JP6319000B2 - Method and apparatus for surface modification of reinforced substrate - Google Patents

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Description

本発明は、強化基材の表面改質方法及び表面改質装置に関する。   The present invention relates to a surface modification method and a surface modification apparatus for a reinforced substrate.

近年、自動車の車体軽量化のために強化基材に樹脂を含浸させた複合材料が自動車部品として用いられている。このような強化基材としては、例えば、炭素繊維、ガラス繊維、ポリアミド繊維などが挙げられる。一般的に強化基材は樹脂との接着性が低いために、強化基材の、樹脂に対する接着性を向上させる必要がある。   In recent years, a composite material in which a reinforced base material is impregnated with a resin has been used as an automobile part in order to reduce the weight of an automobile body. Examples of such a reinforcing substrate include carbon fiber, glass fiber, polyamide fiber, and the like. In general, since the reinforced substrate has low adhesion to the resin, it is necessary to improve the adhesion of the reinforced substrate to the resin.

これに関連して、例えば下記の特許文献1には、芳香族ポリアミド繊維に対して繊維の配置面に直交する方向からプラズマを照射することによって、芳香族ポリアミド繊維の表面を改質して接着性を改良する接着性改良方法が開示されている。   In this connection, for example, in Patent Document 1 below, the surface of the aromatic polyamide fiber is modified and bonded by irradiating the aromatic polyamide fiber with plasma from a direction perpendicular to the fiber arrangement surface. A method for improving adhesion has been disclosed to improve the properties.

特開昭61−258065号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-258065

特許文献1に記載の接着性改良方法では、芳香族ポリアミド繊維に対して、配置面に直交する方向からプラズマを照射している。このように、プラズマを直交方向から照射すると、照射箇所において逃げ場がないためプラズマガスは圧縮されて高温となり、かつ中心の高温部分にさらされるため、被照射物である強化基材を損傷させる虞がある。したがって、特許文献1に記載の接着性改良方法では、プラズマ照射による強化基材の損傷を低減させるために、十分な照射距離を設けて、プラズマを長時間照射することにより表面改質を行っている。すなわち、表面改質効果を得るためにプラズマを効率よく照射できていない可能性がある。   In the adhesion improving method described in Patent Document 1, plasma is irradiated from the direction orthogonal to the arrangement surface to the aromatic polyamide fiber. In this way, when the plasma is irradiated from the orthogonal direction, the plasma gas is compressed and heated to a high temperature because there is no escape place at the irradiated portion, and is exposed to the high temperature portion at the center, so that the reinforced substrate that is the object to be irradiated may be damaged. There is. Therefore, in the adhesion improving method described in Patent Document 1, in order to reduce damage to the reinforced base material caused by plasma irradiation, a sufficient irradiation distance is provided and surface modification is performed by irradiating plasma for a long time. Yes. That is, there is a possibility that the plasma cannot be efficiently irradiated in order to obtain the surface modification effect.

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、強化基材の損傷を低減しつつ、効率よくプラズマを強化基材に照射して強化基材の表面を改質する強化基材の表面改質方法及び表面改質装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and is a reinforcing group that efficiently irradiates the reinforcing substrate with plasma and reduces the surface of the reinforcing substrate while reducing damage to the reinforcing substrate. An object of the present invention is to provide a material surface modification method and a surface modification apparatus.

上記目的を達成する本発明に係る強化基材の表面改質方法は、樹脂を含浸することによって複合材料を構成する強化基材の表面に、前記表面に直交する直交方向に対して傾斜した方向からプラズマを照射して、前記強化基材の表面を改質する方法である。また、前記強化基材を互いに対向するように配置し、互いに対向して配置される前記強化基材の間に向けて前記プラズマを照射することによって、対向する前記強化基材の表面の双方に前記プラズマを照射する。 The surface modification method for a reinforced substrate according to the present invention that achieves the above object is a method in which a surface of a reinforced substrate constituting a composite material is impregnated with a resin and inclined with respect to an orthogonal direction perpendicular to the surface. In this method, the surface of the reinforced substrate is modified by irradiating with plasma. Further, the reinforcing substrates are arranged so as to oppose each other, and by irradiating the plasma between the reinforcing substrates arranged so as to oppose each other, both surfaces of the opposing reinforcing substrates are arranged. Irradiate the plasma.

また上記目的を達成する本発明に係る強化基材の表面改質装置は、樹脂を含浸することによって複合材料を構成する強化基材の表面に、前記表面に直交する直交方向に対して傾斜した方向からプラズマを照射して、前記強化基材の表面を改質する照射部を有する。また、前記強化基材は互いに対向するように配置され、前記照射部は、互いに対向して配置される前記強化基材の間に向けて前記プラズマを照射することによって、対向する前記強化基材の表面の双方に前記プラズマを照射する。 Moreover, the surface modification apparatus for a reinforced base material according to the present invention that achieves the above object is inclined with respect to the orthogonal direction perpendicular to the surface of the reinforced base material constituting the composite material by impregnating the resin. It has an irradiation part which irradiates plasma from the direction and modifies the surface of the reinforced substrate. Moreover, the said reinforcement | strengthening base material is arrange | positioned so that it may mutually oppose, The said reinforcement | strengthening base material which the said irradiation part opposes by irradiating the said plasma toward the said reinforcement | strengthening base material arrange | positioned facing each other The plasma is irradiated on both of the surfaces.

上記のように構成した強化基材の表面改質方法及び表面改質装置によれば、強化基材の表面に直交方向に対して傾斜した方向からプラズマを照射することによって、強化基材の表面を改質する。よって、プラズマガスは強化基材の表面に傾斜して照射されるためプラズマガスの圧縮が抑制され、かつ中心の高温部分を逃して照射することができる。したがって、強化基材の損傷を低減しつつ、効率よくプラズマを強化基材に照射して強化基材の表面を改質することができる。   According to the surface modification method and the surface modification apparatus for a reinforced base material configured as described above, the surface of the reinforced base material is irradiated by irradiating the surface of the reinforced base material from a direction inclined with respect to the orthogonal direction. To reform. Therefore, since the plasma gas is irradiated to the surface of the reinforced substrate in an inclined manner, the compression of the plasma gas is suppressed, and the high temperature portion at the center can be released and irradiated. Therefore, the surface of the reinforced substrate can be modified by efficiently irradiating the reinforced substrate with plasma while reducing damage to the reinforced substrate.

