JP6244767B2 - Liquid feeding device and liquid feeding control method - Google Patents

Liquid feeding device and liquid feeding control method Download PDF

Info

Publication number
JP6244767B2
JP6244767B2 JP2013194178A JP2013194178A JP6244767B2 JP 6244767 B2 JP6244767 B2 JP 6244767B2 JP 2013194178 A JP2013194178 A JP 2013194178A JP 2013194178 A JP2013194178 A JP 2013194178A JP 6244767 B2 JP6244767 B2 JP 6244767B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
liquid
liquid material
output port
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013194178A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2015058403A (en
Inventor
雅代 重岡
雅代 重岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP2013194178A priority Critical patent/JP6244767B2/en
Publication of JP2015058403A publication Critical patent/JP2015058403A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6244767B2 publication Critical patent/JP6244767B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)

Description

本発明は、送液装置に関し、特に、液状物を出力する送液装置およびその制御方法に関する。   The present invention relates to a liquid feeding device, and more particularly, to a liquid feeding device that outputs a liquid material and a control method thereof.

近年、食品分野や部品製造分野など、様々な製品を製造する際に、液状材料(液状物)を出力する送液装置が、広く知られている。   2. Description of the Related Art In recent years, liquid feeders that output a liquid material (liquid material) when manufacturing various products such as the food field and parts manufacturing field are widely known.

このような送液装置の一例として、例えば、出力口から基材に向けて液状物を出力する装置であって、当該装置内に液状物を流す配管を切り替えることで、基材に液状物を出力するか(出力状態)、液状物の出力を停止するか(非出力状態)を繰り返す送液装置がある。このような送液装置を用いて製品を安定して製造するためには、出力口から出力される液状物の出力量を常に一定になるように調整する必要がある。このため、この送液装置では、液状物を基材へ出力する時に、液状物に加えられる圧力波形(時間経過に伴う圧力変化)が一定になるように制御することで、基材へ出力される液状物の出力量を一定に調整している。   As an example of such a liquid feeding device, for example, a device that outputs a liquid material from an output port toward a base material, and the liquid material is applied to the base material by switching a pipe through which the liquid material flows in the device. There is a liquid feeding device that repeatedly outputs (output state) or stops outputting liquid material (non-output state). In order to stably manufacture a product using such a liquid feeding device, it is necessary to adjust the output amount of the liquid material output from the output port to be always constant. For this reason, in this liquid feeding device, when the liquid material is output to the base material, the pressure waveform (pressure change with time) applied to the liquid material is controlled so as to be constant, so that the liquid material is output to the base material. The output amount of the liquid material is adjusted to be constant.

これに関連して、例えば、特許文献1、特許文献2および特許文献3に記載の技術が知られている。   In relation to this, for example, techniques described in Patent Document 1, Patent Document 2, and Patent Document 3 are known.

特許文献1では、液状物を基材へ出力する時に、液状物に加えられる圧力波形が予め設定された波形になるように、出力口に至る経路内の圧力を制御することが、提案されている。   In patent document 1, when outputting a liquid substance to a base material, it is proposed to control the pressure in the path | route which leads to an output port so that the pressure waveform applied to a liquid substance may become a preset waveform. Yes.

特許文献2では、上述した圧力制御に加えて、実際に出力口に至る経路内に流れる液状物の送液量を測定して、基材へ出力される液状物の出力量を制御することが、提案されている。   In Patent Document 2, in addition to the pressure control described above, it is possible to control the output amount of the liquid material that is output to the substrate by measuring the amount of liquid material flowing in the path that actually reaches the output port. ,Proposed.

特許文献3では、送液量を測定する代わりに、熱式流量センサによる液状物の出力を開始してから流れが安定するまでの「流れ安定化時間」の変化から、液状物の粘度を算出し、その粘度に基づいて液状物を出力する圧力を設定・制御することが、提案されている。   In Patent Document 3, instead of measuring the liquid feeding amount, the viscosity of the liquid material is calculated from the change in the “flow stabilization time” from the start of the output of the liquid material by the thermal flow sensor until the flow stabilizes. However, it has been proposed to set and control the pressure at which the liquid material is output based on the viscosity.

特開2005−288387号公報JP 2005-288387 A 特開2007−503982号公報JP 2007-503982 A 特開2012−239962号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2012-239962

しかしながら、特許文献1に記載の技術では、液状物の粘度が変化した場合に、基材へ出力される液状物の出力量を、一定に保つことができないという問題があった。この要因は、液状物の粘度が変化すると液状物の流れ方が変化してしまい、液状物を同じ圧力で出力口に供給しても、基材へ出力される液状物の出力量が変化してしまうことによる。   However, the technique described in Patent Document 1 has a problem that when the viscosity of the liquid material changes, the output amount of the liquid material output to the substrate cannot be kept constant. This is because when the viscosity of the liquid material changes, the flow of the liquid material changes, and even if the liquid material is supplied to the output port at the same pressure, the output amount of the liquid material output to the substrate changes. Because it ends up.

また、特許文献2および特許文献3に記載の技術では、圧力を測定する圧力計の他に、液状物の送液量を測定する送液量計測手段を別に設ける必要があるため、送液装置の構造が複雑になり、当該送液装置の製造コストも高くなるという問題があった。さらに、特許文献3において用いられている熱式流量センサは原理上、微少の送液量しか測定できず、大容量の液状物を出力する送液装置には適用できない。   Further, in the techniques described in Patent Document 2 and Patent Document 3, it is necessary to separately provide a liquid feeding amount measuring means for measuring a liquid feeding amount in addition to a pressure gauge for measuring pressure. The structure becomes complicated and the manufacturing cost of the liquid feeding device increases. Furthermore, in principle, the thermal flow sensor used in Patent Document 3 can measure only a very small amount of liquid feeding, and cannot be applied to a liquid feeding device that outputs a large volume of liquid material.

本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、液状物の粘度に応じて液状物を送液および出力しようとすると、送液装置の構造が複雑となり、当該送液装置の製造コストが増加するという問題を解決する送液装置等を提供することにある。   The present invention has been made in view of such circumstances, and the object of the present invention is to make the structure of the liquid feeding device complicated when trying to feed and output the liquid according to the viscosity of the liquid, An object of the present invention is to provide a liquid delivery device that solves the problem that the manufacturing cost of the liquid delivery device increases.

本発明の送液装置は、液状物を貯蔵する貯蔵部と、前記液状物を出力する出力口と、
前記液状物を前記貯蔵部から前記出力口へ送る送液部と、前記出力口に隣接して設けられ、前記出力口に流れてくる前記液状物の圧力を測定して、前記圧力の時間的な変化を含む圧力情報を取得する圧力計と、前記貯蔵部から流れてくる前記液状物を、前記出力口へ出力するか、前記貯蔵部に循環させるかを切り替える切替部と、前記圧力計により取得された前記圧力情報に基づいて圧力立ち上がり情報を算出し、予め設定された目標定常圧力値を前記圧力立ち上がり情報に基づいて更新する演算部と、前記演算部により更新された前記目標定常圧力値になるように、前記出力口へ流れる前記液状物の圧力を調整する制御部とを備えている。
The liquid feeding device of the present invention includes a storage unit that stores a liquid material, an output port that outputs the liquid material,
A liquid feeding section for sending the liquid material from the storage section to the output port, and a pressure of the liquid material that is provided adjacent to the output port and flows to the output port to measure the time of the pressure. A pressure gauge that acquires pressure information including a change, a switching unit that switches whether the liquid material flowing from the storage unit is output to the output port or circulated to the storage unit, and the pressure gauge An operation unit that calculates pressure rise information based on the acquired pressure information and updates a preset target steady pressure value based on the pressure rise information; and the target steady pressure value updated by the operation unit And a control unit for adjusting the pressure of the liquid material flowing to the output port.

