JP6549013B2 - Container transport system - Google Patents

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本発明は、容器の表面に真空状態で薄膜を成膜する成膜装置に適用される容器の搬送システムに関する。   The present invention relates to a container conveyance system applied to a film forming apparatus for forming a thin film in a vacuum state on the surface of a container.

ペットボトル等のプラスチック容器のガスバリア性を向上させるため、容器の表面にガスバリア性を有する薄膜を成膜する成膜装置が知られている。このような成膜装置に処理対象の容器を供給する搬送システムとして、成膜装置1の両側にペットボトル55を供給する搬入コンベア55と、ペットボトル55を排出する搬出コンベア75とを配置したものが知られている(特許文献1)。   There is known a film forming apparatus for forming a thin film having a gas barrier property on the surface of a plastic container such as a plastic bottle in order to improve the gas barrier property of the container. As a transfer system for supplying a container to be processed to such a film forming apparatus, a carry-in conveyor 55 for supplying the pet bottles 55 on both sides of the film forming apparatus 1 and a carry-out conveyor 75 for discharging the pet bottles 55 are disposed. Is known (Patent Document 1).

国際公開第2014/103677号WO 2014/103677

特許文献1の搬送システムは、2つのコンベアが成膜装置の処理チャンバを挟む配置となるので、これらのうちのいずれか一方のコンベアが処理チャンバに対する作業員のアクセスの障害となる。これにより、成膜装置の処理チャンバに対するメインテナンス性が低下するおそれがある。   In the transfer system of Patent Document 1, since two conveyors sandwich the processing chamber of the film forming apparatus, any one of these conveyors obstructs the access of the operator to the processing chamber. As a result, the maintainability of the processing chamber of the film forming apparatus may be reduced.

そこで、本発明は、成膜装置の処理チャンバに対するメインテナンス性の低下を抑制できる容器の搬送システムを提供することを目的とする。   Then, an object of this invention is to provide the conveyance system of the container which can suppress the fall of the maintainability with respect to the processing chamber of the film-forming apparatus.

本発明の容器の搬送システムは、処理対象となる容器(PB)の供給及び排出を行う供給排出機構(3a)が設けられていて前記容器の表面に真空状態で薄膜を成膜する成膜処理を実施する処理チャンバ(3)を備えた成膜装置2に適用される容器の搬送システム(1)であって、前記成膜装置による前記成膜処理前の前記容器を搬送する供給コンベア(5)と、前記成膜装置による前記成膜処理後の前記容器を搬送する排出コンベア(6)と、前記供給コンベアにて搬送された前記容器を、前記処理チャンバの前記供給排出機構に移送する供給ロボット(7)と、前記成膜処理後に前記処理チャンバから前記供給排出機構が排出した前記容器を、前記排出コンベアに移送する排出ロボット(8)と、を備え、前記処理チャンバの一方の側に前記供給ロボットが、前記処理チャンバの他方の側に前記排出ロボットがそれぞれ配置され、かつ、前記処理チャンバの前記一方の側又は前記他方の側のいずれかの側に、前記供給コンベアと前記排出コンベアとが並列に配置されているものである。   The container conveyance system according to the present invention is provided with a supply / discharge mechanism (3a) for supplying and discharging a container (PB) to be treated, and a film forming process for forming a thin film in vacuum on the surface of the container Container transport system (1) applied to a film forming apparatus 2 including a processing chamber (3) for carrying out a feed conveyor (5) for transporting the container before the film forming process by the film forming apparatus ), A discharge conveyor (6) for conveying the container after the film forming process by the film forming apparatus, and a supply for transferring the container conveyed by the supply conveyor to the supply / discharge mechanism of the processing chamber A robot (7), and a discharge robot (8) for transferring the container discharged by the supply / discharge mechanism from the processing chamber to the discharge conveyor after the film forming process, to one side of the processing chamber The feed robot is disposed on the other side of the processing chamber, and the discharge robot is disposed on the other side of the processing chamber, and the feed conveyor and the discharge conveyor are disposed on either the one side or the other side of the processing chamber. And are arranged in parallel.

この搬送システムによれば、供給コンベアと排出コンベアとが成膜装置の処理チャンバのいずれかの側に並列に配置されるので、これらのコンベアが処理チャンバを挟む配置となることを回避できる。これにより、これらのコンベアが配置されていない側からの処理チャンバへのアクセスが容易になるので、成膜装置の処理チャンバに対するメインテナンス性の低下を抑制できる。   According to this transport system, since the supply conveyor and the discharge conveyor are arranged in parallel on either side of the processing chamber of the film forming apparatus, it is possible to avoid that these conveyors are arranged to sandwich the processing chamber. As a result, access to the processing chamber from the side where these conveyors are not arranged becomes easy, and therefore, it is possible to suppress a decrease in maintenance for the processing chamber of the film forming apparatus.

