JP6279689B2 - Near-infrared cut filter and method for producing near-infrared cut filter - Google Patents

Near-infrared cut filter and method for producing near-infrared cut filter Download PDF

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Description

本発明は、近赤外線カットフィルターおよび近赤外線カットフィルターの製造方法に関する。さらに詳しくは、本発明は、ポリイミド樹脂フィルム上に誘電体多層膜を積層した構造を有し、特にCCD、CMOSなどの固体撮像素子用視感度補正フィルターとして好適な近赤外線カットフィルターに関する。   The present invention relates to a near-infrared cut filter and a method for producing a near-infrared cut filter. More specifically, the present invention relates to a near-infrared cut filter having a structure in which a dielectric multilayer film is laminated on a polyimide resin film, and particularly suitable as a visibility correction filter for a solid-state imaging device such as a CCD or CMOS.

近年、プラズマディスプレイパネル(PDP)を搭載したテレビが商品化され、一般家庭にも広く普及するようになってきた。このPDPは、プラズマ放電を利用して作動するディスプレイであるが、プラズマ放電の際に近赤外線(波長:800〜1,000nm)が発生することが知られている。   In recent years, televisions equipped with plasma display panels (PDPs) have been commercialized and have become widespread in ordinary households. This PDP is a display that operates using plasma discharge, but it is known that near infrared rays (wavelength: 800 to 1,000 nm) are generated during plasma discharge.

一方、家庭内においては、テレビ、ステレオまたはエアコンなどの家電製品のリモコン、さらには、パーソナルコンピュータによる情報のやり取りに近赤外線を利用することが多くなっており、PDPの発する近赤外線がこれら機器の誤作動の原因になる可能性が高いことが常々指摘されている。   On the other hand, in homes, near-infrared rays are often used for remote control of home appliances such as TVs, stereos or air conditioners, and also for information exchange by personal computers. It has always been pointed out that it is likely to cause malfunctions.

そこで、市販されているPDPの多くは、その前面板に、自らが発する近赤外線をカットするためのフィルター機能を備えるようになっている。
また、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、カメラ機能付き携帯電話などにはカラー画像の固体撮像素子であるCCDやCMOSイメージセンサが用いられているが、これら固体撮像素子はその受光部において近赤外線に感度を有するシリコンフォトダイオードを使用しているために、視感度補正を行うことが必要であり、近赤外線カットフィルターを用いることが多い。
Therefore, many of the commercially available PDPs are provided with a filter function for cutting near infrared rays emitted from the front plate.
In addition, CCDs and CMOS image sensors, which are solid-state image pickup devices for color images, are used in video cameras, digital still cameras, mobile phones with camera functions, etc., and these solid-state image pickup devices are sensitive to near-infrared light at their light receiving parts. Therefore, it is necessary to perform visibility correction, and a near-infrared cut filter is often used.

近赤外線カットフィルターとしては、従来から各種方法で製造されたものが使用されている。例えば、ガラス等の透明基材の表面に銀などの金属を蒸着して近赤外線を反射するようにしたもの、ガラス、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂等の透明基材に近赤外線吸収色素を添加したものなどが実用に供されている。   As a near-infrared cut filter, what was conventionally manufactured by various methods is used. For example, a metal such as silver deposited on the surface of a transparent substrate such as glass to reflect near infrared rays, or a transparent substrate such as glass, acrylic resin or polycarbonate resin with a near infrared absorbing dye added Etc. are provided for practical use.

しかしながら、ガラス基材に金属を蒸着した近赤外線カットフィルターは製造コストが掛かるだけでなく、カッティング時(打抜き加工時)に異物として基材のガラス片が混入したり、クラックが発生してしまうという問題があった。一方、基材として樹脂フィルムを用いた近赤外線カットフィルターも知られている(例えば、特許文献1参照。)しかし、機能膜を積層させるため製造コストがかかるという問題があった。さらに、基材として樹脂フィルムを用いる場合、高温下ではガラス基板に比べて耐熱性に劣るため、基板が伸縮し、それにより近赤外線反射膜にクラックが発生するという問題があった。そこで、樹脂フィルム中に、ガラスフィラーを含有させることが検討されている(特許文献2)。   However, the near-infrared cut filter in which metal is vapor-deposited on a glass base material is not only expensive to manufacture, but the glass piece of the base material is mixed as a foreign substance or a crack occurs during cutting (at the time of punching). There was a problem. On the other hand, a near-infrared cut filter using a resin film as a base material is also known (for example, see Patent Document 1). However, there is a problem that a manufacturing cost is required because functional films are laminated. Further, when a resin film is used as a base material, the heat resistance is inferior to that of a glass substrate at a high temperature, so that there is a problem that the substrate expands and contracts, thereby causing cracks in the near-infrared reflective film. Then, it is examined that a glass filler is contained in the resin film (Patent Document 2).

特開2006−30944号公報JP 2006-30944 A 特開2009−258362号公報JP 2009-258362 A

近年、固体撮像素子は小型化・低背化しており、近赤外線カットフィルターにも一層の薄膜化が要求されている。しかしながら、上記特許文献2(特開2009−258362号公報)について、本願発明者が検討したところ、薄膜化に伴い、耐熱性や分光特性の点で十分な特性が得られなかった。
本願発明は、上記問題点を解決することを目的としたものであって、耐熱性および分光特性に優れ、かつ、薄い近赤外線カットフィルターを提供することを目的とする。
In recent years, solid-state imaging devices have been reduced in size and height, and near-infrared cut filters are also required to be thinner. However, when the inventor of the present application examined the above Patent Document 2 (Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-258362), sufficient characteristics were not obtained in terms of heat resistance and spectral characteristics as the film thickness was reduced.
The object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a thin near-infrared cut filter that is excellent in heat resistance and spectral characteristics.

上記課題のもと、発明者が鋭意検討した結果、基材として、ポリイミド樹脂フィルムを用いることにより、基材が薄くても、耐熱性をクリアでき、さらに、分光特性も顕著に向上することを見出し、本発明を完成するに至った。具体的には、下記手段により上記課題は解決された。   As a result of inventor's earnest study under the above-mentioned problems, by using a polyimide resin film as a base material, heat resistance can be cleared even if the base material is thin, and further, spectral characteristics are remarkably improved. The headline and the present invention were completed. Specifically, the above problem has been solved by the following means.

(1)ポリイミド樹脂フィルムと誘電体多層膜からなる近赤外線反射膜を有し、かつ、前記ポリイミド樹脂フィルムの厚みが、80μm以下である、近赤外線カットフィルター。
(2)前記ポリイミド樹脂フィルムが、近赤外線吸収剤を含む、(1)に記載の近赤外線カットフィルター。
(3)前記誘電体多層膜が、低屈折率層と高屈折率層とが交互に積層した構造を有する、(1)または(2)に記載の近赤外線カットフィルター。
(4)前記ポリイミド樹脂フィルムが、下記一般式(1)および/または一般式(2)で表される繰り返し単位を有するポリマーを含む、(1)〜(3)のいずれか1項に記載の近赤外線カットフィルター。
一般式(1)
(一般式(1)中、R1は、4価の有機基を表す。複数のR1は互いに同一であっても異なっていてもよい。R2は、2価の有機基を表す。複数のR2は互いに同一であっても異なっていてもよい。但し複数のR2のうち少なくとも一つは脂環基を有する基である。R3は、それぞれ、水素原子または有機基を表す。)
一般式(2)
(一般式中、XおよびYは、それぞれ、単環式もしくは縮合多環式の脂肪族基、または、単環式もしくは縮合多環式の芳香族基を含有し、構成する炭素原子数が4〜30である連結基を表す。)
(5)前記ポリイミド樹脂フィルムが、一般式(2)で表される繰り返し単位を有するポリマーであって、前記一般式(2)のXおよびYの少なくとも一方が、単環式もしくは縮合多環式の脂肪族基であるポリマーを含む、(4)に記載の近赤外線カットフィルター。
(6)前記ポリイミド樹脂フィルムが、一般式(2)で表される繰り返し単位を有するポリマーであって、前記一般式(2)のXが芳香族基であり、Yが単環式もしくは縮合多環式の脂肪族基であるポリマーを含む、(4)に記載の近赤外線カットフィルター。
(7)前記低屈折率層の一つがシリカ(SiO2)を含み、前記高屈折率層の一つがチタニア(TiO2)を含む、(3)〜(6)のいずれか1項に記載の近赤外線カットフィルター。
(8)前記低屈折率層の一つがシリカ(SiO2)を含み、前記高屈折率層がITO(錫ドープ酸化インジウム)またはATO(アンチモンドープ酸化錫)のいずれかを含む、(3)〜(6)のいずれか1項に記載の近赤外線カットフィルター。
(9)前記ポリイミド樹脂フィルムの厚みが、60μm以下であることを特徴とする、(1)〜(8)のいずれか1項に記載の近赤外線カットフィルター。
(10)(1)〜(9)のいずれか1項に記載の近赤外線カットフィルターを用いた固体撮像素子。
(11)厚さが80μm以下のポリイミド樹脂フィルムの上に、蒸着により、誘電体多層膜からなる近赤外線反射膜を形成することを含む、近赤外線カットフィルターの製造方法。
(12)蒸着時の基板温度が120〜300℃である、(11)に記載の近赤外線カットフィルターの製造方法。
(1) A near-infrared cut filter having a near-infrared reflective film comprising a polyimide resin film and a dielectric multilayer film, and having a thickness of 80 μm or less.
(2) The near infrared cut filter according to (1), wherein the polyimide resin film contains a near infrared absorber.
(3) The near infrared cut filter according to (1) or (2), wherein the dielectric multilayer film has a structure in which low refractive index layers and high refractive index layers are alternately laminated.
(4) The polyimide resin film according to any one of (1) to (3), wherein the polyimide resin film includes a polymer having a repeating unit represented by the following general formula (1) and / or general formula (2). Near-infrared cut filter.
General formula (1)
(In general formula (1), R 1 represents a tetravalent organic group. A plurality of R 1 may be the same or different from each other. R 2 represents a divalent organic group. R 2 may be the same as or different from each other, provided that at least one of the plurality of R 2 is a group having an alicyclic group, and R 3 represents a hydrogen atom or an organic group, respectively. )
General formula (2)
(In the general formula, X and Y each contain a monocyclic or condensed polycyclic aliphatic group or a monocyclic or condensed polycyclic aromatic group, and have 4 carbon atoms. Represents a linking group of ˜30.)
(5) The polyimide resin film is a polymer having a repeating unit represented by the general formula (2), and at least one of X and Y in the general formula (2) is monocyclic or condensed polycyclic The near-infrared cut filter according to (4), which contains a polymer that is an aliphatic group.
(6) The polyimide resin film is a polymer having a repeating unit represented by the general formula (2), wherein X in the general formula (2) is an aromatic group, and Y is monocyclic or condensed poly The near-infrared cut filter according to (4), comprising a polymer that is a cyclic aliphatic group.
(7) One of the low refractive index layers includes silica (SiO 2 ), and one of the high refractive index layers includes titania (TiO 2 ), according to any one of (3) to (6). Near-infrared cut filter.
(8) One of the low refractive index layers contains silica (SiO 2 ), and the high refractive index layer contains either ITO (tin-doped indium oxide) or ATO (antimony-doped tin oxide). The near-infrared cut filter according to any one of (6).
(9) The near-infrared cut filter according to any one of (1) to (8), wherein the polyimide resin film has a thickness of 60 μm or less.
(10) A solid-state imaging device using the near-infrared cut filter according to any one of (1) to (9).
(11) A method for producing a near-infrared cut filter, comprising forming a near-infrared reflective film made of a dielectric multilayer film on a polyimide resin film having a thickness of 80 μm or less by vapor deposition.
(12) The manufacturing method of the near-infrared cut filter as described in (11) whose substrate temperature at the time of vapor deposition is 120-300 degreeC.

本発明により、薄くて、耐熱性および分光特性に優れた近赤外線カットフィルターを提供することが可能になった。また、本発明の近赤外線カットフィルターは、蒸着によって誘電体多層膜を形成できるため、製造コストを低減させることもできる。   According to the present invention, it is possible to provide a near-infrared cut filter that is thin and excellent in heat resistance and spectral characteristics. Moreover, since the near-infrared cut filter of this invention can form a dielectric multilayer film by vapor deposition, it can also reduce manufacturing cost.

以下において、本発明の内容について詳細に説明する。尚、本願明細書において「〜」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。   Hereinafter, the contents of the present invention will be described in detail. In the present specification, “to” is used to mean that the numerical values described before and after it are included as a lower limit value and an upper limit value.

本発明の近赤外線カットフィルターは、ポリイミド樹脂フィルムと誘電体多層膜からなる近赤外線反射膜を有し、かつ、前記ポリイミド樹脂フィルムの厚みが、80μm以下であることを特徴とする。   The near-infrared cut filter of the present invention has a near-infrared reflective film composed of a polyimide resin film and a dielectric multilayer film, and the polyimide resin film has a thickness of 80 μm or less.

<ポリイミド樹脂フィルム>
本発明で用いるポリイミド樹脂フィルムは、厚さが80μm以下であり、60μm以下であることがより好ましい。このような範囲とすることにより、分光特性を顕著に向上させることが可能になる。ポリイミド樹脂フィルムの厚さの下限値は特に定めるものではないが、例えば、10μm以上とすることができる。ポリイミド樹脂フィルムは、1層からなっていても、2層以上から構成されていてもよい。
<Polyimide resin film>
The polyimide resin film used in the present invention has a thickness of 80 μm or less, and more preferably 60 μm or less. By setting it as such a range, it becomes possible to improve a spectral characteristic notably. Although the lower limit of the thickness of the polyimide resin film is not particularly defined, it can be set to, for example, 10 μm or more. The polyimide resin film may be composed of one layer or may be composed of two or more layers.

