JP6200988B2 - Liquid crystal display device and alignment film used therefor - Google Patents

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Description

本発明は、液晶表示装置に係り、特に配向膜に光の照射で配向制御能を付与した液晶表示パネルを具備した液晶表示装置に関する。   The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a liquid crystal display device including a liquid crystal display panel in which an alignment film is provided with an alignment control ability by irradiation of light.

液晶表示装置では画素電極および薄膜トランジスタ(TFT)等がマトリクス状に形成されたTFT基板と、TFT基板に対向して、TFT基板の画素電極と対応する場所にカラーフィルタ等が形成された対向基板が設置され、TFT基板と対向基板の間に液晶が挟持されている。そして液晶分子による光の透過率を画素毎に制御することによって画像を形成している。   In a liquid crystal display device, there are a TFT substrate in which pixel electrodes and thin film transistors (TFTs) are formed in a matrix, and a counter substrate in which color filters are formed at locations corresponding to the pixel electrodes of the TFT substrate, facing the TFT substrate. The liquid crystal is sandwiched between the TFT substrate and the counter substrate. An image is formed by controlling the light transmittance of the liquid crystal molecules for each pixel.

液晶表示装置はフラットで軽量であることから、TV等の大型表示装置から、携帯電話やDSC(Digital Still Camera)等、色々な分野で用途が広がっている。一方、液晶表示装置では視野角特性が問題である。視野角特性は、画面を正面から見た場合と、斜め方向から見た場合に、輝度が変化したり、色度が変化したりする現象である。視野角特性は、液晶分子を水平方向の電界によって動作させるIPS(In Plane Switching)方式が優れた特性を有している。   Since the liquid crystal display device is flat and lightweight, the application is expanding in various fields such as a large display device such as a TV, a mobile phone, and a DSC (Digital Still Camera). On the other hand, viewing angle characteristics are a problem in liquid crystal display devices. The viewing angle characteristic is a phenomenon in which luminance changes or chromaticity changes when the screen is viewed from the front and when viewed from an oblique direction. The viewing angle characteristic is excellent in an IPS (In Plane Switching) system in which liquid crystal molecules are operated by a horizontal electric field.

液晶表示装置に使用する配向膜を配向処理すなわち配向制御能を付与する方法として、従来技術としてラビングで処理する方法がある。このラビングによる配向処理は、配向膜を布で擦ることで配向処理を行うものである。一方、配向膜に非接触で配向制御能を付与する光配向法という手法がある。IPS方式はプレティルト角が必要無いために、光配向法を適用することが出来る。   As a method for imparting an alignment treatment, that is, an alignment control ability, to an alignment film used in a liquid crystal display device, there is a conventional method of rubbing. The alignment treatment by rubbing is performed by rubbing the alignment film with a cloth. On the other hand, there is a technique called a photo-alignment method that imparts alignment control capability to an alignment film in a non-contact manner. Since the IPS method does not require a pretilt angle, a photo-alignment method can be applied.

「特許文献1」には紫外線に代表される光の照射による光分解型の光配向処理が開示されており、それによると光分解型の光配向処理においては(1)画素部の複雑な段差構造に起因する配向乱れを低減し、(2)ラビングによる配向処理における静電気による薄膜トランジスタの破損、ラビング布の毛先の乱れや塵による配向乱れを原因とする表示不良を解決し、均質な配向制御能を得るために要する頻繁なラビング布の交換によるプロセスの煩雑さ、を解決することが記載されている。   “Patent Document 1” discloses a photo-decomposition-type photo-alignment process by irradiation with light typified by ultraviolet rays. According to this, in photo-decomposition-type photo-alignment process, (1) a complicated step in a pixel portion is disclosed. Uniform alignment control by reducing alignment disturbance due to structure, and (2) solving defective display caused by damage of thin film transistor due to static electricity in alignment processing by rubbing, disturbance of hair tip of rubbing cloth and alignment disturbance due to dust It is described that the complexity of the process due to frequent replacement of the rubbing cloth required to obtain the performance is solved.

「特許文献2」には配向膜の上層を、分子量が大きく、効率的に光配向を行うことが出来る膜とし、下層を、光導電性を有する分子量の小さい膜によって形成し、残像を低減する構成が記載されている。   In “Patent Document 2”, the upper layer of the alignment film is a film having a large molecular weight and capable of efficiently performing photo-alignment, and the lower layer is formed of a film having a low molecular weight having photoconductivity to reduce an afterimage. The configuration is described.

特開2004−206091号公報JP 2004-206091 A 特開2010−72011号公報JP 2010-72011 A

しかしながら配向膜への配向制御能の付与という点において、光配向処理はラビング処理と比較すると、一般的には配向安定性が低いということが知られている。配向安定性が低いと、初期配向方向が変動し、表示不良の原因となる。特に、高い配向安定性が要求される横電界方式の液晶表示パネルを用いた液晶表示装置では配向安定性が低いことで残像に象徴される表示不良が発生し易い。   However, it is known that the optical alignment treatment generally has lower alignment stability than the rubbing treatment in terms of imparting alignment control ability to the alignment film. If the alignment stability is low, the initial alignment direction varies, causing display defects. In particular, in a liquid crystal display device using a horizontal electric field type liquid crystal display panel that requires high alignment stability, a display defect symbolized by an afterimage tends to occur due to low alignment stability.

光配向処理ではラビング処理のような高分子の主鎖を延伸し、直線状にする工程がLCDプロセス中に存在しない。そのため、光配向処理においては偏光が照射されたポリイミドに代表される合成高分子の配向膜が、当該偏光方向と直交する方向で主鎖が切断されることで一軸性が付与される。液晶分子は切断されずに直線上に伸びて残った長い主鎖方向に沿って配向するが、この主鎖の長さが短くなると、一軸性が低下し、液晶との相互作用が弱くなって配向性が低下するために、前記した残像が発生し易くなる。   In the photo-alignment process, there is no step in the LCD process, such as a rubbing process, in which the main chain of the polymer is stretched and linearized. Therefore, in the photo-alignment treatment, a synthetic polymer alignment film represented by polyimide irradiated with polarized light is given uniaxiality by cutting the main chain in a direction orthogonal to the polarization direction. The liquid crystal molecules are not cut and are aligned along the long main chain direction that remains on the straight line, but if the length of this main chain is shortened, the uniaxiality decreases and the interaction with the liquid crystal weakens. Since the orientation deteriorates, the above-mentioned afterimage is likely to occur.

従って、配向膜の一軸性を向上させ、配向安定性を向上させるためには、配向膜の分子量を大きくすることが必要であるが、これを解決する手法として、ポリアミド酸アルキルエステルをイミド化した光配向膜材料を使用することが出来る。これによると、ポリアミド酸アルキルエステル材料では、従来のポリアミド酸材料で起こっていたようなイミド化反応時のジアミンと酸無水物への分解反応を伴わず、イミド化後も分子量を大きく保つことができ、ラビング処理並みの配向安定性を得ることができる。   Therefore, in order to improve the uniaxiality of the alignment film and improve the alignment stability, it is necessary to increase the molecular weight of the alignment film. A photo-alignment film material can be used. According to this, the polyamic acid alkyl ester material does not involve a decomposition reaction into a diamine and an acid anhydride at the time of the imidation reaction that occurs in the conventional polyamic acid material, and can maintain a large molecular weight even after imidization. Orientation stability equivalent to that of rubbing treatment can be obtained.

また、ポリアミド酸アルキルエステル材料においては、その化学構造中にカルボン酸を含有しないため、ポリアミド酸材料と比較してLCDの電圧保持率が上がり、長期信頼性の向上も確保することができる。   In addition, since the polyamic acid alkyl ester material does not contain a carboxylic acid in its chemical structure, the voltage holding ratio of the LCD is higher than that of the polyamic acid material, and improvement in long-term reliability can be ensured.

光配向膜の配向安定性、長期信頼性を得るためにはポリアミド酸アルキルエステル材料の適用が有効であるが、この材料は一般的に、ポリアミド酸材料と比較して配向膜比抵抗が高い。そのため、液晶分子を駆動する信号波形に直流電圧が重畳して残留DCとなった場合に、残留DCが緩和するまでの時定数が大きく、焼きつき(DC残像)の原因となり易い。   In order to obtain the alignment stability and long-term reliability of the photo-alignment film, it is effective to apply a polyamic acid alkyl ester material, but this material generally has a higher specific resistance of the alignment film than the polyamic acid material. Therefore, when a DC voltage is superimposed on a signal waveform for driving liquid crystal molecules to form a residual DC, the time constant until the residual DC is relaxed is large, and it is likely to cause image sticking (DC afterimage).

