JP6376551B2 - Liquid photosensitive resin composition for forming optical waveguide core, optical waveguide using the same, and flexible printed wiring board - Google Patents

Liquid photosensitive resin composition for forming optical waveguide core, optical waveguide using the same, and flexible printed wiring board Download PDF

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本発明は、光通信,光情報処理,その他一般光学等で広く用いられる光信号伝送用フレキシブルプリント配線板における光導波路のコアを構成する液状感光性樹脂組成物、およびそれを用いて形成した光導波路、ならびにフレキシブルプリント配線板に関するものである。   The present invention relates to a liquid photosensitive resin composition constituting a core of an optical waveguide in a flexible printed wiring board for optical signal transmission widely used in optical communication, optical information processing, and other general optics, and light formed using the same. The present invention relates to a waveguide and a flexible printed wiring board.

光信号伝送用のフレキシブルプリント配線板等に使用されるフィルム状の光導波路(ポリマー光導波路)のコアの形成材料には、液状の感光性樹脂組成物(光硬化性樹脂組成物)が用いられる。そして、それを用いたコアの形成は、樹脂組成物に溶剤を加えた液状樹脂組成物(ワニス)を塗布し、所望のパターン形状の開口を有するフォトマスクを介して紫外線(UV)を照射して照射部位を硬化させてコア化し、その後、未硬化の不要部分を除去する「フォトリソグラフィ」が用いられている。   A liquid photosensitive resin composition (photo-curable resin composition) is used as a material for forming a core of a film-like optical waveguide (polymer optical waveguide) used for a flexible printed wiring board for optical signal transmission. . The core is formed by applying a liquid resin composition (varnish) obtained by adding a solvent to the resin composition, and irradiating ultraviolet rays (UV) through a photomask having an opening having a desired pattern shape. "Photolithography" is used in which the irradiated portion is cured to form a core, and then uncured unnecessary portions are removed.

上記用途に用いられる光導波路のコアの形成材料(樹脂組成物)は、材料の硬化後の屈折率,透明性,解像パターニング性,耐熱性といった、成形後の硬化物(以下「硬化体」)の諸物性を考慮して配合を設計することが求められており、用途に応じた要求特性を満足するために、組成物を構成する種々の原料の選択や、配合バランスを検討する等の数多くの提案が行われている(特許文献1,2等を参照)。   The optical waveguide core forming material (resin composition) used in the above applications is a cured product after molding (hereinafter referred to as “cured product”) such as refractive index, transparency, resolution patterning property, and heat resistance after curing of the material. ) In consideration of various physical properties, and in order to satisfy the required characteristics according to the application, selection of various raw materials constituting the composition, examination of the blending balance, etc. Many proposals have been made (see Patent Documents 1 and 2).

なかでも、上記フレキシブルプリント配線板に用いられる光導波路のコアでは、要求される特性を考慮したうえで、硬化体を形成する材料(感光性樹脂組成物)のベースとして、エポキシ化合物等のカチオン重合性化合物が好適に選定されている。またその際、感光性(光硬化性)を付与する目的で、形成材料には、光酸発生剤等が適宜配合され、さらに、作製した光導波路コアの光学的な経時安定性を確保するために、各種の酸化防止剤等が添加されている。なお、併用による効果の増大(相乗効果)を企図して、2種類以上の酸化防止剤を同時に使用する場合もある。   In particular, in the core of the optical waveguide used for the flexible printed wiring board, cation polymerization such as an epoxy compound is used as a base of a material (photosensitive resin composition) for forming a cured body in consideration of required characteristics. A suitable compound is selected. At that time, for the purpose of imparting photosensitivity (photocurability), a photoacid generator or the like is appropriately blended in the forming material, and further, in order to ensure the optical temporal stability of the produced optical waveguide core. In addition, various antioxidants and the like are added. In some cases, two or more kinds of antioxidants are used at the same time in order to increase the effect of the combined use (synergistic effect).

特開2010−230944号公報JP 2010-230944 A 特開2011−237645号公報JP2011-237645A

ところで、上記フォトリソグラフィによる光導波路の製造過程(形成プロセス)では、光導波路を構成するコアおよび各クラッド層ともに、形成材料(組成物)を溶剤(溶媒)に分散させることにより粘度を調整した液状の感光性樹脂組成物(ワニスまたは塗布液)を、スピンコートやロールコートのようなウェットコーティングプロセスを用いて層状(または膜状)に塗工し、未硬化の液状樹脂組成物の層(光照射前)を一旦形成している。そのため、組成物の配合によっては、上記塗布液(液状樹脂組成物)の粘性(粘度)が経時により変動(経時増粘)し、塗工後の液状樹脂組成物層(未硬化)の厚みがばらついてしまう場合がある。   By the way, in the optical waveguide manufacturing process (formation process) by photolithography, a liquid whose viscosity is adjusted by dispersing a forming material (composition) in a solvent (solvent) for both the core and each cladding layer constituting the optical waveguide. The photosensitive resin composition (varnish or coating solution) is applied in a layer (or film) using a wet coating process such as spin coating or roll coating, and an uncured liquid resin composition layer (light (Before irradiation) is once formed. Therefore, depending on the composition of the composition, the viscosity (viscosity) of the coating liquid (liquid resin composition) varies with time (thickening with time), and the thickness of the liquid resin composition layer (uncured) after coating is It may vary.

先に述べたような、2種類の酸化防止剤を添加した液状感光性樹脂組成物を用いた光導波路コアの作製においても、塗布液作製後の貯蔵中あるいは塗工時に、この塗布液(液状樹脂組成物)の粘度が経時で上昇し、硬化後に得られる硬化体(コア)の厚みが、当初の設定値(設計値)より厚くなってしまうという問題があり、その改善が望まれている。   Even in the production of an optical waveguide core using a liquid photosensitive resin composition to which two kinds of antioxidants are added as described above, this coating liquid (liquid The viscosity of the resin composition) increases with time, and there is a problem that the thickness of the cured body (core) obtained after curing becomes thicker than the initial set value (design value), and an improvement is desired. .

本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、作用の異なる2つの酸化防止剤を併用した場合においても、液状樹脂組成物の粘度の経時上昇を抑えることのできる光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物と、それを用いた光導波路およびフレキシブルプリント配線板の提供をその目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances. Even when two antioxidants having different functions are used in combination, the liquid for forming an optical waveguide core can suppress an increase in the viscosity of the liquid resin composition with time. The objective is to provide a photosensitive resin composition, and an optical waveguide and a flexible printed wiring board using the same.

上記の目的を達成するため、本発明は、下記成分(A)〜(E)を含有し、各成分混合後の液状樹脂組成物全体における水分含有率Xが、0.005重量%以上0.5重量%以下であり、下記成分(C)および(D)の添加比率が、重量基準で、(C):(D)=1:3〜3:1である光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物を、第1の要旨とする。
(A)カチオン重合性化合物
(B)光酸発生剤
(C)ヒンダードフェノール系化合物からなる一次酸化防止剤
(D)亜リン酸エステル系化合物からなる二次酸化防止剤
(E)溶剤
In order to achieve the above object, the present invention contains the following components (A) to (E), and the water content X in the entire liquid resin composition after mixing each component is 0.005% by weight or more and 0.0. 5 wt% der less is, the addition ratio of the following components (C) and (D), by weight, (C) :( D) = 1: 3~3: 1 der Ruhikarishirube waveguide core forming liquid Let the photosensitive resin composition be the 1st summary.
(A) Cationic polymerizable compound (B) Photoacid generator (C) Primary antioxidant comprising a hindered phenol compound (D) Secondary antioxidant comprising a phosphite compound (E) solvent

また、本発明は、光導波路のコアが、上記第1の要旨の光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物に紫外線を照射して硬化させた硬化体で形成されている光導波路を第2の要旨とし、この第2の要旨の光導波路を備えるフレキシブルプリント配線板を第3の要旨とする。   Further, the present invention provides a second optical waveguide in which the core of the optical waveguide is formed of a cured product obtained by curing the liquid photosensitive resin composition for forming an optical waveguide core according to the first aspect by irradiating with ultraviolet rays. A flexible printed wiring board including the optical waveguide according to the second aspect is referred to as a third aspect.

