JP5980263B2 - Device including capacitance type electromechanical transducer - Google Patents
Device including capacitance type electromechanical transducer Download PDFInfo
- Publication number
- JP5980263B2 JP5980263B2 JP2014094905A JP2014094905A JP5980263B2 JP 5980263 B2 JP5980263 B2 JP 5980263B2 JP 2014094905 A JP2014094905 A JP 2014094905A JP 2014094905 A JP2014094905 A JP 2014094905A JP 5980263 B2 JP5980263 B2 JP 5980263B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency
- region
- electromechanical transducer
- electrode
- current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
本発明は超音波検出装置、超音波診断装置など、静電容量型の電気機械変換装置を含む装置に関する。 The present invention relates to an apparatus including a capacitive electromechanical transducer, such as an ultrasonic detection apparatus and an ultrasonic diagnostic apparatus.
従来、間隔を隔てて配置された電極を有するセルを含む静電容量型超音波検出装置は、知られている(特許文献1参照)。特に近年、マイクロマシンニング技術を用いた静電容量型超音波変換装置(CMUT)が盛んに研究されている。このCMUTは、軽量の振動膜を用いて超音波を送信または受信し、液体中及び気体中でも優れた広帯域特性が容易に得られる。このCMUTを利用し、従来の医用診断モダリティより高精度な超音波診断が有望な技術として注目されつつある。CMUTの超音波受信機能は、静電容量型電気機械変換装置と後段の電気回路で遂行される。前段の静電容量型電気機械変換装置の出力は、静電容量の時間変動によるものであるため、電流出力である。従って、後段に電流‐電圧変換増幅回路を用いるのが一般的である。 Conventionally, a capacitive ultrasonic detector including a cell having electrodes arranged at intervals is known (see Patent Document 1). In particular, in recent years, a capacitive ultrasonic transducer (CMUT) using micromachining technology has been actively studied. This CMUT transmits or receives ultrasonic waves using a lightweight vibrating membrane, and can easily obtain excellent broadband characteristics even in liquid and gas. Using this CMUT, ultrasonic diagnosis with higher accuracy than conventional medical diagnostic modalities is attracting attention as a promising technology. The ultrasonic reception function of the CMUT is performed by a capacitance type electromechanical transducer and a subsequent electric circuit. The output of the capacitive electromechanical transducer in the previous stage is a current output because it is due to the time variation of the capacitance. Therefore, it is common to use a current-voltage conversion amplifier circuit in the subsequent stage.
他方、これまで、実用的な超音波変換装置には主に圧電材(ピエゾ)が使用されてきた。この圧電材(ピエゾ)型の装置の解像度は周波数に比例する為、3MHz乃至10MHzの範囲に中心感度のある超音波変換装置が普通であった。これと比較して、CMUTは広い周波数帯域を有することが特徴であるが、圧電材型に代わるものとして、従来の一般的な超音波診断用のセンサーとして用いようとしている為、これの中心周波数も3MHz乃至10MHz程度が普通である。但し、広い周波数帯域を有効に利用するため、後段の電気回路にも広い帯域が要求される。CMUTの超音波受信機能の周波数特性は、静電容量型電気機械変換装置のカットオフ周波数と増幅回路のカットオフ周波数との間のバンドパス型として構成されるのが通常である。よって、増幅回路は、カットオフ周波数が受信帯域よりも十分大きいものを用いることが多い。この点に関して、非特許文献1は、明示した帰還抵抗と、MOSトランジスタ回路に寄生的に存在する容量である帰還容量とを持つ増幅回路を示している。その結果、非特許文献1に記載されているCMUTの周波数帯域は2MHz乃至7MHzとなっている。 On the other hand, piezoelectric materials (piezo) have been mainly used for practical ultrasonic transducers. Since the resolution of this piezoelectric material type device is proportional to the frequency, an ultrasonic transducer having a central sensitivity in the range of 3 MHz to 10 MHz is common. Compared to this, CMUT is characterized by having a wide frequency band. However, as an alternative to the piezoelectric material type, CMUT is intended to be used as a conventional sensor for general ultrasonic diagnosis. Also, 3 MHz to 10 MHz is normal. However, in order to effectively use a wide frequency band, a wide band is also required for the subsequent electrical circuit. The frequency characteristic of the ultrasonic reception function of the CMUT is usually configured as a bandpass type between the cutoff frequency of the capacitive electromechanical transducer and the cutoff frequency of the amplifier circuit. Therefore, an amplifier circuit whose cutoff frequency is sufficiently larger than the reception band is often used. In this regard, Non-Patent Document 1 shows an amplifier circuit having an explicit feedback resistor and a feedback capacitor that is a parasitic capacitance in the MOS transistor circuit. As a result, the frequency band of the CMUT described in Non-Patent Document 1 is 2 MHz to 7 MHz.
上述した技術状況で、検体の検査においては形態画像だけでなく機能画像を表示する超音波変換装置の開発も近年進められている。この様な装置の1つに光音響分光分析法を利用した装置がある。こうした光音響分光分析法で用いられる光音響波の周波数帯域は、超音波エコーで用いられる超音波の周波数帯域と比較すると一般的に低い。例えば、光音響波の周波数帯域は200KHz乃至2MHzの範囲に分布しており、これは、超音波エコーで用いられる超音波の中心周波数3.5MHzよりも低い。そのため、比較的低い周波数帯を高感度で検出できる超音波変換装置が開発される必要がある。 In the above-described technical situation, development of an ultrasonic transducer that displays not only a morphological image but also a functional image in the examination of a specimen has been promoted in recent years. One such device is a device that uses photoacoustic spectroscopy. The frequency band of photoacoustic waves used in such photoacoustic spectroscopy is generally lower than the frequency band of ultrasonic waves used in ultrasonic echoes. For example, the frequency band of the photoacoustic wave is distributed in the range of 200 KHz to 2 MHz, which is lower than the ultrasonic center frequency of 3.5 MHz used in the ultrasonic echo. Therefore, it is necessary to develop an ultrasonic transducer that can detect a relatively low frequency band with high sensitivity.
上記課題に鑑み、本発明の装置は、静電容量型電気機械変換装置と、電気回路とを含み、以下の特徴を有する。前記静電容量型電気機械変換装置は、第1電極とこの第1電極と対向しキャビティを隔てて配設された第2電極とを備えるセルを有し、超音波を受信する。前記電気回路は、前記電気機械変換装置から出力される電流を電圧に変換する。受信する超音波に対する前記電気機械変換装置の出力電流の周波数特性は、周波数が低くなると値が小さくなる第1の領域を有し、入力される電流に対する前記電気回路の出力電圧の周波数特性は、周波数が高くなると値が小さくなる第2の領域を有し、前記第1の領域と前記第2の領域とが重なる部分を有する。また、本発明の他の装置は、静電容量型電気機械変換装置と、電気回路とを含み、以下の特徴を有する。前記静電容量型電気機械変換装置は、第1電極とこの第1電極と対向しキャビティを隔てて配設された第2電極とを備えるセルを有し、超音波を受信する。前記電気回路は、前記電気機械変換装置から出力される電流を電圧に変換する。そして、受信する超音波に対する前記電気機械変換装置の出力電流の周波数特性は、第1の周波数よりも低い周波数側の第1の領域で周波数が低くなると値が小さくなる特性を有し、入力される電流に対する前記電気回路の出力電圧の周波数特性は、第2の周波数よりも高い周波数側の第2の領域で周波数が高くなると値が小さくなる特性を有し、前記第1の領域と前記第2の領域とが重なる部分を有する。 In view of the above problems, equipment of the present invention includes a capacitive electromechanical transducer and an electrical circuit, having the following characteristics. The capacitance-type electromechanical transducer has a cell including a first electrode and a second electrode disposed opposite to the first electrode and spaced from a cavity, and receives ultrasonic waves. The electric circuit converts a current output from the electromechanical converter into a voltage. The frequency characteristic of the output current of the electromechanical transducer with respect to the received ultrasonic wave has a first region where the value decreases as the frequency decreases, and the frequency characteristic of the output voltage of the electric circuit with respect to the input current is It has a 2nd field where a value becomes small when a frequency becomes high, and has a portion with which the 1st field and the 2nd field overlap. Another equipment of the present invention includes a capacitive electromechanical transducer and an electrical circuit, having the following characteristics. The capacitance-type electromechanical transducer has a cell including a first electrode and a second electrode disposed opposite to the first electrode and spaced from a cavity, and receives ultrasonic waves. The electric circuit converts a current output from the electromechanical converter into a voltage. The frequency characteristic of the output current of the electromechanical transducer with respect to the received ultrasonic wave has a characteristic that the value becomes smaller when the frequency becomes lower in the first region on the frequency side lower than the first frequency. The frequency characteristic of the output voltage of the electric circuit with respect to the current having a characteristic is such that the value decreases as the frequency increases in the second region on the frequency side higher than the second frequency, and the first region and the first It has a part which 2 area | regions overlap.
本発明によって、従来の超音波プローブよりも低周波数域を帯域とする超音波検出装置が実現できる。 It by the present invention, conventional ultrasonic detection device for a band of low-frequency range than the ultrasonic probe can be achieved.
以下、本発明の超音波検出装置及び超音波診断装置の実施形態を説明する。本発明においては、前記電気機械変換装置の周波数帯域と前記電気回路の周波数帯域とが重なる部分を有する。カットオフ周波数、ハイパス特性、ローパス特性の意味する所を説明する。後述する様に、静電容量型電気機械変換装置の出力の周波数特性は、振動膜の真空中の共振周波数で最大となる。そして、本発明の周波数特性とは、最大値の周波数より低い周波数側で3dB程度低下している周波数(第1カットオフ周波数)から、上記共振周波数を経て、振動膜の反共振周波数の間のバンドパス特性の周波数特性である。実際に作製されるデバイスにおいては、最大出力となっている周波数近傍の範囲で平均した値を用いることで、第1カットオフ周波数を定義できる。このときの静電容量型機械電気変換装置の周波数特性は第1カットオフ周波数を有するハイパス特性となる。つまり、本明細書におけるハイパス特性とは、カットオフ周波数よりも低い周波数領域ではほぼ決まった傾きで周波数に対して利得が増加し、カットオフ周波数よりも高い周波数領域で平坦な分布となることである。他方、後段の電流−電圧変換増幅回路は、帰還抵抗と帰還容量の値によって第2カットオフ周波数が決まるローパス特性の周波数特性を有する。本明細書におけるローパス特性とは、カットオフ周波数よりも高い周波数領域では決まった傾きで周波数に対して利得が減少し、カットオフ周波数よりも低い周波数領域で平坦な分布となることである。ここでは、第2カットオフ周波数は、低域での利得よりも3dB程度低下した利得を示す周波数を指す。本明細書において、上記「平坦な分布」とは一定の利得であることを意味する。具体的には、ローパス特性は、カットオフ周波数より低い領域で「平坦」となり、カットオフ周波数より高い領域で「決まった傾きで利得が減少」する。同様にハイパス特性は、カットオフ周波数より低い領域で「決まった傾きで利得が増加」し、カットオフ周波数より高い領域で「平坦」となる。そして本明細書における「平坦な分布」とは、全く平坦な場合だけでなく、利得の周波数特性に対する傾きの関係が装置設計上無視できる程度に小さい傾きを有するものも含む。 Hereinafter, embodiments of the ultrasonic detection apparatus and the ultrasonic diagnostic apparatus of the present invention will be described. In the invention, to have a frequency band and overlapping portions of the frequency band as the electric circuit of the electromechanical converter. The meaning of the cut-off frequency, high-pass characteristics, and low-pass characteristics will be described. As will be described later, the frequency characteristic of the output of the capacitive electromechanical transducer is maximized at the resonance frequency of the vibrating membrane in vacuum. The frequency characteristic of the present invention refers to the frequency between the anti-resonance frequency of the diaphragm through the resonance frequency from the frequency (first cut-off frequency) lowering by about 3 dB on the lower frequency side than the maximum frequency. It is a frequency characteristic of a band pass characteristic. In a device that is actually manufactured, the first cut-off frequency can be defined by using an average value in the vicinity of the frequency that is the maximum output. The frequency characteristic of the capacitive electromechanical transducer at this time is a high-pass characteristic having a first cutoff frequency. In other words, the high-pass characteristic in this specification means that the gain increases with respect to the frequency with a substantially fixed slope in the frequency region lower than the cutoff frequency, and a flat distribution in the frequency region higher than the cutoff frequency. is there. On the other hand, the subsequent current-voltage conversion amplifier circuit has a low-pass frequency characteristic in which the second cut-off frequency is determined by the values of the feedback resistance and the feedback capacitance. The low-pass characteristic in this specification means that the gain decreases with respect to the frequency with a fixed slope in the frequency region higher than the cutoff frequency, and a flat distribution is obtained in the frequency region lower than the cutoff frequency. Here, the second cut-off frequency indicates a frequency indicating a gain that is reduced by about 3 dB from the gain in the low band. In the present specification , the “flat distribution” means a constant gain. Specifically, the low-pass characteristic becomes “flat” in a region lower than the cutoff frequency, and “gain decreases with a fixed slope” in a region higher than the cutoff frequency. Similarly, the high-pass characteristics “gain increases with a fixed slope” in a region lower than the cutoff frequency, and “flat” in a region higher than the cutoff frequency. The “flat distribution” in this specification includes not only a completely flat case but also a case where the relationship of the slope with respect to the frequency characteristic of the gain is so small that it can be ignored in the device design .
上記考え方に基づき、本発明の超音波検出装置及び超音波診断装置の基本的な形態は、上述した様な構成を有する。この基本的な形態を基に、次に述べる様な実施形態が可能である。例えば、静電容量型電気機械変換装置は、基板に配設された第1電極と、第1電極と対向して設置された第2電極と、第1電極と第2電極の間に挟まれた絶縁体及び空隙と、第2電極を上下に振動可能に支持する振動膜を含む(後述の第1の実施形態参照)。また、超音波検出装置において、第1電極と第2電極で構成されるコンデンサが、複数の空隙と複数の第2電極または振動膜とを含んで構成される。そして、静電容量型電気機械変換装置の出力電流の特性は、複数の第2電極または振動膜の機械特性の平均とコンデンサの静電容量を含む因子で決定される(後述の第2の実施形態参照)。また、超音波検出装置において、前記コンデンサが2次元的に配列されており、第2電極または振動膜の振動情報を2次元で検出することが可能である(後述の第3の実施形態参照)。 Based on the above concept, the basic form of the ultrasonic detection apparatus and ultrasonic diagnostic apparatus of the present invention has the configuration as described above. On the basis of this basic form, the following embodiments are possible. For example, a capacitance type electromechanical transducer is sandwiched between a first electrode disposed on a substrate, a second electrode disposed opposite to the first electrode, and the first electrode and the second electrode. And a vibrating membrane that supports the second electrode so as to vibrate up and down (see the first embodiment described later). Further, in the ultrasonic detection device, the capacitor configured by the first electrode and the second electrode includes a plurality of gaps and a plurality of second electrodes or vibration films. The characteristics of the output current of the capacitance type electromechanical transducer are determined by factors including the average of the mechanical characteristics of the plurality of second electrodes or diaphragms and the capacitance of the capacitor (second implementation described later). See form). In the ultrasonic detection apparatus, the capacitors are two-dimensionally arranged, and vibration information of the second electrode or the diaphragm can be detected two-dimensionally (see a third embodiment described later). .
本発明の原理を説明する。静電容量型電気機械変換装置は設計上、中心周波数帯域を1MHz前後にすることが容易ではない。これは、中心周波数帯域を1MHz前後にするにはメンブレンである第2電極または振動膜の硬さを柔らかくする(バネ定数を小さくする)必要があり、そうすると感度が低下するという弊害などもあり、設計の自由度が制限されるためである。つまり、メンブレンの撓みが大きくなり、高感度化のための狭ギャップ構造を作ることが困難になるとともに、電極への印加電圧も小さくせざるを得ず、感度が低下することになる。そこで、本発明では、静電容量型電気機械変換装置は1MHz前後よりも高周波側に中心周波数がある様に設計した状態で、後段の電気回路のカットオフ周波数を調整することにより、トータルで中心周波数帯域が1MHz前後になるシステムとする。こうした目標とする比較的低い周波数帯域では、増幅ゲインを或る程度高くしつつ電気回路のカットオフ周波数を調整するのは、他の特性にあまり悪影響を及ぼすことなく比較的容易である。これに対して、電気回路の増幅ゲインを上げたままカットオフ周波数を高くすることは、帰還抵抗を小さくするか帰還容量を小さくすることに等しく、こうすると、S/Nが悪化したり全体の感度が低下したりすることになる。或いは、回路の性能上、限度がある。 The principle of the present invention will be described. It is not easy for the electrostatic capacity type electromechanical transducer to have a center frequency band around 1 MHz by design. In order to make the center frequency band around 1 MHz, it is necessary to soften the hardness of the second electrode as a membrane or the vibrating membrane (decrease the spring constant). This is because the degree of freedom of design is limited. That is, the deflection of the membrane increases, making it difficult to form a narrow gap structure for increasing sensitivity, and the voltage applied to the electrode must be reduced, resulting in a decrease in sensitivity. Therefore, in the present invention, the capacitance type electromechanical transducer is designed so that the center frequency is on the higher frequency side than about 1 MHz, and the cutoff frequency of the subsequent electric circuit is adjusted so that the total center is obtained. The system has a frequency band around 1 MHz. In such a target relatively low frequency band, it is relatively easy to adjust the cutoff frequency of the electric circuit while increasing the amplification gain to some extent without adversely affecting other characteristics. On the other hand, increasing the cut-off frequency while increasing the amplification gain of the electric circuit is equivalent to reducing the feedback resistance or reducing the feedback capacitance. Sensitivity will decrease. Alternatively, there is a limit in circuit performance.
以上のことを、図1(a)、(b)、(c)を用いて更に説明する。静電容量変化を平行平板近似した際、入力音圧(入力する弾性波の圧力)に対する静電容量型電気機械変換装置の出力電流Iの周波数特性1(図1(a)参照)は次の式(1)で定式化される。
I=P/[(Zm+Zr)/(εA*Vb/d2)+jωC] (1)
ここで、eは真空の誘電率、Aは電気機械変換装置の電極(後述する上部電極7参照)の面積、Vbは電極間に印加するバイアス電圧、dは電極間の真空等価距離、Pは入力音圧、Zmは振動膜(後述する振動膜8参照)の機械インピーダンス、Zrは電気機械変換装置の周りの媒体の音響インピーダンス、ωは入力音圧の角周波数、Cは全静電容量である。この式で、全静電容量は相対的に小さいため、周波数の関数となっているのは振動膜の機械インピーダンスZmであると言ってよい。
The above will be further described with reference to FIGS. 1 (a), (b), and (c). When the capacitance change is approximated to a parallel plate, the frequency characteristic 1 (see FIG. 1A) of the output current I of the capacitive electromechanical transducer with respect to the input sound pressure (pressure of the input elastic wave) is as follows. Formulated by equation (1).
I = P / [(Zm + Zr) / (εA * V b / d 2 ) + jωC] (1)
Here, e is the dielectric constant of the vacuum, A is the area of the electrode of the electromechanical transducer (see
Zmは次の式(2)で表される。
Zm=j*km*{(ω/ω0 2)-1/ω} (2)
kmは振動膜のバネ定数であり、共振角周波数ω0(これは、第1のカットオフ周波数2の近くにある。図1(a)参照)よりも周波数が低い領域においては圧力Pに比例して振動膜が変位する。Zmは低周波数領域から共振周波数までは周波数に反比例して0に近づいていく。このことから、振動膜の共振周波数よりも小さい周波数領域において出力電流周波数特性1は周波数について一次特性となる。尚、図1(a)〜(c)の周波数特性の曲線について、これらは原理説明のために簡略化して見易く描いている。実際は、例えば肩部近辺ではもう少し形が崩れてなだらかに変化していて、カットオフ周波数は必ずしも図示した様に肩部の角に位置するものではない。また、図1(a)の横軸は対数表示された周波数を表し、上記一次特性は、対数表示された周波数に関して一次的な特性であることを意味する。同様に、上記反比例も、対数表示された周波数に関して反比例することを意味する。
Zm is represented by the following equation (2).
Zm = j * km * {(ω / ω 0 2 ) -1 / ω} (2)
km is the spring constant of the diaphragm, and is proportional to the pressure P in the region where the frequency is lower than the resonance angular frequency ω 0 (which is near the first cutoff frequency 2 (see FIG. 1A)). As a result, the vibrating membrane is displaced. Zm approaches zero from the low frequency region to the resonance frequency in inverse proportion to the frequency. From this, the output current frequency characteristic 1 becomes a primary characteristic with respect to the frequency in a frequency region smaller than the resonance frequency of the vibrating membrane. In addition, about the curve of the frequency characteristic of Fig.1 (a)-(c), these are simplified and drawn easily for the principle explanation. Actually, for example, in the vicinity of the shoulder portion, the shape is slightly broken and gradually changed, and the cut-off frequency is not necessarily located at the corner of the shoulder portion as shown. In addition, the horizontal axis of FIG. 1A represents the logarithmically displayed frequency, and the primary characteristic means that it is a primary characteristic with respect to the logarithmically displayed frequency. Similarly, the inverse proportion also means inverse proportion with respect to the logarithmically displayed frequency.
また、上記式(1)から分かる様に、出力電流周波数特性1は振動膜の機械インピーダンスZmのみならず、使用環境の一定の音響インピーダンスZrにも依存する。静電容量型電気機械変換装置は、通常、液体に漬けて使用する場合が多い。液体の音響インピーダンスは振動膜の機械インピーダンスよりも大きく、この場合、周波数特性1に対しては液体の音響インピーダンスが支配的となる。上述した様に、振動膜の機械インピーダンスZmが0になる周波数が振動膜の共振周波数であり、ここで出力電流周波数特性1は最大値をとる。振動膜の機械インピーダンスは、本来、振動膜の反共振周波数で無限大となるが、共振周波数よりも低い領域辺りで使用する際は、反共振周波数は無関係であるため、図1(a)の出力電流周波数特性1では反共振周波数近辺の領域は省いている。こうした点を総合的に考慮に入れて、上記式(1)で表される出力電流周波数特性1が図1(a)に示されている。 Further, as can be seen from the above formula (1), the output current frequency characteristic 1 depends not only on the mechanical impedance Zm of the diaphragm but also on the constant acoustic impedance Zr of the usage environment. Capacitance type electromechanical transducers are usually used in a liquid. The acoustic impedance of the liquid is larger than the mechanical impedance of the vibrating membrane. In this case, the acoustic impedance of the liquid is dominant for the frequency characteristic 1. As described above, the frequency at which the mechanical impedance Zm of the diaphragm is 0 is the resonance frequency of the diaphragm, and the output current frequency characteristic 1 takes the maximum value here. The mechanical impedance of the diaphragm is essentially infinite at the anti-resonance frequency of the diaphragm, but the anti-resonance frequency is irrelevant when used in a region lower than the resonance frequency. In the output current frequency characteristic 1, the region near the anti-resonance frequency is omitted. Taking these points into consideration, the output current frequency characteristic 1 represented by the above equation (1) is shown in FIG.
他方、電流‐電圧変換増幅回路の周波数特性3(図1(b)参照)は次の式(3)で定式化され、第2のカットオフ周波数4は次の式(4)で表される。
G=Rf/(1+jωRf*Cf) (3)
f=1/(2πRf*Cf) (4)
Gは電気回路のゲイン、Rfは帰還抵抗、Cfは帰還容量、fとωは入力電流の周波数と角周波数である。本発明の構成で用いる電気回路は、式(3)の様に周波数に対して一次特性(上記周波数特性1と同様に、対数表示された周波数に関しての特性である)のものを用いることが望ましく、高次特性を持つ回路を使用することは好ましくない。
On the other hand, the frequency characteristic 3 (see FIG. 1B) of the current-voltage conversion amplifier circuit is formulated by the following equation (3), and the
G = Rf / (1 + jωRf * Cf) (3)
f = 1 / (2πRf * Cf) (4)
G is the gain of the electric circuit, Rf is the feedback resistor, Cf is the feedback capacitance, and f and ω are the frequency and angular frequency of the input current. As the electric circuit used in the configuration of the present invention, it is desirable to use a circuit having a primary characteristic with respect to the frequency as shown in the expression (3) (similar to the frequency characteristic 1 is a characteristic relating to the logarithmically displayed frequency). It is not preferable to use a circuit having higher-order characteristics.
本発明では、静電容量型電気機械変換装置の出力電流の周波数特性1と電気回路の出力の周波数特性3を組み合わせて、従来の超音波プローブよりも低周波数域を帯域とする超音波検出装置を実現しようとする。この組み合わせに際し、目標とする特性5(図1(c)参照)を持つ超音波検出装置を実現するために、静電容量型電気機械変換装置の出力電流の周波数特性1の第1カットオフ周波数2よりも電気回路の出力の周波数特性3の第2カットオフ周波数4を小さくする。その理由は上述した通りである。
In the present invention, by combining the frequency characteristic 1 and the
こうして、静電容量型電気機械変換装置の出力電流周波数特性1と電流‐電圧変換増幅回路の周波数特性3が合わさって、超音波検出装置の出力周波数特性5となる。図1(c)に示す様に、有効周波数帯域は低域側カットオフ周波数101から高域側カットオフ周波数102の間となる。このとき、低域側カットオフ周波数101及び高域側のカットオフ周波数102は、夫々、第2カットオフ周波数4及び第1カットオフ周波数2とは必ずしも一致しない。これは、第1カットオフ周波数3と第2カットオフ周波数4が近接している場合には、超音波検出装置の出力周波数特性5が、低域側カットオフ周波数101と高域側カットオフ周波数102の間においてほぼ平坦な分布となりにくいからである。周波数特性1と周波数特性3は、低域側カットオフ周波数101と高域側カットオフ周波数102の間で一定程度の大きさを保ちつつほぼ平坦な分布となる様に、設計するのが良い。それには、例えば、周波数特性1の傾斜部の傾きと周波数特性3の傾斜部の傾きは、符号が逆で絶対値が出来るだけ等しいのが良い。また、周波数特性3のゲインを大きくするのが良い。
In this way, the output current frequency characteristic 1 of the capacitive electromechanical transducer and the
以上のことから、広帯域・高感度な超音波検出装置において、例えば、カットオフ周波数2とカットオフ周波数4の相乗平均となる周波数が0.4MHz乃至1.0MHzの範囲にあり図1(c)に示す様な周波数特性5を持つのが好ましい。周波数特性5の平坦な周波数帯域をその中心値で割った値が130%のとき、カットオフ周波数2とカットオフ周波数4の相乗平均を0.4MHzに設定すれば、0.2MHzの超音波を検出できる。また、同様に、カットオフ周波数2とカットオフ周波数4の相乗平均を1.0MHzに設定すれば、2.0MHzの超音波を検出できる。
From the above, in the ultrasonic detection apparatus with a wide band and high sensitivity, for example, the frequency that is the geometric mean of the
従来、通常の半導体やマイクロマシニング関連材料を使った場合、生体などからの超音波が透過しやすい液体中において、静電容量型電気機械変換装置の周波数特性は約3MHz以上で飽和して安定である。しかしながら、上述した様に1MHz付近に中心があり高感度なCMUTを得るのは困難であった。上記原理による本発明によれば、こうした困難も解消できる。比較のために、従来の静電容量型電気機械変換装置の周波数特性、電気回路の周波数特性、超音波検出装置の周波数特性を図4(a)、(b)、(c)に示す。図4(a)の周波数特性は図1(a)の周波数特性とあまり変わらないが、図4(b)の周波数特性は図1(b)の周波数特性と比べてカットオフ周波数4が高周波側にあり全体的にゲインが低くなっている。その結果、図4(c)の周波数特性は、低域側カットオフ周波数101と高域側カットオフ周波数102の範囲が高周波側にあり、例えば3MHz乃至10MHzにある。
Conventionally, when ordinary semiconductors and micromachining-related materials are used, the frequency characteristics of the capacitive electromechanical transducer are stable and stable at about 3 MHz or more in a liquid that easily transmits ultrasonic waves from a living body. is there. However, as described above, it is difficult to obtain a CMUT having a center near 1 MHz and high sensitivity. According to the present invention based on the above principle, such difficulties can be solved. For comparison, FIGS. 4A, 4B, and 4C show the frequency characteristics of a conventional capacitance type electromechanical transducer, the frequency characteristics of an electric circuit, and the frequency characteristics of an ultrasonic detector. The frequency characteristic of FIG. 4A is not much different from the frequency characteristic of FIG. 1A, but the frequency characteristic of FIG. 4B is higher in
以下、上記原理に基づいて具体化した静電容量型電気機械変換装置と電流‐電圧変換増幅回路の構成を持つ実施形態を図に沿って説明する。
(第1の実施形態)
第1の実施形態の超音波検出装置を説明する。本実施形態の静電容量型電気機械変換装置6(以下、セルとも言う)と電気回路14の構成を図1(d)に示す。1つのセルとして示す静電容量型電気機械変換装置6は、上部電極7、振動膜8、キャビティ9、絶縁層10、振動膜8を支持する支持部11、下部電極12、これらを支持する基板13で構成される。電気回路14は、上部電極7及び下部電極12と接続された抵抗R1、帰還抵抗Rfと帰還容量Cfを含む演算増幅器を有する。これらの変換装置6と電気回路14は、上述した周波数特性を有する様に構成されている。
Hereinafter, an embodiment having a configuration of a capacitance type electromechanical conversion device and a current-voltage conversion amplifier circuit embodied based on the above principle will be described with reference to the drawings.
(First embodiment)
The ultrasonic detection apparatus according to the first embodiment will be described. FIG. 1D shows the configuration of the capacitance type electromechanical transducer 6 (hereinafter also referred to as a cell) and the
図1(d)は構成の一例である。振動膜8が絶縁体であれば絶縁層10はあってもなくてもよい。また、その場合、振動膜8と支持部11は同一物質でもよい。絶縁層10と支持部11が同一物質でもよい。構成上、上部電極7と振動膜8は接着しており、一体で振動する。感度向上の観点から、キャビティ9は大気よりも低い圧力に維持されているのが望ましい。基板13がシリコンなどの半導体基板等の導電性基板である場合、基板13と下部電極12は一体でもよい。出力電流周波数特性1は、振動膜8の機械インピーダンスと使用環境の音響インピーダンスに依存する。静電容量型電気機械変換装置は、通常、液体18に漬けて使用する場合が多い。液体18の音響インピーダンスは振動膜8の機械インピーダンスよりも大きく、液体は具体的には、水、超音波診断用グリス、ひまし油などの油等である。
FIG. 1D is an example of the configuration. If the
一般的に、上部電極7、下部電極12は金属であればよいが、低抵抗の半導体などでもよい。例えば、第2の電極である上部電極7は、Al、Cr、Ti、Au、Pt、Cu、Ag、W、Mo、Ta、Ni等から選択される導電体、Si等の半導体、AlSi、AlCu、AlTi、MoW、AlCr、TiN、AlSiCu等から選択される合金のうちの少なくとも1つの材料で形成することができる。また、上部電極7は、振動膜8の上面、裏面、内部のうちの少なくとも一箇所に設けるか、若しくは振動膜8を導電体又は半導体で形成する場合は振動膜が上部電極7を兼ねる構造とすることもできる。第1の電極である下部電極12も、上部電極7と同様の導電体や半導体等により形成することができる。また、下部電極12と上部電極7の電極材料は異なっていてもよい。
In general, the
本実施形態における各部の寸法を例示すると次の様になる。例えば、キャビティ9の高さは100nm程度であるが、10nmから500nmの範囲にあってもよい。キャビティ9の一片の長さは、例えば、10μmから200μmの範囲にある。振動膜8は、例えば、SiNにより形成されるが、その他の絶縁材料でもよい。キャビティ9は大気圧に対して減圧状態に保たれており、振動膜8は多少凹形状となる。振動膜及び電極は、例えば、角形としたが、円形、多角形などであっても構わない。セルのキャビティ9の形状も、例えば、角形であるが、その他の形状でもよい。
The dimensions of each part in this embodiment are exemplified as follows. For example, the height of the
受信動作時には、超音波検出装置のセル6の上部電極7と下部電極12の間に電位差を生じさせるために電圧源15により直流電圧Vをかける。超音波を受信する際には、振動膜8が振動し、振動に伴う容量変化分だけ電流が流れる。その電流を電流‐電圧変換増幅回路14で増幅する。
During the reception operation, a direct current voltage V is applied by the
(第2の実施形態)
第2の実施形態の超音波検出装置を説明する。本実施形態の構成を図2(a)、(b)に示す。図の破線部分は、セル6の透視部を除いて、構造の描画を省略したことを示す。本実施形態では、セル6が基板13上に複数並んでいる。各セル6及び電気回路14の構造は第1の実施形態で説明した通りである。複数のセル6の上部電極7と下部電極12は、夫々、電極結合配線部16、17により電気的に接続され、複数のセル6間で夫々導通している。図2(b)に示す様に、セル6は二次元的に等間隔で配列され、1つのエレメント20を形成している。装置は、エレメント20の上部電極7が、例えば、超音波の伝播の良好な液体18に接した状態で使用される。検出感度、信号処理の容易さなどの観点から、複数のセル6間で、振動膜8の機械特性やキャビティ9の深さは均一であるのが望ましい。エレメント20内において、セル6の配列は、図示例では正方格子状になっているが、千鳥状、六方最密状などでも構わない。エレメント20内のセル6の配列形態や数は、場合に応じて適宜決めればよい。また、図示例では振動膜8の形状を円形に描いたが、多角形などでもよい。この様に、本実施形態では、下部電極12(第1電極)と上部電極7(第2電極)で構成されるコンデンサが、複数の空隙9と複数の第2電極ないし振動膜8とを含んで構成される。そして、エレメント20の出力電流の周波数特性は、複数の第2電極ないし振動膜8の機械特性の平均とコンデンサの静電容量を含む因子で決定される。
(Second Embodiment)
An ultrasonic detection apparatus according to the second embodiment will be described. The configuration of this embodiment is shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b). The broken line portion in the figure indicates that the drawing of the structure is omitted except for the perspective portion of the cell 6. In the present embodiment, a plurality of cells 6 are arranged on the
本実施形態においては、複数の上部電極7が導通している領域が超音波検出領域となり、1つのセルを含む第1の実施形態よりも感度が増加する。本実施形態では、複数のセルを含むエレメント20で1つの静電容量型電気機械変換装置を構成するとも言える。このときの静電容量型電気機械変換装置の周波数特性1(図1(a)参照)は、上述した様に、複数の振動膜8の機械特性の平均値等で決定される。また、エレメント20の電流出力の大きさは複数の振動膜8上の上部電極7の総面積にほぼ比例する。その他の点は第1の実施形態と同様である。
In the present embodiment, an area where the plurality of
(第3の実施形態)
第3の実施形態の超音波検出装置を説明する。本実施形態の構成を図2(c)、(d)に示す。上面図である図2(d)は超音波検出装置32の全体構成を示す。図2(c)、(d)でも、破線部分は構造の描画を省略したことを示す。本実施形態の超音波検出デバイス30は、第2の実施形態のエレメント20が二次元的に配列されている構成である。配線部16で繋がった上部電極7と配線部17で繋がった下部電極12のうち、どちらか一方はエレメント20ごとに電気的に分離されている。本実施形態でも、上部電極16は超音波の伝播の良好な液体18に接している。エレメント20ごとの出力を配線31で電流‐電圧変換増幅回路14に送って電圧変換することで、超音波信号を二次元の分布として検出することが可能である。ここでも、各エレメント20の周波数特性1は、複数の振動膜8の機械特性の平均値等で決定される。また、各エレメント20の電流出力の大きさは複数の上部電極7の総面積にほぼ比例する。本実施形態の超音波検出装置では、コンデンサは2次元的に配列されており、第2電極ないし振動膜8の振動情報を2次元で検出することが可能である。その他の点は第1の実施形態と同様である。
(Third embodiment)
An ultrasonic detection apparatus according to a third embodiment will be described. The configuration of this embodiment is shown in FIGS. FIG. 2D, which is a top view, shows the overall configuration of the
ところで、上記実施形態の構成は、音波を発生させる装置として用いることもできる。上部電極7(若しくは上部電極結合配線部16)と下部電極12(若しくは下部電極結合配線部17)の間に電圧源15で、DC電圧に微小な交流電圧を重畳した電圧を印加することで、振動膜8を強制振動させて音波を発生させる。このときの周波数特性は、主に、静電容量型電気機械変換装置の出力電流周波数特性1と同じ様な送信特性を有する。この音波発生装置は、上述した第2の実施形態や第3の実施形態の様に、二次元的に振動膜8を配列することで、より大きな音波を発生させられる。また、発生面積を大きくすることで、音波の指向性を大きくでき、回折を小さくできる。
By the way, the structure of the said embodiment can also be used as an apparatus which generates a sound wave. By applying a voltage obtained by superimposing a minute alternating voltage on a DC voltage with the
(第4の実施形態)
第4の実施形態の超音波診断装置を説明する。本実施形態の構成を図3に示す。光源40から発せられた光41が伝播して生体組織42にあたることによって、光音響波と呼ばれる超音波43が発せられる。すなわち、生体組織内部に存在する光吸収係数が大きい箇所にて光が吸収され、当該箇所が加熱される。そして、加熱された部分が膨張し、膨張に伴い弾性波が発生する。この超音波43の周波数は生体組織を構成する物質や個体によって異なるが、上述した様に、例えば、200kHz乃至2MHz程度である。超音波(光音響波)43は、その伝播の良好な液体18を通って、超音波検出装置32で検出される。電流電圧変換・増幅された信号は信号束線44を介して信号処理系45に送られる。検出結果の信号は信号処理系45で信号処理され、生体情報を抽出する。超音波検出装置32が上述した第3の実施形態の如き構成ならば、二次元的な超音波分布を検出することが可能であり、検出装置32を走査することによって広範囲な分布を捉えることができる。超音波は音速であるため、到達波(時間波形)の時間差を解析して時間情報を得て奥行き方向の情報も取得可能であり、その場合、信号処理系45に再構成機能を持たせてもよく、三次元の生体情報を抽出することができる。また、受信した信号をフーリエ変換して周波数特性を得ることで画像などを取得することもできる。
(Fourth embodiment)
An ultrasonic diagnostic apparatus according to a fourth embodiment will be described. The configuration of the present embodiment is shown in FIG. When light 41 emitted from the
光音響効果を用いて試料(検査対象)の断層像、三次元像などを取得する技術は、光音響トモグラフィー(PhotoAcoustic Tomography)として一般に知られており、その頭文字をとってPAT技術と称されている。 A technique for obtaining a tomographic image, a three-dimensional image, etc. of a sample (inspection object) using the photoacoustic effect is generally known as photoacoustic tomography, and is referred to as a PAT technique after taking its initials. ing.
6…静電容量型電気機械変換装置(セル)、7…上部電極(第2電極)、8…振動膜、9…キャビティ(空隙)、12…下部電極(第1電極)、14…電流‐電圧変換増幅回路、15…電圧源、32…超音波検出装置、40…光源、42…生体組織(検査対象)、43…光音響波(超音波)、45…信号処理系 6 ... Capacitance type electromechanical transducer (cell), 7 ... Upper electrode (second electrode), 8 ... Vibration membrane, 9 ... Cavity (gap), 12 ... Lower electrode (first electrode), 14 ... Current- Voltage conversion amplifier circuit, 15 ... Voltage source, 32 ... Ultrasonic detection device, 40 ... Light source, 42 ... Living tissue (test object), 43 ... Photoacoustic wave (ultrasound), 45 ... Signal processing system
Claims (26)
前記電気機械変換装置から出力される電流を電圧に変換する電気回路と、
を含む装置であって、
受信する超音波に対する前記電気機械変換装置の出力電流の周波数特性は、周波数が低くなると値が小さくなる第1の領域を有し、
入力される電流に対する前記電気回路の出力電圧の周波数特性は、周波数が高くなると値が小さくなる第2の領域を有し、
前記第1の領域と前記第2の領域とが重なる部分を有することを特徴とする装置。 A capacitance-type electromechanical transducer having a cell comprising a first electrode and a second electrode disposed opposite to the first electrode and spaced from a cavity, and receiving ultrasonic waves;
An electric circuit for converting a current output from the electromechanical converter into a voltage;
The A including equipment,
The frequency characteristic of the output current of the electromechanical transducer with respect to the received ultrasonic wave has a first region in which the value decreases as the frequency decreases,
Frequency characteristics of the output voltage of the electric circuit for the current input, when the frequency becomes higher the value has a second region smaller,
Equipment you characterized by having a portion where the first region and the second region overlap.
前記電気機械変換装置から出力される電流を電圧に変換する電気回路と、
を含む装置であって、
受信する超音波に対する前記電気機械変換装置の出力電流の周波数特性は、第1の周波数よりも低い周波数側の第1の領域で周波数が低くなると値が小さくなる特性を有し、
入力される電流に対する前記電気回路の出力電圧の周波数特性は、第2の周波数よりも高い周波数側の第2の領域で周波数が高くなると値が小さくなる特性を有し、
前記第1の領域と前記第2の領域とが重なる部分を有することを特徴とする装置。 A capacitance-type electromechanical transducer having a cell comprising a first electrode and a second electrode disposed opposite to the first electrode and spaced from a cavity, and receiving ultrasonic waves;
An electric circuit for converting a current output from the electromechanical converter into a voltage;
The A including equipment,
The frequency characteristic of the output current of the electromechanical transducer with respect to the received ultrasonic wave has a characteristic that the value decreases as the frequency decreases in the first region on the frequency side lower than the first frequency,
The frequency characteristic of the output voltage of the electric circuit with respect to the input current has a characteristic that the value decreases as the frequency increases in the second region on the frequency side higher than the second frequency,
Equipment you characterized by having a portion where the first region and the second region overlap.
受信する超音波に対する前記電気機械変換装置の出力電流の周波数特性は、前記複数のセルに配設された複数の第2電極の機械特性の平均と、前記エレメントの静電容量と、を含む因子により決定されることを特徴とする請求項1乃至15のいずれか1項に記載の装置。 The electromechanical transducer has an element including a plurality of the cells,
The frequency characteristic of the output current of the electromechanical transducer with respect to the received ultrasonic wave includes an average of the mechanical characteristics of the plurality of second electrodes arranged in the plurality of cells and the capacitance of the element. equipment according to any one of claims 1 to 15, characterized in that it is determined by.
受信する超音波に対する前記電気機械変換装置の出力電流の周波数特性は、前記複数のセルに配設された複数の第2電極または振動膜の機械特性の平均と、前記エレメントの静電容量と、を含む因子により決定されることを特徴とする請求項2、3、9又は10に記載の装置。 The electromechanical transducer has an element including a plurality of the cells,
The frequency characteristics of the output current of the electromechanical transducer with respect to the received ultrasonic waves are the average of the mechanical characteristics of the plurality of second electrodes or diaphragms disposed in the plurality of cells, the capacitance of the element, equipment according to claim 2, 3, 9 or 10, characterized in that it is determined by factors including.
前記電気機械変換装置は、前記光源から発せられた光が検査対象にあてられることにより生じる超音波を受信することを特徴とする請求項1乃至24のいずれか1項に記載の装置。 Further comprising a light source,
The electromechanical conversion device, according to any one of claims 1 to 24 light emitted from said light source, wherein the benzalkonium to receive the ultrasonic wave caused by being devoted to the inspection target.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014094905A JP5980263B2 (en) | 2014-05-02 | 2014-05-02 | Device including capacitance type electromechanical transducer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014094905A JP5980263B2 (en) | 2014-05-02 | 2014-05-02 | Device including capacitance type electromechanical transducer |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009254752A Division JP5538822B2 (en) | 2009-11-06 | 2009-11-06 | Ultrasonic detection device and ultrasonic diagnostic device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014144376A JP2014144376A (en) | 2014-08-14 |
JP5980263B2 true JP5980263B2 (en) | 2016-08-31 |
Family
ID=51425105
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014094905A Active JP5980263B2 (en) | 2014-05-02 | 2014-05-02 | Device including capacitance type electromechanical transducer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5980263B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107532938B (en) * | 2015-03-16 | 2021-04-06 | 加利福尼亚大学董事会 | Ultrasonic microphone and ultrasonic acoustic radio apparatus |
US11607199B2 (en) * | 2018-11-20 | 2023-03-21 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Switched capacitor for elasticity mode imaging with ultrasound |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6885752B1 (en) * | 1994-07-08 | 2005-04-26 | Brigham Young University | Hearing aid device incorporating signal processing techniques |
US7769420B2 (en) * | 2000-05-15 | 2010-08-03 | Silver James H | Sensors for detecting substances indicative of stroke, ischemia, or myocardial infarction |
JP2002136513A (en) * | 2000-10-31 | 2002-05-14 | Aloka Co Ltd | Ultrasonic diagnosing device |
WO2005032351A2 (en) * | 2003-10-03 | 2005-04-14 | Sensant Corporation | Microfabricated ultrasonic transducer array for 3-d imaging and method of operating the same |
EP1762181B1 (en) * | 2004-06-11 | 2016-04-06 | Olympus Corporation | Ultrasonic probe and ultrasonographic device |
WO2006041058A1 (en) * | 2004-10-15 | 2006-04-20 | Hitachi Medical Corporation | Ultrasonograph |
JP5546111B2 (en) * | 2007-06-29 | 2014-07-09 | キヤノン株式会社 | Ultrasonic probe and inspection apparatus provided with the ultrasonic probe |
JP5538822B2 (en) * | 2009-11-06 | 2014-07-02 | キヤノン株式会社 | Ultrasonic detection device and ultrasonic diagnostic device |
-
2014
- 2014-05-02 JP JP2014094905A patent/JP5980263B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014144376A (en) | 2014-08-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5538822B2 (en) | Ultrasonic detection device and ultrasonic diagnostic device | |
KR101954102B1 (en) | Capacitive transducer, capacitive transducer manufacturing method, and object information acquisition apparatus | |
JP5511260B2 (en) | Capacitive electromechanical transducer and sensitivity adjustment method thereof | |
EP2796210B1 (en) | Capacitive transducer and method of manufacturing the same | |
JP6429759B2 (en) | Capacitance type transducer and information acquisition device including the same | |
JP6632431B2 (en) | Ultrasonic transducer unit and information acquisition device including the same | |
Pekař et al. | Frequency tuning of collapse-mode capacitive micromachined ultrasonic transducer | |
Knight et al. | Capacitive micromachined ultrasonic transducers for forward looking intravascular imaging arrays | |
JP2020057860A (en) | Capacitive transducer and method of manufacturing the same | |
WO2018061395A1 (en) | Ultrasonic transducer, method for manufacturing same, and ultrasonic image pickup device | |
US10189049B2 (en) | Capacitive transducer and method of manufacturing same | |
JP5980263B2 (en) | Device including capacitance type electromechanical transducer | |
Logan | The design, fabrication and characterization of capacitive micromachined ultrasonic transducers for imaging applications | |
Cianci et al. | One-dimensional capacitative micromachined ultrasonic transducer arrays for echographic probes | |
Kim et al. | Effect of acoustic properties of lens materials on performance of capacitive micromachined ultrasonic transducers | |
JP6395390B2 (en) | Capacitive transducer and manufacturing method thereof | |
JP2019080812A (en) | Ultrasonic transducer, ultrasonic probe, and photoacoustic apparatus | |
US20150229236A1 (en) | Zero-bias capacitive micromachined ultrasonic transducers and fabrication method thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140601 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140601 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150327 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150507 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150706 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160126 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160325 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160628 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160726 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5980263 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03 |