JP5980861B2 - Laminated electronic components - Google Patents

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Description

本発明は、積層電子部品に関する。   The present invention relates to a laminated electronic component.

電子部品の一つであるインダクタ（ｉｎｄｕｃｔｏｒ）は、抵抗、キャパシタとともに、電子回路を形成してノイズ（ｎｏｉｓｅ）を除去する代表的な手動素子である。   An inductor, which is one of electronic components, is a typical manual element that forms an electronic circuit together with a resistor and a capacitor to remove noise.

積層電子部品の積層インダクタは、フェライトなどの磁性体を主材料とする絶縁層上に導体パターンを形成し、これを積層して積層本体内部に内部コイル部を形成し、積層本体の外面に内部コイル部を外部回路と電気的に接続させるための外部電極を形成する。   Multilayer inductors for multilayer electronic components are formed by forming a conductor pattern on an insulating layer made of a magnetic material such as ferrite as the main material, and laminating this to form an internal coil section inside the multilayer body. An external electrode for electrically connecting the coil portion to an external circuit is formed.

高周波帯域における使用が可能で、エネルギー消費効率及び直流重畳特性が改善された積層インダクタ製品のニーズに伴い、フェライトを金属粉末に代替した積層インダクタが開発されている。   In response to the need for multilayer inductor products that can be used in a high frequency band and have improved energy consumption efficiency and direct current superimposition characteristics, multilayer inductors in which ferrite is replaced with metal powder have been developed.

特開２００７−０２７３５４号公報JP 2007-027354 A

本発明は、優れた直流重畳特性及びＱ特性（ｑｕａｌｉｔｙ ｆａｃｔｏｒ）を有し、機械的強度が改善された積層電子部品に関するものである。   The present invention relates to a laminated electronic component having excellent direct current superimposition characteristics and Q characteristics (quality factor) and improved mechanical strength.

本発明の一形態は、磁性体本体の外郭部に含まれた金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜の平均厚さが磁性体本体の中央部に含まれた金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜の平均厚さより厚い積層電子部品を提供する。   In one embodiment of the present invention, the average thickness of the metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particle included in the outer portion of the magnetic body is the surface of the metal magnetic particle included in the center of the magnetic body. Provided is a laminated electronic component that is thicker than an average thickness of a formed metal oxide film.

上記外郭部に含まれた金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜の平均厚さは２００ｎｍ〜３００ｎｍであり、上記中央部に含まれた金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜の平均厚さは５０ｎｍ〜２００ｎｍであることができる。   The average thickness of the metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particle included in the outer portion is 200 nm to 300 nm, and the metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particle included in the center portion The average thickness can be 50 nm to 200 nm.

上記表面に金属酸化膜が形成された金属磁性粒子間の空間には高分子樹脂が充填されることができる。   The space between the metal magnetic particles having the metal oxide film formed on the surface can be filled with a polymer resin.

本発明の一形態による積層電子部品は、優れた直流重畳特性及びＱ特性（ｑｕａｌｉｔｙ ｆａｃｔｏｒ）を有し、機械的強度を改善させることができる。   A multilayer electronic component according to an embodiment of the present invention has excellent direct current superimposition characteristics and Q characteristics (quality factor), and can improve mechanical strength.

本発明の一実施形態による積層電子部品の一部を切開して示した斜視図である。It is the perspective view which cut and showed a part of laminated electronic component by one Embodiment of this invention. 図１のＡ部分を拡大して示した概略図である。It is the schematic which expanded and showed the A section of FIG. 図１のＩ−Ｉ’線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the I-I 'line of FIG. 図１のII−II’線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the II-II 'line | wire of FIG.

以下では、添付の図面を参照し、本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the embodiments of the present invention can be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. In addition, the embodiments of the present invention are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape and size of elements in the drawings may be exaggerated for a clearer description.

また、明細書全体において、ある構成要素を「含む」というのは、特に反対される記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。   In addition, in the entire specification, “including” a certain component means that the component can be further included without excluding the other component unless otherwise stated. To do.

積層電子部品
以下では、本発明の一実施形態による積層電子部品を説明するにあたり、特に、積層インダクタ（ｉｎｄｕｃｔｏｒ）を例に挙げて説明するが、本発明はこれに制限されない。 In the following, a multilayer electronic component according to an embodiment of the present invention will be described by taking a multilayer inductor as an example. However, the present invention is not limited to this.

