JP5941452B2 - ナノ構造薄膜、ナノ構造透明電極、及び、ナノ構造薄膜の製造方法 - Google Patents
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Description
また、従来のナノ構造薄膜は、通常の各種製膜方法で基板上に下地となる下地導電層が形成された後、斜向蒸着により下地導電層上にナノサイズ突起物が形成されたもの(即ち、下地導電層とナノサイズ突起物とのそれぞれが別の手段で形成されたもの)である。従って、ナノ構造薄膜を製造するには手間がかかるうえに、下地導電層と電気的に導通できていない突起が形成されることがあり、導通性能が低下する原因となっていた。
本発明は、ナノサイズ突起物が広い領域に高い密度で形成されており、太陽電池等の光電デバイスの電極として好適に利用することのできるナノ構造薄膜を提供することを目的とする。また、本発明は、該ナノ構造薄膜の製造方法を提供することを目的とする。
以下、本発明を詳述する。
図13に、本発明のナノ構造薄膜の断面を模式的に示す。図13に示すナノ構造薄膜1は、基板2上に形成された下地となる下地導電層3と、下地導電層3に接する、下地導電層3と同素材からなるナノサイズ突起物4とを有する。
上記基板の厚みは特に限定されないが、上記ガラス基板等の無機基板の厚みは、50μm〜10mmが好ましく、上記プラスチックフィルムの厚みは、8〜200μmが好ましい。
上記薄膜層として、例えば、上記基板が上記プラスチックフィルムである場合に該プラスチックフィルムのガスバリア性を高めることのできる薄膜層等が挙げられる。上記薄膜層は、ナノ構造薄膜が太陽電池等の光電デバイスの電極として使用される場合には、透明であることが好ましい。上記薄膜層として、具体的には例えば、SiO2、Al2O3等の金属酸化物層、アクリル、シリコーン等からなる透明樹脂層等が挙げられる。
上記下地導電層の厚みは特に限定されないが、5nm〜100μmが好ましい。
上記ナノサイズ突起物は、上記下地導電層と同素材からなる限り特に限定されないが、少なくとも、インジウム、スズ及び酸素を含有することが好ましく、更に、窒素を含有することが好ましい。上記ナノサイズ突起物として、具体的には例えば、インジウムを含有する酸化スズ、アルミニウム含有する酸化スズ、亜鉛を含有する酸化スズ、ガリウムを含有する酸化スズ、窒素を含有する酸化スズ等からなるナノサイズ突起物が挙げられる。
なお、「同素材からなる」とは、構成元素が同一であることを意味する。構成元素が同一であれば、必ずしも各構成元素の組成比が同一である必要はない。
これにより、本発明のナノ構造薄膜においては、1mm2以上もの広い領域、好ましくは100mm2〜1m2もの広い領域において、いずれの箇所の1mm2あたりのナノサイズ突起物の密度も1×102〜3×109個である。従って、本発明のナノ構造薄膜は、太陽電池等の光電デバイスの電極として好適に利用することができる。
なお、「ナノサイズ突起物が1mm2以上の領域に1mm2あたり1×102〜3×109個の密度で形成されている」とは、ナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡写真(SEM像)を用いて、1mm2以上の領域にわたる任意の5以上の箇所について算出したナノサイズ突起物の密度の平均値が、1mm2あたり1×102〜3×109個であることを意味する。
上記ナノサイズ突起物の密度の好ましい下限は1mm2あたり1×104個、好ましい上限は1mm2あたり5×108個であり、より好ましい下限は1mm2あたり1×105個、より好ましい上限は1mm2あたり1×108個である。
上記円錐状として、高さ10nm〜150μm、底面直径1〜500nmの円錐状が好ましく、この場合、円錐の先端に直径1〜500nmの球を有する形状であることがより好ましい。上記四角柱状及び/又は四角錐状として、高さ10nm〜100μm、底面の辺が1〜500nmの四角柱状及び/又は四角錐状が好ましい。
また、上記ナノサイズ突起物は、分岐構造を有するものを含んでいてもよい。上記分岐構造は、ランダムな構造であってもよいが、上記下地導電層から伸びる主たる幹となる突起部分からほぼ90°方向に分岐した枝を有する構造が好ましく、このような枝を多数有する樹状(ツリー状)構造がより好ましい。上記樹状構造においては、主たる幹となる突起部分と各枝とがクロス状を形成していることが更に好ましい。
これにより、基板上に、同素材からなる下地導電層とナノサイズ突起物とを1工程で形成させることができるとともに、ナノサイズ突起物を1mm2以上もの広い領域、好ましくは100mm2〜1m2以上もの広い領域に1mm2あたり1×102〜3×109個もの高い密度で形成させることができる。
