JP6311791B2 - Time-of-flight mass spectrometer - Google Patents

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Description

本発明は飛行時間型質量分析装置(Time-of-Flight Mass Spectrometer、以下「TOFMS」と略す)に関し、さらに詳しくは、直交加速方式TOFMS、及びイオントラップにイオンを一時的に保持し、該イオントラップからイオンを射出して飛行空間に導入するイオントラップTOFMSに関する。   The present invention relates to a time-of-flight mass spectrometer (hereinafter abbreviated as “TOFMS”). More specifically, the present invention relates to an orthogonal acceleration TOFMS and an ion trap that temporarily holds ions. The present invention relates to an ion trap TOFMS that ejects ions from a trap and introduces them into a flight space.

一般に、TOFMSでは、試料成分由来のイオンに一定の運動エネルギを付与して一定距離の空間を飛行させ、その飛行に要する時間を計測して該飛行時間からイオンの質量電荷比を算出する。そのため、イオンを加速して飛行を開始させる際に、イオンの位置やイオンが持つ初期エネルギにばらつきがあると、同一質量電荷比を持つイオンの飛行時間にばらつきが生じ質量分解能や質量精度の低下に繋がる。こうした課題を解決する手法の一つとして、イオンビームの入射方向と直交する方向にイオンを加速して飛行空間に送り込む直交加速(「垂直加速」や「直交引出し」とも呼ばれる)方式のTOFMSが知られている。   In general, in TOFMS, a constant kinetic energy is applied to ions derived from a sample component to fly in a space of a fixed distance, the time required for the flight is measured, and the mass-to-charge ratio of the ions is calculated from the flight time. For this reason, when ions are accelerated and flight is started, if there are variations in the position of ions or the initial energy of ions, variations in the flight time of ions with the same mass-to-charge ratio will result in a decrease in mass resolution and mass accuracy. It leads to. One of the techniques to solve these problems is the orthogonal acceleration (also called “vertical acceleration” or “orthogonal extraction”) method that accelerates ions in the direction perpendicular to the incident direction of the ion beam and sends them to the flight space. It has been.

直交加速方式TOFMSは、イオンを押し出す作用を有する電場を形成する押出し電極とイオンを引き出す作用を有する電場を形成する引出し電極(又はそれらのいずれか一方のみ)を配設した直交加速部を備え、該直交加速部にイオンが入射しているときに、押出し電極と引出し電極にそれぞれ所定のパルス状の加速電圧を印加することで、イオンをその入射方向と略直交する方向に加速する。直交加速部では、加速電圧が印加されるタイミングで該直交加速部(厳密にいえば押出し電極と引出し電極との間の領域)に存在しているイオンのみが加速される。したがって、イオン源等から発した各種イオンが直交加速部に導入されるまでの間に、質量電荷比の相違によってイオンがその進行方向にばらついてしまうと、直交加速部において加速されるイオンの質量電荷比範囲が狭くなる。その結果、1回の測定(直交加速部からの1回のイオンの射出)によって、狭い質量電荷比範囲のマススペクトルしか得られなくなる。   The orthogonal acceleration method TOFMS includes an orthogonal acceleration unit in which an extrusion electrode that forms an electric field that has an action of pushing out ions and an extraction electrode that forms an electric field that pulls out ions (or only one of them) are arranged, When ions are incident on the orthogonal acceleration portion, a predetermined pulsed acceleration voltage is applied to the extrusion electrode and the extraction electrode, respectively, so that the ions are accelerated in a direction substantially orthogonal to the incident direction. In the orthogonal acceleration part, only ions existing in the orthogonal acceleration part (strictly speaking, a region between the extrusion electrode and the extraction electrode) are accelerated at the timing when the acceleration voltage is applied. Therefore, if the ions vary in the traveling direction due to the difference in mass-to-charge ratio before various ions emitted from the ion source or the like are introduced into the orthogonal acceleration unit, the mass of ions accelerated in the orthogonal acceleration unit The charge ratio range is narrowed. As a result, only one mass spectrum in a narrow mass-to-charge ratio range can be obtained by one measurement (one injection of ions from the orthogonal acceleration unit).

特許文献1には、こうした問題に対応した質量分析装置が開示されている。該文献に記載の質量分析装置は、マトリクス支援レーザ脱離イオン化(MALDI)法によるイオン源で生成されたイオンを、第1の飛行空間、及び、コリジョンセルを含む第2の飛行空間、を通過させて、直交加速方式TOFMSの直交加速部に導入する構成を有する。そして、第1の飛行空間と第2の飛行空間との間に加速領域を設け、この加速領域に形成する加速電場の強さを時間経過に伴って変化させるようにしている。   Patent Document 1 discloses a mass spectrometer corresponding to such a problem. The mass spectrometer described in this document passes ions generated by an ion source by a matrix-assisted laser desorption ionization (MALDI) method through a first flight space and a second flight space including a collision cell. And having a configuration to be introduced into the orthogonal acceleration unit of the orthogonal acceleration method TOFMS. An acceleration region is provided between the first flight space and the second flight space, and the strength of the acceleration electric field formed in the acceleration region is changed with time.

イオン源を発した各種イオンは、第1の飛行空間を通過する間に質量電荷比に応じて分離され、質量電荷比が小さいイオンから順に加速領域を通過する。そこで、質量電荷比が大きくなるほど大きな加速エネルギを与えるように、加速電場の時間的な変化を適当に定めておく。それにより、先行して進む小さな質量電荷比を持つイオンよりも遅れて進む大きな質量電荷比を持つイオンの飛行速度は大きくなり、第2の飛行空間中を飛行する間に遅れているイオンは徐々に先行しているイオンに追いつく。その結果、質量電荷比が小さいイオンと大きいイオンとがほぼ同時に直交加速部に導入される。
このようにして、質量電荷比が小さいものから大きいものまで幅広い質量電荷比範囲のイオンがほぼ同時に直交加速部に導入されるため、そのタイミングで加速電圧を印加することで、それらイオンを一斉に加速して飛行空間に送ることができる。それにより、幅広い質量電荷比範囲のマススペクトルを1回の測定によって取得することができる。
Various ions emitted from the ion source are separated according to the mass-to-charge ratio while passing through the first flight space, and pass through the acceleration region in order from the ions with the lowest mass-to-charge ratio. Therefore, the temporal change of the acceleration electric field is appropriately determined so that the larger the mass-to-charge ratio is, the larger the acceleration energy is given. Thereby, the flight speed of ions having a large mass-to-charge ratio that progresses later than ions having a small mass-to-charge ratio that progresses earlier increases, and the ions that are delayed while flying in the second flight space gradually increase. Catch up with the ion that precedes. As a result, ions having a small mass-to-charge ratio and ions having a large mass to charge ratio are introduced into the orthogonal acceleration portion almost simultaneously.
In this way, ions in a wide mass-to-charge ratio range from low to large mass-to-charge ratios are introduced into the orthogonal acceleration section almost simultaneously, so by applying an acceleration voltage at that timing, the ions can be combined all at once. Accelerate and send to flight space. Thereby, a mass spectrum in a wide mass-to-charge ratio range can be acquired by one measurement.

しかしながら、特許文献1に記載の質量分析装置では、異なる質量電荷比を有するイオンがほぼ同時に直交加速部に導入されるものの、そのときに各イオンが有しているエネルギは必ずしも揃っていない。直交加速部において加速されるイオンが飛び出す方向は、その直前に各イオンが有しているイオン入射軸方向のエネルギ成分の大きさに依存するため、各イオンが持つエネルギがばらついていると、イオンの飛び出し方向(角度)もばらつくことになる。その結果、一部のイオンは検出器に到達することができなくなり、その分だけ質量電荷比の範囲が狭くなったり、検出器に到達するイオンの量が減ることで感度が低下したりする。また、検出器に到達し得るイオンについても、飛び出し方向がずれることによって飛行距離が理想状態からずれ、質量精度が低下するおそれがある。   However, in the mass spectrometer described in Patent Document 1, ions having different mass-to-charge ratios are introduced into the orthogonal acceleration unit almost simultaneously, but the energy of each ion at that time is not necessarily uniform. The direction in which the ions accelerated in the orthogonal acceleration part jump out depends on the energy component in the ion incident axis direction that each ion has immediately before, so if the energy of each ion varies, the ion The pop-out direction (angle) will also vary. As a result, some ions cannot reach the detector, and the range of the mass-to-charge ratio is narrowed accordingly, or the amount of ions reaching the detector is reduced, resulting in a decrease in sensitivity. In addition, for ions that can reach the detector, the flight distance may deviate from the ideal state due to the deviation of the jumping direction, which may reduce the mass accuracy.

米国特許第7087897号明細書U.S. Patent No. 7087897 特開2002-184349号公報JP 2002-184349 A

本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、幅広い質量電荷比範囲に亘る質量分析を1回の測定で行うことができるとともに、高い分析感度と高い質量精度とを確保することができる飛行時間型質量分析装置を提供することである。   The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the object of the present invention is to perform mass spectrometry over a wide range of mass-to-charge ratios in a single measurement, as well as high analytical sensitivity and high To provide a time-of-flight mass spectrometer capable of ensuring mass accuracy.

