JP6161619B2 - Capacitive displacement sensor - Google Patents
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Description
本発明は、一対の固定電極と、一対の固定電極に対向する可動電極と、を備える静電容量式変位センサに関する。 The present invention relates to a capacitance type displacement sensor including a pair of fixed electrodes and a movable electrode facing the pair of fixed electrodes.
従来、この種の変位センサにおいて、円柱状の可動電極の外側に、一対の半円筒状の固定電極を対向させて配置し、可動電極に連結された弁体の変位を計測するものがある(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に記載のものでは、可動電極が軸線方向へ移動することにより、一対の固定電極の間での静電容量が変化し、この静電容量の変化から弁体の変位を計測している。 Conventionally, in this type of displacement sensor, a pair of semi-cylindrical fixed electrodes are arranged outside a columnar movable electrode so as to face each other, and the displacement of a valve body connected to the movable electrode is measured ( For example, see Patent Document 1). In the device described in Patent Document 1, the capacitance between the pair of fixed electrodes changes as the movable electrode moves in the axial direction, and the displacement of the valve body is measured from the change in capacitance. Yes.
また、特許文献1に記載のものでは、可動電極と固定電極との間に誘電体流体を導入するとともに、誘電体流体の流通する部分に一対の補償電極を対向させて配置している。そして、一対の補償電極の間での静電容量を測定し、誘電体流体の誘電率の変化に起因する変位の計測誤差を補償している。 Moreover, in the thing of patent document 1, while introducing a dielectric fluid between a movable electrode and a fixed electrode, a pair of compensation electrode is arrange | positioned facing the part which a dielectric fluid distribute | circulates. And the electrostatic capacitance between a pair of compensation electrodes is measured, and the measurement error of the displacement resulting from the change of the dielectric constant of a dielectric fluid is compensated.
さらに、特許文献1に記載のものでは、電気的に絶縁された状態で可動電極及び固定電極を金属製の静電シールドで覆い、静電シールドを電気的に接地している。このため、センサの本体(センサを含む弁装置本体)に使用者が触れたとしても、一対の固定電極の間での静電容量が不安定になることを抑制することができる。 Furthermore, in the thing of patent document 1, a movable electrode and a fixed electrode are covered with the metal electrostatic shield in the electrically insulated state, and the electrostatic shield is electrically grounded. For this reason, even if a user touches the main body of the sensor (the valve device main body including the sensor), it is possible to prevent the capacitance between the pair of fixed electrodes from becoming unstable.
ところで、特許文献1に記載のものでは、円柱状の可動電極の外側に、一対の半円筒状の固定電極を対向させて配置する必要がある。しかしながら、一対の半円筒状の固定電極を、所定の間隔で対向させて正確に配置することは容易ではない。 By the way, in the thing of patent document 1, it is necessary to arrange | position a pair of semi-cylindrical fixed electrode to oppose the outer side of a column-shaped movable electrode. However, it is not easy to accurately arrange a pair of semi-cylindrical fixed electrodes facing each other at a predetermined interval.
さらに、特許文献1に記載のものでは、電気的に絶縁された状態で可動電極及び固定電極を静電シールドで覆っている。このため、固定電極や補償電極を配線やピン等により、静電シールドの外側まで引き出す必要がある。したがって、固定電極や補償電極を引き出す構造が複雑となることが避けられない。 Furthermore, in the thing of patent document 1, the movable electrode and the fixed electrode are covered with the electrostatic shield in the state electrically insulated. For this reason, it is necessary to pull out the fixed electrode and the compensation electrode to the outside of the electrostatic shield by wiring or pins. Therefore, it is inevitable that the structure for drawing out the fixed electrode and the compensation electrode becomes complicated.
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、静電シールドを備える静電容量式変位センサにおいて、一対の固定電極を所定の間隔で正確に配置するとともに、静電シールドの外側への電極の引き出しを容易化することにある。 The present invention has been made in view of such circumstances, and a main object of the present invention is to accurately arrange a pair of fixed electrodes at a predetermined interval in a capacitive displacement sensor including an electrostatic shield, It is to facilitate drawing of the electrode to the outside of the shield.
本発明は、上記課題を解決するために、以下の手段を採用した。 The present invention employs the following means in order to solve the above problems.
第1の手段は、静電容量式変位センサであって、絶縁材料により形成された外表面部を有する棒状部材と、前記棒状部材における長手方向の一端から所定範囲を内部に挿入させ、計測対象の変位に伴って前記長手方向に移動する筒状部材と、前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に形成され、前記棒状部材を挟んで互いに対向する一対の固定電極と、前記固定電極及び前記計測対象から絶縁された状態で前記筒状部材に設けられ、前記一対の固定電極に対向する一繋がりの可動電極と、前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に形成され、前記可動電極と対向しない補償電極と、前記固定電極、前記可動電極、及び前記補償電極から絶縁された状態でそれら電極を覆い、接地されている静電シールドと、前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に形成され、前記固定電極の各々に接続されて前記静電シールドの外部まで、前記静電シールドから絶縁された状態で前記長手方向へ延びる固定電極端子と、前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に形成され、前記補償電極に接続されて前記静電シールドの外部まで、前記静電シールドから絶縁された状態で前記長手方向へ延びる補償電極端子と、を備えることを特徴とする。 The first means is a capacitance type displacement sensor, and a rod-shaped member having an outer surface portion formed of an insulating material, and a predetermined range is inserted inside from one end in the longitudinal direction of the rod-shaped member, and a measurement target A pair of fixed electrodes formed in a thin film shape on the outer surface portion of the rod-shaped member and facing each other across the rod-shaped member, and the fixed electrode And is provided in the cylindrical member in a state insulated from the measurement object, and is formed in a thin film on the outer surface portion of the rod-shaped member, and a continuous movable electrode facing the pair of fixed electrodes, A compensation electrode that does not face the movable electrode, an electrostatic shield that covers and grounds the fixed electrode, the movable electrode, and the compensation electrode in a state insulated from the compensation electrode, and the outer surface portion of the rod-shaped member Thin A fixed electrode terminal that is connected to each of the fixed electrodes and extends to the outside of the electrostatic shield in a state of being insulated from the electrostatic shield, and the outer surface portion of the rod-shaped member A compensation electrode terminal formed in a thin film shape on the top and extending in the longitudinal direction in a state of being insulated from the electrostatic shield and connected to the compensation electrode to the outside of the electrostatic shield. .
上記構成によれば、固定電極及び計測対象から絶縁された状態で、一対の固定電極に対向する一繋がりの可動電極が筒状部材に設けられている。このため、各固定電極と、対向する可動電極との間でそれぞれコンデンサが形成され、それらのコンデンサが一繋がりの可動電極により直列に接続された合成コンデンサが形成される。そして、計測対象の変位に伴って棒状部材の長手方向に筒状部材が移動すると、固定電極と可動電極とが対向する部分の面積が変化するため、合成コンデンサの静電容量が変化する。したがって、合成コンデンサの静電容量の変化、すなわち一対の固定電極の間での静電容量の変化に基づいて、計測対象の変位を計測することができる。 According to the said structure, the continuous movable electrode which opposes a pair of fixed electrode in the state insulated from the fixed electrode and the measuring object is provided in the cylindrical member. For this reason, a capacitor is formed between each fixed electrode and the opposed movable electrode, and a composite capacitor is formed in which these capacitors are connected in series by a single movable electrode. And if a cylindrical member moves to the longitudinal direction of a rod-shaped member with the displacement of a measuring object, since the area of the part which a fixed electrode and a movable electrode oppose will change, the electrostatic capacitance of a synthetic | combination capacitor will change. Therefore, the displacement of the measurement target can be measured based on the change in the capacitance of the composite capacitor, that is, the change in the capacitance between the pair of fixed electrodes.
さらに、一対の固定電極に加えて、可動電極と対向しない補償電極が、棒状部材の外表面部上に薄膜状に形成されている。このため、補償電極を一方の電極として形成される補償コンデンサの静電容量を測定することで、固定電極と可動電極との間の誘電率の変化に起因する変位の計測誤差を補償することができる。 Further, in addition to the pair of fixed electrodes, a compensation electrode that does not face the movable electrode is formed in a thin film shape on the outer surface portion of the rod-shaped member. Therefore, by measuring the capacitance of the compensation capacitor formed with the compensation electrode as one electrode, it is possible to compensate for the displacement measurement error caused by the change in the dielectric constant between the fixed electrode and the movable electrode. it can.
ここで、棒状部材を挟んで互いに対向する一対の固定電極は、絶縁材料により形成された棒状部材の外表面部上に、薄膜状に形成されている。このため、互いに別部材として形成された一対の固定電極を配置する必要がなく、1つの棒状部材の外表面部上に薄膜状のパターンとして、一対の固定電極を形成することができる。したがって、一対の固定電極の間隔が棒状部材の寸法により規定されることとなり、一対の固定電極を所定の間隔で正確に配置することができる。 Here, the pair of fixed electrodes facing each other with the rod-shaped member interposed therebetween are formed in a thin film shape on the outer surface portion of the rod-shaped member formed of an insulating material. For this reason, it is not necessary to arrange a pair of fixed electrodes formed as separate members from each other, and a pair of fixed electrodes can be formed as a thin film pattern on the outer surface portion of one rod-shaped member. Therefore, the interval between the pair of fixed electrodes is defined by the dimensions of the rod-shaped member, and the pair of fixed electrodes can be accurately arranged at a predetermined interval.
また、固定電極、可動電極、及び補償電極が、それら電極から絶縁された状態の静電シールドにより覆れている。静電シールドは接地されているため、センサの本体(センサを含む装置本体)に使用者が触れたとしても、一対の固定電極の間での静電容量が不安定になることを抑制することができる。 In addition, the fixed electrode, the movable electrode, and the compensation electrode are covered with an electrostatic shield that is insulated from the electrodes. Since the electrostatic shield is grounded, even if the user touches the main body of the sensor (the main body of the device including the sensor), the electrostatic capacitance between the pair of fixed electrodes is prevented from becoming unstable. Can do.
ここで、各固定電極及び補償電極に接続されて静電シールドの外部まで、静電シールドから絶縁された状態で棒状部材の長手方向へ延びる固定電極端子及び補償電極端子が、棒状部材の外表面部上にそれぞれ薄膜状に形成されている。このため、固定電極及び補償電極と併せて、固定電極端子及び補償電極端子を薄膜状のパターンとして形成するだけで、静電シールドの外側へ固定電極及び補償電極をそれぞれ引き出すことができる。したがって、静電シールドの外側への電極の引き出しを容易化することができる。 Here, the fixed electrode terminal and the compensation electrode terminal which are connected to each fixed electrode and the compensation electrode and extend in the longitudinal direction of the rod-shaped member in a state insulated from the electrostatic shield to the outside of the electrostatic shield are the outer surfaces of the rod-shaped member. Each part is formed in a thin film shape. For this reason, it is possible to draw out the fixed electrode and the compensation electrode to the outside of the electrostatic shield only by forming the fixed electrode terminal and the compensation electrode terminal as a thin film pattern together with the fixed electrode and the compensation electrode. Accordingly, it is possible to facilitate drawing of the electrode to the outside of the electrostatic shield.
