JP6565936B2 - LAMINATED BOARD AND FLEXIBLE PRINTED BOARD MANUFACTURING METHOD - Google Patents

LAMINATED BOARD AND FLEXIBLE PRINTED BOARD MANUFACTURING METHOD Download PDF

Info

Publication number
JP6565936B2
JP6565936B2 JP2016566160A JP2016566160A JP6565936B2 JP 6565936 B2 JP6565936 B2 JP 6565936B2 JP 2016566160 A JP2016566160 A JP 2016566160A JP 2016566160 A JP2016566160 A JP 2016566160A JP 6565936 B2 JP6565936 B2 JP 6565936B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fluorine
group
containing resin
heat
resin layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016566160A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2016104297A1 (en
Inventor
細田 朋也
朋也 細田
渉 笠井
渉 笠井
佐々木 徹
徹 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Glass Co Ltd filed Critical Asahi Glass Co Ltd
Publication of JPWO2016104297A1 publication Critical patent/JPWO2016104297A1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6565936B2 publication Critical patent/JP6565936B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/06Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the heating method
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/02Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B15/00Layered products comprising a layer of metal
    • B32B15/04Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B15/08Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B15/00Layered products comprising a layer of metal
    • B32B15/04Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B15/08Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • B32B15/082Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin comprising vinyl resins; comprising acrylic resins
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/06Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B27/08Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/10Removing layers, or parts of layers, mechanically or chemically
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/38Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00Electrical equipment
    • B32B2457/08PCBs, i.e. printed circuit boards

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)

Description

本発明は、積層板およびフレキシブルプリント基板の製造方法に関する。   The present invention relates to a laminate and a method for producing a flexible printed board.

フレキシブルプリント基板は、たとえば、耐熱性樹脂フィルム(ポリイミドフィルム等)と金属箔(銅箔等)とが接着材料(エポキシ樹脂等)を介して貼り合わされたフレキシブル金属張積層板の、金属箔の不要部分をエッチングによって除去してパターン回路を形成することによって製造される。   Flexible printed circuit boards do not require metal foil, for example, a flexible metal-clad laminate in which a heat-resistant resin film (polyimide film, etc.) and metal foil (copper foil, etc.) are bonded together via an adhesive material (epoxy resin, etc.) It is manufactured by removing a portion by etching to form a pattern circuit.

最近では、フレキシブルプリント基板の電気的信頼性を高める点から、フレキシブル金属張積層板の接着材料として電気特性に優れる含フッ素樹脂を用いることが検討されている。   Recently, from the viewpoint of increasing the electrical reliability of a flexible printed circuit board, it has been studied to use a fluorine-containing resin having excellent electrical characteristics as an adhesive material for a flexible metal-clad laminate.

接着材料として含フッ素樹脂を用いたフレキシブル金属張積層板としては、たとえば、下記のものが提案されている。
(1)耐熱性樹脂フィルムと金属箔とを、酸無水物基を有する含フッ素重合体を含む含フッ素樹脂フィルムを介して貼り合わせたフレキシブル金属張積層板(特許文献1)。
(2)耐熱性樹脂フィルムの表面および含フッ素樹脂フィルムの表面を低温プラズマ処理した後、耐熱性樹脂フィルムと金属箔とを、含フッ素樹脂フィルムを介して貼り合わせたフレキシブル金属張積層板(特許文献2)。
As a flexible metal-clad laminate using a fluorine-containing resin as an adhesive material, for example, the following has been proposed.
(1) A flexible metal-clad laminate in which a heat-resistant resin film and a metal foil are bonded together via a fluorine-containing resin film containing a fluorine-containing polymer having an acid anhydride group (Patent Document 1).
(2) Flexible metal-clad laminate in which the surface of the heat-resistant resin film and the surface of the fluorine-containing resin film are subjected to low-temperature plasma treatment, and then the heat-resistant resin film and the metal foil are bonded together via the fluorine-containing resin film (patent Reference 2).

ところで、フレキシブル金属張積層板を工業的に製造する場合は、耐熱性樹脂フィルム、含フッ素樹脂フィルムおよび金属箔をそれぞれロールに巻き取ったものを用意し、各ロールから耐熱性樹脂フィルム、含フッ素樹脂フィルムおよび金属箔を連続的に送り出しながら、これらを一対の金属ロールまたは金属ベルトの間に連続的に通して加熱、加圧することによって熱ラミネートすることが行われている。   By the way, when manufacturing a flexible metal-clad laminate industrially, heat-resistant resin films, fluorine-containing resin films and metal foils wound around rolls are prepared, and heat-resistant resin films and fluorine-containing films are prepared from each roll. While the resin film and the metal foil are continuously fed out, they are thermally laminated by passing them continuously between a pair of metal rolls or metal belts and heating and pressurizing them.

しかし、金属ロールまたは金属ベルトの温度、すなわち熱ラミネートの温度を、含フッ素樹脂フィルムに含まれる含フッ素樹脂の融点以上とした場合、含フッ素樹脂フィルムに長手方向にテンションがかかった状態で含フッ素樹脂フィルムが急激に加熱されることになるため、含フッ素樹脂フィルムが加熱された瞬間に幅方向に収縮し、場合によっては切れてしまうことがある。そのため、接着材料として含フッ素樹脂を用いた場合、フレキシブル金属張積層板を工業的に安定して製造することが困難である。   However, if the temperature of the metal roll or metal belt, that is, the temperature of the thermal laminate is higher than the melting point of the fluorine-containing resin contained in the fluorine-containing resin film, the fluorine-containing resin film is tensioned in the longitudinal direction. Since the resin film is heated rapidly, the resin film shrinks in the width direction at the moment when the fluorine-containing resin film is heated, and may be cut off in some cases. Therefore, when a fluorine-containing resin is used as an adhesive material, it is difficult to industrially manufacture a flexible metal-clad laminate.

一方、熱ラミネートの温度を、含フッ素樹脂フィルムに含まれる含フッ素樹脂の融点未満とした場合、含フッ素樹脂フィルムの収縮は抑えられるが、耐熱性樹脂フィルムと含フッ素樹脂フィルムとの界面、および含フッ素樹脂フィルムと金属箔との界面の接着強度が不充分となる。   On the other hand, when the temperature of the thermal laminate is less than the melting point of the fluorine-containing resin contained in the fluorine-containing resin film, the shrinkage of the fluorine-containing resin film is suppressed, but the interface between the heat-resistant resin film and the fluorine-containing resin film, and Adhesive strength at the interface between the fluorine-containing resin film and the metal foil becomes insufficient.

国際公開第2006/067970号International Publication No. 2006/067970 特開2005−324511号公報JP 2005-324511 A

本発明は、耐熱性樹脂層と含フッ素樹脂層との界面、および含フッ素樹脂層と金属箔層との界面の接着強度が充分に高い積層板を、安定して製造できる方法;耐熱性樹脂層と含フッ素樹脂層との界面、および含フッ素樹脂層と金属箔層との界面の接着強度が充分に高い積層板およびフレキシブルプリント基板を製造できる方法を提供する。   The present invention provides a method for stably producing a laminate having a sufficiently high adhesive strength at the interface between a heat-resistant resin layer and a fluorine-containing resin layer and at the interface between the fluorine-containing resin layer and a metal foil layer; Provided is a method capable of producing a laminate and a flexible printed circuit board having sufficiently high adhesive strength at the interface between the layer and the fluorine-containing resin layer and at the interface between the fluorine-containing resin layer and the metal foil layer.

本発明は、以下の態様を有する。
[1]耐熱性樹脂層と、該耐熱性樹脂層に接する含フッ素樹脂層と、該含フッ素樹脂層に接する金属箔層とを有する積層板を製造する方法であって、下記の工程(a)および工程(b)を有する、積層板の製造方法。
(a)カルボニル基含有基、ヒドロキシ基、エポキシ基およびイソシアネート基からなる群から選択される少なくとも1種の官能基を有する含フッ素樹脂(A)を含む含フッ素樹脂フィルムと、金属箔とを、前記含フッ素樹脂(A)の融点未満で熱ラミネートすることによって、含フッ素樹脂層付き金属箔を得る工程。
(b)耐熱性樹脂(B)を含む耐熱性樹脂フィルムと、前記含フッ素樹脂層付き金属箔とを、前記耐熱性樹脂フィルムと前記含フッ素樹脂層とが接するように、前記含フッ素樹脂(A)の融点以上で熱ラミネートすることによって、前記積層板を得る工程。
[2]前記含フッ素樹脂(A)は、融点が260〜320℃であり、かつ溶融成形可能である、[1]の積層板の製造方法。
[3]前記含フッ素樹脂(A)が、重合体の製造の際に用いた単量体、連鎖移動剤および重合開始剤からなる群から選ばれる少なくとも1種に由来する前記官能基を有する含フッ素重合体である、[1]または[2]の積層板の製造方法。
[4]前記工程(a)における熱ラミネートおよび前記工程(b)における熱ラミネートが、一対以上の金属ロールまたは一対以上の金属ベルトを有する熱ラミネート装置によって連続的に行われる、[1]〜[3]のいずれかの積層板の製造方法。
[5]前記含フッ素樹脂(A)が、前記官能基として少なくともカルボニル基含有基を有し、前記カルボニル基含有基が、炭化水素基の炭素原子間にカルボニル基を有する基、カーボネート基、カルボキシ基、ハロホルミル基、アルコキシカルボニル基および酸無水物基からなる群から選ばれる少なくとも1種である、[1]〜[4]のいずれかの積層板の製造方法。
[6]前記官能基の含有量が、前記含フッ素樹脂(A)の主鎖炭素数1×10個に対して10〜60000個である、[1]〜[5]のいずれかの積層板の製造方法。
[7]前記工程(a)において、前記含フッ素樹脂フィルムと前記金属箔とを、(前記含フッ素樹脂(A)の融点−20℃)以下で熱ラミネートする、[1]〜[6]のいずれかの積層板の製造方法。
[8]前記含フッ素樹脂層の厚さが、1〜20μmである、[1]〜[7]のいずれかの積層板の製造方法。
[9]前記含フッ素樹脂(A)の372℃、荷重49Nの条件下における溶融流れ速度が、0.5〜15g/10分である、[1]〜[8]のいずれかの積層板の製造方法。
[10]前記[1]〜[9]のいずれかの製造方法で積層板を製造した後、前記積層板の金属箔層の不要部分をエッチングによって除去してパターン回路を形成する、フレキシブルプリント基板の製造方法。
The present invention has the following aspects.
[1] A method for producing a laminate having a heat-resistant resin layer, a fluorine-containing resin layer in contact with the heat-resistant resin layer, and a metal foil layer in contact with the fluorine-containing resin layer, the following step (a And a step (b).
(A) a fluorine-containing resin film containing a fluorine-containing resin (A) having at least one functional group selected from the group consisting of a carbonyl group-containing group, a hydroxy group, an epoxy group and an isocyanate group, and a metal foil, The process of obtaining metal foil with a fluorine-containing resin layer by carrying out heat lamination below the melting point of the said fluorine-containing resin (A).
(B) The heat-resistant resin film containing the heat-resistant resin (B) and the metal foil with the fluorine-containing resin layer are arranged such that the heat-resistant resin film and the fluorine-containing resin layer are in contact with each other. A step of obtaining the laminate by heat laminating at or above the melting point of A).
[2] The method for producing a laminated board according to [1], wherein the fluorine-containing resin (A) has a melting point of 260 to 320 ° C. and can be melt-molded.
[3] The fluorine-containing resin (A) contains the functional group derived from at least one selected from the group consisting of a monomer, a chain transfer agent and a polymerization initiator used in the production of the polymer. The manufacturing method of the laminated board of [1] or [2] which is a fluoropolymer.
[4] The thermal lamination in the step (a) and the thermal lamination in the step (b) are continuously performed by a thermal laminator having a pair of metal rolls or a pair of metal belts. 3] The manufacturing method of the laminated board in any one of.
[5] The fluororesin (A) has at least a carbonyl group-containing group as the functional group, and the carbonyl group-containing group has a carbonyl group between carbon atoms of a hydrocarbon group, a carbonate group, a carboxy group The manufacturing method of the laminated board in any one of [1]-[4] which is at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of a group, a haloformyl group, an alkoxycarbonyl group, and an acid anhydride group.
[6] The laminate according to any one of [1] to [5], wherein the content of the functional group is 10 to 60000 with respect to 1 × 10 6 main chain carbon atoms of the fluororesin (A). A manufacturing method of a board.
[7] In the step (a), the fluororesin film and the metal foil are heat-laminated at a temperature equal to or lower than (the melting point of the fluororesin (A) —20 ° C.). The manufacturing method of any laminated board.
[8] The method for producing a laminated board according to any one of [1] to [7], wherein the fluorine-containing resin layer has a thickness of 1 to 20 μm.
[9] The laminated plate according to any one of [1] to [8], wherein the fluorine-containing resin (A) has a melt flow rate of 0.5 to 15 g / 10 min under the conditions of 372 ° C. and a load of 49 N. Production method.
[10] A flexible printed circuit board in which a laminated board is produced by the production method of any one of [1] to [9], and then an unnecessary portion of the metal foil layer of the laminated board is removed by etching to form a patterned circuit Manufacturing method.

本発明の積層板の製造方法によれば、耐熱性樹脂層と含フッ素樹脂層との界面、および含フッ素樹脂層と金属箔層との界面の接着強度が充分に高い積層板を安定して製造できる。また、本発明の製造方法によって得られたフレキシブルプリント基板は、耐熱性樹脂層と含フッ素樹脂層との界面、および含フッ素樹脂層と金属箔層との界面の接着強度が充分に高い積層板から形成されるので、長期にわたって安定性の高い信頼性の高い特性を有する。   According to the method for producing a laminate of the present invention, a laminate having a sufficiently high adhesive strength at the interface between the heat-resistant resin layer and the fluorine-containing resin layer and the interface between the fluorine-containing resin layer and the metal foil layer can be stably produced. Can be manufactured. In addition, the flexible printed board obtained by the production method of the present invention is a laminate having a sufficiently high adhesive strength at the interface between the heat-resistant resin layer and the fluorine-containing resin layer and at the interface between the fluorine-containing resin layer and the metal foil layer. Since it is formed from, it has a highly stable and reliable characteristic over a long period of time.

本発明の積層板の一例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows an example of the laminated board of this invention. 本発明の積層板の他の例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the other example of the laminated board of this invention. 工程(a)に用いられる熱ロールラミネート装置の一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the hot roll laminating apparatus used for a process (a). 工程(b)に用いられる熱ロールラミネート装置の一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the hot roll laminating apparatus used for a process (b).

以下の用語の定義は、本明細書および特許請求の範囲にわたって適用される。
「耐熱性樹脂」とは、融点が280℃以上の高分子化合物、またはJIS C 4003:2010(IEC 60085:2007)で規定される最高連続使用温度が121℃以上の高分子化合物を意味する。
「含フッ素樹脂」とは、分子中にフッ素原子を有する高分子化合物を意味する。
「融点」とは、示差走査熱量測定(DSC)法で測定した融解ピークの最大値に対応する温度を意味する。
「熱ラミネート」とは、加熱によって2つ以上の部材を貼り合わせることを意味する。
「溶融成形可能」であるとは、溶融流動性を示すことを意味する。
「溶融流動性を示す」とは、荷重49Nの条件下、樹脂の融点よりも20℃以上高い温度において、溶融流れ速度が0.1〜1000g/10分となる温度が存在することを意味する。
「溶融流れ速度」とは、JIS K 7210:1999(ISO 1133:1997)に規定されるメルトマスフローレート(MFR)を意味する。
「カルボニル基含有基」とは、構造中にカルボニル基(−C(=O)−)を有する基を意味する。
「酸無水物基」とは、−C(=O)−O−C(=O)−で表される基を意味する。
「単位」とは、単量体が重合することによって形成された該単量体に由来する単位を意味する。単位は、重合反応によって直接形成された単位であってもよく、重合体を処理することによって該単位の一部が別の構造に変換された単位であってもよい。
「単量体」とは、重合性炭素−炭素二重結合を有する化合物を意味する。
The following definitions of terms apply throughout this specification and the claims.
“Heat resistant resin” means a polymer compound having a melting point of 280 ° C. or higher, or a polymer compound having a maximum continuous use temperature defined by JIS C 4003: 2010 (IEC 60085: 2007) of 121 ° C. or higher.
“Fluorine-containing resin” means a polymer compound having a fluorine atom in the molecule.
The “melting point” means a temperature corresponding to the maximum value of the melting peak measured by the differential scanning calorimetry (DSC) method.
“Thermal lamination” means that two or more members are bonded together by heating.
“Melt moldable” means exhibiting melt fluidity.
“Showing melt fluidity” means that there is a temperature at which the melt flow rate is 0.1 to 1000 g / 10 min at a temperature higher than the melting point of the resin by 20 ° C. or more under the condition of a load of 49 N. .
The “melt flow rate” means a melt mass flow rate (MFR) defined in JIS K 7210: 1999 (ISO 1133: 1997).
The “carbonyl group-containing group” means a group having a carbonyl group (—C (═O) —) in the structure.
The “acid anhydride group” means a group represented by —C (═O) —O—C (═O) —.
“Unit” means a unit derived from a monomer formed by polymerization of the monomer. The unit may be a unit directly formed by a polymerization reaction, or may be a unit in which a part of the unit is converted into another structure by treating the polymer.
“Monomer” means a compound having a polymerizable carbon-carbon double bond.