次に、本発明で用いるポリイミド樹脂について説明する。
本発明で用いるポリイミド樹脂は、特に定めるものではなく、公知のポリイミド樹脂を広く採用することができる。本発明では、下記一般式(1)および/または一般式(2)で表される繰り返し単位を有するポリマーが好ましい。
一般式(1)
(一般式(1)中、R1は、4価の有機基を表す。複数のR1は互いに同一であっても異なっていてもよい。R2は、2価の有機基を表す。複数のR2は互いに同一であっても異なっていてもよい。但し複数のR2のうち少なくとも一つは脂環基を有する基である。R3は、それぞれ、水素原子または有機基を表す。)
Next, the polyimide resin used in the present invention will be described.
The polyimide resin used in the present invention is not particularly defined, and known polyimide resins can be widely used. In the present invention, a polymer having a repeating unit represented by the following general formula (1) and / or general formula (2) is preferable.
General formula (1)
(In general formula (1), R 1 represents a tetravalent organic group. A plurality of R 1 may be the same or different from each other. R 2 represents a divalent organic group. R 2 may be the same as or different from each other, provided that at least one of the plurality of R 2 is a group having an alicyclic group, and R 3 represents a hydrogen atom or an organic group, respectively. )

(a)一般式(1)の繰り返し単位を有する樹脂
一般式(1)で表される繰り返し単位は、一般式(1)中の2つのカルボニル基で挟まれた該2つのカルボニル基を含む部分構造である酸成分と、前記一般式(1)中の−NH−R2−NH−で表される部分構造であるジアミン成分とから構成される。
4価の有機基R1としては、炭素数4〜30であることが好ましく、単環式又は縮合多環式の脂肪族基又は芳香族基を有する4価の連結基であることがより好ましい。樹脂(a)中に複数存在するR1は互いに同一であっても異なっていてもよい。
4価の有機基R1における単環式の芳香族基としては、ベンゼン環基、ピリジン環基等が挙げられる。
4価の有機基R1における縮合多環式の芳香族基としては、ナフタレン環基、ペリレン環基などが挙げられる。
4価の有機基R1における単環式の脂肪族基としては、シクロブタン環基、シクロペンタン環基、シクロへキサン環基などが挙げられる。
4価の有機基R1における縮合多環式の脂肪族基としては、ビシクロ[2.2.1]へプタン環基、ビシクロ[2.2.2]オクタン環基、ビシクロ[2.2.2]オクト−7−エン環基などが挙げられる。
4価の有機基R1についての単環式又は縮合多環式の脂肪族基又は芳香族基を有する4価の連結基としては、前述の単環式又は縮合多環式の脂肪族基又は芳香族基そのものであってもよいが、複数の単環式又は縮合多環式の脂肪族基又は芳香族基が単結合ないしは2価の連結基を介して連結して、R1としての4価の連結基を形成していてもよい。
前記2価の連結基としては、アルキレン基(炭素数1〜6のアルキレン基が好ましく、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基など)、酸素原子、イオウ原子、2価のスルホン基、エステル結合、ケトン基、アミド基などが挙げられる。
(A) Resin having a repeating unit of the general formula (1) The repeating unit represented by the general formula (1) includes the two carbonyl groups sandwiched between two carbonyl groups in the general formula (1). structure and acid component is composed of a general formula (1) -NH-R 2 -NH- represented by partial structure a is a diamine component in.
The tetravalent organic group R 1 preferably has 4 to 30 carbon atoms, and more preferably a tetravalent linking group having a monocyclic or condensed polycyclic aliphatic group or aromatic group. . A plurality of R 1 present in the resin (a) may be the same or different.
Examples of the monocyclic aromatic group in the tetravalent organic group R 1 include a benzene ring group and a pyridine ring group.
Examples of the condensed polycyclic aromatic group in the tetravalent organic group R 1 include a naphthalene ring group and a perylene ring group.
Examples of the monocyclic aliphatic group in the tetravalent organic group R 1 include a cyclobutane ring group, a cyclopentane ring group, and a cyclohexane ring group.
Examples of the condensed polycyclic aliphatic group in the tetravalent organic group R 1 include a bicyclo [2.2.1] heptane ring group, a bicyclo [2.2.2] octane ring group, and a bicyclo [2.2. 2] An oct-7-ene ring group and the like can be mentioned.
As the tetravalent linking group having a monocyclic or condensed polycyclic aliphatic group or aromatic group for the tetravalent organic group R 1 , the above-mentioned monocyclic or condensed polycyclic aliphatic group or The aromatic group itself may be used, but a plurality of monocyclic or condensed polycyclic aliphatic groups or aromatic groups are linked via a single bond or a divalent linking group, and 4 as R 1 A valent linking group may be formed.
As the divalent linking group, an alkylene group (preferably an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms, for example, a methylene group, an ethylene group, a propylene group, etc.), an oxygen atom, a sulfur atom, a divalent sulfone group, an ester bond. , Ketone group, amide group and the like.

1を核として少なくとも4個のカルボキシル基に由来する基を有する酸成分の具体例としては、ピロメリット酸無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)二フタル酸無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸無水物、2,3,5,6−ピリジンテトラカルボン酸無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸無水物、(トリフルオロメチル)ピロメリット酸無水物、ジ(トリフルオロメチル)ピロメリット酸無水物、ジ(ヘプタフルオロプロピル)ピロメリット酸無水物、ペンタフルオロエチルピロメリット酸無水物、ビス〔3、5−ジ(トリフルオロメチル)フェノキシ〕ピロメリット酸無水物、3,3’,4,4’−テトラカルボキシジフェニルエーテル二無水物、2,3’,3,4’−テトラカルボキシジフェニルエーテル二無水物、、3,3’,4,4’−テトラカルボキシジフェニルメタン二無水物、3,3’,4,4’−テトラカルボキシジフェニルスルホン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−テトラカルボキシビフェニル二無水物、2,2’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−テトラカルボキシビフェニル二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−テトラカルボキシジフェニルエーテル二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−テトラカルボキシベンゾフェノン二無水物、ビス〔(トリフルオロメチル)ジカルボキシフェノキシ〕ベンゼン二無水物、ビス(ジカルボキシフェノキシ)ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン二無水物、ビス(ジカルボキシフェノキシ)テトラキス(トリフルオロメチル)ベンゼン二無水物、2,2−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、2,2−ビス(4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、5,5’−[p−フェニレンビス(オキシカルボニル)]ジ無水フタル酸などの芳香族テトラカルボン酸無水物に由来する成分や、
シクロブタンテトラカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸無水物、シクロヘキサンテトラカルボン酸無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸、ビシクロ[2.2.1]へプタン−2,3,5,6−テトラカルボン酸、ビシクロ[2.2.2]オクタン−2,3,5,6−テトラカルボン酸、又はビシクロ[2.2.2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸、ビシクロ[2.2.2]オクタン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、(1S,2S,4R,5R)‐シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、(1R,2S,4S,5R)‐シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族テトラカルボン酸無水物に由来する成分などを挙げることができる。
Specific examples of the acid component having a group derived from at least four carboxyl groups with R 1 as a nucleus include pyromellitic acid anhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid anhydride, 2, 3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic anhydride, 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic anhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic anhydride, 2 , 2 ′, 3,3′-benzophenonetetracarboxylic anhydride, 4,4 ′-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic anhydride, 2, 3,6,7-naphthalenetetracarboxylic anhydride, 2,3,5,6-pyridinetetracarboxylic anhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic anhydride, (trifluoromethyl) pyromellit Acid anhydride, di (trifluoromethyl) pyromellitic acid anhydride, di (heptafluoropropyl) pyromellitic acid anhydride, pentafluoroethylpyromellitic acid anhydride, bis [3,5-di (trifluoromethyl) phenoxy Pyromellitic anhydride, 3,3 ′, 4,4′-tetracarboxydiphenyl ether dianhydride, 2,3 ′, 3,4′-tetracarboxydiphenyl ether dianhydride, 3,3 ′, 4,4 '-Tetracarboxydiphenylmethane dianhydride, 3,3', 4,4'-tetracarboxydiphenylsulfone dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2- Bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride, 5,5′-bis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-tetraca Boxibiphenyl dianhydride, 2,2 ′, 5,5′-tetrakis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-tetracarboxybiphenyl dianhydride, 5,5′-bis (trifluoro Methyl) -3,3 ′, 4,4′-tetracarboxydiphenyl ether dianhydride, 5,5′-bis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-tetracarboxybenzophenone dianhydride, bis [(Trifluoromethyl) dicarboxyphenoxy] benzene dianhydride, bis (dicarboxyphenoxy) bis (trifluoromethyl) benzene dianhydride, bis (dicarboxyphenoxy) tetrakis (trifluoromethyl) benzene dianhydride, 2 , 2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 2,2-bis (4- (3,4-dicarboxy) Phenoxy) phenyl) hexafluoropropane dianhydride, 5,5 '- [p-phenylene bis (oxycarbonyl)] and component derived from an aromatic, such as di-phthalic anhydride tetracarboxylic acid anhydride,
Cyclobutanetetracarboxylic anhydride, cyclopentanetetracarboxylic anhydride, cyclohexanetetracarboxylic anhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid, bicyclo [2.2.1] heptane-2,3 5,6-tetracarboxylic acid, bicyclo [2.2.2] octane-2,3,5,6-tetracarboxylic acid, or bicyclo [2.2.2] oct-7-ene-2,3,5 , 6-tetracarboxylic acid, bicyclo [2.2.2] octane-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, (1S, 2S, 4R, 5R) -cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, Examples include components derived from aliphatic tetracarboxylic anhydrides such as (1R, 2S, 4S, 5R) -cyclohexanetetracarboxylic dianhydride.

好ましくは、ピロメリット酸無水物に由来する成分、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸無水物に由来する成分、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸無水物に由来する成分、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸無水物に由来する成分、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物に由来する成分、4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)二フタル酸無水物に由来する成分、3,3’,4,4’−テトラカルボキシジフェニルエーテル二無水物に由来する成分、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸無水物に由来する成分、5,5’−[p−フェニレンビス(オキシカルボニル)]ジ無水フタル酸に由来する成分、シクロブタンテトラカルボン酸無水物に由来する成分、シクロペンタンテトラカルボン酸無水物に由来する成分、ビシクロ[2.2.2]オクタン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物に由来する成分、(1S,2S,4R,5R)‐シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物に由来する成分、(1R,2S,4S,5R)‐シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物に由来する成分であり、より好ましくはピロメリット酸無水物に由来する成分、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸無水物に由来する成分、4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)二フタル酸無水物に由来する成分、シクロブタンテトラカルボン酸無水物に由来する成分、3,3’,4,4’−テトラカルボキシジフェニルエーテル二無水物に由来する成分、シクロペンタンテトラカルボン酸無水物に由来する成分、5,5’−[p−フェニレンビス(オキシカルボニル)]ジ無水フタル酸に由来する成分、(1S,2S,4R,5R)‐シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物に由来する成分、(1R,2S,4S,5R)‐シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物に由来する成分である。これらを使用することによって良好な溶剤溶解性、アルカリ溶解速度、透明性、応力特性が実現できる。
1を核として4個のカルボキシル基を有する化合物などに由来する酸成分の樹脂(a)における含有量としては、樹脂(a)を構成する全繰り返し単位に対して20〜70モル%であることが好ましく、30〜60モル%であることがより好ましい。
Preferably, a component derived from pyromellitic acid anhydride, a component derived from 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid anhydride, 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic acid anhydride A component derived from 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic anhydride, a component derived from 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic anhydride, 4,4 Component derived from '-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride, component derived from 3,3', 4,4'-tetracarboxydiphenyl ether dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic A component derived from an acid anhydride, a component derived from 5,5 ′-[p-phenylenebis (oxycarbonyl)] diphthalic anhydride, a component derived from cyclobutanetetracarboxylic anhydride, Component derived from tantetracarboxylic anhydride, component derived from bicyclo [2.2.2] octane-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, (1S, 2S, 4R, 5R)- A component derived from cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, a component derived from (1R, 2S, 4S, 5R) -cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, more preferably a component derived from pyromellitic acid anhydride, 3 , 3 ′, 4,4′-component derived from biphenyltetracarboxylic anhydride, component derived from 4,4 ′-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride, derived from cyclobutanetetracarboxylic anhydride Component, component derived from 3,3 ′, 4,4′-tetracarboxydiphenyl ether dianhydride, component derived from cyclopentanetetracarboxylic anhydride A component derived from 5,5 ′-[p-phenylenebis (oxycarbonyl)] diphthalic anhydride, a component derived from (1S, 2S, 4R, 5R) -cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, (1R, It is a component derived from 2S, 4S, 5R) -cyclohexanetetracarboxylic dianhydride. By using these, good solvent solubility, alkali dissolution rate, transparency, and stress characteristics can be realized.
The content of the acid component derived from the compound having four carboxyl groups with R 1 as a nucleus in the resin (a) is 20 to 70 mol% with respect to all repeating units constituting the resin (a). It is preferable that it is 30 to 60 mol%.

2価の有機基R2としては、脂環基を有する2価の基、芳香族基を有する2価の基、ケイ素原子を含有する2価の基などが挙げられる。樹脂(a)中に複数存在するR2は互いに同一であっても異なっていてもよい。
以下、R2が脂環基を有する2価の基のときのR2を核とするジアミン成分を、脂環ジアミン成分ということもあり、R2が芳香族基を有する2価の基のときのR2を核とするジアミン成分を、芳香族ジアミン成分ということもあり、R2がケイ素原子を含有する2価の基のときのR2を核とするジアミン成分を、シリコンジアミン成分ということもある。
Examples of the divalent organic group R 2 include a divalent group having an alicyclic group, a divalent group having an aromatic group, and a divalent group containing a silicon atom. A plurality of R 2 present in the resin (a) may be the same or different.
Hereinafter, the diamine component of the R 2 at the core when the divalent group having a R 2 are cycloaliphatic groups, sometimes called alicyclic diamine component, when R 2 is a divalent group having an aromatic group the diamine component of R 2 to the core of, sometimes called the aromatic diamine component, the diamine component of the R 2 at the core when the divalent group R 2 contains a silicon atom, that silicon diamine There is also.

