uneven on the inner surface of the through hole. Specifically, when the porous body has one through hole, a film thickness difference is likely to occur in the porous film formed on the inner surface of the through hole, and the porous body has a plurality of through holes. A film thickness difference is likely to occur between the porous films formed on the inner surface of each through hole.

本発明は、上述の状況に鑑みてなされたものであり、多孔質体に液状混合物を均一に供給可能な液状混合物供給治具、及びそれを用いた分離膜構造体の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above situation, and provides a liquid mixture supply jig capable of uniformly supplying a liquid mixture to a porous body, and a method of manufacturing a separation membrane structure using the same. With the goal.

本発明に係る液状混合物供給治具は、1以上の貫通孔を有する多孔質体に液状混合物を供給するための液状混合物供給治具であって、第1面から第2面まで連通する複数の流路を有する治具本体を備える。   A liquid mixture supply jig according to the present invention is a liquid mixture supply jig for supplying a liquid mixture to a porous body having one or more through-holes, and includes a plurality of pieces communicated from a first surface to a second surface. A jig body having a flow path is provided.

本発明によれば、多孔質体に液状混合物を均一に供給可能な液状混合物供給治具、及びそれを用いた分離膜構造体の製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the separation membrane structure using the liquid mixture supply jig | tool which can supply a liquid mixture uniformly to a porous body, and it can be provided.

分離膜構造体の斜視図Perspective view of separation membrane structure 図1のA−A断面図AA sectional view of FIG. 液状混合物供給治具を上方から見た斜視図A perspective view of the liquid mixture supply jig as seen from above 液状混合物供給治具を下方から見た斜視図The perspective view which looked at the liquid mixture supply jig from the lower part 液状混合物供給治具を第2面側から見た平面図A plan view of the liquid mixture supply jig viewed from the second surface side 分離膜構造体の製造方法を説明するための断面図Sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of a separation membrane structure 分離膜構造体の製造方法を説明するための断面図Sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of a separation membrane structure 分離膜構造体の製造方法を説明するための断面図Sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of a separation membrane structure

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には、同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なっている場合がある。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, the drawings are schematic, and the ratio of each dimension may be different from the actual one.

(分離膜構造体10の構成)
図1は、分離膜構造体10の斜視図である。図2は、図1のA−A断面図である。分離膜構造体10は、支持体20、第1シール部21、第2シール部22及び分離膜23を備える。
(Configuration of separation membrane structure 10)
FIG. 1 is a perspective view of the separation membrane structure 10. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. The separation membrane structure 10 includes a support 20, a first seal portion 21, a second seal portion 22, and a separation membrane 23.

支持体20は、濾過対象の混合流体(混合液体又は混合気体)を流通させるための複数の濾過セルCLを有するモノリス形状に形成される。「モノリス形状」とは、長手方向に形成された複数の連通孔を有する形状を意味し、ハニカム形状を含む概念である。ただし、支持体20の外形は、モノリス形状に限られるものではなく、濾過セルCLを1つ以上有していればよい。   The support 20 is formed in a monolith shape having a plurality of filtration cells CL for circulating a mixed fluid (mixed liquid or mixed gas) to be filtered. The “monolith shape” means a shape having a plurality of communication holes formed in the longitudinal direction, and is a concept including a honeycomb shape. However, the outer shape of the support 20 is not limited to a monolithic shape, and may have one or more filtration cells CL.

支持体20の長さは特に制限されないが、例えば150mm〜2000mmとすることができる。支持体20の直径は特に制限されないが、例えば30mm〜220mmとすることができる。   Although the length in particular of the support body 20 is not restrict | limited, For example, it can be 150 mm-2000 mm. Although the diameter in particular of the support body 20 is not restrict | limited, For example, it can be set as 30 mm-220 mm.

支持体20は、第1端面S1、第2端面S2及び側面S3を有する。第1端面S1は、第2端面S2の反対に設けられる。側面S3は、第1端面S1と第2端面S2に連なる。各濾過セルCLは、第1端面S1から第2端面S2まで支持体20を貫通している。各濾過セルCLは、支持体20の長手方向に延びる。本実施形態において、各濾過セルCLの断面は円形であるが、円形に限られるものではなく三角形以上の多角形であってもよい。   The support 20 has a first end surface S1, a second end surface S2, and a side surface S3. The first end surface S1 is provided opposite to the second end surface S2. The side surface S3 is continuous with the first end surface S1 and the second end surface S2. Each filtration cell CL penetrates the support 20 from the first end surface S1 to the second end surface S2. Each filtration cell CL extends in the longitudinal direction of the support 20. In the present embodiment, the cross section of each filtration cell CL is circular, but is not limited to a circular shape, and may be a polygon more than a triangle.

本実施形態において、支持体20は、図2に示すように、基材20aと中間層20bと表層20cを有する。   In this embodiment, the support body 20 has the base material 20a, the intermediate | middle layer 20b, and the surface layer 20c, as shown in FIG.

基材20aは、多孔質材料によって構成される。多孔質材料としては、例えば、セラミックス焼結体、金属、有機高分子、ガラス、或いはカーボンなどを用いることができる。セラミックス焼結体としては、アルミナ、シリカ、ムライト、ジルコニア、チタニア、イットリア、窒化ケイ素、炭化ケイ素などが挙げられる。金属としては、アルミニウム、鉄、ブロンズ、銀、ステンレスなどが挙げられる。有機高分子としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリスルホン、ポリイミドなどが挙げられる。   The base material 20a is made of a porous material. As the porous material, for example, a ceramic sintered body, metal, organic polymer, glass, or carbon can be used. Examples of the ceramic sintered body include alumina, silica, mullite, zirconia, titania, yttria, silicon nitride, and silicon carbide. Examples of the metal include aluminum, iron, bronze, silver, and stainless steel. Examples of the organic polymer include polyethylene, polypropylene, polytetrafluoroethylene, polysulfone, and polyimide.

