JP5908549B2 - Ultrasonic inspection equipment - Google Patents

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Description

本発明は、圧電変換部により送受信される超音波を用いて、構造物や部品内の欠陥、ボイドや接合部の剥がれ等の状態を可視化する超音波検査用装置に関する。   The present invention relates to an ultrasonic inspection apparatus that visualizes a state such as a defect in a structure or a component, a void, or a peeling of a joint using ultrasonic waves transmitted and received by a piezoelectric transducer.

超音波検査用装置を用い、検査対象である構造物や部品内の、欠陥、ボイド及び接合部の剥がれ等の状態を評価することが広く実施されている。
この検査対象に照射された超音波の反射波であるエコー波形は、検査対象の表面、欠陥、裏面の三つに由来している。そして、欠陥を検出するためにはこの欠陥に由来するエコー波形に着目し抽出する処理が必要になる。このエコー波形を抽出するために、表面由来のエコー波形の通過後を始点とし、裏面由来のエコー波形の通過前を終点とするゲートを設け、このゲートを通過するエコー波形を欠陥由来のものとして取り扱う。そして、この欠陥由来のエコー波形の強度およびタイミングを検出することにより、検査対象における欠陥の位置、大きさ等の情報を可視化している(例えば、特許文献1)。
Using an ultrasonic inspection apparatus, it is widely practiced to evaluate states such as defects, voids, and peeling of joints in structures and parts to be inspected.
The echo waveform, which is the reflected wave of the ultrasonic wave irradiated to the inspection object, is derived from the surface, defect, and back surface of the inspection object. And in order to detect a defect, the process which extracts paying attention to the echo waveform originating in this defect is needed. In order to extract this echo waveform, a gate is provided that starts after passing the echo waveform derived from the front surface and ends before passing the echo waveform derived from the back surface, and the echo waveform passing through this gate is derived from the defect. handle. By detecting the intensity and timing of the echo waveform derived from the defect, information such as the position and size of the defect in the inspection object is visualized (for example, Patent Document 1).

特開2003−121426号公報JP 2003-121426 A

しかし、そのようなゲートを利用する従来の超音波検査用装置では、検査対象の表面と裏面の間隔が一定でない場合は、幅の異なる複数のゲートを設定する必要がある。しかし、検査対象の形状変化に同期させて複数のうち適切なゲートを入れ替えるのは困難が伴い、特にこの形状変化が複雑である場合は誤検出等の欠陥検出の精度低下を起こす問題があった。   However, in a conventional ultrasonic inspection apparatus using such a gate, it is necessary to set a plurality of gates having different widths when the distance between the front surface and the back surface of the inspection target is not constant. However, it is difficult to replace the appropriate gate among the plurality in synchronization with the shape change of the inspection object, and there is a problem that the accuracy of defect detection such as false detection is lowered particularly when this shape change is complicated. .

本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、二次元化して内部表示される検査対象において、内部欠陥やボイド、剥離の検査を高精度かつ容易に実施できる超音波検査用装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of such circumstances, and an ultrasonic inspection apparatus capable of performing inspection of internal defects, voids, and peeling with high accuracy and ease in an inspection object that is two-dimensionally displayed internally. The purpose is to provide.

本発明に係る超音波検査用装置は、検査対象である構造物又は物品に超音波を照射してエコー信号を得る超音波トランスデューサと、前記エコー信号を処理し前記検査対象の内部を可視化した三次元画像情報を生成する信号処理部と、前記検査対象の内部において前記超音波が反射する前記調査対象の裏面の上部に注目領域を定義し、さらに座標変換に関する座標情報を定義する領域定義部と、前記三次元画像情報における前記注目領域以外の画像情報を除去した検査用三次元画像を生成する検査データ生成部と、前記検査対象及び前記超音波トランスデューサのうちいずれか一方を回転させる回転機構と、前記注目領域からの前記エコー信号により認定される欠陥像について前記座標情報で規定される設定軸と直交する前記検査用三次元画像の任意断面のうち欠陥像面積が最大になる面を画像化する二次元画像化部と、を備えることを特徴とするものである。 An ultrasonic inspection apparatus according to the present invention includes an ultrasonic transducer that obtains an echo signal by irradiating a structure or article to be inspected with ultrasonic waves , and a tertiary that processes the echo signal and visualizes the inside of the inspection object. a signal processing unit for generating the original image information, to define the upper part region of interest of the back surface of the surveyed said ultrasonic waves have you inside the test object is reflected, more space definition that defines the coordinate information about the coordinate transformation A rotation unit that rotates any one of the inspection object and the ultrasonic transducer, and an inspection data generation unit that generates a 3D image for inspection from which image information other than the region of interest in the 3D image information is removed mechanism and the echo signal the inspection three-dimensional image perpendicular to the setting axis defined by the coordinate information about the defect image that is certified by from the region of interest Defect image area of any cross-section is characterized in that comprises a two-dimensional imaging unit for imaging a cross section of maximum, the.

本発明によれば、複雑形状の検査対象の内部に存在する欠陥を、高精度でかつ容易に検査することが可能な超音波検査用装置が提供される。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the apparatus for ultrasonic inspection which can test | inspect accurately the defect which exists in the inside of the inspection object of complicated shape with high precision is provided.