本発明の送液制御方法は、液状物を貯蔵する貯蔵部と、前記液状物を出力する出力口と、前記液状物を前記貯蔵部から前記出力口へ送る送液部と、前記出力口に隣接して設けられ、前記出力口に流れてくる前記液状物の圧力を測定して、前記圧力の時間的な変化を含む圧力情報を取得する圧力計と、前記貯蔵部から流れてくる前記液状物を、前記出力口へ出力するか、前記貯蔵部に循環させるかを切り替える切替部とを備えた送液装置を用いて、前記液状物の出力量を制御する方法であって、前記圧力計により取得された前記圧力情報に基づいて圧力立ち上がり情報を算出し、予め設定された目標定常圧力値を前記圧力立ち上がり情報に基づいて更新する情報更新ステップと、前記演算部により更新された前記目標定常圧力値になるように、前記出力口へ流れる前記液状物の圧力を調整する圧力調整ステップとを含んでいる。   The liquid feeding control method of the present invention includes a storage unit that stores a liquid material, an output port that outputs the liquid material, a liquid feeding unit that sends the liquid material from the storage unit to the output port, and an output port. A pressure gauge provided adjacently and measuring the pressure of the liquid material flowing to the output port to acquire pressure information including temporal changes in the pressure, and the liquid flowing from the storage unit A method for controlling an output amount of the liquid material using a liquid feeding device including a switching unit that switches whether to output a product to the output port or to circulate to the storage unit, the pressure gauge An information update step of calculating pressure rise information based on the pressure information acquired by the step and updating a preset target steady pressure value based on the pressure rise information, and the target steady state updated by the calculation unit. So that the pressure value And a pressure adjusting step of adjusting the pressure of the liquid product flowing to the serial output port.

本発明にかかる送液装置等によれば、簡単な構成で、液状物の粘度に応じた送液および出力を行うことができる。   According to the liquid feeding device and the like according to the present invention, liquid feeding and output corresponding to the viscosity of the liquid material can be performed with a simple configuration.

本発明の実施の形態における送液装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the liquid feeding apparatus in embodiment of this invention. 出力配管内の圧力と時間の関係の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the relationship between the pressure in output piping, and time. 液状物の出力量の制御フローを示す図である。It is a figure which shows the control flow of the output amount of a liquid substance. 送液開始直後と液状物の粘度上昇後の圧力と時間の関係の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the relationship between the pressure immediately after a liquid feeding start, and the viscosity rise of a liquid substance, and time. 圧力制御前後の圧力と時間の関係の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the relationship between the pressure before and behind pressure control, and time.

本発明の実施の形態における送液装置1の構成について、図に基づいて説明する。図1は、送液装置1の概略構成を示す図である。   The configuration of the liquid delivery device 1 in the embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of the liquid delivery device 1.

図1に示されるように、送液装置1は、貯蔵部2と、送液部3と、出力口4と、圧力計5と、制御部6と、切替部7と、演算部8と、供給用配管11と、循環配管12と、出力配管13とを備えている。   As shown in FIG. 1, the liquid feeding device 1 includes a storage unit 2, a liquid feeding unit 3, an output port 4, a pressure gauge 5, a control unit 6, a switching unit 7, a calculation unit 8, A supply pipe 11, a circulation pipe 12, and an output pipe 13 are provided.

貯蔵部2は、液状物(不図示)を貯蔵する。液状物は、後述の出力口4から基材(不図示)へ出力される。図1に示されるように、貯蔵部2には、供給用配管11および循環配管12が、接続されている。   The storage unit 2 stores a liquid material (not shown). The liquid material is output from a later-described output port 4 to a base material (not shown). As shown in FIG. 1, a supply pipe 11 and a circulation pipe 12 are connected to the storage unit 2.

送液部3は、図1に示されるように、供給用配管11に設けられている。送液部3は、液状物を貯蔵部2から出力口4へ送る。   As shown in FIG. 1, the liquid feeding unit 3 is provided in the supply pipe 11. The liquid feeding unit 3 sends the liquid material from the storage unit 2 to the output port 4.

出力口4は、図1に示されるように、出力配管13に接続されている。出力口4は、液状物を基材へ出力する。   The output port 4 is connected to an output pipe 13 as shown in FIG. The output port 4 outputs a liquid material to the base material.

圧力計5は、図1に示されるように、出力口4に隣接して設けられている。圧力計5は、出力口4に流れてくる液状物の圧力を測定して、圧力値や計測時間などの圧力の時間的な変化を含む圧力情報を取得する。   As shown in FIG. 1, the pressure gauge 5 is provided adjacent to the output port 4. The pressure gauge 5 measures the pressure of the liquid material flowing to the output port 4 and acquires pressure information including temporal changes in pressure such as a pressure value and measurement time.

制御部6は、後で詳述する演算部8により更新された目標定常圧力値になるように、出力口4へ流れる液状物の圧力を調整する。   The control unit 6 adjusts the pressure of the liquid material flowing to the output port 4 so that the target steady pressure value updated by the calculation unit 8 described in detail later is obtained.

切替部7は、図1に示されるように、供給用配管11、循環配管12および出力配管13を連結する。すなわち、供給用配管11、循環配管12および出力配管13の各々は、切替部7で繋がっている。切替部7は、貯蔵部2から流れてくる液状物を、出力口4へ出力するか、貯蔵部2に循環させるかを切り替える。すなわち、切替部7が、貯蔵部2から流れてくる液状物を出力口4へ出力するように切り替えた場合、貯蔵部2内の液状物は、送液部3によって、供給用配管11、切替部7および出力配管13を介して、出力口4へ送り出される。一方、切替部7が、貯蔵部2から流れてくる液状物を再び貯蔵部2に循環させるように切り替えた場合、貯蔵部2内の液状物は、供給用配管11、切替部7および循環配管12を介して、貯蔵部2へ循環される。   As shown in FIG. 1, the switching unit 7 connects the supply pipe 11, the circulation pipe 12, and the output pipe 13. That is, each of the supply pipe 11, the circulation pipe 12 and the output pipe 13 is connected by the switching unit 7. The switching unit 7 switches whether the liquid material flowing from the storage unit 2 is output to the output port 4 or circulated to the storage unit 2. That is, when the switching unit 7 switches to output the liquid material flowing from the storage unit 2 to the output port 4, the liquid material in the storage unit 2 is switched to the supply pipe 11 by the liquid feeding unit 3. It is sent out to the output port 4 via the section 7 and the output pipe 13. On the other hand, when the switching unit 7 switches the liquid material flowing from the storage unit 2 to circulate again to the storage unit 2, the liquid material in the storage unit 2 is supplied with the supply pipe 11, the switching unit 7, and the circulation pipe. 12 is circulated to the storage unit 2 through the circuit 12.

