JP6009204B2 - Photoelectric conversion element, method for manufacturing photoelectric conversion element, and photoelectric conversion element module - Google Patents

Photoelectric conversion element, method for manufacturing photoelectric conversion element, and photoelectric conversion element module Download PDF

Info

Publication number
JP6009204B2
JP6009204B2 JP2012096364A JP2012096364A JP6009204B2 JP 6009204 B2 JP6009204 B2 JP 6009204B2 JP 2012096364 A JP2012096364 A JP 2012096364A JP 2012096364 A JP2012096364 A JP 2012096364A JP 6009204 B2 JP6009204 B2 JP 6009204B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
photoelectric conversion
conductive layer
porous insulating
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2012096364A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2013225389A (en
Inventor
教雄 室伏
教雄 室伏
古宮 良一
良一 古宮
山中 良亮
良亮 山中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2012096364A priority Critical patent/JP6009204B2/en
Publication of JP2013225389A publication Critical patent/JP2013225389A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6009204B2 publication Critical patent/JP6009204B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/542Dye sensitized solar cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/549Organic PV cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Description

本発明は、光電変換素子、光電変換素子の製造方法および光電変換素子モジュールに関する。   The present invention relates to a photoelectric conversion element, a method for manufacturing a photoelectric conversion element, and a photoelectric conversion element module.

太陽電池や光センサなどに広く用いられる光電変換素子として、一対の支持体を接着剤(熱硬化性樹脂および光硬化性樹脂など)や熱可塑性樹脂などの有機高分子を用いて接合し(以下、この接合部を「封止部」ということがある)、これらの支持体の間に光電変換部を配置した構成の光電変換素子が知られている。   As a photoelectric conversion element widely used in solar cells, optical sensors, etc., a pair of supports are joined using an organic polymer such as an adhesive (thermosetting resin and photocurable resin) or a thermoplastic resin (hereinafter referred to as “photoelectric conversion element”). In addition, a photoelectric conversion element having a configuration in which a photoelectric conversion unit is arranged between these supports is known.

たとえば特許文献1には、第一、第二の透明基板の周縁部をシリコーン接着剤からなるエンドレスの封止周壁で接合し、第一、第二の透明基板の間に色素が吸着された多孔質膜が配置された色素増感太陽電池が開示されている。   For example, Patent Document 1 discloses a porous structure in which peripheral portions of first and second transparent substrates are joined by an endless sealing peripheral wall made of a silicone adhesive, and a dye is adsorbed between the first and second transparent substrates. A dye-sensitized solar cell in which a material film is disposed is disclosed.

また、特許文献2には、一対の基板の全面を透光性樹脂からなる密接層で接合し、基板の間に第1、第2の薄膜起電力層が配置された集積型薄膜光起電力装置が開示されている。   Further, Patent Document 2 discloses an integrated thin film photovoltaic device in which the entire surfaces of a pair of substrates are joined with a close layer made of a translucent resin, and first and second thin film photovoltaic layers are disposed between the substrates. An apparatus is disclosed.

しかしながら、光電変換素子の封止部に用いられる有機高分子は、光が照射されることにより劣化することが知られている。光電変換素子の封止部を構成する有機高分子が劣化した場合には、有機高分子にクラックが生じたり、支持体間の接合が弱くなって、支持体が剥離するおそれがある。   However, it is known that the organic polymer used for the sealing portion of the photoelectric conversion element deteriorates when irradiated with light. When the organic polymer constituting the sealing portion of the photoelectric conversion element is deteriorated, the organic polymer may be cracked or the bonding between the supports may be weakened and the support may be peeled off.

そこで、たとえば特許文献3には、被覆層を設けることによって、400nm以下の波長領域の光線透過率を70%以下にすることによって、素子内部への紫外線の侵入を妨げて、封止材の劣化を防止した色素増感太陽電池が開示されている。   Therefore, for example, in Patent Document 3, by providing a coating layer and reducing the light transmittance in a wavelength region of 400 nm or less to 70% or less, the penetration of ultraviolet rays into the element is prevented, and the sealing material deteriorates. A dye-sensitized solar cell that has been prevented is disclosed.

また、特許文献4には、封止部に入射する紫外光を光電変換部に入射する紫外光よりも抑制する紫外光抑制手段を具備した光電変換素子が開示されている。   Patent Document 4 discloses a photoelectric conversion element including an ultraviolet light suppressing unit that suppresses ultraviolet light incident on the sealing portion more than ultraviolet light incident on the photoelectric conversion portion.

特開2006−12673号公報JP 2006-12673 A 特開2004−179560号公報JP 2004-179560 A 特開2003−282163号公報JP 2003-282163 A 特開2008−146922号公報JP 2008-146922 A

しかしながら、特許文献3に記載の色素増感太陽電池においては、被覆層によって、封止部に入射する紫外光量を低減することができるが、それと同時に、光電変換層に入射する光量も低減してしまうため、光電変換効率が低下するという問題があった。   However, in the dye-sensitized solar cell described in Patent Document 3, the coating layer can reduce the amount of ultraviolet light incident on the sealing portion, but at the same time, the amount of light incident on the photoelectric conversion layer is also reduced. Therefore, there has been a problem that the photoelectric conversion efficiency is lowered.

また、特許文献4に記載の光電変換素子においては、紫外光抑制手段により封止部に垂直に入射する垂直光を遮ることは可能であるが、散乱などの回り込み光や、入射角が垂直でない光に対しての遮蔽が不十分であるという問題があった。   Moreover, in the photoelectric conversion element described in Patent Document 4, it is possible to block the vertical light that is perpendicularly incident on the sealing portion by the ultraviolet light suppression means, but the wraparound light such as scattering and the incident angle are not vertical. There was a problem of insufficient shielding against light.

上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、光電変換層に入射する光量の低減による光電変換効率の低下を抑えつつ、封止部の劣化を抑制することができる光電変換素子、光電変換素子の製造方法および光電変換素子モジュールを提供することにある。   In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a photoelectric conversion element and a photoelectric conversion element that can suppress deterioration of the sealing portion while suppressing a decrease in photoelectric conversion efficiency due to a reduction in the amount of light incident on the photoelectric conversion layer. And providing a photoelectric conversion element module.

本発明は、光透過性支持体とカバー材との間に、光透過性支持体上に設けられた第1の導電層と、第1の導電層上に設けられた光電変換層と、光電変換層の上面から光電変換層の側面および光透過性支持体上に設けられた多孔質絶縁層と、多孔質絶縁層の上面に設けられた触媒層と、光透過性支持体上に設けられ、かつ多孔質絶縁層によって第1の導電層と絶縁された第2の導電層と、触媒層上から多孔質絶縁層の側面および第2の導電層まで延びて設けられた対極導電層と、対極導電層上に設けられた遮光層と、遮光層上からカバー材との間に設けられた封止材と、光透過性支持体とカバー材との間の封止材で仕切られた領域に充填されたキャリア輸送材とを備え、遮光層によって形成された凹部に封止材が存在している光電変換素子である The present invention includes a first conductive layer provided on a light transmissive support, a photoelectric conversion layer provided on the first conductive layer, a photoelectric conversion layer between the light transmissive support and the cover material. A porous insulating layer provided on the side surface of the photoelectric conversion layer and the light-transmitting support from the upper surface of the conversion layer, a catalyst layer provided on the upper surface of the porous insulating layer, and a light-transmitting support. A second conductive layer insulated from the first conductive layer by the porous insulating layer, a counter electrode conductive layer provided extending from the catalyst layer to the side surface of the porous insulating layer and the second conductive layer, A region partitioned by a light shielding layer provided on the counter electrode conductive layer, a sealing material provided between the light shielding layer and the cover material, and a sealing material between the light transmissive support and the cover material and a filled carrier transport material, Oh photoelectric conversion element is a sealing material is present in the recess formed by the light shielding layer .

ここで、本発明の光電変換素子において、遮光層は、封止材が吸収する波長領域の光の少なくとも一部を遮光することが好ましい。 Here, in the photoelectric conversion element of the present invention, it is preferable that the light shielding layer shields at least part of light in a wavelength region absorbed by the sealing material.

また、本発明の光電変換素子においては、第2の導電層上に隔壁部を設け、遮光層が対極導電層上から隔壁部の側面にまで延びて設けられていることが好ましい。また、本発明の光電変換素子は、多孔質絶縁層が傾斜している側面を有し、対極導電層が多孔質絶縁層の傾斜している側面上に設けられていることが好ましい。   Moreover, in the photoelectric conversion element of this invention, it is preferable that a partition part is provided on the 2nd conductive layer, and the light shielding layer is provided extending from the counter conductive layer to the side surface of the partition part. Moreover, it is preferable that the photoelectric conversion element of this invention has the side surface in which a porous insulating layer inclines, and the counter-electrode conductive layer is provided on the side surface in which a porous insulating layer inclines.

また、本発明は、光透過性支持体とカバー材との間に、光透過性支持体上に設けられた第1の導電層と、第1の導電層上に設けられた第1の光電変換層と、第1の光電変換層の上面、第1の光電変換層の側面、および光透過性支持体上に設けられた第1の多孔質絶縁層と、第1の多孔質絶縁層上に設けられた第1の触媒層と、光透過性支持体上に設けられ、かつ第1の多孔質絶縁層によって第1の導電層と絶縁された第2の導電層と、第2の導電層上に設けられた第2の光電変換層と、第2の光電変換層の上面および第2の光電変換層の側面に設けられた第2の多孔質絶縁層と、第2の多孔質絶縁層上に設けられた第2の触媒層と、第1の触媒層の上面から第1の多孔質絶縁層の側面上、第2の導電層および第1の多孔質絶縁層の側面と対向している第2の多孔質絶縁層の側面上にまで延びて設けられた対極導電層と、対極導電層上に設けられた遮光層と、遮光層上からカバー材までの間に設けられた封止材と、光透過性支持体とカバー材との間の封止材で仕切られた領域に充填されたキャリア輸送材とを備え、遮光層によって形成された凹部に封止材が存在している光電変換素子モジュールである。また、本発明は、光透過性支持体とカバー材との間に、光透過性支持体上に設けられた第1の導電層と、第1の導電層上に設けられた第1の光電変換層と、第1の光電変換層の上面、第1の光電変換層の側面、および光透過性支持体上に設けられた第1の多孔質絶縁層と、第1の多孔質絶縁層上に設けられた第1の触媒層と、光透過性支持体上に設けられ、かつ第1の多孔質絶縁層によって第1の導電層と絶縁された第2の導電層と、第2の導電層上に設けられた第2の光電変換層と、第2の光電変換層の上面および第2の光電変換層の側面に設けられた第2の多孔質絶縁層と、第2の多孔質絶縁層上に設けられた第2の触媒層と、第1の触媒層の上面から第1の多孔質絶縁層の側面上および第2の導電層にまで延びて設けられた対極導電層と、対極導電層上から第2の導電層および第1の多孔質絶縁層の側面に対向する第2の多孔質絶縁層の側面にまで延びて設けられた遮光層とを備え、遮光層上からカバー材との間に設けられた封止材と、光透過性支持体とカバー材との間の封止材で仕切られた領域に充填されたキャリア輸送材とを備えた光電変換素子モジュールである。 The present invention also provides a first conductive layer provided on the light transmissive support and a first photoelectric layer provided on the first conductive layer between the light transmissive support and the cover material. A conversion layer, a top surface of the first photoelectric conversion layer, a side surface of the first photoelectric conversion layer, a first porous insulating layer provided on the light-transmitting support, and a first porous insulating layer A first catalyst layer provided on the light-transmitting support, a second conductive layer provided on the light-transmitting support and insulated from the first conductive layer by the first porous insulating layer, and a second conductive layer. A second photoelectric conversion layer provided on the layer, a second porous insulating layer provided on an upper surface of the second photoelectric conversion layer and a side surface of the second photoelectric conversion layer, and a second porous insulation A second catalyst layer provided on the first layer; a side surface of the first porous insulating layer from a top surface of the first catalyst layer; and a side surface of the second conductive layer and the first porous insulating layer A second porous insulating layer counter electrode conductive layer provided extends on the side of which, a light shielding layer provided on the counter electrode conductive layer, sealing provided between the on the light-shielding layer to the cover material And a carrier transport material filled in a region partitioned by a sealing material between the light-transmitting support and the cover material, and the sealing material is present in the recess formed by the light shielding layer. This is a photoelectric conversion element module. The present invention also provides a first conductive layer provided on the light transmissive support and a first photoelectric layer provided on the first conductive layer between the light transmissive support and the cover material. A conversion layer, a top surface of the first photoelectric conversion layer, a side surface of the first photoelectric conversion layer, a first porous insulating layer provided on the light-transmitting support, and a first porous insulating layer A first catalyst layer provided on the light-transmitting support, a second conductive layer provided on the light-transmitting support and insulated from the first conductive layer by the first porous insulating layer, and a second conductive layer. A second photoelectric conversion layer provided on the layer, a second porous insulating layer provided on an upper surface of the second photoelectric conversion layer and a side surface of the second photoelectric conversion layer, and a second porous insulation A second catalyst layer provided on the layer, and a counter electrode conductive layer provided extending from the upper surface of the first catalyst layer to the side surface of the first porous insulating layer and to the second conductive layer A light shielding layer extending from above the counter electrode conductive layer to the side surface of the second porous insulating layer facing the side surfaces of the second conductive layer and the first porous insulating layer, and from above the light shielding layer A photoelectric conversion element module comprising: a sealing material provided between the cover material; and a carrier transport material filled in a region partitioned by the sealing material between the light transmissive support and the cover material. is there.

さらに、本発明は、光透過性支持体上に導電層を形成する工程と、導電層を分離し、第1の導電層と第2の導電層とを形成する工程と、第1の導電層上に光電変換層を形成する工程と、光電変換層の表面を覆うようにして多孔質絶縁層を形成する工程と、多孔質絶縁層上に触媒層を形成する工程と、触媒層上から多孔質絶縁層の側面および第2の導電層まで延びた対極導電層を形成する工程と、対極導電層上に遮光層を形成する工程と、遮光層上に封止材を設置する工程と、封止材上にカバー材を設置する工程と、光透過性支持体とカバー材との間の封止材で仕切られた領域にキャリア輸送材を充填する工程と、を含み、遮光層によって形成された凹部に封止材が存在している、光電変換素子の製造方法である。 Furthermore, the present invention includes a step of forming a conductive layer on a light transmissive support, a step of separating the conductive layer to form a first conductive layer and a second conductive layer, and a first conductive layer. A step of forming a photoelectric conversion layer thereon, a step of forming a porous insulating layer so as to cover the surface of the photoelectric conversion layer, a step of forming a catalyst layer on the porous insulating layer, and a porosity from above the catalyst layer Forming a counter electrode conductive layer extending to the side surface of the porous insulating layer and the second conductive layer, forming a light shielding layer on the counter electrode conductive layer, installing a sealing material on the light shielding layer, viewed contains a step of placing the cover member on the sealing material, and filling a carrier transporting material in a region partitioned by the sealing material between the light transmissive support and the cover member, and formed by the light shielding layer This is a method for manufacturing a photoelectric conversion element in which a sealing material is present in the recessed portion .

本発明によれば、光電変換層に入射する光量の低減による光電変換効率の低下を抑えつつ、封止部の劣化を抑制することができる光電変換素子、光電変換素子の製造方法および光電変換素子モジュールを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the photoelectric conversion element which can suppress deterioration of a sealing part, suppressing the deterioration of the photoelectric conversion efficiency by reduction of the light quantity which injects into a photoelectric converting layer, the manufacturing method of a photoelectric conversion element, and a photoelectric conversion element Modules can be provided.

実施の形態および実施例1の光電変換素子の模式的な断面図である。It is typical sectional drawing of an embodiment and the photoelectric conversion element of Example 1. FIG. 実施の形態の光電変換素子の製造方法の一例の製造工程の一部について図解する模式的な断面図である。It is typical sectional drawing illustrating a part of manufacturing process of an example of the manufacturing method of the photoelectric conversion element of embodiment. 実施の形態の光電変換素子の製造方法の一例の製造工程の一部について図解する模式的な断面図である。It is typical sectional drawing illustrating a part of manufacturing process of an example of the manufacturing method of the photoelectric conversion element of embodiment. 実施の形態の光電変換素子の製造方法の一例の製造工程の一部について図解する模式的な断面図である。It is typical sectional drawing illustrating a part of manufacturing process of an example of the manufacturing method of the photoelectric conversion element of embodiment. 実施の形態の光電変換素子の製造方法の一例の製造工程の一部について図解する模式的な断面図である。It is typical sectional drawing illustrating a part of manufacturing process of an example of the manufacturing method of the photoelectric conversion element of embodiment. 実施の形態および実施例4の光電変換素子モジュールの模式的な断面図である。It is typical sectional drawing of an embodiment and the photoelectric conversion element module of Example 4. FIG. 実施例2の光電変換素子の模式的な断面図である。6 is a schematic cross-sectional view of a photoelectric conversion element of Example 2. FIG. 実施例3の光電変換素子の模式的な断面図である。6 is a schematic cross-sectional view of a photoelectric conversion element of Example 3. FIG. 比較例1および比較例3の光電変換素子の模式的な断面図である。6 is a schematic cross-sectional view of photoelectric conversion elements of Comparative Example 1 and Comparative Example 3. FIG. 比較例2の光電変換素子の模式的な断面図である。6 is a schematic cross-sectional view of a photoelectric conversion element of Comparative Example 2. FIG. 比較例4の光電変換素子モジュールの模式的な断面図である。10 is a schematic cross-sectional view of a photoelectric conversion element module of Comparative Example 4. FIG.

以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。   Embodiments of the present invention will be described below. In the drawings of the present invention, the same reference numerals represent the same or corresponding parts.