上記課題を解決するために成された本発明の第1の態様は、入射したイオンをその入射軸と直交する方向に加速する直交加速部と、加速されたイオンを質量電荷比に応じて分離して検出する分離検出部と、を具備する直交加速方式の飛行時間型質量分析装置であって、
a)測定対象であるイオンをクーリングするとともに該イオンを一時的に保持するイオン保持部と、
b)前記イオン保持部と前記直交加速部との間に配設され、前記直交加速部における加速方向にイオンビームの幅を規制するスリットがそれぞれ設けられた入射端面及び出射端面を有する導電性の筒状体であるビーム整形部と、
c)前記イオン保持部にイオンを保持したあと、その保持されているイオンを所定のタイミングで前記ビーム整形部に向けて放出するべく該イオン保持部への印加電圧を制御する第1の電圧印加部と、
d)前記イオン保持部の出口端と前記ビーム整形部の入口端との間の第1領域に、前記イオン保持部から放出されたイオンについて該第1領域を遅れて通過するイオンほど大きな加速がなされるように時間的にその強さが変化する電場を形成するとともに、前記ビーム整形部の出口端と前記直交加速部の入口端との間の第2領域に、前記第1領域及び前記ビーム整形部内の領域を通過したイオンが該第2領域を通過するタイミングで、前記第1領域及び前記ビーム整形部内の領域を通過する際に生じた異なる質量電荷比を有するイオンの位置の差及びエネルギの差を調整するように時間的にその強さが変化する電場を形成するべく、前記ビーム整形部に時間経過に伴って変化する直流電圧を印加する第2の電圧印加部と、
を備えることを特徴としている。
The first aspect of the present invention, which has been made to solve the above problems, is to separate the accelerated ions according to the mass-to-charge ratio, and an orthogonal acceleration unit that accelerates the incident ions in a direction orthogonal to the incident axis. An orthogonal acceleration type time-of-flight mass spectrometer comprising:
a) an ion holding unit that cools ions to be measured and temporarily holds the ions;
b) A conductive material having an entrance end face and an exit end face provided between the ion holding part and the orthogonal acceleration part and provided with slits for restricting the width of the ion beam in the acceleration direction of the orthogonal acceleration part, respectively. A beam shaping unit that is a cylindrical body;
c) After holding ions in the ion holding unit, a first voltage application for controlling the voltage applied to the ion holding unit so as to release the held ions toward the beam shaping unit at a predetermined timing. And
d) In the first region between the exit end of the ion holding unit and the entrance end of the beam shaping unit, ions emitted from the ion holding unit have a greater acceleration as they pass through the first region with a delay. Forming an electric field whose strength changes over time, and in the second region between the exit end of the beam shaping unit and the entrance end of the orthogonal acceleration unit, the first region and the beam The difference in position and energy of ions having different mass-to-charge ratios generated when the ions that have passed through the region in the shaping unit pass through the second region at the timing of passing through the first region and the region in the beam shaping unit. A second voltage applying unit that applies a DC voltage that changes with time to the beam shaping unit so as to form an electric field whose strength changes with time so as to adjust the difference between
It is characterized by having.

また上記課題を解決するために成された本発明の第2の態様は、入射したイオンを電場の作用により捕捉したあとに所定のタイミングでイオンに加速エネルギを付与して略一斉にイオンを射出するイオントラップ部と、該イオントラップ部から射出されたイオンを質量電荷比に応じて分離して検出する分離検出部と、を具備する飛行時間型質量分析装置であって、
a)測定対象であるイオンをクーリングするとともに該イオンを一時的に保持するイオン保持部と、
b)前記イオン保持部と前記イオントラップ部との間に配設され、イオンビームの径を規制するスリットがそれぞれ設けられた入射端面及び出射端面を有する導電性の筒状体であるビーム整形部と、
c)前記イオン保持部にイオンを保持したあと、その保持されているイオンを所定のタイミングで前記ビーム整形部に向けて放出するべく該イオン保持部への印加電圧を制御する第1の電圧印加部と、
d)前記イオン保持部の出口端と前記ビーム整形部の入口端との間の第1領域に、前記イオン保持部から放出されたイオンについて該第1領域を遅れて通過するイオンほど大きな加速がなされるように時間的にその強さが変化する電場を形成するとともに、前記ビーム整形部の出口端と前記イオントラップ部の入口端との間の第2領域に、前記第1領域及び前記ビーム整形部内の領域を通過したイオンが該第2領域を通過するタイミングで、前記第1領域及び前記ビーム整形部内の領域を通過する際に生じた異なる質量電荷比を有するイオンの位置の差及びエネルギの差を調整するように時間的にその強さが変化する電場を形成するべく、前記ビーム整形部に時間経過に伴って変化する直流電圧を印加する第2の電圧印加部と、
を備えることを特徴としている。
In addition, the second aspect of the present invention, which was made to solve the above-described problems, is that ions are emitted almost simultaneously by applying acceleration energy to the ions at a predetermined timing after capturing the incident ions by the action of an electric field. A time-of-flight mass spectrometer comprising: an ion trap unit that performs separation and a detection unit that separates and detects ions ejected from the ion trap unit according to a mass-to-charge ratio;
a) an ion holding unit that cools ions to be measured and temporarily holds the ions;
b) A beam shaping unit that is a conductive cylindrical body that is disposed between the ion holding unit and the ion trap unit and has an entrance end surface and an exit end surface each provided with a slit that regulates the diameter of the ion beam. When,
c) After holding ions in the ion holding unit, a first voltage application for controlling the voltage applied to the ion holding unit so as to release the held ions toward the beam shaping unit at a predetermined timing. And
d) In the first region between the exit end of the ion holding unit and the entrance end of the beam shaping unit, ions emitted from the ion holding unit have a greater acceleration as they pass through the first region with a delay. An electric field whose strength changes over time as formed, and in the second region between the exit end of the beam shaping unit and the entrance end of the ion trap unit, the first region and the beam The difference in position and energy of ions having different mass-to-charge ratios generated when the ions that have passed through the region in the shaping unit pass through the second region at the timing of passing through the first region and the region in the beam shaping unit. A second voltage applying unit that applies a DC voltage that changes with time to the beam shaping unit so as to form an electric field whose strength changes with time so as to adjust the difference between
It is characterized by having.

本発明に係る第1、第2の態様による飛行時間型質量分析装置では、前記イオン保持部は、イオンを解離させるコリジョンセル内に配置されたリニアイオントラップであるものとすることができる。   In the time-of-flight mass spectrometer according to the first and second aspects of the present invention, the ion holding unit may be a linear ion trap disposed in a collision cell that dissociates ions.

リニアイオントラップは、典型的には、中心軸の周りに互いに平行に配置された4本の円柱状のロッド電極と、該4本のロッド電極を挟んで中心軸に直交するように配置された入口側ゲート電極及び出口側ゲート電極と、を含む。そして、4本のロッド電極で囲まれる空間にイオンを収束させるような高周波電場を形成するべく該ロッド電極に高周波電圧を印加するとともに、入口側ゲート電極及び出口側ゲート電極にはロッド電極に印加される直流電圧によるポテンシャルよりも高いポテンシャルが生じるような直流電圧を印加することによりイオンを両ゲート電極間に閉じ込める。なお、入口側ゲート電極及び出口側ゲート電極はコリジョンセルの入口側端面及び出口側端面とすることができる。   Typically, the linear ion trap is arranged so that four cylindrical rod electrodes arranged in parallel to each other around the central axis and perpendicular to the central axis with the four rod electrodes interposed therebetween. An inlet-side gate electrode and an outlet-side gate electrode. A high-frequency voltage is applied to the rod electrode to form a high-frequency electric field that converges ions in a space surrounded by four rod electrodes, and the rod electrode is applied to the inlet side gate electrode and the outlet side gate electrode. The ions are confined between both gate electrodes by applying a DC voltage that generates a potential higher than the potential caused by the DC voltage. The inlet side gate electrode and the outlet side gate electrode can be the inlet side end face and the outlet side end face of the collision cell.