本発明に係る超音波検査用装置の第1実施形態を示す構成図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The block diagram which shows 1st Embodiment of the apparatus for ultrasonic inspection which concerns on this invention. (A)複雑形状の検査対象の斜視図、(B)その断面図、(C)エコー信号の波形を示す図。(A) The perspective view of the test object of complicated shape, (B) The sectional drawing, (C) The figure which shows the waveform of an echo signal. (A)超音波トランスデューサが検出したエコー信号に基づく画像情報、(B)検出範囲における注目領域、(C)検出された欠陥の抽出画像、(D)検出された欠陥における欠陥像面積が最大になる部分の断面画像、をそれぞれ示す図。(A) Image information based on echo signal detected by ultrasonic transducer, (B) attention area in detection range, (C) extracted image of detected defect, (D) defect image area in detected defect is maximized The figure which each shows the cross-sectional image of the part which becomes. 超音波検査装置における基準面の補正機能の説明図。Explanatory drawing of the correction | amendment function of the reference plane in an ultrasonic inspection apparatus. 本発明に係る超音波検査用装置の第2実施形態を示す構成図。The block diagram which shows 2nd Embodiment of the apparatus for ultrasonic inspection which concerns on this invention. 本発明に係る超音波検査用装置の第2実施形態の変形例を示す構成図。The block diagram which shows the modification of 2nd Embodiment of the apparatus for ultrasonic inspection which concerns on this invention. (A)第2実施形態に係る超音波検査装置と検査対象との配置関係を示す縦断面図、(B)一つの静止位置で撮像された断面像、(C)検査対象を回転させて連続的に撮像された複数の断面像、をそれぞれ示す図。(A) Longitudinal sectional view showing an arrangement relationship between the ultrasonic inspection apparatus according to the second embodiment and an inspection object, (B) a cross-sectional image captured at one stationary position, and (C) continuous rotation of the inspection object. The figure which shows each of several cross-sectional image imaged automatically. (A)第2実施形態に係る超音波検査装置で撮像された検査対象に含まれる欠陥の表示方式の一例、(B)その他の表示方式の例、をそれぞれ示す図。(A) The figure which shows an example of the display system of the defect contained in the test object imaged with the ultrasonic inspection apparatus which concerns on 2nd Embodiment, (B) The example of another display system, respectively. 第2実施形態において図8(A)に示される矩形表示から図8(B)に示される円形表示への変換を実行する演算式。An arithmetic expression for executing conversion from the rectangular display shown in FIG. 8A to the circular display shown in FIG. 8B in the second embodiment.

(第1の実施の形態)
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
図1に示すように超音波検査用装置は、カップラント27及びシュー25を介して検査対象3に当接させる超音波トランスデューサ2と、この超音波トランスデューサ2にケーブルで接続される装置本体1とから構成されている。
装置本体1は、信号発生部10と、駆動素子選択部11と、信号検出部12と、増幅部13と、A/D変換部14と、信号処理部15と、領域定義部16と、注目領域データ記憶部17と、二次元化情報記憶部18と、判定閾値データ記憶部19と、検査データ生成部20と、二次元画像化部21と、欠陥判別部22と、表示装置23と、制御部24と、基準面検出部28と、修正情報記憶部30と、修正処理部31とから構成されている。
(First embodiment)
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
As shown in FIG. 1, an ultrasonic inspection apparatus includes an ultrasonic transducer 2 that is brought into contact with an inspection object 3 via a coupling 27 and a shoe 25, and an apparatus main body 1 that is connected to the ultrasonic transducer 2 with a cable. It is composed of
The apparatus body 1 includes a signal generation unit 10, a drive element selection unit 11, a signal detection unit 12, an amplification unit 13, an A / D conversion unit 14, a signal processing unit 15, a region definition unit 16, and an attention. An area data storage unit 17, a two-dimensional information storage unit 18, a determination threshold data storage unit 19, an inspection data generation unit 20, a two-dimensional imaging unit 21, a defect determination unit 22, a display device 23, The control unit 24, the reference surface detection unit 28, the correction information storage unit 30, and the correction processing unit 31 are configured.

超音波トランスデューサ2は、圧電素子からなる複数の圧電変換部26をマトリックス状または、直線状に配置したものであり、それぞれの圧電変換部26は、駆動素子選択部11の選択により駆動されるものが決定されて信号発生部10からの駆動信号が導かれる。この電気的な駆動信号を入力すると圧電変換26は、圧電体の性質として超音波を発生し、この超音波は、シュー25を介して検査対象3内の欠陥4に達する。そして、欠陥4から反射する超音波エコーUは再びシュー25を介して圧電変換部26に入力し、それぞれに発生する電気信号は信号検出部12に導かれる。
このように超音波トランスデューサ2は、検査対象3に向けて超音波を出力し、内部欠陥4、さらに表面3a、裏面3bから反射される超音波エコーを受信する。
The ultrasonic transducer 2 has a plurality of piezoelectric transducers 26 made of piezoelectric elements arranged in a matrix or a straight line, and each piezoelectric transducer 26 is driven by selection of the drive element selector 11. Is determined and the drive signal from the signal generator 10 is derived. When this electrical drive signal is input, the piezoelectric conversion 26 generates an ultrasonic wave as a property of the piezoelectric body, and this ultrasonic wave reaches the defect 4 in the inspection object 3 through the shoe 25. Then, the ultrasonic echo U reflected from the defect 4 is input again to the piezoelectric conversion unit 26 via the shoe 25, and an electric signal generated in each is guided to the signal detection unit 12.
As described above, the ultrasonic transducer 2 outputs an ultrasonic wave toward the inspection object 3 and receives an ultrasonic echo reflected from the internal defect 4 and further from the front surface 3a and the back surface 3b.

信号発生部10は、圧電変換部26に超音波を発生させるパルス状または連続の駆動信号を発生し、駆動素子選択部11に導く。この駆動素子選択部11は、駆動すべき一つまたは複数の圧電変換部26を選択した上で、信号発生部10から導かれた駆動信号を導くものである。
信号検出部12は、圧電変換部26で発生するアナログの微弱な電気信号を検出するもので、このアナログ信号のうち検査に適用されるものが増幅部13に導かれる。
The signal generation unit 10 generates a pulse-like or continuous drive signal that causes the piezoelectric conversion unit 26 to generate an ultrasonic wave, and guides it to the drive element selection unit 11. The drive element selection unit 11 guides a drive signal derived from the signal generation unit 10 after selecting one or a plurality of piezoelectric conversion units 26 to be driven.
The signal detection unit 12 detects a weak analog electric signal generated by the piezoelectric conversion unit 26, and the analog signal applied to the inspection is guided to the amplification unit 13.

増幅部13は、導かれたアナログ信号を増幅し、これをA/D変換部14に供給する。このA/D変換部14は、導かれたアナログ信号をデジタル信号にA/D変換し、信号処理部15に導く。
この信号処理部15は内部に並列プロセッサを備えており、A/D変換部14から導かれたデジタル信号を処理し開口合成処理により検査対象3の内部の状態を可視化する三次元画像情報Qを生成する。
The amplifying unit 13 amplifies the derived analog signal and supplies it to the A / D conversion unit 14. The A / D converter 14 A / D converts the derived analog signal into a digital signal, and guides the signal to the signal processor 15.
The signal processing unit 15 includes a parallel processor inside, and processes the digital signal derived from the A / D conversion unit 14 and generates the three-dimensional image information Q for visualizing the internal state of the inspection object 3 by aperture synthesis processing. Generate.

