JP6544058B2

JP6544058B2 - Physical quantity sensor, electronic device and mobile

Info

Publication number: JP6544058B2
Application number: JP2015114928A
Authority: JP
Inventors: 田中　悟; 悟田中
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2014-08-19
Filing date: 2015-06-05
Publication date: 2019-07-17
Anticipated expiration: 2035-06-05
Also published as: JP2016045190A

Description

本発明は、物理量センサー、電子機器および移動体に関するものである。 The present invention relates to a physical quantity sensor, an electronic device, and a mobile body.

近年、例えばシリコンＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ）技術を用いて、加速度等の物理量を検出する物理量センサーが開発されている。 BACKGROUND In recent years, physical quantity sensors that detect physical quantities such as acceleration have been developed using, for example, silicon MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technology.

この物理量センサーとしては、大板部と小板部とを有し、これらがシーソー状に揺動可能となるように絶縁層に支持される可動電極と、大板部と対向して絶縁層に設けられる固定電極と、小板部と対向して絶縁層に設けられる固定電極と、を有するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。 The physical quantity sensor includes a large plate portion and a small plate portion, and the movable electrode supported by the insulating layer so that these can swing like a seesaw, and the insulating layer facing the large plate portion There is known one having a fixed electrode to be provided and a fixed electrode to be provided on the insulating layer so as to face the small plate portion (for example, see Patent Document 1).

特許文献１に記載の物理量センサーでは、可動電極を備えた構造体（Ｓｉ構造体）をガラス基板に陽極接合する際に、構造体と対向するガラス露出面が大きいと発生する静電力が大きくなるため、構造体のガラス基板への貼り付き（スティッキング）が発生する問題がある。 In the physical quantity sensor described in Patent Document 1, when the structure (Si structure) including the movable electrode is anodically bonded to the glass substrate, the electrostatic force generated is large when the glass exposed surface facing the structure is large. Therefore, there is a problem that sticking (sticking) to a glass substrate of a structure occurs.

このような問題を解決するために、可動電極と同電位の対向電極（ダミー電極）を設け、可動体が基板に貼り付くのを抑制しようとする試みが行われている（例えば、特許文献２参照）。 In order to solve such a problem, an attempt has been made to provide a counter electrode (dummy electrode) having the same potential as the movable electrode to suppress sticking of the movable body to the substrate (for example, Patent Document 2) reference).

しかしながら、特許文献２の物理量センサーでは、ダミー電極によって可動電極のスティッキングの発生を低減できるが、各固定電極と可動電極との間の静電容量の差（容量オフセット）が発生してしまい、そのばらつきによってはＩＣ（集積回路）の調整範囲を超えて歩留まりが悪化してしまう。また、容量オフセットがセンサー全体に各影響を及ぼしてしまう（例えば、特許文献３参照）。 However, in the physical quantity sensor of Patent Document 2, although the occurrence of sticking of the movable electrode can be reduced by the dummy electrode, a difference in capacitance (capacitance offset) between each fixed electrode and the movable electrode is generated. Depending on the variation, the yield may be deteriorated beyond the adjustment range of the IC (integrated circuit). Also, the capacitance offset affects the entire sensor (see, for example, Patent Document 3).

特開２００７−２９８４０５号公報Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-298405 特開２０１３−１６０５５４号公報JP, 2013-160554, A 特開２００２−２０２３２０号公報JP 2002-202320 A

本発明の目的は、スティッキングの発生を防止するとともに、容量オフセットを小さくすることができる物理量センサー、および、この物理量センサーを備える電子機器および移動体を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a physical quantity sensor capable of preventing the occurrence of sticking and reducing a capacity offset, and an electronic device and a mobile including the physical quantity sensor.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。 The present invention has been made to solve at least a part of the above-described problems, and can be realized as the following modes or application examples.

［適用例１］
本適用例の物理量センサーは、基板と、
前記基板に固定される支持部と、
前記支持部に連結部を介して接続され、前記支持部に対して揺動可能な可動部と、
前記可動部と対向して前記基板に配置される固定電極と、を有し、
前記可動部は、前記連結部に対して一方側に設けられる第１質量部と、他方側に設けられ前記第１質量部よりも質量が大きい第２質量部と、を有し、
前記固定電極は、前記第１質量部と対向して配置される第１固定電極と、前記第２質量部と対向して配置される第２固定電極と、前記可動部と対向し、かつ、前記第１固定電極および前記第２固定電極と接触しないように配置され、前記可動部と同電位となるダミー電極と、を有し、
前記可動部が揺動される軸方向をＹ軸方向としたとき、
前記第１固定電極と並んで配置された前記ダミー電極の前記Ｙ軸方向の幅、および、前記第１固定電極の前記Ｙ軸方向の幅のうちの少なくとも一方が、前記第２固定電極の前記Ｙ軸方向の幅よりも大きいことを特徴とする。
これにより、スティッキングの発生を防止するとともに、容量オフセットを小さくすることができる。 Application Example 1
The physical quantity sensor of this application example includes a substrate,
A support fixed to the substrate;
A movable portion connected to the support portion via a connection portion and capable of swinging with respect to the support portion;
And a fixed electrode disposed on the substrate so as to face the movable portion,
The movable portion includes a first mass portion provided on one side with respect to the connection portion, and a second mass portion provided on the other side and having a mass larger than the first mass portion.
The fixed electrode faces a first fixed electrode disposed facing the first mass portion, a second fixed electrode disposed facing the second mass portion, and the movable portion, and A dummy electrode disposed so as not to be in contact with the first fixed electrode and the second fixed electrode and having the same potential as the movable portion;
When the axial direction in which the movable part is swung is the Y-axis direction,
At least one of the width in the Y-axis direction of the dummy electrode arranged side by side with the first fixed electrode and the width in the Y-axis direction of the first fixed electrode is the width of the second fixed electrode. It is characterized in that it is larger than the width in the Y-axis direction.
Thereby, the occurrence of sticking can be prevented, and the capacity offset can be reduced.

［適用例２］
本適用例の物理量センサーでは、前記ダミー電極は、前記第１固定電極と前記Ｙ軸方向に対向して配置される第１の部分を有していることが好ましい。
これにより、容量オフセットを容易に小さくすることができる。 Application Example 2
In the physical quantity sensor of this application example, it is preferable that the dummy electrode has a first portion disposed to face the first fixed electrode in the Y-axis direction.
This allows the capacitance offset to be easily reduced.

［適用例３］
本適用例の物理量センサーでは、前記第１の部分は、前記第１固定電極の前記Ｙ軸方向の両側に位置するように一対設けられていることが好ましい。
これにより、容量オフセットをより容易に小さくすることができる。 Application Example 3
In the physical quantity sensor of this application example, it is preferable that the first portion be provided in a pair so as to be located on both sides in the Y-axis direction of the first fixed electrode.
This allows the capacitance offset to be more easily reduced.

［適用例４］
本適用例の物理量センサーでは、前記ダミー電極は、前記第１固定電極と前記第２固定電極との間に設けられた第１ダミー電極と、前記第１固定電極の前記第１ダミー電極とは反対側に設けられた第２ダミー電極と、前記第２固定電極の前記第１ダミー電極とは反対側に設けられた第３ダミー電極と、を有し、
前記第１の部分は、前記第１ダミー電極および前記第２ダミー電極の少なくとも一方が有していることが好ましい。
これにより、容量オフセットを小さくしつつ、スティッキングの発生をより効果的に防止することができる。 Application Example 4
In the physical quantity sensor according to the application example, the dummy electrode is a first dummy electrode provided between the first fixed electrode and the second fixed electrode, and the first dummy electrode of the first fixed electrode. A second dummy electrode provided on the opposite side, and a third dummy electrode provided on the side opposite to the first dummy electrode of the second fixed electrode;
Preferably, at least one of the first dummy electrode and the second dummy electrode has the first portion.
As a result, it is possible to more effectively prevent the occurrence of sticking while reducing the capacity offset.

［適用例５］
本適用例の物理量センサーでは、前記第１固定電極は、前記ダミー電極と前記Ｙ軸方向に対向して配置される第２の部分を有していることが好ましい。
これにより、容量オフセットを容易に小さくすることができる。 Application Example 5
In the physical quantity sensor according to this application example, the first fixed electrode preferably includes a second portion which is disposed to face the dummy electrode in the Y-axis direction.
This allows the capacitance offset to be easily reduced.

［適用例６］
本適用例の物理量センサーでは、前記第２の部分は、前記ダミー電極の前記Ｙ軸方向の両側に位置するように一対設けられていることが好ましい。
これにより、容量オフセットをより容易に小さくすることができる。 Application Example 6
In the physical quantity sensor of this application example, it is preferable that the second portion be provided in a pair so as to be located on both sides of the dummy electrode in the Y-axis direction.
This allows the capacitance offset to be more easily reduced.

［適用例７］
本適用例の物理量センサーでは、前記ダミー電極は、前記第１固定電極と前記第２固定電極との間に設けられた第１ダミー電極と、前記第１固定電極の前記第１ダミー電極とは反対側に設けられた第２ダミー電極と、前記第２固定電極の前記第１ダミー電極とは反対側に設けられた第３ダミー電極と、を有し、
前記第２の部分は、前記第２ダミー電極と前記Ｙ軸方向に対向するように配置されていることが好ましい。
これにより、容量オフセットを小さくしつつ、スティッキングの発生をより効果的に防止することができる。 Application Example 7
In the physical quantity sensor according to the application example, the dummy electrode is a first dummy electrode provided between the first fixed electrode and the second fixed electrode, and the first dummy electrode of the first fixed electrode. A second dummy electrode provided on the opposite side, and a third dummy electrode provided on the side opposite to the first dummy electrode of the second fixed electrode;
It is preferable that the second portion be disposed to face the second dummy electrode in the Y-axis direction.
As a result, it is possible to more effectively prevent the occurrence of sticking while reducing the capacity offset.

［適用例８］
本適用例の物理量センサーでは、前記基板は、ガラス基板であることが好ましい。
これにより、可動部と基板とを容易に両者を電気的に絶縁することができ、センサー構造を簡素化することができる。 Application Example 8
In the physical quantity sensor of this application example, the substrate is preferably a glass substrate.
Thus, the movable portion and the substrate can be easily electrically isolated from each other, and the sensor structure can be simplified.

［適用例９］
本適用例の電子機器は、本発明の物理量センサーを備えることを特徴とする。
このような電子機器では、本適用例に係る物理量センサーを含むため、高い信頼性を有することができる。 Application Example 9
The electronic device of this application example is characterized by including the physical quantity sensor of the present invention.
Such an electronic device can have high reliability because it includes the physical quantity sensor according to the application example.

［適用例１０］
本適用例の移動体は、本発明の物理量センサーを備えることを特徴とする。
このような移動体では、本適用例に係る物理量センサーを含むため、高い信頼性を有することができる。 Application Example 10
The mobile object of this application example is characterized by including the physical quantity sensor of the present invention.
Such a mobile unit can have high reliability because it includes the physical quantity sensor according to the application example.