出口側ゲート電極の位置におけるポテンシャルを少なくともロッド電極の位置におけるポテンシャルよりも下げるように、出口側ゲート電極への印加電位を変化させることで、上述したように保持していたイオンをピーム整形部に向けて出射させることができるが、その際に、イオンができるだけかたまった状態で(つまりパケット状となって)出射するようにするには、イオンを保持しているときにロッド電極の出口側端部付近にイオンが集積していることが望ましい。このようにロッド電極の出口側端部付近にイオンを集積させるためには、例えば特許文献2に記載の構成を利用することで、ロッド電極の出口側端部に向かって下傾斜である軸方向のポテンシャル勾配を形成するとよい。   By changing the applied potential to the outlet side gate electrode so that the potential at the position of the outlet side gate electrode is at least lower than the potential at the position of the rod electrode, the ions held as described above are transferred to the beam shaping unit. In this case, in order to emit ions in a state that is as clumped as possible (that is, in the form of packets), the end on the outlet side of the rod electrode when holding the ions. It is desirable that ions be accumulated near the portion. In order to accumulate ions in the vicinity of the outlet side end of the rod electrode in this way, for example, by using the configuration described in Patent Document 2, the axial direction is inclined downward toward the outlet side end of the rod electrode. A potential gradient of

本発明の第1の態様による飛行時間型質量分析装置では、イオン保持部において、クーリングガス等との衝突を利用して測定対象のイオンをクーリングする。これにより、質量電荷比に依らず、全てのイオンのエネルギを同程度に揃える。そして、第1の電圧印加部からイオン保持部に印加する電圧を変化させると、該イオン保持部に保持されていたイオンは或る程度かたまって放出される。一方、第2の電圧印加部は、イオン保持部からイオンが放出される時点からビーム整形部に印加する電圧を所定のパターンで変化させる。即ち、イオン保持部からイオンが放出された直後で、それらイオンが概ね第1領域を通過する期間には、遅れて通過するイオンほど大きく加速される電場が第1領域に形成されるように印加電圧を変化させる。これによって、移動し易いために先行して第1領域を通過する質量電荷比が小さなイオンに比べて質量電荷比が大きなイオンに対し、より大きなエネルギが付与され、それによって速度も大きくなる。   In the time-of-flight mass spectrometer according to the first aspect of the present invention, the ion holding unit cools ions to be measured using collision with a cooling gas or the like. Thereby, the energy of all ions is made to be equal to each other regardless of the mass-to-charge ratio. When the voltage applied from the first voltage application unit to the ion holding unit is changed, the ions held in the ion holding unit are released to some extent. On the other hand, the second voltage application unit changes the voltage applied to the beam shaping unit in a predetermined pattern from the time when ions are released from the ion holding unit. That is, immediately after ions are released from the ion holding portion, an application is performed so that an electric field that is accelerated more rapidly as ions passing through the first region are formed in the first region in a period in which the ions pass through the first region. Change the voltage. As a result, more energy is imparted to ions having a larger mass-to-charge ratio than ions having a smaller mass-to-charge ratio that pass through the first region in advance because they are easy to move, thereby increasing the speed.

第1領域を通過する際に大きなエネルギが付与された、相対的に大きな質量電荷比を有するイオンは、相対的に小さな質量電荷比を有するイオンに遅れてビーム整形部に入るが、速度が大きいために、ビーム整形部内空間を通過する間に先行しているイオンに徐々に追いつく。したがって、特許文献1に記載の発明がそうであるように、第2領域における電場を用いずに第1領域における電場を適切に調整することで、異なる質量電荷比を有するイオンをほぼ同時に直交加速部に到達させることは可能である。しかしながら、その場合、質量電荷比が大きなイオンは質量電荷比が相対的に小さなイオンに比べて大きなエネルギを持つことになり、各イオンが持つエネルギは揃わない。   Ions having a relatively large mass-to-charge ratio, which has been given a large energy when passing through the first region, enter the beam shaping unit behind the ions having a relatively small mass-to-charge ratio, but have a high velocity. Therefore, it gradually catches up with preceding ions while passing through the space inside the beam shaping unit. Therefore, as in the invention described in Patent Document 1, by appropriately adjusting the electric field in the first region without using the electric field in the second region, ions having different mass to charge ratios are orthogonally accelerated almost simultaneously. It is possible to reach the part. However, in that case, ions having a large mass-to-charge ratio have a larger energy than ions having a relatively small mass-to-charge ratio, and the energy of each ion is not uniform.

そこで、本発明では、ビーム整形部と直交加速部との間の第2領域において、質量電荷比が大きなイオンが持つエネルギを減じる、若しくは、質量電荷比が小さなイオンが持つエネルギを増加させる、又はその両方によって、各イオンが持つエネルギを直交加速部の直前で調整する。ただし、例えば第2領域においてエネルギを増加させると速度が増すことになるから、直交加速部に入射する時点で位置を揃えるために、質量電荷比が大きなイオンほど先行して第2領域に入るようにする。これを実現するには、第1領域において遅れているイオンに大きなエネルギを与え、ビーム整形部の内部空間を通過している途中で質量電荷比が相対的に大きなイオンが、先行している質量電荷比が相対的に小さなイオン追いつき、追い越すようにすればよい。   Therefore, in the present invention, in the second region between the beam shaping unit and the orthogonal acceleration unit, the energy of ions having a large mass-to-charge ratio is reduced, or the energy of ions having a small mass-to-charge ratio is increased, or By both of them, the energy of each ion is adjusted just before the orthogonal acceleration unit. However, for example, if the energy is increased in the second region, the speed increases. Therefore, in order to align the position at the time of incidence on the orthogonal acceleration portion, ions having a larger mass-to-charge ratio enter the second region in advance. To. In order to realize this, a large energy is given to ions that are delayed in the first region, and ions having a relatively large mass-to-charge ratio in the middle of passing through the internal space of the beam shaping unit are preceded by mass It is only necessary to catch up and overtake ions with a relatively small charge ratio.

即ち、本発明に係る飛行時間型質量分析装置において、第2の電圧印加部は、前記ビーム整形部に遅れて入射したイオンが該ビーム整形部内を通過する間に先行して入射したイオンを追い越すような速度を有するように、それらイオンが前記第1領域を通過するときに該第1領域に時間的にその強さが変化する電場を形成し、前記ビーム整形部から出射したイオンが第2領域を通過するときに、該ビーム整形部から遅れて出射したイオンのエネルギを増加させるとともにその速度を増加させるように、該第2領域に時間的にその強さが変化する電場を形成する構成とするとよい。   That is, in the time-of-flight mass spectrometer according to the present invention, the second voltage application unit overtakes the ions incident earlier while the ions incident on the beam shaping unit pass through the beam shaping unit. When the ions pass through the first region, an electric field whose intensity changes with time is formed in the first region so that the ions emitted from the beam shaping unit are second. A structure in which an electric field whose intensity changes in time is formed in the second region so as to increase the energy of ions emitted from the beam shaping unit with a delay while passing through the region. It is good to do.

これにより、測定対象であるイオンの質量電荷比が様々であっても、直交加速部にイオンが導入されるときに、様々な質量電荷比のイオンがイオン進行方向にあまり広がることなく、ほぼかたまって導入される。それによって、幅広い質量電荷比範囲に亘るイオンを加速して飛行空間に送り込むことができる。また、直交加速部での加速時にそれぞれのイオンが持つエネルギのばらつきも抑えられるため、加速による射出方向のばらつきも軽減される。   As a result, even when the mass-to-charge ratios of the ions to be measured are various, when the ions are introduced into the orthogonal acceleration part, the ions with various mass-to-charge ratios are not substantially spread in the ion traveling direction and are almost clustered. Introduced. Thereby, ions over a wide mass-to-charge ratio range can be accelerated and sent to the flight space. In addition, since variation in energy of each ion during acceleration at the orthogonal acceleration portion is suppressed, variation in ejection direction due to acceleration is also reduced.

また本発明に係る第2の態様による飛行時間型質量分析装置においては、第1の態様による飛行時間型質量分析装置と同様に、第1領域、ビーム整形部、及び第2領域を順に通過したイオンが、その直後にイオントラップ部に入る。このときのイオン進行方向のイオンの広がりは小さいので、幅広い質量電荷比範囲に亘るイオンを無駄にすることなくイオントラップ部に捕捉することができる。また、イオントラップ部に導入されるイオンのエネルギが概ね揃っていることで、イオンが高周波電場によっても捕捉されずにイオントラップ部を通り抜けてしまったり該イオントラップ部を構成する電極内面に接触して消失してしまったりすることを回避することができる。   In the time-of-flight mass spectrometer according to the second aspect of the present invention, similarly to the time-of-flight mass spectrometer according to the first aspect, the first region, the beam shaping unit, and the second region are sequentially passed. Immediately thereafter, ions enter the ion trap section. At this time, since the spread of ions in the ion traveling direction is small, ions over a wide mass-to-charge ratio range can be trapped in the ion trap portion without wasting. In addition, since the energy of the ions introduced into the ion trap part is substantially uniform, the ions pass through the ion trap part without being captured by the high frequency electric field, or contact the inner surface of the electrode constituting the ion trap part. Can be avoided.

なお、上述したように、コリジョンセル内に配置されたリニアイオントラップをイオン保持部とする場合、該コリジョンセルが配設された真空室内の真空度は、外部からコリジョンセルに供給されるコリジョンガスの影響で低下し易い。
そこで、本発明に係る飛行時間型質量分析装置では、前記イオン保持部と、前記直交加速部及び前記分離検出部、又は前記イオントラップ部及び前記分離検出部、とは隔壁で隔たれた異なる真空室内に配置され、前記ビーム整形部は、前記隔壁を挟んで両真空室に跨って配置されている構成とするとよい。
As described above, when the linear ion trap disposed in the collision cell is used as the ion holding unit, the degree of vacuum in the vacuum chamber in which the collision cell is disposed is the collision gas supplied to the collision cell from the outside. It is easy to fall under the influence of.
Therefore, in the time-of-flight mass spectrometer according to the present invention, the ion holding unit, the orthogonal acceleration unit and the separation detection unit, or the ion trap unit and the separation detection unit are different vacuum chambers separated by a partition wall. It is preferable that the beam shaping unit is arranged across both vacuum chambers with the partition wall interposed therebetween.

