JP6287112B2 - Light beam scanning device, scanning method for light beam scanning device, scanning program for light beam scanning device, recording medium storing scanning program for light beam scanning device, and image forming apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、光源としてレーザ光源やLEDアレイ等を有する光ビーム走査装置、光ビーム走査装置の走査方法、光ビーム走査装置の走査プログラム、光ビーム走査装置の走査プログラムを格納した記録媒体および画像形成装置に関する。   The present invention relates to a light beam scanning device having a laser light source or an LED array as a light source, a scanning method of the light beam scanning device, a scanning program of the light beam scanning device, a recording medium storing the scanning program of the light beam scanning device, and image formation Relates to the device.

一般に、光ビーム走査装置は、画像信号から生成された露光走査データに基づいて変調された露光走査ビーム(光ビーム)を出射する光源と、その光源からの露光走査ビームを偏向する偏向部と、を備えている。そして、上記光ビーム走査装置では、露光走査ビームを光学系を介して露光対象物に露光走査することにより、露光対象物に書き込みを行うようになっている。   In general, a light beam scanning device includes a light source that emits an exposure scanning beam (light beam) that is modulated based on exposure scanning data generated from an image signal, a deflection unit that deflects the exposure scanning beam from the light source, and It has. In the light beam scanning device, the exposure scanning beam is exposed and scanned to the exposure target through the optical system, thereby writing on the exposure target.

このような光ビーム走査装置において、近年では、光源としてアレイ状のレーザ光源やLED光源等が使用されており、この場合、露光走査ビームが複数になるので、これら複数の露光走査ビームで露光対象物に対して同時に露光を行うことが必要となる。この場合、露光走査ビームが複数になると、隣り合う露光走査ビームの縁部が互いに重なり合うことがある部分(ビーム重複可能区間という)における露光データに位置ずれが生じる。   In such a light beam scanning apparatus, in recent years, an arrayed laser light source, an LED light source, or the like is used as a light source. In this case, a plurality of exposure scanning beams are used. It is necessary to expose the object simultaneously. In this case, when there are a plurality of exposure scanning beams, positional deviation occurs in exposure data in a portion where the edges of adjacent exposure scanning beams may overlap each other (referred to as a beam overlap possible section).

これに対して、従来の光ビーム走査装置では、画素を形成する複数ビームのピッチずれ、光量差、相反則不軌に対する補正データを予めメモリに格納するようにしている。そして、光源ユニットへの出力時に、メモリから補正データを読み出して重畳することで、露光データの位置ずれを補正している(特許文献1参照)。   On the other hand, in the conventional light beam scanning device, correction data for pitch deviation, light quantity difference, and reciprocity failure of a plurality of beams forming a pixel is stored in advance in a memory. Then, when outputting to the light source unit, the correction data is read from the memory and superimposed, thereby correcting the positional deviation of the exposure data (see Patent Document 1).

また、複数ビームが各々の走査開始時間の差と副走査位置の差に基づいて、光源を選択することで露光データの位置ずれを補正することが提案されている(特許文献2参照)。   Further, it has been proposed that a plurality of beams correct exposure data misalignment by selecting a light source based on a difference in scanning start time and a difference in sub-scanning position (see Patent Document 2).

さらに、ビーム重複可能区間において、隣り合う走査ビームのビームスポットを交互に配置し、隣り合うビームが重複する領域については各ビーム強度が異なるように設定することで、露光データの位置ずれを補正することも提案されている(特許文献3参照)。   Further, in the beam overlap possible section, the beam spot of the adjacent scanning beam is alternately arranged, and the position deviation of the exposure data is corrected by setting each beam intensity to be different in the region where the adjacent beam overlaps. This has also been proposed (see Patent Document 3).

しかしながら、上記従来の技術では、隣り合う露光走査ビームの縁部が互いに重なり合うことがあるビーム重複可能区間での、各露光走査ビームの接続位置(区切り)が固定となっている。ビーム重複可能区間内には複数の画素が存在しているが、ビーム重複可能区間での接続位置が固定となっていると、接続位置にて走査データが変化するような場合、露光データに位置ずれが生じる。露光データに位置ずれが生じると、本来は接していない露光データがショートしてしまう可能性がある。   However, in the conventional technique described above, the connection position (separation) of the exposure scanning beams is fixed in the beam overlap possible section where the edges of the adjacent exposure scanning beams may overlap each other. If there are multiple pixels in the beam overlap possible section, but the connection position in the beam overlap possible section is fixed, the scan data changes at the connection position. Deviation occurs. If the exposure data is misaligned, there is a possibility that the exposure data that is not in contact with the exposure data will be short-circuited.

このような問題に対応するために、ビーム重複可能区間での接続位置を移動可能とすることが考えられるが、接続位置が中間階調を持った画素の場合、露光走査ビームの走査位置誤差に加えてその露光特性により、接続位置の露光量が、実際に書き込みたい階調データより大きくなったり、または小さくなったりし、本来の階調値から変わってしまうという問題があった。   In order to deal with such a problem, it may be possible to move the connection position in the beam overlap possible section. However, in the case where the connection position is a pixel having an intermediate gray level, the exposure position of the exposure scanning beam may be reduced. In addition, due to the exposure characteristics, there has been a problem that the exposure amount at the connection position becomes larger or smaller than the gradation data to be actually written and changes from the original gradation value.

