JP6205394B2 - Optical fiber preform manufacturing method, optical fiber preform, and optical fiber manufacturing method - Google Patents

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本発明は、光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、及び光ファイバの製造方法に関する。   The present invention relates to an optical fiber preform manufacturing method, an optical fiber preform, and an optical fiber manufacturing method.

容器内にSiO粒子を詰めて加熱によりガラス化させて光ファイバ母材(プリフォーム)を製造する技術がある。例えば、特許文献1には、石英管にSiO粒子を詰めて、ガス処理及び熱処理による不純物除去後に、熱処理してSiO粒子同士を溶融させてガラス化させることが開示されている。また、例えば、特許文献2及び3には、容器内にてコアとなるガラスロッドの周囲に上記技術を用いてクラッドガラスを製造することが開示されている。 There is a technique for manufacturing an optical fiber preform (preform) by filling SiO 2 particles in a container and vitrifying it by heating. For example, Patent Document 1 discloses that a quartz tube is filled with SiO 2 particles, and after removing impurities by gas treatment and heat treatment, the SiO 2 particles are melted and vitrified by heat treatment. Further, for example, Patent Documents 2 and 3 disclose that clad glass is manufactured using the above technique around a glass rod serving as a core in a container.

米国特許US8,720,230B2(2014年5月13日登録)US Patent US8,720,230B2 (registered on May 13, 2014) 特表2012−503590(2012年2月9日公表)Special table 2012-503590 (announced February 9, 2012) 特開2014−84257(2014年5月12日公開)JP2014-84257 (released on May 12, 2014)

ところで、従来の光ファイバ母材の製造方法において、石英管にSiO粒子を詰めて粒子層とし不純物を除去するためのガスを流すガス処理工程では、そのガスを粒子層の下から上に流している。このとき、ガスの流速を高くすると(単位時間あたりのガスの流量を大きくする)と、しばしば、粒子層内にマクロな空隙(SiO粒子のサイズと比べて十分に大きいサイズの空隙)が形成されることがある。 By the way, in the conventional optical fiber preform manufacturing method, in the gas treatment process in which a silica tube is filled with SiO 2 particles to form a particle layer and a gas for removing impurities is flowed, the gas is flowed from the bottom to the top of the particle layer. ing. At this time, when the gas flow rate is increased (the gas flow rate per unit time is increased), macroscopic voids (voids having a size sufficiently larger than the size of SiO 2 particles) are often formed in the particle layer. May be.

粒子層内にマクロな空隙が形成される理由は、以下のとおりである。すなわち、粒子層を構成する各SiO粒子は、ガスが流れ始めるまでの間、そのSiO粒子に作用する重力と隣接するSiO粒子から受ける摩擦力とが均衡する位置で静止している。そして、下から上へとガスが流れ始めると、SiO粒子は、ガスから上向きの力(重力と反対向きの力)を受けるため、摩擦力による束縛を失い、近傍に隙間があればその隙間へと移動する(SiO粒子は最密に充填されている訳ではないので、近傍に隙間のあるSiO粒子が必ず存在する)。あるSiO粒子が移動すると、そのSiO粒子の移動により生じた新たな隙間に他のSiO粒子が移動することが可能になる。このため、あるSiO粒子の移動が生じると、そのSiO粒子の周辺に存在するSiO粒子群の移動が連鎖的に生じ、その結果、マクロな空隙が形成される。このような空隙は、ガスの流速が高ければ高いほど生じやすくなる。 The reason why macro voids are formed in the particle layer is as follows. That is, each SiO 2 particles constituting the particle layer, until starting gas flow, the frictional force received from the SiO 2 particles adjacent to the gravity acting on the SiO 2 particles is stationary in a position to balance. When the gas starts to flow from the bottom to the top, the SiO 2 particles receive upward force (force opposite to gravity) from the gas. (Because the SiO 2 particles are not packed most closely, there are always SiO 2 particles with a gap in the vicinity). When a SiO 2 particles move, you are possible to other SiO 2 particles move to a new gap caused by movement of the SiO 2 particles. Therefore, when the movement of a SiO 2 particles occurs, the movement of the SiO 2 particles present in the periphery of the SiO 2 particles are chained to occur, as a result, macro voids are formed. Such voids are more likely to occur as the gas flow rate increases.

そして、マクロな空隙が粒子層内に形成されると、出来上がった光ファイバ母材に気泡が残留することになる。このような気泡は、光ファイバ母材を線引きする際に断線の原因になったり、出来上がった光ファイバの光学特性を劣化させる原因になったりする。このため、従来の光ファイバ母材の製造方法では、ガス処理工程におけるガスの流速を低く抑える必要があり、このことが、製造時間の短縮(すなわち、製造コストの削減)を阻む阻害要因となっていた。   When macro voids are formed in the particle layer, bubbles remain in the completed optical fiber preform. Such bubbles may cause disconnection when drawing the optical fiber preform or cause deterioration of optical characteristics of the completed optical fiber. For this reason, in the conventional optical fiber preform manufacturing method, it is necessary to keep the gas flow rate low in the gas processing step, which is an impediment to hindering the reduction of manufacturing time (that is, reduction of manufacturing cost). It was.

