JP5785409B2 - Multi-wire electric discharge machining apparatus and method for producing silicon carbide plate using the same - Google Patents

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  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Description

本発明は、マルチワイヤ放電加工装置の構造及びそのマルチワイヤ放電加工装置を用いて炭化ケイ素板を製造する方法に関する。   The present invention relates to a structure of a multi-wire electric discharge machining apparatus and a method for manufacturing a silicon carbide plate using the multi-wire electric discharge machining apparatus.

従来、シリコン等の円柱状インゴットからウェハを切り出す場合における切断手段として、砥粒を用いたワイヤソーが知られている。このワイヤソーは、複数のガイドローラ間に巻回された切断用ワイヤをその長手方向に高速駆動しながら、ワイヤに対してワークを切断送りすることにより、ワークから多数枚の薄片を同時に切り出すものである。   Conventionally, a wire saw using abrasive grains is known as a cutting means in the case of cutting a wafer from a cylindrical ingot such as silicon. In this wire saw, a cutting wire wound between a plurality of guide rollers is driven at a high speed in the longitudinal direction, and the workpiece is cut and fed to the wire, thereby simultaneously cutting a large number of thin pieces from the workpiece. is there.

しかし、このようなワイヤソーでは、ガイドローラ間に形成された複数本の切断ワイヤ部分に対し、加工用砥粒が混合された加工液（スラリー）を同時供給する必要があり、その取扱いは容易でない。また、ワイヤがワークに直接接触することによる断線を抑制するために比較的太いワイヤを使用する必要があり、切断加工代が大きくなってしまうという問題があった。さらに、従来のワイヤソーは、インゴットからウェハを切り出すのに長時間を要する場合もあり、加工時間短縮のニーズが高まっている。   However, in such a wire saw, it is necessary to simultaneously supply a processing liquid (slurry) mixed with processing abrasive grains to a plurality of cutting wire portions formed between guide rollers, and handling thereof is not easy. . Moreover, in order to suppress the disconnection due to the direct contact of the wire with the workpiece, it is necessary to use a relatively thick wire, and there is a problem that a cutting work cost increases. Furthermore, the conventional wire saw sometimes takes a long time to cut out a wafer from an ingot, and the need for shortening the processing time is increasing.

一方、近年、シリコンカーバイドが半導体の材料として注目されている。しかし、このシリコンカーバイドは硬質材料であるため、従来のワイヤソーでは、シリコンのインゴットを切断する以上の時間がかかってしまうという問題があった。   On the other hand, in recent years, silicon carbide has attracted attention as a semiconductor material. However, since this silicon carbide is a hard material, the conventional wire saw has a problem that it takes more time than cutting a silicon ingot.

そこで、シリコンカーバイドのインゴットと切断用ワイヤとの間に電圧を断続的に印加し、各切断ワイヤ部分によってインゴットを放電加工の原理で切断する放電式ワイヤソーの開発が進められている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１には、単一の切断用ワイヤを複数のガイドローラに巻回することにより複数条の切断ワイヤ部分を形成し、通電部材を各条と接するように設け、各条と半導体インゴットとの間に電圧を印加して放電を発生させ、半導体インゴットを同時に３個以上に切断する方法が提案されている。   Therefore, development of an electric discharge type wire saw in which a voltage is intermittently applied between a silicon carbide ingot and a cutting wire, and the ingot is cut by the principle of electric discharge machining by each cutting wire portion (for example, a patent) Reference 1). In Patent Document 1, a plurality of cutting wire portions are formed by winding a single cutting wire around a plurality of guide rollers, and an energizing member is provided in contact with each strip, and each strip, a semiconductor ingot, A method has been proposed in which a voltage is applied between the two to generate a discharge and simultaneously cut three or more semiconductor ingots.

一方、インゴットからウェハを高速で切り出すことが要請されている。この要請に対してワイヤをガイドローラに巻回する回数を増やして切断ワイヤ部分の条数を多くし、各切断ワイヤ部分それぞれに放電加工電力を印加して各切断ワイヤ部分とワークとの間で同時に複数の放電を発生させることによって切断速度を上げることが考えられる。この場合、１本のワイヤをガイドローラに巻回して複数条のワイヤ切断部分を形成するので各切断ワイヤ部分は電気的に接続された状態となっている。このため、各切断ワイヤ部分それぞれに放電加工電力を印加するには各切断ワイヤ部分同士の間を何らかの方法で絶縁することが必要となってくる。そこで、各切断ワイヤ部分同士の間でワイヤをコイル状にすることによって各切断ワイヤ部分間のインピーダンスを高くして電気的な絶縁状態とすることが提案されている（例えば、特許文献２参照）。また、互いに磁気的に絶縁されたコアの周囲にコイル状にしたワイヤを配置し、切断ワイヤ部分同士の間の電気的な絶縁をより高めようとすることが提案されている（例えば、特許文献３参照）   On the other hand, it is required to cut a wafer from an ingot at high speed. In response to this request, the number of times the wire is wound around the guide roller is increased to increase the number of sections of the cutting wire portion, and an electric discharge machining power is applied to each of the cutting wire portions, and between each cutting wire portion and the workpiece. It is conceivable to increase the cutting speed by generating a plurality of discharges at the same time. In this case, since one wire is wound around the guide roller to form a plurality of wire cutting portions, each cutting wire portion is in an electrically connected state. For this reason, in order to apply electric discharge machining power to each cutting wire part, it is necessary to insulate each cutting wire part by some method. Thus, it has been proposed to increase the impedance between the cutting wire portions by making the wires coiled between the cutting wire portions so as to be in an electrically insulated state (see, for example, Patent Document 2). . Further, it has been proposed to arrange a coiled wire around the cores that are magnetically insulated from each other to further increase the electrical insulation between the cutting wire portions (for example, Patent Documents). 3)

特許文献２，３に記載された従来技術では、各切断ワイヤ部分それぞれに放電加工電力を印加することが必要となるので、各条のワイヤにそれぞれ接する切断ワイヤ部分と同数の導体ブロックと絶縁ブロックとが交互に並べて配置され、各ブロックをボルトで締め付けて一体化された電極ユニットが提案されている（例えば、特許文献４参照）。しかし、ワイヤが導電ブロックと擦れることによって導電ブロックが磨耗してしまうので、頻繁に導電ブロックを交換することが必要であった。このため、マルチワイヤ放電加工装置において、導電体を硬質の超硬合金とする方法が提案されている（例えば、特許文献５参照）。   In the prior art described in Patent Documents 2 and 3, since it is necessary to apply electric discharge machining power to each cutting wire portion, the same number of conductor blocks and insulating blocks as the cutting wire portions contacting each wire of the strip Are arranged in an alternating manner, and an electrode unit is proposed in which each block is tightened and integrated with a bolt (see, for example, Patent Document 4). However, since the conductive block is worn by rubbing the wire with the conductive block, it is necessary to frequently replace the conductive block. For this reason, in the multi-wire electric discharge machining apparatus, a method has been proposed in which the conductor is made of a hard cemented carbide (see, for example, Patent Document 5).

また、複数の切断ワイヤ部分を規定するローラに当接するスリップリングを設け、スリップリング及びローラを介して各切断ワイヤ部分に並列に通電する方法が提案されている（例えば、特許文献６参照）。   Further, a method has been proposed in which a slip ring that contacts a roller that defines a plurality of cutting wire portions is provided, and current is supplied to each cutting wire portion in parallel via the slip ring and the rollers (see, for example, Patent Document 6).

特開平９−２４８７１９号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-248719 特開２０００−９４２２１号公報JP 2000-94221 A 特開２００６−７５９５２号公報JP 2006-75952 A 特開２０００−１０７９４１号公報JP 2000-107941 A 特開２００９−１６６２１１号公報JP 2009-166211 A 特開平１０−５５５０８号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-55508

ところで、特許文献１から６に記載されたような複数の切断ワイヤ部分を有するマルチワイヤ放電加工装置では、複数の切断ワイヤ部分は1本のワイヤを複数回ローラなどに巻きかけることによって形成されていることから、１本のワイヤが複数回ワークとの間で放電を行うこととなる。ワイヤ表面には放電のたびにワークの成分が付着するため、放電加工によってシリコンカーバイド等の硬質材料のスライスを行うと、シリコンカーバイドの粉が付着した切断ワイヤ部分が次のワイヤ切断部分まで送られ、給電のために導電ブロックに接触すると、ワイヤ表面に付着したシリコンカーバイドの粉がいわば砥石のような働きをして、導電ブロックの表面を磨耗させてしまうという問題があった。シリコンカーバイドは非常に硬質であることから、特許文献５に記載された従来技術のような超硬合金であってもその表面が簡単に磨耗してしまい、導電ブロックを頻繁に交換することが必要となる。また、特許文献１から５に記載された従来技術では、ワイヤと導電ブロックの表面との間に滑りがあるため、ワイヤと導電ブロックとの間に瞬間的に隙間ができ、ワイヤと導電ブロックとの間で放電が発生し、この放電により導電ブロックが削られてしまう場合がある。このため、特許文献１から５に記載された従来技術では直径の大きなシリコンカーバイド等の硬質材料のスライスを行う場合のような長時間の加工を安定して行うことが難しいという問題があった。   By the way, in the multi-wire electric discharge machining apparatus having a plurality of cutting wire portions as described in Patent Documents 1 to 6, the plurality of cutting wire portions are formed by winding one wire around a roller or the like a plurality of times. Therefore, one wire discharges between the workpiece several times. Since the workpiece component adheres to the surface of the wire each time it is discharged, when a hard material such as silicon carbide is sliced by electric discharge machining, the cutting wire portion to which silicon carbide powder is attached is sent to the next wire cutting portion. When contacting the conductive block for power feeding, there is a problem that the silicon carbide powder adhering to the surface of the wire acts like a grindstone and wears the surface of the conductive block. Since silicon carbide is very hard, even the cemented carbide like the prior art described in Patent Document 5 is easily worn on the surface, and it is necessary to frequently replace the conductive block. It becomes. Moreover, in the prior art described in Patent Documents 1 to 5, since there is a slip between the wire and the surface of the conductive block, there is an instantaneous gap between the wire and the conductive block, There is a case where a discharge occurs between the two and the conductive block is scraped off by this discharge. For this reason, the conventional techniques described in Patent Documents 1 to 5 have a problem that it is difficult to stably perform long-time processing as in the case of slicing a hard material such as silicon carbide having a large diameter.

また、特許文献５に記載された従来技術のような超硬合金は電気伝導率が低いことから、ワイヤの各条に給電する電圧が低下し、電気伝導度の高い材料を電極に用いた場合に比較してインゴットの切断速度が低下してしまうという問題があった。また、直径の大きなシリコンカーバイド等の硬質材料のスライスを行う場合には、その加工時間が長時間となるため、切断ワイヤ部分を規定するローラに電気伝導率は高いが摩耗しやすい材料を用いると、加工中にローラが摩耗して切断ワイヤ部分とインゴットとの距離が変化し、放電が不安定となってしまう場合がある。このため、切断ワイヤ部分を規定するローラには電気伝導率が低く、ワイヤが巻き掛けられても摩耗が少ない硬度の高い材料が用いられるので、特許文献６に記載されたようにローラにスリップリングを介して放電加工電力を印加する場合にもワイヤの各条に給電する電圧が低下し、電気伝導度の高い電極によってワイヤに直接給電する場合に比較してインゴットの切断速度が低下してしまうという問題があった。更に、特許文献６に記載された従来技術では、スリップリングとローラとの接触による電気抵抗により更にワイヤの各条に給電する電圧が低下し、電気伝導度の高い電極によってワイヤに直接給電する場合に比較してインゴットの切断速度が低下してしまうという問題があった。   Moreover, since the cemented carbide like the prior art described in patent document 5 has low electrical conductivity, the voltage which supplies electric power to each strip | wire of a wire falls, and the case where a material with high electrical conductivity is used for an electrode There is a problem that the cutting speed of the ingot is reduced as compared with the above. In addition, when slicing a hard material such as silicon carbide having a large diameter, the processing time becomes long. Therefore, a material that has high electrical conductivity but is easily worn is used for the roller that defines the cutting wire portion. In some cases, the roller wears during processing, the distance between the cutting wire portion and the ingot changes, and the discharge becomes unstable. For this reason, the roller that defines the cutting wire portion is made of a material having a low hardness and low hardness even when the wire is wound, so that the roller has a slip ring as described in Patent Document 6. Even when electric discharge machining power is applied via the wire, the voltage to be fed to each strip of the wire is reduced, and the cutting speed of the ingot is reduced as compared with the case of directly feeding the wire with the electrode having high electrical conductivity. There was a problem. Furthermore, in the prior art described in Patent Document 6, the voltage supplied to each strip of the wire is further reduced due to the electrical resistance caused by the contact between the slip ring and the roller, and the wire is directly fed by the electrode having high electrical conductivity. There is a problem that the cutting speed of the ingot is reduced as compared with the above.

また、特許文献１から５に記載された従来技術では、放電加工を行うパルス電力は、ワークを電源のプラス側に接続し、スイッチングトランジスタを介してワイヤを電源のマイナス側に接続してスイッチングトランジスタをオンオフさせることによってワークとワイヤとの間に放電加工パルスを印加するものである。しかし、放電加工パルスが印加されても放電が発生しない場合があると、電源系統内に設けられているコンデンサ等に前回の放電加工パルスの印加による電荷が残留してしまい、その後の放電が不安定となる場合がある。この場合には放電パルスを印加する周期を長くして、残留している電荷がある程度放電した状態になってから次の放電加工パルスを印加するようにする方法が考えられる。しかし、放電加工の速度は所定の時間における放電の回数、すなわち所定時間における放電加工パルスの印加回数によるので、残電荷の放電を待って次の放電加工パルスを印加していたのでは加工時間を短くできないという問題があった。   In the prior art described in Patent Documents 1 to 5, the pulse power for performing electric discharge machining is such that the work is connected to the positive side of the power source, and the wire is connected to the negative side of the power source via the switching transistor. Is turned on and off to apply an electric discharge machining pulse between the workpiece and the wire. However, if there is a case where no electric discharge occurs even when an electric discharge machining pulse is applied, the electric charge due to the previous electric discharge machining pulse application remains in a capacitor or the like provided in the power supply system, and subsequent electric discharge is not effective. It may become stable. In this case, it is conceivable to extend the period of applying the discharge pulse so that the next electric discharge machining pulse is applied after the remaining charge is discharged to some extent. However, since the speed of electric discharge machining depends on the number of discharges in a predetermined time, that is, the number of electric discharge machining pulses applied in a predetermined time, if the next electric discharge machining pulse is applied after waiting for the discharge of the remaining charge, the machining time is reduced. There was a problem that it could not be shortened.

そこで、本発明は、ワイヤ放電加工装置において加工速度を向上させると共に長時間の加工を安定して行うことを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to improve the machining speed and stably perform long-time machining in a wire electric discharge machining apparatus.

本発明のマルチワイヤ放電加工装置は、間隔をおいて配設された複数のガイドローラを含むガイドローラ組と、各ガイドローラの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられて複数条となり、ガイドローラ組のうちの一対の隣り合うガイドローラ間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部分を構成するワイヤと、ワイヤの各条に接し、ワイヤの送り方向と同じ方向に向かって回転して共通の放電加工電力をワイヤの各条に給電する回転電極と、を含む複数の加工ユニットと、各回転電極にそれぞれ放電加工電力を供給する加工電源と、を備え、各加工ユニットの各ガイドローラは各回転軸の方向に隣接して同軸に配置され、隣接する各加工ユニットの各ガイドローラは互いに電気的に絶縁され、各加工ユニットの各回転電極は各回転軸の方向に隣接して配置され、隣接する各加工ユニットの各回転電極は互いに電気的に絶縁され、各回転電極は、その各外輪の外側に各電極部材が取り付けられる各導電性軸受と、各導電性軸受の各内輪が電気的に絶縁されて同軸に取り付けられるシャフトと、各導電性軸受の各内輪にそれぞれ電気的に接続される各給電部材と、を含んでおり、各加工ユニットの各ワイヤを巻き掛け方向に送りながら各加工ユニットの各切断ワイヤ部分とワークとの間で放電を行ってワークを加工することを特徴とする。 The multi-wire electric discharge machining apparatus according to the present invention includes a guide roller set including a plurality of guide rollers arranged at intervals, and is wound around the guide roller set a plurality of times at intervals in the longitudinal direction of each guide roller. A plurality of strips, and a wire constituting a plurality of cutting wire portions separated from each other between a pair of adjacent guide rollers in the guide roller set, and each wire strip are rotated in the same direction as the wire feed direction. A plurality of machining units each including a rotating electrode that feeds a common electric discharge machining power to each strip of the wire, and a machining power source that supplies electric discharge machining power to each of the rotating electrodes. The guide rollers are coaxially arranged adjacent to each other in the direction of each rotation axis, and each guide roller of each adjacent processing unit is electrically insulated from each other, and each rotation electrode of each processing unit is Disposed adjacent in the direction of the axis of rotation, each rotating electrode of each machining unit adjacent are electrically insulated from each other, each rotating electrode includes a respective conductive bearing respective electrode members is attached to the outside of the respective outer rings Each of the conductive bearings includes a shaft that is electrically insulated and coaxially mounted, and each power supply member that is electrically connected to each inner ring of each conductive bearing. The workpiece is machined by discharging between each cutting wire portion of each machining unit and the workpiece while feeding each wire in the winding direction.

本発明のマルチワイヤ放電加工装置において、各回転電極は、円筒状の導電体であること、としても好適である。   In the multi-wire electric discharge machining apparatus of the present invention, each rotating electrode is preferably a cylindrical conductor.

本発明のマルチワイヤ放電加工装置において、各加工ユニットの各回転電極は同軸に配置されていること、としても好適である。 In the multi-wire electric discharge machining apparatus of the present invention, it is also preferable that the rotating electrodes of the machining units are arranged coaxially .

本発明のマルチワイヤ放電加工装置において、隣接する各加工ユニットの各回転電極は各ワイヤの巻き掛け方向に位置をずらして交互に配置されていること、としても好適であるし、各回転電極は、その各外輪の外側に各電極部材が取り付けられる各導電性軸受と、各導電性軸受の各内輪が電気的に絶縁して取り付けられる複数のシャフトと、各導電性軸受の各内輪にそれぞれ電気的に接続される各給電部材と、を含み、各シャフトは各加工ユニットの各ワイヤの巻き掛け方向に位置をずらして配置され、隣接する各加工ユニットの各導電性軸受と各電極部材とは、各シャフトに交互に取り付けられていること、としても好適である。   In the multi-wire electric discharge machining apparatus of the present invention, each rotating electrode of each adjacent machining unit is preferably arranged alternately by shifting the position in the winding direction of each wire. , Each conductive bearing to which each electrode member is attached to the outside of each outer ring, a plurality of shafts to which each inner ring of each conductive bearing is electrically insulated, and each inner ring of each conductive bearing. Power supply members connected to each other, and each shaft is arranged in a position shifted in the winding direction of each wire of each processing unit, and each conductive bearing and each electrode member of each adjacent processing unit is It is also preferable that they are alternately attached to each shaft.

本発明のマルチワイヤ放電加工装置において、各加工ユニットは、各回転電極のワイヤ送り方向の上流側または下流側または両側或いは各回転電極に対向して配置され、各加工ユニットの各ワイヤの各条を各回転電極に押しつける複数のアイドルローラを備えること、としても好適であるし、各アイドルローラは、各回転電極との間に各加工ユニットの各ワイヤの各条を挟みこむこと、としても好適である。   In the multi-wire electric discharge machining apparatus according to the present invention, each machining unit is arranged on the upstream side, the downstream side, or both sides in the wire feeding direction of each rotary electrode, or opposed to each rotary electrode, and each wire of each machining unit is provided. It is also preferable to include a plurality of idle rollers that press each of the rotating electrodes against each rotating electrode, and each idle roller is also preferable to sandwich each wire of each wire of each processing unit between each rotating electrode. It is.

本発明のマルチワイヤ放電加工装置において、各加工ユニットはそれぞれ複数の回転電極を含み、各回転電極は、切断ワイヤ部分が伸びる方向の切断ワイヤ部分の中央からワイヤ巻き掛け方向に沿って互いに反対方向に向かって等距離の位置に配置されていること、としても好適である。   In the multi-wire electric discharge machining apparatus of the present invention, each machining unit includes a plurality of rotating electrodes, and each rotating electrode is opposite to each other along the wire winding direction from the center of the cutting wire portion in the direction in which the cutting wire portion extends. It is also preferable that they are arranged at equidistant positions toward the front.

本発明のマルチワイヤ放電加工装置において、放電加工電力は、放電加工パルスと、放電加工パルスと逆電圧で放電加工パルスに続く残留電荷除電パルスと、を含む高周波パルスであること、としても好適である。   In the multi-wire electric discharge machining apparatus according to the present invention, the electric discharge machining power is preferably a high-frequency pulse including an electric discharge machining pulse and a residual charge discharging pulse following the electric discharge machining pulse with a voltage opposite to the electric discharge machining pulse. is there.

本発明のマルチワイヤ放電加工装置において、加工電源は、放電加工パルスを発生させる少なくとも１つの主スイッチングトランジスタと少なくとも１つの主直流電源と、放電加工後の残電荷を除去するために放電加工パルスと逆電圧の残留電荷除電パルスを発生させる少なくとも一つの副スイッチングトランジスタと少なくとも１つの副直流電源と、を含み、各加工ユニットにそれぞれ放電加工電力を供給する複数の加工電源ユニットを備えること、としても好適であるし、各加工電源ユニットは、複数の主スイッチングトランジスタを含み、各加工電源ユニットの各主スイッチングトランジスタはタイミングをずらして放電加工パルスを順次発生させること、としても好適であるし、各加工電源ユニットの主スイッチングトランジスタの個数は各加工電源ユニットの副スイッチングトランジスタの個数と同じかそれより多いこと、としても好適である。   In the multi-wire electric discharge machining apparatus according to the present invention, the machining power source includes at least one main switching transistor for generating an electric discharge machining pulse, at least one main DC power supply, and an electric discharge machining pulse for removing residual charges after electric discharge machining. A plurality of machining power supply units each including at least one sub-switching transistor and at least one sub-direct current power source for generating a residual charge neutralization pulse of a reverse voltage and supplying electric discharge machining power to each machining unit; Preferably, each machining power supply unit includes a plurality of main switching transistors, and each main switching transistor of each machining power supply unit generates electrical discharge machining pulses sequentially at different timings. The main switching transistor of the machining power supply unit That the number is greater than or equal to the number of the sub-switching transistor of each machining power unit, it is also preferable.

本発明のマルチワイヤ放電加工装置において、各加工電源ユニットは、それぞれ複数の主スイッチングトランジスタと少なくとも１つの副スイッチングトランジスタとを含み、各加工電源ユニットの各主スイッチングトランジスタはタイミングをずらしてそれぞれ所定の周期でオンオフして放電加工パルスを順次発生させ、各加工電源ユニットの副スイッチングトランジスタは各加工電源ユニットの一の主スイッチングトランジスタがオフになってから各加工電源ユニットの次の主スイッチングトランジスタがオンとなるまでの間にオンオフし、各加工電源ユニットの一の主スイッチングトランジスタによって発生した放電加工パルスに続く残留電荷除電パルスを発生させること、としても好適である。   In the multi-wire electric discharge machining apparatus of the present invention, each machining power supply unit includes a plurality of main switching transistors and at least one sub-switching transistor, and each main switching transistor of each machining power supply unit has a predetermined timing and a predetermined timing. The electrical discharge machining pulses are sequentially generated by turning on and off periodically, and the secondary switching transistor of each machining power supply unit is turned on after the main switching transistor of one machining power supply unit is turned off. It is also preferable to generate a residual charge neutralization pulse following the electric discharge machining pulse generated by one main switching transistor of each machining power supply unit.

本発明のマルチワイヤ放電加工装置において、各加工電源ユニットは、それぞれ複数の主スイッチングトランジスタを含み、各加工電源ユニットの各主スイッチングトランジスタはタイミングをずらしてそれぞれ所定の周期でオンオフして放電加工パルスを順次発生させ、各加工電源ユニットの副スイッチングトランジスタは各加工電源ユニット毎に共通で、各加工電源ユニットの副スイッチングトランジスタは各加工電源ユニットの主スイッチングトランジスタのオンオフの周期の各加工電源ユニットの主スイッチングトランジスタの個数分の一の周期でオンオフし、各放電加工パルスに続く残留電荷除電パルスを順次発生させること、としても好適である。   In the multi-wire electric discharge machining apparatus according to the present invention, each machining power supply unit includes a plurality of main switching transistors, and each main switching transistor of each machining power supply unit is turned on and off at a predetermined cycle with different timings. The sub-switching transistor of each processing power supply unit is common to each processing power supply unit, and the sub-switching transistor of each processing power supply unit is the ON / OFF cycle of the main switching transistor of each processing power supply unit. It is also preferable to turn on / off at a cycle of one of the number of main switching transistors and sequentially generate residual charge neutralizing pulses following each electric discharge machining pulse.

本発明の炭化ケイ素板の製造方法は、間隔をおいて配設された複数のガイドローラを含むガイドローラ組と、各ガイドローラの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられて複数条となり、ガイドローラ組のうちの一対の隣り合うガイドローラ間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部分を構成するワイヤと、ワイヤの各条に接し、ワイヤの送り方向と同じ方向に向かって回転して共通の放電加工電力をワイヤの各条に給電する回転電極と、を含む複数の加工ユニットと、スイッチングトランジスタを含み各回転電極にそれぞれ放電加工電力を供給する加工電源と、を備え、各加工ユニットの各ガイドローラは各回転軸の方向に隣接して同軸に配置され、隣接する各加工ユニットの各ガイドローラは互いに電気的に絶縁され、各加工ユニットの各回転電極は各回転軸の方向に隣接して配置され、隣接する各加工ユニットの各回転電極は互いに電気的に絶縁されるマルチワイヤ放電加工装置を用い、各回転電極は、その各外輪の外側に各電極部材が取り付けられる各導電性軸受と、各導電性軸受の各内輪が電気的に絶縁されて同軸に取り付けられるシャフトと、各導電性軸受の各内輪にそれぞれ電気的に接続される各給電部材とを含み、各加工ユニットの各ワイヤを巻き掛け方向に送りながら各加工ユニットの各切断ワイヤ部分と炭化ケイ素のインゴットとの間で放電を行って炭化ケイ素のインゴットから複数の炭化ケイ素板を切り出す炭化ケイ素板の製造方法であって、加工電源のスイッチングトランジスタをオンオフさせて高周波パルスを発生させ、この高周波パルスを放電加工用電力として供給すること、を特徴とする。 The silicon carbide plate manufacturing method of the present invention includes a guide roller set including a plurality of guide rollers arranged at intervals, and is wound around the guide roller set a plurality of times at intervals in the longitudinal direction of each guide roller. A plurality of cutting wire portions separated from each other between a pair of adjacent guide rollers in the guide roller set, and in contact with each of the wires, in the same direction as the wire feeding direction A plurality of machining units including a rotating electrode that rotates and supplies a common electric discharge machining power to each strip of the wire, and a machining power source that includes a switching transistor and supplies the electric discharge machining power to each of the rotation electrodes, Each guide roller of each processing unit is coaxially disposed adjacent to each other in the direction of each rotation axis, and each guide roller of each adjacent processing unit is electrically insulated from each other, Each rotating electrode machining unit is arranged adjacent to the direction of the rotation axis, each rotating electrode of each machining unit adjacent with multi-wire electrical discharge machining apparatus are electrically insulated from each other, each rotating electrode, the Each conductive bearing to which each electrode member is attached outside each outer ring, a shaft in which each inner ring of each conductive bearing is electrically insulated and mounted coaxially, and each inner ring of each conductive bearing is electrically connected to each inner ring A plurality of silicon carbide ingots that discharge each other between each cutting wire portion of each processing unit and the silicon carbide ingot while feeding each wire of each processing unit in the winding direction. A method of manufacturing a silicon carbide plate for cutting out a silicon carbide plate, wherein a high frequency pulse is generated by turning on and off a switching transistor of a processing power source. Supplying a scan as a discharge machining power, and said.

本発明の炭化ケイ素板の製造方法において、マルチワイヤ放電加工装置の加工電源は、放電加工パルスを発生させる少なくとも１つの主スイッチングトランジスタと少なくとも１つの主直流電源と、放電加工後の残電荷を除去するために放電加工パルスと逆電圧の残留電荷除電パルスを発生させる少なくとも一つの副スイッチングトランジスタと少なくとも１つの副直流電源と、を含み、各加工ユニットにそれぞれ放電加工電力を供給する複数の加工電源ユニットを備え、各加工ユニットの各主スイッチングトランジスタはタイミングをずらして放電加工パルスを順次発生させること、としても好適である。   In the method for manufacturing a silicon carbide plate of the present invention, a machining power source of a multi-wire electric discharge machining apparatus removes at least one main switching transistor that generates an electric discharge machining pulse, at least one main DC power source, and residual charges after electric discharge machining. A plurality of machining power sources each including at least one sub-switching transistor and at least one sub-DC power source for generating a residual charge neutralizing pulse having a voltage opposite to that of the electric discharge machining pulse. It is also preferable that the main switching transistor of each machining unit is provided with a unit and the electric discharge machining pulses are sequentially generated at different timings.

