JP6512865B2 - Liquid filling apparatus, liquid filling method and coating apparatus - Google Patents

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Description

本発明の実施形態は、液充填装置、液充填方法及び塗布装置に関する。   Embodiments of the present invention relate to a liquid filling apparatus, a liquid filling method, and a coating apparatus.

表示装置や半導体装置などを製造する場合、例えば、ガラス基板上に配向膜やカラーフィルタなどの機能性薄膜を形成するため、また、半導体ウエハ上にレジストなどの機能性薄膜を形成するため、塗布装置が用いられている。通常、塗布装置は、複数のノズルから塗布液を吐出するインクジェット方式の塗布ヘッド及びその塗布ヘッドに塗布液を充填する液充填装置などを備えている。この塗布装置は、液充填装置によりあらかじめ塗布ヘッドに塗布液を充填しておき、その充填済の塗布ヘッドと塗布対象物とを相対移動させながら、各ノズルから液滴を吐出させて塗布対象物の表面に塗布膜を形成する。   When manufacturing a display device or a semiconductor device, for example, in order to form a functional thin film such as an alignment film or a color filter on a glass substrate, or to form a functional thin film such as a resist on a semiconductor wafer An apparatus is used. Usually, the coating apparatus includes an inkjet type coating head which discharges the coating liquid from a plurality of nozzles, and a liquid filling apparatus which fills the coating liquid in the coating head. In the coating apparatus, the coating head is filled with the coating liquid in advance by a liquid filling apparatus, and droplets are discharged from the respective nozzles while the relative movement between the filled coating head and the coating target is performed. Form a coating on the surface of

前述の塗布ヘッドの各ノズルは、塗布ヘッド内の液体流路に個別に接続されている。塗布ヘッド内の液体流路は複雑な流路となっており、例えば一本の主管路や複数本の枝管路、複数個の液室などにより構成されている。このため、液充填装置により液体流路に塗布液を充填する際には、液体流路やノズルに気泡が残ることがある。これは吐出不良の原因となることから、その気泡を取り除く必要があるが、気泡除去方法としては、液体流路内の塗布液を加圧などによって強制的に送り、各ノズルから塗布液と共に気泡を排出する方法が用いられている。   Each nozzle of the above-mentioned application head is individually connected to a liquid channel in the application head. The liquid flow path in the coating head is a complicated flow path, and is constituted of, for example, one main pipe line, a plurality of branch pipe lines, a plurality of liquid chambers, and the like. Therefore, when the liquid flow path is filled with the application liquid by the liquid filling apparatus, air bubbles may remain in the liquid flow path or the nozzle. It is necessary to remove the air bubbles because this causes ejection failure. As a method for removing air bubbles, the coating liquid in the liquid flow path is forcibly fed by pressure or the like, and the air bubbles are mixed with the coating liquid from each nozzle. Methods are used.

特開２００４−２４９７２号公報Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-24972

しかしながら、前述の気泡除去方法では、液体流路の隅部（角部）に溜まった気泡を取り除くことが難しく、その気泡を塗布液と共に排出するためには、長い時間と多くの塗布液を必要とする。また、長い時間と多くの塗布液を費やしても、液体流路の隅部に溜まった気泡を排出することができず、時間や塗布液を無駄にすることがある。このため、塗布ヘッドの初期充填から安定吐出までの時間が長くなり、さらに、塗布液使用量が増加する。   However, in the above-described air bubble removal method, it is difficult to remove air bubbles accumulated at the corners (corners) of the liquid flow path, and in order to discharge the air bubbles together with the application liquid, a long time and many coating liquids are required. I assume. In addition, even if a long time and a large amount of coating solution are spent, the air bubbles accumulated in the corners of the liquid flow channel can not be discharged, which may waste time and the coating solution. For this reason, the time from the initial filling of the coating head to the stable discharge becomes long, and the amount of coating solution used further increases.

本発明が解決しようとする課題は、塗布ヘッドの初期充填から安定吐出までの時間及び塗布液使用量を抑えることができる液充填装置、液充填方法及び塗布装置を提供することである。   The problem to be solved by the present invention is to provide a liquid filling apparatus, a liquid filling method, and a coating apparatus capable of suppressing the time from the initial filling of the coating head to the stable discharge and the use amount of the coating liquid.

実施形態に係る液充填装置は、液体が流れる液体流路及びその液体流路につながるノズルを有するインクジェット方式の塗布ヘッドに塗布液を充填する液充填装置であって、液体流路の内壁面に水を結露により付着させる非塗布液付着部と、水が内壁面に付着した液体流路に塗布液を充填する塗布液充填部とを備える。 The liquid filling apparatus according to the embodiment is a liquid filling apparatus for filling a coating liquid in an inkjet type application head having a liquid flow path through which the liquid flows and a nozzle connected to the liquid flow path. comprises a non-coating liquid applying unit to further adhere the water condensation, the coating liquid filling unit for filling the application liquid to the liquid flow path of water is adhered to the inner wall surface.

実施形態に係る液充填方法は、液体が流れる液体流路及びその液体流路につながるノズルを有するインクジェット方式の塗布ヘッドに塗布液を充填する液充填方法であって、液体流路の内壁面に水を結露により付着させる工程と、水が内壁面に付着した液体流路に塗布液を充填する工程とを有する。
The liquid filling method according to the embodiment is a liquid filling method in which a coating liquid is filled in an inkjet type application head having a liquid flow path through which the liquid flows and a nozzle connected to the liquid flow path. and a step of further attaching the water condensation, and a step of filling the coating liquid to the liquid flow path of water is adhered to the inner wall surface.

実施形態に係る塗布装置は、ステージと、液体が流れる液体流路及びその液体流路につながるノズルを有するインクジェット方式の塗布ヘッドと、塗布ヘッドに塗布液を充填する液充填装置とを備える塗布装置であって、液充填装置は、前述の実施形態のいずれか一つに係る液充填装置である。   The coating apparatus according to the embodiment includes a stage, an inkjet type coating head having a liquid flow path through which liquid flows and a nozzle connected to the liquid flow path, and a liquid filling apparatus that fills the coating head with the coating liquid. The liquid filling apparatus is a liquid filling apparatus according to any one of the above-described embodiments.

本発明の実施形態によれば、塗布ヘッドの初期充填から安定吐出までの時間及び塗布液使用量を抑えることができる。   According to the embodiment of the present invention, it is possible to suppress the time from the initial filling of the coating head to the stable discharge and the amount of coating solution used.

第１の実施形態に係る塗布装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the coating device which concerns on 1st Embodiment. 第１の実施形態に係る液充填装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the liquid filling apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第１の実施形態に係る塗布ヘッドの内部構造を示す断面図（図２中のＸ１−Ｘ１断面図）である。It is sectional drawing (X1-X1 sectional drawing in FIG. 2) which shows the internal structure of the application | coating head which concerns on 1st Embodiment. 第１の実施形態に係る液充填装置が行う液充填処理の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the liquid filling process which the liquid filling apparatus which concerns on 1st Embodiment performs. 第２の実施形態に係る液充填装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the liquid filling apparatus which concerns on 2nd Embodiment.

（第１の実施形態）
第１の実施形態について図１乃至図４を参照して説明する。 First Embodiment
The first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 4.

図１に示すように、第１の実施形態に係る塗布装置１は、塗布対象物Ｗを支持するステージ２と、そのステージ２上の塗布対象物Ｗの表面に沿う一方向（図１中ではＹ軸方向）にステージ２を移動させるステージ搬送部３と、ステージ２上の塗布対象物Ｗの表面に塗布液を個別に吐出する複数の塗布ヘッド４と、それらの塗布ヘッド４をステージ２の上方で支持する支持部５と、ステージ搬送部３や支持部５を支持する架台６と、各塗布ヘッド４に液体を充填する液充填装置７と、各部を制御する制御部８とを備えている。   As shown in FIG. 1, the coating apparatus 1 according to the first embodiment includes a stage 2 for supporting an application object W, and one direction along the surface of the application object W on the stage 2 (in FIG. 1) Stage transport unit 3 for moving the stage 2 in the Y-axis direction, a plurality of coating heads 4 for individually discharging the coating liquid onto the surface of the application object W on the stage 2, and the coating heads 4 of the stage 2 A support unit 5 for supporting the upper side, a gantry 6 for supporting the stage conveyance unit 3 and the support unit 5, a liquid filling device 7 for filling each application head 4 with a liquid, and a control unit 8 for controlling each unit There is.

ステージ２は、塗布対象物Ｗ（例えばガラス基板や半導体ウエハなど）が載置される載置面を有しており、ステージ搬送部３上に設けられている。このステージ２には、塗布対象物Ｗが自重により載置されるが、これに限るものではなく、例えば、その塗布対象物Ｗを保持するため、静電チャックや吸着チャックなどの機構、また、ステージ２上の支持ピンにより塗布対象物Ｗを支持する機構を用いることが可能である。   The stage 2 has a mounting surface on which the object to be coated W (for example, a glass substrate or a semiconductor wafer) is mounted, and is provided on the stage conveyance unit 3. The application object W is placed on the stage 2 by its own weight, but the present invention is not limited to this. For example, a mechanism such as an electrostatic chuck or a suction chuck for holding the application object W, and It is possible to use a mechanism for supporting the application object W by the support pins on the stage 2.

ステージ搬送部３は、ステージ２を一方向のＹ軸方向に案内して移動させる移動機構であり、架台６上に固定されて設けられている。このステージ搬送部３は制御部８に電気的に接続されており、その駆動が制御部８により制御される。ステージ搬送部３としては、例えば、サーボモータを駆動源とする送りねじ式の移動機構やリニアモータを駆動源とするリニアモータ式の移動機構などを用いることが可能である。   The stage transport unit 3 is a moving mechanism for guiding and moving the stage 2 in one Y-axis direction, and is fixed on the gantry 6. The stage conveyance unit 3 is electrically connected to the control unit 8, and the drive thereof is controlled by the control unit 8. As the stage conveyance unit 3, for example, a feed screw type moving mechanism using a servomotor as a driving source, or a linear motor type moving mechanism using a linear motor as a driving source can be used.

