JP6544035B2 - PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND USE THEREOF - Google Patents

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Description

本発明は、膜厚が大きい樹脂膜の形成に好適に用いられる、水溶性樹脂を含有する感光性樹脂組成物、パターン化樹脂膜およびその製造方法、細胞培養装置、ならびに新規重合体に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition containing a water-soluble resin, a patterned resin film and a method for producing the same, a cell culture apparatus, and a novel polymer, which are suitably used for forming a resin film having a large film thickness.

細胞培養技術では、生体内と同等の機能を有する組織(スフェロイド)の培養が注目されている。スフェロイドとは、細胞が多数凝集して形成された3次元状の細胞組織体である。スフェロイド培養は、従来の単層培養に比べ、細胞の機能を長期間維持することが可能であり、生体により近い培養法である。細胞を3次元で培養することにより、細胞を2次元で培養する場合に比べて、その生存状態を長期間に亘って維持できるということが知られている(特許文献1)。   In cell culture technology, culture of tissue (spheroid) having the same function as in vivo has attracted attention. A spheroid is a three-dimensional cell assembly formed by aggregation of many cells. Spheroid culture is capable of maintaining cell functions for a long time as compared to conventional monolayer culture, and is a culture method closer to the living body. By culturing cells in three dimensions, it is known that their survival state can be maintained over a long period of time as compared to culturing cells in two dimensions (Patent Document 1).

しかしながら、3次元培養では、2次元培養に比べて、細胞が比較的弱く接着する表面を有する細胞培養用基板が用いられるため、形成されるスフェロイドが培養液中に遊離する問題が知られている(特許文献1)。   However, since a cell culture substrate having a surface to which cells adhere relatively weakly is used in three-dimensional culture compared to two-dimensional culture, there is known a problem that the formed spheroid is released in the culture solution. (Patent Document 1).

この問題を解決するため、細胞を保持するための細胞保持キャビティ内において、細胞を培養する方法が開示されている(特許文献1)。このキャビティを形成する隔壁としては、培養後の細胞組織体を取り出すときの容易性を考慮して、細胞組織体との接着力が弱い、水溶性樹脂を含有する感光性樹脂組成物から形成された隔壁が用いられることがある(特許文献2〜3)。   In order to solve this problem, a method of culturing cells in a cell holding cavity for holding cells is disclosed (Patent Document 1). The partition wall forming the cavity is formed of a photosensitive resin composition containing a water-soluble resin, which has a weak adhesive force with the cell tissue in consideration of the ease when taking out the cell tissue after culture. Bulkheads may be used (patent documents 2 and 3).

特開2006−121991号公報Unexamined-Japanese-Patent No. 2006-121991 特開平03−007576号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 03-007576 特開2014−023508号公報JP 2014-023508 A

細胞培養を3次元で行う場合、細胞保持キャビティのような細胞を保持する孔は、深い方が培養細胞を良好に保持できる。このため、感光性樹脂組成物には、膜厚が大きい樹脂膜を形成できることが望まれる。また、培養液が水を含むことから、感光性樹脂組成物には、耐水性に優れた樹脂膜を形成できることも望まれる。   When the cell culture is performed in three dimensions, the cell holding cavity such as the cell holding cavity can hold the cultured cell better as it is deeper. For this reason, it is desired that the photosensitive resin composition can form a resin film having a large film thickness. In addition, since the culture solution contains water, it is also desired that the photosensitive resin composition can form a resin film having excellent water resistance.

本発明の課題は、膜厚が大きく且つ耐水性に優れた樹脂膜を形成することを可能とする感光性樹脂組成物、パターン化樹脂膜およびその製造方法、細胞培養装置、ならびに新規重合体を提供することにある。   The object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of forming a resin film having a large film thickness and excellent water resistance, a patterned resin film and a method for producing the same, a cell culture apparatus, and a novel polymer. It is to provide.

本発明者らは上記課題を解決するため鋭意検討を行った。その結果、以下の構成を有する感光性樹脂組成物を用いることで、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。   The present inventors diligently studied to solve the above problems. As a result, by using the photosensitive resin composition which has the following structure, it discovers that the said subject is solvable and came to complete this invention.

本発明は、例えば以下の[1]〜[8]である。
[1]エチレン性不飽和二重結合を有する重合体であって、式(A1)に示す構造単位(A1)および式(A2)に示す構造単位(A2)を有する重合体(A)と、メルカプト基を2以上有する化合物(B)と、光ラジカル重合開始剤(C)とを含有する感光性樹脂組成物。
The present invention is, for example, the following [1] to [8].
[1] A polymer having an ethylenic unsaturated double bond, which has a structural unit (A1) represented by the formula (A1) and a structural unit (A2) represented by the formula (A2), The photosensitive resin composition containing the compound (B) which has 2 or more of mercapto groups, and a radical photopolymerization initiator (C).

Figure 0006544035
[式(A1)中、R1はそれぞれ独立に−S−または−S(=O)−である。式(A2)中、R2はそれぞれ独立に直接結合、炭素数1〜10のアルカンジイル基または炭素数6〜20のアリーレン基であり、R3は炭素数1〜10のアルカンジイル基または炭素数6〜20のアリーレン基であり、R3が複数ある場合はそれぞれ同一でも異なってもよく、nは1以上の整数である。]
[2]重合体(A)が、さらに、式(A3)に示す構造単位(A3)を有する前記[1]に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 0006544035
[In formula (A1), R 1 is each independently —S— or —S (= O) —. In formula (A2), R 2 is each independently a direct bond, an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms, or an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, and R 3 is an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms or carbon It is an arylene group of the formulas 6 to 20, and when there are a plurality of R 3 's , they may be the same or different, and n is an integer of 1 or more. ]
[2] The photosensitive resin composition according to [1], wherein the polymer (A) further has a structural unit (A3) represented by the formula (A3).

Figure 0006544035
[式(A3)中、R4はそれぞれ独立に直接結合または2価の有機基であり、R5は3価の有機基であり、R6はエチレン性不飽和二重結合を有する1価の基である。]
[3]構造単位(A3)が、式(A31)に示す構造単位(A31)および式(A32)に示す構造単位(A32)から選ばれる少なくとも1種である前記[2]に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 0006544035
[In Formula (A3), R 4 is each independently a direct bond or a divalent organic group, R 5 is a trivalent organic group, and R 6 is a monovalent having an ethylenically unsaturated double bond] It is a group. ]
[3] The photosensitivity described in the above [2], wherein the structural unit (A3) is at least one selected from the structural unit (A31) shown in the formula (A31) and the structural unit (A32) shown in the formula (A32) Resin composition.

Figure 0006544035
[式(A31)および(A32)中、R4およびR6は、それぞれ前記式(A3)中の同一記号と同義である。]
Figure 0006544035
[In Formula (A31) and (A32), R 4 and R 6 each have the same meaning as the same symbol in Formula (A3). ]

[4]基板上に、前記[1]〜[3]のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物の樹脂膜を形成する工程1、前記樹脂膜の少なくとも一部分を選択的に露光する工程2、および露光後の前記樹脂膜を現像液で現像する工程3を有する、パターン化樹脂膜の製造方法。
[5]前記基板が、細胞培養用基板である前記[4]に記載のパターン化樹脂膜の製造方法。
[6]前記[4]または[5]に記載の製造方法によって得られたパターン化樹脂膜。
[7]前記[6]に記載のパターン化樹脂膜を有する細胞培養装置。
[8]エチレン性不飽和二重結合を有する重合体であって、式(A1)に示す構造単位(A1)および式(A2)に示す構造単位(A2)を有する重合体。
[4] A step 1 of forming a resin film of the photosensitive resin composition according to any one of the above [1] to [3] on a substrate, a step of selectively exposing at least a part of the resin film 2 and a process for producing a patterned resin film, which has a step 3 of developing the resin film after exposure with a developer.
[5] The method for producing a patterned resin film according to [4], wherein the substrate is a cell culture substrate.
[6] A patterned resin film obtained by the method according to [4] or [5].
[7] A cell culture apparatus having the patterned resin film according to the above [6].
[8] A polymer having an ethylenically unsaturated double bond, which has a structural unit (A1) represented by the formula (A1) and a structural unit (A2) represented by the formula (A2).

Figure 0006544035
[式(A1)中、R1はそれぞれ独立に−S−または−S(=O)−である。式(A2)中、R2はそれぞれ独立に直接結合、炭素数1〜10のアルカンジイル基または炭素数6〜20のアリーレン基であり、R3は炭素数1〜10のアルカンジイル基または炭素数6〜20のアリーレン基であり、R3が複数ある場合はそれぞれ同一でも異なってもよく、nは1以上の整数である。]
Figure 0006544035
[In formula (A1), R 1 is each independently —S— or —S (= O) —. In formula (A2), R 2 is each independently a direct bond, an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms, or an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, and R 3 is an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms or carbon It is an arylene group of the formulas 6 to 20, and when there are a plurality of R 3 's , they may be the same or different, and n is an integer of 1 or more. ]

本発明によれば、膜厚が大きく且つ耐水性に優れた樹脂膜を形成することを可能とする感光性樹脂組成物、パターン化樹脂膜およびその製造方法、細胞培養装置、ならびに新規重合体を提供することができる。   According to the present invention, a photosensitive resin composition capable of forming a resin film having a large film thickness and excellent water resistance, a patterned resin film and a method for producing the same, a cell culture apparatus, and a novel polymer are disclosed. Can be provided.

以下、本発明を実施するための形態について好適態様も含めて説明する。
〔感光性樹脂組成物〕
本発明の感光性樹脂組成物は、以下に説明する重合体(A)と、メルカプト基を2以上有する化合物(B)と、光ラジカル重合開始剤(C)とを含有する。以下、前記組成物を単に「本発明の組成物」ともいう。
Hereinafter, modes for carrying out the present invention will be described including preferred modes.
[Photosensitive resin composition]
The photosensitive resin composition of the present invention contains a polymer (A) described below, a compound (B) having two or more mercapto groups, and a radical photopolymerization initiator (C). Hereinafter, the composition is simply referred to as "the composition of the present invention".

本発明の組成物は、重合体(A)、化合物(B)および開始剤(C)を含有することから、膜厚が大きく、耐水性に優れたパターン化樹脂膜を形成することができる。
本発明の組成物の23℃における粘度は、通常0.1〜10,000cP、好ましくは100〜5,000cP、より好ましくは500〜3,000cPである。粘度は、JIS Z8803に準拠した方法により測定される値である。
Since the composition of the present invention contains the polymer (A), the compound (B) and the initiator (C), it can form a patterned resin film having a large film thickness and excellent water resistance.
The viscosity at 23 ° C of the composition of the present invention is usually 0.1 to 10,000 cP, preferably 100 to 5,000 cP, more preferably 500 to 3,000 cP. The viscosity is a value measured by a method in accordance with JIS Z8803.

〈重合体(A)〉
重合体(A)は、エチレン性不飽和二重結合を有する重合体であって、式(A1)に示す構造単位(A1)と、式(A2)に示す構造単位(A2)とを有する。
<Polymer (A)>
A polymer (A) is a polymer which has an ethylenically unsaturated double bond, Comprising: It has a structural unit (A1) shown to a formula (A1), and a structural unit (A2) shown to a formula (A2).