第2の手段では、前記静電シールドは、前記補償電極に向けて近接する位置まで張り出す張出部を有している。 In the second means, the electrostatic shield has a projecting portion that projects to a position close to the compensation electrode.
上記構成によれば、静電シールドの張出部と補償電極とが近接しているため、補償電極と張出部とで、比較的静電容量の大きい補償コンデンサを形成することができる。したがって、静電シールドを補償コンデンサの一方の電極として利用することができるとともに、補償コンデンサの精度を向上させることができる。さらに、狭いスペースで補償コンデンサを形成することが可能となる。 According to the above configuration, since the overhanging portion of the electrostatic shield and the compensation electrode are close to each other, a compensation capacitor having a relatively large capacitance can be formed by the compensation electrode and the overhanging portion. Therefore, the electrostatic shield can be used as one electrode of the compensation capacitor, and the accuracy of the compensation capacitor can be improved. Furthermore, it is possible to form a compensation capacitor in a narrow space.
第3の手段では、前記固定電極、前記可動電極、前記補償電極、及び前記張出部に接する誘電体流体を貯留する流体室が、内部に形成されたセンサ本体を備え、前記静電シールドには、前記補償電極と前記張出部との間の空間を、前記長手方向において前記補償電極の両側で、前記流体室における前記静電シールドの外側の空間と連通させる連通孔が形成されている。 In the third means, the fixed electrode, the movable electrode, the compensation electrode, and a fluid chamber for storing a dielectric fluid in contact with the overhang portion includes a sensor body formed therein, and the electrostatic shield Is formed with a communication hole for communicating the space between the compensation electrode and the overhanging portion on both sides of the compensation electrode in the longitudinal direction with the space outside the electrostatic shield in the fluid chamber. .
上記構成によれば、センサ本体の内部に誘電体流体を貯留する流体室が形成されており、固定電極、可動電極、補償電極、及び静電シールドの張出部に誘電体流体が接する。このため、固定電極と可動電極とで形成されるコンデンサ、及び補償電極と張出部とで形成される補償コンデンサの静電容量を増大させることができる。 According to the above configuration, the fluid chamber for storing the dielectric fluid is formed inside the sensor main body, and the dielectric fluid is in contact with the fixed electrode, the movable electrode, the compensation electrode, and the protruding portion of the electrostatic shield. For this reason, the capacitance of the capacitor formed by the fixed electrode and the movable electrode and the compensation capacitor formed by the compensation electrode and the overhanging portion can be increased.
ここで、静電シールドに形成された連通孔により、補償電極と張出部との間の空間が、棒状部材の長手方向において補償電極の両側で、流体室における静電シールドの外側の空間と連通させられている。このため、互いに近接する補償電極と張出部との間の空間における誘電体流体の流通を促進させることができ、補償電極と張出部との間の空間における誘電体流体の状態を、流体室の他の部分における誘電体流体の状態に近付けることができる。したがって、誘電体流体の状態の変化、例えば温度変化や液質変化等による誘電率の変化を、補償コンデンサの静電容量の変化に敏感に反映させることができ、変位の計測誤差を補償する精度を向上させることができる。 Here, due to the communication hole formed in the electrostatic shield, the space between the compensation electrode and the overhanging portion is different from the space outside the electrostatic shield in the fluid chamber on both sides of the compensation electrode in the longitudinal direction of the rod-shaped member. Communicated. Therefore, it is possible to promote the flow of the dielectric fluid in the space between the compensation electrode and the overhanging portion that are close to each other, and the state of the dielectric fluid in the space between the compensation electrode and the overhanging portion The state of the dielectric fluid in other parts of the chamber can be approached. Therefore, changes in the state of the dielectric fluid, such as changes in dielectric constant due to changes in temperature, liquid quality, etc., can be reflected sensitively to changes in the capacitance of the compensation capacitor, and accuracy to compensate for displacement measurement errors Can be improved.
第4の手段では、前記長手方向において前記棒状部材の前記所定範囲と反対側の端部が、前記外表面部の外周に沿って絶縁材料により環状にシールされている。 In the fourth means, the end of the rod-shaped member opposite to the predetermined range in the longitudinal direction is annularly sealed with an insulating material along the outer periphery of the outer surface portion.
固定電極及び補償電極に誘電体流体が接している場合には、誘電体流体が外部に漏れないようにシールしつつ、固定電極及び補償電極を静電シールドの外側へ引き出す必要がある。 When the dielectric fluid is in contact with the fixed electrode and the compensation electrode, it is necessary to draw out the fixed electrode and the compensation electrode to the outside of the electrostatic shield while sealing so that the dielectric fluid does not leak to the outside.
この点、上記構成によれば、棒状部材の長手方向において棒状部材の所定範囲と反対側の端部が、外表面部の外周に沿って絶縁材料により環状にシールされている。そして、上述したように、固定電極及び補償電極にそれぞれ接続された固定電極端子及び補償電極端子は、棒状部材の外表面部上に薄膜状に形成されている。このため、固定電極端子及び補償電極端子の厚みをほとんど無視することができ、棒状部材の外表面部を外周に沿って容易にシールすることができる。 In this regard, according to the above configuration, the end of the rod-shaped member opposite to the predetermined range in the longitudinal direction of the rod-shaped member is annularly sealed with the insulating material along the outer periphery of the outer surface portion. As described above, the fixed electrode terminal and the compensation electrode terminal respectively connected to the fixed electrode and the compensation electrode are formed in a thin film shape on the outer surface portion of the rod-shaped member. For this reason, the thicknesses of the fixed electrode terminal and the compensation electrode terminal can be almost ignored, and the outer surface portion of the rod-shaped member can be easily sealed along the outer periphery.
第5の手段では、前記静電シールドは、前記長手方向に沿って延びて前記センサ本体の開口部に露出しており、前記長手方向において前記棒状部材の前記所定範囲と反対側の端部と、前記静電シールドとの間が前記絶縁材料によりシールされている。 In the fifth means, the electrostatic shield extends along the longitudinal direction and is exposed at the opening of the sensor body, and the end of the rod-shaped member opposite to the predetermined range in the longitudinal direction; The space between the electrostatic shield and the electrostatic shield is sealed with the insulating material.
上記構成によれば、静電シールドは、棒状部材の長手方向に沿って延びてセンサ本体の開口部に露出しているため、補償コンデンサの一方の電極を形成する静電シールドの張出部を、外部の電気回路に容易に接続することができる。そして、棒状部材の長手方向において棒状部材の所定範囲と反対側の端部と、静電シールドとの間が絶縁材料によりシールされている。したがって、固定電極端子及び補償電極端子と静電シールドとの絶縁を確保しつつ、誘電体流体が外部に漏れないようにシールすることができる。 According to the above configuration, since the electrostatic shield extends along the longitudinal direction of the rod-shaped member and is exposed at the opening of the sensor body, the protruding portion of the electrostatic shield that forms one electrode of the compensation capacitor is provided. It can be easily connected to an external electric circuit. And between the edge part on the opposite side to the predetermined range of a rod-shaped member in the longitudinal direction of a rod-shaped member, and the electrostatic shield are sealed with the insulating material. Therefore, the dielectric fluid can be sealed so as not to leak outside while ensuring the insulation between the fixed electrode terminal and the compensation electrode terminal and the electrostatic shield.
第6の手段では、前記棒状部材の全体が絶縁材料により形成されている。 In the sixth means, the whole rod-shaped member is formed of an insulating material.
上記構成によれば、棒状部材の全体が絶縁材料により形成されているため、棒状部材の外表面部を容易に絶縁材料とすることができ、棒状部材の製造を容易化することができる。 According to the said structure, since the whole rod-shaped member is formed with the insulating material, the outer surface part of a rod-shaped member can be easily made into an insulating material, and manufacture of a rod-shaped member can be facilitated.
第7の手段では、前記筒状部材の全体が導電材料により形成されている。 In the seventh means, the entire cylindrical member is formed of a conductive material.
上記構成によれば、筒状部材の全体が導電材料により形成されているため、筒状部材自体が可動電極として機能し、可動電極を容易に一繋がりとすることができる。その結果、可動電極の製造を容易化することができる。 According to the said structure, since the whole cylindrical member is formed with the electrically-conductive material, the cylindrical member itself functions as a movable electrode, and can connect a movable electrode easily. As a result, the manufacture of the movable electrode can be facilitated.
第8の手段では、前記固定電極端子及び前記補償電極端子は、前記長手方向に延びるとともに互いに近接して配置されており、前記固定電極及び前記補償電極は、前記外表面部の周方向へ延びている。 In the eighth means, the fixed electrode terminal and the compensation electrode terminal extend in the longitudinal direction and are arranged close to each other, and the fixed electrode and the compensation electrode extend in the circumferential direction of the outer surface portion. ing.
上記構成によれば、固定電極端子及び補償電極端子は、棒状部材の長手方向に延びるとともに互いに近接して配置されている。このため、電極端子を集中させることができ、外部の電気回路に各電極端子を容易に接続することができる。 According to the above configuration, the fixed electrode terminal and the compensation electrode terminal extend in the longitudinal direction of the rod-shaped member and are arranged close to each other. For this reason, an electrode terminal can be concentrated and each electrode terminal can be easily connected to an external electric circuit.
さらに、固定電極及び補償電極は、棒状部材の外表面部の周方向へ延びている。このため、電極端子を集中させつつも、電極を効率的に配置することができ、電極の面積を確保することができる。したがって、計測対象の変位を計測する精度を向上させることができる。 Furthermore, the fixed electrode and the compensation electrode extend in the circumferential direction of the outer surface portion of the rod-shaped member. For this reason, it is possible to efficiently arrange the electrodes while concentrating the electrode terminals, and to secure the area of the electrodes. Therefore, the accuracy of measuring the displacement of the measurement target can be improved.
第9の手段では、前記長手方向において前記棒状部材の前記所定範囲側の端部には、前記外表面部が露出した露出部が設けられている。 In the ninth means, an exposed portion where the outer surface portion is exposed is provided at an end portion of the rod-shaped member on the predetermined range side in the longitudinal direction.
計測対象の変位に伴って棒状部材の長手方向に筒状部材が移動する際に、棒状部材に対して筒状部材が傾くと、互いに対向する固定電極と可動電極とが接触するおそれがある。この場合、特に棒状部材の端部及び筒状部材の端部において、固定電極と可動電極とが最初に接触し易い。 When the cylindrical member moves in the longitudinal direction of the rod-shaped member in accordance with the displacement of the measurement target, if the cylindrical member is inclined with respect to the rod-shaped member, the fixed electrode and the movable electrode facing each other may come into contact with each other. In this case, the fixed electrode and the movable electrode are likely to come into contact with each other first, particularly at the end of the rod-shaped member and the end of the cylindrical member.
