JP6116142B2 - Scanning confocal laser microscope - Google Patents

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Description

本発明は、走査型共焦点レーザ顕微鏡に関し、特に、標本の三次元画像を生成する走査型共焦点レーザ顕微鏡に関する。   The present invention relates to a scanning confocal laser microscope, and more particularly to a scanning confocal laser microscope that generates a three-dimensional image of a specimen.

走査型共焦点レーザ顕微鏡により生体標本の三次元画像を生成する方法として、標本の光軸方向に異なる面のスライス画像を、対物レンズなどを光軸方向に移動させることで順次取得し、それらを合成する方法が知られている。   As a method of generating a three-dimensional image of a biological specimen using a scanning confocal laser microscope, slice images of different surfaces in the optical axis direction of the specimen are sequentially acquired by moving an objective lens or the like in the optical axis direction. A method of synthesis is known.

しかしながら、ガルバノミラーなどにより光軸と直交する方向に標本を走査することで取得されるスライス画像はその取得に相応の時間を要するため、各面のスライス画像を順次取得する上述した方法を用いた場合には、三次元画像を高速に生成することが難しい。   However, since the slice image acquired by scanning the sample in the direction orthogonal to the optical axis by a galvanometer mirror or the like requires a corresponding time, the above-described method for sequentially acquiring the slice images of each surface was used. In some cases, it is difficult to generate a three-dimensional image at high speed.

このため、近年では、より高速に3次元画像を生成し得る走査型共焦点レーザ顕微鏡が求められている。そのような顕微鏡は、例えば、特許文献1で開示されている。   For this reason, in recent years, a scanning confocal laser microscope capable of generating a three-dimensional image at higher speed has been demanded. Such a microscope is disclosed in Patent Document 1, for example.

特開2009−198980号公報JP 2009-198980 A

特許文献1に開示される顕微鏡は、複数のスライス画像を同時に取得することができる。しかしながら、特許文献1に開示される顕微鏡には、種々の技術的な課題が存在する。   The microscope disclosed in Patent Document 1 can simultaneously acquire a plurality of slice images. However, the microscope disclosed in Patent Document 1 has various technical problems.

例えば、特許文献1に開示される顕微鏡は、同時に取得するスライス画像の枚数と同じ数だけ照明手段と検出手段を有しているため、装置が大型化しやすい。また、特許文献1に開示される顕微鏡は、照明と検出の両方に用いられる光学素子を集光位置に配置しているため、その光学素子に埃などが付着した場合に、大きく性能が劣化してしまう。特に、可干渉性の強いレーザ光が作用する照明においては、その影響は顕著である。
このため、特許文献1に開示される顕微鏡とは異なる構成を有する、高速に3次元画像を生成し得る走査型共焦点レーザ顕微鏡が求められている。
以上のような実情を踏まえ、本発明は、1回の標本走査で複数のスライス画像を取得し得る走査型共焦点レーザ顕微鏡を提供することを課題とする。
For example, since the microscope disclosed in Patent Document 1 has the same number of illumination means and detection means as the number of slice images acquired simultaneously, the size of the apparatus is likely to increase. In addition, the microscope disclosed in Patent Document 1 has optical elements used for both illumination and detection arranged at a light condensing position. Therefore, when dust or the like adheres to the optical elements, the performance greatly deteriorates. End up. In particular, the effect is significant in illumination in which highly coherent laser light acts.
Therefore, a scanning confocal laser microscope having a configuration different from that of the microscope disclosed in Patent Document 1 and capable of generating a three-dimensional image at high speed is required.
In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a scanning confocal laser microscope that can acquire a plurality of slice images by one sample scanning.

本願の第1の態様は、レーザ光を出射する単一のレーザ光源と、前記単一のレーザ光源から出射された前記レーザ光を標本の光軸方向に異なる複数の集光位置に集光させる多焦点形成部であって、前記レーザ光を分割する光路分割手段と、前記光路分割手段で分割されたレーザ光の少なくとも1つの光路上の光学素子を制御して、前記複数の集光位置のうちの少なくとも1つの集光位置を光軸方向に変更する集光位置変更手段を含む多焦点形成部と、各々が前記複数の集光位置のうちの対応する集光位置からの検出光と他の位置からの検出光とを分割する複数の共焦点手段と、各々が前記複数の集光位置のうちの対応する集光位置から生じる検出光を前記複数の共焦点手段のうちの対応する共焦点手段を介して検出する複数の検出手段と、前記集光位置変更手段により変更された集光位置と前記複数の共焦点手段のうちの前記変更された集光位置に対応する共焦点手段との共役関係を維持する検出位置変更手段と、を含む多焦点検出部と、を含む走査型共焦点レーザ顕微鏡を提供する。 In the first aspect of the present application, a single laser light source that emits laser light and the laser light emitted from the single laser light source are condensed at a plurality of condensing positions that are different in the optical axis direction of the sample. A multi-focal formation unit that controls an optical path dividing unit that divides the laser beam and an optical element on at least one optical path of the laser beam divided by the optical path dividing unit to A multi-focal point forming section including a condensing position changing means for changing at least one of the condensing positions in the optical axis direction, and detection light from the corresponding condensing position among the plurality of condensing positions, and the like A plurality of confocal means for dividing detection light from a plurality of confocal means, and a plurality of confocal means each for detecting detection light generated from a corresponding condensing position among the plurality of condensing positions. A plurality of detection means for detecting via the focus means; Detecting position changing means for maintaining a conjugate relationship between the condensing position changed by the condensing position changing means and the confocal means corresponding to the changed condensing position among the plurality of confocal means. A scanning confocal laser microscope including a multifocal detector is provided.

本願の第の態様は、第の態様に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、前記多焦点形成部は、さらに、前記光路分割手段で分割されたレーザ光の少なくとも1つの光路上に、集光レンズと、前記集光レンズを介して入射するレーザ光を前記集光レンズに向けて反射させて前記光路分割手段に入射させる反射部材と、を含み、前記集光位置変更手段は、前記集光レンズと前記反射部材との間隔を変更する走査型共焦点レーザ顕微鏡を提供する。 According to a second aspect of the present application, in the scanning confocal laser microscope according to the first aspect, the multifocal formation unit further includes at least one optical path of the laser light divided by the optical path dividing unit. A condensing lens; and a reflecting member that reflects the laser light incident through the condensing lens toward the condensing lens and enters the optical path dividing unit, and the condensing position changing unit includes Provided is a scanning confocal laser microscope that changes the interval between a condenser lens and the reflecting member.

本願の第の態様は、第の態様に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、前記多焦点形成部は、さらに、前記光路分割手段で分割されたレーザ光の少なくとも1つの光路上に、デフォーマブルミラーを含み、前記集光位置変更手段は、前記デフォーマブルミラーの曲率を変更する走査型共焦点レーザ顕微鏡を提供する。 According to a third aspect of the present application, in the scanning confocal laser microscope according to the first aspect, the multifocal forming unit further includes at least one optical path of the laser light divided by the optical path dividing unit. The condensing position changing means includes a deformable mirror, and provides a scanning confocal laser microscope that changes the curvature of the deformable mirror.

本願の第の態様は、第の態様乃至第の態様のいずれか1つに記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、前記多焦点形成部は、収斂状態が異なる複数の光束であって、前記複数の光束の光軸の方向が互いに異なる、という複数の光束を出射する走査型共焦点レーザ顕微鏡を提供する。 A fourth aspect of the present invention, in a confocal scanning laser microscope according to any one of the first aspect to third aspect, the multifocal forming unit is a plurality of different light beams converging state The present invention provides a scanning confocal laser microscope that emits a plurality of light beams in which directions of optical axes of the plurality of light beams are different from each other.

本願の第の態様は、第1の態様乃至第の態様のいずれか1つに記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、前記複数の共焦点手段の各々は、対応する集光位置からの検出光を反射させ、他の位置からの検出光を透過させる、または、対応する集光位置からの検出光を透過させ、他の位置からの検出光を反射させる走査型共焦点レーザ顕微鏡を提供する。 According to a fifth aspect of the present application, in the scanning confocal laser microscope according to any one of the first aspect to the fourth aspect, each of the plurality of confocal means includes a corresponding condensing position. Provides a scanning confocal laser microscope that reflects detection light and transmits detection light from other positions, or transmits detection light from the corresponding condensing position and reflects detection light from other positions To do.

本願の第の態様は、第の態様に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、前記複数の共焦点手段の各々は、対応する集光位置と共役な位置に開口が形成された、反射コーティングされた部材である走査型共焦点レーザ顕微鏡を提供する。 According to a sixth aspect of the present application, in the scanning confocal laser microscope according to the fifth aspect, each of the plurality of confocal means has a reflection formed with an opening at a position conjugate with a corresponding condensing position. A scanning confocal laser microscope is provided that is a coated member.

本願の第の態様は、第の態様に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、前記複数の共焦点手段の各々は、対応する集光位置と共役な位置に反射コーティングされた、透明部材である走査型共焦点レーザ顕微鏡を提供する。 According to a seventh aspect of the present application, in the scanning confocal laser microscope according to the fifth aspect, each of the plurality of confocal means is reflection-coated at a position conjugate with a corresponding condensing position. A scanning confocal laser microscope is provided.

