JP6019201B2 - Suspension for disk unit - Google Patents

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この発明は、例えばPZT等からなるアクチュエータ素子を備えたディスク装置用サスペンションに関する。 The present invention, for example, relate to Suspension disk unit having an actuator element made of PZT or the like.

パーソナルコンピュータ等の情報処理装置に、ハードディスク装置(HDD)が使用されている。ハードディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクと、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジはアクチュエータアームを有し、ボイスコイルモータ等のポジショニング用モータによって、ピボット軸を中心にディスクのトラック幅方向に旋回する。   A hard disk drive (HDD) is used for an information processing apparatus such as a personal computer. The hard disk device includes a magnetic disk that rotates about a spindle, a carriage that rotates about a pivot shaft, and the like. The carriage has an actuator arm, and is rotated in the track width direction of the disk about a pivot axis by a positioning motor such as a voice coil motor.

前記アクチュエータアームにサスペンションが取付けられている。サスペンションは、ロードビーム(load beam)と、ロードビームに重ねて配置されるフレキシャ(flexure)などを含んでいる。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部に、磁気ヘッドを構成するスライダが取付けられている。スライダには、データの読取りあるいは書込み等のアクセスを行なうための素子(トランスジューサ)が設けられている。   A suspension is attached to the actuator arm. The suspension includes a load beam, a flexure disposed on the load beam, and the like. A slider constituting the magnetic head is attached to a gimbal portion formed near the tip of the flexure. The slider is provided with an element (transducer) for accessing data such as reading or writing.

ディスクの高記録密度化に対応するためには、ディスクの記録面に対して磁気ヘッドをさらに高精度に位置決めできるようにすることが必要である。そのために、例えば特開2001−307442号公報(特許文献1)や特開2002−50140号公報(特許文献2)に開示されているように、ポジショニング用モータ(ボイスコイルモータ)とPZT(ジルコンチタン酸鉛)等の圧電体からなるアクチュエータ素子とを併用するDSAサスペンションが開発されている。DSAはデュアルステージアクチュエータ(Dual Stage Actuator)の略である。   In order to cope with the higher recording density of the disk, it is necessary to be able to position the magnetic head with higher accuracy with respect to the recording surface of the disk. Therefore, as disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-307442 (Patent Document 1) and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-50140 (Patent Document 2), a positioning motor (voice coil motor) and PZT (zircon titanium) are disclosed. DSA suspensions that are used in combination with actuator elements made of piezoelectric materials such as lead oxide have been developed. DSA is an abbreviation for Dual Stage Actuator.

前記アクチュエータ素子に電圧を印加し、アクチュエータ素子を変形させることによって、サスペンションの先端側をスウェイ方向(トラック幅方向)に高速で微小量移動させることができる。このアクチュエータ素子は、サスペンションの一部に設けられたアクチュエータ搭載部に配置されている。   By applying a voltage to the actuator element and deforming the actuator element, the tip end side of the suspension can be moved at a high speed in the sway direction (track width direction). This actuator element is disposed on an actuator mounting portion provided in a part of the suspension.

アクチュエータ搭載部の一部をなすプレート部材に開口が形成され、この開口に前記アクチュエータ素子が収容されている。例えば特開2002−184140号公報(特許文献3)に開示されているように、開口を有するプレート部材は固定部分と可動部分とを有している。そしてアクチュエータ素子の一端がプレート部材の前記固定部分に接着剤によって固定されている。アクチュエータ素子の他端は、前記プレート部材の前記可動部分に接着剤によって固定されている。   An opening is formed in the plate member that forms part of the actuator mounting portion, and the actuator element is accommodated in the opening. For example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-184140 (Patent Document 3), a plate member having an opening has a fixed portion and a movable portion. One end of the actuator element is fixed to the fixed portion of the plate member with an adhesive. The other end of the actuator element is fixed to the movable part of the plate member with an adhesive.

特開2001−307442号公報JP 2001-307442 A 特開2002−50140号公報JP 2002-50140 A 特開2002−184140号公報JP 2002-184140 A

前記プレート部材の一例は、第1プレートと第2プレートとからなる。これら第1プレートと第2プレートとは、互いに厚さ方向に重ねた状態でレーザ溶接によって固定されている。前記接着剤は、未硬化の状態で前記プレート部材の開口の内面に供給される。そして前記開口にアクチュエータ素子が配置されたのち、前記接着剤が硬化する。しかし第1プレートと第2プレートとからなる前記プレート部材の場合、第1プレートと第2プレートとの合わせ面に接着材が毛細管現象によって入り込むことがある。第1プレートと第2プレートとの間に入り込んだ接着剤は、アクチュエータ搭載部の剛性に影響を与える可能性があり、ひいてはアクチュエータ搭載部の特性に悪影響が生じるおそれがある。   An example of the plate member includes a first plate and a second plate. The first plate and the second plate are fixed by laser welding in a state where they are stacked in the thickness direction. The adhesive is supplied to the inner surface of the opening of the plate member in an uncured state. After the actuator element is disposed in the opening, the adhesive is cured. However, in the case of the plate member composed of the first plate and the second plate, the adhesive may enter the mating surface of the first plate and the second plate due to capillary action. The adhesive that has entered between the first plate and the second plate may affect the rigidity of the actuator mounting portion, which may adversely affect the characteristics of the actuator mounting portion.

