JP6276141B2 - Radiation analyzer - Google Patents

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JP6276141B2 JP2014175639A JP2014175639A JP6276141B2 JP 6276141 B2 JP6276141 B2 JP 6276141B2 JP 2014175639 A JP2014175639 A JP 2014175639A JP 2014175639 A JP2014175639 A JP 2014175639A JP 6276141 B2 JP6276141 B2 JP 6276141B2
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

本発明は、放射線分析装置に関する。   The present invention relates to a radiation analyzer.

従来、X線分析装置において、試料室を開く際には、まず、オペレーターが試料室のオープンボタンを押すことで、X線シャッター制御機構のアクチュエーターを動作させてX線シャッターを閉める。そして、センサーでX線シャッターが閉まったことを検出し、試料室開閉ギアボックス部にある試料室のロックを電気的に解除して、モーターで試料室を開く。   Conventionally, in an X-ray analyzer, when opening a sample chamber, an operator first presses an open button of the sample chamber to operate an actuator of an X-ray shutter control mechanism to close the X-ray shutter. Then, the sensor detects that the X-ray shutter is closed, the sample chamber in the sample chamber opening / closing gearbox is unlocked electrically, and the sample chamber is opened by the motor.

例えば、特許文献1のX線分析装置では、掛止部材に取り付けられたレバーを移動させてシールドカバーのロックを解除する際に、レバーの動作をリミットスイッチで検知してX線を遮蔽するシャッターを閉じている。   For example, in the X-ray analysis apparatus disclosed in Patent Document 1, when a lever attached to a hooking member is moved to unlock a shield cover, a shutter that detects the operation of the lever with a limit switch and shields X-rays. Is closed.

実開平6−35955号公報Japanese Utility Model Publication No. 6-35955

上述した特許文献1のX線分析装置では、X線シャッターと試料室ロック機構との間のインターロックが電気的に動作する。そのため、特許文献1のX線分析装置では、例えば、装置の電気系統が暴走した場合やセンシングが行えない部分において機械的な破損がおきた場合に、誤ってX線を外部に放出させてしまう恐れがある。   In the X-ray analyzer of Patent Document 1 described above, the interlock between the X-ray shutter and the sample chamber locking mechanism is electrically operated. Therefore, in the X-ray analysis apparatus of Patent Document 1, for example, when the electrical system of the apparatus runs away or when mechanical damage occurs in a portion where sensing cannot be performed, X-rays are erroneously emitted to the outside. There is a fear.

本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、安全性の向上を図ることができる放射線分析装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and one of the objects according to some aspects of the present invention is to provide a radiation analyzer capable of improving safety. It is in.

(1)本発明に係る放射線分析装置は、
一次放射線を発生させる放射線源と、
試料が配置される試料室と、
前記一次放射線の照射に応じて前記試料から発生する二次放射線を検出する検出器と、
開閉自在に設けられた試料室蓋と、
第1位置と第2位置との間を移動可能であり、前記試料室蓋が閉じられると前記第1位置から前記第2位置に移動する第1移動部材と、
前記第1移動部材を前記第2位置から前記第1位置に移動させる押動部と、
前記第1移動部材に取り付けられ、前記第1移動部材が前記第2位置に移動したときに前記試料室蓋の爪受部と係合し、前記第1位置に移動したときに前記爪受部との係合が解除される爪部と、
前記放射線源と前記試料室との間に配置された放射線シャッターと、
前記放射線シャッターを移動させて、前記放射線シャッターの開閉を行うシャッター駆動部と、
前記放射線シャッターと連動して移動する第2移動部材と、
前記第1移動部材と前記第2移動部材の相対位置によって前記第1移動部材および前記第2移動部材の移動を規制する規制部材と、
を含む。
(1) A radiation analyzer according to the present invention comprises:
A radiation source generating primary radiation; and
A sample chamber in which the sample is placed;
A detector for detecting secondary radiation generated from the sample in response to irradiation of the primary radiation;
A sample chamber lid that can be freely opened and closed;
A first moving member that is movable between a first position and a second position and moves from the first position to the second position when the sample chamber lid is closed;
A pushing portion for moving the first moving member from the second position to the first position;
The claw receiving portion that is attached to the first moving member, engages with a claw receiving portion of the sample chamber lid when the first moving member moves to the second position, and moves to the first position when the first moving member moves to the second position. A claw part to be disengaged from,
A radiation shutter disposed between the radiation source and the sample chamber;
A shutter drive unit that moves the radiation shutter to open and close the radiation shutter; and
A second moving member that moves in conjunction with the radiation shutter;
A restricting member for restricting movement of the first moving member and the second moving member according to a relative position of the first moving member and the second moving member;
including.

このような放射線分析装置では、規制部材は、第1移動部材と第2移動部材の相対位置によって第1移動部材および第2移動部材の移動を規制する。このように、機械的な機構でインターロックが構成されているため(メカニカルインターロック)、電気系統の暴走が起こった場合でも、放射線源で発生した放射線が外部に放出されることを防ぐことができる。したがって、このような放射線分析装置では、例えば電気的なインターロック機構と比べて、安全性の向上を図ることができる。   In such a radiation analyzer, the restricting member restricts the movement of the first moving member and the second moving member by the relative positions of the first moving member and the second moving member. In this way, since the interlock is configured with a mechanical mechanism (mechanical interlock), even if the electric system runs away, the radiation generated by the radiation source can be prevented from being released to the outside. it can. Therefore, in such a radiation analyzer, safety can be improved as compared with, for example, an electrical interlock mechanism.

(2)本発明に係る放射線分析装置において、
前記規制部材には、前記第1移動部材が挿入される穴部が設けられ、
前記穴部は、第1の幅を有する幅広部と、前記第1の幅よりも小さい第2の幅を有する幅狭部と、を有し、
前記第1移動部材は、前記第2の幅よりも径が小さい第1部分と、前記第1の幅よりも径が小さく前記第2の幅よりも径が大きい第2部分と、を有し、
前記第1部分は、前記第1移動部材が前記第2位置に移動したときに前記穴部に位置し、
前記第2部分は、前記第1移動部材が前記第1位置に移動したときに前記穴部に位置してもよい。
(2) In the radiation analyzer according to the present invention,
The restriction member is provided with a hole into which the first moving member is inserted,
The hole includes a wide portion having a first width and a narrow portion having a second width smaller than the first width,
The first moving member has a first portion having a diameter smaller than the second width, and a second portion having a diameter smaller than the first width and larger than the second width. ,
The first portion is located in the hole when the first moving member is moved to the second position;
The second portion may be positioned in the hole when the first moving member moves to the first position.

このような放射線分析装置では、後述するように、爪部と爪受部との係合が解除された状態では、放射線シャッターを開くことができないため、試料室蓋が開いて試料室が開放されている状態で、放射線源で発生した放射線が外部に放出されることを防ぐことができる。さらに、放射線シャッターが開いている状態では、爪部と爪受部との係合を解除できないため、放射線を照射中に、爪部と爪受部との係合が解除されて試料室蓋が開くことを防ぐことができる。   In such a radiation analyzer, as will be described later, the radiation shutter cannot be opened in a state where the engagement between the claw portion and the claw receiving portion is released, so the sample chamber lid is opened and the sample chamber is opened. In this state, the radiation generated by the radiation source can be prevented from being released to the outside. Furthermore, when the radiation shutter is open, the engagement between the nail portion and the nail receiving portion cannot be released. Therefore, during irradiation with radiation, the engagement between the nail portion and the nail receiving portion is released and the sample chamber lid is opened. Can be prevented from opening.

(3)本発明に係る放射線分析装置は、
一次放射線を発生させる放射線源と、
試料が配置される試料室と、
前記一次放射線の照射に応じて前記試料から発生する放射線を検出する二次検出器と、
開閉自在に設けられた試料室蓋と、
第1位置と第2位置との間を移動可能であり、前記試料室蓋が閉じられると前記第1位置から前記第2位置に移動する第1移動部材と、
前記第1移動部材を前記第2位置から前記第1位置に移動させる押動部と、
前記第1移動部材に取り付けられ、前記第1移動部材が前記第2位置に移動したときに前記試料室蓋の爪受部と係合し、前記第1位置に移動したときに前記爪受部との係合が解除される爪部と、
前記放射線源と前記試料室との間に配置された放射線シャッターと、
前記放射線シャッターを移動させて、前記放射線シャッターの開閉を行うシャッター駆動部と、
前記放射線シャッターと連動して移動する第2移動部材と、
を含み、
前記第1移動部材には、前記第1移動部材と前記第2移動部材の相対位置によって前記第1移動部材および前記第2移動部材の移動を規制する規制部が設けられている。
(3) A radiation analysis apparatus according to the present invention comprises:
A radiation source generating primary radiation; and
A sample chamber in which the sample is placed;
A secondary detector for detecting radiation generated from the sample in response to irradiation of the primary radiation;
A sample chamber lid that can be freely opened and closed;
A first moving member that is movable between a first position and a second position and moves from the first position to the second position when the sample chamber lid is closed;
A pushing portion for moving the first moving member from the second position to the first position;
The claw receiving portion that is attached to the first moving member, engages with a claw receiving portion of the sample chamber lid when the first moving member moves to the second position, and moves to the first position when the first moving member moves to the second position. A claw part to be disengaged from,
A radiation shutter disposed between the radiation source and the sample chamber;
A shutter drive unit that moves the radiation shutter to open and close the radiation shutter; and
A second moving member that moves in conjunction with the radiation shutter;
Including
The first moving member is provided with a restricting portion that restricts movement of the first moving member and the second moving member according to a relative position between the first moving member and the second moving member.

このような放射線分析装置では、第1移動部材に設けられた規制部は、第1移動部材と第2移動部材の相対位置によって第1移動部材および第2移動部材の移動を規制する。このように、機械的な機構でインターロックが構成されているため(メカニカルインターロック)、電気系統の暴走が起こった場合でも、放射線源で発生した放射線が外部に放出さ
れることを防ぐことができる。したがって、このような放射線分析装置では、例えば電気的なインターロック機構と比べて、安全性の向上を図ることができる。
In such a radiation analyzer, the restricting portion provided on the first moving member restricts the movement of the first moving member and the second moving member by the relative positions of the first moving member and the second moving member. In this way, since the interlock is configured with a mechanical mechanism (mechanical interlock), even if the electric system runs away, the radiation generated by the radiation source can be prevented from being released to the outside. it can. Therefore, in such a radiation analyzer, safety can be improved as compared with, for example, an electrical interlock mechanism.

