JP6284516B2 - Optical fiber preform manufacturing method and optical fiber preform manufacturing apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、光ファイバ母材の製造方法およびその製造装置に関するものである。 The present invention relates to an optical fiber preform manufacturing method and a manufacturing apparatus therefor.
光ファイバ用のガラス微粒子堆積体を製造する方法としてOVD法(Outside Vapor Deposition method)等がある。OVD法は、珪素を含むガラス原料を可燃性ガス、助燃性ガス等の燃焼ガスとともにバーナに導入し、火炎中でガラス原料を加水分解反応又は酸化反応させることにより、ガラス微粒子体及び微粒子体の集合体を生成させ、これを主にコアとなるターゲット材の外周に堆積させてガラス微粒子堆積体を形成する方法である。 As a method for producing a glass particulate deposit for an optical fiber, there is an OVD method (Outside Vapor Deposition method). In the OVD method, a glass material containing silicon is introduced into a burner together with a combustion gas such as a flammable gas and an auxiliary combustible gas, and the glass material is hydrolyzed or oxidized in a flame. In this method, an aggregate is generated, and this is deposited mainly on the outer periphery of a target material that is a core, thereby forming a glass particulate deposit.
このようにして行われるクラッド合成工程において、例えばターゲット材の外周に、微細な異物などが付着すると、その後、光ファイバ線引き加工後に、製品の強度が低下するおそれがある。したがって、製造工程において、異物の付着を防止する必要がある。 In the clad synthesizing process performed in this way, for example, if fine foreign matter adheres to the outer periphery of the target material, the strength of the product may be lowered after the optical fiber drawing process. Therefore, it is necessary to prevent adhesion of foreign matters in the manufacturing process.
このような、異物付着を抑制するために、金属酸化物が生じることを抑制したバーナがある(例えば、特許文献1)。 In order to suppress such foreign matter adhesion, there is a burner that suppresses the generation of metal oxide (for example, Patent Document 1).
しかしながら、クラッド合成中におけるバーナからの金属酸化物の発生を抑えても、バーナの点火時に、バーナ内の煤などが異物として飛散し、プリフォーム中に取り込まれることで、光ファイバの強度が低下する場合がある。 However, even if the generation of metal oxide from the burner during cladding synthesis is suppressed, soot and the like in the burner are scattered as foreign matter and taken into the preform when the burner is ignited, thereby reducing the strength of the optical fiber. There is a case.
これに対し、バーナの点火時には、バーナをターゲット材から離れた位置に退避させた後、または、バーナを他の方向に向けて点火した後に、バーナをターゲット材に向くように再度移動させる方法が考えられる。すなわち、バーナの着火時には、光ファイバ母材の製造時とは異なる位置にバーナを移動させる移動機構を設ける方法がある(例えば、特許文献2)。 On the other hand, when the burner is ignited, there is a method of moving the burner again toward the target material after retracting the burner to a position away from the target material or after igniting the burner in the other direction. Conceivable. That is, when the burner is ignited, there is a method of providing a moving mechanism that moves the burner to a position different from that at the time of manufacturing the optical fiber preform (for example, Patent Document 2).
しかし、近年の光ファイバの製造においては、より大型の光ファイバ母材が求められている。したがって、より大型のガラス微粒子堆積体を、OVD法等によって製造する必要がある。したがって、ガラス粒子堆積装置自体が大型化し、バーナの退避スペースをとることは困難である。また、極めて高温となるため、バーナを中心軸からずらすような移動機構や回転機構等を設けると、バーナ位置の再現性を確保することが困難となる。 However, larger optical fiber preforms are required in recent optical fiber manufacturing. Therefore, it is necessary to produce a larger glass fine particle deposit by the OVD method or the like. Therefore, the glass particle deposition apparatus itself is increased in size and it is difficult to take up the retreat space for the burner. Further, since the temperature becomes extremely high, it is difficult to ensure the reproducibility of the burner position if a moving mechanism, a rotating mechanism, or the like that shifts the burner from the central axis is provided.