また、大気より軽いガスを流す場合に、そのガスを粒子層の下から導入すると、そのガスが流れ易い部分のみを通って粒子層を抜けてしまい、そのガスを粒子層全体に行き渡らせることができない。このため、均質性の低い光ファイバ母材が出来上がってしまうという副次的な問題を生じる。   In addition, when a gas that is lighter than the atmosphere is flowed, if the gas is introduced from below the particle layer, it passes through only the portion where the gas easily flows, and the gas layer is allowed to pass through the entire particle layer. Can not. This causes a secondary problem that an optical fiber preform with low homogeneity is completed.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、光ファイバ母材を従来よりも短時間で製造することが可能な光ファイバ母材の製造方法等を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an optical fiber preform manufacturing method and the like that can manufacture an optical fiber preform in a shorter time than conventional ones. .

本発明に係る光ファイバ母材の製造方法は、石英管内にSiO粒子を含む粒子層を形成する粒子層形成工程と、前記粒子層から不純物を除去するための又は前記粒子層にドーパントを導入するためのガスを、前記粒子層の上方から下方に流すガス処理工程と、を含むことを特徴としている。 An optical fiber preform manufacturing method according to the present invention includes a particle layer forming step of forming a particle layer containing SiO 2 particles in a quartz tube, and a dopant is introduced to remove impurities from the particle layer or into the particle layer. And a gas processing step of flowing a gas for performing downward from above the particle layer.

上記方法によると、粒子層から不純物を除去するための又は粒子層にドーパントを導入するためのガスを、粒子層の上方から下方に流す。上方から下方にガスを流すと、SiO粒子がガスから受ける力は、下向きの力、すなわち、重力と同じ向きの力となる。したがって、ガスの流速を高くしても、ガス処理工程において下方から上方にガスを流した場合のように、摩擦力による束縛を失ったSiOの連鎖的な移動によって、粒子層内にマクロな空隙が形成されることがない。このため、ガスの流速を従来よりも高くし、製造時間を従来よりも短縮することが可能になる。 According to the above method, a gas for removing impurities from the particle layer or for introducing a dopant into the particle layer flows from above to below the particle layer. When gas flows from above to below, the force that the SiO 2 particles receive from the gas is a downward force, that is, a force in the same direction as gravity. Therefore, even when the gas flow rate is increased, the macroscopic movement in the particle layer is caused by the chain movement of SiO 2 that has lost the constraint due to the frictional force, as in the case where the gas is flowed from the lower side to the upper side in the gas treatment process. No voids are formed. For this reason, the flow rate of gas can be made higher than before, and the manufacturing time can be reduced as compared with the conventional method.

また、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法は、上記方法に加え、前記粒子層を加熱してガラス化する加熱工程を含んでいるのが好ましい。   Moreover, it is preferable that the manufacturing method of the optical fiber preform which concerns on this invention includes the heating process which heats the said particle layer and vitrifies in addition to the said method.

上記方法によると、粒子層を加熱してガラス化することができ、粒子層がガラス化され一体化された光ファイバ母体を製造することができる。なお、粒子層をガラス化せずに、加熱しながら、溶融してファイバ化(線引き、紡糸)してもよい。このように、本明細書では、粒子層がガラス化されていてもいなくても、光ファイバに形成するための線引きをする前段階にあるものを、光ファイバ母材と称する。   According to the above method, the particle layer can be heated to be vitrified, and an optical fiber preform in which the particle layer is vitrified and integrated can be manufactured. The particle layer may be melted and fiberized (drawn or spun) while heating without being vitrified. Thus, in this specification, even if the particle layer is not vitrified, what is in the stage before drawing for forming in an optical fiber is called an optical fiber preform.

また、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法は、上記方法に加え、前記石英管内の中心にロッドを配置するロッド配置工程を含み、前記粒子層形成工程では、前記石英管内の中心に配置された前記ロッドの周囲に前記粒子層を形成するのが好ましい。   In addition to the above method, the method for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention includes a rod arranging step of arranging a rod at the center in the quartz tube, and the particle layer forming step arranges at the center in the quartz tube. Preferably, the particle layer is formed around the formed rod.

上記方法によると、石英管内の中心にロッドを配置し、その周囲に粒子層を形成するため、ロッドをコアに、粒子層をクラッドに対応させた光ファイバ母材を製造することができる。   According to the above method, since the rod is arranged at the center in the quartz tube and the particle layer is formed around the rod, an optical fiber preform in which the rod is used as the core and the particle layer is used as the clad can be manufactured.

また、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法では、上記方法に加え、前記ガスは、酸素、塩素、ヘリウム、及びフッ素のいずれか1つ以上を含んでいるのが好ましい。   In the optical fiber preform manufacturing method according to the present invention, in addition to the above method, the gas preferably contains one or more of oxygen, chlorine, helium, and fluorine.

上記方法によると、酸素を流すことで粒子層に含まれる不純物を酸化物として、排出できる。また、塩素を流すことで、粒子層に含まれる不純物や水分を塩化物として、排出できる。酸素又は塩素を流す場合には、流しながら、あるいは、流した後に、加熱をする必要がある。   According to the above method, impurities contained in the particle layer can be discharged as oxides by flowing oxygen. Further, by flowing chlorine, impurities and moisture contained in the particle layer can be discharged as chlorides. When flowing oxygen or chlorine, it is necessary to heat while flowing or after flowing.

また、フッ素を流し、粒子層にフッ素を充填した状態で粒子層を加熱によりガラス化することで、ドーパントとしてフッ素が添加された光ファイバ母材を製造することができる。ドーパントにより、光ファイバの屈折率を制御できる。なお、粒子層にフッ素を流し込む段階では、粒子層を加熱する必要はない。   Moreover, an optical fiber preform to which fluorine is added as a dopant can be manufactured by flowing fluorine and vitrifying the particle layer with the particle layer filled with fluorine. The dopant can control the refractive index of the optical fiber. Note that it is not necessary to heat the particle layer at the stage of flowing fluorine into the particle layer.