<積層板>
「本発明の積層板」とは、後述する本発明の積層板の製造方法によって得られたものを意味する。本発明の積層板としては、フレキシブルプリント基板の材料として用いられる、いわゆるフレキシブル金属張積層板が挙げられる。
本発明の積層板は、耐熱性樹脂層と、該耐熱性樹脂層に接する含フッ素樹脂層と、該含フッ素樹脂層に接する金属箔層とを有する。
<Laminated plate>
The “laminate of the present invention” means one obtained by the method for producing a laminate of the present invention described later. As a laminated board of this invention, what is called a flexible metal tension laminated board used as a material of a flexible printed circuit board is mentioned.
The laminate of the present invention has a heat resistant resin layer, a fluorine-containing resin layer in contact with the heat-resistant resin layer, and a metal foil layer in contact with the fluorine-containing resin layer.

図1は、本発明の積層板の一例を示す模式断面図である。積層板10は、耐熱性樹脂層12と、耐熱性樹脂層12の第1の面に積層された含フッ素樹脂層14と、含フッ素樹脂層14の、耐熱性樹脂層12とは反対側の表面に積層された金属箔層16とを有する。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a laminated board of the present invention. The laminated plate 10 includes a heat-resistant resin layer 12, a fluorine-containing resin layer 14 laminated on the first surface of the heat-resistant resin layer 12, and the fluorine-containing resin layer 14 on the side opposite to the heat-resistant resin layer 12. And a metal foil layer 16 laminated on the surface.

図2は、本発明の積層板の他の例を示す模式断面図である。積層板10は、耐熱性樹脂層12と、耐熱性樹脂層12の第1の面および第2の面に積層された2つの含フッ素樹脂層14と、各含フッ素樹脂層14の、耐熱性樹脂層12とは反対側の表面に積層された2つの金属箔層16とを有する。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing another example of the laminated board of the present invention. The laminated plate 10 includes a heat resistant resin layer 12, two fluorine-containing resin layers 14 laminated on the first surface and the second surface of the heat resistant resin layer 12, and the heat resistance of each fluorine-containing resin layer 14. It has two metal foil layers 16 laminated on the surface opposite to the resin layer 12.

本発明の積層板の厚さは、通常10〜2500μmであり、フレキシブルプリント基板に用いる観点からは、12〜300μmが好ましく、18〜150μmがより好ましく、20〜100μmがさらに好ましい。   The thickness of the laminated board of this invention is 10-2500 micrometers normally, and 12-300 micrometers is preferable from a viewpoint used for a flexible printed circuit board, 18-150 micrometers is more preferable, and 20-100 micrometers is further more preferable.

(耐熱性樹脂層)
耐熱性樹脂層は、後述する耐熱性樹脂フィルムからなる層であり、耐熱性樹脂(B)(ただし、含フッ素樹脂(A)を除く。)を含む。耐熱性樹脂層は、本発明の効果を損なわない範囲において、後述する添加剤等を含んでもよい。
耐熱性樹脂層は、単層構造であってもよく、2層以上の積層構造であってもよい。
(Heat resistant resin layer)
The heat-resistant resin layer is a layer made of a heat-resistant resin film, which will be described later, and includes a heat-resistant resin (B) (excluding the fluorine-containing resin (A)). The heat resistant resin layer may contain an additive and the like to be described later as long as the effects of the present invention are not impaired.
The heat resistant resin layer may have a single layer structure or a laminated structure of two or more layers.

耐熱性樹脂層の厚さは、3〜500μmが好ましく、5〜200μmがより好ましく、6〜50μmがさらに好ましい。耐熱性樹脂層の厚さが前記下限値以上であれば、電気絶縁性に優れる。耐熱性樹脂層の厚さが前記上限値以下であれば、積層板の全体の厚さを薄くできる。   The thickness of the heat resistant resin layer is preferably 3 to 500 μm, more preferably 5 to 200 μm, and still more preferably 6 to 50 μm. If the thickness of the heat resistant resin layer is equal to or greater than the lower limit, the electrical insulation is excellent. If the thickness of the heat-resistant resin layer is not more than the above upper limit value, the entire thickness of the laminate can be reduced.

耐熱性樹脂層に含まれる耐熱性樹脂(B)は、1種であってもよく、2種以上であってもよい。耐熱性樹脂層中の耐熱性樹脂(B)の含有量は、耐熱性樹脂層の耐熱性の点から、耐熱性樹脂層の100質量%のうち、50質量%以上が好ましく、80質量%以上がより好ましい。この含有量の上限は特に限定されず、100質量%であってもよい。   1 type may be sufficient as the heat resistant resin (B) contained in a heat resistant resin layer, and 2 or more types may be sufficient as it. The content of the heat resistant resin (B) in the heat resistant resin layer is preferably 50% by mass or more, preferably 80% by mass or more, out of 100% by mass of the heat resistant resin layer, from the viewpoint of heat resistance of the heat resistant resin layer. Is more preferable. The upper limit of this content is not specifically limited, 100 mass% may be sufficient.

耐熱性樹脂(B)としては、ポリイミド(芳香族ポリイミド等)、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリアリルスルホン(ポリエーテルスルホン等)、芳香族ポリアミド、芳香族ポリエーテルアミド、ポリフェニレンスルファイド、ポリアリルエーテルケトン、ポリアミドイミド、液晶ポリエステル等が挙げられる。   Examples of the heat resistant resin (B) include polyimide (aromatic polyimide, etc.), polyarylate, polysulfone, polyallylsulfone (polyethersulfone, etc.), aromatic polyamide, aromatic polyether amide, polyphenylene sulfide, polyallyl ether ketone. , Polyamideimide, liquid crystal polyester and the like.

耐熱性樹脂(B)としては、ポリイミドが好ましい。ポリイミドは、熱硬化性ポリイミドであってもよく、熱可塑性ポリイミドであってもよい。ポリイミドとしては、芳香族ポリイミドが好ましい。芳香族ポリイミドとしては、芳香族多価カルボン酸二無水物と芳香族ジアミンとの縮重合で製造される全芳香族ポリイミドが好ましい。   As the heat resistant resin (B), polyimide is preferable. The polyimide may be a thermosetting polyimide or a thermoplastic polyimide. As the polyimide, aromatic polyimide is preferable. The aromatic polyimide is preferably a wholly aromatic polyimide produced by condensation polymerization of an aromatic polycarboxylic dianhydride and an aromatic diamine.

ポリイミドは、通常、多価カルボン酸二無水物(またはその誘導体)とジアミンとの反応(重縮合)によって、ポリアミック酸(ポリイミド前駆体)を経由して得られる。
ポリイミド、特に芳香族ポリイミドは、その剛直な主鎖構造によって、溶媒等に対して不溶であり、また不融の性質を有する。そのため、まず、多価カルボン酸二無水物とジアミンとの反応によって、有機溶媒に可溶なポリイミド前駆体(ポリアミック酸またはポリアミド酸)を合成し、ポリアミック酸の段階で様々な方法で成形加工が行われる。その後ポリアミック酸を加熱または化学的方法によって脱水反応させて環化(イミド化)し、ポリイミドとされる。
Polyimide is usually obtained via polyamic acid (polyimide precursor) by reaction (polycondensation) of polycarboxylic dianhydride (or its derivative) and diamine.
Polyimides, especially aromatic polyimides, are insoluble in solvents and the like due to their rigid main chain structure and have infusible properties. Therefore, first, a polyimide precursor (polyamic acid or polyamic acid) that is soluble in an organic solvent is synthesized by a reaction between a polyvalent carboxylic dianhydride and a diamine, and molding processing can be performed by various methods at the polyamic acid stage. Done. Thereafter, the polyamic acid is subjected to a dehydration reaction by heating or a chemical method to be cyclized (imidized) to obtain a polyimide.

芳香族多価カルボン酸二無水物の具体例としては、たとえば、特開2012−145676号公報の[0055]に記載したもの等が挙げられる。また、非芳香族系の多価カルボン酸二無水物であるエチレンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物も、芳香族系のものと遜色なく用いることができる。
多価カルボン酸二無水物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
Specific examples of the aromatic polyvalent carboxylic dianhydride include, for example, those described in JP-A-2012-145676, [0055]. Further, ethylene tetracarboxylic dianhydride and cyclopentane tetracarboxylic dianhydride, which are non-aromatic polyvalent carboxylic dianhydrides, can be used as well as aromatic ones.
One type of polyvalent carboxylic acid dianhydride may be used alone, or two or more types may be used in combination.

芳香族ジアミンの具体例としては、たとえば、特開2012−145676号公報の[0057]に記載したもの等が挙げられる。芳香族ジアミンは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   Specific examples of the aromatic diamine include those described in JP-A-2012-145676, [0057]. An aromatic diamine may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

耐熱性樹脂層には、添加剤が含まれていてもよい。かかる添加剤としては、誘電率や誘電正接が低い無機フィラーが好ましい。
無機フィラーとしては、シリカ、クレー、タルク、炭酸カルシウム、マイカ、珪藻土、アルミナ、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化鉄、酸化錫、酸化アンチモン、水酸化カルシウム、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、塩基性炭酸マグネシウム、炭酸マグネシウム、炭酸亜鉛、炭酸バリウム、ドーソナイト、ハイドロタルサイト、硫酸カルシウム、硫酸バリウム、珪酸カルシウム、モンモリロナイト、ベントナイト、活性白土、セピオライト、イモゴライト、セリサイト、ガラス繊維、ガラスビーズ、シリカ系バルーン、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、カーボンナノホーン、グラファイト、炭素繊維、ガラスバルーン、炭素バーン、木粉、ホウ酸亜鉛等が挙げられる。無機フィラーは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
The heat resistant resin layer may contain an additive. As such an additive, an inorganic filler having a low dielectric constant and dielectric loss tangent is preferable.
Inorganic fillers include silica, clay, talc, calcium carbonate, mica, diatomaceous earth, alumina, zinc oxide, titanium oxide, calcium oxide, magnesium oxide, iron oxide, tin oxide, antimony oxide, calcium hydroxide, magnesium hydroxide, water Aluminum oxide, basic magnesium carbonate, magnesium carbonate, zinc carbonate, barium carbonate, dosonite, hydrotalcite, calcium sulfate, barium sulfate, calcium silicate, montmorillonite, bentonite, activated clay, sepiolite, imogolite, sericite, glass fiber, glass Examples thereof include beads, silica-based balloons, carbon black, carbon nanotubes, carbon nanohorns, graphite, carbon fibers, glass balloons, carbon burns, wood flour, and zinc borate. An inorganic filler may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

無機フィラーは、多孔質であってもよく、非多孔質であってもよく、誘電率や誘電正接がさらに低い点から、多孔質が好ましい。無機フィラーは、樹脂への分散性の向上の点から、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤等の表面処理剤による表面処理が施されてもよい。
耐熱性樹脂層中の無機フィラーなどの添加剤の含有量は、耐熱性樹脂(B)の100質量部に対して0.1〜100質量部が好ましく、0.1〜60質量部がより好ましい。
The inorganic filler may be porous or non-porous, and is preferably porous from the viewpoint of lower dielectric constant and dielectric loss tangent. The inorganic filler may be subjected to a surface treatment with a surface treatment agent such as a silane coupling agent or a titanate coupling agent from the viewpoint of improving dispersibility in the resin.
0.1-100 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of heat resistant resin (B), and, as for content of additives, such as an inorganic filler in a heat resistant resin layer, 0.1-60 mass parts is more preferable. .

(含フッ素樹脂層)
含フッ素樹脂層は、後述する含フッ素樹脂フィルムからなる層であり、特定の含フッ素樹脂(A)を含む。含フッ素樹脂層は、本発明の効果を損なわない範囲において他の樹脂、添加剤等を含んでもよい。含フッ素樹脂層は、単層構造であってもよく、2層以上の積層構造であってもよい。
(Fluorine-containing resin layer)
The fluorine-containing resin layer is a layer made of a fluorine-containing resin film described later, and includes a specific fluorine-containing resin (A). The fluorine-containing resin layer may contain other resins, additives and the like as long as the effects of the present invention are not impaired. The fluorine-containing resin layer may have a single layer structure or a laminated structure of two or more layers.

含フッ素樹脂層の厚さは、通常1〜1000μmであり、はんだこて等に対する耐熱性の観点からは、1〜20μmが好ましく、3〜20μmがより好ましく、3〜15μmがさらに好ましい。含フッ素樹脂層の厚さが前記上限値以下であれば、積層板の全体の厚さを薄くできる。含フッ素樹脂層の厚さが前記下限値以上であれば、耐熱性樹脂層が高温でのはんだリフローに対応する雰囲気に曝されたときに、熱による含フッ素樹脂層の膨れ(発泡)が生じにくく、また、電気絶縁性に優れる。   The thickness of the fluorine-containing resin layer is usually 1 to 1000 μm, preferably 1 to 20 μm, more preferably 3 to 20 μm, and further preferably 3 to 15 μm from the viewpoint of heat resistance against a soldering iron or the like. If the thickness of the fluorine-containing resin layer is not more than the above upper limit value, the entire thickness of the laminate can be reduced. If the thickness of the fluororesin layer is not less than the above lower limit value, the fluororesin layer will expand (foam) due to heat when the heat-resistant resin layer is exposed to an atmosphere corresponding to solder reflow at a high temperature. It is difficult and has excellent electrical insulation.

含フッ素樹脂層は、耐熱性樹脂層の第1の面のみに積層してもよく、または耐熱性樹脂層の第1の面および第2の面に積層してもよい。積層板の反りを抑制する、電気的信頼性に優れる両面金属張積層板を得る等の点からは、耐熱性樹脂層の第1の面および第2の面に含フッ素樹脂層を積層することが好ましい。
耐熱性樹脂層の第1の面および第2の面に含フッ素樹脂層を積層する場合、各含フッ素樹脂層の組成(含フッ素樹脂(A)の種類、他の樹脂や添加剤の種類および、これらの含有量等)や厚さは、同じであってもよく、異なっていてもよい。積層板の反りの抑制の点からは、各含フッ素樹脂層の組成や厚さは同じであることが好ましい。
The fluorine-containing resin layer may be laminated only on the first surface of the heat resistant resin layer, or may be laminated on the first surface and the second surface of the heat resistant resin layer. From the standpoint of obtaining a double-sided metal-clad laminate with excellent electrical reliability that suppresses warpage of the laminate, a fluorine-containing resin layer is laminated on the first surface and the second surface of the heat-resistant resin layer. Is preferred.
When laminating a fluorine-containing resin layer on the first surface and the second surface of the heat-resistant resin layer, the composition of each fluorine-containing resin layer (type of fluorine-containing resin (A), types of other resins and additives, and , Their contents, etc.) and thickness may be the same or different. From the viewpoint of suppressing the warpage of the laminate, the composition and thickness of each fluororesin layer are preferably the same.

含フッ素樹脂層に含まれる含フッ素樹脂(A)は、1種であってもよく、2種以上であってもよい。
含フッ素樹脂層中の含フッ素樹脂(A)の含有量は、含フッ素樹脂層と、耐熱性樹脂層または金属箔層との界面における接着強度の点から、含フッ素樹脂層の100質量%のうち、50質量%以上が好ましく、80質量%以上がより好ましい。含フッ素樹脂(A)の含有量の上限は特に限定されず、100質量%であってもよい。
1 type may be sufficient as the fluorine-containing resin (A) contained in a fluorine-containing resin layer, and 2 or more types may be sufficient as it.
The content of the fluorine-containing resin (A) in the fluorine-containing resin layer is 100% by mass of the fluorine-containing resin layer from the viewpoint of adhesive strength at the interface between the fluorine-containing resin layer and the heat-resistant resin layer or the metal foil layer. Among these, 50 mass% or more is preferable and 80 mass% or more is more preferable. The upper limit of content of a fluorine-containing resin (A) is not specifically limited, 100 mass% may be sufficient.

含フッ素樹脂(A)は、カルボニル基含有基、ヒドロキシ基、エポキシ基およびイソシアネート基からなる群から選択される少なくとも1種の官能基(以下、官能基(I)と記す。)を有する含フッ素樹脂である。官能基(I)を有することによって、含フッ素樹脂(A)を含む含フッ素樹脂層と、耐熱性樹脂層または金属箔層との界面における接着強度が高くなる。   The fluorine-containing resin (A) has at least one functional group selected from the group consisting of a carbonyl group-containing group, a hydroxy group, an epoxy group, and an isocyanate group (hereinafter referred to as functional group (I)). Resin. By having the functional group (I), the adhesive strength at the interface between the fluorine-containing resin layer containing the fluorine-containing resin (A) and the heat-resistant resin layer or the metal foil layer is increased.

官能基(I)は、含フッ素樹脂層と、耐熱性樹脂層または金属箔層との界面における接着強度の点から、含フッ素樹脂(A)の主鎖の末端基および主鎖のペンダント基のいずれか一方または両方として存在することが好ましい。
官能基(I)は、1種であってもよく、2種以上であってもよい。
From the viewpoint of adhesive strength at the interface between the fluorine-containing resin layer and the heat-resistant resin layer or the metal foil layer, the functional group (I) is composed of end groups of the main chain and pendant groups of the main chain of the fluorine-containing resin (A). It is preferably present as either one or both.
The functional group (I) may be one type or two or more types.

含フッ素樹脂(A)は、含フッ素樹脂層と、耐熱性樹脂層または金属箔層との界面における接着強度の点から、官能基(I)として少なくともカルボニル基含有基を有することが好ましい。カルボニル基含有基としては、たとえば、炭化水素基の炭素原子間にカルボニル基を有する基、カーボネート基、カルボキシ基、ハロホルミル基、アルコキシカルボニル基、酸無水物基等が挙げられる。   The fluororesin (A) preferably has at least a carbonyl group-containing group as the functional group (I) from the viewpoint of adhesive strength at the interface between the fluororesin layer and the heat resistant resin layer or metal foil layer. Examples of the carbonyl group-containing group include a group having a carbonyl group between carbon atoms of a hydrocarbon group, a carbonate group, a carboxy group, a haloformyl group, an alkoxycarbonyl group, an acid anhydride group, and the like.