この点、上記構成によれば、棒状部材の長手方向において棒状部材の所定範囲側の端部には、絶縁材料により形成された外表面部が露出した露出部が設けられている。このため、棒状部材の端部が筒状部材に接触したとしても、固定電極と可動電極とが接触することを抑制することができる。 In this regard, according to the above configuration, the exposed portion where the outer surface portion formed of the insulating material is exposed is provided at the end of the rod-shaped member on the predetermined range side in the longitudinal direction of the rod-shaped member. For this reason, even if the edge part of a rod-shaped member contacts a cylindrical member, it can suppress that a fixed electrode and a movable electrode contact.
さらに、固定電極は棒状部材の外表面部上に薄膜状に形成されているため、棒状部材の端部に固定電極を形成しないパターンにしたり、棒状部材の端部まで固定電極のパターンを形成した後に端部のパターンを削ったりすることで、露出部を容易に形成することができる。 Furthermore, since the fixed electrode is formed in a thin film shape on the outer surface portion of the rod-shaped member, the fixed electrode is formed at the end of the rod-shaped member, or the pattern of the fixed electrode is formed up to the end of the rod-shaped member. The exposed portion can be easily formed by scraping the pattern of the end portion later.
第10の手段では、前記補償電極は第1補償電極であり、前記補償電極端子は第1補償電極端子であり、前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に前記第1補償電極よりも大きく形成され、前記可動電極と対向しない第2補償電極と、前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に形成され、前記第2補償電極に接続されて前記静電シールドの外部まで、前記静電シールドから絶縁された状態で前記長手方向へ延びる第2補償電極端子と、2つの電極の間での静電容量を測定する測定回路と、前記第1補償電極端子及び前記静電シールドを前記測定回路に接続する第1状態と、前記第2補償電極端子及び前記静電シールドを前記測定回路に接続する第2状態と、前記固定電極の各々に接続された前記固定電極端子を前記測定回路に接続する第3状態と、を切り替える切替回路と、前記第1状態、前記第2状態、及び前記第3状態において、前記測定回路によりそれぞれ第1静電容量、第2静電容量、及び第3静電容量を測定させ、前記第1静電容量と前記第2静電容量との差分、及び前記第1静電容量と前記第3静電容量との差分に基づいて、前記計測対象の変位を算出する算出部と、を備える。 In the tenth means, the compensation electrode is a first compensation electrode, the compensation electrode terminal is a first compensation electrode terminal, and is thinner than the first compensation electrode in the form of a thin film on the outer surface portion of the rod-shaped member. A second compensation electrode that is formed large and does not oppose the movable electrode, and is formed in a thin film on the outer surface portion of the rod-shaped member, and is connected to the second compensation electrode to the outside of the electrostatic shield, A second compensation electrode terminal extending in the longitudinal direction in a state insulated from the electrostatic shield, a measurement circuit for measuring a capacitance between the two electrodes, the first compensation electrode terminal, and the electrostatic shield. Measuring the first state connected to the measurement circuit, the second state connecting the second compensation electrode terminal and the electrostatic shield to the measurement circuit, and the fixed electrode terminal connected to each of the fixed electrodes. Third shape to connect to the circuit And a switching circuit that switches between the first capacitance, the second capacitance, and the third capacitance, respectively, in the first state, the second state, and the third state. And calculating the displacement of the measurement target based on the difference between the first capacitance and the second capacitance and the difference between the first capacitance and the third capacitance. And comprising.
上記構成によれば、棒状部材の外表面部上に第1補償電極よりも大きく第2補償電極が形成されている。そして、第2補償電極は、第2補償電極端子により静電シールドの外側へ引き出されている。 According to the said structure, the 2nd compensation electrode larger than a 1st compensation electrode is formed on the outer surface part of a rod-shaped member. The second compensation electrode is drawn out of the electrostatic shield by the second compensation electrode terminal.
切替回路により、第1補償電極端子及び静電シールドを測定回路に接続する第1状態と、第2補償電極端子及び静電シールドを測定回路に接続する第2状態と、固定電極の各々に接続された固定電極端子を前記測定回路に接続する第3状態と、が切り替えられる。そして、測定回路により、第1状態、第2状態、及び第3状態において、測定回路によりそれぞれ第1静電容量、第2静電容量、及び第3静電容量が測定される。 The switching circuit connects each of the first compensation electrode terminal and the electrostatic shield to the measurement circuit, the second state of connecting the second compensation electrode terminal and the electrostatic shield to the measurement circuit, and the fixed electrode. The third state in which the fixed electrode terminal thus connected is connected to the measurement circuit is switched. Then, in the first state, the second state, and the third state, the measurement circuit measures the first capacitance, the second capacitance, and the third capacitance, respectively.
ここで、第2補償電極は第1補償電極よりも大きく形成されているため、第2補償電極と静電シールドとの対向面積は第1補償電極と静電シールドとの対向面積よりも大きい。すなわち、第1補償電極と静電シールドとで形成される第1補償コンデンサは、一対の固定電極と可動電極との対向面積が小さい状態(計測対象の変位が小さい状態)に相当する。また、第2補償電極と静電シールドとで形成される第2補償コンデンサは、一対の固定電極と可動電極との対向面積が大きい状態(計測対象の変位が大きい状態)に相当する。したがって、一対の固定電極及び可動電極とで形成される合成コンデンサが、第1補償コンデンサに相当する場合の計測対象の変位、及び合成コンデンサが第2補償コンデンサに相当する場合の計測対象の変位を予め実験等により求めておくことで、第1静電容量と第2静電容量との差分、及び第1静電容量と第3静電容量との差分に基づいて、計測対象の変位を算出することができる。 Here, since the second compensation electrode is formed larger than the first compensation electrode, the facing area between the second compensation electrode and the electrostatic shield is larger than the facing area between the first compensation electrode and the electrostatic shield. That is, the first compensation capacitor formed by the first compensation electrode and the electrostatic shield corresponds to a state where the facing area between the pair of fixed electrodes and the movable electrode is small (a state where the displacement of the measurement target is small). In addition, the second compensation capacitor formed by the second compensation electrode and the electrostatic shield corresponds to a state where the facing area between the pair of fixed electrodes and the movable electrode is large (a state where the displacement of the measurement target is large). Therefore, the displacement of the measurement target when the composite capacitor formed by the pair of fixed electrode and movable electrode corresponds to the first compensation capacitor and the displacement of the measurement target when the composite capacitor corresponds to the second compensation capacitor The displacement of the measurement target is calculated based on the difference between the first capacitance and the second capacitance, and the difference between the first capacitance and the third capacitance by obtaining in advance through experiments or the like. can do.
さらに、一対の固定電極と可動電極との間の誘電率が変化したとしても、第1補償コンデンサ及び第2補償コンデンサにおいても同様に誘電率が変化する。このため、合成コンデンサが第1補償コンデンサに相当する場合の計測対象の変位、及び合成コンデンサが第2補償コンデンサに相当する場合の計測対象の変位は変化しない。また、静電容量の測定で用いられる調整用コンデンサ等の静電容量が変化したことにより、第1補償コンデンサ及び第2補償コンデンサの静電容量が変化したとしても、第1補償コンデンサ及び第2補償コンデンサの静電容量の変化は同様の傾向となる。このため、第1静電容量と第2静電容量との差分、及び第1静電容量と第3静電容量との差分に基づいて、計測対象の変位を算出することにより、調整用コンデンサ等の静電容量が変化したことによる影響を打ち消すことができる。したがって、一対の固定電極と可動電極との間の誘電率の変化や、調整用コンデンサ等の静電容量が変化したことによる第1補償コンデンサ及び第2補償コンデンサの静電容量の変化にかかわらず、計測対象の変位を正確に算出することができる。 Furthermore, even if the dielectric constant between the pair of fixed electrodes and the movable electrode changes, the dielectric constant also changes in the first compensation capacitor and the second compensation capacitor. For this reason, the displacement of the measurement target when the composite capacitor corresponds to the first compensation capacitor and the displacement of the measurement target when the composite capacitor corresponds to the second compensation capacitor do not change. Further, even if the capacitances of the first compensation capacitor and the second compensation capacitor are changed due to a change in the capacitance of the adjustment capacitor or the like used in the measurement of the capacitance, the first compensation capacitor and the second compensation capacitor The change in the capacitance of the compensation capacitor has the same tendency. Therefore, the adjustment capacitor is calculated by calculating the displacement of the measurement object based on the difference between the first capacitance and the second capacitance and the difference between the first capacitance and the third capacitance. It is possible to cancel the influence due to the change in the electrostatic capacitance. Therefore, regardless of changes in the dielectric constant between the pair of fixed electrodes and the movable electrode, and changes in the capacitances of the first compensation capacitor and the second compensation capacitor due to changes in the capacitance of the adjustment capacitors and the like. The displacement of the measurement object can be accurately calculated.
第11の手段では、前記第1補償電極及び前記第2補償電極は、それぞれ前記外表面部の周方向へ延びる複数の分岐部を有しており、前記第1補償電極の前記分岐部と前記第2補償電極の前記分岐部とは、前記長手方向において互い違いに配置されている。 In an eleventh means, each of the first compensation electrode and the second compensation electrode has a plurality of branch portions extending in a circumferential direction of the outer surface portion, and the branch portions of the first compensation electrode The branch portions of the second compensation electrode are alternately arranged in the longitudinal direction.
第1補償電極と第2補償電極とで温度差が生じると、第1補償電極により形成されるコンデンサと第2補償電極により形成されるコンデンサとで、誘電率に差が生じるおそれがある。その結果、第1静電容量と第2静電容量との差分、及び第1静電容量と第3静電容量との差分に基づいて、計測対象の変位を算出する際に、変位の算出精度が低下するおそれがある。 When a temperature difference occurs between the first compensation electrode and the second compensation electrode, there is a possibility that a difference in dielectric constant occurs between the capacitor formed by the first compensation electrode and the capacitor formed by the second compensation electrode. As a result, when calculating the displacement of the measurement object based on the difference between the first capacitance and the second capacitance and the difference between the first capacitance and the third capacitance, the calculation of the displacement is performed. The accuracy may be reduced.
この点、上記構成によれば、第1補償電極及び前記第2補償電極は、それぞれ棒状部材の外表面部の周方向へ延びる複数の分岐部を有している。そして、第1補償電極の分岐部と第2補償電極の分岐部とは、棒状部材の長手方向において互い違いに配置されているため、第1補償電極と第2補償電極とで温度差が生じることを抑制することができる。したがって、計測対象の変位を算出する精度が低下することを抑制することができる。 In this regard, according to the above configuration, each of the first compensation electrode and the second compensation electrode has a plurality of branch portions extending in the circumferential direction of the outer surface portion of the rod-shaped member. And since the branch part of the 1st compensation electrode and the branch part of the 2nd compensation electrode are alternately arranged in the longitudinal direction of a rod-shaped member, a temperature difference arises with the 1st compensation electrode and the 2nd compensation electrode. Can be suppressed. Therefore, it can suppress that the precision which calculates the displacement of a measuring object falls.