本発明者らは、前記課題を解決するため鋭意研究を重ね、その結果、併用による効果の増大を目的として、パーオキシラジカル捕捉用の一次酸化防止剤(ヒンダードフェノール系化合物)と、一次酸化防止剤から発生するパーオキサイド分解用の二次酸化防止剤(亜リン酸エステル系化合物)とを添加した液状樹脂組成物においては、上記二次酸化防止剤として用いられる亜リン酸エステル化合物が、それ自体は酸性を示さないにも関わらず、水(水分)の存在下において加水分解反応が進行し、酸性化合物である「亜リン酸基」を生じて、これにより、液状樹脂組成物の経時的な粘度上昇が、引き起こされていることがわかった。そして、本発明者らは、上記知見から着想を得て、上記配合の液状樹脂組成物において、酸性化合物の生成の一方の原因である「組成物中の残存水分」を抑制または除去することにより、上記酸性化合物の生成を抑えて経時増粘を抑制できることを見出し、本発明に到達した。   The inventors of the present invention have made extensive studies to solve the above-mentioned problems. As a result, for the purpose of increasing the effect of the combined use, a primary antioxidant (hindered phenol compound) for scavenging peroxy radicals and primary oxidation are used. In the liquid resin composition added with the secondary antioxidant (phosphite compound) for peroxide decomposition generated from the inhibitor, the phosphite compound used as the secondary antioxidant is: Although it itself does not exhibit acidity, the hydrolysis reaction proceeds in the presence of water (moisture) to produce “phosphorous acid groups” that are acidic compounds. It was found that an increase in viscosity was caused. Then, the inventors obtained an idea from the above knowledge, and by suppressing or removing “residual moisture in the composition” which is one cause of the formation of the acidic compound in the liquid resin composition having the above composition. The inventors have found that the formation of the acidic compound can be suppressed to suppress the thickening over time, and the present invention has been achieved.

このように、本発明の光導波路コア形成用の液状感光性樹脂組成物は、(A)カチオン重合性化合物,(B)光酸発生剤,(C)ヒンダードフェノール系化合物からなる一次酸化防止剤,(D)亜リン酸エステル系化合物からなる二次酸化防止剤,(E)溶剤を含有する液状樹脂組成物において、成分混合後の組成全体に占める水分の割合(水分含有率X)が、0.005重量%以上0.5重量%以下であり、(C)ヒンダードフェノール系化合物からなる一次酸化防止剤、および(D)亜リン酸エステル系化合物からなる二次酸化防止剤の添加比率が、重量基準で、(C):(D)=1:3〜3:1である。そのため、この液状感光性樹脂組成物を用いて、ウェットコーティングにより光導波路のコアを形成する場合、貯蔵中または塗工中の液状樹脂組成物の増粘が抑えられ、コアを、当初の設計通りのコア厚みに形成することができる。また、本発明の光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物を用いれば、その性能にロット間のぶれがなく、寸法および品質の揃った高品質な光導波路を、効率(歩留り)良く低コストで製造することが可能になる。 Thus, the liquid photosensitive resin composition for forming an optical waveguide core of the present invention comprises (A) a cationically polymerizable compound, (B) a photoacid generator, and (C) a primary antioxidant comprising a hindered phenol compound. In a liquid resin composition containing an agent, (D) a secondary antioxidant composed of a phosphite compound, and (E) a solvent, the ratio of moisture (moisture content X) in the total composition after mixing the components is 0.005 wt% or more and 0.5 wt% or less of (C) a primary antioxidant composed of a hindered phenol compound and (D) a secondary antioxidant composed of a phosphite compound ratio, by weight, (C) :( D) = 1: 3~3: Ru 1 der. Therefore, when the core of an optical waveguide is formed by wet coating using this liquid photosensitive resin composition, thickening of the liquid resin composition during storage or coating can be suppressed, and the core can be formed as originally designed. The core thickness can be formed. In addition, if the liquid photosensitive resin composition for forming an optical waveguide core of the present invention is used, a high-quality optical waveguide having the same size and quality can be obtained at low cost with high efficiency (yield) without performance fluctuation between lots. It becomes possible to manufacture with.

なお、本発明の光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物に使用する(E)溶剤は、その水分含有率Yが0.001重量%以上1.0重量%以下のものであることが好ましい。これにより、溶剤由来の水分の混入を、大幅に低減することができ、貯蔵中または塗工中の液状樹脂組成物の増粘を、より確実に抑えることができる。   In addition, it is preferable that the (E) solvent used for the liquid photosensitive resin composition for optical waveguide core formation of this invention is the thing whose water content Y is 0.001 to 1.0 weight%. . Thereby, mixing of the water | moisture content derived from a solvent can be reduced significantly, and the thickening of the liquid resin composition in storage or coating can be suppressed more reliably.

また、上記光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物に紫外線を照射して硬化させた硬化体で形成される光導波路、および、それを備えるフレキシブルプリント配線板も、光導波路に起因するトラブルが少なく、信頼性の高い装置またはシステム等を構築することができる。   In addition, an optical waveguide formed of a cured product obtained by irradiating the liquid photosensitive resin composition for forming an optical waveguide core with ultraviolet rays and cured, and a flexible printed wiring board provided with the optical waveguide also have problems caused by the optical waveguide. There are few and highly reliable apparatuses or systems, etc. can be constructed.

つぎに、本発明の実施の形態について詳しく説明する。ただし、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。   Next, embodiments of the present invention will be described in detail. However, the present invention is not limited to this embodiment.

《光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物》
本発明の光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物(以下、単に「液状樹脂組成物」という場合もある。)は、(A)カチオン重合性化合物,(B)光酸発生剤,(C)ヒンダードフェノール系化合物,(D)亜リン酸エステル系化合物および(E)溶剤を含有するものであり、各成分混合後の液状樹脂組成物全体における水分含有率Xが、0.005重量%以上0.5重量%以下であり、(C)ヒンダードフェノール系化合物、および(D)亜リン酸エステル系化合物の添加比率が、重量基準で、(C):(D)=1:3〜3:1であることを特徴とする。
以下、各種成分について順に説明する。
<< Liquid photosensitive resin composition for optical waveguide core formation >>
The liquid photosensitive resin composition for forming an optical waveguide core of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as “liquid resin composition”) includes (A) a cationic polymerizable compound, (B) a photoacid generator, (C ) A hindered phenol compound, (D) a phosphite compound, and (E) a solvent. The water content X in the entire liquid resin composition after mixing each component is 0.005% by weight. The addition ratio of (C) hindered phenol compound and (D) phosphite compound is (C) :( D) = 1: 3 based on weight. 3: characterized by one der Rukoto.
Hereinafter, various components will be described in order.

<カチオン重合性化合物>
上記カチオン重合性化合物としては、エポキシ化合物,オキセタン化合物およびエピスルフィド化合物等があげられる。
エポキシ化合物としては、例えば、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物等の多官能脂肪族エポキシ樹脂、3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート等の脂肪族エポキシ樹脂があげられる。さらには、バインダー樹脂としての作用を奏する樹脂として、例えば、芳香環を有さない、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールF型エポキシ樹脂、等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。
<Cationically polymerizable compound>
Examples of the cationic polymerizable compound include epoxy compounds, oxetane compounds, and episulfide compounds.
Examples of the epoxy compound include polyfunctional aliphatic epoxy resins such as 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol. Examples thereof include aliphatic epoxy resins such as' -epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate. Furthermore, examples of the resin that acts as a binder resin include hydrogenated bisphenol A type epoxy resins and hydrogenated bisphenol F type epoxy resins that do not have an aromatic ring. These may be used alone or in combination of two or more.