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、バーナ点火時の異物の飛散による、光ファイバ強度の低下を抑制することが可能な光ファイバ用母材の製造方法等を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a problem, and provides a method for manufacturing an optical fiber preform that can suppress a decrease in optical fiber strength due to scattering of foreign matters during burner ignition. With the goal.
前述した目的を達成するため、第1の発明は、ガラス原料ガスと燃焼ガスとをバーナに供給して生成させたガラス微粒子を、前記ターゲット材の外周に堆積させて光ファイバ母材を製造する方法であって、前記バーナの着火の際に、前記バーナと前記ターゲット材との間に、遮蔽部材を配置し、前記バーナの着火後、前記遮蔽部材を退避させて、前記ターゲット材に前記ガラス微粒子を堆積させることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法である。 In order to achieve the object described above, the first invention manufactures an optical fiber preform by depositing glass fine particles generated by supplying a glass raw material gas and a combustion gas to a burner on the outer periphery of the target material. In the method, when the burner is ignited, a shielding member is disposed between the burner and the target material, and after the burner is ignited, the shielding member is retracted, and the glass is applied to the target material. An optical fiber preform manufacturing method characterized by depositing fine particles.
前記バーナは、前記ターゲット材に沿って複数配置され、前記遮蔽部材の移動と、前記遮蔽部材が位置する前記バーナの着火を、複数の前記バーナに対して順に行うことが望ましい。 It is desirable that a plurality of the burners are arranged along the target material, and the movement of the shielding member and the ignition of the burner where the shielding member is located are sequentially performed on the plurality of burners.
この際、前記バーナは、鉛直方向に複数配置され、前記バーナを上方から順に着火することが望ましい。 At this time, it is preferable that a plurality of the burners are arranged in the vertical direction and the burners are ignited sequentially from above.
前記遮蔽部材には、前記バーナの着火を行う着火部が一体で配置されてもよい。 An igniter for igniting the burner may be integrally disposed on the shielding member.
第1の発明によれば、バーナの点火時に、バーナとターゲット材との間に遮蔽部材を配置することで、バーナから飛散した異物がターゲット材に付着することを防止することができる。また、バーナの着火後には、遮蔽部材を退避させればよく、バーナ自体を移動・回転させる必要がない。このため、バーナとターゲット材の精度を維持することができる。 According to the first aspect, by arranging the shielding member between the burner and the target material when the burner is ignited, it is possible to prevent foreign matters scattered from the burner from adhering to the target material. Further, after the burner is ignited, the shielding member may be retracted, and the burner itself does not need to be moved / rotated. For this reason, the accuracy of the burner and the target material can be maintained.
また、バーナがターゲット材に沿って複数配置される場合に、バーナを順に着火し、着火するバーナに遮蔽部材を順に移動させることで、小型の遮蔽部材によって、確実にそれぞれのバーナからの異物を遮蔽することができる。 In addition, when a plurality of burners are arranged along the target material, the burners are ignited in order, and the shielding members are sequentially moved to the igniting burners, so that the foreign materials from each burner can be reliably removed by the small shielding members. Can be shielded.
特に、バーナが鉛直方向に複数配置される際に、遮蔽部材を移動させながらバーナを上から順に着火することで、下方のバーナの炎で上方のバーナが意図せず着火することを防止することができる。 In particular, when a plurality of burners are arranged in the vertical direction, the upper burner is prevented from igniting unintentionally due to the flame of the lower burner by sequentially igniting the burner while moving the shielding member. Can do.
また、遮蔽部材に、ライターまたはイグニションなどの着火部を一体で配置することで、遮蔽部材の移動とバーナの着火とを同時に行うことができる。 Further, by arranging an igniter such as a lighter or an ignition integrally with the shielding member, the shielding member can be moved and the burner can be ignited at the same time.
