JP5933152B2 - Magnetic device measuring apparatus and magnetic device measuring method - Google Patents

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Description

本発明は、電磁石による交流磁界を印加して磁気デバイスの特性を測定するための磁気デバイス測定装置及び磁気デバイス測定方法に係り、特に磁気抵抗効果型磁気ヘッドに電磁石による交流磁界を印加して抵抗素子の特性変化を高速に測定することができる磁気デバイス測定装置及び磁気デバイス測定方法に関する。   The present invention relates to a magnetic device measuring apparatus and a magnetic device measuring method for measuring characteristics of a magnetic device by applying an alternating magnetic field by an electromagnet, and more particularly, by applying an alternating magnetic field by an electromagnet to a magnetoresistive effect type magnetic head. The present invention relates to a magnetic device measuring apparatus and a magnetic device measuring method capable of measuring a characteristic change of an element at high speed.

近年の磁気ディスク装置の再生ヘッドとして使用される磁気抵抗効果型磁気ヘッドは、単層又は複数層からなる強磁性薄膜で構成された自由層と非磁性導電層と固定層と反強磁性層からなる薄膜積層デバイスであって、磁気ディスクに記録された信号磁界の変化を受けることによって自由層の磁化方向が容易に回転するように構成され、前記自由層と固定層との磁化方向のなす相対角度によって抵抗値が変化する性質をもつことが知られている。   A magnetoresistive type magnetic head used as a reproducing head of a recent magnetic disk apparatus is composed of a free layer, a nonmagnetic conductive layer, a fixed layer, and an antiferromagnetic layer composed of a single layer or a plurality of layers of a ferromagnetic thin film. A thin film laminated device, wherein the magnetization direction of the free layer is easily rotated by receiving a change in the signal magnetic field recorded on the magnetic disk, and the relative magnetization direction of the free layer and the fixed layer is formed. It is known that the resistance value varies depending on the angle.

この磁気抵抗効果型磁気ヘッドは、製造過程において静電気放電や機械的な衝撃が加わった場合、薄膜へのダメージにより磁気的な特性が変化している可能性があるため、製膜段階や磁気抵抗効果ヘッドを製造した段階において、磁気的特性の測定を行うことが必要である。   This magnetoresistive head has a potential to change its magnetic characteristics due to damage to the thin film when electrostatic discharge or mechanical shock is applied during the manufacturing process. It is necessary to measure the magnetic characteristics at the stage of manufacturing the effect head.

この磁気特性を測定する技術が記載された文献としては、下記の特許文献１が挙げられ、この特許文献１には、磁気ヘッドに外部から変化する磁界を印加し、磁界変化に対する磁気ヘッドの電圧変化を測定することによって微分信号を生成し前記微分信号における高周波成分のみ抽出したフィルタリング信号に基づいて磁気ヘッドの特性を測定する技術と、磁気抵抗効果型ヘッドに対して磁界が印加されている状態と、印加されていない状態におけるヘッド両端電圧を計測し、計測した両端電圧を互いに比較してヘッドが破壊されているか否かを測定する技術と、磁気抵抗効果型磁気ヘッドに外部磁界を縦バイアス磁界とは逆方向に印加したときに、磁気抵抗効果型磁気ヘッドの電気抵抗が所定の範囲内かどうかを測定する技術と、磁気ディスク対向面から磁場強度が±１ｋＯｅ（８０ｋＡ／ｍ）以上の交番磁界を印加したときのセンサの抵抗変化を測定することによって、センサのヒステリシスの度合いを検査して機械的ダメージによる固定層の特性の変化を測定する技術が記載されている。   As a document describing a technique for measuring the magnetic characteristics, the following Patent Document 1 can be cited. This Patent Document 1 applies a magnetic field that varies from the outside to the magnetic head, and the voltage of the magnetic head with respect to the magnetic field change. A technique for measuring the characteristics of a magnetic head based on a filtering signal obtained by generating a differential signal by measuring a change and extracting only a high-frequency component in the differential signal, and a state in which a magnetic field is applied to the magnetoresistive head And a technology that measures the voltage across the head when no voltage is applied and compares the measured voltage across the head to determine whether or not the head is destroyed, and an external magnetic field is applied to the magnetoresistive head. A technique for measuring whether the electric resistance of a magnetoresistive head is within a predetermined range when applied in the direction opposite to the magnetic field; By measuring the resistance change of the sensor when an alternating magnetic field with a magnetic field strength of ± 1 kOe (80 kA / m) or more is applied from the opposite surface, the degree of hysteresis of the sensor is inspected and the characteristics of the fixed layer due to mechanical damage Techniques for measuring changes in are described.

