JP6393555B2 - Laser processing machine and laser cutting processing method - Google Patents

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本発明は、伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光のエネルギーを利用して、ワークに対して切断加工を行うレーザ加工機及びレーザ切断加工方法に関する。   The present invention relates to a laser processing machine and a laser cutting processing method for cutting a workpiece using energy of laser light emitted from an output end of a transmission fiber.

近年、伝送ファイバから出射されたレーザ光のエネルギーを利用した切断加工技術の開発が活発化しており、その切断加工技術について簡単に説明すると、次のようになる。   In recent years, the development of cutting technology using the energy of laser light emitted from a transmission fiber has become active, and the cutting technology will be briefly described as follows.

即ち、伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光をコリメートレンズによって平行光に変換し、集光レンズによって集光してワークの被切断部に向かって照射する。また、レーザ光を照射すると同時に、ワークの被切断部に向かってアシストガスを噴射する。これにより、レーザ光のエネルギーを利用して、ワークの被切断部を溶融させかつその溶融物を除去しながら、ワークに対して切断加工を行うことができる。前述の動作を連続して繰り返すことにより、複数のワークに対して一連の切断加工を行うことができる。なお、コリメートレンズ及び集光レンズは、レーザ加工機における加工ヘッド内に設けられている。   That is, laser light emitted from the exit end of the transmission fiber is converted into parallel light by a collimator lens, condensed by a condensing lens, and irradiated toward a cut portion of the workpiece. Further, simultaneously with the laser light irradiation, the assist gas is jetted toward the work to be cut. Thereby, it is possible to cut the workpiece while melting the portion to be cut of the workpiece and removing the melt using the energy of the laser beam. A series of cutting processes can be performed on a plurality of workpieces by continuously repeating the above-described operation. The collimating lens and the condensing lens are provided in a processing head in the laser processing machine.

ここで、加工形態は、アシストガスとして窒素等の不活性ガスを用いた無酸化加工(不活性ガス加工)と、アシストガスとして酸素を用いた酸素加工とに分けることができる。無酸化加工は、レーザ光のエネルギーのみによってワークを溶融させて、ワークの切断面の酸化を防止することができ、ステンレス、銅、銅合金、アルミ、アルミ合金、軟鋼等の厚さ例えば3mm以下の薄板からなるワークの高速切断に適している。酸素加工は、レーザ光のエネルギーの他に酸化反応熱によってワークを溶融させることができ、軟鋼の厚さ例えば6mm以上の厚板からなるワークの切断に適している。また、無酸化加工には、汎用の集光レンズが用いられるのに対して、酸素加工の場合は、バーニング(異常燃焼)を防止するために、リング状のレーザ光(リングビーム)を形成可能なアキシコンレンズを組込んだ特殊な集光レンズが用いられる(特許文献1及び特許文献2等参照)。   Here, the processing forms can be divided into non-oxidizing processing (inert gas processing) using an inert gas such as nitrogen as the assist gas and oxygen processing using oxygen as the assist gas. Non-oxidation processing can melt the workpiece only by the energy of the laser beam and prevent oxidation of the cut surface of the workpiece. The thickness of stainless steel, copper, copper alloy, aluminum, aluminum alloy, mild steel, etc., for example, 3 mm or less Suitable for high-speed cutting of workpieces made of thin plates. Oxygen processing can melt a workpiece by oxidation reaction heat in addition to laser beam energy, and is suitable for cutting a workpiece made of a thick plate of mild steel having a thickness of, for example, 6 mm or more. In addition, a general-purpose condenser lens is used for non-oxidation processing, whereas in the case of oxygen processing, a ring-shaped laser beam (ring beam) can be formed to prevent burning (abnormal combustion). A special condensing lens incorporating a special axicon lens is used (see Patent Document 1 and Patent Document 2).

なお、本発明に関連する先行技術として特許文献1及び特許文献2の他に、特許文献3に示すものがある。   In addition to Patent Literature 1 and Patent Literature 2, there are those shown in Patent Literature 3 as prior art related to the present invention.

特開2013−75331号公報JP 2013-75331 A WO2010/095744 A1WO2010 / 095744 A1 特開2000−227576号公報JP 2000-227576 A

ところで、一連の切断加工の途中に、ワークの材質及び厚み等の変更により加工形態が無酸化加工から酸素加工に又は酸素加工から無酸化加工に変更することがある。このような場合には、切断加工を一旦中断して、汎用の集光レンズから特殊な集光レンズに変更する等、レーザ加工機の段取り替えが必要になる。そのため、切断加工の作業が煩雑化して、作業能率が低下すると共に、切断加工の中断時間が長くなって、切断加工の生産性を十分に高めることができないという問題がある。   By the way, during a series of cutting processes, the processing form may be changed from non-oxidation processing to oxygen processing or from oxygen processing to non-oxidation processing by changing the material and thickness of the workpiece. In such a case, it is necessary to replace the laser processing machine, for example, by temporarily cutting the cutting process and changing from a general-purpose condenser lens to a special condenser lens. For this reason, there is a problem that the work of the cutting process becomes complicated, the work efficiency is lowered, the interruption time of the cutting process becomes long, and the productivity of the cutting process cannot be sufficiently increased.

そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成のレーザ加工機及びレーザ加工方法を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a laser processing machine and a laser processing method having a novel configuration that can solve the above-described problems.

本発明の発明者は、前述の課題を解決するために、試行錯誤を繰り返した結果、伝送ファイバの出射端とコリメートレンズの間の光路の途中に設けられたアパーチャによって、レーザ光の外層部分を適正なカット率(遮断率)の下で遮断することにより、アキシコンレンズを組込んだ特殊な集光レンズを用いなくても、軟鋼の厚さ例えば6mm以上の厚板からなるワークに対してバーニングを防止しながら酸素加工を行うことができるという、新規な知見を得ることができ、本発明を完成するに至った(後述の実施例参照)。これは、レーザ光の外層部分、換言すれば、レーザ光における溶融(切断)に寄与しない低エネルギーの部分がワークの被切断部に照射されることを十分に抑制したことによるものと考えられる。ここで、アパーチャによる適正なカット率とは、2%以上のことをいう。   The inventor of the present invention, as a result of repeated trial and error in order to solve the above-mentioned problems, has changed the outer layer portion of the laser light by the aperture provided in the middle of the optical path between the output end of the transmission fiber and the collimating lens. By cutting off under an appropriate cutting rate (blocking rate), even if a special condensing lens incorporating an axicon lens is not used, for workpieces made of mild steel with a thickness of 6 mm or more, for example. A novel finding that oxygen processing can be performed while preventing burning has been obtained, and the present invention has been completed (see Examples described later). This is considered to be because the outer layer portion of the laser beam, in other words, the low energy portion that does not contribute to melting (cutting) in the laser beam is sufficiently suppressed from being irradiated to the cut portion of the workpiece. Here, the appropriate cut rate by the aperture means 2% or more.

本発明の第1の特徴は、伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光のエネルギーを利用して、ワークに対して切断加工を行うレーザ加工機において、先端側にレーザ光を照射可能かつアシストガスを噴出可能なノズルを有し、前記伝送ファイバの出射端に接続され、内部がアシストガスの供給源に接続可能な筒状のレーザ加工ヘッド(レーザ加工ヘッド本体)と、前記レーザ加工ヘッド内に設けられ、前記伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光を平行光に変換するコリメートレンズと、 前記レーザ加工ヘッド内における前記コリメートレンズと前記ノズルの間に設けられ、平行光に変換されたレーザ光を集光する集光レンズと、前記レーザ加工ヘッド内における前記伝送ファイバの出射端と前記コリメートレンズとの間に光軸方向に位置調節可能(移動可能)に設けられ、レーザ光を透過させるための円形の開口部を有し、前記伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光の外層部分(外周側に位置する部分)を遮断(カット)するアパーチャと、前記アパーチャを光軸方向へ位置調節するためのアクチュエータと、前記アパーチャによるレーザ光のカット率(前記アパーチャのカット率)が加工条件に応じたカット率になるように前記アクチュエータを制御するアクチュエータ制御手段と、を具備したことを要旨とする。そして、具体的には、前記アクチュエータ制御手段は、加工条件としての加工形態がアシストガスとして酸素を用いた酸素加工である場合には、前記アパーチャによるレーザ光のカット率が2%以上(好ましく2%〜20%)になるように前記アクチュエータを制御すると共に、加工形態がアシストガスとして不活性ガスを用いた無酸化加工である場合には、前記アパーチャによるレーザ光のカット率が8%以下になるように前記アクチュエータを制御するものである。   The first feature of the present invention is that a laser beam machine that cuts a workpiece using the energy of the laser beam emitted from the exit end of the transmission fiber can irradiate the tip side with the laser beam and assists it. A cylindrical laser processing head (laser processing head main body) having a nozzle capable of ejecting gas, connected to the output end of the transmission fiber, and internally connected to an assist gas supply source, and inside the laser processing head A collimating lens that converts laser light emitted from the exit end of the transmission fiber into parallel light, and is provided between the collimating lens and the nozzle in the laser processing head and converted into parallel light. A condensing lens for condensing laser light, and an optical axis direction between the output end of the transmission fiber and the collimating lens in the laser processing head The outer layer portion of the laser light emitted from the emission end of the transmission fiber (the portion located on the outer peripheral side) is provided so that its position can be adjusted (movable) in the direction and has a circular opening for transmitting the laser light. ), An actuator for adjusting the position of the aperture in the direction of the optical axis, and a laser beam cut rate by the aperture (cut rate of the aperture) is a cut rate according to processing conditions. Thus, the gist is provided with an actuator control means for controlling the actuator. More specifically, the actuator control means has a laser beam cut rate of 2% or more (preferably 2) when the processing form as the processing condition is oxygen processing using oxygen as an assist gas. % To 20%), and when the processing mode is non-oxidation processing using an inert gas as an assist gas, the laser beam cut rate by the aperture is 8% or less. Thus, the actuator is controlled.