炭化水素基の炭素原子間にカルボニル基を有する基における炭化水素基としては、たとえば、炭素数2〜8のアルキレン基等が挙げられる。なお、該アルキレン基の炭素数は、カルボニル基を含まない状態での炭素数である。アルキレン基は、直鎖状であってもよく、分岐状であってもよい。
ハロホルミル基は、−C(=O)−X(ただし、Xはハロゲン原子である。)で表される。ハロホルミル基におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子等が挙げられ、フッ素原子が好ましい。すなわちハロホルミル基としてはフルオロホルミル基(カルボニルフルオリド基ともいう。)が好ましい。
アルコキシカルボニル基におけるアルコキシ基は、直鎖状であってもよく、分岐状であってもよく、炭素数1〜8のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基またはエトキシ基が特に好ましい。
Examples of the hydrocarbon group in the group having a carbonyl group between carbon atoms of the hydrocarbon group include an alkylene group having 2 to 8 carbon atoms. In addition, carbon number of this alkylene group is carbon number in the state which does not contain a carbonyl group. The alkylene group may be linear or branched.
The haloformyl group is represented by —C (═O) —X (where X is a halogen atom). Examples of the halogen atom in the haloformyl group include a fluorine atom and a chlorine atom, and a fluorine atom is preferable. That is, the haloformyl group is preferably a fluoroformyl group (also referred to as a carbonyl fluoride group).
The alkoxy group in the alkoxycarbonyl group may be linear or branched, is preferably an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, and is particularly preferably a methoxy group or an ethoxy group.

含フッ素樹脂(A)中の官能基(I)の含有量は、含フッ素樹脂(A)の主鎖炭素数1×10個に対し10〜60000個が好ましく、100〜50000個がより好ましく、100〜10000個がさらに好ましく、300〜5000個が特に好ましい。官能基(I)の含有量が前記下限値以上であれば、含フッ素樹脂層と、耐熱性樹脂層または金属箔層との界面における接着強度がさらに高くなる。官能基(I)の含有量が前記上限値以下であれば、熱ラミネートの温度を低くしても、含フッ素樹脂層と、耐熱性樹脂層または金属箔層との界面における接着強度を高くできる。The content of the functional group (I) in the fluororesin (A) is preferably 10 to 60000, more preferably 100 to 50000 with respect to 1 × 10 6 main chain carbon atoms of the fluororesin (A). 100 to 10,000 are more preferable, and 300 to 5000 are particularly preferable. If content of functional group (I) is more than the said lower limit, the adhesive strength in the interface of a fluorine-containing resin layer and a heat resistant resin layer or a metal foil layer will become still higher. If the content of the functional group (I) is not more than the above upper limit value, the adhesive strength at the interface between the fluorine-containing resin layer and the heat-resistant resin layer or metal foil layer can be increased even if the temperature of the thermal laminate is lowered. .

官能基(I)の含有量は、核磁気共鳴(NMR)分析、赤外吸収スペクトル分析等の方法によって測定できる。たとえば、特開2007−314720号公報に記載のように赤外吸収スペクトル分析等の方法を用いて、含フッ素樹脂(A)を構成する全単位中の官能基(I)を有する単位の割合(モル%)を求め、該割合から、官能基(I)の含有量を算出できる。   The content of the functional group (I) can be measured by a method such as nuclear magnetic resonance (NMR) analysis or infrared absorption spectrum analysis. For example, using a method such as infrared absorption spectrum analysis as described in JP-A-2007-314720, the proportion of units having the functional group (I) in all units constituting the fluororesin (A) ( Mol%) and the content of the functional group (I) can be calculated from the ratio.

含フッ素樹脂(A)の融点は、260〜320℃が好ましく、295〜315℃がより好ましく、295〜310℃がさらに好ましい。含フッ素樹脂(A)の融点が前記下限値以上であれば、含フッ素樹脂層の耐熱性に優れる。含フッ素樹脂(A)の融点が前記上限値以下であれば、含フッ素樹脂(A)の成形性に優れる。
含フッ素樹脂(A)の融点は、含フッ素樹脂(A)を構成する単位の種類や割合、含フッ素樹脂(A)の分子量等によって調整できる。たとえば、後述する単位(u1)の割合が多くなるほど、融点が上がる傾向がある。
The melting point of the fluororesin (A) is preferably 260 to 320 ° C, more preferably 295 to 315 ° C, and further preferably 295 to 310 ° C. When the melting point of the fluororesin (A) is not less than the lower limit, the heat resistance of the fluororesin layer is excellent. If melting | fusing point of a fluororesin (A) is below the said upper limit, it is excellent in the moldability of a fluororesin (A).
The melting point of the fluororesin (A) can be adjusted by the type and ratio of units constituting the fluororesin (A), the molecular weight of the fluororesin (A), and the like. For example, the melting point tends to increase as the proportion of the unit (u1) described later increases.

含フッ素樹脂(A)としては、後述する含フッ素樹脂フィルムを製造しやすい点から、溶融成形が可能なものが好ましい。
溶融成形が可能な含フッ素樹脂(A)としては、公知の溶融成形が可能な含フッ素樹脂(テトラフルオロエチレン/フルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体、エチレン/テトラフルオロエチレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン、ポリクロロトリフルオロエチレン、エチレン/クロロトリフルオロエチレン共重合体等)に官能基(I)を導入した含フッ素樹脂;後述する含フッ素重合体(α1)等が挙げられる。
As the fluorine-containing resin (A), a resin that can be melt-molded is preferable from the viewpoint of easily producing a fluorine-containing resin film described later.
As the fluorine-containing resin (A) that can be melt-molded, known fluorine-containing resins that can be melt-molded (tetrafluoroethylene / fluoroalkyl vinyl ether copolymer, tetrafluoroethylene / hexafluoropropylene copolymer, ethylene / tetra A fluororesin in which a functional group (I) is introduced into a fluoroethylene copolymer, polyvinylidene fluoride, polychlorotrifluoroethylene, ethylene / chlorotrifluoroethylene copolymer, etc .; a fluoropolymer (α1) described later, etc. Is mentioned.

含フッ素樹脂(A)としては、荷重49Nの条件下、含フッ素樹脂(A)の融点よりも20℃以上高い温度において、溶融流れ速度が0.1〜1000g/10分(好ましくは0.5〜100g/10分、より好ましくは1〜30g/10分、さらに好ましくは5〜20g/10分)となる温度が存在するものが好ましい。溶融流れ速度が前記下限値以上であれば、含フッ素樹脂(A)の成形性に優れ、含フッ素樹脂層の表面平滑性、外観に優れる。溶融流れ速度が前記上限値以下であれば、含フッ素樹脂層の機械的強度に優れる。   As the fluororesin (A), the melt flow rate is 0.1 to 1000 g / 10 min (preferably 0.5 at a temperature higher by 20 ° C. or higher than the melting point of the fluororesin (A) under a load of 49 N. Those having a temperature of ˜100 g / 10 minutes, more preferably 1-30 g / 10 minutes, still more preferably 5-20 g / 10 minutes) are preferred. When the melt flow rate is at least the lower limit, the moldability of the fluororesin (A) is excellent, and the surface smoothness and appearance of the fluororesin layer are excellent. When the melt flow rate is equal to or less than the upper limit, the mechanical strength of the fluororesin layer is excellent.

含フッ素樹脂(A)の372℃、荷重49Nの条件下における溶融流れ速度は、0.5〜15g/10分が好ましく、1〜15g/10分がより好ましく、1〜12g/10分がさらに好ましい。溶融流れ速度が前記上限値以下であれば、はんだこて耐熱性が向上する傾向がある。溶融流れ速度が前記下限値以上であれば、含フッ素樹脂(A)の成形性に優れる。   The melt flow rate of the fluororesin (A) under the conditions of 372 ° C. and a load of 49 N is preferably 0.5 to 15 g / 10 minutes, more preferably 1 to 15 g / 10 minutes, and further preferably 1 to 12 g / 10 minutes. preferable. If the melt flow rate is less than or equal to the upper limit, the soldering iron heat resistance tends to be improved. When the melt flow rate is equal to or higher than the lower limit, the moldability of the fluororesin (A) is excellent.

溶融流れ速度は、含フッ素樹脂(A)の分子量の目安であり、溶融流れ速度が大きいと分子量が小さく、溶融流れ速度が小さいと分子量が大きいことを示す。含フッ素樹脂(A)の分子量、ひいては溶融流れ速度は、含フッ素樹脂(A)の製造条件によって調整できる。たとえば、単量体の重合時に重合時間を短縮すると、溶融流れ速度が大きくなる傾向がある。溶融流れ速度を小さくするためには、含フッ素樹脂(A)を熱処理して架橋構造を形成し、分子量を上げる方法;含フッ素樹脂(A)を製造する際のラジカル重合開始剤の使用量を減らす方法;等が挙げられる。   The melt flow rate is a measure of the molecular weight of the fluorine-containing resin (A). When the melt flow rate is large, the molecular weight is small, and when the melt flow rate is small, the molecular weight is large. The molecular weight of the fluorinated resin (A) and thus the melt flow rate can be adjusted by the production conditions of the fluorinated resin (A). For example, if the polymerization time is shortened during the polymerization of the monomer, the melt flow rate tends to increase. In order to reduce the melt flow rate, a method in which the fluorine-containing resin (A) is heat-treated to form a crosslinked structure and the molecular weight is increased; the amount of radical polymerization initiator used in producing the fluorine-containing resin (A) is reduced. The method of reducing; etc. are mentioned.

含フッ素樹脂(A)としては、製造方法の違いによって、たとえば、下記のものが挙げられる。
(α)重合体の製造の際に用いた単量体、連鎖移動剤および重合開始剤からなる群から選ばれる少なくとも1種に由来する官能基(I)を有する含フッ素重合体。
(β)コロナ放電処理、プラズマ処理等の表面処理によって官能基(I)を有しない含フッ素樹脂に官能基(I)を導入した含フッ素樹脂。
(γ)官能基(I)を有しない含フッ素樹脂に、官能基(I)を有する単量体をグラフト重合して得られた含フッ素樹脂。
Examples of the fluororesin (A) include the following, depending on the production method.
(Α) A fluorine-containing polymer having a functional group (I) derived from at least one selected from the group consisting of a monomer, a chain transfer agent and a polymerization initiator used in the production of the polymer.
(Β) A fluorine-containing resin in which a functional group (I) is introduced into a fluorine-containing resin having no functional group (I) by surface treatment such as corona discharge treatment or plasma treatment.
(Γ) A fluorine-containing resin obtained by graft polymerization of a monomer having a functional group (I) to a fluorine-containing resin having no functional group (I).

含フッ素樹脂(A)としては、下記の理由から、含フッ素重合体(α)が好ましい。
・含フッ素重合体(α)においては、含フッ素重合体(α)の主鎖の末端基および主鎖のペンダント基のいずれか一方または両方に官能基(I)が存在するため、含フッ素樹脂層と、耐熱性樹脂層または金属箔層との界面における接着強度がさらに高くなる。
・含フッ素樹脂(β)における官能基(I)は、表面処理によって形成されたため不安定であり、時間とともに消失しやすい。
The fluorine-containing resin (A) is preferably a fluorine-containing polymer (α) for the following reasons.
In the fluorinated polymer (α), the functional group (I) is present in either one or both of the end group of the main chain and the pendant group of the main chain of the fluorinated polymer (α). The adhesive strength at the interface between the layer and the heat resistant resin layer or metal foil layer is further increased.
The functional group (I) in the fluororesin (β) is unstable because it is formed by the surface treatment and easily disappears with time.

含フッ素重合体(α)における官能基(I)が、含フッ素重合体(α)の製造に用いられた単量体に由来する場合、含フッ素重合体(α)は、下記方法(1)によって製造できる。この場合、官能基(I)は、製造時に単量体が重合することによって形成された該単量体に由来する単位中に存在する。
方法(1):単量体の重合によって含フッ素重合体(α)を製造する際に、官能基(I)を有する単量体を用いる。
When the functional group (I) in the fluoropolymer (α) is derived from the monomer used for the production of the fluoropolymer (α), the fluoropolymer (α) is obtained by the following method (1) Can be manufactured. In this case, the functional group (I) is present in a unit derived from the monomer formed by polymerization of the monomer during production.
Method (1): A monomer having a functional group (I) is used when the fluoropolymer (α) is produced by polymerization of monomers.

含フッ素重合体(α)における官能基(I)が、含フッ素重合体(α)の製造に用いられた連鎖移動剤に由来する場合、含フッ素重合体(α)は、下記方法(2)によって製造できる。この場合、官能基(I)は、含フッ素重合体(α)の主鎖の末端基として存在する。
方法(2):官能基(I)を有する連鎖移動剤の存在下に、単量体の重合によって含フッ素重合体(α)を製造する。
官能基(I)を有する連鎖移動剤としては、酢酸、無水酢酸、酢酸メチル、エチレングリコール、プロピレングリコール等が挙げられる。
When the functional group (I) in the fluoropolymer (α) is derived from the chain transfer agent used for the production of the fluoropolymer (α), the fluoropolymer (α) is obtained by the following method (2) Can be manufactured. In this case, the functional group (I) exists as a terminal group of the main chain of the fluoropolymer (α).
Method (2): A fluoropolymer (α) is produced by polymerizing monomers in the presence of a chain transfer agent having a functional group (I).
Examples of the chain transfer agent having the functional group (I) include acetic acid, acetic anhydride, methyl acetate, ethylene glycol, propylene glycol and the like.

含フッ素重合体(α)における官能基(I)が、含フッ素重合体(α)の製造に用いられた重合開始剤に由来する場合、含フッ素重合体(α)は、下記方法(3)によって製造できる。この場合、官能基(I)は、含フッ素重合体(α)の主鎖の末端基として存在する。
方法(3):官能基(I)を有するラジカル重合開始剤等の重合開始剤の存在下に、単量体の重合によって含フッ素重合体(α)を製造する。
官能基(I)を有するラジカル重合開始剤としては、ジ−n−プロピルペルオキシジカーボネート、ジイソプロピルペルオキシカーボネート、tert−ブチルペルオキシイソプロピルカーボネート、ビス(4−tert−ブチルシクロヘキシル)ペルオキシジカーボネート、ジ−2−エチルヘキシルペルオキシジカーボネート等が挙げられる。
When the functional group (I) in the fluoropolymer (α) is derived from the polymerization initiator used for the production of the fluoropolymer (α), the fluoropolymer (α) is obtained by the following method (3): Can be manufactured. In this case, the functional group (I) exists as a terminal group of the main chain of the fluoropolymer (α).
Method (3): A fluoropolymer (α) is produced by polymerizing a monomer in the presence of a polymerization initiator such as a radical polymerization initiator having a functional group (I).
Examples of the radical polymerization initiator having a functional group (I) include di-n-propyl peroxydicarbonate, diisopropyl peroxycarbonate, tert-butyl peroxyisopropyl carbonate, bis (4-tert-butylcyclohexyl) peroxydicarbonate, and di-2. -Ethylhexyl peroxydicarbonate and the like.

含フッ素重合体(α)における官能基(I)が、含フッ素重合体(α)の製造に用いられた単量体、連鎖移動剤、重合開始剤のうちの2種以上に由来する場合、含フッ素重合体(α)は前記方法(1)〜(3)のうちの2種以上を併用することによって製造できる。
含フッ素重合体(α)としては、官能基(I)の含有量を容易に制御でき、そのため、金属箔層との接着強度を調整しやすい点から、方法(1)で製造された、単量体に由来する官能基(I)を有する含フッ素重合体(α)が好ましい。
When the functional group (I) in the fluoropolymer (α) is derived from two or more of the monomers, chain transfer agents, and polymerization initiators used in the production of the fluoropolymer (α), The fluoropolymer (α) can be produced by using two or more of the methods (1) to (3) in combination.
As the fluorine-containing polymer (α), the content of the functional group (I) can be easily controlled. Therefore, the single polymer produced by the method (1) is easy to adjust the adhesive strength with the metal foil layer. A fluorine-containing polymer (α) having a functional group (I) derived from a monomer is preferred.

単量体に由来する官能基(I)を有する含フッ素重合体(α)としては、含フッ素樹脂層と、耐熱性樹脂層または金属箔層との界面における接着強度がさらに高くなる点から、下記の含フッ素重合体(α1)が特に好ましい。
テトラフルオロエチレン(以下、「TFE」とも記す。)に由来する単位(u1)と、酸無水物基を有する環状炭化水素単量体に由来する単位(u2)と、含フッ素単量体(ただし、TFEを除く。)に由来する単位(u3)とを有する含フッ素重合体(α1)。ここで、単位(u2)の有する酸無水物基が官能基(I)に相当する。
As the fluorine-containing polymer (α) having a functional group (I) derived from a monomer, the adhesive strength at the interface between the fluorine-containing resin layer and the heat-resistant resin layer or the metal foil layer is further increased, The following fluoropolymer (α1) is particularly preferred.
A unit (u1) derived from tetrafluoroethylene (hereinafter also referred to as “TFE”), a unit (u2) derived from a cyclic hydrocarbon monomer having an acid anhydride group, and a fluorine-containing monomer (provided that , A fluoropolymer (α1) having a unit (u3) derived from TFE). Here, the acid anhydride group of the unit (u2) corresponds to the functional group (I).

