JP6104835B2 - Fiber Bragg gratings in carbon-coated optical fibers and techniques for their manufacture. - Google Patents

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関連出願の相互参照
本出願は、本出願の譲受人によって所有され、参照により全体が本明細書に組み込まれる2013年3月14日に出願した米国仮特許出願第61/784,347号の優先権の利益を主張するものである。
CROSS REFERENCE TO RELATED APPLICATIONS This application is owned by the assignee of this application and is a priority of US Provisional Patent Application No. 61 / 784,347, filed March 14, 2013, which is hereby incorporated by reference in its entirety. Claims the interests of rights.

本発明は、一般に光ファイバ分野、特に苛酷な環境での使用におけるファイバグレーティングおよび同様の光デバイスに関するものである。   The present invention relates generally to the field of optical fibers, particularly fiber gratings and similar optical devices for use in harsh environments.

光ファイバおよびファイバベースのデバイスに対する要求は、過去10年間で飛躍的に増加している。しかしながら、湿度の高い、あるいは水素が豊富な環境において、センサーやその他のデバイスといったファイバブラッググレーティング(FBG)を採用するファイバベースのデバイスは、通常、光学機能性に関する問題だけでなく機械的耐久性および信頼性の問題に対処するため、シールドを必要とする。それらのデバイスの信頼性および光学性能は、光部品およびシステムの設計者にとって第一に重要なものである。   The demand for optical fibers and fiber based devices has increased dramatically over the past decade. However, in humid or hydrogen-rich environments, fiber-based devices that employ fiber Bragg gratings (FBGs), such as sensors and other devices, typically have mechanical durability and not only problems with optical functionality. Shielding is required to address reliability issues. The reliability and optical performance of these devices is of primary importance to optical component and system designers.

米国特許第5,620,495号明細書US Pat. No. 5,620,495

Lindholm、他、「ハーメチック光ファイバのための低速度カーボン蒸着処理(Low Speed Carbon Deposition Process for Hermetic Optical Fibers)」、International Wire and Cable Symposium(1999)Lindholm et al., “Low Speed Carbon Deposition Process for Hermetic Optical Fibers”, International Wire and Cable Symposium (1999).

それゆえ、苛酷な環境において信頼できる性能を持つFBGおよびその他ファイバベースのデバイスに対する技術的に継続した要求がある。   Therefore, there is a continuing technical need for FBG and other fiber-based devices that have reliable performance in harsh environments.

本発明の一態様は、カーボンコート光ファイバ内にグレーティングあるいは同様の光デバイスを作製するための方法を対象としている。感光性光ファイバは、ハーメチックカーボンコーティングを施して提供される。さらに提供されるのは、ハーメチックカーボン層が損傷をうけないまま、ハーメチックカーボン層を透過して光ファイバ内に1つ、またはそれ以上の屈折率変調を書き込むように構成されたビーム出力を持つレーザーである。そのレーザーは、ハーメチックカーボン層を透過して光ファイバ内に1つ、またはそれ以上の光デバイスを書き込むのに使用される。   One aspect of the present invention is directed to a method for making a grating or similar optical device in a carbon-coated optical fiber. The photosensitive optical fiber is provided with a hermetic carbon coating. Further provided is a laser having a beam output configured to write one or more refractive index modulations through an hermetic carbon layer through the hermetic carbon layer without damaging the hermetic carbon layer. It is. The laser is used to write one or more optical devices through the hermetic carbon layer and into the optical fiber.

本発明のさらなる態様は、カーボンコート光デバイスの大量生産のための構造と技術を対象としている。本発明の一つの実践では、光デバイスは、二次コーティング後の工程でカーボンコート光ファイバ内に書き込まれる。本発明の別の実践では、光デバイスは、ファイバへのカーボンコーティングの塗布の後、光ファイバの線引き工程の最中に線引きタワーにおいてファイバ内に書き込まれる。   Further aspects of the invention are directed to structures and techniques for mass production of carbon-coated optical devices. In one practice of the invention, the optical device is written into a carbon coated optical fiber in a post-secondary coating process. In another practice of the present invention, the optical device is written into the fiber in a drawing tower during the optical fiber drawing process after application of the carbon coating to the fiber.

図1は、本発明の実験証明において使用されたテスト光ファイバの概略図を示す。FIG. 1 shows a schematic diagram of a test optical fiber used in the experimental proof of the present invention. 図2は、本発明の実験証明において使用されたグレーティング書き込み装置の概略図を示す。FIG. 2 shows a schematic diagram of a grating writing device used in the experimental proof of the present invention. 図3は、図1および図2に示されたファイバおよびグレーティング書き込み装置を使って実施されたテスト結果を説明する反射スペクトルを示す。FIG. 3 shows a reflection spectrum illustrating the results of tests performed using the fiber and grating writer shown in FIGS. 図4は、図1および図2に示されたファイバおよびグレーティング書き込み装置を使って実施されたテスト結果を説明する反射スペクトルを示す。FIG. 4 shows a reflection spectrum illustrating the results of tests performed using the fiber and grating writer shown in FIGS. 図5は、図1および図2に示されたファイバおよびグレーティング書き込み装置を使って実施されたテスト結果を説明する反射スペクトルを示す。FIG. 5 shows a reflection spectrum illustrating the results of tests performed using the fiber and grating writer shown in FIGS. 図6は、図1および図2に示されたファイバおよびグレーティング書き込み装置を使って実施されたテスト結果を説明する反射スペクトルを示す。FIG. 6 shows a reflection spectrum illustrating the results of tests performed using the fiber and grating writer shown in FIGS. 1 and 2. 図7Aは、本発明の一態様に従い、二次コーティング後の書き込み技術における使用のために構成されたカーボンコート光ファイバの等角図を示す。FIG. 7A shows an isometric view of a carbon coated optical fiber configured for use in writing technology after secondary coating, in accordance with an aspect of the present invention. 図7Bは、図7Aに示されたカーボンコート光ファイバの平面7B−7Bでの横断面図を示す。FIG. 7B shows a cross-sectional view of the carbon-coated optical fiber shown in FIG. 7A at a plane 7B-7B. 図8は、図7Aおよび図7Bに示されたファイバに使用される、自動化されたグレーティング書き込みシステムの概略図を示す。FIG. 8 shows a schematic diagram of an automated grating writing system used for the fiber shown in FIGS. 7A and 7B. 図9は、線引き工程の一部としてカーボンコート光ファイバ内にグレーティングを書き込むための、本発明の一態様による自動化されたシステムの概略図である。FIG. 9 is a schematic diagram of an automated system according to one aspect of the present invention for writing a grating in a carbon-coated optical fiber as part of a drawing process. 図10は、本発明による一般的な技術のフローチャートを示す。FIG. 10 shows a flowchart of a general technique according to the present invention.