本発明はかかる問題を解決することを目的としている。   The present invention aims to solve such problems.

すなわち、本発明は、正しい階調値に基づく露光をすることができる光ビーム走査装置を提供することを目的としている。   That is, an object of the present invention is to provide a light beam scanning apparatus capable of performing exposure based on correct gradation values.

上記に記載された課題を解決するために請求項1に記載された発明は、複数の階調値を持つ露光走査データに基づいて変調された光ビームを出射する発光部と、該発光部からの光ビームを偏向する偏向部と、を有し、前記偏向部で偏向された前記光ビームを露光対象物に露光走査することにより、該露光対象物に書き込みを行う光ビーム走査装置において、前記発光部が前記走査を行う方向に沿って複数設けられ、隣り合う前記発光部から出射された前記光ビームの接続位置を、その隣り合う前記光ビームを重複させることが可能なビーム重複可能区間における前記露光走査データに基づいて決定する接続位置決定部と、
前記接続位置決定部が決定した前記接続位置の周囲の前記露光走査データの階調値を補正する補正部と、を備え、前記複数の階調値は、前記露光対象物に露光を行なわない階調値を含む3階調以上の値であり、前記接続位置決定部は、前記ビーム重複可能区間における前記露光走査データが露光しない階調値である位置には接続位置を決定せず、露光する階調値である位置に接続位置を決定し、前記補正部は、隣り合う前記光ビームの走査方向で前段の前記接続位置の端部に位置する前記露光走査データと後段の前記接続位置の端部に位置する前記露光走査データに基づいて、前記前段と前記後段のうちの少なくともいずれか一方の端部に位置する前記露光走査データの前記階調値を補正する、ことを特徴とする光ビーム走査装置である。
In order to solve the above-described problem, the invention described in claim 1 includes a light emitting unit that emits a light beam modulated based on exposure scanning data having a plurality of gradation values, and a light emitting unit that emits the light beam. A light beam scanning device that performs writing on the exposure object by exposing and scanning the light beam deflected by the deflection unit. A plurality of light emitting units are provided along the scanning direction, and the connection positions of the light beams emitted from the adjacent light emitting units are in a beam overlap possible section where the adjacent light beams can overlap each other. A connection position determining unit for determining based on the exposure scanning data;
A correction unit that corrects gradation values of the exposure scanning data around the connection position determined by the connection position determination unit, and the plurality of gradation values are levels on which the exposure target is not exposed. The connection position determination unit performs exposure without determining a connection position at a position where the exposure scanning data in the beam overlap possible section is a gradation value that is not exposed in the beam overlap possible section. A connection position is determined at a position that is a gradation value, and the correction unit is configured to detect the exposure scan data positioned at the end of the connection position in the preceding stage and the end of the connection position in the subsequent stage in the scanning direction of the adjacent light beams. A light beam that corrects the gradation value of the exposure scanning data located at an end of at least one of the preceding stage and the succeeding stage based on the exposure scanning data located in a section. It is a scanning device.

請求項1に記載の発明によれば、接続位置の周囲の露光走査データの階調値の補正を行うので、正しい階調値に基づく露光をすることができる。   According to the first aspect of the present invention, since the gradation value of the exposure scanning data around the connection position is corrected, exposure based on the correct gradation value can be performed.

本発明の一実施形態にかかる光ビーム走査装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the light beam scanning apparatus concerning one Embodiment of this invention. 図1に示された光ビーム走査装置の重複可能区間における隣り合う露光走査ビーム間の接続関係の説明図である。It is explanatory drawing of the connection relation between the adjacent exposure scanning beams in the duplication possible area | region of the light beam scanning apparatus shown by FIG. 図2に示された接続位置から移動した接続位置の説明図である。It is explanatory drawing of the connection position which moved from the connection position shown by FIG. 図3から階調値を補正した状態の説明図である。It is explanatory drawing of the state which correct | amended the gradation value from FIG. 図4の他の補正状態の説明図である。It is explanatory drawing of the other correction | amendment state of FIG. 本発明の一実施形態にかかる光ビーム走査方法のフローチャートである。3 is a flowchart of a light beam scanning method according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態にかかるプリント基板露光装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the printed circuit board exposure apparatus concerning one Embodiment of this invention.

以下、本発明の一実施形態を、図1乃至図7を参照して説明する。図1は、本発明の一実施形態にかかる光ビーム走査装置の概略構成図である。図2は、図1に示された光ビーム走査装置の重複区間における隣り合う露光走査ビーム間の接続関係の説明図である。図3は、図2に示された接続位置から移動した接続位置の説明図である。図4は、図3から階調値を補正した状態の説明図である。図5は、図4の他の補正状態の説明図である。図6は、本発明の一実施形態にかかる光ビーム走査方法のフローチャートである。図7は、本発明の一実施形態にかかるプリント基板露光装置の概略構成図である。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a light beam scanning apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an explanatory diagram of the connection relationship between adjacent exposure scanning beams in the overlapping section of the light beam scanning apparatus shown in FIG. FIG. 3 is an explanatory diagram of a connection position moved from the connection position shown in FIG. FIG. 4 is an explanatory diagram of a state in which the gradation value is corrected from FIG. FIG. 5 is an explanatory diagram of another correction state of FIG. FIG. 6 is a flowchart of a light beam scanning method according to an embodiment of the present invention. FIG. 7 is a schematic block diagram of a printed circuit board exposure apparatus according to an embodiment of the present invention.

