JP6369016B2 - 撮像素子および撮像装置 - Google Patents

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Description

撮像素子の光電変換部において光電変換された電荷は、電圧信号に変換されて、信号線に出力される。当該電圧信号は、光電変換部が設けられていない領域にある処理回路に送られる。従来、当該処理回路において、間引きおよび加算等の処理が施されていた(例えば、特許文献1参照)。
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1] 特開2012−19491号公報
光電変換部から処理回路に送られる電圧信号の情報量が多くなると、情報を処理する処理回路の負担が大きくなる。例えば、一つの光電変換部の情報を受け取る場合よりも三つの光電変換部の情報をそれぞれ受け取る場合の方が、間引きおよび加算等の処理をする処理回路の負担は大きい。そこで、処理回路の処理負担を軽減することが求められる。
本発明の第1の態様においては、複数の光電変換部が設けられた撮像基板と、撮像基板への入射光が通過する光路に設けられ、複数の光電変換部のうち、少なくとも二つの光電変換部に対して異なる透過率で入射光を透過させる透過部と、二つの光電変換部の出力を加算する加算部とを備える撮像素子を提供する。
本発明の第2の態様においては、本発明に記載の撮像素子を有する撮像装置を提供する。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
一眼レフカメラ400の断面図である。 第1の実施形態における撮像素子10の分解斜視図である。 撮像素子10の液晶フィルタ25の上面視図である。 図3のIV−IVにおける撮像素子10の断面図である。 第2の実施形態における撮像素子40の断面図である。 撮像素子10の回路構成の一部を示す模式図である。 撮像素子10において2つの光電変換部18を電荷加算する例を示す図である。 撮像素子10における回路構成の第1の変形例を示す図である。 第1の変形例において3つの光電変換部18を電荷加算する例のタイミングチャート図である。 撮像素子10における回路構成の第2の変形例を示す図である。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図1は、一眼レフカメラ400の断面図である。撮像装置としての一眼レフカメラ400は、撮像素子部200を有する。一眼レフカメラ400は、レンズユニット500およびカメラボディ600を備える。カメラボディ600には、レンズユニット500が装着される。レンズユニット500は、その鏡筒内に、光軸410に沿って配列された光学系を備え、入射する被写体光束をカメラボディ600の撮像素子部200へ導く。
なお、本明細書において、第1の方向は、第2の方向と垂直である。第1方向は撮像素子部200の列方向であってよく、第2方向は撮像素子部200の行方向であってよい。また、第1方向は撮像素子部200のx方向であってよく、第2方向は撮像素子部200のy方向であってよい。さらには、第1方向は撮像素子部200の垂直方向と読み替えてよく、第2方向は撮像素子部200の水平方向と読み替えてもよい。第3の方向は、第1の方向および第2の方向により規定される平面に垂直な方向である。第3の方向は、光軸410に平行である。第3の方向はz方向と読み替えてもよい。
カメラボディ600は、レンズマウント550に結合されるボディマウント660の後方にメインミラー672およびサブミラー674を備える。メインミラー672は、レンズユニット500から入射した被写体光束に斜設される斜設位置と、被写体光束から退避する退避位置との間で回動可能に軸支される。サブミラー674は、メインミラー672に対して回動可能に軸支される。
メインミラー672が斜設位置にある場合、レンズユニット500を通じて入射した被写体光束の多くはメインミラー672に反射されてピント板652に導かれる。ピント板652は、撮像チップの受光面と共役な位置に配されて、レンズユニット500の光学系が形成した被写体像を可視化する。ピント板652に形成された被写体像は、ペンタプリズム654およびファインダ光学系656を通じてファインダ650から観察される。斜設位置にあるメインミラー672に入射した被写体光束の一部は、メインミラー672のハーフミラー領域を透過しサブミラー674に入射する。サブミラー674は、ハーフミラー領域から入射した光束の一部を、合焦光学系680に向かって反射する。合焦光学系680は、入射光束の一部を焦点検出センサ682に導く。
ピント板652、ペンタプリズム654、メインミラー672、サブミラー674は、構造体としてのミラーボックス670に支持される。撮像素子部200は、ミラーボックス670に取り付けられる。メインミラー672およびサブミラー674が退避位置に退避し、シャッタユニット340の先幕および後幕が開状態となれば、レンズユニット500を透過する被写体光束は、撮像チップの受光面に到達する。
撮像素子部200の後方には、ボディ基板620および背面表示部634が順次配置される。液晶パネル等が採用される背面表示部634は、カメラボディ600の背面に現れる。ボディ基板620には、CPU622、画像処理ASIC624等の電子回路が実装される。撮像チップの出力は、上述のガラス基板に電気的に接続された可撓性基板を介して画像処理ASIC624へ引き渡される。