各塗布ヘッド４は、ステージ２の上方にコラムなどの支持部５により支持されており、ステージ２上の塗布対象物Ｗの表面に液滴を吐出する。これらの塗布ヘッド４はそれぞれ制御部８に電気的に接続されており、それらの駆動が制御部８により制御される。塗布ヘッド４としては、インクジェット方式の塗布ヘッドを用いている。なお、塗布ヘッド４について詳しくは後述する。   Each application head 4 is supported above the stage 2 by a support 5 such as a column, and ejects droplets onto the surface of the application object W on the stage 2. The application heads 4 are electrically connected to the control unit 8, and the drive of the application heads 4 is controlled by the control unit 8. As the coating head 4, an inkjet type coating head is used. The application head 4 will be described in detail later.

支持部５は、Ｘ軸方向に長尺な門型の形状に形成されており、架台６上のステージ搬送部３を跨ぐように架台６上に設けられている。この支持部５の梁部はＸ軸方向に平行にステージ２の載置面に対して水平にされており、支持部５の脚部は架台６の上面に固定されている。   The support 5 is formed in a gate-like shape elongated in the X-axis direction, and is provided on the gantry 6 so as to straddle the stage transport unit 3 on the gantry 6. The beam portion of the support portion 5 is horizontal to the mounting surface of the stage 2 in parallel to the X-axis direction, and the leg portion of the support portion 5 is fixed to the upper surface of the gantry 6.

架台６は、床面上に設置されており、ステージ搬送部３や支持部５などを床面から所定の高さ位置に支持する。架台６の上面は平面に形成されており、この架台６の上面にステージ搬送部３や支持部５などが取り付けられている。   The gantry 6 is installed on the floor surface, and supports the stage conveyance unit 3 and the support unit 5 at a predetermined height position from the floor surface. The upper surface of the gantry 6 is formed in a flat surface, and the stage conveyance unit 3, the support unit 5, and the like are attached to the upper surface of the gantry 6.

液充填装置７は、その主要部が架台６内に設けられており、塗布ヘッド４内に塗布液を充填する装置である。この液充填装置７は、気泡残留がない迅速な塗布液充填のため、塗布ヘッド４に対する塗布液の充填前に、塗布液と異なる非塗布液（例えば、水、好ましくは純水、あるいは、溶媒や、塗布液と非反応性の液体など）を塗布ヘッド４内に充填し、その後、充填した非塗布液を塗布ヘッド４内から排出し、非塗布液を排出した塗布ヘッド４内に塗布液を充填する。なお、液充填装置７について詳しくは後述する。   The main part of the liquid filling device 7 is provided in the mount 6, and the liquid filling device 7 is a device for filling the coating liquid in the coating head 4. The liquid filling apparatus 7 is a non-coating liquid (for example, water, preferably pure water, or a solvent) different from the coating liquid before filling the coating liquid into the coating head 4 for rapid filling of the coating liquid without bubbles remaining. Or the coating solution and the non-reactive liquid etc.) is filled in the coating head 4 and then the filled non-coating solution is discharged from the coating head 4 and the coating solution is discharged in the coating head 4 Fill. Details of the liquid filling device 7 will be described later.

制御部８は、架台６内に設けられており、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータなどのコンピュータや、塗布パターンなどを含む各種情報及び各種プログラムを記憶する記憶部（いずれも図示せず）などを備えている。この制御部８は、例えば、塗布対象物Ｗに対して塗布を行う場合、ステージ２上の塗布対象物Ｗを主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させつつ、インクジェット方式の塗布ヘッド４から塗布液を吐出させてステージ２上の塗布対象物Ｗの表面に塗布するように、ステージ搬送部３及び各塗布ヘッド４を制御する。また、制御部８は、塗布ヘッド４に塗布液を充填する場合、塗布ヘッド４に対する非塗布液の充填及び排出、さらに、塗布液の充填を行うように液充填装置７を制御する。   The control unit 8 is provided in the gantry 6 and is a computer such as a microcomputer that centrally controls each unit, and a storage unit that stores various information including various application patterns and various programs (all not shown) And so on. For example, when applying the application target W, the control unit 8 applies the application target 4 on the stage 2 while moving the application target W in the main scanning direction (Y-axis direction) from the application head 4 of the inkjet method. The stage transport unit 3 and each application head 4 are controlled so that the liquid is discharged and applied to the surface of the application object W on the stage 2. Further, when the coating head 4 is to be filled with the coating liquid, the control unit 8 controls the liquid filling apparatus 7 to perform the filling and discharging of the non-coating liquid to the coating head 4 and the filling of the coating liquid.

次に、塗布ヘッド４及び液充填装置７について詳しく説明する。   Next, the coating head 4 and the liquid filling device 7 will be described in detail.

図２に示すように、塗布ヘッド４は、液体（非塗布液や塗布液）が流入する流入口４ａと、液体が流出する流出口４ｂと、流入口４ａ及び流出口４ｂをつなぐ液体流路４ｃと、その液体流路４ｃにつながる複数のノズルＮを有するノズルプレート４ｄとを備えている。この塗布ヘッド４は、ステージ２の上方からステージ２上の塗布対象物Ｗの表面に向けて各ノズルＮから個別に液滴を吐出する。   As shown in FIG. 2, the coating head 4 has a liquid flow path connecting an inlet 4 a into which a liquid (non-coating liquid or coating liquid) flows, an outlet 4 b from which the liquid flows out, an inlet 4 a and an outlet 4 b. 4c and a nozzle plate 4d having a plurality of nozzles N connected to the liquid flow path 4c. The coating head 4 discharges droplets individually from the nozzles N toward the surface of the object to be coated W on the stage 2 from above the stage 2.

流入口４ａは塗布ヘッド４の上面に形成されており、液体流路４ｃの一端の開口となる。また、流出口４ｂも塗布ヘッド４における流入口４ａが形成された上面と同じ面にその流入口４ａと反対側の端部に位置付けられて形成されており、液体流路４ｃの他端の開口となる。液体流路４ｃは屈曲する複雑な流路に構成されており、その液体流路４ｃの内壁面は非塗布液及び塗布液に対する親液性、少なくとも非塗布液に対する親液性（非塗布液が水である場合には親水性）を有する。ノズルプレート４ｄは塗布ヘッド４の下面に着脱可能に設けられており、各ノズルＮは所定間隔で直線状に並ぶようにノズルプレート４ｄに形成されている。なお、一例として、塗布ヘッド４は各ノズルＮの並び方向がＸ軸方向（図１中）に対して平行になるように配置されている。   The inflow port 4a is formed on the upper surface of the coating head 4 and serves as an opening at one end of the liquid flow path 4c. The outlet 4b is also formed on the same surface as the upper surface of the coating head 4 on which the inlet 4a is formed, and is located at the end opposite to the inlet 4a, and the opening of the other end of the liquid channel 4c. It becomes. The liquid flow path 4c is configured as a complicated flow path that is bent, and the inner wall surface of the liquid flow path 4c is lyophilic to the non-coating liquid and the coating liquid, at least lyophilic to the non-coating liquid (non-coating liquid When it is water, it has hydrophilicity. The nozzle plate 4 d is detachably provided on the lower surface of the coating head 4, and the nozzles N are formed on the nozzle plate 4 d so as to be linearly arranged at predetermined intervals. In addition, as an example, the coating head 4 is arrange | positioned so that the sequence direction of each nozzle N may become parallel with respect to the X-axis direction (in FIG. 1).

ここで、図３に示すように、塗布ヘッド４は、ノズルＮ毎の液室１１と、前述の液体流路４ｃの一部である主管路１２と、その主管路１２及び各液室１１をつなげる複数本の枝管路１３と、各液室１１の容積を変化させるための可撓板１４と、可撓板１４を変形させる複数の圧電素子１５とを備えている。なお、液体流路４ｃとしては、主管路１２だけではなく、ノズルＮや液室１１、枝管路１３も含まれる。各圧電素子１５には、それぞれ駆動電圧が制御部８の制御に応じて印加される。この塗布ヘッド４は、吐出対象のノズルＮに対応する圧電素子１５により可撓板１４を変形させ、吐出対象のノズルＮにつながる液室１１の容積を変えて、その液室１１内の塗布液をノズルＮから押し出して吐出する。このときの液室１１、すなわち液体流路４ｃは塗布液によって満たされている。塗布液としては、例えば、配向膜材料や顔料、接着剤、金属や樹脂の微粒子など、塗布対象物Ｗの表面上に残留する溶質及びその溶質を溶解（分散）させる溶媒を含む溶液を用いることが可能である。   Here, as shown in FIG. 3, the coating head 4 includes the liquid chamber 11 for each nozzle N, the main pipe line 12 which is a part of the liquid flow path 4 c described above, and the main pipe line 12 and the liquid chambers 11. A plurality of branch conduits 13 to be connected, a flexible plate 14 for changing the volume of each liquid chamber 11, and a plurality of piezoelectric elements 15 for deforming the flexible plate 14 are provided. The liquid flow path 4c includes not only the main pipe 12 but also the nozzle N, the liquid chamber 11, and the branch pipe 13. A driving voltage is applied to each piezoelectric element 15 in accordance with the control of the control unit 8. The coating head 4 deforms the flexible plate 14 by the piezoelectric element 15 corresponding to the nozzle N to be discharged, changes the volume of the liquid chamber 11 connected to the nozzle N to be discharged, and changes the coating liquid in the liquid chamber 11 Is ejected from the nozzle N. The liquid chamber 11 at this time, that is, the liquid flow path 4c is filled with the coating liquid. As the coating solution, for example, a solution containing a solute which remains on the surface of the object to be coated W and a solvent for dissolving the solute, such as an alignment film material, a pigment, an adhesive, fine particles of metal or resin, is used. Is possible.

