JP6291109B1 - filter - Google Patents

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Abstract

【課題】コストの増加を抑制しながら、熱処理室内に持ち込まれるパーティクルの量を低減できる、クリーンオーブンに用いられるフィルタを提供する。【解決手段】ガスを循環させてワークの熱処理を行うクリーンオーブン１０に設けられる金属製のフィルタ４であって、熱処理されるワークＷが配置される熱処理室２側に突出する頂部４１と、頂部４１に連続して形成される側部４２〜４５と、を備えていることを特徴とする。【選択図】図１A filter used in a clean oven that can reduce the amount of particles brought into a heat treatment chamber while suppressing an increase in cost. A metal filter 4 provided in a clean oven 10 for heat treatment of a workpiece by circulating gas, a top portion 41 projecting toward a heat treatment chamber 2 where a workpiece W to be heat-treated is disposed, and a top portion 41, side parts 42 to 45 formed continuously. [Selection] Figure 1

Description

本発明は、半導体部品や精密材料等の乾燥や焼成等に使用されるクリーンオーブンに用いられるフィルタに関するものである。   The present invention relates to a filter used in a clean oven used for drying or baking semiconductor components and precision materials.

従来、クリーンオーブンには、特許文献１に示されるように、微細なダスト（パーティクル）を取り除くＨＥＰＡフィルタが設けられている。   Conventionally, as shown in Patent Document 1, a clean oven is provided with a HEPA filter that removes fine dust (particles).

ここで、特許文献２に示されるように、ＨＥＰＡフィルタは、ガラス繊維やセラミックファイバーで濾材が作成されているため、温度変化によって発塵し、それによって、クリーンオーブンの熱処理室にパーティクルが持ち込まれるという課題が存在する。   Here, as shown in Patent Document 2, since the filter medium is made of glass fiber or ceramic fiber, the HEPA filter generates dust due to temperature change, thereby bringing particles into the heat treatment chamber of the clean oven. There is a problem.

特開２００５−１５６０８９号公報JP 2005-156089 A 特開平５−２０８１１２号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-208112

そして、特許文献２では、温度変化を抑制するために、専用のヒータを設けることが開示されている。しかし、設備が大がかりとなり、コストが増加するという課題がある。   And in patent document 2, in order to suppress a temperature change, providing a heater for exclusive use is disclosed. However, there is a problem that the equipment becomes large and the cost increases.

そこで、本発明では、コストの増加を抑制しながら、熱処理室内に持ち込まれるパーティクルの量を低減できるクリーンオーブンに用いられるフィルタを提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a filter used in a clean oven that can reduce the amount of particles brought into the heat treatment chamber while suppressing an increase in cost.

本発明は、ガスを循環させてワークの熱処理を行うクリーンオーブンに設けられる金属製のフィルタであって、
熱処理されるワークが配置される熱処理室側に突出する頂部と、
前記頂部に連続して形成される側部と、を備えていることを特徴とする。 The present invention is a metal filter provided in a clean oven that heats a workpiece by circulating gas,
A top portion protruding toward the heat treatment chamber where the workpiece to be heat treated is disposed;
And a side portion formed continuously with the top portion.

前記構成によれば、金属製のフィルタを採用することによって、フィルタの発塵を抑制し、熱処理室内に持ち込まれるパーティクルの量を低減できる。また、金属製のフィルタでパーティクルの捕集効率を向上させようとするとフィルタによる圧力損失が大きくなるが、フィルタが頂部と頂部に連続して形成される側部とを備えることによって、ガスの流通面積を増加させることができ、捕集効率を上げた金属製フィルタを採用することができる。その結果、特許文献２に示されるヒータ等を設けるというような設備の大がかりな変更を行わないで、コストの増加を抑制したクリーンオーブンに用いられるフィルタを提供できる。   According to the said structure, by employ | adopting a metal filter, dust generation | occurrence | production of a filter can be suppressed and the quantity of the particle brought in in the heat processing chamber can be reduced. In addition, when trying to improve the particle collection efficiency with a metal filter, the pressure loss due to the filter increases. However, by providing the filter with a top part and a side part continuously formed on the top part, gas circulation is achieved. The area can be increased, and a metal filter with increased collection efficiency can be employed. As a result, it is possible to provide a filter used in a clean oven that suppresses an increase in cost without making a major change in equipment such as the provision of a heater or the like disclosed in Patent Document 2.

