JP6123528B2

JP6123528B2 - Transport device

Info

Publication number: JP6123528B2
Application number: JP2013140994A
Authority: JP
Inventors: 進平前田; 石川原　光男; 光男石川原; 頼人岩田; 力也小林; 良夫加藤; 篤敬佐藤
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd; Showa Denko Materials Co Ltd
Current assignee: Showa Denko Materials Co Ltd
Priority date: 2013-02-05
Filing date: 2013-07-04
Publication date: 2017-05-10
Anticipated expiration: 2033-07-04
Also published as: JP2014168944A

Description

本発明は、例えば、樹脂組成物を搬送する搬送装置に関するものである。 The present invention relates to a conveying device that conveys a resin composition, for example.

半導体封止用エポキシ樹脂組成物の製造方法としては、この樹脂組成物を構成する成分を所定量配合、混合した後、ローラ、１軸押出機、１軸押出機とローラの組み合わせ、又は２軸押出機により混練を行い、混練物をシート状に圧延し、この圧延物を搬送装置で搬送しながら冷却した後、ハンマーミル、回転羽根等を用いて粉砕を行い、必要に応じて円柱状のタブレットに加工する方法が知られている。 As a method for producing an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, a predetermined amount of components constituting the resin composition are mixed and mixed, and then a roller, a single screw extruder, a combination of a single screw extruder and a roller, or a twin screw After kneading with an extruder, rolling the kneaded product into a sheet shape, cooling the rolled product while transporting it with a transport device, pulverizing with a hammer mill, rotating blades, etc. Methods for processing into tablets are known.

前述のような製造方法において用いられる搬送装置としては、特許文献１に記載のコンベアが知られている。このコンベアでは、上記樹脂組成物と接触し、搬送する部品を金属製のネットとしている。このネットは、金属製の駆動スプロケット及び金属製の従動スプロケットに巻き掛けられた金属製のチェーンに接続され、駆動スプロケットからの駆動力を受けて周回するチェーンと共に回って上記樹脂組成物を搬送する。また、このチェーンには、ネット両端に配置された金属のレール上を回転するコロが設けられている。上記コンベアでは、金属部品どうしの接触によって発生する金属異物（金属粉）が上記樹脂組成物に混入するのを抑制するために、筐体内を仕切板を用いて上記樹脂組成物が搬送される搬送エリアとチェーンが回転するエリアとに仕切っている。 As a conveying device used in the manufacturing method as described above, a conveyor described in Patent Document 1 is known. In this conveyor, the parts which come into contact with the resin composition and are conveyed are made of a metal net. This net is connected to a metal chain wound around a metal drive sprocket and a metal driven sprocket, and rotates around the chain that receives the driving force from the drive sprocket to convey the resin composition. . The chain is provided with rollers that rotate on metal rails arranged at both ends of the net. In the conveyor, in order to prevent the metal foreign matter (metal powder) generated by the contact between metal parts from being mixed into the resin composition, the resin composition is conveyed in the housing using a partition plate. It is divided into an area and an area where the chain rotates.

一方、特許文献２のコンベアでは、樹脂組成物を搬送するベルトの外層を非金属として、樹脂組成物への金属異物の混入を抑制している。 On the other hand, in the conveyor of patent document 2, the outer layer of the belt which conveys a resin composition is made into a nonmetal, and mixing of the metal foreign material to a resin composition is suppressed.

特開２０１２−１２６８４７号公報JP 2012-126847 A 特開２０１１−１８３６１８号公報JP 2011-183618 A

しかし、特許文献１では、仕切板に金属ネットが通る開口が形成されているため、金属異物が樹脂組成物の搬送エリア内に侵入する虞がある。
一方、特許文献２では、ベルトの下地層（内層）が金属製とされていることから、主動プーリ及び従動プーリに繰り返し巻き掛けられることで、下地層が削られて金属異物が発生し、発生した金属異物が樹脂組成物に混入する虞がある。 However, in patent document 1, since the opening which a metal net | network passes for a partition plate is formed, there exists a possibility that a metal foreign material may penetrate | invade in the conveyance area of a resin composition.
On the other hand, in Patent Document 2, since the base layer (inner layer) of the belt is made of metal, the base layer is scraped by repeatedly winding the main pulley and the driven pulley, and metal foreign matter is generated. There is a risk that the foreign metal particles mixed into the resin composition.

本発明は、上記の事情を鑑みて、樹脂組成物を搬送する搬送装置において、金属異物の発生を確実に防止することを課題とする。 This invention makes it a subject to prevent generation | occurrence | production of a metal foreign material reliably in the conveying apparatus which conveys a resin composition in view of said situation.

すなわち、本発明は以下の通りである。
（１）樹脂で構成された駆動スプロケットと、樹脂で構成された従動スプロケットと、樹脂で構成され、前記駆動スプロケット及び前記従動スプロケットに巻き掛けられ、外周面上に配置された樹脂組成物を搬送する搬送ベルトと、を有する搬送装置。
（２）前記樹脂組成物は、エポキシ樹脂組成物をシート状に圧延した圧延物である、前記（１）に記載の搬送装置。
（３）前記搬送ベルトを構成する樹脂が、ポリアセタールであり、前記駆動スプロケット及び前記従動スプロケットを構成する樹脂が、ポリアミドである、前記（２）に記載の搬送装置。
（４）前記駆動スプロケットと前記従動スプロケットの間に配置され、前記搬送ベルトの内周面を支持し、かつ、前記搬送ベルトとの接触部分が樹脂で構成された支持手段を有する、前記（１）〜前記（３）のいずれか１項に記載の搬送装置。
（５）前記支持手段の前記搬送ベルトとの接触部分を構成する樹脂が、ナイロンである、前記（４）に記載の搬送装置。
（６）前記支持手段は、前記搬送ベルトに対して従動回転可能なローラを含む、前記（４）又は前記（５）に記載の搬送装置。
（７）前記支持手段は、支持板を含む、前記（４）〜前記（６）のいずれか１項に記載の搬送装置。
（８）前記支持手段は、前記樹脂組成物の搬送方向に延びるレールを含む、前記（４）〜前記（６）のいずれか１項に記載の搬送装置。
（９）前記搬送ベルトは、開口を有する周方向に複数に分割されたベルト構成部材と、隣り合う前記ベルト構成部材どうしを回転可能に連結する連結部材と、を含んで構成されている、前記（１）〜前記（８）のいずれか１項に記載の搬送装置。 That is, the present invention is as follows.
(1) Drive sprocket made of resin, driven sprocket made of resin, and made of resin, wound around the drive sprocket and the driven sprocket, and transports a resin composition disposed on the outer peripheral surface A conveyor belt.
(2) The transport apparatus according to (1), wherein the resin composition is a rolled product obtained by rolling an epoxy resin composition into a sheet.
(3) The transport device according to (2), wherein the resin that configures the transport belt is polyacetal, and the resin that configures the drive sprocket and the driven sprocket is polyamide.
(4) The support sprocket is disposed between the drive sprocket and the driven sprocket, supports an inner peripheral surface of the transport belt, and has a support means in which a contact portion with the transport belt is made of resin. The conveying apparatus according to any one of (3) to (3).
(5) The transport device according to (4), wherein the resin constituting the contact portion of the support means with the transport belt is nylon.
(6) The transport device according to (4) or (5), wherein the support means includes a roller that can be driven and rotated with respect to the transport belt.
(7) The transport device according to any one of (4) to (6), wherein the support means includes a support plate.
(8) The transport device according to any one of (4) to (6), wherein the support means includes a rail extending in a transport direction of the resin composition.
(9) The conveyor belt includes a belt component member that is divided into a plurality of circumferential directions having openings, and a connecting member that rotatably connects the adjacent belt component members. (1) to the transfer device according to any one of (8).

本発明によれば、樹脂組成物を搬送する搬送装置において、金属異物の発生を確実に防止することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, generation | occurrence | production of a metal foreign material can be reliably prevented in the conveying apparatus which conveys a resin composition.

本発明の第１実施形態の搬送装置で樹脂組成物を搬送している状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the state which is conveying the resin composition with the conveying apparatus of 1st Embodiment of this invention. 第１実施形態の搬送装置の搬送ベルト上に樹脂組成物が配置された状態を示す搬送ベルトの模式的な平面図である。It is a typical top view of the conveyance belt which shows the state by which the resin composition was arrange | positioned on the conveyance belt of the conveyance apparatus of 1st Embodiment. 第１実施形態の搬送装置を側方から見た側面図である。It is the side view which looked at the conveying apparatus of 1st Embodiment from the side. 第１実施形態の搬送装置の駆動スプロケット、従動スプロケット及びローラの配置を示す平面図である。It is a top view which shows arrangement | positioning of the drive sprocket of a conveying apparatus of 1st Embodiment, a driven sprocket, and a roller. 第１実施形態の搬送ベルトの外周面の平面図である。It is a top view of the outer peripheral surface of the conveyance belt of 1st Embodiment. 図５の６Ｘ−６Ｘ線断面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along line 6X-6X in FIG. 5. 本発明の第２実施形態の搬送装置を側方から見た側面図である。It is the side view which looked at the conveying apparatus of 2nd Embodiment of this invention from the side. 第２実施形態の駆動スプロケット、従動スプロケット及びレールの配置を示す平面図である。It is a top view which shows arrangement | positioning of the drive sprocket of a 2nd Embodiment, a driven sprocket, and a rail. 本発明の第３実施形態の搬送装置を側方から見た側面図である。It is the side view which looked at the conveying apparatus of 3rd Embodiment of this invention from the side. 第３実施形態の駆動スプロケット、従動スプロケット、ローラ及びレールの配置を示す平面図である。It is a top view which shows arrangement | positioning of the drive sprocket of a 3rd Embodiment, a driven sprocket, a roller, and a rail. （ａ）比較例の搬送装置の平面図である。（ｂ）比較例の搬送装置の側面図である。(A) It is a top view of the conveying apparatus of a comparative example. (B) It is a side view of the conveyance apparatus of a comparative example.

以下、本発明の第１実施形態の搬送装置１０について説明する。
図１に示すように、第１実施形態の搬送装置１０は、エポキシ樹脂、硬化剤及び無機充填材を含む半導体封止用エポキシ樹脂組成物（以下、単に「エポキシ樹脂組成物」と記載する。）１５の搬送に用いられている。具体的には、搬送装置１０は、エポキシ樹脂組成物の製造工程において、溶融混練されたエポキシ樹脂組成物を圧延ローラ３０でシート状に圧延した圧延物１５Ｓの搬送に用いられている。 Hereinafter, the conveyance apparatus 10 of 1st Embodiment of this invention is demonstrated.
As shown in FIG. 1, the conveying apparatus 10 of 1st Embodiment describes the epoxy resin composition for semiconductor sealing (henceforth an "epoxy resin composition") containing an epoxy resin, a hardening | curing agent, and an inorganic filler. ) 15 is used for conveyance. Specifically, the conveying device 10 is used for conveying a rolled product 15S obtained by rolling the melt-kneaded epoxy resin composition into a sheet shape with a rolling roller 30 in the production process of the epoxy resin composition.

図１及び図３に示すように、搬送装置１０は、樹脂で構成された駆動スプロケット１３と、樹脂で構成された従動スプロケット１４と、樹脂で構成され、駆動スプロケット１３及び従動スプロケット１４に巻き掛けられた搬送ベルト１６を有している。なお、図１〜図５中の矢印Ａは、搬送装置１０の樹脂組成物の搬送方向（以下、単に「搬送方向」と記載する。）を示し、図１、図３及び図６中の矢印Ｕ及び矢印Ｄは、それぞれ搬送装置１０の上方向及び下方向（以下、単に「装置上方向」及び「装置下方向」と記載する。）を示している。また、図２、図４、及び図５中の矢印Ｗは、平面視で搬送方向と直交する方向、言い換えると、搬送ベルト１６の幅方向（以下、単に、「装置幅方向」と記載する。）を示している。また、図１、図３及び図６（図６では駆動スプロケット１３のみ示す。）中では、駆動スプロケット１３及び従動スプロケット１４の各々の回転方向を黒矢印（符号省略）で示している。 As shown in FIG. 1 and FIG. 3, the transport device 10 includes a drive sprocket 13 made of resin, a driven sprocket 14 made of resin, and a resin, and is wound around the drive sprocket 13 and the driven sprocket 14. The transport belt 16 is provided. 1 to 5 indicate the transport direction of the resin composition of the transport apparatus 10 (hereinafter simply referred to as “transport direction”), and the arrows in FIGS. 1, 3, and 6. U and arrow D indicate the upward direction and the downward direction (hereinafter, simply referred to as “apparatus upward direction” and “apparatus downward direction”), respectively. 2, 4, and 5 are described in a direction orthogonal to the transport direction in plan view, in other words, the width direction of the transport belt 16 (hereinafter simply referred to as “device width direction”). ). In FIGS. 1, 3, and 6 (only the drive sprocket 13 is shown in FIG. 6), the rotation directions of the drive sprocket 13 and the driven sprocket 14 are indicated by black arrows (reference numerals omitted).

図４に示すように、駆動スプロケット１３は、装置幅方向に間隔をあけて設けられた一対のフレーム（図示省略）に回転可能に支持された回転軸２０に取り付けられている。この回転軸２０は、軸方向が装置幅方向に沿うように配置（本実施形態では、平行に配置）されている。また、この回転軸２０は、駆動モータ（図示省略）に接続されており、この駆動モータからの駆動力によって回転するようになっている。また、本実施形態では、駆動スプロケット１３が回転軸２０の軸方向に間隔をあけて複数取り付けられている。なお、本発明は上記構成に限定されず、回転軸２０に駆動スプロケット１３が一つ取り付けられる構成であってもよい。 As shown in FIG. 4, the drive sprocket 13 is attached to a rotary shaft 20 that is rotatably supported by a pair of frames (not shown) provided at intervals in the apparatus width direction. The rotary shaft 20 is arranged (in parallel in this embodiment) so that the axial direction is along the apparatus width direction. The rotating shaft 20 is connected to a drive motor (not shown), and is rotated by a driving force from the drive motor. In the present embodiment, a plurality of drive sprockets 13 are attached at intervals in the axial direction of the rotary shaft 20. In addition, this invention is not limited to the said structure, The structure by which one drive sprocket 13 is attached to the rotating shaft 20 may be sufficient.

従動スプロケット１４は、上記一対のフレームに回転可能に支持された回転軸２１に取り付けられている。この回転軸２１は、回転軸２０から搬送方向に離間して配置されている。また、回転軸２１は、軸方向が回転軸２０の軸方向に沿うように配置（本実施形態では、平行に配置）されている。また、本実施形態では、従動スプロケット１４が回転軸２１の軸方向に間隔をあけて複数取り付けられている。具体的には、従動スプロケット１４の配置間隔及び数量は、駆動スプロケット１３の配置間隔及び数量と同じになっている。なお、本発明は上記構成に限定されず、例えば、従動スプロケット１４の配置間隔は、駆動スプロケット１３の配置間隔と異なっていてもよく、従動スプロケット１４の数量は、駆動スプロケット１３の数量と異なってもよい。 The driven sprocket 14 is attached to a rotating shaft 21 that is rotatably supported by the pair of frames. The rotating shaft 21 is disposed away from the rotating shaft 20 in the transport direction. Moreover, the rotating shaft 21 is arrange | positioned so that an axial direction may follow the axial direction of the rotating shaft 20 (it arrange | positions in parallel in this embodiment). In the present embodiment, a plurality of driven sprockets 14 are attached at intervals in the axial direction of the rotating shaft 21. Specifically, the arrangement interval and quantity of the driven sprocket 14 are the same as the arrangement interval and quantity of the drive sprocket 13. The present invention is not limited to the above configuration. For example, the arrangement interval of the driven sprocket 14 may be different from the arrangement interval of the drive sprocket 13, and the quantity of the driven sprocket 14 is different from the quantity of the drive sprocket 13. Also good.

図３に示すように、搬送ベルト１６は、無端帯状とされている。この搬送ベルト１６は、内周面１６Ａに駆動スプロケット１３の歯部１３Ａ及び従動スプロケット１４の歯部１４Ａが挿入されて係合する係合凹部２２が形成されている（図６参照）。この係合凹部２２に歯部１３Ａが係合した状態で駆動スプロケット１３が回転することで、駆動モータからの駆動力が搬送ベルト１６に伝達されて、この搬送ベルト１６が駆動スプロケット１３と従動スプロケット１４の周りを周回する。このように搬送ベルト１６が周回することで、搬送ベルト１６の外周面１６Ｂ上に配置された圧延物１５Ｓが搬送される。 As shown in FIG. 3, the conveyor belt 16 has an endless belt shape. The conveyor belt 16 is formed with an engaging recess 22 on the inner peripheral surface 16A where the teeth 13A of the drive sprocket 13 and the teeth 14A of the driven sprocket 14 are inserted and engaged (see FIG. 6). When the driving sprocket 13 rotates with the teeth 13A engaged with the engaging recess 22, the driving force from the driving motor is transmitted to the conveying belt 16, and the conveying belt 16 is driven by the driving sprocket 13 and the driven sprocket. Orbit around 14. As the conveyor belt 16 circulates in this manner, the rolled product 15S disposed on the outer peripheral surface 16B of the conveyor belt 16 is conveyed.

図５に示すように、搬送ベルト１６は、樹脂で構成され、周方向（言い換えると、搬送ベルト１６の長手方向）に複数に分割されたベルト構成部材２３と、樹脂で構成され、隣り合うベルト構成部材２３どうしを回転可能に連結する連結軸２４（図６参照）と、を含んで構成されている。 As shown in FIG. 5, the transport belt 16 is made of resin, and a belt constituent member 23 divided into a plurality of parts in the circumferential direction (in other words, the longitudinal direction of the transport belt 16) and a belt made of resin and adjacent to each other. And a connecting shaft 24 (see FIG. 6) for rotatably connecting the constituent members 23 to each other.

図６に示すように、ベルト構成部材２３は、搬送ベルト１６の外周面１６Ｂを構成する表面が平坦状とされている。このベルト構成部材２３は、装置幅方向に沿って延びる基部２３Ａを有している。この基部２３Ａは、裏面側に歯部１３Ａ及び歯部１４Ａが係合する係合凹部２２が装置幅方向に間隔をあけて複数形成されている。また、基部２３Ａには、表面及び裏面を貫通する通気用の開口である貫通孔２３Ｄが形成されている。
ベルト構成部材２３には、基部２３Ａから周方向の一方側に突出する突出部２３Ｂが装置幅方向に間隔（本実施形態では、一定間隔）をあけて複数形成されている。また、ベルト構成部材２３には、基部２３Ａから周方向の他方側に突出する突出部２３Ｃが装置幅方向に間隔（本実施形態では、一定間隔）をあけて複数形成されている。これらの突出部２３Ｂ、２３Ｃはそれぞれ装置幅方向に対してずれた位置で基部２３Ａから周方向に突出している。また、突出部２３Ｂ及び突出部２３Ｃには、それぞれ装置幅方向に貫通する貫通孔２５が形成されている。 As shown in FIG. 6, the belt constituting member 23 has a flat surface constituting the outer peripheral surface 16 B of the conveyor belt 16. The belt constituent member 23 has a base 23A extending along the apparatus width direction. In the base 23A, a plurality of engagement recesses 22 with which the teeth 13A and the teeth 14A are engaged are formed on the back surface side at intervals in the apparatus width direction. The base 23A is formed with a through hole 23D that is an opening for ventilation that penetrates the front surface and the back surface.
The belt component member 23 is formed with a plurality of protrusions 23B protruding from the base 23A to one side in the circumferential direction with an interval (a constant interval in the present embodiment) in the apparatus width direction. Further, the belt component member 23 is formed with a plurality of protrusions 23C protruding from the base 23A to the other side in the circumferential direction with an interval (a constant interval in the present embodiment) in the apparatus width direction. These projecting portions 23B and 23C project from the base portion 23A in the circumferential direction at positions shifted from the apparatus width direction. Moreover, the through-hole 25 which penetrates to an apparatus width direction is formed in the protrusion part 23B and the protrusion part 23C, respectively.

連結軸２４は、円柱状とされ、一方のベルト構成部材２３の突出部２３Ｂ間に他方のベルト構成部材２３の突出部２３Ｃを挿入して各々の貫通孔２５の位置を合わせた状態で貫通孔２５に挿入されている。また、連結軸２４は、両端にストッパ（図示省略）が取付けられて、貫通孔２５からの抜け出しが抑制されている。なお、本実施形態の連結軸２４は、本発明の連結部材の一例である。 The connecting shaft 24 is formed in a columnar shape, and the through holes 25 are inserted in a state in which the protruding portions 23C of the other belt constituting member 23 are inserted between the protruding portions 23B of the one belt constituting member 23 and the positions of the respective through holes 25 are aligned. 25 is inserted. Further, stoppers (not shown) are attached to both ends of the connecting shaft 24 to prevent the connecting shaft 24 from coming out from the through hole 25. In addition, the connection shaft 24 of this embodiment is an example of the connection member of this invention.

図４に示すように、搬送装置１０は、駆動スプロケット１３と従動スプロケット１４の間に搬送ベルト１６の内周面１６Ａを支持するローラ１９を有している。具体的には、ローラ１９は、搬送ベルト１６の圧延物１５Ｓを搬送する側（図３では上側）の内周面１６Ａを支持している。このローラ１９は、軸方向両端が上記一対のフレームに回転可能に支持されており、搬送ベルト１６に対して従動回転可能になっている。また、ローラ１９は、軸方向が回転軸２０の軸方向に沿うように配置（本実施形態では、平行に配置）され、かつ、搬送方向に間隔をあけて複数配置されている。なお、ローラ１９は、搬送ベルト１６が自重と圧延物１５Ｓの荷重で弛まずに圧延物１５Ｓを搬送できるように荷重を分散して、搬送ベルト１６の搬送側の外周面１６Ｂが平坦状となるように配置されている。なお、ローラ１９の数量は、搬送ベルト１６の搬送側の外周面１６Ｂの平坦状態を維持できるのであれば、限定されない。
また、ローラ１９は、搬送ベルト１６との接触部分が樹脂で構成（形成）されている。なお、本実施形態では、ローラ１９全体が樹脂で構成されている。すなわち、本実施形態のローラ１９は、樹脂の一体成型品である。なお、本発明は上記構成に限定されず、ローラ１９の少なくとも外周部分が樹脂で構成されていればよい。また、ローラ１９が各部位ごとに異なる種類の樹脂で構成されてもよい。 As shown in FIG. 4, the transport apparatus 10 includes a roller 19 that supports the inner peripheral surface 16 A of the transport belt 16 between the drive sprocket 13 and the driven sprocket 14. Specifically, the roller 19 supports the inner peripheral surface 16A on the side (the upper side in FIG. 3) that conveys the rolled product 15S of the conveyor belt 16. Both ends of the roller 19 in the axial direction are rotatably supported by the pair of frames, and can be driven and rotated with respect to the conveyor belt 16. The rollers 19 are arranged so that the axial direction is along the axial direction of the rotating shaft 20 (in parallel in this embodiment), and a plurality of rollers 19 are arranged at intervals in the transport direction. The roller 19 distributes the load so that the conveyance belt 16 can convey the rolled product 15S without being loosened by its own weight and the load of the rolled product 15S, and the outer peripheral surface 16B on the conveyance side of the conveyance belt 16 becomes flat. Are arranged as follows. The number of rollers 19 is not limited as long as the outer peripheral surface 16B on the conveyance side of the conveyance belt 16 can be maintained flat.
Further, the roller 19 is configured (formed) with a resin at a contact portion with the conveyor belt 16. In the present embodiment, the entire roller 19 is made of resin. That is, the roller 19 of this embodiment is an integrally molded product of resin. In addition, this invention is not limited to the said structure, The at least outer peripheral part of the roller 19 should just be comprised with resin. Moreover, the roller 19 may be comprised with resin of a different kind for every site | part.

図３に示すように、駆動スプロケット１３と従動スプロケット１４の間には、搬送ベルト１６の蛇行防止用に樹脂で構成されたガイドスプロケット２６が配置されている。このガイドスプロケット２６は、歯部２６Ａが搬送ベルト１６の係合凹部２２（図６参照）に係合するように設けられているため、搬送ベルト１６の脱輪を防止することができる。
また、図４に示すように、ガイドスプロケット２６は、上記一対のフレームに回転可能に支持された回転軸２７に取り付けられている。この回転軸２７は、軸方向が回転軸２０の軸方向に沿うように配置（本実施形態では、平行に配置）されている。また、本実施形態では、ガイドスプロケット２６が回転軸２７の軸方向に間隔をあけて複数取り付けられている。具体的には、ガイドスプロケット２６の配置間隔及び数量は、駆動スプロケット１３の配置間隔及び数量と同じになっている。なお、本発明は上記構成に限定されず、例えば、ガイドスプロケット２６の配置間隔は、駆動スプロケット１３の配置間隔と異なっていてもよく、ガイドスプロケット２６の数量は、駆動スプロケット１３の数量と異なってもよい。
また、本実施形態では、ガイドスプロケット２６が搬送方向の中央に配置されている。なお、本発明は上記構成に限定されず、搬送ベルト１６の蛇行を防止できれば、例えば、ガイドスプロケット２６は搬送方向の中央部からずれた位置に配置されてもよい。また、ガイドスプロケット２６を複数配置してもよい。 As shown in FIG. 3, a guide sprocket 26 made of resin is disposed between the drive sprocket 13 and the driven sprocket 14 to prevent the conveying belt 16 from meandering. Since the guide sprocket 26 is provided so that the tooth portion 26 A engages with the engagement recess 22 (see FIG. 6) of the conveyance belt 16, it is possible to prevent the conveyance belt 16 from being removed.
As shown in FIG. 4, the guide sprocket 26 is attached to a rotary shaft 27 that is rotatably supported by the pair of frames. The rotary shaft 27 is arranged (in parallel in this embodiment) so that the axial direction is along the axial direction of the rotary shaft 20. In the present embodiment, a plurality of guide sprockets 26 are attached at intervals in the axial direction of the rotating shaft 27. Specifically, the arrangement interval and quantity of the guide sprocket 26 are the same as the arrangement interval and quantity of the drive sprocket 13. The present invention is not limited to the above configuration. For example, the arrangement interval of the guide sprockets 26 may be different from the arrangement interval of the drive sprockets 13, and the number of the guide sprockets 26 is different from the number of the drive sprockets 13. Also good.
Moreover, in this embodiment, the guide sprocket 26 is arrange | positioned in the center of the conveyance direction. In addition, this invention is not limited to the said structure, For example, if the meandering of the conveyance belt 16 can be prevented, the guide sprocket 26 may be arrange | positioned in the position shifted | deviated from the center part of the conveyance direction. A plurality of guide sprockets 26 may be arranged.

前述の駆動スプロケット１３、従動スプロケット１４、搬送ベルト１６、ローラ１９及びガイドスプロケット２６には、各々独立にエンジニアリングプラスチックとして一般に使用されている樹脂を特に制限なく使用できる。樹脂としては、ナイロン、ポリアミド、ポリアセタール、ポリオキシメチレン、ポリカーボネート（ＰＣ）、ＰＣ／ＡＢＳアロイ、ポリフェニレンエーテル、変性ポリフェニレンエーテル、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、熱可塑性ポリエステル系コンポジットシート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルサルホン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、超高分子量ポリエチレン、アイソタクテックポリスチレン、液晶ポリマー、ナイロン６２０、ナイロン６１２、ナイロン１１、ナイロン１２、ナイロン４６、ポリアミドＭＸＤ６、ＭＣナイロン（「ＭＣナイロン」は登録商標。）、ポリイミド、フッ素樹脂、ポリアミノビスマレインイミド、シリコーン樹脂、ポリトリアジン、架橋ポリアミドイミド、耐熱エポキシ樹脂等が挙げられ、これらを１種単独で用いても２種以上組み合わせて用いてもよい。 For the drive sprocket 13, the driven sprocket 14, the transport belt 16, the roller 19, and the guide sprocket 26, resins that are generally used independently as engineering plastics can be used without any particular limitation. Resins include nylon, polyamide, polyacetal, polyoxymethylene, polycarbonate (PC), PC / ABS alloy, polyphenylene ether, modified polyphenylene ether, polybutylene terephthalate, polyethylene terephthalate, thermoplastic polyester composite sheet, polysulfone, polyethersulfone , Polyethersulfone, Polyphenylene sulfide, Polyarylate, Polyamideimide, Polyetherimide, Polyetheretherketone, Ultra high molecular weight polyethylene, Isotactic polystyrene, Liquid crystal polymer, Nylon 620, Nylon 612, Nylon 11, Nylon 12, Nylon 46, polyamide MXD6, MC nylon ("MC nylon" is a registered trademark), polyimide, fluororesin Polyamino bismaleimide, silicone resins, poly triazine, crosslinked polyamide-imide, include heat epoxy resins may be used in combination of two or more even with these alone.