(4)本発明に係る放射線分析装置において、
前記規制部は、前記第1移動部材に設けられた穴部であり、
前記穴部は、第1の幅を有する幅広部と、前記第1の幅よりも小さい第2の幅を有する幅狭部と、を有し、
前記第2移動部材は、前記第2の幅よりも径が小さい第1部分と、前記第1の幅よりも径が小さく前記第2の幅よりも径が大きい第2部分と、を有し、
前記第2移動部材は、前記第1移動部材が前記第1位置に移動したときに前記幅狭部に位置し、前記第1移動部材が前記第2位置に移動したときに前記幅広部に位置してもよい。
(4) In the radiation analyzer according to the present invention,
The restricting portion is a hole provided in the first moving member;
The hole includes a wide portion having a first width and a narrow portion having a second width smaller than the first width,
The second moving member has a first portion having a diameter smaller than the second width, and a second portion having a diameter smaller than the first width and larger than the second width. ,
The second moving member is positioned at the narrow portion when the first moving member is moved to the first position, and is positioned at the wide portion when the first moving member is moved to the second position. May be.

このような放射線分析装置では、後述するように、爪部と爪受部との係合が解除された状態では、放射線シャッターを開くことができないため、試料室蓋が開いて試料室が開放されている状態で、放射線源で発生した放射線が外部に放出されることを防ぐことができる。さらに、放射線シャッターが開いている状態では、爪部と爪受部との係合を解除できないため、放射線を照射中に、爪部と爪受部との係合が解除されて試料室蓋が開くことを防ぐことができる。   In such a radiation analyzer, as will be described later, the radiation shutter cannot be opened in a state where the engagement between the claw portion and the claw receiving portion is released, so the sample chamber lid is opened and the sample chamber is opened. In this state, the radiation generated by the radiation source can be prevented from being released to the outside. Furthermore, when the radiation shutter is open, the engagement between the nail portion and the nail receiving portion cannot be released. Therefore, during irradiation with radiation, the engagement between the nail portion and the nail receiving portion is released and the sample chamber lid is opened. Can be prevented from opening.

第1実施形態に係る放射線分析装置の構成を模式的に示す図。The figure which shows typically the structure of the radiation analyzer which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the radiation analyzer which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置のロック機構とシャッター開閉機構を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the lock mechanism and shutter opening / closing mechanism of the radiation analyzer which concern on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置のロック機構とシャッター開閉機構を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the lock mechanism and shutter opening / closing mechanism of the radiation analyzer which concern on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置のロック機構を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the locking mechanism of the radiation analyzer which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置のロック機構を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the locking mechanism of the radiation analyzer which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置のストッパーを模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the stopper of the radiation analyzer which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置のシャッター開閉機構を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the shutter opening / closing mechanism of the radiation analyzer which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置のキープレートの動作を説明するための図。The figure for demonstrating operation | movement of the keyplate of the radiation analyzer which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置のキープレートの動作を説明するための図。The figure for demonstrating operation | movement of the keyplate of the radiation analyzer which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置のキープレートの動作を説明するための図。The figure for demonstrating operation | movement of the keyplate of the radiation analyzer which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置の動作を説明するための図。The figure for demonstrating operation | movement of the radiation analyzer which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置の動作を説明するための図。The figure for demonstrating operation | movement of the radiation analyzer which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置の動作を説明するための図。The figure for demonstrating operation | movement of the radiation analyzer which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置の動作を説明するための図。The figure for demonstrating operation | movement of the radiation analyzer which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置の動作を説明するための図。The figure for demonstrating operation | movement of the radiation analyzer which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る放射線分析装置の動作を説明するための図。The figure for demonstrating operation | movement of the radiation analyzer which concerns on 1st Embodiment. 第2実施形態に係る放射線分析装置のロック機構を構成するロッドを模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the rod which comprises the locking mechanism of the radiation analyzer which concerns on 2nd Embodiment. 第2実施形態に係る放射線分析装置のシャッター開閉機構を構成するシャフトを模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the shaft which comprises the shutter opening / closing mechanism of the radiation analyzer which concerns on 2nd Embodiment. 第2実施形態に係る放射線分析装置のロッドおよびシャフトの動作を説明するための図。The figure for demonstrating operation | movement of the rod and shaft of the radiation analyzer which concerns on 2nd Embodiment. 第2実施形態に係る放射線分析装置のロッドおよびシャフトの動作を説明するための図。The figure for demonstrating operation | movement of the rod and shaft of the radiation analyzer which concerns on 2nd Embodiment. 第2実施形態に係る放射線分析装置のロッドおよびシャフトの動作を説明するための図。The figure for demonstrating operation | movement of the rod and shaft of the radiation analyzer which concerns on 2nd Embodiment.

以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The embodiments described below do not unduly limit the contents of the present invention described in the claims. In addition, not all of the configurations described below are essential constituent requirements of the present invention.

1. 第1実施形態
1.1. 放射線分析装置の構成
まず、第1実施形態に係る放射線分析装置の構成について図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る放射線分析装置の構成を模式的に示す図である。
1. 1. First embodiment 1.1. Configuration of Radiation Analyzer First, the configuration of the radiation analyzer according to the first embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram schematically showing the configuration of the radiation analysis apparatus according to the first embodiment.

放射線分析装置100は、図1に示すように、放射線源10と、試料室20と、検出器30と、試料室蓋40と、ロック機構50と、シャッター(放射線シャッター)60と、コリメーター62と、シャッター開閉機構70と、を含む。   As shown in FIG. 1, the radiation analyzer 100 includes a radiation source 10, a sample chamber 20, a detector 30, a sample chamber lid 40, a lock mechanism 50, a shutter (radiation shutter) 60, and a collimator 62. And a shutter opening / closing mechanism 70.

放射線分析装置100は、放射線源10から発生した一次X線(一次放射線)を分析対象である試料Sに照射し、この一次X線の照射に応じて試料Sで二次的に励起された特性X線(二次X線)を検出器30で検出することにより、試料構成元素の定性分析および定量分析を行う。放射線分析装置100は、例えば、蛍光X線分析装置である。   The radiation analysis apparatus 100 irradiates the sample S to be analyzed with primary X-rays (primary radiation) generated from the radiation source 10, and the characteristics secondary excited by the sample S in response to the irradiation with the primary X-rays. By detecting X-rays (secondary X-rays) with the detector 30, qualitative analysis and quantitative analysis of sample constituent elements are performed. The radiation analyzer 100 is, for example, a fluorescent X-ray analyzer.

放射線源10は、例えば、X線管球である。放射線源10で発生した一次X線は、コリメーター62を通過し、試料Sの分析対象位置に照射される。   The radiation source 10 is, for example, an X-ray tube. The primary X-rays generated by the radiation source 10 pass through the collimator 62 and are irradiated to the analysis target position of the sample S.

試料室20は、試料Sが収容される。試料Sは、試料室20において、試料支持板22に支持されている。試料支持板22には、開口が形成されており、当該開口を介して、一次X線が試料Sに到達する。一次X線が照射された試料Sの分析対象位置からは、特性X線(二次X線)が発生する。   The sample chamber 20 accommodates the sample S. The sample S is supported by the sample support plate 22 in the sample chamber 20. An opening is formed in the sample support plate 22, and primary X-rays reach the sample S through the opening. Characteristic X-rays (secondary X-rays) are generated from the analysis target position of the sample S irradiated with the primary X-rays.

検出器30は、試料Sで発生した特性X線を検出する。検出器30は、例えば、半導体検出器である。   The detector 30 detects characteristic X-rays generated in the sample S. The detector 30 is, for example, a semiconductor detector.

試料室蓋40は、試料室20を封止するための蓋である。試料室蓋40は、放射線源10で発生した一次X線を外部に漏洩させないためのシールドとしても機能する。試料室蓋40は、開閉自在に設けられている。   The sample chamber lid 40 is a lid for sealing the sample chamber 20. The sample chamber lid 40 also functions as a shield for preventing primary X-rays generated from the radiation source 10 from leaking outside. The sample chamber lid 40 is provided so as to be freely opened and closed.

ロック機構50は、試料室蓋40の開閉を制御するための機構である。ロック機構50の詳細については後述する。   The lock mechanism 50 is a mechanism for controlling opening and closing of the sample chamber lid 40. Details of the lock mechanism 50 will be described later.

シャッター60は、放射線源10と試料室20との間に配置されている。シャッター60を閉じることで、放射線源10で発生した一次X線が外部に漏洩することを防ぐことができる。   The shutter 60 is disposed between the radiation source 10 and the sample chamber 20. By closing the shutter 60, it is possible to prevent primary X-rays generated from the radiation source 10 from leaking to the outside.

コリメーター62は、放射線源10で発生した一次X線を細く絞るための部材である。これにより、試料Sにおいて、一次X線の照射面積を小さくすることができる。   The collimator 62 is a member for narrowing down primary X-rays generated by the radiation source 10. Thereby, in the sample S, the irradiation area of the primary X-ray can be reduced.

シャッター開閉機構70は、シャッター60およびコリメーター62を制御する機構で
ある。シャッター開閉機構70の詳細については後述する。
The shutter opening / closing mechanism 70 is a mechanism that controls the shutter 60 and the collimator 62. Details of the shutter opening / closing mechanism 70 will be described later.

図2は、放射線分析装置100を模式的に示す斜視図である。   FIG. 2 is a perspective view schematically showing the radiation analysis apparatus 100.

放射線分析装置100は、図2に示すように、装置フレーム2を含む。ロック機構50およびシャッター開閉機構70は、装置フレーム2で保持されている。   As shown in FIG. 2, the radiation analysis apparatus 100 includes an apparatus frame 2. The lock mechanism 50 and the shutter opening / closing mechanism 70 are held by the apparatus frame 2.

