JP6053864B2 - Workload lifting system for vertical vacuum furnace - Google Patents

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Description

本発明は、真空熱処理炉に関し、とりわけ鉛直方向に配置された真空炉、およびワークロード(被処理部材)を真空熱処理炉の内部に上昇させ、その内部から下降させるための昇降装置に関するものである。   The present invention relates to a vacuum heat treatment furnace, and more particularly to a vertically disposed vacuum furnace and a lifting device for raising a work load (member to be treated) into the vacuum heat treatment furnace and lowering the work from the inside. .

水平型構成または鉛直型構成を有する工業用真空熱処理炉が知られている。水平型構成を有する真空炉においては、熱処理される部品のワークロードが、これを並進移動させる装置を用いて、熱処理炉チャンバ内に搬入される。鉛直型構成を有する真空炉においては、昇降装置を用いて、ワークロードを工場のフロアから高位置にある熱処理炉チャンバまで持ち上げられる。   Industrial vacuum heat treatment furnaces having a horizontal configuration or a vertical configuration are known. In a vacuum furnace having a horizontal configuration, a workload of a part to be heat-treated is carried into a heat-treating furnace chamber using an apparatus that translates the part. In a vacuum furnace having a vertical configuration, a lifting device is used to lift a workload from a factory floor to a heat treatment furnace chamber at a high position.

鉛直型真空炉用の昇降システムの既知の構造は、4点昇降装置を採用している。この装置は、通常、ワークロードが平坦に持ち上げられるように同期して動作する4つのボールねじを有している。ボールねじを互いに同期して動作させるためには、複数のギアボックスとおよび接続部品を含む連結シャフトが用いられる。こうした昇降装置の既知のデザインは、製造現場で組立て、位置合わせし、さらに輸送のために分解する必要のある数多くの部品から構成されている。真空炉が顧客の現場に届けられると、再び、リフト装置を組み立て、位置合わせしなければならない。これは、時間の掛る作業であって、通常、配送時間スケジュールに数日の日数を追加することになる。   A known structure of a lifting system for a vertical vacuum furnace employs a four-point lifting device. The device typically has four ball screws that operate synchronously so that the workload is lifted flat. In order to operate the ball screws in synchronism with each other, a connecting shaft including a plurality of gearboxes and connecting parts is used. Known designs for such lifts are made up of a number of parts that need to be assembled, aligned, and disassembled for transport at the manufacturing site. Once the vacuum furnace is delivered to the customer site, the lift device must again be assembled and aligned. This is a time consuming task and typically adds days to the delivery time schedule.

既知の昇降機構に用いられるギアボックス、駆動シャフト、および接続部品は、ワークロードを昇降させるように動作する際、相当大きなノイズを発生する。駆動シャフト、モータシャフト、ギアボックスシャフト、およびボールねじシャフトを接続する接続部品は、時間の経過とともに緩んでくる。この場合、1つまたはそれ以上のボールねじが他のボールねじと同期して動作しなくなる。そのような非同期動作は、昇降機構に致命的なダメージを与え得る。ボールねじの非同期動作があまりにもひどくなった場合、ワークロード自体ひいては真空炉内のホットゾーンさえも、ダメージを受けることがある。   Gearboxes, drive shafts, and connecting components used in known lifting mechanisms generate significant noise when operating to raise and lower the workload. The connecting parts that connect the drive shaft, motor shaft, gearbox shaft, and ball screw shaft loosen over time. In this case, one or more ball screws do not operate in synchronization with the other ball screws. Such asynchronous operation can cause fatal damage to the lifting mechanism. If the asynchronous operation of the ball screw becomes too severe, the workload itself and even the hot zone in the vacuum furnace can be damaged.

既知の鉛直型真空炉用の昇降機構は、コイルスプリングを介して真空炉のボトム昇降構造に当接する昇降ポイントを有している。その昇降機構は、機械式リミットスイッチが作動して、昇降構造が完全に持ち上げられた最終位置にあることを示すまで、ボトムドアを炉に向けて持ち上げる。持ち上げられた最終位置において、ボトム昇降構造が炉の容器の上部に接しているので、スプリングの圧縮量は小さい。機械式スィツチが、適切に調整されず、または調整不具合が生じた場合、スプリングは過剰に圧縮され、昇降構造およびドアが曲げダメージを受けることがある。   A known lifting mechanism for a vertical vacuum furnace has a lifting point that abuts against the bottom lifting structure of the vacuum furnace via a coil spring. The lift mechanism lifts the bottom door toward the furnace until the mechanical limit switch is activated, indicating that the lift structure is in the fully lifted final position. At the final lifted position, the bottom lift structure is in contact with the top of the furnace vessel, so the amount of compression of the spring is small. If the mechanical switch is not properly adjusted or if an adjustment failure occurs, the spring may be over-compressed and the lifting structure and door may be damaged.

鉛直型真空炉用の既知の昇降システムに関する上記問題を鑑みて、既知の昇降システムに関する問題を解消する鉛直型真空炉用の昇降装置を提供することが望まれている。   In view of the above problems with known lifting systems for vertical vacuum furnaces, it is desirable to provide a lifting apparatus for vertical vacuum furnaces that solves problems with known lifting systems.

本発明に係る鉛直型真空炉内にワークロードを昇降させるシステムは、2つのボールねじを有し、各ボールねじは、サーボ型モータによって駆動され、位置情報をフィードバックするエンコーダおよび/またはレゾルバを用いて、電気サーボ駆動システムによって同期駆動される。各ボールねじは、トラック内を案内される昇降部品を昇降させるような構成および構造を有する。ボールねじとモータを有する昇降システムは、鉛直型炉のレッグ構造に組み込まれる。レッグ/エレベータ/ボールねじ/モータの複合体は、出荷およびエンドユーザの現場における組み立てのために完全な状態に維持されるモジュール式のアセンブリである。   A system for raising and lowering a workload in a vertical vacuum furnace according to the present invention has two ball screws, and each ball screw is driven by a servo motor and uses an encoder and / or resolver that feeds back position information. And driven synchronously by an electric servo drive system. Each ball screw has a configuration and a structure for raising and lowering a lifting part guided in the track. A lifting system having a ball screw and a motor is incorporated into the leg structure of the vertical furnace. The leg / elevator / ball screw / motor complex is a modular assembly that is maintained in perfect condition for shipping and assembly at the end user site.