具体的には、EHPE3150,EHPE3150CE(いずれもダイセル社製)、YX−8040、YX−8000、YX−8034(いずれも三菱化学社製)、ST−4000D(新日鐵化学社製)、セロキサイド2021P(ダイセル社製)等があげられる。なお、本発明においては、脂肪族エポキシ樹脂としては、脂環式エポキシ樹脂を含める趣旨である。そして、上記脂肪族系樹脂としては、固形を示すものであることが好ましく、この場合の固形とは、常温(25℃)の温度下において固体状態を呈することを意味する。   Specifically, EHPE3150, EHPE3150CE (all manufactured by Daicel Corporation), YX-8040, YX-8000, YX-8034 (all manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), ST-4000D (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), Celoxide 2021P (Manufactured by Daicel Corporation). In the present invention, the aliphatic epoxy resin includes an alicyclic epoxy resin. And as said aliphatic resin, it is preferable to show solid, The solid in this case means exhibiting a solid state under normal temperature (25 degreeC) temperature.

つぎに、オキセタン化合物としては、具体的には、OXT−101(3―エチル―3―ヒドロキシメチルオキセタン(オキセタンアルコール)、OXT−212(2―エチルヘキシルオキセタン)、OXT−121(キシリレンビスオキセタン)、OXT−221(3―エチル―3{[(3―エチルオキセタン―3 ―イル)メトキシ]メチル}オキセタン)(いずれも東亞合成社製)、ETERNACOLL OXBP、EHO、OXTP、OXMA(いずれも宇部興産社製)等があげられる。なお、前記エポキシ化合物と上記オキセタン化合物とを混合して用いてもよい。   Next, as the oxetane compound, specifically, OXT-101 (3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane (oxetane alcohol), OXT-212 (2-ethylhexyloxetane), OXT-121 (xylylenebisoxetane) , OXT-221 (3-ethyl-3 {[(3-ethyloxetane-3-yl) methoxy] methyl} oxetane) (all manufactured by Toagosei Co., Ltd.), ETERNACOLL OXBP, EHO, OXTP, OXMA (all Ube Industries In addition, you may mix and use the said epoxy compound and the said oxetane compound.

また、カチオン重合性化合物として、エピスルフィド化合物を用いることもできる。エピスルフィド化合物としては、SR100H(日本合成化学工業社製)等があげられる。   Moreover, an episulfide compound can also be used as a cationically polymerizable compound. Examples of the episulfide compound include SR100H (manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd.).

<光酸発生剤>(光重合開始剤)
上記光酸発生剤は、感光性樹脂組成物に対して光照射(例えば、紫外線照射)による硬化性を付与するために用いられるものである。光酸発生剤としては、例えば、ベンゾイン類、ベンゾインアルキルエーテル類、アセトフェノン類、アミノアセトフェノン類、アントラキノン類、チオキサントン類、ケタール類、ベンゾフェノン類、キサントン類、フォスフィンオキサイド類等の光酸発生剤(光カチオン硬化開始剤)があげられる。
<Photoacid generator> (photopolymerization initiator)
The photoacid generator is used for imparting curability to the photosensitive resin composition by light irradiation (for example, ultraviolet irradiation). Examples of the photoacid generator include photoacid generators such as benzoins, benzoin alkyl ethers, acetophenones, aminoacetophenones, anthraquinones, thioxanthones, ketals, benzophenones, xanthones, and phosphine oxides ( Photocationic curing initiator).

具体的には、トリフェニルスルホニウム・6フッ化アンチモン塩、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル〕−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン、2−ヒドロキシ−1−{4−〔4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル〕フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1,2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド、ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス〔2,6−ジフルオロ−3(1H−ピロール−1−イル)−フェニル〕チタニウム、2−ヒドロキシ−1−{4−〔4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル〕フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。なかでも、速い硬化速度や厚膜硬化性という観点から、トリフェニルスルホニウム・6フッ化アンチモン塩、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−1−{4−〔4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル〕フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オンが、好適に使用される。   Specifically, triphenylsulfonium hexamonium fluoride, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl- 1-phenyl-propan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propane, 2-hydroxy-1- {4- [4- ( 2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2 -Methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphenol Sphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, bis (η5-2,4-cyclopentadien-1-yl) -bis [2,6-difluoro-3 (1H-pyrrol-1-yl ) -Phenyl] titanium, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one, and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Among them, from the viewpoint of fast curing speed and thick film curability, triphenylsulfonium hexafluoromonium salt, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl- The ketone, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propan-1-one, is preferably used.

上記光酸発生剤の含有量は、ワニス(液状樹脂組成物)の固形分100重量部に対して0.1〜3重量部に設定することが好ましく、より好ましくは0.1〜1重量部である。光酸発生剤(光重合開始剤)の含有量が少なすぎると、満足のいく光照射(紫外線照射)による光硬化性が得られにくく、多すぎると、光感度が上がり、コアのパターニングに際して、形状異常をきたす傾向がみられ、初期損失等の要求物性が悪化する傾向もみられる。   The content of the photoacid generator is preferably set to 0.1 to 3 parts by weight, more preferably 0.1 to 1 part by weight with respect to 100 parts by weight of the solid content of the varnish (liquid resin composition). It is. If the content of the photoacid generator (photopolymerization initiator) is too small, it is difficult to obtain photocurability by satisfactory light irradiation (ultraviolet irradiation), and if it is too large, the photosensitivity increases, and when patterning the core, There is a tendency to cause shape abnormalities, and there is also a tendency to deteriorate required physical properties such as initial loss.

また、上記の光酸発生剤の酸発生効率を向上させる目的で、光増感剤を併用してもよい。光増感剤としては、2−イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、クロロチオキサントン、アントラセン、ジメトキシアントラセン、ジブトキシアントラセン、ペリレン、フェノチアジン、アセトフェノン、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、ケトクマリン、エオシン等を用いることができる。   Moreover, you may use a photosensitizer together in order to improve the acid generation efficiency of said photoacid generator. As the photosensitizer, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, chlorothioxanthone, anthracene, dimethoxyanthracene, dibutoxyanthracene, perylene, phenothiazine, acetophenone, benzophenone, Michler ketone, ketocoumarin, eosin and the like can be used.

上記光増感剤の含有量は、ワニス(液状樹脂組成物)の固形分100重量部に対して0.01〜1.0重量部に設定することが好ましく、より好ましくは0.05〜0.5重量部である。なお、光増感剤の含有量が少なすぎると、満足のいく光照射(紫外線照射)による光硬化性が得られにくく、多すぎると、コアのパターニングに際して形状異常をきたす傾向がみられ、初期損失等の要求物性が悪化する傾向もみられる。   The content of the photosensitizer is preferably set to 0.01 to 1.0 part by weight, more preferably 0.05 to 0, based on 100 parts by weight of the solid content of the varnish (liquid resin composition). .5 parts by weight. If the content of the photosensitizer is too small, satisfactory photo-curing property by light irradiation (ultraviolet irradiation) is difficult to obtain, and if it is too large, there is a tendency to cause an abnormal shape during patterning of the core. There is also a tendency for the required physical properties such as loss to deteriorate.

<ヒンダードフェノール系化合物> 一次酸化防止剤
一次酸化防止剤は、樹脂の酸化反応の初期段階において活性の高いパーオキシラジカルを捕捉し、やや安定なハイドロパーオキサイドを与える化合物である。その目的で、ヒンダードフェノール系化合物が、好適に用いられる。
<Hindered phenol-based compound> Primary antioxidant The primary antioxidant is a compound that captures a highly active peroxy radical in the initial stage of the oxidation reaction of the resin and gives a somewhat stable hydroperoxide. For that purpose, a hindered phenol compound is preferably used.

ヒンダードフェノール系化合物としては、具体的には、IRGANOX 1010、IRGANOX 1035、IRGANOX 1076、IRGANOX 1098、IRGANOX 1135、IRGANOX 1330、IRGANOX 1726、IRGANOX 1425 WL、IRGANOX 1520 L、IRGANOX 245、IRGANOX 259、IRGANOX 3114、IRGANOX 565、IRGAMOD 295(以上 BASFジャパン社製)、アデカスタブAO−20、AO−30、AO−40、AO−50、AO−60、AO−80、AO−330(以上 ADEKA社製)、スミライザーGA−80、MDP−S、WX−R、WX−RC(以上 住友化学社製)、Antage BHT、DAH、DBH、W−300、W−400、W−500、SP(川口化学工業社製)等があげられる。   Specific examples of hindered phenol compounds include IRGANOX 1010, IRGANOX 1035, IRGANOX 1076, IRGANOX 1098, IRGANOX 1135, IRGANOX 1330, IRGANOX 1726, IRGANOX 1425 WL, IRGANOX 1520 L, IRGANOX 245, IRGANOX 245, IRGANOX 245 , IRGANOX 565, IRGAMOD 295 (manufactured by BASF Japan Ltd.), ADK STAB AO-20, AO-30, AO-40, AO-50, AO-60, AO-80, AO-330 (manufactured by ADEKA), Sumilyzer GA-80, MDP-S, WX-R, WX-RC (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), Antage BHT, DAH, D BH, W-300, W-400, W-500, SP (made by Kawaguchi Chemical Industry Co., Ltd.), etc. are mention | raise | lifted.