Figure 0006544035
式(A1)中、R1はそれぞれ独立に−S−または−S(=O)−である。
式(A2)中、R2はそれぞれ独立に直接結合、炭素数1〜10のアルカンジイル基または炭素数6〜20のアリーレン基であり、R3は炭素数1〜10のアルカンジイル基または炭素数6〜20のアリーレン基であり、R3が複数ある場合はそれぞれ同一でも異なってもよく、nは1以上の整数である。
Figure 0006544035
In formula (A1), each R 1 is independently -S- or -S (= O)-.
In formula (A2), R 2 is each independently a direct bond, an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms, or an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, and R 3 is an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms or carbon It is an arylene group of the formulas 6 to 20, and when there are a plurality of R 3 's , they may be the same or different, and n is an integer of 1 or more.

2およびR3において、炭素数1〜10のアルカンジイル基としては、例えば、メチレン基、1,2−エタンジイル基、1,3−プロパンジイル基、1,2−プロパンジイル基、1,4−ブタンジイル基、2,2−ジメチル−1,2−エタンジイル基、1,6−ヘキサンジイル基が挙げられる。アルカンジイル基の炭素数は、好ましくは1〜5、より好ましくは1〜3である。 In R 2 and R 3 , the alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms is, for example, methylene, 1,2-ethanediyl, 1,3-propanediyl, 1,2-propanediyl, 1,4 -A butane diyl group, a 2, 2- dimethyl 1, 2- ethane diyl group, 1, 6- hexane diyl group is mentioned. The carbon number of the alkanediyl group is preferably 1 to 5, and more preferably 1 to 3.

2およびR3において、炭素数6〜20のアリーレン基としては、例えば、フェニレン基、トルイレン基、キシリレン基、ナフチレン基、アントラセニレン基、フェナントリレン基、−Ph−R−Ph−で表される基(式中、Phはアルキル基等の置換基を有してもよいフェニレン基であり、Rは直接結合、または炭素数1〜8のアルキレン基等の2価の基である)が挙げられる。アリーレン基の炭素数は、好ましくは6〜10である。 In R 2 and R 3 , the arylene group having 6 to 20 carbon atoms is, for example, a group represented by phenylene group, toluylene group, xylylene group, naphthylene group, anthracenylene group, phenanthrylene group, -Ph-R-Ph- (Wherein, Ph is a phenylene group which may have a substituent such as an alkyl group, and R is a direct bond, or a divalent group such as an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms). The carbon number of the arylene group is preferably 6 to 10.

2は、好ましくは炭素数1〜10のアルカンジイル基、より好ましくは炭素数1〜3のアルカンジイル基である。R3は、好ましくは炭素数1〜10のアルカンジイル基、より好ましくは炭素数1〜3のアルカンジイル基である。 R 2 is preferably an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms, more preferably an alkanediyl group having 1 to 3 carbon atoms. R 3 is preferably an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms, more preferably an alkanediyl group having 1 to 3 carbon atoms.

nは、好ましくは1〜40、より好ましくは3〜30の整数である。
重合体(A)は構造単位(A1)を有することから、重合体(A)を含む本発明の組成物を用いることにより、基板に対して接着性に優れ、且つ耐水性に優れる樹脂膜を形成することができる。また、重合体(A)は構造単位(A2)を有することから、重合体(A)を含む本発明の組成物を用いることにより、細胞組織体との接着力が弱い樹脂膜を形成することができる。
n is preferably an integer of 1 to 40, more preferably 3 to 30.
Since the polymer (A) has the structural unit (A1), a resin film having excellent adhesion to the substrate and excellent water resistance can be obtained by using the composition of the present invention containing the polymer (A). It can be formed. In addition, since the polymer (A) has the structural unit (A2), a resin film having a weak adhesion to the cell body is formed by using the composition of the present invention containing the polymer (A). Can.

重合体(A)はエチレン性不飽和二重結合を有することから、重合体(A)を含む本発明の組成物を用いることにより、架橋構造を有する、耐水性に優れた樹脂膜を形成することができる。したがって、水を含む現像液を用いた現像工程において、露光部分での充分な残存膜厚を維持することができ、膜厚が大きいパターン化樹脂膜を形成することができる。
重合体(A)は、式(A3)に示す構造単位(A3)を有することがより好ましい。
Since the polymer (A) has an ethylenically unsaturated double bond, a resin film having a crosslinked structure and excellent in water resistance is formed by using the composition of the present invention containing the polymer (A). be able to. Therefore, in the development step using a developing solution containing water, a sufficient residual film thickness at the exposed portion can be maintained, and a patterned resin film having a large film thickness can be formed.
It is more preferable that a polymer (A) has a structural unit (A3) shown to a formula (A3).

Figure 0006544035
式(A3)中、R4はそれぞれ独立に直接結合または2価の有機基であり、R5は3価の有機基であり、R6はエチレン性不飽和二重結合を有する1価の基である。
Figure 0006544035
In formula (A3), R 4 is each independently a direct bond or a divalent organic group, R 5 is a trivalent organic group, and R 6 is a monovalent group having an ethylenically unsaturated double bond. It is.

4において、2価の有機基としては、例えば、炭素数1〜10のアルカンジイル基、−R41−O−R42−で表される2価の基が挙げられる。R41およびR42はそれぞれ独立に炭素数1〜10のアルカンジイル基である。炭素数1〜10のアルカンジイル基としては、例えば、メチレン基、1,2−エタンジイル基、1,3−プロパンジイル基、1,2−プロパンジイル基、1,4−ブタンジイル基、2,2−ジメチル−1,2−エタンジイル基、1,6−ヘキサンジイル基が挙げられる。アルカンジイル基の炭素数は、好ましくは1〜5、より好ましくは1〜3である。−R41−O−R42−で表される2価の基としては、例えば、−CH2−O−CH2CH2−が挙げられる。 In R 4, examples of the divalent organic group, for example, an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms, -R 41 -O-R 42 - include divalent groups represented by. R 41 and R 42 are each independently an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms. Examples of the alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms include methylene, 1,2-ethanediyl, 1,3-propanediyl, 1,2-propanediyl, 1,4-butanediyl, and the like. -Dimethyl-1, 2-ethanediyl group, 1, 6- hexanediyl group is mentioned. The carbon number of the alkanediyl group is preferably 1 to 5, and more preferably 1 to 3. Examples of the divalent group represented by, for example, -CH 2 -O-CH 2 CH 2 - - -R 41 -O-R 42 can be mentioned.

5において、3価の有機基としては、例えば、炭素数1〜20のアルカンから3個の水素原子を除去した3価の基、芳香環を有する3価の基、脂環を有する3価の基、イソシアヌレート環を有する3価の基、トリアジン環を有する3価の基が挙げられる。R5が、芳香環を有する3価の基、脂環を有する3価の基、イソシアヌレート環を有する3価の基、またはトリアジン環を有する3価の基の場合、R4およびR6は、芳香環、脂環、イソシアヌレート環、またはトリアジン環に結合していることが好ましい。 In R 5 , examples of the trivalent organic group include a trivalent group obtained by removing 3 hydrogen atoms from an alkane having 1 to 20 carbon atoms, a trivalent group having an aromatic ring, and a trivalent alicyclic group. And a trivalent group having an isocyanurate ring, and a trivalent group having a triazine ring. When R 5 is a trivalent group having an aromatic ring, a trivalent group having an alicyclic ring, a trivalent group having an isocyanurate ring, or a trivalent group having a triazine ring, R 4 and R 6 are It is preferably bonded to an aromatic ring, an alicyclic ring, an isocyanurate ring or a triazine ring.

3価の基を導くアルカンとしては、例えば、メタン、エタン、n−プロパン、n−ブタン、n−ペンタン、n−ヘキサン、n−ヘプタン等の直鎖状アルカン;2−メチルプロパン、2−メチルブタン、2,2−ジメチルプロパン、2,2−ジエチルプロパン、2−メチルペンタン、3−メチルペンタン、2,2−ジメチルブタン、2,3−ジメチルブタン、2,4−ジメチルペンタン等の分岐状アルカンが挙げられる。アルカンの炭素数は、好ましくは2〜10である。   Examples of alkanes leading to trivalent groups include linear alkanes such as methane, ethane, n-propane, n-butane, n-pentane, n-hexane, n-heptane, etc .; 2-methylpropane, 2-methylbutane And branched alkanes such as 2,2-dimethylpropane, 2,2-diethylpropane, 2-methylpentane, 3-methylpentane, 2,2-dimethylbutane, 2,3-dimethylbutane and 2,4-dimethylpentane Can be mentioned. The carbon number of alkane is preferably 2 to 10.

芳香環を有する3価の基としては、例えば、以下の1〜2に示す基等のアレーントリイル基が挙げられ、脂環を有する3価の基としては、例えば、以下の3に示す基等のシクロアルカントリイル基が挙げられ、イソシアヌレート環を有する3価の基としては、例えば、以下の4に示す基が挙げられ、トリアジン環を有する3価の基としては、例えば、以下の5に示す基が挙げられる。   Examples of the trivalent group having an aromatic ring include arenetriyl groups such as the groups shown in the following 1 to 2, and examples of the trivalent group having an alicyclic ring include the groups shown in the following 3 And the like. Examples of the trivalent group having an isocyanurate ring include the groups shown in the following 4, and examples of the trivalent group having a triazine ring include the following: Groups shown in 5 can be mentioned.

Figure 0006544035
上記式1〜5中、*は結合手を示し;Rは、アルキル基、アリール基、水酸基、アルコキシ基、ハロゲン原子等の置換基であり;aは0〜3の整数であり、bは0〜5の整数である。
Figure 0006544035
In the above formulas 1 to 5, * represents a bond; R is a substituent such as an alkyl group, an aryl group, a hydroxyl group, an alkoxy group or a halogen atom; a is an integer of 0 to 3, b is 0 It is an integer of ~ 5.

5は、耐水性に優れる樹脂膜を形成できることから、イソシアヌレート環を有する3価の基、およびトリアジン環を有する3価の基が好ましく、イソシアヌレート環を有する3価の基がより好ましい。 R 5 is preferably a trivalent group having an isocyanurate ring and a trivalent group having a triazine ring, since a resin film having excellent water resistance can be formed, and a trivalent group having an isocyanurate ring is more preferable.

6において、エチレン性不飽和二重結合を有する1価の基としては、例えば、炭素数2〜20、好ましくは2〜10のアルケニル基、炭素数2〜20、好ましくは2〜20のアルケニルオキシ基、炭素数3〜20、好ましくは3〜10のアルケニルオキシアルキル基、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリロイルオキシ基、(メタ)アクリロイルオキシアルキル基(アルキル基の炭素数は、好ましくは1〜20、より好ましくは1〜10である)が挙げられる。具体的には、−R62−CR61=CH2、−R62−O−CR61=CH2、−CO−CR61=CH2、−R62−OCO−CR61=CH2が挙げられる。R61は水素原子またはメチル基であり、R62は直接結合または炭素数1〜10のアルカンジイル基である。 In R 6 , the monovalent group having an ethylenically unsaturated double bond includes, for example, an alkenyl group having 2 to 20 carbon atoms, preferably 2 to 10 carbon atoms, and 2 to 20 carbon atoms, preferably 2 to 20 carbon atoms An oxy group, an alkenyloxyalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, preferably 3 to 10 carbon atoms, a (meth) acryloyl group, a (meth) acryloyloxy group, a (meth) acryloyloxyalkyl group (the carbon number of the alkyl group is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 10). Specific examples thereof include -R 62 -CR 61 = CH 2, -R 62 -O-CR 61 = CH 2, -CO-CR 61 = CH 2, -R 62 -OCO-CR 61 = CH 2 . R 61 is a hydrogen atom or a methyl group, and R 62 is a direct bond or an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms.

