JP5894228B2 - Continuous production method of metal fine particles, conductive curable composition, and electronic device - Google Patents

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Description

本発明は、複数の放射状に突出する錐状突起を有する金属微粒子の連続的製造方法、該金属微粒子と硬化性有機樹脂とからなる導電性硬化性組成物および該導電性硬化性組成物を使用して電子部品を接合してなる電子機器に関する。 The present invention uses a method for continuously producing metal fine particles having a plurality of radially projecting conical protrusions, a conductive curable composition comprising the metal fine particles and a curable organic resin, and the conductive curable composition. The present invention relates to an electronic device formed by joining electronic components.

導電性粒子として銀粉末を熱硬化性樹脂組成物中に分散させてなる導電性ペーストは、加熱により硬化して導電性被膜や、導電層を形成するので、プリント回路基板上の導電性回路の形成;抵抗器やコンデンサ等の各種電子部品の電極の形成;各種表示素子の電極の形成;電磁波シールド用導電性被膜の形成;コンデンサ、抵抗、ダイオード、メモリ、演算素子(CPU)等のチップ部品の基板への接着;太陽電池の電極、特にアモルファスシリコン半導体を用いた高温処理のできない太陽電池の電極の形成;積層セラミックコンデンサー、積層セラミックインダクター、積層セラミックアクチュエータ等のチップ型セラミック電子部品の外部電極の形成等に使用されている。 The conductive paste made by dispersing silver powder as the conductive particles in the thermosetting resin composition is cured by heating to form a conductive film or a conductive layer. Formation; Formation of electrodes for various electronic components such as resistors and capacitors; Formation of electrodes for various display elements; Formation of conductive film for electromagnetic wave shielding; Chip components such as capacitors, resistors, diodes, memories, and arithmetic elements (CPUs) Bonding to the substrate; Formation of solar cell electrodes, especially solar cell electrodes that cannot be processed at high temperature using amorphous silicon semiconductors; External of chip-type ceramic electronic components such as multilayer ceramic capacitors, multilayer ceramic inductors, multilayer ceramic actuators Used to form electrodes.

導電性ペースト用の従来の金属微粒子は、いずれも隣接する金属微粒子同士の表面における点接触を利用して、電気接続することを意図しているため、接触面積が小さく、バインダー樹脂を含んだ状態において接続導体間で得られる導通抵抗の値が大きいという問題が見られた。
また、従来の金属微粒子は、バインダー樹脂を含んだ状態では、導電性ペーストの導電率が一般に低く、そのため、接続導体間において導電性ペーストを介して所定の導通抵抗を得るには、バインダー樹脂中に多量の金属微粒子を添加しなければならなかった。したがって、従来の導電性ペーストにおいては、導電性ペーストの粘度が上昇し、取り扱いが困難であるという問題が見られた。また、このような導電性ペーストの取り扱い性を向上させるために、金属微粒子の添加量を過度に制限したり、あるいは、有機溶剤等の稀釈剤を多量に使用しなければならないという問題も見られた。
The conventional metal fine particles for conductive paste are all intended to be electrically connected using point contact on the surfaces of adjacent metal fine particles, so the contact area is small and the binder resin is included The problem that the value of the conduction resistance obtained between the connection conductors was large was observed.
Further, conventional metal fine particles generally have a low conductivity of the conductive paste in a state where the binder resin is included. Therefore, in order to obtain a predetermined conduction resistance between the connecting conductors via the conductive paste, A large amount of fine metal particles had to be added. Therefore, the conventional conductive paste has a problem that the viscosity of the conductive paste is increased and the handling is difficult. In addition, in order to improve the handleability of such conductive paste, there is a problem that the amount of metal fine particles added is excessively limited or a large amount of a diluent such as an organic solvent must be used. It was.

かかる問題を解決するために、多数の突起を有する金属微粒子、その製造法、多数の突起を有する金属微粒子を含有する導電性ペーストが、特許第3828787号(特許文献1)、特許第4059486号(特許文献2)、特開2003−45227(特許文献3)、特開2006−228474(特許文献4)、特開2009−144196(特許文献5)、特開2007−191786(特許文献6)などで提案されている。 In order to solve such a problem, a metal fine particle having a large number of protrusions, a method for producing the same, and a conductive paste containing metal fine particles having a large number of protrusions are disclosed in Japanese Patent No. 3828787 (Patent Document 1) and Japanese Patent No. 4059486 ( Patent Document 2), JP-A 2003-45227 (Patent Document 3), JP-A 2006-228474 (Patent Document 4), JP-A 2009-144196 (Patent Document 5), JP-A 2007-191786 (Patent Document 6), etc. Proposed.

特許第3828787号(特許文献1)には、主成分が銀またはニッケルであり、放射状に延設した凸部および凹部を備えるとともに、隣接する導電粉間で、当該凸部と、凹部とが相互に嵌合連結することにより導電経路を形成する液相還元法を用いた導電粉の製造方法が開示されている。
この導電粉の製造方法は、容器内の金属塩水溶液に還元剤を滴下して還元するバッチ式反応によるものであり、製造効率が低いという問題点がある。また、製造された導電粉の粒子形状が安定しないという問題点がある。
In Japanese Patent No. 3828787 (Patent Document 1), the main component is silver or nickel, and includes convex portions and concave portions extending radially, and the convex portions and the concave portions are adjacent to each other between adjacent conductive powders. There is disclosed a method for producing conductive powder using a liquid phase reduction method in which a conductive path is formed by fitting and connecting to a metal.
This method for producing conductive powder is based on a batch-type reaction in which a reducing agent is dropped into a metal salt aqueous solution in a container for reduction, and there is a problem that production efficiency is low. Further, there is a problem that the particle shape of the manufactured conductive powder is not stable.

特許第4059486号(特許文献2)には、放射状に延設された凸部と、当該凸部の間隙に凹部と、を備えるとともに、内部に、導電材料としての銀またはニッケルを結晶成長させるための核物質であって、当該核物質として、金属系粒子またはセラミック系粒子を含んでなる銀またはニッケルを含むことを特徴とする導電粉が開示されている。
この導電粉は、導電粉の核物質となる金属系粒子またはセラミック系粒子を用意し、核物質を中心に銀またはニッケルを結晶成長させる必要があり、製造手順が煩雑であるという問題点がある。また、製造された導電粉の粒子形状が安定しないという問題点がある。
Japanese Patent No. 4059486 (Patent Document 2) includes a radially extending convex portion and a concave portion in the gap between the convex portions, and for crystal growth of silver or nickel as a conductive material therein. A conductive powder characterized by containing silver or nickel containing metal-based particles or ceramic-based particles as the core material.
This conductive powder has the problem that it is necessary to prepare metal-based particles or ceramic-based particles that are the core material of the conductive powder, and to grow silver or nickel crystals around the core material, and the manufacturing procedure is complicated. . Further, there is a problem that the particle shape of the manufactured conductive powder is not stable.

特開2003−45227(特許文献3)には、複数の放射状突起部を有する第1導電性粒子を含有する導電ペースト、および、前記第1導電性粒子に加え、樹枝状導電性粒子、鱗片状導電性粒子および球状導電性粒子からなる群より選ばれる1種以上の第2導電性粒子を含有する導電ペーストが開示されている。前記第1導電性粒子は金属からなり、前記放射状突起部は原料金属粒子の表面に金属成長により形成されるので、粒子形状が安定しないという問題点がある。粒子の形状(粒子径、突起形状)が安定しないと導電性ペーストにした場合、微小吐出性試験で詰まりが発生する原因になるという問題点もある。 JP-A-2003-45227 (Patent Document 3) discloses a conductive paste containing first conductive particles having a plurality of radial protrusions, and dendritic conductive particles and scale-like particles in addition to the first conductive particles. A conductive paste containing one or more second conductive particles selected from the group consisting of conductive particles and spherical conductive particles is disclosed. Since the first conductive particles are made of metal and the radial protrusions are formed on the surface of the raw metal particles by metal growth, there is a problem that the particle shape is not stable. If the shape (particle diameter, protrusion shape) of the particles is not stable, when the conductive paste is used, there is a problem that clogging may occur in a micro discharge test.

特開2006−228474(特許文献4)には、基材微粒子の表面が導電性膜で被覆されており、前記導電性膜は表面に隆起した突起を有する導電性微粒子であって、導電性微粒子の表面積の70〜90%が隆起した突起で覆われていることを特徴とする導電性微粒子が開示されている。この導電性微粒子は、基材微粒子の表面に芯物質を付着させ、無電解メッキにより導電性膜を被覆する方法;基材微粒子の表面を、無電解メッキにより導電性膜を被覆した後、芯物質を付着させ、更に無電解メッキにより導電性膜を被覆する方法により製造され、製造手順が非常に煩雑であるという問題点がある。また、突起をなす芯物質が基材微粒子表面から脱落しやすいというという問題点があり、更に、突起が小さいため、突起同士の接触が十分でなく、導電性が低いという問題点がある。 In JP-A-2006-228474 (Patent Document 4), the surface of a substrate fine particle is coated with a conductive film, and the conductive film is a conductive fine particle having protrusions raised on the surface, and the conductive fine particle There are disclosed conductive fine particles characterized in that 70 to 90% of the surface area is covered with raised protrusions. This conductive fine particle is a method in which a core substance is attached to the surface of the substrate fine particle, and the conductive film is coated by electroless plating; after the surface of the substrate fine particle is coated by the electroless plating, the core is coated There is a problem in that it is manufactured by a method in which a substance is adhered and a conductive film is coated by electroless plating, and the manufacturing procedure is very complicated. In addition, there is a problem that the core material forming the protrusion easily falls off from the surface of the substrate fine particles, and furthermore, since the protrusion is small, there is a problem that the contact between the protrusions is not sufficient and the conductivity is low.

特開2009−144196(特許文献5)には、中心部と、該中心部から栗のイガ状に突き出した複数の突起とを有しており、最大径が100nm以上3000nm以下である、金属粒子が開示されている。
この金属粒子は、最大径が20nm以下の球形あるいは円柱形金粒子のコロイド水溶液を準備する工程と、前記コロイド水溶液に、塩化金酸と臭化セチルトリメチルアンモニウムと水酸化ナトリウムとの水溶液を加えて攪拌し、前記球形金粒子の周囲に栗のイガ状に突き出した突起を複数形成させる工程Aと、前記工程Aの後に、前記突起が形成された金粒子を取り出す工程により製造され、製造手順が複雑であるという問題点がある。また、製造された金属粒子の形状が安定しないという問題点がある。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-144196 (Patent Document 5) has a central part and a plurality of protrusions protruding from the central part in a chestnut-like shape, and has a maximum diameter of 100 nm to 3000 nm. Is disclosed.
The metal particles are prepared by preparing a colloidal aqueous solution of spherical or cylindrical gold particles having a maximum diameter of 20 nm or less, and adding an aqueous solution of chloroauric acid, cetyltrimethylammonium bromide, and sodium hydroxide to the colloidal aqueous solution. It is manufactured by a step A of forming a plurality of protrusions protruding like chestnuts around the spherical gold particles, and a step of taking out the gold particles on which the protrusions are formed after the step A. There is a problem that it is complicated. Moreover, there is a problem that the shape of the manufactured metal particles is not stable.

特開2007−191786(特許文献6)には、粒径が0.1μm〜10μmであって、外表面に高さが粒径の1/4よりも低い多数の錐状突起を一体的に有するニッケル粉とその製造方法、ニッケル粉がマトリクス樹脂中に混入されている複合材が開示されている。しかしながら、バッチ式製造方法なので製造効率が低く、錐状突起は小さくて背が低く、ニッケル粉のCV値は200%前後であり、該ニッケル粉がマトリクス樹脂中に混入されている複合材は導電性が顕著に低いという問題がある。 Japanese Patent Laid-Open No. 2007-191786 (Patent Document 6) integrally has a large number of conical projections having a particle diameter of 0.1 μm to 10 μm and a height lower than ¼ of the particle diameter on the outer surface. A composite material in which nickel powder and its manufacturing method and nickel powder are mixed in a matrix resin is disclosed. However, since it is a batch production method, the production efficiency is low, the conical protrusions are small and short, the CV value of nickel powder is around 200%, and the composite material in which the nickel powder is mixed in the matrix resin is conductive. There is a problem that the property is remarkably low.

特許第5126862号(特許文献7)には、接近・離反可能に互いに対向して配設され、少なくとも一方が他方に対して回転する第1処理用面と第2処理用面との間に、液相である被処理流動体を導入し、この被処理流動体の圧力により第1処理用面から第2処理用面を離反させる方向に移動させる力を発生させ、この力によって、第1処理用面と第2処理用面との間が微小な間隔に保たれ、この微小間隔に保たれた第1処理用面と第2処理用面との間を通過する該被処理流動体が薄膜流体を形成し、該薄膜流体中で金属イオンと還元剤とが反応して金属微粒子を析出する金属微粒子の製造方法が開示されており、国際公開第2012/124046号(特許文献8)にも同様の金属微粒子の製造方法が開示されているが、いずれも、析出する金属微粒子は球状であり、錐状突起を有する金属微粒子に無意識であり、錐状突起を有する金属微粒子を析出させるための条件は何ら記載されていない。 In Japanese Patent No. 5126862 (Patent Document 7), the first processing surface and the second processing surface, which are arranged to face each other so as to be able to approach and separate from each other and at least one rotates with respect to the other, A fluid to be treated which is a liquid phase is introduced, and a force for moving the second processing surface away from the first processing surface is generated by the pressure of the fluid to be processed. A gap between the working surface and the second processing surface is maintained at a minute interval, and the fluid to be processed passing between the first processing surface and the second processing surface maintained at the minute interval is a thin film. A method for producing metal fine particles is disclosed in which a fluid is formed, and metal ions and a reducing agent react in the thin film fluid to precipitate metal fine particles. International Publication No. 2012/1224046 (Patent Document 8) also discloses. Although the same method for producing fine metal particles has been disclosed, That the fine metal particles are spherical, an unconscious metallic fine particles having a cone-shaped projection, conditions for depositing the fine metal particles having a cone-shaped projection is not described at all.

特許第3828787号公報Japanese Patent No. 3828787 特許第4059486号公報Japanese Patent No. 4059486 特開2003−45227号公報JP 2003-45227 A 特開2006−228474号公報JP 2006-228474 A 特開2009−144196号公報JP 2009-144196 A 特開2007−191786号公報JP 2007-191786 A 特許第5126862号公報Japanese Patent No. 5126862 国際公開第2012/124046号公報International Publication No. 2012/1224046

本発明者らは、上記問題点のない金属微粒子の製造方法、すなわち、表面に複数の放射状に突出する錐状突起を有する金属微粒子を安定して連続的に製造する方法を見出し、その結果、該方法で製造した金属微粒子と硬化性有機樹脂を混合することにより、吐出性と硬化物の導電性が優れた導電性硬化性組成物とすることができることを見出し、本発明を完成するに至った。 The present inventors have found a method for producing metal fine particles without the above-mentioned problems, that is, a method for stably and continuously producing metal fine particles having a plurality of radially protruding conical protrusions on the surface, and as a result, It has been found that by mixing the metal fine particles produced by this method and a curable organic resin, it is possible to obtain a conductive curable composition excellent in dischargeability and cured product conductivity, and the present invention has been completed. It was.

本発明の目的は、金属塩を還元剤により還元して金属微粒子を連続的に製造する方法であって、複数の放射状に突出する錐状突起であってその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形である錐状突起を有し、該三角形の頂角が10〜40度であり、該複数の錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、平均粒径が0.01〜10μmであり、金属微粒子の粒度分布のCV値が100%以下である金属微粒子を、一工程で連続的に効率よく安定して連続的に製造できる方法、かくして製造された金属微粒子と硬化性有機樹脂からなり、吐出性と硬化物の導電性が優れた導電性硬化性組成物、および、該導電性硬化性組成物を使用してディスクリート部品とチップ部品と回路基板とから選択される電子部品を接続してなる電子機器を提供することにある。 An object of the present invention is a method for continuously producing fine metal particles by reducing a metal salt with a reducing agent, and a plurality of radially projecting conical projections having a side shape in a transmission electron micrograph. Having a triangular cone-shaped projection, the apex angle of the triangle is 10 to 40 degrees, and the plurality of cone-shaped projections are in contact with each other, intimately or in close contact with each other, and have an average particle size of Method for producing metal fine particles having a particle size distribution of 0.01 to 10 μm and having a CV value of 100% or less of metal fine particles continuously and stably in one step, and thus produced metal fine particles And a curable organic resin, and a conductive curable composition with excellent dischargeability and cured product conductivity, and a discrete component, a chip component, and a circuit board using the conductive curable composition Connected electronic components It is to provide an electronic apparatus that is.

この目的は、下記[1]〜[17]により達成することができる。
[1] 接近・離反可能に互いに対向して配設され、少なくとも一方が他方に対して回転する第1処理用面と第2処理用面との間に、液相である被処理流動体を導入し、この被処理流動体の圧力により第1処理用面から第2処理用面を離反させる方向に移動させる力を発生させ、この力によって、第1処理用面と第2処理用面との間が微小な間隔に保たれ、この微小間隔に保たれた第1処理用面と第2処理用面との間を通過する該被処理流動体が薄膜流体を形成し、該薄膜流体中で金属イオンと還元剤とが反応して金属微粒子を析出する金属微粒子の連続的製造方法であって、
該被処理流動体は、少なくとも2つの被処理流動体からなり、第1の被処理流動体は少なくとも還元剤とpH調整剤を含有するpHが8〜13の範囲の水性媒体であり、第2の被処理流動体は少なくとも金属塩を含有するpHが3〜7の範囲の水性媒体であり、第1の被処理流動体のpHは第2の被処理流動体のpHより1〜8大きく、各被処理流動体が各々別の導入路から該第1処理用面と第2処理用面との間に導入され、該金属イオンがpH5より大きく12以下である該薄膜流体中で還元されて金属微粒子を析出し、該金属微粒子は複数の放射状に突出する錐状突起であってその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形である錐状突起を有し、該三角形の頂角が10〜40度であり、該複数の錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、平均粒径が0.01〜10μmであり、金属微粒子の粒度分布のCV値が100%以下であることを特徴とする、金属微粒子の連続的製造方法。
[1-1] 金属微粒子は、透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形である錐状突起の高さが平均粒径の1/4よりも大きいものを4個以上有することを特徴とする、[1]に記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[1-2] 該錐状突起は、その高さが錐状突起の根元の面積円相当径の1.1〜5倍であることを特徴する、[1]または[1-1]に記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[1-3] 該錐状突起は、多角錐状、円錐状または楕円錐状であることを特徴する、[1]、[1-1]または[1-2]に記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[2] 第1の被処理流動体と第2の被処理流動体のいずれか、または両方が、さらに沸点上昇剤および/または分散剤を含有することを特徴とする、[1],[1-1]または[1-2]に記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[3] 前記被処理流動体は、3つの被処理流動体である第1の被処理流動体と第2の被処理流動体と第3の被処理流動体とからなり、第1の被処理流動体は少なくとも還元剤とpH調整剤を含有するpHが8〜13の範囲の水性媒体であり、第2の被処理流動体は少なくとも金属塩を含有するpHが3〜7の範囲の水性媒体であり、第3の被処理流動体は少なくとも分散剤を含有する水性媒体であり、該第1の被処理流動体と第2の被処理流動体と第3の被処理流動体が別々の導入路から前記第1処理用面と第2処理用面との間に導入されて、pH5より大きく12以下の薄膜流体を形成することを特徴とする、[1],[1-1]または[1-2]に記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[4] 被処理流動体中の金属塩と還元剤とpH調整剤は、水、水溶性アルコール、または、水と水溶性アルコールの混合物に溶解していることを特徴とする、[1]または[3]に記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[4-1] 被処理流動体中の沸点上昇剤と分散剤は、水、水溶性アルコール、または、水と水溶性アルコールの混合物に溶解していることを特徴とする、[2]に記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[5] 金属塩が、ニッケル塩、鉄塩、コバルト塩またはクロム塩であり、金属微粒子が、ニッケル微粒子、鉄微粒子、コバルト微粒子、または、クロム微粒子であることを特徴とする、[1]〜[4],[1-1],[1-2]のいずれかに記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[6] 還元剤が、有機系還元剤、または、無機系還元剤と有機系還元剤であることを特徴とする、[1]〜[4],[1-1],[1-2]のいずれかに記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[7] pH調整剤が、有機系のアルカリもしくは酸、無機系のアルカリもしくは酸、またはアルカリ性もしくは酸性の塩であることを特徴とする、[1]〜[4],[1-1],[1-2]のいずれかに記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[8] 沸点上昇剤が、多価アルコールまたはポリエーテルであることを特徴とする、[2],[4]または[4-1]に記載の金属微粒子の製造方法。
[9] 分散剤が、高・中級脂肪酸塩、天然高分子分散剤または合成高分子分散剤であることを特徴とする、[2]または[3]に記載の金属微粒子の連続的製造方法。
This object can be achieved by the following [1] to [17].
[1] A fluid to be treated which is a liquid phase is disposed between a first processing surface and a second processing surface, which are disposed so as to be able to approach and separate from each other and at least one of which rotates relative to the other. And a force for moving the second processing surface away from the first processing surface by the pressure of the fluid to be processed is generated, and by this force, the first processing surface and the second processing surface Between the first processing surface and the second processing surface that are maintained at the minute interval, the fluid to be processed forms a thin film fluid, and the thin film fluid A method for continuously producing metal fine particles in which metal ions and a reducing agent react to precipitate metal fine particles,
The fluid to be treated is composed of at least two fluids to be treated, and the first fluid to be treated is an aqueous medium having a pH in the range of 8 to 13 and containing at least a reducing agent and a pH adjuster. The fluid to be treated is an aqueous medium having a pH of 3 to 7 containing at least a metal salt, and the pH of the first fluid to be treated is 1 to 8 larger than the pH of the second fluid to be treated. Each fluid to be treated is introduced between the first processing surface and the second processing surface through a separate introduction path, and the metal ions are reduced in the thin film fluid having a pH of greater than 5 but not greater than 12. Metal fine particles are deposited, and the metal fine particles have a plurality of radially projecting conical protrusions whose conical protrusions have a triangular side surface shape in a transmission electron micrograph, and the apex angle of the triangle is 10 to 10. 40 degrees, and the plurality of conical protrusions are in contact with each other at their roots Closely closely or in contact, the average particle diameter of 0.01 to 10 [mu] m, wherein the CV value of the particle size distribution of the fine metal particles is less than 100%, the continuous production method of fine metal particles.
[1-1] The metal fine particles are characterized by having four or more conical protrusions whose side surface shape is triangular in the transmission electron micrograph is larger than 1/4 of the average particle diameter. [1] The method for continuously producing fine metal particles according to [1].
[1-2] The cone-shaped projection is described in [1] or [1-1], wherein the height of the cone-shaped projection is 1.1 to 5 times the area circle equivalent diameter at the base of the cone-shaped projection. A continuous production method for metal fine particles.
[1-3] The conical protrusions are polygonal pyramid, conical or elliptical conical, characterized in that the continuous metal fine particles according to [1], [1-1] or [1-2] Manufacturing method.
[2] One or both of the first treated fluid and the second treated fluid further contain a boiling point increasing agent and / or a dispersing agent, [1], [1 -1] or [1-2] A continuous production method of metal fine particles.
[3] The fluid to be treated includes three fluids to be treated, which are a first fluid to be treated, a second fluid to be treated, and a third fluid to be treated. The fluid is an aqueous medium having a pH in the range of 8 to 13 containing at least a reducing agent and a pH adjuster, and the second treated fluid is an aqueous medium having a pH of 3 to 7 containing at least a metal salt. The third treated fluid is an aqueous medium containing at least a dispersant, and the first treated fluid, the second treated fluid, and the third treated fluid are separately introduced. [1], [1-1] or [1], wherein the thin film fluid is introduced between the first processing surface and the second processing surface from the path to form a thin film fluid having a pH greater than 5 but not greater than 12. 1-2] The continuous manufacturing method of the metal microparticles.
[4] The metal salt, reducing agent, and pH adjuster in the fluid to be treated are dissolved in water, water-soluble alcohol, or a mixture of water and water-soluble alcohol, [1] or [3] The method for continuously producing fine metal particles according to [3].
[4-1] The boiling point increasing agent and dispersant in the fluid to be treated are dissolved in water, water-soluble alcohol, or a mixture of water and water-soluble alcohol, according to [2] A continuous production method for metal fine particles.
[5] The metal salt is a nickel salt, iron salt, cobalt salt or chromium salt, and the metal fine particles are nickel fine particles, iron fine particles, cobalt fine particles, or chromium fine particles, [1] to [4] A continuous production method of metal fine particles according to any one of [1-1] and [1-2].
[6] The reducing agent is an organic reducing agent, or an inorganic reducing agent and an organic reducing agent, [1] to [4], [1-1], [1-2] A method for continuously producing metal fine particles according to any one of the above.
[7] The pH adjuster is an organic alkali or acid, an inorganic alkali or acid, or an alkaline or acidic salt, [1] to [4], [1-1], [1-2] The method for continuously producing fine metal particles according to any one of the above.
[8] The method for producing fine metal particles according to [2], [4] or [4-1], wherein the boiling point raising agent is a polyhydric alcohol or a polyether.
[9] The continuous production method of metal fine particles according to [2] or [3], wherein the dispersant is a high / intermediate fatty acid salt, a natural polymer dispersant, or a synthetic polymer dispersant.

[9-1] 金属塩が,ニッケル塩,鉄塩,コバルト塩またはクロム塩であり、金属微粒子が,ニッケル微粒子,鉄微粒子,コバルト微粒子またはクロム微粒子であり、還元剤が,有機系還元剤,または,無機系還元剤と有機系還元剤であり、pH調整剤が,有機系のアルカリもしくは酸,無機系のアルカリもしくは酸,またはアルカリ性もしくは酸性の塩であることを特徴とする、[1]〜[4],[1-1],[1-2],[4-1]のいずれかに記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[9-2] 沸点上昇剤が,多価アルコールまたはポリエーテルであり、金属塩が,ニッケル塩,鉄塩,コバルト塩またはクロム塩であり、金属微粒子が,ニッケル微粒子,鉄微粒子,コバルト微粒子またはクロム微粒子であり、還元剤が,有機系還元剤,または,無機系還元剤と有機系還元剤であり、pH調整剤が,有機系のアルカリもしくは酸,無機系のアルカリもしくは酸,またはアルカリ性もしくは酸性の塩であることを特徴とする、[2],[4]または[4-1]に記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[9-3] 分散剤が,高・中級脂肪酸塩,天然高分子分散剤または合成高分子分散剤であり、金属塩が,ニッケル塩,鉄塩,コバルト塩またはクロム塩であり、金属微粒子が,ニッケル微粒子,鉄微粒子,コバルト微粒子またはクロム微粒子であり、還元剤が,有機系還元剤,または,無機系還元剤と有機系還元剤であり、pH調整剤が,有機系のアルカリもしくは酸,無機系のアルカリもしくは酸,またはアルカリ性もしくは酸性の塩であることを特徴とする、[2]または[3]に記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[9-1] The metal salt is nickel salt, iron salt, cobalt salt or chromium salt, the metal fine particles are nickel fine particles, iron fine particles, cobalt fine particles or chromium fine particles, and the reducing agent is an organic reducing agent, Or an inorganic reducing agent and an organic reducing agent, wherein the pH adjusting agent is an organic alkali or acid, an inorganic alkali or acid, or an alkaline or acidic salt, [1] To [4], [1-1], [1-2], [4-1] The method for continuously producing fine metal particles according to any one of [4-1].
[9-2] The boiling point increasing agent is polyhydric alcohol or polyether, the metal salt is nickel salt, iron salt, cobalt salt or chromium salt, and the metal fine particle is nickel fine particle, iron fine particle, cobalt fine particle or Fine particles of chromium, the reducing agent is an organic reducing agent, or an inorganic reducing agent and an organic reducing agent, and the pH adjusting agent is an organic alkali or acid, an inorganic alkali or acid, or alkaline or The method for continuously producing fine metal particles according to [2], [4] or [4-1], which is an acidic salt.
[9-3] The dispersant is a high / intermediate fatty acid salt, a natural polymer dispersant or a synthetic polymer dispersant, the metal salt is a nickel salt, iron salt, cobalt salt or chromium salt, and the metal fine particles are , Nickel fine particles, iron fine particles, cobalt fine particles or chromium fine particles, the reducing agent is an organic reducing agent, or an inorganic reducing agent and an organic reducing agent, and the pH adjusting agent is an organic alkali or acid, The method for continuously producing fine metal particles according to [2] or [3], which is an inorganic alkali or acid, or an alkaline or acidic salt.

[10] 金属イオンと還元剤とが反応する前の薄膜流体は、金属塩の濃度が0.02〜1.1モル%であり、還元剤が金属塩に対して同一モル〜90倍のモル%であることを特徴とする、[1]〜[9],[1-1],[1-2],[4-1],[9-1],[9-2],[9-3]のいずれかに記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[11] 第1処理用面と第2処理用面の一方が他方に対して回転する速度が250rpm〜3000rpmであり、微小な間隔が0.1μm〜20μmであることを特徴とする、[1]〜[10],[1-1],[1-2],[4-1],[9-1],[9-2],[9-3]のいずれかに記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[12] 金属微粒子が10keV以上の電子線の照射により、少なくともその表面が溶融することを特徴とする、[1],[1-1],[1-2]または[5]に記載の金属微粒子の連続的製造方法。
[10] The thin film fluid before the reaction between the metal ions and the reducing agent has a metal salt concentration of 0.02 to 1.1 mol%, and the reducing agent is the same mol to 90 times the mol of the metal salt. %, [1] to [9], [1-1], [1-2], [4-1], [9-1], [9-2], [9- [3] The method for continuously producing fine metal particles according to any one of [3].
[11] The speed at which one of the first processing surface and the second processing surface rotates with respect to the other is 250 rpm to 3000 rpm, and the minute interval is 0.1 μm to 20 μm. ] To [10], [1-1], [1-2], [4-1], [9-1], [9-2], [9-3] Continuous manufacturing method.
[12] The metal according to [1], [1-1], [1-2] or [5], wherein at least a surface of the metal fine particles is melted by irradiation with an electron beam of 10 keV or more. Continuous production method of fine particles.

[13] (A)[1]〜[12],[1-1],[1-2],[4-1],[9-1],[9-2],[9-3]のいずれかに記載の連続的製造方法で製造された金属微粒子と、(B)硬化性有機樹脂とから成ることを特徴とする、導電性硬化性組成物。
[13-1] 硬化性有機樹脂(B)が熱硬化性樹脂であることを特徴とする、[13]記載の導電性硬化性組成物。
[13-2] 熱硬化性有機樹脂が熱硬化性エポキシ樹脂であることを特徴とする、[13-1]記載の導電性硬化性組成物。
[14] さらに(C)硬化剤および/または(D)接着促進剤から成ることを特徴とする、[13],[13-1]または[13-2]記載の導電性硬化性組成物。
[15] (A)複数の放射状に突出する錐状突起であってその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形である錐状突起を有し、該三角形の頂角が10〜40度であり、該複数の錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、平均粒径が0.01〜10μmであり、金属微粒子の粒度分布のCV値が100%以下である金属微粒子と、(B)硬化性有機樹脂とから成ることを特徴とする導電性硬化性組成物。
[15-1] 金属微粒子は、透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形である錐状突起の高さが平均粒径の1/4よりも大きいものを4個以上有することを特徴とする、[15]に記載の導電性硬化性組成物。
[15-2] 該錐状突起は、その高さが錐状突起の基部の面積円相当径の1.1〜5倍であることを特徴する、[15]または[15-1]に記載の導電性硬化性組成物。
[15-3] 該錐状突起は、多角錐状、円錐状または楕円錐状であることを特徴する、[15]、[15-1]または[15-2]に記載の導電性硬化性組成物。
[15-4] 硬化性有機樹脂が熱硬化性有機樹脂であり、金属微粒子(A)が、ニッケル微粒子、鉄微粒子、コバルト微粒子、または、クロム微粒子であることを特徴とする、[15],[15-1]または[15-2]に記載の導電性硬化性組成物。
[15-5] 熱硬化性有機樹脂が熱硬化性エポキシ樹脂であることを特徴とする、[15-4]記載の導電性硬化性組成物。
[16] さらに(C)硬化剤および/または(D)接着促進剤から成ることを特徴とする、[15],[15-1],[15-2],[15-3],[15-4]または[15-5]に記載の導電性硬化性組成物。
[13] (A) [1] to [12], [1-1], [1-2], [4-1], [9-1], [9-2], [9-3] A conductive curable composition comprising metal fine particles produced by any one of the continuous production methods and (B) a curable organic resin.
[13-1] The conductive curable composition according to [13], wherein the curable organic resin (B) is a thermosetting resin.
[13-2] The conductive curable composition according to [13-1], wherein the thermosetting organic resin is a thermosetting epoxy resin.
[14] The conductive curable composition according to [13], [13-1] or [13-2], further comprising (C) a curing agent and / or (D) an adhesion promoter.
[15] (A 1 ) A plurality of radially projecting conical protrusions having conical protrusions whose side shape in the transmission electron micrograph is a triangle, and the apex angle of the triangle is 10 to 40 degrees The plurality of cone-shaped protrusions are in contact with each other, in close contact with each other, in close contact with each other, have an average particle diameter of 0.01 to 10 μm, and a CV value of the particle size distribution of the metal fine particles of 100% or less. A conductive curable composition comprising certain metal fine particles and (B) a curable organic resin.
[15-1] The metal fine particles are characterized by having four or more conical protrusions whose side shape in the transmission electron micrograph is a triangle having a height higher than 1/4 of the average particle diameter. The conductive curable composition according to [15].
[15-2] [15] or [15-1], wherein the cone-shaped protrusion has a height that is 1.1 to 5 times the equivalent diameter of the area circle of the base of the cone-shaped protrusion. Conductive curable composition.
[15-3] The conductive curable composition according to [15], [15-1], or [15-2], wherein the conical protrusion is a polygonal pyramid, a conical shape, or an elliptical conical shape. Composition.
[15-4] The curable organic resin is a thermosetting organic resin, and the metal fine particles (A 1 ) are nickel fine particles, iron fine particles, cobalt fine particles, or chromium fine particles, [15] , [15-1] or [15-2].
[15-5] The conductive curable composition according to [15-4], wherein the thermosetting organic resin is a thermosetting epoxy resin.
[16] [15], [15-1], [15-2], [15-3], [15], further comprising (C) a curing agent and / or (D) an adhesion promoter -4] or [15-5].

