JP5944118B2 - Particle measuring device - Google Patents

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Description

本発明は、例えば試料としての血液中の血球を測定する血球測定装置などの、試料中に存在する粒子に対する測定を行うことが可能な粒子測定装置に関する。   The present invention relates to a particle measuring apparatus capable of measuring particles present in a sample, such as a blood cell measuring apparatus that measures blood cells in blood as a sample.

従来から、試料中に存在する粒子を測定することは、エレクトロニクス、メカトロニクス等の分野における製造プロセスの精度管理(例えば、異物混入の検査など)において重要である。また、バイオテクノロジーの分野では、医薬品製造等において古くから試料(サンプル)中の粒子の測定が行われてきた。   Conventionally, measuring particles present in a sample is important in manufacturing process accuracy control (for example, inspection for contamination) in fields such as electronics and mechatronics. In the field of biotechnology, measurement of particles in a sample has been performed for a long time in pharmaceutical manufacturing and the like.

今日、医療の分野においては、試料(血液)中の赤血球、白血球、血小板(ここではこれらを血球と称する)の個数を測定し、計数することは、被験者の健康状態を知る上で重要な検査項目である。血液中の血球を測定する方法として、光散乱法および電気抵抗法が挙げられるが、装置構成がシンプルなことから電気抵抗法を用いた血球計数装置が開発されている(例えば特許文献1)。   Today, in the medical field, measuring and counting the number of red blood cells, white blood cells, and platelets (here called blood cells) in a sample (blood) is an important test for knowing the health condition of a subject. It is an item. Examples of methods for measuring blood cells in blood include a light scattering method and an electrical resistance method, but a blood cell counter using the electrical resistance method has been developed because of its simple device configuration (for example, Patent Document 1).

また、近年、測定に必要な血液量が微量で良い等の利点から、電気抵抗法を用いた血球計数装置のマイクロ化(測定に用いる流路の幅および深さ(高さ)がμm〜mmオーダー)が進められている。   Also, in recent years, due to the advantage that the amount of blood necessary for measurement is very small, the blood cell counter using the electrical resistance method is micro-sized (the width and depth (height) of the flow path used for measurement are μm to mm). Order) is underway.

例えば特許文献2では、試料である血液を流すためのマイクロ化された流路(マイクロ流路)の途中にアパチャー(狭隘部)を形成し、血球がアパチャーを通過するときのインピーダンス変化をアパチャー両側のマイクロ流路に設けた2つの電極により検出する構成が開示されている。また、特許文献3では、電圧印加時の電気分解に伴う気泡の影響(気泡がアパチャーを通過することにより電気抵抗が変化するため、測定のノイズ(誤カウント)となる)を除去する目的で、測定用の2つの電極をアパチャーより下流側の流路に配置する構成が開示されている。   For example, in Patent Document 2, an aperture (narrow portion) is formed in the middle of a micro channel (micro channel) for flowing blood as a sample, and impedance changes when blood cells pass through the aperture are measured on both sides of the aperture. A configuration in which detection is performed by two electrodes provided in the microchannel is disclosed. Moreover, in patent document 3, in order to remove the influence of the bubble accompanying the electrolysis at the time of voltage application (because the electric resistance changes when the bubble passes through the aperture, it becomes a measurement noise (false count)). A configuration is disclosed in which two electrodes for measurement are arranged in a flow path downstream from the aperture.

なお、上記の電気抵抗法は、血球を含む血液がアパチャーを通過するときに電気抵抗(もしくはインピーダンス)変化が生じることを利用し、血液中の血球を測定する技術である。具体的には、血球が占める容積に比例した電気抵抗(インピーダンス)変化に応じたパルス(信号)強度の検出により血球の種類(赤血球、白血球、血小板)が測定可能であり、当該変化に応じたパルス数の検出により血球数が測定可能である。   The electrical resistance method is a technique for measuring blood cells in blood by utilizing the fact that a change in electrical resistance (or impedance) occurs when blood containing blood cells passes through an aperture. Specifically, the type of blood cells (red blood cells, white blood cells, and platelets) can be measured by detecting the pulse (signal) intensity according to the change in electrical resistance (impedance) proportional to the volume occupied by the blood cells. The number of blood cells can be measured by detecting the number of pulses.

特開平4−303285号公報(1992年10月27日公開)Japanese Patent Laid-Open No. 4-303285 (released on October 27, 1992) 特開2002−277380号公報(2002年9月25日公開)JP 2002-277380 A (published September 25, 2002) 特開2005−62137号公報(2005年3月10日公開)JP 2005-62137 A (published March 10, 2005)

しかしながら、特許文献2および3の技術では、試料への電圧印加に伴い、電極では、試料に対する電気分解による気泡が発生するが、その気泡の影響に起因して測定精度が低下するという問題が生じていた。   However, in the techniques of Patent Documents 2 and 3, bubbles are generated in the electrode due to electrolysis with respect to the sample as the voltage is applied to the sample, but there is a problem that measurement accuracy is reduced due to the influence of the bubbles. It was.

本発明は、前記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、電気抵抗法を用いた試料中の粒子測定において、試料量の増加を招くことなく、高い測定精度を実現可能なマイクロ化された粒子測定装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and the object thereof is to realize high measurement accuracy without causing an increase in the amount of sample in particle measurement in a sample using an electric resistance method. An object of the present invention is to provide a micronized particle measuring apparatus.

本発明に係る粒子測定装置は、上記の課題を解決するために、試料に電圧を印加することにより、前記試料に含まれる粒子の測定を行うことが可能な粒子測定装置であって、前記試料に電圧を印加するための少なくとも2つの電極と、前記試料に電圧が印加されたときの電気抵抗またはインピーダンスが検出されることにより、前記試料に含まれる粒子の測定が行われる測定部と、前記試料を自装置内に導入するための試料導入部と、前記測定部と前記試料導入部とに接続された、前記試料が流れる少なくとも1つの流路と、を備え、前記試料導入部は、前記電極のうち何れか1つの電極である特定電極を含むことを特徴としている。   In order to solve the above problems, a particle measuring apparatus according to the present invention is a particle measuring apparatus capable of measuring particles contained in the sample by applying a voltage to the sample. At least two electrodes for applying a voltage to the sample, and a measurement unit for measuring particles contained in the sample by detecting electrical resistance or impedance when a voltage is applied to the sample, A sample introduction unit for introducing a sample into the apparatus, and at least one flow path through which the sample flows, connected to the measurement unit and the sample introduction unit. It includes a specific electrode that is any one of the electrodes.

前記構成によれば、粒子測定装置では、測定部において、少なくとも2つの電極により試料に電圧が印加されたときの電気抵抗またはインピーダンスが検出されることにより、試料に含まれる粒子の測定が行われる。   According to the above configuration, in the particle measuring apparatus, the measurement unit measures the particles contained in the sample by detecting the electrical resistance or impedance when a voltage is applied to the sample by at least two electrodes. .

ここで、例えば特許文献2および3の技術では、電極が流路に備えられているため、流路を流れる試料とともに、電極に電圧が印加されたときに発生する気泡が測定部に流入してしまう。特に、流路がマイクロ化されている場合には、流路の内部で発生した気泡が、試料が形成する流れから逃れにくいので、その流入が顕著となる。一方、本発明では、流路(例えばマイクロ化された流路)とは異なる試料導入部が備えられ、当該試料導入部に特定電極が備えられている。このため、試料導入部の内部で気泡が発生することになり、少なくとも気泡の一部をその試料導入部の内部に留めることが可能となる。すなわち、気泡が上記の流れの中に入り込みにくくし、測定部への流入を抑制できる。   Here, for example, in the techniques of Patent Documents 2 and 3, since the electrode is provided in the flow channel, bubbles generated when a voltage is applied to the electrode flow into the measurement unit together with the sample flowing through the flow channel. End up. In particular, when the flow path is micronized, bubbles generated inside the flow path are difficult to escape from the flow formed by the sample, so that the inflow becomes significant. On the other hand, in the present invention, a sample introduction unit different from a channel (for example, a microchannel) is provided, and the specific electrode is provided in the sample introduction unit. For this reason, bubbles are generated inside the sample introduction part, and at least a part of the bubbles can be retained inside the sample introduction part. That is, it is possible to make it difficult for bubbles to enter the above flow, and to suppress the inflow to the measurement unit.

したがって、従来のように流路に電極を配置する場合に比べ、電極にて発生した気泡の測定部への流入を抑制できる。また、少なくとも流路への気泡の被覆を抑制できる。それゆえ、本発明の粒子測定装置は、高精度な粒子の測定を行うことができる。   Therefore, in comparison with the conventional case where electrodes are arranged in the flow path, it is possible to suppress the inflow of bubbles generated at the electrodes into the measurement unit. In addition, at least air bubble coating on the flow path can be suppressed. Therefore, the particle measuring apparatus of the present invention can perform highly accurate particle measurement.

本発明に係る粒子測定装置では、前記試料導入部は、前記試料を前記試料導入部の内部に導入することが可能な試料導入口を備え、前記試料導入口は、前記特定電極と、前記試料導入部と前記流路とが接続された接続領域と、の間に設けられていることが好ましい。   In the particle measuring apparatus according to the present invention, the sample introduction unit includes a sample introduction port through which the sample can be introduced into the sample introduction unit, and the sample introduction port includes the specific electrode and the sample. It is preferable to be provided between the introduction portion and the connection region where the flow path is connected.

前記構成によれば、試料は、試料導入口から導入され、上記の接続領域から測定部へと導出される。また、その試料導入口は、特定電極と接続領域との間に備えられている。すなわち、特定電極は、試料導入口から接続領域への試料の流れとは異なる箇所に備えられている。このため、特定電極で発生した気泡が試料とともに測定部へ流入してしまうことを防ぐことができる。   According to the said structure, a sample is introduce | transduced from a sample inlet and is derived | led-out from said connection area | region to a measurement part. Further, the sample introduction port is provided between the specific electrode and the connection region. That is, the specific electrode is provided at a location different from the flow of the sample from the sample introduction port to the connection region. For this reason, it can prevent that the bubble which generate | occur | produced in the specific electrode flows into a measurement part with a sample.

本発明に係る粒子測定装置は、前記流路の底部を基準とした、前記底部に対向する前記流路の上部へ向かう垂直方向の距離を、前記試料導入部および前記流路の深さとしたとき、前記試料導入部の深さが、前記流路の深さよりも長いことが好ましい。   In the particle measuring apparatus according to the present invention, when the distance in the vertical direction toward the top of the flow channel facing the bottom with respect to the bottom of the flow channel is defined as the depth of the sample introduction unit and the flow channel The depth of the sample introduction part is preferably longer than the depth of the flow path.

前記構成によれば、上記垂直方向における試料導入部の断面積が流路の断面積よりも大きいため、特定電極で発生した気泡を、試料導入部の内部により確実に留めておくことができる。すなわち、上記の流れへの気泡の入り込みをより確実に抑制できる。   According to the above configuration, since the cross-sectional area of the sample introduction portion in the vertical direction is larger than the cross-sectional area of the flow path, bubbles generated at the specific electrode can be reliably retained inside the sample introduction portion. That is, it is possible to more reliably suppress the entry of bubbles into the flow.

本発明に係る粒子測定装置では、前記試料導入部の容積に対する、前記試料導入部に前記試料が導入されているときの前記試料導入部内の試料量の割合が、1/50000以上0.9以下であることが好ましい。   In the particle measuring apparatus according to the present invention, the ratio of the sample amount in the sample introduction part when the sample is introduced into the sample introduction part with respect to the volume of the sample introduction part is 1 / 50,000 or more and 0.9 or less. It is preferable that

前記構成によれば、試料導入後に試料導入部の内部(上部)に気体層を形成できるので、電極で発生した気泡が、浮力により上記気体層へ到達し消泡される。このため、特定電極で発生した気泡が試料とともに測定部へ流入してしまうことを防ぐことができる。   According to the said structure, since a gas layer can be formed in the inside (upper part) of a sample introduction part after sample introduction, the bubble which generate | occur | produced at the electrode reaches | attains the said gas layer by buoyancy, and is defoamed. For this reason, it can prevent that the bubble which generate | occur | produced in the specific electrode flows into a measurement part with a sample.

本発明に係る粒子測定装置では、前記試料導入部の上面には、前記特定電極から発生した気泡を大気中に開放する開口部が備えられていることが好ましい。   In the particle measuring apparatus according to the present invention, it is preferable that an opening for opening bubbles generated from the specific electrode into the atmosphere is provided on the upper surface of the sample introduction unit.

前記構成によれば、特定電極から発生した気泡が開口部を介して大気中に開放されるので、当該気泡が試料とともに測定部へ流入してしまうことを防ぐことができる。   According to the said structure, since the bubble which generate | occur | produced from the specific electrode is open | released in air | atmosphere through an opening part, it can prevent that the said bubble flows in into a measurement part with a sample.

本発明に係る粒子測定装置では、前記開口部は、前記特定電極の鉛直線上に配置されていることが好ましい。   In the particle measuring apparatus according to the present invention, it is preferable that the opening is disposed on a vertical line of the specific electrode.

開口部が特定電極の鉛直線上に配置されているので、浮力により特定電極から試料導入部の上部に移動してきた気泡を、粒子測定装置の外部に確実に逃がすことができる。   Since the opening is arranged on the vertical line of the specific electrode, the bubbles that have moved from the specific electrode to the upper part of the sample introduction unit due to buoyancy can be surely escaped to the outside of the particle measuring apparatus.

本発明に係る粒子測定装置では、前記電極に接続された電圧印加手段を備えることが好ましい。   In the particle | grain measuring apparatus which concerns on this invention, it is preferable to provide the voltage application means connected to the said electrode.

電圧印加手段が電極を介して試料(あるいはその中に含まれる粒子)に電圧を印加することができるので、粒子の測定を、電気抵抗もしくはインピーダンスの検出により実現できる。   Since the voltage applying means can apply a voltage to the sample (or particles contained therein) via the electrodes, the measurement of particles can be realized by detecting electric resistance or impedance.

本発明に係る粒子測定装置は、試料に電圧を印加することにより、前記試料に含まれる粒子の測定を行うことが可能な粒子測定装置であって、前記試料に電圧を印加するための少なくとも2つの電極と、前記試料に電圧が印加されたときの電気抵抗またはインピーダンスが検出されることにより、前記試料に含まれる粒子の測定が行われる測定部と、前記試料を自装置内に導入するための試料導入部と、前記測定部と前記試料導入部とに接続された、前記試料が流れる少なくとも1つの流路と、を備え、前記試料導入部は、前記電極のうち何れか1つの電極である特定電極を含む構成である。   The particle measuring apparatus according to the present invention is a particle measuring apparatus capable of measuring particles contained in the sample by applying a voltage to the sample, and at least 2 for applying a voltage to the sample. Two electrodes, a measurement unit for measuring particles contained in the sample by detecting electrical resistance or impedance when a voltage is applied to the sample, and introducing the sample into the apparatus. And at least one channel through which the sample flows, connected to the measurement unit and the sample introduction unit, and the sample introduction unit is any one of the electrodes The configuration includes a specific electrode.

それゆえ、本発明の粒子測定装置は、高精度な粒子の測定を行うことができるという効果を奏する。   Therefore, the particle measuring apparatus of the present invention has an effect of being able to perform highly accurate particle measurement.

(a)は、本発明の一実施形態に係る粒子測定装置の概略構成の一例を示す上面図であり、(b)は、その断面図である。(A) is a top view which shows an example of schematic structure of the particle | grain measuring apparatus which concerns on one Embodiment of this invention, (b) is the sectional drawing. 上記粒子測定装置の全体的な概略構成の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the whole schematic structure of the said particle | grain measuring apparatus. (a)〜(g)は、上記粒子測定装置が備える導体の配置例を示す上面図である。(A)-(g) is a top view which shows the example of arrangement | positioning of the conductor with which the said particle | grain measuring apparatus is provided. (a)〜(f)は、上記粒子測定装置が備える流路の種々の形状を示す上面図である。(A)-(f) is a top view which shows the various shapes of the flow path with which the said particle | grain measuring apparatus is provided. 上記粒子測定装置が備える流路の更なる変形例を示す上面図である。It is a top view which shows the further modification of the flow path with which the said particle | grain measuring apparatus is provided. 上記粒子測定装置が備える流路の更なる変形例を示す上面図である。It is a top view which shows the further modification of the flow path with which the said particle | grain measuring apparatus is provided. 上記粒子測定装置が備える試料導入部および試料導出部の形状の一例を示す上面図である。It is a top view which shows an example of the shape of the sample introduction part with which the said particle | grain measuring apparatus is equipped, and a sample derivation | leading-out part. 上記粒子測定装置の変形例を示す図であり、上記流路を1つのみ備える場合の当該粒子測定装置の上面図である。It is a figure which shows the modification of the said particle | grain measuring apparatus, and is a top view of the said particle | grain measuring apparatus in the case of providing only one said flow path. (a)は、上記粒子測定装置の概略構成の更なる別例を示す上面図であり、(b)は、その断面図である。(A) is a top view which shows the further another example of schematic structure of the said particle | grain measuring apparatus, (b) is the sectional drawing. (a)は、粒子の測定が行われるときに用いられる本発明の一実施形態に係る粒子測定装置の概略構成を示す上面図であり、(b)は、粒子の測定が行われたときに得られる測定結果を示すグラフである。(A) is a top view which shows schematic structure of the particle | grain measuring apparatus based on one Embodiment of this invention used when the measurement of particle | grains is performed, (b) is when particle | grain measurement is performed It is a graph which shows the measurement result obtained. 上記粒子測定装置において大きな抵抗変化率が得られることを説明するための図である。It is a figure for demonstrating that a big resistance change rate is obtained in the said particle | grain measuring apparatus. (a)は、本発明の別の一実施形態に係る粒子測定装置の概略構成の一例を示す上面図であり、(b)は、その断面図である。(A) is a top view which shows an example of schematic structure of the particle | grain measuring apparatus which concerns on another one Embodiment of this invention, (b) is the sectional drawing. 上記粒子測定装置が備える試料導入部の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the sample introduction part with which the said particle | grain measuring apparatus is provided. (a)は、上記粒子測定装置の概略構成の別例を示す上面図であり、(b)は、その断面図である。(A) is a top view which shows another example of schematic structure of the said particle | grain measuring apparatus, (b) is the sectional drawing. 上記粒子測定装置が備える試料導入部の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the sample introduction part with which the said particle | grain measuring apparatus is provided. (a)は、上記粒子測定装置の概略構成の変形例を示す上面図であり、(b)は、その断面図である。(A) is a top view which shows the modification of schematic structure of the said particle | grain measuring apparatus, (b) is the sectional drawing. (a)は、上記粒子測定装置の概略構成の更なる変形例を示す上面図であり、(b)は、その断面図である。(A) is a top view which shows the further modification of schematic structure of the said particle | grain measuring apparatus, (b) is the sectional drawing. (a)は、本発明の更なる別の一実施形態に係る粒子測定装置の概略構成の一例を示す上面図であり、(b)および(c)は、その断面図である。(A) is a top view which shows an example of schematic structure of the particle | grain measuring apparatus which concerns on another another embodiment of this invention, (b) And (c) is the sectional drawing. (a)〜(c)は、上記粒子測定装置の概略構成の別例を示す上面図である。(A)-(c) is a top view which shows another example of schematic structure of the said particle | grain measuring apparatus. (a)〜(d)は、上記粒子測定装置の変形例を示す上面図である。(A)-(d) is a top view which shows the modification of the said particle | grain measuring apparatus.

本発明の各実施の形態について、図1〜図20に基づいて説明する。   Embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.

各実施の形態では、粒子とは、球形のビーズや血球に限定されず、球形以外の、例えば、塵、埃、細胞や、タンパク質や核酸などの試料中にコロイドとして分散するものも含まれる。   In each embodiment, the particles are not limited to spherical beads and blood cells, but also include particles that are dispersed as colloids in samples other than spherical, such as dust, dust, cells, proteins, and nucleic acids.

また、各実施の形態では、粒子の測定とは、電気抵抗またはインピーダンスを検出することにより粒子の測定が行われればよく、試料における粒子の有無、試料に含まれる粒子数の計数、試料の質量(あるいは体積)に対する粒子の濃度、試料に含まれる粒子のサイズなど、が含まれる。   Further, in each embodiment, the particle measurement may be performed as long as the particle is measured by detecting electric resistance or impedance. The presence or absence of particles in the sample, the counting of the number of particles contained in the sample, the mass of the sample The concentration of particles relative to (or volume), the size of particles contained in the sample, and the like are included.

また、各実施の形態において使用される試料には、電気抵抗またはインピーダンスで測定可能なものが全て含まれ、例えば、空気、ガスなどの気体試料、水溶液、血液などの液体試料、ゲルなどの高分子溶液試料が挙げられる。   In addition, the samples used in each embodiment include all those that can be measured by electrical resistance or impedance. For example, a gas sample such as air or gas, an aqueous solution, a liquid sample such as blood, or a high gel such as a gel. Examples include molecular solution samples.

また、各部の「深さ」は、流路の底部(底面)を基準とした、底部に対向する流路の上部(上面)へ向かう垂直方向の距離であり、各部の「長さ」は、流路を試料が流れると仮定した場合のその流れる主方向(流れ方向)の距離であり、各部の「幅」は、各部の「深さ」および「長さ」とそれぞれ垂直な方向の距離である。なお、各部の「深さ」について、流路の底部とそれ以外の部材の底部とが同一平面上にない場合には、当該部材の底部が流路の底部と同一平面上に形成されたと仮定したときの上記距離を「深さ」と定義するものとする。   Further, the “depth” of each part is a vertical distance from the bottom (bottom) of the flow path to the top (top) of the flow path facing the bottom, and the “length” of each part is This is the distance in the main direction (flow direction) when the sample flows through the channel, and the “width” of each part is the distance in the direction perpendicular to the “depth” and “length” of each part. is there. Regarding the “depth” of each part, if the bottom of the channel and the bottom of the other members are not on the same plane, it is assumed that the bottom of the member is formed on the same plane as the bottom of the channel The above distance is defined as “depth”.

なお、以下の説明では、粒子測定装置15、15aおよび15bは、粒子を含む試料に対する電気抵抗あるいはインピーダンス検出(抵抗測定)を行うことを前提として説明するが、これに限らず、粒子を含まない試料(例えば標準試料)の抵抗測定を行うことも可能である。粒子を含まない試料の抵抗測定を行う場合には、例えば、測定された電気抵抗値の差分をとることにより試料中の粒子の有無を確認することとなる。   In the following description, the particle measuring devices 15, 15a, and 15b are described on the assumption that electrical resistance or impedance detection (resistance measurement) is performed on a sample containing particles, but the present invention is not limited to this, and particles are not included. It is also possible to measure the resistance of a sample (for example, a standard sample). When measuring the resistance of a sample that does not contain particles, for example, the presence or absence of particles in the sample is confirmed by taking the difference between the measured electrical resistance values.

〔実施の形態1〕
本発明の実施の一形態について図1〜図11に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、本発明は、以下の記載に限定されるものではない。
[Embodiment 1]
One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. The present invention is not limited to the following description.

<本実施の形態の概要>
一般に、バルク測定では、バルク(広い空間)に配置された電極間の電気抵抗に対してアパチャーの電気抵抗が支配的であるため、血球がアパチャーを通過した時に大きな抵抗変化率が得られる。しかし、アパチャーに接続された流路がマイクロ化された従来の粒子測定装置(例えば血球計数装置)では、電極間のアパチャー以外の部分(例えば流路)での電気抵抗が無視できないほど大きくなる。これにより、粒子がアパチャーを通過しても、当該部分を含む全体の電気抵抗に対する当該アパチャーでの抵抗変化率が小さくなってしまう。
<Outline of the present embodiment>
In general, in bulk measurement, since the electrical resistance of the aperture is dominant with respect to the electrical resistance between electrodes arranged in the bulk (wide space), a large resistance change rate is obtained when a blood cell passes through the aperture. However, in a conventional particle measuring device (for example, a blood cell counter) in which the flow path connected to the aperture is micro-sized, the electrical resistance in a portion (for example, the flow path) other than the aperture between the electrodes becomes so large that it cannot be ignored. Thereby, even if the particles pass through the aperture, the resistance change rate at the aperture with respect to the entire electrical resistance including the portion is reduced.

また、この抵抗変化率が小さくなってしまうことを防ぐ目的で、アパチャー以外を広く深く形成することが考えられるが、これはファブリケーション上困難である上に、必要な試料量の増加を招くこととなってしまう。   In order to prevent this resistance change rate from becoming small, it is conceivable to form a wide and deep area other than the aperture, but this is difficult for fabrication and increases the amount of sample required. End up.

このように、試料の微量化を目的として粒子測定装置をマイクロ化した場合には、得られる測定信号の強度が弱められるという問題があった。   As described above, when the particle measuring apparatus is miniaturized for the purpose of reducing the amount of the sample, there is a problem that the intensity of the obtained measurement signal is weakened.

本実施の形態に係る粒子測定装置は、上記の問題を解決するために、複数の電極のうち何れか1つの電極と測定部との間に生じる電気抵抗またはインピーダンスを抑制する少なくとも1つの導体を備える構成である。これにより、粒子測定装置は、測定信号(シグナル)の強度が弱められることを防ぐことができる、すなわち強度の強い測定信号を得ることができるので、高精度な粒子の測定を行うことができる。   In order to solve the above-described problem, the particle measuring apparatus according to the present embodiment includes at least one conductor that suppresses electrical resistance or impedance generated between any one of the plurality of electrodes and the measurement unit. It is the composition provided. Thereby, the particle measuring apparatus can prevent the intensity of the measurement signal (signal) from being weakened, that is, can obtain a measurement signal having a high intensity, and therefore can measure particles with high accuracy.

<粒子測定装置15の全体構造>
まず、図2に基づいて、本実施の形態に係る粒子測定装置15の概略構成について説明する。図2は、粒子測定装置15の全体的な概略構成の一例を示す斜視図である。
<Overall structure of particle measuring apparatus 15>
First, a schematic configuration of the particle measuring apparatus 15 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a perspective view showing an example of the overall schematic configuration of the particle measuring device 15.

図2に示すように、粒子測定装置15は、主に、電極1a、1bと、測定部2と、上流流路4aと、下流流路4bと、導線5と、試料導入部6aと、試料導出部6bと、コネクタ7とを備えている。   As shown in FIG. 2, the particle measuring device 15 mainly includes electrodes 1a and 1b, a measuring unit 2, an upstream channel 4a, a downstream channel 4b, a conducting wire 5, a sample introduction unit 6a, and a sample. A lead-out part 6 b and a connector 7 are provided.

電極1aおよび1bはそれぞれ、導線5を介して、コネクタ7に接続(連結)されている。コネクタ7は電圧印加装置(電圧印加手段)(不図示)に接続されるように構成されている。   Each of the electrodes 1a and 1b is connected (coupled) to the connector 7 via the conducting wire 5. The connector 7 is configured to be connected to a voltage application device (voltage application means) (not shown).

粒子測定装置15が電圧印加装置に接続された場合、電圧印加装置が電極1a、1bに所定の電圧を印加することにより、電極1aおよび1bを介して、粒子測定装置15の内部に導入された試料に電圧を印加することができる。すなわち、粒子測定装置15は、電気抵抗法により、試料に含まれる粒子の測定を行うことが可能となる。   When the particle measuring device 15 is connected to the voltage applying device, the voltage applying device applies a predetermined voltage to the electrodes 1a and 1b, and is introduced into the particle measuring device 15 through the electrodes 1a and 1b. A voltage can be applied to the sample. That is, the particle measuring device 15 can measure particles contained in the sample by the electric resistance method.