特許第４３８８４９５号公報Japanese Patent No. 4388495

前記の複数の特許文献１に記載された技術は、磁気ヘッドに外部から変化する磁界を印加して前記磁界変化に対する磁気ヘッドの特性変化を測定することができるものの、外部磁界を印加するための電磁石を駆動するための交流電流波形として正弦波を使用しており、磁気ヘッド特性の測定周期が時間的に固定されているため、磁界変化加速度が常に変化し、等磁界ピッチでの特性測定を行うことができないものであった。この特性測定を具体的に説明すると、磁気ヘッドに磁界を印加する電磁石を駆動するための交流電流波形を正弦波とし、測定タイミングパルスが等間隔の場合、図３に示す如く、電磁石の磁界出力Ｈ［Ｏｅ］が、磁界立ち上がり時の測定タイミングにおいては急激に立ち上がる変動量Ｂに対して、磁界ピーク近傍時の測定タイミングにおいては前記変動量Ｂに比べて変化量が極めて小さい変化量Ａとなり、等磁界ピッチでの特性測定を行うことができないものであった。   Although the technique described in the plurality of Patent Documents 1 described above can measure a characteristic change of the magnetic head with respect to the magnetic field change by applying a magnetic field that changes from the outside to the magnetic head, The sinusoidal wave is used as the alternating current waveform for driving the electromagnet, and the measurement cycle of the magnetic head characteristics is fixed in time, so the magnetic field change acceleration always changes, and the characteristic measurement at the equal magnetic field pitch is performed. It was something that could not be done. This characteristic measurement will be described in detail. When the alternating current waveform for driving the electromagnet for applying the magnetic field to the magnetic head is a sine wave and the measurement timing pulses are equally spaced, as shown in FIG. H [Oe] is a change amount A that is very small compared to the variation amount B at the measurement timing near the magnetic field peak, whereas the variation amount B is abruptly rising at the measurement timing when the magnetic field rises. It was impossible to perform characteristic measurement at an equal magnetic field pitch.

このため、従来技術においては、等磁界ピッチで特性測定を行うため、図４の上段に示す如く、電磁石を駆動するための交流電流波形として磁界変化速度が一定の三角波を使用することによって等磁界ピッチでの特性測定を行うことが考えられるが、図４の下段に示す如く、磁界更新周波数を高速化した場合、電磁石の自己インダクタンスの影響によって磁界ピーク近傍の磁界が歪み、高速な特性測定を行うことが困難であるという課題があった。   For this reason, in the prior art, the characteristic measurement is performed at a constant magnetic field pitch. Therefore, as shown in the upper part of FIG. 4, by using a triangular wave having a constant magnetic field change speed as an alternating current waveform for driving an electromagnet, a constant magnetic field is used. Although it is conceivable to measure the characteristics at the pitch, as shown in the lower part of FIG. 4, when the magnetic field update frequency is increased, the magnetic field in the vicinity of the magnetic field peak is distorted due to the influence of the self-inductance of the electromagnet, and high-speed characteristic measurement is performed. There was a problem that it was difficult to do.

本発明の目的は、前述の従来技術による課題を解決しようとするものであり、等磁界ピッチで高速に磁気デバイスの特性測定を行うことができる磁気デバイス測定装置及び磁気デバイス測定方法を提供することである。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-described problems of the prior art, and to provide a magnetic device measuring apparatus and a magnetic device measuring method capable of measuring characteristics of a magnetic device at a high speed with an equal magnetic field pitch. It is.