6は、上記アルケニル基が好ましい。
構造単位(A3)は、式(A31)に示す構造単位(A31)および式(A32)に示す構造単位(A32)から選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。
R 6 is preferably the above alkenyl group.
The structural unit (A3) is preferably at least one selected from the structural unit (A31) represented by the formula (A31) and the structural unit (A32) represented by the formula (A32).

Figure 0006544035
式(A31)および(A32)中、R4およびR6は、それぞれ前記式(A3)中の同一記号と同義である。
Figure 0006544035
In formulas (A31) and (A32), R 4 and R 6 each have the same meaning as the same symbol in formula (A3).

重合体(A)が構造単位(A3)をさらに有する場合、重合体(A)を含む本発明の組成物を用いることにより、耐水性に優れる樹脂膜を形成することができる。
重合体(A)中の各構造単位の含有量は、以下の範囲が好ましい。
When a polymer (A) further has a structural unit (A3), the resin film which is excellent in water resistance can be formed by using the composition of this invention containing a polymer (A).
The content of each structural unit in the polymer (A) is preferably in the following range.

構造単位(A1)の含有量は、構造単位(A1)、(A2)および(A3)の合計100モル%中、通常は10〜70モル%、好ましくは20〜60モル%、より好ましくは25〜60モル%である。構造単位(A1)の含有量が前記範囲にあると、基板に対して接着性に優れ、且つ耐水性に優れた樹脂膜が得られる傾向にある。   The content of the structural unit (A1) is usually 10 to 70 mol%, preferably 20 to 60 mol%, more preferably 25% of the total 100 mol% of the structural units (A1), (A2) and (A3). 60 mol%. When the content of the structural unit (A1) is in the above range, a resin film having excellent adhesion to the substrate and excellent water resistance tends to be obtained.

構造単位(A2)の含有量は、構造単位(A1)、(A2)および(A3)の合計100モル%中、通常は10〜70モル%、好ましくは20〜60モル%、より好ましくは20〜45モル%である。構造単位(A2)の含有量が前記範囲にあると、細胞組織体との接着力が弱い樹脂膜が得られる傾向にある。   The content of the structural unit (A2) is usually 10 to 70 mol%, preferably 20 to 60 mol%, more preferably 20% of the total 100 mol% of the structural units (A1), (A2) and (A3). It is -45 mol%. When the content of the structural unit (A2) is in the above range, a resin film having a weak adhesion to the cell assembly tends to be obtained.

構造単位(A3)の含有量は、構造単位(A1)、(A2)および(A3)の合計100モル%中、好ましくは10〜70モル%、より好ましくは20〜60モル%、さらに好ましくは20〜45モル%である。構造単位(A3)の含有量が前記範囲にあると、耐水性に優れた樹脂膜が得られる傾向にある。   The content of the structural unit (A3) is preferably 10 to 70 mol%, more preferably 20 to 60 mol%, still more preferably 10 to 100 mol%, based on the total 100 mol% of the structural units (A1), (A2) and (A3). It is 20-45 mol%. When the content of the structural unit (A3) is in the above range, a resin film having excellent water resistance tends to be obtained.

重合体の構造および構造単位の含有量は、1H−NMRおよび13C−NMR分析により測定することができる。例えば、装置名「ECP−400P」(JEOL社製)を用い、重クロロホルム、重メタノールおよび重水から、重合体の溶解性の最も高い重溶媒を選択する。 The structure and content of structural units of the polymer can be determined by 1 H-NMR and 13 C-NMR analysis. For example, using the apparatus name "ECP-400P" (manufactured by JEOL), the heavy solvent having the highest solubility of the polymer is selected from heavy chloroform, heavy methanol and heavy water.

重合体(A)の重量平均分子量(Mw)は、通常は1,000〜100,000、好ましくは2,000〜50,000、より好ましくは3,000〜30,000である。また、重合体(A)の重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)で表される分子量分布は、通常は1.0〜5.0、好ましくは1.0〜3.0である。これらのMwおよびMnは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(ポリスチレン換算)により測定することができる。   The weight average molecular weight (Mw) of the polymer (A) is usually 1,000 to 100,000, preferably 2,000 to 50,000, and more preferably 3,000 to 30,000. Further, the molecular weight distribution represented by weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn) of the polymer (A) is usually 1.0 to 5.0, preferably 1.0 to 3.0. . These Mw and Mn can be measured by gel permeation chromatography (in terms of polystyrene).

Mwが上記範囲にあると、解像度が高く、膜厚の大きい樹脂膜を形成することができる。Mw/Mnが上記範囲にあると、解像性の点で好ましい。MwおよびMnの測定方法の詳細は、実施例に記載したとおりである。   When Mw is in the above range, a resin film having a high resolution and a large film thickness can be formed. It is preferable in the point of resolution that Mw / Mn is in the said range. The details of the measurement methods of Mw and Mn are as described in the examples.

重合体(A)は水溶性樹脂であることから、細胞組織体との接着力が弱い、細胞非接着性を有する樹脂膜を形成することができる。本発明における「水溶性樹脂」とは、25℃、1barでの水100gに対する溶解度が0.1g以上である樹脂をいう。   Since the polymer (A) is a water-soluble resin, it is possible to form a resin film having non-adhesiveness to cells, which has weak adhesion to the cell assembly. The "water-soluble resin" in the present invention refers to a resin having a solubility of 0.1 g or more in 100 g of water at 25 ° C. and 1 bar.

重合体(A)の含有量は、本発明の組成物100質量%中、通常は10〜60質量%、好ましくは15〜55質量%、さらに好ましくは20〜50質量%である。重合体(A)の含有量が前記範囲にあると、膜厚が大きく、基板との接着力が高く、解像度が高い樹脂膜を形成可能な組成物が得られる。また、重合体(A)の含有量が前記範囲にあっても、塗布可能な粘度を有する組成物を得ることができる。   The content of the polymer (A) is usually 10 to 60% by mass, preferably 15 to 55% by mass, and more preferably 20 to 50% by mass in 100% by mass of the composition of the present invention. When the content of the polymer (A) is in the above range, a composition capable of forming a resin film having a large film thickness, high adhesion to a substrate, and high resolution can be obtained. Moreover, even if content of a polymer (A) exists in the said range, the composition which has the viscosity which can be apply | coated can be obtained.

《重合体(A)の合成》
重合体(A)は、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾールと、少なくとも2つのグリシジル基を有するエポキシ化合物との重付加反応により、合成することができる。前記エポキシ化合物としては、エチレン性不飽和二重結合を有するエポキシ化合物を少なくとも用い、必要に応じて、エチレン性不飽和二重結合を有さないエポキシ化合物をさらに用いてもよい。
<< Synthesis of Polymer (A) >>
The polymer (A) can be synthesized by a polyaddition reaction of 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole and an epoxy compound having at least two glycidyl groups. As the epoxy compound, at least an epoxy compound having an ethylenically unsaturated double bond may be used, and if necessary, an epoxy compound having no ethylenically unsaturated double bond may be further used.

一実施態様では、重合体(A)は、式(a1)に示す化合物(a1)と、式(a2)に示す化合物(a2)と、式(a3)に示す化合物(a3)との重付加反応により、合成することができる。   In one embodiment, the polymer (A) is a polyaddition of a compound (a1) represented by the formula (a1), a compound (a2) represented by the formula (a2), and a compound (a3) represented by the formula (a3) It can be synthesized by reaction.

Figure 0006544035
式(a2)〜(a3)中、R2〜R6およびnは、それぞれ式(A2)〜(A3)中の同一記号と同義である。
Figure 0006544035
In formulas (a2) to (a3), R 2 to R 6 and n each have the same meaning as the same symbol in formulas (A2) to (A3).

化合物(a2)としては、例えば、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル等のアルキレングリコールジグリシジルエーテル;ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル等のポリアルキレングリコールジグリシジルエーテル;1,2−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)ベンゼン、1,3−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)ベンゼン、1,4−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)ベンゼン等のベンゼンジオールジグリシジルエーテル;ビスフェノールAジグリシジルエーテル等のビスフェノール類のジグリシジルエーテルが挙げられる。   As the compound (a2), for example, alkylene glycol diglycidyl ethers such as ethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, 1,4-butanediol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether; polyethylene glycol Polyalkylene glycol diglycidyl ethers such as diglycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ether; 1,2-bis (2,3-epoxypropoxy) benzene, 1,3-bis (2,3-epoxypropoxy) benzene, 1, Benzenediol diglycidyl ethers such as 4-bis (2,3-epoxypropoxy) benzene; diglycidyl ethers of bisphenols such as bisphenol A diglycidyl ether It is.

化合物(a3)としては、例えば、モノアリルジグリシジルイソシアヌル酸等のイソシアヌレート環含有化合物;2−アリル−1,3,5−トリアジン−4,6−ジグリシジルエーテル、2−ビニル−1,3,5−トリアジン−4,6−ジグリシジルエーテル、2−アクリロイル−1,3,5−トリアジン−4,6−ジグリシジルエーテル、2−メタクリロイル−1,3,5−トリアジン−4,6−ジグリシジルエーテル等のトリアジン環含有化合物が挙げられる。   As the compound (a3), for example, isocyanurate ring-containing compounds such as monoallyl diglycidyl isocyanuric acid; 2-allyl-1,3,5-triazine-4,6-diglycidyl ether, 2-vinyl-1,3 5-triazine-4,6-diglycidyl ether, 2-acryloyl-1,3,5-triazine-4,6-diglycidyl ether, 2-methacryloyl-1,3,5-triazine-4,6-di And triazine ring-containing compounds such as glycidyl ether.

重付加反応は、溶媒中で行うことができる。溶媒としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素溶媒;アセトン、メチルエチルケトン、シクロペンタノン等のケトン溶媒;乳酸エチル、乳酸ブチル等のエステル溶媒;プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル溶媒;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエステル溶媒;N−メチルピロリドン等の含窒素溶媒が挙げられる。   The polyaddition reaction can be carried out in a solvent. Examples of the solvent include aromatic hydrocarbon solvents such as benzene, toluene and xylene; ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone and cyclopentanone; ester solvents such as ethyl lactate and butyl lactate; and glycol ether solvents such as propylene glycol monomethyl ether Glycol ester solvents such as propylene glycol monomethyl ether acetate; nitrogen-containing solvents such as N-methyl pyrrolidone.

重付加反応は、反応時間0.5〜6時間、反応温度30〜100℃の範囲から適宜条件を選択して行うことができ、好ましくは反応時間2〜4時間、反応温度40〜80℃の範囲から適宜条件を選択して行なうことができる。   The polyaddition reaction can be carried out by appropriately selecting the reaction temperature from 30 to 100 ° C. under the reaction time of 0.5 to 6 hours, preferably 2 to 4 hours of reaction time, 40 to 80 ° C. Conditions can be selected appropriately from the range.