本発明は、さらに、次のような構成を備えるのが好ましい。
（１）前記頂部及び前記側部はそれぞれ、金属製のフィルタ部材と金属製のフレーム部材とを備え、プレート形状を有しており、
前記フレーム部材は、前記フィルタ部材の外周に溶接によって取り付けられている。
（２）前記側部は、前記頂部の外周全体から連続して形成されている。
（３）前記側部の端部にはフランジが形成されている。
（４）前記頂部は、プレート形状のフィルタ部材がガス流れ方向に折り返しされている折り返し形状を有している。 The present invention preferably further comprises the following configuration.
(1) Each of the top and the side includes a metal filter member and a metal frame member, and has a plate shape.
The frame member is attached to the outer periphery of the filter member by welding.
(2) The side portion is formed continuously from the entire outer periphery of the top portion.
(3) A flange is formed at the end of the side portion.
(4) The top portion has a folded shape in which a plate-shaped filter member is folded in the gas flow direction.

前記構成（１）によれば、頂部及び側部はプレート形状を有することによって、プレートとして取扱が容易であり、フィルタの組立も容易となる。また、フィルタ部材とフレーム部材とは、共に金属でできているので、熱膨張差によりフィルタ部材が弛むことを抑制できる。そして、フィルタ部材とフレーム部材とが同じ材質（例えばステンレス鋼）であれば、熱膨張率が同じとなり、より好ましい。さらに、フィルタ部材が金属でできており、フレーム部材が溶接によって取り付けられているので、フィルタ部材とフレーム部材との連結部における漏れやダストの発生を防止できる。   According to the configuration (1), the top portion and the side portion have a plate shape, so that they can be easily handled as a plate and the filter can be easily assembled. Moreover, since both the filter member and the frame member are made of metal, the filter member can be prevented from being loosened due to a difference in thermal expansion. And if a filter member and a frame member are the same materials (for example, stainless steel), a coefficient of thermal expansion will become the same and it is more preferable. Furthermore, since the filter member is made of metal and the frame member is attached by welding, it is possible to prevent leakage and generation of dust at the connecting portion between the filter member and the frame member.

前記構成（２）によれば、側部は、頂部の外周全体から連続して形成され、その結果、 頂部及び側部で立体形状を形成するので、フィルタの取扱や取付を容易とできる。   According to the said structure (2), since a side part is continuously formed from the whole outer periphery of a top part, as a result, since a solid shape is formed in a top part and a side part, handling and attachment of a filter can be made easy.

前記構成（３）によれば、側部にフランジが形成されているので、側部をクリーンオーブンの内部フレームに取り付けるのを容易とできる。   According to the said structure (3), since the flange is formed in the side part, it can be made easy to attach a side part to the internal flame | frame of a clean oven.

前記構成（４）によれば、頂部が折り返し形状を有することによって、ガスの流通面積をさらに増加させることができ、捕集効率を上げた金属製のフィルタを採用することができる。   According to the configuration (4), since the top portion has a folded shape, the gas flow area can be further increased, and a metal filter with improved collection efficiency can be employed.

要するに、本発明によると、コストの増加を抑制しながら、熱処理室内に持ち込まれるパーティクルの量を低減できる、クリーンオーブンに用いられるフィルタを提供することができる。   In short, according to the present invention, it is possible to provide a filter used in a clean oven that can reduce the amount of particles brought into the heat treatment chamber while suppressing an increase in cost.