なお、図2では、コネクタ7を備え、粒子測定装置15と接続可能な構成となっているが、これに限らず、粒子測定装置15が電圧印加装置を備える構成であってもよい。   In FIG. 2, the connector 7 is provided and can be connected to the particle measuring device 15. However, the configuration is not limited thereto, and the particle measuring device 15 may include a voltage applying device.

また、粒子測定装置15では、測定部2を試料が通過する、あるいは測定部2に試料が載置されることにより、試料に電圧が印加されたときの電気抵抗またはインピーダンス(以降では、主に電気抵抗の場合を例に挙げて説明する)が検出される。すなわち、粒子測定装置15は、試料が流れた状態でも静止状態でも、測定部2において粒子の測定を行うことが可能である。   Further, in the particle measuring device 15, when the sample passes through the measuring unit 2 or the sample is placed on the measuring unit 2, the electrical resistance or impedance when the voltage is applied to the sample (hereinafter, mainly, The case of electrical resistance will be described as an example). That is, the particle measuring device 15 can measure particles in the measuring unit 2 regardless of whether the sample is flowing or in a stationary state.

例えば、粒子測定装置15では、試料導入部6aから導入された試料は、上流流路4aを介して測定部2に運ばれた後、下流流路4bを介して試料導出部6bから粒子測定装置15の外部へと導出される。なお、電極1a、1bと、測定部2と、上流流路4aと、下流流路4bと、試料導入部6aと、試料導出部6bとについては以下に詳しく述べる。   For example, in the particle measuring device 15, the sample introduced from the sample introduction unit 6a is carried to the measurement unit 2 via the upstream flow path 4a, and then from the sample lead-out unit 6b via the downstream flow path 4b. 15 to the outside. The electrodes 1a and 1b, the measurement unit 2, the upstream channel 4a, the downstream channel 4b, the sample introduction unit 6a, and the sample lead-out unit 6b will be described in detail below.

また、本実施の形態に係る粒子測定装置15は、電極1aおよび1bの何れか一方の電極と測定部2との間に生じる電気抵抗(その絶対値)を抑制する導体3aおよび3bを備えていることにより、上述したように高精度な粒子の測定を可能としている。なお、粒子測定装置15が導体3aあるいは3bを備えた場合に高精度な粒子の測定が可能となる理由については以下に詳しく述べる。   Further, the particle measuring apparatus 15 according to the present embodiment includes conductors 3a and 3b that suppress electrical resistance (its absolute value) generated between one of the electrodes 1a and 1b and the measurement unit 2. As described above, it is possible to measure particles with high accuracy. The reason why high-precision particle measurement is possible when the particle measuring device 15 includes the conductor 3a or 3b will be described in detail below.

<粒子測定装置15の製造方法>
ここで、図2に基づいて、粒子測定装置15の製造方法の一例について説明する。
<Method for Manufacturing Particle Measuring Device 15>
Here, based on FIG. 2, an example of the manufacturing method of the particle | grain measuring apparatus 15 is demonstrated.

また、粒子測定装置15の上記構成は、例えば、ガラスや樹脂などからなる基板8a、8bを加工した後に貼りあわせることにより作製される。すなわち、基板8bは、基板8aの蓋として機能する。   Moreover, the said structure of the particle | grain measuring apparatus 15 is produced by bonding after processing the board | substrates 8a and 8b which consist of glass, resin, etc., for example. That is, the substrate 8b functions as a lid for the substrate 8a.

この場合、測定部2、上流流路4aおよび下流流路4bは、ウエットエッチング/ドライエッチングや機械加工等により、基板8aを削るようにして形成される。導体3a、3bが金属の場合、電極1a、1bおよび導体3a、3bは、基板8aに対して例えばスパッタ、リフトオフを用いて形成される。導体3a、3bがカーボンの場合には、導体3a、3bは、基板8aに対して例えばスクリーン印刷を用いて形成される。また、導体3a、3bが非流動性電界質の場合には、導体3a、3bを形成する位置に非流動性電解質を充填、もしくは流動性電解質として充填後少なくともその一部を硬化(例えば熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂を用いる)することにより形成される。また、試料導入部6aおよび試料導出部6bは、例えば基板8aおよび8bに対する機械加工により形成される。このとき、基板8bの上面(基板8aと対向する面と反対側の面)に、試料導入部6aおよび試料導出部6bの位置と対応する箇所に貫通孔(図12に示す試料導入口9aおよび試料導出口9b)を形成してもよい。   In this case, the measurement unit 2, the upstream flow path 4a, and the downstream flow path 4b are formed by cutting the substrate 8a by wet etching / dry etching, machining, or the like. When the conductors 3a and 3b are metal, the electrodes 1a and 1b and the conductors 3a and 3b are formed on the substrate 8a by using, for example, sputtering or lift-off. When the conductors 3a and 3b are carbon, the conductors 3a and 3b are formed on the substrate 8a by using, for example, screen printing. In the case where the conductors 3a and 3b are non-flowable electrolytes, the positions where the conductors 3a and 3b are formed are filled with a non-flowable electrolyte, or at least a part thereof is cured after filling as a flowable electrolyte (for example, thermosetting). For example, a photocurable resin or a photocurable resin is used). Moreover, the sample introduction part 6a and the sample derivation | leading-out part 6b are formed by machining with respect to the board | substrates 8a and 8b, for example. At this time, a through hole (a sample introduction port 9a and a sample introduction port 9a shown in FIG. 12) is formed on the upper surface of the substrate 8b (the surface opposite to the surface facing the substrate 8a) at a position corresponding to the positions of the sample introduction unit 6a and the sample extraction unit 6b. A sample outlet 9b) may be formed.

なお、上記では、基板8aおよび8bを貼りあわせて粒子測定装置15を形成する方法について説明したが、これに限らず、基板8aにのみ上記の形成方法が適用されることにより粒子測定装置15を形成することも可能である。また、電極1a、1bおよび導体3a、3bを形成した電極基板と、測定部2、上流流路4a、下流流路4b、試料導入部6aおよび試料導出部6bを形成した流路基板とを接着することにより、粒子測定装置15が形成されてもよい。   In the above description, the method of forming the particle measuring device 15 by bonding the substrates 8a and 8b has been described. However, the present invention is not limited to this, and the particle measuring device 15 is applied only to the substrate 8a. It is also possible to form. Further, the electrode substrate on which the electrodes 1a and 1b and the conductors 3a and 3b are formed is bonded to the flow path substrate on which the measurement unit 2, the upstream channel 4a, the downstream channel 4b, the sample introduction unit 6a, and the sample outlet unit 6b are formed. By doing so, the particle measuring device 15 may be formed.

<粒子測定装置15の具体的構成>
次に、図1に基づいて、粒子測定装置15の概略構成をより詳しく説明する。図1は、(a)は、本発明の一実施形態に係る粒子測定装置の概略構成の一例を示す上面図であり、(b)は、その断面図である。
<Specific Configuration of Particle Measuring Device 15>
Next, the schematic configuration of the particle measuring device 15 will be described in more detail with reference to FIG. 1A is a top view showing an example of a schematic configuration of a particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view thereof.

粒子測定装置15は、上述したように、電極1a、1bと、測定部2と、上流流路4aと、下流流路4bと、試料導入部6aと、試料導出部6bとを備えている。図1(a)および(b)に示すように、電極1aおよび1bの間に、上流流路4aおよび下流流路4bを介して測定部2が備えられている。すなわち、上流流路4aおよび下流流路4bのそれぞれの一端と測定部2とが接続されている。   As described above, the particle measuring device 15 includes the electrodes 1a and 1b, the measurement unit 2, the upstream flow channel 4a, the downstream flow channel 4b, the sample introduction unit 6a, and the sample derivation unit 6b. As shown in FIGS. 1A and 1B, a measuring unit 2 is provided between the electrodes 1a and 1b via an upstream channel 4a and a downstream channel 4b. That is, one end of each of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b is connected to the measurement unit 2.

また、上流流路4aおよび下流流路4bの下面(底面)のほぼ全面にはそれぞれ、導体3aおよび3bが備えられている。なお、例えば図3(c)などに示すように、導体3aおよび3bはそれぞれ上流流路4aおよび下流流路4bの少なくとも一部に備えられていてもよい。本発明において、測定信号の強度は、測定部2の構造のみではなく、測定部2の構造と導体3aおよび3bの配置との関係によって規定される。そのため、上記のように導体3aおよび3bが備えられていることにより、粒子測定装置15を形成する基板8aおよび8bの材料や加工精度などの影響を受けて、測定信号の強度が弱まってしまうことを防ぐことができる。   Also, conductors 3a and 3b are provided on almost the entire lower surface (bottom surface) of the upstream channel 4a and the downstream channel 4b, respectively. For example, as shown in FIG. 3C, the conductors 3a and 3b may be provided in at least a part of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b, respectively. In the present invention, the intensity of the measurement signal is defined not only by the structure of the measurement unit 2 but also by the relationship between the structure of the measurement unit 2 and the arrangement of the conductors 3a and 3b. Therefore, since the conductors 3a and 3b are provided as described above, the strength of the measurement signal is weakened due to the influence of the material and processing accuracy of the substrates 8a and 8b forming the particle measuring device 15. Can be prevented.

ただし、上流流路4aおよび下流流路4bは、必ずしも試料を測定部2に流すために使用される必要はなく、試料を測定部2に載置するために使用されてもよい。すなわち、上流流路4aおよび下流流路4bは、試料を測定部2に導入(載置)可能な構成であれば、必ずしも流路としての機能を有している必要はない。また、上流流路4aおよび下流流路4bは、必ずしも直線形状である必要はなく、後述の図4(a)に示すように、例えばS字形状などの湾曲形状を有していてもよい。また、粒子測定装置15が上流流路4aおよび下流流路4bのように2つの流路を備えている場合には、後述の図4(b)のようなV字形状、図4(c)のような階段形状、図4(d)のようなコの字型形状を有していてもよい。   However, the upstream flow path 4 a and the downstream flow path 4 b are not necessarily used for flowing the sample to the measurement unit 2, and may be used for placing the sample on the measurement unit 2. That is, the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b do not necessarily have a function as a flow path as long as the sample can be introduced (placed) on the measurement unit 2. Moreover, the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b do not necessarily have a linear shape, and may have a curved shape such as an S shape as shown in FIG. In addition, when the particle measuring device 15 includes two channels such as the upstream channel 4a and the downstream channel 4b, a V-shape as shown in FIG. It may have a staircase shape as shown in FIG. 4 and a U-shape as shown in FIG.

なお、上流流路4aおよび下流流路4bにおける試料の流れ方向に垂直な平面(断面)形状は、矩形でなくてもよく、円形、楕円形、三角形など、試料が流れることが可能な形状(あるいは測定部2に載置可能な形状)であればよい。なお、矩形の場合、試料が流れる側の表面(図1(b)で導体3aおよび3bが配置されている表面)が底面、当該底面に対向する表面が上面としている。一方、矩形でない場合、上記底面および上面に対応する上流流路4aおよび下流流路4bの領域はそれぞれ、底部および上部となる。   The plane (cross-sectional) shape perpendicular to the sample flow direction in the upstream channel 4a and the downstream channel 4b does not have to be a rectangle, but a shape (such as a circle, an ellipse, or a triangle) that allows the sample to flow ( Or the shape which can be mounted in the measurement part 2) may be sufficient. In the case of a rectangle, the surface on which the sample flows (the surface on which the conductors 3a and 3b are arranged in FIG. 1B) is the bottom surface, and the surface facing the bottom surface is the top surface. On the other hand, when the shape is not rectangular, the regions of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b corresponding to the bottom surface and the top surface are the bottom and the top, respectively.

また、図1では、粒子測定装置15が上流流路4aおよび下流流路4bを備える構成を図示しているが、これに限らず、例えば後述の図8に示すように、上流流路4a(導体3a)のみを備える構成であってもよい。すなわち、粒子測定装置15は、2つの電極1aおよび1bの何れか一方の電極と測定部2との間に生じる電気抵抗を抑制する少なくとも1つの導体を備えていればよい。また、粒子測定装置15は、測定部2と、2つの電極1aおよび1bの何れか一方の電極とに(電気的に)接続された、試料が流れる少なくとも1つの流路を備えていればよい。   1 illustrates a configuration in which the particle measuring device 15 includes the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b. However, the configuration is not limited thereto, and for example, as illustrated in FIG. A configuration including only the conductor 3a) may be employed. That is, the particle measuring device 15 only needs to include at least one conductor that suppresses an electrical resistance generated between one of the two electrodes 1a and 1b and the measuring unit 2. Moreover, the particle | grain measuring apparatus 15 should just be provided with the at least 1 flow path through which the sample flows (electrically) connected to the measurement part 2 and either one of the two electrodes 1a and 1b. .

また、図1(a)および(b)では、試料導入部6aおよび試料導出部6bが備えられている。試料導入部6aは、上流流路4aの他端に接続されており、その内部の一部には電極1aが配置されている。試料導出部6bは、下流流路4bの他端に接続されており、その内部の一部には電極1bが配置されている。なお、試料を測定部2に導入(載置)可能な構成であれば、必ずしも図1に示すような試料導入部6aおよび試料導出部6bを備えている必要はない。また、試料導入部6aおよび試料導出部6bの両方を備えている必要はなく、例えば1回の粒子の測定を行うことを目的とした粒子測定装置15であれば試料導入部6aのみを備えていればよい。また、例えば試料を測定部2に載置して粒子の測定が行われる場合には、1つの導入/導出部を備えていればよい。   Moreover, in FIG. 1 (a) and (b), the sample introduction part 6a and the sample derivation | leading-out part 6b are provided. The sample introduction part 6a is connected to the other end of the upstream flow path 4a, and the electrode 1a is disposed in a part of the inside thereof. The sample lead-out part 6b is connected to the other end of the downstream flow path 4b, and the electrode 1b is disposed in a part of the inside thereof. Note that the sample introduction unit 6a and the sample extraction unit 6b as illustrated in FIG. 1 are not necessarily provided as long as the sample can be introduced (placed) in the measurement unit 2. Further, it is not necessary to provide both the sample introduction unit 6a and the sample derivation unit 6b. For example, in the case of the particle measuring apparatus 15 for the purpose of performing one particle measurement, only the sample introduction unit 6a is provided. Just do it. For example, when the sample is placed on the measurement unit 2 and particle measurement is performed, it is only necessary to include one introduction / derivation unit.

以下、図1(a)および(b)の構成に基づいて、各部の構成をより具体的に説明する。   Hereinafter, the configuration of each unit will be described more specifically based on the configuration of FIGS.

電極1aおよび1bはそれぞれ、試料中の粒子の測定を電気抵抗(あるいは電気抵抗の変化)として検出するために試料に電圧を印加するためのものである。すなわち、電極1aおよび1bは、測定部2に導入される試料に電圧を印加するためのものである。   Each of the electrodes 1a and 1b is for applying a voltage to the sample in order to detect measurement of particles in the sample as electric resistance (or change in electric resistance). That is, the electrodes 1 a and 1 b are for applying a voltage to the sample introduced into the measuring unit 2.

上述のように、電極1aおよび1bは、例えば試料導入部6aおよび試料導出部6bの一部(例えば下面など)に設けられ、外部の電圧印加装置(不図示)に接続されている。電極1aおよび1bは、試料導入部6aおよび試料導出部6bに配置されている形状に限らず、例えば図2に示すように、液体として導入された試料中に差し込む構成であってもよい。   As described above, the electrodes 1a and 1b are provided, for example, in a part (for example, the lower surface) of the sample introduction unit 6a and the sample extraction unit 6b, and are connected to an external voltage application device (not shown). The electrodes 1a and 1b are not limited to the shapes arranged in the sample introduction part 6a and the sample lead-out part 6b. For example, as shown in FIG. 2, the electrodes 1a and 1b may be inserted into a sample introduced as a liquid.

また、電極1aおよび1bの材料としては、例えば金、白金、銅、アルミなどの金属、カーボン、導電性高分子などが挙げられ、試料による腐食が少ないことから、特に金、白金が好ましい。   Examples of the material for the electrodes 1a and 1b include metals such as gold, platinum, copper, and aluminum, carbon, conductive polymers, and the like, and gold and platinum are particularly preferable because corrosion due to the sample is small.

なお、本実施の形態では、粒子測定装置15が電極1aおよび1bを備えている構成について説明しているが、これに限らず、例えば試料導入部6aに電極1aとして機能する電極群を、試料導出部6bに電極1bとして機能する電極群をそれぞれ備えていてもよい。換言すれば、粒子測定装置15は少なくとも2つの電極を備えている。   In the present embodiment, the configuration in which the particle measuring device 15 includes the electrodes 1a and 1b is described. However, the present invention is not limited to this. For example, an electrode group that functions as the electrode 1a is provided in the sample introduction unit 6a. The lead-out part 6b may be provided with an electrode group that functions as the electrode 1b. In other words, the particle measuring device 15 includes at least two electrodes.

測定部2は、試料に電圧が印加されたときの電気抵抗が検出されることにより、試料に含まれる粒子の測定が行われる領域であり、アパチャーを形成している。測定部2の幅(図1(a)における紙面の上下方向)は1〜1000μm、好ましくは1〜100μmであり、その深さ(図1(a)における紙面と直交する方向)は1〜1000μm、好ましくは1〜100μm、その長さ(図1(a)における紙面の左右方向、A−A’線と平行方向)は、0.1〜5000μmである。   The measurement unit 2 is an area where particles contained in a sample are measured by detecting an electrical resistance when a voltage is applied to the sample, and forms an aperture. The width of the measurement unit 2 (the vertical direction of the paper surface in FIG. 1A) is 1-1000 μm, preferably 1-100 μm, and the depth (the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 1A) is 1-1000 μm. The length (the left-right direction of the paper surface in FIG. 1A, the direction parallel to the line AA ′) is preferably 0.1 to 5000 μm.

上流流路4aおよび下流流路4bは、試料が流れる流路の一部を形成するものであり、これらの幅は1〜5000μm、好ましくは1〜1000μmであり、その深さは1〜1000μm、好ましくは1〜100μmである。また、上流流路4aおよび下流流路4bは、例えば図4(e)および(f)に示すように、分岐構造を有していてもよい。   The upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b form part of the flow path through which the sample flows, and their width is 1 to 5000 μm, preferably 1 to 1000 μm, and the depth is 1 to 1000 μm, Preferably it is 1-100 micrometers. Moreover, the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b may have a branched structure as shown in FIGS. 4 (e) and (f), for example.

また、測定部2、上流流路4aおよび下流流路4bの断面形状は、図1(a)では矩形状となっているが、これに限らず、その他円形状、楕円形状などであってもよい。   Moreover, although the cross-sectional shape of the measurement part 2, the upstream flow path 4a, and the downstream flow path 4b is a rectangular shape in Fig.1 (a), it is not restricted to this, and other circular shapes, elliptical shapes, etc. may be sufficient. Good.

ここで、測定部2、上流流路4aおよび下流流路4bにおいて粒子が詰まることを防ぐために、上述した測定部2、上流流路4aおよび下流流路4bの幅および深さは、それぞれ粒子の最大直径よりも大きいことが好ましい。さらに、粒子通過時の抵抗変化率を大きくするために、測定部2の断面積(例えば矩形形状の場合、幅×深さ)は、測定対象の粒子の最大断面積(例えば球形状の場合、円周率×粒子の半径×粒子の半径)よりも少し大きい(粒子の断面積に対する測定部2の断面積比が1以上15以下、好ましくは10以下)ことが好ましい。   Here, in order to prevent the clogging of particles in the measurement unit 2, the upstream channel 4a, and the downstream channel 4b, the width and depth of the measurement unit 2, the upstream channel 4a, and the downstream channel 4b described above are respectively Preferably it is larger than the maximum diameter. Furthermore, in order to increase the resistance change rate when passing through the particle, the cross-sectional area of the measurement unit 2 (for example, in the case of a rectangular shape, width x depth) is the maximum cross-sectional area of the particle to be measured (for example, in the case of a spherical shape, It is preferable that the ratio of the cross-sectional area of the measurement unit 2 to the cross-sectional area of the particles is 1 to 15 and preferably 10 or less.

試料導入部6aは、試料を自装置内に導入、具体的には試料を上流流路4aを介して測定部2へ導入するためのものであり、上流流路4aと、測定部2とが接続された領域とは異なる接続領域で接続されている。また、試料導出部6bは、試料を下流流路4bから粒子測定装置15の外部へ導出するためのものであり、下流流路4bと、測定部2とが接続された領域とは異なる接続領域で接続されている。これにより、粒子測定装置15に対する試料の導入/導出を効率よく行うことができる。また、試料導入部6aおよび試料導出部6bのそれぞれの幅は1〜50000μm、深さは1〜50000μm、長さは1〜50000μmである。   The sample introduction part 6a is for introducing a sample into the apparatus itself, specifically for introducing the sample into the measurement part 2 via the upstream flow path 4a. The upstream flow path 4a and the measurement part 2 are connected to each other. The connection area is different from the connected area. The sample lead-out part 6b is for leading the sample from the downstream flow path 4b to the outside of the particle measuring device 15, and is a connection area different from the area where the downstream flow path 4b and the measurement part 2 are connected. Connected with. Thereby, the introduction / derivation of the sample with respect to the particle measuring device 15 can be performed efficiently. Moreover, the width | variety of each of the sample introduction part 6a and the sample derivation | leading-out part 6b is 1-50000 micrometers, the depth is 1-50000 micrometers, and length is 1-50000 micrometers.

例えば、図1(a)では、A−A’線と平行方向において、上流流路4aの一端が測定部2に接続され、他端が試料導入部6aに接続されている。同様に、下流流路4bの一端が測定部2に接続され、他端が試料導出部6bに接続されている。換言すれば、上流流路4aは、測定部2の上流側、すなわち試料が測定部2に導入される側の試料導入部6aに接続されるように配置されており、下流流路4bは、測定部2の下流側、すなわち試料が測定部2から導出される側の試料導出部6bに接続されるように配置されている。これにより、測定部2に対する試料の導入/導出を効率よく行うことができる。   For example, in FIG. 1A, one end of the upstream flow path 4a is connected to the measurement unit 2 and the other end is connected to the sample introduction unit 6a in the direction parallel to the A-A ′ line. Similarly, one end of the downstream flow path 4b is connected to the measurement unit 2, and the other end is connected to the sample derivation unit 6b. In other words, the upstream flow path 4a is disposed so as to be connected to the upstream side of the measurement unit 2, that is, the sample introduction part 6a on the side where the sample is introduced into the measurement unit 2, and the downstream flow path 4b is It arrange | positions so that it may connect with the sample derivation | leading-out part 6b of the downstream of the measurement part 2, ie, the sample derivation | leading-out from the measurement part 2. Thereby, the introduction / derivation of the sample with respect to the measurement unit 2 can be performed efficiently.

また、試料導入部6aおよび試料導出部6bにチューブを差込み、粒子測定装置15の外部から試料(液体)を導入、または外部へ当該試料を導出する構成であってもよい。   Further, a configuration may be adopted in which a tube is inserted into the sample introduction unit 6a and the sample lead-out unit 6b, and a sample (liquid) is introduced from the outside of the particle measuring device 15, or the sample is led out to the outside.

導体3aおよび3bは、測定部2以外の部分(本実施形態では上流流路4aおよび下流流路4b)の電気抵抗を低減し、測定信号(粒子の測定部2の通過に伴う抵抗変化率)を大きくする目的で、電極1a、1bと測定部2との間に形成されている(本実施形態では上流流路4aおよび下流流路4bに形成)。これにより、電極1a、1bと測定部2との間の電気抵抗の影響を極力排除することができる。   The conductors 3a and 3b reduce the electrical resistance of the portion other than the measurement unit 2 (in this embodiment, the upstream flow channel 4a and the downstream flow channel 4b), and the measurement signal (resistance change rate associated with the passage of particles through the measurement unit 2). Is formed between the electrodes 1a and 1b and the measuring section 2 (in this embodiment, formed in the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b). Thereby, the influence of the electrical resistance between electrode 1a, 1b and the measurement part 2 can be excluded as much as possible.

導体3aおよび3bの材料としては、試料より高い導電性を有する物質が好ましく、例えば金属、カーボン、導電性高分子、非流動性電解質などが挙げられる。金属としては、例えば、アルミニウム、亜鉛、クロム、鉄、ニッケル、スズ、銅、銀、白金、金、パラジウム、ロジウム、イリジウム、タングステンなどが挙げられる。カーボンとしては、例えば、グラッシーカーボン、パイロリティックグラファイト、カーボンペースト、炭素繊維などが挙げられる。導電性高分子としては、例えば、ポリアセチレン、ポリパラフェニレン、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリパラフェニレンビニレンなどが挙げられる。非流動性電解質としては、例えば塩化物イオン伝導性固体電解質、βアルミナ、安定化ジルコニアなどの固体電解質、および、例えば塩橋(塩化カリウム、硝酸アンモニウムまたは酢酸リチウムを含むアガロース)、塩化カリウムなどの液体電解質を含むポリ塩化ビニル、またはポリアクリルアミドなど、液体電解質を含むゲル状物質が挙げられる。また、図4(e)および(f)で説明するように、導体3aおよび3bとして非流動性電解質が用いられる場合、液体電解質を分岐路24aおよび24b内に充填しゲル状物質でその分岐路24aおよび24bのそれぞれの両端(第1分岐点241および第2分岐点242)を封止することも可能である。   The material of the conductors 3a and 3b is preferably a substance having higher conductivity than that of the sample, and examples thereof include metals, carbon, conductive polymers, and non-fluid electrolytes. Examples of the metal include aluminum, zinc, chromium, iron, nickel, tin, copper, silver, platinum, gold, palladium, rhodium, iridium, and tungsten. Examples of carbon include glassy carbon, pyrolytic graphite, carbon paste, and carbon fiber. Examples of the conductive polymer include polyacetylene, polyparaphenylene, polyaniline, polythiophene, polyparaphenylene vinylene, and the like. Examples of non-fluid electrolytes include solid electrolytes such as chloride ion conductive solid electrolytes, β alumina, and stabilized zirconia, and liquids such as salt bridges (agarose containing potassium chloride, ammonium nitrate, or lithium acetate), potassium chloride, and the like. Examples thereof include a gel substance containing a liquid electrolyte such as polyvinyl chloride containing an electrolyte or polyacrylamide. As shown in FIGS. 4E and 4F, when a non-fluid electrolyte is used as the conductors 3a and 3b, the liquid electrolyte is filled in the branch paths 24a and 24b and the branch path is formed with a gel substance. It is also possible to seal both ends (first branch point 241 and second branch point 242) of 24a and 24b.