本発明の第1の態様による飛行時間型質量分析装置によれば、幅広い質量電荷比範囲のイオンがイオン進行方向に広がることなく直交加速部に導入されるため、それらイオンを一度に測定することができる。それにより、幅広い質量電荷比範囲に亘るマススペクトルを1回の測定により取得することができる。また、直交加速部から飛行空間へのイオンの射出方向のばらつきが小さくなるので、より多くの量のイオンを検出器へ到達させることで検出感度を向上させることができるとともに、飛行距離のばらつきが小さくなることで質量精度も向上する。   According to the time-of-flight mass spectrometer according to the first aspect of the present invention, ions in a wide mass-to-charge ratio range are introduced into the orthogonal acceleration unit without spreading in the ion traveling direction, and therefore these ions are measured at a time. Can do. Thereby, a mass spectrum over a wide mass-to-charge ratio range can be obtained by a single measurement. In addition, since the variation in the direction of ion emission from the orthogonal acceleration unit to the flight space is reduced, the detection sensitivity can be improved by allowing a larger amount of ions to reach the detector, and the variation in the flight distance is also increased. By reducing the size, the mass accuracy is also improved.

また本発明に係る第2の態様による飛行時間型質量分析装置によれば、幅広い質量電荷比範囲のイオンを無駄にすることなくイオントラップ部に捕捉して質量分析に供することができる。したがって、第1の態様による飛行時間型質量分析装置と同様に、広い質量電荷比範囲に亘る高感度なマススペクトルを1回の測定によって得ることができる。   Moreover, according to the time-of-flight mass spectrometer according to the second aspect of the present invention, ions in a wide mass-to-charge ratio range can be captured in the ion trap part and used for mass analysis without being wasted. Therefore, as in the time-of-flight mass spectrometer according to the first aspect, a highly sensitive mass spectrum over a wide mass-to-charge ratio range can be obtained by a single measurement.

本発明の一実施例であるQ−TOFMSの全体構成図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The whole Q-TOFMS block diagram which is one Example of this invention. 図1中のコリジョンセルから直交加速部までの間の詳細構成図。The detailed block diagram from the collision cell in FIG. 1 to an orthogonal acceleration part. 本実施例のQ−TOFMSにおいてビームスライサへ印加される直流電圧の時間変化を示す図。The figure which shows the time change of the DC voltage applied to a beam slicer in Q-TOFMS of a present Example. 本実施例のQ−TOFMSにおいてコリジョンセル出口から直交加速部入口までのイオンの位置と飛行時間との関係をシミュレーションした結果を示す図。The figure which shows the result of having simulated the relationship between the position of the ion from a collision cell exit to an orthogonal acceleration part entrance, and flight time in Q-TOFMS of a present Example. 本実施例のQ−TOFMSにおいてコリジョンセル出口から直交加速部入口までのイオンのエネルギと飛行時間との関係をシミュレーションした結果を示す図。The figure which shows the result of having simulated the relationship between the energy of the ion from a collision cell exit to an orthogonal acceleration part entrance, and flight time in Q-TOFMS of a present Example.

本発明の一実施例であるQ−TOFMSについて、添付図面を参照して説明する。
図1は本実施例のQ−TOFMSの全体構成図である。
Q-TOFMS, which is an embodiment of the present invention, will be described with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is an overall configuration diagram of the Q-TOFMS of this embodiment.

本実施例のQ−TOFMSは、多段差動排気系の構成を有しており、略大気圧雰囲気であるイオン化室2と最も真空度の高い高真空室6との間に、第1乃至第3なる三つの中間真空室3、4、5がチャンバ1内に配設されている。   The Q-TOFMS of the present embodiment has a multi-stage differential exhaust system configuration, and the first to the first vacuum chambers are provided between the ionization chamber 2 that is an atmosphere of substantially atmospheric pressure and the high vacuum chamber 6 having the highest degree of vacuum. Three intermediate vacuum chambers 3, 4, 5 are arranged in the chamber 1.

イオン化室2には、エレクトロスプレイイオン化(ESI)を行うためのESIスプレー7が設けられ、目的化合物を含む試料液がESIスプレー7に供給されると、該スプレー7先端で片寄った電荷を付与されて噴霧された液滴から目的化合物由来のイオンが生成される。なお、イオン化法はこれに限るものではなく、例えば、試料が液体である場合には、ESI以外のAPCI、PESIなどの大気圧イオン化法が使用可能であり、また試料が固体状である場合にはMALDI法などが使用可能であり、試料が気体状である場合にはEI法などが使用可能である。   The ionization chamber 2 is provided with an ESI spray 7 for performing electrospray ionization (ESI). When a sample liquid containing a target compound is supplied to the ESI spray 7, a charge that is offset by the tip of the spray 7 is applied. Then, ions derived from the target compound are generated from the sprayed droplets. The ionization method is not limited to this. For example, when the sample is liquid, atmospheric pressure ionization methods such as APCI and PESI other than ESI can be used, and the sample is solid. The MALDI method or the like can be used. When the sample is in a gaseous state, the EI method or the like can be used.

生成された各種イオンは加熱キャピラリ8を通して第1中間真空室3へ送られ、イオンガイド9により収束されてスキマー10を通して第2中間真空室4へ送られる。さらに、イオンはオクタポール型のイオンガイド11により収束されて第3中間真空室5へ送られる。第3中間真空室5内には、四重極マスフィルタ12と、リニアイオントラップとして機能する四重極型のイオンガイド14が内部に設けられたコリジョンセル13とが設置されている。試料由来の各種イオンは四重極マスフィルタ12に導入され、四重極マスフィルタ12に印加されている電圧に応じた特定の質量電荷比を有するイオンのみが該四重極マスフィルタ12を通り抜ける。このイオンはプリカーサイオンとしてコリジョンセル13に導入され、コリジョンセル13内に外部から供給されるCIDガスとの接触によってプリカーサイオンは解離し、各種のプロダクトイオンが生成される。   The generated various ions are sent to the first intermediate vacuum chamber 3 through the heating capillary 8, converged by the ion guide 9, and sent to the second intermediate vacuum chamber 4 through the skimmer 10. Further, the ions are converged by the octopole ion guide 11 and sent to the third intermediate vacuum chamber 5. In the third intermediate vacuum chamber 5, a quadrupole mass filter 12 and a collision cell 13 in which a quadrupole ion guide 14 functioning as a linear ion trap is provided. Various ions derived from the sample are introduced into the quadrupole mass filter 12, and only ions having a specific mass-to-charge ratio corresponding to the voltage applied to the quadrupole mass filter 12 pass through the quadrupole mass filter 12. . These ions are introduced into the collision cell 13 as precursor ions, and the precursor ions are dissociated by contact with the CID gas supplied from the outside into the collision cell 13 to generate various product ions.

イオンガイド14はリニアイオントラップとして機能し、生成されたプロダクトイオンは一時的に保持される。そして、保持されていたイオンは所定のタイミングでコリジョンセル13から放出され、ビームスライサ15を経て高真空室6内に導入される。ビームスライサ15は、第3中間真空室5と高真空室6とに跨って配置されている。   The ion guide 14 functions as a linear ion trap, and the generated product ions are temporarily held. The held ions are emitted from the collision cell 13 at a predetermined timing, and are introduced into the high vacuum chamber 6 through the beam slicer 15. The beam slicer 15 is disposed across the third intermediate vacuum chamber 5 and the high vacuum chamber 6.

高真空室6内には、イオン射出源である直交加速部17と、反射器21及びバックプレート22を備えた飛行空間20と、イオン検出器23とが設けられており、直交加速部17にX軸方向に導入されたイオンは所定のタイミングでZ軸方向に加速されることで飛行を開始する。直交加速部17から射出されたイオンはまず自由飛行したあと反射器21及びバックプレート22により形成される反射電場で折り返され、再び自由飛行してイオン検出器23に到達する。イオンが直交加速部17を出発した時点からイオン検出器23に到達するまでの飛行時間はイオンの質量電荷比に依存する。したがって、イオン検出器23による検出信号を受けた図示しないデータ処理部は、各イオンの飛行時間から質量電荷比を算出し、例えばその算出結果に基づいてマススペクトルを作成する。   In the high vacuum chamber 6, an orthogonal acceleration unit 17 that is an ion emission source, a flight space 20 including a reflector 21 and a back plate 22, and an ion detector 23 are provided. The ions introduced in the X-axis direction are accelerated in the Z-axis direction at a predetermined timing to start flying. The ions ejected from the orthogonal acceleration unit 17 first fly free, and then are folded back by a reflected electric field formed by the reflector 21 and the back plate 22, and then freely fly again and reach the ion detector 23. The time of flight from when the ions leave the orthogonal acceleration unit 17 until they reach the ion detector 23 depends on the mass-to-charge ratio of the ions. Therefore, the data processing unit (not shown) that receives the detection signal from the ion detector 23 calculates the mass-to-charge ratio from the flight time of each ion, and creates a mass spectrum based on the calculation result, for example.