上述の実施形態においては、撮像装置として一眼レフカメラ400を例に説明したが、カメラボディ600を撮像装置と捉えても良い。また、撮像装置は、ミラーユニットを備えるレンズ交換式カメラに限らず、ミラーユニットを持たないレンズ交換式カメラ、ミラーユニットの有無に関わらずレンズ一体式カメラであっても良い。
図2は、第1の実施形態における撮像素子10の分解斜視図である。撮像素子10は、撮像基板12、透過部としての液晶フィルタ25および撮像基板12と液晶フィルタ25との間にマイクロレンズアレイ20を有する。なお、撮像素子10の構成要素は、撮像基板12、マイクロレンズアレイ20および液晶フィルタ25に限定されない。言及しない構成要素は、図1の説明の便宜上省略されている。
撮像基板12、マイクロレンズアレイ20の撮像基板12側の面、および、液晶フィルタ25は、第1の方向および第2の方向により規定される平面に対して平行に載置される。入射光30は、第3の方向に略平行に、液晶フィルタ25から撮像基板12へ入射する。
撮像基板12には、画素領域13が複数設けられる。本例では、画素領域13は、第1の方向および第2の方向において格子状に設けられる。本明細書において、画素領域13は、カラーフィルタが設けられる領域のうち、第1の方向および第2の方向で規定される平面領域とする。
撮像基板12には、複数の光電変換部が設けられる。本例では、撮像基板12の内部において、撮像基板12の一つの画素領域13に対応して、一つの光電変換部が設けられる。
また、複数の光電変換部の各々に対応して、カラーフィルタが設けられる。当該カラーフィルタは、予め定められた分光特性を有する。なお、第3方向において、カラーフィルタの次に光電変換部が設けられる。マイクロレンズアレイ20を透過した入射光30は、カラーフィルタを透過することにより分光されて、光電変換素子に入射する。
マイクロレンズアレイ20は、複数のマイクロレンズを有する。複数のマイクロレンズの各々は、液晶フィルタ25を透過した入射光30を、画素領域13に設けられた光電変換素部へ集約する。本例では、1つの画素領域13に対応して、マイクロレンズアレイ20中の1つのマイクロレンズが設けられる。なお変形例として、複数の画素領域13に対応して、1つのマイクロレンズを設けてもよい。
液晶フィルタ25は、マイクロレンズアレイ20を介して撮像基板12へ入射光30が通過する光路に設けられる。液晶フィルタ25の領域27−1および27−2は、それぞれ異なる透過率で入射光30を透過させる。
領域27−1および27−2に対応して、撮像基板12には画素領域13−1および13−2が存在する。それゆえ、液晶フィルタ25の領域27−1および27−2は、それぞれ撮像基板12の画素領域13−1および13−2に対して異なる透過率で入射光30を透過させる。なお、画素領域13−1および13−2に対応してそれぞれ一つの光電変換部が設けられている。それゆえ、液晶フィルタ25は、撮像基板12に設けられた複数の光電変換部のうち、少なくとも二つの光電変換部に対して異なる透過率で入射光30を透過させる。
液晶フィルタの透過率の変化は、一対の電極に挟まれた液晶高分子が電界の変化応じて位置変化することにより生じる。それゆえ、電界をかけた状態を維持することにより、液晶フィルタの透過率を固定することができる。そこで、領域27ごとに電界を調節すれば、領域27ごとに透過率が調節される。領域27、画素領域13および光電変換部は第3方向においてそれぞれ対応して設けられている。それゆえ、液晶フィルタ25の透過率は、撮像基板12に設けられた複数の光電変換部に対して固定されている。
また、本例では、透過部として液晶フィルタ25を記載した。しかしながら、透過率を可変にできるのであれば、透過部に用いる部材は、液晶フィルタに限定されない。
本例では、液晶フィルタ25は、撮像基板12およびマイクロレンズアレイ20に対して位置が固定される。しかし、液晶フィルタ25は、入射光30を遮らない位置に移動することができるよう設けられてもよい。すなわち、液晶フィルタ25は、撮像基板12およびマイクロレンズアレイ20の少なくとも一方に対して可動であってよい。液晶フィルタ25を可動とすることにより、液晶フィルタ25を用いた撮像と液晶フィルタ25を用いない撮像とを切り替えることができる。
図3は、撮像素子10の液晶フィルタ25の上面視図である。図3では、液晶フィルタ25のそれぞれの領域27と、撮像基板12における画素領域13に対応して設けられたカラーフィルタの色とを合わせて示す。カラーフィルタについては、赤色をRで示し、緑色をGbおよびGrで示し、青色をBで示す。
本例では、液晶フィルタ25は、撮像基板12における複数の光電変換部の各々に対応して透過率を変化させる。例えば、第1の方向に並んで設けられた3つのRのカラーフィルタに対して、液晶フィルタ25の領域27−1、27−2および27−3がそれぞれ設けられる。液晶フィルタ25は、領域27−1、27−2および27−3の透過率を、例えば1:2:1に変化させる。