スパッタリングターゲットとして、例えば、SnO23.0〜50重量%のITOターゲットを用いることができる。スパッタリングターゲット中のSnO2含有量のより好ましい下限は5重量%、より好ましい上限は45重量%であり、更に好ましい下限は7重量%、更に好ましい上限は35重量%である。
スパッタリングの条件として、例えば、圧力0.666Pa、投入電力300W等を用いることができる。また、酸素ガスを導入しないでスパッタリングを行う必要があり、なかでも、アルゴンガス雰囲気下でスパッタリングを行うことが好ましい。なお、酸素ガスを導入しないでスパッタリングを行うとは、少なくとも、酸素ガスを導入しないでスパッタリングを行う工程が含まれていればよく、その工程の前に酸素ガスを導入してスパッタリングを行ってもよい。酸素ガスを導入する場合は、アルゴンガスと酸素ガスとの混合ガス雰囲気下でスパッタリングを行い、続いて、酸素ガスを含まないアルゴンガス雰囲気下でスパッタリングを行うことが好ましい。
スパッタ装置の形式は特に限定されず、バッチ式であってもよいし、ロールtoロール方式であってもよい。
なかでも、上記基板が上記ガラス基板等の無機基板である場合、製膜温度の好ましい下限は150℃、より好ましい下限は175℃である。製膜温度を175℃以上とすることにより、上述した比率H/W、形状等を達成しやすくなる。
また、上記プラスチックフィルムは一般的に薄く熱伝導性が高いため、上記基板が上記プラスチックフィルムである場合、製膜温度の好ましい下限は130℃である。
上記スパッタリングターゲットがSnO27.0重量%のITOターゲットである場合、例えば、製膜温度を300℃程度とし、製膜時間を調整することにより、円錐状又は円筒状のナノサイズ突起物を形成させることができる(図1及び図2参照)。製膜温度を170℃程度とすることにより、円錐状のナノサイズ突起物を形成させることができる(図3参照)。製膜温度を150℃程度とし、製膜時間を調整することにより、分岐構造を有するナノサイズ突起物を形成させることができる(図4及び図5参照)。
また、例えば、Sn含有量が多くなるにつれて、ナノサイズ突起物の比率H/Wが大きくなり密度が高くなるとともに円錐の先端に存在する球の直径が小さくなる傾向がある(図6及び図7参照)。
また、結晶性を高めるために、得られたナノ構造薄膜に対して加熱、プラズマ処理等を行ってもよい。
また、上記スパッタリングターゲットがSnO212.0重量%のITOターゲットである場合、例えば、投入電力を大きくし、かつ、製膜時間を長くすることにより、分岐構造を有するナノサイズ突起物を形成させることができる(図8、図9及び図10参照)。
DCマグネトロンスパッタ装置にスパッタリングターゲットとしてSnO27.0重量%のITOターゲットを取り付け、アルゴンガス雰囲気下で基板(コーニングガラス#1737基板、厚み0.7mm)を加熱して該基板にスパッタリングを行い、基板上に下地導電層とナノサイズ突起物とを有するナノ構造薄膜を得た。このときのアルゴン圧は0.666Pa、製膜温度は300℃、投入電力は300W、製膜時間は10分であった。
得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡写真(SEM像)を用いて、1mm2以上の領域にわたる任意の5以上の箇所について算出したナノサイズ突起物の密度の平均値は、1mm2あたり8.0×106個であった。また、電子顕微鏡写真(SEM像)から、ナノサイズ突起物は円錐の先端に球を有する形状であり、比率H/Wは6であることがわかった。実施例1で得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡像模式図(倍率:約10万倍)を図1に示す。
製膜時間を25分に変更したこと以外は実施例1と同様にして、ナノ構造薄膜を得た。
得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡写真(SEM像)を用いて、1mm2以上の領域にわたる任意の5以上の箇所について算出したナノサイズ突起物の密度の平均値は、1mm2あたり1.2×107個であった。また、電子顕微鏡写真(SEM像)から、ナノサイズ突起物は円筒状であり、比率H/Wは16であることがわかった。実施例2で得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡像模式図(倍率:約10万倍)を図2に示す。
製膜温度を175℃に変更したこと以外は実施例1と同様にして、ナノ構造薄膜を得た。
得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡写真(SEM像)を用いて、1mm2以上の領域にわたる任意の5以上の箇所について算出したナノサイズ突起物の密度の平均値は、1mm2あたり1.6×107個であった。また、電子顕微鏡写真(SEM像)から、ナノサイズ突起物は円錐状であり、比率H/Wは6であることがわかった。実施例3で得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡像模式図(倍率:約10万倍)を図3に示す。