樹脂(a)中に複数存在するジアミン成分中のR2のうち少なくとも1つは脂環基を有する2価の基である。樹脂(a)が脂環基を有するジアミン成分を含有することによって良好な溶剤溶解性、透明性が実現できる。
2が有し得る脂環基としては、炭素数3〜20の2価の脂環基が好ましく、シクロペンチレン基、シクロヘキシレン基などの単環のシクロアルキレン基、ビシクロ[2.2.1]ヘプチレン基、ノルボルニレン基、テトラシクロデカニレン基、テトラシクロドデカニレン基、アダマンチレン基などの多環のシクロアルキレン基などを挙げることができる。
2についての脂環基を有する2価の基としては、前記脂環基そのものであってもよいが、複数の脂環基がアルキレン基(炭素数1〜6のアルキレン基が好ましく、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基など)で連結して、R2としての脂環基を有する2価の基を形成していてもよく、ジアミン成分中のアミノ基と脂環基とがアルキレン基で連結していてもよい。
脂環基を有する2価の基を構成し得る前記脂環基、アルキレン基は置換基を有していてもよく、そのような置換基としてアルキル基(好ましくは炭素数1〜4のアルキル基)、ハロゲン原子などが挙げられる。
特に好ましいR2を核とする脂環基構造をもつジアミン成分としては5−アミノ−1,3,3−トリメチルシクロヘキサンメチルアミン成分、cis−1,4−シクロヘキサンジアミン成分、trans−1,4−シクロヘキサンジアミン成分、1,4−シクロヘキサンジアミン成分(cis、trans混合物)、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルアミン)成分及びその3,3’−ジメチル置換体、ビス(アミノメチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプタン成分、1,3−ジアミノアダマンタン成分、3,3’−ジアミノ−1,1’−ビアダマンチル成分、4,4’−ヘキサフルオロイソプロピリデンビス(シクロヘキシルアミン)成分が挙げられ、この内3,3’−ジアミノ−1,1’−ビアダマンチル成分、trans−1,4−シクロヘキサンジアミン成分が応力を低くする観点から好ましい。
2を核として2個のアミノ基を有する脂環ジアミン成分の樹脂(a)中の含有量としては、樹脂(a)を構成する全繰り返し単位に対して20〜70モル%であることが好ましく、30〜60モル%であることがより好ましい。
At least one of R 2 in the diamine component present in plural in the resin (a) is a divalent group having an alicyclic group. When the resin (a) contains a diamine component having an alicyclic group, good solvent solubility and transparency can be realized.
The alicyclic group that R 2 may have is preferably a divalent alicyclic group having 3 to 20 carbon atoms, such as a monocyclic cycloalkylene group such as a cyclopentylene group or a cyclohexylene group, or bicyclo [2.2. 1] Polycyclic cycloalkylene groups such as a heptylene group, norbornylene group, tetracyclodecanylene group, tetracyclododecanylene group, adamantylene group, and the like can be given.
The divalent group having an alicyclic group for R 2 may be the alicyclic group itself, but a plurality of alicyclic groups are alkylene groups (C1-C6 alkylene groups are preferred, Methylene group, ethylene group, propylene group, etc.) may be linked to form a divalent group having an alicyclic group as R 2 , and the amino group and alicyclic group in the diamine component are alkylene groups. You may connect with.
The alicyclic group and alkylene group which can constitute a divalent group having an alicyclic group may have a substituent, and as such a substituent, an alkyl group (preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms) ), Halogen atoms and the like.
Particularly preferred diamine components having an alicyclic structure having R 2 as a nucleus include a 5-amino-1,3,3-trimethylcyclohexanemethylamine component, a cis-1,4-cyclohexanediamine component, and trans-1,4- Cyclohexanediamine component, 1,4-cyclohexanediamine component (cis, trans mixture), 4,4′-methylenebis (cyclohexylamine) component and its 3,3′-dimethyl-substituted product, bis (aminomethyl) bicyclo [2.2 .1] heptane component, 1,3-diaminoadamantane component, 3,3′-diamino-1,1′-biadamantyl component, 4,4′-hexafluoroisopropylidenebis (cyclohexylamine) component, Of which, 3,3′-diamino-1,1′-biadamantyl component, trans-1,4-cyclohe From the viewpoint of San diamine component to lower the stress.
The content of the alicyclic diamine component having two amino groups with R 2 as a nucleus in the resin (a) is 20 to 70 mol% with respect to all repeating units constituting the resin (a). Preferably, it is 30-60 mol%.

2についての芳香族基を有する2価の基における芳香族基としては、炭素数5〜16の芳香族基であることが好ましく、フェニレン基、ナフチレン基などが挙げられる。また、前記芳香族基は窒素原子、酸素原子などのヘテロ原子を含んでいてもよく、例えば、2価のベンゾオキサゾール基などが挙げられる。
2についての芳香族基を有する2価の基としては前記芳香族基そのものであってもよいが、複数の芳香族基が単結合ないしは2価の連結基を介して連結して、R2としての芳香族基を有する2価の基を形成していてもよく、ジアミン成分中のアミノ基と芳香族基とが2価の連結基を介して連結していてもよい。
前記2価の連結基としては、アルキレン基(炭素数1〜6のアルキレン基が好ましく、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基など)、酸素原子、イオウ原子、2価のスルホン基、エステル結合、ケトン基、アミド基などが挙げられる。
芳香族基を有する2価の基を構成し得る前記芳香族基、アルキレン基は置換基を有していてもよく、そのような置換基としてアルキル基(好ましくは炭素数1〜4のアルキル基)、ハロゲン原子、メトキシ基などのアルコキシ基、シアノ基、フェニル基などのアリール基などが挙げられる。
2を核とする芳香族ジアミン成分の具体例としては、例えば、m−フェニレンジアミン成分、p−フェニレンジアミン成分、2,4−トリレンジアミン成分、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル成分、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル成分、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル成分、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン成分、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン成分、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン成分、3,3’−ジアミノジフェニルメタン成分、4,4’−ジアミノジフェニルメタン成分、3,4’−ジアミノジフェニルメタン成分、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド成分、3,3’−ジアミノジフェニルケトン成分、4,4’−ジアミノジフェニルケトン成分、3,4’−ジアミノジフェニルケトン成分、2,2’−ビス(4−アミノフェニル)プロパン成分、2,2’−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン成分、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン成分、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン成分、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン成分、4−メチル−2,4−ビス(4−アミノフェニル)−1−ペンテン成分、4−メチル−2,4−ビス(4−アミノフェニル)−2−ペンテン成分、1,4−ビス(α,α−ジメチル−4−アミノベンジル)ベンゼン成分、イミノ−ジ−p−フェニレンジアミン成分、1,5−ジアミノナフタレン成分、2,6−ジアミノナフタレン成分、4−メチル−2,4−ビス(4−アミノフェニル)ペンタン成分、5(又は6)−アミノ−1−(4−アミノフェニル)−1,3,3−トリメチルインダン成分、ビス(p−アミノフェニル)ホスフィンオキシド成分、4,4’−ジアミノアゾベンゼン成分、4,4’−ジアミノジフェニル尿素成分、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル成分、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン成分、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン成分、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ベンゾフェノン成分、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ジフェニルスルホン成分、4,4’−ビス[4−(α,α−ジメチル−4−アミノベンジル)フェノキシ]ベンゾフェノン成分、4,4’−ビス[4−(α,α―ジメチル−4−アミノベンジル)フェノキシ]ジフェニルスルホン成分、4,4’−ジアミノビフェニル成分、4,4’−ジアミノベンゾフェノン成分、フェニルインダンジアミン成分、3,3’−ジメトキシ−4,4’−ジアミノビフェニル成分、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル成分、2,2’−ジメチル4,4’−ジアミノビフェニル成分、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン成分、o−トルイジンスルホン成分、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン成分、ビス(4−アミノフェノキシフェニル)スルホン成分、ビス(4−アミノフェノキシフェニル)スルフィド成分、1,4−(4−アミノフェノキシフェニル)ベンゼン成分、1,3−(4−アミノフェノキシフェニル)ベンゼン成分、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン成分、4,4’−ジ−(3−アミノフェノキシ)ジフェニルスルホン成分、4,4’−ジアミノベンズアニリド成分、4−アミノフェニル−4’−アミノフェニルベンゾエート成分、ビス(4−アミノフェニル)テレフタレート成分、2−(4−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール−5−イルアミン、4,4’’−ジアミノ−p−ターフェニル成分等、及びこれら芳香族ジアミンの芳香核の水素原子が、塩素原子、フッ素原子、臭素原子、メチル基、メトキシ基、シアノ基、フェニル基からなる群より選ばれた少なくとも一種の基又は原子によって置換された構造が挙げられる。
特に好ましい芳香族ジアミン成分としては、p−フェニレンジアミン成分、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル成分、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン成分、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン成分、2,2’−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン成分、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン成分、イミノ−ジ−p−フェニレンジアミン成分、4,4’−ジアミノビフェニル成分、4,4’−ジアミノベンゾフェノン成分、3,3’−ジメトキシ−4,4’−ジアミノビフェニル成分、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル成分、2,2’−ジメチル4,4’−ジアミノビフェニル成分、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン成分、o−トルイジンスルホン成分、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン成分、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン成分、4,4’−ジ−(3−アミノフェノキシ)ジフェニルスルホン成分、4,4’−ジアミノベンズアニリド成分、4−アミノフェニル−4’−アミノフェニルベンゾエート成分、ビス(4−アミノフェニル)テレフタレート、2−(4−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール−5−イルアミン成分、4,4’’−ジアミノ−p−ターフェニル成分が挙げられ、良好な靭性を有し、応力が低い膜が得られる。
また、上記ジアミン成分には水酸基が置換されていても良い。このようなビスアミノフェノール成分としては、例えば、3,3’−ジヒドロキシベンジジン成分、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシビフェニル成分、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシビフェニル成分、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルホン成分、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルスルホン成分、ビス−(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)メタン成分、2,2−ビス−(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン成分、2,2−ビス−(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン成分、2,2−ビス−(4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン成分、ビス−(4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル)メタン成分、2,2−ビス−(4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル)プロパン成分、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシベンゾフェノン成分、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシベンゾフェノン成分、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルエーテル成分、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルエーテル成分、1,4−ジアミノ−2,5−ジヒドロキシベンゼン成分、1,3−ジアミノ−2,4−ジヒドロキシベンゼン成分、1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシベンゼン成分などが挙げられる。これらのビスアミノフェノール成分は単独あるいは混合して使用してもよい。
The aromatic group in the divalent group having an aromatic group for R 2 is preferably an aromatic group having 5 to 16 carbon atoms, and examples thereof include a phenylene group and a naphthylene group. Further, the aromatic group may contain a hetero atom such as a nitrogen atom or an oxygen atom, and examples thereof include a divalent benzoxazole group.
The divalent group having an aromatic group for R 2 may be the aromatic group itself, but a plurality of aromatic groups are linked via a single bond or a divalent linking group, and R 2 The divalent group which has an aromatic group as may be formed, and the amino group in the diamine component and the aromatic group may be linked via a divalent linking group.
As the divalent linking group, an alkylene group (preferably an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms, for example, a methylene group, an ethylene group, a propylene group, etc.), an oxygen atom, a sulfur atom, a divalent sulfone group, an ester bond. , Ketone group, amide group and the like.
The aromatic group and alkylene group which can constitute a divalent group having an aromatic group may have a substituent, and as such a substituent, an alkyl group (preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms) ), An alkoxy group such as a halogen atom and a methoxy group, and an aryl group such as a cyano group and a phenyl group.
Specific examples of the aromatic diamine component having R 2 as a core include, for example, an m-phenylenediamine component, a p-phenylenediamine component, a 2,4-tolylenediamine component, a 3,3′-diaminodiphenyl ether component, 3, 4'-diaminodiphenyl ether component, 4,4'-diaminodiphenyl ether component, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone component, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone component, 3,4'-diaminodiphenyl sulfone component, 3,3 ' -Diaminodiphenylmethane component, 4,4'-diaminodiphenylmethane component, 3,4'-diaminodiphenylmethane component, 4,4'-diaminodiphenylsulfide component, 3,3'-diaminodiphenylketone component, 4,4'-diaminodiphenyl Ketone component, 3,4′-diaminodiphenyl ketone component, 2, '-Bis (4-aminophenyl) propane component, 2,2'-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane component, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene component, 1,3-bis (4 -Aminophenoxy) benzene component, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene component, 4-methyl-2,4-bis (4-aminophenyl) -1-pentene component, 4-methyl-2,4- Bis (4-aminophenyl) -2-pentene component, 1,4-bis (α, α-dimethyl-4-aminobenzyl) benzene component, imino-di-p-phenylenediamine component, 1,5-diaminonaphthalene component 2,6-diaminonaphthalene component, 4-methyl-2,4-bis (4-aminophenyl) pentane component, 5 (or 6) -amino-1- (4-aminophenyl) 1,3,3-trimethylindane component, bis (p-aminophenyl) phosphine oxide component, 4,4′-diaminoazobenzene component, 4,4′-diaminodiphenylurea component, 4,4′-bis (4-amino) Phenoxy) biphenyl component, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane component, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane component, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] benzophenone component, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) diphenylsulfone component, 4,4′-bis [4- (α, α-dimethyl-4-aminobenzyl) ) Phenoxy] benzophenone component, 4,4′-bis [4- (α, α-dimethyl-4-aminobenzyl) phenoxy] diphenylsulfone 4,4′-diaminobiphenyl component, 4,4′-diaminobenzophenone component, phenylindanediamine component, 3,3′-dimethoxy-4,4′-diaminobiphenyl component, 3,3′-dimethyl-4, 4'-diaminobiphenyl component, 2,2'-dimethyl 4,4'-diaminobiphenyl component, 2,2'-bis (trifluoromethyl) benzidine component, o-toluidine sulfone component, 2,2-bis (4- Aminophenoxyphenyl) propane component, bis (4-aminophenoxyphenyl) sulfone component, bis (4-aminophenoxyphenyl) sulfide component, 1,4- (4-aminophenoxyphenyl) benzene component, 1,3- (4- Aminophenoxyphenyl) benzene component, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene component, 4,4′-di (3-aminophenoxy) diphenylsulfone component, 4,4′-diaminobenzanilide component, 4-aminophenyl-4′-aminophenylbenzoate component, bis (4-aminophenyl) terephthalate component, 2- (4-aminophenyl) ) Benzoxazol-5-ylamine, 4,4 ″ -diamino-p-terphenyl component, etc., and the hydrogen atom of the aromatic nucleus of these aromatic diamines is a chlorine atom, a fluorine atom, a bromine atom, a methyl group, a methoxy group , A structure substituted with at least one group or atom selected from the group consisting of a cyano group and a phenyl group.
Particularly preferred aromatic diamine components include p-phenylenediamine component, 4,4′-diaminodiphenyl ether component, 3,3′-diaminodiphenylsulfone component, 4,4′-diaminodiphenylsulfone component, and 2,2′-bis. (4-aminophenyl) hexafluoropropane component, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene component, imino-di-p-phenylenediamine component, 4,4′-diaminobiphenyl component, 4,4′-diamino Benzophenone component, 3,3′-dimethoxy-4,4′-diaminobiphenyl component, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl component, 2,2′-dimethyl 4,4′-diaminobiphenyl component, 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine component, o-toluidine sulfone component, 2,2-bis (4-amino Nophenoxyphenyl) propane component, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene component, 4,4′-di- (3-aminophenoxy) diphenylsulfone component, 4,4′-diaminobenzanilide component, 4- Aminophenyl-4′-aminophenylbenzoate component, bis (4-aminophenyl) terephthalate, 2- (4-aminophenyl) benzoxazol-5-ylamine component, 4,4 ″ -diamino-p-terphenyl component A film having good toughness and low stress can be obtained.
The diamine component may be substituted with a hydroxyl group. Examples of such bisaminophenol component include 3,3′-dihydroxybenzidine component, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxybiphenyl component, and 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxy. Biphenyl component, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenylsulfone component, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenylsulfone component, bis- (3-amino-4-hydroxyphenyl) methane Component, 2,2-bis- (3-amino-4-hydroxyphenyl) propane component, 2,2-bis- (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane component, 2,2-bis- (4 -Amino-3-hydroxyphenyl) hexafluoropropane component, bis- (4-amino-3-hydroxyphenyl) methane component, 2 2-bis- (4-amino-3-hydroxyphenyl) propane component, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxybenzophenone component, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxybenzophenone component, 4 , 4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl ether component, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl ether component, 1,4-diamino-2,5-dihydroxybenzene component, 1,3-diamino Examples include -2,4-dihydroxybenzene component and 1,3-diamino-4,6-dihydroxybenzene component. These bisaminophenol components may be used alone or in combination.