演算部8は、図1に示されるように、圧力計5および制御部6に接続されている。演算部8は、圧力計5から得られる圧力情報(圧力値や計測時間などの圧力の時間的な変化を含む情報)に基づいて、圧力立ち上がり情報(出力配管13に液状物が流れ始めてから定常圧力(圧力が一定になった状態)になるまでの時間や、圧力と時間の関係など)を算出する。また、演算部8は、予め設定された目標定常圧力値を圧力立ち上がり情報に基づいて更新する。演算部8は、算出後に更新した圧力立ち上がり情報を、目標定常圧力値として、制御部6へ出力する。   As shown in FIG. 1, the calculation unit 8 is connected to the pressure gauge 5 and the control unit 6. Based on the pressure information obtained from the pressure gauge 5 (information including temporal changes in pressure such as pressure value and measurement time), the calculation unit 8 is pressure steady-state information (a steady state after the liquid material begins to flow through the output pipe 13). Calculate the pressure (time until pressure becomes constant, the relationship between pressure and time, etc.). Moreover, the calculating part 8 updates the preset target steady-state pressure value based on pressure rising information. The calculation unit 8 outputs the pressure rise information updated after the calculation to the control unit 6 as a target steady pressure value.

供給用配管11は、図1に示されるように、貯蔵部2と切替部7の間を接続する。供給用配管11は、貯蔵部2内の液状物を切替部7まで供給するための配管である。供給用配管11には、送液部3が設けられている。   As shown in FIG. 1, the supply pipe 11 connects between the storage unit 2 and the switching unit 7. The supply pipe 11 is a pipe for supplying the liquid material in the storage unit 2 to the switching unit 7. A liquid feeding section 3 is provided in the supply pipe 11.

循環配管12は、図1に示されるように、貯蔵部2と切替部7の間を接続する。循環配管12は、液状物を切替部7から貯蔵部2へ循環させるための配管である。   The circulation pipe 12 connects between the storage unit 2 and the switching unit 7 as shown in FIG. The circulation pipe 12 is a pipe for circulating the liquid material from the switching unit 7 to the storage unit 2.

出力配管13は、図1に示されるように、出力口4および切替部7の間を接続する。出力配管13は、液状物を切替部7から出力口4へ供給するための配管である。   The output piping 13 connects between the output port 4 and the switching unit 7 as shown in FIG. The output pipe 13 is a pipe for supplying a liquid material from the switching unit 7 to the output port 4.

次に、本発明の送液装置1の動作について説明する。送液装置1では、出力配管13内の圧力を制御することにより、基材へ出力される液状物の出力量を調節している。   Next, operation | movement of the liquid feeding apparatus 1 of this invention is demonstrated. In the liquid feeding apparatus 1, the output amount of the liquid substance output to the base material is adjusted by controlling the pressure in the output pipe 13.

図1の矢印で示されるように、送液部3は、供給用配管11を介して、貯蔵部2から出力口4方向へ液状物を送る。   As shown by the arrows in FIG. 1, the liquid feeding unit 3 sends the liquid material from the storage unit 2 toward the output port 4 via the supply pipe 11.

ここで、液状物を基材へ出力する場合、切替部7は貯蔵部2から流れてくる液状物を出力口4へ出力するように切り替える。そして、貯蔵部2内の液状物は、送液部3によって、供給用配管11、切替部7および出力配管13を介して、出力口4へ送り出される。   Here, when outputting a liquid substance to a base material, the switching part 7 switches so that the liquid substance which flows from the storage part 2 may be output to the output port 4. Then, the liquid material in the storage unit 2 is sent out to the output port 4 by the liquid sending unit 3 through the supply pipe 11, the switching unit 7 and the output pipe 13.

一方、液状物を基材に出力しない場合、切替部7は貯蔵部2から流れてくる液状物を再び貯蔵部2に循環させるように切り替える。そして、貯蔵部2内の液状物は、供給用配管11、切替部7および循環配管12を介して、貯蔵部2へ循環される。この切替部7の切り替え動作によって、基材に液状物を出力するか(出力状態)、液状物の出力を停止するか(非出力状態)を繰り返す。   On the other hand, when the liquid material is not output to the base material, the switching unit 7 performs switching so that the liquid material flowing from the storage unit 2 is circulated to the storage unit 2 again. The liquid in the storage unit 2 is circulated to the storage unit 2 via the supply pipe 11, the switching unit 7, and the circulation pipe 12. By the switching operation of the switching unit 7, whether the liquid material is output to the base material (output state) or the output of the liquid material is stopped (non-output state) is repeated.

ここで、出力配管13内の圧力と時間の関係について、説明する。図2は、出力配管13内の圧力と時間の関係の一例を示す図である。   Here, the relationship between the pressure in the output pipe 13 and time will be described. FIG. 2 is a diagram illustrating an example of the relationship between the pressure in the output pipe 13 and time.

図2に示されるように、基材に液状物を出力するときの出力配管13内の圧力波形(時間経過による圧力変化)は、基材への出力を開始、つまり出力配管13内に液状物を送液し始めたときは、出力配管13へ一気に液状物が流れ込むため急激に圧力が上昇する。   As shown in FIG. 2, the pressure waveform in the output pipe 13 (pressure change over time) when the liquid material is output to the base material starts output to the base material, that is, the liquid material in the output pipe 13. When the liquid starts to be fed, the liquid material flows into the output pipe 13 at a stretch, so the pressure suddenly increases.

そして一定時間経過後、圧力が一定値(定常圧力値P)となる定常状態となる。圧力が、出力配管13内に液状物を送液することで上昇を始めてから定常圧力値Pになるまでの時間Tが、「圧力立ち上がり時間」となる。   Then, after a lapse of a certain time, a steady state is reached in which the pressure becomes a constant value (steady pressure value P). The time T from when the pressure starts to rise by sending the liquid material into the output pipe 13 until the pressure reaches the steady pressure value P is the “pressure rise time”.

圧力立ち上がり時間の開始時点としては、切替部7を出力配管13へ切り替えた時点としても、圧力値がある閾値Pminを超えた時点としてもよい。また、圧力立ち上がり時間の終了時点としては、圧力値がある閾値Pmaxを越えた時点としてもよい。   The start time of the pressure rise time may be a time when the switching unit 7 is switched to the output pipe 13 or a time when the pressure value exceeds a certain threshold value Pmin. Further, the end point of the pressure rise time may be a point in time when the pressure value exceeds a certain threshold value Pmax.

そして出力が終わるときには、切替部7の切替えにより液状物は循環配管12に流れるため、出力配管13には液状物が流れなくなり、急激に圧力が下降する。   When the output ends, the liquid material flows into the circulation pipe 12 by switching of the switching unit 7, so that the liquid material does not flow through the output pipe 13, and the pressure rapidly decreases.

なお、圧力が定常状態になっているときに、最も多く基材に液状物が出力される。つまり、定常圧力状態の時間が長ければ、基材への液状物の出力量が増え、定常圧力状態の時間が短ければ、基材への液状物の出力量が減ることになる。   In addition, when the pressure is in a steady state, the liquid material is output most to the base material. That is, if the time of the steady pressure state is long, the output amount of the liquid material to the substrate increases, and if the time of the steady pressure state is short, the output amount of the liquid material to the substrate decreases.

次に基材への液状物の出力量の制御の流れを説明する。図3は、液状物の出力量の制御フローを示す図である。   Next, the flow of controlling the output amount of the liquid material to the substrate will be described. FIG. 3 is a diagram illustrating a control flow of the output amount of the liquid material.