第2の発明は、ターゲット材が配置される反応容器と、前記ターゲット材に対し、ガラス原料ガスおよび燃焼ガスを噴出させるバーナと、前記ターゲット材と前記バーナの間に移動可能な遮蔽部材と、前記遮蔽部を動作する動作部と、を具備し、前記動作部は、前記バーナの着火時には、前記ターゲット材と前記バーナの間に前記遮蔽部材を移動可能であり、前記バーナによって、前記ターゲット材にガラス微粒子を堆積させる際には、前記ターゲット材と前記バーナの間から前記遮蔽部材を退避可能であることを特徴とする光ファイバ母材の製造装置である。 The second invention includes a reaction vessel in which a target material is disposed, a burner that ejects glass raw material gas and combustion gas to the target material, a shielding member that is movable between the target material and the burner, An operation unit that operates the shielding unit, and the operation unit is capable of moving the shielding member between the target material and the burner when the burner is ignited. When the glass fine particles are deposited on the optical fiber preform, the shielding member can be retracted from between the target material and the burner.
第2の発明によれば、バーナ着火時の異物がターゲット材に付着することを防止することが可能である。 According to the second aspect of the invention, it is possible to prevent foreign matter from adhering to the target material during burner ignition.
本発明によれば、バーナ点火時の異物の飛散による、光ファイバ強度の低下を抑制することが可能な光ファイバ用母材の製造方法等を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the preform | base_material for optical fibers etc. which can suppress the fall of optical fiber intensity | strength by scattering of the foreign material at the time of burner ignition can be provided.
以下、本発明の実施の形態にかかるガラス微粒子堆積装置1について説明する。図1は、光ファイバ母材の製造装置であるガラス微粒子堆積装置1の概略構成図である。ガラス微粒子堆積装置1は主に、反応容器3、ターゲット材把持部7、バーナ11、遮蔽部材13等から構成される。
Hereinafter, the glass fine particle deposition apparatus 1 concerning embodiment of this invention is demonstrated. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a glass fine particle deposition apparatus 1 which is an optical fiber preform manufacturing apparatus. The glass fine particle deposition apparatus 1 mainly includes a reaction vessel 3, a target material gripping portion 7, a
反応容器3内部には、一対のターゲット材把持部7が設けられる。ターゲット材把持部7には、ターゲット材5が把持される。ターゲット材5は、たとえば光ファイバコアおよびクラッドの一部を有するロッドである。ターゲット材5の両端部は、ターゲット材把持部7に固定される。 A pair of target material gripping portions 7 are provided inside the reaction vessel 3. The target material 5 is gripped by the target material gripping portion 7. The target material 5 is, for example, a rod having an optical fiber core and a part of a clad. Both end portions of the target material 5 are fixed to the target material gripping portion 7.
反応容器3内部には、ターゲット材5に沿って、複数のバーナ11が所定間隔で配置される。なお、図示した例では、バーナ11は、鉛直方向に複数配置される。特に大型の光ファイバ母材を製造する場合には、バーナ11は、鉛直方向に複数配置されることが望ましい。なお、バーナ11の配置数は、図示した例には限られない。
Inside the reaction vessel 3, a plurality of
バーナ11は、多層構造であり、ガラス原料ガスを噴出する原料ガス流路、助燃性ガスを噴出する助燃ガス流路、可燃性ガスを噴出する可燃ガス流路、シールガスを噴出するシールガス流路などが設けられる。
The
なお、バーナ11に供給するガスとしては、たとえば、原料ガス流路にSiCl4助燃ガス流路にO2、可燃ガス流路にH2、シールガス流路にArを流せばよい。
As the gas supplied to the
反応容器3には、図示を省略した給気口が設けられ、給気口からは、クリーンエア等が反応容器3内部に導入され、堆積せずに反応容器の内部に飛散したガラス粒子等とともに、排気口9から排出される。 The reaction vessel 3 is provided with an air supply port (not shown), and clean air or the like is introduced into the reaction vessel 3 from the air supply port, together with glass particles or the like scattered inside the reaction vessel without being deposited. The gas is discharged from the exhaust port 9.