第1実施形態に係る強化基材の表面改質装置を示す概略図である。It is the schematic which shows the surface modification apparatus of the reinforced base material which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る表面改質方法を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the surface modification method which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る表面改質方法の効果の一例を説明するためのグラフである。It is a graph for demonstrating an example of the effect of the surface modification method which concerns on 1st Embodiment. 対比例に係る表面改質方法を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the surface modification method which concerns on contrast. 図5(A)は、プラズマ照射前の強化基材を示す顕微鏡写真であって、図5(B)は、対比例に係る表面改質方法によってプラズマを照射した後の強化基材を示す顕微鏡写真である。FIG. 5 (A) is a photomicrograph showing the reinforced substrate before plasma irradiation, and FIG. 5 (B) is a microscope showing the reinforced substrate after being irradiated with plasma by the surface modification method according to the comparative example. It is a photograph. 第2実施形態に係る表面改質方法を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the surface modification method which concerns on 2nd Embodiment. 改変例1に係る表面改質方法を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the surface modification method which concerns on the modification 1. 改変例2に係る表面改質方法を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the surface modification method which concerns on the modification 2. 改変例3に係る表面改質方法を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the surface modification method which concerns on the modification 3. 改変例4に係る表面改質方法を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the surface modification method which concerns on the modification 4.

<第1実施形態>
以下、添付した図面を参照しながら、本発明の第1実施形態を説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明の都合上誇張されており、実際の比率とは異なる場合がある。
<First Embodiment>
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. The dimensional ratios in the drawings are exaggerated for convenience of explanation, and may differ from actual ratios.

図1は、本発明の第1実施形態に係る強化基材210の表面改質装置1を示す概略図である。図2は、第1実施形態に係る表面改質方法を説明するための概略図である。図3は、第1実施形態に係る表面改質方法の効果の一例を説明するためのグラフである。図4は、対比例に係る表面改質方法を説明するための概略図である。図5(A)は、プラズマ照射前の強化基材210を示す顕微鏡写真であって、図5(B)は、対比例に係る表面改質方法によってプラズマPを照射した後の強化基材210を示す顕微鏡写真である。   FIG. 1 is a schematic view showing a surface modification device 1 for a reinforced substrate 210 according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic view for explaining the surface modification method according to the first embodiment. FIG. 3 is a graph for explaining an example of the effect of the surface modification method according to the first embodiment. FIG. 4 is a schematic view for explaining the surface modification method according to the comparative example. FIG. 5A is a photomicrograph showing the reinforced substrate 210 before plasma irradiation, and FIG. 5B is a reinforced substrate 210 after being irradiated with plasma P by the surface modification method according to the comparative example. FIG.

まず、表面改質装置1によって表面が改質される強化基材210について説明する。強化基材210は、樹脂を含浸することによって複合材料を構成する。複合材料は、強化基材210と組み合わせることによって樹脂単体に比べて高い強度及び剛性を備える。   First, the reinforced substrate 210 whose surface is modified by the surface modification apparatus 1 will be described. The reinforced substrate 210 constitutes a composite material by impregnating the resin. The composite material has higher strength and rigidity than the resin alone when combined with the reinforced substrate 210.

強化基材210は、炭素繊維、ガラス繊維、有機繊維等の織物シートによって形成される。本実施形態では、一例として、熱膨張係数が小さく寸法安定性に優れ、高温下においても機械的特性の低下が少ない炭素繊維を挙げて説明する。強化基材210は、炭素繊維が1,000本から50,000本程度の束の状態で、いわゆるボビン状に構成される。   The reinforcing substrate 210 is formed of a woven fabric sheet such as carbon fiber, glass fiber, or organic fiber. In the present embodiment, as an example, a carbon fiber having a small coefficient of thermal expansion and excellent dimensional stability and less deterioration in mechanical properties even at high temperatures will be described. The reinforcing substrate 210 is configured in a so-called bobbin shape in a bundle of about 1,000 to 50,000 carbon fibers.

第1実施形態に係る強化基材210の表面改質装置1は、図1に示すように、張力制御部10と、照射部20と、搬送部30と、を有する。   As shown in FIG. 1, the surface modification device 1 for a reinforced base material 210 according to the first embodiment includes a tension control unit 10, an irradiation unit 20, and a conveyance unit 30.

張力制御部10は、搬送部30によって搬送される強化基材210の張力を制御して、強化基材210の歪みを防止する。張力制御部10は、ボビン状の強化基材210がセットされる配置部11と、強化基材210の歪みを防止する4つのローラ12〜15と、を有する。   The tension control unit 10 controls the tension of the reinforced substrate 210 conveyed by the conveyance unit 30 to prevent distortion of the reinforced substrate 210. The tension control unit 10 includes an arrangement unit 11 on which a bobbin-shaped reinforcing base 210 is set, and four rollers 12 to 15 that prevent distortion of the reinforcing base 210.

照射部20は、強化基材210に対してプラズマPを照射する。照射部20は、強化基材210の表面211にY方向(表面211に直交する直交方向)に対して傾斜した方向からプラズマPを照射して、強化基材210の表面211を改質する。また、照射部20は、Y方向に対して30°以上傾斜した方向から強化基材210の表面211にプラズマPを照射することが好ましい。   The irradiation unit 20 irradiates the reinforcing substrate 210 with the plasma P. The irradiation unit 20 irradiates the surface 211 of the reinforced substrate 210 with the plasma P from a direction inclined with respect to the Y direction (orthogonal direction orthogonal to the surface 211), thereby modifying the surface 211 of the reinforced substrate 210. Moreover, it is preferable that the irradiation part 20 irradiates the surface 211 of the reinforcement | strengthening base material 210 with the plasma P from the direction which inclined 30 degrees or more with respect to the Y direction.

照射部20の電源としては、交流電源21を用いることが好ましい。交流電源21はアース(接地)される。   As a power source for the irradiation unit 20, an AC power source 21 is preferably used. The AC power supply 21 is grounded (grounded).

強化基材210にプラズマPを照射することによって、炭素繊維を構成する炭素表面に酸性官能基が導入されるため、強化基材210の表面211は改質され、樹脂との接着性が向上する。   By irradiating the reinforced substrate 210 with plasma P, an acidic functional group is introduced to the carbon surface constituting the carbon fiber, so that the surface 211 of the reinforced substrate 210 is modified and the adhesion to the resin is improved. .