[17] [13]〜[16],[13-1],[13-2],[15-1],[15-2],[15-3],[15-4],[15-5]のいずれかに記載の導電性硬化性組成物を使用してディスクリート部品とチップ部品と回路基板とから選択される電子部品を接合していることを特徴とする電子機器。 [17] [13] to [16], [13-1], [13-2], [15-1], [15-2], [15-3], [15-4], [15- 5. An electronic device comprising an electronic component selected from a discrete component, a chip component, and a circuit board using the conductive curable composition according to any one of [5].

本発明の金属微粒子の連続的製造方法によると、複数の放射状に突出する錐状突起であってその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形である錐状突起を有し、該三角形の頂角が10〜40度であり、該複数の錐状突起はその視認することのできる根元が相互に接触しており、平均粒径が0.01〜10μmであり、金属微粒子の粒度分布のCV値が100%以下である金属微粒子を、一工程で連続的に効率よく安定して製造することができる。
本発明の製造方法による導電性硬化性組成物および導電性硬化性組成物は、含有される金属微粒子の粒度分布のCV値が100%以下であるため、吐出性が優れており、また、含有される金属微粒子は、複数の放射状に突出する錐状突起であってその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形である錐状突起を有し、該三角形の頂角が10〜40度であり、該複数の錐状突起はその視認することのできる根元が相互に接触しているため、導電性に優れている。
本発明の製造方法による電子機器は、本発明の製造方法による導電性硬化性組成物を使用してディスクリート部品とチップ部品と回路基板とから選択される電子部品を接合しているので信頼性が高い。
According to the method for continuously producing fine metal particles of the present invention, a plurality of radially projecting cone-shaped projections having a cone-shaped projection whose side shape in a transmission electron micrograph is a triangle, the apex angle of the triangle 10 to 40 degrees, the plurality of conical protrusions have their visible bases in contact with each other , the average particle diameter is 0.01 to 10 μm, and the CV value of the particle size distribution of the metal fine particles Can be produced continuously and efficiently in a single step.
Since the conductive curable composition and the conductive curable composition according to the production method of the present invention have a CV value of the particle size distribution of the contained metal fine particles of 100% or less, the discharge property is excellent, and The metal fine particles to be formed have a plurality of radially projecting conical projections whose side shape in the transmission electron micrograph is a triangle, and the apex angle of the triangle is 10 to 40 degrees. The plurality of conical protrusions have excellent conductivity because their visible bases are in contact with each other.
Since the electronic device according to the manufacturing method of the present invention uses the conductive curable composition according to the manufacturing method of the present invention to join the electronic component selected from the discrete component, the chip component, and the circuit board, the reliability is high. high.

図1は、本発明の金属微粒子の連続的製造方法の実施に好適な金属微粒子製造装置(A)の略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of a metal fine particle production apparatus (A) suitable for carrying out the method for continuously producing metal fine particles of the present invention. 図2は、上記金属微粒子製造装置(A)の略縦断面図である。FIG. 2 is a schematic longitudinal sectional view of the metal fine particle production apparatus (A). 図3は、上記金属微粒子製造装置(A)の略平面図である。FIG. 3 is a schematic plan view of the metal fine particle production apparatus (A). 図4は、上記金属微粒子製造装置(A)の第2処理用面を下から見た図である。斜線部が反応室となる領域Hである。FIG. 4 is a view of the second processing surface of the metal fine particle manufacturing apparatus (A) as viewed from below. The shaded area is a region H that becomes a reaction chamber. 図5は、上記金属微粒子製造装置(A)の第1処理用面の平面図である。FIG. 5 is a plan view of the first processing surface of the metal fine particle production apparatus (A). 図6は、本発明の金属微粒子の製造方法の実施に好適な別の金属微粒子製造装置(B)の略斜視図である。FIG. 6 is a schematic perspective view of another metal fine particle production apparatus (B) suitable for carrying out the metal fine particle production method of the present invention. 図7は、上記金属微粒子製造装置(B)の略縦断面図である。FIG. 7 is a schematic longitudinal sectional view of the metal fine particle production apparatus (B). 図8は、上記金属微粒子製造装置(B)の略平面図である。FIG. 8 is a schematic plan view of the metal fine particle production apparatus (B). 図9は、金属微粒子の製造方法の実施に適した流動体処理装置の実施の形態の概念(C)を示す略縦断面図である。FIG. 9 is a schematic longitudinal sectional view showing the concept (C) of the embodiment of the fluid treatment apparatus suitable for carrying out the method for producing metal fine particles. 図10は、金属微粒子の製造方法の実施に適した流動体処理装置の実施の形態の概念(C)の第2処理用面を下から見た図である。斜線部が反応室となる領域HMである。FIG. 10 is a view of the second processing surface of the concept (C) of the embodiment of the fluid processing apparatus suitable for carrying out the method for producing metal fine particles as seen from below. The hatched portion is a region HM that becomes a reaction chamber. 図11は、金属微粒子の連続的製造方法の実施に適した流動体処理装置の他の実施の形態の概念(D)を示す略縦断面図である。FIG. 11 is a schematic longitudinal sectional view showing a concept (D) of another embodiment of a fluid treatment apparatus suitable for carrying out a method for continuously producing fine metal particles. 図12は、金属微粒子の連続的製造方法の実施に適した流動体処理装置の他の実施の形態の概念(E)を示す略縦断面図である。FIG. 12 is a schematic longitudinal sectional view showing a concept (E) of another embodiment of a fluid treatment apparatus suitable for carrying out a method for continuously producing metal fine particles. 図13は、金属微粒子の連続的製造方法の実施に適した流動体処理装置の他の実施の形態の概念(F)を示す略縦断面図である。FIG. 13 is a schematic longitudinal sectional view showing the concept (F) of another embodiment of the fluid treatment apparatus suitable for carrying out the method for continuously producing metal fine particles. 図14は、本願実施例1で製造したニッケル微粒子の走査型電子顕微鏡写真(倍率:3,500倍)である。写真下の白い線の長さが1μmである。FIG. 14 is a scanning electron micrograph (magnification: 3,500 times) of the nickel fine particles produced in Example 1 of the present application. The length of the white line below the photo is 1 μm. 図15は、図14の拡大写真(倍率:35,000倍)である。写真下の白い線の長さが100nmである。FIG. 15 is an enlarged photograph (magnification: 35,000 times) of FIG. The length of the white line below the photo is 100 nm. 図16は、本願実施例3で製造したニッケル微粒子の透過型電子顕微鏡写真(倍率:100,000倍)である。写真下の黒い線の長さが200nmである。FIG. 16 is a transmission electron micrograph (magnification: 100,000 times) of the nickel fine particles produced in Example 3 of the present application. The length of the black line below the photo is 200 nm. 図17は、本願実施例3で製造したニッケル微粒子に、電子線を照射した後の透過型電子顕微鏡写真(倍率:140,000倍)である。写真下の黒い線の長さが100nmである。FIG. 17 is a transmission electron micrograph (magnification: 140,000 times) after the fine nickel particles produced in Example 3 of the present application are irradiated with an electron beam. The length of the black line below the photo is 100 nm. 図18は、本願実施例3で製造したニッケル微粒子の走査型電子顕微鏡写真(倍率:70,000倍)である。写真下の白い線の長さが100nmである。」FIG. 18 is a scanning electron micrograph (magnification: 70,000 times) of the nickel fine particles produced in Example 3 of the present application. The length of the white line below the photo is 100 nm. " 図19は、本願実施例7で連続的に製造したニッケル微粒子の走査型電子顕微鏡写真(倍率:10,000倍)である。写真下の白い線の長さが1μmである。FIG. 19 is a scanning electron micrograph (magnification: 10,000 times) of nickel fine particles continuously produced in Example 7 of the present application. The length of the white line below the photo is 1 μm. 図20は、本願実施例7で連続的に製造したニッケル微粒子の透過型電子顕微鏡写真(倍率:15,000倍)である。写真下の白い線の長さが1μmである。FIG. 20 is a transmission electron micrograph (magnification: 15,000 times) of the nickel fine particles continuously produced in Example 7 of the present application. The length of the white line below the photo is 1 μm. 図21は、図15におけるニッケル微粒子の錐状突起の根元の位置に平行線を追記したものである。FIG. 21 is obtained by adding a parallel line to the root position of the conical protrusion of the nickel fine particle in FIG. 図22は、図16におけるニッケル微粒子の錐状突起を側面視した三角形の輪郭線を追記したものである。FIG. 22 is a diagram in which a triangular outline is added to the cone-shaped projection of the nickel fine particle in FIG. 16 when viewed from the side.

本発明の金属微粒子の連続的製造方法は、湿式還元法による金属微粒子の新規な連続的製造方法であり、近接・離反可能に互いに対向して配設され少なくとも一方が他方に対して回転する処理用面の間にできる薄膜流体中でpHを調整した中で金属イオンを還元剤により還元して金属微粒子を連続的に析出させることによる。 The method for continuously producing fine metal particles according to the present invention is a novel continuous production method for fine metal particles by a wet reduction method, and is a process in which at least one of them rotates relative to the other, being disposed so as to be close to and away from each other. By adjusting the pH in a thin film fluid formed between the working surfaces, metal ions are reduced with a reducing agent to continuously deposit metal fine particles.

本願の請求項1に係る発明は、水性媒体中で金属塩由来の金属イオン、すなわち、該金属塩が解離して生成した金属イオンを特定のpHの範囲で還元剤により還元することにより、該金属微粒子を析出させる金属微粒子の連続的製造方法に関するものであり、詳しくは、接近・離反可能に互いに対向して配設され、少なくとも一方が他方に対して回転する第1処理用面と第2処理用面との間に、該液相となる被処理流動体を導入し、この被処理流動体の圧力により第1処理用面から第2処理用面を離反させる方向に移動させる力を発生させ、この力によって、第1処理用面と第2処理用面との間が微小な間隔に保たれ、この微小間隔に保たれた第1処理用面と第2処理用面との間を通過する該被処理流動体が薄膜流体を形成し、該薄膜流体中で金属イオンと還元剤とが反応して金属微粒子を析出する、金属微粒子の連続的製造方法であって、該被処理流動体は、少なくとも2つの被処理流動体からなり、第1の被処理流動体は少なくとも還元剤とpH調整剤を含有するpHが8〜13の範囲の水性媒体であり、第2の被処理流動体は少なくとも金属塩を含有するpHが3〜7の範囲の水性媒体であり、第1の被処理流動体のpHは第2の被処理流動体のpHより1〜8大きく、各被処理流動体が各々別の導入路から該第1処理用面と第2処理用面との間に導入され、該金属イオンがpH5より大きく12以下である該薄膜流体中で還元されて金属微粒子を析出し、該金属微粒子は複数の放射状に突出する錐状突起であってその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形である錐状突起を有し、該三角形の頂角が10〜40度であり、該複数の錐状突起はその視認することのできる根元が相互に接触しており、平均粒径が0.01〜10μmであり、金属微粒子の粒度分布のCV値が100%以下であることを特徴とする、金属微粒子の連続的製造方法に関する。
The invention according to claim 1 of the present application reduces the metal ion derived from a metal salt in an aqueous medium, that is, the metal ion generated by dissociation of the metal salt with a reducing agent within a specific pH range, More specifically, the present invention relates to a method for continuously producing fine metal particles, and more specifically, a first processing surface and a second treatment surface that are disposed to face each other so as to be able to approach and leave, and at least one of which rotates relative to the other. A fluid to be treated that is in the liquid phase is introduced between the processing surface and a force for moving the second processing surface away from the first processing surface is generated by the pressure of the fluid to be processed. By this force, the space between the first processing surface and the second processing surface is kept at a minute interval, and the space between the first processing surface and the second processing surface kept at the minute interval is maintained. The to-be-processed fluid passing therethrough forms a thin film fluid, A method for continuously producing fine metal particles in which metal ions and a reducing agent react to precipitate fine metal particles, wherein the fluid to be treated is composed of at least two fluids to be treated, and the first fluid to be treated. The body is an aqueous medium having a pH in the range of 8 to 13 containing at least a reducing agent and a pH adjuster, and the second treated fluid is an aqueous medium having a pH in the range of 3 to 7 containing at least a metal salt. Yes, the pH of the first fluid to be treated is 1 to 8 larger than the pH of the second fluid to be treated, and each fluid to be treated is connected to the first treatment surface and the second treatment fluid from different introduction paths. The metal ions are reduced in the thin film fluid having a pH greater than 5 and less than or equal to 12 to precipitate metal fine particles, and the metal fine particles are a plurality of radially projecting conical protrusions. The side shape in the transmission electron micrograph is a triangle. It has Jo projection, a vertex angle of the triangle is 10 to 40 degrees, conical projections of said plurality of in contact with each other is the root which can be the visual, average particle size 0.01~10μm And a CV value of the particle size distribution of the metal fine particles is 100% or less.

本願請求項1、請求項3などの金属微粒子の連続的製造方法で使用する、「接近・離反可能に互いに対向して配設され、少なくとも一方が他方に対して回転する第1処理用面と第2処理用面との間に、該液相となる被処理流動体を導入し、この被処理流動体の圧力により第1処理用面から第2処理用面を離反させる方向に移動させる力を発生させ、この力によって、第1処理用面と第2処理用面との間が微小な間隔に保たれ、この微小間隔に保たれた第1処理用面と第2処理用面との間を通過する該被処理流動体が薄膜流体を形成し、該薄膜流体中で金属イオンと還元剤とが反応して金属微粒子を析出するという、金属微粒子の製造装置」は、特許第4534098号公報に開示されている金属微粒子の製造装置に準じる。 A first processing surface, which is used in the continuous production method of metal fine particles according to claim 1 or claim 3 of the present application, is arranged so as to face each other so as to be able to approach and leave, and at least one of which rotates relative to the other. A force that introduces the fluid to be processed that is in the liquid phase between the second processing surface and moves the second processing surface away from the first processing surface by the pressure of the fluid to be processed. By this force, the space between the first processing surface and the second processing surface is kept at a minute interval, and the first processing surface and the second processing surface kept at the minute interval are maintained. The apparatus for producing metal fine particles in which the fluid to be processed that passes between them forms a thin film fluid, and metal ions and a reducing agent react in the thin film fluid to precipitate metal fine particles "is disclosed in Japanese Patent No. 4534098. According to the metal fine particle production apparatus disclosed in the publication.

上記金属微粒子の連続的製造方法は、好ましくは、特許第4534098号の請求項2に準じ、被処理流動体に圧力を付与する流体圧付与機構と、第1処理用部、及び、この第1処理用部に対して相対的に接近・離反可能な第2処理用部の、少なくとも2つの処理用部と、上記の第1処理用部と第2処理用部とを相対的に回転させる回転駆動機構とを備え、上記の各処理用部において互いに対向する位置に、上記第1処理用面及び第2処理用面の少なくとも2つの処理用面が設けられており、上記の各処理用面は、上記圧力の被処理流動体が連続的に流される、密封された流路の一部を構成するものであり、上記第1処理用部と第2処理用部のうち、少なくとも第2処理用部は受圧面を備えるものであり、且つ、この受圧面の少なくとも一部が上記の第2処理用面により構成され、この受圧面は、上記の流体圧付与機構が被処理流動体に付与する圧力を受けて第1処理用面から第2処理用面を離反させる方向に移動させる力を発生させ、接近・離反可能、且つ相対的に回転する第1処理用面と第2処理用面との間に上記圧力の被処理流動体が連続的に通されることにより、上記被処理流動体が薄膜流体を形成し、この薄膜流体中で金属微粒子を連続的に析出させることを特徴とする。 The continuous production method of the metal fine particles is preferably in accordance with claim 2 of Japanese Patent No. 4534098, a fluid pressure imparting mechanism for imparting pressure to the fluid to be treated, the first treatment part, and the first treatment part. Rotation that relatively rotates at least two processing parts of the second processing part that is relatively close to and away from the processing part, and the first processing part and the second processing part. At least two processing surfaces, the first processing surface and the second processing surface, are provided at positions facing each other in each processing unit, and each processing surface described above. Constitutes a part of a sealed flow path through which the fluid to be treated having the above-mentioned pressure is continuously flowed, and at least a second treatment among the first treatment portion and the second treatment portion. The use part has a pressure receiving surface, and at least a part of the pressure receiving surface. The second processing surface is constituted by the pressure receiving surface in a direction in which the fluid pressure applying mechanism receives the pressure applied to the fluid to be processed and separates the second processing surface from the first processing surface. A fluid to be treated having the above pressure is continuously passed between the first processing surface and the second processing surface that generate a moving force, can be approached and separated, and are relatively rotated. The fluid to be treated forms a thin film fluid, and metal fine particles are continuously deposited in the thin film fluid.

上記金属微粒子の連続的製造方法は、より好ましくは、特許第4534098号の請求項3に準じ、上記の流体圧付与機構から圧力を付与された一種の被処理流動体が上記第1処理用面と第2処理用面との間に通され、上記一種の被処理流動体とは異なる他の一種の被処理流動体が通される独立した別途の導入路を備え、この別途の導入路に通じる少なくとも一つの開口部が上記第1処理用面と第2処理用面の少なくとも何れか一方に設けられ、この別途の導入路から上記他の一種の被処理流動体を、連続的に上記両処理用面間に導入し、上記一種の被処理流動体と他の一種の被処理流動体とを、上記薄膜流体中で混合することにより、上記の金属微粒子を連続的に析出させることを特徴とする。 More preferably, according to Claim 3 of Japanese Patent No. 4534098, the continuous production method of the metal fine particles is a kind of the fluid to be treated to which the pressure is applied from the fluid pressure applying mechanism. And a second processing surface, and an independent separate introduction path through which another kind of fluid to be treated different from the kind of fluid to be treated passes. At least one opening to be communicated is provided in at least one of the first processing surface and the second processing surface, and the other type of fluid to be processed is continuously supplied from the separate introduction path to the both processing surfaces. Introducing between the processing surfaces, and mixing the one kind of fluid to be treated and another kind of fluid to be treated in the thin film fluid, thereby continuously depositing the metal fine particles. And

上記の金属微粒子の連続的製造方法の実施に適した流動体処理装置は、以下、段落[0046]までに記載のとおりである。
図9に示すとおり、この流動体処理装置は、第1処理用部10Mと、第2処理用部20Mと、接面圧付与機構4Mと、回転駆動部と、第1導入部d1Mと、第2導入部d2Mと、流体圧付与機構p1Mと、流体圧付与機構p2Mと、ケース3Mとを備える。回転駆動部は第1処理用部10Mに接続しているが、図示していない。ケース3Mの側壁、底部は、図9において省略されている。
第1処理用部10Mと第2処理用部20Mとは、少なくとも何れか一方が、少なくとも何れか他方に、接近・離反可能となっており、第1処理用面1Mと第2処理用面2Mは、接近・離反できる。
好ましい実施の形態では、第1処理用部10Mに対して、第2処理用部20Mが接近・離反する。これとは逆に、第2処理用部20Mに対して、第1処理用部10Mが接近・離反するものであってもよく、第1処理用部10Mと第2処理用部20Mが互いに接近・離反するものであってもよい。
A fluid treatment apparatus suitable for carrying out the above-described continuous production method of metal fine particles is as described in the paragraph [0046] below.
As shown in FIG. 9, the fluid processing apparatus includes a first processing unit 10M, a second processing unit 20M, a contact pressure applying mechanism 4M, a rotation driving unit, a first introduction unit d1M, 2 includes an introduction part d2M, a fluid pressure application mechanism p1M, a fluid pressure application mechanism p2M, and a case 3M. Although the rotation drive unit is connected to the first processing unit 10M, it is not shown. The side wall and bottom of the case 3M are omitted in FIG.
At least one of the first processing unit 10M and the second processing unit 20M can approach and separate from at least one of the other, and the first processing surface 1M and the second processing surface 2M. Can approach and leave.
In a preferred embodiment, the second processing unit 20M approaches and separates from the first processing unit 10M. Conversely, the first processing unit 10M may approach or separate from the second processing unit 20M, and the first processing unit 10M and the second processing unit 20M may approach each other. -It may be separated.

第1処理用部10Mと第2処理用部20Mとは、他方に対して相対的に回転する。好ましくは、図9に示すとおり、第2処理用部20Mが固定されており、第1処理用部10Mが回転する。あるいは、逆に第1処理用部10Mが固定されており、第2処理用部20Mが回転してもよく、両方が反対方向に回転してもよい。 The first processing unit 10M and the second processing unit 20M rotate relative to the other. Preferably, as shown in FIG. 9, the second processing unit 20M is fixed, and the first processing unit 10M rotates. Alternatively, on the contrary, the first processing unit 10M may be fixed, the second processing unit 20M may rotate, or both may rotate in the opposite direction.

第2処理用部20Mは、第1処理用部10Mの上方に配置されており、第2処理用部20Mの下面が上記の第2処理用面2Mであり、第1処理用部10Mの上面が上記の第1処理用面1Mである。
第1処理用面1Mと第2処理用面2Mは、平滑であり、例えば、鏡面研磨されているが、混合効率を向上するため、第1処理用面1Mと第2処理用面2Mのいずれか又は両方に浅い溝や窪みが存在していてもよい。
The second processing unit 20M is disposed above the first processing unit 10M, the lower surface of the second processing unit 20M is the second processing surface 2M, and the upper surface of the first processing unit 10M. Is the first processing surface 1M.
The first processing surface 1M and the second processing surface 2M are smooth and, for example, mirror-polished. To improve the mixing efficiency, either the first processing surface 1M or the second processing surface 2M is used. Or there may be shallow grooves or depressions in both.

第1処理用部10Mと第2処理用部20Mは、材質として金属(例えば、焼結金属、耐磨耗鋼、硬化処理を施した金属、メッキした金属)、セラミックが例示される。第1処理用部10Mと第2処理用部20Mのいずれか、または両方は回転するので、軽量な素材が望ましい。 The first processing portion 10M and the second processing portion 20M are exemplified by metal (for example, sintered metal, wear-resistant steel, metal subjected to hardening treatment, plated metal), and ceramic. Since one or both of the first processing unit 10M and the second processing unit 20M rotate, a lightweight material is desirable.

上記の接面圧付与機構4Mは、第1処理用面1Mと第2処理用面2Mとを接近させる方向に作用させる力を、第2処理用部20Mに付与する。好ましい実施の形態では、接面圧付与機構4Mはケース3Mと第2処理用部20Mの間または第2処理用部20M内に設けられ、第2処理用部20Mを第1処理用部10Mに向けて付勢する。
上記のケース3Mは、第1処理用部10Mと第2処理用部20Mの外周面の外側に配置されており、第1処理用面1Mと第2処理用面2Mとの隙間にて生成してその外側に排出される生成物を収容する。ケース3Mは、第1処理用部10Mと第2処理用部20Mを収容する液密な容器である。
ケース3Mには、ケース3Mの外側に生成物を排出するための排出口32Mが設けられている。なお、ケース3Mの側壁、底部、排出口32Mは、図9において省略されている。
The contact surface pressure applying mechanism 4M applies a force that acts in a direction in which the first processing surface 1M and the second processing surface 2M approach each other to the second processing unit 20M. In a preferred embodiment, the contact pressure application mechanism 4M is provided between the case 3M and the second processing unit 20M or in the second processing unit 20M, and the second processing unit 20M is used as the first processing unit 10M. Energize towards.
The case 3M is disposed outside the outer peripheral surfaces of the first processing unit 10M and the second processing unit 20M, and is generated in the gap between the first processing surface 1M and the second processing surface 2M. The product discharged outside is stored. The case 3M is a liquid-tight container that accommodates the first processing unit 10M and the second processing unit 20M.
The case 3M is provided with a discharge port 32M for discharging the product outside the case 3M. Note that the side wall, bottom, and discharge port 32M of the case 3M are omitted in FIG.

第1導入部d1Mは、第1処理用面1Mと第2処理用面2M間に、第1の被処理流動体を供給する。
上記の流体圧付与機構p1Mは、直接的又は間接的にこの第1導入部d1Mに接続しており、第1の被処理流動体に流体圧を付与する。流体圧付与機構p1Mには、コンプレッサなどのポンプを採用するとよい。
好ましい実施の形態において、第1導入部d1Mは、第2処理用部20Mの中央部分の内部に設けられた第1の被処理流動体の通路であり、その一端が、第2処理用面2Mの中心位置にて開口する。第1導入部d1Mの他の一端は、ケース3Mの外部において、上記流体圧付与機構p1Mと接続している。
The first introduction part d1M supplies the first fluid to be processed between the first processing surface 1M and the second processing surface 2M.
The fluid pressure applying mechanism p1M is directly or indirectly connected to the first introduction part d1M, and applies fluid pressure to the first fluid to be processed. A pump such as a compressor may be employed for the fluid pressure imparting mechanism p1M.
In a preferred embodiment, the first introduction part d1M is a passage of the first fluid to be treated provided in the central portion of the second processing part 20M, and one end thereof is the second processing surface 2M. Open at the center position. The other end of the first introduction part d1M is connected to the fluid pressure applying mechanism p1M outside the case 3M.

第2導入部d2Mは、第2被処理流動体を第1処理用面1Mと第2処理用面2M間へ供給する。好ましい実施の形態において、第2導入部d2Mは、第2処理用部20Mの内部に設けられた第2被処理流動体の通路であり、その一端が第2処理用面2Mに開口する。第2導入部d2Mの他の一端は、ケース3Mの外部において、上記流体圧付与機構p2Mと接続している。流体圧付与機構p2Mには、コンプレッサなどのポンプを採用するとよい。 The second introduction part d2M supplies the second processed fluid between the first processing surface 1M and the second processing surface 2M. In a preferred embodiment, the second introduction part d2M is a passage of the second fluid to be processed provided in the second processing part 20M, and one end thereof opens to the second processing surface 2M. The other end of the second introduction part d2M is connected to the fluid pressure applying mechanism p2M outside the case 3M. A pump such as a compressor may be employed for the fluid pressure imparting mechanism p2M.

流体圧付与機構p1Mにより加圧されている、第1の被処理流動体は、第1導入部d1Mから、第1処理用面1Mと第2処理用面2M間に導入され、第1処理用面1Mと第2処理用面2Mとの間を通り、その外側に通り抜けようとする。このとき、第1の被処理流動体の送圧を受けた、第1処理用面1Mは、接面圧付与機構4Mの付勢に抗して、第2処理用面2Mから遠ざかり、第1処理用面1Mと第2処理用面2M間に微小な間隔を開ける。
ここで、第1処理用面1Mと第2処理用面2Mとは、好ましくは0.1μmから100μm、特には0.1μmから20μmの微小間隔に調整されることにより、均一な反応を実現すると共に、数nm単位の金属微粒子の生成も可能となる。
The first fluid to be treated that is pressurized by the fluid pressure imparting mechanism p1M is introduced between the first treatment surface 1M and the second treatment surface 2M from the first introduction part d1M, and is used for the first treatment. It passes between the surface 1M and the second processing surface 2M and tries to pass outside. At this time, the first processing surface 1M that has received the pressure of the first fluid to be processed moves away from the second processing surface 2M against the urging force of the contact surface pressure applying mechanism 4M, and the first processing surface 1M A minute gap is provided between the processing surface 1M and the second processing surface 2M.
Here, the first processing surface 1M and the second processing surface 2M are preferably adjusted to a minute interval of 0.1 μm to 100 μm, particularly 0.1 μm to 20 μm, thereby realizing a uniform reaction. At the same time, it is possible to produce metal fine particles of several nanometers.

第1処理用面1Mと第2処理用面2M間に、第2導入部d2Mから第2被処理流動体が供給され、第1の被処理流動体と合流し、第2処理用部20Mに対する第1処理用部10Mの回転により混合および反応が促進される。第1処理用面1Mと第2処理用面2M間において、第2導入部d2Mの開口部m2Mの下流側が、第1の被処理流動体と第2被処理流動体とが反応する反応室となる(図10)。
第1導入部d1Mの開口部m1Mから第1処理用面1と第2処理用面2間へ導入された第1の被処理流動体に対して、第2導入部d2Mの開口部m2Mから第1処理用面1と第2処理用面2間に導入された第2被処理流動体が、上記反応室となる領域HMにて、混合される(図10)。
Between the first processing surface 1M and the second processing surface 2M, the second treated fluid is supplied from the second introduction part d2M, merges with the first treated fluid, and is applied to the second processing part 20M. The mixing and reaction are promoted by the rotation of the first processing unit 10M. Between the first processing surface 1M and the second processing surface 2M, the downstream side of the opening m2M of the second introduction portion d2M is a reaction chamber in which the first processed fluid and the second processed fluid react. (FIG. 10).
With respect to the first fluid to be treated introduced between the first processing surface 1 and the second processing surface 2 from the opening m1M of the first introduction part d1M, the second introduction part d2M has the opening m2M to the second. The second fluid to be processed introduced between the first processing surface 1 and the second processing surface 2 is mixed in the region HM serving as the reaction chamber (FIG. 10).

流体圧付与機構p1Mにより送圧を受けて、混合された被処理流動体は、第1処理用面1Mと第2処理用面2M間の微小な隙間から、その外側に移動しようとするが、第1処理用部10Mおよび第1処理用面1Mは回転しているので、上記反応の領域HMにおいて、混合された被処理流動体は、処理用面の径の内外方向について内側から外側へ直線的に移動するのではなく、処理用面を平面視した状態において、処理用面の回転軸を中心として、渦巻き状に内側から外側へ移動する。このように、混合されて反応を行う領域HMにて、渦巻状に内側から外側へ移動することによって、第1処理用面1Mと第2処理用面2Mの微小間隔にて、十分な反応に要する区間を確保することができ、均一な反応を促進することができる。
反応生成物は、均質な反応生成物となり、金属微粒子が析出する。析出した金属微粒子は、第1処理用面1Mの回転により第2処理用面2Mとの間で剪断を受けることにより、さらに微細化されると考えられる。
The fluid to be processed, which has been fed by the fluid pressure applying mechanism p1M, tries to move to the outside through a minute gap between the first processing surface 1M and the second processing surface 2M. Since the first processing portion 10M and the first processing surface 1M are rotating, the mixed fluid to be processed is straight from the inside to the outside in the inner and outer directions of the diameter of the processing surface in the reaction region HM. Instead of moving in a plan view, in a state where the processing surface is viewed in plan, the processing surface is moved from the inside to the outside in a spiral shape around the rotation axis of the processing surface. In this way, in the mixed region HM where the reaction is performed, the reaction moves in a spiral shape from the inside to the outside, so that a sufficient reaction can be achieved at a minute interval between the first processing surface 1M and the second processing surface 2M. A necessary section can be secured and a uniform reaction can be promoted.
The reaction product becomes a homogeneous reaction product, and fine metal particles are deposited. The deposited metal fine particles are considered to be further refined by being sheared with the second processing surface 2M by the rotation of the first processing surface 1M.

少なくとも、上記の流体圧付与機構p1Mが負荷する送圧と、上記の接面圧付与機構4Mの付勢力と、処理用面の回転による遠心力のバランスにより、第1処理用面1Mと第2処理用面2Mの間隔を好ましい微小な間隔に保持することができる。更に、流体圧付与機構p1Mが負荷する送圧と処理用面の回転による遠心力を受けた被処理流動体が、上記の第1処理用面1Mと第2処理用面2M間の微小な隙間を、渦巻き状に移動して、反応が促進される。 At least the first processing surface 1M and the second processing surface 1M are balanced by a balance between the pressure applied by the fluid pressure application mechanism p1M, the urging force of the contact surface pressure application mechanism 4M, and the centrifugal force generated by the rotation of the processing surface. The interval between the processing surfaces 2M can be kept at a preferable minute interval. Further, the fluid to be processed that receives the pressure applied by the fluid pressure applying mechanism p1M and the centrifugal force generated by the rotation of the processing surface causes a minute gap between the first processing surface 1M and the second processing surface 2M. The reaction is promoted by moving in a spiral.

上記の反応は、流体圧付与機構p1Mが負荷する送圧や処理用面の回転により、強制的に行われる。即ち、反応は、接近・離反可能に互いに対向して配設され、且つ少なくとも一方が他方に対して回転する第1処理用面1Mと第2処理用面2M間で、強制的に均一混合しながら起こる。
従って、金属微粒子の析出は、流体圧付与機構p1Mが負荷する送圧の調整や、処理用面の回転速度、即ち、回転数の調整という、比較的コントロールし易い方法により、制御できる。
The above reaction is forcibly performed by the pressure supplied by the fluid pressure applying mechanism p1M and the rotation of the processing surface. That is, the reaction is forcibly and uniformly mixed between the first processing surface 1M and the second processing surface 2M, which are arranged so as to be able to approach and separate from each other and at least one of which rotates relative to the other. It happens while.
Therefore, the precipitation of the metal fine particles can be controlled by a method that is relatively easy to control, such as adjusting the feed pressure applied by the fluid pressure applying mechanism p1M and adjusting the rotation speed of the processing surface, that is, the rotation speed.

そして、両被処理流動体の反応による反応生成物が第1処理用面1Mと第2処理用面2M間から、その外側に排出される。その外側に排出された反応生成物は、最終的に、排出口32Mからケース3Mの外部に排出される。 And the reaction product by reaction of both to-be-processed fluids is discharged | emitted from the 1st process surface 1M and the 2nd process surface 2M to the outer side. The reaction product discharged to the outside is finally discharged from the discharge port 32M to the outside of the case 3M.