本発明の搬送システムの一態様において、前記成膜装置は、前記供給コンベア及び前記排出コンベアの搬送方向(D1、D2)に関して前記処理チャンバが複数個並べられた処理チャンバ群(4)を有し、前記供給ロボットは、前記処理チャンバ群に対して一つ設けられ、前記処理チャンバ群に属する前記処理チャンバ毎に前記容器を分配かつ移送し、前記排出ロボットは、前記処理チャンバ群に属する前記処理チャンバ毎に一つずつ設けられ、前記供給コンベア及び前記排出コンベアは、前記供給ロボットが配置された側に設けられてもよい。   In one aspect of the transfer system of the present invention, the film forming apparatus has a processing chamber group (4) in which a plurality of the processing chambers are arranged in the transfer direction (D1, D2) of the supply conveyor and the discharge conveyor. The supply robot is provided one for the processing chamber group, and distributes and transfers the container for each of the processing chambers belonging to the processing chamber group, and the discharge robot performs the processing belonging to the processing chamber group One for each chamber may be provided, and the supply conveyor and the discharge conveyor may be provided on the side where the supply robot is disposed.

上記成膜装置において、複数の処理チャンバを設けてこれらの処理チャンバに容器を出し入れすることにより成膜処理の処理効率を高めることができる。この場合、複数の処理チャンバのそれぞれに対してコンベアを設ける複列配置の場合は、容器の搬送経路を成膜装置の上流で複数に分岐させ、かつ成膜装置の下流で合流させることが必要となり、搬送システムの大型化やコスト増等を招くおそれがある。   In the above-described film formation apparatus, the processing efficiency of the film formation process can be enhanced by providing a plurality of process chambers and taking the container in and out of these process chambers. In this case, in the case of a multi-row arrangement in which a conveyor is provided for each of a plurality of processing chambers, it is necessary to branch the container conveyance path into plural upstream of the film forming apparatus and to merge them downstream of the film forming apparatus. As a result, the transport system may be increased in size and cost.

上記態様によれば、各コンベアの容器の搬送方向に関して処理チャンバが並べられているので、処理チャンバの上流で容器の供給経路を分岐させたり、処理チャンバの下流で供給経路を合流させたりする必要がない。そのため、搬送システムの大型化等を回避できる。しかも、処理チャンバ群に含まれる処理チャンバ毎に排出ロボットが一つずつ設けられているので、複数の処理チャンバに対して一つの排出ロボットが設けられる場合に比べて、各排出ロボットの稼働距離が短くなるのでタクトタイムの低下を抑えることができる。   According to the above aspect, since the processing chambers are arranged with respect to the transport direction of the containers of each conveyor, it is necessary to branch the supply path of the containers upstream of the processing chamber or merge the supply paths downstream of the processing chamber. There is no Therefore, the enlargement of the transport system can be avoided. Moreover, since one discharge robot is provided for each of the processing chambers included in the processing chamber group, the working distance of each discharge robot is greater than when one discharge robot is provided for a plurality of processing chambers. Since it becomes short, the fall of tact time can be suppressed.

さらに、上記態様は、供給コンベア及び排出コンベアが配置された側に供給ロボットが配置され、その反対側に排出ロボットが処理チャンバ毎に設けられているので、排出ロボットの稼働範囲が処理チャンバ毎に分断される。そのため、一つの排出ロボットが複数の処理チャンバ間で稼働する場合と比べて、各処理チャンバへのアクセスが妨げられにくい。これにより、メインテナンス性の低下を抑えることができる。   Furthermore, in the above aspect, the supply robot is disposed on the side on which the supply conveyor and the discharge conveyor are disposed, and the discharge robot is provided for each processing chamber on the opposite side. It is divided. Therefore, access to each processing chamber is less likely to be impeded as compared with the case where one discharge robot operates between a plurality of processing chambers. Thereby, the fall of maintainability can be suppressed.