また、導体3aおよび3bは、電極1aおよび1bと測定部2とを結ぶ方向の長さが1mm以上10cm以下である。この場合、製造工程を考慮して導体3aおよび3bを粒子測定装置15に備えることができる。すなわち、導体3aおよび3bが金属およびカーボンの場合、その長さを1mm以上とすることで、粒子測定装置15をスパッタやリフトオフ、スクリーン印刷等により容易に作製することができる。また、導体3aおよび3bを配置することにより粒子測定の信号強度を効果的に高めることができる(後述)。また、導体3aおよび3bを10cm以下とすることで、粒子測定装置15の小型化(チップ化)を図ることができる。   The conductors 3a and 3b have a length in the direction connecting the electrodes 1a and 1b and the measurement unit 2 of 1 mm or more and 10 cm or less. In this case, the conductors 3a and 3b can be provided in the particle measuring device 15 in consideration of the manufacturing process. That is, when the conductors 3a and 3b are metal and carbon, the particle measuring device 15 can be easily manufactured by sputtering, lift-off, screen printing, etc. by setting the length to 1 mm or more. Further, by arranging the conductors 3a and 3b, the signal intensity of particle measurement can be effectively increased (described later). Moreover, the size (chip formation) of the particle | grain measuring apparatus 15 can be achieved by making the conductors 3a and 3b into 10 cm or less.

また、導体3aおよび3bは、電極1a、1bおよび電圧印加装置には直接接続されていない(試料を通して導通する)構成である。すなわち、導体3aおよび3bは、電極1a、1bと離間して備えられている。これにより、導体3aおよび3bが、測定部2での粒子の測定に与える、電極1a、1bと測定部2との間での電気抵抗の影響を抑制することができる。   The conductors 3a and 3b are not directly connected to the electrodes 1a and 1b and the voltage application device (conduct through the sample). That is, the conductors 3a and 3b are provided apart from the electrodes 1a and 1b. Thereby, the influence of the electrical resistance between the electrodes 1a and 1b and the measuring unit 2 that the conductors 3a and 3b give to the measurement of the particles in the measuring unit 2 can be suppressed.

また、図1(b)のように、導体3aおよび3bが、必ずしも上流流路4aおよび下流流路4bの下面にそれぞれ形成される必要はない。2つの導体3aおよび3bをそれぞれ、例えば上流流路4aおよび下流流路4bの下面(2つの導体を対応する同じ表面)に配置した場合には、それぞれに生じる電気力線が略半円状になる。主として測定部2の深さ方向に電気力線の粗密が生じるため、2つの導体3aおよび3b間の距離が近い場合、測定部2において深さ方向に電場の強弱が生じる可能性がある。このとき、粒子が測定部2の上方を流れた場合、その上方部分が弱電場のため、測定部2の下方を流れるとき(強電場)と比べ信号強度が低くなる可能性がある。   Further, as shown in FIG. 1B, the conductors 3a and 3b are not necessarily formed on the lower surfaces of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b, respectively. For example, when the two conductors 3a and 3b are respectively disposed on the lower surfaces of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b (the same surface corresponding to the two conductors), the electric lines of force generated in each of the conductors 3a and 3b are substantially semicircular. Become. Since the electric lines of force are mainly concentrated in the depth direction of the measurement unit 2, when the distance between the two conductors 3a and 3b is short, there is a possibility that an electric field strength may be generated in the depth direction in the measurement unit 2. At this time, when the particles flow above the measurement unit 2, the signal intensity may be lower than when the particles flow below the measurement unit 2 (strong electric field) because the upper part is a weak electric field.

この信号強度の低下を防止するために、例えば、上流流路4aの下面に導体3aを配置した場合、下流流路4bの上面に導体3bを配置することが好ましく、また、その上面および下面の両方に配置してもよい。一方、その配置関係が上流流路4aと下流流路4bとで逆の構成であってもよい。さらに、導体3aが上流流路4aの上面および下面の両方に、導体3bが下流流路4bの上面および下面の両方にそれぞれ備えられていてもよい。また、導体3aおよび3bがそれぞれ上流流路4aおよび下流流路4bの側面に備えられていてもよい。   In order to prevent the signal strength from decreasing, for example, when the conductor 3a is disposed on the lower surface of the upstream flow path 4a, it is preferable to dispose the conductor 3b on the upper surface of the downstream flow path 4b. You may arrange in both. On the other hand, the arrangement relationship may be reversed between the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b. Furthermore, the conductor 3a may be provided on both the upper surface and the lower surface of the upstream flow path 4a, and the conductor 3b may be provided on both the upper surface and the lower surface of the downstream flow path 4b. The conductors 3a and 3b may be provided on the side surfaces of the upstream channel 4a and the downstream channel 4b, respectively.

換言すれば、上流流路4aおよび下流流路4bのうちの一方の流路を形成する一表面に備えられた導体3aまたは3bは、その一表面に対応する、他方の流路を形成する一表面の対向面に少なくとも備えられている。このように、少なくとも一方の導体を対向面に配置することで、上記電気力線が測定部2においてより均一にすることができ、導体3aおよび3b間の距離が近い場合においても、測定部2における粒子通過に伴う信号強度を高く維持することが可能となる。すなわち、この導体配置により、上流流路4aおよび下流流路4bを流れる試料中の粒子に効果的に電場がかかるので、強度の強い測定信号を得ることができ、上記の信号強度の低下を防止できる。   In other words, the conductor 3a or 3b provided on one surface forming one of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b forms one of the other flow paths corresponding to the one surface. It is provided at least on the opposing surface. Thus, by arranging at least one of the conductors on the opposing surface, the electric lines of force can be made more uniform in the measurement unit 2, and the measurement unit 2 can be used even when the distance between the conductors 3a and 3b is short. It is possible to maintain a high signal intensity associated with the passage of particles. That is, this conductor arrangement effectively applies an electric field to the particles in the sample flowing through the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b, so that a strong measurement signal can be obtained and the above-described decrease in signal strength is prevented. it can.

それゆえ、本実施の形態の粒子測定装置15を用いることにより、電気抵抗法を用いた試料中の粒子の測定において、試料量の増加を招くことなく、高い測定信号の強度(S/N比)および高い測定精度での粒子の測定が可能となる。このため、粒子測定装置15を、例えば、極微量血液を試料として用い、かつ流路がマイクロ化された血球測定装置として提供することが可能となる。   Therefore, by using the particle measuring device 15 of the present embodiment, in the measurement of particles in a sample using the electric resistance method, a high measurement signal intensity (S / N ratio) is obtained without causing an increase in the amount of the sample. ) And measurement of particles with high measurement accuracy. Therefore, for example, the particle measuring device 15 can be provided as a blood cell measuring device using a very small amount of blood as a sample and having a micro-channel flow path.

次に、図3〜図8に基づいて、導体3aおよび3b、上流流路4a、下流流路4b、試料導入部6a、試料導出部6bの形状の変形例について説明する。   Next, modified examples of the shapes of the conductors 3a and 3b, the upstream flow path 4a, the downstream flow path 4b, the sample introduction part 6a, and the sample lead-out part 6b will be described with reference to FIGS.

(導体の形状)
まず、導体3aおよび3bの形状の変形例について、図3(a)〜(g)に基づいて説明する。
(Conductor shape)
First, modified examples of the shapes of the conductors 3a and 3b will be described with reference to FIGS.

図3(a)に示すように、導体3a、3bは、上流流路4aおよび下流流路4bだけでなく、測定部2の一部にも形成されていてもよいし、試料導入部6aおよび試料導出部6bの一部にも形成されていてもよい。この構成の場合、粒子が測定部2を通過するときに測定される抵抗変化率をより大きくすることができる。   As shown in FIG. 3 (a), the conductors 3a and 3b may be formed not only in the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b but also in a part of the measurement unit 2, or the sample introduction unit 6a and It may also be formed on a part of the sample outlet 6b. In the case of this configuration, it is possible to increase the resistance change rate measured when the particles pass through the measurement unit 2.

また、図3(b)に示すように、導体3aおよび3bの幅は、上流流路4aおよび下流流路4bの幅よりも大きくてもよい。この構成の場合、上述した電極基板と流路基板との貼り合わせにおける位置合わせが容易となる。   Moreover, as shown in FIG.3 (b), the width | variety of the conductors 3a and 3b may be larger than the width | variety of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b. In the case of this configuration, the alignment in the bonding of the electrode substrate and the flow path substrate described above becomes easy.

また、図3(c)に示すように、導体3aおよび3bの幅は、上流流路4aおよび下流流路4bの幅より小さくてもよい。この構成の場合、上述した電極基板と流路基板との貼り合わせにおいて、流路基板における接着面と電極基板との間に導体3aおよび3bが存在しないため、これらの基板の接着が容易となる。   Further, as shown in FIG. 3C, the widths of the conductors 3a and 3b may be smaller than the widths of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b. In the case of this configuration, since the conductors 3a and 3b do not exist between the adhesion surface of the flow path substrate and the electrode substrate in the above-described bonding of the electrode substrate and the flow path substrate, the adhesion of these substrates is facilitated. .

なお、図3(d)に示すように、導体3aおよび3bの幅は一様である必要はなく、例えば、試料導入部6a、試料導出部6bおよび測定部2に近接する側でその幅が大きく、他の領域でその幅が小さい構成としてもよい。   As shown in FIG. 3D, the widths of the conductors 3a and 3b do not have to be uniform. For example, the widths of the conductors 3a and 3b are closer to the sample introduction part 6a, the sample lead-out part 6b, and the measurement part 2. It is good also as a structure which is large and the width | variety is small in another area | region.

また、図3(e)に示すように、導体3aおよび3bが上流流路4aおよび下流流路4bの内部に全て形成される必要はない。すなわち、試料導入部6a、試料導出部6bおよび測定部2に近接する側においては、上流流路4aおよび下流流路4bの内部にそれぞれ導体3aおよび3bが形成され、その他の領域では上流流路4aおよび下流流路4bの外部において接続されている構成でもあってもよい。換言すれば、導体3aおよび3bは、上流流路4aおよび下流流路4bそれぞれの内部において離間して備えられ、上流流路4aおよび下流流路4bそれぞれの外部において接続されている。   Further, as shown in FIG. 3E, the conductors 3a and 3b are not necessarily formed inside the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b. That is, the conductors 3a and 3b are formed inside the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b on the side close to the sample introduction part 6a, the sample lead-out part 6b, and the measurement part 2, respectively. 4a and the downstream flow path 4b may be connected outside. In other words, the conductors 3a and 3b are provided separately in the upstream channel 4a and the downstream channel 4b, and are connected to the outside of the upstream channel 4a and the downstream channel 4b.

この構成の場合、上流流路4aおよび下流流路4bを試料が流れることによる、上流流路4aおよび下流流路4bに備えられた導体3aおよび3bの劣化を防ぐことができる。これにより、長寿命の粒子測定装置15を実現でき、粒子測定装置15を連続的にあるいは繰り返して使用することができる。例えば、導体3aおよび3bの劣化現象としては、試料との接触による導体の酸化や、試料が血液の場合には、当該血液に含まれるタンパク質の導体への吸着などが挙げられる。   In the case of this configuration, it is possible to prevent the conductors 3a and 3b provided in the upstream channel 4a and the downstream channel 4b from being deteriorated due to the sample flowing through the upstream channel 4a and the downstream channel 4b. Thereby, the long life particle | grain measuring apparatus 15 is realizable, and the particle | grain measuring apparatus 15 can be used continuously or repeatedly. For example, the deterioration phenomena of the conductors 3a and 3b include oxidation of the conductor due to contact with the sample, and adsorption of proteins contained in the blood to the conductor when the sample is blood.

また、例えば上流流路4aでは、その内部において離間して(図3(e)では2箇所)備えられた導体3aが、上流流路4aの外部において接続されている。このため、導体3aを上流流路4aの下面の全面に備えた場合と同等に、粒子の測定に対する上流流路4aでの電気抵抗の影響を抑制することができる。   Further, for example, in the upstream flow path 4a, conductors 3a that are separated in the inside (two places in FIG. 3E) are connected to the outside of the upstream flow path 4a. For this reason, the influence of the electrical resistance in the upstream flow path 4a on the particle measurement can be suppressed as in the case where the conductor 3a is provided on the entire lower surface of the upstream flow path 4a.

さらに、例えば上流流路4aでは、上流流路4aの内部において離間して備えられた2つの導体3a間のスペース(導体が存在しない上流流路4a内の領域)に、電気的なセンサを配置することができる。この場合、これらのセンサからの検知結果を受けることにより、導体3aのみを備えた場合よりも高精度な粒子の測定、もしくは1回の粒子の測定で複数項目の測定を行うことが可能となる。なお、上記の電気的なセンサとしては、例えば、流量センサや流体検知センサ、アナライト(イオンやタンパク質など)を分析するための電気化学検出センサなどが挙げられる。   Further, for example, in the upstream flow path 4a, an electrical sensor is disposed in a space between two conductors 3a provided in the upstream flow path 4a so as to be spaced apart (region in the upstream flow path 4a where no conductor exists). can do. In this case, by receiving the detection results from these sensors, it is possible to measure a plurality of items by measuring particles with higher accuracy than when only the conductor 3a is provided, or by measuring particles once. . Examples of the electrical sensor include a flow rate sensor, a fluid detection sensor, and an electrochemical detection sensor for analyzing an analyte (such as ions and proteins).

なお、上記では、上流流路4aを例として説明したが、下流流路4bの場合についても同様のことがいえる。   In the above description, the upstream flow path 4a is described as an example, but the same can be said for the downstream flow path 4b.

また、図3(f)および(g)に示すように、導体3aおよび3bは、上流流路4aおよび下流流路4bの長さ方向、または上流流路4aおよび下流流路4bの幅方向にストライプ状に形成されてもよい。   3 (f) and 3 (g), the conductors 3a and 3b are arranged in the length direction of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b, or in the width direction of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b. It may be formed in a stripe shape.

図3(a)〜(g)では、図1(a)と同様、導体3aおよび3bが離間して設けられている(互いに接続されておらず、試料を通して導通する)。この場合、導体3aおよび3b間の直線最短距離は、0.1〜1000μm、好ましくは0.1〜100μmである。換言すれば、上流流路4aに備えられた導体3aと、下流流路4bに備えられた導体3bとは、少なくとも0.1μm以上1000μm以下だけ離間して備えられている。このように離間して備えることにより、簡単な製造方法で、強度の強い測定信号(測定部において大きな抵抗変化率)を得ることができる。   3A to 3G, the conductors 3a and 3b are provided apart from each other (not connected to each other and conducted through the sample), as in FIG. 1A. In this case, the shortest straight line distance between the conductors 3a and 3b is 0.1 to 1000 μm, preferably 0.1 to 100 μm. In other words, the conductor 3a provided in the upstream flow path 4a and the conductor 3b provided in the downstream flow path 4b are provided separated by at least 0.1 μm or more and 1000 μm or less. By providing such a separation, a strong measurement signal (a large resistance change rate in the measurement unit) can be obtained with a simple manufacturing method.

なお、導体3aおよび3bの長さは、当該導体作製上の精度から0.1μm以上であることが好ましい。また、一般に、導体3aおよび3bのそれぞれに生じる電気力線の粗密が均等化されると仮定した場合、基本的には導体3aおよび3b間の距離が近い程、測定部2における粒子通過に伴う信号強度(測定部2における抵抗変化率)が強くなる(系全体の抵抗が下がるため)。このため、導体3aおよび3bを離間しすぎると信号強度が低下する可能性がある。この点を考慮すればその距離が1000μm以下であることが好ましい。   In addition, it is preferable that the length of the conductors 3a and 3b is 0.1 μm or more from the viewpoint of accuracy in manufacturing the conductor. In general, assuming that the density of the electric lines of force generated in each of the conductors 3a and 3b is equalized, basically, the closer the distance between the conductors 3a and 3b, the more the particles pass through the measurement unit 2. The signal intensity (resistance change rate in the measurement unit 2) increases (because the resistance of the entire system decreases). For this reason, if the conductors 3a and 3b are separated too much, the signal strength may be lowered. In consideration of this point, the distance is preferably 1000 μm or less.

また、例えば、導体3aまたは3bをそれぞれ、上流流路4aまたは下流流路4bの上面および下面の両方に設ける場合、その上面の導体と下面の導体とが接続されていない方向は、各流路の深さ方向となる。このとき、測定部2まで導体3aおよび3bが形成される場合、測定部2の一部で、かつ測定部2の上面および下面の両方に、導体3aおよび3bが配置される。   Also, for example, when the conductor 3a or 3b is provided on both the upper surface and the lower surface of the upstream flow path 4a or the downstream flow path 4b, the direction in which the conductor on the upper surface and the conductor on the lower surface are not connected In the depth direction. At this time, when the conductors 3 a and 3 b are formed up to the measurement unit 2, the conductors 3 a and 3 b are disposed on a part of the measurement unit 2 and on both the upper surface and the lower surface of the measurement unit 2.

なお、上記の他、導体3aおよび3bは、上流流路4aおよび下流流路4bの外部(例えば試料導入部6a、試料導出部6bなど)からそれぞれ、その内部へ差し込む構成としてもよい。また、導体3aおよび3bは、直線形状である必要はなく、例えば図4(a)〜(f)に示す上流流路4aおよび下流流路4bの形状にあわせて、例えばS字形状、コの字型形状などの湾曲形状を有していてもよい。   In addition to the above, the conductors 3a and 3b may be inserted into the inside of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b from the outside (for example, the sample introduction part 6a, the sample lead-out part 6b, etc.). Moreover, the conductors 3a and 3b do not need to have a linear shape. For example, in accordance with the shapes of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b shown in FIGS. It may have a curved shape such as a letter shape.

(上流流路4aおよび下流流路4bの形状)
次に、上流流路4aおよび下流流路4bの形状の変形例について、図4(a)〜(f)に基づいて説明する。
(Shape of upstream flow path 4a and downstream flow path 4b)
Next, modified examples of the shapes of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b will be described with reference to FIGS.

図4(a)〜(d)に示すように、測定部2と上流流路4aおよび下流流路4bとは、直線状に接続されている必要はなく、例えば、図4(a)に示されるように、上流流路4aおよび下流流路4bがS字形状に湾曲していてもよい。また、図4(b)のV字型形状、図4(c)に示す階段形状、図4(d)に示すコの字型形状であってもよい。   As shown in FIGS. 4A to 4D, the measurement unit 2, the upstream flow path 4a, and the downstream flow path 4b do not need to be connected in a straight line. For example, as shown in FIG. As shown, the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b may be curved in an S shape. Moreover, the V shape of FIG.4 (b), the staircase shape shown in FIG.4 (c), and the U-shape shown in FIG.4 (d) may be sufficient.

また、図4(e)および(f)に示すように、上流流路4aおよび下流流路4bは分岐構造を有していてもよい。この場合、分岐路24aは、上流流路4a内の電極1a側の第1分岐点241と、上流流路4a内の測定部2側の第2分岐点242とにおいて、上流流路4aから分岐した構造であり、この分岐路24a内に導体3aを配置することが好ましい。   Further, as shown in FIGS. 4E and 4F, the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b may have a branched structure. In this case, the branch path 24a branches from the upstream flow path 4a at the first branch point 241 on the electrode 1a side in the upstream flow path 4a and the second branch point 242 on the measurement unit 2 side in the upstream flow path 4a. The conductor 3a is preferably arranged in the branch path 24a.

また、上流流路4aを流れる試料は分岐路24a内に導入されないことが好ましい。分岐路24a内の電気抵抗(絶対値)が、上流流路4a(図4(e)および(f)では直線流路)の電気抵抗よりも低くなるよう、分岐路24aの構造の設計および導体3aの配置を行うことで、粒子の測定に対する上流流路4aでの電気抵抗の影響を抑制することが可能である(後述)。   Moreover, it is preferable that the sample flowing through the upstream flow path 4a is not introduced into the branch path 24a. The design of the structure of the branch path 24a and the conductor so that the electrical resistance (absolute value) in the branch path 24a is lower than the electrical resistance of the upstream path 4a (the straight path in FIGS. 4 (e) and 4 (f)). By arranging 3a, it is possible to suppress the influence of electrical resistance in the upstream flow path 4a on the measurement of particles (described later).

分岐路24aの構造として、分岐路24aの幅および/または深さを上流流路4aの幅または/および深さより大きくすることが挙げられる。ただし、導体3aの導電率が試料の導電率よりも高い場合は、分岐路24aの幅および/または深さは上流流路4aの幅および/または深さと同等かそれ以下でもよい。   The structure of the branch path 24a includes making the width and / or depth of the branch path 24a larger than the width and / or depth of the upstream flow path 4a. However, when the conductivity of the conductor 3a is higher than the conductivity of the sample, the width and / or depth of the branch path 24a may be equal to or less than the width and / or depth of the upstream flow path 4a.

また、分岐路24aへの試料の導入を防ぐために、導体3aは、上述の非流動性電解質であることが好ましい。または、分岐路24a内に、上述の金属、カーボン、導電性高分子を導体3aとして、例えば食塩水などの流動性電解質と共に配置し、分岐路24aの第1分岐点241および第2分岐点242をゲルなどの非流動性物質で封止する構成としてもよい。試料の分岐路24aへの導入を防ぐことで、測定に使用する試料の体積は、分岐路24a分の体積増加に影響されないため、微量試料での測定が可能となる。   In order to prevent the sample from being introduced into the branch path 24a, the conductor 3a is preferably the above-described non-fluidic electrolyte. Alternatively, the metal, carbon, and conductive polymer described above are disposed in the branch path 24a as a conductor 3a together with a fluid electrolyte such as saline, and the first branch point 241 and the second branch point 242 of the branch path 24a. It is good also as a structure sealed with non-flowable substances, such as a gel. By preventing the sample from being introduced into the branch path 24a, the volume of the sample used for the measurement is not affected by the increase in volume corresponding to the branch path 24a, so that measurement with a very small amount of sample is possible.

また、分岐路24aへの試料の導入を防ぐ場合であっても、分岐路24aの第1分岐点241および第2分岐点242において、上流流路4a(測定部2)と試料を介して電気的に導通されている。   Even when the sample is prevented from being introduced into the branch path 24a, the first branch point 241 and the second branch point 242 of the branch path 24a are electrically connected via the upstream flow path 4a (measurement unit 2) and the sample. Is electrically connected.

このように、上流流路4aに分岐路24aを接続し、分岐路24a内に導体3aを配置することで、試料が流れる上流流路4aに影響を与えることなく、強度の強い測定信号(測定部2において大きな抵抗変化率)を得ることができる。また、導体3aの種類の選択の幅を広げることも可能となる。なお、上記では、上流流路4aを例として説明したが、下流流路4bの場合についても同様のことがいえる。   In this way, by connecting the branch path 24a to the upstream flow path 4a and disposing the conductor 3a in the branch path 24a, a strong measurement signal (measurement) can be performed without affecting the upstream flow path 4a through which the sample flows. A large resistance change rate in the portion 2 can be obtained. It is also possible to increase the range of selection of the type of conductor 3a. In the above description, the upstream flow path 4a is described as an example, but the same can be said for the downstream flow path 4b.

なお、図4(a)〜(c)では、導体3aおよび3bはそれぞれ、上流流路4aおよび下流流路4bを全て含むように形成されているが、これに限らず、上述したように、上流流路4aおよび下流流路4bの形状に沿ってその内部に備えられる構成であってもよい。また、図4(a)〜(f)では、導体3aおよび3bはそれぞれ、上流流路4aおよび下流流路4b(図4(e)および(f)では分岐路24aおよび24b)の全領域に形成されているが、上述したように、その一部に備えられる構成であってもよい。また、上流流路4aおよび下流流路4bの形状がそれぞれ異なっていてもよい。例えば、上流流路4aの形状が図4(a)に示すS字形状、下流流路4bの形状が図4(b)に示すV字形状の片側であってもよい。   In FIGS. 4A to 4C, the conductors 3a and 3b are formed so as to include all of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b, respectively, but not limited thereto, as described above, The structure provided in the inside along the shape of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b may be sufficient. 4 (a) to (f), the conductors 3a and 3b are disposed in the entire region of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b (the branch paths 24a and 24b in FIGS. 4 (e) and (f)), respectively. Although formed, as described above, a configuration provided in a part thereof may be used. Further, the shapes of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b may be different from each other. For example, the upstream flow path 4a may have a S shape as shown in FIG. 4A, and the downstream flow path 4b may have a V shape as shown in FIG. 4B.

また、図4(e)および(f)において、分岐路24aおよび分岐路24bのみに導体3aおよび3bが備えることにより、強度の強い測定信号を得て、導体3aおよび3bの種類の選択の幅を広げている。しかし、この点を考慮しなければ、分岐路24aおよび分岐路24bだけでなく、上流流路4aおよび下流流路4bのそれぞれにも導体3aおよび3bが備えられてもよい。   4 (e) and (f), the conductors 3a and 3b are provided only in the branch path 24a and the branch path 24b, so that a strong measurement signal can be obtained and the range of selection of the types of the conductors 3a and 3b can be obtained. Is spreading. However, if this point is not taken into account, the conductors 3a and 3b may be provided not only in the branch path 24a and the branch path 24b but also in the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b, respectively.

(その他の形状)
また、図5〜図8に示すような、導体3a、3b、上流流路4aおよび下流流路4b、試料導入部6aおよび試料導出部6bの形状であってもよい。
(Other shapes)
Moreover, the shape of the conductors 3a and 3b, the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b, the sample introduction part 6a, and the sample lead-out part 6b as shown in FIGS.

例えば、図5に示すように、上流流路4aおよび下流流路4bは、測定部2側において切り欠き形状(上流流路4aおよび下流流路4bが円錐状の場合テーパ構造となる)を有しており、各流路の内表面(試料と接する側の表面)が徐々に測定部2の断面の大きさへと減少していてもよい。この場合、粒子が(流れの淀みに伴い)測定部2の前後(上流流路4aおよび下流流路4bと接続された領域)において詰まることがないので、精度の高い粒子の測定が可能となる。また、このとき、導体3aおよび3bも、上流流路4aおよび下流流路4bの形状に沿うように上記の切り欠き形状を有してもよい。   For example, as shown in FIG. 5, the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b have a notch shape on the measurement unit 2 side (a taper structure is formed when the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b are conical). In addition, the inner surface (surface on the side in contact with the sample) of each flow path may be gradually reduced to the size of the cross section of the measurement unit 2. In this case, the particles are not clogged before and after the measurement unit 2 (according to the stagnation of the flow) (regions connected to the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b), so that it is possible to measure particles with high accuracy. . At this time, the conductors 3a and 3b may also have the above-described notch shape so as to follow the shapes of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b.

また、図6に示すように、測定部2の断面積が、上流流路4aおよび下流流路4bの断面積と略同一(例えば、断面積が等しい、あるいは、測定部2に対する上流流路4aおよび下流流路4bの断面積比が0.5以上2以下など)を有する構造としてもよい。本実施の形態において、上流流路4aおよび下流流路4bの断面積を測定部2の断面積と略同一としても、測定信号(抵抗変化率)は、測定部2以外の領域における電気抵抗の影響を受けない(後述)。このため、上記の断面積を略同一とすることにより、粒子の測定に必要な試料量をさらに低減できる。   Further, as shown in FIG. 6, the cross-sectional area of the measurement unit 2 is substantially the same as the cross-sectional areas of the upstream flow channel 4 a and the downstream flow channel 4 b (for example, the cross-sectional areas are equal or the upstream flow channel 4 a with respect to the measurement unit 2. The cross-sectional area ratio of the downstream flow path 4b may be 0.5 or more and 2 or less. In the present embodiment, even if the cross-sectional areas of the upstream flow path 4 a and the downstream flow path 4 b are substantially the same as the cross-sectional area of the measurement unit 2, the measurement signal (resistance change rate) is the electrical resistance in a region other than the measurement unit 2. Not affected (described later). For this reason, by making said cross-sectional area substantially the same, the sample amount required for the measurement of particle | grains can further be reduced.