ここで、本願の明細書及び特許請求の範囲において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたことを含む意である。また、「アパーチャによるレーザ光のカット率」とは、伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光のパワー強度に対する、アパーチャによって遮断(カット)されたレーザ光のパワー強度の割合のことをいう。更に、「加工条件」とは、ワークの材質、ワークの厚み、加工形態(酸素加工又は無酸化加工)、加工速度等を含む意である。   Here, in the specification and claims of the present application, “provided” means not only directly provided but also indirectly provided via another member. The “cutting rate of laser light by the aperture” refers to the ratio of the power intensity of the laser light blocked (cut) by the aperture to the power intensity of the laser light emitted from the exit end of the transmission fiber. Furthermore, the “processing conditions” means the material of the workpiece, the thickness of the workpiece, the processing mode (oxygen processing or non-oxidizing processing), the processing speed, and the like.

本発明の第1の特徴によると、加工形態が酸素加工である場合には、前記アパーチャによるレーザ光のカット率を2%以上になるように前記アクチュエータを制御するため、前述の新規な知見を適用すると、特殊な集光レンズを用いなくても、軟鋼の厚さ例えば6mm以上の厚板からなるワークに対してバーニングを防止しながら酸素加工による切断を行うことができる。また、加工形態が無酸化加工である場合に、前記アパーチャによるレーザ光のカット率を8%以下になるように前記アクチュエータを制御するため、ワークの被切断部におけるレーザ光のパワー強度を十分に確保して、無酸化加工中の切断速度を高速に維持しつつ反射光の低減を図ることができる。これにより、一連の切断加工の途中に、前記アパーチャを光軸方向へ位置調節するだけで、加工形態を無酸化加工から酸素加工に又は酸素加工から無酸化加工に変更することができる。   According to the first feature of the present invention, when the processing form is oxygen processing, the actuator is controlled so that the laser beam cut rate by the aperture is 2% or more. When applied, it is possible to perform cutting by oxygen processing while preventing burning of a workpiece made of a thick steel plate having a thickness of, for example, 6 mm or more, without using a special condenser lens. In addition, when the processing form is non-oxidation processing, the actuator is controlled so that the laser beam cut rate by the aperture is 8% or less. It is possible to reduce the reflected light while securing the cutting speed during the non-oxidation processing at a high speed. Thereby, the processing form can be changed from non-oxidation processing to oxygen processing or from oxygen processing to non-oxidation processing only by adjusting the position of the aperture in the optical axis direction during a series of cutting processes.

本発明の第2の特徴は、伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光をコリメートレンズによって平行光に変換し、集光レンズによって集光してワークの被切断部に向かって照射すると共に、ワークの被切断部に向かってアシストガスを噴射することにより、レーザ光のエネルギーを利用して、ワークの被切断部を溶融させかつその溶融物を除去しながら、ワークに対して切断加工を行うレーザ切断加工方法において、前記伝送ファイバの出射端と前記コリメートレンズとの間に光軸方向へ位置調節可能(移動可能)に設けられかつレーザ光を透過させるための円形の開口部を有しかつ前記伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光の外層部分(外周側に位置する部分)を遮断(遮断率)するアパーチャを用い、前記アパーチャを光軸方向へ位置調節して、前記アパーチャによるレーザ光のカット率(前記アパーチャのカット率)を加工条件に応じたカット率に設定することを要旨とする。そして、具体的には、加工条件の中の加工形態がアシストガスとして酸素を用いた酸素加工である場合には、前記アパーチャを光軸方向へ位置調節して、前記アパーチャによるレーザ光のカット率を2%以上(好ましくは2〜20%)に設定すると共に、加工条件の中の加工形態がアシストガスとして不活性ガスを用いた無酸化加工である場合には、前記アパーチャを光軸方向へ位置調節して、前記アパーチャによるレーザ光のカット率を8%以下に設定するものである。   The second feature of the present invention is that the laser light emitted from the exit end of the transmission fiber is converted into parallel light by a collimator lens, condensed by a condenser lens, and irradiated toward the cut portion of the workpiece. By injecting an assist gas toward the workpiece to be cut, the energy of the laser beam is used to melt the workpiece to be cut and remove the melt while cutting the workpiece. In the laser cutting processing method, a circular opening is provided between the emission end of the transmission fiber and the collimating lens so that the position can be adjusted (movable) in the optical axis direction and the laser beam is transmitted. An aperture that cuts off (cuts off) the outer layer portion (portion located on the outer peripheral side) of the laser beam emitted from the emission end of the transmission fiber is used. Adjust position to direction, it is summarized in that to set the cut rate of the aperture by the laser beam cut rate corresponding to machining conditions (cut rate of the aperture). Specifically, when the processing mode in the processing conditions is oxygen processing using oxygen as an assist gas, the aperture is adjusted in the optical axis direction, and the laser beam cut rate by the aperture is adjusted. Is set to 2% or more (preferably 2 to 20%), and when the processing form in the processing conditions is non-oxidation processing using an inert gas as an assist gas, the aperture is moved in the optical axis direction. By adjusting the position, the cut rate of the laser beam by the aperture is set to 8% or less.

本発明の第2の特徴によると、加工形態が酸素加工である場合には、前記アパーチャを光軸方向へ位置調節して、前記アパーチャによるレーザ光のカット率を2%以上に設定するため、前述の新規な知見を適用すると、特殊な集光レンズを用いなくても、軟鋼の厚さ例えば6mm以上の厚板からなるワークに対してバーニングを防止しながら酸素加工による切断を行うことができる。また、加工形態が無酸化加工である場合に、前記アパーチャを光軸方向へ位置調節して、前記アパーチャによるレーザ光のカット率を8%以下に設定するため、ワークの被切断部におけるレーザ光のパワー強度を十分に確保して、無酸化加工中の切断速度を高速に維持しつつ反射光の低減を図ることができる。これにより、一連の切断加工の途中に、前記アパーチャを光軸方向へ位置調節するだけで、加工形態を無酸化加工から酸素加工に又は酸素加工から無酸化加工に変更することができる。   According to the second feature of the present invention, when the processing form is oxygen processing, the position of the aperture is adjusted in the direction of the optical axis, and the cut rate of the laser light by the aperture is set to 2% or more, By applying the above-described novel knowledge, it is possible to perform cutting by oxygen processing while preventing burning on a workpiece made of a thick steel plate having a thickness of 6 mm or more without using a special condensing lens. . In addition, when the processing form is non-oxidation processing, the position of the aperture is adjusted in the optical axis direction, and the laser beam cut rate by the aperture is set to 8% or less. Therefore, it is possible to reduce the reflected light while maintaining a sufficient cutting speed during the non-oxidation processing. Thereby, the processing form can be changed from non-oxidation processing to oxygen processing or from oxygen processing to non-oxidation processing only by adjusting the position of the aperture in the optical axis direction during a series of cutting processes.

本発明によれば、一連の切断加工の途中に、前記アパーチャを光軸方向へ位置調節するだけで、加工形態を無酸化加工から酸素加工に又は酸素加工から無酸化加工に変更することができるため、切断加工の作業の煩雑化を抑えて、作業能率の向上を図ると共に、切断加工の中断時間を極力短くして、切断加工の生産性を十分に高めることができる。   According to the present invention, the processing mode can be changed from non-oxidation processing to oxygen processing or from oxygen processing to non-oxidation processing by simply adjusting the position of the aperture in the optical axis direction during a series of cutting processes. Therefore, it is possible to suppress the complication of the cutting process, improve the work efficiency, shorten the interruption time of the cutting process as much as possible, and sufficiently increase the productivity of the cutting process.