重付加反応において、触媒を用いることができる。触媒としては、例えば、メタノール、エタノール等のアルコール;フェノール等のフェノール性水酸基含有化合物;トリエチルアミン、トリブチルアミン、ベンジルジメチルアミン等の第3級アミン;トリエチルベンジルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニウムクロライド等の第4級アンモニウム塩;2−メチルイミダゾール、2−メチル−4−エチルイミダゾール等のイミダゾール類が挙げられる。   A catalyst can be used in the polyaddition reaction. As the catalyst, for example, alcohols such as methanol and ethanol; phenolic hydroxyl group-containing compounds such as phenol; tertiary amines such as triethylamine, tributylamine and benzyldimethylamine; fourth ones such as triethylbenzyl ammonium chloride and tetramethyl ammonium chloride Examples of the ammonium salt include imidazoles such as 2-methylimidazole and 2-methyl-4-ethylimidazole.

触媒を用いる場合、重付加反応で用いられる全モノマー100質量部に対して、触媒量は、好ましくは0.001〜30質量部、より好ましくは0.01〜5質量部、更に好ましくは0.1〜3質量部である。   When a catalyst is used, the amount of the catalyst is preferably 0.001 to 30 parts by mass, more preferably 0.01 to 5 parts by mass, and still more preferably 0.2 parts by mass with respect to 100 parts by mass of all the monomers used in the polyaddition reaction. 1 to 3 parts by mass.

重付加反応において、化合物(a2)〜(a3)は、それぞれ、1種の化合物のみを用いることができ、また、2種以上の化合物を組み合わせて用いることもできる。
重付加反応に使用される、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾールと、少なくとも2つのグリシジル基を有するエポキシ化合物との割合は、モル比(前記エポキシ化合物/前記チアジアゾール)で、好ましくは0.5〜2、より好ましくは1〜1.5である。
In the polyaddition reaction, as the compounds (a2) to (a3), only one type of compound can be used, or two or more types of compounds can be used in combination.
The ratio of 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole used in the polyaddition reaction to the epoxy compound having at least two glycidyl groups is preferably a molar ratio (the epoxy compound / the thiadiazole). Is 0.5 to 2, more preferably 1 to 1.5.

1が−S(=O)−である化合物は、酸化剤を用いて、上記重付加反応で得られた重合体に含まれるR1に対応するスルフィド基をスルフィニル基に変換することで、得ることができる。 The compound in which R 1 is —S (= O) — is converted to a sulfinyl group by converting a sulfide group corresponding to R 1 contained in the polymer obtained by the above polyaddition reaction using an oxidizing agent, You can get it.

酸化剤としては、例えば、過酢酸、過安息香酸、メタクロロ過安息香酸等の有機酸化剤、過酸化水素、クロム酸、過マンガン酸塩等の無機酸化剤が挙げられる。酸化剤は1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   Examples of the oxidizing agent include organic oxidizing agents such as peracetic acid, perbenzoic acid and metachloroperbenzoic acid, and inorganic oxidizing agents such as hydrogen peroxide, chromic acid and permanganate. The oxidizing agent may be used alone or in combination of two or more.

上記製造方法において、重合体(A)の単離は、必要に応じて、ろ過、洗浄、乾燥、再結晶、再沈殿、透析、遠心分離、各種溶媒による抽出、中和、クロマトグラフィー等の通常の手段を適宜組み合わせて行えばよい。   In the above production method, isolation of the polymer (A) can be carried out, as required, by filtration, washing, drying, recrystallization, reprecipitation, dialysis, centrifugation, extraction with various solvents, neutralization, chromatography, etc. The following means may be combined as appropriate.

〈化合物(B)〉
化合物(B)は、メルカプト基(−SH基)を2以上有する、前記重合体(A)以外の化合物である。化合物(B)が有するメルカプト基数は、好ましくは2以上、より好ましくは3〜10である。
Compound (B)
The compound (B) is a compound other than the polymer (A) which has two or more mercapto groups (-SH groups). The number of mercapto groups in the compound (B) is preferably 2 or more, more preferably 3 to 10.

本発明の組成物は、エチレン性不飽和二重結合を有する重合体(A)と、メルカプト基を2以上有する化合物(B)とを含有する。メルカプト基と前記二重結合とは、酸素の障害なく反応できる。本発明では、これらの成分の反応により、耐水性に優れた、具体的には樹脂膜が形成された基板を水中に浸漬した場合に樹脂膜の剥離が防止された、高膜厚の樹脂膜を形成することができる。   The composition of the present invention contains a polymer (A) having an ethylenically unsaturated double bond, and a compound (B) having two or more mercapto groups. The mercapto group and the double bond can be reacted without oxygen damage. In the present invention, a resin film having a large film thickness, in which peeling of the resin film is prevented when the substrate excellent in water resistance, specifically, the substrate on which the resin film is formed is immersed by the reaction of these components. Can be formed.

化合物(B)としては、例えば、
多価アルコールのメルカプトカルボン酸エステル(B1)、
アルカンジチオール(B2)、
芳香環含有ジチオール(B3)、
イソシアヌレート環含有トリチオール(B4)、および
メルカプトエーテル(B5)
が挙げられる。
As the compound (B), for example,
Mercaptocarboxylic acid ester of polyhydric alcohol (B1),
Alkanedithiol (B2),
Aromatic ring-containing dithiol (B3),
Isocyanurate ring-containing trithiol (B4), and mercaptoether (B5)
Can be mentioned.

上記エステル(B1)において、多価アルコールとしては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ヘキサンジオール、オクタンジオール、ジエチレングリコール等の2価アルコール、特に炭素数2〜20の2価アルコール;トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の3〜6価アルコール、特に炭素数2〜20の3〜6価アルコールが挙げられる。   In the above ester (B1), examples of the polyhydric alcohol include dihydric alcohols such as ethylene glycol, propylene glycol, butanediol, hexanediol, octanediol, and diethylene glycol, particularly a dihydric alcohol having 2 to 20 carbon atoms; trimethylol Examples thereof include tri- to hexahydric alcohols such as propane, pentaerythritol and dipentaerythritol, and in particular, tri- to hexahydric alcohols having 2 to 20 carbon atoms.

上記エステル(B1)において、メルカプトカルボン酸としては、例えば、炭素数2〜20のメルカプトカルボン酸が挙げられ、具体的には、メルカプト酢酸、メルカプトプロピオン酸、メルカプトブタン酸が挙げられる。   In the ester (B1), as the mercaptocarboxylic acid, for example, mercaptocarboxylic acid having 2 to 20 carbon atoms can be mentioned, and specifically, mercaptoacetic acid, mercaptopropionic acid and mercaptobutanoic acid can be mentioned.

化合物(B1)としては、例えば、
2価アルコールのメルカプトカルボン酸エステル、具体的には、エチレングリコールビス(2−メルカプトプロピオネート)、1,2−プロピレングリコールビス(2−メルカプトプロピオネート)、ジエチレングリコールビス(2−メルカプトプロピオネート)、1,4−ブタンジオールビス(2−メルカプトプロピオネート)、および1,8−オクタンジオールビス(2−メルカプトプロピオネート)等のビスメルカプトプロピオネート、ならびに1,4−ブタンジオールビスメルカプトアセテート、およびエチレングリコールビスメルカプトアセテート等のビスメルカプトアセテート;
3〜6価アルコールのメルカプトカルボン酸エステル、具体的には、トリメチロールプロパントリスメルカプトプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスメルカプトプロピオネート、およびジペンタエリスリトールヘキサキスメルカプトプロピオネート等のトリス、テトラキスまたはヘキサキスメルカプトプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスメルカプトブチレート等のトリス、テトラキスまたはヘキサキスメルカプトブチレート、ならびにトリメチロールプロパントリスメルカプトアセテート、ペンタエリスリトールテトラキスメルカプトアセテート等のトリス、テトラキスまたはヘキサキスメルカプトアセテート;
が挙げられる。
As the compound (B1), for example,
Mercapto carboxylic acid esters of dihydric alcohols, specifically ethylene glycol bis (2-mercapto propionate), 1,2-propylene glycol bis (2- mercapto propionate), diethylene glycol bis (2-mercapto propio) ), Bis-mercaptopropionates such as 1,4-butanediol bis (2-mercaptopropionate) and 1,8-octanediol bis (2-mercaptopropionate), and 1,4-butanediol Bis mercapto acetate, and bis mercapto acetate such as ethylene glycol bis mercapto acetate;
Mercapto carboxylic acid esters of trihydric to hexahydric alcohols, specifically, tris, tetrakis or hexa, such as trimethylolpropane trismercaptopropionate, pentaerythritol tetrakis mercaptopropionate, and dipentaerythritol hexakis mercaptopropionate Tris, tetrakis or hexakis mercapto butyrates such as kiss mercapto propionate, pentaerythritol tetrakis mercapto butyrate, and tris, tetrakis or hexakis mercapto acetates such as trimethylolpropane tris mercaptoacetate, pentaerythritol tetrakis mercaptoacetate;
Can be mentioned.

アルカンジチオール(B2)としては、例えば、炭素数2〜20のアルカンジチオールが挙げられ、具体的には、1,2−エタンジチオール、1,3−プロパンジチオール、1,4−ブタンジチオール、1,6−ヘキサメチレンジチオール、および1,10−デカンジチオールが挙げられる。   Examples of the alkanedithiol (B2) include alkanedithiol having 2 to 20 carbon atoms. Specifically, 1,2-ethanedithiol, 1,3-propanedithiol, 1,4-butanedithiol, 1,2 6-hexamethylenedithiol and 1,10-decanedithiol can be mentioned.

芳香環含有ジチオール(B3)としては、例えば、アルキル基を有してもよいベンゼンジチオールが挙げられ、具体的には、1,2−ベンゼンジチオール、1,3−ベンゼンジチオール、p−キシレンジチオール、およびm−キシレンジチオールが挙げられる。   Examples of the aromatic ring-containing dithiol (B3) include benzene dithiol which may have an alkyl group, and specifically, 1,2-benzene dithiol, 1,3-benzene dithiol, p-xylene dithiol, And m-xylenedithiol.

イソシアヌレート環含有トリチオール(B4)としては、例えば、1,3,5−トリス(2−メルカプトエチル)イソシアヌレート、1,3,5−トリス(3−メルカプトプロピル)イソシアヌレート、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチリルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオンが挙げられる。
エーテル(B5)としては、例えば、ジ(メルカプトエチル)エーテルが挙げられる。
As the isocyanurate ring-containing trithiol (B4), for example, 1,3,5-tris (2-mercaptoethyl) isocyanurate, 1,3,5-tris (3-mercaptopropyl) isocyanurate, 1,3,5 -Tris (3-mercaptobutyryloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione.
Examples of the ether (B5) include di (mercaptoethyl) ether.