図1は、本実施例による光ビーム走査装置の概略構成を示している。この光ビーム走査装置10は、例えばプリント基板の配線を形成するプリント基板露光装置に設けられる。光ビーム走査装置10は、複数設けられた光源(発光部)111〜11Nと、光源111〜11Nにそれぞれ対応して同数設けられたfθレンズ(偏向部)121〜12Nと、光源111〜11Nを制御する制御部15と、を備えている。 FIG. 1 shows a schematic configuration of a light beam scanning apparatus according to this embodiment. The light beam scanning device 10 is provided, for example, in a printed board exposure apparatus that forms wiring of a printed board. The light beam scanning device 10 includes a plurality of light sources (light emitting units) 11 1 to 11 N, and the same number of fθ lenses (deflecting units) 12 1 to 12 N provided corresponding to the light sources 11 1 to 11 N , respectively. And a control unit 15 that controls the light sources 11 1 to 11 N.

光源111〜11Nは、制御部15によって、形成する配線等の画像信号に基づいて所定の階調値に変調された露光走査ビーム(光ビーム)を出射し、fθレンズ121〜12Nは光源111〜11Nからの露光走査ビームをそれぞれ偏向する。fθレンズ121〜12Nで偏向された複数の露光走査ビームは、図示していない光学系を介して等速度走査光となって露光対象物13(例えばレジスト等の感光体が形成されたプリント基板)に照射される。これにより、露光対象物13に配線パターン等の画像が書き込まれる。なお、複数設けられた光源111〜11Nとしては、例えばレーザ光源やLEDアレイ等を用いることができる。 The light sources 11 1 to 11 N emit an exposure scanning beam (light beam) modulated to a predetermined gradation value by the control unit 15 based on an image signal of a wiring or the like to be formed, and fθ lenses 12 1 to 12 N. Deflects exposure scanning beams from the light sources 11 1 to 11 N , respectively. The plurality of exposure scanning beams deflected by the fθ lenses 12 1 to 12 N become constant speed scanning light via an optical system (not shown), and the exposure object 13 (for example, a print on which a photosensitive member such as a resist is formed). Substrate). Thereby, an image such as a wiring pattern is written on the exposure target 13. For example, a laser light source or an LED array can be used as the plurality of light sources 11 1 to 11 N provided.

fθレンズ121〜12Nは、露光走査ビーム1〜Nのうち、隣り合う露光走査ビームの縁部が互いに重複する(重なり合う)ことができるように配置されている。例えば、露光走査ビーム1はその右側縁部が露光走査ビーム2の左側縁部に重複し、露光走査ビーム2はその右側縁部が露光走査ビーム3の左側縁部に重複している。図には示してないが、露光走査ビーム(N−1)の右側縁部は露光走査ビームNの左側縁部に重複している。 The fθ lenses 12 1 to 12 N are arranged so that the edges of the adjacent exposure scanning beams among the exposure scanning beams 1 to N can overlap (overlap) each other. For example, the right side edge of the exposure scanning beam 1 overlaps the left side edge of the exposure scanning beam 2, and the right side edge of the exposure scanning beam 2 overlaps the left side edge of the exposure scanning beam 3. Although not shown in the drawing, the right edge of the exposure scanning beam (N-1) overlaps the left edge of the exposure scanning beam N.

各露光走査ビーム1〜Nのうち、隣り合う露光走査ビームが重複する可能性がある区間をビーム重複可能区間という。これは、どちらか片方が走査しても、重複走査しても良い区間を示している。つまり、ビーム重複可能区間内であればどこを隣り合う露光走査ビームの区切り(接続位置)としてもよい。例えば、図1において、ビーム重複可能区間B12は、露光走査ビーム1の右側縁部と露光走査ビーム2の左側縁部が重複する可能性がある区間であり、ビーム重複可能区間B23は、露光走査ビーム2の右側縁部と露光走査ビーム3の左側縁部が重複する可能性がある区間である。各重複可能区間の長さ(走査方向に沿った長さ)は一定に設定されており、例えば、ビーム重複可能区間B12の長さとビーム重複可能区間B23の長さは同じになっている。 Among the exposure scanning beams 1 to N, a section where adjacent exposure scanning beams may overlap is referred to as a beam overlapping section. This indicates a section in which either one of them may be scanned or overlapping scanning may be performed. That is, as long as it is within the beam overlapable section, any adjacent exposure scanning beam may be separated (connected position). For example, in FIG. 1, the beam can overlap zone B 12 is a section where the left edge of the right edge and the exposure scanning beam 2 of the exposure scanning beam 1 may be duplicated, beam overlap can section B 23 is This is a section where the right edge of the exposure scanning beam 2 and the left edge of the exposure scanning beam 3 may overlap. The length of each overlapping section (length along the scanning direction) is set to be constant. For example, the length of the beam overlapping section B 12 and the length of the beam overlapping section B 23 are the same. .