本発明の一態様は、ファイバブラッググレーティング(FBG)やそれと同様のものといった光デバイスを対象としており、それらはハーメチックカーボンコーティングを有する光ファイバ内に作製される。本明細書に記載された構造および技術は、例えば、苛酷な環境におけるセンサーとして使用されるFBGを作製するのに使用することができる。加えて、記載された構造および技術は、改善された疲労抵抗を示すFBGを作製するのに使用することができる。   One aspect of the present invention is directed to optical devices such as fiber Bragg gratings (FBGs) and the like, which are fabricated in optical fibers having a hermetic carbon coating. The structures and techniques described herein can be used, for example, to make FBGs that are used as sensors in harsh environments. In addition, the described structures and techniques can be used to make FBGs that exhibit improved fatigue resistance.

本明細書において、「苛酷な環境」という表現は、一般に、ハーメチックカーボンコーティングが光デバイスを保護するのに有益である環境について言及している。そのような環境は、例えば、高湿度な環境、水素が豊富な環境、高湿度および水素が豊富という両方の環境、液体水といった高水分含有もしくは水性の環境、または同様のものを含む。一般的に言えば、水に対する気密性は、苛酷な環境において機械的信頼性を向上し、水素に対する気密性は光学的信頼性を向上する。   As used herein, the expression “harsh environment” generally refers to an environment in which a hermetic carbon coating is beneficial to protect an optical device. Such environments include, for example, high humidity environments, hydrogen rich environments, both high humidity and hydrogen rich environments, high moisture content or aqueous environments such as liquid water, or the like. Generally speaking, water tightness improves mechanical reliability in harsh environments, and hydrogen tightness improves optical reliability.

本明細書において、「ハーメチックカーボンコーティング」および「カーボンコーティング」という表現は、ファイバのカーボンコーティング内に包含された部分を密封するためにファイバの表面に塗布されたコーティングについて言及している。カーボンコーティングは、例えば、凝結水、広範囲の温度における水蒸気、および同様のものを含めた水分に対する密閉性を有するグラスファイバ表面を提供することや、コーティングの構造しだいで最大130℃あるいはそれ以上で水素または重水素の進入に対して保護すること、および、疲労を遅らせることや応力腐食故障を少なくすることにより所定の環境における所定のファイバの予想耐用年数を延ばすといったことを含む複数の目的を果たす。   In this specification, the expressions “hermetic carbon coating” and “carbon coating” refer to a coating applied to the surface of the fiber to seal the portion contained within the carbon coating of the fiber. Carbon coatings provide a glass fiber surface that is hermetically sealed against moisture, including, for example, condensed water, water vapor at a wide range of temperatures, and the like, and hydrogen at temperatures up to 130 ° C or higher depending on the coating structure. Or serve multiple purposes including protecting against deuterium ingress and extending the expected service life of a given fiber in a given environment by delaying fatigue and reducing stress corrosion failures.

ある一つのカーボンコーティング技術において、カーボン層は、線引き工程の一部として、線引きタワー内で光ファイバの外表面に塗布される。線引きタワーは、カーボン反応炉を備えており、光ファイバがプリフォームから線引きされた後、その中を通過する。カーボン反応炉の中では、最大1200℃の温度において、非結晶質カーボンのハーメチック層を光ファイバの外表面に堆積するために、化学気相堆積法(CVD)技術が使用される。カーボンコーティングの標準的な厚みは、〜0.02μmから〜0.08μmである。   In one carbon coating technique, a carbon layer is applied to the outer surface of the optical fiber in a drawing tower as part of the drawing process. The draw tower is equipped with a carbon reactor, after the optical fiber is drawn from the preform, it passes through it. In carbon reactors, chemical vapor deposition (CVD) techniques are used to deposit amorphous carbon hermetic layers on the outer surface of optical fibers at temperatures up to 1200 ° C. The standard thickness of the carbon coating is ˜0.02 μm to ˜0.08 μm.

CVD技術は、無酸素状態において反応性ガスをカーボン反応炉中に流すことによって実行される。熱分解反応は、線引きされるファイバのガラス表面で生じ、そのファイバ表面にカーボンの熱蒸着をもたらす。カーボンコーティングが密封した状態となるためには、蒸着されたカーボンの最小厚が要求される。通常は、ポリマーコーティングが、その後、カーボン層の上に塗布される。   The CVD technique is performed by flowing a reactive gas through a carbon reactor in the absence of oxygen. The pyrolysis reaction occurs on the glass surface of the fiber being drawn and results in the thermal deposition of carbon on the fiber surface. In order for the carbon coating to be sealed, a minimum thickness of the deposited carbon is required. Usually, a polymer coating is then applied over the carbon layer.

カーボンコーティング技術は、例えば、Lindholm、他による「ハーメチック光ファイバのための低速度カーボン蒸着処理(Low Speed Carbon Deposition Process for Hermetic Optical Fibers)」、International Wire and Cable Symposium(1999)により詳細に記載されている。   Carbon coating technology is described, for example, in Lindholm et al., “Low Speed Carbon Deposition Process for Hermetic Optical Fiber”, described by International Wire and Cable Symposium, in detail in 19 Yes.

様々な理由から、カーボンコーティングは、FBGおよび同様の光デバイスと関連して使用されていなかった。第一に、カーボンコーティングを塗布するのに要求される高温はグレーティングを損なうおそれがあるため、グレーティングは、カーボンコーティングの塗布より前に書き込むことができないと考えられる。
第二に、従来、一般的には、UVレーザービームに対するカーボンコーティングの透明性不足のため、グレーティングは、カーボンコーティングの塗布より後にファイバへ書き込むことはできないと考えられてきた。
For various reasons, carbon coatings have not been used in connection with FBG and similar optical devices. First, it is believed that the grating cannot be written prior to the application of the carbon coating because the high temperatures required to apply the carbon coating can damage the grating.
Secondly, it has traditionally been thought that a grating cannot be written to a fiber after application of the carbon coating due to the lack of transparency of the carbon coating to the UV laser beam.

本発明は、もしファイバが十分に高い感光性を持ち、書き込みレーザーが適切なパワー範囲内で動作するように構成されていれば、ハーメチックカーボンコーティングをファイバのクラッドに塗布し、その次に、ハーメチックシールを破壊することなくカーボンコーティングを透過してファイバにグレーティングを書き込むことが可能である、という見識に基づいている。   The present invention applies a hermetic carbon coating to the fiber cladding if the fiber is sufficiently sensitive and the writing laser is configured to operate within the proper power range, and then the hermetic It is based on the insight that it is possible to write the grating into the fiber through the carbon coating without breaking the seal.