上記態様においては、前記処理チャンバ群に含まれる前記処理チャンバの並び方向の両端間距離(Yd)の中央を横断する基準線(Ls)上に前記供給ロボットの基準位置が設定されており、前記供給ロボットは、前記基準位置にて前記供給コンベアにて搬送された前記容器を保持し、保持した前記容器を前記処理チャンバ群に含まれる前記処理チャンバ毎に分配かつ移送してもよい。この場合には、複数の処理チャンバの並び方向の両端間距離の中央を横断する基準線上に供給ロボットの基準位置が設定されているので、供給ロボットの基準位置が他の位置に設定される場合よりも供給ロボットの稼働距離を少なくできる。これにより、タクトタイムの低下を抑えることができる。   In the above aspect, the reference position of the supply robot is set on a reference line (Ls) that crosses the center of the distance (Yd) in the arrangement direction of the processing chambers included in the processing chamber group. The supply robot may hold the container transported by the supply conveyor at the reference position, and may distribute and transfer the held container to each of the processing chambers included in the processing chamber group. In this case, since the reference position of the supply robot is set on the reference line which crosses the center of the distance between both ends in the arrangement direction of the plurality of processing chambers, the reference position of the supply robot is set to another position. The working distance of the feeding robot can be reduced more than that. Thereby, the decrease in tact time can be suppressed.

本発明の搬送システムの一態様において、前記供給排出機構には、前記容器を載せるテーブル(T)と、前記テーブルの上方に配置されていて前記容器を保持可能なホルダ(H)とが設けられており、前記供給ロボットは、前記容器を保持しつつ前記テーブルの所定位置に配置した状態で前記テーブルに配置された前記容器が前記ホルダで保持されてから前記容器の保持を解除することにより、前記供給コンベアにて搬送された前記容器を前記処理チャンバの前記供給排出機構に移送してもよい。この態様によれば、供給排出機構への容器の移送が完了するまでの間に、容器は供給ロボット又はホルダの少なくともいずれかによって保持される。したがって、容器の移送が完了するまでの間に容器が傾いたり転倒したりする等の容器の不安定な状態を回避することができる。   In one aspect of the transfer system of the present invention, the supply and discharge mechanism is provided with a table (T) on which the container is placed, and a holder (H) disposed above the table and capable of holding the container. The feeding robot holds the container and releases the holding of the container after the container arranged on the table is held by the holder in a state of being arranged at a predetermined position of the table. The container transported by the supply conveyor may be transferred to the supply and discharge mechanism of the processing chamber. According to this aspect, the container is held by at least one of the supply robot and / or the holder while the transfer of the container to the supply and discharge mechanism is completed. Therefore, it is possible to avoid the unstable state of the container such as the container being inclined or tipped over until the transfer of the container is completed.

なお、以上の説明では、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記したが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。   In the above description, in order to facilitate understanding of the present invention, the reference numerals of the attached drawings are appended in parentheses, but the present invention is not limited to the illustrated embodiment.

以上に説明したように、本発明の容器の搬送システムによれば、供給コンベア及び排出コンベアが処理チャンバを挟む配置となることを回避できるので、これらのコンベアが配置されていない側からの処理チャンバへのアクセスが容易になる。これにより、成膜装置の処理チャンバに対するメインテナンス性の低下を抑制できる。   As described above, according to the container conveyance system of the present invention, the supply conveyor and the discharge conveyor can be prevented from being disposed so as to sandwich the processing chamber. Therefore, the processing chamber from the side where these conveyors are not arranged Easy to access. Thereby, the fall of the maintainability with respect to the processing chamber of the film-forming apparatus can be suppressed.

本発明の一形態に係る容器の搬送システムの平面図。The top view of the conveyance system of the container concerning one form of the present invention. 図1のII-II線に関する断面図で、供給ロボットによる容器の移送を説明する図。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 1, illustrating the transfer of the container by the supply robot. 図1のII-II線に関する断面図で、排出ロボットによる容器の移送を説明する図。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 1, illustrating the transfer of the container by the discharge robot. 供給排出機構への容器の移送方法の一例を示した図。The figure which showed an example of the transfer method of the container to a supply-and-discharge mechanism. 排出コンベアへの容器の移送方法の一例を示した図。The figure which showed an example of the transfer method of the container to a discharge conveyor.

図1の搬送システム1は成膜装置2に適用される。成膜装置2は処理対象の容器であるペットボトルPBの表面(本形態では内面)に触媒化学気相成長法によって金属の薄膜を成膜する成膜処理を実施するCat−CVD装置として構成されている。成膜装置2は、真空状態で成膜処理を実施する複数(本形態では4つ)の処理チャンバ3が一方向に並べられた処理チャンバ群4を備えている。各処理チャンバ3には、ペットボトルPBの供給及び排出を行う供給排出機構3a(図2A及び図2B参照)が設けられている。供給排出機構3aはペットボトルPBを支持するテーブルTと、そのテーブルTを昇降させる不図示の昇降機構とを備えている。   The transport system 1 of FIG. 1 is applied to a film forming apparatus 2. The film forming apparatus 2 is configured as a Cat-CVD apparatus that performs a film forming process of forming a metal thin film on the surface (in this embodiment, the inner surface in the present embodiment) of a pet bottle PB which is a container to be treated. ing. The film forming apparatus 2 includes a processing chamber group 4 in which a plurality of (four in the present embodiment) processing chambers 3 for performing a film forming process in a vacuum state are arranged in one direction. Each processing chamber 3 is provided with a supply / discharge mechanism 3a (see FIGS. 2A and 2B) for supplying and discharging the plastic bottle PB. The supply and discharge mechanism 3a includes a table T supporting the plastic bottle PB, and an elevating mechanism (not shown) that raises and lowers the table T.