前記の目的を達成するために請求項１記載の発明は、磁気デバイスに磁界を印加するための電磁石と、前記磁気デバイスの特性変化を測定するための特性測定装置と、一定周期のサンプリングクロック信号を発生するＤ／Ａサンプリングクロック発生器と、前記Ｄ／Ａサンプリングクロック発生器が発生したサンプリングクロック信号を入力とし、前記サンプリングクロック信号をアナログ信号にＤ／Ａ変換した制御電圧Ｖを出力する第１のＤ／Ａコンバータと、前記第１のＤ／Ａコンバータから出力された制御電圧Ｖによって前記電磁石を駆動する正弦波のコイル電流を発生するコイル電源と、前記Ｄ／Ａサンプリングクロック発生器が発生したサンプリングクロック信号を入力とし、前記サンプリングクロック信号をアナログ信号にＤ／Ａ変換して前記特性測定装置の測定タイミングクロックとして出力する第２のＤ／Ａコンバータとを備えた磁気デバイス測定装置であって、前記第２のＤ／Ａコンバータが、前記電磁石の等磁界変化量が同一になるタイミングの測定タイミングクロックを発生するように構成されていることを特徴とし、請求項２記載の発明は、前記特徴の磁気デバイス測定装置において、前記電磁石の等磁界変化量が同一になるタイミングの測定タイミングクロックの発生タイミングｔが、電磁石の磁界出力をＨ［Ｏｅ］、経過時間をｔ［秒］、測定分割数をＮ、磁界出力ピーク値をＡｍｐ［Ｏｅ］としたとき、「ｔ＝ｓｉｎ−１（Ａｍｐ／Ｎ・ｎ）」の数式によって設定されていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, an invention according to claim 1 is directed to an electromagnet for applying a magnetic field to a magnetic device, a characteristic measuring apparatus for measuring a characteristic change of the magnetic device, and a sampling clock signal having a constant period. And a D / A sampling clock generator for generating the D / A sampling clock signal generated by the D / A sampling clock generator, and a control voltage V obtained by D / A converting the sampling clock signal into an analog signal is output. 1 D / A converter, a coil power source that generates a sinusoidal coil current that drives the electromagnet by the control voltage V output from the first D / A converter, and the D / A sampling clock generator The generated sampling clock signal is input, and the sampling clock signal is converted into an analog signal by D / A magnetic device measuring apparatus comprising: a second D / A converter that converts and outputs as a measurement timing clock of the characteristic measuring apparatus, wherein the second D / A converter includes an amount of change in isomagnetic field of the electromagnet Are configured to generate measurement timing clocks having the same timing, and the invention according to claim 2 is characterized in that, in the magnetic device measuring apparatus having the above characteristics, the amount of change in the equal magnetic field of the electromagnets is the same. When the generation timing t of the measurement timing clock of the following timing is H [Oe] for the magnetic field output of the electromagnet, t [seconds] for the elapsed time, N for the number of measurement divisions, and Amp [Oe] for the magnetic field output peak value, It is set by the mathematical expression of “t = sin −1 (Amp / N · n)”.