液晶フィルタ25の透過率を領域27ごとに変化させることにより、撮像基板12の光電変換部が光電変換する電荷の量を画素領域13ごとに変化させることができる。領域27−1、27−2および27−3の透過率が1:2:1である例では、画素領域13に対応して設けられる3つの光電変換部が1:2:1の比率で電荷を蓄積する。そして、当該3つの光電変換部において蓄積された電荷を加算することにより、1:2:1の比率で画素信号の重み付けをすることができる。なお、画素の重み付けについては、後述する。
なお、液晶フィルタ25の透過率の変化は、第1の方向だけには限定されない。液晶フィルタ25の透過率は、第2の方向において変化してもよい。例えば、液晶フィルタ25は、領域27−5、27−4および27−1の透過率を1:2:1に変化させてもよい。
さらに、液晶フィルタ25の透過率は、複数の画素領域13(またはカラーフィルタ)を覆う領域ごとに変化してもよい。例えば、液晶フィルタ25は、4つのカラーフィルタRGBを覆う領域27−6、27−7および27−8の透過率を、1:2:1に変化させてもよい。
図4は、図3のIV−IVにおける撮像素子10の断面図である。当該断面図において、撮像素子10は液晶フィルタ25、マイクロレンズアレイ20、カラーフィルタ14および撮像基板12を備える。撮像基板12は、パッシベーション膜15、配線層17、光電変換部18および複数のトランジスタ19を有する。なお、配線層17は配線16を含む。
例えば、液晶フィルタ25の領域27−3の第3方向に着目して、図4について説明する。入射光30の一部は、液晶フィルタ25の領域27−3を透過する。領域27−3を透過した光は、第3方向において領域27−3に対応して設けられた一つのマイクロレンズにより集光される。当該集光された光は、赤色のカラーフィルタ14を透過する。これにより、赤色の波長の光が配線層17に入射する。
赤色のカラーフィルタ14を透過した光は、配線層17のうち配線16が設けられていない領域を、第3の方向へ進行する。そして、配線層17を透過した光は、光電変換部18において、光から電荷に光電変換される。当該光電変換された電荷は、複数のトランジスタ19等により、処理される。光電変換部18および複数のトランジスタ19の構成については後述する。
図5は、第2の実施形態における撮像素子40の断面図である。図5は、撮像素子40を図3の撮像素子10と同様に配置して、IV−IVにおいて切断した断面図である。本実施形態は、透過部としての液晶フィルタ25が、マイクロレンズアレイ20とカラーフィルタ14との間に設けられる点が、第1の実施形態と異なる。他の点は、第1の実施形態と同じである。
マイクロレンズアレイ20は、撮像基板12への入射光30が通過する光路に設けられる。液晶フィルタ25は、第3の方向においてマイクロレンズアレイ20の直下に設けられる。カラーフィルタ14は、撮像基板12と液晶フィルタ25との間に設けられる。
第2の実施形態の変形例として、液晶フィルタ25は、カラーフィルタ14と配線層17との間に設けられてもよい。また、第2の実施形態の他の変形例として、液晶フィルタ25は、配線層17と光電変換部18との間に設けてもよい。
図6は、撮像素子10の回路構成の一部を示す模式図である。撮像素子10は、複数の光電変換ユニット55、信号線56、駆動回路60、相関二重サンプリング回路(以下、CDS(Correlated Double Sampling)回路62と略記する)、AD変換回路64および制御部65を備える。
複数の光電変換ユニット55の各々は、光電変換部18、転送部44、電荷排除部46、増幅部48、出力部50、高電位部52および電荷電圧変換部53を有する。複数の光電変換ユニット55は、第1の方向に沿って配置される。本例では、光電変換ユニット55−1から55−7が、第1の方向に沿って配置される。光電変換ユニット55−1から55−7は、信号線56−1に電気的に接続される。第1方向において隣り合う2つの光電変換ユニット55は、切替部54を介して電気的に接続される。なお、第1の方向に沿って配置されるユニットの数は7つには限定されない。
第2方向においても、複数の光電変換ユニット55が設けられる。本例では、第1の方向に沿って配置された複数の光電変換ユニット55−1から55−7を含む一組と同様に、複数の組が第2の方向に沿って配置される。
光電変換部18には、分光特性を有するカラーフィルタ14が近接して設けられる。光電変換部18は、当該カラーフィルタ14を介して入射した光の光量に応じて電荷を生成(光電変換)する。また、光電変換部18は、光電変換された電荷を蓄積する。なお、蓄積される電荷は、例えば電子である。
転送部44は、光電変換部18と電荷電圧変換部53との間に設けられる。本例では、転送部44は、ゲート、ソースおよびドレインを有するトランジスタである。駆動回路60から転送部44のゲートに制御信号が与えられると、転送部44は、光電変換部18に蓄積された電荷を電荷電圧変換部53に転送する。
電荷排除部46は、高電位部52と電荷電圧変換部53との間に設けられる。本例では、電荷排除部46は、ゲート、ソースおよびドレインを有するトランジスタである。駆動回路60から電荷排除部46のゲートに制御信号が与えられると、電荷排除部46は、電荷電圧変換部53の電位を高電位部52とほぼ同じ電位にする。本例では、電荷排除部46は、電荷電圧変換部53に蓄積された電子を排除する。
増幅部48は、出力部50と高電位部52との間に設けられる。本例では、増幅部48は、ゲート、ソースおよびドレインを有するトランジスタである。増幅部48のゲートは、電荷電圧変換部53に電気的に接続される。これにより、増幅部48は、電荷電圧変換部53の電圧を、増幅した電圧で電流を出力部50に出力する。
出力部50は、増幅部48と信号線56との間に設けられる。本例では、出力部50は、ゲート、ソースおよびドレインを有するトランジスタである。駆動回路60から出力部50のゲートに制御信号が与えられると、出力部50は、増幅部48が増幅した電圧で電流を信号線56に出力する。これにより、増幅された電荷電圧変換部53の電圧に応じた信号が、信号線56に信号として出力される。
高電位部52は、電源電圧(VDD)に電気的に接続される。高電位部52は、電荷排除部46および増幅部48に高電位を供給する。当該高電位は、電荷排除部46の電荷排除動作および増幅部48の増幅動作を実行できれば任意の電位としてよい。なお、光電変換ユニット55−1から25−7には、共通の電源電圧(VDD)が電気的に接続される。
電荷電圧変換部53には、転送部44から転送された電荷が蓄積される。本例では、電荷電圧変換部53は、いわゆる浮遊拡散(Floating Diffusion)領域である。電荷電圧変換部53は、一端が転送部44の出力に電気的に接続され、かつ、他の一端が接地されたコンデンサであってよい。転送部44から転送された電荷は、電荷電圧変換部53の当該他の一端に蓄積される。これにより、電荷電圧変換部53において、蓄積された電荷が電位に変換される。なお、増幅部48のゲートの電位は、電荷電圧変換部53の当該一端の電位と等しくなる。
切替部54は、隣り合う複数の光電変換ユニット55における電荷電圧変換部53の電気的接続をオンオフする。切替部54がオン状態の場合、隣り合う光電変換ユニット55の電荷電圧変換部53は電気的に接続されて、ほぼ同電位となる。切替部54がオフ状態の場合、隣り合う光電変換ユニット55の電荷電圧変換部53は電気的に接続されない。
信号線56には、第1の方向に沿って配置された複数の光電変換ユニット55におけるそれぞれの出力部50から信号が出力される。出力された信号は、CDS回路62へ入力される。
CDS回路62は、一つの信号線56に対応して一つ設けられる。CDS回路62は、あるタイミングにおいて、電荷排除部46をオンすることにより電荷電圧変換部53に一旦蓄積された電荷が排除された状態(リセット状態)の出力部50の出力信号(S)を記録する。次に、電荷排除部46をオフ、かつ、転送部44、増幅部48および出力部50をオンすることにより、リセット状態の後、CDS回路62は電荷電圧変換部53に電荷が蓄積された状態(蓄積状態)における出力部50の出力信号(S)を記録する。
そして、CDS回路62は、SとSとの差を計算する。当該SとSとの差を画像の信号として用いることにより、複数の光電変換ユニット55間での増幅部48の閾値バラつきに起因する画像劣化を低減することができる。なお、以降の実施例の説明において、CDS回路の動作について言及しないが、各実施例の撮像素子はCDS回路62を利用して動作してよい。
AD変換回路64は、CDS回路62ごとに一つ設けられる。AD変換回路64は、CDS回路62が出力したアナログ信号(SとSとの差)をデジタル信号に変換する。これにより、光電変換部18への入射光量に応じたアナログ情報が、デジタル情報に変換される。最終的には、各光電変換部18に対応するデジタル情報が、画像としてディスプレイに表示される。
制御部65は、駆動回路60を制御することにより、転送部44、電荷排除部46、出力部50および切替部54を動作させる。つまり、制御部65は、転送部44、電荷排除部46、出力部50および切替部54におけるゲートへのパルスタイミングを制御することにより、転送部44、電荷排除部46、出力部50および切替部54を制御する。
制御部65は、第1の方向および第2の方向において、複数の光電変換ユニット55を動作させる。同じ時間タイミングにおいては、第2の方向における複数の光電変換ユニット55の動作を同時に動作させてよい。本例では、制御部65は、異なる信号線56に接続された、第2の方向における複数の光電変換ユニット55を同じタイミングで動作させる。また、制御部65は、CDS回路62およびAD変換回路64等の動作を制御する。
図7は、撮像素子10において2つの光電変換部18を電荷加算する例を示す図である。2つの光電変換部を電荷加算する例を説明するために図6の光電変換ユニット55−1、55−2および55−3を用いる。下記では、光電変換ユニット55−1および光電変換ユニット55−3間での電荷加算について説明するので、ユニット55−2についての説明は省略する。
光電変換ユニット55−1は、光電変換部18−1、転送部44−1、電荷排除部46−1、増幅部48−1および出力部50−1を有する。光電変換ユニット55−3は、光電変換部18−3、転送部44−3、電荷排除部46−3、増幅部48−3および出力部50−3を有する。光電変換部18、転送部44、電荷排除部46、増幅部48および出力部50の各機能は上述の通りである。
電荷加算部58は、電荷電圧変換部53−1、電荷電圧変換部53−3、ならびに、電荷電圧変換部53−1および電荷電圧変換部53−3を接続する接続部を有する。当該接続部は、電荷電圧変換部53−1、電荷電圧変換部53−3、切替部54−1および切替部54−2ならびにこれらを接続する配線を含む。