搬送システム1は成膜装置2による成膜処理前のペットボトルPBを搬送する供給コンベア5と、成膜処理後のペットボトルPBを搬送する排出コンベア6と、供給コンベア5にて搬送されたペットボトルPBを、各処理チャンバ3の供給排出機構3aに移送する供給ロボット7と、成膜処理後に処理チャンバ3から供給排出機構3aが排出したペットボトルPBを、排出コンベア6に移送する排出ロボット8とを備えている。排出ロボット8は、処理チャンバ群4に属する処理チャンバ3毎に一つずつ合計で4つ設けられている。   The transport system 1 includes a feed conveyor 5 for transporting the pet bottle PB before the film forming process by the film forming apparatus 2, a discharge conveyor 6 for transporting the pet bottle PB after the film forming process, and a pet transported by the feed conveyor 5. A supply robot 7 for transferring the bottle PB to the supply / discharge mechanism 3a of each processing chamber 3, and a discharge robot 8 for transferring the plastic bottle PB discharged from the processing chamber 3 after the film forming process to the discharge conveyor 6. And have. A total of four discharge robots 8 are provided for each of the processing chambers 3 belonging to the processing chamber group 4.

供給コンベア5及び排出コンベア6は、それぞれの搬送方向D1、D2が平行でかつ直線状に延びるように並列に配置されている。供給コンベア5には、搬送される複数のペットボトルPBを成膜処理の処理単位となる6本毎に区分し、かつこれらのペットボトルPBを等間隔に整列させる整列装置10が設けられている。   The supply conveyor 5 and the discharge conveyor 6 are arranged in parallel so that the conveyance directions D1 and D2 extend in parallel and in a straight line. The supply conveyor 5 is provided with an alignment device 10 for dividing the plurality of plastic bottles PB transported by every six bottles serving as a processing unit of the film forming process and arranging the plastic bottles PB at equal intervals. .

供給ロボット7は成膜装置1の処理チャンバ群4を横断する一方の側(図1の上側)に、排出ロボット8は処理チャンバ群4を横断する他方の側(図1の下側)にそれぞれ配置されている。また、供給ロボット7が配置される側には、供給コンベア5及び排出コンベア6が並列に配置されている。   The supply robot 7 is on one side (upper side in FIG. 1) crossing the processing chamber group 4 of the film forming apparatus 1, and the discharge robot 8 is on the other side (lower side in FIG. 1) crossing the processing chamber group 4 It is arranged. Further, on the side where the supply robot 7 is disposed, the supply conveyor 5 and the discharge conveyor 6 are disposed in parallel.

供給ロボット7は、3つの直動ロボットがそれぞれの移動方向を直交させた状態で組み合わされることにより構成されている。各直動ロボットは周知の構成を有し、それぞれの本体が固定され、かつそれぞれのキャリアが動くように組み合わされている。   The supply robot 7 is configured by combining three linear motion robots with their moving directions orthogonal to each other. Each linear motion robot has a known configuration, with its respective body fixed and its respective carrier combined to move.

具体的には、図1及び図2Aに示すように、供給ロボット7の3軸については、供給ロボット7が設置されるフレームFが延びる方向と同方向の水平軸をY軸とし、Y軸と直交する同一高さの軸をX軸とし、X軸及びY軸と互いに直交し上下方向(図1の紙面と直交する方向)に延びる軸をZ軸としている。供給ロボット7のZ軸は直動ロボットの本体をY軸に固定し、キャリアを昇降するようにして構成され、X軸は直動ロボットをZ軸に固定し、キャリアを稼働とするようにして構成されている。このように各直動ロボットがそれぞれの本体を固定してそれぞれキャリアが動くように組み合わされているので、自身の荷重が各方向の負荷として可算されないので可搬重量を抑えることができ、しかも移動速度を向上させることができる。なお、各排出ロボット8は2つの直動ロボットが組み合わされることにより、X軸及びZ軸方向に稼働できるように構成されている。   Specifically, as shown in FIGS. 1 and 2A, with regard to the three axes of the supply robot 7, the horizontal axis in the same direction as the direction in which the frame F in which the supply robot 7 is installed extends is taken as the Y axis. An axis at the same height, which is orthogonal to the X axis, is an X axis, and an axis extending in the vertical direction (direction orthogonal to the plane of the drawing of FIG. 1) is orthogonal to the X axis and the Y axis. The Z-axis of the supply robot 7 is configured to fix the main body of the linear motion robot to the Y-axis and to move the carrier up and down. The X-axis is to fix the linear motion robot to the Z-axis and to operate the carrier. It is configured. As described above, since each linear motion robot is combined so as to fix the main body and move the carrier, the load can not be counted as the load in each direction, so that the payload can be reduced and the movement can be achieved. Speed can be improved. Each ejection robot 8 is configured to be able to operate in the X-axis and Z-axis directions by combining two linear motion robots.