また、請求項３記載の発明は、磁気デバイスに磁界を印加するための電磁石と、前記磁気デバイスの特性変化を測定するための特性測定装置と、一定周期のサンプリングクロック信号を発生するＤ／Ａサンプリングクロック発生器と、前記Ｄ／Ａサンプリングクロック発生器が発生したサンプリングクロック信号を入力とし、前記サンプリングクロック信号をアナログ信号にＤ／Ａ変換した制御電圧Ｖを出力する第１のＤ／Ａコンバータと、前記第１のＤ／Ａコンバータから出力された制御電圧Ｖによって前記電磁石を駆動する正弦波のコイル電流を発生するコイル電源と、前記Ｄ／Ａサンプリングクロック発生器が発生したサンプリングクロック信号を入力とし、前記サンプリングクロック信号をアナログ信号にＤ／Ａ変換して前記特性測定装置の測定タイミングクロックとして出力する第２のＤ／Ａコンバータとを備えた磁気デバイス測定装置の測定方法であって、前記第２のＤ／Ａコンバータを、前記電磁石の等磁界変化量が同一になるタイミングの測定タイミングクロックを発生するようにしたことを特徴とし、請求項４記載の発明は、前記特徴の磁気デバイス測定方法において、前記電磁石の等磁界変化量が同一になるタイミングの測定タイミングクロックの発生タイミングｔが、電磁石の磁界出力をＨ［Ｏｅ］、経過時間をｔ［秒］、測定分割数をＮ、磁界出力ピーク値をＡｍｐ［Ｏｅ］としたとき、「ｔ＝ｓｉｎ−１（Ａｍｐ／Ｎ・ｎ）」の数式によって設定されていることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, there is provided an electromagnet for applying a magnetic field to a magnetic device, a characteristic measuring apparatus for measuring a characteristic change of the magnetic device, and a D / A for generating a sampling clock signal having a constant period. A sampling clock generator and a first D / A converter that receives the sampling clock signal generated by the D / A sampling clock generator and outputs a control voltage V obtained by D / A converting the sampling clock signal into an analog signal A coil power source for generating a sinusoidal coil current for driving the electromagnet by the control voltage V output from the first D / A converter, and a sampling clock signal generated by the D / A sampling clock generator. As an input, the sampling clock signal is D / A converted into an analog signal to measure the characteristics. A measurement method of a magnetic device measurement apparatus comprising a second D / A converter that outputs a measurement timing clock of the apparatus, wherein the second D / A converter has the same amount of change in the magnetic field of the electromagnet. 5. The method according to claim 4, wherein in the magnetic device measurement method having the above characteristics, the measurement timing clock at the timing at which the amount of change in the equal magnetic field of the electromagnets is the same. When the generation timing t of the electromagnet is H [Oe] for the magnetic field output of the electromagnet, t [seconds] for the elapsed time, N for the number of measurement divisions, and Amp [Oe] for the magnetic field output peak value, “t = sin −1 ( Amp / N · n) ”.

本発明による磁気デバイス測定装置及び磁気デバイス測定方法は、一定周期のサンプリングクロック信号を発生するＤ／Ａサンプリングクロック発生器が発生したサンプリングクロック信号を入力とし、前記サンプリングクロック信号をアナログ信号にＤ／Ａ変換した制御電圧Ｖを出力する第１のＤ／Ａコンバータと、前記第１のＤ／Ａコンバータから出力された制御電圧Ｖによって前記電磁石を駆動する正弦波のコイル電流を発生するコイル電源と、前記サンプリングクロック信号を入力とし、サンプリングクロック信号をアナログ信号にＤ／Ａ変換して前記特性測定装置の測定タイミングクロックとして出力する第２のＤ／Ａコンバータとを備え、前記第２のＤ／Ａコンバータが、前記電磁石の等磁界変化に合わせたタイミングの測定タイミングクロックを発生させることによって、正弦波形状に磁界を変化させるために電磁石の自己インダクタンスによる磁界ピーク近傍の磁界の歪を防止し、且つ磁界の更新周波数を高くすることができる。   According to the magnetic device measuring apparatus and the magnetic device measuring method of the present invention, a sampling clock signal generated by a D / A sampling clock generator that generates a sampling clock signal having a constant period is input, and the sampling clock signal is converted into an analog signal. A first D / A converter that outputs an A-converted control voltage V; a coil power source that generates a sinusoidal coil current that drives the electromagnet by the control voltage V output from the first D / A converter; A second D / A converter that receives the sampling clock signal, converts the sampling clock signal into an analog signal, and outputs the analog clock signal as a measurement timing clock of the characteristic measuring device, The A converter measures the timing according to the change in the isomagnetic field of the electromagnet. By generating timing clock to prevent distortion of the magnetic field of the magnetic field near the peak by the electromagnet of the self-inductance to vary the magnetic field in a sinusoidal shape, and it is possible to increase the update frequency of the magnetic field.