これらのビスアミノフェノール構造のうち特に好ましい態様として、前記一般式(1)中のR2が下記から選ばれる芳香族基を有する2価の基の場合が挙げられる。 Among these bisaminophenol structures, a particularly preferred embodiment is that R 2 in the general formula (1) is a divalent group having an aromatic group selected from the following.

上記式中、X1は−O−、−S−、−C(CF32−、−CH2−、−SO2−、−NHCO−を表す。*は前記一般式(1)中のR2に結合する−NH−、又は−OHとの結合位置を表す。また、上記構造において、R2に結合する−NH−と−OHとは互いにオルト位(隣接位)に結合する。
2を核として2個のアミノ基を有する芳香族ジアミン成分の樹脂(a)中の含有量としては、樹脂(a)を構成する全繰り返し単位に対して5〜40モル%であることが好ましく、10〜30モル%であることがより好ましい。
In the above formula, X 1 represents —O—, —S—, —C (CF 3 ) 2 —, —CH 2 —, —SO 2 —, —NHCO—. * Represents a bonding position with —NH— or —OH bonded to R 2 in the general formula (1). In the above structure, —NH— and —OH bonded to R 2 are bonded to each other in the ortho position (adjacent position).
The content of the aromatic diamine component having two amino groups with R 2 as the nucleus in the resin (a) is 5 to 40 mol% with respect to all repeating units constituting the resin (a). Preferably, it is 10 to 30 mol%.

また、基板との接着性を高めるためにR2を核とするジアミン成分としてシリコンジアミン成分とすることができる。この例としては、ビス(4−アミノフェニル)ジメチルシラン成分、ビス(4−アミノフェニル)テトラメチルシロキサン成分、ビス(4−アミノフェニル)テトラメチルジシロキサン成分、ビス(γ―アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン成分、1,4−ビス(γ―アミノプロピルジメチルシリル)ベンゼン成分、ビス(4−アミノブチル)テトラメチルジシロキサン成分、ビス(γ―アミノプロピル)テトラフェニルジシロキサン成分等が挙げられる。
シリコンジアミン成分として、下記構造も挙げることができる。
Further, the R 2 in order to enhance the adhesion to the substrate can be a silicon diamine component as the diamine component to the nucleus. Examples include bis (4-aminophenyl) dimethylsilane component, bis (4-aminophenyl) tetramethylsiloxane component, bis (4-aminophenyl) tetramethyldisiloxane component, bis (γ-aminopropyl) tetramethyl. Examples thereof include a disiloxane component, a 1,4-bis (γ-aminopropyldimethylsilyl) benzene component, a bis (4-aminobutyl) tetramethyldisiloxane component, and a bis (γ-aminopropyl) tetraphenyldisiloxane component.
The following structure can also be mentioned as a silicon diamine component.

上記式において、R5及びR6は2価の有機基を表し、R7及びR8は1価の有機基を表す。複数のR7は互いに同一であっても異なっていてもよい。複数のR8は互いに同一であっても異なっていてもよい。
5及びR6で表される2価の有機基としては、置換基を有していてもよい炭素数1〜20の直鎖もしくは分岐のアルキレン基、炭素数6〜20のフェニレン基、炭素数3〜20の2価の脂環基、又はこれらを組み合わせて構成される基を表す。
7及びR8で表される1価の有機基としては、置換基を有していてもよい炭素数1〜20の直鎖もしくは分岐のアルキル基もしくは炭素数6〜20のアリール基を表す。
より具体的には、下記を挙げることができる。
In the above formula, R 5 and R 6 represent a divalent organic group, and R 7 and R 8 represent a monovalent organic group. Several R < 7 > may mutually be same or different. Several R < 8 > may mutually be same or different.
Examples of the divalent organic group represented by R 5 and R 6 include an optionally substituted linear or branched alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, a phenylene group having 6 to 20 carbon atoms, and carbon. This represents a divalent alicyclic group having a number of 3 to 20 or a group formed by combining these.
The monovalent organic group represented by R 7 and R 8 represents a linear or branched alkyl group having 1 to 20 carbon atoms or an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, which may have a substituent. .
More specifically, the following can be mentioned.

2を核として少なくとも2個のアミノ基を有するシリコンジアミン成分の樹脂(a)中の含有量としては、樹脂(a)を構成する全繰り返し単位に対して5〜40モル%であることが好ましく、10〜30モル%であることがより好ましい。 The content of the silicon diamine component having at least two amino groups with R 2 as a nucleus in the resin (a) is 5 to 40 mol% with respect to all repeating units constituting the resin (a). Preferably, it is 10 to 30 mol%.

3の有機基の例としては、炭素数1〜20であることが好ましく、具体的には、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルコキシ基、ケイ素原子含有基、−CORc(Rcはアルキル基、アリール基、シクロアルキル基)、−SO2Rd(Rdはアルキル基、アリール基、シクロアルキル基、o−キノンジアジド基)、又はそれらを組み合わせた基などが挙げられる。 Examples of the organic group represented by R 3 preferably have 1 to 20 carbon atoms. Specifically, the alkyl group, cycloalkyl group, aryl group, aralkyl group, alkenyl group, alkynyl group, alkoxy group, silicon atom containing group, -CORc (Rc is an alkyl group, an aryl group, a cycloalkyl group), - SO 2 Rd (Rd represents an alkyl group, an aryl group, a cycloalkyl group, o- quinonediazide group), or a group formed by combining them Can be mentioned.

3で表されるアルキル基は、置換基を有していてもよく、好ましくは炭素数1〜20の直鎖、又は分岐アルキル基であり、アルキル鎖中に酸素原子、硫黄原子、窒素原子を有していてもよい。具体的には、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−オクチル基、n−ドデシル基、n−テトラデシル基、n−オクタデシル基などの直鎖アルキル基、イソプロピル基、イソブチル基、t−ブチル基、ネオペンチル基、2−エチルヘキシル基などの分岐アルキル基を挙げることができる。置換基として、例えば、シアノ基、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基が挙げられる。 The alkyl group represented by R 3 may have a substituent, and is preferably a linear or branched alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and an oxygen atom, sulfur atom, nitrogen atom in the alkyl chain You may have. Specifically, methyl group, ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-octyl group, n-dodecyl group, n-tetradecyl group, n-octadecyl group And a branched alkyl group such as a linear alkyl group such as isopropyl group, isobutyl group, t-butyl group, neopentyl group, and 2-ethylhexyl group. Examples of the substituent include a cyano group, a halogen atom, a hydroxyl group, an alkoxy group, a carboxyl group, and an alkoxycarbonyl group.

3で表されるシクロアルキル基は、置換基を有していてもよく、好ましくは炭素数3〜20のシクロアルキル基であり、多環でもよく、環内に酸素原子を有していてもよい。具体的には、シクロプロピル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、アダマンチル基などを挙げることができる。 The cycloalkyl group represented by R 3 may have a substituent, preferably a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, may be polycyclic, and has an oxygen atom in the ring. Also good. Specific examples include a cyclopropyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a norbornyl group, an adamantyl group, and the like.

3で表されるアリール基としては、置換基を有していてもよく、好ましくは炭素数6〜14のアリール基であり、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントリル基などが挙げられる。 The aryl group represented by R 3 may have a substituent and is preferably an aryl group having 6 to 14 carbon atoms, and examples thereof include a phenyl group, a naphthyl group, and an anthryl group.

3で表されるアラルキル基は、置換基を有していてもよく、好ましくは炭素数7〜20のアラルキル基が挙げられ、例えば、ベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基が挙げられる。 The aralkyl group represented by R 3 may have a substituent, and preferably an aralkyl group having 7 to 20 carbon atoms, for example, a benzyl group, a phenethyl group, a naphthylmethyl group, or a naphthylethyl group. Can be mentioned.

3で表されるアルコキシ基としては、置換基を有していてもよく、好ましくは炭素数1〜20のアルコキシ基であり、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、n−ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基などが挙げられる。 The alkoxy group represented by R 3 may have a substituent, preferably an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, such as a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, an n-butoxy group, A pentyloxy group, a hexyloxy group, a heptyloxy group, etc. are mentioned.

3で表されるケイ素原子含有基は、ケイ素が含有されていれば特に制限されないが、シリルオキシ基(トリメチルシリルオキシ、トリエチルシリルオキシ、t−ブチルジメチルシリルオキシ)が好ましい。 The silicon atom-containing group represented by R 3 is not particularly limited as long as silicon is contained, but a silyloxy group (trimethylsilyloxy, triethylsilyloxy, t-butyldimethylsilyloxy) is preferable.

3で表されるアルケニル基は、上記アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシ基、ケイ素原子含有基の任意の位置に2重結合を有する基が挙げられる。炭素数1〜12が好ましく、更に炭素数1〜6が好ましい。例えば、ビニル基、アリル基が好ましい。 Examples of the alkenyl group represented by R 3 include a group having a double bond at an arbitrary position of the alkyl group, cycloalkyl group, aryl group, aralkyl group, alkoxy group or silicon atom-containing group. C1-C12 is preferable and C1-C6 is more preferable. For example, a vinyl group and an allyl group are preferable.

3で表されるアルキニル基は、上記アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシ基、ケイ素原子含有基、の任意の位置に3重結合を有する基が挙げられる。炭素数1〜12が好ましく、更に炭素数1〜6が好ましい。例えば、エチニル基、プロパルギル基が好ましい。 Examples of the alkynyl group represented by R 3 include a group having a triple bond at an arbitrary position of the alkyl group, cycloalkyl group, aryl group, aralkyl group, alkoxy group, and silicon atom-containing group. C1-C12 is preferable and C1-C6 is more preferable. For example, an ethynyl group and a propargyl group are preferable.

本発明においては、R3において水素原子と有機基を混在させることができる。樹脂(a)中の全R3に対して各々100モル%〜20モル%であることが好ましく、100モル%〜40モル%が有機基であることがより好ましい。
また、本発明においては、一般式(1)で表される繰り返し単位を主成分とするポリマーの末端に末端封止剤を反応させることができる。末端封止剤は、モノアミン、酸無水物、モノカルボン酸、モノ酸クロリド化合物、モノ活性エステル化合物などを用いることができる。末端封止剤を反応させることにより、繰り返し単位の繰り返し数、すなわち分子量を好ましい範囲に制御できる点で好ましい。更に、末端封止剤により、末端アミンと発生酸の中和による酸失活を抑制する事ができる。また、末端に末端封止剤を反応させることにより、末端基として種々の有機基、例えば、炭素−炭素不飽和結合を有する架橋反応性基を導入することができる。
In the present invention, a hydrogen atom and an organic group can be mixed in R 3 . It is preferable that it is 100 mol%-20 mol% with respect to all R < 3 > in resin (a), respectively, and it is more preferable that 100 mol%-40 mol% are organic groups.
Moreover, in this invention, terminal blocker can be made to react with the terminal of the polymer which has the repeating unit represented by General formula (1) as a main component. As the end-capping agent, monoamine, acid anhydride, monocarboxylic acid, monoacid chloride compound, monoactive ester compound and the like can be used. By making terminal blocker react, it is preferable at the point which can control the repeating number of a repeating unit, ie, molecular weight, in a preferable range. Furthermore, acid deactivation due to neutralization of the terminal amine and the generated acid can be suppressed by the terminal blocking agent. In addition, by reacting an end-capping agent at the terminal, various organic groups such as a crosslinking reactive group having a carbon-carbon unsaturated bond can be introduced as the terminal group.

末端封止剤に用いられるモノアミンは、5−アミノ−8−ヒドロキシキノリン、4−アミノ−8−ヒドロキシキノリン、1−ヒドロキシ−8−アミノナフタレン、1−ヒドロキシ−7−アミノナフタレン、1−ヒドロキシ−6−アミノナフタレン、1−ヒドロキシ−5−アミノナフタレン、1−ヒドロキシ−4−アミノナフタレン、1−ヒドロキシ−3−アミノナフタレン、1−ヒドロキシ−2−アミノナフタレン、1−アミノ−7−ヒドロキシナフタレン、2−ヒドロキシ−7−アミノナフタレン、2−ヒドロキシ−6−アミノナフタレン、2−ヒドロキシ−5−アミノナフタレン、2−ヒドロキシ−4−アミノナフタレン、2−ヒドロキシ−3−アミノナフタレン、1−アミノ−2−ヒドロキシナフタレン、1−カルボキシ−8−アミノナフタレン、1−カルボキシ−7−アミノナフタレン、1−カルボキシ−6−アミノナフタレン、1−カルボキシ−5−アミノナフタレン、1−カルボキシ−4−アミノナフタレン、1−カルボキシ−3−アミノナフタレン、1−カルボキシ−2−アミノナフタレン、1−アミノ−7−カルボキシナフタレン、2−カルボキシ−7−アミノナフタレン、2−カルボキシ−6−アミノナフタレン、2−カルボキシ−5−アミノナフタレン、2−カルボキシ−4−アミノナフタレン、2−カルボキシ−3−アミノナフタレン、1−アミノ−2−カルボキシナフタレン、2−アミノニコチン酸、4−アミノニコチン酸、5−アミノニコチン酸、6−アミノニコチン酸、4−アミノサリチル酸、5−アミノサリチル酸、6−アミノサリチル酸、3−アミノ−O−トルイック酸、アメライド、2−アミノ安息香酸、3−アミノ安息香酸、4−アミノ安息香酸、2−アミノベンゼンスルホン酸、3−アミノベンゼンスルホン酸、4−アミノベンゼンスルホン酸、3−アミノ−4,6−ジヒドロキシピリミジン、2−アミノフェノール、3−アミノフェノール、4−アミノフェノール、5−アミノ−8−メルカプトキノリン、4−アミノ−8−メルカプトキノリン、1−メルカプト−8−アミノナフタレン、1−メルカプト−7−アミノナフタレン、1−メルカプト−6−アミノナフタレン、1−メルカプト−5−アミノナフタレン、1−メルカプト−4−アミノナフタレン、1−メルカプト−3−アミノナフタレン、1−メルカプト−2−アミノナフタレン、1−アミノ−7−メルカプトナフタレン、2−メルカプト−7−アミノナフタレン、2−メルカプト−6−アミノナフタレン、2−メルカプト−5−アミノナフタレン、2−メルカプト−4−アミノナフタレン、2−メルカプト−3−アミノナフタレン、1−アミノ−2−メルカプトナフタレン、3−アミノ−4,6−ジメルカプトピリミジン、2−アミノチオフェノール、3−アミノチオフェノール、4−アミノチオフェノール、2−エチニルアニリン、3−エチニルアニリン、4−エチニルアニリン、2,4−ジエチニルアニリン、2,5−ジエチニルアニリン、2,6−ジエチニルアニリン、3,4−ジエチニルアニリン、3,5−ジエチニルアニリン、1−エチニル−2−アミノナフタレン、1−エチニル−3−アミノナフタレン、1−エチニル−4−アミノナフタレン、1−エチニル−5−アミノナフタレン、1−エチニル−6−アミノナフタレン、1−エチニル−7−アミノナフタレン、1−エチニル−8−アミノナフタレン、2−エチニル−1−アミノナフタレン、2−エチニル−3−アミノナフタレン、2−エチニル−4−アミノナフタレン、2−エチニル−5−アミノナフタレン、2−エチニル−6−アミノナフタレン、2−エチニル−7−アミノナフタレン、2−エチニル−8−アミノナフタレン、3,5−ジエチニル−1−アミノナフタレン、3,5−ジエチニル−2−アミノナフタレン、3,6−ジエチニル−1−アミノナフタレン、3,6−ジエチニル−2−アミノナフタレン、3,7−ジエチニル−1−アミノナフタレン、3,7−ジエチニル−2−アミノナフタレン、4,8−ジエチニル−1−アミノナフタレン、4,8−ジエチニル−2−アミノナフタレン等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。   Monoamines used for the end capping agents are 5-amino-8-hydroxyquinoline, 4-amino-8-hydroxyquinoline, 1-hydroxy-8-aminonaphthalene, 1-hydroxy-7-aminonaphthalene, 1-hydroxy- 6-aminonaphthalene, 1-hydroxy-5-aminonaphthalene, 1-hydroxy-4-aminonaphthalene, 1-hydroxy-3-aminonaphthalene, 1-hydroxy-2-aminonaphthalene, 1-amino-7-hydroxynaphthalene, 2-hydroxy-7-aminonaphthalene, 2-hydroxy-6-aminonaphthalene, 2-hydroxy-5-aminonaphthalene, 2-hydroxy-4-aminonaphthalene, 2-hydroxy-3-aminonaphthalene, 1-amino-2 -Hydroxynaphthalene, 1-carboxy-8-amino Phthalene, 1-carboxy-7-aminonaphthalene, 1-carboxy-6-aminonaphthalene, 1-carboxy-5-aminonaphthalene, 1-carboxy-4-aminonaphthalene, 1-carboxy-3-aminonaphthalene, 1-carboxy 2-aminonaphthalene, 1-amino-7-carboxynaphthalene, 2-carboxy-7-aminonaphthalene, 2-carboxy-6-aminonaphthalene, 2-carboxy-5-aminonaphthalene, 2-carboxy-4-aminonaphthalene 2-carboxy-3-aminonaphthalene, 1-amino-2-carboxynaphthalene, 2-aminonicotinic acid, 4-aminonicotinic acid, 5-aminonicotinic acid, 6-aminonicotinic acid, 4-aminosalicylic acid, 5- Aminosalicylic acid, 6-aminosalicylic acid, 3-a No-O-toluic acid, amelide, 2-aminobenzoic acid, 3-aminobenzoic acid, 4-aminobenzoic acid, 2-aminobenzenesulfonic acid, 3-aminobenzenesulfonic acid, 4-aminobenzenesulfonic acid, 3-aminobenzene Amino-4,6-dihydroxypyrimidine, 2-aminophenol, 3-aminophenol, 4-aminophenol, 5-amino-8-mercaptoquinoline, 4-amino-8-mercaptoquinoline, 1-mercapto-8-aminonaphthalene 1-mercapto-7-aminonaphthalene, 1-mercapto-6-aminonaphthalene, 1-mercapto-5-aminonaphthalene, 1-mercapto-4-aminonaphthalene, 1-mercapto-3-aminonaphthalene, 1-mercapto- 2-aminonaphthalene, 1-amino-7-mercaptonaphthalene 2-mercapto-7-aminonaphthalene, 2-mercapto-6-aminonaphthalene, 2-mercapto-5-aminonaphthalene, 2-mercapto-4-aminonaphthalene, 2-mercapto-3-aminonaphthalene, 1-amino 2-mercaptonaphthalene, 3-amino-4,6-dimercaptopyrimidine, 2-aminothiophenol, 3-aminothiophenol, 4-aminothiophenol, 2-ethynylaniline, 3-ethynylaniline, 4-ethynylaniline 2,4-diethynylaniline, 2,5-diethynylaniline, 2,6-diethynylaniline, 3,4-diethynylaniline, 3,5-diethynylaniline, 1-ethynyl-2-aminonaphthalene, 1-ethynyl-3-aminonaphthalene, 1-ethynyl-4-aminonaphthalene 1-ethynyl-5-aminonaphthalene, 1-ethynyl-6-aminonaphthalene, 1-ethynyl-7-aminonaphthalene, 1-ethynyl-8-aminonaphthalene, 2-ethynyl-1-aminonaphthalene, 2-ethynyl-3 -Aminonaphthalene, 2-ethynyl-4-aminonaphthalene, 2-ethynyl-5-aminonaphthalene, 2-ethynyl-6-aminonaphthalene, 2-ethynyl-7-aminonaphthalene, 2-ethynyl-8-aminonaphthalene, 3 , 5-diethynyl-1-aminonaphthalene, 3,5-diethynyl-2-aminonaphthalene, 3,6-diethynyl-1-aminonaphthalene, 3,6-diethynyl-2-aminonaphthalene, 3,7-diethynyl-1 -Aminonaphthalene, 3,7-diethynyl-2-aminonaphthalene, 4,8-diethini 1-aminonaphthalene, 4,8-diethynyl-2-Amino-naphthalene, but it is not limited thereto.

これらのうち、5−アミノ−8−ヒドロキシキノリン、1−ヒドロキシ−7−アミノナフタレン、1−ヒドロキシ−6−アミノナフタレン、1−ヒドロキシ−5−アミノナフタレン、1−ヒドロキシ−4−アミノナフタレン、2−ヒドロキシ−7−アミノナフタレン、2−ヒドロキシ−6−アミノナフタレン、2−ヒドロキシ−5−アミノナフタレン、1−カルボキシ−7−アミノナフタレン、1−カルボキシ−6−アミノナフタレン、1−カルボキシ−5−アミノナフタレン、2−カルボキシ−7−アミノナフタレン、2−カルボキシ−6−アミノナフタレン、2−カルボキシ−5−アミノナフタレン、2−アミノ安息香酸、3−アミノ安息香酸、4−アミノ安息香酸、4−アミノサリチル酸、5−アミノサリチル酸、6−アミノサリチル酸、2−アミノベンゼンスルホン酸、3−アミノベンゼンスルホン酸、4−アミノベンゼンスルホン酸、3−アミノ−4,6−ジヒドロキシピリミジン、2−アミノフェノール、3−アミノフェノール、4−アミノフェノール、2−アミノチオフェノール、3−アミノチオフェノール、4−アミノチオフェノール、3−エチニルアニリン、4−エチニルアニリン、3,4−ジエチニルアニリン、3,5−ジエチニルアニリン等が好ましい。   Of these, 5-amino-8-hydroxyquinoline, 1-hydroxy-7-aminonaphthalene, 1-hydroxy-6-aminonaphthalene, 1-hydroxy-5-aminonaphthalene, 1-hydroxy-4-aminonaphthalene, 2 -Hydroxy-7-aminonaphthalene, 2-hydroxy-6-aminonaphthalene, 2-hydroxy-5-aminonaphthalene, 1-carboxy-7-aminonaphthalene, 1-carboxy-6-aminonaphthalene, 1-carboxy-5 Aminonaphthalene, 2-carboxy-7-aminonaphthalene, 2-carboxy-6-aminonaphthalene, 2-carboxy-5-aminonaphthalene, 2-aminobenzoic acid, 3-aminobenzoic acid, 4-aminobenzoic acid, 4- Aminosalicylic acid, 5-aminosalicylic acid, 6-aminosalicylic acid 2-aminobenzenesulfonic acid, 3-aminobenzenesulfonic acid, 4-aminobenzenesulfonic acid, 3-amino-4,6-dihydroxypyrimidine, 2-aminophenol, 3-aminophenol, 4-aminophenol, 2- Aminothiophenol, 3-aminothiophenol, 4-aminothiophenol, 3-ethynylaniline, 4-ethynylaniline, 3,4-diethynylaniline, 3,5-diethynylaniline and the like are preferable.

末端封止剤として用いられる酸無水物、モノカルボン酸、モノ酸クロリド化合物、活性エステル化合物は、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水ナジック酸、シクロヘキサンジカルボン酸無水物、3−ヒドロキシフタル酸無水物等の酸無水物、2−カルボキシフェノール、3−カルボキシフェノール、4−カルボキシフェノール、2−カルボキシチオフェノール、3−カルボキシチオフェノール、4−カルボキシチオフェノール、1−ヒドロキシ−8−カルボキシナフタレン、1−ヒドロキシ−7−カルボキシナフタレン、1−ヒドロキシ−6−カルボキシナフタレン、1−ヒドロキシ−5−カルボキシナフタレン、1−ヒドロキシ−4−カルボキシナフタレン、1−ヒドロキシ−3−カルボキシナフタレン、1−ヒドロキシ−2−カルボキシナフタレン、1−メルカプト−8−カルボキシナフタレン、1−メルカプト−7−カルボキシナフタレン、1−メルカプト−6−カルボキシナフタレン、1−メルカプト−5−カルボキシナフタレン、1−メルカプト−4−カルボキシナフタレン、1−メルカプト−3−カルボキシナフタレン、1−メルカプト−2−カルボキシナフタレン、2−カルボキシベンゼンスルホン酸、3−カルボキシベンゼンスルホン酸、4−カルボキシベンゼンスルホン酸、2−エチニル安息香酸、3−エチニル安息香酸、4−エチニル安息香酸、2,4−ジエチニル安息香酸、2,5−ジエチニル安息香酸、2,6−ジエチニル安息香酸、3,4−ジエチニル安息香酸、3,5−ジエチニル安息香酸、2−エチニル−1−ナフトエ酸、3−エチニル−1−ナフトエ酸、4−エチニル−1−ナフトエ酸、5−エチニル−1−ナフトエ酸、6−エチニル−1−ナフトエ酸、7−エチニル−1−ナフトエ酸、8−エチニル−1−ナフトエ酸、2−エチニル−2−ナフトエ酸、3−エチニル−2−ナフトエ酸、4−エチニル−2−ナフトエ酸、5−エチニル−2−ナフトエ酸、6−エチニル−2−ナフトエ酸、7−エチニル−2−ナフトエ酸、8−エチニル−2−ナフトエ酸等のモノカルボン酸類及びこれらのカルボキシル基が酸クロリド化したモノ酸クロリド化合物、及びテレフタル酸、フタル酸、マレイン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、3−ヒドロキシフタル酸、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸、1,2−ジカルボキシナフタレン、1,3−ジカルボキシナフタレン、1,4−ジカルボキシナフタレン、1,5−ジカルボキシナフタレン、1,6−ジカルボキシナフタレン、1,7−ジカルボキシナフタレン、1,8−ジカルボキシナフタレン、2,3−ジカルボキシナフタレン、2,6−ジカルボキシナフタレン、2,7−ジカルボキシナフタレン等のジカルボン酸類のモノカルボキシル基だけが酸クロリド化したモノ酸クロリド化合物、モノ酸クロリド化合物とN−ヒドロキシベンゾトリアゾールやN−ヒドロキシ−5−ノルボルネン−2,3−ジカルボキシイミドとの反応により得られる活性エステル化合物等が挙げられる。   Acid anhydrides, monocarboxylic acids, monoacid chloride compounds, and active ester compounds used as end-capping agents are phthalic anhydride, maleic anhydride, nadic anhydride, cyclohexanedicarboxylic anhydride, 3-hydroxyphthalic anhydride Acid anhydrides such as 2-carboxyphenol, 3-carboxyphenol, 4-carboxyphenol, 2-carboxythiophenol, 3-carboxythiophenol, 4-carboxythiophenol, 1-hydroxy-8-carboxynaphthalene, 1- Hydroxy-7-carboxynaphthalene, 1-hydroxy-6-carboxynaphthalene, 1-hydroxy-5-carboxynaphthalene, 1-hydroxy-4-carboxynaphthalene, 1-hydroxy-3-carboxynaphthalene, 1-hydroxy-2-carboxyl Naphthalene, 1-mercapto-8-carboxynaphthalene, 1-mercapto-7-carboxynaphthalene, 1-mercapto-6-carboxynaphthalene, 1-mercapto-5-carboxynaphthalene, 1-mercapto-4-carboxynaphthalene, 1-mercapto -3-carboxynaphthalene, 1-mercapto-2-carboxynaphthalene, 2-carboxybenzenesulfonic acid, 3-carboxybenzenesulfonic acid, 4-carboxybenzenesulfonic acid, 2-ethynylbenzoic acid, 3-ethynylbenzoic acid, 4- Ethynylbenzoic acid, 2,4-diethynylbenzoic acid, 2,5-diethynylbenzoic acid, 2,6-diethynylbenzoic acid, 3,4-diethynylbenzoic acid, 3,5-diethynylbenzoic acid, 2-ethynyl-1- Naphthoic acid, 3-ethynyl-1-na Toeic acid, 4-ethynyl-1-naphthoic acid, 5-ethynyl-1-naphthoic acid, 6-ethynyl-1-naphthoic acid, 7-ethynyl-1-naphthoic acid, 8-ethynyl-1-naphthoic acid, 2- Ethynyl-2-naphthoic acid, 3-ethynyl-2-naphthoic acid, 4-ethynyl-2-naphthoic acid, 5-ethynyl-2-naphthoic acid, 6-ethynyl-2-naphthoic acid, 7-ethynyl-2-naphthoic acid Acids, monocarboxylic acids such as 8-ethynyl-2-naphthoic acid, and monoacid chloride compounds in which these carboxyl groups are acid chloride, and terephthalic acid, phthalic acid, maleic acid, cyclohexanedicarboxylic acid, 3-hydroxyphthalic acid, 5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid, 1,2-dicarboxynaphthalene, 1,3-dicarboxynaphthalene, 1,4-dicarboxyl Sinaphthalene, 1,5-dicarboxynaphthalene, 1,6-dicarboxynaphthalene, 1,7-dicarboxynaphthalene, 1,8-dicarboxynaphthalene, 2,3-dicarboxynaphthalene, 2,6-dicarboxynaphthalene , Monoacid chloride compounds in which only the monocarboxyl group of dicarboxylic acids such as 2,7-dicarboxynaphthalene is acid chloride, monoacid chloride compounds and N-hydroxybenzotriazole or N-hydroxy-5-norbornene-2,3- Examples include active ester compounds obtained by reaction with dicarboximide.