従ってこの発明の目的は、PZT等のアクチュエータ素子を備えたサスペンションにおいて、アクチュエータ素子を固定する接着剤がアクチュエータ搭載部の剛性に影響を与えることを抑制できるディスク装置用サスペンションを提供することにある。 Accordingly, the object of this invention is in the suspension having an actuator element such as PZT, that the adhesive for fixing the actuator device to provide a Suspension disk unit capable of suppressing the influence the stiffness of the actuator mounting portion .

本発明のディスク装置用サスペンションは、第1プレートと第2プレートとからなるプレート部材を備えている。前記第1プレートはアクチュエータ素子を収容する開口を有し、かつ、前記アクチュエータ素子の一端が固定される固定部分と、前記アクチュエータ素子の他端が固定される可動部分と、前記固定部分と前記可動部分とをつなぐブリッジ部を有している。前記第2プレートは、前記第1プレートに対し厚さ方向に重なる本体部と、前記アクチュエータ素子の前記一端および前記他端を支持する支持部と、前記ブリッジ部と重なるブリッジ部分と、該ブリッジ部分の一端と他端にそれぞれ形成され前記ブリッジ部よりも幅が狭い幅狭部とを有している。この幅狭部には、前記第1プレートと第2プレートとを互いに溶着してなる溶着封止部が設けられている。前記アクチュエータ素子の前記一端および前記他端と前記開口の内面との間に、接着剤が設けられている。 The disk device suspension according to the present invention includes a plate member including a first plate and a second plate. The first plate has an opening for accommodating an actuator element, and has a fixed portion to which one end of the actuator element is fixed, a movable portion to which the other end of the actuator element is fixed , the fixed portion, and the movable It has the bridge part which connects the part . The second plate includes a main body portion that overlaps the first plate in a thickness direction, a support portion that supports the one end and the other end of the actuator element, a bridge portion that overlaps the bridge portion, and the bridge portion. width is respectively of one end and the other end than the said bridge portion has a narrow narrow portion. The narrow portion is provided with a welding sealing portion formed by welding the first plate and the second plate. An adhesive is provided between the one end and the other end of the actuator element and the inner surface of the opening.

本発明の1つの実施形態では、前記幅狭部が前記支持部の近傍で該支持部の幅よりも狭い領域に形成されている。この実施形態において、前記幅狭部が前記支持部の幅方向に間隔を存して複数形成され、これら幅狭部のそれぞれに前記溶着封止部が設けられていてもよい。   In one embodiment of the present invention, the narrow portion is formed in a region narrower than the width of the support portion in the vicinity of the support portion. In this embodiment, a plurality of the narrow portions may be formed at intervals in the width direction of the support portion, and the welded sealing portion may be provided in each of the narrow portions.

他の実施形態では、前記第1プレートが前記固定部分と前記可動部分とをつなぐブリッジ部を有し、前記幅狭部が前記第2プレートの前記本体部のうち前記ブリッジ部と重なるブリッジ部分に形成されている。また、前記第1プレートと第2プレートとを互いに結合するための溶接部をさらに備えていてもよい。この実施形態において、前記溶接部と前記溶着封止部とがいずれもレーザスポット溶接部であってもよい。   In another embodiment, the first plate has a bridge portion that connects the fixed portion and the movable portion, and the narrow portion is a bridge portion that overlaps the bridge portion of the main body portion of the second plate. Is formed. Moreover, you may further provide the welding part for couple | bonding the said 1st plate and the 2nd plate mutually. In this embodiment, both the welded portion and the welded seal portion may be laser spot welded portions.

本発明によれば、アクチュエータ素子を固定する接着剤が第1プレートと第2プレートとの間に入り込むことを抑制できることにより、アクチュエータ搭載部の剛性が接着剤によって影響を受けることを抑制することができる。   According to the present invention, it is possible to suppress the adhesive that fixes the actuator element from entering between the first plate and the second plate, thereby suppressing the rigidity of the actuator mounting portion from being affected by the adhesive. it can.

ディスク装置の一例を示す斜視図。The perspective view which shows an example of a disc apparatus. 図1に示されたディスク装置の一部の断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view of a part of the disk device shown in FIG. 1. 第1の実施形態に係るサスペンションの斜視図。1 is a perspective view of a suspension according to a first embodiment. 図3に示されたサスペンションのアクチュエータ搭載部の平面図。FIG. 4 is a plan view of an actuator mounting portion of the suspension shown in FIG. 3. 図4中のF5−F5線に沿うアクチュエータ搭載部の断面図。Sectional drawing of the actuator mounting part which follows the F5-F5 line | wire in FIG. 図4に示されたアクチュエータ搭載部の第1プレートの一部の平面図。The top view of a part of 1st plate of the actuator mounting part shown by FIG. 図4に示されたアクチュエータ搭載部の第2プレートの一部の平面図。The top view of a part of 2nd plate of the actuator mounting part shown by FIG. 第2の実施形態に係るサスペンションのアクチュエータ搭載部の平面図。The top view of the actuator mounting part of the suspension which concerns on 2nd Embodiment. 図8に示されたアクチュエータ搭載部の第2プレートの一部の平面図。The top view of a part of 2nd plate of the actuator mounting part shown by FIG. 第3の実施形態に係るサスペンションのアクチュエータ搭載部の平面図。The top view of the actuator mounting part of the suspension which concerns on 3rd Embodiment. 図10に示されたアクチュエータ搭載部の第2プレートの一部の平面図。The top view of a part of 2nd plate of the actuator mounting part shown by FIG. 第4の実施形態に係るサスペンションのアクチュエータ搭載部の平面図。The top view of the actuator mounting part of the suspension which concerns on 4th Embodiment. 第5の実施形態に係るサスペンションのアクチュエータ搭載部の平面図。The top view of the actuator mounting part of the suspension which concerns on 5th Embodiment. 第6の実施形態に係るサスペンションの斜視図。The perspective view of the suspension which concerns on 6th Embodiment. 図14に示されたサスペンションのアクチュエータ搭載部の平面図。The top view of the actuator mounting part of the suspension shown by FIG.