搬送部30は、強化基材210を図1の矢印方向に搬送しつつ、表面211が改質された強化基材210を再度ボビン状に巻き取る。搬送部30は、モータ31と、モータ31により回転されることで強化基材210を巻き取る巻き取り部32と、を有する。   The transport unit 30 winds the reinforced base material 210 whose surface 211 has been modified into a bobbin shape again while transporting the reinforced base material 210 in the direction of the arrow in FIG. The conveyance unit 30 includes a motor 31 and a winding unit 32 that winds the reinforced substrate 210 by being rotated by the motor 31.

次に、図2、図4、図5を参照して、対比例に係る表面改質方法及び本実施形態に係る表面改質方法を説明する。   Next, with reference to FIG. 2, FIG. 4, and FIG. 5, the surface modification method according to the proportionality and the surface modification method according to the present embodiment will be described.

まず図4を参照して、対比例に係る表面改質方法を説明する。対比例に係る表面改質方法では、照射部920が、強化基材210の表面211に、Y方向からプラズマPを照射する。   First, the surface modification method according to the comparative example will be described with reference to FIG. In the comparative surface modification method, the irradiation unit 920 irradiates the surface 211 of the reinforced substrate 210 with the plasma P from the Y direction.

このようにY方向からプラズマPを照射すると、強化基材210の表面211において、プラズマガスは逃げ場がないため圧縮されて高温となり、かつ中心の高温部分にさらされるため、強化基材210を損傷させる。すなわち、図5(A)及び図5(B)に示すように、炭素繊維である強化基材210は細径化して、強度が低下する。   When the plasma P is irradiated from the Y direction in this way, the plasma gas is compressed on the surface 211 of the reinforced substrate 210 because there is no escape, and is compressed to a high temperature and exposed to the high temperature portion at the center, so that the reinforced substrate 210 is damaged. Let That is, as shown in FIGS. 5 (A) and 5 (B), the reinforcing base 210, which is a carbon fiber, is reduced in diameter and the strength is reduced.

次に、図2を参照して、本実施形態に係る表面改質方法を説明する。   Next, the surface modification method according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

本実施形態に係る表面改質方法は、強化基材210の表面211に、Y方向に対して傾斜した方向からプラズマPを照射して、強化基材210の表面211を改質する方法である。さらに、Y方向から30°以上傾斜した方向から、強化基材210の表面211にプラズマPを照射することが好ましい。   The surface modification method according to the present embodiment is a method for modifying the surface 211 of the reinforced substrate 210 by irradiating the surface 211 of the reinforced substrate 210 with the plasma P from a direction inclined with respect to the Y direction. . Furthermore, it is preferable to irradiate the surface 211 of the reinforced substrate 210 with the plasma P from a direction inclined by 30 ° or more from the Y direction.

以下、プラズマPの照射条件の一例について説明する。   Hereinafter, an example of the irradiation conditions of the plasma P will be described.

プラズマ電圧は、プラズマPの発生し易さの観点から、例えば200〜400Vであって、260〜280Vであることが好ましい。   The plasma voltage is, for example, 200 to 400 V and preferably 260 to 280 V from the viewpoint of the ease of generating plasma P.

パルス放電周波数は、プラズマPの発生し易さの観点から、例えば10〜30kHzであって、16〜20kHzであることが好ましい。   The pulse discharge frequency is, for example, 10 to 30 kHz, and preferably 16 to 20 kHz, from the viewpoint of easy generation of plasma P.

プラズマ照射距離Lは、例えば2〜30mmであって、10〜15mmであることが好ましい。プラズマ照射距離Lが短いと強化基材210が損傷する可能性があり、長いと表面改質効果が小さくなる。   The plasma irradiation distance L is, for example, 2 to 30 mm, and preferably 10 to 15 mm. If the plasma irradiation distance L is short, the reinforced substrate 210 may be damaged, and if it is long, the surface modification effect becomes small.

プラズマ照射時間は、例えば0.1〜5.0秒であって、0.5〜1.0秒であることが好ましい。プラズマ照射時間が短いと表面改質効果が小さくなり、長いと強化基材210が損傷する可能性がある。   The plasma irradiation time is, for example, 0.1 to 5.0 seconds, and preferably 0.5 to 1.0 seconds. If the plasma irradiation time is short, the surface modification effect is small, and if the plasma irradiation time is long, the reinforced substrate 210 may be damaged.

プラズマガスとしては、例えば酸素、窒素、またはヘリウムを0.5%以上含む混合ガスを用いることができる。プラズマPによって活性化した酸素、窒素、またはヘリウムが強化基材210表面に付着することで接着性が向上する。   As the plasma gas, for example, a mixed gas containing 0.5% or more of oxygen, nitrogen, or helium can be used. Adhesion is improved when oxygen, nitrogen, or helium activated by the plasma P adheres to the surface of the reinforced substrate 210.

上述のようにY方向に対して傾斜した方向からプラズマPを照射することによって、プラズマガスの圧縮が抑制されつつ、中心の高温部分を逃して照射することができる。したがって、強化基材210の損傷を低減しつつ、効率よくプラズマPを強化基材210に照射することができる。   By irradiating the plasma P from the direction inclined with respect to the Y direction as described above, it is possible to irradiate by escaping the central high temperature portion while suppressing the compression of the plasma gas. Therefore, it is possible to efficiently irradiate the reinforced substrate 210 with the plasma P while reducing damage to the reinforced substrate 210.

このように表面211が改質された強化基材210は、RTM(Resin Transfer Molding)成形法や、フィラメントワインディング成形法のような複合材料の成形法に適用され得る。   The reinforced substrate 210 having the surface 211 thus modified can be applied to a composite material molding method such as an RTM (Resin Transfer Molding) molding method or a filament winding molding method.

図3において、横軸は、Y方向からの傾斜角度を示し、縦軸は、強化基材210の引張強度及び強化基材210の表面211に導入された酸性官能基量を示す。ここでは、図3において点線で示すように、プラズマP照射前の引張強度が1420MPaである強化基材210を例に挙げて説明する。   In FIG. 3, the horizontal axis indicates the inclination angle from the Y direction, and the vertical axis indicates the tensile strength of the reinforced substrate 210 and the amount of acidic functional groups introduced on the surface 211 of the reinforced substrate 210. Here, as shown by a dotted line in FIG. 3, a description will be given by taking as an example a reinforced substrate 210 having a tensile strength before irradiation with plasma P of 1420 MPa.