本発明の炭化ケイ素板の製造方法において、各加工電源ユニットは、それぞれ複数の主スイッチングトランジスタと少なくとも１つの副スイッチングトランジスタとを含み、各加工電源ユニットの各主スイッチングトランジスタはタイミングをずらしてそれぞれ所定の周期でオンオフして放電加工パルスを順次発生させ、各加工電源ユニットの各副スイッチングトランジスタは各加工電源ユニットの一の主スイッチングトランジスタがオフになってから各加工電源ユニットの次の主スイッチングトランジスタがオンとなるまでの間にオンオフし、各加工電源ユニットの一の主スイッチングトランジスタによって発生した放電加工パルスに続く残留電荷除電パルスを発生させること、としても好適である。   In the method for manufacturing a silicon carbide plate of the present invention, each machining power supply unit includes a plurality of main switching transistors and at least one sub-switching transistor, and each main switching transistor of each machining power supply unit has a predetermined timing and a predetermined timing. The electrical switching pulses are sequentially generated by turning on and off at a cycle of the following, and each sub-switching transistor of each machining power supply unit is the next main switching transistor of each machining power supply unit after one main switching transistor of each machining power supply unit is turned off. It is also preferable to generate a residual charge neutralization pulse following the electric discharge machining pulse generated by one main switching transistor of each machining power supply unit until the voltage is turned on.

本発明は、ワイヤ放電加工装置において加工速度を向上させると共に長時間の加工を安定して行うことができるという効果を奏する。   The present invention has the effect of improving the machining speed and stably performing long-time machining in a wire electric discharge machining apparatus.

本発明の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置の構成を示す系統図である。It is a systematic diagram which shows the structure of the multi-wire electric discharge machining apparatus in embodiment of this invention. 本発明の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置の回転電極と切断ワイヤ部分とを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the rotating electrode and cutting wire part of the multi-wire electric discharge machining apparatus in embodiment of this invention. 本発明の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置の回転電極とワイヤの付着物とを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the rotating electrode and the deposit | attachment of a wire of the multi-wire electric discharge machining apparatus in embodiment of this invention. 本発明の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置の回転電極の支持構造を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the support structure of the rotating electrode of the multi-wire electric discharge machining apparatus in embodiment of this invention. 本発明の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置の加工電源の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the process power supply of the multi-wire electric discharge machining apparatus in embodiment of this invention. 本発明の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置の放電加工用の高周波パルスの波形を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the waveform of the high frequency pulse for electric discharge machining of the multi-wire electric discharge machining apparatus in the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置の放電加工の状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state of the electric discharge machining of the multi-wire electric discharge machining apparatus in embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置の回転電極の支持構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the support structure of the rotating electrode of the multi-wire electric discharge machining apparatus in other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置の回転電極の支持構造を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the support structure of the rotating electrode of the multi-wire electric discharge machining apparatus in other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置の回転電極の支持構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the support structure of the rotating electrode of the multi-wire electric discharge machining apparatus in other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置の回転電極の支持構造を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the support structure of the rotating electrode of the multi-wire electric discharge machining apparatus in other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置の回転電極の支持構造を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the support structure of the rotating electrode of the multi-wire electric discharge machining apparatus in other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態におけるワイヤ放電加工装置の加工電源の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the process power supply of the wire electrical discharge machining apparatus in other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態におけるワイヤ放電加工装置の放電加工用の高周波パルスの波形を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the waveform of the high frequency pulse for electric discharge machining of the wire electric discharge machining apparatus in other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態におけるワイヤ放電加工装置の加工電源の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the process power supply of the wire electrical discharge machining apparatus in other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態におけるワイヤ放電加工装置の放電加工用の高周波パルスの波形を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the waveform of the high frequency pulse for electric discharge machining of the wire electric discharge machining apparatus in other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態におけるワイヤ放電加工装置の加工電源の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the process power supply of the wire electrical discharge machining apparatus in other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態におけるワイヤ放電加工装置の放電加工用の高周波パルスの波形を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the waveform of the high frequency pulse for electric discharge machining of the wire electric discharge machining apparatus in other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置の回転電極の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the rotating electrode of the multi-wire electric discharge machining apparatus in other embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。図１に示すように、本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置１００は、第１のワイヤ１５１が巻き掛けられて第１の切断ワイヤ部分２６１を含む第１の加工ユニット１０１と、第２のワイヤ１５２が巻き掛けられて第２の切断ワイヤ部分２６２を含む第２の加工ユニット１０２とが左右に並列に配置された構成となっている。第１の加工ユニット１０１は、送り出しモータ２５Ａによって回転駆動されて放電加工に用いられる黄銅、鉄線、タングステン線、モリブデン線などの金属線である第１のワイヤ１５１を送り出す送り出しボビン１０Ａと、滑りクラッチ２２を介して取り付けられた巻き取りモータ２５Ｈによって駆動されて第１のワイヤ１５１を巻き取る巻き取りボビン１０Ｂと、第１のワイヤ１５１の送り経路を規定するプーリ１１Ａ〜１１Ｉと、第１のワイヤ１５１の走行長さを調整して第１のワイヤ１５１の走行を安定させるダンサロール１２と、第１のワイヤ１５１が巻き掛けられる面にゴム製の滑り止め部材が設けられ、速度モータ２５Ｂによって駆動されて第１のワイヤ１５１の送り速度を規定する速度プーリ１６と、第１のワイヤ張力センサ１３Ａ、第２のワイヤ張力センサ１３Ｂと、出力トルクを調整することができるトルクモータ２５Ｄによって駆動され、第１のワイヤ１５１が巻き掛けられている面にゴム製の滑り止め部材が取り付けられており、対向して設けられたクランプユニット１９のクランプローラ１９ａとの間に第１のワイヤ１５１を挟みこんで送り方向に引っ張り、第１のワイヤ１５１に張力を掛ける張力プーリ１８と、位置決めモータ２５Ｇによって軸方向に移動するワイヤ整列ユニット２１と、第１のワイヤ１５１が複数回巻き掛けられて複数の第１の切断ワイヤ部分２６１を構成する複数のガイドローラ２４Ａ1〜２４Ｆ1を含むガイドローラ組と、第１のワイヤ１５１が巻き掛けられて回転する複数の回転電極２００Ａ1、２００Ｂ1と、回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1の表面に第１のワイヤ１５１を押し付けるアイドルローラ３００Ａ1，３００Ｂ1とを備えている。回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1は回転しないよう固定された各シャフトの周りに回転するよう構成されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the multi-wire electric discharge machining apparatus 100 of the present embodiment includes a first machining unit 101 including a first cutting wire portion 261 around which a first wire 151 is wound, and a second wire 152 is wound and the second processing unit 102 including the second cutting wire portion 262 is arranged in parallel on the left and right. The first machining unit 101 includes a delivery bobbin 10A that sends out a first wire 151 that is a metal wire such as brass, iron wire, tungsten wire, and molybdenum wire that is rotationally driven by a delivery motor 25A and used for electric discharge machining, and a slip clutch. 22, a take-up bobbin 10 </ b> B that is driven by a take-up motor 25 </ b> H attached via 22 to take up the first wire 151, pulleys 11 </ b> A to 11 </ b> I that define a feed path of the first wire 151, and the first wire A dancer roll 12 that adjusts the travel length of 151 to stabilize the travel of the first wire 151, and a non-slip member made of rubber is provided on the surface around which the first wire 151 is wound, and is driven by a speed motor 25B. A speed pulley 16 that defines the feed speed of the first wire 151, and a first wire tension sensor 3A, a second wire tension sensor 13B and a torque motor 25D capable of adjusting the output torque, and a rubber non-slip member is attached to the surface around which the first wire 151 is wound. The tension wire 18 that sandwiches the first wire 151 between the clamp unit 19 and the clamp roller 19a provided opposite to each other and pulls in the feeding direction to apply tension to the first wire 151, and the positioning motor 25G A wire alignment unit 21 that moves in the axial direction, and a guide roller set that includes a plurality of guide rollers 24A 1 to 24F 1 in which the first wire 151 is wound a plurality of times to form a plurality of first cutting wire portions 261. , a plurality of rotary electrodes 200A 1, 200B 1 to rotate hung first wire 151 is wound, the rotary electrode 200 It includes 1, idle rollers 300A 1 for pressing the first wire 151 on the surface of the 200B 1, and 300B 1. The rotary electrodes 200A 1 and 200B 1 are configured to rotate around each shaft fixed so as not to rotate.

送り出しボビン１０Ａから図１に示す矢印Ｒの方向に繰出された第１のワイヤ１５１は、プーリ１１Ａ、ダンサロール１２、プーリ１１Ｂ，１１Ｃ、速度プーリ１６、プーリ１１Ｄ、第１のワイヤ張力センサ１３Ａ、プーリ１１Ｅ、１１Ｆの順に巻き掛けられ、プーリ１１Ｆを出た第１のワイヤ１５１は、多数のガイド溝をもつガイドローラ２４Ａ1から２４Ｆ1、回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1、アイドルローラ３００Ａ1，３００Ｂ1の外面にガイドローラ２４Ａ1、アイドルローラ３００Ａ1、回転電極２００Ａ1、ガイドローラ２４Ｂ1，２４Ｃ1、回転電極２００Ｂ1、ガイドローラ２４Ｄ1，２４Ｅ1，２４Ｆ1の順に巻きかけられる。ガイドローラ２４Ｆ1を出た第１のワイヤ１５１は最初にガイドローラ２４Ａ1に巻きかけられている第１のワイヤ１５１の部分とガイドローラ２４Ａ1の軸方向にピッチＰだけ離れた位置から再びガイドローラ２４Ａ1から２４Ｆ1に巻きかけられていく。最初に巻きかけられた第１のワイヤ１５１の部分と、次に巻き掛けられた第１のワイヤ１５１の部分との各ガイドローラ２４Ａ1から２４Ｆ1まで間の軸方向の間隔はいずれの場所でもピッチＰとなっている。このように第１のワイヤ１５１はガイドローラ２４Ａ1から２４Ｆ1、回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1、アイドルローラ３００Ａ1，３００Ｂ1に複数回巻き掛けられる。そして、第１のワイヤ１５１はガイドローラ２４Ａ1から２４Ｆ1、回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1、アイドルローラ３００Ａ1，３００Ｂ1に複数回巻き掛けされた後、プーリ１１Ｇ、第２のワイヤ張力センサ１３Ｂ、プーリ１１Ｈ、張力プーリ１８、プーリ１１Ｉ、ワイヤ整列ユニット２１を通り、巻き取りボビン１０Ｂに巻き取られる。 The first wire 151 fed out from the delivery bobbin 10A in the direction of the arrow R shown in FIG. The first wires 151 wound around the pulleys 11E and 11F and exiting the pulley 11F are guide rollers 24A 1 to 24F 1 having a large number of guide grooves, rotating electrodes 200A 1 and 200B 1 , idle rollers 300A 1 and 300B. 1 is wound around the outer surface of the guide roller 24A 1 , idle roller 300A 1 , rotating electrode 200A 1 , guide rollers 24B 1 and 24C 1 , rotating electrode 200B 1 , guide rollers 24D 1 , 24E 1 and 24F 1 . The first wire 151 is first guide roller 24A 1 to the take-over its dependent parts of the first wire 151 and the guide rollers 24A to 1 in the axial direction by the pitch P away again guides from a position leaving the guide roller 24F 1 Rollers 24A 1 to 24F 1 are wound around. The axial distance between each of the guide rollers 24A 1 to 24F 1 between the portion of the first wire 151 that is wound first and the portion of the first wire 151 that is wound next is any place. The pitch is P. Thus, the first wire 151 is wound around the guide rollers 24A 1 to 24F 1 , the rotating electrodes 200A 1 and 200B 1 , and the idle rollers 300A 1 and 300B 1 a plurality of times. The first wire 151 is wound around the guide rollers 24A 1 to 24F 1 , the rotating electrodes 200A 1 and 200B 1 , and the idle rollers 300A 1 and 300B 1 a plurality of times, and then the pulley 11G and the second wire tension sensor 13B. The pulley 11H, the tension pulley 18, the pulley 11I, and the wire alignment unit 21 are wound around the winding bobbin 10B.

図１に示すように本実施形態では、第１のワイヤ１５１はガイドローラ２４Ａ1から２４Ｆ1に５回巻き掛けられており、第１のワイヤ１５１は５条となっている。ここで、巻き掛け回数は、第１の切断ワイヤ部分２６１を規定するガイドローラ２４Ｂ1及び２４Ｃ1に巻き掛けられている回数である。従って、第１のワイヤ１５１の最後の巻き掛けのように第１のワイヤ１５１がガイドローラ２４Ｆ1からガイドローラ２４Ａ1に戻らずプーリ１１Ｇに向って延びてもガイドローラ２４Ｂ1及び２４Ｃ1に巻きかけられているので、巻き掛け回数は１回と数える。つまり、巻き掛けの回数はガイドローラ２４Ｂ1とガイドローラ２４Ｃ1との間に張られている第１の切断ワイヤ部分２６１の本数となり、本実施形態では、第１の切断ワイヤ部分２６１は５本となる。なお、本実施形態では、説明のために第１のワイヤ１５１の巻き掛け回数は５回、条数は５条、第１の切断ワイヤ部分２６１は５本として説明するが、巻き掛け回数、条数はこれ以上であってもよいし、これより少ない巻き掛け回数、条数であってもよい。 In this embodiment, as shown in FIG. 1, the first wire 151 is wound around five times from the guide roller 24A 1 to 24F 1, the first wire 151 has a Article 5. Here, the number of times of winding is the number of times of winding on the guide rollers 24B 1 and 24C 1 that define the first cutting wire portion 261. Therefore, around the first wire 151 is guide roller 24F also extends from 1 to the pulley 11G without returning the guide roller 24A 1 guide roller 24B 1 and 24C 1 to the last winding of the first wire 151 Since it is applied, the number of windings is counted as one. That is, the number of windings is the number of the first cutting wire portions 261 stretched between the guide roller 24B 1 and the guide roller 24C 1, and in the present embodiment, the number of the first cutting wire portions 261 is five. It becomes. In the present embodiment, the number of windings of the first wire 151 is five for explanation, the number of strips is five, and the first cutting wire portion 261 is five. The number may be greater than this, or may be a smaller number of windings or the number of strips.

第２の加工ユニット１０２は先に説明した第１の加工ユニット１０１と同様の構成で、第２のワイヤ１５２の送りのために用いられる、送り出しボビン１０Ａと、巻き取りボビン１０Ｂと、プーリ１１Ａ〜１１Ｉと、ダンサロール１２と、速度プーリ１６と、第１のワイヤ張力センサ１３Ａ、第２のワイヤ張力センサ１３Ｂと、トルクモータ２５Ｄと、クランプユニット１９、クランプローラ１９ａと、張力プーリ１８と、位置決めモータ２５Ｇと、ワイヤ整列ユニット２１とは、第１のワイヤ１５１の送りのための各機器と独立して、例えば上下方向に並列に設置されている。ただし、図１では、これらの第２のワイヤ１５２の送りのために用いられる各機器については、図示を省略している。   The second machining unit 102 has the same configuration as that of the first machining unit 101 described above, and is used for feeding the second wire 152. The delivery bobbin 10A, the take-up bobbin 10B, and the pulleys 11A to 11A. 11I, dancer roll 12, speed pulley 16, first wire tension sensor 13A, second wire tension sensor 13B, torque motor 25D, clamp unit 19, clamp roller 19a, tension pulley 18, and positioning The motor 25G and the wire alignment unit 21 are installed in parallel in the vertical direction, for example, independently of each device for feeding the first wire 151. However, in FIG. 1, illustration of each device used for feeding these second wires 152 is omitted.

第２の加工ユニット１０２は、第２のワイヤ１５２が複数回巻き掛けられて複数の第２の切断ワイヤ部分２６２を構成する複数のガイドローラ２４Ａ2〜２４Ｆ2を含むガイドローラ組と、第２のワイヤ１５２が巻き掛けられて回転する複数の回転電極２００Ａ2，２００Ｂ2と、回転電極２００Ａ2，２００Ｂ2の表面に第２のワイヤ１５２を押し付けるアイドルローラ３００Ａ2，３００Ｂ2とを備えている。図１に示すように、第２の加工ユニット１０２の各ガイドローラ２４Ａ2〜２４Ｆ2は第１の加工ユニット１０１の対応する各ガイドローラ２４Ａ1〜２４Ｆ1と同軸で各ガイドローラ２４Ａ1〜２４Ｆ1，２４Ａ2〜２４Ｆ2の回転軸の方向に隣接して配置され、第２の加工ユニット１０２の各ガイドローラ２４Ａ2〜２４Ｆ2と隣接する第１の加工ユニット１０１の対応する各ガイドローラ２４Ａ1〜２４Ｆ1とは電気的に絶縁されている。また、第２加工ユニット１０２の各回転電極２００Ａ2，２００Ｂ2、アイドルローラ３００Ａ2，３００Ｂ2も第１の加工ユニット１０１の対応する各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1、対応する各アイドルローラ３００Ａ1，３００Ｂ1と同軸で各回転電極２００Ａ1、２００Ｂ1、２００Ａ2、２００Ｂ2、各アイドルローラ３００Ａ1，３００Ｂ1，３００Ａ2，３００Ｂ2の回転軸の方向に隣接して配置され、第２の加工ユニット１０２の各回転電極２００Ａ2，２００Ｂ2、各アイドルローラ３００Ａ2，３００Ｂ2と隣接する第１の加工ユニット１０１の対応する各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1、各アイドルローラ３００Ａ1，３００Ｂ1とは電気的に絶縁されている。 The second processing unit 102 includes a guide roller set including a plurality of guide rollers 24A 2 to 24F 2 in which a second wire 152 is wound a plurality of times to form a plurality of second cutting wire portions 262, and a second A plurality of rotating electrodes 200A 2 and 200B 2 that are wound around the wire 152 and idle rollers 300A 2 and 300B 2 that press the second wire 152 against the surfaces of the rotating electrodes 200A 2 and 200B 2 . . As shown in FIG. 1, the guide rollers 24A 2 to 24F 2 of the second processing unit 102 are coaxial with the corresponding guide rollers 24A 1 to 24F 1 of the first processing unit 101, and the guide rollers 24A 1 to 24F. 1 , 24A 2 to 24F 2 and adjacent guide rollers 24A of the first processing unit 101 adjacent to the guide rollers 24A 2 to 24F 2 of the second processing unit 102. 1 to 24F 1 are electrically insulated. In addition, the rotating electrodes 200A 2 and 200B 2 and the idle rollers 300A 2 and 300B 2 of the second processing unit 102 are also corresponding to the rotating electrodes 200A 1 and 200B 1 of the first processing unit 101 and the corresponding idle rollers 300A 1. , 300B 1 coaxially with each rotary electrode 200A 1 , 200B 1 , 200A 2 , 200B 2 , and each idle roller 300A 1 , 300B 1 , 300A 2 , 300B 2 , adjacent to the direction of the rotation axis, Each rotary electrode 200A 2 , 200B 2 of the processing unit 102, each of the idle rollers 300A 2 , 300B 2 and each of the corresponding rotary electrodes 200A 1 , 200B 1 of the first processing unit 101 adjacent to each other, and each of the idle rollers 300A 1 , 300B 1 Is electrically insulated.

図１では、第１の加工ユニット１０１と第２の加工ユニット１０２とを区別して記載するために、第１の加工ユニット１０１の図１に示す第１のワイヤ１５１の一番左端の条と第２の加工ユニット１０２の一番右側の条との間の各ガイドローラ２４Ａ1〜２４Ｆ1，２４Ａ2〜２４Ｆ2の回転軸方向の間隔はピッチＰよりも広く描かれているが、本実施形態では、後で説明する図４に示すように、第１の加工ユニット１０１の図１に示す第１のワイヤ１５１の一番左端の条と第２の加工ユニット１０２の一番右側の条との間の各ガイドローラ２４Ａ1〜２４Ｆ1，２４Ａ2〜２４Ｆ2の回転軸方向の間隔はピッチＰとなっている。ただし、この間隔はピッチＰに限られず、これよりも広くても狭くてもよい。 In FIG. 1, in order to distinguish and describe the first processing unit 101 and the second processing unit 102, the leftmost strip of the first wire 151 of the first processing unit 101 shown in FIG. The intervals between the guide rollers 24A 1 to 24F 1 and 24A 2 to 24F 2 in the direction of the rotation axis between the rightmost strip of the two processing units 102 are drawn wider than the pitch P. Then, as shown in FIG. 4 to be described later, the leftmost end of the first wire 151 shown in FIG. 1 of the first processing unit 101 and the rightmost end of the second processing unit 102. The interval between the guide rollers 24A 1 to 24F 1 and 24A 2 to 24F 2 in the rotation axis direction is a pitch P. However, this interval is not limited to the pitch P, and may be wider or narrower than this.

本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置１００は、第１の加工ユニット１０１と第２の加工ユニット１０２とによって加工されるワークであるシリコンカーバイトのインゴット２８を各加工ユニット１０１，１０２の各切断ワイヤ部分２６１，２６２に向かって送るワーク送りユニット２７と、各加工ユニット１０１，１０２に放電加工電力をそれぞれ供給する電源２９と各加工ユニット１０１と、送りユニット２７と電源２９及び各加工ユニット１０１，１０２の各ワイヤ１５１，１５２の送りのための各機器を制御する制御部８０とを備えている。電源２９は、後で説明する図５に示すように、第１の加工ユニット１０１に放電加工電力を供給する第１の加工電源ユニット２９Ｒと、第２の加工ユニット１０２に放電加工電力を供給する第２の加工電源ユニット２９Ｌとを備えている。   The multi-wire electric discharge machining apparatus 100 according to the present embodiment uses a silicon carbide ingot 28 that is a workpiece to be machined by the first machining unit 101 and the second machining unit 102 to each cutting wire of each machining unit 101, 102. The workpiece feeding unit 27 that feeds toward the portions 261 and 262, the power source 29 that supplies electric discharge machining power to the machining units 101 and 102, the machining unit 101, the feeding unit 27 and the power source 29, and the machining units 101 and 102, respectively. And a control unit 80 for controlling each device for feeding the wires 151 and 152. As shown in FIG. 5 to be described later, the power source 29 supplies a first machining power supply unit 29R that supplies electric discharge machining power to the first machining unit 101 and an electric discharge machining power to the second machining unit 102. And a second machining power supply unit 29L.

図１に示すように、ガイドローラ２４Ｆ1，２４Ｆ2は共通のドローモータ２５Ｃによって回転駆動され、ワーク送りユニット２７はステッピングモータ２５Ｅによって駆動されるよう構成されている。また、マルチワイヤ放電加工装置１００の第１の加工ユニット１０１と第２の加工ユニット１０２とは、それぞれダンサロール１２の位置を検出する位置センサ３１と、ワイヤの断線を検出する断線検出センサ３２とを備えている。そして、各加工ユニット１０１，１０２のそれぞれの送り出しモータ２５Ａ、速度モータ２５Ｂ、ドローモータ２５Ｃ、トルクモータ２５Ｄ、巻き取りモータ２５Ｈは、ロータリーエンコーダを内蔵しており、その回転数を出力することができるモータである。また、各加工ユニット１０１，１０２の各位置決めモータ２５Ｆ，２５Ｇは、内部の回転子の回転角度を検出することができ、回転子の回転角度から各加工ユニット１０１，１０２のそれぞれのガイド１７、ワイヤ整列ユニット２１の位置を検出することができるよう構成されている。また、ワーク送りユニット２７は、各加工ユニット１０１，１０２の各切断ワイヤ部分２６１，２６２で各ワイヤ１５１，１５２の送り方向と直交する方向に向かってインゴット２８を移動させることができるよう配置され、ステッピングモータ２５Ｅによって駆動されるよう構成されている。ステッピングモータ２５Ｅは内部の回転子の回転角度を検出することができ、回転子の回転角度からインゴット２８の位置を検出することができるよう構成されている。電源２９の各加工電源ユニット２９Ｒ，２９Ｌは、それぞれプラス側出力線２９５によってインゴット２８に接続され、各マイナス側出力線２９６Ｒ，２９６Ｌから分岐した各第１の回転電極接続線２９６Ａ1，２９６Ｂ1、各第２の回転電極接続線２９６Ａ2，２９６Ｂ2によってそれぞれ第１の加工ユニット１０１の各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1、第２の加工ユニット１０２の各回転電極２００Ａ2，２００Ｂ2に接続され、インゴット２８と各加工ユニット１０１，１０２の各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1，２００Ａ2，２００Ｂ2との間に各加工ユニット１０１，１０２の各放電加工電力を給電するよう構成されている。 As shown in FIG. 1, the guide rollers 24F 1 and 24F 2 are rotationally driven by a common draw motor 25C, and the work feeding unit 27 is driven by a stepping motor 25E. Further, the first machining unit 101 and the second machining unit 102 of the multi-wire electric discharge machining apparatus 100 are respectively a position sensor 31 that detects the position of the dancer roll 12, and a break detection sensor 32 that detects a break in the wire. It has. The feed motor 25A, the speed motor 25B, the draw motor 25C, the torque motor 25D, and the take-up motor 25H of each processing unit 101 and 102 have a built-in rotary encoder and can output the number of rotations. It is a motor. Further, the positioning motors 25F and 25G of the machining units 101 and 102 can detect the rotation angle of the internal rotor, and the guides 17 and wires of the machining units 101 and 102 are determined from the rotation angle of the rotor. The position of the alignment unit 21 can be detected. The work feeding unit 27 is arranged so that the ingot 28 can be moved in the direction orthogonal to the feeding direction of the wires 151 and 152 by the cutting wire portions 261 and 262 of the machining units 101 and 102, It is configured to be driven by a stepping motor 25E. The stepping motor 25E is configured to detect the rotation angle of the internal rotor and to detect the position of the ingot 28 from the rotation angle of the rotor. The machining power supply units 29R and 29L of the power supply 29 are connected to the ingot 28 by positive output lines 295, respectively, and the first rotary electrode connection lines 296A 1 and 296B 1 branched from the negative output lines 296R and 296L, The second rotary electrode connection lines 296A 2 and 296B 2 are connected to the rotary electrodes 200A 1 and 200B 1 of the first processing unit 101 and the rotary electrodes 200A 2 and 200B 2 of the second processing unit 102, respectively. is configured to feed each discharge machining power of each processing unit 101, 102 between the ingot 28 and the rotating electrode 200A 1, 200B 1, 200A 2 , 200B 2 of the processing units 101 and 102.

本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置１００では、インゴット２８及び各加工ユニット１０１，１０２の各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1，２００Ａ2，２００Ｂ2は電気伝導率が調整された純水または油系の加工液に浸漬されており、各加工ユニット１０１，１０２の各切断ワイヤ部分２６１，２６２とインゴット２８の間の放電は水中で行われ、加工中にインゴット２８全体の温度の上昇を抑えることができるよう構成されている。また、電気伝導率が調整された純水または油系の加工液を各加工ユニット１０１，１０２の各切断ワイヤ部分２６１，２６２とインゴット２８の間にかける水掛によって加工中のインゴット２８全体の温度の上昇を抑えることとしてもよい。 In the multi-wire electric discharge machining apparatus 100 of the present embodiment, the rotating electrode 200A 1 , 200B 1 , 200A 2 , and 200B 2 of the ingot 28 and the machining units 101 and 102 are pure water or oil-based with adjusted electrical conductivity. It is immersed in the processing liquid, and the discharge between the cutting wire portions 261 and 262 of the processing units 101 and 102 and the ingot 28 is performed in water, and an increase in the temperature of the entire ingot 28 can be suppressed during processing. It is configured as follows. Further, the temperature of the entire ingot 28 being processed is controlled by water splashing between the cutting wire portions 261 and 262 of the processing units 101 and 102 and pure water or oil-based processing fluid with adjusted electrical conductivity. It is also possible to suppress the rise.

各加工ユニット１０１，１０２の送り出しボビン１０Ａ、巻き取りボビン１０Ｂを回転させる送り出しモータ２５Ａ、巻き取りモータ２５Ｈと、速度プーリ１６を回転させる速度モータ２５Ｂと、ガイドローラ２４Ｆ1，２４Ｆ2を回転させるドローモータ２５Ｃと、張力プーリ１８を回転させるトルクモータ２５Ｄと、ステッピングモータ２５Ｅと、位置決めモータ２５Ｆ，２５Ｇと、電源２９とは制御部８０に接続され、制御部８０の指令によって動作するよう構成されている。また、各加工ユニット１０１，１０２の第１、第２のワイヤ張力センサ１３Ａ，１３Ｂと、ダンサロール１２の位置を検出する位置センサ３１と、ワイヤ１５の断線を検出する断線検出センサ３２とは制御部８０に接続され、各検出信号は制御部８０に入力されるよう構成されている。制御部８０は、内部の信号処理用のＣＰＵと制御用のプログラムやデータを格納するメモリを備えるコンピュータである。制御部８０は各加工ユニット１０１，１０２にそれぞれ設けられた断線検出センサ３２によって第１のワイヤ１５１、第２のワイヤ１５２の断線が検出された場合には、マルチワイヤ放電加工装置１００の動作を停止する。 The feed bobbin 10A and the take-up bobbin 10B of each processing unit 101 and 102, the feed motor 25A for rotating the take-up bobbin 10B, the speed motor 25B for rotating the speed pulley 16, and the draw for rotating the guide rollers 24F 1 and 24F 2 The motor 25C, the torque motor 25D that rotates the tension pulley 18, the stepping motor 25E, the positioning motors 25F and 25G, and the power source 29 are connected to the control unit 80 and configured to operate according to commands from the control unit 80. Yes. In addition, the first and second wire tension sensors 13A and 13B of the processing units 101 and 102, the position sensor 31 that detects the position of the dancer roll 12, and the disconnection detection sensor 32 that detects the disconnection of the wire 15 are controlled. The detection signal is connected to the control unit 80 and input to the control unit 80. The control unit 80 is a computer that includes an internal signal processing CPU and a memory that stores control programs and data. When the disconnection of the first wire 151 and the second wire 152 is detected by the disconnection detection sensor 32 provided in each of the machining units 101 and 102, the control unit 80 operates the multi-wire electric discharge machining apparatus 100. Stop.