また、ヘリウムを流し、粒子層にヘリウムを充填した状態で粒子層を加熱によりガラス化する場合、加熱及び脱泡を行う工程を経ることで、空隙に不純物ガスを含まない状態にてガラス化することができる。よって、不純物が低減されたガラス(石英管の中にガラスロッドを配置しない場合には、コア材、石英管の中心にガラスロッドを配置し周囲に粒子層を形成する場合には、クラッド材)を得ることができる。なお、粒子層にヘリウムを流し込む段階では、粒子層を加熱する必要はない。   Further, when the particle layer is vitrified by heating in a state where helium is flown and the particle layer is filled with helium, it is vitrified in a state where no impurity gas is contained in the voids through a process of heating and defoaming. be able to. Therefore, glass with reduced impurities (when a glass rod is not placed in the quartz tube, a core material, and when a glass rod is placed in the center of the quartz tube and a particle layer is formed around it, a cladding material) Can be obtained. Note that it is not necessary to heat the particle layer at the stage of flowing helium into the particle layer.

本発明に係る光ファイバ母材は、本発明に係る上記のいずれか1つの光ファイバ母材の製造方法により製造されたものである。よって、短時間で製造された高品質の光ファイバ母材である。そのため、この光ファイバ母材を用いることで、信頼性の高い光ファイバを安価に製造することができる。   The optical fiber preform according to the present invention is manufactured by any one of the optical fiber preform manufacturing methods according to the present invention. Therefore, it is a high-quality optical fiber preform manufactured in a short time. Therefore, by using this optical fiber preform, a highly reliable optical fiber can be manufactured at low cost.

本発明に係る光ファイバの製造方法は、本発明に係る上記のいずれか1つの光ファイバ母材の製造方法を用いて光ファイバ母材を製造する工程と、前記光ファイバ母材を加熱により線引きする線引工程と、を含むことを特徴としている。   An optical fiber manufacturing method according to the present invention includes a step of manufacturing an optical fiber preform using any one of the optical fiber preform manufacturing methods according to the present invention, and drawing the optical fiber preform by heating. And a drawing process.

上記方法によると、信頼性の高い光ファイバを安価に製造することができる。   According to the above method, a highly reliable optical fiber can be manufactured at low cost.

上記方法によると、光ファイバ母材を従来よりも短時間で製造することが可能となる。   According to the above method, the optical fiber preform can be manufactured in a shorter time than conventional.

SiO粒子を詰めた石英管を加熱炉に配置させた状態を示す断面図である。It is a sectional view showing a state of being disposed quartz tube packed with SiO 2 particles in a heating furnace. 光ファイバ母材に用いられる石英管を示す図である。It is a figure which shows the quartz tube used for an optical fiber preform | base_material. SiO粒子を詰めた他の石英管を加熱炉に配置させた状態を示す断面図である。It is a sectional view showing a state of being arranged another quartz tube packed with SiO 2 particles in a heating furnace. SiO粒子を詰めたさらに別の石英管を加熱炉に配置させた状態を示す断面図である。It is a cross-sectional view showing a state in which was further disposed a separate quartz tube furnace filled with SiO 2 particles.

〔実施形態1〕
以下、本発明の一実施形態について、図1及び2に基づき詳細に説明する。図1は、SiO粒子2を詰めた石英管1を加熱炉8に配置させた状態を示す断面図である。
Embodiment 1
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a state in which a quartz tube 1 packed with SiO 2 particles 2 is placed in a heating furnace 8.

本実施形態の光ファイバ母材の製造方法は次の通りである。   The manufacturing method of the optical fiber preform of this embodiment is as follows.

まず、図2に示すように、両端が開口した石英管1の一端に中心が空洞になったダミー棒4を接続させる。石英管1は、公知のものを用いることができ、例えば、直径32mmで肉厚2.5mmのものを用いることができる。ダミー棒4は、公知のものを用いることができ、例えば石英から形成されている。また、ダミー棒4は、例えば、直径35mmであり、空洞の直径6mmであり、長さ300mmのものを用いることができる。なお、記載の数値は例示であり、これらに限定されない。   First, as shown in FIG. 2, a dummy rod 4 having a hollow center is connected to one end of a quartz tube 1 having both ends opened. As the quartz tube 1, a known tube can be used. For example, a tube having a diameter of 32 mm and a thickness of 2.5 mm can be used. As the dummy rod 4, a known one can be used, and it is made of, for example, quartz. For example, the dummy rod 4 having a diameter of 35 mm, a hollow diameter of 6 mm, and a length of 300 mm can be used. In addition, the numerical value of description is an illustration and is not limited to these.

石英管1とダミー棒4との接続は、例えばバーナ等の加熱手段を用いて溶着することで行えばよい。   The quartz tube 1 and the dummy rod 4 may be connected by welding using a heating means such as a burner.

次に、石英管1にフィルタ3aを配置させる(フィルタ配置工程)。フィルタ3aは、気体を通過させ、かつ、前記SiO粒子を通過さない、SiOから成る綿状体である。このようにフィルタ3aは、綿状体であるため、フィルタ3aと粒子層20との間に生じ得る空隙を埋めるように変形する。よって、フィルタ3aと粒子層20との間における空隙の発生を抑制することができる。 Next, the filter 3a is placed on the quartz tube 1 (filter placement step). The filter 3a is a cotton-like body made of SiO 2 that allows gas to pass therethrough and does not pass the SiO 2 particles. Thus, since the filter 3a is a cotton-like body, it deform | transforms so that the space | gap which may arise between the filter 3a and the particle layer 20 is filled. Therefore, generation | occurrence | production of the space | gap between the filter 3a and the particle layer 20 can be suppressed.