図2は、図1のB部におけるA−A線断面図である。バーナ11とターゲット材5との間には、遮蔽部材13が配置される。遮蔽部材13は、通常時には、バーナ11とターゲット材5との間から退避した位置に配置される。バーナ11を着火する際に、図示を省略した動作部(例えばモータ等)によって遮蔽部材13を移動し、遮蔽部材13を当該バーナ11とターゲット材5との間の位置に配置する(図中矢印C)。
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in the portion B of FIG. A shielding member 13 is disposed between the
なお、遮蔽部材13を手動でバーナ11とターゲット材5の間に配置してもよい。この場合には、遮蔽部材13には、図示を省略した取手などを配置すればよい。
The shielding member 13 may be manually disposed between the
遮蔽部材13は、例えばセラミックス製や金属製であるが、バーナ11の点火時の熱によって変形などが生じず、また、遮蔽部材13の表面に付着した煤等の除去が容易であれば、その材質は特に限定されない。
The shielding member 13 is made of, for example, ceramics or metal. If the shielding member 13 is not deformed by the heat generated when the
なお、遮蔽部材13は、ターゲット材5と干渉しない程度に、ターゲット材5に近い位置に配置することが望ましい。遮蔽部材13をバーナ11に近づけすぎると、バーナ11から飛散した異物が、遮蔽部材13の裏側に回り込んで、ターゲット材5に付着するおそれがある。
The shielding member 13 is desirably disposed at a position close to the target material 5 so as not to interfere with the target material 5. If the shielding member 13 is too close to the
また、図示した例では、遮蔽部材13は、平面状の板部材であるが、遮蔽部材13の形状はこれに限られない。例えば、バーナ11を覆うように曲面形状であってもよく、または、ターゲット材5を覆うような曲面形状であってもよい。
In the illustrated example, the shielding member 13 is a planar plate member, but the shape of the shielding member 13 is not limited thereto. For example, it may have a curved shape so as to cover the
図3は、一番上のバーナ11を着火した状態を示す図である。バーナ11の着火の際には、バーナ11の可燃ガス流路にH2を少量流した状態で、ライターやイグニッションなどの点火装置によって点火する。この際、バーナ11の着火時にバーナ11から飛散する異物は、遮蔽部材13によって遮蔽されるため、ターゲット材5へ付着することを防止することができる。
FIG. 3 is a view showing a state in which the
次に、図4に示すように、遮蔽部材13を上から2段目のバーナ11の位置まで図示を省略した動作部によって移動させる(図中矢印D)。遮蔽部材13が、バーナ11の位置まで移動した後、当該バーナ11を着火する(図5)。なお、バーナ11が複数ある場合であっても、全てのバーナ11にほぼ同時に微量の可燃ガスを流すことによって、設備を簡素化することができる。また、全てのバーナ11に微量の可燃ガスが流れているため、ライターまたはイグニションを移動させることによって容易に着火することができる。
Next, as shown in FIG. 4, the shielding member 13 is moved from the top to the position of the
このように、遮蔽部材13の移動と、遮蔽部材13が位置するバーナ11の着火を、複数のバーナ11に対して順に行うことで、図6に示すように、全てのバーナ11に着火を行うことができる。
In this way, by moving the shielding member 13 and igniting the
全てのバーナ11の着火が終了し、ターゲット材にガラス微粒子を堆積させる際には、図7に示すように、図示を省略した動作部によって、バーナ11とターゲット材5との間から、遮蔽部材13を退避させる(図中矢印E)。
When all the
遮蔽部材13を、ターゲット材5とバーナ11との間から完全に退避した後、ガラス原料ガス、助燃ガス、可燃ガス、シールガスなどを所定量流して、多孔質ガラス母材を製造する。
After the shielding member 13 is completely retracted from between the target material 5 and the
図8に示すように、バーナ11から噴出される助燃性ガス及び可燃性ガスからなる火炎中に、ガラス原料ガスを供給することにより、ガラス微粒子が合成され、ガラス微粒子をターゲット材5の外周面に堆積させることができる。
As shown in FIG. 8, glass fine particles are synthesized by supplying a glass raw material gas into a flame composed of an auxiliary combustion gas and a combustible gas ejected from a
すなわち、本発明にかかる光ファイバ母材の製造方法は、バーナ11の着火時に遮蔽部材13を用い、その後、ターゲット材5に対し、ガラス原料ガスおよび燃焼ガスをバーナ11から噴出させ、ガラス原料ガスを火炎加水分解させてガラス微粒子を生成させ、生成したガラス微粒子をターゲット材5に堆積させて多孔質ガラス母材15を製造するものである。
なお、製造した多孔質ガラス母材を周知の方法で脱水焼結することにより、ガラス化した光ファイバ母材が得られる。
That is, the method for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention uses the shielding member 13 when the
A vitrified optical fiber preform is obtained by dehydrating and sintering the produced porous glass preform by a known method.