図２に示す様に、以上のよう構成されたマルチワイヤ放電加工装置１００において、第１の加工ユニット１０１の第１のワイヤ１５１が図中の矢印Ｒの方向に送られると、ガイドローラ２４Ａ1〜２４Ｄ1、各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1、各アイドルローラ３００Ａ1，３００Ｂ1は、第１のワイヤ１５１の巻きかけられている各面が第１のワイヤ１５１の送り方向と同方向となるように、各ガイドローラ２４Ａ1、回転電極２００Ａ1、各ガイドローラ２４Ｂ1，２４Ｃ1，回転電極２００Ｂ1、ガイドローラ２４Ｄ1はそれぞれ回転軸１２４Ａ，２０３Ａ，１２４Ｂ，１２４Ｃ，２０３Ｂ，１２４Ｄの周りに時計方向に回転し、各アイドルローラ３００Ａ1，３００Ｂ1はそれぞれ回転軸３０１Ａ，３０１Ｂの周りに反時計周りに回転する。各ガイドローラ２４Ａ1〜２４Ｄ1、各アイドルローラ３００Ａ1，３００Ｂ1はフッ素系材料、ナイロン系材料、セラミックス等耐磨耗性の高い材料が用いられている。また、回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1の円筒形の電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1には電気伝導度の高い銅、銅タングステン等の銅合金、銀タングステン等の銀合金等の材料が用いられている。各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1の円筒形の電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1は、その周速が第１のワイヤ１５１の送り速度と略同様となるように回転するので、第１のワイヤ１５１との相対速度が略ゼロであり、従来の固定式の電極のようなワイヤと電極との擦れが発生することはなく、電気伝導度の高い銅等の材料を用いた場合でも表面が磨耗してしまうことが抑制される。また、各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1と第１のワイヤ１５１との間に滑りがないので第１のワイヤ１５と電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1との間に瞬間的に隙間ができて第１のワイヤ１５１と各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1との間で放電が発生することが抑制され、第１のワイヤ１５１によって各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1が削られてしまうことが抑制される。図２は第１の加工ユニット１０１の第１のワイヤ１５１の巻き掛けと、各ガイドローラ２４Ａ1〜２４Ｄ1、各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1、アイドルローラ３００Ａ1，３００Ｂ1の回転について述べたが、図示しない第２の加工ユニット１０２のガイドローラ２４Ａ2〜２４Ｄ2、各回転電極２００Ａ2，２００Ｂ2もそれぞれ共通の回転軸１２４Ａ，２０３Ａ，１２４Ｂ，１２４Ｃ，２０３Ｂ，１２４Ｄの周りに時計方向に回転し、各アイドルローラ３００Ａ2，３００Ｂ2もそれぞれ共通の回転軸３０１Ａ，３０１Ｂの周りに反時計周りに回転し、各ガイドローラ２４Ａ2〜２４Ｄ2、各アイドルローラ３００Ａ2，３００Ｂ2は同様にフッ素系材料、ナイロン系材料、セラミックス等耐磨耗性の高い材料が用いられている。回転電極２００Ａ2，２００Ｂ2の円筒形の電極部材２０１Ａ2，２０１Ｂ2には電気伝導度の高い銅、銅タングステン等の銅合金、銀タングステン等の銀合金等の材料が用いられている。第２の加工ユニット１０２の各回転電極２００Ａ2，２００Ｂ2の円筒形の電極部材２０１Ａ2，２０１Ｂ2は、その周速が第２のワイヤ１５２の送り速度と略同様となるように回転するので、第２のワイヤ１５２との相対速度も略ゼロであり、従来の固定式の電極のようなワイヤと電極との擦れが発生することはなく、電気伝導度の高い銅等の材料を用いた場合でも表面が磨耗してしまうことが抑制される。 As shown in FIG. 2, in the multi-wire electric discharge machining apparatus 100 configured as described above, when the first wire 151 of the first machining unit 101 is fed in the direction of arrow R in the figure, the guide roller 24A 1 ～24D 1, each rotating electrode 200A 1, 200B 1, each idle roller 300A 1, 300B 1 is wound around and that each side of the first wire 151 is feed the same direction of the first wire 151 As described above, each guide roller 24A 1 , rotating electrode 200A 1 , each guide roller 24B 1 , 24C 1 , rotating electrode 200B 1 , and guide roller 24D 1 are respectively rotated around rotating shafts 124A, 203A, 124B, 124C, 203B, and 124D. It rotates clockwise, the idle rollers 300A 1, respectively 300B 1 is the rotation axis 301A, times counterclockwise around 301B To. The guide rollers 24A 1 to 24D 1 and the idle rollers 300A 1 and 300B 1 are made of a highly wear-resistant material such as a fluorine-based material, a nylon-based material, or ceramics. In addition, the cylindrical electrode members 201A 1 and 201B 1 of the rotating electrodes 200A 1 and 200B 1 are made of a material having high electrical conductivity such as copper, a copper alloy such as copper tungsten, or a silver alloy such as silver tungsten. . The cylindrical electrode members 201A 1 and 201B 1 of the rotary electrodes 200A 1 and 200B 1 rotate so that the peripheral speed thereof is substantially the same as the feed speed of the first wire 151. The relative velocity of the wire is almost zero, and there is no friction between the wire and the electrode as in the conventional fixed electrode, and the surface is worn even when a material such as copper having high electrical conductivity is used. Is suppressed. Each electrode member 201A 1, 201B 1 and the first and instantaneously a gap between the first wire 15 and the electrode member 201A 1, 201B 1 since there is no slippage between the first wire 151 it is suppressed that the wire 151 and the discharge occurs between the respective electrode members 201A 1, 201B 1, the respective electrode members 201A 1, 201B 1 will be scraped is suppressed by the first wire 151. FIG. 2 describes the winding of the first wire 151 of the first processing unit 101 and the rotation of the guide rollers 24A 1 to 24D 1 , the rotating electrodes 200A 1 and 200B 1 , and the idle rollers 300A 1 and 300B 1 . However, the guide rollers 24A 2 to 24D 2 and the rotary electrodes 200A 2 and 200B 2 of the second processing unit 102 (not shown) are also clockwise around the common rotary shafts 124A, 203A, 124B, 124C, 203B, and 124D. The idle rollers 300A 2 and 300B 2 rotate counterclockwise around the common rotation shafts 301A and 301B, and the guide rollers 24A 2 to 24D 2 and the idle rollers 300A 2 and 300B 2 similarly. Materials with high wear resistance such as fluorine-based materials, nylon-based materials and ceramics are used. For the cylindrical electrode members 201A 2 and 201B 2 of the rotating electrodes 200A 2 and 200B 2 , a material such as copper having a high electrical conductivity, a copper alloy such as copper tungsten, or a silver alloy such as silver tungsten is used. The cylindrical electrode members 201A 2 and 201B 2 of the rotary electrodes 200A 2 and 200B 2 of the second processing unit 102 rotate so that their peripheral speeds are substantially the same as the feed speed of the second wire 152. The relative speed with respect to the second wire 152 is also substantially zero, and there is no friction between the wire and the electrode as in the conventional fixed electrode, and a material such as copper having high electrical conductivity is used. Even in this case, the surface is prevented from being worn.

複数の切断ワイヤ部分２６１を有するマルチワイヤ放電加工装置１００でシリコンカーバイド（炭化ケイ素）のインゴット２８を切断する場合、ワイヤの表面には放電のたびにシリコンカーバイドの成分が粉７０として付着する。図３に示すように、第１の加工ユニット１０１の放電加工ではインゴット２８を第１の切断ワイヤ部分２６１に向って送りながら行うので、第１のワイヤ１５１とインゴット２８との放電は第１のワイヤ１５１のインゴット２８側とインゴット２８の加工溝２８ａとの間で発生することが多い。このため、放電加工によって飛び散ったシリコンカーバイドの粉７０は主に第１のワイヤ１５１のインゴット２８側の表面に付着する。そこで、本実施形態ではシリコンカーバイドの粉７０の付着が少ないインゴット２８と反対側の第１のワイヤ１５１の表面が各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1の表面に設けられた溝２０６Ａ1，２０６Ｂ1に接するように各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1を配置している。このため、放電加工によって第１のワイヤ１５１に付着したシリコンカーバイドの粉７０が各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1の溝２０６Ａ1，２０６Ｂ1に接することが抑制され、電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1の溝２０６Ａ1，２０６Ｂ1が磨耗することが抑制される。これによって、直径の大きなシリコンカーバイド等の硬質材料のスライスを行う場合のように長時間の放電加工を行う場合でも繁雑に電極を交換することなく、安定して第１のワイヤ１５１に放電加工電力を給電し、放電加工をすることができる。以上、図３では第１の加工ユニット１０１について説明したが、第２の加工ユニット１０２も同様である。 When the silicon carbide (silicon carbide) ingot 28 is cut by the multi-wire electric discharge machining apparatus 100 having a plurality of cutting wire portions 261, silicon carbide components adhere to the surface of the wire as powder 70 each time the electric discharge is performed. As shown in FIG. 3, in the electric discharge machining of the first machining unit 101, the ingot 28 is sent while being sent toward the first cutting wire portion 261, so that the electric discharge between the first wire 151 and the ingot 28 is the first It often occurs between the ingot 28 side of the wire 151 and the machining groove 28a of the ingot 28. For this reason, the silicon carbide powder 70 scattered by the electric discharge machining adheres mainly to the surface of the first wire 151 on the ingot 28 side. Therefore, in the present embodiment, the surface of the first wire 151 opposite to the ingot 28 to which the silicon carbide powder 70 is less attached is formed in the grooves 206A 1 and 206B 1 provided on the surfaces of the electrode members 201A 1 and 201B 1. The rotary electrodes 200A 1 and 200B 1 are arranged so as to be in contact with each other. Therefore, electric discharge machining that powder 70 of silicon carbide attached to the first wire 151 is in contact with the groove 206A 1, 206B 1 of each electrode member 201A 1, 201B 1 is suppressed by the electrode member 201A 1, 201B 1 Wear of the grooves 206A 1 and 206B 1 is suppressed. Thus, even when long-time electric discharge machining is performed, such as when slicing a hard material such as silicon carbide having a large diameter, the electric discharge machining power can be stably applied to the first wire 151 without complicated replacement of the electrodes. Can be fed to perform electric discharge machining. The first processing unit 101 has been described with reference to FIG. 3, but the same applies to the second processing unit 102.

図２に示すように、本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置１００の第１の加工ユニット１０１では、回転電極２００Ａ1の矢印Ｒで示すワイヤの送り方向の上流側にアイドルローラ３００Ａ1が配置され、回転電極２００Ａ1のワイヤ送り方向の下流側に第１の切断ワイヤ部分２６１を構成するガイドローラ２４Ｂ1が配置され、アイドルローラ３００Ａ1は、回転電極２００Ａ1の電極部材２０１Ａ1への第１のワイヤ１５１の巻き掛け角度が角度θ1（ｒａｄ）となるように配置されている。この場合、電極部材２０１Ａ1の直径をＤとすると、第１のワイヤ１５１は電極部材２０１Ａ1に（θ1×Ｄ／２）の長さだけ接触する。また、第１のワイヤ１５１には張力Ｔが掛かっていることから、張力Ｔにより、Ｆ1＝２×Ｔ×ｓｉｎ（θ1／２）、だけの力によって第１のワイヤ１５１が電極部材２０１Ａ1の表面に押し付けられる。回転電極２００Ｂ1も同様である。このように、本実施形態の各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1は各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1と第１のワイヤ１５１との接触長を長くとれると共に、第１のワイヤ１５１が各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1に押し付けられるので、放電加工電力を第１のワイヤ１５１の各条に給電する際の電気抵抗或いはインピーダンスが少なく、電圧を低下させずに放電加工電力を供給することができる。そして、各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1は第１のワイヤ１５１の送り方向と同方向に向かって回転するので各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1と第１のワイヤ１５１との相対速度がほとんどない状態で第１のワイヤ１５１と接触する。このため、各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1に電気伝導度の高い銅等の材料を用いた場合でも、接触距離が長く、第１のワイヤ１５１が押し付けられた状態でもその表面が磨耗することがなく、第１のワイヤ１５１と各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1との間に瞬間的に隙間ができて第１のワイヤ１５１と各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1との間で放電が発生することが抑制され、各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1が削られてしまうことが抑制される。このため、長時間安定して第１のワイヤ１５１に放電加工電力を給電し、放電加工をすることができる。また、電源２９から給電される放電加工電力の電圧を低下させずに第１のワイヤ１５１に給電することができ、放電加工速度が低下することを抑制することができる。以上、図２を参照して第１の加工ユニット１０１の第１のワイヤ１５１と各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1との接触について説明したが、第２の加工ユニット１０２の第２のワイヤ１５２と各電極部材２０１Ａ2，２０１Ｂ2との接触についても同様である。 As shown in FIG. 2, in the first machining unit 101 of the multi-wire electric discharge machining apparatus 100 of the present embodiment, an idle roller 300A 1 is arranged on the upstream side in the wire feeding direction indicated by the arrow R of the rotary electrode 200A 1. The guide roller 24B 1 constituting the first cutting wire portion 261 is disposed on the downstream side of the rotating electrode 200A 1 in the wire feeding direction, and the idle roller 300A 1 is a first electrode to the electrode member 201A 1 of the rotating electrode 200A 1. The winding angle of the wire 151 is arranged to be an angle θ 1 (rad). In this case, if the diameter of the electrode member 201A 1 is D, the first wire 151 contacts the electrode member 201A 1 by a length of (θ 1 × D / 2). Further, since it is under tension T in the first wire 151, the tension T, F 1 = 2 × T × sin (θ 1/2), the first wire 151 is electrode member 201A by the force of only Pressed against one surface. Rotating electrode 200B 1 is similar. As described above, the rotary electrodes 200A 1 and 200B 1 according to the present embodiment can increase the contact length between the electrode members 201A 1 and 201B 1 and the first wire 151, and the first wire 151 is connected to the electrode member 201A. 1 , 201B 1 , the electrical discharge machining power is supplied to each strip of the first wire 151 with little electric resistance or impedance, and the electrical discharge machining power can be supplied without lowering the voltage. Since each of the rotating electrodes 200A 1 and 200B 1 rotates in the same direction as the feeding direction of the first wire 151, there is almost no relative speed between the electrode members 201A 1 and 201B 1 and the first wire 151. In contact with the first wire 151. Therefore, even when a material such as copper having high electrical conductivity is used for each of the electrode members 201A 1 and 201B 1 , the contact distance is long, and the surface can be worn even when the first wire 151 is pressed. without a discharge between the first wire 151 momentarily a gap between each electrode member 201A 1, 201B 1 is generated between the first wire 151 and the respective electrode members 201A 1, 201B 1 Is suppressed, and the electrode members 201A 1 and 201B 1 are prevented from being scraped. For this reason, electric discharge machining power can be supplied to the first wire 151 stably for a long time, and electric discharge machining can be performed. In addition, it is possible to supply power to the first wire 151 without reducing the voltage of the electric discharge machining power supplied from the power source 29, and it is possible to suppress a reduction in the electric discharge machining speed. The contact between the first wire 151 of the first processing unit 101 and each of the electrode members 201A 1 and 201B 1 has been described with reference to FIG. 2, but the second wire 152 of the second processing unit 102 The same applies to contact with the electrode members 201A 2 and 201B 2 .

また、図２に示すように、第１の加工ユニット１０１の２つの隣り合う同一直径のガイドローラ２４Ｂ1，２４Ｃ1の間の直線の第１のワイヤ１５１は複数の第１の切断ワイヤ部分２６１を構成する。より詳細にはガイドローラ２４Ｂ1の下端と２４Ｃ1の上端との間の高さＹ1が第１の切断ワイヤ部分２６１の長さとなる。第１の切断ワイヤ部分２６１のＹ方向（上下方向）の中心は中心２６Ｃ1である。各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1は各回転中心２０５Ａ，２０５Ｂ（各回転軸２０３Ａ，２０３Ｂの中心）がそれぞれ第１の切断ワイヤ部分２６１の中心２６Ｃ1からＸ方向（横方向）にＸ1で、Ｙ方向のプラス側、マイナス側にそれぞれＹ2の位置となるように配置されている。また、各ガイドローラ２４Ｂ1，２４Ｃ1と各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1の第１のワイヤ１５１の上流側と下流側とには第１の切断ワイヤ部分２６１の中心２６Ｃ1を通る中心線２８Ｄに対して上下対称で、中心２６Ｃ1からのＸ方向の距離が同様となるような位置にアイドルローラ３００Ｂ1が配置されている。このように、各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1、アイドルローラ３００Ａ1，３００Ｂ1、ガイドローラ２４Ｂ1，２４Ｃ1を配置することにより、各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1は第１の切断ワイヤ部分２６１の中心から第１のワイヤ１５１の巻きかけられる経路に沿って同一距離に配置され、第１の切断ワイヤ部分２６１に対して均等に放電加工電力を供給することができる。そして、インゴット２８を切断する際には円筒状のインゴット２８の中心２８Ｃを第１の切断ワイヤ部分２６１のＹ方向の中心２６Ｃ1に合わせて各中心２６Ｃ1，２８Ｃを通ってインゴット２８の送り方向に延びる中心線２８Ｄに沿って送って放電加工を行うので、放電加工の際に、インゴット２８の上部と下部とを均等に加工することができる。以上、図２を参照して第１の加工ユニット１０１の各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1の配置について説明したが、第２の加工ユニット１０２についても同様である。 Further, as shown in FIG. 2, a straight first wire 151 between two adjacent guide rollers 24B 1 and 24C 1 having the same diameter of the first processing unit 101 has a plurality of first cutting wire portions 261. Configure. The height Y 1 between the upper end of the lower end 24C 1 of the guide roller 24B 1 is the length of the first cutting wire sections 261 in more detail. The center of the Y direction of the first cutting wire sections 261 (vertical direction) is the center 26C 1. Each rotation electrode 200A 1 , 200B 1 has a rotation center 205A, 205B (center of each rotation shaft 203A, 203B) at X 1 from the center 26C 1 of the first cutting wire portion 261 in the X direction (lateral direction), They are arranged so that they are located at Y 2 on the plus side and minus side in the Y direction. A center line 28D passing through the center 26C 1 of the first cutting wire portion 261 is provided on the upstream side and the downstream side of the first wire 151 of each guide roller 24B 1 , 24C 1 and each of the rotary electrodes 200A 1 , 200B 1 . The idle roller 300B 1 is arranged at a position that is vertically symmetric with respect to the center and the distance in the X direction from the center 26C 1 is the same. As described above, the rotary electrodes 200A 1 and 200B 1 , the idle rollers 300A 1 and 300B 1 , and the guide rollers 24B 1 and 24C 1 are arranged, so that the rotary electrodes 200A 1 and 200B 1 have the first cutting wire portion 261. It is arrange | positioned at the same distance along the path | route on which the 1st wire 151 is wound from the center of this, and an electric discharge machining power can be supplied equally with respect to the 1st cutting wire part 261. When cutting the ingot 28, the center 28C of the cylindrical ingot 28 is aligned with the center 26C 1 of the first cutting wire portion 261 in the Y direction, and the ingot 28 is fed in the feed direction through the centers 26C 1 and 28C. Since the electrical discharge machining is performed along the center line 28D extending in the vertical direction, the upper portion and the lower portion of the ingot 28 can be evenly machined during the electrical discharge machining. The arrangement of the rotary electrodes 200A 1 and 200B 1 of the first processing unit 101 has been described above with reference to FIG. 2, but the same applies to the second processing unit 102.

図４を参照しながら、本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置１００の回転電極２００Ａ1，２００Ａ2の支持構造について説明する。図４（ａ）に示すように、第１の加工ユニットの回転電極２００Ａ1，２００Ａ2は、マルチワイヤ放電加工装置１００のベースに取り付けられて回転しない基盤２５０Ａに固定された回転しない円筒状の絶縁シャフト２０３Ａの外周にそれぞれ２つの導電性軸受である導電性ベアリング２０２Ａ1，２０２Ａ2を介して電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2が取り付けられたものである。電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2は、電気伝導率が良い銅等の材料で構成された円筒状の導電体である。導電性ベアリング２０２Ａ1，２０２Ａ2は、絶縁シャフト２０３Ａの外周に固定される金属製の内輪２１１Ａ1，２１１Ａ2と、電極部材２０１Ａ1，２０２Ａ2の内面にそれぞれ嵌め込まれる金属製の外輪２１２Ａ1，２１２Ａ2と、内輪２１１Ａ1，２１１Ａ2と外輪２１２Ａ1，２１２Ａ2との間にそれぞれ挟みこまれ、周状に配置された金属製のボール２１３Ａ1，２１３Ａ2とによって構成されている。また、内輪２１１Ａ1，２１１Ａ2と外輪２１２Ａ1，２１２Ａ2との間には導電性グリス２１４Ａ1，２１４Ａ2が充填されている。絶縁シャフト２０３Ａの基盤２５０Ａには導電性ベアリング２０２Ａ1の取り付けられている部分よりも直径が大きい段部２１０Ａが設けられている。そして、段部２１０Ａと一方の導電性ベアリング２０２Ａ1の内輪２１１Ａ1との間には金属製のカラー２０８Ａが嵌めこまれ、カラー２０８Ａの基盤２５０Ａ側端と段部２１０Ａと間には、後で図５を参照して説明する電源２９の第１の加工電源ユニット２９Ｒに接続される第１の給電端子２２０Ａ1が接続され、金属製のカラー２０８Ａの基盤２５０Ａの反対側端は一方の導電性ベアリング２０２Ａ1の内輪２１１Ａ1に接続されている。また、他方の導電性ベアリング２０２Ａ1の内輪２１１Ａ1との間には、カラー２０８Ａよりも短い金属製のカラー２０８Ａ1が取り付けられており、２つの導電性ベアリング２０２Ａ1の各内輪２１１Ａ1は、金属製のカラー２０８Ａ，２０８Ａ1によって第１の給電端子２２０Ａ1に電気的に接続されている。金属製のカラー２０８Ａ，２０８Ａ1、第１の給電端子２２０Ａ1は、第１の給電部材を構成する。 A support structure for the rotating electrodes 200A 1 and 200A 2 of the multi-wire electric discharge machining apparatus 100 of the present embodiment will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 4 (a), the rotating electrodes 200A 1 and 200A 2 of the first machining unit are attached to the base of the multi-wire electric discharge machining apparatus 100 and fixed to a non-rotating base 250A. Electrode members 201A 1 and 201A 2 are attached to the outer periphery of the insulating shaft 203A via two conductive bearings 202A 1 and 202A 2 , respectively. The electrode members 201A 1 and 201A 2 are cylindrical conductors made of a material such as copper having good electrical conductivity. The conductive bearings 202A 1 and 202A 2 are made of metal inner rings 211A 1 and 211A 2 fixed to the outer periphery of the insulating shaft 203A, and metal outer rings 212A 1 fitted into the inner surfaces of the electrode members 201A 1 and 202A 2 , respectively. 212A 2 and metal balls 213A 1 and 213A 2 that are sandwiched between inner rings 211A 1 and 211A 2 and outer rings 212A 1 and 212A 2 and arranged circumferentially. Further, conductive grease 214A 1 and 214A 2 are filled between the inner rings 211A 1 and 211A 2 and the outer rings 212A 1 and 212A 2 . Stepped portion 210A also has a larger diameter than the portion on the base 250A which is mounted a conductive bearings 202A 1 of the insulating shaft 203A is provided. A metal collar 208A is fitted between the step portion 210A and the inner ring 211A 1 of the one conductive bearing 202A 1 , and the base portion 250A side end of the collar 208A and the step portion 210A are disposed later. first feeding terminal 220A 1 is connected to be connected to a first machining power supply unit 29R of the power supply 29 described with reference to FIG. 5, the opposite end is the one conductive base 250A of metal collar 208A The bearing 202A 1 is connected to the inner ring 211A 1 . Between the inner ring 211A 1 of the other conductive bearings 202A 1, and metal collar 208A 1 are attached shorter than color 208A, 2 two inner races 211A 1 of the conductive bearings 202A 1 is The metal collars 208A and 208A 1 are electrically connected to the first power supply terminal 220A 1 . The metal collars 208A and 208A 1 and the first power supply terminal 220A 1 constitute a first power supply member.

また、絶縁シャフト２０３Ａの中心には金属製の導電シャフト２０４Ａが嵌めこまれている。そして、導電シャフト２０４Ａの基盤２５０Ａ側の端部には後で図５を参照して説明する電源２９の第２の加工電源ユニット２９Ｌに接続される第２の給電端子２２０Ａ2が接続されている。また、導電シャフト２０４Ａの基盤２５０Ａと反対側の端部には金属製のエンドリング２０８Ａ3が取り付けられている。エンドリング２０８Ａ3の外周側は絶縁シャフト２０３Ａの外周に嵌めあわされ、その軸方向の端面は１つの導電性ベアリング２０２Ａ2の内輪２１１Ａ2に接続されている。また、２つの導電性ベアリング２０２Ａ2の各内輪２１１Ａ2の間には金属製のカラー２０８Ａ2によって電気的に接続されており、２つの導電性ベアリング２０２Ａ2の各内輪２１１Ａ2は、カラー２０８Ａ2とエンドリング２０８Ａ3によって第２の給電端子２２０Ａ2に接続されている。金属製のカラー２０８Ａ2とエンドリング２０８Ａ3と導電シャフト２０４Ａと第２の給電端子２２０Ａ2は、第２の給電部材を構成する。 A metal conductive shaft 204A is fitted in the center of the insulating shaft 203A. Then, the ends of the base 250A side of the conductive shaft 204A is connected to a second power supply terminal 220A 2 is connected to the later second machining power unit 29L of the power supply 29 described with reference to FIG. 5 . Further, the end portion of the substrate 250A opposite the conductive shaft 204A are attached end ring 208A 3 metallic. The outer peripheral side of the end ring 208A 3 are connected insulated is fitted on the outer periphery of the shaft 203A, the end surface in the axial direction on the inner ring 211A 2 of one conductive bearings 202A 2. In addition, between the two inner races 211A 2 of the conductive bearings 202A 2 are electrically connected by the collar 208A 2 metallic, inner races 211A 2 of the two conductive bearings 202A 2 are color 208A 2 And the end ring 208A 3 is connected to the second power supply terminal 220A 2 . Metal collar 208A 2 and the end ring 208A 3 and the conductive shaft 204A and the second feeding terminal 220A 2 constitutes a second power supply member.

また、絶縁シャフト２０３Ａの外周で、互いに隣接する導電性ベアリング２０２Ａ1の内輪２１１Ａ1と導電性ベアリング２０２Ａ1の内輪２１１Ａ1との間には絶縁材料で形成された円筒状のスペーサ２０９が取り付けられ、互いに隣接する各回転電極２００Ａ1，２００Ａ2との間を電気的に絶縁するよう構成されている。 Further, in the outer periphery of the insulating shaft 203A, a cylindrical spacer 209 formed of an insulating material is attached between the inner ring 211A 1 of the inner ring 211A 1 and the conductive bearing 202A 1 of the conductive bearings 202A 1 adjacent to each other The rotary electrodes 200A 1 and 200A 2 adjacent to each other are electrically insulated from each other.

第１の給電端子２２０Ａ1から入力された放電加工電力の電流は、金属製のカラー２０８Ａ，２０８Ａ1から２つの導電性ベアリング２０２Ａ1の内輪２１１Ａ1、ボール２１３Ａ1、外輪２１２Ａ1を通って電極部材２０１Ａ1に達し、電極部材２０１Ａ1の外面に設けられた溝２０６Ａ1に接触している第１のワイヤ１５１の各条に流れていく。また、導電性ベアリング２０２Ａ1の内輪２１１Ａ1と外輪２１２Ａ1との間には導電性グリス２１４Ａ1が充填されているので、内輪２１１Ａ1に流れた電流は、導電性グリス２１４Ａ1の中を流れて外輪２１２Ａ1に達し、外輪２１２Ａ1から電極部材２０１Ａ1に達する。また、第２の給電端子２２０Ａ2から入力された放電加工電力の電流は、導電シャフト２０４Ａ、金属製のエンドリング２０８Ａ3、カラー２０８Ａ2から２つの導電性ベアリング２０２Ａ2の内輪２１１Ａ2、ボール２１３Ａ2、外輪２１２Ａ2を通って電極部材２０１Ａ2に達し、電極部材２０１Ａ2の外面に設けられた溝２０６Ａ2に接触している第２のワイヤ１５２の各条に流れていく。また、導電性ベアリング２０２Ａ2の内輪２１１Ａ2と外輪２１２Ａ2との間には導電性グリス２１４Ａ2が充填されているので、内輪２１１Ａ2に流れた電流は、導電性グリス２１４Ａ2の中を流れて外輪２１２Ａ2に達し、外輪２１２Ａ2から電極部材２０１Ａ2に達する。 The electric current of the electric discharge machining power input from the first power supply terminal 220A 1 passes through the inner ring 211A 1 , the ball 213A 1 and the outer ring 212A 1 of the two conductive bearings 202A 1 from the metal collars 208A and 208A 1. reached member 201A 1, flows into each row of the first wire 151 in contact with the groove 206A 1 provided on the outer surface of the electrode member 201A 1. Since the conductive grease 214A 1 is filled between the inner ring 211A 1 and the outer ring 212A 1 of the conductive bearing 202A 1 , the current flowing through the inner ring 211A 1 flows through the conductive grease 214A 1. reached the outer ring 212A 1 Te reaches the outer ring 212A 1 the electrode member 201A 1. The second feeding terminal 220A of discharge machining power inputted from the second current, the conductive shaft 204A, a metal end ring 208A 3, the inner ring 211A 2 from color 208A 2 2 one conductive bearings 202A 2, the ball 213A 2, through the outer ring 212A 2 reaches the electrode member 201A 2, flows into each row of the second wire 152 in contact with the groove 206A 2 provided on the outer surface of the electrode member 201A 2. Since the conductive grease 214A 2 is filled between the inner ring 211A 2 and the outer ring 212A 2 of the conductive bearing 202A 2 , the current flowing through the inner ring 211A 2 flows through the conductive grease 214A 2. And reaches the outer ring 212A 2 and reaches the electrode member 201A 2 from the outer ring 212A 2 .