本発明の一実施形態による磁気デバイス測定装置の構成を示す図。The figure which shows the structure of the magnetic device measuring apparatus by one Embodiment of this invention. 本実施形態による磁気デバイス測定装置の電磁石の磁界出力波形を示す図。The figure which shows the magnetic field output waveform of the electromagnet of the magnetic device measuring apparatus by this embodiment. 従来技術による正弦波駆動の磁界出力波形を示す図。The figure which shows the magnetic field output waveform of the sine wave drive by a prior art. 従来技術による三角波駆動の磁界出力波形を示す図。The figure which shows the magnetic field output waveform of the triangular wave drive by a prior art.

以下、本発明による磁気デバイス測定方法を採用した磁気デバイス測定装置を、磁気デバイスを磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）を有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドに適用した一実施形態を図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, an embodiment in which a magnetic device measuring apparatus employing a magnetic device measuring method according to the present invention is applied to a magnetoresistive effect type magnetic head having a magnetoresistive effect element (MR element) will be described in detail with reference to the drawings. Explained.

本実施形態による磁気デバイス測定装置は、図１に示す如く、磁気抵抗効果素子（以下、ＭＲ素子という。）２０に磁界を印加するための電磁石１５と、前記ＭＲ素子２０の抵抗値変化を測定するための特性測定装置１４と、一定周期のディジタル信号であるサンプリングクロック信号を発生するＤ／Ａ（ディジタル／アナログ）サンプリングクロック発生器１２と、前記Ｄ／Ａサンプリングクロック発生器１２が発生したサンプリングクロック信号を入力とし、前記サンプリングクロック信号をアナログ信号にＤ／Ａ変換した制御電圧Ｖを出力するＤ／Ａコンバータ１１と、前記Ｄ／Ａコンバータ１１から出力された制御電圧Ｖによって前記電磁石１５を駆動する正弦波のコイル電流を発生するコイル電源１０と、前記Ｄ／Ａサンプリングクロック発生器１２が発生したサンプリングクロック信号を入力とし、前記サンプリングクロック信号をアナログ信号にＤ／Ａ変換して前記特性測定装置１４の測定タイミングクロックＣＬとして出力するＤ／Ａコンバータ１３とを備え、前記Ｄ／Ａサンプリングクロック発生器１３は、電磁石の等磁界変化（等磁界ピッチ）に合わせたタイミングの測定タイミングクロックＣＬを発生するように構成されている。即ち、前記Ｄ／Ａサンプリングクロック発生器１３が、前記電磁石の等磁界変化量が同一になるタイミングの測定タイミングクロックを発生するように設定されている。   As shown in FIG. 1, the magnetic device measuring apparatus according to the present embodiment measures an electromagnet 15 for applying a magnetic field to a magnetoresistive effect element (hereinafter referred to as MR element) 20 and a change in resistance value of the MR element 20. A characteristic measuring device 14 for performing the sampling, a D / A (digital / analog) sampling clock generator 12 for generating a sampling clock signal which is a digital signal having a constant period, and a sampling generated by the D / A sampling clock generator 12 A D / A converter 11 that receives a clock signal and outputs a control voltage V obtained by D / A converting the sampling clock signal into an analog signal; and the electromagnet 15 is controlled by the control voltage V output from the D / A converter 11. A coil power source 10 for generating a sinusoidal coil current to be driven, and the D / A sampling; A D / A converter 13 that receives the sampling clock signal generated by the lock generator 12 as an input, D / A converts the sampling clock signal into an analog signal, and outputs the analog signal as the measurement timing clock CL; The D / A sampling clock generator 13 is configured to generate a measurement timing clock CL having a timing in accordance with a change in the equal magnetic field (equal magnetic field pitch) of the electromagnet. That is, the D / A sampling clock generator 13 is set so as to generate a measurement timing clock at a timing at which the amount of change in the equal magnetic field of the electromagnet becomes the same.