以下に本発明の第1の実施形態に係るディスク装置用サスペンションについて、図1から図7を参照して説明する。
図1に示すディスク装置(HDD)1は、ケース2と、スピンドル3を中心に回転するディスク4と、ピボット軸5を中心に旋回可能なキャリッジ6と、キャリッジ6を駆動するためのポジショニング用モータ(ボイスコイルモータ)7などを有している。ケース2は、図示しない蓋によって密閉される。
A disk device suspension according to a first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
A disk device (HDD) 1 shown in FIG. 1 includes a case 2, a disk 4 that rotates about a spindle 3, a carriage 6 that can pivot about a pivot shaft 5, and a positioning motor that drives the carriage 6. (Voice coil motor) 7 and the like. Case 2 is sealed with a lid (not shown).

図2はディスク装置1の一部を模式的に示す断面図である。図1と図2に示されるように、キャリッジ6にアーム(キャリッジアーム)8が設けられている。アーム8の先端部にサスペンション10が取付けられている。サスペンション10の先端部に、磁気ヘッドを構成するスライダ11が設けられている。ディスク4が高速で回転すると、ディスク4とスライダ11との間にエアベアリングが形成される。   FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a part of the disk device 1. As shown in FIGS. 1 and 2, the carriage 6 is provided with an arm (carriage arm) 8. A suspension 10 is attached to the tip of the arm 8. A slider 11 constituting a magnetic head is provided at the tip of the suspension 10. When the disk 4 rotates at a high speed, an air bearing is formed between the disk 4 and the slider 11.

ポジショニング用モータ7によってキャリッジ6が旋回すると、サスペンション10がディスク4の径方向に移動することにより、スライダ11がディスク4の所望トラックまで移動する。スライダ11の端部には、例えばMR素子のように磁気信号と電気信号とを変換可能な素子が設けられている。この素子によって、ディスク4に対するデータの書込みあるいは読取り等のアクセスが行なわれる。   When the carriage 6 is turned by the positioning motor 7, the suspension 10 moves in the radial direction of the disk 4, so that the slider 11 moves to a desired track of the disk 4. At the end of the slider 11, an element capable of converting a magnetic signal and an electric signal, such as an MR element, is provided. By this element, data writing or reading access to the disk 4 is performed.

図3は、DSAタイプのサスペンション10を示している。DSAはデュアルステージアクチュエータ(Dual Stage Actuator)の略である。サスペンション10は、キャリッジ6のアーム8(図1と図2に示す)に固定されるベース部20と、アクチュエータ搭載部21と、ロードビーム22と、配線付きフレキシャ(flexure with conductors)23などを備えている。ベース部20には、前記アーム8に形成された孔8a(図2に示す)に挿入されるボス部20aが形成されている。   FIG. 3 shows a DSA type suspension 10. DSA is an abbreviation for Dual Stage Actuator. The suspension 10 includes a base portion 20 fixed to the arm 8 (shown in FIGS. 1 and 2) of the carriage 6, an actuator mounting portion 21, a load beam 22, a flexure with conductors 23, and the like. ing. The base portion 20 is formed with a boss portion 20a to be inserted into a hole 8a (shown in FIG. 2) formed in the arm 8.

図3に矢印Xで示す方向がロードビーム22の長手方向すなわちサスペンション10の長手方向(前後方向)である。矢印Sがスウェイ方向である。ロードビーム22の基部(後端部)には、厚さ方向に弾性的に撓むことができるヒンジ部25が形成されている。アクチュエータ搭載部21は、ベース部20とロードビーム22との間に設けられ、ロードビーム22を前記スウェイ方向(矢印Sで示す方向)に動かす機能を有している。   The direction indicated by the arrow X in FIG. 3 is the longitudinal direction of the load beam 22, that is, the longitudinal direction (front-rear direction) of the suspension 10. Arrow S is the sway direction. At the base portion (rear end portion) of the load beam 22, a hinge portion 25 that can be elastically bent in the thickness direction is formed. The actuator mounting portion 21 is provided between the base portion 20 and the load beam 22 and has a function of moving the load beam 22 in the sway direction (direction indicated by the arrow S).

フレキシャ23はロードビーム22に沿って配置され、レーザスポット溶接等の固定手段によってロードビーム22に固定されている。ロードビーム22の先端部付近すなわちフレキシャ23の先端部付近に、ジンバル部として機能するタング23a(図3に示す)が形成されている。タング23aには、磁気ヘッドをなすスライダ11が取付けられている。これらロードビーム22と、フレキシャ23と、スライダ11等は、ヘッドジンバルアセンブリ(head gimbals assembly)を構成している。フレキシャ23の後部23bはベース部20の後方に延びている。   The flexure 23 is disposed along the load beam 22 and is fixed to the load beam 22 by fixing means such as laser spot welding. A tongue 23a (shown in FIG. 3) that functions as a gimbal portion is formed in the vicinity of the distal end portion of the load beam 22, that is, in the vicinity of the distal end portion of the flexure 23. A slider 11 that forms a magnetic head is attached to the tongue 23a. The load beam 22, the flexure 23, the slider 11 and the like constitute a head gimbals assembly. The rear portion 23 b of the flexure 23 extends to the rear of the base portion 20.