ギアボックス、シャフト、および連結部品を備えていないため、昇降部品の昇降移動はきわめて静かである。各サーボモータが、それぞれのボールねじに直接的に連結されている。移動行程の終点付近における昇降移動の加速および減速をサーボ駆動システムにプログラムすることができる。これにより、昇降構造物と昇降部品の取出ポイントとの間に設けられるばねを排除することができる。エンコーダにより正確にフィードバックすることにより、昇降部品を完全に上昇した位置または完全に下降した位置に配置することができる。   Since the gearbox, shaft and connecting parts are not provided, the raising / lowering movement of the raising / lowering parts is extremely quiet. Each servo motor is directly connected to a respective ball screw. The acceleration and deceleration of the up and down movement near the end point of the movement stroke can be programmed into the servo drive system. Thereby, the spring provided between the raising / lowering structure and the taking-out point of raising / lowering components can be excluded. By accurately feeding back with the encoder, the elevating part can be arranged at the fully raised position or the completely lowered position.

本発明に係る昇降システムの別の有利な特徴は、昇降機構上のボールねじの固定ポイントが、ボールねじに対してほとんど、またはまったく応力を与えることなく、位置ずれを排除するジョイント連結部を有する点にある。   Another advantageous feature of the lifting system according to the invention is that the fixing point of the ball screw on the lifting mechanism has a joint connection that eliminates misalignment with little or no stress on the ball screw. In the point.

添付図面を参照しながら、以下の詳細な説明および上述の発明の要約を読むと、より十分に理解されるであろう。   A better understanding will be obtained by reading the following detailed description and the summary of the invention described above with reference to the accompanying drawings.

本発明に係る鉛直型真空炉アセンブリの斜視図である。1 is a perspective view of a vertical vacuum furnace assembly according to the present invention. 図1に示す鉛直型真空炉アセンブリの正面図である。It is a front view of the vertical type vacuum furnace assembly shown in FIG. 図1に示す鉛直型真空炉アセンブリに用いられるレッグアセンブリの斜視図である。It is a perspective view of the leg assembly used for the vertical type vacuum furnace assembly shown in FIG. 図3に示すレッグアセンブリの背面図である。FIG. 4 is a rear view of the leg assembly shown in FIG. 3. 図1に示す鉛直型真空炉に用いられるボトムヘッドアセンブリの斜視図である。It is a perspective view of the bottom head assembly used for the vertical type vacuum furnace shown in FIG. 図5に示すボトムヘッドアセンブリの平面図である。FIG. 6 is a plan view of the bottom head assembly shown in FIG. 5. 図5に示すボトムヘッドアセンブリの正面図である。FIG. 6 is a front view of the bottom head assembly shown in FIG. 5. 図3に示すレッグアセンブリで用いられる昇降台車の正面斜視図である。FIG. 4 is a front perspective view of an elevating carriage used in the leg assembly shown in FIG. 3. 図8に示す昇降台車の背面斜視図である。It is a back perspective view of the raising / lowering cart shown in FIG. 図3に示すレッグアセンブリに用いられるボールねじジャッキの斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of a ball screw jack used in the leg assembly shown in FIG. 3. 図10に示すボールねじジャッキの正面図である。It is a front view of the ball screw jack shown in FIG. 図1に示す鉛直型真空炉に用いられるサーボモータ制御システムのブロック図である。It is a block diagram of the servomotor control system used for the vertical type vacuum furnace shown in FIG.

ここで添付図面、とりわけ図1および2を参照すると、本発明に係る真空炉10が示されている。この真空炉10は、鉛直型の構成を有し、真空炉が配置される施設のフロアに対して持ち上げられている。真空炉10は、加圧式または真空式の容器(加圧/真空容器)12と、真空ポンプ14とを有している。加圧/真空容器12は、第1のレッグアセンブリ16と第2のレッグアセンブリ18とからなる一対のレッグアセンブリによって支持されている。レッグアセンブリ16,18の上端に作業台20が取り付けられている。制御キャビネット22と制御コンソール24が、好適には、真空炉10に隣接して設けられている。   Referring now to the accompanying drawings, and more particularly to FIGS. 1 and 2, a vacuum furnace 10 according to the present invention is shown. The vacuum furnace 10 has a vertical configuration and is lifted with respect to a floor of a facility where the vacuum furnace is disposed. The vacuum furnace 10 includes a pressurized or vacuum container (pressurized / vacuum container) 12 and a vacuum pump 14. The pressurization / vacuum container 12 is supported by a pair of leg assemblies including a first leg assembly 16 and a second leg assembly 18. A work table 20 is attached to the upper ends of the leg assemblies 16 and 18. A control cabinet 22 and a control console 24 are preferably provided adjacent to the vacuum furnace 10.

加圧/真空容器12は本体部26を有し、本体部はその下端部に開口部28を有する。加圧/真空容器12は、金属部品のワークロードを熱処理するために真空炉を動作させるとき、開口部28を閉口するように移動可能なボトムヘッドアセンブリ30を有する。加圧/真空容器12の本体部26は、複数の支持アームによりレッグアセンブリ16,18上に取り付けられている。支持アーム40a,40b,40c,40dが圧力式の容器本体部26の前方部分をレッグアセンブリ16,18の前方部分に取り付けるために設けられている。同様の一連の支持アーム(図示せず)が圧力式の容器本体部26の後方部分をレッグアセンブリ16,18の後方部分に取り付けるために設けられている。   The pressurization / vacuum container 12 has a main body 26, and the main body has an opening 28 at the lower end thereof. The pressurization / vacuum vessel 12 has a bottom head assembly 30 that is movable to close the opening 28 when the vacuum furnace is operated to heat treat a metal component workload. The body portion 26 of the pressurization / vacuum vessel 12 is mounted on the leg assemblies 16 and 18 by a plurality of support arms. Support arms 40a, 40b, 40c, 40d are provided to attach the forward portion of the pressure-type container body 26 to the forward portion of the leg assemblies 16,18. A similar series of support arms (not shown) are provided to attach the rear portion of the pressure-type container body 26 to the rear portions of the leg assemblies 16,18.