これらの中でも、反応速度の観点から、多価アルコールのメルカプトカルボン酸エステル(B1)が好ましく、3〜6価アルコールのメルカプトカルボン酸エステルがより好ましい。また、膜厚が大きく且つ耐水性に優れた樹脂膜が得られることから、イソシアヌレート環含有トリチオール(B4)も好ましい。
化合物(B)の分子量は、感光性樹脂組成物としての現像性の観点から、通常50〜10,000、好ましくは75〜3,000、特に好ましくは100〜1,000である。
Among these, from the viewpoint of the reaction rate, mercaptocarboxylic acid esters (B1) of polyhydric alcohols are preferable, and mercaptocarboxylic acid esters of tri- to hexahydric alcohols are more preferable. In addition, an isocyanurate ring-containing trithiol (B4) is also preferable because a resin film having a large film thickness and excellent water resistance can be obtained.
The molecular weight of the compound (B) is generally 50 to 10,000, preferably 75 to 3,000, and particularly preferably 100 to 1,000, from the viewpoint of developability as a photosensitive resin composition.

本発明の組成物における化合物(B)の含有量は、重合体(A)100質量部に対して、通常は1〜100質量部、好ましくは2〜50質量部、より好ましくは5〜20質量部である。化合物(B)の含有量が、前記下限値以上であれば、本発明の組成物の硬化速度、パターン化樹脂膜の硬度および耐水性がさらに良好に発揮され、前記上限値以下であれば、本発明の感光性樹脂組成物の現像性がさらに良好に発揮される。   The content of the compound (B) in the composition of the present invention is usually 1 to 100 parts by mass, preferably 2 to 50 parts by mass, more preferably 5 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polymer (A) It is a department. If the content of the compound (B) is not less than the lower limit, the curing speed of the composition of the present invention, the hardness and the water resistance of the patterned resin film are exhibited better, and if it is not more than the upper limit, The developability of the photosensitive resin composition of the present invention is exhibited more favorably.

〈光ラジカル重合開始剤(C)〉
本発明の感光性樹脂組成物は、光ラジカル重合開始剤(C)を含有する。
光ラジカル重合開始剤(C)は、光照射により、ラジカルを発生する化合物である。開始剤(C)を含有する組成物から得られる樹脂膜に対して光照射することで、開始剤(C)に基づきラジカルが生成し、前記ラジカルが化合物(B)に含まれるメルカプト基に作用してチイルラジカルが生成し、このチイルラジカルが重合体(A)に含まれるエチレン性不飽和二重結合に付加して架橋構造が形成され、現像液に対して難溶な膜になると推定される。光照射により前記膜が現像液に対して易溶の状態から難溶の状態に変化することを利用することにより、ネガ型のパターンを形成することができる。
<Photo radical polymerization initiator (C)>
The photosensitive resin composition of the present invention contains a photo radical polymerization initiator (C).
A radical photopolymerization initiator (C) is a compound which generates a radical by light irradiation. By irradiating the resin film obtained from the composition containing the initiator (C), a radical is generated based on the initiator (C), and the radical acts on the mercapto group contained in the compound (B) As a result, a thiyl radical is generated, and this thiyl radical is added to the ethylenically unsaturated double bond contained in the polymer (A) to form a crosslinked structure, which is presumed to be a film hardly soluble in the developer. A negative pattern can be formed by utilizing the fact that the film changes from a soluble state to a poorly soluble state in the developing solution by light irradiation.

開始剤(C)としては、例えば、特開2008−276194号公報、特開2003−241372号公報、特表2009−519991号公報、特表2009−531730号公報、国際公開2010/001691号公報、および特開2011−132215号公報等に記載の光重合開始剤が挙げられる。   As the initiator (C), for example, JP-A 2008-276194, JP-A 2003-241372, JP-A 2009-519991, JP-A 2009-531730, WO 2010/001691, And the photoinitiator as described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2011-132215 etc. is mentioned.

開始剤(C)としては、例えば、アルキルフェノン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物、ビイミダゾール化合物、トリアジン化合物、オキシムエステル化合物、ベンゾイン化合物、およびベンゾフェノン化合物が挙げられる。   As an initiator (C), an alkyl phenone compound, an acyl phosphine oxide compound, a biimidazole compound, a triazine compound, an oxime ester compound, a benzoin compound, and a benzophenone compound are mentioned, for example.

アルキルフェノン化合物としては、例えば、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、および2−ヒロドキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン等のα−ヒドロキシアルキルフェノン;2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−(2−メチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタノン、2−(3−メチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタノン、2−(4−メチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタノン、2−(2−エチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタノン、2−(2−プロピルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタノン、および2−(2−ブチルベンジル)−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタノン等のα−アミノアルキルフェノン;2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、および2,2−ジエトキシアセトフェノン等のジアルコキシアセトフェノンが挙げられる。   As the alkyl phenone compound, for example, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl]- 2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, and 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl- Α-hydroxyalkylphenones such as propan-1-one; 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholino) Phenyl) butan-1-one, 2- (2-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) buta 2- (3-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone, 2- (4-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone, 2- (2-ethylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone, 2- (2-propylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone, and 2 Α-aminoalkylphenones such as-(2-butylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone; 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, and 2, 2, And dialkoxyacetophenones such as 2-diethoxyacetophenone.

アシルホスフィンオキサイド化合物としては、例えば、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、およびビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイドが挙げられる。   Examples of the acyl phosphine oxide compound include 2,4,6-trimethyl benzoyl diphenyl phosphine oxide and bis (2,4,6-trimethyl benzoyl) phenyl phosphine oxide.

ビイミダゾール化合物としては、例えば、2,2'−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,5,4',5'−テトラフェニル−1,2'−ビイミダゾール、2,2'−ビス(2−クロロフェニル)−4,5,4',5'−テトラフェニル−1,2'−ビイミダゾール、2,2'−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,5,4',5'−テトラフェニル−1,2'−ビイミダゾール、2,2'−ビス(2,4−ジメチルフェニル)−4,5,4',5'−テトラフェニル−1,2'−ビイミダゾール、2,2'−ビス(2−メチルフェニル)−4,5,4',5'−テトラフェニル−1,2'−ビイミダゾール、および2,2'−ジフェニル−4,5,4',5'−テトラフェニル−1,2'−ビイミダゾールが挙げられる。   As a biimidazole compound, for example, 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,5,4 ′, 5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis ( 2-chlorophenyl) -4,5,4 ', 5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,5,4', 5'- Tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4-dimethylphenyl) -4,5,4 ′, 5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2 '-Bis (2-methylphenyl) -4,5,4', 5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, and 2,2'-diphenyl-4,5,4 ', 5'-tetra And phenyl-1,2'-biimidazole.

トリアジン化合物としては、例えば、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、および2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジンが挙げられる。   As a triazine compound, for example, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxy Naphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl) ) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-) Bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2 -Methylphenyl) Thenyl] -1,3,5-triazine, and 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine.

オキシムエステル化合物としては、例えば、N−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)ブタン−1−オン−2−イミン、N−エトキシカルボニルオキシ−1−フェニルプロパン−1−オン−2−イミン、N−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)オクタン−1−オン−2−イミン、N−アセトキシ−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタン−1−イミン、およびN−アセトキシ−1−[9−エチル−6−{2−メチル−4−(3,3−ジメチル−2,4−ジオキサシクロペンタニルメチルオキシ)ベンゾイル}−9H−カルバゾール−3−イル]エタン−1−イミンが挙げられる。   As an oxime ester compound, for example, N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) butan-1-one-2-imine, N-ethoxycarbonyloxy-1-phenylpropan-1-one-2-imine N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) octan-1-one-2-imine, N-acetoxy-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3 -Yl] ethane-1-imine and N-acetoxy-1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (3,3-dimethyl-2,4-dioxacyclopentanylmethyloxy) benzoyl] } -9H-carbazol-3-yl] ethane-1-imine.

ベンゾイン化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、およびベンゾインイソブチルエーテルが挙げられる。   The benzoin compounds include, for example, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether.

ベンゾフェノン化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4'−メチルジフェニルサルファイド、3,3',4,4'−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4'−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、および2,4,6−トリメチルベンゾフェノンが挙げられる。   Examples of benzophenone compounds include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ′, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4'-tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone and 2,4,6-trimethyl benzophenone are included.

光ラジカル重合開始剤(C)は1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
本発明の感光性樹脂組成物において、開始剤(C)の含有量は、重合体(A)100質量部に対して、好ましくは0.1〜10質量部、より好ましくは0.3〜5質量部、さらに好ましくは0.5〜5質量部である。開始剤(C)の含有量が前記下限値以上であると、露光部の硬化が充分となり、耐熱性が向上しやすい。開始剤(C)の含有量が前記上限値以下であると、露光光に対する透明性が低下することなく、解像度が高いパターン化樹脂膜が得られやすい。
A radical photopolymerization initiator (C) may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
In the photosensitive resin composition of the present invention, the content of the initiator (C) is preferably 0.1 to 10 parts by mass, more preferably 0.3 to 5 parts with respect to 100 parts by mass of the polymer (A). It is a mass part, more preferably 0.5 to 5 mass parts. When the content of the initiator (C) is equal to or more than the above lower limit, curing of the exposed portion becomes sufficient, and the heat resistance tends to be improved. When the content of the initiator (C) is less than or equal to the above upper limit value, a patterned resin film having a high resolution can be easily obtained without decreasing the transparency to exposure light.

〈メルカプト基を有するシランカップリング剤(D)〉
メルカプト基を有するシランカップリング剤(D)を本発明の組成物の含有成分として用いることにより、基板に対してより優れた密着性を有し、耐水性により優れたパターン化樹脂膜を形成することができる。シランカップリング剤(D)も、露光時に、重合体(A)に含まれるエチレン性不飽和二重結合に付加するものと考えられる。
<Silane coupling agent having a mercapto group (D)>
By using a silane coupling agent (D) having a mercapto group as a component of the composition of the present invention, a patterned resin film is formed which has more excellent adhesion to a substrate and is more excellent in water resistance. be able to. The silane coupling agent (D) is also considered to be added to the ethylenically unsaturated double bond contained in the polymer (A) at the time of exposure.

シランカップリング剤(D)は、メルカプト基を1つ有する有機ケイ素化合物であり、例えば、式(D1)で表される化合物が挙げられ、式(D2)で表される化合物が好ましい。
Si(R1)(R23-n(OR3n (D1)
式(D1)中、R1は、メルカプト基を1つ有する1価の有機基であり、R2およびR3は、それぞれ同一でも異なっていてもよく、ただしメルカプト基を有さず、R2はR1とは異なる1価の有機基であり、例えばアルキル基または芳香族基であり、R3は1価の有機基であり、例えばアルキル基、アルコキシアルキル基またはアセチル基であり、nは1〜3の整数である。
The silane coupling agent (D) is an organosilicon compound having one mercapto group, and examples thereof include a compound represented by the formula (D1), and a compound represented by the formula (D2) is preferable.
Si (R 1 ) (R 2 ) 3-n (OR 3 ) n (D1)
In formula (D1), R 1 is a monovalent organic group having one mercapto group, and R 2 and R 3 may be the same or different, provided that they have no mercapto group, and R 2 Is a monovalent organic group different from R 1 , such as an alkyl group or an aromatic group, R 3 is a monovalent organic group such as an alkyl group, an alkoxyalkyl group or an acetyl group, and n is It is an integer of 1 to 3.