図4にアクチュエータ搭載部21が示されている。図5は、図4中のF5−F5線に沿うアクチュエータ搭載部21の断面図である。アクチュエータ搭載部21は、第1プレート31と第2プレート32とからなるプレート部材30と、PZT等の板状の圧電体からなる一対のアクチュエータ素子41,42とを含んでいる。   FIG. 4 shows the actuator mounting portion 21. FIG. 5 is a cross-sectional view of the actuator mounting portion 21 taken along line F5-F5 in FIG. The actuator mounting portion 21 includes a plate member 30 composed of a first plate 31 and a second plate 32, and a pair of actuator elements 41, 42 composed of a plate-like piezoelectric material such as PZT.

図5に示されるようにプレート部材30は、第1プレート31と第2プレート32とを厚さ方向に重ねることによって構成されている。第1プレート31の厚さは第2プレート32の厚さよりも大きい。第1プレート31と第2プレート32は、それぞれ、例えばSUS304等のオーステナイト系ステンレス鋼からなる。SUS304の化学成分は、C:0.08以下、Si:1.00以下、Mn:2.00以下、Ni:8.00〜10.50、Cr:18.00〜20.00、残部がFeである。   As shown in FIG. 5, the plate member 30 is configured by stacking a first plate 31 and a second plate 32 in the thickness direction. The thickness of the first plate 31 is larger than the thickness of the second plate 32. The first plate 31 and the second plate 32 are each made of austenitic stainless steel such as SUS304. The chemical components of SUS304 are: C: 0.08 or less, Si: 1.00 or less, Mn: 2.00 or less, Ni: 8.00 to 10.50, Cr: 18.00 to 20.00, the balance being Fe It is.

第1プレート31と第2プレート32とは、レーザ溶接部W1(図3と図4に一部を示す)によって互いに固定されている。この溶接部W1は、図示しないレーザ溶接装置によってレーザ光を集光させることにより形成される。これら2枚のプレート31,32によって構成されたプレート部材30の一部(前側部分)はアクチュエータ搭載部21を構成している。プレート部材30の残りの部分(後側部分)はベース部20を構成している。   The first plate 31 and the second plate 32 are fixed to each other by a laser welded portion W1 (partly shown in FIGS. 3 and 4). This weld W1 is formed by condensing laser light by a laser welding apparatus (not shown). A part (front portion) of the plate member 30 constituted by these two plates 31 and 32 constitutes the actuator mounting portion 21. The remaining part (rear part) of the plate member 30 constitutes the base part 20.

図6は、第1プレート31の一部を示している。第1プレート31には、前記アクチュエータ素子41,42を収納可能な開口51,52が形成されている。これら開口51,52にアクチュエータ素子41,42が収容される。この第1プレート31は、ベース部20に連なる固定部分31aと、ロードビーム22のヒンジ部25に固定される可動部分31bと、これら固定部分31aと可動部分31bとをつなぐブリッジ部31cとを有している。固定部分31aはベース部20に対して実質的に動かない部分である。可動部分31bは、アクチュエータ素子41,42によって前記スウェイ方向に動かされる部分である。固定部分31aと可動部分31bとをつなぐブリッジ部31cは、サスペンション10の長手方向に延びている。   FIG. 6 shows a part of the first plate 31. The first plate 31 has openings 51 and 52 that can accommodate the actuator elements 41 and 42. The actuator elements 41 and 42 are accommodated in the openings 51 and 52. The first plate 31 has a fixed portion 31a connected to the base portion 20, a movable portion 31b fixed to the hinge portion 25 of the load beam 22, and a bridge portion 31c that connects the fixed portion 31a and the movable portion 31b. doing. The fixed portion 31 a is a portion that does not substantially move with respect to the base portion 20. The movable portion 31 b is a portion that is moved in the sway direction by the actuator elements 41 and 42. A bridge portion 31 c that connects the fixed portion 31 a and the movable portion 31 b extends in the longitudinal direction of the suspension 10.

図7は第2プレート32の一部を示している。第2プレート32は、第1プレート31と重なる本体部60と、一方のアクチュエータ素子41の両端41a,41bを支持する一対の支持部61,62と、他方のアクチュエータ素子42の両端42a,42bを支持する一対の支持部63,64と、ブリッジ部分65とを有している。このブリッジ部分65は、第1プレート31のブリッジ部31cと対応する位置に形成されている。   FIG. 7 shows a part of the second plate 32. The second plate 32 includes a main body portion 60 that overlaps the first plate 31, a pair of support portions 61 and 62 that support both ends 41 a and 41 b of one actuator element 41, and both ends 42 a and 42 b of the other actuator element 42. It has a pair of support parts 63 and 64 to support, and a bridge part 65. The bridge portion 65 is formed at a position corresponding to the bridge portion 31 c of the first plate 31.