一般的に言えば、カーボンコート光ファイバへのグレーティングの書き込みは、カーボンコーティングを有しない光ファイバへのグレーティングの書き込みに使用される構成や技術のいずれも採用することができる。そのため、グレーティングは、ホログラフィック技術、位相マスク技術、あるいは同様のものを使用してカーボンコート光ファイバへ書き込むことができる。特定の状況に応じて、いくつかの調整や改良が必要であろう。   Generally speaking, any of the configurations and techniques used for writing a grating into an optical fiber that does not have a carbon coating can be used for writing the grating into the carbon-coated optical fiber. As such, the grating can be written to the carbon coated optical fiber using holographic technology, phase mask technology, or the like. Depending on the particular situation, some adjustments and improvements may be necessary.

以下に述べるように、カーボンコート光ファイバへのグレーティングの書き込みは最初の線引き工程の一部として、あるいは単独の二次コーティング後の工程の中で実行することが可能である。   As described below, writing the grating to the carbon-coated optical fiber can be performed as part of the initial drawing process or in a single post-coating process.

感光性
上述のとおり、グレーティングがカーボンコーティングを透過してファイバに書き込まれるためには、ファイバが適切な程度の感光性を持っていなければならない。所定の状況において必要とされる感光性の程度は、(1)書き込まれるグレーティングの強度、および(2)書き込むレーザービームとグレーティングが書き込まれるのに透過されるカーボンコーティングとの相互作用、を含む複数の要因によって決まる。
Photosensitivity As noted above, in order for a grating to be written into a fiber through a carbon coating, the fiber must have a suitable degree of photosensitivity. The degree of photosensitivity required in a given situation includes: (1) the intensity of the grating being written, and (2) the interaction between the laser beam to be written and the carbon coating that is transmitted through the grating as it is written. It depends on the factors.

本発明の一態様によれば、所定のファイバにおける適切な程度の感光性は、感光性を作り出すと知られている一つまたはそれ以上のドーパントの使用により獲得される。それらのドーパントは、例えば、フッ素、ホウ素だけでなくゲルマニウムあるいは同様のものを含む。特定の応用により、特定の屈折率プロファイルやその他所望の特性はもちろん、所望する程度の感光性を持つファイバの設計に達するためには、一つまたはそれ以上のファイバ領域において、一つまたはそれ以上の共添加されるドーパントを採用するのが望ましい。   According to one aspect of the present invention, the appropriate degree of photosensitivity in a given fiber is obtained through the use of one or more dopants known to produce photosensitivity. Those dopants include, for example, germanium or the like as well as fluorine and boron. Depending on the specific application, one or more in one or more fiber regions can be used to arrive at a fiber design with the desired degree of photosensitivity, as well as specific refractive index profiles and other desired properties. It is desirable to employ a dopant which is co-added.

本発明の所定の応用のために適切なファイバは、複数の異なる方法のいずれでも提供されるであろう。例えば、ある状況において、もしファイバが適切な程度の感光性を持つならば、既に存在するそのファイバ設計を採用することが可能であろう。その他にも、既に存在するファイバ設計は、その感光性について適切な調整を行うことにより改良されるであろう。いくつかの状況においては、適切な光ファイバのあつらえ設計が必要または望ましいであろう。そのような光ファイバの設計は、例えば、マルチコア、定偏波応力ロッド、星型または八角形のクラッド、長方形コア、一つまたはそれ以上の様々なタイプのコーティング、および同様のものといった他の構造を取り込む可能性はもちろん、コア、トレンチ、クラッド寸法および屈折率を含む、ということは、技術実施者にとって十分に当たり前であろう。   A suitable fiber for a given application of the invention will be provided in any of a number of different ways. For example, in some circumstances, if a fiber has the appropriate degree of photosensitivity, it may be possible to adopt the existing fiber design. In addition, existing fiber designs will be improved by making appropriate adjustments to their photosensitivity. In some situations, an appropriate fiber optic bespoke design may be necessary or desirable. Such optical fiber designs include other structures such as, for example, multi-cores, constant polarization stress rods, star or octagonal claddings, rectangular cores, one or more various types of coatings, and the like Of course, including the core, trench, cladding dimensions and index of refraction will be reasonably well known to the practitioner.

本発明のさらなる態様によれば、水素負荷または重水素負荷は、カーボンコートファイバの感光性ひいてはファイバ内に書き込まれるグレーティングの反射性(すなわち、強度)を増強するのに使用されるであろう。先に述べたとおり、カーボンコーティングは、〜130℃またはそれ以上で、コーティング構造に応じて、水素進入を防ぐ。そのため、適切な濃度の水素または重水素を含む加圧されたチャンバー内にファイバを置き、適切な長さの時間、〜130℃を越えるファイバ温度を保持することにより、書き込みに先立って、水素あるいは重水素でカーボンコート光ファイバに負荷をかけることができる。そのような調整工程のためのパラメーター(例えば、時間、温度、および圧力)は、要求されるファイバの感光性、カーボンコーティングの気密性、およびこの露出に耐え抜くための第二コーティングの性能によって決まる。   According to a further aspect of the invention, hydrogen loading or deuterium loading will be used to enhance the photosensitivity of the carbon coated fiber and thus the reflectivity (ie, strength) of the grating written into the fiber. As stated earlier, the carbon coating prevents hydrogen ingress at ˜130 ° C. or higher, depending on the coating structure. Therefore, by placing the fiber in a pressurized chamber containing the appropriate concentration of hydrogen or deuterium and maintaining the fiber temperature above ~ 130 ° C for an appropriate length of time, hydrogen or Deuterium can be used to load a carbon coated optical fiber. Parameters for such conditioning processes (eg, time, temperature, and pressure) depend on the required fiber photosensitivity, the tightness of the carbon coating, and the performance of the second coating to withstand this exposure.

グレーティングは、その後、本明細書に記載された技術に従ってファイバに書き込まれる。本発明のさらなる態様によれば、一度グレーティングがファイバに書き込まれると、過剰に負荷された水素または重水素をファイバから取り去るために、その後、〜130℃より高い温度でアニールされる。   The grating is then written to the fiber according to the techniques described herein. According to a further aspect of the invention, once the grating has been written to the fiber, it is then annealed at a temperature above ˜130 ° C. to remove the overloaded hydrogen or deuterium from the fiber.