また、ヒンダードフェノール系化合物の添加量としては、ワニス(液状樹脂組成物)の固形分に対して0.1〜3.0重量%が好ましく、さらに好ましくは0.2〜1.0重量%である。この範囲よりも低い添加量では、酸化防止効果が低くなるため損失低下防止効果が見込めず、この範囲よりも高い添加量では、酸化防止剤が可塑剤として作用し、コア(樹脂層)の硬化を妨げるため好ましくない。   The amount of the hindered phenol compound added is preferably 0.1 to 3.0% by weight, more preferably 0.2 to 1.0% by weight, based on the solid content of the varnish (liquid resin composition). It is. If the addition amount is lower than this range, the effect of preventing loss reduction cannot be expected because the antioxidant effect is low. If the addition amount is higher than this range, the antioxidant acts as a plasticizer and the core (resin layer) is cured. This is not desirable because

<亜リン酸エステル化合物> 二次酸化防止剤
二次酸化防止剤は、樹脂の酸化反応を防止するために添加された一次酸化防止剤により生じたパーオキサイドを、分解するために添加される化合物である。この二者の併用により、高い酸化防止効果が得られる。二次酸化防止剤としては、リン系化合物やイオウ系化合物があるが、酸化防止効果の観点から、本発明では、リン系化合物のうち特に、亜リン酸エステル化合物を、好適に用いている。
<Phosphorus ester compound> Secondary antioxidant The secondary antioxidant is a compound added to decompose the peroxide generated by the primary antioxidant added to prevent the oxidation reaction of the resin. It is. A combination of the two provides a high antioxidant effect. Secondary antioxidants include phosphorus compounds and sulfur compounds. From the viewpoint of the antioxidant effect, among the phosphorus compounds, phosphite compounds are particularly preferably used in the present invention.

亜リン酸エステル化合物としては、具体的には、JP−360(トリフェニルホスファイト)、JP−351(トリスノニルフェニルホスファイト)、JP−3CP(トリクレジルホスファイト)、JP−302(トリエチルホスファイト)、JP−308E(トリス(2−エチルヘキシルホスファイト)、JP−310(トリデシルホスファイト)、JP−312L(トリラウリルホスファイト)、JP−333(トリス(トリデシル)ホスファイト)、JP−318−O(トリオレイルホスファイト)、JPM−308(ジフェニルモノ(2−エチルヘキシル)ホスファイト)、JPM−311(ジフェニルモノデシルホスファイト)、JPM−313(ジフェニルモノ(トリデシル)ホスファイト)、JPS−312(トリラウリルチオホスファイト)、JPP−613M、JA−805、JPP−88、JPE−10(ビス(デシル)ペンタエリスリトールジホスファイト)、JP−318E(トリステアリルホスファイト)、JPP−2000PT(ジステアリルペンタエリスリトールジホスファイト)、JP−650(トリス(2,4−ジ―tert−ブチルフェニル)ホスファイト)、JPH−3800(水添ビスフェノールA・ペンタエリスリトールホスファイトポリマー)、HBP(水添ビスフェノールAホスファイトポリマー)(以上 城北化学工業社製)、SANKO−HCA、SANKO−EPOCLEAN(三光社製)等があげられる。   Specific examples of the phosphite compound include JP-360 (triphenyl phosphite), JP-351 (trisnonylphenyl phosphite), JP-3CP (tricresyl phosphite), JP-302 (triethyl). Phosphite), JP-308E (tris (2-ethylhexyl phosphite), JP-310 (tridecyl phosphite), JP-312L (trilauryl phosphite), JP-333 (tris (tridecyl) phosphite), JP -318-O (trioleyl phosphite), JPM-308 (diphenyl mono (2-ethylhexyl) phosphite), JPM-311 (diphenyl monodecyl phosphite), JPM-313 (diphenyl mono (tridecyl) phosphite), JPS-312 (Trilaurylchi Phosphite), JPP-613M, JA-805, JPP-88, JPE-10 (bis (decyl) pentaerythritol diphosphite), JP-318E (tristearyl phosphite), JPP-2000PT (distearyl pentaerythritol diphosphite) Phosphite), JP-650 (tris (2,4-di-tert-butylphenyl) phosphite), JPH-3800 (hydrogenated bisphenol A / pentaerythritol phosphite polymer), HBP (hydrogenated bisphenol A phosphite polymer) (Songoku Chemical Industry Co., Ltd.), SANKO-HCA, SANKO-EPOCLEAN (Sanko Co., Ltd.), and the like.

また、亜リン酸エステル化合物の添加量としては、ワニス(液状樹脂組成物)の固形分に対して0.1〜3.0重量%が好ましく、さらに好ましくは0.2〜1.0重量%である。この範囲よりも低い添加量では、酸化防止効果が低くなるため、損失低下防止効果が見込めず、この範囲よりも高い添加量では、酸化防止剤が可塑剤として作用し、コア(樹脂層)の硬化を妨げるため好ましくない。   The addition amount of the phosphite compound is preferably 0.1 to 3.0% by weight, more preferably 0.2 to 1.0% by weight, based on the solid content of the varnish (liquid resin composition). It is. If the addition amount is lower than this range, the anti-oxidation effect is low, so the loss reduction prevention effect cannot be expected. If the addition amount is higher than this range, the antioxidant acts as a plasticizer and the core (resin layer) This is not preferable because it prevents curing.

なお、前記ヒンダードフェノール系化合物(一次酸化防止剤)と上記亜リン酸エステル化合物(二次酸化防止剤)の添加比率(重量基準)としては、一次酸化防止剤:二次酸化防止剤が1:3〜3:1になるようにする必要がある
The addition ratio (weight basis) of the hindered phenol compound (primary antioxidant) and the phosphite compound (secondary antioxidant) is 1 for primary antioxidant: secondary antioxidant. : 3 to 3: 1 is necessary .

<溶剤>
本発明の液状樹脂組成物(ワニス)に用いられる溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類、メチルセロソルブアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類、ジエチレングリコールモノメチルエーテル等のジエチレングリコール類、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルイミダゾリジノン等のアミド類、トルエン等の芳香族炭化水素類、シクロヘキサノン、シクロペンタノン等のケトン類、ガンマブチロラクトン等のラクトン類、2−ヒドロキシプロピオン酸、乳酸エチル等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。
<Solvent>
Examples of the solvent used in the liquid resin composition (varnish) of the present invention include glycol ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate, diethylene glycols such as diethylene glycol monomethyl ether, and propylene. Propylene glycol alkyl ether acetates such as glycol methyl ether acetate, amides such as dimethylformamide, dimethylacetamide, dimethylimidazolidinone, aromatic hydrocarbons such as toluene, ketones such as cyclohexanone and cyclopentanone, gamma butyrolactone, etc. Lactones, 2-hydroxypropionic acid, ethyl lactate and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

上記溶剤の含有量は、ワニス(液状樹脂組成物)の固形分100重量部に対して10〜90重量部に設定することが好ましく、より好ましくは30〜80重量部である。なお、溶剤はワニスの粘度調整用であるため、ワニス調製後に、追加で添加される場合もある。   The content of the solvent is preferably set to 10 to 90 parts by weight, and more preferably 30 to 80 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the solid content of the varnish (liquid resin composition). Since the solvent is used for adjusting the viscosity of the varnish, it may be added additionally after the varnish is prepared.

そして、前記光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物の各成分(A)カチオン重合性化合物,(B)光酸発生剤,(C)ヒンダードフェノール系化合物,(D)亜リン酸エステル系化合物と、上記溶剤(E)とを混合した後、例えば、85℃加熱下にて撹拌完溶させ、その後室温(25℃)まで冷却した後、フィルタ等を用いた加熱加圧濾過を行なうことにより、本発明の光導波路のコア形成用材料となる「感光性のワニス」を、調製することができる。   And each component of the liquid photosensitive resin composition for optical waveguide core formation (A) cation polymerizable compound, (B) photoacid generator, (C) hindered phenol compound, (D) phosphite ester After mixing the compound and the solvent (E), for example, complete stirring and heating under heating at 85 ° C., and then cooling to room temperature (25 ° C.) followed by heating and pressure filtration using a filter or the like. Thus, a “photosensitive varnish” that is a material for forming a core of an optical waveguide according to the present invention can be prepared.

なお、上記溶剤添加後の液状樹脂組成物の状態において、含有水分量(水分含有率X)を低く抑えるには、組成中で水分を最も多く含むと考えられる「溶剤」から、混合前に、予め水分を取り除いておくことが望ましい。このようなことから、本発明で用いる溶剤としては、水分含有率Yが0.001重量%(10ppm)以上1.0重量%(10000ppm)以下の溶剤が、好適に用いられる。   In addition, in the state of the liquid resin composition after the addition of the solvent, in order to keep the water content (water content X) low, from the “solvent” considered to contain the most water in the composition, before mixing, It is desirable to remove moisture in advance. For this reason, as the solvent used in the present invention, a solvent having a water content Y of 0.001 wt% (10 ppm) or more and 1.0 wt% (10000 ppm) or less is preferably used.

また、溶剤から水分を取り除く方法としては、例えば、乾燥剤(五酸化二リン、硫酸ナトリウム等)を系中に存在させた状態で減圧蒸留する方法や、乾燥剤(モレキュラーシーブ4A等)を詰めたカラムに通液させる、といった乾燥処理を行うことができる。また、充分に水分除去された(低水分率の)市販の脱水溶剤を用いてもよい。例えば、代表的なものとして、関東化学社製の乾燥DMF、DMAc、NMP(いずれも水分含有率50ppm以下)や、昭和電工社製の電子工業用乳酸エチル(水分含有率100ppm以下)等を用いることができる。   In addition, as a method of removing moisture from the solvent, for example, a method of distilling under reduced pressure with a desiccant (diphosphorus pentoxide, sodium sulfate, etc.) present in the system, or a desiccant (molecular sieve 4A, etc.) is packed. Drying treatment such as passing through a column. Further, a commercially available dehydrated solvent from which moisture has been sufficiently removed (low moisture content) may be used. For example, as a typical example, dry DMF, DMAc, NMP manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd. (all of which water content is 50 ppm or less), or ethyl lactate for electronic industry (water content of 100 ppm or less) manufactured by Showa Denko Co., Ltd. is used. be able to.

<液状感光性樹脂組成物>
そして、先にも述べたように、上記カチオン重合性化合物,光酸発生剤,一次酸化防止剤(ヒンダードフェノール系化合物),二次酸化防止剤(亜リン酸エステル化合物)と、水分含有率Yが0.001重量%以上1.0重量%以下の上記溶剤とを混合した後の液状樹脂組成物全体における水分含有率Xは、0.005重量%以上0.5重量%以下になっている。上記組成物中の水分含有率Xの測定は、カールフィッシャー滴定等で行うことができる。
<Liquid photosensitive resin composition>
As described above, the cationic polymerizable compound, the photoacid generator, the primary antioxidant (hindered phenol compound), the secondary antioxidant (phosphite compound), and the moisture content The water content X in the entire liquid resin composition after mixing Y with 0.001% by weight or more and 1.0% by weight or less of the above solvent becomes 0.005% by weight or more and 0.5% by weight or less. Yes. The water content X in the composition can be measured by Karl Fischer titration or the like.

なお、上記組成物中の水分含有率Xが、0.5重量%を上回る場合は、組成物に乾燥処理(加熱乾燥)を施してもよい。乾燥処理は、例えば、10〜20mmHgに減圧した真空乾燥機を用いて、30〜90℃で8〜24時間加熱乾燥する方法、等により行われる。   In addition, when the moisture content X in the said composition exceeds 0.5 weight%, you may give a drying process (heat drying) to a composition. A drying process is performed by the method of heat-drying for 8 to 24 hours at 30-90 degreeC using the vacuum dryer decompressed to 10-20 mmHg, for example.

《光導波路》
つぎに、本発明の液状感光性樹脂組成物をコアの形成材料として用いてなる光導波路について説明する。
<Optical waveguide>
Next, an optical waveguide using the liquid photosensitive resin composition of the present invention as a core forming material will be described.

本発明により得られる光導波路は、例えば、基材と、その基材上に、所定パターンで形成されたクラッド層(アンダークラッド層)と、上記クラッド層上に、光信号を伝搬する光路として所定パターンで形成されたコアと、さらに、上記コア(層)上に形成されたクラッド層(オーバークラッド層)の構成からなる。そして、本発明により得られる光導波路では、上記コアが、前述の液状感光性樹脂組成物によって形成されていることが特徴である。   The optical waveguide obtained by the present invention is, for example, a base material, a clad layer (under clad layer) formed in a predetermined pattern on the base material, and a predetermined optical path for transmitting an optical signal on the clad layer. It consists of a core formed by a pattern and a clad layer (over clad layer) formed on the core (layer). And the optical waveguide obtained by this invention is characterized by the said core being formed with the above-mentioned liquid photosensitive resin composition.

また、上記アンダークラッド層形成材料およびオーバークラッド層形成材料に関しては、同じ成分組成からなるクラッド層形成用液状樹脂組成物を用いてもよいし、異なる成分組成の液状樹脂組成物を用いてもよい。なお、本発明により得られる光導波路において、上記クラッド層は、コアよりも屈折率が小さくなるよう形成する必要がある。   Moreover, regarding the under clad layer forming material and the over clad layer forming material, a liquid resin composition for forming a clad layer having the same component composition may be used, or a liquid resin composition having a different component composition may be used. . In the optical waveguide obtained by the present invention, the cladding layer needs to be formed so that the refractive index is smaller than that of the core.

本発明において、光導波路は、例えば、つぎのような工程を経由することにより製造することができる。すなわち、基材を準備し、その基材上に、クラッド層形成用材料である液状感光性樹脂組成物からなる感光性ワニスW2を塗工する。このワニスW2の塗工面に対して紫外線等の光照射を行い、さらに必要に応じて加熱処理を行なうことにより感光性ワニスW2を硬化させる。このようにしてアンダークラッド層(クラッド層の下方部分)を形成する。   In the present invention, the optical waveguide can be manufactured through the following processes, for example. That is, a base material is prepared, and a photosensitive varnish W2 made of a liquid photosensitive resin composition, which is a cladding layer forming material, is applied onto the base material. The photosensitive varnish W2 is cured by irradiating the coated surface of the varnish W2 with light such as ultraviolet rays and further performing a heat treatment as necessary. In this manner, an under cladding layer (a lower portion of the cladding layer) is formed.

ついで、上記アンダークラッド層上に、本発明の液状感光性樹脂組成物からなるコア形成用材料(感光性ワニスW1)を塗工することにより、コア形成用の未硬化の樹脂層を形成する。このとき、上記コア形成用材料(感光性ワニスW1)を塗工した後、有機溶剤(溶媒)を加熱乾燥して除去することにより、未硬化の光導波路コア形成用樹脂層(液状)を、膜状(フィルム状)に形成できる。そして、このコア形成用未硬化層面上に、所定パターン(コアパターン)を露光させるためのフォトマスクを配設し、このフォトマスクを介して紫外線等の光照射を行い、さらに必要に応じて加熱処理を行う。その後、上記コア形成用未硬化層の未露光部分を、現像液を用いて溶解除去することにより、所定パターンのコアが形成される。   Next, an uncured resin layer for core formation is formed by applying a core forming material (photosensitive varnish W1) made of the liquid photosensitive resin composition of the present invention on the undercladding layer. At this time, after coating the core forming material (photosensitive varnish W1), the organic solvent (solvent) is dried by heating to remove an uncured optical waveguide core forming resin layer (liquid). It can be formed into a film (film). Then, a photomask for exposing a predetermined pattern (core pattern) is disposed on the surface of the core-forming uncured layer, irradiated with light such as ultraviolet rays through the photomask, and further heated as necessary. Process. Then, the core of a predetermined pattern is formed by dissolving and removing the unexposed part of the uncured core forming layer using a developer.