本願の第の態様は、第の態様乃至第の態様のいずれか1つに記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、前記検出位置変更手段は、前記集光位置変更手段により変更される集光位置に対応する共焦点手段の前記標本側に配置された光学素子を移動させる、または、交換する走査型共焦点レーザ顕微鏡を提供する。 According to an eighth aspect of the present application, in the scanning confocal laser microscope according to any one of the fifth to seventh aspects, the detection position changing unit is changed by the condensing position changing unit. Provided is a scanning confocal laser microscope that moves or replaces an optical element arranged on the specimen side of the confocal means corresponding to a condensing position.

本願の第の態様は、第の態様乃至第の態様のいずれか1つに記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、前記検出位置変更手段は、前記集光位置変更手段により変更される集光位置に対応する共焦点手段を光軸方向に移動させる走査型共焦点レーザ顕微鏡を提供する。
According to a ninth aspect of the present application, in the scanning confocal laser microscope according to any one of the fifth to seventh aspects, the detection position changing unit is changed by the condensing position changing unit. Provided is a scanning confocal laser microscope in which confocal means corresponding to a condensing position is moved in the optical axis direction.

本発明によれば、1回の標本走査で複数のスライス画像を取得し得る走査型共焦点レーザ顕微鏡を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the scanning confocal laser microscope which can acquire a some slice image by one sample scan can be provided.

本発明の実施例1に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の構成を例示した図である。It is the figure which illustrated the structure of the scanning confocal laser microscope which concerns on Example 1 of this invention. 本発明の実施例2に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の構成の一部を例示した図である。It is the figure which illustrated a part of structure of the scanning confocal laser microscope which concerns on Example 2 of this invention. 本発明の実施例3に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の構成の一部を例示した図である。It is the figure which illustrated a part of structure of the scanning confocal laser microscope which concerns on Example 3 of this invention. 本発明の実施例4に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の構成の一部を例示した図である。It is the figure which illustrated a part of structure of the scanning confocal laser microscope which concerns on Example 4 of this invention. 本発明の実施例5に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の構成の一部を例示した図である。It is the figure which illustrated a part of structure of the scanning confocal laser microscope which concerns on Example 5 of this invention. 本発明の実施例6に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の多焦点形成部の構成を例示した図である。It is the figure which illustrated the structure of the multifocal formation part of the scanning confocal laser microscope which concerns on Example 6 of this invention. 本発明の実施例6に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の多焦点検出部の構成を例示した図である。It is the figure which illustrated the structure of the multifocal detection part of the scanning confocal laser microscope which concerns on Example 6 of this invention. 本発明の実施例7に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の構成を例示した図である。It is the figure which illustrated the structure of the scanning confocal laser microscope which concerns on Example 7 of this invention. 本発明の実施例7に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の走査対象範囲を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the scanning object range of the scanning confocal laser microscope which concerns on Example 7 of this invention.

図1は、本実施例に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の構成を例示した図である。図1に例示される走査型共焦点レーザ顕微鏡1は、対物レンズ17の光軸方向に異なる標本18の複数の面のスライス画像を同時に取得して、標本18の3次元画像を生成する走査型共焦点レーザ顕微鏡である。   FIG. 1 is a diagram illustrating the configuration of a scanning confocal laser microscope according to the present embodiment. A scanning confocal laser microscope 1 exemplified in FIG. 1 simultaneously acquires slice images of a plurality of surfaces of a specimen 18 different in the optical axis direction of the objective lens 17 and generates a three-dimensional image of the specimen 18. It is a confocal laser microscope.

走査型共焦点レーザ顕微鏡1は、照明光路上に、ファイバ光源ユニット2と、コリメートレンズ3と、多焦点形成部4と、リレー光学系11と、レーザ光を透過させ標本18からの蛍光を反射させるダイクロイックミラー12と、標本18を対物レンズ17の光軸と直交する方向に走査するガルバノミラー13と、瞳レンズ14と、結像レンズ15と、ミラー16と、対物レンズ17と、備えている。   The scanning confocal laser microscope 1 includes a fiber light source unit 2, a collimator lens 3, a multifocal formation unit 4, a relay optical system 11, and a laser beam that is transmitted through the illumination optical path and reflects fluorescence from the specimen 18. A dichroic mirror 12 to be scanned, a galvano mirror 13 that scans the specimen 18 in a direction orthogonal to the optical axis of the objective lens 17, a pupil lens 14, an imaging lens 15, a mirror 16, and an objective lens 17. .

ファイバ光源ユニット2は、標本18を励起するレーザ光を出射する単一のレーザ光源2aと、光ファイバ2cと、レーザ光を光ファイバ2cの入射端に集光させるカップリングレンズ2bと、を備えている。光ファイバ2cの射出端から発散光束として出射されたレーザ光は、コリメートレンズ3によりコリメートされて、コリメートレンズ3から平行光束として出射される。   The fiber light source unit 2 includes a single laser light source 2a that emits laser light that excites the sample 18, an optical fiber 2c, and a coupling lens 2b that condenses the laser light at the incident end of the optical fiber 2c. ing. Laser light emitted as a divergent light beam from the exit end of the optical fiber 2 c is collimated by the collimator lens 3 and emitted from the collimator lens 3 as a parallel light beam.

多焦点形成部4は、レーザ光を分割するための偏光ビームスプリッタ(以降、PBSと記す)5と、PBS5により分割されたレーザ光の一方の光路上に配置された、λ/4板6と、ミラー7と、λ/4板8と、集光レンズ9と、集光レンズ9の光軸方向に移動自在に配置されたミラー10と、を備えている。多焦点形成部4は、さらに、集光レンズに近接して配置されているミラー10を光軸方向に移動させる第1の制御部27を備えている。   The multifocal forming unit 4 includes a polarization beam splitter (hereinafter referred to as PBS) 5 for dividing the laser light, and a λ / 4 plate 6 disposed on one optical path of the laser light divided by the PBS 5. , A mirror 7, a λ / 4 plate 8, a condensing lens 9, and a mirror 10 disposed so as to be movable in the optical axis direction of the condensing lens 9. The multifocal formation unit 4 further includes a first control unit 27 that moves the mirror 10 disposed close to the condenser lens in the optical axis direction.

PBS5は、平行光束としてPBS5の斜面に入射したレーザ光のうちのP偏光成分を透過させ、レーザ光のS偏光成分を反射させる特性を有している。このため、ファイバ光源ユニット2から出射される直線偏光であるレーザ光がPBS5の斜面に対してS偏光成分とP偏光成分を有するようにレーザ光源2aが配置されることで、PBS5はレーザ光を分割する光路分割手段として機能する。   The PBS 5 has a characteristic of transmitting the P-polarized component of the laser light incident on the inclined surface of the PBS 5 as a parallel light beam and reflecting the S-polarized component of the laser light. For this reason, the laser light source 2a is arranged so that the laser light, which is linearly polarized light emitted from the fiber light source unit 2, has an S-polarized component and a P-polarized component with respect to the slope of the PBS 5, so that the PBS 5 It functions as optical path dividing means for dividing.

多焦点形成部4に入射したレーザ光のうちPBS5の斜面を透過したP偏光であるレーザ光は、P偏光のまま多焦点形成部4から出射される。一方、PBS5の斜面を反射したS偏光であるレーザ光は、ミラー7で反射して再びPBS5に入射する。レーザ光はPBS5の斜面を反射してからPBS5に再入射するまでの間に2度λ/4板6を通過してP偏光となっているため、再入射したPBS5の斜面を透過する。さらに、PBS5の斜面を透過したP偏光であるレーザ光は、集光レンズ9を介して入射するミラー10で反射して再びPBS5に入射する。レーザ光はPBS5の斜面を透過してからPBS5に再入射するまでの間に2度λ/4板8を通過してS偏光となっているため、再入射したPBS5の斜面を反射して、多焦点形成部4から出射される。つまり、PBS5でP偏光成分とS偏光成分に分割されたレーザ光は、それぞれの偏光方向が直交した状態で多焦点形成部4から出射される。   Of the laser light incident on the multifocal formation unit 4, laser light that is P-polarized light that has transmitted through the inclined surface of the PBS 5 is emitted from the multifocal formation unit 4 while remaining P-polarized light. On the other hand, the S-polarized laser beam reflected from the slope of the PBS 5 is reflected by the mirror 7 and enters the PBS 5 again. Since the laser beam passes through the λ / 4 plate 6 twice and becomes P-polarized light after being reflected on the slope of the PBS 5 and before being incident on the PBS 5 again, the laser light is transmitted through the slope of the PBS 5 that has entered again. Further, the P-polarized laser beam transmitted through the inclined surface of the PBS 5 is reflected by the mirror 10 incident through the condenser lens 9 and is incident on the PBS 5 again. Since the laser beam passes through the λ / 4 plate 8 and becomes S-polarized light after passing through the slope of the PBS 5 and re-entering the PBS 5, it reflects the slope of the PBS 5 that has entered again, The light is emitted from the multifocal forming unit 4. That is, the laser light divided into the P-polarized component and the S-polarized component by the PBS 5 is emitted from the multifocal forming unit 4 in a state where the polarization directions are orthogonal to each other.

また、多焦点形成部4のミラー10は、集光レンズ9を介して入射するレーザ光を集光レンズ9に向けて反射させてPBS5に再入射させる反射部材であり、上述したように、第1の制御部27により集光レンズ9の光軸方向に移動自在である。このため、ミラー10で反射したレーザ光は、ミラー10の位置に応じて異なる状態で多焦点形成部4から出射される。具体的には、ミラー10が集光レンズ9の焦点面に配置されている場合であれば平行光束として、ミラー10が焦点面より集光レンズ9から離れた面に配置されている場合であれば収斂光束として、ミラー10が焦点面より集光レンズ9に近い面に配置されている場合であれば発散光束として、多焦点形成部4から出射される。   The mirror 10 of the multifocal forming unit 4 is a reflecting member that reflects the laser beam incident through the condenser lens 9 toward the condenser lens 9 and re-enters the PBS 5, as described above. 1 controller 27 is movable in the optical axis direction of the condenser lens 9. For this reason, the laser beam reflected by the mirror 10 is emitted from the multifocal forming unit 4 in a different state depending on the position of the mirror 10. Specifically, if the mirror 10 is disposed on the focal plane of the condenser lens 9, the mirror 10 is disposed on a surface farther from the condenser lens 9 than the focal plane as a parallel light beam. For example, if the mirror 10 is disposed on a surface closer to the condenser lens 9 than the focal plane, it is emitted from the multifocal forming unit 4 as a divergent light beam.

従って、多焦点形成部4は、平行光束として入射するレーザ光源2からのレーザ光を収斂状態の異なる複数のレーザ光束(実線で示す平行光束と、破線で示す収斂光束)に変換して出射する。ここで、収斂状態とは、光束が収斂光束である状態だけでなく、平行光束である状態や発散光束である状態も含むものである。収斂状態の異なる光束は、リレー光学系11を介して入射するダイクロイックミラー12を透過し、複数の光学素子(ガルバノミラー13、瞳レンズ14、結像レンズ15、ミラー16、対物レンズ17)を介して標本18の光軸方向に異なる集光位置(集光位置P1、集光位置P2)に集光する。即ち、多焦点形成部4は、レーザ光を標本18の光軸方向に異なる複数の集光位置に集光させるための手段として機能する。   Therefore, the multifocal formation unit 4 converts the laser light from the laser light source 2 that is incident as a parallel light beam into a plurality of laser light beams (parallel light beam indicated by a solid line and a convergent light beam indicated by a broken line) having different convergence states and emits them. . Here, the convergent state includes not only a state where the light beam is a convergent light beam but also a state where the light beam is a parallel light beam or a divergent light beam. Light beams having different convergence states are transmitted through a dichroic mirror 12 incident via a relay optical system 11, and are transmitted through a plurality of optical elements (galvano mirror 13, pupil lens 14, imaging lens 15, mirror 16, objective lens 17). Thus, the sample 18 is condensed at different condensing positions (condensing position P1, condensing position P2) in the optical axis direction. That is, the multifocal formation unit 4 functions as a unit for condensing the laser light at a plurality of condensing positions different in the optical axis direction of the sample 18.

また、多焦点形成部4では、第1の制御部27がミラー10を光軸方向に移動させることで、ミラー10で反射したレーザ光の標本18上の集光位置P2が光軸方向に変化する。即ち、第1の制御部27は、多焦点形成部4により形成される複数の集光位置のうちの少なくとも1つの集光位置を光軸方向に変更する集光位置変更手段であり、多焦点形成部4は、集光位置変更手段として第1の制御部27を備えている。   Moreover, in the multifocal formation part 4, the 1st control part 27 moves the mirror 10 to an optical axis direction, and the condensing position P2 on the sample 18 of the laser beam reflected by the mirror 10 changes to an optical axis direction. To do. That is, the first control unit 27 is a condensing position changing unit that changes at least one condensing position of the plurality of condensing positions formed by the multifocal forming unit 4 in the optical axis direction. The forming unit 4 includes a first control unit 27 as a condensing position changing unit.

なお、走査型共焦点レーザ顕微鏡1では、集光レンズ9の瞳位置は、リレー光学系11によりガルバノミラー13に投影されていることが望ましい。このとき、集光レンズ9の瞳位置とガルバノミラー13は光学的に共役な関係となっている。このため、ミラー10の位置を変えてもケラレによる光量ロスがなく、NAが一定となるため解像力の低下が起こらずに集光位置P1と集光位置P2とを分離することができる。   In the scanning confocal laser microscope 1, the pupil position of the condenser lens 9 is preferably projected onto the galvanometer mirror 13 by the relay optical system 11. At this time, the pupil position of the condenser lens 9 and the galvanometer mirror 13 are in an optically conjugate relationship. For this reason, even if the position of the mirror 10 is changed, there is no light loss due to vignetting and the NA is constant, so that the condensing position P1 and the condensing position P2 can be separated without causing a reduction in resolution.

走査型共焦点レーザ顕微鏡1は、さらに、ダイクロイックミラー12により照明光路から分岐した検出光路上に、複数の集光位置からの蛍光の各々を検出光として同時に且つ別個に検出する多焦点検出部19を備えている。   The scanning confocal laser microscope 1 further includes a multifocal detection unit 19 that simultaneously and separately detects each of fluorescence from a plurality of condensing positions as detection light on a detection optical path branched from the illumination optical path by the dichroic mirror 12. It has.

多焦点検出部19は、集光レンズ20と、複数の共焦点絞り(共焦点絞り21、共焦点絞り24)と、複数のバリアフィルタ(バリアフィルタ22、バリアフィルタ25)と、複数の光電子増倍管(以降、PMTと記す。PMT23、PMT26)と、を備えている。多焦点検出部19は、さらに、共焦点絞り24を光軸方向に移動させる第2の制御部28を備えている。   The multifocal detection unit 19 includes a condensing lens 20, a plurality of confocal stops (confocal stops 21, confocal stops 24), a plurality of barrier filters (barrier filter 22, barrier filter 25), and a plurality of photoelectron multipliers. And a double tube (hereinafter referred to as PMT. PMT23, PMT26). The multifocal detection unit 19 further includes a second control unit 28 that moves the confocal stop 24 in the optical axis direction.

複数の共焦点絞りの各々は、多焦点形成部4により形成される複数の集光位置のうちの対応する集光位置と共役な位置に開口が形成された、反射コーティングされた部材である。具体的には、共焦点絞り21は多焦点形成部4から平行光束として射出されるレーザ光(図1の実線)の集光位置P1に対応する共焦点絞りであり、共焦点絞り24は多焦点形成部4から収斂光束として射出されるレーザ光(図1の破線)の集光位置P2に対応する共焦点絞りである。   Each of the plurality of confocal stops is a reflection-coated member in which an opening is formed at a position conjugate with the corresponding condensing position among the plurality of condensing positions formed by the multifocal forming unit 4. Specifically, the confocal stop 21 is a confocal stop corresponding to the condensing position P1 of the laser light (solid line in FIG. 1) emitted from the multifocal forming unit 4 as a parallel light beam. It is a confocal stop corresponding to the condensing position P2 of the laser light (broken line in FIG. 1) emitted from the focus forming unit 4 as a convergent light beam.

複数のバリアフィルタの各々は、対応する共焦点手段を介して入射する光に含まれるレーザ光を遮断するバリアフィルタである。具体的には、バリアフィルタ22は集光位置P1及び共焦点絞り21に対応するバリアフィルタであり、バリアフィルタ25は集光位置P2及び共焦点絞り24に対応するバリアフィルタである。   Each of the plurality of barrier filters is a barrier filter that blocks laser light included in light incident through the corresponding confocal means. Specifically, the barrier filter 22 is a barrier filter corresponding to the condensing position P1 and the confocal stop 21, and the barrier filter 25 is a barrier filter corresponding to the condensing position P2 and the confocal stop 24.

複数のPMTの各々は、対応する集光位置から生じる、対応する共焦点手段を介して入射する蛍光を検出する検出手段である。具体的には、PMT23は集光位置P1及び共焦点絞り21に対応する検出手段であり、PMT26は集光位置P2及び共焦点絞り24に対応する検出手段である。   Each of the plurality of PMTs is detection means for detecting fluorescence incident from the corresponding confocal means, which is generated from the corresponding condensing position. Specifically, the PMT 23 is a detection unit corresponding to the condensing position P1 and the confocal stop 21, and the PMT 26 is a detection unit corresponding to the condensing position P2 and the confocal stop 24.

第2の制御部28は、第1の制御部27がミラー10を光軸方向に移動させることにより変更される集光位置P2に対応する共焦点絞り24を、光軸方向に移動させる手段であり、第1の制御部27と電気的に接続されている。   The second control unit 28 is means for moving the confocal stop 24 corresponding to the condensing position P2 changed by moving the mirror 10 in the optical axis direction by the first control unit 27 in the optical axis direction. Yes, and electrically connected to the first control unit 27.

複数の集光位置の各々から生じた蛍光は、対物レンズ17、ミラー16、結像レンズ15、瞳レンズ14、ガルバノミラー13を介して入射するダイクロイックミラー12で反射し、多焦点検出部19に入射する。   The fluorescence generated from each of the plurality of condensing positions is reflected by the dichroic mirror 12 incident through the objective lens 17, the mirror 16, the imaging lens 15, the pupil lens 14, and the galvanometer mirror 13, and is reflected on the multifocal detection unit 19. Incident.

集光位置P1、集光位置P2から生じた蛍光は、集光位置の違いにより集光レンズ20に異なる収斂状態で入射し、異なる位置に集光する。集光位置P1から生じた蛍光は、集光位置P1と光学的に共役な位置に形成された共焦点絞り21の開口に集光して共焦点絞り21を通過し、バリアフィルタ22を介してPMT23で検出される。一方、集光位置P1を除く他の位置から生じた光は、反射コーティングされた共焦点絞り21を反射する。共焦点絞り21を反射した光のうち集光位置P2から生じた蛍光は、集光位置P2と光学的に共役な位置に形成された共焦点絞り24の開口に集光して共焦点絞り24を通過し、バリアフィルタ25を介してPMT26で検出される。また、集光位置P1及び集光位置P2を除く他の位置から生じた光は、反射コーティングされた共焦点絞り24を反射する。つまり、共焦点絞り21及び共焦点絞り24は、対応する集光位置からの蛍光を反射させて他の位置からの光を透過させることで、それらを分割する共焦点手段である。   Fluorescence generated from the condensing position P1 and the condensing position P2 is incident on the condensing lens 20 in different convergence states depending on the condensing position, and is condensed at different positions. The fluorescence generated from the condensing position P1 is condensed on the opening of the confocal stop 21 formed at a position optically conjugate with the condensing position P1, passes through the confocal stop 21, and passes through the barrier filter 22. It is detected by PMT23. On the other hand, the light generated from other positions except the condensing position P1 is reflected by the confocal stop 21 that is reflective-coated. Of the light reflected from the confocal stop 21, the fluorescence generated from the condensing position P2 is condensed on the opening of the confocal stop 24 formed at a position optically conjugate with the condensing position P2, and the confocal stop 24 is collected. , And is detected by the PMT 26 through the barrier filter 25. Further, light generated from other positions excluding the condensing position P1 and the condensing position P2 reflects the confocal stop 24 coated with reflection. That is, the confocal stop 21 and the confocal stop 24 are confocal means that divides them by reflecting the fluorescence from the corresponding condensing position and transmitting the light from other positions.

第1の制御部27がミラー10を制御して集光位置P2を変化させると、第2の制御部28は、共焦点絞り24の開口が集光位置P2と光学的に共役な位置に位置するように、共焦点絞り24を光軸方向に移動させる。つまり、第2の制御部28は、第1の制御部27と連動して動作し、第1の制御部27により変更された集光位置P2とその集光位置P2に対応する共焦点手段である共焦点絞り24との共役関係を維持する検出位置変更手段であり、多焦点検出部19は、検出位置変更手段として第2の制御部28を備えている。   When the first control unit 27 controls the mirror 10 to change the condensing position P2, the second control unit 28 positions the aperture of the confocal stop 24 at a position optically conjugate with the condensing position P2. Thus, the confocal stop 24 is moved in the optical axis direction. That is, the second control unit 28 operates in conjunction with the first control unit 27 and is a confocal means corresponding to the condensing position P2 changed by the first control unit 27 and the condensing position P2. This is a detection position changing unit that maintains a conjugate relationship with a certain confocal stop 24, and the multifocal detection unit 19 includes a second control unit 28 as a detection position changing unit.

以上のように構成された走査型共焦点レーザ顕微鏡1によれば、1回の標本走査で光軸方向に異なる複数の標本面を同時に走査して複数のスライス画像を取得することができるため、高速に3次元画像を生成することができる。   According to the scanning confocal laser microscope 1 configured as described above, a plurality of slice images can be obtained by simultaneously scanning a plurality of different sample surfaces in the optical axis direction in one sample scan. A three-dimensional image can be generated at high speed.

また、走査型共焦点レーザ顕微鏡1は、単一のレーザ光源から出射されたレーザ光を複数の集光位置に集光させる構成を採用しているため、集光位置毎にレーザ光源を設ける必要がなく、走査型共焦点レーザ顕微鏡1の構成の大型化を最小限に抑えることができる。   In addition, since the scanning confocal laser microscope 1 employs a configuration in which laser light emitted from a single laser light source is condensed at a plurality of condensing positions, it is necessary to provide a laser light source for each condensing position. Therefore, the increase in the size of the configuration of the scanning confocal laser microscope 1 can be minimized.

さらに、走査型共焦点レーザ顕微鏡1では、ミラー10を移動させるだけで集光位置を変化させることが可能であり、また、共焦点絞り24を移動させるだけで変化した集光位置からの蛍光を検出することができる。このため、照明系と検出系のそれぞれの最小限の光学素子の制御によって、生成する3次元画像の解像度などに応じて、同時に取得するスライド画像間の間隔を調整することができる。従って、照明系や検出系の全体を標本に対して相対的に移動させるような大掛かりな制御機構を必要としないため、小型の制御機構を採用して装置全体をコンパクトに構成することが可能となる。   Further, in the scanning confocal laser microscope 1, it is possible to change the condensing position only by moving the mirror 10, and the fluorescence from the changed condensing position can be changed only by moving the confocal stop 24. Can be detected. For this reason, by controlling the minimum optical elements of the illumination system and the detection system, it is possible to adjust the interval between slide images that are simultaneously acquired according to the resolution of the generated three-dimensional image. Therefore, since a large-scale control mechanism that moves the entire illumination system and detection system relative to the specimen is not required, it is possible to employ a small control mechanism to make the entire apparatus compact. Become.

また、走査型共焦点レーザ顕微鏡1では、照明光路上の集光位置に光学素子を配置しない構成を採用しているため、集光位置に配置された光学素子に付着した埃などによって高い干渉性を有するレーザ光が散乱し大幅に光量を損失するといった自体を避けることができる。なお、走査型共焦点レーザ顕微鏡1では、ミラー10が集光レンズ9の焦点位置に配置された状態では、ミラー10は集光位置に位置することになるが、標本18の複数の面を同時に走査するためにはミラー10は集光レンズ9の焦点位置からずれた位置に配置されるのが通常である。従って、走査型共焦点レーザ顕微鏡1によれば、単一の光源からのレーザ光を効率良く標本に照射することが可能である。   Further, since the scanning confocal laser microscope 1 employs a configuration in which no optical element is disposed at the condensing position on the illumination optical path, it has high coherence due to dust or the like adhering to the optical element disposed at the condensing position. It is possible to avoid the fact that the laser beam having a scattering causes a significant loss of light quantity. In the scanning confocal laser microscope 1, the mirror 10 is positioned at the condensing position in a state where the mirror 10 is disposed at the focal position of the condensing lens 9. In order to scan, the mirror 10 is usually arranged at a position shifted from the focal position of the condenser lens 9. Therefore, according to the scanning confocal laser microscope 1, it is possible to efficiently irradiate the specimen with laser light from a single light source.

本実施例では、第1の制御部27がミラー10を光軸方向に移動させることによって、集光位置を変化させる構成が例示されているが、第1の制御部27は、集光レンズ9とミラー10との間隔を変更するように構成されていれば良く、例えば、ミラー10の代わりに集光レンズ9を移動させてもよい。また、集光レンズ9を複数のレンズで構成し、第1の制御部27が集光レンズ9を構成するレンズ間の距離を変化させることで集光位置を変化させてもよい。また、第1の制御部27が厚さの異なる複数の透明部材から選択した部材を集光レンズ9とミラー10の間に挿入することで集光位置を変化させてもよい。   In the present embodiment, the configuration in which the first control unit 27 changes the condensing position by moving the mirror 10 in the optical axis direction is exemplified. However, the first control unit 27 is configured by the condensing lens 9. For example, the condensing lens 9 may be moved instead of the mirror 10 as long as the distance between the mirror 10 and the mirror 10 is changed. Further, the condensing lens 9 may be constituted by a plurality of lenses, and the first control unit 27 may change the condensing position by changing the distance between the lenses constituting the condensing lens 9. The first control unit 27 may change the condensing position by inserting a member selected from a plurality of transparent members having different thicknesses between the condensing lens 9 and the mirror 10.

また、本実施例では、光路分割手段としてPBS5を例示したが、光路分割手段は、レーザ光を分割する機能を有していれば良く、例えば、PBS5の代わりにハーフミラーを用いてもよい。この場合、λ/4板6及びλ/4板8を省略することができる。   In this embodiment, the PBS 5 is exemplified as the optical path dividing means. However, the optical path dividing means only needs to have a function of dividing the laser beam. For example, a half mirror may be used instead of the PBS 5. In this case, the λ / 4 plate 6 and the λ / 4 plate 8 can be omitted.

図2は、本実施例に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の構成の一部を例示した図である。図2に例示される走査型共焦点レーザ顕微鏡30は、多焦点形成部4の代わりに多焦点形成部31を含んでいる点が、図1に例示される走査型共焦点レーザ顕微鏡1と異なっている。走査型共焦点レーザ顕微鏡30のその他の構成は、走査型共焦点レーザ顕微鏡1と同様であるため、詳細な説明は省略する。   FIG. 2 is a diagram illustrating a part of the configuration of the scanning confocal laser microscope according to the present embodiment. The scanning confocal laser microscope 30 illustrated in FIG. 2 is different from the scanning confocal laser microscope 1 illustrated in FIG. 1 in that it includes a multifocal formation unit 31 instead of the multifocal formation unit 4. ing. Since other configurations of the scanning confocal laser microscope 30 are the same as those of the scanning confocal laser microscope 1, detailed description thereof is omitted.

多焦点形成部31は、図2に示されるように、集光レンズ9及びミラー10の代わりにデフォーマブルミラー32を含み、第1の制御部27がデフォーマブルミラー32の曲率を変更する点が、図1に例示される多焦点形成部4と異なっている。   As shown in FIG. 2, the multifocal forming unit 31 includes a deformable mirror 32 instead of the condenser lens 9 and the mirror 10, and the first control unit 27 changes the curvature of the deformable mirror 32. 1 is different from the multifocal forming unit 4 illustrated in FIG.

多焦点形成部31は、第1の制御部27がデフォーマブルミラー32の曲率を変更することで、デフォーマブルミラー32で反射したレーザ光の収斂状態を変更することができる。
従って、走査型共焦点レーザ顕微鏡30によっても、走査型共焦点レーザ顕微鏡1と同様の効果を得ることができる。
The multifocal forming unit 31 can change the convergence state of the laser light reflected by the deformable mirror 32 by the first control unit 27 changing the curvature of the deformable mirror 32.
Therefore, the scanning confocal laser microscope 30 can provide the same effects as the scanning confocal laser microscope 1.

図3は、本実施例に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の構成の一部を例示した図である。図3に例示される走査型共焦点レーザ顕微鏡40は、多焦点形成部4の代わりに多焦点形成部41を含んでいる点が、図1に例示される走査型共焦点レーザ顕微鏡1と異なっている。走査型共焦点レーザ顕微鏡40のその他の構成は、走査型共焦点レーザ顕微鏡1と同様であるため、詳細な説明は省略する。   FIG. 3 is a diagram illustrating a part of the configuration of the scanning confocal laser microscope according to the present embodiment. The scanning confocal laser microscope 40 illustrated in FIG. 3 is different from the scanning confocal laser microscope 1 illustrated in FIG. 1 in that it includes a multifocal formation unit 41 instead of the multifocal formation unit 4. ing. Since the other configuration of the scanning confocal laser microscope 40 is the same as that of the scanning confocal laser microscope 1, detailed description thereof is omitted.

多焦点形成部41は、図3に示されるように、レーザ光の特定の偏光成分の位相を変調する位相変調型空間光変調器(以降、LCOSと記す)43と、コリメートレンズ3からのレーザ光をLCOS43に向けて反射し、LCOS43からのレーザ光をリレー光学系11(図1を参照)に向けて反射するプリズム42とを備えている。さらに、多焦点形成部41は、LCOS43を制御する第1の制御部27を備えている。   As shown in FIG. 3, the multifocal forming unit 41 includes a phase modulation spatial light modulator (hereinafter referred to as LCOS) 43 that modulates the phase of a specific polarization component of the laser light, and a laser from the collimating lens 3. A prism 42 is provided that reflects light toward the LCOS 43 and reflects laser light from the LCOS 43 toward the relay optical system 11 (see FIG. 1). Further, the multifocal formation unit 41 includes a first control unit 27 that controls the LCOS 43.

LCOS43は、対物レンズ17の瞳(及びガルバノミラー13)と光学的に共役な位置に配置されていて、LCOS43に入射するレーザ光のうちの、LCOS43の液晶分子の配向方向に平行な偏光方向を有する成分の位相を変調して、その波面を制御する。
なお、LCOS43は、対物レンズ17の瞳位置からずれて配置されていても目的の効果を得ることができる。
The LCOS 43 is disposed at a position optically conjugate with the pupil (and the galvano mirror 13) of the objective lens 17, and has a polarization direction parallel to the alignment direction of the liquid crystal molecules of the LCOS 43 out of the laser light incident on the LCOS 43. The wavefront is controlled by modulating the phase of the component.
Note that the LCOS 43 can obtain a desired effect even if the LCOS 43 is arranged out of the pupil position of the objective lens 17.

多焦点形成部41は、第1の制御部27がLCOS43を制御して入射するレーザ光の一部の位相を変調することで、収斂状態の異なる複数のレーザ光束を出射することができる。
従って、走査型共焦点レーザ顕微鏡40によっても、走査型共焦点レーザ顕微鏡1と同様の効果を得ることができる。
The multifocal formation unit 41 can emit a plurality of laser beams having different convergence states by the first control unit 27 controlling the LCOS 43 to modulate the phase of a part of the incident laser light.
Therefore, the scanning confocal laser microscope 40 can provide the same effects as the scanning confocal laser microscope 1.

図4は、本実施例に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の構成の一部を例示した図である。図4に例示される走査型共焦点レーザ顕微鏡50は、多焦点検出部19の代わりに多焦点検出部51を含んでいる点が、図1に例示される走査型共焦点レーザ顕微鏡1と異なっている。走査型共焦点レーザ顕微鏡50のその他の構成は、走査型共焦点レーザ顕微鏡1と同様であるため、詳細な説明は省略する。   FIG. 4 is a diagram illustrating a part of the configuration of the scanning confocal laser microscope according to the present embodiment. The scanning confocal laser microscope 50 illustrated in FIG. 4 is different from the scanning confocal laser microscope 1 illustrated in FIG. 1 in that a multifocal detection unit 51 is included instead of the multifocal detection unit 19. ing. Since the other configuration of the scanning confocal laser microscope 50 is the same as that of the scanning confocal laser microscope 1, detailed description thereof is omitted.

多焦点検出部51は、図4に示されるように、レンズ52を含み、第2の制御部28がレンズ52を光軸方向に移動させる点が、図1に例示される多焦点検出部19と異なっている。なお、レンズ52は、共焦点絞り21と共焦点絞り24の間、即ち、集光位置P2に対応する共焦点絞り24の標本側に配置されている。   As illustrated in FIG. 4, the multifocal detection unit 51 includes a lens 52, and the point that the second control unit 28 moves the lens 52 in the optical axis direction is illustrated in FIG. 1. Is different. The lens 52 is disposed between the confocal stop 21 and the confocal stop 24, that is, on the sample side of the confocal stop 24 corresponding to the condensing position P2.

多焦点検出部51は、第2の制御部28が集光位置P2と共焦点絞り24との共役関係を維持するようにレンズ52を光軸方向に移動させることで、ミラー10(図1を参照)の位置によらず集光位置P2からの蛍光を検出することができる。
従って、走査型共焦点レーザ顕微鏡50によっても、走査型共焦点レーザ顕微鏡1と同様の効果を得ることができる。
The multifocal detection unit 51 moves the lens 52 in the optical axis direction so that the second control unit 28 maintains the conjugate relationship between the condensing position P2 and the confocal stop 24, whereby the mirror 10 (see FIG. 1). The fluorescence from the condensing position P2 can be detected regardless of the position of the reference).
Therefore, the scanning confocal laser microscope 50 can provide the same effects as the scanning confocal laser microscope 1.

本実施例では、第2の制御部28がレンズ52を光軸方向に移動させることによって、集光位置P2と共焦点絞り24との共役関係を維持する構成が例示されているが、第2の制御部28は、集光位置P2と共焦点絞り24との共役関係を維持するように光学素子を制御すればよい。従って、例えば、レンズ52を複数のレンズで構成し、第1の制御部28がレンズ52を構成するレンズ間の距離を変化させることで集光位置P2と共焦点絞り24との共役関係を維持してもよい。また、第2の制御部28が厚さの異なる複数の透明部材または焦点距離の異なる複数のレンズから選択した光学素子を共焦点絞り24の標本側に挿入することで集光位置P2と共焦点絞り24との共役関係を維持してもよい。   In the present embodiment, a configuration in which the second control unit 28 moves the lens 52 in the optical axis direction to maintain the conjugate relationship between the condensing position P2 and the confocal stop 24 is illustrated. The control unit 28 may control the optical element so as to maintain the conjugate relationship between the condensing position P2 and the confocal stop 24. Therefore, for example, the lens 52 is composed of a plurality of lenses, and the first control unit 28 changes the distance between the lenses constituting the lens 52, thereby maintaining the conjugate relationship between the condensing position P2 and the confocal stop 24. May be. Further, the second control unit 28 inserts an optical element selected from a plurality of transparent members having different thicknesses or a plurality of lenses having different focal lengths into the sample side of the confocal stop 24, thereby confocal with the condensing position P2. A conjugate relationship with the diaphragm 24 may be maintained.

図5は、本実施例に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の構成の一部を例示した図である。図5に例示される走査型共焦点レーザ顕微鏡60は、多焦点検出部19の代わりに多焦点検出部61を含んでいる点が、図1に例示される走査型共焦点レーザ顕微鏡1と異なっている。走査型共焦点レーザ顕微鏡60のその他の構成は、走査型共焦点レーザ顕微鏡1と同様であるため、詳細な説明は省略する。   FIG. 5 is a diagram illustrating a part of the configuration of the scanning confocal laser microscope according to the present embodiment. The scanning confocal laser microscope 60 illustrated in FIG. 5 is different from the scanning confocal laser microscope 1 illustrated in FIG. 1 in that a multifocal detection unit 61 is included instead of the multifocal detection unit 19. ing. Since the other configuration of the scanning confocal laser microscope 60 is the same as that of the scanning confocal laser microscope 1, detailed description thereof is omitted.

多焦点検出部61は、図5に示されるように、共焦点絞り21の代わりに集光位置P1と共役な位置に微小ミラー63を備えた透明部材62を、共焦点絞り24の代わりに共焦点絞り64を含む点、及び、第2の制御部28が共焦点絞り64を集光レンズ20の光軸方向に移動させる点が、図1に例示される多焦点検出部19と異なっている。なお、透明部材62の微小ミラー63は、透明部材62の領域のうちの集光位置P1と共役な位置を含む微小な領域に反射コーティングすることで形成される。   As shown in FIG. 5, the multifocal detection unit 61 uses a transparent member 62 having a micromirror 63 at a position conjugate with the condensing position P <b> 1 instead of the confocal stop 21 instead of the confocal stop 24. The point including the focal stop 64 and the point that the second control unit 28 moves the confocal stop 64 in the optical axis direction of the condenser lens 20 are different from the multifocal detection unit 19 illustrated in FIG. . The minute mirror 63 of the transparent member 62 is formed by reflective coating on a minute region including a position conjugate with the light condensing position P1 in the region of the transparent member 62.