以下、各ビーム重複可能区間における隣り合う露光走査ビーム間の接続関係で制御部15が行う処理について、図2〜図6を用いて説明する。即ち、制御部15は、接続位置決定部、補正部として機能する。なお、以下の説明では露光走査データは各画素について、0,1,2,3の4階調の画素値を持つものとし、0が最低階調値であり露光無しの状態で、3が最高階調値で、1,2が中間階調値とする。また露光対象物13は、一例としてプリント基板131とし、プリント基板131の配線間隔として、最低5画素以上が必要であるものとする。   Hereinafter, processing performed by the control unit 15 based on the connection relationship between adjacent exposure scanning beams in each beam overlapable section will be described with reference to FIGS. That is, the control unit 15 functions as a connection position determination unit and a correction unit. In the following description, it is assumed that the exposure scanning data has pixel values of four gradations of 0, 1, 2, and 3 for each pixel, with 0 being the lowest gradation value and no exposure, and 3 being the highest. The gradation values 1 and 2 are intermediate gradation values. The exposure target 13 is a printed circuit board 131 as an example, and the wiring interval of the printed circuit board 131 requires at least 5 pixels or more.

図2は、ビーム重複可能区間における走査方向に沿って前段(N)と後段(N+1)の露光走査ビームの階調値の例を示している。図2は、ビーム重複可能区間の中央近傍が階調値0、即ち配線がない状態(露光しない状態)で、それを挟むように両側に配線がある場合を示す。さらに配線間隔は規定最低値の5画素、即ち中央近傍の0の数が5個である。   FIG. 2 shows an example of the gradation values of the exposure scanning beam at the preceding stage (N) and the succeeding stage (N + 1) along the scanning direction in the beam overlap possible section. FIG. 2 shows a case where the vicinity of the center of the beam overlap possible section is a gradation value 0, that is, there is no wiring (not exposed), and there are wirings on both sides so as to sandwich it. Further, the wiring interval is 5 pixels of the prescribed minimum value, that is, the number of 0s near the center is 5.

プリント基板131の場合、斜め方向の配線や、データのアライメント処理により回転や拡大、縮小を行った場合などは、配線のスペースを挟む配線データの階調値が中間調(中間階調)になる場合がある。   In the case of the printed circuit board 131, the gradation value of the wiring data sandwiching the wiring space becomes halftone (intermediate gradation) when the wiring is obliquely rotated or rotated, enlarged, or reduced by data alignment processing. There is a case.

図2の場合、ビーム重複可能区間において露光走査ビームNとN+1で階調値が0の区間を2つの露光走査ビームの接続位置とすると、露光走査ビームNの露光終端位置(階調値1の画素の端部)で露光走査ビームの走査位置ずれや、露光の特性により、露光量がやや大きくなったり、露光しない部分(階調値0)にはみ出したような露光が行われ、配線のスペース幅が小さくなり、最低スペース幅の規定を満たさなくなる場合がある。   In the case of FIG. 2, if the exposure scanning beams N and N + 1 and the gradation value 0 is the connection position of the two exposure scanning beams in the beam overlapable interval, the exposure end position (the gradation value 1) of the exposure scanning beam N is assumed. Due to the scanning position shift of the exposure scanning beam at the edge of the pixel and the exposure characteristics, the exposure amount is slightly increased, or exposure that protrudes to the non-exposed portion (gradation value 0) is performed, and the wiring space The width may be reduced and the minimum space width may not be met.

そこで、以下に説明するように、ビーム重複可能区間において、2つの露光走査ビームの接続位置を決定した上で階調値の補正を行う。まず、図3に示すように、階調値が1以上の値を持つ画素が連続する範囲に接続位置を決定する。なお、図3において、「−」は、露光走査しないことを示す。   Therefore, as described below, the gradation value is corrected after determining the connection position of the two exposure scanning beams in the beam overlap possible section. First, as shown in FIG. 3, the connection position is determined in a range in which pixels having gradation values of 1 or more continue. In FIG. 3, “-” indicates that exposure scanning is not performed.

図3の場合は、ビーム重複可能区間における露光走査データの階調値に基づいて、階調値が最大階調値である位置を接続位置としている。但し、このままでは、やはり露光走査ビームNの右側縁部の画素の露光の位置ずれや、走査終端位置での露光特性により、露光量がやや大きくなったり、やや右方向にはみ出したような露光が行なわれてしまう場合がある。そのために、露光走査ビームN+1の左側縁部の1画素の階調値1と二重露光され、結果的にその階調値が1より大きくなり、正しい中間調露光ができなくなってしまうことがある。そこで、図4に示すように、露光走査ビームNの右端の画素の階調値3を2に減らすことにより、正しい中間調露光を行うようにする。   In the case of FIG. 3, the position where the gradation value is the maximum gradation value is set as the connection position based on the gradation value of the exposure scanning data in the beam overlap possible section. However, the exposure amount may be slightly increased or slightly protruded to the right depending on the exposure position shift of the pixel at the right edge of the exposure scanning beam N and the exposure characteristics at the scanning end position. May be done. Therefore, double exposure is performed with the gradation value 1 of one pixel at the left edge of the exposure scanning beam N + 1. As a result, the gradation value becomes larger than 1 and correct halftone exposure may not be performed. . Therefore, as shown in FIG. 4, the gradation value 3 of the pixel at the right end of the exposure scanning beam N is reduced to 2 so that correct halftone exposure is performed.