図１は本発明の一実施形態による積層電子部品の一部を切開して示した斜視図である。   FIG. 1 is a perspective view showing a part of a laminated electronic component cut out according to an embodiment of the present invention.

図１を参照すると、本発明の一実施形態による積層電子部品１００は、磁性体本体１１０、上記磁性体本体１１０の内部に配置された内部コイル部１２０、及び上記磁性体本体１１０の外側に配置されて上記内部コイル部１２０と電気的に連結された外部電極１３０を含む。   Referring to FIG. 1, a multilayer electronic component 100 according to an embodiment of the present invention includes a magnetic body 110, an internal coil unit 120 disposed inside the magnetic body 110, and an outside of the magnetic body 110. The external electrode 130 is electrically connected to the internal coil unit 120.

本発明の一実施形態による積層電子部品１００において、「長さ方向」は図１の「Ｌ」方向、「幅方向」は「Ｗ」方向、「厚さ方向」は「Ｔ」方向と定義する。   In the multilayer electronic component 100 according to an embodiment of the present invention, the “length direction” is defined as the “L” direction in FIG. 1, the “width direction” is defined as the “W” direction, and the “thickness direction” is defined as the “T” direction. .

上記磁性体本体１１０は、厚さ（Ｔ）方向に相対する第１主面Ｓ１及び第２主面Ｓ２、幅（Ｗ）方向に相対する第１側面Ｓ５及び第２側面Ｓ６、及び長さ（Ｌ）方向に相対する第１端面Ｓ３及び第２端面Ｓ４を有する。   The magnetic body 110 includes a first main surface S1 and a second main surface S2 that face each other in the thickness (T) direction, a first side surface S5 and a second side surface S6 that face each other in the width (W) direction, and a length ( L) It has 1st end surface S3 and 2nd end surface S4 which oppose a direction.

上記磁性体本体１１０は、複数の金属磁性体層１０が積層されて形成される。複数の金属磁性体層１０は、焼結された状態で、隣接する金属磁性体層１０同士の境界が走査電子顕微鏡（ＳＥＭ、Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を利用せずには確認できないほど一体化されていることができる。   The magnetic body 110 is formed by laminating a plurality of metal magnetic layers 10. The plurality of metal magnetic layers 10 are integrated so that the boundary between the adjacent metal magnetic layers 10 cannot be confirmed without using a scanning electron microscope (SEM) in a sintered state. Can be.

上記磁性体本体１１０の形状及び寸法は本実施形態に示されるものに限定されず、金属磁性体層１０の厚さは積層電子部品１００の容量設計に応じて任意に変更することができる。   The shape and dimensions of the magnetic body 110 are not limited to those shown in the present embodiment, and the thickness of the metal magnetic layer 10 can be arbitrarily changed according to the capacity design of the multilayer electronic component 100.

図２は図１のＡ部分を拡大して示した概略図である。   FIG. 2 is an enlarged schematic view showing a portion A of FIG.

図２を参照すると、上記金属磁性体層１０は金属磁性粒子１１を含み、上記金属磁性粒子１１の表面に金属酸化膜１２が形成される。   Referring to FIG. 2, the metal magnetic layer 10 includes metal magnetic particles 11, and a metal oxide film 12 is formed on the surface of the metal magnetic particles 11.

上記金属磁性粒子１１は、軟磁性合金、例えば、Ｆｅ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ａｌ及びＮｉからなる群より選択されたいずれか一つ以上を含む合金であることができ、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｒ系合金であることがより好ましいが、これに制限されない。   The metal magnetic particle 11 may be a soft magnetic alloy, for example, an alloy containing any one or more selected from the group consisting of Fe, Si, Cr, Al, and Ni, and an Fe—Si—Cr alloy. Although it is more preferable, it is not limited to this.

上記金属磁性粒子１１としては、例えば、Ｆｅ８７ｗｔ％以上、Ｃｒ４〜６ｗｔ％及び残量のＳｉを含むＦｅ−Ｓｉ−Ｃｒ系合金を用いることができる。   As the metal magnetic particle 11, for example, an Fe—Si—Cr alloy containing Fe 87 wt% or more, Cr 4 to 6 wt%, and the remaining amount of Si can be used.

上記Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｒ系合金を用いる場合、Ｆｅの含有率が８７ｗｔ％未満であると、磁気的特性が大きく下落した。   When the Fe—Si—Cr alloy is used, the magnetic properties are significantly lowered when the Fe content is less than 87 wt%.

また、Ｃｒの含有率が４〜６ｗｔ％の場合、高い焼結温度におけるＦｅの酸化を防止する効果があった。これに対し、Ｃｒが４ｗｔ％未満含まれる場合、積層インダクタの製造過程時に高い焼結温度におけるＦｅの酸化を防止することが困難であるため磁気的特性を失う現象が観察でき、６ｗｔ％を超過すると、Ｃｒ酸化物が過剰に生成されてギャップ（ｇａｐ）効果が必要以上に増加するため磁気的特性が下落する可能性があった。   Further, when the Cr content was 4 to 6 wt%, there was an effect of preventing oxidation of Fe at a high sintering temperature. On the other hand, when Cr is contained in less than 4 wt%, it is difficult to prevent oxidation of Fe at a high sintering temperature during the manufacturing process of the multilayer inductor, and thus a phenomenon of losing the magnetic characteristics can be observed, exceeding 6 wt%. As a result, Cr oxide is generated excessively, and the gap effect increases more than necessary, so that the magnetic characteristics may drop.

上記金属磁性粒子１１は、最大粒径が１５μｍ以下であることができる。   The metal magnetic particles 11 may have a maximum particle size of 15 μm or less.

上記金属磁性粒子１１の最大粒径が１５μｍを超過すると、高周波における損失（ｃｏｒｅ ｌｏｓｓ）が大きく増加して高周波帯域におけるＱ特性が低下するという問題点がある。   If the maximum particle size of the metal magnetic particles 11 exceeds 15 μm, there is a problem that the loss at high frequency (core loss) is greatly increased and the Q characteristic in the high frequency band is lowered.

上記金属磁性体層１０に含まれた金属磁性粒子１１は、粒度分布Ｄ５０が３μｍ〜５μｍであることができる。 The metal magnetic particles 11 included in the metal magnetic layer 10 may have a particle size distribution D50 of 3 μm to 5 μm.

粒度分布Ｄ５０とは、レーザー回折散乱式粒度分布測定法を用いることで得られる体積累積５０％における粒径のことである。 The particle size distribution D 50, is that the particle diameter at cumulative volume of 50% obtained by using a laser diffraction scattering particle size distribution measuring method.

金属磁性粒子１１の粒度分布Ｄ５０が３μｍ未満の場合は、透磁率が減少する可能性があり、粒度分布Ｄ５０が５μｍを超過すると、分散性が低下し、空隙が多く発生して強度が減少し、高周波におけるコアロス（ｃｏｒｅ ｌｏｓｓ）が大きく増加してＱ特性が低下するおそれがある。 When the particle size distribution D 50 of the metal magnetic particles 11 is less than 3 μm, the magnetic permeability may decrease. When the particle size distribution D 50 exceeds 5 μm, the dispersibility is reduced, and a large number of voids are generated and the strength As a result, the core loss at a high frequency is greatly increased, and the Q characteristic may be deteriorated.

上記金属磁性体層１０に含まれた金属磁性粒子１１間の間隔は、５μｍ以下であることができる。   An interval between the metal magnetic particles 11 included in the metal magnetic layer 10 may be 5 μm or less.

金属磁性粒子１１間の間隔が５μｍを超過すると、充填率が減少して透磁率が低下し、空隙が多く発生して強度が減少する可能性がある。   When the interval between the metal magnetic particles 11 exceeds 5 μm, the filling rate is decreased, the magnetic permeability is decreased, and there is a possibility that a lot of voids are generated and the strength is decreased.

上記金属酸化膜１２は、上記金属磁性粒子１１の少なくとも一成分が酸化されて形成されることができ、例えば、Ｃｒ２Ｏ３を含むことができる。上記金属酸化膜１２により、金属磁性粒子１１の間、及び金属磁性粒子１１と内部コイル部１２０との間の絶縁性が確保されることができる。 The metal oxide film 12 may be formed by oxidizing at least one component of the metal magnetic particles 11 and may include, for example, Cr 2 O 3 . The metal oxide film 12 can ensure insulation between the metal magnetic particles 11 and between the metal magnetic particles 11 and the internal coil portion 120.

金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜１２は、上記金属磁性粒子に隣接する金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜１２と結合し、金属磁性粒子１１は、金属酸化膜１２同士の結合によって結合する。金属酸化膜１２同士の結合によって機械的強度及び絶縁性の向上効果がある。   The metal oxide film 12 formed on the surface of the metal magnetic particle is combined with the metal oxide film 12 formed on the surface of the metal magnetic particle adjacent to the metal magnetic particle, and the metal magnetic particle 11 is bonded to the metal oxide film 12. Join by joining. The bonding between the metal oxide films 12 has an effect of improving mechanical strength and insulation.

また、上記金属磁性粒子１１同士は、上記金属酸化膜１２によって結合する部分なく隔離される。   Further, the metal magnetic particles 11 are separated from each other without a portion bonded by the metal oxide film 12.

金属磁性粒子１１同士が結合する場合、うず電流損（Ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ ｌｏｓｓ）が増加してＱ特性（ｑｕａｌｉｔｙ ｆａｃｔｏｒ）が低下する上で、金属磁性粒子間の接触面の増加でＡＣ増加によるＱ特性が大きく低下するおそれがある。これに対し、本発明の実施形態では、金属磁性粒子１１の金属酸化膜１２による結合のみ存在するためうず電流損（Ｅｄｄｙ ｃｕｒｒｅｎｔ ｌｏｓｓ）が減少し、金属磁性粒子１１間に直接的な接触面がないためＡＣ増加によるＱ特性の低下が少ないことから、パワーインダクタへの適用時に高電力効率に有利な効果がある。   When the metal magnetic particles 11 are bonded to each other, the eddy current loss is increased and the Q characteristic is lowered, and the Q characteristic due to the increase in AC is caused by an increase in the contact surface between the metal magnetic particles. There is a risk of significant reduction. On the other hand, in the embodiment of the present invention, since only the coupling of the metal magnetic particles 11 by the metal oxide film 12 exists, eddy current loss is reduced, and there is a direct contact surface between the metal magnetic particles 11. Since there is no decrease in the Q characteristic due to the increase in AC, there is an advantageous effect on high power efficiency when applied to a power inductor.

本発明の一実施形態は、磁性体本体１１０の外郭部に含まれた金属磁性粒子１１の金属酸化膜１２の平均厚さを磁性体本体１１０の中央部に含まれた金属磁性粒子１１の金属酸化膜１２の平均厚さより厚く形成する。   In one embodiment of the present invention, the average thickness of the metal oxide film 12 of the metal magnetic particles 11 included in the outer portion of the magnetic body 110 is set to the metal of the metal magnetic particles 11 included in the center of the magnetic body 110. The oxide film 12 is formed thicker than the average thickness.

このように、磁性体本体１１０の外郭部及び中央部における金属酸化膜１２の平均厚さを異なるように調節することにより、金属酸化膜による透磁率減少を防止し、インダクタンスを増加させるとともに、直流重畳特性及びＱ特性を向上させることができる。   In this way, by adjusting the average thickness of the metal oxide film 12 in the outer and central portions of the magnetic body 110 to be different, the permeability is prevented from being reduced by the metal oxide film, the inductance is increased, and the direct current is increased. Superimposition characteristics and Q characteristics can be improved.

金属酸化膜の平均厚さは、磁性体本体１１０を厚さ−幅（ＴＷ）方向の断面に切断した後、その断面を高倍率の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察して測定した。   The average thickness of the metal oxide film was measured by cutting the magnetic body 110 into a cross section in the thickness-width (TW) direction, and then observing the cross section with a high-power scanning electron microscope (SEM).

図３は図１のＩ−Ｉ’線に沿った断面図であり、図４は図１のII−II’線に沿った断面図である。   3 is a cross-sectional view taken along the line I-I 'of FIG. 1, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line II-II' of FIG.

図３及び図４を参照すると、本発明の一実施形態による積層電子部品１００において、上記磁性体本体１１０の上記第１、第２主面Ｓ１、Ｓ２、上記第１、第２端面Ｓ３、Ｓ４、及び上記第１、第２側面Ｓ５、Ｓ６からそれぞれ内部方向に上記磁性体本体１１０の厚さ（ｔ）の２０％に該当する地点までを外郭部１１１、上記外郭部１１１の内部境界の内側を中央部１１２と定義する。   3 and 4, in the multilayer electronic component 100 according to an embodiment of the present invention, the first and second main surfaces S1 and S2 and the first and second end surfaces S3 and S4 of the magnetic body 110 are described. , And from the first and second side surfaces S5 and S6 to the point corresponding to 20% of the thickness (t) of the magnetic body 110 in the inner direction, respectively, and the inside of the outer boundary 111 and the inner boundary of the outer shell 111 Is defined as the central portion 112.

このとき、上記外郭部１１１に含まれた金属磁性粒子１１の表面に形成された金属酸化膜１２の平均厚さは、上記中央部１１２に含まれた金属磁性粒子１１の表面に形成された金属酸化膜１２の平均厚さより４０ｎｍ〜２００ｎｍさらに厚くてもよい。   At this time, the average thickness of the metal oxide film 12 formed on the surface of the metal magnetic particle 11 included in the outer portion 111 is equal to the metal formed on the surface of the metal magnetic particle 11 included in the central portion 112. The average thickness of the oxide film 12 may be 40 nm to 200 nm.

本発明の一実施形態は、上記外郭部１１１に含まれた金属磁性粒子の金属酸化膜１２の平均厚さが２００ｎｍ〜３００ｎｍで形成される。   In one embodiment of the present invention, the average thickness of the metal oxide film 12 of the metal magnetic particles included in the outer portion 111 is 200 nm to 300 nm.

外郭部１１１に含まれた金属磁性粒子の金属酸化膜１２の平均厚さが２００ｎｍ未満の場合は、高周波帯域におけるＱ特性及び直流重畳特性が低下する可能性がある。また、３００ｎｍを超過すると、金属酸化膜によって金属磁性粒子の磁気的特性が顕著に下落して透磁率が減少し、インダクタンスが減少し、低周波帯域におけるＱ特性が低下するおそれがある（表１参照）。   When the average thickness of the metal oxide film 12 of the metal magnetic particles contained in the outer portion 111 is less than 200 nm, the Q characteristic and the DC superimposition characteristic in the high frequency band may be deteriorated. On the other hand, when the thickness exceeds 300 nm, the magnetic properties of the metal magnetic particles are significantly reduced by the metal oxide film, the magnetic permeability is decreased, the inductance is decreased, and the Q characteristics in the low frequency band may be lowered (Table 1). reference).

本発明の一実施形態は、上記中央部１１２に含まれた金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜１２の平均厚さが５０ｎｍ〜２００ｎｍで形成される。   In one embodiment of the present invention, the average thickness of the metal oxide film 12 formed on the surface of the metal magnetic particles included in the central portion 112 is 50 nm to 200 nm.

中央部１１２に含まれた金属磁性粒子の金属酸化膜１２の平均厚さが５０ｎｍ未満の場合は、高周波帯域におけるＱ特性及び直流重畳特性が低下する可能性がある。また、２００ｎｍを超過すると、金属酸化膜によって金属磁性粒子の磁気的特性が顕著に下落して透磁率が減少し、インダクタンスが減少し、低周波帯域におけるＱ特性が低下するおそれがある（表１参照）。   When the average thickness of the metal oxide film 12 of the metal magnetic particles contained in the central portion 112 is less than 50 nm, the Q characteristic and the DC superimposition characteristic in the high frequency band may be deteriorated. On the other hand, if it exceeds 200 nm, the magnetic characteristics of the metal magnetic particles are significantly lowered by the metal oxide film, the magnetic permeability is decreased, the inductance is decreased, and the Q characteristic in the low frequency band may be decreased (Table 1). reference).

上記金属磁性体層１０は、表面に金属酸化膜１２が形成された金属磁性粒子１１間の空間に充填された高分子樹脂１３を含む。   The metal magnetic layer 10 includes a polymer resin 13 filled in a space between metal magnetic particles 11 having a metal oxide film 12 formed on the surface thereof.

焼結された磁性体本体１１０を高分子樹脂にディッピングし、減圧処理したり、高分子樹脂を焼結された磁性体本体１１０の表面に塗布してから吸収させることにより、金属磁性粒子１１間の空き空間に高分子樹脂１３を充填させることができる。   The sintered magnetic body 110 is dipped into a polymer resin and subjected to a reduced pressure treatment, or the polymer resin is applied to the surface of the sintered magnetic body 110 and then absorbed, thereby absorbing the metal magnetic particles 11. Can be filled with the polymer resin 13.

金属磁性粒子１１間の空間に高分子樹脂１３が充填されることにより、強度を向上させ、吸湿性を減少させることができる。   By filling the space between the metal magnetic particles 11 with the polymer resin 13, the strength can be improved and the hygroscopicity can be reduced.

上記高分子樹脂１３は、シリコーン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノール系樹脂、シリケート系樹脂、ウレタン系樹脂、イミド系樹脂、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、及びポリエチレン系樹脂からなる群より選択されたいずれか一つ以上であることができる。   The polymer resin 13 is selected from the group consisting of a silicone resin, an epoxy resin, a phenol resin, a silicate resin, a urethane resin, an imide resin, an acrylic resin, a polyester resin, and a polyethylene resin. It can be any one or more.

上記高分子樹脂１３は、上記金属磁性体層１０の断面面積の１０％〜３０％を占めることができる。   The polymer resin 13 may occupy 10% to 30% of the cross-sectional area of the metal magnetic layer 10.

高分子樹脂１３の面積が１０％未満の場合は、強度が低下し、高湿条件下において水分が磁性体内部に吸収されるという問題点があり、３０％を超過すると、透磁率が減少する可能性がある。   When the area of the polymer resin 13 is less than 10%, the strength decreases, and there is a problem that moisture is absorbed inside the magnetic material under high humidity conditions. When the area exceeds 30%, the magnetic permeability decreases. there is a possibility.

下記表１は磁性体本体１１０の外郭部１１１及び中央部１１２に含まれた金属磁性粒子１１の金属酸化膜１２の厚さによるインダクタンス、Ｑ特性、及び直流重畳特性の結果を示したものである。   Table 1 below shows the results of inductance, Q characteristics, and DC superposition characteristics depending on the thickness of the metal oxide film 12 of the metal magnetic particles 11 included in the outer portion 111 and the central portion 112 of the magnetic body 110. .

ここで、チップサイズ（Ｌ＊Ｗ）２．００ｘ１．２０［ｍｍ］、目標容量（Ｌｓ）１．０［ｕＨ］を条件にした。   Here, the chip size (L * W) 2.00 × 1.20 [mm] and the target capacity (Ls) 1.0 [uH] were used as conditions.

Figure 0005980861
Figure 0005980861

上記表１を参照すると、外郭部の金属酸化膜の厚さが２００ｎｍ〜３００ｎｍ、中央部の金属酸化膜の厚さが５０ｎｍ〜２００ｎｍを満たすとき、低周波帯域及び高周波帯域におけるＱ特性及び直流重畳特性に優れていることが確認できた。   Referring to Table 1, when the thickness of the outer metal oxide film is 200 nm to 300 nm and the thickness of the central metal oxide film is 50 nm to 200 nm, the Q characteristics and DC superposition in the low frequency band and the high frequency band are obtained. It was confirmed that the characteristics were excellent.

下記表２は金属磁性粒子（Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金）の粒度分布Ｄ５０及び最大粒径による透磁率、Ｑ特性の結果を示したものである。 Table 2 particle size distribution D 50 and permeability by the maximum particle size of the metal magnetic particles (Fe-Si-Cr alloy), shows the results of the Q characteristic.

Figure 0005980861
Figure 0005980861

上記表２を参照すると、金属磁性粒子の粒度分布Ｄ５０が３μｍ〜５μｍ、最大粒径が１５μｍ以下を満たすとき、低周波帯域及び高周波帯域におけるＱ特性に優れていることが確認できた。 Referring to Table 2, the particle size distribution D 50 of the metal magnetic particles 3Myuemu～5myuemu, when the maximum particle size satisfies the 15μm or less, it was confirmed to have excellent Q characteristic in a low frequency band and high frequency band.

以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有するものには明らかである。   Although the embodiment of the present invention has been described in detail above, the scope of the right of the present invention is not limited to this, and various modifications and modifications can be made without departing from the technical idea of the present invention described in the claims. It will be apparent to those of ordinary skill in the art that variations are possible.

１００ 積層電子部品
１０ 金属磁性体層
１１ 金属磁性粒子
１２ 金属酸化膜
１３ 高分子樹脂
１１０ 磁性体本体
１１１ 外郭部
１１２ 中央部
１２０ 内部コイル部
１３０ 外部電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Laminated electronic component 10 Metal magnetic body layer 11 Metal magnetic particle 12 Metal oxide film 13 Polymer resin 110 Magnetic body 111 Outer part 112 Central part 120 Internal coil part 130 External electrode

Claims (17)

磁性体本体の内部に内部コイル部が配置され、
前記磁性体本体は、厚さ方向に相対する第１、第２主面、幅方向に相対する第１、第２側面、及び長さ方向に相対する第１、第２端面を有し、複数の金属磁性体層を含み、
前記金属磁性体層は、金属磁性粒子、及び前記金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜を含み、
前記磁性体本体の前記第１、第２主面、前記第１、第２側面、及び前記第１、第２端面からそれぞれ内部方向に前記磁性体本体の厚さの２０％に該当する地点までを外郭部、前記外郭部の内部境界の内側を中央部とするとき、前記外郭部は前記中央部の全面を取り囲み、
前記外郭部に含まれた金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜の平均厚さは２００ｎｍ〜３００ｎｍであり、前記中央部に含まれた金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜の平均厚さは５０ｎｍ〜２００ｎｍであり、
前記外郭部に含まれた金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜の平均厚さは、前記中央部に含まれた金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜の平均厚さより厚い、積層電子部品。 An internal coil portion is arranged inside the magnetic body,
The magnetic body has first and second main surfaces facing in the thickness direction, first and second side surfaces facing in the width direction, and first and second end surfaces facing in the length direction, Including a metal magnetic layer,
The metal magnetic layer includes metal magnetic particles and a metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particles,
From the first and second main surfaces, the first and second side surfaces, and the first and second end surfaces of the magnetic body to a point corresponding to 20% of the thickness of the magnetic body in the inner direction. The outer portion, and the inner side of the inner boundary of the outer portion as a central portion, the outer portion surrounds the entire surface of the central portion,
The average thickness of the metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particles included in the outer portion is 200 nm to 300 nm, and the metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particles included in the center portion the average thickness is Ri 50nm~200nm der,
The average thickness of the metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particles included in the outer portion is thicker than the average thickness of the metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particles included in the central portion. Laminated electronic components. 前記金属磁性体層は、表面に金属酸化膜が形成された金属磁性粒子間の空間に充填された高分子樹脂を含む、請求項１に記載の積層電子部品。   The multilayer electronic component according to claim 1, wherein the metal magnetic layer includes a polymer resin filled in a space between metal magnetic particles having a metal oxide film formed on a surface thereof. 前記高分子樹脂は、前記金属磁性体層の断面面積の１０％〜３０％を占める、請求項２に記載の積層電子部品。 The multilayer electronic component according to claim 2 , wherein the polymer resin occupies 10% to 30% of a cross-sectional area of the metal magnetic layer. 前記金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜は、前記金属磁性粒子に隣接する金属磁性粒子の金属酸化膜と結合する、請求項１に記載の積層電子部品。   2. The multilayer electronic component according to claim 1, wherein the metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particle is bonded to the metal oxide film of the metal magnetic particle adjacent to the metal magnetic particle. 前記金属磁性粒子同士は前記金属酸化膜によって隔離される、請求項１に記載の積層電子部品。   The multilayer electronic component according to claim 1, wherein the metal magnetic particles are separated from each other by the metal oxide film. 前記金属磁性粒子は、Ｆｅ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ａｌ及びＮｉからなる群より選択されたいずれか一つ以上を含む合金である、請求項１に記載の積層電子部品。   2. The multilayer electronic component according to claim 1, wherein the metal magnetic particles are an alloy including at least one selected from the group consisting of Fe, Si, Cr, Al, and Ni. 前記金属磁性粒子は最大粒径が１５μｍ以下である、請求項１に記載の積層電子部品。   The multilayer electronic component according to claim 1, wherein the metal magnetic particles have a maximum particle size of 15 μm or less. 前記金属磁性粒子は粒度分布Ｄ５０が３μｍ〜５μｍである、請求項１に記載の積層電子部品。   2. The multilayer electronic component according to claim 1, wherein the metal magnetic particles have a particle size distribution D50 of 3 μm to 5 μm. 前記金属磁性粒子間の間隔は５μｍ以下である、請求項１に記載の積層電子部品。   The multilayer electronic component according to claim 1, wherein an interval between the metal magnetic particles is 5 μm or less. 磁性体本体の内部に内部コイル部が配置され、
前記磁性体本体は、厚さ方向に相対する第１、第２主面、幅方向に相対する第１、第２側面、及び長さ方向に相対する第１、第２端面を有し、複数の金属磁性体層を含み、
前記金属磁性体層は、金属磁性粒子、及び前記金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜を含み、
前記磁性体本体の前記第１、第２主面、前記第１、第２側面、及び前記第１、第２端面からそれぞれ内部方向に前記磁性体本体の厚さの２０％に該当する地点までを外郭部、前記外郭部の内部境界の内側を中央部とするとき、前記外郭部は前記中央部の全面を取り囲み、
前記外郭部に含まれた金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜の平均厚さは、前記中央部に含まれた金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜の平均厚さより厚い、積層電子部品。 An internal coil portion is arranged inside the magnetic body,
The magnetic body has first and second main surfaces facing in the thickness direction, first and second side surfaces facing in the width direction, and first and second end surfaces facing in the length direction, Including a metal magnetic layer,
The metal magnetic layer includes metal magnetic particles and a metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particles,
From the first and second main surfaces, the first and second side surfaces, and the first and second end surfaces of the magnetic body to a point corresponding to 20% of the thickness of the magnetic body in the inner direction. The outer portion, and the inner side of the inner boundary of the outer portion as a central portion, the outer portion surrounds the entire surface of the central portion,
The average thickness of the metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particles included in the outer portion is thicker than the average thickness of the metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particles included in the central portion. Laminated electronic components. 前記外郭部に含まれた金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜の平均厚さは、前記中央部に含まれた金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜の平均厚さより４０ｎｍ〜２００ｎｍさらに厚い、請求項１０に記載の積層電子部品。   The average thickness of the metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particles included in the outer portion is 40 nm to the average thickness of the metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particles included in the central portion. The multilayer electronic component according to claim 10, which is 200 nm thicker. 前記外郭部に含まれた金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜の平均厚さは２００ｎｍ〜３００ｎｍである、請求項１０に記載の積層電子部品。   The multilayer electronic component according to claim 10, wherein the average thickness of the metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particles included in the outer portion is 200 nm to 300 nm. 前記中央部に含まれた金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜の平均厚さは５０ｎｍ〜２００ｎｍである、請求項１０に記載の積層電子部品。   The multilayer electronic component according to claim 10, wherein an average thickness of the metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particles included in the central portion is 50 nm to 200 nm. 前記金属磁性体層は、表面に金属酸化膜が形成された金属磁性粒子間の空間に充填された高分子樹脂を含む、請求項１０に記載の積層電子部品。   The multilayer electronic component according to claim 10, wherein the metal magnetic layer includes a polymer resin filled in a space between metal magnetic particles having a metal oxide film formed on a surface thereof. 前記金属磁性粒子の表面に形成された金属酸化膜は、前記金属磁性粒子に隣接する金属磁性粒子の金属酸化膜と結合し、
前記金属磁性粒子同士は前記金属酸化膜によって隔離される、請求項１０に記載の積層電子部品。 The metal oxide film formed on the surface of the metal magnetic particle is combined with the metal oxide film of the metal magnetic particle adjacent to the metal magnetic particle,
The multilayer electronic component according to claim 10, wherein the metal magnetic particles are separated from each other by the metal oxide film. 前記金属磁性粒子は最大粒径が１５μｍ以下である、請求項１０に記載の積層電子部品。   The multilayer electronic component according to claim 10, wherein the metal magnetic particles have a maximum particle size of 15 μm or less. 前記金属磁性粒子は粒度分布Ｄ５０が３μｍ〜５μｍである、請求項１０に記載の積層電子部品。   The multilayer electronic component according to claim 10, wherein the metal magnetic particles have a particle size distribution D50 of 3 μm to 5 μm.
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