試料室蓋40は、プッシュブロック42と、プッシュブロック44(爪受部の一例)と、を有している。プッシュブロック42,44は、試料室蓋40の内側の面(装置本体側の面)に設けられており、当該面から突出している。プッシュブロック44には、後述するロック機構50の爪部51を受け止める溝が周設されている。   The sample chamber lid 40 includes a push block 42 and a push block 44 (an example of a claw receiving portion). The push blocks 42 and 44 are provided on the inner surface (surface on the apparatus main body side) of the sample chamber lid 40 and protrude from the surface. The push block 44 is provided with a groove for receiving a claw portion 51 of a lock mechanism 50 described later.

図3および図4は、ロック機構50とシャッター開閉機構70を模式的に示す斜視図である。   3 and 4 are perspective views schematically showing the lock mechanism 50 and the shutter opening / closing mechanism 70. FIG.

放射線分析装置100は、図3および図4に示すように、キープレート(規制部材の一例)80を含む。ロック機構50を構成するロッド52(第1移動部材の一例)は、キープレート80の穴部82を通過するように配置されている。シャッター開閉機構70のシャフト(第2移動部材の一例)72の端には、キープレート80が固定されている。ロック機構50とシャッター開閉機構70とは、キープレート80を介して、繋がっている。   As shown in FIGS. 3 and 4, the radiation analysis apparatus 100 includes a key plate (an example of a regulating member) 80. The rod 52 (an example of the first moving member) constituting the lock mechanism 50 is disposed so as to pass through the hole 82 of the key plate 80. A key plate 80 is fixed to an end of a shaft (an example of a second moving member) 72 of the shutter opening / closing mechanism 70. The lock mechanism 50 and the shutter opening / closing mechanism 70 are connected via a key plate 80.

図5および図6は、ロック機構50を模式的に示す斜視図である。図5および図6には、A方向と、A方向とは反対方向のB方向を示す矢印を図示している。なお、A方向は装置後方から装置前方に向かう方向であり、B方向は装置前方から装置後方に向かう方向である。   5 and 6 are perspective views schematically showing the lock mechanism 50. FIG. 5 and 6 show arrows indicating the A direction and the B direction opposite to the A direction. The A direction is a direction from the rear of the apparatus toward the front of the apparatus, and the B direction is a direction from the front of the apparatus toward the rear of the apparatus.

ロック機構50は、試料室蓋40(図2参照)が閉じられたときに試料室蓋40のロックを行うための機構である。ロック機構50は、図5および図6に示すように、爪部51と、ロッド52と、ストッパー53と、ストッパースプリング54と、ロッドスプリング55と、試料室OPENボタン56(押動部の一例)と、OPENボタンロッド57と、ロッド受け部58と、センサー59a,59bと、を有している。   The lock mechanism 50 is a mechanism for locking the sample chamber lid 40 when the sample chamber lid 40 (see FIG. 2) is closed. As shown in FIGS. 5 and 6, the lock mechanism 50 includes a claw portion 51, a rod 52, a stopper 53, a stopper spring 54, a rod spring 55, and a sample chamber OPEN button 56 (an example of a pushing portion). And an OPEN button rod 57, a rod receiving portion 58, and sensors 59a and 59b.

爪部51は、ロッド52に取り付けられている。爪部51は、試料室蓋40のプッシュブロック44(図2参照)と係合し、試料室蓋40をロックして開かないようにするための部品である。爪部51は、ロッド52に取り付けられて(固定されており)、ロッド52の動きと連動する。   The claw portion 51 is attached to the rod 52. The claw portion 51 is a component that engages with the push block 44 (see FIG. 2) of the sample chamber lid 40 and locks the sample chamber lid 40 so as not to open. The claw portion 51 is attached (fixed) to the rod 52 and interlocks with the movement of the rod 52.

ロッド52は、キープレート80の穴部82を通過するように配置されている。ロッド52は、A方向またはB方向に直線的に移動可能である。ロッド52は、ロッド52の中心軸に沿って移動する。ロッド52は、装置後方の所定の位置(第1位置)と、装置前方の所定の位置(第2位置)と、の間を直線的に移動する。具体的には、ロッド52は、試料室蓋40が閉じられると、ロッドスプリング55により、装置後方から装置前方(A方向)に移動し、装置前方の第2位置に位置する。また、ロッド52は、試料室OPENボタン56が押されると、装置前方から装置後方(B方向)に移動して、装置後方の第1位置に位置する。   The rod 52 is disposed so as to pass through the hole 82 of the key plate 80. The rod 52 can move linearly in the A direction or the B direction. The rod 52 moves along the central axis of the rod 52. The rod 52 linearly moves between a predetermined position (first position) at the rear of the apparatus and a predetermined position (second position) at the front of the apparatus. Specifically, when the sample chamber lid 40 is closed, the rod 52 is moved from the rear of the device to the front of the device (direction A) by the rod spring 55 and is positioned at the second position in front of the device. Further, when the sample chamber OPEN button 56 is pressed, the rod 52 moves from the front of the apparatus to the rear of the apparatus (direction B) and is positioned at the first position at the rear of the apparatus.

ストッパー53は、装置前方と装置後方の2箇所に設置されている。ストッパー53によってロッド52の動きを規制することができる。図7は、装置後方のストッパー53を模式的に示す斜視図である。ストッパー53は、図7に示す例では、ストッパースプリング54により付勢され、装置上方に位置している。このとき、ロッド52に取り付けられ
たベアリング510がストッパー53に引っ掛かり、ロッド52のA方向の移動が規制される。また、ストッパー53は、試料室蓋40のプッシュブロック42(図2参照)で押されることで、装置下方に位置する。このとき、ベアリング510は、ストッパー53に周設された溝530を通過することができるため、ロッド52のA方向への移動規制が解除される。
The stoppers 53 are installed at two locations, the front of the apparatus and the rear of the apparatus. The movement of the rod 52 can be restricted by the stopper 53. FIG. 7 is a perspective view schematically showing the stopper 53 at the rear of the apparatus. In the example shown in FIG. 7, the stopper 53 is urged by a stopper spring 54 and is positioned above the apparatus. At this time, the bearing 510 attached to the rod 52 is caught by the stopper 53, and the movement of the rod 52 in the A direction is restricted. The stopper 53 is positioned below the apparatus by being pushed by the push block 42 (see FIG. 2) of the sample chamber lid 40. At this time, since the bearing 510 can pass through the groove 530 provided around the stopper 53, the movement restriction of the rod 52 in the A direction is released.

ロッドスプリング55は、一端がロッド52に固定され、他端が装置フレーム2に固定されている。ロッドスプリング55は、ロッド52を装置前方(A方向)に移動させるための部材である。   The rod spring 55 has one end fixed to the rod 52 and the other end fixed to the device frame 2. The rod spring 55 is a member for moving the rod 52 forward of the apparatus (direction A).

試料室OPENボタン56は、試料室蓋40のロックを解除するボタンである。オペレーターが試料室OPENボタン56を押すことで、OPENボタンロッド57、ロッド受け部58を介して、ロッド52が押動されて装置後方に移動する。具体的には、試料室OPENボタン56を押すことで、OPENボタンロッド57が押されて装置後方(B方向)に移動しロッド受け部58を押す。ロッド受け部58は、ロッド52に固定されているため、ロッド受け部58が押されて装置後方(B方向)に移動することで、ロッド52は装置後方(B方向)に移動する。   The sample chamber OPEN button 56 is a button for releasing the lock of the sample chamber lid 40. When the operator pushes the sample chamber OPEN button 56, the rod 52 is pushed through the OPEN button rod 57 and the rod receiving portion 58 to move to the rear of the apparatus. Specifically, when the sample chamber OPEN button 56 is pressed, the OPEN button rod 57 is pressed to move backward (B direction) of the apparatus and press the rod receiving portion 58. Since the rod receiving portion 58 is fixed to the rod 52, the rod 52 is moved rearward (B direction) when the rod receiving portion 58 is pushed and moved rearward (B direction).

センサー59aは、キープレート80の位置を検出するためのセンサーである。センサー59bは、ロッド52の位置を検出するためのセンサーである。   The sensor 59a is a sensor for detecting the position of the key plate 80. The sensor 59b is a sensor for detecting the position of the rod 52.

図8は、シャッター開閉機構70の構成を模式的に示す斜視図である。図8には、C方向と、C方向とは反対方向のD方向を示す矢印を図示している。なお、C,D方向は、A,B方向と垂直である。   FIG. 8 is a perspective view schematically showing the configuration of the shutter opening / closing mechanism 70. FIG. 8 illustrates an arrow indicating a C direction and a D direction opposite to the C direction. The C and D directions are perpendicular to the A and B directions.

シャッター開閉機構70は、図8に示すように、シャフト72と、モーター73(シャッター駆動部の一例)と、ベルト74と、コリメーター(シャッター)プレート75と、センサー76と、スプリング77と、を含む。   As shown in FIG. 8, the shutter opening / closing mechanism 70 includes a shaft 72, a motor 73 (an example of a shutter drive unit), a belt 74, a collimator (shutter) plate 75, a sensor 76, and a spring 77. Including.

シャフト72は、一端がコリメータープレート75に固定され、他端がキープレート80に固定されている。シャフト72は、コリメータープレート75とキープレート80とを連結している。シャフト72は、コリメータープレート75に固定されており、コリメータープレート75の動作、すなわちシャッター60の動作と連動する。   The shaft 72 has one end fixed to the collimator plate 75 and the other end fixed to the key plate 80. The shaft 72 connects the collimator plate 75 and the key plate 80. The shaft 72 is fixed to the collimator plate 75 and interlocks with the operation of the collimator plate 75, that is, the operation of the shutter 60.

モーター73は、シャッター60およびコリメーター62が取り付けられたコリメータープレート75を移動させることで、シャッター60、コリメーター62の選択を行うための部材である。モーター73が動作することで、コリメータープレート75は、C方向またはD方向に直線的に移動する。   The motor 73 is a member for selecting the shutter 60 and the collimator 62 by moving the collimator plate 75 to which the shutter 60 and the collimator 62 are attached. As the motor 73 operates, the collimator plate 75 moves linearly in the C direction or the D direction.