「特許文献2」では、これを解決するために、下層にポリアミド酸を前駆体とし、光導電性を有するポリイミドを形成し、上層に上記のように、光配向特性に優れたポリアミド酸エステルを前駆体とするポリイミドを形成する構成を開示している。   In “Patent Document 2”, in order to solve this, a polyamic acid is used as a precursor in a lower layer, a polyimide having photoconductivity is formed, and a polyamic acid ester having excellent photoalignment characteristics as described above is formed in an upper layer. The structure which forms the polyimide used as a precursor is disclosed.

下層の光導電性を有するポリイミドは、バックライトからの光によって光導電性を得るものである。しかし、液晶表示パネルには、配線等が存在し、バックライトが照射されない領域が存在し、この領域は抵抗値が高いままである。したがって、光導電性を得ることが出来ない領域の存在によって、残像特性が全体的に低下するという問題が生じていた。   The lower-layer photoconductive polyimide obtains photoconductivity by light from the backlight. However, in the liquid crystal display panel, there is a region where wiring or the like is present and the backlight is not irradiated, and the resistance value of this region remains high. Therefore, there is a problem that the afterimage characteristics are deteriorated as a whole due to the existence of the region where the photoconductivity cannot be obtained.

本発明の目的は、バックライトの光が照射されない領域においても、蓄積電荷が移動しやすくすること、あるいは、配向膜の抵抗を小さくすることによって、液晶表示パネル全体として残像特性が改善される構成を実現することである。   An object of the present invention is to improve the afterimage characteristics of the entire liquid crystal display panel by facilitating movement of accumulated charges or reducing the resistance of an alignment film even in a region where backlight light is not irradiated. Is to realize.

本発明は上記問題を克服するものであり、具体的な手段の主なものは次のとおりである。   The present invention overcomes the above problems, and the main specific means are as follows.

(1)第1の方向に延在し、第2の方向に配列した走査線と、第2の方向に延在し、第1の方向に配列した映像信号線とで囲まれた領域に画素電極が形成されたTFT基板と、前記画素に対応したカラーフィルタを有する対向基板の間に液晶が挟持された液晶表示パネルと、前記液晶表示パネルの背面にバックライトが配置された液晶表示装置であって、前記走査線、前記映像信号線、前記画素電極を覆って配向膜が形成され、前記配向膜は光配向処理を受けており、前記配向膜は光導電特性を有しており、前記走査線を覆う前記配向膜の下にはフォトレジストが配置されていることを特長とする液晶表示装置。   (1) Pixels in a region surrounded by scanning lines extending in the first direction and arranged in the second direction and video signal lines extending in the second direction and arranged in the first direction A liquid crystal display panel in which liquid crystal is sandwiched between a TFT substrate on which electrodes are formed, a counter substrate having a color filter corresponding to the pixel, and a backlight disposed on the back of the liquid crystal display panel. An alignment film is formed to cover the scanning line, the video signal line, and the pixel electrode, the alignment film has undergone a photo-alignment treatment, and the alignment film has photoconductive properties; A liquid crystal display device, wherein a photoresist is disposed under the alignment film covering the scanning lines.

(2)第1の方向に延在し、第2の方向に配列した走査線と、第2の方向に延在し、第1の方向に配列した映像信号線とで囲まれた領域に画素電極が形成されたTFT基板と、前記画素に対応したカラーフィルタを有する対向基板の間に液晶が挟持された液晶表示パネルと、前記液晶表示パネルの背面にバックライトが配置された液晶表示装置であって、前記走査線、前記映像信号線、前記画素電極を覆って配向膜が形成され、前記配向膜は光配向処理を受けており、前記配向膜は光導電特性を有しており、前記バックライトを消灯した状態における前記走査線を覆う前記配向膜の比抵抗は、前記画素電極を覆う前記配向膜の比抵抗よりも小さいことを特徴とする液晶表示装置。
(3)第1の方向に延在し、第2の方向に配列した走査線と、第2の方向に延在し、第1の方向に配列した映像信号線とで囲まれた領域に画素電極が形成されたTFT基板と、前記画素に対応したカラーフィルタを有する対向基板の間に液晶が挟持された液晶表示パネルと、前記液晶表示パネルの背面にバックライトが配置された液晶表示装置の製造方法であって、前記走査線、前記映像信号線、前記画素電極を覆って配向膜を塗布する工程と、前記配向膜を乾燥する工程と、前記配向膜を焼成してイミド化する工程と、前記配向膜に対して偏光紫外線を照射して光配向を行う工程と、前記偏光紫外線を照射後、加熱する工程と、前記配向膜を加熱しながら、前記走査線を覆う前記配向膜にのみ紫外線を照射する工程を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
(2) Pixels in a region surrounded by scanning lines extending in the first direction and arranged in the second direction and video signal lines extending in the second direction and arranged in the first direction A liquid crystal display panel in which liquid crystal is sandwiched between a TFT substrate on which electrodes are formed, a counter substrate having a color filter corresponding to the pixel, and a backlight disposed on the back of the liquid crystal display panel. An alignment film is formed to cover the scanning line, the video signal line, and the pixel electrode, the alignment film has undergone a photo-alignment treatment, and the alignment film has photoconductive properties; A liquid crystal display device, wherein a specific resistance of the alignment film covering the scanning line in a state where a backlight is turned off is smaller than a specific resistance of the alignment film covering the pixel electrode.
(3) Pixels in a region surrounded by scanning lines extending in the first direction and arranged in the second direction and video signal lines extending in the second direction and arranged in the first direction A liquid crystal display panel in which liquid crystal is sandwiched between a TFT substrate on which electrodes are formed, a counter substrate having a color filter corresponding to the pixel, and a liquid crystal display device in which a backlight is disposed on the back of the liquid crystal display panel A manufacturing method, the step of coating an alignment film covering the scanning lines, the video signal lines, and the pixel electrodes, the step of drying the alignment film, and the step of baking and imidizing the alignment film Irradiating polarized ultraviolet light to the alignment film to perform photo-alignment; heating the polarized ultraviolet light after irradiation; and heating only the alignment film to the alignment film covering the scanning line It has the process of irradiating with ultraviolet rays. Method of manufacturing a liquid crystal display device.

本発明によれば、バックライトが照射されない領域において、電荷を移動しやすくする、あるいは、配向膜の抵抗を小さくするので、表示領域全体として残像特性を改善することが出来る。したがって、画質の優れた液晶表示装置を実現することが出来る。   According to the present invention, in the region where the backlight is not irradiated, charges are easily moved or the resistance of the alignment film is reduced, so that the afterimage characteristics can be improved as a whole display region. Therefore, a liquid crystal display device with excellent image quality can be realized.

本発明の第1の実施例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 1st Example of this invention. 本発明の第1の実施例を示す平面図である。It is a top view which shows the 1st Example of this invention. 本発明のメカニズムを説明するための断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram for demonstrating the mechanism of this invention. 図3に続く形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the form following FIG. 図4に続く形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the form following FIG. 従来例を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows a prior art example. 従来例の残像特性を示すシミュレーションである。It is a simulation which shows the afterimage characteristic of a prior art example. 本発明の残像特性を示すシミュレーションである。It is a simulation which shows the afterimage characteristic of this invention. 実施例1の他の形態を示す断面模式図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing another embodiment of Example 1. 実施例1の製造工程を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a manufacturing process of Example 1. 実施例2の構成を示す断面図である。6 is a cross-sectional view showing a configuration of Example 2. FIG. 実施例2の構成を示す平面図である。6 is a plan view showing a configuration of Example 2. FIG. 実施例2の他の形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other form of Example 2. 実施例2の製造工程を示す図である。6 is a diagram illustrating manufacturing steps of Example 2. FIG. 残像を評価するためのパターンである。This is a pattern for evaluating afterimages. 本発明と従来例における残像特性の比較を示すグラフである。It is a graph which shows the comparison of the afterimage characteristic in this invention and a prior art example. 本発明が適用されるIPS方式の液晶表示装置の断面図である。1 is a cross-sectional view of an IPS liquid crystal display device to which the present invention is applied. 画素電極とコモン電極の例を示す平面図である。It is a top view which shows the example of a pixel electrode and a common electrode. 2層配向膜の例である。It is an example of a two-layer alignment film.