<光電変換素子>
図1に、本発明の光電変換素子の一例である実施の形態の光電変換素子の模式的な断面図を示す。図1に示す本実施の形態の光電変換素子は、光透過性支持体101と、光透過性支持体101上に設けられた導電層103と、導電層103上に設けられた厚さ方向の断面が台形状の光電変換層104と、光電変換層104の表面を覆うようにして設けられた多孔質絶縁層105と、多孔質絶縁層105上に設けられた触媒層106および遮光層108と、遮光層108上に設けられた封止材109と、封止材109上に設けられたカバー材102と、光透過性支持体101とカバー材102との間の封止材109で仕切られた領域に充填されたキャリア輸送材112とを備えている。
<Photoelectric conversion element>
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a photoelectric conversion element according to an embodiment which is an example of the photoelectric conversion element of the present invention. 1 includes a light-transmitting support 101, a conductive layer 103 provided on the light-transmitting support 101, and a thickness direction provided on the conductive layer 103. A photoelectric conversion layer 104 having a trapezoidal cross section, a porous insulating layer 105 provided so as to cover the surface of the photoelectric conversion layer 104, a catalyst layer 106 and a light shielding layer 108 provided on the porous insulating layer 105, And a sealing material 109 provided on the light shielding layer 108, a cover material 102 provided on the sealing material 109, and a sealing material 109 between the light-transmissive support 101 and the cover material 102. And a carrier transporting material 112 filled in the region.

なお、光透過性支持体101と導電層103との積層体から透明電極基板110が構成されている。   The transparent electrode substrate 110 is composed of a laminate of the light transmissive support 101 and the conductive layer 103.

また、光電変換層104の両隣には、それぞれ、厚さ方向の断面が台形状の隔壁部201が設けられており、隔壁部201は導電層103上に設置されている。また、導電層103には、導電層103を分離するスクライブライン111が設けられており、触媒層106および遮光層108には、触媒層106および遮光層108をそれぞれ分離するスクライブライン113が設けられている。   Further, a partition wall portion 201 having a trapezoidal cross section in the thickness direction is provided on both sides of the photoelectric conversion layer 104, and the partition wall portion 201 is provided on the conductive layer 103. The conductive layer 103 is provided with a scribe line 111 that separates the conductive layer 103, and the catalyst layer 106 and the light shielding layer 108 are provided with scribe lines 113 that separate the catalyst layer 106 and the light shielding layer 108, respectively. ing.

ここで、遮光層108は、触媒層106の上面から、触媒層106の傾斜した側面、多孔質絶縁層105の傾斜した側面、導電層103の上面、隔壁部201の傾斜した側面、隔壁部201の上面および隔壁部201の傾斜した側面を経て、導電層103の上面に至るようにして設けられている。   Here, the light shielding layer 108 includes, from the upper surface of the catalyst layer 106, an inclined side surface of the catalyst layer 106, an inclined side surface of the porous insulating layer 105, an upper surface of the conductive layer 103, an inclined side surface of the partition wall portion 201, and the partition wall portion 201. The conductive layer 103 is provided so as to reach the upper surface of the conductive layer 103 through the upper surface of the conductive layer 103 and the inclined side surface of the partition wall portion 201.

また、遮光層108は、触媒層106の傾斜した側面、導電層103の上面および隔壁部201の傾斜した側面上に設置された遮光層108の部分によって形成された凹部を有しており、封止材109は当該遮光層108の凹部を埋めるように設けられている。   In addition, the light shielding layer 108 has a recess formed by the inclined side surface of the catalyst layer 106, the upper surface of the conductive layer 103, and the portion of the light shielding layer 108 provided on the inclined side surface of the partition wall portion 201. The stopper 109 is provided so as to fill the concave portion of the light shielding layer 108.

<光透過性支持体>
光透過性支持体101は、光透過性を有して、その上に形成される部材を支持することができる部材である。光透過性支持体101としては、光透過性を有する絶縁性材料などを用いることができ、たとえば、ソーダガラス、溶融石英ガラス若しくは結晶石英ガラスなどのガラス基板、または可撓性フィルムなどの樹脂基板などを用いることができる。なお、光透過性支持体101は、必ずしもすべての波長領域の光に対して透過性を有する必要はない。
<Light transmissive support>
The light transmissive support body 101 is a member that has a light transmissive property and can support a member formed thereon. As the light transmissive support 101, a light transmissive insulating material or the like can be used. For example, a glass substrate such as soda glass, fused quartz glass, or crystal quartz glass, or a resin substrate such as a flexible film. Etc. can be used. The light transmissive support 101 does not necessarily need to be transmissive to light in all wavelength regions.

光透過性支持体101に用いられ得る可撓性フィルムとしては、たとえば、テトラアセチルセルロース(TAC)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリフェニレンスルファイド(PPS)、ポリカーボネート(PC)、ポリアリレート(PA)、ポリエーテルイミド(PEI)、フェノキシ樹脂またはテフロン(登録商標)などを用いることができる。   Examples of the flexible film that can be used for the light transmissive support 101 include tetraacetyl cellulose (TAC), polyethylene terephthalate (PET), polyphenylene sulfide (PPS), polycarbonate (PC), polyarylate (PA), Polyetherimide (PEI), phenoxy resin, Teflon (registered trademark), or the like can be used.

光透過性支持体101の厚さは、0.2mm以上5mm以下であることが好ましい。光透過性支持体101の厚さが0.2mm以上5mm以下である場合には、光透過性支持体101による入射光の吸収を抑え、かつ光電変換素子を支持することができる程度の強度が発現する傾向にある。   The thickness of the light transmissive support 101 is preferably 0.2 mm or more and 5 mm or less. When the thickness of the light transmissive support 101 is not less than 0.2 mm and not greater than 5 mm, the light transmissive support 101 has sufficient strength to suppress the absorption of incident light and to support the photoelectric conversion element. It tends to develop.

<導電層>
導電層103は、光透過性を有する導電性の部材である。導電層103としては、たとえば、インジウム錫複合酸化物(ITO)、フッ素をドープした酸化錫(FTO)または酸化亜鉛(ZnO)などを用いることができる。なお、導電層103も、必ずしもすべての波長領域の光に対して透過性を有する必要はない。
<Conductive layer>
The conductive layer 103 is a light-transmitting conductive member. As the conductive layer 103, for example, indium tin composite oxide (ITO), fluorine-doped tin oxide (FTO), zinc oxide (ZnO), or the like can be used. Note that the conductive layer 103 does not necessarily have transparency to light in all wavelength regions.

導電層103の厚さは、0.02μm以上5μm以下であることが好ましい。導電層103の厚さが0.02μm以上5μm以下である場合には、導電層103による入射光の吸収を抑え、かつ導電層103の抵抗の増加を抑えることができる傾向にある。   The thickness of the conductive layer 103 is preferably 0.02 μm or more and 5 μm or less. When the thickness of the conductive layer 103 is not less than 0.02 μm and not more than 5 μm, absorption of incident light by the conductive layer 103 tends to be suppressed and an increase in resistance of the conductive layer 103 tends to be suppressed.

導電層103の抵抗は、40Ω/sq以下であることが好ましい。この場合には、光電変換素子の特性を向上させることができる傾向にある。   The resistance of the conductive layer 103 is preferably 40 Ω / sq or less. In this case, the characteristics of the photoelectric conversion element tend to be improved.

導電層103には、導電層103の抵抗を低くするために、金属リード線が設けられていてもよい。金属リード線としては、たとえば、白金、金、銀、銅、アルミニウム、ニッケルおよびチタンからなる群から選択された少なくとも1種の金属を含むものなどを用いることができる。なお、金属リード線を設けることによって、受光面からの入射光量の低下を招くのを避けるために、金属リード線の太さは、0.1mm以上4mm以下とすることが好ましい。   The conductive layer 103 may be provided with a metal lead wire in order to reduce the resistance of the conductive layer 103. As the metal lead wire, for example, one containing at least one metal selected from the group consisting of platinum, gold, silver, copper, aluminum, nickel and titanium can be used. In order to avoid a reduction in the amount of incident light from the light receiving surface by providing a metal lead wire, the thickness of the metal lead wire is preferably set to 0.1 mm or more and 4 mm or less.

<透明電極基板>
光透過性支持体101上に導電層103が積層された透明電極基板110としては、たとえば、ソーダ石灰フロートガラスからなる光透過性支持体101上にFTOからなる導電層103が積層された透明電極基板を挙げることができる。透明電極基板110としては、たとえば市販品の透明電極基板を用いてもよい。
<Transparent electrode substrate>
As the transparent electrode substrate 110 in which the conductive layer 103 is laminated on the light transmissive support 101, for example, a transparent electrode in which the conductive layer 103 made of FTO is laminated on the light transmissive support 101 made of soda lime float glass. A substrate can be mentioned. As the transparent electrode substrate 110, for example, a commercially available transparent electrode substrate may be used.

<光電変換層>
光電変換層104は、光エネルギを電気エネルギに変換する層であり、たとえば、多孔質半導体層に色素または量子ドットなどの光増感剤を吸着させた層などを用いることができる。
<Photoelectric conversion layer>
The photoelectric conversion layer 104 is a layer that converts light energy into electric energy. For example, a layer in which a photosensitizer such as a dye or a quantum dot is adsorbed on a porous semiconductor layer can be used.

多孔質半導体層は、複数の孔を有する半導体層であり、多孔質半導体層としては、たとえば、多数の微細孔を有する粒子状または膜状などの種々の形態のものを用いることができる。   The porous semiconductor layer is a semiconductor layer having a plurality of pores. As the porous semiconductor layer, for example, those having various forms such as particles or films having a large number of micropores can be used.

多孔質半導体層を構成する材料としては、たとえば、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化錫、酸化鉄、酸化ニオブ、酸化セリウム、酸化タングステン、酸化ニッケル、チタン酸ストロンチウム、硫化カドミウム、硫化鉛、硫化亜鉛、リン化インジウム、銅−インジウム硫化物(CuInS2)、CuAlO2およびSrCu22からなる群から選択された少なくとも1種を用いることができる。なかでも、多孔質半導体層を構成する材料としては、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化錫および酸化ニオブからなる群から選択された少なくとも1種を用いることが好ましく、光電変換素子の光電変換効率、安定性および安全性を向上させる観点からは、酸化チタンを用いることが特に好ましい。 Examples of the material constituting the porous semiconductor layer include titanium oxide, zinc oxide, tin oxide, iron oxide, niobium oxide, cerium oxide, tungsten oxide, nickel oxide, strontium titanate, cadmium sulfide, lead sulfide, zinc sulfide, At least one selected from the group consisting of indium phosphide, copper-indium sulfide (CuInS 2 ), CuAlO 2 and SrCu 2 O 2 can be used. Especially, as a material which comprises a porous semiconductor layer, it is preferable to use at least 1 sort (s) selected from the group which consists of a titanium oxide, a zinc oxide, a tin oxide, and niobium oxide, and the photoelectric conversion efficiency of a photoelectric conversion element, stability From the viewpoint of improving safety and safety, it is particularly preferable to use titanium oxide.

多孔質半導体層に用いられ得る酸化チタンとしては、たとえば、アナターゼ型酸化チタン、ルチル型酸化チタン、無定形酸化チタン、メタチタン酸、オルソチタン酸、水酸化チタンおよび含水酸化チタンからなる群から選択された少なくとも1種を用いることができる。アナターゼ型とルチル型の2種類の結晶系は、その製法や熱履歴によりいずれの形態にもなり得るが、アナターゼ型を用いることが好ましい。   The titanium oxide that can be used for the porous semiconductor layer is selected from the group consisting of, for example, anatase-type titanium oxide, rutile-type titanium oxide, amorphous titanium oxide, metatitanic acid, orthotitanic acid, titanium hydroxide, and hydrous titanium oxide. At least one kind can be used. The two types of crystal systems, anatase type and rutile type, can be in any form depending on the production method and thermal history, but it is preferable to use the anatase type.

多孔質半導体層の形態としては、多孔質半導体層の安定性、結晶成長の容易さ、および製造コストなどの観点から、半導体粒子を焼結することによって形成された多結晶焼結体を用いることが好ましい。   As a form of the porous semiconductor layer, a polycrystalline sintered body formed by sintering semiconductor particles is used from the viewpoints of stability of the porous semiconductor layer, ease of crystal growth, and manufacturing cost. Is preferred.

多結晶焼結体からなる多孔質半導体層の結晶粒の平均粒径は、入射光を高い効率で電気エネルギに変換するために、投影面積に対して十分に大きい実効表面積を得る観点から、5nm以上50nm未満であることが好ましく、10nm以上30nm以下であることがより好ましい。   The average grain size of the porous semiconductor layer composed of the polycrystalline sintered body is 5 nm from the viewpoint of obtaining an effective surface area sufficiently large with respect to the projected area in order to convert incident light into electrical energy with high efficiency. The thickness is preferably less than 50 nm and more preferably 10 nm or more and 30 nm or less.

なお、本明細書において、平均粒径とは、X線回折測定から得られるスペクトル(XRD(X線回折)の回折ピーク)にシェラーの式を適用することにより決定した値をいう。   In the present specification, the average particle diameter means a value determined by applying Scherrer's equation to a spectrum (XRD (X-ray diffraction) diffraction peak) obtained from X-ray diffraction measurement.

光電変換層104の光散乱性は、多孔質半導体層を形成する半導体粒子の粒子径(平均粒径)により調整することができる。   The light scattering property of the photoelectric conversion layer 104 can be adjusted by the particle diameter (average particle diameter) of the semiconductor particles forming the porous semiconductor layer.

一般的には、平均粒径の大きい半導体粒子で形成した多孔質半導体層は、光散乱性が高く、入射光を散乱させ、光捕捉率を向上させることができる。一方、平均粒径の小さい半導体粒子で形成した多孔質半導体層は、光散乱性は低いが、色素の吸着点をより多くし、吸着量を増加させることができる。また、これらの平均粒径の異なる半導体粒子を混ぜ合わせたものを使用して多孔質半導体層を形成してもよい。このように、使用する色素などの光増感剤の種類によって、光の散乱性を調整した多孔質半導体層を形成することができる。   In general, a porous semiconductor layer formed of semiconductor particles having a large average particle diameter has high light scattering properties, and can scatter incident light and improve the light capture rate. On the other hand, a porous semiconductor layer formed of semiconductor particles having a small average particle diameter has low light scattering properties, but can increase the adsorption amount of the dye and increase the adsorption amount. Moreover, you may form a porous semiconductor layer using what mixed the semiconductor particle from which these average particle diameters differ. Thus, the porous semiconductor layer in which the light scattering property is adjusted can be formed depending on the type of photosensitizer such as a dye to be used.

また、光電変換層104としては、平均粒径が50nm未満の半導体粒子から形成した多結晶焼結体上に、平均粒径が50nm以上、より好ましくは平均粒径が50nm以上600nm以下の半導体粒子から形成した多結晶焼結体を設置することによって、光電変換層104を形成してもよい。   Further, as the photoelectric conversion layer 104, a semiconductor particle having an average particle diameter of 50 nm or more, more preferably 50 nm or more and 600 nm or less is formed on a polycrystalline sintered body formed of semiconductor particles having an average particle diameter of less than 50 nm. The photoelectric conversion layer 104 may be formed by installing a polycrystalline sintered body formed from the above.

光電変換層104に用いられる多孔質半導体層の比表面積は、10m2/g以上200m2/g以下であることが好ましい。光電変換層104に用いられる多孔質半導体層の比表面積が10m2/g以上である場合には、後述する色素などの光増感剤を多孔質半導体層により多く吸着させることができるため、光電変換素子の光電変換効率を向上させることができる。また、光電変換層104に用いられる多孔質半導体層の比表面積が200m2/g以下である場合には、光電変換層104の保持に必要な強度を担保することができる傾向にある。 The specific surface area of the porous semiconductor layer used for the photoelectric conversion layer 104 is preferably 10 m 2 / g or more and 200 m 2 / g or less. When the specific surface area of the porous semiconductor layer used for the photoelectric conversion layer 104 is 10 m 2 / g or more, a photosensitizer such as a dye described later can be adsorbed more in the porous semiconductor layer. The photoelectric conversion efficiency of the conversion element can be improved. Moreover, when the specific surface area of the porous semiconductor layer used for the photoelectric conversion layer 104 is 200 m 2 / g or less, the strength necessary for holding the photoelectric conversion layer 104 tends to be ensured.

光電変換層104の厚さは、特に限定されないが、0.1μm以上50μm以下であることが好ましい。光電変換層104の厚さが0.1μm以上50μm以下である場合には光電変換素子の光電変換効率を向上させることができる。   The thickness of the photoelectric conversion layer 104 is not particularly limited, but is preferably 0.1 μm or more and 50 μm or less. When the thickness of the photoelectric conversion layer 104 is 0.1 μm or more and 50 μm or less, the photoelectric conversion efficiency of the photoelectric conversion element can be improved.

<光増感剤>
光電変換層104の多孔質半導体層に吸着させる光増感剤としては、たとえば、種々の可視光領域および/または赤外光領域に吸収を有する有機色素または金属錯体色素などの1種類以上の色素を用いることができる。
<Photosensitizer>
Examples of the photosensitizer that is adsorbed to the porous semiconductor layer of the photoelectric conversion layer 104 include one or more dyes such as organic dyes or metal complex dyes having absorption in various visible light regions and / or infrared light regions. Can be used.

有機色素としては、たとえば、アゾ系色素、キノン系色素、キノンイミン系色素、キナクリドン系色素、スクアリリウム系色素、シアニン系色素、メロシアニン系色素、トリフェニルメタン系色素、キサンテン系色素、ペリレン系色素およびインジゴ系色素からなる群から選択された少なくとも1種を用いることができる。   Examples of organic dyes include azo dyes, quinone dyes, quinone imine dyes, quinacridone dyes, squarylium dyes, cyanine dyes, merocyanine dyes, triphenylmethane dyes, xanthene dyes, perylene dyes, and indigo. At least one selected from the group consisting of system dyes can be used.