ベルト74は、コリメータープレート75にモーター73の動力を伝えるための部材である。ベルト74は、一端がモーター73の軸に固定され、他端がコリメータープレート75に固定されている。   The belt 74 is a member for transmitting the power of the motor 73 to the collimator plate 75. The belt 74 has one end fixed to the shaft of the motor 73 and the other end fixed to the collimator plate 75.

コリメータープレート75には、シャッター60、および複数(図示の例では3つ)のコリメーター62が取り付けられている。各コリメーター62は、互いに異なる大きさの開口を有しているため、コリメーター62を変えることで、一次X線の照射面積を変えることができる。なお、コリメータープレート75に取り付けられるコリメーター62の数は特に限定されない。   A shutter 60 and a plurality of (three in the illustrated example) collimators 62 are attached to the collimator plate 75. Since each collimator 62 has openings having different sizes, the irradiation area of the primary X-ray can be changed by changing the collimator 62. The number of collimators 62 attached to the collimator plate 75 is not particularly limited.

センサー76は、コリメータープレート75の位置(シャッター60の位置、コリメー
ター62の位置)を検出するためのセンサーである。
The sensor 76 is a sensor for detecting the position of the collimator plate 75 (the position of the shutter 60 and the position of the collimator 62).

スプリング77は、一端がコリメータープレート75に固定され、他端が装置フレーム2に固定されている。スプリング77は、コリメータープレート75を、C方向に戻すための部材である。   The spring 77 has one end fixed to the collimator plate 75 and the other end fixed to the device frame 2. The spring 77 is a member for returning the collimator plate 75 to the C direction.

図9〜図11は、キープレート80の動作を説明するための図である。   9 to 11 are diagrams for explaining the operation of the key plate 80.

キープレート80は、図9〜図11に示すように、穴部82を有している。キープレート80の穴部82は、第1の幅W1を有する幅広部82aと、第1の幅W1よりも小さい第2の幅W2を有する幅狭部82bと、を有する。なお、穴部82の幅W1,W2は、図9に示すように、A,B方向およびC,D方向に直交する方向の穴部82の大きさである。幅広部82aと幅狭部82bとは、シャフト72の移動方向、すなわちC,D方向に並んで配置されている。幅広部82aは、D方向側に位置し、幅狭部82bはC方向側に位置している。図示の例では、幅狭部82bのC,D方向の大きさは、幅広部82aのC,D方向の大きさよりも大きい。キープレート80の穴部82の開口の形状は、図示の例では鍵穴状である。   As shown in FIGS. 9 to 11, the key plate 80 has a hole 82. The hole portion 82 of the key plate 80 includes a wide portion 82a having a first width W1 and a narrow portion 82b having a second width W2 smaller than the first width W1. The widths W1 and W2 of the hole portion 82 are the sizes of the hole portion 82 in the directions orthogonal to the A and B directions and the C and D directions, as shown in FIG. The wide portion 82a and the narrow portion 82b are arranged side by side in the moving direction of the shaft 72, that is, in the C and D directions. The wide portion 82a is located on the D direction side, and the narrow portion 82b is located on the C direction side. In the illustrated example, the size of the narrow portion 82b in the C and D directions is larger than the size of the wide portion 82a in the C and D directions. The shape of the opening of the hole portion 82 of the key plate 80 is a key hole shape in the illustrated example.

ロッド52は、径が小さい部分(第1部分)52aと、径が大きい部分(第2部分)52bと、を有している。第1部分52aは、ロッド52に溝部520が周設されることで形成された部分である。第1部分52aの径は、幅狭部82bの幅W2よりも小さい。第2部分52bの径は、幅狭部82bの幅W2よりも大きく幅広部82aの幅W1よりも小さい。   The rod 52 has a portion having a small diameter (first portion) 52a and a portion having a large diameter (second portion) 52b. The first portion 52 a is a portion formed by providing a groove 520 around the rod 52. The diameter of the first portion 52a is smaller than the width W2 of the narrow portion 82b. The diameter of the second portion 52b is larger than the width W2 of the narrow portion 82b and smaller than the width W1 of the wide portion 82a.

キープレート80は、ロッド52とシャフト72の相対位置によってロッド52およびシャフト72の移動を規制する。具体的には、キープレート80では、ロッド52のA,B方向の位置に応じてキープレート80の穴部82に対するロッド52の溝部520の位置が変わる。さらに、シャフト72のC,D方向の位置に応じてキープレート80の穴部82に対するロッド52の位置(C,D方向の位置)が変わる。キープレート80は、このキープレート80の穴部82とロッド52の溝部520との位置関係を利用して、シャフト72の動作制限、ロッド52の動作制限を行っている。   The key plate 80 regulates the movement of the rod 52 and the shaft 72 according to the relative position between the rod 52 and the shaft 72. Specifically, in the key plate 80, the position of the groove portion 520 of the rod 52 with respect to the hole portion 82 of the key plate 80 changes according to the position of the rod 52 in the A and B directions. Further, the position of the rod 52 (the position in the C and D directions) with respect to the hole portion 82 of the key plate 80 changes according to the position of the shaft 72 in the C and D directions. The key plate 80 limits the operation of the shaft 72 and the operation of the rod 52 by utilizing the positional relationship between the hole 82 of the key plate 80 and the groove 520 of the rod 52.

以下、キープレート80の穴部82とロッド52の溝部520との位置関係と、キープレート80によるシャフト72およびロッド52の動作制限の関係について説明する。   Hereinafter, the positional relationship between the hole portion 82 of the key plate 80 and the groove portion 520 of the rod 52 and the relationship of the operation restriction of the shaft 72 and the rod 52 by the key plate 80 will be described.

図9は、キープレート80の穴部82の位置とロッド52の溝部520の位置が一致しておらず、かつ、ロッド52が幅広部82aに位置している状態を図示している。すなわち、図9は、ロッド52の第2部分52bが幅広部82aに位置している状態を図示している。   FIG. 9 illustrates a state in which the position of the hole portion 82 of the key plate 80 and the position of the groove portion 520 of the rod 52 do not match and the rod 52 is positioned in the wide portion 82a. That is, FIG. 9 illustrates a state in which the second portion 52b of the rod 52 is positioned in the wide portion 82a.

図9に示す状態の場合、ロッド52は幅広部82aに位置しているため、A,B方向に移動可能である。これに対して、シャフト72は、C,D方向の移動が規制される。これは、ロッド52の第2部分52bが穴部82に位置しており、ロッド52は幅狭部82bを通ることができない。そのため、キープレート80のC,D方向の移動がロッド52によって規制され、シャフト72のC,D方向の移動も規制される。   In the state shown in FIG. 9, the rod 52 is located in the wide portion 82a, and therefore can move in the A and B directions. On the other hand, the movement of the shaft 72 in the C and D directions is restricted. This is because the second portion 52b of the rod 52 is located in the hole 82, and the rod 52 cannot pass through the narrow portion 82b. Therefore, the movement of the key plate 80 in the C and D directions is restricted by the rod 52, and the movement of the shaft 72 in the C and D directions is also restricted.

図10は、キープレート80の穴部82の位置とロッド52の溝部520の位置が一致し、かつ、ロッド52が幅広部82aに位置している状態を図示している。すなわち、図10は、ロッド52の第1部分52aが幅広部82aに位置している状態を図示している。   FIG. 10 illustrates a state in which the position of the hole portion 82 of the key plate 80 and the position of the groove portion 520 of the rod 52 coincide with each other and the rod 52 is positioned in the wide portion 82a. That is, FIG. 10 illustrates a state in which the first portion 52a of the rod 52 is located in the wide portion 82a.

図10に示す状態の場合、ロッド52は幅広部82aに位置しているため、A,B方向に移動可能である。また、シャフト72は、C,D方向に移動可能である。これは、穴部82にはロッド52の第1部分52aが位置しており、ロッド52が幅狭部82bを通ることができるためである。これにより、キープレート80はC,D方向に移動可能となるため、シャフト72はC,D方向に移動可能である。   In the state shown in FIG. 10, since the rod 52 is located in the wide part 82a, it can move in the A and B directions. Further, the shaft 72 is movable in the C and D directions. This is because the first portion 52a of the rod 52 is located in the hole portion 82, and the rod 52 can pass through the narrow portion 82b. As a result, the key plate 80 can move in the C and D directions, and the shaft 72 can move in the C and D directions.

図11は、キープレート80の穴部82の位置とロッド52の溝部520の位置が一致し、かつ、ロッド52が幅狭部82bに位置している状態を図示している。すなわち、図11は、ロッド52の第1部分52aが幅狭部82bに位置している状態を図示している。   FIG. 11 illustrates a state in which the position of the hole portion 82 of the key plate 80 and the position of the groove portion 520 of the rod 52 coincide with each other and the rod 52 is positioned in the narrow portion 82b. That is, FIG. 11 illustrates a state where the first portion 52a of the rod 52 is located in the narrow portion 82b.

図11に示す状態の場合、ロッド52は幅狭部82bに位置しているため、A,B方向の移動が規制される。これは、ロッド52がA,B方向に移動しようとすると、ロッド52の第1部分52aと第2部分52bとの間の段差がキープレート80に接触してしまうためである。これに対して、シャフト72は、C,D方向に移動可能である。これは、穴部82にはロッド52の第1部分52aが位置しており、ロッド52が幅狭部82bを通ることができるためである。   In the case of the state shown in FIG. 11, the rod 52 is positioned in the narrow portion 82b, and thus movement in the A and B directions is restricted. This is because the step between the first portion 52a and the second portion 52b of the rod 52 comes into contact with the key plate 80 when the rod 52 tries to move in the A and B directions. In contrast, the shaft 72 is movable in the C and D directions. This is because the first portion 52a of the rod 52 is located in the hole portion 82, and the rod 52 can pass through the narrow portion 82b.