基材20aは、無機結合材を含んでいてもよい。無機結合材としては、チタニア、ムライト、易焼結性アルミナ、シリカ、ガラスフリット、粘土鉱物、易焼結性コージェライトのうち少なくとも一つを用いることができる。   The base material 20a may contain an inorganic binder. As the inorganic binder, at least one of titania, mullite, easily sinterable alumina, silica, glass frit, clay mineral, and easily sinterable cordierite can be used.

基材20aの平均細孔径は、例えば5μm〜25μmとすることができる。基材20aの平均細孔径は、水銀ポロシメーターによって測定できる。基材20aの気孔率は、例えば25%〜50%とすることができる。基材20aを構成する多孔質材料の平均粒径は、例えば5μm〜100μmとすることができる。本実施形態において、「平均粒径」とは、SEM(Scanning Electron Microscope)を用いた断面微構造観察によって測定される30個の測定対象粒子の最大直径を算術平均した値である。   The average pore diameter of the base material 20a can be set to, for example, 5 μm to 25 μm. The average pore diameter of the substrate 20a can be measured with a mercury porosimeter. The porosity of the base material 20a can be set to 25% to 50%, for example. The average particle diameter of the porous material constituting the substrate 20a can be set to 5 μm to 100 μm, for example. In the present embodiment, the “average particle diameter” is a value obtained by arithmetically averaging the maximum diameters of 30 measurement target particles measured by cross-sectional microstructure observation using SEM (Scanning Electron Microscope).

中間層20bは、基材20a上に形成される。中間層20bは、基材20aに用いることのできる上記多孔質材料によって構成することができる。中間層20bの平均細孔径は、基材20aの平均細孔径より小さくてもよく、例えば0.005μm〜5μmとすることができる。中間層20bの平均細孔径は、パームポロメーターによって測定することができる。中間層20bの気孔率は、例えば20%〜60%とすることができる。中間層20bの厚みは、例えば30μm〜300μmとすることができる。   The intermediate layer 20b is formed on the base material 20a. The intermediate layer 20b can be composed of the porous material that can be used for the base material 20a. The average pore diameter of the intermediate layer 20b may be smaller than the average pore diameter of the substrate 20a, and may be, for example, 0.005 μm to 5 μm. The average pore diameter of the intermediate layer 20b can be measured with a palm porometer. The porosity of the intermediate layer 20b can be set to, for example, 20% to 60%. The thickness of the intermediate layer 20b can be, for example, 30 μm to 300 μm.

表層20cは、中間層20b上に形成される。表層20cは、基材20aに用いることのできる上記多孔質材料によって構成することができる。表層20cの平均細孔径は、中間層20bの平均細孔径より小さくてもよく、例えば0.001μm〜2μmとすることができる。表層20cの平均細孔径は、パームポロメーターによって測定することができる。表層20cの気孔率は、例えば20%〜60%とすることができる。表層20cの厚みは、例えば1μm〜50μmとすることができる。   The surface layer 20c is formed on the intermediate layer 20b. The surface layer 20c can be comprised with the said porous material which can be used for the base material 20a. The average pore diameter of the surface layer 20c may be smaller than the average pore diameter of the intermediate layer 20b, and may be, for example, 0.001 μm to 2 μm. The average pore diameter of the surface layer 20c can be measured with a palm porometer. The porosity of the surface layer 20c can be set to, for example, 20% to 60%. The thickness of the surface layer 20c can be set to 1 μm to 50 μm, for example.

第1シール部21は、第1端面S1の略全面と側面S3の一部とを覆う。第1シール部21は、混合流体が支持体20の第1端面S1に浸潤することを抑制する。第1シール部21を構成する材料としては、ガラス、金属及び樹脂などを用いることができ、支持体20の熱膨張係数との整合性を考慮するとガラスが好適である。   The first seal portion 21 covers substantially the entire first end surface S1 and part of the side surface S3. The first seal portion 21 suppresses the mixed fluid from infiltrating the first end surface S <b> 1 of the support 20. As a material constituting the first seal portion 21, glass, metal, resin, or the like can be used, and glass is suitable in consideration of consistency with the thermal expansion coefficient of the support 20.

第2シール部22は、第2端面S2の略全面と側面S3の一部とを覆う。第2シール部22は、混合流体が支持体20の第2端面S2に浸潤することを抑制する。第2シール部22を構成する材料としては、ガラス、金属及び樹脂などを用いることができ、支持体20の熱膨張係数との整合性を考慮するとガラスが好適である。   The second seal portion 22 covers substantially the entire second end surface S2 and a part of the side surface S3. The second seal portion 22 suppresses the mixed fluid from infiltrating the second end surface S <b> 2 of the support 20. As a material constituting the second seal portion 22, glass, metal, resin, or the like can be used, and glass is preferable in consideration of consistency with the thermal expansion coefficient of the support 20.

分離膜23は、支持体20に形成された各濾過セルCLの内表面に形成される。分離膜23は、筒状に形成される。   The separation membrane 23 is formed on the inner surface of each filtration cell CL formed on the support 20. The separation membrane 23 is formed in a cylindrical shape.