本発明の実施形態に係るクリーンオーブンの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the clean oven which concerns on embodiment of this invention. フィルタの概略斜視図である。It is a schematic perspective view of a filter. 頂部の概略図である。It is the schematic of a top part. 図３ＡのIII-III断面図である。It is III-III sectional drawing of FIG. 3A. フィルタの変形例を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the modification of a filter. フィルタの変形例を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the modification of a filter. フィルタの変形例を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the modification of a filter. フィルタの変形例を示すクリーンオーブンの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the clean oven which shows the modification of a filter. 図７のフィルタの斜視図である。It is a perspective view of the filter of FIG. 図８のIX矢視透視図である。FIG. 9 is a perspective view taken along arrow IX in FIG. 8. 図８のＸ矢視透視図である。It is X arrow perspective drawing of FIG. フィルタの変形例を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the modification of a filter. 金属製のフィルタとＨＥＰＡフィルタとの両方が設けられるクリーンオーブンの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the clean oven in which both a metal filter and a HEPA filter are provided.

（全体構成）
図１は、本発明の実施形態に係るクリーンオーブン１０の概略構成図である。図１に示されるように、クリーンオーブン１０は、熱処理されるワークＷが配置され、ガスが流入するガス入口２１と、ガスが流出するガス出口２２と、を有する熱処理室２と、ガス入口２１を形成する内部フレーム２３に溶接で取り付けられるフィルタ４と、フィルタ４を通過する前のガスが存在するフィルタ前空間５と、ガス出口２２から流出したガスをフィルタ前空間５に送る循環流路６と、を備えている。図１において、ガスの流れは白抜き矢印で示されている。 (overall structure)
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a clean oven 10 according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the clean oven 10 includes a heat treatment chamber 2 in which a work W to be heat treated is disposed, a gas inlet 21 through which gas flows in, and a gas outlet 22 through which gas flows out, and a gas inlet 21. The filter 4 attached by welding to the internal frame 23 forming the filter, the pre-filter space 5 in which the gas before passing through the filter 4 exists, and the circulation flow path 6 for sending the gas flowing out from the gas outlet 22 to the pre-filter space 5 And. In FIG. 1, the gas flow is indicated by white arrows.

図２は、フィルタ４の概略斜視図である。図１及び図２に示されるように、フィルタ４は、熱処理室２側に突出する頂部４１と、頂部４１の外周部全体から連続して形成される側部４２〜４５と、を備えている。   FIG. 2 is a schematic perspective view of the filter 4. As shown in FIGS. 1 and 2, the filter 4 includes a top portion 41 that protrudes toward the heat treatment chamber 2, and side portions 42 to 45 that are continuously formed from the entire outer peripheral portion of the top portion 41. .

図３Ａは、頂部４１の概略図である。図３Ａに示されるように、頂部４１は、矩形状のプレート形状を有しており、金属製のフィルタ部材４１ａと金属製のフレーム部材４１ｂとを備えている。フレーム部材４１ｂは、図３Ｂに示されるように、フィルタ部材４１ａの外周に溶接によって取り付けられている。   FIG. 3A is a schematic view of the top 41. As shown in FIG. 3A, the top portion 41 has a rectangular plate shape, and includes a metal filter member 41a and a metal frame member 41b. As shown in FIG. 3B, the frame member 41b is attached to the outer periphery of the filter member 41a by welding.

側部４２〜４５も頂部４１と同様、それぞれ矩形状のプレート形状を有しており、金属製のフィルタ部材とフィルタ部材の外周に溶接によって取り付けられているフレーム部材とを備えている。なお、側部４２〜４５は、頂部４１のフレーム部材４１ｂから連続して形成されている。ここで、連続というのは、溶接や締結部材で接合されて一体化されている場合も含まれる。そして、フィルタ４は全体として直方体形状を有している。   Similarly to the top portion 41, the side portions 42 to 45 each have a rectangular plate shape, and include a metal filter member and a frame member attached to the outer periphery of the filter member by welding. Note that the side portions 42 to 45 are formed continuously from the frame member 41 b of the top portion 41. Here, the term “continuous” also includes a case where welding and a fastening member are joined together. The filter 4 has a rectangular parallelepiped shape as a whole.

クリーンオーブン１０は、次のように作動するようになっている。   The clean oven 10 operates as follows.