Figure 0006544035
式(D2)中、R2は炭素数1〜20のアルキル基または炭素数6〜20の芳香族基であり、R3は炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜20のアルコキシアルキル基、またはアセチル基であり、Rは炭素数1〜20のアルカンジイル基であり、nは1〜3の整数である。
Figure 0006544035
In formula (D2), R 2 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms or an aromatic group having 6 to 20 carbon atoms, R 3 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and an alkoxyalkyl having 2 to 20 carbon atoms R is an alkanediyl group having 1 to 20 carbon atoms, and n is an integer of 1 to 3.

シランカップリング剤(D)としては、例えば、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、および3−メルカプトプロピルジメトキシメチルシランが挙げられる。   Examples of the silane coupling agent (D) include 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltriethoxysilane, and 3-mercaptopropyldimethoxymethylsilane.

シランカップリング剤(D)は1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
本発明の組成物において、シランカップリング剤(D)を用いる場合、前記(D)の含有量は、重合体(A)100質量部に対して、好ましくは0.001〜10質量部、より好ましくは0.01〜5質量部、さらに好ましくは0.05〜1質量部である。
A silane coupling agent (D) may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
In the composition of the present invention, when the silane coupling agent (D) is used, the content of the (D) is preferably 0.001 to 10 parts by mass, more preferably 100 parts by mass of the polymer (A). Preferably it is 0.01-5 mass parts, More preferably, it is 0.05-1 mass part.

〈溶媒(E)〉
本発明の組成物は、溶媒(E)を含有することが好ましい。溶媒(E)を用いることで、前記組成物の取扱い性を向上させたり、粘度および保存安定性を調節したりすることができる。
<Solvent (E)>
The composition of the present invention preferably contains a solvent (E). By using the solvent (E), the handleability of the composition can be improved, and the viscosity and storage stability can be adjusted.

溶媒(E)としては、例えば、水、または水を含む混合溶媒が好ましい。混合溶媒を構成する水以外の溶媒としては、水と均一に混合し得る有機溶媒、例えばメタノール、エタノール、n−ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、乳酸エチル等のアルコール類や、シクロペンタノン等のケトン類が挙げられる。混合溶媒では、通常は20質量%以上、好ましくは30質量%以上、より好ましくは50質量%以上が水である。   As the solvent (E), for example, water or a mixed solvent containing water is preferable. Examples of solvents other than water constituting the mixed solvent include organic solvents which can be uniformly mixed with water, such as alcohols such as methanol, ethanol, n-butanol, propylene glycol monomethyl ether and ethyl lactate, and ketones such as cyclopentanone And the like. In the mixed solvent, usually 20% by mass or more, preferably 30% by mass or more, more preferably 50% by mass or more is water.

溶媒(E)は1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
本発明の組成物において、溶媒(E)を用いる場合、溶媒(E)の含有量は、当該組成物中の固形分濃度が通常は10〜70質量%、好ましくは15〜60質量%、より好ましくは20〜55質量%となる範囲である。固形分とは、通常、組成物中に含まれる溶媒(E)以外の全成分をいう。
A solvent (E) may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
In the composition of the present invention, when the solvent (E) is used, the content of the solvent (E) is usually 10 to 70% by mass, preferably 15 to 60% by mass, of the solid content concentration in the composition Preferably, it is in the range of 20 to 55% by mass. The solid content generally refers to all components other than the solvent (E) contained in the composition.

〈その他添加剤〉
本発明の組成物には、その他、密着助剤、酸拡散制御剤、架橋微粒子、レベリング剤、界面活性剤、増感剤、無機フィラー、クエンチャー等の各種添加剤を、本発明の目的および特性を損なわない範囲で含有させることができる。
<Other additives>
The composition of the present invention further includes various additives such as adhesion assistants, acid diffusion control agents, crosslinked fine particles, leveling agents, surfactants, sensitizers, inorganic fillers, quenchers, etc. It can be contained in the range which does not impair a characteristic.

〈組成物の調製方法〉
本発明の組成物は、各成分を均一に混合することにより調製できる。また、ゴミを取り除くために、各成分を均一に混合した後、得られた混合物をフィルター等で濾過してもよい。
<Method of preparing composition>
The composition of the present invention can be prepared by uniformly mixing the components. Also, in order to remove dust, the components obtained may be uniformly mixed, and then the resulting mixture may be filtered with a filter or the like.

〔パターン化樹脂膜およびその製造方法〕
パターン化樹脂膜は、本発明の感光性樹脂組成物から形成される。前記組成物を用いることにより、膜厚が大きく、耐水性を有する樹脂膜を形成することができる。また、解像度の高いパターン化樹脂膜を形成することができる。
[Patterned resin film and manufacturing method thereof]
The patterned resin film is formed from the photosensitive resin composition of the present invention. By using the composition, a resin film having a large film thickness and water resistance can be formed. In addition, a patterned resin film with high resolution can be formed.

本発明のパターン化樹脂膜の製造例を以下に示す。この製造例は、基板上に、本発明の感光性樹脂組成物の樹脂膜を形成する工程1と、前記樹脂膜の少なくとも一部分を選択的に露光する工程2と、露光後の前記樹脂膜を現像液で現像する工程3とを有する。この製造例は、さらに前記パターン化樹脂膜を加熱処理する工程4を有してもよい。   The production example of the patterned resin film of the present invention is shown below. In this production example, a step 1 of forming a resin film of the photosensitive resin composition of the present invention on a substrate, a step 2 of selectively exposing at least a portion of the resin film, and the resin film after exposure And 3) developing with a developer. This production example may further include the step 4 of heat-treating the patterned resin film.

[工程1]
工程1では、本発明の感光性樹脂組成物を基板上に塗布・乾燥し、樹脂膜を形成する。乾燥条件は、オーブンやホットプレートを用いて、例えば、50〜120℃で1〜30分間加熱する。樹脂膜の膜厚は、通常は1〜200μm、好ましくは3〜100μm、より好ましくは5〜50μmである。膜厚が足りない場合は、2度塗りにより樹脂膜を形成してもよい。
[Step 1]
In step 1, the photosensitive resin composition of the present invention is applied onto a substrate and dried to form a resin film. The drying conditions are, for example, heating at 50 to 120 ° C. for 1 to 30 minutes using an oven or a hot plate. The thickness of the resin film is usually 1 to 200 μm, preferably 3 to 100 μm, and more preferably 5 to 50 μm. If the film thickness is insufficient, the resin film may be formed by double coating.

基板としては、例えば、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリアセタール、トリアセチルセルロース、ポリアミド、ポリイミド、ポリエチレン、ポリプロピレン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルサルフォン、ポリウレタン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアクリレート、ポリメタクリレートおよびセルロースから選ばれる少なくとも1種の樹脂からなる樹脂基板;ガラス、セラミック、ステンレス鋼等の材料からなる基板;シリコンウエハ基板が挙げられる。ポリ乳酸、ポリグリコール酸、ポリカプロラクタン等の生分解性ポリマー等からなる樹脂基板であってもよい。基板としては、特開2002−335949号公報等に記載の公知の細胞培養用基板を用いることもできる。   As the substrate, for example, polystyrene, polycarbonate, polyacetal, triacetylcellulose, polyamide, polyimide, polyethylene, polypropylene, vinyl chloride, vinylidene chloride, polyphenylene sulfide, polyether sulfone, polyurethane, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyacrylate, Resin substrates comprising at least one resin selected from polymethacrylate and cellulose; substrates comprising materials such as glass, ceramic, stainless steel, etc .; silicon wafer substrates. It may be a resin substrate made of biodegradable polymers such as polylactic acid, polyglycolic acid and polycaprolactone. As a board | substrate, the well-known substrate for cell cultures of Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-335949 grade | etc., Can also be used.

組成物の塗布方法としては、例えば、ディッピング法、スプレー法、バーコート法、ロールコート法、スピンコート法、カーテンコート法、グラビア印刷法、シルクスクリーン法、インクジェット法が挙げられる。   Examples of the method of applying the composition include dipping, spraying, bar coating, roll coating, spin coating, curtain coating, gravure printing, silk screening, and inkjet printing.

[工程2]
工程2では、所望のマスクパターンを介して、例えばコンタクトアライナー、ステッパーまたはスキャナーを用いて、上記樹脂膜に対して露光を行う。露光光としては、紫外線、可視光線などが挙げられ、通常、波長200〜500nmの光(例:i線(365nm))を用いる。露光量は、感光性樹脂組成物中の各成分の種類、含有量および樹脂膜の厚さなどによって異なるが、露光光にi線を使用する場合、露光量は通常100〜10,000mJ/cm2である。
[Step 2]
In step 2, the resin film is exposed through a desired mask pattern, for example, using a contact aligner, a stepper or a scanner. The exposure light may, for example, be ultraviolet light or visible light. Usually, light having a wavelength of 200 to 500 nm (e.g., i-line (365 nm)) is used. The amount of exposure varies depending on the type and content of each component in the photosensitive resin composition, the thickness of the resin film, etc. When i-line is used for exposure light, the amount of exposure is usually 100 to 10,000 mJ / cm. 2

また、架橋反応をより進めるため、露光後に加熱処理を行うことが好ましい。以下、この処理を「PEB処理」ともいう。PEB条件は、感光性樹脂組成物中の各成分の種類、含有量および樹脂膜の厚さなどによって異なるが、通常は50〜120℃で、1〜60分間程度である。   In order to further accelerate the crosslinking reaction, it is preferable to carry out heat treatment after exposure. Hereinafter, this process is also referred to as "PEB process". The PEB conditions vary depending on the type and content of each component in the photosensitive resin composition, the thickness of the resin film, and the like, but are usually 50 to 120 ° C. and about 1 to 60 minutes.

[工程3]
工程3では、現像液により前記露光後の樹脂膜を現像して、非露光部を溶解・除去することにより、基板上に所望のパターン化樹脂膜を形成する。
[Step 3]
In step 3, the resin film after the exposure is developed with a developer to dissolve and remove the non-exposed area, thereby forming a desired patterned resin film on the substrate.

現像液としては、例えば、水、または水を含む混合溶媒が好ましい。混合溶媒としては、溶媒(E)の欄に記載した混合溶媒が挙げられる。現像方法としては、例えば、シャワー現像法、スプレー現像法、浸漬現像法、パドル現像法が挙げられる。例えば浸漬現像法での現像条件は、樹脂膜が形成された基板を、20〜40℃の現像液に1〜10分間程度浸漬する条件が挙げられる。   As a developing solution, water or a mixed solvent containing water is preferable, for example. As a mixed solvent, the mixed solvent described in the column of solvent (E) is mentioned. Examples of the developing method include a shower developing method, a spray developing method, an immersion developing method, and a paddle developing method. For example, as the development conditions in the immersion development method, conditions in which the substrate on which the resin film is formed are immersed in a developer at 20 to 40 ° C. for about 1 to 10 minutes may be mentioned.