なお、ターゲット材5とバーナ11とは、ターゲット材5の軸方向に対して、相対的に往復移動可能である(図中矢印F)。また、ターゲット材5(多孔質ガラス母材15)は、ターゲット材5の軸方向を回転軸として回転可能である(図中矢印G)。すなわち、ターゲット材5の長手方向、周方向に対してバーナ11の炎を均一に当てることができる。
In addition, the target material 5 and the
なお、ターゲット材把持部7近傍には、図示を省略した補助バーナを設けてもよい。補助バーナを用いることで、ターゲット材5の端部近傍においてバーナ11による熱が十分に付与されず、低密度な多孔質ガラスが形成されるものを焼き固めることができる。
In addition, you may provide the auxiliary burner which abbreviate | omitted illustration in the target material holding part 7 vicinity. By using the auxiliary burner, heat that is not sufficiently applied by the
また、ガラス微粒子堆積体である多孔質ガラス母材15の成長(増径)に伴い、バーナ11をターゲット材5(多孔質ガラス母材15)から遠ざかるように移動させる。このようにすることで、バーナ11(の炎)と多孔質ガラス母材15表面との距離を常に一定にしながら、ガラス微粒子を堆積させることができる。
Further, the
以上、本実施の形態によれば、バーナ11とターゲット材5との間に、遮蔽部材13を配置して、バーナ11を着火するため、バーナ11の着火時にバーナ11から異物が飛散してターゲット材5に付着することを防止することができる。
As mentioned above, according to this Embodiment, since the shielding member 13 is arrange | positioned between the
この際、バーナ11をターゲット材5から退避させる移動機構を設ける必要がないため、構造が簡易であり、高温・腐食性ガス環境下において、バーナ11の位置の再現性や耐久性が悪化することがない。
At this time, since it is not necessary to provide a moving mechanism for retracting the
また、遮蔽部材13でバーナ11とターゲット材5との間を遮蔽しながら、順にバーナ11を着火することで、一度に全てのバーナ11が着火して、広範囲に異物の飛散が生じることがない。また、遮蔽部材13を移動させることで、遮蔽部材13が一つのバーナ11に対応するサイズでよいため、小型であり、取扱い性にも優れる。なお、遮蔽部材13が、全てのバーナ11を遮蔽可能なサイズであれば、遮蔽部材13は、バーナ11とターゲット材5との間への挿抜移動のみでも良い。
Further, by igniting the
また、バーナ11の着火を上方から順に行うことで、下方のバーナ11の炎によって、遮蔽部材13を配置する前に、上方のバーナ11が意図せずに着火することを抑制することができる。
In addition, by sequentially igniting the
次に、第2の実施形態について説明する。図9は、第2の実施の形態にかかるガラス微粒子堆積装置10を示す図である。なお、以下の説明において、ガラス微粒子堆積装置1と同様の機能を奏する構成については、図1等と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 Next, a second embodiment will be described. FIG. 9 is a diagram showing a glass particle deposition apparatus 10 according to the second embodiment. In the following description, components having the same functions as those of the glass fine particle deposition apparatus 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.