まず、クリーンオーブン１０の扉（図示せず）が開閉され、ワークＷが熱処理室２内の所定位置に配置される。そして、ヒータ及びファン（図示せず）を作動させると、ヒータで加熱されたガスは、ファンによって、フィルタ４を通過して清浄化された上で、ガス入口２１を通り、熱処理室２に送られる。なお、ガスは、クリーンオーブン１０内を満たす気体であり、空気や窒素等の他どのような気体でもよい。また、ここでは、ワークＷとして、棚状のカセットに平置きされたガラス基板が略図で示されているが、どのようなものでもよい。なお、図１において、ガスの流れは白抜き矢印で示されている。   First, the door (not shown) of the clean oven 10 is opened and closed, and the workpiece W is disposed at a predetermined position in the heat treatment chamber 2. When a heater and a fan (not shown) are operated, the gas heated by the heater passes through the filter 4 and is purified by the fan, passes through the gas inlet 21, and is sent to the heat treatment chamber 2. It is done. The gas is a gas that fills the clean oven 10, and may be any gas such as air or nitrogen. In addition, here, as the workpiece W, a glass substrate placed flat on a shelf-like cassette is schematically shown, but any kind of substrate may be used. In FIG. 1, the gas flow is indicated by white arrows.

加熱されたガスは、熱処理室２において、配置されたワークＷを加熱する。ワークＷを加熱したガスは、ガス出口２２において、循環流路６に流れる。循環流路６内のガスは、フィルタ前空間５に流れ、再度、フィルタ４を通過して清浄化された上で、ガス入口２１を通って熱処理室２に流入する。   The heated gas heats the workpiece W arranged in the heat treatment chamber 2. The gas that heated the workpiece W flows into the circulation channel 6 at the gas outlet 22. The gas in the circulation channel 6 flows into the pre-filter space 5, passes through the filter 4, is purified again, and flows into the heat treatment chamber 2 through the gas inlet 21.

前記構成のクリーンオーブン１０によれば、次のような効果を発揮できる。   According to the clean oven 10 configured as described above, the following effects can be exhibited.

（１）フィルタ４は、金属製のフィルタであるので、温度変化があってもＨＥＰＡフィルタのように発塵せず、熱処理室内に持ち込まれるパーティクルの量を低減できる。 (1) Since the filter 4 is a metal filter, even if there is a temperature change, it does not generate dust like a HEPA filter, and the amount of particles brought into the heat treatment chamber can be reduced.

（２）金属製のフィルタ４でパーティクルの捕集効率を向上させようとするとフィルタによる圧力損失が大きくなるが、フィルタ４が頂部４１と頂部４１に連続して形成される側部４２〜４５とを備えることによって、ガスの流通面積を増加させることができ、捕集効率を上げた金属製フィルタ４を採用することができる。その結果、特許文献２に示されるヒータ等を設けるというような設備の大がかりな変更を行わないで、コストの増加を抑制したクリーンオーブン１０を提供できる。 (2) When trying to improve the particle collection efficiency with the metal filter 4, the pressure loss due to the filter increases, but the top part 41 and the side parts 42 to 45 formed continuously from the top part 41 and , The gas distribution area can be increased, and the metal filter 4 with improved collection efficiency can be employed. As a result, it is possible to provide the clean oven 10 in which an increase in cost is suppressed without making a major change in equipment such as the provision of a heater or the like disclosed in Patent Document 2.

（３）頂部４１及び側部４２〜４５はプレート形状を有することによって、プレートとして取扱が容易であり、フィルタ４の組立も容易となる。また、フィルタ部材４１ａとフレーム部材４１ｂとは、共に金属でできているので、熱膨張差によりフィルタ部材４１ａが弛むことを抑制できる。さらに、フィルタ部材４１ａが金属でできており、フレーム部材４１ｂが溶接によって取り付けられているので、フィルタ部材４１ａとフレーム部材４１ｂとの連結部における漏れやダストの発生を防止できる。 (3) Since the top portion 41 and the side portions 42 to 45 have a plate shape, they can be easily handled as plates, and the filter 4 can be easily assembled. Moreover, since both the filter member 41a and the frame member 41b are made of metal, it is possible to prevent the filter member 41a from being loosened due to a difference in thermal expansion. Furthermore, since the filter member 41a is made of metal and the frame member 41b is attached by welding, it is possible to prevent leakage and generation of dust at the connecting portion between the filter member 41a and the frame member 41b.