なお、前述の塗布ヘッド４は、液体（非塗布液又は塗布液）の充填時など、ステージ搬送部３によってステージ２が移動することで、そのステージ２の側面に設けられた液受け部（不図示）の上方に位置する。これにより、塗布ヘッド４の液体流路４ｃに液体を充填する際に、各ノズルＮから流れ出た液体は液受け部（不図示）によって回収されることになる。このとき、流れ出る液体の量、特に塗布液の量は極力抑えられているが、回収された液体を再利用することも可能である。   The application head 4 described above is a liquid receiver (not shown) provided on the side surface of the stage 2 by the movement of the stage 2 by the stage conveyance unit 3, for example, when filling a liquid (non-application liquid or application liquid). Shown above). Thereby, when the liquid flow path 4c of the application head 4 is filled with the liquid, the liquid flowing out from each nozzle N is collected by the liquid receiving portion (not shown). At this time, although the amount of the liquid flowing out, in particular, the amount of the coating liquid is suppressed as much as possible, it is also possible to reuse the collected liquid.

図２に戻り、液充填装置７は、液体を貯留する加圧タンク（第１貯留部）２１及び供給タンク（第２貯留部）２２と、液体又は気体の流路となる複数の配管２３ａ〜２３ｏと、液体又は気体の流れを制御する複数の開閉弁２４ａ〜２４ｐとを備えている。各配管２３ａ〜２３ｏとしては、例えば各種パイプやチューブなどを用いることが可能である。また、各開閉弁２４ａ〜２４ｐとしては、例えば電磁弁やエアオペレートバルブなどを用いることが可能である。これらの開閉弁２４ａ〜２４ｐは、それぞれ制御部８に電気的に接続されており、それらの駆動が制御部８により制御される。   Returning to FIG. 2, the liquid filling device 7 includes a pressurized tank (first storage portion) 21 and a supply tank (second storage portion) 22 for storing liquid, and a plurality of pipes 23 a to be channels for liquid or gas. 23 o and a plurality of on-off valves 24 a to 24 p that control the flow of liquid or gas. For example, various pipes and tubes can be used as the pipes 23a to 23o. Moreover, as each on-off valve 24a-24p, it is possible to use a solenoid valve, an air operated valve, etc., for example. The on-off valves 24 a to 24 p are electrically connected to the control unit 8, and the drive of the on-off valves 24 a to 24 p is controlled by the control unit 8.

加圧タンク２１及び供給タンク２２は、第１接続管２３ａ及び第２接続管２３ｂにより接続されており、液体の循環が可能に構成されている。第１接続管２３ａの途中には開閉弁２４ａが設けられており、第２接続管２３ｂの途中には第１開閉弁２４ｂ及び第２開閉弁２４ｃが設けられている。   The pressurization tank 21 and the supply tank 22 are connected by the first connection pipe 23a and the second connection pipe 23b, and are configured to be able to circulate a liquid. An open / close valve 24a is provided in the middle of the first connection pipe 23a, and a first open / close valve 24b and a second open / close valve 24c are provided in the middle of the second connection pipe 23b.

第１接続管２３ａの一端は加圧タンク２１の下面に取り付けられており、その他端は供給タンク２２の下面に取り付けられている。また、第２接続管２３ｂの一端は供給タンク２２内の底部付近まで延びており、その他端は加圧タンク２１内に、液体が加圧タンク２１の内壁面に沿って流れていくように設けられている。これにより、第２接続管２３ｂの一端から加圧タンク２１内に流れ出た液体は、加圧タンク２１の内壁面に沿って流れるため、加圧タンク２１内の液面が乱れることを抑制し、液体中に気泡が発生することを抑えることが可能である。   One end of the first connection pipe 23 a is attached to the lower surface of the pressure tank 21, and the other end is attached to the lower surface of the supply tank 22. Further, one end of the second connection pipe 23 b extends to near the bottom in the supply tank 22, and the other end is provided in the pressure tank 21 so that the liquid flows along the inner wall surface of the pressure tank 21. It is done. As a result, the liquid that has flowed out into the pressure tank 21 from one end of the second connection pipe 23b flows along the inner wall surface of the pressure tank 21, so that the liquid level in the pressure tank 21 is prevented from being disturbed. It is possible to suppress the generation of air bubbles in the liquid.

加圧タンク２１には、液体供給管２３ｃ、大気開放管２３ｄ、気体供給管２３ｅ及び液体排出管２３ｆが接続されている。液体供給管２３ｃの途中には開閉弁２４ｄが設けられており、大気開放管２３ｄの途中には開閉弁２４ｅが設けられており、気体供給管２３ｅの途中には開閉弁２４ｆが設けられており、液体排出管２３ｆの途中には開閉弁２４ｇが設けられている。なお、液体供給管２３ｃの一端は加圧タンク２１内に、前述の第２接続管２３ｂの加圧タンク２１側の端部と同様、液体が加圧タンク２１の内壁面に沿って流れていくように設けられている。   A liquid supply pipe 23 c, an air release pipe 23 d, a gas supply pipe 23 e, and a liquid discharge pipe 23 f are connected to the pressure tank 21. An open / close valve 24d is provided in the middle of the liquid supply pipe 23c, an open / close valve 24e is provided in the middle of the air release pipe 23d, and an open / close valve 24f is provided in the middle of the gas supply pipe 23e. An open / close valve 24g is provided in the middle of the liquid discharge pipe 23f. The liquid flows into the pressurizing tank 21 along the inner wall surface of the pressurizing tank 21 like the end of the second connection pipe 23b on the pressurizing tank 21 side. It is provided as.

供給タンク２２には、液体供給管２３ｇ、大気開放管２３ｈ、気体供給管２３ｉ及び液体排出管２３ｊが接続されている。液体供給管２３ｇの途中には開閉弁２４ｈが設けられており、大気開放管２３ｈの途中には開閉弁２４ｉが設けられており、気体供給管２３ｉの途中には開閉弁２４ｊが設けられており、液体排出管２３ｊの途中には開閉弁２４ｋが設けられている。なお、液体供給管２３ｇの一端は供給タンク２２内に、前述の第２接続管２３ｂの加圧タンク２１側の端部と同様、液体が供給タンク２２の内壁面に沿って流れていくように設けられている。   A liquid supply pipe 23g, an air release pipe 23h, a gas supply pipe 23i, and a liquid discharge pipe 23j are connected to the supply tank 22. An open / close valve 24h is provided in the middle of the liquid supply pipe 23g, an open / close valve 24i is provided in the middle of the air release pipe 23h, and an open / close valve 24j is provided in the middle of the gas supply pipe 23i. An open / close valve 24k is provided in the middle of the liquid discharge pipe 23j. One end of the liquid supply pipe 23g is in the supply tank 22 so that the liquid flows along the inner wall surface of the supply tank 22 similarly to the end of the second connection pipe 23b on the pressure tank 21 side. It is provided.

ここで、加圧タンク２１には、液体供給管２３ｃから非塗布液の一例として水Ａ１又は塗布液の一例としてインクＡ２が供給され、供給タンク２２にも液体供給管２３ｇから、加圧タンク２１に供給された液体と同じ液体、すなわち水Ａ１又はインクＡ２が供給される。なお、非塗布液の一例として水Ａ１及び塗布液の一例としてインクＡ２を用いているが、これに限るものではなく、他の液体を用いることも可能である。例えば、非塗布液としては、インクＡ２に含まれる水Ａ１、すなわち塗布液に含まれる溶媒を用いているが、溶媒以外にも、塗布液と非反応性の液体などを用いることができる。   Here, water A1 as an example of a non-coating liquid or ink A2 as an example of a coating liquid is supplied to the pressure tank 21 from the liquid supply pipe 23c, and the pressure tank 21 is also supplied to the supply tank 22 from the liquid supply pipe 23g. The same liquid as the liquid supplied to the water, that is, water A1 or ink A2 is supplied. In addition, although water A1 is used as an example of a non-coating liquid, and ink A2 is used as an example of a coating liquid, it is not restricted to this, It is also possible to use another liquid. For example, as the non-coating liquid, water A1 contained in the ink A2, that is, a solvent contained in the coating liquid is used, but besides the solvent, a liquid non-reactive with the coating liquid can be used.

また、供給タンク２２内の液面高さは、塗布ヘッド４への塗布液充填後、通常、塗布ヘッド４のノズル面（図２中の下面）の高さとの水頭差Ｂ１が所定値（例えば、同じ高さを０とすると−１０ｍｍ程度）となり、塗布ヘッド４内の液体が負圧により各ノズルＮから漏れ出さないように設定されている。なお、塗布ヘッド４のノズルＮから塗布液が吐出されると、そのノズルＮにつながる液室１１が減圧するため、その液室１１につながる枝管路１３内の塗布液が液室１１に引き込まれる。これにより、液室１１は常に塗布液により満たされるため、液滴を連続して吐出することが可能となる。   Further, as for the liquid level in the supply tank 22, the difference in water head B1 with the height of the nozzle surface (the lower surface in FIG. 2) of the coating head 4 is usually a predetermined value (for example, Assuming that the same height is 0, it becomes about −10 mm), and the liquid in the coating head 4 is set so as not to leak from each nozzle N due to the negative pressure. When the coating liquid is discharged from the nozzle N of the coating head 4, the liquid chamber 11 connected to the nozzle N is decompressed, so the coating liquid in the branch conduit 13 connected to the liquid chamber 11 is drawn into the liquid chamber 11. Be As a result, the liquid chamber 11 is always filled with the coating liquid, so that it is possible to discharge droplets continuously.