つぎに、上記コア(層)上に、上述のクラッド層形成材料である液状感光性樹脂組成物からなる感光性ワニスW2を、再び塗工した後、紫外線照射等の光照射を行い、さらに必要に応じて加熱処理を行うことにより、オーバークラッド層(クラッド層の上方部分)を形成する。このような工程を経由することにより、目的とする光導波路を製造することができる。   Next, the photosensitive varnish W2 made of the liquid photosensitive resin composition, which is the above-described cladding layer forming material, is applied again on the core (layer), and then irradiated with light such as ultraviolet irradiation, and further required. By performing heat treatment according to the above, an over clad layer (upper part of the clad layer) is formed. By going through such a process, the target optical waveguide can be manufactured.

上記光導波路の作製に用いる基材としては、例えば、シリコンウェハ、金属製基板、高分子フィルム、ガラス基板等があげられる。そして、上記金属製基板としては、SUS等のステンレス板等があげられる。また、上記高分子フィルムとしては、具体的には、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリイミドフィルム等があげられる。そして、その厚みは、通常、10μm〜3mmの範囲内に設定される。   Examples of the base material used for the production of the optical waveguide include a silicon wafer, a metal substrate, a polymer film, and a glass substrate. Examples of the metal substrate include stainless steel plates such as SUS. Specific examples of the polymer film include a polyethylene terephthalate (PET) film, a polyethylene naphthalate film, and a polyimide film. And the thickness is normally set in the range of 10 micrometers-3 mm.

また、上記光照射では、具体的には紫外線照射が行われる。上記紫外線照射での紫外線の光源としては、例えば、低圧水銀灯,高圧水銀灯,超高圧水銀灯等があげられる。また、紫外線の照射量は、通常、10〜20000mJ/cm2、好ましくは100〜15000mJ/cm2、より好ましくは500〜10000mJ/cm2程度である。 In the light irradiation, specifically, ultraviolet irradiation is performed. Examples of the ultraviolet light source in the ultraviolet irradiation include a low pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, and an ultrahigh pressure mercury lamp. The irradiation amount of ultraviolet rays is usually, 10~20000mJ / cm 2, preferably 100~15000mJ / cm 2, more preferably 500~10000mJ / cm 2 approximately.

上記紫外線照射による露光後、光反応による硬化を完結させるために、さらに加熱処理を施してもよい。上記加熱処理条件としては、通常、80〜250℃、好ましくは、100〜150℃にて、10秒〜2時間、好ましくは、5分〜1時間の範囲内で行われる。   After the exposure by the ultraviolet irradiation, a heat treatment may be further performed in order to complete the curing by the photoreaction. The heat treatment conditions are usually 80 to 250 ° C., preferably 100 to 150 ° C., for 10 seconds to 2 hours, preferably 5 minutes to 1 hour.

また、上記クラッド層形成用の材料としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、フッ素化エポキシ樹脂、エポキシ変性シリコーン樹脂等の各種液状エポキシ樹脂、固形エポキシ樹脂、さらには、前述の各種光酸発生剤を適宜含有する樹脂組成物があげられ、コア形成用材料と比較して、適宜、低屈折率となる配合設計が行われる。さらに、必要に応じてクラッド層形成用の材料をワニス(W2)として調製し塗工するため、塗工に好適な粘度が得られるように従来公知の各種有機溶剤、また、上記コア形成用材料を用いた光導波路としての機能を低下させない程度の、各種添加剤(酸化防止剤、密着付与剤、レベリング剤、UV吸収剤)を適量用いてもよい。   Examples of the material for forming the cladding layer include various liquid epoxy resins such as bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, fluorinated epoxy resin, and epoxy-modified silicone resin. Examples of the resin composition include the solid epoxy resin and the above-described various photoacid generators as appropriate, and the compounding design is appropriately performed so as to have a low refractive index as compared with the core forming material. Furthermore, since a clad layer forming material is prepared and applied as a varnish (W2) as necessary, various conventionally known organic solvents and the above core forming material so as to obtain a viscosity suitable for coating. Appropriate amounts of various additives (antioxidants, adhesion-imparting agents, leveling agents, UV absorbers) that do not deteriorate the function of the optical waveguide using the above may be used.

上記クラッド層用ワニスW2の調製用に用いられる有機溶剤としては、例えば、乳酸エチル、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、エチルラクテート、2−ブタノン、N,N−ジメチルアセトアミド、ジグライム、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、プロピレングリコールメチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、テトラメチルフラン、ジメトキシエタン等があげられる。これら有機溶剤は、単独でまたは2種類以上併用して、塗布に好適な粘度が得られるように、適量用いられる。   Examples of the organic solvent used for preparing the varnish W2 for the cladding layer include ethyl lactate, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ethyl lactate, 2-butanone, N, N-dimethylacetamide, diglyme, diethylene glycol methyl ethyl ether, propylene glycol methyl. Examples include acetate, propylene glycol monomethyl ether, tetramethylfuran, dimethoxyethane and the like. These organic solvents are used alone or in combination of two or more in an appropriate amount so as to obtain a viscosity suitable for coating.

なお、上記基材上における、各層の形成材料を用いての塗工方法としては、例えば、スピンコーター、コーター、円コーター、バーコーター等の塗工による方法や、スクリーン印刷、スペーサを用いてギャップを形成し、そのなかに毛細管現象により注入する方法、マルチコーター等の塗工機により、ロール・トゥ・ロールで連続的に塗工する方法等を用いることができる。また、上記光導波路は、上記基材を剥離除去することにより、フィルム状の光導波路(ポリマー光導波路)とすることも可能である。   In addition, as a coating method using the forming material of each layer on the substrate, for example, a spin coater, a coater, a circular coater, a bar coater, or a coating method, screen printing, a gap using a spacer, or the like. And a method of injecting by capillarity, a method of coating continuously by roll-to-roll with a coating machine such as a multi-coater, and the like can be used. The optical waveguide can also be made into a film-like optical waveguide (polymer optical waveguide) by peeling and removing the substrate.

このようにして得られた光導波路は、本発明の光信号伝送用のフレキシブルプリント配線板用の光導波路として用いられる。   The optical waveguide thus obtained is used as an optical waveguide for a flexible printed wiring board for optical signal transmission according to the present invention.

つぎに、本発明を実施例にもとづいて説明する。ただし、本発明は、これら実施例に限定されるものではない。なお、例中、「部」とあるのは、断りのない限り重量基準を意味する。   Next, the present invention will be described based on examples. However, the present invention is not limited to these examples. In the examples, “parts” means weight basis unless otherwise specified.

[実施例1]
まず、実施例となる光導波路の作製に先立ち、クラッド層形成材料の感光性ワニスW2、および、本発明のコア(層)形成材料である感光性ワニスW1を調製した。
[Example 1]
First, prior to the production of the optical waveguide as an example, a photosensitive varnish W2 as a cladding layer forming material and a photosensitive varnish W1 as a core (layer) forming material of the present invention were prepared.