図4と図7に示すように、第2プレート32の本体部60には、第1プレート31よりも幅を狭めてなる幅狭部71,72,73,74が形成されている。すなわち、一方のアクチュエータ素子41を支持する支持部61,62の近傍に、それぞれ幅狭部71,72が形成されている。また他方のアクチュエータ素子42を支持する支持部63,64の近傍にも、それぞれ幅狭部73,74が形成されている。幅狭部71,72,73,74のそれぞれの幅L1(図7に示す)は、支持部61,62,63,64の幅L2よりも小さい。これら幅狭部71,72,73,74は、図7に示すように、支持部61,62,63,64の近傍で、支持部61,62,63,64の幅L2よりも狭い領域に形成されている。   As shown in FIGS. 4 and 7, narrow portions 71, 72, 73, 74 that are narrower than the first plate 31 are formed in the main body portion 60 of the second plate 32. That is, narrow portions 71 and 72 are formed in the vicinity of the support portions 61 and 62 that support one actuator element 41, respectively. Also, narrow portions 73 and 74 are formed in the vicinity of the support portions 63 and 64 that support the other actuator element 42, respectively. The width L1 (shown in FIG. 7) of each of the narrow portions 71, 72, 73, 74 is smaller than the width L2 of the support portions 61, 62, 63, 64. These narrow portions 71, 72, 73, 74 are in the vicinity of the support portions 61, 62, 63, 64 in a region narrower than the width L2 of the support portions 61, 62, 63, 64, as shown in FIG. Is formed.

図4に示すように、幅狭部71,72,73,74の全てに溶着封止部80が形成されている。なお図4では、説明の都合上、溶着封止部80がハッチングで示されている。溶着封止部80は、レーザ溶接の一例であるレーザスポット溶接によって第1プレート31と第2プレート32を溶融させることにより、第1プレート31と第2プレート32の双方にわたって形成されている。これら溶着封止部80により、幅狭部71,72,73,74における第1プレート31と第2プレート32との間の合わせ面G(図5に模式的に示す)が封止されている。   As shown in FIG. 4, a welded sealing portion 80 is formed on all of the narrow portions 71, 72, 73, 74. In FIG. 4, the welded sealing portion 80 is indicated by hatching for convenience of explanation. The welding sealing portion 80 is formed over both the first plate 31 and the second plate 32 by melting the first plate 31 and the second plate 32 by laser spot welding, which is an example of laser welding. These welded sealing portions 80 seal the mating surface G (schematically shown in FIG. 5) between the first plate 31 and the second plate 32 in the narrow portions 71, 72, 73, 74. .

図4に示すようにアクチュエータ素子41,42は平面視において矩形をなしている。一方のアクチュエータ素子41の一端41aと開口51の内面51aとの間に接着剤85が設けられている。このアクチュエータ素子41の他端41bと開口51の内面51bとの間にも接着剤85が設けられている。他方のアクチュエータ素子42の一端42aと開口52の内面52aとの間に接着剤85が設けられている。このアクチュエータ素子42の他端42bと開口52の内面52bとの間にも接着剤85が設けられている。接着剤85は、例えば電気絶縁性を有する熱硬化性の高分子材料からなり、液状の状態で開口51,52の内面51a,51b,52a,52bと支持部61,62,63,64に供給される。そののちアクチュエータ素子41,42が開口51,52に配置される。そして加熱することによって、接着剤85が硬化する。なお接着剤85は光硬化形の接着剤であってもよい。光硬化形の接着剤は、例えば紫外線を照射することによって硬化させることができる。   As shown in FIG. 4, the actuator elements 41 and 42 are rectangular in a plan view. An adhesive 85 is provided between one end 41 a of one actuator element 41 and the inner surface 51 a of the opening 51. An adhesive 85 is also provided between the other end 41 b of the actuator element 41 and the inner surface 51 b of the opening 51. An adhesive 85 is provided between one end 42 a of the other actuator element 42 and the inner surface 52 a of the opening 52. An adhesive 85 is also provided between the other end 42 b of the actuator element 42 and the inner surface 52 b of the opening 52. The adhesive 85 is made of, for example, a thermosetting polymer material having electrical insulation, and is supplied to the inner surfaces 51a, 51b, 52a, 52b of the openings 51, 52 and the support portions 61, 62, 63, 64 in a liquid state. Is done. After that, the actuator elements 41 and 42 are arranged in the openings 51 and 52. And the adhesive agent 85 hardens | cures by heating. The adhesive 85 may be a photo-curing adhesive. The photocurable adhesive can be cured by, for example, irradiating with ultraviolet rays.

図5に一方のアクチュエータ素子41を代表して示すように、アクチュエータ素子41の厚さ方向の一方の面に、第1の電極90が設けられている。第1の電極90は、例えば銀ペースト等の第1の導電部材91を介して、第1プレート31に電気的に接続されている。アクチュエータ素子41の他方の面に第2の電極92が設けられている。第2の電極92は、ボンディングワイヤ等の第2の導電部材93を介して、フレキシャ23の配線部(図示せず)に接続されている。なお、他方のアクチュエータ素子42も前記アクチュエータ素子41と同様に構成されている。   As representatively showing one actuator element 41 in FIG. 5, the first electrode 90 is provided on one surface in the thickness direction of the actuator element 41. The first electrode 90 is electrically connected to the first plate 31 via a first conductive member 91 such as a silver paste. A second electrode 92 is provided on the other surface of the actuator element 41. The second electrode 92 is connected to a wiring portion (not shown) of the flexure 23 via a second conductive member 93 such as a bonding wire. The other actuator element 42 is configured in the same manner as the actuator element 41.