本発明の具体的な実施例を説明する前に、本発明が適用されるIPS方式の液晶表示装置の構成について説明する。図17はIPS方式の液晶表示装置の表示領域における構造を示す断面図である。IPS方式の液晶表示装置の電極構造は種々のものが提案され、実用化されている。図17の構造は、現在広く使用されている構造であって、簡単に言えば、平面ベタで形成された対向電極108の上に絶縁膜を挟んで櫛歯状の画素電極110が形成されている。そして、画素電極110と対向電極108の間の電圧によって液晶分子301を回転させることによって画素毎に液晶層300の光の透過率を制御することにより画像を形成するものである。以下に図17の構造を詳しく説明する。なお、本発明は、図17の構成を例にとって説明するが、図17以外のIPSタイプの液晶表示装置にも適用することが出来る。   Before describing specific embodiments of the present invention, the configuration of an IPS liquid crystal display device to which the present invention is applied will be described. FIG. 17 is a cross-sectional view showing a structure in a display region of an IPS liquid crystal display device. Various electrode structures of IPS liquid crystal display devices have been proposed and put into practical use. The structure shown in FIG. 17 is a structure that is widely used at present. To put it simply, a comb-like pixel electrode 110 is formed on a counter electrode 108 formed of a flat solid with an insulating film interposed therebetween. Yes. Then, an image is formed by controlling the light transmittance of the liquid crystal layer 300 for each pixel by rotating the liquid crystal molecules 301 by the voltage between the pixel electrode 110 and the counter electrode 108. The structure of FIG. 17 will be described in detail below. Note that the present invention will be described by taking the configuration of FIG. 17 as an example, but can also be applied to IPS type liquid crystal display devices other than FIG.

図17において、ガラスで形成されるTFT基板100の上に、ゲート電極101が形成されている。ゲート電極101は走査線と同層で形成されている。ゲート電極101はAlNd合金の上にMoCr合金が積層されている。   In FIG. 17, a gate electrode 101 is formed on a TFT substrate 100 made of glass. The gate electrode 101 is formed in the same layer as the scanning line. The gate electrode 101 has a MoCr alloy laminated on an AlNd alloy.

ゲート電極101を覆ってゲート絶縁膜102がSiNによって形成されている。ゲート絶縁膜102の上に、ゲート電極101と対向する位置に半導体層103がa−Si膜によって形成されている。a−Si膜はプラズマCVDによって形成される。a−Si膜はTFTのチャネル部を形成するが、チャネル部を挟んでa−Si膜上にソース電極104とドレイン電極105が形成される。なお、a−Si膜とソース電極104あるいはドレイン電極105との間には図示しないn+Si層が形成される。半導体層とソース電極104あるいはドレイン電極105とのオーミックコンタクトを取るためである。   A gate insulating film 102 is formed of SiN so as to cover the gate electrode 101. A semiconductor layer 103 is formed of an a-Si film on the gate insulating film 102 at a position facing the gate electrode 101. The a-Si film is formed by plasma CVD. The a-Si film forms the channel portion of the TFT, and the source electrode 104 and the drain electrode 105 are formed on the a-Si film with the channel portion interposed therebetween. Note that an n + Si layer (not shown) is formed between the a-Si film and the source electrode 104 or the drain electrode 105. This is for making ohmic contact between the semiconductor layer and the source electrode 104 or the drain electrode 105.

ソース電極104は映像信号線が兼用し、ドレイン電極105は画素電極110と接続される。ソース電極104もドレイン電極105も同層で同時に形成される。本実施例では、ソース電極104あるいはドレイン電極105はMoCr合金で形成される。ソース電極104あるいはドレイン電極105の電気抵抗を下げたい場合は、例えば、AlNd合金をMoCr合金でサンドイッチした電極構造が用いられる。   The source electrode 104 is also used as a video signal line, and the drain electrode 105 is connected to the pixel electrode 110. The source electrode 104 and the drain electrode 105 are simultaneously formed in the same layer. In this embodiment, the source electrode 104 or the drain electrode 105 is made of a MoCr alloy. In order to reduce the electrical resistance of the source electrode 104 or the drain electrode 105, for example, an electrode structure in which an AlNd alloy is sandwiched between MoCr alloys is used.

TFTを覆って無機パッシベーション膜106がSiNによって形成される。無機パッシベーション膜106はTFTの、特にチャネル部を不純物401から保護する。無機パッシベーション膜106の上には有機パッシベーション膜107が形成される。有機パッシベーション膜107はTFTの保護と同時に表面を平坦化する役割も有するので、厚く形成される。厚さは1μmから4μmである。   An inorganic passivation film 106 is formed of SiN so as to cover the TFT. The inorganic passivation film 106 protects the TFT, particularly the channel portion, from the impurities 401. An organic passivation film 107 is formed on the inorganic passivation film 106. The organic passivation film 107 has a role of flattening the surface at the same time as protecting the TFT, and thus is formed thick. The thickness is 1 μm to 4 μm.

有機パッシベーション膜107には感光性のアクリル樹脂、シリコン樹脂、あるいはポリイミド樹脂等が使用される。有機パッシベーション膜107には、画素電極110とドレイン電極105が接続する部分にスルーホール111を形成する必要があるが、有機パッシベーション膜107は感光性なので、フォトレジストを用いずに、有機パッシベーション膜107自体を露光、現像して、スルーホール111を形成することが出来る。   A photosensitive acrylic resin, silicon resin, polyimide resin, or the like is used for the organic passivation film 107. In the organic passivation film 107, it is necessary to form a through hole 111 at a portion where the pixel electrode 110 and the drain electrode 105 are connected. However, since the organic passivation film 107 is photosensitive, the organic passivation film 107 is not used without using a photoresist. The through hole 111 can be formed by exposing and developing itself.

有機パッシベーション膜107の上には対向電極108が形成される。対向電極108は透明導電膜であるITO(Indium Tin Oxide)を表示領域全体にスパッタリングすることによって形成される。すなわち、対向電極108は面状に形成される。対向電極108を全面にスパッタリングによって形成した後、画素電極110とドレイン電極105を導通するためのスルーホール111部だけは対向電極108をエッチングによって除去する。   A counter electrode 108 is formed on the organic passivation film 107. The counter electrode 108 is formed by sputtering ITO (Indium Tin Oxide), which is a transparent conductive film, over the entire display region. That is, the counter electrode 108 is formed in a planar shape. After the counter electrode 108 is formed on the entire surface by sputtering, the counter electrode 108 is removed by etching only in the through hole 111 portion for conducting the pixel electrode 110 and the drain electrode 105.

対向電極108を覆って上部絶縁膜109がSiNによって形成される。上部電極が形成された後、エッチングによってスルーホール111を形成する。この上部絶縁膜109をレジストにして無機パッシベーション膜106をエッチングしてスルーホール111を形成する。その後、上部絶縁膜109およびスルーホール111を覆って画素電極110となるITOをスパッタリングによって形成する。スパッタリングしたITOをパターニングして画素電極110を形成する。画素電極110となるITOはスルーホール111にも被着される。スルーホール111において、TFTから延在してきたドレイン電極105と画素電極110が導通し、映像信号が画素電極110に供給されることになる。   An upper insulating film 109 is formed of SiN so as to cover the counter electrode 108. After the upper electrode is formed, a through hole 111 is formed by etching. The through hole 111 is formed by etching the inorganic passivation film 106 using the upper insulating film 109 as a resist. Thereafter, ITO that becomes the pixel electrode 110 covering the upper insulating film 109 and the through hole 111 is formed by sputtering. The pixel electrode 110 is formed by patterning the sputtered ITO. ITO serving as the pixel electrode 110 is also deposited on the through hole 111. In the through hole 111, the drain electrode 105 extending from the TFT and the pixel electrode 110 become conductive, and a video signal is supplied to the pixel electrode 110.

図18に画素電極110の1例を示す。画素電極110は、櫛歯状の電極である。櫛歯と櫛歯の間にスリット112が形成されている。画素電極110の下方には、平面状の対向電極108が形成されている。画素電極110に映像信号が印加されると、スリット112を通して対向電極108との間に生ずる電気力線によって液晶分子301が回転する。これによって液晶層300を通過する光を制御して画像を形成する。   FIG. 18 shows an example of the pixel electrode 110. The pixel electrode 110 is a comb-like electrode. A slit 112 is formed between the comb teeth. A planar counter electrode 108 is formed below the pixel electrode 110. When a video signal is applied to the pixel electrode 110, the liquid crystal molecules 301 are rotated by electric lines of force generated between the counter electrode 108 through the slit 112. As a result, light passing through the liquid crystal layer 300 is controlled to form an image.