分離膜23を構成する材料としては、無機材料や金属などを用いることができる。分離膜23の無機材料としては、ゼオライト、炭素及びシリカなどが挙げられる。分離膜23を構成するゼオライトの結晶構造は特に限られるものではなく、例えばLTA、MFI、MOR、FER、FAU、DDR、CHA、BEAなどを用いることができる。分離膜23がDDR型ゼオライト膜である場合には、二酸化炭素を選択的に分離するためのガス分離膜として好適に用いることができる。分離膜23の金属材料としては、パラジウムなどが挙げられる。   As a material constituting the separation membrane 23, an inorganic material, a metal, or the like can be used. Examples of the inorganic material for the separation membrane 23 include zeolite, carbon, and silica. The crystal structure of the zeolite constituting the separation membrane 23 is not particularly limited, and for example, LTA, MFI, MOR, FER, FAU, DDR, CHA, BEA and the like can be used. When the separation membrane 23 is a DDR type zeolite membrane, it can be suitably used as a gas separation membrane for selectively separating carbon dioxide. Examples of the metal material of the separation membrane 23 include palladium.

分離膜23の厚みは、分離膜23を構成する材料種によって任意に設定できるが、混合流体のうち分離膜23を透過する透過成分の透過量を考慮すると、10μm以下であることが好ましく、5μm以下であることがより好ましい。   The thickness of the separation membrane 23 can be arbitrarily set depending on the material type constituting the separation membrane 23, but is preferably 10 μm or less in consideration of the permeation amount of the permeable component that permeates the separation membrane 23 in the mixed fluid. The following is more preferable.

(液状混合物供給治具30)
次に、分離膜構造体10の製造に用いられる液状混合物供給治具30の構成について説明する。図3は、液状混合物供給治具30を上方から見た斜視図である。図4は、液状混合物供給治具30を下方から見た斜視図である。
(Liquid mixture supply jig 30)
Next, the configuration of the liquid mixture supply jig 30 used for manufacturing the separation membrane structure 10 will be described. FIG. 3 is a perspective view of the liquid mixture supply jig 30 as viewed from above. FIG. 4 is a perspective view of the liquid mixture supply jig 30 as viewed from below.

液状混合物供給治具30は、治具本体31、網状体32及び複数の毛片33を備える。   The liquid mixture supply jig 30 includes a jig body 31, a mesh body 32, and a plurality of hair pieces 33.

治具本体31は、円柱状に形成される。治具本体31の外形は、分離膜構造体10の外形に合っていればよく、円柱状には限られない。治具本体31は、第1面T1、第2面T2、第3面T3及び複数の流路FCを有する。第1面T1は、第2面T2の反対に設けられる。第3面T3は、第1面T1と第2面T2に連なる。各流路FCは、第1面T1から第2面T2まで連通する。各流路FCの位置は特に制限されないが、全体的に均等に散在していることが好ましく、支持体20の各濾過セルCLの位置と合致していることが特に好ましい。各流路FCの内径は特に制限されないが、各濾過セルCLの内径と同等又はそれ以上であることが好ましい。   The jig body 31 is formed in a cylindrical shape. The outer shape of the jig body 31 is not limited to a cylindrical shape as long as it matches the outer shape of the separation membrane structure 10. The jig body 31 has a first surface T1, a second surface T2, a third surface T3, and a plurality of flow paths FC. The first surface T1 is provided opposite to the second surface T2. The third surface T3 is continuous with the first surface T1 and the second surface T2. Each flow path FC communicates from the first surface T1 to the second surface T2. The position of each flow path FC is not particularly limited, but is preferably evenly distributed as a whole, and particularly preferably coincident with the position of each filtration cell CL of the support 20. The inner diameter of each flow path FC is not particularly limited, but is preferably equal to or larger than the inner diameter of each filtration cell CL.

網状体32は、治具本体31の第2面T2側に配置される。本実施形態において、網状体32は、治具本体31の第2面T2に固定されている。網状体32の外縁は、例えば接着剤によって第2面T2に貼付することができる。網状体32は、網状に形成されていればよく、その網目の形状及びサイズは特に制限されるものではない。網状体32の形状及びサイズは、第2面T2の平面形状に合っていることが好ましい。網状体32は、例えばPP(ポリプロピレン)やナイロンなどの樹脂によって構成することができる。   The net-like body 32 is disposed on the second surface T2 side of the jig body 31. In the present embodiment, the mesh body 32 is fixed to the second surface T <b> 2 of the jig body 31. The outer edge of the net-like body 32 can be attached to the second surface T2 with an adhesive, for example. The net body 32 only needs to be formed in a net shape, and the shape and size of the net are not particularly limited. The shape and size of the net-like body 32 are preferably matched to the planar shape of the second surface T2. The net-like body 32 can be made of a resin such as PP (polypropylene) or nylon.

各毛片33は、治具本体31の第2面T2側に配置される。各毛片33は、網状体32に固定されている。各毛片33は、例えば接着剤によって網状体32に貼付することができる。各毛片33は、毛状に形成されていればよく、その形状、長さ及び太さは特に制限されるものではない。各毛片33は、直線状に形成されていてもよいし、波線状に形成されていてもよい。さらに、毛片の先端形状は、球状、針状、平状などにすることができる。各毛片33の長さは、例えば0.5mm以上10mm以下とすることができる。各毛片33の太さは、例えば0.01mm以上1mm以下とすることができる。   Each hair piece 33 is disposed on the second surface T2 side of the jig body 31. Each hair piece 33 is fixed to the mesh body 32. Each hair piece 33 can be affixed to the mesh body 32 by, for example, an adhesive. Each hair piece 33 should just be formed in hair shape, The shape, length, and thickness are not restrict | limited in particular. Each hair piece 33 may be formed in a straight line shape or may be formed in a wavy line shape. Furthermore, the tip shape of the hair piece can be spherical, needle-like, flat or the like. The length of each hair piece 33 can be 0.5 mm or more and 10 mm or less, for example. The thickness of each hair piece 33 can be, for example, 0.01 mm or more and 1 mm or less.