図1に示したように、供給ロボット7は、動作前に待機しかつ動作終了後に復帰する基準位置が基準線Ls上に設定されている。基準線Lsは処理チャンバ群4に含まれる処理チャンバ3の並び方向の両端間距離Ydの中央を垂直に横断している。供給ロボット7の基準位置がこのように設定されているので、基準位置が他の位置に設定される場合よりも供給ロボット7の稼働距離を少なくできる。これにより、タクトタイムの低下を抑えることができる。   As shown in FIG. 1, the supply robot 7 stands by before the operation and the reference position at which the supply robot 7 returns after the operation is set is set on the reference line Ls. The reference line Ls vertically traverses the center of the distance Yd between the ends in the direction of arrangement of the processing chambers 3 included in the processing chamber group 4. Since the reference position of the supply robot 7 is set in this manner, the working distance of the supply robot 7 can be made smaller than when the reference position is set at another position. Thereby, the decrease in tact time can be suppressed.

図1及び図2Aに示すように、供給ロボット7は、供給コンベア5の整列装置10にて整列された6本のペットボトルPBを、姿勢を維持しながらチャック装置7aで保持する。そして、図1の矢印yで示すように、供給ロボット7はチャック装置7aで保持した6本のペットボトルPBを処理チャンバ群4に属する各処理チャンバ3に分配し、かつ図2Aの矢印a、bで示すように各処理チャンバ3に設けられた供給排出機構3aのテーブルTに移送する。テーブルTに移された6本のペットボトルPBは、図2Aの矢印cで示すように不図示の昇降機構によってテーブルTが上昇することにより処理チャンバ3に供給される。各処理チャンバ3に供給された6本のペットボトルPBに対しては、処理チャンバ3内で所定の成膜処理が一斉に実施される。   As shown in FIGS. 1 and 2A, the supply robot 7 holds the six PET bottles PB aligned by the alignment device 10 of the supply conveyor 5 with the chuck device 7a while maintaining the posture. Then, as shown by the arrow y in FIG. 1, the supply robot 7 distributes the six PET bottles PB held by the chuck device 7a to the processing chambers 3 belonging to the processing chamber group 4, and the arrow a in FIG. 2A, As shown by b, it is transferred to the table T of the supply and discharge mechanism 3 a provided in each processing chamber 3. The six plastic bottles PB transferred to the table T are supplied to the processing chamber 3 by raising the table T by a lifting mechanism (not shown) as shown by the arrow c in FIG. 2A. A predetermined film forming process is simultaneously performed on the six plastic bottles PB supplied to the respective processing chambers 3 in the processing chamber 3.

供給排出機構3aへの各ペットボトルPBの移送は、例えば、図3Aに示した方法で実施される。まず、工程(b1)において、供給ロボット7は、チャック装置7aで保持した6本のペットボトルPBをテーブルTの所定位置に配置する。次に、工程(b2)において、チャック装置7aによる各ペットボトルPBの保持を維持し、かつテーブルTとチャック装置7aとの距離αを維持しながら、テーブルTとチャック装置7aとを同時に所定距離上昇させて、テーブルTの上部に配置されたホルダHに各ペットボトルPBの口部をセットする。これにより、各ペットボトルPBは、それらの底部と口部とがテーブルT及びホルダTに保持される。次に、工程(b3)において、供給ロボット7は、チャック装置7aの保持を解除する。これにより、各ペットボトルPBの供給排出機構3aへの移送が完了する。この方法では、各ペットボトルPBのテーブルTへの移送が完了するまでの間に、それらの口部がチャック装置7a又はホルダHの少なくともいずれかによって保持される。したがって、各ペットボトルPBの移送が完了するまでの間にペットボトルPBが傾いたり転倒したりする等のペットボトルPBの不安定な状態を回避することができる。   The transfer of each plastic bottle PB to the supply / discharge mechanism 3a is performed, for example, by the method shown in FIG. 3A. First, in step (b1), the supply robot 7 arranges the six plastic bottles PB held by the chuck device 7a at a predetermined position on the table T. Next, in step (b2), while maintaining the holding of each plastic bottle PB by the chuck device 7a and maintaining the distance α between the table T and the chuck device 7a, the table T and the chuck device 7a are simultaneously moved a predetermined distance It raises and sets the mouth of each plastic bottle PB in the holder H arranged at the top of the table T. Thus, the bottom and the mouth of each plastic bottle PB are held by the table T and the holder T. Next, in step (b3), the supply robot 7 releases the holding of the chuck device 7a. This completes the transfer of each plastic bottle PB to the supply / discharge mechanism 3a. In this method, their ports are held by at least one of the chuck device 7a and the holder H until the transfer of each plastic bottle PB to the table T is completed. Therefore, it is possible to avoid the unstable state of the plastic bottle PB, such as the plastic bottle PB being inclined or falling over, until the transfer of each plastic bottle PB is completed.