第２接続管２３ｂには、開閉弁２４ｂに並列に開閉弁２４ｌが循環管２３ｋにより接続されている。また、循環管２３ｋには、開閉弁２４ｂ及び開閉弁２４ｌに並列に塗布ヘッド４が流入管２３ｌ及び流出管２３ｍにより接続されている。なお、図２では、例示のため、塗布ヘッド４が一つしか示されていないが、他の塗布ヘッド４も前述と同様に並列に接続されている。流入管２３ｌの一端は循環管２３ｋの途中（循環管２３ｋにおける開閉弁２４ｌより上流側）に接続されており、その他端が塗布ヘッド４の流入口４ａに接続されている。また、流出管２３ｍの一端は循環管２３ｋの途中（循環管２３ｋにおける開閉弁２４ｌより下流側）に接続されており、その他端が塗布ヘッド４の流出口４ｂに接続されている。   An on-off valve 24l is connected to the second connection pipe 23b in parallel with the on-off valve 24b by a circulation pipe 23k. In addition, the coating head 4 is connected to the circulation pipe 23 k in parallel with the on-off valve 24 b and the on-off valve 24 l by the inflow pipe 23 l and the outflow pipe 23 m. Although only one coating head 4 is shown in FIG. 2 for illustration, the other coating heads 4 are also connected in parallel in the same manner as described above. One end of the inflow pipe 23 l is connected to the middle of the circulation pipe 23 k (upstream from the on-off valve 24 l in the circulation pipe 23 k), and the other end is connected to the inflow port 4 a of the coating head 4. In addition, one end of the outflow pipe 23m is connected to the middle of the circulation pipe 23k (downstream of the on-off valve 24l in the circulation pipe 23k), and the other end is connected to the outflow port 4b of the coating head 4.

流入管２３ｌの途中には開閉弁２４ｍが設けられており、流出管２３ｍの途中には開閉弁２４ｎが設けられている。さらに、流入管２３ｌの途中（流入管２３ｌにおける開閉弁２４ｍより下流側）には交換流入管２３ｎが接続されており、流出管２３ｍの途中（流出管２３ｍにおける開閉弁２４ｎより上流側）には交換流出管２３ｏが接続されている。交換流入管２３ｎの途中には開閉弁２４ｏが設けられており、交換流出管２３ｏの途中には開閉弁２４ｐが設けられている。交換流入管２３ｎ及び交換流出管２３ｏは、塗布ヘッド交換時の液使用量削減のため、交換後の塗布ヘッド４内の液体流路４ｃに容器（不図示）内の水を充填し、その後、充填した水を液体流路４ｃから排出する場合に用いられる（詳しくは後述する）。このとき、水の充填や排出のためには、例えばガス圧を用いることが可能である。   An open / close valve 24m is provided in the middle of the inflow pipe 23l, and an open / close valve 24n is provided in the middle of the outflow pipe 23m. Furthermore, the exchange inflow pipe 23n is connected to a portion in the inflow pipe 23l (downstream of the on / off valve 24m in the inflow pipe 23l), and in the middle of the outflow pipe 23m (upstream from the on / off valve 24n in the outflow pipe 23m) The exchange outflow pipe 23o is connected. An on-off valve 24 o is provided in the middle of the exchange inflow pipe 23 n, and an on-off valve 24 p is provided in the middle of the exchange outflow pipe 23 o. The exchange inflow pipe 23 n and the exchange outflow pipe 23 o fill the liquid flow path 4 c in the application head 4 after replacement with water in a container (not shown) in order to reduce the amount of liquid used at the time of application head replacement. It is used when discharging the filled water from the liquid channel 4c (details will be described later). At this time, it is possible to use, for example, gas pressure for filling and discharging water.

なお、液体（水Ａ１やインクＡ２）の充填や排出のための手段としては、前述のように気体を用いる手段に限るものではなく、例えば、液体に圧をかけるため、加圧タンク２１や供給タンク２２内に圧力をかける加圧ポンプを設けることや配管の途中に送液ポンプを設けることも可能であり、また、水頭差を用いることも可能であり、各種手段を用いることができる。   The means for filling or discharging the liquid (water A1 or ink A2) is not limited to the means using gas as described above, and, for example, to apply pressure to the liquid, the pressure tank 21 or the supply may be used. It is also possible to provide a pressure pump for applying pressure in the tank 22, to provide a liquid feed pump in the middle of piping, or to use a water head difference, and various means can be used.

次に、前述の液充填装置７が行う液充填処理について図４を参照して説明する。塗布装置１の制御部８が各種情報及び各種プログラムに基づいて液充填処理を実行する。ここで、塗布ヘッド４に対する液充填準備として、塗布ヘッド４は液受け部（不図示）上に位置しており、全開閉弁２４ａ〜２４ｐが閉状態にされている（図２参照）。また、加圧タンク２１及び供給タンク２２は水Ａ１を貯留していない状態である。なお、水Ａ１はインクＡ２よりも粘度が低い液である。   Next, the liquid filling process performed by the above-described liquid filling apparatus 7 will be described with reference to FIG. The control unit 8 of the coating device 1 executes the liquid filling process based on the various information and the various programs. Here, as preparation for liquid filling of the coating head 4, the coating head 4 is located on the liquid receiving portion (not shown), and all the on-off valves 24a to 24p are closed (see FIG. 2). Moreover, the pressurization tank 21 and the supply tank 22 are in the state which is not storing water A1. The water A1 is a liquid having a viscosity lower than that of the ink A2.

図４に示すように、水Ａ１の充填が塗布ヘッド４に対して行われ（ステップＳ１）、水Ａ１の充填完了後、その水Ａ１の排出が塗布ヘッド４に対して行われ（ステップＳ２）、さらに、水Ａ１の排出完了後、インクＡ２の充填が塗布ヘッド４に対して行われる（ステップＳ３）。これにより、塗布ヘッド４に対するインクＡ２の充填前に、水Ａ１が塗布ヘッド４内に充填され、その後、充填された水Ａ１が塗布ヘッド４内から排出されてから、水Ａ１が排出された塗布ヘッド４内にインクＡ２が充填されることになる。   As shown in FIG. 4, the filling of the water A1 is performed to the coating head 4 (step S1), and after the filling of the water A1 is completed, the discharging of the water A1 is performed to the coating head 4 (step S2) Furthermore, after the discharge of the water A1 is completed, the filling of the ink A2 is performed on the application head 4 (step S3). As a result, the water A1 is filled into the application head 4 before the ink A2 is filled into the application head 4, and then the filled water A1 is discharged from the application head 4 and then the water A1 is discharged. The ink A2 is filled in the head 4.

ステップＳ１の水Ａ１の充填（非塗布液充填工程）では、図２中の開閉弁２４ｅ、２４ｉ、２４ａ、２４ｄ及び２４ｈが開状態にされる。これに応じて、水Ａ１が液体供給管２３ｃから加圧タンク２１に流れ込み、液体供給管２３ｇから供給タンク２２に流れ込み、各タンク２１及び２２の液面高さがそれぞれ所定高さとなると、開閉弁２４ｄや２４ｈ、２４ａ、２４ｉが閉状態にされる。例えば、供給タンク２２内の液面の所定高さは、供給タンク２２内の水Ａ１が塗布ヘッド４の液体流路４ｃや配管を満たすことが可能な量になる高さである。次いで、開閉弁２４ｃ、２４ｌ、２４ｎ、２４ｍ及び２４ｊが開状態にされる。これに応じて、気体（一例としてＮ２）が供給タンク２２内に流れ込み、そのガス圧によって供給タンク２２内の水Ａ１が第２接続管２３ｂに押し出される。押し出された水Ａ１は、第２接続管２３ｂの一部、循環管２３ｋの一部及び流入管２３ｌを流れ、塗布ヘッド４の流入口４ａから塗布ヘッド４内の液体流路４ｃに流れ込み、その塗布ヘッド４内の液体流路４ｃに充填される。その後、液体流路４ｃの主管路１２を通り塗布ヘッド４の流出口４ｂから流れ出た水Ａ１は、流出管２３ｍ、循環管２３ｋの一部及び第２接続管２３ｂの一部を通り、加圧タンク２１内に流れ込む。また、主管路１２につながる枝管路１３を通過した水Ａ１は液室１１及びノズルＮまで流れ、そのノズルＮから漏れ出す。この漏れ出した水Ａ１は、塗布ヘッド４の下方の液受け部（不図示）により回収される。なお、液使用量削減のためには、回収した水Ａ１を再利用することも可能である。 In the filling of the water A1 in step S1 (non-coating liquid filling step), the on-off valves 24e, 24i, 24a, 24d and 24h in FIG. 2 are opened. Accordingly, when the water A1 flows from the liquid supply pipe 23c into the pressure tank 21 and from the liquid supply pipe 23g into the supply tank 22 and the liquid level of each of the tanks 21 and 22 becomes a predetermined height, the on-off valve 24d, 24h, 24a, 24i are closed. For example, the predetermined height of the liquid level in the supply tank 22 is such that the water A1 in the supply tank 22 can fill the liquid flow path 4c and piping of the application head 4. Next, the on-off valves 24c, 24l, 24n, 24m and 24j are opened. In response to this, a gas (for example, N 2 ) flows into the supply tank 22, and the water pressure in the supply tank 22 pushes out the water A1 in the supply tank 22 to the second connection pipe 23b. The extruded water A1 flows through a part of the second connection pipe 23b, a part of the circulation pipe 23k, and the inflow pipe 23l, and flows into the liquid flow path 4c in the coating head 4 from the inlet 4a of the coating head 4 The liquid flow path 4 c in the application head 4 is filled. Thereafter, the water A1 flowing out from the outlet 4b of the coating head 4 through the main pipe line 12 of the liquid flow path 4c passes through the outflow pipe 23m, a part of the circulation pipe 23k and a part of the second connection pipe 23b It flows into the tank 21. Further, the water A1 having passed the branch conduit 13 connected to the main conduit 12 flows to the liquid chamber 11 and the nozzle N, and leaks from the nozzle N. The leaked water A1 is collected by a liquid receiving portion (not shown) below the coating head 4. In addition, in order to reduce the amount of liquid used, it is also possible to reuse the recovered water A1.