制御部65は、駆動回路60を制御することにより、転送部44−1の電荷転送動作を行うタイミングと転送部44−3の電荷転送動作を行うタイミングとを制御する。制御部65はまた、駆動回路60を制御することにより、電荷排除部46−1および電荷排除部46−3の動作タイミングを制御する。
転送部44−1は、光電変換部18−1で蓄積された電荷を電荷加算部58の電荷電圧変換部53−1へ転送する。転送部44−3は、光電変換部18−3で蓄積された電荷を電荷加算部58の電荷電圧変換部53−3へ転送する。
転送部44が電荷排除動作を行った後から、転送部44が電荷転送動作を行うまでの期間が、電荷蓄積期間となる。なお、電荷排除動作以前に、光電変換部18に蓄積された電荷は、画像を形成するためには不要である。そこで、電荷排除動作では、光電変換部18に蓄積されていた電荷が電荷加算部58の電荷電圧変換部53に排出される。そして、電荷電圧変換部53に排出された電荷は、電荷排除部46により排除される。なお、電荷排除部46が電荷電圧変換部53に排出された電荷を排除する動作は、電荷蓄積期間において複数回行われてもよい。
電荷排除動作の後から、電荷転送動作を行うまで期間において、光電変換部18に電荷が蓄積される。そして、電荷転送動作により、光電変換部18に蓄積された電荷が電荷加算部58の電荷電圧変換部53に排出される。
制御部65は、駆動回路60を制御することにより、切替部54−1および切替部54−2の切替動作を行うタイミングを制御する。電荷電圧変換部53−1および電荷電圧変換部53−3に電荷が存在する場合に、切替部54−1および切替部54−2がオン状態であれば、電荷電圧変換部53−1および電荷電圧変換部53−3における電荷は、切替部54−1および切替部54−2を通じて加算されることとなる。
切替部54−1および切替部54−2がオン状態であれば、電荷加算部58は、一の光電変換部18−1で蓄積された電荷と、他の一の光電変換部18−3で蓄積された電荷とを加算する。電荷加算により、電荷電圧変換部53−1および53−3が等しい電位となる。電荷が加算された状態において、制御部65が出力部50−1および50−3のいずれか一方をオンする。これにより、出力部50−1および50−3はそれぞれ、電荷加算部58で加算された電荷に応じた信号を信号線56−1へ出力する。
光電変換部18−1および18−3に対応して設けられた液晶フィルタ25の領域27の透過率が1:2である場合を例にとり電荷加算を説明する。光電変換部18−1には電荷がQ、光電変換部18−3には電荷が2Qだけ蓄積される。ここで、電荷電圧変換部53−1および電荷電圧変換部53−3の容量はそれぞれ等しいCであると仮定する。転送部44−1および転送部44−3を同時にオンすることにより、電荷電圧変換部53−1に電荷(Q)が、電荷電圧変換部53−3に電荷(2Q)がそれぞれ転送される。なお、転送部44および電荷加算部58におけるトランジスタのオン抵抗は無視できると仮定する。電荷電圧変換部53−1および電荷電圧変換部53−3の電圧は、それぞれV(=Q/C)および2V(=2Q/C)となる。
ここで、切替部54−1および切替部54−2をオンすることにより、電荷加算部58において電荷(Q)および電荷(2Q)が加算される。電荷加算部58において電荷は合計3Q存在する。電荷電圧変換部53−1および電荷電圧変換部53−3の合計容量は2Cであるので、電荷電圧変換部53−1および電荷電圧変換部53−3はそれぞれ3V/2(=3Q/2C)の電圧となる。そして、増幅部48−3および出力部50−3をオンすると、電荷電圧変換部53−3の電圧に応じた電流が、信号線56−1に信号として出力される。
ここで、制御部65は、AD変換回路64よりも後段に設けられる信号処理部66に対して、切替部54−1および54−2をオンにしたこと、および、液晶フィルタ25の透過率の比が1:2であることを伝えてよい。これにより信号処理部66は、電荷が加算された信号が出力されたことがわかる。
信号処理部66に信号が入力される前に、電荷加算部58において電荷の重み付けが完了する。これにより、重み付け処理をするに当たり、信号処理部66の処理を簡単にすることができる。また、電荷加算部58での重み付けにより、信号処理部66が読出しを行う行数が経る。したがって、信号処理部66は、重み付けを行わない場合に比べて高速に動作することができる。
変形例として、制御部65は、光電変換部18に蓄積された電荷に応じた信号を、光電変換部18ごとに個別に読み出させてもよい。光電変換部18を個別に読出す場合、切替部54−1および切替部54−2をオフにして、かつ、出力部50−1および50−3をそれぞれ異なるタイミングでオンする。
そして、転送部44−3は、光電変換部18−1からの転送とは独立に、光電変換部18−3で蓄積された電荷を電荷電圧変換部53−3に転送する。出力部50−1は、光電変換部18−1から独立に転送された電荷に応じた各々のアナログ信号を信号線56−1へ出力する。また、出力部50−3は、光電変換部18−3から独立に転送された電荷に応じたアナログ信号を、信号線56−1へ出力する。そして、制御部65は電荷加算部58を機能させず、信号処理部66が、出力部50−1および50−3から出力された各々のアナログ信号を加算する。制御部65は、電荷加算部58を用いた重み付け、および、電荷加算部58を用いない個別読出しを切り替えて、撮像素子10または40を動作させてよい。