つまり、露光走査ビームNの右側縁部の画素値の階調値3を2に減らすことにより、露光のはみ出し等が少なくなり、露光走査ビームN+1の左側縁部を本来の階調値1で露光することができる。即ち、前段(N)の端部に位置する露光走査ビームの露光走査データと後段(N+1)の端部に位置する露光走査ビームの露光走査データに基づいて、接続位置における前段と後段のうちの少なくともいずれか一方の端部に位置する露光走査データの階調値を補正している。   In other words, by reducing the gradation value 3 of the pixel value at the right edge of the exposure scanning beam N to 2, the amount of protrusion of exposure is reduced, and the left edge of the exposure scanning beam N + 1 is exposed at the original gradation value 1. can do. That is, based on the exposure scanning data of the exposure scanning beam located at the end of the preceding stage (N) and the exposure scanning data of the exposure scanning beam located at the end of the succeeding stage (N + 1), of the preceding stage and the succeeding stage at the connection position. The gradation value of the exposure scanning data located at at least one of the ends is corrected.

また、露光走査ビームの走査開始位置、走査終了位置時の露光の特性によっては、図5に示すように、露光走査ビームN+1側の階調値を変更してもよい。図5の場合は、露光走査ビームN側の走査終端位置(右側縁部)の露光が、やや右側にはみ出すため、露光走査ビームN+1の左端縁部の階調値1の露光を行わないようにした場合の例である。即ち、階調値は、接続位置の周囲であれば、隣接する露光走査ビームの縁部を比較して大きい階調値側の露光走査ビームの階調値を補正してもよいし、小さい階調値側の露光走査ビームを補正してもよい。但し、図5のように小さい方の階調値を小さくするように補正する場合は、階調値が最小(0)でない場合に限る。   Further, depending on the exposure characteristics at the scanning start position and scanning end position of the exposure scanning beam, the gradation value on the exposure scanning beam N + 1 side may be changed as shown in FIG. In the case of FIG. 5, since the exposure at the scanning end position (right edge) on the exposure scanning beam N side protrudes slightly to the right, exposure of the gradation value 1 at the left edge of the exposure scanning beam N + 1 is not performed. This is an example. That is, as long as the gradation value is around the connection position, the gradation value of the exposure scanning beam on the large gradation value side may be corrected by comparing the edges of adjacent exposure scanning beams, or the gradation level may be reduced. The exposure scanning beam on the tone value side may be corrected. However, the correction to reduce the smaller gradation value as shown in FIG. 5 is limited to the case where the gradation value is not the minimum (0).

また、図4や図5では、階調値を小さくするように補正する例を示したが、それに限らず、例えば、接続位置の一方の露光走査ビームの階調値を大きくして、他方の露光走査ビームの階調値を小さくするように補正してもよい。   4 and 5 show an example in which the gradation value is corrected to be small. However, the present invention is not limited to this. For example, the gradation value of one exposure scanning beam at the connection position is increased and the other gradation value is corrected. You may correct | amend so that the gradation value of an exposure scanning beam may be made small.

上述した制御部15の動作を図6のフローチャートにまとめる。図6のステップS1で隣接する露光走査ビームのビーム重可能複区間を抽出する。次に、ステップS2で接続位置を例えば1以上の階調値が連続している範囲の縁部に決定する(接続位置決定工程)。そして、ステップS3でその接続位置のうち、階調値が大きい方の露光走査ビームの階調値を小さくするように補正する(補正工程)。   The operation of the control unit 15 described above is summarized in the flowchart of FIG. In step S1 in FIG. 6, a beam overlapping possible section of adjacent exposure scanning beams is extracted. Next, in step S2, the connection position is determined to be, for example, an edge in a range where one or more gradation values are continuous (connection position determination step). In step S3, correction is performed so that the gradation value of the exposure scanning beam having the larger gradation value among the connection positions is reduced (correction step).

なお、本実施形態の場合、最高階調値に露光走査ビームの接続位置を決定したが、それに限らない。隣接する露光走査ビームが重複して露光する(階調値1以上)範囲であればよい。この最高階調値を接続位置とすることとは、図3乃至図5に示したように、最高階調値の画素が前段の露光走査データの終端または後段の露光走査データの先端となることを意味している。   In the present embodiment, the connection position of the exposure scanning beam is determined as the highest gradation value, but the present invention is not limited to this. It may be in a range where adjacent exposure scanning beams are exposed in an overlapping manner (tone value of 1 or more). Setting the highest gradation value as the connection position means that the pixel of the highest gradation value is the end of the preceding exposure scanning data or the leading edge of the subsequent exposure scanning data, as shown in FIGS. Means.

また、補正する画素は1画素に限らず露光の特性等に合わせて連続する2画素以上としてもよい。即ち、露光走査ビームの縁部あるいは接続位置の周囲とは1画素に限らない。さらには、接続位置を予めビーム重複可能区間の中央に設定し、その後ビーム重複可能区間の階調値に基づいて移動させるようにしてもよい。   Further, the pixel to be corrected is not limited to one pixel, and may be two or more pixels that are continuous in accordance with the characteristics of exposure. That is, the edge of the exposure scanning beam or the periphery of the connection position is not limited to one pixel. Furthermore, the connection position may be set in advance in the center of the beam overlap-possible section and then moved based on the gradation value of the beam overlap-possible section.