前記サスペンション10の製造方法は、下記の工程を含んでいる。
(1)ステンレス鋼などからなる金属板をプレス加工あるいはエッチング処理することにより、アクチュエータ素子41,42を収容可能な開口51,52を有する第1プレート31を形成する。
(2)ステンレス鋼などからなる金属板をプレス加工あるいはエッチング処理することにより、本体部60と支持部61,62,63,64と幅狭部71,72,73,74を有する第2プレート32を形成する。
(3)第1プレート31と第2プレート32とを重ね合わせる。
(4)幅狭部71,72,73,74において第1プレート31と第2プレート32とをレーザ溶接によって互いに溶着させることにより、幅狭部71,72,73,74に溶着封止部80を形成する。
(5)開口51,52の内面51a,52aと支持部61,62,63,64に未硬化の接着剤85を供給する。
(6)開口51,52に、それぞれアクチュエータ素子41,42を配置する。
(7)未硬化の接着剤85が第1プレート31と第2プレート32との合わせ面の奥の方に向かって移動することを幅狭部71,72,73,74の溶着封止部80によって阻止する。
(8)接着剤85を硬化させる。
The manufacturing method of the suspension 10 includes the following steps.
(1) The first plate 31 having the openings 51 and 52 that can accommodate the actuator elements 41 and 42 is formed by pressing or etching a metal plate made of stainless steel or the like.
(2) The second plate 32 having the main body portion 60, the support portions 61, 62, 63, 64 and the narrow portions 71, 72, 73, 74 by pressing or etching a metal plate made of stainless steel or the like. Form.
(3) The first plate 31 and the second plate 32 are overlapped.
(4) In the narrow portions 71, 72, 73, 74, the first plate 31 and the second plate 32 are welded to each other by laser welding, so that the welded sealing portion 80 is attached to the narrow portions 71, 72, 73, 74. Form.
(5) Uncured adhesive 85 is supplied to the inner surfaces 51a, 52a of the openings 51, 52 and the support portions 61, 62, 63, 64.
(6) The actuator elements 41 and 42 are disposed in the openings 51 and 52, respectively.
(7) The welding sealing portion 80 of the narrow portions 71, 72, 73, 74 that the uncured adhesive 85 moves toward the back of the mating surface of the first plate 31 and the second plate 32. Stop by.
(8) The adhesive 85 is cured.

以下に前記サスペンション10の動作について説明する。
ポジショニング用モータ7によってキャリッジ6(図1と図2に示す)が旋回すると、サスペンション10がディスク4の径方向に移動することにより、磁気ヘッドのスライダ11がディスク4の記録面の所望トラックまで移動する。アクチュエータ素子41,42に電圧が印加されると、電圧に応じてアクチュエータ素子41,42が互いに反対方向に歪むことにより、ロードビーム22をスウェイ方向(図3に矢印Sで示す方向)に微小量移動させることができる。例えば一方のアクチュエータ素子41が伸び、他方のアクチュエータ素子42が縮むことにより、ロードビーム22がスウェイ方向に移動する。このためスライダ11をスウェイ方向に高速かつ高精度に位置決めすることができる。
The operation of the suspension 10 will be described below.
When the carriage 6 (shown in FIGS. 1 and 2) is turned by the positioning motor 7, the suspension 10 moves in the radial direction of the disk 4 so that the slider 11 of the magnetic head moves to a desired track on the recording surface of the disk 4. To do. When a voltage is applied to the actuator elements 41 and 42, the actuator elements 41 and 42 are distorted in opposite directions according to the voltage, thereby causing the load beam 22 to be minute in the sway direction (the direction indicated by arrow S in FIG. Can be moved. For example, when one actuator element 41 extends and the other actuator element 42 contracts, the load beam 22 moves in the sway direction. For this reason, the slider 11 can be positioned in the sway direction at high speed and with high accuracy.

前記したように本実施形態では、幅狭部71,72,73,74において、第1プレート31と第2プレート32との間の合わせ面G(図4に示す)が溶着封止部80によって封止されている。このため液状の状態で支持部61,62,63,64に供給された未硬化の接着剤85が幅狭部71,72,73,74を経て第1プレート31と第2プレート32との間の合わせ面Gの奥の方に毛細管現象によって浸入することを溶着封止部80によって阻止することができる。このため接着剤85が第1プレート31と第2プレート32との間に入り込んで硬化することを抑制することができ、アクチュエータ搭載部21の剛性が接着剤85によって影響を受けることを抑制できるものである。   As described above, in this embodiment, in the narrow portions 71, 72, 73, 74, the mating surface G (shown in FIG. 4) between the first plate 31 and the second plate 32 is formed by the welded sealing portion 80. It is sealed. For this reason, the uncured adhesive 85 supplied to the support portions 61, 62, 63, 64 in the liquid state passes through the narrow portions 71, 72, 73, 74 and is between the first plate 31 and the second plate 32. It is possible to prevent the welding sealing portion 80 from penetrating into the back of the mating surface G by capillary action. For this reason, it can suppress that the adhesive agent 85 enters between the 1st plate 31 and the 2nd plate 32, and can suppress that the rigidity of the actuator mounting part 21 is influenced by the adhesive agent 85. It is.