本発明の好適な実施形態に係る物理量センサーを模式的に示す平面図である。FIG. 1 is a plan view schematically showing a physical quantity sensor according to a preferred embodiment of the present invention. 図１の物理量センサーを模式的に示す図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。It is the II-II sectional view taken on the line of FIG. 1 which shows the physical quantity sensor of FIG. 1 typically. 図１の物理量センサーを模式的に示す図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。It is the III-III sectional view taken on the line of FIG. 1 which shows the physical quantity sensor of FIG. 1 typically. 図１の物理量センサーを模式的に示す図１のＩＶ−ＩＶ線断面図である。It is the IV-IV sectional view taken on the line of FIG. 1 which shows the physical quantity sensor of FIG. 1 typically. 図１の物理量センサーの製造工程を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the manufacturing process of the physical quantity sensor of FIG. 図１の物理量センサーの製造工程を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the manufacturing process of the physical quantity sensor of FIG. 図１の物理量センサーの製造工程を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the manufacturing process of the physical quantity sensor of FIG. 第１変形例に係る物理量センサーを模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the physical quantity sensor concerning a 1st modification. 第２変形例に係る物理量センサーを模式的に示す平面図である。It is a top view which shows the physical quantity sensor concerning a 2nd modification typically. 第３変形例に係る物理量センサーを模式的に示す平面図である。It is a top view which shows the physical quantity sensor concerning a 3rd modification typically. 第４変形例に係る物理量センサーを模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the physical quantity sensor which concerns on a 4th modification. 本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。It is a perspective view showing composition of a mobile type (or note type) personal computer to which an electronic device of the present invention is applied. 本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the mobile telephone (including PHS) which applied the electronic device of this invention. 本発明の電子機器を適用したデジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a digital still camera to which an electronic device of the present invention is applied. 本発明の移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。It is a perspective view showing composition of a car which is an example of a mobile of the present invention.

以下、本発明の物理量センサー、電子機器および移動体の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of a physical quantity sensor, an electronic device, and a mobile body according to the present invention will be described with reference to the attached drawings.

［物理量センサー］
まず、図１の物理量センサーについて、図面を参照しながら説明する。 Physical quantity sensor
First, the physical quantity sensor of FIG. 1 will be described with reference to the drawings.

図１は、本発明の好適な実施形態に係る物理量センサー１００を模式的に示す平面図、図２は、図１の物理量センサー１００を模式的に示す図１のＩＩ−ＩＩ線断面図、図３は、図１の物理量センサー１００を模式的に示す図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図、図４は、図１の物理量センサー１００を模式的に示す図１のＩＶ−ＩＶ線断面図である。 FIG. 1 is a plan view schematically showing a physical quantity sensor 100 according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II of FIG. 1 schematically showing the physical quantity sensor 100 of FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 1 schematically showing the physical quantity sensor 100 of FIG. 1, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 1 schematically showing the physical quantity sensor 100 of FIG. .

なお、便宜上、図１では、蓋体８０を透視して図示している。また、図３および図４では、蓋体８０を省略して図示している。また、図１〜図４では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。 In addition, for convenience, in FIG. 1, the lid 80 is seen through. Moreover, in FIG. 3 and FIG. 4, the cover body 80 is abbreviate | omitted and shown in figure. Further, in FIGS. 1 to 4, an X axis, a Y axis, and a Z axis are illustrated as three axes orthogonal to each other.

物理量センサー１００は、図１〜図４に示すように、基板１０と、可動部２０と、連結部３０、３２と、支持部４０と、固定電極５０、５２と、ダミー電極５３、５４、５５と、配線６０、６４、６６と、パッド７０、７２、７４と、蓋体８０と、を有する。 As shown in FIGS. 1 to 4, the physical quantity sensor 100 includes a substrate 10, a movable portion 20, connection portions 30 and 32, a support portion 40, fixed electrodes 50 and 52, and dummy electrodes 53, 54 and 55. , Wires 60, 64, 66, pads 70, 72, 74, and a lid 80.

なお、本実施形態では、物理量センサー１００が、鉛直方向（Ｚ軸方向）の加速度を検出する加速度センサー（静電容量型ＭＥＭＳ加速度センサー）である例について説明する。 In the present embodiment, an example will be described in which the physical quantity sensor 100 is an acceleration sensor (capacitive MEMS acceleration sensor) that detects acceleration in the vertical direction (Z-axis direction).

以下、物理量センサー１００を構成する各部を順次詳細に説明する。
基板１０の材質は、例えば、ガラス等の絶縁材料である。例えば基板１０をガラス等の絶縁材料、可動部２０をシリコン等の半導体材料にすることにより、容易に両者を電気的に絶縁することができ、センサー構造を簡素化することができる。なお、基板１０をガラスで構成した場合、より高感度な物理量センサーを提供することができる。 Hereinafter, each part constituting the physical quantity sensor 100 will be sequentially described in detail.
The material of the substrate 10 is, for example, an insulating material such as glass. For example, when the substrate 10 is made of an insulating material such as glass and the movable portion 20 is made of a semiconductor material such as silicon, both can be easily electrically insulated, and the sensor structure can be simplified. When the substrate 10 is made of glass, a more sensitive physical quantity sensor can be provided.

基板１０には、凹部１１が形成されている。凹部１１の上方には、間隙を介して、可動部２０、および連結部３０、３２が設けられている。図１に示す例では、凹部１１の平面形状（Ｚ軸方向から見た形状）は、長方形である。凹部１１の底面（凹部１１を規定する基板１０の面）１２には、ポスト部１３が設けられている。 A recess 11 is formed in the substrate 10. The movable portion 20 and the connecting portions 30 and 32 are provided above the recess 11 with a gap. In the example shown in FIG. 1, the planar shape (the shape seen from the Z-axis direction) of the recessed part 11 is a rectangle. A post portion 13 is provided on the bottom surface 12 of the recess 11 (the surface of the substrate 10 defining the recess 11).

図２〜図４に示す例では、ポスト部１３は、基板１０と一体に設けられている。ポスト部１３は、底面１２よりも上方（＋Ｚ軸方向）に突出している。 In the example shown in FIGS. 2 to 4, the post portion 13 is provided integrally with the substrate 10. The post portion 13 protrudes above the bottom surface 12 (in the + Z-axis direction).

図３および図４に示すように、本実施形態では、ポスト部１３の高さ（ポスト部１３の上面１４と底面１２との間の距離）と凹部１１の深さとは、等しくなるよう構成されている。 As shown in FIGS. 3 and 4, in the present embodiment, the height of the post portion 13 (the distance between the top surface 14 and the bottom surface 12 of the post portion 13) and the depth of the recess 11 are configured to be equal. ing.

ポスト部１３の上面１４は、支持部４０と接合されている。ポスト部１３の上面１４には、窪み部１５が形成されている。窪み部１５の底面（窪み部１５を規定するポスト部１３の面）１６には、第１配線６０が設けられている。 The upper surface 14 of the post 13 is joined to the support 40. A recess 15 is formed on the upper surface 14 of the post 13. A first wiring 60 is provided on the bottom surface 16 of the recess 15 (the surface of the post 13 defining the recess 15).

なお、図２〜図４に示す例では、凹部１１の側面（凹部１１を規定する基板１０の側面）およびポスト部１３の側面は、凹部１１の底面１２に対して垂直であるが、底面１２に対して傾斜していてもよい。 In the example shown in FIGS. 2 to 4, the side surface of the recess 11 (the side surface of the substrate 10 defining the recess 11) and the side surface of the post portion 13 are perpendicular to the bottom surface 12 of the recess 11. It may be inclined with respect to

可動部２０は、支持軸（第１軸）Ｑまわりに変位可能である。具体的には、可動部２０は、鉛直方向（Ｚ軸方向）の加速度が加わると、連結部３０、３２によって決定される支持軸Ｑを回転軸（揺動軸）としてシーソー揺動する。支持軸Ｑは、例えば、Ｙ軸と平行である。図示の例では、可動部２０の平面形状は、長方形である。可動部２０の厚さ（Ｚ軸方向の大きさ）は、例えば、一定である。 The movable portion 20 is displaceable around the support shaft (first axis) Q. Specifically, when acceleration in the vertical direction (Z-axis direction) is applied to the movable portion 20, the seesaw swings with the support shaft Q determined by the connecting portions 30, 32 as a rotation axis (swinging axis). The support axis Q is, for example, parallel to the Y axis. In the illustrated example, the planar shape of the movable portion 20 is rectangular. The thickness (the size in the Z-axis direction) of the movable portion 20 is, for example, constant.

可動部２０は、第１質量部２０ａと、第２質量部２０ｂと、を有している。
第１質量部２０ａは、平面視において、支持軸Ｑによって区画される可動部２０の２つの部分のうちの一方（図１では右側に位置する部分）である。 The movable portion 20 has a first mass portion 20a and a second mass portion 20b.
The first mass portion 20a is one of two portions of the movable portion 20 divided by the support axis Q (in FIG. 1, a portion positioned on the right side) in a plan view.

第２質量部２０ｂは、平面視において、支持軸Ｑによって区画される可動部２０の２つの部分のうちの他方（図１では左側に位置する部分）である。 The second mass portion 20 b is the other of the two parts of the movable part 20 partitioned by the support axis Q (in FIG. 1, the part located on the left side) in plan view.

可動部２０に鉛直方向の加速度（例えば重力加速度）が加わった場合、第１質量部２０ａと第２質量部２０ｂとの各々に回転モーメント（力のモーメント）が生じる。ここで、第１質量部２０ａの回転モーメント（例えば時計回りの回転モーメント）と第２質量部２０ｂの回転モーメント（例えば反時計回りの回転モーメント）が均衡した場合には、可動部２０の傾きに変化が生じず、加速度を検出することができない。したがって、鉛直方向の加速度が加わったときに、第１質量部２０ａの回転モーメントと、第２質量部２０ｂの回転モーメントとが均衡せず、可動部２０に所定の傾きが生じるように、可動部２０が設計される。 When acceleration (for example, gravitational acceleration) in the vertical direction is applied to the movable portion 20, a rotational moment (a moment of force) is generated in each of the first mass portion 20a and the second mass portion 20b. Here, when the rotational moment of the first mass portion 20 a (for example, clockwise rotational moment) and the rotational moment of the second mass portion 20 b (for example, counterclockwise rotational moment) are balanced, the inclination of the movable portion 20 is No change occurs and acceleration can not be detected. Therefore, when acceleration in the vertical direction is applied, the movable moment of the first mass unit 20a and the rotational moment of the second mass unit 20b are not balanced, and the movable unit 20 has a predetermined inclination. 20 are designed.

物理量センサー１００では、支持軸Ｑを、可動部２０の中心（重心）から外れた位置に配置することによって（支持軸Ｑから各質量部２０ａ、２０ｂの先端までの距離を異ならせることによって）、質量部２０ａ、２０ｂが互いに異なる質量を有している。すなわち、可動部２０は、支持軸Ｑを境にして、一方側（第１質量部２０ａ）と他方側（第２質量部２０ｂ）とで質量が異なる。図示の例では、支持軸Ｑから第１質量部２０ａの端面２３までの距離は、支持軸Ｑから第２質量部２０ｂの端面２４までの距離よりも小さい。また、第１質量部２０ａの厚さと、第２質量部２０ｂの厚さとは、等しい。したがって、第１質量部２０ａの質量は、第２質量部２０ｂの質量よりも小さい。このように、質量部２０ａ、２０ｂが互いに異なる質量を有することにより、鉛直方向の加速度が加わったときに、第１質量部２０ａの回転モーメントと、第２質量部２０ｂの回転モーメントと、を均衡させないことができる。したがって、鉛直方向の加速度が加わったときに、可動部２０に所定の傾きを生じさせることができる。 In the physical quantity sensor 100, by arranging the support axis Q at a position deviated from the center (center of gravity) of the movable part 20 (by making the distances from the support axis Q to the tips of the respective mass parts 20a and 20b different) The mass parts 20a, 20b have mutually different masses. That is, the movable portion 20 has different masses on one side (the first mass portion 20a) and the other side (the second mass portion 20b) with the support axis Q as a boundary. In the illustrated example, the distance from the support axis Q to the end face 23 of the first mass unit 20a is smaller than the distance from the support axis Q to the end face 24 of the second mass unit 20b. Moreover, the thickness of the 1st mass part 20a and the thickness of the 2nd mass part 20b are equal. Therefore, the mass of the first mass unit 20a is smaller than the mass of the second mass unit 20b. Thus, when the accelerations in the vertical direction are applied, the mass moment 20a and the mass moment 20b have different masses so that the rotational moment of the first mass portion 20a and the rotational moment of the second mass portion 20b are balanced. You can not let it go. Therefore, when acceleration in the vertical direction is applied, the movable portion 20 can be caused to have a predetermined inclination.