本実施形態では、複数の毛片33の一部によって複数の毛束34が形成されている。各毛束34は、全体として円柱状に形成される。各毛束34は、治具本体31の第2面T2に形成された各流路FCの流出口の外側に配置される。すなわち、各毛束34は、各流路FCの流出口から外向きに突出するように配置される。各毛束34に含まれる毛片33の本数は特に制限されないが、例えば1本以上1000本以下とすることができる。各流路FCから流出する液状混合物を効果的に散布することを考慮すると、例えば、毛片33の太さを0.1mm、貫通孔の内径を2mmとした場合、各毛束34に含まれる毛片33は100本以上であることが好ましい。各流路FCからスムーズに液状混合物を流出させることを考慮すると、各毛束34に含まれる毛片33は300本以下であることが好ましい。但し、毛片33の太さや本数は液状混合物の粘性などの性状によって適宜変更することができる。   In the present embodiment, a plurality of hair bundles 34 are formed by a part of the plurality of hair pieces 33. Each hair bundle 34 is formed in a columnar shape as a whole. Each bristle bundle 34 is arranged outside the outlet of each flow path FC formed on the second surface T2 of the jig body 31. That is, each hair bundle 34 is disposed so as to protrude outward from the outlet of each flow path FC. The number of hair pieces 33 included in each hair bundle 34 is not particularly limited, but may be, for example, 1 or more and 1000 or less. Considering that the liquid mixture flowing out from each flow channel FC is effectively dispersed, for example, when the thickness of the hair piece 33 is 0.1 mm and the inner diameter of the through hole is 2 mm, the hair pieces included in each hair bundle 34 33 is preferably 100 or more. Considering that the liquid mixture flows out smoothly from each flow path FC, it is preferable that the number of hair pieces 33 included in each hair bundle 34 is 300 or less. However, the thickness and number of the hair pieces 33 can be appropriately changed depending on properties such as the viscosity of the liquid mixture.

ここで、図5は、治具本体31の第2面T2に形成された流路FCの流出口の平面図である。図5に示すように、毛束34は、平面視において、流路FCの流出口の内側に配置されている。毛束34は、平面視において、流路FCの流出口と同じ形状(すなわち、円形)に配置されている。毛束34に含まれる複数の毛片33は、平面視において、流路FCの流出口の内側に散在している。複数の毛片33は、平面視において、流路FCの流出口の内側に均等に配置されていることが好ましい。   Here, FIG. 5 is a plan view of the outlet of the flow path FC formed on the second surface T2 of the jig body 31. FIG. As shown in FIG. 5, the hair bundle 34 is disposed inside the outlet of the flow path FC in a plan view. The hair bundle 34 is arranged in the same shape (that is, circular) as the outlet of the flow path FC in plan view. The plurality of hair pieces 33 included in the hair bundle 34 are scattered inside the outlet of the flow path FC in a plan view. The plurality of hair pieces 33 are preferably arranged evenly on the inside of the outlet of the flow path FC in plan view.

ここで、流路FCの流出口の総面積における毛束34(複数の毛片33)の占有面積率は、0.5%以上10%以下とすることができる。流路FCの流出口の総面積における毛束34の占有面積率を0.5%以上とすることによって、流路FCから流出する液状混合物を効果的に散布することができる。流路FCの流出口の総面積における毛束34の占有面積率を10%以下とすることによって、流路FCからスムーズに液状混合物を流出させることができる。   Here, the occupied area ratio of the hair bundle 34 (the plurality of hair pieces 33) in the total area of the outlet of the flow path FC can be 0.5% or more and 10% or less. By setting the occupation area ratio of the hair bundle 34 in the total area of the outlet of the channel FC to 0.5% or more, the liquid mixture flowing out from the channel FC can be effectively dispersed. By setting the occupied area ratio of the hair bundle 34 in the total area of the outlet of the flow channel FC to 10% or less, the liquid mixture can be smoothly flowed out from the flow channel FC.

(分離膜構造体の製造方法)
分離膜構造体10の製造方法について説明する。図6乃至図8は、分離膜構造体10の製造方法を説明するための断面図である。
(Method for producing separation membrane structure)
A method for manufacturing the separation membrane structure 10 will be described. 6 to 8 are cross-sectional views for explaining a method for manufacturing the separation membrane structure 10.

(1)支持体20の形成
まず、押出成形法、プレス成形法あるいは鋳込み成形法などを用いて、基材20aの原料を所望の形状に成形することによって基材20aの成形体を形成する。次に、基材20aの成形体を焼成(例えば、900℃〜1450℃)して基材20aを形成する。本実施形態において、基材20aは、「多孔質体」の一例である。本実施形態に係る基材20aは、図6に示すように、複数の濾過セルCLを形成するための複数の貫通孔THを有する。
(1) Formation of Support 20 First, a molded body of the base 20a is formed by molding the raw material of the base 20a into a desired shape using an extrusion molding method, a press molding method, a casting molding method, or the like. Next, the molded body of the base material 20a is fired (for example, 900 ° C. to 1450 ° C.) to form the base material 20a. In the present embodiment, the base material 20a is an example of a “porous body”. As shown in FIG. 6, the base material 20a according to the present embodiment has a plurality of through holes TH for forming a plurality of filtration cells CL.