上記流動体処理装置において、第1導入部と第2導入部に加えて第3導入部が存在していてもよい。第3導入部は、第2処理用部20Mの内部に設けられた第3被処理流動体の通路であり、その一端が第2処理用面2Mに開口していてもよく、あるいは、第1処理用部10Mの内部に設けられた第3被処理流動体の通路であり、その一端が第1処理用面1Mに開口していてもよい。
さらには、第4導入部が存在していてもよい。第4導入部は、第2処理用部20Mの内部に設けられた第4被処理流動体の通路であり、その一端が第2処理用面2Mに開口していてもよく、あるいは、第1処理用部10Mの内部に設けられた第4被処理流動体の通路であり、その一端が第1処理用面1Mに開口していてもよい。
In the fluid treatment apparatus, a third introduction unit may exist in addition to the first introduction unit and the second introduction unit. The third introduction portion is a passage of the third fluid to be processed provided in the second processing portion 20M, and one end thereof may open to the second processing surface 2M, or the first This is a passage of the third fluid to be processed provided inside the processing portion 10M, and one end thereof may open to the first processing surface 1M.
Furthermore, the 4th introduction part may exist. The fourth introduction portion is a passage of the fourth fluid to be processed provided in the second processing portion 20M, and one end thereof may open to the second processing surface 2M, or the first This is a passage of the fourth fluid to be processed provided in the processing portion 10M, and one end thereof may open to the first processing surface 1M.

上記流動体処理装置において、図11に示すとおり、第1処理用部10Mと第2処理用部20Mの代わりに、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mとからなっていてもよい。
第2ホルダー21Mは、第1ホルダー11Mの上方に配置されており、第2ホルダー21Mの下面に第2リング20RMが嵌合または固設されており、第1ホルダー11Mの上面に第1リング10RMが嵌合または固設されている。第2リング20RMの下面が第2処理用面2Mであり、第1リング10RMの上面が第1処理用面1Mである。第1処理用面1Mと第2処理用面2Mは、平滑であり、例えば、鏡面研磨されている。
第1処理用面1Mは第1ホルダー11Mの上面から突出しており、第2処理用面2Mは第2ホルダー21Mの下面から突出している。
In the fluid processing apparatus, as shown in FIG. 11, instead of the first processing unit 10M and the second processing unit 20M, a first holder 11M having a first ring 10RM and a second ring 20RM having a second ring 20RM are provided. It may consist of two holders 21M.
The second holder 21M is disposed above the first holder 11M, the second ring 20RM is fitted or fixed to the lower surface of the second holder 21M, and the first ring 10RM is disposed on the upper surface of the first holder 11M. Are fitted or fixed. The lower surface of the second ring 20RM is the second processing surface 2M, and the upper surface of the first ring 10RM is the first processing surface 1M. The first processing surface 1M and the second processing surface 2M are smooth and are mirror-polished, for example.
The first processing surface 1M protrudes from the upper surface of the first holder 11M, and the second processing surface 2M protrudes from the lower surface of the second holder 21M.

第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mは、第1処理用部10Mと第2処理用部20Mと同様に、少なくとも何れか一方が、少なくとも何れか他方に、接近・離反可能となっており、第1処理用面1Mと第2処理用面2Mは、接近・離反できる。
好ましい実施の形態では、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mに対して第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mが接近・離反する。これとは逆に、第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mに対して、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mが接近・離反するものであってもよく、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mが互いに接近・離反するものであってもよい。
The first holder 11M provided with the first ring 10RM and the second holder 21M provided with the second ring 20RM have at least one of at least one of the first processing unit 10M and the second processing unit 20M. On the other hand, the first processing surface 1M and the second processing surface 2M can approach and separate from each other.
In a preferred embodiment, the second holder 21M having the second ring 20RM approaches and separates from the first holder 11M having the first ring 10RM. On the contrary, the first holder 11M provided with the first ring 10RM may approach or separate from the second holder 21M provided with the second ring 20RM, and the first holder 10M includes the first ring 10RM. The first holder 11M and the second holder 21M provided with the second ring 20RM may approach or separate from each other.

第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mとは、他方に対して相対的に回転する。好ましくは、図11に示すとおり、第2リングMを具備した第2ホルダー21Mが固定されており、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mが回転する。あるいは、逆に第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mが固定されており、第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mが回転してもよく、あるいは、両方が反対方向に回転してもよい。 The first holder 11M provided with the first ring 10RM and the second holder 21M provided with the second ring 20RM rotate relative to the other. Preferably, as shown in FIG. 11, the second holder 21M having the second ring M is fixed, and the first holder 11M having the first ring 10RM rotates. Alternatively, on the contrary, the first holder 11M having the first ring 10RM may be fixed and the second holder 21M having the second ring 20RM may rotate, or both may rotate in the opposite direction. Good.

上記流動体処理装置において、図12に示すとおり、第1処理用部10Mの代わりに第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと、第2処理用部20Mとからなっていてもよい。逆に、図13に示すとおり、第1処理用部10Mと、第2処理用部20Mの代わりに第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mとからなっていてもよい。 In the fluid treatment apparatus, as shown in FIG. 12, the first holder 11M including the first ring 10RM and the second treatment unit 20M may be used instead of the first treatment unit 10M. Conversely, as shown in FIG. 13, the first processing unit 10M and a second holder 21M including a second ring 20RM instead of the second processing unit 20M may be included.

第1処理用部10Mの代わりに第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと、第2処理用部20Mとからなる流動体処理装置(図12)においては、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと第2処理用部20Mは、第1処理用部10Mと第2処理用部20Mと同様に、少なくとも何れか一方が、少なくとも何れか他方に、接近・離反可能となっており、第1処理用面1Mと第2処理用面2Mは、接近・離反できる。
好ましい実施の形態では、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mに対して、第2処理用部20Mが接近・離反する。これとは逆に、第2処理用部20Mに対して、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mが接近・離反するものであってもよく、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと第2処理用部20Mとが互いに接近・離反するものであってもよい。
In the fluid processing apparatus (FIG. 12) including the first holder 11M having the first ring 10RM instead of the first processing part 10M and the second processing part 20M, the first holder 10M having the first ring 10RM is provided. As with the first processing unit 10M and the second processing unit 20M, at least one of the 1 holder 11M and the second processing unit 20M can approach and separate from at least one of the other. The first processing surface 1M and the second processing surface 2M can approach and separate.
In a preferred embodiment, the second processing portion 20M approaches and separates from the first holder 11M having the first ring 10RM. On the contrary, the first holder 11M provided with the first ring 10RM may approach or separate from the second processing unit 20M, and the first holder 11M provided with the first ring 10RM may be used. And the second processing unit 20M may approach and separate from each other.

第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと第2処理用部20Mとは、他方に対して相対的に回転する。好ましくは、図12に示すとおり、第2処理用部20Mが固定されており、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mが回転する。あるいは、逆に第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mが固定されており、第2処理用部20Mが回転してもよく、あるいは、両方が反対方向に回転してもよい。 The first holder 11M provided with the first ring 10RM and the second processing unit 20M rotate relative to the other. Preferably, as shown in FIG. 12, the second processing unit 20M is fixed, and the first holder 11M including the first ring 10RM rotates. Alternatively, on the contrary, the first holder 11M including the first ring 10RM may be fixed, and the second processing unit 20M may rotate, or both may rotate in the opposite direction.

第1処理用部10Mと、第2処理用部20Mの代わりに第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mとからなる流動体処理装置(図13)においては、第1処理用部10Mと第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mは、第1処理用部10Mと第2処理用部20Mと同様に、少なくとも何れか一方が、少なくとも何れか他方に、接近・離反可能となっており、第1処理用面1Mと第2処理用面2Mは、接近・離反できる。
好ましい実施の形態では、第1処理用部10Mに対して第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mが接近・離反する。これとは逆に、第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mに対して第1処理用部10Mが接近・離反するものであってもよく、第1処理用部10Mと第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mとが互いに接近・離反するものであってもよい。
In the fluid processing apparatus (FIG. 13) including the first processing unit 10M and the second holder 21M having the second ring 20RM instead of the second processing unit 20M, the first processing unit 10M and the second processing unit 10M The second holder 21M equipped with the two rings 20RM can be moved toward and away from at least one of the second processing unit 10M and the second processing unit 20M. The first processing surface 1M and the second processing surface 2M can approach and separate.
In a preferred embodiment, the second holder 21M having the second ring 20RM approaches and separates from the first processing portion 10M. On the contrary, the first processing unit 10M may approach or separate from the second holder 21M having the second ring 20RM, and the first processing unit 10M and the second ring 20RM may be connected to each other. The second holder 21M provided may approach or separate from each other.

第1処理用部10Mと第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mとは、他方に対して相対的に回転する。好ましくは、図13に示すとおり、第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mが固定されており、第1処理用部10Mが回転する。あるいは、逆に第1処理用部10Mが固定されており、第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mが回転してもよく、あるいは、両方が反対方向に回転してもよい。 The first processing unit 10M and the second holder 21M having the second ring 20RM rotate relative to the other. Preferably, as shown in FIG. 13, the second holder 21M having the second ring 20RM is fixed, and the first processing portion 10M rotates. Alternatively, on the contrary, the first processing unit 10M may be fixed, and the second holder 21M including the second ring 20RM may rotate, or both may rotate in the opposite direction.

以下、本発明の金属微粒子の製造方法の実施に適した金属微粒子の製造装置について説明する。 Hereinafter, an apparatus for producing metal fine particles suitable for carrying out the method for producing metal fine particles of the present invention will be described.

図1、図2に示すとおり、この金属微粒子の製造装置は、第1ディスク10と、第2ディスク20と、接面圧付与機構4と、回転駆動部と、第1導入部d1と、第2導入部d2と、第1流体圧付与機構p1と、第2流体圧付与機構p2と、ケース3とを備える。回転駆動部は第1ディスク10に接続しているが、図示していない。
第1ディスク10と第2ディスク20とは、少なくとも何れか一方が、少なくとも何れか他方に、接近・離反可能となっており、第1処理用面1と第2処理用面2は、接近・離反できる。
好ましい実施の形態では、第1ディスク10に対して第2ディスク20が接近・離反する。これとは逆に、第2ディスク20に対して第1ディスク10が接近・離反するものであってもよく、第1ディスク10と第2ディスク20が互いに接近・離反するものであってもよい。
As shown in FIGS. 1 and 2, the metal fine particle manufacturing apparatus includes a first disk 10, a second disk 20, a contact pressure applying mechanism 4, a rotation driving unit, a first introduction unit d 1, 2 includes an introduction part d2, a first fluid pressure application mechanism p1, a second fluid pressure application mechanism p2, and a case 3. The rotation drive unit is connected to the first disk 10 but is not shown.
At least one of the first disk 10 and the second disk 20 can be approached / separated from at least one of the other. The first processing surface 1 and the second processing surface 2 are I can separate.
In the preferred embodiment, the second disk 20 approaches and separates from the first disk 10. On the contrary, the first disk 10 may approach or separate from the second disk 20, or the first disk 10 and the second disk 20 may approach or separate from each other. .

第1ディスク10と第2ディスク20とは、他方に対して相対的に回転する。好ましくは、図1、図2に示すとおり、第2ディスク20が固定されており、第1ディスク10が回転する。あるいは、逆に第1ディスク10が固定されており、第2ディスク20が回転してもよく、両方が反対方向に回転してもよい。 The first disk 10 and the second disk 20 rotate relative to the other. Preferably, as shown in FIGS. 1 and 2, the second disk 20 is fixed and the first disk 10 rotates. Alternatively, on the contrary, the first disk 10 is fixed, the second disk 20 may rotate, and both may rotate in the opposite direction.

第2ディスク20は、第1ディスク10の上方に配置されており、第2ディスク20の下面が上記の第2処理用面2であり、第1ディスク10の上面が上記の第1処理用面1である。
第1処理用面1と第2処理用面2は、平滑であり、例えば、鏡面研磨されているが、混合効率を向上するため、第1処理用面1と第2処理用面2のいずれか又は両方に溝状の凹部5が存在することが好ましい。
The second disk 20 is disposed above the first disk 10, the lower surface of the second disk 20 is the second processing surface 2, and the upper surface of the first disk 10 is the first processing surface. 1.
The first processing surface 1 and the second processing surface 2 are smooth, for example, mirror-polished, but in order to improve mixing efficiency, either the first processing surface 1 or the second processing surface 2 is used. It is preferable that a groove-like recess 5 exists in both or both.

溝状の凹部5が存在する第1処理用面1が回転すると、凹部5内の流体が凹部5の外周方向先端へと速度を持って進み、次に凹部5の先端に送り込まれた流体がさらに凹部5の内周方向からの圧力を受け、最終的に処理用面を離反させる方向への圧力となり、同時に流体が処理用面間に導入される。さらに回転していない場合であっても第1処理用面1に設けられた凹部5内の流体が受けた圧力は最終的に離反側に作用する受圧面として第2処理用面2に作用する。 When the first processing surface 1 having the groove-shaped recess 5 rotates, the fluid in the recess 5 advances at a speed toward the tip in the outer circumferential direction of the recess 5, and then the fluid fed to the tip of the recess 5 Furthermore, the pressure from the inner peripheral direction of the recessed part 5 is received, it finally becomes the pressure in the direction which leaves | separates a processing surface, and a fluid is introduce | transduced between processing surfaces simultaneously. Even if it is not rotating, the pressure received by the fluid in the recess 5 provided on the first processing surface 1 finally acts on the second processing surface 2 as a pressure receiving surface that acts on the separation side. .

溝状の凹部5が存在する第2処理用面2が回転する場合も同様である。
処理用面に設けられた凹部5については、反応物及び生成物を含む流体の物性に対応して、その深さ、処理用面に対して水平方向への総面積、溝の本数、及び形状を設定するとよい。
この凹部5の深さは、好ましくは1μm〜50μm、さらに好ましくは3μmから20μmである。処理用面に対して水平方向への総面積は、処理用面全体に対して5%〜50%、好ましくは15%〜25%であり、溝の本数は、3〜50本、好ましくは8〜24本である。その形状は、処理用面上をカーブもしくは渦巻状で伸びるもの、L字状に屈曲するものが例示される。さらに凹部の深さに勾配を持たせてもよい。高粘度域から低粘度域までの流体を安定的に処理用面間に導入できる。
The same applies to the case where the second processing surface 2 having the groove-like recess 5 is rotated.
About the recessed part 5 provided in the processing surface, corresponding to the physical property of the fluid containing a reactant and a product, the depth, the total area in the horizontal direction with respect to the processing surface, the number of grooves, and the shape Should be set.
The depth of the recess 5 is preferably 1 μm to 50 μm, more preferably 3 μm to 20 μm. The total area in the horizontal direction with respect to the processing surface is 5% to 50%, preferably 15% to 25%, and the number of grooves is 3 to 50, preferably 8 with respect to the entire processing surface. ~ 24. Examples of the shape include those that extend in a curved or spiral shape on the processing surface and those that are bent in an L shape. Furthermore, you may give the gradient to the depth of a recessed part. Fluid from a high viscosity region to a low viscosity region can be stably introduced between processing surfaces.

第1ディスク10と第2ディスク20は、材質として金属(例えば、焼結金属、耐磨耗鋼、硬化処理を施した金属、メッキした金属)、セラミックが例示される。第1ディスク10と第2ディスク20のいずれか、または両方は回転するので、軽量な素材が望ましい。 Examples of the material of the first disk 10 and the second disk 20 include metals (for example, sintered metal, wear-resistant steel, hardened metal, plated metal), and ceramic. Since one or both of the first disk 10 and the second disk 20 rotate, a lightweight material is desirable.

上記の接面圧付与機構4は、第1処理用面1と第2処理用面2とを接近させる方向に作用させる力を、第2ディスク20に付与する。好ましい実施の形態では、接面圧付与機構4はケース3と第2ディスク20との間または第2ディスク20内に設けられ、第2ディスク20を第1ディスク10に向けて付勢する。接面圧付与機構4として、バネと加圧空気が例示される。
上記のケース3は、第1ディスク10と第2ディスク20の外周面の外側に配置されており、第1処理用面1と第2処理用面2との隙間にて生成してその外側に排出される生成物を収容する。ケース3は、第1ディスク10と第2ディスク20を収容する液密な容器である。
ケース3には、ケース3の外側に生成物を排出するための排出口32が設けられている。
The contact surface pressure imparting mechanism 4 imparts to the second disk 20 a force that causes the first processing surface 1 and the second processing surface 2 to approach each other. In the preferred embodiment, the contact surface pressure applying mechanism 4 is provided between the case 3 and the second disk 20 or in the second disk 20 and biases the second disk 20 toward the first disk 10. Examples of the contact surface pressure imparting mechanism 4 include a spring and pressurized air.
The case 3 is arranged outside the outer peripheral surfaces of the first disk 10 and the second disk 20, and is generated in the gap between the first processing surface 1 and the second processing surface 2 and outside the outer surface. Contains the product to be discharged. The case 3 is a liquid-tight container that houses the first disk 10 and the second disk 20.
The case 3 is provided with a discharge port 32 for discharging the product outside the case 3.

第1導入部d1は、第1処理用面1と第2処理用面2間に、第1の被処理流動体(例えば、還元剤と沸点上昇剤とpH調整剤との水溶液)を供給する。
上記の流体圧付与機構p1は、直接的又は間接的にこの第1導入部d1に接続しており、第1の被処理流動体に流体圧を付与する。流体圧付与機構p1には、コンプレッサなどのポンプを採用するとよい。
好ましい実施の形態において、第1導入部d1は、第2ディスク20の中央部分の内部に設けられた第1の被処理流動体の通路であり、その一端が、第2処理用面2の中心位置にて開口する。第1導入部d1の他の一端は、ケース3の外部において、上記流体圧付与機構p1と接続している。
The first introduction part d1 supplies a first fluid to be processed (for example, an aqueous solution of a reducing agent, a boiling point increasing agent, and a pH adjusting agent) between the first processing surface 1 and the second processing surface 2. .
The fluid pressure applying mechanism p1 is directly or indirectly connected to the first introduction part d1, and applies a fluid pressure to the first fluid to be processed. A pump such as a compressor may be employed for the fluid pressure imparting mechanism p1.
In a preferred embodiment, the first introduction part d1 is a passage of the first fluid to be treated provided in the center portion of the second disk 20, and one end thereof is the center of the second processing surface 2 Open at the position. The other end of the first introduction part d1 is connected to the fluid pressure applying mechanism p1 outside the case 3.

第2導入部d2は、第2被処理流動体(例えば、金属塩と分散剤との水溶液)を第1処理用面1と第2処理用面2間へ供給する。好ましい実施の形態において、第2導入部d2は、第2ディスク20の内部に設けられた第2被処理流動体の通路であり、その一端が第2処理用面2に開口する。第2導入部d2の他の一端は、ケース3の外部において、上記流体圧付与機構p2と接続している。流体圧付与機構p2には、コンプレッサなどのポンプを採用するとよい。 The second introduction part d2 supplies a second fluid to be processed (for example, an aqueous solution of a metal salt and a dispersing agent) between the first processing surface 1 and the second processing surface 2. In a preferred embodiment, the second introduction part d2 is a passage of the second fluid to be processed provided in the second disk 20 and one end thereof opens to the second processing surface 2. The other end of the second introduction part d2 is connected to the fluid pressure applying mechanism p2 outside the case 3. A pump such as a compressor may be employed for the fluid pressure imparting mechanism p2.

流体圧付与機構p1により加圧されている、第1の被処理流動体は、第1導入部d1から、第1処理用面1と第2処理用面2間に導入され、第1処理用面1と第2処理用面2との間を通り、
その外側に通り抜けようとする。
このとき、第1の被処理流動体の送圧を受けた、第2処理用面2は、接面圧付与機構4の付勢に抗して、第1処理用面1から遠ざかり、第1処理用面1と第2処理用面2間に微小な間隔を開ける。
ここで、第1処理用面1と第2処理用面2とは、0.1μmから100μm、特には1μmから20μmの微小間隔に調整されることにより、均一な還元反応を実現すると共に、数nm単位の金属超微粒子の生成も可能となる。
The first fluid to be processed, which is pressurized by the fluid pressure imparting mechanism p1, is introduced between the first processing surface 1 and the second processing surface 2 from the first introduction part d1, and is used for the first processing. Passing between the surface 1 and the second processing surface 2,
Trying to go outside.
At this time, the second processing surface 2 that has received the pressure of the first fluid to be processed moves away from the first processing surface 1 against the urging force of the contact surface pressure applying mechanism 4, and the first A minute gap is provided between the processing surface 1 and the second processing surface 2.
Here, the first processing surface 1 and the second processing surface 2 are adjusted to a minute interval of 0.1 μm to 100 μm, particularly 1 μm to 20 μm, thereby realizing a uniform reduction reaction and several It is also possible to produce ultrafine metal particles in nm units.

第1処理用面1と第2処理用面2間に、第2導入部d2から第2被処理流動体(例えば、金属塩と分散剤との水溶液)が供給され、第1の被処理流動体(例えば、還元剤と沸点上昇剤とpH調整剤との水溶液)と合流し、第2ディスク20に対する第1ディスク10の回転により混合および還元反応が促進される。第1処理用面1と第2処理用面2間において、第2導入部d2の開口部m2の下流側が、第1の被処理流動体中の還元剤と第2被処理流動体中の金属イオンとが反応する反応室となる(図4)。
第1開口部m1から第1処理用面1と第2処理用面2間へ導入された第1の被処理流動体に対して、第2開口部m2から第1処理用面1と第2処理用面2間に導入された第2被処理流動体が、上記反応室となる領域Hにて、混合される(図4)。
第2導入部d2の開口部m2は、混合効率の点で、図4において環状の一点鎖線上に複数あることが好ましく、さらには複数の開口部m2相互は等間隔であることが好ましい。
A second processed fluid (for example, an aqueous solution of a metal salt and a dispersant) is supplied from the second introduction part d2 between the first processing surface 1 and the second processing surface 2, and the first processed fluid is supplied. A body (for example, an aqueous solution of a reducing agent, a boiling point increasing agent, and a pH adjusting agent) joins, and the rotation of the first disk 10 relative to the second disk 20 promotes the mixing and reduction reaction. Between the first processing surface 1 and the second processing surface 2, the downstream side of the opening m2 of the second introduction part d2 is the reducing agent in the first processed fluid and the metal in the second processed fluid. It becomes a reaction chamber in which ions react (FIG. 4).
With respect to the first fluid to be treated introduced between the first processing surface 1 and the second processing surface 2 from the first opening m1, the first processing surface 1 and the second processing fluid are introduced from the second opening m2. The second fluid to be processed introduced between the processing surfaces 2 is mixed in the region H serving as the reaction chamber (FIG. 4).
In view of mixing efficiency, the plurality of openings m2 of the second introduction part d2 are preferably plural on an annular one-dot chain line in FIG. 4, and the plural openings m2 are preferably equidistant from each other.

第1流体圧付与機構p1と第2流体圧付与機構p2により送圧を受けて、混合された被処理流動体は、第1処理用面1と第2処理用面2間の微小な間隙から、その外側に移動しようとするが、第1ディスク10および第1処理用面1は回転しているので、上記反応の領域Hにおいて、混合された被処理流動体は、処理用面の径の内外方向について内側から外側へ直線的に移動するのではなく、処理用面を平面視した状態において、処理用面の回転軸を中心として、渦巻き状に内側から外側へ移動する。このように、混合されて反応を行う領域Hにて、渦巻状に内側から外側へ移動することによって、第1処理用面1と第2処理用面2間の微小間隙にて、十分な還元反応に要する区間を確保することができ、均一な還元反応を促進することができる。
反応生成物は、均質な反応生成物となり、金属微粒子が析出する。析出した金属微粒子は、第1処理用面1の回転により第2処理用面2との間で剪断を受けることにより、さらに微細化されると考えられる。
The fluid to be processed that has been fed by the first fluid pressure applying mechanism p1 and the second fluid pressure applying mechanism p2 is mixed from a minute gap between the first processing surface 1 and the second processing surface 2. However, since the first disk 10 and the first processing surface 1 are rotating, the mixed fluid to be processed has a diameter of the processing surface in the reaction region H. Instead of linearly moving from the inner side to the outer side in the inner and outer directions, the processing surface is moved from the inner side to the outer side in a spiral shape around the rotation axis of the processing surface in a state where the processing surface is viewed in plan. In this way, in the region H where the reaction is performed after mixing, sufficient reduction is achieved in the minute gap between the first processing surface 1 and the second processing surface 2 by moving from the inside to the outside in a spiral shape. A section required for the reaction can be secured, and a uniform reduction reaction can be promoted.
The reaction product becomes a homogeneous reaction product, and fine metal particles are deposited. The deposited metal fine particles are considered to be further refined by being sheared with the second processing surface 2 by the rotation of the first processing surface 1.

少なくとも、上記の流体圧付与機構p1と第2流体圧付与機構p2が負荷する送圧と、上記の接面圧付与機構4の付勢力と、処理用面の回転による遠心力のバランスにより、第1処理用面1と第2処理用面2の間隔を好ましい微小な間隔に保持することができる。更に、流体圧付与機構p1が負荷する送圧と処理用面の回転による遠心力を受けた被処理流動体が、上記の第1処理用面1と第2処理用面2間の微小な間隙を、渦巻き状に移動して、還元反応が促進される。 At least by the balance between the pressure applied by the fluid pressure application mechanism p1 and the second fluid pressure application mechanism p2, the urging force of the contact surface pressure application mechanism 4, and the centrifugal force due to the rotation of the processing surface. The distance between the first processing surface 1 and the second processing surface 2 can be kept at a preferable minute distance. Further, the fluid to be processed which receives the pressure applied by the fluid pressure applying mechanism p1 and the centrifugal force generated by the rotation of the processing surface causes a minute gap between the first processing surface 1 and the second processing surface 2 described above. Is moved in a spiral to promote the reduction reaction.

上記の還元反応は、流体圧付与機構p1と第2流体圧付与機構p2が負荷する送圧や処理用面の回転により、強制的に行われる。即ち、還元反応は、接近・離反可能に互いに対向して配設され、且つ少なくとも一方が他方に対して回転する第1処理用面1と第2処理用面2間で、強制的に均一混合しながら起こる。
従って、金属微粒子の析出は、流体圧付与機構p1が負荷する送圧の調整や、処理用面の回転速度、即ち、回転数の調整という、比較的コントロールし易い方法により、制御できる。なお、第1の被処理流動体および第2被処理流動体の供給温度を制御しても良い。
The above reduction reaction is forcibly performed by the pressure feeding applied by the fluid pressure applying mechanism p1 and the second fluid pressure applying mechanism p2 and the rotation of the processing surface. That is, the reduction reaction is forcibly and uniformly mixed between the first processing surface 1 and the second processing surface 2 that are arranged so as to be able to approach and separate from each other and at least one rotates relative to the other. It happens while.
Therefore, the precipitation of the metal fine particles can be controlled by a method that is relatively easy to control, such as adjusting the feed pressure applied by the fluid pressure applying mechanism p1 and adjusting the rotation speed of the processing surface, that is, the rotation speed. The supply temperature of the first processed fluid and the second processed fluid may be controlled.

そして、両被処理流動体の反応による反応生成物である金属微粒子が分散した水性媒体が第1処理用面1と第2処理用面2間から、その外側に排出される。その外側に排出された反応生成物は、最終的に、排出口32からケース3の外部に排出される。 Then, the aqueous medium in which the metal fine particles, which are reaction products resulting from the reaction of the two fluids to be processed, are dispersed is discharged from between the first processing surface 1 and the second processing surface 2 to the outside. The reaction product discharged to the outside is finally discharged from the discharge port 32 to the outside of the case 3.

上記金属微粒子の製造装置において、第1導入部と第2導入部に加えて第3導入部が存在していてもよい。第3導入部は、第2ディスク20の内部に設けられた第3被処理流動体(例えば、分散剤または分散剤とpH調整剤を含有する水性媒体)の通路であり、その一端が第2処理用面2に開口していてもよく、あるいは、第1ディスク10の内部に設けられた第3被処理流動体の通路であり、その一端が第1処理用面1に開口していてもよい。さらには、第4導入部等が存在していてもよい。第4導入部は、第2処理用部20の内部に設けられた第4被処理流動体の通路であり、その一端が第2処理用面2に開口していてもよく、あるいは、第1ディスク10の内部に設けられた第2被処理流動体の通路であり、その一端が第1処理用面1に開口していてもよい。 In the metal fine particle manufacturing apparatus, a third introduction unit may exist in addition to the first introduction unit and the second introduction unit. The third introduction part is a passage for a third fluid to be processed (for example, a dispersant or an aqueous medium containing a dispersant and a pH adjuster) provided in the second disk 20, and one end of the third introducer is a second. It may be open to the processing surface 2 or may be a passage of the third fluid to be processed provided inside the first disk 10, and one end of the passage may be open to the first processing surface 1. Good. Furthermore, a fourth introduction part or the like may exist. The fourth introduction part is a passage of the fourth fluid to be processed provided in the second processing part 20, and one end thereof may open to the second processing surface 2, or the first It is a passage of the second fluid to be processed provided inside the disk 10, and one end thereof may be open to the first processing surface 1.

上記金属微粒子の製造装置において、図11に示す流動体処理装置に準じて、第1ディスク10と第2ディスク20の代わりに、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mとからなっていてもよい。
第2ホルダー21Mは、第1ホルダー11Mの上方に配置されており、第2ホルダー21Mの下面に第2リング20RMが嵌合または固設されており、第1ホルダー11Mの上面に第1リング10RMが嵌合または固設されている。第2リング20RMの下面が第2処理用面2Mであり、第1リング10RMの上面が第1処理用面1Mである。第1処理用面1Mと第2処理用面2Mは、平滑であり、例えば、鏡面研磨されている。
第1処理用面1Mは第1ホルダー11Mの上面から突出しており、第2処理用面2Mは第2ホルダー21Mの下面から突出している。
In the metal fine particle manufacturing apparatus, in accordance with the fluid processing apparatus shown in FIG. 11, instead of the first disk 10 and the second disk 20, a first holder 11M and a second ring 20RM each having a first ring 10RM are provided. It may consist of the second holder 21M provided.
The second holder 21M is disposed above the first holder 11M, the second ring 20RM is fitted or fixed to the lower surface of the second holder 21M, and the first ring 10RM is disposed on the upper surface of the first holder 11M. Are fitted or fixed. The lower surface of the second ring 20RM is the second processing surface 2M, and the upper surface of the first ring 10RM is the first processing surface 1M. The first processing surface 1M and the second processing surface 2M are smooth and are mirror-polished, for example.
The first processing surface 1M protrudes from the upper surface of the first holder 11M, and the second processing surface 2M protrudes from the lower surface of the second holder 21M.

第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mは、第1ディスク10と第2ディスク20と同様に、少なくとも何れか一方が、少なくとも何れか他方に、接近・離反可能となっており、第1処理用面1Mと第2処理用面2Mは、接近・離反できる。
好ましい実施の形態では、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mに対して、第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mが接近・離反する。これとは逆に、第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mに対して、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mが接近・離反するものであってもよく、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mが互いに接近・離反するものであってもよい。
As with the first disk 10 and the second disk 20, the first holder 11M having the first ring 10RM and the second holder 21M having the second ring 20RM have at least one of them at least one of the other, The first processing surface 1M and the second processing surface 2M can approach and separate from each other.
In a preferred embodiment, the second holder 21M having the second ring 20RM approaches and separates from the first holder 11M having the first ring 10RM. On the contrary, the first holder 11M provided with the first ring 10RM may approach or separate from the second holder 21M provided with the second ring 20RM, and the first holder 10M includes the first ring 10RM. The first holder 11M and the second holder 21M provided with the second ring 20RM may approach or separate from each other.

第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mとは、他方に対して相対的に回転する。好ましくは、図11に示す流動体処理装置に準じて、第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mが固定されており、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mが回転する。あるいは、逆に第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mが固定されており、第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mが回転してもよく、あるいは、両方が反対方向に回転してもよい。 The first holder 11M provided with the first ring 10RM and the second holder 21M provided with the second ring 20RM rotate relative to the other. Preferably, according to the fluid treatment apparatus shown in FIG. 11, the second holder 21M having the second ring 20RM is fixed, and the first holder 11M having the first ring 10RM rotates. Alternatively, on the contrary, the first holder 11M having the first ring 10RM may be fixed and the second holder 21M having the second ring 20RM may rotate, or both may rotate in the opposite direction. Good.

上記金属微粒子の製造装置において、図12に示す流動体処理装置に準じて、第1ディスク10の代わりに第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと、第2処理用部20Mとからなっていてもよい。逆に、図13に示す流動体処理装置に準じて、第1処理用部10Mと、第2ディスク20の代わりに第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mとからなっていてもよい。 According to the fluid processing apparatus shown in FIG. 12, the metal fine particle manufacturing apparatus includes a first holder 11M having a first ring 10RM instead of the first disk 10 and a second processing section 20M. May be. Conversely, according to the fluid processing apparatus shown in FIG. 13, the first processing unit 10 </ b> M and the second holder 21 </ b> M including the second ring 20 </ b> RM instead of the second disk 20 may be included.

第1ディスク10の代わりに第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと、第2処理用部20Mとからなる図12に示す流動体処理装置に準じて、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと第2処理用部20Mは、第1ディスク10と第2ディスク20と同様に、少なくとも何れか一方が、少なくとも何れか他方に、接近・離反可能となっており、第1処理用面1Mと第2処理用面2Mは、接近・離反できる。
好ましい実施の形態では、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mに対して第2処理用部20Mが接近・離反する。これとは逆に、第2処理用部20Mに対して、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mが接近・離反するものであってもよく、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと第2処理用部20Mとが互いに接近・離反するものであってもよい。
In accordance with the fluid processing apparatus shown in FIG. 12, which includes a first holder 11M having a first ring 10RM instead of the first disk 10 and a second processing unit 20M, a first having a first ring 10RM is provided. As with the first disk 10 and the second disk 20, the holder 11M and the second processing part 20M are capable of approaching / separating from at least one of them, and the first processing surface. 1M and the 2nd process surface 2M can approach and separate.
In a preferred embodiment, the second processing portion 20M approaches and separates from the first holder 11M having the first ring 10RM. On the contrary, the first holder 11M provided with the first ring 10RM may approach or separate from the second processing unit 20M, and the first holder 11M provided with the first ring 10RM may be used. And the second processing unit 20M may approach and separate from each other.

第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mと第2処理用部20Mとは、他方に対して相対的に回転する。好ましくは、図12に示す流動体処理装置に準じて、第2処理用部20Mが固定されており、第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mが回転する。あるいは、逆に第1リング10RMを具備した第1ホルダー11Mが固定されており、第2処理用部20Mが回転してもよく、あるいは、両方が反対方向に回転してもよい。 The first holder 11M provided with the first ring 10RM and the second processing unit 20M rotate relative to the other. Preferably, according to the fluid processing apparatus shown in FIG. 12, the second processing unit 20M is fixed, and the first holder 11M including the first ring 10RM rotates. Alternatively, on the contrary, the first holder 11M including the first ring 10RM may be fixed, and the second processing unit 20M may rotate, or both may rotate in the opposite direction.