また、フィルタ3aは、気体を通過させるため、後述のガス処理工程を確実に実施することができる。さらに、フィルタ3aは、SiO粒子を通過させないため、粒子層20を石英管内に固定することができる。さらに、フィルタ3aは、SiOから成るため、光ファイバ母材に不必要な不純物質を持ち込むことなく、つまり不純物質を混入させることなく、光ファイバ母材を形成することができる。 Moreover, since the filter 3a allows gas to pass therethrough, it is possible to reliably carry out a gas processing step described later. Furthermore, since the filter 3a does not pass the SiO 2 particles, the particle layer 20 can be fixed in the quartz tube. Furthermore, since the filter 3a is made of SiO 2 , the optical fiber preform can be formed without bringing unnecessary impurities into the optical fiber preform, that is, without mixing the impurities.

フィルタ3aは、例えば、石英ウールであってもよい。しかしこれに限定はされない。石英ウールは、変形が自在であるため、石英管1に配置させやすい。また、密度も変化させやすい。よって、密度が低くSiO粒子2を通してしまう場合には、密度を高くしてSiO粒子2を通さないようにすることができる。また、石英ウールは入手しやすいものである。よって、石英ウールを用いることで、安価に容易に光ファイバ母材を製造することができる。 The filter 3a may be quartz wool, for example. However, it is not limited to this. Since quartz wool can be freely deformed, it can be easily placed in the quartz tube 1. Also, the density is easy to change. Therefore, when the density is low and passes through the SiO 2 particles 2, the density can be increased so that the SiO 2 particles 2 do not pass. Quartz wool is easily available. Therefore, an optical fiber preform can be easily manufactured at low cost by using quartz wool.

次に、石英管1にSiO粒子2を詰めて、フィルタ3aに接して粒子層20を形成する(粒子層形成工程)。SiO粒子2は、合成石英由来であっても、天然石英由来であってもよい。 Next, the SiO 2 particles 2 are packed in the quartz tube 1, and the particle layer 20 is formed in contact with the filter 3a (particle layer forming step). The SiO 2 particles 2 may be derived from synthetic quartz or natural quartz.

あるいは、SiO粒子2とドーパント固体と所望の濃度分布になるよう石英管1に詰めて、粒子層20としてもよい。このドーパント固体は、粒子層20をガラス化した際、ガラス内で、分子で存在するもの、あるいはドーパントを含む分子で存在するもの、である。この粒子層20をガラス化すると、ドーパントの濃度分布を石英管1の長手方向に安定して得ることができる。なお、複数のドーパント固体を用いてもよい。 Alternatively, the particle layer 20 may be formed by packing the quartz tube 1 so that the SiO 2 particles 2 and the dopant solids have a desired concentration distribution. When the particle layer 20 is vitrified, the dopant solid is a molecule that exists as a molecule or a molecule that includes a dopant. When the particle layer 20 is vitrified, a dopant concentration distribution can be stably obtained in the longitudinal direction of the quartz tube 1. A plurality of dopant solids may be used.

本実施形態では、SiO粒子2を、バインダーを使用せずに石英管1に詰める。よって、バインダーによる不純物混合のおそれはない。また、バインダーを使用しないため、バインダーを用いる際の下処理及び仮焼きも不要である。 In this embodiment, the SiO 2 particles 2 are packed in the quartz tube 1 without using a binder. Therefore, there is no fear of impurity mixing by the binder. Further, since no binder is used, no pretreatment or calcining when using a binder is required.

次に、フィルタ3bを粒子層20のフィルタ3aと接していない側に配置させ、粒子層20をフィルタ3aとフィルタ3bとの間で挟み込む(他のフィルタ配置工程)。フィルタ3bは、フィルタ3aと同様に、気体を通過させ、かつ、SiO粒子2を通過さない、SiOから成る綿状体である。 Next, the filter 3b is disposed on the side of the particle layer 20 that is not in contact with the filter 3a, and the particle layer 20 is sandwiched between the filter 3a and the filter 3b (another filter arrangement step). Like the filter 3a, the filter 3b is a cotton-like body made of SiO 2 that allows gas to pass therethrough and does not pass the SiO 2 particles 2.

さらに、石英管1をガラスロッド5にて封止する(封止工程)。ガラスロッド5には、粒子層20を押し付ける役割と蓋の一部としての役割との2つの役割がある。本実施形態では、以下のように、ガス処理工程および加熱工程を、石英管1を縦に配置して行う。そのため、フィルタ3b上のガラスロッド5は位置がずれるような動きをしないので、石英管1とガラスロッド5との溶着は不要である。この場合、後述のガス処理工程では、ガス7は石英管1とガラスロッド5との間を通り抜ける。   Further, the quartz tube 1 is sealed with a glass rod 5 (sealing step). The glass rod 5 has two roles, a role of pressing the particle layer 20 and a role as a part of the lid. In the present embodiment, the gas treatment process and the heating process are performed with the quartz tube 1 arranged vertically as follows. Therefore, since the glass rod 5 on the filter 3b does not move so as to shift its position, the welding of the quartz tube 1 and the glass rod 5 is unnecessary. In this case, the gas 7 passes between the quartz tube 1 and the glass rod 5 in the gas processing step described later.