例えば、図7に示すように、試料導入部6aおよび試料導出部6bはそれぞれ、上流流路4aおよび下流流路4b側において切り欠き形状(テーパ構造)を有しており、試料導入部6aおよび試料導出部6bの内表面が徐々に各流路の断面の大きさへと減少していてもよい。この場合、試料導入部6aおよび試料導出部6bでの流れの淀みに伴う粒子の詰まりがないので、精度の高い粒子の測定が可能となる。   For example, as shown in FIG. 7, each of the sample introduction part 6a and the sample lead-out part 6b has a notch shape (tapered structure) on the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b side. The inner surface of the sample outlet 6b may be gradually reduced to the cross-sectional size of each flow path. In this case, since there is no clogging of particles due to the stagnation of the flow in the sample introduction part 6a and the sample lead-out part 6b, it is possible to measure particles with high accuracy.

また、図8に示すように、導体および流路は必ずしも2つある必要はなく、例えば上流流路4aに導体3aを配置し、上流流路4aと試料導出部6bの間に測定部2を形成する構成としてもよい。また、その逆の構成、すなわち下流流路4bに導体3bを配置し、下流流路4bと試料導入部6aとの間に測定部2を形成してもよい。   Further, as shown in FIG. 8, there are not necessarily two conductors and channels. For example, the conductor 3a is disposed in the upstream channel 4a, and the measuring unit 2 is disposed between the upstream channel 4a and the sample outlet 6b. It is good also as a structure to form. In addition, the conductor 3b may be disposed in the reverse configuration, that is, the downstream flow path 4b, and the measurement unit 2 may be formed between the downstream flow path 4b and the sample introduction section 6a.

<粒子測定装置15の更なる別例(その1)>
次に、図9に基づいて、粒子測定装置15の更なる別例について説明する。図9は、粒子測定装置15の概略構成の更なる別例を示す上面図および断面図である。
<Further example (Part 1) of particle measuring device 15>
Next, another example of the particle measuring device 15 will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a top view and a cross-sectional view showing still another example of the schematic configuration of the particle measuring device 15.

図9(a)に示すように、粒子測定装置15を上面からみたときの形状は、例えば図1(a)と同様の構成であるが、図9(b)に示すように、この粒子測定装置15の測定部2の深さが、上流流路4aおよび下流流路4bの深さよりも浅くなっている。例えばその深さは、1〜500μm、好ましくは1〜100μmである。   As shown in FIG. 9A, the shape of the particle measuring device 15 when viewed from the top is the same as that shown in FIG. 1A, for example. However, as shown in FIG. The depth of the measuring unit 2 of the device 15 is shallower than the depth of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b. For example, the depth is 1 to 500 μm, preferably 1 to 100 μm.

上流流路4aおよび下流流路4bと、測定部2との深さが等しく、2つの導体3aおよび3bを上流流路4aおよび下流流路4bの下面にそれぞれ配置した場合、電気力線が略半円状になる。この場合、上述したように、測定部2において深さ方向に電場の強弱が生じ、測定部2の上方を流れる粒子が、その下方を流れる粒子に比べ信号強度が低くなる可能性がある。測定部2の深さを上流流路4aおよび下流流路4bの深さより浅くすることで、電気力線が測定部2においてより均一にすることができ、導体3aおよび3b間の距離が近い場合においても、測定部2における粒子通過に伴う信号強度を高く維持することが可能となる。すなわち、この深さ設定により、上記の信号強度の低下を防止できる。   When the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b are equal in depth to the measuring section 2, and the two conductors 3a and 3b are respectively disposed on the lower surfaces of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b, the lines of electric force are substantially reduced. It becomes semicircular. In this case, as described above, the strength of the electric field is generated in the depth direction in the measurement unit 2, and the signal intensity of the particles flowing above the measurement unit 2 may be lower than the particles flowing below the measurement unit 2. By making the depth of the measurement unit 2 shallower than the depths of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b, electric field lines can be made more uniform in the measurement unit 2, and the distance between the conductors 3a and 3b is short In this case, the signal intensity associated with the passage of particles in the measurement unit 2 can be kept high. That is, by this depth setting, it is possible to prevent the signal strength from decreasing.

<試料測定方法>
以下に、本実施の形態に係る粒子測定装置15を用いた試料中の粒子測定方法について図10および図11を参照して述べる。なお、図10は、粒子の測定が行われるときに用いられる粒子測定装置15の概略構成を示す上面図と、そのときに得られる測定結果を示すグラフである。また、図11は、粒子測定装置15において大きな抵抗変化率が得られることを説明するための図である。なお、図10(a)に示す粒子測定装置15は、図1に示す粒子測定装置15に対応するものである。また、以下の説明において、従来の粒子測定装置(導体3a(3b)を備えない構成)についても、便宜上、図10に示す粒子測定装置15の部材番号を用いる場合がある。
<Sample measurement method>
Hereinafter, a method for measuring particles in a sample using the particle measuring device 15 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 10 is a top view showing a schematic configuration of the particle measuring device 15 used when particles are measured, and a graph showing measurement results obtained at that time. FIG. 11 is a diagram for explaining that a large resistance change rate can be obtained in the particle measuring device 15. The particle measuring device 15 shown in FIG. 10A corresponds to the particle measuring device 15 shown in FIG. In the following description, the member numbers of the particle measuring device 15 shown in FIG. 10 may be used for convenience for the conventional particle measuring device (configuration without the conductor 3a (3b)).

本実施の形態に係る粒子測定方法は、試料に電圧を印加することにより、試料に含まれる粒子の測定を行うことが可能なものである。この粒子測定方法は、試料に含まれる粒子の測定が行われる測定部2に試料を配置する配置工程と、少なくとも2つの電極1aおよび1bを介して、試料に電圧を印加する電圧印加工程と、測定部2において、電気抵抗またはインピーダンスを検出する検出工程と、を含む。そして、電圧印加工程における電圧の印加は、2つの電極1aおよび1bの何れか一方の電極と測定部2との間に生じる電気抵抗またはインピーダンスを抑制する少なくとも1つの導体3a(3b)が配置されて行われる。   The particle measuring method according to the present embodiment can measure particles contained in a sample by applying a voltage to the sample. This particle measurement method includes an arrangement step of arranging a sample in the measurement unit 2 where measurement of particles contained in the sample is performed, a voltage application step of applying a voltage to the sample via at least two electrodes 1a and 1b, The measurement unit 2 includes a detection step of detecting electrical resistance or impedance. In the voltage application step, at least one conductor 3a (3b) that suppresses an electrical resistance or impedance generated between one of the two electrodes 1a and 1b and the measurement unit 2 is disposed. Done.

この方法により、上述したように、測定部2における電気抵抗(その変化)を示す測定信号の強度が弱められることを防ぐ(測定信号の強度を強める)ことができるので、高精度な粒子の測定を行うことができる。   By this method, as described above, it is possible to prevent the strength of the measurement signal indicating the electrical resistance (change thereof) in the measurement unit 2 from being weakened (increase the strength of the measurement signal), and therefore, highly accurate particle measurement. It can be performed.

また、上記配置工程が、試料を上流流路4aおよび下流流路4bを介して測定部2に流すことより行われてもよい。この場合、連続的に試料中の粒子の測定を行うことができる。また、上記粒子測定方法は、試料を上流流路4aに接続された試料導入部6aから導入する導入工程と、下流流路4bに接続された試料導出部6bから導出する工程をさらに含んでもよい。   Moreover, the said arrangement | positioning process may be performed by flowing a sample to the measurement part 2 via the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b. In this case, particles in the sample can be continuously measured. The particle measuring method may further include an introducing step of introducing the sample from the sample introducing portion 6a connected to the upstream flow path 4a, and a step of deriving from the sample deriving portion 6b connected to the downstream flow path 4b. .

本実施の形態で用いられる電気抵抗法もしくはインピーダンス法による試料中の粒子の測定は、少なくとも2つ以上の電極を用いて試料に電圧を印加した場合に、試料中に粒子(略絶縁体)が存在することによる電極間の抵抗(もしくはインピーダンス)が、粒子が存在しない場合に対して変化する(大きくなる)ことを利用して行われる。また、上記試料が血液で、粒子が血球の場合、血球が占める容積に比例した電気抵抗(インピーダンス)変化に応じたパルス(信号)強度の検出により血球の種類(赤血球、白血球、血小板)が測定可能であり、当該変化に応じたパルス数の検出により血球数が測定可能である。   In the measurement of particles in a sample by the electric resistance method or impedance method used in this embodiment, when a voltage is applied to the sample using at least two electrodes, particles (substantially insulators) are present in the sample. This is performed by utilizing the fact that the resistance (or impedance) between the electrodes due to the presence changes (increases) as compared to the case where there is no particle. In addition, when the sample is blood and the particles are blood cells, the blood cell type (red blood cells, white blood cells, and platelets) is measured by detecting the pulse (signal) intensity according to the change in electrical resistance (impedance) proportional to the volume occupied by the blood cells. The number of blood cells can be measured by detecting the number of pulses corresponding to the change.

電気抵抗もしくはインピーダンス(変化)の測定に際し、測定用の電極間に定電流を印加した場合の、電極間の抵抗変化を、次式(1)、すなわち、
ΔV = I・ΔR …(1)
により、電圧変化として測定することが一般的である。ここで、ΔVは粒子の有無による電圧変化、Iは定電流値、ΔRは粒子の有無による抵抗変化である。実際の測定では、印加電圧の大きさに比例するノイズ(測定電圧値の揺らぎ)が発生するため、電圧変化を測定可能な信号(測定信号)としてとらえるためには、S/N比が重要となり、初期電圧Vと電圧変化量との比であるΔV/V(=ΔR/R、抵抗変化率)が測定信号の検出指標として重要となる。
In measuring the electrical resistance or impedance (change), the resistance change between the electrodes when a constant current is applied between the electrodes for measurement is expressed by the following equation (1), that is,
ΔV = I · ΔR (1)
Therefore, it is common to measure as a voltage change. Here, ΔV is a voltage change due to the presence or absence of particles, I is a constant current value, and ΔR is a resistance change due to the presence or absence of particles. In actual measurement, noise proportional to the magnitude of the applied voltage (fluctuation of the measured voltage value) is generated, so the S / N ratio is important in order to capture the voltage change as a measurable signal (measurement signal). ΔV / V (= ΔR / R, resistance change rate), which is the ratio between the initial voltage V and the voltage change amount, is important as a measurement signal detection index.

また、一般に、電気抵抗Rは、
R = ρ・L/S …(2)
で表される。ここで、ρは試料の電気抵抗率(導電率の逆数)、Lは抵抗の長さ、Sは抵抗の断面積である。
In general, the electrical resistance R is
R = ρ · L / S (2)
It is represented by Here, ρ is the electrical resistivity (reciprocal of conductivity) of the sample, L is the length of the resistor, and S is the cross-sectional area of the resistor.

図10において導体3aおよび3bが無い(従来のマイクロ化された粒子測定装置に相当する)場合において、粒子が無い場合の電極1aおよび1b間の電気抵抗R1は、次式(3)に示すように、
R1 = R16a+R14a+R1+R14b+R16b …(3)
となる。ここで、R16aは試料導入部6aの電気抵抗、R14aは上流流路4aの電気抵抗、R1は測定部2の電気抵抗、R14bは下流流路4bの電気抵抗、R16bは試料導出部6bの電気抵抗である。
In FIG. 10, when there are no conductors 3a and 3b (corresponding to a conventional micronized particle measuring apparatus), the electric resistance R1 between the electrodes 1a and 1b when there is no particle is expressed by the following equation (3). In addition,
R1 = R1 6a + R1 4a + R1 2 + R1 4b + R1 6b (3)
It becomes. Here, R1 6a electrical resistance of the sample introduction portion 6a, R1 4a electrical resistance of the upstream passage 4a, R1 2 is the electrical resistance of the measuring section 2, R1 4b electrical resistance of the downstream flow path 4b, R1 6b the sample It is an electrical resistance of the derivation | leading-out part 6b.

試料導入部6aおよび試料導出部6bはそれぞれ、上流流路4aおよび下流流路4bに比して断面積が大きいため、電気抵抗R16aおよびR16bは、上流流路4aおよび下流流路4bの電気抵抗R14a、R14bおよび測定部2の電気抵抗R1に比べて無視できるほど小さい値となる(実質、R1≒R14a+R1+R14bとなる)。測定部2を粒子が通過するとき、測定部2に導入された導電体である試料の一部が、略絶縁体である粒子によって遮蔽されるため、測定部2における電気抵抗が増加する。このときの、電極1aおよび1b間の電気抵抗R1’は、次式(4)に示すように、
R1’ = R16a+R14a+R1’+R14b+R16b …(4)
となる。ここで、R1’は試料中に粒子が存在する場合の測定部2の電気抵抗である。
Since the sample introduction part 6a and the sample lead-out part 6b have a larger cross-sectional area than the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b, respectively, the electrical resistances R1 6a and R1 6b correspond to the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b. The electric resistances R1 4a and R1 4b and the electric resistance R1 2 of the measurement unit 2 are negligibly small (substantially, R1≈R1 4a + R1 2 + R1 4b ). When particles pass through the measurement unit 2, a part of the sample that is a conductor introduced into the measurement unit 2 is shielded by the particles that are substantially insulators, so that the electrical resistance in the measurement unit 2 increases. At this time, the electric resistance R1 ′ between the electrodes 1a and 1b is expressed by the following equation (4):
R1 ′ = R1 6a + R1 4a + R1 2 ′ + R1 4b + R1 6b (4)
It becomes. Here, R1 2 ′ is the electrical resistance of the measurement unit 2 when particles are present in the sample.

よって、粒子の存在を測定信号として検出するには、抵抗変化率を示す次式(5)、すなわち、
ΔR1/R1 = (R1’−R1)/R1=(R1’−R1)/R1
…(5)
が検出指標となる。
Therefore, in order to detect the presence of particles as a measurement signal, the following equation (5) indicating the rate of resistance change, that is,
ΔR1 / R1 = (R1'-R1 ) / R1 = (R1 2 '-R1 2) / R1
... (5)
Is a detection index.

ここで、マイクロ化された従来の粒子測定装置では、(5)式の分母R1に含まれるR14a(上流流路4aの電気抵抗)およびR14b(下流流路4bの電気抵抗)が非常に大きい(マイクロ化された各流路の断面積が非常に小さい)ため、抵抗変化率が小さく測定信号が得られにくい(ノイズに埋もれる)という問題が生じていた。これは特に、例えば、血液中の血小板(2μm相当)などの小さな粒子を赤血球(8μm相当)と同時に検出する場合に大きな問題となる。なお、測定部は赤血球サイズより小さくできない(小さくすると赤血球が詰まってしまう)ので、測定部のサイズを小さくし、測定部での抵抗変化率を上げることによる対策を採用することは困難である。また、これを防ぐ目的で、測定部以外の各流路を広く深く形成することが考えられるが、これはファブリケーション上困難である上に、必要な試料量の増加を招く結果となる。 Here, in the micronized conventional particle measuring apparatus, R1 4a (electric resistance of the upstream flow path 4a) and R1 4b (electric resistance of the downstream flow path 4b) included in the denominator R1 of the expression (5) are very high. Since it is large (the cross-sectional area of each micronized flow path is very small), there is a problem that the resistance change rate is small and it is difficult to obtain a measurement signal (being buried in noise). This is a serious problem particularly when small particles such as platelets (corresponding to 2 μm) in blood are detected simultaneously with red blood cells (corresponding to 8 μm). Since the measurement unit cannot be made smaller than the red blood cell size (red blood cells are clogged if it is reduced), it is difficult to adopt a measure by reducing the size of the measurement unit and increasing the resistance change rate in the measurement unit. In order to prevent this, it is conceivable to form each flow channel other than the measurement section widely and deeply, but this is difficult in terms of fabrication and results in an increase in the required sample amount.

図10(b)に、従来の粒子測定装置において、当該粒子測定装置における位置(紙面の左右方向)と電圧値(抵抗値に比例)との関係を、点線にて示す。従来の粒子測定装置の全体(系全体)の印加電圧をVINとすると、上流流路4aおよび下流流路4bでの電圧降下が生じるため、粒子の測定に関与する電圧(測定部での電位差V1)が小さくなる。よって、粒子の有無による測定部での電圧変化は測定部での電位差内の値となるため、測定信号の検出指標であるΔV/Vは、V1/VINよりも小さな値となる。 In FIG. 10B, in the conventional particle measuring apparatus, the relationship between the position (right and left direction on the paper surface) and the voltage value (proportional to the resistance value) in the particle measuring apparatus is indicated by a dotted line. Assuming that the applied voltage of the entire conventional particle measuring apparatus (the entire system) is VIN , a voltage drop occurs in the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b, so that the voltage related to particle measurement (potential difference in the measurement unit) V1 2 ) becomes smaller. Therefore, since the voltage change in the measurement unit due to the presence or absence of particles becomes a value within the potential difference in the measurement unit, ΔV / V, which is a detection index of the measurement signal, is a value smaller than V1 2 / V IN .

これに対し、本実施の形態に係る粒子測定装置15(粒子測定方法)では、上流流路4aおよび下流流路4bに、試料より高い導電性(低い電気抵抗)を有する導体3aおよび3bを配置している。本実施の形態に係る粒子測定装置15において、粒子が無い場合の電極1aおよび1b間の電気抵抗R2は、次式(6)に示すように、
R2 = R26a+R24a+R2+R24b+R26b …(6)
となる。ここで、R26aは試料導入部6aの電気抵抗、R24aは上流流路4aの電気抵抗、R2は測定部2の電気抵抗、R24bは下流流路4bの電気抵抗、R26bは試料導出部6bの電気抵抗である。
On the other hand, in the particle measuring device 15 (particle measuring method) according to the present embodiment, the conductors 3a and 3b having higher conductivity (lower electrical resistance) than the sample are arranged in the upstream channel 4a and the downstream channel 4b. doing. In the particle measuring apparatus 15 according to the present embodiment, the electrical resistance R2 between the electrodes 1a and 1b when there is no particle is expressed by the following equation (6):
R2 = R2 6a + R2 4a + R2 2 + R2 4b + R2 6b (6)
It becomes. Here, R2 6a electrical resistance of the sample introduction portion 6a, R2 4a electrical resistance of the upstream passage 4a, R2 2 is the electrical resistance of the measuring section 2, R2 4b electrical resistance of the downstream flow path 4b, R2 6b the sample It is an electrical resistance of the derivation | leading-out part 6b.

本実施の形態では、上流流路4aおよび下流流路4b中に導体3aおよび3bが存在するので、R24aおよびR24bは導体3aおよび3bが無い場合に比べ小さな値となる。特に導体3aおよび3bとして金属を用いた場合には、R24aおよびR24bの値は、実質0となる。よって、(6)式は次式(7)、すなわち、
R2 = R26a+R2+R26b …(7)
に書き換えられる。ここで、試料導入部6aおよび試料導出部6bは測定部2に比して断面積が大きいため、電気抵抗R26aおよびR26bは測定部2の電気抵抗R2に比べて無視できるほど小さい値となる(実質、R2≒R2となる)。
In the present embodiment, since the conductors 3a and 3b exist in the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b, the values of R2 4a and R2 4b are smaller than those without the conductors 3a and 3b. In particular, when metals are used as the conductors 3a and 3b, the values of R2 4a and R2 4b are substantially zero. Therefore, the equation (6) becomes the following equation (7), that is,
R2 = R2 6a + R2 2 + R2 6b (7)
To be rewritten. Since a large cross-sectional area sample inlet 6a and the sample derivation unit 6b is compared to the measurement section 2, small enough electrical resistance R2 6a and R2 6b is negligible compared to the resistance R2 2 of the measurement section 2 value (Substantially, R2≈R2 2 is satisfied).

測定部2を粒子が通過するとき、測定部2に導入された導電体である試料の一部が、略絶縁体である粒子によって遮蔽されるため、測定部2の電気抵抗が増加する。このときの、電極1aおよび1b間の電気抵抗R2’は、
R2’ = R26a+R2’+R26b …(8)
となる。ここで、R2’は粒子が存在する場合の測定部2の電気抵抗である。
When particles pass through the measurement unit 2, a part of the sample that is a conductor introduced into the measurement unit 2 is shielded by the particles that are substantially insulators, so that the electrical resistance of the measurement unit 2 increases. At this time, the electric resistance R2 ′ between the electrodes 1a and 1b is
R2 ′ = R2 6a + R2 2 ′ + R2 6b (8)
It becomes. Here, R2 2 ′ is the electrical resistance of the measurement unit 2 when particles are present.

よって、粒子の存在を測定信号として検出するには、抵抗変化率である次式(9)、すなわち、
ΔR2/R2=(R2’−R2)/R2=(R2’−R2)/R2 …(9)
が検出指標となる。
Therefore, in order to detect the presence of particles as a measurement signal, the following equation (9), which is the resistance change rate,
ΔR2 / R2 = (R2'-R2 ) / R2 = (R2 2 '-R2 2) / R2 ... (9)
Is a detection index.

ここで、(9)式の分母R2が、導体3aおよび3bが無い場合の分母R1((5)式参照)より、上流流路4aおよび下流流路4bの抵抗分だけ小さいため、抵抗変化率は大きな値となる。   Here, since the denominator R2 of the equation (9) is smaller than the denominator R1 when the conductors 3a and 3b are not provided (see the equation (5)) by the resistance of the upstream channel 4a and the downstream channel 4b, the resistance change rate Is a large value.

図10(b)に、本実施の形態に係る粒子測定装置15において、粒子測定装置15における位置と電圧値との関係を実線にて示す。
粒子測定装置15の全体(系全体)の印加電圧をVINとすると、上流流路4aおよび下流流路4bでの電圧降下が実質無いため、粒子の測定に関与する電圧(測定部2での電位差V2)が大きくなる(V2>V1)。よって、粒子の有無による測定部2での電圧変化は測定部2での電位差内の値となるため、測定信号の検出指標であるΔV/V(≦V2/VIN)は、上流流路4aおよび下流流路4bのそれぞれに導体3aおよび3bが無い場合と比べ大きくなる。よって、本実施の形態に係る粒子測定装置15(当該装置を用いた粒子測定方法)では、必要試料量の増加を招くことなく、極微量の試料で電気抵抗法による粒子の測定を高い信号強度(S/N比)で得ることが可能となる。
FIG. 10B shows the relationship between the position and the voltage value in the particle measuring device 15 with a solid line in the particle measuring device 15 according to the present embodiment.
If the applied voltage of the entire particle measuring device 15 (the entire system) is VIN , there is substantially no voltage drop in the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b, so the voltage related to particle measurement (in the measurement unit 2) The potential difference V2 2 ) increases (V2 2 > V1 2 ). Therefore, since the voltage change in the measurement unit 2 due to the presence or absence of particles becomes a value within the potential difference in the measurement unit 2, ΔV / V (≦ V2 2 / V IN ), which is a detection index of the measurement signal, is the upstream flow path. 4a and downstream flow path 4b are larger than the case where conductors 3a and 3b are not provided, respectively. Therefore, in the particle measuring apparatus 15 (particle measuring method using the apparatus) according to the present embodiment, the measurement of particles by the electric resistance method is performed with a very small amount of sample without causing an increase in the required sample amount, and the signal intensity is high. (S / N ratio) can be obtained.

次に、図4(e)および(f)に示す粒子測定装置15を用いた試料中の粒子測定方法においても、高い信号強度が得られることを説明する。   Next, it will be described that a high signal intensity can be obtained also in the particle measuring method in the sample using the particle measuring device 15 shown in FIGS. 4 (e) and (f).

図4(e)および(f)に示す分岐路24a、24bおよび導体3a、3bを有する構成において、粒子が無い場合の電極1aおよび1b間の電気抵抗R3は、次式(10)に示すように、
R3 = R36a+R3+R3+R3+R36b …(10)
となる。ここで、R36aは試料導入部6aの電気抵抗、R3は上流流路4aおよび分岐路24aからなる電気抵抗(合成抵抗)、R3は測定部2の電気抵抗、R3は下流流路4bおよび分岐路24bからなる電気抵抗(合成抵抗)、R36bは試料導出部6bの電気抵抗である。
In the configuration having the branch paths 24a and 24b and the conductors 3a and 3b shown in FIGS. 4E and 4F, the electrical resistance R3 between the electrodes 1a and 1b when there is no particle is expressed by the following equation (10). In addition,
R3 = R3 6a + R3 a + R3 2 + R3 b + R3 6b (10)
It becomes. Here, R3 6a electrical resistance of the sample introduction portion 6a, R3 a is the electrical resistance (combined resistance) consisting of the upstream passage 4a and the branch passage 24a, R3 2 is the electrical resistance of the measuring section 2, R3 b downstream channel The electric resistance (combined resistance) consisting of 4b and the branch path 24b, R3 6b is the electric resistance of the sample outlet 6b.

R3の合成抵抗は、上流流路4aおよび分岐路24aが並列に接続されているため、次式(11)に示すように、
1/R3 = 1/R34a+1/R324a …(11)
となる。ここで、R34aは上流流路4aの電気抵抗、R324aは分岐路24aの電気抵抗である。(11)式を変形することで、合成抵抗R3は、次式(12)に示すように、
R3 = (R34a・R324a)/(R34a+R324a) …(12)
となる。分岐路24aに導電性の高い(電気抵抗の低い)導体3aを配置することで、R34a≫R324aとなり、R3は、実質、
R3 = (R34a・R324a)/(R34a) = R324a …(13)
となる。
Combined resistance of R3 a, since the upstream passage 4a and the branch passage 24a are connected in parallel, as shown in the following equation (11),
1 / R3 a = 1 / R3 4a + 1 / R3 24a (11)
It becomes. Here, R3 4a is the electrical resistance of the upstream flow path 4a, and R3 24a is the electrical resistance of the branch path 24a. (11) By deforming the equation, combined resistance R3 a, as shown in the following equation (12),
R3 a = (R3 4a · R3 24a) / (R3 4a + R3 24a) ... (12)
It becomes. By arranging the conductor 3a having high conductivity (low electrical resistance) in the branch path 24a, R3 4a >> R3 24a , and R3 a is substantially
R3 a = (R3 4a · R3 24a) / (R3 4a) = R3 24a ... (13)
It becomes.

よって、マイクロ化された従来の粒子測定装置(分岐路および導体が無い場合)における上流流路4aの高い抵抗は、本実施の形態の分岐路24aおよび導体3aの配置により、低い抵抗(導体3aとして金属を用いる場合、実質0)に置換される。これは、下流流路4bにおいても同様である。そして、試料導入部6aおよび試料導出部6bの断面積が、上流流路4a、下流流路4bおよび測定部2の断面積より大きいため、実質、R3≒R3となる。 Therefore, the high resistance of the upstream flow path 4a in the micronized conventional particle measuring apparatus (when there is no branch path and no conductor) is low due to the arrangement of the branch path 24a and the conductor 3a of the present embodiment (the conductor 3a). When a metal is used as, it is substituted with substantially 0). The same applies to the downstream flow path 4b. Then, the cross-sectional area of the sample introduction portion 6a and the sample derivation section 6b is, upstream passage 4a, larger than the cross-sectional area of the downstream passage 4b and the measurement unit 2, substantially, the R3 ≒ R3 2.