成膜処理後のペットボトルPBは、図2Bの矢印dで示すように、供給排出機構3aのテーブルTが降下することによって各処理チャンバ3から排出される。各排出ロボット8は、処理チャンバ3から排出された6本のペットボトルPBをチャック装置8aで保持し、矢印eで示すように排出コンベア6に移送する。排出コンベア6に移されたペットボトルPBは排出コンベア6によって後工程が実施される不図示のエリアに搬送される。   The PET bottles PB after the film forming process are discharged from the processing chambers 3 as the table T of the supply / discharge mechanism 3a is lowered, as shown by the arrow d in FIG. 2B. Each discharge robot 8 holds the six pet bottles PB discharged from the processing chamber 3 by the chuck device 8a, and transfers it to the discharge conveyor 6 as indicated by the arrow e. The plastic bottles PB transferred to the discharge conveyor 6 are transported by the discharge conveyor 6 to an area (not shown) where the post-process is performed.

排出コンベア6への各ペットボトルPBの移送は、例えば、図3Bに示した方法で実施される。まず、工程(e1)において、排出ロボット8はチャック装置8aで保持した6本のペットボトルPBを排出コンベア6の所定位置に配置する。排出コンベア6の所定位置には、各ペットボトルPBの胴部を保持可能な保持機構6aが設けられている(図1も参照)。保持機構6aは胴部から待避する待避位置と胴部を保持する保持位置との間で動作可能に構成されている。工程(e2)において、チャック装置8aによる各ペットボトルPBの保持を維持した状態で保持機構6aを待避位置から保持位置へ切り替えて各ペットボトルPBの胴部を保持する。次に、工程(e3)において、排出ロボット8はチャック装置8aによる各ペットボトルPBの口部の保持を解除する。そして、工程(e4)において、保持機構6aを保持位置から待避位置へ切り替える。これにより、各ペットボトルPBの排出コンベア6への移送が完了する。   The transfer of each plastic bottle PB to the discharge conveyor 6 is performed, for example, by the method shown in FIG. 3B. First, in step (e1), the discharge robot 8 arranges the six pet bottles PB held by the chuck device 8a at a predetermined position of the discharge conveyor 6. A holding mechanism 6a capable of holding the barrel of each plastic bottle PB is provided at a predetermined position of the discharge conveyor 6 (see also FIG. 1). The holding mechanism 6a is configured to be operable between a retracted position for retracting from the body and a holding position for holding the body. In the step (e2), the holding mechanism 6a is switched from the withdrawal position to the holding position while holding the plastic bottles PB by the chuck device 8a, and the barrels of the plastic bottles PB are held. Next, in step (e3), the discharge robot 8 releases the holding of the mouth of each plastic bottle PB by the chuck device 8a. Then, in the step (e4), the holding mechanism 6a is switched from the holding position to the withdrawal position. Thus, the transfer of the plastic bottles PB to the discharge conveyor 6 is completed.

本形態の搬送システム1によれば、供給コンベア5と排出コンベア6とが成膜装置2の各処理チャンバ3の片側に並列に配置されているので、これらのコンベア5、6が各処理チャンバ3を挟む配置となることを回避できる。これにより、これらのコンベア5、6が配置されていない側(図1の下側)からの各処理チャンバ3へのアクセスが容易になるので、成膜装置2の各処理チャンバ3に対するメインテナンス性の低下を抑制できる。   According to the transport system 1 of the present embodiment, the supply conveyor 5 and the discharge conveyor 6 are arranged in parallel on one side of each processing chamber 3 of the film forming apparatus 2. It can avoid that it becomes the arrangement which puts in between. Thereby, access to each processing chamber 3 from the side where the conveyors 5 and 6 are not disposed (the lower side in FIG. 1) is facilitated, so that maintenance of each processing chamber 3 of the film forming apparatus 2 It is possible to suppress the decline.

また、搬送システム1は、供給コンベア5及び排出コンベア6の搬送方向D1、D2に関して複数の処理チャンバ3が並べられているため、ペットボトルPBに対する成膜処理の処理効率を高めることができるとともに、搬送経路を分岐させたり集合させたりする必要がないので搬送システムの大型化等を回避できる。しかも、処理チャンバ3毎に排出ロボット8が一つずつ設けられているので、一つのロボットで各処理チャンバ3から排出されるペットボトルPBを排出コンベアに移送する場合と比べて、各排出ロボットの稼働距離が短くなるのでタクトタイムの低下を抑えることができる。   Further, in the transfer system 1, since the plurality of processing chambers 3 are arranged in the transfer directions D1 and D2 of the supply conveyor 5 and the discharge conveyor 6, the processing efficiency of the film forming process on the PET bottle PB can be enhanced. Since there is no need to bifurcate or assemble the transport paths, it is possible to avoid the upsizing of the transport system. Moreover, since one discharge robot 8 is provided for each processing chamber 3, compared with the case where the PET bottles PB discharged from each processing chamber 3 are transferred to the discharge conveyor by one robot, Since the working distance is shortened, it is possible to suppress the decrease in tact time.

さらに、供給コンベア5及び排出コンベア6が配置された側の反対側に排出ロボット8が処理チャンバ3毎に設けられているので、排出ロボット8の稼働範囲が処理チャンバ3毎に分断される。そのため、一つの排出ロボットが複数の処理チャンバ間で稼働する場合と比べて、各処理チャンバ3へのアクセスが妨げられにくい。これにより、メインテナンス性の低下を抑えることができる。   Furthermore, since the discharge robot 8 is provided for each processing chamber 3 on the opposite side to the side where the supply conveyor 5 and the discharge conveyor 6 are disposed, the operation range of the discharge robot 8 is divided for each processing chamber 3. Therefore, access to each processing chamber 3 is less likely to be impeded as compared with the case where one discharge robot operates among a plurality of processing chambers. Thereby, the fall of maintainability can be suppressed.

本発明の搬送システムは、本発明の要旨の範囲内において種々の形態にて実施できる。上記形態の搬送システム1は、複数の処理チャンバを備えた成膜装置に適用されているが、単一の処理チャンバを備えた成膜装置に適用されてもよい。なお、成膜装置で処理される容器はペットボトルに限らず、成膜対象となり得る他の材質の容器でもよい。   The transfer system of the present invention can be implemented in various forms within the scope of the present invention. Although the transfer system 1 of the said form is applied to the film-forming apparatus provided with the several process chamber, it may be applied to the film-forming apparatus provided with the single process chamber. The container processed by the film forming apparatus is not limited to the plastic bottle, but may be a container of another material that can be a film forming target.

また、供給コンベア及び排出コンベアが処理チャンバの片側に並列に配置されることを限度として、供給ロボット及び排出ロボットの各配置及び個数を適宜変更して本発明を実施することもできる。例えば、処理チャンバの個数と同数の供給ロボット及び排出ロボットを処理チャンバ群の両側に配置する形態で本発明を実施してもよい。また、排出ロボットを一台とし、供給ロボットを複数台とする形態で本発明を実施することもできるし、処理チャンバ群の両側に供給ロボットと排出ロボットとを一つずつ配置する形態で本発明を実施することもできる。   In addition, the present invention can be implemented by appropriately changing the arrangement and the number of the supply robots and the discharge robots, as long as the supply conveyor and the discharge conveyor are disposed in parallel on one side of the processing chamber. For example, the present invention may be implemented in a configuration in which the supply robot and the discharge robot equal in number to the number of processing chambers are disposed on both sides of the processing chamber group. Furthermore, the present invention can be practiced with one discharge robot and multiple supply robots, or one supply robot and one discharge robot disposed on both sides of the processing chamber group. Can also be implemented.