次に、図6に示すように、基材20aの上端部を漏斗40の下端部に固定する。漏斗40は、漏斗本体41とバタフライ弁42を有する。漏斗本体41は、貯留部41aと流下部41bを有する。バタフライ弁42は、漏斗本体41の内部に配置される。バタフライ弁42は、漏斗本体41の貯留部41aと流下部41bの間に配置される。バタフライ弁42は、軸42aを中心として開閉可能である。バタフライ弁42の下方には、上述した液状混合物供給治具30が配置される。液状混合物供給治具30は、漏斗本体41の流下部41b内に固定されている。本実施形態では、液状混合物供給治具30の各流路FCは、基材20aの各濾過セルCLの鉛直上方に位置する。   Next, as shown in FIG. 6, the upper end portion of the base material 20 a is fixed to the lower end portion of the funnel 40. The funnel 40 has a funnel body 41 and a butterfly valve 42. The funnel body 41 has a storage part 41a and a flow part 41b. The butterfly valve 42 is disposed inside the funnel body 41. The butterfly valve 42 is disposed between the storage part 41a and the flow lower part 41b of the funnel body 41. The butterfly valve 42 can be opened and closed about a shaft 42a. Below the butterfly valve 42, the liquid mixture supply jig 30 described above is disposed. The liquid mixture supply jig 30 is fixed in the flow lower part 41 b of the funnel body 41. In this embodiment, each flow path FC of the liquid mixture supply jig 30 is positioned vertically above each filtration cell CL of the substrate 20a.

次に、所望の粒径のセラミックス原料を用いて中間層用スラリーを調製し、図6に示すように、中間層用スラリーを漏斗本体41の貯留部41aに貯留する。この際、バタフライ弁42は閉じられている。本実施形態において、中間層用スラリーは、「液状混合物」の一例である。   Next, an intermediate layer slurry is prepared using a ceramic raw material having a desired particle diameter, and the intermediate layer slurry is stored in the storage portion 41a of the funnel body 41 as shown in FIG. At this time, the butterfly valve 42 is closed. In the present embodiment, the intermediate layer slurry is an example of a “liquid mixture”.

次に、バタフライ弁42を開くことによって、中間層用スラリーを流下させる。図7に示すように、バタフライ弁42を開き始めた時点では、中間層用スラリーは流下部41bの内壁に沿って不均一に流下するが、液状混合物供給治具30によって堰き止められて一時的に貯留される。液状混合物供給治具30上に一時的に貯留された中間層用スラリーは、図8に示すように、液状混合物供給治具30の各流路FCから均等に流出する。各流路FCから流出する中間層用スラリーは、各流路FCの下方に配置された毛束34によってさらに均等に整流される。毛束34は、濾過セルCLの流入口に近接していることが好ましい。これによって、流路FCから濾過セルCLにスムーズに液状混合物を流し込むことができる。   Next, the intermediate layer slurry is caused to flow by opening the butterfly valve 42. As shown in FIG. 7, when the butterfly valve 42 starts to open, the intermediate layer slurry flows non-uniformly along the inner wall of the flow lower portion 41 b, but is temporarily blocked by the liquid mixture supply jig 30. It is stored in. As shown in FIG. 8, the intermediate layer slurry temporarily stored on the liquid mixture supply jig 30 flows out uniformly from the respective channels FC of the liquid mixture supply jig 30. The intermediate layer slurry flowing out from each flow channel FC is further rectified more evenly by the hair bundle 34 disposed below each flow channel FC. The hair bundle 34 is preferably close to the inlet of the filtration cell CL. Thereby, the liquid mixture can be smoothly poured from the flow path FC into the filtration cell CL.

そして、上述のとおり、液状混合物供給治具30の各流路FCが基材20aの各濾過セルCLの鉛直上方に位置しているため、毛束34によって整流された中間層用スラリーは、基材20aの各濾過セルCLに均等に流れ込んで各濾過セルCLの内部を流下する。これによって、基材20aの内表面に中間層20bの成形体が成膜される。   And as above-mentioned, since each flow path FC of the liquid mixture supply jig | tool 30 is located in the vertically upper direction of each filtration cell CL of the base material 20a, the slurry for intermediate | middle layers rectified by the hair | bristle bundle 34 is a base. It flows evenly into each filtration cell CL of the material 20a and flows down inside each filtration cell CL. As a result, a formed body of the intermediate layer 20b is formed on the inner surface of the substrate 20a.

次に、中間層20bの成形体を焼成(例えば、900℃〜1450℃)して中間層20bを形成する。上述のとおり、中間層20bの成形体は、液状混合物供給治具30の各流路FCから中間層用スラリーを均等に流出させて成膜したものであるため、各中間層20b間における膜厚差が抑えられている。本実施形態において、中間層20bは、「多孔質膜」の一例である。   Next, the molded body of the intermediate layer 20b is fired (for example, 900 ° C. to 1450 ° C.) to form the intermediate layer 20b. As described above, the molded body of the intermediate layer 20b is formed by uniformly flowing the slurry for the intermediate layer from each flow path FC of the liquid mixture supply jig 30, and thus the film thickness between the intermediate layers 20b. The difference is suppressed. In the present embodiment, the intermediate layer 20b is an example of a “porous membrane”.

次に、所望の粒径のセラミックス原料を用いて表層用スラリーを調製し、中間層用スラリーと同様(図6参照)、漏斗本体41の貯留部41aに貯留する。そして、バタフライ弁42を開くことによって、表層用スラリーを流下させる。表層用スラリーは、中間層用スラリーと同様(図7及び図8参照)、液状混合物供給治具30上に一時的に貯留された後、各流路FCから各濾過セルCLに均等に流れ込む。これによって、中間層20bの内表面に表層20cの成形体が成膜される。   Next, a surface layer slurry is prepared using a ceramic raw material having a desired particle diameter, and is stored in the storage portion 41a of the funnel body 41 in the same manner as the intermediate layer slurry (see FIG. 6). Then, the surface layer slurry is caused to flow down by opening the butterfly valve 42. Similar to the intermediate layer slurry (see FIGS. 7 and 8), the surface layer slurry is temporarily stored on the liquid mixture supply jig 30 and then uniformly flows into each filtration cell CL from each channel FC. Thereby, a molded body of the surface layer 20c is formed on the inner surface of the intermediate layer 20b.