前記Ｄ／Ａサンプリングクロック発生器１３が発生する電磁石の等磁界変化（等磁界ピッチ）に合わせた測定タイミングクロックＣＬのタイミング時間ｔは、電磁石１５の磁界出力をＨ［Ｏｅ］、経過時間をｔ［秒］としたとき、磁界出力が「Ｈ＝ｓｉｎ ｔ」の数式によって算出することができることから、測定分割数をＮ、磁界出力ピーク値をＡｍｐ［Ｏｅ］としたとき、「ｔ＝ｆ（ｎ）＝ｓｉｎ−１（Ａｍｐ／Ｎ・ｎ）」の数式によって設定することができる。 The timing time t of the measurement timing clock CL in accordance with the change in the equal magnetic field (equal magnetic field pitch) of the electromagnet generated by the D / A sampling clock generator 13 is that the magnetic field output of the electromagnet 15 is H [Oe], and the elapsed time is t. Since the magnetic field output can be calculated by the equation “H = sint” when [seconds], when the number of measurement divisions is N and the magnetic field output peak value is Amp [Oe], “t = f ( n) = sin −1 (Amp / N · n) ”.

このように構成した磁気デバイス測定装置は、前記電磁石駆動用の正弦波を発生するコイル電源１０と、ＭＲ素子２０の抵抗値変化を測定するための測定タイミングクロックＣＬを発生する特性測定装置１４とに共通のＤ／Ａサンプリングクロック発生器１２が発生するサンプリングクロック信号を使用し、前記Ｄ／Ａサンプリングクロック発生器１３が電磁石の等磁界変化（等磁界ピッチ）に合わせた測定タイミングクロックＣＬを発生することによって、Ｄ／Ａサンプリングクロック発生器１２がサンプリングクロック信号を発振したとき、制御電圧Ｖによる正弦波出力の変化に応じて電磁石１５がＭＲ素子２０に正弦波の磁界を印加すると共に、Ｄ／Ａコンバータ１３が電磁石１５の等磁界変化（等磁界ピッチ）に合わせたタイミングで出力される測定タイミングクロックＣＬを特性測定装置１４のトリガとして入力するため、図２に示す如く、磁界立ち上がり時の測定タイミングにおける磁界出力Ｈ［Ｏｅ］の立ち上がる変動量Ｂと、磁界ピーク近傍時の測定タイミングにおける磁界出力Ｈ［Ｏｅ］の変化量Ａとを同一にすることができる。従って、本実施形態による磁気デバイス測定装置は、正弦波磁界であっても等磁界ピッチでＭＲ素子２０の特性を測定することができると共に、正弦波形状に磁界を変化させるために電磁石の自己インダクタンスによる磁界ピーク近傍の磁界の歪を防止することができ、磁界の更新周波数を高くすることができる。   The magnetic device measuring apparatus configured as described above includes the coil power supply 10 that generates the sine wave for driving the electromagnet, the characteristic measuring apparatus 14 that generates the measurement timing clock CL for measuring the resistance value change of the MR element 20, and the like. The sampling clock signal generated by the common D / A sampling clock generator 12 is used, and the D / A sampling clock generator 13 generates the measurement timing clock CL in accordance with the change in the isomagnetic field (equal magnetic field pitch) of the electromagnet. Thus, when the D / A sampling clock generator 12 oscillates the sampling clock signal, the electromagnet 15 applies a sine wave magnetic field to the MR element 20 in accordance with the change in the sine wave output due to the control voltage V, and D / A converter 13 is synchronized with the change in isomagnetic field (equal magnetic field pitch) of the electromagnet 15 Since the output measurement timing clock CL is input as a trigger for the characteristic measurement device 14, as shown in FIG. 2, the fluctuation amount B of the rise of the magnetic field output H [Oe] at the measurement timing when the magnetic field rises, and the vicinity of the magnetic field peak. The change amount A of the magnetic field output H [Oe] at the measurement timing can be made the same. Therefore, the magnetic device measuring apparatus according to the present embodiment can measure the characteristics of the MR element 20 at an equal magnetic field pitch even if it is a sinusoidal magnetic field, and at the same time, the self-inductance of the electromagnet to change the magnetic field to a sinusoidal shape. It is possible to prevent the distortion of the magnetic field near the magnetic field peak, and to increase the magnetic field update frequency.