検査に際し、領域定義部16により、検査対象3の内部の注目領域Rの定義情報、検査対象3の内部を二次元表示するための座標情報T、欠陥を判定する閾値を定義する閾値情報Gが生成され、それぞれを、注目領域データ記憶部17、二次元化情報記憶部18、判定閾値データ記憶部19に保存する。   At the time of inspection, the region definition unit 16 generates definition information of the attention region R inside the inspection object 3, coordinate information T for displaying the inside of the inspection object 3 two-dimensionally, and threshold information G that defines a threshold value for determining a defect. These are generated and stored in the attention area data storage unit 17, the two-dimensional information storage unit 18, and the determination threshold value data storage unit 19, respectively.

検査データ生成部20は、信号処理部15が生成した三次元画像情報Qに対して注目領域データ記憶部17に保存された注目領域Rの定義情報を適用し、注目領域R以外の画像情報を除去した検査用三次元画像Sを生成する。
二次元画像化部21は、二次元化情報記憶部18に保存された座標情報Tを用い、設定軸と直交する検査用三次元画像Sの任意断面を検査用二次元画像Fとして変換する。
The inspection data generation unit 20 applies the definition information of the attention area R stored in the attention area data storage section 17 to the three-dimensional image information Q generated by the signal processing section 15, and obtains image information other than the attention area R. The removed inspection three-dimensional image S is generated.
The two-dimensional imaging unit 21 uses the coordinate information T stored in the two-dimensional information storage unit 18 to convert an arbitrary cross section of the inspection three-dimensional image S orthogonal to the set axis as the inspection two-dimensional image F.

修正処理部31は、入力した検査用二次元画像Fを画像修正して修正二次元画像Kを出力するものである。   The correction processing unit 31 corrects the input inspection two-dimensional image F and outputs a corrected two-dimensional image K.

欠陥判別部22は、入力した検査用二次元画像Fに対して判定閾値データ記憶部19に保存された閾値情報Gを適用して、閾値以上、あるいは閾値以下の領域の有無、面積等を判定、計算し、表示装置23に表示出力する。
以上の動作は制御部24によって統括的に制御され、超音波トランスデューサ2の駆動から超音波の発信、受信、画像情報生成、注目領域抽出、判定、表示等の一連動作が実行される。
The defect determination unit 22 applies the threshold information G stored in the determination threshold data storage unit 19 to the input inspection two-dimensional image F, and determines the presence / absence, area, etc. of the region above or below the threshold. Calculated and displayed on the display device 23.
The above operations are comprehensively controlled by the control unit 24, and a series of operations such as driving of the ultrasonic transducer 2, transmission of ultrasonic waves, reception, image information generation, attention area extraction, determination, and display are executed.

図2を参照して、本実施形態に係る超音波検査用装置を用いて複雑形状を有する検査対象3の検査例を示す。
検査対象3は、図2(A)に示されるように、裏面3bが波打った裏面形状を持つ複雑形状であり、平坦な表面3aに超音波トランスデューサ2を接触させてX方向に動かして検査を行う。図示していないが、適切なシュー、カップラントが用いられているものとする。
With reference to FIG. 2, an inspection example of the inspection object 3 having a complicated shape using the ultrasonic inspection apparatus according to the present embodiment will be described.
As shown in FIG. 2A, the inspection object 3 is a complicated shape having a back surface shape in which the back surface 3b is undulated. The ultrasonic transducer 2 is brought into contact with the flat surface 3a and moved in the X direction for inspection. I do. Although not shown in the figure, it is assumed that appropriate shoes and couplings are used.

図2(B)の検査対象3の断面図に示されるように、注目領域Rは同図の波打った裏面の上部に設定されているとする。そして、超音波トランスデューサ2は、検査対象3の注目領域Rに対し表面3aから裏面3bの方向に向けて超音波を照射する。すると、表面3a、裏面3b及び注目領域Rの内部に存在する欠陥4から超音波エコーが反射される。   As shown in the cross-sectional view of the inspection object 3 in FIG. Then, the ultrasonic transducer 2 irradiates the attention area R of the inspection object 3 with ultrasonic waves from the front surface 3a toward the back surface 3b. Then, the ultrasonic echo is reflected from the front surface 3a, the back surface 3b, and the defect 4 existing inside the region of interest R.

図2(C)は、超音波トランスデューサ2で受信した超音波エコーを電気信号に変換したエコー信号であり、図の左から右に向かって時間が経過するように表示されている。右側の波形は表面3aに対応した表面エコー波形5であり、左側の波形は裏面3bに対応した裏面エコー波形6であり、欠陥4が存在する場合には、表面エコー波形5、裏面エコー波形6の間に欠陥エコー波形7が表示される。   FIG. 2C is an echo signal obtained by converting the ultrasonic echo received by the ultrasonic transducer 2 into an electrical signal, and is displayed so that time elapses from the left to the right in the figure. The waveform on the right side is the surface echo waveform 5 corresponding to the front surface 3a, the waveform on the left side is the back surface echo waveform 6 corresponding to the back surface 3b, and when there is a defect 4, the surface echo waveform 5 and the back surface echo waveform 6 are present. In the meantime, the defect echo waveform 7 is displayed.