以下、一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。本実施形態は、半導体製造装置等において、薬液等の流体の流通を制御する弁装置として具体化している。 Hereinafter, an embodiment will be described with reference to the drawings. This embodiment is embodied as a valve device that controls the flow of a fluid such as a chemical solution in a semiconductor manufacturing apparatus or the like.
図1は、静電容量式変位センサ30、及びスプール弁20の一部を示す部分断面図である。同図に示すように、弁装置10は、第1本体11、第2本体12、スプール弁20、及び静電容量式変位センサ30等を備えている。第1本体11及び第2本体12は、ステンレス鋼等の金属により、内部に円柱状の空間を有する四角筒状(筒状)に成形されている。第1本体11の端部に第2本体12が互いの中心軸線を一致させて取り付けられており、第1本体11と第2本体12との間がシール部材によりシールされている。第1本体11及び第2本体12の内部に、スプール弁20及び変位センサ30が収納されている。スプール弁20と変位センサ30とは、第1本体11の中心軸線方向(長手方向)に並んで配置されている。第1本体11には、流体の流入口11a及び流出口11bが形成されている。
FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing a part of the
スプール弁20は、スリーブ21、スプール22、及びアクチュエータ(図示せず)等を備えている。スリーブ21及びスプール22は、ステンレス鋼等の金属により形成されている。スリーブ21は円筒状(筒状)に成形されており、スプール22は円柱状(柱状)に成形されている。スリーブ21とスプール22とは、対応する断面形状で形成されており、スリーブ21の内部にスプール22が摺動可能に挿入されている。スプール22の内部には、中心軸線方向(長手方向)に延びる貫通孔22bが形成されている。
The
スリーブ21において、上記第1本体11の流入口11a及び流出口11bに対応する位置には、それぞれ連通孔21a,21bが形成されている。連通孔21a,21bは、スリーブ21の周方向に延びており、スリーブ21の内部と外部とを連通させている。スプール22には、スリーブ21の連通孔21a,21bの間隔に対応した幅で、周方向に延びる環状の溝22aが形成されている。スプール22(計測対象)は、電磁アクチュエータ等のアクチュエータに連結されており、アクチュエータにより中心軸線方向(長手方向)に往復移動させられる。これにより、スプール22の外周面によってスリーブ21の連通孔21aと連通孔21bとの連通が遮断された状態と、スプール22の溝22aによって連通孔21aと連通孔21bとが連通された状態とに制御される。
In the
第1本体11及び第2本体12の内部には、変位センサ30が収納されている。変位センサ30は、柱状部材31、筒状部材33、連結部材35、静電シールド37等を備えている。
A
筒状部材33(可動電極)は、ステンレス鋼等の金属(導電材料)により、底部33aを有する円筒状(一繋がりの形状)に形成されている。連結部材35は、セラミックスや樹脂等の絶縁材料により、円筒状に形成されている。上記スプール22の端部22cには、連結部材35を介して筒状部材33の底部33aが連結されている。すなわち、スプール22と筒状部材33とは、連結部材35によって電気的に絶縁されている。
The cylindrical member 33 (movable electrode) is formed in a cylindrical shape (a continuous shape) having a bottom portion 33a from a metal (conductive material) such as stainless steel. The connecting
筒状部材33の底部33aには、筒状部材33の中心軸線方向(長手方向)に延びる貫通孔33bが形成されている。スプール22の貫通孔22bと底部33aの貫通孔33bとは、円筒状の連結部材35を介して連通している。すなわち、スプール22の内部と筒状部材33の内部とが連通している。
A through
柱状部材31(棒状部材)は、アルミナ等の絶縁材料により、円柱状に形成されている。すなわち、柱状部材31の外表面部は絶縁材料により形成されている。柱状部材31の外表面部上には、一対の固定電極40A,40B、補償電極41(第1補償電極)、及び補償電極42(第2補償電極)が薄膜状に形成されている。柱状部材31において中心軸線方向(長手方向)の一端から所定範囲、詳しくは固定電極40A,40Bに対応する部分が、筒状部材33の内部に挿入されている。柱状部材31と筒状部材33とは、互いの中心軸線が一致している。固定電極40A,40B(柱状部材31)と筒状部材33との間には、所定のクリアランス(隙間)が形成されている。すなわち、固定電極40A,40Bと筒状部材33とは、電気的に絶縁された状態で互いに対向している。
The columnar member 31 (bar-shaped member) is formed in a cylindrical shape by an insulating material such as alumina. That is, the outer surface portion of the
柱状部材31及び筒状部材33の外周には、固定電極40A,40B、補償電極41,42、及び筒状部材33を覆う静電シールド37が設けられている。静電シールド37は、ステンレス鋼等の金属(導電材料)により、円筒状(筒状)に形成されている。静電シールド37は、固定電極40A,40B、補償電極41,42、及び筒状部材33から、電気的に絶縁されている。
On the outer periphery of the
静電シールド37の端部37aの外周面と、第2本体12の内周面との間は、低融点ガラス51(絶縁材料)により周方向に沿って環状にシール(封止)されている(図2参照)。これにより、静電シールド37は、第2本体12と電気的に絶縁された状態で、第2本体12に取り付けられている。柱状部材31の端部31aは、静電シールド37の外部、すなわち第2本体12の開口部12aに露出している。静電シールド37の端部37aの内周面と、柱状部材31の端部31aの外周面との間は、低融点ガラス52(絶縁材料)により周方向に沿って環状にシールされている(図2参照)。これにより、柱状部材31は静電シールド37に取り付けられている。
A space between the outer peripheral surface of the
静電シールド37の中心軸線は、柱状部材31の中心軸線と一致している。静電シールド37は、中心軸線方向(長手方向)に延びており、その端部37aが第2本体12の開口部12aに露出している。静電シールド37の端部37aには、配線(図示せず)が接続されており、その配線により静電シールド37が接地されている。
The central axis of the
第1本体11及び第2本体12の内部には、流体を貯留する流体室13が形成されている。流体室13は、第1本体11、第2本体12、スリーブ21、スプール22、静電シールド37、及び柱状部材31によって区画されている。上記スプール弁20により流通が制御される流体は、スリーブ21の内周面とスプール22の外周面とのクリアランス(隙間)から、流体室13へ流入する。そして、流体室13の内部は流体により満たされる。このため、電極40A,40B,41,42、筒状部材33、及び静電シールド37は、流体に接することとなる。薬液からなる流体は、誘電体であり、誘電体流体として機能する。なお、第1本体11及び第2本体12は、変位センサ30のセンサ本体を構成している。
A
静電シールド37において補償電極41,42に対向する部分には、補償電極41,42に向けて張り出す張出部37bが形成されている。張出部37bは、補償電極41,42に近接する位置まで環状に張り出している。補償電極41,42は、筒状部材33とは対向していない。
In the
静電シールド37には、流体室13において静電シールド37の内側と外側とを連通させる連通孔37c,37dが形成されている。連通孔37c,37dは、柱状部材31の中心軸線方向(長手方向)において、補償電極41,42の両側に形成されている。詳しくは、連通孔37c,37dは、柱状部材31の中心軸線方向において、固定電極40A,40B、補償電極41,42を含む範囲の両端にそれぞれ形成されている。
The
次に、一対の固定電極40A,40B、及び補償電極41,42の構成について、詳細に説明する。図3は、柱状部材31、固定電極40A,40B、補償電極41,42を示す正面図であり、図4は、図3の電極40A,40B,41,42を展開して示す展開図である。
Next, the configuration of the pair of fixed
同図に示すように、一対の固定電極40A,40Bは、柱状部材31の中心軸線方向(長手方向)において、一端からの所定範囲で形成されている。固定電極40A,40Bは、柱状部材31の外表面部の周方向へ延びている。固定電極40A,40Bは、柱状部材31の外表面部上に半円筒状に形成されている。このため、一対の固定電極40A,40Bは、柱状部材31を挟んで互いに対向している。柱状部材31において、長手方向の固定電極40A,40Bが形成された側の端部には、外表面部が露出した露出部31bが形成されている。すなわち、露出部31bには、固定電極40A,40Bが形成されていない。
As shown in the figure, the pair of fixed
固定電極40Aと固定電極40Bとが隣り合う部分には、それぞれ固定電極端子Ta,Tbが接続されている。固定電極端子Ta,Tbは、柱状部材31の長手方向へ端部31aまで延びている。さらに、固定電極端子Ta,Tbは、端部31aの端面まで延びている(図2参照)。このため、固定電極端子Ta,Tbは、静電シールド37の外部、すなわち第2本体12の開口部12aに露出している(図1参照)。固定電極端子Ta,Tbは、互いに近接して平行(並列)に配置されている。
Fixed electrode terminals Ta and Tb are connected to portions where the fixed
補償電極42は、柱状部材31の中心軸線方向(長手方向)において、固定電極40A,40Bの形成された範囲の隣の範囲に形成されている。補償電極42は、柱状部材31の外表面部の周方向へ延びている。補償電極42は、柱状部材31の外表面部上に円筒状に形成されている。
The
補償電極42において固定電極端子Taと近接する部分には、補償電極端子T2が接続されている。補償電極端子T2(第2補償電極端子)は、柱状部材31の長手方向へ端部31aまで延びている。さらに、補償電極端子T2は、端部31aの端面まで延びている(図2参照)。このため、補償電極端子T2は、静電シールド37の外部、すなわち第2本体12の開口部12aに露出している(図1参照)。補償電極端子T2は、固定電極端子Taと近接して平行(並列)に配置されている。
A compensation electrode terminal T2 is connected to a portion of the
補償電極41は、柱状部材31の中心軸線方向(長手方向)において、補償電極42の形成された範囲の隣の範囲に形成されている。補償電極41は、柱状部材31の外表面部の周方向へ延びている。補償電極41は、柱状部材31の外表面部上に円筒状に形成されている。ここで、柱状部材31の長手方向において、補償電極42の長さは補償電極41の長さよりも長く設定されている。すなわち、補償電極42の面積は、補償電極41の面積よりも大きく設定されている。
The
補償電極41において固定電極端子Tbと近接する部分には、補償電極端子T1が接続されている。補償電極端子T1(第1補償電極端子)は、柱状部材31の長手方向へ端部31aまで延びている。さらに、補償電極端子T1は、端部31aの端面まで延びている(図2参照)。このため、補償電極端子T1は、静電シールド37の外部、すなわち第2本体12の開口部12aに露出している(図1参照)。補償電極端子T1は、固定電極端子Tbと近接して平行(並列)に配置されている。
A compensation electrode terminal T1 is connected to a portion of the