第1処理用部10Mと、第2ディスク20の代わりに第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mとからなる図13に示す流動体処理装置に準じて、第1処理用部10Mと第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mは、第1ディスク10と第2ディスクと同様に、少なくとも何れか一方が、少なくとも何れか他方に、接近・離反可能となっており、第1処理用面1Mと第2処理用面2Mは、接近・離反できる。
好ましい実施の形態では、第1処理用部10Mに対して第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mが接近・離反する。これとは逆に、第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mに対して第1処理用部10Mが接近・離反するものであってもよく、第1処理用部10Mと第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mとが互いに接近・離反するものであってもよい。
The first processing unit 10M and the second processing unit 10M and the second processing unit 10M are configured according to the fluid processing apparatus shown in FIG. Similar to the first disk 10 and the second disk, the second holder 21M having the ring 20RM can be moved toward and away from at least one of the first disk 10M and the first processing surface 1M. And the second processing surface 2M can approach and separate.
In a preferred embodiment, the second holder 21M having the second ring 20RM approaches and separates from the first processing portion 10M. On the contrary, the first processing unit 10M may approach or separate from the second holder 21M having the second ring 20RM, and the first processing unit 10M and the second ring 20RM may be connected to each other. The second holder 21M provided may approach or separate from each other.

第1処理用部10Mと第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mとは、他方に対して相対的に回転する。好ましくは、図13に示す流動体処理装置に準じて、第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mが固定されており、第1処理用部10Mが回転する。あるいは、逆に第1処理用部10Mが固定されており、第2リング20RMを具備した第2ホルダー21Mが回転してもよく、あるいは、両方が反対方向に回転してもよい。 The first processing unit 10M and the second holder 21M having the second ring 20RM rotate relative to the other. Preferably, according to the fluid processing apparatus shown in FIG. 13, the second holder 21M having the second ring 20RM is fixed, and the first processing portion 10M rotates. Alternatively, on the contrary, the first processing unit 10M may be fixed, and the second holder 21M including the second ring 20RM may rotate, or both may rotate in the opposite direction.

以下に、金属微粒子用の金属塩由来の金属イオン、すなわち、該金属塩が解離して生成した金属イオンの還元反応をより詳細に説明する。 Hereinafter, the reduction reaction of metal ions derived from metal salts for metal fine particles, that is, metal ions generated by dissociation of the metal salts will be described in more detail.

この還元反応は、図1、図2に示す金属微粒子製造装置の、接近・離反可能に互いに対向して配設され、少なくとも一方が他方に対して回転する第1処理用面1,第2処理用面2間で強制的に均一混合しながら起こる。 This reduction reaction is performed by the first and second processing surfaces 1 and 2 of the metal fine particle manufacturing apparatus shown in FIGS. 1 and 2, which are disposed so as to be able to approach and separate from each other, at least one of which rotates relative to the other. Occurs with uniform mixing between the working surfaces 2 forcibly.

まず、一つの流路である第1導入部d1より、第1流体として少なくとも還元剤とpH調整剤を含有する水性媒体を、接近・離反可能に互いに対向して配設され、少なくとも一方が他方に対して回転する第1処理用面1,第2処理用面2間に導入して、この処理用面間に第1流体から構成された薄膜流体を作る。 First, an aqueous medium containing at least a reducing agent and a pH adjusting agent as a first fluid is disposed opposite to each other so as to be able to approach and separate from the first introduction part d1 which is one flow path, and at least one of the other is disposed on the other Is introduced between the first processing surface 1 and the second processing surface 2 that rotate relative to each other, thereby forming a thin film fluid composed of the first fluid between the processing surfaces.

次いで、別流路である第2導入部d2より、第2流体として少なくとも金属塩を含有する水性媒体を、第1処理用面1,第2処理用面2間に作られた第1流体から構成された薄膜流体に直接導入する。
ここで、第1流体のpHが8〜13の範囲であり、第2流体のpHが3〜7の範囲であることが必要である。
Next, an aqueous medium containing at least a metal salt as the second fluid is transferred from the first fluid created between the first processing surface 1 and the second processing surface 2 from the second introduction part d2 which is a separate flow path. Introduce directly into the constructed thin film fluid.
Here, it is necessary that the pH of the first fluid is in the range of 8 to 13 and the pH of the second fluid is in the range of 3 to 7.

なお、第1流体として少なくとも還元剤とpH調整剤を含有する水性媒体が好ましく、第2流体として少なくとも金属塩を含有する水性媒体が好ましいが、これらに限定されるものではない。例えば、第1流体が少なくとも還元剤とpH調整剤を含有する水性媒体であり、第2流体が少なくとも金属塩を含有する水性媒体であり、第1流体と第2流体のいずれか、または両方が沸点上昇剤を含有し、第1流体と第2流体のいずれか、または両方が分散剤を含有するものであってもよい。 In addition, an aqueous medium containing at least a reducing agent and a pH adjusting agent is preferable as the first fluid, and an aqueous medium containing at least a metal salt is preferable as the second fluid, but is not limited thereto. For example, the first fluid is an aqueous medium containing at least a reducing agent and a pH adjuster, the second fluid is an aqueous medium containing at least a metal salt, and either or both of the first fluid and the second fluid are A boiling point increasing agent is contained, and either or both of the first fluid and the second fluid may contain a dispersant.

上記のように、流体の供給圧と回転する処理用面の間にかかる圧力との圧力バランスによって微小な間隙に調整された第1処理用面1,第2処理用面2間にて、第1流体と第2流体とが合流し、薄膜中で均一に混合しながら還元反応が行われる。そして、金属塩が解離して生成した金属イオンが、pH調整剤の存在下で、しかも特定のpH範囲で還元剤により還元されて、生成した金属微粒子が分散した水性媒体が金属微粒子製造装置から吐出される。 As described above, between the first processing surface 1 and the second processing surface 2 adjusted to a minute gap by the pressure balance between the fluid supply pressure and the pressure applied between the rotating processing surfaces, The 1st fluid and the 2nd fluid merge and a reduction reaction is performed while mixing uniformly in the thin film. An aqueous medium in which metal ions generated by dissociation of the metal salt are reduced by a reducing agent in the presence of a pH adjuster and in a specific pH range and the generated metal fine particles are dispersed is obtained from the metal fine particle production apparatus. Discharged.

なお、第1処理用面1,第2処理用面2間にて上記還元反応を行うことができれば良いのであって、上記とは逆に、第1導入部d1より第2流体を導入し、第2導入部d2より第1流体を導入するものであっても良い。 In addition, it is only necessary that the above reduction reaction can be performed between the first processing surface 1 and the second processing surface 2, and conversely, the second fluid is introduced from the first introduction part d1, The first fluid may be introduced from the second introduction part d2.

得られる金属微粒子の粒子径や、粒度分布は、第1処理用面1,第2処理用面2の回転数や、第1処理用面1,第2処理用面2間の距離、および、薄膜流体の流速や原料濃度を変えることにより調節することができる。
混合効率と反応効率の点で、第1処理用面と第2処理用面の一方が他方に対して回転する速度が500rpm〜3000rpmであり、第1処理用面1,第2処理用面2間の間隔が好ましくは0.1μmから100μm、より好ましくは、0.1μmから20μmである。
The particle diameter and particle size distribution of the metal fine particles obtained are the rotational speed of the first processing surface 1 and the second processing surface 2, the distance between the first processing surface 1 and the second processing surface 2, and It can be adjusted by changing the flow rate and raw material concentration of the thin film fluid.
In terms of mixing efficiency and reaction efficiency, the speed at which one of the first processing surface and the second processing surface rotates with respect to the other is 500 rpm to 3000 rpm, and the first processing surface 1 and the second processing surface 2. The distance between them is preferably 0.1 μm to 100 μm, more preferably 0.1 μm to 20 μm.

上記還元反応は、導入流体の温度設定および第1処理用面1,第2処理用面2を直接温度調整することにより、反応温度を制御できる。反応温度は、通常常温以上被処理流動体の沸点以下であるが、これに限定されるものではない。被処理流動体の沸点は、沸点上昇剤を添加することにより上昇させることができ、反応温度は50℃から140℃の範囲であることが好ましい。 In the reduction reaction, the reaction temperature can be controlled by setting the temperature of the introduced fluid and directly adjusting the temperature of the first processing surface 1 and the second processing surface 2. The reaction temperature is usually not lower than the normal temperature and not higher than the boiling point of the fluid to be treated, but is not limited thereto. The boiling point of the fluid to be treated can be increased by adding a boiling point increasing agent, and the reaction temperature is preferably in the range of 50 ° C to 140 ° C.

本発明の金属微粒子の製造方法で用いる強制超薄膜回転式反応装置は、図面に記載のものだけでなく、市販品を使用できる。そのような市販強制超薄膜回転式反応装置として、エム・テクニック株式会社製のULREA(ULREAはエム・テクニック株式会社の登録商標である)が例示される。 As the forced ultrathin film rotary reactor used in the method for producing fine metal particles of the present invention, not only those described in the drawings but also commercially available products can be used. An example of such a commercially available forced ultrathin film rotary reactor is ULREA manufactured by M Technique Co., Ltd. (ULREA is a registered trademark of M Technique Co., Ltd.).

金属微粒子の金属は限定されず、ニッケル、鉄、コバルト、クロム等が例示されるが、特にニッケルであることが好ましい。 The metal of the metal fine particles is not limited, and examples thereof include nickel, iron, cobalt, chromium, and the like, but nickel is particularly preferable.

本発明の金属微粒子の製造方法で用いられるニッケル塩は、水性媒体中で解離して生成するニッケルイオンが還元剤によって還元されるものであれば特に限定されない。ニッケル塩の具体例として、硫酸ニッケル(II)六水和物、硫酸ニッケル(II)アンモニウム六水和物、硝酸ニッケル(II)六水和物、酢酸ニッケル(II)四水和物、ヒドロキシ酢酸ニッケル(II)を挙げることができる。 The nickel salt used in the method for producing fine metal particles of the present invention is not particularly limited as long as nickel ions dissociated and produced in an aqueous medium are reduced by a reducing agent. Specific examples of nickel salts include nickel sulfate (II) hexahydrate, nickel sulfate (II) ammonium hexahydrate, nickel nitrate (II) hexahydrate, nickel acetate (II) tetrahydrate, hydroxyacetic acid Nickel (II) can be mentioned.

また、ニッケル以外の金属の場合も同様に、水性媒体中で解離して生成する金属イオンが還元剤によって還元されるものであれば特に限定されず、硫酸鉄(II)七水和物、硝酸鉄(III)九水和物、硫酸コバルト(II)七水和物、硝酸コバルト(II)六水和物、硫酸クロム(III)水和物、硝酸クロム(III)九水和物が例示される。 Similarly, in the case of a metal other than nickel, it is not particularly limited as long as the metal ion generated by dissociation in an aqueous medium is reduced by a reducing agent, and iron (II) sulfate heptahydrate, nitric acid Examples include iron (III) nonahydrate, cobalt (II) sulfate heptahydrate, cobalt (II) nitrate hexahydrate, chromium (III) sulfate hydrate, chromium (III) nitrate nonahydrate. The

液相である被処理流動体は、金属塩と還元剤とpH調整剤と沸点上昇剤と分散剤を溶解する、水性媒体を構成成分とする。
水性媒体とは、水、または水と水溶性有機溶媒との混合液をいう。そのための水溶性有機溶媒は、20℃における水に対する溶解性が50g/L以上でかつ30〜250℃の沸点を有する有機溶媒が好ましい。炭素数1〜6のアルコール(例えば、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、n−ブタノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール)、炭素数3〜6のケトン(例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン)、炭素数2〜6のエーテル(例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン)、炭素数2〜6のアルキレングリコールモノエーテル(例えば、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル)が好ましく、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、テトラヒドロフランが特に好ましい。水性媒体中の有機溶媒の含有量は、50質量%以下が好ましく、1〜40質量%がより好ましく、2〜35質量%がさらに好ましい。有機溶媒は2種以上を併用してもよい。
The fluid to be treated, which is a liquid phase, includes an aqueous medium that dissolves a metal salt, a reducing agent, a pH adjuster, a boiling point increasing agent, and a dispersing agent.
The aqueous medium refers to water or a mixed liquid of water and a water-soluble organic solvent. The water-soluble organic solvent for that purpose is preferably an organic solvent having a solubility in water at 20 ° C. of 50 g / L or more and a boiling point of 30 to 250 ° C. C1-C6 alcohol (for example, ethanol, n-propanol, isopropanol, n-butanol, cyclohexanol, ethylene glycol), C3-C6 ketone (for example, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone), C2-C2 6 ethers (for example, tetrahydrofuran, dioxane), alkylene glycol monoethers having 2 to 6 carbon atoms (for example, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether) are preferred, such as ethanol, n-propanol, Isopropanol and tetrahydrofuran are particularly preferred. 50 mass% or less is preferable, as for content of the organic solvent in an aqueous medium, 1-40 mass% is more preferable, and 2-35 mass% is further more preferable. Two or more organic solvents may be used in combination.

本発明の金属微粒子の製造方法においては、金属塩の解離性および金属塩と還元剤とpH調整剤と沸点上昇剤と分散剤の溶解性と還元反応性の点から、水と水溶性有機溶媒含有水(例えば、水および炭素数1〜4のアルコールの混合溶液)が好ましく、特に水が好ましい。 In the method for producing fine metal particles of the present invention, water and a water-soluble organic solvent are used from the viewpoint of dissociation of metal salt and solubility and reduction reactivity of metal salt, reducing agent, pH adjuster, boiling point increasing agent and dispersant. Containing water (for example, a mixed solution of water and an alcohol having 1 to 4 carbon atoms) is preferable, and water is particularly preferable.

本発明の金属微粒子の製造方法で用いられる還元剤は、液相の反応系中で、金属塩が解離して生成した金属イオンを還元することにより、金属微粒子を析出させることができれば特に限定されない。後述のpH調整剤の存在下で金属塩と還元剤とが、接近・離反可能に互いに対向して配設され、少なくとも一方が他方に対して回転する処理用面の間にできる薄膜流体中で反応することにより、多大な熱エネルギーを与えずに、金属塩が解離して生成した金属イオンが還元されて金属微粒子が析出する。析出した金属微粒子は、水性媒体中に分散している。この際、反応系中に分散剤が存在すると、析出した金属微粒子の分散性が向上するので好ましい。 The reducing agent used in the method for producing fine metal particles of the present invention is not particularly limited as long as the fine metal particles can be precipitated by reducing metal ions generated by dissociation of the metal salt in a liquid phase reaction system. . In the thin film fluid formed between the processing surfaces in which at least one of the metal salt and the reducing agent is disposed to face each other in the presence of a pH adjusting agent described later so as to be capable of approaching and separating, and at least one rotates relative to the other. By reacting, the metal ions generated by dissociation of the metal salt are reduced and metal fine particles are deposited without applying a great amount of heat energy. The deposited metal fine particles are dispersed in an aqueous medium. At this time, the presence of a dispersant in the reaction system is preferable because the dispersibility of the precipitated metal fine particles is improved.

本発明の金属微粒子の製造方法で用いられる還元剤は、水性媒体中で金属塩が解離して生成した金属イオンを還元して金属微粒子とする作用がある。
かかる還元剤として無機系還元剤と有機系還元剤がある。無機系還元剤として、例えば、水素化ホウ素ナトリウム,水素化ホウ素アンモニウム等の水素化ホウ素塩系還元剤、亜リン酸,亜リン酸ナトリウム,次亜リン酸,次亜リン酸ナトリウム等の亜リン酸系還元剤、ヒドラジンおよびその水和物,塩酸ヒドラジン,硫酸ヒドラジン,抱水ヒドラジン等のヒドラジン系還元剤、亜硫酸ナトリウム,亜硫酸水素ナトリウム等の亜硫酸系還元剤、チオ硫酸ナトリウム、亜硝酸ナトリウム、次亜硝酸ナトリウム等の亜硝酸系還元剤、遷移金属元素のイオン(三価のチタンイオン、二価のコバルトイオン等)などの無機系還元剤が挙げられる。
これらのうちでは、還元力と溶解性の点で水素化ホウ素ナトリウム,水素化ホウ素アンモニウム等の水素化ホウ素塩系還元剤およびヒドラジンおよびその水和物,塩酸ヒドラジン,硫酸ヒドラジン,抱水ヒドラジン等のヒドラジン系還元剤が好ましい。
The reducing agent used in the method for producing fine metal particles of the present invention has an action of reducing metal ions generated by dissociation of a metal salt in an aqueous medium to form fine metal particles.
Such reducing agents include inorganic reducing agents and organic reducing agents. Examples of inorganic reducing agents include, for example, borohydride salt reducing agents such as sodium borohydride and ammonium borohydride, phosphorous acid such as phosphorous acid, sodium phosphite, hypophosphorous acid, and sodium hypophosphite. Acidic reducing agents, hydrazine and its hydrates, hydrazine reducing agents such as hydrazine hydrochloride, hydrazine sulfate, hydrazine hydrate, sulfite reducing agents such as sodium sulfite and sodium bisulfite, sodium thiosulfate, sodium nitrite, Examples thereof include nitrite-based reducing agents such as sodium nitrite and inorganic reducing agents such as transition metal element ions (trivalent titanium ions, divalent cobalt ions, etc.).
Among these, borohydride salt reducing agents such as sodium borohydride and ammonium borohydride and hydrazine and its hydrate, hydrazine hydrochloride, hydrazine sulfate, hydrazine hydrate and the like in terms of reducing power and solubility. A hydrazine-based reducing agent is preferred.

有機系還元剤として、例えば、低級アルコール(メタノール、エタノール、2−プロパノール、エチレングリコール等)、アスコルビン酸、低級アルデヒド類(ヒドロキノン、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド等)、グルタチオン、低級有機カルボン酸類(ギ酸、シュウ酸、クエン酸、クエン酸ナトリウム、リンゴ酸、酒石酸等)、還元性糖類(グルコース、ラクトース、アラビノース、ガラクトース、マンノース、フルクトース、ラフィノース、スタキオース等)、糖アルコール類(ソルビトール、キシリトール、マンニトール等)が挙げられる。これらのうちでは、還元力と溶媒への溶解性の点でエチレングリコールが好ましい。
なお、低級アルコールや還元性糖類、糖アルコールを用いる場合は、より強い還元性とするためカルボニル基を有する有機酸やケトン類を併用することが好ましい。
Examples of organic reducing agents include lower alcohols (methanol, ethanol, 2-propanol, ethylene glycol, etc.), ascorbic acid, lower aldehydes (hydroquinone, formaldehyde, acetaldehyde, propionaldehyde, etc.), glutathione, lower organic carboxylic acids (formic acid). , Oxalic acid, citric acid, sodium citrate, malic acid, tartaric acid, etc.), reducing sugars (glucose, lactose, arabinose, galactose, mannose, fructose, raffinose, stachyose, etc.), sugar alcohols (sorbitol, xylitol, mannitol, etc.) ). Among these, ethylene glycol is preferable in terms of reducing power and solubility in a solvent.
In the case of using a lower alcohol, a reducing saccharide, or a sugar alcohol, it is preferable to use an organic acid or a ketone having a carbonyl group in combination in order to make it stronger.

有機系還元剤として、また、アミン系還元剤が挙げられる。かかるアミン系還元剤として、例えば、プロピルアミン、ブチルアミン、ヘキシルアミン、ジエチルアミン、ジプロピルアミン、ジメチルエチルアミン、ジエチルメチルアミン、トリエチルアミン、エチレンジアミン、N,N,N′,N′−テトラメチルエチレンジアミン、1,3−ジアミノプロパン、N,N,N′,N′−テトラメチル−1,3−ジアミノプロパン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン等の脂肪族アミン、ピペリジン、N−メチルピペリジン、ピペラジン、N,N′−ジメチルピペラジン、ピロリジン、N−メチルピロリジン、モルホリン等の脂環式アミン、アニリン、N−メチルアニリン、N,N−ジメチルアニリン、トルイジン、アニシジン、フェネチジン等の芳香族アミン、ベンジルアミン、N−メチルベンジルアミン、N,N−ジメチルベンジルアミン、フェネチルアミン、キシリレンジアミン、N,N,N′,N′−テトラメチルキシリレンジアミン等のアラルキルアミン等を挙げることができる。 Examples of the organic reducing agent include amine-based reducing agents. Examples of such amine reducing agents include propylamine, butylamine, hexylamine, diethylamine, dipropylamine, dimethylethylamine, diethylmethylamine, triethylamine, ethylenediamine, N, N, N ′, N′-tetramethylethylenediamine, 1, Aliphatic amines such as 3-diaminopropane, N, N, N ′, N′-tetramethyl-1,3-diaminopropane, triethylenetetramine, tetraethylenepentamine, piperidine, N-methylpiperidine, piperazine, N, N'-dimethylpiperazine, pyrrolidine, N-methylpyrrolidine, alicyclic amines such as morpholine, aniline, N-methylaniline, N, N-dimethylaniline, toluidine, anisidine, phenetidine and other aromatic amines, benzylamine, N − Chill benzylamine, N, N-dimethylbenzylamine, phenethylamine, xylylenediamine, N, N, N ', an aralkyl amine such as N'- tetramethyl xylylene diamine.

また、例えば、メチルアミノエタノール、ジメチルアミノエタノール、トリエタノールアミン、エタノールアミン、ジエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、プロパノールアミン、2−(3−アミノプロピルアミノ)エタノール、ブタノールアミン、ヘキサノールアミン、ジメチルアミノプロパノール等のアルカノールアミンも挙げることができる。これらのうち、アルカノールアミンが好ましく、ジメチルエタノールアミンがより好ましい。さらには、トリメチルアミンボラン、ジメチルアミンボラン、ターシャリーブチルアミンボランを挙げることができる。
これらのうちでは、還元力と溶媒への溶解性の点でアルカノールアミンが好ましい。
Further, for example, alkanols such as methylaminoethanol, dimethylaminoethanol, triethanolamine, ethanolamine, diethanolamine, methyldiethanolamine, propanolamine, 2- (3-aminopropylamino) ethanol, butanolamine, hexanolamine, dimethylaminopropanol, etc. Mention may also be made of amines. Of these, alkanolamine is preferable, and dimethylethanolamine is more preferable. Furthermore, trimethylamine borane, dimethylamine borane, and tertiary butylamine borane can be mentioned.
Among these, alkanolamine is preferable from the viewpoint of reducing power and solubility in a solvent.

無機系還元剤と有機系還元剤を併用しても良く、併用例として、ヒドラジン(水和物を含む)とエチレングリコール、水素化ホウ素ナトリウムとエチレングリコールがある。 An inorganic reducing agent and an organic reducing agent may be used in combination. Examples of the combination include hydrazine (including hydrate) and ethylene glycol, sodium borohydride, and ethylene glycol.

本発明の金属微粒子の連続的製造方法においては、pH5より大きく12以下である薄膜流体中で金属イオンの還元反応を行う。この際、被処理流動体が第1の被処理流動体と第2の被処理流動体である場合、第1の被処理流動体のpHは8〜13であり、第2の被処理流動体のpHは3〜7であり、第1の被処理流動体のpHは第2の被処理流動体のpHより1〜8大きい。
これにより、金属イオンの還元反応を安定的におこなうことができ、複数の放射状に突出する錐状突起であってその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり、該三角形の頂角が10〜40度であり、平均粒径が0.01〜10μmであり、粒度分布のCV値が100%以下である金属微粒子を得ることができる。
In the method for continuously producing fine metal particles of the present invention, the reduction reaction of metal ions is performed in a thin film fluid having a pH greater than 5 but not greater than 12. At this time, when the fluids to be treated are the first fluid to be treated and the second fluid to be treated, the pH of the first fluid to be treated is 8 to 13, and the second fluid to be treated. The pH of the first fluid to be treated is 3 to 7, and the pH of the first fluid to be treated is 1 to 8 higher than the pH of the second fluid to be treated.
Thereby, the reduction reaction of metal ions can be performed stably, and a plurality of radially projecting conical projections, the side shape of the transmission electron micrograph is a triangle, and the apex angle of the triangle is 10 Metal fine particles having a particle size distribution of ˜40 degrees, an average particle size of 0.01 to 10 μm, and a CV value of the particle size distribution of 100% or less can be obtained.

本発明の金属微粒子の連続的製造方法で用いられるpH調整剤として、有機系のアルカリもしくは酸、無機系のアルカリもしくは酸、またはアルカリ性もしくは酸性の塩であり、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、塩酸、硫酸、硝酸、アンモニア、炭酸ナトリウム、炭酸水素アンモニウム、炭酸アンモニウム、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、リン酸塩、酢酸アンモニウム、シュウ酸アンモニウム、クエン酸、クエン酸ナトリウム、アジピン酸、塩酸が例示される。 As a pH adjuster used in the method for continuously producing fine metal particles of the present invention, an organic alkali or acid, an inorganic alkali or acid, or an alkaline or acidic salt, sodium hydroxide, potassium hydroxide, hydrochloric acid , Sulfuric acid, nitric acid, ammonia, sodium carbonate, ammonium hydrogen carbonate, ammonium carbonate, potassium hydroxide, sodium hydroxide, phosphate, ammonium acetate, ammonium oxalate, citric acid, sodium citrate, adipic acid, hydrochloric acid The

また、本発明の金属微粒子の連続的製造方法においては、被処理流動体、すなわち、第1の被処理流動体、第2の被処理流動体は、沸点上昇剤を含有しても良い。沸点上昇剤は被処理流動体の沸点を高くすることができ、金属イオンの還元反応を、より高い温度でおこなうことができる。還元反応の反応温度は常温から150℃の範囲であることが好ましく、50℃から140℃であることがより好ましい。このため、第1の被処理流動体、第2の被処理流動体の温度は、常温〜150℃の範囲であることが好ましい。 In the continuous production method of metal fine particles of the present invention, the fluid to be treated, that is, the first fluid to be treated and the second fluid to be treated may contain a boiling point increasing agent. The boiling point raising agent can increase the boiling point of the fluid to be treated, and the metal ion reduction reaction can be performed at a higher temperature. The reaction temperature of the reduction reaction is preferably in the range of room temperature to 150 ° C, more preferably 50 ° C to 140 ° C. For this reason, it is preferable that the temperature of the 1st to-be-processed fluid and the 2nd to-be-processed fluid is the range of normal temperature-150 degreeC.

このような沸点上昇剤として、多価アルコール(エチレングリコール、グリセリン等)、糖アルコール類(ソルビトール、キシリトール、マンニトール等)、ポバール(ポリビニルアルコール)、ポリエチレングリコール等が例示される。なお、このような沸点上昇剤は、分散剤、還元剤を兼ねていても良い。 Examples of such boiling point raising agents include polyhydric alcohols (ethylene glycol, glycerin, etc.), sugar alcohols (sorbitol, xylitol, mannitol, etc.), poval (polyvinyl alcohol), polyethylene glycol, and the like. In addition, such a boiling point raising agent may serve as a dispersing agent and a reducing agent.

第1の被処理流動体は、少なくとも還元剤とpH調整剤を含有する水性媒体であり、好ましくは還元剤とpH調整剤と沸点上昇剤との水溶液である。第1の被処理流動体は、pH調整剤によりpHは8〜13の範囲に調整され、9〜12の範囲であることがより好ましい。第1の被処理流動体は、さらに分散剤を含有してもよい。また、第2の被処理流動体は、少なくとも金属塩を含有する水性媒体であり、さらに分散剤または沸点上昇剤を含有することが好ましい。第2の被処理流動体のpHは金属塩が水性媒体中で安定した金属イオンとなるように3〜7の範囲に調整される。また、第1の被処理流動体のpHは、第2の被処理流動体のpHより1から8大きい。pHの差が小さいと得られる金属微粒子の平均粒径が大きくなり、pHの差が大きいと得られる金属微粒子の平均粒径が小さくなるという特徴がある。なお、該薄膜流体のpHは、第1の被処理流動体と第2の被処理流動体の混合液のpHと略同じである。 The first fluid to be treated is an aqueous medium containing at least a reducing agent and a pH adjusting agent, and is preferably an aqueous solution of a reducing agent, a pH adjusting agent, and a boiling point increasing agent. The pH of the first fluid to be treated is adjusted to a range of 8 to 13 with a pH adjuster, and more preferably in a range of 9 to 12. The first fluid to be treated may further contain a dispersant. The second fluid to be treated is an aqueous medium containing at least a metal salt, and preferably further contains a dispersant or a boiling point raising agent. The pH of the second treated fluid is adjusted to a range of 3 to 7 so that the metal salt becomes a stable metal ion in the aqueous medium. The pH of the first fluid to be treated is 1 to 8 higher than the pH of the second fluid to be treated. When the difference in pH is small, the average particle diameter of the obtained metal fine particles is large, and when the difference in pH is large, the average particle diameter of the obtained metal fine particles is small. The pH of the thin film fluid is substantially the same as the pH of the mixed liquid of the first fluid to be treated and the second fluid to be treated.

第1の被処理流動体と第2の被処理流動体が混合して生成する薄膜流体のpHが5以下であると、還元剤の還元力が低下する問題があり、pHが12を越えると第1の被処理流動体中のpH調整剤の量が過大となり、アルカリ性が強くて取扱にくいという問題がある。 When the pH of the thin film fluid produced by mixing the first treated fluid and the second treated fluid is 5 or less, there is a problem that the reducing agent has a reduced reducing power. There is a problem that the amount of the pH adjusting agent in the first fluid to be treated becomes excessive, and the alkalinity is strong and difficult to handle.

本発明の金属微粒子の連続的製造方法で用いられる分散剤は、金属塩が水性媒体中で解離して生成する金属イオンが還元されて析出する金属微粒子を、薄膜流体中により良く分散させる作用がある。
かかる分散剤は、水性媒体に対して良好な溶解性を有すると共に、析出した金属微粒子を、薄膜流体中に良好に分散させることができれば、特に限定されない。該分散剤として、種々のものが利用できるが、例えば、有機酸やそれらの有機酸の塩、特には高・中級脂肪酸およびその塩を挙げることができる。
The dispersant used in the method for continuously producing fine metal particles of the present invention has a function of better dispersing fine metal particles precipitated by reduction of metal ions generated by the dissociation of metal salts in an aqueous medium in a thin film fluid. is there.
Such a dispersant is not particularly limited as long as it has good solubility in an aqueous medium and can disperse the deposited metal fine particles in a thin film fluid. Various dispersants can be used as the dispersant, and examples thereof include organic acids and salts of these organic acids, particularly high and intermediate fatty acids and salts thereof.

そのための高・中級脂肪酸として、ペンタン酸(吉草酸)、ヘキサン酸(カプロン酸)、ヘプタン酸(エナント酸)、オクタン酸(カプリル酸)、ノナン酸(ペラルゴン酸)、デカン酸(カプリン酸)、ドデカン酸(ラウリン酸)、テトラデカン酸(ミリスチン酸)、ペンタデカン酸、ヘキサデカン酸(パルミチン酸)、ヘプタデカン酸(マルガリン酸)、オクタデカン酸(ステアリン酸)、12−ヒドロキシオクタデカン酸(12−ヒドロキシオレイン酸)、エイコサン酸(アラキン酸)、ドコサン酸(ベヘン酸)、テトラコサン酸(リグノセリン酸)、ヘキサコサン酸(セロチン酸)、オクタコサン酸(モンタン酸)等の1価の直鎖飽和脂肪酸;2−ペンチルノナン酸、2−ヘキシルデカン酸、2−ヘプチルドデカン酸、イソオレイン酸等の1価の分枝飽和脂肪酸;ソルビン酸、マレイン酸、パルミトレイン酸、オレイン酸、イソオレイン酸、エライジン酸、リノール酸、リノレン酸、リシノール酸、ガドレン酸、エルカ酸、セラコレイン酸等の1価の不飽和脂肪酸が例示される。 For this purpose, pentanoic acid (valeric acid), hexanoic acid (caproic acid), heptanoic acid (enanthic acid), octanoic acid (caprylic acid), nonanoic acid (pelargonic acid), decanoic acid (capric acid), Dodecanoic acid (lauric acid), tetradecanoic acid (myristic acid), pentadecanoic acid, hexadecanoic acid (palmitic acid), heptadecanoic acid (margaric acid), octadecanoic acid (stearic acid), 12-hydroxyoctadecanoic acid (12-hydroxyoleic acid) , Monovalent linear saturated fatty acids such as eicosanoic acid (arachidic acid), docosanoic acid (behenic acid), tetracosanoic acid (lignoceric acid), hexacosanoic acid (serotic acid), octacosanoic acid (montanoic acid); 2-pentylnonanoic acid, 2-hexyldecanoic acid, 2-heptyldodecanoic acid, isooleic acid Monovalent branched saturated fatty acids such as sorbic acid, maleic acid, palmitoleic acid, oleic acid, isooleic acid, elaidic acid, linoleic acid, linolenic acid, ricinoleic acid, gadrenic acid, erucic acid, ceracoleic acid, etc. Saturated fatty acids are exemplified.

また、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、マレイン酸、フマル酸、オキシジ酢酸(ジグリコール酸)、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スペリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ジグリコール酸等の多価の脂肪族カルボン酸が例示される。さらには、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸等の多価の芳香族カルボン酸が例示される。 In addition, polyvalent acids such as oxalic acid, malonic acid, succinic acid, maleic acid, fumaric acid, oxydiacetic acid (diglycolic acid), glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, speric acid, azelaic acid, sebacic acid, diglycolic acid, etc. The aliphatic carboxylic acid is exemplified. Furthermore, polyvalent aromatic carboxylic acids such as phthalic acid, isophthalic acid and terephthalic acid are exemplified.

高中級脂肪酸塩の塩として、アルカリ金属塩、特にはナトリウム塩とカリウム塩、アルカリ土類金属塩、アミン塩、アンモニウム塩が例示される。 Examples of the salt of the high intermediate fatty acid salt include alkali metal salts, particularly sodium and potassium salts, alkaline earth metal salts, amine salts, and ammonium salts.