このように、導電性ベアリング２０２Ａ1，２０２Ａ2は電気抵抗或いはインピーダンスが低くなるように構成されているので、各給電端子２２０Ａ1，２２０Ａ2から回転する各電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2までに達するまで放電加工電力の電圧降下が少ない構造となっている。 Thus, since the conductive bearings 202A 1 and 202A 2 are configured to have low electrical resistance or impedance, they reach the rotating electrode members 201A 1 and 201A 2 from the power supply terminals 220A 1 and 220A 2. It has a structure with little voltage drop of electric discharge machining power.

図４（ｂ）に示すように各電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2の外面にはそれぞれ第１のワイヤ１５１、第２のワイヤ１５２を巻き掛けるＶ字型の溝２０６Ａ1，２０６Ａ2が設けられており、各溝２０６Ａ1，２０６Ａ2の間隔はそれぞれ各ワイヤ１５１，１５２の間隔と同様、ピッチＰとなっている。また、電極部材２０１Ａ1の図４（ａ）の左側端の第１のワイヤ１５１と電極部材２０１Ａ2の図４（ａ）の右側端の第２のワイヤ１５２との間の間隔もピッチＰとなっており、第１のワイヤ１５１の各条と第２のワイヤ１５２の各条とはピッチＰの等間隔となるように配置されている。 As shown in FIG. 4B, V-shaped grooves 206A 1 and 206A 2 for winding the first wire 151 and the second wire 152 are provided on the outer surfaces of the electrode members 201A 1 and 201A 2 , respectively. The intervals between the grooves 206A 1 and 206A 2 are the same as the pitch between the wires 151 and 152, respectively. Also, the distance between the first wire 151 at the left end of the electrode member 201A 1 in FIG. 4A and the second wire 152 at the right end of the electrode member 201A 2 in FIG. Thus, each strip of the first wire 151 and each strip of the second wire 152 are arranged at equal intervals of the pitch P.

以上の実施形態では、電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2の外面に設けられた溝２０６Ａ1，２００６Ａ2はＶ字形とすることとして説明したが、図４（ｃ）に示すように、各ワイヤ１５１，１５２の外面に沿った半円形の溝２０７Ａ1，２０７Ａ2としても良い。この場合には、各ワイヤ１５１，１５２を線ではなく面でサポートするため、各回転電極２００Ａ1，２００Ａ2に巻き掛けられることによる各ワイヤ１５１，１５２の負荷を低減し、各ワイヤ１５１，１５２の断線を抑制することができる。 In the above embodiment, the grooves 206A 1 and 2006A 2 provided on the outer surfaces of the electrode members 201A 1 and 201A 2 have been described as being V-shaped, but as shown in FIG. Semicircular grooves 207A 1 and 207A 2 along the outer surface of 152 may be used. In this case, to support a plane rather than each wire 151 and 152 lines, and reduce the load of each wire 151 and 152 by being wound around the rotating electrode 200A 1, 200A 2, each wire 151 and 152 Can be suppressed.

以上説明した実施形態では、それぞれ１本の第１のワイヤ１５１が複数条に巻き掛けられる第１の加工ユニット１０１と１本の第２のワイヤ１５２が複数条に巻き掛けられる第２の加工ユニット１０２との２つの加工ユニットが左右に並列に配置された構成となっていることとして説明したが、加工ユニットの数は２つに限らず、それぞれ１本のワイヤが複数条に巻き掛けられる３つまたは４つ以上の加工ユニットを各加工ユニットの各ガイドローラ、各回転電極、各アイドルローラの各回転軸の方向に隣接して配置する様に構成してもよい。また、本実施形態では、第１の加工ユニット１０１の各ガイドローラ２４Ａ1〜２４Ｆ1、アイドルローラ３００Ａ1，３００Ｂ1は、第２の加工ユニット１０２の各ガイドローラ２４Ａ2〜２４Ｆ2、アイドルローラ３００Ａ2，３００Ｂ2とそれぞれ別個の部材であり、それぞれの回転軸方向に沿って同軸に隣接して互いに電気的に絶縁して配置されていることとして説明したが、各ガイドローラ２４Ａ1〜２４Ｆ1，２４Ａ2〜２４Ｆ2、各アイドルローラ３００Ａ1，３００Ｂ1，３００Ａ2，３００Ｂ2がフッ素系材料、ナイロン系材料、セラミックス等耐磨耗性が高くかつ絶縁性材料で構成されている場合には、それぞれの回転軸に同軸に隣接して配置される各ガイドローラ２４Ａ1〜２４Ｆ1，２４Ａ2〜２４Ｆ2、各アイドルローラ３００Ａ1，３００Ｂ1，３００Ａ2，３００Ｂ2は別部材とせず、例えば、ガイドローラ２４Ａ1，２４Ａ2を一体とし図２に示す回転軸１２４Ａの周囲に回転自在に取り付けるように、隣接する各部材を一体として各回転軸１２４Ａ〜１２４Ｄ，３０１Ａ，３０１Ｂの周りにそれぞれ回転可能に配置するようにしてもよい。 In the embodiment described above, each of the first processing unit 101 in which one first wire 151 is wound around a plurality of strips and the second processing unit in which one second wire 152 is wound around the plurality of strips. Although it has been described that the two machining units 102 and 102 are arranged in parallel on the left and right, the number of machining units is not limited to two, and one wire is wound around a plurality of strips. One or four or more processing units may be arranged adjacent to each guide roller, each rotating electrode, and each rotation axis of each idle roller of each processing unit. In the present embodiment, the guide rollers 24A 1 to 24F 1 and the idle rollers 300A 1 and 300B 1 of the first processing unit 101 are the guide rollers 24A 2 to 24F 2 and the idle rollers of the second processing unit 102, respectively. The guide rollers 24A 1 to 24F have been described as being 300A 2 and 300B 2, which are separate members and arranged coaxially adjacent to each other along the rotation axis direction and electrically insulated from each other. 1 , 24 A 2 to 24 F 2 , and each idle roller 300 A 1 , 300 B 1 , 300 A 2 , 300 B 2 is made of a highly wear-resistant and insulating material such as a fluorine-based material, a nylon-based material, or a ceramic. is the guide rollers 24A disposed adjacent coaxially to each of the rotary shaft 1 ~24F 1, 24A 2 ~24F 2 , each idle Over La 300A 1, 300B 1, 300A 2 , 300B 2 is not a separate member, for example, guide rollers 24A 1, 24A 2 and to mount rotatably around the rotation shaft 124A shown in Figure 2 an integral, adjacent You may make it each arrange | position so that each member may be rotated around each rotating shaft 124A-124D, 301A, 301B, respectively.

図５を参照して、本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置１００に用いられる放電加工用の電源２９の構成と動作について説明する。図５に示すように、電源２９は、第１の加工ユニット１０１に放電加工電力を供給する第１の加工電源ユニット２９Ｒと、第２の加工ユニット１０２に放電加工電力を供給する第２の加工電源ユニット２９Ｌとを含んでいる。   With reference to FIG. 5, the configuration and operation of a power supply 29 for electric discharge machining used in the multi-wire electric discharge machining apparatus 100 of the present embodiment will be described. As shown in FIG. 5, the power supply 29 includes a first machining power supply unit 29 </ b> R that supplies electric discharge machining power to the first machining unit 101, and a second machining that supplies electric discharge machining power to the second machining unit 102. Power supply unit 29L.

第１の加工電源ユニット２９Ｒは、主直流電源２９２ａ1と、主直流電源２９２ａ1と直列に接続され、主直流電源２９２ａ1の出力を入り切りする主スイッチングトランジスタ２９１ａ1と、主直流電源２９２ａ1と並列で、プラスマイナスの方向が逆でその電圧が主直流電源２９２ａ1よりも低い副直流電源２９４ａ1と、副直流電源２９４ａ1と直列に接続され、副直流電源２９４ａ1の出力を入り切りする副スイッチングトランジスタ２９３ａ1と、を備えている。各スイッチングトランジスタ２９１ａ1，２９３ａ1の各ゲートは制御部８０に接続され、制御部８０の指令によってオンオフするよう構成されている。主直流電源２９２ａ1のプラス側にはプラス側出力線２９５Ｒが接続され、主直流電源２９２ａ1のマイナス側にはマイナス側出力線２９６Ｒが接続されている。プラス側出力線２９５Ｒは共通のプラス側出力線２９５を介してインゴット２８に接続され、マイナス側出力線２９６Ｒは第１の加工ユニットの２つの回転電極接続線２９６Ａ1，２９６Ｂ1に分岐し、回転電極接続線２９６Ａ1は回転電極２００Ａ1に接続され、回転電極接続線２９６Ｂ1は回転電極２００Ｂ1に接続されている。従って、第１の加工電源ユニット２９Ｒは各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1に共通の電源であり、各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1には共通の第１の加工電源ユニット２９Ｒから同一の放電加工電力が給電される。 The first machining power unit 29R includes a main DC power source 292a 1, are the main DC power source 292a connected to one series, the main switching transistor 291a 1 which turns on and off the output of the main DC power source 292a 1, a main DC power source 292a 1 in parallel, its voltage plus or minus direction in reverse the sub DC power supply 294a 1 lower than the main DC power source 292a 1, is connected to the secondary DC power source 294a 1 in series, secondary turns on and off the output of the auxiliary DC power source 294a 1 Switching transistor 293a 1 . Each gate of each of the switching transistors 291a 1 and 293a 1 is connected to the control unit 80, and is configured to be turned on / off by a command from the control unit 80. The plus side of the main DC power source 292a 1 is connected positive side output line 295R, and the minus side of the main DC power source 292a 1 is connected the negative side output line 296R. The plus side output line 295R is connected to the ingot 28 via a common plus side output line 295, and the minus side output line 296R branches to the two rotary electrode connection lines 296A 1 and 296B 1 of the first machining unit for rotation. The electrode connection line 296A 1 is connected to the rotation electrode 200A 1 , and the rotation electrode connection line 296B 1 is connected to the rotation electrode 200B 1 . Accordingly, the first machining power unit 29R is a common power source to each rotating electrode 200A 1, 200B 1, the same discharge machining power from a common first machining power unit 29R to each rotating electrode 200A 1, 200B 1 Is fed.

第２の加工電源ユニット２９Ｌは、第１の加工電源ユニット２９Ｒと同様の構成となっており、主直流電源２９２ａ2と、主直流電源２９２ａ2と直列に接続され、主直流電源２９２ａ2の出力を入り切りする主スイッチングトランジスタ２９１ａ2と、主直流電源２９２ａ2と並列で、プラスマイナスの方向が逆でその電圧が主直流電源２９２ａ2よりも低い副直流電源２９４ａ2と、副直流電源２９４ａ2と直列に接続され、副直流電源２９４ａ2の出力を入り切りする副スイッチングトランジスタ２９３ａ2と、を備えている。各スイッチングトランジスタ２９１ａ2，２９３ａ2の各ゲートは制御部８０に接続され、制御部８０の指令によってオンオフするよう構成されている。主直流電源２９２ａ2のプラス側にはプラス側出力線２９５Ｌが接続され、主直流電源２９２ａ2のマイナス側にはマイナス側出力線２９６Ｌが接続されている。プラス側出力線２９５Ｌは共通のプラス側出力線２９５を介してインゴット２８に接続され、マイナス側出力線２９６Ｌは第２の加工ユニットの２つの回転電極接続線２９６Ａ2，２９６Ｂ2に分岐し、回転電極接続線２９６Ａ2は回転電極２００Ａ2に接続され、回転電極接続線２９６Ｂ2は回転電極２００Ｂ2に接続されている。従って、第２の加工電源ユニット２９Ｌは各回転電極２００Ａ2，２００Ｂ2に共通の電源であり、各回転電極２００Ａ2，２００Ｂ2には共通の第１の加工電源ユニット２９Ｌから同一の放電加工電力が給電される。 The second machining power supply unit 29L has the same configuration as the first machining power supply unit 29R, and is connected in series with the main DC power supply 292a 2 and the main DC power supply 292a 2, and the output of the main DC power supply 292a 2 a main switching transistor 291a 2 for permitting and blocking, the main DC power source 292a 2 and parallel, plus or minus directions its voltage in the reverse and the sub DC power supply 294a 2 lower than the main DC power source 292a 2, the sub DC power supply 294a 2 And a sub-switching transistor 293a 2 connected in series to turn on and off the output of the sub-DC power supply 294a 2 . Each gate of each of the switching transistors 291a 2 and 293a 2 is connected to the control unit 80, and is configured to be turned on / off by a command from the control unit 80. The plus side of the main DC power source 292a 2 is connected to the positive side output line 295L, and the minus side of the main DC power source 292a 2 is connected to the negative side output line 296L. The plus side output line 295L is connected to the ingot 28 via the common plus side output line 295, and the minus side output line 296L branches to the two rotary electrode connection lines 296A 2 and 296B 2 of the second machining unit for rotation. The electrode connection line 296A 2 is connected to the rotation electrode 200A 2 , and the rotation electrode connection line 296B 2 is connected to the rotation electrode 200B 2 . Accordingly, the second machining power unit 29L is a common power source to each rotating electrode 200A 2, 200B 2, the same discharge machining power from a common first machining power unit 29L to each rotating electrode 200A 2, 200B 2 Is fed.

図５に示すように、第１の加工電源ユニット２９Ｒと第２の加工電源ユニット２９Ｌとは共通の制御部８０で制御されるが、第１の加工電源ユニット２９Ｒの各スイッチングトランジスタ２９１ａ1，２９３ａ1と第２の加工電源ユニット２９Ｌの各スイッチングトランジスタ２９１ａ2，２９３ａ2は、各加工電源ユニット２９Ｒ，２９Ｌでそれぞれ独立に動作し、第１の加工ユニット１０１と第２の加工ユニット１０２とにはそれぞれ独立したタイミングで放電加工電力が供給される。第１の加工電源ユニット２９Ｒの各スイッチングトランジスタ２９１ａ1，２９３ａ1と第２の加工電源ユニット２９Ｌの各スイッチングトランジスタ２９１ａ2，２９３ａ2は互いに同期してオンオフするように動作しても良いし、互いに同期せずにオンオフの周期をずらして動作させるようにしてもよい。 As shown in FIG. 5, the first machining power supply unit 29R and the second machining power supply unit 29L are controlled by a common control unit 80, but the switching transistors 291a 1 and 293a of the first machining power supply unit 29R are controlled. The switching transistors 291a 2 and 293a 2 of the first processing power unit 29L and the second processing power supply unit 29L operate independently of the processing power supply units 29R and 29L, respectively, and the first processing unit 101 and the second processing power unit 102 include Electric discharge machining power is supplied at independent timings. The switching transistors 291a 1 , 293a 1 of the first machining power supply unit 29R and the switching transistors 291a 2 , 293a 2 of the second machining power supply unit 29L may operate so as to be turned on / off in synchronization with each other. You may make it operate | move by shifting the on-off period without synchronizing.

図６を参照しながら、第１の加工電源ユニット２９Ｒから第１の加工ユニット１０１に供給される放電加工電力について説明する。図６に示すように、放電加工電力は、放電加工を行う放電加工パルス２９７と、放電加工後に電源系統内のコンデンサ等に残留している残電荷を除去するための放電加工パルス２９７と逆電圧の残留電荷除電パルス２９８とを含む高周波パルス２９９である。この高周波パルス２９９は次のように第１の加工電源ユニット２９Ｒの各スイッチングトランジスタ２９１ａ1，２９３ａ1を動作させることによって得られる。最初、各スイッチングトランジスタ２９１ａ1，２９３ａ1はオフとなっており、第１の加工電源ユニット２９Ｒから出力はでていない。図６の時間ｔ1に、主スイッチングトランジスタ２９１ａ1がオンとなると主直流電源２９２ａ1からの電流がプラス側出力線２９５Ｒから出力され、インゴット２８と各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1との間には放電加工パルス２９７の電圧Ｖ1が印加される。そして、時間Δｔ1の間だけ主スイッチングトランジスタ２９１ａ1のオン状態を継続した後、図６の時間ｔ2に主スイッチングトランジスタ２９１ａ1をオフとする。すると、プラス側出力線２９５Ｒから出力されていた主直流電源２９２ａ1からの電流が停止し、インゴット２８と各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1との間の印加電圧はゼロとなり放電加工パルス２９７は停止する。そして、所定の時間Δｔ2の間だけ印加電圧をゼロの状態に保持した後、時間ｔ3に副スイッチングトランジスタ２９３ａ1がオンとなると副直流電源２９４ａ1からの電流がマイナス側出力線２９６Ｒから出力され、インゴット２８と各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1との間にはマイナスの電圧Ｖ2の残留電荷除電パルス２９８が印加される。そして、時間Δｔ3の間だけ副スイッチングトランジスタ２９３ａ1のオン状態を継続した後、図６の時間ｔ4に副スイッチングトランジスタ２９３ａ1をオフとする。すると、マイナス側出力線２９６Ｒから出力されていた副直流電源２９４ａ1からの電流が停止し、インゴット２８と各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1との間の印加電圧はゼロとなり残留電荷除電パルス２９８は停止する。そして残留電荷除電パルス２９８の停止後、時間Δｔ4後の時間ｔ5に再度、主スイッチングトランジスタ２９１ａ1がオンとなる。このように、主スイッチングトランジスタ２９１ａ1、副スイッチングトランジスタ２９３ａ1を交互にオンオフしてプラス側の高圧の放電加工パルス２９７とマイナス側の低圧の残留電荷除電パルス２９８とを出力する。図６に示すように高圧の放電加工パルス２９７の周期はΔｔ0であり、その周波数は数１０ｋＨｚから数１００ｋＨｚの高周波である。また、低圧の残留電荷除電パルス２９８の周波数は高圧の放電加工パルス２９７との周波数と同じ周波数である。なお、図６では、残留電荷除電パルス２９８停止の後、時間Δｔ4後の時間ｔ5に再度、主スイッチングトランジスタ２９１ａ1がオンとなることとして説明したが、残留電荷除電パルス２９８の停止直後に再度、主スイッチングトランジスタ２９１ａ1がオンとなることとしてもよい。この場合には、高圧の放電加工パルス２９７の周期はΔｔ0が短くなるのでより高い周波数の放電加工パルス２９７とでき、放電加工の速度を上げることができる。以上、第１の加工電源ユニット２９Ｒから第１の加工ユニット１０１に放電加工電力を供給する場合について説明したが、第２の加工電源ユニット２９Ｌから第２の加工ユニット１０２に供給される放電加工電力についても第１の加工電源ユニット２９Ｒから第１の加工ユニット１０１に放電加工電力を供給する場合と同様である。 The electric discharge machining power supplied from the first machining power supply unit 29R to the first machining unit 101 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 6, the electric discharge machining power includes an electric discharge machining pulse 297 for performing electric discharge machining, and an electric discharge machining pulse 297 for removing residual charges remaining in capacitors and the like in the power supply system after electric discharge machining. The high-frequency pulse 299 including the residual charge neutralizing pulse 298. The high-frequency pulse 299 is obtained by operating the switching transistors 291a 1 and 293a 1 of the first machining power supply unit 29R as follows. Initially, the switching transistors 291a 1 and 293a 1 are turned off, and no output is output from the first machining power supply unit 29R. When the main switching transistor 291a 1 is turned on at time t 1 in FIG. 6, a current from the main DC power supply 292a 1 is output from the plus side output line 295R, and between the ingot 28 and the rotary electrodes 200A 1 and 200B 1. The voltage V 1 of the electric discharge machining pulse 297 is applied. Then, after the main switching transistor 291a 1 is kept on only for the time Δt 1 , the main switching transistor 291a 1 is turned off at time t 2 in FIG. Then, the current from the main DC power supply 292a 1 output from the plus side output line 295R stops, the applied voltage between the ingot 28 and each of the rotating electrodes 200A 1 and 200B 1 becomes zero, and the electric discharge machining pulse 297 stops. To do. Then, after the applied voltage is held at zero for a predetermined time Δt 2 , the current from the sub DC power supply 294a 1 is output from the negative output line 296R when the sub switching transistor 293a 1 is turned on at time t 3. A residual charge neutralizing pulse 298 having a negative voltage V 2 is applied between the ingot 28 and each of the rotating electrodes 200A 1 and 200B 1 . Then, after the on state of the sub switching transistor 293a 1 is continued only for the time Δt 3 , the sub switching transistor 293a 1 is turned off at the time t 4 in FIG. Then, the current from the sub DC power supply 294a 1 output from the minus side output line 296R stops, the applied voltage between the ingot 28 and each of the rotating electrodes 200A 1 and 200B 1 becomes zero, and the residual charge neutralizing pulse 298 is Stop. After the residual charge neutralization pulse 298 is stopped, the main switching transistor 291a 1 is turned on again at time t 5 after time Δt 4 . In this way, the main switching transistor 291a 1 and the sub-switching transistor 293a 1 are alternately turned on and off to output the positive side high-voltage electric discharge machining pulse 297 and the negative side low-voltage residual charge neutralizing pulse 298. As shown in FIG. 6, the period of the high-pressure electric discharge machining pulse 297 is Δt 0 , and the frequency thereof is a high frequency of several tens kHz to several hundreds kHz. The frequency of the low-voltage residual charge neutralizing pulse 298 is the same as the frequency of the high-voltage electric discharge machining pulse 297. In FIG. 6, after the residual charge neutralization pulses 298 stop, again the time t 5 after time Delta] t 4, the main the switching transistor 291a 1 has been described that turned on, immediately after the stop of the residual charge neutralization pulse 298 The main switching transistor 291a 1 may be turned on again. In this case, the period of the high-pressure electric discharge machining pulse 297 can be set to a higher frequency electric discharge machining pulse 297 because Δt 0 becomes shorter, and the electric discharge machining speed can be increased. The case where the electric discharge machining power is supplied from the first machining power supply unit 29R to the first machining unit 101 has been described above, but the electric discharge machining power supplied from the second machining power supply unit 29L to the second machining unit 102 has been described. This is also the same as the case where electric discharge machining power is supplied from the first machining power supply unit 29R to the first machining unit 101.

本実施形態では、各主直流電源２９２ａ1，２９２ａ2、各副直流電源２９４ａ1，２９４ａ2は電池等の単純な直流電源として説明したが、放電加工パルス２９７の電圧Ｖ1あるいは残留電荷除電パルス２９８の電圧Ｖ2をそれぞれ供給できるものであれば、例えば、コンデンサやトランスを用いて電力を蓄えておき、この蓄えた電力を直流電力として供給するようなものとしても良い。 In the present embodiment, the main DC power source 292a 1, 292a 2, each sub DC power supply 294a 1, 294a 2 has been described as a simple DC power source such as a battery, voltages V 1 or residual charge neutralization pulse discharge machining pulse 297 As long as the voltage V 2 of 298 can be supplied, for example, power may be stored using a capacitor or a transformer, and the stored power may be supplied as DC power.

図１から図４を参照して説明したような構造を有し、図５、図６を参照して説明した放電加工用の電源２９を備えている本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置１００の動作について図７を参照しながら説明する。図７は、第１の加工ユニット１０１の回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1、第２の加工ユニット１０２の回転電極２００Ａ2，２００Ｂ2、インゴット２８と、第１の加工電源ユニット２９Ｒ、第２の加工電源ユニット２９Ｌの電気的な接続状態を模式的に表した図である。隣接する各回転電極２００Ａ1，２００Ａ2及び，各回転電極２００Ｂ1，２００Ｂ2は電気的に絶縁されており、第１の加工ユニット１０１の各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1は１つのマイナス側出力線２９６Ｒに接続され、第２の加工ユニット１０２の各回転電極２００Ａ2，２００Ｂ2も１つのマイナス側出力線２９６Ｌに接続されていることから、各加工ユニット１０１，１０２の各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1，２００Ａ2，２００Ｂ2はそれぞれ第１のワイヤ１５１の各条及び第２のワイヤ１５２の各条に対してそれぞれ共通の電極となっている。また、第１の加工ユニット１０１の回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1は第１の切断ワイヤ部分２６１の中心２６Ｃ1までの距離ＬA，ＬBが同一となるように配置されており、インゴット２８は、その中心２８Ｃと第１の切断ワイヤ部分２６１の中心２６Ｃ1を含む面内でインゴット２８の送り方向に沿って延びる中心線２８Ｄに沿って送り方向に移動していくので、各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1からインゴット２８の中心２８Ｃまでの距離も同一となっている。従って、第１の加工ユニット１０１の各切断ワイヤ部分２６１とインゴット２８との間には同一の放電加工パルス２９７、残留電荷除電パルス２９８が第１のワイヤ１５１の各条の２箇所から同時に印加されることとなる。同様に、第２の加工ユニット１０２の回転電極２００Ａ2，２００Ｂ2は第２の切断ワイヤ部分２６２の中心２６Ｃ2までの距離ＬA，ＬBが同一となるように配置されており、インゴット２８は、その中心２８Ｃと第２の切断ワイヤ部分２６２の中心２６Ｃ2を含む面内でインゴット２８の送り方向に沿って延びる中心線２８Ｄに沿って送り方向に移動していくので、各回転電極２００Ａ2，２００Ｂ2からインゴット２８の中心２８Ｃまでの距離も同一となっている。従って、第２の加工ユニット１０２の各切断ワイヤ部分２６２とインゴット２８との間には同一の放電加工パルス２９７、残留電荷除電パルス２９８が第２のワイヤ１５２の各条の２箇所から同時に印加されることとなる。 The multi-wire electric discharge machining apparatus 100 according to the present embodiment has the structure described with reference to FIGS. 1 to 4 and includes the power supply 29 for electric discharge machining described with reference to FIGS. 5 and 6. The operation will be described with reference to FIG. FIG. 7 shows the rotary electrodes 200A 1 and 200B 1 of the first machining unit 101, the rotary electrodes 200A 2 and 200B 2 of the second machining unit 102, the ingot 28, the first machining power supply unit 29R, and the second machining. It is the figure which represented typically the electrical connection state of the power supply unit 29L. The adjacent rotary electrodes 200A 1 and 200A 2 and the rotary electrodes 200B 1 and 200B 2 are electrically insulated, and each rotary electrode 200A 1 and 200B 1 of the first processing unit 101 has one negative output. Since each rotary electrode 200A 2 , 200B 2 of the second machining unit 102 is connected to one minus side output line 296L, and connected to the line 296R, each rotary electrode 200A 1 , 200B 1 , 200A 2 , and 200B 2 are respectively common electrodes for each strip of the first wire 151 and each strip of the second wire 152. Further, the rotary electrodes 200A 1 and 200B 1 of the first processing unit 101 are arranged such that the distances L A and L B to the center 26C 1 of the first cutting wire portion 261 are the same, and the ingot 28 is In the plane including the center 28C and the center 26C 1 of the first cutting wire portion 261, the rotary electrode 200A 1 moves in the feed direction along the center line 28D extending along the feed direction of the ingot 28. , 200B 1 to the center 28C of the ingot 28 are also the same. Therefore, the same electric discharge machining pulse 297 and residual charge neutralizing pulse 298 are simultaneously applied from the two portions of each strip of the first wire 151 between the cutting wire portions 261 and the ingot 28 of the first machining unit 101. The Rukoto. Similarly, the rotary electrodes 200A 2 and 200B 2 of the second processing unit 102 are arranged such that the distances L A and L B to the center 26C 2 of the second cutting wire portion 262 are the same, and the ingot 28 Moves in the feed direction along a center line 28D extending along the feed direction of the ingot 28 within a plane including the center 28C and the center 26C 2 of the second cutting wire portion 262. 2 , 200B 2 to the center 28C of the ingot 28 are also the same. Therefore, the same electric discharge machining pulse 297 and residual charge neutralizing pulse 298 are simultaneously applied from the two portions of the second wire 152 between the cutting wire portions 262 and the ingot 28 of the second machining unit 102. The Rukoto.