金属錯体色素としては、たとえば、Cu、Ni、Fe、Co、V、Sn、Si、Ti、Ge、Cr、Zn、Ru、Mg、Al、Pb、Mn、In、Mo、Y、Zr、Nb、Sb、La、W、Pt、Ta、Ir、Pd、Os、Ga、Tb、Eu、Rb、Bi、Se、As、Sc、Ag、Cd、Hf、Re、Au、Ac、Tc、TeおよびRhからなる群から選択された少なくとも1種の金属に分子が配位結合した色素を用いることができる。このような金属錯体色素としては、たとえば、ポルフィリン系色素、フタロシアニン系色素、メロシアニン系色素、ナフタロシアニン系色素またはルテニウム系金属錯体色素などを用いることができる。   Examples of the metal complex dye include Cu, Ni, Fe, Co, V, Sn, Si, Ti, Ge, Cr, Zn, Ru, Mg, Al, Pb, Mn, In, Mo, Y, Zr, Nb, From Sb, La, W, Pt, Ta, Ir, Pd, Os, Ga, Tb, Eu, Rb, Bi, Se, As, Sc, Ag, Cd, Hf, Re, Au, Ac, Tc, Te and Rh A dye in which molecules are coordinated to at least one metal selected from the group can be used. Examples of such metal complex dyes include porphyrin dyes, phthalocyanine dyes, merocyanine dyes, naphthalocyanine dyes, ruthenium metal complex dyes, and the like.

なかでも、フタロシアニン系色素、メロシアニン系色素またはルテニウム系金属錯体色素を用いることが好ましく、ルテニウム系金属錯体色素を用いることがより好ましく、以下の式(1)〜(3)で表わされるルテニウム系金属錯体色素を用いることが特に好ましい。   Among these, phthalocyanine dyes, merocyanine dyes or ruthenium metal complex dyes are preferably used, more preferably ruthenium metal complex dyes, and ruthenium metals represented by the following formulas (1) to (3). It is particularly preferable to use a complex dye.

Figure 0006009204
Figure 0006009204

Figure 0006009204
Figure 0006009204

Figure 0006009204
Figure 0006009204

また、多孔質半導体層に色素を強固に吸着させるためには、色素分子中に、カルボン酸基、カルボン酸無水基、アルコキシ基、ヒドロキシル基、ヒドロキシアルキル基、スルホン酸基、エステル基、メルカプト基およびホスホニル基からなる群から選択された少なくとも1種のインターロック基を有する色素を用いることが好ましい。インターロック基を有する色素としては、カルボン酸基およびカルボン酸無水基の少なくとも一方を有する色素を用いることが特に好ましい。   In order to firmly adsorb the dye to the porous semiconductor layer, the carboxylic acid group, carboxylic anhydride group, alkoxy group, hydroxyl group, hydroxyalkyl group, sulfonic acid group, ester group, mercapto group are contained in the dye molecule. And a dye having at least one interlock group selected from the group consisting of phosphonyl groups. As the dye having an interlock group, it is particularly preferable to use a dye having at least one of a carboxylic acid group and a carboxylic acid anhydride group.

なお、インターロック基は、励起状態の色素と多孔質半導体層の伝導帯との間の電子移動を容易にする電気的結合を提供するものである。   The interlock group provides an electrical bond that facilitates electron transfer between the excited dye and the conduction band of the porous semiconductor layer.

また、光電変換層104の多孔質半導体層に吸着させる光増感剤としては、たとえば、CdS、CdSe、PbSおよびPbSeからなる群から選択された少なくとも1種の量子ドットを用いることもできる。   Moreover, as a photosensitizer made to adsorb | suck to the porous semiconductor layer of the photoelectric converting layer 104, the at least 1 sort (s) of quantum dot selected from the group which consists of CdS, CdSe, PbS, and PbSe can also be used, for example.

<多孔質絶縁層>
多孔質絶縁層105は、多孔質の絶縁層であって、光電変換層104と、触媒層106および遮光層108との間の絶縁を確保するために設置される。多孔質絶縁層105は、一般的には、光電変換層104と触媒層106との間に設けられる。
<Porous insulating layer>
The porous insulating layer 105 is a porous insulating layer and is installed to ensure insulation between the photoelectric conversion layer 104, the catalyst layer 106, and the light shielding layer 108. The porous insulating layer 105 is generally provided between the photoelectric conversion layer 104 and the catalyst layer 106.

多孔質絶縁層105としては、たとえば、ガラス、酸化ジルコニウム、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化ニオブ、酸化チタンおよびチタン酸ストロンチウムからなる群から選択された少なくとも1種の高抵抗の材料からなる層を用いることができる。   As the porous insulating layer 105, for example, a layer made of at least one high-resistance material selected from the group consisting of glass, zirconium oxide, silicon oxide, aluminum oxide, niobium oxide, titanium oxide, and strontium titanate is used. be able to.

多孔質絶縁層105は、電解質を介して電荷移動が可能な多孔質状に形成されることが好ましく、この場合、多孔質絶縁層105の形成に用いられる粒子の平均粒径は5nm以上500nm以下であることが好ましく、10nm以上300nm以下であることがより好ましい。   The porous insulating layer 105 is preferably formed in a porous shape capable of charge transfer via an electrolyte. In this case, the average particle size of particles used for forming the porous insulating layer 105 is 5 nm or more and 500 nm or less. It is preferable that it is 10 nm or more and 300 nm or less.

<触媒層>
触媒層106は、キャリア輸送材112と電子授受を行なうことができる層であり、触媒層106が高い触媒能と導電性を併せ持つ場合には、後述する対極導電層を兼ねることができる。
<Catalyst layer>
The catalyst layer 106 is a layer that can exchange electrons with the carrier transport material 112. When the catalyst layer 106 has both high catalytic ability and conductivity, it can also serve as a counter electrode conductive layer described later.

触媒層106としては、たとえば、白金およびカーボンの少なくとも一方を用いることが好ましい。触媒層106に用いられ得るカーボンとしては、たとえば、カーボンブラック、グラファイト、ガラス炭素、アモルファス炭素、ハードカーボン、ソフトカーボン、カーボンホイスカー、カーボンナノチューブおよびフラーレンからなる群から選択された少なくとも1種を用いることが好ましい。   As the catalyst layer 106, for example, at least one of platinum and carbon is preferably used. The carbon that can be used for the catalyst layer 106 is, for example, at least one selected from the group consisting of carbon black, graphite, glass carbon, amorphous carbon, hard carbon, soft carbon, carbon whisker, carbon nanotube, and fullerene. Is preferred.

<遮光層>
遮光層108は、封止材109が吸収する波長領域の光の少なくとも一部を吸収する層であり、光透過性支持体101の厚さ方向の断面視において、封止材109の周縁の一部を凹状に取り囲んでいる。なお、遮光層108は、封止材109が吸収する波長領域の光のすべてを吸収する必要はなく、封止材109が吸収する波長領域の光の95%以上を吸収することが好ましい。
<Light shielding layer>
The light shielding layer 108 is a layer that absorbs at least a part of light in the wavelength region that the sealing material 109 absorbs. The part is surrounded in a concave shape. Note that the light-blocking layer 108 does not need to absorb all light in the wavelength region absorbed by the sealing material 109, and preferably absorbs 95% or more of light in the wavelength region absorbed by the sealing material 109.

遮光層108を構成する材料としては、封止材109への垂直光、散乱光などの回り込み光および入射角が垂直でない光の入射を抑制することによって、封止材109の劣化を防止することができる材料であれば、特に限定されない。   As a material constituting the light shielding layer 108, deterioration of the sealing material 109 can be prevented by suppressing incidence of sneak light such as vertical light and scattered light and light whose incident angle is not vertical to the sealing material 109. The material is not particularly limited as long as it can be used.

遮光層108を構成する材料としては、たとえば、インジウム錫複合酸化物(ITO)、フッ素をドープした酸化錫(FTO)、酸化亜鉛(ZnO)、チタン、タングステン、金、銀、銅およびニッケルからなる群から選択された少なくとも1種を用いることができる。   Examples of the material constituting the light shielding layer 108 include indium tin composite oxide (ITO), fluorine-doped tin oxide (FTO), zinc oxide (ZnO), titanium, tungsten, gold, silver, copper, and nickel. At least one selected from the group can be used.

また、遮光層108を構成する材料としては、たとえば、ヒドロキシベンゾフェノンなどの紫外線吸収剤を混合した有機高分子、紫外線吸収性官能基を持つモノマーからなる有機高分子、および無機材料(ガラス、セラミックまたはこれらに顔料および/または蛍光体を混入したものなどであってもよい)からなる群から選択された少なくとも1種を用いることができる。   Examples of the material constituting the light shielding layer 108 include an organic polymer mixed with an ultraviolet absorber such as hydroxybenzophenone, an organic polymer composed of a monomer having an ultraviolet absorbing functional group, and an inorganic material (glass, ceramic or At least one selected from the group consisting of a pigment and / or a phosphor mixed therein may be used.

また、遮光層108は、導電層103に対向する対極導電層を兼ねることもできる。遮光層108が対極導電層を兼ねる場合には、遮光層108の形成が必要な箇所まで対極導電層を形成することによって、遮光層108としてもよい。   The light shielding layer 108 can also serve as a counter electrode conductive layer facing the conductive layer 103. In the case where the light shielding layer 108 also serves as a counter electrode conductive layer, the light shielding layer 108 may be formed by forming the counter electrode conductive layer up to a place where the light shielding layer 108 needs to be formed.

対極導電層を兼ねる遮光層108は、たとえば、マスクなどを用いてパターニングする方法、または遮光層108を全面に形成した後にその一部をスクライブなどで除去してパターニングする方法により、所望とする位置に部分的に形成することができる。なお、後者の方法によれば、遮光層108の形成工程のタクトアップを図ることができるだけでなく、大面積化時のパターニングマスクのたわみやズレの問題を回避することもできる。   The light shielding layer 108 that also serves as the counter electrode conductive layer is formed in a desired position by, for example, a patterning method using a mask or the like, or a method in which a part of the light shielding layer 108 is removed by scribe after patterning. Can be partially formed. According to the latter method, not only can the tact-up of the formation process of the light shielding layer 108 be performed, but also problems of deflection and misalignment of the patterning mask when the area is increased can be avoided.

<封止材>
封止材109は、光電変換素子の内部にキャリア輸送材112を閉じ込めて、キャリア輸送材112の揮発を抑制するとともに、光電変換素子の内部への水などの浸入を抑制することができる部材である。
<Encapsulant>
The sealing material 109 is a member that can confine the carrier transport material 112 inside the photoelectric conversion element, suppress volatilization of the carrier transport material 112, and suppress the intrusion of water or the like into the photoelectric conversion element. is there.

封止材109としては、たとえば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイソブチレン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、アイオノマー樹脂およびガラスフリットからなる群から選択された少なくとも1種の材料からなる単層構造または当該単層構造を2層以上積層した積層構造などを用いることができる。   As the sealing material 109, for example, a single layer structure made of at least one material selected from the group consisting of silicone resin, epoxy resin, polyisobutylene resin, polyamide resin, polyolefin resin, ionomer resin, and glass frit Alternatively, a stacked structure in which two or more single-layer structures are stacked, or the like can be used.

<カバー材>
カバー材102は、キャリア輸送材112の揮発を抑制するとともに、光電変換素子の内部への水などの浸入を抑制することができる部材である。
<Cover material>
The cover material 102 is a member that can suppress the volatilization of the carrier transport material 112 and also prevent water and the like from entering the photoelectric conversion element.

カバー材102を構成する材料としては、たとえば、ソーダ石灰ガラス、鉛ガラス、ホウケイ酸ガラス、溶融石英ガラス、結晶石英ガラスおよび可撓性フィルムからなる群から選択された少なくとも1種を用いることができ、なかでも、ソーダ石灰フロートガラスを用いることが好ましい。   As a material constituting the cover material 102, for example, at least one selected from the group consisting of soda-lime glass, lead glass, borosilicate glass, fused quartz glass, crystalline quartz glass, and a flexible film can be used. Of these, it is preferable to use soda-lime float glass.

<キャリア輸送材>
キャリア輸送材112は、電荷を輸送可能な導電性材料であり、封止材109の内側の導電層103とカバー材102との間に挟持されている。したがって、少なくとも光電変換層104および多孔質絶縁層105の孔の内部にはキャリア輸送材112が充填されている。
<Carrier transport material>
The carrier transporting material 112 is a conductive material capable of transporting charges, and is sandwiched between the conductive layer 103 inside the sealing material 109 and the cover material 102. Accordingly, at least the insides of the holes of the photoelectric conversion layer 104 and the porous insulating layer 105 are filled with the carrier transport material 112.

キャリア輸送材112としては、たとえば、液体電解質、固体電解質、ゲル電解質および溶融塩ゲル電解質からなる群から選択された少なくとも1種の電解質などを用いることができる。   As the carrier transport material 112, for example, at least one electrolyte selected from the group consisting of a liquid electrolyte, a solid electrolyte, a gel electrolyte, and a molten salt gel electrolyte can be used.

液体電解質としては、たとえば、酸化還元種を含む液状物を用いることができ、一般に電池や光電変換素子などにおいて使用することができるものを特に限定なく用いることができる。具体的には、酸化還元種とこれを溶解可能な溶剤からなるもの、酸化還元種とこれを溶解可能な溶融塩からなるもの、または酸化還元種とこれを溶解可能な溶剤と溶融塩からなるものを用いることができる。   As the liquid electrolyte, for example, a liquid material containing a redox species can be used, and those that can generally be used in batteries, photoelectric conversion elements, and the like can be used without particular limitation. Specifically, it consists of a redox species and a solvent capable of dissolving it, a redox species and a molten salt capable of dissolving it, or a redox species, a solvent capable of dissolving this and a molten salt. Things can be used.

酸化還元種としては、たとえば、I-/I3-系、Br2-/Br3-系、Fe2+/Fe3+系、キノン/ハイドロキノン系、またはコバルト錯体系などを用いることができる。 As the redox species, for example, I / I 3− type, Br 2− / Br 3− type, Fe 2 + / Fe 3+ type, quinone / hydroquinone type, or cobalt complex type can be used.

具体的には、ヨウ化リチウム(LiI)、ヨウ化ナトリウム(NaI)、ヨウ化カリウム(KI)、ヨウ化カルシウム(CaI2)などの金属ヨウ化物とヨウ素(I2)との組み合わせ、テトラエチルアンモニウムアイオダイド(TEAI)、テトラプロピルアンモニウムアイオダイド(TPAI)、テトラブチルアンモニウムアイオダイド(TBAI)、テトラヘキシルアンモニウムアイオダイド(THAI)などのテトラアルキルアンモニウム塩とヨウ素との組み合わせ、または臭化リチウム(LiBr)、臭化ナトリウム(NaBr)、臭化カリウム(KBr)、臭化カルシウム(CaBr2)などの金属臭化物と臭素との組み合わせを用いることが好ましく、なかでも、LiIとI2との組み合わせを用いることが特に好ましい。 Specifically, combinations of metal iodides such as lithium iodide (LiI), sodium iodide (NaI), potassium iodide (KI), calcium iodide (CaI 2 ) and iodine (I 2 ), tetraethylammonium Combinations of tetraalkylammonium salts such as iodide (TEAI), tetrapropylammonium iodide (TPAI), tetrabutylammonium iodide (TBAI), tetrahexylammonium iodide (THAI) and iodine, or lithium bromide (LiBr) ), Sodium bromide (NaBr), potassium bromide (KBr), calcium bromide (CaBr 2 ) and other metal bromides are preferably used in combination with bromine, and in particular, a combination of LiI and I 2 is used. It is particularly preferred.

また、酸化還元種の溶媒としては、たとえば、プロピレンカーボネートなどのカーボネート化合物、アセトニトリルなどのニトリル化合物、エタノールなどのアルコール類、水および非プロトン極性物質からなる群から選択された少なくとも1種などを用いることができ、なかでも、カーボネート化合物およびニトリル化合物の少なくとも一方を用いることが好ましい。   Further, as the solvent for the redox species, for example, at least one selected from the group consisting of carbonate compounds such as propylene carbonate, nitrile compounds such as acetonitrile, alcohols such as ethanol, water, and aprotic polar substances is used. Among them, it is preferable to use at least one of a carbonate compound and a nitrile compound.

固体電解質としては、たとえば、電子、ホールまたはイオンを輸送できる流動性のない導電性材料を用いることができる。具体的には、ポリカルバゾールなどのホール輸送材、テトラニトロフロオルレノンなどの電子輸送材、ポリロールなどの導電性ポリマー、液体電解質を高分子化合物により固体化した高分子電解質、ヨウ化銅若しくはチオシアン酸銅などのp型半導体、または溶融塩を含む液体電解質を微粒子により固体化した電解質などを用いることができる。   As the solid electrolyte, for example, a non-fluid conductive material that can transport electrons, holes, or ions can be used. Specifically, a hole transport material such as polycarbazole, an electron transport material such as tetranitrofluororenone, a conductive polymer such as polyroll, a polymer electrolyte obtained by solidifying a liquid electrolyte with a polymer compound, copper iodide or thiocyanate A p-type semiconductor such as copper acid or an electrolyte obtained by solidifying a liquid electrolyte containing a molten salt with fine particles can be used.

ゲル電解質は、通常、電解質とゲル化剤とからなる。ゲル電解質としては、たとえば、架橋ポリアクリル樹脂誘導体、架橋ポリアクリロニトリル誘導体、ポリアルキレンオキシド誘導体、シリコーン樹脂類、または側鎖に含窒素複素環式四級化合物塩構造を有するポリマーなどの高分子ゲル化剤などを用いることができる。   The gel electrolyte is usually composed of an electrolyte and a gelling agent. Examples of gel electrolytes include polymer gelation such as crosslinked polyacrylic resin derivatives, crosslinked polyacrylonitrile derivatives, polyalkylene oxide derivatives, silicone resins, or polymers having a nitrogen-containing heterocyclic quaternary compound salt structure in the side chain. An agent or the like can be used.