次に、表層20cの成形体を焼成(例えば、900℃〜1450℃)して表層20cを形成する。上述のとおり、表層20cの成形体は、液状混合物供給治具30の各流路FCから表層用スラリーを均等に流出させて成膜したものであるため、各表層20c間における膜厚差が抑えられている。以上により、支持体20が完成する。本実施形態において、中間層20bが形成された基材20aは「多孔質体」の一例であり、表層20cは「多孔質膜」の一例である。   Next, the molded body of the surface layer 20c is fired (for example, 900 ° C. to 1450 ° C.) to form the surface layer 20c. As described above, the molded body of the surface layer 20c is formed by uniformly flowing the surface layer slurry from the respective flow paths FC of the liquid mixture supply jig 30, so that the difference in film thickness between the surface layers 20c is suppressed. It has been. Thus, the support 20 is completed. In the present embodiment, the base material 20a on which the intermediate layer 20b is formed is an example of a “porous body”, and the surface layer 20c is an example of a “porous film”.

(2)分離膜23の形成
表層20cの内表面に分離膜23を形成する。分離膜23は、膜種に応じた従来既知の手法で形成することができる。以下、分離膜23の形成手法の一例としてゼオライト膜、シリカ膜及び炭素膜それぞれの形成方法を順次説明する。なお、本実施形態において、中間層20b及び表層20cが形成された基材20a(すなわち、支持体20)は「多孔質体」の一例であり、分離膜23は「多孔質膜」の一例である。
(2) Formation of separation membrane 23 The separation membrane 23 is formed on the inner surface of the surface layer 20c. The separation membrane 23 can be formed by a conventionally known method according to the type of membrane. Hereinafter, a method for forming each of the zeolite membrane, the silica membrane, and the carbon membrane will be sequentially described as an example of a method for forming the separation membrane 23. In the present embodiment, the base material 20a (that is, the support 20) on which the intermediate layer 20b and the surface layer 20c are formed is an example of a “porous body”, and the separation membrane 23 is an example of a “porous membrane”. is there.

・ゼオライト膜
まず、ゼオライト種結晶を含む種結晶溶液を表層20cの内表面に塗布する。この際、上述した中間層用スラリーと同様(図6〜図8参照)、種結晶溶液を流下法で表層20cの内表面に塗布することが好ましい。これによって、ゼオライト種結晶を表層20cの内表面に均等に塗布することができる。
-Zeolite membrane First, the seed crystal solution containing a zeolite seed crystal is apply | coated to the inner surface of the surface layer 20c. Under the present circumstances, it is preferable to apply | coat a seed crystal solution to the inner surface of the surface layer 20c by the flow-down method similarly to the slurry for intermediate | middle layers mentioned above (refer FIGS. 6-8). Thereby, the zeolite seed crystals can be evenly applied to the inner surface of the surface layer 20c.

次に、シリカ源、アルミナ源、有機テンプレート、アルカリ源及び水に窒素吸着性金属カチオン及び窒素吸着性金属錯体の少なくとも一方が添加された原料溶液の入った耐圧容器に支持体20を浸漬する。   Next, the support 20 is immersed in a pressure resistant container containing a raw material solution in which at least one of a nitrogen adsorbing metal cation and a nitrogen adsorbing metal complex is added to a silica source, an alumina source, an organic template, an alkali source, and water.

次に、耐圧容器を乾燥器に入れ、100〜200℃で1〜240時間ほど加熱処理(水熱合成)を行うことによってゼオライト膜を形成する。次に、ゼオライト膜が形成された支持体20を洗浄して、80〜100℃で乾燥する。   Next, a pressure-resistant container is put into a dryer, and a zeolite membrane is formed by performing heat treatment (hydrothermal synthesis) at 100 to 200 ° C. for about 1 to 240 hours. Next, the support 20 on which the zeolite membrane is formed is washed and dried at 80 to 100 ° C.

次に、原料溶液中に有機テンプレートが含まれる場合には、支持体20を電気炉に入れ、大気中にて400〜800℃で1〜200時間ほど加熱することによって有機テンプレートを燃焼除去する。このように成膜されるゼオライト膜は、均等に塗布されたゼオライト種結晶を核として合成されたものであるため、各ゼオライト膜間における膜厚差が抑えられている。   Next, when the organic template is contained in the raw material solution, the support 20 is placed in an electric furnace and heated at 400 to 800 ° C. in the atmosphere for about 1 to 200 hours to burn and remove the organic template. Since the zeolite membrane thus formed is synthesized using the uniformly applied zeolite seed crystals as nuclei, the difference in film thickness between the zeolite membranes is suppressed.

・シリカ膜
まず、テトラエトシキシランを硝酸の存在下で加水分解してゾル液とし、エタノール又は水で希釈することによって前駆体溶液(シリカゾル液)を調製する。
Silica film First, tetraethoxysilane is hydrolyzed in the presence of nitric acid to form a sol solution, and a precursor solution (silica sol solution) is prepared by diluting with ethanol or water.

次に、表層20cの内表面に前駆体溶液を接触させる。この際、上述した中間層用スラリーと同様(図6〜図8参照)、前駆体溶液を流下法で表層20cの内表面に接触させることが好ましい。これによって、前駆体溶液を表層20cの内表面に均等に塗布することができる。   Next, the precursor solution is brought into contact with the inner surface of the surface layer 20c. At this time, it is preferable that the precursor solution is brought into contact with the inner surface of the surface layer 20c by a flow-down method, as in the above-described slurry for the intermediate layer (see FIGS. 6 to 8). Thus, the precursor solution can be evenly applied to the inner surface of the surface layer 20c.

次に、100℃/hrにて400〜700℃まで昇温して1時間保持した後に100℃/hrで降温する。以上の工程を1〜5回繰り返すことによってシリカ膜を成膜する。このように成膜されるシリカ膜は、均等に塗布された前駆体溶液から形成されたものであるため、各シリカ膜間における膜厚差が抑えられている。   Next, the temperature is raised to 400 to 700 ° C. at 100 ° C./hr and held for 1 hour, and then the temperature is lowered at 100 ° C./hr. A silica film is formed by repeating the above steps 1 to 5 times. Since the silica film formed in this way is formed from the uniformly applied precursor solution, the difference in film thickness between the silica films is suppressed.

・炭素膜
まず、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリエチレンなどの熱可塑性樹脂、セルロース系樹脂、又はこれらの前駆体物質を、窒素吸着性金属カチオン及び窒素吸着性金属錯体の少なくとも一方が添加されたメタノール、アセトン、テトラヒドロフラン、NMP、トルエン等の有機溶媒や水に溶解することによって前駆体溶液を調製する。
-Carbon film First, a thermosetting resin such as an epoxy resin or a polyimide resin, a thermoplastic resin such as polyethylene, a cellulosic resin, or a precursor material thereof, at least one of a nitrogen adsorbing metal cation and a nitrogen adsorbing metal complex A precursor solution is prepared by dissolving in an organic solvent such as methanol, acetone, tetrahydrofuran, NMP, toluene, or water to which is added.

次に、表層20cの内表面に前駆体溶液を接触させる。この際、上述した中間層用スラリーと同様(図6〜図8参照)、前駆体溶液を流下法で表層20cの内表面に接触させることが好ましい。これによって、前駆体溶液を表層20cの内表面に均等に塗布することができる。   Next, the precursor solution is brought into contact with the inner surface of the surface layer 20c. At this time, it is preferable that the precursor solution is brought into contact with the inner surface of the surface layer 20c by a flow-down method, as in the above-described slurry for the intermediate layer (see FIGS. 6 to 8). Thus, the precursor solution can be evenly applied to the inner surface of the surface layer 20c.

次に、前駆体溶液に含まれる樹脂の種類に応じた熱処理(例えば、500℃〜1000℃)を施すことによって炭素膜を成膜する。このように成膜される炭素膜は、均等に塗布された前駆体溶液から形成されたものであるため、各炭素膜間における膜厚差が抑えられている。   Next, a carbon film is formed by performing a heat treatment (for example, 500 ° C. to 1000 ° C.) according to the type of resin contained in the precursor solution. Since the carbon film formed in this way is formed from the uniformly applied precursor solution, the difference in film thickness between the carbon films is suppressed.

(その他の実施形態)
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
(Other embodiments)
As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the said embodiment, A various change is possible in the range which does not deviate from the summary of invention.

上記実施形態において、液状混合物供給治具30は、治具本体31と複数の毛片33を備えることとしたが、複数の毛片33を備えていなくてもよい。この場合、複数の毛片33を支持するための網状体32も不要である。   In the above embodiment, the liquid mixture supply jig 30 includes the jig main body 31 and the plurality of hair pieces 33, but may not include the plurality of hair pieces 33. In this case, the mesh body 32 for supporting the plurality of hair pieces 33 is also unnecessary.

上記実施形態において、複数の毛片33は、網状体32に固定されることとしたが、治具本体31の第2面T2に直接的に固定されていてもよい。この場合、毛片33を支持体20の各流路FCの外側に配置することはできないが、各流路FCから第2面T2を伝ってくる液状混合物を各毛片33によってスムーズに流下させることができる。   In the above embodiment, the plurality of hair pieces 33 are fixed to the mesh body 32, but may be directly fixed to the second surface T <b> 2 of the jig body 31. In this case, the hair pieces 33 cannot be arranged outside the respective flow paths FC of the support 20, but the liquid mixture traveling from the respective flow paths FC along the second surface T <b> 2 can be smoothly flowed down by the respective hair pieces 33. it can.

上記実施形態において、複数の毛片33は、複数の毛束34を形成することとしたが、第2面T2の全面に一様に配置されていてもよい。   In the said embodiment, although the several hair piece 33 decided to form the several hair | bristle bundle 34, you may arrange | position uniformly on the whole surface of 2nd surface T2.

上記実施形態において、支持体20は、基材20a、中間層20b及び表層20cを有することとしたが、中間層20bと表層20cの少なくとも一方を有していなくてよい。   In the said embodiment, although the support body 20 decided to have the base material 20a, the intermediate | middle layer 20b, and the surface layer 20c, it does not need to have at least one of the intermediate | middle layer 20b and the surface layer 20c.

上記実施形態において、分離膜構造体10は、支持体20上に積層された分離膜23を備えることとしたが、分離膜23を備えていなくてもよい。また、分離膜構造体10は、分離膜23上に積層された別の機能膜や保護膜を備えていてもよい。このような機能膜や保護膜としては、ゼオライト膜や炭素膜やシリカ膜などの無機膜や、ポリイミド膜やシリコーン膜などの有機膜を用いることができる。   In the above embodiment, the separation membrane structure 10 includes the separation membrane 23 laminated on the support 20, but the separation membrane 23 may not be provided. Further, the separation membrane structure 10 may include another functional film or protective film stacked on the separation film 23. As such a functional film or protective film, an inorganic film such as a zeolite film, a carbon film, or a silica film, or an organic film such as a polyimide film or a silicone film can be used.

上記実施形態において、液状混合物供給治具30は、漏斗40の内部に固定されることとしたが、周知の供給管の内部に固定されていてもよい。この場合であっても、液状混合物供給治具30によって液状混合物を均等に多孔質体に流下させることができる。   In the above embodiment, the liquid mixture supply jig 30 is fixed inside the funnel 40, but may be fixed inside a known supply pipe. Even in this case, the liquid mixture can be evenly flowed down to the porous body by the liquid mixture supply jig 30.

10 分離膜構造体
20 支持体
20a 基材
20b 中間層
20c 表層
23 分離膜
30 液状混合物供給治具
31 治具本体
32 網状体
33 毛片
34 毛束
40 漏斗
41a 貯留部
41b 流下部
41 漏斗本体
42 バタフライ弁
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Separation membrane structure 20 Support body 20a Base material 20b Intermediate layer 20c Surface layer 23 Separation membrane 30 Liquid mixture supply jig 31 Jig body 32 Net body 33 Hair piece 34 Hair bundle 40 Funnel 41a Reservoir 41b Flowing part 41 Funnel body 42 Butterfly valve

Claims (11)

多孔質体に形成された1以上の貫通孔に液状混合物を流下法で流し込むための液状混合物供給治具であって、
第1面から第2面まで連通する複数の流路を有する治具本体を備える液状混合物供給治具。
A liquid mixture supply jig for pouring the liquid mixture into the one or more through holes formed in the porous body by a flow-down method ,
A liquid mixture supply jig comprising a jig body having a plurality of flow paths communicating from a first surface to a second surface.
前記治具本体の前記第2面側に配置される複数の毛片をさらに備える、
請求項1に記載の液状混合物供給治具。
A plurality of hair pieces arranged on the second surface side of the jig body;
The liquid mixture supply jig according to claim 1.
前記複数の毛片は、網状体に固定されており、
前記複数の毛片のうち少なくとも一部の毛片は、前記第2面に形成された前記複数の流路それぞれの流出口の外側に配置される、
請求項2に記載の液状混合物供給治具。
The plurality of hair pieces are fixed to a net-like body,
At least some of the plurality of hair pieces are disposed outside the outlets of the plurality of flow paths formed on the second surface.
The liquid mixture supply jig according to claim 2.
前記複数の毛片は、前記第2面に固定されている、
請求項2に記載の液状混合物供給治具。
The plurality of hair pieces are fixed to the second surface,
The liquid mixture supply jig according to claim 2.
第1面から第2面まで連通する複数の流路を有する治具本体を含む液状混合物供給治具を、1以上の貫通孔を有する多孔質体の上方に配置する工程と、
前記液状混合物供給治具の前記複数の流路を介して前記多孔質体の前記1以上の貫通孔に液状混合物を流し込むことによって、前記1以上の貫通孔の内表面に多孔質膜を成膜する工程と、
を備える分離膜構造体の製造方法。
Disposing a liquid mixture supply jig including a jig body having a plurality of flow paths communicating from the first surface to the second surface above the porous body having one or more through holes;
Forming a porous film on the inner surface of the one or more through holes by pouring the liquid mixture into the one or more through holes of the porous body through the plurality of flow paths of the liquid mixture supply jig And a process of
A method for producing a separation membrane structure comprising:
前記液状混合物供給治具は、前記治具本体の前記第2面側に配置される複数の毛片をさらに含む、
請求項5に記載の分離膜構造体の製造方法。
The liquid mixture supply jig further includes a plurality of hair pieces arranged on the second surface side of the jig body.
The method for producing a separation membrane structure according to claim 5.
前記複数の毛片は、網状体に固定されており、
前記複数の毛片のうち少なくとも一部の毛片は、前記第2面に形成された前記複数の流路それぞれの流出口の外側に配置される、
請求項6に記載の分離膜構造体の製造方法。
The plurality of hair pieces are fixed to a net-like body,
At least some of the plurality of hair pieces are disposed outside the outlets of the plurality of flow paths formed on the second surface.
The manufacturing method of the separation membrane structure of Claim 6.
前記複数の毛片は、前記第2面に固定されている、
請求項6に記載の分離膜構造体の製造方法
The plurality of hair pieces are fixed to the second surface,
The manufacturing method of the separation membrane structure of Claim 6.
前記複数の毛片のうち少なくとも一部の毛片は、前記多孔質体に形成された前記1以上の貫通孔の流入口に配置される、
請求項6乃至8のいずれかに記載の分離膜構造体の製造方法。
At least some of the plurality of hair pieces are arranged at an inlet of the one or more through holes formed in the porous body.
The manufacturing method of the separation membrane structure in any one of Claims 6 thru | or 8.
前記多孔質体は、複数の貫通孔を有しており、
前記液状混合物供給治具の前記複数の流路それぞれは、前記多孔質体の前記複数の貫通孔それぞれの鉛直方向上方に位置する、
請求項6乃至9のいずれかに記載の分離膜構造体の製造方法。
The porous body has a plurality of through holes,
Each of the plurality of flow paths of the liquid mixture supply jig is located above each of the plurality of through holes of the porous body in the vertical direction.
The manufacturing method of the separation membrane structure in any one of Claims 6 thru | or 9.
1以上の貫通孔を有する多孔質体に液状混合物を供給するための液状混合物供給治具であって、A liquid mixture supply jig for supplying a liquid mixture to a porous body having one or more through holes,
第1面から第2面まで連通する複数の流路を有する治具本体と、A jig body having a plurality of flow paths communicating from the first surface to the second surface;
前記治具本体の前記第2面側に配置される複数の毛片と、A plurality of hair pieces arranged on the second surface side of the jig body;
を備える液状混合物供給治具。A liquid mixture supply jig comprising:
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