図７に示すように、第１の加工電源ユニット２９Ｒから放電加工パルス２９７がインゴット２８に入力されると回転電極２００Ａ1と回転電極２００Ｂ1を通して第１の切断ワイヤ部分２６１とインゴット２８との間に同一の放電加工パルス２９７が印加される。回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1は電気抵抗あるいはインピーダンスが低くなるように構成されているので、このような高周波の放電加工パルス２９７が印加された場合でも、その電圧を低下させずに第１の切断ワイヤ部分２６１とインゴット２８との間に放電加工パルス２９７が印加される。１つの放電加工パルス２９７が印加された際、放電は第１の切断ワイヤ部分２６１の中で、点ａと点ａ´、点ｂと点ｂ´、点ｃと点ｃ´、点ｄと点ｄ´、点ｅと点ｅ´の間で示されるインゴット２８の中に入り込んでいる部分と、インゴット２８との間の距離が最も近くなる部分で１回だけ発生する。例えば、放電加工パルス２９７が入力された際に第１の切断ワイヤ部分２６１ａの点ａ側とインゴット２８との距離が他の第１の切断ワイヤ部分２６１ｂから２６１ｅよりも短い場合には、放電は第１の切断ワイヤ部分２６１ａとインゴット２８との間でのみ発生し、他の第１の切断ワイヤ部分２６１ｂから２６１ｅとインゴット２８との間では放電は発生しない。この場合、電流はインゴット２８から第１の切断ワイヤ部分２６１ａに流れ、点ａに近い側に配置されている回転電極２００Ａ1に流れる。この放電によって点ａの近傍が削られると、第１の切断ワイヤ部分２６１ａとインゴット２８との距離が他の部分よりも大きくなるので、次の放電加工パルス２９７が印加された際には点ａの近くではないところ、例えば、他の第１の切断ワイヤ部分２６１ｂの点ｂ近傍で放電が発生する。このように第１の加工ユニット１０１では１つの放電加工パルス２９７によって電圧が印加される都度１回だけ放電が発生し、その放電は第１の切断ワイヤ部分２６１ａ〜２６１ｅとインゴット２８との距離が一番近くなっている部分でランダムに発生するので、第１の切断ワイヤ部分２６１はインゴット２８を送り方向に均等に切断していくことができる。 As shown in FIG. 7, between the first machining power supply unit and rotation EDM pulse 297 from 29R is inputted into an ingot 28 electrodes 200A 1 and the rotary electrode 200B 1 through the first cutting wire part 261 and the ingot 28 The same electric discharge machining pulse 297 is applied to. Since the rotary electrodes 200A 1 and 200B 1 are configured to have low electrical resistance or impedance, even when such a high-frequency electric discharge machining pulse 297 is applied, the first cutting is performed without reducing the voltage. An electric discharge machining pulse 297 is applied between the wire portion 261 and the ingot 28. When one electric discharge machining pulse 297 is applied, the electric discharge is generated in the first cutting wire portion 261 at points a and a ′, points b and b ′, points c and c ′, points d and points. It occurs only once at the portion where the distance between the ingot 28 and the portion in the ingot 28 shown between d ′ and the point e and the point e ′ is closest to the ingot 28. For example, if the distance between the point a side of the first cutting wire portion 261a and the ingot 28 is shorter than the other first cutting wire portions 261b to 261e when the electric discharge machining pulse 297 is input, the electric discharge is It occurs only between the first cutting wire portion 261 a and the ingot 28, and no discharge occurs between the other first cutting wire portions 261 b to 261 e and the ingot 28. In this case, current flows from the ingot 28 in the first cutting wire portion 261a, flows into the rotary electrode 200A 1 which is disposed closer to the point a. When the vicinity of the point a is cut by this electric discharge, the distance between the first cutting wire portion 261a and the ingot 28 becomes larger than the other portions. Therefore, when the next electric discharge machining pulse 297 is applied, the point a For example, a discharge is generated in the vicinity of the point b of the other first cutting wire portion 261b. As described above, in the first machining unit 101, a discharge is generated only once each time a voltage is applied by one electric discharge machining pulse 297, and the discharge is caused by the distance between the first cutting wire portions 261 a to 261 e and the ingot 28. Since it occurs randomly at the closest portion, the first cutting wire portion 261 can evenly cut the ingot 28 in the feed direction.

また、同様に、第２の加工電源ユニット２９Ｌから放電加工パルス２９７がインゴット２８に入力されると回転電極２００Ａ2と回転電極２００Ｂ2を通して第２の切断ワイヤ部分２６２とインゴット２８との間に同一の放電加工パルス２９７が印加される。回転電極２００Ａ2，２００Ｂ2は電気抵抗あるいはインピーダンスが低くなるように構成されているので、このような高周波の放電加工パルス２９７が印加された場合でも、その電圧を低下させずに第２の切断ワイヤ部分２６２とインゴット２８との間に放電加工パルス２９７が印加される。１つの放電加工パルス２９７が印加された際、放電は第２の切断ワイヤ部分２６２の中で、点ｆと点ｆ´、点ｇと点ｇ´、点ｈと点ｈ´、点ｉと点ｉ´、点ｊと点ｊ´の間で示されるインゴット２８の中に入り込んでいる部分と、インゴット２８との間の距離が最も近くなる部分で１回だけ発生する。例えば、放電加工パルス２９７が入力された際に第２の切断ワイヤ部分２６２ｆの点ｆ側とインゴット２８との距離が他の第２の切断ワイヤ部分２６２ｇから２６２ｊよりも短い場合には、放電は第２の切断ワイヤ部分２６２ｆとインゴット２８との間でのみ発生し、他の第２の切断ワイヤ部分２６２ｇから２６２ｊとインゴット２８との間では放電は発生しない。この場合、電流はインゴット２８から第２の切断ワイヤ部分２６２ｆに流れ、点ｆに近い側に配置されている回転電極２００Ａ2に流れる。この放電によって点ｆの近傍が削られると、第２の切断ワイヤ部分２６２ｆとインゴット２８との距離が他の部分よりも大きくなるので、次の放電加工パルス２９７が印加された際には点ｆの近くではないところ、例えば、他の第２の切断ワイヤ部分２６２ｈの点ｇ近傍で放電が発生する。このように第２の加工ユニット１０２では１つの放電加工パルス２９７によって電圧が印加される都度１回だけ放電が発生し、その放電は第２の切断ワイヤ部分２６２ｆ〜２６２ｊとインゴット２８との距離が一番近くなっている部分でランダムに発生するので、第２の切断ワイヤ部分２６２はインゴット２８を送り方向に均等に切断していくことができる。 Similarly, the same between the second machining power unit rotation EDM pulse 297 from 29L is input to the ingot 28 electrodes 200A 2 and the rotary electrode 200B 2 through a second cutting wire part 262 and the ingot 28 The electric discharge machining pulse 297 is applied. Since the rotating electrodes 200A 2 and 200B 2 are configured to have low electrical resistance or impedance, even when such a high-frequency electric discharge machining pulse 297 is applied, the second cutting is performed without reducing the voltage. An electric discharge machining pulse 297 is applied between the wire portion 262 and the ingot 28. When one electric discharge machining pulse 297 is applied, the electric discharge is generated in the second cutting wire portion 262 at points f and f ′, points g and g ′, points h and h ′, points i and points. This occurs only once at the part where the distance between the ingot 28 and the part in the ingot 28 shown between i ′ and the point j and the point j ′ is the closest. For example, when the distance between the point f side of the second cutting wire portion 262f and the ingot 28 is shorter than the other second cutting wire portions 262g to 262j when the electric discharge machining pulse 297 is input, the electric discharge is It occurs only between the second cutting wire portion 262f and the ingot 28, and no discharge occurs between the other second cutting wire portions 262g to 262j and the ingot 28. In this case, current flows from the ingot 28 to a second cutting wire portion 262f, through the rotary electrode 200A 2 disposed closer to the point f. When the vicinity of the point f is cut by this electric discharge, the distance between the second cutting wire portion 262f and the ingot 28 becomes larger than the other portions, so that when the next electric discharge machining pulse 297 is applied, the point f For example, a discharge is generated in the vicinity of the point g of the other second cutting wire portion 262h. In this way, in the second machining unit 102, a discharge is generated only once each time a voltage is applied by one electric discharge machining pulse 297, and the discharge is caused by the distance between the second cutting wire portions 262f to 262j and the ingot 28. Since it occurs randomly at the closest portion, the second cutting wire portion 262 can cut the ingot 28 evenly in the feed direction.

第１の加工電源ユニット２９Ｒと第２の加工電源ユニット２９Ｌとはそれぞれ独立して放電加工電力を第１、第２の加工ユニットの回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1，２００Ａ2，２００Ｂ2に供給するので、インゴット２８は第１の加工ユニット１０１の第１の切断ワイヤ部分２６１及び第２の加工ユニット１０２の第２の切断ワイヤ部分２６２において略同様に切り込まれていく。そして、第１の加工ユニット１０１の第１の切断ワイヤ部分２６１と第２の加工ユニット１０２の第２の切断ワイヤ部分２６２のそれぞれでインゴット２８が切断され、切断が終了すると各加工ユニット１０１，１０２においてそれぞれ複数枚のシリコンカーバイド（炭化ケイ素）の薄板を製造することができる。 The first machining power supply unit 29R and the second machining power supply unit 29L independently supply electric discharge machining power to the rotating electrodes 200A 1 , 200B 1 , 200A 2 , 200B 2 of the first and second machining units. Therefore, the ingot 28 is cut in substantially the same manner in the first cutting wire portion 261 of the first processing unit 101 and the second cutting wire portion 262 of the second processing unit 102. Then, the ingot 28 is cut at each of the first cutting wire portion 261 of the first processing unit 101 and the second cutting wire portion 262 of the second processing unit 102, and when the cutting is finished, each processing unit 101, 102 is finished. A plurality of silicon carbide (silicon carbide) thin plates can be manufactured.

以上説明したように、本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置１００は、電極を回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1，２００Ａ2，２００Ｂ2とすると共に、各給電端子２２０Ａ1，２２０Ａ2から各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1，２００Ａ2，２００Ｂ2の電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1，２０１Ａ2，２０１Ｂ2までの電気抵抗あるいはインピーダンスを少なくして高周波パルス２９９を印加してもその電圧を低下させずに各切断ワイヤ部分２６１，２６２とインゴット２８との間に印加することができるので、加工速度の低下を抑制するとともに長時間の加工を安定して行うことができるという効果を奏する。また、各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1，２０１Ａ2，２０１Ｂ2と各ワイヤ１５１，１５２との間に滑りがないので各ワイヤ１５１，１５２と各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1，２０１Ａ2，２０１Ｂ2との間に瞬間的に隙間ができて各ワイヤ１５１，１５２と各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1，２０１Ａ2，２０１Ｂ2との間で放電が発生することが抑制され、各電極部材２０１Ａ1，２０１Ｂ1，２０１Ａ2，２０１Ｂ2が削られてしまうことが抑制されると共に、各ワイヤ１５１，１５２の張力コントロールを容易に行うことができるという効果を奏する。 As described above, the multi-wire electric discharge machining apparatus 100 according to the present embodiment uses the rotating electrodes 200A 1 , 200B 1 , 200A 2 , and 200B 2 as the electrodes, and the rotating electrodes 200A from the power supply terminals 220A 1 and 220A 2. 1 , 200 B 1 , 200 A 2 , 200 B 2 electrode members 201 A 1 , 201 B 1 , 201 A 2 , 201 B 2, even if a high-frequency pulse 299 is applied by reducing the electrical resistance or impedance, each voltage is not lowered. Since it can be applied between the cutting wire portions 261 and 262 and the ingot 28, it is possible to suppress a decrease in the processing speed and to stably perform long-time processing. Each electrode member 201A 1, 201B 1, 201A 2 , 201B 2 and since there is no slippage between the wire 151 and 152 each electrode member 201A 1 between each wire 151,152, 201B 1, 201A 2, 201B 2 Between the wires 151, 152 and the electrode members 201A 1 , 201B 1 , 201A 2 , 201B 2 is suppressed, and the electrode members 201A 1 , It is possible to suppress the cutting of 201B 1 , 201A 2 , and 201B 2 and to easily control the tension of the wires 151 and 152.

また、本実施形態では、第１の加工ユニット１０１と第２の加工ユニット１０２とを備え、加工ユニット１０１，１０２にそれぞれ独立して放電加工電力を供給する第１、第２の加工電源ユニット２９Ｒ，２９Ｌを備えていることから、第１の加工ユニット１０１、第２の加工ユニット１０２で同時にインゴット２８の切断を行うことができ、短時間に多くの枚数のシリコンカーバイド（炭化ケイ素）の薄板を製造することができる。また、長いインゴット２８の加工を行うことができるので、薄板製造の歩留まりを向上させることができる。本実施形態では、各加工ユニット１０１，１０２の各ワイヤ１５１，１５２の巻き掛け回数が５回、条数が５条、各切断ワイヤ部分２６１，２６２が５本として説明したが、本発明は各加工ユニット１０１，１０２のガイドローラ、回転電極の回転軸方向長さを増やしてそれぞれの加工ユニット１０１，１０２の各ワイヤ１５１，１５２の巻き掛け回数が数１０回、条数が数１０条、各切断ワイヤ部分２６１，２６２が数１０本の以上のマルチワイヤ放電加工装置にも適用でき、特に、このような多くの巻き掛け回数のマルチワイヤ放電加工装置に適用されるとその効果が更に顕著となる。   In the present embodiment, the first and second machining power supply units 29 </ b> R are provided that include the first machining unit 101 and the second machining unit 102 and supply the electric discharge machining power independently to the machining units 101 and 102. 29L, the ingot 28 can be simultaneously cut by the first processing unit 101 and the second processing unit 102, and a large number of silicon carbide (silicon carbide) thin plates can be formed in a short time. Can be manufactured. In addition, since the long ingot 28 can be processed, the yield of thin plate manufacturing can be improved. In the present embodiment, the number of windings of the wires 151 and 152 of each processing unit 101 and 102 has been described as five, the number of strips is five, and each of the cutting wire portions 261 and 262 is five. The guide roller of the processing units 101 and 102 and the length of the rotating electrode in the rotation axis direction are increased, and the number of windings of the wires 151 and 152 of each processing unit 101 and 102 is several tens of times, the number of strips is several tens, The cutting wire portions 261 and 262 can be applied to more than several tens of multi-wire electric discharge machining apparatuses, and in particular, when applied to such a multi-wire electric discharge machining apparatus having a large number of windings, the effect becomes more remarkable. Become.

図８、図９を参照しながら、本発明の他の実施形態について説明する。図１から図７を参照して説明した実施形態と同様の部分には同様の符号を付けて説明は省略する。図８に示すように、本実施形態では、第１、第２、第３の３つの加工ユニット１０１，１０２，１０３を備えており、各加工ユニット１０１，１０２，１０３はそれぞれ回転電極２００Ａ1，２００Ａ2，２００Ａ3と各回転電極２００Ａ1，２００Ａ2，２００Ａ3に対向するように配置された共通のアイドルローラ３００Ａとを含んでいる。各加工ユニット１０１，１０２，１０３は、それぞれ図１を参照して説明した、各ワイヤ１５１，１５２，１５３を送る送り出しボビン１０Ａ、巻き取りボビン１０Ｂ、プーリ１１Ａ〜１１Ｉ、ダンサロール１２、速度プーリ１６、第１のワイヤ張力センサ１３Ａ、第２のワイヤ張力センサ１３Ｂ、トルクモータ２５Ｄ、クランプユニット１９、クランプローラ１９ａ、張力プーリ１８、位置決めモータ２５Ｇ、ワイヤ整列ユニット２１を備えている。また、各加工ユニット１０１，１０２，１０３は、各ワイヤ１５１，１５２，１５３が複数回巻き掛けられて複数の各切断ワイヤ部分２６１，２６２，２６３を構成する複数のガイドローラ２４Ａ1〜２４Ｆ1，２４Ａ2〜２４Ｆ2，２４Ａ3〜２４Ｆ3を含む各ガイドローラ組と、を備えている。図８においては、これらの部品は図示を省略している。図８に示す実施形態では、各加工ユニット１０１，１０２，１０３の各ワイヤ１５１，１５２，１５３は３回ずつ各ガイドローラ組に巻きかけられて、各ワイヤ１５１，１５２，１５３は３条の構成となっている。 Another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. Parts similar to those of the embodiment described with reference to FIG. 1 to FIG. As shown in FIG. 8, in the present embodiment, the first, second, and third processing units 101, 102, and 103 are provided, and each processing unit 101, 102, and 103 has a rotary electrode 200A 1 , respectively. 200A 2 , 200A 3 and a common idle roller 300A arranged so as to face each of the rotating electrodes 200A 1 , 200A 2 , 200A 3 . Each processing unit 101, 102, 103 is described with reference to FIG. 1, and the delivery bobbin 10 </ b> A, the take-up bobbin 10 </ b> B, the pulleys 11 </ b> A to 11 </ b> I, the dancer roll 12, and the speed pulley 16 described with reference to FIG. , A first wire tension sensor 13A, a second wire tension sensor 13B, a torque motor 25D, a clamp unit 19, a clamp roller 19a, a tension pulley 18, a positioning motor 25G, and a wire alignment unit 21. In addition, each processing unit 101, 102, 103 includes a plurality of guide rollers 24A 1 to 24F 1 , each of which constitutes a plurality of cutting wire portions 261, 262, 263 by winding the wires 151, 152, 153 a plurality of times. Each guide roller set including 24A 2 to 24F 2 and 24A 3 to 24F 3 . In FIG. 8, these components are not shown. In the embodiment shown in FIG. 8, each wire 151, 152, 153 of each processing unit 101, 102, 103 is wound around each guide roller set three times, and each wire 151, 152, 153 has a three-row configuration. It has become.

図８、図９に示すように、回転電極２００Ａ1，２００Ａ2，２００Ａ3は共通の絶縁シャフト２７５の外周に円筒形の電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2，２０１Ａ3が嵌め込まれている。各電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2，２０１Ａ3は互いに離間しており、電気的に絶縁されている。絶縁シャフト２７５は２つのボールベアリング２７６によって基盤２５０Ａに回転自在に取り付けられている。基盤２５０Ａに取り付けられた共通の絶縁シャフト２７３には各電極アーム２７０Ａ1，２７０Ａ2，２７０Ａ3が回転自在に取り付けられ、各電極アーム２７０Ａ1，２７０Ａ2，２７０Ａ3の先端側にはローラ形状の接続電極２７１Ａ1，２７１Ａ2，２７１Ａ3が回転自在に取り付けられている。各電極アーム２７０Ａ1，２７０Ａ2，２７０Ａ3はそれぞれ図示しないスプリングによって先端の各接続電極２７１Ａ1，２７１Ａ2，２７１Ａ3が各電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2，２０１Ａ3に押し付けられるように付勢されている。そして、各電極アーム２７０Ａ1，２７０Ａ2，２７０Ａ3は図示しない第１、第２、第３の加工電源ユニット２９Ｒ，２９Ｃ，２９Ｌの各回転電極接続線２９６Ｂ1，２９６Ｂ2，２９６Ｂ3に接続され、各加工電源ユニット２９Ｒ，２９Ｃ，２９Ｌからの放電加工電力は各電極アーム２７０Ａ1，２７０Ａ2，２７０Ａ3から各接続電極２７１Ａ1，２７１Ａ2，２７１Ａ3を介して電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2，２０１Ａ3に供給される。各電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2，２０１Ａ3、各接続電極２７１Ａ1，２７１Ａ2，２７１Ａ3は電気伝導度の高い銅等の材料で構成されている。 As shown in FIGS. 8 and 9, the rotating electrodes 200 </ b > A 1 , 200 </ b > A 2 , 200 </ b > A 3 have cylindrical electrode members 201 </ b > A 1 , 201 </ b > A 2 , 201 </ b > A 3 fitted on the outer periphery of a common insulating shaft 275. The electrode members 201A 1 , 201A 2 , 201A 3 are separated from each other and are electrically insulated. The insulating shaft 275 is rotatably attached to the base 250A by two ball bearings 276. Each electrode arm 270A 1 , 270A 2 , 270A 3 is rotatably attached to a common insulating shaft 273 attached to the base 250A, and a roller shape is formed on the tip side of each electrode arm 270A 1 , 270A 2 , 270A 3 . Connection electrodes 271A 1 , 271A 2 , and 271A 3 are rotatably attached. Each electrode arm 270A 1 , 270A 2 , 270A 3 is urged by a spring (not shown) so that the connection electrodes 271A 1 , 271A 2 , 271A 3 at the tip are pressed against the electrode members 201A 1 , 201A 2 , 201A 3. ing. The electrode arms 270A 1 , 270A 2 , and 270A 3 are connected to the rotary electrode connection lines 296B 1 , 296B 2 , and 296B 3 of the first, second, and third machining power supply units 29R, 29C, and 29L (not shown). each machining power source unit 29R, 29C, discharge machining power each electrode arm 270A 1 from 29L, 270A 2, 270A 3 each connection from the electrode 271A 1, 271A 2, the electrode member 201A 1 through 271A 3, 201A 2, It is supplied to the 201A 3. Each electrode member 201A 1 , 201A 2 , 201A 3 and each connection electrode 271A 1 , 271A 2 , 271A 3 are made of a material such as copper having high electrical conductivity.

図８に示すように、共通のアイドルローラ３００Ａはフッ素系材料、ナイロン系材料、セラミックス等耐磨耗性が高くかつ絶縁性材料で構成され、回転軸３０１Ａの周りに回転自在に取り付けられている。また、アイドルローラ３００Ａの外周面には、図４を参照して説明したような各ワイヤ１５１，１５２，１５３が巻き掛けられるＶ字型の溝が設けられている。各ワイヤ１５１，１５２，１５３の各条は、各電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2，２０１Ａ3とアイドルローラ３００Ａの外周面との間に挟まれて各電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2，２０１Ａ3に押し付けられ、各電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2，２０１Ａ3から放電加工電力が各ワイヤ１５１，１５２，１５３に供給されるよう構成されている。 As shown in FIG. 8, the common idle roller 300A is made of a highly wear-resistant and insulating material such as a fluorine-based material, a nylon-based material, or ceramics, and is rotatably attached around the rotating shaft 301A. . Further, a V-shaped groove around which the wires 151, 152, and 153 are wound is provided on the outer peripheral surface of the idle roller 300A as described with reference to FIG. Each wire 151, 152, 153 is sandwiched between each electrode member 201A 1 , 201A 2 , 201A 3 and the outer peripheral surface of the idle roller 300A and pressed against each electrode member 201A 1 , 201A 2 , 201A 3 The electric discharge machining power is supplied from the electrode members 201A 1 , 201A 2 , 201A 3 to the wires 151, 152, 153.

本実施形態も各回転電極２００Ａ1，２００Ａ2，２００Ａ3が各ワイヤ１５１，１５２，１５３との相対速度がほとんどない状態で各ワイヤ１５１，１５２，１５３に給電することができるので、各ワイヤ１５１，１５２，１５３と電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2，２０１Ａ3との間にすべりがなく各電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2，２０１Ａ3の磨耗を抑制できるとともに、アイドルローラ３００Ａによって各ワイヤ１５１，１５２，１５３を電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2，２０１Ａ3との間に挟みこんでいるので各ワイヤ１５１，１５２，１５３と各電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2，２０１Ａ3との間に瞬間的に隙間ができて各ワイヤ１５１，１５２，１５３と各電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2，２０１Ａ3との間で放電が発生することが抑制され、長時間の加工を安定して行うことができる。 Also in this embodiment, each of the rotating electrodes 200A 1 , 200A 2 , 200A 3 can supply power to each of the wires 151, 152, 153 in a state where there is almost no relative speed to each of the wires 151, 152, 153. , 152, 153 and the electrode members 201A 1 , 201A 2 , 201A 3 are not slipped, and the wear of the electrode members 201A 1 , 201A 2 , 201A 3 can be suppressed, and the wires 151, 152, can instantaneously gap between because it sandwiched between a 153 and electrode member 201A 1, 201A 2, 201A 3 and each wire 151, 152, 153 and the respective electrode members 201A 1, 201A 2, 201A 3 each wire 151, 152, 153 and the respective electrode members 201A Te 1, 201A 2, discharge is issued with the 201A 3 It is suppressed that can be performed stably for a long time processing.

また、各電極部材２０１Ａ1，２０１Ａ2，２０１Ａ3の外周面にも、図４（ｂ）または図４（ｃ）を参照して説明したような各ワイヤ１５１，１５２，１５３が巻き掛けられるＶ字型の溝２０６Ａ1，２０６Ａ2，２０６Ａ3或いは、半円形の溝２０７Ａ1，２０７Ａ2，２０７Ａ3を設けるようにしてもよい。 Further, the wires 151, 152, 153 as described with reference to FIG. 4B or 4C are wound around the outer peripheral surfaces of the electrode members 201A 1 , 201A 2 , 201A 3 . Character-shaped grooves 206A 1 , 206A 2 , 206A 3 or semicircular grooves 207A 1 , 207A 2 , 207A 3 may be provided.

図１０から図１２を参照して本発明の他の実施形態について説明する。図１から図７を参照して説明した部分と同様の部分には同様の符号を付して説明は省略する。図１０に示すように、本実施形態は４つの加工ユニット１０１，１０２，１０３，１０４を備え、各切断ワイヤ部分２６１〜２６４にそれぞれ放電加工用電力を給電するそれぞれ回転電極１２００Ａ1，１２００Ａ2，１２００Ａ3，１２００Ａ4を備えている。各回転電極１２００Ａ1，１２００Ａ2，１２００Ａ3，１２００Ａ4は、絶縁部材で構成された共通のガイドローラ２４Ａと２４Ｂとの間に設けられ、それぞれ複数の切断ワイヤ部分２６ａから２６ｈに給電する複数の電極部材１２０９ｂ，１２０９ａ，１２１５ｂ，１２１５ａを備えている。各電極部材１２０９ｂ，１２０９ａ，１２１５ｂ，１２１５ａは回転可能な円筒形であり、その外面には各切断ワイヤ部分２６ａ〜２６ｈに延びる各ワイヤ１５１〜１５４が巻き掛けられている。本実施形態では、８本の切断ワイヤ部分２６ａ〜２６ｈは隣接する２本ずつが各加工ユニット１０１〜１０４の各切断ワイヤ部分２６１〜２６４となっている。図１０の一番右側から２条の切断ワイヤ部分２６ａ，２６ｂは第１の加工ユニット１０１の第１の切断ワイヤ部分２６１であり、図１０の一番右側から３，４条目の切断ワイヤ部分２６ｃ，２６ｄは第２の加工ユニット１０２の第２の切断ワイヤ部分２６２であり、図１０の一番右側から５，６条目の切断ワイヤ部分２６ｅ，２６ｆは第３の加工ユニット１０３の第３の切断ワイヤ部分２６３であり、図１０の一番右側から７，８条目の切断ワイヤ部分２６ｇ，２６ｈは第４の加工ユニット１０４の第４の切断ワイヤ部分２６４である。第１の切断ワイヤ部分２６１に伸びる第１のワイヤ１５１は共通のガイドローラ２４Ａと２４Ｂと、軸１２０２ｂの周りに回転する電極部材１２０９ｂに巻き掛けられており、第２の切断ワイヤ部分２６２に伸びる第２のワイヤ１５２はガイドローラ２４Ａと２４Ｂと、電極部材１２０９ｂと各ワイヤ１５１〜１５２の送り方向に向かってずれ、軸１２０２ａの周りに回転する電極部材１２０９ａに巻き掛けられており、第３の切断ワイヤ部分２６３に伸びるワイヤ１５３はガイドローラ２４Ａと２４Ｂと、電極部材１２０９ｂと同じ軸１２０２ｂの周りに回転する電極部材１２１５ｂに巻き掛けられており、第４の切断ワイヤ部分２６４に伸びるワイヤ１５４はガイドローラ２４Ａと２４Ｂと、電極部材１２０９ａと同じ軸１２０２ａの周りに回転する電極部材１２１５ａに巻き掛けられている。このように、それぞれ２条ずつの各切断ワイヤ部分２６１〜２６４は、それぞれワイヤ１５１〜１５４の長手方向に対して交互に位置をずらして配置された電極部材１２０９ｂ，１２０９ａ，１２１５ｂ，１２１５ａに巻き掛けられている。 Another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The same parts as those described with reference to FIGS. 1 to 7 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. As shown in FIG. 10, the present embodiment includes four machining units 101, 102, 103, and 104, and each of the rotating electrodes 1200 </ b> A 1 , 1200 </ b> A 2 , which supplies electric power for electric discharge machining to each of the cutting wire portions 261 to 264, respectively. 1200A 3 and 1200A 4 are provided. Each of the rotating electrodes 1200A 1 , 1200A 2 , 1200A 3 , and 1200A 4 is provided between a common guide roller 24A and 24B formed of an insulating member, and each of the rotating electrodes 1200A 1 , 1200A 2 , 1200A 3 , and 1200A 4 feeds a plurality of cutting wire portions 26a to 26h. Electrode members 1209b, 1209a, 1215b, and 1215a are provided. Each electrode member 1209b, 1209a, 1215b, 1215a has a rotatable cylindrical shape, and each wire 151-154 extending to each cutting wire portion 26a-26h is wound around its outer surface. In the present embodiment, two adjacent cutting wire portions 26a to 26h are the cutting wire portions 261 to 264 of the processing units 101 to 104, respectively. 10 are the first cutting wire portions 261 of the first processing unit 101, and the third and fourth cutting wire portions 26c from the rightmost side of FIG. 26d is the second cutting wire portion 262 of the second processing unit 102, and the fifth and sixth cutting wire portions 26e, 26f from the rightmost side of FIG. The seventh and eighth cut wire portions 26g and 26h from the rightmost side in FIG. 10 are the fourth cut wire portions 264 of the fourth processing unit 104. The first wire 151 extending to the first cutting wire portion 261 is wound around the common guide rollers 24A and 24B and the electrode member 1209b rotating around the shaft 1202b, and extends to the second cutting wire portion 262. The second wire 152 is wound around the electrode member 1209a rotating around the shaft 1202a, shifted in the feed direction of the guide rollers 24A and 24B, the electrode member 1209b, and each of the wires 151 to 152. The wire 153 extending to the cutting wire portion 263 is wound around the guide rollers 24A and 24B and the electrode member 1215b rotating around the same axis 1202b as the electrode member 1209b, and the wire 154 extending to the fourth cutting wire portion 264 is Guide rollers 24A and 24B and the circumference of the same shaft 1202a as the electrode member 1209a It is wound on the electrode member 1215a to rotate. As described above, the two cut wire portions 261 to 264 are wound around the electrode members 1209 b, 1209 a, 1215 b, and 1215 a that are alternately displaced with respect to the longitudinal direction of the wires 151 to 154, respectively. It has been.

図１１に示すように、軸１２０２ｂの周りに回転する電極部材１２０９ｂ，１２１５ｂに巻き掛けられている第１、第３の切断ワイヤ部分２６１，２６３は、軸１２０２ａの周りに回転する電極部材１２０９ａ，１２１５ａの間を通って各電極部材１２０９ｂ，１２１５ｂの外面に接触した後、ガイドローラ２４Ｂに巻きかけられる。また、逆に軸１２０２ａの周りに回転する電極部材１２０９ａ，１２１５ａに巻き掛けられている第２、第４の切断ワイヤ部分２６２，２６４は、ガイドローラ２４Ａから各電極部材１２０９ａ，１２１５ａの外面に巻き掛けられた後、軸１２０２ｂの周りに回転する電極部材１２０９ｂ，１２１５ｂの間を通ってガイドローラ２４Ｂに巻きかけられる。   As shown in FIG. 11, the first and third cutting wire portions 261 and 263 wound around the electrode members 1209b and 1215b rotating around the shaft 1202b are connected to the electrode members 1209a and 1209a rotating around the shaft 1202a. After contacting between the outer surfaces of the electrode members 1209b and 1215b through 1215a, they are wound around the guide roller 24B. Conversely, the second and fourth cutting wire portions 262 and 264 wound around the electrode members 1209a and 1215a rotating around the shaft 1202a are wound around the outer surfaces of the electrode members 1209a and 1215a from the guide roller 24A. After being hung, it is wound around the guide roller 24B through between the electrode members 1209b and 1215b rotating around the shaft 1202b.

