JP5983039B2 - 電気的特性測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、被測定体の電気的な特性を、位置を変えながら測定するための電気的特性測定装置に関するものである。

電気的な特性を測定するセンサ装置として、装置内に配置された状態で測定するものが特許文献１，２に記載されている。この特許文献１，２に記載の従来のセンサ装置は、開閉器に内蔵されたものである。
特許文献１，２に記載の従来のセンサ装置では、測定箇所が固定されるため、様々な被測定体の電気的特性を測定したり、広い範囲を探索するように測定したりする場合には、不向きである。それぞれの被測定体の測定箇所の位置を変えながら測定するには、被測定体に接触させる測定部が軽量な方が好適である。

このような電気的特性測定装置として特許文献３に記載されたものが知られている。この特許文献３に記載の低圧配線路探査装置用受信器は、配線路に特定の周波数の電流を流す送信器と、特定の周波数の電流により開閉器部に発生する磁束を検出して目的とする配線路を探査する受信器とを備えたハンディ型測定装置である。
この低圧配線路探査装置用受信器では、探査ヘッドが略台形状に形成され、探査ヘッドの先端に位置する探査当接面に対して探査コイルが直角方向に配置されている。

特開２００７−２４４０９９号公報 特開平６−４３１９０号公報 実公平６−２０１４６号公報

特許文献３に記載の低圧配線路探査装置用受信器では、注意深く探査当接面を測定箇所に接触させれば問題がないが、測定箇所での測定をした後、素早く次の測定箇所まで移動させて測定する場合や、探査当接面を連続した測定箇所（測定面）に摺動させながら測定する場合などでは、探査当接面が当接している測定箇所から離れてしまうことがあり、正確な測定ができないおそれがある。

そこで本発明は、測定時の接触安定性を確保することで正確な測定を可能とする電気的特性測定装置を提供することを目的とする。

本発明の電気的特性測定装置は、被測定体の電気的特性を測定するための検知部が内蔵され、前記被測定体に接触する測定接触面が、被測定体側に円筒面の一部とした円弧面に形成されている測定部を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、検知部が内蔵され、被測定体に接触する測定接触面が、円筒面の一部とした円弧面に形成されているため、測定のために摺動させながら移動させる際に、測定接触面と被測定体との接触角度が変化しても、測定接触面を被測定体に接触させた状態に維持することができる。また、測定する際の移動方向に対して円弧面の円中心軸方向を直交させた状態で、測定接触面を移動させれば、測定接触面を幅広く被測定体に接触させた状態で、安定して移動させることができる。

前記検知部は、被測定体からの磁界を測定するための磁界センサであり、前記磁界センサは、前記円弧面の円中心となる位置に配置されていると、磁界センサと測定接触面との距離を一定とすることができるので、測定接触面と被測定体との接触角度が変化しても、正確に被測定体からの磁界を測定することができる。

前記磁界センサは、前記円弧面の円中心軸方向に合わせて、巻線の軸線方向を向けたコイルにより形成されていると、移動方向と直交する方向に発生する被測定体からの磁界を、正確に測定することができる。

前記測定部は、被測定体の電気的特性を測定する回路が内蔵された装置本体に、複数設けられ、前記磁界センサからの信号に基づいて表示部に磁界強度を表示する制御部を備えるのが望ましい。複数の被測定体が等間隔に配置されていれば、複数の被測定体に測定部の測定接触面を接触させることができるので、制御部が同時に複数の被測定体の磁界の強度を測定して、表示部に表示させることができる。

前記検知部は、被測定体からの電界を測定するための電界センサであり、前記電界センサは、前記測定接触面の内側面の円弧面に沿って配置されているのが望ましい。測定接触面の内側面の円弧面に沿って電界センサが配置されていると、測定接触面と被測定体との接触角度が変化しても、測定接触面と被測定体との接触位置に電界センサを位置させることができるので、正確に被測定体からの電界を測定することができる。

前記測定接触面は、測定の際に前記測定部を中心とした回動による接触範囲を超えて円弧面が形成されていると、接触範囲の端部から外側の位置まで円弧面が形成され、電界センサが配置されているため、接触範囲の中央部と端部とで同じ条件で電界を測定することができる。