[工程4]
必要に応じて、加熱によりパターン化樹脂膜をさらに硬化させる。加熱条件は特に限定されないが、パターン化樹脂膜の用途に応じて、例えば100〜300℃の温度で30分〜10時間程度加熱する。硬化を充分に進行させたり、パターン形状の変形を防止したりするため、多段階で加熱することもできる。
[Step 4]
If necessary, the patterned resin film is further cured by heating. Although the heating conditions are not particularly limited, the heating is performed, for example, at a temperature of 100 to 300 ° C. for about 30 minutes to 10 hours depending on the use of the patterned resin film. In order to allow the curing to proceed sufficiently or to prevent the deformation of the pattern shape, heating can be performed in multiple steps.

〔細胞培養装置〕
本発明の細胞培養装置は、上述したパターン化樹脂膜を有する。前記装置は、細胞培養用基板と、この基板上に形成された、上述したパターン化樹脂膜とを有することが好ましい。
[Cell culture apparatus]
The cell culture apparatus of the present invention has the above-described patterned resin film. The device preferably has a cell culture substrate and the above-described patterned resin film formed on the substrate.

以下、細胞培養装置の一態様について説明する。
本発明の細胞培養装置が有するパターン化樹脂膜は、本発明の感光性樹脂組成物から形成された樹脂膜に、細胞、およびこの細胞から形成された細胞組織体、特にスフェロイド、を保持するための、1つまたは複数の孔が形成された構造を有する。パターン化樹脂膜は、孔を形成する隔壁である。
Hereinafter, one aspect of the cell culture apparatus will be described.
The patterned resin film possessed by the cell culture apparatus of the present invention is for holding cells and a cell assembly formed from the cells, particularly spheroids, on the resin film formed from the photosensitive resin composition of the present invention. The structure has one or more holes formed therein. The patterned resin film is a partition which forms a hole.

孔は、樹脂膜を貫通して形成されている。孔の底面は、細胞培養用基板の表面により構成され、孔の側面は、樹脂膜により構成されている。細胞培養用基板の表面は、細胞保持の観点から、細胞接着性を有することが好ましい。   The holes are formed through the resin film. The bottom of the hole is constituted by the surface of the cell culture substrate, and the side of the hole is constituted by a resin film. The surface of the cell culture substrate is preferably cell adhesive from the viewpoint of cell retention.

パターン化樹脂膜は、培養後に細胞組織体を孔内から取り出す際の容易性を考慮して、細胞非接着性を有することが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物は、水溶性樹脂である重合体(A)を含有することから、前記性質を有するパターン化樹脂膜を形成することができる。   The patterned resin film is preferably noncell-adherent in consideration of the ease of taking out the cell assembly from the pores after culture. Since the photosensitive resin composition of the present invention contains the polymer (A) which is a water-soluble resin, a patterned resin film having the above-mentioned properties can be formed.

孔の底面の形状は特に限定されず、例えば、円形状、楕円形状、多角形状が挙げられる。孔の底面の面積は、細胞の大きさ・種類等によって適宜決定されるが、通常1,000〜40,000μm2、好ましくは5,000〜20,000μm2である。 The shape of the bottom of the hole is not particularly limited, and examples thereof include a circular shape, an elliptical shape, and a polygonal shape. The area of the bottom surface of the hole is appropriately determined by the cell size and type, etc., usually 1,000~40,000Myuemu 2, preferably 5,000~20,000μm 2.

樹脂膜に孔が形成されたパターン化樹脂膜は、例えば、上述したパターン化樹脂膜の製造方法に従い形成することができる。その際、感光性樹脂組成物が塗布される基板としては、細胞培養用基板が用いられる。   The patterned resin film in which the holes are formed in the resin film can be formed, for example, according to the method for producing a patterned resin film described above. At that time, a cell culture substrate is used as a substrate to which the photosensitive resin composition is applied.

孔の底面は、細胞を保持し細胞組織体を形成する点から、細胞接着性を有する表面であることが好ましい。細胞接着性の表面は、例えば、カルボキシル基、アミノ基等の電荷を有する官能基が導入された表面、アルギニン・グリシン・アスパラギン酸配列等の細胞接着性ペプチドが導入された表面、細胞接着性を有する高分子が固定された表面である。   The bottom of the pore is preferably a surface having cell adhesion, in terms of retaining cells and forming a cell assembly. For example, a surface to which a cell adhesive surface is introduced is a surface to which a functional group having a charge such as a carboxyl group or an amino group has been introduced, a surface to which a cell adhesion peptide such as an arginine / glycine / aspartic acid sequence is introduced, or a cell adhesion. It is the surface where the macromolecule which it has is fixed.

前記電荷を有する官能基は、基板表面をプラズマ等の放射線で処理することによって導入することができる。前記細胞接着性を有する高分子としては、例えば、ポリアクリル酸、ポリビニル硫酸、ポリスチレンスルホン酸、ポリアリルアミン等の電荷を有する合成高分子、コンドロイチン硫酸、デルマタン硫酸、デキストラン硫酸、ケラタン硫酸、ヘパラン硫酸、ヒアルロン酸、キチン等の電荷を有する多糖類、コラーゲン、ゼラチン、フィブロネクチン、ハイドロネクチン、ラミニン等の細胞接着性タンパク質、細胞接着性タンパク質や細胞接着性ペプチドを固定した合成高分子が挙げられる。   The functional group having the charge can be introduced by treating the substrate surface with radiation such as plasma. Examples of the polymer having cell adhesiveness include synthetic polymers having a charge such as polyacrylic acid, polyvinyl sulfate, polystyrene sulfonic acid and polyallylamine, chondroitin sulfate, dermatan sulfate, dextran sulfate, keratan sulfate, heparan sulfate, Examples thereof include polysaccharides having charges such as hyaluronic acid and chitin, cell adhesion proteins such as collagen, gelatin, fibronectin, hydronectin and laminin, and synthetic polymers on which cell adhesion proteins and cell adhesion peptides are immobilized.

例えば、細胞接着性の表面を有する細胞培養用基板を用いることができる。また、細胞培養用基板上にパターン化樹脂膜を形成した後に、露出した基板の表面(孔の底面)に、放射線処理したり、細胞接着性を有する高分子を固定化したりしてもよい。   For example, a cell culture substrate having a cell adhesive surface can be used. Alternatively, after a patterned resin film is formed on a cell culture substrate, radiation treatment may be performed or a polymer having cell adhesion may be immobilized on the surface of the exposed substrate (bottom of the hole).

孔の底面である基板表面は、凹凸構造を有していてもよい。このような凹凸構造を設けることで、細胞組織体の前記底面への接着性を向上させることができる。凹凸構造における凸部または凹部の平面方向の形状は、例えば、円形状、楕円形状、多角形状が挙げられる。   The substrate surface which is the bottom of the hole may have an uneven structure. By providing such a concavo-convex structure, the adhesion of the cell assembly to the bottom surface can be improved. The shape in the plane direction of the convex portion or the concave portion in the concavo-convex structure includes, for example, a circular shape, an elliptical shape, and a polygonal shape.

孔の深さは、パターン化樹脂膜の膜厚により決定され、通常は1〜200μm、好ましくは3〜100μm、より好ましくは5〜50μmである。この範囲であれば、孔内に細胞および細胞組織体を良好に保持することができる。   The depth of the holes is determined by the film thickness of the patterned resin film, and is usually 1 to 200 μm, preferably 3 to 100 μm, more preferably 5 to 50 μm. Within this range, cells and cell bodies can be well retained in the pores.

本発明の細胞培養装置を用いて細胞を培養する際には、パターン化樹脂膜が有する孔内において、細胞を培養し、細胞組織体、特にスフェロイドを形成する。例えば、細胞を含む培養液を孔内に入れ、孔の底面に播種された細胞が、当該底面である細胞培養用基板の表面上で3次元的に結合した細胞組織体を形成する。細胞組織体は、培養液中に浮遊することなく孔の底面に接着した状態で、隔壁により形成された孔内に安定して保持されたまま長期間にわたって培養される。   When culturing cells using the cell culture apparatus of the present invention, cells are cultured in the pores of the patterned resin film to form a cell assembly, in particular, a spheroid. For example, a culture solution containing cells is placed in a pore, and cells seeded on the bottom of the pore form a three-dimensionally bound cell assembly on the surface of the cell culture substrate which is the bottom. The cell assembly is cultured for a long time while being stably retained in the pore formed by the partition, in a state of being attached to the bottom of the pore without being suspended in the culture solution.

細胞としては、細胞同士の間で互いに結合を形成するものであれば、動物種や臓器・組織の種類は特に限定されない。例えば、ヒトやブタ、イヌ、ラット、マウス等の動物由来の肝臓、膵臓、腎臓、神経、皮膚等から採取される初代細胞、ES細胞(Embryonic Stem cell)、樹立されている株化細胞、またはこれらに遺伝子操作等を施した細胞が挙げられる。細胞は1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。培養液としては、細胞の生存状態および機能を維持できるよう、必要な塩類および/または栄養成分を適切な濃度で含む水溶液を用いることができる。   There are no particular limitations on the species of animal or the type of organ or tissue, as long as the cells form a bond between the cells. For example, primary cells, ES cells (Embryonic Stem cells), established cell lines, or cells collected from livers such as humans, pigs, dogs, rats, mice and the like, pancreas, kidney, nerve, skin etc. These include cells subjected to genetic manipulation and the like. The cells may be used alone or in combination of two or more. As a culture solution, an aqueous solution containing necessary salts and / or nutrient components at an appropriate concentration can be used so as to maintain cell survival state and function.

以下、本発明を実施例に基づいてさらに具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されない。以下の実施例等の記載において、特に言及しない限り、「部」は「質量部」の意味で用いる。   Hereinafter, the present invention will be more specifically described based on examples, but the present invention is not limited to these examples. In the description of the following examples and the like, "part" is used in the meaning of "part by mass" unless otherwise stated.