可動部２０は、基板１０と離間して設けられている。可動部２０は、凹部１１の上方に設けられている。図示の例では、可動部２０と基板１０との間には、間隙が設けられている。また、可動部２０は、連結部３０、３２によって、支持部４０から離間して設けられている。これにより、可動部２０は、シーソー揺動することができる。 The movable portion 20 is provided apart from the substrate 10. The movable portion 20 is provided above the recess 11. In the illustrated example, a gap is provided between the movable portion 20 and the substrate 10. Further, the movable portion 20 is provided apart from the support portion 40 by the connecting portions 30 and 32. Thereby, the movable portion 20 can rock on the seesaw.

可動部２０は、支持軸Ｑを境にして設けられた第１可動電極２１および第２可動電極２２を備えている。第１可動電極２１は、第１質量部２０ａに設けられている。第２可動電極２２は、第２質量部２０ｂに設けられている。 The movable portion 20 includes a first movable electrode 21 and a second movable electrode 22 provided with the support shaft Q as a boundary. The first movable electrode 21 is provided on the first mass unit 20 a. The second movable electrode 22 is provided on the second mass unit 20 b.

第１可動電極２１は、可動部２０のうち、平面視において第１固定電極５０と重なる部分である。第１可動電極２１は、第１固定電極５０との間に静電容量Ｃ１を形成する。すなわち、第１可動電極２１と第１固定電極５０とによって静電容量Ｃ１が形成される。 The first movable electrode 21 is a portion of the movable portion 20 overlapping the first fixed electrode 50 in a plan view. The first movable electrode 21 forms a capacitance C 1 between itself and the first fixed electrode 50. That is, the capacitance C1 is formed by the first movable electrode 21 and the first fixed electrode 50.

第２可動電極２２は、可動部２０のうち、平面視において第２固定電極５２と重なる部分である。第２可動電極２２は、第２固定電極５２との間に静電容量Ｃ２を形成する。すなわち、第２可動電極２２と第２固定電極５２とによって静電容量Ｃ２が形成される。物理量センサー１００では、可動部２０が導電性材料（不純物がドープされたシリコン）で構成されることによって、可動電極２１、２２が設けられている。すなわち、第１質量部２０ａが第１可動電極２１として機能し、第２質量部２０ｂが第２可動電極２２として機能している。 The second movable electrode 22 is a portion of the movable portion 20 overlapping the second fixed electrode 52 in a plan view. The second movable electrode 22 forms a capacitance C 2 between itself and the second fixed electrode 52. That is, the electrostatic capacitance C2 is formed by the second movable electrode 22 and the second fixed electrode 52. In the physical quantity sensor 100, the movable electrodes 21 and 22 are provided by the movable portion 20 being made of a conductive material (silicon doped with an impurity). That is, the first mass unit 20 a functions as the first movable electrode 21, and the second mass unit 20 b functions as the second movable electrode 22.

静電容量Ｃ１および静電容量Ｃ２は、例えば、図２に示す可動部２０が水平な状態で、互いに等しくなるように構成されている。可動電極２１、２２は、可動部２０の動きに応じて位置が変化する。この可動電極２１、２２の位置に応じて、静電容量Ｃ１、Ｃ２が変化する。可動部２０には、連結部３０、３２および支持部４０を介して、所定の電位が与えられる。 The capacitance C1 and the capacitance C2 are configured to be equal to each other, for example, when the movable portion 20 shown in FIG. 2 is in a horizontal state. The positions of the movable electrodes 21 and 22 change according to the movement of the movable portion 20. The electrostatic capacitances C1 and C2 change according to the positions of the movable electrodes 21 and 22. The movable portion 20 is given a predetermined potential via the connecting portions 30 and 32 and the support portion 40.

可動部２０には、可動部２０を貫通する貫通孔２５が形成されている。これにより、可動部２０が揺動する際の空気の影響（空気の抵抗）を低減することができる。貫通孔２５は、例えば、複数形成されている。図示の例では、貫通孔２５の平面形状は、長方形である。 In the movable portion 20, a through hole 25 which penetrates the movable portion 20 is formed. Thereby, the influence of the air (the resistance of the air) when the movable part 20 swings can be reduced. For example, a plurality of through holes 25 are formed. In the illustrated example, the planar shape of the through hole 25 is rectangular.

可動部２０には、可動部２０を貫通する開口部２６が設けられている。開口部２６は、平面視において、支持軸Ｑ上に設けられている。開口部２６には、連結部３０、３２および支持部４０が設けられている。図示の例では、開口部２６の平面形状は、長方形である。可動部２０は、連結部３０、３２を介して、支持部４０と接続されている。 The movable portion 20 is provided with an opening 26 penetrating the movable portion 20. The opening 26 is provided on the support shaft Q in plan view. The opening portion 26 is provided with connection portions 30 and 32 and a support portion 40. In the illustrated example, the planar shape of the opening 26 is rectangular. The movable portion 20 is connected to the support portion 40 via the coupling portions 30 and 32.

連結部３０、３２は、可動部２０と支持部４０とを連結している。連結部３０、３２は、トーションバネ（捻りバネ）として機能する。これにより、連結部３０、３２は、可動部２０がシーソー揺動することにより連結部３０、３２に生じるねじり変形に対して強い復元力を有することができる。 The connecting portions 30 and 32 connect the movable portion 20 and the support portion 40. The connection portions 30, 32 function as a torsion spring (torsion spring). Thereby, the connection parts 30 and 32 can have strong restoring force with respect to the torsional deformation which arises in the connection parts 30 and 32 because the movable part 20 rock | fluctuates in a seesaw.

連結部３０、３２は、平面視において、支持軸Ｑ上に配置されている。連結部３０、３２は、支持軸Ｑに沿って延出している。連結部３０は、支持部４０から＋Ｙ軸方向に延出している。連結部３２は、支持部４０から−Ｙ軸方向に延出している。 The coupling portions 30, 32 are disposed on the support shaft Q in a plan view. The connecting portions 30, 32 extend along the support shaft Q. The connecting portion 30 extends from the supporting portion 40 in the + Y axis direction. The connection portion 32 extends from the support portion 40 in the −Y axis direction.

支持部４０は、開口部２６に配置されている。支持部４０は、平面視において、支持軸Ｑ上に設けられている。支持部４０の一部は、ポスト部１３の上面１４に接合（接続）されている。支持部４０は、連結部３０、３２を介して、可動部２０を支持している。支持部４０には、連結部３０、３２が接続され且つ支持軸Ｑに沿って設けられている接続領域４６と、平面視で接続領域４６の外側に設けられ且つ基板上に設けられた第１配線６０と電気的に接続されるコンタクト領域６３と、が設けられている。 The support 40 is disposed at the opening 26. The support portion 40 is provided on the support shaft Q in plan view. A portion of the support portion 40 is joined (connected) to the upper surface 14 of the post portion 13. The support portion 40 supports the movable portion 20 via the connection portions 30 and 32. The supporting portion 40 is provided with a connecting region 46 to which the connecting portions 30 and 32 are connected and provided along the support axis Q, and a first provided on the outside of the connecting region 46 in plan view and provided on the substrate. A contact region 63 electrically connected to the interconnection 60 is provided.

支持部４０は、第１部分４１と、第２部分４２、４３、４４、４５と、を有している。支持部４０は、支持軸Ｑと交差（具体的には直交）する第２軸Ｒに沿って第１部分４１が延出し、第１部分４１の端部から第２部分４２、４３、４４、４５が突出した形状である。第２軸Ｒは、Ｘ軸と平行な軸である。 The support portion 40 has a first portion 41 and second portions 42, 43, 44, 45. In the support portion 40, the first portion 41 extends along the second axis R intersecting (specifically, orthogonally) with the support axis Q, and from the end of the first portion 41 to the second portions 42, 43, 44, 45 is a shape which protrudes. The second axis R is an axis parallel to the X axis.

支持部４０の第１部分４１は、支持軸Ｑと交差（具体的には直交）して延出している。第１部分４１は、連結部３０、３２が接合されている。第１部分４１は、平面視において支持軸Ｑ上に設けられ、基板１０と離間している。すなわち、支持部４０の支持軸Ｑ上の部分は、基板１０と離間している。図１に示す例では、第１部分４１の平面形状は、長方形である。第１部分４１は、第２軸Ｒに沿って延出している。 The first portion 41 of the support portion 40 extends so as to intersect (specifically, orthogonally) the support axis Q. The connecting portions 30 and 32 are joined to the first portion 41. The first portion 41 is provided on the support shaft Q in plan view and is separated from the substrate 10. That is, the portion on the support shaft Q of the support portion 40 is separated from the substrate 10. In the example shown in FIG. 1, the planar shape of the first portion 41 is rectangular. The first portion 41 extends along the second axis R.

支持部４０の第１部分４１には、接続領域４６が設けられている。図１に示す例では、接続領域４６は、平面視において、支持部４０の連結部３０、３２に挟まれた領域である。図示の例では、接続領域４６の平面形状は、長方形である。接続領域４６の少なくとも一部は、基板１０に固定されていない。 A connection area 46 is provided in the first portion 41 of the support portion 40. In the example illustrated in FIG. 1, the connection region 46 is a region sandwiched by the connecting portions 30 and 32 of the support portion 40 in plan view. In the illustrated example, the planar shape of the connection area 46 is rectangular. At least a portion of the connection region 46 is not fixed to the substrate 10.

支持部４０の第２部分４２、４３、４４、４５は、第１部分４１の端部から突出（延出）している。図１に示す例では、第２部分４２、４３、４４、４５の平面形状は、長方形である。第２部分４２、４３、４４、４５の各々には、コンタクト領域６３が設けられている。 The second portions 42, 43, 44, 45 of the support portion 40 project (extend) from the end of the first portion 41. In the example shown in FIG. 1, the planar shape of the second portions 42, 43, 44, 45 is rectangular. A contact region 63 is provided in each of the second portions 42, 43, 44, 45.