1.2. 放射線分析装置の動作
次に、放射線分析装置100の動作について図面を参照しながら説明する。図12〜図17は、放射線分析装置100の動作を説明するための図である。
1.2. Operation of Radiation Analyzer Next, the operation of the radiation analyzer 100 will be described with reference to the drawings. 12-17 is a figure for demonstrating operation | movement of the radiation analyzer 100. FIG.

(1)試料室蓋を閉じてシャッター開閉機構を動作できる状態にするまでの動作
まず、放射線分析装置100において、試料室蓋40を閉じてシャッター開閉機構70を動作できる状態にするまでの動作について説明する。すなわち、放射線分析装置100において、測定を開始できる状態にするまでの動作について説明する。
(1) Operation until the Sample Chamber Lid is Closed and the Shutter Open / Close Mechanism is Operable First, in the radiation analyzer 100, the operation until the sample chamber lid 40 is closed and the shutter open / close mechanism 70 is operable. explain. That is, an operation until the radiation analyzer 100 is ready to start measurement will be described.

初期状態では、試料室蓋40が開いており、試料室20が開放された状態になっているものとする(図2参照)。この場合、ロッド52は、装置後方(第1位置)に位置しており、ストッパー53により動きが規制されている。具体的には、図12に示すように、ロッド52に取り付けられたベアリング510が、装置前方のストッパー53に引っ掛かり、ロッド52は装置前方(A方向)に移動できない。同時に、装置後方のストッパー53も同様にロッド52の装置前方(A方向)の移動を規制している(図7参照)。   In the initial state, it is assumed that the sample chamber lid 40 is open and the sample chamber 20 is open (see FIG. 2). In this case, the rod 52 is located behind the device (first position), and its movement is restricted by the stopper 53. Specifically, as shown in FIG. 12, the bearing 510 attached to the rod 52 is caught by the stopper 53 in front of the apparatus, and the rod 52 cannot move in the apparatus front (direction A). At the same time, the stopper 53 at the rear of the apparatus similarly restricts the movement of the rod 52 in the front of the apparatus (direction A) (see FIG. 7).

また、このとき、キープレート80の穴部82とロッド52の溝部520との位置関係は、図9に示す状態であり、キープレート80の穴部82の位置とロッド52の溝部520の位置が一致していない。したがって、シャフト72の移動が規制されるため、シャッター開閉機構70は動作できない。   At this time, the positional relationship between the hole portion 82 of the key plate 80 and the groove portion 520 of the rod 52 is as shown in FIG. 9, and the position of the hole portion 82 of the key plate 80 and the position of the groove portion 520 of the rod 52 are Does not match. Therefore, since the movement of the shaft 72 is restricted, the shutter opening / closing mechanism 70 cannot operate.

結果的に、試料室蓋40が開いて試料室20が開放された状態にあるときは、シャッター開閉機構70は動作することができず、シャッター60が閉じた状態が維持される。したがって、放射線源10(図1参照)で発生した一次X線が外部に照射されることはない。   As a result, when the sample chamber lid 40 is opened and the sample chamber 20 is opened, the shutter opening / closing mechanism 70 cannot operate and the shutter 60 is kept closed. Therefore, primary X-rays generated by the radiation source 10 (see FIG. 1) are not irradiated to the outside.

図12に示す状態から、オペレーターが試料室蓋40を閉じると、試料室蓋40のプッシュブロック42,44(図2参照)により、ロック機構50の2つのストッパー53(図5参照)が下方向に押し込まれる。図13に示すように、ストッパー53が押し込まれると、ストッパー53の溝530の高さがロッド52に取り付けられたベアリング510の高さと同じになり、ベアリング510がストッパー53から外れる。これにより、ロッ
ド52の動作制限がなくなり、ロッド52はロッドスプリング55により装置前方(A方向)に引っ張られて移動(スライド)する。
When the operator closes the sample chamber lid 40 from the state shown in FIG. 12, the two stoppers 53 (see FIG. 5) of the lock mechanism 50 are moved downward by the push blocks 42 and 44 (see FIG. 2) of the sample chamber lid 40. Is pushed into. As shown in FIG. 13, when the stopper 53 is pushed in, the height of the groove 530 of the stopper 53 becomes the same as the height of the bearing 510 attached to the rod 52, and the bearing 510 is detached from the stopper 53. As a result, there is no restriction on the operation of the rod 52, and the rod 52 is pulled (moved) by the rod spring 55 by being pulled forward (direction A).

この結果、図14に示すように、ロッド52に取り付けられた爪部51が、ロッド52の移動と連動して、装置前方(A方向)に移動する。これにより、爪部51は、プッシュブロック44に係合し(プッシュブロック44の溝に爪部51が差し込まれ)、試料室蓋40にロックをかける。この結果、試料室蓋40が閉じられた状態を維持することができる。同時に、ストッパー53は、爪部51がプッシュブロック44に係合しているため、上方に持ち上がることはなく、下方に位置した状態を保つ。   As a result, as shown in FIG. 14, the claw portion 51 attached to the rod 52 moves in front of the apparatus (direction A) in conjunction with the movement of the rod 52. Thereby, the claw portion 51 engages with the push block 44 (the claw portion 51 is inserted into the groove of the push block 44), and locks the sample chamber lid 40. As a result, the state in which the sample chamber lid 40 is closed can be maintained. At the same time, since the claw portion 51 is engaged with the push block 44, the stopper 53 is not lifted upward and is maintained in a state of being positioned below.

また、ロッド52の装置前方(A方向)への移動により、キープレート80の穴部82とロッド52の溝部520との位置関係は、図10に示す状態となり、ロッド52の溝部520の位置が、キープレート80の穴部82の位置と一致する(重なる)。これにより、キープレート80の動作制限が解除され、シャフト72がC,D方向に移動可能となり、シャッター開閉機構70を動作させることが可能となる。   Further, as the rod 52 moves forward (direction A), the positional relationship between the hole portion 82 of the key plate 80 and the groove portion 520 of the rod 52 becomes the state shown in FIG. 10, and the position of the groove portion 520 of the rod 52 is changed. , Coincides with (overlaps) the position of the hole 82 of the key plate 80. Thereby, the operation restriction of the key plate 80 is released, the shaft 72 can be moved in the C and D directions, and the shutter opening / closing mechanism 70 can be operated.

以上の動作により、放射線分析装置100を、試料室蓋40を閉じてシャッター開閉機構70を動作できる状態にすることができる。   With the above operation, the radiation analyzer 100 can be brought into a state in which the sample chamber lid 40 is closed and the shutter opening / closing mechanism 70 can be operated.

(2)測定
放射線分析装置100の操作部(PC等、図示せず)から測定開始の信号が送られると、シャッター開閉機構70(図8参照)では、モーター73によりコリメータープレート75を移動させて、シャッター60が閉じた状態からコリメーター62を一次X線が通過する状態とする。このとき、図11および図15に示すように、ロッド52が幅狭部82bに位置する状態となるため、ロッド52の移動が規制されて、試料室蓋40のロック(爪部51とプッシュブロック44の係合)は解除できなくなる。すなわち、試料室蓋40を開いて試料室20を開放することができなくなる。
(2) Measurement When a measurement start signal is sent from the operation unit (PC or the like, not shown) of the radiation analyzer 100, the shutter opening / closing mechanism 70 (see FIG. 8) moves the collimator plate 75 by the motor 73. Thus, the primary X-ray passes through the collimator 62 from the state where the shutter 60 is closed. At this time, as shown in FIGS. 11 and 15, since the rod 52 is positioned in the narrow portion 82b, the movement of the rod 52 is restricted and the sample chamber lid 40 is locked (the claw portion 51 and the push block). 44) cannot be released. That is, the sample chamber lid 40 cannot be opened to open the sample chamber 20.

放射線源10から一次X線が照射されている間は、ロック機構50のセンサー59a,59b(図6参照)、およびシャッター開閉機構70のセンサー76(図8参照)で、キープレート80、ロッド52、およびシャッター60をモニターし、センサー59a,59b,76で異常が検知された場合は、シャッター開閉機構70を動作させてシャッター60を閉じて一次X線を遮断する。   While the primary X-ray is irradiated from the radiation source 10, the key plate 80 and the rod 52 are detected by the sensors 59a and 59b (see FIG. 6) of the lock mechanism 50 and the sensor 76 (see FIG. 8) of the shutter opening / closing mechanism 70. If the sensor 59a, 59b, 76 detects an abnormality, the shutter opening / closing mechanism 70 is operated to close the shutter 60 and block the primary X-rays.

(3)シャッターを閉じて試料室蓋を開くまでの動作
次に、放射線分析装置100において、シャッター60を閉じて試料室蓋40を開くまでの動作について説明する。
(3) Operation until the shutter is closed and the sample chamber lid is opened Next, in the radiation analyzer 100, an operation until the shutter 60 is closed and the sample chamber lid 40 is opened will be described.

測定の終了や中断等、測定が行われていない状態、または、電源をOFFすると、コリメータープレート75がスプリング77(図8参照)の力により移動して、シャッター60を閉じた状態にする。また、このコリメータープレート75の移動により、シャフト72が移動してキープレート80が移動する。これにより、キープレート80の穴部82とロッド52の溝部520との位置関係は、図10に示す状態となる。そのため、ロッド52の移動規制が解除され、試料室OPENボタン56を押せる状態となる。   When the measurement is not completed or interrupted, or when the power is turned off, the collimator plate 75 is moved by the force of the spring 77 (see FIG. 8) to close the shutter 60. Further, the movement of the collimator plate 75 causes the shaft 72 to move and the key plate 80 to move. Thereby, the positional relationship between the hole 82 of the key plate 80 and the groove 520 of the rod 52 is in the state shown in FIG. Therefore, the movement restriction of the rod 52 is released, and the sample chamber OPEN button 56 can be pressed.