図3に示されるように、まず、演算部8が、圧力計5で得た圧力情報から圧力立ち上がり情報を演算する(ステップ(STEP(以下、単位Sと称する))1)。   As shown in FIG. 3, first, the calculation unit 8 calculates pressure rise information from the pressure information obtained by the pressure gauge 5 (step (STEP (hereinafter referred to as unit S)) 1).

次に、予め設定されていた目標定常圧力値を、演算された圧力立ち上がり情報を基に、更新する(S2)。   Next, the target steady pressure value set in advance is updated based on the calculated pressure rise information (S2).

そして、定常圧力値が更新された目標定常圧力値となるように送液部3などにより圧力の制御を行う(S3)。この制御を、基材へ液状物を出力する度に繰り返し行なう。   Then, the pressure is controlled by the liquid feeding unit 3 or the like so that the steady pressure value becomes the updated target steady pressure value (S3). This control is repeated every time the liquid material is output to the substrate.

なお、S1およびS2は、本発明の情報更新ステップに対応する。また、S3は、本発明の圧力調整ステップに対応する。   S1 and S2 correspond to the information update step of the present invention. S3 corresponds to the pressure adjustment step of the present invention.

以上の通り、基材への液状物の出力量の制御を行う。   As described above, the output amount of the liquid material to the substrate is controlled.

次に、本発明の実施の形態における送液装置1の実施例1〜3を説明する。   Next, Examples 1 to 3 of the liquid delivery device 1 in the embodiment of the present invention will be described.

[実施例1]
実施例1では、基材への出力を繰り返すと粘度が上昇する液状物の出力量を制御する方法について説明する。
[Example 1]
In Example 1, a method of controlling the output amount of a liquid material whose viscosity increases when output to a substrate is repeated will be described.

図4は、送液開始直後と液状物の粘度上昇後の圧力と時間の関係の一例を示す図である。すなわち、図4は、液状物の基板への出力時における、出力配管13内の圧力と時間の関係を示した図である。   FIG. 4 is a diagram illustrating an example of the relationship between pressure and time immediately after the start of liquid feeding and after the increase in viscosity of the liquid material. That is, FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the pressure in the output pipe 13 and time when the liquid material is output to the substrate.

図4では、基材への出力を開始したときの正常な状態の圧力波形が、実線で示されている。また、基材への出力を続けて液状物の粘度が上昇したときの圧力波形が、破線で示されている。   In FIG. 4, the pressure waveform in a normal state when the output to the substrate is started is shown by a solid line. Moreover, the pressure waveform when the viscosity of a liquid substance rises by continuing the output to a base material is shown with the broken line.

出力配管13に液状物を流してから定常圧力PまたはP’になるまでの時間を圧力立ち上がり時間とする。この場合、図4に示されるように、液状物の粘度上昇後の圧力立ち上がり時間tは、正常時における圧力立ち上がり時間Tに比べて長くなる。   The time from when the liquid material flows to the output pipe 13 until the steady pressure P or P ′ is reached is defined as the pressure rise time. In this case, as shown in FIG. 4, the pressure rise time t after the increase in the viscosity of the liquid is longer than the pressure rise time T at normal time.

これは、液状物の粘度上昇により、液状物が流れにくくなり、切替部7により循環配管12から出力配管13に切り替わっても液状物が流れ出すまでに時間を要するためである。   This is because the liquid material becomes difficult to flow due to an increase in the viscosity of the liquid material, and it takes time for the liquid material to flow even if the switching unit 7 switches from the circulation pipe 12 to the output pipe 13.

つまり、圧力立ち上がり時間tが圧力立ち上がり時間Tよりも長くなる場合は、液状物の粘度が増加していることを示している。そのため、圧力立ち上がり時間tの変化により粘度の上昇を検出することが可能となる。また、粘度が上昇することから、粘度上昇後の定常圧力値P’は、正常時の定常圧力値Pよりも低くなる。   That is, when the pressure rising time t is longer than the pressure rising time T, it indicates that the viscosity of the liquid material is increasing. For this reason, it is possible to detect an increase in viscosity based on a change in the pressure rise time t. Further, since the viscosity increases, the steady pressure value P ′ after the viscosity rises is lower than the steady pressure value P at the normal time.

液状物の基材への出力量は以下の様にして制御する。図5は、圧力制御前後の圧力と時間の関係の一例を示す図である。   The output amount of the liquid material to the substrate is controlled as follows. FIG. 5 is a diagram illustrating an example of the relationship between pressure and time before and after pressure control.

まず、基材への出力開始時における圧力情報(圧力値や時間など)を取得する。次に、取得した圧力情報から、演算部8にて圧力立ち上がり情報を演算する。具体的には、圧力立ち上がり時間Tと定常圧力Pを求める。次に、再度、圧力情報を取得し、演算部8にて圧力の立ち上がり時間tと定常圧力P’を求める。圧力立ち上がり時間tが圧力立ち上がり時間Tよりも長いときには、液状物の粘度が上昇していると判断する。   First, pressure information (pressure value, time, etc.) at the start of output to the substrate is acquired. Next, pressure rise information is calculated by the calculation unit 8 from the acquired pressure information. Specifically, the pressure rising time T and the steady pressure P are obtained. Next, pressure information is acquired again, and the pressure rise time t and the steady pressure P ′ are obtained by the calculation unit 8. When the pressure rise time t is longer than the pressure rise time T, it is determined that the viscosity of the liquid material has increased.

図5に示されるように、制御部6では、予め目標定常圧力値Ptarが設定されており、出力配管13内がその圧力値Ptarになるように加圧して、液状物を流す。   As shown in FIG. 5, in the control unit 6, a target steady pressure value Ptar is set in advance, and the inside of the output pipe 13 is pressurized to the pressure value Ptar, and a liquid material is allowed to flow.

圧力立ち上がり情報を基に、立ち上がり時間tが立ち上がり時間Tよりも長いときには、図5に示すように、演算部8で、目標定常圧力値を初期の目標定常圧力値Ptarよりも高い目標定常圧力値Ptar’を算出し更新して、制御部6に設定する。このとき、新しい目標定常圧力値Ptar’は、例えば以下に示す式1を用いて設定する。   Based on the pressure rise information, when the rise time t is longer than the rise time T, as shown in FIG. Ptar ′ is calculated and updated and set in the control unit 6. At this time, the new target steady pressure value Ptar 'is set using, for example, the following formula 1.

Figure 0006244767
Figure 0006244767

高い目標定常圧力値Ptar’を設定したときは、圧力が早く定常状態になるため、その後の圧力立ち上がり時間t’は、目標定常圧力値を更新する前の圧力立ち上がり時間tに比べて短くなる。   When a high target steady pressure value Ptar 'is set, the pressure quickly reaches a steady state, so that the subsequent pressure rise time t' is shorter than the pressure rise time t before the target steady pressure value is updated.

そのため、液状物の粘度が増加しても、この目標定常圧力値を繰り返し更新することで、液状物の出力量を一定に保つように制御することができる。なお、上記式1に用いた係数αは、予め液状物の粘度と出力量の関係から事前に求めておく。   Therefore, even if the viscosity of the liquid material increases, it is possible to control the output amount of the liquid material to be kept constant by repeatedly updating the target steady pressure value. The coefficient α used in the above equation 1 is obtained in advance from the relationship between the viscosity of the liquid material and the output amount.