次に、上述した構成の光ビーム走査装置10を有する画像形成装置としてのプリント基板露光装置1の構成を図7を参照して説明する。図7に示したように、プリント基板露光装置1は、ベース2と、露出部3と、を備えている。   Next, the configuration of the printed circuit board exposure apparatus 1 as an image forming apparatus having the light beam scanning apparatus 10 having the above-described configuration will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 7, the printed circuit board exposure apparatus 1 includes a base 2 and an exposed portion 3.

ベース2は、プリント基板131が載置され、矢印Aの方向に当該プリント基板131を搬送する。ベース2は、前記したようにプリント基板131を搬送するために、図示しない搬送手段(移動手段)を有している。搬送手段としては、例えば、一対のローラと当該ローラ間に架け渡された無端ベルト等と、一対のローラのうちいずれか一方を駆動するモータ等の駆動手段により構成し、無端ベルトの移動により搬送すればよい。   A printed circuit board 131 is placed on the base 2, and the printed circuit board 131 is conveyed in the direction of arrow A. The base 2 has a conveying means (moving means) (not shown) for conveying the printed circuit board 131 as described above. For example, the conveying means includes a pair of rollers, an endless belt spanned between the rollers, and a driving means such as a motor that drives one of the pair of rollers, and is conveyed by the movement of the endless belt. do it.

露光部3は、本体部3aと、支柱部3bと、支持部3cと、光ビーム走査装置10と、を備えている。本体部3aは、略直方体状に形成されて、ベース2の長手方向の側面に配置されており、図1に示した制御部15やプリント基板131上に形成する配線の画像情報(露光走査データ)等が格納された図示しない記憶装置や電源等が収容されている。   The exposure unit 3 includes a main body unit 3a, a support column unit 3b, a support unit 3c, and a light beam scanning device 10. The main body 3a is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape and is disposed on the side surface in the longitudinal direction of the base 2, and image information (exposure scanning data) of wiring formed on the control unit 15 and the printed board 131 shown in FIG. ) Etc. are stored in a storage device (not shown), a power source and the like.

支柱部3bは、略直方体の柱状に形成されて、ベース2の長手方向の本体部3aと対向する側面に配置されている。支持部3cは、本体部3aと支柱部3bの上端を接続するように設けられ、光ビーム走査装置10(光源111〜11Nと、fθレンズ121〜12N等)がベース2と対向するように取り付けられている。即ち、支持部3cは、ベース2に載置されたプリント基板131と所定間隔を開けて平行に設けられている。 The column portion 3 b is formed in a substantially rectangular parallelepiped column shape, and is disposed on the side surface of the base 2 facing the main body portion 3 a in the longitudinal direction. The support 3c is provided so as to connect the upper end of the main body 3a and the column 3b, and the light beam scanning device 10 (light sources 11 1 to 11 N , fθ lenses 12 1 to 12 N, etc.) faces the base 2. It is attached to do. That is, the support portion 3 c is provided in parallel with the printed circuit board 131 placed on the base 2 with a predetermined interval.

図7に示したプリント基板露光装置1は、前記した記憶装置から配線の画像情報を制御部15が読み出す(即ち、制御部15がデータ入力部として機能する)。次に、ベース2に載置されたプリント基板131が矢印Aの方向に搬送される。そして、搬送されたプリント基板131が支持部3cの下(光ビーム走査装置10の下)に到達すると、制御部15が、画像情報に基づいて変調した露光走査ビームを光ビーム走査装置10から矢印Bの方向に走査されるように出射させ、プリント基板131上に形成する配線部分の露光を行う。   In the printed circuit board exposure apparatus 1 shown in FIG. 7, the control unit 15 reads the image information of the wiring from the storage device (that is, the control unit 15 functions as a data input unit). Next, the printed circuit board 131 placed on the base 2 is conveyed in the direction of arrow A. When the transported printed circuit board 131 reaches under the support unit 3c (under the light beam scanning device 10), the control unit 15 sends an exposure scanning beam modulated based on the image information from the light beam scanning device 10 to the arrow. The light is emitted so as to be scanned in the direction B, and the wiring portion formed on the printed board 131 is exposed.

本実施形態によれば、制御部15が、露光走査ビームがその走査方向に沿って複数存在している場合、隣り合う露光走査ビームの接続位置を、隣り合う露光走査ビームの縁部が重複するビーム重複可能区間における露光走査データに基づいて決定し、決定した接続位置の前段側の露光走査ビームまたは後段側の露光走査ビームのいずれか一方の階調値を補正している。このようにすることにより、規定される配線間スペースを満足し、また正しい中間調の露光を行うことができるようになる。また、接続位置を固定させないで位置ずれ等による露光データのショートを低減することができる。   According to the present embodiment, when there are a plurality of exposure scanning beams along the scanning direction, the control unit 15 overlaps the connection positions of the adjacent exposure scanning beams with the edges of the adjacent exposure scanning beams. It is determined based on the exposure scanning data in the beam overlap possible section, and the gradation value of either the preceding exposure scanning beam or the subsequent exposure scanning beam at the determined connection position is corrected. By doing so, it is possible to satisfy the prescribed inter-wiring space and to perform correct halftone exposure. Further, it is possible to reduce exposure data short-circuit due to misalignment or the like without fixing the connection position.