図3に示すように、Y方向からの傾斜角度が大きくなるほど、強化基材210の引張強度及び酸性官能基量は増大する。すなわち、Y方向からの傾斜角度を大きくして照射することによって、強化基材210の引張強度を高めつつ、樹脂に対する接着性を向上することができる。ここで、傾斜角度が30°を超えた場合、引張強度は照射前の引張強度である1420MPaを超えるため、傾斜角度を30°以上とすることが好ましい。   As shown in FIG. 3, the tensile strength and the amount of acidic functional groups of the reinforced substrate 210 increase as the inclination angle from the Y direction increases. That is, by increasing the angle of inclination from the Y direction and irradiating, the adhesive strength to the resin can be improved while increasing the tensile strength of the reinforced substrate 210. Here, when the inclination angle exceeds 30 °, the tensile strength exceeds 1420 MPa, which is the tensile strength before irradiation, and therefore the inclination angle is preferably 30 ° or more.

以上説明したように、本実施形態に係る強化基材210の表面改質方法は、樹脂を含浸することによって複合材料を構成する強化基材210の表面211に、Y方向に対して傾斜した方向からプラズマPを照射して、強化基材210の表面211を改質する。このため、プラズマガスの圧縮が抑制され、かつ中心の高温部分を逃して照射することができる。したがって、強化基材210の損傷を低減しつつ、効率よくプラズマPを強化基材210に照射して、強化基材210の表面211を改質することができる。   As described above, the surface modification method of the reinforced base material 210 according to the present embodiment is a direction inclined with respect to the Y direction on the surface 211 of the reinforced base material 210 constituting the composite material by impregnating the resin. Then, the surface 211 of the reinforced substrate 210 is modified by irradiating with plasma P. For this reason, compression of plasma gas is suppressed and it can irradiate by escaping the high temperature part of the center. Therefore, the surface 211 of the reinforced substrate 210 can be modified by efficiently irradiating the reinforced substrate 210 with the plasma P while reducing damage to the reinforced substrate 210.

また、Y方向に対して30°以上傾斜した方向から、強化基材210の表面211にプラズマPを照射する。このため、図3に示すように、プラズマPを照射しない場合と比較して、強化基材210の引張強度を高めることができる。   In addition, the surface 211 of the reinforced substrate 210 is irradiated with plasma P from a direction inclined by 30 ° or more with respect to the Y direction. For this reason, as shown in FIG. 3, compared with the case where the plasma P is not irradiated, the tensile strength of the reinforcement base material 210 can be raised.

また、以上説明したように、本実施形態に係る強化基材210の表面改質装置1は、強化基材210の表面211に、Y方向に対して傾斜した方向からプラズマPを照射して、強化基材210の表面211を改質する照射部20を有する。このため、プラズマガスの圧縮が抑制され、かつ中心の高温部分を逃して照射することができる。したがって、強化基材210の損傷を低減しつつ、効率よくプラズマPを強化基材210に照射して、強化基材210の表面211を改質することができる。   In addition, as described above, the surface modification device 1 for the reinforced substrate 210 according to this embodiment irradiates the surface 211 of the reinforced substrate 210 with the plasma P from the direction inclined with respect to the Y direction, The irradiation unit 20 for modifying the surface 211 of the reinforced substrate 210 is included. For this reason, compression of plasma gas is suppressed and it can irradiate by escaping the high temperature part of the center. Therefore, the surface 211 of the reinforced substrate 210 can be modified by efficiently irradiating the reinforced substrate 210 with the plasma P while reducing damage to the reinforced substrate 210.

また、照射部20は、Y方向に対して30°以上傾斜した方向から、強化基材210の表面211にプラズマPを照射する。このため、図3に示すように、プラズマPを照射しない場合と比較して、強化基材210の引張強度を高めることができる。   Further, the irradiation unit 20 irradiates the surface 211 of the reinforced substrate 210 with the plasma P from a direction inclined by 30 ° or more with respect to the Y direction. For this reason, as shown in FIG. 3, compared with the case where the plasma P is not irradiated, the tensile strength of the reinforcement base material 210 can be raised.

<第2実施形態>
次に、本発明の第2実施形態を説明する。第1実施形態と共通する部分は説明を省略し、第2実施形態のみに特徴のある箇所について説明する。
Second Embodiment
Next, a second embodiment of the present invention will be described. Description of parts common to the first embodiment will be omitted, and only features unique to the second embodiment will be described.

図6は、第2実施形態に係る表面改質方法を説明するための概略図であって、図2に対応する図である。   FIG. 6 is a schematic diagram for explaining the surface modification method according to the second embodiment, and corresponds to FIG. 2.

第2実施形態に係る強化基材210の表面改質装置2は、図6に示すように、照射部120と、強化基材210の一部に強化基材210が互いに対向する凹部212を形成する複数のローラ40と、を有する。張力制御部10及び搬送部30の構成は、第1実施形態に係る表面改質装置1と同様であるため説明は省略する。   As shown in FIG. 6, the surface modification device 2 for a reinforced base material 210 according to the second embodiment forms an irradiation part 120 and a recess 212 where the reinforced base material 210 faces a part of the reinforced base material 210. And a plurality of rollers 40. The configurations of the tension control unit 10 and the conveyance unit 30 are the same as those of the surface modification apparatus 1 according to the first embodiment, and thus description thereof is omitted.

照射部120は、Y方向に沿って配置される。照射部120は、凹部212のうち互いに対向して配置される強化基材210の間に向けてプラズマPを照射することによって、対向する強化基材210の表面211の双方の面212A,212BにプラズマPを照射する。この構成によれば、照射部120がY方向に対して傾斜しないように配置されるため、照射部120のX方向の幅を抑えることができる。また、第1実施形態において照射部20の傾斜角度を大きくすることによって発生する、強化基材210との干渉を防止することができる。   The irradiation unit 120 is arranged along the Y direction. The irradiation unit 120 irradiates the plasma P toward the space between the reinforcing bases 210 arranged opposite to each other in the recesses 212, so that both surfaces 212 </ b> A and 212 </ b> B of the surface 211 of the opposing reinforcing bases 210 are irradiated. Plasma P is irradiated. According to this structure, since the irradiation part 120 is arrange | positioned so that it may not incline with respect to a Y direction, the width | variety of the X direction of the irradiation part 120 can be suppressed. In addition, it is possible to prevent the interference with the reinforced substrate 210 that is generated by increasing the inclination angle of the irradiation unit 20 in the first embodiment.