ここで、前述の非塗布液充填では、開閉弁２４ｅ、２４ｃ、２４ｌ及び２４ｎを開状態にしておき、塗布ヘッド４の主管路１２を通過した水Ａ１を加圧タンク２１内に戻しているが、これに限るものではなく、開閉弁２４ｅ、２４ｃ、２４ｌ及び２４ｎを閉状態にしておき、塗布ヘッド４の各ノズルＮから水Ａ１を漏れ出させつつ、液体流路４ｃに水Ａ１を充填するようにしても良い。また、供給タンク２２内の液面高さが前述の所定高さより低いような場合には、液体供給管２３ｇからの水Ａ１の供給以外にも、開閉弁２４ｉ、２４ａ及び２４ｆだけを開状態とし、気体（一例としてＮ２）のガス圧により加圧タンク２１から供給タンク２２に水Ａ１を供給し、供給タンク２２内の液面高さを所定高さにすることも可能である。さらに、加圧タンク２１が供給タンク２２よりも高い位置に設置されている場合には、水Ａ１の自重だけで供給することもできる。 Here, in the non-coating liquid filling described above, the open / close valves 24e, 24c, 24l and 24n are kept open, and the water A1 which has passed through the main pipeline 12 of the coating head 4 is returned into the pressure tank 21. However, the invention is not limited thereto, and the open / close valves 24e, 24c, 24l and 24n are closed, and the water A1 is filled in the liquid flow path 4c while leaking the water A1 from each nozzle N of the application head 4 You may do so. When the liquid level in the supply tank 22 is lower than the above-described predetermined height, only the on-off valves 24i, 24a and 24f are opened in addition to the supply of the water A1 from the liquid supply pipe 23g. It is also possible to supply the water A1 from the pressure tank 21 to the supply tank 22 by the gas pressure of a gas (N 2 as an example), and to set the liquid level in the supply tank 22 to a predetermined height. Furthermore, when the pressurization tank 21 is installed in the position higher than the supply tank 22, it can also supply only with the weight of water A1.

ステップＳ２の水Ａ１の排出（非塗布液排出工程）では、水Ａ１の充填完了後（充填開始から所定充填時間が経過した後）、開閉弁２４ｊは開状態に維持され、気体が供給タンク２２内に流れ込んでおり、供給タンク２２内に残る水Ａ１はガス圧によって第２接続管２３ｂに押し出される。その後、供給タンク２２内の水Ａ１が無くなると、気体が第２接続管２３ｂの一部、循環管２３ｋの一部及び流入管２３ｌを流れ、塗布ヘッド４の流入口４ａから塗布ヘッド４内の液体流路４ｃに流れ込む。この気体の流れによって塗布ヘッド４の液体流路４ｃ内の水Ａ１は、前述と同じように、加圧タンク２１内に流れ込んだり、各ノズルＮから漏れ出したりし、塗布ヘッド４内の液体流路４ｃから水Ａ１が排出される。このとき、第２接続管２３ｂ、循環管２３ｋ、流入管２３ｌ及び流出管２３ｋなども水Ａ１が排出された状態となる。ここで、塗布ヘッド４の液体流路４ｃの内壁面は水Ａ１により濡れた状態となり、次工程で、内壁面が濡れた状態の液体流路４ｃに対してインクＡ２の充填が行われることになる。この液体流路４ｃの内壁面が濡れた状態とは、液体流路４ｃ内が水Ａ１により満たされて水Ａ１が液体流路４ｃの内壁面に接触している状態ではなく、液体流路４ｃ内の水Ａ１が排出されて水Ａ１が液体流路４ｃの内壁面に付着している状態（例えば内壁面に部分的に付着している状態）である。液体流路４ｃの内壁面に付着している水Ａ１の周囲には空気が存在している。   In the discharge of the water A1 in step S2 (non-coating liquid discharge step), after the filling of the water A1 is completed (after the predetermined filling time has elapsed from the start of filling), the on-off valve 24j is kept open and the gas is supplied to the supply tank 22. The water A1 flowing into the inside and remaining in the supply tank 22 is pushed out to the second connection pipe 23b by the gas pressure. After that, when the water A1 in the supply tank 22 is exhausted, the gas flows through a part of the second connection pipe 23b, a part of the circulation pipe 23k and the inflow pipe 23l. It flows into the liquid channel 4c. By the flow of the gas, the water A1 in the liquid flow path 4c of the coating head 4 flows into the pressurizing tank 21 or leaks out from each nozzle N as described above, and the liquid flow in the coating head 4 Water A1 is discharged from the passage 4c. At this time, the second connection pipe 23b, the circulation pipe 23k, the inflow pipe 23l, the outflow pipe 23k, and the like are also in a state where the water A1 is discharged. Here, the inner wall surface of the liquid flow path 4c of the application head 4 is wetted by the water A1, and in the next step, the ink A2 is filled into the liquid flow path 4c in the wetted inner wall surface. Become. The state in which the inner wall surface of the liquid flow channel 4c is wet does not mean that the liquid flow channel 4c is filled with the water A1 and the water A1 is in contact with the inner wall surface of the liquid flow channel 4c. It is a state in which the water A1 inside is discharged and the water A1 adheres to the inner wall surface of the liquid flow path 4c (for example, a state in which the water A1 partially adheres to the inner wall surface). Air is present around the water A1 adhering to the inner wall surface of the liquid flow path 4c.

ステップＳ３のインクＡ２の充填（塗布液充填工程）では、水Ａ１の排出完了後（排出開始から所定排出時間が経過した後）、開閉弁２４ｊ、２４ｍ、２４ｎ、２４ｌ及び２４ｃが閉状態にされ、開閉弁２４ｅは開状態のまま、開閉弁２４ｉが開状態にされ、その後、加圧タンク２１及び供給タンク２２内の水Ａ１がインクＡ２に交換される。まず、開閉弁２４ｇ及び２４ｋが開状態にされ、加圧タンク２１内の水Ａ１が液体排出管２３ｆを通って排出され、供給タンク２２内に水Ａ１が残っていたならば、残っていた水Ａ１が液体排出管２３ｊを通って排出される。加圧タンク２１内の水Ａ１が完全に排出された後、開閉弁２４ｅ及び２４ｇが閉状態にされ、開閉弁２４ａ及び２４ｆが開状態にされると、第１接続管２３ａ内に残る水Ａ１がガス圧によって供給タンク２２内に流れ込み、液体排出管２３ｊを通って排出される。その排出後、開閉弁２４ｆ及び２４ｋが閉状態にされ、開閉弁２４ｅ、２４ｄ及び２４ｈが開状態にされる。これに応じて、インクＡ２が液体供給管２３ｃから加圧タンク２１に流れ込み、液体供給管２３ｇから供給タンク２２に流れ込み、各タンク２１及び２２の液面高さがそれぞれ所定高さとなると、開閉弁２４ｄ、２４ｈ、２４ａ及び２４ｉが閉状態にされる。なお、液使用量削減のためには、加圧タンク２１及び供給タンク２２から排出した水Ａ１をタンク（不図示）などによって回収し、再利用することも可能である。次いで、液交換後、前述の非塗布液充填と同様、ガス圧による充填手順で、塗布ヘッド４内にインクＡ２が充填される。なお、塗布ヘッド４に対するインクＡ２の充填後、供給タンク２２の液面高さは、塗布ヘッド４のノズル面高さとの水頭差Ｂ１が所定値となるように調整される。   In the filling of the ink A2 in the step S3 (coating liquid filling step), after the discharge of the water A1 is completed (after the predetermined discharge time has elapsed from the discharge start), the on-off valves 24j, 24m, 24n, 24l and 24c are closed. The on-off valve 24i is opened while the on-off valve 24e is open, and then the water A1 in the pressure tank 21 and the supply tank 22 is replaced with the ink A2. First, if the open / close valves 24g and 24k are opened, the water A1 in the pressure tank 21 is discharged through the liquid discharge pipe 23f, and the water A1 remains in the supply tank 22, the remaining water is A1 is discharged through the liquid discharge pipe 23j. After the water A1 in the pressurized tank 21 is completely drained, when the on-off valves 24e and 24g are closed and the on-off valves 24a and 24f are opened, the water A1 remaining in the first connection pipe 23a Flows into the supply tank 22 by the gas pressure and is discharged through the liquid discharge pipe 23j. After the discharge, the on-off valves 24f and 24k are closed, and the on-off valves 24e, 24d and 24h are opened. Accordingly, when the ink A2 flows from the liquid supply pipe 23c into the pressure tank 21 and from the liquid supply pipe 23g into the supply tank 22 and the liquid level of each of the tanks 21 and 22 reaches a predetermined height, the on-off valve 24d, 24h, 24a and 24i are closed. In order to reduce the amount of liquid used, the water A1 discharged from the pressure tank 21 and the supply tank 22 can be recovered by a tank (not shown) or the like and reused. Then, after the liquid replacement, the ink A 2 is filled in the coating head 4 in the filling procedure by gas pressure as in the non-coating liquid filling described above. In addition, after filling the ink A2 into the application head 4, the liquid level of the supply tank 22 is adjusted so that the water head difference B1 with respect to the nozzle surface height of the application head 4 becomes a predetermined value.