また、接続位置を最大階調値の位置に決定して階調値を補正したので、露光のはみ出し等による二重露光の影響を少なくして、正しい中間調露光を行うことができる。   In addition, since the connection position is determined as the position of the maximum gradation value and the gradation value is corrected, the influence of double exposure due to the protrusion of exposure or the like can be reduced, and correct halftone exposure can be performed.

プリント基板露光装置1に、光ビーム走査装置10が設けられているので、プリント基板131上に形成する配線パターンを露光する際に、定められた配線間隔を順守し、かつ、正しい中間調の露光を行うことができる。   Since the light beam scanning device 10 is provided in the printed circuit board exposure apparatus 1, when exposing a wiring pattern formed on the printed circuit board 131, the prescribed wiring interval is observed and correct halftone exposure is performed. It can be performed.

また、図6に示したフローチャートの動作をコンピュータで実行するコンピュータプログラム(走査プログラム)として構成してもよい。このようにすることにより、CPUとメモリ等を有するコンピュータで機能を実現できるので機能の移植や拡張が容易となる。また、このコンピュータプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に格納することで当該プログラムを機器に組み込む以外に単体でも流通させることができ、バージョンアップ等も容易に行える。   Further, the operation of the flowchart shown in FIG. 6 may be configured as a computer program (scanning program) that is executed by a computer. In this way, the function can be realized by a computer having a CPU and a memory, so that the porting and expansion of the function is facilitated. Further, by storing this computer program in a computer-readable recording medium, it is possible to distribute the program alone as well as to incorporate it into a device, and it is possible to easily upgrade the version.

また、上述した実施形態では、画像形成装置としてプリント基板露光装置で説明したが、それに限らず、プリンタやコピー機などであってもよい。この場合、露光走査によって書き込まれる露光対象物は、光ビーム走査装置10に対して相対的に位置が移動する例えば感光体ドラムなどが相当する。   In the above-described embodiments, the printed board exposure apparatus has been described as the image forming apparatus. However, the present invention is not limited thereto, and may be a printer, a copier, or the like. In this case, an exposure object written by exposure scanning corresponds to, for example, a photosensitive drum whose position moves relative to the light beam scanning device 10.

また、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、当業者は、従来公知の知見に従い、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。かかる変形によってもなお本発明の光ビーム走査装置や画像形成装置の構成を具備する限り、勿論、本発明の範疇に含まれるものである。   The present invention is not limited to the above embodiment. That is, those skilled in the art can implement various modifications in accordance with conventionally known knowledge without departing from the scope of the present invention. Of course, such modifications are included in the scope of the present invention as long as the configuration of the light beam scanning apparatus and the image forming apparatus of the present invention is provided.

1 プリント基板露光装置(画像形成装置)
2 ベース(移動手段)
10 光ビーム走査装置
111〜11N 光源(発光部)
121〜12N fθレンズ(偏向部)
131 プリント基板(露光対象物)
15 制御部(接続位置決定部、補正部、画像取得部)
1 Printed circuit board exposure device (image forming device)
2 Base (moving means)
10 Light Beam Scanning Device 11 1 to 11 N Light Source (Light Emitting Unit)
12 1 to 12 N fθ lens (deflection unit)
131 Printed circuit board (exposure target)
15 Control unit (connection position determination unit, correction unit, image acquisition unit)

特開2011−143565号公報JP 2011-143565 A 特許第4118013号公報Japanese Patent No. 4118013 特許第4955267号公報Japanese Patent No. 4955267

Claims (6)