(クラッド層形成材料の調製):参考
遮光条件下にて、液状二官能フッ化アルキルエポキシ樹脂(H022、東ソーエフテック社製)50部、液状二官能脂環式エポキシ樹脂(セロキサイド2021P、ダイセル社製)50部、光酸発生剤(アデカオプトマーSP−170、ADEKA社製)4.0部、リン系酸化防止剤(HCA、三光社製)0.54部、シランカップリング剤(KBM−403、信越シリコーン社製)1部を混合し80℃加熱下にて撹拌完溶させ、その後室温(25℃)まで冷却した後、直径1.0μmのメンブランフィルタを用いて加熱加圧濾過を行なうことにより、クラッド層形成材料となる感光性ワニスW2を調製した。
(Preparation of cladding layer forming material): Reference Under light-shielding conditions, 50 parts of liquid bifunctional fluorinated alkyl epoxy resin (H022, manufactured by Tosoh F-Tech), liquid bifunctional alicyclic epoxy resin (Celoxide 2021P, manufactured by Daicel) ) 50 parts, photoacid generator (Adekaoptomer SP-170, manufactured by ADEKA) 4.0 parts, phosphorus antioxidant (HCA, manufactured by Sanko) 0.54 parts, silane coupling agent (KBM-403) , Manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.), 1 part of the mixture was mixed and stirred to complete dissolution under heating at 80 ° C., then cooled to room temperature (25 ° C.), and then heated and pressure filtered using a membrane filter having a diameter of 1.0 μm Thus, a photosensitive varnish W2 serving as a cladding layer forming material was prepared.

<コア形成材料の調製>
同様に、遮光条件下にて、固形多官能脂肪族エポキシ樹脂(EHPE3150、ダイセル社製)80部、固形水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂(YX―8040、三菱化学社製)20部、光酸発生剤(WPI−116、和光純薬工業社製)1.0部、ヒンダードフェノール系酸化防止剤(Songnox1010、共同薬品社製)0.5部、亜リン酸エステル系酸化防止剤(HCA、三光社製)0.5部を、乳酸エチル〔電子工業用 昭和電工社製 水分含有率80ppm(0.0080重量%)〕40部に混合し、85℃加熱下にて撹拌完溶させ、その後室温(25℃)まで冷却した後、直径1.0μmのメンブランフィルタを用い加熱加圧濾過を行なうことにより、コア形成材料となる感光性ワニスW1を調製した。調整後のワニスW1をカールフィッシャー水分滴定で分析したところ、水分含有量Xは0.02重量%であった。
<Preparation of core forming material>
Similarly, 80 parts of a solid polyfunctional aliphatic epoxy resin (EHPE3150, manufactured by Daicel), 20 parts of a solid hydrogenated bisphenol A type epoxy resin (YX-8040, manufactured by Mitsubishi Chemical) under light-shielding conditions, photoacid generation Agent (WPI-116, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) 1.0 part, hindered phenol antioxidant (Songnox 1010, manufactured by Kyodo Yakuhin Co., Ltd.) 0.5 part, phosphite ester antioxidant (HCA, Sanko) 0.5 parts) is mixed with 40 parts of ethyl lactate [manufactured by Showa Denko Co., Ltd., water content 80 ppm (0.0080 wt%)] and stirred to complete dissolution under heating at 85 ° C., then room temperature After cooling to (25 ° C.), a photosensitive varnish W1 serving as a core forming material was prepared by heating and pressure filtration using a membrane filter having a diameter of 1.0 μm. When the varnish W1 after adjustment was analyzed by Karl Fischer moisture titration, the moisture content X was 0.02% by weight.

(アンダークラッド層の作製)
総厚22μm厚のFPC基材の裏面上に、得られたクラッドワニスW2を、スピンコーターにて塗工し、ホットプレート上で、溶剤を乾燥(130℃×10分)した後、5000mJ/cm2(I線フィルタ)のマスクパターン露光を行った。その後、130℃×10分のプレベーキングを行い、γ−ブチロラクトン中にて現像(室温下、3分)、水洗、ホットプレート上で水分を乾燥(120℃×10分)を順次行うことで、アンダークラッド層(厚み:15μm)を得た。
(Preparation of underclad layer)
The obtained clad varnish W2 was applied on the back surface of the FPC base material having a total thickness of 22 μm using a spin coater, and the solvent was dried (130 ° C. × 10 minutes) on a hot plate, and then 5000 mJ / cm. 2 (I-line filter) mask pattern exposure was performed. Then, pre-baking at 130 ° C. × 10 minutes, developing in γ-butyrolactone (at room temperature, 3 minutes), washing with water, and drying water on a hot plate (120 ° C. × 10 minutes) in sequence, An underclad layer (thickness: 15 μm) was obtained.

<コアの作製>
ついで、得られたアンダークラッド層上に、コアワニスW1を、スピンコーターにて塗工し、ホットプレート上で、溶剤の乾燥(130℃×5分)を行った。得られた未硬化のコア層(膜状またはフィルム状)に、9000mJ/cm2(I線フィルタ)のマスクパターン露光を行い、130℃×10分のプレベーキングを行った。その後、γ−ブチロラクトン中にて現像(室温下、4分)、水洗、ホットプレート上で水分を乾燥(120℃×10分)を順次行うことにより、アンダークラッド層上に、所定パターン状のコア(厚み:50μm)を得た。
<Fabrication of core>
Next, the core varnish W1 was coated on the obtained underclad layer by a spin coater, and the solvent was dried (130 ° C. × 5 minutes) on a hot plate. The resulting uncured core layer (film or film) was subjected to mask pattern exposure of 9000 mJ / cm 2 (I-line filter) and pre-baked at 130 ° C. for 10 minutes. Thereafter, development in γ-butyrolactone (at room temperature for 4 minutes), washing with water, and drying of moisture on a hot plate (120 ° C. × 10 minutes) in order are performed on the undercladding layer to form a core with a predetermined pattern (Thickness: 50 μm) was obtained.

[実施例2]
上記「コア形成材料の調整」において、溶剤としてシクロヘキサノン〔脱水処理,脱水処理後の水分含有率80ppm(0.008重量%)〕を使用したこと以外、上記実施例1と同様にして、光導波路のコアを作成した。なお、調整後のワニスW1をカールフィッシャー水分滴定で分析したところ、水分含有量Xは0.02重量%であった。
[Example 2]
In the “adjustment of the core-forming material”, an optical waveguide was prepared in the same manner as in Example 1 except that cyclohexanone [dehydration treatment, water content after dehydration treatment: 80 ppm (0.008 wt%)] was used. Created the core. In addition, when the varnish W1 after adjustment was analyzed by Karl Fischer moisture titration, the moisture content X was 0.02% by weight.

[実施例3]
上記「コア形成材料の調整」において、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〔脱水処理,脱水処理後の水分含有率120ppm(0.012重量%)〕を使用したこと以外、上記実施例1と同様にして、光導波路のコアを作成した。なお、調整後のワニスW1をカールフィッシャー水分滴定で分析したところ、水分含有量Xは0.03重量%であった。
[Example 3]
In the “adjustment of core forming material”, propylene glycol monomethyl ether acetate [dehydration treatment, moisture content after dehydration treatment 120 ppm (0.012 wt%)] was used in the same manner as in Example 1 above. An optical waveguide core was created. In addition, when the varnish W1 after adjustment was analyzed by Karl Fischer moisture titration, the moisture content X was 0.03% by weight.

[比較例1]
上記「コア形成材料の調整」において、溶剤として乳酸エチル(水分含有率1.1重量%)を使用したこと以外、上記実施例1と同様にして、光導波路のコアを作成した。なお、調整後のワニスW1をカールフィッシャー水分滴定で分析したところ、水分含有量Xは0.6重量%であった。
[Comparative Example 1]
In the “adjustment of core forming material”, an optical waveguide core was prepared in the same manner as in Example 1 except that ethyl lactate (water content 1.1% by weight) was used as a solvent. In addition, when the varnish W1 after adjustment was analyzed by Karl Fischer moisture titration, the moisture content X was 0.6% by weight.

[比較例2]
上記「コア形成材料の調整」において、溶剤としてシクロヘキサノン(水分含有率1.1重量%)を使用したこと以外、上記実施例1と同様にして、光導波路のコアを作成した。なお、調整後のワニスW1をカールフィッシャー水分滴定で分析したところ、水分含有量Xは0.6重量%であった。
[Comparative Example 2]
An optical waveguide core was prepared in the same manner as in Example 1 above, except that cyclohexanone (water content 1.1% by weight) was used as a solvent in the “adjustment of core forming material”. In addition, when the varnish W1 after adjustment was analyzed by Karl Fischer moisture titration, the moisture content X was 0.6% by weight.