図2は図1中のコリジョンセル13から直交加速部17までの間の詳細構成図である。
コリジョンセル13の前端面及び後端面はそれぞれ入口側ゲート電極131、出口側ゲート電極132となっており、これら入口側ゲート電極131及び出口側ゲート電極132とイオンガイド14とがリニアイオントラップとして機能する。
FIG. 2 is a detailed configuration diagram from the collision cell 13 to the orthogonal acceleration unit 17 in FIG.
The front end surface and the rear end surface of the collision cell 13 are an entrance side gate electrode 131 and an exit side gate electrode 132, respectively. The entrance side gate electrode 131, the exit side gate electrode 132, and the ion guide 14 function as a linear ion trap. To do.

ビームスライサ15は軸Cを中心軸とする導電性の円筒形状体であり、入口端面151に入口スリット152、出口端面153に出口スリット154がそれぞれ形成されている。このビームスライサ15の主たる機能は、軸C方向に所定間隔離した二つのスリット152、154にイオンを順に通過させることで、直交加速部17に導入されるイオンビームのZ軸方向の広がりを抑えることである。   The beam slicer 15 is a conductive cylindrical body having an axis C as a central axis, and an entrance slit 152 is formed on the entrance end surface 151, and an exit slit 154 is formed on the exit end surface 153. The main function of the beam slicer 15 is to suppress the spread of the ion beam introduced into the orthogonal acceleration unit 17 in the Z-axis direction by sequentially passing ions through two slits 152 and 154 that are separated by a predetermined distance in the axis C direction. That is.

直交加速部17は、軸C上に開口を有する入口電極171、軸Cを挟んで対向して配置された押出し電極172及びグリッド状の引出し電極173を含む。   The orthogonal acceleration unit 17 includes an entrance electrode 171 having an opening on the axis C, an extrusion electrode 172 and a grid-shaped extraction electrode 173 arranged to face each other with the axis C interposed therebetween.

制御部30の制御の下に、入口側ゲート電極電源部31は入口側ゲート電極131に所定の直流電圧を、イオンガイド電源部32はイオンガイド14を構成する4本のロッド電極に高周波電圧と直流電圧とを加算した所定の電圧を、出口側ゲート電極電源部33は出口側ゲート電極13に所定の直流電圧をそれぞれ印加する。同様に、スライサ電源部34はビームスライサ15に所定の直流電圧を印加し、直交加速入口電極電源部35は入口電極171に所定の直流電圧を、直交加速電源部36は押出し電極172及び引出し電極173にそれぞれ所定の直流電圧を印加する。
Under the control of the control unit 30, the entrance-side gate electrode power supply unit 31 applies a predetermined DC voltage to the entrance-side gate electrode 131, and the ion guide power supply unit 32 applies high-frequency voltage to the four rod electrodes constituting the ion guide 14. a predetermined voltage obtained by adding a DC voltage, the outlet-side gate electrode power supply unit 33 applies each a predetermined DC voltage to the exit side gate electrode 13 2. Similarly, the slicer power supply unit 34 applies a predetermined DC voltage to the beam slicer 15, the orthogonal acceleration inlet electrode power supply unit 35 applies a predetermined DC voltage to the inlet electrode 171, and the orthogonal acceleration power supply unit 36 outputs the extrusion electrode 172 and the extraction electrode. A predetermined DC voltage is applied to each of 173.

本実施例のQ−TOFMSでは、上述したように、コリジョンセル13内にはCIDガスが導入され、コリジョンセル13に導入されたイオンはCIDガスに接触して開裂を生じ、各種プロダクトイオンを生成する。このプロダクトイオンが測定対象のイオンである。ここでは、測定対象イオンは正イオンであるものとするが、負イオンである場合には、各部に印加される直流電圧の極性を逆にすればよい。   In the Q-TOFMS of this embodiment, as described above, CID gas is introduced into the collision cell 13, and the ions introduced into the collision cell 13 are brought into contact with the CID gas to cause cleavage to generate various product ions. To do. This product ion is the ion to be measured. Here, the ions to be measured are positive ions, but in the case of negative ions, the polarity of the DC voltage applied to each part may be reversed.

上述のようにプロダクトイオンを生成する際に、出口側ゲート電極電源部33は出口側ゲート電極132に対しイオンガイド14に印加されている直流電圧より高い所定の直流電圧を印加する。これにより、イオンガイド14の出口端と出口側ゲート電極132との間にはイオンを押し止めるポテンシャル障壁が形成され、これによってイオンはおおむねイオンガイド14の内部に保持される。イオンはイオンガイド電源部32からイオンガイド14に印加されている高周波電圧により形成される高周波電場によって捕捉されるが、そのとき、イオンはCIDガスに接触することでエネルギを奪われてクーリングされる。このクーリングによって、捕捉されているイオンがそれぞれ持つエネルギはほぼゼロになり、初期エネルギが揃うことになる。   As described above, when generating product ions, the outlet-side gate electrode power supply unit 33 applies a predetermined DC voltage higher than the DC voltage applied to the ion guide 14 to the outlet-side gate electrode 132. As a result, a potential barrier that suppresses ions is formed between the outlet end of the ion guide 14 and the outlet-side gate electrode 132, whereby the ions are generally held inside the ion guide 14. Ions are captured by a high-frequency electric field formed by a high-frequency voltage applied to the ion guide 14 from the ion guide power supply unit 32. At that time, the ions are cooled by being deprived of energy by contacting the CID gas. . By this cooling, each trapped ion has almost zero energy, and the initial energy is aligned.

なお、イオンガイド14は軸C方向に長い内部空間を有しており、該内部空間にイオンを保持している際にイオンが軸方向に大きくばらついていると、イオンガイド14からイオンを放出する際に加速電場に到達するまでの時間差によって軸方向のイオンの広がりが生じ易くなる。そこで、イオンガイド14の内部空間にイオンを保持する際に(又は少なくともイオンを放出する直前に)、イオンガイド14の出口側端部に近い位置にイオンが集積している状態となっていることが好ましい。そのためには、特許文献2に記載の構成を利用し、イオンガイド14の入口端から出口端に向かうに従い、下方向に傾斜する軸方向のポテンシャル勾配を形成するとよい。   Note that the ion guide 14 has an internal space that is long in the direction of the axis C, and ions are released from the ion guide 14 if the ions vary greatly in the axial direction when ions are held in the internal space. At this time, the spread of ions in the axial direction is likely to occur due to the time difference until the acceleration electric field is reached. Therefore, when the ions are held in the internal space of the ion guide 14 (or at least immediately before the ions are released), the ions are accumulated at a position close to the exit side end portion of the ion guide 14. Is preferred. For this purpose, it is preferable to use the configuration described in Patent Document 2 and form an axial potential gradient that is inclined downward as it goes from the inlet end to the outlet end of the ion guide 14.

上述したように、イオンガイド14の内部空間に測定対象であるイオンを保持している状態で、出口側ゲート電極電源部33は出口側ゲート電極132の位置におけるポテンシャルを下げるように印加電圧を一時的に下げる。これによって、イオンガイド14に保持されているイオンはビームスライサ15の方向に放出される。上述したようにイオンガイド14に軸方向のポテンシャル勾配を形成しておくと、様々な質量電荷比を持つイオンがほぼパケット状に放出される。   As described above, in a state where ions to be measured are held in the internal space of the ion guide 14, the outlet side gate electrode power supply unit 33 temporarily applies the applied voltage so as to lower the potential at the position of the outlet side gate electrode 132. Lower. Thereby, ions held by the ion guide 14 are emitted in the direction of the beam slicer 15. As described above, when an axial potential gradient is formed in the ion guide 14, ions having various mass-to-charge ratios are emitted in a packet shape.

スライサ電源部34はビームスライサ15に印加する直流電圧を、上記イオン放出時点から図3に示すようなパターンで時間経過に伴い変化させる。出口側ゲート電極132とビームスライサ15の入口端面151との間の第1領域P1には、出口側ゲート電極132へ印加される直流電圧とビームスライサ15へ印加される直流電圧との差に応じた加速電場が形成される。イオンガイド14から放出された各種イオンはその直後に第1領域P1に突入するから、図3において、概ね0〜4[μsec]がイオンが第1領域P1を通過する時間範囲である。   The slicer power supply unit 34 changes the DC voltage applied to the beam slicer 15 with the passage of time in a pattern as shown in FIG. In the first region P1 between the exit-side gate electrode 132 and the entrance end surface 151 of the beam slicer 15, a difference between the DC voltage applied to the exit-side gate electrode 132 and the DC voltage applied to the beam slicer 15 is determined. An accelerating electric field is formed. Since various ions emitted from the ion guide 14 enter the first region P1 immediately after that, in FIG. 3, approximately 0 to 4 [μsec] is a time range in which the ions pass through the first region P1.