液状物の粘度が増加した場合は、液状物は出力口4から出力されにくくなっている。そのため、初期の定常圧力値Pに比べて、目標定常圧力値Ptar’が高くても、液状物が多量に出力口4から出力されることはない。   When the viscosity of the liquid material increases, the liquid material is less likely to be output from the output port 4. Therefore, even if the target steady pressure value Ptar ′ is higher than the initial steady pressure value P, a large amount of liquid material is not output from the output port 4.

なお、出力配管13の圧力制御は、様々な方法で行うことができる。例えば、送液部3を制御する方法がある。また、他の方法としては、送液装置の送液部3と切替部7との間に設けられた不図示のレギュレータを制御することにより、圧力を制御することも可能である。   The pressure control of the output pipe 13 can be performed by various methods. For example, there is a method of controlling the liquid feeding unit 3. As another method, the pressure can be controlled by controlling a regulator (not shown) provided between the liquid feeding unit 3 and the switching unit 7 of the liquid feeding device.

[実施例2]
実施例1では、圧力立ち上がり情報として、圧力立ち上がり時間を用いた。これに対して、実施例2では、圧力立ち上がり情報として、圧力波形の傾きを用いる。
[Example 2]
In Example 1, the pressure rise time was used as the pressure rise information. On the other hand, in the second embodiment, the slope of the pressure waveform is used as the pressure rising information.

図4に示されるように、圧力値が上昇を始めてから圧力が定常状態になるまでの正常時における圧力波形の傾きをbとすると、粘度上昇後の圧力波形の傾きaは、正常時の圧力波形の傾きbよりも小さくなり、出力量も減少する。このような場合、まず、正常な出力時の圧力情報を取得して、この圧力情報から、圧力立ち上がり情報として圧力波形の傾きbと定常状態の圧力値Pを求める。   As shown in FIG. 4, when the slope of the pressure waveform at the normal time from when the pressure value starts to rise until the pressure reaches a steady state is b, the slope a of the pressure waveform after the viscosity rises is the pressure at the normal time. It becomes smaller than the slope b of the waveform, and the output amount also decreases. In such a case, first, pressure information at the time of normal output is acquired, and from this pressure information, a pressure waveform slope b and a steady-state pressure value P are obtained as pressure rising information.

次の出力時(粘度上昇後でもよい)に求めた圧力波形の傾きaと、先に求めた圧力波形の傾きbの変化量から、新たな目標定常圧力値Ptar’を演算部8で算出し更新して、制御部6に設定する。   The calculation unit 8 calculates a new target steady pressure value Ptar ′ from the change amount of the pressure waveform slope a obtained at the next output (or after the viscosity increase) and the pressure waveform slope b obtained previously. Update and set in the control unit 6.

このとき、目標定常圧力値Ptar’は、例えば以下の式2を用いて、目標定常圧力値Ptar’が初期の目標定常圧力Ptarよりも高くなるように行なう。そして、定常状態の圧力値が更新された目標定常圧力値Ptar’になるように圧力制御を行う。   At this time, the target steady pressure value Ptar 'is set so that the target steady pressure value Ptar' is higher than the initial target steady pressure Ptar using, for example, the following Expression 2. Then, pressure control is performed so that the steady-state pressure value becomes the updated target steady-state pressure value Ptar '.

Figure 0006244767
Figure 0006244767

圧力は、上述したように、送液部3を調整することにより、制御可能であり、レギュレータが設けられている場合は、レギュレータで圧力調整をしてもよい。なお、式2に用いた係数αは液状物の粘度と出力量の関係から事前に求めておく。   As described above, the pressure can be controlled by adjusting the liquid feeding unit 3, and when a regulator is provided, the pressure may be adjusted by the regulator. The coefficient α used in Equation 2 is obtained in advance from the relationship between the viscosity of the liquid and the output amount.

また、圧力波形の傾きは、出力配管に液状物を流し始めてから所定の時間経過後の傾きを微分で求めてよく、圧力立ち上がり時間内での圧力の最大値と圧力の最小値の差を用いて求めてもよく、これらの方法に限定されることはない。   In addition, the slope of the pressure waveform may be obtained by differentiating the slope after a lapse of a predetermined time from the start of flowing liquid material to the output piping, and the difference between the maximum pressure value and the minimum pressure value within the pressure rise time is used. However, it is not limited to these methods.

[実施例3]
実施例3では、液状物に含まれる揮発材が揮発して粘度が上昇する液状物の出力量を制御する方法を説明する。
[Example 3]
In Example 3, a method of controlling the output amount of a liquid material in which the volatile material contained in the liquid material volatilizes and the viscosity increases will be described.

このような液状物の場合、実施例1と同様に(図4参照)、粘度上昇後の圧力立ち上がり時間tは、正常時の圧力立ち上がり時間Tよりも長くなり、出力量も減少する。   In the case of such a liquid material, as in Example 1 (see FIG. 4), the pressure rise time t after the increase in viscosity becomes longer than the pressure rise time T at normal time, and the output amount also decreases.

そのため、実施例1と同様に、演算部8で初期の目標定常圧力値Ptarに比べて高い目標定常圧力値Ptar’を繰り返し演算し更新して、制御部6に設定すればよい(図5参照)。   Therefore, as in the first embodiment, the calculation unit 8 repeatedly calculates and updates a target steady pressure value Ptar ′ that is higher than the initial target steady pressure value Ptar, and sets it in the control unit 6 (see FIG. 5). ).

新たな目標定常圧力値Ptar’は、例えば、粘度上昇による出力量減少と揮発材減少による密度上昇を考慮に入れた式3で求めることができる。   The new target steady-state pressure value Ptar 'can be obtained by, for example, Expression 3 that takes into account the decrease in output due to an increase in viscosity and the increase in density due to a decrease in volatile material.

Figure 0006244767
Figure 0006244767

圧力は、上述のように、送液部3の回転数を調整することにより、制御可能であり、レギュレータが設けられている場合は、レギュレータで圧力調整をしてよい。   As described above, the pressure can be controlled by adjusting the number of rotations of the liquid feeding unit 3, and when a regulator is provided, the pressure may be adjusted by the regulator.

なお、式3に用いた係数αは液状物の粘度の変化量と出力量の変化量の関係から、係数βは液状物の粘度の変化量と液状物の密度の変化量の関係から事前に求めておく。   The coefficient α used in Equation 3 is determined in advance from the relationship between the change in the viscosity of the liquid and the change in the output, and the coefficient β is determined in advance from the relationship between the change in the viscosity of the liquid and the change in the density of the liquid. I ask for it.

以上の通り、本発明の実施の形態における送液装置1は、貯蔵部2と、出力口4と、送液部3と、圧力計5と、切替部7と、演算部8と、制御部6とを含んで構成されている。   As described above, the liquid feeding device 1 according to the embodiment of the present invention includes the storage unit 2, the output port 4, the liquid feeding unit 3, the pressure gauge 5, the switching unit 7, the calculation unit 8, and the control unit. 6.