照射部120は、上述のように凹部212が形成された箇所に、Y方向からプラズマPを照射する。また、強化基材210は凹部212において、互いに対向するようにY方向に沿って形成される。したがって、強化基材210の表面211に直交する略X方向に対して傾斜した方向から、強化基材210の表面211にプラズマPが照射される。   The irradiation unit 120 irradiates the plasma P from the Y direction to the portion where the recess 212 is formed as described above. Further, the reinforcing base 210 is formed along the Y direction so as to face each other in the recess 212. Therefore, the surface P of the reinforced substrate 210 is irradiated with the plasma P from a direction inclined with respect to the substantially X direction orthogonal to the surface 211 of the reinforced substrate 210.

複数のローラ40は、第1のローラ41、第2のローラ42、第3のローラ43、第4のローラ44、及び第5のローラ45を有する。   The plurality of rollers 40 includes a first roller 41, a second roller 42, a third roller 43, a fourth roller 44, and a fifth roller 45.

第1のローラ41は、強化基材210の一部をY方向下向きに折り曲げる。   The first roller 41 bends a part of the reinforcing base 210 downward in the Y direction.

第2のローラ42は、第1のローラ41とともに強化基材210の一部がプラズマPの照射形状に沿うように配置される。   The second roller 42 and the first roller 41 are arranged so that a part of the reinforced substrate 210 follows the irradiation shape of the plasma P.

第3のローラ43は、第1のローラ41によってY方向下向きに折り曲げられた強化基材210をY方向上向きに折り曲げる。   The third roller 43 bends the reinforced base material 210 bent downward in the Y direction by the first roller 41 upward in the Y direction.

第4のローラ44は、第5のローラ45とともに強化基材210の一部がプラズマPの照射形状に沿うように配置される。   The fourth roller 44 and the fifth roller 45 are arranged so that a part of the reinforced substrate 210 follows the irradiation shape of the plasma P.

第5のローラ45は、第3のローラ43によってY方向上向きに折り曲げられた強化基材210をX方向左向きに折り曲げる。   The fifth roller 45 bends the reinforced substrate 210 bent upward in the Y direction by the third roller 43 to the left in the X direction.

第3のローラ43の直径は、第1のローラ41及び第5のローラ45の間隔よりも大きく形成される。このため、凹部212において、Y方向下側(凹部212が形成されない強化基材210に対する遠位側)の幅を、Y方向上側(凹部212が形成されない強化基材210に対する近位側)の幅よりも大きく形成することができる。この構成によれば、張力制御部10及び搬送部30によって強化基材210を張った状態において、第1のローラ41及び第5のローラ45において、強化基材210に対し矢印の方向の張力Tを発生させることができる。よって、プラズマPを照射する際に、強化基材210がばたつくことを防止でき、照射距離を均一にすることができる。したがって、表面改質の効果が均一な強化基材210を得ることができる。   The diameter of the third roller 43 is formed larger than the distance between the first roller 41 and the fifth roller 45. For this reason, in the concave portion 212, the width on the lower side in the Y direction (distal side with respect to the reinforced base material 210 where the concave portion 212 is not formed) is set to the width on the upper side in the Y direction (proximal side with respect to the reinforced base material 210 where the concave portion 212 is not formed). Larger than that. According to this configuration, the tension T in the direction of the arrow in the first roller 41 and the fifth roller 45 with respect to the reinforcing base 210 in a state where the reinforcing base 210 is stretched by the tension control unit 10 and the transport unit 30. Can be generated. Therefore, when the plasma P is irradiated, the reinforcing substrate 210 can be prevented from fluttering, and the irradiation distance can be made uniform. Therefore, it is possible to obtain a reinforced substrate 210 having a uniform surface modification effect.

次に、本実施形態に係る照射方法を説明する。   Next, the irradiation method according to the present embodiment will be described.

本実施形態に係る照射方法では、搬送部30が、強化基材210の一部に強化基材210が互いに対向する凹部212を形成するように強化基材210を搬送する。   In the irradiation method according to the present embodiment, the transport unit 30 transports the reinforced base material 210 so that the reinforced base material 210 forms a concave portion 212 facing each other in a part of the reinforced base material 210.

照射部120は、凹部212のうち対向する面212A,212Bの間に向けてプラズマPを照射することによって、対向する面212A,212BにプラズマPを照射する。   The irradiation unit 120 irradiates the opposing surfaces 212A and 212B with the plasma P by irradiating the plasma P between the opposing surfaces 212A and 212B of the recess 212.

以上説明したように、本実施形態に係る強化基材210の表面改質方法では、強化基材210を互いに対向するように配置する。強化基材210の表面改質方法では、互いに対向して配置される強化基材210の間に向けてプラズマPを照射することによって、対向する強化基材210の表面211の双方にプラズマPを照射する。この方法によれば、同時に、対向する面212A,212BにプラズマPを照射することができ、より効率よくプラズマPを強化基材210に照射することができる。   As described above, in the method for modifying the surface of the reinforced substrate 210 according to this embodiment, the reinforced substrates 210 are disposed so as to face each other. In the method of modifying the surface of the reinforced substrate 210, the plasma P is applied to both the surfaces 211 of the reinforced substrate 210 facing each other by irradiating the plasma P between the reinforced substrates 210 arranged to face each other. Irradiate. According to this method, the opposing surfaces 212A and 212B can be irradiated with the plasma P at the same time, and the reinforced substrate 210 can be irradiated with the plasma P more efficiently.