ここで図3および図4を参照すると、レッグアセンブリ16の構成がより詳細に示されている。レッグアセンブリ18は、レッグアセンブリ16と実質的に同様に構成され配置されている。よってレッグアセンブリ16についてのみ記述する。   With reference now to FIGS. 3 and 4, the construction of the leg assembly 16 is shown in greater detail. Leg assembly 18 is constructed and arranged in substantially the same manner as leg assembly 16. Therefore, only the leg assembly 16 will be described.

レッグアセンブリ16は、一対の支柱32a,32bを有する。支柱32a,32bは、横梁34および床板35に一体に接続されている。床板35は、支柱32a,32bの底部に固定され、好適には溶接により固定されている。横梁34は、支柱32a,32bの下端と上端の中間の位置において支柱32a,32bの間に取り付けられている。   The leg assembly 16 has a pair of support columns 32a and 32b. The support columns 32 a and 32 b are integrally connected to the cross beam 34 and the floor plate 35. The floor plate 35 is fixed to the bottoms of the support columns 32a and 32b, and is preferably fixed by welding. The cross beam 34 is attached between the columns 32a and 32b at a position intermediate between the lower ends and the upper ends of the columns 32a and 32b.

またレッグアセンブリ16は、ボトムヘッドアセンブリ30を加圧式の容器本体部に対して昇降させるように構成されたエレベータ機構46を含んでいる。エレベータ機構46は、機械式の昇降装置と、好適にはボールねじジャッキ50と、昇降装置に動作可能に連結された昇降台車(昇降トローリ)52とを有する。支柱32a,32bの対向面には、それぞれガイドチャネル42a,42bが形成または設けられている。ガイドチャネル42a,42bは、昇降台車をレッグアセンブリ16に沿って移動可能にする軌道(トラック)を形成する。図10および図11でより詳細に示すように、ボールねじジャッキ50は、既知の構造を有するねじ山付きシャフト58およびボールナット59を有する。駆動ギアボックス60がその一端部でねじ山付きシャフト58に連結されている。駆動ギアボックス60は、これに電動モータ51を取り付けるためのモータ実装部61を有する。図10および11に示すボールねじジャッキに代えて、機械ねじジャッキを用いてもよいことは当業者に理解されるであろう。 The leg assembly 16 also includes an elevator mechanism 46 configured to raise and lower the bottom head assembly 30 relative to the pressurized container body. The elevator mechanism 46 includes a mechanical lifting device, preferably a ball screw jack 50, and a lifting carriage (lifting trolley) 52 operably connected to the lifting device. Guide channels 42a and 42b are formed or provided on the opposing surfaces of the columns 32a and 32b, respectively. The guide channels 42 a and 42 b form a track that allows the lifting carriage to move along the leg assembly 16. As shown in more detail in FIGS. 10 and 11, the ball screw jack 50 has a threaded shaft 58 and a ball nut 59 having a known structure. A drive gearbox 60 is connected at one end to a threaded shaft 58. The drive gear box 60 has a motor mounting portion 61 for attaching the electric motor 51 thereto. It will be appreciated by those skilled in the art that mechanical screw jacks may be used in place of the ball screw jacks shown in FIGS.

ここで図8および9を参照すると、昇降台車52は、一対のL字状の側方板70a,70bを有する。側方板は、上側横梁72と下側横梁74に一体に接続されている。図示した実施形態では、下側横梁74は、互いに平行に離間した一対の横板(バー)74’,74’’から構成されている。上側横梁72は、好適には側方板70a,70bの間の中間位置に形成された開口部88を有している。開口部88は、ボールねじジャッキ50のねじ山付きシャフト58が貫通することができるように寸法設計されて配置されている。昇降台車52は、ボールねじジャッキ50を昇降台車52に連結するためのボールねじ固定アセンブリ76を有する。下側横梁74の横板74’,74’’の間に昇降板(リフトバー)80a,80bが取り付けられている。ボールねじジャッキ50を昇降台車52に接続するために、ブラケット78が設けられている。図8および図9の実施形態で示すように、ブラケット78は、中央開口部89と複数のボルト穴とを含む実装プレート79を有する。中央開口部は、ボールねじジャッキ50のねじ山付きシャフト58が昇降台車52を貫通できるような寸法を有する。ボールねじジャッキ50のボールナット59を実装ブラケット78に取り付けるために、ボルト穴が設けられている。   8 and 9, the lifting carriage 52 has a pair of L-shaped side plates 70a and 70b. The side plates are integrally connected to the upper lateral beam 72 and the lower lateral beam 74. In the illustrated embodiment, the lower lateral beam 74 is composed of a pair of lateral plates (bars) 74 ′ and 74 ″ spaced in parallel to each other. The upper transverse beam 72 preferably has an opening 88 formed at an intermediate position between the side plates 70a, 70b. The opening 88 is dimensioned and arranged so that the threaded shaft 58 of the ball screw jack 50 can pass therethrough. The lifting carriage 52 has a ball screw fixing assembly 76 for connecting the ball screw jack 50 to the lifting carriage 52. Lift plates (lift bars) 80 a and 80 b are attached between the horizontal plates 74 ′ and 74 ″ of the lower horizontal beam 74. A bracket 78 is provided to connect the ball screw jack 50 to the lifting carriage 52. As shown in the embodiment of FIGS. 8 and 9, the bracket 78 has a mounting plate 79 that includes a central opening 89 and a plurality of bolt holes. The central opening has dimensions such that the threaded shaft 58 of the ball screw jack 50 can penetrate the lift carriage 52. In order to attach the ball nut 59 of the ball screw jack 50 to the mounting bracket 78, a bolt hole is provided.