集光位置P1から生じた蛍光は、集光位置P1と共役な位置に形成された微小ミラー63を反射し、バリアフィルタ22を介してPMT23で検出される。一方、集光位置P1を除く他の位置から生じた蛍光は、透明部材62及びバリアフィルタ25を透過する。透明部材62及びバリアフィルタ25を透過した蛍光のうち集光位置P2から生じた蛍光は、集光位置P2と光学的に共役な位置に形成された共焦点絞り64の開口に集光して共焦点絞り64を通過し、PMT26で検出される。   The fluorescence generated from the condensing position P1 is reflected by the micromirror 63 formed at a position conjugate with the condensing position P1, and is detected by the PMT 23 via the barrier filter 22. On the other hand, the fluorescence generated from other positions excluding the condensing position P 1 passes through the transparent member 62 and the barrier filter 25. Of the fluorescence transmitted through the transparent member 62 and the barrier filter 25, the fluorescence generated from the condensing position P2 is condensed on the opening of the confocal stop 64 formed at a position optically conjugate with the condensing position P2. The light passes through the focus stop 64 and is detected by the PMT 26.

多焦点検出部61は、第2の制御部28が集光位置P2と共焦点絞り64との共役関係を維持するように共焦点絞り64を光軸方向に移動させることで、ミラー10(図1を参照)の位置によらず集光位置P2からの蛍光を検出することができる。   The multifocal detection unit 61 moves the confocal stop 64 in the optical axis direction so that the second control unit 28 maintains the conjugate relationship between the condensing position P2 and the confocal stop 64, whereby the mirror 10 (see FIG. 1), the fluorescence from the condensing position P2 can be detected.

従って、走査型共焦点レーザ顕微鏡60によっても、走査型共焦点レーザ顕微鏡1と同様の効果を得ることができる。なお、走査型共焦点レーザ顕微鏡60では、蛍光の集光位置に光学素子(微小ミラー63)が位置する構成を採用するが、蛍光はレーザ光に比べて可干渉性が低いため、大幅に検出光量を損失するといった自体は起こり得えない。   Therefore, the scanning confocal laser microscope 60 can provide the same effects as the scanning confocal laser microscope 1. The scanning confocal laser microscope 60 employs a configuration in which the optical element (micromirror 63) is positioned at the fluorescence condensing position. However, since the fluorescence is less coherent than the laser light, it is greatly detected. The loss of the amount of light itself cannot occur.

本実施例では、集光位置P2に対応する共焦点手段として共焦点絞り64を例示したが、共焦点絞り64の代わりに微小ミラーを備えた透明部材を用いてもよい。この場合、PMT26は微小ミラーの反射光路上に配置され、第2の制御部28は微小ミラーと集光位置P2との光学的に共役な関係が維持されるように透明部材を移動させればよい。   In the present embodiment, the confocal stop 64 is exemplified as the confocal means corresponding to the condensing position P <b> 2, but a transparent member including a minute mirror may be used instead of the confocal stop 64. In this case, the PMT 26 is disposed on the reflection optical path of the micromirror, and the second control unit 28 moves the transparent member so that the optically conjugate relationship between the micromirror and the condensing position P2 is maintained. Good.

図6及び図7は、本実施例に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の多焦点形成部及び多焦点検出部の構成を例示した図である。本実施例に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡70は、標本の光軸方向に異なる4面を同時に走査するために、多焦点形成部4の代わりに多焦点形成部71を、多焦点検出部19の代わりに多焦点検出部81を含む点が、図1に例示される走査型共焦点レーザ顕微鏡1と異なっている。走査型共焦点レーザ顕微鏡70のその他の構成は、走査型共焦点レーザ顕微鏡1と同様であるため、詳細な説明は省略する。   6 and 7 are diagrams illustrating the configurations of the multifocal formation unit and the multifocal detection unit of the scanning confocal laser microscope according to the present embodiment. The scanning confocal laser microscope 70 according to the present embodiment uses a multifocal formation unit 71 instead of the multifocal formation unit 4 in order to simultaneously scan four different surfaces in the optical axis direction of the specimen. 1 is different from the scanning confocal laser microscope 1 illustrated in FIG. 1 in that a multifocal detector 81 is included. Since the other configuration of the scanning confocal laser microscope 70 is the same as that of the scanning confocal laser microscope 1, detailed description thereof is omitted.

図6に例示される多焦点形成部71は、図1に例示される多焦点形成部4に相当する構成(第1の多焦点形成部71a、第2の多焦点形成部71b)を直列に2つ並べて、且つ、その間に瞳リレー光学系72とλ/4板73を配置した構成を有している。つまり、多焦点形成部71は、瞳リレー光学系72と、λ/4板73と、第2の多焦点形成部71b(PBS74、λ/4板75、ミラー76、λ/4板77、集光レンズ78、ミラー79、第3の制御部80)をさらに含む点、及び、第1の制御部27及び第3の制御部80が後述する多焦点検出部81に含まれる第2の制御部28、第4の制御部88及び第5の制御部89と連動する点、が多焦点形成部4と異なっている。   The multifocal formation unit 71 illustrated in FIG. 6 has a configuration corresponding to the multifocal formation unit 4 illustrated in FIG. 1 (a first multifocal formation unit 71a and a second multifocal formation unit 71b) in series. Two pupils are arranged side by side, and the pupil relay optical system 72 and the λ / 4 plate 73 are arranged between them. That is, the multifocal formation unit 71 includes the pupil relay optical system 72, the λ / 4 plate 73, and the second multifocal formation unit 71b (PBS 74, λ / 4 plate 75, mirror 76, λ / 4 plate 77, collector A point that further includes an optical lens 78, a mirror 79, and a third control unit 80), and a second control unit included in a multifocal point detection unit 81, which will be described later, by the first control unit 27 and the third control unit 80. 28, and the fourth control unit 88 and the fifth control unit 89 are different from the multifocal formation unit 4 in that they are linked.

多焦点形成部71では、第1の多焦点形成部71aから出射される異なる収斂状態の2光束(直線偏光)は、瞳リレー光学系72を介して入射するλ/4板73で円偏光に変換されて、第2の多焦点形成部71bに入射する。そして、第2の多焦点形成部71bに入射した2光束は、それぞれ、第2の多焦点形成部71bで異なる収斂状態の2光束に変換されて出射される。即ち、多焦点形成部71は、平行光束として入射するレーザ光源2からのレーザ光を、収斂状態の異なる4つのレーザ光束(実線で示す平行光束と、破線、一点鎖線、点線で示す3つの収斂光束)に変換して出射し、標本の光軸方向に異なる4つの集光位置に集光させるように機能する。   In the multifocal formation unit 71, the two light beams (linearly polarized light) in different convergence states emitted from the first multifocal formation unit 71a are converted into circularly polarized light by the λ / 4 plate 73 that is incident through the pupil relay optical system 72. After being converted, the light enters the second multifocal formation portion 71b. Then, the two light beams incident on the second multifocal formation portion 71b are converted into two light beams in different converged states by the second multifocal formation portion 71b and emitted. That is, the multifocal forming unit 71 converts the laser light from the laser light source 2 incident as a parallel light flux into four laser light fluxes having different convergence states (a parallel light flux indicated by a solid line, a three converged light indicated by a broken line, a one-dot chain line, and a dotted line). The light beam is emitted after being converted into a light beam, and is condensed at four light condensing positions different in the optical axis direction of the sample.

なお、多焦点形成部71では、第1の制御部27及び第3の制御部80がミラー10及びミラー79を光軸方向に移動させることで、出射される4つのレーザ光束のうちの3つのレーザ光束が形成する3つの集光位置が光軸方向に変化する。   In the multifocal formation unit 71, the first control unit 27 and the third control unit 80 move the mirror 10 and the mirror 79 in the optical axis direction, so that three of the four laser light beams emitted are emitted. Three condensing positions formed by the laser beam change in the optical axis direction.

図7に例示される多焦点検出部81は、多焦点形成部71により形成される4つの集光位置に対応する、4つの共焦点絞り(共焦点絞り21、共焦点絞り24、共焦点絞り82、共焦点絞り85)と、4つのバリアフィルタ(バリアフィルタ22、バリアフィルタ25、バリアフィルタ83、バリアフィルタ86)と、4つのPMT(PMT23、PMT26、PMT84、PMT87)と、を含んでいる。また、共焦点絞り24を移動させる第2の制御部28と、共焦点絞り82を移動させる第4の制御部88と、共焦点絞り85を移動させる第5の制御部89と、を含んでいる。   7 includes four confocal stops (the confocal stop 21, the confocal stop 24, the confocal stop) corresponding to the four condensing positions formed by the multifocal forming unit 71. 82, confocal stop 85), four barrier filters (barrier filter 22, barrier filter 25, barrier filter 83, barrier filter 86), and four PMTs (PMT23, PMT26, PMT84, PMT87). . In addition, a second control unit 28 that moves the confocal stop 24, a fourth control unit 88 that moves the confocal stop 82, and a fifth control unit 89 that moves the confocal stop 85 are included. Yes.

4つの共焦点絞りの各々は、多焦点形成部71により形成される4つの集光位置のうちの対応する集光位置と共役な位置に開口が形成された、反射コーティングされた部材であり、対応する集光位置以外からの光を反射するように構成されている。また、4つのバリアフィルタの各々は、対応する共焦点手段を介して入射する光に含まれるレーザ光を遮断するバリアフィルタであり、4つのPMTの各々は、対応する集光位置から生じる、対応する共焦点手段を介して入射する蛍光を検出する検出手段である。   Each of the four confocal stops is a reflection-coated member in which an opening is formed at a position conjugate with the corresponding condensing position among the four condensing positions formed by the multifocal forming unit 71. It is configured to reflect light from other than the corresponding condensing position. Each of the four barrier filters is a barrier filter that blocks laser light included in light incident through the corresponding confocal means, and each of the four PMTs corresponds to a corresponding condensing position. Detecting means for detecting fluorescence incident through the confocal means.

多焦点検出部81は、第2の制御部28が共焦点絞り24を対応する集光位置との共役な関係が維持されるように移動させて、第4の制御部88が共焦点絞り82を対応する集光位置との共役な関係が維持されるように移動させて、第5の制御部89が共焦点絞り85を対応する集光位置との共役な関係が維持されるように移動させることで、つまり、第2の制御部28、第4の制御部88、及び、第5の制御部89がそれぞれ第1の制御部27及び第3の制御部80と連動することで、多焦点形成部71のミラー10及びミラー79の位置によらず、多焦点形成部71が形成する4つの集光位置からの蛍光を同時且つ別個に検出することができる。   In the multifocal detection unit 81, the second control unit 28 moves the confocal stop 24 so that a conjugate relationship with the corresponding condensing position is maintained, and the fourth control unit 88 moves the confocal stop 82. And the fifth control unit 89 moves the confocal stop 85 so that the conjugate relationship with the corresponding condensing position is maintained. In other words, the second control unit 28, the fourth control unit 88, and the fifth control unit 89 are interlocked with the first control unit 27 and the third control unit 80, respectively. Regardless of the positions of the mirror 10 and the mirror 79 of the focus forming unit 71, the fluorescence from the four light collecting positions formed by the multi-focus forming unit 71 can be detected simultaneously and separately.

従って、走査型共焦点レーザ顕微鏡70によれば、走査型共焦点レーザ顕微鏡1に比べて、1回の標本走査でより多くのスライス画像を取得することができるため、より高速に3次元画像を生成することができる。
本実施例では、標本の4つの面を同時に走査する構成を例示したが、同時に走査する面は4面に限られず、それ以上の面を同時に走査してもよい。
Therefore, according to the scanning confocal laser microscope 70, a larger number of slice images can be acquired in one sample scan than in the scanning confocal laser microscope 1, so that a three-dimensional image can be obtained at a higher speed. Can be generated.
In the present embodiment, the configuration in which the four surfaces of the specimen are scanned simultaneously is illustrated, but the number of surfaces to be scanned simultaneously is not limited to four, and more surfaces may be scanned simultaneously.

また、本実施例では、第1の多焦点形成部71aと第2の多焦点形成部71bの間にλ/4板73を配置する構成が例示されているが、PBS74に入射するレーザ光にPBS74の斜面に対してS偏光成分とP偏光成分が含まれていればよいため、λ/4板73の代わりにデポラライザまたはλ/2板を配置しても同様の効果を得ることが出来る。   In this embodiment, a configuration in which the λ / 4 plate 73 is disposed between the first multifocal formation portion 71a and the second multifocal formation portion 71b is illustrated. Since it is sufficient that the S-polarized light component and the P-polarized light component are included in the inclined surface of the PBS 74, the same effect can be obtained even if a depolarizer or a λ / 2 plate is disposed instead of the λ / 4 plate 73.

また、本実施例に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡70は、2面を同時に走査する実施例1に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡1を4面同時に走査できるように変形したものであるが、他の実施例係る走査型共焦点レーザ顕微鏡を、4面同時に走査できるように変形してもよい。   Further, the scanning confocal laser microscope 70 according to the present embodiment is modified so that the scanning confocal laser microscope 1 according to the first embodiment that simultaneously scans two surfaces can be simultaneously scanned on four surfaces. The scanning confocal laser microscope according to the embodiment may be modified so that four surfaces can be scanned simultaneously.

図8は、本実施例に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡の構成を例示した図である。図8に例示される走査型共焦点レーザ顕微鏡90は、ミラー7の代わりにミラー92を含んでいる点が、図1に例示される走査型共焦点レーザ顕微鏡1と異なっている。走査型共焦点レーザ顕微鏡90のその他の構成は、走査型共焦点レーザ顕微鏡1と同様であるため、詳細な説明は省略する。   FIG. 8 is a diagram illustrating the configuration of the scanning confocal laser microscope according to the present embodiment. A scanning confocal laser microscope 90 illustrated in FIG. 8 is different from the scanning confocal laser microscope 1 illustrated in FIG. 1 in that a mirror 92 is included instead of the mirror 7. Since the other configuration of the scanning confocal laser microscope 90 is the same as that of the scanning confocal laser microscope 1, detailed description thereof is omitted.

ミラー92は、PBS5の斜面を反射したレーザ光の進行方向に対してミラー92の法線が傾くように配置されている点が、実施例1に係る走査型共焦点レーザ顕微鏡1のミラー7とは相違している。   The mirror 92 is arranged such that the normal line of the mirror 92 is inclined with respect to the traveling direction of the laser light reflected from the inclined surface of the PBS 5. The mirror 92 is different from the mirror 7 of the scanning confocal laser microscope 1 according to the first embodiment. Is different.

ミラー92が傾いているため、PBS5で反射しミラー92及びミラー10を経由して出射されるレーザ光は、PBS5を透過して出射されるレーザ光とは収斂状態が異なるだけではなく、光束の光軸の方向も異なっている。より具体的には、PBS5を透過して出射される平行光束(図8の実線)の光軸はリレー光学系11の光軸と一致するのに対して、PBS5で反射しミラー92を経由して出射される収斂光束の光軸はリレー光学系11の光軸とは一致せずリレー光学系11の光軸に対して傾いている。このため、多焦点形成部91は、図8に示されるように、標本18の光軸方向に異なり、且つ、光軸と直交する方向にも異なる複数の集光位置(集光位置P1、集光位置P2)を形成することができる。
なお、ミラー92を傾ける代わりにミラー92とPBS5の間に楔状のガラス板などの光路を曲げる光学素子を配置することによっても実現可能である。
Since the mirror 92 is tilted, the laser light reflected by the PBS 5 and emitted through the mirror 92 and the mirror 10 is not only in a convergent state different from the laser light emitted through the PBS 5 but also the light flux. The direction of the optical axis is also different. More specifically, the optical axis of the parallel light beam (solid line in FIG. 8) that is transmitted through the PBS 5 and coincides with the optical axis of the relay optical system 11, but is reflected by the PBS 5 and passes through the mirror 92. The optical axis of the convergent light beam emitted in this manner does not coincide with the optical axis of the relay optical system 11 and is inclined with respect to the optical axis of the relay optical system 11. For this reason, as shown in FIG. 8, the multifocal formation unit 91 has a plurality of condensing positions (condensing positions P1, converging points) that are different in the optical axis direction of the sample 18 and also in the direction orthogonal to the optical axis. An optical position P2) can be formed.
Instead of tilting the mirror 92, an optical element that bends the optical path such as a wedge-shaped glass plate may be disposed between the mirror 92 and the PBS 5.

なお、ミラー92は、集光レンズ9の瞳位置(または瞳共役位置)に配置されることが望ましい。集光レンズ9の瞳位置に配置することで、ミラー92の傾きに起因するガルバノミラー13に入射する位置の変動を防止することができる。   The mirror 92 is desirably arranged at the pupil position (or pupil conjugate position) of the condenser lens 9. By disposing at the pupil position of the condenser lens 9, it is possible to prevent fluctuations in the position incident on the galvanometer mirror 13 due to the tilt of the mirror 92.

従って、走査型共焦点レーザ顕微鏡90によっても、走査型共焦点レーザ顕微鏡1と同様の効果を得ることができる。さらに、走査型共焦点レーザ顕微鏡90によれば、複数の集光位置が互いに光軸と直交する方向にもずれているため、集光位置間の光軸方向の距離が近い場合であっても、それぞれの集光位置からの蛍光を確実に別個に検出することができる。   Therefore, the scanning confocal laser microscope 90 can provide the same effects as the scanning confocal laser microscope 1. Furthermore, according to the scanning confocal laser microscope 90, since the plurality of condensing positions are also displaced in the direction perpendicular to the optical axis, even when the distance in the optical axis direction between the condensing positions is short. , The fluorescence from each condensing position can be reliably detected separately.

図9は、走査型共焦点レーザ顕微鏡90の走査対象範囲を説明するための図であり、図8に示す矢印Aの方向から標本18を見た図である。走査型共焦点レーザ顕微鏡90では、集光位置P1と集光位置P2は光軸と直交する方向に異なっているため、図9に示されるように、1回の走査で取得される複数のスライス画像では、走査対象範囲にもずれが生じる。このため、走査型共焦点レーザ顕微鏡90は、複数のスライス画像間で生じる画素ずれを補正してから、複数のスライス画像を合成して3次元画像を生成する。   FIG. 9 is a view for explaining the scanning target range of the scanning confocal laser microscope 90, and is a view of the specimen 18 viewed from the direction of the arrow A shown in FIG. In the scanning confocal laser microscope 90, since the condensing position P1 and the condensing position P2 are different in the direction orthogonal to the optical axis, as shown in FIG. 9, a plurality of slices acquired in one scan. In the image, a deviation also occurs in the scanning target range. For this reason, the scanning confocal laser microscope 90 corrects a pixel shift that occurs between a plurality of slice images, and then combines the plurality of slice images to generate a three-dimensional image.

1、30、40、50、60、70、90・・・走査型共焦点レーザ顕微鏡
2・・・ファイバ光源ユニット
2a・・・レーザ光源
2b・・・カップリングレンズ
2c・・・光ファイバ
3・・・コリメートレンズ
4、31、41、71、91・・・多焦点形成部
5、74・・・PBS
6、8、73、75、77・・・λ/4板
7、10、16、76、79、92・・・ミラー
9、20、78・・・集光レンズ
11・・・リレー光学系
12・・・ダイクロイックミラー
13・・・ガルバノミラー
14・・・瞳レンズ
15・・・結像レンズ
17・・・対物レンズ
18・・・標本
19、51、61、81・・・多焦点検出部
21、24、64、82、85・・・共焦点絞り
22、25、83、86・・・バリアフィルタ
23、26、84、87・・・PMT
27・・・第1の制御部
28・・・第2の制御部
32・・・デフォーマブルミラー
42・・・プリズム
43・・・LCOS
52・・・レンズ
62・・・透明部材
63・・・微小ミラー
71a・・・第1の多焦点形成部
71b・・・第2の多焦点形成部
72・・・瞳リレー光学系
80・・・第3の制御部
88・・・第4の制御部
89・・・第5の制御部
P1、P2・・・集光位置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 30, 40, 50, 60, 70, 90 ... Scanning confocal laser microscope 2 ... Fiber light source unit 2a ... Laser light source 2b ... Coupling lens 2c ... Optical fiber 3 ..Collimate lenses 4, 31, 41, 71, 91 ... multifocal forming portions 5, 74 ... PBS
6, 8, 73, 75, 77 ... λ / 4 plate 7, 10, 16, 76, 79, 92 ... mirrors 9, 20, 78 ... condensing lens 11 ... relay optical system 12 ... Dichroic mirror 13 ... Galvano mirror 14 ... Pupil lens 15 ... Imaging lens 17 ... Objective lens 18 ... Samples 19, 51, 61, 81 ... Multifocal point detection unit 21 , 24, 64, 82, 85 ... Confocal stop 22, 25, 83, 86 ... Barrier filter 23, 26, 84, 87 ... PMT
27 ... 1st control part 28 ... 2nd control part 32 ... Deformable mirror 42 ... Prism 43 ... LCOS
52 ... Lens 62 ... Transparent member 63 ... Micro mirror 71a ... First multi-focal point forming part 71b ... Second multi-focal point forming part 72 ... Pupil relay optical system 80 Third control unit 88 ... fourth control unit 89 ... fifth control units P1, P2 ... condensing position

Claims (9)

レーザ光を出射する単一のレーザ光源と、
前記単一のレーザ光源から出射された前記レーザ光を標本の光軸方向に異なる複数の集光位置に集光させる多焦点形成部であって、前記レーザ光を分割する光路分割手段と、前記光路分割手段で分割されたレーザ光の少なくとも1つの光路上の光学素子を制御して、前記複数の集光位置のうちの少なくとも1つの集光位置を光軸方向に変更する集光位置変更手段を含む多焦点形成部と、
各々が前記複数の集光位置のうちの対応する集光位置からの検出光と他の位置からの検出光とを分割する複数の共焦点手段と、各々が前記複数の集光位置のうちの対応する集光位置から生じる検出光を前記複数の共焦点手段のうちの対応する共焦点手段を介して検出する複数の検出手段と、前記集光位置変更手段により変更された集光位置と前記複数の共焦点手段のうちの前記変更された集光位置に対応する共焦点手段との共役関係を維持する検出位置変更手段と、を含む多焦点検出部と、を含む
ことを特徴とする走査型共焦点レーザ顕微鏡。
A single laser light source that emits laser light;
A multi-focal point forming section for condensing the laser light emitted from the single laser light source at a plurality of condensing positions different in the optical axis direction of the sample, and an optical path dividing means for dividing the laser light; Condensing position changing means for controlling an optical element on at least one optical path of the laser light divided by the optical path dividing means to change at least one of the plurality of condensing positions in the optical axis direction. A multifocal forming section including:
A plurality of confocal means each for dividing the detection light from the corresponding light collection position of the plurality of light collection positions and the detection light from another position; and each of the plurality of light collection positions A plurality of detecting means for detecting detection light generated from the corresponding condensing position via the corresponding confocal means among the plurality of confocal means; the condensing position changed by the condensing position changing means; and A multi-focal point detection unit including a detection position changing unit that maintains a conjugate relationship with the confocal unit corresponding to the changed condensing position among a plurality of confocal units. Type confocal laser microscope.
請求項に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、
前記多焦点形成部は、さらに、前記光路分割手段で分割されたレーザ光の少なくとも1つの光路上に、
集光レンズと、
前記集光レンズを介して入射するレーザ光を前記集光レンズに向けて反射させて前記光路分割手段に入射させる反射部材と、を含み、
前記集光位置変更手段は、前記集光レンズと前記反射部材との間隔を変更する
ことを特徴とする走査型共焦点レーザ顕微鏡。
The scanning confocal laser microscope according to claim 1 ,
The multifocal formation unit further includes at least one optical path of the laser beam divided by the optical path dividing unit.
A condenser lens;
A reflection member that reflects the laser light incident through the condenser lens toward the condenser lens and enters the optical path dividing unit, and
The condensing position changing unit changes a distance between the condensing lens and the reflecting member.
請求項に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、
前記多焦点形成部は、さらに、前記光路分割手段で分割されたレーザ光の少なくとも1つの光路上に、デフォーマブルミラーを含み、
前記集光位置変更手段は、前記デフォーマブルミラーの曲率を変更する
ことを特徴とする走査型共焦点レーザ顕微鏡。
The scanning confocal laser microscope according to claim 1 ,
The multifocal forming unit further includes a deformable mirror on at least one optical path of the laser light divided by the optical path dividing unit,
The condensing position changing means changes the curvature of the deformable mirror, a scanning confocal laser microscope.
請求項乃至請求項のいずれか1項に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、
前記多焦点形成部は、収斂状態が異なる複数の光束であって、前記複数の光束の光軸の方向が互いに異なる、という複数の光束を出射する
ことを特徴とする走査型共焦点レーザ顕微鏡。
In confocal laser scanning microscope according to any one of claims 1 to 3,
2. The scanning confocal laser microscope according to claim 1, wherein the multifocal forming section emits a plurality of light fluxes having a plurality of light fluxes having different convergence states and different optical axis directions of the plurality of light fluxes.
請求項1乃至請求項のいずれか1項に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、
前記複数の共焦点手段の各々は、対応する集光位置からの検出光を反射させ、他の位置からの検出光を透過させる、または、対応する集光位置からの検出光を透過させ、他の位置からの検出光を反射させる
ことを特徴とする走査型共焦点レーザ顕微鏡。
The scanning confocal laser microscope according to any one of claims 1 to 4 ,
Each of the plurality of confocal means reflects detection light from a corresponding condensing position and transmits detection light from another position, or transmits detection light from a corresponding condensing position, and so on. A scanning confocal laser microscope characterized in that the detection light from the position of is reflected.
請求項に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、
前記複数の共焦点手段の各々は、対応する集光位置と共役な位置に開口が形成された、反射コーティングされた部材である
ことを特徴とする走査型共焦点レーザ顕微鏡。
The scanning confocal laser microscope according to claim 5 ,
Each of the plurality of confocal means is a reflection-coated member in which an opening is formed at a position conjugate with a corresponding condensing position.
請求項に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、
前記複数の共焦点手段の各々は、対応する集光位置と共役な位置に反射コーティングされた、透明部材である
ことを特徴とする走査型共焦点レーザ顕微鏡。
The scanning confocal laser microscope according to claim 5 ,
Each of the plurality of confocal means is a transparent member that is reflection-coated at a position conjugate with a corresponding condensing position, and is a scanning confocal laser microscope.
請求項乃至請求項のいずれか1項に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、
前記検出位置変更手段は、前記集光位置変更手段により変更される集光位置に対応する共焦点手段の前記標本側に配置された光学素子を移動させる、または、交換する
ことを特徴とする走査型共焦点レーザ顕微鏡。
The scanning confocal laser microscope according to any one of claims 5 to 7 ,
The detection position changing means moves or replaces the optical element arranged on the sample side of the confocal means corresponding to the condensing position changed by the condensing position changing means. Type confocal laser microscope.
請求項乃至請求項のいずれか1項に記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡において、
前記検出位置変更手段は、前記集光位置変更手段により変更される集光位置に対応する共焦点手段を光軸方向に移動させる
ことを特徴とする走査型共焦点レーザ顕微鏡。
The scanning confocal laser microscope according to any one of claims 5 to 7 ,
The scanning position confocal laser microscope characterized in that the detection position changing means moves the confocal means corresponding to the condensing position changed by the condensing position changing means in the optical axis direction.
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