よって、粒子の存在を測定信号として検出するには、(9)式と同様に、抵抗変化率であるΔR3/R3が検出指標となり、上述した(3)〜(9)式での説明と同様に、分母R3が、分岐路24a、24bおよび導体3a、3bが無い場合の分母R1((5)式参照)より、上流流路4aおよび下流流路4bの抵抗分だけ小さいため、抵抗変化率は大きな値となる。   Therefore, in order to detect the presence of particles as a measurement signal, ΔR3 / R3, which is the rate of change in resistance, becomes a detection index in the same manner as in equation (9), and is the same as described in equations (3) to (9) above. Since the denominator R3 is smaller by the resistance of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b than the denominator R1 (see equation (5)) when the branch paths 24a, 24b and the conductors 3a, 3b are not provided, the resistance change rate Is a large value.

また、上述の図10(b)を用いた説明と同様に、上流流路4aおよび下流流路4bでの電圧降下が実質無いため、粒子の測定に関与する電圧(測定部2での電位差V3(図10(b)ではV2)が大きくなる(V3>V1)。このため、粒子の有無による測定部2での電圧変化は測定部2での電位差内の値となるため、測定信号の検出指標であるΔV/V(≦V3/VIN)は、上流流路4aおよび下流流路4bのそれぞれに分岐路24a、24bおよび導体3a、3bが無い場合と比べ大きくなる。 Similarly to the description using FIG. 10B described above, since there is substantially no voltage drop in the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b, the voltage (potential difference V3 in the measurement unit 2) involved in the measurement of particles. 2 (V2 2 in FIG. 10B) becomes larger (V3 2 > V1 2 ), so that the voltage change in the measurement unit 2 due to the presence or absence of particles becomes a value within the potential difference in the measurement unit 2, ΔV / V (≦ V3 2 / V IN ), which is the detection index of the measurement signal, is larger than when the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b are not provided with the branch paths 24a and 24b and the conductors 3a and 3b, respectively.

よって、図4(e)および(f)に示す粒子測定装置15(当該装置を用いた粒子測定方法)では、必要試料量の増加を招くことなく、極微量の試料で電気抵抗法による粒子の測定を高い信号強度(S/N比)で得ることが可能となる。   Therefore, in the particle measuring device 15 (particle measuring method using the device) shown in FIGS. 4 (e) and (f), an increase in the amount of necessary sample is not caused, and an extremely small sample is used to measure the particles by the electric resistance method. Measurements can be obtained with high signal strength (S / N ratio).

(大きな抵抗変化率が得られる理由について)
また、本実施の形態では、基板8aまたは8bの加工精度や材料などを問わず、大きな抵抗変化率を得ることが可能である。その理由について、図11に基づいて説明する。なお、説明を簡略化するために、図11に示すように、測定部2の断面は矩形であり、測定部2を通過する粒子は一辺aの立方体であるとする。また、図10と同様、図11に示す粒子測定装置15は図1に示す粒子測定装置15に対応するものである。
(Reason why a large resistance change rate can be obtained)
In the present embodiment, a large resistance change rate can be obtained regardless of the processing accuracy or material of the substrate 8a or 8b. The reason will be described with reference to FIG. In order to simplify the description, as shown in FIG. 11, it is assumed that the cross section of the measurement unit 2 is rectangular, and the particles passing through the measurement unit 2 are cubes with one side a. Similarly to FIG. 10, the particle measuring device 15 shown in FIG. 11 corresponds to the particle measuring device 15 shown in FIG.

図11に示すように、測定部2は幅W、深さH、長さDを有するものとする。粒子が存在しないときの測定部2(アパチャー)の電気抵抗Rは、(2)式より、
R = ρ・D/(H・W) …(14)
と表される。ここで、ρは試料の電気抵抗率である。
As shown in FIG. 11, the measurement unit 2 has a width W, a depth H, and a length D. The electrical resistance R of the measurement unit 2 (aperture) when no particles are present is obtained from the equation (2):
R = ρ · D / (H · W) (14)
It is expressed. Here, ρ is the electrical resistivity of the sample.

一辺aの粒子が測定部2内に存在するときの電気抵抗R’は、簡略化のため、粒子存在領域のみが遮蔽されるとすると、
R’ = ρ・a/(H・W−a)+ρ・(D−a)/(H・W) …(15)
と表される。よって、抵抗変化ΔRは、
ΔR = R’−R = ρ・a/(H・W−a)−ρ・a/(H・W)
…(16)
と表される。
For the sake of simplification, the electrical resistance R ′ when the particles of one side a are present in the measurement unit 2 is assumed to shield only the particle existence region.
R ′ = ρ · a / (H · W a 2 ) + ρ · (D−a) / (H · W) (15)
It is expressed. Therefore, the resistance change ΔR is
ΔR = R′−R = ρ · a / (H · W−a 2 ) −ρ · a / (H · W)
... (16)
It is expressed.

また、測定信号の検出指標となる抵抗変化率ΔR/Rは、
ΔR/R = (1/D)・{(1/(H・W−a))−1/(H・W)}・a・H・W …(17)
と表される。
Also, the resistance change rate ΔR / R serving as the detection index of the measurement signal is
ΔR / R = (1 / D) · {(1 / (H · W−a 2 )) − 1 / (H · W)} · a · H · W (17)
It is expressed.

抵抗変化率を上げるためには、上述したように、測定部2の断面積と粒子の断面積との関係はもちろん重要となるが、(17)式より、測定部の長さDをできるだけ小さく形成することが重要である。しかし、実際の加工では、測定部2の長さを小さくすると、測定部2の壁が薄くなり崩れるため、現実的には測定部2の長さには制限が生じるという問題がある。特に、基板材料として樹脂、例えばPDMS(ポリジメチルシロキサン)を用いたときは機械強度が低いため、上記問題が顕著となる。   In order to increase the resistance change rate, as described above, the relationship between the cross-sectional area of the measuring unit 2 and the cross-sectional area of the particles is of course important, but the length D of the measuring unit is made as small as possible from the equation (17). It is important to form. However, in actual processing, when the length of the measurement unit 2 is reduced, the wall of the measurement unit 2 becomes thin and collapses, so that there is a problem that the length of the measurement unit 2 is practically limited. In particular, when a resin, for example, PDMS (polydimethylsiloxane) is used as the substrate material, the above problem becomes significant because of low mechanical strength.

本実施の形態に係る粒子測定装置15では、測定部2の一部にも導体3aおよび3bを形成してもよく(図3(a)参照)、この場合、測定部2の長さではなく、導体3aおよび3b間の距離が(17)式の長さDに相当することとなる。実際の加工において、スパッタやリフトオフを用いての導体3aおよび3bの形成など、導体3aおよび3b間の距離を短く形成することは容易である。よって、本実施の形態に係る粒子測定装置15では、基板8aおよび8bの加工精度や材料などを問わず、大きな抵抗変化率(測定信号)が得られる。   In the particle measuring apparatus 15 according to the present embodiment, the conductors 3a and 3b may be formed on a part of the measuring unit 2 (see FIG. 3A). In this case, not the length of the measuring unit 2 The distance between the conductors 3a and 3b corresponds to the length D in the equation (17). In actual processing, it is easy to form a short distance between the conductors 3a and 3b, such as formation of the conductors 3a and 3b using sputtering or lift-off. Therefore, in the particle measuring apparatus 15 according to the present embodiment, a large resistance change rate (measurement signal) can be obtained regardless of the processing accuracy and materials of the substrates 8a and 8b.

<実施例>
次に、上述した粒子測定装置15の具体的な実施例について、例えば図1を用いて説明する。なお、以下に示す実施例はあくまで一例である。
<Example>
Next, a specific example of the particle measuring device 15 described above will be described with reference to FIG. In addition, the Example shown below is an example to the last.

当該実施例では、まず、ガラス基板上に、リフトオフによって、電極1a、電極1b、導体3aおよび導体3bを形成することにより、電極基板を作製した。電極1a、1bの材料としては金、導体3a、3bの材料としてはアルミを用いた。電極1aおよび1bは、幅(図1(a)の紙面の上下方向)1mm、長さ(図1(a)の紙面の左右方向)1mmであり、導体3aおよび3bと距離を隔てて形成した。また、導体3aおよび3bは、幅100μm、長さ5mmであり、導体3aおよび3b間の距離(図1(a)の紙面の左右方向)を100μmとした。   In this example, first, an electrode substrate was manufactured by forming the electrode 1a, the electrode 1b, the conductor 3a, and the conductor 3b on a glass substrate by lift-off. Gold was used as the material for the electrodes 1a and 1b, and aluminum was used as the material for the conductors 3a and 3b. The electrodes 1a and 1b have a width (up and down direction of the paper surface of FIG. 1A) of 1 mm and a length (left and right direction of the paper surface of FIG. 1A) of 1 mm, and are formed at a distance from the conductors 3a and 3b. . The conductors 3a and 3b have a width of 100 μm and a length of 5 mm, and the distance between the conductors 3a and 3b (the left-right direction in FIG. 1A) is 100 μm.

一方で、凸型の金型にモールディングする形で、PDMS樹脂を用いて流路基板を作製した。上流流路4aおよび下流流路4bは、幅600μm、長さは5mm、深さ(図1(b)の紙面の垂直方向)20μmとした。また、測定部2は、幅20μm、長さ100μm、深さ20μmとした。また、ドリルを用いて、幅5mm、長さ5mm、深さ5mmの貫通孔(試料導入口9aおよび試料導出口9b(図12参照))を試料導入部6aおよび試料導出部6bに相当する位置に設けた。   On the other hand, a flow path substrate was produced using PDMS resin in the form of molding into a convex mold. The upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b have a width of 600 μm, a length of 5 mm, and a depth (in the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1B) of 20 μm. The measurement unit 2 was 20 μm wide, 100 μm long, and 20 μm deep. Further, by using a drill, a through hole (a sample introduction port 9a and a sample outlet 9b (see FIG. 12)) having a width of 5 mm, a length of 5 mm, and a depth of 5 mm corresponds to the sample introduction unit 6a and the sample extraction unit 6b. Provided.

そして、流路基板および電極基板を、上流流路4a、下流流路4bと、導体3a、3bとの位置がそれぞれ合うように貼り合わせることにより、粒子測定装置15を作製した。   And the particle | grain measuring apparatus 15 was produced by bonding a flow path board | substrate and an electrode substrate so that the position of the upstream flow path 4a, the downstream flow path 4b, and the conductors 3a and 3b might each match.

試料としての電解液に分散させた直径10μmのポリスチレンビーズ(測定対象の粒子)を、粒子測定装置15の外部からチューブを用いて試料導入部6aに導入し、上流流路4a、測定部2、下流流路4bおよび試料導出部6bの順に送液した。また、試料導出部6bにはチューブを差込み、試料を粒子測定装置15から外部へ排出する構成とし、試料導入部6aおよび試料導出部6bの一部が、粒子測定装置15への試料の導入後も大気開放されている構成(例えば開口部10aおよび10bを備えた構成(図14参照))とした。   Polystyrene beads having a diameter of 10 μm (particles to be measured) dispersed in an electrolyte solution as a sample are introduced from the outside of the particle measuring device 15 into the sample introduction unit 6a using a tube, and the upstream flow path 4a, the measurement unit 2, The liquid was fed in the order of the downstream flow path 4b and the sample outlet 6b. Further, a tube is inserted into the sample lead-out unit 6b, and the sample is discharged from the particle measuring device 15 to the outside. After the sample is introduced into the particle measuring device 15, the sample introduction unit 6a and the sample lead-out unit 6b are partly connected. Also, the structure is open to the atmosphere (for example, the structure including the openings 10a and 10b (see FIG. 14)).

粒子測定装置15を顕微鏡下で観察しながら、電極1aおよび1b間に定電流を印加し、電極1aおよび1b間の電圧値をモニターした。この実施例における測定条件は、以下のとおりである。
・定電流30μA(このとき電圧は約5V)
・測定温度20℃
・ポンプ流量1uL/min(このとき粒子速度(測定部2の通過時)は40mm/s)。
While observing the particle measuring device 15 under a microscope, a constant current was applied between the electrodes 1a and 1b, and the voltage value between the electrodes 1a and 1b was monitored. The measurement conditions in this example are as follows.
・ Constant current 30μA (Voltage is about 5V at this time)
・ Measurement temperature 20 ℃
Pump flow rate 1 uL / min (at this time, the particle velocity (when passing through the measuring unit 2) is 40 mm / s).

なお、上記の測定条件は一例であり、測定条件(範囲)は、例えば以下のとおりに設定できる。
・印加電圧:試料が液体の場合、1〜100V(交流のときは±50V)、好ましくは1〜10V(交流のときは±5V)。試料が気体の場合、0.1k〜100kV、好ましくは1k〜10kV。定電流の場合、0.1μA〜10mA、好ましくは1μA〜1mA。(なお、電圧−電流の関係は、粒子測定装置15の寸法と試料の導電率とで決まる。)
・電圧周波数:0.1Hz〜100MHz、好ましくは1Hz〜10MHz。
・測定温度:5〜90℃、好ましくは10〜30℃。
・ポンプ流量:1nL/min〜1mL/min、好ましくは1nL/min〜10uL/min。
・印加圧力(ゲージ圧):1k〜1MPa、好ましくは1k〜100kPa。(なお、実際の実験では、主としてシリンジポンプによる流量制御で行う。この場合、圧力設定は行われない。)
・粒子の速度:1μm/s〜10m/s、好ましくは10μm/s〜1m/s。(なお、粒子が試料の流れと同速度で動くと仮定した場合、粒子の速度は、設定流量もしくは印加圧力と粒子測定装置15の寸法とで決まる。)
上記測定条件による測定の結果、粒子が測定部2を通過するのと同期する形で、高いS/N比をもって、粒子による抵抗変化に起因する電圧信号(測定信号)を確認した。また、電極1aおよび1bにおいて電気分解によって発生した気泡は、試料導入部6aおよび試料導出部6bの上方に排出され、気泡が上流流路4a、下流流路4bおよび電極1a、1bの表面を塞ぐこと、および気泡が測定部2を通過することなく、精度の高い粒子の測定が確認された。気泡が及ぼす粒子測定への影響については、実施の形態2で説明する。
In addition, said measurement conditions are an example and measurement conditions (range) can be set as follows, for example.
Applied voltage: 1 to 100 V (± 50 V when alternating current), preferably 1 to 10 V (± 5 V when alternating current) when the sample is liquid. When the sample is a gas, it is 0.1 k to 100 kV, preferably 1 k to 10 kV. In the case of constant current, 0.1 μA to 10 mA, preferably 1 μA to 1 mA. (The voltage-current relationship is determined by the size of the particle measuring device 15 and the conductivity of the sample.)
Voltage frequency: 0.1 Hz to 100 MHz, preferably 1 Hz to 10 MHz.
Measurement temperature: 5 to 90 ° C, preferably 10 to 30 ° C.
Pump flow rate: 1 nL / min to 1 mL / min, preferably 1 nL / min to 10 uL / min.
Applied pressure (gauge pressure): 1 k to 1 MPa, preferably 1 k to 100 kPa. (In actual experiments, the flow control is mainly performed by a syringe pump. In this case, the pressure is not set.)
Particle speed: 1 μm / s to 10 m / s, preferably 10 μm / s to 1 m / s. (If it is assumed that the particles move at the same speed as the flow of the sample, the velocity of the particles is determined by the set flow rate or applied pressure and the size of the particle measuring device 15).
As a result of the measurement under the above measurement conditions, a voltage signal (measurement signal) caused by a change in resistance due to the particles was confirmed with a high S / N ratio in synchronization with the passage of the particles through the measurement unit 2. Further, bubbles generated by electrolysis in the electrodes 1a and 1b are discharged above the sample introduction part 6a and the sample outlet part 6b, and the bubbles block the surfaces of the upstream flow path 4a, the downstream flow path 4b, and the electrodes 1a and 1b. In addition, it was confirmed that the measurement of particles with high accuracy was performed without air bubbles passing through the measurement unit 2. The influence of air bubbles on particle measurement will be described in the second embodiment.

具体的には、上記の測定条件における測定結果は、以下のとおりである。
・粒子による電圧変化100mV。
・ノイズレベル1mV(なお、シールド等により改善される余地がある)。
・S/N比は100。
Specifically, the measurement results under the above measurement conditions are as follows.
-Voltage change due to particles 100 mV.
・ Noise level 1mV (There is room for improvement by shielding etc.).
・ S / N ratio is 100.

よって、本実施の形態に係る粒子測定装置15は、電気抵抗法を用いたサンプル中の粒子測定において、サンプル量の増加を招くことなく、高い測定信号の強度(S/N比)および高い測定精度での測定に大きな効果を奏することが示された。   Therefore, the particle measuring apparatus 15 according to the present embodiment can measure a high measurement signal intensity (S / N ratio) and a high measurement without causing an increase in the amount of the sample in the particle measurement in the sample using the electrical resistance method. It was shown that there is a great effect on the measurement with accuracy.

〔実施の形態2〕
本発明の実施の一形態について図12〜図17に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、実施の形態1と同様の部材に関しては、同じ符号を付し、その説明を省略する。
[Embodiment 2]
The following describes one embodiment of the present invention with reference to FIGS. In addition, about the member similar to Embodiment 1, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.

<本実施の形態の概要>
一般に、試料が液体である場合、試料への電圧印加に伴い、電極では、試料に対する電気分解による気泡が発生する。従来では、マイクロ化された流路を用いる系において、血球のアパチャー通過に伴う抵抗変化率を大きくするためには、測定用の電極をアパチャー近傍(即ち、アパチャー両端の当該流路内)に形成する必要があった。しかし、この場合、電圧印加に伴う電気分解による気泡の影響(発生した気泡が流路を塞ぐ、測定に関わる電極の表面を覆う、気泡がアパチャーを通過し抵抗変化を起こすことによる誤カウントが生じる、など)に起因して測定精度が低下するという問題が生じていた。
<Outline of the present embodiment>
In general, when a sample is a liquid, bubbles are generated in the electrode due to electrolysis of the sample with application of a voltage to the sample. Conventionally, in a system using a micro-channel, in order to increase the rate of change in resistance associated with the passage of blood cells through an aperture, measurement electrodes are formed near the aperture (that is, in the channel at both ends of the aperture). There was a need to do. However, in this case, the influence of bubbles due to electrolysis accompanying voltage application (the generated bubbles block the flow path, cover the surface of the electrode involved in the measurement, and miscounting occurs because the bubbles pass through the aperture and cause a resistance change) , Etc.) has caused a problem that the measurement accuracy is lowered.

なお、気泡の影響を下げるために印加電圧を下げることが考えられるが、これは測定信号の強度の低下を招くこととなる。また、特許文献3に記載されるように、測定用の電極をアパチャーより下流に配置する構成とすることで、電気分解により発生した気泡のアパチャーへの通過を防ぐことができるが、この場合、発生した気泡が流路および/または測定用の電極の表面を覆うといった問題が生じていた。ここで、試料を高速で流すことにより発生した気泡の影響を下げることも可能であるが、送液に高機能なポンプが必要、粒子の測定に高いサンプリングレート(粒子のアパチャー通過時間が短いため)が必要となるなど、複雑で高価な粒子測定装置が必要となるという問題が生じてしまう。また、高速で流す必要があるため、試料は低い粘性のものに限定されるという問題が生じてしまう。   Note that it is conceivable to lower the applied voltage in order to reduce the influence of bubbles, but this leads to a decrease in the strength of the measurement signal. Further, as described in Patent Document 3, by setting the measurement electrode downstream of the aperture, it is possible to prevent passage of bubbles generated by electrolysis to the aperture. There has been a problem that the generated bubbles cover the flow path and / or the surface of the measurement electrode. Here, it is possible to reduce the influence of bubbles generated by flowing the sample at a high speed, but a high-performance pump is required for liquid feeding, and a high sampling rate is required for particle measurement (because the particle aperture passing time is short). ) Is required, and a complicated and expensive particle measuring device is required. Further, since it is necessary to flow at a high speed, there arises a problem that the sample is limited to one having a low viscosity.

以上のように、従来では、試料の微量化を目的として粒子測定装置(当該装置が備える流路)をマイクロ化すると、測定精度が低下するという問題が生じていた。   As described above, conventionally, when the particle measuring device (the flow path provided in the device) is micronized for the purpose of reducing the amount of the sample, there has been a problem that the measurement accuracy is lowered.

本実施の形態に係る粒子測定装置は、上記問題を解決するために、上述した少なくとも2つの電極、測定部と、測定部に接続された、試料が流れる少なくとも1つの流路と、を備えている。そして、電極のうち少なくとも何れか1つの電極が、測定部および流路とは異なる領域で、かつ試料が測定部および流路を流れたときに形成する当該試料の流れの主線となる流線(図12(b)参照)とは異なる領域である特定領域の一部に配置されている。   In order to solve the above-described problem, the particle measuring apparatus according to the present embodiment includes at least two electrodes, a measurement unit, and at least one flow channel connected to the measurement unit and through which a sample flows. Yes. At least one of the electrodes is a region different from the measurement unit and the flow channel, and a streamline (main line of the flow of the sample formed when the sample flows through the measurement unit and the flow channel) It is arranged in a part of the specific area which is an area different from that shown in FIG.

これにより、電極が特定領域の一部に配置されているため、電極にて発生した気泡が流路および測定部において試料が形成する流線上への流入を抑制できる。すなわち、当該気泡が試料とともに測定部に流入することを抑制できる。また、少なくとも流路への気泡の被覆を抑制できる。それゆえ、高精度な粒子の測定を行うことができる。   Thereby, since the electrode is arrange | positioned in a part of specific area | region, the bubble which generate | occur | produced in the electrode can suppress inflow on the flow line which a sample forms in a flow path and a measurement part. That is, it can suppress that the said bubble flows in into a measurement part with a sample. In addition, at least air bubble coating on the flow path can be suppressed. Therefore, highly accurate particle measurement can be performed.

また、本実施の形態に係る粒子測定装置は、上記特定領域の一部には、電極のうち何れか1つの電極である特定電極を含む試料導入部を備えている。これにより、従来のように流路に電極を配置する場合に比べ、電極にて発生した気泡の測定部への流入を抑制できる。   Moreover, the particle | grain measuring apparatus which concerns on this Embodiment is equipped with the sample introduction part containing the specific electrode which is any one electrode among electrodes in a part of the said specific area | region. Thereby, compared with the case where an electrode is arrange | positioned in a flow path like before, the inflow to the measurement part of the bubble which generate | occur | produced in the electrode can be suppressed.

<粒子測定装置15aの具体的構成>
まず、図12に基づいて、本実施の形態に係る粒子測定装置15aの概略構成と、当該構成がもたらす、気泡が及ぼす粒子測定への影響抑制とについて説明する。図12(a)は、本発明の一実施形態に係る粒子測定装置の概略構成の一例を示す上面図であり、(b)は、その断面図である。
<Specific Configuration of Particle Measuring Device 15a>
First, based on FIG. 12, a schematic configuration of the particle measuring device 15a according to the present embodiment and suppression of the influence of air bubbles exerted on the particle measurement caused by the configuration will be described. FIG. 12A is a top view showing an example of a schematic configuration of a particle measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 12B is a cross-sectional view thereof.

粒子測定装置15aは、実施の形態1と同様、電極1a、1bと、測定部2と、上流流路4aと、下流流路4bと、試料導入部6aと、試料導出部6bとを備えており、これらの材質、形状、大きさ、接続関係などは、実施の形態1で説明したとおりである。但し、粒子測定装置15aは、導体3aおよび3bを備えていない点で、粒子測定装置15とは異なる。なお、粒子測定装置15aの全体構造およびその製造方法は、導体3aおよび3bが含まれる点を除き、実施の形態1と同様である。   Similar to the first embodiment, the particle measuring device 15a includes electrodes 1a and 1b, a measuring unit 2, an upstream channel 4a, a downstream channel 4b, a sample introduction unit 6a, and a sample derivation unit 6b. These materials, shapes, sizes, connection relationships, and the like are as described in the first embodiment. However, the particle measuring device 15a is different from the particle measuring device 15 in that the conductors 3a and 3b are not provided. The overall structure of the particle measuring device 15a and the manufacturing method thereof are the same as those in the first embodiment except that the conductors 3a and 3b are included.

本実施の形態では、試料への電圧印加用の電極1aおよび1bのそれぞれを、上流流路4aおよび下流流路4bよりも断面積の大きい試料導入部6aおよび試料導出部6bに配置している。換言すれば、試料導入部6aの深さが、上流流路4aの深さよりも長い構成となっている。このため、電極1aで発生した気泡11を、試料導入部6aの内部に留めておくことができるので、その気泡11の測定部2への流入、並びに、上流流路4aおよび下流流路4bの表面と、電極1a、1bの表面とへの気泡11の被覆を確実に防ぐことが可能となる。また、試料導出部6bの深さが、下流流路4bの深さよりも長い構成となっているので、上記と同様、電極1bで発生した気泡11の測定部2への流入、並びに、少なくとも下流流路4bの表面と、電極1bの表面とへの気泡11の被覆を確実に防ぐことが可能となる。   In the present embodiment, each of the electrodes 1a and 1b for applying a voltage to the sample is disposed in the sample introduction part 6a and the sample lead-out part 6b having a larger cross-sectional area than the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b. . In other words, the depth of the sample introduction part 6a is longer than the depth of the upstream flow path 4a. For this reason, since the bubbles 11 generated in the electrode 1a can be kept inside the sample introduction part 6a, the bubbles 11 flow into the measurement part 2, and the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b. It is possible to reliably prevent the air bubbles 11 from covering the surface and the surfaces of the electrodes 1a and 1b. In addition, since the depth of the sample outlet 6b is longer than the depth of the downstream flow path 4b, the bubble 11 generated at the electrode 1b flows into the measuring unit 2 as well as at least downstream. It is possible to reliably prevent the bubbles 11 from covering the surface of the flow path 4b and the surface of the electrode 1b.

以下、図12(b)に基づいて、この現象についてさらに説明する。図12(b)は、図12(a)に示すA−A’線に沿った粒子測定装置15aの概略断面図である。   Hereinafter, this phenomenon will be further described with reference to FIG. FIG. 12B is a schematic cross-sectional view of the particle measuring device 15a along the line A-A ′ shown in FIG.

従来、試料として液体もしくは高分子溶液を用いた場合には、抵抗変化の検出において必要となる電圧印加により、電極から電気分解に伴う気泡が発生し、測定精度が低下するという問題があった。   Conventionally, when a liquid or a polymer solution is used as a sample, there is a problem that bubbles are generated from the electrodes due to electrolysis due to voltage application necessary for detection of resistance change, and measurement accuracy is lowered.

具体的には、従来の粒子の測定においては、アパチャー(粒子測定装置15の測定部2に相当)内の粒子の有無を電気抵抗の変化としてとらえる場合、アパチャーを挟む形で2つの電極を配置し、これらの電極に電圧(もしくは電流)を印加する。この電圧(電流)印加に伴い、試料中の主に水成分が電気分解を起こし、これらの電極において気泡(水の場合、水素および酸素)が発生する。発生した気泡(絶縁体)がアパチャーを通過するとアパチャーの電気抵抗が変化するため、測定信号の検出における誤カウントの原因となり、測定精度が低下するという問題を生じていた。また、これらの電極をマイクロ流路内に形成すると、電圧印加に伴う電気分解による気泡の影響(発生した気泡が流路を塞いでしまう、測定に関わる電極の表面を覆うなど)により、測定精度が著しく低下するという問題が生じていた。   Specifically, in the conventional particle measurement, when the presence or absence of particles in the aperture (corresponding to the measuring unit 2 of the particle measuring device 15) is regarded as a change in electrical resistance, two electrodes are arranged so as to sandwich the aperture. A voltage (or current) is applied to these electrodes. With the application of this voltage (current), the water component in the sample mainly undergoes electrolysis, and bubbles (hydrogen and oxygen in the case of water) are generated at these electrodes. When the generated bubble (insulator) passes through the aperture, the electrical resistance of the aperture changes, which causes a false count in the measurement signal detection, resulting in a problem that the measurement accuracy is lowered. In addition, when these electrodes are formed in the micro flow path, measurement accuracy is improved due to the influence of air bubbles due to electrolysis accompanying voltage application (the generated bubbles block the flow path, cover the surface of the electrodes involved in measurement, etc.). There has been a problem in that the remarkably decreases.

一方、図12(b)に示すように、粒子の測定時には、例えば、粒子を含む試料が試料導入部6aから導入され、試料導入部6a、上流流路4a、測定部2、下流流路4bおよび試料導出部6bの順に送液される。   On the other hand, as shown in FIG. 12B, when measuring particles, for example, a sample containing particles is introduced from the sample introduction unit 6a, and the sample introduction unit 6a, the upstream channel 4a, the measurement unit 2, and the downstream channel 4b. The sample is fed in the order of the sample outlet 6b.

電気抵抗の検出のために、電極1a、1b間に電圧(電流)が印加されると、電気分解に伴う気泡11が電極1aおよび1bの表面から発生する。   When a voltage (current) is applied between the electrodes 1a and 1b for detection of electrical resistance, bubbles 11 accompanying electrolysis are generated from the surfaces of the electrodes 1a and 1b.

電極1aおよび1bは、上流流路4aおよび下流流路4bといった狭い空間ではなく、試料導入部6a、試料導出部6bの広い空間に配置されているため、発生した気泡11が上流流路4aおよび下流流路4bを塞いでしまう事態を防ぐことができる。また、発生した気泡11には浮力が働くため、当該気泡11は試料導入部6aおよび試料導出部6bの上方(深さ方向)へ移動する。このため、電極1aおよび1bの表面と上流流路4aおよび下流流路4bとを覆ってしまうことにより粒子の測定精度を低下させることはない。   Since the electrodes 1a and 1b are arranged not in a narrow space such as the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b but in a wide space in the sample introduction part 6a and the sample lead-out part 6b, the generated bubbles 11 are generated in the upstream flow path 4a and A situation where the downstream flow path 4b is blocked can be prevented. Further, since buoyancy acts on the generated bubbles 11, the bubbles 11 move upward (in the depth direction) above the sample introduction part 6a and the sample lead-out part 6b. For this reason, the measurement accuracy of particles is not lowered by covering the surfaces of the electrodes 1a and 1b and the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b.

したがって、本実施の形態では、上記の電気分解に伴う気泡11の影響を排除できるため、試料として、気体、液体、高分子溶液などを用いた場合であっても、精度の高い粒子の測定を行うことができる。   Therefore, in this embodiment, since the influence of the bubbles 11 accompanying the above electrolysis can be eliminated, even when a gas, a liquid, a polymer solution, or the like is used as a sample, highly accurate particle measurement is performed. It can be carried out.

また、図12(b)に示すように、試料導出部6bの上方に移動した気泡11を粒子測定装置15aの外部へ逃すために、試料導入部6aおよび試料導出部6bのそれぞれの上方には、粒子の測定に伴う粒子測定装置15aへの試料充填または試料の流れによる導入後に、気体(例えば空気)層12が形成されることが好ましい。あるいは、試料導入部6aおよび試料導出部6bのそれぞれの少なくとも一部に開口部10aおよび10b(例えば図14)を備え、開口部10aおよび10bが直接または間接的に大気開放されていることが好ましい。なお、これらの構成については後述する。   Further, as shown in FIG. 12 (b), in order to let the bubbles 11 moved above the sample derivation unit 6b escape to the outside of the particle measuring device 15a, the sample introduction unit 6a and the sample derivation unit 6b are respectively above the sample introduction unit 6b. The gas (for example, air) layer 12 is preferably formed after the sample is filled into the particle measuring device 15a accompanying the particle measurement or introduced by the sample flow. Alternatively, it is preferable that at least a part of each of the sample introduction part 6a and the sample lead-out part 6b is provided with openings 10a and 10b (for example, FIG. 14), and the openings 10a and 10b are directly or indirectly opened to the atmosphere. . These configurations will be described later.

このように、試料が液体である場合、本実施の形態においては、従来の粒子測定装置のように、発生した気泡の影響を抑制するために、試料を高速で流す必要がない。このため、高機能なポンプや粒子の測定における高いサンプリングレートを必要としないので、粒子測定装置15aを単純な構成とすることができ、低コストで製造することができる。また、本実施の形態では、試料を高速で流す必要がないため、試料として、例えばゲルなどの高分子溶液などの粘性を有するものを使用することができる。   Thus, when the sample is a liquid, in the present embodiment, unlike the conventional particle measuring device, it is not necessary to flow the sample at a high speed in order to suppress the influence of the generated bubbles. For this reason, since it does not require a high sampling rate in the measurement of a highly functional pump or particle | grains, the particle | grain measuring apparatus 15a can be made into a simple structure, and can be manufactured at low cost. In the present embodiment, since it is not necessary to flow the sample at a high speed, a sample having a viscosity such as a polymer solution such as a gel can be used as the sample.

なお、試料が気体の場合、電気分解による気泡は発生しないが、気体中の粒子による抵抗変化を測定するために高電圧を印加する必要がある。この場合、測定用の電極1aおよび1b間の距離が短いと、高電圧に起因した測定部2以外へのリークや電圧の不安定化などが起こり、粒子の測定精度が低下してしまう可能性がある。本実施の形態では、電極1aおよび1bが、それぞれ試料導入部6a、試料導出部6bに配置され、上流流路4aおよび下流流路4bを介して離間するように備えられているので、電極1aおよび1b間の距離を長くすることができる。このため、粒子測定装置15aの装置構成の自由度が上がり、高電圧リークなどのない、測定精度の高い粒子の測定を行うことが可能となる。   When the sample is a gas, bubbles due to electrolysis are not generated, but it is necessary to apply a high voltage in order to measure a resistance change due to particles in the gas. In this case, if the distance between the measurement electrodes 1a and 1b is short, there is a possibility that leakage to other than the measurement unit 2 due to the high voltage, voltage instability, etc. may occur, and particle measurement accuracy may decrease. There is. In the present embodiment, the electrodes 1a and 1b are disposed in the sample introduction part 6a and the sample lead-out part 6b, respectively, and are provided so as to be separated via the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b. And the distance between 1b can be lengthened. For this reason, the freedom degree of the apparatus structure of the particle | grain measuring apparatus 15a goes up, and it becomes possible to measure a particle | grain with high measurement accuracy without a high voltage leak.

このように、流路がマイクロ化されている場合には、流路の内部で発生した気泡が、試料が形成する流れから逃れにくいので、測定部への流入が顕著となる。本実施の形態の粒子測定装置15aでは、少なくとも電極1a(特定電極)が、試料導入部6aの一部に配置されている。すなわち、上流流路4aおよび下流流路4b(例えばマイクロ化された流路)とは異なる試料導入部6aが備えられ、当該試料導入部6aに電極1aが備えられている。粒子測定装置15aは、測定部2、上流流路4aおよび下流流路4bとは異なり、試料が形成する流線とは異なる領域である特定領域の一部に、少なくとも電極1aを備えているともいえる。   In this way, when the flow path is micronized, bubbles generated inside the flow path are difficult to escape from the flow formed by the sample, so that the flow into the measurement unit becomes significant. In the particle measuring device 15a of the present embodiment, at least the electrode 1a (specific electrode) is arranged in a part of the sample introduction part 6a. That is, a sample introduction part 6a different from the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b (for example, a micro-flow path) is provided, and the sample introduction part 6a is provided with the electrode 1a. Unlike the measurement unit 2, the upstream channel 4a, and the downstream channel 4b, the particle measuring device 15a includes at least the electrode 1a in a part of a specific region that is different from the streamline formed by the sample. I can say that.

このため、試料導入部6aの内部で気泡が発生することになり、少なくとも気泡の一部をその試料導入部6aの内部に留めることが可能となる。すなわち、気泡が上記の流れの中に入り込みにくくし、従来生じていた測定部2への流入を抑制でき、上流流路4aおよび下流流路4bへの気泡の被覆を抑制できる。   For this reason, bubbles are generated inside the sample introduction part 6a, and at least a part of the bubbles can be kept inside the sample introduction part 6a. That is, it is difficult for the bubbles to enter the flow, the inflow to the measurement unit 2 that has occurred in the past can be suppressed, and the covering of the bubbles to the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b can be suppressed.

また、図12に示すように、試料導入部6aは、試料を試料導入部6aの内部に導入することが可能な試料導入口9aを備え、試料導出部6bは、試料導出部6bの外部に試料を導出することが可能な試料導出口9bを備えている。これにより、試料が液体または気体である場合には、試料導入口9aから導入された試料が、試料導入部6aおよび上流流路4aを介して測定部2に流れ、その後、下流流路4bおよび試料導出部6bを介して試料導出口9bから導出される。図12では、試料の主流の一例を流線として図示している。   As shown in FIG. 12, the sample introduction unit 6a includes a sample introduction port 9a through which a sample can be introduced into the sample introduction unit 6a, and the sample derivation unit 6b is provided outside the sample derivation unit 6b. A sample outlet 9b through which a sample can be derived is provided. Thereby, when the sample is liquid or gas, the sample introduced from the sample introduction port 9a flows to the measurement unit 2 via the sample introduction unit 6a and the upstream channel 4a, and then the downstream channel 4b and It is derived from the sample outlet 9b through the sample outlet 6b. In FIG. 12, an example of the mainstream of the sample is shown as a streamline.

また、図12に示す粒子測定装置15aは、試料導入口9aおよび試料導出口9bを備えている。試料導入口9aおよび試料導出口9bを備えている様子の一例を図13に示す。図13では、試料導入口9aおよび試料導出口9bの形状が円形である場合を示しているが、これに限らず、楕円状、矩形状など、試料の導入/導出を行うことが可能なように試料導入部6aおよび試料導出部6bの例えば上面を貫通していればよい。   Further, the particle measuring device 15a shown in FIG. 12 includes a sample introduction port 9a and a sample outlet 9b. An example of a state in which the sample inlet 9a and the sample outlet 9b are provided is shown in FIG. FIG. 13 shows a case where the shape of the sample introduction port 9a and the sample outlet 9b is circular. However, the shape is not limited to this, and it is possible to introduce / lead the sample such as an ellipse or a rectangle. It suffices if it penetrates, for example, the upper surfaces of the sample introduction part 6a and the sample lead-out part 6b.

また、例えば、ポンプを使って試料を導入する場合は、試料導入口9aは、送液のためのチューブを取り付けることができる形状であることが好ましい。このように、その導入/導出の態様によって、試料導入口9aおよび試料導出口9bの形状を変形することが好ましい。   For example, when a sample is introduced using a pump, the sample introduction port 9a preferably has a shape to which a tube for liquid feeding can be attached. Thus, it is preferable to change the shape of the sample inlet 9a and the sample outlet 9b depending on the mode of introduction / derivation.

また、ポンプを使って試料導入口9aに送液するために試料導入口9aにチューブ等をつなぐ場合、あるいは毛細管力で試料を導入する場合には、試料導入口9aの一部は後述の開口部10aとして機能することも可能である。   Further, when a tube or the like is connected to the sample introduction port 9a for feeding the liquid to the sample introduction port 9a using a pump, or when the sample is introduced by capillary force, a part of the sample introduction port 9a is an opening described later. It is also possible to function as the unit 10a.

さらに、図12に示すように、試料導入口9aは、電極1aと、試料導入部6aと上流流路4aとが接続された接続領域と、の間に設けられている。すなわち、電極1aは、試料導入口9aに対してその接続領域の反対側(上流流路4aにおける流線の方向を内側としたときの流線の外側)に設けられ、電極1aの鉛直線と交差する試料導入部6aの上面領域以外の領域に設けられている。   Furthermore, as shown in FIG. 12, the sample introduction port 9a is provided between the electrode 1a and a connection region where the sample introduction part 6a and the upstream flow path 4a are connected. That is, the electrode 1a is provided on the opposite side of the connection region with respect to the sample introduction port 9a (outside of the streamline when the direction of the streamline in the upstream flow path 4a is set inside) It is provided in a region other than the upper surface region of the intersecting sample introduction part 6a.

この場合、電極1aから発生した気泡11は、試料導入部6aにて対流している試料(液体)中を浮力によって鉛直方向に上昇する。したがって、流線の外側に電極1aが配置されていることにより、電極1aで発生した気泡11が流線に沿って測定部2に流れ込むことを防ぐことができるので、測定部2での気泡11への電圧印加による誤カウントを防ぐことができ、精度の高い粒子の測定が可能となる。   In this case, the bubbles 11 generated from the electrode 1a rise in the vertical direction by buoyancy in the sample (liquid) convected by the sample introduction part 6a. Therefore, by arranging the electrode 1a outside the streamline, it is possible to prevent the bubbles 11 generated at the electrode 1a from flowing into the measurement unit 2 along the streamline. It is possible to prevent erroneous counting due to voltage application to the electrode and to measure particles with high accuracy.

また、試料導入部6aの容積に対する、試料導入部6aに試料が導入されているときの試料導入部6a内の試料量の割合が、1/50000以上0.9以下であることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the ratio of the sample amount in the sample introduction part 6a when the sample is introduced into the sample introduction part 6a with respect to the volume of the sample introduction part 6a is 1 / 50,000 or more and 0.9 or less.

この場合、少なくとも試料導入部6aの下面(図9において電極1aが設けられている底面)付近には試料が満たされている状態となるので、試料に対して電圧を印加することができる。一方で、上記の割合が1でない(すなわち試料導入部6aの内部全てに試料が充填されている状態ではない)ので、試料導入部6aには気体層12が形成されることになる。このため、電極1aから試料導入部6aの内部を上昇してきた気泡11を気体層12で吸収することができるので、気泡11が測定部2に流れ込むことを確実に防ぐことができる。   In this case, since the sample is filled at least near the lower surface of the sample introduction portion 6a (the bottom surface on which the electrode 1a is provided in FIG. 9), a voltage can be applied to the sample. On the other hand, since the ratio is not 1 (that is, the sample is not filled in the entire sample introduction part 6a), the gas layer 12 is formed in the sample introduction part 6a. For this reason, the bubbles 11 rising from the electrode 1a to the inside of the sample introduction part 6a can be absorbed by the gas layer 12, so that the bubbles 11 can be reliably prevented from flowing into the measurement part 2.

なお、電圧を印加するためには、試料導入部6aの内部には、少なくとも電極1a上から上流流路4aとの接続領域(上流流路4aの入口領域)にかけて試料が導入されている必要がある。すなわち、試料導入部6aの底面が最低限、試料で満たされている必要がある。上記のように、上流流路4aの深さ(最小1μm)および試料導入部6aの深さ(最大50000μm)比から算出した場合、上記の割合が1/50000以上であることが好ましい。   In order to apply a voltage, the sample needs to be introduced into the sample introduction part 6a from at least the electrode 1a to the connection region with the upstream channel 4a (inlet region of the upstream channel 4a). is there. That is, the bottom surface of the sample introduction part 6a needs to be filled with the sample at the minimum. As described above, when the ratio is calculated from the ratio of the depth of the upstream flow path 4a (minimum of 1 μm) and the depth of the sample introduction part 6a (maximum of 50000 μm), the above ratio is preferably 1 / 50,000 or more.

なお、試料導出部6bおよび試料導出口9bについても試料導入部6aおよび試料導入口9aと同様の構成であってもよいが、試料液が試料導入部6aから測定部2を介して試料導出部6bに流れるため、試料導出部6b内の電極1bで発生した気泡は、測定部2を通過することがないことを考慮すれば、試料導出口9bは必ずしも必要な構成ではない。   Note that the sample outlet 6b and the sample outlet 9b may have the same configuration as the sample inlet 6a and the sample inlet 9a, but the sample liquid is passed from the sample inlet 6a through the measuring section 2 to the sample outlet. In view of the fact that air bubbles generated at the electrode 1b in the sample lead-out part 6b do not pass through the measurement part 2 because they flow to 6b, the sample lead-out port 9b is not necessarily required.

<粒子測定装置15aの別例(その1)>
次に、図14および図15に基づいて、粒子測定装置15aの更なる別例について説明する。図14は、粒子測定装置15aの概略構成の更なる別例を示す上面図および断面図である。図14に示す粒子測定装置15aは、試料導入口9aおよび試料導出口9bに加え、開口部10aおよび10bを備えている。
<Another Example (Part 1) of Particle Measuring Device 15a>
Next, another example of the particle measuring device 15a will be described based on FIG. 14 and FIG. FIG. 14 is a top view and a cross-sectional view showing still another example of the schematic configuration of the particle measuring device 15a. A particle measuring device 15a shown in FIG. 14 includes openings 10a and 10b in addition to the sample inlet 9a and the sample outlet 9b.

図14に示すように、試料導入部6aおよび試料導出部6bはそれぞれ、電極1aおよび1bから発生した気泡11を大気中に開放する開口部10aおよび10bを備えている。これにより、試料導入部6aおよび試料導出部6bの上方に移動した気泡11が対流(ジュール熱や試料の流れなどに起因)により流線上に移動して測定部2に流入する可能性を確実に排除することができる。なお、試料液が試料導入部6aから測定部2を介して試料導出部6bに流れるため、試料導出部6b内の電極1bで発生した気泡11は、測定部2を通過することがないことを考慮すれば、開口部10bは必ずしも必要な構成ではない。   As shown in FIG. 14, each of the sample introduction part 6a and the sample lead-out part 6b includes openings 10a and 10b that open the bubbles 11 generated from the electrodes 1a and 1b to the atmosphere. This ensures that the bubbles 11 that have moved above the sample introduction part 6a and the sample lead-out part 6b move on the streamline due to convection (due to Joule heat, sample flow, etc.) and flow into the measurement part 2. Can be eliminated. Note that since the sample liquid flows from the sample introduction part 6a to the sample lead-out part 6b via the measurement part 2, the bubbles 11 generated at the electrode 1b in the sample lead-out part 6b do not pass through the measurement part 2. In consideration of this, the opening 10b is not necessarily a necessary configuration.

また、上述のように、電極1aおよび1bで発生した気泡11はそれぞれ、試料導入部6aおよび試料導出部6bの上方へと移動する。このため、開口部10aおよび10bはそれぞれ、試料導入部6aおよび試料導出部6bのそれぞれにおいて、電極1aおよび1bの鉛直線上(電極1aおよび1bの鉛直線と交差する試料導入部6aおよび試料導出部6bそれぞれの上面領域)に配置されていることが好ましい。この場合、電極1aおよび1bのそれぞれで発生した気泡11を、粒子測定装置15aの外部に確実に逃がすことができる。   Further, as described above, the bubbles 11 generated at the electrodes 1a and 1b move above the sample introduction part 6a and the sample lead-out part 6b, respectively. Therefore, the openings 10a and 10b are respectively on the vertical lines of the electrodes 1a and 1b (the sample introducing part 6a and the sample deriving part intersecting the vertical lines of the electrodes 1a and 1b) in the sample introducing part 6a and the sample leading part 6b, respectively. 6b is preferably disposed in the upper surface region of each of 6b. In this case, the bubbles 11 generated in each of the electrodes 1a and 1b can be surely released to the outside of the particle measuring device 15a.

また、電極1aは、試料導入口9aに対して、試料導入部6aと上流流路4aとの接続領域の反対側(上流流路4aにおける流線の方向を内側としたときの流線の外側)に設けられている。また、電極1bは、試料導出口9bに対して、試料導出部6bと下流流路4bとの接続領域の反対側(下流流路4bにおける流線の方向と反対方向を内側としたときの流線の外側)に設けられている。このため、電極1aおよび1bで発生した気泡11が流線に沿って測定部2に流れ込むことを防ぐことができ、より効果的に試料導入部6aおよび試料導出部6bから気泡11を排除することができる。   The electrode 1a is opposite to the connection region between the sample introduction part 6a and the upstream flow path 4a with respect to the sample introduction port 9a (outside the stream line when the direction of the stream line in the upstream flow path 4a is set to the inside. ). In addition, the electrode 1b is opposite to the connection region between the sample outlet 6b and the downstream channel 4b with respect to the sample outlet 9b (the flow when the direction opposite to the direction of the streamline in the downstream channel 4b is set to the inner side). Outside the line). For this reason, it is possible to prevent the bubbles 11 generated at the electrodes 1a and 1b from flowing into the measurement unit 2 along the streamline, and to more effectively eliminate the bubbles 11 from the sample introduction unit 6a and the sample lead-out unit 6b. Can do.

また、図15では、試料導入部6aおよび試料導出部6bがそれぞれ、開口部10aおよび10bを備えている様子の一例を示している。図15では、開口部10aおよび10bの形状が円形である場合を示しているが、これに限らず、楕円状、矩形状など、大気中に気泡を逃がすことが可能なように試料導入部6aおよび試料導出部6bの上面を貫通していればよい。   FIG. 15 shows an example in which the sample introduction part 6a and the sample lead-out part 6b are provided with openings 10a and 10b, respectively. FIG. 15 shows a case where the shapes of the openings 10a and 10b are circular. However, the present invention is not limited to this, and the sample introduction unit 6a is capable of allowing bubbles to escape into the atmosphere, such as an ellipse or a rectangle. It only has to penetrate the upper surface of the sample outlet 6b.

なお、実施の形態2においても、上流流路4aおよび下流流路4bの形状は、図12および図14に示す形状に限らず、例えば図4〜図8に示すような形状であってもよい。   Also in the second embodiment, the shapes of the upstream flow path 4a and the downstream flow path 4b are not limited to the shapes shown in FIGS. 12 and 14, but may be the shapes shown in FIGS. 4 to 8, for example. .

<変形例>
次に、図16および図17に基づいて、粒子測定装置15aの変形例について説明する。図16は、図12に示す粒子測定装置15aが導体3aおよび3bを備えた構成の一例を示し、図17は、図14に示す粒子測定装置15aが導体3aおよび3bを備えた構成の一例を示す。いずれの場合も、上述のように粒子測定における気泡の影響を抑制するとともに、実施の形態1で述べたように、導体3aおよび3bにより、強度の強い測定信号を得ることができるので、高精度な粒子の測定を行うことができる。
<Modification>
Next, a modified example of the particle measuring device 15a will be described with reference to FIGS. 16 shows an example of a configuration in which the particle measuring device 15a shown in FIG. 12 includes the conductors 3a and 3b, and FIG. 17 shows an example of a configuration in which the particle measuring device 15a shown in FIG. 14 includes the conductors 3a and 3b. Show. In either case, as described above, the influence of bubbles in particle measurement is suppressed, and as described in the first embodiment, a strong measurement signal can be obtained by the conductors 3a and 3b. Measurement of fine particles.

また、試料が気体の場合には、上述のように粒子の測定精度が低下してしまう可能性がある。本変形例では、導体3aおよび3bが電極1a、1bと測定部2とを離間するように備えられているので、電極1aおよび1b間の距離を長くすることができる。このため、粒子測定装置15aの装置構成の自由度が上がり、高電圧リークなどのない、測定精度の高い粒子の測定を行うことが可能となる。なお、実施の形態1および3についても同様のことが言える。   Further, when the sample is a gas, there is a possibility that the measurement accuracy of the particles is lowered as described above. In the present modification, the conductors 3a and 3b are provided so as to separate the electrodes 1a and 1b from the measurement unit 2, so that the distance between the electrodes 1a and 1b can be increased. For this reason, the freedom degree of the apparatus structure of the particle | grain measuring apparatus 15a goes up, and it becomes possible to measure a particle | grain with high measurement accuracy without a high voltage leak. The same can be said for the first and third embodiments.

〔実施の形態3〕
本発明の実施の一形態について図18〜図20に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、実施の形態1または2と同様の部材に関しては、同じ符号を付し、その説明を省略する。
[Embodiment 3]
The following describes one embodiment of the present invention with reference to FIGS. Note that members similar to those in the first or second embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

<本実施の形態の概要>
実施の形態2で述べたように、従来では、電極にて発生する気泡の影響により測定精度が低下するという問題が生じていた。
<Outline of the present embodiment>
As described in the second embodiment, conventionally, there has been a problem that the measurement accuracy is lowered due to the influence of bubbles generated in the electrodes.

本実施の形態に係る粒子測定装置は、実施の形態2でも述べたように、上記の問題を解決するために、電極のうち少なくとも何れか1つの電極が、測定部および流路とは異なる領域で、かつ試料が測定部および流路を流れたときに形成する当該試料の流れの主線となる流線とは異なる領域である特定領域の一部に配置されている。   As described in the second embodiment, the particle measuring apparatus according to the present embodiment is a region in which at least one of the electrodes is different from the measurement unit and the flow path in order to solve the above problem. And it arrange | positions in a part of specific area | region which is an area | region different from the streamline used as the main line of the flow of the said sample formed when a sample flows through a measurement part and a flow path.

これにより、電極が特定領域の一部に配置されているため、電極にて発生した気泡が流路および測定部において試料が形成する流線上への流入を抑制できる。すなわち、従来のように流路に電極を配置する場合に比べ、当該気泡が試料とともに測定部に流入することを抑制できる。また、少なくとも流路への気泡の被覆を抑制できる。それゆえ、高精度な粒子の測定を行うことができる。   Thereby, since the electrode is arrange | positioned in a part of specific area | region, the bubble which generate | occur | produced in the electrode can suppress inflow on the flow line which a sample forms in a flow path and a measurement part. That is, it is possible to suppress the bubbles from flowing into the measurement unit together with the sample as compared with the case where electrodes are arranged in the flow path as in the past. In addition, at least air bubble coating on the flow path can be suppressed. Therefore, highly accurate particle measurement can be performed.

<粒子測定装置15bの具体的構成>
次に、図18に基づいて、本実施の形態に係る粒子測定装置15bの概略構成と、当該構成がもたらす、気泡が及ぼす粒子測定への影響抑制とについて説明する。図18(a)は本発明の一実施形態に係る粒子測定装置の概略構成の一例を示す上面図であり、(b)は(a)のA−A’線に沿った概略断面図、(c)はB−B’線に沿った概略断面図である。
<Specific Configuration of Particle Measuring Device 15b>
Next, based on FIG. 18, a schematic configuration of the particle measuring device 15 b according to the present embodiment and suppression of influence on particle measurement exerted by bubbles caused by the configuration will be described. 18A is a top view illustrating an example of a schematic configuration of the particle measuring apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. 18B is a schematic cross-sectional view taken along the line AA ′ in FIG. c) is a schematic cross-sectional view along the line BB ′.

粒子測定装置15bは、実施の形態1および2と同様、電極1a、1bと、測定部2と、試料導入部6aと、試料導出部6bとを備えており、これらの材質、形状、大きさなどは、実施の形態1で説明したとおりである。粒子測定装置15bは、さらに、上流流路21aと、下流流路21bと、導通路22a、22bと、リザーバ23a、23bとを備えている。なお、上流流路21aおよび下流流路21bは、実施の形態1で説明した機能と同様である。   Similar to the first and second embodiments, the particle measuring device 15b includes electrodes 1a and 1b, a measuring unit 2, a sample introducing unit 6a, and a sample deriving unit 6b, and these materials, shapes, and sizes. These are as described in the first embodiment. The particle measuring device 15b further includes an upstream channel 21a, a downstream channel 21b, conduction channels 22a and 22b, and reservoirs 23a and 23b. The upstream channel 21a and the downstream channel 21b have the same functions as those described in the first embodiment.

図18(a)に示すように、上流流路21aの一端は測定部2に接続され、その他端は試料導入部6aに接続されている。また、下流流路21bの一端は測定部2に接続され、他端は試料導出部6bに接続されている。   As shown in FIG. 18 (a), one end of the upstream flow path 21a is connected to the measurement section 2, and the other end is connected to the sample introduction section 6a. Moreover, one end of the downstream flow path 21b is connected to the measurement part 2, and the other end is connected to the sample derivation | leading-out part 6b.

また、導通路22aおよび22bは、上流流路21aおよび下流流路21bと電気的に接続された(これらの流路から分岐した)電極1aおよび1bのそれぞれと、試料とを電気的に導通するためのものである。すなわち、導通路22aおよび22bは、上述した特定領域に備えられている。   Further, the conduction paths 22a and 22b electrically connect the sample to each of the electrodes 1a and 1b electrically connected to the upstream flow path 21a and the downstream flow path 21b (branched from these flow paths). Is for. That is, the conduction paths 22a and 22b are provided in the specific region described above.

また、導通路22aの一端は、上流流路21aの端部(測定部2および試料導入部6aに接続された端部)以外の接続領域251に接続されている。同様に、導通路22bの一端は、下流流路21bの端部(測定部2および試料導出部6bに接続された端部)以外の接続領域252に接続されている。   In addition, one end of the conduction path 22a is connected to a connection region 251 other than the end of the upstream flow path 21a (the end connected to the measurement unit 2 and the sample introduction unit 6a). Similarly, one end of the conduction path 22b is connected to a connection region 252 other than the end of the downstream flow path 21b (the end connected to the measurement unit 2 and the sample outlet 6b).

導通路22aおよび22bには、試料と電極1a、1bとを電気的に導通させるための電解質が充填されている。これにより、導通路22aおよび22bを介しての試料への電圧印加を確実に行うことができる。電解質としては、例えば液体の電解質(すなわち、電解液)、および非流動性電解質が挙げられる。電解液としては、例えば塩化ナトリウム溶液、塩化カリウム溶液などが挙げられる。   The conducting paths 22a and 22b are filled with an electrolyte for electrically conducting the sample and the electrodes 1a and 1b. Thereby, the voltage application to the sample can be reliably performed via the conduction paths 22a and 22b. Examples of the electrolyte include a liquid electrolyte (that is, an electrolytic solution) and a non-fluidic electrolyte. Examples of the electrolytic solution include a sodium chloride solution and a potassium chloride solution.

また、非流動性電解質としては、固体電解質と、液体電界物質を含むゲル状物質との二つの性質の物質が挙げられる。固体電界質としては、例えば塩化物イオン伝導性固体電解質、βアルミナ、安定化ジルコニアなどが挙げられる。液体電解質を含むゲル状物質としては、例えば塩橋(塩化カリウム、硝酸アンモニウムまたは酢酸リチウムを含むアガロース)、塩化カリウムなどの液体電解質を含むポリ塩化ビニル、またはポリアクリルアミドなどが挙げられる。   Examples of the non-fluidic electrolyte include substances having two properties of a solid electrolyte and a gel-like substance containing a liquid electric field substance. Examples of the solid electrolyte include chloride ion conductive solid electrolyte, β alumina, and stabilized zirconia. Examples of the gel-like substance containing a liquid electrolyte include salt bridge (agarose containing potassium chloride, ammonium nitrate or lithium acetate), polyvinyl chloride containing a liquid electrolyte such as potassium chloride, or polyacrylamide.

導通路22aおよび22bの電解質として非流動性電解質を用いる場合(導通路22aおよび22bの内容物の流動性が低い場合)、試料を流しながら測定を行う場合であっても、試料は、導通路22aおよび22bに流れ込むことなく、上流流路21aおよび下流流路21bを流れる(例えば図18(b)および(c)参照)。逆に言えば、リザーバ23aおよび23bのそれぞれに備えた電極1aおよび1bにおいて電気分解に伴う気泡11が発生しても、気泡11が上流流路21a、下流流路21bおよび測定部2に流れ込むことがない。そのため、測定部2に気泡11が流れ、測定部2での気泡11への電圧印加による誤カウントを防ぐことができ、精度の高い粒子の測定が可能となる。また、試料が導通路22aおよび22bへ流入することが無いため、試料量の増加を招くことなく粒子の測定が可能である。なお、非流動性電解質は導通路22aおよび22bの必ずしも全領域に形成される必要はなく、少なくとも一部形成されればよい。この場合、導通路の非流動性電解質が形成された以外の領域は、例えば液体の電解質(後述)を形成すればよい。   When a non-fluidic electrolyte is used as the electrolyte of the conduction paths 22a and 22b (when the fluidity of the contents of the conduction paths 22a and 22b is low), the sample remains in the conduction path even when the measurement is performed while the sample is flowing. It flows through the upstream flow path 21a and the downstream flow path 21b without flowing into 22a and 22b (see, for example, FIGS. 18B and 18C). In other words, even if bubbles 11 are generated due to electrolysis in the electrodes 1a and 1b provided in the reservoirs 23a and 23b, the bubbles 11 flow into the upstream flow path 21a, the downstream flow path 21b, and the measurement unit 2. There is no. For this reason, the bubbles 11 flow through the measuring unit 2, and erroneous counting due to voltage application to the bubbles 11 in the measuring unit 2 can be prevented, and highly accurate particle measurement is possible. Further, since the sample does not flow into the conduction paths 22a and 22b, it is possible to measure particles without increasing the amount of the sample. The non-fluid electrolyte does not necessarily need to be formed in the entire region of the conduction paths 22a and 22b, and may be formed at least partially. In this case, for example, a liquid electrolyte (described later) may be formed in the region other than where the non-flowable electrolyte of the conduction path is formed.

一方、導通路22aおよび22bの電解質として液体の電解質を用いる場合(導通路22aおよび22bの内容物の流動性が高い場合)には、導通路22a、22bとリザーバ23a、23bとの接続領域に、例えば蓋またはシール材を設けてもよい。この場合、リザーバ23aおよび23bを密閉して物理的に封止できるので、リザーバ23aおよび23bの内部で発生した気泡11が導通路22aおよび22bへ流入することを防ぐことができる。   On the other hand, when a liquid electrolyte is used as the electrolyte of the conduction paths 22a and 22b (when the fluidity of the contents of the conduction paths 22a and 22b is high), the connection area between the conduction paths 22a and 22b and the reservoirs 23a and 23b is used. For example, a lid or a sealing material may be provided. In this case, since the reservoirs 23a and 23b can be sealed and physically sealed, the bubbles 11 generated inside the reservoirs 23a and 23b can be prevented from flowing into the conduction paths 22a and 22b.

なお、導通路22a、22bとリザーバ23a、23bとは電気的に接続されている必要があるため、上記蓋およびシール材は、電気伝導性を有する材料からなることが好ましい。また、上記蓋およびシール材は、上記の接続領域ではなく、導通路22aおよび22bの少なくとも一部に備えられてもよい。また、液体の電解質を導通路22aおよび22b内に充填しゲル状物質で例えば上記の接続領域を封止することも可能である。   Since the conduction paths 22a and 22b and the reservoirs 23a and 23b need to be electrically connected, the lid and the sealing material are preferably made of an electrically conductive material. Further, the lid and the sealing material may be provided in at least a part of the conduction paths 22a and 22b instead of the connection region. It is also possible to fill the conductive paths 22a and 22b with a liquid electrolyte and seal the connection region, for example, with a gel substance.

また、液体の電解質を充填後、リザーバ23aおよび23bの上面を蓋およびシール材で物理的に封止する構成としてもよい。この場合、リザーバ23aおよび23bは、試料が流れる上流流路21aおよび下流流路21bに対して、試料が導通路22aおよび22bへと流れることを防止する堰き止め構造となっている。   Alternatively, the top surfaces of the reservoirs 23a and 23b may be physically sealed with a lid and a sealing material after filling with a liquid electrolyte. In this case, the reservoirs 23a and 23b have a damming structure that prevents the sample from flowing into the conduction paths 22a and 22b with respect to the upstream flow path 21a and the downstream flow path 21b through which the sample flows.

例えばリザーバ23aおよび23bに開口部が存在する場合には、開口部が大気開放されているため、導通路22a、22bおよびリザーバ23a、23bに導入された電解質が、試料の流れ(試料を流すための印加圧力)の影響をうけて、開口部に移動する可能性がある。それにより、リザーバ23aおよび23bの内部に試料が流入してしまう可能性がある。   For example, when there are openings in the reservoirs 23a and 23b, the openings are open to the atmosphere, so that the electrolyte introduced into the conduction paths 22a and 22b and the reservoirs 23a and 23b flows into the sample (for flowing the sample). May be moved to the opening under the influence of the applied pressure. As a result, the sample may flow into the reservoirs 23a and 23b.

上記の堰き止め構造の場合、試料は、リザーバ23aに接続された導通路22aおよびリザーバ23bに接続された導通路22bに流入することなく、上流流路21a、測定部2、下流流路21bの順に流れる。すなわち、導通路22a、22bおよびリザーバ23a、23bに導入された電解質は略静止している。   In the case of the damming structure described above, the sample does not flow into the conduction path 22a connected to the reservoir 23a and the conduction path 22b connected to the reservoir 23b, and the sample flows through the upstream channel 21a, the measurement unit 2, and the downstream channel 21b. It flows in order. That is, the electrolyte introduced into the conduction paths 22a and 22b and the reservoirs 23a and 23b is substantially stationary.

よって、リザーバ23aおよび23bの内部で発生した気泡11が導通路22aおよび22bへ流入することを防ぐことができる。上記蓋およびシール材は、リザーバ23aおよび23bを形成した基板に対して密閉性を有していればよく、幅広い材料の選択が可能である。   Therefore, it is possible to prevent the bubbles 11 generated in the reservoirs 23a and 23b from flowing into the conduction paths 22a and 22b. The lid and the sealing material only need to have a sealing property with respect to the substrate on which the reservoirs 23a and 23b are formed, and a wide range of materials can be selected.

また、導通路22aおよび22bの電解質として非流動性電解質を用いた場合には、上述のように、導通路22aおよび22bへの試料の流入(または気泡11の流入)を防ぐことができるが、この場合であっても、より確実にこれらの流入を防ぐために上述のような物理的な封止を行ってもよい。   Further, when a non-fluidic electrolyte is used as the electrolyte of the conduction paths 22a and 22b, the sample can be prevented from flowing into the conduction paths 22a and 22b (or the inflow of the bubbles 11) as described above. Even in this case, the physical sealing as described above may be performed in order to prevent these inflows more reliably.

以上のように、導通路22aおよび22bの少なくとも一部、または導通路22aおよび22bの他端(リザーバ23aおよび23bとの接続領域)には、リザーバ23aおよび23bへの試料の流入を抑制する非流動性電解質、蓋、シール材などの流入抑制部材が備えられている。または、リザーバ23aおよび23bの上面には、リザーバ23aおよび23bへの試料の流入を抑制する蓋、シール材などの流入抑制部材が備えられている。これにより、リザーバ23aおよび23bの内部に試料が流入することを抑制できるので、リザーバ23aおよび23bの内部で発生した気泡11が試料とともに上流流路21aおよび下流流路21bに流れ込むことを防ぐことができる。   As described above, at least a part of the conduction paths 22a and 22b or the other ends of the conduction paths 22a and 22b (connection region with the reservoirs 23a and 23b) is non-suppressing the flow of the sample into the reservoirs 23a and 23b. Inflow suppressing members such as a fluid electrolyte, a lid, and a sealing material are provided. Alternatively, the upper surfaces of the reservoirs 23a and 23b are provided with inflow suppressing members such as a lid and a sealing material that suppress the inflow of the sample into the reservoirs 23a and 23b. Accordingly, since the sample can be prevented from flowing into the reservoirs 23a and 23b, it is possible to prevent the bubbles 11 generated inside the reservoirs 23a and 23b from flowing into the upstream channel 21a and the downstream channel 21b together with the sample. it can.

リザーバ23aおよび23bは、上述した特定領域に備えられ、電極1a、1bと試料とを電気的に導通する電解質を保持するものであり、導通路22aおよび22bの他端にそれぞれ接続されている。また、リザーバ23aおよび23bの少なくとも一部にはそれぞれ電極1aおよび1bが配置されている。この配置により、電極1aおよび1bのそれぞれが、導通路22aおよび22bと接続されている。   The reservoirs 23a and 23b are provided in the specific region described above, hold an electrolyte that electrically conducts the electrodes 1a and 1b and the sample, and are connected to the other ends of the conducting paths 22a and 22b, respectively. Further, electrodes 1a and 1b are disposed on at least a part of the reservoirs 23a and 23b, respectively. With this arrangement, electrodes 1a and 1b are connected to conduction paths 22a and 22b, respectively.

この構成によれば、リザーバ23aおよび23bにそれぞれ電極1aおよび1bが配置された構成であっても、導通路22aおよび22bを介して、測定部2に存在する試料に電圧を印加できる。また、リザーバ23aおよび23bに電極1aおよび1bを配置しているので、電極1aおよび1bで発生した気泡11の少なくとも一部をリザーバ23aおよび23bの内部に留めることができ、導通路22aおよび22bへの気泡11の流入を抑制できる。   According to this configuration, even when the electrodes 1a and 1b are respectively disposed in the reservoirs 23a and 23b, a voltage can be applied to the sample existing in the measurement unit 2 via the conduction paths 22a and 22b. In addition, since the electrodes 1a and 1b are disposed in the reservoirs 23a and 23b, at least a part of the bubbles 11 generated in the electrodes 1a and 1b can be retained inside the reservoirs 23a and 23b, and the conductive paths 22a and 22b are connected. Inflow of the bubbles 11 can be suppressed.

リザーバ23aおよび23bには、電極1aおよび1bから発生した気泡11をその上方に逃す目的で、上述した液体の電解質を充填することが好ましい。何れの電解質を用いる場合も、電極1aおよび電極1bに印加された電圧が、リザーバ23aおよび23b中の電解質または電解液を介して、上流流路21aおよび下流流路21b中の試料に印加されることにより、測定部2において粒子通過に伴う抵抗測定を行うことを可能とする。   The reservoirs 23a and 23b are preferably filled with the liquid electrolyte described above for the purpose of allowing the bubbles 11 generated from the electrodes 1a and 1b to escape upward. Regardless of which electrolyte is used, the voltage applied to the electrodes 1a and 1b is applied to the sample in the upstream flow path 21a and the downstream flow path 21b via the electrolyte or electrolyte in the reservoirs 23a and 23b. This makes it possible to perform resistance measurement associated with particle passage in the measurement unit 2.

また、導通路22aおよび22bの幅は1〜5000μmであり、好ましくは1〜1000μmであり、その深さは1〜1000μm、好ましくは1〜100μmである。また、リザーバ23aおよび23bの幅は1〜50000μm、深さは1〜50000μm、その長さは1〜50000μmである。   Moreover, the width | variety of the conduction paths 22a and 22b is 1-5000 micrometers, Preferably it is 1-1000 micrometers, The depth is 1-1000 micrometers, Preferably it is 1-100 micrometers. The reservoirs 23a and 23b have a width of 1 to 50000 μm, a depth of 1 to 50000 μm, and a length of 1 to 50000 μm.

粒子測定装置15bでは、試料は、試料導入部6aから導入され、上流流路21a、測定部2および下流流路21bをこの順で通過し、試料導出部6bから外部に排出される。すなわち、粒子測定装置15bでは、試料の導入が上流流路21aおよび下流流路21bに対して行われ、上流流路21aおよび下流流路21bに接続された導通路22aおよび22bに対しては行われないため、上流流路21a、測定部2および下流流路21bが試料の主流路である。   In the particle measuring device 15b, the sample is introduced from the sample introduction unit 6a, passes through the upstream channel 21a, the measurement unit 2, and the downstream channel 21b in this order, and is discharged to the outside from the sample derivation unit 6b. That is, in the particle measuring device 15b, the sample is introduced into the upstream flow path 21a and the downstream flow path 21b, and is supplied to the conduction paths 22a and 22b connected to the upstream flow path 21a and the downstream flow path 21b. Therefore, the upstream flow path 21a, the measurement unit 2, and the downstream flow path 21b are the main flow paths of the sample.

<電極1aおよび1bの配置の別例>
上記では、上述した特定領域の一部にリザーバ23aおよび23bが備えられ、リザーバ23aおよび23bに電極1aおよび1bがそれぞれ備えられている構成について説明したが、これに限られない。例えば、電極1aおよび1bが、上記特定領域の一部に備えられた導通路22aおよび22bにそれぞれ備えられていてもよい。すなわち、導通路22aおよび22bの少なくとも一部に電極1aおよび1bがそれぞれ配置されていてもよい。この場合、リザーバ23aおよび23bは必ずしも必要ではない。
<Another example of arrangement of electrodes 1a and 1b>
In the above description, the reservoirs 23a and 23b are provided in a part of the specific region described above, and the electrodes 1a and 1b are provided in the reservoirs 23a and 23b, respectively, but the configuration is not limited thereto. For example, the electrodes 1a and 1b may be provided in the conduction paths 22a and 22b provided in a part of the specific region, respectively. That is, the electrodes 1a and 1b may be disposed on at least a part of the conduction paths 22a and 22b, respectively. In this case, the reservoirs 23a and 23b are not necessarily required.

この構成の場合でも、測定部2に存在する試料に電圧を印加でき、また、電極1aおよび1bで発生した気泡11の少なくとも一部を導通路22aおよび22bの内部に留めることが可能となる。このため、上流流路4aまたは下流流路4bへの気泡11の流入を抑制できる。   Even in this configuration, a voltage can be applied to the sample existing in the measurement unit 2, and at least a part of the bubbles 11 generated in the electrodes 1a and 1b can be kept inside the conduction paths 22a and 22b. For this reason, inflow of the bubble 11 to the upstream flow path 4a or the downstream flow path 4b can be suppressed.

<リザーバ23aおよび23b内の加圧について>
また、粒子測定装置15bでは、リザーバ23aおよび23bに充填した電解液(電解質)は、導通路22aおよび22bと接続された方向に加圧される構成となっている。
<Pressurization in the reservoirs 23a and 23b>
In the particle measuring device 15b, the electrolyte solution (electrolyte) filled in the reservoirs 23a and 23b is pressurized in the direction connected to the conduction paths 22a and 22b.

上記加圧の大きさは、少なくともリザーバ23aおよび23bの内部への試料の流入を防ぐ大きさであることが好ましい。これは、リザーバ23aと導通路22aとの接続領域、またはリザーバ23bと導通路22bとの接続領域において、試料の流れによる圧力よりも、上記加圧による圧力を大きく設定することにより達成される。なお、試料の流れによる圧力は、試料を流すための印加圧力と、試料の流れに伴う圧力損失(装置構造に依存)とにより決まるものである。   The magnitude of the pressurization is preferably a magnitude that prevents at least the sample from flowing into the reservoirs 23a and 23b. This is achieved by setting the pressure due to the pressurization higher than the pressure due to the flow of the sample in the connection region between the reservoir 23a and the conduction path 22a or the connection region between the reservoir 23b and the conduction path 22b. Note that the pressure due to the flow of the sample is determined by the applied pressure for flowing the sample and the pressure loss accompanying the flow of the sample (depending on the device structure).

ここで、上記圧力損失ΔPは、試料の流れが層流の場合(例えば、マイクロ流路での流れの場合)、次式(18)(ハーゲン−ポアズイユの式)、すなわち、
ΔP = 32・μ・L・v/D …(18)
により見積もることが可能である。ここで、μは試料の粘度、Lは流路長さ、vは試料流れの速度、Dは流路の直径(幅および/または深さ)である。上記加圧の大きさは、試料の流れによる圧力より大きくなるよう、粒子測定装置の構造、印加圧力、および測定に用いる試料の性質に応じて適宜設定される。
Here, when the flow of the sample is a laminar flow (for example, a flow in a microchannel), the pressure loss ΔP is expressed by the following equation (18) (Hagen-Poiseuille equation), that is,
ΔP = 32 · μ · L · v / D 2 (18)
Can be estimated. Here, μ is the viscosity of the sample, L is the channel length, v is the velocity of the sample flow, and D is the diameter (width and / or depth) of the channel. The magnitude of the pressurization is appropriately set according to the structure of the particle measuring apparatus, the applied pressure, and the properties of the sample used for measurement so as to be larger than the pressure due to the sample flow.

さらに、上記加圧の大きさは、導通路22aまたは導通路22bの内部への試料の流入を防ぐ大きさであることが好ましい。これは、導通路22aと上流流路21aとの接続領域251、または導通路22bと下流流路21bとの接続領域252において、試料の流れによる圧力よりも、上記加圧による圧力を大きく設定することにより達成される。   Furthermore, the magnitude of the pressurization is preferably a magnitude that prevents the sample from flowing into the conduction path 22a or the conduction path 22b. This is because the pressure due to the pressurization is set larger than the pressure due to the flow of the sample in the connection region 251 between the conduction path 22a and the upstream flow path 21a or the connection area 252 between the conduction path 22b and the downstream flow path 21b. Is achieved.

これらの加圧の大きさの設定により、リザーバ23aおよび23bの内部、または導通路22aまたは導通路22bの内部への試料の流入を防ぐことが可能であり、試料量の増加を招くことなく粒子の測定を行うことが可能となる。また、電極1aおよび1bから発生した気泡11は、浮力によりリザーバ23aおよび23bの上方に逃すことが可能なため、リザーバ23aおよび23bの内部で発生した気泡11が試料とともに上流流路21aおよび下流流路21bに流れ込むことを防ぐことができる。   By setting the size of these pressurizations, it is possible to prevent the sample from flowing into the reservoirs 23a and 23b, or into the conduction path 22a or the conduction path 22b, and without increasing the amount of the sample. Can be measured. Further, since the bubbles 11 generated from the electrodes 1a and 1b can escape above the reservoirs 23a and 23b by buoyancy, the bubbles 11 generated inside the reservoirs 23a and 23b together with the sample flow into the upstream flow path 21a and the downstream flow. It can prevent flowing into the path 21b.

さらには、上記加圧による圧力と試料の流れによる圧力とが、(1)リザーバ23aと導通路22aとの接続領域、あるいはリザーバ23bと導通路22bとの接続領域、または、(2)導通路22aと上流流路21aとの接続領域251、あるいは導通路22bと下流流路21bとの接続領域252において、略等しくなるよう設定されることが好ましい。上記加圧による圧力と試料の流れによる圧力とが略等しい場合、導通路22a、22bおよびリザーバ23a、23bに導入された電解質は略静止している。よって、リザーバ23aおよび23bの内部で発生した気泡11が導通路22aおよび22bへ流入することを確実に防ぐことができる。   Furthermore, the pressure due to the pressurization and the pressure due to the flow of the sample are either (1) a connection area between the reservoir 23a and the conduction path 22a, or a connection area between the reservoir 23b and the conduction path 22b, or (2) a conduction path. It is preferable that the connection region 251 between the 22a and the upstream flow channel 21a or the connection region 252 between the conduction channel 22b and the downstream flow channel 21b is set to be substantially equal. When the pressure due to the pressurization and the pressure due to the flow of the sample are substantially equal, the electrolyte introduced into the conduction paths 22a and 22b and the reservoirs 23a and 23b is substantially stationary. Therefore, it is possible to reliably prevent the bubbles 11 generated in the reservoirs 23a and 23b from flowing into the conduction paths 22a and 22b.

上記加圧の手段としては、例えば、リザーバ23aおよび23b、もしくは、導通路22aおよび22bに保持された電解液に作用する重力(水頭圧)あるいは毛細管力、またはポンプ(加圧装置)などが挙げられる。   Examples of the pressurizing means include gravity (water head pressure) or capillary force acting on the electrolytes held in the reservoirs 23a and 23b or the conduction paths 22a and 22b, or a pump (pressurizing device). It is done.

その加圧の手段として重力を用いる場合、重力による圧力(水頭圧)ΔPHDは、次式(19)、すなわち、
ΔPHD = ρ・g・h …(19)
により見積もることが可能である。ここで、ρは電解液の密度、gは重力加速度、hはリザーバ23aおよび23bの深さである。粒子測定装置15bにおいて、リザーバ23aおよび23bの深さが、導通路22aおよび22bの深さよりも長いことが好ましい。この構成において、リザーバ23aおよび23bに保持されている電解液の深さ(液面の高さ)が導通路22aおよび22bの深さより長い場合、電解液に対して重力(水頭圧)を効果的に作用させることができ、当該重力の作用により当該電解液を導通路22aおよび22b側に確実に加圧できる。
When gravity is used as the means for pressurization, the pressure due to gravity (water head pressure) ΔP HD is expressed by the following equation (19), that is,
ΔP HD = ρ · g · h (19)
Can be estimated. Here, ρ is the density of the electrolyte, g is the gravitational acceleration, and h is the depth of the reservoirs 23a and 23b. In the particle measuring device 15b, it is preferable that the depth of the reservoirs 23a and 23b is longer than the depth of the conduction paths 22a and 22b. In this configuration, when the depth of the electrolyte held in the reservoirs 23a and 23b (the height of the liquid surface) is longer than the depth of the conduction paths 22a and 22b, gravity (water head pressure) is effectively applied to the electrolyte. The electrolytic solution can be reliably pressurized to the conductive paths 22a and 22b side by the action of gravity.

なお、本実施の形態では、導通路22aとリザーバ23aとの接続領域、および、導通路22bとリザーバ23bとの接続領域はこれらの部材の底面に接している。しかし、これに限らず、上記重力の作用により加圧可能なように、導通路22aとリザーバ23aとが接続され、導通路22bとリザーバ23bとが接続されていればよい。すなわち、導通路22aおよび22bはそれぞれ、リザーバ23aおよび23bの側面と接続され、その側面において、リザーバ23aおよび23bの上面に非接触な位置に少なくとも接続されていればよい。   In the present embodiment, the connection region between the conduction path 22a and the reservoir 23a and the connection region between the conduction path 22b and the reservoir 23b are in contact with the bottom surfaces of these members. However, the present invention is not limited to this, and it is only necessary that the conduction path 22a and the reservoir 23a are connected and the conduction path 22b and the reservoir 23b are connected so that pressurization can be performed by the action of gravity. In other words, the conduction paths 22a and 22b are connected to the side surfaces of the reservoirs 23a and 23b, respectively, and the side surfaces only need to be connected at least to positions that are not in contact with the upper surfaces of the reservoirs 23a and 23b.