電極40A,40B,41,42、及び端子Ta,Tb,T1,T2は、銀等の導電材料を含むペーストを、スクリーン印刷して焼成することにより、薄膜状に形成されている。すなわち、電極40A,40B,41,42、及び端子Ta,Tb,T1,T2は、電極パターンの形成されたスクリーンマスクを用いて、導電材料を印刷することにより形成されている。
The
端子Ta,Tb,T1,T2は、柱状部材31の外表面部の周方向において1箇所に集中して配置されている。静電シールド37において、これら端子Ta,Tb,T1,T2に対向する部分には、凹部37eが形成されている(図2参照)。凹部37eは、端子Ta,Tb,T1,T2に沿って柱状部材31の中心軸線方向(長手方向)へ延びている。凹部37eの深さは、薄膜状の端子Ta,Tb,T1,T2の厚みよりも深く設定されている。これにより、端子Ta,Tb,T1,T2と静電シールド37との距離が確保され、端子Ta,Tb,T1,T2と静電シールド37とが絶縁されている。凹部37eの内部にも低融点ガラス52が導入されており、柱状部材31と静電シールド37との間がシールされている。すなわち、流体室13から流体が漏れないようにシールしつつ、電極40A,40B,41,42が静電シールド37の外側へ引き出されている。
The terminals Ta, Tb, T1, and T2 are concentrated at one place in the circumferential direction of the outer surface portion of the
次に、静電容量式変位センサ30において、静電容量を測定するコンデンサとその他の部分に形成されるコンデンサについて説明する。図5は、図1の変位センサ30において、各部に形成されるコンデンサを模式的に示す模式図である。図6は、図5の等価回路を示す電気回路図である。
Next, in the capacitance
同図に示すように、固定電極40Aと筒状部材33とでコンデンサCaが形成され、固定電極40Bと筒状部材33とでコンデンサCbが形成されている。筒状部材33は一繋がりの形状となっているため、コンデンサCaとコンデンサCbとは、筒状部材33により直列に接続されている。そして、コンデンサCa,Cbによって、合成コンデンサCabが形成されている。
As shown in the figure, the fixed
ここで、上記スプール弁20において、スプール22がアクチュエータの駆動により移動させられると、スプール弁20に連結された筒状部材33が中心軸線方向(長手方向)に移動させられる。これにより、固定電極40A,40Bと筒状部材33とが対向する部分の面積が変化し、合成コンデンサCabの静電容量Cが変化する。すなわち、C=ε×S/dの関係が成立する。Cはコンデンサの静電容量、εは誘電率、Sは電極面積、dは電極間距離である。そして、電極間距離dは既知の一定値であり、電極面積Sはスプール22の変位に対応して変化する。したがって、固定電極端子Taと固定電極端子Tbとの間で静電容量を計測することにより、静電容量の変化に基づいてスプール22の変位を計測することができる。
Here, in the
スプール22の変位に伴って柱状部材31の中心軸線方向(長手方向)に筒状部材33が移動する際に、柱状部材31に対して筒状部材33が傾くと、互いに対向する固定電極40A,40Bと筒状部材33とが接触するおそれがある。この場合、特に柱状部材31の端部及び筒状部材33の端部において、固定電極40A,40Bと筒状部材33とが最初に接触し易い。
When the
この点、柱状部材31の長手方向において柱状部材31の端部には、固定電極40A,40Bが形成されていない露出部31bが設けられている。このため、露出部31bが筒状部材33に接触したとしても、固定電極40A,40Bと筒状部材33とが接触することを抑制することができる。
In this regard, an exposed
また、補償電極41と静電シールド37の張出部37bとで補償コンデンサC1(第1補償コンデンサ)が形成され、補償電極42と張出部37bとで補償コンデンサC2(第2補償コンデンサ)が形成されている。上述したように、固定電極40A,40Bと筒状部材33との間、及び補償電極41,42と静電シールド37の張出部37bとの間は、誘電体からなる流体で満たされている。
The
ここで、流体の状態(温度や液質)が変化すると、流体の誘電率εが変化し、合成コンデンサCabの静電容量が変化することとなる。このとき、流体の誘電率εの変化に起因して、補償コンデンサC1,C2の静電容量も変化する。補償コンデンサC1,C2の電極間距離d及び電極面積Sは、設計値又は実測により予め取得することができる。このため、補償電極端子T1(T2)と静電シールド端子Tsとの間で静電容量Cを計測することにより、C=ε×S/dの関係から流体の誘電率εを算出することができる。そして、算出された誘電率εを用いて、合成コンデンサCabの静電容量を計測することにより、流体の誘電率の変化に起因するスプール22の変位の計測誤差を補償することができる。
Here, when the state of the fluid (temperature and liquid quality) changes, the dielectric constant ε of the fluid changes, and the capacitance of the composite capacitor Cab changes. At this time, the capacitances of the compensation capacitors C1 and C2 also change due to the change in the dielectric constant ε of the fluid. The inter-electrode distance d and the electrode area S of the compensation capacitors C1 and C2 can be acquired in advance by design values or actual measurements. Therefore, by measuring the capacitance C between the compensation electrode terminal T1 (T2) and the electrostatic shield terminal Ts, the dielectric constant ε of the fluid can be calculated from the relationship C = ε × S / d. it can. Then, by measuring the capacitance of the composite capacitor Cab using the calculated dielectric constant ε, the measurement error of the displacement of the
さらに、静電シールド37には、連通孔37c,37dが形成されている。このため、補償電極41,42と静電シールド37の張出部37bとの間の空間が、柱状部材31の長手方向において補償電極41,42の両側で、静電シールド37の外部と連通している。詳しくは、連通孔37c,37dは、柱状部材31の長手方向において、固定電極40A,40B、補償電極41,42を含む範囲の両端にそれぞれ形成されている。したがって、補償電極41,42と張出部37bとが近接する構成であっても、補償電極41,42と張出部37bとの間に流体を流通させることができる。その結果、補償電極41,42と張出部37bとの間の流体の状態を、流体室13の他の部分における流体の状態に近付けることができ、スプール22の変位の計測誤差を補償する精度を向上させることができる。
Furthermore, communication holes 37 c and 37 d are formed in the
電極40A,40B,41,42は静電シールド37により覆われており、静電シールド37が接地されている。このため、本体11,12に使用者が触れること等により、本体11,12の電荷状態や静電容量Cnが変化したとしても、その影響が電極40A,40B,41,42に及ぶことを抑制することができる。
The
また、固定電極40Aと静電シールド37とでコンデンサCasが形成されている。他にも、固定電極40Aと固定電極40Bとが近接する部分でコンデンサCcが形成され、筒状部材33と静電シールド37とでコンデンサCmsが形成されている。これらコンデンサCas,Cc,Cmsの静電容量は、コンデンサCa,Cb,Cab,C1,C2の静電容量と比較して微小である。
The fixed
次に、図7を参照して、図1の変位センサ30の電気的構成を説明する。変位センサ30は、容量測定回路61及びスイッチ回路62を備えている。
Next, the electrical configuration of the
容量測定回路61は、入力端子Cin+,Cin−に接続された2点間での静電容量を測定する公知の回路である。 The capacitance measuring circuit 61 is a known circuit that measures the capacitance between two points connected to the input terminals Cin + and Cin−.
スイッチ回路62(切替回路)は、マイクロコンピュータ64(以下、「MC64」と称する)、及びスイッチSW1,SW2,SW3を備えている。スイッチSW1,SW2,SW3は、CMOS等のアナログスイッチであり、MC64により高速でON及びOFFに切り替えることが可能である。なお、容量測定回路61は、静電容量の測定での調整に用いる調整用コンデンサCtを備えている。調整用コンデンサCtの静電容量は、流体の誘電率とはかかわりがなく、環境温度の変化等、その他の要因により変化する。
The switch circuit 62 (switching circuit) includes a microcomputer 64 (hereinafter referred to as “MC64”) and switches SW1, SW2, and SW3. The switches SW1, SW2, and SW3 are analog switches such as CMOS, and can be switched ON and OFF at high speed by the
そして、スイッチSW1をON、スイッチSW2,SW3をOFFに切り替えることにより、補償電極端子T1及び静電シールド端子Tsを容量測定回路61に接続した第1状態となる。スイッチSW2をON、スイッチSW1,SW3をOFFに切り替えることにより、補償電極端子T2及び静電シールド端子Tsを容量測定回路61に接続した第2状態となる。スイッチSW3をON、スイッチSW1,SW2をOFFに切り替えることにより、固定電極端子Ta,Tbを容量測定回路61に接続した第3状態となる。 Then, the switch SW1 is turned on and the switches SW2 and SW3 are turned off, whereby the compensation electrode terminal T1 and the electrostatic shield terminal Ts are connected to the capacitance measuring circuit 61. By switching the switch SW2 to ON and the switches SW1 and SW3 to OFF, the second state in which the compensation electrode terminal T2 and the electrostatic shield terminal Ts are connected to the capacitance measuring circuit 61 is obtained. By switching the switch SW3 to ON and the switches SW1 and SW2 to OFF, the third state is reached in which the fixed electrode terminals Ta and Tb are connected to the capacitance measuring circuit 61.