また、デンプン、ゼラチン等の天然高分子分散剤、合成高分子分散剤、例えば、ポリエチレンイミン、ポリビニルピロリドン等のアミン系の高分子分散剤、ポリアクリルアミド、ポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース等の分子中にカルボン酸基を有する炭化水素系の高分子分散剤、ポバール(ポリビニルアルコール)、ポリエチレングリコール、1分子中にポリエチレンイミン部分とポリエチレンオキサイド部分とを有する共重合体、アミノ基、リン酸基、酸性リン酸エステル基、カルボキシ基等の極性基を有する高分子分散剤が挙げられる。また、その分子量は、100000以下であるのが好ましい。 In addition, natural polymer dispersants such as starch and gelatin, synthetic polymer dispersants, for example, amine-based polymer dispersants such as polyethyleneimine and polyvinylpyrrolidone, and molecules such as polyacrylamide, polyacrylic acid and carboxymethylcellulose. Hydrocarbon polymer dispersant having carboxylic acid group, poval (polyvinyl alcohol), polyethylene glycol, copolymer having polyethyleneimine part and polyethylene oxide part in molecule, amino group, phosphate group, acidic phosphorus Examples thereof include a polymer dispersant having a polar group such as an acid ester group or a carboxy group. Moreover, it is preferable that the molecular weight is 100,000 or less.

市販の合成高分子分散剤として、例えば、ソルスパース20000、ソルスパース24000、ソルスパース26000、ソルスパース27000、ソルスパース28000、ソルスパース41090(以上、アビシア株式会社製)、
DISPERBYK-106、DISPERBYK-130、DISPERBYK-140、DISPERBYK-142、DISPERBYK-145、DISPERBYK-160、DISPERBYK-161、DISPERBYK-162、DISPERBYK-163、DISPERBYK-166、DISPERBYK-170、DISPERBYK-180、DISPERBYK-181、DISPERBYK-182、DISPERBYK-183、DISPERBYK-184、DISPERBYK-190、DISPERBYK-191、DISPERBYK-192、DISPERBYK-2000、DISPERBYK-2001、DISPERBYK-2010、DISPERBYK-2020、DISPERBYK-2022、DISPERBYK-2025、BYK-9076、ANTI-TERRA-U、ANTI-TERRA-U100、ANTI-TERRA-204、ANTI-TERRA-205、ANTI-TERRA-250等のディスパービックシリーズ品、ビックシリーズ品、アンチテラシリーズ品(以上、ビックケミー・ジャパン株式会社販売品)、
ポリマー100、ポリマー120、ポリマー150、ポリマー400、ポリマー401、ポリマー402、ポリマー403、ポリマー450、ポリマー451、ポリマー452、ポリマー453、EFKA−46、EFKA−47、EFKA−48、EFKA−49、EFKA−1501、EFKA−1502、EFKA−4540、EFKA−4550(以上、EFKAケミカル株式会社製)、フローレンDOPA−158、フローレンDOPA−22、フローレンDOPA−17、フローレンG−700、フローレンTG−720W、フローレン−730W、フローレン−740W、フローレン−745W(以上、共栄社化学株式会社製)、アジスパーPA111、アジスパーPB711、アジスパーPB811、アジスパーPB821、アジスパーPW911(以上、味の素ファインテクノ株式会社製)、ジョンクリル678、ジョンクリル679、ジョンクリル62(以上、ジョンソンポリマー株式会社製)等を挙げることができる。これらは単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
Examples of commercially available synthetic polymer dispersants include, for example, Solsperse 20000, Solsperse 24000, Solsperse 26000, Solsperse 27000, Solsperse 28000, Solsperse 41090 (above, manufactured by Avicia Corporation),
DISPERBYK-106, DISPERBYK-130, DISPERBYK-140, DISPERBYK-142, DISPERBYK-145, DISPERBYK-160, DISPERBYK-161, DISPERBYK-162, DISPERBYK-163, DISPERBYK-166, DISPERBYK-170, DISPERBYK-180, DISPERBYK- 181, DISPERBYK-182, DISPERBYK-183, DISPERBYK-184, DISPERBYK-190, DISPERBYK-191, DISPERBYK-192, DISPERBYK-2000, DISPERBYK-2001, DISPERBYK-2010, DISPERBYK-2020, DISPERBYK-2022, DISPERBYK-2025, BYK-9076, ANTI-TERRA-U, ANTI-TERRA-U100, ANTI-TERRA-204, ANTI-TERRA-205, ANTI-TERRA-250, etc. , Products sold by Big Chemie Japan Co., Ltd.),
Polymer 100, Polymer 120, Polymer 150, Polymer 400, Polymer 401, Polymer 402, Polymer 403, Polymer 450, Polymer 451, Polymer 452, Polymer 453, EFKA-46, EFKA-47, EFKA-48, EFKA-49, EFKA -1501, EFKA-1502, EFKA-4540, EFKA-4550 (above, manufactured by EFKA Chemical Co., Ltd.), florene DOPA-158, florene DOPA-22, florene DOPA-17, florene G-700, florene TG-720W, florene -730W, Floren-740W, Floren-745W (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), Addispar PA111, Addisper PB711, Addisper PB811, Addispar PB821 AJISPER PW911 (manufactured by Ajinomoto Fine-Techno Co., Ltd.), Joncryl 678, Joncryl 679, Joncryl 62 (or more, Johnson made Polymer Co., Ltd.), and the like can be given. These may be used alone or in combination of two or more.

この分散剤は、上記のように水性媒体中で析出した金属微粒子を薄膜流体中に良好に分散させるためのものであるため、上記の第1の被処理流動体と第2被処理流動体のいずれに含有させても良く、また、第1の被処理流動体と第2の被処理流動体の両方に含有させても良いが、金属塩を含む第2の被処理流動体に含有させることが好ましい。また、分散剤を第3の被処理流動体に含有させてもよく、この場合、第3の被処理流動体のpHは、第1の被処理流動体、第2の被処理流動体および第3の被処理流動体が、第1処理用面と第2処理用面との間に導入されて形成する薄膜流体のpHが5より大きく12以下となるよう、pH調整剤により調製されることが好ましい。また、分散剤は第4等の被処理流動体に含有させても良い。 Since this dispersing agent is used to favorably disperse the metal fine particles precipitated in the aqueous medium in the thin film fluid as described above, the first treated fluid and the second treated fluid described above are used. It may be contained in any of them, and may be contained in both the first fluid to be treated and the second fluid to be treated. However, it may be contained in the second fluid to be treated containing a metal salt. Is preferred. Further, a dispersant may be contained in the third processed fluid. In this case, the pH of the third processed fluid is such that the pH of the first processed fluid, the second processed fluid, and the second processed fluid. 3 is prepared by a pH adjuster so that the pH of the thin film fluid formed by introducing the fluid to be processed between the first processing surface and the second processing surface is greater than 5 and 12 or less. Is preferred. Further, the dispersant may be contained in the fourth fluid to be treated.

金属塩の還元反応をより安定的におこなうため錯体形成剤を併用してもよい。錯体形成剤はキレート剤、錯化剤とも言われる。錯体形成剤が有する配位子のドナー原子と金属イオンとが結合して金属錯体化合物を形成する。ドナー原子として、例えば、窒素、酸素、硫黄が挙げられる。 A complex-forming agent may be used in combination in order to perform the metal salt reduction reaction more stably. The complex forming agent is also called a chelating agent or a complexing agent. The ligand donor atom of the complex-forming agent and the metal ion are combined to form a metal complex compound. Examples of the donor atom include nitrogen, oxygen, and sulfur.

ドナー原子として酸素原子を有する錯体形成剤として、炭素原子数1〜18の飽和脂肪族モノカルボン酸、炭素原子数1〜10の脂肪族ジカルボン酸(例えば、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、フマル酸、マレイン酸)、脂肪族ヒドロキシモノカルボン酸(例えば、グリコール酸、乳酸、タルトロン酸、ロイシン酸、メバロン酸、パントイン酸、リシノール酸、リシネライジン酸、セレブロン酸)、脂肪族ヒドロキシジカルボン酸(例えば、リンゴ酸、酒石酸、シトラマル酸)、脂肪族ヒドロキシトリカルボン酸(例えば、クエン酸、イソクエン酸)、これらカルボン酸類のアルカリ金属塩(例えば、グルコン酸ナトリウム、リンゴ酸ナトリウム)が例示される。 As a complex-forming agent having an oxygen atom as a donor atom, a saturated aliphatic monocarboxylic acid having 1 to 18 carbon atoms, an aliphatic dicarboxylic acid having 1 to 10 carbon atoms (for example, oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutar Acid, adipic acid, fumaric acid, maleic acid), aliphatic hydroxymonocarboxylic acid (eg, glycolic acid, lactic acid, tartronic acid, leucine acid, mevalonic acid, pantoic acid, ricinoleic acid, ricinaleic acid, cerebonic acid), aliphatic Examples include hydroxydicarboxylic acids (eg, malic acid, tartaric acid, citramalic acid), aliphatic hydroxytricarboxylic acids (eg, citric acid, isocitric acid), and alkali metal salts of these carboxylic acids (eg, sodium gluconate, sodium malate) Is done.

ドナー原子として窒素原子を有する錯体形成剤として、炭素原子数1〜10の脂肪族ポリアミン類(例えば、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、ヘキサメチレンジアミン)または窒素原子を配位原子とする芳香族化合物もしくは縮合環化合物(例えば、2,2’−ビピリジン、4,4’−ビピリジン、1,10−フェナントロリン、ポルフィリン)であり、ドナー原子として酸素原子と窒素原子を有する錯体形成剤が、アミノカルボン酸類(例えば、エチレンジアミン四酢酸、エチレンジアミンジ酢酸(EDDA)、エチレンジアミン−N,N’−ジコハク酸、ニトリロトリ酢酸(NTA)、イミノジ酢酸(IDA)、アミノアルコール類(例えば、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノプロパノールアミン、ジプロパノールアミン、トリプロパノールアミン)が例示される。特に脂肪族ジカルボン酸および脂肪族ヒドロキシジカルボン酸であることが好ましい。なお、錯体形成剤とpH調整剤が同じものであっても良い。 As a complex-forming agent having a nitrogen atom as a donor atom, an aliphatic polyamine having 1 to 10 carbon atoms (for example, ethylenediamine, diethylenetriamine, hexamethylenediamine) or an aromatic compound or condensed ring compound having a nitrogen atom as a coordination atom (For example, 2,2′-bipyridine, 4,4′-bipyridine, 1,10-phenanthroline, porphyrin), and a complex-forming agent having an oxygen atom and a nitrogen atom as donor atoms is an aminocarboxylic acid (for example, ethylenediamine). Tetraacetic acid, ethylenediaminediacetic acid (EDDA), ethylenediamine-N, N′-disuccinic acid, nitrilotriacetic acid (NTA), iminodiacetic acid (IDA), amino alcohols (eg, monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, monopropaline) Ruamin, dipropanolamine, tripropanolamine) are exemplified. It is particularly preferably an aliphatic dicarboxylic acid and an aliphatic hydroxycarboxylic acid. Incidentally, complexing agent and pH adjusting agent may be the same.

ここで前述のように、第1導入部d1、第2導入部d2以外に第3導入部d3を流動体処理装置に設けることもできるが、この場合にあっては、各導入部から、例えば、還元剤とpH調整剤を含む水溶液、金属塩を含む水溶液、分散剤を含む水溶液をそれぞれ別々に流動体処理装置に導入することが可能である。そうすると、各溶液の濃度や圧力を個々に管理することができ、金属微粒子が生成する反応をより精密に制御することができる。第4以上の導入部を設けた場合も同様であって、このように流動体処理装置へ導入する流体を細分化できる。 Here, as described above, in addition to the first introduction part d1 and the second introduction part d2, the third introduction part d3 can be provided in the fluid treatment apparatus. In this case, from each introduction part, for example, In addition, an aqueous solution containing a reducing agent and a pH adjuster, an aqueous solution containing a metal salt, and an aqueous solution containing a dispersant can be separately introduced into the fluid treatment apparatus. If it does so, the density | concentration and pressure of each solution can be managed separately, and reaction which a metal microparticle produces | generates can be controlled more precisely. The same applies to the case where the fourth or more introduction portions are provided, and the fluid to be introduced into the fluid processing apparatus can be subdivided in this way.

なお、金属イオンの還元反応としては、上記の他、各処理用面が導電性材料で作製されており、上記の各処理用面間に電位差をかけることで、各処理用面間で電子の授受を行うことによる、電気化学的な還元方法を用いても良い。 As for the reduction reaction of metal ions, in addition to the above, each processing surface is made of a conductive material. By applying a potential difference between the above processing surfaces, electrons are transferred between the processing surfaces. You may use the electrochemical reduction method by giving and receiving.

金属イオンと還元剤とが反応する前の薄膜流体は、好ましくは、金属塩の濃度が0.02〜1.1モル%であり、還元剤が金属塩に対して同一モル〜90倍のモル%であり、より好ましくは、金属塩の濃度が0.06〜0.8モル%であり、還元剤が金属塩に対して同一モル〜50倍のモル%である。 The thin film fluid before the reaction between the metal ions and the reducing agent preferably has a metal salt concentration of 0.02 to 1.1 mol%, and the reducing agent is the same mol to 90 times mol of the metal salt. More preferably, the concentration of the metal salt is 0.06 to 0.8 mol%, and the reducing agent is the same mol to 50 times mol% of the metal salt.

なお、沸点上昇剤および分散剤の濃度は限定されないが、金属イオンと還元剤とが反応する前の薄膜流体において、沸点上昇剤の濃度は0〜75質量%であり、分散剤の濃度は0〜10質量%であることが好ましい。 Although the concentrations of the boiling point increasing agent and the dispersing agent are not limited, in the thin film fluid before the metal ions and the reducing agent react, the concentration of the boiling point increasing agent is 0 to 75% by mass, and the concentration of the dispersing agent is 0. It is preferable that it is -10 mass%.

生成する金属微粒子の平均粒径は0.01〜10μmである。0.01μm未満では金属微粒子の凝集が起こりやすく、収率が低下する恐れがあり、10μmを越えると、粗大粒子が多く発生し、収率が低下する恐れがある。 The generated metal fine particles have an average particle size of 0.01 to 10 μm. If the particle diameter is less than 0.01 μm, the metal fine particles are likely to aggregate and the yield may be reduced. If the particle diameter exceeds 10 μm, many coarse particles are generated and the yield may be decreased.

本発明の連続的製造方法により生成する金属微粒子は、粒度分布が狭いことを特徴とする。典型的には粒度分布のCV値が100%以下であり、より典型的には70%以下である。なお、CV値は(標準偏差/平均粒径)×100である。平均粒径、粒度分布およびCV値は通常の方法で測定でき、例えば、レーザードップラー法による粒度分布測定装置やレーザー回折式粒度分布測定装置により測定することができ、特には、極微小サイズの粒度測定が可能なレーザードップラー法による粒度分布測定装置を用いることが好ましい。 The fine metal particles produced by the continuous production method of the present invention are characterized by a narrow particle size distribution. Typically, the CV value of the particle size distribution is 100% or less, more typically 70% or less. The CV value is (standard deviation / average particle diameter) × 100. The average particle size, particle size distribution and CV value can be measured by ordinary methods. For example, the particle size distribution can be measured by a laser Doppler particle size distribution measuring device or a laser diffraction particle size distribution measuring device. It is preferable to use a particle size distribution measuring apparatus by a laser Doppler method capable of measurement.

本発明の連続的製造方法により生成する金属微粒子は、放射状に突出する複数の錐状突起であってその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形である錐状突起を有し、該複数の錐状突起はそれらの基部、すなわち根元が相互に接触、密接、あるいは接触と密接している。
もっとも、該複数の錐状突起は、それらの基部、すなわち根元が相互に近接しているものが混在することを妨げるものではない。
その金属微粒子の透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり、すなわち、該複数の錐状突起の頂点と根元の中心点を結ぶ平面を断面としたときの形状が三角形であり、該三角形の頂角、すなわち、金属微粒子表面に当接ないし近接している底辺に対する角度が10〜40度である。例えば、図22では各三角形の、金属微粒子表面に当接ないし近接している底辺に対する角度である。換言すれば、該底辺から先端に向かう2辺が形成する内角である。なお、錐状突起の根元とは、該透過型電子顕微鏡写真において、隣接する錐状突起が相互に接触、密接、あるいは接触と密接している箇所ということができ、視認することができる。
図16、図22に示されるように、この金属微粒子は、透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形である錐状突起の高さが平均粒径の1/4よりも大きいものを1粒子当たり好ましくは4個以上、より好ましくは6個以上有する。
そのため、該微粒子同士表面の接触面積が大きくなり、更に、該錐状突起は該金属微粒子本体より低温で溶融しやすいため、該金属微粒子含有導電性硬化性組成物の導電性は高くなる。また、該金属微粒子のうち磁性を有する金属(例えば、Ni、Fe、Co、Cr)微粒子は、電子線の照射で容易に溶融する特徴を有し、該金属微粒子を耐熱性に低い材料に適用することができる。具体的には、電子線エネルギーが10keV以上、好ましくは50keV以上の電子線の照射により、容易に該金属微粒子の溶融が可能である。
The fine metal particles produced by the continuous production method of the present invention have a plurality of conical protrusions protruding radially, and the conical protrusions whose side shape in the transmission electron micrograph is a triangle. The protuberances have their bases, i.e. roots, in contact with, intimate with or in close contact with each other.
However, the plurality of conical protrusions do not prevent the bases, that is, those having roots close to each other from being mixed.
The side surface shape in the transmission electron micrograph of the metal fine particles is a triangle, that is, the shape when the plane connecting the vertexes of the plurality of conical protrusions and the central point of the root is a cross section is a triangle, The apex angle, that is, the angle with respect to the base that is in contact with or close to the surface of the metal fine particle is 10 to 40 degrees. For example, in FIG. 22, each triangle is an angle with respect to the base that is in contact with or close to the surface of the metal fine particle. In other words, it is an internal angle formed by two sides from the base toward the tip. Note that the roots of the cone-shaped projections can be visually recognized in the transmission electron micrograph, where the adjacent cone-shaped projections are in contact with each other, in close contact with each other, or in close contact with the contact.
As shown in FIG. 16 and FIG. 22, the fine metal particles have a cone-shaped projection whose side shape is a triangle in a transmission electron micrograph and whose height is larger than ¼ of the average particle size per particle. Preferably it is 4 or more, more preferably 6 or more.
For this reason, the contact area between the surfaces of the fine particles is increased, and the conical projections are more easily melted at a lower temperature than the metal fine particle main body, so that the conductivity of the conductive curable composition containing metal fine particles is increased. In addition, among the metal fine particles, magnetic metal (for example, Ni, Fe, Co, Cr) fine particles are characterized by being easily melted by electron beam irradiation, and the metal fine particles are applied to a material having low heat resistance. can do. Specifically, the metal fine particles can be easily melted by irradiation with an electron beam having an electron beam energy of 10 keV or more, preferably 50 keV or more.

該錐状突起は、その根元から先端にいくにしたがって径が小さくなっている。
その高さが該錐状突起の基部、すなわち根元の面積円相当径の好ましくは1.1〜5倍である。面積円相当径は、該錐状突起の根元の輪郭について、その面積と同じ面積を有する円の直径として算出されるものである。したがって該錐状突起の根元がいかなる形状であっても面積円相当径が算出できる。
該錐状突起は、好ましくは多角錐状、円錐状または楕円錐状である。錐状突起を有する金属微粒子の走査型電子顕微鏡写真について、該錐状突起を平面視したときのその根元の形状は、好ましくは多角形、円形または楕円形である。該錐状突起の根元の形状が多角形であると、複数の該錐状突起が相互に接触するときは、根元同士が少なくとも点接触または線接触する。該錐状突起の根元の形状が円形または楕円形であると、複数の該錐状突起が相互に接触するときは、根元同士が少なくとも点接触する。
錐状は、純粋の錐状に限定されず、略錐状や、錐状に近似する形状であってよい。
多角錐状、円錐状または楕円錐状は、純粋の多角錐状、円錐状または楕円錐状に限定されず、略多角錐状、略円錐状または略楕円錐状や、多角錐状、円錐状または楕円錐状に近似する形状であってよい。
三角形として二等辺三角形、不等辺三角形、正三角形が例示されるが、純粋の三角形に限定されず、略三角形や三角形に近似する形状であってよい。該三角形の辺は直線状に限定されず、多少湾曲、屈曲、蛇行などしてもよい。該三角形の頂点は、丸みを帯びたり、一部欠けていてもよい。
金属微粒子から複数の上記した側面形状が三角形である錐状突起が放射状に突出しているが、1粒子当たり好ましくは8以上、より好ましくは多数ないし無数の該錐状突起が放射状に突出している。
The diameter of the conical projection decreases from the root to the tip.
The height is preferably 1.1 to 5 times the area equivalent to the diameter of the base of the conical protrusion, that is, the root. The area circle equivalent diameter is calculated as the diameter of a circle having the same area as the area of the root outline of the conical protrusion. Therefore, the area equivalent circle diameter can be calculated regardless of the shape of the base of the conical protrusion.
The conical protrusions are preferably polygonal, conical or elliptical. In the scanning electron micrograph of the metal fine particles having the conical protrusion, the shape of the root when the conical protrusion is viewed in plan is preferably a polygon, a circle or an ellipse. When the shape of the base of the conical protrusion is a polygon, when the plurality of conical protrusions are in contact with each other, the roots are at least point contact or line contact. When the shape of the roots of the conical protrusions is circular or elliptical, when the plurality of conical protrusions are in contact with each other, the roots are at least point-contacted.
The cone shape is not limited to a pure cone shape, and may be a substantially cone shape or a shape approximating a cone shape.
The polygonal pyramid shape, conical shape, or elliptical cone shape is not limited to a pure polygonal pyramid shape, a conical shape, or an elliptical cone shape. Alternatively, the shape may be approximate to an elliptical cone shape.
Examples of the triangle include an isosceles triangle, an unequal triangle, and an equilateral triangle. However, the triangle is not limited to a pure triangle, and may be a shape that approximates a triangle or a triangle. The sides of the triangle are not limited to a straight line, and may be somewhat curved, bent, or meandered. The vertices of the triangle may be rounded or partially missing.
A plurality of cone-shaped protrusions whose side shapes are triangular are protruding radially from the metal fine particles, but preferably 8 or more, more preferably numerous or innumerable cone-shaped protrusions protrude radially.

本発明の連続的製造方法により生成する金属微粒子は、本発明の導電性硬化性組成物における導電性成分として有用であり、特に硬化性導電性接着剤組成物における導電性成分として有用である。
本発明の導電性硬化性組成物は、金属微粒子(A)と硬化性有機樹脂(B)と必要に応じて(C)硬化剤を主成分とし、優れた吐出性を有し、湿気、加熱、電子線の照射等によって硬化し、優れた導電性を有することが特徴である。
そのうちでも、硬化性導電性接着剤組成物は金属微粒子(A)と硬化性有機樹脂(B)と必要に応じて(C)硬化剤および/または(D)接着促進剤を主成分とし、優れた吐出性を有し、湿気、加熱、電子線の照射等によって硬化し、優れた導電性と接着性を有することが特徴である。
The metal fine particles produced | generated by the continuous manufacturing method of this invention are useful as a conductive component in the conductive curable composition of this invention, and are especially useful as a conductive component in a curable conductive adhesive composition.
The conductive curable composition of the present invention comprises metal fine particles (A), a curable organic resin (B) and, if necessary, (C) a curing agent as main components, excellent dischargeability, moisture, and heating. It is characterized by being cured by electron beam irradiation and having excellent conductivity.
Among them, the curable conductive adhesive composition is mainly composed of metal fine particles (A), a curable organic resin (B), and (C) a curing agent and / or (D) an adhesion promoter as necessary. It is characterized by having excellent discharge properties, being cured by moisture, heating, electron beam irradiation, etc., and having excellent conductivity and adhesiveness.

成分(B)である硬化性有機樹脂は、成分(A)もしくは(A)のバインダーとなり、加熱、常温放置、高エネルギー線(例えば、電子線)照射などにより速やかに硬化すればよく、常温で液状または固形状であり、固形状の場合は好ましくは加熱溶融性である。
該硬化性有機樹脂として、硬化性エポキシ樹脂、硬化性フェノール樹脂、硬化性ポリウレタン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキッド樹脂、硬化性アクリル系樹脂、硬化性シリコン樹脂、硬化性ポリイミド樹脂が例示されるが、硬化途上で接触していた基材への接着性の点で硬化性エポキシ樹脂であることが好ましく、硬化迅速性の点で熱硬化性エポキシ樹脂であることが好ましい。ついで、硬化性フェノール樹脂が好ましい。
The curable organic resin as the component (B) serves as a binder for the component (A) or (A 1 ), and may be quickly cured by heating, standing at room temperature, irradiation with a high energy beam (for example, electron beam), etc. In the case of a solid form, it is preferably heat-meltable.
Examples of the curable organic resin include curable epoxy resins, curable phenol resins, curable polyurethane resins, unsaturated polyester resins, alkyd resins, curable acrylic resins, curable silicone resins, and curable polyimide resins. A curable epoxy resin is preferable from the viewpoint of adhesion to the substrate that has been in contact with the curing process, and a thermosetting epoxy resin is preferable from the viewpoint of rapid curing. Next, a curable phenol resin is preferred.

硬化性有機樹脂の硬化機構は、熱硬化性、常温硬化性、高エネルギー線硬化性などのいずれでよいが、硬化迅速性の点で熱硬化性と高エネルギー線(例えば、電子線)硬化性が好ましい。 The curing mechanism of the curable organic resin may be any of thermosetting, room temperature curable, high energy ray curable, etc., but thermosetting and high energy ray (eg, electron beam) curable in terms of rapid curing. Is preferred.

成分(A)もしくは(A)と成分(B)の含有量は、成分(A)もしくは(A)が組成物全体の30〜70質量%であり、成分(B)が組成物全体の70〜30質量%であることが好ましい。 The content of the component (A) or (A 1 ) and the component (B) is such that the component (A) or (A 1 ) is 30 to 70% by mass of the whole composition, and the component (B) is the whole composition. It is preferable that it is 70-30 mass%.

(C)硬化剤は、成分(B)である硬化性有機樹脂自体に硬化性がない場合や、硬化性が不十分な場合に必要とされる。硬化剤は有機系架橋剤および/または硬化触媒(硬化促進剤)である。
(C)硬化剤は、硬化性有機樹脂の種類に応じて汎用されているものを使用するとよい。
(C)硬化剤の配合量は、導電性硬化性組成物を硬化させるのに十分な量でよい。硬化剤が有機系架橋剤である場合は、例えば、組成物全体の5〜40質量%である。硬化剤が硬化触媒(硬化促進剤)である場合は、例えば、組成物全体の0.1〜5質量%である。
(C) A hardening | curing agent is required when curable organic resin itself which is a component (B) does not have curability, or when curability is inadequate. The curing agent is an organic crosslinking agent and / or a curing catalyst (curing accelerator).
(C) It is good to use what is used widely according to the kind of curable organic resin as a hardening | curing agent.
(C) The compounding quantity of a hardening | curing agent may be sufficient quantity to harden an electroconductive curable composition. When a hardening | curing agent is an organic type crosslinking agent, it is 5-40 mass% of the whole composition, for example. When a hardening | curing agent is a hardening catalyst (curing accelerator), it is 0.1-5 mass% of the whole composition, for example.

硬化性フェノール樹脂の硬化剤(有機系架橋剤)として、ヘキサメチレンテトラミン、パラホルムアルデヒド、トリオキサン、1,3−ジオキソラン、4−フェニル−1,3−ジオキソラン、4−メチル−1,3−ジオキソラン、ジビニルベンゼンが例示される。硬化剤の配合割合は、硬化性フェノール樹脂100質量部に対し、通常3〜20質量部、好ましくは8〜17質量部である。
不飽和ポリエステル樹脂の硬化剤(硬化触媒)として、過酸化ベンゾイル、メチルエチルケトンパーオキサイドが例示される。硬化促進剤として、第3級アミン、コバルト系促進剤が例示される。
アルキッド樹脂の硬化剤(有機系架橋剤)として、アルキルエーテル化アミノホルムアルデヒド樹脂、エポキシ化合物およびイソシアネート化合物が例示される。
硬化性アクリル系樹脂の硬化剤(有機系架橋剤)として、多価カルボン酸、ブロックイソシアネート化合物、アミノ樹脂が例示される。硬化触媒としてパラトルエンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸またはそれらのアミン中和物が例示される。硬化剤(有機系架橋剤)を、硬化性アクリル樹脂100質量部に対して5〜80質量部含有し、硬化促進剤を、硬化性アクリル樹脂100質量部に対して0.1〜5質量部含有することが好ましい。
硬化性シリコン樹脂の硬化触媒として、アルキルチタネート、有機スズ化合物、脂肪酸金属塩が例示される。硬化性シリコン樹脂100質量部に対して0.1〜5質量部含有することが好ましい。
As a curing agent (organic crosslinking agent) for the curable phenol resin, hexamethylenetetramine, paraformaldehyde, trioxane, 1,3-dioxolane, 4-phenyl-1,3-dioxolane, 4-methyl-1,3-dioxolane, Divinylbenzene is exemplified. The compounding ratio of the curing agent is usually 3 to 20 parts by mass, preferably 8 to 17 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the curable phenol resin.
Examples of the curing agent (curing catalyst) for the unsaturated polyester resin include benzoyl peroxide and methyl ethyl ketone peroxide. Examples of curing accelerators include tertiary amines and cobalt accelerators.
Examples of alkyd resin curing agents (organic crosslinking agents) include alkyl etherified aminoformaldehyde resins, epoxy compounds and isocyanate compounds.
Examples of the curing agent (organic crosslinking agent) for the curable acrylic resin include polyvalent carboxylic acids, blocked isocyanate compounds, and amino resins. Examples of the curing catalyst include p-toluenesulfonic acid, dodecylbenzenesulfonic acid, naphthalenesulfonic acid, or neutralized amines thereof. The curing agent (organic crosslinking agent) is contained in an amount of 5 to 80 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the curable acrylic resin, and the curing accelerator is 0.1 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the curable acrylic resin. It is preferable to contain.
Examples of the curing catalyst for the curable silicone resin include alkyl titanates, organotin compounds, and fatty acid metal salts. It is preferable to contain 0.1-5 mass parts with respect to 100 mass parts of curable silicone resin.

(D)接着促進剤は、硬化性有機樹脂の種類に応じて汎用されているものを使用するとよい。
シランカップリング剤、チタンカップリング剤、アリルグリシジルエーテル、有機チタン化合物等の有機金属化合物が例示される。
(D)接着促進剤の含有量は、導電性硬化性組成物が硬化途上で接触していた基材に接着するのに十分な量でよく、例えば、組成物全体の0.01〜5質量%である。
(D) It is good to use what is used widely according to the kind of curable organic resin as an adhesion promoter.
Illustrative are organometallic compounds such as silane coupling agents, titanium coupling agents, allyl glycidyl ether, and organic titanium compounds.
(D) The content of the adhesion promoter may be an amount sufficient to adhere to the substrate that the conductive curable composition is in contact with during curing, for example, 0.01 to 5 mass of the entire composition. %.

本発明の導電性硬化性組成物は、常温において液状、ペースト状、クリーム状などの流動容易な性状を呈することが好ましいが、常温で固形状であり熱溶融性であるものも好ましい。また、その硬化物の体積抵抗率が1×10Ω・cm以下であることが好ましい。 The conductive curable composition of the present invention preferably exhibits easy-flowing properties such as liquid, paste, and cream at room temperature, but is preferably solid and heat-meltable at room temperature. Further, the volume resistivity of the cured product is preferably 1 × 10 0 Ω · cm or less.

本発明の導電性硬化性組成物は、成分(A)もしくは(A)、成分(B)、成分(C)、成分(D)の他に、該組成物の硬化性と硬化物の導電性を阻害しない限り、充填剤、チクソ剤、耐熱剤、耐光剤、顔料、溶剤などを含有していてもよい。溶剤は、非反応性・揮発性の有機溶媒が好ましい。 In addition to the component (A) or (A 1 ), the component (B), the component (C), and the component (D), the conductive curable composition of the present invention includes the curability of the composition and the conductivity of the cured product. As long as the properties are not impaired, a filler, a thixotropic agent, a heat resistance agent, a light resistance agent, a pigment, a solvent, and the like may be contained. The solvent is preferably a non-reactive / volatile organic solvent.

導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は、成分(A)もしくは(A)と、熱硬化性エポキシ樹脂と硬化剤とからなり、必要によりさらに硬化促進剤、反応性希釈剤からなる。50℃〜200℃の温度に加熱すると硬化し、硬化途上で接触していた基材によく接着する。 The conductive thermosetting epoxy resin composition comprises a component (A) or (A 1 ), a thermosetting epoxy resin and a curing agent, and further comprises a curing accelerator and a reactive diluent as necessary. When heated to a temperature of 50 ° C. to 200 ° C., it cures and adheres well to the substrate that was in contact with the curing.