また、上記加圧の手段として毛細管力を用いる場合、毛細管力による圧力(ラプラス圧)ΔPLPは、次式(20)(ヤング−ラプラスの式)、すなわち、
ΔPLP = −2・γ・cosθ/R …(20)
により見積もることが可能である。ここで、γは電解液の表面張力、θは電解液の接触角、Rはリザーバ23aおよび23bの半径(深さ方向と垂直な面の半径)(導通路22aおよび22bにおいてはリザーバ23aおよび23bとの接続領域断面の半径)である。粒子測定装置15bにおいて、リザーバ23aおよび23bの材質が疎水性を有することが好ましい。特に、リザーバ23aおよび23bに充填された電解液に対して疎水性が高い(電解液の接触角が90度以上)ことが好ましい。この場合、電解液に対して毛細管力を効果的に作用させることができ、当該毛細管力の作用により当該電解液を導通路22aおよび22b側に確実に加圧できる。
When a capillary force is used as the pressurizing means, the pressure (Laplace pressure) ΔP LP by the capillary force is expressed by the following equation (20) (Young-Laplace equation), that is,
ΔP LP = −2 · γ · cos θ / R (20)
Can be estimated. Here, γ is the surface tension of the electrolyte, θ is the contact angle of the electrolyte, R is the radius of the reservoirs 23a and 23b (the radius of the surface perpendicular to the depth direction) (the reservoirs 23a and 23b in the conduction paths 22a and 22b) And the radius of the connection area cross section. In the particle measuring device 15b, the reservoirs 23a and 23b are preferably made of a hydrophobic material. In particular, it is preferable that the electrolyte solution filled in the reservoirs 23a and 23b is highly hydrophobic (the contact angle of the electrolyte solution is 90 degrees or more). In this case, a capillary force can be effectively applied to the electrolytic solution, and the electrolytic solution can be reliably pressurized to the conduction paths 22a and 22b by the action of the capillary force.

また、上記加圧の手段としてポンプを用いる場合、リザーバ23aおよび23bの形状、その材質が疎水性であるか否かを考慮することなく、当該電解液を導通路22aおよび22b側に確実に加圧できる。ポンプとしては、例えばシリンジポンプ、ペリスタポンプ、空気圧を用いた圧力コントローラなどが好適に利用される。   Further, when a pump is used as the pressurizing means, the electrolyte solution is surely added to the conduction paths 22a and 22b without considering the shape of the reservoirs 23a and 23b and whether or not the material is hydrophobic. I can press. As the pump, for example, a syringe pump, a peristaltic pump, a pressure controller using air pressure, and the like are preferably used.

上記何れの加圧の手段を用いた場合も、上述した加圧の大きさとなるよう適宜設定することで、リザーバ23aおよび23bの内部で発生した気泡11が試料とともに上流流路21aおよび下流流路21bに流れ込むことを防ぐことができる。   When any of the above-described pressurizing means is used, the bubbles 11 generated inside the reservoirs 23a and 23b can be set together with the sample in the upstream flow path 21a and the downstream flow path by appropriately setting the above-described pressure level. It can prevent flowing into 21b.

以上の構成により、電極1aと上流流路21aとが導通路22aを介して、電極1bと下流流路21bとが導通路22bを介してそれぞれ配置されているので、電極1aおよび1bにて発生した気泡11が各流路を流れる試料とともに測定部2へ流入することを抑制できる。また、上流流路21aおよび下流流路21bの表面と、電極1a、1bの表面とへの気泡11の被覆も抑制できる。   With the above configuration, the electrode 1a and the upstream flow path 21a are arranged via the conduction path 22a, and the electrode 1b and the downstream flow path 21b are arranged via the conduction path 22b. It can suppress that the bubble 11 which flowed into the measurement part 2 with the sample which flows through each flow path. In addition, the coating of the bubbles 11 on the surfaces of the upstream channel 21a and the downstream channel 21b and the surfaces of the electrodes 1a and 1b can be suppressed.

<粒子測定装置15bの種々の構成>
次に、図19に基づいて、粒子測定装置15bの種々の構成について説明する。図19(a)〜(c)は、粒子測定装置15bの概略構成の別例を示す上面図である。
<Various configurations of the particle measuring apparatus 15b>
Next, various configurations of the particle measuring device 15b will be described with reference to FIG. 19A to 19C are top views showing other examples of the schematic configuration of the particle measuring device 15b.

図19(a)では、上流流路21aに接続領域251を介して導通路22aが接続され、当該導通路22aと接続されたリザーバ23aに電極1aが配置されている一方、下流流路4bには導通路22bが接続されていない。この場合、電極1bは、試料導出部6bの内部に配置されている。すなわち、粒子測定装置15bは、少なくとも1つの導通路を備えていればよい。この構成であっても、リザーバ23aへの試料の流入、および電極1aにて発生した気泡11の上流流路21aへの流入を防ぐことができる。試料は上流流路21aから下流流路21bへと流れるため、試料導入部6a側のリザーバ23aに電極1aを配置した構成でも、測定部2への気泡の流入を十分に防ぐことができる。   In FIG. 19A, the conduction path 22a is connected to the upstream flow path 21a via the connection region 251, and the electrode 1a is disposed in the reservoir 23a connected to the conduction path 22a, while the downstream flow path 4b Is not connected to the conduction path 22b. In this case, the electrode 1b is disposed inside the sample outlet 6b. That is, the particle measuring device 15b only needs to include at least one conduction path. Even with this configuration, it is possible to prevent the sample from flowing into the reservoir 23a and the bubbles 11 generated at the electrode 1a from flowing into the upstream flow path 21a. Since the sample flows from the upstream channel 21a to the downstream channel 21b, the inflow of bubbles to the measuring unit 2 can be sufficiently prevented even with the configuration in which the electrode 1a is arranged in the reservoir 23a on the sample introduction unit 6a side.

また、導通路22a、22b、およびリザーバ23a、23bは、図18に示すように、上流流路21aおよび下流流路21bに対して必ずしも片側に配置される必要はなく、例えば図19(b)に示すように、上流流路21aおよび下流流路21bの長さ方向を軸として反対側に配置されてもよい。また、上流流路21aおよび下流流路21bが直線形状でなくてもよく、図19(c)では下流流路21bの一部が略直角に折れ曲がったコの字形状となっている(図4(d)参照)。このような構成であっても、図18の構成と同様の効果を得ることができる。   Further, as shown in FIG. 18, the conduction paths 22a and 22b and the reservoirs 23a and 23b are not necessarily arranged on one side with respect to the upstream flow path 21a and the downstream flow path 21b. For example, FIG. As shown in FIG. 6, the upstream flow path 21a and the downstream flow path 21b may be arranged on the opposite side with the length direction as an axis. Further, the upstream flow path 21a and the downstream flow path 21b do not have to be linear, and in FIG. 19C, a part of the downstream flow path 21b is bent at a substantially right angle (FIG. 4). (See (d)). Even with such a configuration, the same effect as the configuration of FIG. 18 can be obtained.

なお、実施の形態3においても、上流流路21aおよび下流流路21bの形状は、図18および図19に示す形状に限らず、例えば図4〜図8に示すような形状であってもよい。   Also in the third embodiment, the shapes of the upstream flow path 21a and the downstream flow path 21b are not limited to the shapes shown in FIGS. 18 and 19, but may be the shapes shown in FIGS. 4 to 8, for example. .

<変形例>
次に、図20に基づいて、粒子測定装置15bの変形例について説明する。図20(a)は、図18に示す粒子測定装置15bが導体3aおよび3bを備えた構成の一例を示し、図20(b)〜(d)は、図19に示す粒子測定装置15bが導体3aおよび3bを備えた構成の一例を示す。図20では、電極1aおよび1b間に備えられた上流流路21a、下流流路21b、導通路22a、および/または導通路22bに配置されている。
<Modification>
Next, a modified example of the particle measuring device 15b will be described with reference to FIG. 20A shows an example of a configuration in which the particle measuring device 15b shown in FIG. 18 includes conductors 3a and 3b. FIGS. 20B to 20D show the particle measuring device 15b shown in FIG. An example of the structure provided with 3a and 3b is shown. In FIG. 20, it arrange | positions at the upstream flow path 21a, the downstream flow path 21b, the conduction path 22a, and / or the conduction path 22b with which it was equipped between the electrodes 1a and 1b.

いずれの場合も、上述のように粒子測定における気泡の影響を抑制するとともに、実施の形態1で述べたように、導体3aおよび3bにより、強度の強い測定信号を得ることができるので、高精度な粒子の測定を行うことができる。   In either case, as described above, the influence of bubbles in particle measurement is suppressed, and as described in the first embodiment, a strong measurement signal can be obtained by the conductors 3a and 3b. Measurement of fine particles.

また、図20(a)〜(d)では、導体3aおよび3bはそれぞれ、導通路22aおよび22bの全領域に形成されているが、その一部に備えられる構成であってもよく、またリザーバ23aおよび23bの一部にも電極1a、1bと離間する形で備えられる構成でもよい。   20 (a) to 20 (d), the conductors 3a and 3b are formed in the entire regions of the conduction paths 22a and 22b, respectively. A configuration may also be adopted in which parts of 23a and 23b are provided so as to be separated from the electrodes 1a and 1b.

〔本発明の別の表現〕
本発明は、以下のようにも表現できる。
[Another expression of the present invention]
The present invention can also be expressed as follows.

本発明の粒子測定装置は、サンプル中の粒子の測定をインピーダンスまたは電気抵抗で測定する粒子測定装置であって、前記粒子測定装置が、サンプルに電圧を印加するための少なくとも2つの電極と、前記少なくとも2つの電極の間に位置する測定部と、前記少なくとも一方の電極と前記測定部の間に位置する少なくとも1つの導体からなり、前記2つの電極と前記導体が連結されていない構成である。   The particle measuring apparatus of the present invention is a particle measuring apparatus that measures the measurement of particles in a sample by impedance or electric resistance, wherein the particle measuring apparatus includes at least two electrodes for applying a voltage to the sample, The measurement unit is located between at least two electrodes and at least one conductor located between the at least one electrode and the measurement unit, and the two electrodes and the conductor are not connected.

また、前記粒子測定装置が、サンプルを流して測定するための少なくとも1つの流路をさらに備え、前記流路と前記測定部が連結されており、前記導体が前記流路の少なくとも一部に備えられていることが好ましい。   Further, the particle measuring device further includes at least one flow channel for measuring by flowing a sample, the flow channel and the measurement unit are connected, and the conductor is provided in at least a part of the flow channel. It is preferable that

また、前記導体が前記流路の少なくとも2箇所に備えられ、前記2箇所の導体が前記流路内では連結されておらず、前記流路外の領域で連結されていることが好ましい。   Further, it is preferable that the conductor is provided in at least two places of the flow path, and the two conductors are not connected in the flow path but are connected in a region outside the flow path.

また、前記流路が少なくとも2つあり、前記少なくとも2つの流路が、前記測定部の上流側に位置する上流流路と、前記測定部の下流側に位置する下流流路であり、前記導体が前記上流流路の少なくとも一部ないし/あるいは前記導体が前記下流流路の少なくとも一部に備えられていることが好ましい。   Further, there are at least two flow paths, and the at least two flow paths are an upstream flow path positioned on the upstream side of the measurement unit and a downstream flow path positioned on the downstream side of the measurement unit, and the conductor It is preferable that at least a part of the upstream flow path and / or the conductor is provided in at least a part of the downstream flow path.

また、前記導体が少なくとも2つあり、前記上流流路の少なくとも一部かつ前記下流流路の少なくとも一部に備えられ、前記少なくとも2つの導体が互いに連結されていないことが好ましい。   Further, it is preferable that there are at least two conductors, which are provided in at least a part of the upstream flow path and at least a part of the downstream flow path, and the at least two conductors are not connected to each other.

また、前記少なくとも2つの導体の何れか一方が前記上流流路の上面ないし/あるいは下面に備えられ、前記少なくとも2つの導体の他方が前記下流流路の上面ないし/あるいは下面に備えられていることが好ましい。   One of the at least two conductors is provided on the upper surface and / or the lower surface of the upstream flow path, and the other of the at least two conductors is provided on the upper surface and / or the lower surface of the downstream flow path. Is preferred.

また、前記上流流路の少なくとも一部に備えられた導体と、前記下流流路の少なくとも一部に備えられた導体の、導体間の直線最短距離が0.1〜1000μmであることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the linear shortest distance between the conductors of the conductor provided in at least a part of the upstream flow path and the conductor provided in at least a part of the downstream flow path is 0.1 to 1000 μm.

また、前記導体が、金属、カーボン、導電性高分子、非流動性電解質からなる群より選択されることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said conductor is selected from the group which consists of a metal, carbon, a conductive polymer, and a non-fluid electrolyte.

また、前記粒子測定装置が、サンプルを導入するためのサンプル導入部ないし/またはサンプルを導出するためのサンプル導出部をさらに備え、前記サンプル導入部ないし/または前記サンプル導出部が前記流路と、前記流路の前記測定部との連結領域とは異なる領域で連結されていることが好ましい。   Further, the particle measuring device further includes a sample introduction unit for introducing a sample and / or a sample derivation unit for deriving a sample, and the sample introduction unit and / or the sample derivation unit includes the flow path, It is preferable that the flow paths are connected in a region different from a connection region with the measurement unit.

また、前記サンプルに電圧を印加するための少なくとも2つの電極の何れか一方が、前記サンプル導入部の少なくとも一部に配置され、ないし/または、前記電極の他方が、前記サンプル導出部の少なくとも一部に配置されることが好ましい。   One of at least two electrodes for applying a voltage to the sample is disposed on at least a part of the sample introduction part, and / or the other of the electrodes is at least one of the sample lead-out parts. It is preferable to arrange in the part.

また、前記サンプル導入部ないし/または前記サンプル導出部が、前記流路との連結領域とは異なる領域に開口部を備え、前記開口部が直接または間接的に大気開放されていることが好ましい。   Further, it is preferable that the sample introduction part and / or the sample lead-out part includes an opening in a region different from a connection region with the flow path, and the opening is directly or indirectly opened to the atmosphere.

また、前記粒子測定装置が、さらに電圧印加手段を備え、前記電圧印加手段が前記サンプルに電圧を印加するための少なくとも2つの電極に接続されていることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said particle | grain measuring apparatus is further provided with a voltage application means, and the said voltage application means is connected to the at least 2 electrode for applying a voltage to the said sample.

また、本発明の粒子測定方法は、サンプルを測定部に配置する工程と、前記サンプルに少なくとも2つ以上の電極から電圧を印加する工程と、前記測定部におけるサンプルのインピーダンスまたは電気抵抗を検出する工程を含み、前記電圧印加が、前記少なくとも1つの電極と前記測定部の間に導体を配置して行う方法である。   The particle measurement method of the present invention also includes a step of placing a sample in a measurement unit, a step of applying a voltage from at least two electrodes to the sample, and detecting the impedance or electrical resistance of the sample in the measurement unit. And applying the voltage by placing a conductor between the at least one electrode and the measurement unit.

また、前記サンプルを測定部に配置する工程が、サンプルを測定部に対して流す工程によって行われることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the process of arrange | positioning the said sample in a measurement part is performed by the process of flowing a sample with respect to a measurement part.

また、前記粒子測定方法が、前記サンプルをサンプル導入部より導入する工程と、サンプル導出部より導出する工程をさらに含むことが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said particle | grain measuring method further includes the process of introduce | transducing the said sample from a sample introduction part, and the process derived | led-out from a sample derivation | leading-out part.

また、前記サンプルが液体サンプルであることが好ましい。   The sample is preferably a liquid sample.

また、前記液体サンプルを前記サンプル導入部に導入、あるいは/ないし、前記サンプル導出部より導出する工程において、前記サンプル導入部あるいは/ないし前記サンプル導出部に気体層が存在する、あるいは/ないし、少なくとも一部直接もしくは間接的に大気開放されていることが好ましい。   Further, in the step of introducing the liquid sample into the sample introduction unit and / or deriving from the sample deriving unit, a gas layer exists in the sample introduction unit and / or the sample deriving unit, or / or at least It is preferable that it is partially or indirectly opened to the atmosphere.

また、前記導体が、金属、カーボン、導電性高分子、非流動性電解質からなる群より選択されることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said conductor is selected from the group which consists of a metal, carbon, a conductive polymer, and a non-fluid electrolyte.

また、前記流路は、前記2つの電極の何れか一方の電極側で分岐し、前記測定部側で前記流路に再合流する分岐流路構造を有していることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the flow path has a branched flow path structure that branches on one of the two electrodes and rejoins the flow path on the measurement unit side.

さらに、本発明の粒子測定装置は、少なくとも2つの電極と、測定部と、少なくとも1つの流路と、試料導入部を備え、前記2つの電極の何れか一方の電極が、前記試料導入部の少なくとも一部に第1電極として配置されている。   Furthermore, the particle measuring apparatus of the present invention includes at least two electrodes, a measurement unit, at least one flow path, and a sample introduction unit, and one of the two electrodes is provided on the sample introduction unit. The first electrode is disposed at least partially.

また、前記試料導入部の深さが、前記流路の深さよりも深いことが好ましい。   Moreover, it is preferable that the depth of the sample introduction part is deeper than the depth of the flow path.

また、記試料導入部は、前記第1電極から発生した気泡を大気中に開放する開口部を備えていることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said sample introduction part is provided with the opening part which open | releases the bubble which generate | occur | produced from the said 1st electrode in air | atmosphere.

また、前記2つの電極に接続された電圧印加手段を備えることが好ましい。   Moreover, it is preferable to provide a voltage applying means connected to the two electrodes.

さらに、本発明の粒子測定装置は、少なくとも2つの電極と、測定部と、前記測定部に接続され、前記試料が流れる少なくとも1つの試料用流路を備え、前記試料用流路が、前記試料用流路から分岐し、前記2つの電極の何れか一方の電極と接続された、前記試料と電気的に導通するための少なくとも1つの導通用流路を備えている。   Furthermore, the particle measuring apparatus of the present invention includes at least two electrodes, a measuring unit, and at least one sample channel through which the sample flows, the sample channel being connected to the measuring unit, There is provided at least one conduction channel for branching from the use channel and electrically connected to the sample, which is connected to one of the two electrodes.

また、前記導通用流路の少なくとも一部に、前記試料と電気的に導通するための非流動性電界質が充填されていることが好ましい。   Moreover, it is preferable that at least a part of the conduction channel is filled with a non-flowing electrolyte for electrical conduction with the sample.

また、前記粒子測定装置が、前記試料に電圧を印加するための電解質を保持するための少なくとも1つのリザーバを備え、前記導通用流路が、前記試料用流路との接続領域とは異なる領域で、前記リザーバに接続され、前記2つの電極の何れか一方の電極が、前記リザーバの少なくとも一部に第1電極として配置されていることが好ましい。   The particle measuring apparatus includes at least one reservoir for holding an electrolyte for applying a voltage to the sample, and the conduction channel is a region different from a connection region with the sample channel. Thus, it is preferable that one of the two electrodes is connected to the reservoir, and is arranged as a first electrode on at least a part of the reservoir.

また、前記リザーバが、前記導通用流路との接続領域以外の領域において封止されていることが好ましい。   Further, it is preferable that the reservoir is sealed in a region other than a connection region with the conduction channel.

また、前記粒子測定装置が、前記リザーバに保持された電解質を、前記リザーバと前記導通用流路との接続領域の方向に加圧するための加圧手段を備えていることが好ましい。   Further, it is preferable that the particle measuring apparatus includes a pressurizing unit for pressurizing the electrolyte held in the reservoir in a direction of a connection region between the reservoir and the conduction channel.

また、前記加圧手段は、重力、毛管力、ポンプからなる群より選択されることが好ましい。   The pressurizing means is preferably selected from the group consisting of gravity, capillary force, and pump.

また、前記リザーバの深さが、前記導通用流路の深さよりも深いことが好ましい。   Moreover, it is preferable that the depth of the reservoir is deeper than the depth of the conduction channel.

また、前記リザーバが、前記リザーバに導入された電界質に対して疎水性を有することが好ましい。   Moreover, it is preferable that the reservoir has a hydrophobic property with respect to the electrolyte introduced into the reservoir.

また、前記粒子測定装置が、前記試料を自装置内に導入するための試料導入部をさらに備え、前記試料導入部と前記試料用流路が接続されていることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the particle measuring apparatus further includes a sample introduction part for introducing the sample into the apparatus, and the sample introduction part and the sample flow path are connected.

また、前記2つの電極に接続された電圧印加手段を備えることが好ましい。   Moreover, it is preferable to provide a voltage applying means connected to the two electrodes.

さらに、本発明の粒子測定装置は、少なくとも2つの電極と、測定部と、少なくとも1つの流路と、試料導入部を備え、前記2つの電極の何れか一方の電極が、前記電極のうち何れか1つの電極が、前記試料が前記流路を流れることにより形成される流線上とは異なる領域に備えられる。   Furthermore, the particle measuring apparatus of the present invention includes at least two electrodes, a measurement unit, at least one flow path, and a sample introduction unit, and any one of the two electrodes is any of the electrodes. The one electrode is provided in a region different from the streamline formed by the sample flowing through the flow path.

本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope shown in the claims. That is, embodiments obtained by combining technical means appropriately modified within the scope of the claims are also included in the technical scope of the present invention.

本発明に係る粒子測定装置は、エレクトロニクス、メカトロニクス等の分野における製造プロセスの精度管理(例えば、異物混入の検査など)、また、バイオテクノロジーの分野における、医薬品製造等の試料中の粒子管理、および医療分野における血液中の血球測定などに、好適に利用することが出来る。   The particle measuring apparatus according to the present invention is a method for controlling the accuracy of manufacturing processes in the fields of electronics, mechatronics, etc. (for example, inspection for contamination), particle management in samples such as pharmaceutical manufacturing in the field of biotechnology, and It can be suitably used for measuring blood cells in blood in the medical field.

1a 電極(特定電極)
1b 電極
2 測定部
3a、3b 導体
4a、21a 上流流路(流路)
4b、21b 下流流路(流路)
5 導線
6a 試料導入部(特定領域)
6b 試料導出部(特定領域)
7 コネクタ
8a、8b 基板
9a 試料導入口
9b 試料導出口
10a 開口部
10b 開口部
11 気泡
12 気体層
15、15a、15b 粒子測定装置
22a、22b 導通路(特定領域)
23a、23b リザーバ(特定領域)
24a、24b 分岐路
241 第1分岐点
242 第2分岐点
251、252 接続領域
1a Electrode (specific electrode)
1b Electrode 2 Measuring part 3a, 3b Conductor 4a, 21a Upstream flow path (flow path)
4b, 21b Downstream channel (channel)
5 Conductor 6a Sample introduction part (specific area)
6b Sample lead-out part (specific area)
7 Connector 8a, 8b Substrate 9a Sample inlet 9b Sample outlet 10a Opening 10b Opening 11 Bubble 12 Gas layer 15, 15a, 15b Particle measuring device 22a, 22b Conduction path (specific region)
23a, 23b Reservoir (specific area)
24a, 24b Branch 241 First branch point 242 Second branch point 251, 252 Connection area

Claims (4)

試料に電圧を印加することにより、前記試料に含まれる粒子の測定を行うことが可能な粒子測定装置であって、
前記試料に電圧を印加するための少なくとも2つの電極と、
前記試料に電圧が印加されたときの電気抵抗またはインピーダンスが検出されることにより、前記試料に含まれる粒子の測定が行われる測定部と、
前記試料を自装置内に導入するための試料導入部と、
前記測定部と前記試料導入部とに接続された、前記試料が流れる少なくとも1つの流路と、を備え、
前記試料導入部は、前記電極のうち何れか1つの電極を含み、
前記試料導入部に含まれる電極を特定電極としたとき、
前記試料導入部は、前記試料を前記試料導入部の内部に導入することが可能な試料導入口を備え、
前記試料導入口は、前記特定電極と、前記試料導入部と前記流路とが接続された接続領域と、の間に設けられており、
前記流路の底部を基準とした、前記底部に対向する前記流路の上部へ向かう垂直方向の距離を、前記試料導入部および前記流路の深さとしたとき、
前記試料導入部の深さが前記流路の深さよりも長く、
前記特定電極は、前記試料導入部の底面に配置され、前記接続領域は、前記試料導入部の下部に設けられ
前記試料導入部の上面には、前記特定電極から発生した気泡を大気中に開放する開口部が備えられていることを特徴とする粒子測定装置。
A particle measuring apparatus capable of measuring particles contained in the sample by applying a voltage to the sample,
At least two electrodes for applying a voltage to the sample;
A measurement unit for measuring particles contained in the sample by detecting electrical resistance or impedance when a voltage is applied to the sample;
A sample introduction unit for introducing the sample into the apparatus;
And at least one flow path through which the sample flows, connected to the measurement unit and the sample introduction unit,
The sample introduction part includes any one of the electrodes,
When the electrode included in the sample introduction part is a specific electrode,
The sample introduction unit includes a sample introduction port capable of introducing the sample into the sample introduction unit,
The sample introduction port is provided between the specific electrode and a connection region where the sample introduction unit and the flow path are connected,
When the distance in the vertical direction toward the top of the flow channel facing the bottom with respect to the bottom of the flow channel is the depth of the sample introduction part and the flow channel,
The depth of the sample introduction part is longer than the depth of the flow path,
The specific electrode is disposed on a bottom surface of the sample introduction part, and the connection region is provided at a lower part of the sample introduction part ,
The particle measuring apparatus according to claim 1, wherein an opening for opening bubbles generated from the specific electrode to the atmosphere is provided on an upper surface of the sample introduction unit .
前記試料導入部の容積に対する、前記試料導入部に前記試料が導入されているときの前記試料導入部内の試料量の割合が、1/50000以上0.9以下であることを特徴とする請求項1に記載の粒子測定装置。   The ratio of the sample amount in the sample introduction part when the sample is introduced into the sample introduction part with respect to the volume of the sample introduction part is 1 / 50,000 or more and 0.9 or less. 2. The particle measuring apparatus according to 1. 前記開口部は、前記特定電極の鉛直線上に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の粒子測定装置。 The opening, particle measuring apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that it is arranged on the vertical line of the particular electrode. 前記電極に接続された電圧印加手段を備えることを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の粒子測定装置。
Particle measuring apparatus according to any one of claims 1 to 3, characterized in that it comprises a voltage application means connected to said electrode.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4191739A (en) * 1977-10-17 1980-03-04 General Electric Company Antigen-antibody reaction assay employing particle aggregation and resistive pulse analysis
JPS5677743A (en) * 1979-11-29 1981-06-26 Toa Medical Electronics Co Ltd Particle detecting device
JPS61160038A (en) * 1985-01-08 1986-07-19 Sumitomo Electric Ind Ltd Particle detector
JP2720161B2 (en) * 1988-02-01 1998-02-25 株式会社アドバンス Cell deformability measuring device
JPH10318907A (en) * 1997-05-15 1998-12-04 Toa Medical Electronics Co Ltd Particle analyzer
JP2002277380A (en) * 2001-03-21 2002-09-25 Horiba Ltd Micro hemocytocounter
EP1530710B1 (en) * 2002-06-11 2017-08-09 Koninklijke Philips N.V. A disposable cartridge for characterizing particles suspended in a liquid
JP2004257766A (en) * 2003-02-24 2004-09-16 Horiba Ltd Micro blood cell counter
JP3911259B2 (en) * 2003-08-20 2007-05-09 株式会社堀場製作所 Fine particle counting device in liquid
JP2005291840A (en) * 2004-03-31 2005-10-20 Sysmex Corp Analyzer
JP5053810B2 (en) * 2007-11-20 2012-10-24 積水化学工業株式会社 Fine particle counter and fine particle counter chip
JP5604862B2 (en) * 2009-01-09 2014-10-15 ソニー株式会社 Channel device, complex permittivity measuring apparatus and dielectric cytometry apparatus
JP5257900B2 (en) * 2009-11-16 2013-08-07 学校法人 東洋大学 Zeta potential measuring device and zeta potential measuring method

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