前記電界センサは、電極シートにより形成され、前記測定接触面の内側面と、前記円弧面の円中心となる位置に配置された前記磁界センサとの間に隙間部材が設けられているのが望ましい。
隙間部材の測定接触面側に電界センサが配置され、この隙間部材が円弧面に沿って測定接触面の内側面と磁界センサとの間に配置されていることで、容易、かつ正確に、電界センサとして機能する電極シートを円弧面に沿って配置できると共に、磁界センサを隙間部材により保護することができる。

本発明によれば、測定のために摺動させながら移動させる際に、測定接触面と被測定体との接触角度が変化しても、測定接触面を被測定体に接触させた状態に維持することができるので、測定時の接触安定性を確保することで正確な測定を可能とすることができる。

本発明の実施の形態１に係る太陽電池検査装置と太陽光発電装置とパワーコンディショナーと接続装置との接続状態を示す図である。 太陽電池モジュールを示す図である。 図１に示す太陽電池検査装置を示す斜視図である。 図３に示す太陽電池検査装置のブロック図である。 図２に示す太陽電池検査装置の測定部を説明するための図であり、（Ａ）は上方から見た図、（Ｂ）は断面図である。 図２に示す太陽電池検査装置により太陽電池モジュールを走査する状態を示す図である。 太陽電池検査装置と太陽電池モジュールとの接触角度を説明するための図である。 磁界センサとインターコネクタとの方向を説明するための図である。 本発明の実施の形態２に係る太陽電池検査装置を説明するための図であり、（Ａ）は上方から見た図、（Ｂ）は断面図である。 図９に示す太陽電池検査装置により太陽電池モジュールを走査する状態を示す図である。 本発明の実施の形態３に係る太陽電池検査装置を説明するための図であり、（Ａ）は上方から見た図、（Ｂ）は断面図である。 図１１に示す太陽電池検査装置のブロック図である。

（実施の形態１）
本発明の実施の形態１に係る電気的特性測定装置を図面に基づいて説明する。本実施の形態では、図１に示すように、負荷（図示せず）へ調整された電圧および電流を供給するパワーコンディショナー２００へ直流電源を供給する太陽光発電装置３００を検査する太陽電池検査装置１００を、電気的特性測定装置の一例として説明する。

パワーコンディショナー２００と太陽光発電装置３００とは、接続状態としたり、未接続状態としたりするスイッチ４０１，４０２を内蔵した接続装置４００を介して接続されている。接続装置４００には、太陽電池検査装置１００を子機として、電気的特性の測定を行うための親機５００が接続される。

太陽光発電装置３００は、１枚のパネルに形成された太陽電池モジュール３１０を直列接続して１列のストリング３２０を構成したものである。図１では１つのストリング３２０としたが、複数列のストリングを、それぞれダイオードを介して並列接続していてもよい。

太陽電池モジュール３１０は、図２に示すように、１枚のパネルに、太陽電池セル３０１が縦列および横列に配置したものである。太陽電池モジュール３１０は、縦列に並ぶ太陽電池セル３０１が、平行な２列に配線された金属薄膜によるインターコネクタ３０２により接続されている。また、縦列に接続された太陽電池セル３０１は、一方側と他方側とが交互にバスバー３０３により接続されて、全部が直列接続されている。

太陽電池検査装置１００は、このインターコネクタ３０２およびバスバー３０３や、太陽電池モジュール３１０の表面を被測定体として走査して、インターコネクタ３０２またはバスバー３０３からの磁界または電界を測定することで、太陽光発電装置３００での断線などによる故障箇所を特定するものである。

図３に示すように、太陽電池検査装置１００は、前方に突出し、インターコネクタ３０２またはバスバー３０３（図２参照）に下面を接触させる測定部１１０と、操作部１２０および表示部１３０が上面に配置され、電気的特性を測定する回路が内蔵され、先細り形状の装置本体１４０とが直線状に、かつ一体的に形成されたものである。

図４に示すように、測定部１１０には、磁界センサ１１１と電界センサ１１２とが被測定体の電気的特性を測定するための検知部として内蔵されている。測定部１１０は、図５に示すように、被測定体に接触する測定接触面１１３が、外側に向かって膨出した凸となる曲面に形成されている。本実施の形態では、測定接触面１１３が、測定の際の移動方向に円周面を向けた円筒面の一部としており、装置本体１４０の軸線方向と直交する下向きの方向を０°としたときの、０°から、装置本体１４０の軸線方向の９０°までの範囲の円弧面としている。つまり、測定接触面１１３は、断面が真円の１／４の円弧面に形成されている。