製膜温度を150℃に変更したこと以外は実施例1と同様にして、ナノ構造薄膜を得た。
得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡写真(SEM像)を用いて、1mm2以上の領域にわたる任意の5以上の箇所について算出したナノサイズ突起物の密度の平均値は、1mm2あたり6.0×106個であった。また、電子顕微鏡写真(SEM像)から、ナノサイズ突起物はこぶ状であり、比率H/Wは2であることがわかった。実施例4で得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡像模式図(倍率:約10万倍)を図4に示す。
製膜温度を150℃に変更し、製膜時間を25分に変更したこと以外は実施例1と同様にして、ナノ構造薄膜を得た。
得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡写真(SEM像)を用いて、1mm2以上の領域にわたる任意の5以上の箇所について算出したナノサイズ突起物の密度の平均値は、1mm2あたり2.0×105個であった。また、電子顕微鏡写真(SEM像)から、ナノサイズ突起物は分岐構造を有し、比率H/Wは6であることがわかった。ただし、ここでは分岐構造を有するナノサイズ突起物の、下地導電層から伸びる主たる幹となる突起部分についての密度及び比率H/Wを示した。実施例5で得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡像模式図(倍率:約10万倍)を図5に示す。
スパッタリングターゲットをSnO25.0重量%のITOターゲットに変更したこと以外は実施例1と同様にして、ナノ構造薄膜を得た。
得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡写真(SEM像)を用いて、1mm2以上の領域にわたる任意の5以上の箇所について算出したナノサイズ突起物の密度の平均値は、1mm2あたり3.4×106個であった。また、電子顕微鏡写真(SEM像)から、ナノサイズ突起物は円錐の先端に球を有する形状であり、比率H/Wは7であることがわかった。実施例6で得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡像模式図(倍率:約10万倍)を図6に示す。
スパッタリングターゲットをSnO220.0重量%のITOターゲットに変更したこと以外は実施例1と同様にして、ナノ構造薄膜を得た。
得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡写真(SEM像)を用いて、1mm2以上の領域にわたる任意の5以上の箇所について算出したナノサイズ突起物の密度の平均値は、1mm2あたり2.8×107個であった。また、電子顕微鏡写真(SEM像)から、ナノサイズ突起物は円錐の先端に球を有する形状であり、比率H/Wは20であることがわかった。実施例7で得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡像模式図(倍率:約10万倍)を図7に示す。
DCマグネトロンスパッタ装置のDC電源をRF電源に変更し、スパッタリングターゲットをSnO212.0重量%のITOターゲットに変更し、製膜時間を240分に変更し、投入電力を150Wに変更したこと以外は実施例1と同様にして、ナノ構造薄膜を得た。
得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡写真(SEM像)を用いて、1mm2以上の領域にわたる任意の5以上の箇所について算出したナノサイズ突起物の密度の平均値は、1mm2あたり1.8×107個であった。また、電子顕微鏡写真(SEM像)から、ナノサイズ突起物は円錐の先端に球を有する形状であり、比率H/Wは50であること、更に、四角柱状の根元を有する形状も混在していることがわかった。実施例8で得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡像模式図(倍率:約10万倍)を図8に示す。
スパッタリングターゲットをSnO212.0重量%のITOターゲットに変更したこと以外は実施例1と同様にして、ナノ構造薄膜を得た。