[比較例3]
上記「コア形成材料の調整」において、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(水分含有率1.6重量%)を使用したこと以外、上記実施例1と同様にして、光導波路のコアを作成した。なお、調整後のワニスW1をカールフィッシャー水分滴定で分析したところ、水分含有量Xは1.0重量%であった。
[Comparative Example 3]
An optical waveguide core was prepared in the same manner as in Example 1 above, except that propylene glycol monomethyl ether acetate (water content 1.6% by weight) was used as a solvent in the “adjustment of core forming material”. In addition, when the varnish W1 after adjustment was analyzed by Karl Fischer moisture titration, the moisture content X was 1.0% by weight.

<コア形成材料の経時安定性試験>
各実施例および各比較例のワニスW1を、その作製直後にE型粘度計(東機産業社製 RE−80M)を用いて粘度を測定し、これを初期粘度Biとした。さらに同ワニスW1を室温(20℃)で120時間保管したのち粘度測定を行った。これを経時後粘度Bsとする。ここで、下記式(1)により、ワニスW1の経時粘度上昇率を算出した。
経時粘度上昇率ΔB(%)=(経時後粘度Bs−初期粘度Bi)/初期粘度Bi × 100・・(1)
その結果を下記の「表1」に示す。また、経時粘度上昇率(%)が、105%以下のものを「○」、105%を超えるものを「×」として、評価を記載した。
<Aging stability test of core forming material>
The varnish W1 of each example and each comparative example was measured for viscosity using an E-type viscometer (RE-80M manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.) immediately after its production, and this was used as the initial viscosity Bi. Further, the varnish W1 was stored at room temperature (20 ° C.) for 120 hours, and then the viscosity was measured. This is the viscosity Bs after time. Here, the rate of increase in viscosity with time of the varnish W1 was calculated by the following formula (1).
Viscosity increase rate with time ΔB (%) = (viscosity after aging Bs−initial viscosity Bi) / initial viscosity Bi × 100 (1)
The results are shown in “Table 1” below. Moreover, evaluation was described with the rate of increase in viscosity over time (%) as “◯” when the viscosity was 105% or less, and “X” when the viscosity was over 105%.

Figure 0006376551
Figure 0006376551

上記「表1」より、使用する溶剤の水分含有率Yが1.0重量%超え、調整後のワニス(液状樹脂組成物)の水分含有量Xが0.5重量%を超える比較例1〜3の液状感光性樹脂組成物は、保管中または塗布中の経時増粘が進み、コア(層)のウェットコーティングの際に、問題を生じることが分かった。また、得られた光導波路コアの厚みも、設計値より厚くなる傾向がみられた。これに対して、実施例1〜3の光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物は、コア(層)のウェットコーティングに際しても、所定厚みで塗工することができ、得られた光導波路コアの厚みも、設計値どおりであった。   From the above “Table 1”, the water content Y of the solvent used exceeds 1.0% by weight, and the water content X of the varnish (liquid resin composition) after adjustment exceeds 0.5% by weight. It was found that the liquid photosensitive resin composition of No. 3 increased in viscosity over time during storage or application, and caused problems when the core (layer) was wet coated. Also, the thickness of the obtained optical waveguide core tended to be thicker than the design value. On the other hand, the liquid photosensitive resin composition for forming an optical waveguide core of Examples 1 to 3 can be applied with a predetermined thickness even in wet coating of the core (layer), and the obtained optical waveguide core The thickness was also as designed.

<コアの塗布性評価>
前記「コアの作製」工程で、コアワニスW1をスピンコートで塗工して、乾燥(130℃×5分)した後の塗工層(膜)の表面状態を、各サンプルごとに、光学顕微鏡を用いて観察した。上記実施例1〜3の塗工層(膜)においては、ムラの無い、均一な膜面が得られていることが確認できた。これに対して、比較例1〜3の塗工層(膜)は、若干の表面荒れが見られた。
<Evaluation of coatability of core>
In the “core preparation” step, the surface state of the coating layer (film) after coating the core varnish W1 by spin coating and drying (130 ° C. × 5 minutes) is measured for each sample using an optical microscope. And observed. In the coating layers (films) of Examples 1 to 3, it was confirmed that a uniform film surface with no unevenness was obtained. On the other hand, the coating layer (film | membrane) of Comparative Examples 1-3 showed some surface roughness.

<コア形成材料のパターン形成性評価>
前記「コアの作製」工程で得られたパターンコアを、各サンプルごとに、光学顕微鏡を用いて観察した。上記実施例1〜3の光導波路のコア(硬化体)は、設計通りの、矩形性の高い(エッジが鋭い、または、角の立った)シャープな形状であることが確認できた。これに対して、比較例1〜3の塗工層(膜)は、コアパターンのエッジまたは角部が、ややブロードになる傾向が見られた。
<Evaluation of pattern formability of core forming material>
The pattern core obtained in the “preparation of core” step was observed for each sample using an optical microscope. It was confirmed that the cores (cured bodies) of the optical waveguides of Examples 1 to 3 had a sharp shape with high rectangularity (sharp edges or corners) as designed. On the other hand, in the coating layers (films) of Comparative Examples 1 to 3, the edges or corners of the core pattern tended to be slightly broad.

本発明の光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物は、光信号伝送用フレキシブルプリント配線板向けの光導波路のコアの形成材料として、特に有用である。そして、上記光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物を用いて作製される光導波路は、上記フレキシブルプリント配線板等に用いられる。   The liquid photosensitive resin composition for forming an optical waveguide core of the present invention is particularly useful as a material for forming an optical waveguide core for a flexible printed wiring board for optical signal transmission. And the optical waveguide produced using the said liquid photosensitive resin composition for optical waveguide core formation is used for the said flexible printed wiring board.

Claims (6)

下記成分(A)〜(E)を含有し、各成分混合後の液状樹脂組成物全体における水分含有率Xが、0.005重量%以上0.5重量%以下であり、下記成分(C)および(D)の添加比率が、重量基準で、(C):(D)=1:3〜3:1であることを特徴とする光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物。
(A)カチオン重合性化合物
(B)光酸発生剤
(C)ヒンダードフェノール系化合物からなる一次酸化防止剤
(D)亜リン酸エステル系化合物からなる二次酸化防止剤
(E)溶剤
Containing the following components (A) ~ (E), the moisture content X in the total liquid resin composition after mixing each component state, and are 0.005 wt% to 0.5 wt% or less, the following components (C ) and the addition ratio of (D), by weight, (C) :( D) = 1: 3~3: 1 der Rukoto waveguide core forming liquid photosensitive resin composition characterized.
(A) Cationic polymerizable compound (B) Photoacid generator (C) Primary antioxidant comprising a hindered phenol compound (D) Secondary antioxidant comprising a phosphite compound (E) solvent
(A)カチオン重合性化合物が、エポキシ化合物,オキセタン化合物およびエピスルフィド化合物からなる群から選ばれた少なくとも一つである請求項1記載の光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物。   2. The liquid photosensitive resin composition for forming an optical waveguide core according to claim 1, wherein (A) the cationic polymerizable compound is at least one selected from the group consisting of an epoxy compound, an oxetane compound and an episulfide compound. (B)光酸発生剤が、オニウム塩系化合物である請求項1または2記載の光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物。   3. The liquid photosensitive resin composition for forming an optical waveguide core according to claim 1, wherein the photoacid generator is an onium salt compound. (E)溶剤が、その水分含有率Yが0.001重量%以上1.0重量%以下のものである請求項1〜3のいずれか一項に記載の光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物。   The liquid photosensitive resin for forming an optical waveguide core according to any one of claims 1 to 3, wherein the solvent has a water content Y of 0.001 wt% or more and 1.0 wt% or less. Composition. 光導波路のコアが、請求項1〜4のいずれか一項に記載の光導波路コア形成用液状感光性樹脂組成物に紫外線を照射して硬化させた硬化体で形成されていることを特徴とする光導波路。   The core of the optical waveguide is formed of a cured product obtained by irradiating and curing the liquid photosensitive resin composition for forming an optical waveguide core according to any one of claims 1 to 4 with ultraviolet rays. Optical waveguide. 請求項5に記載の光導波路を備えることを特徴とするフレキシブルプリント配線板。   A flexible printed wiring board comprising the optical waveguide according to claim 5.
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