図3に基づき超音波検査装置により検出された欠陥を可視化するプロセスを説明する。
図3(A)は信号処理部15で生成される三次元画像情報Qの側面図である。図面において平面表示されているが、実際には図の奥行き方向にも画像情報が生成されている。超音波トランスデューサ2としてリニアアレイプローブ、マトリクスアレイプローブの両方が使用可能であるが、リニアアレイプローブの場合には1回の画像化で超音波トランスデューサ2の直下の断面像(プローブの開口方向をY軸とし、検査対象の深さ方向をZ軸とするとY−Z面の二次元画像)が生成される。超音波トランスデューサ2をX方向に移動(スキャン)させることにより、複数の断面像を順次生成し、これらを結合させることにより図3(A)に示す三次元画像情報Qを生成する。マトリクスアレイプローブを用いた場合には、1回でXYZの三次元構造の単位画像が生成され、この単位画像を結合することにより、同様の三次元画像情報Qを生成する。
A process for visualizing defects detected by the ultrasonic inspection apparatus will be described with reference to FIG.
FIG. 3A is a side view of the three-dimensional image information Q generated by the signal processing unit 15. Although it is displayed in a plane in the drawing, image information is actually generated also in the depth direction of the drawing. Both the linear array probe and the matrix array probe can be used as the ultrasonic transducer 2, but in the case of the linear array probe, a cross-sectional image immediately below the ultrasonic transducer 2 (the opening direction of the probe is represented by Y in one imaging). A two-dimensional image of the YZ plane) is generated where the axis is the axis and the depth direction of the inspection object is the Z axis. A plurality of cross-sectional images are sequentially generated by moving (scanning) the ultrasonic transducer 2 in the X direction, and the three-dimensional image information Q shown in FIG. When the matrix array probe is used, a unit image having a three-dimensional structure of XYZ is generated at one time, and the same three-dimensional image information Q is generated by combining the unit images.

図3(A)の画像には検査対象3(図2)の表面エコー像Ea、裏面エコー像Ebが含まれている。図3(B)に示される注目領域Rの部分のみを抽出するために、領域定義部16(図1)で作成され注目領域データ記憶部17に保存されている定義情報を用いる。   The image in FIG. 3A includes a front surface echo image Ea and a back surface echo image Eb of the inspection object 3 (FIG. 2). In order to extract only the portion of the attention area R shown in FIG. 3B, definition information created by the area definition section 16 (FIG. 1) and stored in the attention area data storage section 17 is used.

そして、検査データ生成部20において、信号処理部15が生成した三次元画像情報Qに対し、注目領域データ記憶部17に保存されている注目領域Rの定義情報による処理をすることにより、指定された注目領域Rのデータのみが抽出され、図3(C)に示すような表面エコー像Ea、裏面エコー像Ebが除去された検査用三次元画像Sに変換される。   Then, in the inspection data generation unit 20, the 3D image information Q generated by the signal processing unit 15 is designated by performing processing based on the definition information of the attention area R stored in the attention area data storage section 17. Only the data of the attention area R is extracted and converted into the inspection three-dimensional image S from which the front surface echo image Ea and the back surface echo image Eb are removed as shown in FIG.

ここで、注目領域Rの定義情報は、この注目領域Rの構成画素を"1"これ以外の部分を"0"とするメッシュデータとし、このメッシュデータを信号処理部15が生成した三次元画像情報Qにメッシュ単位に掛け合わせることで、注目領域Rに該当するデータのみの抽出が実行される。なお、この例では注目領域Rとして矩形のものを示しているが、矩形に限らず任意の形の注目領域Rを設定できる。   Here, the definition information of the attention area R is mesh data in which the constituent pixels of the attention area R are “1” and other portions are “0”, and the mesh data is generated by the signal processing unit 15. By multiplying the information Q by the mesh unit, only the data corresponding to the attention area R is extracted. In this example, a rectangular area is shown as the attention area R. However, the attention area R is not limited to a rectangle and can be set to an arbitrary shape.

領域定義部16で定義された座標変換に関する座標情報Tが、二次元化情報記憶部18に保存されている。この座標情報Tは、図3(C)に例示されるxyzの3軸からなる座標系であって、検査対象3を基準に定めたXYZ座標系とは別個のものである。図3では、注目領域Rは波打った裏面3bの上部となっているために、従来ではXYZ座標系における超音波の進行方向(Z軸)との直交面(XY平面)へ欠陥像が投影される形で二次元画像化が行われる。このため、従来では、検査対象3を基準に設定されるXYZ座標系に対し、傾いた主面を有する欠陥4を撮像すると、形が歪んだ欠陥4の二次元像が生成されることになる。   The coordinate information T related to the coordinate transformation defined by the region definition unit 16 is stored in the two-dimensional information storage unit 18. This coordinate information T is a coordinate system consisting of the three axes xyz illustrated in FIG. 3C, and is separate from the XYZ coordinate system defined with the inspection object 3 as a reference. In FIG. 3, since the attention area R is the upper part of the undulating back surface 3b, a defect image is conventionally projected on a plane (XY plane) orthogonal to the traveling direction of the ultrasonic wave (Z axis) in the XYZ coordinate system. Two-dimensional imaging is performed in the form. For this reason, conventionally, when the defect 4 having the inclined main surface is imaged with respect to the XYZ coordinate system set with the inspection object 3 as a reference, a two-dimensional image of the defect 4 having a distorted shape is generated. .

そこで本実施形態では、二次元画像化部21において、設定軸(ここではz軸)と直交する欠陥4の任意断面のうち欠陥像面積が最大になる面を画像化するようになっている。つまり、欠陥4の主面にz軸が直交するようにxyz座標系を定義し、x−y平面座標に沿う面において二次元画像化を行う。これにより、図3(D)に示すような欠陥4の主面に平行な、歪みのない二次元化された検査用二次元画像Fが生成される。   Therefore, in the present embodiment, the two-dimensional imaging unit 21 images a surface having the maximum defect image area in an arbitrary cross section of the defect 4 orthogonal to the setting axis (here, the z axis). That is, an xyz coordinate system is defined so that the z-axis is orthogonal to the main surface of the defect 4, and two-dimensional imaging is performed on a plane along the xy plane coordinates. Thereby, a two-dimensionalized inspection two-dimensional image F parallel to the main surface of the defect 4 as shown in FIG.

この検査用二次元画像F(又は修正二次元画像K)に対して、領域定義部16で定義され判定閾値データ記憶部19に保存された閾値情報Gを適用し、欠陥判別部22で演算を実行する。これにより、欠陥4が画像化された表示用二次元画像Hが生成され、表示装置23によって表示される。この表示用二次元画像Hは、検査用二次元画像Fを構成する画素の画素値を判定閾値データ記憶部19に保存された閾値情報Gと比較することにより行われる。下限閾値以上、あるいは上限閾値以下にて欠陥4に由来する像であると判定されるが、この方法に限定されるわけではない。   The threshold information G defined by the region definition unit 16 and stored in the determination threshold data storage unit 19 is applied to the inspection two-dimensional image F (or the corrected two-dimensional image K), and the defect determination unit 22 performs the calculation. Run. Thereby, a display two-dimensional image H in which the defect 4 is imaged is generated and displayed by the display device 23. The display two-dimensional image H is performed by comparing the pixel values of the pixels constituting the inspection two-dimensional image F with the threshold information G stored in the determination threshold data storage unit 19. Although it is determined that the image is derived from the defect 4 at the lower threshold or higher or lower than the upper threshold, the present invention is not limited to this method.