（４）側部４２〜４５は、頂部４１の外周部全体から連続して形成され、その結果、頂部４１及び側部４２〜４５で立体形状を形成するので、フィルタ４の取扱や取付を容易とできる。 (4) The side portions 42 to 45 are continuously formed from the entire outer peripheral portion of the top portion 41. As a result, the top portion 41 and the side portions 42 to 45 form a three-dimensional shape, so that the filter 4 can be easily handled and attached. And can.

上記実施形態では、フィルタ４の頂部４１及び側部４２〜４５は矩形状であり、フィルタ４は全体として直方体形状を有しているが、図４に示されるように、フィルタ４の頂部４１１が円板形状であり、側部４１２が頂部４１１の外周部全体から連続して形成されて円弧形状を有し、フィルタ４が全体として円柱形状を有してもよい。   In the said embodiment, although the top part 41 and the side parts 42-45 of the filter 4 are rectangular shape, the filter 4 has a rectangular parallelepiped shape as a whole, but the top part 411 of the filter 4 is shown in FIG. The side part 412 may be formed continuously from the entire outer periphery of the top part 411 to have an arc shape, and the filter 4 may have a cylindrical shape as a whole.

上記実施形態では、フィルタ４の側部４２〜４５は矩形状のプレート形状を有しているが、図５に示されるように、側部４２〜４５の端部にフランジ４２ｃ〜４５ｃが形成されてもよい。このような構成を有することにより、フランジ４２ｃ〜４５ｃによって、側部４２〜４５をクリーンオーブン１０の内部フレーム２３に取り付けるのを容易とできる。また、フランジを内部フレームに溶接で取り付けるのではない場合には、フランジと内部フレームとの間にパッキンを挟むことによって、フランジと内部フレームとの間のシール性を向上させることができる。   In the said embodiment, although the side parts 42-45 of the filter 4 have a rectangular plate shape, as FIG. 5 shows, the flanges 42c-45c are formed in the edge part of the side parts 42-45. May be. By having such a configuration, the side portions 42 to 45 can be easily attached to the inner frame 23 of the clean oven 10 by the flanges 42 c to 45 c. In addition, when the flange is not attached to the inner frame by welding, the sealability between the flange and the inner frame can be improved by sandwiching the packing between the flange and the inner frame.

なお、フランジ４２ｃ〜４５ｃは、側部４２〜４５の端部から外方に突出するように形成されているが、フランジは、側部の端部から内方に突出するように形成されてもよい。また、図６に示されるように、フランジは、フィルタ４が全体として円柱形状を有する場合にも適用でき、フランジ４１２ｃは、側部４１２の端部から外方に突出するように形成されている。そして、円柱形状のフィルタ４に形成されるフランジも直方体形状のものと同様、側部４１２の端部から内方に突出するように形成されてもよい。   The flanges 42c to 45c are formed so as to protrude outward from the end portions of the side portions 42 to 45, but the flanges may be formed to protrude inward from the end portions of the side portions. Good. Further, as shown in FIG. 6, the flange can also be applied when the filter 4 has a cylindrical shape as a whole, and the flange 412 c is formed so as to protrude outward from the end of the side portion 412. . The flange formed on the columnar filter 4 may also be formed so as to protrude inward from the end of the side portion 412 in the same manner as the rectangular parallelepiped shape.

また、図７は、フィルタ４の変形例を示すクリーンオーブンの概略構成図である。図８は図７のフィルタ４の斜視図であり、図９は図８のIX矢視透視図であり、図１０は図８のＸ矢視透視図である。図７〜図１０に示されるように、頂部４１３は、プレート形状のフィルタ部材がガス流れ方向に折り返しされている折り返し形状を有している。頂部４１３が折り返し形状を有することによって、ガスの流通面積をさらに増加させることができ、捕集効率を上げた金属製のフィルタを採用することができる。   FIG. 7 is a schematic configuration diagram of a clean oven showing a modification of the filter 4. 8 is a perspective view of the filter 4 of FIG. 7, FIG. 9 is a perspective view taken along the arrow IX of FIG. 8, and FIG. 10 is a perspective view taken along the arrow X of FIG. As shown in FIGS. 7 to 10, the top 413 has a folded shape in which a plate-shaped filter member is folded in the gas flow direction. When the top portion 413 has a folded shape, the gas flow area can be further increased, and a metal filter with improved collection efficiency can be employed.