また、溶着封止部80は、第1プレート31と第2プレート32とを固定するためのレーザスポット溶接部W1に使用するレーザ溶接機によって形成することができる。このため溶着封止部80を溶融させるための特別な設備を追加せずとも、レーザスポット溶接部W1のためのレーザ溶接機をそのまま溶着封止部80に利用することができる。溶着封止部80は、第1プレート31と第2プレート32とを互いに固定する機能を兼ねることもできる。   Moreover, the welding sealing part 80 can be formed with the laser welding machine used for the laser spot welding part W1 for fixing the 1st plate 31 and the 2nd plate 32. FIG. For this reason, the laser welding machine for the laser spot welded portion W1 can be used as it is for the welded sealed portion 80 without adding any special equipment for melting the welded sealed portion 80. The welding sealing part 80 can also serve as a function of fixing the first plate 31 and the second plate 32 to each other.

図8と図9は第2の実施形態を示している。この実施形態のアクチュエータ搭載部21Aの幅狭部71,72,73,74の幅L3(図9に示す)は、第1の実施形態の幅狭部71,72,73,74の幅L1(図7に示す)よりも大きい。図8に示すように、幅狭部71,72,73,74には、それぞれ、複数のレーザスポット溶接による溶着封止部80が設けられている。それ以外の構成と効果は第1の実施形態のアクチュエータ搭載部21と共通であるため、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。   8 and 9 show a second embodiment. The width L3 (shown in FIG. 9) of the narrow portions 71, 72, 73, 74 of the actuator mounting portion 21A of this embodiment is the width L1 of the narrow portions 71, 72, 73, 74 of the first embodiment ( Larger than that shown in FIG. As shown in FIG. 8, the narrow portions 71, 72, 73 and 74 are each provided with a plurality of welded sealing portions 80 by laser spot welding. Since other configurations and effects are the same as those of the actuator mounting portion 21 of the first embodiment, common portions are denoted by common reference numerals, and description thereof is omitted.

図10と図11は第3の実施形態を示している。この実施形態のアクチュエータ搭載部21Bの第2プレート32は、支持部61,62,63,64ごとに、それぞれ複数の幅狭部71,72,73,74が支持部61,62,63,64の幅方向に間隔を存して形成されている。図11に示すように、それぞれの幅狭部71,72,73,74は、支持部61,62,63,64の幅L2よりも狭い領域に形成されている。幅狭部71,72,73,74の全てに溶着封止部80が設けられている。それ以外の構成と効果は第1の実施形態のアクチュエータ搭載部21と共通であるため、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。   10 and 11 show a third embodiment. In the second plate 32 of the actuator mounting portion 21B of this embodiment, a plurality of narrow portions 71, 72, 73, 74 are provided for the support portions 61, 62, 63, 64, respectively. Are formed at intervals in the width direction. As shown in FIG. 11, the narrow portions 71, 72, 73, 74 are formed in regions narrower than the width L <b> 2 of the support portions 61, 62, 63, 64. A welded sealing portion 80 is provided in all of the narrow portions 71, 72, 73, 74. Since other configurations and effects are the same as those of the actuator mounting portion 21 of the first embodiment, common portions are denoted by common reference numerals, and description thereof is omitted.

図12は、第4の実施形態に係るアクチュエータ搭載部21Cを示している。この実施形態では、第2プレート32のブリッジ部分65の両端に幅狭部71,72が設けられている。これら幅狭部71,72に溶着封止部80が形成されている。この溶着封止部80は、支持部61,62,63,64に供給された未硬化の接着剤85が、第1プレート31のブリッジ部31cと第2プレート32のブリッジ部分65との間の合わせ面に浸入して固化することを抑制する。それ以外の構成と効果は第1の実施形態のアクチュエータ搭載部21と共通であるため、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。   FIG. 12 shows an actuator mounting portion 21C according to the fourth embodiment. In this embodiment, narrow portions 71 and 72 are provided at both ends of the bridge portion 65 of the second plate 32. A welded and sealed portion 80 is formed in the narrow portions 71 and 72. In this welding sealing portion 80, the uncured adhesive 85 supplied to the support portions 61, 62, 63, 64 is provided between the bridge portion 31 c of the first plate 31 and the bridge portion 65 of the second plate 32. Suppresses entering and solidifying the mating surfaces. Since other configurations and effects are the same as those of the actuator mounting portion 21 of the first embodiment, common portions are denoted by common reference numerals, and description thereof is omitted.

図13は、第5の実施形態に係るアクチュエータ搭載部21Dを示している。この実施形態では、ブリッジ部分65の両端に、第4の実施形態(図12)の幅狭部71,72よりも幅が大きい幅狭部71,72が形成されている。そして各々の幅狭部71,72に複数のレーザスポット溶接による溶着封止部80が設けられている。それ以外の構成と効果は第4の実施形態のアクチュエータ搭載部21Cと共通であるため、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。   FIG. 13 shows an actuator mounting portion 21D according to the fifth embodiment. In this embodiment, narrow portions 71 and 72 having a width larger than the narrow portions 71 and 72 of the fourth embodiment (FIG. 12) are formed at both ends of the bridge portion 65. Each of the narrow portions 71 and 72 is provided with a plurality of welding sealing portions 80 by laser spot welding. Other configurations and effects are the same as those of the actuator mounting portion 21C of the fourth embodiment.