[1]物性の測定方法
[1−1]重合体のMw、MnおよびMw/Mnの測定方法
重合体の重量平均分子量(Mw)、数平均分子量(Mn)および分子量分布(Mw/Mn)は、下記条件下で、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により測定した。
・カラム:東ソー社製カラムの「TSKgel αM」および
「TSKgel α2500」を直列に接続
・溶媒:臭化リチウムおよびリン酸を添加したN−メチル−2−ピロリドン
・温度:40℃
・検出方法:屈折率法
・標準物質:ポリスチレン
・GPC装置:東ソー製、装置名「HLC−8020−GPC」
[1] Measuring method of physical properties
[1-1] Measurement Method of Mw, Mn and Mw / Mn of Polymer The weight average molecular weight (Mw), number average molecular weight (Mn) and molecular weight distribution (Mw / Mn) of the polymer are gels under the following conditions. It measured by the permeation chromatography method.
・ Column: "TSKgel αM" of Tosoh columns and
Connecting "TSKgel α2500" in series · Solvent: N-methyl-2-pyrrolidone with added lithium bromide and phosphoric acid · Temperature: 40 ° C
Detection method: refractive index method Standard substance: polystyrene GPC apparatus: Tosoh Corporation, apparatus name "HLC-8020-GPC"

[1−2]重合体のNMR分析
重合体(A)の化学シフトは、核磁気共鳴(NMR)法により、下記条件で測定した。
・装置:JEOL社製、商品名:ECP−400P
・溶媒:CDCl3
[1-2] NMR Analysis of Polymer The chemical shift of the polymer (A) was measured by nuclear magnetic resonance (NMR) under the following conditions.
-Device: manufactured by JEOL, trade name: ECP-400P
Solvent: CDCl 3

[2]重合体(A)の合成
[実施例A1]重合体(A1)の合成
窒素雰囲気下、フラスコ中に、2gの2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、6gのポリエチレングリコールジグリシジルエーテル(オキシエチレン単位数:約15)、2gのモノアリルジグリシジルイソシアヌル酸、および19gのシクロペンタノンの溶液を準備した。前記溶液中に触媒として0.05gのトリエチルアミンを入れ、攪拌した後、溶液を60℃で4時間反応させた後、23℃まで冷却した。この反応溶液を再沈殿により精製し、重合体(A1)を得た。重合体(A1)のMnは6,000、Mwは9,600、Mw/Mnは1.6であった。NMR測定の結果、グリシジルエーテルの開環により生じたヒドロキシル基が結合している炭素(α−炭素)に結合している水素原子由来のピークが4.0〜4.5ppm付近に、エチレングリコールユニット由来のピークが3.4〜3.7ppm付近に表れており、重合体(A1)は下記構造単位(1)〜(3)を有していることが明らかになった。重合体(A1)の25℃、1barでの水100gに対する溶解度は、20g以上であった。
[2] Synthesis of polymer (A)
Example A1 Synthesis of Polymer (A1) In a flask under a nitrogen atmosphere, 2 g of 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole, 6 g of polyethylene glycol diglycidyl ether (number of oxyethylene units: about) 15) A solution of 2 g of monoallyl diglycidyl isocyanuric acid and 19 g of cyclopentanone was prepared. After 0.05 g of triethylamine as a catalyst was added to the solution and stirred, the solution was allowed to react at 60 ° C. for 4 hours and then cooled to 23 ° C. The reaction solution was purified by reprecipitation to obtain a polymer (A1). Mn of the polymer (A1) was 6,000, Mw was 9,600, and Mw / Mn was 1.6. As a result of NMR measurement, a peak derived from a hydrogen atom bonded to carbon (α-carbon) to which a hydroxyl group formed by ring opening of glycidyl ether is bonded is in the vicinity of 4.0 to 4.5 ppm an ethylene glycol unit The peak derived from appears in 3.4-3.7 ppm vicinity, and it became clear that a polymer (A1) has following structural unit (1)-(3). The solubility in 100 g of water at 25 ° C. and 1 bar of the polymer (A1) was at least 20 g.

Figure 0006544035
式(2)中のnは約15である。
Figure 0006544035
N in Formula (2) is about 15.

[3]感光性樹脂組成物およびパターン化樹脂膜の形成
[実施例B1〜B2および比較例B1]
表1に示す成分を混合することで、実施例B1〜B2および比較例B1の感光性樹脂組成物を製造した。溶媒は、感光性樹脂組成物の23℃における粘度(JIS Z8803準拠)が500〜2000cPの範囲内になる量を用いた。
なお、表1に示す各種成分の詳細は以下の通りである。
A1:実施例A1で製造した重合体(A1)
A2:ポリエチレングリコール(商品名「Polyethylene Glycol 4000」、和光純薬工業(株)製)
B1:ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)を主成分とする混合物(商品名「カレンズMT PE1」、昭和電工(株)製)
B2:1,3,5−トリス(3−メルカプトブチリルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオンを主成分とする混合物(商品名「カレンズMT NR1」、昭和電工(株)製)
C1:ジフェニル(2,4,6−トリメチルベンゾイル)ホスフィンオキシド
(商品名「LUCIRIN TPO」、BASF(株)製)
E1:水
E2:乳酸エチル
[3] Formation of photosensitive resin composition and patterned resin film
[Examples B1 and B2 and Comparative Example B1]
By mixing the components shown in Table 1, photosensitive resin compositions of Examples B1 and B2 and Comparative Example B1 were produced. The solvent was used in such an amount that the viscosity (in accordance with JIS Z8803) of the photosensitive resin composition at 23 ° C. was in the range of 500 to 2000 cP.
The details of the various components shown in Table 1 are as follows.
A1: Polymer (A1) produced in Example A1
A2: Polyethylene glycol (trade name "Polyethylene Glycol 4000", manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
B1: A mixture containing pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate) as a main component (trade name "Kalens MT PE1", manufactured by Showa Denko KK)
B2: 1,3,5-Tris (3-mercaptobutyryloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione-based mixture (trade name) "Karens MT NR1" (manufactured by Showa Denko KK)
C1: Diphenyl (2,4,6-trimethyl benzoyl) phosphine oxide (trade name "LUCIRIN TPO", manufactured by BASF Corporation)
E1: Water E2: Ethyl lactate

[比較例B2]
比較例B2では、感光性樹脂組成物として市販の感光性樹脂組成物(商品名「Biosurfine−AWP」、東洋合成工業(株)製)を用いた。
Comparative Example B2
In Comparative Example B2, a commercially available photosensitive resin composition (trade name "Biosurfine-AWP", manufactured by Toyo Gosei Co., Ltd.) was used as the photosensitive resin composition.

[4]評価
[4−1]パターン化樹脂膜の製造
基板としてシリコンウェハー上に、感光性樹脂組成物をスピンコート法にて塗布し、ホットプレートを用いて70℃で10分間加熱し、膜厚2μm、3μm、5μm、10μm、15μmおよび20μmの樹脂膜を形成した。次いで、アライナー(Suss Microtec社製、装置名「MA−100」)を用い、高圧水銀灯からの紫外線を、パターンマスクを介して、波長365nmにおける露光量が1,000mJ/cm2となるように樹脂膜に照射した。露光後の樹脂膜を、ホットプレートを用いて70℃で600秒間加熱し、水を用いて浸漬現像(23℃、3分間)し、直径100μmで高さがそれぞれ2μm、3μm、5μm、10μm、15μmおよび20μmであり、断面が矩形のホールパターンを有するパターン化樹脂膜を形成した。膜厚は、触針式膜厚計により測定した。良好なパターン化樹脂膜を形成できる最大の高さを表1に示す。
なお、実施例B2では、基板としてガラス基板を用いた。
[4] Evaluation
[4-1] Production of Patterned Resin Film A photosensitive resin composition is applied by spin coating on a silicon wafer as a substrate, heated at 70 ° C. for 10 minutes using a hot plate, and the film thickness is 2 μm, 3 μm The resin films of 5 μm, 10 μm, 15 μm and 20 μm were formed. Next, using aligner (Suss Microtec, device name “MA-100”), UV light from a high pressure mercury lamp is made to be 1,000 mJ / cm 2 with a wavelength of 365 nm through a pattern mask. The film was irradiated. The exposed resin film is heated at 70 ° C. for 600 seconds using a hot plate, immersed in water (23 ° C., 3 minutes), and developed with a diameter of 100 μm and a height of 2 μm, 3 μm, 5 μm, 10 μm, respectively. A patterned resin film having a hole pattern of 15 μm and 20 μm and having a rectangular cross section was formed. The film thickness was measured by a stylus film thickness meter. The maximum height at which a good patterned resin film can be formed is shown in Table 1.
In Example B2, a glass substrate was used as the substrate.

[4−2]パターン化樹脂膜の耐水性
前記『[4−1]パターン化樹脂膜の製造』で得られた最大の高さを有するパターン化樹脂を有する基板を、純水中に23℃で1週間浸漬した。浸漬後のパターン化樹脂膜の剥離の有無により、耐水性を評価した。
[4-2] Water Resistance of Patterned Resin Film A substrate having a patterned resin having the maximum height obtained in the above-mentioned [Production of [4-1] Patterned Resin Film] is brought into pure water at 23 ° C. Soaked for 1 week. Water resistance was evaluated by the presence or absence of peeling of the patterning resin film after immersion.

Figure 0006544035
Figure 0006544035

Claims (7)

エチレン性不飽和二重結合を有する重合体であって、式(A1)に示す構造単位(A1)および式(A2)に示す構造単位(A2)を有する重合体(A)と、
メルカプト基を2以上有する化合物(B)と、
光ラジカル重合開始剤(C)と
を含有する感光性樹脂組成物。
Figure 0006544035
[式(A1)中、R1はそれぞれ独立に−S−または−S(=O)−である。
式(A2)中、R2はそれぞれ独立に直接結合、炭素数1〜10のアルカンジイル基または炭素数6〜20のアリーレン基であり、R3は炭素数1〜10のアルカンジイル基または炭素数6〜20のアリーレン基であり、R3が複数ある場合はそれぞれ同一でも異なってもよく、nは1以上の整数である。]
A polymer having an ethylenically unsaturated double bond, wherein the polymer (A) has a structural unit (A1) represented by the formula (A1) and a structural unit (A2) represented by the formula (A2);
A compound (B) having two or more mercapto groups,
Photosensitive resin composition containing a radical photopolymerization initiator (C).
Figure 0006544035
[In formula (A1), R 1 is each independently —S— or —S (= O) —.
In formula (A2), R 2 is each independently a direct bond, an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms, or an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, and R 3 is an alkanediyl group having 1 to 10 carbon atoms or carbon It is an arylene group of the formulas 6 to 20, and when there are a plurality of R 3 's , they may be the same or different, and n is an integer of 1 or more. ]
重合体(A)が、さらに、式(A3)に示す構造単位(A3)を有する請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 0006544035
[式(A3)中、R4はそれぞれ独立に直接結合または2価の有機基であり、R5は3価の有機基であり、R6はエチレン性不飽和二重結合を有する1価の基である。]
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the polymer (A) further has a structural unit (A3) represented by the formula (A3).
Figure 0006544035
[In Formula (A3), R 4 is each independently a direct bond or a divalent organic group, R 5 is a trivalent organic group, and R 6 is a monovalent having an ethylenically unsaturated double bond] It is a group. ]
構造単位(A3)が、式(A31)に示す構造単位(A31)および式(A32)に示す構造単位(A32)から選ばれる少なくとも1種である請求項2に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 0006544035
[式(A31)および(A32)中、R4およびR6は、それぞれ前記式(A3)中の同一記号と同義である。]
The photosensitive resin composition according to claim 2, wherein the structural unit (A3) is at least one selected from the structural unit (A31) represented by the formula (A31) and the structural unit (A32) represented by the formula (A32).
Figure 0006544035
[In Formula (A31) and (A32), R 4 and R 6 each have the same meaning as the same symbol in Formula (A3). ]
基板上に、請求項1〜3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物の樹脂膜を形成する工程1、前記樹脂膜の少なくとも一部分を選択的に露光する工程2、および露光後の前記樹脂膜を現像液で現像する工程3を有する、パターン化樹脂膜の製造方法。   A step 1 of forming a resin film of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3 on a substrate, a step 2 of selectively exposing at least a part of the resin film, and a step after exposure A method for producing a patterned resin film, comprising the step 3 of developing the resin film with a developer. 前記基板が、細胞培養用基板である請求項4に記載のパターン化樹脂膜の製造方法。   The method for producing a patterned resin film according to claim 4, wherein the substrate is a cell culture substrate. 請求項4または5に記載の製造方法によって得られたパターン化樹脂膜。   The patterned resin film obtained by the manufacturing method of Claim 4 or 5. 請求項6に記載のパターン化樹脂膜を有する細胞培養装置。   A cell culture apparatus comprising the patterned resin film according to claim 6.
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