得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡写真(SEM像)を用いて、1mm2以上の領域にわたる任意の5以上の箇所について算出したナノサイズ突起物の密度の平均値は、1mm2あたり1.5×107個であった。また、電子顕微鏡写真(SEM像)から、ナノサイズ突起物は円錐の先端に球を有する形状であり、比率H/Wは12であることがわかった。実施例9で得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡像模式図(倍率:約10万倍)を図9に示す。
スパッタリングターゲットをSnO212.0重量%のITOターゲットに変更し、製膜時間を60分に変更したこと以外は実施例1と同様にして、ナノ構造薄膜を得た。
得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡写真(SEM像)を用いて、1mm2以上の領域にわたる任意の5以上の箇所について算出したナノサイズ突起物の密度の平均値は、1mm2あたり6.6×106個であった。また、電子顕微鏡写真(SEM像)から、ナノサイズ突起物は樹状構造を有し、比率H/Wは42であることがわかった。ただし、ここでは樹状構造を有するナノサイズ突起物の、下地導電層から伸びる主たる幹となる突起部分についての密度及び比率H/Wを示した。実施例10で得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡像模式図(倍率:約10万倍)を図10(a)に示し、主たる幹となる突起部分5と、該突起部分5からほぼ90°方向に分岐した枝6とからなる樹状構造を有するナノサイズ突起物の拡大模式図を図10(b)に示す。
DCマグネトロンスパッタ装置にスパッタリングターゲットとしてSnO27.0重量%のITOターゲットを取り付け、アルゴンガスに酸素ガスを導入した雰囲気下で基板(コーニングガラス#1737基板、厚み0.7mm)を加熱して該基板にスパッタリングを行った。このときのアルゴン圧は0.666Pa、酸素分圧0.73%になるように酸素ガスを導入し、製膜温度は250℃、投入電力は300W、製膜時間は30秒であった。続いて、酸素ガス導入を中止し、酸素ガスを含まないアルゴンガス雰囲気下で基板を加熱して該基板にスパッタリングを行い、基板上に下地導電層とナノサイズ突起物とを有するナノ構造薄膜を得た。このときのアルゴン圧は0.666Pa、製膜温度は250℃、投入電力は300W、製膜時間は10分であった。
得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡写真(SEM像)を用いて、1mm2以上の領域にわたる任意の5以上の箇所について算出したナノサイズ突起物の密度の平均値は、1mm2あたり3.6×106個であった。また、電子顕微鏡写真(SEM像)から、ナノサイズ突起物は円錐の先端に球を有する形状であり、比率H/Wは4であることがわかった。実施例11で得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡像模式図(倍率:約10万倍)を図11に示す。
基板をプラスチックフィルム(ポリエチレンナフタレート、厚み150μm)に変更し、スパッタリングターゲットをSnO220.0重量%のITOターゲットに変更し、製膜温度を130〜140℃に変更したこと以外は実施例1と同様にして、ナノ構造薄膜を得た。
得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡写真(SEM像)を用いて、1mm2以上の領域にわたる任意の5以上の箇所について算出したナノサイズ突起物の密度の平均値は、1mm2あたり1.5×107個であった。また、電子顕微鏡写真(SEM像)から、ナノサイズ突起物は円錐の先端に球を有する形状であり、比率H/Wは5であることがわかった。実施例12で得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡像模式図(倍率:約10万倍)を図12に示す。
製膜温度を室温(130℃未満)に変更したこと以外は実施例1と同様にして、ナノ構造薄膜を得た。
得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡写真(SEM像)から、ナノサイズ突起物が充分に形成されておらず、比率H/Wが1以上となるナノサイズ突起物は得られなかったことがわかった。
アルゴン圧は0.666Pa、酸素分圧0.73%になるようにアルゴンガスに酸素ガスを導入した雰囲気下に変更したこと以外は実施例1と同様にして、ナノ構造薄膜を得た。
得られたナノ構造薄膜の表面を観察した電子顕微鏡写真(SEM像)から、ナノサイズ突起物が充分に形成されておらず、比率H/Wが1以上となるナノサイズ突起物は得られなかったことがわかった。
実施例、比較例で得られたナノ構造薄膜について、下記の評価を行った。