支持部４０の第２部分４２、４３は、第１部分４１の一方の端部（具体的は−Ｘ軸方向の端部）から、支持軸Ｑに沿って互いに反対方向に延出している。図示の例では、第２部分４２は、第１部分４１の一方の端部から＋Ｙ軸方向に延出している。第２部分４３は、第１部分４１の一方の端部から−Ｙ軸方向に延出している。第２部分４２の一部および第２部分４３の一部は、ポスト部１３に接合されている。 The second portions 42 and 43 of the support portion 40 extend in opposite directions along the support axis Q from one end (specifically, the end in the −X axis direction) of the first portion 41. In the illustrated example, the second portion 42 extends from the one end of the first portion 41 in the + Y axis direction. The second portion 43 extends from one end of the first portion 41 in the −Y axis direction. A portion of the second portion 42 and a portion of the second portion 43 are joined to the post portion 13.

支持部４０の第２部分４４、４５は、第１部分４１の他方の端部（具体的は＋Ｘ軸方向の端部）から、支持軸Ｑに沿って互いに反対方向に延出している。図示の例では、第２部分４４は、第１部分４１の他方の端部から＋Ｙ軸方向に延出している。第２部分４５は、第１部分４１の他方の端部から−Ｙ軸方向に延出している。第２部分４４の一部および第２部分４５の一部は、ポスト部１３に接合されている。 The second portions 44 and 45 of the support portion 40 extend from the other end (specifically, the end in the + X-axis direction) of the first portion 41 in opposite directions along the support axis Q. In the illustrated example, the second portion 44 extends in the + Y-axis direction from the other end of the first portion 41. The second portion 45 extends from the other end of the first portion 41 in the −Y axis direction. A portion of the second portion 44 and a portion of the second portion 45 are joined to the post portion 13.

支持部４０は、上記のような部分４１、４２、４３、４４、４５を備えていることにより、Ｈ字状（略Ｈ字状）の平面形状を有している。すなわち、第１部分４１は、Ｈ字状の横棒を構成している。第２部分４２、４３、４４、４５は、Ｈ字状の縦棒を構成している。 The support portion 40 has an H-shaped (substantially H-shaped) planar shape by including the portions 41, 42, 43, 44, 45 as described above. That is, the first portion 41 constitutes an H-shaped horizontal bar. The second portions 42, 43, 44, 45 constitute an H-shaped vertical bar.

可動部２０、連結部３０、３２、および支持部４０は、一体に設けられている。図示の例では、可動部２０、連結部３０、３２、および支持部４０が、１つの構造体（シリコン構造体）２を構成している。可動部２０、連結部３０、３２、および支持部４０は、１つの基板（シリコン基板）をパターニングすることによって一体に設けられる。可動部２０、連結部３０、３２、および支持部４０の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。基板１０の材質がガラスであり、可動部２０、連結部３０、３２、および支持部４０の材質がシリコンである場合、基板１０と支持部４０とは、例えば陽極接合によって接合される。 The movable portion 20, the coupling portions 30, 32, and the support portion 40 are integrally provided. In the illustrated example, the movable portion 20, the coupling portions 30, 32, and the support portion 40 constitute one structure (silicon structure) 2. The movable portion 20, the coupling portions 30, 32, and the support portion 40 are integrally provided by patterning one substrate (silicon substrate). The material of the movable portion 20, the coupling portions 30, 32, and the support portion 40 is, for example, silicon to which conductivity is imparted by doping an impurity such as phosphorus or boron. When the material of the substrate 10 is glass and the material of the movable portion 20, the coupling portions 30, 32, and the support portion 40 is silicon, the substrate 10 and the support portion 40 are bonded by, for example, anodic bonding.

物理量センサー１００では、構造体２は、１つの支持部４０によって基板１０に固定されている。すなわち、構造体２は、基板１０に対して１点（１つの支持部４０）で固定されている。したがって、例えば構造体が基板に対して２点（２つの支持部）で固定されている形態と比べて、基板１０の熱膨張率と構造体２の熱膨張率との差によって生じる応力や、実装時に装置に加わる応力等が、連結部３０、３２に与える影響を低減することができる。 In the physical quantity sensor 100, the structure 2 is fixed to the substrate 10 by one support 40. That is, the structural body 2 is fixed to the substrate 10 at one point (one support portion 40). Therefore, for example, the stress generated by the difference between the thermal expansion coefficient of the substrate 10 and the thermal expansion coefficient of the structure 2 as compared with the configuration in which the structure is fixed to the substrate at two points (two supporting portions) The stress or the like applied to the device at the time of mounting can reduce the influence exerted on the connecting portions 30 and 32.

固定電極５０、５２は、基板１０上に設けられている。図示の例では、固定電極５０、５２は、凹部１１の底面１２に設けられている。第１固定電極５０は、第１可動電極２１に対向して配置されている。第１固定電極５０の上方には、間隙を介して、第１可動電極２１が位置している。第２固定電極５２は、第２可動電極２２に対向して配置されている。第２固定電極５２の上方には、間隙を介して、第２可動電極２２が位置している。第１固定電極５０の面積と第２固定電極５２の面積とは、等しくなるよう構成されている。また、第１固定電極５０の平面形状と第２固定電極５２の平面形状とは、支持軸Ｑに関して対称となるよう構成されている。 The fixed electrodes 50 and 52 are provided on the substrate 10. In the illustrated example, the fixed electrodes 50 and 52 are provided on the bottom surface 12 of the recess 11. The first fixed electrode 50 is disposed to face the first movable electrode 21. The first movable electrode 21 is located above the first fixed electrode 50 with a gap. The second fixed electrode 52 is disposed to face the second movable electrode 22. The second movable electrode 22 is located above the second fixed electrode 52 via a gap. The area of the first fixed electrode 50 and the area of the second fixed electrode 52 are configured to be equal. Further, the planar shape of the first fixed electrode 50 and the planar shape of the second fixed electrode 52 are configured to be symmetrical with respect to the support axis Q.

ダミー電極５３、５４、５５は、可動部２０が固定電極５０、５２と接触しないように、基板１０上に設けられている。ダミー電極５３、５４、５５は、可動部２０と同電位となるよう構成されている。このようなダミー電極５３、５４、５５を配置することで、構造体２と対向するガラス露出面を小さくすることができるため、陽極接合時に発生する静電力を小さくすることができ、構造体２の基板１０への貼り付き（スティッキング）を効果的に抑制することができる。 The dummy electrodes 53, 54, 55 are provided on the substrate 10 so that the movable portion 20 does not contact the fixed electrodes 50, 52. The dummy electrodes 53, 54, 55 are configured to have the same potential as the movable portion 20. By arranging such dummy electrodes 53, 54, 55, the exposed glass surface facing the structure 2 can be made smaller, so the electrostatic force generated at the time of anodic bonding can be made smaller. Adhesion to the substrate 10 can be effectively suppressed.

第１ダミー電極５３は、第１固定電極５０と第２固定電極５２との間に設けられている。また、第２ダミー電極５４は、第１固定電極５０の第１ダミー電極５３とは反対側に設けられている。また、第３ダミー電極５５は、第２固定電極５２の第１ダミー電極５３とは反対側に設けられている。 The first dummy electrode 53 is provided between the first fixed electrode 50 and the second fixed electrode 52. Further, the second dummy electrode 54 is provided on the opposite side of the first dummy electrode 53 of the first fixed electrode 50. Further, the third dummy electrode 55 is provided on the opposite side of the second fixed electrode 52 to the first dummy electrode 53.

ところで、一般に、固定電極およびダミー電極のＹ軸方向の幅が同じ場合、第１固定電極５０と第２ダミー電極５４との間の静電容量Ｃ６、第２固定電極５２と第３ダミー電極５５との間の静電容量Ｃ７としたとき、Ｃ６＜Ｃ７となってしまうため、可動部２０−第１固定電極５０で形成される容量と、可動部２０−第２固定電極５２で形成される容量との差をとると、Ｃ６とＣ７との相違分の容量オフセットが生じてしまう。 Generally, when the fixed electrode and the dummy electrode have the same width in the Y-axis direction, the capacitance C6 between the first fixed electrode 50 and the second dummy electrode 54, the second fixed electrode 52, and the third dummy electrode 55 And C6 <C7, and hence the capacitance formed by the movable portion 20-first fixed electrode 50 and the movable portion 20-second fixed electrode 52 Taking the difference from the capacitance, a capacitance offset occurs due to the difference between C6 and C7.

これに対して、本実施形態では、第２ダミー電極５４の幅（Ｙ軸方向の幅）が、第２固定電極５２の幅（Ｙ軸方向の幅）よりも大きくなるよう構成されている。このような構成とするで、Ｃ６を大きくすることができる。その結果、Ｃ６とＣ７との差を効果的に小さくすることができ、容量オフセットを小さくすることができる。 On the other hand, in the present embodiment, the width (the width in the Y-axis direction) of the second dummy electrode 54 is configured to be larger than the width (the width in the Y-axis direction) of the second fixed electrode 52. With such a configuration, C6 can be increased. As a result, the difference between C6 and C7 can be effectively reduced, and the capacitance offset can be reduced.

特に、図１に示すように、第２ダミー電極５４は、第１固定電極５０の幅方向の両端部側に回り込む形状をなしている。具体的には、第２ダミー電極５４は、第１固定電極５０の＋Ｘ軸側に位置し、Ｙ軸方向に延在する基部５４１と、第１固定電極５０の＋Ｙ軸側に位置し、基部５４１の＋Ｙ軸側の端部から−Ｘ軸側へ突出する突出部（第１の部分）５４２と、第１固定電極５０の−Ｙ軸側に位置し、基部５４１の−Ｙ軸側の端部から−Ｘ軸方向に突出する突出部（第１の部分）５４３と、を有するＣ字状をなしている。突出部５４２、５４３は、それぞれ、第１固定電極５０とＹ軸方向に並んで（対向して）設けられており、かつ、第１固定電極５０を介して対向配置されている。 In particular, as shown in FIG. 1, the second dummy electrode 54 has a shape that wraps around both end sides of the first fixed electrode 50 in the width direction. Specifically, the second dummy electrode 54 is located on the + X axis side of the first fixed electrode 50, and is located on the base 541 extending in the Y axis direction and the + Y axis side of the first fixed electrode 50, and the base A protrusion (first portion) 542 that protrudes from the end on the + Y axis side of 541 to the −X axis side and the −Y axis side of the first fixed electrode 50, and an end on the −Y axis side of the base 541 And a projecting portion (first portion) 543 projecting in the −X-axis direction from the portion. The projecting portions 542 and 543 are provided side by side (oppositely) with the first fixed electrode 50 in the Y-axis direction, and are arranged to face each other via the first fixed electrode 50.

このような形状とすることで、第２ダミー電極５４の第１固定電極５０と対向する部分が増えるため、第１固定電極５０と第２ダミー電極５４との間の静電容量Ｃ６をより効果的に大きくすることができ、Ｃ６とＣ７の差をさらに小さいものとすることができる。その結果、容量オフセットをさらに小さくすることができる。 With such a shape, the portion of the second dummy electrode 54 opposed to the first fixed electrode 50 is increased, so the capacitance C6 between the first fixed electrode 50 and the second dummy electrode 54 is more effective. And the difference between C6 and C7 can be made smaller. As a result, the capacitance offset can be further reduced.

固定電極５０、５２、ダミー電極５３、５４、５５の材質は、例えば、アルミニウム、金、ＩＴＯ（ＩｎｄｉｕｍＴｉｎＯｘｉｄｅ）である。固定電極５０、５２、ダミー電極５３、５４、５５の材質は、ＩＴＯ等の透明電極材料であることが望ましい。固定電極５０、５２、ダミー電極５３、５４、５５として、透明電極材料を用いることにより、基板１０が透明基板（ガラス基板）である場合、固定電極５０、５２、ダミー電極５３、５４、５５上に存在する異物等を容易に視認することができるためである。 The material of the fixed electrodes 50 and 52 and the dummy electrodes 53, 54 and 55 is, for example, aluminum, gold, or ITO (Indium Tin Oxide). The material of the fixed electrodes 50 and 52 and the dummy electrodes 53, 54 and 55 is preferably a transparent electrode material such as ITO. When the substrate 10 is a transparent substrate (glass substrate) by using a transparent electrode material as the fixed electrodes 50, 52 and the dummy electrodes 53, 54, 55, the fixed electrodes 50, 52, the dummy electrodes 53, 54, 55 are formed. Foreign objects and the like present in the image can be easily viewed.

第１配線６０は、基板１０上に設けられている。第１配線６０は、配線層部６１と、バンプ部６２と、を有している。 The first wiring 60 is provided on the substrate 10. The first wiring 60 has a wiring layer portion 61 and a bump portion 62.

第１配線６０の配線層部６１は、第１パッド７０とバンプ部６２とを接続している。図示の例では、配線層部６１は、第１パッド７０から、基板１０に形成された第１溝部１７、凹部１１、および窪み部１５を通って、バンプ部６２まで延出している。配線層部６１の窪み部１５に設けられた部分は、平面視において、支持部４０と重なっている。図示の例では、配線層部６１の窪み部１５に設けられた部分の平面形状は、Ｈ字状（略Ｈ字状）である。配線層部６１の材質は、例えば、固定電極５０、５２の材質と同じである。 The wiring layer portion 61 of the first wiring 60 connects the first pad 70 and the bump portion 62. In the illustrated example, the wiring layer portion 61 extends from the first pad 70 to the bump portion 62 through the first groove portion 17 formed in the substrate 10, the concave portion 11 and the concave portion 15. The portion provided in the recess 15 of the wiring layer 61 overlaps the support 40 in a plan view. In the illustrated example, the planar shape of the portion provided in the recess 15 of the wiring layer 61 is H-shaped (substantially H-shaped). The material of the wiring layer portion 61 is, for example, the same as the material of the fixed electrodes 50 and 52.

第１配線６０のバンプ部６２は、配線層部６１上に設けられている。バンプ部６２は、コンタクト領域６３において、配線層部６１と支持部４０とを接続している。すなわち、コンタクト領域６３は、第１配線６０と支持部４０とが接続される（接触している）領域である。より具体的には、コンタクト領域６３は、バンプ部６２の支持部４０と接触している領域（接触面）である。バンプ部６２の材質は、例えば、アルミニウム、金、白金である。 The bump portion 62 of the first wiring 60 is provided on the wiring layer portion 61. The bump portion 62 connects the wiring layer portion 61 and the support portion 40 in the contact region 63. That is, the contact region 63 is a region where the first wire 60 and the support portion 40 are connected (contacted). More specifically, the contact region 63 is a region (contact surface) in contact with the support portion 40 of the bump portion 62. The material of the bump portion 62 is, for example, aluminum, gold, or platinum.

コンタクト領域６３は、支持軸Ｑ上を避けて配置されている。すなわち、コンタクト領域６３は、支持軸Ｑと離間して配置されている。コンタクト領域６３は、平面視において、支持軸Ｑを境にして一方側（具体的には＋Ｘ軸方向側）および他方側（具体的には−Ｘ軸方向側）に、少なくとも１つずつ設けられている。コンタクト領域６３は、平面視において、支持軸Ｑを境にして接続領域４６の両側に設けられている。図示の例では、コンタクト領域６３は、４つ設けられ、平面視において、支持部４０の第２部分４２、４３、４４、４５と重なって設けられている。すなわち、コンタクト領域６３は、平面視において、Ｈ字状（略Ｈ字状）の形状を有する支持部４０の縦棒の端部の各々と重なって設けられている。図示の例では、コンタクト領域６３の平面形状は、長方形である。 The contact region 63 is arranged to avoid on the support shaft Q. That is, the contact region 63 is disposed apart from the support shaft Q. At least one contact region 63 is provided on one side (specifically, the + X axis direction side) and the other side (specifically, the −X axis direction side) with the support axis Q as a boundary in plan view. ing. The contact regions 63 are provided on both sides of the connection region 46 with the support axis Q as a boundary in plan view. In the illustrated example, four contact regions 63 are provided, and are provided so as to overlap the second portions 42, 43, 44, 45 of the support portion 40 in a plan view. That is, the contact region 63 is provided so as to overlap with each of the end portions of the vertical bars of the support portion 40 having an H-shaped (substantially H-shaped) shape in plan view. In the illustrated example, the planar shape of the contact region 63 is rectangular.

コンタクト領域６３は、図３および図４に示すように、ポスト部１３の上面（ポスト部１３と支持部４０との接合面）１４よりも上方に位置している。具体的には、シリコン基板を基板１０に接合する際に（詳細は後述）、シリコン基板は、第１配線６０のバンプ部６２によって押されて窪み、コンタクト領域６３は、ポスト部１３の上面１４よりも上方に位置する。例えば、支持部４０が（シリコン基板が）バンプ部６２によって押されることにより、支持部４０には応力が生じる。 As shown in FIGS. 3 and 4, the contact region 63 is located above the upper surface 14 (the joint surface between the post 13 and the support 40) of the post 13. Specifically, when the silicon substrate is bonded to the substrate 10 (details will be described later), the silicon substrate is pushed and depressed by the bump portion 62 of the first wiring 60, and the contact region 63 is the upper surface 14 of the post portion 13. It is located above. For example, when the support portion 40 is pushed by the bump portion 62 (the silicon substrate), stress is generated in the support portion 40.

なお、図示はしないが、第１配線６０と支持部４０とが接触していれば、支持部４０は窪んでおらず、コンタクト領域６３とポスト部１３の上面１４とは、Ｚ軸方向において同じ位置にあってもよい。すなわち、コンタクト領域６３と上面１４とは、同じ高さを有していてもよい。このような形態においても、第１配線６０と支持部４０とが接触することにより、支持部４０には応力が生じる。 Although not illustrated, if the first wire 60 and the support portion 40 are in contact, the support portion 40 is not recessed, and the contact region 63 and the upper surface 14 of the post portion 13 are the same in the Z axis direction. It may be in position. That is, the contact region 63 and the top surface 14 may have the same height. Also in such a configuration, stress is generated in the support portion 40 by the contact between the first wiring 60 and the support portion 40.

また、図示はしないが、ダミー電極５３、５４、５５は、それぞれ、第１配線６０と接続されることで、可動部２０と同電位となっている。 Further, although not shown, the dummy electrodes 53, 54, 55 are connected to the first wiring 60, and thus have the same potential as the movable portion 20.

第２配線６４は、基板１０上に設けられている。第２配線６４は、第２パッド７２と第２固定電極５２とを接続している。図示の例では、第２配線６４は、第２パッド７２から、第２溝部１８および凹部１１を通って、第２固定電極５２まで延出している。第２配線６４の材質は、例えば、固定電極５０、５２の材質と同じである。 The second wiring 64 is provided on the substrate 10. The second wiring 64 connects the second pad 72 and the second fixed electrode 52. In the illustrated example, the second wiring 64 extends from the second pad 72 to the second fixed electrode 52 through the second groove 18 and the recess 11. The material of the second wiring 64 is, for example, the same as the material of the fixed electrodes 50 and 52.

第３配線６６は、基板１０上に設けられている。第３配線６６は、第３パッド７４と第１固定電極５０とを接続している。図示の例では、第３配線６６は、第３パッド７４から、第３溝部１９および凹部１１を通って、第１固定電極５０まで延出している。第３配線６６の材質は、例えば、固定電極５０、５２の材質と同じである。 The third wiring 66 is provided on the substrate 10. The third wiring 66 connects the third pad 74 and the first fixed electrode 50. In the illustrated example, the third wiring 66 extends from the third pad 74 to the first fixed electrode 50 through the third groove 19 and the recess 11. The material of the third wiring 66 is, for example, the same as the material of the fixed electrodes 50 and 52.

パッド７０、７２、７４は、基板１０上に設けられている。図示の例では、パッド７０、７２、７４は、それぞれ、溝部１７、１８、１９に設けられ、配線６０、６４、６６に接続されている。パッド７０、７２、７４は、平面視において、蓋体８０と重ならない位置に設けられている。これにより、可動部２０を基板１０および蓋体８０内に収容した状態においても、パッド７０、７２、７４によって、静電容量Ｃ１、Ｃ２を検出することができる。パッド７０、７２、７４の材質は、例えば、固定電極５０、５２と同じである。 The pads 70, 72, 74 are provided on the substrate 10. In the illustrated example, the pads 70, 72, 74 are provided in the grooves 17, 18, 19 respectively and connected to the wires 60, 64, 66. The pads 70, 72, 74 are provided at positions not overlapping the lid 80 in plan view. Thereby, even in a state where the movable portion 20 is accommodated in the substrate 10 and the lid 80, the capacitances C1, C2 can be detected by the pads 70, 72, 74. The material of the pads 70, 72, 74 is, for example, the same as that of the fixed electrodes 50, 52.

蓋体８０は、基板１０上に設けられている。蓋体８０は、基板１０に接合されている。蓋体８０および基板１０は、可動部２０を収容するキャビティー８２を形成している。キャビティー８２は、例えば、不活性ガス（例えば窒素ガス）雰囲気である。蓋体８０の材質は、例えば、シリコンである。蓋体８０の材質がシリコンであり、基板１０の材質がガラスである場合、基板１０と蓋体８０とは、例えば陽極接合によって接合される。 The lid 80 is provided on the substrate 10. The lid 80 is bonded to the substrate 10. The lid 80 and the substrate 10 form a cavity 82 that accommodates the movable portion 20. The cavity 82 is, for example, an inert gas (for example, nitrogen gas) atmosphere. The material of the lid 80 is, for example, silicon. When the material of the lid 80 is silicon and the material of the substrate 10 is glass, the substrate 10 and the lid 80 are bonded, for example, by anodic bonding.

次に、物理量センサー１００の動作について説明する。
物理量センサー１００では、加速度、角速度等の物理量に応じて、可動部２０が支持軸Ｑまわりに揺動する。この可動部２０の動きに伴って、第１可動電極２１と第１固定電極５０との間の距離、および第２可動電極２２と第２固定電極５２との間の距離が変化する。具体的には、例えば鉛直上向き（＋Ｚ軸方向）の加速度が物理量センサー１００に加わると、可動部２０は反時計回りに回転し、第１可動電極２１と第１固定電極５０との間の距離が小さくなり、第２可動電極２２と第２固定電極５２との間の距離が大きくなる。この結果、静電容量Ｃ１が大きくなり、静電容量Ｃ２が小さくなる。また、例えば鉛直下向き（−Ｚ軸方向）の加速度が物理量センサー１００に加わると、可動部２０は時計回りに回転し、第１可動電極２１と第１固定電極５０との間の距離が大きくなり、第２可動電極２２と第２固定電極５２との間の距離が小さくなる。この結果、静電容量Ｃ１が小さくなり、静電容量Ｃ２が大きくなる。 Next, the operation of the physical quantity sensor 100 will be described.
In the physical quantity sensor 100, the movable part 20 swings around the support axis Q according to physical quantities such as acceleration and angular velocity. Along with the movement of the movable portion 20, the distance between the first movable electrode 21 and the first fixed electrode 50 and the distance between the second movable electrode 22 and the second fixed electrode 52 change. Specifically, for example, when acceleration in the vertically upward direction (+ Z axis direction) is applied to the physical quantity sensor 100, the movable portion 20 rotates counterclockwise, and the distance between the first movable electrode 21 and the first fixed electrode 50 Becomes smaller, and the distance between the second movable electrode 22 and the second fixed electrode 52 becomes larger. As a result, the capacitance C1 increases and the capacitance C2 decreases. Also, for example, when acceleration downward in the vertical direction (−Z-axis direction) is applied to the physical quantity sensor 100, the movable portion 20 rotates clockwise, and the distance between the first movable electrode 21 and the first fixed electrode 50 increases. The distance between the second movable electrode 22 and the second fixed electrode 52 is reduced. As a result, the capacitance C1 decreases and the capacitance C2 increases.