図8は、撮像素子10における回路構成の第1の変形例を示す図である。撮像素子70においては、1つの光電変換ユニット75は、複数の光電変換部18および複数の転送部44を有する点において、第1の実施形態の撮像素子10と異なる。本例では、1つの光電変換ユニット75は、2つの光電変換部18および2つの転送部44を有する。
なお、1つの光電変換ユニット75は、電荷排除部46、増幅部48、出力部50および電荷電圧変換部53を各1つずつ有する。光電変換部18、転送部44、電荷排除部46、増幅部48、出力部50、高電位部52、電荷電圧変換部53、切替部54、信号線56、駆動回路60、CDS回路62、AD変換回路64ならびに制御部65の接続関係および機能は、撮像素子10と同じである。
図9は、第1の変形例において3つの光電変換部18を電荷加算する例のタイミングチャート図である。本例では、特に赤色(R)フィルタR、RおよびRに対応して設けられた光電変換部18−1、18−3、18−5に蓄積された電荷が1:2:1の比率で電荷加算される例を説明する。なお、光電変換部18、転送部44、電荷排除部46および出力部50の位置については、図8に付した符号も合わせて参照する。
光電変換部18−1に電気的に接続された転送部44−1(TX1)は、タイミングtでオンする。これにより転送部44−1は、光電変換部18−1に蓄積された電荷を電荷電圧変換部53−1に排除する(電荷排除動作)。そして、当該電荷は、電荷電圧変換部53−1に蓄積される。当該電荷排除動作のタイミングから、光電変換部18−1における電荷蓄積期間が開始する。
電荷排除部46−1(RST1)は、タイミングtでオンする。これにより電荷排除部46−1は、電荷排除動作により電荷電圧変換部53−1に排除された電荷を排除する。
転送部44−1(TX1)は、タイミングtで再びオンする。これにより転送部44−1は、光電変換部18−1に蓄積された電荷を電荷電圧変換部53−1に転送する(電荷転送動作)。タイミングtまでで、光電変換部18−1における電荷蓄積期間が終了するする。つまり、転送部44−1(TX1)がオンするタイミング(タイミングt)から転送部44−1(TX1)が次にオンするタイミング(タイミングt)までの期間が、赤色(R)フィルタRに対応して設けられた光電変換部18−1の電荷蓄積期間となる。
同様に、光電変換部18−3および18−5における電荷蓄積期間もまた、転送部44がオンするタイミング(タイミングt)から、転送部44が次にオンするタイミング(タイミングt)までの期間となる。本例では、光電変換部18−1、18−3および18−5における電荷蓄積期間は同一である。
タイミングtにおいては、切替部54−1(CON 2_3)および切替部54−2(CON 4_5)が同時にオンする。したがって、電荷電圧変換部53−1、53−2および53−3に蓄積された電荷は互いに加算される。よって、電荷電圧変換部53−1、53−2および53−3の電圧は等しくなる。
なお、タイミングtにおいては、出力部50−2(SEL2)がオン状態である。したがって、加算された電荷に応じた信号が信号線56−1へ出力される。これにより、赤色(R)フィルタR、RおよびRに対応して設けられた光電変換部18−1、18−3および18−5に蓄積された電荷を加算することができる。よって、R、RおよびRを用いて、赤色(R)フィルタに対応する画素信号を1:2:1の比で重み付けすることができる。
図10は、撮像素子10における回路構成の第2の変形例を示す図である。撮像素子80において、電荷排除部46、増幅部48、出力部50および電荷電圧変換部53の各1つに対して、同一の分光特性を有するフィルタが対応して設けられた光電変換部18が4つずつ設けられる点が、第1の実施形態の撮像素子10と異なる。加えて、当該4つの光電変換部18は、第1の方向において、2つの光電変換部18を有する2つの第1の光電変換ユニット85の間に、2つの光電変換部18を有する第2の光電変換ユニット86を備える点が異なる。
本例では、第1の方向において順に、光電変換ユニット85−1、光電変換ユニット86−1、光電変換ユニット85−2、および、光電変換ユニット86−2が設けられている。光電変換ユニット85−1は、赤色(R)のフィルタが対応して設けられた光電変換部18−1および18−2を有する。光電変換ユニット86−1は、緑色(G)のフィルタが対応して設けられた光電変換部18−3および18−4を有する。光電変換ユニット85−2は、赤色(R)のフィルタが対応して設けられた光電変換部18−5および18−6を有する。光電変換ユニット86−2は、緑色(G)のフィルタが対応して設けられた光電変換部18−7および18−8を有する。
光電変換部18−1、18−2、18−5および18−6は、それぞれ転送部44−1、44−2、44−5および44−6に接続される。転送部44−1、44−2、44−5および44−6は、電荷電圧変換部53−1に共通に接続される。電荷排除部46−1、増幅部48−1、出力部50−1および高電位部52の構成は、第1の実施形態における撮像素子10と同様である。
光電変換部18−3、18−4、18−7および18−8は、それぞれ転送部44−3、44−4、44−7および44−8に接続される。転送部44−3、44−4、44−7および44−8は、電荷電圧変換部53−2に共通に接続される。電荷排除部46−2、増幅部48−2、出力部50−2および高電位部52の構成は、第1の実施形態における撮像素子10と同様である。