単位(u2)を構成する単量体としては、無水イタコン酸(以下、「IAH」とも記す。)、無水シトラコン酸(以下、「CAH」とも記す。)、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物(以下、「NAH」とも記す。)、無水マレイン酸等が挙げられる。該単量体は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   Examples of the monomer constituting the unit (u2) include itaconic anhydride (hereinafter also referred to as “IAH”), citraconic anhydride (hereinafter also referred to as “CAH”), and 5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid. Examples thereof include acid anhydrides (hereinafter also referred to as “NAH”), maleic anhydride, and the like. These monomers may be used alone or in combination of two or more.

単位(u2)を構成する単量体としては、IAH、CAHおよびNAHからなる群から選ばれる1種以上が好ましい。かかる場合、無水マレイン酸を用いたときに必要となる特殊な重合方法(特開平11−193312号公報参照)を用いることなく、酸無水物基を有する含フッ素重合体(α1)を容易に製造できる。また、単位(u2)を構成する単量体としては、含フッ素樹脂層と、耐熱性樹脂層または金属箔層との界面における接着強度がさらに高くなる点から、NAHが好ましい。   The monomer constituting the unit (u2) is preferably at least one selected from the group consisting of IAH, CAH and NAH. In such a case, a fluorine-containing polymer (α1) having an acid anhydride group can be easily produced without using a special polymerization method required when maleic anhydride is used (see JP-A-11-19312). it can. The monomer constituting the unit (u2) is preferably NAH because the adhesive strength at the interface between the fluorine-containing resin layer and the heat-resistant resin layer or metal foil layer is further increased.

単位(u3)を構成する含フッ素単量体としては、重合性炭素−炭素二重結合を1つ有する含フッ素化合物が好ましく、たとえば、フルオロオレフィン(フッ化ビニル、フッ化ビニリデン(以下、「VdF」とも記す。)、トリフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン(以下、「CTFE」とも記す。)、ヘキサフルオロプロピレン(以下、「HFP」とも記す。)等。ただし、TFEを除く。)、CF=CFORf1(ただし、Rf1は炭素数1〜10で炭素原子間に酸素原子を含んでもよいペルフルオロアルキル基である。)、CF=CFORf2SO(ただし、Rf2は炭素数1〜10で炭素原子間に酸素原子を含んでもよいペルフルオロアルキレン基であり、Xはハロゲン原子または水酸基である。)、CF=CFORf3CO(ただし、Rf3は炭素数1〜10で炭素原子間に酸素原子を含んでもよいペルフルオロアルキレン基であり、Xは水素原子または炭素数1〜3のアルキル基である。)、CF=CF(CFOCF=CF(ただし、pは1または2である。)、CH=CX(CF(ただし、Xは水素原子またはフッ素原子であり、qは2〜10の整数であり、Xは水素原子またはフッ素原子である。)、ペルフルオロ(2−メチレン−4−メチル−1、3−ジオキソラン)等が挙げられる。The fluorine-containing monomer constituting the unit (u3) is preferably a fluorine-containing compound having one polymerizable carbon-carbon double bond. For example, fluoroolefin (vinyl fluoride, vinylidene fluoride (hereinafter referred to as “VdF”). ), Trifluoroethylene, chlorotrifluoroethylene (hereinafter also referred to as “CTFE”), hexafluoropropylene (hereinafter also referred to as “HFP”), etc., except TFE), CF 2. = CFOR f1 (where R f1 is a perfluoroalkyl group having 1 to 10 carbon atoms and may contain an oxygen atom between carbon atoms), CF 2 = CFOR f2 SO 2 X 1 (where R f2 is the number of carbon atoms) 10 in an even better perfluoroalkylene group contain an oxygen atom between carbon atoms, X 1 is a halogen atom or a hydroxyl group. , CF 2 = CFOR f3 CO 2 X 2 ( provided that, R f3 is also good perfluoroalkylene group contain an oxygen atom between carbon atoms at 1 to 10 carbon atoms, X 2 is a hydrogen atom or 1 to 3 carbon atoms Is an alkyl group.), CF 2 = CF (CF 2 ) p OCF═CF 2 (where p is 1 or 2), CH 2 = CX 3 (CF 2 ) q X 4 (where X 3 Is a hydrogen atom or a fluorine atom, q is an integer of 2 to 10, and X 4 is a hydrogen atom or a fluorine atom.), Perfluoro (2-methylene-4-methyl-1,3-dioxolane), etc. Can be mentioned.

単位(u3)を構成する含フッ素単量体としては、VdF、CTFE、HFP、CF=CFORf1、およびCH=CX(CFからなる群から選ばれる少なくとも1種が好ましく、CF=CFORf1、HFPがより好ましい。
CF=CFORf1としては、CF=CFOCFCF、CF=CFOCFCFCF、CF=CFOCFCFCFCF、CF=CFO(CFF等が挙げられ、CF=CFOCFCFCF(以下、「PPVE」とも記す。)が好ましい。
CH=CX(CFとしては、CH=CH(CFF、CH=CH(CFF、CH=CH(CFF、CH=CF(CFH、CH=CF(CFH等が挙げられ、CH=CH(CFF、またはCH=CH(CFFが好ましい。
The fluorine-containing monomer constituting the unit (u3) includes at least one selected from the group consisting of VdF, CTFE, HFP, CF 2 = CFOR f1 , and CH 2 = CX 3 (CF 2 ) q X 4. CF 2 = CFOR f1 and HFP are more preferable.
As CF 2 = CFOR f1 , CF 2 = CFOCF 2 CF 3 , CF 2 = CFOCF 2 CF 2 CF 3 , CF 2 = CFOCF 2 CF 2 CF 2 CF 3 , CF 2 = CFO (CF 2 ) 8 F, etc. CF 2 = CFOCF 2 CF 2 CF 3 (hereinafter also referred to as “PPVE”) is preferable.
As CH 2 = CX 3 (CF 2 ) q X 4 , CH 2 = CH (CF 2 ) 2 F, CH 2 = CH (CF 2 ) 3 F, CH 2 = CH (CF 2 ) 4 F, CH 2 ═CF (CF 2 ) 3 H, CH 2 ═CF (CF 2 ) 4 H and the like, and CH 2 ═CH (CF 2 ) 4 F or CH 2 ═CH (CF 2 ) 2 F are preferable.

単位(u1)の割合は、単位(u1)と単位(u2)と単位(u3)との合計100モル%のうち、50〜99.89モル%が好ましく、50〜99.4モル%がより好ましく、50〜98.9モル%がさらに好ましい。
単位(u2)の割合は、単位(u1)と単位(u2)と単位(u3)との合計100モル%のうち、0.01〜5モル%が好ましく、0.1〜3モル%がより好ましく、0.1〜2モル%がさらに好ましい。
単位(u3)の割合は、単位(u1)と単位(u2)と単位(u3)との合計100モル%のうち、0.1〜49.99モル%が好ましく、0.5〜49.9モル%がより好ましく、1〜49.9モル%がさらに好ましい。
The proportion of the unit (u1) is preferably 50 to 99.89 mol%, more preferably 50 to 99.4 mol%, out of the total 100 mol% of the unit (u1), the unit (u2), and the unit (u3). Preferably, 50 to 98.9 mol% is more preferable.
The proportion of the unit (u2) is preferably 0.01 to 5 mol%, more preferably 0.1 to 3 mol%, out of the total 100 mol% of the unit (u1), the unit (u2) and the unit (u3). Preferably, 0.1 to 2 mol% is more preferable.
The proportion of the unit (u3) is preferably from 0.1 to 49.99 mol%, and preferably from 0.5 to 49.9 mol, out of the total 100 mol% of the unit (u1), the unit (u2) and the unit (u3). The mol% is more preferable, and 1 to 49.9 mol% is more preferable.

各単位の割合が前記範囲内であれば、含フッ素樹脂層の耐熱性、耐薬品性、高温での弾性率に優れる。単位(u2)の割合が前記範囲内であれば、含フッ素重合体(α1)における酸無水物基の量が適切になり、含フッ素樹脂層と、耐熱性樹脂層または金属箔層との界面における接着強度がさらに高くなる。単位(u3)の割合が前記範囲内であれば、含フッ素重合体(α1)の成形性に優れ、含フッ素樹脂層の耐屈曲性等に優れる。各単位の割合は、含フッ素重合体(α1)の溶融NMR分析、フッ素含有量分析、赤外吸収スペクトル分析等により算出できる。   When the ratio of each unit is within the above range, the fluororesin layer is excellent in heat resistance, chemical resistance, and elastic modulus at high temperature. When the ratio of the unit (u2) is within the above range, the amount of the acid anhydride group in the fluoropolymer (α1) is appropriate, and the interface between the fluororesin layer and the heat resistant resin layer or the metal foil layer. The adhesive strength at is further increased. When the proportion of the unit (u3) is within the above range, the fluoropolymer (α1) is excellent in moldability and the fluororesin layer is excellent in bending resistance. The ratio of each unit can be calculated by melt NMR analysis, fluorine content analysis, infrared absorption spectrum analysis, etc. of the fluoropolymer (α1).

含フッ素重合体(α1)が単位(u1)と単位(u2)と単位(u3)とからなる場合、単位(u2)の割合が0.01モル%であることは、含フッ素重合体(α1)中の酸無水物基の含有量が含フッ素重合体(α1)の主鎖炭素数1×10個に対して100個であることに相当する。単位(u2)の割合が5モル%であることは、含フッ素重合体(α1)中の酸無水物基の含有量が含フッ素重合体(α1)の主鎖炭素数1×10個に対して50000個であることに相当する。
含フッ素重合体(α1)には、単位(u2)における酸無水物基の一部が加水分解し、その結果、酸無水物基含有環状炭化水素単量体に対応するジカルボン酸(イタコン酸、シトラコン酸、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸、マレイン酸等)に由来する単位が含まれる場合がある。該ジカルボン酸に由来する単位が含まれる場合、該単位の割合は、単位(u2)の割合に含まれるものとする。
When the fluoropolymer (α1) is composed of units (u1), units (u2) and units (u3), the proportion of units (u2) is 0.01 mol%. This corresponds to the content of acid anhydride groups in) being 100 with respect to 1 × 10 6 main chain carbon atoms of the fluoropolymer (α1). The proportion of the unit (u2) is 5 mol% because the content of the acid anhydride group in the fluoropolymer (α1) is 1 × 10 6 main chain carbon atoms of the fluoropolymer (α1). This corresponds to 50,000 pieces.
In the fluorinated polymer (α1), a part of the acid anhydride group in the unit (u2) is hydrolyzed, and as a result, a dicarboxylic acid (itaconic acid, Units derived from citraconic acid, 5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid, maleic acid, etc.) may be included. When a unit derived from the dicarboxylic acid is included, the ratio of the unit is included in the ratio of the unit (u2).

含フッ素重合体(α1)は、単位(u1)〜(u3)に加えて、非含フッ素単量体(ただし、酸無水物基含有環状炭化水素単量体を除く。)に由来する単位(u4)を有していてもよい。
非含フッ素単量体としては、重合性炭素−炭素二重結合を1つ有する非含フッ素化合物が好ましく、たとえば、炭素数3以下のオレフィン(エチレン、プロピレン等)、ビニルエステル(酢酸ビニル等)等が挙げられる。非含フッ素単量体は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
非含フッ素単量体としては、エチレン、プロピレン、または酢酸ビニルが好ましく、エチレンが特に好ましい。
含フッ素重合体(α1)が単位(u4)を有する場合、単位(u4)の割合は、単位(u1)と単位(u2)と単位(u3)との合計100モル%に対して、5〜90モル%が好ましく、5〜80モル%がより好ましく、10〜65モル%がさらに好ましい。
In addition to the units (u1) to (u3), the fluorinated polymer (α1) is a unit derived from a non-fluorinated monomer (excluding an acid anhydride group-containing cyclic hydrocarbon monomer) ( u4) may be included.
As the non-fluorine-containing monomer, a non-fluorine-containing compound having one polymerizable carbon-carbon double bond is preferable. For example, olefins having 3 or less carbon atoms (ethylene, propylene, etc.), vinyl esters (vinyl acetate, etc.) Etc. A non-fluorine-containing monomer may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
As the non-fluorinated monomer, ethylene, propylene, or vinyl acetate is preferable, and ethylene is particularly preferable.
When the fluoropolymer (α1) has the unit (u4), the proportion of the unit (u4) is 5 to 5% with respect to 100 mol% in total of the unit (u1), the unit (u2), and the unit (u3). 90 mol% is preferable, 5-80 mol% is more preferable, and 10-65 mol% is further more preferable.

含フッ素重合体(α1)の全単位の合計を100モル%としたとき、単位(u1)と単位(u2)と単位(u3)との合計は、60モル%以上が好ましく、65モル%以上がより好ましく、68モル%以上がさらに好ましい。好ましい上限値は、100モル%である。   When the total of all the units of the fluoropolymer (α1) is 100 mol%, the total of the units (u1), units (u2), and units (u3) is preferably 60 mol% or more, and 65 mol% or more. Is more preferable, and 68 mol% or more is more preferable. A preferable upper limit is 100 mol%.

含フッ素重合体(α1)の好ましい具体例としては、TFE/PPVE/NAH共重合体、TFE/PPVE/IAH共重合体、TFE/PPVE/CAH共重合体、TFE/HFP/IAH共重合体、TFE/HFP/CAH共重合体、TFE/VdF/IAH共重合体、TFE/VdF/CAH共重合体、TFE/CH=CH(CFF/IAH/エチレン共重合体、TFE/CH=CH(CFF/CAH/エチレン共重合体、TFE/CH=CH(CFF/IAH/エチレン共重合体、TFE/CH=CH(CFF/CAH/エチレン共重合体、等が挙げられる。Preferable specific examples of the fluoropolymer (α1) include TFE / PPVE / NAH copolymer, TFE / PPVE / IAH copolymer, TFE / PPVE / CAH copolymer, TFE / HFP / IAH copolymer, TFE / HFP / CAH copolymer, TFE / VdF / IAH copolymer, TFE / VdF / CAH copolymer, TFE / CH 2 ═CH (CF 2 ) 4 F / IAH / ethylene copolymer, TFE / CH 2 = CH (CF 2 ) 4 F / CAH / ethylene copolymer, TFE / CH 2 ═CH (CF 2 ) 2 F / IAH / ethylene copolymer, TFE / CH 2 ═CH (CF 2 ) 2 F / And CAH / ethylene copolymer.

含フッ素樹脂(A)の製造方法:
含フッ素樹脂(A)は、常法により製造できる。単量体の重合によって含フッ素樹脂(A)を製造する場合、重合方法としては、ラジカル重合開始剤を用いる方法が好ましい。
重合方法としては、塊状重合法、有機溶媒(フッ化炭化水素、塩化炭化水素、フッ化塩化炭化水素、アルコール、炭化水素等)を用いる溶液重合法、水性媒体と必要に応じて適当な有機溶媒とを用いる懸濁重合法、水性媒体と乳化剤とを用いる乳化重合法が挙げられ、溶液重合法が好ましい。
Production method of fluorine-containing resin (A):
The fluorine-containing resin (A) can be produced by a conventional method. When the fluororesin (A) is produced by polymerization of monomers, the polymerization method is preferably a method using a radical polymerization initiator.
Polymerization methods include bulk polymerization, solution polymerization using organic solvents (fluorinated hydrocarbons, chlorinated hydrocarbons, fluorinated chlorohydrocarbons, alcohols, hydrocarbons, etc.), aqueous media and appropriate organic solvents as required. And suspension polymerization methods using an aqueous medium and an emulsion polymerization method using an emulsifier and a solution polymerization method are preferred.

ラジカル重合開始剤としては、その半減期が10時間である温度が0〜100℃である開始剤が好ましく、20〜90℃である開始剤がより好ましい。
ラジカル重合開始剤としては、アゾ化合物(アゾビスイソブチロニトリル等)、非フッ素系ジアシルペルオキシド(イソブチリルペルオキシド、オクタノイルペルオキシド、ベンゾイルペルオキシド、ラウロイルペルオキシド等)、ペルオキシジカーボネート(ジイソプロピルペルオキシジカ−ボネート等)、ペルオキシエステル(tert−ブチルペルオキシピバレート、tert−ブチルペルオキシイソブチレート、tert−ブチルペルオキシアセテート等)、含フッ素ジアシルペルオキシド((Z(CFCOO)(ただし、Zは水素原子、フッ素原子または塩素原子であり、rは1〜10の整数である。)で表される化合物等)、無機過酸化物(過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム、過硫酸アンモニウム等)等が挙げられる。
The radical polymerization initiator is preferably an initiator having a half-life of 10 hours and a temperature of 0 to 100 ° C., more preferably an initiator having a temperature of 20 to 90 ° C.
Examples of radical polymerization initiators include azo compounds (such as azobisisobutyronitrile), non-fluorinated diacyl peroxides (such as isobutyryl peroxide, octanoyl peroxide, benzoyl peroxide, lauroyl peroxide), and peroxydicarbonates (diisopropyl peroxydicarbonate). Peroxyester (tert-butyl peroxypivalate, tert-butyl peroxyisobutyrate, tert-butyl peroxyacetate, etc.), fluorine-containing diacyl peroxide ((Z (CF 2 ) r COO) 2 (where Z is A hydrogen atom, a fluorine atom or a chlorine atom, and r is an integer of 1 to 10.)), inorganic peroxides (potassium persulfate, sodium persulfate, ammonium persulfate, etc.) and the like. Et That.