このような液充填処理によれば、塗布ヘッド４の液体流路４ｃにインクＡ２を充填する前に、液体流路４ｃに水Ａ１を充填し、その後、充填した水Ａ１を液体流路４ｃから排出することによって、液体流路４ｃ内の各隅部にインクＡ２よりも粘度が低い水Ａ１を付着させ、その付着後に液体流路４ｃ内にインクＡ２を充填する。つまり、液体流路４ｃにインクＡ２を充填する前に、インクＡ２が行き渡り難く空気が残り易い隅部にあらかじめ水Ａ１を付着させておく。これにより、液体流路４ｃにインクＡ２を供給したとき、インクＡ２が液体流路４ｃの隅部に行き渡らなかったとしても、その隅部には水Ａ１が付着しているため、空気が隅部に閉じ込められることを防止することが可能となり、インクＡ２の充填後、隅部に気泡が残ることを抑えることができる。さらに、非塗布液としてインクＡ２の溶媒である水Ａ１を用いることで、インクＡ２は非塗布液に馴染みやすくなる。このため、塗布ヘッド４の液体流路４ｃに供給されたインクＡ２は、液体流路４ｃの隅部に付着した非塗布液に接すると、この非塗布液と混ざりあい、隅部まで広がるため、隅部に空気が残ることを確実に抑えることができる。   According to such a liquid filling process, before the liquid flow path 4c of the application head 4 is filled with the ink A2, the water flow path 4c is filled with the water A1, and then the filled water A1 from the liquid flow path 4c By discharging, the water A1 having a viscosity lower than that of the ink A2 is attached to each corner in the liquid flow path 4c, and the ink A2 is filled in the liquid flow path 4c after the adhesion. That is, before filling the liquid flow path 4c with the ink A2, the water A1 is attached in advance to the corner portion where the ink A2 is hard to spread and the air tends to remain. Thereby, when the ink A2 is supplied to the liquid flow path 4c, even if the ink A2 does not reach the corner of the liquid flow path 4c, the water A1 adheres to the corner, so the air is in the corner It is possible to prevent the air bubbles from remaining in the corners after the ink A2 is filled. Furthermore, by using water A1 which is a solvent of ink A2 as a non-coating liquid, ink A2 can be easily adapted to the non-coating liquid. Therefore, when the ink A2 supplied to the liquid flow path 4c of the application head 4 comes in contact with the non-coating liquid attached to the corner of the liquid flow path 4c, it mixes with the non-coating liquid and spreads to the corner. Air can be reliably suppressed from remaining in the corners.

ここで、水Ａ１は前述の充填及び排出後に液体流路４ｃの隅部（角部）に付着しているが、液体流路４ｃの隅部に直接付着したり、あるいは、液体流路４ｃの内壁面（隅部を含む領域）に一度付着し、その後、水Ａ１の排出時の気体の流れによって隅部に向かって移動又は広がり、隅部に付着したりする。液体流路４ｃの内壁面は親水性を有しているため、水１は内壁面に広がりやすく、隅部まで行き渡り易い。   Here, the water A1 adheres to the corner (corner) of the liquid channel 4c after the above-mentioned filling and discharging, but directly adheres to the corner of the liquid channel 4c, or It once adheres to the inner wall surface (region including the corner), and then moves or spreads toward the corner and adheres to the corner by the gas flow at the time of discharge of the water A1. Since the inner wall surface of the liquid flow path 4c has hydrophilicity, the water 1 is likely to spread on the inner wall surface and easily spread to the corner.

また、インクＡ２の粘度が１０ｍＰａ・ｓを超えると、液体流路４ｃの隅部に気泡が残留する割合が増加することが実験によりわかっているが、このような粘度のインクＡ２を用いた場合でも、例えば、液体流路４ｃの隅部にインクＡ２よりも粘度が低い水Ａ１を供給しておくことで、インクＡ２の充填時に気泡が残ることを効果的に防ぐことができる。なお、非塗布液は、塗布液よりも粘度が低い液に限られるものではないが、隅部に確実に非塗布液を行き渡らせるためには粘度が低い方が好ましい。   In addition, it is known from experiments that the ratio of air bubbles remaining at the corners of the liquid flow path 4c increases when the viscosity of the ink A2 exceeds 10 mPa · s, but when the ink A2 having such viscosity is used However, for example, by supplying water A1 having a viscosity lower than that of the ink A2 to the corner of the liquid flow path 4c, it is possible to effectively prevent the air bubbles from remaining when the ink A2 is filled. Although the non-coating liquid is not limited to a liquid having a viscosity lower than that of the coating liquid, it is preferable that the viscosity be low in order to ensure that the non-coating liquid is distributed to the corners.

なお、塗布ヘッド４の液体流路４ｃに水Ａ１を充填した後、引き続きインクＡ２を充填する、すなわち水Ａ１を充填した状態の液体流路４ｃにインクＡ２を充填すると、水Ａ１とインクＡ２が混ざり合い、インクＡ２の濃度が薄くなる。このインクＡ２の濃度低下を防止するためには、充填した水Ａ１を液体流路４ｃから排出し、その排出後、液体流路４ｃ内が水Ａ１により満たされておらず、液体流路４ｃの内壁面が水Ａ１により濡れている状態、すなわち水Ａ１が内壁面に付着している状態の液体流路４ｃにインクＡ２を充填することが重要である。インクＡ２の濃度が薄くなると、インクＡ２の中に含まれている溶質の割合が少なくなるので、形成しようとする機能性膜の膜厚が所望の膜厚にならなったり、機能性膜の機能が絶縁性である場合には、所望の電気抵抗値が得られなかったりという、不具合が生じてしまう。   After the liquid flow path 4c of the application head 4 is filled with water A1, the ink A2 is continuously filled, that is, when the liquid flow path 4c filled with the water A1 is filled with the ink A2, the water A1 and the ink A2 are mixed. Mixing occurs, and the density of the ink A2 decreases. In order to prevent the concentration decrease of the ink A2, the filled water A1 is discharged from the liquid flow path 4c, and after the discharge, the inside of the liquid flow path 4c is not filled with the water A1. It is important to fill the ink flow path 4c with the inner wall surface being wetted by the water A1, that is, with the water A1 adhering to the inner wall surface. When the concentration of the ink A2 decreases, the proportion of the solute contained in the ink A2 decreases, so that the film thickness of the functional film to be formed becomes equal to the desired film thickness, or the function of the functional film In the case of an insulating property, a problem occurs in that a desired electrical resistance value can not be obtained.

ここで、液充填装置７につながる塗布ヘッド４を交換する場合には、交換対象の塗布ヘッド４に対応する開閉弁２４ｍ、２４ｎ、２４ｏ及び２４ｐが閉状態にされてから（あるいはそれらの閉状態が確認されてから）、交換対象の塗布ヘッド４が取り外されて交換される。その後、交換された塗布ヘッド４に対応する開閉弁２４ｏが開状態にされ、容器（不図示）内の水が交換流入管２３ｎ及び流入管２３ｌの一部を流れ、交換された塗布ヘッド４内の液体流路４ｃに充填される。その後、開閉弁２４ｐが開状態にされ、充填された水が塗布ヘッド４内の液体流路４ｃから排出され、流出管２３ｍの一部及び交換流出管２３ｏを流れる。このような水の充填及び排出後には、前述の塗布液充填と同じように、交換された塗布ヘッド４に対応する開閉弁２４ｍ及び２４ｎなどが開状態にされ、塗布ヘッド４の液体流路４ｃにインクＡ２が充填される。これにより、交換された塗布ヘッド４の液体流路４ｃ、流入管２３ｌの一部及び流出管２３ｍの一部にのみインクＡ２を充填すれば良く、インクＡ２の使用量及び充填時間を抑えることができる。なお、塗布ヘッド４を交換するためには、流入管２３ｌと流出管２３ｍから塗布ヘッド４を切り離す必要があるため、流入管２３ｌにおける交換流入管２３ｎと流入口４ａとの間、及び、流出管２３ｍにおける流出口４ｂと交換流出管２３ｏとの間に、それぞれ着脱式の継手を設けておくと良い。   Here, when the application head 4 connected to the liquid filling device 7 is replaced, the on-off valves 24m, 24n, 24o and 24p corresponding to the application head 4 to be replaced are closed (or their closed state) After that, the application head 4 to be replaced is removed and replaced. Thereafter, the on-off valve 24o corresponding to the replaced coating head 4 is opened, and water in a container (not shown) flows through the replacement inlet pipe 23n and a part of the inlet pipe 23l. The liquid channel 4c of the Thereafter, the on-off valve 24p is opened, and the filled water is discharged from the liquid flow path 4c in the application head 4, and flows through a part of the outflow pipe 23m and the exchange outflow pipe 23o. After filling and discharging such water, the open / close valves 24m and 24n corresponding to the replaced coating head 4 are opened as in the case of the coating liquid filling described above, and the liquid channel 4c of the coating head 4 is opened. Is filled with the ink A2. Thus, the ink A2 may be filled only in the liquid flow path 4c of the replaced application head 4, a part of the inflow pipe 23l, and a part of the outflow pipe 23m, and the usage amount and the filling time of the ink A2 can be suppressed. it can. In addition, since it is necessary to separate application head 4 from inflow pipe 23l and outflow pipe 23m in order to exchange application head 4, between exchange inflow pipe 23n and inflow port 4a in inflow pipe 23l, and outflow pipe A detachable joint may be provided between the outlet 4b at 23 m and the exchange outflow pipe 23o.