このように本実施形態による磁気デバイス測定装置及び方法は、ＭＲ素子２０の特性を測定する特性測定装置１４による測定タイミングを、電磁石１５の等磁界変化（等磁界ピッチ）に合わせたタイミングで出力される測定タイミングクロックＣＬによって制御することによって、磁界ピーク近傍の磁界の歪を防止し、且つ磁界の更新周波数を高くすることができ、従って、高精度且つ測定時間を短縮した磁気デバイスの特性を測定することができる。   As described above, in the magnetic device measuring apparatus and method according to the present embodiment, the measurement timing by the characteristic measuring apparatus 14 that measures the characteristics of the MR element 20 is output at a timing that matches the isomagnetic field change (equal magnetic field pitch) of the electromagnet 15. By controlling with the measurement timing clock CL, the distortion of the magnetic field near the magnetic field peak can be prevented, and the magnetic field update frequency can be increased, thus measuring the characteristics of the magnetic device with high accuracy and reduced measurement time. can do.

１０ コイル電源、１１ Ｄ／Ａコンバータ、１２ サンプリングクロック発生器、
１３ Ｄ／Ａコンバータ、１３ サンプリングクロック発生器、
１４ 特性測定装置、１５ 電磁石、２０ ＭＲ素子
10 coil power supply, 11 D / A converter, 12 sampling clock generator,
13 D / A converter, 13 sampling clock generator,
14 characteristic measuring device, 15 electromagnet, 20 MR element

Claims (4)