実施例で得られたナノ構造薄膜について、抵抗率計(Loresta AX MCP−T370、三菱化学アナリテック社製)を用いて4探針法により表面抵抗(Ω/sq)を測定した。なお、ナノサイズ突起物は得られなかったが参考までに比較例1で得られたナノ構造薄膜についても表面抵抗を測定した。結果を表1に示した。なお、表面抵抗が100Ω/sq以下であれば、太陽電池等の光電デバイスの電極として好適に利用可能であるとみなすことができる。
2 基板
3 下地導電層
4 ナノサイズ突起物
5 主たる幹となる突起部分
6 枝
Claims (6)
- 基板上に形成された下地となる下地導電層と、前記下地導電層に接する、前記下地導電層と同素材からなるナノサイズ突起物とを有し、
前記ナノサイズ突起物は、1mm2以上の領域に1mm2あたり1×102〜3×109個の密度で形成されているナノ構造薄膜であって、
前記ナノサイズ突起物の形状が、円錐の先端に直径1〜500nmの球を有する形状を含み、
下地導電層及びナノサイズ突起物は、少なくとも、インジウム、スズ及び酸素を含有する
ことを特徴とするナノ構造薄膜。 - 下地導電層及びナノサイズ突起物は、更に、窒素を含有することを特徴とする請求項1記載のナノ構造薄膜。
- 請求項1又は2記載のナノ構造薄膜からなるナノ構造透明電極であって、基板及び下地導電層が透明であることを特徴とするナノ構造透明電極。
- 請求項1又は2記載のナノ構造薄膜を製造する方法であって、スパッタ装置にスパッタリングターゲットを取り付け、酸素ガスを導入しないで130〜300℃に基板を加熱して該基板に対してスパッタリングを行うことを特徴とするナノ構造薄膜の製造方法。
- アルゴンガス雰囲気下でスパッタリングを行うことを特徴とする請求項4記載のナノ構造薄膜の製造方法。
- アルゴンガスと酸素ガスとの混合ガス雰囲気下でスパッタリングを行い、続いて、酸素ガスを含まないアルゴンガス雰囲気下でスパッタリングを行うことを特徴とする請求項5記載のナノ構造薄膜の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013240207A JP5941452B2 (ja) | 2013-06-17 | 2013-11-20 | ナノ構造薄膜、ナノ構造透明電極、及び、ナノ構造薄膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013127011 | 2013-06-17 | ||
JP2013127011 | 2013-06-17 | ||
JP2013240207A JP5941452B2 (ja) | 2013-06-17 | 2013-11-20 | ナノ構造薄膜、ナノ構造透明電極、及び、ナノ構造薄膜の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015025192A JP2015025192A (ja) | 2015-02-05 |
JP5941452B2 true JP5941452B2 (ja) | 2016-06-29 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5941452B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4457669B2 (ja) * | 2004-01-08 | 2010-04-28 | 東ソー株式会社 | スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
TW201044601A (en) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | Univ Nat Chiao Tung | Three-dimensional indium-tin-oxide electrode, method of fabricating the same, device of fabricating the same, and method of fabricating solar cell comprising the same |
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- 2013-11-20 JP JP2013240207A patent/JP5941452B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
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JP2015025192A (ja) | 2015-02-05 |
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