また、第1の方向において順に、光電変換ユニット85−3、86−3、85−4および86−4が設けられている。光電変換ユニット85−3は、赤色(R)のフィルタが対応して設けられた光電変換部18−9および18−10を有する。光電変換ユニット86−3は、緑色(G)のフィルタが対応して設けられた光電変換部18−11および18−12を有する。光電変換ユニット85−4は、赤色(R)のフィルタが対応して設けられた光電変換部18−13および18−14を有する。光電変換ユニット86−4は、緑色(G)のフィルタが対応して設けられた光電変換部18−15および18−16を有する。
光電変換部18−9、18−10、18−13および18−14は、それぞれ転送部44−9、44−10、44−13および44−14に接続される。転送部44−9、44−10、44−13および44−14は、電荷電圧変換部53−3に共通に接続される。電荷排除部46−3、増幅部48−3、出力部50−3および高電位部52の構成は、第1の実施形態における撮像素子10と同様である。
光電変換部18−11、18−12、18−15および18−16は、それぞれ転送部44−11、44−12、44−15および44−16に接続される。転送部44−11、44−12、44−15および44−16は、電荷電圧変換部53−4に共通に接続される。電荷排除部46−4、増幅部48−4、出力部50−4および高電位部52の構成は、第1の実施形態における撮像素子10と同様である。
電荷加算部58は、同色のカラーフィルタが設けられた第1の光電変換ユニット85同士または第2の光電変換ユニット86同士を電気的に接続する。本例では、電荷加算部58−1は、電荷電圧変換部53−1、切替部54−1および電荷電圧変換部53−3を有する。切替部54−1は、電荷電圧変換部53−1および電荷電圧変換部53−3の間に設けられる。電荷加算部58−1は、電荷電圧変換部53−1および53−3に蓄積された電荷を、切替部54−1を通じて加算する。これにより、光電変換部18−1、18−2、18−5および18−6、ならびに、光電変換部18−9、18−10、18−13および18−14において蓄積された電荷が加算される。
電荷加算部58−2は、電荷電圧変換部53−2、切替部54−2および電荷電圧変換部53−4を有する。切替部54−2は、電荷電圧変換部53−2および電荷電圧変換部53−4の間に設けられる。電荷加算部58−2は、電荷電圧変換部53−2および53−4に蓄積された電荷を切替部54−2を通じて加算する。これにより、光電変換部18−3、18−4、18−7および18−8、ならびに、光電変換部18−11、18−12、18−15および18−16において蓄積された電荷が加算される。
なお、電荷排除部46、増幅部48、出力部50、電荷電圧変換部53、高電位部52、信号線56、駆動回路60、CDS回路62、AD変換回路64および制御部65の接続関係および機能は、第1の実施形態の撮像素子10と同じである。
本例では、電荷排除部46、増幅部48、出力部50および電荷電圧変換部53の各1つに対して、4つの光電変換部18を設けた。4つの光電変換部18からの信号を出力するために7つのトランジスタ(光電変換部18に4つのトランジスタ、電荷排除部46、増幅部48、出力部50および電荷電圧変換部53の各1つのトランジスタ)を用いた、いわゆる1.75トランジスタの構成である。
なお、第1の実施形態は、2つの光電変換部18からの信号を出力するために5つのトランジスタ(光電変換部18に2つのトランジスタ、電荷排除部46、増幅部48、出力部50および電荷電圧変換部53の各1つのトランジスタ)を用いたので、いわゆる2.5トランジスタの構成である。本例のように、1.75トランジスタの構成にすることにより、光電変換部18一つあたりに必要なトランジスタの数を減らすことができる。また、これにより、消費電力を減らすことができる。
なお本例では、電荷排除部46、増幅部48、出力部50および電荷電圧変換部53の各1つずつに対して、同一の分光特性を有するフィルタが設けられる4つの光電変換部18が配置された。しかし、同一の分光特性を有するフィルタが設けられる光電変換部18の数は、4つに限定されない。例えば、4つではなく5つとしてもよい。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順序で実施することが必須であることを意味するものではない。
10 撮像素子、12 撮像基板、13 画素領域、14 カラーフィルタ、15 パッシベーション膜、16 配線、17 配線層、18 光電変換部、19 複数のトランジスタ、20 マイクロレンズアレイ、25 液晶フィルタ、27 領域、30 入射光、40 撮像素子、44 転送部、46 電荷排除部、48 増幅部、50 出力部、52 高電位部、53 電荷電圧変換部、54 切替部、55 光電変換ユニット、56 信号線、58 電荷加算部、60 駆動回路、62 CDS回路、64 AD変換回路、65 制御部、66 信号処理部、70 撮像素子、75 光電変換ユニット、80 撮像素子、85 光電変換ユニット、86 光電変換ユニット、200 撮像素子部、340 シャッタユニット、410 光軸、400 一眼レフカメラ、500 レンズユニット、550 レンズマウント、600 カメラボディ、620 ボディ基板、622 CPU、624 画像処理ASIC、634 背面表示部、650 ファインダ、652 ピント板、654 ペンタプリズム、656 ファインダ光学系、660 ボディマウント、670 ミラーボックス、672 メインミラー、674 サブミラー、680 合焦光学系、682 焦点検出センサ

