JP6393644B2 - 電磁誘導式位置検出器及び電磁誘導式位置検出方法 - Google Patents
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Description
Ib=+Icos(2πα/p)sin(ωt) ・・・ (2)
=K(g)Isin(2π(X−α)/p)sin(ωt) ・・・ (3)
所定ピッチpで各々が形成されると共に、交流電流を各々に供給することにより各々に磁束が発生する第1の1次側平面コイル、第2の1次側平面コイル及び第3の1次側平面コイルを有し、前記第1の1次側平面コイルに対し、前記第2の1次側平面コイルの位置をp/3シフトして配置し、前記第3の1次側平面コイルの位置を2p/3シフトして配置した1次側板部材と、
前記第1、前記第2及び前記第3の1次側平面コイルに対向して配置され、前記所定ピッチpで形成されると共に、各々の前記磁束による電磁誘導により誘起電圧が誘起される2次側平面コイルを有する2次側板部材と、
前記誘起電圧に基づいて、前記2次側板部材に対する前記1次側板部材の位置を検出する検出手段とを有する
ことを特徴とする。
上記第1の発明に記載の電磁誘導式位置検出器において、
前記検出手段は、
Iを交流電流の大きさ、ωを交流電流の角周波数、tを時刻、αを励振位置、K(g)を前記第1、第2及び第3の1次側平面コイルと前記2次側平面コイルとのギャップgに依存する結合係数、Xを前記位置とするとき、
前記第1の1次側平面コイルにIcos(2πα/p)sin(ωt)の第1の交流電流を供給し、前記第2の1次側平面コイルにIcos(2πα/p+2π/3)sin(ωt)の第2の交流電流を供給し、前記第3の1次側平面コイルにIcos(2πα/p−2π/3)sin(ωt)の第3の交流電流を供給し、
前記第1、第2及び第3の交流電流の供給により各々発生する前記磁束により誘起される誘起電圧V=(3/2)K(g)Isin(2π(X−α)/p)sin(ωt)に基づき、前記位置Xに対し、前記誘起電圧V=0となる前記励振位置αを求め、当該励振位置αを前記位置Xとして検出する
ことを特徴とする。
所定ピッチpで各々が形成されると共に、交流電流を各々に供給することにより各々に磁束が発生する第1の1次側平面コイル、第2の1次側平面コイル及び第3の1次側平面コイルを有し、前記第1の1次側平面コイルに対し、前記第2の1次側平面コイルの位置をp/3シフトして配置し、前記第3の1次側平面コイルの位置を2p/3シフトして配置した1次側板部材と、
前記第1、前記第2及び前記第3の1次側平面コイルに対向して配置され、前記所定ピッチpで形成されると共に、各々の前記磁束による電磁誘導により誘起電圧が誘起される2次側平面コイルを有する2次側板部材とを有し、
前記誘起電圧に基づいて、前記2次側板部材に対する前記1次側板部材の位置を検出する電磁誘導式位置検出方法において、
Iを交流電流の大きさ、ωを交流電流の角周波数、tを時刻、αを励振位置、K(g)を前記第1、第2及び第3の1次側平面コイルと前記2次側平面コイルとのギャップgに依存する結合係数、Xを前記位置とするとき、
前記第1の1次側平面コイルにIcos(2πα/p)sin(ωt)の第1の交流電流を供給し、前記第2の1次側平面コイルにIcos(2πα/p+2π/3)sin(ωt)の第2の交流電流を供給し、前記第3の1次側平面コイルにIcos(2πα/p−2π/3)sin(ωt)の第3の交流電流を供給し、
前記第1、第2及び第3の交流電流の供給により各々発生する前記磁束により誘起される誘起電圧V=(3/2)K(g)Isin(2π(X−α)/p)sin(ωt)に基づき、前記位置Xに対し、前記誘起電圧V=0となる前記励振位置αを求め、当該励振位置αを前記位置Xとして検出する
ことを特徴とする。
図1は、本実施例のリニアスケールのスライダとスケールを並べて示す構成図である。又、図2は、図1に示した本実施例のリニアスケールのスライダとスケールの電磁結合度を示すグラフである。まず、図1を参照して、本実施例のリニアスケールの構成を説明する。
Ib=Icos(2πα/p+2π/3)sin(ωt) ・・・ (6)
Ic=Icos(2πα/p−2π/3)sin(ωt) ・・・ (7)
+sin(2πX/p+2π/3)cos(2πα/p+2π/3)
+sin(2πX/p−2π/3)cos(2πα/p−2π/3)}sin(ωt)
=K(g)I{sin(2πX/p)cos(2πα/p)
+sin(2πX/p)cos(2π/3)cos(2πα/p+2π/3)
+cos(2πX/p)sin(2π/3)cos(2πα/p+2π/3)
+sin(2πX/p)cos(2π/3)cos(2πα/p−2π/3)
−cos(2πX/p)sin(2π/3)cos(2πα/p−2π/3)}sin(ωt)
=K(g)I{sin(2πX/p)cos(2πα/p)
+(−1/2)sin(2πX/p)cos(2πα/p+2π/3)
+(√3/2)cos(2πX/p)cos(2πα/p+2π/3)
+(−1/2)sin(2πX/p)cos(2πα/p−2π/3)
−(√3/2)cos(2πX/p)cos(2πα/p−2π/3)}sin(ωt)
=K(g)I{sin(2πX/p)cos(2πα/p)
+(−1/2)sin(2πX/p)cos(2πα/p)cos(2π/3)
−(−1/2)sin(2πX/p)sin(2πα/p)sin(2π/3)
+(√3/2)cos(2πX/p)cos(2πα/p)cos(2π/3)
−(√3/2)cos(2πX/p)sin(2πα/p)sin(2π/3)
+(−1/2)sin(2πX/p)cos(2πα/p)cos(2π/3)
+(−1/2)sin(2πX/p)sin(2πα/p)sin(2π/3)
−(√3/2)cos(2πX/p)cos(2πα/p)cos(2π/3)
−(√3/2)cos(2πX/p)sin(2πα/p)sin(2π/3)}sin(ωt)
=K(g)I{sin(2πX/p)cos(2πα/p)
+(−1/2)sin(2πX/p)cos(2πα/p)(−1/2)
−(−1/2)sin(2πX/p)sin(2πα/p)(√3/2)
+(√3/2)cos(2πX/p)cos(2πα/p)(−1/2)
−(√3/2)cos(2πX/p)sin(2πα/p)(√3/2)
+(−1/2)sin(2πX/p)cos(2πα/p)(−1/2)
+(−1/2)sin(2πX/p)sin(2πα/p)(√3/2)
−(√3/2)cos(2πX/p)cos(2πα/p)(−1/2)
−(√3/2)cos(2πX/p)sin(2πα/p)(√3/2)}sin(ωt)
=K(g)I{(3/2)sin(2πX/p)cos(2πα/p)
−(3/2)cos(2πX/p)sin(2πα/p)}sin(ωt)
=(3/2)K(g)I{sin(2πX/p)cos(2πα/p)−cos(2πX/p)sin(2πα/p)}sin(ωt)
=(3/2)K(g)Isin(2π(X−α)/p)sin(ωt) ・・ (8)
=I{cos(2πα/p)+cos(2πα/p)cos(2π/3)−sin(2πα/p)sin(2π/3)+cos(2πα/p)cos(2π/3)+sin(2πα/p)sin(2π/3)}sin(ωt)
=I{cos(2πα/p)+2cos(2πα/p)cos(2π/3)}sin(ωt)
=I{cos(2πα/p)+2cos(2πα/p)(−1/2)}sin(ωt)
=0 ・・・ (9)
11a 第1スライダコイル
11b 第2スライダコイル
11c 第3スライダコイル
20 スケール
21 スケールコイル
30 検出装置
Claims (3)
- 所定ピッチpで各々が形成されると共に、交流電流を各々に供給することにより各々に磁束が発生する第1の1次側平面コイル、第2の1次側平面コイル及び第3の1次側平面コイルを有し、前記第1の1次側平面コイルに対し、前記第2の1次側平面コイルの位置をp/3シフトして配置し、前記第3の1次側平面コイルの位置を2p/3シフトして配置した1次側板部材と、
前記第1、前記第2及び前記第3の1次側平面コイルに対向して配置され、前記所定ピッチpで形成されると共に、各々の前記磁束による電磁誘導により誘起電圧が誘起される2次側平面コイルを有する2次側板部材と、
前記誘起電圧に基づいて、前記2次側板部材に対する前記1次側板部材の位置を検出する検出手段とを有する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器。 - 請求項1に記載の電磁誘導式位置検出器において、
前記検出手段は、
Iを交流電流の大きさ、ωを交流電流の角周波数、tを時刻、αを励振位置、K(g)を前記第1、第2及び第3の1次側平面コイルと前記2次側平面コイルとのギャップgに依存する結合係数、Xを前記位置とするとき、
前記第1の1次側平面コイルにIcos(2πα/p)sin(ωt)の第1の交流電流を供給し、前記第2の1次側平面コイルにIcos(2πα/p+2π/3)sin(ωt)の第2の交流電流を供給し、前記第3の1次側平面コイルにIcos(2πα/p−2π/3)sin(ωt)の第3の交流電流を供給し、
前記第1、第2及び第3の交流電流の供給により各々発生する前記磁束により誘起される誘起電圧V=(3/2)K(g)Isin(2π(X−α)/p)sin(ωt)に基づき、前記位置Xに対し、前記誘起電圧V=0となる前記励振位置αを求め、当該励振位置αを前記位置Xとして検出する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器。 - 所定ピッチpで各々が形成されると共に、交流電流を各々に供給することにより各々に磁束が発生する第1の1次側平面コイル、第2の1次側平面コイル及び第3の1次側平面コイルを有し、前記第1の1次側平面コイルに対し、前記第2の1次側平面コイルの位置をp/3シフトして配置し、前記第3の1次側平面コイルの位置を2p/3シフトして配置した1次側板部材と、
前記第1、前記第2及び前記第3の1次側平面コイルに対向して配置され、前記所定ピッチpで形成されると共に、各々の前記磁束による電磁誘導により誘起電圧が誘起される2次側平面コイルを有する2次側板部材とを有し、
前記誘起電圧に基づいて、前記2次側板部材に対する前記1次側板部材の位置を検出する電磁誘導式位置検出方法において、
Iを交流電流の大きさ、ωを交流電流の角周波数、tを時刻、αを励振位置、K(g)を前記第1、第2及び第3の1次側平面コイルと前記2次側平面コイルとのギャップgに依存する結合係数、Xを前記位置とするとき、
前記第1の1次側平面コイルにIcos(2πα/p)sin(ωt)の第1の交流電流を供給し、前記第2の1次側平面コイルにIcos(2πα/p+2π/3)sin(ωt)の第2の交流電流を供給し、前記第3の1次側平面コイルにIcos(2πα/p−2π/3)sin(ωt)の第3の交流電流を供給し、
前記第1、第2及び第3の交流電流の供給により各々発生する前記磁束により誘起される誘起電圧V=(3/2)K(g)Isin(2π(X−α)/p)sin(ωt)に基づき、前記位置Xに対し、前記誘起電圧V=0となる前記励振位置αを求め、当該励振位置αを前記位置Xとして検出する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出方法。
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