1 搬送システム
2 成膜装置
3 処理チャンバ
3a 供給排出機構
4 処理チャンバ群
5 供給コンベア
6 排出コンベア
7 供給ロボット
8 排出ロボット
D1、D2 搬送方向
Ls 基準線
T テーブル
H ホルダ
PB ペットボトル(容器)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 conveyance system 2 film-forming apparatus 3 processing chamber 3a supply-discharge mechanism 4 processing chamber group 5 supply conveyor 6 discharge conveyor 7 supply robot 8 discharge robot D1, D2 conveyance direction Ls reference line T table H holder PB PET bottle (container)

Claims (4)

処理対象となる容器の供給及び排出を行う供給排出機構が設けられていて前記容器の表面に真空状態で薄膜を成膜する成膜処理を実施する処理チャンバを備えた成膜装置に適用される容器の搬送システムであって、
前記成膜装置による前記成膜処理前の前記容器を搬送する供給コンベアと、
前記成膜装置による前記成膜処理後の前記容器を搬送する排出コンベアと、
前記供給コンベアにて搬送された前記容器を、前記処理チャンバの前記供給排出機構に移送する供給ロボットと、
前記成膜処理後に前記処理チャンバから前記供給排出機構が排出した前記容器を、前記排出コンベアに移送する排出ロボットと、を備え、
前記処理チャンバの一方の側に前記供給ロボットが、前記処理チャンバの他方の側に前記排出ロボットがそれぞれ配置され、かつ、
前記処理チャンバの前記一方の側又は前記他方の側のいずれかの側に、前記供給コンベアと前記排出コンベアとが並列に配置されている、容器の搬送システム。
It is applied to a film forming apparatus provided with a supply and discharge mechanism for supplying and discharging a container to be processed, and provided with a processing chamber for performing a film forming process for forming a thin film in vacuum on the surface of the container. Container transport system,
A supply conveyor for conveying the container before the film forming process by the film forming apparatus;
A discharge conveyor for conveying the container after the film forming process by the film forming apparatus;
A supply robot for transferring the container transported by the supply conveyor to the supply / discharge mechanism of the processing chamber;
And a discharge robot for transferring the container discharged by the supply and discharge mechanism from the processing chamber after the film forming process to the discharge conveyor.
The supply robot is disposed on one side of the processing chamber, and the discharge robot is disposed on the other side of the processing chamber, and
Container transport system, wherein the feed conveyor and the discharge conveyor are arranged in parallel on either the one side or the other side of the processing chamber.
前記成膜装置は、前記供給コンベア及び前記排出コンベアの搬送方向に関して前記処理チャンバが複数個並べられた処理チャンバ群を有し、
前記供給ロボットは、前記処理チャンバ群に対して一つ設けられ、前記処理チャンバ群に属する前記処理チャンバ毎に前記容器を分配かつ移送し、
前記排出ロボットは、前記処理チャンバ群に属する前記処理チャンバ毎に一つずつ設けられ、
前記供給コンベア及び前記排出コンベアは、前記供給ロボットが配置された側に設けられている、請求項1に記載の容器の搬送システム。
The film forming apparatus has a processing chamber group in which a plurality of processing chambers are arranged in the transport direction of the supply conveyor and the discharge conveyor.
The supply robot is provided one for the processing chamber group, and distributes and transfers the container for each of the processing chambers belonging to the processing chamber group,
The discharge robot is provided for each of the processing chambers belonging to the processing chamber group,
The container conveyance system according to claim 1, wherein the supply conveyor and the discharge conveyor are provided on the side where the supply robot is disposed.
前記処理チャンバ群に含まれる前記処理チャンバの並び方向の両端間距離の中央を横断する基準線上に前記供給ロボットの基準位置が設定されており、
前記供給ロボットは、前記基準位置にて前記供給コンベアにて搬送された前記容器を保持し、保持した前記容器を前記処理チャンバ群に含まれる前記処理チャンバ毎に分配かつ移送する、請求項2に記載の容器の搬送システム。
The reference position of the supply robot is set on a reference line which crosses the center of the distance between both ends in the arrangement direction of the processing chambers included in the processing chamber group,
The supply robot holds the container transported by the supply conveyor at the reference position, and distributes and transfers the held container to each of the processing chambers included in the processing chamber group. Container transport system as described.
前記供給排出機構には、前記容器を載せるテーブルと、前記テーブルの上方に配置されていて前記容器を保持可能なホルダとが設けられており、
前記供給ロボットは、前記容器を保持しつつ前記テーブルの所定位置に配置した状態で前記テーブルに配置された前記容器が前記ホルダで保持されてから前記容器の保持を解除することにより、前記供給コンベアにて搬送された前記容器を前記処理チャンバの前記供給排出機構に移送する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の容器の搬送システム。
The supply and discharge mechanism is provided with a table on which the container is placed, and a holder disposed above the table and capable of holding the container.
The supply robot performs the supply conveyor by releasing the holding of the container after the container arranged on the table is held by the holder in a state of being arranged at a predetermined position of the table while holding the container. The container transfer system according to any one of claims 1 to 3, wherein the container transferred at step (d) is transferred to the supply and discharge mechanism of the processing chamber.
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