また、強化基材210の一部に強化基材210が互いに対向する凹部212を形成するように強化基材210を搬送し、凹部212のうち互いに対向する面212A,212BにプラズマPを照射する。このため、強化基材210の表面211を連続的に改質することができ、生産性が向上する。また、照射部120がY方向に対して傾斜しないため、照射部120のX方向の幅を抑えることができる。また、第1実施形態において照射部20の傾斜角度を大きくすることによって発生する、強化基材210との干渉を防止することができる。   Further, the reinforced substrate 210 is transported so that the reinforced substrate 210 forms a recess 212 facing each other in a part of the reinforced substrate 210, and the surfaces 212A and 212B of the recess 212 facing each other are irradiated with the plasma P. . For this reason, the surface 211 of the reinforced substrate 210 can be continuously modified, and the productivity is improved. Further, since the irradiation unit 120 is not inclined with respect to the Y direction, the width of the irradiation unit 120 in the X direction can be suppressed. In addition, it is possible to prevent the interference with the reinforced substrate 210 that is generated by increasing the inclination angle of the irradiation unit 20 in the first embodiment.

また、凹部212において、Y方向下側の幅を、Y方向上側の幅よりも大きく形成する。このため、プラズマPを照射する際に、強化基材210がばたつくことを防止でき、照射距離を均一にすることによって、表面改質の効果が均一な強化基材210を得ることができる。   Further, in the concave portion 212, the width on the lower side in the Y direction is formed larger than the width on the upper side in the Y direction. For this reason, when the plasma P is irradiated, the reinforcing substrate 210 can be prevented from fluttering, and by making the irradiation distance uniform, the reinforcing substrate 210 having a uniform surface modification effect can be obtained.

また、プラズマPの照射形状に沿う形状を有するように凹部212の形状を形成する。このため、プラズマPの照射形状に沿った強化基材210の表面211にプラズマPを照射することができ、より多い面積にプラズマPを照射することができる。したがって、より効率よくプラズマPを強化基材210に照射することができる。   Further, the shape of the recess 212 is formed so as to have a shape along the irradiation shape of the plasma P. For this reason, the plasma P can be irradiated to the surface 211 of the reinforced substrate 210 along the irradiation shape of the plasma P, and a larger area can be irradiated with the plasma P. Therefore, the reinforced substrate 210 can be irradiated with the plasma P more efficiently.

また、以上説明したように、本実施形態に係る強化基材210の表面改質装置2では、強化基材210は互いに対向するように配置される。また、照射部120は、互いに対向して配置される強化基材210の間に向けてプラズマPを照射することによって、対向する強化基材210の表面211の双方にプラズマPを照射する。このため、同時に、対向する面212A,212BにプラズマPを照射することができ、より効率よくプラズマPを強化基材210に照射することができる。   Further, as described above, in the surface reforming apparatus 2 for the reinforced base material 210 according to the present embodiment, the reinforced base materials 210 are disposed so as to face each other. Moreover, the irradiation part 120 irradiates both the surface 211 of the opposing reinforcement | strengthening base material 210 with plasma P by irradiating the plasma P toward between the reinforcement | strengthening base materials 210 arrange | positioned facing each other. For this reason, it is possible to simultaneously irradiate the opposing surfaces 212A and 212B with the plasma P, and to irradiate the reinforced substrate 210 with the plasma P more efficiently.

また、強化基材210を搬送する搬送部30と、強化基材210の一部に強化基材210が互いに対向する凹部212を形成する複数のローラ40と、をさらに有する。このため、強化基材210の表面211を連続的に改質することができ、生産性が向上する。また、照射部120がY方向に対して傾斜しないため、照射部120のX方向の幅を抑えることができる。また、第1実施形態において照射部20の傾斜角度を大きくすることによって発生する、強化基材210との干渉を防止することができる。   Moreover, it has the conveyance part 30 which conveys the reinforcement base material 210, and the some roller 40 which forms the recessed part 212 which the reinforcement base material 210 mutually opposes in a part of the reinforcement base material 210. FIG. For this reason, the surface 211 of the reinforced substrate 210 can be continuously modified, and the productivity is improved. Further, since the irradiation unit 120 is not inclined with respect to the Y direction, the width of the irradiation unit 120 in the X direction can be suppressed. In addition, it is possible to prevent the interference with the reinforced substrate 210 that is generated by increasing the inclination angle of the irradiation unit 20 in the first embodiment.

また、複数のローラ40は、凹部212において、Y方向下側の幅を、Y方向上側の幅よりも大きく形成する。このため、プラズマPを照射する際に、強化基材210がばたつくことを防止でき、照射距離を均一にすることによって、表面改質の効果が均一な強化基材210を得ることができる。   In addition, the plurality of rollers 40 are formed so that the lower width in the Y direction is larger than the upper width in the Y direction in the recess 212. For this reason, when the plasma P is irradiated, the reinforcing substrate 210 can be prevented from fluttering, and by making the irradiation distance uniform, the reinforcing substrate 210 having a uniform surface modification effect can be obtained.

また、複数のローラ40は、プラズマPの照射形状に沿う形状を有するように凹部212の形状を形成する。このため、プラズマPの照射形状に沿った強化基材210の表面211にプラズマPを照射することができ、より多い面積にプラズマPを照射することができる。したがって、より効率よくプラズマPを強化基材210に照射することができる。   In addition, the plurality of rollers 40 forms the shape of the recess 212 so as to have a shape along the irradiation shape of the plasma P. For this reason, the plasma P can be irradiated to the surface 211 of the reinforced substrate 210 along the irradiation shape of the plasma P, and a larger area can be irradiated with the plasma P. Therefore, the reinforced substrate 210 can be irradiated with the plasma P more efficiently.

以下、上述した実施形態の改変例を例示する。   Hereinafter, modifications of the above-described embodiment will be exemplified.

<改変例1>
図7は、改変例1に係る表面改質方法を説明するための概略図であって、図2に対応する図である。上述した第2実施形態では、凹部212は一か所にのみ形成された。しかしながら、図7に示すように互いに反対の向きに凹むように、凹部212が2つ形成されてもよい。この構成によれば、右側の凹部212において強化基材210の下面211aに、左側の凹部212において強化基材210の上面211bに、それぞれプラズマPが照射される。したがって強化基材210の両面211a,211bにプラズマPが照射されるため、より均一に強化基材210の表面211を改質することができる。また、凹部212は、3つ以上設けられてもよい。
<Modification 1>
FIG. 7 is a schematic diagram for explaining a surface modification method according to Modification Example 1, and corresponds to FIG. In the second embodiment described above, the recess 212 is formed only in one place. However, two recesses 212 may be formed so as to be recessed in opposite directions as shown in FIG. According to this configuration, the plasma P is irradiated to the lower surface 211 a of the reinforced base material 210 in the right concave portion 212 and the upper surface 211 b of the reinforced base material 210 in the left concave portion 212. Therefore, since both surfaces 211a and 211b of the reinforced substrate 210 are irradiated with the plasma P, the surface 211 of the reinforced substrate 210 can be modified more uniformly. Further, three or more recesses 212 may be provided.