また、液充填装置７につながる塗布ヘッド４のノズルプレート４ｄを交換する場合には、交換対象の塗布ヘッド４のノズルプレート４ｄを取り外し、その後、取り付けるノズルプレート４ｄを容器（不図示）内の水に浸漬させて取り出し、その取り出したノズルプレート４を塗布ヘッド４の下面に取り付ける。このようなノズルプレート４ｄの浸漬及び取り出しによる水の充填及び排出後には、前述の塗布液充填と同じように、ノズルプレート４ｄが交換された塗布ヘッド４に対応する開閉弁２４ｍ及び２４ｎなどが開状態にされ、ノズルプレート４ｄの各ノズルＮにインクＡ２が充填される。これにより、交換されたノズルプレート４ｄの各ノズルＮにのみインクＡ２を充填すれば良く、インクＡ２の使用量及び充填時間を抑えることができる。ノズルプレート４ｄを取り外す前に、開閉弁２４ｍ、２４ｎ、２４ｏ及び２４ｐが閉じていることを確認しておくのも、ヘッド交換時と同じである。   When replacing the nozzle plate 4d of the application head 4 connected to the liquid filling device 7, the nozzle plate 4d of the application head 4 to be replaced is removed, and then the nozzle plate 4d to be attached is The nozzle plate 4 taken out is attached to the lower surface of the coating head 4. After filling and discharging the water by immersion and removal of the nozzle plate 4d, the on-off valves 24m and 24n, etc. corresponding to the coating head 4 with the nozzle plate 4d replaced are opened as in the case of the coating liquid filling described above. In this state, each nozzle N of the nozzle plate 4d is filled with the ink A2. Thus, the ink A2 may be filled only in each nozzle N of the replaced nozzle plate 4d, and the use amount and filling time of the ink A2 can be suppressed. Before removing the nozzle plate 4d, it is also the same as in the head replacement to confirm that the on-off valves 24m, 24n, 24o and 24p are closed.

前述のように、液充填装置７が備える加圧タンク２１や供給タンク２２、配管２３ａ〜２３ｏ、開閉弁２４ａ〜２４ｐなどが、塗布ヘッド４の液体流路４ｃに非塗布液を充填する非塗布液充填部及び液体流路４ｃに充填された非塗布液を液体流路４ｃから排出する非塗布液排出部、すなわち液体流路４ｃの隅部に非塗布液を付着させる非塗布液付着部として機能する。さらに、加圧タンク２１や供給タンク２２、配管２３ａ〜２３ｏ、開閉弁２４ａ〜２４ｐなどは、塗布ヘッド４の液体流路４ｃに塗布液を充填する塗布液充填部としても機能する。   As described above, the pressure tank 21, the supply tank 22, the pipes 23 a to 23 o, the on-off valves 24 a to 24 p, etc. included in the liquid filling device 7 do not apply the non-coating liquid to the liquid flow path 4 c of the coating head 4. Non-coating liquid discharge part which discharges non-coating liquid filled in liquid filling part and liquid flow path 4c from liquid flow path 4c, that is, non-coating liquid adhesion part which makes non-coating liquid adhere to the corner of liquid flow path 4c Function. Furthermore, the pressure tank 21, the supply tank 22, the pipes 23 a to 23 o, the on-off valves 24 a to 24 p, and the like also function as a coating liquid filling unit that fills the liquid flow path 4 c of the coating head 4 with the coating liquid.

以上説明したように、第１の実施形態によれば、塗布ヘッド４の液体流路４ｃに塗布液を供給する前に、液体流路４ｃに非塗布液を充填し、その後、充填した非塗布液を液体流路４ｃから排出することによって、液体流路４ｃの隅部に非塗布液を付着させてから、その非塗布液が付着した液体流路４ｃに塗布液を充填することが可能となる。つまり、液体流路４ｃに塗布液を充填する前に、塗布液が行き渡り難く空気が残り易い隅部にあらかじめ非塗布液を付着させておくことができ、液体流路４ｃに塗布液を供給したとき、塗布液が液体流路４ｃの隅部に行き渡らなかったとしても、その隅部には非塗布液が付着しているため、空気が隅部に閉じ込められることを防止することができる。これにより、塗布ヘッド４内に気泡を残留させずに迅速に塗布液充填を行うことが可能となり、従来のように液体流路４ｃの隅部に溜まった気泡を塗布液の供給によって取り除く気泡除去を行う必要が無くなるので、塗布ヘッド４の初期充填から安定吐出までの時間及び塗布液使用量を抑えることができる。   As described above, according to the first embodiment, before supplying the coating liquid to the liquid flow channel 4c of the coating head 4, the liquid flow channel 4c is filled with the non-coating liquid, and then the non-coating liquid is filled. By discharging the liquid from the liquid channel 4c, after the non-coating liquid is attached to the corner of the liquid channel 4c, the liquid channel 4c to which the non-coating liquid is attached can be filled with the coating liquid Become. That is, before the coating liquid is filled in the liquid flow channel 4c, the non-coating liquid can be attached in advance to the corner portion where the coating liquid hardly spreads and air tends to remain, and the coating liquid is supplied to the liquid flow channel 4c. Sometimes, even if the coating liquid does not reach the corners of the liquid flow path 4c, the non-coating liquid adheres to the corners, so that air can be prevented from being trapped in the corners. As a result, the application liquid can be rapidly filled without leaving air bubbles in the application head 4, and the air bubbles removed by the supply of the application liquid are removed as in the prior art by the air bubbles accumulated at the corners of the liquid flow path 4c. It is possible to reduce the time from the initial filling of the coating head 4 to the stable discharge and the amount of coating solution used.

インクジェット方式の塗布ヘッド４の場合、液体流路４ｃ内、特に、液室１１の隅部に気泡が溜まった場合、気泡の圧縮性によってノズルＮから塗布液を吐出させるための圧力が吸収されてしまい、不吐出等の吐出不良の発生の原因となる。また、主管路１２や枝管路１３の隅部に気泡が溜まった場合でも、塗布対象物Ｗに対する塗布処理中に、塗布液が吐出されることによって液体流路４ｃ内に生じる塗布液の流れに乗って、溜まっていた気泡が移動し、液室１１の隅部やノズルＮ内に付着して溜まってしまうことがあり、この場合、やはり、上述の吐出不良の発生の原因になる。このようなことがあるため、液体流路４ｃ内の隅部に気泡が溜まらないように塗布液を充填することが重要である。   In the case of the inkjet type application head 4, when air bubbles are accumulated in the liquid flow path 4c, particularly at the corners of the liquid chamber 11, the pressure for discharging the application liquid from the nozzle N is absorbed by the compressibility of the air bubbles. As a result, ejection failure such as non-ejection occurs. In addition, even when air bubbles are accumulated at the corners of the main conduit 12 and the branch conduit 13, the flow of the coating liquid generated in the liquid channel 4c by discharging the coating liquid during the coating process on the application object W The air bubbles that have accumulated may move and adhere to the corners of the liquid chamber 11 and the inside of the nozzles N, which may cause the above-mentioned ejection failure. Because of this, it is important to fill the coating solution so that air bubbles do not accumulate at the corners in the liquid flow channel 4c.

（第２の実施形態）
第２の実施形態について図５を参照して説明する。なお、第２の実施形態では、第１の実施形態との相違点（冷却部３１）について説明し、その他の説明は省略する。 Second Embodiment
The second embodiment will be described with reference to FIG. In the second embodiment, only the difference (cooling unit 31) from the first embodiment will be described, and the other descriptions will be omitted.

図５に示すように、第２の実施形態に係る液充填装置７では、塗布ヘッド４を冷却する冷却部３１が塗布ヘッド４に設けられている。この冷却部３１は、塗布ヘッド４を冷却して液体流路４ｃ内の水分を結露させ、液体流路４ｃの内壁面に非塗布液（水）を付着させる非塗布液付着部として機能する。冷却部３１としては、塗布ヘッド４に直接接触して塗布ヘッド４を冷却するもの、あるいは、塗布ヘッド４に対して冷気を送風して塗布ヘッド４を冷却するものなどを用いることが可能である。   As shown in FIG. 5, in the liquid filling apparatus 7 according to the second embodiment, a cooling unit 31 for cooling the coating head 4 is provided in the coating head 4. The cooling section 31 functions as a non-coating liquid adhesion section that cools the coating head 4 to condense moisture in the liquid flow path 4c and causes the non-coating liquid (water) to adhere to the inner wall surface of the liquid flow path 4c. As the cooling unit 31, it is possible to use one that cools the coating head 4 by being in direct contact with the coating head 4, or one that cools the coating head 4 by blowing cold air onto the coating head 4. .

この冷却部３１によれば、塗布ヘッド４内の液体流路４ｃの内壁面に非塗布液を付着させることが可能となるため、塗布ヘッド４内の液体流路４ｃに水Ａ１を充填してから排出する工程（非塗布液充填工程及び非塗布液排出工程）は不要となる。このため、加圧タンク２１及び供給タンク２２には水Ａ１は供給されず、インクＡ２のみが供給されることになる。   According to this cooling unit 31, the non-coating liquid can be attached to the inner wall surface of the liquid flow path 4c in the coating head 4. Therefore, the liquid flow path 4c in the coating head 4 is filled with water A1. The step of discharging from the step (non-coating liquid filling step and the non-coating liquid discharging step) is unnecessary. Therefore, the water A1 is not supplied to the pressure tank 21 and the supply tank 22, but only the ink A2 is supplied.

このような液充填装置７によれば、塗布ヘッド４の液体流路４ｃにインクＡ２を供給する前に、塗布ヘッド４が冷却部３１により冷却されると、液体流路４ｃ内の水分が結露し、液体流路４ｃの内壁面に水Ａ１が付着する（非塗布液付着工程）。その付着後に液体流路４ｃ内にインクＡ２が充填される（塗布液充填工程）。つまり、液体流路４ｃにインクＡ２を充填する前に、インクＡ２が行き渡り難く空気が残り易い隅部にあらかじめ水Ａ１が付着している。これにより、液体流路４ｃにインクＡ２を供給したとき、インクＡ２が液体流路４ｃの隅部に行き渡らなかったとしても、その隅部には水Ａ１が付着しているため、空気が隅部に閉じ込められることを防止することが可能となり、インクＡ２の充填後、隅部に気泡が残ることを抑えることができる。   According to the liquid filling apparatus 7 described above, when the application head 4 is cooled by the cooling unit 31 before the ink A2 is supplied to the liquid flow path 4c of the application head 4, the water in the liquid flow path 4c is condensed. The water A1 adheres to the inner wall surface of the liquid flow path 4c (non-coating liquid adhering step). After the adhesion, the ink A2 is filled in the liquid flow path 4c (coating liquid filling step). That is, before the ink A2 is filled in the liquid flow path 4c, the water A1 adheres in advance to the corner portion where the ink A2 is hard to spread and the air tends to remain. Thereby, when the ink A2 is supplied to the liquid flow path 4c, even if the ink A2 does not reach the corner of the liquid flow path 4c, the water A1 adheres to the corner, so the air is in the corner It is possible to prevent the air bubbles from remaining in the corners after the ink A2 is filled.