本実施形態では、ガス7は石英管1とガラスロッド5との間を通り抜けるものとするが、ガラスロッド5として貫通孔を長軸方向に設けたものを用いて、ガス7が貫通孔を通るようにしてもよい。特に、後述の変形例2のように石英管1を横に配置する場合には、石英管1とガラスロッド5とを溶着させるため、貫通孔を設けたガラスロッド5を用いる。   In this embodiment, the gas 7 passes between the quartz tube 1 and the glass rod 5, but the gas 7 passes through the through-hole by using a glass rod 5 having a through-hole in the long axis direction. You may do it. In particular, when the quartz tube 1 is disposed horizontally as in Modification 2 described later, a glass rod 5 provided with a through hole is used in order to weld the quartz tube 1 and the glass rod 5.

本実施形態では、粒子層20の上下にフィルタ3a,3bを配置するが、フィルタ3bを配置しなくてもよい。つまり、粒子層20に接してガラスロッド5を配置してもよい。   In the present embodiment, the filters 3a and 3b are arranged above and below the particle layer 20, but the filter 3b may not be arranged. That is, the glass rod 5 may be disposed in contact with the particle layer 20.

ここで、フィルタ3bを配置しない場合、ガラスロッド5が石英管1内(粒子層20内)に徐々に埋まっていく。しかしながら、フィルタ3bを配置することで、ガラスロッド5が石英管1内に埋まるのを防ぐことができる。   Here, when the filter 3b is not disposed, the glass rod 5 is gradually buried in the quartz tube 1 (in the particle layer 20). However, it is possible to prevent the glass rod 5 from being buried in the quartz tube 1 by arranging the filter 3b.

なお、ここまでの工程は、石英管1を縦に配置して行っても横に配置して行ってもよい。これ以降の処理は、図1に示すように、石英管1を縦に配置して行う。横に配置して行う形態は後段の変形例2に記載する。   In addition, the process so far may be performed by arranging the quartz tube 1 vertically or horizontally. The subsequent processing is performed by arranging the quartz tubes 1 vertically as shown in FIG. A mode of performing the horizontal arrangement will be described in a second modification example.

そして、上記のように粒子層20を形成した石英管1を、図1に示すように、加熱炉8に設置する。加熱炉8は、光ファイバ母材を線引きするために用いられる公知のものを用いることができる。   Then, the quartz tube 1 on which the particle layer 20 is formed as described above is installed in the heating furnace 8 as shown in FIG. As the heating furnace 8, a known one used for drawing an optical fiber preform can be used.

次に、粒子層20から不純物を除去するための、又は粒子層20にドーパントを導入するためのガス7を流すためのコネクタ6を石英管1に取り付け、ガス7を粒子層20の上方から下方に流す(ガス処理工程、気体処理工程)。逆に、つまり下方から上方にガスを流すと、途中でガスが粒子層20を持ち上げる等して、粒子層20にマクロな空隙(SiO粒子2のサイズと比べて十分に大きいサイズの空隙)ができたり、粒子層20の密度が下がってしまったりするというように、粒子層20に様々な不具合が生じる。しかし、本実施形態では、粒子層20の上方から下方にガスを流すので、粒子層20は、常に下方向へ押し付ける力を、より密度が高くなる方に力を受けるため、粒子層20に空隙が生じるのを防ぐことができる。よって、ガス処理工程における粒子層20に生じる不具合を抑制し、高品質の光ファイバ母材を製造することができる。 Next, a connector 6 for removing gas from the particle layer 20 or flowing a gas 7 for introducing a dopant into the particle layer 20 is attached to the quartz tube 1, and the gas 7 is moved downward from above the particle layer 20. (Gas treatment process, gas treatment process). Conversely, when a gas is flowed from the bottom to the top, the gas lifts the particle layer 20 on the way, and so on, so that macroscopic voids in the particle layer 20 (voids having a size sufficiently larger than the size of the SiO 2 particles 2). Various problems occur in the particle layer 20 such that the particle layer 20 can be formed or the density of the particle layer 20 decreases. However, in this embodiment, since the gas flows from the upper side to the lower side of the particle layer 20, the particle layer 20 always receives the force that presses downward in the direction of higher density. Can be prevented. Therefore, the malfunction which arises in the particle layer 20 in a gas treatment process can be suppressed, and a high quality optical fiber preform can be manufactured.

さらに、粒子層20の上方から下方にガスを流すことで粒子層20にマクロな空隙が生じるのを防ぐことができるため、大流量のガスを流すことができる。よって、ガス処理工程の時間を短くすることができ、結果として、安価に光ファイバ母材および光ファイバを製造することができる。また、粒子層20が大きくなればなる程、マクロな空隙も発生し易いが、粒子層20の上方から下方にガスを流すことで空隙が生じるのを防ぐことができるため、母材の大型化に対しても有利である。   Furthermore, since a macro void can be prevented from being generated in the particle layer 20 by flowing the gas from the upper side to the lower side of the particle layer 20, a large flow rate of gas can be flowed. Therefore, the time of the gas treatment process can be shortened, and as a result, the optical fiber preform and the optical fiber can be manufactured at low cost. Further, as the particle layer 20 becomes larger, macroscopic voids are more likely to be generated. However, since the voids can be prevented from flowing by flowing gas from above the particle layer 20, the size of the base material is increased. Is also advantageous.

ここで、ガス7は、酸素、塩素、ヘリウム、及びフッ素のいずれか1つ以上を含んでいるのが好ましい。   Here, the gas 7 preferably contains one or more of oxygen, chlorine, helium, and fluorine.