磁気デバイスに磁界を印加するための電磁石と、前記磁気デバイスの特性変化を測定するための特性測定装置と、一定周期のサンプリングクロック信号を発生するＤ／Ａサンプリングクロック発生器と、前記Ｄ／Ａサンプリングクロック発生器が発生したサンプリングクロック信号を入力とし、前記サンプリングクロック信号をアナログ信号にＤ／Ａ変換した制御電圧Ｖを出力する第１のＤ／Ａコンバータと、前記第１のＤ／Ａコンバータから出力された制御電圧Ｖによって前記電磁石を駆動する正弦波のコイル電流を発生するコイル電源と、前記Ｄ／Ａサンプリングクロック発生器が発生したサンプリングクロック信号を入力とし、前記サンプリングクロック信号をアナログ信号にＤ／Ａ変換して前記特性測定装置の測定タイミングクロックとして出力する第２のＤ／Ａコンバータとを備えた磁気デバイス測定装置であって、前記第２のＤ／Ａコンバータが、前記電磁石の等磁界変化量が同一になるタイミングの測定タイミングクロックを発生するように構成されていることを特徴とする磁気デバイス測定装置。   An electromagnet for applying a magnetic field to the magnetic device, a characteristic measuring device for measuring a characteristic change of the magnetic device, a D / A sampling clock generator for generating a sampling clock signal having a constant period, and the D / A A first D / A converter that receives a sampling clock signal generated by a sampling clock generator and outputs a control voltage V obtained by D / A converting the sampling clock signal into an analog signal; and the first D / A converter A coil power supply that generates a sinusoidal coil current that drives the electromagnet with the control voltage V output from the input and a sampling clock signal generated by the D / A sampling clock generator are input, and the sampling clock signal is an analog signal. D / A conversion into the measurement timing clock of the characteristic measuring device. The second D / A converter includes a second D / A converter that outputs a measurement timing clock at a timing at which the amount of change in the equal magnetic field of the electromagnet is the same. It is comprised so that it may carry out. The magnetic device measuring apparatus characterized by the above-mentioned. 前記電磁石の等磁界変化量が同一になるタイミングの測定タイミングクロックの発生タイミングｔが、電磁石の磁界出力をＨ［Ｏｅ］、経過時間をｔ［秒］、測定分割数をＮ、磁界出力ピーク値をＡｍｐ［Ｏｅ］としたとき、「ｔ＝ｓｉｎ−１（Ａｍｐ／Ｎ・ｎ）」の数式によって設定されていることを特徴とする請求項１記載の磁気デバイス測定装置。 The generation timing t of the measurement timing clock at the same time that the amount of change in the equal magnetic field of the electromagnet becomes the same is H [Oe] for the magnetic field output of the electromagnet, t [seconds] for the elapsed time, N for the number of measurement divisions, and the magnetic field output peak value 2. The magnetic device measurement apparatus according to claim 1, wherein the magnetic device measurement apparatus is set by a mathematical expression of “t = sin −1 (Amp / N · n)”, where Amp [Oe]. 磁気デバイスに磁界を印加するための電磁石と、前記磁気デバイスの特性変化を測定するための特性測定装置と、一定周期のサンプリングクロック信号を発生するＤ／Ａサンプリングクロック発生器と、前記Ｄ／Ａサンプリングクロック発生器が発生したサンプリングクロック信号を入力とし、前記サンプリングクロック信号をアナログ信号にＤ／Ａ変換した制御電圧Ｖを出力する第１のＤ／Ａコンバータと、前記第１のＤ／Ａコンバータから出力された制御電圧Ｖによって前記電磁石を駆動する正弦波のコイル電流を発生するコイル電源と、前記Ｄ／Ａサンプリングクロック発生器が発生したサンプリングクロック信号を入力とし、前記サンプリングクロック信号をアナログ信号にＤ／Ａ変換して前記特性測定装置の測定タイミングクロックとして出力する第２のＤ／Ａコンバータとを備えた磁気デバイス測定装置の測定方法であって、前記第２のＤ／Ａコンバータに、前記電磁石の等磁界変化量が同一になるタイミングの測定タイミングクロックを発生させることを特徴とする磁気デバイス測定方法。   An electromagnet for applying a magnetic field to the magnetic device, a characteristic measuring device for measuring a characteristic change of the magnetic device, a D / A sampling clock generator for generating a sampling clock signal having a constant period, and the D / A A first D / A converter that receives a sampling clock signal generated by a sampling clock generator and outputs a control voltage V obtained by D / A converting the sampling clock signal into an analog signal; and the first D / A converter A coil power supply that generates a sinusoidal coil current that drives the electromagnet with the control voltage V output from the input and a sampling clock signal generated by the D / A sampling clock generator are input, and the sampling clock signal is an analog signal. D / A conversion into the measurement timing clock of the characteristic measuring device. Measuring method of a magnetic device measuring apparatus including a second D / A converter that outputs the same as the second D / A converter, wherein the same magnetic field change amount of the electromagnet is the same as that of the second D / A converter A method for measuring a magnetic device, comprising generating a clock. 前記電磁石の等磁界変化量が同一になるタイミングの測定タイミングクロックの発生タイミングｔが、電磁石の磁界出力をＨ［Ｏｅ］、経過時間をｔ［秒］、測定分割数をＮ、磁界出力ピーク値をＡｍｐ［Ｏｅ］としたとき、「ｔ＝ｓｉｎ−１（Ａｍｐ／Ｎ・ｎ）」の数式によって設定されていることを特徴とする請求項３記載の磁気デバイス測定方法。 The generation timing t of the measurement timing clock at the same time that the amount of change in the equal magnetic field of the electromagnet becomes the same is H [Oe] for the magnetic field output of the electromagnet, t [seconds] for the elapsed time, N for the number of measurement divisions, and the magnetic field output peak value The magnetic device measurement method according to claim 3, wherein Amp [Oe] is set by an equation of “t = sin −1 (Amp / N · n)”.
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