なお、ロッド52は、上述したように、シャッター60が閉じてロッド52が幅広部82aに位置している状態(図9または図10に示す状態)であれば、A,B方向に移動可能である。すなわち、シャッター60を閉じた状態では、試料室OPENボタン56を押してロッド52を移動させることができる。これに対して、ロッド52は、シャッター60が開いてロッド52が幅狭部82bに位置している状態(図11に示す状態)では、移
動が規制される。すなわち、シャッター60が開いた状態では、試料室OPENボタン56を押してロッド52を移動させることができない。したがって、シャッター60が開いた状態で、試料室蓋40が開くことを防ぐことができる。
As described above, the rod 52 can move in the A and B directions as long as the shutter 60 is closed and the rod 52 is positioned in the wide portion 82a (the state shown in FIG. 9 or FIG. 10). is there. That is, in a state where the shutter 60 is closed, the rod 52 can be moved by pressing the sample chamber OPEN button 56. On the other hand, the movement of the rod 52 is restricted when the shutter 60 is opened and the rod 52 is positioned at the narrow portion 82b (the state shown in FIG. 11). That is, when the shutter 60 is open, the rod 52 cannot be moved by pressing the sample chamber OPEN button 56. Therefore, it is possible to prevent the sample chamber lid 40 from being opened while the shutter 60 is open.

図16に示すように、オペレーターが試料室OPENボタン56を押すと、ロッド52は押し動かされて、装置後方(B方向)に移動する。ロッド52が装置後方(B方向)に移動することにより、キープレート80の穴部82とロッド52の溝部520との位置関係は、図9に示す状態、すなわち、キープレート80の穴部82の位置とロッド52の溝部520の位置が一致しない状態となる。これにより、シャフト72の移動が規制されてシャッター開閉機構70の動作が規制され、シャッター60が閉じた状態が維持される。同時に、ロッド52が装置後方(B方向)に移動することにより、爪部51がプッシュブロック44から外れ(爪部51とプッシュブロック44の係合が解除され)、試料室蓋40のロックが解除される。   As shown in FIG. 16, when the operator pushes the sample chamber OPEN button 56, the rod 52 is pushed and moved to the rear of the apparatus (direction B). As the rod 52 moves rearward (B direction), the positional relationship between the hole portion 82 of the key plate 80 and the groove portion 520 of the rod 52 is in the state shown in FIG. 9, that is, the hole portion 82 of the key plate 80. The position and the position of the groove 520 of the rod 52 do not match. Thereby, the movement of the shaft 72 is restricted, the operation of the shutter opening / closing mechanism 70 is restricted, and the state where the shutter 60 is closed is maintained. At the same time, the rod 52 moves rearward (direction B), so that the claw portion 51 is disengaged from the push block 44 (the engagement between the claw portion 51 and the push block 44 is released), and the lock of the sample chamber lid 40 is released. Is done.

図17に示すように、プッシュブロック44は爪部51による規制が解除され、ストッパースプリング54に押されて、試料室蓋40を持ち上げる。これにより、試料室20が開放される。同時に、ストッパー53が上昇することにより、ストッパー53にロッド52のベアリング510が引っ掛かり、ロッド52の装置前方(A方向)の移動が規制される。   As shown in FIG. 17, the push block 44 is released from the restriction by the claw portion 51 and is pushed by the stopper spring 54 to lift the sample chamber lid 40. Thereby, the sample chamber 20 is opened. At the same time, when the stopper 53 is raised, the bearing 510 of the rod 52 is caught by the stopper 53, and the movement of the rod 52 in the front (A direction) of the device is restricted.

このとき、ロッド52は、図9に示す穴部82の位置と溝部520の位置が一致していない状態であり、この状態でストッパー53により動作が規制される。また、図9に示す状態では、シャフト72の移動も規制される。この結果、試料室蓋40が開いた状態のときは、シャッター開閉機構70を動作させることができない。これにより、試料室蓋40が開いているときに、シャッター60が開いた状態になることを防ぐことができる。   At this time, the rod 52 is in a state where the position of the hole portion 82 and the position of the groove portion 520 shown in FIG. 9 do not coincide with each other, and the operation is restricted by the stopper 53 in this state. Further, in the state shown in FIG. 9, the movement of the shaft 72 is also restricted. As a result, when the sample chamber lid 40 is open, the shutter opening / closing mechanism 70 cannot be operated. Thereby, it is possible to prevent the shutter 60 from being opened when the sample chamber lid 40 is open.

放射線分析装置100は、例えば、以下の特徴を有する。   The radiation analysis apparatus 100 has the following features, for example.

放射線分析装置100では、キープレート80は、ロック機構50を構成するロッド52とシャッター開閉機構70を構成するシャフト72の相対位置によってロッド52およびシャフト72の移動を規制する。このように放射線分析装置100では、機械的な機構でインターロックが構成されているため(メカニカルインターロック)、電気系統の暴走が起こった場合でも、放射線源10で発生した一次X線が外部に放出されることを防ぐことができる。したがって、放射線分析装置100では、例えば電気的なインターロック機構と比べて、安全性の向上を図ることができる。   In the radiation analyzer 100, the key plate 80 regulates the movement of the rod 52 and the shaft 72 by the relative positions of the rod 52 constituting the lock mechanism 50 and the shaft 72 constituting the shutter opening / closing mechanism 70. Thus, in the radiation analyzer 100, since the interlock is configured by a mechanical mechanism (mechanical interlock), even when the electric system runs away, the primary X-rays generated by the radiation source 10 are externally exposed. It can be prevented from being released. Therefore, in the radiation analyzer 100, the safety can be improved as compared with, for example, an electrical interlock mechanism.

放射線分析装置100では、キープレート80には、ロッド52が挿入される穴部82が設けられ、穴部82は、第1の幅W1を有する幅広部82aと、第1の幅W1よりも小さい第2の幅W2を有する幅狭部82bと、を有し、ロッド52は、第2の幅W2よりも径が小さい第1部分52aと、第1の幅W1よりも径が小さく第2の幅W2よりも径が大きい第2部分52bと、を有し、第1部分52aは、ロッド52が第2位置(装置前方)に移動したときに穴部82に位置し、第2部分52bは、ロッド52が第1位置(装置後方)に移動したときに穴部82に位置する。これにより、ロック機構50が解除されて試料室蓋40が開いている状態では、シャッター60を開くことができないため、試料室20が解放されている状態において放射線源10で発生した一次X線が外部に放出されることを防ぐことができる。さらに、シャッター60が開いている状態では、試料室蓋40のロックの解除ができないため、一次X線を照射中に、試料室蓋40が開くことを防ぐことができる。   In the radiation analyzer 100, the key plate 80 is provided with a hole portion 82 into which the rod 52 is inserted. The hole portion 82 has a wide portion 82a having a first width W1 and smaller than the first width W1. The rod 52 includes a first portion 52a having a smaller diameter than the second width W2, and a second portion having a smaller diameter than the first width W1. A second portion 52b having a diameter larger than the width W2, and the first portion 52a is located in the hole portion 82 when the rod 52 is moved to the second position (front of the apparatus), and the second portion 52b is When the rod 52 moves to the first position (the rear of the apparatus), the rod 52 is located in the hole portion 82. Accordingly, since the shutter 60 cannot be opened in the state where the lock mechanism 50 is released and the sample chamber lid 40 is open, primary X-rays generated in the radiation source 10 in a state where the sample chamber 20 is released are generated. Release to the outside can be prevented. Further, since the lock of the sample chamber lid 40 cannot be released in the state where the shutter 60 is open, it is possible to prevent the sample chamber lid 40 from being opened during the irradiation with the primary X-rays.

2. 第2実施形態
次に、第2実施形態に係る放射線分析装置について図面を参照しながら説明する。以下、上述した第1実施形態に係る放射線分析装置100の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
2. Second Embodiment Next, a radiation analyzer according to a second embodiment will be described with reference to the drawings. Hereinafter, differences from the example of the radiation analysis apparatus 100 according to the first embodiment described above will be described, and description of similar points will be omitted.

図18は、第2実施形態に係る放射線分析装置のロック機構50を構成するロッド52を模式的に示す斜視図である。図19は、第2実施形態に係る放射線分析装置のシャッター開閉機構70を構成するシャフト72を模式的に示す斜視図である。   FIG. 18 is a perspective view schematically showing a rod 52 constituting the lock mechanism 50 of the radiation analyzer according to the second embodiment. FIG. 19 is a perspective view schematically showing a shaft 72 constituting the shutter opening / closing mechanism 70 of the radiation analysis apparatus according to the second embodiment.

上述した第1実施形態に係る放射線分析装置100では、キープレート80が、ロック機構50を構成するロッド52とシャッター開閉機構70を構成するシャフト72の相対位置によってロッド52およびシャフト72の移動を規制していた。   In the radiation analysis apparatus 100 according to the first embodiment described above, the key plate 80 regulates the movement of the rod 52 and the shaft 72 by the relative positions of the rod 52 constituting the lock mechanism 50 and the shaft 72 constituting the shutter opening / closing mechanism 70. Was.

これに対して、第2実施形態に係る放射線分析装置では、図18および図19に示すように、ロッド52に穴部522(規制部の一例)を設けることで、ロッド52とシャフト72の相対位置によってロッド52およびシャフト72の移動を規制している。   On the other hand, in the radiation analyzer according to the second embodiment, as shown in FIGS. 18 and 19, the rod 52 is provided with a hole 522 (an example of a restricting portion), so that the rod 52 and the shaft 72 are relatively aligned. The movement of the rod 52 and the shaft 72 is regulated by the position.

ロッド52は、図18に示すように、穴部522を有している。ロッド52の穴部522は、第1の幅W1を有する幅広部522aと、第1の幅W1よりも小さい第2の幅W2を有する幅狭部522bと、を有する。なお、穴部522の幅W1,W2は、A,B方向に直交する方向の穴部82の大きさである。幅広部522aと幅狭部522bとは、ロッド52の移動方向、すなわちA,B方向に並んでいる。幅広部522aは、B方向側に位置し、幅狭部522bはA方向側に位置している。ロッド52の穴部522の開口の形状は、図示の例では鍵穴状である。   As shown in FIG. 18, the rod 52 has a hole 522. The hole portion 522 of the rod 52 includes a wide portion 522a having a first width W1 and a narrow portion 522b having a second width W2 smaller than the first width W1. The widths W1 and W2 of the hole 522 are the size of the hole 82 in the direction orthogonal to the A and B directions. The wide portion 522a and the narrow portion 522b are arranged in the moving direction of the rod 52, that is, the A and B directions. The wide portion 522a is located on the B direction side, and the narrow portion 522b is located on the A direction side. The shape of the opening of the hole 522 of the rod 52 is a keyhole shape in the illustrated example.