貯蔵部2は、液状物を貯蔵する。出力口4は、液状物を出力する。送液部3は、液状物を貯蔵部2から出力口4へ送る。圧力計5は、出力口4に隣接して設けられている。圧力計5は、出力口4に流れてくる液状物の圧力を測定して、圧力の時間的な変化を含む圧力情報を取得する。切替部7は、貯蔵部2から流れてくる液状物を、出力口4へ出力するか、貯蔵部2に循環させるかを切り替える。演算部8は、圧力計5により取得された圧力情報に基づいて圧力立ち上がり情報を算出し、予め設定された目標定常圧力値を圧力立ち上がり情報に基づいて更新する。制御部6は、演算部8により更新された目標定常圧力値になるように、出力口4へ流れる液状物の圧力を調整する。   The storage unit 2 stores a liquid material. The output port 4 outputs a liquid material. The liquid feeding unit 3 sends the liquid material from the storage unit 2 to the output port 4. The pressure gauge 5 is provided adjacent to the output port 4. The pressure gauge 5 measures the pressure of the liquid material flowing to the output port 4 and acquires pressure information including a temporal change in pressure. The switching unit 7 switches whether the liquid material flowing from the storage unit 2 is output to the output port 4 or circulated to the storage unit 2. The computing unit 8 calculates pressure rise information based on the pressure information acquired by the pressure gauge 5, and updates a preset target steady pressure value based on the pressure rise information. The control unit 6 adjusts the pressure of the liquid material flowing to the output port 4 so that the target steady pressure value updated by the calculation unit 8 is obtained.

このように、演算部8は、圧力計5により取得された圧力情報に基づいて圧力立ち上がり情報を算出し、予め設定された目標定常圧力値を圧力立ち上がり情報に基づいて更新する。これにより、送液装置1では、目標定常圧力値を、圧力計5の実測値に基づく圧力情報に対応して、更新できる。したがって、送液装置1では、液状物の粘度が変化して圧力情報が変化した場合であっても、目標定常圧力値を、液状物の粘度に応じた値に更新できる。そして、制御部6は、演算部8により更新された目標定常圧力値になるように、出力口4へ流れる液状物の圧力を調整する。これにより、送液装置1では、出力口4へ流れる液状物の圧力を、圧力計5の実測値に基づく圧力情報に対応させて、調整することができる。すなわち、送液装置1では、液状物の粘度が変化して圧力情報が変化した場合であっても、出力口4へ流れる液状物の圧力を、液状物の粘度に応じた値に基づく圧力情報に対応させて、調整することができる。また、送液装置1では、特許文献2に記載の技術のように、圧力計の他に、液状物の送液量を測定する送液量計測手段を別に設ける必要がない。このため、送液装置1の構成を簡単にすることができる。   Thus, the calculating part 8 calculates pressure rising information based on the pressure information acquired by the pressure gauge 5, and updates the preset target steady-state pressure value based on pressure rising information. Thereby, in the liquid delivery apparatus 1, the target steady pressure value can be updated in correspondence with the pressure information based on the actually measured value of the pressure gauge 5. Therefore, in the liquid feeding device 1, even when the viscosity information of the liquid material changes and the pressure information changes, the target steady pressure value can be updated to a value corresponding to the viscosity of the liquid material. And the control part 6 adjusts the pressure of the liquid substance which flows into the output port 4 so that it may become the target steady pressure value updated by the calculating part 8. FIG. Thereby, in the liquid feeding device 1, the pressure of the liquid material flowing to the output port 4 can be adjusted in correspondence with the pressure information based on the actually measured value of the pressure gauge 5. That is, in the liquid feeding device 1, even when the viscosity information of the liquid material changes and the pressure information changes, the pressure information of the liquid material flowing to the output port 4 is based on the value corresponding to the viscosity of the liquid material. It can be adjusted to correspond to. Moreover, in the liquid feeding apparatus 1, unlike the technique described in Patent Document 2, it is not necessary to separately provide a liquid feeding amount measuring means for measuring the liquid feeding amount in addition to the pressure gauge. For this reason, the structure of the liquid feeding apparatus 1 can be simplified.

以上の通り、本発明の実施の形態における送液装置1によれば、簡単な構成で、液状物の粘度に応じた送液および出力を行うことができる。また、送液装置1を簡単な構成にできるので、製造コストをより低減できる。   As described above, according to the liquid feeding device 1 in the embodiment of the present invention, liquid feeding and output corresponding to the viscosity of the liquid material can be performed with a simple configuration. Moreover, since the liquid feeding apparatus 1 can be made into a simple structure, manufacturing cost can be reduced more.

また、本発明の実施の形態における送液装置1において、圧力立ち上がり情報として、圧力立ち上がり時間が用いられている。これにより、演算部8は、簡単に、圧力情報から圧力立ち上がり情報を抽出できる。   Further, in the liquid delivery device 1 in the embodiment of the present invention, the pressure rise time is used as the pressure rise information. Thereby, the calculating part 8 can extract pressure rising information easily from pressure information.

本発明の実施の形態における送液装置1において、圧力立ち上がり情報として、圧力波形の傾きが用いられている。これにより、演算部8は、簡単に、圧力情報から圧力立ち上がり情報を抽出できる。   In the liquid delivery device 1 in the embodiment of the present invention, the slope of the pressure waveform is used as the pressure rise information. Thereby, the calculating part 8 can extract pressure rising information easily from pressure information.

本発明の実施の形態における送液装置1において、送液部3は、制御部6による制御に基づいて、液状物を貯蔵部2から出力口4へ送る。これにより、送液部3は、より安定して、液状物を貯蔵部2から出力口4へ送ることができる。   In the liquid feeding device 1 according to the embodiment of the present invention, the liquid feeding unit 3 sends the liquid material from the storage unit 2 to the output port 4 based on the control by the control unit 6. Thereby, the liquid feeding part 3 can send a liquid substance from the storage part 2 to the output port 4 more stably.

本発明の実施の形態における送液装置1は、レギュレータを備えている。このレギュレータは、送液部3および切替部7の間に設けられている。レギュレータは、制御部6により制御されている。これにより、より簡単な構成で、液状物の粘度に応じた送液および出力を行うことができる。   The liquid feeding device 1 in the embodiment of the present invention includes a regulator. This regulator is provided between the liquid feeding unit 3 and the switching unit 7. The regulator is controlled by the control unit 6. Thereby, liquid feeding and output according to the viscosity of a liquid substance can be performed with a simpler structure.

また、本発明の実施の形態における送液制御方法は、送液装置を用いる。この送液装置は、貯蔵部2と、出力口4と、送液部3と、圧力計5と、切替部7とを有する。貯蔵部2は、液状物を貯蔵する。出力口4は、液状物を出力する。送液部3は、液状物を貯蔵部2から出力口4へ送る。圧力計5は、出力口4に隣接して設けられている。圧力計5は、出力口4に流れてくる液状物の圧力を測定して、圧力の時間的な変化を含む圧力情報を取得する。切替部7は、貯蔵部2から流れてくる液状物を、出力口4へ出力するか、貯蔵部2に循環させるかを切り替える。そして、液状物の出力量を制御する方法は、情報更新ステップと、圧力調整ステップとを含んでいる。情報更新ステップでは、圧力計5により取得された圧力情報に基づいて圧力立ち上がり情報を算出し、予め設定された目標定常圧力値を圧力立ち上がり情報に基づいて更新する。圧力調整ステップでは、演算部8により更新された目標定常圧力値になるように、出力口4へ流れる液状物の圧力を調整する。   Moreover, the liquid feeding control method in embodiment of this invention uses a liquid feeding apparatus. The liquid feeding device includes a storage unit 2, an output port 4, a liquid feeding unit 3, a pressure gauge 5, and a switching unit 7. The storage unit 2 stores a liquid material. The output port 4 outputs a liquid material. The liquid feeding unit 3 sends the liquid material from the storage unit 2 to the output port 4. The pressure gauge 5 is provided adjacent to the output port 4. The pressure gauge 5 measures the pressure of the liquid material flowing to the output port 4 and acquires pressure information including a temporal change in pressure. The switching unit 7 switches whether the liquid material flowing from the storage unit 2 is output to the output port 4 or circulated to the storage unit 2. The method for controlling the output amount of the liquid material includes an information update step and a pressure adjustment step. In the information update step, pressure rise information is calculated based on the pressure information acquired by the pressure gauge 5, and a preset target steady pressure value is updated based on the pressure rise information. In the pressure adjustment step, the pressure of the liquid material flowing to the output port 4 is adjusted so that the target steady pressure value updated by the calculation unit 8 is obtained.

この液状物の送液制御方法は、前述の送液装置1に対応した方法の発明である。したがって、前述の送液装置1に対応した方法と同様に、簡単な構成で、液状物の粘度に応じた送液および出力を行うことができる。   This liquid material feeding control method is an invention of a method corresponding to the liquid feeding device 1 described above. Therefore, similarly to the method corresponding to the liquid feeding device 1 described above, liquid feeding and output corresponding to the viscosity of the liquid material can be performed with a simple configuration.

本発明の実施の形態における送液制御方法において、情報更新ステップでは、圧力立ち上がり情報として、圧力立ち上がり時間を算出する。これにより、演算部8は、簡単に、圧力情報から圧力立ち上がり情報を抽出できる。   In the liquid feeding control method according to the embodiment of the present invention, in the information update step, the pressure rise time is calculated as the pressure rise information. Thereby, the calculating part 8 can extract pressure rising information easily from pressure information.

本発明の実施の形態における送液制御方法において、情報更新ステップでは、圧力立ち上がり情報として、圧力波形の傾きを算出する。これにより、演算部8は、簡単に、圧力情報から圧力立ち上がり情報を抽出できる。   In the liquid feeding control method according to the embodiment of the present invention, in the information update step, the slope of the pressure waveform is calculated as the pressure rise information. Thereby, the calculating part 8 can extract pressure rising information easily from pressure information.

本発明の実施の形態における送液制御方法において、送液部3は、圧力調整ステップで調整された液状物の圧力に基づいて、液状物を貯蔵部2から出力口4へ送る。これにより、送液部3は、より安定して、液状物を貯蔵部2から出力口4へ送ることができる。   In the liquid feeding control method according to the embodiment of the present invention, the liquid feeding unit 3 sends the liquid material from the storage unit 2 to the output port 4 based on the pressure of the liquid material adjusted in the pressure adjustment step. Thereby, the liquid feeding part 3 can send a liquid substance from the storage part 2 to the output port 4 more stably.

本発明の実施の形態における送液制御方法において、送液装置は、送液部3および切替部7の間に設けられたレギュレータを備えている。また、圧力調整ステップでは、レギュレータを用いて、演算部8により更新された目標定常圧力値になるように、出力口4へ流れる液状物の圧力を調整する。これにより、より簡単な構成で、液状物の粘度に応じた送液および出力を行うことができる。   In the liquid feeding control method according to the embodiment of the present invention, the liquid feeding device includes a regulator provided between the liquid feeding unit 3 and the switching unit 7. In the pressure adjustment step, the pressure of the liquid material flowing to the output port 4 is adjusted using a regulator so that the target steady pressure value updated by the calculation unit 8 is obtained. Thereby, liquid feeding and output according to the viscosity of a liquid substance can be performed with a simpler structure.

以上、実施の形態をもとに本発明を説明した。実施の形態は例示であり、本発明の主旨から逸脱しない限り、上述各実施の形態に対して、さまざまな変更、増減、組合せを加えてもよい。これらの変更、増減、組合せが加えられた変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。   The present invention has been described above based on the embodiment. The embodiment is an exemplification, and various modifications, increases / decreases, and combinations may be added to the above-described embodiments without departing from the gist of the present invention. It will be understood by those skilled in the art that modifications to which these changes, increases / decreases, and combinations are also within the scope of the present invention.

1 送液装置
2 貯蔵部
3 送液部
4 出力口
5 圧力計
6 制御部
7 切替部
8 演算部
11 供給用配管
12 循環配管
13 出力配管
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid feeding apparatus 2 Storage part 3 Liquid feeding part 4 Output port 5 Pressure gauge 6 Control part 7 Switching part 8 Calculation part 11 Supply piping 12 Circulation piping 13 Output piping

Claims (6)

液状物を貯蔵する貯蔵部と、
前記液状物を出力する出力口と、
前記液状物を前記貯蔵部から前記出力口へ送る送液部と、
前記出力口に隣接して設けられ、前記出力口に流れてくる前記液状物の圧力を測定して、前記圧力の時間的な変化を含む圧力情報を取得する圧力計と、
前記貯蔵部から流れてくる前記液状物を、前記出力口へ出力するか、前記貯蔵部に循環させるかを切り替える切替部と、
前記圧力計により取得された前記圧力情報に基づいて圧力立ち上がり情報を算出し、予め設定された目標定常圧力値を前記圧力立ち上がり情報に基づいて更新する演算部と、
前記演算部により更新された前記目標定常圧力値になるように、前記出力口へ流れる前記液状物の圧力を調整する制御部とを備え
前記圧力立ち上がり情報として、圧力立ち上がり時間または圧力波形の傾きが用いられ、
前記演算部は、更新後の前記目標定常圧力値が、予め設定された前記目標定常圧力値よりも高くなるように、前記目標定常圧力値を更新する送液装置。
A storage section for storing a liquid material;
An output port for outputting the liquid material;
A liquid feeding section for sending the liquid material from the storage section to the output port;
A pressure gauge that is provided adjacent to the output port, measures the pressure of the liquid material flowing to the output port, and obtains pressure information including temporal changes in the pressure;
A switching unit that switches whether the liquid material flowing from the storage unit is output to the output port or circulated to the storage unit;
A calculation unit that calculates pressure rise information based on the pressure information acquired by the pressure gauge, and updates a preset target steady pressure value based on the pressure rise information;
A control unit for adjusting the pressure of the liquid material flowing to the output port so as to be the target steady pressure value updated by the calculation unit ;
As the pressure rise information, pressure rise time or the slope of the pressure waveform is used,
The liquid feeding device that updates the target steady pressure value so that the updated target steady pressure value is higher than the preset target steady pressure value .
前記送液部は、前記制御部による制御に基づいて、前記液状物を前記貯蔵部から前記出力口へ送る請求項に記載の送液装置。 The liquid feeding device according to claim 1 , wherein the liquid feeding unit sends the liquid material from the storage unit to the output port based on control by the control unit. 前記送液部および前記切替部の間に設けられたレギュレータを備え、
前記レギュレータは、前記制御部により制御されている請求項1または2に記載の送液装置。
A regulator provided between the liquid feeding unit and the switching unit;
The regulator, liquid delivery device according to claim 1 or 2 is controlled by the control unit.
液状物を貯蔵する貯蔵部と、前記液状物を出力する出力口と、前記液状物を前記貯蔵部から前記出力口へ送る送液部と、前記出力口に隣接して設けられ、前記出力口に流れてくる前記液状物の圧力を測定して、前記圧力の時間的な変化を含む圧力情報を取得する圧力計と、前記貯蔵部から流れてくる前記液状物を、前記出力口へ出力するか、前記貯蔵部に循環させるかを切り替える切替部とを備えた送液装置を用いて、前記液状物の出力量を制御する送液制御方法であって、
前記圧力計により取得された前記圧力情報に基づいて圧力立ち上がり情報を算出し、予め設定された目標定常圧力値を前記圧力立ち上がり情報に基づいて更新する情報更新ステップと、
前記演算部により更新された前記目標定常圧力値になるように、前記出力口へ流れる前記液状物の圧力を調整する圧力調整ステップとを含み、
前記情報更新ステップでは、前記圧力立ち上がり情報として、圧力立ち上がり時間または圧力波形の傾きを算出し、
情報更新ステップでは、更新後の前記目標定常圧力値が、予め設定された前記目標定常圧力値よりも高くなるように、前記目標定常圧力値を更新する送液制御方法。
A storage section for storing a liquid material; an output port for outputting the liquid material; a liquid feeding section for sending the liquid material from the storage section to the output port; and an output port provided adjacent to the output port. A pressure gauge for measuring pressure of the liquid material flowing into the chamber and acquiring pressure information including temporal changes in the pressure, and outputting the liquid material flowing from the storage unit to the output port Or a liquid-feeding control method for controlling an output amount of the liquid material using a liquid-feeding device including a switching unit that switches between circulating in the storage unit,
An information update step of calculating pressure rise information based on the pressure information acquired by the pressure gauge, and updating a preset target steady pressure value based on the pressure rise information;
Such that the target steady pressure value updated by the calculation unit, viewed contains a pressure adjustment step of adjusting the pressure of the liquid product flowing to the output port,
In the information update step, as the pressure rise information, a pressure rise time or a pressure waveform slope is calculated,
In the information update step, the target steady pressure value is updated so that the updated target steady pressure value becomes higher than the preset target steady pressure value .
前記送液部は、前記圧力調整ステップで調整された前記液状物の圧力に基づいて、前記液状物を前記貯蔵部から前記出力口へ送る請求項に記載の送液制御方法。 The liquid feeding control method according to claim 4 , wherein the liquid feeding unit sends the liquid material from the storage unit to the output port based on the pressure of the liquid material adjusted in the pressure adjusting step. 前記送液装置は、前記送液部および前記切替部の間に設けられたレギュレータを備え、
前記圧力調整ステップでは、前記レギュレータを用いて、前記演算部により更新された前記目標定常圧力値になるように、前記出力口へ流れる前記液状物の圧力を調整する請求項4または5に記載の送液制御方法。
The liquid feeding device includes a regulator provided between the liquid feeding unit and the switching unit,
In the pressure adjusting step, using the regulator, so that the target steady pressure value updated by the calculation unit, according to claim 4 or 5 to adjust the pressure of the liquid product flowing to the output port Liquid feeding control method.
JP2013194178A 2013-09-19 2013-09-19 Liquid feeding device and liquid feeding control method Active JP6244767B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013194178A JP6244767B2 (en) 2013-09-19 2013-09-19 Liquid feeding device and liquid feeding control method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013194178A JP6244767B2 (en) 2013-09-19 2013-09-19 Liquid feeding device and liquid feeding control method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015058403A JP2015058403A (en) 2015-03-30
JP6244767B2 true JP6244767B2 (en) 2017-12-13

Family

ID=52816368

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013194178A Active JP6244767B2 (en) 2013-09-19 2013-09-19 Liquid feeding device and liquid feeding control method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6244767B2 (en)

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5926350B2 (en) * 1978-08-07 1984-06-26 マトコ工業株式会社 painting equipment
JP2001276716A (en) * 2000-03-28 2001-10-09 Seiko Epson Corp Coating apparatus and coating method
JP2002307003A (en) * 2001-04-12 2002-10-22 Global Mach Kk Low viscosity liquid feeding device
JP4786087B2 (en) * 2001-09-13 2011-10-05 ベックマン コールター, インコーポレイテッド Dispensing device for liquid to be dispensed
JP2006075683A (en) * 2004-09-07 2006-03-23 Sharp Corp Liquid applying apparatus and liquid deaerating method
JP2006247956A (en) * 2005-03-09 2006-09-21 Fuji Xerox Co Ltd Liquid droplet ejection device and wiping method
US7828527B2 (en) * 2005-09-13 2010-11-09 Illinois Tool Works Inc. Paint circulating system and method
JP2009183859A (en) * 2008-02-06 2009-08-20 Seiko Epson Corp Droplet discharge device and thin film forming method
JP5363826B2 (en) * 2009-02-04 2013-12-11 東レエンジニアリング株式会社 Coating device
JP2010221182A (en) * 2009-03-25 2010-10-07 Toppan Printing Co Ltd Ink supply apparatus
JP2012179540A (en) * 2011-03-01 2012-09-20 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Coating apparatus and coating film formation system
JP5906841B2 (en) * 2012-03-14 2016-04-20 マツダ株式会社 Paint circulation device and paint circulation method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015058403A (en) 2015-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11129415B2 (en) Infiltration detecting apparatus, electronic cigarette, and method for controlling electronic cigarette
JP6345801B2 (en) Temperature control method and temperature control device
US20150014430A1 (en) Smoke generator and method of controlling a smoke generation
WO2016115892A1 (en) Temperature control system and control method thereof, and electronic cigarette containing said temperature control system
EP3248482A1 (en) Electronic cigarette and smoking method thereof
EA201991564A1 (en) AEROSOL-GENERATING DEVICE, METHOD FOR MANAGING AEROSOL-GENERATING DEVICE AND PROGRAM
JP6457194B2 (en) Temperature control device for injection molding machine having parameter adjustment function
EP2829944A3 (en) Temperature control system for solar cell module
EA201991565A1 (en) AEROSOL-GENERATING DEVICE, METHOD FOR MANAGING AEROSOL-GENERATING DEVICE AND PROGRAM
JP7260434B2 (en) Temperature control device for injection molding machine with abnormality detection function
JP2015512812A5 (en)
JP6409876B2 (en) Control device
US20130022340A1 (en) Apparatus for delivering a medium at an adjustable temperature
JP6244767B2 (en) Liquid feeding device and liquid feeding control method
JP5749834B1 (en) Boiler control device and control method
JP5683940B2 (en) Plasticizing equipment
JP2014117824A5 (en)
JP5015019B2 (en) Control method and control device for heater of injection molding machine
CN106662882B (en) Method for controlling flow of fluid, mass flow control device and system
JP2014219117A (en) Boiler
JP2014046497A (en) Method for estimating deterioration of heater of injection molding machine, and injection molding machine
JP2020179391A (en) Coating apparatus
WO2016042395A3 (en) Method and device for regulating a water flow
JP6390714B2 (en) Temperature control apparatus and temperature control method
JP6089423B2 (en) Liquid feeding device and control method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160816

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170523

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170530

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170727

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20171017

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20171030

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6244767

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150