実装ブラケット78は、連結板(リンクバー)82a,82b,82c,82dを介して昇降板80a,80bに連結されている。連結板82a,82bは、ピボットピン84a,84bによって昇降板80aと実装ブラケット76との間でピボット回転可能に連結されている。連結板82c,82dは、ピボットピン84c,84dによって昇降板80bと実装ブラケット76との間でピボット回転可能に連結されている。昇降台車とボールねじシャフトとの間に多少の位置ずれが生じたときでも、昇降板と実装ブラケットとの間の連結板で実現される継手連結により、ボールねじジャッキに対する横方向の実質的な応力を防止することができる。   The mounting bracket 78 is connected to the lift plates 80a and 80b via connecting plates (link bars) 82a, 82b, 82c, and 82d. The coupling plates 82a and 82b are pivotally coupled between the elevating plate 80a and the mounting bracket 76 by pivot pins 84a and 84b. The coupling plates 82c and 82d are pivotally coupled between the elevating plate 80b and the mounting bracket 76 by pivot pins 84c and 84d. Even when there is a slight misalignment between the lifting carriage and the ball screw shaft, the joint connection realized by the connecting plate between the lifting plate and the mounting bracket will result in substantial lateral stress on the ball screw jack. Can be prevented.

ガイドホイールまたはガイドベアリング180a,180bが端壁板70aの外向き面に設けられている。同様に、ガイドホイールまたはガイドベアリング180c,180dが端壁板70bの外向き面に設けられている。ガイドホイール180a,180bは、それぞれ実装パッド182a,182b上で取り付けられている。同様に、ガイドホイール180c,180dは、それぞれ実装パッド182c,182d上で取り付けられている。ガイドホイール180a〜180dは、レッグアセンブリ16のガイドチャネル42a,42bに嵌合してその内部を移動するように寸法設計され、配置されている。   Guide wheels or guide bearings 180a and 180b are provided on the outward face of the end wall plate 70a. Similarly, guide wheels or guide bearings 180c and 180d are provided on the outward face of the end wall plate 70b. Guide wheels 180a and 180b are mounted on mounting pads 182a and 182b, respectively. Similarly, guide wheels 180c and 180d are mounted on mounting pads 182c and 182d, respectively. Guide wheels 180a-180d are dimensioned and arranged to fit within guide channels 42a, 42b of leg assembly 16 and move therethrough.

端壁板70a,70bは、L字状形状を有し、水平方向に延びる足部86a,86bを有する。足部86a,86bは、詳細に後述するように、加圧/真空容器のボトムヘッドアセンブリの支持構造体と係合するように配置構成される。   The end wall plates 70a and 70b have an L-shape and have leg portions 86a and 86b extending in the horizontal direction. The legs 86a, 86b are arranged and configured to engage the support structure of the bottom head assembly of the pressure / vacuum vessel, as will be described in detail below.

当業者にとって明らかなように、レッグアセンブリ16,18の構造的特徴は、レッグアセンブリをモジュールとして予め組み立てた後に真空炉とともに出荷することができるという利点を有する。レッグアセンブリを予め組み立てられたモジュールとして出荷できるので、真空炉を出荷し、真空炉をユーザの工場内で組み立てるのに必要な時間を大幅に短縮することができる。さらに上記説明から明らかなように、各レッグアセンブリの上方にある昇降機構の間において機械的な連結を必要としない。すなわち、レッグアセンブリ16,18がモジュール構造を有するため、昇降機構の間を機械的に連結する必要がなく、複数の昇降機構および既知の複数の昇降機構に必要な連結部品を正確に位置合わせし、再位置合わせする必要がない。また通常、機械式連結の部品である複数のギアボックス、駆動シャフト、および連結部品を省略することにより、相当により静かな動作を実現することができる。   As will be apparent to those skilled in the art, the structural features of the leg assemblies 16, 18 have the advantage that the leg assemblies can be shipped with the vacuum furnace after being preassembled as a module. Since the leg assembly can be shipped as a pre-assembled module, the time required to ship the vacuum furnace and assemble the vacuum furnace in the user's factory can be greatly reduced. Further, as is apparent from the above description, no mechanical connection is required between the lifting mechanisms above each leg assembly. That is, since the leg assemblies 16 and 18 have a modular structure, there is no need to mechanically connect the lifting mechanisms, and the plurality of lifting mechanisms and the connecting parts necessary for the known lifting mechanisms are accurately aligned. No need to re-align. In addition, by omitting a plurality of gearboxes, drive shafts, and connecting parts, which are usually mechanically connected parts, a considerably quieter operation can be realized.

ここで図5、図6および図7を参照すると、好適な実施形態に係る加圧/真空容器12のボトムヘッドが示されている。ボトムヘッドアセンブリ102は、簡便なものとするために、ほぼ平坦な外形形状(プロファイル)を有する。ボトムヘッド102は、圧力容器本体部の底部にある開口部を覆う(カバーする)ように寸法設計されたほぼ円形のスチールプレート104を有する。プレート104には、好適には、封止リング107を受容する周辺溝が形成されている。フランジ106が、プレート104の周縁部の周りに形成され、加圧/真空容器の本体部26の開口部28の周りで対応する嵌合フランジと係合するように寸法設計され、配置されている。真空炉内で約2バールより高いガス焼入れ圧力が用いられない場合、フラットなボトムヘッド装置は適当なものである。すなわち約2バールより高いガス焼入れ圧力が用いられる場合には、加圧式の容器の基準の要件に適合するために従来式の皿状またはドーム状のボトムヘッドを用いなければならない。   Referring now to FIGS. 5, 6 and 7, there is shown a bottom head of a pressurized / vacuum vessel 12 according to a preferred embodiment. The bottom head assembly 102 has a substantially flat outer shape (profile) for simplicity. The bottom head 102 has a generally circular steel plate 104 dimensioned to cover (cover) an opening in the bottom of the pressure vessel body. The plate 104 is preferably formed with a peripheral groove for receiving the sealing ring 107. A flange 106 is formed around the periphery of the plate 104 and is dimensioned and arranged to engage a corresponding mating flange around the opening 28 in the body 26 of the pressurized / vacuum vessel. . If gas quenching pressures higher than about 2 bar are not used in the vacuum furnace, a flat bottom head device is appropriate. That is, if a gas quenching pressure higher than about 2 bar is used, a conventional dished or dome shaped bottom head must be used to meet the requirements of a pressurized container standard.