単量体の重合時には、含フッ素樹脂(A)の溶融粘度を制御するために、連鎖移動剤を用いてもよい。連鎖移動剤としては、アルコール(メタノール、エタノール等)、クロロフルオロハイドロカーボン(1,3−ジクロロ−1,1,2,2,3−ペンタフルオロプロパン、1,1−ジクロロ−1−フルオロエタン等)、炭化水素(ペンタン、ヘキサン、シクロヘキサン等)が挙げられる。   A chain transfer agent may be used during polymerization of the monomer in order to control the melt viscosity of the fluororesin (A). Chain transfer agents include alcohol (methanol, ethanol, etc.), chlorofluorohydrocarbon (1,3-dichloro-1,1,2,2,3-pentafluoropropane, 1,1-dichloro-1-fluoroethane, etc. ), Hydrocarbons (pentane, hexane, cyclohexane, etc.).

溶液重合法で用いる有機溶媒としては、ペルフルオロカーボン、ヒドロフルオロカーボン、クロロヒドロフルオロカーボン、ヒドロフルオロエーテル等が挙げられる。炭素数は、4〜12が好ましい。
ペルフルオロカーボンの具体例としては、ペルフルオロシクロブタン、ペルフルオロペンタン、ペルフルオロヘキサン、ペルフルオロシクロペンタン、ペルフルオロシクロヘキサン等が挙げられる。
ヒドロフルオロカーボンの具体例としては、1−ヒドロペルフルオロヘキサン等が挙げられる。
クロロヒドロフルオロカーボンの具体例としては、1,3−ジクロロ−1,1,2,2,3−ペンタフルオロプロパン等が挙げられる。
ヒドロフルオロエーテルの具体例としては、メチルペルフルオロブチルエーテル、2,2,2−トリフルオロエチル2,2,1,1−テトラフルオロエチルエーテル等が挙げられる。
Examples of the organic solvent used in the solution polymerization method include perfluorocarbon, hydrofluorocarbon, chlorohydrofluorocarbon, and hydrofluoroether. As for carbon number, 4-12 are preferable.
Specific examples of the perfluorocarbon include perfluorocyclobutane, perfluoropentane, perfluorohexane, perfluorocyclopentane, and perfluorocyclohexane.
Specific examples of the hydrofluorocarbon include 1-hydroperfluorohexane and the like.
Specific examples of the chlorohydrofluorocarbon include 1,3-dichloro-1,1,2,2,3-pentafluoropropane.
Specific examples of the hydrofluoroether include methyl perfluorobutyl ether and 2,2,2-trifluoroethyl 2,2,1,1-tetrafluoroethyl ether.

重合温度は、0〜100℃が好ましく、20〜90℃がより好ましい。重合圧力は、0.1〜10MPaが好ましく、0.5〜3MPaがより好ましい。重合時間は、1〜30時間が好ましい。   The polymerization temperature is preferably 0 to 100 ° C, and more preferably 20 to 90 ° C. The polymerization pressure is preferably from 0.1 to 10 MPa, more preferably from 0.5 to 3 MPa. The polymerization time is preferably 1 to 30 hours.

含フッ素重合体(α1)を製造する場合、単位(u2)を構成する単量体の重合中の濃度は、全単量体に対して0.01〜5モル%が好ましく、0.1〜3モル%がより好ましく、0.1〜2モル%がさらに好ましい。該単量体の濃度が前記範囲内であれば、重合速度が適度なものになる。該単量体の濃度が高すぎると、重合速度が低下する傾向がある。
単位(u2)を構成する単量体が重合で消費されるにしたがって、消費された量を連続的または断続的に重合槽内に供給し、該単量体の濃度を前記範囲内に維持することが好ましい。
When the fluoropolymer (α1) is produced, the concentration of the monomer constituting the unit (u2) during polymerization is preferably 0.01 to 5 mol% with respect to the total monomer, 3 mol% is more preferable and 0.1-2 mol% is further more preferable. When the concentration of the monomer is within the above range, the polymerization rate becomes moderate. When the concentration of the monomer is too high, the polymerization rate tends to decrease.
As the monomer constituting the unit (u2) is consumed in the polymerization, the consumed amount is continuously or intermittently supplied into the polymerization tank, and the concentration of the monomer is maintained within the above range. It is preferable.

耐熱性樹脂層に含有される他の樹脂は、電気的信頼性の特性を損なわない限り、特に限定されるものではない。他の樹脂としては、たとえば、含フッ素樹脂(A)以外の含フッ素樹脂、芳香族ポリエステル、ポリアミドイミド、熱可塑性ポリイミド等が挙げられる。なかでも、電気的信頼性の点から、含フッ素樹脂(A)以外の含フッ素共重合体が好ましい。   Other resins contained in the heat resistant resin layer are not particularly limited as long as the electrical reliability characteristics are not impaired. Examples of other resins include fluorine-containing resins other than the fluorine-containing resin (A), aromatic polyesters, polyamideimides, and thermoplastic polyimides. Of these, fluorine-containing copolymers other than the fluorine-containing resin (A) are preferable from the viewpoint of electrical reliability.

含フッ素樹脂(A)以外の含フッ素樹脂としては、たとえば、テトラフルオロエチレン/フルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体、エチレン/テトラフルオロエチレン共重合体等が挙げられる。
含フッ素樹脂(A)以外の含フッ素樹脂の融点は、280〜320℃が好ましい。融点が前記範囲内であれば、はんだリフローに相当する雰囲気に曝されたときに、含フッ素樹脂層に熱による膨れ(発泡)が生じにくい。
Examples of the fluorine-containing resin other than the fluorine-containing resin (A) include a tetrafluoroethylene / fluoroalkyl vinyl ether copolymer, a tetrafluoroethylene / hexafluoropropylene copolymer, and an ethylene / tetrafluoroethylene copolymer. .
The melting point of the fluorine-containing resin other than the fluorine-containing resin (A) is preferably 280 to 320 ° C. When the melting point is within the above range, swelling (foaming) due to heat hardly occurs in the fluororesin layer when exposed to an atmosphere corresponding to solder reflow.

耐熱性樹脂層に含有される添加剤としては、耐熱性樹脂層に含まれるものと同様のものが挙げられ、好ましい形態も同様である。   Examples of the additive contained in the heat resistant resin layer include the same additives as those contained in the heat resistant resin layer, and preferred forms thereof are also the same.

(金属箔層)
金属箔層は、金属箔からなる層である。金属箔は、特に限定されず、積層板の用途に応じて適宜選択すればよい。たとえば、電子機器、電気機器に積層板を用いる場合、金属箔の材質としては、銅または銅合金、ステンレス鋼またはその合金、ニッケルまたはニッケル合金(42合金も含む。)、アルミニウムまたはアルミニウム合金が挙げられる。電子機器、電気機器に用いられる通常の積層板においては、圧延銅箔、電解銅箔等の銅箔が多用されており、本発明においても銅箔が好適である。
(Metal foil layer)
The metal foil layer is a layer made of a metal foil. Metal foil is not specifically limited, What is necessary is just to select suitably according to the use of a laminated board. For example, when a laminated plate is used for an electronic device or an electric device, examples of the material of the metal foil include copper or a copper alloy, stainless steel or an alloy thereof, nickel or a nickel alloy (including 42 alloy), aluminum or an aluminum alloy. It is done. In ordinary laminates used for electronic equipment and electrical equipment, copper foil such as rolled copper foil and electrolytic copper foil is frequently used, and copper foil is also suitable in the present invention.

金属箔の表面には、防錆層(クロメート等の酸化物皮膜)や耐熱層が形成されていてもよい。また、含フッ素樹脂層との接着強度を高くするために、金属箔の表面にカップリング剤処理等を施してもよい。
金属箔の厚さは、特に限定されず、積層板の用途に応じて、充分な機能が発揮できる厚さであればよい。
A rust prevention layer (oxide film such as chromate) or a heat-resistant layer may be formed on the surface of the metal foil. Moreover, in order to make the adhesive strength with a fluorine-containing resin layer high, you may give a coupling agent process etc. to the surface of metal foil.
The thickness of metal foil is not specifically limited, What is necessary is just the thickness which can exhibit a sufficient function according to the use of a laminated board.

本発明の積層板にあっては、含フッ素樹脂層が、カルボニル基含有基、ヒドロキシ基、エポキシ基およびイソシアネート基からなる群から選択される少なくとも1種の官能基(I)を有する含フッ素樹脂(A)を含むため、耐熱性樹脂層と含フッ素樹脂層との界面、および含フッ素樹脂層と金属箔層との界面の接着強度が充分に高い。   In the laminate of the present invention, the fluorine-containing resin layer has at least one functional group (I) selected from the group consisting of a carbonyl group-containing group, a hydroxy group, an epoxy group, and an isocyanate group. Since (A) is included, the adhesive strength at the interface between the heat-resistant resin layer and the fluorine-containing resin layer and the interface between the fluorine-containing resin layer and the metal foil layer is sufficiently high.

<積層板の製造方法>
本発明の積層板の製造方法は、下記の工程(a)および工程(b)、さらに、必要に応じて実施されるる、工程(x)、工程(y)および工程(z)を有する。
(a)含フッ素樹脂(A)を含む含フッ素樹脂フィルムと、金属箔とを、含フッ素樹脂(A)の融点未満で熱ラミネートすることによって、含フッ素樹脂層付き金属箔を得る工程。
(x)含フッ素樹脂層付き金属箔の反りを矯正する工程。
(b)耐熱性樹脂(B)を含む耐熱性樹脂フィルムと、含フッ素樹脂層付き金属箔とを、耐熱性樹脂フィルムと含フッ素樹脂層とが接するように、含フッ素樹脂(A)の融点以上で熱ラミネートすることによって、積層板を得る工程。
(y)積層板の反りを矯正する工程。
(z)積層板に加熱処理を施す工程。
<Manufacturing method of laminated board>
The manufacturing method of the laminated board of this invention has the following process (a) and process (b), and also the process (x), process (y), and process (z) implemented as needed.
(A) A step of obtaining a metal foil with a fluorine-containing resin layer by thermally laminating a fluorine-containing resin film containing the fluorine-containing resin (A) and a metal foil at a temperature lower than the melting point of the fluorine-containing resin (A).
(X) The process of correcting the curvature of the metal foil with a fluorine-containing resin layer.
(B) Melting | fusing point of fluorine-containing resin (A) so that a heat-resistant resin film and a fluorine-containing resin layer may contact | connect a heat-resistant resin film containing a heat-resistant resin (B), and a metal foil with a fluorine-containing resin layer The process of obtaining a laminated board by carrying out heat lamination above.
(Y) The process of correcting the curvature of a laminated board.
(Z) The process of heat-processing a laminated board.

(熱ラミネート装置)
工程(a)における熱ラミネートおよび工程(b)における熱ラミネートは、製造効率の点から、一対以上の金属ロールまたは一対以上の金属ベルトから構成される熱ラミネート手段を有する熱ラミネート装置によって連続的に行われることが好ましい。
一対以上の金属ロールを有する熱ラミネート装置としては、熱ロールラミネート装置等が挙げられる。一対以上の金属ベルトを有する熱ラミネート装置としては、ダブルベルトプレス等が挙げられる。
(Thermal laminator)
From the viewpoint of production efficiency, the thermal lamination in the step (a) and the thermal lamination in the step (b) are continuously performed by a thermal laminating apparatus having a thermal laminating unit composed of a pair of metal rolls or a pair of metal belts. Preferably, it is done.
Examples of the heat laminating apparatus having a pair of metal rolls include a heat roll laminating apparatus. A double belt press etc. are mentioned as a heat laminating apparatus which has a pair or more metal belt.

熱ラミネート装置としては、装置構成が単純であり、保守コストの面で有利であるという点から、熱ロールラミネート装置が好ましい。
熱ロールラミネート装置は、2つの部材を加熱しながら圧着できる一対以上の金属ロールを有する装置であればよく、その具体的な装置構成は特に限定されるものではない。
As the thermal laminating apparatus, a hot roll laminating apparatus is preferable because the apparatus configuration is simple and it is advantageous in terms of maintenance cost.
The hot roll laminating apparatus may be an apparatus having a pair of metal rolls that can be crimped while heating two members, and the specific apparatus configuration is not particularly limited.

熱ラミネート手段における加熱方式は、特に限定されるものではなく、たとえば、熱循環方式、熱風加熱方式、誘導加熱方式等、所定の温度で加熱し得る従来公知の方式を採用できる。
熱ラミネート手段における加圧方式は、特に限定されるものではなく、たとえば、油圧方式、空気圧方式、ギャップ間圧力方式等、所定の圧力を加えることができる従来公知の方式を採用できる。
The heating method in the heat laminating means is not particularly limited, and for example, a conventionally known method capable of heating at a predetermined temperature such as a heat circulation method, a hot air heating method, an induction heating method, or the like can be adopted.
The pressurization method in the heat laminating means is not particularly limited, and for example, a conventionally known method that can apply a predetermined pressure, such as a hydraulic method, a pneumatic method, and a gap pressure method can be adopted.

熱ラミネート装置には、熱ラミネート手段(一対以上の金属ロール等)の前段に、各部材を送り出す送出手段を設けてもよく、熱ラミネート手段の後段に、貼り合わされた部材を巻き取る巻取手段を設けてもよい。各部材の送出手段および巻取手段を設けることによって、生産性をより一層向上できる。各部材の送出手段および巻取手段の具体的な構成は特に限定されるものではなく、たとえば、各部材をロール状に巻き取ることのできる公知の巻取機等が挙げられる。   The thermal laminating apparatus may be provided with a feeding means for sending out each member before the thermal laminating means (a pair of metal rolls or the like), and a winding means for winding the bonded members after the thermal laminating means. May be provided. Productivity can be further improved by providing the feeding means and winding means for each member. Specific configurations of the feeding means and the winding means of each member are not particularly limited, and examples thereof include a known winder that can wind each member in a roll shape.

熱ラミネート装置には、金属箔層の外観を良好なものとするために、熱ラミネート手段と金属箔との間に配置される保護材料を送り出す送出手段および保護材料を巻き取る巻取手段を設けてもよい。保護材料の送出手段および巻取手段を設けることによって、一度使用された保護材料を巻き取って送り出し側に再度設置することで保護材料を再利用できる。また、保護材料を巻き取る際に、保護材料の両端部を揃えるために、端部位置検出手段および巻取位置修正手段を設けてもよい。これによって、精度よく保護材料の端部を揃えて巻き取ることができ、再利用の効率を高めることができる。保護材料の送出手段、巻取手段、端部位置検出手段および巻取位置修正手段の具体的な構成は特に限定されるものではなく、たとえば、従来公知の各種装置が挙げられる。   In order to improve the appearance of the metal foil layer, the heat laminating apparatus is provided with a feeding means for sending out a protective material disposed between the heat laminating means and the metal foil and a winding means for winding up the protective material. May be. By providing the protective material feeding means and the winding means, the protective material can be reused by winding the protective material once used and installing it again on the delivery side. Further, when winding up the protective material, end position detecting means and winding position correcting means may be provided in order to align both ends of the protective material. Thereby, the end portions of the protective material can be aligned and wound with high accuracy, and the efficiency of reuse can be increased. Specific configurations of the protective material feeding means, the winding means, the end position detecting means, and the winding position correcting means are not particularly limited, and examples thereof include various conventionally known devices.

保護材料としては、熱ラミネートの際の加熱温度に耐え得るものであれば特に限定されず、耐熱性プラスチックフィルム(非熱可塑性ポリイミドフィルム等)、金属箔(銅箔、アルミニウム箔、SUS箔等)等が挙げられる。耐熱性、再利用性等のバランスが優れる点から、非熱可塑性ポリイミドフィルムが好ましい。
非熱可塑性ポリイミドフィルムの厚さは、75μm以上が好ましい。非熱可塑性ポリイミドフィルムの厚さが薄いと、熱ラミネートの際の緩衝および保護の役目を充分に果たさないおそれがある。保護材料は、単層構造であってもよく、2層以上の多層構造であってもよい。
The protective material is not particularly limited as long as it can withstand the heating temperature at the time of thermal lamination, and heat resistant plastic film (non-thermoplastic polyimide film, etc.), metal foil (copper foil, aluminum foil, SUS foil, etc.) Etc. A non-thermoplastic polyimide film is preferred from the viewpoint of excellent balance between heat resistance and reusability.
The thickness of the non-thermoplastic polyimide film is preferably 75 μm or more. If the thickness of the non-thermoplastic polyimide film is thin, there is a risk that the role of buffering and protection during thermal lamination will not be sufficiently fulfilled. The protective material may have a single layer structure or a multilayer structure of two or more layers.

(工程(a))
含フッ素樹脂フィルムと金属箔とを熱ラミネートすることによって含フッ素樹脂層付き金属箔を得る。
含フッ素樹脂フィルムは含フッ素樹脂(A)を含むものであればよい。含フッ素樹脂フィルムは単層フィルムであってもよく、積層フィルムであってもよい。含フッ素樹脂フィルムの厚さは、通常1〜1000μmであり、1〜20μmが好ましく、3〜20μmがより好ましく、3〜15μmがさらに好ましい。
(Process (a))
A metal foil with a fluorine-containing resin layer is obtained by thermally laminating a fluorine-containing resin film and a metal foil.
The fluorine-containing resin film should just contain a fluorine-containing resin (A). The fluorine-containing resin film may be a single layer film or a laminated film. The thickness of the fluororesin film is usually 1 to 1000 μm, preferably 1 to 20 μm, more preferably 3 to 20 μm, and still more preferably 3 to 15 μm.