第1状態では、補償コンデンサC1の静電容量C1(ε)である第1静電容量が、容量測定回路61により測定される。第2状態では、補償コンデンサC2の静電容量C2(ε)である第2静電容量が、容量測定回路61により測定される。第3状態では、合成コンデンサCabの静電容量Cab(ε)である第3静電容量が、容量測定回路61により測定される。測定された静電容量C1(ε),C2(ε),Cab(ε)は、容量測定回路61からスイッチ回路62のMC64へ送信される。
In the first state, the first capacitance that is the capacitance C1 (ε) of the compensation capacitor C1 is measured by the capacitance measurement circuit 61. In the second state, the second capacitance that is the capacitance C2 (ε) of the compensation capacitor C2 is measured by the capacitance measurement circuit 61. In the third state, the capacitance measurement circuit 61 measures the third capacitance, which is the capacitance Cab (ε) of the composite capacitor Cab. The measured capacitances C1 (ε), C2 (ε), and Cab (ε) are transmitted from the capacitance measurement circuit 61 to the
図8に、スプール22の変位と合成コンデンサCabの静電容量Cab(ε)との関係を示す。同図に示すように、静電容量Cab(ε)はスプール22の変位に比例する。換言すれば、静電容量Cab(ε)は、固定電極40A,40Bと筒状部材33との対向する部分の面積に比例する。なお、図1は、スプール22の変位が最も大きい状態、すなわち固定電極40A,40Bと筒状部材33との対向する部分の面積が最も大きい状態を示している。
FIG. 8 shows the relationship between the displacement of the
ここで、流体の誘電率がεaの場合、実線で示すように、スプール22の変位x1において、合成コンデンサCabの静電容量Cab(εa)は、補償コンデンサC1の静電容量C1(εa)と等しくなっている。また、スプール22の変位x2において、合成コンデンサCabの静電容量Cab(εa)は、補償コンデンサC2の静電容量C2(εa)と等しくなっている。
Here, when the dielectric constant of the fluid is εa, as indicated by the solid line, at the displacement x1 of the
すなわち、補償コンデンサC1が合成コンデンサCabの変位x1の場合に相当し、補償コンデンサC2が合成コンデンサCabの変位x2の場合に相当するように、補償コンデンサC1,C2が設定されている。これら変位x1,x2は、予め実験等により求めておくことができる。そして、静電容量C1(εa),C2(εa),Cab(εa)を測定し、静電容量C1(εa)と静電容量C2(εa)とを通る直線に静電容量Cab(εa)を適用して、スプール22の変位xを計測することができる。
That is, the compensation capacitors C1 and C2 are set so that the compensation capacitor C1 corresponds to the displacement x1 of the synthesis capacitor Cab and the compensation capacitor C2 corresponds to the displacement x2 of the synthesis capacitor Cab. These displacements x1 and x2 can be obtained in advance by experiments or the like. Then, the capacitances C1 (εa), C2 (εa), and Cab (εa) are measured, and the capacitance Cab (εa) is in a straight line passing through the capacitance C1 (εa) and the capacitance C2 (εa). Can be applied to measure the displacement x of the
流体の誘電率がεbに変化した場合には、破線で示すように、スプール22の変位x1において、合成コンデンサCabの静電容量Cab(εb)は補償コンデンサC1の静電容量C1(εb)と等しくなる。また、スプール22の変位x2において、合成コンデンサCabの静電容量Cab(εb)は補償コンデンサC2の静電容量C2(εb)と等しくなる。この場合には、合成コンデンサCabと補償コンデンサC1,C2とにおいて、流体の誘電率が同様にεb変化するため、合成コンデンサCabが補償コンデンサC1に相当する場合のスプール22の変位x1、及び合成コンデンサCabが補償コンデンサC2に相当する場合のスプール22の変位x2は変化しない。
When the dielectric constant of the fluid changes to εb, as indicated by a broken line, at the displacement x1 of the
また、上述したように、容量測定回路61の調整用コンデンサCtの静電容量は、流体の誘電率とはかかわりがなく、環境温度の変化等、その他の要因により変化する。このため、流体の誘電率がεaの場合に、例えば調整用コンデンサCtの静電容量が増加すると、補償コンデンサC1,C2の静電容量C1(εa),C2(εa)は、それぞれ静電容量C1m(εa),C2m(εa)に増加する。その結果、一点鎖線で示すように、スプール22の変位と合成コンデンサCabの静電容量Cab(εa)との関係が、実線で示す関係からずれることとなる。したがって、調整用コンデンサCtの静電容量の変化によって、スプール22の変位を計測する精度が低下するおそれがある。
Further, as described above, the capacitance of the adjusting capacitor Ct of the capacitance measuring circuit 61 is not related to the dielectric constant of the fluid, and changes due to other factors such as a change in environmental temperature. For this reason, when the dielectric constant of the fluid is εa, for example, when the capacitance of the adjustment capacitor Ct increases, the capacitances C1 (εa) and C2 (εa) of the compensation capacitors C1 and C2 respectively have capacitances. It increases to C1m (εa) and C2m (εa). As a result, as indicated by the alternate long and short dash line, the relationship between the displacement of the
この点、本実施形態では、MC64(算出部)は、補償コンデンサC1の静電容量C1(ε)と補償コンデンサC2の静電容量C2(ε)との差分、及び静電容量C1(ε)と合成コンデンサCabの静電容量Cab(ε)との差分に基づいて、スプール22の変位を算出する。すなわち、静電容量C1(ε)と静電容量C2(ε)との差分を、変位x1から変位x2への変化に対応させて、静電容量C1(ε)と静電容量Cab(ε)との差分に対応する変位xを算出する。
In this regard, in this embodiment, the MC 64 (calculation unit) calculates the difference between the capacitance C1 (ε) of the compensation capacitor C1 and the capacitance C2 (ε) of the compensation capacitor C2, and the capacitance C1 (ε). And the displacement of the
ここで、調整用コンデンサCtの静電容量が変化したことにより、補償コンデンサC1,C2の静電容量C1(ε),C2(ε)が変化したとしても、静電容量C1(ε),C2(ε)の変化は同様の傾向となる。例えば、静電容量C1m(εa),C2m(εa)を通る一点鎖線の直線は、静電容量C1(εa),C2(εa)を通る実線の直線を平行移動させた直線となる。このため、静電容量C1(ε)と静電容量C2(ε)との差分、及び静電容量C1(ε)と静電容量Cab(ε)との差分に基づいて、スプール22の変位xを算出することにより、調整用コンデンサCtの静電容量が変化したことによる静電容量C1(ε),C2(ε)への影響を打ち消すことができる。
Here, even if the capacitances C1 (ε) and C2 (ε) of the compensation capacitors C1 and C2 change due to the change in the capacitance of the adjustment capacitor Ct, the capacitances C1 (ε) and C2 The change in (ε) has a similar tendency. For example, an alternate long and short dash line passing through the capacitances C1m (εa) and C2m (εa) is a straight line obtained by translating a solid line passing through the capacitances C1 (εa) and C2 (εa). Therefore, the displacement x of the
以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。 The embodiment described in detail above has the following advantages.
・一対の固定電極40A,40Bに加えて、筒状部材33と対向しない補償電極41,42が、柱状部材31の外表面部上に薄膜状に形成されている。このため、補償電極41,42を一方の電極として形成される補償コンデンサC1,C2の静電容量を測定することで、固定電極40A,40Bと筒状部材33との間の誘電率εの変化に起因する変位xの計測誤差を補償することができる。
In addition to the pair of fixed
・柱状部材31を挟んで互いに対向する一対の固定電極40A,40Bは、絶縁材料により形成された柱状部材31の外表面部上に、薄膜状に形成されている。このため、互いに別部材として形成された一対の固定電極を配置する必要がなく、1つの柱状部材31の外表面部上に薄膜状のパターンとして、一対の固定電極40A,40Bを形成することができる。したがって、一対の固定電極40A,40Bの間隔が柱状部材31の寸法により規定されることとなり、一対の固定電極40A,40Bを所定の間隔で正確に配置することができる。
The pair of fixed
・固定電極40A,40B、筒状部材33、及び補償電極41,42が、それら電極から絶縁された状態の静電シールド37により覆れている。静電シールド37は接地されているため、センサの本体11,12やスプール弁20の本体に使用者が触れたとしても、一対の固定電極40A,40Bの間での静電容量が不安定になることを抑制することができる。
The fixed
・固定電極端子Ta,Tb及び補償電極端子T1,T2が、固定電極40A,40B及び補償電極41,42にそれぞれ接続されている。固定電極端子Ta,Tb及び補償電極端子T1,T2は、静電シールド37の外部まで、静電シールド37から絶縁された状態で柱状部材31の長手方向へ延びている。固定電極端子Ta,Tb及び補償電極端子T1,T2は、柱状部材31の外表面部上にそれぞれ薄膜状に形成されている。このため、固定電極40A,40B及び補償電極41,42と併せて、固定電極端子Ta,Tb及び補償電極端子T1,T2を薄膜状のパターンとして形成するだけで、静電シールド37の外側へ固定電極40A,40B及び補償電極41,42をそれぞれ引き出すことができる。したがって、静電シールド37の外側への電極40A,40B,41,42の引き出しを容易化することができる。
The fixed electrode terminals Ta and Tb and the compensation electrode terminals T1 and T2 are connected to the fixed
・静電シールド37の張出部37bと補償電極41,42とが近接しているため、補償電極41,42と張出部37bとで、比較的静電容量の大きい補償コンデンサC1,C2を形成することができる。したがって、静電シールド37を補償コンデンサC1,C2の一方の電極として利用することができるとともに、補償コンデンサC1,C2の精度を向上させることができる。さらに、狭いスペースで補償コンデンサC1,C2を形成することが可能となる。
Since the overhanging
・本体11,12の内部に誘電体流体を貯留する流体室13が形成されており、固定電極40A,40B、筒状部材33、補償電極41,42、及び静電シールド37の張出部37bに誘電体流体が接する。このため、固定電極40A,40Bと筒状部材33とで形成される合成コンデンサCab、及び補償電極41,42と張出部37bとで形成される補償コンデンサC1,C2の静電容量を増大させることができる。さらに、スプール弁20により流通を制御する流体を、誘電体として利用することができる。
A
・静電シールド37に形成された連通孔37c,37dにより、補償電極41,42と張出部37bとの間の空間が、柱状部材31の長手方向において補償電極41,42の両側で、流体室13における静電シールド37の外側の空間と連通させられている。このため、互いに近接する補償電極41,42と張出部37bとの間の空間における誘電体流体の流通を促進させることができ、補償電極41,42と張出部37bとの間の空間における誘電体流体の状態(温度や液質)を、流体室13の他の部分における誘電体流体の状態に近付けることができる。したがって、誘電体流体の状態の変化による誘電率εの変化を、補償コンデンサC1,C2の静電容量C1(ε),C2(ε)の変化に敏感に反映させることができ、変位xの計測誤差を補償する精度を向上させることができる。
The communication holes 37 c and 37 d formed in the
・連通孔37c,37dは、柱状部材31の長手方向において、固定電極40A,40B、補償電極41,42を含む範囲の両端にそれぞれ形成されている。このため、固定電極40A,40Bと筒状部材33との間の誘電体流体の状態と、補償電極41,42と張出部37bとの間の誘電体流体の状態とを近付けることができる。したがって、誘電体流体の状態(誘電率)の変化に起因するスプール22の変位xの計測誤差を、より高精度に補償することができる。
The communication holes 37c and 37d are formed at both ends of the range including the fixed
・柱状部材31の端部31aが、外表面部の外周に沿って絶縁材料により環状にシールされている。そして、上述したように、固定電極40A,40B及び補償電極41,42にそれぞれ接続された固定電極端子Ta,Tb及び補償電極端子T1,T2は、柱状部材31の外表面部上に薄膜状に形成されている。このため、固定電極端子Ta,Tb及び補償電極端子T1,T2の厚みをほとんど無視することができ、柱状部材31の外表面部を外周に沿って容易にシールすることができる。
The
・静電シールド37は、柱状部材31の長手方向に沿って延びて第2本体12の開口部12aに露出しているため、補償コンデンサC1,C2の一方の電極を形成する静電シールド37の張出部37bを、外部の電気回路に容易に接続することができる。そして、柱状部材31の端部31aと、静電シールド37との間が絶縁材料によりシールされている。したがって、固定電極端子Ta,Tb及び補償電極端子T1,T2と静電シールド37との絶縁を確保しつつ、誘電体流体が外部に漏れないようにシールすることができる。
Since the
・静電シールド37において、端子Ta,Tb,T1,T2に対向する部分には、凹部37eが形成されている。凹部37eは、端子Ta,Tb,T1,T2に沿って柱状部材31の長手方向へ延びている。これにより、端子Ta,Tb,T1,T2と静電シールド37との距離を確保することができ、端子Ta,Tb,T1,T2と静電シールド37とをより確実に絶縁することができる。
In the
・柱状部材31の全体が絶縁材料により形成されているため、柱状部材31の外表面部を容易に絶縁材料とすることができ、柱状部材31の製造を容易化することができる。
-Since the whole
・筒状部材33の全体が導電材料により形成されているため、筒状部材33自体が可動電極として機能し、可動電極を容易に一繋がりとすることができる。その結果、可動電極の製造を容易化することができる。