図1は、本発明の実施形態に係るレーザ加工機の模式的な図である。FIG. 1 is a schematic diagram of a laser beam machine according to an embodiment of the present invention. 図2は、本発明の実施形態に係る制御ユニットを示す制御ブロック図である。FIG. 2 is a control block diagram showing a control unit according to the embodiment of the present invention. 図3は、加工条件とアパーチャのカット率(アパーチャによるレーザ光のカット率)との関係を示すテーブルを説明する図である。FIG. 3 is a diagram for explaining a table showing the relationship between the processing conditions and the aperture cut rate (the laser beam cut rate by the aperture). 図4は、伝送ファイバの出射端からアパーチャまでの距離と、アパーチャの開口部を透過するレーザ光のパワー透過率との関係を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the distance from the output end of the transmission fiber to the aperture and the power transmittance of the laser beam that passes through the aperture of the aperture. 図5(a)は、本発明の実施形態に係るレーザ切断加工方法を説明する図であり、加工条件として、ワークが軟鋼の厚さ例えば6mm以上の厚板からなりかつ加工形態が酸素加工である場合の様子を示しており、図5(b)は、アパーチャから出射されたレーザ光のパワー強度の分布を示す図である。FIG. 5A is a diagram for explaining a laser cutting method according to an embodiment of the present invention. As a processing condition, the workpiece is made of a thick steel plate having a thickness of, for example, 6 mm or more, and the processing form is oxygen processing. FIG. 5B shows a distribution of power intensity of laser light emitted from the aperture. 図6(a)は、本発明の実施形態に係るレーザ切断加工方法を説明する図であり、加工条件として、ワークが高反射材の厚さ例えば3mm以下の薄板からなりかつ加工形態が無酸化加工である場合の様子を示しており、図6(b)は、アパーチャから出射されたレーザ光のパワー強度の分布を示す図である。FIG. 6A is a diagram for explaining a laser cutting processing method according to an embodiment of the present invention. As a processing condition, the workpiece is made of a thin plate having a thickness of a highly reflective material, for example, 3 mm or less, and the processing form is non-oxidized. FIG. 6B shows a distribution of power intensity of laser light emitted from the aperture. 図7(a)は、本発明の実施形態に係るレーザ切断加工方法を説明する図であり、加工条件として、ワークが高反射材以外の材料の厚さ例えば3mm以下の薄板からなりかつ加工形態が無酸化加工である場合の様子を示しており、図7(b)は、アパーチャから出射されたレーザ光のパワー強度の分布を示す図である。なお、FIG. 7A is a diagram for explaining a laser cutting processing method according to an embodiment of the present invention. As a processing condition, the workpiece is made of a thin plate having a thickness of a material other than a highly reflective material, for example, 3 mm or less, and a processing mode. FIG. 7B shows a distribution of power intensity of laser light emitted from the aperture. In addition, 図8(a)は、軟鋼からなるワークに対して酸素加工を行った場合における、アパーチャのカット率とバーニングの発生の有無との関係を示す表図、図8(b)は、伝送ファイバの出射端からアパーチャまでの距離と、反射光の反射レベルとの関係を示す図である。FIG. 8 (a) is a table showing the relationship between the aperture cut rate and the presence or absence of burning when oxygen processing is performed on a workpiece made of mild steel, and FIG. 8 (b) shows the transmission fiber. It is a figure which shows the relationship between the distance from an output end to an aperture, and the reflection level of reflected light.

本発明の実施形態について図1から図7を参照して説明する。   An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係るファイバレーザ加工機の構成、及び本発明の実施形態に係るレーザ切断加工方法等について順次を説明する。   Hereinafter, the configuration of the fiber laser processing machine according to the embodiment of the present invention, the laser cutting processing method according to the embodiment of the present invention, and the like will be sequentially described with reference to the drawings.

図1に示すように、本発明の実施形態に係るファイバレーザ加工機(レーザ加工機の一例)1は、伝送ファイバ(プロセスファイバ)3の出射端3eから出射されたレーザ光LBを利用して、ワークWに対して切断加工を行う装置である。ここで、伝送ファイバ3は、ファイバレーザ発振器5から発振された1μm帯の波長のレーザ光Lを伝送するものである。   As shown in FIG. 1, a fiber laser processing machine (an example of a laser processing machine) 1 according to an embodiment of the present invention uses a laser beam LB emitted from an emission end 3e of a transmission fiber (process fiber) 3. , An apparatus for cutting the workpiece W. Here, the transmission fiber 3 transmits the laser light L having a wavelength of 1 μm band oscillated from the fiber laser oscillator 5.

ファイバレーザ加工機1は、ワークWを点接触で支持する加工テーブル(支持フレーム)7を具備しており、加工テーブル7は、ワークWを固定する固定具(図示省略)を備えている。また、加工テーブル7の上方には、筒状(中空状)のレーザ加工ヘッド(レーザ加工ヘッド本体)9が可動フレーム(図示省略)等を介して設けられており、このレーザ加工ヘッド9は、先端側(下端側)に、レーザ光LBを照射可能かつアシストガスを噴出可能なノズル11を有している。また、レーザ加工ヘッド9は、可動フレーム等を介してX軸方向、Y軸方向、及びZ軸方向(上下方向)へ加工テーブル7に対して相対的に移動可能になっている。そして、レーザ加工ヘッド9の基端(上端)には、伝送ファイバ3の出射端3eに接続されている。更に、レーザ加工ヘッド9の内部は、ガス供給配管13等を介してアシストガス供給源としてのガスボンベ15に接続可能になっている。なお、ガスボンベ15は、加工形態に応じて適宜に交換可能になっている。   The fiber laser processing machine 1 includes a processing table (support frame) 7 that supports the workpiece W by point contact, and the processing table 7 includes a fixture (not shown) that fixes the workpiece W. Further, a cylindrical (hollow) laser processing head (laser processing head main body) 9 is provided above the processing table 7 via a movable frame (not shown) and the like. A nozzle 11 capable of irradiating the laser beam LB and ejecting the assist gas is provided on the front end side (lower end side). The laser processing head 9 is movable relative to the processing table 7 in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction (vertical direction) via a movable frame or the like. The base end (upper end) of the laser processing head 9 is connected to the output end 3 e of the transmission fiber 3. Further, the inside of the laser processing head 9 can be connected to a gas cylinder 15 as an assist gas supply source via a gas supply pipe 13 or the like. The gas cylinder 15 can be appropriately replaced according to the processing form.

レーザ加工ヘッド9内には、コリメートレンズ17が上部レンズホルダ19を介して設けられており、このコリメートレンズ17は、伝送ファイバ3の出射端3eから出射されたレーザ光LBを平行光に変換するものである。また、コリメートレンズ17の光軸方向(Z軸方向)の位置は、コリメートレンズ17の焦点位置が伝送ファイバ3の出射端3eの位置に一致するように設定されている。そして、レーザ加工ヘッド9内におけるコリメートレンズ17とノズル11との間には、集光レンズ21が下部レンズホルダ23を介して設けられており、この集光レンズ21は、平行光に変換されたレーザ光LBを集光するものである。   A collimating lens 17 is provided in the laser processing head 9 via an upper lens holder 19, and the collimating lens 17 converts the laser light LB emitted from the emission end 3 e of the transmission fiber 3 into parallel light. Is. Further, the position of the collimating lens 17 in the optical axis direction (Z-axis direction) is set so that the focal position of the collimating lens 17 coincides with the position of the emission end 3 e of the transmission fiber 3. And the condensing lens 21 is provided between the collimating lens 17 and the nozzle 11 in the laser processing head 9 via the lower lens holder 23, and this condensing lens 21 was converted into parallel light. The laser beam LB is condensed.

レーザ加工ヘッド9内における伝送ファイバ3の出射端3eとコリメートレンズ17との間には、アパーチャ25が光軸方向(Z軸方向)へ位置調節可能(移動可能)に設けられており、アパーチャ25は、伝送ファイバ3の出射端3eから出射されたレーザ光LBの外層部分(外周側に位置する部分)LBoを遮断(カット)するものである。また、アパーチャ25は、熱伝導性の高い材料からなり、レーザ光LBを透過させるための円形の開口部27を有している。なお、熱伝導性の高い材料とは、例えば、アルミ、アルミ合金、銅、又は銅合金等のことをいう。   An aperture 25 is provided between the exit end 3e of the transmission fiber 3 and the collimating lens 17 in the laser processing head 9 so as to be adjustable (movable) in the optical axis direction (Z-axis direction). Is for blocking (cutting) the outer layer portion (portion located on the outer peripheral side) LBo of the laser beam LB emitted from the emission end 3 e of the transmission fiber 3. The aperture 25 is made of a material having high thermal conductivity and has a circular opening 27 for transmitting the laser beam LB. The material having high thermal conductivity refers to, for example, aluminum, aluminum alloy, copper, or copper alloy.