複数の階調値を持つ露光走査データに基づいて変調された光ビームを出射する発光部と、該発光部からの光ビームを偏向する偏向部と、を有し、前記偏向部で偏向された前記光ビームを露光対象物に露光走査することにより、該露光対象物に書き込みを行う光ビーム走査装置において、
前記発光部が前記走査を行う方向に沿って複数設けられ、
隣り合う前記発光部から出射された前記光ビームの接続位置を、その隣り合う前記光ビームを重複させることが可能なビーム重複可能区間における前記露光走査データに基づいて決定する接続位置決定部と、
前記接続位置決定部が決定した前記接続位置の周囲の前記露光走査データの階調値を補正する補正部と、
を備え
前記複数の階調値は、前記露光対象物に露光を行なわない階調値を含む3階調以上の値であり、
前記接続位置決定部は、前記ビーム重複可能区間における前記露光走査データが露光しない階調値である位置には接続位置を決定せず、露光する階調値である位置に接続位置を決定し、
前記補正部は、隣り合う前記光ビームの走査方向で前段の前記接続位置の端部に位置する前記露光走査データと後段の前記接続位置の端部に位置する前記露光走査データに基づいて、前記前段と前記後段のうちの少なくともいずれか一方の端部に位置する前記露光走査データの前記階調値を補正する、
ことを特徴とする光ビーム走査装置。
A light emitting unit that emits a light beam modulated based on exposure scanning data having a plurality of gradation values; and a deflecting unit that deflects the light beam from the light emitting unit, and is deflected by the deflecting unit. In the light beam scanning apparatus for performing writing on the exposure object by exposing and scanning the light beam to the exposure object,
A plurality of the light emitting units are provided along the direction in which the scanning is performed,
A connection position determining unit that determines a connection position of the light beams emitted from the adjacent light emitting units based on the exposure scanning data in a beam overlap possible section in which the adjacent light beams can be overlapped;
A correction unit that corrects a gradation value of the exposure scanning data around the connection position determined by the connection position determination unit;
Equipped with a,
The plurality of gradation values are values of three or more gradations including a gradation value that does not expose the exposure object,
The connection position determination unit determines a connection position at a position that is a gradation value to be exposed without determining a connection position at a position that is a gradation value at which the exposure scanning data in the beam overlap possible section is not exposed,
The correction unit is based on the exposure scanning data positioned at the end of the connection position in the preceding stage and the exposure scanning data positioned at the end of the connection position in the subsequent stage in the scanning direction of the adjacent light beams. Correcting the gradation value of the exposure scan data located at the end of at least one of the preceding stage and the following stage,
A light beam scanning device characterized by the above.
前記接続位置決定部が、前記ビーム重複可能区間における階調値が最大階調値である位置を前記接続位置と決定することを特徴とする請求項1に記載の光ビーム走査装置。 The light beam scanning apparatus according to claim 1, wherein the connection position determination unit determines a position where a gradation value in the beam overlapable section is a maximum gradation value as the connection position. 露光走査データが入力されるデータ入力部と、前記データ入力部から入力された前記露光走査データに基づいて露光対象物に書き込みを行う光ビーム走査装置と、前記露光対象物を前記光ビーム走査装置に対して移動させる移動手段と、を有する画像形成装置において、
前記光ビーム走査装置として請求項1または2に記載の光ビーム走査装置を有することを特徴とする画像形成装置。
A data input unit to which exposure scanning data is input, a light beam scanning device for writing to an exposure object based on the exposure scanning data input from the data input unit, and the exposure object to the light beam scanning device An image forming apparatus having moving means for moving
An image forming apparatus wherein a light beam scanning apparatus according to claim 1 or 2, as the light beam scanning apparatus.
複数の階調値を持つ露光走査データに基づいて変調された光ビームを出射する発光部と、該発光部からの光ビームを偏向する偏向部と、を有し、前記偏向部で偏向された前記光ビームを露光対象物に露光走査することにより、該露光対象物に書き込みを行う光ビーム走査装置の走査方法において、
前記発光部が前記走査を行う方向に沿って複数設けられて前記光ビームが前記走査方向に沿って複数存在している場合に、その隣り合う前記光ビームの接続位置を、隣り合う前記光ビームを重複させることが可能なビーム重複可能区間における露光走査データに基づいて決定する接続位置決定工程と、
前記接続位置決定工程で決定した前記接続位置の周囲の前記露光走査データの階調値を補正する補正工程と、
を含み、
前記複数の階調値は、前記露光対象物に露光を行なわない階調値を含む3階調以上の値であり、
前記接続位置決定工程は、前記ビーム重複可能区間における前記露光走査データが露光しない階調値である位置には接続位置を決定せず、露光する階調値である位置に接続位置を決定し、
前記補正工程は、隣り合う前記光ビームの走査方向で前段の前記接続位置の端部に位置する前記露光走査データと後段の前記接続位置の端部に位置する前記露光走査データに基づいて、前記前段と前記後段のうちの少なくともいずれか一方の端部に位置する前記露光走査データの前記階調値を補正する、
ことを特徴とする光ビーム走査装置の走査方法。
A light emitting unit that emits a light beam modulated based on exposure scanning data having a plurality of gradation values; and a deflecting unit that deflects the light beam from the light emitting unit, and is deflected by the deflecting unit. In the scanning method of the light beam scanning apparatus for performing writing on the exposure object by exposing and scanning the light beam to the exposure object,
When a plurality of the light emitting units are provided along the scanning direction and a plurality of the light beams exist along the scanning direction, the connection positions of the adjacent light beams are determined as the adjacent light beams. A connection position determining step for determining based on exposure scanning data in a beam overlapping possible section capable of overlapping
A correction step of correcting a gradation value of the exposure scanning data around the connection position determined in the connection position determination step;
Only including,
The plurality of gradation values are values of three or more gradations including a gradation value that does not expose the exposure object,
The connection position determining step determines a connection position at a position that is a gradation value to be exposed without determining a connection position at a position that is a gradation value at which the exposure scanning data in the beam overlap possible section is not exposed,
The correction step is based on the exposure scanning data positioned at the end of the connection position in the preceding stage and the exposure scanning data positioned at the end of the connection position in the subsequent stage in the scanning direction of the adjacent light beams. Correcting the gradation value of the exposure scan data located at the end of at least one of the preceding stage and the following stage,
A scanning method for a light beam scanning device.
請求項に記載の光ビーム走査装置の走査方法を、コンピュータにより実行させることを特徴とする光ビーム走査装置の走査プログラム。 5. A scanning program for a light beam scanning apparatus, wherein the scanning method for the light beam scanning apparatus according to claim 4 is executed by a computer. 請求項に記載の光ビーム走査装置の走査プログラムを格納したことを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。 A computer-readable recording medium storing a scanning program of the light beam scanning apparatus according to claim 5 .
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