実験による確認
本発明の態様は、カーボンコートされたテストファイバにグレーティングが首尾よく書き込まれた一連の実験において確認されている。これらの実験の成功結果は、カーボンコートグレーティングの大量生産に使用することができる以下に記載の複数の製造技術の開発につながる。
Experimental Verification Aspects of the present invention have been verified in a series of experiments where the grating was successfully written on a carbon coated test fiber. The successful results of these experiments lead to the development of several manufacturing techniques described below that can be used for mass production of carbon coated gratings.

図1および図2は、縮尺どおりに描かれていない、テストファイバ10および書き込み装置20の略図を示す。テストファイバ10は、コア領域12、コアを取り囲む直径80μmのクラッド領域14、ハーメチックカーボン層16、およびそのカーボン層16を取り囲むポリイミドの保護コーティング18からなる単一コアファイバである。ファイバコア領域12は、比較的に高い程度の感光性と0.21の開口数とをもたらす濃度のゲルマニウムがドープされている。カーボンコーティング16は、線引き工程中に塗布され、約0.029μmの厚みを持つ。ポリイミドコーティング18も、カーボン層の塗布の後で線引き工程中に塗布され、約15μmの厚みを持つ。   1 and 2 show schematic diagrams of the test fiber 10 and writing device 20 not drawn to scale. The test fiber 10 is a single core fiber comprising a core region 12, a cladding region 14 having a diameter of 80 μm surrounding the core, a hermetic carbon layer 16, and a polyimide protective coating 18 surrounding the carbon layer 16. The fiber core region 12 is doped with a concentration of germanium that provides a relatively high degree of photosensitivity and a numerical aperture of 0.21. The carbon coating 16 is applied during the drawing process and has a thickness of about 0.029 μm. The polyimide coating 18 is also applied during the drawing process after application of the carbon layer and has a thickness of about 15 μm.

なお、特定の応用に応じて、0.08μmまたはそれ以上の厚みを持つカーボンコーティングが検討されうる。   Depending on the specific application, carbon coatings with a thickness of 0.08 μm or more can be considered.

ファイバ10は、レーザー22の出力に対してファイバを保持し位置調整するための手段(図示されていない)と、ビーム伝達光学系24とを有する書き込み装置20に投入される。書き込みに先立ち、カーボンコーティング16を無傷なまま残し、ポリイミドコーティング18がファイバから皮剥きされる。   The fiber 10 is fed into a writing device 20 having means (not shown) for holding and positioning the fiber relative to the output of the laser 22 and a beam transfer optical system 24. Prior to writing, the polyimide coating 18 is peeled from the fiber, leaving the carbon coating 16 intact.

図2の書き込み装置20において、レーザー22は、248nmの波長を持つレーザービームを提供する、TuiLaser社により製造されたエキシマーUVレーザーを使って実現される。位相マスク26は、ファイバの設計に応じて、ファイバコア12またはファイバコア12とクラッド14の一部にグレーティング28を書き込むのに使用される周期的な干渉縞をUVレーザービームから作り出すのに使用される。当然のことながら、所定の応用に応じて、本発明は、他の適切なタイプのレーザーを使っても実施できる。   In the writing device 20 of FIG. 2, the laser 22 is implemented using an excimer UV laser manufactured by TuiLaser, which provides a laser beam with a wavelength of 248 nm. The phase mask 26 is used to create a periodic interference fringe from the UV laser beam that is used to write the grating 28 on the fiber core 12 or a portion of the fiber core 12 and cladding 14 depending on the fiber design. The Of course, depending on the given application, the invention can be implemented using other suitable types of lasers.

カーボンコーティングがそれを通してグレーティングが書き込まれるのに十分透過的となる、比較的広い波長範囲があることが知られている。それらの波長は、193nm、244nm、および248nmを含む。「コールドライティング」技術、フェムト秒レーザー、その他の手法を使用するとき、より長い波長が採用しうる。   It is known that there is a relatively wide wavelength range through which the carbon coating is sufficiently transparent for the grating to be written therethrough. Their wavelengths include 193 nm, 244 nm, and 248 nm. Longer wavelengths may be employed when using “cold writing” technology, femtosecond lasers, and other techniques.

テストにおいては、異なる書き込みパラメーターを使用して、カーボンコートされたテストファイバに複数のグレーティングが書き込まれた。書き込まれたグレーティングの性能は、広帯域光源、3ポートサーキュレーターおよび光スペクトラムアナライザー(OSA)を有する装置を使用して測定された。図3〜図5は、テスト結果を説明する一連の反射スペクトルを示す。とりわけ、その反射スペクトルは、カーボンコート光ファイバにグレーティングを書き込むことが可能であるということを裏付けている。加えて、一般的に言えば、書き込みレーザービームに対するより長時間の露出、およびグレーティングが書き込まれるファイバ内のゲルマニウム(もしくは適切なドーパント、またはドーパントの組み合わせ)の濃度を増加の両方またはいずれか一方により、より強いFBGを書き込むことができるということをその反射スペクトルは裏付けている。   In testing, multiple gratings were written on carbon-coated test fiber using different writing parameters. The performance of the written grating was measured using a device with a broadband light source, a three-port circulator and an optical spectrum analyzer (OSA). 3-5 show a series of reflection spectra illustrating the test results. Among other things, its reflection spectrum confirms that it is possible to write a grating in a carbon-coated optical fiber. In addition, generally speaking, longer exposure to the writing laser beam and / or increased concentration of germanium (or appropriate dopant, or combination of dopants) in the fiber where the grating is written The reflection spectrum confirms that a stronger FBG can be written.

図3は、上記のとおり、ある長さのテストファイバに書き込まれた8mmのグレーティングによって発生された反射スペクトル30を示す。TuiLaser社のエキシマーレーザーは、248nmの波長を有する40Hzのパルスレーザービームを提供するのに使用された。書き込み領域でのレーザーエネルギー密度は、〜25mJ/cmである。露出時間は60秒であり、その時間の後で、グレーティングは著しく変化していなかった。そのレーザーエネルギー密度が選ばれたのは、〜25mJ/cmでは、顕微鏡で検査した際に、カーボンコーティングには、見て分かる損傷がなかったからである。80mJ/cmのパワー密度レベルは、カーボンコーティングを焦がす、または損傷するであろうことを実験が示している。書き込みパラメーターの正確な上限は未だ決定されていないが、248nmのTuiLaser社エキシマーレーザーについては、25mJ/cmから80mJ/cmの間であることが予期される。レーザーのその他の波長やタイプにおいては、レーザーエネルギー密度範囲は異なるであろう。 FIG. 3 shows the reflection spectrum 30 generated by an 8 mm grating written on a length of test fiber as described above. A TuiLaser excimer laser was used to provide a 40 Hz pulsed laser beam with a wavelength of 248 nm. The laser energy density in the writing area is ˜25 mJ / cm 2 . The exposure time was 60 seconds, after which the grating had not changed significantly. The laser energy density was chosen because at ~ 25 mJ / cm 2 , the carbon coating had no visible damage when examined with a microscope. Experiments have shown that a power density level of 80 mJ / cm 2 will burn or damage the carbon coating. The exact upper limit of the write parameter has not yet been determined, for TuiLaser Co. excimer laser at 248 nm, it is expected to be between 25 mJ / cm 2 of 80 mJ / cm 2. The laser energy density range will be different for other wavelengths and types of lasers.

図3に示されるように、8mmのグレーティングの反射スペクトルは、〜8%のピーク反射率に相当する〜−11dBのピークに達している。   As shown in FIG. 3, the reflection spectrum of the 8 mm grating reaches a peak of -11 dB corresponding to a peak reflectance of -8%.

図4は、単一レーザーパルス(すなわち、「1パルス」の書き込み工程)によって、カーボンコート光ファイバに書き込まれたFBGの反射スペクトル40を示す。使用された装置は、図3におけるFBGを書き込むのに使用されたものと全く同じものである。1パルスFBGは、〜0.29%(〜−25.5dB)のピーク反射率に達している。この結果は、重要である。なぜなら、この結果は、線引きタワーのグレーティング書き込み技術を使用してカーボンコートファイバのグレーティングを作製できるかもしれないことを暗示しているからである。   FIG. 4 shows a reflection spectrum 40 of FBG written to a carbon-coated optical fiber with a single laser pulse (ie, a “one pulse” writing process). The device used is exactly the same as that used to write the FBG in FIG. One pulse FBG reaches a peak reflectivity of ˜0.29% (˜−25.5 dB). This result is important. This is because the results imply that a carbon-coated fiber grating may be fabricated using a drawing tower grating writing technique.

図3で説明されたグレーティングは、上記2つの中で強い方で、例えば、波長分割多重方式(WDM)ベースのインテロゲーターにおける使用に適している。図4で説明された弱い方の1パルスグレーティングは、例えば、時分割多重方式/波長分割多重方式(TDM/WDM)技術をベースとする弱いグレーティングインテロゲーターにおける使用に適している。TDM/WDMシステムにおいて、各々のFBGの反射率は、−35dBと低く(すなわち、〜0.03%の反射率)となりえる。   The grating described in FIG. 3 is the stronger of the above two, and is suitable for use in, for example, a wavelength division multiplexing (WDM) based interrogator. The weaker one-pulse grating described in FIG. 4 is suitable for use in weak grating interrogators based on, for example, time division multiplexing / wavelength division multiplexing (TDM / WDM) technology. In TDM / WDM systems, the reflectivity of each FBG can be as low as −35 dB (ie, a reflectivity of ˜0.03%).

図5は、同じテスト装置を使い、しかし異なる数のレーザーパルス(1パルス51、2パルス52、3パルス53、および5パルス55)にてカーボンコートされたテストファイバに書き込まれた、一連の4つの8mmグレーティングの反射スペクトル50を示す。   FIG. 5 shows a series of 4 written on a carbon coated test fiber using the same test equipment but with different numbers of laser pulses (1 pulse 51, 2 pulses 52, 3 pulses 53, and 5 pulses 55). The reflection spectrum 50 of two 8 mm gratings is shown.

テストファイバ内のグレーティングの書き込みが、顕微鏡によって目視で観察されないカーボンコーティングの損傷をもたらすかどうかを究明するため、さらなる実験が実施された。   Further experiments were carried out to determine if the writing of the grating in the test fiber resulted in damage to the carbon coating that was not visually observed by the microscope.

図3に示されたものと同じような6つのFBGが、テストファイバに書き込まれた。それらの波長は、85℃で64時間アニールされた後、室温で測定された。その6つのFBGは、その後、4,400psiの圧力および50℃の温度を持つ重水素露出チャンバー内に置かれた。20日後、FBGはチャンバーから取り出され、再度、室温にて波長が測定された。重水素ガスが選ばれたのは、上記の重水素環境を作り出すための装置が容易に得られるからである。重水素ガスを水素ガスと変えても、同じ結果が得られることが期待される。   Six FBGs similar to those shown in FIG. 3 were written on the test fiber. Their wavelengths were measured at room temperature after annealing at 85 ° C. for 64 hours. The six FBGs were then placed in a deuterium exposure chamber with a pressure of 4,400 psi and a temperature of 50 ° C. After 20 days, the FBG was removed from the chamber and the wavelength was measured again at room temperature. The deuterium gas was selected because an apparatus for creating the above deuterium environment can be easily obtained. It is expected that the same result will be obtained even if deuterium gas is replaced with hydrogen gas.

負荷をかける前の波長と比較して、それらFBGによる波長シフトは、−12pmから0pmに及び、平均波長シフト−7.2pmであった。〜0.5℃の室温変動と比較的小さい波長シフトを仮定すると、重水素はそれらの負荷条件においてファイバコアに進入していないと結論付けることができる。グレーティングの書き込みはカーボンコーティングを損傷しないということも結論付けることができる。   Compared to the wavelength before applying the load, the wavelength shift due to these FBGs ranged from -12 pm to 0 pm, and the average wavelength shift was -7.2 pm. Assuming room temperature variations of ˜0.5 ° C. and relatively small wavelength shifts, it can be concluded that deuterium has not entered the fiber core at these loading conditions. It can also be concluded that writing the grating does not damage the carbon coating.

図6は、カーボンコーティング厚が〜0.056μm、クラッド直径が125μm、および開口数が0.16である他のカーボンコートファイバに書き込まれた長さ10mmのグレーティングにおける反射スペクトル60を示す。レーザー条件は、カーボンコーティングが〜0.029μmの厚さを持つカーボンコーティング光ファイバに書き込まれたグレーティングのテストと同じである。反射スペクトル60において、0.6%ピーク反射61は、4%の切断されたファイバ端反射を基準とする。0.029μmのカーボンコートファイバから得られた結果と比較して、この低反射性は、主に、感光性の低いファイバおよびより厚みのあるカーボンコーティングの両方に起因すると考えられる。これを検証するために、グレーティングは、0.056μm厚さのカーボンコートファイバと同じガラス構造であるが、0.024μm厚さのカーボンコーティングを持つファイバにも書き込まれた。この結果から、10mmグレーティングにおいて1.7%のピーク反射率が得られるということが分かった。ファイバコアへのより高いゲルマニウムドーピングとファイバの特別な光増感により、厚さが厚いカーボンコートファイバにおいてもより高いグレーティングピーク反射率を得ることができると考えられる。   FIG. 6 shows the reflection spectrum 60 in a 10 mm long grating written on another carbon coated fiber having a carbon coating thickness of .about.0.056 .mu.m, a cladding diameter of 125 .mu.m, and a numerical aperture of 0.16. The laser conditions are the same as the grating test written on a carbon coated optical fiber with a carbon coating having a thickness of ˜0.029 μm. In the reflection spectrum 60, the 0.6% peak reflection 61 is based on 4% cut fiber end reflection. Compared to the results obtained from 0.029 μm carbon coated fiber, this low reflectivity is believed to be due primarily to both the less photosensitive fiber and the thicker carbon coating. To verify this, the grating was written on a fiber having the same glass structure as a carbon coated fiber of 0.056 μm thickness, but with a carbon coating of 0.024 μm thickness. From this result, it was found that a peak reflectivity of 1.7% was obtained with a 10 mm grating. It is believed that higher grating peak reflectivity can be obtained even in thick carbon-coated fibers due to higher germanium doping into the fiber core and special photosensitization of the fiber.

カーボンコート光ファイバグレーティングの大量生産
上記の有望な結果は、カーボンコート光ファイバ内のFBGの大量生産における複数の可能なシナリオを生む。第一のアプローチでは、FBGは、二次コーティング後の工程において、カーボンコート光ファイバに書き込まれる。第二のアプローチでは、FBGは、カーボンコーティングの塗布の後、線引き工程の一部としてファイバに書き込まれる。それらの取り組みのそれぞれは順に記載される。
Mass production of carbon-coated optical fiber gratings The promising results described above give rise to several possible scenarios in mass production of FBGs in carbon-coated optical fibers. In the first approach, the FBG is written into a carbon-coated optical fiber in the post-secondary coating process. In the second approach, the FBG is written to the fiber as part of the drawing process after application of the carbon coating. Each of these efforts will be listed in turn.

二次コーティング後の書き込み
本明細書において、「二次コーティング後の書き込み」という表現は、カーボンコート層上への一つまたはそれ以上の二次コーティングの塗布の後で実行される書き込み工程について言及している。「二次コーティング後の書き込み」技術は、光ファイバmp線引き工程の一部として線引きタワー内で実行することもできるし、またはファイバを線引きタワーから取り出した後、書き込み装置で実行することもできる。
Writing After Secondary Coating As used herein, the expression “writing after secondary coating” refers to a writing step performed after application of one or more secondary coatings on the carbon coat layer. doing. The “writing after secondary coating” technique can be performed in a drawing tower as part of an optical fiber mp drawing process, or it can be executed in a writing device after the fiber is removed from the drawing tower.

図7Aは、本発明の一態様に従い、二次コーティング後の書き込み技術での使用のために構成されたカーボンコート光ファイバ70の等角図を示す。図7Bは、図7Aに示されたカーボンコート光ファイバの平面7B−7Bでの横断面図を示す。   FIG. 7A shows an isometric view of a carbon coated optical fiber 70 configured for use in a writing technique after secondary coating in accordance with an aspect of the present invention. FIG. 7B shows a cross-sectional view of the carbon-coated optical fiber shown in FIG. 7A at a plane 7B-7B.

ファイバ70は、コア領域72、クラッド領域74およびハーメチックカーボン層76を有している。ハーメチックカーボン層を取り囲むのは、紫外線に対して十分に透過的である保護用の「ライトスルー」コーティング78である。そのようなコーティングは、本出願の譲受人により所有され、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる米国特許第5,620,495号に記載されている。その中で公開されているとおり、外層コーティングは、低UV吸収のポリマーを含む。そのようなコーティングは、例えば、アクリレート類、脂肪族ポリアクリレート類、シルセスキオキサン類、アルキル置換シリコン類およびビニルエーテル類よりなる群から選択されたポリマーを含むであろう。本明細書において、「アクリレート類」および「脂肪族ポリアクリレート類」という表現は、メタクリレート、ポリ(メタ)アクリレート、アクリル酸ウレタン、および同様のものを含む。   The fiber 70 has a core region 72, a cladding region 74, and a hermetic carbon layer 76. Surrounding the hermetic carbon layer is a protective “light-through” coating 78 that is sufficiently transparent to ultraviolet light. Such coatings are described in US Pat. No. 5,620,495, owned by the assignee of the present application and incorporated herein by reference in its entirety. As published therein, the outer layer coating comprises a low UV absorbing polymer. Such a coating would comprise, for example, a polymer selected from the group consisting of acrylates, aliphatic polyacrylates, silsesquioxanes, alkyl-substituted silicons and vinyl ethers. As used herein, the expressions “acrylates” and “aliphatic polyacrylates” include methacrylates, poly (meth) acrylates, urethane acrylates, and the like.

図8は、ファイバ70に使用される、自動化されたFBGの書き込みシステム80の概略図を示す。システム80は、プログラム制御できるコントローラー装置81、自動化されたファイバ巻取りシステム82、自動化されたファイバの固定システム83およびUVレーザー84を有している。ビーム伝達光学系85は、位相マスク、またはホログラフィック技術をベースとすることができる。ファイバ70は、自動化されたファイバ巻取りシステム82に投入され、グレーティングは、一連の書き込みサイクルにおいてファイバ70に書き込まれる。それぞれのサイクルにおいて、固定システム83は、ビーム伝達光学系85によって成形されたUVレーザー84の出力に対して、ファイバ70の一部を適切な位置に固定する。   FIG. 8 shows a schematic diagram of an automated FBG writing system 80 used for fiber 70. The system 80 includes a programmable controller device 81, an automated fiber winding system 82, an automated fiber securing system 83 and a UV laser 84. The beam transfer optics 85 can be based on a phase mask or holographic technology. The fiber 70 is loaded into an automated fiber winding system 82 and the grating is written to the fiber 70 in a series of write cycles. In each cycle, the fixation system 83 fixes a portion of the fiber 70 in place with respect to the output of the UV laser 84 shaped by the beam transfer optics 85.

ファイバ70およびグレーティング書き込みシステム80を使用して作成されたFBGアレイは、元の状態のファイバ強度を保持する。さらに、上記のとおり、ファイバはカーボンコーティングされているので、上記のような湿度の高い、水素が豊富な、または他の苛酷な環境における使用のために構成することができる。「二次コーティング後」というアプローチは、線引きタワーでのグレーティング書き込みで、通常は達成できない厳しい光学スペクトル要求を達成するためのより巧みな操作を可能にする。   An FBG array created using fiber 70 and grating writing system 80 retains the original fiber strength. Furthermore, as described above, the fiber is carbon coated and can be configured for use in such high humidity, hydrogen rich, or other harsh environments. The “after secondary coating” approach allows for a more sophisticated operation to achieve demanding optical spectral requirements that cannot normally be achieved with grating writing in a drawing tower.

二次コーティング前の書き込み
本明細書において、「二次コーティング前の書き込み」という表現は、カーボンコーティング層の塗布の後で、しかしそのカーボンコーティング層上への二次コーティングの塗布より前に実行される書き込み工程について言及している。
Writing Before Secondary Coating In this specification, the expression “writing before secondary coating” is performed after the application of the carbon coating layer but before the application of the secondary coating on the carbon coating layer. The writing process.

本発明の一態様による二次コーティング前の書き込み技術の例となる実践において、グレーティングは、線引き工程の一部として、線引きタワーにおいてカーボンコート光ファイバに自動的に書き込まれる。図9は、本発明のこの態様による自動化されたシステム90の概略図である。   In an exemplary practice of a pre-secondary writing technique according to one aspect of the present invention, the grating is automatically written to the carbon coated optical fiber at the drawing tower as part of the drawing process. FIG. 9 is a schematic diagram of an automated system 90 according to this aspect of the invention.

システム90は、ファイバ93が線引きされるファイバプリフォームを受けるように構成された加熱炉92を最上部に持つ、線引きタワー91を有している。線引きされたファイバは、以下の段階を通過して降下する:ハーメチックカーボンコーティングがファイバ93に塗布されるカーボンコーティング塗布器94、グレーティングがファイバに書き込まれるグレーティング書き込み部95、カーボンコーティング上に外層コーティングが塗布される二次コーティングダイス96、および、完成したファイバを受け取り、バルクリールに巻き取るためのファイバ巻取りシステム97。   The system 90 has a draw tower 91 with a furnace 92 at the top configured to receive a fiber preform from which the fiber 93 is drawn. The drawn fiber descends through the following steps: a carbon coating applicator 94 where a hermetic carbon coating is applied to the fiber 93, a grating writer 95 where the grating is written to the fiber, and an outer coating on the carbon coating. A secondary coating die 96 to be applied, and a fiber winding system 97 for receiving the finished fiber and winding it on a bulk reel.

グレーティング書き込み部95は、UVレーザー951、および、書き込みレーザーのビーム953をマスク954およびその装着具に伝達するように構成されたレーザービーム伝達光学系952を有している。もちろん、ホログラフィック技術といった他のグレーティング書き込み技術も、ここで実行することができる。線引きタワー91の中を降下したままでファイバを停止することなくファイバ93にグレーティングを書き込むことができるというように、各グレーティングに書き込むために必要な時間量は、十分に短い。   The grating writing unit 95 includes a UV laser 951 and a laser beam transmission optical system 952 configured to transmit a beam 953 of the writing laser to the mask 954 and its mounting tool. Of course, other grating writing techniques such as holographic techniques can also be implemented here. The amount of time required to write to each grating is sufficiently short so that the grating can be written to the fiber 93 without stopping the fiber while descending through the draw tower 91.

外層コーティングは、ファイバ93へのグレーティングの書き込みの後で塗布されるため、外層コーティングがライトスルーコーティングである必要はない。そのため、記載されたアプローチは、二次コーティングのダイス96によって塗布することができる外層コーティングに対して柔軟性を持たせることができる。例えば、アクリレート、ポリイミド、ビニルエーテル、シリコーン、シルセスキオキサン、エポキシ樹脂、および、金属をも含む、どんな複数の異なる外層コーティングも使用されるであろう。   Since the outer layer coating is applied after writing the grating to the fiber 93, the outer layer coating need not be a light-through coating. As such, the described approach can be flexible to the outer coating that can be applied by the secondary coating die 96. Any of a number of different outer layer coatings may be used including, for example, acrylates, polyimides, vinyl ethers, silicones, silsesquioxanes, epoxy resins, and metals.

一般的な技術
図10は、本発明の上記態様による一般的技術100を説明するフローチャートである。
General Technique FIG. 10 is a flowchart illustrating a general technique 100 according to the above aspect of the invention.

技術100は以下のステップを有している:   The technique 100 includes the following steps:

101:ハーメチックカーボンコーティングが塗布されたクラッドを持つ感光性の光ファイバを提供する。 101 : A photosensitive optical fiber having a clad coated with a hermetic carbon coating is provided.

102:ハーメチックカーボン層が損傷を受けないままで、ハーメチックカーボン層を透過し、一つまたはそれ以上の屈折率変調を光ファイバに書き込むように構成されたビーム出力を有するレーザーを提供する。 102 : Providing a laser having a beam output configured to transmit one or more refractive index modulations to an optical fiber through the hermetic carbon layer while the hermetic carbon layer remains intact.

103:ハーメチックカーボン層を透過して、光ファイバに、一つまたはそれ以上の光デバイスを書き込むために、レーザーを使用する。 103 : Use a laser to write one or more optical devices into the optical fiber through the hermetic carbon layer.

結論
本発明により、カーボンコートファイバ内に作製されたファイバブラッググレーティングは、(1)ある温度以下で水素進入に耐えること、(2)ファイバがストレスを受け、湿度の高い環境にあるとき、長期信頼性を増加すること、を含む複数の利点を有する。
Conclusion The fiber Bragg grating fabricated in carbon coated fiber according to the present invention is (1) resistant to hydrogen entry below a certain temperature, and (2) long-term reliability when the fiber is stressed and in a humid environment. Has multiple advantages, including increased sex.

二次コーティング後、および二次コーティング前の両者のカーボンコート光ファイバへのFBGの書き込みにおいて、もう一つの利点は、FBGを書き込まれたカーボンコート光ファイバが、元の状態のカーボンコート光ファイバの強度(〜550kpsi)、すなわちFBGをそこに書き込む前とほぼ同じ破壊強度を持つであろう、ということである。   Another advantage of writing FBGs on carbon-coated optical fibers both after and before secondary coating is that the FBG-coated carbon-coated optical fiber is the same as the original carbon-coated optical fiber. Strength (~ 550 kpsi), that is, it will have about the same breaking strength as before writing the FBG to it.