第2の実施形態では、遮蔽部材13に、着火部17が一体で配置される。着火部17は、バーナ11の着火を行うライターまたはイグニションである。
In the second embodiment, the ignition part 17 is integrally disposed on the shielding member 13. The ignition unit 17 is a lighter or ignition that ignites the
それぞれのバーナ11から、少量の可燃ガス等を流した状態で、各バーナ11の位置に遮蔽部材13を配置すると、着火部17によって、当該バーナ11の着火を行うことができる。このため、遮蔽部材13の移動と、バーナ11の着火を同時に行うことができる。したがって、遮蔽部材13を上方から下方へ移動させながら、バーナ11の着火を順に行うことができる。
When the shielding member 13 is arranged at the position of each
第2の実施形態では、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、遮蔽部材13に、着火部17が設けられるため、遮蔽部材13の移動と着火作業を別々に行う必要がなく、作業性が良好である。また、着火部17で着火される際には、確実に遮蔽部材13がバーナ11の前方に位置するため、着火作業時に、遮蔽部材13の位置がずれることがない。
In the second embodiment, the same effect as in the first embodiment can be obtained. Moreover, since the ignition part 17 is provided in the shielding member 13, it is not necessary to perform separately the movement of the shielding member 13, and an ignition operation | work, and workability | operativity is favorable. Further, when the ignition part 17 is ignited, the shielding member 13 is surely positioned in front of the
次に、第3の実施形態について説明する。図10は、第3の実施の形態にかかるガラス微粒子堆積装置20を示す図である。なお、以下の説明において、ガラス微粒子堆積装置1と同様の機能を奏する構成については、図1等と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 Next, a third embodiment will be described. FIG. 10 is a diagram showing a glass particle deposition apparatus 20 according to the third embodiment. In the following description, components having the same functions as those of the glass fine particle deposition apparatus 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.
第3の実施形態では、遮蔽部材13が、複数のバーナ11全体を覆う大きさである点が第1の実施形態と異なる。
The third embodiment is different from the first embodiment in that the shielding member 13 is large enough to cover the entire plurality of
遮蔽部材13で全てのバーナ11の前方を覆い、それぞれのバーナ11から、少量の可燃ガス等を流した状態で、上方から順にバーナ11の着火を行う。バーナ11の着火には、ライターまたはイグニションなどが用いられる。
The front of all the
第3の実施形態では、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、遮蔽部材13が複数のバーナ11全体を覆うため、遮蔽部材13の移動を行う必要がなく、作業性が良好である。また、バーナ11が着火される際には、確実に遮蔽部材13がバーナ11の前方に位置するため、着火作業時に、遮蔽部材13の位置がずれることがない。
In the third embodiment, the same effect as in the first embodiment can be obtained. Moreover, since the shielding member 13 covers the whole of the plurality of
本発明のガラス微粒子堆積装置を用いて、多孔質ガラス母材を作成し、周知の方法で脱水焼結することにより、光ファイバ母材を得た。得られた光ファイバ母材を周知の方法で線引きすることで光ファイバとし、得られた光ファイバを評価した。具体的には、得られた光ファイバに対して一定の張力を加える、いわゆるスクリーニング試験を行い、ロットごとの破断回数を評価した。 A porous glass preform was prepared using the glass fine particle deposition apparatus of the present invention, and dehydrated and sintered by a well-known method to obtain an optical fiber preform. The obtained optical fiber preform was drawn by a known method to obtain an optical fiber, and the obtained optical fiber was evaluated. Specifically, a so-called screening test was performed in which a certain tension was applied to the obtained optical fiber, and the number of breaks for each lot was evaluated.