搬送ベルト１６には、張力が作用するため、機械的強度が求められる。これらの観点から、搬送ベルト１６を構成する樹脂としては、ポリアセタールが好ましい。 Since the tension acts on the conveyor belt 16, mechanical strength is required. From these viewpoints, the resin constituting the conveyor belt 16 is preferably polyacetal.

一方、駆動スプロケット１３及び従動スプロケット１４には、搬送ベルト１６が巻き掛けられるため、機械的強度が求められる。また、駆動スプロケット１３及び従動スプロケット１４には、各々の歯部１３Ａ、１４Ａが搬送ベルト１６の係合凹部２２（図６参照）に挿入されるため、低摩擦及び低摩耗が求められる。これらの観点から駆動スプロケット１３、従動スプロケット１４等を構成する樹脂としては、ポリアミドが好ましい。
同様の理由から、ガイドスプロケット２６を構成する樹脂として、ポリアミドが好ましい。 On the other hand, since the conveyor belt 16 is wound around the drive sprocket 13 and the driven sprocket 14, mechanical strength is required. Further, the drive sprocket 13 and the driven sprocket 14 are required to have low friction and low wear because the respective tooth portions 13A and 14A are inserted into the engagement recesses 22 (see FIG. 6) of the transport belt 16. From these viewpoints, polyamide is preferable as the resin constituting the drive sprocket 13 and the driven sprocket 14.
For the same reason, polyamide is preferable as the resin constituting the guide sprocket 26.

また、ローラ１９の搬送ベルト１６との接触部分には、搬送ベルト１６の内周面１６Ａとの間で摩擦が生じるため、低摩擦及び低摩耗が求められる。これらの観点からローラ１９の上記接触部分を構成する樹脂としては、ナイロンが好ましい。 Further, since friction is generated between the roller 19 and the inner peripheral surface 16 A of the conveying belt 16 at the contact portion with the conveying belt 16, low friction and low wear are required. From these viewpoints, the resin constituting the contact portion of the roller 19 is preferably nylon.

図３に示すように、搬送装置１０の搬送角度αは圧延物１５Ｓを搬送できるのであればいかなる角度を用いてもよいが、−３０〜３０度の範囲内であることが好ましく、０〜２０度の範囲内であることがより好ましい。搬送角度αが−３０〜３０度の範囲内であれば、圧延物１５Ｓの搬送ベルト１６の接触面に対する垂直抗力を確保でき、圧延物１５Ｓを摩擦力で適切に搬送できる。また、搬送角度αを与えることにより搬送長さを変えることなく装置の長さを短くできる。
なお、「搬送角度α」とは、搬送ベルト１６の搬送側（図３では上側）の外周面１６Ｂの水平面に対する角度を意味する。また、搬送角度αがマイナスの場合には、圧延物１５Ｓが斜め下方（装置下方）に向かって搬送され、搬送角度αがプラスの場合には、圧延物１５Ｓが斜め上方（装置上方）に向かって搬送される。 As shown in FIG. 3, the transport angle α of the transport device 10 may be any angle as long as the rolled product 15S can be transported, but is preferably within a range of −30 to 30 degrees, and preferably 0 to 20 More preferably within the range of degrees. If conveyance angle (alpha) is in the range of -30-30 degrees, the vertical drag with respect to the contact surface of the conveyance belt 16 of the rolling product 15S can be ensured, and the rolling product 15S can be conveyed appropriately with a frictional force. In addition, the length of the apparatus can be shortened without changing the transport length by giving the transport angle α.
The “conveying angle α” means an angle of the outer peripheral surface 16B on the conveying side (upper side in FIG. 3) of the conveying belt 16 with respect to the horizontal plane. Further, when the conveyance angle α is negative, the rolled product 15S is conveyed obliquely downward (downward of the apparatus), and when the conveyance angle α is positive, the rolled product 15S is inclined upward (upward of the apparatus). Are transported.

本実施形態の搬送装置１０は、筐体３１内に収容されている（図１参照）。この筐体３１には、低温気体を筐体３１内に送る冷却装置３２が接続されている。この冷却装置３２によって、搬送装置１０で搬送中の圧延物１５Ｓが強制的に冷却されるようになっている。 The conveyance apparatus 10 of this embodiment is accommodated in the housing | casing 31 (refer FIG. 1). A cooling device 32 that sends low-temperature gas into the housing 31 is connected to the housing 31. With this cooling device 32, the rolled product 15 S being conveyed by the conveying device 10 is forcibly cooled.

次に、第１実施形態の搬送装置１０の作用効果について説明する。
搬送装置１０では、圧延物１５Ｓ（シート状に圧延されたエポキシ樹脂組成物１５）と接触する搬送ベルト１６を樹脂で構成し、この搬送ベルト１６と接触する駆動スプロケット１３、従動スプロケット１４、ガイドスプロケット２６及びローラ１９（ローラ１９の搬送ベルト１６との接触部分）をすべて樹脂で構成（形成）していることから、金属異物の発生を確実に防止できる。 Next, the effect of the transport apparatus 10 of the first embodiment will be described.
In the conveying device 10, a conveying belt 16 that comes into contact with the rolled product 15 S (the epoxy resin composition 15 rolled into a sheet shape) is made of resin, and a drive sprocket 13, a driven sprocket 14, and a guide sprocket that are in contact with the conveying belt 16. Since all of the rollers 26 and the rollers 19 (the portions where the rollers 19 are in contact with the conveyor belt 16) are made of resin, it is possible to reliably prevent the occurrence of metallic foreign matters.

また、搬送ベルト１６を構成する樹脂をポリアセタールとしていることから、搬送ベルト１６に不具合が生じにくい。
また、駆動スプロケット１３及び従動スプロケット１４を構成する樹脂をポリアミドとしていることから、駆動スプロケット１３及び従動スプロケット１４に不具合が生じにくく、また、低摩擦のため駆動エネルギーの損失を抑えられる。
さらに、ローラ１９の搬送ベルト１６との接触部分を構成する樹脂をナイロンとしていることから、ローラ１９に不具合が生じにくく、また、低摩擦のため駆動エネルギーの損失を抑えられる。 In addition, since the resin constituting the conveyor belt 16 is polyacetal, problems with the conveyor belt 16 are unlikely to occur.
Further, since the resin constituting the drive sprocket 13 and the driven sprocket 14 is made of polyamide, it is difficult for the drive sprocket 13 and the driven sprocket 14 to be defective, and the loss of drive energy can be suppressed due to low friction.
Further, since the resin constituting the contact portion of the roller 19 with the conveying belt 16 is made of nylon, the roller 19 is less prone to malfunction, and the loss of driving energy can be suppressed due to low friction.

また、搬送ベルト１６の搬送側の内周面１６Ａをローラ１９で支持していることから、搬送ベルト１６が自重と圧延物１５Ｓの荷重で弛むのを抑制することができる。またさらに、ローラ１９が搬送ベルト１６の上記内周面１６Ａを支持しつつ、搬送ベルト１６に対して従動回転するため、搬送ベルト１６との間の摩擦が少なく、駆動スプロケット１３を回転させる駆動モータの駆動エネルギーの損失を抑制できる。 Further, since the inner peripheral surface 16A on the conveying side of the conveying belt 16 is supported by the roller 19, it is possible to suppress the conveying belt 16 from being loosened by its own weight and the load of the rolled product 15S. Furthermore, since the roller 19 is driven and rotated with respect to the conveyor belt 16 while supporting the inner peripheral surface 16A of the conveyor belt 16, there is little friction between the roller 19 and the drive motor for rotating the drive sprocket 13. The loss of driving energy can be suppressed.

搬送ベルト１６を、樹脂で構成されたベルト構成部材２３と、樹脂で構成され、かつ隣り合うベルト構成部材２３どうしを連結する連結軸２４で構成していることから、不具合が生じた場合の部品交換が容易になる。一方、上記のように、ローラ１９を配置することで、ベルト構成部材２３と連結軸２４で構成した搬送ベルト１６の弛みを抑制することができる。 The conveyor belt 16 is composed of a belt constituent member 23 made of resin and a connecting shaft 24 that is made of resin and connects adjacent belt constituent members 23, so that parts in the event of a malfunction Exchange becomes easy. On the other hand, by arranging the roller 19 as described above, it is possible to suppress the slackness of the conveyor belt 16 constituted by the belt constituent member 23 and the connecting shaft 24.

第１実施形態の搬送装置１０では、ガイドスプロケット２６を設けているが、本発明はこの構成に限定されず、搬送ベルト１６の長さが短く、蛇行が生じにくい場合には、ガイドスプロケット２６を省略してもよい。なお、ガイドスプロケット２６を省略する上記構成については後述する第２実施形態及び第３実施形態に適用してもよい。 In the transport apparatus 10 of the first embodiment, the guide sprocket 26 is provided. However, the present invention is not limited to this configuration. If the length of the transport belt 16 is short and it is difficult for meandering to occur, the guide sprocket 26 is provided. It may be omitted. In addition, you may apply to the 2nd Embodiment and 3rd Embodiment which are mentioned later about the said structure which abbreviate | omits the guide sprocket 26. FIG.

また、第１実施形態では、搬送装置１０を筐体３１内に収容し、この筐体３１内に冷却装置３２から低温気体を送って搬送中の圧延物１５Ｓを強制冷却する構成としているが、本発明はこの構成に限定されず、筐体３１を設けずに冷却装置３２から直に低温気体を搬送中の圧延物１５Ｓに吹き当てて強制冷却する構成としてもよく、筐体３１及び冷却装置３２を設けずに、自然冷却で搬送中の圧延物１５Ｓを冷却する構成としてもよい。なお、圧延物１５Ｓの強制冷却の効率性の観点からは、搬送装置１０は筐体３１内に収容することが好ましい。また、作業性からも搬送装置１０は筐体３１内に収容されることが好ましい。
また、樹脂組成物の冷却に関する上記構成については、後述する第２実施形態及び第３実施形態に適用してもよい。 Moreover, in 1st Embodiment, although it has the structure which accommodates the conveying apparatus 10 in the housing | casing 31, and sends the low temperature gas from the cooling device 32 in this housing | casing 31, and forcedly cools the rolled material 15S in conveyance, The present invention is not limited to this configuration, and the casing 31 and the cooling device may be configured to be forcedly cooled by spraying the low-temperature gas directly from the cooling device 32 to the rolled product 15S being conveyed without providing the casing 31. It is good also as a structure which cools the rolling product 15S currently conveyed by natural cooling, without providing 32. FIG. In addition, it is preferable to accommodate the conveying apparatus 10 in the housing | casing 31 from a viewpoint of the efficiency of forced cooling of the rolling product 15S. Moreover, it is preferable that the conveyance apparatus 10 is accommodated in the housing | casing 31 also from workability | operativity.
Moreover, you may apply the said structure regarding cooling of a resin composition to 2nd Embodiment and 3rd Embodiment which are mentioned later.

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態の搬送装置について説明する。なお、第１実施形態と同一構成には同一符号を付し、その説明は省略する。
図７及び図８に示すように、本実施形態の搬送装置４０は、ローラ１９の代わりに、レール４１が設けられる構成を除いて、第１実施形態の搬送装置１０と同一の構成である。 (Second Embodiment)
Next, the conveying apparatus of 2nd Embodiment of this invention is demonstrated. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same structure as 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.
As shown in FIGS. 7 and 8, the transport device 40 of the present embodiment has the same configuration as the transport device 10 of the first embodiment, except that a rail 41 is provided instead of the roller 19.

図７に示すように、レール４１は、搬送方向に沿って延びている。具体的には、隣り合うガイドスプロケット２６の間を通り抜けて、駆動スプロケット１３の近傍から従動スプロケット１４近傍まで延びている。また、レール４１は、搬送ベルト１６を支持する上面４１Ａが平坦状とされている。 As shown in FIG. 7, the rail 41 extends along the transport direction. Specifically, it passes between adjacent guide sprockets 26 and extends from the vicinity of the drive sprocket 13 to the vicinity of the driven sprocket 14. The rail 41 has a flat upper surface 41A that supports the conveyor belt 16.

レール４１は、搬送ベルト１６との接触部分が樹脂で構成（形成）されている。なお、本実施形態では、レール４１全体が樹脂で構成されているが、本発明はこの構成に限定されず、レール４１の少なくとも上部が樹脂で構成されていればよい。また、レール４１は、第１実施形態においてローラ１９に用いることができる樹脂と同じ種類の樹脂を用いることができる。 The rail 41 is configured (formed) with a resin at a contact portion with the conveyor belt 16. In addition, in this embodiment, although the rail 41 whole is comprised with resin, this invention is not limited to this structure, The at least upper part of the rail 41 should just be comprised with resin. Moreover, the rail 41 can use the same kind of resin as the resin that can be used for the roller 19 in the first embodiment.

次に、本実施形態の搬送装置４０の作用効果について説明する。なお、本実施形態の作用効果のうち、第１実施形態と同様の作用効果は、その説明を適宜省略する。
搬送装置４０では、上面４１Ａが平坦状とされたレール４１を用いていることから、搬送ベルト１６の搬送側の外周面１６Ｂをより平坦状に近づけられる。これにより、圧延物１５Ｓからの荷重を搬送ベルト１６の外周面１６Ｂに分散させることができ、圧延物１５Ｓの滑りを抑制できる。 Next, the effect of the transport device 40 of this embodiment will be described. Note that, among the operational effects of the present embodiment, the description of the operational effects similar to those of the first embodiment will be omitted as appropriate.
In the transport device 40, the rail 41 having the flat upper surface 41A is used, so that the outer peripheral surface 16B on the transport side of the transport belt 16 can be made more flat. Thereby, the load from the rolled product 15S can be dispersed on the outer peripheral surface 16B of the conveyor belt 16, and slipping of the rolled product 15S can be suppressed.

また、レール４１は、隣り合うガイドスプロケット２６の間を通り抜け、駆動スプロケット１３の近傍と従動スプロケット１４の近傍まで延びていることから、搬送ベルト１６の搬送側の外周面１６Ｂを広い範囲で平坦状に近づけられる。 Further, since the rail 41 passes between the adjacent guide sprockets 26 and extends to the vicinity of the drive sprocket 13 and the vicinity of the driven sprocket 14, the outer peripheral surface 16B on the conveyance side of the conveyance belt 16 is flat in a wide range. To be close to.

本実施形態のレール４１は、駆動スプロケット１３の近傍から従動スプロケット１４近傍まで延びているが、本発明はこの構成に限定されず、レール４１を搬送方向に複数に分割すると共に搬送方向に間隔をあけて配置してもよい。 The rail 41 of the present embodiment extends from the vicinity of the drive sprocket 13 to the vicinity of the driven sprocket 14, but the present invention is not limited to this configuration, and the rail 41 is divided into a plurality of parts in the transport direction and spaced in the transport direction. It may be arranged open.

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態の搬送装置について説明する。なお、第１実施形態と同一構成には同一符号を付し、その説明は省略する。
図９及び図１０に示すように、本実施形態の搬送装置５０は、ローラ１９とレール５１がそれぞれ設けられる構成を除いて、第１実施形態の搬送装置１０と同一の構成である。 (Third embodiment)
Next, the conveying apparatus of 3rd Embodiment of this invention is demonstrated. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same structure as 1st Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.
As shown in FIGS. 9 and 10, the transport device 50 of the present embodiment has the same configuration as the transport device 10 of the first embodiment, except for the configuration in which the roller 19 and the rail 51 are provided.

図９に示すように、レール５１は、搬送ベルト１６の投入された圧延物１５Ｓを受ける部分（搬送方向上流側）に配置されている。具体的には、上記圧延物１５Ｓを受ける部分に装置幅方向に間隔をあけて複数配置されている。このレール５１は、搬送方向に沿って延びており、搬送ベルト１６との接触部分が樹脂で構成（形成）されている。なお、本実施形態では、レール５１全体が樹脂で構成されているが、本発明はこの構成に限定されず、レール５１の少なくとも上部が樹脂で構成されていればよい。レール５１は、搬送ベルト１６を支持する上面５１Ａが平坦状とされている。また、レール５１は、第１実施形態においてローラ１９に用いることができる樹脂と同じ種類の樹脂を用いることができる。
一方、ローラ１９は、レール５１よりも搬送方向の下流側に搬送方向に間隔をあけて複数配置されている。 As shown in FIG. 9, the rail 51 is arranged at a portion (upstream side in the conveyance direction) that receives the rolled product 15 S loaded with the conveyance belt 16. Specifically, a plurality of the rolled product 15S are arranged at intervals in the apparatus width direction at the portion that receives the rolled product 15S. The rail 51 extends along the conveyance direction, and a contact portion with the conveyance belt 16 is configured (formed) with resin. In addition, in this embodiment, although the rail 51 whole is comprised with resin, this invention is not limited to this structure, The at least upper part of the rail 51 should just be comprised with resin. The rail 51 has a flat upper surface 51A that supports the conveyor belt 16. Moreover, the rail 51 can use the same kind of resin as the resin that can be used for the roller 19 in the first embodiment.
On the other hand, a plurality of rollers 19 are arranged at intervals in the transport direction on the downstream side of the rail 51 in the transport direction.

次に、本実施形態の搬送装置５０の作用効果について説明する。なお、本実施形態の作用効果のうち、第１実施形態と同様の作用効果は、その説明を適宜省略する。
搬送ベルト１６の投入された圧延物１５Ｓを受ける部分にレール５１を配置することで、搬送ベルト１６の上記受ける部分が弛むのを抑制することができる。これにより、搬送ベルト１６上に配置する圧延物１５Ｓが蛇行するのを抑制することができる。 Next, functions and effects of the transport device 50 according to the present embodiment will be described. Note that, among the operational effects of the present embodiment, the description of the operational effects similar to those of the first embodiment will be omitted as appropriate.
By arranging the rail 51 in the portion that receives the rolled product 15 S into which the transport belt 16 is input, the receiving portion of the transport belt 16 can be prevented from loosening. Thereby, it can suppress that the rolling product 15S arrange | positioned on the conveyance belt 16 meanders.

本実施形態では、搬送ベルト１６の投入された圧延物１５Ｓを受ける部分にレール５１を配置する構成としたが、本発明はこの構成に限定されず、例えば、搬送方向に隣り合うローラ１９間にもレール５１を配置してもよい。 In the present embodiment, the rail 51 is disposed in the portion that receives the rolled product 15S loaded with the conveyance belt 16, but the present invention is not limited to this configuration, and for example, between the rollers 19 adjacent in the conveyance direction. Alternatively, the rail 51 may be disposed.

本実施形態においてはレールを用いているが、レールに限らず、支持板等の板状のものを用いてもよい。 In the present embodiment, rails are used, but not limited to rails, plate-like ones such as support plates may be used.

第１〜３実施形態の搬送装置１０、４０、５０では、駆動スプロケット１３、従動スプロケット１４及び搬送ベルト１６を用いて圧延物１５Ｓを搬送したが、本発明はこの構成に限定されず、圧延物１５Ｓを搬送することができれば、他の構成を用いてもよい。例えば、駆動スプロケット１３と従動スプロケット１４に樹脂で構成されたチェーンを巻き掛け、このチェーンに搬送ベルト１６を接続する構成を用いてもよい。 In the transport apparatuses 10, 40, and 50 of the first to third embodiments, the rolled product 15S is transported using the drive sprocket 13, the driven sprocket 14, and the transport belt 16, but the present invention is not limited to this configuration, and the rolled product. Other configurations may be used as long as 15S can be conveyed. For example, a structure in which a chain made of resin is wound around the drive sprocket 13 and the driven sprocket 14 and the conveyor belt 16 is connected to the chain may be used.

第１〜３実施形態の搬送装置１０、４０、５０では、半導体封止用エポキシ樹脂組成物１５を搬送する構成としたが、本発明はこの構成に限定されず、半導体封止用エポキシ樹脂組成物以外の樹脂組成物を搬送してもよい。 In the transport apparatuses 10, 40, 50 of the first to third embodiments, the semiconductor sealing epoxy resin composition 15 is transported. However, the present invention is not limited to this structure, and the semiconductor sealing epoxy resin composition is used. You may convey resin compositions other than a thing.

以上、実施形態を挙げて本発明の実施の形態を説明したが、これらの実施形態は一例であり、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。また、本発明の権利範囲がこれらの実施形態に限定されないことは言うまでもない。 The embodiments of the present invention have been described above with reference to the embodiments. However, these embodiments are merely examples, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. It goes without saying that the scope of rights of the present invention is not limited to these embodiments.

以下、本発明の搬送装置の好適な実施例について説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, although the suitable Example of the conveying apparatus of this invention is described, this invention is not limited to these Examples.

（実施例１）
実施例１の搬送装置は、第１実施形態の搬送装置１０において、搬送ベルト１６をポリアセタール製、幅７６２ｍｍ、周長１５４４２ｍｍとした。また、駆動スプロケット１３、従動スプロケット１４及びガイドスプロケット２６をそれぞれポリアミド製とし、各々の回転軸２０、２１、２７にそれぞれ１０個取り付けた。また、ローラ１９をＭＣナイロン製、幅８６０ｍｍ、直径５０ｍｍとした。また、搬送角度αを１０．５度とした。 Example 1
In the conveying apparatus of Example 1, in the conveying apparatus 10 of the first embodiment, the conveying belt 16 is made of polyacetal, has a width of 762 mm, and a circumferential length of 15442 mm. Further, the drive sprocket 13, the driven sprocket 14, and the guide sprocket 26 were each made of polyamide, and 10 were attached to each of the rotary shafts 20, 21, and 27, respectively. The roller 19 was made of MC nylon, had a width of 860 mm and a diameter of 50 mm. In addition, the transport angle α is 10.5 degrees.

（実施例２）
実施例２の搬送装置は、第２実施形態の搬送装置４０において、搬送ベルト１６をポリアセタール製、幅７６２ｍｍ、周長１５４４２ｍｍとした。また、駆動スプロケット１３、従動スプロケット１４及びガイドスプロケット２６をそれぞれポリアミド製とし、各々の回転軸２０、２１、２７にそれぞれ１０個取り付けた。また、レール４１をＭＣナイロン製、幅１００ｍｍ、長さ７１４９ｍｍとし、５本を分割して配置した。また、搬送角度αを１０．５度とした。 (Example 2)
In the conveyance apparatus of Example 2, in the conveyance apparatus 40 of the second embodiment, the conveyance belt 16 is made of polyacetal, has a width of 762 mm, and a circumferential length of 15442 mm. Further, the drive sprocket 13, the driven sprocket 14, and the guide sprocket 26 were each made of polyamide, and 10 were attached to each of the rotary shafts 20, 21, and 27, respectively. Further, the rail 41 is made of MC nylon, has a width of 100 mm, and a length of 7149 mm. In addition, the transport angle α is 10.5 degrees.

実施例１の搬送装置および実施例２の搬送装置にて搬送ベルト１６の速度を３ｍｍ／ｍｉｎとして、１６時間空運転した後、確認したところ、金属異物の発生は無かった。 When the conveyance device of Example 1 and the conveyance device of Example 2 set the speed of the conveyance belt 16 to 3 mm / min and performed an idling operation for 16 hours, it was confirmed that no metal foreign matter was generated.

（比較例１）
図１１には、比較例１の搬送装置１００を示した。金属製のネット１０１を使用した搬送装置１００の金属異物を確認するため、搬送物を載せずにコンベア速度３ｍ／ｍｉｎで空運転を行い、金属異物を採取した。採取箇所は図１１に示すようにネット１０１（ＳＵＳ４３０製）の周り１０１Ｒ、レール１０２（Ｆｅ製）の周り１０２Ｒ、駆動スプロケット（Ｆｅ製）１０３Ｒの周りとし、採取箇所にポリエチレン袋を設置し、空運転後回収した。６時間空運転後、量２９ｍｇ、最大サイズ１７６０μｍの金属異物を確認した。 (Comparative Example 1)
FIG. 11 shows the transport apparatus 100 of Comparative Example 1. In order to check the metal foreign matter of the transport apparatus 100 using the metal net 101, the idle operation was performed at a conveyor speed of 3 m / min without placing a transported object, and the metal foreign matter was collected. As shown in FIG. 11, the sampling points are around the net 101 (made of SUS430) 101R, around the rail 102 (made of Fe) 102R, and around the drive sprocket (made of Fe) 103R. Collected after operation. After 6 hours of idling, metal foreign matter having an amount of 29 mg and a maximum size of 1760 μm was confirmed.

実施例１の搬送装置では、金属異物の発生要因が無くなり、またローラの回転軸を搬送ベルトの搬送方向直角に設けたため、搬送ベルトの外周面を平坦状に維持することが可能となった。 In the conveyance device of Example 1, the generation factor of the metal foreign matter is eliminated, and the rotation axis of the roller is provided at a right angle in the conveyance direction of the conveyance belt, so that the outer peripheral surface of the conveyance belt can be maintained flat.

実施例２の搬送装置では、金属異物の発生要因が無くなり、またレールを装置幅方向に複数配置したため、搬送ベルトの外周面を平坦状に維持することが可能となった。 In the transport apparatus of Example 2, the generation factor of the metal foreign object is eliminated, and a plurality of rails are arranged in the apparatus width direction, so that the outer peripheral surface of the transport belt can be maintained flat.

１０搬送装置
１３駆動スプロケット
１４従動スプロケット
１５半導体封止用エポキシ樹脂組成物（樹脂組成物）
１６搬送ベルト
１６Ａ内周面
１６Ｂ外周面
１９ローラ（支持手段）
２３ベルト構成部材
２４連結軸（連結部材）
４０搬送装置
４１レール（支持手段）
５０搬送装置
５１レール（支持手段）
Ａ搬送方向 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Conveying device 13 Drive sprocket 14 Driven sprocket 15 Epoxy resin composition (resin composition) for semiconductor sealing
16 Conveying belt 16A Inner peripheral surface 16B Outer peripheral surface 19 Roller (support means)
23 Belt component 24 Connection shaft (connection member)
40 Conveying device 41 Rail (support means)
50 Conveying device 51 Rail (support means)
A Transport direction

Claims

A drive sprocket made of resin;
A driven sprocket made of resin;
A conveyor belt made of resin, wound around the drive sprocket and the driven sprocket, and transporting a resin composition disposed on the outer peripheral surface;
I have a,
The said resin composition is a conveying apparatus which is a rolling product which rolled the epoxy resin composition into the sheet form .

The resin constituting the conveyor belt is polyacetal,
The conveying apparatus according to claim 1 , wherein the resin constituting the driving sprocket and the driven sprocket is polyamide.

Disposed between the driven sprocket and the drive sprocket, and supports the inner peripheral surface of the conveyor belt, and has a supporting means for contacting portions of the conveyor belt is made of resin, according to claim 1 or claim 2. The transfer apparatus according to 2 .

The transport apparatus according to claim 3 , wherein the resin constituting the contact portion of the support means with the transport belt is nylon.

It said supporting means comprising said driven rotatable roller to the conveyance belt, conveyance device according to claim 3 or claim 4.

It said support means comprises a support plate, the transport device according to any one of claims 3 to 5.

It said support means comprises a rail extending in the conveying direction of the resin composition, the transport apparatus according to any one of claims 3 to 5.

The said conveyance belt is comprised including the belt structural member divided | segmented into the circumferential direction which has an opening, and the connection member which connects the said adjacent belt structural members rotatably. The conveyance apparatus of any one of Claim 7 .