一対の支持ビーム(支持梁)108a,108bが、プレート104の外側に固定され、プレートを横断するように互いに離間して平行に延びている。これらの支持ビームは、プレート104を越えて突出する部分を有する。特に、支持ビーム108aは延長部110a,110bを有し、支持ビーム108bは延長部112a,112bを有する。延長部110a,110bは、昇降台車52の足部86a,86bと係合するように構成されている。同様に、延長部112a,112bは、レッグアセンブリ18上の昇降台車の対応する足部と係合するように構成されている。図7に示すように、支持レッグ114a,114bがプレート104の外側表面から鉛直方向に延びている。図7には図示されないが、一対の第2の支持レッグが支持レッグ114a,114bの後方に離間して配置されている。これらの支持レッグは、ボトムヘッドアセンブリ102がフロア上に載置されているときに、プレート104に剛性を付加するとともに、ボトムヘッドアセンブリ102を支持するように構成され、配置されている。また、これら支持レッグは、昇降台車が支持ビーム108a,108bの延長部110a,110b,112a,112bと容易に係合できるように、フロアから上方に十分な高さを与えるように寸法設計されている。   A pair of support beams (support beams) 108a and 108b are fixed to the outside of the plate 104, and extend parallel to each other so as to cross the plate. These support beams have portions that protrude beyond the plate 104. In particular, the support beam 108a has extensions 110a and 110b, and the support beam 108b has extensions 112a and 112b. The extension portions 110a and 110b are configured to engage with the foot portions 86a and 86b of the elevating carriage 52. Similarly, the extensions 112a, 112b are configured to engage corresponding feet of the lift carriage on the leg assembly 18. As shown in FIG. 7, support legs 114 a and 114 b extend from the outer surface of the plate 104 in the vertical direction. Although not shown in FIG. 7, the pair of second support legs are disposed behind the support legs 114 a and 114 b so as to be separated from each other. These support legs are configured and arranged to add rigidity to the plate 104 and support the bottom head assembly 102 when the bottom head assembly 102 is placed on the floor. Also, these support legs are dimensioned to provide sufficient height above the floor so that the lift carriage can be easily engaged with the extensions 110a, 110b, 112a, 112b of the support beams 108a, 108b. Yes.

プレート104の内側表面の中央領域には複数のソケットまたはレセプタクル118が配置され、固定されている。これらのレセプタクル118は、鉛直方向に延び、炉床レールを支持する支柱部(ポスト、たとえば図1を参照)を受容するように寸法設計されている。カバープレート122は、プレート104の内側表面上に固定されて、プレート104の中央領域を覆う。カバープレート122は、スペーサリング124上に設置され、固定され、スペーサリングは、プレート104の内側表面上に固定される。カバープレート122は開口部を有し、レセプタクル118はこの開口部を貫通して延びる。ボトムヘッドアセンブリ102は、好適には、熱処理サイクル中に炉内で発生する莫大な熱からヘッドアセンブリを冷却するための手段を有する。好適には、冷却手段は、スペーサリング124とカバープレート122とからなる複合体により実現され、カバープレートは、冷却剤カバー(冷却剤被覆)として機能する密閉空間を画定する。好適には、冷却剤カバーは、水等の冷却剤の流れを制御するためのチャネル(図示せず)を有し、チャネルはプレート104の内側表面を横断するように延びている。好適には、チャネルは、プレート104の中央領域のほぼ全面が冷却剤と接することができるように配置されている。プレート104を十分に冷却して、流れが停滞したスポットまたは渦流が形成されないように、当業者ならばチャネルの配置を容易に設計することができる。ボトムヘッドアセンブリ102が加圧/真空容器の本体部26に対して閉じた状態にあるとき、カバープレートにより、冷却チャネルは真空炉の内部から隔離される。   A plurality of sockets or receptacles 118 are disposed and fixed in the central region of the inner surface of the plate 104. These receptacles 118 extend in the vertical direction and are dimensioned to receive struts (posts, see eg, FIG. 1) that support the hearth rail. The cover plate 122 is fixed on the inner surface of the plate 104 and covers the central area of the plate 104. The cover plate 122 is placed and fixed on the spacer ring 124, and the spacer ring is fixed on the inner surface of the plate 104. Cover plate 122 has an opening, and receptacle 118 extends through the opening. The bottom head assembly 102 preferably has means for cooling the head assembly from the enormous heat generated in the furnace during the heat treatment cycle. Preferably, the cooling means is realized by a composite consisting of a spacer ring 124 and a cover plate 122, which defines a sealed space that functions as a coolant cover (coolant coating). Preferably, the coolant cover has channels (not shown) for controlling the flow of coolant, such as water, and the channels extend across the inner surface of the plate 104. Preferably, the channels are arranged so that substantially the entire central region of the plate 104 can contact the coolant. Those skilled in the art can easily design the channel arrangement so that the plate 104 is sufficiently cooled so that no stagnant spots or vortices are formed. When the bottom head assembly 102 is closed relative to the body 26 of the pressurized / vacuum vessel, the cover plate isolates the cooling channel from the interior of the vacuum furnace.