なお、頂部４１３の折り返し形状と直交する位置で対向している２つの側部４３１、４５１はフィルタ部材ではなく、金属製の板材で構成されていてもよく、他の対向している２つの側部４２１、４４１は、頂部４１３と連続するように構成されている。また、頂部４１３と側部４３１、４５１とは、溶接で接合されている。   Note that the two side portions 431 and 451 facing each other at a position orthogonal to the folded shape of the top portion 413 may be made of a metal plate instead of the filter member, and the other two facing sides. The parts 421 and 441 are configured to be continuous with the top part 413. Moreover, the top part 413 and the side parts 431 and 451 are joined by welding.

側部４３１、４５１を板材で構成することによって、頂部４１３を折り返し形状としながらも、側部４３１、４５１で頂部４１３を支持することができ、フィルタ４の構造強度を向上させることができる。また、頂部４１３と側部４３１、４５１とを溶接することによって、頂部４１３と側部４３１、４５１との間の漏れを防止し、さらに頂部４１３と側部４３１、４５１との接合部からのパーティクルの発生を防止できる。さらに、ガスの流通面積を増加させるには、図１１に示されるように、プレートを加工し、頂部４１及び／又は側部４２〜４５のフィルタ部材４１ａの表面を凹凸状としてもよい。   By configuring the side parts 431 and 451 with a plate material, the top part 413 can be supported by the side parts 431 and 451 while the top part 413 has a folded shape, and the structural strength of the filter 4 can be improved. Further, by welding the top portion 413 and the side portions 431 and 451, leakage between the top portion 413 and the side portions 431 and 451 is prevented, and particles from the joint portion between the top portion 413 and the side portions 431 and 451 are also prevented. Can be prevented. Furthermore, in order to increase the distribution area of the gas, as shown in FIG. 11, the plate may be processed, and the top 41 and / or the surfaces of the filter members 41 a of the side portions 42 to 45 may be uneven.

上記実施形態では、クリーンオーブン１０は、フィルタとして、金属製のフィルタのみ有しているが、金属製のフィルタとＨＥＰＡフィルタとの両方を有してもよい。図１２は、金属製のフィルタとＨＥＰＡフィルタとの両方が設けられるクリーンオーブンの概略構成図である。   In the said embodiment, although the clean oven 10 has only a metal filter as a filter, you may have both a metal filter and a HEPA filter. FIG. 12 is a schematic configuration diagram of a clean oven provided with both a metal filter and a HEPA filter.

図１２に示されるように、金属製のフィルタ４のガス流れの上流側にＨＥＰＡフィルタとしてフィルタ９が配置される。フィルタ９は、シール部材３を介してクリーンオーブン１０の内部フレーム２４に固定される。クリーンオーブン１０の内部空間において、シール部材３は、フィルタ４の内部フレーム２３への溶接部４ａより内方側に位置するようになっている。内部フレーム２４は、内部フレーム２３のガス流れの上流側に位置しており、内部フレーム２３より内方側に突出している。シール部材３は、例えば、ニトリルゴム、シリコンゴム、フッ素ゴム等のゴム部材でできたＯリングやシート部材（パッキン）である。フィルタ９の発塵によるパーティクルは、フィルタ４によって捕集される。このように、金属製のフィルタ４とＨＥＰＡフィルタのフィルタ９の両方を設ける場合には、ＨＥＰＡフィルタからのパーティクルを捕集できるよう、フィルタ４は、フィルタ９のガス流れの下流側に配置することが好ましい。   As shown in FIG. 12, a filter 9 is arranged as a HEPA filter on the upstream side of the gas flow of the metal filter 4. The filter 9 is fixed to the inner frame 24 of the clean oven 10 via the seal member 3. In the internal space of the clean oven 10, the seal member 3 is positioned on the inner side of the welded portion 4 a to the internal frame 23 of the filter 4. The inner frame 24 is located on the upstream side of the gas flow of the inner frame 23 and protrudes inward from the inner frame 23. The seal member 3 is, for example, an O-ring or a sheet member (packing) made of a rubber member such as nitrile rubber, silicon rubber, or fluorine rubber. Particles generated by the dust generated by the filter 9 are collected by the filter 4. As described above, when both the metal filter 4 and the filter 9 of the HEPA filter are provided, the filter 4 is disposed on the downstream side of the gas flow of the filter 9 so that particles from the HEPA filter can be collected. Is preferred.