熱硬化性エポキシ樹脂として、ビスフェノールFジグリシジルエーテル、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、ビスフェノールADジグリシジルエーテル等のビスフェノール系エポキシ樹脂;フェノールノボラック類とエピクロルヒドリンとの反応で得られるポリグリシジルエーテル;ブタンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル等の脂肪族エポキシ樹脂;ジシクロペンタンジエンメタノールジグリシジルエーテル等の脂環族エポキシ樹脂;ジグリシジルヒダントイン等の複素環式エポキシ樹脂;変性エポキシ樹脂が例示される。エポキシ系樹脂は単独で使用してもよく、2種以上を混合して使用してもよい。
常温で液状のもの、常温で固形状であり熱溶融性のものが好ましい。
硬化剤は、加熱(例えば、約50〜200℃)時にエポキシ系樹脂と速やかに反応してエポキシ系樹脂を固形化し、かつ室温以下の温度で長期間の貯蔵安定性があるものならば、特に限定されない。かかる硬化剤として、脂肪族ポリアミン、ポリアミノアミド、芳香族アミン、脂環族ジアミン、3級アミン類などのアミン化合物;脂肪族アミノカルボン酸、イミダゾール類、カルボン酸無水物、フェノール類、フェノール樹脂、ヒドラジド化合物、ジシアンジアミド、ルイス酸錯化合物が例示される。
Thermosetting epoxy resins include bisphenol epoxy resins such as bisphenol F diglycidyl ether, bisphenol A diglycidyl ether, and bisphenol AD diglycidyl ether; polyglycidyl ethers obtained by reaction of phenol novolacs with epichlorohydrin; butanediol diglycidyl Examples include aliphatic epoxy resins such as ether and neopentyl glycol diglycidyl ether; alicyclic epoxy resins such as dicyclopentanediene methanol diglycidyl ether; heterocyclic epoxy resins such as diglycidyl hydantoin; and modified epoxy resins. An epoxy resin may be used independently and may mix and use 2 or more types.
Those which are liquid at room temperature and those which are solid at room temperature and heat-meltable are preferred.
If the curing agent is one that reacts rapidly with the epoxy resin upon heating (for example, about 50 to 200 ° C.) to solidify the epoxy resin and has a long-term storage stability at a temperature below room temperature, It is not limited. Examples of the curing agent include aliphatic polyamines, polyaminoamides, aromatic amines, alicyclic diamines, tertiary amines and other amine compounds; aliphatic aminocarboxylic acids, imidazoles, carboxylic anhydrides, phenols, phenol resins, Examples include hydrazide compounds, dicyandiamide, and Lewis acid complex compounds.

エポキシ系樹脂用硬化剤は、より具体的には、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、メタキシレンジアミン、ダイマー酸ポリアミド、4,4′−ジアモノジフェニルメタン、メタフェニレンジアミン、2,4,6‐トリス(ジアミノメチル)フェノール、ε‐アミノカプロン酸、11‐アミノウンデカン酸、12‐アミノドデカン酸、2‐エチル‐4‐メチルイミダゾール、2‐フェニル‐4‐メチルイミダゾール、2‐フェニル‐4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2‐フェニル‐4‐メチル‐5‐ヒドロキシメチルイミダゾール、無水フタール酸、テトラヒドロメチル無水フタール酸、フェノールノボラック樹脂、アジピン酸ジヒドラジド、イソフタール酸ヒドラジド、三フッ化ホウ素・エチルアミン錯体が例示される。これらの硬化剤は単独配合でもよく、複数種を配合してもよい。 More specifically, epoxy resin curing agents include diethylenetriamine, triethylenetetramine, metaxylenediamine, dimer acid polyamide, 4,4'-diamonodiphenylmethane, metaphenylenediamine, 2,4,6-tris (diamino). Methyl) phenol, ε-aminocaproic acid, 11-aminoundecanoic acid, 12-aminododecanoic acid, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole Examples include 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, phthalic anhydride, tetrahydromethyl phthalic anhydride, phenol novolac resin, adipic dihydrazide, isophthalic hydrazide, boron trifluoride / ethylamine complex . These curing agents may be blended alone or in combination.

これらの硬化剤は、熱溶融性の高分子物質のカプセル中に封入されたものや、熱溶融性物質粒子中に分散したもの、すなわち、潜在性硬化剤であってもよい。潜在性硬化剤は長期保存性と速硬化性とが両立している。これらの潜在性硬化剤は単独配合でもよく、複数種を混合して配合してもよい。 These curing agents may be those encapsulated in a capsule of a heat-meltable polymer substance or dispersed in particles of a heat-meltable substance, that is, a latent curing agent. The latent curing agent has both long-term storage properties and fast curing properties. These latent hardeners may be blended singly or in combination of a plurality of types.

導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は、さらに反応性稀釈剤を含有していることが好ましい。反応性稀釈剤の代表例として1官能性グリシジルエステルと1官能性グリシジルエーテルがある。1官能性グリシジルエステルと1官能性グリシジルエーテルのような反応性稀釈剤を含有すると、導電性液状エポキシ樹脂組成物は、耐湿性を大きく損なうことなく、低粘度、低硬度にすることができる。低粘度にできれば導電性粒子の含有量を増加して導電性を高くすることができ、また低硬度にできれば可撓性を付与できるという利点がある。 It is preferable that the conductive thermosetting epoxy resin composition further contains a reactive diluent. Representative examples of reactive diluents include monofunctional glycidyl esters and monofunctional glycidyl ethers. When a reactive diluent such as a monofunctional glycidyl ester and a monofunctional glycidyl ether is contained, the conductive liquid epoxy resin composition can have a low viscosity and a low hardness without greatly impairing the moisture resistance. If the viscosity can be decreased, the content of the conductive particles can be increased to increase the conductivity, and if the hardness can be decreased, flexibility can be provided.

1官能性グリシジルエステルとしてはアルカン酸グリシジルエステルが例示され、1官能性グリシジルエーテルとしてはアルキルアルコールモノグリシジルエーテル等が例示される。
1官能性グリシジルエステルと1官能性グリシジルエーテルの含有量は、熱硬化性エポキシ樹脂接着剤中に各々1〜20重量%であることが好ましく、また1官能性グリシジルエステルと1官能性グリシジルエーテルの重量比率は9:1〜1:9であることが好ましい。
The monofunctional glycidyl ester is exemplified by alkanoic acid glycidyl ester, and the monofunctional glycidyl ether is exemplified by alkyl alcohol monoglycidyl ether.
The content of the monofunctional glycidyl ester and the monofunctional glycidyl ether is preferably 1 to 20% by weight in the thermosetting epoxy resin adhesive, and the monofunctional glycidyl ester and the monofunctional glycidyl ether The weight ratio is preferably 9: 1 to 1: 9.

導電性硬化性フェノール樹脂組成物は、成分(A)もしくは(A)と、硬化性フェノール樹脂と硬化剤とからなり、フェノール樹脂として、ビスフェノールA型フェノール樹脂、ノボラック型フェノール樹脂、オルソクレゾールノボラック型樹脂、ビスフェノールAノボラック型フェノール樹脂、臭素化フェノールノボラック型フェノール樹脂、ナフトールノボラック型フェノール樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン、キシリレン型フェノール樹脂、炭素数4〜15のジエン類とフェノールとの反応物である炭化水素−フェノール樹脂が例示される。 Conductive curable phenolic resin compositions, the components (A) or (A 1), consists of a curable phenolic resin as a curing agent, phenol resin, bisphenol A type phenol resin, novolak phenolic resins, ortho-cresol novolac Type resin, bisphenol A novolac type phenol resin, brominated phenol novolac type phenol resin, naphthol novolac type phenol resin, trihydroxyphenylmethane, xylylene type phenol resin, and a reaction product of 4 to 15 carbon dienes and phenol. A hydrocarbon-phenol resin is exemplified.

本発明の導電性硬化性組成物は、成分(A)もしくは(A)と、成分(B)とを均一に混合することにより、容易に製造することができる。また、成分(B)と成分(A)もしくは(A)とを均一に混合し、ついで成分(C)および/または成分(D)を添加して均一に混合することにより、容易に製造することができる。
成分(A)もしくは(A)と成分(B)の均一混合物と、成分(C)とを、別の容器に保存しておき、接着作業直前に両成分を混合するという二成分型もしくは二包装型導電性硬化性組成物を製造してもよい。また、本発明の導電性硬化性組成物は、非反応性・揮発性の有機溶媒で希釈して粘度を低減してもよい。
Conductive curable composition of the invention, the component (A) or (A 1), by uniformly mixing the component (B), it is possible to easily manufacture. In addition, the component (B) and the component (A) or (A 1 ) are uniformly mixed, and then the component (C) and / or the component (D) is added and mixed uniformly to produce easily. be able to.
A two-component type or two-component type in which a uniform mixture of component (A) or (A 1 ) and component (B) and component (C) are stored in separate containers and both components are mixed immediately before the bonding operation. A packaged conductive curable composition may be produced. Further, the conductive curable composition of the present invention may be diluted with a non-reactive / volatile organic solvent to reduce the viscosity.

本発明の導電性硬化性組成物は、製造後使用するまでの間、密閉容器に保存することが好ましい。長期間保存後に接着作業に供するときは、保存容器をよく振とうしてから、あるいは保存容器内をよく攪拌してから、接着作業に供することが好ましい。保存安定性を向上する目的で、冷蔵保管をしても良く、保管温度として10℃以下が例示される。 The conductive curable composition of the present invention is preferably stored in a sealed container until it is used after production. When the sample is subjected to the bonding operation after long-term storage, it is preferable that the storage container is shaken well or the inside of the storage container is thoroughly stirred before the bonding operation. Refrigerated storage may be performed for the purpose of improving storage stability, and the storage temperature is 10 ° C. or lower.

本発明の導電性硬化性組成物は、スクリーン印刷、ディスペンス、滴下、注入、塗布など任意の方法で接着を必要とする箇所に適用すればよい。非反応性・揮発性の有機溶媒で希釈している場合は、接着を必要とする箇所に適用後、常温放置、温風吹付け、または穏やかな加熱によって該有機溶媒を揮散させてから、加熱硬化させることが好ましい。二成分型もしくは二包装型接着剤の場合は、主剤と硬化剤を均一に混合してから接着作業に供するとよい。 What is necessary is just to apply the electroconductive curable composition of this invention to the location which needs adhesion | attachment by arbitrary methods, such as screen printing, dispensing, dripping, injection | pouring, application | coating. If diluted with a non-reactive / volatile organic solvent, apply it to the place where adhesion is required, and then evaporate the organic solvent by standing at room temperature, spraying with warm air, or gentle heating, and then heat cure It is preferable to make it. In the case of a two-component or two-pack type adhesive, the main agent and the curing agent may be mixed uniformly before use in the bonding operation.

本発明の導電性硬化性組成物を、接着を必要とする箇所に適用してから、例えば50〜200℃に加熱して硬化させることにより、ヒートシンク、抵抗、コンデンサ、コイル、水晶振動子等のディスクリート部品、ダイオード、シリコンチップ、SiCチップ、GaAsチップ、GaAlAsチップ、LSIチップ、光素子、メモリ素子、パワーデバイス素子等のチップ部品などを、基板、他の部品、他の部材などに接着、接合することができる。 After applying the conductive curable composition of the present invention to a place where adhesion is required, for example, by heating and curing at 50 to 200 ° C., heat sink, resistor, capacitor, coil, crystal resonator, etc. Glue and bond discrete components, diodes, silicon chips, SiC chips, GaAs chips, GaAlAs chips, LSI chips, optical elements, memory elements, power device elements, and other chip parts to substrates, other parts, other members, etc. can do.

かくして種々の電子機器(例えば、携帯電話器、デジタルカメラ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、ナビゲーションシステム、パーソナルコンピューター、電子式複写機、プリンター、ゲーム機、テレビジョンなどの家庭用ないしオフィス用電子機器;エンジンコントロールユニット、ブレーキシステム、車間センサー、加速度センサー、カーナビゲーションシステムなどの自動車用電子機器、マシニングセンター、ロボットシステムなどの産業用制御機器、通信用電子機器、それらの部品など)を製造することができる。 Thus, various electronic devices (for example, cellular phones, digital cameras, video cameras, video recorders, navigation systems, personal computers, electronic copying machines, printers, game machines, televisions, etc., home or office electronic devices; engines) It is possible to manufacture automotive electronic devices such as control units, brake systems, inter-vehicle sensors, acceleration sensors, car navigation systems, industrial control devices such as machining centers and robot systems, communication electronic devices, and parts thereof.

本発明の実施例と比較例を掲げる。実施例と比較例中、部とあるのは質量部、%とあるのは質量%を意味する。金属微粒子の製造装置、第1の被処理流動体(以下、第1流体)と第2の被処理流動体(以下、第2流体)のpH、金属微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ(錐状突起の基部の面積円相当径に対する倍率)、平均粒径、粒度分布およびCV値の測定方法、金属微粒子の成分分析方法、電子線による溶融性、導電性硬化性組成物の粘度の測定方法、導電性硬化性組成物の微小吐出性、導電性硬化性組成物の硬化後の硬さ、導電性硬化性組成物の硬化後の体積抵抗率の測定方法、導電性硬化性組成物の硬化後のせん断接着強さは、以下の通りである。なお、測定温度は、特に断りのない場合は、室温(23〜25℃)である。 Examples and comparative examples of the present invention will be given. In Examples and Comparative Examples, “part” means “part by mass” and “%” means “% by mass”. Metal fine particle production apparatus, pH of first treated fluid (hereinafter referred to as first fluid) and second treated fluid (hereinafter referred to as second fluid), surface shape of metal fine particles, side shape of conical projection And the apex angle of the triangle that is the side surface shape, the height of the cone-shaped projection (magnification with respect to the area equivalent circle diameter of the base of the cone-shaped projection), the average particle size, the particle size distribution, and the CV value measurement method, the component analysis method of the metal fine particles , Measurement method of meltability by electron beam, viscosity of conductive curable composition, micro-discharge property of conductive curable composition, hardness after curing of conductive curable composition, of conductive curable composition The volume resistivity measurement method after curing and the shear bond strength after curing of the conductive curable composition are as follows. In addition, measurement temperature is room temperature (23-25 degreeC), unless there is particular notice.

[金属微粒子の製造装置]
接近・離反可能に互いに対向して配設され、少なくとも一方が他方に対して回転する第1処理用面と第2処理用面との間に、液相である被処理流動体を導入し、この被処理流動体の圧力により第1処理用面から第2処理用面を離反させる方向に移動させる力を発生させ、この力によって、第1処理用面と第2処理用面との間が微小な間隔に保たれ、この微小間隔に保たれた第1処理用面と第2処理用面との間を通過する該被処理流動体が薄膜流体を形成し、該薄膜流体中で金属イオンと還元剤とが反応して金属微粒子を析出するための装置(以下、強制超薄膜回転式反応装置という)として、エム・テクニック株式会社製のULREA(ULREAはエム・テクニック株式会社の登録商標である)を使用した。ULREAの概略図を図9に示した。なお、第1処理用部(10M)の可能な最大回転数は3000rpmである。
[Metal fine particle production equipment]
Introducing a fluid to be treated which is a liquid phase between the first processing surface and the second processing surface, which are arranged to face each other so as to be able to approach and leave, and at least one of which rotates relative to the other; A force for moving the second processing surface away from the first processing surface is generated by the pressure of the fluid to be processed, and this force causes a gap between the first processing surface and the second processing surface. The fluid to be processed passing between the first processing surface and the second processing surface maintained at a minute interval and formed between the first processing surface and the second processing surface forms a thin film fluid. ULREA made by M Technique Co., Ltd. (ULREA is a registered trademark of M Technique Co., Ltd.) Used). A schematic diagram of ULREA is shown in FIG. The maximum possible rotation speed of the first processing unit (10M) is 3000 rpm.

[第1流体と第2流体のpH]
株式会社堀場製作所製のD−51S型により常温で測定した。
[PH of the first fluid and the second fluid]
It measured at normal temperature with the D-51S type | mold made from HORIBA.

[金属微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、高さの,錐状突起の基部の面積円相当径に対する倍率]
実施例と一部の比較例で得られた金属微粒子の表面形状を日本電子株式会社製の走査型電子顕微鏡JSM-7500F(倍率3,500倍〜70,000倍)および透過型電子顕微鏡JEM-2100(倍率1.5万倍〜14万倍)で観察し、写真撮影した。得られた透過型電子顕微鏡の平面写真の形状を錐状突起の側面形状とした。実施例の多数の金属微粒子の形状は一様であり、錐状突起の側面形状は多くが三角形につき、1粒子当たり10個の三角形の錐状突起を高い順に選択し、各三角形について、金属微粒子表面に当接ないし近接している底辺に対する角度を測定し、その平均値を頂角とした。また、これらの三角形から錐状突起の高さを測定し、その平均値を錐状突起の高さとした。一方、得られた走査型電子顕微鏡の平面写真において、粒子の正面近傍に存在する5個の錐状突起を選択し、これらの錐状突起5個について、錐状突起の基部、すなわち根元の輪郭から面積円相当径を測定し、その平均値を面積円相当径とした。このようにして測定した錐状突起の高さと面積円相当径から、高さ/面積円相当径を、高さの,錐状突起の基部の面積円相当径に対する倍率とし、表中では、錐状突起の高さ(倍)と表示した。
[Surface shape of metal fine particles, side shape of cone-shaped projection, and apex angle of triangle that is side shape, height of cone-shaped projection, height, magnification to area circle equivalent diameter of base of cone-shaped projection]
The surface shape of the metal fine particles obtained in the examples and some comparative examples was measured by using a scanning electron microscope JSM-7500F (magnification 3,500 to 70,000 times) and a transmission electron microscope JEM- manufactured by JEOL Ltd. The images were observed at 2100 (magnification 15,000 to 140,000 times) and photographed. The shape of the obtained planar photograph of the transmission electron microscope was the side shape of the conical protrusion. The shape of a large number of metal fine particles in the example is uniform, and the side shape of the cone-shaped projections is mostly triangular, so that 10 triangular cone-shaped projections per particle are selected in descending order. The angle with respect to the base that is in contact with or close to the surface was measured, and the average value was taken as the apex angle. Moreover, the height of the cone-shaped protrusion was measured from these triangles, and the average value was defined as the height of the cone-shaped protrusion. On the other hand, in the obtained plan view of the scanning electron microscope, five conical projections existing in the vicinity of the front surface of the particle are selected, and the base of the conical projection, that is, the outline of the root, is selected for these five conical projections. The area equivalent circle diameter was measured, and the average value was defined as the area equivalent circle diameter. From the height of the cone-shaped projections measured in this way and the area circle equivalent diameter, the height / area circle equivalent diameter is defined as the ratio of the height to the area circle equivalent diameter of the base of the cone-shaped projections. The height of the protrusions (times) was indicated.

[金属微粒子の平均粒径、粒度分布およびCV値]
金属微粒子の粒度分布をレーザードップラー法による粒度分布測定装置〔日機装(株)製の商品名マイクロトラックUPA150〕を用いて測定し、平均粒径を算出した。
平均粒径は体積平均粒子径(直径)である。CV値は以下の式により求めた。
CV値=(標準偏差/平均粒径)×100
[Average particle diameter, particle size distribution and CV value of metal fine particles]
The particle size distribution of the metal fine particles was measured using a particle size distribution measuring apparatus (trade name Microtrac UPA150 manufactured by Nikkiso Co., Ltd.) by a laser Doppler method, and the average particle diameter was calculated.
The average particle diameter is a volume average particle diameter (diameter). The CV value was determined by the following formula.
CV value = (standard deviation / average particle size) × 100

[金属微粒子の成分分析]
XRD(X線回折装置)にて検出した金属微粒子の入射角と回折強度を、各々の金属試薬の入射角と回折強度と比較観察した。
[Component analysis of fine metal particles]
The incident angle and diffraction intensity of the metal fine particles detected by XRD (X-ray diffractometer) were compared with the incident angle and diffraction intensity of each metal reagent.

[金属微粒子の電子線による溶融性]
金属微粒子を日本電子株式会社製の透過型電子顕微鏡JEM-2100にセットし、100keVの電子線を30秒間照射して金属微粒子表面を観察した。
[Melting properties of fine metal particles by electron beam]
The metal fine particles were set in a transmission electron microscope JEM-2100 manufactured by JEOL Ltd., and irradiated with a 100 keV electron beam for 30 seconds to observe the surface of the metal fine particles.

[導電性硬化性組成物の粘度]
東機産業株式会社製の回転式粘度計TV−20にロータ(No.6)を装着してロータの回転数4rpm、温度25℃で粘度を測定した。
[Viscosity of conductive curable composition]
A rotor (No. 6) was attached to a rotary viscometer TV-20 manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd., and the viscosity was measured at a rotational speed of the rotor of 4 rpm and a temperature of 25 ° C.

[導電性硬化性組成物の微小吐出性]
5mlシリンジ(EFD,Inc.社製)に導電性硬化性組成物を充填し、内径0.14mmであり長さが15mmの金属ニードル(武蔵エンジニアリング株式会社製)を取り付け、圧力200kPaで1秒間隔で加圧有りと加圧なしを繰り返し、詰まりの発生の有無を観察した。
[Micro discharge property of conductive curable composition]
A 5 ml syringe (EFD, Inc.) is filled with a conductive curable composition, and a metal needle (made by Musashi Engineering Co., Ltd.) having an inner diameter of 0.14 mm and a length of 15 mm is attached, and at a pressure of 200 kPa at intervals of 1 second. With and without pressurization, the presence or absence of clogging was observed.

[導電性硬化性組成物の硬化後の硬さ]
幅40mm、長さ60mm、厚さ6mmのポリテトラフルオロエチレン樹脂製の型枠に、導電性硬化性組成物を流し込み、型枠の両面をポリテトラフルオロエチレン樹脂製の板で挟んだ状態で、プレス機の上板と下板間に挟み、10MPaの圧力をかけつつ100℃で1時間加熱して導電性硬化性組成物を硬化させた。かくして得られた板状の硬化物について、JIS K 7215に規定されているD型硬度計で硬さを測定した。
[Hardness after curing of conductive curable composition]
In a state where the conductive curable composition is poured into a polytetrafluoroethylene resin mold having a width of 40 mm, a length of 60 mm, and a thickness of 6 mm, and both sides of the mold are sandwiched between plates of polytetrafluoroethylene resin, The conductive curable composition was cured by being sandwiched between an upper plate and a lower plate of a press and heated at 100 ° C. for 1 hour while applying a pressure of 10 MPa. The plate-like cured product thus obtained was measured for hardness with a D-type hardness meter defined in JIS K7215.

[導電性硬化性組成物の硬化後の体積抵抗率]
幅40mm、長さ60mm、厚さ6mmのポリテトラフルオロエチレン樹脂製の型枠に、導電性硬化性組成物を流し込み、型枠の両面をポリテトラフルオロエチレン樹脂製の板で挟んだ状態で、プレス機の上板と下板間に挟み、10MPaの圧力をかけつつ100℃で1時間加熱して導電性硬化性組成物を硬化させた。かくして得られた板状の硬化物について、JIS K 7194により体積抵抗率を測定した。
[Volume resistivity after curing of conductive curable composition]
In a state where the conductive curable composition is poured into a polytetrafluoroethylene resin mold having a width of 40 mm, a length of 60 mm, and a thickness of 6 mm, and both sides of the mold are sandwiched between plates of polytetrafluoroethylene resin, The conductive curable composition was cured by being sandwiched between an upper plate and a lower plate of a press and heated at 100 ° C. for 1 hour while applying a pressure of 10 MPa. The volume resistivity of the plate-like cured product thus obtained was measured according to JIS K 7194.

[導電性硬化性組成物の硬化後のせん断接着強さ]
幅25mm、長さ100mm、厚さ1mmのアルミニウム製の基板の一端に、幅25mm、長さ12.5mmの開口部を有し、一端が開放した厚さ1mmのテフロン製マスク(テフロンは登録商標である。)に導電性硬化性組成物を塗布し、別の幅25mm、長さ100mm、厚さ1mmのアルミニウム製の基板の一端を該テフロン製マスク(テフロンは登録商標である。)を挟んで当該部分が重なるように置き、当該部分をクリップで固定したまま100℃で1時間加熱して導電性硬化性組成物を硬化させ、該クリップを外して試験体とし、JIS K 6850によりせん断接着強さを測定した。
[Shear bond strength after curing of conductive curable composition]
A 1 mm thick Teflon mask with an opening of 25 mm width and 12.5 mm length at one end of an aluminum substrate having a width of 25 mm, a length of 100 mm and a thickness of 1 mm (Teflon is a registered trademark) The conductive curable composition is applied to the substrate, and another Teflon mask (Teflon is a registered trademark) is sandwiched between one end of an aluminum substrate having a width of 25 mm, a length of 100 mm, and a thickness of 1 mm. Place the part so that it overlaps, and heat the conductive curable composition by heating at 100 ° C. for 1 hour while fixing the part with a clip, remove the clip to make a test specimen, and shear bond according to JIS K 6850 Strength was measured.

[参考例]
導電性硬化性組成物を調製するための液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物は以下のように調製した。
ミキサー中で、三菱化学株式会社製ビスフェノールA型エポキシ樹脂(商品名:jER828、粘度14Pa・s、エポキシ当量190g)37.5部、ADEKA株式会社製エポキシ樹脂(商品名:ED509S、粘度20mPa・s、エポキシ当量206g)4.0部、硬化剤として味の素ファインケミカル株式会社製のエポキシ樹脂硬化剤(商品名:PN−40)8.5部を均一に混合することにより、液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。
[Reference example]
The liquid thermosetting epoxy resin composition for preparing the conductive curable composition was prepared as follows.
In the mixer, 37.5 parts of Mitsubishi Chemical Corporation bisphenol A type epoxy resin (trade name: jER828, viscosity 14 Pa · s, epoxy equivalent 190 g), ADEKA Corporation epoxy resin (trade name: ED509S, viscosity 20 mPa · s) , Epoxy equivalent 206g) 4.0 parts, 8.5 parts of epoxy resin curing agent (trade name: PN-40) manufactured by Ajinomoto Fine Chemical Co., Ltd. as a curing agent is mixed uniformly to form a liquid thermosetting epoxy resin composition A product was prepared.

[実施例1]
第1流体として、還元剤であるヒドラジン一水和物を10.5%、沸点上昇剤であるエチレングリコールを43.75%、pH調整剤として水酸化カリウムを2%含有する水溶液を調製した。該水溶液のpHは12.0であった。
第2流体として、ニッケル塩である、硫酸ニッケル(II)六水和物を12.5%、沸点上昇剤であるポリエチレングリコール(平均分子量600)を2.1%含有する水溶液を調製した。該水溶液のpHは6.5であった。
第1流体中の各原料成分含有量と、第2流体中の各原料成分含有量と、第1流体と第2流体の総和中の各原料成分含有量、第1流体の流量と比重、第2流体の流量と比重を表1に記載した。第1流体と第2流体の総和中の還元剤の含有量については、ニッケル塩の含有量(モル%)の倍率を表1に記載した。
ここで、第1流体と第2流体の総和における還元剤のモル%とニッケル塩のモル%は、以下の方法により計算した。
第1流体および第2流体の比重を浮標計により測定し、その値を各々の密度(g/ml)とした。次に、第1流体の密度と単位時間あたりの第1流体の流量との積により、単位時間あたりの第1流体の質量を算出し、第2流体の密度と単位時間あたりの第2流体の流量との積により、単位時間あたりの第2流体の質量を算出した。単位時間の取り方は任意であるが、例えば1分間とすることができる。ニッケル塩、還元剤を含む全原料成分(全原料成分は、ニッケル塩、還元剤、沸点上昇剤、分散剤、pH調整剤、水である。)について、各々の仕込み量から算出した質量%と第1流体および第2流体の単位時間あたりの質量とから、単位時間あたりの各々の質量を算出し、それを各々の分子量で除して単位時間あたりの各々のモル数を算出し、そのモル数の総計における各々のモル数の占める比率(百分率)をモル%とした。なお、単位時間の取り方により、算出される各々の成分のモル数は変化するが、そのモル数の総計における各々のモル数の占める比率(モル%)は、単位時間の取り方によらず一定である。
なお、実施例1以外の実施例および比較例についても、同様の方法によりニッケル(金属)塩、還元剤のモル%を算出した。また、第1流体中の各原料成分含有量と、第2流体中の各原料成分含有量と、第1流体と第2流体の総和中の各原料成分含有量、第1流体の流量と比重、第2流体の流量と比重を各表に記載した。
[Example 1]
As a first fluid, an aqueous solution containing 10.5% of hydrazine monohydrate as a reducing agent, 43.75% of ethylene glycol as a boiling point increasing agent, and 2% of potassium hydroxide as a pH adjusting agent was prepared. The pH of the aqueous solution was 12.0.
As a second fluid, an aqueous solution containing 12.5% of nickel sulfate (II) sulfate hexahydrate and 2.1% of polyethylene glycol (average molecular weight 600) as a boiling point increasing agent was prepared. The pH of the aqueous solution was 6.5.
Each raw material component content in the first fluid, each raw material component content in the second fluid, each raw material component content in the sum of the first fluid and the second fluid, the flow rate and specific gravity of the first fluid, The flow rate and specific gravity of the two fluids are shown in Table 1. Regarding the content of the reducing agent in the sum of the first fluid and the second fluid, the magnification of the nickel salt content (mol%) is shown in Table 1.
Here, the mol% of the reducing agent and the mol% of the nickel salt in the sum of the first fluid and the second fluid were calculated by the following method.
The specific gravity of the 1st fluid and the 2nd fluid was measured with the buoy meter, and the value was made into each density (g / ml). Next, the mass of the first fluid per unit time is calculated by the product of the density of the first fluid and the flow rate of the first fluid per unit time, and the density of the second fluid and the second fluid per unit time are calculated. The mass of the second fluid per unit time was calculated from the product with the flow rate. Although how to take unit time is arbitrary, it can be made into 1 minute, for example. For all raw material components including nickel salt and reducing agent (all raw material components are nickel salt, reducing agent, boiling point increasing agent, dispersant, pH adjuster, water) Each mass per unit time is calculated from the mass per unit time of the first fluid and the second fluid, and divided by each molecular weight to calculate the number of moles per unit time. The ratio (percentage) of each number of moles in the total number was mol%. The calculated number of moles of each component varies depending on how the unit time is taken, but the ratio (mol%) of each mole number in the total number of moles does not depend on how the unit time is taken. It is constant.
For Examples and Comparative Examples other than Example 1, the mol% of the nickel (metal) salt and the reducing agent was calculated by the same method. Also, each raw material component content in the first fluid, each raw material component content in the second fluid, each raw material component content in the sum of the first fluid and the second fluid, the flow rate and specific gravity of the first fluid The flow rate and specific gravity of the second fluid are listed in each table.

強制超薄膜回転反応装置の回転数を1700rpmとし、第1処理用面と第2処理用面間の間隙を10μmとし、第1流体を、供給圧力0.3MPa/背圧0.02MPa、流量400ml/分、温度130℃で送液しながら、第2流体を、流量50ml/分、室温にて該装置の処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.4であった。
処理用面1と処理用面2の間から、ニッケル微粒子が反応残さである水溶液とともに吐出された。
The rotational speed of the forced ultrathin film rotary reactor is 1700 rpm, the gap between the first processing surface and the second processing surface is 10 μm, the first fluid is supplied at a supply pressure of 0.3 MPa / back pressure of 0.02 MPa, and a flow rate of 400 ml. The second fluid was introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 of the apparatus at a flow rate of 50 ml / min at room temperature while feeding at a temperature of 130 ° C./min. The pH of the thin film fluid was 11.4.
Nickel fine particles were discharged from between the processing surface 1 and the processing surface 2 together with an aqueous solution as a reaction residue.

得られたニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液を磁石上で静置し、ニッケル微粒子を沈降させ、ついで、分離したニッケル微粒子を純水、次いでメタノールで洗浄してから真空乾燥した。得られたニッケル微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表1に示した。このニッケル微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し、これら錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており(図14〜図15参照)、これら錐状突起の多くはその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり、該三角形の頂角が25度であり、該三角形の高さが1.6倍であり、該三角形の高さが平均粒径の1/4よりも大きい錐状突起を有し、平均粒径は1.0μmであり、その粒度分布のCV値は小さく61%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子が溶融することが確認できた。 The obtained slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles was allowed to stand on a magnet to precipitate the nickel fine particles, and then the separated nickel fine particles were washed with pure water and then with methanol and then vacuum-dried. Measure the surface shape of the obtained nickel fine particles, the side shape of the conical protrusions, the apex angle of the triangular triangle, the height of the conical protrusions, the average particle diameter, the particle size distribution and the CV value, and analyze the components of the nickel fine particles The meltability of nickel fine particles was measured with an electron beam and shown in Table 1. The nickel fine particles have a large number of substantially polygonal cone-shaped or substantially cone-shaped projections projecting radially on the surface, and the bases of these cone-shaped projections are in contact with each other, in close contact with each other, or in close contact with each other (FIG. 14 to FIG. 14). In many of these conical projections, the side shape in the transmission electron micrograph is a triangle, the apex angle of the triangle is 25 degrees, and the height of the triangle is 1.6 times. The triangular height has conical protrusions larger than 1/4 of the average particle diameter, the average particle diameter is 1.0 μm, the CV value of the particle size distribution is small 61%, and the electron beam irradiation Thus, it was confirmed that the nickel fine particles were melted.

上記で得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、微小吐出性、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表1に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性、接着性に優れることが確認できた。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出性試験では、詰まりが発生しなかった。 50 parts of the nickel fine particles obtained above and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in the reference example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. . The paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was measured for viscosity, micro-ejection property, hardness after curing, volume resistivity and shear bond strength, and are shown in Table 1. This paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was confirmed to be excellent in conductivity and adhesiveness. In the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition, no clogging occurred.

[実施例2]
実施例1において、ニッケル塩である、硫酸ニッケル(II)六水和物を52.1%にした以外は同様にして第2流体を調製した。該水溶液のpHは6.1であった。
[Example 2]
A second fluid was prepared in the same manner as in Example 1 except that the nickel salt, nickel (II) sulfate hexahydrate, was 52.1%. The pH of the aqueous solution was 6.1.

実施例1と同様にして、強制超薄膜回転反応装置にて第1流体と第2流体を処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.3であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、ニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたニッケル微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表1に示した。このニッケル微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し、これら錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、これら錐状突起の多くはその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり、該三角形の頂角が29度であり、該三角形の高さが1.7倍であり、該三角形の高さが平均粒径の1/4よりも大きい錐状突起を有し、平均粒径は0.9μmであり、その粒度分布のCV値は小さく76%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子が溶融することが確認できた。
In the same manner as in Example 1, the first fluid and the second fluid were introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 by a forced ultrathin film rotary reactor. The pH of the thin film fluid was 11.3.
In the same manner as in Example 1, the surface shape of the nickel fine particles obtained from the slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2 and the side surfaces of the conical projections Measures the apex angle of triangles that are shapes and side shapes, the height of cone-shaped projections, average particle size, particle size distribution and CV value, component analysis of nickel fine particles, and measurement of meltability of nickel fine particles by electron beam The results are shown in Table 1. The nickel fine particles have a large number of substantially polygonal cone-shaped or substantially cone-shaped projections projecting radially on the surface, and these cone-shaped projections have their roots in contact with each other, intimately, or in close contact with each other. Many of the protrusions have a triangular side shape in the transmission electron micrograph, the apex angle of the triangle is 29 degrees, the height of the triangle is 1.7 times, and the height of the triangle is the average grain size. It has cone-shaped projections larger than 1/4 of the diameter, the average particle size is 0.9 μm, the CV value of the particle size distribution is 76%, and the nickel fine particles can be melted by the electron beam irradiation. It could be confirmed.

得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表1に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性、接着性に優れることが確認できた。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出試験では、詰まりが発生しなかった。 50 parts of the obtained nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 1 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity, and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. This paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was confirmed to be excellent in conductivity and adhesiveness. In the micro discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition, no clogging occurred.

[実施例3]
実施例1において、還元剤であるヒドラジン一水和物を1.2%にした以外は同様にして第1流体を調製した。該水溶液のpHは11.9であった。
[Example 3]
A first fluid was prepared in the same manner as in Example 1 except that the reducing agent hydrazine monohydrate was changed to 1.2%. The pH of the aqueous solution was 11.9.

実施例1と同様にして、強制超薄膜回転反応装置にて第1流体と第2流体を処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.3であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、ニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたニッケル微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表1に示した。このニッケル微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し(図16、図18参照)、これら錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており(図18参照)、これら錐状突起の多くはその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり(図16、図22参照)、該三角形の頂角が24度であり、該三角形の高さが2.2倍であり、該三角形の高さが平均粒径の1/4よりも大きい錐状突起を少なくとも6個有し(図16、図22参照)、平均粒径は0.6μmであり、その粒度分布のCV値は小さく65%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子が溶融する(図17参照)ことが確認できた。
なお、錐状突起の先端部が欠損しており、錐状突起を側面視したときの形状が三角形ではないものも存在する(図16、図22参照)が、これは三角形の錐状突起に意図せぬ力が加わった等の不可抗力による破損により生成したものである。他の実施例でも同様である。
In the same manner as in Example 1, the first fluid and the second fluid were introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 by a forced ultrathin film rotary reactor. The pH of the thin film fluid was 11.3.
In the same manner as in Example 1, the surface shape of the nickel fine particles obtained from the slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2 and the side surfaces of the conical projections Measures the apex angle of triangles that are shapes and side shapes, the height of cone-shaped projections, average particle size, particle size distribution and CV value, component analysis of nickel fine particles, and measurement of meltability of nickel fine particles by electron beam The results are shown in Table 1. The nickel fine particles have a large number of substantially polygonal cone-shaped or substantially cone-shaped projections projecting radially on the surface (see FIGS. 16 and 18), and these cone-shaped projections have their roots in contact with each other, closely or in contact with each other. Close to each other (see FIG. 18), and many of these cone-shaped projections are triangular in the side shape in the transmission electron micrograph (see FIGS. 16 and 22), and the apex angle of the triangle is 24 degrees, The height of the triangle is 2.2 times, and the height of the triangle has at least six conical protrusions larger than 1/4 of the average particle diameter (see FIGS. 16 and 22), and the average particle diameter Is 0.6 μm, the CV value of the particle size distribution is small and 65%, and it was confirmed that nickel fine particles were melted by irradiation with an electron beam (see FIG. 17).
In addition, the tip part of the cone-shaped protrusion is missing, and there is a shape in which the shape of the cone-shaped protrusion when viewed from the side is not a triangle (see FIGS. 16 and 22). It is generated by breakage due to force majeure such as unintentional force. The same applies to other embodiments.

得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表1に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性、接着性に優れることが確認できた。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出試験では、詰まりが発生しなかった。 50 parts of the obtained nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 1 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity, and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. This paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was confirmed to be excellent in conductivity and adhesiveness. In the micro discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition, no clogging occurred.

[実施例4]
実施例1において、第1流体の沸点上昇剤であるエチレングリコールを0%にし、かつ、第2流体の沸点上昇剤であるポリエチレングリコール(平均分子量600)を0%にした以外は同様にして第1流体を調整した。該水溶液のpHは12.0であった。
[Example 4]
In Example 1, the same procedure was performed except that the ethylene glycol, which is the boiling point increasing agent of the first fluid, was 0%, and the polyethylene glycol (average molecular weight 600), which was the boiling point increasing agent of the second fluid, was 0%. One fluid was adjusted. The pH of the aqueous solution was 12.0.

実施例1において、第1流体の供給温度を60℃とした以外は同様にして、処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.4であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、ニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたニッケル微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表1に示した。このニッケル微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し、これら錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、これら錐状突起の多くはその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり、該三角形の頂角が30度であり、該三角形の高さが1.4倍であり、該三角形の高さが平均粒径の1/4よりも大きい錐状突起を有し、平均粒径は2.2μmであり、その粒度分布のCV値は小さく85%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子が溶融することが確認できた。
In Example 1, the first fluid was introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 except that the supply temperature of the first fluid was set to 60 ° C. The pH of the thin film fluid was 11.4.
In the same manner as in Example 1, the surface shape of the nickel fine particles obtained from the slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2 and the side surfaces of the conical projections Measures the apex angle of triangles that are shapes and side shapes, the height of cone-shaped projections, average particle size, particle size distribution and CV value, component analysis of nickel fine particles, and measurement of meltability of nickel fine particles by electron beam The results are shown in Table 1. The nickel fine particles have a large number of substantially polygonal cone-shaped or substantially cone-shaped projections projecting radially on the surface, and these cone-shaped projections have their roots in contact with each other, intimately, or in close contact with each other. Many of the protrusions have a triangular side shape in the transmission electron micrograph, the apex angle of the triangle is 30 degrees, the height of the triangle is 1.4 times, and the height of the triangle is the average grain size. It has cone-shaped projections larger than 1/4 of the diameter, the average particle size is 2.2 μm, the CV value of the particle size distribution is 85%, and nickel fine particles can be melted by electron beam irradiation. It could be confirmed.

得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表1に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性、接着性に優れることが確認できた。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出性試験では、詰まりが発生しなかった。 50 parts of the obtained nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 1 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity, and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. This paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was confirmed to be excellent in conductivity and adhesiveness. In the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition, no clogging occurred.

[実施例5]
実施例1において、第1流体の沸点上昇剤であるエチレングリコールを60%にして、第2流体の沸点上昇剤であるポリエチレングリコール(平均分子量600)を5%にした以外は同様にして第1流体を調製した。該水溶液のpHは12.0であった。
[Example 5]
The same procedure as in Example 1 was carried out except that the first fluid boiling point raising agent, ethylene glycol, was changed to 60%, and the second fluid boiling point raising agent, polyethylene glycol (average molecular weight 600), was changed to 5%. A fluid was prepared. The pH of the aqueous solution was 12.0.

実施例1と同様にして、強制超薄膜回転反応装置にて第1流体と第2流体を処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.4であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、ニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたニッケル微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表2に示した。このニッケル微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し、これら錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、これら錐状突起の多くはその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり、該三角形の頂角が24度であり、該三角形の高さが1.5倍であり、該三角形の高さが平均粒径の1/4よりも大きい錐状突起を有し、平均粒径は1.8μmであり、その粒度分布のCV値は小さく88%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子が溶融することが確認できた。
In the same manner as in Example 1, the first fluid and the second fluid were introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 by a forced ultrathin film rotary reactor. The pH of the thin film fluid was 11.4.
In the same manner as in Example 1, the surface shape of the nickel fine particles obtained from the slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2 and the side surfaces of the conical projections Measures the apex angle of triangles that are shapes and side shapes, the height of cone-shaped projections, average particle size, particle size distribution and CV value, component analysis of nickel fine particles, and measurement of meltability of nickel fine particles by electron beam The results are shown in Table 2. The nickel fine particles have a large number of substantially polygonal cone-shaped or substantially cone-shaped projections projecting radially on the surface, and these cone-shaped projections have their roots in contact with each other, intimately, or in close contact with each other. Many of the protrusions have a triangular side shape in the transmission electron micrograph, the apex angle of the triangle is 24 degrees, the height of the triangle is 1.5 times, and the height of the triangle is the average grain size. It has conical protrusions larger than 1/4 of the diameter, the average particle diameter is 1.8 μm, the CV value of the particle size distribution is small and 88%, and the nickel fine particles can be melted by the electron beam irradiation. It could be confirmed.

得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表2に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性、接着性に優れることが確認できた。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出試験では、詰まりが発生しなかった。 50 parts of the obtained nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 2 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity, and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. This paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was confirmed to be excellent in conductivity and adhesiveness. In the micro discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition, no clogging occurred.

[実施例6]
実施例1において、第2流体に分散剤であるポリビニルアルコール(平均分子量500)を30%添加した以外は同様にして第2流体を調製した。該水溶液のpHは6.5であった。
[Example 6]
In Example 1, a second fluid was prepared in the same manner except that 30% of polyvinyl alcohol (average molecular weight 500) as a dispersant was added to the second fluid. The pH of the aqueous solution was 6.5.

実施例1において、強制超薄膜回転反応装置の回転数を1000rpmとし、第1処理用面と第2処理用面間の間隙を3μmとし、第1流体を、供給圧力0.5MPa/背圧0.02MPaとした以外は同様にして該装置の処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.4であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、ニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたニッケル微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表2に示した。このニッケル微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し、これら錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、これら錐状突起の多くはその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり、該三角形の頂角が32度であり、該三角形の高さが1.5倍であり、該三角形の高さが平均粒径の1/4よりも大きい錐状突起を有し、平均粒径は1.4μmであり、その粒度分布のCV値は小さく67%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子が溶融することが確認できた。
In Example 1, the rotation speed of the forced ultrathin film rotary reactor is 1000 rpm, the gap between the first processing surface and the second processing surface is 3 μm, and the first fluid is supplied at a supply pressure of 0.5 MPa / back pressure of 0 MPa. It was similarly introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 of the apparatus except that the pressure was 0.02 MPa. The pH of the thin film fluid was 11.4.
In the same manner as in Example 1, the surface shape of the nickel fine particles obtained from the slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2 and the side surfaces of the conical projections Measures the apex angle of triangles that are shapes and side shapes, the height of cone-shaped projections, average particle size, particle size distribution and CV value, component analysis of nickel fine particles, and measurement of meltability of nickel fine particles by electron beam The results are shown in Table 2. The nickel fine particles have a large number of substantially polygonal cone-shaped or substantially cone-shaped projections projecting radially on the surface, and these cone-shaped projections have their roots in contact with each other, intimately, or in close contact with each other. Many of the protrusions have a triangular side shape in the transmission electron micrograph, the apex angle of the triangle is 32 degrees, the height of the triangle is 1.5 times, and the height of the triangle is the average grain size. It has conical protrusions larger than 1/4 of the diameter, the average particle diameter is 1.4 μm, the CV value of the particle size distribution is small 67%, and the nickel fine particles can be melted by electron beam irradiation. It could be confirmed.

得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表2に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性、接着性に優れることが確認できた。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出性試験では、詰まりが発生しなかった。 50 parts of the obtained nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 2 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity, and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. This paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was confirmed to be excellent in conductivity and adhesiveness. In the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition, no clogging occurred.

[実施例7]
実施例1において、ニッケル塩である、硫酸ニッケル(II)六水和物の代わりに、硝酸ニッケル(II)六水和物を用いた以外は同様にして第2流体を調製した。該水溶液のpHは6.5であった。
[Example 7]
In Example 1, a second fluid was prepared in the same manner except that nickel (II) nitrate hexahydrate was used instead of nickel (II) sulfate hexahydrate, which is a nickel salt. The pH of the aqueous solution was 6.5.

実施例1と同様にして、強制超薄膜回転反応装置にて第1流体と第2流体を処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.4であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、ニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたニッケル微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表2に示した。このニッケル微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し(図19、図20参照)、これら錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、これら錐状突起の多くはその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり(図20参照)、該三角形の頂角が28度であり、該三角形の高さが1.7倍であり、該三角形の高さが平均粒径の1/4よりも大きい錐状突起を多数有し(図20参照)、平均粒径は1.0μmであり、その粒度分布のCV値は小さく69%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子が溶融することが確認できた。
In the same manner as in Example 1, the first fluid and the second fluid were introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 by a forced ultrathin film rotary reactor. The pH of the thin film fluid was 11.4.
In the same manner as in Example 1, the surface shape of the nickel fine particles obtained from the slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2 and the side surfaces of the conical projections Measures the apex angle of triangles that are shapes and side shapes, the height of cone-shaped projections, average particle size, particle size distribution and CV value, component analysis of nickel fine particles, and measurement of meltability of nickel fine particles by electron beam The results are shown in Table 2. The nickel fine particles have a large number of substantially polygonal cone-shaped or substantially cone-shaped projections projecting radially on the surface (see FIGS. 19 and 20), and these cone-shaped projections have their roots in contact with each other, in close contact with or in contact with each other. Many of these conical projections have a triangular side shape in a transmission electron micrograph (see FIG. 20), the apex angle of the triangle is 28 degrees, and the height of the triangle is 1. 7 times, and the number of the cone-shaped protrusions is larger than 1/4 of the average particle diameter (see FIG. 20), the average particle diameter is 1.0 μm, and the CV value of the particle size distribution Was 69%, and it was confirmed that the nickel fine particles were melted by the electron beam irradiation.

得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表2に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性、接着性に優れることが確認できた。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出性試験では、詰まりが発生しなかった。 50 parts of the obtained nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 2 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity, and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. This paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was confirmed to be excellent in conductivity and adhesiveness. In the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition, no clogging occurred.

[実施例8]
実施例1において、還元剤であるヒドラジン一水和物の代わりに、水素化ホウ素ナトリウムを用いた以外は同様にして第1流体を調製した。該水溶液のpHは12.2であった。
[Example 8]
In Example 1, a first fluid was prepared in the same manner except that sodium borohydride was used in place of the reducing agent hydrazine monohydrate. The pH of the aqueous solution was 12.2.

実施例1と同様にして、強制超薄膜回転反応装置にて第1流体と第2流体を処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.6であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、ニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたニッケル微粒子の表面形状、突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表2に示した。このニッケル微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し、これら錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、これら錐状突起の多くはその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり、該三角形の頂角が29度であり、該三角形の高さが1.7倍であり、該三角形の高さが平均粒径の1/4よりも大きい錐状突起を有し、平均粒径は1.1μmであり、その粒度分布のCV値は小さく76%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子が溶融することが確認できた。
In the same manner as in Example 1, the first fluid and the second fluid were introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 by a forced ultrathin film rotary reactor. The pH of the thin film fluid was 11.6.
In the same manner as in Example 1, the surface shape of the nickel fine particles obtained from the slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2, Measures the apex angle of triangles, the height of cone-shaped projections, average particle size, particle size distribution and CV value, and analyzes component of nickel fine particles and measures melting properties of nickel fine particles by electron beam. It was shown in 2. The nickel fine particles have a large number of substantially polygonal cone-shaped or substantially cone-shaped projections projecting radially on the surface, and these cone-shaped projections have their roots in contact with each other, intimately, or in close contact with each other. Many of the protrusions have a triangular side shape in the transmission electron micrograph, the apex angle of the triangle is 29 degrees, the height of the triangle is 1.7 times, and the height of the triangle is the average grain size. It has conical protrusions larger than 1/4 of the diameter, the average particle diameter is 1.1 μm, the CV value of the particle size distribution is small, 76%, and nickel fine particles can be melted by electron beam irradiation. It could be confirmed.

得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表2に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性、接着性に優れることが確認できた。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出性試験では、詰まりが発生しなかった。 50 parts of the obtained nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 2 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity, and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. This paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was confirmed to be excellent in conductivity and adhesiveness. In the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition, no clogging occurred.

[実施例9]
実施例1において、第1流体の沸点上昇剤であるエチレングリコールの代わりに、ソルビトール10%を用いた以外は同様にして第1流体を調製した。該水溶液のpHは12.0であった。
[Example 9]
In Example 1, the first fluid was prepared in the same manner except that 10% of sorbitol was used instead of ethylene glycol which is the boiling point raising agent of the first fluid. The pH of the aqueous solution was 12.0.

実施例1と同様にして、強制超薄膜回転反応装置にて第1流体と第2流体を処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.4であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、ニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたニッケル微粒子の表面形状、錐状突起の断面側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表3に示した。このニッケル微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し、これら錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、これら錐状突起の多くはその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり、該三角形の頂角が28度であり、該三角形の高さが1.5倍であり、該三角形の高さが平均粒径の1/4よりも大きい錐状突起を有し、平均粒径は1.0μmであり、その粒度分布のCV値は小さく81%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子が溶融することが確認できた。
In the same manner as in Example 1, the first fluid and the second fluid were introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 by a forced ultrathin film rotary reactor. The pH of the thin film fluid was 11.4.
In the same manner as in Example 1, the surface shape of the nickel fine particles obtained from the slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2 and the cross-section of the conical protrusions Measure the side shape and the apex angle of the triangle that is the side shape, the height of the conical protrusion, the average particle size, the particle size distribution and the CV value, analyze the component of the nickel fine particles, and measure the meltability of the nickel fine particles with an electron beam The results are shown in Table 3. The nickel fine particles have a large number of substantially polygonal cone-shaped or substantially cone-shaped projections projecting radially on the surface, and these cone-shaped projections have their roots in contact with each other, intimately, or in close contact with each other. Many of the protrusions are triangular in the shape of the side surface in the transmission electron micrograph, the apex angle of the triangle is 28 degrees, the height of the triangle is 1.5 times, and the height of the triangle is the average grain size. It has cone-shaped protrusions larger than 1/4 of the diameter, the average particle diameter is 1.0 μm, the CV value of the particle size distribution is small 81%, and the nickel fine particles can be melted by the electron beam irradiation. It could be confirmed.

得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表3に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性、接着性に優れることが確認できた。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出性試験では、詰まりが発生しなかった。 50 parts of the obtained nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 3 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. This paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was confirmed to be excellent in conductivity and adhesiveness. In the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition, no clogging occurred.

[実施例10]
実施例1において、第2流体の沸点上昇剤であるポリエチレングリコール(平均分子量600)を用いず、分散剤としてポリビニルアルコール(平均分子量500)2.1%を用いた以外は同様にして第2流体を調製した。該水溶液のpHは6.5であった。
[Example 10]
In Example 1, the second fluid was similarly used except that polyethylene glycol (average molecular weight 600), which is the boiling point raising agent of the second fluid, was not used, and 2.1% polyvinyl alcohol (average molecular weight 500) was used as the dispersant. Was prepared. The pH of the aqueous solution was 6.5.

実施例1と同様にして、強制超薄膜回転反応装置にて第1流体と第2流体を処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.4であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、
分散剤であるポリビニルアルコール(平均分子量2000)で被覆されたニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたニッケル微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表3に示した。このニッケル微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し、これら錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、これら錐状突起の多くはその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり、該三角形の頂角が24度であり、該三角形の高さが1.6倍であり、該三角形の高さが平均粒径の1/4よりも大きい錐状突起を有し、平均粒径は1.0μmであり、その粒度分布のCV値は小さく72%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子が溶融することが確認できた。
In the same manner as in Example 1, the first fluid and the second fluid were introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 by a forced ultrathin film rotary reactor. The pH of the thin film fluid was 11.4.
In the same manner as in Example 1, it was discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2.
Surface shape of nickel fine particles obtained from a slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles coated with polyvinyl alcohol (average molecular weight 2000) as a dispersant, side shape of conical protrusions, and apex angle of triangles and cones which are side shapes Table 3 shows the height, average particle size, particle size distribution, and CV value of the protrusions, and the component analysis of the nickel fine particles and the measurement of the meltability of the nickel fine particles with an electron beam. The nickel fine particles have a large number of substantially polygonal cone-shaped or substantially cone-shaped projections projecting radially on the surface, and these cone-shaped projections have their roots in contact with each other, intimately, or in close contact with each other. Many of the protrusions have a triangular side shape in the transmission electron micrograph, the apex angle of the triangle is 24 degrees, the height of the triangle is 1.6 times, and the height of the triangle is the average grain size. It has cone-shaped projections larger than 1/4 of the diameter, the average particle size is 1.0 μm, the CV value of the particle size distribution is 72%, and nickel fine particles can be melted by electron beam irradiation. It could be confirmed.

得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表3に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性、接着性に優れることが確認できた。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出試験では、詰まりが発生しなかった。 50 parts of the obtained nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 3 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. This paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was confirmed to be excellent in conductivity and adhesiveness. In the micro discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition, no clogging occurred.

[実施例11]
実施例1において、第1流体のpH調整剤である水酸化カリウムを0.1%とした以外は同様にして第1流体を調製した。該水溶液のpHは8.3であり、第2流体のpHとの差は1.8であった。
[Example 11]
In Example 1, the first fluid was prepared in the same manner except that potassium hydroxide, which is the pH adjuster of the first fluid, was changed to 0.1%. The pH of the aqueous solution was 8.3, and the difference from the pH of the second fluid was 1.8.

実施例1と同様にして、強制超薄膜回転反応装置にて第1流体と第2流体を処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは8.1であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、ニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたニッケル微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表3に示した。このニッケル微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し、これら錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、これら錐状突起の多くはその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり、該三角形の頂角が29度であり、該三角形の高さが1.2倍であり、該三角形の高さが平均粒径の1/4よりも大きい錐状突起を有し、平均粒径は8.4μmであり、その粒度分布のCV値は小さく84%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子が溶融することが確認できた。
In the same manner as in Example 1, the first fluid and the second fluid were introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 by a forced ultrathin film rotary reactor. The pH of the thin film fluid was 8.1.
In the same manner as in Example 1, the surface shape of the nickel fine particles obtained from the slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2 and the side surfaces of the conical projections Measures the apex angle of triangles that are shapes and side shapes, the height of cone-shaped projections, average particle size, particle size distribution and CV value, component analysis of nickel fine particles, and measurement of meltability of nickel fine particles by electron beam The results are shown in Table 3. The nickel fine particles have a large number of substantially polygonal cone-shaped or substantially cone-shaped projections projecting radially on the surface, and these cone-shaped projections have their roots in contact with each other, intimately, or in close contact with each other. Many of the protrusions have a triangular side shape in the transmission electron micrograph, the apex angle of the triangle is 29 degrees, the height of the triangle is 1.2 times, and the height of the triangle is the average grain size. It has cone-shaped projections larger than 1/4 of the diameter, the average particle diameter is 8.4 μm, the CV value of the particle size distribution is 84%, and the nickel fine particles can be melted by the electron beam irradiation. It could be confirmed.

得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表3に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性、接着性に優れることが確認できた。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出試験では、詰まりが発生しなかった。 50 parts of the obtained nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 3 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. This paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was confirmed to be excellent in conductivity and adhesiveness. In the micro discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition, no clogging occurred.

[実施例12]
実施例1において、第2流体のpH調整剤である濃硫酸(濃度96%)0.05%を添加した以外は同様にして第2流体を調製した。該水溶液のpHは4.5であり、第1流体のpHとの差は7.5であった。
[Example 12]
A second fluid was prepared in the same manner as in Example 1 except that 0.05% concentrated sulfuric acid (concentration 96%), which is a pH adjuster for the second fluid, was added. The pH of the aqueous solution was 4.5, and the difference from the pH of the first fluid was 7.5.

実施例1と同様にして、強制超薄膜回転反応装置にて第1流体と第2流体を処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.2であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、ニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたニッケル微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表3に示した。このニッケル微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し、これら錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、これら錐状突起の多くはその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり、該三角形の頂角が30度であり、該三角形の高さが2.4倍であり、該三角形の高さが平均粒径の1/4よりも大きい錐状突起を有し、平均粒径は0.08μmであり、その粒度分布のCV値は小さく88%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子が溶融することが確認できた。
In the same manner as in Example 1, the first fluid and the second fluid were introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 by a forced ultrathin film rotary reactor. The pH of the thin film fluid was 11.2.
In the same manner as in Example 1, the surface shape of the nickel fine particles obtained from the slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2 and the side surfaces of the conical projections Measures the apex angle of triangles that are shapes and side shapes, the height of cone-shaped projections, average particle size, particle size distribution and CV value, component analysis of nickel fine particles, and measurement of meltability of nickel fine particles by electron beam The results are shown in Table 3. The nickel fine particles have a large number of substantially polygonal cone-shaped or substantially cone-shaped projections projecting radially on the surface, and these cone-shaped projections have their roots in contact with each other, intimately, or in close contact with each other. Many of the protrusions have a triangular side shape in the transmission electron micrograph, the apex angle of the triangle is 30 degrees, the height of the triangle is 2.4 times, and the height of the triangle is the average grain size. It has conical protrusions larger than 1/4 of the diameter, the average particle diameter is 0.08 μm, the CV value of the particle size distribution is small and 88%, and the nickel fine particles can be melted by the electron beam irradiation. It could be confirmed.

得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表3に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性、接着性に優れることが確認できた。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出試験では、詰まりが発生しなかった。 50 parts of the obtained nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 3 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. This paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was confirmed to be excellent in conductivity and adhesiveness. In the micro discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition, no clogging occurred.

[実施例13]
実施例1において、ニッケル塩である、硫酸ニッケル(II)六水和物の代わりに、鉄塩である硫酸鉄(II)七水和物を使用した以外は同様にして第2流体を調製した。該水溶液のpHは6.5であった。
[Example 13]
A second fluid was prepared in the same manner as in Example 1, except that iron (II) sulfate heptahydrate, which is an iron salt, was used instead of nickel (II) sulfate, hexahydrate, which was a nickel salt. . The pH of the aqueous solution was 6.5.

実施例1と同様にして、強制超薄膜回転反応装置にて第1流体と第2流体を処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.4であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、鉄微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られた鉄微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、鉄微粒子の成分分析、および、鉄微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表4に示した。この鉄微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し、これら錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、これら錐状突起の多くはその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり、該三角形の頂角が23度であり、該三角形の高さが1.6倍であり、該三角形の高さが平均粒径の1/4よりも大きい錐状突起を有し、平均粒径は1.1μmであり、その粒度分布のCV値は小さく61%であり、電子線の照射によって鉄微粒子が溶融することが確認できた。
In the same manner as in Example 1, the first fluid and the second fluid were introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 by a forced ultrathin film rotary reactor. The pH of the thin film fluid was 11.4.
In the same manner as in Example 1, the surface shape of the iron fine particles obtained from the slurry-like aqueous solution containing the iron fine particles discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2 and the side surfaces of the conical projections Measures the apex angle of triangles that are shapes and side shapes, the height of conical protrusions, average particle size, particle size distribution and CV value, component analysis of iron fine particles, and measurement of meltability of iron fine particles by electron beam The results are shown in Table 4. This iron fine particle has a large number of substantially polygonal cone-shaped or substantially cone-shaped projections projecting radially on the surface. Many of the protrusions have a triangular side shape in the transmission electron micrograph, the apex angle of the triangle is 23 degrees, the height of the triangle is 1.6 times, and the height of the triangle is the average grain size. It has cone-shaped projections larger than 1/4 of the diameter, the average particle size is 1.1 μm, the CV value of the particle size distribution is small 61%, and the iron fine particles can be melted by the electron beam irradiation. It could be confirmed.

得られた鉄微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表4に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性、接着性に優れることが確認できた。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出性試験では、詰まりが発生しなかった。 50 parts of the obtained iron fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 4 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity, and shear bond strength of this paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. This paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was confirmed to be excellent in conductivity and adhesiveness. In the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition, no clogging occurred.

[実施例14]
実施例1において、ニッケル塩である、硫酸ニッケル(II)六水和物の代わりに、コバルト塩である硫酸コバルト(II)七水和物を使用した以外は同様にして第2流体を調製した。該水溶液のpHは6.5であった。
[Example 14]
In Example 1, a second fluid was prepared in the same manner except that cobalt (II) sulfate heptahydrate, which is a cobalt salt, was used instead of nickel (II) sulfate, hexahydrate, which was a nickel salt. . The pH of the aqueous solution was 6.5.

実施例1と同様にして、強制超薄膜回転反応装置にて第1流体と第2流体を処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.4であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、コバルト微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたコバルト微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、コバルト微粒子の成分分析、および、コバルト微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表4に示した。このコバルト微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し、これら錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、これら錐状突起の多くはその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり、該三角形の頂角が22度であり、該三角形の高さが1.7倍であり、該三角形の高さが平均粒径の1/4よりも大きい錐状突起を有し、平均粒径は1.0μmであり、その粒度分布のCV値は小さく76%であり、電子線の照射によってコバルト微粒子が溶融することが確認できた。
In the same manner as in Example 1, the first fluid and the second fluid were introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 by a forced ultrathin film rotary reactor. The pH of the thin film fluid was 11.4.
In the same manner as in Example 1, the surface shape of the cobalt fine particles obtained from the slurry-like aqueous solution containing cobalt fine particles discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2 and the side surfaces of the conical projections Measures the apex angle of triangles that are the shape and side shape, the height of the cone-shaped projections, the average particle size, the particle size distribution and the CV value, component analysis of the cobalt fine particles, and the measurement of the meltability of the cobalt fine particles by an electron beam The results are shown in Table 4. The cobalt fine particles have a large number of substantially polygonal cone-shaped or substantially cone-shaped projections projecting radially on the surface, and these cone-shaped projections have their roots in contact with each other, in close contact with each other, or in close contact with each other. Many of the protrusions have a triangular side shape in the transmission electron micrograph, the apex angle of the triangle is 22 degrees, the height of the triangle is 1.7 times, and the height of the triangle is the average grain size. It has cone-shaped projections larger than 1/4 of the diameter, the average particle size is 1.0 μm, the CV value of the particle size distribution is 76%, and the cobalt fine particles can be melted by the electron beam irradiation. It could be confirmed.

得られたコバルト微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表4に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性、接着性に優れることが確認できた。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出性試験では、詰まりが発生しなかった。 50 parts of the obtained cobalt fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in the reference example were charged into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 4 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity, and shear bond strength of this paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. This paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was confirmed to be excellent in conductivity and adhesiveness. In the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition, no clogging occurred.

[実施例15]
実施例1において、ニッケル塩である、硫酸ニッケル(II)六水和物の代わりに、クロム塩である硫酸クロム(III)水和物を使用した以外は同様にして第2流体を調製した。該水溶液のpHは6.5であった。
[Example 15]
A second fluid was prepared in the same manner as in Example 1, except that chromium (III) sulfate hydrate, which is a chromium salt, was used instead of nickel (II) sulfate hexahydrate, which is a nickel salt. The pH of the aqueous solution was 6.5.

実施例1と同様にして、強制超薄膜回転反応装置にて第1流体と第2流体を処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.4であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、クロム微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたクロム微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、クロム微粒子の成分分析、および、クロム微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表4に示した。このクロム微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し、これら錐状突起はその根元が相互に接触、密接または接触と密接しており、これら錐状突起の多くはその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形であり、該三角形の頂角が24度であり、該三角形の高さが1.7倍であり、該三角形の高さが平均粒径の1/4よりも大きい錐状突起を有し、平均粒径は0.9μmであり、その粒度分布のCV値は小さく65%であり、電子線の照射によってクロム微粒子が溶融することが確認できた。
In the same manner as in Example 1, the first fluid and the second fluid were introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 by a forced ultrathin film rotary reactor. The pH of the thin film fluid was 11.4.
In the same manner as in Example 1, the surface shape of the chromium fine particles obtained from the slurry-like aqueous solution containing the chromium fine particles discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2 and the side surfaces of the conical projections Measure the apex angle of triangles that are the shape and side shape, the height of the cone-shaped projections, the average particle size, the particle size distribution, and the CV value, analyze the components of the chromium fine particles, and measure the melting properties of the chromium fine particles with an electron beam The results are shown in Table 4. These chromium fine particles have a large number of substantially polygonal cone-shaped or substantially cone-shaped projections projecting radially on the surface, and these cone-shaped projections have their roots in contact with each other, intimately, or in close contact with each other. Many of the protrusions are triangular in the side shape in the transmission electron micrograph, the apex angle of the triangle is 24 degrees, the height of the triangle is 1.7 times, and the height of the triangle is the average grain size. It has cone-shaped projections larger than 1/4 of the diameter, the average particle size is 0.9 μm, the CV value of the particle size distribution is small and 65%, and the chromium fine particles can be melted by the electron beam irradiation. It could be confirmed.

得られたクロム微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表4に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性、接着性に優れることが確認できた。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出性試験では、詰まりが発生しなかった。 50 parts of the obtained chromium fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in the reference example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 4 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity, and shear bond strength of this paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. This paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was confirmed to be excellent in conductivity and adhesiveness. In the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition, no clogging occurred.

[比較例1]
実施例1で用いた第1流体(pH12.0)をガラス製のフラスコに入れ、オイルバスで加熱して100℃にした。続いて、超音波ホモジナイザー(株式会社日本精機製作所製US−150T)を用いて攪拌しながら、実施例1で用いた常温の第2流体(pH6.5)を点滴ロートにて滴下して、分散剤で被覆されたニッケル微粒子を反応残さである水溶液(pH11.4)とともに得た。
[Comparative Example 1]
The first fluid (pH 12.0) used in Example 1 was placed in a glass flask and heated to 100 ° C. in an oil bath. Subsequently, while stirring using an ultrasonic homogenizer (US-150T manufactured by Nippon Seiki Seisakusho Co., Ltd.), the second fluid at normal temperature (pH 6.5) used in Example 1 was dropped with an infusion funnel and dispersed. Nickel fine particles coated with an agent were obtained together with an aqueous solution (pH 11.4) as a reaction residue.

得られたニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液を磁石上で静置し、ニッケル微粒子を沈降させ、ついで、分離したニッケル微粒子を純水、次いでメタノールで洗浄してから真空乾燥した。得られたニッケル微粒子の表面形状を観察し、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表5に示した。このニッケル微粒子は表面に突起はなく、平均粒径は13.0μmであり、その粒度分布のCV値は大きく330%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子は溶融しないことが確認できた。 The obtained slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles was allowed to stand on a magnet to precipitate the nickel fine particles, and then the separated nickel fine particles were washed with pure water and then with methanol and then vacuum-dried. The surface shape of the obtained nickel fine particles was observed, the average particle size, the particle size distribution, and the CV value were measured. The component analysis of the nickel fine particles and the meltability of the nickel fine particles were measured with an electron beam. . The nickel fine particles had no protrusions on the surface, the average particle size was 13.0 μm, the CV value of the particle size distribution was 330%, and it was confirmed that the nickel fine particles were not melted by electron beam irradiation.

得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表5に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性が低く、このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出性試験では、詰まりが発生した。 50 parts of the obtained nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 5 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity, and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. The paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition has low conductivity, and clogging occurred in the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition.

[比較例2]
第1流体として、還元剤であるヒドラジン一水和物を10.5%、沸点上昇剤であるエチレングリコールを43.75%、pH調整剤として水酸化カリウムを2%含有する水溶液を調製した。該水溶液のpHは12.0であった。
第2流体として、ニッケル塩である、硫酸ニッケル(II)六水和物を89%、沸点上昇剤であるポリエチレングリコール(平均分子量600)を2.1%含有する水溶液を調製した。該水溶液のpHは6.1であったが、硫酸ニッケル(II)六水和物が完全に溶解せず、強制超薄膜回転反応装置に導入することができなかった。
[Comparative Example 2]
As a first fluid, an aqueous solution containing 10.5% of hydrazine monohydrate as a reducing agent, 43.75% of ethylene glycol as a boiling point increasing agent, and 2% of potassium hydroxide as a pH adjusting agent was prepared. The pH of the aqueous solution was 12.0.
As the second fluid, an aqueous solution containing 89% nickel (II) sulfate hexahydrate, which is a nickel salt, and 2.1% polyethylene glycol (average molecular weight 600), which is a boiling point increasing agent, was prepared. The pH of the aqueous solution was 6.1, but nickel (II) sulfate hexahydrate was not completely dissolved and could not be introduced into the forced ultrathin film rotary reactor.

[比較例3]
実施例1において、還元剤であるヒドラジン一水和物を0.1%にした以外は同様にして第1流体を調製した。該水溶液のpHは11.8であった。
[Comparative Example 3]
A first fluid was prepared in the same manner as in Example 1 except that the reducing agent hydrazine monohydrate was changed to 0.1%. The pH of the aqueous solution was 11.8.

実施例1と同様にして、強制超薄膜回転反応装置にて第1流体と第2流体を処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.2であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された水溶液には、ニッケル微粒子はほとんど含まれていなかった。結果は表5に示した。
[比較例4]
実施例1において、還元剤であるヒドラジン一水和物を30.0%にした以外は同様にして第1流体を調製した。該水溶液のpHは12.8であった。
In the same manner as in Example 1, the first fluid and the second fluid were introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 by a forced ultrathin film rotary reactor. The pH of the thin film fluid was 11.2.
In the same manner as in Example 1, the aqueous solution discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2 contained almost no nickel fine particles. The results are shown in Table 5.
[Comparative Example 4]
A first fluid was prepared in the same manner as in Example 1 except that the reducing agent hydrazine monohydrate was changed to 30.0%. The pH of the aqueous solution was 12.8.

実施例1と同様にして、強制超薄膜回転反応装置にて第1流体と第2流体を処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは12.1であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、ニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたニッケル微粒子の表面形状を観察し、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表5に示した。このニッケル微粒子は表面の突起はほとんどなく、平均粒径は1.5μmであり、その粒度分布のCV値は大きく162%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子が溶融しないことが確認できた。
In the same manner as in Example 1, the first fluid and the second fluid were introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 by a forced ultrathin film rotary reactor. The pH of the thin film fluid was 12.1.
In the same manner as in Example 1, the surface shape of the nickel fine particles obtained from the slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2 was observed, and the average particle size was measured. The diameter, particle size distribution, and CV value were measured, and the component analysis of the nickel fine particles and the meltability of the nickel fine particles with an electron beam were measured and shown in Table 5. The nickel fine particles had almost no protrusions on the surface, the average particle size was 1.5 μm, the CV value of the particle size distribution was large 162%, and it was confirmed that the nickel fine particles were not melted by the electron beam irradiation.

得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表5に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性が低く、このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出性試験では、詰まりが発生した。 50 parts of the obtained nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 5 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity, and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. The paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition has low conductivity, and clogging occurred in the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition.

[比較例5]
実施例1において、第1流体のpH調整剤である水酸化カリウムの代わりに、濃硫酸(濃度96%)0.4%を用いた以外は同様にして第1流体を調製した。該水溶液のpHは6.8であったが、ニッケル微粒子は生成しなかった。結果は表6に示した。
[比較例6]
実施例1において、第2流体にpH調整剤として水酸化カリウム1%を添加した以外は同様にして第2流体を調製した。該水溶液のpHは9.0であったが、ニッケル微粒子は生成しなかった。結果は表6に示した。
[比較例7]
実施例1において、第2流体にpH調整剤として濃硫酸(濃度96%)0.1%を添加した以外は同様にして第2流体を調製した。該水溶液のpHは2.8であった。結果は表6に示した。
[Comparative Example 5]
In Example 1, the first fluid was prepared in the same manner except that concentrated sulfuric acid (concentration 96%) 0.4% was used instead of potassium hydroxide which is the pH adjuster of the first fluid. The pH of the aqueous solution was 6.8, but no nickel fine particles were generated. The results are shown in Table 6.
[Comparative Example 6]
In Example 1, the 2nd fluid was prepared similarly except having added 1% of potassium hydroxide as a pH adjuster to the 2nd fluid. Although the pH of the aqueous solution was 9.0, nickel fine particles were not generated. The results are shown in Table 6.
[Comparative Example 7]
In Example 1, the second fluid was prepared in the same manner except that 0.1% concentrated sulfuric acid (concentration 96%) was added to the second fluid as a pH adjuster. The pH of the aqueous solution was 2.8. The results are shown in Table 6.

実施例1と同様にして、強制超薄膜回転反応装置にて第1流体と第2流体を処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.0であった。
実施例1と同様にして、処理用面1,処理用面2の間から反応残渣とともに吐出された、ニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたニッケル微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表6に示した。このニッケル微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し、平均粒径は14.0μmであり、その粒度分布のCV値は大きく230%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子が溶融することが確認できた。
In the same manner as in Example 1, the first fluid and the second fluid were introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 by a forced ultrathin film rotary reactor. The pH of the thin film fluid was 11.0.
In the same manner as in Example 1, the surface shape of the nickel fine particles obtained from the slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles discharged together with the reaction residue from between the processing surface 1 and the processing surface 2 and the side surfaces of the conical projections Measures the apex angle of triangles that are shapes and side shapes, the height of cone-shaped projections, average particle size, particle size distribution and CV value, component analysis of nickel fine particles, and measurement of meltability of nickel fine particles by electron beam The results are shown in Table 6. The nickel fine particles have a large number of substantially polygonal pyramid or substantially conical protrusions projecting radially on the surface, the average particle diameter is 14.0 μm, and the CV value of the particle size distribution is large, 230%. It was confirmed that the nickel fine particles were melted by the irradiation of the wire.

得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表6に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性が低く、このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出性試験では、詰まりが発生した。 50 parts of the obtained nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 6 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity, and shear bond strength of this paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. The paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition has low conductivity, and clogging occurred in the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition.

[比較例8]
実施例1において、強制超薄膜回転反応装置の回転数を100rpmとし、第1処理用面と第2処理用面間の間隙を30μmとし、第1流体を、供給圧力0.1MPa/背圧0.1MPaとした以外は同様にして該装置の処理用面1,処理用面2間に導入した。薄膜流体のpHは11.4であった。
処理用面1,処理用面2の間から、分散剤であるポリエチレングリコール(平均分子量600)で被覆されたニッケル微粒子が反応残さである水溶液とともに吐出された、ニッケル微粒子を含むスラリー状の水溶液から得られたニッケル微粒子の表面形状、錐状突起の側面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表6に示した。このニッケル微粒子は表面に放射状に突出する略多角錐状もしくは略円錐状の多数の突起を有し、平均粒径は17.5μmであり、その粒度分布のCV値は大きく295%であり、電子線の照射によってニッケル微粒子が溶融することが確認できた。
[Comparative Example 8]
In Example 1, the rotational speed of the forced ultrathin film rotary reactor is 100 rpm, the gap between the first processing surface and the second processing surface is 30 μm, and the first fluid is supplied at a supply pressure of 0.1 MPa / back pressure of 0 MPa. It was introduced between the processing surface 1 and the processing surface 2 of the apparatus in the same manner except that the pressure was 0.1 MPa. The pH of the thin film fluid was 11.4.
From a slurry-like aqueous solution containing nickel fine particles, in which nickel fine particles coated with polyethylene glycol (average molecular weight 600) as a dispersant are discharged together with an aqueous solution as a reaction residue from between the treatment surface 1 and the treatment surface 2 Measure the surface shape of the obtained nickel fine particles, the side shape of the conical protrusions, the apex angle of the triangular triangle, the height of the conical protrusions, the average particle diameter, the particle size distribution and the CV value, and analyze the components of the nickel fine particles The meltability of nickel fine particles was measured with an electron beam and shown in Table 6. The nickel fine particles have a large number of substantially polygonal pyramid or substantially conical protrusions projecting radially on the surface, the average particle diameter is 17.5 μm, and the CV value of the particle size distribution is large, 295%. It was confirmed that the nickel fine particles were melted by the irradiation of the wire.

得られたニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表6に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性が低く、このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出試験では、詰まりが発生した。 50 parts of the obtained nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in Reference Example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 6 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity, and shear bond strength of this paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. The paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition has low conductivity, and clogging occurred in the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition.

[比較例9]
実施例1において、実施例1で得られたニッケル微粒子の代わりに、市販の平均粒径が2.5μmの粒状ニッケル微粒子を用いた以外は同様にして、ニッケル微粒子の表面形状を観察し、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表7に示した。このニッケル微粒子は表面に突起はなく、平均粒径は2.5μmであり、その粒度分布のCV値は大きく、電子線の照射によってニッケル微粒子は溶融しないことが確認できた。
[Comparative Example 9]
In Example 1, instead of the nickel fine particles obtained in Example 1, the surface shape of the nickel fine particles was observed in the same manner except that the commercially available granular nickel fine particles having an average particle diameter of 2.5 μm were used. The particle size, particle size distribution, and CV value were measured, and the component analysis of the nickel fine particles and the meltability of the nickel fine particles with an electron beam were measured and shown in Table 7. The nickel fine particles had no protrusions on the surface, the average particle size was 2.5 μm, the CV value of the particle size distribution was large, and it was confirmed that the nickel fine particles were not melted by the electron beam irradiation.

このニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表7に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性が低く、このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出試験では、詰まりが発生した。 50 parts of the nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in the reference example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 7 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. The paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition has low conductivity, and clogging occurred in the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition.

[比較例10]
実施例1において、実施例1で得られたニッケル微粒子の代わりに、市販の表面がステアリン酸で被覆され平均粒径が7.0μmのフレーク状ニッケル微粒子(ステアリン酸付着量0.3%)を用いた以外は同様にして、ニッケル微粒子の表面形状を観察し、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表7に示した。このニッケル微粒子は表面に突起はなく、平均粒径は7.0μmであり、その粒度分布のCV値は大きく、電子線の照射によってニッケル微粒子は溶融しないことが確認できた。
[Comparative Example 10]
In Example 1, instead of the nickel fine particles obtained in Example 1, flaky nickel fine particles (stearic acid adhesion amount of 0.3%) having a commercially available surface coated with stearic acid and an average particle size of 7.0 μm were used. In the same manner except that it was used, the surface shape of the nickel fine particles was observed, the average particle size, the particle size distribution, and the CV value were measured. It is shown in Table 7. The nickel fine particles had no protrusions on the surface, the average particle size was 7.0 μm, the CV value of the particle size distribution was large, and it was confirmed that the nickel fine particles were not melted by the electron beam irradiation.

このニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表7に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性が低く、このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出性試験では、詰まりが発生した。 50 parts of the nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in the reference example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 7 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. The paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition has low conductivity, and clogging occurred in the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition.

[比較例11]
実施例1において、実施例1で得られたニッケル微粒子の代わりに、特許第3828787号公報の実施例4に記載の方法により製造した、針状突起を有する平均粒径が3.9μmのニッケル微粒子を用いた以外は同様にして、ニッケル微粒子の表面形状、突起の断面形状および側面形状である三角形の頂角、錐状突起の高さ、平均粒径、粒度分布およびCV値を測定し、ニッケル微粒子の成分分析、および、ニッケル微粒子の電子線による溶融性の測定を行い表7に示した。このニッケル微粒子は表面に針状突起を有し、平均粒径は3.9μmであり、その粒度分布のCV値は大きく、電子線の照射によってニッケル微粒子は一部が溶融しないことが確認できた。
[Comparative Example 11]
In Example 1, in place of the nickel fine particles obtained in Example 1, nickel fine particles having an average particle diameter of 3.9 μm having needle-like protrusions manufactured by the method described in Example 4 of Japanese Patent No. 3828787 In the same manner, the surface shape of the nickel fine particles, the cross-sectional shape of the protrusions and the apex angle of the triangle, which is the side shape, the height of the conical protrusions, the average particle diameter, the particle size distribution, and the CV value were measured. Table 7 shows the component analysis of the fine particles and the measurement of the meltability of the nickel fine particles with an electron beam. The nickel fine particles had needle-like protrusions on the surface, the average particle size was 3.9 μm, the CV value of the particle size distribution was large, and it was confirmed that the nickel fine particles were not partially melted by electron beam irradiation. .

このニッケル微粒子50部と参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の粘度、硬化後の硬さ、体積抵抗率およびせん断接着強さを測定し表7に示した。このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は導電性が低く、このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出性試験では、詰まりが発生した。 50 parts of the nickel fine particles and 50 parts of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in the reference example were put into a mixer and mixed uniformly to prepare a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Table 7 shows the viscosity, hardness after curing, volume resistivity and shear bond strength of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. The paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition has low conductivity, and clogging occurred in the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition.

[比較例12]
特開2007−191786の実施例1に記載されたとおり、イオン交換水:50mlと塩化ニッケル6水和物:4gを含むベース液を調製した。このベース液に濃硫酸1mlを添加し、さらにNaOHを加えて、pH試験紙にて約pH12となる液に調整した。この液をオイルバス中で60℃の温度に保持し、ヒドラジン水和物を3ml添加し反応させた。5時間以内に反応が終了し、外表面に多数の小さく高さが粒径の1/4よりも低い(錐状突起の高さは円面積相当径の0.7倍である)錐状突起が密に成長したニッケル粉を得た。該ニッケル粉の平均粒径は1.3μm、CV値は185%であった。
上記の得られたニッケル粉50質量部と、参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50質量部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。該ペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の導電性硬化物の体積抵抗率を測定したところ、1.1×10+1Ω・cmであった。この導電性硬化物の体積抵抗率は大きく、該ペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は、本願実施例の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物に比べて導電性が顕著に低いことを確認できた。また、このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出試験では、詰まりが発生した。
[Comparative Example 12]
As described in Example 1 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-191786, a base solution containing 50 ml of ion exchange water and 4 g of nickel chloride hexahydrate was prepared. 1 ml of concentrated sulfuric acid was added to this base solution, and NaOH was further added to adjust the solution to about pH 12 with pH test paper. This liquid was kept at a temperature of 60 ° C. in an oil bath, and 3 ml of hydrazine hydrate was added to react. The reaction is completed within 5 hours, and many small conical protrusions on the outer surface have a height lower than 1/4 of the particle diameter (the height of the conical protrusion is 0.7 times the equivalent diameter of the circular area). Obtained nickel powder which grew densely. The average particle diameter of the nickel powder was 1.3 μm, and the CV value was 185%.
50 parts by mass of the above-obtained nickel powder and 50 parts by mass of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in the reference example are charged into a mixer and mixed uniformly to form a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Was prepared. When the volume resistivity of the conductive cured product of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was measured, it was 1.1 × 10 +1 Ω · cm. The volume resistivity of the electroconductive cured product is large, and the electroconductive thermosetting epoxy resin composition in the form of paste has a remarkably low electroconductivity compared to the electroconductive thermosetting epoxy resin composition of the examples of the present application. Was confirmed. Moreover, clogging occurred in the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition.

[比較例13]
特開2007−191786の実施例4に記載されたとおり、イオン交換水:25ml、塩化ニッケル6水和物:2gを含むベース液を調製した。このベース液に炭酸ナトリウム1.7gを加えた。さらにNaOHを加え、pHをアルカリとした。この溶液に濃硝酸2mlを加え、さらにNaOHを加え、pH試験紙にて約pH12となる液に調整した。この液をオイルバス中で60℃の温度に保持し、ヒドラジン水和物を6ml添加し反応させた。20時間以内に反応が終了し、外表面に多数の小さく高さが粒径の1/4よりも低い(錐状突起の高さは円面積相当径の0.3倍である)錐状突起が密に成長したニッケル粉を得た。該ニッケル粉の平均粒径は1.9μm、CV値は210%であった。
上記の得られたニッケル粉50質量部と、参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50質量部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。該ペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の導電性硬化物の体積抵抗率を測定したところ、1.6×10+1Ω・cmであった。この導電性組成物の体積抵抗率は大きく、該ペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は、本願実施例の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物に比べて導電性が顕著に低いことを確認できた。また、このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出試験では、詰まりが発生した。
[Comparative Example 13]
A base solution containing 25 ml of ion exchange water and 2 g of nickel chloride hexahydrate was prepared as described in Example 4 of JP2007-191786. To this base solution, 1.7 g of sodium carbonate was added. Further NaOH was added to make the pH alkaline. Concentrated nitric acid (2 ml) was added to this solution, NaOH was further added, and the solution was adjusted to a pH of about 12 with pH test paper. This liquid was kept at a temperature of 60 ° C. in an oil bath, and 6 ml of hydrazine hydrate was added and reacted. The reaction is completed within 20 hours, and a large number of small heights on the outer surface are lower than 1/4 of the particle diameter (the height of the cone-shaped protrusion is 0.3 times the equivalent diameter of the circular area). Obtained nickel powder which grew densely. The average particle diameter of the nickel powder was 1.9 μm, and the CV value was 210%.
50 parts by mass of the above-obtained nickel powder and 50 parts by mass of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in the reference example are charged into a mixer and mixed uniformly to form a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Was prepared. When the volume resistivity of the conductive cured product of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was measured, it was 1.6 × 10 +1 Ω · cm. This conductive composition has a large volume resistivity, and the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition has a significantly lower conductivity than the conductive thermosetting epoxy resin composition of the examples of the present application. Was confirmed. Moreover, clogging occurred in the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition.

[比較例14]
特開2007−191786の実施例6に記載のとおり、イオン交換水:25ml、塩化ニッケル6水和物:2gを含むベース液を調製した。このベース液に硫酸ナトリウム0.2g、硝酸カリウム0.2g、炭酸ナトリウム1.7gを添加し、さらにNaOHを加え、pH試験紙にて約pH12となる液に調整した。さらに濃アンモニア水2mlを添加した。
この液をオイルバス中で60℃の温度に保持し、ヒドラジン水和物を8ml添加し反応させた。5時間以内に反応が終了し、外表面に多数の小さく高さが粒径の1/4よりも低い(錐状突起の高さは円面積相当径の0.4倍である)錐状突起が密に成長したニッケル粉を得た。該ニッケル粉の平均粒径は6.3μm、CV値は190%であった。
上記の得られたニッケル粉50質量部と、参考例で調製した液状熱硬化性エポキシ樹脂組成物50質量部をミキサーに投入し均一に混合してペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物を調製した。該ペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の導電性硬化物の体積抵抗率を測定したところ、4.5×10+1Ω・cmであった。この導電性硬化物の体積抵抗率は大きく、該ペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物は、本願実施例の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物に比べて導電性が顕著に低いことを確認できた。また、このペースト状の導電性熱硬化性エポキシ樹脂組成物の微小吐出試験では、詰まりが発生した。
[Comparative Example 14]
A base solution containing 25 ml of ion exchange water and 2 g of nickel chloride hexahydrate was prepared as described in Example 6 of JP2007-191786. To this base solution, 0.2 g of sodium sulfate, 0.2 g of potassium nitrate, and 1.7 g of sodium carbonate were added, NaOH was further added, and the solution was adjusted to a pH of about 12 with pH test paper. Further, 2 ml of concentrated aqueous ammonia was added.
This liquid was kept at a temperature of 60 ° C. in an oil bath, and 8 ml of hydrazine hydrate was added to react. The reaction is completed within 5 hours, and many small conical protrusions are formed on the outer surface whose height is lower than 1/4 of the particle diameter (the height of the conical protrusion is 0.4 times the equivalent diameter of the circular area). Obtained nickel powder which grew densely. The average particle diameter of the nickel powder was 6.3 μm, and the CV value was 190%.
50 parts by mass of the above-obtained nickel powder and 50 parts by mass of the liquid thermosetting epoxy resin composition prepared in the reference example are charged into a mixer and mixed uniformly to form a paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition. Was prepared. When the volume resistivity of the conductive cured product of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition was measured, it was 4.5 × 10 +1 Ω · cm. The volume resistivity of the electroconductive cured product is large, and the electroconductive thermosetting epoxy resin composition in the form of paste has a remarkably low electroconductivity compared to the electroconductive thermosetting epoxy resin composition of the examples of the present application. Was confirmed. Moreover, clogging occurred in the micro-discharge test of the paste-like conductive thermosetting epoxy resin composition.

1 第1処理用面
2 第2処理用面
3 ケース
4 接面圧付与機構
5 溝状の凹部
10 第1ディスク
20 第2ディスク
32 排出口
d1 第1導入部
d2 第2導入部
d3 第3導入部
p1 第1流体圧付与機構
p2 第2流体圧付与機構
50 回転軸
1M 第1処理用面
2M 第2処理用面
3M ケース
4M 接面圧付与機構
10M 第1処理用部
10RM 第1リング
11M 第1ホルダー
20M 第2処理用部
20RM 第2リング
21M 第2ホルダー
d1M 第1導入部
d2M 第2導入部
p1M 流体圧付与機構
p2M 流体圧付与機構
32M 排出口
41M リング収容部
50M 回転軸
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st processing surface 2 2nd processing surface 3 Case 4 Contact surface pressure provision mechanism 5 Groove-shaped recessed part 10 1st disk 20 2nd disk 32 Outlet d1 1st introduction part d2 2nd introduction part d3 3rd introduction Part p1 First fluid pressure applying mechanism p2 Second fluid pressure applying mechanism 50 Rotating shaft 1M First processing surface 2M Second processing surface 3M Case 4M Contact surface pressure applying mechanism 10M First processing unit 10RM First ring 11M First 1 holder 20M second processing part 20RM second ring 21M second holder d1M first introduction part d2M second introduction part p1M fluid pressure application mechanism p2M fluid pressure application mechanism 32M discharge port 41M ring housing part 50M rotating shaft

Claims (17)

接近・離反可能に互いに対向して配設され、少なくとも一方が他方に対して回転する第1処理用面と第2処理用面との間に、液相である被処理流動体を導入し、この被処理流動体の圧力により第1処理用面から第2処理用面を離反させる方向に移動させる力を発生させ、この力によって、第1処理用面と第2処理用面との間が微小な間隔に保たれ、この微小間隔に保たれた第1処理用面と第2処理用面との間を通過する該被処理流動体が薄膜流体を形成し、該薄膜流体中で金属イオンと還元剤とが反応して金属微粒子を析出する金属微粒子の連続的製造方法であって、
該被処理流動体は、少なくとも2つの被処理流動体からなり、第1の被処理流動体は少なくとも還元剤とpH調整剤を含有するpHが8〜13の範囲の水性媒体であり、第2の被処理流動体は少なくとも金属塩を含有するpHが3〜7の範囲の水性媒体であり、第1の被処理流動体のpHは第2の被処理流動体のpHより1〜8大きく、各被処理流動体が各々別の導入路から該第1処理用面と第2処理用面との間に導入され、該金属イオンがpH5より大きく12以下である該薄膜流体中で還元されて金属微粒子を析出し、該金属微粒子は複数の放射状に突出する錐状突起であってその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形である錐状突起を有し、該三角形の頂角が10〜40度であり、該複数の錐状突起はその視認することのできる根元が相互に接触しており、平均粒径が0.01〜10μmであり、金属微粒子の粒度分布のCV値が100%以下であることを特徴とする、金属微粒子の連続的製造方法。
Introducing a fluid to be treated which is a liquid phase between the first processing surface and the second processing surface, which are arranged to face each other so as to be able to approach and leave, and at least one of which rotates relative to the other; A force for moving the second processing surface away from the first processing surface is generated by the pressure of the fluid to be processed, and this force causes a gap between the first processing surface and the second processing surface. The fluid to be processed passing between the first processing surface and the second processing surface maintained at a minute interval and formed between the first processing surface and the second processing surface forms a thin film fluid. A continuous production method of metal fine particles in which metal fine particles are precipitated by the reaction of a reducing agent with a reducing agent,
The fluid to be treated is composed of at least two fluids to be treated, and the first fluid to be treated is an aqueous medium having a pH in the range of 8 to 13 and containing at least a reducing agent and a pH adjuster. The fluid to be treated is an aqueous medium having a pH of 3 to 7 containing at least a metal salt, and the pH of the first fluid to be treated is 1 to 8 larger than the pH of the second fluid to be treated. Each fluid to be treated is introduced between the first processing surface and the second processing surface through a separate introduction path, and the metal ions are reduced in the thin film fluid having a pH of greater than 5 but not greater than 12. Metal fine particles are deposited, and the metal fine particles have a plurality of radially projecting conical projections whose conical projections have a triangular side shape in a transmission electron micrograph, and the apex angle of the triangle is 10 to 10. is 40 degrees, conical projections of said plurality of so that the viewing That the roots are in contact with each other, an average particle diameter of 0.01 to 10 [mu] m, wherein the CV value of the particle size distribution of the fine metal particles is less than 100%, the continuous production method of fine metal particles.
第1の被処理流動体と第2の被処理流動体のいずれか、または両方が、さらに沸点上昇剤および/または分散剤を含有することを特徴とする、請求項1に記載の金属微粒子の連続的製造方法。 2. The metal fine particle according to claim 1, wherein either or both of the first treated fluid and the second treated fluid further contain a boiling point increasing agent and / or a dispersing agent. Continuous manufacturing method. 前記被処理流動体は、3つの被処理流動体である第1の被処理流動体と第2の被処理流動体と第3の被処理流動体とからなり、第1の被処理流動体は少なくとも還元剤とpH調整剤を含有するpHが8〜13の範囲の水性媒体であり、第2の被処理流動体は少なくとも金属塩を含有するpHが3〜7の範囲の水性媒体であり、第3の被処理流動体は少なくとも分散剤を含有する水性媒体であり、該第1の被処理流動体と第2の被処理流動体と第3の被処理流動体が別々の導入路から前記第1処理用面と第2処理用面との間に導入されて、pH5より大きく12以下の薄膜流体を形成することを特徴とする、請求項1に記載の金属微粒子の連続的製造方法。 The fluid to be treated includes three fluids to be treated, which are a first fluid to be treated, a second fluid to be treated, and a third fluid to be treated. The aqueous medium having a pH of 8 to 13 containing at least a reducing agent and a pH adjuster, and the second fluid to be treated is an aqueous medium having a pH of 3 to 7 containing at least a metal salt; The third treated fluid is an aqueous medium containing at least a dispersant, and the first treated fluid, the second treated fluid, and the third treated fluid are separated from the separate introduction paths. The method for continuously producing metal fine particles according to claim 1, wherein the thin film fluid is introduced between the first processing surface and the second processing surface to form a thin film fluid having a pH greater than 5 but not greater than 12. 被処理流動体中の金属塩と還元剤とpH調整剤は、水、水溶性アルコール、または、水と水溶性アルコールの混合物に溶解していることを特徴とする、請求項1または請求項3に記載の金属微粒子の連続的製造方法。 The metal salt, the reducing agent, and the pH adjusting agent in the fluid to be treated are dissolved in water, a water-soluble alcohol, or a mixture of water and a water-soluble alcohol. The continuous manufacturing method of the metal microparticle as described in any one of. 金属塩が、ニッケル塩、鉄塩、コバルト塩またはクロム塩であり、金属微粒子が、ニッケル微粒子、鉄微粒子、コバルト微粒子、または、クロム微粒子であることを特徴とする、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の金属微粒子の連続的製造方法。 5. The metal salt is a nickel salt, an iron salt, a cobalt salt or a chromium salt, and the metal fine particles are nickel fine particles, iron fine particles, cobalt fine particles, or chromium fine particles. The continuous manufacturing method of metal microparticles of any one of these. 還元剤が、有機系還元剤、または、無機系還元剤と有機系還元剤であることを特徴とする、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の金属微粒子の連続的製造方法。 The method for continuously producing fine metal particles according to any one of claims 1 to 4, wherein the reducing agent is an organic reducing agent, or an inorganic reducing agent and an organic reducing agent. . pH調整剤が、有機系のアルカリもしくは酸、無機系のアルカリもしくは酸、またはアルカリ性もしくは酸性の塩であることを特徴とする、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の金属微粒子の連続的製造方法。 The metal fine particle according to any one of claims 1 to 4, wherein the pH adjuster is an organic alkali or acid, an inorganic alkali or acid, or an alkaline or acidic salt. Continuous manufacturing method. 沸点上昇剤が、多価アルコールまたはポリエーテルであることを特徴とする、請求項2または請求項4に記載の金属微粒子の連続的製造方法。 The method for continuously producing fine metal particles according to claim 2 or 4, wherein the boiling point raising agent is a polyhydric alcohol or a polyether. 分散剤が、高・中級脂肪酸塩、天然高分子分散剤または合成高分子分散剤であることを特徴とする、請求項2または請求項3に記載の金属微粒子の連続的製造方法。 The method for continuously producing fine metal particles according to claim 2 or 3, wherein the dispersant is a high / intermediate fatty acid salt, a natural polymer dispersant, or a synthetic polymer dispersant. 金属イオンと還元剤とが反応する前の薄膜流体は、金属塩の濃度が0.02〜1.1モル%であり、還元剤が金属塩に対して同一モル〜90倍のモル%であることを特徴とする、請求項1〜請求項9のいずれか1項に記載の金属微粒子の連続的製造方法。 The thin film fluid before the reaction between the metal ions and the reducing agent has a metal salt concentration of 0.02 to 1.1 mol%, and the reducing agent is the same mol to 90 times mol% of the metal salt. The continuous production method of metal fine particles according to any one of claims 1 to 9, wherein 第1処理用面と第2処理用面の一方が他方に対して回転する速度が250rpm〜3000rpmであり、微小な間隔が0.1μm〜20μmであることを特徴とする、請求項1〜請求項10のいずれか1項に記載の金属微粒子の連続的製造方法。 The speed at which one of the first processing surface and the second processing surface rotates with respect to the other is 250 rpm to 3000 rpm, and the minute interval is 0.1 μm to 20 μm. Item 11. The method for continuously producing metal fine particles according to any one of Items 10. 金属微粒子が10keV以上の電子線の照射により、少なくともその表面が溶融することを特徴とする、請求項1または請求項5に記載の金属微粒子の連続的製造方法。 The method for continuously producing metal fine particles according to claim 1 or 5, wherein at least the surface of the metal fine particles is melted by irradiation with an electron beam of 10 keV or more. (A)請求項1〜請求項12のいずれか1項に記載の連続的製造方法で製造された、複数の放射状に突出する錐状突起であってその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形である錐状突起を有し、該三角形の頂角が10〜40度であり、該複数の錐状突起はその視認することのできる根元が相互に接触しており、平均粒径が0.01〜10μmであり、粒度分布のCV値が100%以下である金属微粒子と、(B)硬化性有機樹脂とを均一に混合することを特徴とする導電性硬化性組成物の製造方法(A) A plurality of radially projecting conical protrusions manufactured by the continuous manufacturing method according to any one of claims 1 to 12, wherein the side shape of the transmission electron micrograph is a triangle. The apex angle of the triangle is 10 to 40 degrees, the plurality of cone-shaped protrusions are in contact with each other at their visible bases, and the average particle diameter is 0. A method for producing a conductive curable composition comprising uniformly mixing fine metal particles having a particle size distribution CV value of 100% or less and (B) a curable organic resin. さらに(C)硬化剤および/または(D)接着促進剤を添加して均一に混合することを特徴とする、請求項13記載の導電性硬化性組成物の製造方法Furthermore, (C) hardening | curing agent and / or (D) adhesion promoter are added and mixed uniformly, The manufacturing method of the conductive curable composition of Claim 13 characterized by the above-mentioned. (A)複数の放射状に突出する錐状突起であってその透過型電子顕微鏡写真における側面形状が三角形である錐状突起を有し、該三角形の頂角が10〜40度であり、該複数の錐状突起はその視認することのできる根元が相互に接触しており、平均粒径が0.01〜10μmであり、金属微粒子の粒度分布のCV値が100%以下である金属微粒子と、(B)硬化性有機樹脂とから成ることを特徴とする導電性硬化性組成物。 (A 1 ) a plurality of radially projecting conical protrusions having conical protrusions whose side shape in a transmission electron micrograph is a triangle, and the apex angle of the triangle is 10 to 40 degrees; The plurality of conical protrusions are in contact with each other at their visible bases , have an average particle size of 0.01 to 10 μm, and a metal fine particle having a CV value of 100% or less of the particle size distribution of the metal fine particle , (B), characterized in that it consists of a curable organic resin, the conductive curable composition. さらに(C)硬化剤および/または(D)接着促進剤から成ることを特徴とする、請求項15記載の導電性硬化性組成物。   The conductive curable composition according to claim 15, further comprising (C) a curing agent and / or (D) an adhesion promoter. 請求項13または請求項14に記載の製造方法による導電性硬化性組成物を使用してディスクリート部品とチップ部品と回路基板とから選択される電子部品を接合することを特徴とする電子機器の製造方法 Characterized by joining the electronic component selected from the discrete components and the chip component and the circuit board using the conductive curable composition according to the manufacturing method according to claim 13 or claim 14, the electronic device Manufacturing method .
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