シャフト72は、図19に示すように、径が小さい部分(第1部分)72aと、径が大きい部分(第2部分)72bと、を有している。第1部分72aは、シャフト72に溝720が周設されることで形成された部分である。第1部分72aの径は、ロッド52の幅狭部522bの幅W2(図18参照)よりも小さい。第2部分72bの径は、ロッド52の幅狭部522bの幅W2よりも大きく幅広部522aの幅W1よりも小さい。シャフト72の第1部分72aと第2部分72bとの境界には段差が形成される。   As shown in FIG. 19, the shaft 72 has a portion (first portion) 72a having a small diameter and a portion (second portion) 72b having a large diameter. The first part 72 a is a part formed by providing a groove 720 around the shaft 72. The diameter of the first portion 72a is smaller than the width W2 (see FIG. 18) of the narrow portion 522b of the rod 52. The diameter of the second portion 72b is larger than the width W2 of the narrow portion 522b of the rod 52 and smaller than the width W1 of the wide portion 522a. A step is formed at the boundary between the first portion 72 a and the second portion 72 b of the shaft 72.

図20〜図22は、ロッド52およびシャフト72の動作を説明するための図である。   20-22 is a figure for demonstrating operation | movement of the rod 52 and the shaft 72. FIG.

本実施形態では、ロッド52の穴部522に、径の異なる部分72a,72bを有するシャフト72を挿入することで、ロッド52とシャフト72の相対位置によってロッド52およびシャフト72の移動を規制している。   In this embodiment, the movement of the rod 52 and the shaft 72 is regulated by the relative position of the rod 52 and the shaft 72 by inserting the shaft 72 having the portions 72 a and 72 b having different diameters into the hole portion 522 of the rod 52. Yes.

以下、ロッド52の穴部522とシャフト72との位置関係と、ロッド52およびシャフト72の動作制限との関係について説明する。   Hereinafter, the relationship between the positional relationship between the hole 522 of the rod 52 and the shaft 72 and the operation restriction of the rod 52 and the shaft 72 will be described.

図20は、シャフト72の第1部分72aが穴部522の幅狭部522bに位置している状態を図示している。シャフト72とロッド52が図20に示す状態の場合、ロッド52は、A,B方向に移動可能である。これは、穴部522にシャフト72の第1部分72aが位置しているためである。これに対して、シャフト72は、C,D方向の移動が規制される。これは、シャフト72がA,B方向に移動しようとすると、シャフト72の第1部分72aと第2部分72bとの境界の段差がロッド52に接触してしまうためである。   FIG. 20 illustrates a state in which the first portion 72 a of the shaft 72 is located in the narrow portion 522 b of the hole 522. When the shaft 72 and the rod 52 are in the state shown in FIG. 20, the rod 52 can move in the A and B directions. This is because the first portion 72 a of the shaft 72 is located in the hole 522. On the other hand, the movement of the shaft 72 in the C and D directions is restricted. This is because the step at the boundary between the first portion 72 a and the second portion 72 b of the shaft 72 comes into contact with the rod 52 when the shaft 72 tries to move in the A and B directions.

図21は、シャフト72の第1部分72aが穴部522の幅広部522aに位置している状態を図示している。シャフト72とロッド52が図21に示す状態の場合、穴部522にシャフト72の第1部分72aが位置しているため、ロッド52は、A,B方向に移
動可能である。また、シャフト72はC,D方向に移動可能である。これは、シャフト72の第2部分72bの径は穴部522の幅広部522aの径よりも小さく、シャフト72は穴部522の幅広部522aを通過できるためである。
FIG. 21 illustrates a state in which the first portion 72 a of the shaft 72 is located in the wide portion 522 a of the hole 522. When the shaft 72 and the rod 52 are in the state shown in FIG. 21, the first portion 72 a of the shaft 72 is located in the hole 522, so that the rod 52 can move in the A and B directions. The shaft 72 can move in the C and D directions. This is because the diameter of the second portion 72 b of the shaft 72 is smaller than the diameter of the wide portion 522 a of the hole portion 522, and the shaft 72 can pass through the wide portion 522 a of the hole portion 522.

図22は、シャフト72の第2部分72bが穴部522の幅広部522aに位置している状態を図示している。シャフト72とロッド52が図22に示す状態の場合、穴部522にシャフト72の第2部分72bが位置しているため、ロッド52はA,B方向の移動が規制される。これは、シャフト72の第2部分72bは幅狭部522bを通過できないためである。これに対して、シャフト72は、幅広部522aに位置しているため、C,D方向に移動可能である。   FIG. 22 illustrates a state in which the second portion 72 b of the shaft 72 is located in the wide portion 522 a of the hole portion 522. When the shaft 72 and the rod 52 are in the state shown in FIG. 22, the movement of the rod 52 in the A and B directions is restricted because the second portion 72 b of the shaft 72 is located in the hole 522. This is because the second portion 72b of the shaft 72 cannot pass through the narrow portion 522b. On the other hand, since the shaft 72 is located in the wide part 522a, it can move in the C and D directions.

次に、第2実施形態に係る放射線分析装置の動作について説明する。   Next, the operation of the radiation analyzer according to the second embodiment will be described.

試料室蓋40が開いて、シャッター60が閉じた状態では、ロッド52とシャフト72は、図20に示すシャフト72の第1部分72aが穴部522の幅狭部522bに位置している状態となる。そのため、シャフト72は、C,D方向の移動が規制される。これにより、シャッター開閉機構70を動作させることができず、シャッター60を開くことはできない。   In the state where the sample chamber lid 40 is opened and the shutter 60 is closed, the rod 52 and the shaft 72 are in a state where the first portion 72a of the shaft 72 shown in FIG. 20 is located in the narrow portion 522b of the hole 522. Become. Therefore, the movement of the shaft 72 in the C and D directions is restricted. Thereby, the shutter opening / closing mechanism 70 cannot be operated, and the shutter 60 cannot be opened.

試料室蓋40が閉じてロックされた状態(爪部51がプッシュブロック44に係合された状態、図14参照)では、ロッド52とシャフト72は、図21に示すシャフト72の第1部分72aが穴部522の幅広部522aに位置している状態となる。そのため、シャフト72はC,D方向に移動可能であり、シャッター開閉機構70を動作させることができる。したがって、シャッター60を開くことができる。   In the state in which the sample chamber lid 40 is closed and locked (the state where the claw portion 51 is engaged with the push block 44, see FIG. 14), the rod 52 and the shaft 72 are the first portion 72a of the shaft 72 shown in FIG. Is located in the wide portion 522a of the hole portion 522. Therefore, the shaft 72 is movable in the C and D directions, and the shutter opening / closing mechanism 70 can be operated. Therefore, the shutter 60 can be opened.

シャッター60が開いた状態では、ロッド52とシャフト72は、図22に示すシャフト72の第2部分72bが穴部522の幅広部522aに位置している状態となる。そのため、ロッド52のA,B方向の移動が規制される。これにより、試料室OPENボタン56を押して試料室蓋40のロックを解除することができない。   In the state where the shutter 60 is opened, the rod 52 and the shaft 72 are in a state where the second portion 72b of the shaft 72 shown in FIG. 22 is positioned in the wide portion 522a of the hole portion 522. Therefore, the movement of the rod 52 in the A and B directions is restricted. Thereby, the sample chamber OPEN button 56 cannot be pressed to unlock the sample chamber lid 40.

第2実施形態に係る放射線分析装置のその他の動作は、上述した第1実施形態に係る放射線分析装置100の動作と同様であり、その説明を省略する。   Other operations of the radiation analysis apparatus according to the second embodiment are the same as the operations of the radiation analysis apparatus 100 according to the first embodiment described above, and a description thereof is omitted.

第2実施形態に係る放射線分析装置では、ロッド52には、ロッド52とシャフト72の相対位置によってロッド52およびシャフト72の移動を規制する穴部522が設けられている。このように第2実施形態に係る放射線分析装置では、機械的な機構でインターロックが構成されているため(メカニカルインターロック)、電気系統の暴走が起こった場合でも、放射線源10で発生した一次X線が外部に放出されることを防ぐことができる。したがって、第2実施形態に係る放射線分析装置では、例えば電気的なインターロック機構と比べて、安全性の向上を図ることができる。   In the radiation analysis apparatus according to the second embodiment, the rod 52 is provided with a hole 522 that restricts the movement of the rod 52 and the shaft 72 according to the relative position of the rod 52 and the shaft 72. As described above, in the radiation analysis apparatus according to the second embodiment, since the interlock is configured by a mechanical mechanism (mechanical interlock), the primary generated in the radiation source 10 even when the electric system runs out of control. X-rays can be prevented from being emitted to the outside. Therefore, in the radiation analyzer according to the second embodiment, for example, safety can be improved as compared with an electrical interlock mechanism.

第2実施形態に係る放射線分析装置では、穴部522は、第1の幅W1を有する幅広部522aと、第1の幅W1よりも小さい第2の幅W2を有する幅狭部522bと、を有し、シャフト72は、第2の幅W2よりも径が小さい第1部分72aと、第1の幅W1よりも径が小さく第2の幅W2よりも径が大きい第2部分72bと、を有し、シャフト72は、ロッド52が第1位置(装置後方)に移動したときに、幅広部522aに位置し、ロッド52が第2位置(装置前方)に移動したときに、幅狭部522bに位置する。これにより、ロック機構50が解除されて試料室蓋40が開いている状態では、シャッター60を開くことができないため、試料室20が解放されている状態において放射線源10で発生した一次X線が外部に放出されることを防ぐことができる。さらに、シャッター60が開
いている状態では、試料室蓋40のロックの解除ができないため、試料Sに一次X線を照射中に、試料室蓋40が開くことを防ぐことができる。
In the radiation analyzer according to the second embodiment, the hole 522 includes a wide portion 522a having a first width W1 and a narrow portion 522b having a second width W2 smaller than the first width W1. The shaft 72 includes a first portion 72a having a diameter smaller than the second width W2, and a second portion 72b having a diameter smaller than the first width W1 and larger than the second width W2. The shaft 72 is positioned at the wide portion 522a when the rod 52 is moved to the first position (device rear), and the narrow portion 522b when the rod 52 is moved to the second position (device front). Located in. Accordingly, since the shutter 60 cannot be opened in the state where the lock mechanism 50 is released and the sample chamber lid 40 is open, primary X-rays generated in the radiation source 10 in a state where the sample chamber 20 is released are generated. Release to the outside can be prevented. Further, since the lock of the sample chamber lid 40 cannot be released when the shutter 60 is open, the sample chamber lid 40 can be prevented from opening while the sample S is irradiated with the primary X-rays.

なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。   In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, A various deformation | transformation implementation is possible within the range of the summary of this invention.

例えば、上述した第1実施形態および第2実施形態では、本発明に係る放射線分析装置が蛍光X線分析装置である例について説明したが、本発明に係る放射線分析装置は放射線源で発生した放射線(X線、γ線等)を試料室の試料Sに照射する分析装置であれば特に限定されない。   For example, in the first embodiment and the second embodiment described above, an example in which the radiation analysis apparatus according to the present invention is a fluorescent X-ray analysis apparatus has been described. However, the radiation analysis apparatus according to the present invention is radiation generated by a radiation source. There is no particular limitation as long as it is an analyzer that irradiates the sample S in the sample chamber with (X-rays, γ-rays, etc.).

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。   The present invention includes configurations that are substantially the same as the configurations described in the embodiments (for example, configurations that have the same functions, methods, and results, or configurations that have the same objects and effects). In addition, the invention includes a configuration in which a non-essential part of the configuration described in the embodiment is replaced. In addition, the present invention includes a configuration that exhibits the same operational effects as the configuration described in the embodiment or a configuration that can achieve the same object. Further, the invention includes a configuration in which a known technique is added to the configuration described in the embodiment.

2…装置フレーム、10…放射線源、20…試料室、22…試料支持板、30…検出器、40…試料室蓋、42,44…プッシュブロック、50…ロック機構、51…爪部、52…ロッド、52a…第1部分、52b…第2部分、53…ストッパー、54…ストッパースプリング、55…ロッドスプリング、56…試料室OPENボタン、57…OPENボタンロッド、58…ロッド受け部、59a,59b…センサー、60…シャッター、62…コリメーター、70…シャッター開閉機構、72…シャフト、72a…第1部分、72b…第2部分、73…モーター、74…ベルト、75…コリメータープレート、76…センサー、77…スプリング、80…キープレート、82…穴部、82a…幅広部、82b…幅狭部、100…放射線分析装置、510…ベアリング、520…溝部、522…穴部、522a…幅広部、522b…幅狭部、530,720…溝 2 ... device frame, 10 ... radiation source, 20 ... sample chamber, 22 ... sample support plate, 30 ... detector, 40 ... sample chamber lid, 42, 44 ... push block, 50 ... lock mechanism, 51 ... claw portion, 52 ... Rod, 52a ... First part, 52b ... Second part, 53 ... Stopper, 54 ... Stopper spring, 55 ... Rod spring, 56 ... Sample chamber OPEN button, 57 ... OPEN button rod, 58 ... Rod receiving part, 59a, 59b ... sensor, 60 ... shutter, 62 ... collimator, 70 ... shutter opening / closing mechanism, 72 ... shaft, 72a ... first part, 72b ... second part, 73 ... motor, 74 ... belt, 75 ... collimator plate, 76 ... sensor, 77 ... spring, 80 ... key plate, 82 ... hole, 82a ... wide part, 82b ... narrow part, 100 ... radiation component Device, 510 ... bearing, 520 ... groove portion, 522 ... hole, 522a ... wide portion, 522b ... narrow portion, 530,720 ... groove

Claims (4)

一次放射線を発生させる放射線源と、
試料が配置される試料室と、
前記一次放射線の照射に応じて前記試料から発生する二次放射線を検出する検出器と、
開閉自在に設けられた試料室蓋と、
第1位置と第2位置との間を移動可能であり、前記試料室蓋が閉じられると前記第1位置から前記第2位置に移動する第1移動部材と、
前記第1移動部材を前記第2位置から前記第1位置に移動させる押動部と、
前記第1移動部材に取り付けられ、前記第1移動部材が前記第2位置に移動したときに前記試料室蓋の爪受部と係合し、前記第1位置に移動したときに前記爪受部との係合が解除される爪部と、
前記放射線源と前記試料室との間に配置された放射線シャッターと、
前記放射線シャッターを移動させて、前記放射線シャッターの開閉を行うシャッター駆動部と、
前記放射線シャッターと連動して移動する第2移動部材と、
前記第1移動部材と前記第2移動部材の相対位置によって前記第1移動部材および前記第2移動部材の移動を規制する規制部材と、
を含む、放射線分析装置。
A radiation source generating primary radiation; and
A sample chamber in which the sample is placed;
A detector for detecting secondary radiation generated from the sample in response to irradiation of the primary radiation;
A sample chamber lid that can be freely opened and closed;
A first moving member that is movable between a first position and a second position and moves from the first position to the second position when the sample chamber lid is closed;
A pushing portion for moving the first moving member from the second position to the first position;
The claw receiving portion that is attached to the first moving member, engages with a claw receiving portion of the sample chamber lid when the first moving member moves to the second position, and moves to the first position when the first moving member moves to the second position. A claw part to be disengaged from,
A radiation shutter disposed between the radiation source and the sample chamber;
A shutter drive unit that moves the radiation shutter to open and close the radiation shutter; and
A second moving member that moves in conjunction with the radiation shutter;
A restricting member for restricting movement of the first moving member and the second moving member according to a relative position of the first moving member and the second moving member;
A radiation analyzer.
請求項1において、
前記規制部材には、前記第1移動部材が挿入される穴部が設けられ、
前記穴部は、第1の幅を有する幅広部と、前記第1の幅よりも小さい第2の幅を有する幅狭部と、を有し、
前記第1移動部材は、前記第2の幅よりも径が小さい第1部分と、前記第1の幅よりも径が小さく前記第2の幅よりも径が大きい第2部分と、を有し、
前記第1部分は、前記第1移動部材が前記第2位置に移動したときに前記穴部に位置し、
前記第2部分は、前記第1移動部材が前記第1位置に移動したときに前記穴部に位置する、放射線分析装置。
In claim 1,
The restriction member is provided with a hole into which the first moving member is inserted,
The hole includes a wide portion having a first width and a narrow portion having a second width smaller than the first width,
The first moving member has a first portion having a diameter smaller than the second width, and a second portion having a diameter smaller than the first width and larger than the second width. ,
The first portion is located in the hole when the first moving member is moved to the second position;
The second part is a radiation analysis apparatus, wherein the second part is located in the hole when the first moving member is moved to the first position.
一次放射線を発生させる放射線源と、
試料が配置される試料室と、
前記一次放射線の照射に応じて前記試料から発生する二次放射線を検出する検出器と、
開閉自在に設けられた試料室蓋と、
第1位置と第2位置との間を移動可能であり、前記試料室蓋が閉じられると前記第1位置から前記第2位置に移動する第1移動部材と、
前記第1移動部材を前記第2位置から前記第1位置に移動させる押動部と、
前記第1移動部材に取り付けられ、前記第1移動部材が前記第2位置に移動したときに前記試料室蓋の爪受部と係合し、前記第1位置に移動したときに前記爪受部との係合が解除される爪部と、
前記放射線源と前記試料室との間に配置された放射線シャッターと、
前記放射線シャッターを移動させて、前記放射線シャッターの開閉を行うシャッター駆動部と、
前記放射線シャッターと連動して移動する第2移動部材と、
を含み、
前記第1移動部材には、前記第1移動部材と前記第2移動部材の相対位置によって前記第1移動部材および前記第2移動部材の移動を規制する規制部が設けられている、放射線分析装置。
A radiation source generating primary radiation; and
A sample chamber in which the sample is placed;
A detector for detecting secondary radiation generated from the sample in response to irradiation of the primary radiation;
A sample chamber lid that can be freely opened and closed;
A first moving member that is movable between a first position and a second position and moves from the first position to the second position when the sample chamber lid is closed;
A pushing portion for moving the first moving member from the second position to the first position;
The claw receiving portion that is attached to the first moving member, engages with a claw receiving portion of the sample chamber lid when the first moving member moves to the second position, and moves to the first position when the first moving member moves to the second position. A claw part to be disengaged from,
A radiation shutter disposed between the radiation source and the sample chamber;
A shutter drive unit that moves the radiation shutter to open and close the radiation shutter; and
A second moving member that moves in conjunction with the radiation shutter;
Including
The first moving member is provided with a restriction unit that restricts movement of the first moving member and the second moving member according to a relative position between the first moving member and the second moving member. .
請求項3において、
前記規制部は、前記第1移動部材に設けられた穴部であり、
前記穴部は、第1の幅を有する幅広部と、前記第1の幅よりも小さい第2の幅を有する幅狭部と、を有し、
前記第2移動部材は、前記第2の幅よりも径が小さい第1部分と、前記第1の幅よりも径が小さく前記第2の幅よりも径が大きい第2部分と、を有し、
前記第2移動部材は、前記第1移動部材が前記第1位置に移動したときに前記幅狭部に位置し、前記第1移動部材が前記第2位置に移動したときに前記幅広部に位置する、放射線分析装置。
In claim 3,
The restricting portion is a hole provided in the first moving member;
The hole includes a wide portion having a first width and a narrow portion having a second width smaller than the first width,
The second moving member has a first portion having a diameter smaller than the second width, and a second portion having a diameter smaller than the first width and larger than the second width. ,
The second moving member is positioned at the narrow portion when the first moving member is moved to the first position, and is positioned at the wide portion when the first moving member is moved to the second position. A radiation analyzer.
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