図１０に示す各電極部材１２０９ｂ，１２０９ａ，１２１５ｂ，１２１５ａの各給電板１２０５ｂ，１２０５ａ，１２１１ｂ，１２１１ａは、それぞれ図示しない第１〜第４の加工電源ユニット２９Ｒ、２９Ｃ１，２９Ｃ２，２９Ｌのマイナス側あるいはグランド側と接続され、各電極部材１２０９ｂ，１２０９ａ，１２１５ｂ，１２１５ａは各ワイヤ１５１〜１５４の送りに従って回転し、各加工電源ユニット２９Ｒ、２９Ｃ１，２９Ｃ２，２９Ｌからの放電加工用電力を各加工ユニット１０１〜１０４の各切断ワイヤ部分２６１〜２６４にそれぞれ供給する。   The power supply plates 1205b, 1205a, 1211b, and 1211a of the electrode members 1209b, 1209a, 1215b, and 1215a shown in FIG. Connected to the ground side, each electrode member 1209b, 1209a, 1215b, 1215a rotates according to the feed of each wire 151-154, and the electric power for electric discharge machining from each machining power unit 29R, 29C1, 29C2, 29L is sent to each machining unit 101. ˜104 are supplied to the cutting wire portions 261 to 264, respectively.

図１２に示すように、軸１２０２ａは中心軸１２２０ａを持つ円柱で、基盤２５０Ａと反対の先端側に直径の細くなっている段部が設けられており、段部の外周には絶縁材で構成された絶縁スリーブ１２０３ａが軸１２０２ａに嵌め込み固定されている。絶縁スリーブ１２０３ａの外側の基盤２５０Ａ側には軸１２０２ａの段部と板状の給電板１２０５ａとの間を絶縁するための絶縁カラー１２０４ａが嵌めこみ固定されている。絶縁カラー１２０４ａの軸１２０２ａ先端側には導電性の導電カラー１２０６ａが嵌め込み固定されている。導電カラー１２０６ａの外周には溝が設けてあり、その溝に板状の給電板１２０５ａの内径側がはまり込み、給電板１２０５ａが導電カラー１２０６ａに固定されている。導電カラー１２０６ａの軸１２０２ａの先端側には導電性軸受けであるボールベアリング１２０７が嵌め込み固定されている。ボールベアリング１２０７は内輪１２０７ａと、外輪１２０８ａと、内輪１２０７ａと外輪１２０８ａとの間に接触するように設けられたボール１２１８ａとを含んでいる。内輪１２０７ａ，外輪１２０８ａ、ボール１２１８ａはすべて金属製であり、内輪１２０７ａと外輪１２０８ａとの間の空間には導電性のグリスが注入されている。このため、内輪１２０７ａと外輪１２０８ａとは電気的に接続された状態となっている。内輪１２０７ａの基盤２５０Ａ側の端面は、導電カラー１２０６ａの軸１２０２ａの先端側端面と接触しており、給電板１２０５ａと外輪１２０８ａとは電気的に接続された状態となっている。そして、外輪１２０８ａの外周側には円筒状の電極部材１２０９ａが嵌め込み固定され、電極部材１２０９ａは外輪１２０８ａと共に軸１２０２ａの周りに回転するよう構成されている。電極部材１２０９ａは銅、あるいはステンレス等の金属製であり外輪１２０８ａと電気的に接続される。電極部材１２０９ａの外周側には第２のワイヤ１５２が巻き掛けられる２本の半円断面の溝１２１７ａが設けられており、給電板１２０５ａから供給された高周波のパルス電流は、給電板１２０５ａから導電カラー１２０６ａ、ボールベアリング１２０７の内輪１２０７ａ、ボール１２１８ａ、外輪１２０８ａ、回転している電極部材１２０９ａの外面の溝１２１７ａに接触している第２のワイヤ１５２に流れ、第２の切断ワイヤ部分２６２（２６ｃ，２６ｄ）に給電される。   As shown in FIG. 12, the shaft 1202a is a cylinder having a central axis 1220a, and a step portion having a small diameter is provided on the tip side opposite to the base 250A, and the outer periphery of the step portion is made of an insulating material. The insulated sleeve 1203a is fitted and fixed to the shaft 1202a. An insulating collar 1204a for insulating between the stepped portion of the shaft 1202a and the plate-like power feeding plate 1205a is fitted and fixed to the base 250A side outside the insulating sleeve 1203a. A conductive conductive collar 1206a is fitted and fixed to the distal end side of the shaft 1202a of the insulating collar 1204a. A groove is provided on the outer periphery of the conductive collar 1206a, and the inner diameter side of the plate-shaped power supply plate 1205a is fitted into the groove, and the power supply plate 1205a is fixed to the conductive collar 1206a. A ball bearing 1207 which is a conductive bearing is fitted and fixed to the tip end side of the shaft 1202a of the conductive collar 1206a. The ball bearing 1207 includes an inner ring 1207a, an outer ring 1208a, and a ball 1218a provided so as to contact between the inner ring 1207a and the outer ring 1208a. The inner ring 1207a, the outer ring 1208a, and the ball 1218a are all made of metal, and conductive grease is injected into the space between the inner ring 1207a and the outer ring 1208a. For this reason, the inner ring 1207a and the outer ring 1208a are in an electrically connected state. The end face on the base 250A side of the inner ring 1207a is in contact with the end face on the front end side of the shaft 1202a of the conductive collar 1206a, and the power feeding plate 1205a and the outer ring 1208a are in an electrically connected state. A cylindrical electrode member 1209a is fitted and fixed to the outer peripheral side of the outer ring 1208a, and the electrode member 1209a is configured to rotate around the shaft 1202a together with the outer ring 1208a. The electrode member 1209a is made of metal such as copper or stainless steel, and is electrically connected to the outer ring 1208a. Two semicircular cross-sectional grooves 1217a around which the second wire 152 is wound are provided on the outer peripheral side of the electrode member 1209a, and a high-frequency pulse current supplied from the power supply plate 1205a is conducted from the power supply plate 1205a. The collar 1206a flows to the second wire 152 in contact with the inner ring 1207a of the ball bearing 1207, the ball 1218a, the outer ring 1208a, the groove 1217a on the outer surface of the rotating electrode member 1209a, and the second cutting wire portion 262 (26c) , 26d).

ボールベアリング１２０７の軸１２０２ａの先端側には、絶縁スリーブ１２０３ａに嵌め込み固定された絶縁カラー１２１０ａが設けられ、絶縁カラー１２１０ａの軸１２０２ａの先端側には、先に説明したと同様、導電カラー１２１２ａと、導電カラー１２１２ａの外周に嵌め込み固定された給電板１２１１ａと、導電カラー１２１２ａの軸１２０２ａ先端側に導電カラー１２１２ａと内輪１２１３ａとが接触するよう絶縁スリーブ１２０３ａに取り付けられたボールベアリング１２１３と、ボールベアリング１２１３の外輪１２１４ａと、外輪１２１４ａの外周に嵌め込み固定され、外輪１２１４ａと共に軸１２０２ａの周りに回転する電極部材１２１５ａが取り付けられている。ボールベアリング１２１３の内輪１２１３ａと外輪１２１４ａとの間にはボール１２１９ａが取り付けられており、内輪１２１３ａと外輪１２１４ａとの間には導電性グリスが注入されている。ボールベアリング１２１３の軸１２０２ａの先端側にはエンドプレート１２１６ａが取り付けられ、エンドプレート１２１６ａによって絶縁スリーブ１２０３ａ、絶縁カラー１２０４ａ、１２１０ａ、導電カラー１２０６ａ，１２１２ａ、ボールベアリング１２０７，１２１３が軸１２０２ａの段部に一体に固定されている。電極部材１２１５ａの外周側には第４のワイヤ１５４が巻き掛けられる２本の半円断面の溝１２１７ａが第４のワイヤ１５４の横方向のピッチＰと同様のピッチＰで設けられており、給電板１２１１ａから供給された高周波のパルス電流は、給電板１２１１ａから導電カラー１２１２ａ、ボールベアリング１２１３の内輪１２１３ａ、ボール１２１９ａ、外輪１２１４ａから回転している電極部材１２１５ａの外面の溝１２１７ａに接触している第４のワイヤ１５４に流れ、第４の切断ワイヤ部分２６４（２６ｇ，２６ｈ）に給電される。   An insulating collar 1210a that is fitted and fixed to the insulating sleeve 1203a is provided on the tip side of the shaft 1202a of the ball bearing 1207, and the conductive collar 1212a is provided on the tip side of the shaft 1202a of the insulating collar 1210a as described above. A power supply plate 1211a fitted and fixed to the outer periphery of the conductive collar 1212a, a ball bearing 1213 attached to the insulating sleeve 1203a so that the conductive collar 1212a and the inner ring 1213a are in contact with the tip of the shaft 1202a of the conductive collar 1212a, and a ball bearing An outer ring 1214a 1213 and an electrode member 1215a which is fitted and fixed to the outer periphery of the outer ring 1214a and rotates around the shaft 1202a together with the outer ring 1214a are attached. A ball 1219a is attached between the inner ring 1213a and the outer ring 1214a of the ball bearing 1213, and conductive grease is injected between the inner ring 1213a and the outer ring 1214a. An end plate 1216a is attached to the tip of the shaft 1202a of the ball bearing 1213, and the insulating sleeve 1203a, the insulating collars 1204a and 1210a, the conductive collars 1206a and 1212a, and the ball bearings 1207 and 1213 are attached to the step portion of the shaft 1202a by the end plate 1216a. It is fixed integrally. Two semicircular cross-sectional grooves 1217a around which the fourth wire 154 is wound are provided on the outer peripheral side of the electrode member 1215a at a pitch P similar to the lateral pitch P of the fourth wire 154. The high-frequency pulse current supplied from the plate 1211a is in contact with the conductive collar 1212a from the power supply plate 1211a, the inner ring 1213a of the ball bearing 1213, the ball 1219a, and the groove 1217a on the outer surface of the electrode member 1215a rotating from the outer ring 1214a. It flows to the fourth wire 154 and is fed to the fourth cutting wire portion 264 (26g, 26h).

給電板１２０５ａ、電極部材１２０９ａと給電板１２１１ａ、電極部材１２１５ａとは絶縁スリーブ１２０３ａ、絶縁カラー１２０４ａ，１２１０ａによって相互に電気的に絶縁されているので、第２の切断ワイヤ部分２６２，第４の切断ワイヤ部分２６４にはそれぞれ独立に各加工電源ユニットから高周波のパルス電力を供給することができる。   Since the power feeding plate 1205a, the electrode member 1209a, the power feeding plate 1211a, and the electrode member 1215a are electrically insulated from each other by the insulating sleeve 1203a and the insulating collars 1204a and 1210a, the second cutting wire portion 262 and the fourth cutting are performed. The wire portion 264 can be supplied with high-frequency pulse power from each processing power supply unit independently.

以上、軸１２０２ａに取り付けられた電極部材１２０９ａ，１２１５ａの構造について説明したが、中心軸１２２０ｂを持つ円柱の軸１２０２ｂに取り付けられた電極部材１２０９ｂ，１２１５ｂも同様の構成となっている。図１２では、軸１２０２ｂに取り付けられた各部品に対応する部品には同様の符号の最後にｂを付して示す。   Although the structure of the electrode members 1209a and 1215a attached to the shaft 1202a has been described above, the electrode members 1209b and 1215b attached to the cylindrical shaft 1202b having the central shaft 1220b have the same configuration. In FIG. 12, parts corresponding to the respective parts attached to the shaft 1202 b are denoted by b at the end of the same reference numerals.

図１２に示すように、軸１２０２ｂに取り付けられた電極部材１２１５ｂは、軸１２０２ａに取り付けられた電極部材１２１５ａ，１２０９ａの間の給電板１２１１ａの配置されている軸方向位置に配置され、電極部材１２０９ｂは電極部材１２０９ａの基盤２５０Ａ側の給電板１２０５ａの配置されている軸方向位置に配置され、各部品はエンドプレート１２１６ｂによって軸１２０２ｂの段部に一体に固定されている。そして、各電極部材１２０９ａ，１２１５ａ，１２０９ａ，１２１５ｂの外周に設けられた各２本の溝１２１７ａ、１２１７ｂはピッチＰで等間隔に配置されるよう構成されている。このように、電極部材１２０９ａ，１２１５ａと電極部材１２０９ｂ，１２１５ｂとを各ワイヤ１５１〜１５４の長さ方向に沿って位置をずらし、各電極部材１２０９ａ，１２１５ａの給電板１２０５ａ，１２１０ａの配置される位置に軸１２０２ｂに取り付けられる電極部材１２０９ｂ，１２１５ｂを配置することによって、各電極部材１２０９ａ，１２１５ａ，１２０９ｂ，１２１５ｂに設けられる溝１２１７ａ，１２１７ｂのピッチＰ、巻き掛けられた各ワイヤ１５１〜１５４の横方向のピッチＰを狭くすることができ、インゴット２８をより薄くスライスすることができる。   As shown in FIG. 12, the electrode member 1215b attached to the shaft 1202b is disposed at the axial position where the power supply plate 1211a is disposed between the electrode members 1215a and 1209a attached to the shaft 1202a, and the electrode member 1209b. Is disposed at the axial position where the power supply plate 1205a on the base 250A side of the electrode member 1209a is disposed, and each component is integrally fixed to the step portion of the shaft 1202b by an end plate 1216b. And each two groove | channel 1217a, 1217b provided in the outer periphery of each electrode member 1209a, 1215a, 1209a, 1215b is comprised so that it may be arrange | positioned at equal intervals with the pitch P. As described above, the positions of the electrode members 1209a and 1215a and the electrode members 1209b and 1215b are shifted along the length direction of the wires 151 to 154, and the power supply plates 1205a and 1210a of the electrode members 1209a and 1215a are arranged. By arranging the electrode members 1209b and 1215b attached to the shaft 1202b, the pitch P of the grooves 1217a and 1217b provided in the electrode members 1209a, 1215a, 1209b and 1215b, and the lateral direction of the wound wires 151 to 154 The pitch P can be narrowed, and the ingot 28 can be sliced thinner.

図１３を参照して、本発明の他の本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置１００に用いられる放電加工用の電源２９の構成と動作について説明する。図１から図７を参照して説明した実施形態と同様の部分には同様の符号を付して説明は省略する。図１３に示すように、電源２９は、第１の加工ユニット１０１に放電加工電力を供給する第１の加工電源ユニット２９Ｒと第２の加工ユニット１０２に放電加工電力を供給する第２の加工電源ユニット２９Ｌとを含んでいる。第１の加工電源ユニット２９Ｒは、それぞれ一組の主スイッチングトランジスタと主直流電源とこれと並列に接続された一組の副スイッチングトランジスタと副直流電源により構成される３つのＡ1系電源系統２９０Ａ1、Ｂ1系電源系統２９０Ｂ1、Ｃ1系電源系統２９０Ｃ1が並列に接続されたものである。Ａ1系電源系統２９０Ａ1は、Ａ1系主直流電源２９２Ａ1と、Ａ1系主直流電源２９２Ａ1と直列に接続され、Ａ1系主直流電源２９２Ａ1の出力を入り切りするＡ1系主スイッチングトランジスタ２９１Ａ1と、Ａ1系主直流電源２９２Ａ1と並列で、プラスマイナスの方向が逆でその電圧がＡ1系主直流電源２９２Ａ1よりも低いＡ1系副直流電源２９４Ａ1と、Ａ1系副直流電源２９４Ａ1と直列に接続され、Ａ1系副直流電源２９４Ａ1の出力を入り切りするＡ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ａ1と、を備えている。各Ａ1系スイッチングトランジスタ２９１Ａ1，２９３Ａ1の各ゲートは制御部８０に接続され、制御部８０の指令によってオンオフするよう構成されている。Ｂ1系電源系統２９０Ｂ1、Ｃ1系電源系統２９０Ｃ1も同様の構成で、Ｂ1系電源系統２９０Ｂ1は、Ｂ1系主スイッチングトランジスタ２９１Ｂ1、Ｂ1系主直流電源２９２Ｂ1、Ｂ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ｂ1、Ｂ1系副直流電源２９４Ｂ1、を備えており、Ｃ1系電源系統２９０Ｃ1は、Ｃ1系主スイッチングトランジスタ２９１Ｃ1、Ｃ1系主直流電源２９２Ｃ1、Ｃ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ｃ1、Ｃ1系副直流電源２９４Ｃ1、を備えている。 With reference to FIG. 13, the configuration and operation of a power supply 29 for electric discharge machining used in the multi-wire electric discharge machining apparatus 100 of another embodiment of the present invention will be described. Parts similar to those of the embodiment described with reference to FIG. 1 to FIG. As shown in FIG. 13, the power supply 29 includes a first machining power supply unit 29 </ b> R that supplies electric discharge machining power to the first machining unit 101 and a second machining power supply that supplies electric discharge machining power to the second machining unit 102. Unit 29L. The first machining power supply unit 29R includes three A 1 system power supply systems 290A each composed of a set of a main switching transistor, a main DC power supply, a set of sub-switching transistors and a sub DC power supply connected in parallel thereto. 1 , B 1 system power supply system 290B 1 and C 1 system power supply system 290C 1 are connected in parallel. A 1-system power supply line 290A 1 comprises a A 1-based main DC power source 292A 1, it is connected to A 1 system main DC power source 292A 1 series, A 1 system main for turning on and off the output of the A 1 system main DC power source 292A 1 A 1- system sub DC power supply 294A 1 in parallel with the switching transistor 291A 1 and the A 1 system main DC power supply 292A 1 , in which the positive and negative directions are opposite and the voltage is lower than that of the A 1 system main DC power supply 292A 1 ; It has been connected 1 system to the secondary DC power source 294A 1 series, and a 1 based auxiliary switching transistor 293A 1 which turns on and off the output of the a 1 based auxiliary DC power source 294A 1, a. Each gate of each of the A 1 system switching transistors 291A 1 and 293A 1 is connected to the control unit 80, and is configured to be turned on / off by a command from the control unit 80. The B 1 system power supply system 290B 1 and the C 1 system power supply system 290C 1 have the same configuration, and the B 1 system power supply system 290B 1 includes a B 1 system main switching transistor 291B 1 , a B 1 system main DC power supply 292B 1 , B 1. System sub-switching transistor 293B 1 , B 1 system sub-DC power supply 294B 1 , and C 1 system power supply system 290C 1 includes C 1 system main switching transistor 291C 1 , C 1 system main DC power supply 292C 1 , C 1 A system sub-switching transistor 293C 1 and a C 1 system sub-DC power supply 294C 1 are provided.

各系電源系統２９０Ａ1，２９０Ｂ1，２９０Ｃ1の各系主直流電源２９２Ａ1，２９２Ｂ1，２９２Ｃ1のプラス側（各系副直流電源２９４Ａ1，２９４Ｂ1，２９４Ｃ1のマイナス側）は共通のプラス側出力線２９５Ｒに接続され、各系電源系統２９０Ａ1，２９０Ｂ1，２９０Ｃ1の各系主直流電源２９２Ａ1，２９２Ｂ1，２９２Ｃ1のマイナス側（各系副直流電源２９４Ａ1，２９４Ｂ1，２９４Ｃ1のプラス側）は共通のマイナス側出力線２９６Ｒに接続されている。プラス側出力線２９５Ｒはインゴット２８に接続され、マイナス側出力線２９６Ｒは回転電極接続線２９６Ａ1と回転電極接続線２９６Ｂ1とに分岐し、それぞれ第１の加工ユニット１０１の回転電極２００Ａ1、回転電極２００Ｂ1に接続されている。従って、第１の加工電源ユニット２９Ｒは各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1に共通の電源であり、各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1には共通の第１の加工電源ユニット２９Ｒから同一の放電加工電力が給電される。 Each system power supply system 290A 1, 290B 1, 290C each system main DC power source 292A 1 of 1, 292B 1, 292C plus side of 1 (each based auxiliary DC power source 294A 1, 294B 1, the negative side of 294C 1) is common is connected to the positive side output line 295R, the system power supply system 290A 1, 290B 1, 290C each system main DC power source 292A 1 of 1, 292B 1, negative (each based auxiliary DC power source 294A 1 of 292C 1, 294B 1, positive side of 294C 1) is connected to a common negative output line 296R. The plus side output line 295R is connected to the ingot 28, and the minus side output line 296R is branched into the rotating electrode connection line 296A 1 and the rotating electrode connection line 296B 1, and the rotating electrode 200A 1 of the first machining unit 101 is rotated. It is connected to the electrode 200B 1. Accordingly, the first machining power unit 29R is a common power source to each rotating electrode 200A 1, 200B 1, the same discharge machining power from a common first machining power unit 29R to each rotating electrode 200A 1, 200B 1 Is fed.

図１４に示すように、第１の加工電源ユニット２９Ｒから出力される放電加工電力は、放電加工を行う電圧Ｖ1の高圧の放電加工パルス２９７と、放電加工パルス２９７と逆電圧の残留電荷除電パルス２９８とを含む高周波パルス２９９である。残留電荷除電パルス２９８は放電加工後に電源系統内のコンデンサ等に残留している残電荷あるいは放電が発生しなかった場合にコンデンサ等に残留している残電荷を除電するための逆電圧パルスであり、放電加工パルス２９７よりも低い電圧Ｖ2である。この高周波パルス２９９は次のように各系スイッチングトランジスタ２９１Ａ1〜２９１Ｃ1，２９３Ａ1〜２９３Ｃ1を動作させることによって得られる。 As shown in FIG. 14, the electric discharge machining power output from the first machining power supply unit 29 </ b> R includes the electric discharge machining pulse 297 having a high voltage V 1 for performing electric discharge machining, and the residual charge neutralization having a voltage opposite to that of the electric discharge machining pulse 297. A high frequency pulse 299 including a pulse 298. The residual charge discharging pulse 298 is a reverse voltage pulse for discharging the residual charge remaining in the capacitor or the like in the power supply system after electric discharge machining or the residual charge remaining in the capacitor or the like when no discharge occurs. The voltage V 2 is lower than that of the electric discharge machining pulse 297. The high-frequency pulse 299 is obtained by operating the system switching transistors 291A 1 to 291C 1 and 293A 1 to 293C 1 as follows.

図１４に示すように、最初、各系スイッチングトランジスタ２９１Ａ1〜２９１Ｃ1，２９３Ａ1〜２９３Ｃ1はオフとなっており、第１の加工電源ユニット２９Ｒから出力はでていない。図１４の時間ｔ1に、Ａ1系主スイッチングトランジスタ２９１Ａ1がオンとなるとＡ1系主直流電源２９２Ａ1からの電流がプラス側出力線２９５Ｒから出力され、各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1とインゴット２８との間にはＡ1系放電加工パルス２９７Ａの電圧Ｖ1が第１の加工電源ユニット２９Ｒから出力される放電加工パルス２９７として印加される。そして、時間Δｔ3の間だけＡ1系主スイッチングトランジスタ２９１Ａ1のオン状態を継続した後、図１４の時間ｔ2にＡ1系主スイッチングトランジスタ２９１Ａ1をオフとする。すると、プラス側出力線２９５Ｒから出力されていたＡ1系主直流電源２９２Ａ1からの電流が停止し、各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1とインゴット２８との間の印加電圧はゼロとなりＡ1系放電加工パルス２９７Ａは停止し、第１の加工電源ユニット２９Ｒから出力される放電加工パルス２９７も停止する。そして、所定の時間Δｔ4の間だけ印加電圧をゼロの状態に保持した後、時間ｔ3にＡ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ａ1がオンとなるとＡ1系副直流電源２９４Ａ1からの電流がマイナス側出力線２９６Ｒから出力され、各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1とインゴット２８との間にはマイナスの電圧Ｖ2のＡ1系残留電荷除電パルス２９８Ａが第１の加工電源ユニット２９Ｒから出力される残留電荷除電パルス２９８として印加される。そして、時間Δｔ5の間だけＡ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ａ1のオン状態を継続した後、図１４の時間ｔ4にＡ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ａ1をオフとする。すると、マイナス側出力線２９６Ｒから出力されていたＡ1系副直流電源２９４Ａ1からの電流が停止し、各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1とインゴット２８との間の印加電圧はゼロとなりＡ1系残留電荷除電パルス２９８Ａは停止し、第１の加工電源ユニット２９Ｒから出力される残留電荷除電パルス２９８も停止する。このように、Ａ1系主スイッチングトランジスタ２９１Ａ1、Ａ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ａ1を交互にオンオフしてプラス側の高圧のＡ1系放電加工パルス２９７Ａとマイナス側の低圧のＡ系残留電荷除電パルス２９８Ａとを出力する。 As shown in FIG. 14, initially, each system switching transistor 291A 1 to 291C 1 , 293A 1 to 293C 1 is off, and no output is output from the first machining power supply unit 29R. At time t 1 in FIG. 14, when the A 1 system main switching transistor 291A 1 is turned on, a current from the A 1 system main DC power supply 292A 1 is output from the plus side output line 295R, and each of the rotating electrodes 200A 1 and 200B 1 voltage V 1 of the a 1-based EDM pulse 297A is applied as EDM pulse 297 outputted from the first machining power unit 29R between the ingot 28. Then, after the A 1 system main switching transistor 291A 1 is kept on only for the time Δt 3 , the A 1 system main switching transistor 291A 1 is turned off at time t 2 in FIG. Then, the current is stopped from A 1 system main DC power source 292A 1 which has been output from the positive side output line 295R, A 1 system becomes zero applied voltage between the rotary electrode 200A 1, 200B 1 and the ingot 28 The electric discharge machining pulse 297A is stopped, and the electric discharge machining pulse 297 output from the first machining power supply unit 29R is also stopped. Then, after the applied voltage is held at zero for a predetermined time Δt 4 , the current from the A 1 -system sub DC power supply 294A 1 is negative when the A 1 system sub-switching transistor 293A 1 is turned on at time t 3. Is output from the side output line 296R, and between the rotary electrodes 200A 1 , 200B 1 and the ingot 28, an A 1 system residual charge static elimination pulse 298A having a negative voltage V 2 is output from the first machining power supply unit 29R. Applied as a residual charge neutralization pulse 298. Then, after the A 1 system sub-switching transistor 293A 1 is kept on only for the time Δt 5 , the A 1 system sub-switching transistor 293A 1 is turned off at time t 4 in FIG. Then, the current from the A 1 system sub DC power supply 294A 1 output from the minus side output line 296R is stopped, and the applied voltage between the rotating electrodes 200A 1 and 200B 1 and the ingot 28 becomes zero, and the A 1 system The residual charge neutralization pulse 298A stops, and the residual charge neutralization pulse 298 output from the first machining power supply unit 29R also stops. In this way, the A 1 system main switching transistor 291A 1 and the A 1 system sub switching transistor 293A 1 are alternately turned on and off to remove the positive side high voltage A 1 system electric discharge machining pulse 297A and the negative side low voltage A system residual charge neutralization. Pulse 298A is output.

そしてＡ1系残留電荷除電パルス２９８Ａの停止後、時間Δｔ6後の時間ｔ5に今度はＢ1系主スイッチングトランジスタ２９１Ｂ1がオンとなり、先にＡ1系各スイッチングトランジスタ２９１Ａ1，２９３Ａ1と同様、Ｂ1系各スイッチングトランジスタ２９１Ｂ1，２９３Ｂ1がオンオフ動作して、図１４に示す時間ｔ5から時間ｔ8までのＢ1系放電加工パルス２９７ＢとＢ系残留電荷除電パルス２９８Ｂを発生させ、第１の加工電源ユニット２９Ｒからの放電加工パルス２９７、残留電荷除電パルス２９８として出力する。そして、時間ｔ9に今度はＣ1系主スイッチングトランジスタ２９１Ｃ1がオンとなり、先にＡ1系、Ｂ1系各スイッチングトランジスタ２９１Ａ1，２９１Ｂ1，２９３Ａ1，２９３Ｂ1と同様、Ｃ1系各スイッチングトランジスタ２９１Ｃ1，２９３Ｃ1がオンオフ動作して、図１４に示す時間ｔ9から時間ｔ12までのＣ1系放電加工パルス２９７ＣとＣ系残留電荷除電パルス２９８Ｃを発生させ、第１の加工電源ユニット２９Ｒからの放電加工パルス２９７、残留電荷除電パルス２９８として出力する。 Then, after the A 1 system residual charge neutralizing pulse 298A is stopped, at time t 5 after the time Δt 6, the B 1 system main switching transistor 291B 1 is turned on, and the A 1 system switching transistors 291A 1 and 293A 1 are first connected . Similarly, the B 1 system switching transistors 291B 1 and 293B 1 are turned on and off to generate the B 1 system electric discharge machining pulse 297B and the B system residual charge neutralizing pulse 298B from time t 5 to time t 8 shown in FIG. The electric discharge machining pulse 297 and the residual charge neutralization pulse 298 from the first machining power supply unit 29R are output. And, in turn the time t 9 becomes C 1 system main switching transistor 291C 1 is turned on, similarly to the above A 1 system, and B 1 system each of the switching transistors 291A 1, 291B 1, 293A 1 , 293B 1, C 1 system each The switching transistors 291C 1 and 293C 1 are turned on / off to generate the C 1 -system discharge machining pulse 297C and the C-system residual charge neutralization pulse 298C from time t 9 to time t 12 shown in FIG. The electric discharge machining pulse 297 and the residual charge neutralization pulse 298 from the unit 29R are output.