なお、非塗布液付着部としては、前述の冷却部３１に替えて、塗布ヘッド４を加熱する加熱部（不図示）を用いることも可能である。この場合には、第１の実施形態と同じ手順で塗布ヘッド４内の液体流路４ｃに少量（蒸気を生じさせることが可能な量）の非塗布液が供給され、その後、加熱部は、液体流路４ｃ内に供給された非塗布液を熱によって蒸発させ、液体流路４ｃの内壁面に非塗布液を付着させる。加熱部としては、塗布ヘッド４に直接接触して塗布ヘッド４を加熱するヒータ、あるいは、塗布ヘッド４に対して温風を送って塗布ヘッド４を加熱するものなどを用いることが可能である。また、塗布ヘッド４の流入口４ａに非塗布液の蒸気を送り込む蒸気部（不図示）を設け、流入口４ａから液体流路４ｃ内に直接、非塗布液の蒸気を供給することも可能である。   In addition, it is also possible to change to the above-mentioned cooling part 31 as a non-coating liquid adhesion part, and to use the heating part (not shown) which heats the coating head 4. In this case, a small amount (an amount capable of generating steam) of the non-coating solution is supplied to the liquid flow path 4c in the coating head 4 in the same procedure as in the first embodiment, and then the heating unit The non-coating liquid supplied into the liquid flow channel 4c is evaporated by heat to cause the non-coating liquid to adhere to the inner wall surface of the liquid flow channel 4c. As the heating unit, it is possible to use a heater which directly contacts the coating head 4 to heat the coating head 4 or a unit which sends warm air to the coating head 4 to heat the coating head 4 or the like. It is also possible to provide a vapor portion (not shown) for feeding the non-coating solution vapor into the inlet 4a of the coating head 4 and supply the non-coating solution vapor directly from the inlet 4a into the liquid channel 4c. is there.

以上説明したように、第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第２の実施形態によれば、非塗布液付着工程及び塗布液充填工程の二工程だけを行えば良く、より迅速に、すなわち水を排出する工程を必要としない分だけ速く、塗布ヘッド４内に気泡を残留させずに塗布液充填を行うことが可能となる。ただし、第２の実施形態においても、塗布ヘッド４内の液体流路４ｃの内壁面に非塗布液が大量に付着した場合など、必要に応じて非塗布液排出工程を行った方が良い場合もある。   As described above, according to the second embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained. Further, according to the second embodiment, only the two steps of the non-coating liquid attaching step and the coating liquid filling step may be performed, and the coating head can be quicker, that is, faster by the amount not requiring the step of discharging water. It becomes possible to carry out the filling of the coating liquid without leaving air bubbles in 4. However, also in the second embodiment, when a large amount of non-coating liquid adheres to the inner wall surface of the liquid flow path 4c in the coating head 4, if it is better to carry out the non-coating liquid discharging step as necessary. There is also.

（他の実施形態）
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。 (Other embodiments)
While certain embodiments have been described, these embodiments have been presented by way of example only, and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, substitutions, and modifications can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and the gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalent scope thereof.

例えば、加圧タンク２１と供給タンク２２それぞれに、非塗布液、塗布液を自動的に供給する機構を設けても良い。また、非塗布液専用の加圧タンクと供給タンク、および、塗布液専用の加圧タンクと供給タンクを設け、各供給タンクを第２接続管２３ｂに切り替え接続可能に設けても良い。非塗布液専用のタンクから塗布液専用のタンクに切り替えるときには、塗布ヘッドの液体流路や配管内（特に、排出管２３ｍや循環管２３ｋ内）に残った非塗布液を、前もって、非塗布液専用の加圧タンクに回収しておき、塗布液に非塗布液が混ざることを防止するようにすると良い。   For example, the pressurizing tank 21 and the supply tank 22 may each be provided with a mechanism for automatically supplying the non-coating liquid and the coating liquid. Alternatively, a pressure tank and a supply tank dedicated to the non-coating liquid, and a pressure tank and a supply tank dedicated to the coating liquid may be provided, and each supply tank may be switchably connected to the second connection pipe 23b. When switching from a tank exclusively for non-coating solution to a tank exclusively for coating solution, the non-coating solution remaining in the liquid flow path and piping of the coating head (in particular, in the discharge pipe 23m and the circulation pipe 23k) It is good to collect in a special pressure tank and to prevent mixing of the non-coating liquid with the coating liquid.

また、供給タンク２２に液体供給管２３ｇを設けなくても良い。供給タンク２２に液体供給管２３ｇを設けない場合には、非塗布液や塗布液を加圧タンク２１に一旦供給し、加圧タンク２１からガス圧や自重によって供給タンク２２へ供給するようにすれば良く、供給タンク２２の非塗布液や塗布液が減ったら加圧タンク２１から補給し、加圧タンク２１の非塗布液や塗布液が減ったら液体供給管２３ｃから補給すれば良い。   Further, the supply tank 22 may not be provided with the liquid supply pipe 23g. In the case where the liquid supply pipe 23g is not provided in the supply tank 22, the non-coating liquid and the coating liquid are temporarily supplied to the pressure tank 21 and are supplied from the pressure tank 21 to the supply tank 22 by gas pressure and dead weight. It suffices to supply from the pressure tank 21 when the non-application liquid or application liquid in the supply tank 22 is reduced, and to supply from the liquid supply pipe 23c when the non-application liquid or application liquid in the pressure tank 21 is reduced.

１ 塗布装置
４ 塗布ヘッド
４ｃ 液体流路
７ 液充填装置
２１ 加圧タンク
２２ 供給タンク
２３ａ〜２３ｏ 配管
２４ａ〜２４ｐ 開閉弁
３１ 冷却部
Ｎ ノズル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 application apparatus 4 application head 4c liquid flow path 7 liquid filling apparatus 21 pressurization tank 22 supply tank 23a-23o piping 24a-24p on-off valve 31 cooling part N nozzle

Claims (7)

液体が流れる液体流路及びその液体流路につながるノズルを有するインクジェット方式の塗布ヘッドに塗布液を充填する液充填装置であって、
前記液体流路の内壁面に水を結露により付着させる非塗布液付着部と、
前記水が前記内壁面に付着した前記液体流路に前記塗布液を充填する塗布液充填部と、
を備えることを特徴とする液充填装置。 A liquid filling apparatus for filling a coating liquid in a coating head of an ink jet type having a liquid flow path through which liquid flows and a nozzle connected to the liquid flow path,
And a non-coating liquid applying unit to more adhere to the condensation water on the inner wall surface of said liquid flow path,
A coating solution filling section for filling the coating solution in the liquid flow path in which the water adheres to the inner wall surface;
A liquid filling apparatus comprising: 前記内壁面は親水性を有することを特徴とする請求項１記載の液充填装置。 The inner wall liquid filling apparatus according to claim 1, characterized in that it has a parent water resistance. 前記非塗布液付着部は、前記液体流路を冷却することにより前記液体流路内の水分を結露させる冷却部を有することを特徴とする請求項１または２記載の液充填装置。  The liquid filling apparatus according to claim 1 or 2, wherein the non-coating liquid adhering section includes a cooling section that causes moisture in the liquid flow path to condense by cooling the liquid flow path. 液体が流れる液体流路及びその液体流路につながるノズルを有するインクジェット方式の塗布ヘッドに塗布液を充填する液充填方法であって、
前記液体流路の内壁面に水を結露により付着させる工程と、
前記水が前記内壁面に付着した前記液体流路に前記塗布液を充填する工程と、
を有することを特徴とする液充填方法。 A liquid filling method for filling a coating liquid in an ink jet type application head having a liquid flow path through which liquid flows and a nozzle connected to the liquid flow path,
A step to more adhere to the condensation water on the inner wall surface of said liquid flow path,
Filling the coating solution in the liquid flow path in which the water adheres to the inner wall surface;
A liquid filling method characterized by comprising: 前記内壁面は親水性を有することを特徴とする請求項４記載の液充填方法。 The inner wall surface The method of liquid filling according to claim 4, characterized in that it has a parent water resistance. 前記液体流路の内壁面に水を結露により付着させる工程は、前記液体流路を冷却することによって前記液体流路内の水分を結露させる工程であることを特徴とする請求項４または５記載の液充填方法。  The step of causing water to adhere to the inner wall surface of the liquid flow path by condensation is a step of condensing water in the liquid flow path by cooling the liquid flow path. Liquid filling method. ステージと、液体が流れる液体流路及びその液体流路につながるノズルを有するインクジェット方式の塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドに塗布液を充填する液充填装置とを備える塗布装置であって、
前記液充填装置は、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の液充填装置であることを特徴とする塗布装置。 An application apparatus comprising: an inkjet type application head having a stage, a liquid flow path through which liquid flows, and a nozzle connected to the liquid flow path, and a liquid filling apparatus for filling the application head with the application liquid,
The coating apparatus according to any one of claims 1 to 3 , wherein the liquid filling apparatus is the liquid filling apparatus according to any one of claims 1 to 3 .
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