これらのうち、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水ナジック酸、シクロヘキサンジカルボン酸無水物、3−ヒドロキシフタル酸無水物等の酸無水物、3−カルボキシフェノール、4−カルボキシフェノール、3−カルボキシチオフェノール、4−カルボキシチオフェノール、1−ヒドロキシ−7−カルボキシナフタレン、1−ヒドロキシ−6−カルボキシナフタレン、1−ヒドロキシ−5−カルボキシナフタレン、1−メルカプト−7−カルボキシナフタレン、1−メルカプト−6−カルボキシナフタレン、1−メルカプト−5−カルボキシナフタレン、3−カルボキシベンゼンスルホン酸、4−カルボキシベンゼンスルホン酸、3−エチニル安息香酸、4−エチニル安息香酸、3,4−ジエチニル安息香酸、3,5−ジエチニル安息香酸等のモノカルボン酸類、及びこれらのカルボキシル基が酸クロリド化したモノ酸クロリド化合物、テレフタル酸、フタル酸、マレイン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、1,5−ジカルボキシナフタレン、1,6−ジカルボキシナフタレン、1,7−ジカルボキシナフタレン、2,6−ジカルボキシナフタレン等のジカルボン酸類のモノカルボキシル基だけが酸クロリド化したモノ酸クロリド化合物、モノ酸クロリド化合物とN−ヒドロキシベンゾトリアゾールやN−ヒドロキシ−5−ノルボルネン−2,3−ジカルボキシイミドとの反応により得られる活性エステル化合物等が好ましい。   Of these, phthalic anhydride, maleic anhydride, nadic anhydride, cyclohexanedicarboxylic anhydride, acid anhydrides such as 3-hydroxyphthalic anhydride, 3-carboxyphenol, 4-carboxyphenol, 3-carboxythiophenol 4-carboxythiophenol, 1-hydroxy-7-carboxynaphthalene, 1-hydroxy-6-carboxynaphthalene, 1-hydroxy-5-carboxynaphthalene, 1-mercapto-7-carboxynaphthalene, 1-mercapto-6-carboxy Naphthalene, 1-mercapto-5-carboxynaphthalene, 3-carboxybenzenesulfonic acid, 4-carboxybenzenesulfonic acid, 3-ethynylbenzoic acid, 4-ethynylbenzoic acid, 3,4-diethynylbenzoic acid, 3,5-diethynyl benzoic acid Monocarboxylic acids, and monoacid chloride compounds in which these carboxyl groups are converted to an acid chloride, terephthalic acid, phthalic acid, maleic acid, cyclohexanedicarboxylic acid, 1,5-dicarboxynaphthalene, 1,6-dicarboxynaphthalene, 1 , 7-dicarboxynaphthalene, 2,6-dicarboxynaphthalene and the like monocarboxylic acid compounds in which only the monocarboxyl group of the dicarboxylic acid is converted to acid chloride, monoacid chloride compound and N-hydroxybenzotriazole or N-hydroxy-5- Active ester compounds obtained by reaction with norbornene-2,3-dicarboximide are preferred.

末端封止剤に用いられるモノアミンの導入割合は、全アミン成分に対して、0.1〜60モル%の範囲が好ましく、特に好ましくは5〜50モル%である。末端封止剤として用いられる酸無水物、モノカルボン酸、モノ酸クロリド化合物及びモノ活性エステル化合物から選ばれた化合物の導入割合は、ジアミン成分に対して、0.1〜100モル%の範囲が好ましく、特に好ましくは5〜90モル%である。複数の末端封止剤を反応させることにより、複数の異なる末端基を導入しても良い。   The introduction ratio of the monoamine used for the end-capping agent is preferably in the range of 0.1 to 60 mol%, particularly preferably 5 to 50 mol%, based on the total amine component. The introduction ratio of the compound selected from the acid anhydride, monocarboxylic acid, monoacid chloride compound and monoactive ester compound used as the end-capping agent is in the range of 0.1 to 100 mol% with respect to the diamine component. Preferably, it is 5-90 mol% especially preferably. A plurality of different terminal groups may be introduced by reacting a plurality of terminal blocking agents.

ポリマー中に導入された末端封止剤は、以下の方法で容易に検出できる。例えば、末端封止剤が導入されたポリマーを酸性溶液に溶解し、ポリマーの構成単位であるアミン成分と酸無水物成分に分解する。これをガスクロマトグラフィー(GC)や、NMR測定することにより、末端封止剤を容易に検出できる。その他に、末端封止剤が導入されたポリマー成分を直接、熱分解ガスクロマトグラフ(PGC)や赤外スペクトル及び13CNMRスペクトル測定することによっても、容易に検出可能である。 The end-capping agent introduced into the polymer can be easily detected by the following method. For example, a polymer having an end-capping agent introduced therein is dissolved in an acidic solution and decomposed into an amine component and an acid anhydride component that are constituent units of the polymer. By measuring this with gas chromatography (GC) or NMR, the end-capping agent can be easily detected. In addition, it can be easily detected by directly measuring the polymer component into which the end-capping agent has been introduced by pyrolysis gas chromatography (PGC), infrared spectrum and 13 CNMR spectrum.

一般式(2)
(一般式中、XおよびYは、それぞれ、単環式もしくは縮合多環式の脂肪族基、または、単環式もしくは縮合多環式の芳香族基を含有し、構成する炭素原子数が4〜30である連結基を表す。XおよびYは、環構造1つから構成されていてもよいし、複数の環構造を有するものでもよい。)
一般式(2)のXおよびYの少なくとも一方が、単環式もしくは縮合多環式の脂肪族基であることが好ましく、Xが芳香族基であり、Yが単環式もしくは縮合多環式の脂肪族基であるポリマーがより好ましい。
Xとしては、さらに好ましくは、置換基を有していてもよい、芳香環、シクロヘキサン環、ビシクロ環が例示される。Yとしては、さらに好ましくは、置換基を有していてもよい、芳香環、シクロヘキサン環、ビシクロ環が例示される。置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基が例示される。
一般式(2)で表される繰り返し単位を有するポリマーを用いることにより、近赤外線反射膜との密着性を向上させることができる。
General formula (2)
(In the general formula, X and Y each contain a monocyclic or condensed polycyclic aliphatic group or a monocyclic or condensed polycyclic aromatic group, and have 4 carbon atoms. Represents a linking group of ˜30.X and Y may be composed of one ring structure or may have a plurality of ring structures.)
At least one of X and Y in the general formula (2) is preferably a monocyclic or condensed polycyclic aliphatic group, X is an aromatic group, and Y is monocyclic or condensed polycyclic. The polymer which is an aliphatic group is more preferable.
X is more preferably an aromatic ring, a cyclohexane ring or a bicyclo ring, which may have a substituent. Y is more preferably exemplified by an aromatic ring, a cyclohexane ring and a bicyclo ring, which may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, an alkyl group, and an alkoxy group.
By using the polymer having the repeating unit represented by the general formula (2), the adhesion with the near-infrared reflective film can be improved.

本発明で用いることがポリイミド樹脂フィルムの例として、特開2006−213827号公報、特開2006−117910号公報等に記載のものが挙げられる。   Examples of the polyimide resin film used in the present invention include those described in JP-A-2006-213827, JP-A-2006-117910, and the like.

本発明に用いられるポリイミド樹脂は、一般式(1)で表される繰り返し単位および/または一般式(2)で表される繰り返し単位を主成分とするものであることが好ましい。ここでいう主成分とは、一般式(1)で表される繰り返し単位および/または一般式(2)で表される繰り返し単位を70モル%以上含有していることを意味する。より好ましくは80モル%以上、最も好ましくは90モル%以上である。
本発明に用いられる樹脂は、一般式(1)で表される繰り返し単位および/または一般式(2)で表される繰り返し単位と、他の繰り返し単位との共重合体であっても、あるいは、一般式(1)で表される繰り返し単位および/または一般式(2)で表される繰り返し単位を含有する複数の樹脂の混合物であってもよい。
さらには、一般式(1)で表される繰り返し単位および/または一般式(2)で表される繰り返し単位を含有する樹脂と一般式(1)で表される繰り返し単位および/または一般式(2)で表される繰り返し単位を含有しない樹脂との混合物であってもよい。この場合、一般式(1)で表される繰り返し単位および/または一般式(2)で表される繰り返し単位を含有する樹脂は、50質量%以上含有することが好ましく、75質量%以上含有することがより好ましい。
共重合あるいは混合に用いられる繰り返し単位の種類及び量は、最終加熱処理によって得られるポリマーの耐熱性を損なわない範囲で選択することが好ましい。
It is preferable that the polyimide resin used for this invention has as a main component the repeating unit represented by General formula (1) and / or the repeating unit represented by General formula (2). The main component referred to here means that 70 mol% or more of the repeating unit represented by the general formula (1) and / or the repeating unit represented by the general formula (2) is contained. More preferably, it is 80 mol% or more, and most preferably 90 mol% or more.
The resin used in the present invention may be a copolymer of the repeating unit represented by the general formula (1) and / or the repeating unit represented by the general formula (2) and another repeating unit, or Further, it may be a mixture of a plurality of resins containing the repeating unit represented by the general formula (1) and / or the repeating unit represented by the general formula (2).
Further, the resin containing the repeating unit represented by the general formula (1) and / or the repeating unit represented by the general formula (2) and the repeating unit represented by the general formula (1) and / or the general formula (1) It may be a mixture with a resin not containing the repeating unit represented by 2). In this case, the resin containing the repeating unit represented by the general formula (1) and / or the repeating unit represented by the general formula (2) preferably contains 50% by mass or more, and contains 75% by mass or more. It is more preferable.
The type and amount of the repeating unit used for copolymerization or mixing is preferably selected within a range that does not impair the heat resistance of the polymer obtained by the final heat treatment.

本発明で用いるポリイミド樹脂は、膜物性等の観点から、質量平均分子量で、200,000以下であることが好ましく、1,000〜200,000がより好ましく、2,000〜100,000が更に好ましく、3,000〜100,000が特に好ましい。この分子量範囲とすることにより、応力が低く、機械特性に優れたフィルムを得ることが出来る。なお、本発明において分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により測定し、標準ポリスチレン検量線を用いて求めることができる。
分散度(分子量分布)は、1.0〜4.0であることが好ましく、1.0〜3.5であることがより好ましい。
The polyimide resin used in the present invention has a mass average molecular weight of preferably 200,000 or less, more preferably 1,000 to 200,000, and more preferably 2,000 to 100,000 from the viewpoint of film properties and the like. 3,000 to 100,000 is particularly preferable. By setting this molecular weight range, a film having low mechanical stress and excellent mechanical properties can be obtained. In the present invention, the molecular weight is measured by gel permeation chromatography and can be determined using a standard polystyrene calibration curve.
The dispersity (molecular weight distribution) is preferably 1.0 to 4.0, and more preferably 1.0 to 3.5.

ポリイミド樹脂のガラス転移温度(Tg)は、250℃以上が好ましく、300℃以上がより好ましい。上限値は特に定めるものではないが、例えば、450℃以下である。
ポリアミド樹脂をフィルム上に形成する方法としては、公知の方法を採用でき、例えば、特開2006−213827号公報の段落番号0058〜0070の記載を参酌できる。
The glass transition temperature (Tg) of the polyimide resin is preferably 250 ° C. or higher, and more preferably 300 ° C. or higher. The upper limit is not particularly defined, but is, for example, 450 ° C. or lower.
As a method of forming the polyamide resin on the film, a known method can be adopted, and for example, the description of paragraph numbers 0058 to 0070 of JP-A-2006-213827 can be referred to.

本発明におけるポリイミド樹脂フィルムは、近赤外線吸収剤を含むことが好ましい。近赤外線吸収剤としては、スクアリリウム系色素、シアニン系色素、フタロシアニン系色素、ナフタロシアニン系色素、クオタリレン系色素、ジチオール金属錯体系色素、遷移金属酸化物系化合物が例示され、「イーエクスカラーIR−10」、「イーエクスカラーIR−12」、「イーエクスカラーIR−14」、「イーエクスカラーHA−1」、「イーエクスカラーHA−14」(いずれも商品名、日本触媒社製)、「SIR−128」、「SIR−130」、「SIR−132」、「SIR−152」、「SIR−159」、「SIR−162」(いずれも商品名、三井化学社製)、「Kayasorb IRG−022」、「Kayasorb IRG−023」、「KayasorbIRG−040」(いずれも商品名、日本化薬社製)、「CIR−1081」(商品名、日本カーリット社製)、「NIR−IM1」、「NIR−AM1」(いずれも商品名、ナガセケムテックス社製)、セシウム酸化タングステン化合物(住友金属鉱山社製)、「Lumogen IR765」、「Lumogen IR788」(BASF社製)、「ARS670T」、「IRA800」、「IRA850」、「IRA868」(Exciton社製)が好ましい。
近赤外線吸収剤入りのフィルムは、ポリイミド樹脂溶液に近赤外線吸収剤を配合させた液を、塗膜・成形することにより得ることができる。
近赤外線吸収剤を添加することにより、分光特性を顕著に向上させることができる。近赤外線吸収剤の添加量は、ポリイミド樹脂フィルムに0.1〜50重量%の割合で含まれることが好ましく、0.5〜30重量%の割合で含まれることがより好ましい。
It is preferable that the polyimide resin film in this invention contains a near-infrared absorber. Examples of near-infrared absorbers include squarylium dyes, cyanine dyes, phthalocyanine dyes, naphthalocyanine dyes, quaterrylene dyes, dithiol metal complex dyes, transition metal oxide compounds, and “e-ex color IR- 10 "," EEX COLOR IR-12 "," EEX COLOR IR-14 "," EEX COLOR HA-1 "," EEX COLOR HA-14 "(all trade names, manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.), “SIR-128”, “SIR-130”, “SIR-132”, “SIR-152”, “SIR-159”, “SIR-162” (all trade names, manufactured by Mitsui Chemicals), “Kayasorb IRG” -022 "," Kayasorb IRG-023 "," Kayasorb IRG-040 "(all trade names, Nippon Kayaku Co., Ltd.) ), “CIR-1081” (trade name, manufactured by Nippon Carlit), “NIR-IM1”, “NIR-AM1” (all trade names, manufactured by Nagase ChemteX), cesium tungsten oxide compound (Sumitomo Metal Mining Co., Ltd.) , Lumogen IR765, Lumogen IR788 (BASF), ARS670T, IRA800, IRA850, IRA868 (Exciton) are preferred.
A film containing a near-infrared absorber can be obtained by coating / molding a liquid obtained by blending a near-infrared absorber in a polyimide resin solution.
Spectral characteristics can be remarkably improved by adding a near-infrared absorber. It is preferable that the addition amount of a near-infrared absorber is contained in the polyimide resin film in a proportion of 0.1 to 50% by weight, and more preferably in a proportion of 0.5 to 30% by weight.

本発明におけるポリイミド樹脂フィルムには、上記のほか各種添加剤を添加することができる。具体的には、界面活性剤、酸化防止剤および熱安定剤が例示される。   In addition to the above, various additives can be added to the polyimide resin film in the present invention. Specific examples include surfactants, antioxidants, and heat stabilizers.

<近赤外線反射膜>
本発明の近赤外線カットフィルターは、誘電体多層膜からなる近赤外線反射膜を有する。誘電体多層膜は、好ましくは、低屈折率層と高屈折率層とが交互に積層した構造を有する。このような誘電体多層膜を少なくともポリイミド樹脂フィルムの一方の面に有することにより、近赤外線を反射する能力に優れた近赤外線カットフィルターとすることができる。また、高屈折率層と低屈折率層の屈折率差は0.5以上であることが好ましく、1.0以上であることがより好ましい。屈折率差が1.0以上であると、カット可能な近赤外線領域の波長幅が広くなり、より近赤外線カット性能に優れたフィルターが得られる。
<Near-infrared reflective film>
The near-infrared cut filter of the present invention has a near-infrared reflective film composed of a dielectric multilayer film. The dielectric multilayer film preferably has a structure in which low refractive index layers and high refractive index layers are alternately stacked. By having such a dielectric multilayer film on at least one surface of the polyimide resin film, a near-infrared cut filter excellent in ability to reflect near-infrared light can be obtained. Further, the difference in refractive index between the high refractive index layer and the low refractive index layer is preferably 0.5 or more, and more preferably 1.0 or more. When the difference in refractive index is 1.0 or more, the wavelength range of the near infrared region that can be cut is widened, and a filter having better near infrared ray cutting performance can be obtained.

<高屈折率層>
高屈折率層を構成する材料の屈折率としては、通常、1.6以下であり、1.2〜1.6が好ましい。このような材料としては、例えば、シリカ(SiO2)、アルミナ、フッ化ランタン、フッ化マグネシウム、六フッ化アルミニウムナトリウムなどが挙げられ、シリカが好ましい。
<High refractive index layer>
As a refractive index of the material which comprises a high refractive index layer, it is 1.6 or less normally, and 1.2-1.6 are preferable. Examples of such a material include silica (SiO 2 ), alumina, lanthanum fluoride, magnesium fluoride, sodium hexafluoroaluminum, and the like, and silica is preferable.

<低屈折率層>
低屈折率層を構成する材料の屈折率としては、通常、1.7以上であり、1.7〜2.5が好ましい。このような材料としては、例えば、酸化チタン(チタニア(TiO2))、酸化ジルコニウム、五酸化タンタル、五酸化ニオブ、酸化ランタン、酸化イットリウム、酸化亜鉛、硫化亜鉛、酸化インジウム等を主成分とし、酸化チタン(チタニア(TiO2))、酸化錫、酸化セリウム等を少量含有させたものなどが挙げられる。好ましくは、チタニア(TiO2)、ITO(錫ドープ酸化インジウム)およびATO(アンチモンドープ酸化錫)である。特に、ITO(錫ドープ酸化インジウム)およびATO(アンチモンドープ酸化錫)を用いると、電磁波の領域もカットでき、より効果的である。
<Low refractive index layer>
As a refractive index of the material which comprises a low-refractive-index layer, it is 1.7 or more normally, and 1.7-2.5 are preferable. Examples of such materials include titanium oxide (titania (TiO 2 )), zirconium oxide, tantalum pentoxide, niobium pentoxide, lanthanum oxide, yttrium oxide, zinc oxide, zinc sulfide, indium oxide, and the like as main components. Examples thereof include titanium oxide (titania (TiO 2 )), tin oxide, cerium oxide and the like in a small amount. Preferred are titania (TiO 2 ), ITO (tin-doped indium oxide) and ATO (antimony-doped tin oxide). In particular, when ITO (tin-doped indium oxide) and ATO (antimony-doped tin oxide) are used, the electromagnetic wave region can be cut, which is more effective.

<積層方法>
高屈折率層と低屈折率層とを積層する方法については、これら材料層を積層した誘電体多層膜が形成される限り特に制限はないが、例えば、CVD法、スパッタ法、蒸着法などにより、高屈折率層と低屈折率層とを交互に積層することにより誘電体多層膜を形成することができる。本発明では特に、蒸着法によって製造できるため、生産性が向上すると言うメリットがある。蒸着時の基板温度は、120〜300℃であることが好ましい。
<Lamination method>
The method of laminating the high-refractive index layer and the low-refractive index layer is not particularly limited as long as a dielectric multilayer film in which these material layers are laminated is formed. For example, by CVD, sputtering, vapor deposition, etc. A dielectric multilayer film can be formed by alternately laminating high refractive index layers and low refractive index layers. Especially in this invention, since it can manufacture by a vapor deposition method, there exists a merit that productivity improves. It is preferable that the substrate temperature at the time of vapor deposition is 120-300 degreeC.

高屈折率層および低屈折率層の各層の厚さは、通常、遮断しようとする近赤外線波長λ(nm)の0.1λ〜0.5λの厚さである。厚さが上記範囲外であると、屈折率(n)と膜厚(d)との積(n×d)が、λ/4で算出される光学的膜厚と大きく異なって反射・屈折の光学的特性の関係が崩れてしまい、特定波長の遮断・透過をするコントロールができなくなってしまう傾向になる。   The thicknesses of the high-refractive index layer and the low-refractive index layer are usually 0.1λ to 0.5λ of the near infrared wavelength λ (nm) to be blocked. If the thickness is out of the above range, the product (n × d) of the refractive index (n) and the film thickness (d) is greatly different from the optical film thickness calculated by λ / 4. There is a tendency that the relationship between the optical characteristics is broken, and control for blocking / transmitting a specific wavelength cannot be performed.

高屈折率層および低屈折率層の積層数は、ポリイミド樹脂フィルムの一方の面にのみ誘電体多層膜を有する場合は、通常10〜80層、好ましくは10〜30層である。一方、ポリイミド樹脂フィルムの両面に誘電体多層膜を有する場合の積層数は、基板両面の積層数全体として、通常10〜80層、好ましくは10〜30層である。   The number of laminated layers of the high refractive index layer and the low refractive index layer is usually 10 to 80 layers, preferably 10 to 30 layers when the dielectric multilayer film is provided only on one surface of the polyimide resin film. On the other hand, when the dielectric multilayer film is provided on both sides of the polyimide resin film, the number of laminated layers is generally 10 to 80 layers, preferably 10 to 30 layers as the whole number of laminated layers on both sides of the substrate.

本発明に係る近赤外線カットフィルターは、優れた近赤外線カット能を有し、しかも耐熱性に優れ、歪みや割れを生じにくい。したがって自動車や建物などのガラスなどに装着される熱線カットフィルターなどとして有用であるのみならず、特に、デジタルスチルカメラや携帯電話用カメラなどのCCDやCMOSなどの固体撮像素子の視感度補正に有用であり、製品組み込み時の高温接着、高温領域下での使用などを求められる用途にも好適に使用できる。
また、有機EL素子や太陽電池素子等にも好ましく用いることができる。
The near-infrared cut filter according to the present invention has an excellent near-infrared cut ability, has excellent heat resistance, and is less likely to cause distortion or cracking. Therefore, it is useful not only as a heat ray cut filter mounted on glass of automobiles and buildings, but also particularly useful for correcting the visibility of solid-state image sensors such as CCDs and CMOSs in digital still cameras and mobile phone cameras. Therefore, it can be suitably used for applications that require high-temperature adhesion during product incorporation, use in a high-temperature region, and the like.
Moreover, it can use preferably also for an organic EL element, a solar cell element, etc.

以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。   The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. The materials, amounts used, ratios, processing details, processing procedures, and the like shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the specific examples shown below.

実施例1
(1)ポリアミック酸(ポリイミド前駆体、ドープA)の合成
温度計、攪拌器、窒素導入管を備えた200mLフラスコ中に2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル(和歌山精化(株)製)10.615gを入れ、N−メチル−2−ピロリドン120.64gに溶解した後、氷冷下2℃で(1R,2S,4S,5R)−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物(岩谷瓦斯(株)製)10.675gを添加した。4℃で1時間、次いで25℃で24時間反応させたところ、透明なポリアミック酸溶液が得られた。得られた溶液をGPCで分析すると、Mw=3.71×10-4、Mn=2.02×10-4であった(ドープA)。
なおGPC測定は、HPC−8220GPC(東ソー製)、ガードカラム:TSKguardcolumn SuperAW-H、カラム:TSKgel SuperAWM-Hを3本直結し、カラム温度50℃、試料濃度0.5質量%のN−メチル−2−ピロリドン溶液を20μl注入し、溶出溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン溶液(LiBr(10mM)およびH3PO4(10mM)を含む)を毎分0.35mlの流量でフローさせ、RI検出装置にて試料ピークを検出することで行った。MwおよびMnは標準ポリスチレンを用いて作製した検量線を用いて計算した。
Example 1
(1) Synthesis of polyamic acid (polyimide precursor, dope A) In a 200 mL flask equipped with a thermometer, a stirrer, and a nitrogen introduction tube, 2,2′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl (Wakayama Seiki ( Co., Ltd.) 10.615 g was added and dissolved in 120.64 g of N-methyl-2-pyrrolidone, and then (1R, 2S, 4S, 5R) -cyclohexanetetracarboxylic dianhydride (Iwatani) at 2 ° C. under ice cooling. 10.675 g (manufactured by Gas Co., Ltd.) was added. When the reaction was carried out at 4 ° C. for 1 hour and then at 25 ° C. for 24 hours, a transparent polyamic acid solution was obtained. When the obtained solution was analyzed by GPC, it was Mw = 3.71 × 10 −4 and Mn = 2.02 × 10 −4 (dope A).
GPC measurement was performed by directly connecting three HPC-8220GPC (manufactured by Tosoh Corporation), guard column: TSKguardcolumn SuperAW-H, column: TSKgel SuperAWM-H, column temperature of 50 ° C., and sample concentration of 0.5 mass%. 20 μl of 2-pyrrolidone solution was injected, and N-methyl-2-pyrrolidone solution (containing LiBr (10 mM) and H 3 PO 4 (10 mM)) as an elution solvent was allowed to flow at a flow rate of 0.35 ml per minute to detect RI. This was done by detecting the sample peak with the apparatus. Mw and Mn were calculated using a calibration curve prepared using standard polystyrene.

(2)フィルムの作成
次いで、ガラス板上にドクターブレードにてドープAを流延し、80℃にて乾燥させた。ドープが完全に乾燥しきる前にガラス板より剥離し、120mm×120mmの大きさに切り出して、同時二軸延伸機により延伸した。延伸条件は樹脂温度120℃、延伸速度200mm/分(縦、横共に)、チャック間距離100mm、延伸倍率1.7倍(面積比)とした。作製した延伸フィルムを枠張りし、200℃で2h真空乾燥させたのち、枠をはずして、300℃で2h加熱した。得られた基材フィルムは、目視による観察で、異物、ムラ、ハジキが見受けられず、良好な外観を有していた。樹脂フィルムの厚さは、79μmであった。
(2) Creation of film Next, dope A was cast on a glass plate with a doctor blade, and dried at 80 ° C. Before the dope was completely dried, the dope was peeled off from the glass plate, cut into a size of 120 mm × 120 mm, and stretched by a simultaneous biaxial stretching machine. The stretching conditions were a resin temperature of 120 ° C., a stretching speed of 200 mm / min (both longitudinal and lateral), a distance between chucks of 100 mm, and a stretching ratio of 1.7 times (area ratio). The produced stretched film was framed and vacuum-dried at 200 ° C. for 2 h, and then the frame was removed and heated at 300 ° C. for 2 h. The obtained base film had a good appearance with no foreign matter, unevenness or repellency observed by visual observation. The thickness of the resin film was 79 μm.

(3)蒸着
得られた基材フィルムに、SiO2層と、TiO2層とを、交互に、電子ビーム蒸着(EB)法により基板温度280℃で、積層蒸着し、誘電体多層膜を両面に形成し、誘電体多層膜付積層フィルムを得た。基材フィルム上に形成された誘電体多層膜層は、1層が70〜180nmで、片面18層(最表面層はSiO2層)の層構成であった。
(3) Deposition The SiO 2 layer and the TiO 2 layer are alternately deposited on the obtained base film at a substrate temperature of 280 ° C. by the electron beam evaporation (EB) method, and both sides of the dielectric multilayer film are formed. To obtain a laminated film with a dielectric multilayer film. The dielectric multilayer film layer formed on the base film had a layer configuration of one layer of 70 to 180 nm and 18 layers on one side (the outermost layer was a SiO 2 layer).

(4)評価
<外観評価>
得られた近赤外線カットフィルターを目視により、クラック・剥がれ・ムラがないかを確認し、これらの故障が無いものを「〇」、いずれかの故障が見られるものを「×」とした。
(4) Evaluation <Appearance evaluation>
The obtained near-infrared cut filter was visually confirmed to be free from cracks, peeling, or unevenness, and those having no failure were indicated as “◯”, and those having any failure were indicated as “X”.

<分光特性評価>
IRカットフィルターの分光特性を、分光光度計(U−4100型、日立ハイテクノロジーズ社製)を用いて評価した。入射角をフィルム面に対し垂直(角度0度)および35度に変化させ、透過帯(可視光領域)における高波長側で透過率が50%となる波長(650nm付近、以下「高波長端波長」と呼ぶ)および低波長側で透過率が50%となる波長(400nm付近、以下「低波長端波長」と呼ぶ)を求めた。次に、下式により、入射角による「高波長端波長」および「低波長端波長」のシフト量を求めた。
<Spectral characteristic evaluation>
The spectral characteristics of the IR cut filter were evaluated using a spectrophotometer (U-4100 type, manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation). The incident angle is changed perpendicularly to the film surface (angle 0 degree) and 35 degrees, and the wavelength at which the transmittance is 50% on the high wavelength side in the transmission band (visible light region) (near 650 nm, hereinafter “high wavelength end wavelength”) And a wavelength at which the transmittance is 50% on the low wavelength side (around 400 nm, hereinafter referred to as “low wavelength end wavelength”). Next, the shift amount of the “high wavelength end wavelength” and the “low wavelength end wavelength” depending on the incident angle was obtained by the following equation.

近年、THおよびTLの要求が厳しくなっており、TH値またはTL値が2nm低下すると顕著な低下であるといえるものである。   In recent years, the requirements for TH and TL have become stricter, and it can be said that when the TH value or TL value decreases by 2 nm, it is a significant decrease.

<耐熱性>
IRカットフィルターを2cmx2cmに切り出し、ホットプレート上で260℃、3分間加熱した。加熱の前後で、分光光度計(U−4100型、日立ハイテクノロジーズ社製)を用いて、300−1300nmの波長領域の分光を入射角0度において測定し、加熱前後における、分光透過率の面積の積分値の変化量が、5%未満のものを「〇」、5%以上10%未満のものを「△」、10%以上のものを「×」とした。
<Heat resistance>
The IR cut filter was cut into 2 cm × 2 cm and heated on a hot plate at 260 ° C. for 3 minutes. Before and after heating, using a spectrophotometer (U-4100, manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation), the spectrum in the wavelength region of 300 to 1300 nm was measured at an incident angle of 0 degree, and the area of spectral transmittance before and after heating. The change amount of the integrated value of less than 5% is “◯”, 5% or more and less than 10% is “Δ”, and 10% or more is “x”.

実施例1において、ドープおよび膜厚を下記表に示すとおり変更し、他は同様に行って、各種実施例および比較例の近赤外線カットフィルターを作成した。
また、実施例6については、実施例1において、蒸着の工程において、TiO2層をITO層に変更した以外は同様にして、誘電体多層膜を形成した。また、比較例1については、実施例1において、ポリアミド樹脂フィルムをTAC(フジタック80UL、富士フイルム製)に変え、たは同様に行った。
In Example 1, the dope and the film thickness were changed as shown in the following table, and others were carried out in the same manner to produce near-infrared cut filters of various Examples and Comparative Examples.
For Example 6, a dielectric multilayer film was formed in the same manner as in Example 1 except that the TiO 2 layer was changed to an ITO layer in the vapor deposition step. Further, Comparative Example 1 was carried out in the same manner as in Example 1, except that the polyamide resin film was changed to TAC (Fujitack 80UL, manufactured by Fuji Film).

<ドープBの作成>
温度計、攪拌器、窒素導入管を備えた5000mLフラスコ中にtrans−1,4−シクロヘキサンジアミン(岩谷瓦斯(株)製)123.42 g を入れ、NMP(N −メチル− 2 − ピロリドン)2399.4gに溶解した後、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸無水物(三菱化学(株)製)300.00 g を添加した。60 ℃ で4 時間攪拌し、その後室温まで放冷した。次いで無水フタル酸30.27gを添加し、室温で10時間攪拌して無色透明のポリアミック酸溶液を得た。得られた溶液をGPCで分析すると、Mw=1.68×10-4、Mn=0.62×10-4、Mw/Mn=2.71であった。
<Creation of dope B>
In a 5000 mL flask equipped with a thermometer, a stirrer, and a nitrogen introducing tube, 123.42 g of trans-1,4-cyclohexanediamine (manufactured by Iwatani Gas Co., Ltd.) was placed and NMP (N-methyl-2-pyrrolidone) 2399 After dissolution in 4 g, 300.00 g of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic anhydride (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) was added. The mixture was stirred at 60 ° C. for 4 hours and then allowed to cool to room temperature. Next, 30.27 g of phthalic anhydride was added and stirred at room temperature for 10 hours to obtain a colorless and transparent polyamic acid solution. The resulting solution was analyzed by GPC, Mw = 1.68 × 10 - were 4, Mw / Mn = 2.71 - 4, Mn = 0.62 × 10.

<ドープCの作成>
上記ドープAにおいて、ポリアミック酸100重量部に対し、0.3重量部の割合で、Lumogen IR788(BASF社製)を添加した。
<Creation of dope C>
In the dope A, Lumogen IR788 (manufactured by BASF) was added at a ratio of 0.3 part by weight with respect to 100 parts by weight of the polyamic acid.

<ドープEの作成>
日本ゼオン株式会社製のノルボルネン系樹脂「ゼオノア 1400R」をシクロヘキサンとキシレンの7:3混合溶液を加えて溶解し、固形分が20%の溶液を得た(ドープE)。係る溶液を平滑なガラス板上にキャストし、60℃で8時間、80℃で8時間乾燥した後、ガラス板から剥離した。剥離した樹脂をさらに減圧下100℃で24時間乾燥した。
<Creation of dope E>
A norbornene-based resin “ZEONOR 1400R” manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd. was dissolved by adding a 7: 3 mixed solution of cyclohexane and xylene to obtain a solution having a solid content of 20% (Dope E). The solution was cast on a smooth glass plate, dried at 60 ° C. for 8 hours, and at 80 ° C. for 8 hours, and then peeled off from the glass plate. The peeled resin was further dried at 100 ° C. under reduced pressure for 24 hours.

上記結果から明らかなとおり、本発明では、ポリイミド樹脂フィルムの厚さを80μmとすることにより、分光特性を顕著に向上させることが可能になった。   As is apparent from the above results, in the present invention, the spectral characteristics can be remarkably improved by setting the thickness of the polyimide resin film to 80 μm.

Claims (13)

ポリイミド樹脂フィルムと誘電体多層膜からなる近赤外線反射膜を有し、
前記ポリイミド樹脂フィルムが、下記一般式(2)で表される繰り返し単位を有するポリマーを含み、
前記ポリイミド樹脂フィルムの厚みが、10μm以上80μm以下である近赤外線カットフィルターであり、
前記近赤外線カットフィルターは、入射角を近赤外線カットフィルターのフィルム面に対し角度0度および35度に変化させて求めた可視光領域における高波長側である650nm付近で透過率が50%となる波長である高波長端波長の、下式により求めた、入射角による高波長端波長のシフト量であるTHが3〜14nmであり、
かつ、
入射角を近赤外線カットフィルターのフィルム面に対し角度0度および35度に変化させて求めた可視光領域における低波長側である400nm付近で透過率が50%となる波長である低波長端波長の、下式により求めた、入射角による低波長端波長のシフト量であるTLが11〜15nmである、
近赤外線カットフィルター。
TH(nm)=|(入射角0度における高波長端波長)−(入射角35度における高波長端波長)|
TL(nm)=|(入射角0度における低波長端波長)−(入射角35度における低波長端波長)|
一般式(2)中、Xは炭素原子数が4〜30の芳香族炭化水素基を表し、Yは炭素原子数が4〜30の単環式の脂肪族基を表す。
It has a near-infrared reflective film consisting of a polyimide resin film and a dielectric multilayer film,
The polyimide resin film includes a polymer having a repeating unit represented by the following general formula (2),
The polyimide resin film is a near infrared cut filter having a thickness of 10 μm or more and 80 μm or less,
The near-infrared cut filter has a transmittance of 50% in the vicinity of 650 nm on the high wavelength side in the visible light region obtained by changing the incident angle to 0 ° and 35 ° with respect to the film surface of the near-infrared cut filter. TH, which is the shift amount of the high wavelength end wavelength depending on the incident angle, obtained from the following formula of the high wavelength end wavelength which is the wavelength is 3 to 14 nm,
And,
Low wavelength end wavelength, which is a wavelength at which the transmittance is 50% near 400 nm on the low wavelength side in the visible light range obtained by changing the incident angle to 0 ° and 35 ° with respect to the film surface of the near-infrared cut filter The TL, which is the shift amount of the low wavelength end wavelength due to the incident angle, obtained from the following equation is 11 to 15 nm.
Near-infrared cut filter.
TH (nm) = | (high wavelength end wavelength at an incident angle of 0 degree) − (high wavelength end wavelength at an incident angle of 35 degrees) |
TL (nm) = | (low wavelength end wavelength at an incident angle of 0 degree) − (low wavelength end wavelength at an incident angle of 35 degrees) |
(In general formula (2), X represents an aromatic hydrocarbon group having 4 to 30 carbon atoms, and Y represents a monocyclic aliphatic group having 4 to 30 carbon atoms. )
前記ポリイミド樹脂フィルムが、近赤外線吸収剤を含む、請求項1に記載の近赤外線カットフィルター。   The near-infrared cut filter according to claim 1, wherein the polyimide resin film contains a near-infrared absorber. 前記近赤外線吸収剤が、スクアリリウム系色素、シアニン系色素、フタロシアニン系色素、ナフタロシアニン系色素、クオタリレン系色素、ジチオール金属錯体系色素、および遷移金属酸化物系化合物から選ばれる1種以上である、請求項2に記載の近赤外線カットフィルター。   The near-infrared absorber is at least one selected from squarylium dyes, cyanine dyes, phthalocyanine dyes, naphthalocyanine dyes, quatarylene dyes, dithiol metal complex dyes, and transition metal oxide compounds. The near infrared cut filter according to claim 2. 前記誘電体多層膜が、低屈折率層と高屈折率層とが交互に積層した構造を有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の近赤外線カットフィルター。   The near-infrared cut filter according to claim 1, wherein the dielectric multilayer film has a structure in which low refractive index layers and high refractive index layers are alternately stacked. 前記高屈折率層と前記低屈折率層の屈折率差が0.5以上である、請求項4に記載の近赤外線カットフィルター。   The near-infrared cut filter according to claim 4, wherein a difference in refractive index between the high refractive index layer and the low refractive index layer is 0.5 or more. 前記低屈折率層の一つがシリカ(SiO2)を含み、前記高屈折率層の一つがチタニア(TiO2)を含む、請求項4または5に記載の近赤外線カットフィルター。 6. The near-infrared cut filter according to claim 4, wherein one of the low refractive index layers includes silica (SiO 2 ), and one of the high refractive index layers includes titania (TiO 2 ). 前記低屈折率層の一つがシリカ(SiO2)を含み、前記高屈折率層がITO(錫ドープ酸化インジウム)またはATO(アンチモンドープ酸化錫)のいずれかを含む、請求項4または5に記載の近赤外線カットフィルター。 Said one of the low refractive index layer comprises a silica (SiO 2), wherein the high refractive index layer comprises any one of ITO (tin-doped indium oxide) or ATO (antimony-doped tin oxide), according to claim 4 or 5 Near infrared cut filter. 前記ポリイミド樹脂フィルムの厚みが、60μm以下であることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の近赤外線カットフィルター。   The near-infrared cut filter according to claim 1, wherein a thickness of the polyimide resin film is 60 μm or less. 前記ポリイミド樹脂フィルムのガラス転移温度が250℃以上である、請求項1〜8のいずれか1項に記載の近赤外線カットフィルター。   The near-infrared cut filter according to claim 1, wherein the polyimide resin film has a glass transition temperature of 250 ° C. or higher. 近赤外線カットフィルターを、2cm×2cmに切り出し、ホットプレート上で260℃、3分間加熱し、加熱の前後における、400−1100nmの波長領域の分光を入射角0度において測定した、分光透過率の面積の積分値の変化量が、10%未満である、請求項1〜9のいずれか1項に記載の近赤外線カットフィルター。   A near-infrared cut filter was cut out to 2 cm × 2 cm, heated on a hot plate at 260 ° C. for 3 minutes, and the spectrum in the wavelength region of 400-1100 nm before and after heating was measured at an incident angle of 0 degree. The near-infrared cut filter according to claim 1, wherein the amount of change in the integrated value of the area is less than 10%. 請求項1〜10のいずれか1項に記載の近赤外線カットフィルターを用いた固体撮像素子。   The solid-state image sensor using the near-infrared cut filter of any one of Claims 1-10. 請求項1〜10のいずれか1項に記載の近赤外線カットフィルター製造方法であって、
下記一般式(2)で表される繰り返し単位を有するポリマーを含み、厚さが10μm以上80μm以下のポリイミド樹脂フィルムの上に、蒸着により、誘電体多層膜からなる近赤外線反射膜を形成することを含む、近赤外線カットフィルターの製造方法。
一般式(2)中、Xは炭素原子数が4〜30の芳香族炭化水素基を表し、Yは炭素原子数が4〜30の単環式の脂肪族基を表す。
It is a manufacturing method of the near-infrared cut filter according to any one of claims 1 to 10,
Forming a near-infrared reflective film made of a dielectric multilayer film by vapor deposition on a polyimide resin film having a thickness of 10 μm or more and 80 μm or less, including a polymer having a repeating unit represented by the following general formula (2) A method for producing a near-infrared cut filter, comprising:
(In general formula (2), X represents an aromatic hydrocarbon group having 4 to 30 carbon atoms, and Y represents a monocyclic aliphatic group having 4 to 30 carbon atoms. )
蒸着温度が120〜300℃である、請求項12に記載の近赤外線カットフィルターの製造方法。   The manufacturing method of the near-infrared cut filter of Claim 12 whose vapor deposition temperature is 120-300 degreeC.
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