含フッ素樹脂フィルムは、たとえば、下記の方法によって得られる。
・含フッ素樹脂(A)そのもの、または含フッ素樹脂(A)を含む樹脂組成物を、公知の成形方法(押出成形法、インフレーション成形法等)によってフィルム状に成形する方法。
・官能基(I)を有さない含フッ素樹脂を含む含フッ素樹脂フィルムに、コロナ放電処理、プラズマ処理等の公知の表面処理を施し、官能基(I)を導入する方法。
A fluorine-containing resin film is obtained by the following method, for example.
A method of molding the fluororesin (A) itself or a resin composition containing the fluororesin (A) into a film by a known molding method (extrusion molding method, inflation molding method, etc.).
A method for introducing a functional group (I) by subjecting a fluororesin film containing a fluororesin having no functional group (I) to a known surface treatment such as corona discharge treatment or plasma treatment.

含フッ素樹脂フィルムには、好ましくは100〜250℃、より好ましくは150〜250℃、さらに好ましくは180〜250℃、特に好ましくは熱ラミネートの温度以上250℃以下で加熱処理を予め施してもよい。加熱処理を予め施すことによって、工程(a)における含フッ素樹脂フィルムの収縮を小さくでき、その結果、含フッ素樹脂層付き金属箔の反りを低減できる。   The fluorine-containing resin film is preferably 100-250 ° C, more preferably 150-250 ° C, still more preferably 180-250 ° C, and particularly preferably heat treatment at a temperature of the heat laminating temperature to 250 ° C. . By performing the heat treatment in advance, shrinkage of the fluorine-containing resin film in the step (a) can be reduced, and as a result, warpage of the metal foil with the fluorine-containing resin layer can be reduced.

図3は、工程(a)に用いられる熱ロールラミネート装置の一例を示す概略構成図である。熱ロールラミネート装置20においては、ロール22から連続的に送り出された長尺の含フッ素樹脂フィルム14’と、ロール24から連続的に送り出された長尺の金属箔16’とが、一対の金属ロール26において重ねられた状態となり、一対の金属ロール26の間を連続的に通過する際に加熱、加圧されることによって熱ラミネートされ、含フッ素樹脂層付き金属箔18となる。一対の金属ロール26の間を通過した含フッ素樹脂層付き金属箔18は、ロール28に連続的に巻き取られる。   FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing an example of a hot roll laminating apparatus used in the step (a). In the hot roll laminating apparatus 20, a long fluorine-containing resin film 14 ′ continuously fed from the roll 22 and a long metal foil 16 ′ continuously fed from the roll 24 are a pair of metals. The rolls 26 are overlapped and heated and pressed when continuously passing between the pair of metal rolls 26 to be heat-laminated to form a metal foil 18 with a fluororesin layer. The metal foil 18 with a fluororesin layer that has passed between the pair of metal rolls 26 is continuously wound around the roll 28.

金属ロールまたは金属ベルトの温度、すなわち熱ラミネートの温度は、含フッ素樹脂(A)の融点未満であり、(融点−20℃)以下が好ましく、(融点−50℃)以下がより好ましい。熱ラミネートの温度が前記上限値以下であれば、含フッ素樹脂フィルムが加熱された瞬間に幅方向に収縮しにくく、切れにくい。また、含フッ素樹脂フィルムが金属ロールまたは金属ベルトに付着しにくい。
熱ラミネートの温度は、(含フッ素樹脂(A)の融点−200℃)以上が好ましく、(融点−180℃)以上がより好ましく、(融点−150℃)以上がさらに好ましい。熱ラミネートの温度が前記下限値以上であれば、含フッ素樹脂フィルムと金属箔とが仮接着された状態となり、後工程において含フッ素樹脂層と金属箔との剥離が生じにくい。
The temperature of the metal roll or metal belt, that is, the temperature of the thermal laminate is less than the melting point of the fluororesin (A), preferably (melting point−20 ° C.) or less, more preferably (melting point−50 ° C.) or less. If the temperature of the heat laminate is not more than the above upper limit value, it is difficult to shrink in the width direction at the moment when the fluorine-containing resin film is heated, and it is difficult to cut. Further, the fluorine-containing resin film hardly adheres to the metal roll or the metal belt.
The temperature of the heat laminate is preferably (melting point of fluororesin (A) −200 ° C.) or higher, more preferably (melting point−180 ° C.) or higher, and further preferably (melting point−150 ° C.) or higher. If the temperature of the thermal laminate is equal to or higher than the lower limit, the fluororesin film and the metal foil are temporarily bonded, and the fluororesin layer and the metal foil are unlikely to peel off in a subsequent process.

一対の金属ロール間の圧力または一対の金属ベルト間の圧力、すなわち熱ラミネートの圧力は、49〜1764N/cmが好ましく、98〜1470N/cmがより好ましい。熱ラミネートの圧力が前記範囲内であれば、熱ラミネートの温度、熱ラミネートの速度および熱ラミネートの圧力の3つの条件を良好なものにすることができ、生産性をより一層向上できる。   The pressure between the pair of metal rolls or the pressure between the pair of metal belts, that is, the pressure of the thermal laminate is preferably 49 to 1764 N / cm, and more preferably 98 to 1470 N / cm. If the pressure of the heat laminate is within the above range, the three conditions of the temperature of the heat laminate, the speed of the heat laminate, and the pressure of the heat laminate can be made favorable, and the productivity can be further improved.

熱ラミネートの速度は、0.5m/分以上が好ましく、1.0m/分以上がより好ましい。熱ラミネートの速度が0.5m/分以上であれば、充分な熱ラミネートが可能になる。熱ラミネートの速度が1.0m/分以上であれば、生産性をより一層向上できる。   The thermal lamination speed is preferably 0.5 m / min or more, and more preferably 1.0 m / min or more. If the thermal lamination speed is 0.5 m / min or more, sufficient thermal lamination is possible. If the heat laminating speed is 1.0 m / min or more, the productivity can be further improved.

フッ素樹脂層付き金属箔における含フッ素樹脂層と金属箔との界面の接着強度は、0.1N/cm以上が好ましく、0.2N/cm以上がより好ましく、0.3N/cm以上がさらに好ましい。接着強度が前記下限値以上であれば、後工程において含フッ素樹脂層と金属箔との剥離が生じにくい。   In the metal foil with a fluororesin layer, the adhesive strength at the interface between the fluororesin layer and the metal foil is preferably 0.1 N / cm or more, more preferably 0.2 N / cm or more, and further preferably 0.3 N / cm or more. . If the adhesive strength is equal to or higher than the lower limit, peeling between the fluororesin layer and the metal foil is unlikely to occur in the subsequent process.

(工程(x))
工程(a)において、含フッ素樹脂フィルムの厚さを薄くする、熱ラミネートの温度を低くする等によって、含フッ素樹脂層付き金属箔の反りを抑えることができる。
それでもなお、工程(a)において含フッ素樹脂層付き金属箔に反りが生じた場合には、工程(b)の前に工程(x)を実施することにより含フッ素樹脂層付き金属箔の反りを矯正してもよい。
(Process (x))
In the step (a), the warp of the metal foil with a fluorine-containing resin layer can be suppressed by reducing the thickness of the fluorine-containing resin film or lowering the temperature of the thermal laminate.
Nevertheless, if warpage occurs in the metal foil with a fluorinated resin layer in the step (a), the warpage of the metal foil with a fluorinated resin layer is performed by performing the step (x) before the step (b). You may correct it.

工程(x)における含フッ素樹脂層付き金属箔の反りの矯正は、含フッ素樹脂層付き金属箔に、好ましくは100〜250℃、より好ましくは150〜250℃、さらに好ましくは180〜250℃、特に好ましくは熱ラミネートの温度以上250℃以下で加熱処理を施すことによって行われる。   The correction of the warpage of the metal foil with a fluorine-containing resin layer in the step (x) is preferably 100 to 250 ° C., more preferably 150 to 250 ° C., further preferably 180 to 250 ° C., to the metal foil with a fluorine-containing resin layer. Particularly preferably, the heat treatment is carried out at a temperature of the heat laminating temperature or higher and 250 ° C. or lower.

(工程(b))
耐熱性樹脂フィルムと含フッ素樹脂層付き金属箔とを、耐熱性樹脂フィルムと含フッ素樹脂層とが接するように、熱ラミネートすることによって積層板を得る。熱ラミネートの際には、含フッ素樹脂層付き金属箔を、耐熱性樹脂フィルムの第1の面のみに配置してもよいし、耐熱性樹脂フィルムの第1の面および第2の面に配置してもよい。
(Process (b))
A heat-resistant resin film and a metal foil with a fluorine-containing resin layer are thermally laminated so that the heat-resistant resin film and the fluorine-containing resin layer are in contact with each other to obtain a laminate. At the time of thermal lamination, the metal foil with a fluorine-containing resin layer may be disposed only on the first surface of the heat resistant resin film, or disposed on the first surface and the second surface of the heat resistant resin film. May be.

耐熱性樹脂フィルムは、耐熱性樹脂(B)を含むものであればよく、単層フィルムであってもよく、積層フィルムであってもよい。
耐熱性樹脂フィルムの厚さは、3〜500μmが好ましく、5〜200μmがより好ましく、6〜50μmがさらに好ましい。
The heat resistant resin film only needs to contain the heat resistant resin (B), and may be a single layer film or a laminated film.
The thickness of the heat resistant resin film is preferably 3 to 500 μm, more preferably 5 to 200 μm, and still more preferably 6 to 50 μm.

耐熱性樹脂フィルムは、たとえば、耐熱性樹脂(B)そのもの、または耐熱性樹脂(B)を含む樹脂組成物を、公知の成形方法(押出成形法、インフレーション成形法等)によってフィルム状に成形する方法によって得られる。   For example, the heat-resistant resin film is formed into a film shape by a known molding method (extrusion molding method, inflation molding method, etc.) using the heat-resistant resin (B) itself or a resin composition containing the heat-resistant resin (B). Obtained by the method.

図4は、工程(b)に用いられる熱ロールラミネート装置の一例を示す概略構成図である。熱ロールラミネート装置30においては、ロール32から連続的に送り出された長尺の耐熱性樹脂フィルム12’と、工程(a)において含フッ素樹脂層付き金属箔18を巻き取ったロール28から連続的に送り出された長尺の含フッ素樹脂層付き金属箔18とが、一対の金属ロール36において重ねられた状態となり、一対の金属ロール36の間を連続的に通過する際に加熱、加圧されることによって熱ラミネートされ、積層板10となる。一対の金属ロール36の間を通過した積層板10は、ロール38に連続的に巻き取られる。   FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing an example of a hot roll laminating apparatus used in the step (b). In the hot roll laminating apparatus 30, continuous from a long heat-resistant resin film 12 ′ continuously fed from a roll 32 and a roll 28 in which the metal foil 18 with a fluororesin layer is wound up in the step (a). The metal foil 18 with the long fluorine-containing resin layer fed to the pair of metal rolls 36 is superposed on the pair of metal rolls 36 and is heated and pressurized when continuously passing between the pair of metal rolls 36. Thus, the laminate 10 is obtained. The laminated plate 10 that has passed between the pair of metal rolls 36 is continuously wound around the roll 38.

金属ロールまたは金属ベルトの温度、すなわち熱ラミネートの温度は、含フッ素樹脂(A)の融点以上であり、(融点+10℃)以上が好ましく、(融点+20℃)以上がより好ましい。熱ラミネートの温度が前記上限値以下であれば、耐熱性樹脂フィルムと含フッ素樹脂層付き金属箔とを良好に熱ラミネートできる。熱ラミネートの温度が(融点+20℃)以上であれば、熱ラミネートの速度を上昇させて、生産性をより向上できる。
熱ラミネートの温度は、420℃以下が好ましく、400℃以下がより好ましい。
The temperature of the metal roll or metal belt, that is, the temperature of the thermal lamination is not less than the melting point of the fluororesin (A), preferably (melting point + 10 ° C.) or more, and more preferably (melting point + 20 ° C.) or more. If the temperature of the heat laminating is not more than the above upper limit value, the heat resistant resin film and the metal foil with a fluorine-containing resin layer can be heat laminated well. If the temperature of the thermal laminate is (melting point + 20 ° C.) or higher, the speed of the thermal laminate can be increased to further improve the productivity.
The temperature of the thermal laminate is preferably 420 ° C. or lower, and more preferably 400 ° C. or lower.

一対の金属ロール間の圧力または一対の金属ベルト間の圧力、すなわち熱ラミネートの圧力は、49〜1764N/cmが好ましく、98〜1600N/cmがより好ましい。熱ラミネートの圧力が前記範囲内であれば、熱ラミネートの温度、熱ラミネートの速度および熱ラミネートの圧力の3つの条件を良好なものにすることができ、生産性をより一層向上できる。   The pressure between the pair of metal rolls or the pressure between the pair of metal belts, that is, the pressure of the thermal laminate is preferably 49 to 1764 N / cm, and more preferably 98 to 1600 N / cm. If the pressure of the heat laminate is within the above range, the three conditions of the temperature of the heat laminate, the speed of the heat laminate, and the pressure of the heat laminate can be made favorable, and the productivity can be further improved.

熱ラミネートの速度は、0.5m/分以上が好ましく、1.0m/分以上がより好ましい。熱ラミネートの速度が0.5m/分以上であれば、充分な熱ラミネートが可能になる。熱ラミネートの速度が1.0m/分以上であれば、生産性をより一層向上できる。   The thermal lamination speed is preferably 0.5 m / min or more, and more preferably 1.0 m / min or more. If the thermal lamination speed is 0.5 m / min or more, sufficient thermal lamination is possible. If the heat laminating speed is 1.0 m / min or more, the productivity can be further improved.

積層板における耐熱性樹脂層と含フッ素樹脂層との界面の接着強度は、5N/cm以上が好ましく、6N/cm以上がより好ましく、7N/cm以上がさらに好ましい。
積層板における含フッ素樹脂層と金属箔との界面の接着強度は、7N/cm以上が好ましく、8N/cm以上がより好ましく、10N/cm以上がさらに好ましい。
The adhesive strength at the interface between the heat-resistant resin layer and the fluorine-containing resin layer in the laminate is preferably 5 N / cm or more, more preferably 6 N / cm or more, and even more preferably 7 N / cm or more.
The adhesive strength at the interface between the fluororesin layer and the metal foil in the laminate is preferably 7 N / cm or more, more preferably 8 N / cm or more, and further preferably 10 N / cm or more.

(工程(y))
工程(b)において積層板に反りが生じた場合には、工程(y)を実施することにより積層板の反りを矯正してもよい。
工程(y)における積層板の反りの矯正は、積層板に、好ましくは100〜250℃、より好ましくは150〜250℃、さらに好ましくは180〜250℃、特に好ましくは熱ラミネートの温度以上250℃以下で加熱処理を施すことによって行われる。
(Process (y))
When warpage occurs in the laminate in the step (b), the warpage of the laminate may be corrected by performing the step (y).
The correction of the warpage of the laminate in the step (y) is preferably performed at 100 to 250 ° C., more preferably 150 to 250 ° C., further preferably 180 to 250 ° C., particularly preferably 250 ° C. above the temperature of the thermal laminate. In the following, the heat treatment is performed.

(工程(z))
積層板のはんだこて耐熱性の向上や、積層板の各層間の接着強度向上のために、工程(z)を実施し、積層板に加熱処理を施すことによって含フッ素樹脂(A)の溶融流れ速度を低下させてもよい。工程(z)における加熱処理は、たとえば、上述した熱ラミネート装置を用いて行う。加熱処理の温度は、370℃以上が好ましく、380℃以上がより好ましい。この場合の上限は、通常420℃以下、好ましくは400℃以下である。
(Process (z))
In order to improve the soldering iron heat resistance of the laminated board and the adhesive strength between each layer of the laminated board, the step (z) is carried out and the laminated board is subjected to heat treatment to melt the fluorine-containing resin (A). The flow rate may be reduced. The heat treatment in the step (z) is performed using, for example, the above-described thermal laminating apparatus. The temperature of the heat treatment is preferably 370 ° C. or higher, and more preferably 380 ° C. or higher. The upper limit in this case is usually 420 ° C. or lower, preferably 400 ° C. or lower.

また、積層板に、窒素、アルゴン等の不活性ガス雰囲気下の酸素濃度が低い環境下、または真空下で含フッ素樹脂(A)の融点以上で熱処理を施すことにより、後述するフレキシブルプリント基板を、はんだリフロー工程やその他の熱処理工程(カバーレイ装着等)に通した際の寸法安定性が向上する。熱処理条件として好ましくは、(含フッ素樹脂(A)の融点+10℃以上120℃以下)の温度で5秒〜48時間、より好ましくは(含フッ素樹脂(A)の融点+30℃以上100℃以下)の温度で30秒〜36時間、さらに好ましくは(含フッ素樹脂(A)の融点+40℃以上80℃以下)の温度で1分〜24時間である。   In addition, a flexible printed circuit board, which will be described later, can be obtained by subjecting the laminate to heat treatment at a temperature equal to or higher than the melting point of the fluororesin (A) in an environment with a low oxygen concentration in an inert gas atmosphere such as nitrogen or argon, or in a vacuum. Dimensional stability when passing through the solder reflow process and other heat treatment processes (coverlay mounting, etc.) is improved. The heat treatment conditions are preferably (melting point of fluororesin (A) + 10 ° C. to 120 ° C.) for 5 seconds to 48 hours, more preferably (melting point of fluororesin (A) + 30 ° C. to 100 ° C.) For 30 seconds to 36 hours, more preferably (melting point of fluororesin (A) + 40 ° C. to 80 ° C.) for 1 minute to 24 hours.