この測定接触面１１３の下向き方向を０°としたＰ点から装置本体１４０の下面へは、なだらかな凹曲面部１１４により連接され、測定接触面１１３の先端から装置本体１４０の上面へは、直立した前壁部１１５と傾斜面１１６とにより連接されている。

磁界センサ１１１は、測定接触面１１３である円弧面の円中心となる位置に配置され、
巻線の軸線方向を円弧面に平行に向けたコイルにより形成されている。磁界センサ１１１として設けられたコイルは、プリント配線基板１５０にコイルの両端部からの針金状のリード線により接続されている。
電界センサ１１２は、金属薄板による電極シートに形成されている。電界センサ１１２となる電極シートは、測定接触面１１３の内側面と、円弧面の円中心となる位置に配置された磁界センサ１１１との間（空間Ｓ）に配置された隙間部材１１７の測定接触面１１３側に貼り付けられて配置されている。隙間部材１１７はスポンジにより形成することができる。本実施の形態では隙間部材１１７を等厚としている。電界センサ１１２は、隙間部材１１７を円弧面に沿って弾性変形させて空間Ｓに配置させている。電界センサ１１２は、プリント配線基板１５０にワイヤ状のリード線により接続されている。

図４に示す装置本体１４０は、磁界センサ１１１からの信号に基づいて磁界の強度を測定する磁界測定部１４１と、電界センサ１１２からの信号に基づいて電界の強度を測定する電界測定部１４２と、前述の操作部１２０および表示部１３０と、磁界測定部１４１および電界測定部１４２からの信号を操作部１２０からの操作内容に従って表示部１３０に表示する制御部１４３とを備えている。
磁界測定部１４１と電界測定部１４２と制御部１４３とを構成する電気回路（図示せず）は、プリント配線基板１５０（図５参照）に搭載され、図示しない電池により駆動される。

図３に示すように、操作部１２０は、電源の投入および切断を指示するための電源スイッチ１２１と、磁界を測定する磁界測定モードか、または電界を測定する電界測定モードかのいずれかを選択するためのモード切換スイッチ１２２と、制御部１４３による増幅度を調整することで感度を設定する２個のスイッチによる感度調整スイッチ１２３とを備えている。
電源スイッチ１２１と、モード切換スイッチ１２２と感度調整スイッチ１２３とは、プッシュスイッチにより形成され、プリント配線基板１５０に搭載されている。プッシュスイッチの頭部は、装置本体１４０のケースに設けられた孔を挿通して、装置本体１４０に貼り付けられたカバーシートの上から押下するように設けられている。

表示部１３０は、強度を示すレベルメーター部１３１と、磁界測定モードかまたは電界測定モードかのいずれかを示すモード表示部１３２とがＬＥＤにより設けられたものである。この表示部１３０を構成するＬＥＤは、プリント配線基板１５０に搭載されている。

以上のように構成された本発明の実施の形態１に係る太陽電池検査装置１００の動作および使用状態について図面に基づいて説明する。
検査者は、図１に示す接続装置４００のスイッチ４０１，４０２を開放状態にして、太陽光発電装置３００とパワーコンディショナー２００との接続を切断した後、親機５００の電源を投入する。
次に、検査者は、図３に示す電源スイッチ１２１を押下して太陽電池検査装置１００の電源を投入する。次に、検査者は、モード表示部１３２を見て、所望するモード状態か否かを判断する。例えば、磁界を測定するときに、モード表示部１３２の磁界側のＬＥＤが点灯していれば、そのまま使用できる。モード表示部１３２の電界側のＬＥＤが点灯していれば、モード切換スイッチ１２２を押下する。モード切換スイッチ１２２が押下されたことで制御部１４３は、内部の動作モードを磁界モードに切換ると共に、モード表示部１３２の点灯を磁界側に切換える。

親機５００は電源が投入され、磁界による検査を行う設定により、親機５００が周期的に電流を消費する負荷として機能する。そうすることで、太陽光発電装置３００のそれぞれの太陽電池モジュール３１０に高周波な磁界を発生させている。
検査者は、装置本体１４０を把持して、測定部１１０の測定接触面１１３を、例えば、図６に示すようにインターコネクタ３０２に接触させ、上から下へ摺動させながら移動させる。

インターコネクタ３０２からの磁界は、図４に示す磁界センサ１１１にて検出される。そして、磁界測定部１４１にて磁界センサ１１１からの信号が増幅され、強度に応じた信号が制御部１４３へ出力される。制御部１４３では、信号強度に基づいて表示部１３０のレベルメーター部１３１のＬＥＤを点灯させる。制御部１４３は、磁界の強度が高ければ、数多くのＬＥＤを点灯させ、磁界の強度が低ければ少ないＬＥＤを点灯させる。
従って、インターコネクタ３０２が断線していれば、測定接触面１１３をインターコネクタ３０２に接触させて移動させていると、断線箇所でレベルメーター部１３１のＬＥＤの点灯個数が急激に少なくなる。検査者はレベルメーター部１３１を監視することにより、故障箇所を発見することができる。

検査者が測定接触面１１３をインターコネクタ３０２に接触させて移動させる際に、図７に示すように、太陽電池モジュール３１０の高い位置では接触角度が小さくなりがちであり、太陽電池モジュール３１０の低い位置では接触角度が大きくなりがちである。しかし、測定接触面１１３が、インターコネクタ３０２側に凸となる曲面に形成されているため、測定接触面１１３とインターコネクタ３０２との接触角度が変化しても、測定接触面１１３をインターコネクタ３０２に接触させた状態に維持することができる。

また、測定接触面１１３が移動方向に向けた真円の一部とした円弧面とすることで、図８に示すように、測定する際の移動方向Ｆに対して円弧面とした測定接触面１１３の円中心軸方向を直交させた状態で、測定接触面１１３を移動させれば、測定接触面１１３を幅広く被測定体に接触させた状態で、安定して移動させることができる。

また、図５に示すように、磁界センサ１１１が測定接触面１１３の円弧面の円中心となる位置に配置されているので、接触角度が測定部１１０を中心として回動することで、０°から９０°の範囲で変化しても、磁界センサ１１１と測定接触面１１３との距離を一定とすることができる。従って、測定接触面１１３とインターコネクタ３０２やバスバー３０３との接触角度が変化しても、正確にインターコネクタ３０２やバスバー３０３からの磁界を測定することができる。
更に、磁界センサ１１１が、円弧面とした測定接触面１１３の円中心軸方向に合わせて巻線の軸線方向を向けたコイルにより形成されているので、移動方向と直交する方向に発生するインターコネクタ３０２やバスバー３０３からの磁界を、正確に測定することができる。

次に、電界モードによる検査を行う場合には、検査者は、図３に示すモード切換スイッチ１２２を押下して磁界モードから切換える。モード切換スイッチ１２２が押下されたことで制御部１４３は、内部の動作モードを電界モードに切換ると共に、モード表示部１３２の点灯を電界側に切換える。
親機５００は電界による検査を行う設定により、親機５００が太陽光発電装置３００に対して周期的な電圧を印加する。そうすることで、太陽光発電装置３００のそれぞれの太陽電池モジュール３１０に高周波な電界を発生させている。

検査者は、装置本体１４０を把持して、測定部１１０の測定接触面１１３を、太陽電池モジュール３１０の表面、または太陽電池モジュール３１０間のコネクタまたは太陽電池モジュール３１０同士を接続するケーブルに接触させて電界を測定する。

太陽電池モジュール３１０やコネクタ、ケーブルからの電界は、電界センサ１１２にて検出される。そして、電界測定部１４２にて電界センサ１１２からの信号が増幅され、強度に応じた信号が制御部１４３へ出力される。制御部１４３では、信号強度に基づいて表示部１３０のレベルメーター部１３１のＬＥＤを点灯させる。制御部１４３は、電界の強度が高ければ、数多くのＬＥＤを点灯させ、電界の強度が低ければ少ないＬＥＤを点灯させる。

電界センサ１１２は、図５に示すように、測定接触面１１３の内側面の円弧面に沿って配置されているので、測定接触面１１３と太陽電池モジュール３１０やコネクタとの接触角度が０°から９０°の範囲で変化しても、測定接触面１１３と太陽電池モジュール３１０やコネクタとの接触位置に電界センサ１１２を位置させることができるので、正確に太陽電池モジュール３１０やコネクタからの電界を測定することができる。

また、隙間部材１１７の測定接触面１１３側に電界センサ１１２が配置され、この隙間部材１１７が測定接触面１１３の円弧面に沿って弾性変形して、測定接触面１１３の内側面と磁界センサ１１１との空間Ｓに配置されていることで、容易、かつ正確に電界センサ１１２として機能する電極シートを円弧面に沿って配置できると共に、磁界センサ１１１を隙間部材１１７により保護することができる。

（実施の形態２）
本発明の実施の形態２に係る太陽電池検査装置を図面に基づいて説明する。
図９に示す太陽電池検査装置は、測定接触面１１３ａの断面が真円の一部となる円弧面に形成された測定部１１０ａとしている点で、図５に示す測定部１１０の測定接触面１１３と同じである。しかし、測定接触面１１３ａは、円弧面が、下向きの方向を０°（Ｐ点の位置）としたときの−９０°から、上向きの方向の１８０°までの全部で２７０°の範囲としている。つまり、測定接触面１１３ａは、断面が真円の３／４の円弧面に形成されている。

図１０に示すように、例えば、実施の形態２に係る太陽電池検査装置１０１を使用して、電界を測定するときには、検査者が装置本体１４０を把持し、太陽電池モジュール３１０（図２参照）の表面を走査することで、測定部１１０ａを中心として回動して、測定接触面１１３ａの０°の位置（Ａの状態）で接触したり、＋９０°の位置（Ｃの状態）で接触したりする。
検査者が装置本体１４０を把持しながら表示部１３０を観察する必要があることから、接触角度は０°より小さくなったり、９０°より大きくなったりすることは殆ど無いため、接触範囲は０°から９０°の範囲とすることができる。

測定接触面１１３ａを接触範囲（０°〜９０°）より幅広い円弧面に形成することで、接触位置が０°（Ａの状態）であっても、９０°（Ｃの状態）の状態であっても、接触範囲の端部から外側９０°の位置まで電界センサ１１２が配置されているため、接触範囲の中央部と端部とで同じ条件で電界を測定することができる。従って、測定する際に接触角度の範囲を超えて測定接触面１１３ａが形成され、電界センサ１１２が測定接触面１１３ａに沿って設けられていることで、精度よく電界を測定することができる。

また、磁界を測定するときに、＋９０°の位置（Ｃの状態）より更に接触角度が大きくなっても、接触角度が１８０°の位置まで円弧面に形成され、磁界センサ１１１を円中心に位置させているので、０°から９０°までの範囲と同様に同じ条件で測定することができるので、精度よく磁界を測定することができる。

（実施の形態３）
本発明の実施の形態３に係る太陽電池検査装置を図面に基づいて説明する。
図１１（Ａ）に示す太陽電池検査装置は、インターコネクタ３０２の数に合せて測定部１１０ａが複数設けられ、スライド機構により、複数の測定部１１０ａ，１１０ｂの間隔位置を調整することができるようにしたものである。本実施の形態３では、２つの測定部１１０ａ，１１０ｂが設けられている。

スライド機構は、図１１（Ｂ）に示すように、回路が内蔵された装置本体１４０ａの先端部の開口縁部１４４が内側に折れ曲がっており、この開口縁部１４４に測定部１１０ａ，１１０ｂのケースの基端部に形成された上下方向に拡がる突出部１１８が係止するように構成されている。このスライド機構により、測定部１１０ａ，１１０ｂは、装置本体１４０ａにスライド自在に保持される。
また、複数の測定部１１０ａ，１１０ｂはスライド式ではなく、インターコネクタ３０２の間隔に合せて磁界センサを固定した測定部ヘッドの交換式としても良い。

測定部１１０ａは、磁界センサ１１１と電界センサ１１２との両方を備えており、測定部１１０ｂは、磁界センサ１１１のみを備えている。
図１２に示すように、測定部１１０ａ，１１０ｂが２つ設けられていることに対応して、太陽電池検査装置１０２の装置本体１４０ａには、図４に示す太陽電池検査装置１００の磁界測定部１４１と電界測定部１４２との他に、磁界測定部１４１が追加して備えられている。

表示部１３０ａに２つのレベルメーター部１３１（図示せず）を設けるようにすれば、制御部１４３ａは、それぞれの磁界測定部１４１からの信号を、２つのレベルメーター部１３１にそれぞれ磁界の強度を表示させることができる。
そうすることで、インターコネクタ３０２（図２参照）が２本配置された太陽電池モジュール３１０であれば、インターコネクタ３０２の間隔に測定部１１０ａ，１１０ｂをスライドさせて合わせることで、一度の走査で同時に検査することができる。

また、図３に示すような１つのレベルメーター部１３１を有する表示部１３０であれば、制御部１４３ａは、それぞれの磁界測定部１４１からの信号の差分を演算して、レベルメーター部１３１に表示することで、２本のインターコネクタ３０２の磁界の強度の差の大きさにより故障箇所を特定することができる。

本実施の形態３では、２つの測定部１１０ａ，１１０ｂを例に説明したが、図１１に示すように、更に測定部１１０ｂを追加して３つ以上の測定部としてもよい。
この場合には、更に装置本体１４０ａに追加した測定部１１０ｂの個数に応じて磁界測定部１４１を設けると共に、レベルメーター部１３１を測定部１１０ａ および測定部１１０ｂの個数に応じた数とする。また、制御部１４３ａは、それぞれの磁界強度の差分を取り、その最大値を１つのレベルメーター部１３１に表示するようにしてもよい。

このように、測定部１１０ａ，１１０ｂの間隔をスライド機構により調整することで、等間隔に配置された複数のインターコネクタ３０２に測定部１１０ａ，１１０ｂの測定接触面１１３を接触させることができる。従って、同時に複数のインターコネクタ３０２の磁界を測定することができる。

本発明は、被測定体の電気的特性を測定する際に好適であり、特に、太陽光発電装置の太陽電池モジュールの検査に最適である。

１００，１０１，１０２ 太陽電池検査装置
１１０，１１０ａ，１１０ｂ 測定部
１１１ 磁界センサ
１１２ 電界センサ
１１３，１１３ａ 測定接触面
１１４ 凹曲面部
１１５ 前壁部
１１６ 傾斜面
１１７ 隙間部材
１１８ 突出部
１２０ 操作部
１２１ 電源スイッチ
１２２ モード切換スイッチ
１２３ 感度調整スイッチ
１３０，１３０ａ 表示部
１３１ レベルメーター部
１３２ モード表示部
１４０，１４０ａ 装置本体
１４１ 磁界測定部
１４２ 電界測定部
１４３，１４３ａ 制御部
１４４ 開口縁部
１５０ プリント配線基板
２００ パワーコンディショナー
３００ 太陽光発電装置
３０１ 太陽電池セル
３０２ インターコネクタ
３０３ バスバー
３１０ 太陽電池モジュール
３２０ ストリング
４００ 接続装置
４０１，４０２ スイッチ
５００ 親機
Ｆ 移動方向
Ｓ 空間

Claims (6)

1. ハンディ型の電気的特性装置において、
   被測定体の電気的特性を測定するための検知部が内蔵され、前記被測定体に接触する測定接触面が円筒面の一部とした円弧面に形成されている測定部を備え、
   前記検知部は、被測定体からの磁界を測定するための磁界センサであり、
   前記磁界センサは、前記円弧面の円中心となる位置に配置されていることを特徴とする電気的特性測定装置。
2. 前記磁界センサは、前記円弧面の円中心軸方向に合わせて、巻線の軸線方向を向けたコイルにより形成されている請求項１記載の電気的特性測定装置。
3. 前記測定部は、被測定体の電気的特性を測定する回路が内蔵された装置本体に、複数設けられ、
   前記磁界センサからの信号に基づいて表示部に磁界強度を表示する制御部を備えた請求項１または２記載の電気的特性測定装置。
4. 前記測定部は、被測定体からの電界を測定するための電界センサを備え、
   前記電界センサは、前記測定接触面の内側面の円弧面に沿って配置されている請求項１記載の電気的特性測定装置。
5. 前記測定接触面は、測定の際に前記測定部を中心とした回動による接触範囲を超えて円弧面が形成されている請求項４記載の電気的特性測定装置。
6. 前記電界センサは、電極シートにより形成され、
   前記測定接触面の内側面と、前記円弧面の円中心となる位置に配置された前記磁界センサとの間に隙間部材が設けられている請求項４または５記載の電気的特性測定装置。