ここで図12を参照すると、本発明に係る昇降装置の動作を制御するために好適な装置が図示されている。制御システム90は、昇降装置のフェイルセーフ動作を実現するように構成され、ボールねじドライブの動きを連動させ、昇降モータの操作を同期させる手段を設けることにより、ボトムヘッドアセンブリを水平状態で昇降させて、ボトムヘッドおよび/または昇降機構に対する損傷を回避することができる。制御システム90は、プログラマブル論理コントローラ(PLC)100と、マスタサーボ駆動回路92と、フォロワサーボ駆動回路94とを有している。昇降モータ50がマスタサーボ駆動回路92に接続されている。エンコーダ96がモータ50の駆動シャフトに機械的に連結されている。同様に、昇降モータ55がフォロワサーボ駆動回路94に接続され、レゾルバ98がモータ55の駆動シャフトに機械的に連結されている。   Referring now to FIG. 12, an apparatus suitable for controlling the operation of the lifting apparatus according to the present invention is illustrated. The control system 90 is configured to realize a fail-safe operation of the lifting device, and moves the bottom head assembly in a horizontal state by providing means for synchronizing the movement of the ball screw drive and synchronizing the operation of the lifting motor. Thus, damage to the bottom head and / or the lifting mechanism can be avoided. The control system 90 includes a programmable logic controller (PLC) 100, a master servo drive circuit 92, and a follower servo drive circuit 94. A lift motor 50 is connected to the master servo drive circuit 92. An encoder 96 is mechanically coupled to the drive shaft of the motor 50. Similarly, the lift motor 55 is connected to the follower servo drive circuit 94, and the resolver 98 is mechanically coupled to the drive shaft of the motor 55.

PLC100は、炉のオペレータにより入力される命令に応じてボトムヘッドアセンブリを昇降させるため、昇降モータ50,55を動作させる電気的な命令信号を提供するようにプログラムされたプロセッサを有する。オペレータの命令は、プッシュボタンまたはキーボード等の便利な手段を用いて、PLCに入力することができる。PLC100は、ボトムヘッドアセンブリ102が上昇位置または下降位置にあるか否かを示す状況情報を、マスタサーボ駆動回路およびフォロワサーボ駆動回路から受信するようにプログラムされている。PLC100は、ボトムヘッドアセンブリの位置を特定したとき、連動動作が実行可能であることを示す連動信号をサーボ駆動回路に送信する。マスタサーボ駆動回路92は、PLC100に接続され、命令信号を受信し、第1のフィードバック信号をPLCに出力する。フォロワサーボ駆動回路94は、マスタサーボ駆動回路92に接続され、命令信号を受信し、マスタサーボ駆動回路92を介してPLCにフィードバック信号を出力する。またPLCは、マスタサーボ駆動回路およびフォロワサーボ駆動回路からのフィードバック信号をモニタするとともに、昇降モータ50,55の同期した動作を維持するために更新された命令信号を出力するようプログラムされている。フィードバック信号は、位置および/または速度を示す指標であってもよい。エンコーダー96は、昇降モータ50の駆動シャフトの回転に基づいて第1のフィードバック信号を生成するように構成されている。エンコーダー96は、マスタサーボ駆動回路92に接続され、第1のフィードバック信号をマスタサーボ駆動回路に送信する。同様に、レゾルバ98は、昇降モータ55の駆動シャフトの回転に基づいて第2のフィードバック信号を生成するように構成されている。レゾルバ98は、フォロワサーボ駆動回路94に接続され、第2のフィードバック信号をフォロワサーボ駆動回路に出力する。好適には、このシステムは、昇降コントローラに接続された帰還リミットスイッチ(図示せず)を有する。帰還リミットスイッチは、昇降台車が完全に下降位置に達したことを検出するように配置され、システム自らが位置指標をゼロに設定するように昇降コントローラに信号を出力する。 The PLC 100 has a processor programmed to provide electrical command signals for operating the lift motors 50, 55 to raise and lower the bottom head assembly in response to commands entered by the furnace operator. Operator instructions can be entered into the PLC using convenient means such as push buttons or a keyboard. The PLC 100 is programmed to receive status information from the master servo drive circuit and the follower servo drive circuit indicating whether the bottom head assembly 102 is in the raised position or the lowered position. When the position of the bottom head assembly is specified, the PLC 100 transmits an interlock signal indicating that the interlock operation can be executed to the servo drive circuit. The master servo drive circuit 92 is connected to the PLC 100, receives a command signal, and outputs a first feedback signal to the PLC. The follower servo drive circuit 94 is connected to the master servo drive circuit 92, receives a command signal, and outputs a feedback signal to the PLC via the master servo drive circuit 92. The PLC is programmed to monitor feedback signals from the master servo drive circuit and the follower servo drive circuit and to output updated command signals to maintain the synchronized operation of the lifting motors 50 and 55. The feedback signal may be an indicator that indicates position and / or velocity. The encoder 96 is configured to generate a first feedback signal based on the rotation of the drive shaft of the lift motor 50. The encoder 96 is connected to the master servo drive circuit 92 and transmits a first feedback signal to the master servo drive circuit. Similarly, the resolver 98 is configured to generate a second feedback signal based on the rotation of the drive shaft of the lift motor 55. The resolver 98 is connected to the follower servo drive circuit 94 and outputs a second feedback signal to the follower servo drive circuit. Preferably, the system has a feedback limit switch (not shown) connected to the lift controller. The feedback limit switch is arranged to detect that the lift carriage has reached the fully lowered position, and outputs a signal to the lift controller so that the system itself sets the position index to zero.

本発明に係るサーボ駆動制御システムは、各レッグアセンブリ上の昇降機構の間において、複数のギアボックス,シャフト、および連結部品を含む機械式の連結装置を必要とすることなく、各レッグアセンブリ上の昇降機構を同期させて昇降移動させる。機械式の連結装置を省略することにより、顧客の工場で真空炉を組み立てるのに必要とされる時間を大幅に短縮させることができる。昇降機構は、鉛直型真空炉に用いられる既知の昇降機構に比して、動作音が相当により静かである。さらに、機械式の連結装置を省略することにより、長期間の使用により生じる位置ずれの問題が回避される。また本発明に係る制御システムは、正確な昇降サイクルを実現し、駆動機構が生成するトルクまたは昇降力を自ら規制して任意の昇降部品に対する偶発的な損傷を回避できるようにプログラムすることができる。昇降部品に対する偶発的な損傷を実質的に回避するために、昇降機構の駆動力は、これにより生成されるトルクまたは昇降力を自己制御されるものである。   The servo drive control system according to the present invention eliminates the need for a mechanical coupling device including a plurality of gearboxes, shafts, and coupling components between the lifting mechanisms on each leg assembly, and on each leg assembly. The lifting mechanism is moved up and down in synchronization. By omitting the mechanical coupling device, the time required to assemble the vacuum furnace at the customer's factory can be greatly reduced. The elevating mechanism has a considerably quieter operation sound than the known elevating mechanism used in a vertical vacuum furnace. Further, by omitting the mechanical coupling device, the problem of misalignment caused by long-term use can be avoided. In addition, the control system according to the present invention can be programmed to realize an accurate lifting cycle and to prevent accidental damage to any lifting component by self-regulating the torque or lifting force generated by the drive mechanism. . In order to substantially avoid accidental damage to the lifting components, the driving force of the lifting mechanism is such that the torque or lifting force generated thereby is self-controlled.

本明細書において用いた用語および表現は、本発明を説明するために用いたものに過ぎず、本発明を何ら限定するものではない。こうした用語および表現を用いたことにより、図示および記載された特徴もしくはステップまたはその一部の任意の均等物を排除しようとするものではない。したがって本発明の範囲および精神に含まれるさまざまな変形例が実現可能であることが認識される。よって本発明は、上述した発明の範疇に属する変形例を包含するものである。   The terms and expressions used in this specification are merely used to describe the present invention, and do not limit the present invention in any way. The use of such terms and expressions is not intended to exclude any equivalents of the features and steps illustrated and described or portions thereof. Accordingly, it will be appreciated that various modifications can be made that fall within the scope and spirit of the invention. Therefore, the present invention includes modifications that belong to the above-described category of the invention.

Claims (12)

鉛直型真空炉アセンブリであって、
下端部に開口部(28)を有する真空容器(12)と、
真空容器の開口部を閉口するような寸法を有し、ワークロードを支持するように構成されたボトムヘッドアセンブリ(30)と、
真空容器に固定された支持アーム(40a〜40d)に取り付けられ、真空容器の対向する両側に配置され、予め組み立てられた第1および第2の支持モジュール(16,18)からなる支持構造体と、
制御システム(90)とを備え、
予め組み立てられた支持モジュールのそれぞれは、
第1および第2の支柱(32a,32b)と、
第1および第2の支柱の底部に接続され、第1および第2の支柱を表面に固定するための固定手段(35)と、
第1および第2の支柱を互いに離間させた状態で接続する横梁(34)であって、固定手段から第1の距離だけ上方に配置された横梁と、
固定手段と横梁との間において、第1および第2の支柱の対向する面に長手方向に形成された第1および第2のガイドチャネル(42a,42b)と、
エレベータ機構(46)とを有し、
エレベータ機構(46)は、
第1および第2のガイドチャネル内に移動可能に配置され、ボトムヘッドアセンブリ(30)と係合するように構成された足部(86a,86b)を有する昇降台車(52)と、
横梁に支持された昇降機構(50,51,60,61)であって、昇降台車を上昇または下降させるために昇降台車に固定され、制御システムに電気的に接続され、昇降台車を上昇または下降させるように動作可能な昇降機構とを有することを特徴とする鉛直型真空炉アセンブリ。
A vertical vacuum furnace assembly comprising:
A vacuum vessel (12) having an opening (28) at the lower end;
A bottom head assembly (30) sized to close the opening of the vacuum vessel and configured to support a workload;
A support structure comprising first and second support modules (16, 18), which are attached to support arms (40a to 40d) fixed to the vacuum vessel, arranged on opposite sides of the vacuum vessel, and assembled in advance; ,
A control system (90),
Each of the pre-assembled support modules
First and second struts (32a, 32b);
Fixing means (35) connected to the bottom of the first and second struts for securing the first and second struts to the surface;
A transverse beam (34) connecting the first and second struts spaced apart from each other, the transverse beam disposed above the fixing means by a first distance;
First and second guide channels (42a, 42b) formed longitudinally on opposing surfaces of the first and second struts between the fixing means and the cross beam;
An elevator mechanism (46),
The elevator mechanism (46)
An elevating carriage (52) having feet (86a, 86b) movably disposed in the first and second guide channels and configured to engage the bottom head assembly (30);
Elevating mechanism (50, 51, 60, 61) supported by a cross beam, fixed to the elevating carriage for raising or lowering the elevating carriage, electrically connected to the control system, and raising or lowering the elevating carriage And a vertical vacuum furnace assembly characterized by having an elevating mechanism operable to operate.
固定手段は、床板(35)を含み、
昇降機構は、
一方の端部で床板に回転可能に取り付けられたねじ山付きシャフト(58)と、
横梁に実装され、ねじ山付きシャフトの他方の端部に接続された駆動機構(51,60)と、
ねじ山付きシャフト上で昇降可能に実装され、昇降台車に接続される搬送部品(59)とを有することを特徴とする請求項1に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。
The fixing means includes a floor board (35),
The lifting mechanism is
A threaded shaft (58) rotatably attached to the floorboard at one end;
A drive mechanism (51, 60) mounted on the transverse beam and connected to the other end of the threaded shaft;
The vertical vacuum furnace assembly according to claim 1, further comprising a conveying part (59) which is mounted on a threaded shaft so as to be movable up and down and connected to a lifting carriage.
駆動機構は、横梁に実装されたギアボックス(60)と、ギアボックスに連結された駆動モータ(51)とを有することを特徴とする請求項2に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。   The vertical vacuum furnace assembly according to claim 2, wherein the driving mechanism includes a gear box (60) mounted on the cross beam and a driving motor (51) connected to the gear box. 昇降台車は、互いに離間して平行に配置された第1および第2の側方板(70a,70b)と、第1および第2の側方板の上端部でこれらを連結する横梁(72)と、第1および第2の側方板の下端部でこれらを連結する横板(74)とを含む昇降アセンブリを有し、
昇降台車は、搬送部品(59)に連結された固定アセンブリ(76)をさらに有することを特徴とする請求項2または3に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。
The elevating carriage includes first and second side plates (70a, 70b) that are spaced apart from each other and arranged in parallel, and a horizontal beam (72) that connects them at the upper ends of the first and second side plates. And a lifting plate including a lateral plate (74) connecting them at the lower ends of the first and second side plates,
The vertical vacuum furnace assembly according to claim 2 or 3, wherein the lift carriage further comprises a fixed assembly (76) connected to the conveying part (59).
固定アセンブリ(76)は、その下端部で昇降アセンブリの横板に固定された第1および第2の昇降板(80a,80b)と、ブラケット(78)と、第1および第2の昇降板とブラケットとの間でピボット回転可能に連結された第1および第2の連結部品(82a,82d)とを有することを特徴とする請求項4に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。 The fixing assembly (76) has first and second lifting plates (80a, 80b) fixed to the horizontal plate of the lifting assembly at the lower end thereof, a bracket (78), first and second lifting plates, The vertical vacuum furnace assembly according to claim 4, further comprising first and second connecting parts (82a, 82d) pivotably connected to the bracket. 横板は、固定アセンブリ(76)のいずれか一方側において互いに平行に離間して配置された第1の横板部品(74’)と第2の横板部品(74’’)とを有することを特徴とする請求項4に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。 The transverse plate has a first transverse plate component (74 ′) and a second transverse plate component (74 ″) which are spaced parallel to each other on either side of the fixed assembly (76). The vertical vacuum furnace assembly according to claim 4. ボトムヘッドアセンブリは、円形のスチールプレート(104)と、スチールプレートの周縁部の周りに形成されたフランジ(106)と、スチールプレートの外側表面に固定された第1および第2の支持梁(108,108b)と、スチールプレートの内側表面に固定された、スチールプレート上でワークロードを支持するための手段とを有することを特徴とする請求項1に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。   The bottom head assembly includes a circular steel plate (104), a flange (106) formed around the periphery of the steel plate, and first and second support beams (108) secured to the outer surface of the steel plate. 108b) and means for supporting a workload on the steel plate secured to the inner surface of the steel plate. ボトムヘッドアセンブリは、スチールプレートの内側表面に沿って冷却剤を循環させるための冷却手段(122,124)を有することを特徴とする請求項7に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。   8. A vertical vacuum furnace assembly according to claim 7, wherein the bottom head assembly has cooling means (122, 124) for circulating a coolant along the inner surface of the steel plate. 冷却手段は、その内部においてスチールプレートの内側表面に沿って冷却剤を案内するチャンネルと、冷却剤がチャンネル内へ導入させるためにスチールプレートに形成された入口と、冷却剤がチャンネルから導出させるためにスチールプレートに形成された出口とを有することを特徴とする請求項8に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。   The cooling means includes a channel for guiding the coolant along the inner surface of the steel plate therein, an inlet formed in the steel plate for allowing the coolant to be introduced into the channel, and for letting the coolant out of the channel. 9. The vertical vacuum furnace assembly according to claim 8, further comprising an outlet formed in the steel plate. 制御システムは、
第1の支持モジュールに設けた駆動モータに接続され、第1の支持モジュールに設けた昇降台車(52)の鉛直方向の位置を示す電気信号を生成する第1のセンサ(96)と、
第2の支持モジュールに設けた駆動モータに接続され、第2の支持モジュールに設けた昇降台車(52)の鉛直方向の位置を示す電気信号を生成する第2のセンサ(96)と、
これらの駆動モータおよび第1ならびに第2のセンサに接続された駆動回路(92,94)と、
駆動回路に接続され、第1および第2のセンサにより生成された位置信号を受信するプロセッサ(100)とを有し、
プロセッサは、動作命令を受信するように構成され、駆動モータが同期して動作できるように、位置信号および動作命令に応じて命令信号を生成して、命令信号を駆動回路に送信するようにプログラムされたことを特徴とする請求項1に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。
The control system
A first sensor (96) connected to a drive motor provided in the first support module and generating an electrical signal indicating a vertical position of the lifting carriage (52) provided in the first support module;
A second sensor (96) connected to a drive motor provided in the second support module and generating an electrical signal indicating a vertical position of the elevating carriage (52) provided in the second support module;
Drive circuits (92, 94) connected to these drive motors and the first and second sensors;
A processor (100) connected to the drive circuit and receiving the position signal generated by the first and second sensors;
The processor is configured to receive an operation command and is programmed to generate a command signal in response to the position signal and the operation command and send the command signal to the drive circuit so that the drive motor can operate synchronously. The vertical vacuum furnace assembly according to claim 1, wherein the vertical vacuum furnace assembly is provided.
制御システムの駆動回路は、
第1の支持モジュールに設けた駆動モータ、第1のセンサ、およびプログラマブル論理コントローラに接続されたマスタ駆動回路(92)と、
第2の支持モジュールに設けた駆動モータ、第2のセンサ、およびプログラマブル論理コントローラに接続されたフォロワ駆動回路(94)とを有することを特徴とする請求項10に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。
The drive circuit of the control system is
A drive motor provided in the first support module, a first sensor, and a master drive circuit (92) connected to the programmable logic controller;
11. A vertical vacuum furnace assembly according to claim 10, comprising a drive motor provided in the second support module, a second sensor, and a follower drive circuit (94) connected to the programmable logic controller.
フォロワ駆動回路は、マスタ駆動回路を介してプログラマブル論理コントローラに接続されることを特徴とする請求項11に記載の鉛直型真空炉アセンブリ。   12. The vertical vacuum furnace assembly of claim 11, wherein the follower drive circuit is connected to the programmable logic controller via a master drive circuit.
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