また、かかる熱処理により金属箔と含フッ素樹脂層、および含フッ素樹脂層と耐熱性樹脂フィルムとの接着性が向上する。かかる熱処理を施す場合は、工程(a)および工程(b)の熱ラミネートの圧力を下げても界面の接着強度が充分に高い積層板を得ることができる。なお、熱ラミネート圧力を高くすると、積層板、さらには後述するフレキシブルプリント基板の寸法安定性が悪くなる傾向があるが、かかる熱処理を行う場合は熱ラミネート圧力を下げることができるため寸法安定性が向上する。   Further, the heat treatment improves the adhesion between the metal foil and the fluorine-containing resin layer, and between the fluorine-containing resin layer and the heat-resistant resin film. When such heat treatment is performed, a laminate having a sufficiently high adhesive strength at the interface can be obtained even if the pressure of the thermal laminate in steps (a) and (b) is lowered. Note that when the thermal laminating pressure is increased, the dimensional stability of the laminate and further the flexible printed circuit board described later tends to deteriorate. However, when such heat treatment is performed, the thermal laminating pressure can be lowered, so that the dimensional stability is improved. improves.

本発明の積層板の製造方法にあっては、工程(a)において含フッ素樹脂フィルムと金属箔とを、含フッ素樹脂(A)の融点未満で熱ラミネートしているため、含フッ素樹脂フィルムが切れにくい。そして、工程(b)において耐熱性樹脂フィルムと含フッ素樹脂層付き金属箔とを含フッ素樹脂(A)の融点以上で熱ラミネートしているため、耐熱性樹脂フィルムと含フッ素樹脂フィルムとの界面、および含フッ素樹脂フィルムと金属箔との界面の接着強度が充分に高くなる。なお、工程(b)における熱ラミネートの際には、含フッ素樹脂フィルムが、金属箔と仮接着し、金属箔に支持されているため、含フッ素樹脂(A)の融点以上で熱ラミネートしても、含フッ素樹脂フィルムが幅方向に熱収縮しにくく、切れにくい。
以上のことから、耐熱性樹脂層と含フッ素樹脂層との界面、および含フッ素樹脂層と金属箔層との界面の接着強度が充分に高い積層板を、安定して製造できる。
In the method for producing a laminate of the present invention, the fluororesin film and the metal foil are thermally laminated at a temperature lower than the melting point of the fluororesin (A) in the step (a). It is hard to cut. And in the step (b), since the heat-resistant resin film and the metal foil with the fluorine-containing resin layer are thermally laminated at a melting point or higher of the fluorine-containing resin (A), the interface between the heat-resistant resin film and the fluorine-containing resin film , And the adhesive strength at the interface between the fluororesin film and the metal foil is sufficiently high. In the thermal lamination in the step (b), the fluororesin film is temporarily bonded to the metal foil and supported by the metal foil. Therefore, the thermal lamination is performed at a temperature equal to or higher than the melting point of the fluororesin (A). However, the fluorine-containing resin film is difficult to heat shrink in the width direction and is not easily cut.
From the above, it is possible to stably produce a laminate having a sufficiently high adhesive strength at the interface between the heat-resistant resin layer and the fluorine-containing resin layer and at the interface between the fluorine-containing resin layer and the metal foil layer.

<フレキシブルプリント基板>
本発明のフレキシブルプリント基板は、本発明の積層板の金属箔層の不要部分をエッチングによって除去して形成されたパターン回路を備える。
本発明のフレキシブルプリント基板は、各種の小型化、高密度化された部品を実装していてもよい。
<Flexible printed circuit board>
The flexible printed circuit board of the present invention includes a pattern circuit formed by removing unnecessary portions of the metal foil layer of the laminated board of the present invention by etching.
The flexible printed circuit board of the present invention may be mounted with various miniaturized and densified components.

本発明のフレキシブルプリント基板にあっては、含フッ素樹脂層が、カルボニル基含有基、ヒドロキシ基、エポキシ基およびイソシアネート基からなる群から選択される少なくとも1種の官能基(I)を有する含フッ素樹脂(A)を含むため、耐熱性樹脂層と含フッ素樹脂層との界面、および含フッ素樹脂層と金属箔層との界面の接着強度が充分に高い。   In the flexible printed board of the present invention, the fluorine-containing resin layer has at least one functional group (I) selected from the group consisting of a carbonyl group-containing group, a hydroxy group, an epoxy group, and an isocyanate group. Since the resin (A) is contained, the adhesive strength at the interface between the heat-resistant resin layer and the fluorine-containing resin layer and the interface between the fluorine-containing resin layer and the metal foil layer is sufficiently high.

以下、実施例によって本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されない。なお、例1、例2および例3は実施例であり、例4および例5は比較例である。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited to these. Examples 1, 2 and 3 are examples, and examples 4 and 5 are comparative examples.

(共重合組成)
含フッ素樹脂(A)の共重合組成は、溶融NMR分析、フッ素含有量分析および赤外吸収スペクトル分析により求めた。
(Copolymerization composition)
The copolymer composition of the fluororesin (A) was determined by melt NMR analysis, fluorine content analysis, and infrared absorption spectrum analysis.

(官能基(I)の含有量)
下記の赤外吸収スペクトル分析によって、含フッ素樹脂(A)における、官能基(I)を有するNAHに由来する単位の割合を求めた。
含フッ素樹脂(A)をプレス成形して200μmのフィルムを得た。赤外吸収スペクトルにおいて、含フッ素樹脂(A)中のNAHに由来する単位における吸収ピークは、1778cm−1に現れる。該吸収ピークの吸光度を測定し、NAHのモル吸光係数20810mol−1・l・cm−1を用いて、NAHに由来する単位の割合(モル%)を求めた。
前記割合をa(モル%)とすると、主鎖炭素数1×10個に対する官能基(I)(酸無水物基)の個数は、[a×10/100]個と算出される。
(Content of functional group (I))
The proportion of units derived from NAH having the functional group (I) in the fluororesin (A) was determined by the following infrared absorption spectrum analysis.
The fluorine-containing resin (A) was press-molded to obtain a 200 μm film. In the infrared absorption spectrum, an absorption peak in a unit derived from NAH in the fluororesin (A) appears at 1778 cm −1 . The absorbance of the absorption peak was measured, and the ratio (mol%) of units derived from NAH was determined using the NAH molar extinction coefficient of 20810 mol −1 · l · cm −1 .
When the ratio to a (mol%), the number of functional groups (I) (acid anhydride group) relative to the main chain number 1 × 10 6 carbon atoms is calculated as [a × 10 6/100] Pieces.

(融点)
示差走査熱量計(DSC装置、セイコーインスツル社製)を用い、含フッ素樹脂(A)を10℃/分の速度で昇温したときの融解ピークを記録し、極大値に対応する温度(℃)を融点とした。
(Melting point)
Using a differential scanning calorimeter (DSC apparatus, manufactured by Seiko Instruments Inc.), the melting peak when the fluororesin (A) was heated at a rate of 10 ° C./min was recorded, and the temperature corresponding to the maximum value (° C. ) As the melting point.

(溶融流れ速度)
メルトインデクサー(テクノセブン社製)を用い、融点より20℃以上高い温度である372℃、荷重49Nの条件下で直径2mm、長さ8mmのノズルから、10分間に流出する含フッ素樹脂(A)の質量(g)を測定した。
(Melting flow rate)
Using a melt indexer (manufactured by Techno Seven Co., Ltd.), a fluorine-containing resin that flows out for 10 minutes from a nozzle having a diameter of 2 mm and a length of 8 mm under conditions of 372 ° C. and a load of 49 N, which is 20 ° C. higher than the melting point ) (G) was measured.

(接着強度)
含フッ素樹脂層と金属箔層との界面:
含フッ素樹脂層付き金属箔または積層板を長さ150mm、幅10mmの大きさに切断し、評価サンプルを作製した。評価サンプルの長さ方向の一端から50mmの位置まで含フッ素樹脂層と金属箔との間を剥離した。ついで、引張り試験機を用いて、引張り速度50mm/分で90度となるように剥離し、最大荷重を接着強度(N/cm)とした。
(Adhesive strength)
Interface between fluorine-containing resin layer and metal foil layer:
An evaluation sample was prepared by cutting a metal foil or laminate with a fluororesin layer into a size of 150 mm in length and 10 mm in width. The fluororesin layer and the metal foil were peeled from one end in the length direction of the evaluation sample to a position of 50 mm. Subsequently, it peeled so that it might become 90 degree | times at the tension | pulling speed of 50 mm / min using the tensile tester, and let the maximum load be adhesive strength (N / cm).

耐熱性樹脂層と含フッ素樹脂層との界面:
積層板を長さ150mm、幅10mmの大きさに切断し、評価サンプルを作製した。評価サンプルの長さ方向の一端から50mmの位置まで耐熱性樹脂層と含フッ素樹脂層との間を剥離した。ついで、引張り試験機を用いて、引張り速度50mm/分で90度となるように剥離し、最大荷重を接着強度(N/cm)とした。
Interface between heat resistant resin layer and fluorine-containing resin layer:
The laminate was cut into a size of 150 mm in length and 10 mm in width to produce an evaluation sample. The heat-resistant resin layer and the fluorine-containing resin layer were peeled from one end in the length direction of the evaluation sample to a position of 50 mm. Subsequently, it peeled so that it might become 90 degree | times at the tension | pulling speed of 50 mm / min using the tensile tester, and let the maximum load be adhesive strength (N / cm).

(含フッ素樹脂(A−1))
単位(u2)を形成する単量体としてNAH(無水ハイミックス酸、日立化成社製)を、単位(u3)を形成する単量体としてPPVE(CF=CFO(CFF、ペルフルオロプロピルビニルエーテルを用意した。
(ペルフルオロブチリル)ペルオキシドを0.36質量%の濃度で1,3−ジクロロ−1,1,2,2,3−ペンタフルオロプロパン(以下、AK225cbともいう、旭硝子社製)に溶解した重合開始剤溶液を調製した。
NAHを0.3質量%の濃度でAK225cbに溶解したNAH溶液を調製した。
(Fluorine-containing resin (A-1))
NAH (anhydrous mixed acid, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) is used as a monomer for forming the unit (u2), and PPVE (CF 2 = CFO (CF 2 ) 3 F, perfluoro is used as the monomer for forming the unit (u3). Propyl vinyl ether was prepared.
Initiation of polymerization in which (perfluorobutyryl) peroxide was dissolved in 1,3-dichloro-1,1,2,2,3-pentafluoropropane (hereinafter also referred to as AK225cb, manufactured by Asahi Glass Co.) at a concentration of 0.36% by mass An agent solution was prepared.
An NAH solution in which NAH was dissolved in AK225cb at a concentration of 0.3% by mass was prepared.

369kgのAK225cbと、30kgのPPVEとを、予め脱気された内容積430Lの撹拌機付き重合槽に仕込んだ。重合槽内を加熟して50℃に昇温し、さらに50kgのTFEを仕込んだ後、重合槽内の圧力を0.89MPa[gage]まで昇圧した。
重合槽中に重合開始剤溶液の3リットル(L)を6.25mL/分の速度にて連続的に添加しながら重合を行った。また、重合反応中における重合槽内の圧力が0.89MPa[gage]を保持するようにTFEを連続的に仕込んだ。また、NAH溶液を、重合中に仕込むTFEのモル数に対して0.1モル%に相当する量ずつ連続的に仕込んだ。
重合開始8時間を超えた後、32kgのTFEを仕込んだ時点で、重合槽内の温度を室温まで降温するとともに、圧力を常圧までパージした。得られたスラリをAK225cbと固液分離した後、150℃で15時間乾燥することにより、33kgの含フッ素樹脂(A−1)を得た。
369 kg of AK225cb and 30 kg of PPVE were charged into a polymerization tank equipped with a stirrer having an internal volume of 430 L that had been degassed in advance. After the inside of the polymerization tank was ripened and heated to 50 ° C., and further charged with 50 kg of TFE, the pressure in the polymerization tank was increased to 0.89 MPa [gage].
Polymerization was carried out while continuously adding 3 liters (L) of the polymerization initiator solution to the polymerization tank at a rate of 6.25 mL / min. Further, TFE was continuously charged so that the pressure in the polymerization tank during the polymerization reaction was maintained at 0.89 MPa [gage]. The NAH solution was continuously charged in an amount corresponding to 0.1 mol% with respect to the number of moles of TFE charged during the polymerization.
After exceeding 8 hours from the start of polymerization, when 32 kg of TFE was charged, the temperature in the polymerization tank was lowered to room temperature and the pressure was purged to normal pressure. The obtained slurry was solid-liquid separated from AK225cb, and then dried at 150 ° C. for 15 hours to obtain 33 kg of a fluororesin (A-1).

含フッ素樹脂(A−1)の比重は、2.15であり、共重合組成は、TFEに由来する単位/NAHに由来する単位/PPVEに由来する単位=97.9/0.1/2.0(モル%)であった。
また、含フッ素樹脂(A−1)の融点は、305℃であり、溶融流れ速度は、11.0g/10分であった。
含フッ素樹脂(A−1)中の官能基(I)(酸無水物基)の含有量は、含フッ素樹脂(A−1)の主鎖炭素数1×10個に対して1000個であった。
The specific gravity of the fluororesin (A-1) is 2.15, and the copolymer composition is units derived from TFE / units derived from NAH / units derived from PPVE = 97.9 / 0.1 / 2. 0.0 (mol%).
Moreover, melting | fusing point of the fluororesin (A-1) was 305 degreeC, and the melt flow rate was 11.0 g / 10min.
The content of the functional group (I) (an acid anhydride group) in the fluororesin (A-1) is 1000 with respect to 1 × 10 6 main chain carbon atoms of the fluororesin (A-1). there were.

(他の含フッ素樹脂)
PFA:TFE/ペルフルオロ(アルキルビニルエーテル)共重合体(旭硝子社製、Fluon(登録商標) PFA 73PT、融点:305℃、溶融流れ速度13.6g/10分)。
(Other fluorine-containing resins)
PFA: TFE / perfluoro (alkyl vinyl ether) copolymer (Asahi Glass Co., Ltd., Fluon (registered trademark) PFA 73PT, melting point: 305 ° C., melt flow rate 13.6 g / 10 min).

(含フッ素樹脂フィルム1)
含フッ素樹脂(A−1)を、750mm巾コートハンガーダイを有する30mmφ単軸押出機を用いてダイ温度340℃で押出成形し、厚さ25μmの含フッ素樹脂フィルム1を得た。
(Fluorine-containing resin film 1)
The fluororesin (A-1) was extrusion molded at a die temperature of 340 ° C. using a 30 mmφ single screw extruder having a 750 mm wide coat hanger die, to obtain a fluororesin film 1 having a thickness of 25 μm.

(含フッ素樹脂フィルム2)
引取速度を変更した以外は、含フッ素樹脂フィルム1と同様にして、厚さ12.5μmの含フッ素樹脂フィルム2を得た。
(Fluorine-containing resin film 2)
A fluorine-containing resin film 2 having a thickness of 12.5 μm was obtained in the same manner as the fluorine-containing resin film 1 except that the take-up speed was changed.

(含フッ素樹脂フィルム3)
PFAを、750mm巾コートハンガーダイを有する30mmφ単軸押出機を用いてダイ温度340℃で押出成形し、厚さ25μmの含フッ素樹脂フィルム3を得た。
(Fluorine-containing resin film 3)
PFA was extruded at a die temperature of 340 ° C. using a 30 mmφ single screw extruder having a 750 mm wide coat hanger die to obtain a fluororesin film 3 having a thickness of 25 μm.

(耐熱性樹脂フィルム)
厚さ25μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン社製、カプトン(登録商標)100EN)を用意した。
(Heat resistant resin film)
A polyimide film having a thickness of 25 μm (manufactured by Toray DuPont, Kapton (registered trademark) 100EN) was prepared.

(金属箔)
厚さ12μmの電解銅箔(福田金属箔粉社製、CF−T4X−SVR−12、Rz:1.2μm)を用意した。
(Metal foil)
An electrolytic copper foil having a thickness of 12 μm (manufactured by Fukuda Metal Foil Powder Co., Ltd., CF-T4X-SVR-12, Rz: 1.2 μm) was prepared.

(例1)
工程(a):
含フッ素樹脂フィルム1と金属箔とを一対の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を用いて温度230℃、圧力784N/cm、速度4m/分の条件にて熱ラミネートして、含フッ素樹脂層付き金属箔1を作製した。含フッ素樹脂層と金属箔層との界面の接着強度は、0.3N/cmであった。
(Example 1)
Step (a):
With a fluorine-containing resin layer, the fluorine-containing resin film 1 and metal foil are heat-laminated using a heat roll laminating apparatus having a pair of metal rolls at a temperature of 230 ° C., a pressure of 784 N / cm, and a speed of 4 m / min. Metal foil 1 was produced. The adhesive strength at the interface between the fluorine-containing resin layer and the metal foil layer was 0.3 N / cm.

工程(b):
ポリイミドフィルムと含フッ素樹脂層付き金属箔1とを一対の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を用いて温度400℃、圧力1470N/cm、速度1m/分の条件にて熱ラミネートして、積層板1を作製した。含フッ素樹脂層と金属箔層との界面の接着強度は、11N/cmであり、耐熱性樹脂層と含フッ素樹脂層との界面の接着強度は、8N/cmであった。
Step (b):
A polyimide film and a metal foil 1 with a fluorine-containing resin layer are heat laminated using a hot roll laminating apparatus having a pair of metal rolls at a temperature of 400 ° C., a pressure of 1470 N / cm, and a speed of 1 m / min. 1 was produced. The adhesive strength at the interface between the fluorine-containing resin layer and the metal foil layer was 11 N / cm, and the adhesive strength at the interface between the heat-resistant resin layer and the fluorine-containing resin layer was 8 N / cm.