この時間範囲において、ビームスライサ15への印加電圧は当初ほぼ一定であり、そのあと急峻に引き下げられている。図3中に矢印Aで示す電位差は第1領域P1における加速電場の強さ(換言すればイオンに付与されるエネルギの大きさ)に対応している。即ち、第1領域P1においてイオンは当初殆ど加速されないが、そのあと、時間が経過するに従いイオンは大きなエネルギを受ける。第1領域P1に導入されたイオンの初期エネルギはほぼ揃っているので、当初、質量電荷比が小さなイオンは質量電荷比が大きなイオンよりも大きな速度を有しており、第1領域P1を通過する際に質量電荷比が小さなイオンは質量電荷比が大きなイオンよりも先行する。その結果、質量電荷比が小さなイオンはビームスライサ15への印加電圧が大きく下げられる前に第1領域P1を通過することになるため、第1領域P1を通過する際に受けるエネルギは小さい。それに対し、第1領域P1を通過する際に遅れた位置にある質量電荷比が大きなイオンほど、強い加速電場中を通過することになるため、第1領域P1を通過する際に受けるエネルギが大きくなる。それによって、第1領域P1を通過して入口スリット152を経てビームスライサ15に入射するとき、遅れて入射してくる質量電荷比が大きなイオンほど大きなエネルギを有しており、速度も大きい。   In this time range, the voltage applied to the beam slicer 15 is substantially constant at the beginning, and then is sharply lowered. The potential difference indicated by arrow A in FIG. 3 corresponds to the intensity of the acceleration electric field in the first region P1 (in other words, the magnitude of energy applied to the ions). That is, in the first region P1, ions are hardly accelerated at first, but thereafter, the ions receive large energy as time passes. Since the initial energies of the ions introduced into the first region P1 are almost uniform, initially, ions having a small mass-to-charge ratio have a higher speed than ions having a large mass-to-charge ratio, and pass through the first region P1. In this case, ions having a small mass-to-charge ratio precede the ions having a large mass-to-charge ratio. As a result, since ions having a small mass-to-charge ratio pass through the first region P1 before the voltage applied to the beam slicer 15 is greatly reduced, the energy received when passing through the first region P1 is small. On the other hand, an ion with a larger mass-to-charge ratio at a position delayed when passing through the first region P1 passes through a stronger acceleration electric field, so that the energy received when passing through the first region P1 is larger. Become. Accordingly, when passing through the first region P1 and entering the beam slicer 15 through the entrance slit 152, the ions with a larger mass-to-charge ratio entering later have higher energy and higher speed.

ほぼ全てのイオンがビームスライサ15に入射したあと、それらイオンがビームスライサ15の内部空間を通過する間は、イオンは電場の影響を受けない。したがって、イオンはビームスライサ15に入射した時点で有している速度でほぼ自由飛行する。上述したように質量電荷比が大きなイオンは質量電荷比が小さなイオンよりも遅れてビームスライサ15に入射するが、速度が大きいため、飛行途中で先行している質量電荷比が小さなイオンに追いつき、さらに追い越す。その結果、ビームスライサ15への入射時とは逆に、出口スリット154を経てビームスライサ15から出射する際には、速度が大きく、有しているエネルギも大きい質量電荷比が大きなイオンが先行する。   After almost all the ions are incident on the beam slicer 15, the ions are not affected by the electric field while passing through the internal space of the beam slicer 15. Accordingly, the ions fly almost freely at the speed they have when they enter the beam slicer 15. As described above, ions having a large mass-to-charge ratio enter the beam slicer 15 later than ions having a small mass-to-charge ratio. Further overtake. As a result, contrary to when entering the beam slicer 15, when exiting from the beam slicer 15 via the exit slit 154, ions having a high mass and a large mass-to-charge ratio are preceded by a large velocity. .

ビームスライサ15の出口端面153と直交加速部17の入口電極171との間の第2領域P2には、ビームスライサ15へ印加される直流電圧と入口電極171とへ印加される直流電圧との差に応じた減速電場が形成される。ここでは、ビームスライサ15に導入されたイオンがその内部空間を通過するには約15[μsec]以上の時間を要するため、図3において、概ね21〜28[μsec]がイオンが第2領域P2を通過する時間範囲である。この時間範囲において、ビームスライサ15への印加電圧は所定電圧から略一定の傾斜で増加されている。図3中に矢印Bで示す電位差は第2領域P2における減速電場の強さ(換言すればイオンから奪われるエネルギの大きさ)に対応しており、矢印Dで示す電位差は第2領域P2における加速電場の強さに対応している。   In the second region P2 between the exit end face 153 of the beam slicer 15 and the entrance electrode 171 of the orthogonal acceleration unit 17, the difference between the DC voltage applied to the beam slicer 15 and the DC voltage applied to the entrance electrode 171 is provided. A deceleration electric field corresponding to is formed. Here, since it takes about 15 [μsec] or more for the ions introduced into the beam slicer 15 to pass through the internal space, in FIG. 3, approximately 21 to 28 [μsec] are in the second region P2. Is the time range that passes through. In this time range, the voltage applied to the beam slicer 15 is increased from the predetermined voltage with a substantially constant slope. The potential difference indicated by the arrow B in FIG. 3 corresponds to the strength of the deceleration electric field in the second region P2 (in other words, the magnitude of energy deprived from the ions), and the potential difference indicated by the arrow D is equal to the second region P2. Corresponds to the strength of the acceleration electric field.

即ち、第2領域P2においてイオンは当初減速されるが、時間経過とともにその減速度合は弱まり、加速も減速もされない状態になったあと、今度は、時間が経過するに従いイオンは徐々に大きな加速を受けるように変化する。上述したように、第2領域P2へは大きなエネルギを有する質量電荷比が大きなイオンから先行して入射するから、そうしたイオンは減速され、エネルギを奪われる。一方、ビームスライサ15の内部空間において追い抜かれた質量電荷比が小さなイオンは、遅れてくるほど、つまりは質量電荷比が小さなイオンほど大きなエネルギを受ける。このようにして第2領域P2では各イオンの速度の調整が行われるので、軸C方向の位置ずれが修正され、或る程度かたまって、つまり軸C方向に広がることなく第2領域P2を通過し入口電極171を経て直交加速部17に導入される。また、第2領域P2を通過する際に各イオンのエネルギが揃うようにエネルギの増減も行われるので、直交加速部17に導入される際の各イオンのエネルギの広がりも小さくなる。   That is, the ions are initially decelerated in the second region P2, but the deceleration rate decreases with time, and after acceleration and deceleration are not performed, this time, the ions gradually increase greatly as time elapses. Change to receive. As described above, since ions having a large mass-to-charge ratio having a large energy are incident on the second region P2 in advance, such ions are decelerated and deprived of energy. On the other hand, ions with a smaller mass-to-charge ratio that are overtaken in the internal space of the beam slicer 15 receive more energy as they are delayed, that is, ions with a smaller mass-to-charge ratio. In this way, since the speed of each ion is adjusted in the second region P2, the positional deviation in the direction of the axis C is corrected and passes through the second region P2 to some extent, that is, without spreading in the direction of the axis C. Then, it is introduced into the orthogonal acceleration unit 17 through the inlet electrode 171. In addition, since the energy is increased or decreased so that the energy of each ion is aligned when passing through the second region P2, the spread of the energy of each ion when introduced into the orthogonal acceleration unit 17 is also reduced.

図4は、図3に示したパターンに従ってビームスライサ15への印加電圧を変化させたときの、コリジョンセル13出口から直交加速部17入口までのイオンの位置と飛行時間との関係をシミュレーションした結果を示す図である。また、図5は、同じくコリジョンセル13出口から直交加速部17入口までのイオンのエネルギと飛行時間との関係をシミュレーションした結果を示す図である。これらシミュレーションでは、イオン質量電荷比m/zとして、100、200、300、400の4種類のみを想定した。   FIG. 4 is a result of simulating the relationship between the ion position from the collision cell 13 exit to the orthogonal acceleration unit 17 entrance and the flight time when the voltage applied to the beam slicer 15 is changed according to the pattern shown in FIG. FIG. FIG. 5 is a diagram showing the result of simulating the relationship between the ion energy from the collision cell 13 exit to the orthogonal acceleration unit 17 entrance and the flight time. In these simulations, only 4 types of 100, 200, 300, and 400 were assumed as the ion mass-to-charge ratio m / z.

図4を見ると明らかであるように、質量電荷比が相対的に小さいm/z 100のイオンはビームスライサ15の内部空間を通過している途中で質量電荷比が相対的に大きいm/z 300、400のイオンに追い抜かれているものの、第2領域P2を通過している期間に急に加速されて、最終的にほぼ同時に同じ位置に到達している。一方、図5を見ると明らかであるように、ビームスライサ15の内部空間を通過しているときのイオンのエネルギは質量電荷比が大きいほど大きくなっており、ビームスライサ15を通過する際には略一定に維持される。そして、先に第2領域P2に突入する質量電荷比が大きなイオンのエネルギは一旦減じたあとに少し戻っているが、遅れて第2領域P2に突入する質量電荷比が相対的に小さなイオンのエネルギは減じることなく大きく増加し、最終的にほぼ同程度のエネルギに収束している。   As is apparent from FIG. 4, m / z 100 ions having a relatively low mass to charge ratio have a relatively large mass to charge ratio while passing through the internal space of the beam slicer 15. Although it is overtaken by ions of 300 and 400, it is suddenly accelerated during the period of passing through the second region P2 and finally reaches the same position almost simultaneously. On the other hand, as apparent from FIG. 5, the energy of ions when passing through the internal space of the beam slicer 15 increases as the mass-to-charge ratio increases, and when passing through the beam slicer 15, It is maintained substantially constant. The energy of ions having a large mass-to-charge ratio that rushes into the second region P2 first decreases and then returns slightly. However, ions having relatively small mass-to-charge ratio that rushes into the second region P2 later enter the second region P2. The energy increases greatly without decreasing and finally converges to almost the same energy.