<改変例2>
図8は、改変例2に係る表面改質方法を説明するための概略図であって、図2に対応する図である。上述した第1実施形態では照射部20をY方向に対して傾斜して配置することによって、強化基材210の表面211にプラズマPを傾斜して照射した。しかしながら、図8に示すように、照射部120をY方向に沿って配置させ、Y方向に交差する方向からプラズマPに対して噴射部300が圧縮空気Aを噴射させて、強化基材210の表面211にプラズマPを傾斜して照射してもよい。この構成によれば、照射部120がY方向に対して傾斜しないため、照射部120のX方向の幅を抑えることができる。また、第1実施形態において照射部20の傾斜角度を大きくすることによって発生する、強化基材210との干渉を防止することができる。
<Modification 2>
FIG. 8 is a schematic diagram for explaining a surface modification method according to Modification Example 2, and corresponds to FIG. In the first embodiment described above, the irradiation unit 20 is arranged to be inclined with respect to the Y direction, whereby the surface 211 of the reinforced substrate 210 is irradiated with the plasma P inclined. However, as shown in FIG. 8, the irradiation unit 120 is arranged along the Y direction, and the injection unit 300 injects the compressed air A with respect to the plasma P from the direction intersecting the Y direction. The surface 211 may be irradiated with the plasma P inclined. According to this configuration, since the irradiation unit 120 does not tilt with respect to the Y direction, the width of the irradiation unit 120 in the X direction can be suppressed. In addition, it is possible to prevent the interference with the reinforced substrate 210 that is generated by increasing the inclination angle of the irradiation unit 20 in the first embodiment.

<改変例3>
図9は、改変例3に係る表面改質方法を説明するための概略図であって、図2に対応する図である。上述した第2実施形態では第2のローラ42及び第4のローラ44を用いることによって、強化基材210がプラズマPの照射形状に沿う形状を有するように凹部212の形状を形成した。しかしながら、図9に示すように、第1のローラ41、第5のローラ45、及び第6のローラ46を用いることによって、強化基材210がプラズマPの照射形状に沿う形状を有するように凹部312の形状を形成してもよい。
<Modification 3>
FIG. 9 is a schematic diagram for explaining a surface modification method according to Modification Example 3, and corresponds to FIG. In the second embodiment described above, by using the second roller 42 and the fourth roller 44, the shape of the recess 212 is formed so that the reinforced substrate 210 has a shape that follows the irradiation shape of the plasma P. However, as shown in FIG. 9, by using the first roller 41, the fifth roller 45, and the sixth roller 46, the concave portion is formed so that the reinforcing substrate 210 has a shape that follows the irradiation shape of the plasma P. The shape 312 may be formed.

<改変例4>
図10は、改変例4に係る表面改質方法を説明するための概略図であって、図2に対応する図である。上述した第2実施形態では、第3のローラ43の直径が、第1のローラ41及び第5のローラ45の間隔よりも大きく形成されることによって、Y方向下側の幅を、Y方向上側の幅よりも大きく形成した。しかしながら、図10に示すように、第7のローラ47及び第8のローラ48を配置することによって、Y方向下側の幅を、Y方向上側の幅よりも大きく形成してもよい。
<Modification 4>
FIG. 10 is a schematic diagram for explaining a surface modification method according to Modification Example 4 and corresponds to FIG. In the second embodiment described above, the diameter of the third roller 43 is formed larger than the distance between the first roller 41 and the fifth roller 45, so that the width on the lower side in the Y direction is increased on the upper side in the Y direction. It was formed larger than the width of. However, as shown in FIG. 10, by arranging the seventh roller 47 and the eighth roller 48, the lower width in the Y direction may be formed larger than the upper width in the Y direction.

本発明は、上述した実施形態及び改変例のみに限定されるものではなく、特許請求の範囲内において種々改変することができる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications, and various modifications can be made within the scope of the claims.

上述した実施形態では、搬送部30によって強化基材210を搬送したが、搬送しない形態であってもよい。   In the above-described embodiment, the reinforced substrate 210 is transported by the transport unit 30, but may be a form in which it is not transported.

1,2 表面改質装置、
20,120 照射部、
30 搬送部、
40 複数のローラ、
41 第1のローラ、
42 第2のローラ、
43 第3のローラ、
44 第4のローラ、
45 第5のローラ、
46 第6のローラ、
47 第7のローラ、
48 第8のローラ、
210 強化基材、
211 強化基材の表面、
212,312 凹部、
212A,212B 凹部の対向する面、
300 噴射部、
P プラズマ。
1, 2 Surface reformer,
20,120 irradiation unit,
30 transport section,
40 multiple rollers,
41 first roller,
42 second roller,
43 Third roller,
44 Fourth roller,
45 fifth roller,
46 Sixth roller,
47 Seventh roller,
48 Eighth roller,
210 reinforced substrate,
211 the surface of the reinforced substrate,
212, 312 recess,
212A, 212B The opposing surface of the recess,
300 injection section,
P Plasma.