図11は、ロットごとの光ファイバの破断回数を示す図である。ロットNo.1〜16は、従来の方法で製造した光ファイバである。すなわち、遮蔽部材13を用いずに、バーナ11を着火した後、所定の手順で多孔質ガラス母材を製造したものである。
FIG. 11 is a diagram showing the number of times the optical fiber is broken for each lot. Lot No. Reference numerals 1 to 16 denote optical fibers manufactured by a conventional method. That is, the porous glass base material is manufactured by a predetermined procedure after the
一方、ロットNo.17〜25は、バーナ11の着火時に、遮蔽部材13を用いて、多孔質ガラス母材を製造したものである。なお、全てのロットにおいて、遮蔽部材13の使用・非使用以外の製造条件等はすべて同一である。
On the other hand, lot no. Nos. 17 to 25 are manufactured by using the shielding member 13 when the
図より明らかなように、バーナ11の着火時に遮蔽部材13を用いないロット(図中G)におけるロット当たりの破断回数と比較して、バーナ11の着火時に遮蔽部材13を用いたロット(図中H)におけるロット当たりの破断回数が少ない。これは、遮蔽部材13によって、バーナ11の着火時に飛散した異物が遮蔽され、多孔質ガラス母材中に混入することを防止することができたためである。
As is apparent from the figure, compared to the number of breaks per lot in a lot (G in the figure) where the shielding member 13 is not used when the
以上、添付図を参照しながら、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に左右されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, the technical scope of this invention is not influenced by embodiment mentioned above. It is obvious for those skilled in the art that various modifications or modifications can be conceived within the scope of the technical idea described in the claims, and these are naturally within the technical scope of the present invention. It is understood that it belongs.
1、10、20………ガラス微粒子堆積装置
3………反応容器
5………ターゲット材
7………ターゲット材把持部
9………排気口
11………バーナ
13………遮蔽部材
15………多孔質ガラス母材
17………着火部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 10, 20 ......... Glass particle deposition apparatus 3 ......... Reaction container 5 ......... Target material 7 ......... Target material holding part 9 .........
Claims (5)
ガラス原料ガスと燃焼ガスとをバーナに供給して生成させたガラス微粒子を、前記ターゲット材の外周に堆積させて光ファイバ母材を製造する方法であって、
前記バーナの着火の際に、前記バーナと前記ターゲット材との間に、遮蔽部材を配置し、前記バーナの着火後、前記遮蔽部材を退避させて、前記ターゲット材に前記ガラス微粒子を堆積させることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 A target material is provided in the reaction vessel,
A method for producing an optical fiber preform by depositing glass fine particles generated by supplying a glass raw material gas and a combustion gas to a burner on the outer periphery of the target material,
When the burner is ignited, a shielding member is disposed between the burner and the target material, and after the ignition of the burner, the shielding member is retracted to deposit the glass fine particles on the target material. An optical fiber preform manufacturing method characterized by the above.
前記ターゲット材に対し、ガラス原料ガスおよび燃焼ガスを噴出させるバーナと、
前記ターゲット材と前記バーナの間に移動可能な遮蔽部材と、
前記遮蔽部材を動作する動作部と、
を具備し、
前記動作部は、前記バーナの着火時には、前記ターゲット材と前記バーナの間に前記遮蔽部材を移動可能であり、
前記バーナによって、前記ターゲット材にガラス微粒子を堆積させる際には、前記ターゲット材と前記バーナの間から前記遮蔽部材を退避可能であることを特徴とする光ファイバ母材の製造装置。 A reaction vessel in which the target material is placed;
A burner for ejecting glass source gas and combustion gas to the target material;
A shield member movable between the target material and the burner;
An operating part for operating the shielding member;
Comprising
The operation unit is capable of moving the shielding member between the target material and the burner when the burner is ignited,
The apparatus for manufacturing an optical fiber preform, wherein when the glass particles are deposited on the target material by the burner, the shielding member can be retracted from between the target material and the burner.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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