そして、時間ｔ13に再びＡ1系主スイッチングトランジスタ２９１Ａ1がオンとなり、それ以降上記のＡ1系、Ｂ1系、Ｃ1系の各スイッチングトランジスタ２９１Ａ1〜２９１Ｃ1，２９３Ａ1〜２９３Ｃ1は、それぞれ順次オンオフを行って各系放電加工パルス２９７Ａ〜２９７Ｃ、各系残留電荷除電パルス２９８Ａ〜２９８Ｃを順次第１の加工電源ユニット２９Ｒからの放電加工パルス２９７、残留電荷除電パルス２９８として出力するサイクルを繰り返す。このように、それぞれ周期を時間Δｔ2だけをずらしてＡ1系、Ｂ1系、Ｃ1系の各スイッチングトランジスタを順次動作させ、３系統の出力を合わせて第１の加工電源ユニット２９Ｒからの出力とすることにより、各系スイッチングトランジスタ２９１Ａ1〜２９１Ｃ1、２９３Ａ1〜２９３Ｃ1のオンの周期Δｔ1は第１の加工電源ユニット２９Ｒから出力される放電加工パルス２９７、残留電荷除電パルス２９８の周期Δｔ2の３倍となっている。また、周期Δｔ2は、第１の加工電源ユニット２９Ｒから出力される高周波パルス２９９の周期となる。このため、各系スイッチングトランジスタ２９１Ａ1〜２９１Ｃ1、２９３Ａ1〜２９３Ｃ1の動作回数が低減され、従来よりも周波数が高い高周波の放電加工パルス２９７、残留電荷除電パルス２９８を出力することができる。図１４に示す第１の加工電源ユニット２９Ｒから出力される高圧の放電加工パルス２９７の周期はΔｔ2であり、その周波数は数１０ｋＨｚから数１００ｋＨｚの高周波である。また、低圧の残留電荷除電パルス２９８の周波数は高圧の放電加工パルス２９７との周波数と同じ周波数である。 Then, again it becomes A 1 system main switching transistor 291A 1 is turned on to the time t 13, the subsequent aforementioned A 1 system, B 1 system, each of the switching transistors 291A 1 ~291C 1 of C 1 system, 293A 1 ~293C 1 is Cycles for sequentially turning on / off each system and outputting the respective system electric discharge machining pulses 297A to 297C and the respective system residual charge discharging pulses 298A to 298C as the electric discharge machining pulse 297 and the residual charge discharging pulse 298 from the first machining power supply unit 29R sequentially. repeat. In this way, the A 1 system, B 1 system, and C 1 system switching transistors are sequentially operated by shifting the period by the time Δt 2 , respectively, and the outputs of the three systems are combined to output from the first machining power supply unit 29R. with output of the system switching transistors 291A 1 ~291C 1, 293A 1 ~293C 1 cycle Delta] t 1 on the first machining power supply unit discharge machining pulses 297 outputted from the 29R, residual charge neutralization pulse 298 It is three times the period Δt 2 . The period Δt 2 is the period of the high frequency pulse 299 output from the first machining power supply unit 29R. Therefore, the system switching transistors 291A 1 ~291C 1, 293A 1 number of operations of ～293C 1 is reduced, EDM pulse frequency than the conventional high frequency 297, it is possible to output the residual charge neutralization pulse 298. The period of the high-pressure electric discharge machining pulse 297 output from the first machining power supply unit 29R shown in FIG. 14 is Δt 2 , and the frequency thereof is a high frequency of several tens kHz to several hundreds kHz. The frequency of the low-voltage residual charge neutralizing pulse 298 is the same as the frequency of the high-voltage electric discharge machining pulse 297.

本実施形態では、各系スイッチングトランジスタ２９１Ａ1〜２９１Ｃ1、２９３Ａ1〜２９３Ｃ1の動作回数が低減されるので、各系スイッチングトランジスタ２９１Ａ1〜２９１Ｃ1、２９３Ａ1〜２９３Ｃ1の温度上昇を抑制しながら高周波の放電加工パルス２９７、残留電荷除電パルス２９８を出力することができ、安定した放電加工を行うことができる。 In this embodiment, since the number of operations of each system switching transistor 291A 1 to 291C 1 and 293A 1 to 293C 1 is reduced, the temperature increase of each system switching transistor 291A 1 to 291C 1 , 293A 1 to 293C 1 is suppressed. However, high-frequency electric discharge machining pulse 297 and residual charge neutralization pulse 298 can be output, and stable electric discharge machining can be performed.

なお、図１４では、Ａ1系残留電荷除電パルス２９８Ａ停止後、時間Δｔ6後の時間ｔ5にＢ1系主スイッチングトランジスタ２９１Ｂ1がオンとなることとして説明したが、各系の残留電荷除電パルス２９８Ａ〜２９８Ｃが停止後すぐに次の系統の主スイッチングトランジスタ２９１Ａ1〜２９１Ｃ1がオンとなるようにしてもよい。この場合には、高圧の放電加工パルス２９７の周期Δｔ1が時間Δｔ6だけ短くなるのでより高い周波数の放電加工パルス２９７とできる。 In FIG. 14, it has been described that the B 1 system main switching transistor 291B 1 is turned on at time t 5 after time Δt 6 after the A 1 system residual charge neutralizing pulse 298A is stopped. The main switching transistors 291A 1 to 291C 1 of the next system may be turned on immediately after the pulses 298A to 298C are stopped. In this case, since the period Δt 1 of the high-pressure electric discharge machining pulse 297 is shortened by the time Δt 6, a higher frequency electric discharge machining pulse 297 can be obtained.

以上、第１の加工電源ユニット２９Ｒの構成と各トランジスタのスイッチング動作について説明したが、第２の加工電源ユニット２９Ｌも同様の構成で同様の動作をする。第２の加工電源ユニット２９Ｌの各素子、各直流電源は図１３において添え字２を付加したものである。   The configuration of the first machining power supply unit 29R and the switching operation of each transistor have been described above, but the second machining power supply unit 29L also operates similarly with the same configuration. Each element and each DC power supply of the second machining power supply unit 29L have the suffix 2 added in FIG.

図１５、図１６を参照しながら本発明の他の実施形態について説明する。図１３、図１４を参照して説明した実施形態と同様の部分には同様の符号を付して説明は省略する。図１５に示す実施形態は各加工電源ユニット２９Ｒ，２９Ｌをそれぞれ３つの各系主スイッチングトランジスタ２９１Ｄ1〜２９１Ｆ1，２９１Ｄ2〜２９１Ｆ2と１つの副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1，２９３Ｇ2の４つのスイッチングトランジスタによって構成するようにしたものである。 Another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. Parts similar to those of the embodiment described with reference to FIGS. 13 and 14 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. Embodiment four switching transistors each machining power unit 29R, the system main switching transistor of the three respective 29L 291D 1 ~291F 1, 291D 2 ~291F 2 and one secondary switching transistors 293G 1, 293G 2 shown in FIG. 15 It is made up by.

図１５に示すように、第１の加工電源ユニット２９Ｒは、それぞれ１つのスイッチングトランジスタと１つの直流電源を含む４つのＤ1系電源系統２９０Ｄ1、Ｅ1系電源系統２９０Ｅ1、Ｆ1系電源系統２９０Ｆ1、Ｇ1系電源系統２９０Ｇ1が並列に接続されたものである。Ｄ1系電源系統２９０Ｄ1からＦ1系電源系統２９０Ｆ1は、それぞれＤ1系からＦ1系の各系主直流電源２９２Ｄ1〜２９２Ｆ1と、各系主直流電源２９２Ｄ1〜２９２Ｆ1に直列に接続され、各系主直流電源２９２Ｄ1〜２９２Ｆ1の出力を入り切りする各系主スイッチングトランジスタ２９１Ｄ1〜２９１Ｆ1を備えている。また、Ｇ1系電源系統２９０Ｇ1は、Ｄ1系からＦ1系の各系主直流電源２９２Ｄ1〜２９２Ｆ1とプラスマイナスの方向が逆になっているＧ1系副直流電源２９４Ｇ1と、Ｇ1系副直流電源２９４Ｇ1に直列に接続され、Ｇ1系副直流電源２９４Ｇ1の出力を入り切りするＧ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1を備えている。各系スイッチングトランジスタ２９１Ｄ1〜２９１Ｆ1，２９３Ｇ1の各ゲートは制御部８０に接続され、制御部８０の指令によってオンオフするよう構成されている。 As shown in FIG. 15, the first machining power supply unit 29R includes four D 1 power supply systems 290D 1 , E 1 power supply systems 290E 1 and F 1 power supplies each including one switching transistor and one DC power supply. A system 290F 1 and a G 1 power supply system 290G 1 are connected in parallel. D 1 system power supply system 290D 1 to F 1 system power supply system 290F 1 are connected in series to D 1 system to F 1 system main DC power supplies 292D 1 to 292F 1 and each system main DC power supplies 292D 1 to 292F 1 , respectively. to be connected, and a respective system main switching transistor 291D 1 ~291F 1 that turns on and off the output of each system main DC power supply 292D 1 ~292F 1. Also, G 1 based power supply system 290 g 1 is a G 1 based auxiliary DC power source 294 g 1 Each system main DC power supply 292D 1 ~292F 1 and plus or minus direction F 1 system are reversed from D 1 system, connected in series to the G 1 based auxiliary DC power source 294 g 1, and a G 1 based auxiliary switching transistors 293G 1 that turns on and off the output in G 1 based auxiliary DC power source 294 g 1. Each gate of each system switching transistor 291D 1 ~291F 1, 293G 1 is connected to the control unit 80 is configured to turn on and off according to the instruction of the control unit 80.

各系電源系統２９０Ｄ1〜２９０Ｆ1の各系主直流電源２９２Ｄ1〜２９２Ｆ1のプラス側は共通のプラス側出力線２９５Ｒに接続され、各系主直流電源２９２Ｄ1〜２９２Ｆ1のマイナス側は共通のマイナス側出力線２９６Ｒに接続されている。また、Ｇ1系電源系統２９０Ｇ1はＧ1系副直流電源２９４Ｇ1のマイナス側が共通のプラス側出力線２９５Ｒに接続され、Ｇ1系副直流電源２９４Ｇ1のプラス側が共通のマイナス側出力線２９６Ｒに接続されている。プラス側出力線２９５Ｒはインゴット２８に接続され、マイナス側出力線２９６Ｒは回転電極接続線２９６Ａ1と回転電極接続線２９６Ｂ1とに分岐し、それぞれ第１の加工ユニット１０１の回転電極２００Ａ1、回転電極２００Ｂ1に接続されている。従って、第１の加工電源ユニット２９Ｒは各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1に共通の電源であり、各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1には共通の第１の加工電源ユニット２９Ｒから同一の放電加工電力が給電される。 The positive side of each system main DC power supply 292D 1 to 292F 1 of each system power supply system 290D 1 to 290F 1 is connected to a common positive output line 295R, and the negative side of each system main DC power supply 292D 1 to 292F 1 is common Is connected to the negative output line 296R. In the G 1 power supply system 290G 1, the negative side of the G 1 system sub DC power supply 294G 1 is connected to the common positive output line 295R, and the positive side of the G 1 system sub DC power supply 294G 1 is connected to the common negative output line 296R. It is connected to the. The plus side output line 295R is connected to the ingot 28, and the minus side output line 296R is branched into the rotating electrode connection line 296A 1 and the rotating electrode connection line 296B 1, and the rotating electrode 200A 1 of the first machining unit 101 is rotated. It is connected to the electrode 200B 1. Accordingly, the first machining power unit 29R is a common power source to each rotating electrode 200A 1, 200B 1, the same discharge machining power from a common first machining power unit 29R to each rotating electrode 200A 1, 200B 1 Is fed.

図１６に示すように、本実施形態の第１の加工電源ユニット２９Ｒにおいて、Ｄ1系からＦ1系の各系主スイッチングトランジスタ２９１Ｄ1〜２９１Ｆ1は、それぞれのオンオフの周期Δｔ1の１／３の時間Δｔ2ずつずれて順次オンし、そのオン時間は時間Δｔ3である。そして、Ｇ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1はＤ1系からＦ1系の各系主スイッチングトランジスタ２９１Ｄ1〜２９１Ｆ1のオンのタイミングと時間Δｔ3＋Δｔ4だけずれたタイミングでオンし、時間Δｔ2と同じ長さの時間Δｔ7の周期でオンオフを繰り返している。ここで時間Δｔ2は、第１の加工電源ユニット２９Ｒから出力される高周波パルス２９９の周期となる。つまり、Ｇ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1は各系主スイッチングトランジスタ２９１Ｄ1〜２９１Ｆ1の周期Δｔ1の１／３の周期でオンオフしている。このように、Ｇ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1は各系主スイッチングトランジスタの周期Δｔ1の各系主スイッチングトランジスタの個数分の１の周期Δｔ7でオンオフを繰り返すものである。そして、１つのＧ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1は、一の主スイッチングトランジスタ（例えば、２９１Ｄ1）がオフとなっている間になってから次のスイッチングトランジスタ（例えば、２９１Ｅ1）がオンとなるまでの間にオンオフし、一のスイッチングトランジスタ（例えば、２９１Ｄ1）によって発生した放電加工パルス（例えば、２９７Ｄ）に続く残留電荷除電パルス２９８Ｇを発生させるものである。 As shown in FIG. 16, in a first machining power supply unit 29R of this embodiment, each of the D 1 type F 1 based system main switching transistor 291D 1 ～291F 1 is the period Delta] t 1 of each of the on-off 1 / 3 are sequentially turned on with a time difference of Δt 2 , and the ON time is time Δt 3 . Then, G 1 based auxiliary switching transistor 293G 1 is turned on at a timing shifted from 1 system D by F 1 system each system main switching transistor 291D 1 ～291F 1 ON timing and time Δt 3 + Δt 4, time Delta] t 2 ON / OFF is repeated at a period of time Δt 7 of the same length as. Here, the time Δt 2 is a cycle of the high-frequency pulse 299 output from the first machining power supply unit 29R. That, G 1 based auxiliary switching transistor 293G 1 is turned on and off in a cycle of 1/3 of the period Delta] t 1 of each system main switching transistor 291D 1 ~291F 1. As described above, the G 1 -system sub-switching transistor 293G 1 is repeatedly turned on and off at a period Δt 7 that is one times the number of each system main switching transistor in the period Δt 1 of each system main switching transistor. One G 1 -system sub-switching transistor 293G 1 is turned on after the one main switching transistor (eg, 291D 1 ) is turned off and then the next switching transistor (eg, 291E 1 ) is turned on. The residual charge neutralizing pulse 298G following the electric discharge machining pulse (for example, 297D) generated by one switching transistor (for example, 291D 1 ) is generated.

以上、第１の加工電源ユニット２９Ｒの構成と各トランジスタのスイッチング動作について説明したが、第２の加工電源ユニット２９Ｌも同様の構成で同様の動作をする。第２の加工電源ユニット２９Ｌの各素子、各直流電源は図１５において添え字２を付加したものである。   The configuration of the first machining power supply unit 29R and the switching operation of each transistor have been described above, but the second machining power supply unit 29L also operates similarly with the same configuration. Each element and each DC power supply of the second machining power supply unit 29L have the suffix 2 added in FIG.

本実施形態も先に説明した実施形態と同様、各系主スイッチングトランジスタ２９１Ｄ1〜２９１Ｆ1、２９３Ｄ1〜２９３Ｆ1の動作回数が低減され、従来よりも周波数が高い高周波の放電加工パルス２９７を出力することができると共に、その電圧、電流が低い残留電荷除電パルス２９８を１つの各系副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1，２９３Ｇ2によって発生させることによってスイッチングトランジスタの個数を削減し、より簡便な構成でマルチワイヤ放電加工装置１００の加工速度を向上させることができる。 Similar to the present embodiment is also the previously described embodiment, the system main switching transistor 291D 1 ~291F 1, the number of operations of the 293D 1 ~293F 1 is reduced, the output frequency than conventional high frequency electric discharge machining pulse 297 In addition, the number of switching transistors can be reduced by generating the residual charge static elimination pulse 298 having a low voltage and current by each of the sub-switching transistors 293G 1 and 293G 2 , thereby reducing the number of switching transistors. The machining speed of the electric discharge machine 100 can be improved.

図１７、図１８を参照しながら本発明の他の実施形態について説明する。図１５、図１６を参照して説明した実施形態と同様の部分には同様の符号を付して説明は省略する。図１７に示す実施形態は各加工電源ユニット２９Ｒ，２９Ｌを３つの各系主スイッチングトランジスタ２９１Ｄ1〜２９１Ｆ1，２９１Ｄ2〜２９１Ｆ2とそれぞれ２つのＧ1系，Ｇ12，Ｈ1，Ｈ2系副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1，２９３Ｇ2，２９３Ｈ1，２９３Ｈ2の５つのスイッチングトランジスタによって構成するようにしたものである。 Another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. Parts similar to those of the embodiment described with reference to FIGS. 15 and 16 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. Embodiment shown in FIG. 17 each machining power supply unit 29R, the system main of three 29L switching transistor 291D 1 ~291F 1, 291D 2 ~291F 2 and each of the two in G 1 system, G 12, H 1, H 2 system The sub-switching transistors 293G 1 , 293G 2 , 293H 1 , and 293H 2 are configured by five switching transistors.

図１７に示すように、第１の加工電源ユニット２９Ｒは、それぞれ１つのスイッチングトランジスタと１つの直流電源を含む５つのＤ1系電源系統２９０Ｄ1、Ｅ1系電源系統２９０Ｅ1、Ｆ1系電源系統２９０Ｆ1、Ｇ1系電源系統２９０Ｇ1，Ｈ1系電源系統２９０Ｈ1が並列に接続されたものである。Ｄ1系電源系統２９０Ｄ1からＦ1系電源系統２９０Ｆ1は、それぞれＤ1系からＦ1系の各系主直流電源２９２Ｄ1〜２９２Ｆ1と、各系主直流電源２９２Ｄ1〜２９２Ｆ1に直列に接続され、各系主直流電源２９２Ｄ1〜２９２Ｆ1の出力を入り切りする各系主スイッチングトランジスタ２９１Ｄ1〜２９１Ｆ1を備えている。また、Ｇ1系電源系統２９０Ｇ1，Ｈ1系電源系統２９０Ｈ1は、Ｄ1系からＦ1系の各系主直流電源２９２Ｄ1〜２９２Ｆ1とプラスマイナスの方向が逆になっているＧ1系、Ｈ1系副直流電源２９４Ｇ1，２９４Ｈ1と、Ｇ1系、Ｈ1系副直流電源２９４Ｇ1，２９４Ｈ1に直列に接続され、Ｇ1系、Ｈ1系副直流電源２９４Ｇ1，２９４Ｈ1の出力を入り切りするＧ1系、Ｈ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1，２９３Ｈ1を備えている。各系スイッチングトランジスタ２９１Ｄ1〜２９１Ｆ1，２９３Ｇ1，２９３Ｈ1の各ゲートは制御部８０に接続され、制御部８０の指令によってオンオフするよう構成されている。 As shown in FIG. 17, the first machining power supply unit 29R includes five D 1 power supply systems 290D 1 , E 1 power supply systems 290E 1 and F 1 power supplies each including one switching transistor and one DC power supply. A system 290F 1 , a G 1 system power system 290G 1 , and an H 1 system power system 290H 1 are connected in parallel. D 1 system power supply system 290D 1 to F 1 system power supply system 290F 1 are connected in series to D 1 system to F 1 system main DC power supplies 292D 1 to 292F 1 and each system main DC power supplies 292D 1 to 292F 1 , respectively. to be connected, and a respective system main switching transistor 291D 1 ~291F 1 that turns on and off the output of each system main DC power supply 292D 1 ~292F 1. Further, the G 1 power supply system 290G 1 and the H 1 power supply system 290H 1 have G 1 in which the positive and negative directions are opposite to those of the main DC power supplies 292D 1 to 292F 1 from the D 1 system to the F 1 system. System, H 1 system sub DC power supplies 294G 1 , 294H 1 and G 1 system, H 1 system sub DC power supplies 294G 1 , 294H 1 are connected in series, G 1 system, H 1 system sub DC power supplies 294G 1 , 294H G 1 system for permitting and blocking the first output, and a H 1 based auxiliary switching transistors 293G 1, 293H 1. The gates of the system switching transistors 291D 1 to 291F 1 , 293G 1 , and 293H 1 are connected to the control unit 80, and are configured to be turned on / off by a command from the control unit 80.

各系電源系統２９０Ｄ1〜２９０Ｆ1の各系主直流電源２９２Ｄ1〜２９２Ｆ1のプラス側は共通のプラス側出力線２９５Ｒに接続され、各系主直流電源２９２Ｄ1〜２９２Ｆ1のマイナス側は共通のマイナス側出力線２９６Ｒに接続されている。また、Ｇ1系、Ｈ1系電源系統２９０Ｇ1，２９０Ｈ1はＧ1系、Ｈ1系副直流電源２９４Ｇ1，２９４Ｈ1のマイナス側が共通のプラス側出力線２９５Ｒに接続され、Ｇ1系、Ｈ1系副直流電源２９４Ｇ1，２９４Ｈ1のプラス側が共通のマイナス側出力線２９６Ｒに接続されている。プラス側出力線２９５Ｒはインゴット２８に接続され、マイナス側出力線２９６Ｒは回転電極接続線２９６Ａ1と回転電極接続線２９６Ｂ1とに分岐し、それぞれ第１の加工ユニット１０１の回転電極２００Ａ1、回転電極２００Ｂ1に接続されている。従って、第１の加工電源ユニット２９Ｒは各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1に共通の電源であり、各回転電極２００Ａ1，２００Ｂ1には共通の第１の加工電源ユニット２９Ｒから同一の放電加工電力が給電される。 The positive side of each system main DC power supply 292D 1 to 292F 1 of each system power supply system 290D 1 to 290F 1 is connected to a common positive output line 295R, and the negative side of each system main DC power supply 292D 1 to 292F 1 is common Is connected to the negative output line 296R. Also, G 1 system, H 1 based power supply system 290 g 1, 290H 1 of G 1 system, the negative side of an H 1 based auxiliary DC power source 294G 1, 294H 1 is connected to a common positive output line 295R, G 1 system, The plus side of the H 1 system sub DC power supplies 294G 1 and 294H 1 is connected to a common minus side output line 296R. The plus side output line 295R is connected to the ingot 28, and the minus side output line 296R is branched into the rotating electrode connection line 296A 1 and the rotating electrode connection line 296B 1, and the rotating electrode 200A 1 of the first machining unit 101 is rotated. It is connected to the electrode 200B 1. Accordingly, the first machining power unit 29R is a common power source to each rotating electrode 200A 1, 200B 1, the same discharge machining power from a common first machining power unit 29R to each rotating electrode 200A 1, 200B 1 Is fed.

図１８に示すように、本実施形態の第１の加工電源ユニット２９Ｒは、Ｄ1系からＦ1系の各系主スイッチングトランジスタ２９１Ｄ1〜２９１Ｆ1はそれぞれのオンオフの周期Δｔ1の１／３の時間Δｔ2ずつずれて順次オンし、そのオン時間は時間Δｔ3である。ここで時間Δｔ2は、第１の加工電源ユニット２９Ｒから出力される高周波パルス２９９の周期である。そして、Ｇ1系、Ｈ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1，２９３Ｈ1は放電加工パルス２９７と時間Δｔ3＋Δｔ4だけずれたタイミングで時間Δｔ2の２倍の長さ時間Δｔ8の周期で交互にオンオフを繰り返しており、各副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1，２９３Ｈ1のオンオフのタイミングは相互に時間Δｔ2だけずれている。つまり、Ｇ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1は各系主スイッチングトランジスタ２９１Ｄ1〜２９１Ｆ1の周期Δｔ1の２／３の周期Δｔ8でオンオフしている。 As shown in FIG. 18, a first machining power supply unit 29R of this embodiment, the system main switching transistor of F 1 system from D 1 system 291D 1 ～291F 1 1/3 period Delta] t 1 of each on-off Are turned on sequentially with a time difference of Δt 2 , and the ON time is time Δt 3 . Here, the time Δt 2 is the cycle of the high frequency pulse 299 output from the first machining power supply unit 29R. The G 1 and H 1 sub-switching transistors 293G 1 and 293H 1 alternate with the period of time Δt 8 which is twice the time Δt 2 at the timing shifted from the electric discharge machining pulse 297 by time Δt 3 + Δt 4. On / off is repeated, and the on / off timings of the sub-switching transistors 293G 1 and 293H 1 are shifted from each other by the time Δt 2 . That, G 1 based auxiliary switching transistor 293G 1 is turned on and off in a cycle Delta] t 8 2/3 periods Delta] t 1 of each system main switching transistor 291D 1 ~291F 1.

つまり、Ｇ1系、Ｈ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1，２９３Ｈ1は、一のスイッチングトランジスタ（例えば、２９１Ｄ1）がオフになってから次のスイッチングトランジスタ（例えば、２９１Ｅ1）がオンとなるまでの間にオンオフし、一のスイッチングトランジスタ（例えば、２９１Ｄ1）によって発生した放電加工パルス（例えば、２９７Ｄ）に続く残留電荷除電パルス（例えば、２９８Ｇ）を発生させる動作を交互に繰り返すものである。そして、Ｇ1系、Ｈ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1，２９３Ｈ1は、各系主スイッチングトランジスタの周期Δｔ1の［（各系副主スイッチングトランジスタの個数）／（各系主スイッチングトランジスタの個数分）］の周期Δｔ8でオンオフを繰り返すものである。これにより、２つのＧ1系、Ｈ1系副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1，２９３Ｈ1によって各系主スイッチングトランジスタ２９１Ｄ1〜２９１Ｆ1がオフとなっている間に交互にそれぞれ低圧の残留電荷除電パルス２９８Ｇ，２９８Ｈを発生させるものである。 That, G 1 system, H 1 based auxiliary switching transistors 293G 1, 293H 1 shows one of the switching transistors (e.g., 291D 1) from off next switching transistor (e.g., 291 e 1) until ON and off during one of the switching transistors (e.g., 291D 1) discharge machining pulses generated by the (e.g., 297D) residual charge neutralization pulse followed (e.g., 298 g) in which alternately repeating operation of generating. The G 1 system and H 1 system sub-switching transistors 293G 1 and 293H 1 have a period Δt 1 [(number of each system sub-main switching transistor) / (number of each system main switching transistor). )] Is repeatedly turned on and off at a period Δt 8 . Thus, two in G 1 system, H 1 based auxiliary switching transistors 293G 1, 293H 1 by the system main switching transistor 291D 1 ~291F 1 each low residual charge neutralization pulse 298G alternately while turned off, 298H is generated.

以上、第１の加工電源ユニット２９Ｒの構成と各トランジスタのスイッチング動作について説明したが、第２の加工電源ユニット２９Ｌも同様の構成で同様の動作をする。第２の加工電源ユニット２９Ｌの各素子、各直流電源は図１７において添え字２を付加したものである。   The configuration of the first machining power supply unit 29R and the switching operation of each transistor have been described above, but the second machining power supply unit 29L also operates similarly with the same configuration. Each element and each DC power supply of the second machining power supply unit 29L are the ones to which the subscript 2 is added in FIG.

本実施形態も先に説明した実施形態と同様、各系主スイッチングトランジスタ２９１Ｄ1〜２９１Ｆ1、２９３Ｄ1〜２９３Ｆ1の動作回数が低減され、従来よりも周波数が高い高周波の放電加工パルス２９７を出力することができると共に、その電圧、電流が低い残留電荷除電パルス２９８を２つの各系副スイッチングトランジスタ２９３Ｇ1，２９３Ｈ1，２９３Ｇ2，２９３Ｈ2によって発生させることによってスイッチングトランジスタの個数を削減し、より簡便な構成でマルチワイヤ放電加工装置１００の加工速度を向上させることができる。 Similar to the present embodiment is also the previously described embodiment, the system main switching transistor 291D 1 ~291F 1, the number of operations of the 293D 1 ~293F 1 is reduced, the output frequency than conventional high frequency electric discharge machining pulse 297 In addition, the number of switching transistors can be reduced by generating a residual charge neutralizing pulse 298 having a low voltage and current by the two sub-switching transistors 293G 1 , 293H 1 , 293G 2 , and 293H 2 . The machining speed of the multi-wire electric discharge machining apparatus 100 can be improved with a simple configuration.