特許請求の範囲に記載された本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、各種変形及び変更を行うことも可能である。   Various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the appended claims.

本発明では、コストの増加を抑制しながら、熱処理室内に持ち込まれるパーティクルの量を低減できる、クリーンオーブンに用いられるフィルタを提供できるので、産業上の利用価値が大である。   In the present invention, it is possible to provide a filter used in a clean oven that can reduce the amount of particles brought into the heat treatment chamber while suppressing an increase in cost, and thus has a great industrial utility value.

２ 熱処理室
２１ ガス入口 ２２ ガス出口 ２３ 内部フレーム ２４ 内部フレーム
３ シール部材
４ フィルタ ４ａ 溶接部
４１ 頂部 ４２〜４５ 側部
４１ａ フィルタ部材 ４１ｂ フレーム部材
４１１ 頂部 ４１２ 側部 ４１３ 頂部
４２１ 側部 ４３１ 側部 ４４１ 側部 ４５１ 側部
４２ｃ〜４５ｃ フランジ
４１２ｃ フランジ
５ フィルタ前空間
６ 循環流路
９ フィルタ
１０ クリーンオーブン
Ｗ ワーク 2 Heat treatment room
21 Gas inlet 22 Gas outlet 23 Internal frame 24 Internal frame
3 Seal member
4 Filter 4a Welded part
41 Top 42-45 Side
41a Filter member 41b Frame member
411 Top 412 Side 413 Top
421 side part 431 side part 441 side part 451 side part
42c to 45c flange
412c flange
5 Space before filter
6 Circulation channel
9 Filter
10 Clean oven
W Work

Claims (5)

ガスを循環させてワークの熱処理を行うクリーンオーブンに設けられる金属製のフィルタであって、
熱処理されるワークが配置される熱処理室側に突出する金属製のフィルタ部材を備える頂部と、
前記頂部に連続して形成される金属製のフィルタ部材を備える側部と、を備えていることを特徴とする、フィルタ。
A metal filter provided in a clean oven that heats the workpiece by circulating gas,
A top portion provided with a metal filter member protruding to the heat treatment chamber side where the workpiece to be heat treated is disposed;
And a side part provided with a metal filter member formed continuously on the top part.
前記頂部及び前記側部はそれぞれ、金属製のフレーム部材を備え、プレート形状を有しており、
前記フレーム部材は、前記フィルタ部材の外周に溶接によって取り付けられている、請求項１記載のフィルタ。
Wherein each of the top and the side is provided with a metallic frame made of section material, it has a plate shape,
The filter according to claim 1, wherein the frame member is attached to an outer periphery of the filter member by welding.
前記側部は、前記頂部の外周部全体から連続して形成されている、請求項１又は２に記載のフィルタ。
The filter according to claim 1 or 2, wherein the side portion is formed continuously from the entire outer peripheral portion of the top portion.
前記側部の端部にはフランジが形成されている、請求項１〜３のいずれか１つに記載のフィルタ。
The filter according to any one of claims 1 to 3, wherein a flange is formed at an end of the side portion.
前記頂部は、プレート形状のフィルタ部材がガス流れ方向に折り返しされている折り返し形状を有している、請求項１〜４のいずれか１つに記載のフィルタ。   The said top part is a filter as described in any one of Claims 1-4 which has the return | turnback shape by which the plate-shaped filter member is return | folded by the gas flow direction.
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