Claims (11)

  1. 光学系からの光が入射される部材であって透過率が可変に制御される第1部材と、
    前記光学系からの光が入射される部材であって透過率が可変に制御される第2部材と、
    前記第1部材からの光を電荷に変換する第1光電変換部と、
    前記第2部材からの光を電荷に変換する第2光電変換部と、
    前記第1光電変換部で変換された電荷を転送する第1転送部と、
    前記第2光電変換部で変換された電荷を転送する第2転送部と
    前記第1転送部により前記第1光電変換部からの電荷が転送される第1電荷電圧変換部と、
    前記第2転送部により前記第2光電変換部からの電荷が転送される第2電荷電圧変換部と、
    前記第1部材の透過率が前記第2部材の透過率とは異なるように制御されると、前記第1光電変換部からの電荷と前記第2光電変換部からの電荷とが加算されるように前記第1電荷電圧変換部と前記第2電荷電圧変換部とを電気的に接続する加算部と、
    を備える撮像素子。
  2. 前記第2転送部は、前記第1部材の透過率が前記第2部材の透過率とは異なるように制御されると、前記第1転送部により前記第1光電変換部から前記第1電荷電圧変換部に電荷が転送されているときに前記第2光電変換部から前記第2電荷電圧変換部に電荷を転送する請求項1に記載の撮像素子。
  3. 前記加算部は、前記第1電荷電圧変換部及び前記第2電荷電圧変換部に接続されるトランジスタを有する請求項1または2に記載の撮像素子。
  4. 前記光学系の光軸方向において前記第1部材と前記第1光電変換部との間に配置され、前記第1部材からの光を前記第1光電変換部に導く第1マイクロレンズと、
    前記光学系の光軸方向において前記第2部材と前記第2光電変換部との間に配置され、前記第2部材からの光を前記第2光電変換部に導く第2マイクロレンズと、
    を備える請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の撮像素子。
  5. 前記第1部材及び前記第2部材は、液晶フィルタである請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の撮像素子。
  6. 光学系からの光が入射される部材であって透過率が可変に制御される第3部材と、
    前記第3部材からの光を電荷に変換する第3光電変換部と、
    前記第3光電変換部で変換された電荷を転送する第3転送部と、
    前記第3転送部により前記第3光電変換部からの電荷が転送される第3電荷電圧変換部と、を備え、
    前記加算部は、前記第1部材の透過率が前記第3部材の透過率とは異なるように制御されると、前記第1光電変換部からの電荷と前記第3光電変換部からの電荷とが加算されるように前記第1電荷電圧変換部と前記第3電荷電圧変換部とを電気的に接続する請求項1に記載の撮像素子。
  7. 前記第1電荷電圧変換部に接続されるゲートを有する第1増幅部と、
    前記第2電荷電圧変換部に接続されるゲートを有する第2増幅部と、
    前記第3電荷電圧変換部に接続されるゲートを有する第3増幅部と、
    前記第1増幅部と信号線との間を電気的に接続する第1出力部と、
    前記第1部材の透過率が前記第2部材の透過率とは異なるように制御されると、前記第1出力部により前記第1増幅部と信号線との間が電気的に接続されているときに前記第2増幅部と前記信号線との間を電気的に接続する第2出力部と、
    前記第1部材の透過率が前記第3部材の透過率とは異なるように制御されると、前記第1出力部により前記第1増幅部と信号線との間が電気的に接続されているときに前記第3増幅部と前記信号線との間を電気的に接続する第3出力部と、
    を備える請求項6に記載の撮像素子。
  8. 前記加算部は、前記第1電荷電圧変換部及び前記第2電荷電圧変換部に接続されるトランジスタと、前記第1電荷電圧変換部及び前記第3電荷電圧変換部に接続されるトランジスタと、を有する請求項6または7に記載の撮像素子。
  9. 前記光学系の光軸方向において前記第1部材と前記第1光電変換部との間に配置され、前記第1部材からの光を前記第1光電変換部に導く第1マイクロレンズと、
    前記光学系の光軸方向において前記第2部材と前記第2光電変換部との間に配置され、前記第2部材からの光を前記第2光電変換部に導く第2マイクロレンズと、
    前記光学系の光軸方向において前記第3部材と前記第3光電変換部との間に配置され、前記第3部材からの光を前記第3光電変換部に導く第3マイクロレンズと、
    を備える請求項6から請求項8のいずれか一項に記載の撮像素子。
  10. 前記第1部材、前記第2部材及び前記第3部材は、液晶フィルタである請求項6から請求項9のいずれか一項に記載の撮像素子。
  11. 請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の撮像素子を備える撮像装置。
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