-Since the whole
・固定電極端子Ta,Tb及び補償電極端子T1,T2は、柱状部材31の長手方向に延びるとともに互いに近接して配置されている。このため、電極端子を集中させることができ、外部の電気回路に各電極端子を容易に接続することができる。
The fixed electrode terminals Ta and Tb and the compensation electrode terminals T1 and T2 extend in the longitudinal direction of the
・固定電極40A,40B及び補償電極41,42は、柱状部材31の外表面部の周方向へ延びている。このため、電極端子Ta,Tb,T1,T2を集中させつつも、電極40A,40B,41,42を効率的に配置することができ、電極40A,40B,41,42の面積を確保することができる。したがって、スプール22の変位xを計測する精度を向上させることができる。
The fixed
・柱状部材31の長手方向において柱状部材31の固定電極40A,40B側の端部には、絶縁材料により形成された外表面部が露出した露出部31bが設けられている。このため、柱状部材31の端部が筒状部材33に接触したとしても、固定電極40A,40Bと筒状部材33とが接触することを抑制することができる。
In the longitudinal direction of the
・固定電極40A,40Bは柱状部材31の外表面部上に薄膜状に形成されているため、柱状部材31の端部に固定電極40A,40Bを形成しないパターンにしたり、柱状部材31の端部まで固定電極40A,40Bのパターンを形成した後に端部のパターンを削ったりすることで、露出部31bを容易に形成することができる。
Since the fixed
・補償電極42は補償電極41よりも大きく形成されているため、補償電極42と静電シールド37との対向面積は補償電極41と静電シールド37との対向面積よりも大きい。すなわち、補償電極41と静電シールド37とで形成される補償コンデンサC1は、一対の固定電極40A,40Bと筒状部材33との対向面積が小さい状態(スプール22の変位x1)に相当する。また、補償電極42と静電シールド37とで形成される補償コンデンサC2は、一対の固定電極40A,40Bと筒状部材33との対向面積が大きい状態(スプール22の変位x2)に相当する。したがって、一対の固定電極40A,40B及び筒状部材33とで形成される合成コンデンサCabが、補償コンデンサC1に相当する場合のスプール22の変位x1、及び合成コンデンサCabが補償コンデンサC2に相当する場合のスプール22の変位x2を予め実験等により求めておくことで、補償コンデンサC1の静電容量と補償コンデンサC2の静電容量との差分、及び補償コンデンサC1の静電容量と合成コンデンサCabの静電容量との差分に基づいて、スプール22の変位xを算出することができる。
Since the
・一対の固定電極40A,40Bと筒状部材33との間の誘電率εが変化したとしても、補償コンデンサC1,C2においても同様に誘電率εが変化する。このため、合成コンデンサCabが補償コンデンサC1に相当する場合のスプール22の変位x1、及び合成コンデンサCabが補償コンデンサC2に相当する場合のスプール22の変位x2は変化しない。また、調整用コンデンサCtの静電容量が変化したことにより、補償コンデンサC1,C2の静電容量が変化したとしても、補償コンデンサC1,C2の静電容量の変化は同様の傾向となる。このため、補償コンデンサC1の静電容量と補償コンデンサC2の静電容量との差分、及び補償コンデンサC1の静電容量と合成コンデンサCabの静電容量との差分に基づいて、スプール22の変位xを算出することにより、調整用コンデンサCtの静電容量が変化したことによる影響を打ち消すことができる。したがって、一対の固定電極40A,40Bと筒状部材33との間の誘電率εの変化や、調整用コンデンサCtの静電容量が変化したことによる補償コンデンサC1,C2の静電容量の変化にかかわらず、スプール22の変位xを正確に算出することができる。
Even if the dielectric constant ε between the pair of fixed
上記実施形態を、以下のように変更して実施することもできる。なお、上記実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。 The above embodiment can also be implemented with the following modifications. In addition, about the member same as the said embodiment, description is abbreviate | omitted by attaching | subjecting the same code | symbol.
・図9に示すように、セラミックスや樹脂等の絶縁材料により形成された筒状部材133の内表面に、銀等の導電材料により薄膜状の電極133aを形成してもよい。こうした構成によっても、電極133aを、固定電極40A,40Bに対向する可動電極として機能させることができる。なお、スプール22と電極133aとは、電気的に絶縁されている。
As shown in FIG. 9, a thin-
・図10に示すように、第2本体112の開口部112aに静電シールド137が露出しておらず、静電シールド137の端部137aが、接続電極43及び接続電極端子T3により、第2本体112の開口部112aまで引き出された構成を採用することもできる。接続電極43及び接続電極端子T3は、柱状部材31の外表面部上に薄膜状に形成されている。静電シールド137の端部137aが接続電極43に接続されており、接続電極43に接続電極端子T3が接続されている。接続電極端子T3は、補償電極端子T2に近接して平行(並列)に配置されている。
As shown in FIG. 10, the
・図11に示すように、上述した張出部37b及び連通孔37c,37dの形成されていない静電シールド237を用いることもできる。この場合は、補償電極41により形成される補償コンデンサC1、及び補償電極42により形成される補償コンデンサC2の静電容量が小さくなるため、固定電極40A,40Bと比べて補償電極41,42の面積を大きくすることが望ましい。こうした構成によれば、補償電極41,42と静電シールド237とが近接していないため、静電シールド237に連通孔37c,37dが形成されていなくても、補償電極41,42と静電シールド237との間に誘電体流体が流通し易い。なお、セラミックスや樹脂等の絶縁材料により形成された保持部材14を介して、静電シールド237の内側に柱状部材31が取り付けられている。
As shown in FIG. 11, the
・図12に示すように、補償電極141,142が、それぞれ柱状部材31の周方向へ延びる複数の分岐部141a,142aを有していてもよい。分岐部141a,142aは、柱状部材31の長手方向において互い違いに配置されている。こうした構成によれば、補償電極141と補償電極142とで誘電率の差が生じることを抑制することができる。したがって、補償コンデンサC1の静電容量C1(ε)と補償コンデンサC2静電容量C2(ε)との差分、及び静電容量C1(ε)と合成コンデンサCabの静電容量Cab(ε)との差分に基づいて、スプール22の変位xを算出する際に精度が低下することを抑制することができる。
As shown in FIG. 12, the
・柱状部材31と筒状部材33とは、互いに対応した断面形状を有していればよく、円形断面以外に、四角形断面や六角形断面等を採用することもできる。なお、その場合には、電極間隔を一定に保つために筒状部材を回り止めする必要がある。また、静電シールド37についても、断面形状を任意に変更することができる。
-The
・上記実施形態では、柱状部材31全体を絶縁材料により形成したが、柱状部材を導電材料により形成して、外表面部を絶縁材料で被覆することもできる。また、柱状部材31に代えて、筒状に形成された部材を用いることもできる。
In the above embodiment, the
・固定電極40A,40B、補償電極41,42、固定電極端子Ta,Tb、及び補償電極端子T1,T2を、スクリーン印刷以外のパターン形成方法、例えば蒸着膜のエッチングによるパターン形成方法等により、薄膜状に形成することもできる。
The fixed
・上記実施形態では、流体室13を薬液等の誘電体流体で満たしたが、流体室13を空気等の気体で満たしたり、流体室13を真空にしたりすることもできる。
In the above embodiment, the
・上記実施形態では、スプール弁20を有する弁装置10に変位センサ30を適用したが、ポペット弁等、その他の型式の弁を有する弁装置に変位センサ30を適用することもできる。また、弁に限らず、その他の計測対象の変位を、変位センサ30により計測することもできる。
In the above embodiment, the
・図13に示すように、筒状部材33には、連通孔33cが形成されていてもよい。この連通孔33cは、筒状部材33の内側の空間(すなわち柱状部材31と筒状部材33との間に形成される空間:以下同様)と、筒状部材33の外側の空間(すなわち筒状部材33と静電シールド37との間に形成される空間:以下同様)と、を連通させるように設けられている。かかる構成においては、筒状部材33の内側の空間と、筒状部材33の外側の空間と、の間での、流体等の授受が、良好に行われる。したがって、かかる構成によれば、筒状部材33の内側の空間における誘電率の変化に起因する、スプール22の変位の計測誤差の発生が、よりいっそう良好に抑制される。
As shown in FIG. 13, the
ここで、連通孔33cは、筒状部材33の内側の空間における上端部に対応する位置に設けられていることが好ましい。特に、筒状部材33の開口部(長手方向における貫通孔33bとは反対側の端部、すなわち図13における左側の端部に設けられた開口部)よりも底部33aの方が高くなるように、筒状部材33の中心軸線が水平面に対して傾斜する場合がある。この場合、連通孔33cは、筒状部材33の内側の空間の、長手方向における貫通孔33b側の端部(上述の開口部とは反対側の端部)に対応する位置に設けられる。これにより、筒状部材33の内側の空間に気体(気泡)が滞留することによる計測誤差の発生が、良好に抑制される。
Here, the
・図14及び図15に示すように、固定電極40A,40Bは、櫛歯状に形成されていてもよい。かかる構成においては、スプール22の変位に伴う静電容量の変化がステップ状となる。よって、ステップ状あるいはパルス状の出力信号に基づいて、スプール22の変位測定が行われる。したがって、かかる構成によれば、スプール22の変位測定を、より簡略に行うことが可能となる。なお、この場合、固定電極40A,40Bにおける櫛歯状電極を構成する、細線状の各電極パターンは、互いに同一の幅であってもよい。あるいは、複数の細線状の電極パターンのうちの一部について、幅が他のものと異なっていてもよい(かかる構成によれば、スプール22の変位計測における原点検出あるいはキャリブレーションが、良好に行われ得る。)。
-As shown in FIG.14 and FIG.15, fixed
・図16〜図18に示すように、固定電極40A,40Bは、柱状部材31の中心軸線方向(長手方向)において互いに重ならないように設けられていてもよい。この場合、図18に示すように、セラミックスや樹脂等の絶縁材料により形成された筒状部材133(図9参照)が用いられる。かかる構成においては、筒状部材133の内表面に形成された電極133aと固定電極40Aとの間の静電容量と、電極133aと固定電極40Bとの間の静電容量と、の差により、スプール22の変位が計測される。このため、かかる構成においては、補償電極41,42(図1等参照)を省略することが可能となる。
As shown in FIGS. 16 to 18, the fixed
10…弁装置、11…第1本体、12…第2本体、12a…開口部、13…流体室、20…スプール弁、22…スプール(計測対象)、30…静電容量式変位センサ、31…柱状部材(棒状部材)、31a…端部、31b…露出部、33…筒状部材(可動電極)、37…静電シールド、37a…端部、37b…張出部、37c…連通孔、37d…連通孔、40A…固定電極、40B…固定電極、41…補償電極(第1補償電極)、42…補償電極(第2補償電極)、51…低融点ガラス(絶縁材料)、52…低融点ガラス(絶縁材料)、61…容量測定回路(測定回路)、62…スイッチ回路(切替回路)、64…マイクロコンピュータ(算出部)、112…第2本体、112a…開口部、133…筒状部材、133a…電極(可動電極)、137…静電シールド、137a…端部、141…補償電極(第1補償電極)、141a…分岐部、142…補償電極(第2補償電極)、142a…分岐部、237…静電シールド、T1…補償電極端子(第1補償電極端子)、T2…補償電極端子(第2補償電極端子)、Ta…固定電極端子、Tb…固定電極端子。
DESCRIPTION OF
Claims (11)
前記棒状部材における長手方向の一端から所定範囲を内部に挿入させ、計測対象の変位に伴って前記長手方向に移動する筒状部材と、
前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に形成され、前記棒状部材を挟んで互いに対向する一対の固定電極と、
前記固定電極及び前記計測対象から絶縁された状態で前記筒状部材に設けられ、前記一対の固定電極に対向する一繋がりの可動電極と、
前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に形成され、前記可動電極と対向しない補償電極と、
前記固定電極、前記可動電極、及び前記補償電極から絶縁された状態でそれら電極を覆い、接地されている静電シールドと、
前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に形成され、前記固定電極の各々に接続されて前記静電シールドの外部まで、前記静電シールドから絶縁された状態で前記長手方向へ延びる固定電極端子と、
前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に形成され、前記補償電極に接続されて前記静電シールドの外部まで、前記静電シールドから絶縁された状態で前記長手方向へ延びる補償電極端子と、
を備えることを特徴とする静電容量式変位センサ。A rod-shaped member having an outer surface portion formed of an insulating material;
A cylindrical member that is inserted into a predetermined range from one end in the longitudinal direction of the rod-shaped member and moves in the longitudinal direction in accordance with the displacement of the measurement target;
A pair of fixed electrodes formed in a thin film on the outer surface portion of the rod-shaped member and facing each other across the rod-shaped member;
A pair of movable electrodes provided on the cylindrical member in a state insulated from the fixed electrode and the measurement object, and facing the pair of fixed electrodes;
A compensation electrode that is formed in a thin film on the outer surface of the rod-shaped member and does not face the movable electrode;
An electrostatic shield that covers and grounds the fixed electrode, the movable electrode, and the compensation electrode in an insulated state;
A fixed electrode formed in a thin film shape on the outer surface portion of the rod-like member and connected to each of the fixed electrodes and extending in the longitudinal direction while being insulated from the electrostatic shield to the outside of the electrostatic shield A terminal,
A compensation electrode terminal formed in a thin film shape on the outer surface portion of the rod-shaped member, connected to the compensation electrode and extended to the longitudinal direction while being insulated from the electrostatic shield to the outside of the electrostatic shield; ,
A capacitance type displacement sensor comprising:
前記静電シールドには、前記補償電極と前記張出部との間の空間を、前記長手方向において前記補償電極の両側で、前記流体室における前記静電シールドの外側の空間と連通させる連通孔が形成されている請求項2に記載の静電容量式変位センサ。A fluid chamber for storing a dielectric fluid in contact with the fixed electrode, the movable electrode, the compensation electrode, and the overhang portion includes a sensor body formed therein,
The electrostatic shield has a communication hole that communicates the space between the compensation electrode and the overhanging portion with the space outside the electrostatic shield in the fluid chamber on both sides of the compensation electrode in the longitudinal direction. The capacitance type displacement sensor according to claim 2, wherein:
前記長手方向において前記棒状部材の前記所定範囲と反対側の端部と、前記静電シールドとの間が前記絶縁材料によりシールされている請求項4に記載の静電容量式変位センサ。The electrostatic shield extends along the longitudinal direction and is exposed at the opening of the sensor body,
The capacitive displacement sensor according to claim 4, wherein a gap between the end of the rod-shaped member opposite to the predetermined range in the longitudinal direction and the electrostatic shield is sealed with the insulating material.
前記固定電極及び前記補償電極は、前記外表面部の周方向へ延びている請求項1〜7のいずれか1項に記載の静電容量式変位センサ。The fixed electrode terminal and the compensation electrode terminal extend in the longitudinal direction and are arranged close to each other,
The capacitive displacement sensor according to claim 1, wherein the fixed electrode and the compensation electrode extend in a circumferential direction of the outer surface portion.
前記補償電極端子は第1補償電極端子であり、
前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に前記第1補償電極よりも大きく形成され、前記可動電極と対向しない第2補償電極と、
前記棒状部材の前記外表面部上に薄膜状に形成され、前記第2補償電極に接続されて前記静電シールドの外部まで、前記静電シールドから絶縁された状態で前記長手方向へ延びる第2補償電極端子と、
2つの電極の間での静電容量を測定する測定回路と、
前記第1補償電極端子及び前記静電シールドを前記測定回路に接続する第1状態と、前記第2補償電極端子及び前記静電シールドを前記測定回路に接続する第2状態と、前記固定電極の各々に接続された前記固定電極端子を前記測定回路に接続する第3状態と、を切り替える切替回路と、
前記第1状態、前記第2状態、及び前記第3状態において、前記測定回路によりそれぞれ第1静電容量、第2静電容量、及び第3静電容量を測定させ、前記第1静電容量と前記第2静電容量との差分、及び前記第1静電容量と前記第3静電容量との差分に基づいて、前記計測対象の変位を算出する算出部と、
を備える請求項1〜9のいずれか1項に記載の静電容量式変位センサ。The compensation electrode is a first compensation electrode;
The compensation electrode terminal is a first compensation electrode terminal;
A second compensation electrode formed on the outer surface of the rod-like member in a thin film shape larger than the first compensation electrode, and not facing the movable electrode;
A second thin film is formed on the outer surface portion of the rod-shaped member, and is connected to the second compensation electrode and extends to the outside in the longitudinal direction while being insulated from the electrostatic shield to the outside of the electrostatic shield. A compensation electrode terminal;
A measurement circuit for measuring the capacitance between the two electrodes;
A first state in which the first compensation electrode terminal and the electrostatic shield are connected to the measurement circuit; a second state in which the second compensation electrode terminal and the electrostatic shield are connected to the measurement circuit; A switching circuit for switching between a third state in which the fixed electrode terminal connected to each is connected to the measurement circuit;
In the first state, the second state, and the third state, the first capacitance, the second capacitance, and the third capacitance are measured by the measurement circuit, respectively, and the first capacitance And a calculation unit that calculates a displacement of the measurement target based on a difference between the second capacitance and the difference between the first capacitance and the third capacitance;
An electrostatic capacitance type displacement sensor given in any 1 paragraph of Claims 1-9 provided with.
前記第1補償電極の前記分岐部と前記第2補償電極の前記分岐部とは、前記長手方向において互い違いに配置されている請求項10に記載の静電容量式変位センサ。The first compensation electrode and the second compensation electrode each have a plurality of branch portions extending in the circumferential direction of the outer surface portion,
The capacitive displacement sensor according to claim 10, wherein the branch portion of the first compensation electrode and the branch portion of the second compensation electrode are alternately arranged in the longitudinal direction.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012223438 | 2012-10-05 | ||
JP2012223438 | 2012-10-05 | ||
PCT/JP2013/076282 WO2014054529A1 (en) | 2012-10-05 | 2013-09-27 | Capacitive displacement sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2014054529A1 JPWO2014054529A1 (en) | 2016-08-25 |
JP6161619B2 true JP6161619B2 (en) | 2017-07-12 |
Family
ID=50434857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014539703A Active JP6161619B2 (en) | 2012-10-05 | 2013-09-27 | Capacitive displacement sensor |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6161619B2 (en) |
KR (1) | KR102023799B1 (en) |
CN (1) | CN104620080B (en) |
DE (1) | DE112013004893B4 (en) |
TW (1) | TWI599761B (en) |
WO (1) | WO2014054529A1 (en) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6432861B2 (en) * | 2014-10-01 | 2018-12-05 | 株式会社クリエイティブテクノロジー | Capacitance sensor and electrostatic chuck |
CN105281006A (en) * | 2015-07-02 | 2016-01-27 | 南京赛格微电子科技股份有限公司 | Adjustable high-precision stop device used for controlling length of tuning screw |
CN105352422B (en) * | 2015-11-17 | 2018-09-25 | 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 | A kind of capacitance displacement sensor for electrohydraulic servo valve |
DE102015121047A1 (en) | 2015-12-03 | 2017-06-08 | Bürkert Werke GmbH | Valve actuator with position sensor |
JP6815283B2 (en) * | 2017-06-09 | 2021-01-20 | アズビル株式会社 | Capacitive pressure sensor |
JP7245025B2 (en) * | 2018-10-30 | 2023-03-23 | 川崎重工業株式会社 | Emergency release mechanism for fluid handling equipment |
TWI675202B (en) | 2018-11-30 | 2019-10-21 | 財團法人工業技術研究院 | Electrostatic measuring system for inner wall of fluid pipeline and measuring method thereof |
US11929744B2 (en) * | 2019-02-11 | 2024-03-12 | Texas Instruments Incorporated | Differential capacitive sensing system |
RU2723971C1 (en) * | 2020-01-28 | 2020-06-18 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Конструкторское Бюро "Дорс" (Ооо "Кб "Дорс") | Electrostatic sensor for controlling a movable thin object |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6367502A (en) * | 1986-09-10 | 1988-03-26 | Kubota Ltd | Temperature correcting method for electrostatic capacity type stroke sensor |
JPH02259417A (en) * | 1989-03-30 | 1990-10-22 | Kubota Ltd | Electrostatic capacity type stroke detector |
CN1229618C (en) * | 2001-12-30 | 2005-11-30 | 中国科学院声学研究所 | Interval variable electric capacity type non-contact angle displacement sensor |
EP1589327A4 (en) * | 2003-01-06 | 2011-03-30 | Nitta Corp | Capacitive sensor |
CN1170116C (en) * | 2003-01-28 | 2004-10-06 | 天津大学 | Non-contact composite capacitance electrode type displacement transducer and measurer |
WO2012090583A1 (en) | 2010-12-28 | 2012-07-05 | シーケーディ株式会社 | Electrostatic capacity-type displacement sensor and proportional control valve having electrostatic capacity-type displacement sensor |
-
2013
- 2013-09-27 CN CN201380047335.2A patent/CN104620080B/en active Active
- 2013-09-27 JP JP2014539703A patent/JP6161619B2/en active Active
- 2013-09-27 DE DE112013004893.0T patent/DE112013004893B4/en not_active Expired - Fee Related
- 2013-09-27 KR KR1020157006268A patent/KR102023799B1/en active IP Right Grant
- 2013-09-27 WO PCT/JP2013/076282 patent/WO2014054529A1/en active Application Filing
- 2013-10-02 TW TW102135693A patent/TWI599761B/en active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI599761B (en) | 2017-09-21 |
KR20150066518A (en) | 2015-06-16 |
WO2014054529A1 (en) | 2014-04-10 |
KR102023799B1 (en) | 2019-09-20 |
CN104620080B (en) | 2016-08-24 |
DE112013004893B4 (en) | 2022-06-15 |
CN104620080A (en) | 2015-05-13 |
DE112013004893T5 (en) | 2015-06-18 |
JPWO2014054529A1 (en) | 2016-08-25 |
TW201423051A (en) | 2014-06-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160715 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170613 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6161619 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |