JP5975722B2 - 電子銃及び電子管 - Google Patents

Description

本発明は、電子銃及び電子管に関する。

従来のインダクティブ出力管（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｏｕｔｐｕｔ Ｔｕｂｅ、ＩＯＴ）として、例えば、特許文献１に開示されたものが知られている。このＩＯＴは、電子ビームを発生させる電子銃を備えており、電子銃は、カソード及びアノードを有している。カソード及びアノードは、互いに対抗するように、同軸上に配置されている。カソードにはヒータが取り付けられており、カソードが加熱されると、熱電子を放出可能な状態になる。

電子銃の周囲には、環状の共振空胴が形成されており、共振空胴は、肉厚の環状の誘電体部材によって、内側空胴と外側空胴に分割されている。共振空胴の外壁面には、入口ポートと出口ポートが１つずつ設けられている。入口ポートと出口ポートは共振空胴の軸線に対して対象に配置されている。誘電体部材には、厚さ方向に貫通する比較的径の小さな複数の孔が周方向に沿って形成されている。

真空容器内に高周波信号を入力すると、共振空胴で共振が発生し、カソードとグリッドの間に高周波電界が形成される。それに伴い、ヒータで加熱されたカソードから、熱電子の集合体である電子ビームが放射される。

上述した電子銃部は一体に構成されている。また、ヒータが発した熱及び高周波信号の大部分は共振空胴の壁面に吸収される（Ｗａｌｌ Ｌｏｓｓ）。このため、ＩＯＴは加熱され、高温になり、各構成部品が熱膨張する。その後、ＩＯＴの運転が終了すると、各構成部品が収縮し、元の大きさに戻る。各構成部品の熱膨張率は互いに異なっており、温度の上昇・低下に伴う膨張・収縮の度合は、構成部品ごとに異なる。このため、運転に伴う膨張と運転停止に伴う収縮を繰り返すと、構成部品間の接続部にひずみが生じ、構成部品の相互間の同軸性が維持できなくなる場合がある。構成部品の相互間の同軸性が維持できなくなると、電子ビームの放射方向に誤差が生じ、ＩＯＴが本来の機能を発揮できなくなってしまう。

上述した不具合を回避するために、特許文献１に開示されたＩＯＴは、冷却材流体である空気によって電子銃及び共振空胴を冷却している。この冷却構造では、入口ポートから外側空胴に冷却材流体を流入し、その一部が外側空胴及び内側空胴を通過し、残りは外側空胴のみを通過し、出口ポートから流出する。

特開平７−４６４２０号公報

上述した従来のＩＯＴは、内側空胴と外側空胴を仕切る誘電体部材が肉厚で且つそこに形成された孔の径が小さいため、内側空胴に空気が流入しにくい。したがって、電子銃を十分に冷却することができない。

また、入口ポートから共振空胴内に流入した空気は、周囲との熱交換によって、その温度が上昇するので、入口ポート付近の冷却度合が高いのに対し、出口ポート付近の冷却度合は低く、温度差が生じてしまう。上述した従来のＩＯＴでは、入口ポートと出口ポートが、共振空胴の径方向に反対の位置に配置されているので、この温度差により、電子銃部の構成部品に発生する熱変形の大きさが偏ってしまう。したがって、電子銃部の構成部品の相互間の同軸性が維持できなくなり、ＩＯＴの効率が低下してしまう。

本発明は、以上のような課題を鑑みてなされたものであり、構成部品相互間の同軸性を良好に維持しながら、適切に冷却することができる電子銃及び電子管を提供することを目的とする。

この発明に係る電子銃は、電子を放出するカソードと、カソードを加熱するヒータと、カソードの電子ビーム放射方向に設けられたグリッドと、カソード及びグリッドを包含し、共振用の空胴を備える入力空胴容器と、を備える。また、電子銃は、入力空胴容器の空胴を、カソードを境にして、グリッドを含む第１の空胴と、グリッドを含まない第２の空胴とに、入力空胴容器の軸線方向に分割する絶縁体と、を備える。入力空胴容器の第２の空胴側には、入力空胴容器の軸線に対して回転対称にそれぞれ配置された、入力空胴容器の外部から内部に冷却用の流体が流入する複数の流入路及び入力空胴容器の内部から外部に流体が流出する複数の流出路が形成されている。入力空胴容器には、入力空胴容器の軸線に沿って移動自在に配置され、第２の空胴のサイズを調整する調整板がさらに配置されている。

本発明によれば、電子銃部を、その構成部品の相互間の同軸性を良好に維持しながら、適切に冷却することができる。

本発明の実施の形態に係るＩＯＴの主要部分の概略構成を示す側断面図である。 ＩＯＴ全体の概略構成を示す側断面図である。 共振周波数調整板をカソード側から見た平面図である。 変形例１の共振周波数調整板をカソード側から見た平面図である。 変形例２の共振周波数調整板をカソード側から見た平面図である。 変形例３の共振周波数調整板をカソード側から見た平面図である。

以下、本発明の実施の形態に係る電子銃とＩＯＴについて図面を参照して詳細に説明する。

（実施の形態）
はじめに、本発明の実施の形態に係るインダクティブ出力管（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｏｕｔｐｕｔ Ｔｕｂｅ、以下「ＩＯＴ」という）１００について説明する。まず、その構成について、図１及び図２を参照しながら説明する。なお、図１及び図２において、出力される電子ビームは軸線ＡＸに沿って図面左側より右側に放射されるため、図面の左側を「上流」、右側を「下流」と呼ぶこととする。

ＩＯＴ１００は、図１に示すように、上流側の電子銃部１０１と、下流側のボディ部１０２と、それらを連結するとともに電気的に絶縁する絶縁部１０３とから構成されている。

電子銃部１０１は、図２に拡大して示すように、カソード１、グリッド２及び入力空胴容器４などから構成されている。

カソード１は、熱電子を放出するものであり、全体として円盤状の形状を有し、上流側の面が平坦に、下流側の電子放射面が凹状に形成されている。軸線ＡＸは、平坦面に垂直で、電子放射面の中心を通る。

グリッド２は、カソード１と後述するアノード１４との間を流れる電子の量を調整するものであり、カソード１の電子放射面と対向するように所定の間隔を設けて同軸上に配置されている。グリッド２は、カソード１とほぼ同じ径の円盤状の形状を有しており、かつカソード１の電子放射面と同じ曲率で湾曲している。グリッド２の中央部には格子状に複数の開口が形成されている。グリッド２には、カソード１に対して正極性の直流のグリッドバイアス電圧が印加されている。

入力空胴容器４は、電子銃部１０１の軸線に対して回転対称に形成された一体の容器である。入力空胴容器４は、カソード１及びグリッド２を内部の空胴（以下「入力空胴」という）に含み、カソード１及びグリッド２と同軸上に配置されている。また、入力空胴容器４の上流側部分は、内筒４ａが形成されており、有底の二重管を形成している。

図１に示すように、カソード１の上流側の平坦面には、カソード１を加熱するためのヒータ３が取り付けられている。ヒータ３は、タングステン線などで構成されており、ヒータ電源２４に電気的に接続されている。

図２に拡大して示すように、カソード１の外周面には、入力空胴の周端まで延びる円環板状の絶縁体７が固定されている。絶縁体７は、入力空胴を、下流側の第１の空胴５と上流側の第２の空胴６とに分割している。絶縁体７は、空気が通過不能で、且つ、高周波信号が透過可能な素材（例えばアルミナセラミックス）から構成される。第１の空胴５は、空気がほとんど存在しない真空状態に維持されている。

入力空胴容器４の上流側の端部には、入力空胴容器４の軸線に直交する共振周波数調整板２０が、入力空胴容器４の軸方向に移動自在に嵌合している。共振周波数調整板２０の移動範囲は任意であるが、例えば、入力空胴容器４の上流側の端から、後述する第２の通風孔２３ａ，２３ｂにかからない位置の範囲に、例えば、ストッパを配置すること等により、適宜調整される。

共振周波数調整板２０には、その厚さ方向に貫通する一対の第１の通風孔２２ａ、２２ｂが形成されており、第１の通風孔２２ａと２２ｂとは、入力空胴容器４の軸線ＡＸに対して回転対称に配置されている。各第１の通風孔２２ａ、２２ｂには、入力空胴容器４の外部まで延びるパイプ２１ａ、２１ｂが接続されている。このパイプ２１ａ、２１ｂは、ホース（図示せず）を介して、送風機（図示せず）の送風口に接続されている。ホースの長さはほぼ等しく、その太さは均一に形成されている。

さらに、入力空胴容器４の内筒４ａのカソード１の付近には、一対の第２の通風孔２３ａと２３ｂが回転対称に形成されている。なお、図１及び図２では、第２の通風孔２３ａのみが表示されているが、図３を参照して後述するように、軸線ＡＸを介して対称の位置に第２の通風孔２３ｂが配置されている。

これらの構成により、外部の送風機→パイプ２１ａ，２１ｂ→第１の通風孔２２ａ，２２ｂ→第２の通風孔２３ａ，２３ｂ→外気、という冷却媒体としての空気の流通路が形成される。

第２の空胴６内には、ループアンテナ１０が設けられている。このループアンテナ１０は、高周波線路９を介して交流式の高周波源８に接続されている。高周波源８は、高周波電力（数百ＭＨｚ〜数ＧＨｚ）を発生する。

次に、図１に示すボディ部１０２は、円筒状の金属容器１９と、金属容器１９の内周面に金属容器１９と一体に形成されたアノード１４、出力空胴（共振）部１５及びコレクタ１８を備える。

金属容器１９は、絶縁部１０３を構成する絶縁体１３を介して入力空胴容器４の周縁部に気密に固定されている。金属容器１９の内部と第１の空胴５とはグリッド２を介して互いに連通しており、金属容器１９の内部は、第１の空胴５と同様に、真空状態に維持されている。

アノード１４には、直流高電圧電源１２によって高電圧が印加されている。

出力空胴部１５は、電子ビームから出力高周波信号のエネルギを引き出すのに最適なサイズ及び形状の出力空胴を形成する。最適なサイズ及び形状は、計算及び実測によって求められる。出力空胴部１５は、金属容器１９に接続された出力導波管１６に連通しており、出力導波管１６は、出力窓１７により気密に塞がれている。

コレクタ１８は、金属容器１９の内面に配置された、接地電位の導体から形成される。コレクタ１８は高温になるので、冷却装置（図示せず）が取り付けられている。

絶縁部１０３は、絶縁体１３から構成され、電子銃部１０１の空胴容器４の周縁部とボディ１０２の金属容器１９とを絶縁しつつ機密に連結する。

次に、電子銃部１０１及びＩＯＴ１００の動作について説明する。まず、電子銃部１０１から電子ビームを生成し、ＲＦ出力を得るまでの動作を説明する。

まず、ヒータ電源２４からヒータ３に通電し、ヒータ３を加熱することにより、カソード１を加熱する。カソード１が所定温度（例えば、１０００℃程度）に達すると、カソード１は、熱電子を放出可能な状態になる。

続いて、高周波源８で高周波信号を発生し、これをループアンテナ１０から第２の空胴６にＲＦ入力信号のマイクロ波として入力する。すると、高周波信号は絶縁体７を通過し、第１の空胴５内にも入力する。それに伴い、第１及び第２の空胴５，６の両方が、その大きさ（体積）で定まる共振周波数で共振し、カソード１とグリッド２の間に高周波電界が形成される。そして、カソード１とグリッド２の間の高周波電圧がカットオフ電圧を超えている間のみカソード１の電子放出面から電子ビームが放射され、グリッド２の開口を通過する。したがって、電子ビームは図１に模式的に示すように、断続するパルス状になる。このように、高周波電圧及びカットオフ電圧に応じて、電子ビームの密度と位相幅が定まる。カットオフ電圧は、カソード１とグリッド２の間隔に応じて定まる。こうして、グリッド２は、グリッドバイアス電圧に応じてカソード１から放射される電子ビームの放射量を調整し、電子ビームの密度を変調する。

カソード１から放射された電子ビームは、アノード１４によって加速された後に、出力空胴部１５に到達する。出力空胴部１５では、電子ビームから出力高周波信号のエネルギが引き出され、その出力高周波信号が出力導波管１６の出力窓１７を透過してＲＦ出力信号のマイクロ波として取り出される。出力空胴部１５でエネルギを失った電子ビームは、コレクタ１８で捕捉される。

また、出力窓１７を透過して出力されるＲＦ出力信号のマイクロ波の周波数は、出力空胴部１５のＲＦ信号の共振周波数に依存する。入力空胴の体積は、固定サイズの第１の空胴５と可変サイズの第２の空胴６の体積の和で表される。第２の空胴６の体積は、共振周波数調整板２０の位置を変更することで調整することができる。従って、パイプ２１ａ，２１ｂを移動して、共振周波数調整板２０の位置を変更することにより、入力空胴の共振周波数を、固定値である出力空胴の共振周波数に一致させることができる。

次に、電子銃部１０１の冷却について説明する。ヒータ３を通電している間、カソード１は加熱される。ここで、送風機を運転すると、第１の通風孔２２ａ、２２ｂから第２の空胴６内に冷却用の空気が流入する。一方、絶縁体７は空気を通さないので、第１の空胴５内には空気が流入しない。第２の空胴６内に流入した空気は、カソード１、絶縁物７及び第２の空胴６の熱を奪い冷却した後に、第２の通風孔２３ａ、２３ｂから流出する。また、絶縁物７及び第２の空胴６の壁が冷却されることで、それに連続する第１の空胴５の壁も冷却される。以上のようにして、電子銃部１０１の全体が冷却される。

次に、図３を参照しながら、第１の通風孔２２ａ、２２ｂ及び第２の通風孔２３ａ、２３ｂの配置と、第２の空胴６内における空気の流れについて説明する。図３は、共振周波数調整板２０をカソード１側から見た平面図である。なお、同図において、各矢印は空気の流れを表す。

共振周波数調整板２０に形成された第１の通風孔２２ａ，２２ｂは、入力空胴容器４の軸線ＡＸに対して１８０°回転対称（点対称）の位置に図の上下に配置されており、内筒４ａに形成された第２の通風孔２３ａ，２３ｂは、入力空胴容器４の軸線ＡＸに対して回転対称の位置に図の左右に配置されている。第２の通風孔２３ａ，２３ｂは、第１の通風孔２２ａ，２２ｂに対して、入力空胴容器４の軸線を中心として９０°ずれている。このため、第１の通風孔２２ａから第２の通風孔２３ａ，２３ｂまでの距離は、第１の通風孔２２ｂから第２の通風孔２３ａ，２３ｂまでの距離に等しく、相互に中間の位置にある。

第１の通風孔２２ａ、２２ｂから第２の空胴６内に流入した空気は、まず第２の空胴６の中心に向かって（通風孔２２ａからは図３の真下、通風孔２２ｂからは図３の真上方向に）進み、内筒４ａに当たり左右に分割される。そして、分割後の各空気は、内筒４ａの外周面に沿って進み、第２の通風孔２３ａ，２３ｂに達し、第２の空胴６外に流出する。以上のように、第２の空胴６に入った冷却用の空気は、入力空胴容器４の軸線に対して回転対称に流れる。前述したように、入力空胴容器４は、その軸線ＡＸに対して回転対称に一体に形成されている。入力空胴容器４の軸線ＡＸ上に配置されたカソード１、グリッド２及び絶縁物７も回転対称に一体に形成されている。さらに、パイプ２１に接続されたホースの長さ・太さが均一なので、第１の通風孔２２ａ，２２ｂに空気が均等に流入する。したがって、電子銃部１０１の熱伝導が回転対称になる。その結果、電子銃部１０１の温度分布が、電子銃部１０１の軸線に対して回転対称になる。

以上説明したように、本実施の形態によれば、電子銃部１０１がほぼ均等に適切に冷却される。このため、電子銃部１０１の加熱と冷却を繰り返しても、その構成部品の相互間の同軸性を良好に維持することができる。

（変形例）
次に、変形例１による共振周波数調整板２０について、図４を参照しながら説明する。

変形例１は、上述した実施の形態と第１の通風孔２２ａ、２２ｂ及び第２の通風孔２３ａ、２３ｂの数が異なる。共振周波数調整板２０以外のＩＯＴ１００の構成は、上述した実施の形態と同じである。

図４に示すように、共振周波数調整板２０には、８つの第１の通風孔２２ａ〜２２ｈが、入力空胴容器４の軸線ＡＸに対して互いに回転対称にかつ４５°ごとに配置されており、内筒４ａには、８つの第２の通風孔２３ａ〜２３ｈが周方向に等間隔、即ち、相互に中間の位置に配置されている。

第２の通風孔２３ａ〜２３ｈは、第１の通風孔２２ａ〜２２ｈに対して、入力空胴容器４の軸線ＡＸを中心として２２．５°ずれている。したがって、第１の通風孔２２ａから第２の通風孔２３ｈ，２３ａまでの距離は、第１の通風孔２２ｂから第２の通風孔２３ｂ，２３ｃまでの距離に等しくなっている。このことは、他の第１の通風孔２２ｃ〜２２ｈについても同様である。

第１の通風孔２２ａから第２の空胴６内に流入した空気は、まず入力空胴容器４の軸線ＡＸに向かって進み、内筒４ａに当たって２つに分割される。そして、分割後の各空気は、内筒４ａの外周面に沿って進み、第２の通風孔２３ｈ，２３ａに達し、第２の空胴６外に流出する。このことは、他の第１の通風孔２２ｂ〜２２ｈについても同様である。以上から、この変形例においても、空気は入力空胴容器４の軸線ＡＸに対して回転対称に流れる。

図４では、第１の通風孔２２及び第２の通風孔２３の数量をそれぞれ８にしているが、これは一例にすぎず、これに限定するものではない。さらに、第１の通風孔２２と第２の通風孔２３の数量は異なっていてもよい。例えば、図５に示す変形例２のように、８つの第１の通風孔２２ａ〜２２ｈと２つの第２の通風孔２３ａ，２３ｂの組み合わせでもよい。

また、例えば、図６に示す変形例３のように、第２の通風孔２３を形成せず、８つの第１の通風孔２２ａ〜２２ｈのうちの４つを流入孔とし、それ以外の４つを流出孔としてもよい。この場合においても、第１の通風孔２２の数量は８でなくてもよく、流入孔と流出孔の数量が異なっていてもよい。

以上のように、本実施の形態の電子管によれば、第１の通風孔２２及び第２の通風孔２３は、入力空胴容器４の軸線に対して回転対称に配置されているので、電子銃部１０１の温度分布を、電子銃部の軸線ＡＸに対して回転対称にすることができる。したがって、電子銃部１０１の偏った熱変形を防止でき、電子銃部１０１の構成部品の相互間の同軸性を良好に維持することができる。

また、第２の空胴６内に、それぞれ回転対称に配置された第１の通風孔２２及び第２の通風孔２３の一方から冷却用の空気を流入し、他方から流出するので、入力空胴を適切に冷却することができる。それにより、入力空胴の熱膨張を抑制でき、それに伴う共振周波数の変化や構成部品の劣化を抑制することができる。

入力空胴が絶縁体７によって、真空状態の第１の空胴５と空気が循環する第２の空胴６とに分割されているので、電子ビームの発生・放射に必要な真空領域を確保できる。また、カソード１の付近に十分な量の空気を供給することができるので、カソード１とグリッド２の間隔を適切な範囲内に維持することができる。以上から、電子ビームを適切に放射することができる。

電子ビームが適切に放射されることで、電子ビームが出力空胴１５に到達する割合が高まるので、ＩＯＴ１００の効率を高めることができ、電源コストを削減することができる。

構成部品の相互間の同軸性が良好に維持されるので、構成部品の連結部に作用する応力が過大になることなく、真空領域の密閉性を維持することができる。さらに、第２の空胴６を冷却する際に、ループアンテナ１０も同時に冷却されるので、ループアンテナ１０の熱劣化を抑制できる。したがって、ＩＯＴ１００の信頼性を高めることができる。

第２の通風孔２３の配置を、第１の通風孔２２に対して、入力空胴容器４の軸線を中心として回転方向にずらすことによって、より広い範囲に空気を行き渡らせることができる。それにより、入力空胴容器４の温度分布が平準化され、必要とされる空気の流量が少なくなり、冷却効率を高めることができる。

第２の空胴６内には、空気の流れを妨げる壁や孔がないので、空気が滑らかに流れる。このため、入力空胴容器４内における圧力損失が小さく、送風機の小型化が可能になる。したがって、騒音の低減やコストダウンを図ることができる。

実施の形態、変形例１及び２では、カソード１の付近に第２の通風孔２３が設けられているので、カソード１の付近に空気を導くことができ、その周辺の熱変形を抑制できる。したがって、カソード１とグリッド２の間隔を良好に維持でき、電子ビームの安定性を高めることができる。

上述した変形例１〜３に示すように、第１の通風孔２２及び第２の通風孔２３の配置が電子ビームの軸に回転対称であれば、その数量や配置を適宜変更することができる。電子銃部の構成に応じて、所望の温度分布になるように通風孔２２、２３の配置を設定して、その温度分布をきめ細かく調整することができる。

本実施の形態では、共振周波数調整板２０によって共振周波数を調整することが可能なので、入力空胴の共振周波数を出力空胴の共振周波数に一致させることができる。また、パイプ２１を軸方向に動かすことによって、共振周波数調整板２０の位置を変更できるので、位置の変更のために入力空胴容器４を分解する必要がなく、作業性が向上するとともに、ＩＯＴ１００の動作中にも、共振周波数の調整を行うことができる。

なお、本発明は、説明した実施の形態に限定されることなく、種々の態様で実施することができる。例えば、実施の形態では、第１の通風孔２２が流入路で第２の通風孔２３が流出路であるが、第２の通風孔２３が流入路で第１の通風孔２２が流出路でもよい。

また、実施の形態では、第１の通風孔２２及び第２の通風孔２３が何れも複数であるが、何れか一方が入力空胴容器４の軸線ＡＸ上に中心を有する単一の孔であってもよい。

実施の形態では、第２の通風孔２３及び第１の通風孔２２は何れも丸孔であるが、それらが入力空胴容器４の軸線ＡＸに対して回転対称に配置されていればよく、例えば、長丸、多角形孔、スリット等でもよく、間隙でもよい。

実施の形態では、電子銃部１０１を空気によって冷却しているが、絶縁物７を通過不能な他の適当な冷却用の流体（ガス、液体）によって冷却してもよい。

実施の形態では、パイプ２１が共振周波数調整板２０の取手を兼ねているが、別個の部材を取手として設けてもよい。

上述の実施の形態では、電子管がＩＯＴの場合を例に説明したが、本実施の形態の構成は、ＩＯＴ以外の電子管の電子銃部の冷却にも適用できる。その他、本発明の趣旨の範囲内で、細部の構成を適宜、変更することが可能である。

１ カソード
２ グリッド
３ ヒータ
４ 入力空胴容器
５ 第１の空胴
６ 第２の空胴
７ 絶縁体
８ 高周波源
９ 高周波線路
１０ ループアンテナ
１２ 直流高電圧電源
１３ 絶縁体
１４ アノード
１５ 出力空胴部
１６ 出力導波管
１７ 出力窓
１８ コレクタ
１９ 金属容器
２０ 共振周波数調整板（調整板）
２１ パイプ
２２、２２ａ〜２２ｈ 第１の通風孔（流入路、流出路）
２３、２３ａ〜２３ｈ 第２の通風孔（流出路、流入路）
２４ ヒータ電源
１００ ＩＯＴ（電子管）
１０１ 電子銃部
１０２ ボディ部
１０３ 絶縁部

Claims (8)

1. 電子を放出するカソードと、
   当該カソードを加熱するヒータと、
   前記カソードの電子ビーム放射方向に設けられたグリッドと、
   前記カソード及び前記グリッドを包含し、共振用の空胴を備える入力空胴容器と、
   当該入力空胴容器の空胴を、前記カソードを境にして、前記グリッドを含む第１の空胴と、前記グリッドを含まない第２の空胴とに、前記入力空胴容器の軸線方向に分割する絶縁体と、を備え、
   前記入力空胴容器の前記第２の空胴側には、前記入力空胴容器の軸線に対して回転対称にそれぞれ配置された、前記入力空胴容器の外部から内部に冷却用の流体が流入する複数の流入路及び前記入力空胴容器の内部から外部に流体が流出する複数の流出路が形成され、
   前記入力空胴容器には、前記入力空胴容器の軸線に沿って移動自在に配置され、前記第２の空胴のサイズを調整する調整板がさらに配置されている、
   電子銃。
2. 前記流出路は、前記流入路に対して、前記入力空胴容器の軸線を中心として回転方向にずれている、
   請求項１に記載の電子銃。
3. 前記流入路と前記流出路とは、各前記流入路が対応する２つの流出路の中間位置に配置されるように形成されている、
   請求項２に記載の電子銃。
4. 前記流入路と前記流出路の一方は、外部より前記入力空胴容器と前記調整板とを通って、前記第２の空胴に連通して形成されている、
   請求項１に記載の電子銃。
5. 前記流入路と前記流出路の他方は、前記調整板の移動可能範囲以外の前記入力空胴容器を通って前記第２の空胴に連通して形成されている、
   請求項４に記載の電子銃。
6. 前記流入路と前記流出路とは共に、外部より前記入力空胴容器と前記調整板とを通って、前記第２の空胴に連通して形成されている、
   請求項１に記載の電子銃。
7. 前記絶縁体は、前記流体を通過させず、高周波信号を通過させる、
   請求項１乃至６のいずれか１項に記載の電子銃。
8. 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の電子銃と、
   前記電子銃に連結され、アノードとコレクタと出力空胴部とを備えるボディ部と、
   を備える電子管。
   

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