以上説明した各実施形態では、各加工ユニットの各回転電極は円筒形状として説明したが、回転電極の形状は円筒形に限らず、ワイヤの送り方向と同じ方向に向かって回転して共通の放電加工電力をワイヤの各条に給電することができる形状であれば他の形状でもよい。以下、図１９を参照して、円筒形状以外の形状の回転電極の実施形態について説明する。ただし、以下の実施形態は一例であって、他の形状としてもよい。図１から図１８を参照して説明した実施形態と同様の部分には同様の符号を付して説明は省略する。   In each of the embodiments described above, each rotating electrode of each processing unit has been described as a cylindrical shape. However, the shape of the rotating electrode is not limited to a cylindrical shape, and a common discharge is generated by rotating in the same direction as the wire feeding direction. Other shapes may be used as long as the machining power can be fed to each wire. Hereinafter, an embodiment of a rotating electrode having a shape other than a cylindrical shape will be described with reference to FIG. However, the following embodiments are merely examples, and other shapes may be used. Parts similar to those of the embodiment described with reference to FIGS. 1 to 18 are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

図１９に示す第１の加工ユニット１０１は、回転軸１２４Ａ〜１２４Ｄの周りにそれぞれ回転するガイドローラ２４Ａ〜２４Ｄに第１のワイヤ１５１が複数回巻き掛けられ、ガイドローラ２４Ｂと２４Ｃとの間に複数本の切断ワイヤ部分２６１が形成されている。第１の加工ユニット１０１は、ベルト式電極２２００Ａ，２２００Ｂの二つの電極を備えている。ベルト式電極２２００Ａは、回転軸２２０３Ａ1の周りに回転する円筒形の電極部材２２０１Ａ1と、回転軸２２０３Ａ2の周りに回転する円筒形の電極部材２２０１Ａ2と、各電極部材２２０１Ａ1，２２０１Ａ2との間に張り掛けられた導電性の無端ベルト２２０２Ａとを備えている。同様に、ベルト式電極２２００Ｂは、回転軸２２０３Ｂ1の周りに回転する円筒形の電極部材２２０１Ｂ1と、回転軸２２０３Ｂ2の周りに回転する円筒形の電極部材２２０１Ｂ2と、各電極部材２２０１Ｂ1，２２０１Ｂ2との間に張り掛けられた導電性の無端ベルト２２０２Ｂとを備えている。 In the first processing unit 101 shown in FIG. 19, the first wire 151 is wound around the guide rollers 24A to 24D rotating around the rotation shafts 124A to 124D, respectively, and the guide rollers 24B and 24C are interposed between the guide rollers 24B and 24C. A plurality of cutting wire portions 261 are formed. The first processing unit 101 includes two electrodes, belt-type electrodes 2200A and 2200B. Belt electrode 2200A, the rotation shaft and the electrode member 2201A 1 cylindrical rotating around the 2203A 1, a cylindrical electrode member 2201A 2 which rotates about an axis of rotation 2203A 2, the electrode member 2201A 1, 2201A 2 And a conductive endless belt 2202A stretched between the two. Similarly, the belt-type electrode 2200B is, the rotary shaft and the electrode member 2201B 1 of a rotating cylindrical around 2203B 1, an electrode member 2201B 2 of a rotating cylindrical about the axis of rotation 2203B 2, each electrode member 2201B 1 , 2201B 2 and a conductive endless belt 2202B.

図１９に示すように、各ガイドローラ２４Ａ〜２４Ｄが時計回りに回転すると、第１のワイヤ１５１が図中の矢印Ｒの方向に向かって送られる。一方、ベルト式電極２２００Ａの電極部材２２０１Ａ1，２２０１Ａ2はそれぞれ回転軸２２０３Ａ1，２２０３Ａ2の周りに反時計方向に回転し、各電極部材２２０１Ｂ1，２２０１Ｂ2との間に張り掛けられた導電性の無端ベルト２２０２Ａを反時計回りに回転させる。導電性の無端ベルト２２０２Ａは、ガイドローラ２４Ｂの表面に押しつけられるように配置され、ガイドローラ２４Ｂとの間に複数条の第１のワイヤ１５１の各条を挟み込んでいる。また、ベルト式電極２２００Ｂも同様の構成で、導電性の無端ベルト２２０２Ｂがガイドローラ２４Ｃの表面に押しつけられるように配置され、ガイドローラ２４Ｃとの間に複数条の第１のワイヤ１５１の各条を挟み込んでいる。導電性の無端ベルト２２０２Ａ，２２０２Ｂは、それぞれ第１のワイヤ１５１の矢印Ｒの方向ヘの送り速度と略同等の速度で回転し、これにより、第１の加工ユニット１０１のベルト式電極２２００Ａ，２２００Ｂは、第１のワイヤ１５１の送り方向と同じ方向に向かって各無端ベルト２２０２Ａ，２２００Ｂが回転して共通の放電加工電力を第１のワイヤ１５１の各条に給電する。 As shown in FIG. 19, when each guide roller 24 </ b> A to 24 </ b> D rotates clockwise, the first wire 151 is sent in the direction of arrow R in the drawing. On the other hand, the electrode members 2201A 1 and 2201A 2 of the belt-type electrode 2200A rotate counterclockwise around the rotation shafts 2203A 1 and 2203A 2 , respectively, and are conductively stretched between the electrode members 2201B 1 and 2201B 2. The endless belt 2202A is rotated counterclockwise. The conductive endless belt 2202A is arranged so as to be pressed against the surface of the guide roller 24B, and each of the plurality of first wires 151 is sandwiched between the guide roller 24B. Further, the belt-type electrode 2200B has the same configuration, and is arranged so that the conductive endless belt 2202B is pressed against the surface of the guide roller 24C, and each of the plurality of first wires 151 between the guide roller 24C. Is sandwiched. The conductive endless belts 2202A and 2202B rotate at substantially the same speed as the feed speed of the first wire 151 in the direction of arrow R, whereby the belt-type electrodes 2200A and 2200B of the first processing unit 101 are rotated. , The endless belts 2202A and 2200B rotate in the same direction as the feeding direction of the first wire 151 to supply a common electric discharge machining power to each strip of the first wire 151.

本実施形態は、図１〜図７を参照して説明した実施形態と同様の効果を奏する。また、本実施形態は、導電性の無端ベルト２２０２Ａ，２２０２Ｂをガイドローラ２４Ｂ，２４Ｃに押しつけて第１のワイヤ１５１の各条をその間に挟み込むように構成することとして説明したが、例えば、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂの間及びガイドローラ２４Ｃ，２４Ｄの間の第１のワイヤ１５１の近傍にそれぞれアイドルローラを配置し、導電性の無端ベルト２２０２Ａ，２２０２Ｂを各アイドルローラに押しつけて第１のワイヤ１５１の各条をその間に挟み込むように構成することとしてもよい。   This embodiment has the same effect as the embodiment described with reference to FIGS. In the present embodiment, the conductive endless belts 2202A and 2202B are pressed against the guide rollers 24B and 24C so that the respective strips of the first wire 151 are sandwiched therebetween. An idle roller is arranged near each of the first wires 151 between 24A and 24B and between the guide rollers 24C and 24D, and the conductive endless belts 2202A and 2202B are pressed against each idle roller to form the first wire 151. It is good also as comprising so that each strip may be inserted between them.

１０Ａ 送り出しボビン、１０Ｂ 巻き取りボビン、１１Ａ〜１１Ｉ プーリ、１２ ダンサロール、１３Ａ，１３Ｂ ワイヤ張力センサ、１６ 速度プーリ、１７ ガイド、１８ 張力プーリ、１９ クランプユニット、１９ａ クランプローラ、２１ ワイヤ整列ユニット、２２ 滑りクラッチ、２４Ａ1〜２４Ｆ1，２４Ａ2〜２４Ｆ2 ガイドローラ、２５Ａ 送り出しモータ、２５Ｂ 速度モータ、２５Ｃ ドローモータ、２５Ｄ トルクモータ、２５Ｅ ステッピングモータ、２５Ｆ，２５Ｇ 位置決めモータ、２５Ｈ 巻き取りモータ、２６ａ〜２６ｈ，２６１〜２６４，２６１ａ〜２６２ｈ 切断ワイヤ部分、２６Ｃ1，２６Ｃ2，２８Ｃ 中心、２７ ワーク送りユニット、２８ インゴット、２８Ｄ 中心線、２８ａ 加工溝、２９ 電源、２９Ｌ，２９Ｒ 加工電源ユニット、３１ 位置センサ、３２ 断線検出センサ、７０ 粉、８０ 制御部、１００ マルチワイヤ放電加工装置、１０１〜１０４ 加工ユニット、１２４Ａ〜１２４Ｄ，２０３Ａ，２０３Ｂ，３０１Ａ，３０１Ｂ 回転軸、１５１〜１５４ ワイヤ、２００Ａ1〜２００Ｂ2，１２００Ａ1〜１２００Ａ4，２２００Ａ，２２００Ｂ 回転電極、２０１Ａ1〜２０１Ｂ2，１２０９ａ，１２１５ａ，１２０９ｂ，１２１５ｂ，２２０１Ａ1〜２２０１Ｂ2 電極部材、２０２Ａ1，２０２Ａ2 導電性ベアリング、２０３Ａ，２７３，２７５ 絶縁シャフト、２０４Ａ 導電シャフト、２０５Ａ，２０５Ｂ 回転中心、２０６Ａ1〜２０７Ａ2，１２１７ａ，１２１７ｂ 溝、２０８Ａ，２０８Ａ1，２０８Ａ2 カラー、２０８Ａ3 エンドリング、２０９ スペーサ、２１０Ａ 段部、２１１Ａ1，２１１Ａ2，１２０７ａ，１２１３ａ 内輪、２１２Ａ1，２１２Ａ2，１２０８ａ，１２１４ａ 外輪、２１３Ａ1，２１３Ａ2，１２１８ａ，１２１９ａ ボール、２１４Ａ1，２１４Ａ2 導電性グリス、２２０Ａ1，２２０Ａ2 給電端子、２５０Ａ 基盤、２７０Ａ1〜２７０Ａ3 電極アーム、２７１Ａ1〜２７１Ａ3 接続電極、２７６，１２０７，１２１３ ボールベアリング、２９０Ａ1〜２９０Ｈ1 電源系統、２９１ａ1，２９１ａ2，２９１Ａ1〜２９１Ｆ2 主スイッチングトランジスタ、２９３ａ1，２９３ａ2，２９３Ａ1〜２９３Ｈ2 副スイッチングトランジスタ、２９２Ａ1〜２９２Ｃ2，２９２ａ1，２９２ａ2 主直流電源、２９４ａ1，２９４ａ2，２９４Ａ1〜２９４Ｈ2 副直流電源、２９５，２９５Ｌ，２９５Ｒ プラス側出力線、２９６Ａ1〜２９６Ｂ3 回転電極接続線、２９６Ｌ、２９６Ｒ マイナス側出力線、２９７，２９７Ａ〜２９７Ｃ 放電加工パルス、２９８，２９８Ａ〜２９８Ｈ 残留電荷除電パルス、２９９ 高周波パルス、３００Ａ，３００Ａ1〜３００Ｂ2 アイドルローラ、１２０２ａ，１２０２ｂ 軸、１２０３ａ 絶縁スリーブ、１２０４ａ，１２１０ａ 絶縁カラー、１２０５ｂ，１２０５ａ，１２１１ｂ，１２１１ａ 給電板、１２０６ａ，１２１２ａ 導電カラー、１２１６ａ，１２１６ｂ エンドプレート、１２２０ａ，１２２０ｂ 中心軸，２２０２Ａ，２２０２Ｂ 無端ベルト。 10A feed bobbin, 10B take-up bobbin, 11A to 11I pulley, 12 dancer roll, 13A, 13B wire tension sensor, 16 speed pulley, 17 guide, 18 tension pulley, 19 clamp unit, 19a clamp roller, 21 wire alignment unit, 22 slip clutch, 24A 1 ~24F 1, 24A 2 ~24F 2 guide rollers, 25A feeding the motor, 25B speed motor, 25C draw motor, 25D torque motor, 25E stepping motor, 25F, 25G positioning motor, 25H winding motor, 26a to 26h, 261～264,261A～262h cutting wire portion, 26C 1, 26C 2, 28C center, 27 work feeding unit, 28 ingots, 28D centerline, 28a machined groove, 29 power supply, 29L, 29R pressure Power supply unit, 31 position sensor, 32 disconnection detection sensor, 70 powder, 80 control unit, 100 multi-wire electric discharge machining apparatus, 101-104 machining unit, 124A-124D, 203A, 203B, 301A, 301B rotating shaft, 151-154 wire 200A 1 to 200B 2 , 1200A 1 to 1200A 4 , 2200A, 2200B rotating electrode, 201A 1 to 201B 2 , 1209a, 1215a, 1209b, 1215b, 2201A 1 to 2201B 2 electrode member, 202A 1 , 202A 2 conductive bearing, 203A, 273 and 275 insulating shaft, 204A conductive shaft, 205A, 205B rotation center, 206A 1 ~207A 2, 1217a, 1217b groove, 208A, 208A 1, 208A 2 color, 208A 3 end ring, 209 Pacer, 210A stepped portion, 211A 1, 211A 2, 1207a , 1213a inner ring, 212A 1, 212A 2, 1208a , 1214a outer ring, 213A 1, 213A 2, 1218a , 1219a ball, 214A 1, 214A 2 conductive grease, 220A 1 220A 2 feed terminal, 250A base, 270A 1 to 270A 3 electrode arm, 271A 1 to 271A 3 connection electrode, 276, 1207, 1213 ball bearing, 290A 1 to 290H 1 power supply system, 291a 1 , 291a 2 , 291A 1 to 291F 2 main switching transistor, 293a 1, 293a 2, 293A 1 ~293H 2 sub-switching transistors, 292A 1 ~292C 2, 292a 1 , 292a 2 main DC power supply, 294a 1, 294a 2, 294A 1 ~294H 2 sub DC power supply , 295, 295L, 295R Positive output line, 296A 1 to 296B 3 Rotating electrode connection line, 296L, 296R Negative output line, 297, 297A to 297C EDM pulse, 298, 298A to 298H Residual charge static elimination pulse, 299 High frequency pulse 300A, 300A 1 to 300B 2 idle roller, 1202a, 1202b shaft, 1203a insulation sleeve, 1204a, 1210a insulation collar, 1205b, 1205a, 1211b, 1211a power supply plate, 1206a, 1212a conductive collar, 1216a, 1216b end plate, 1220a, 1220b Central axis, 2202A, 2202B Endless belt.

Claims (17)

間隔をおいて配設された複数のガイドローラを含むガイドローラ組と、各ガイドローラの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられて複数条となり、ガイドローラ組のうちの一対の隣り合うガイドローラ間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部分を構成するワイヤと、ワイヤの各条に接し、ワイヤの送り方向と同じ方向に向かって回転して共通の放電加工電力をワイヤの各条に給電する回転電極と、を含む複数の加工ユニットと、
各回転電極にそれぞれ放電加工電力を供給する加工電源と、を備え、
各加工ユニットの各ガイドローラは各回転軸の方向に隣接して同軸に配置され、隣接する各加工ユニットの各ガイドローラは互いに電気的に絶縁され、
各加工ユニットの各回転電極は各回転軸の方向に隣接して配置され、隣接する各加工ユニットの各回転電極は互いに電気的に絶縁され、
各回転電極は、その各外輪の外側に各電極部材が取り付けられる各導電性軸受と、各導電性軸受の各内輪が電気的に絶縁されて同軸に取り付けられるシャフトと、各導電性軸受の各内輪にそれぞれ電気的に接続される各給電部材と、を含んでおり、
各加工ユニットの各ワイヤを巻き掛け方向に送りながら各加工ユニットの各切断ワイヤ部分とワークとの間で放電を行ってワークを加工するマルチワイヤ放電加工装置。 A guide roller set including a plurality of guide rollers arranged at intervals, and a plurality of guide roller sets wound around the guide roller set at intervals in the longitudinal direction of each guide roller, A wire constituting a plurality of cutting wire portions separated from each other between a pair of adjacent guide rollers, and each wire strip, rotating in the same direction as the wire feed direction to rotate a common electric discharge machining power A plurality of processing units including a rotating electrode that feeds each strip;
A machining power supply for supplying electric discharge machining power to each rotating electrode,
Each guide roller of each processing unit is coaxially disposed adjacent to each other in the direction of each rotation axis, and each guide roller of each adjacent processing unit is electrically insulated from each other,
Each rotating electrode of each processing unit is arranged adjacent to the direction of each rotation axis, and each rotating electrode of each adjacent processing unit is electrically insulated from each other,
Each rotating electrode includes a conductive bearing in which each electrode member is attached to the outer side of each outer ring, a shaft in which each inner ring of each conductive bearing is electrically insulated and attached coaxially, and each conductive bearing. Each power supply member electrically connected to the inner ring,
A multi-wire electric discharge machining apparatus for machining a workpiece by discharging between each cutting wire portion of each machining unit and the workpiece while feeding each wire of each machining unit in the winding direction. 請求項１に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
各回転電極は、円筒状の導電体であること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 The multi-wire electric discharge machining apparatus according to claim 1,
Each rotating electrode is a cylindrical conductor,
A multi-wire electric discharge machining apparatus. 請求項１または２に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
各加工ユニットの各回転電極は同軸に配置されていること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 The multi-wire electric discharge machining apparatus according to claim 1 or 2,
Each rotating electrode of each processing unit is arranged coaxially,
A multi-wire electric discharge machining apparatus. 請求項１または２に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
隣接する各加工ユニットの各回転電極は各ワイヤの巻き掛け方向に位置をずらして交互に配置されていること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 The multi-wire electric discharge machining apparatus according to claim 1 or 2 ,
Each rotating electrode of each adjacent processing unit is alternately arranged with a position shifted in the winding direction of each wire,
A multi-wire electric discharge machining apparatus. 請求項４に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
各回転電極は、
その各外輪の外側に各電極部材が取り付けられる各導電性軸受と、
各導電性軸受の各内輪が電気的に絶縁して取り付けられる複数のシャフトと、
各導電性軸受の各内輪にそれぞれ電気的に接続される各給電部材と、を含み、
各シャフトは各加工ユニットの各ワイヤの巻き掛け方向に位置をずらして配置され、
隣接する各加工ユニットの各導電性軸受と各電極部材とは、各シャフトに交互に取り付けられていること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 The multi-wire electric discharge machining apparatus according to claim 4 ,
Each rotating electrode
Each conductive bearing to which each electrode member is attached to the outside of each outer ring,
A plurality of shafts to which each inner ring of each conductive bearing is electrically insulated and attached;
Each power supply member electrically connected to each inner ring of each conductive bearing,
Each shaft is arranged by shifting the position in the winding direction of each wire of each processing unit,
Each conductive bearing and each electrode member of each adjacent processing unit is alternately attached to each shaft,
A multi-wire electric discharge machining apparatus. 請求項１から４のいずれか１項に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
各加工ユニットは、各回転電極のワイヤ送り方向の上流側または下流側または両側或いは各回転電極に対向して配置され、各加工ユニットの各ワイヤの各条を各回転電極に押しつける複数のアイドルローラを備えること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 The multi-wire electric discharge machining apparatus according to any one of claims 1 to 4 ,
Each processing unit is arranged upstream or downstream in the wire feeding direction of each rotating electrode, or on both sides, or opposed to each rotating electrode, and a plurality of idle rollers that press each strip of each wire of each processing unit against each rotating electrode Providing
A multi-wire electric discharge machining apparatus. 請求項６に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
各アイドルローラは、各回転電極との間に各加工ユニットの各ワイヤの各条を挟みこむこと、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 The multi-wire electric discharge machining apparatus according to claim 6,
Each idle roller sandwiches each strip of each wire of each processing unit between each rotating electrode,
A multi-wire electric discharge machining apparatus. 請求項１から７のいずれか１項に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
各加工ユニットはそれぞれ複数の回転電極を含み、
各回転電極は、切断ワイヤ部分が伸びる方向の切断ワイヤ部分の中央からワイヤ巻き掛け方向に沿って互いに反対方向に向かって等距離の位置に配置されていること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 The multi-wire electric discharge machining apparatus according to any one of claims 1 to 7 ,
Each processing unit includes a plurality of rotating electrodes,
Each rotating electrode is disposed at an equidistant position from the center of the cutting wire portion in the direction in which the cutting wire portion extends toward the opposite direction along the wire winding direction,
A multi-wire electric discharge machining apparatus. 請求項１から８のいずれか１項に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
放電加工電力は、放電加工パルスと、放電加工パルスと逆電圧で放電加工パルスに続く残留電荷除電パルスと、を含む高周波パルスであること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 The multi-wire electric discharge machining apparatus according to any one of claims 1 to 8 ,
The electric discharge machining power is a high frequency pulse including an electric discharge machining pulse and a residual charge neutralizing pulse following the electric discharge machining pulse at a voltage opposite to the electric discharge machining pulse,
A multi-wire electric discharge machining apparatus. 請求項９に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
加工電源は、放電加工パルスを発生させる少なくとも１つの主スイッチングトランジスタと少なくとも１つの主直流電源と、放電加工後の残電荷を除去するために放電加工パルスと逆電圧の残留電荷除電パルスを発生させる少なくとも一つの副スイッチングトランジスタと少なくとも１つの副直流電源と、を含み、各加工ユニットにそれぞれ放電加工電力を供給する複数の加工電源ユニットを備えること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 The multi-wire electric discharge machining apparatus according to claim 9 ,
The machining power source generates at least one main switching transistor for generating an electric discharge machining pulse, at least one main DC power supply, and a residual charge discharging pulse having a voltage opposite to that of the electric discharge machining pulse in order to remove the residual electric charge after the electric discharge machining. Including a plurality of machining power supply units each including at least one sub-switching transistor and at least one sub-direct current power supply, each supplying electric discharge machining power to each machining unit;
A multi-wire electric discharge machining apparatus. 請求項１０に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
各加工電源ユニットは、複数の主スイッチングトランジスタを含み、
各加工電源ユニットの各主スイッチングトランジスタはタイミングをずらして放電加工パルスを順次発生させること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 The multi-wire electric discharge machine according to claim 10 ,
Each processing power unit includes a plurality of main switching transistors,
Each main switching transistor of each machining power supply unit generates electric discharge machining pulses sequentially at different timings,
A multi-wire electric discharge machining apparatus. 請求項１０または１１に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
各加工電源ユニットの主スイッチングトランジスタの個数は各加工電源ユニットの副スイッチングトランジスタの個数と同じかそれより多いこと、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 The multi-wire electric discharge machining apparatus according to claim 10 or 11,
The number of main switching transistors in each processing power supply unit is equal to or more than the number of sub-switching transistors in each processing power supply unit,
A multi-wire electric discharge machining apparatus. 請求項１０から１２のいずれか１項に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
各加工電源ユニットは、それぞれ複数の主スイッチングトランジスタと少なくとも１つの副スイッチングトランジスタとを含み、
各加工電源ユニットの各主スイッチングトランジスタはタイミングをずらしてそれぞれ所定の周期でオンオフして放電加工パルスを順次発生させ、
各加工電源ユニットの副スイッチングトランジスタは各加工電源ユニットの一の主スイッチングトランジスタがオフになってから各加工電源ユニットの次の主スイッチングトランジスタがオンとなるまでの間にオンオフし、各加工電源ユニットの一の主スイッチングトランジスタによって発生した放電加工パルスに続く残留電荷除電パルスを発生させること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 The multi-wire electric discharge machining apparatus according to any one of claims 10 to 12 ,
Each machining power unit includes a plurality of main switching transistors and at least one sub-switching transistor,
Each main switching transistor of each machining power supply unit shifts the timing and turns it on and off at a predetermined cycle to sequentially generate electric discharge machining pulses,
The sub-switching transistor of each machining power supply unit is turned on / off between the time when one main switching transistor of each machining power supply unit is turned off and the time when the next main switching transistor of each machining power supply unit is turned on. Generating a residual charge neutralizing pulse following the electric discharge machining pulse generated by one main switching transistor of
A multi-wire electric discharge machining apparatus. 請求項１０から１３のいずれか１項に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
各加工電源ユニットは、それぞれ複数の主スイッチングトランジスタを含み、
各加工電源ユニットの各主スイッチングトランジスタはタイミングをずらしてそれぞれ所定の周期でオンオフして放電加工パルスを順次発生させ、
各加工電源ユニットの副スイッチングトランジスタは各加工電源ユニット毎に共通で、各加工電源ユニットの副スイッチングトランジスタは各加工電源ユニットの主スイッチングトランジスタのオンオフの周期の各加工電源ユニットの主スイッチングトランジスタの個数分の一の周期でオンオフし、各放電加工パルスに続く残留電荷除電パルスを順次発生させること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 The multi-wire electric discharge machining apparatus according to any one of claims 10 to 13 ,
Each processing power unit includes a plurality of main switching transistors,
Each main switching transistor of each machining power supply unit shifts the timing and turns it on and off at a predetermined cycle to sequentially generate electric discharge machining pulses,
The sub switching transistor of each machining power supply unit is common to each machining power supply unit, and the sub switching transistor of each machining power supply unit is the number of main switching transistors of each machining power supply unit in the ON / OFF cycle of the main switching transistor of each machining power supply unit. ON / OFF with a period of a minute, and sequentially generating residual charge neutralization pulses following each electric discharge machining pulse,
A multi-wire electric discharge machining apparatus. 間隔をおいて配設された複数のガイドローラを含むガイドローラ組と、各ガイドローラの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられて複数条となり、ガイドローラ組のうちの一対の隣り合うガイドローラ間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部分を構成するワイヤと、ワイヤの各条に接し、ワイヤの送り方向と同じ方向に向かって回転して共通の放電加工電力をワイヤの各条に給電する回転電極と、を含む複数の加工ユニットと、スイッチングトランジスタを含み各回転電極にそれぞれ放電加工電力を供給する加工電源と、を備え、各加工ユニットの各ガイドローラは各回転軸の方向に隣接して同軸に配置され、隣接する各加工ユニットの各ガイドローラは互いに電気的に絶縁され、各加工ユニットの各回転電極は各回転軸の方向に隣接して配置され、隣接する各加工ユニットの各回転電極は互いに電気的に絶縁されるマルチワイヤ放電加工装置を用い、各回転電極は、その各外輪の外側に各電極部材が取り付けられる各導電性軸受と、各導電性軸受の各内輪が電気的に絶縁されて同軸に取り付けられるシャフトと、各導電性軸受の各内輪にそれぞれ電気的に接続される各給電部材とを含み、各加工ユニットの各ワイヤを巻き掛け方向に送りながら各加工ユニットの各切断ワイヤ部分と炭化ケイ素のインゴットとの間で放電を行って炭化ケイ素のインゴットから複数の炭化ケイ素板を切り出す炭化ケイ素板の製造方法であって、A guide roller set including a plurality of guide rollers arranged at intervals, and a plurality of guide roller sets wound around the guide roller set at intervals in the longitudinal direction of each guide roller, A wire constituting a plurality of cutting wire portions separated from each other between a pair of adjacent guide rollers, and each wire strip, rotating in the same direction as the wire feed direction to rotate a common electric discharge machining power A plurality of machining units each including a rotating electrode that feeds each strip; and a machining power source that includes a switching transistor and that supplies electric discharge machining power to each rotating electrode, and each guide roller of each machining unit has a rotating shaft. The guide rollers of the adjacent processing units are electrically insulated from each other, and the rotating electrodes of the processing units are Are arranged adjacent to each other, and each rotating electrode of each adjacent machining unit is electrically insulated from each other using a multi-wire electric discharge machining apparatus, and each rotating electrode is attached to each electrode member on the outside of its outer ring. Each of the conductive bearings, a shaft on which each inner ring of each conductive bearing is electrically insulated and mounted coaxially, and each power supply member electrically connected to each inner ring of each conductive bearing, A silicon carbide plate for cutting a plurality of silicon carbide plates from a silicon carbide ingot by discharging between each cutting wire portion of each processing unit and a silicon carbide ingot while feeding each wire of each processing unit in the winding direction. A manufacturing method comprising:
加工電源のスイッチングトランジスタをオンオフさせて高周波パルスを発生させ、この高周波パルスを放電加工用電力として供給すること、Generating a high-frequency pulse by turning on and off the switching transistor of the machining power supply and supplying this high-frequency pulse as electric power for electric discharge machining;
を特徴とする炭化ケイ素板の製造方法。A method for producing a silicon carbide plate characterized by the above. 請求項１５に記載の炭化ケイ素板の製造方法であって、A method for producing a silicon carbide plate according to claim 15,
マルチワイヤ放電加工装置の加工電源は、放電加工パルスを発生させる少なくとも１つの主スイッチングトランジスタと少なくとも１つの主直流電源と、放電加工後の残電荷を除去するために放電加工パルスと逆電圧の残留電荷除電パルスを発生させる少なくとも一つの副スイッチングトランジスタと少なくとも１つの副直流電源と、を含み、各加工ユニットにそれぞれ放電加工電力を供給する複数の加工電源ユニットを備え、The machining power source of the multi-wire electric discharge machining apparatus includes at least one main switching transistor for generating an electric discharge machining pulse, at least one main DC power source, and a residual electric discharge pulse and a reverse voltage in order to remove residual charge after electric discharge machining. A plurality of machining power supply units each including at least one sub-switching transistor and at least one sub-direct current power source for generating a charge static elimination pulse and supplying electric discharge machining power to each machining unit;
各加工ユニットの各主スイッチングトランジスタはタイミングをずらして放電加工パルスを順次発生させること、  Each main switching transistor of each machining unit generates electric discharge machining pulses in sequence at different timings,
を特徴とする炭化ケイ素板の製造方法。A method for producing a silicon carbide plate characterized by the above. 請求項１６に記載の炭化ケイ素板の製造方法であって、
各加工電源ユニットは、それぞれ複数の主スイッチングトランジスタと少なくとも１つの副スイッチングトランジスタとを含み、
各加工電源ユニットの各主スイッチングトランジスタはタイミングをずらしてそれぞれ所定の周期でオンオフして放電加工パルスを順次発生させ、
各加工電源ユニットの各副スイッチングトランジスタは各加工電源ユニットの一の主スイッチングトランジスタがオフになってから各加工電源ユニットの次の主スイッチングトランジスタがオンとなるまでの間にオンオフし、各加工電源ユニットの一の主スイッチングトランジスタによって発生した放電加工パルスに続く残留電荷除電パルスを発生させること、
を特徴とする炭化ケイ素板の製造方法。 A method for producing a silicon carbide plate according to claim 16,
Each machining power unit includes a plurality of main switching transistors and at least one sub-switching transistor,
Each main switching transistor of each machining power supply unit shifts the timing and turns it on and off at a predetermined cycle to sequentially generate electric discharge machining pulses,
Each sub-switching transistor of each machining power supply unit is turned on / off between the time when one main switching transistor of each machining power supply unit is turned off until the next main switching transistor of each machining power supply unit is turned on. Generating a residual charge neutralization pulse following the electrical discharge machining pulse generated by one main switching transistor of the unit;
A method for producing a silicon carbide plate characterized by the above.
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