レーザ加工ヘッド9の適宜位置には、アパーチャ25を光軸方向へ位置調節するためのサーボモータ(アクチュエータ)29が設けられている。また、サーボモータ29の出力軸(図示省略)には、光軸方向へ延びたボールネジ31が連動連結されており、アパーチャ25には、ボールネジ31に螺合したナット部材33が設けられている。   A servo motor (actuator) 29 for adjusting the position of the aperture 25 in the optical axis direction is provided at an appropriate position of the laser processing head 9. A ball screw 31 extending in the optical axis direction is interlocked with an output shaft (not shown) of the servo motor 29, and a nut member 33 screwed to the ball screw 31 is provided in the aperture 25.

ここで、伝送ファイバ3の出射端3eからアパーチャ25までの距離(光軸方向の長さ)Sと、アパーチャ25の開口部27を透過するレーザ光LBのパワー透過率(アパーチャ25の開口部27のレーザ光LBのパワー透過率)との関係は、図4に示すようになる。なお、アパーチャ25によるレーザ光LBのカット率(遮断率)は、100%からアパーチャ25の開口部27のレーザ光LBのパワー透過率を引いた値になる。   Here, the distance (length in the optical axis direction) S from the exit end 3e of the transmission fiber 3 to the aperture 25 and the power transmittance of the laser beam LB that passes through the opening 27 of the aperture 25 (the opening 27 of the aperture 25). The relationship with the power transmittance of the laser beam LB is as shown in FIG. The cut rate (cutoff rate) of the laser beam LB by the aperture 25 is a value obtained by subtracting the power transmittance of the laser beam LB from the opening 27 of the aperture 25 from 100%.

図2に示すように、ファイバレーザ加工機1は、加工プログラムに基づいてファイバレーザ発振器5及びサーボモータ29等を制御する制御装置35と、この制御装置35に接続されかつ加工条件(ワークWの材質、ワークWの厚み、加工形態、加工速度等)を入力する入力ユニット37とを具備している。また、この制御装置35は、加工プログラム等を記憶するメモリと、加工プログラムを解釈して実行するCPUとを備えている。そして、制御装置35のメモリは、テーブル記憶部39としての機能を有し、制御装置35のCPUは、カット率選択部41としての機能及びモータ制御部(アクチュエータ制御手段)43としての機能を有している。   As shown in FIG. 2, the fiber laser processing machine 1 includes a control device 35 that controls the fiber laser oscillator 5 and the servo motor 29 based on a processing program, and is connected to the control device 35 and processing conditions (work W And an input unit 37 for inputting a material, a thickness of the workpiece W, a processing form, a processing speed, and the like. The control device 35 includes a memory that stores a machining program and the like, and a CPU that interprets and executes the machining program. The memory of the control device 35 has a function as the table storage unit 39, and the CPU of the control device 35 has a function as the cut rate selection unit 41 and a function as the motor control unit (actuator control means) 43. doing.

ここで、テーブル記憶部39は、加工条件とアパーチャ25によるレーザ光のカット率(アパーチャ25のカット率)との関係を示すテーブル(図3参照)を記憶するものであり予め設定されている。また、カット率選択部41は、加工プログラムにより指示されるこれから加工されるワークWの材質、ワークの厚み等の加工条件に基づき、テーブル記憶部39に記憶されたテーブルを参照しつつ、加工条件に応じたカット率を選択するものである。そして、モータ制御部43は、カット率選択部41によって選択されたカット率になるようにサーボモータ29を制御するものである。なお、サーボモータ29の具体的な制御については、後述する。   Here, the table storage unit 39 stores a table (see FIG. 3) indicating the relationship between the processing conditions and the laser beam cut rate by the aperture 25 (cut rate of the aperture 25), and is set in advance. In addition, the cutting rate selection unit 41 refers to the processing conditions such as the material of the workpiece W to be processed, the thickness of the workpiece, and the like stored in the table storage unit 39 based on the processing conditions specified by the processing program. The cutting rate corresponding to the is selected. The motor control unit 43 controls the servo motor 29 so that the cut rate selected by the cut rate selection unit 41 is obtained. The specific control of the servo motor 29 will be described later.

続いて、本発明の実施形態に係るレーザ切断加工方法について、ファイバレーザ加工機1の動作を含めつつ、図1から図3、図5(a)(b)から図7(a)(b)を参照して説明する。なお、図5(a)、図6(a)、及び図7(a)において、レーザ光LBはパワー強度が高い箇所ほど密なハッチングを施してあり、図5(b)及び図6(b)において、アパーチャ25によって遮断されたレーザ光LBのパワー強度はハッチングを施してある。   Subsequently, with respect to the laser cutting processing method according to the embodiment of the present invention, while including the operation of the fiber laser processing machine 1, FIGS. 1 to 3 and FIGS. 5 (a) (b) to 7 (a) (b). Will be described with reference to FIG. In FIGS. 5A, 6A, and 7A, the laser beam LB is more densely hatched at higher power intensity, and FIGS. 5B and 6B. ), The power intensity of the laser beam LB blocked by the aperture 25 is hatched.

図1に示すように、レーザ加工ヘッド9をZ軸方向へ加工テーブル7に対して相対的に移動させて、レーザ光LBの焦点位置を調節する。そして、ファイバレーザ発振器5を作動させて、伝送ファイバ3の出射端3eからレーザ光LBを出射することにより、そのレーザ光LBをコリメートレンズ17によって平行光に変換し、集光レンズ21によって集光してノズル11からワークWの被切断部Waに向かってレーザ光LBを照射する。また、レーザ光LBを照射すると同時に、ガスボンベ15からレーザ加工ヘッド9の内部にアシストガスを供給することにより、ノズル11からワークWの被切断部Waに向かってアシストガスを噴射する。更に、ノズル11からワークWの被切断部Waに向かってレーザ光LBを照射しかつアシストガスを噴出した状態で、レーザ加工ヘッド9をワークWの被切断部Waに沿ってX軸方向及びY軸方向のうちの少なくともいずれかの方向へ加工テーブル7に対して相対的に移動させる。これにより、高密度に集光したレーザ光LBのエネルギーを利用して、ワークWの被切断部Waを溶融させかつその溶融物を除去しながら、ワークWに対して切断加工を行うことができる。前述の動作を連続して繰り返すことにより、複数のワークWに対して一連の切断加工を行うことができる。なお、切断加工中、アパーチャ25はチラー(図示省略)によって水冷されるようになっている。   As shown in FIG. 1, the laser machining head 9 is moved relative to the machining table 7 in the Z-axis direction to adjust the focal position of the laser beam LB. Then, the fiber laser oscillator 5 is operated to emit the laser light LB from the emission end 3 e of the transmission fiber 3, so that the laser light LB is converted into parallel light by the collimator lens 17 and condensed by the condenser lens 21. Then, the laser beam LB is irradiated from the nozzle 11 toward the cut portion Wa of the workpiece W. Further, simultaneously with the irradiation with the laser beam LB, the assist gas is supplied from the gas cylinder 15 into the laser processing head 9 to inject the assist gas from the nozzle 11 toward the cut portion Wa of the workpiece W. Further, in the state where the laser beam LB is irradiated from the nozzle 11 toward the cut portion Wa of the workpiece W and the assist gas is ejected, the laser processing head 9 is moved along the cut portion Wa of the workpiece W along the X axis direction and the Y axis. It moves relative to the processing table 7 in at least one of the axial directions. Accordingly, the workpiece W can be cut while melting the portion to be cut Wa of the workpiece W and removing the melt using the energy of the laser beam LB condensed at high density. . A series of cutting processes can be performed on a plurality of workpieces W by repeating the above-described operation continuously. During the cutting process, the aperture 25 is water cooled by a chiller (not shown).

ワークWに対して切断加工を行う前に、図2及び図3に示すように、加工条件として、ワークWの材質、ワークWの厚み、加工形態(アシストガスとして酸素を用いた酸素加工又はアシストガスとして不活性ガスを用いた無酸化加工)、加工速度等を入力ユニット37によって予め入力する。そして、加工形態が酸素加工である場合には、アパーチャ25によるレーザ光LBのカット率を2〜20%の範囲内に設定することになる。また、加工形態が無酸化加工である場合には、アパーチャ25によるレーザ光LBのカット率を0〜8%の範囲内に設定し、テーブル記憶部39に記憶される。すると、カット率選択部41は、加工プログラムで指定された加工条件に基づいて、テーブル記憶部39に記憶されたテーブルを参照しつつ、加工条件に応じたカット率を選択する。そして、モータ制御部43は、カット率選択部41によって選択されたカット率になるようにサーボモータ29を制御する。なお、入力ユニット37による加工条件とカット率を入力する際にカット率を間違えた場合、例えば加工形態が酸素加工であるにも拘わらず2〜20%の範囲外の1%と仮に入力されテーブル記憶部39に記憶された場合、制御装置35のCPUが設定範囲外としてアラーム等を表示することで作業者に知らせることができる。或いは、加工プログラムに基づく加工中に制御装置35でサーボモータ29を制御する際に、所定範囲外に設定されていることを制御装置35のCPUが判断し、間違って設定された例えば1%ではなく、所定範囲内の2〜20%の1%に近い2%に変更してサーボモータ29を制御することも可能である。   Before cutting the workpiece W, as shown in FIG. 2 and FIG. 3, the processing conditions include the material of the workpiece W, the thickness of the workpiece W, the processing mode (oxygen processing or assist using oxygen as an assist gas) Non-oxidation processing using an inert gas as a gas), processing speed, and the like are input in advance by the input unit 37. And when a processing form is oxygen processing, the cut rate of the laser beam LB by the aperture 25 will be set in the range of 2 to 20%. Further, when the processing form is non-oxidizing processing, the cut rate of the laser beam LB by the aperture 25 is set within a range of 0 to 8% and stored in the table storage unit 39. Then, the cut rate selection unit 41 selects a cut rate according to the processing conditions while referring to the table stored in the table storage unit 39 based on the processing conditions specified by the processing program. Then, the motor control unit 43 controls the servo motor 29 so that the cut rate selected by the cut rate selection unit 41 is obtained. If the cutting rate is wrong when inputting the processing conditions and the cutting rate by the input unit 37, for example, 1% outside the range of 2 to 20% is temporarily input even though the processing form is oxygen processing. When stored in the storage unit 39, the CPU of the control device 35 can notify the operator by displaying an alarm or the like outside the set range. Alternatively, when the servo motor 29 is controlled by the control device 35 during machining based on the machining program, the CPU of the control device 35 determines that the setting is out of the predetermined range, and for example, 1% set incorrectly. Alternatively, the servo motor 29 can be controlled by changing it to 2% close to 1% of 2 to 20% within a predetermined range.

具体的には、図3に示すように加工条件として、ワークWの材質が軟鋼(高反射材以外の材料の1つ)であって、ワークWの厚みが6mmであって、加工形態が酸素加工である場合には、サーボモータ29の駆動によりアパーチャ25を光軸方向へ位置調節して、アパーチャ25によるレーザ光LBのカット率を2〜20%の範囲内の3%に設定する。これにより、図5(a)(b)に示すように、アパーチャ25によってレーザ光LBの外層部分LBo、換言すれば、レーザ光LBにおける溶融(切断)に寄与しない低エネルギーの部分がワークWの被切断部Waに照射されることを十分に抑制できる。ここで、アパーチャ25によるレーザ光LBのカット率を2%以上にしたのは、2%未満であると、レーザ光LBにおける前記低エネルギーの部分がワークWの被切断部Waに照射されることを十分に抑制することが困難になるからである。一方、アパーチャ25によるレーザ光LBのカット率を20%以下にしたのは、20%を超えると、加工点としてのワークWの被切断部Waにおけるレーザ光LBのパワー強度が低下するからである。なお、高反射材とは、銅、銅合金、アルミ、アルミ合金、又は鏡面仕上げしたステンレス等のこといい、高反射材以外の材料とは、通常のステンレス、軟鋼等のこという。   Specifically, as shown in FIG. 3, as processing conditions, the material of the workpiece W is mild steel (one of materials other than the highly reflective material), the thickness of the workpiece W is 6 mm, and the processing mode is oxygen. In the case of machining, the position of the aperture 25 is adjusted in the optical axis direction by driving the servo motor 29, and the cut rate of the laser beam LB by the aperture 25 is set to 3% within the range of 2 to 20%. As a result, as shown in FIGS. 5A and 5B, the outer layer portion LBo of the laser beam LB by the aperture 25, in other words, a low energy portion that does not contribute to melting (cutting) in the laser beam LB is formed on the workpiece W. Irradiation to the part to be cut Wa can be sufficiently suppressed. Here, the reason why the cut rate of the laser beam LB by the aperture 25 is set to 2% or more is that the low energy portion of the laser beam LB is irradiated to the cut portion Wa of the workpiece W when it is less than 2%. This is because it becomes difficult to sufficiently suppress this. On the other hand, the reason why the cut rate of the laser beam LB by the aperture 25 is set to 20% or less is that when it exceeds 20%, the power intensity of the laser beam LB at the cut portion Wa of the workpiece W as a processing point decreases. . The high reflection material means copper, copper alloy, aluminum, aluminum alloy, or mirror-finished stainless steel, and the material other than the high reflection material means normal stainless steel, mild steel, or the like.

更に、図3に示すように加工条件として、ワークWが材質が通常のステンレスであって、ワークWの厚みが2mmであって、無酸化加工である場合には、サーボモータ29の駆動によりアパーチャ25を光軸方向へ位置調節して、アパーチャ25によるレーザ光LBのカット率を0%に設定する。これにより、図7(a)(b)に示すようになる。ステンレス加工の場合カット率がなるべく低い(0%)であればレーザ光LBのパワー強度を維持しつつ高速加工が可能である。しかし、カット率を上げるとレーザ光LBにおける前記低エネルギーの部分がワークWの被切断部Waに照射されることを抑制して、レーザ加工ヘッド9側への反射光LB'を十分に低減することは可能になり安定加工を行うことができるが、カット率が下がる分だけパワー強度が低下するので加工速度はパワー強度の低下に応じて低下させる必要がある。   Further, as shown in FIG. 3, when the workpiece W is made of normal stainless steel and the workpiece W has a thickness of 2 mm and is non-oxidizing, the aperture is driven by the servo motor 29. 25 is adjusted in the optical axis direction, and the cut rate of the laser beam LB by the aperture 25 is set to 0%. As a result, it becomes as shown in FIGS. In the case of stainless steel processing, if the cut rate is as low as possible (0%), high-speed processing is possible while maintaining the power intensity of the laser beam LB. However, when the cut rate is increased, the low-energy portion of the laser beam LB is suppressed from being irradiated onto the cut portion Wa of the workpiece W, and the reflected light LB ′ toward the laser processing head 9 is sufficiently reduced. This makes it possible to perform stable machining, but the power strength is reduced by the amount of reduction in the cutting rate, so the machining speed needs to be reduced in accordance with the reduction in power strength.

また、特に高反射材の場合は、反射光の影響が特に大きくなりカット率は0%でなくある程度必要となる。例えば図3に示すように加工条件として、ワークWの材質が銅合金(高反射材の一例)であって、ワークWの厚さが1mmであって、加工形態が無酸化加工である場合には、サーボモータ29の駆動によりアパーチャ25を光軸方向へ位置調節して、アパーチャ25によるレーザ光LBのカット率を3〜8%の範囲内の5%に設定する。これにより、図6(a)(b)に示すように、レーザ光LBにおける前記低エネルギーの部分がワークWの被切断部Waに照射されることを抑制して、レーザ加工ヘッド9側への反射光LB’を十分に低減できると共に、加工点としてのワークWの被切断部Waにおけるレーザ光LBのパワー強度を十分に確保して、無酸化加工中の生産性の低下を抑え切断速度の高速化を維持することができる。ここで、無酸化加工中の生産性の低下を抑え切断速度の高速化を維持することができる。ここでアパーチャ25のカット率は反射光LB'の影響を考えた場合は大きいほうが望ましいが、アパーチャ25によるレーザ光LBのカット率を8%以下にしたのは、8%を超えると、加工点としてのワークWの被切断部Waにおけるレーザ光LBのパワー強度が低下して、無酸化加工中の切断速度を高速に維持できず切断速度を低下せざるを得ず、生産性が低下するからである。   In particular, in the case of a highly reflective material, the influence of the reflected light is particularly great, and the cut rate is required to some extent instead of 0%. For example, as shown in FIG. 3, when the workpiece W is made of a copper alloy (an example of a highly reflective material), the workpiece W has a thickness of 1 mm, and the machining mode is non-oxidation machining as shown in FIG. The position of the aperture 25 is adjusted in the optical axis direction by driving the servo motor 29, and the cut rate of the laser light LB by the aperture 25 is set to 5% within the range of 3 to 8%. As a result, as shown in FIGS. 6A and 6B, the low-energy portion of the laser beam LB is suppressed from being irradiated to the cut portion Wa of the workpiece W, and the laser processing head 9 is moved toward the laser processing head 9 side. The reflected light LB ′ can be sufficiently reduced, and the power intensity of the laser light LB in the cut portion Wa of the workpiece W as a processing point is sufficiently secured to suppress a reduction in productivity during non-oxidation processing and to reduce the cutting speed. High speed can be maintained. Here, a reduction in productivity during non-oxidation processing can be suppressed and a high cutting speed can be maintained. Here, it is desirable that the cut rate of the aperture 25 is large when the influence of the reflected light LB ′ is considered. However, the cut rate of the laser beam LB by the aperture 25 is 8% or less. As a result, the power intensity of the laser beam LB at the cut portion Wa of the workpiece W as the lowering of the workpiece W is reduced, the cutting speed during the non-oxidation processing cannot be maintained at a high speed, and the cutting speed must be reduced, and the productivity is reduced. It is.

続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。   Then, the effect | action and effect of embodiment of this invention are demonstrated.

加工形態が酸素加工である場合には、アパーチャ25を光軸方向へ位置調節して、アパーチャ25によるレーザ光LBのカット率を2〜20%に設定するため、前述の新規な知見を適用すると、特殊な集光レンズを用いなくても、加工点としてのワークWの被切断部Waにおけるレーザ光LBのパワー強度を十分に確保して、軟鋼の厚さ例えば6mm以上の厚板からなるワークWに対してバーニングを防止しながら酸素加工による切断を行うことができる。また、加工形態が無酸化加工である場合には、アパーチャ25によるレーザ光LBのカット率を8%以下に設定するため、反射光LB’を低減して、無酸化加工中の切断速度の高速化を図ることができるため、ワークWの被切断部Waにおけるレーザ光LBのパワー強度を十分に確保して、無酸化加工中の切断速度を維持しつつ高速化を図ることができる。これにより、一連の切断加工の途中に、アパーチャ25を光軸方向へ位置調節するだけで、加工形態を無酸化加工から酸素加工に又は酸素加工から無酸化加工に変更することができる。   When the processing form is oxygen processing, the position of the aperture 25 is adjusted in the optical axis direction, and the cut rate of the laser light LB by the aperture 25 is set to 2 to 20%. Even without using a special condensing lens, a sufficient work strength of the laser beam LB at the cut portion Wa of the workpiece W as a processing point is ensured, and the workpiece is made of a thick plate having a thickness of mild steel, for example, 6 mm or more. Cutting by oxygen processing can be performed while preventing burning of W. Further, when the processing form is non-oxidizing processing, the cut rate of the laser beam LB by the aperture 25 is set to 8% or less, so the reflected light LB ′ is reduced and the cutting speed during non-oxidizing processing is high. Therefore, the power intensity of the laser beam LB in the part Wa to be cut of the workpiece W can be sufficiently secured, and the speed can be increased while maintaining the cutting speed during the non-oxidizing process. Thereby, the processing mode can be changed from non-oxidation processing to oxygen processing or from oxygen processing to non-oxidation processing only by adjusting the position of the aperture 25 in the optical axis direction during a series of cutting processes.

特に、ワークWが高反射材の厚さ例えば3mm以下の薄板からなりかつ加工形態が無酸化加工である場合には、アパーチャ25によるレーザ光LBのカット率を設定することで、レーザ加工ヘッド9側への反射光LB’を十分に低減できるため、集光レンズ21、コリメートレンズ17、及び伝送ファイバ3の出射端3e等の焼損を十分に防止することができる。特に、アパーチャ25が反射光LB’を遮断することができるため、伝送ファイバ3の出射端3eの焼損をより十分に防止することができる。   In particular, when the workpiece W is made of a thin plate having a thickness of a highly reflective material, for example, 3 mm or less, and the processing form is non-oxidizing, the laser processing head 9 is set by setting the cut rate of the laser beam LB by the aperture 25 Since the reflected light LB ′ to the side can be sufficiently reduced, it is possible to sufficiently prevent the condensing lens 21, the collimating lens 17, and the emission end 3e of the transmission fiber 3 from being burned out. In particular, since the aperture 25 can block the reflected light LB ', it is possible to more sufficiently prevent the emission end 3e of the transmission fiber 3 from being burned out.

従って、本発明の実施形態によれば、一連の切断加工の途中に、アパーチャ25を光軸方向へ位置調節するだけで、加工形態を無酸化加工から酸素加工に又は酸素加工から無酸化加工に変更することができるため、切断加工の作業の煩雑化を抑えて、作業能率の向上を図ると共に、切断加工の中断時間を極力短くして、切断加工の生産性を十分に高めることができる。   Therefore, according to the embodiment of the present invention, the processing mode is changed from non-oxidation processing to oxygen processing or from oxygen processing to non-oxidation processing by simply adjusting the position of the aperture 25 in the optical axis direction during a series of cutting processes. Since it can be changed, the complexity of the cutting process can be suppressed, the work efficiency can be improved, the interruption time of the cutting process can be shortened as much as possible, and the productivity of the cutting process can be sufficiently increased.

特に、ワークWが高反射材の厚さ例えば3mm以下の薄板からなりかつ加工形態が無酸化加工である場合においても、集光レンズ21等の焼損を十分に防止できるため、集光レンズ21等の交換を極力減らして、作業能率のより高めることができる。   In particular, even when the workpiece W is made of a thin plate with a thickness of 3 mm or less, and the processing form is non-oxidizing, burnout of the condenser lens 21 and the like can be sufficiently prevented. As a result, the work efficiency can be further improved.

なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、例えば、ファイバレーザ加工機1を用いる代わりに、レーザ光LBを伝送ファイバ3で伝送する形式のYAGレーザ加工機、固体レーザ加工機、及び炭酸レーザ加工機等を用いる等、その他、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、前述の実施形態に限定されないものである。   The present invention is not limited to the description of the above-described embodiment. For example, instead of using the fiber laser processing machine 1, a YAG laser processing machine or a solid-state laser of a type that transmits the laser light LB through the transmission fiber 3 is used. The present invention can be implemented in various other modes such as using a processing machine and a carbonic acid laser processing machine. Further, the scope of rights encompassed by the present invention is not limited to the above-described embodiment.

本発明の実施例について図8(a)(b)を参照して説明する。   An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

汎用の集光レンズを用いて、軟鋼からなるワークに対して酸素加工を行った場合に、アパーチャのカット率とバーニングの発生の有無との関係をまとめると、図8(a)に示すような結果になった。つまり、アパーチャのカット率を2%以上に設定することにより、軟鋼の厚さ6mm以上の厚板からなるワークに対してバーニングを防止しながら酸素加工を行うことが確認できた。なお、図8(a)中における「○」は、バーニングの発生が無かったことを示しており、図8(a)中における「×」は、バーニングの発生が有ったことを示している。   When oxygen processing is performed on a workpiece made of mild steel using a general-purpose condensing lens, the relationship between the aperture cut rate and the presence or absence of occurrence of burning is summarized as shown in FIG. The result was. That is, by setting the aperture cut rate to 2% or more, it was confirmed that oxygen processing was performed while preventing burning on a workpiece made of a thick steel plate having a thickness of 6 mm or more. Note that “◯” in FIG. 8A indicates that there was no burning, and “X” in FIG. 8A indicates that burning occurred. .

銅合金からなるワークに対してレーザ光の反射試験を行い、伝送ファイバの出射端からアパーチャまでの距離と、反射光の反射レベルとの関係をまとめると、図8(b)に示すような結果になった。つまり、伝送ファイバの出射端からアパーチャまでの距離が長くなりカット率が上がると反射光レベルは下がる傾向になり、特に一定の距離(75mm)以上長くなると、換言すれば、アパーチャによるレーザ光のカット率が一定のカット率(3%)以上になると、反射光の反射レベルを十分に低減できることが確認できた。   When a laser beam reflection test is performed on a workpiece made of a copper alloy and the relationship between the distance from the output end of the transmission fiber to the aperture and the reflection level of the reflected light is summarized, the result shown in FIG. 8B is obtained. Became. That is, when the distance from the output end of the transmission fiber to the aperture becomes longer and the cutting rate increases, the reflected light level tends to decrease. It was confirmed that the reflection level of the reflected light can be sufficiently reduced when the rate becomes a certain cut rate (3%) or more.

LB レーザ光
LBo 外層部分
LB’ 反射光
W ワーク
Wa 被切断部
1 ファイバレーザ加工機
3 伝送ファイバ
3e 出射端
5 ファイバレーザ発振器
7 加工テーブル
9 レーザ加工ヘッド(レーザ加工ヘッド本体)
11 ノズル
13 ガス供給配管
15 ガスボンベ
17 コリメートレンズ
19 上部レンズホルダ
21 集光レンズ
23 下部レンズホルダ
25 アパーチャ
27 開口部
29 サーボモータ(アクチュエータ)
31 ボールネジ
33 ナット部材
35 制御装置
37 入力ユニット
39 テーブル記憶部
41 カット率選択部
43 モータ制御部(アクチュエータ制御手段)
LB Laser light LBo Outer layer portion LB 'Reflected light W Work Wa Cut part 1 Fiber laser processing machine 3 Transmission fiber 3e Output end 5 Fiber laser oscillator 7 Processing table 9 Laser processing head (laser processing head main body)
11 Nozzle 13 Gas supply pipe 15 Gas cylinder 17 Collimating lens 19 Upper lens holder 21 Condensing lens 23 Lower lens holder 25 Aperture 27 Opening 29 Servo motor (actuator)
31 Ball screw 33 Nut member 35 Control device 37 Input unit 39 Table storage unit 41 Cut rate selection unit 43 Motor control unit (actuator control means)

Claims (10)

伝送ファイバの出射端の出射されたレーザ光のエネルギーを利用して、ワークに対して切断加工を行うレーザ加工機において、
先端側にレーザ光を照射可能かつアシストガスを噴出可能なノズルを有し、前記伝送ファイバの出射端に接続され、内部がアシストガスの供給源に接続可能な筒状のレーザ加工ヘッドと、
前記レーザ加工ヘッド内に設けられ、前記伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光を平行光に変換するコリメートレンズと、
前記レーザ加工ヘッド内における前記コリメートレンズと前記ノズルの間に設けられ、平行光に変換されたレーザ光を集光する集光レンズと、
前記レーザ加工ヘッド内における前記伝送ファイバの出射端と前記コリメートレンズとの間に光軸方向に位置調節可能に設けられ、レーザ光を透過させるための円形の開口部を有し、前記伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光の外層部分を遮断するアパーチャと、
前記アパーチャを光軸方向へ位置調節するためのアクチュエータと、
前記アパーチャによるレーザ光のカット率が加工条件に応じたカット率になるように前記アクチュエータを制御するアクチュエータ制御手段と、を具備したことを特徴とするレーザ加工機。
In a laser processing machine that performs cutting processing on a workpiece using the energy of laser light emitted from the exit end of the transmission fiber,
A cylindrical laser processing head having a nozzle capable of irradiating a laser beam on the tip side and capable of ejecting an assist gas, connected to the output end of the transmission fiber, and internally connected to an assist gas supply source;
A collimating lens that is provided in the laser processing head and converts the laser light emitted from the emission end of the transmission fiber into parallel light;
A condensing lens that is provided between the collimating lens and the nozzle in the laser processing head and condenses the laser light converted into parallel light;
The laser processing head is provided between the exit end of the transmission fiber and the collimating lens so as to be adjustable in position in the optical axis direction, and has a circular opening for transmitting laser light. An aperture that blocks the outer layer portion of the laser beam emitted from the emission end;
An actuator for adjusting the position of the aperture in the optical axis direction;
Actuator control means for controlling the actuator so that the cut rate of the laser beam by the aperture becomes a cut rate according to the processing conditions.
加工条件とカット率との関係を示すテーブルを記憶するテーブル記憶部と、
前記テーブル記憶部に記憶された前記テーブルを参照しつつ、加工条件に応じたカット率を選択するカット率選択部と、を具備し、
前記アクチュエータ制御手段は、前記カット率選択部によって選択されたカット率になるように前記アクチュエータを制御することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工機。
A table storage unit for storing a table showing the relationship between the processing conditions and the cutting rate;
A cutting rate selection unit that selects a cutting rate according to processing conditions while referring to the table stored in the table storage unit,
The laser processing machine according to claim 1, wherein the actuator control unit controls the actuator so that the cut rate selected by the cut rate selection unit is obtained.
伝送ファイバの出射端の出射されたレーザ光のエネルギーを利用して、ワークに対して切断加工を行うレーザ加工機において、
先端側にレーザ光を照射可能かつアシストガスを噴出可能なノズルを有し、前記伝送ファイバの出射端に接続され、内部がアシストガスの供給源に接続可能な筒状のレーザ加工ヘッドと、
前記レーザ加工ヘッド内に設けられ、前記伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光を平行光に変換するコリメートレンズと、
前記レーザ加工ヘッド内における前記コリメートレンズと前記ノズルの間に設けられ、平行光に変換されたレーザ光を集光する集光レンズと、
前記レーザ加工ヘッド内における前記伝送ファイバの出射端と前記コリメートレンズとの間に光軸方向に位置調節可能に設けられ、レーザ光を透過させるための円形の開口部を有し、前記伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光の外層部分を遮断するアパーチャと、
前記アパーチャを光軸方向へ位置調節するためのアクチュエータと、
加工条件としての加工形態がアシストガスとして酸素を用いた酸素加工である場合に、前記アパーチャによるレーザ光のカット率が2〜20%になるように前記アクチュエータを制御するアクチュエータ制御手段と、を具備したことを特徴とすレーザ加工機。
In a laser processing machine that performs cutting processing on a workpiece using the energy of laser light emitted from the exit end of the transmission fiber,
A cylindrical laser processing head having a nozzle capable of irradiating a laser beam on the tip side and capable of ejecting an assist gas, connected to the output end of the transmission fiber, and internally connected to an assist gas supply source;
A collimating lens that is provided in the laser processing head and converts the laser light emitted from the emission end of the transmission fiber into parallel light;
A condensing lens that is provided between the collimating lens and the nozzle in the laser processing head and condenses the laser light converted into parallel light;
The laser processing head is provided between the exit end of the transmission fiber and the collimating lens so as to be adjustable in position in the optical axis direction, and has a circular opening for transmitting laser light. An aperture that blocks the outer layer portion of the laser beam emitted from the emission end;
An actuator for adjusting the position of the aperture in the optical axis direction;
Actuator processing means for controlling the actuator so that the cut rate of laser light by the aperture is 2 to 20% when the processing form as processing conditions is oxygen processing using oxygen as an assist gas. laser machine you characterized in that the.
伝送ファイバの出射端の出射されたレーザ光のエネルギーを利用して、ワークに対して切断加工を行うレーザ加工機において、
先端側にレーザ光を照射可能かつアシストガスを噴出可能なノズルを有し、前記伝送ファイバの出射端に接続され、内部がアシストガスの供給源に接続可能な筒状のレーザ加工ヘッドと、
前記レーザ加工ヘッド内に設けられ、前記伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光を平行光に変換するコリメートレンズと、
前記レーザ加工ヘッド内における前記コリメートレンズと前記ノズルの間に設けられ、平行光に変換されたレーザ光を集光する集光レンズと、
前記レーザ加工ヘッド内における前記伝送ファイバの出射端と前記コリメートレンズとの間に光軸方向に位置調節可能に設けられ、レーザ光を透過させるための円形の開口部を有し、前記伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光の外層部分を遮断するアパーチャと、
加工条件としての加工形態がアシストガスとして不活性ガスを用いた無酸化加工である場合に、前記アパーチャによるレーザ光のカット率が8%以下になるように前記アクチュエータを制御するアクチュエータ制御手段と、を具備したことを特徴とすレーザ加工機。
In a laser processing machine that performs cutting processing on a workpiece using the energy of laser light emitted from the exit end of the transmission fiber,
A cylindrical laser processing head having a nozzle capable of irradiating a laser beam on the tip side and capable of ejecting an assist gas, connected to the output end of the transmission fiber, and internally connected to an assist gas supply source;
A collimating lens that is provided in the laser processing head and converts the laser light emitted from the emission end of the transmission fiber into parallel light;
A condensing lens that is provided between the collimating lens and the nozzle in the laser processing head and condenses the laser light converted into parallel light;
The laser processing head is provided between the exit end of the transmission fiber and the collimating lens so as to be adjustable in position in the optical axis direction, and has a circular opening for transmitting laser light. An aperture that blocks the outer layer portion of the laser beam emitted from the emission end;
Actuator processing means for controlling the actuator so that the cut rate of the laser beam by the aperture is 8% or less when the processing form as the processing condition is non-oxidation processing using an inert gas as an assist gas ; laser machine characterized by comprising a.
伝送ファイバの出射端の出射されたレーザ光のエネルギーを利用して、ワークに対して切断加工を行うレーザ加工機において、
先端側にレーザ光を照射可能かつアシストガスを噴出可能なノズルを有し、前記伝送ファイバの出射端に接続され、内部がアシストガスの供給源に接続可能な筒状のレーザ加工ヘッドと、
前記レーザ加工ヘッド内に設けられ、前記伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光を平行光に変換するコリメートレンズと、
前記レーザ加工ヘッド内における前記コリメートレンズと前記ノズルの間に設けられ、平行光に変換されたレーザ光を集光する集光レンズと、
前記レーザ加工ヘッド内における前記伝送ファイバの出射端と前記コリメートレンズとの間に光軸方向に位置調節可能に設けられ、レーザ光を透過させるための円形の開口部を有し、前記伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光の外層部分を遮断するアパーチャと、
加工条件として、ワークの材質が高反射材であって、加工形態がアシストガスとして不活性ガスを用いた無酸化加工である場合に、前記アパーチャによるレーザ光のカット率が3〜8%になるように前記アクチュエータを制御するアクチュエータ制御手段と、を具備したことを特徴とすレーザ加工機。
In a laser processing machine that performs cutting processing on a workpiece using the energy of laser light emitted from the exit end of the transmission fiber,
A cylindrical laser processing head having a nozzle capable of irradiating a laser beam on the tip side and capable of ejecting an assist gas, connected to the output end of the transmission fiber, and internally connected to an assist gas supply source;
A collimating lens that is provided in the laser processing head and converts the laser light emitted from the emission end of the transmission fiber into parallel light;
A condensing lens that is provided between the collimating lens and the nozzle in the laser processing head and condenses the laser light converted into parallel light;
The laser processing head is provided between the exit end of the transmission fiber and the collimating lens so as to be adjustable in position in the optical axis direction, and has a circular opening for transmitting laser light. An aperture that blocks the outer layer portion of the laser beam emitted from the emission end;
As processing conditions, when the workpiece material is a highly reflective material and the processing form is non-oxidation processing using an inert gas as an assist gas, the laser light cut rate by the aperture is 3 to 8% . laser machine you characterized by comprising the actuator control means, the controlling said actuator so.
伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光をコリメートレンズによって平行光に変換し、集光レンズによって集光してワークの被切断部に向かって照射すると共に、ワークの被切断部に向かってアシストガスを噴射することにより、レーザ光のエネルギーを利用して、ワークの被切断部を溶融させかつその溶融物を除去しながら、ワークに対して切断加工を行うレーザ切断加工方法において、
前記伝送ファイバの出射端と前記コリメートレンズとの間に光軸方向へ位置調節可能に設けられかつレーザ光を透過させるための円形の開口部を有しかつ前記伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光の外層部分を遮断するアパーチャを用い、
前記アパーチャを光軸方向へ位置調節して、前記アパーチャによるレーザ光のカット率を加工条件に応じたカット率に設定することを特徴とするレーザ切断加工方法。
Laser light emitted from the output end of the transmission fiber is converted into parallel light by a collimating lens, condensed by a condensing lens, and irradiated toward the workpiece to be cut, while assisting toward the workpiece to be cut. In the laser cutting processing method of performing cutting processing on a work while injecting gas and using the energy of laser light to melt the work to be cut and remove the melt,
Between the exit end of the transmission fiber and the collimating lens, the position is adjustable in the optical axis direction, and a circular opening for transmitting the laser light is provided and emitted from the exit end of the transmission fiber. Using an aperture that blocks the outer layer of the laser beam,
A laser cutting processing method characterized in that the position of the aperture is adjusted in the optical axis direction, and the cut rate of the laser light by the aperture is set to a cut rate according to a processing condition.
伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光をコリメートレンズによって平行光に変換し、集光レンズによって集光してワークの被切断部に向かって照射すると共に、ワークの被切断部に向かってアシストガスを噴射することにより、レーザ光のエネルギーを利用して、ワークの被切断部を溶融させかつその溶融物を除去しながら、ワークに対して切断加工を行うレーザ切断加工方法において、
前記伝送ファイバの出射端と前記コリメートレンズとの間に光軸方向へ位置調節可能に設けられかつレーザ光を透過させるための円形の開口部を有しかつ前記伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光の外層部分を遮断するアパーチャを用い、
加工条件としての加工形態がアシストガスとして酸素を用いた酸素加工である場合には、前記アパーチャを光軸方向へ位置調節して、前記アパーチャによるレーザ光のカット率を2〜20%に設定することを特徴とすレーザ切断加工方法。
Laser light emitted from the output end of the transmission fiber is converted into parallel light by a collimating lens, condensed by a condensing lens, and irradiated toward the workpiece to be cut, while assisting toward the workpiece to be cut. In the laser cutting processing method of performing cutting processing on a work while injecting gas and using the energy of laser light to melt the work to be cut and remove the melt,
Between the exit end of the transmission fiber and the collimating lens, the position is adjustable in the optical axis direction, and a circular opening for transmitting the laser light is provided and emitted from the exit end of the transmission fiber. Using an aperture that blocks the outer layer of the laser beam,
When the processing form as the processing condition is oxygen processing using oxygen as an assist gas, the position of the aperture is adjusted in the optical axis direction, and the cut rate of the laser light by the aperture is set to 2 to 20%. laser cutting how to characterized in that.
伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光をコリメートレンズによって平行光に変換し、集光レンズによって集光してワークの被切断部に向かって照射すると共に、ワークの被切断部に向かってアシストガスを噴射することにより、レーザ光のエネルギーを利用して、ワークの被切断部を溶融させかつその溶融物を除去しながら、ワークに対して切断加工を行うレーザ切断加工方法において、
前記伝送ファイバの出射端と前記コリメートレンズとの間に光軸方向へ位置調節可能に設けられかつレーザ光を透過させるための円形の開口部を有しかつ前記伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光の外層部分を遮断するアパーチャを用い、
加工条件としての加工形態がアシストガスとして不活性ガスを用いた無酸化加工である場合には、前記アパーチャを光軸方向へ位置調節して、前記アパーチャによるレーザ光のカット率を8%以下に設定することを特徴とすレーザ切断加工方法。
Laser light emitted from the output end of the transmission fiber is converted into parallel light by a collimating lens, condensed by a condensing lens, and irradiated toward the workpiece to be cut, while assisting toward the workpiece to be cut. In the laser cutting processing method of performing cutting processing on a work while injecting gas and using the energy of laser light to melt the work to be cut and remove the melt,
Between the exit end of the transmission fiber and the collimating lens, the position is adjustable in the optical axis direction, and a circular opening for transmitting the laser light is provided and emitted from the exit end of the transmission fiber. Using an aperture that blocks the outer layer of the laser beam,
When the processing form as the processing condition is non-oxidation processing using an inert gas as an assist gas, the position of the aperture is adjusted in the optical axis direction so that the laser light cut rate by the aperture is 8% or less. laser cutting way to and sets.
伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光をコリメートレンズによって平行光に変換し、集光レンズによって集光してワークの被切断部に向かって照射すると共に、ワークの被切断部に向かってアシストガスを噴射することにより、レーザ光のエネルギーを利用して、ワークの被切断部を溶融させかつその溶融物を除去しながら、ワークに対して切断加工を行うレーザ切断加工方法において、
前記伝送ファイバの出射端と前記コリメートレンズとの間に光軸方向へ位置調節可能に設けられかつレーザ光を透過させるための円形の開口部を有しかつ前記伝送ファイバの出射端から出射されたレーザ光の外層部分を遮断するアパーチャを用い、
加工条件として、ワークの材質が高反射材であって、加工形態がアシストガスとして不活性ガスを用いた無酸化加工である場合には、前記アパーチャを光軸方向へ位置調節して、前記アパーチャによるレーザ光のカット率を3〜8%に設定することを特徴とすレーザ切断加工方法。
Laser light emitted from the output end of the transmission fiber is converted into parallel light by a collimating lens, condensed by a condensing lens, and irradiated toward the workpiece to be cut, while assisting toward the workpiece to be cut. In the laser cutting processing method of performing cutting processing on a work while injecting gas and using the energy of laser light to melt the work to be cut and remove the melt,
Between the exit end of the transmission fiber and the collimating lens, the position is adjustable in the optical axis direction, and a circular opening for transmitting the laser light is provided and emitted from the exit end of the transmission fiber. Using an aperture that blocks the outer layer of the laser beam,
As a processing condition, when the work material is a highly reflective material and the processing form is non-oxidation processing using an inert gas as an assist gas, the aperture is adjusted in the optical axis direction to adjust the aperture. laser cutting how to, characterized in that by setting the cut of the laser beam to 3-8%.
前記伝送ファイバは、ファイバレーザ発振器から発振された1μm帯の波長のレーザ光を伝送するためのものであることを特徴とする請求項6から請求項9のうちのいずれか1項に記載のレーザ切断加工方法。   10. The laser according to claim 6, wherein the transmission fiber is for transmitting laser light having a wavelength of 1 μm band oscillated from a fiber laser oscillator. 10. Cutting method.
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