一方において、欠陥判別部22は、後記する基準面検出部28による基準面補正情報Pに基づいて閾値情報Gを変化させて適用する場合がある。これは、検査対象3の表面3a及び裏面3bと超音波トランスデューサ2との相対距離が変化することによって、欠陥4に由来する超音波エコーの強度が変化することによる。   On the other hand, the defect determination unit 22 may change and apply the threshold information G based on reference plane correction information P by a reference plane detection unit 28 described later. This is because the intensity of the ultrasonic echo derived from the defect 4 changes as the relative distance between the front surface 3a and the back surface 3b of the inspection object 3 and the ultrasonic transducer 2 changes.

さらに、欠陥判別部22は、検査用二次元画像Fの強度を判定して、閾値情報Gを変化させて適用することができる。これは、生成された検査用二次元画像Fは、検査条件に依存して、全体として明るかったり暗かったりして、必ずしも常に同じ強度を持つものではない。このために、同じ閾値情報Gを適用すると、検査条件が異なることによっては欠陥なし、欠陥あり等の判定が分かれる場合が想定される。このような事態に対処するために、例えば生成された検査用二次元画像Fの全体の平均的な画像強度を求め、この平均値が基準値より高ければ、判定に適用する閾値を高く補正し、基準値より低ければ、適用する閾値を低く補正するようにする。これにより、検査条件を変更して撮像された、明るさ強度が相違する複数の二次元検査用画像に対しても、適切な欠陥判定が可能となる。   Furthermore, the defect determination unit 22 can determine the intensity of the inspection two-dimensional image F and apply the threshold information G by changing the threshold information G. This is because the generated inspection two-dimensional image F is bright or dark as a whole depending on the inspection conditions, and does not always have the same intensity. For this reason, when the same threshold value information G is applied, it may be assumed that there are different determinations such as no defect and presence of a defect depending on different inspection conditions. In order to deal with such a situation, for example, the average image intensity of the generated two-dimensional image F for inspection is calculated, and if this average value is higher than the reference value, the threshold applied to the determination is corrected to be high. If it is lower than the reference value, the threshold value to be applied is corrected to be low. Accordingly, it is possible to perform appropriate defect determination even for a plurality of two-dimensional inspection images having different brightness intensities that are imaged by changing the inspection conditions.

図1に示される基準面検出部28は、信号処理部15が生成する三次元画像情報Qから、注目領域データ記憶部17で保存されている注目領域Rの定義情報が適用される基準面を補正する補正情報Pを出力するものである。この基準面補正情報Pは、この基準面検出部28から検査データ生成部20に転送されて、前記した基準面の補正が実行される。   The reference plane detection unit 28 shown in FIG. 1 determines a reference plane to which the definition information of the attention area R stored in the attention area data storage section 17 is applied from the three-dimensional image information Q generated by the signal processing section 15. The correction information P to be corrected is output. The reference plane correction information P is transferred from the reference plane detection unit 28 to the inspection data generation unit 20, and the above-described correction of the reference plane is executed.

図4を参照して基準面検出部28の動作を説明する。
超音波検査の際、超音波トランスデューサ2と検査対象3の間の距離が変化することがある。このようなことが起こると、検査対象3に正しく注目領域Rを設定することが困難となるが、基準面検出部28はこのような問題に対処するためのものである。
The operation of the reference plane detection unit 28 will be described with reference to FIG.
During the ultrasonic inspection, the distance between the ultrasonic transducer 2 and the inspection object 3 may change. If this happens, it is difficult to correctly set the attention area R in the inspection object 3, but the reference plane detection unit 28 is for coping with such a problem.

超音波トランスデューサ2と検査対象3の間の距離が変化した場合、図4(A)から図4(B)に示すように、三次元画像情報Q中の表面エコーEaの位置が基準面に対し変化することになる。基準面検出部28は三次元画像情報Q中の現在の表面位置Bを検出し、注目領域データ記憶部17に保存されている注目領域Rの定義情報の表面位置Aを基準面とみなして減算し、基準面補正情報Pを算出する。この基準面補正情報Pは、検査データ生成部20に出力されて、図4(C)に示すように、注目領域Rの定義情報を適用する位置を補正する。これにより、超音波トランスデューサ2と検査対象3の間の距離が変化しても正しい検査用三次元画像Sの抽出が可能となる。   When the distance between the ultrasonic transducer 2 and the inspection object 3 changes, as shown in FIGS. 4A to 4B, the position of the surface echo Ea in the three-dimensional image information Q is relative to the reference plane. Will change. The reference plane detection unit 28 detects the current surface position B in the 3D image information Q, and subtracts the surface position A of the definition information of the attention area R stored in the attention area data storage section 17 as a reference plane. Then, the reference plane correction information P is calculated. The reference plane correction information P is output to the inspection data generation unit 20 and corrects the position where the definition information of the attention area R is applied, as shown in FIG. As a result, even when the distance between the ultrasonic transducer 2 and the inspection object 3 changes, the correct three-dimensional image S for inspection can be extracted.

一方において、基準面検出部28で生成した基準面補正情報Pを、欠陥判別部22に適用し、検査対象3の表面3a又は裏面3bが位置変化しても、閾値情報Gを適切に変化させて適用することができる。これにより、超音波トランスデューサ2と検査対象3の間の距離が変化して、検査対象3の内部で超音波の伝搬条件が変化しても、閾値情報Tを補正して検査用二次元画像Fに対し欠陥4に関する正しい判定が可能になる。   On the other hand, the reference plane correction information P generated by the reference plane detection unit 28 is applied to the defect determination unit 22, and the threshold information G is appropriately changed even if the position of the front surface 3a or the back surface 3b of the inspection target 3 changes. Can be applied. As a result, even if the distance between the ultrasonic transducer 2 and the inspection object 3 changes and the ultrasonic propagation conditions change inside the inspection object 3, the threshold information T is corrected and the inspection two-dimensional image F is corrected. On the other hand, it is possible to correctly determine the defect 4.

図1に示される修正情報記憶部30は、領域定義部16が検査用2次元画像Fを画像修正するための修正情報Jを保存する機能を有する。そして、修正処理部31は、この修正情報Jを用いて、二次元画像化部21が生成した検査用二次元画像Fの各メッシュ毎に乗算、あるいは加算、または二つの予め定義した二次元テーブルの一つを乗算、もう一つを加算することにより、修正二次元検査画像Kを生成し、欠陥判別部22に送る機能を有している。   The correction information storage unit 30 illustrated in FIG. 1 has a function of storing correction information J for the region definition unit 16 to correct the inspection two-dimensional image F. Then, the correction processing unit 31 uses the correction information J to perform multiplication or addition for each mesh of the inspection two-dimensional image F generated by the two-dimensional imaging unit 21, or two predefined two-dimensional tables. 1 is added and the other is added to generate a corrected two-dimensional inspection image K and send it to the defect determination unit 22.

一般に、検査対象3の内部状態や超音波の伝搬経路等の影響により、二次元画像化部21が生成する検査用二次元画像Fは必ずしも一様にならないことがある。このような検査用二次元画像Fに対し、欠陥判別部22において閾値情報Fを適用して欠陥判定を行うと、欠陥検出の正確性を欠く場合がある。   In general, the inspection two-dimensional image F generated by the two-dimensional imaging unit 21 may not necessarily be uniform due to the influence of the internal state of the inspection object 3, the propagation path of ultrasonic waves, and the like. If the defect determination unit 22 applies the threshold information F to the inspection two-dimensional image F and performs defect determination, the defect detection accuracy may be lacking.

そこで、このような事象に対処するために、予め検査対象3の内部状態、超音波の伝搬経路等を考慮して作成した修正情報Jを修正情報記憶部30に保存しておき、この修正情報Jを修正処理部31において、検査用二次元画像Fに対し適用することにより、一様な修正二次元検査画像Kを生成できるようにしたものである。   Therefore, in order to deal with such an event, the correction information J created in advance considering the internal state of the inspection object 3, the ultrasonic propagation path, etc. is stored in the correction information storage unit 30, and this correction information is stored. The correction processing unit 31 applies J to the inspection two-dimensional image F so that a uniform correction two-dimensional inspection image K can be generated.

(第2の実施の形態)
図5は、本発明の第2の実施形態に係る超音波検査用装置の説明図である。第2の実施形態では円柱ないし円筒状の検査対象3を載置した状態で回転する回転機構(ターンテーブル33a)を具備している。そして、検査対象3の上面あるいは側面に超音波トランスデューサ2を固定して水等のカップラントを介して音響結合できるようにし、回転する検査対象3の内部を検査するようにしている。図示していないが、超音波トランスデューサ2と検査対象3の間には水等のカップラントが介在するよう、全体を水槽に入れる等して構成される。
(Second Embodiment)
FIG. 5 is an explanatory diagram of an ultrasonic inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention. In the second embodiment, a rotation mechanism (turn table 33a) that rotates in a state where a cylindrical or cylindrical inspection object 3 is placed is provided. Then, the ultrasonic transducer 2 is fixed to the upper surface or the side surface of the inspection object 3 so that it can be acoustically coupled through a coupling agent such as water, and the inside of the rotating inspection object 3 is inspected. Although not shown in the drawing, the entire structure is placed in a water tank so that a coupling agent such as water is interposed between the ultrasonic transducer 2 and the inspection object 3.

図6は、第2の実施形態に係る超音波検査用装置の変形例の説明図である。この変形例では、円柱ないし円筒状の検査対象3の上面あるいは側面に配置される超音波トランスデューサ2を、この検査対象3の周りに沿って回転する機構(ターンテーブル33b)に、固定させた構成となっている。
このターンテーブル33bは、回転駆動機構32によって駆動され、その下面に超音波トランスデューサ2が取り付けられている。
FIG. 6 is an explanatory diagram of a modification of the ultrasonic inspection apparatus according to the second embodiment. In this modification, the ultrasonic transducer 2 arranged on the upper surface or side surface of a cylindrical or cylindrical inspection object 3 is fixed to a mechanism (turn table 33b) that rotates around the inspection object 3. It has become.
This turntable 33b is driven by the rotational drive mechanism 32, and the ultrasonic transducer 2 is attached to the lower surface thereof.

また図示していないが、超音波トランスデューサ2と検査対象3は、間に水等のカップラントが介在するよう、全体を水槽に入れる等して音響結合構成されている。また、この例では超音波トランスデューサ2と装置本体1を直接ケーブルで繋いでいるので、ターンテーブル33bは連続的に回転するのではなく、−180度から+180度の範囲の往復動作を行うことを想定している。もしくは、超音波トランスデューサ2に接続されるケーブルの中間にスリップリング等の回転信号伝達機構を設けることで、ターンテーブル33bを連続的に回転させることも可能である。   Although not shown, the ultrasonic transducer 2 and the inspection object 3 are acoustically coupled by placing the whole in a water tank so that a coupling agent such as water is interposed therebetween. In this example, since the ultrasonic transducer 2 and the apparatus main body 1 are directly connected by a cable, the turntable 33b does not rotate continuously, but performs a reciprocating operation in a range of −180 degrees to +180 degrees. Assumed. Alternatively, the turntable 33b can be continuously rotated by providing a rotation signal transmission mechanism such as a slip ring in the middle of the cable connected to the ultrasonic transducer 2.

図7は、第2の実施形態に係る超音波検査用装置における画像化方法の説明図である。
第2の実施形態において、超音波トランスデューサ2は検査対象3の上面に平行に配置しても良いし、ある傾きを持って配置しても良い。図7(A)は傾きがある例であり、超音波は、その入射経路34に示すように検査対象3の上面で屈折して検査対象3の内部に入射する。尚、超音波トランスデューサ2と検査対象3の間には水が介在しているものとする。超音波トランスデューサ2により検査対象3内部の画像化される領域は、破線で示した画像化領域35であり、検査対象3のZ軸周りの回転に伴って、予め決められた角度の変位毎に、図7(B)に示されるようなY−Z平面の画像化がなされる。検査対象3の全体を検査する場合は、Z軸周りに1回転させて生成した画像を評価することになり、得られる検査画像は、図7(C)に示されるようにY−Z平面の矩形断面の束となる。
FIG. 7 is an explanatory diagram of an imaging method in the ultrasonic inspection apparatus according to the second embodiment.
In the second embodiment, the ultrasonic transducer 2 may be arranged parallel to the upper surface of the inspection object 3 or may be arranged with a certain inclination. FIG. 7A shows an example in which there is an inclination, and the ultrasonic wave is refracted on the upper surface of the inspection object 3 and enters the inspection object 3 as indicated by the incident path 34. It is assumed that water is interposed between the ultrasonic transducer 2 and the inspection object 3. An area that is imaged inside the inspection object 3 by the ultrasonic transducer 2 is an imaging area 35 indicated by a broken line, and every time a predetermined angle is displaced along with the rotation of the inspection object 3 around the Z axis. The imaging of the YZ plane as shown in FIG. 7B is performed. When the entire inspection object 3 is inspected, an image generated by one rotation around the Z axis is evaluated, and the obtained inspection image is in the YZ plane as shown in FIG. A bundle of rectangular cross sections.

この例では検査対象3内部の検査対象の上面と平行な領域の欠陥4を検査することを想定しており、得られた三次元画像情報Qを検査用二次元画像Fに変換する座標情報Tは図7に示されるXYZ座標系となる。そして、図7(A)による三次元画像情報Qに対しこのXYZ座標系を適用し、Z軸に直交する欠陥4の断面面積が最大値を示すX−Y二次元画像が検査用二次元画像Fとして採用されることになる。   In this example, it is assumed that the defect 4 in the region parallel to the upper surface of the inspection target inside the inspection target 3 is inspected, and the coordinate information T for converting the obtained three-dimensional image information Q into the inspection two-dimensional image F. Is the XYZ coordinate system shown in FIG. Then, this XYZ coordinate system is applied to the three-dimensional image information Q shown in FIG. 7A, and an XY two-dimensional image in which the cross-sectional area of the defect 4 orthogonal to the Z axis shows the maximum value is an inspection two-dimensional image. It will be adopted as F.

よって、第2の実施形態において二次元化情報記憶部18(図1)に保存される座標情報Tは、検査データ生成部20で生成された図7(C)に示されるY−Z平面の矩形断面の束から構成される検査用三次元画像Sから、図8(A)のようにY−X矩形表示される検査用二次元画像Fに変換するとともに、図8(B)のようにXc−Yc円形表示される検査用二次元画像Fに変換する機能を備える。そして、二次元画像化部21においては、このような座標情報Tの機能のうちいずれかが選択されて、検査用三次元画像Sから検査用二次元画像Fに座標の変換処理がなされる。   Therefore, the coordinate information T stored in the two-dimensional information storage unit 18 (FIG. 1) in the second embodiment is the YZ plane shown in FIG. 7C generated by the inspection data generation unit 20. A three-dimensional image S for inspection composed of a bundle of rectangular cross sections is converted into a two-dimensional image F for inspection displayed in a YX rectangle as shown in FIG. 8A, and as shown in FIG. 8B. A function of converting into a two-dimensional image F for inspection displayed in a circular form Xc-Yc is provided. In the two-dimensional imaging unit 21, one of the functions of the coordinate information T is selected, and a coordinate conversion process is performed from the inspection three-dimensional image S to the inspection two-dimensional image F.

図9は、第2の実施形態において図8(A)に示される矩形表示から図8(B)に示される円形表示への変換を実行する演算式の一例である。
ここで、図8(B)に示される円形表示変換後のA座標(xcA、ycA)と、これに対応する図8(A)に示される変換前の矩形表示のA座標(xA、yA)とは図9に示される演算式により関係付けられている。但し、円形表示変換後の画像の12時の方向が変換の基点であり、これを基点に矩形画像を時計方向に円形表示変換するものとする。また矩形画像の長さxeは、1回転分に相当するものとする。
FIG. 9 is an example of an arithmetic expression for executing conversion from the rectangular display shown in FIG. 8A to the circular display shown in FIG. 8B in the second embodiment.
Here, the A coordinate (xcA, ycA) after the circular display conversion shown in FIG. 8B and the A coordinate (xA, yA) of the rectangular display before the conversion shown in FIG. 8A corresponding thereto. Is related by the arithmetic expression shown in FIG. However, the 12 o'clock direction of the image after the circular display conversion is the conversion base point, and the rectangular image is converted into a circular display in the clockwise direction using this as the base point. The length xe of the rectangular image corresponds to one rotation.

図9の演算式中のyofsは円形表示変換の一つのパラメータであり、円形表示した際の元の矩形画像の径方向表示位置を決める。Xc−Yc座標系の各点毎にY−X座標系上の座標を求め、その点の検査用二次元画像を取り出し、Xc−Yc座標系に貼り付ける処理を、Xc−Yc座標系の必要な範囲全体に対して行うことで、矩形画像を円形に変換して表示することが可能となる。なお必要に応じて右辺第1項に係数を乗じてyAを求めることで、スケールの変換等を行うことも可能である。領域定義部16に、yofs、円形変換の方向(時計方向、反時計方向)、あるいは右辺第1項に乗ずる係数等を定義させる機能を持たせ、これを二次元化情報記憶部18に保存し、二次元画像化部21で上記例のような矩形画像の円形表示変換を行わせてもよい。   In FIG. 9, yofs is one parameter for circular display conversion, and determines the radial display position of the original rectangular image when circular display is performed. A process for obtaining coordinates on the YX coordinate system for each point in the Xc-Yc coordinate system, taking out a two-dimensional image for inspection at that point, and pasting it on the Xc-Yc coordinate system is necessary for the Xc-Yc coordinate system. By performing this over the entire range, the rectangular image can be converted into a circle and displayed. If necessary, scale conversion or the like can be performed by multiplying the first term on the right side by a coefficient to obtain yA. The area definition unit 16 has a function to define yofs, a circular transformation direction (clockwise, counterclockwise), a coefficient to be multiplied by the first term on the right side, and the like, which is stored in the two-dimensional information storage unit 18. The two-dimensional imaging unit 21 may perform circular display conversion of a rectangular image as in the above example.

以上説明した通り、本発明の超音波検査用装置により、複雑な検査対象内部の注目領域を詳細に指定し、高精度の二次元画像により欠陥判定させることが可能となり、複雑な検査対象の内部欠陥やボイド、剥離を正確に抽出して検査することが可能となる。
本発明は前記した実施形態に限定されるものでなく、共通する技術思想の範囲内において、適宜変形して実施することができる。
As described above, the ultrasonic inspection apparatus according to the present invention makes it possible to specify a region of interest inside a complicated inspection target in detail and to determine a defect using a high-precision two-dimensional image. Defects, voids, and delamination can be accurately extracted and inspected.
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be appropriately modified and implemented within the scope of the common technical idea.

1…装置本体、2…超音波トランスデューサ、3…検査対象、3a…表面、3b…裏面、4…欠陥、5…表面エコー波形、6…裏面エコー波形、7…欠陥エコー波形、10…信号発生部、11…駆動素子選択部、12…信号検出部、13…増幅部、14…A/D変換部、15…信号処理部、16…領域定義部、17…注目領域データ記憶部、18…二次元化情報記憶部、19…判定閾値データ記憶部、20…検査データ生成部、21…二次元画像化部、22…欠陥判別部、23…表示装置、24…制御部、25…シュー、26…圧電変換部、27…カップラント、28…基準面検出部、30…修正情報記憶部、31…修正処理部、32…回転駆動機構、33a,33b…ターンテーブル、34…入射経路、35…画像化領域、Ea…表面エコー像、Eb…裏面エコー像、Ec…欠陥エコー像、P…基準面補正情報、Q…三次元画像情報、R…注目領域、S…検査用三次元画像、T…座標情報、G…閾値情報、H…表示用二次元画像、J…修正情報、K…修正二次元検査画像。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Apparatus main body, 2 ... Ultrasonic transducer, 3 ... Inspection object, 3a ... Front surface, 3b ... Back surface, 4 ... Defect, 5 ... Surface echo waveform, 6 ... Back surface echo waveform, 7 ... Defect echo waveform, 10 ... Signal generation 11, drive element selection unit, 12, signal detection unit, 13, amplification unit, 14, A / D conversion unit, 15, signal processing unit, 16, region definition unit, 17, attention region data storage unit, 18,. Two-dimensional information storage unit, 19 ... Determination threshold data storage unit, 20 ... Inspection data generation unit, 21 ... Two-dimensional imaging unit, 22 ... Defect determination unit, 23 ... Display device, 24 ... Control unit, 25 ... Shoe, DESCRIPTION OF SYMBOLS 26 ... Piezoelectric conversion part, 27 ... Coupling, 28 ... Reference plane detection part, 30 ... Correction information storage part, 31 ... Correction processing part, 32 ... Rotation drive mechanism, 33a, 33b ... Turntable, 34 ... Incident path, 35 ... imaging area, Ea ... surface eco Image, Eb ... Back echo image, Ec ... Defect echo image, P ... Reference plane correction information, Q ... Three-dimensional image information, R ... Region of interest, S ... Three-dimensional image for inspection, T ... Coordinate information, G ... Threshold information , H: display two-dimensional image, J: correction information, K: correction two-dimensional inspection image.

Claims (4)

検査対象である構造物又は物品に超音波を照射してエコー信号を得る超音波トランスデューサと、
前記エコー信号を処理し前記検査対象の内部を可視化した三次元画像情報を生成する信号処理部と、
前記検査対象の内部において前記超音波が反射する前記調査対象の裏面の上部に注目領域を定義し、さらに座標変換に関する座標情報を定義する領域定義部と、
前記三次元画像情報における前記注目領域以外の画像情報を除去した検査用三次元画像を生成する検査データ生成部と、
前記検査対象及び前記超音波トランスデューサのうちいずれか一方を回転させる回転機構と、
前記注目領域からの前記エコー信号により認定される欠陥像について前記座標情報で規定される設定軸と直交する前記検査用三次元画像の任意断面のうち欠陥像面積が最大になる面を画像化する二次元画像化部と、を備えることを特徴とする超音波検査用装置。
An ultrasonic transducer that obtains an echo signal by irradiating the structure or article to be inspected with ultrasonic waves;
A signal processor for processing the echo signal and generating three-dimensional image information that visualizes the inside of the inspection object;
A region defining section for the have you inside of the test object by defining a region of interest on the top of the back of the surveyed said ultrasound is reflected, further defines the coordinate information about the coordinate transformation,
An inspection data generation unit that generates an inspection 3D image in which image information other than the region of interest in the 3D image information is removed;
A rotating mechanism for rotating either one of the inspection object and the ultrasonic transducer;
Imaging the cross-section of the defect image area of any cross-section of the inspection three-dimensional image for defects image to be certified by the echo signal is orthogonal to the set axis defined by the coordinate information is maximized from the region of interest And a two-dimensional imaging unit.
前記検査対象、前記超音波トランスデューサ及びこれらの間に介在させるカップラントを入れた水槽を、さらに備える請求項1に記載の超音波検査用装置。   The ultrasonic inspection apparatus according to claim 1, further comprising a water tank in which the inspection object, the ultrasonic transducer, and a coupling agent interposed therebetween are placed. 前記回転機構は、−180度から+180度の範囲の往復動作を行う請求項1又は請求項2に記載の超音波検査用装置。   The ultrasonic inspection apparatus according to claim 1, wherein the rotation mechanism performs a reciprocating operation in a range of −180 degrees to +180 degrees. 前記回転機構の予め決められた変位毎に前記画像化して得られた複数の二次元画像を座標変換して一つの座標に表示させる表示部を、さらに備える請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の超音波検査用装置。   4. The display device according to claim 1, further comprising: a display unit configured to perform coordinate conversion of a plurality of two-dimensional images obtained by the imaging for each predetermined displacement of the rotation mechanism and display the same on one coordinate. The apparatus for ultrasonic inspection according to 1.
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