Claims (14)

樹脂を含浸することによって複合材料を構成する強化基材の表面に、前記表面に直交する直交方向に対して傾斜した方向からプラズマを照射して、前記強化基材の表面を改質する強化基材の表面改質方法であって、
前記強化基材を互いに対向するように配置し、
互いに対向して配置される前記強化基材の間に向けて前記プラズマを照射することによって、対向する前記強化基材の表面の双方に前記プラズマを照射する強化基材の表面改質方法。
A reinforcing group that modifies the surface of the reinforced substrate by irradiating the surface of the reinforced substrate constituting the composite material by impregnating the resin with plasma from a direction inclined with respect to the orthogonal direction orthogonal to the surface. A surface modification method for a material ,
Arranging the reinforcing substrates so as to face each other;
A method for modifying a surface of a reinforced substrate, wherein both the surfaces of the reinforced substrate facing each other are irradiated with the plasma by irradiating the plasma between the reinforced substrates disposed opposite to each other.
前記直交方向に対して30°以上傾斜した方向から、前記強化基材の表面に前記プラズマを照射する請求項1に記載の強化基材の表面改質方法。   The surface modification method for a reinforced substrate according to claim 1, wherein the plasma is irradiated on the surface of the reinforced substrate from a direction inclined at least 30 ° with respect to the orthogonal direction. 前記強化基材の一部に前記強化基材が互いに対向する凹部を形成するように前記強化基材を搬送し、
前記凹部のうち互いに対向する面に、前記プラズマを照射する請求項1または2に記載の強化基材の表面改質方法。
Conveying the reinforced substrate so that the reinforced substrate forms recesses facing each other in a part of the reinforced substrate;
The method of modifying a surface of a reinforced substrate according to claim 1 or 2 , wherein the plasma is irradiated onto surfaces of the recesses facing each other.
前記凹部において、前記凹部が形成されない他の前記強化基材に対する遠位側の幅を、前記他の強化基材に対する近位側の幅よりも、大きく形成する請求項に記載の強化基材の表面改質方法。 The reinforced base material according to claim 3 , wherein in the concave portion, a width on a distal side with respect to another reinforced base material on which the concave portion is not formed is larger than a width on a proximal side with respect to the other reinforced base material. Surface modification method. 前記プラズマの照射形状に沿う形状を有するように前記凹部の形状を形成する請求項またはに記載の強化基材の表面改質方法。 The method for modifying a surface of a reinforced substrate according to claim 3 or 4 , wherein the shape of the recess is formed so as to have a shape along the shape of the plasma irradiation. 互いに反対の向きに凹む前記凹部を少なくとも2つ形成するように前記強化基材を搬送し、
それぞれの前記凹部のうち互いに対向する面に、前記プラズマを照射する請求項のいずれか1項に記載の強化基材の表面改質方法。
Conveying the reinforced substrate so as to form at least two of the recesses recessed in opposite directions,
The method for modifying a surface of a reinforced substrate according to any one of claims 3 to 5 , wherein the plasma is irradiated to surfaces facing each other among the recesses.
前記プラズマの照射方向に交差する方向から、前記プラズマに対して圧縮空気を噴射することによって前記プラズマの照射方向を変更する請求項1〜のいずれか1項に記載の強化基材の表面改質方法。 The surface modification of the reinforced substrate according to any one of claims 1 to 6 , wherein the irradiation direction of the plasma is changed by jetting compressed air to the plasma from a direction intersecting the irradiation direction of the plasma. Quality method. 樹脂を含浸することによって複合材料を構成する強化基材の表面に、前記表面に直交する直交方向に対して傾斜した方向からプラズマを照射して、前記強化基材の表面を改質する照射部を有する強化基材の表面改質装置であって、
前記強化基材は互いに対向するように配置され、
前記照射部は、互いに対向して配置される前記強化基材の間に向けて前記プラズマを照射することによって、対向する前記強化基材の表面の双方に前記プラズマを照射する強化基材の表面改質装置
An irradiation unit for modifying the surface of the reinforced substrate by irradiating the surface of the reinforced substrate constituting the composite material by impregnating the resin with a plasma from a direction inclined with respect to the orthogonal direction orthogonal to the surface. a surface modification apparatus of the reinforcing base material having,
The reinforcing substrates are arranged to face each other;
The irradiation unit irradiates the plasma between both surfaces of the reinforced substrate facing each other by irradiating the plasma between the reinforced substrates disposed to face each other. Reformer .
前記照射部は、前記直交方向に対して30°以上傾斜した方向から、前記強化基材の表面に前記プラズマを照射する請求項に記載の強化基材の表面改質装置。 The surface modification device for a reinforced substrate according to claim 8 , wherein the irradiation unit irradiates the surface of the reinforced substrate with the plasma from a direction inclined by 30 ° or more with respect to the orthogonal direction. 前記強化基材を搬送する搬送部と、
前記強化基材の一部に前記強化基材が互いに対向する凹部を形成する複数のローラと、をさらに有する請求項8または9に記載の強化基材の表面改質装置。
A transport unit for transporting the reinforced substrate;
The apparatus for modifying a surface of a reinforced base material according to claim 8 or 9 , further comprising a plurality of rollers in which a part of the reinforced base material forms a recess in which the reinforced base material faces each other.
前記複数のローラは、前記凹部において、前記凹部が形成されない他の前記強化基材に対する遠位側の幅を、前記他の強化基材に対する近位側の幅よりも、大きく形成する請求項1に記載の強化基材の表面改質装置。 2. The plurality of rollers are configured such that, in the concave portion, a width on a distal side with respect to the other reinforcing substrate on which the concave portion is not formed is larger than a width on a proximal side with respect to the other reinforcing substrate. The surface modification apparatus for a reinforced substrate according to 0 . 前記複数のローラは、前記プラズマの照射形状に沿う形状を有するように前記凹部の形状を形成する請求項1または1に記載の強化基材の表面改質装置。 Wherein the plurality of rollers, the surface modification apparatus of the reinforcing substrate according to claim 1 0 or 1 1 to form the shape of the recess so as to have a shape along the illumination profile of the plasma. 前記搬送部は、互いに反対の向きに凹む前記凹部を少なくとも2つ形成するように前記強化基材を搬送し、
前記照射部は、それぞれの前記凹部のうち互いに対向する面に、前記プラズマを照射する請求項1〜1のいずれか1項に記載の強化基材の表面改質装置。
The transport unit transports the reinforced base material so as to form at least two concave portions recessed in opposite directions.
The irradiation unit, on the surface facing to each other of each of said recesses, surface modifying apparatus of reinforced base material according to any one of claims 1 0 to 1 2 to irradiate the plasma.
前記プラズマの照射方向に交差する方向から、前記プラズマに対して圧縮空気を噴射することによって前記プラズマの照射方向を変更する噴射部をさらに有する請求項〜1のいずれか1項に記載の強化基材の表面改質装置。 The direction intersecting the irradiation direction of the plasma, according to any one of claims 8-1 3, further comprising an ejection portion for changing an irradiating direction of the plasma by injecting compressed air to the plasma Surface modification equipment for reinforced substrates.
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