酸素を流すことで粒子層20に含まれる不純物を酸化物として、排出できる。また、塩素を流すことで、粒子層20に含まれる不純物や水分を塩化物として、排出できる。酸素又は塩素を流す場合には、流しながら、あるいは、流した後に、加熱炉8により加熱をする必要がある。   Impurities contained in the particle layer 20 can be discharged as oxides by flowing oxygen. Further, by flowing chlorine, impurities and moisture contained in the particle layer 20 can be discharged as chlorides. When flowing oxygen or chlorine, it is necessary to heat by the heating furnace 8 while flowing or after flowing.

また、フッ素を流すことで、粒子層20にドーパントとしてフッ素を添加することができる。ドーパントにより、光ファイバの屈折率を制御できる。なお、粒子層20にフッ素を流し込む段階では、粒子層20を加熱する必要はない。   Moreover, fluorine can be added to the particle layer 20 as a dopant by flowing fluorine. The dopant can control the refractive index of the optical fiber. It is not necessary to heat the particle layer 20 at the stage of flowing fluorine into the particle layer 20.

また、ヘリウムを流し、粒子層20にヘリウムを充填した状態で粒子層20を加熱によりガラス化する場合、加熱及び脱泡を行う工程を経ることで、空隙に不純物ガスを含まない状態にてガラス化することができる。よって、不純物が低減されたガラス(本実施形態では、コア材、実施形態2では、クラッド材)を得ることができる。なお、粒子層20にヘリウムを流し込む段階では、粒子層20を加熱する必要はない。   Further, when the particle layer 20 is vitrified by heating in a state where helium is flown and the particle layer 20 is filled with helium, the glass is formed in a state in which no impurity gas is contained in the voids through a process of heating and defoaming. Can be Therefore, glass with reduced impurities (in this embodiment, a core material, and in Embodiment 2, a clad material) can be obtained. Note that it is not necessary to heat the particle layer 20 at the stage of flowing helium into the particle layer 20.

ガス処理後、加熱炉8による加熱を行って、粒子層20をガラス化して一体化する(加熱工程)。ガス処理工程にて不純物を除去するためのガスを流した場合には、加熱工程は、真空引きしながら行ってもよい。真空引きにより、粒子層20内の空隙を真空にした状態でガラス化することで、母材の中に気泡を残さないようにすることができる。   After the gas treatment, heating by the heating furnace 8 is performed to vitrify and integrate the particle layer 20 (heating step). When a gas for removing impurities is flowed in the gas treatment step, the heating step may be performed while evacuating. By evacuation, the voids in the particle layer 20 are vitrified in a vacuum state, so that no bubbles can be left in the base material.

ここで、ガス処理工程での必要に応じた加熱、及び加熱工程での加熱には、加熱炉8の代わりに、バーナ(例えば、酸水素バーナ)を用いてもよい。バーナを用いる場合、石英管1を回転させるために、封止工程では、石英管1に接続しているダミー棒4を、旋盤(図示せず)の一方のチャックに固定する。また、ガラスロッド5を、他方のチャックに固定する。そして、このガラスロッド5を石英管1内のフィルタ3b側に挿入する。その後、ガス処理工程及び加熱工程を実施する。   Here, instead of the heating furnace 8, a burner (for example, an oxyhydrogen burner) may be used for the heating according to the necessity in the gas treatment process and the heating in the heating process. In the case of using a burner, in order to rotate the quartz tube 1, in the sealing step, the dummy rod 4 connected to the quartz tube 1 is fixed to one chuck of a lathe (not shown). Further, the glass rod 5 is fixed to the other chuck. Then, this glass rod 5 is inserted into the filter 3 b side in the quartz tube 1. Then, a gas treatment process and a heating process are performed.

以上から分かるように、本実施形態の光ファイバ母材の製造方法を用いると、粒子層20の空隙の発生を抑制して、また、ガス処理工程における粒子層20に生じる不具合を抑制して、高品質の光ファイバ母材を製造することが可能となる。   As can be seen from the above, when the method for manufacturing an optical fiber preform of the present embodiment is used, the generation of voids in the particle layer 20 is suppressed, and the problems occurring in the particle layer 20 in the gas treatment step are suppressed, A high-quality optical fiber preform can be manufactured.

以上の様に製造された光ファイバ母材を、線引きして(線引工程)、光ファイバを製造する。実施形態の光ファイバ母材の製造方法を用いることで、高品質の光ファイバ母材を製造できる。よって、これを用いて製造する光ファイバは、信頼性の高いものとなる。なお、本実施形態では、加熱工程により、粒子層20をガラス化して一体化しているが、一体化せずに、加熱しながら線引きして光ファイバを製造してもよい。なお、本実施形態では、粒子層20がガラス化されていてもいなくても、光ファイバに形成するための線引きをする前段階にあるものを、光ファイバ母材と称する。   The optical fiber preform manufactured as described above is drawn (drawing step) to manufacture an optical fiber. By using the optical fiber preform manufacturing method of the embodiment, a high-quality optical fiber preform can be manufactured. Therefore, an optical fiber manufactured using this is highly reliable. In the present embodiment, the particle layer 20 is vitrified and integrated by the heating step, but an optical fiber may be manufactured by drawing while heating without being integrated. In the present embodiment, even if the particle layer 20 is not vitrified, what is in the stage before drawing to form an optical fiber is referred to as an optical fiber preform.