(例2)
工程(a):
含フッ素樹脂フィルム1の代わりに、含フッ素樹脂フィルム2を用いた以外は、例1と同様にして含フッ素樹脂層付き金属箔2を作製した。含フッ素樹脂層と金属箔層との界面の接着強度は、0.3N/cmであった。
(Example 2)
Step (a):
A metal foil 2 with a fluorine-containing resin layer was produced in the same manner as in Example 1 except that the fluorine-containing resin film 2 was used instead of the fluorine-containing resin film 1. The adhesive strength at the interface between the fluorine-containing resin layer and the metal foil layer was 0.3 N / cm.

工程(b):
含フッ素樹脂層付き金属箔1の代わりに、含フッ素樹脂層付き金属箔2を用いた以外は、例1と同様にして積層板2を作製した。含フッ素樹脂層と金属箔層との界面の接着強度は、10N/cmであり、耐熱性樹脂層と含フッ素樹脂層との界面の接着強度は、7N/cmであった。
Step (b):
A laminated plate 2 was produced in the same manner as in Example 1 except that the metal foil 2 with a fluorine-containing resin layer was used instead of the metal foil 1 with a fluorine-containing resin layer. The adhesive strength at the interface between the fluorine-containing resin layer and the metal foil layer was 10 N / cm, and the adhesive strength at the interface between the heat-resistant resin layer and the fluorine-containing resin layer was 7 N / cm.

(例3)
工程(z):
例2で得られた積層板2に加熱処理を行い積層板3を作製した。加熱処理は、温度380℃、圧力1470N/cm、速度1m/分の条件にて熱ラミネート装置を用いて行った。積層板3の含フッ素樹脂層と金属箔層との界面の接着強度は、12N/cmであり、耐熱性樹脂層と含フッ素樹脂層との界面の接着強度は、10N/cmであった。
(Example 3)
Step (z):
The laminated board 2 obtained in Example 2 was subjected to heat treatment to produce a laminated board 3. The heat treatment was performed using a thermal laminator under conditions of a temperature of 380 ° C., a pressure of 1470 N / cm, and a speed of 1 m / min. The adhesive strength at the interface between the fluorine-containing resin layer and the metal foil layer of the laminate 3 was 12 N / cm, and the adhesive strength at the interface between the heat-resistant resin layer and the fluorine-containing resin layer was 10 N / cm.

(例4)
フッ素樹脂フィルム1の代わりに、含フッ素樹脂フィルム3を用いた以外は、例1と同様にして含フッ素樹脂層付き金属箔を作製しようとしたが、含フッ素樹脂層と金属箔層との界面の接着強度が不充分であり、含フッ素樹脂層付き金属箔を巻き取る際に、含フッ素樹脂フィルム3と金属箔との間で分離が生じた。
(Example 4)
An attempt was made to produce a metal foil with a fluorine-containing resin layer in the same manner as in Example 1 except that the fluorine-containing resin film 3 was used instead of the fluorine-containing resin film 1, but the interface between the fluorine-containing resin layer and the metal foil layer was attempted. When the metal foil with a fluorine-containing resin layer was wound up, separation occurred between the fluorine-containing resin film 3 and the metal foil.

(例5)
フッ素樹脂フィルム1と金属箔とポリイミドフィルムとを一対の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を用いて温度400℃、圧力784N/cm、速度4m/分の条件にて熱ラミネートしようとしたところ、金属ロール近傍でフッ素樹脂フィルム1の熱収縮が大きく、かつフッ素樹脂フィルム1の破断が生じたため、積層板を連続的に製造できなかった。
(Example 5)
An attempt was made to heat laminate the fluororesin film 1, metal foil and polyimide film using a heat roll laminator having a pair of metal rolls at a temperature of 400 ° C., a pressure of 784 N / cm, and a speed of 4 m / min. Since the heat shrinkage of the fluororesin film 1 was large in the vicinity of the roll and the fluororesin film 1 was broken, the laminated plate could not be produced continuously.

本発明の積層板の製造方法で得られた積層板は、高度な電気的信頼性が要求されるフレキシブルプリント基板の製造に有用である。
なお、2014年12月26日に出願された日本特許出願2014−264875号及び2015年6月16日に出願された日本特許出願2015−121143号の明細書、特許請求の範囲、図面、及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
The laminate obtained by the laminate production method of the present invention is useful for producing a flexible printed circuit board that requires a high degree of electrical reliability.
The specification, claims, drawings, and abstract of Japanese Patent Application No. 2014-264875 filed on December 26, 2014 and Japanese Patent Application No. 2015-121143 filed on June 16, 2015. The entire contents of this document are hereby incorporated by reference as the disclosure of the specification of the present invention.

10 積層板、 12 耐熱性樹脂層、 12’ 耐熱性樹脂フィルム、 14 含フッ素樹脂層、 14’ 含フッ素樹脂フィルム、 16 金属箔層 16’金属箔、 18 含フッ素樹脂層付き金属箔、 20 熱ロールラミネート装置、 22 ロール、 24 ロール、 26 金属ロール、 28 ロール、 30 熱ロールラミネート装置、 32 ロール、 36 金属ロール、 38 ロール   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Laminated board, 12 Heat resistant resin layer, 12 'Heat resistant resin film, 14 Fluorine-containing resin layer, 14' Fluorine-containing resin film, 16 Metal foil layer 16 'Metal foil, 18 Metal foil with fluorine-containing resin layer, 20 Heat Roll laminator, 22 rolls, 24 rolls, 26 metal rolls, 28 rolls, 30 heat roll laminator, 32 rolls, 36 metal rolls, 38 rolls

Claims (10)

耐熱性樹脂層と、該耐熱性樹脂層に接する含フッ素樹脂層と、該含フッ素樹脂層に接する金属箔層とを有する積層板を製造する方法であって、下記の工程(a)および工程(b)を有する、積層板の製造方法。
(a)カルボニル基含有基、ヒドロキシ基、エポキシ基およびイソシアネート基からなる群から選択される少なくとも1種の官能基を有する含フッ素樹脂(A)を含む含フッ素樹脂フィルムと、金属箔とを、前記含フッ素樹脂(A)の融点未満で熱ラミネートすることによって、含フッ素樹脂層付き金属箔を得る工程。
(b)耐熱性樹脂(B)を含む耐熱性樹脂フィルムと、前記含フッ素樹脂層付き金属箔とを、前記耐熱性樹脂フィルムと前記含フッ素樹脂層とが接するように、前記含フッ素樹脂(A)の融点以上で熱ラミネートすることによって、前記積層板を得る工程。
A method for producing a laminate having a heat-resistant resin layer, a fluorine-containing resin layer in contact with the heat-resistant resin layer, and a metal foil layer in contact with the fluorine-containing resin layer, the following steps (a) and steps The manufacturing method of a laminated board which has (b).
(A) a fluorine-containing resin film containing a fluorine-containing resin (A) having at least one functional group selected from the group consisting of a carbonyl group-containing group, a hydroxy group, an epoxy group and an isocyanate group, and a metal foil, The process of obtaining metal foil with a fluorine-containing resin layer by carrying out heat lamination below the melting point of the said fluorine-containing resin (A).
(B) The heat-resistant resin film containing the heat-resistant resin (B) and the metal foil with the fluorine-containing resin layer are arranged such that the heat-resistant resin film and the fluorine-containing resin layer are in contact with each other. A step of obtaining the laminate by heat laminating at or above the melting point of A).
前記含フッ素樹脂(A)が、融点が260〜320℃であり、かつ溶融成形可能である、請求項1に記載の積層板の製造方法。   The manufacturing method of the laminated board of Claim 1 whose melting | fusing point is 260-320 degreeC and the said fluororesin (A) is melt-moldable. 前記含フッ素樹脂(A)が、重合体の製造の際に用いた単量体、連鎖移動剤および重合開始剤からなる群から選ばれる少なくとも1種に由来する前記官能基を有する含フッ素重合体である、請求項1または2に記載の積層板の製造方法。   The fluoropolymer (A) having the functional group derived from at least one selected from the group consisting of a monomer, a chain transfer agent and a polymerization initiator used in the production of the polymer The manufacturing method of the laminated board of Claim 1 or 2 which is. 前記工程(a)における熱ラミネートおよび前記工程(b)における熱ラミネートが、一対以上の金属ロールまたは一対以上の金属ベルトを有する熱ラミネート装置によって連続的に行われる、請求項1〜3のいずれか一項に記載の積層板の製造方法。   The thermal lamination in the said process (a) and the thermal lamination in the said process (b) are performed continuously by the thermal laminating apparatus which has a pair or more metal roll or a pair or more metal belt. The manufacturing method of the laminated board of one term. 前記含フッ素樹脂(A)が、前記官能基として少なくともカルボニル基含有基を有し、
前記カルボニル基含有基が、炭化水素基の炭素原子間にカルボニル基を有する基、カーボネート基、カルボキシ基、ハロホルミル基、アルコキシカルボニル基および酸無水物基からなる群から選ばれる少なくとも1種である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の積層板の製造方法。
The fluororesin (A) has at least a carbonyl group-containing group as the functional group,
The carbonyl group-containing group is at least one selected from the group consisting of a group having a carbonyl group between carbon atoms of a hydrocarbon group, a carbonate group, a carboxy group, a haloformyl group, an alkoxycarbonyl group, and an acid anhydride group. The manufacturing method of the laminated board as described in any one of Claims 1-4.
前記官能基の含有量が、前記含フッ素樹脂(A)の主鎖炭素数1×10個に対して10〜60000個である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の積層板の製造方法。The laminate according to any one of claims 1 to 5, wherein the content of the functional group is 10 to 60000 with respect to 1 x 10 6 main chain carbon atoms of the fluororesin (A). Manufacturing method. 前記工程(a)において、前記含フッ素樹脂フィルムと前記金属箔とを、(前記含フッ素樹脂(A)の融点−20℃)以下の温度で熱ラミネートする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の積層板の製造方法。   The said process (a) WHEREIN: The said fluorine-containing resin film and the said metal foil are heat laminated at the temperature below (melting | fusing point-20 degreeC of the said fluorine-containing resin (A)). The manufacturing method of the laminated board as described in a term. 前記含フッ素樹脂層の厚さが、1〜20μmである、請求項1〜7のいずれか一項に記載の積層板の製造方法。   The manufacturing method of the laminated board as described in any one of Claims 1-7 whose thickness of the said fluorine-containing resin layer is 1-20 micrometers. 前記含フッ素樹脂(A)の372℃、荷重49Nの条件下における溶融流れ速度が、0.5〜15g/10分である、請求項1〜8のいずれか一項に記載の積層板の製造方法。   The production of the laminated board according to any one of claims 1 to 8, wherein the melt flow rate of the fluororesin (A) under conditions of 372 ° C and a load of 49N is 0.5 to 15 g / 10 minutes. Method. 請求項1〜9のいずれか一項に記載の製造方法で積層板を製造した後、前記積層板の金属箔層の不要部分をエッチングによって除去してパターン回路を形成する、フレキシブルプリント基板の製造方法。   After manufacturing a laminated board with the manufacturing method as described in any one of Claims 1-9, manufacture of the flexible printed circuit board which removes the unnecessary part of the metal foil layer of the said laminated board by an etching, and forms a pattern circuit Method.
JP2016566160A 2014-12-26 2015-12-16 LAMINATED BOARD AND FLEXIBLE PRINTED BOARD MANUFACTURING METHOD Active JP6565936B2 (en)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014264875 2014-12-26
JP2014264875 2014-12-26
JP2015121143 2015-06-16
JP2015121143 2015-06-16
PCT/JP2015/085271 WO2016104297A1 (en) 2014-12-26 2015-12-16 Method for producing laminate and method for manufacturing flexible printed board

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2016104297A1 JPWO2016104297A1 (en) 2017-10-12
JP6565936B2 true JP6565936B2 (en) 2019-08-28

Family

ID=56150319

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016566160A Active JP6565936B2 (en) 2014-12-26 2015-12-16 LAMINATED BOARD AND FLEXIBLE PRINTED BOARD MANUFACTURING METHOD

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP6565936B2 (en)
KR (1) KR102478192B1 (en)
CN (1) CN107107475B (en)
TW (1) TWI678278B (en)
WO (1) WO2016104297A1 (en)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102295731B1 (en) * 2016-03-08 2021-08-30 에이지씨 가부시키가이샤 The manufacturing method of the laminated body and the manufacturing method of a printed circuit board
CN113817366B (en) * 2016-07-22 2022-08-23 Agc株式会社 Liquid composition, and method for producing film and laminate using same
KR101939449B1 (en) * 2016-12-23 2019-04-10 주식회사 두산 Metal laminate and method for preparing the same
CN106671511B (en) * 2016-12-28 2018-12-25 广东生益科技股份有限公司 Double side flexible copper coated board and preparation method thereof
KR102494182B1 (en) 2017-07-07 2023-01-31 에이지씨 가부시키가이샤 Manufacturing method of laminate, laminate, and flexible printed circuit board manufacturing method
CN111149025B (en) * 2017-09-27 2022-08-12 日本电气硝子株式会社 Glass plate with optical film and method for producing same
JP2019065061A (en) * 2017-09-28 2019-04-25 Agc株式会社 Resin composition for printed circuit boards and production method
CN111295412B (en) * 2017-10-31 2023-02-10 Agc株式会社 Molded body, metal-plated laminate, printed wiring board, and method for producing same
KR102587268B1 (en) * 2017-12-19 2023-10-10 에이지씨 가부시키가이샤 Method for manufacturing processed circuit boards, multilayer circuit boards and circuit boards with coverlay films, and films with adhesive layers
JP7234944B2 (en) * 2018-01-18 2023-03-08 Agc株式会社 LONG LAMINATED BOARD, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND PRINTED WIRING BOARD
JP7338619B2 (en) * 2018-04-20 2023-09-05 Agc株式会社 Roll film, method for producing roll film, method for producing copper-clad laminate, and method for producing printed circuit board
JP7243724B2 (en) * 2018-06-27 2023-03-22 Agc株式会社 metal foil with resin
WO2020059606A1 (en) * 2018-09-18 2020-03-26 Agc株式会社 Laminate, printed board, and method for manufacturing same
DE102018218487A1 (en) * 2018-10-29 2020-04-30 Robert Bosch Gmbh Method of making a stack
CN110181904A (en) * 2018-12-31 2019-08-30 曾瑾 A kind of high frequency is without glue double side flexible copper coated board and preparation method thereof
WO2021006258A1 (en) * 2019-07-10 2021-01-14 Agc株式会社 Long film, method for producing long film, method for producing long multilayer body, and long multilayer body
TWI725538B (en) * 2019-09-04 2021-04-21 台燿科技股份有限公司 Metal-clad laminate, printed circuit board, and method for manufacturing the same
TW202206286A (en) 2020-07-28 2022-02-16 美商聖高拜塑膠製品公司 Dielectric substrate and method of forming the same
TW202408798A (en) 2020-12-16 2024-03-01 美商聖高拜塑膠製品公司 Dielectric substrate and method of forming the same

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06126872A (en) * 1992-10-14 1994-05-10 Asahi Chem Ind Co Ltd Fluororesin composite foam sheet
JP2002331589A (en) * 2001-03-07 2002-11-19 Kuraray Co Ltd Method for manufacturing metal-clad laminated sheet
JP4271563B2 (en) * 2003-12-26 2009-06-03 株式会社カネカ Method for producing flexible metal-clad laminate
WO2005084948A1 (en) * 2004-03-04 2005-09-15 Toray Industries, Inc. Heat-resistant resin laminated film, multilayer film with metal layer including same, and semiconductor device
JP2005324511A (en) 2004-05-17 2005-11-24 Kawamura Sangyo Kk Laminate and its manufacturing method
JP2006142611A (en) * 2004-11-18 2006-06-08 Nitto Denko Corp Composite sheet for thermal press bonding and its manufacturing method
DE602005027242D1 (en) * 2004-12-09 2011-05-12 Asahi Glass Co Ltd LAMINATE FOR PRINTED PCB
DE602005027743D1 (en) * 2004-12-20 2011-06-09 Asahi Glass Co Ltd LAMINATE FOR FLEXIBLE PCB
US8603994B2 (en) * 2010-11-11 2013-12-10 Valted, Llc Transcriptional repression leading to Parkinson's disease

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2016104297A1 (en) 2017-10-12
TWI678278B (en) 2019-12-01
CN107107475A (en) 2017-08-29
TW201627152A (en) 2016-08-01
CN107107475B (en) 2019-03-12
KR20170101885A (en) 2017-09-06
WO2016104297A1 (en) 2016-06-30
KR102478192B1 (en) 2022-12-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6565936B2 (en) LAMINATED BOARD AND FLEXIBLE PRINTED BOARD MANUFACTURING METHOD
JP6822523B2 (en) Adhesive film, flexible metal laminate, adhesive film manufacturing method, flexible metal laminate manufacturing method, flexible printed substrate and flexible printed substrate manufacturing method
JP6977716B2 (en) Laminates, printed circuit boards, and methods for manufacturing laminates
JP4816459B2 (en) Laminate for flexible printed wiring boards
US10844153B2 (en) Material for printed circuit board, metal laminate, methods for producing them, and method for producing printed circuit board
US10729018B2 (en) Process for producing laminate and process for producing printed board

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180726

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190702

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190715

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6565936

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250