先行の記述は、当事者が本発明を実施することを可能にするような詳細を含んでいるが、その記述は実際は実例となるもので、多くの改良や変化はそれら教示の利益を持つ当業者にとっては明白であろうということを認識すべきである。その結果、本発明が単にこの文書に添えられた請求項によってここに定義され、その請求項は従来技術によって許されるのと同じぐらい広く解釈されるということを意味している。   While the preceding description includes details that enable one to practice the invention, the description is illustrative in nature, and many modifications and variations will occur to those skilled in the art having the benefit of those teachings. It should be recognized that it will be obvious to the world. As a result, the invention is defined herein solely by the claims appended hereto, which means that the claims are construed as broadly as permitted by the prior art.

Claims (8)

カーボンコート光ファイバ内に、一つまたはそれ以上の光デバイスを作製する方法であって、
ハーメチックカーボンコーティングおよび前記ハーメチックカーボンコーティング上の外層コーティングを有する感光性光ファイバを提供することであって、紫外線レーザーを使用して、前記外層コーティングおよび前記ハーメチックカーボンコーティングを透過して、前記ファイバに一つまたはそれ以上の光デバイスが書き込まれるように、前記外層コーティングが十分に低い紫外線吸収を有し
前記ハーメチックカーボンコーティングおよび前記外層コーティングが損傷を受けないまま、一つまたはそれ以上の屈折率変調を、前記ハーメチックカーボンコーティングおよび前記外層コーティングを透過して前記光ファイバに書き込むように構成されたビーム出力を有するレーザーを提供すること、および、
前記ハーメチックカーボンコーティングおよび前記外層コーティングを透過して、一つまたはそれ以上の光デバイスを前記光ファイバに書き込むために、レーザーを使用すること、
を含む方法。
A method of making one or more optical devices in a carbon-coated optical fiber, comprising:
A photosensitive optical fiber having a hermetic carbon coating and an outer layer coating on the hermetic carbon coating , wherein an ultraviolet laser is used to transmit the outer layer coating and the hermetic carbon coating to the fiber. The outer layer coating has a sufficiently low UV absorption so that one or more optical devices are written ;
A beam output configured to write one or more refractive index modulations through the hermetic carbon coating and the outer layer coating into the optical fiber while the hermetic carbon coating and the outer layer coating remain intact. Providing a laser having, and
The transmitted through the hermetic carbon coating and the outer layer coating, to write one or more optical devices to the optical fiber, the use of les Za,
Including methods.
前記外層コーティングが、アクリレート類、脂肪族ポリアクリレート類、シルセスキオキサン類、アルキル置換シリコン類およびビニルエーテル類よりなる群から選択されたポリマーを含む、請求項に記載の方法。 The method of claim 1 , wherein the outer layer coating comprises a polymer selected from the group consisting of acrylates, aliphatic polyacrylates, silsesquioxanes, alkyl-substituted silicons, and vinyl ethers. 感光性のカーボンコート光ファイバを作製する方法であって、
高い感光性を有するようにファイバにドーピングすること、
前記ファイバのクラッドにハーメチックカーボンコーティングを塗布すること、および、
前記ハーメチックカーボンコーティング上に外層コーティングを塗布することを含み、
前記ハーメチックカーボンコーティングおよび前記外層コーティングが損傷を受けないまま、紫外線レーザーを使用して、前記外層コーティングおよび前記カーボンコーティングを透過して、前記ファイバに一つまたはそれ以上の光デバイスが書き込まれるように、前記外層コーティングが十分に低い紫外線吸収を有する方法。
A method for producing a photosensitive carbon-coated optical fiber,
Doping the fiber to have high photosensitivity,
Applying a hermetic carbon coating to the cladding of the fiber; and
Applying an outer layer coating on the hermetic carbon coating ;
One or more optical devices are written to the fiber through the outer layer coating and the carbon coating using an ultraviolet laser while leaving the hermetic carbon coating and the outer layer coating intact. The outer layer coating has a sufficiently low UV absorption.
前記ファイバがコアおよびクラッドを有し、前記コア、または前記コアおよび前記クラッドの一部にゲルマニウムまたは他の希土類ドーパントがドープされている、請求項に記載の方法。 4. The method of claim 3 , wherein the fiber has a core and a cladding, and the core or a portion of the core and the cladding is doped with germanium or other rare earth dopant. 前記ファイバの前記感光性を増すために水素または重水素負荷を使用することを含む、請求項に記載の方法。 4. The method of claim 3 , comprising using a hydrogen or deuterium load to increase the photosensitivity of the fiber. 前記ハーメチックカーボンコーティングの前記塗布の後で、水素または重水素が前記ハーメチックカーボンコーティングを透過して負荷される温度まで前記ファイバを加熱することにより、前記ファイバに前記水素または重水素が負荷される、請求項に記載の方法。 Wherein after said coating of a hermetic carbon coating, by heating the fibers to a temperature at which hydrogen or deuterium is loaded by passing through the hermetic carbon coating, the hydrogen or deuterium is loaded into the fiber, The method of claim 5 . 感光性カーボンコート光ファイバであって、
感光性コア領域および取り囲むクラッド領域を有する導波路、
前記導波路を取り囲むハーメチックカーボンコーティング、および、
前記ハーメチックカーボンコーティングを取り囲む外層コーティングを有し、
前記ハーメチックカーボンコーティングおよび前記外層コーティングが損傷を受けないままで、紫外線レーザーが、前記外層コーティングおよび前記ハーメチックカーボンコーティングを透過して、前記ファイバに一つまたはそれ以上の光デバイスを書き込むために使用することができるようになる紫外線吸収を前記外層コーティングが有する、感光性カーボンコート光ファイバ。
A photosensitive carbon coated optical fiber,
A waveguide having a photosensitive core region and an enclosing cladding region;
A hermetic carbon coating surrounding the waveguide, and
Having an outer coating surrounding the hermetic carbon coating ;
An ultraviolet laser is used to write one or more optical devices to the fiber through the outer layer coating and the hermetic carbon coating while leaving the hermetic carbon coating and the outer layer coating intact. A photosensitive carbon-coated optical fiber, wherein the outer layer coating has ultraviolet absorption that allows it to be absorbed.
前記外層コーティングが、アクリレート類、脂肪族ポリアクリレート類、シルセスキオキサン類、アルキル置換シリコン類およびビニルエーテル類よりなる群から選択されたポリマーを含む、請求項に記載の光ファイバ。 The optical fiber of claim 7 , wherein the outer layer coating comprises a polymer selected from the group consisting of acrylates, aliphatic polyacrylates, silsesquioxanes, alkyl-substituted silicons, and vinyl ethers.
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