(変形例)
上記の光ファイバ母材の製造方法では、粒子層20にガスを流すガス処理工程を行っているが、ガス処理工程の代わりに、真空引き(減圧)を行ってもよい。この場合、ガラスロッド5は貫通孔の無いものを用いて、以下のように光ファイバ母材を製造する。
(Modification)
In the optical fiber preform manufacturing method described above, the gas processing step of flowing a gas through the particle layer 20 is performed, but vacuuming (decompression) may be performed instead of the gas processing step. In this case, an optical fiber preform is manufactured as follows using a glass rod 5 having no through hole.

ダミー棒4が接続した石英管1に、フィルタ3a、粒子層20、フィルタ3b、ガラスロッド5を、この順に配置させる。そして、ガラスロッド5と石英管1とを例えばバーナ等の加熱手段を用いて溶着する。そして、ダミー棒4を、例えばロータリージョイント等の接続部材を用いて真空ポンプ(図示せず)に接続し、真空ポンプにより石英管1内を減圧し(真空処理工程、気体処理工程)、加熱炉8により加熱して、光ファイバ母材を製造する。   The filter 3a, the particle layer 20, the filter 3b, and the glass rod 5 are arranged in this order on the quartz tube 1 to which the dummy rod 4 is connected. And the glass rod 5 and the quartz tube 1 are welded using heating means, such as a burner, for example. Then, the dummy rod 4 is connected to a vacuum pump (not shown) using a connecting member such as a rotary joint, for example, and the inside of the quartz tube 1 is depressurized by the vacuum pump (vacuum processing step, gas processing step), and a heating furnace 8 to produce an optical fiber preform.

〔実施形態2〕
本発明の別の実施形態について、図3に基づき詳細に説明する。
[Embodiment 2]
Another embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG.

本実施形態では、以下の方法により、光ファイバ母材を製造する。   In this embodiment, an optical fiber preform is manufactured by the following method.

まず、図3に示すように、実施形態1と同様に、ダミー棒4を接続した石英管1にフィルタ3aを配置した後、石英管1の中心にガラスロッド5Aを配置する(ロッド配置工程)。ガラスロッド5Aは公知のものを用いることができる。   First, as shown in FIG. 3, after the filter 3a is arranged on the quartz tube 1 to which the dummy rod 4 is connected, the glass rod 5A is arranged at the center of the quartz tube 1 as in the first embodiment (rod arranging step). . A known glass rod 5A can be used.

次に、ガラスロッド5Aの周囲にSiO粒子を詰めていき粒子層20を形成する。その後、フィルタ3bを配置する。本実施形態では、実施形態1と異なり、ガラスロッド5は配置させていないが、配置させてもよい。貫通孔を設けたガラスロッド5を配置する場合には、貫通孔は、粒子層20に対応するように、つまり、粒子層20にガスを流せる位置に、設けられる。 Next, the particle layer 20 is formed by packing SiO 2 particles around the glass rod 5A. Thereafter, the filter 3b is arranged. In the present embodiment, unlike the first embodiment, the glass rod 5 is not disposed, but may be disposed. When the glass rod 5 provided with a through hole is disposed, the through hole is provided so as to correspond to the particle layer 20, that is, at a position where gas can flow through the particle layer 20.

その後、実施形態1と同様に、ガス処理又は真空処理、及び加熱処理を行い、光ファイバ母材を製造する。   Thereafter, as in the first embodiment, gas treatment or vacuum treatment and heat treatment are performed to manufacture an optical fiber preform.

本実施形態では、ガラスロッド5Aが光ファイバのコアになり、粒子層20が第1クラッドに、石英管1が第2クラッドになる。   In the present embodiment, the glass rod 5A becomes the core of the optical fiber, the particle layer 20 becomes the first cladding, and the quartz tube 1 becomes the second cladding.

(変形例)
実施形態2の変形例について図4を用いて説明する。図4に示すように、ダミー棒4を接続した石英管1にフィルタ3aを配置する。ここでは、フィルタ3aは、ガラスロッド5Aの配置位置がある程度固定されるように、中心が凹んだ形状に成形されている。
(Modification)
A modification of the second embodiment will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 4, a filter 3 a is arranged on the quartz tube 1 to which the dummy rod 4 is connected. Here, the filter 3a is formed in a shape with a recessed center so that the arrangement position of the glass rod 5A is fixed to some extent.

次に、石英管1の中心にガラスロッド5Aを配置する(ロッド配置工程)。ここでは、ガラスロッド5Aは、コネクタ6の孔に入る長さで、コネクタ6の孔よりも細い形状となっている。   Next, the glass rod 5A is arranged at the center of the quartz tube 1 (rod arranging step). Here, the glass rod 5 </ b> A has a length that fits into the hole of the connector 6 and is thinner than the hole of the connector 6.

次に、ガラスロッド5Aの周囲にSiO粒子を詰めていき粒子層20を形成する。その後、フィルタ3bを配置する。ここでは、フィルタ3bは、ガラスロッド5Aを囲むように中心に穴が開いた形状に成形されている。 Next, the particle layer 20 is formed by packing SiO 2 particles around the glass rod 5A. Thereafter, the filter 3b is arranged. Here, the filter 3b is formed in a shape having a hole in the center so as to surround the glass rod 5A.

次に、ロッド固定治具9でガラスロッド5Aを固定する。ロッド固定治具9は、ガラスAを囲むように中心に穴が開いた形状であり、さらに、ガス7が通過できる孔が開いているものを用いる。   Next, the glass rod 5 </ b> A is fixed with the rod fixing jig 9. The rod fixing jig 9 has a shape in which a hole is opened at the center so as to surround the glass A, and a hole in which a gas 7 can pass is used.