このシミュレーション結果からも、本実施例のQ−TOFMSでは、直交加速部17にイオンが導入されたときに質量電荷比に依らず軸C方向の位置が揃っており、また各イオンのエネルギも揃っていることが確認できる。   Also from this simulation result, in the Q-TOFMS of this embodiment, when ions are introduced into the orthogonal acceleration unit 17, the position in the axis C direction is aligned regardless of the mass-to-charge ratio, and the energy of each ion is also aligned. Can be confirmed.

イオンガイド14からイオンが放出された時点から、所定の遅延時間だけ遅れたタイミングで、直交加速電源部36は、押出し電極172及び引出し電極173にそれぞれ所定の加速電圧を印加する。これによって、直交加速部17をX軸方向に進行していたイオンはZ軸方向に加速される。このとき、X軸方向に所定の長さのイオンが加速されるが、上述したように質量電荷比に応じたX軸方向のイオンの広がりが抑えられているために、遅延時間を適切に定めることで、幅広い質量電荷比のイオンがちょうど押出し電極172と引出し電極173との間に存在するイオンを加速することができる。即ち、幅広い質量電荷比を持つイオンを無駄なく飛行空間20に送り出すことができ、幅広い質量電荷比に亘るマススペクトルを得ることができる。その結果、1回の測定によって幅広い質量電荷比範囲のマススペクトル(プロダクトイオンスペクトル)を作成することができる。   The orthogonal acceleration power supply unit 36 applies a predetermined acceleration voltage to the extrusion electrode 172 and the extraction electrode 173 at a timing delayed by a predetermined delay time from the time when ions are released from the ion guide 14. As a result, ions traveling in the X-axis direction through the orthogonal acceleration unit 17 are accelerated in the Z-axis direction. At this time, ions having a predetermined length in the X-axis direction are accelerated. However, since the spread of ions in the X-axis direction according to the mass-to-charge ratio is suppressed as described above, the delay time is appropriately determined. Thus, ions having a wide range of mass-to-charge ratios can accelerate ions that exist between the extrusion electrode 172 and the extraction electrode 173. That is, ions having a wide mass-to-charge ratio can be sent to the flight space 20 without waste, and a mass spectrum over a wide range of mass-to-charge ratio can be obtained. As a result, a mass spectrum (product ion spectrum) in a wide mass-to-charge ratio range can be created by a single measurement.

また、飛行空間20に向けて加速される際に各イオンのエネルギが揃っているため、射出方向のばらつきも小さい。それによって、飛行空間20中を折り返し飛行したイオンが確実にイオン検出器23に到達するから、高い感度を達成できる。また、各イオンの飛行距離が理想的な状態に近くなるため、飛行時間から算出される質量電荷比の精度を高めることができる。   Moreover, since the energy of each ion is uniform when accelerating toward the flight space 20, there is little variation in the emission direction. As a result, the ions that have returned in flight in the flight space 20 reliably reach the ion detector 23, so that high sensitivity can be achieved. Further, since the flight distance of each ion is close to an ideal state, the accuracy of the mass-to-charge ratio calculated from the flight time can be increased.

なお、上記説明では、コリジョンセル13において開裂により生成したプロダクトイオンをイオンガイド14の内部空間に一旦保持し、そのあと直交加速方式TOFMSにより測定を実行するようにしていたが、四重極マスフィルタ12で質量分離されないイオンやコリジョンセル13で開裂しないイオンをそのままイオンガイド14の内部空間に一旦保持し、イオンのクーリングを実行したあとに直交加速方式TOFMSにより測定を実行するようにしてもよい。   In the above description, the product ions generated by the cleavage in the collision cell 13 are temporarily held in the internal space of the ion guide 14 and then measured by the orthogonal acceleration method TOFMS. Alternatively, ions that are not mass-separated at 12 or ions that are not cleaved by the collision cell 13 may be temporarily held in the inner space of the ion guide 14 and may be measured by orthogonal acceleration type TOFMS after cooling the ions.

また上記実施例は、直交加速方式TOFMSを用いたQ−TOFMSに本発明適用したものであるが、本発明は、3次元四重極型イオントラップをイオン射出源としたリニアTOFMS又はリフレクトロンTOFMSにも適用することができる。その場合、上記実施例の構成における直交加速部17を3次元四重極型イオントラップに置き換えればよい。即ち、第1領域P1、ビームスライサ15、第2領域P2を通過したイオンが、3次元四重極型イオントラップのイオン入射口から該イオントラップの内部に導入される構成とすればよい。この場合、イオン入射口を経てイオンが3次元四重極型イオントラップの内部に導入される時間を或る程度の範囲に限定する必要があるが、上記実施例の構成を用いることで、より広い質量電荷比範囲のイオンをイオントラップ内に導入することができる。それによって、イオントラップに捕捉したイオンを質量分析することによって得られるマススペクトルの質量電荷比範囲を広げることができる。また、各イオンのエネルギを或る程度揃えてイオントラップに導入することで、大きなエネルギを持つイオンが捕捉されずに電極に衝突してしまったり外部へ排出されてしまったりすることによるイオンの損失を減らすことができる。   Moreover, although the said Example applies this invention to Q-TOFMS using orthogonal acceleration type TOFMS, this invention is linear TOFMS or reflectron TOFMS which used the three-dimensional quadrupole ion trap as the ion injection source. It can also be applied to. In that case, what is necessary is just to replace the orthogonal acceleration part 17 in the structure of the said Example with the three-dimensional quadrupole ion trap. In other words, the ions that have passed through the first region P1, the beam slicer 15, and the second region P2 may be introduced into the ion trap from the ion entrance of the three-dimensional quadrupole ion trap. In this case, it is necessary to limit the time during which ions are introduced into the inside of the three-dimensional quadrupole ion trap through the ion entrance, but by using the configuration of the above embodiment, Ions having a wide mass-to-charge ratio range can be introduced into the ion trap. Thereby, the mass-to-charge ratio range of the mass spectrum obtained by mass analysis of the ions trapped in the ion trap can be expanded. Also, by introducing energy into each ion trap with a certain level of ion energy, ions with large energy are not trapped but collide with the electrode or are discharged to the outside. Can be reduced.

また、上記実施例は本発明の一例であり、本発明の趣旨の範囲で適宜変更、修正、追加などを行っても本願請求の範囲に包含されることは明らかである。   Moreover, the said Example is an example of this invention, and even if it changes suitably, amends, additions, etc. in the range of the meaning of this invention, it is clear that it is included in the claim of this application.

1…チャンバ
2…イオン化室
3、4、5…中間真空室
6…高真空室
7…ESIスプレー
8…加熱キャピラリ
9…イオンガイド
10…スキマー
11…イオンガイド
12…四重極マスフィルタ
13…コリジョンセル
131…入口側ゲート電極
132…出口側ゲート電極
14…イオンガイド
15…ビームスライサ
151…入口端面
152…入口スリット
153…出口端面
154…出口スリット
17…直交加速部
171…入口電極
172…押出し電極
173…引出し電極
20…飛行空間
21…反射器
22…バックプレート
23…イオン検出器
30…制御部
31…入口側ゲート電極電源部
32…イオンガイド電源部
33…出口側ゲート電極電源部
34…スライサ電源部
35…直交加速入口電極電源部
36…直交加速電源部
C…軸
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Chamber 2 ... Ionization chamber 3, 4, 5 ... Intermediate vacuum chamber 6 ... High vacuum chamber 7 ... ESI spray 8 ... Heating capillary 9 ... Ion guide 10 ... Skimmer 11 ... Ion guide 12 ... Quadrupole mass filter 13 ... Collision Cell 131 ... Entrance side gate electrode 132 ... Exit side gate electrode 14 ... Ion guide 15 ... Beam slicer 151 ... Entrance end face 152 ... Entrance slit 153 ... Exit end face 154 ... Exit slit 17 ... Orthogonal acceleration part 171 ... Inlet electrode 172 ... Extrusion electrode 173 ... Extraction electrode 20 ... Flight space 21 ... Reflector 22 ... Back plate 23 ... Ion detector 30 ... Control part 31 ... Inlet side gate electrode power supply part 32 ... Ion guide power supply part 33 ... Outlet side gate electrode power supply part 34 ... Slicer Power supply unit 35 ... orthogonal acceleration inlet electrode power supply unit 36 ... orthogonal acceleration power supply unit C ... shaft

Claims (6)