図14と図15は、第6の実施形態を示している。この実施形態のアクチュエータ搭載部21Eは、1つのアクチュエータ素子41を備えている。また、プレート部材30の両側部にU形に湾曲した腕部100が形成されている。腕部100の内側にはスリット101が形成されている。プレート部材30は第1の実施形態のアクチュエータ搭載部21(図4に示す)と同様に、第1プレート31と第2プレート32とからなる。第2プレート32は、第1プレート31に重なる本体部60と、アクチュエータ素子41の両端41a,41bを支持する支持部61,62を有している。本体部60には、支持部61,62の近傍で支持部61,62の幅L2よりも狭い領域に、複数の幅狭部71,72と溶着封止部80とが、支持部61,62の幅方向に沿って、支持部61,62の幅方向に間隔をあけて形成されている。   14 and 15 show a sixth embodiment. The actuator mounting portion 21E of this embodiment includes one actuator element 41. In addition, arm portions 100 curved in a U shape are formed on both sides of the plate member 30. A slit 101 is formed inside the arm portion 100. The plate member 30 includes a first plate 31 and a second plate 32 as in the actuator mounting portion 21 (shown in FIG. 4) of the first embodiment. The second plate 32 includes a main body portion 60 that overlaps the first plate 31 and support portions 61 and 62 that support both ends 41 a and 41 b of the actuator element 41. The main body 60 includes a plurality of narrow portions 71 and 72 and a welded sealing portion 80 in the vicinity of the support portions 61 and 62 and in a region narrower than the width L2 of the support portions 61 and 62. Are formed at intervals in the width direction of the support portions 61 and 62.

この実施形態のアクチュエータ搭載部21Eでは、アクチュエータ素子41に電圧が印加されて変形すると、一対の腕部100のうちの一方が縮み、他方が伸びることにより、ロードビーム22をスウェイ方向(図14に矢印Sで示す)に移動させることができる。それ以外の構成と効果は第1の実施形態のアクチュエータ搭載部21を備えたサスペンション10と共通であるため、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。   In the actuator mounting portion 21E of this embodiment, when a voltage is applied to the actuator element 41 and deformed, one of the pair of arm portions 100 contracts and the other extends, thereby causing the load beam 22 to move in the sway direction (see FIG. 14). (Indicated by arrow S). Other configurations and effects are the same as those of the suspension 10 including the actuator mounting portion 21 of the first embodiment.

なお本発明を実施するに当たって、マクロアクチュエータ搭載部の具体的な態様をはじめとして、プレート部材を構成する第1プレートおよび第2プレートや幅狭部、溶着封止部、接着剤、アクチュエータ素子などのサスペンションの構成要素の具体的な態様を種々に変更して実施できることは言うまでもない。   In practicing the present invention, including the specific mode of the macro actuator mounting portion, the first plate and the second plate constituting the plate member, the narrow portion, the welding sealing portion, the adhesive, the actuator element, etc. It goes without saying that the specific aspects of the components of the suspension can be modified in various ways.

1…ディスク装置、10…サスペンション、22…ロードビーム、21,21A,21B,21C,21D,21E…アクチュエータ搭載部、31…第1プレート、31a…固定部分、31b…可動部分、31c…ブリッジ部、32…第2プレート、41,42…アクチュエータ素子、51,52…開口、60…本体部、61,62,63,64…支持部、65…ブリッジ部分、71,72,73,74…幅狭部、80…溶着封止部、85…接着剤。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Disk apparatus, 10 ... Suspension, 22 ... Load beam, 21, 21A, 21B, 21C, 21D, 21E ... Actuator mounting part, 31 ... 1st plate, 31a ... Fixed part, 31b ... Movable part, 31c ... Bridge part 32 ... second plate 41,42 ... actuator element 51,52 ... opening 60 ... main body part 61,62,63,64 ... support part 65 ... bridge part 71,72,73,74 ... width Narrow part, 80 ... weld sealing part, 85 ... adhesive.

Claims (2)

アクチュエータ素子を有するディスク装置用サスペンションであって、
前記アクチュエータ素子を収容する開口を有しかつ前記アクチュエータ素子の一端が固定される固定部分と前記アクチュエータ素子の他端が固定される可動部分とを有しかつ前記固定部分と前記可動部分とをつなぐブリッジ部を有した第1プレートと、
前記第1プレートに対し厚さ方向に重なる本体部と前記アクチュエータ素子の前記一端および前記他端を支持する支持部と、前記ブリッジ部と重なるブリッジ部分と、該ブリッジ部分の一端と他端にそれぞれ形成され前記ブリッジ部よりも幅が狭い幅狭部とを有した第2プレートと、
前記幅狭部において前記第1プレートと第2プレートとを互いに溶着してなる溶着封止部と、
前記アクチュエータ素子の前記一端および前記他端と前記開口の内面との間に設けられた接着剤と、
を具備したことを特徴とするディスク装置用サスペンション。
A suspension for a disk device having an actuator element,
Connecting said has an opening for accommodating the actuator element and movable portion and a chromatic vital the fixed portion and the other end is fixed the fixed portion and said actuator element to which one end of the actuator element is fixed to the moving part A first plate having a bridge portion ;
A body portion that overlaps in the thickness direction with respect to the first plate, and a support portion that supports the one end and the other end of the actuator element, a bridge portion overlapping with the bridge portions, the one end and the other end of the bridge portion A second plate, each formed and having a narrow portion narrower than the bridge portion ;
A welding sealing portion formed by welding the first plate and the second plate to each other in the narrow portion;
An adhesive provided between the one end and the other end of the actuator element and the inner surface of the opening;
A suspension for a disk device, comprising:
前記第1プレートと第2プレートとを互いに固定する固定部をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載のディスク装置用サスペンション。 The disk device suspension according to claim 1, further comprising a fixing portion that fixes the first plate and the second plate to each other.
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