物理量センサー１００では、パッド７０、７２を用いて静電容量Ｃ１を検出し、パッド７０、７４を用いて静電容量Ｃ２を検出する。そして、静電容量Ｃ１と静電容量Ｃ２との差に基づいて（いわゆる差動検出方式により）、加速度や角速度等の向きや大きさ等の物理量を検出することができる。 In the physical quantity sensor 100, the electrostatic capacitance C1 is detected using the pads 70 and 72, and the electrostatic capacitance C2 is detected using the pads 70 and 74. Then, based on the difference between the electrostatic capacitance C1 and the electrostatic capacitance C2 (by a so-called differential detection method), it is possible to detect a physical quantity such as the direction or magnitude of the acceleration or angular velocity.

上述のように、物理量センサー１００は、加速度センサーやジャイロセンサー等の慣性センサーとして使用することができ、具体的には、例えば、鉛直方向（Ｚ軸方向）の加速度を測定するための静電容量型加速度センサーとして使用することができる。 As described above, the physical quantity sensor 100 can be used as an inertial sensor such as an acceleration sensor or a gyro sensor, and specifically, for example, a capacitance for measuring acceleration in the vertical direction (Z-axis direction) It can be used as an acceleration sensor.

［物理量センサーの製造方法］
次に、図１の物理量センサーの製造方法について、図面を参照しながら説明する。図５〜図７は、図１の物理量センサー１００の製造工程を模式的に示す断面図であって、図２に対応している。 [Method of manufacturing physical quantity sensor]
Next, a method of manufacturing the physical quantity sensor of FIG. 1 will be described with reference to the drawings. 5 to 7 are cross-sectional views schematically showing the manufacturing process of the physical quantity sensor 100 of FIG. 1, corresponding to FIG.

図５に示すように、例えばガラス基板をパターニングして、凹部１１、窪み部１５が形成されたポスト部１３、および溝部１７、１８、１９（図１参照）を形成する。パターニングは、例えば、フォトリソグラフィーおよびエッチングにより行われる。本工程により、凹部１１、ポスト部１３、および溝部１７、１８、１９が形成された基板１０を得ることができる。 As shown in FIG. 5, for example, a glass substrate is patterned to form the post portion 13 in which the recess 11, the recess 15 are formed, and the groove portions 17, 18 and 19 (see FIG. 1). The patterning is performed by, for example, photolithography and etching. By this process, it is possible to obtain the substrate 10 in which the concave portion 11, the post portion 13, and the groove portions 17, 18 and 19 are formed.

次に、凹部１１の底面１２に固定電極５０、５２、ダミー電極５３、５４、５５を形成する。次に、基板１０上に配線層部６１および配線６４、６６を形成する（図１参照）。配線６４、６６は、固定電極５０、５２と接続するように形成される。次に、配線層部６１上にバンプ部６２を形成する（図３および図４参照）。これにより、第１配線６０を形成することができる。バンプ部６２は、その上面がポスト部１３の上面１４よりも上方に位置するように形成される。次に、配線６０、６４、６６のそれぞれと接続するように、パッド７０、７２、７４を形成する（図１参照）。 Next, the fixed electrodes 50 and 52 and the dummy electrodes 53, 54 and 55 are formed on the bottom surface 12 of the recess 11. Next, the wiring layer portion 61 and the wirings 64 and 66 are formed on the substrate 10 (see FIG. 1). The wires 64, 66 are formed to be connected to the fixed electrodes 50, 52. Next, bump portions 62 are formed on the wiring layer portion 61 (see FIGS. 3 and 4). Thereby, the first wiring 60 can be formed. The bump portion 62 is formed such that the upper surface thereof is located above the upper surface 14 of the post portion 13. Next, pads 70, 72, 74 are formed to be connected to the interconnections 60, 64, 66, respectively (see FIG. 1).

固定電極５０、５２、配線６０、６４、６６、およびパッド７０、７２、７４は、例えば、スパッタ法やＣＶＤ（ＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法による成膜、およびパターニングにより形成される。パターニングは、例えば、フォトリソグラフィーおよびエッチングにより行われる。 The fixed electrodes 50 and 52, the wires 60, 64 and 66, and the pads 70, 72 and 74 are formed, for example, by film formation and patterning by sputtering or chemical vapor deposition (CVD). The patterning is performed by, for example, photolithography and etching.

図６に示すように、基板１０に、例えばシリコン基板１０２を接合する。基板１０とシリコン基板１０２との接合は、例えば、陽極接合によって行われる。これにより、基板１０とシリコン基板１０２とを強固に接合することができる。なお、陽極接合の際には、シリコン基板１０２とダミー電極５３、５４、５５とが同電位となるため、シリコン基板１０２の基板１０への貼り付き（スティッキング）が効果的に抑制される。また、基板１０にシリコン基板１０２を接合する際、シリコン基板１０２は、例えば、第１配線６０のバンプ部６２に押されて窪む（図３および図４参照）。これにより、シリコン基板１０２には、応力が生じる。 As shown in FIG. 6, for example, a silicon substrate 102 is bonded to the substrate 10. Bonding between the substrate 10 and the silicon substrate 102 is performed, for example, by anodic bonding. Thus, the substrate 10 and the silicon substrate 102 can be firmly bonded. In anodic bonding, since the silicon substrate 102 and the dummy electrodes 53, 54, 55 have the same potential, sticking (sticking) of the silicon substrate 102 to the substrate 10 is effectively suppressed. In addition, when the silicon substrate 102 is bonded to the substrate 10, the silicon substrate 102 is pushed and depressed by, for example, the bump portion 62 of the first wiring 60 (see FIGS. 3 and 4). Thereby, stress is generated in the silicon substrate 102.

図７に示すように、シリコン基板１０２を、例えば研削機によって研削して薄膜化した後、所定の形状にパターニングして、可動部２０、連結部３０、３２、および支持部４０を一体的に形成する。パターニングは、フォトリソグラフィーおよびエッチング（ドライエッチング）によって行われ、より具体的なエッチング技術として、ボッシュ（Ｂｏｓｃｈ）法を用いることができる。 As shown in FIG. 7, the silicon substrate 102 is ground and thinned by, for example, a grinder, and then patterned into a predetermined shape to integrally integrate the movable portion 20, the coupling portions 30 and 32, and the support portion 40. Form. The patterning is performed by photolithography and etching (dry etching), and Bosch can be used as a more specific etching technique.

図２に示すように、基板１０に蓋体８０を接合して、基板１０および蓋体８０によって形成されるキャビティー８２に、可動部２０等を収容する。基板１０と蓋体８０との接合は、例えば、陽極接合によって行われる。これにより、基板１０と蓋体８０とを強固に接合することができる。本工程を、不活性ガス雰囲気で行うことにより、キャビティー８２に不活性ガスを充填することができる。
以上の工程により、物理量センサー１００を製造することができる。 As shown in FIG. 2, the lid 80 is bonded to the substrate 10, and the movable portion 20 and the like are accommodated in a cavity 82 formed by the substrate 10 and the lid 80. Bonding between the substrate 10 and the lid 80 is performed, for example, by anodic bonding. Thereby, the substrate 10 and the lid 80 can be firmly joined. By performing this step in an inert gas atmosphere, the cavity 82 can be filled with the inert gas.
The physical quantity sensor 100 can be manufactured by the above process.

［物理量センサーの第１変形例］
次に、上記物理量センサーの第１変形例に係る物理量センサーについて、図面を参照しながら説明する。図８は、第１変形例に係る物理量センサー２００を模式的に示す平面図である。なお、便宜上、図８では、蓋体８０を透視して図示している。また、図８では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。 [First Modification of Physical Quantity Sensor]
Next, a physical quantity sensor according to a first modification of the physical quantity sensor will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is a plan view schematically showing the physical quantity sensor 200 according to the first modification. For the sake of convenience, FIG. 8 shows the lid 80 in a transparent manner. Further, in FIG. 8, an X axis, a Y axis, and a Z axis are illustrated as three axes orthogonal to each other.

以下、変形例に係る物理量センサー２００において、図１の物理量センサー１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。 Hereinafter, in the physical quantity sensor 200 according to the modification, members having the same functions as the constituent members of the physical quantity sensor 100 in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the detailed description thereof is omitted.

物理量センサー１００では、図１に示すように、第２ダミー電極５４が第１固定電極５０の幅方向の両端部側に回り込む形状をなしている。これに対して、物理量センサー２００では、図８に示すように、第２ダミー電極５４が第１固定電極５０の幅方向の一方の端部側にのみ回り込む形状をなしている。具体的には、第２ダミー電極５４は、第１固定電極５０の＋Ｘ軸側に位置し、Ｙ軸方向に延在する基部５４１と、第１固定電極５０の＋Ｙ軸側に位置し、基部５４１の＋Ｙ軸側の端部から−Ｘ軸方向に突出する突出部（第１の部分）５４２と、を有するＬ字状をなしている。 In the physical quantity sensor 100, as shown in FIG. 1, the second dummy electrode 54 has a shape in which the second dummy electrode 54 wraps around both end sides in the width direction of the first fixed electrode 50. On the other hand, in the physical quantity sensor 200, as shown in FIG. 8, the second dummy electrode 54 is shaped so as to wrap around only one end side in the width direction of the first fixed electrode 50. Specifically, the second dummy electrode 54 is located on the + X axis side of the first fixed electrode 50, and is located on the base 541 extending in the Y axis direction and the + Y axis side of the first fixed electrode 50, and the base It has an L shape having a protrusion (first portion) 542 protruding in the −X axis direction from the end on the + Y axis side of 541.

物理量センサー２００では、物理量センサー１００と同様に、容量オフセットを小さくすることができ、高い信頼性を有することができる。 Similar to the physical quantity sensor 100, the physical quantity sensor 200 can reduce the capacitance offset and can have high reliability.

［物理量センサーの第２変形例］
次に、上記物理量センサーの第２変形例に係る物理量センサーについて、図面を参照しながら説明する。図９は、第２変形例に係る物理量センサー３００を模式的に示す平面図である。なお、便宜上、図９では、蓋体８０を透視して図示している。また、図９では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。 [Second Modification of Physical Quantity Sensor]
Next, a physical quantity sensor according to a second modification of the physical quantity sensor will be described with reference to the drawings. FIG. 9 is a plan view schematically showing a physical quantity sensor 300 according to a second modification. In addition, for convenience, in FIG. 9, the lid 80 is seen through. Further, in FIG. 9, an X axis, a Y axis, and a Z axis are illustrated as three axes orthogonal to each other.

以下、変形例に係る物理量センサー３００において、図１の物理量センサー１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。 Hereinafter, in the physical quantity sensor 300 according to the modification, members having the same functions as the constituent members of the physical quantity sensor 100 of FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the detailed description thereof is omitted.

物理量センサー１００では、図１に示すように、第２ダミー電極５４が第１固定電極５０の幅方向の両端部側に回り込む形状をなしている。これに対して、物理量センサー３００では、図９に示すように、第１ダミー電極５３が第１固定電極５０の幅方向の両端部側に回り込む形状をなしている。具体的には、第１ダミー電極５３は、第１固定電極５０の−Ｘ軸側に位置し、Ｙ軸方向に延在する基部５３１と、第１固定電極５０の＋Ｙ軸側に位置し、基部５３１の＋Ｙ軸側の端部から＋Ｘ軸側へ突出する突出部（第１の部分）５３２と、第１固定電極５０の−Ｙ軸側に位置し、基部５３１の−Ｙ軸側の端部から＋Ｘ軸方向に突出する突出部（第１の部分）５３３と、を有するＣ字状をなしている。突出部５３２、５３３は、それぞれ、第１固定電極５０とＹ軸方向に並んで（対向して）設けられており、かつ、第１固定電極５０を介して対向配置されている。 In the physical quantity sensor 100, as shown in FIG. 1, the second dummy electrode 54 has a shape in which the second dummy electrode 54 wraps around both end sides in the width direction of the first fixed electrode 50. On the other hand, in the physical quantity sensor 300, as shown in FIG. 9, the first dummy electrode 53 is shaped so as to wrap around both end sides in the width direction of the first fixed electrode 50. Specifically, the first dummy electrode 53 is located on the −X axis side of the first fixed electrode 50, and is located on the base 531 extending in the Y axis direction and the + Y axis side of the first fixed electrode 50, A protrusion (first portion) 532 protruding from the end on the + Y-axis side of the base 531 to the + X-axis side and the −Y-axis side of the first fixed electrode 50, and an end on the −Y-axis side of the base 531 And a protrusion (first portion) 533 protruding from the portion in the + X axis direction. The protruding portions 532 and 533 are provided side by side (oppositely) with the first fixed electrode 50 in the Y-axis direction, and are arranged to face each other via the first fixed electrode 50.

このような構成とすることで、（第１固定電極５０と第２ダミー電極５４との間の静電容量Ｃ６）＜（第２固定電極５２と第３ダミー電極５５との間の静電容量Ｃ７）であっても、第１固定電極５０と第１ダミー電極５３との間の静電容量Ｃ４を、第２固定電極５２と第１ダミー電極５３との間の静電容量Ｃ５よりも大きくすることができる。その結果、可動部２０−第１固定電極５０で形成される容量と、可動部２０−第２固定電極５２で形成される容量との差を小さくすることができ、容量オフセットを小さくすることができる。 With such a configuration, (electrostatic capacitance C6 between the first fixed electrode 50 and the second dummy electrode 54) <(electrostatic capacitance between the second fixed electrode 52 and the third dummy electrode 55) Even in the case of C7), the capacitance C4 between the first fixed electrode 50 and the first dummy electrode 53 is larger than the capacitance C5 between the second fixed electrode 52 and the first dummy electrode 53. can do. As a result, the difference between the capacitance formed by the movable portion 20-the first fixed electrode 50 and the capacitance formed by the movable portion 20-the second fixed electrode 52 can be reduced, and the capacitance offset can be reduced. it can.

［物理量センサーの第３変形例］
次に、上記物理量センサーの第３変形例に係る物理量センサーについて、図面を参照しながら説明する。図１０は、第３変形例に係る物理量センサー４００を模式的に示す平面図である。なお、便宜上、図１０では、蓋体８０を透視して図示している。また、図１０では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。 [Third Modification of Physical Quantity Sensor]
Next, a physical quantity sensor according to a third modification of the physical quantity sensor will be described with reference to the drawings. FIG. 10 is a plan view schematically showing a physical quantity sensor 400 according to a third modification. In addition, for convenience, in FIG. 10, the lid 80 is seen through. Further, in FIG. 10, an X axis, a Y axis, and a Z axis are illustrated as three axes orthogonal to each other.

以下、変形例に係る物理量センサー４００において、図９の物理量センサー３００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。 Hereinafter, in the physical quantity sensor 400 according to the modification, members having the same functions as the constituent members of the physical quantity sensor 300 in FIG. 9 are denoted with the same reference numerals, and the detailed description thereof is omitted.

物理量センサー３００では、図９に示すように、第１ダミー電極５３が第１固定電極５０の幅方向の両端部側に回り込む形状をなしている。これに対して、物理量センサー４００では、第１ダミー電極５３が第１固定電極５０の幅方向の一方の端部側にのみ回り込む形状をなしている。具体的には、第１ダミー電極５３は、第１固定電極５０の−Ｘ軸側に位置し、Ｙ軸方向に延在する基部５３１と、第１固定電極５０の＋Ｙ軸側に位置し、基部５３１の＋Ｙ軸側の端部から＋Ｘ軸側へ突出する突出部（第１の部分）５３２と、を有するＬ字状をなしている。 In the physical quantity sensor 300, as shown in FIG. 9, the first dummy electrode 53 has a shape in which the first dummy electrode 53 wraps around both ends in the width direction of the first fixed electrode 50. On the other hand, in the physical quantity sensor 400, the first dummy electrode 53 has a shape in which the first dummy electrode 53 can be wound around only one end of the first fixed electrode 50 in the width direction. Specifically, the first dummy electrode 53 is located on the −X axis side of the first fixed electrode 50, and is located on the base 531 extending in the Y axis direction and the + Y axis side of the first fixed electrode 50, The base 531 is L-shaped having a protrusion (first portion) 532 protruding from the end on the + Y axis side of the base 531 to the + X axis side.

物理量センサー４００では、物理量センサー１００、３００と同様に、容量オフセットを小さくすることができ、高い信頼性を有することができる。 In the physical quantity sensor 400, as in the physical quantity sensors 100 and 300, the capacity offset can be reduced and high reliability can be provided.

［物理量センサーの第４変形例］
次に、上記物理量センサーの第４変形例に係る物理量センサーについて、図面を参照しながら説明する。図１１は、第４変形例に係る物理量センサー５００を模式的に示す平面図である。なお、便宜上、図１１では、蓋体８０を透視して図示している。また、図１１では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。 [Fourth modified example of physical quantity sensor]
Next, a physical quantity sensor according to a fourth modification of the physical quantity sensor will be described with reference to the drawings. FIG. 11 is a plan view schematically showing a physical quantity sensor 500 according to a fourth modification. In addition, for convenience, in FIG. 11, the lid 80 is seen through. Further, in FIG. 11, an X axis, a Y axis, and a Z axis are illustrated as three axes orthogonal to each other.

以下、変形例に係る物理量センサー５００において、図１の物理量センサー１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。 Hereinafter, in the physical quantity sensor 500 according to the modification, members having the same functions as the constituent members of the physical quantity sensor 100 of FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the detailed description thereof is omitted.

物理量センサー１００では、図１に示すように、第２ダミー電極５４が第１固定電極５０の幅方向の両端部側に回り込む形状をなしている。これに対して、物理量センサー５００では、図１１に示すように、第１固定電極５０が第２ダミー電極５４の幅方向の両端部側に回り込む形状をなしている。具体的には、第１固定電極５０は、第２ダミー電極５４の−Ｘ軸側に位置する基部５０１と、第２ダミー電極５４の＋Ｙ軸側に位置し、基部５０１の＋Ｙ軸側の端部から＋Ｘ軸側へ突出する突出部（第２の部分）５０２と、第２ダミー電極５４の−Ｙ軸側に位置し、基部５０１の−Ｙ軸側の端部から＋Ｘ軸方向に突出する突出部（第２の部分）５０３と、を有するＣ字状をなしている。突出部５０２、５０３は、それぞれ、第２ダミー電極５４とＹ軸方向に並んで（対向して）設けられており、かつ、第２ダミー電極５４を介して対向配置されている。 In the physical quantity sensor 100, as shown in FIG. 1, the second dummy electrode 54 has a shape in which the second dummy electrode 54 wraps around both end sides in the width direction of the first fixed electrode 50. On the other hand, in the physical quantity sensor 500, as shown in FIG. 11, the first fixed electrode 50 has a shape in which the first dummy electrode 50 wraps around both ends in the width direction of the second dummy electrode 54. Specifically, the first fixed electrode 50 is located on the base 501 located on the −X axis side of the second dummy electrode 54 and on the + Y axis side of the second dummy electrode 54, and the end on the + Y axis side of the base 501 And a protrusion (second portion) 502 protruding from the portion to the + X axis side, and the −Y axis side of the second dummy electrode 54, and protrudes in the + X axis direction from an end of the base 501 on the −Y axis side And a protrusion (second portion) 503, and has a C shape. The protrusions 502 and 503 are provided side by side (oppositely) with the second dummy electrode 54 in the Y-axis direction, and are disposed opposite to each other via the second dummy electrode 54.

物理量センサー５００では、物理量センサー１００と同様に、容量オフセットを小さくすることができ、高い信頼性を有することができる。 In the physical quantity sensor 500, similarly to the physical quantity sensor 100, the capacity offset can be reduced and high reliability can be provided.

［電子機器］
次に、本発明の電子機器を説明する。 [Electronics]
Next, the electronic device of the present invention will be described.

図１２は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。 FIG. 12 is a perspective view showing the configuration of a mobile (or notebook) personal computer to which the electronic device of the present invention is applied.

図１２に示すように、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を有する表示ユニット１１０６と、により構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。 As shown in FIG. 12, the personal computer 1100 includes a main unit 1104 having a keyboard 1102 and a display unit 1106 having a display unit 1108. The display unit 1106 has a hinge structure to the main unit 1104. It is rotatably supported via the support.

このようなパーソナルコンピューター１１００には、物理量センサー１００が内蔵されている。 The physical quantity sensor 100 is built in such a personal computer 1100.

図１３は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。 FIG. 13 is a perspective view showing the configuration of a mobile phone (including PHS) to which the electronic device of the present invention is applied.

図１３に示すように、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。
このような携帯電話機１２００には、物理量センサー１００が内蔵されている。 As shown in FIG. 13, the mobile phone 1200 includes a plurality of operation buttons 1202, an earpiece 1204 and a mouthpiece 1206, and a display unit 1208 is disposed between the operation button 1202 and the earpiece 1204. .
The physical quantity sensor 100 is built in such a mobile phone 1200.

図１４は、本発明の電子機器を適用したデジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。 FIG. 14 is a perspective view showing the configuration of a digital still camera to which the electronic device of the present invention is applied. Note that in this figure, the connection to an external device is also shown in a simplified manner.

ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。 Here, while a normal camera sensitizes a silver halide photographic film with a light image of a subject, the digital still camera 1300 photoelectrically converts the light image of the subject with an imaging device such as a CCD (Charge Coupled Device). An imaging signal (image signal) is generated.

デジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。 A display unit 1310 is provided on the back of a case (body) 1302 in the digital still camera 1300, and is configured to perform display based on an imaging signal by a CCD, and the display unit 1310 displays an object as an electronic image. It functions as a finder.

また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。 A light receiving unit 1304 including an optical lens (imaging optical system), a CCD, and the like is provided on the front side (the rear side in the drawing) of the case 1302.

撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。 When the photographer confirms the subject image displayed on the display unit 1310 and depresses the shutter button 1306, an imaging signal of the CCD at that time is transferred and stored in the memory 1308.

また、このデジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子１３１２には、テレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４には、パーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。 In the digital still camera 1300, a video signal output terminal 1312 and an input / output terminal 1314 for data communication are provided on the side of the case 1302. A television monitor 1430 is connected to the video signal output terminal 1312, and a personal computer 1440 is connected to the data communication input / output terminal 1314 as necessary. Furthermore, the imaging signal stored in the memory 1308 is configured to be output to the television monitor 1430 or the personal computer 1440 by a predetermined operation.

このようなデジタルスチルカメラ１３００には、物理量センサー１００が内蔵されている。 The physical quantity sensor 100 is built in such a digital still camera 1300.

以上のような電子機器１１００、１２００、１３００は、物理量センサー１００を含むため、高い信頼性を有することができる。 The electronic devices 1100, 1200, and 1300 as described above can have high reliability because they include the physical quantity sensor 100.

なお、物理量センサー１００を備えた電子機器は、図１２に示すパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１３に示す携帯電話機、図１４に示すデジタルスチルカメラの他にも、例えば、スマートフォン、タブレット端末、時計、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ヘッドマウントディスプレイ、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、ロケット、船舶の計器類）、ロボットや人体などの姿勢制御、フライトシミュレーターなどに適用することができる。 In addition to the personal computer (mobile personal computer) shown in FIG. 12, the mobile phone shown in FIG. 13, and the digital still camera shown in FIG. , Watch, inkjet discharge device (eg, inkjet printer), laptop personal computer, television, video camera, video tape recorder, various navigation devices, pager, electronic notebook (including communication function), electronic dictionary, calculator, electronic Game devices, head mounted displays, word processors, workstations, video phones, television monitors for crime prevention, electronic binoculars, POS terminals, medical devices (such as electronic thermometers, sphygmomanometers, blood glucose meters, electrocardiogram measuring devices, super Application to wave diagnostic equipment, electronic endoscopes), fish finders, various measuring instruments, instruments (for example, instruments of vehicles, aircraft, rockets, ships), attitude control of robots and human bodies, flight simulators, etc. Can.

［移動体］
図１５は、本発明の移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。 [Mobile body]
FIG. 15 is a perspective view showing the configuration of an automobile which is an example of the mobile object of the present invention.

自動車１５００には、物理量センサー１００が内蔵されている。具体的には、図１５に示すように、自動車１５００の車体１５０２には、自動車１５００の加速度を検知する物理量センサー１００を内蔵してエンジンの出力を制御する電子制御ユニット（ＥＣＵ：ＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＣｏｎｔｒｏｌＵｎｉｔ）１５０４が搭載されている。また、物理量センサー１００は、他にも、車体姿勢制御ユニット、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：ＴｉｒｅＰｒｅｓｓｕｒｅＭｏｎｉｔｏｒｉｎｇＳｙｓｔｅｍ）、に広く適用することができる。 The physical quantity sensor 100 is built in the automobile 1500. Specifically, as shown in FIG. 15, an electronic control unit (ECU: Electronic Control Unit) that controls the output of the engine by incorporating a physical quantity sensor 100 that detects the acceleration of the automobile 1500 in the vehicle body 1502 of the automobile 1500. The 1504 is loaded. In addition, the physical quantity sensor 100 can be widely applied to a vehicle body posture control unit, an antilock brake system (ABS), an air bag, and a tire pressure monitoring system (TPMS). .

自動車１５００は、物理量センサー１００を含むため、高い信頼性を有することができる。 The automobile 1500 can have high reliability because it includes the physical quantity sensor 100.

上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。 The above-mentioned embodiment and modification are an example, and are not necessarily limited to these. For example, it is also possible to combine each embodiment and each modification suitably.

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。 The present invention includes configurations substantially the same as the configurations described in the embodiments (for example, configurations having the same function, method and result, or configurations having the same purpose and effect). Further, the present invention includes a configuration in which a nonessential part of the configuration described in the embodiment is replaced. The present invention also includes configurations that can achieve the same effects or the same objects as the configurations described in the embodiments. Further, the present invention includes a configuration in which a known technology is added to the configuration described in the embodiment.

２…構造体
１０…基板
１０２…シリコン基板
１１…凹部
１２…底面
１３…ポスト部
１４…上面
１５…窪み部
１６…底面
１７…第１溝部
１８…第２溝部
１９…第３溝部
２０…可動部
２０ａ…第１質量部
２０ｂ…第２質量部
２１…第１可動電極
２２…第２可動電極
２３、２４…端面
２５…貫通孔
２６…開口部
３０…連結部
３２…連結部
４０…支持部
４１…第１部分
４２…第２部分
４３…第２部分
４４…第２部分
４５…第２部分
４６…接続領域
５０…第１固定電極
５０１…基部
５０２、５０３…突出部
５２…第２固定電極
５３…第１ダミー電極
５３１…基部
５３２、５３３…突出部
５４…第２ダミー電極
５４１…基部
５４２、５４３…突出部
５５…第３ダミー電極
６０…第１配線
６１…配線層部
６２…バンプ部
６３…コンタクト領域
６４…第２配線
６６…第３配線
７０…第１パッド
７２…第２パッド
７４…第３パッド
８０…蓋体
８２…キャビティー
１００、２００、３００、４００、５００…物理量センサー
１１００…パーソナルコンピューター
１１０２…キーボード
１１０４…本体部
１１０６…表示ユニット
１１０８…表示部
１２００…携帯電話機
１２０２…操作ボタン
１２０４…受話口
１２０６…送話口
１２０８…表示部
１３００…デジタルスチルカメラ
１３０２…ケース
１３０４…受光ユニット
１３０６…シャッターボタン
１３０８…メモリー
１３１０…表示部
１３１２…ビデオ信号出力端子
１３１４…入出力端子
１４３０…テレビモニター
１４４０…パーソナルコンピューター
１５００…自動車
１５０２…車体
１５０４…電子制御ユニット
Ｑ…支持軸
Ｒ…第２軸 DESCRIPTION OF SYMBOLS 2 Structure 10 Substrate 102 Silicon substrate 11 Recess 12 Bottom surface 13 Post portion 14 Top surface 15 Recessed portion 16 Bottom surface 17 First groove portion 18 Second groove portion 19 Third groove portion 20 Movable portion DESCRIPTION OF SYMBOLS 20a ... 1st mass part 20b ... 2nd mass part 21 ... 1st movable electrode 22 ... 2nd movable electrode 23, 24 ... End surface 25 ... Through-hole 26 ... Opening part 30 ... Connection part 32 ... Connection part 40 ... Support part 41 ... 1st part 42 ... 2nd part 43 ... 2nd part 44 ... 2nd part 46 ... 2nd connection area 50 ... 1st fixed electrode 501 ... base 502, 503 ... projection part 52 ... 2nd fixed electrode 53 ... 1st dummy electrode 531 ... base 532 and 533 ... projection part 54 ... 2nd dummy electrode 541 ... base 542 and 543 ... projection part 55 ... 3rd dummy electrode 60 ... 1st wiring 61 ... wiring layer part 62 ... bump part 63 ... Contact area 64 Second wiring 66 Third wiring 70 First pad 72 Second pad 74 Third pad 80 Lid 82 Cavity 100, 200, 300, 400, 500 Physical quantity sensor 1100 Personal Computer 1102 Keyboard 1104 Body 1106 Display Unit 1108 Display Unit 1200 Mobile Phone 1202 Operation Button 1204 Earpiece 1206 Mouthpiece 1208 Display Unit 1300 Digital Still Camera 1302 Case 1304 Light Receiving Unit 1306 ... Shutter button 1308 ... Memory 1310 ... Display section 1312 ... Video signal output terminal 1314 ... I / O terminal 1430 ... Television monitor 1440 ... Personal computer 1500 ... Automobile 1502 ... Car body 1504 ... Electronic Control unit Q ... Support axis R ... Second axis

Claims

A substrate,
A support fixed to the substrate;
A movable portion connected to the support portion via a connection portion and capable of swinging with respect to the support portion;
And a fixed electrode disposed on the substrate so as to face the movable portion,
The movable portion includes a first mass portion provided on one side with respect to the connection portion, and a second mass portion provided on the other side and having a mass larger than the first mass portion.
The fixed electrode faces a first fixed electrode disposed facing the first mass portion, a second fixed electrode disposed facing the second mass portion, and the movable portion, and A dummy electrode disposed so as not to be in contact with the first fixed electrode and the second fixed electrode and having the same potential as the movable portion;
When the axial direction in which the movable part is swung is the Y-axis direction,
At least one of the width in the Y-axis direction of the dummy electrode arranged side by side with the first fixed electrode and the width in the Y-axis direction of the first fixed electrode is the width of the second fixed electrode. much larger than the width in the Y-axis direction,
The physical quantity sensor , wherein the dummy electrode has a first portion disposed to face the first fixed electrode in the Y-axis direction .

It said first portion, the physical quantity sensor according to claim 1 is provided a pair so as to be positioned on the opposite sides of the Y-axis direction of the first fixed electrode.

The dummy electrode is a first dummy electrode provided between the first fixed electrode and the second fixed electrode, and a second dummy electrode provided on the opposite side of the first dummy electrode of the first fixed electrode. A dummy electrode; and a third dummy electrode provided on the side opposite to the first dummy electrode of the second fixed electrode;
Said first portion, said physical quantity sensor according to claim 1 or 2, at least one has a first dummy electrode and said second dummy electrode.

A substrate,
A support fixed to the substrate;
A movable portion connected to the support portion via a connection portion and capable of swinging with respect to the support portion;
And a fixed electrode disposed on the substrate so as to face the movable portion,
The movable portion includes a first mass portion provided on one side with respect to the connection portion, and a second mass portion provided on the other side and having a mass larger than the first mass portion.
The fixed electrode faces a first fixed electrode disposed facing the first mass portion, a second fixed electrode disposed facing the second mass portion, and the movable portion, and A dummy electrode disposed so as not to be in contact with the first fixed electrode and the second fixed electrode and having the same potential as the movable portion;
When the axial direction in which the movable part is swung is the Y-axis direction,
At least one of the width in the Y-axis direction of the dummy electrode arranged side by side with the first fixed electrode and the width in the Y-axis direction of the first fixed electrode is the width of the second fixed electrode. much larger than the width in the Y-axis direction,
The physical quantity sensor, wherein the first fixed electrode has a second portion disposed to face the dummy electrode in the Y-axis direction .

The physical quantity sensor according to claim 4 , wherein the second portion is provided in a pair so as to be located on both sides of the dummy electrode in the Y-axis direction.

The dummy electrode is a first dummy electrode provided between the first fixed electrode and the second fixed electrode, and a second dummy electrode provided on the opposite side of the first dummy electrode of the first fixed electrode. A dummy electrode; and a third dummy electrode provided on the side opposite to the first dummy electrode of the second fixed electrode;
The second portion, the physical quantity sensor according to claim 4 or 5 is disposed so as to face the Y-axis direction and the second dummy electrode.

The physical quantity sensor according to any one of claims 1 to 6 , wherein the substrate is a glass substrate.

An electronic device comprising the physical quantity sensor according to any one of claims 1 to 7 .

A mobile unit comprising the physical quantity sensor according to any one of claims 1 to 7 .