入射したイオンをその入射軸と直交する方向に加速する直交加速部と、加速されたイオンを質量電荷比に応じて分離して検出する分離検出部と、を具備する直交加速方式の飛行時間型質量分析装置であって、
a)測定対象であるイオンをクーリングするとともに該イオンを一時的に保持するイオン保持部と、
b)前記イオン保持部と前記直交加速部との間に配設され、前記直交加速部における加速方向にイオンビームの幅を規制するスリットがそれぞれ設けられた入射端面及び出射端面を有する導電性の筒状体であるビーム整形部と、
c)前記イオン保持部にイオンを保持したあと、その保持されているイオンを所定のタイミングで前記ビーム整形部に向けて放出するべく該イオン保持部への印加電圧を制御する第1の電圧印加部と、
d)前記イオン保持部の出口端と前記ビーム整形部の入口端との間の第1領域に、前記イオン保持部から放出されたイオンについて該第1領域を遅れて通過するイオンほど大きな加速がなされるように時間的にその強さが変化する電場を形成するとともに、前記ビーム整形部の出口端と前記直交加速部の入口端との間の第2領域に、前記第1領域及び前記ビーム整形部内の領域を通過したイオンが該第2領域を通過するタイミングで、前記第1領域及び前記ビーム整形部内の領域を通過する際に生じた異なる質量電荷比を有するイオンの位置の差及びエネルギの差を調整するように時間的にその強さが変化する電場を形成するべく、前記ビーム整形部に時間経過に伴って変化する直流電圧を印加する第2の電圧印加部と、
を備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
An orthogonal acceleration type time-of-flight type comprising an orthogonal acceleration unit for accelerating incident ions in a direction orthogonal to the incident axis and a separation detection unit for separating and detecting the accelerated ions according to the mass-to-charge ratio A mass spectrometer comprising:
a) an ion holding unit that cools ions to be measured and temporarily holds the ions;
b) A conductive material having an entrance end face and an exit end face provided between the ion holding part and the orthogonal acceleration part and provided with slits for restricting the width of the ion beam in the acceleration direction of the orthogonal acceleration part, respectively. A beam shaping unit that is a cylindrical body;
c) After holding ions in the ion holding unit, a first voltage application for controlling the voltage applied to the ion holding unit so as to release the held ions toward the beam shaping unit at a predetermined timing. And
d) In the first region between the exit end of the ion holding unit and the entrance end of the beam shaping unit, ions emitted from the ion holding unit have a greater acceleration as they pass through the first region with a delay. Forming an electric field whose strength changes over time, and in the second region between the exit end of the beam shaping unit and the entrance end of the orthogonal acceleration unit, the first region and the beam The difference in position and energy of ions having different mass-to-charge ratios generated when the ions that have passed through the region in the shaping unit pass through the second region at the timing of passing through the first region and the region in the beam shaping unit. A second voltage applying unit that applies a DC voltage that changes with time to the beam shaping unit so as to form an electric field whose strength changes with time so as to adjust the difference between
A time-of-flight mass spectrometer.
入射したイオンを電場の作用により捕捉したあとに所定のタイミングでイオンに加速エネルギを付与して略一斉にイオンを射出するイオントラップ部と、該イオントラップ部から射出されたイオンを質量電荷比に応じて分離して検出する分離検出部と、を具備する飛行時間型質量分析装置であって、
a)測定対象であるイオンをクーリングするとともに該イオンを一時的に保持するイオン保持部と、
b)前記イオン保持部と前記イオントラップ部との間に配設され、イオンビームの径を規制するスリットがそれぞれ設けられた入射端面及び出射端面を有する導電性の筒状体であるビーム整形部と、
c)前記イオン保持部にイオンを保持したあと、その保持されているイオンを所定のタイミングで前記ビーム整形部に向けて放出するべく該イオン保持部への印加電圧を制御する第1の電圧印加部と、
d)前記イオン保持部の出口端と前記ビーム整形部の入口端との間の第1領域に、前記イオン保持部から放出されたイオンについて該第1領域を遅れて通過するイオンほど大きな加速がなされるように時間的にその強さが変化する電場を形成するとともに、前記ビーム整形部の出口端と前記イオントラップ部の入口端との間の第2領域に、前記第1領域及び前記ビーム整形部内の領域を通過したイオンが該第2領域を通過するタイミングで、前記第1領域及び前記ビーム整形部内の領域を通過する際に生じた異なる質量電荷比を有するイオンの位置の差及びエネルギの差を調整するように時間的にその強さが変化する電場を形成するべく、前記ビーム整形部に時間経過に伴って変化する直流電圧を印加する第2の電圧印加部と、
を備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
After trapping the incident ions by the action of the electric field, the ion trap part that gives acceleration energy to the ions at a predetermined timing and ejects the ions almost simultaneously, and the ions ejected from the ion trap part to the mass-to-charge ratio A time-of-flight mass spectrometer comprising:
a) an ion holding unit that cools ions to be measured and temporarily holds the ions;
b) A beam shaping unit that is a conductive cylindrical body that is disposed between the ion holding unit and the ion trap unit and has an entrance end surface and an exit end surface each provided with a slit that regulates the diameter of the ion beam. When,
c) After holding ions in the ion holding unit, a first voltage application for controlling the voltage applied to the ion holding unit so as to release the held ions toward the beam shaping unit at a predetermined timing. And
d) In the first region between the exit end of the ion holding unit and the entrance end of the beam shaping unit, ions emitted from the ion holding unit have a greater acceleration as they pass through the first region with a delay. An electric field whose strength changes over time as formed, and in the second region between the exit end of the beam shaping unit and the entrance end of the ion trap unit, the first region and the beam The difference in position and energy of ions having different mass-to-charge ratios generated when the ions that have passed through the region in the shaping unit pass through the second region at the timing of passing through the first region and the region in the beam shaping unit. A second voltage applying unit that applies a DC voltage that changes with time to the beam shaping unit so as to form an electric field whose strength changes with time so as to adjust the difference between
A time-of-flight mass spectrometer.
請求項1に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
前記第2の電圧印加部は、前記ビーム整形部に遅れて入射したイオンが該ビーム整形部内を通過する間に先行して入射したイオンを追い越すような速度を有するように、それらイオンが前記第1領域を通過するときに該第1領域に時間的にその強さが変化する電場を形成し、前記ビーム整形部から出射したイオンが第2領域を通過するときに、該ビーム整形部から遅れて出射したイオンのエネルギを増加させるとともにその速度を増加させるように、該第2領域に時間的にその強さが変化する電場を形成することを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
A time-of-flight mass spectrometer of the mounting serial to claim 1,
The second voltage application unit has a speed such that ions that are incident on the beam shaping unit after the first time pass over the ions that have entered earlier while passing through the beam shaping unit. When passing through one region, an electric field whose intensity changes in time is formed in the first region, and ions emitted from the beam shaping unit are delayed from the beam shaping unit when passing through the second region. The time-of-flight mass spectrometer is characterized in that an electric field whose intensity changes with time is formed in the second region so as to increase the energy of ions emitted and increase the velocity.
請求項3に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
前記イオン保持部と前記直交加速部及び前記分離検出部とは隔壁で隔たれた異なる真空室内に配置され、前記ビーム整形部は、前記隔壁を挟んで両真空室に跨って配置されていることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
The time-of-flight mass spectrometer according to claim 3,
Wherein the ion-retaining portion and the front Symbol orthogonal acceleration section and the separating and detecting unit is arranged in different vacuum chamber was Hedatare with a septum, the beam shaping section, that is disposed to extend over both the vacuum chamber across the partition wall A time-of-flight mass spectrometer.
請求項2に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
前記第2の電圧印加部は、前記ビーム整形部に遅れて入射したイオンが該ビーム整形部内を通過する間に先行して入射したイオンを追い越すような速度を有するように、それらイオンが前記第1領域を通過するときに該第1領域に時間的にその強さが変化する電場を形成し、前記ビーム整形部から出射したイオンが第2領域を通過するときに、該ビーム整形部から遅れて出射したイオンのエネルギを増加させるとともにその速度を増加させるように、該第2領域に時間的にその強さが変化する電場を形成することを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
A time-of-flight mass spectrometer of the mounting serial to claim 2,
The second voltage application unit has a speed such that ions that are incident on the beam shaping unit after the first time pass over the ions that have entered earlier while passing through the beam shaping unit. When passing through one region, an electric field whose intensity changes in time is formed in the first region, and ions emitted from the beam shaping unit are delayed from the beam shaping unit when passing through the second region. The time-of-flight mass spectrometer is characterized in that an electric field whose intensity changes with time is formed in the second region so as to increase the energy of ions emitted and increase the velocity.
請求項5に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
前記イオン保持部と前記イオントラップ部及び前記分離検出部とは隔壁で隔たれた異なる真空室内に配置され、前記ビーム整形部は、前記隔壁を挟んで両真空室に跨って配置されていることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
The time-of-flight mass spectrometer according to claim 5 ,
Wherein the ion-retaining portion and the front SL ion trap section and said separating and detecting unit is arranged in different vacuum chamber was Hedatare with a septum, the beam shaping section, that is disposed to extend over both the vacuum chamber across the partition wall A time-of-flight mass spectrometer.
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