図17はこの様子を断面図として説明したものである。櫛歯状の電極と櫛歯状の電極の間は図17に示すスリット112となっている。対向電極108には一定電圧が印加され、画素電極110には映像信号による電圧が印加される。画素電極110に電圧が印加されると図17に示すように、電気力線が発生して液晶分子301を電気力線の方向に回転させてバックライトからの光の透過を制御する。画素毎にバックライトからの透過が制御されるので、画像が形成されることになる。   FIG. 17 illustrates this state as a cross-sectional view. A slit 112 shown in FIG. 17 is formed between the comb-shaped electrode and the comb-shaped electrode. A constant voltage is applied to the counter electrode 108, and a voltage based on a video signal is applied to the pixel electrode 110. When a voltage is applied to the pixel electrode 110, electric lines of force are generated, and the liquid crystal molecules 301 are rotated in the direction of the electric lines of force to control the transmission of light from the backlight, as shown in FIG. Since transmission from the backlight is controlled for each pixel, an image is formed.

図17の例では、有機パッシベーション膜107の上に、面状に形成された対向電極108が配置され、上部絶縁膜109の上に櫛歯電極110が配置されている。しかしこれとは逆に、有機パッシベーション膜107の上に面状に形成された画素電極110を配置し、上部絶縁膜109の上に櫛歯状の対向電極108が配置される場合もある。   In the example of FIG. 17, a counter electrode 108 formed in a planar shape is disposed on the organic passivation film 107, and a comb electrode 110 is disposed on the upper insulating film 109. However, conversely, the pixel electrode 110 formed in a planar shape may be disposed on the organic passivation film 107, and the comb-like counter electrode 108 may be disposed on the upper insulating film 109.

画素電極110の上には液晶分子301を配向させるための配向膜113が形成されている。本発明においては、後で説明するように、走査線等の金属配線の上に形成され、バックライトが照射されない領域の配向膜と、開口部のように、バックライトが照射される領域の配向膜とでは、構成を変えているが、図17では、同じように記載している。   An alignment film 113 for aligning liquid crystal molecules 301 is formed on the pixel electrode 110. In the present invention, as will be described later, an alignment film is formed on a metal wiring such as a scanning line and is not irradiated with a backlight, and an alignment of a region irradiated with a backlight, such as an opening. Although the configuration of the film is changed, FIG. 17 shows the same.

図17において、液晶層300を挟んで対向基板200が設置されている。対向基板200の内側には、カラーフィルタ201が形成されている。カラーフィルタ201は画素毎に、赤、緑、青のカラーフィルタ201が形成されており、カラー画像が形成される。カラーフィルタ201とカラーフィルタ201の間にはブラックマトリクス202が形成され、画像のコントラストを向上させている。なお、ブラックマトリクス202はTFTの遮光膜としての役割も有し、TFTに光電流が流れることを防止している。   In FIG. 17, the counter substrate 200 is installed with the liquid crystal layer 300 interposed therebetween. A color filter 201 is formed inside the counter substrate 200. The color filter 201 is formed with red, green, and blue color filters 201 for each pixel, and a color image is formed. A black matrix 202 is formed between the color filters 201 to improve the contrast of the image. Note that the black matrix 202 also has a role as a light shielding film of the TFT, and prevents a photocurrent from flowing through the TFT.

カラーフィルタ201およびブラックマトリクス202を覆ってオーバーコート膜203が形成されている。カラーフィルタ201およびブラックマトリクス202の表面は凹凸となっているために、オーバーコート膜203によって表面を平らにしている。   An overcoat film 203 is formed to cover the color filter 201 and the black matrix 202. Since the surface of the color filter 201 and the black matrix 202 is uneven, the surface is flattened by the overcoat film 203.

オーバーコート膜203の上には、液晶の初期配向を決めるための配向膜113が形成されている。対向基板側の配向膜113は残像特性には大きな影響を与えないので、TFT基板100側の配向膜のように、領域によって配向膜の構成を変えることはしていない。   On the overcoat film 203, an alignment film 113 for determining the initial alignment of the liquid crystal is formed. Since the alignment film 113 on the counter substrate side does not significantly affect the afterimage characteristics, the configuration of the alignment film is not changed depending on the region, unlike the alignment film on the TFT substrate 100 side.

なお、本発明においても、図19に示すように、配向膜113を光配向特性に優れた上層配向膜113Uと光導電性を有する下層配向膜113Lによって構成することも出来る。しかし、本明細書では、下層と上層とを特に区別せず、配向膜全体として光導電性を有するものとして説明する。下層が光導電性を有すれば配向膜全体として光導電性を有すると考えられるからである。以下の実施例により本発明の内容を詳細に説明する。   Also in the present invention, as shown in FIG. 19, the alignment film 113 can be constituted by an upper alignment film 113U having excellent photoalignment characteristics and a lower alignment film 113L having photoconductivity. However, in this specification, the lower layer and the upper layer are not particularly distinguished from each other, and the entire alignment film is described as having photoconductivity. This is because if the lower layer has photoconductivity, the entire alignment film is considered to have photoconductivity. The contents of the present invention will be described in detail by the following examples.

図1は本発明の実施例1の構成を示す断面図であり、図2は実施例1の平面図である。図1および図2を説明する前に、残像が長期に存在するメカニズムについて図3〜図6を用いて説明する。残像には、同じ絵を出しているとそのパターンが焼き付き、徐々にパターンが消えるいわゆるDC残像と、配向膜の配向性能が低下することによって生ずる残像、いわゆるAC残像とがある。本発明は、いわゆるDC残像を対策するものである。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing the configuration of the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of the first embodiment. Before explaining FIG. 1 and FIG. 2, the mechanism in which an afterimage exists for a long time will be explained with reference to FIGS. There are two types of afterimages: a so-called DC afterimage in which the pattern is burned and disappears gradually when the same picture is given, and an afterimage caused by a decrease in the alignment performance of the alignment film, a so-called AC afterimage. The present invention takes measures against so-called DC afterimages.

図3は、所定のパターンを表示した直後に、配向膜113表面に電荷が蓄積した状態を示している。図3において、TFT基板100の上に走査線10が形成され、走査線10の上に、図17で説明したゲート絶縁膜、無機パッシベーション膜等、種々の絶縁層を含む中間層150が形成され、中間層150の上に配向膜113が形成されている。   FIG. 3 shows a state in which charges are accumulated on the surface of the alignment film 113 immediately after displaying a predetermined pattern. 3, the scanning line 10 is formed on the TFT substrate 100, and the intermediate layer 150 including various insulating layers such as the gate insulating film and the inorganic passivation film described in FIG. 17 is formed on the scanning line 10. An alignment film 113 is formed on the intermediate layer 150.

TFT基板100の背面からバックライトを照射すると、走査線10で遮光されない、開口部55における配向膜113の抵抗は、光導電特性のために低下する。一方、走査線10によって遮光された部分の配向膜113は、バックライトが照射されないために、抵抗は低下しない。   When the backlight is irradiated from the back surface of the TFT substrate 100, the resistance of the alignment film 113 in the opening 55, which is not shielded by the scanning line 10, decreases due to photoconductive characteristics. On the other hand, the portion of the alignment film 113 that is shielded by the scanning line 10 is not irradiated with the backlight, so that the resistance does not decrease.

図4は、所定のパターンを表示した後、ある時間t1が経過した場合の配向膜113上の蓄積電荷の状態を示す図である。走査線10によって遮光されていない開口部55は光導電効果によって配向膜113の抵抗が小さくなっているので、電荷が速やかに消失するが、走査線10で遮光された部分に蓄積された電荷が開口部55に移動してくるために、開口部55に蓄積電荷が存在していることになる。   FIG. 4 is a diagram illustrating a state of accumulated charges on the alignment film 113 when a certain time t1 has elapsed after displaying a predetermined pattern. The opening 55 that is not shielded by the scanning line 10 has the resistance of the alignment film 113 reduced due to the photoconductive effect, so that the charge disappears quickly, but the charge accumulated in the part shielded by the scanning line 10 is not. Since it moves to the opening 55, accumulated charge exists in the opening 55.

図5は、所定のパターンを表示した後、より長い時間t2が経過した場合の配向膜113上の蓄積電荷の状態を示す図である。開口部55の配向膜113の抵抗は光導電効果によって抵抗が小さくなって、電荷が早期に消失するにもかかわらず、遮光部分から電荷が供給されるために、開口部55の配向膜113に依然電荷が存在することになり、残像現象が現れている。   FIG. 5 is a diagram illustrating a state of accumulated charges on the alignment film 113 when a longer time t2 has elapsed after displaying a predetermined pattern. The resistance of the alignment film 113 in the opening 55 is reduced by the photoconductive effect, and the charge is supplied from the light-shielding portion even though the charge disappears early. Charges still exist and an afterimage phenomenon appears.

遮光部分は画像形成には影響せず、開口部55のみが画像形成に関係する。つまり、開口部55に遮光部分の電荷が時間をかけて移動することが残像が長く続く原因となっている。図6は、この現象を模式的に示したものである。図6は液晶表示パネルの断面図であるが、構造は図3で説明したのと同様である。   The light shielding portion does not affect image formation, and only the opening 55 is related to image formation. That is, the afterimage lasts for a long time because the charge of the light shielding portion moves to the opening 55 over time. FIG. 6 schematically shows this phenomenon. FIG. 6 is a cross-sectional view of the liquid crystal display panel, but the structure is the same as that described in FIG.

図6において、遮光部の配向膜113と開口部55の配向膜113との間に抵抗R1が形成されているが、この抵抗は、大部分は、遮光部分の配向膜113抵抗である。遮光部分では、光導電効果がないので抵抗が大きいためである。つまり、抵抗R1が大きいと電荷の移動が緩慢になり、長時間かけて遮光部の配向膜113から開口部55の配向膜113に向かって電荷が移動する。したがって、残像が長時間にわたって続くことになる。これを防止するには、遮光部の配向膜113から開口部55の配向膜113に向かう抵抗を小さくすればよい。   In FIG. 6, a resistor R <b> 1 is formed between the alignment film 113 in the light shielding portion and the alignment film 113 in the opening 55. This resistance is mostly the resistance of the alignment film 113 in the light shielding portion. This is because the light shielding portion has a large resistance because there is no photoconductive effect. That is, when the resistance R1 is large, the movement of charges becomes slow, and the charges move from the alignment film 113 in the light shielding portion toward the alignment film 113 in the opening 55 over a long time. Therefore, the afterimage continues for a long time. In order to prevent this, the resistance from the alignment film 113 in the light shielding portion toward the alignment film 113 in the opening 55 may be reduced.

図1に示す本発明の実施例1は、遮光部において、中間層150と配向膜113との間にフォトレジスト30を配置することによって遮光部の配向膜113から開口部55の配向膜113への電荷の流れを早くした構成である。図1において、遮光部の配向膜113と開口部55の配向膜113間の抵抗R1と並列にフォトレジスト30と開口部55の配向膜113間の抵抗R2が配置されている。フォトレジスト30は例えば、1.5μm程度と厚いので、抵抗R2はR1に比べて小さい。   In the first embodiment of the present invention shown in FIG. 1, in the light shielding portion, the photoresist 30 is disposed between the intermediate layer 150 and the alignment film 113, whereby the alignment film 113 in the light shielding portion is changed to the alignment film 113 in the opening 55. In this configuration, the flow of electric charge is accelerated. In FIG. 1, a resistor R <b> 2 between the photoresist 30 and the alignment film 113 in the opening 55 is arranged in parallel with the resistance R <b> 1 between the alignment film 113 in the light shielding part and the alignment film 113 in the opening 55. For example, since the photoresist 30 is as thick as about 1.5 μm, the resistance R2 is smaller than that of R1.

ちなみに、配向膜113の厚さは70nm程度である。光導電効果が無い場合の配向膜113の比抵抗は1015Ωcmであり、フォトレジスト30の比抵抗も同様である。しかし、フォトレジスト30の厚さは配向膜113の20倍以上なので、抵抗R2は抵抗R1の1/20以下となる。したがって、遮光部に蓄積された電荷が開口部55に移動する時間も早くなる。フォトレジスト30の厚さが配向膜113の厚さの10倍以上であっても、つまり、抵抗R2が抵抗R1の1/10以下程度であっても本発明の効果を発揮することが出来る。なお、光導電効果が生じた配向膜113の比抵抗は1013Ωcm程度である。 Incidentally, the thickness of the alignment film 113 is about 70 nm. The specific resistance of the alignment film 113 when there is no photoconductive effect is 10 15 Ωcm, and the specific resistance of the photoresist 30 is the same. However, since the thickness of the photoresist 30 is 20 times or more that of the alignment film 113, the resistance R2 is 1/20 or less of the resistance R1. Therefore, the time for the charge accumulated in the light shielding portion to move to the opening 55 is also shortened. Even if the thickness of the photoresist 30 is 10 times or more the thickness of the alignment film 113, that is, the resistance R2 is about 1/10 or less of the resistance R1, the effect of the present invention can be exhibited. The specific resistance of the alignment film 113 in which the photoconductive effect has occurred is about 10 13 Ωcm.

図2は、表示領域における画素構成を示す平面図である。図2において、走査線10が横方向に延在し、縦方向に配列している。また、映像信号線20が縦方向に延在し、横方向に配列している。走査線10と映像信号線20で囲まれた領域が開口部55すなわち、画素電極を有する画素部となっている。図2において、TFTは省略されている。   FIG. 2 is a plan view showing a pixel configuration in the display area. In FIG. 2, the scanning lines 10 extend in the horizontal direction and are arranged in the vertical direction. The video signal lines 20 extend in the vertical direction and are arranged in the horizontal direction. A region surrounded by the scanning lines 10 and the video signal lines 20 is an opening 55, that is, a pixel portion having a pixel electrode. In FIG. 2, TFTs are omitted.

図2において、走査線10の上には、フォトレジスト30が形成されている。配向膜113は、開口部55、映像信号線20、および、走査線10の上に形成されたレジスト30の上に形成されている。走査線10によって遮光された部分の配向膜113からの電荷はレジスト30の影響によって速やかに開口部55に移動し、残像の時間を短くすることが出来る。   In FIG. 2, a photoresist 30 is formed on the scanning line 10. The alignment film 113 is formed on the resist 30 formed on the opening 55, the video signal line 20, and the scanning line 10. The charge from the alignment film 113 in the portion shielded by the scanning line 10 quickly moves to the opening 55 due to the influence of the resist 30, and the afterimage time can be shortened.

図2において、映像信号線20も遮光部となるので、映像信号線20の上にもフォトレジスト30を形成することによって映像信号線20上の電荷を速やかに画素部に移動させる効果を得ることが出来る。しかし、映像信号線20に印加される映像信号は、交流駆動のために、ライン毎、あるいは、フレーム毎に極性が変化する。したがって、映像信号線20上には電荷が蓄積しにくい。一方、走査線10に印加される走査信号は常に同じ極性なので、電荷が蓄積されやすい。したがって、フォトレジスト30を形成する領域は、走査線10上が最も効果がある。   In FIG. 2, since the video signal line 20 is also a light-shielding portion, by forming a photoresist 30 on the video signal line 20, the effect of quickly moving the charge on the video signal line 20 to the pixel portion can be obtained. I can do it. However, the polarity of the video signal applied to the video signal line 20 changes line by line or frame by frame for AC driving. Therefore, charges are unlikely to accumulate on the video signal line 20. On the other hand, since the scanning signals applied to the scanning lines 10 are always of the same polarity, charges are likely to be accumulated. Therefore, the region where the photoresist 30 is formed is most effective on the scanning line 10.

図7および図8は、図6に示す従来構造と、図1に示す本発明の構造とで、残像をシミュレーションして比較した結果を示すグラフである。図7は、図6の従来例に対応し、図8は、図1の本発明に対応する。図7および図8の横軸は時間であり、縦軸は残像の強度である。残像の強度は、開口部における残留電荷の量と同義である。シミュレーションにおける単位は任意である。シミュレーションは、遮光部と開口部の面積が同じであるとして行っている。   FIGS. 7 and 8 are graphs showing the results of simulation and comparison of afterimages between the conventional structure shown in FIG. 6 and the structure of the present invention shown in FIG. 7 corresponds to the conventional example of FIG. 6, and FIG. 8 corresponds to the present invention of FIG. The horizontal axis in FIGS. 7 and 8 is time, and the vertical axis is the intensity of the afterimage. The intensity of the afterimage is synonymous with the amount of residual charge in the opening. The unit in the simulation is arbitrary. The simulation is performed assuming that the areas of the light shielding portion and the opening portion are the same.

図7および図8において、一点鎖線は、開口部のみに蓄積された電荷による残像への影響を示したものである。開口部は、図6も図1も同じ構成なので、開口部のみに蓄積した電荷による残像時間は同じである。図7および図8において、点線は遮光部のみに蓄積した電荷の影響による残像への効果を示すものである。図7に示す従来例では、遮光部のみに蓄積した電荷は長時間かけて表示領域に移動するので、残像は長く生じている。一方、図8に示す本発明では、遮光部におけるフォトレジストの影響によって遮光部のみに蓄積した電荷は速やかに開口部に移動するので、残像は早く消失する。   7 and 8, the alternate long and short dash line indicates the influence on the afterimage due to the charge accumulated only in the opening. Since the opening has the same configuration in FIG. 6 and FIG. 1, the afterimage time due to the charge accumulated only in the opening is the same. 7 and 8, the dotted line indicates the effect on the afterimage due to the influence of the charge accumulated only in the light shielding portion. In the conventional example shown in FIG. 7, since the charge accumulated only in the light-shielding portion moves to the display area over a long time, an afterimage is generated for a long time. On the other hand, in the present invention shown in FIG. 8, the charge accumulated only in the light-shielding part due to the influence of the photoresist in the light-shielding part quickly moves to the opening, so that the afterimage disappears quickly.

図7および図8において、実際の残像は、開口部のみに蓄積した電荷と遮光部のみに蓄積した電荷の影響の合成である。図7および図8の実線が実際の残像を示す曲線である。図8に示す本発明における実際の残像は、図7に示す従来例の残像に比較して、速やかに消失する。つまり、図8における本発明の効果においては、遮光部に形成されたフォトレジストの影響によって、実際の残像を早期に消失させることが出来る。   7 and 8, the actual afterimage is a combination of the influence of the charge accumulated only in the opening and the charge accumulated only in the light shielding portion. The solid line in FIGS. 7 and 8 is a curve showing an actual afterimage. The actual afterimage in the present invention shown in FIG. 8 disappears more quickly than the afterimage of the conventional example shown in FIG. That is, in the effect of the present invention in FIG. 8, the actual afterimage can be lost early due to the influence of the photoresist formed in the light shielding portion.

図9は実施例1における液晶表示パネルの表示領域の周辺部を示す断面図である。図9において、TFT基板100の上に中間層150が形成され、その上に配向膜113が形成されている。TFT基板100は対向基板200とシール材60によって接着しており、TFT基板100と対向基板200との間に液晶層300が挟持されている。表示領域50の外側には、走査線10および映像信号線20の引出し線等が形成されており、バックライトからの光に対して遮光領域となっている。したがって、この部分の配向膜113は光導電効果を得られないので、抵抗が大きい。そうすると、表示領域50の外側に形成された配向膜113上に蓄積した電荷は、表示領域50に長時間かけて移動することになり、残像を引き起こす。   FIG. 9 is a cross-sectional view showing the periphery of the display area of the liquid crystal display panel according to the first embodiment. In FIG. 9, an intermediate layer 150 is formed on the TFT substrate 100, and an alignment film 113 is formed thereon. The TFT substrate 100 is bonded to the counter substrate 200 by a sealing material 60, and the liquid crystal layer 300 is sandwiched between the TFT substrate 100 and the counter substrate 200. On the outside of the display area 50, the lead lines of the scanning lines 10 and the video signal lines 20 are formed, which serves as a light shielding area for the light from the backlight. Therefore, the alignment film 113 in this portion cannot obtain a photoconductive effect, and thus has a high resistance. Then, the charge accumulated on the alignment film 113 formed outside the display region 50 moves to the display region 50 over a long time, causing an afterimage.

図9では、表示領域50の外側において、中間層150の上にフォトレジスト30を配置し、その上に配向膜113を形成している。フォトレジスト30は1.5μm程度と厚く形成されるので、表示領域50内の配向膜113とフォトレジスト30間の抵抗R2は小さくすることが出来、その結果、表示領域50の外側に蓄積した電荷が表示領域50に速やかに移動することが出来るので、残像の時間を短くすることが出来る。したがって、図9の構成によれば、表示領域周辺部における残像現象を緩和することが出来る。   In FIG. 9, the photoresist 30 is disposed on the intermediate layer 150 outside the display region 50, and the alignment film 113 is formed thereon. Since the photoresist 30 is formed as thick as about 1.5 μm, the resistance R2 between the alignment film 113 in the display region 50 and the photoresist 30 can be reduced. As a result, the charge accumulated outside the display region 50 can be reduced. Can quickly move to the display area 50, so that the afterimage time can be shortened. Therefore, according to the configuration of FIG. 9, the afterimage phenomenon around the display area can be mitigated.

図10は実施例1の構成を実現するためのプロセスを示す図である。図10において、TFT基板に画素電極を形成するまでは、従来と同じである。画素電極を形成後、レジストを塗布し、パターニングを行う。レジストは遮光部のみに残すので、透明度等の影響は問題とならない。したがって、レジスト材料はフェノールノボラック系等の比較的安価なレジストを使用することが出来る。レジストをパターニングして、遮光部のみにレジストを残したあと、140℃から150℃で焼成を行う。その後、配向膜を塗布する。その後の工程は従来と同様である。   FIG. 10 is a diagram illustrating a process for realizing the configuration of the first embodiment. In FIG. 10, the process is the same as before until the pixel electrode is formed on the TFT substrate. After forming the pixel electrode, a resist is applied and patterning is performed. Since the resist is left only in the light shielding portion, the influence of transparency and the like does not matter. Accordingly, a relatively inexpensive resist such as a phenol novolac type can be used as the resist material. After patterning the resist to leave the resist only in the light shielding portion, baking is performed at 140 ° C. to 150 ° C. Thereafter, an alignment film is applied. Subsequent steps are the same as in the prior art.

残像への影響は、TFT基板側の配向膜の状態が支配的なので、対向基板には、配向膜の比抵抗を低下させるために遮光部にフォトレジストを形成することはかならずしも必要ではない。   Since the influence on the afterimage is dominated by the state of the alignment film on the TFT substrate side, it is not always necessary to form a photoresist on the light shielding portion on the counter substrate in order to reduce the specific resistance of the alignment film.

図11は表示領域における本発明の実施例2の構成を示す断面図であり、図12は、その平面図である。図6に示す従来例においては、遮光部における配向膜113が光導電効果を得られないので、抵抗が大きく、遮光部に蓄積した電荷が速やかに開口部に移動することが出来ないことが問題である。本実施例は、遮光部における配向膜113の抵抗を、光導電効果を得られなくとも、もともと小さくしておくことに特徴がある。   FIG. 11 is a cross-sectional view showing the configuration of the second embodiment of the present invention in the display area, and FIG. 12 is a plan view thereof. In the conventional example shown in FIG. 6, since the alignment film 113 in the light shielding portion cannot obtain a photoconductive effect, the resistance is large and the charge accumulated in the light shielding portion cannot be quickly moved to the opening. It is. This embodiment is characterized in that the resistance of the alignment film 113 in the light shielding portion is originally reduced even if the photoconductive effect cannot be obtained.

図11に示す実施例2の構成は、配向膜113を形成後、フォトマスク80を用いて開口部55を遮蔽し、遮光部のみに紫外線を照射する。配向膜113が形成されたTFT基板100をホットプレート70上に配置し、紫外線の照射と同時に基板を200℃〜210℃で加熱する。このように、遮光部の配向膜113に対し、加熱しながら紫外線を照射することによって遮光部の配向膜113の構造が変化し、配向膜の比抵抗を小さくすることが出来る。一方、開口部55の配向膜113には紫外線は照射されないので、配向膜113の特性は変化せず、配向能力も変化しない。遮光部は、画像を表示する部分では無いので、配向膜113が変質し、配向能力が低下しても画像特性には影響を与えない。   In the configuration of Example 2 shown in FIG. 11, after forming the alignment film 113, the opening 55 is shielded using a photomask 80 and only the light shielding part is irradiated with ultraviolet rays. The TFT substrate 100 on which the alignment film 113 is formed is disposed on the hot plate 70, and the substrate is heated at 200 ° C. to 210 ° C. simultaneously with the irradiation of ultraviolet rays. In this way, by irradiating the alignment film 113 in the light shielding portion with ultraviolet rays while heating, the structure of the alignment film 113 in the light shielding portion changes, and the specific resistance of the alignment film can be reduced. On the other hand, since the alignment film 113 in the opening 55 is not irradiated with ultraviolet rays, the characteristics of the alignment film 113 do not change and the alignment ability does not change. Since the light-shielding portion is not a portion for displaying an image, even if the alignment film 113 is altered and the alignment ability is reduced, the image characteristics are not affected.

使用する紫外線は、配向膜113を変質させることが目的であるから、deep−UV(波長が300nm以下)で、偏光をしていない紫外線を用いることが最も効果を上げられる。しかし、製造装置の単純化のために、光配向に使用した偏光紫外線を用いることが出来る。つまり、波長が240nm〜400nmの直線偏光された紫外線を用いることも出来る。しかし、光配向と同時に行うことは難しい。本実施例における紫外線の照射は基板の加熱とともに行うことが必須だからである。例えば、波長が250nmの偏光紫外線を用いた場合、基板を200℃に加熱した場合は、配向膜の比抵抗が2/3に減少し、230℃で加熱した場合は、配向膜の比抵抗が1/2になった。   Since the purpose of the ultraviolet ray to be used is to alter the alignment film 113, it is most effective to use deep-UV (wavelength of 300 nm or less) and unpolarized ultraviolet rays. However, in order to simplify the manufacturing apparatus, it is possible to use polarized ultraviolet rays used for photo-alignment. In other words, linearly polarized ultraviolet rays having a wavelength of 240 nm to 400 nm can be used. However, it is difficult to carry out simultaneously with photo-alignment. This is because the ultraviolet irradiation in this embodiment is essential to be performed together with the heating of the substrate. For example, when polarized UV light having a wavelength of 250 nm is used, the specific resistance of the alignment film decreases to 2/3 when the substrate is heated to 200 ° C., and the specific resistance of the alignment film decreases when heated at 230 ° C. It became 1/2.

紫外線の照射を2回行ったか否かは、配向膜に赤外線を照射して、その吸収スペクトルを評価することによって判別することが出来る。すなわち、紫外線を2回照射された遮光部における配向膜は、ポリイミド環の数が減少している。その結果、赤外線の吸収スペクトルが異なることになる。   Whether or not UV irradiation has been performed twice can be determined by irradiating the alignment film with infrared light and evaluating its absorption spectrum. That is, the number of polyimide rings in the alignment film in the light-shielding part irradiated with ultraviolet rays twice is reduced. As a result, the infrared absorption spectrum is different.

図12は、本実施例の平面図である。図12は配向膜113が形成されたTFT基板100の上にフォトマスク80が配置されている状態の平面図である。図12において、フォトマスク80には、TFT基板100の走査線10に対応した部分にフォトマスク孔85が形成されている。すなわち、紫外線は、走査線10の上に配向膜113にのみ照射される構成となっている。したがって、走査線10上の配向膜113のみが変質し、比抵抗が低下する。   FIG. 12 is a plan view of the present embodiment. FIG. 12 is a plan view showing a state in which a photomask 80 is disposed on the TFT substrate 100 on which the alignment film 113 is formed. In FIG. 12, a photomask hole 85 is formed in a portion of the photomask 80 corresponding to the scanning line 10 of the TFT substrate 100. That is, the ultraviolet light is irradiated only on the alignment film 113 on the scanning line 10. Therefore, only the alignment film 113 on the scanning line 10 is altered, and the specific resistance is lowered.

図12では、走査線10の上のみにフォトマスク孔85を形成したが、映像信号線20の上にもフォトマスク孔85を形成し、映像信号線20上の配向膜113を変質させてもよい。しかし、配向膜113を低抵抗化する効果は、実施例1において述べたように、走査線10上の配向膜113を低抵抗化するほうが大きい。   Although the photomask hole 85 is formed only on the scanning line 10 in FIG. 12, the photomask hole 85 may also be formed on the video signal line 20 to alter the alignment film 113 on the video signal line 20. Good. However, the effect of reducing the resistance of the alignment film 113 is greater when the resistance of the alignment film 113 on the scanning line 10 is reduced as described in the first embodiment.

図13は、実施例2における液晶表示パネルの断面図である。図13において、TFT基板100の上の中間層150の上に配向膜113が形成されている。シール材60によって対向基板200がTFT基板100と接着している。TFT基板100と対向基板200の間に液晶300が挟持されている。表示領域50においては、配向膜113はバックライトからの光を受けて低抵抗化しているが、表示領域50の外側では、走査線10あるいは映像信号線20等の引出し線の影響で遮光領域となっており、この部分の配向膜113には、光導電効果は生じないので抵抗が高い。   FIG. 13 is a cross-sectional view of the liquid crystal display panel according to the second embodiment. In FIG. 13, an alignment film 113 is formed on the intermediate layer 150 on the TFT substrate 100. The counter substrate 200 is bonded to the TFT substrate 100 by the sealing material 60. A liquid crystal 300 is sandwiched between the TFT substrate 100 and the counter substrate 200. In the display area 50, the alignment film 113 is lowered in resistance by receiving light from the backlight. However, outside of the display area 50, the alignment film 113 is shielded from the light shielding area due to the influence of the lead lines such as the scanning lines 10 or the video signal lines 20. This portion of the alignment film 113 has a high resistance because no photoconductive effect occurs.

本実施例では、表示領域50の外側の配向膜113に基板を加熱しながら紫外線を照射することによって、比抵抗を低下させ、電荷が遮光領域から表示領域50に速やかに移動できるようにしている。これによって、表示領域50周辺における残像を早期に消失させることが出来る。   In this embodiment, the alignment film 113 outside the display region 50 is irradiated with ultraviolet rays while heating the substrate, thereby reducing the specific resistance and allowing the charge to move quickly from the light shielding region to the display region 50. . Thereby, the afterimage around the display area 50 can be eliminated early.

図14は、本実施例の構成を実現するためのプロセスを示す図である。図14において、画素電極まで形成されたTFT基板に配向膜を塗布する。その後、配向膜を乾燥し、レベリングして、均一な膜とする。その後、230℃で焼成して、イミド化を行う。その後、波長が230nm〜400nmの直線偏光した紫外線を照射して光配向を行う。その後、230℃〜240℃で加熱して、フェニレンビスマレイミドの単量体等を揮発させ、配向特性を改善する。その後、フォトマスクを用いてTFT基板における遮光部のみに紫外線を照射し、この部分の配向膜の比抵抗を低下させる。紫外線の照射と同時に、200℃〜230℃で基板を加熱する。その後、対向基板と組み合わせて液晶表示パネルを形成する。残像への影響は、TFT基板側の配向膜の状態が支配的なので、対向基板には、配向膜の比抵抗を低下させるために紫外線の照射のプロセスは必ずしも必要ではない。   FIG. 14 is a diagram illustrating a process for realizing the configuration of the present embodiment. In FIG. 14, an alignment film is applied to the TFT substrate formed up to the pixel electrode. Thereafter, the alignment film is dried and leveled to obtain a uniform film. Then, it baked at 230 degreeC and imidation is performed. Thereafter, photo-alignment is performed by irradiating linearly polarized ultraviolet rays having a wavelength of 230 nm to 400 nm. Thereafter, heating is performed at 230 ° C. to 240 ° C. to volatilize the phenylene bismaleimide monomer and the like, thereby improving the alignment characteristics. Thereafter, using a photomask, only the light shielding portion of the TFT substrate is irradiated with ultraviolet rays, and the specific resistance of the alignment film in this portion is lowered. The substrate is heated at 200 ° C. to 230 ° C. simultaneously with the ultraviolet irradiation. Thereafter, a liquid crystal display panel is formed in combination with the counter substrate. Since the influence on the afterimage is dominated by the state of the alignment film on the TFT substrate side, the opposing substrate does not necessarily require an ultraviolet irradiation process in order to reduce the specific resistance of the alignment film.

本発明のDC残像に対する効果は、図15に示すような白黒による8×8のチェッカーフラグパターンを用いて行うことが出来る。すなわち、図15に示すような白黒による8×8のチェッカーフラグパターンを12時間表示し、その後、灰色ベタの中間調に戻す。中間調の階調は、64/256である。   The effect of the present invention on the DC afterimage can be achieved by using a black and white 8 × 8 checker flag pattern as shown in FIG. That is, an 8 × 8 checker flag pattern in black and white as shown in FIG. 15 is displayed for 12 hours, and then returned to a gray solid halftone. The halftone gradation is 64/256.

図16はDC残像の評価結果である。図16において、横軸は、灰色ベタの中間調に戻したあとの時間である。縦軸は、残像のレベルである。縦軸において、RRは中間調に戻したときに、チェッカーフラグパターンが良く見える状態であり、NGである。Rは中間調に戻した時にチェッカーフラグパターンが薄いけれども見える状態である。図16において、曲線Aが本発明による配向膜を使用した場合のDC残像特性である。曲線Bは、光導電効果を持たない配向膜を使用した場合の残像特性である。   FIG. 16 shows the evaluation result of the DC afterimage. In FIG. 16, the horizontal axis represents the time after returning to the gray solid halftone. The vertical axis represents the afterimage level. On the vertical axis, RR is a state in which the checker flag pattern is clearly visible when the tone is returned to the halftone, and is NG. R is a state in which the checker flag pattern is thin but visible when the tone is returned to the halftone. In FIG. 16, a curve A is a DC afterimage characteristic when the alignment film according to the present invention is used. A curve B is an afterimage characteristic when an alignment film having no photoconductive effect is used.

中間調に戻したときに、残像のレベルがRであっても、これが短時間に消失すれば、実用上は問題ないといえる。配向膜に光導電効果が無い配向膜を用いた場合である曲線Bの場合は、中間調に戻したときのレベルRが長時間続くので、実用上問題が残る。一方、本発明による配向膜の構成によれば、DC残像が急激に減少し、中間調に戻したあと、13分程度で、DC残像は完全に消滅する。   Even if the afterimage level is R when the halftone is restored, it can be said that there is no practical problem if it disappears in a short time. In the case of the curve B, which is a case where an alignment film having no photoconductive effect is used as the alignment film, the level R when returning to the halftone continues for a long time, so that there remains a practical problem. On the other hand, according to the configuration of the alignment film according to the present invention, the DC afterimage rapidly decreases, and after returning to the halftone, the DC afterimage disappears completely in about 13 minutes.

図16において、DC残像の目安となる、中間調に戻してから10分後のDC残像のレベルを比較すると、配向膜が光配向膜1層のみの場合は、DC残像が90%であるのに対し、本発明におけるDC残像は10%以下となり、本発明の効果は非常に大きいことがわかる。   In FIG. 16, when comparing the level of the DC afterimage 10 minutes after returning to the halftone, which is a measure of the DC afterimage, the DC afterimage is 90% when the alignment film is only one layer. On the other hand, the DC afterimage in the present invention is 10% or less, indicating that the effect of the present invention is very large.

10…走査線、 20…映像信号線、 30…フォトレジスト、 40…蓄積電荷、 50…表示領域、 55…開口部、 60…シール材、 70…ホットオプレート、 80…フォトマスク 100…TFT基板、 101…ゲート電極、 102…ゲート絶縁膜、 103…半導体層、 104…ソース電極、 105…ドレイン電極、 106…無機パッシベーション膜、 107…有機パッシベーション膜、 108…対向電極、 109…上部絶縁膜、 110…画素電極、 111…スルーホール、 112…スリット、 113…配向膜、 150…中間層、 200…対向基板、 201…カラーフィルタ、 202…ブラックマトリクス、 203…オーバーコート膜、 210…表面導電膜、 300…液晶層、 301…液晶分子、 113U…上層配向膜、 113L…下層配向膜、 BL…バックライト、 R1…配向膜間抵抗、 R2…フォトレジスト−配向膜間抵抗   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Scanning line, 20 ... Video signal line, 30 ... Photoresist, 40 ... Accumulated electric charge, 50 ... Display area, 55 ... Opening part, 60 ... Sealing material, 70 ... Hot op plate, 80 ... Photomask 100 ... TFT substrate 101 ... Gate electrode, 102 ... Gate insulating film, 103 ... Semiconductor layer, 104 ... Source electrode, 105 ... Drain electrode, 106 ... Inorganic passivation film, 107 ... Organic passivation film, 108 ... Counter electrode, 109 ... Upper insulating film, DESCRIPTION OF SYMBOLS 110 ... Pixel electrode, 111 ... Through-hole, 112 ... Slit, 113 ... Orientation film, 150 ... Intermediate layer, 200 ... Opposite substrate, 201 ... Color filter, 202 ... Black matrix, 203 ... Overcoat film, 210 ... Surface conductive film 300 ... Liquid crystal layer 301 ... Liquid crystal molecule 1 3U ... upper alignment film, 113L ... lower alignment film, BL ... Backlight, R1 ... orientation film between resistors, R2 ... photoresist - between the alignment film resistor

Claims (6)

第1の方向に延在し、第2の方向に配列した走査線と、第2の方向に延在し、第1の方向に配列した映像信号線とで囲まれた領域に画素電極が形成されたTFT基板と、前記画素に対応したカラーフィルタを有する対向基板の間に液晶が挟持された液晶表示パネルと、前記液晶表示パネルの背面にバックライトが配置された液晶表示装置であって、
前記走査線、前記映像信号線、前記画素電極を覆って配向膜が形成され、
前記配向膜は光配向処理を受けており、
前記配向膜は光導電特性を有しており、
前記バックライトを消灯した状態における前記走査線を覆う前記配向膜の比抵抗は、前記画素電極を覆う前記配向膜の比抵抗よりも小さいことを特徴とする液晶表示装置。
A pixel electrode is formed in a region surrounded by a scanning line extending in the first direction and arranged in the second direction and a video signal line extending in the second direction and arranged in the first direction A liquid crystal display panel in which a liquid crystal is sandwiched between a TFT substrate formed and a counter substrate having a color filter corresponding to the pixel, and a backlight disposed on the back of the liquid crystal display panel,
An alignment film is formed to cover the scanning line, the video signal line, and the pixel electrode,
The alignment film has undergone a photo-alignment treatment;
The alignment film has photoconductive properties;
The liquid crystal display device, wherein a specific resistance of the alignment film covering the scanning line in a state where the backlight is turned off is smaller than a specific resistance of the alignment film covering the pixel electrode.
前記走査線を覆う前記配向膜におけるイミド環の密度は、前記画素電極を覆う前記配向膜におけるイミド環の密度よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。   The liquid crystal display device according to claim 1, wherein a density of the imide ring in the alignment film covering the scanning line is smaller than a density of the imide ring in the alignment film covering the pixel electrode. 前記配向膜の光電効果がない場合の比抵抗は、1015Ωcmであり、光電効果がある場合の比抵抗は、1013Ωcmであることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。 2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the alignment film has a specific resistance of 10 15 Ωcm when there is no photoelectric effect, and a specific resistance when the alignment film has a photoelectric effect of 10 13 Ωcm. 複数の走査線、複数の映像信号線、および複数の画素電極が形成されたTFT基板と、カラーフィルタを有する対向基板と、前記TFT基板と善意カラーフィルタ基板の間に液晶が挟持されることで構成する液晶表示パネルと、前記液晶表示パネルの背面に設けられたバックライトが配置された液晶表示装置に用いられる配向膜であって、  A liquid crystal is sandwiched between a TFT substrate on which a plurality of scanning lines, a plurality of video signal lines, and a plurality of pixel electrodes are formed, a counter substrate having a color filter, and the TFT substrate and a bona fide color filter substrate. An alignment film used for a liquid crystal display device in which a liquid crystal display panel to be configured and a backlight provided on the back of the liquid crystal display panel are arranged,
前記配向膜は、前記走査線、前記映像信号線、前記画素電極と、前記液晶との間に形成され、  The alignment film is formed between the scanning line, the video signal line, the pixel electrode, and the liquid crystal,
前記配向膜は、光配向処理を受けており、  The alignment film has undergone a photo-alignment treatment,
前記配向膜は、光導電特性を有しており、  The alignment film has photoconductive properties,
前記バックライトを消灯した状態における前記走査線を覆う前記配向膜の比抵抗は、前記画素電極を覆う前記配向膜の比抵抗よりも小さいことを特徴とする液晶表示装置に用いられる配向膜。  An alignment film used in a liquid crystal display device, wherein a specific resistance of the alignment film covering the scanning line in a state where the backlight is turned off is smaller than a specific resistance of the alignment film covering the pixel electrode.
前記走査線を覆う前記配向膜におけるイミド環の密度は、前記画素電極を覆う前記配向膜におけるイミド環の密度よりも小さいことを特徴とする請求項4に記載の液晶表示装置に用いられる配向膜。  5. The alignment film used in the liquid crystal display device according to claim 4, wherein a density of the imide ring in the alignment film covering the scanning line is smaller than a density of the imide ring in the alignment film covering the pixel electrode. . 前記配向膜の光電効果がない場合の比抵抗は、10  The specific resistance in the absence of the photoelectric effect of the alignment film is 10 1515 Ωcmであり、光電効果がある場合の比抵抗は、10The specific resistance in the case of Ωcm and photoelectric effect is 10 1313 Ωcmであることを特徴とする請求項4に記載の液晶表示装置に用いられる配向膜。The alignment film used for the liquid crystal display device according to claim 4, wherein the alignment film is Ωcm.
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