その後、コネクタ6を取り付け、ガス処理又は真空処理、及び加熱処理を行い、光ファイバ母材を製造する。   Thereafter, the connector 6 is attached, gas treatment or vacuum treatment, and heat treatment are performed to manufacture an optical fiber preform.

なお、本発明は上述した各実施形態や変形例に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、実施形態または変形例に開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications, and various modifications are possible within the scope of the claims, and technical means disclosed in the embodiments or modifications are appropriately used. Embodiments obtained in combination are also included in the technical scope of the present invention.

1 石英管
2 SiO粒子
3a,3b フィルタ
4 ダミー棒
5 ガラスロッド
5A ガラスロッド
6 コネクタ
7 ガス
8 加熱炉
20 粒子層
1 quartz tube 2 SiO 2 particles 3a, 3b filter 4 dummy rod 5 glass rod 5A glass rod 6 Connector 7 Gas 8 furnace 20 particulate layer

Claims (8)

石英管内にSiO粒子を含む粒子層を形成する粒子層形成工程と
記粒子層にドーパントを導入するためのガスを、前記粒子層の上方から下方に流すガス処理工程と、を含むことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
A particle layer forming step of forming a particle layer containing SiO 2 particles in the quartz tube ;
Manufacturing method of the preceding SL gas for introducing a dopant into the particle layer, the optical fiber preform which comprises a gas treatment step of flowing downward from the top of the particle layer.
石英管内にSiO粒子を含む粒子層を形成する粒子層形成工程と、
前記粒子層から不純物を除去するためのガスを、前記粒子層の上方から下方に流すガス処理工程と、を含み、
前記粒子層の下方から上方にガスを流すことなく前記粒子層から不純物を除去する、ことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
A particle layer forming step of forming a particle layer containing SiO 2 particles in the quartz tube;
The gas for removing impurities from the particle layer, seen including a gas treatment step of flowing downward from above the particle layer,
A method for producing an optical fiber preform, wherein impurities are removed from the particle layer without flowing a gas from below to above the particle layer .
前記粒子層を加熱してガラス化する加熱工程を含む、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の光ファイバ母材の製造方法。 Method for manufacturing an optical fiber preform according to claim 1 or 2 wherein the particle layer is heated to include a heating step for vitrification, it is characterized. 前記石英管内の中心にロッドを配置するロッド配置工程を含み、
前記粒子層形成工程では、前記石英管内の中心に配置された前記ロッドの周囲に前記粒子層を形成することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
A rod placement step of placing a rod in the center of the quartz tube;
In the particle layer forming step, the optical fiber preform according to any one of claims 1 to 3, characterized in that to form the particle layer around the rod arranged in the center of the quartz tube Production method.
前記ガスは、フ素であることを特徴とする請求項に記載の光ファイバ母材の製造方法。 The gas production method of an optical fiber preform according to claim 1, characterized in that the full Tsu elements. 前記ガスは、酸素、塩素、及びヘリウムの少なくとも1つ以上である、ことを特徴とする請求項に記載の光ファイバ母材の製造方法。 The gas, oxygen, chlorine, and at least one or more helium, method for manufacturing an optical fiber preform according to claim 2, characterized in that. 石英管内の中心にロッドを配置するロッド配置工程と、  A rod placement step of placing the rod in the center of the quartz tube;
前記石英管内にSiO  SiO in the quartz tube 2 粒子を含む粒子層を形成する粒子層形成工程であって、前記石英管の中心に配置された前記ロッドの周囲にSiOA particle layer forming step for forming a particle layer containing particles, wherein SiO is formed around the rod arranged at the center of the quartz tube. 2 粒子を含む粒子層を形成する粒子層形成工程と、A particle layer forming step of forming a particle layer containing particles;
前記粒子層から不純物を除去するための又は前記粒子層にドーパントを導入するためのガスを、前記粒子層の上方から下方に流すガス処理工程と、を含むことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。  A gas treatment step of flowing a gas for removing impurities from the particle layer or introducing a dopant into the particle layer from above to below the particle layer. Production method.
請求項1からのいずれか1項に記載の光ファイバ母材の製造方法を用いて光ファイバ母材を製造する工程と、
前記光ファイバ母材を加熱により線引きする線引工程と、を含むことを特徴とする光ファイバの製造方法。
A step of manufacturing an optical fiber preform using the method of manufacturing an optical fiber preform according to any one of claims 1 to 7 ,
And a drawing step of drawing the optical fiber preform by heating.
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JP3258175B2 (en) * 1994-07-14 2002-02-18 信越石英株式会社 Method for producing non-doped or doped silica glass body
JP3434945B2 (en) * 1995-09-20 2003-08-11 信越石英株式会社 Method for producing hollow silica glass preform for fiber
US20040118155A1 (en) * 2002-12-20 2004-06-24 Brown John T Method of making ultra-dry, Cl-free and F-doped high purity fused silica
EP1942083A1 (en) * 2006-12-07 2008-07-09 Datwyler Fiber Optics S.A. Method and apparatus for fabricating a preform for an active optical fiber, active optical fiber and amplifier
US8904828B2 (en) * 2008-10-30 2014-12-09 Corning Incorporated Methods for forming cladding portions of optical fiber preform assemblies
US9376338B2 (en) * 2013-11-14 2016-06-28 Corning Incorporated Methods and apparatuses for forming optical preforms from glass soot

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