溶融塩ゲル電解質は、通常、上記のようなゲル電解質と常温型溶融塩とからなる。常温型溶融塩としては、たとえば、ピリジニウム塩類またはイミダゾリウム塩類などの含窒素複素環式四級アンモニウム塩化合物類などが挙げられる。   The molten salt gel electrolyte is usually composed of the gel electrolyte as described above and a room temperature molten salt. Examples of the room temperature type molten salt include nitrogen-containing heterocyclic quaternary ammonium salt compounds such as pyridinium salts or imidazolium salts.

上記の電解質には、必要に応じて添加剤を加えてもよい。添加剤としては、たとえば、t−ブチルピリジン(TBP)などの含窒素芳香族化合物、またはジメチルプロピルイミダゾールアイオダイド(DMPII)、メチルプロピルイミダゾールアイオダイド(MPII)、エチルメチルイミダゾールアイオダイド(EMII)、エチルイミダゾールアイオダイド(EII)、ヘキシルメチルイミダゾールアイオダイド(HMII)などのイミダゾール塩などを用いることができる。   You may add an additive to said electrolyte as needed. Examples of the additive include nitrogen-containing aromatic compounds such as t-butylpyridine (TBP), dimethylpropylimidazole iodide (DMPII), methylpropylimidazole iodide (MPII), ethylmethylimidazole iodide (EMII), Imidazole salts such as ethylimidazole iodide (EII) and hexylmethylimidazole iodide (HMII) can be used.

キャリア輸送材112中の電解質濃度は、0.001モル/リットル以上1.5モル/リットル以下であることが好ましく、0.01モル/リットル以上0.7モル/リットル以下であることがより好ましい。   The electrolyte concentration in the carrier transport material 112 is preferably 0.001 mol / liter or more and 1.5 mol / liter or less, more preferably 0.01 mol / liter or more and 0.7 mol / liter or less. .

<スクライブライン>
スクライブライン111は導電層103を分離して、スクライブライン111の両側に配置された導電層103間の絶縁を確保している。また、スクライブライン113は触媒層106および遮光層108をそれぞれ分離して、スクライブライン113の両側に配置された触媒層106および遮光層108のそれぞれの間の絶縁を確保している。
<Scribe line>
The scribe line 111 separates the conductive layer 103 to ensure insulation between the conductive layers 103 arranged on both sides of the scribe line 111. The scribe line 113 separates the catalyst layer 106 and the light shielding layer 108 from each other to ensure insulation between the catalyst layer 106 and the light shielding layer 108 disposed on both sides of the scribe line 113.

<対極導電層>
図1に示す本実施の形態の光電変換素子は、多孔質絶縁層105と遮光層108との間に対極導電層をさらに備えていてもよい。対極導電層は、触媒層106と電気的に接続され、光電変換素子で発生した電流を外部に取り出すことができる層である。
<Counter electrode conductive layer>
The photoelectric conversion element of this embodiment mode illustrated in FIG. 1 may further include a counter electrode conductive layer between the porous insulating layer 105 and the light shielding layer 108. The counter electrode conductive layer is a layer that is electrically connected to the catalyst layer 106 and can take out the current generated by the photoelectric conversion element to the outside.

対極導電層を構成する材料としては、たとえば、インジウム錫複合酸化物(ITO)、フッ素をドープした酸化錫(FTO)、酸化亜鉛(ZnO)、チタン、タングステン、金、銀、銅およびニッケルからなる群から選択された少なくとも1種を用いることが好ましく、チタンを用いることが特に好ましい。   Examples of the material constituting the counter electrode conductive layer include indium tin composite oxide (ITO), fluorine-doped tin oxide (FTO), zinc oxide (ZnO), titanium, tungsten, gold, silver, copper, and nickel. It is preferable to use at least one selected from the group, and it is particularly preferable to use titanium.

また、触媒層106と対極導電層との積層順序は特に限定されず、触媒層106および対極導電層に用いられる材料との相関により適宜選択することができる。   In addition, the stacking order of the catalyst layer 106 and the counter electrode conductive layer is not particularly limited, and can be appropriately selected depending on the correlation with the materials used for the catalyst layer 106 and the counter electrode conductive layer.

<取り出し電極>
対極導電層には、必要に応じて、取り出し電極を設けてもよい。取り出し電極を設けることによって、本実施の形態の光電変換素子で発生した電流を取り出し電極から光電変換素子の外部に取り出すことができる。取り出し電極を構成する材料は、光電変換素子で発生した電流を外部に取り出すことが可能なものであれば、特に限定されない。
<Extraction electrode>
An extraction electrode may be provided on the counter electrode conductive layer as necessary. By providing the extraction electrode, current generated in the photoelectric conversion element of this embodiment can be extracted from the extraction electrode to the outside of the photoelectric conversion element. The material constituting the extraction electrode is not particularly limited as long as the current generated in the photoelectric conversion element can be extracted to the outside.

<光電変換素子の製造方法>
以下、図2〜図5の模式的断面図を参照して、図1に示す本実施の形態の光電変換素子の製造方法の一例について説明する。まず、図2に示すように、光透過性支持体101の一方の表面上に導電層103を形成する。導電層103を形成する方法は、特に限定されず、たとえば公知のスパッタリング法またはスプレー法などを用いることができる。
<Method for producing photoelectric conversion element>
Hereinafter, an example of a method for manufacturing the photoelectric conversion element of the present embodiment shown in FIG. 1 will be described with reference to the schematic cross-sectional views of FIGS. First, as shown in FIG. 2, a conductive layer 103 is formed on one surface of the light transmissive support 101. The method for forming the conductive layer 103 is not particularly limited, and for example, a known sputtering method or spray method can be used.

なお、導電層103に金属リード線(図示せず)を設ける場合には、たとえば公知のスパッタ法または蒸着法などにより光透過性支持体101上に金属リード線を形成し、金属リード線が形成された光透過性支持体101上に導電層103を形成する方法、または光透過性支持体101上に導電層103を形成し、導電層103上に金属リード線を形成する方法などを用いることができる。   In the case where a metal lead wire (not shown) is provided on the conductive layer 103, the metal lead wire is formed by forming the metal lead wire on the light transmissive support 101 by, for example, a known sputtering method or vapor deposition method. A method of forming the conductive layer 103 on the light-transmitting support 101 or a method of forming the conductive layer 103 on the light-transmitting support 101 and forming a metal lead on the conductive layer 103. Can do.

次に、図2に示すように、導電層103にスクライブライン111を形成する。スクライブライン111は、たとえばレーザスクライブ法などにより導電層103を切断して形成することができる。これにより、導電層103は、光電変換層104が形成される領域と、光電変換層104が形成されない領域とに分割される。   Next, as shown in FIG. 2, a scribe line 111 is formed in the conductive layer 103. The scribe line 111 can be formed by cutting the conductive layer 103 by, for example, a laser scribe method. Thus, the conductive layer 103 is divided into a region where the photoelectric conversion layer 104 is formed and a region where the photoelectric conversion layer 104 is not formed.

次に、図3に示すように、導電層103上に光電変換層104を形成する。ここで、光電変換層104は、たとえば、スクリーン印刷法またはインクジェット法などによって半導体粒子を含有するペーストを塗布した後に焼成する方法、ゾル−ゲル法または電気化学的な酸化還元反応を利用した方法などにより、光電変換層104が形成される導電層103の領域上に形成することができる。なかでも、厚膜の多孔質半導体層を低コストで形成する観点からは、半導体粒子を含有するペーストをスクリーン印刷法により導電層103上に塗布した後に焼成する方法を用いることが好ましい。   Next, as illustrated in FIG. 3, the photoelectric conversion layer 104 is formed over the conductive layer 103. Here, the photoelectric conversion layer 104 is formed by, for example, a method of baking after applying a paste containing semiconductor particles by a screen printing method or an inkjet method, a method using a sol-gel method or an electrochemical redox reaction, or the like. Thus, the photoelectric conversion layer 104 can be formed over the region of the conductive layer 103. Among these, from the viewpoint of forming a thick porous semiconductor layer at low cost, it is preferable to use a method in which a paste containing semiconductor particles is applied onto the conductive layer 103 by screen printing and then baked.

より具体的な一例としては、まず、チタンイソプロポキシド(キシダ化学株式会社製)125mLを0.1Mの硝酸水溶液(キシダ化学株式会社製)750mLに滴下して加水分解させ、80℃で8時間加熱してゾル液を調製する。その後、得られたゾル液をチタン製オートクレーブ中、230℃で11時間加熱して、酸化チタン粒子を成長させた後、超音波分散を30分間行ない平均粒径(平均一次粒径)15nmの酸化チタン粒子を含むコロイド溶液を調製する。次いで、得られたコロイド溶液に2倍容量のエタノールを加え、これを回転数5000rpmで遠心分離することにより、酸化チタン粒子を得る。   As a more specific example, first, 125 mL of titanium isopropoxide (manufactured by Kishida Chemical Co., Ltd.) is dropped into 750 mL of 0.1 M aqueous nitric acid (manufactured by Kishida Chemical Co., Ltd.) and hydrolyzed at 80 ° C. for 8 hours. A sol solution is prepared by heating. Thereafter, the obtained sol solution was heated in a titanium autoclave at 230 ° C. for 11 hours to grow titanium oxide particles, and then subjected to ultrasonic dispersion for 30 minutes to oxidize with an average particle size (average primary particle size) of 15 nm. A colloidal solution containing titanium particles is prepared. Subsequently, a 2-fold volume of ethanol is added to the obtained colloidal solution, and this is centrifuged at a rotational speed of 5000 rpm to obtain titanium oxide particles.

なお、本明細書における平均粒径は、XRD(X線回折)の回折ピークから求めた値である。具体的には、XRDのθ/2θ測定における回折角の半値幅とシェラーの式から平均粒径を求める。たとえば、アナターゼ型酸化チタンの場合、(101)面に対応する回折ピーク(2θ=25.3°付近)の半値幅を測定すればよい。   In addition, the average particle diameter in this specification is the value calculated | required from the diffraction peak of XRD (X-ray diffraction). Specifically, the average particle diameter is determined from the half-value width of the diffraction angle in XRD θ / 2θ measurement and Scherrer's equation. For example, in the case of anatase-type titanium oxide, the half-value width of the diffraction peak (around 2θ = 25.3 °) corresponding to the (101) plane may be measured.

次に、上記のようにして得られた酸化チタン粒子を洗浄した後、エチルセルロースとテルピネオールとを無水エタノールに溶解させたものを加え、攪拌することにより、酸化チタン粒子を分散させる。その後、その混合液を真空条件下で加熱してエタノールを蒸発させ、酸化チタンペーストを得る。最終的な組成として、たとえば、酸化チタン固体濃度20質量%、エチルセルロース10質量%およびテルピネオール64質量%となるように濃度を調製する。   Next, after washing the titanium oxide particles obtained as described above, a solution obtained by dissolving ethyl cellulose and terpineol in absolute ethanol is added and stirred to disperse the titanium oxide particles. Thereafter, the mixed solution is heated under vacuum to evaporate ethanol to obtain a titanium oxide paste. As the final composition, for example, the concentration is adjusted so that the solid concentration of titanium oxide is 20% by mass, ethyl cellulose is 10% by mass, and terpineol is 64% by mass.

半導体粒子を含有する(懸濁させた)ペーストを調製するために用いる溶剤としては、上記以外にも、エチレングリコールモノメチルエーテルなどのグライム系溶剤、イソプロピルアルコールなどのアルコール系溶剤、イソプロピルアルコール/トルエンなどの混合溶剤、または水などが挙げられる。   In addition to the above, the solvent used to prepare the paste containing (suspended) semiconductor particles is a glyme solvent such as ethylene glycol monomethyl ether, an alcohol solvent such as isopropyl alcohol, isopropyl alcohol / toluene, etc. Or a mixed solvent thereof or water.

次に、上記のスクリーン印刷法またはインクジェット法といった方法により半導体粒子を含有するペーストを導電層103上に塗布し、乾燥した後に焼成することによって、多孔質半導体層が形成される。半導体粒子を含有するペーストの乾燥および焼成は、使用する支持体や半導体粒子の種類により、たとえば温度、時間および雰囲気などの条件を適宜調整して行なうことができる。   Next, a paste containing semiconductor particles is applied onto the conductive layer 103 by a method such as the above-described screen printing method or ink jet method, dried, and then fired to form a porous semiconductor layer. Drying and firing of the paste containing semiconductor particles can be performed by appropriately adjusting conditions such as temperature, time, and atmosphere depending on the type of support and semiconductor particles used.

上記のペーストの焼成は、たとえば、大気雰囲気下または不活性ガス雰囲気下で、50〜800℃程度の温度で、10秒〜12時間程度加熱することにより行なうことができる。上記のペーストの乾燥および焼成は、単一の温度で1回または温度を変化させて2回以上行なうことができる。   Firing of the above paste can be performed, for example, by heating at a temperature of about 50 to 800 ° C. for about 10 seconds to 12 hours in an air atmosphere or an inert gas atmosphere. The above-mentioned paste can be dried and fired once at a single temperature or twice or more at different temperatures.

その後、上記のようにして形成された多孔質半導体層に、色素などの光増感剤を吸着させることによって、光電変換層104が形成される。なお、色素などの光増感剤の吸着は、光電変換層104の形成直後には限定されず、たとえば多孔質絶縁層105の形成後または遮光層108の形成後であってもよい。   Then, the photoelectric conversion layer 104 is formed by making photosensitizers, such as a pigment | dye, adsorb | suck to the porous semiconductor layer formed as mentioned above. Note that adsorption of a photosensitizer such as a dye is not limited to immediately after formation of the photoelectric conversion layer 104, and may be performed after formation of the porous insulating layer 105 or formation of the light shielding layer 108, for example.

多孔質半導体層に色素を吸着させる方法としては、たとえば、導電層103上に形成された多孔質半導体層を、色素を溶剤に溶解した溶液(色素吸着用溶液)に浸漬する方法などを用いることができる。色素を溶解させる溶剤は、色素を溶解するものであればよく、たとえば、エタノールなどのアルコール類、アセトンなどのケトン類、ジエチルエーテル、テトラヒドロフランなどのエーテル類、アセトニトリルなどの窒素化合物類、クロロホルムなどのハロゲン化脂肪族炭化水素、ヘキサンなどの脂肪族炭化水素、ベンゼンなどの芳香族炭化水素、酢酸エチルなどのエステル類、および水からなる群から選択された少なくとも1種を含有するものなどを用いることができる。   As a method for adsorbing the dye to the porous semiconductor layer, for example, a method of immersing the porous semiconductor layer formed on the conductive layer 103 in a solution in which the dye is dissolved in a solvent (solution for dye adsorption) is used. Can do. The solvent that dissolves the dye may be any solvent that dissolves the dye. For example, alcohols such as ethanol, ketones such as acetone, ethers such as diethyl ether and tetrahydrofuran, nitrogen compounds such as acetonitrile, chloroform, and the like. Use of halogenated aliphatic hydrocarbons, aliphatic hydrocarbons such as hexane, aromatic hydrocarbons such as benzene, esters such as ethyl acetate, and those containing at least one selected from the group consisting of water Can do.

色素吸着用溶液中の色素濃度は、使用する色素および溶剤の種類により適宜調整することができるが、吸着機能を向上させる観点からは、5×10-4モル/リットル以上とすることが好ましい。 The dye concentration in the dye adsorption solution can be appropriately adjusted depending on the kind of the dye and the solvent to be used, but is preferably 5 × 10 −4 mol / liter or more from the viewpoint of improving the adsorption function.

次に、図3に示すように、光電変換層104の表面を覆うようにして多孔質絶縁層105を形成する。導電層103に形成されたスクライブライン111は、多孔質絶縁層105によって埋められ、スクライブライン111の両側の導電層103間の絶縁性が確保される。   Next, as shown in FIG. 3, a porous insulating layer 105 is formed so as to cover the surface of the photoelectric conversion layer 104. The scribe line 111 formed in the conductive layer 103 is filled with the porous insulating layer 105, and insulation between the conductive layers 103 on both sides of the scribe line 111 is ensured.

ここで、多孔質絶縁層105は、特に限定されず、たとえば、スクリーン印刷法またはインクジェット法などにより、半導体粒子を含有するペーストを光電変換層104の表面を覆うようにして塗布した後に焼成する方法、ゾル−ゲル法または電気化学的な酸化還元反応を利用した方法などにより、光電変換層104の表面上に形成することができる。なかでも、厚膜の多孔質絶縁層105を低コストで形成する観点からは、半導体粒子を含有するペーストをスクリーン印刷法により光電変換層104の表面上に塗布した後に焼成する方法を用いることが好ましい。   Here, the porous insulating layer 105 is not particularly limited, and for example, a method of baking after applying a paste containing semiconductor particles so as to cover the surface of the photoelectric conversion layer 104 by a screen printing method or an inkjet method. It can be formed on the surface of the photoelectric conversion layer 104 by a sol-gel method or a method using an electrochemical redox reaction. Among these, from the viewpoint of forming the thick porous insulating layer 105 at a low cost, it is preferable to use a method in which a paste containing semiconductor particles is applied onto the surface of the photoelectric conversion layer 104 by screen printing and then baked. preferable.

また、光電変換層104および多孔質絶縁層105と同様にして、光電変換層104が形成されない導電層103の領域上に隔壁部201が形成される。   In addition, in the same manner as the photoelectric conversion layer 104 and the porous insulating layer 105, the partition wall portion 201 is formed over the region of the conductive layer 103 where the photoelectric conversion layer 104 is not formed.

次に、図3に示すように、多孔質絶縁層105上に触媒層106を形成する。触媒層106は、たとえば蒸着法または印刷法などにより形成することができる。たとえば蒸着法により触媒層106を形成した場合には、触媒層106自体が多孔質になるため、色素吸着用溶液や電解質が移動可能な孔を新たに形成する必要がない点で好ましい。なお、触媒層106の形成後に、触媒層106と同様の方法により、触媒層106上に対極導電層を形成してもよい。   Next, as shown in FIG. 3, a catalyst layer 106 is formed on the porous insulating layer 105. The catalyst layer 106 can be formed by, for example, a vapor deposition method or a printing method. For example, when the catalyst layer 106 is formed by a vapor deposition method, the catalyst layer 106 itself is porous, which is preferable in that it is not necessary to newly form a hole through which the dye adsorption solution and the electrolyte can move. Note that a counter electrode conductive layer may be formed on the catalyst layer 106 by a method similar to that for the catalyst layer 106 after the formation of the catalyst layer 106.

次に、図3に示すように、触媒層106上に凹部を有する遮光層108を形成する。これにより、遮光層108には、触媒層106の傾斜した側面、導電層103の上面および隔壁部201の傾斜した側面上に設置された遮光層108の部分によって凹部が形成される。遮光層108は、たとえば蒸着法、印刷法またはスパッタリング法などにより形成することができる。   Next, as shown in FIG. 3, a light shielding layer 108 having a recess is formed on the catalyst layer 106. Thereby, a recess is formed in the light shielding layer 108 by the inclined side surface of the catalyst layer 106, the upper surface of the conductive layer 103, and the portion of the light shielding layer 108 disposed on the inclined side surface of the partition wall portion 201. The light shielding layer 108 can be formed by, for example, a vapor deposition method, a printing method, a sputtering method, or the like.

次に、図4に示すように、触媒層106および遮光層108のそれぞれの一部をレーザースクライブ法などにより除去して、スクライブライン113を形成する。   Next, as shown in FIG. 4, a part of each of the catalyst layer 106 and the light shielding layer 108 is removed by a laser scribing method or the like to form a scribe line 113.

次に、図5に示すように、遮光層108の凹部を埋めるように封止材109を設置する。封止材109は、たとえば、ディスペンサによる塗布、または所定の形状に孔を空けた封止材109を設置することにより、遮光層108の凹部を埋めるようにして設置することができる。   Next, as shown in FIG. 5, a sealing material 109 is installed so as to fill the concave portion of the light shielding layer 108. The sealing material 109 can be installed so as to fill the concave portion of the light shielding layer 108 by, for example, applying with a dispenser or installing the sealing material 109 having a hole in a predetermined shape.

次に、図5に示すように、封止材109上にカバー材102を設置する。なお、カバー材102を設置した後には、加熱および/または紫外線照射によって封止材109を硬化させることによって、透明電極基板110とカバー材102とを貼り合わせて固定する。   Next, as shown in FIG. 5, the cover material 102 is installed on the sealing material 109. After the cover material 102 is installed, the transparent electrode substrate 110 and the cover material 102 are bonded and fixed by curing the sealing material 109 by heating and / or ultraviolet irradiation.

次に、図1に示すように、光透過性支持体101とカバー材102との間の封止材109で仕切られた領域にキャリア輸送材112を充填する。キャリア輸送材112の当該領域への充填は、たとえば、カバー材102に予め設けられた電解液注入用孔から注入されることにより行なうことができる。   Next, as shown in FIG. 1, a carrier transporting material 112 is filled in a region partitioned by a sealing material 109 between the light transmissive support body 101 and the cover material 102. The carrier transport material 112 can be filled into the region by, for example, being injected from an electrolyte injection hole provided in the cover material 102 in advance.

<光電変換素子モジュール>
図6に、本発明の光電変換素子モジュールの一例である実施の形態の光電変換素子モジュールの模式的な断面図を示す。図6に示す実施の形態の光電変換素子モジュールは、図1に示す光電変換素子の2つ以上が電気的に接続されることにより構成されている。
<Photoelectric conversion element module>
In FIG. 6, typical sectional drawing of the photoelectric conversion element module of embodiment which is an example of the photoelectric conversion element module of this invention is shown. The photoelectric conversion element module of the embodiment shown in FIG. 6 is configured by electrically connecting two or more of the photoelectric conversion elements shown in FIG.

なお、図6に示す実施の形態の光電変換素子モジュールは、光電変換素子の遮光層108を、その光電変換素子の隣りに配置された光電変換素子の導電層103と順次電気的に接続されるように構成することによって形成することができる。   In the photoelectric conversion element module of the embodiment shown in FIG. 6, the light shielding layer 108 of the photoelectric conversion element is sequentially electrically connected to the conductive layer 103 of the photoelectric conversion element arranged next to the photoelectric conversion element. It can form by comprising.

<作用効果>
実施の形態の光電変換素子および光電変換素子モジュールにおいては、遮光層108の凹部を埋めるようにして封止材109が設けられている。そのため、封止材109の光入射面のすべてが遮光層108で覆われているため、光透過性支持体101から入射してきた光が遮光層108によって遮光される。これにより、封止材109への光照射量を従来よりも低減することができるため、封止材109の光劣化が抑制される。
<Effect>
In the photoelectric conversion element and the photoelectric conversion element module of the embodiment, the sealing material 109 is provided so as to fill the concave portion of the light shielding layer 108. Therefore, since all of the light incident surface of the sealing material 109 is covered with the light shielding layer 108, the light incident from the light transmissive support 101 is shielded by the light shielding layer 108. Thereby, since the light irradiation amount to the sealing material 109 can be reduced more than before, the light deterioration of the sealing material 109 is suppressed.

また、実施の形態の光電変換素子および光電変換素子モジュールにおいては、遮光層108の凹部のみを埋めるようにして封止材109が設けられており、特許文献3に記載のように、光電変換層104の光入射面の全面が遮光層108によって被覆されていないため、光電変換層104への入射光量の低減による光電変換効率の低下を抑えることができる。   Further, in the photoelectric conversion element and the photoelectric conversion element module of the embodiment, the sealing material 109 is provided so as to fill only the concave portion of the light shielding layer 108. As described in Patent Document 3, the photoelectric conversion layer is provided. Since the entire surface of the light incident surface 104 is not covered with the light shielding layer 108, a decrease in photoelectric conversion efficiency due to a reduction in the amount of light incident on the photoelectric conversion layer 104 can be suppressed.

以上の理由により、実施の形態の光電変換素子および光電変換素子モジュールにおいては、光電変換層に入射する光量の低減による光電変換効率の低下を抑えつつ、封止部の劣化を抑制することができる。   For the reasons described above, in the photoelectric conversion element and the photoelectric conversion element module of the embodiment, deterioration of the sealing portion can be suppressed while suppressing a decrease in photoelectric conversion efficiency due to a reduction in the amount of light incident on the photoelectric conversion layer. .

<実施例1>
図1に、実施例1の光電変換素子の模式的な断面図を示す。実施例1の光電変換素子は以下のようにして作製した。
<Example 1>
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of the photoelectric conversion element of Example 1. The photoelectric conversion element of Example 1 was produced as follows.

まず、図1に示すように、ガラスからなる光透過性支持体101上に、SnO2膜からなる導電層103が成膜されてなる幅10mm×長さ10mm×厚さ1.0mmの透明電極基板110(日本板硝子株式会社製、SnO2膜付ガラス)を用意した。 First, as shown in FIG. 1, a transparent electrode having a width of 10 mm, a length of 10 mm and a thickness of 1.0 mm formed by forming a conductive layer 103 made of SnO 2 film on a light-transmitting support 101 made of glass. A substrate 110 (manufactured by Nippon Sheet Glass Co., Ltd., glass with SnO 2 film) was prepared.

次に、図1に示すように、導電層103をレーザースクライブ法により切断することによって、スクライブライン111を形成した。   Next, as shown in FIG. 1, the scribe line 111 was formed by cutting the conductive layer 103 by a laser scribing method.

次に、多孔質半導体層のパターンを有するスクリーン板とスクリーン印刷機(ニューロング精密工業株式会社製、型番:LS−150)を用いて、市販の酸化チタンペースト(Solaronix社製、商品名:D/SP)を導電層103面内に、5.5mm×5.5mmの大きさに塗布し、室温で1時間レベリングを行なった。   Next, a commercially available titanium oxide paste (manufactured by Solaronix, trade name: D) using a screen plate having a pattern of a porous semiconductor layer and a screen printing machine (manufactured by Neurong Precision Industry Co., Ltd., model number: LS-150). / SP) was applied to the surface of the conductive layer 103 in a size of 5.5 mm × 5.5 mm and leveled at room temperature for 1 hour.

次に、得られた塗膜を80℃に設定したオーブンで20分間乾燥し、さらに500℃に設定した焼成炉(株式会社デンケン製、型番:KDF P−100)を用いて大気中で60分間焼成した。この塗布および焼成工程を2回繰り返して、膜厚11μmの多孔質半導体層を形成した。   Next, the obtained coating film was dried in an oven set at 80 ° C. for 20 minutes, and further, 60 minutes in the air using a baking furnace (model number: KDF P-100, manufactured by Denken Co., Ltd.) set at 500 ° C. Baked. This coating and baking process was repeated twice to form a porous semiconductor layer having a thickness of 11 μm.

次に、多孔質半導体層上にジルコニア粒子(平均粒経50nm)を含むペーストをスクリーン印刷機を用いて5mm×5mmに塗布し、その後、500℃、60分間で焼成を行ない、多孔質半導体層の表面から多孔質絶縁層105の上面の平坦部分までの距離(多孔質絶縁層105の膜厚)が7μmの多孔質絶縁層105を形成した。   Next, a paste containing zirconia particles (average particle size of 50 nm) is applied on the porous semiconductor layer to a size of 5 mm × 5 mm using a screen printer, and then baked at 500 ° C. for 60 minutes. A porous insulating layer 105 having a distance from the surface to the flat portion of the upper surface of the porous insulating layer 105 (film thickness of the porous insulating layer 105) was 7 μm.

次に、多孔質半導体層と多孔質絶縁層105との積層体を四方から取り囲むようにしてスクリーン印刷法によりガラスフリットを印刷し、その後、500℃以上に設定した焼成炉(株式会社デンケン製、型番:KDF P−100)を用いて60分間焼成することによって隔壁部201をで形成した。   Next, a glass frit was printed by a screen printing method so as to surround the laminated body of the porous semiconductor layer and the porous insulating layer 105 from four sides, and then a baking furnace (made by Denken Corporation, The partition wall part 201 was formed by baking for 60 minutes using a model number: KDF P-100).

次に、所定のパターンが形成されたマスクおよび蒸着装置(アネルバ株式会社製、型番:EVD500A)を用いて蒸着速度40nm/sで、多孔質絶縁層105上にPtを成膜して、触媒層106を形成した。なお、触媒層の大きさ(形状)および幅方向の位置はそれぞれ多孔質半導体層と同一にした。   Next, Pt is deposited on the porous insulating layer 105 at a deposition rate of 40 nm / s using a mask on which a predetermined pattern is formed and a vapor deposition apparatus (model number: EVD500A, manufactured by Anelva Corporation), and a catalyst layer 106 was formed. The size (shape) and the position in the width direction of the catalyst layer were the same as those of the porous semiconductor layer.

次に、所定のパターンが形成されたマスクおよび蒸着装置(アネルバ株式会社製、型番:EVD500A)を用いて蒸着速度80nm/sで、多孔質半導体層と多孔質絶縁層105との積層体を含む全面に対して、触媒層106上に膜厚400nmのチタンを成膜した。その後、図1に示す位置に、スクライブライン113をレーザスクライブ法により形成することによって、遮光層108を形成した。   Next, a stack of a porous semiconductor layer and a porous insulating layer 105 is included at a deposition rate of 80 nm / s using a mask on which a predetermined pattern is formed and a deposition apparatus (model number: EVD500A manufactured by Anelva Corporation). A titanium film having a thickness of 400 nm was formed on the catalyst layer 106 over the entire surface. Thereafter, a light-shielding layer 108 was formed by forming a scribe line 113 at a position shown in FIG. 1 by a laser scribe method.

次に、予め調製しておいた色素吸着用溶液に、上記の遮光層108まで積層した積層体を室温で100時間浸漬し、その後、当該積層体をエタノールで洗浄し、約60℃で約5分間乾燥させて、上記の多孔質半導体層に色素を吸着させて光電変換層104を形成した。   Next, the laminate obtained by laminating the light shielding layer 108 in a dye adsorbing solution prepared in advance is immersed for 100 hours at room temperature, and then the laminate is washed with ethanol and about 5 at about 60 ° C. After drying for a minute, the photoelectric conversion layer 104 was formed by adsorbing the dye to the porous semiconductor layer.

ここで、色素吸着用溶液は、上記の式(3)で示される色素(Solaronix社製、商品名:Ruthenium620 1H3TBA)を濃度4×10-4モル/リットルになるように、体積比1:1のアセトニトリルとt−ブタノールとの混合溶剤に溶解させて調製した。 Here, the dye adsorption solution is a volume ratio of 1: 1 so that the dye represented by the above formula (3) (manufactured by Solaronix, trade name: Ruthenium 620 1H3TBA) has a concentration of 4 × 10 −4 mol / liter. And dissolved in a mixed solvent of acetonitrile and t-butanol.

次に、上記の積層体を含む透明電極基板110と、カバー材102を構成するガラス基板とを、積層体の周囲を囲むようにして、紫外線硬化樹脂(スリーボンド社製、型番:31X−101)からなる封止材109を用いて貼り合せ、封止材109に紫外線照射することによって、封止材109を硬化して、これらを固定した。   Next, the transparent electrode substrate 110 including the above laminate and the glass substrate constituting the cover material 102 are made of an ultraviolet curable resin (manufactured by Three Bond Co., model number: 31X-101) so as to surround the periphery of the laminate. Bonding was performed using the sealing material 109, and the sealing material 109 was irradiated with ultraviolet rays to cure the sealing material 109 and fix them.

ただし、カバー材102と積層体を含む透明電極基板110とを固定する際、隔壁部201と積層体と間に形成された凹部に、紫外線硬化樹脂からなる封止材109が設置されるように位置合わせを行ない、封止材109に紫外線を照射することによって封止材109を硬化して、これらを固定した。   However, when the cover material 102 and the transparent electrode substrate 110 including the laminate are fixed, the sealing material 109 made of an ultraviolet curable resin is installed in the recess formed between the partition wall 201 and the laminate. The alignment was performed, and the sealing material 109 was cured by irradiating the sealing material 109 with ultraviolet rays, and these were fixed.

さらに、カバー材102を構成するガラス基板に予め設けられていたキャリア輸送材注入用孔(図示せず)から、予め調製しておいたキャリア輸送材112を注入して、紫外線硬化樹脂(スリーボンド社製、型番:31X−101)を用いて電解液注入用孔を封止した。これにより、キャリア輸送材112が充填された実施例1の光電変換素子が完成した。   Further, a carrier transport material 112 prepared in advance is injected from a carrier transport material injection hole (not shown) provided in advance on a glass substrate constituting the cover material 102, and an ultraviolet curable resin (Three Bond Co., Ltd.) is injected. Electrolyte injection hole was sealed using a product number of 31X-101. Thereby, the photoelectric conversion element of Example 1 filled with the carrier transport material 112 was completed.

なお、キャリア輸送材112である電解液は、溶剤としてアセトニトリルを用い、酸化還元種としてLiI(アルドリッチ社製)が濃度0.1モル/リットル、I2(キシダ化学社製)が濃度0.01モル/リットルになるように、さらに添加剤として、t−ブチルピリジン(アルドリッチ社製)が濃度0.5モル/リットル、ジメチルプロピルイミダゾールアイオダイド(四国化成工業社製)が濃度0.6モル/リットルになるように添加し、これらを溶解させて形成した。 In addition, the electrolytic solution which is the carrier transport material 112 uses acetonitrile as a solvent, LiI (manufactured by Aldrich) as a redox species has a concentration of 0.1 mol / liter, and I 2 (manufactured by Kishida Chemical) has a concentration of 0.01. Further, t-butylpyridine (manufactured by Aldrich) was added at a concentration of 0.5 mol / liter and dimethylpropylimidazole iodide (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.) was added at a concentration of 0.6 mol / liter as additives. They were added to a liter and dissolved to form.

上記のようにして、実施例1の光電変換素子を10個作製した。これら10個の実施例1の光電変換素子のそれぞれに対して、JIS規格C8938の光照射試験A−5に基づいて、照射密度が280mW/cm2の光を500時間連続照射し、その後、目視により封止材109の劣化について外観確認を行なった。 Ten photoelectric conversion elements of Example 1 were produced as described above. Based on the light irradiation test A-5 of JIS standard C8938, each of these ten photoelectric conversion elements of Example 1 was continuously irradiated with light having an irradiation density of 280 mW / cm 2 for 500 hours. Thus, the appearance of the sealing material 109 was checked for deterioration.

その結果、実施例1の光電変換素子を10個のすべての封止材109において、気泡が侵入している等の変化は見られなかったため、実施例1の光電変換素子の電解液保持率は100%であった。この結果を表1に示す。   As a result, in all ten sealing materials 109 of the photoelectric conversion element of Example 1, no change such as bubbles invading was observed. Therefore, the electrolytic solution retention rate of the photoelectric conversion element of Example 1 was 100%. The results are shown in Table 1.

<実施例2>
図7に、実施例2の光電変換素子の模式的な断面図を示す。実施例2の光電変換素子は触媒層106上に対極導電層107を備えている点に特徴がある。実施例2の光電変換素子は以下のようにして作製した。
<Example 2>
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of the photoelectric conversion element of Example 2. The photoelectric conversion element of Example 2 is characterized in that a counter electrode conductive layer 107 is provided on the catalyst layer 106. The photoelectric conversion element of Example 2 was produced as follows.

まず、触媒層106までは実施例1と同様の方法で作製し、次いで、所定のパターンが形成されたマスクおよびスパッタリング装置を用いて、触媒層106上にITOを厚さ500nmで成膜して対極導電層107を形成した。   First, the layers up to the catalyst layer 106 are manufactured by the same method as in Example 1, and then ITO is formed on the catalyst layer 106 to a thickness of 500 nm using a mask and a sputtering apparatus on which a predetermined pattern is formed. The counter electrode conductive layer 107 was formed.

さらに、所定のパターンが形成されたマスクおよび蒸着装置(アネルバ株式会社製、型番:EVD500A)を用いて蒸着速度80nm/sで、ITOからなる対極導電層107上に膜厚400nmのチタンを成膜して、遮光層108を形成した。   Furthermore, a 400 nm-thick titanium film is formed on the counter electrode conductive layer 107 made of ITO at a deposition rate of 80 nm / s using a mask on which a predetermined pattern is formed and a deposition apparatus (model number: EVD500A manufactured by Anelva Corporation). Thus, the light shielding layer 108 was formed.

その後、色素の吸着からキャリア輸送材112の注入および封止材109による封止までは、実施例1と同様の方法を用いて、実施例2の光電変換素子を10個作製した。   Thereafter, ten photoelectric conversion elements of Example 2 were produced using the same method as in Example 1 from dye adsorption to injection of the carrier transport material 112 and sealing with the sealing material 109.

上記のようにして、実施例2の光電変換素子を10個作製した。これら10個の実施例2の光電変換素子のそれぞれに対して、JIS規格C8938の光照射試験A−5に基づいて、照射密度が280mW/cm2の光を500時間連続照射し、その後、目視により封止材109の劣化について外観確認を行なった。 Ten photoelectric conversion elements of Example 2 were produced as described above. Based on the light irradiation test A-5 of JIS standard C8938, each of these ten photoelectric conversion elements of Example 2 was continuously irradiated with light having an irradiation density of 280 mW / cm 2 for 500 hours. Thus, the appearance of the sealing material 109 was checked for deterioration.

その結果、実施例2の光電変換素子を10個のすべての封止材109において、気泡が侵入している等の変化は見られなかったため、実施例2の光電変換素子の電解液保持率は100%であった。この結果を表1に示す。   As a result, in all ten sealing materials 109 of the photoelectric conversion element of Example 2, no change such as bubbles invading was observed, so the electrolytic solution retention rate of the photoelectric conversion element of Example 2 was 100%. The results are shown in Table 1.

<実施例3>
図8に、実施例3の光電変換素子の模式的な断面図を示す。実施例3の光電変換素子は対極導電層107の全面に遮光層108を備えている点に特徴がある。実施例3の光電変換素子は以下のようにして作製した。
<Example 3>
FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of the photoelectric conversion element of Example 3. The photoelectric conversion element of Example 3 is characterized in that a light shielding layer 108 is provided on the entire surface of the counter conductive layer 107. The photoelectric conversion element of Example 3 was produced as follows.

対極導電層107までは、実施例2と同様の方法で作製し、次いで、所定のパターンが形成されたマスクおよび蒸着装置(アネルバ株式会社製、型番:EVD500A)を用いて、蒸着速度80nm/sで、対極導電層107の全面に、膜厚400nmのチタンを成膜した。その後、図8に示す位置にスクライブライン113をレーザースクライブ法により形成することで、遮光層108を形成した。   The counter electrode conductive layer 107 is manufactured by the same method as in Example 2, and then the deposition rate is 80 nm / s using a mask on which a predetermined pattern is formed and a vapor deposition apparatus (model number: EVD500A, manufactured by Anelva Corporation). Thus, titanium having a thickness of 400 nm was formed on the entire surface of the counter electrode conductive layer 107. Then, the light shielding layer 108 was formed by forming the scribe line 113 in the position shown in FIG. 8 by the laser scribing method.

その後、色素の吸着からキャリア輸送材112の注入および封止材109による封止までは、実施例1と同様の方法を用いて、実施例3の光電変換素子を10個作製した。   Thereafter, ten photoelectric conversion elements of Example 3 were produced using the same method as in Example 1 from dye adsorption to injection of the carrier transport material 112 and sealing with the sealing material 109.

上記のようにして、実施例3の光電変換素子を10個作製した。これら10個の実施例3の光電変換素子のそれぞれに対して、JIS規格C8938の光照射試験A−5に基づいて、照射密度が280mW/cm2の光を500時間連続照射し、その後、目視により封止材109の劣化について外観確認を行なった。 Ten photoelectric conversion elements of Example 3 were produced as described above. Based on the light irradiation test A-5 of JIS standard C8938, each of these ten photoelectric conversion elements of Example 3 was continuously irradiated with light having an irradiation density of 280 mW / cm 2 for 500 hours. Thus, the appearance of the sealing material 109 was checked for deterioration.

その結果、実施例3の光電変換素子を10個のすべての封止材109において、気泡が侵入している等の変化は見られなかったため、実施例3の光電変換素子の電解液保持率は100%であった。この結果を表1に示す。   As a result, in all ten sealing materials 109 of the photoelectric conversion element of Example 3, no change such as bubbles invading was observed, so the electrolytic solution retention rate of the photoelectric conversion element of Example 3 was 100%. The results are shown in Table 1.

<比較例1>
図9に、比較例1の光電変換素子の模式的な断面図を示す。比較例1の光電変換素子は光透過性支持体101から封止材109に入射する光が遮光層108によって遮光されていない点に特徴がある。比較例1の光電変換素子は以下のようにして作製した。
<Comparative Example 1>
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of the photoelectric conversion element of Comparative Example 1. The photoelectric conversion element of Comparative Example 1 is characterized in that light incident on the sealing material 109 from the light transmissive support 101 is not shielded by the light shielding layer 108. The photoelectric conversion element of Comparative Example 1 was produced as follows.

まず、図9に示すように、ガラスからなる光透過性支持体101上に、SnO2膜からなる導電層103が成膜されてなる幅10mm×長さ10mm×厚さ1.0mmの透明電極基板110(日本板硝子株式会社製、SnO2膜付ガラス)を用意した。 First, as shown in FIG. 9, a transparent electrode having a width of 10 mm, a length of 10 mm and a thickness of 1.0 mm, in which a conductive layer 103 made of SnO 2 film is formed on a light transmissive support 101 made of glass. A substrate 110 (manufactured by Nippon Sheet Glass Co., Ltd., glass with SnO 2 film) was prepared.

次に、図9に示すように、導電層103をレーザースクライブ法により切断することによって、スクライブライン111を形成した。   Next, as shown in FIG. 9, the scribe line 111 was formed by cutting the conductive layer 103 by a laser scribing method.

次に、多孔質半導体層のパターンを有するスクリーン板とスクリーン印刷機(ニューロング精密工業株式会社製、型番:LS−150)を用いて、市販の酸化チタンペースト(Solaronix社製、商品名:D/SP)を導電層103面内に、5.5mm×5.5mmの大きさに塗布し、室温で1時間レベリングを行なった。   Next, a commercially available titanium oxide paste (manufactured by Solaronix, trade name: D) using a screen plate having a pattern of a porous semiconductor layer and a screen printing machine (manufactured by Neurong Precision Industry Co., Ltd., model number: LS-150). / SP) was applied to the surface of the conductive layer 103 in a size of 5.5 mm × 5.5 mm and leveled at room temperature for 1 hour.

次に、得られた塗膜を80℃に設定したオーブンで20分間乾燥し、さらに500℃に設定した焼成炉(株式会社デンケン製、型番:KDF P−100)を用いて大気中で60分間焼成した。この塗布および焼成工程を2回繰り返して、膜厚11μmの多孔質半導体層を形成した。   Next, the obtained coating film was dried in an oven set at 80 ° C. for 20 minutes, and further, 60 minutes in the air using a baking furnace (model number: KDF P-100, manufactured by Denken Co., Ltd.) set at 500 ° C. Baked. This coating and baking process was repeated twice to form a porous semiconductor layer having a thickness of 11 μm.

次に、多孔質半導体層上にジルコニア粒子(平均粒経50nm)を含むペーストをスクリーン印刷機を用いて5mm×5mmに塗布し、その後、500℃、60分間で焼成を行ない、多孔質半導体層の表面から多孔質絶縁層105の上面の平坦部分までの距離(多孔質絶縁層105の膜厚)が7μmの多孔質絶縁層105を形成した。   Next, a paste containing zirconia particles (average particle size of 50 nm) is applied on the porous semiconductor layer to a size of 5 mm × 5 mm using a screen printer, and then baked at 500 ° C. for 60 minutes. A porous insulating layer 105 having a distance from the surface to the flat portion of the upper surface of the porous insulating layer 105 (film thickness of the porous insulating layer 105) was 7 μm.

次に、所定のパターンが形成されたマスクおよび蒸着装置(アネルバ株式会社製、型番:EVD500A)を用いて蒸着速度40nm/sで、多孔質絶縁層105上にPtを成膜して、触媒層106を形成した。なお、触媒層の大きさ(形状)および幅方向の位置はそれぞれ多孔質半導体層と同一にした。   Next, Pt is deposited on the porous insulating layer 105 at a deposition rate of 40 nm / s using a mask on which a predetermined pattern is formed and a vapor deposition apparatus (model number: EVD500A, manufactured by Anelva Corporation), and a catalyst layer 106 was formed. The size (shape) and the position in the width direction of the catalyst layer were the same as those of the porous semiconductor layer.

次に、所定のパターンが形成されたマスクおよび蒸着装置(アネルバ株式会社製、型番:EVD500A)を用いて蒸着速度80nm/sで、触媒層106上に膜厚400nmのチタンを成膜して、対極導電層107を形成した。   Next, a 400-nm-thick titanium film is formed on the catalyst layer 106 at a deposition rate of 80 nm / s using a mask having a predetermined pattern and a vapor deposition apparatus (model number: EVD500A, manufactured by Anelva Corporation) The counter electrode conductive layer 107 was formed.

次に、予め調製しておいた色素吸着用溶液に、上記の対極導電層107まで積層した積層体を室温で100時間浸漬し、その後、当該積層体をエタノールで洗浄し、約60℃で約5分間乾燥させて、上記の多孔質半導体層に色素を吸着させて光電変換層104を形成した。   Next, the laminate obtained by laminating the above-described counter electrode conductive layer 107 in a dye adsorption solution prepared in advance is immersed at room temperature for 100 hours, and then the laminate is washed with ethanol and about 60 ° C. After drying for 5 minutes, the dye was adsorbed on the porous semiconductor layer to form the photoelectric conversion layer 104.

ここで、色素吸着用溶液は、上記の式(3)で示される色素(Solaronix社製、商品名:Ruthenium620 1H3TBA)を濃度4×10-4モル/リットルになるように、体積比1:1のアセトニトリルとt−ブタノールとの混合溶剤に溶解させて調製した。 Here, the dye adsorption solution is a volume ratio of 1: 1 so that the dye represented by the above formula (3) (manufactured by Solaronix, trade name: Ruthenium 620 1H3TBA) has a concentration of 4 × 10 −4 mol / liter. And dissolved in a mixed solvent of acetonitrile and t-butanol.

次に、上記の積層体を含む透明電極基板110と、カバー材102を構成するガラス基板とを、積層体の周囲を囲むようにして、紫外線硬化樹脂(スリーボンド社製、型番:31X−101)からなる封止材109を用いて貼り合せ、封止材109に紫外線照射することによって、封止材109を硬化して、これらを固定した。   Next, the transparent electrode substrate 110 including the above laminate and the glass substrate constituting the cover material 102 are made of an ultraviolet curable resin (manufactured by Three Bond Co., model number: 31X-101) so as to surround the periphery of the laminate. Bonding was performed using the sealing material 109, and the sealing material 109 was irradiated with ultraviolet rays to cure the sealing material 109 and fix them.

さらに、カバー材102を構成するガラス基板に予め設けられていたキャリア輸送材注入用孔(図示せず)から、予め調製しておいたキャリア輸送材112を注入して、紫外線硬化樹脂(スリーボンド社製、型番:31X−101)を用いて電解液注入用孔を封止した。これにより、キャリア輸送材112が充填された比較例1の光電変換素子が完成した。なお、キャリア輸送材112である電解液は、実施例1と同様のものを使用した。   Further, a carrier transport material 112 prepared in advance is injected from a carrier transport material injection hole (not shown) provided in advance on a glass substrate constituting the cover material 102, and an ultraviolet curable resin (Three Bond Co., Ltd.) is injected. Electrolyte injection hole was sealed using a product number of 31X-101. Thereby, the photoelectric conversion element of Comparative Example 1 filled with the carrier transport material 112 was completed. Note that the same electrolyte solution as that of Example 1 was used as the carrier transport material 112.

その後、集電電極部としてAgペースト(藤倉化成株式会社製、商品名:ドータイト)を塗布することによって、比較例1の光電変換素子を作製した。   Then, the photoelectric conversion element of the comparative example 1 was produced by apply | coating Ag paste (Fujikura Kasei Co., Ltd. make, brand name: Dotite) as a current collection electrode part.

上記のようにして、比較例1の光電変換素子を10個作製した。これら10個の比較例1の光電変換素子のそれぞれに対して、JIS規格C8938の光照射試験A−5に基づいて、照射密度が280mW/cm2の光を500時間連続照射し、その後、目視により封止材109の劣化について外観確認を行なった。 Ten photoelectric conversion elements of Comparative Example 1 were produced as described above. Each of these ten photoelectric conversion elements of Comparative Example 1 was continuously irradiated with light having an irradiation density of 280 mW / cm 2 for 500 hours based on the light irradiation test A-5 of JIS standard C8938. Thus, the appearance of the sealing material 109 was checked for deterioration.

その結果、比較例1の光電変換素子の10個のすべての封止材109の一部からキャリア輸送材112中に気泡が侵入していることが確認された。これは、封止材109の光劣化による接着力の低下、若しくはクラックの発生により、キャリア輸送材112中の溶媒の一部が揮発したものと考えられる。したがって、比較例1の光電変換素子の電解液保持率は0%であった。この結果を表1に示す。   As a result, it was confirmed that bubbles penetrated into the carrier transport material 112 from a part of all ten sealing materials 109 of the photoelectric conversion element of Comparative Example 1. This is considered that a part of the solvent in the carrier transporting material 112 is volatilized due to a decrease in adhesive force due to light degradation of the sealing material 109 or the occurrence of cracks. Therefore, the electrolytic solution retention rate of the photoelectric conversion element of Comparative Example 1 was 0%. The results are shown in Table 1.

<比較例2>
図10に、比較例2の光電変換素子の模式的な断面図を示す。比較例2の光電変換素子は、特許文献4に記載の光電変換素子に相当する構成であって、封止材109が遮光層401の凹部を埋めるようにして設けられていない点に特徴がある。比較例2の光電変換素子は以下のようにして作製した。
<Comparative example 2>
FIG. 10 is a schematic cross-sectional view of the photoelectric conversion element of Comparative Example 2. The photoelectric conversion element of Comparative Example 2 has a configuration corresponding to the photoelectric conversion element described in Patent Document 4, and is characterized in that the sealing material 109 is not provided so as to fill the concave portion of the light shielding layer 401. . The photoelectric conversion element of Comparative Example 2 was produced as follows.

まず、図10に示すように、ガラスからなる光透過性支持体101上に、SnO2膜からなる導電層103が成膜されてなる幅10mm×長さ10mm×厚さ1.0mmの透明電極基板110(日本板硝子株式会社製、SnO2膜付ガラス)を用意した。そして、導電層103が形成されている面上に、電子ビーム蒸着法により、外辺10mm、内辺6mm、厚さ5mmの正方形状のアルミ薄膜を形成することによって、遮光層401を形成した。 First, as shown in FIG. 10, a transparent electrode having a width of 10 mm, a length of 10 mm, and a thickness of 1.0 mm, in which a conductive layer 103 made of SnO 2 film is formed on a light transmissive support 101 made of glass. A substrate 110 (manufactured by Nippon Sheet Glass Co., Ltd., glass with SnO 2 film) was prepared. Then, a light-shielding layer 401 was formed by forming a square aluminum thin film having an outer side of 10 mm, an inner side of 6 mm, and a thickness of 5 mm by an electron beam evaporation method on the surface on which the conductive layer 103 is formed.

その後は、比較例1と同様の方法を用いて、比較例2の光電変換素子を10個作製した。   Thereafter, ten photoelectric conversion elements of Comparative Example 2 were produced using the same method as Comparative Example 1.

上記のようにして、比較例2の光電変換素子を10個作製した。これら10個の比較例2の光電変換素子のそれぞれに対して、JIS規格C8938の光照射試験A−5に基づいて、照射密度が280mW/cm2の光を500時間連続照射し、その後、目視により封止材109の劣化について外観確認を行なった。 Ten photoelectric conversion elements of Comparative Example 2 were produced as described above. Each of these ten photoelectric conversion elements of Comparative Example 2 was continuously irradiated with light having an irradiation density of 280 mW / cm 2 for 500 hours based on the light irradiation test A-5 of JIS standard C8938, and then visually observed. Thus, the appearance of the sealing material 109 was checked for deterioration.

その結果、比較例2の光電変換素子の3個の封止材109の一部からキャリア輸送材112中に気泡が侵入していることが確認された。これは、封止材109の光劣化による接着力の低下、若しくはクラックの発生により、キャリア輸送材112中の溶媒の一部が揮発したものと考えられる。したがって、比較例2の光電変換素子の電解液保持率は70%であった。この結果を表1に示す。   As a result, it was confirmed that bubbles penetrated into the carrier transport material 112 from a part of the three sealing materials 109 of the photoelectric conversion element of Comparative Example 2. This is considered that a part of the solvent in the carrier transporting material 112 is volatilized due to a decrease in adhesive force due to light degradation of the sealing material 109 or the occurrence of cracks. Therefore, the electrolytic solution retention rate of the photoelectric conversion element of Comparative Example 2 was 70%. The results are shown in Table 1.

<比較例3>
図9に、比較例3の光電変換素子の模式的な断面図を示す。比較例3の光電変換素子はスパッタリング法により厚さ500nmのITO膜からなる対極導電層107を形成したこと以外は、比較例1と同様にして作製した。
<Comparative Example 3>
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of the photoelectric conversion element of Comparative Example 3. The photoelectric conversion element of Comparative Example 3 was produced in the same manner as Comparative Example 1 except that the counter electrode conductive layer 107 made of an ITO film having a thickness of 500 nm was formed by sputtering.

上記のようにして、比較例3の光電変換素子を10個作製した。これら10個の比較例3の光電変換素子のそれぞれに対して、JIS規格C8938の光照射試験A−5に基づいて、照射密度が280mW/cm2の光を500時間連続照射し、その後、目視により封止材109の劣化について外観確認を行なった。 Ten photoelectric conversion elements of Comparative Example 3 were produced as described above. Each of these ten photoelectric conversion elements of Comparative Example 3 was continuously irradiated with light having an irradiation density of 280 mW / cm 2 for 500 hours based on the light irradiation test A-5 of JIS standard C8938. Thus, the appearance of the sealing material 109 was checked for deterioration.

その結果、比較例3の光電変換素子の10個のすべての封止材109の一部からキャリア輸送材112中に気泡が侵入していることが確認された。これは、封止材109の光劣化による接着力の低下、若しくはクラックの発生により、キャリア輸送材112中の溶媒の一部が揮発したものと考えられる。したがって、比較例3の光電変換素子の電解液保持率は0%であった。この結果を表1に示す。   As a result, it was confirmed that bubbles penetrated into the carrier transport material 112 from a part of all ten sealing materials 109 of the photoelectric conversion element of Comparative Example 3. This is considered that a part of the solvent in the carrier transporting material 112 is volatilized due to a decrease in adhesive force due to light degradation of the sealing material 109 or the occurrence of cracks. Therefore, the electrolytic solution retention rate of the photoelectric conversion element of Comparative Example 3 was 0%. The results are shown in Table 1.

<実施例4>
図6に、実施例4の光電変換素子の模式的な断面図を示す。実施例4の光電変換モジュールは以下のようにして作製した。
<Example 4>
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of the photoelectric conversion element of Example 4. The photoelectric conversion module of Example 4 was produced as follows.

まず、図6に示すように、ガラスからなる光透過性支持体101上に、SnO2膜からなる導電層103が成膜されてなる幅50mm×長さ50mm×厚さ4.0mmの透明電極基板110(日本板硝子株式会社製、SnO2膜付ガラス)を用意した。 First, as shown in FIG. 6, a transparent electrode having a width of 50 mm, a length of 50 mm, and a thickness of 4.0 mm, in which a conductive layer 103 made of SnO 2 film is formed on a light transmissive support 101 made of glass. A substrate 110 (manufactured by Nippon Sheet Glass Co., Ltd., glass with SnO 2 film) was prepared.

次に、図6に示すように、導電層103をレーザースクライブ法により切断することによって、スクライブライン111を形成した。   Next, as shown in FIG. 6, the scribe line 111 was formed by cutting the conductive layer 103 by a laser scribe method.

次に、多孔質半導体層のパターンを有するスクリーン板とスクリーン印刷機(ニューロング精密工業株式会社製、型番:LS−150)を用いて、市販の酸化チタンペースト(Solaronix社製、商品名:D/SP)を導電層103面内に、5.5mm×45mmの大きさで7直列になるよう塗布し、室温で1時間レベリングを行なった。   Next, a commercially available titanium oxide paste (manufactured by Solaronix, trade name: D) using a screen plate having a pattern of a porous semiconductor layer and a screen printing machine (manufactured by Neurong Precision Industry Co., Ltd., model number: LS-150). / SP) was applied to the surface of the conductive layer 103 in a series of 5.5 mm × 45 mm in 7 series, and leveled at room temperature for 1 hour.

次に、得られた塗膜を80℃に設定したオーブンで20分間乾燥し、さらに500℃に設定した焼成炉(株式会社デンケン製、型番:KDF P−100)を用いて大気中で60分間焼成した。この塗布および焼成工程を2回繰り返して、膜厚11μmの多孔質半導体層を形成した。   Next, the obtained coating film was dried in an oven set at 80 ° C. for 20 minutes, and further, 60 minutes in the air using a baking furnace (model number: KDF P-100, manufactured by Denken Co., Ltd.) set at 500 ° C. Baked. This coating and baking process was repeated twice to form a porous semiconductor layer having a thickness of 11 μm.

次に、多孔質半導体層上にジルコニア粒子(平均粒経50nm)を含むペーストをスクリーン印刷機を用いて5.5mm×45mmに塗布し、その後、500℃、60分間で焼成を行ない、多孔質半導体層の表面から多孔質絶縁層105の上面の平坦部分までの距離(多孔質絶縁層105の膜厚)が7μmの多孔質絶縁層105を形成した。   Next, a paste containing zirconia particles (average particle size of 50 nm) is applied to the porous semiconductor layer to 5.5 mm × 45 mm using a screen printer, and then fired at 500 ° C. for 60 minutes to obtain a porous material. A porous insulating layer 105 having a distance from the surface of the semiconductor layer to the flat portion on the upper surface of the porous insulating layer 105 (film thickness of the porous insulating layer 105) was 7 μm.

次に、所定のパターンが形成されたマスクおよび蒸着装置(アネルバ株式会社製、型番:EVD500A)を用いて蒸着速度40nm/sで、多孔質絶縁層105上にPtを成膜して、触媒層106を形成した。   Next, Pt is deposited on the porous insulating layer 105 at a deposition rate of 40 nm / s using a mask on which a predetermined pattern is formed and a vapor deposition apparatus (model number: EVD500A, manufactured by Anelva Corporation), and a catalyst layer 106 was formed.

次に、所定のパターンが形成されたマスクおよび蒸着装置(アネルバ株式会社製、型番:EVD500A)を用いて蒸着速度80nm/sで、多孔質半導体層と多孔質絶縁層105との積層体を含む全面に対して、触媒層106上に膜厚400nmのチタンを成膜した。その後、図6に示す位置に、スクライブライン113をレーザスクライブ法により形成することによって、遮光層108を形成した。   Next, a stack of a porous semiconductor layer and a porous insulating layer 105 is included at a deposition rate of 80 nm / s using a mask on which a predetermined pattern is formed and a deposition apparatus (model number: EVD500A manufactured by Anelva Corporation). A titanium film having a thickness of 400 nm was formed on the catalyst layer 106 over the entire surface. Then, the light shielding layer 108 was formed by forming the scribe line 113 by the laser scribing method in the position shown in FIG.

次に、予め調製しておいた色素吸着用溶液に、上記の遮光層108まで積層した積層体を室温で100時間浸漬し、その後、当該積層体をエタノールで洗浄し、約60℃で約5分間乾燥させて、上記の多孔質半導体層に色素を吸着させて光電変換層104を形成した。   Next, the laminate obtained by laminating the light shielding layer 108 in a dye adsorbing solution prepared in advance is immersed for 100 hours at room temperature, and then the laminate is washed with ethanol and about 5 at about 60 ° C. After drying for a minute, the photoelectric conversion layer 104 was formed by adsorbing the dye to the porous semiconductor layer.

ここで、色素吸着用溶液は、上記の式(3)で示される色素(Solaronix社製、商品名:Ruthenium620 1H3TBA)を濃度4×10-4モル/リットルになるように、体積比1:1のアセトニトリルとt−ブタノールとの混合溶剤に溶解させて調製した。 Here, the dye adsorption solution is a volume ratio of 1: 1 so that the dye represented by the above formula (3) (manufactured by Solaronix, trade name: Ruthenium 620 1H3TBA) has a concentration of 4 × 10 −4 mol / liter. And dissolved in a mixed solvent of acetonitrile and t-butanol.

次に、上記の積層体を含む透明電極基板110と、カバー材102を構成するガラス基板とを、積層体の周囲を囲むようにして、紫外線硬化樹脂(スリーボンド社製、型番:31X−101)からなる封止材109を用いて貼り合せ、封止材109に紫外線照射することによって、封止材109を硬化して、これらを固定した。   Next, the transparent electrode substrate 110 including the above laminate and the glass substrate constituting the cover material 102 are made of an ultraviolet curable resin (manufactured by Three Bond Co., model number: 31X-101) so as to surround the periphery of the laminate. Bonding was performed using the sealing material 109, and the sealing material 109 was irradiated with ultraviolet rays to cure the sealing material 109 and fix them.

ただし、カバー材102と積層体を含む透明電極基板110とを固定する際、隔壁部201と積層体と間に形成された凹部に、紫外線硬化樹脂からなる封止材109が設置されるように位置合わせを行ない、封止材109に紫外線を照射することによって封止材109を硬化して、これらを固定した。   However, when the cover material 102 and the transparent electrode substrate 110 including the laminate are fixed, the sealing material 109 made of an ultraviolet curable resin is installed in the recess formed between the partition wall 201 and the laminate. The alignment was performed, and the sealing material 109 was cured by irradiating the sealing material 109 with ultraviolet rays, and these were fixed.

さらに、カバー材102を構成するガラス基板に予め設けられていたキャリア輸送材注入用孔(図示せず)から、予め調製しておいたキャリア輸送材112を注入して、紫外線硬化樹脂(スリーボンド社製、型番:31X−101)を用いて電解液注入用孔を封止した。これにより、キャリア輸送材112が充填された実施例4の光電変換素子モジュールが完成した。なお、キャリア輸送材112である電解液は、実施例1と同様のものを使用した。   Further, a carrier transport material 112 prepared in advance is injected from a carrier transport material injection hole (not shown) provided in advance on a glass substrate constituting the cover material 102, and an ultraviolet curable resin (Three Bond Co., Ltd.) is injected. Electrolyte injection hole was sealed using a product number of 31X-101. Thereby, the photoelectric conversion element module of Example 4 filled with the carrier transport material 112 was completed. Note that the same electrolyte solution as that of Example 1 was used as the carrier transport material 112.

上記のようにして、実施例4の光電変換素子モジュールを10個作製した。これら10個の実施例4の光電変換素子モジュールのそれぞれに対して、JIS規格C8938の光照射試験A−5に基づいて、照射密度が280mW/cm2の光を500時間連続照射し、その後、目視により封止材109の劣化について外観確認を行なった。 Ten photoelectric conversion element modules of Example 4 were produced as described above. Based on the light irradiation test A-5 of JIS standard C8938, each of these ten photoelectric conversion element modules of Example 4 was continuously irradiated with light having an irradiation density of 280 mW / cm 2 for 500 hours. The appearance of the sealing material 109 was visually checked for deterioration.

その結果、実施例4の光電変換素子モジュールの10個のすべての封止材109において、気泡が侵入している等の変化は見られなかったため、実施例4の光電変換素子モジュールの電解液保持率は100%であった。この結果を表1に示す。   As a result, in all ten sealing materials 109 of the photoelectric conversion element module of Example 4, no change such as bubbles invading was observed. Therefore, the electrolytic solution holding of the photoelectric conversion element module of Example 4 The rate was 100%. The results are shown in Table 1.

<比較例4>
図11に、比較例4の光電変換素子モジュールの模式的な断面図を示す。比較例4の光電変換素子モジュールは、封止材109が遮光層108の凹部を埋めるようにして設けられていないことを特徴としている。
<Comparative example 4>
FIG. 11 is a schematic cross-sectional view of the photoelectric conversion element module of Comparative Example 4. The photoelectric conversion element module of Comparative Example 4 is characterized in that the sealing material 109 is not provided so as to fill the concave portion of the light shielding layer 108.

まず、図11に示すように、ガラスからなる光透過性支持体101上に、SnO2膜からなる導電層103が成膜されてなる幅50mm×長さ50mm×厚さ4.0mmの透明電極基板110(日本板硝子株式会社製、SnO2膜付ガラス)を用意した。 First, as shown in FIG. 11, a transparent electrode having a width of 50 mm × a length of 50 mm × a thickness of 4.0 mm, in which a conductive layer 103 made of SnO 2 film is formed on a light-transmitting support 101 made of glass. A substrate 110 (manufactured by Nippon Sheet Glass Co., Ltd., glass with SnO 2 film) was prepared.

次に、図11に示すように、導電層103をレーザースクライブ法により切断することによって、スクライブライン111を形成した。   Next, as shown in FIG. 11, the scribe line 111 was formed by cutting the conductive layer 103 by a laser scribing method.

次に、多孔質半導体層のパターンを有するスクリーン板とスクリーン印刷機(ニューロング精密工業株式会社製、型番:LS−150)を用いて、市販の酸化チタンペースト(Solaronix社製、商品名:D/SP)を導電層103面内に、5.5mm×45mmの大きさで7直列になるよう塗布し、室温で1時間レベリングを行なった。   Next, a commercially available titanium oxide paste (manufactured by Solaronix, trade name: D) using a screen plate having a pattern of a porous semiconductor layer and a screen printing machine (manufactured by Neurong Precision Industry Co., Ltd., model number: LS-150). / SP) was applied to the surface of the conductive layer 103 in a series of 5.5 mm × 45 mm in 7 series, and leveled at room temperature for 1 hour.

次に、得られた塗膜を80℃に設定したオーブンで20分間乾燥し、さらに500℃に設定した焼成炉(株式会社デンケン製、型番:KDF P−100)を用いて大気中で60分間焼成した。この塗布および焼成工程を2回繰り返して、膜厚11μmの多孔質半導体層を形成した。   Next, the obtained coating film was dried in an oven set at 80 ° C. for 20 minutes, and further, 60 minutes in the air using a baking furnace (model number: KDF P-100, manufactured by Denken Co., Ltd.) set at 500 ° C. Baked. This coating and baking process was repeated twice to form a porous semiconductor layer having a thickness of 11 μm.

次に、多孔質半導体層上にジルコニア粒子(平均粒経50nm)を含むペーストをスクリーン印刷機を用いて5.5mm×45mmに塗布し、その後、500℃、60分間で焼成を行ない、多孔質半導体層の表面から多孔質絶縁層105の上面の平坦部分までの距離(多孔質絶縁層105の膜厚)が7μmの多孔質絶縁層105を形成した。   Next, a paste containing zirconia particles (average particle size of 50 nm) is applied to the porous semiconductor layer to 5.5 mm × 45 mm using a screen printer, and then fired at 500 ° C. for 60 minutes to obtain a porous material. A porous insulating layer 105 having a distance from the surface of the semiconductor layer to the flat portion on the upper surface of the porous insulating layer 105 (film thickness of the porous insulating layer 105) was 7 μm.

次に、所定のパターンが形成されたマスクおよび蒸着装置(アネルバ株式会社製、型番:EVD500A)を用いて蒸着速度40nm/sで、多孔質絶縁層105上にPtを成膜して、触媒層106を形成した。   Next, Pt is deposited on the porous insulating layer 105 at a deposition rate of 40 nm / s using a mask on which a predetermined pattern is formed and a vapor deposition apparatus (model number: EVD500A, manufactured by Anelva Corporation), and a catalyst layer 106 was formed.

次に、所定のパターンが形成されたマスクおよび蒸着装置(アネルバ株式会社製、型番:EVD500A)を用いて蒸着速度80nm/sで、多孔質半導体層と多孔質絶縁層105との積層体を含む全面に対して、触媒層106上に膜厚400nmのチタンを成膜して、遮光層108を形成した。   Next, a stack of a porous semiconductor layer and a porous insulating layer 105 is included at a deposition rate of 80 nm / s using a mask on which a predetermined pattern is formed and a deposition apparatus (model number: EVD500A manufactured by Anelva Corporation). Over the entire surface, titanium having a thickness of 400 nm was formed on the catalyst layer 106 to form the light shielding layer 108.

次に、予め調製しておいた色素吸着用溶液に、上記の遮光層108まで積層した積層体を室温で100時間浸漬し、その後、当該積層体をエタノールで洗浄し、約60℃で約5分間乾燥させて、上記の多孔質半導体層に色素を吸着させて光電変換層104を形成した。   Next, the laminate obtained by laminating the light shielding layer 108 in a dye adsorbing solution prepared in advance is immersed for 100 hours at room temperature, and then the laminate is washed with ethanol and about 5 at about 60 ° C. After drying for a minute, the photoelectric conversion layer 104 was formed by adsorbing the dye to the porous semiconductor layer.

ここで、色素吸着用溶液は、上記の式(3)で示される色素(Solaronix社製、商品名:Ruthenium620 1H3TBA)を濃度4×10-4モル/リットルになるように、体積比1:1のアセトニトリルとt−ブタノールとの混合溶剤に溶解させて調製した。 Here, the dye adsorption solution is a volume ratio of 1: 1 so that the dye represented by the above formula (3) (manufactured by Solaronix, trade name: Ruthenium 620 1H3TBA) has a concentration of 4 × 10 −4 mol / liter. And dissolved in a mixed solvent of acetonitrile and t-butanol.

次に、上記の積層体を含む透明電極基板110と、カバー材102を構成するガラス基板とを、積層体の周囲を囲むようにして、紫外線硬化樹脂(スリーボンド社製、型番:31X−101)からなる封止材109を用いて貼り合せ、封止材109に紫外線照射することによって、封止材109を硬化して、これらを固定した。   Next, the transparent electrode substrate 110 including the above laminate and the glass substrate constituting the cover material 102 are made of an ultraviolet curable resin (manufactured by Three Bond Co., model number: 31X-101) so as to surround the periphery of the laminate. Bonding was performed using the sealing material 109, and the sealing material 109 was irradiated with ultraviolet rays to cure the sealing material 109 and fix them.

さらに、カバー材102を構成するガラス基板に予め設けられていたキャリア輸送材注入用孔(図示せず)から、予め調製しておいたキャリア輸送材112を注入して、紫外線硬化樹脂(スリーボンド社製、型番:31X−101)を用いて電解液注入用孔を封止した。これにより、キャリア輸送材112が充填された実施例4の光電変換素子モジュールが完成した。なお、キャリア輸送材112である電解液は、実施例1と同様のものを使用した。   Further, a carrier transport material 112 prepared in advance is injected from a carrier transport material injection hole (not shown) provided in advance on a glass substrate constituting the cover material 102, and an ultraviolet curable resin (Three Bond Co., Ltd.) is injected. Electrolyte injection hole was sealed using a product number of 31X-101. Thereby, the photoelectric conversion element module of Example 4 filled with the carrier transport material 112 was completed. Note that the same electrolyte solution as that of Example 1 was used as the carrier transport material 112.

上記のようにして、比較例4の光電変換素子モジュールを10個作製した。これら10個の比較例4の光電変換素子モジュールのそれぞれに対して、JIS規格C8938の光照射試験A−5に基づいて、照射密度が280mW/cm2の光を500時間連続照射し、その後、目視により封止材109の劣化について外観確認を行なった。 Ten photoelectric conversion element modules of Comparative Example 4 were produced as described above. Based on the light irradiation test A-5 of JIS standard C8938, each of these ten photoelectric conversion element modules of Comparative Example 4 was continuously irradiated with light having an irradiation density of 280 mW / cm 2 for 500 hours. The appearance of the sealing material 109 was visually checked for deterioration.

その結果、比較例4の光電変換素子モジュールの10個のすべての封止材109の一部からキャリア輸送材112中に気泡が侵入していることが確認された。これは、封止材109の光劣化による接着力の低下、若しくはクラックの発生により、キャリア輸送材112中の溶媒の一部が揮発したものと考えられる。したがって、比較例4の光電変換素子モジュールの電解液保持率は0%であった。この結果を表1に示す。   As a result, it was confirmed that bubbles penetrated into the carrier transport material 112 from a part of all ten sealing materials 109 of the photoelectric conversion element module of Comparative Example 4. This is considered that a part of the solvent in the carrier transporting material 112 is volatilized due to a decrease in adhesive force due to light degradation of the sealing material 109 or the occurrence of cracks. Therefore, the electrolytic solution retention rate of the photoelectric conversion element module of Comparative Example 4 was 0%. The results are shown in Table 1.

<結果>
表1に示すように、JIS規格C8938の光照射試験A−5に基づいた280mW/cm2の500時間連続光照射に対して、実施例1〜3の光電変換素子および実施例4の光電変換素子モジュールの方が、比較例1〜3の光電変換素子および比較例4の光電変換素子モジュールよりも、封止材109の電解液保持率が高くなることが確認された。これは、実施例1〜3の光電変換素子および実施例4の光電変換素子モジュールにおいては、封止材109が遮光層108の凹部を埋めるようにして設けられており、封止材109の光入射面のすべてが遮光層108で覆われているが、比較例1〜3の光電変換素子および比較例4の光電変換素子モジュールでは、このような構成を有していないためであると考えられる。
<Result>
As shown in Table 1, the photoelectric conversion elements of Examples 1 to 3 and the photoelectric conversion of Example 4 were performed for 500 hours of continuous light irradiation of 280 mW / cm 2 based on the light irradiation test A-5 of JIS standard C8938. It was confirmed that the element module has a higher electrolyte solution retention rate of the sealing material 109 than the photoelectric conversion elements of Comparative Examples 1 to 3 and the photoelectric conversion element module of Comparative Example 4. In the photoelectric conversion elements of Examples 1 to 3 and the photoelectric conversion element module of Example 4, the sealing material 109 is provided so as to fill the concave portion of the light shielding layer 108. Although all the incident surfaces are covered with the light shielding layer 108, it is considered that the photoelectric conversion elements of Comparative Examples 1 to 3 and the photoelectric conversion element module of Comparative Example 4 do not have such a configuration. .

また、実施例1〜3の光電変換素子および実施例4の光電変換素子モジュールにおいては、光電変換層104への光の入射が遮光層108によって遮光されていないため、光電変換層104に入射する光量の低減による光電変換効率の低下を抑えることもできる。   Further, in the photoelectric conversion elements of Examples 1 to 3 and the photoelectric conversion element module of Example 4, the light incident on the photoelectric conversion layer 104 is not shielded by the light shielding layer 108, and therefore enters the photoelectric conversion layer 104. A decrease in photoelectric conversion efficiency due to a reduction in the amount of light can also be suppressed.

Figure 0006009204
Figure 0006009204

以上のように本発明の実施の形態および実施例について説明を行なったが、上述の実施の形態および各実施例の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。   Although the embodiments and examples of the present invention have been described above, it is also planned from the beginning to appropriately combine the configurations of the above-described embodiments and examples.

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図している。   It should be understood that the embodiments and examples disclosed herein are illustrative and non-restrictive in every respect. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明は、光電変換素子、光電変換素子の製造方法および光電変換素子モジュールに利用することができ、特に、色素増感太陽電池や量子ドット増感太陽電池などの光電変換素子、光電変換素子の製造方法および光電変換素子モジュールに利用することができる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for a photoelectric conversion element, a method for manufacturing a photoelectric conversion element, and a photoelectric conversion element module, and in particular, a photoelectric conversion element such as a dye-sensitized solar cell or a quantum dot-sensitized solar cell, and a photoelectric conversion element. It can utilize for a manufacturing method and a photoelectric conversion element module.

101 光透過性支持体、102 カバー材、103 導電層、104 光電変換層、105 多孔質絶縁層、106 触媒層、107 対極導電層、108 遮光層、109 封止材、110 透明電極基板、111,113 スクライブライン、112 キャリア輸送材、201 隔壁部、401 遮光層。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 Light transmissive support body, 102 Cover material, 103 Conductive layer, 104 Photoelectric conversion layer, 105 Porous insulating layer, 106 Catalyst layer, 107 Counter electrode conductive layer, 108 Light shielding layer, 109 Sealing material, 110 Transparent electrode substrate, 111 , 113 scribe line, 112 carrier transport material, 201 partition wall, 401 light shielding layer.

Claims (7)

光透過性支持体とカバー材との間に、
前記光透過性支持体上に設けられた第1の導電層と、
前記第1の導電層上に設けられた光電変換層と、
前記光電変換層の上面から前記光電変換層の側面および前記光透過性支持体上に設けられた多孔質絶縁層と、
前記多孔質絶縁層の上面に設けられた触媒層と、
前記光透過性支持体上に設けられ、かつ前記多孔質絶縁層によって前記第1の導電層と絶縁された第2の導電層と、
前記触媒層上から前記多孔質絶縁層の側面および前記第2の導電層まで延びて設けられた対極導電層と、
前記対極導電層上に設けられた遮光層と、
前記遮光層上から前記カバー材との間に設けられた封止材と、
前記光透過性支持体と前記カバー材との間の前記封止材で仕切られた領域に充填されたキャリア輸送材とを備え
前記遮光層によって形成された凹部に前記封止材が存在している、光電変換素子。
Between the light transmissive support and the cover material,
A first conductive layer provided on the light transmissive support;
A photoelectric conversion layer provided on the first conductive layer;
A porous insulating layer provided on the side surface of the photoelectric conversion layer from the upper surface of the photoelectric conversion layer and the light-transmitting support;
A catalyst layer provided on the upper surface of the porous insulating layer;
A second conductive layer provided on the light transmissive support and insulated from the first conductive layer by the porous insulating layer;
A counter electrode conductive layer provided extending from the catalyst layer to a side surface of the porous insulating layer and the second conductive layer;
A light shielding layer provided on the counter electrode conductive layer;
A sealing material provided between the light shielding layer and the cover material;
A carrier transport material filled in a region partitioned by the sealing material between the light transmissive support and the cover material ;
A photoelectric conversion element , wherein the sealing material is present in a recess formed by the light shielding layer .
前記遮光層は、前記封止材が吸収する波長領域の光の少なくとも一部を遮光する、請求項に記載の光電変換素子。 The photoelectric conversion element according to claim 1 , wherein the light shielding layer shields at least part of light in a wavelength region absorbed by the sealing material. 前記第2の導電層上に隔壁部を設け、
前記遮光層が前記対極導電層上から前記隔壁部の側面にまで延びて設けられている、請求項1または請求項2に記載の光電変換素子。
Providing a partition wall on the second conductive layer;
The photoelectric conversion element of Claim 1 or Claim 2 with which the said light shielding layer is extended and provided to the side surface of the said partition part from the said counter electrode conductive layer.
前記多孔質絶縁層が傾斜している側面を有し、
前記対極導電層が前記多孔質絶縁層の傾斜している側面上に設けられている、請求項1から請求項のいずれか1項に記載の光電変換素子。
The porous insulating layer has an inclined side surface;
The photoelectric conversion element according to any one of claims 1 to 3 , wherein the counter electrode conductive layer is provided on an inclined side surface of the porous insulating layer.
光透過性支持体とカバー材との間に、
前記光透過性支持体上に設けられた第1の導電層と、
前記第1の導電層上に設けられた第1の光電変換層と、
前記第1の光電変換層の上面、前記第1の光電変換層の側面、および前記光透過性支持体上に設けられた第1の多孔質絶縁層と、
前記第1の多孔質絶縁層上に設けられた第1の触媒層と、
前記光透過性支持体上に設けられ、かつ前記第1の多孔質絶縁層によって前記第1の導電層と絶縁された第2の導電層と、
前記第2の導電層上に設けられた第2の光電変換層と、
前記第2の光電変換層の上面および前記第2の光電変換層の側面に設けられた第2の多孔質絶縁層と、
前記第2の多孔質絶縁層上に設けられた第2の触媒層と、
前記第1の触媒層の上面から前記第1の多孔質絶縁層の側面上、前記第2の導電層および前記第1の多孔質絶縁層の側面と対向している第2の多孔質絶縁層の側面上にまで延びて設けられた対極導電層と、
前記対極導電層上に設けられた遮光層と、
前記遮光層上から前記カバー材までの間に設けられた封止材と、
前記光透過性支持体と前記カバー材との間の前記封止材で仕切られた領域に充填されたキャリア輸送材とを備え
前記遮光層によって形成された凹部に前記封止材が存在している、光電変換素子モジュール。
Between the light transmissive support and the cover material,
A first conductive layer provided on the light transmissive support;
A first photoelectric conversion layer provided on the first conductive layer;
An upper surface of the first photoelectric conversion layer, a side surface of the first photoelectric conversion layer, and a first porous insulating layer provided on the light-transmissive support;
A first catalyst layer provided on the first porous insulating layer;
A second conductive layer provided on the light transmissive support and insulated from the first conductive layer by the first porous insulating layer;
A second photoelectric conversion layer provided on the second conductive layer;
A second porous insulating layer provided on an upper surface of the second photoelectric conversion layer and a side surface of the second photoelectric conversion layer;
A second catalyst layer provided on the second porous insulating layer;
A second porous insulating layer facing from the upper surface of the first catalyst layer to the side surface of the first porous insulating layer and the side surfaces of the second conductive layer and the first porous insulating layer A counter electrode conductive layer provided extending to the side surface of
A light shielding layer provided on the counter electrode conductive layer;
A sealing material provided between the light shielding layer and the cover material;
A carrier transport material filled in a region partitioned by the sealing material between the light transmissive support and the cover material ;
The photoelectric conversion element module in which the said sealing material exists in the recessed part formed of the said light shielding layer .
光透過性支持体とカバー材との間に、
前記光透過性支持体上に設けられた第1の導電層と、
前記第1の導電層上に設けられた第1の光電変換層と、
前記第1の光電変換層の上面、前記第1の光電変換層の側面、および前記光透過性支持体上に設けられた第1の多孔質絶縁層と、
前記第1の多孔質絶縁層上に設けられた第1の触媒層と、
前記光透過性支持体上に設けられ、かつ前記第1の多孔質絶縁層によって前記第1の導電層と絶縁された第2の導電層と、
前記第2の導電層上に設けられた第2の光電変換層と、
前記第2の光電変換層の上面および前記第2の光電変換層の側面に設けられた第2の多孔質絶縁層と、
前記第2の多孔質絶縁層上に設けられた第2の触媒層と、
前記第1の触媒層の上面から前記第1の多孔質絶縁層の側面上および前記第2の導電層にまで延びて設けられた対極導電層と、
前記対極導電層上から前記第2の導電層および前記第1の多孔質絶縁層の側面に対向する前記第2の多孔質絶縁層の側面にまで延びて設けられた遮光層とを備え、
前記遮光層上から前記カバー材との間に設けられた封止材と、
前記光透過性支持体と前記カバー材との間の前記封止材で仕切られた領域に充填されたキャリア輸送材とを備えた、光電変換素子モジュール。
Between the light transmissive support and the cover material,
A first conductive layer provided on the light transmissive support;
A first photoelectric conversion layer provided on the first conductive layer;
An upper surface of the first photoelectric conversion layer, a side surface of the first photoelectric conversion layer, and a first porous insulating layer provided on the light-transmissive support;
A first catalyst layer provided on the first porous insulating layer;
A second conductive layer provided on the light transmissive support and insulated from the first conductive layer by the first porous insulating layer;
A second photoelectric conversion layer provided on the second conductive layer;
A second porous insulating layer provided on an upper surface of the second photoelectric conversion layer and a side surface of the second photoelectric conversion layer;
A second catalyst layer provided on the second porous insulating layer;
A counter electrode conductive layer provided extending from the upper surface of the first catalyst layer to a side surface of the first porous insulating layer and to the second conductive layer;
A light shielding layer provided extending from the counter electrode conductive layer to the side surface of the second porous insulating layer facing the side surfaces of the second conductive layer and the first porous insulating layer,
A sealing material provided between the light shielding layer and the cover material;
A photoelectric conversion element module comprising a carrier transport material filled in a region partitioned by the sealing material between the light transmissive support and the cover material.
光透過性支持体上に導電層を形成する工程と、
前記導電層を分離し、第1の導電層と第2の導電層とを形成する工程と、
前記第1の導電層上に光電変換層を形成する工程と、
前記光電変換層の表面を覆うようにして多孔質絶縁層を形成する工程と、
前記多孔質絶縁層上に触媒層を形成する工程と、
前記触媒層上から前記多孔質絶縁層の側面および前記第2の導電層まで延びた対極導電層を形成する工程と、
前記対極導電層上に遮光層を形成する工程と、
前記遮光層上に封止材を設置する工程と、
前記封止材上にカバー材を設置する工程と、
前記光透過性支持体と前記カバー材との間の前記封止材で仕切られた領域にキャリア輸送材を充填する工程と、を含み、
前記遮光層によって形成された凹部に前記封止材が存在している、光電変換素子の製造方法。
Forming a conductive layer on the light transmissive support;
Separating the conductive layer to form a first conductive layer and a second conductive layer;
Forming a photoelectric conversion layer on the first conductive layer;
Forming a porous insulating layer so as to cover the surface of the photoelectric conversion layer;
Forming a catalyst layer on the porous insulating layer;
Forming a counter electrode conductive layer extending from above the catalyst layer to a side surface of the porous insulating layer and the second conductive layer;
Forming a light shielding layer on the counter electrode conductive layer;
Installing a sealing material on the light shielding layer;
Installing a cover material on the sealing material;
See containing and a step of filling a carrier transporting material in the region partitioned by the sealing material between the cover member and the light transmissive support,
A method for manufacturing a photoelectric conversion element , wherein the sealing material is present in a recess formed by the light shielding layer .
JP2012096364A 2012-04-20 2012-04-20 Photoelectric conversion element, method for manufacturing photoelectric conversion element, and photoelectric conversion element module Expired - Fee Related JP6009204B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012096364A JP6009204B2 (en) 2012-04-20 2012-04-20 Photoelectric conversion element, method for manufacturing photoelectric conversion element, and photoelectric conversion element module

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012096364A JP6009204B2 (en) 2012-04-20 2012-04-20 Photoelectric conversion element, method for manufacturing photoelectric conversion element, and photoelectric conversion element module

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013225389A JP2013225389A (en) 2013-10-31
JP6009204B2 true JP6009204B2 (en) 2016-10-19

Family

ID=49595328

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012096364A Expired - Fee Related JP6009204B2 (en) 2012-04-20 2012-04-20 Photoelectric conversion element, method for manufacturing photoelectric conversion element, and photoelectric conversion element module

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6009204B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109768169A (en) * 2019-01-15 2019-05-17 新疆交通建设集团股份有限公司 Iron carbonyl quantum dot perovskite light-absorption layer and preparation method thereof

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5046630B2 (en) * 2006-12-07 2012-10-10 シャープ株式会社 Photoelectric conversion element and dye-sensitized solar cell
JP5288598B2 (en) * 2008-07-29 2013-09-11 国立大学法人九州工業大学 Dye-sensitized solar cell and method for producing the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP2013225389A (en) 2013-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4523549B2 (en) Dye-sensitized solar cell and dye-sensitized solar cell module
JP5273709B2 (en) Dye-sensitized solar cell, method for producing the same, and dye-sensitized solar cell module
JP4761327B2 (en) Wet solar cell and wet solar cell module
WO2010044445A1 (en) Dye-sensitized solar cell and dye-sensitized solar cell module
JP5714005B2 (en) Wet solar cell and wet solar cell module
JP2012009374A (en) Dye-sensitized solar cell and its manufacturing method, and dye-sensitized solar cell module
JP5922242B2 (en) Photoelectric conversion element, method for manufacturing the same, photoelectric conversion element module, and method for manufacturing the same
WO2013164967A1 (en) Photoelectric conversion element and photoelectric conversion module
JP6594313B2 (en) Photoelectric conversion element and photoelectric conversion element module including the same
JP2014238969A (en) Solar battery
JP6009204B2 (en) Photoelectric conversion element, method for manufacturing photoelectric conversion element, and photoelectric conversion element module
JP6050247B2 (en) Wet solar cell and wet solar cell module
JP5930970B2 (en) Photoelectric conversion element and photoelectric conversion element module
JP5956929B2 (en) Photoelectric conversion element and manufacturing method thereof
WO2013024642A1 (en) Photoelectric conversion element
WO2013114733A1 (en) Photoelectric conversion element module
WO2013161557A1 (en) Photoelectric conversion element module and method for manufacturing same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150401

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160210

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160216

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160407

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160614

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160802

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160823

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160914

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6009204

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees