JP5783313B2 - Optical measuring device - Google Patents

Optical measuring device Download PDF

Info

Publication number
JP5783313B2
JP5783313B2 JP2014201290A JP2014201290A JP5783313B2 JP 5783313 B2 JP5783313 B2 JP 5783313B2 JP 2014201290 A JP2014201290 A JP 2014201290A JP 2014201290 A JP2014201290 A JP 2014201290A JP 5783313 B2 JP5783313 B2 JP 5783313B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gear
optical fiber
optical
measurement
fixed body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2014201290A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2015025815A (en
Inventor
秀裕 安宅
秀裕 安宅
修一 山田
修一 山田
将徳 中野
将徳 中野
栄二 川田
栄二 川田
秀一 明石
秀一 明石
広幸 黒木
広幸 黒木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Inc filed Critical Toppan Inc
Priority to JP2014201290A priority Critical patent/JP5783313B2/en
Publication of JP2015025815A publication Critical patent/JP2015025815A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5783313B2 publication Critical patent/JP5783313B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、光ファイバを用いて測定対象物に検出光を投光し、その反射光を当該光ファイバが受光して測定対象物の特性を測定する光学式測定装置に関する。   The present invention relates to an optical measurement apparatus that projects detection light onto a measurement object using an optical fiber, and that the reflected light is received by the optical fiber to measure the characteristics of the measurement object.

光学式測定装置において、光ファイバは、発振器において発振された検出光を測定対象物にまで導光する。光ファイバは、当該測定対象物に向かって検出光を投光(照射)する。検出光は、測定対象物に反射する。光ファイバは、この反射光を受光し、検出器にまで導光する。検出器によって、反射光のスペクトルまたは吸収度などが測定される。反射光のスペクトルまたは吸収度などに基づいて、光学式測定装置は測定対象物の特性(濃度または化学種等)を測定(分析)することができる。   In the optical measurement apparatus, the optical fiber guides the detection light oscillated by the oscillator to the measurement object. The optical fiber projects (irradiates) detection light toward the measurement object. The detection light is reflected by the measurement object. The optical fiber receives this reflected light and guides it to the detector. The spectrum or absorbance of the reflected light is measured by the detector. Based on the spectrum or the absorbance of the reflected light, the optical measurement device can measure (analyze) the characteristics (concentration or chemical species) of the measurement object.

測定対象物は、所望の目的に応じて種々の態様に配置される。一般的な光学式測定装置においては、測定対象物が所定の位置に固定配置された状態で、その特性が測定される。固定された光ファイバに対して測定対象物を動かすことは、測定精度の低下につながる可能性が高いためである。したがって一般的な光学式測定装置においては、固定配置された測定対象物に対し、光ファイバが2次元方向または3次元方向に動かされている。   The measurement object is arranged in various modes according to a desired purpose. In a general optical measurement apparatus, the characteristic is measured in a state where the measurement object is fixedly arranged at a predetermined position. This is because moving the measurement object relative to the fixed optical fiber is likely to lead to a decrease in measurement accuracy. Therefore, in a general optical measurement apparatus, an optical fiber is moved in a two-dimensional direction or a three-dimensional direction with respect to a measurement object fixedly arranged.

特開2000−158174号公報(特許文献1)には、レーザ光を伝送する光ファイバケーブルを用いて、3次元加工を行なうというレーザ加工装置が開示されている。特開平10−58131号公報(特許文献2)には、光ファイバ先端に取り付けられた集光レンズ機構が、光軸まわりに回転するという光ビーム加熱装置が開示されている。特開平7−294704号公報(特許文献3)には、光ファイバに反射防止膜を形成する光ファイバコネクタ反射防止膜の形成装置が開示されている。   Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-158174 (Patent Document 1) discloses a laser processing apparatus that performs three-dimensional processing using an optical fiber cable that transmits laser light. Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-58131 (Patent Document 2) discloses a light beam heating device in which a condensing lens mechanism attached to the tip of an optical fiber rotates around the optical axis. Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-294704 (Patent Document 3) discloses an optical fiber connector antireflection film forming apparatus for forming an antireflection film on an optical fiber.

特開2000−158174号公報JP 2000-158174 A 特開平10−58131号公報JP-A-10-58131 特開平7−294704号公報JP 7-294704 A

本発明は、円周上に沿うように配置された測定対象物の特性を光ファイバを用いて測定する際に、光ファイバにねじれが発生することを抑制することによって、より高い精度で測定対象物の特性を測定することができる光学式測定装置を提供することを目的とする。   The present invention provides a measurement object with higher accuracy by suppressing the occurrence of twisting in the optical fiber when measuring the characteristics of the measurement object arranged along the circumference using the optical fiber. It is an object of the present invention to provide an optical measuring device capable of measuring properties of an object.

本発明の第1の局面に基づく光学式測定装置は、円周上に沿うように並んで配置された複数の測定対象物の特性を光ファイバを用いて測定する光学式測定装置である。当該光学式測定装置は、固定体と、回転体と、上記光ファイバとを備えている。 The optical measuring device based on 1st aspect of this invention is an optical measuring device which measures the characteristic of the several measuring object arrange | positioned along with the circumference using an optical fiber. The optical measuring device includes a fixed body, a rotating body, and the optical fiber.

上記回転体は、上記固定体を中心に第1角速度で公転しつつ、第2角速度で自転可能となっている。上記光ファイバは、上記回転体によって保持され、複数の上記測定対象物に検出光を投光するとともに上記測定対象物からの反射光を受光する。そして、上記第1角速度および上記第2角速度は、大きさが同一であり且つ向きが反対となっている。上記特性を測定する際には、上記光ファイバの下方に配置された複数の上記測定対象物を固定させた状態で上記光ファイバを複数の上記測定対象物に対して円周方向に沿って相対移動させ、相対移動する上記光ファイバからそれぞれの上記測定対象物に検出光を投光するとともに、それぞれの上記測定対象物からの反射光を上記光ファイバが受光する。当該光学式測定装置は、上記固定体の上方に位置し、上記固定体と同軸上に設けられた回転可能な第1歯車と、上記固定体および上記第1歯車の双方を貫通するように設けられ、上記固定体とは互いに固定されており、上記第1歯車との間に設けられたベアリングを介して上記第1歯車を回転自在に支持している支持軸と、上記第1歯車と水平方向において隣り合うように位置し、上記第1歯車との間に間隔を空けて配置された回転可能な第2歯車と、上記第1歯車の外周面および上記第2歯車の外周面に巻回された歯付ベルト部材と、上記第2歯車に回転動力を付与する回転駆動装置と、をさらに備える。上記回転体は、上記第1歯車の下面側に設けられ、上記光ファイバは、上記支持軸と離間した位置において上記第1歯車および上記回転体を順に貫通するように設けられる。上記光ファイバは、上記回転体とは互いに固定されており、上記第1歯車との間に設けられた他のベアリングを介して上記第1歯車に回転自在に支持されている。 The rotating body is capable of rotating at a second angular velocity while revolving around the fixed body at a first angular velocity. The optical fiber is held by the rotating body, projects detection light onto the plurality of measurement objects, and receives reflected light from the measurement objects. The first angular velocity and the second angular velocity are the same in magnitude and opposite in direction. When measuring the above characteristics, the optical fiber is relative to the plurality of measurement objects along the circumferential direction in a state where the plurality of measurement objects arranged below the optical fiber are fixed. The detection light is projected onto the respective measurement objects from the optical fibers that are moved and moved relative to each other, and the reflected light from the respective measurement objects is received by the optical fibers. The optical measuring device is located above the fixed body and provided so as to pass through both the fixed body and the first gear, and a rotatable first gear provided coaxially with the fixed body. The fixed body is fixed to each other, and a support shaft that rotatably supports the first gear via a bearing provided between the first gear and the first gear. A second rotatable gear that is positioned adjacent to the first gear and spaced from the first gear, and is wound around the outer peripheral surface of the first gear and the outer peripheral surface of the second gear. A toothed belt member, and a rotational drive device that applies rotational power to the second gear. The rotating body is provided on a lower surface side of the first gear, and the optical fiber is provided so as to pass through the first gear and the rotating body in order at a position separated from the support shaft. The optical fiber is fixed to the rotating body, and is rotatably supported by the first gear via another bearing provided between the optical fiber and the first gear.

本発明の第2の局面に基づく光学式測定装置は、上記第1の局面に基づく光学式測定装置において、上記固定体は、外形が円形状の第1円形部を有している。上記回転体は、外形が円形状の第2円形部を有している。上記第1円形部と上記第2円形部とは同径となっている。そして、当該光学式測定装置は、上記第1円形部の外周面および上記第2円形部の外周面を取り囲む環状のベルト部材をさらに備えている。   The optical measuring device based on the second aspect of the present invention is the optical measuring device based on the first aspect, wherein the fixed body has a first circular portion whose outer shape is circular. The rotating body has a second circular portion having a circular outer shape. The first circular portion and the second circular portion have the same diameter. The optical measuring device further includes an annular belt member surrounding the outer peripheral surface of the first circular portion and the outer peripheral surface of the second circular portion.

本発明の第3の局面に基づく光学式測定装置は、上記第1の局面に基づく光学式測定装置において、上記固定体は、歯車状に形成された第1歯車部を有している。上記回転体は、上記第1歯車部と同径の歯車状に形成された第2歯車部を有している。そして、当該光学式測定装置は、上記第1歯車部および上記第2歯車部の間に配置される歯車をさらに備えている。   An optical measuring device based on the third aspect of the present invention is the optical measuring device based on the first aspect, wherein the fixed body has a first gear portion formed in a gear shape. The rotating body has a second gear portion formed in a gear shape having the same diameter as the first gear portion. The optical measurement device further includes a gear disposed between the first gear portion and the second gear portion.

本発明の第4の局面に基づく光学式測定装置は、上記第1から上記第3のいずれかの局面に基づく光学式測定装置において、上記回転体が上記固定体を中心に所定の角度だけ公転する毎に、上記回転体の公転方向は逆向きになるよう構成されている。   An optical measurement device according to a fourth aspect of the present invention is the optical measurement device according to any one of the first to third aspects, wherein the rotating body revolves a predetermined angle around the fixed body. Each time, the revolution direction of the rotating body is reversed.

本発明によれば、円周上に沿うように配置された測定対象物の特性を光ファイバを用いて測定する際に、光ファイバにねじれが発生することを抑制することによって、より高い精度で測定対象物の特性を測定することができる光学式測定装置を得ることができる。   According to the present invention, when measuring characteristics of an object to be measured along the circumference using an optical fiber, the optical fiber is prevented from being twisted, thereby achieving higher accuracy. An optical measurement device that can measure the characteristics of the measurement object can be obtained.

実施の形態1(および実施の形態1の他の構成)における光学式測定装置を示す第1斜視図である。It is a 1st perspective view which shows the optical measuring device in Embodiment 1 (and other structure of Embodiment 1). 実施の形態1における光学式測定装置を示す第2斜視図である。FIG. 3 is a second perspective view showing the optical measurement device in the first embodiment. 実施の形態1における光学式測定装置を示す平面図である。1 is a plan view showing an optical measurement device in Embodiment 1. FIG. 図3におけるIV−IV線に関する矢視断面図である。It is arrow sectional drawing regarding the IV-IV line | wire in FIG. 実施の形態1における光学式測定装置の光ファイバの先端部を示す底面図である。FIG. 3 is a bottom view showing the tip portion of the optical fiber of the optical measurement device according to Embodiment 1. 実施の形態1における光学式測定装置の第1の回転状態を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing a first rotation state of the optical measurement device in the first embodiment. 実施の形態1における光学式測定装置の第2の回転状態を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a second rotation state of the optical measurement device according to the first embodiment. 実施の形態1における光学式測定装置の第3の回転状態を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing a third rotation state of the optical measurement device in the first embodiment. 実施の形態1における光学式測定装置の第4の回転状態を示す平面図である。FIG. 10 is a plan view showing a fourth rotation state of the optical measurement apparatus in the first embodiment. 実施の形態1のさらに他の構成における光ファイバの第1の例を示す底面図である。FIG. 6 is a bottom view showing a first example of an optical fiber in still another configuration of the first embodiment. 実施の形態1のさらに他の構成における光ファイバの第2の例を示す底面図である。FIG. 10 is a bottom view showing a second example of an optical fiber in still another configuration of the first embodiment. 実施の形態1のさらに他の構成における光ファイバの第3の例を示す底面図である。FIG. 10 is a bottom view showing a third example of an optical fiber in still another configuration of the first embodiment. 実施の形態1のさらに他の構成における光ファイバの第4の例を示す底面図である。FIG. 10 is a bottom view showing a fourth example of an optical fiber in still another configuration of the first embodiment. 実施の形態2における光学式測定装置を示す平面図である。6 is a plan view showing an optical measurement device in Embodiment 2. FIG. 図14におけるXV−XV線に関する矢視断面図である。It is arrow sectional drawing regarding the XV-XV line | wire in FIG. 実施の形態2の他の構成における光学式測定装置を示す平面図である。FIG. 10 is a plan view showing an optical measurement device in another configuration of the second embodiment. 図16におけるXVII−XVII線に関する矢視断面図である。It is arrow sectional drawing regarding the XVII-XVII line | wire in FIG. 実施の形態2のさらに他の構成における光学式測定装置を示す平面図である。FIG. 12 is a plan view showing an optical measurement device in still another configuration of the second embodiment. 図18におけるXIX−XIX線に関する矢視断面図である。It is arrow sectional drawing regarding the XIX-XIX line | wire in FIG. 実施の形態3における光学式測定装置を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing an optical measurement device in a third embodiment. 実施の形態3の他の形態における光学式測定装置を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing an optical measurement device in another form of the third embodiment. 実施の形態3のさらに他の形態における光学式測定装置を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing an optical measurement device in still another embodiment of the third embodiment.

本発明に基づいた各実施の形態における光学式測定装置について、以下、図面を参照しながら説明する。以下の説明において、個数および量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数および量などに限定されない。以下の説明において、同一の部品および相当部品に対しては同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない場合がある。特に制限が無い限り、下記に示す各実施の形態に示す構成を適宜組み合わせて用いることは、当初から予定されている。   The optical measurement apparatus according to each embodiment based on the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description, when referring to the number and amount, unless otherwise specified, the scope of the present invention is not necessarily limited to the number and amount. In the following description, the same components and corresponding components will be denoted by the same reference numerals, and redundant descriptions may not be repeated. Unless there is a restriction | limiting in particular, it is scheduled from the beginning to use suitably combining the structure shown in each embodiment shown below.

[実施の形態1]
(光学式測定装置1Aの構成)
図1〜図5を参照して、本実施の形態における光学式測定装置1Aの構成について説明する。図1は、光学式測定装置1Aの上方側を示す斜視図である。図2は、光学式測定装置1Aの下方側を示す斜視図である。図3は、光学式測定装置1Aの上方側を示す平面図である。図4は、図3におけるIV−IV線に関する矢視断面図である。図5は、光学式測定装置1Aにおける光ファイバ40の先端部42を示す底面図である。
[Embodiment 1]
(Configuration of optical measuring apparatus 1A)
With reference to FIGS. 1-5, the structure of 1 A of optical measuring apparatuses in this Embodiment is demonstrated. FIG. 1 is a perspective view showing the upper side of the optical measuring apparatus 1A. FIG. 2 is a perspective view showing the lower side of the optical measuring device 1A. FIG. 3 is a plan view showing the upper side of the optical measuring device 1A. 4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG. FIG. 5 is a bottom view showing the distal end portion 42 of the optical fiber 40 in the optical measuring apparatus 1A.

図1および図2を参照して、光学式測定装置1Aは、回転駆動装置10、歯車12,32、歯付ベルト部材20、支持軸31(回転軸)、光ファイバ40、ベルト部材60(図2参照)、プーリ54(固定体)、プーリ74(回転体)、発振器15、および検出器16を備えている。   Referring to FIGS. 1 and 2, the optical measuring device 1A includes a rotary drive device 10, gears 12, 32, a toothed belt member 20, a support shaft 31 (rotary shaft), an optical fiber 40, and a belt member 60 (FIG. 2), pulley 54 (fixed body), pulley 74 (rotary body), oscillator 15, and detector 16.

歯車12は、回転軸11によって支持されている。歯車12は、回転軸11を通して回転駆動装置10から回転動力を受ける。歯車12は、矢印AR12方向およびその反対方向に、回転軸11とともに回転可能となっている。   The gear 12 is supported by the rotating shaft 11. The gear 12 receives rotational power from the rotary drive device 10 through the rotary shaft 11. The gear 12 is rotatable with the rotary shaft 11 in the direction of the arrow AR12 and in the opposite direction.

歯付ベルト部材20は、環状に構成され、内周面21に凹凸が形成されている。当該凹凸は、歯車12の歯車状に形成された外周面13の形状、および歯車32の歯車状に形成された外周面33の形状に対応している。歯付ベルト部材20は、外周面13,33を取り囲むように外周面13,33に巻回されている。歯付ベルト部材20は、歯車12から動力を受け、矢印AR20方向およびその反対方向に回転可能となっている。   The toothed belt member 20 is formed in an annular shape, and irregularities are formed on the inner peripheral surface 21. The unevenness corresponds to the shape of the outer peripheral surface 13 formed in a gear shape of the gear 12 and the shape of the outer peripheral surface 33 formed in a gear shape of the gear 32. The toothed belt member 20 is wound around the outer peripheral surfaces 13 and 33 so as to surround the outer peripheral surfaces 13 and 33. The toothed belt member 20 receives power from the gear 12 and can rotate in the direction of the arrow AR20 and in the opposite direction.

図3および図4を参照して、支持軸31は所定のフレーム(図示せず)によって固定支持されている。プーリ54は、支持軸31の、長手方向(図4紙面上下方向)における所定の高さ位置に固定して取り付けられている。プーリ54は、外形が円形状の円形部54a(第1円形部)を有している。歯車32は、プーリ54の上方において、プーリ54と同軸上に配置されている。   3 and 4, support shaft 31 is fixedly supported by a predetermined frame (not shown). The pulley 54 is fixedly attached at a predetermined height position in the longitudinal direction (the vertical direction in FIG. 4) of the support shaft 31. The pulley 54 has a circular portion 54a (first circular portion) whose outer shape is circular. The gear 32 is disposed coaxially with the pulley 54 above the pulley 54.

歯車32と支持軸31との間には、ベアリング50が設けられている。ベアリング50によって、歯車32は支持軸31周りに回転可能に支持されている。歯車32は、歯付ベルト部材20から動力を受け、矢印AR32a方向およびその反対方向(図1におけるAR32b方向)に回転可能となっている。歯車32が回転するとき、支持軸31およびプーリ54は回転しない。   A bearing 50 is provided between the gear 32 and the support shaft 31. The gear 32 is rotatably supported by the bearing 50 around the support shaft 31. The gear 32 receives power from the toothed belt member 20, and can rotate in the direction of the arrow AR32a and in the opposite direction (AR32b direction in FIG. 1). When the gear 32 rotates, the support shaft 31 and the pulley 54 do not rotate.

光ファイバ40の一端(図4紙面上方側)は、発振器15(図1参照)および検出器16(図1参照)に接続されている。光ファイバ40の他端側(図4紙面下方側)は、支持軸31と離間した位置において歯車32の一部を貫通している。歯車32と光ファイバ40との間には、ベアリング70が設けられている。   One end (upper side in FIG. 4) of the optical fiber 40 is connected to the oscillator 15 (see FIG. 1) and the detector 16 (see FIG. 1). The other end side (the lower side in FIG. 4) of the optical fiber 40 passes through a part of the gear 32 at a position separated from the support shaft 31. A bearing 70 is provided between the gear 32 and the optical fiber 40.

ベアリング70によって、光ファイバ40は歯車32に回転可能に支持されている。ベアリング70によって、光ファイバ40は歯車32に対して矢印AR40方向(図1参照)およびその反対方向に回転(自転)可能となっている。   The optical fiber 40 is rotatably supported by the gear 32 by the bearing 70. The bearing 70 allows the optical fiber 40 to rotate (rotate) in the direction of the arrow AR40 (see FIG. 1) and the opposite direction with respect to the gear 32.

歯車32の下面側に位置する光ファイバ40の先端側には、プーリ74が光ファイバ40と同軸上に光ファイバ40に取り付けられている。プーリ74と光ファイバ40とは、一体的に回転(自転)可能となっている。さらに、プーリ74と光ファイバ40とは、歯車32が支持軸31周りに回転することによって、支持軸31周りに一体的に回転(公転)可能となっている。   A pulley 74 is attached to the optical fiber 40 coaxially with the optical fiber 40 on the distal end side of the optical fiber 40 located on the lower surface side of the gear 32. The pulley 74 and the optical fiber 40 can be integrally rotated (spinned). Further, the pulley 74 and the optical fiber 40 can rotate (revolve) integrally around the support shaft 31 by the gear 32 rotating around the support shaft 31.

図4に示すように、プーリ74は、プーリ54と略同一高さに位置している。プーリ74は、外形が円形状の円形部74a(第2円形部)を有している。プーリ54の円形部54aおよびプーリ74の円形部74aは、直径が同一に構成されている。ベルト部材60は、円形部54aの外周面および円形部74aの外周面を取り囲むように、これらに巻回されている。   As shown in FIG. 4, the pulley 74 is located at substantially the same height as the pulley 54. The pulley 74 has a circular portion 74a (second circular portion) whose outer shape is circular. The circular portion 54a of the pulley 54 and the circular portion 74a of the pulley 74 are configured to have the same diameter. The belt member 60 is wound around these so as to surround the outer peripheral surface of the circular portion 54a and the outer peripheral surface of the circular portion 74a.

図5を参照して、光ファイバ40の先端部42には、投光用ファイバ91と、受光用ファイバ92とが複数露出するように設けられている。光学式測定装置1Aにおける光ファイバ40は、12本の投光用ファイバ91が正六角形状に配列され、その内側を埋めるように7本の受光用ファイバ92が配置されている。光学式測定装置1Aにおいては、投光用ファイバ91および受光用ファイバ92は、点対称に配列されている。   Referring to FIG. 5, a plurality of light projecting fibers 91 and light receiving fibers 92 are provided at the distal end portion 42 of the optical fiber 40 so as to be exposed. In the optical fiber 40 in the optical measurement apparatus 1A, twelve light projecting fibers 91 are arranged in a regular hexagonal shape, and seven light receiving fibers 92 are arranged so as to fill the inside thereof. In the optical measurement apparatus 1A, the light projecting fibers 91 and the light receiving fibers 92 are arranged point-symmetrically.

図1および図4を参照して、以上のように構成された光学式測定装置1Aに対して、歯車32の下方に測定対象ユニット100が配置される。測定対象ユニット100の表面には、測定対象物101が円周上に沿うように複数配置されている。各測定対象物101は、回転(公転)する光ファイバ40(の先端部42)に対向するように配置されている。   With reference to FIG. 1 and FIG. 4, the measuring object unit 100 is arrange | positioned under the gearwheel 32 with respect to the optical measuring device 1A comprised as mentioned above. On the surface of the measurement target unit 100, a plurality of measurement objects 101 are arranged along the circumference. Each measurement object 101 is disposed so as to face the rotating (revolving) optical fiber 40 (the end portion 42 thereof).

(光学式測定装置1Aの動作)
図6〜図9を参照して、光学式測定装置1Aの動作について説明する。図6は、光学式測定装置1Aの第1の回転状態を示す平面図である。図7は、光学式測定装置1Aの第2の回転状態を示す平面図である。図8は、光学式測定装置1Aの第3の回転状態を示す平面図である。図9は、光学式測定装置1Aの第4の回転状態を示す平面図である。
(Operation of optical measuring apparatus 1A)
With reference to FIGS. 6-9, operation | movement of 1 A of optical measuring apparatuses is demonstrated. FIG. 6 is a plan view showing a first rotation state of the optical measurement apparatus 1A. FIG. 7 is a plan view showing a second rotation state of the optical measuring device 1A. FIG. 8 is a plan view showing a third rotation state of the optical measurement apparatus 1A. FIG. 9 is a plan view showing a fourth rotation state of the optical measuring device 1A.

図6を参照して、第1の回転状態において、歯車12が矢印AR12方向に回転する。歯付ベルト部材20は矢印AR20方向に回転する。歯車32は矢印AR32a方向に回転する。このとき、歯車32は矢印AR32a方向に、時間Tの間に角度θ(たとえば90°)だけ回転したとする。   Referring to FIG. 6, in the first rotation state, gear 12 rotates in the direction of arrow AR12. The toothed belt member 20 rotates in the direction of the arrow AR20. The gear 32 rotates in the direction of the arrow AR32a. At this time, it is assumed that the gear 32 is rotated by an angle θ (for example, 90 °) during the time T in the arrow AR32a direction.

歯車32の回転に伴って、プーリ74は、プーリ54を中心に角度θだけ公転する。プーリ74は、第1角速度R1(=角度θ/時間T)で矢印AR32a方向に公転する。このとき、歯車32が回転してもプーリ54は回転しない。   As the gear 32 rotates, the pulley 74 revolves about the pulley 54 by an angle θ. The pulley 74 revolves in the arrow AR32a direction at the first angular velocity R1 (= angle θ / time T). At this time, the pulley 54 does not rotate even if the gear 32 rotates.

プーリ74が矢印AR32a方向に公転することに伴って、プーリ74は矢印AR74b方向(矢印AR74a方向とは反対方向)に回転(自転)しようとする。換言すると、プーリ74の回転方向における絶対的な位相が変化しようとする。   As the pulley 74 revolves in the direction of the arrow AR32a, the pulley 74 tries to rotate (spin) in the direction of the arrow AR74b (the direction opposite to the direction of the arrow AR74a). In other words, the absolute phase in the rotation direction of the pulley 74 tends to change.

ベルト部材60は、固定配置されているプーリ54に巻回されている。プーリ74の回転方向における絶対的な位相が変化しようとしていることに対して、ベルト部材60は、プーリ74(の外周面)を矢印AR60方向に回転させるように作用する。その結果、プーリ74は、プーリ74が矢印AR32a方向に公転することに伴って、矢印AR74a方向に第2角速度R2で回転(自転)する。第1角速度R1および第2角速度R2は向きが反対となっている。   The belt member 60 is wound around a pulley 54 that is fixedly arranged. While the absolute phase in the rotation direction of the pulley 74 is about to change, the belt member 60 acts to rotate the pulley 74 (the outer peripheral surface thereof) in the direction of the arrow AR60. As a result, the pulley 74 rotates (spins) at the second angular velocity R2 in the direction of the arrow AR74a as the pulley 74 revolves in the direction of the arrow AR32a. The first angular velocity R1 and the second angular velocity R2 are opposite in direction.

光学式測定装置1Aにおいては、円形部54aおよび円形部74aは直径が同一に構成されているため、第1角速度R1および第2角速度R2は、大きさ(速度分配)が同一となっている。歯車32が矢印AR32a方向に時間Tの間に角度θだけ回転したとき、プーリ74は歯車32に対して矢印AR74a方向に時間Tの間に角度(−θ)だけ回転する。ベルト部材60は、プーリ74に対して、プーリ74の回転方向における絶対的な位相の変化を相殺するように作用している。   In the optical measuring device 1A, the circular portion 54a and the circular portion 74a are configured to have the same diameter, and thus the first angular velocity R1 and the second angular velocity R2 have the same size (velocity distribution). When the gear 32 rotates in the direction of arrow AR32a by an angle θ during time T, the pulley 74 rotates with respect to the gear 32 in the direction of arrow AR74a by an angle (−θ) during time T. The belt member 60 acts on the pulley 74 so as to cancel an absolute phase change in the rotation direction of the pulley 74.

図7における第2の回転状態に示すように、基準位置M(説明の便宜上付している)の位置は、図6における第1の回転状態から変化していない。換言すると、基準位置Mの回転方向における絶対的な位相は、歯車32が角度θだけ回転する前後において変化しておらず、常に紙面最も右側に位置している。   As shown in the second rotation state in FIG. 7, the position of the reference position M (shown for convenience of explanation) has not changed from the first rotation state in FIG. In other words, the absolute phase in the rotation direction of the reference position M does not change before and after the gear 32 rotates by the angle θ, and is always located on the rightmost side of the page.

歯車32が回転したとしても、プーリ74における絶対的な位相が変化しないため、光ファイバ40は回転(自転)することがない。光学式測定装置1Aによると、光ファイバ40にねじれが生じることが抑制されている。   Even if the gear 32 rotates, the absolute phase in the pulley 74 does not change, so the optical fiber 40 does not rotate (spin). According to the optical measuring device 1A, the optical fiber 40 is suppressed from being twisted.

図7における第2の回転状態において、さらに歯車32が角度θ(90°)だけ回転したとする。光ファイバ40は、支持軸31周りに、矢印AR32aに示す方向に角度θだけさらに公転する。   In the second rotation state in FIG. 7, it is assumed that the gear 32 is further rotated by an angle θ (90 °). The optical fiber 40 further revolves around the support shaft 31 by an angle θ in the direction indicated by the arrow AR32a.

図8における第3の回転状態に示すように、基準位置Mの位置は、図7における第2の回転状態から変化していない。基準位置Mの回転方向における絶対的な位相は、常に紙面最も右側に位置している。歯車32が角度θだけ回転する前後において、光ファイバ40にねじれは生じていない。   As shown in the third rotation state in FIG. 8, the position of the reference position M has not changed from the second rotation state in FIG. The absolute phase in the rotation direction of the reference position M is always located on the rightmost side of the page. The optical fiber 40 is not twisted before and after the gear 32 is rotated by the angle θ.

同様に、図8における第3の回転状態において、さらに歯車32が角度θ(90°)だけ回転したとする。光ファイバ40は、支持軸31周りに、矢印AR32aに示す方向に角度θだけさらに公転する。   Similarly, it is assumed that the gear 32 is further rotated by an angle θ (90 °) in the third rotation state in FIG. The optical fiber 40 further revolves around the support shaft 31 by an angle θ in the direction indicated by the arrow AR32a.

図9における第4の回転状態に示すように、基準位置Mの位置は、図8における第3の回転状態から変化していない。基準位置Mの回転方向における絶対的な位相は、常に紙面最も右側に位置している。歯車32が角度θだけ回転する前後において、光ファイバ40にねじれは生じていない。   As shown in the fourth rotation state in FIG. 9, the position of the reference position M has not changed from the third rotation state in FIG. 8. The absolute phase in the rotation direction of the reference position M is always located on the rightmost side of the page. The optical fiber 40 is not twisted before and after the gear 32 is rotated by the angle θ.

光学式測定装置1Aによれば、光ファイバ40が支持軸31周りに複数回公転したとしても、光ファイバ40にねじれが生じることはない。   According to the optical measuring apparatus 1A, even if the optical fiber 40 revolves around the support shaft 31 a plurality of times, the optical fiber 40 is not twisted.

光ファイバ40にねじれが生じないため、投光用ファイバ91内を導光する検出光48a(図4参照)および受光用ファイバ92内を導光する反射光48bへの影響が防止されている。発振器15において生成された所望の設定条件に基づく検出光48aは、当該設定条件を維持した状態で、投光用ファイバ91によって導光され、測定対象物101(図4参照)に投光される。測定対象物101からの反射光48bは、受光用ファイバ92によって受光され、測定対象物101の特性を示すスペクトル等(光バランス)を維持した状態で、検出器16(図1参照)にまで導光される。   Since the optical fiber 40 is not twisted, the influence on the detection light 48a (see FIG. 4) guided in the light projecting fiber 91 and the reflected light 48b guided in the light receiving fiber 92 is prevented. The detection light 48a based on a desired setting condition generated in the oscillator 15 is guided by the light projecting fiber 91 while maintaining the setting condition, and is projected onto the measurement object 101 (see FIG. 4). . The reflected light 48b from the measurement object 101 is received by the light receiving fiber 92 and guided to the detector 16 (see FIG. 1) in a state where the spectrum indicating the characteristic of the measurement object 101 (light balance) is maintained. Lighted.

光学式測定装置1Aによれば、円周上に沿うように配置された測定対象物の特性を光ファイバ40を用いて測定する際に、光ファイバ40にねじれが発生することがないため、検出光48aおよび反射光48bの(スペクトル等の)特性が変化しない。光学式測定装置1Aによれば、より高い精度で測定対象物の特性(測光データ)を測定することが可能となっている。光学式測定装置1Aによれば、光ファイバ40にねじれが生じないため、光ファイバ40の長寿命化をも図ることも可能となっている。   According to the optical measuring apparatus 1A, since the optical fiber 40 is not twisted when the characteristics of the measurement object arranged along the circumference are measured using the optical fiber 40, the detection is performed. The characteristics (such as spectrum) of the light 48a and the reflected light 48b do not change. According to the optical measuring device 1A, it is possible to measure the characteristics (photometric data) of the measurement object with higher accuracy. According to the optical measuring apparatus 1A, since the optical fiber 40 is not twisted, the life of the optical fiber 40 can be extended.

なお、光学式測定装置1Aにおいては、歯車12および歯車32がプーリ状に構成され、且つ歯付ベルト部材20が凹凸を有さないゴムベルト状に構成されていてもよい。プーリ54およびプーリ74が歯車状に構成され、且つベルト部材60が歯付ベルト状に構成されていてもよい。   In the optical measuring apparatus 1A, the gear 12 and the gear 32 may be configured in a pulley shape, and the toothed belt member 20 may be configured in a rubber belt shape that does not have unevenness. The pulley 54 and the pulley 74 may be configured in a gear shape, and the belt member 60 may be configured in a toothed belt shape.

[実施の形態1の他の構成]
上述の実施の形態1においては、回転駆動装置10からの回転動力を受けて、光ファイバ40(プーリ74)が支持軸31(プーリ54)周りに矢印AR32a方向に複数回公転するという態様に基づき説明した。
[Other configuration of the first embodiment]
In the above-described first embodiment, the optical fiber 40 (pulley 74) revolves around the support shaft 31 (pulley 54) in the direction of the arrow AR32a a plurality of times in response to the rotational power from the rotary drive device 10. explained.

図1を参照して、光ファイバ40(プーリ74)は、支持軸31(プーリ54)を中心に1回公転する毎に、その回転方向が逆向きになるように構成されていてもよい。換言すると、光ファイバ40が矢印AR32a方向に1回公転した後、光ファイバ40はその回転方向を反転させ矢印AR32b方向に1回公転する。光ファイバ40は、この回転および反転動作を複数回繰り返すように構成されていてもよい。   With reference to FIG. 1, the optical fiber 40 (pulley 74) may be configured such that the rotation direction is reversed every time it revolves once around the support shaft 31 (pulley 54). In other words, after the optical fiber 40 revolves once in the direction of the arrow AR32a, the optical fiber 40 reverses its rotation direction and revolves once in the direction of the arrow AR32b. The optical fiber 40 may be configured to repeat this rotation and reversal operation a plurality of times.

光ファイバ40が、上記の回転動作および反転動作を複数回繰り返すように構成されている場合ついて、光ファイバ40の回転角度は360°に限られない。光ファイバ40がたとえば矢印AR32a方向に180°だけ回転した後、光ファイバ40はその回転方向を反転させ、再び矢印AR32b方向に180°だけ回転する。光ファイバ40は、このような回転動作および反転動作を複数回繰り返すように構成されていてもよい。   In the case where the optical fiber 40 is configured to repeat the above rotation operation and reversal operation a plurality of times, the rotation angle of the optical fiber 40 is not limited to 360 °. For example, after the optical fiber 40 is rotated by 180 ° in the direction of the arrow AR32a, the optical fiber 40 is reversed in its rotation direction and rotated again by 180 ° in the direction of the arrow AR32b. The optical fiber 40 may be configured to repeat such rotation and reversal operations a plurality of times.

回転角度についても、180°に限られず、120°であってもよいし、90°であってもよいし、任意の角度を採用することができる。回転角度については、測定対象ユニット100表面における複数の測定対象物101の配置位置に対応するように決定されるとよい。また、複数の測定対象物101のうち、一部の測定対象物101のみを測定するように、上記の回転角度が決定されてもよい。たとえば、測定対象ユニット100上に10個の測定対象物101が円周上に並んで載置されている場合、10個のうち隣接する3個のみの測定対象物に対して測定するように上記の回転角度が決定されてもよく、離間した3個のみの測定対象物に対して間欠的に測定するように上記の回転角度が決定されてもよい。   Also about a rotation angle, it is not restricted to 180 degrees, 120 degrees may be sufficient, 90 degrees may be sufficient, and arbitrary angles can be employ | adopted. The rotation angle may be determined so as to correspond to the arrangement positions of the plurality of measurement objects 101 on the surface of the measurement object unit 100. In addition, the rotation angle may be determined so that only some of the measurement objects 101 among the plurality of measurement objects 101 are measured. For example, when ten measurement objects 101 are placed on the circumference of the measurement target unit 100, only the three measurement objects adjacent to each other among the ten measurement objects are measured. The rotation angle may be determined, or the rotation angle may be determined so as to intermittently measure only three measurement objects that are spaced apart.

回転動作および反転動作が実施される回数については、1回(1方向へ)の回転動作(360°、180°、120°等)が1つの測定対象ユニット100に対して実施され、測定対象ユニット100が他の測定対象ユニット100に交換された後、1回(上記1方向とは反対の方向へ)の反転動作(−360°、−180°、−120°等)が当該他の測定対象ユニット100に対して実施されるように構成されてもよい。測定方法に応じて、1つの測定対象ユニット100に対して、回転動作および反転動作の実施される回数が決定されるとよい。   Regarding the number of times that the rotation operation and the reversal operation are performed, one rotation operation (in one direction) (360 °, 180 °, 120 °, etc.) is performed on one measurement target unit 100, and the measurement target unit After 100 is replaced with another measurement target unit 100, one reversal operation (in the direction opposite to the one direction) (−360 °, −180 °, −120 °, etc.) The unit 100 may be configured to be implemented. Depending on the measurement method, the number of times that the rotation operation and the reversal operation are performed on one measurement target unit 100 may be determined.

[実施の形態1のさらに他の構成]
上述の実施の形態1においては、光ファイバ40の投光用ファイバ91および受光用ファイバ92は、点対称に配列されているという態様に基づき説明した。投光用ファイバ91および受光用ファイバ92は、非点対称に配列されていてもよい。
[Still another configuration of the first embodiment]
In the above-described first embodiment, the light projecting fiber 91 and the light receiving fiber 92 of the optical fiber 40 have been described based on the aspect that they are arranged point-symmetrically. The light projecting fiber 91 and the light receiving fiber 92 may be arranged asymmetrically.

たとえば図10に示す光ファイバ40Aのように、11本の投光用ファイバ91と、8本の受光用ファイバ92とが線対称に配列されていてもよい。光ファイバ40Aにおいては、投光用ファイバ91が、正六角形の頂点上に6本、その内側に直線状に3本、その直線状の両側に2本配列されている。受光用ファイバ92は、正六角形の辺部上に6本、その内側に2本配列されている。   For example, eleven light projecting fibers 91 and eight light receiving fibers 92 may be arranged in line symmetry, as in an optical fiber 40A shown in FIG. In the optical fiber 40A, six projecting fibers 91 are arranged on the apex of the regular hexagon, three are linearly arranged inside, and two are arranged on both sides of the linear shape. Six light receiving fibers 92 are arranged on the side of the regular hexagon and two are arranged on the inner side.

光ファイバ40Aのように、投光用ファイバ91および受光用ファイバ92が線対称に配列されている場合、光ファイバ40Aが回転しない(ねじれが生じない)ことによって、より高い精度で測定対象物の特性(測光データ)を測定することが可能となる。これは、次述する光ファイバ40B〜40Dについても同様である。なお、投光用ファイバ91および受光用ファイバ92が非対称に配列されている場合であっても、光ファイバ40Aが回転しない(ねじれが生じない)ことによって、より高い精度で測定対象物の特性(測光データ)を測定することが可能となる。   When the light projecting fiber 91 and the light receiving fiber 92 are arranged in line symmetry like the optical fiber 40A, the optical fiber 40A does not rotate (no twisting), so that the object to be measured can be obtained with higher accuracy. It is possible to measure characteristics (photometric data). The same applies to optical fibers 40B to 40D described below. Even when the light projecting fiber 91 and the light receiving fiber 92 are arranged asymmetrically, the optical fiber 40A does not rotate (no twist), so that the characteristics of the measurement object (with higher accuracy) ( Photometric data) can be measured.

図11に示す光ファイバ40Bのように、8本の投光用ファイバ91と、11本の受光用ファイバ92とが線対称に配列されていてもよい。光ファイバ40Bにおいては、3本の受光用ファイバ92が直線状に配列され、これに隣接して4本の投光用ファイバ91が直線状に配列され、これに隣接して5本の受光用ファイバ92が直線状に配列されている。そして、この5本の受光用ファイバ92を挟んで、投光用ファイバ91および受光用ファイバ92が左右対称に構成されている。   As in the optical fiber 40B shown in FIG. 11, eight light projecting fibers 91 and eleven light receiving fibers 92 may be arranged in line symmetry. In the optical fiber 40B, three light receiving fibers 92 are arranged in a straight line, four light projecting fibers 91 are arranged in a straight line adjacent thereto, and five light receiving fibers are arranged adjacent to the four light projecting fibers 91. The fibers 92 are arranged in a straight line. The light projecting fiber 91 and the light receiving fiber 92 are symmetrically arranged with the five light receiving fibers 92 interposed therebetween.

図12に示す光ファイバ40Cのように、8本の投光用ファイバ91と、8本の受光用ファイバ92とが線対称に配列されていてもよい。光ファイバ40Cにおいては、投光用ファイバ91および受光用ファイバ92が、四角形状内において千鳥状に配列されている。   As in the optical fiber 40C shown in FIG. 12, eight light projecting fibers 91 and eight light receiving fibers 92 may be arranged in line symmetry. In the optical fiber 40C, the light projecting fibers 91 and the light receiving fibers 92 are arranged in a staggered pattern within a quadrangular shape.

図13に示す光ファイバ40Dのように、8本の投光用ファイバ91と、8本の受光用ファイバ92とが線対称に配列されていてもよい。光ファイバ40Dにおいては、4本の直線状に配列された投光用ファイバ91と、4本の直線状に配列された受光用ファイバ92とが、4角形状内において交互に並ぶように配列されている。   As in the optical fiber 40D shown in FIG. 13, eight light projecting fibers 91 and eight light receiving fibers 92 may be arranged in line symmetry. In the optical fiber 40D, four light projecting fibers 91 arranged in a straight line and four light receiving fibers 92 arranged in a straight line are arranged alternately in a quadrangular shape. ing.

光ファイバ40A〜40Dのように、投光用ファイバ91および受光用ファイバ92が線対称に配列されている場合であっても、光ファイバ40A〜40Dが回転しない(ねじれが生じない)ことによって、より高い精度で測定対象物の特性(測光データ)を測定することが可能となる。投光用ファイバ91および受光用ファイバ92が非対称に配列されている場合であっても、光ファイバ40A〜40Dが回転しない(ねじれが生じない)ことによって、より高い精度で測定対象物の特性(測光データ)を測定することが可能となる。   Even when the light projecting fiber 91 and the light receiving fiber 92 are arranged line-symmetrically like the optical fibers 40A to 40D, the optical fibers 40A to 40D do not rotate (no twist), It becomes possible to measure the characteristics (photometric data) of the measurement object with higher accuracy. Even when the light projecting fiber 91 and the light receiving fiber 92 are arranged asymmetrically, the optical fibers 40A to 40D do not rotate (no twisting), so that the characteristics of the measurement object (with higher accuracy) ( Photometric data) can be measured.

[実施の形態2]
(光学式測定装置1Bの構成)
図14および図15を参照して、本実施の形態における光学式測定装置1Bについて説明する。ここでは、上述の実施の形態1における光学式測定装置1Aとの相違点について説明する。図14は、光学式測定装置1Bの上方側を示す平面図である。図15は、図14におけるXV−XV線に関する矢視断面図である。
[Embodiment 2]
(Configuration of optical measuring device 1B)
With reference to FIG. 14 and FIG. 15, the optical measuring device 1B in this Embodiment is demonstrated. Here, differences from the optical measurement apparatus 1A in the first embodiment will be described. FIG. 14 is a plan view showing the upper side of the optical measurement apparatus 1B. 15 is a cross-sectional view taken along line XV-XV in FIG.

光学式測定装置1Bは、上述の実施の形態1の光学式測定装置1Aにおけるプーリ54、プーリ74、およびベルト部材60の代わりに、歯車55(固定体)、歯車75(回転体)、および歯車61を備えている。   The optical measuring device 1B uses a gear 55 (fixed body), a gear 75 (rotating body), and a gear instead of the pulley 54, the pulley 74, and the belt member 60 in the optical measuring device 1A of the first embodiment. 61 is provided.

歯車55は、支持軸31の、長手方向(図15紙面上下方向)における所定の高さ位置に固定して取り付けられている。歯車55は、歯車状に形成された歯車部55a(第1歯車部)を有している。歯車32は、歯車55の上方において、歯車55と同軸上に配置されている。歯車32が回転するとき、歯車55は回転しない。   The gear 55 is fixedly attached to the support shaft 31 at a predetermined height position in the longitudinal direction (the vertical direction in FIG. 15). The gear 55 has a gear portion 55a (first gear portion) formed in a gear shape. The gear 32 is arranged coaxially with the gear 55 above the gear 55. When the gear 32 rotates, the gear 55 does not rotate.

歯車32の下面側に位置する光ファイバ40の先端側には、歯車75が光ファイバ40と同軸上に光ファイバ40に取り付けられている。歯車75と光ファイバ40とは、一体的に回転(自転)可能となっている。また、歯車75と光ファイバ40とは、歯車32が支持軸31周りに回転することによって、支持軸31周りに一体的に回転(公転)可能となっている。   A gear 75 is attached to the optical fiber 40 coaxially with the optical fiber 40 on the distal end side of the optical fiber 40 located on the lower surface side of the gear 32. The gear 75 and the optical fiber 40 can be integrally rotated (spinned). Further, the gear 75 and the optical fiber 40 can rotate (revolve) integrally around the support shaft 31 as the gear 32 rotates around the support shaft 31.

歯車75は、歯車55と略同一高さに位置している。歯車75は、外形が歯車状の歯車部75a(第2歯車部)を有している。歯車55の歯車部55aおよび歯車75の歯車部75aは、直径が同一に構成されている。   The gear 75 is located at substantially the same height as the gear 55. The gear 75 has a gear portion 75a (second gear portion) whose outer shape is a gear shape. The gear portion 55a of the gear 55 and the gear portion 75a of the gear 75 are configured to have the same diameter.

歯車61は、歯車部55aの外周面および歯車部75aの外周面の形状に対応しており、歯車部55aおよび歯車部75aの間においてこれらによって回転可能に保持されている。   The gear 61 corresponds to the shape of the outer peripheral surface of the gear portion 55a and the outer peripheral surface of the gear portion 75a, and is rotatably held between the gear portion 55a and the gear portion 75a.

(光学式測定装置1Bの動作)
図14を参照して、歯車12が矢印AR12方向に回転する。歯付ベルト部材20は矢印AR20方向に回転する。歯車32は矢印AR32a方向に回転する。
(Operation of the optical measuring device 1B)
Referring to FIG. 14, gear 12 rotates in the direction of arrow AR12. The toothed belt member 20 rotates in the direction of the arrow AR20. The gear 32 rotates in the direction of the arrow AR32a.

歯車32の回転に伴って、歯車75は、歯車55を中心に角度θ(第1角速度R1)だけ矢印AR32a方向に公転する。このとき、歯車32が回転しても歯車55は回転しない。   As the gear 32 rotates, the gear 75 revolves around the gear 55 in the direction of the arrow AR32a by an angle θ (first angular velocity R1). At this time, even if the gear 32 rotates, the gear 55 does not rotate.

歯車75が矢印AR32a方向に公転することに伴って、歯車75は矢印AR75b方向に回転(自転)しようとする。換言すると、歯車75の回転方向における絶対的な位相が変化しようとする。   As the gear 75 revolves in the direction of the arrow AR32a, the gear 75 tries to rotate (spin) in the direction of the arrow AR75b. In other words, the absolute phase in the rotation direction of the gear 75 tends to change.

歯車61は、歯車55および歯車75の間においてこれらによって回転可能に保持されている。歯車75の回転方向における絶対的な位相が変化しようとしていることに対して、歯車61は、矢印AR61方向に自転しつつ、矢印AR32a方向に公転する。歯車61は、歯車75との接触面において歯車75を矢印AR75a方向に回転させるように作用する。その結果、歯車75は、歯車75が矢印AR32a方向に公転することに伴って、矢印AR75a方向に第2角速度R2で回転(自転)する。第1角速度R1および第2角速度R2は向きが反対となっている。   The gear 61 is rotatably held between the gear 55 and the gear 75 by them. While the absolute phase in the rotation direction of the gear 75 is about to change, the gear 61 revolves in the direction of the arrow AR32a while rotating in the direction of the arrow AR61. The gear 61 acts to rotate the gear 75 in the direction of the arrow AR75a on the contact surface with the gear 75. As a result, the gear 75 rotates (spins) at the second angular velocity R2 in the direction of the arrow AR75a as the gear 75 revolves in the direction of the arrow AR32a. The first angular velocity R1 and the second angular velocity R2 are opposite in direction.

光学式測定装置1Bにおいては、歯車部55aおよび歯車部75aは直径が同一に構成されているため、第1角速度R1および第2角速度R2は、大きさ(速度分配)が同一となっている。歯車32が矢印AR32a方向に時間Tの間に角度θだけ回転したとき、歯車75は歯車32に対して矢印AR75a方向に時間Tの間に角度(−θ)だけ回転する。歯車61は、歯車75に対して、歯車75の回転方向における絶対的な位相の変化を相殺するように作用している。   In the optical measuring device 1B, the gear portion 55a and the gear portion 75a are configured to have the same diameter, and therefore the first angular velocity R1 and the second angular velocity R2 have the same magnitude (speed distribution). When the gear 32 rotates in the direction of the arrow AR32a by the angle θ during the time T, the gear 75 rotates with respect to the gear 32 by the angle (−θ) in the direction of the arrow AR75a during the time T. The gear 61 acts on the gear 75 so as to cancel the absolute phase change in the rotation direction of the gear 75.

歯車32が回転したとしても、歯車75における絶対的な位相が変化しないため、光ファイバ40は回転(自転)することがない。光学式測定装置1Bによっても、光ファイバ40にねじれが生じることが抑制されている。その結果、上述の実施の形態1における光学式測定装置1Aと同様の効果を得ることが可能となっている。   Even if the gear 32 rotates, the absolute phase in the gear 75 does not change, so the optical fiber 40 does not rotate (spin). The optical measurement apparatus 1 </ b> B also prevents the optical fiber 40 from being twisted. As a result, it is possible to obtain the same effect as that of the optical measurement apparatus 1A in the first embodiment.

上述の実施の形態1の他の構成と同様に、光ファイバ40が矢印AR32a方向に1回公転した後、光ファイバ40はその回転方向を反転させ矢印AR32b方向に1回公転し、これらが繰り返されるように構成されていてもよい。上述の実施の形態1のさらに他の構成と同様に、光ファイバ40は、投光用ファイバ91と受光用ファイバ92とが線対称に配列されていてもよい。   Similar to the other configuration of the first embodiment, after the optical fiber 40 revolves once in the direction of the arrow AR32a, the optical fiber 40 reverses its rotation direction and revolves once in the direction of the arrow AR32b, and these are repeated. It may be configured to be configured. Similarly to the other configuration of the first embodiment described above, in the optical fiber 40, the light projecting fiber 91 and the light receiving fiber 92 may be arranged in line symmetry.

[実施の形態2の他の構成]
図16および図17を参照して、実施の形態2の他の構成における光学式測定装置1Cについて説明する。ここでは、上述の実施の形態1における光学式測定装置1Aとの相違点について説明する。図16は、光学式測定装置1Cの上方側を示す平面図である。図17は、図16におけるXVII−XVII線に関する矢視断面図である。
[Other configurations of the second embodiment]
With reference to FIG. 16 and FIG. 17, an optical measurement device 1 </ b> C in another configuration of the second embodiment will be described. Here, differences from the optical measurement apparatus 1A in the first embodiment will be described. FIG. 16 is a plan view showing the upper side of the optical measuring device 1C. 17 is a cross-sectional view taken along the line XVII-XVII in FIG.

光学式測定装置1Cは、上述の実施の形態1の光学式測定装置1Aにおける歯車12、歯車32、および歯付ベルト部材20の代わりに、連結部材12A、および円盤部材32Aを備えている。円盤部材32Aは、歯車32と略同様に構成される。円盤部材32Aの外周面33は、歯車状に構成されていなくてもよい。なお、図示上の便宜のため、回転駆動装置10および回転軸11については図17にのみ図示し、図16には連結部材12A(の下端部側のみ)を模式的に示している。   The optical measuring device 1C includes a connecting member 12A and a disk member 32A instead of the gear 12, the gear 32, and the toothed belt member 20 in the optical measuring device 1A of the first embodiment. The disk member 32A is configured in substantially the same manner as the gear 32. The outer peripheral surface 33 of the disk member 32A may not be configured in a gear shape. For convenience of illustration, the rotary drive device 10 and the rotary shaft 11 are shown only in FIG. 17, and FIG. 16 schematically shows the connecting member 12A (only the lower end side).

光学式測定装置1Cにおいては、回転駆動装置10が円盤部材32Aの上方に配置される(図17参照)。回転駆動装置10から垂設された回転軸11は、支持軸31と同軸上に配置される。回転軸11の下部に、連結部材12Aが取り付けられる。連結部材12Aは、回転軸11を通して回転駆動装置10から回転動力を受ける。連結部材12Aは、矢印AR12A方向およびその反対方向に、回転軸11とともに回転可能となっている。   In the optical measuring device 1C, the rotation driving device 10 is disposed above the disk member 32A (see FIG. 17). The rotating shaft 11 suspending from the rotation driving device 10 is arranged coaxially with the support shaft 31. A connecting member 12 </ b> A is attached to the lower portion of the rotating shaft 11. The connecting member 12 </ b> A receives rotational power from the rotary drive device 10 through the rotary shaft 11. The connecting member 12A can rotate together with the rotating shaft 11 in the direction of the arrow AR12A and in the opposite direction.

連結部材12Aの下端は環状に構成され、円盤部材32Aの上面に連結されている。円盤部材32Aは、連結部材12Aから動力を受け、矢印AR32Aa方向およびその反対方向に回転可能となっている。   The lower end of the connecting member 12A is formed in an annular shape and is connected to the upper surface of the disk member 32A. The disk member 32A receives power from the connecting member 12A and can rotate in the direction of the arrow AR32Aa and in the opposite direction.

光学式測定装置1Cのように、光ファイバ40を支持する円盤部材32Aに、回転駆動装置10からの動力が直接伝達されるような構成(ベルト部材60などを介さないで動力が伝達されるような構成)であっても、上述の実施の形態1における光学式測定装置1Aと同様の作用効果を得ることができる。光ファイバ40が支持軸31周りに複数回公転したとしても、光ファイバ40にねじれが生じることはない。また、光学式測定装置1Cによれば、平面方向の省スペース化を図ることも可能となっている。   As in the optical measuring device 1C, the power from the rotation driving device 10 is directly transmitted to the disk member 32A that supports the optical fiber 40 (so that the power is transmitted without the belt member 60 or the like). Even if it is a simple structure), the effect similar to the optical measuring device 1A in the above-mentioned Embodiment 1 can be obtained. Even if the optical fiber 40 revolves around the support shaft 31 a plurality of times, the optical fiber 40 is not twisted. Further, according to the optical measuring device 1C, it is possible to save space in the plane direction.

[実施の形態2のさらに他の構成]
図18および図19を参照して、実施の形態2のさらに他の構成における光学式測定装置1Dについて説明する。ここでは、上述の実施の形態1における光学式測定装置1Aとの相違点について説明する。図18は、光学式測定装置1Dの上方側を示す平面図である。図19は、図18におけるXIX−XIX線に関する矢視断面図である。
[Still another configuration of the second embodiment]
With reference to FIG. 18 and FIG. 19, an optical measurement apparatus 1D in still another configuration of the second embodiment will be described. Here, differences from the optical measurement apparatus 1A in the first embodiment will be described. FIG. 18 is a plan view showing the upper side of the optical measuring device 1D. 19 is a cross-sectional view taken along line XIX-XIX in FIG.

光学式測定装置1Dは、上述の実施の形態1の光学式測定装置1Aにおける歯車12、歯車32、および歯付ベルト部材20の代わりに、歯車12B、および歯車32Bを備えている。歯車12Bの外周面13に形成された歯車部12Baは、歯車32Bの外周面33に形成された歯車部32Baに対応している。歯車12Bおよび歯車32Bは、歯車部12Baおよび歯車部32Baが相互に噛み合うように配置されている。   The optical measurement device 1D includes a gear 12B and a gear 32B instead of the gear 12, the gear 32, and the toothed belt member 20 in the optical measurement device 1A of the first embodiment described above. The gear portion 12Ba formed on the outer peripheral surface 13 of the gear 12B corresponds to the gear portion 32Ba formed on the outer peripheral surface 33 of the gear 32B. The gear 12B and the gear 32B are arranged so that the gear portion 12Ba and the gear portion 32Ba are engaged with each other.

歯車12Bは、回転軸11を通して回転駆動装置10から回転動力を受ける。歯車12Bは、矢印AR12B方向およびその反対方向に、回転軸11とともに回転可能となっている。歯車32Bは、歯車12Bから動力を受け、矢印AR32Ba方向およびその反対方向に回転可能となっている。   The gear 12 </ b> B receives rotational power from the rotary drive device 10 through the rotary shaft 11. The gear 12B is rotatable with the rotary shaft 11 in the direction of the arrow AR12B and in the opposite direction. The gear 32B receives power from the gear 12B and can rotate in the direction of the arrow AR32Ba and in the opposite direction.

光学式測定装置1Dによれば、上述の実施の形態1における光学式測定装置1Aと同様に、光ファイバ40が支持軸31周りに複数回公転したとしても、光ファイバ40にねじれが生じることはない。光学式測定装置1Dによれば、平面方向の省スペース化を図ることも可能となっている。   According to the optical measurement apparatus 1D, as in the optical measurement apparatus 1A in the first embodiment described above, even if the optical fiber 40 revolves around the support shaft 31 a plurality of times, the optical fiber 40 is not twisted. Absent. According to the optical measuring device 1D, it is possible to save space in the plane direction.

[実施の形態3]
図20を参照して、本実施の形態における光学式測定装置1Eについて説明する。ここでは、上述の実施の形態1における光学式測定装置1Aとの相違点について説明する。
[Embodiment 3]
With reference to FIG. 20, the optical measuring device 1E in this Embodiment is demonstrated. Here, differences from the optical measurement apparatus 1A in the first embodiment will be described.

光学式測定装置1Eにおいては、プーリ74が、光ファイバ40の先端部42側に向かって(測定対象ユニット100に近づくように)延在している。プーリ74の内部は中空に形成され、プーリ74の下端側には、偏光素子80が設けられている。偏光素子80は、レンズ部81と、筐体82と、偏光フィルタ83(偏光プリズム)とから構成されている。   In the optical measuring device 1E, the pulley 74 extends toward the distal end portion 42 side of the optical fiber 40 (so as to approach the measurement target unit 100). The inside of the pulley 74 is formed hollow, and a polarizing element 80 is provided on the lower end side of the pulley 74. The polarizing element 80 includes a lens unit 81, a housing 82, and a polarizing filter 83 (polarizing prism).

光ファイバ40の投光用ファイバ91から投光された検出光48aは、レンズ部81を通過するとともに、偏光フィルタ83において特定の波長に偏光される。検出光48aは、偏光された状態で測定対象物101に投光される。測定対象物101からの反射光48bは、再び偏光素子80を通過して受光用ファイバ92によって検出器16(図1参照)まで導光される。   The detection light 48 a projected from the light projecting fiber 91 of the optical fiber 40 passes through the lens unit 81 and is polarized to a specific wavelength by the polarization filter 83. The detection light 48a is projected onto the measurement object 101 in a polarized state. The reflected light 48b from the measurement object 101 passes through the polarizing element 80 again and is guided to the detector 16 (see FIG. 1) by the light receiving fiber 92.

光学式測定装置1Eのように、プーリ74と一体的に偏光素子80を設けることによって、光ファイバ40にねじれが生じないことに加え、光ファイバ40と偏光素子80との回転方向における相対的な位置関係も変化しない。光学式測定装置1Eによれば、偏光素子80を用いる場合であっても、より高い精度で測定対象物の特性(測光データ)を測定することが可能となっている。   By providing the polarization element 80 integrally with the pulley 74 as in the optical measurement apparatus 1E, the optical fiber 40 is not twisted, and the relative rotation direction of the optical fiber 40 and the polarization element 80 is relatively small. The positional relationship does not change. According to the optical measurement apparatus 1E, even when the polarizing element 80 is used, it is possible to measure the characteristics (photometric data) of the measurement object with higher accuracy.

[実施の形態3の他の構成]
図21を参照して、実施の形態3の他の構成における光学式測定装置1Fについて説明する。ここでは、上述の実施の形態1における光学式測定装置1Aとの相違点について説明する。
[Other configuration of the third embodiment]
With reference to FIG. 21, an optical measuring device 1F in another configuration of the third embodiment will be described. Here, differences from the optical measurement apparatus 1A in the first embodiment will be described.

光学式測定装置1Fにおいては、プーリ74が、光ファイバ40の先端部42側に向かって(測定対象ユニット100に近づくように)延在している。プーリ74の内部は中空に形成され、プーリ74の下端側には、集光レンズ85が設けられている。   In the optical measurement device 1F, the pulley 74 extends toward the distal end portion 42 side of the optical fiber 40 (so as to approach the measurement target unit 100). The inside of the pulley 74 is formed hollow, and a condenser lens 85 is provided on the lower end side of the pulley 74.

光ファイバ40の投光用ファイバ91から投光された検出光48aは、集光レンズ85を通過するとともに、集光された状態で測定対象物101に投光される。測定対象物101からの反射光48bは、再び集光レンズ85を通過して受光用ファイバ92によって検出器16(図1参照)まで導光される。   The detection light 48a projected from the light projecting fiber 91 of the optical fiber 40 passes through the condenser lens 85 and is projected onto the measurement object 101 in a condensed state. The reflected light 48b from the measurement object 101 passes through the condenser lens 85 again and is guided to the detector 16 (see FIG. 1) by the light receiving fiber 92.

光学式測定装置1Fのように、プーリ74と一体的に集光レンズ85を設けることによって、光ファイバ40にねじれが生じないことに加え、光ファイバ40と集光レンズ85との回転方向における相対的な位置関係も変化しない。光学式測定装置1Fによれば、集光レンズ85を用いる場合であっても、より高い精度で測定対象物の特性(測光データ)を測定することが可能となっている。   By providing the condensing lens 85 integrally with the pulley 74 as in the optical measuring device 1F, the optical fiber 40 is not twisted, and the optical fiber 40 and the condensing lens 85 are relatively aligned in the rotational direction. The physical positional relationship does not change. According to the optical measurement apparatus 1F, even when the condensing lens 85 is used, it is possible to measure the characteristics (photometric data) of the measurement object with higher accuracy.

[実施の形態3のさらに他の構成]
図22を参照して、実施の形態3のさらに他の構成における光学式測定装置1Gについて説明する。ここでは、上述の実施の形態1における光学式測定装置1Aとの相違点について説明する。
[Still another configuration of the third embodiment]
With reference to FIG. 22, an optical measurement apparatus 1G in still another configuration of the third embodiment will be described. Here, differences from the optical measurement apparatus 1A in the first embodiment will be described.

光学式測定装置1Gにおいては、光ファイバ40の下端部40aが中空径大に構成され、下端部40aの内部に投光用ファイバ91および受光用ファイバ92が配設されている。投光用ファイバ91および受光用ファイバ92は、下端部40aに設けられた開口部79からそれぞれ露出している。投光用ファイバ91および受光用ファイバ92は、測定対象物101の近傍まで延びている。   In the optical measurement apparatus 1G, the lower end portion 40a of the optical fiber 40 is configured to have a large hollow diameter, and the light projecting fiber 91 and the light receiving fiber 92 are disposed inside the lower end portion 40a. The light projecting fiber 91 and the light receiving fiber 92 are exposed from the opening 79 provided in the lower end portion 40a. The light projecting fiber 91 and the light receiving fiber 92 extend to the vicinity of the measurement object 101.

光ファイバ40の投光用ファイバ91から投光された検出光48aは、下端部40aの内部を通過するとともに、測定対象物101の近傍から測定対象物101に投光される。測定対象物101からの反射光48bは、再び下端部40aを通過して受光用ファイバ92によって検出器16(図1参照)まで導光される。   The detection light 48 a projected from the projecting fiber 91 of the optical fiber 40 passes through the inside of the lower end portion 40 a and is projected from the vicinity of the measurement target 101 to the measurement target 101. The reflected light 48b from the measurement object 101 passes through the lower end portion 40a again and is guided to the detector 16 (see FIG. 1) by the light receiving fiber 92.

光学式測定装置1Gのように、光ファイバ40を測定対象物101の近傍にまで延在させるという構成であっても、光ファイバ40にねじれが生じない。光学式測定装置1Gによれば、投光用ファイバ91および受光用ファイバ92を測定対象物101に近接配置させる場合であっても、より高い精度で測定対象物の特性(測光データ)を測定することが可能となっている。   Even if the optical fiber 40 is extended to the vicinity of the measurement object 101 as in the optical measurement apparatus 1G, the optical fiber 40 is not twisted. According to the optical measurement apparatus 1G, even when the light projecting fiber 91 and the light receiving fiber 92 are arranged close to the measurement object 101, the characteristics (photometric data) of the measurement object are measured with higher accuracy. It is possible.

以上、本発明の発明を実施するための各実施の形態について説明したが、今回開示された各実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   As mentioned above, although each embodiment for carrying out the invention of the present invention was described, each embodiment disclosed this time must be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

1A〜1G 光学式測定装置、10 回転駆動装置、11 回転軸、12,12B,32,32B,55,61,75 歯車、12A 連結部材、12Ba,32Ba,55a,75a 歯車部、13,33 外周面、15 発振器、16 検出器、20 歯付ベルト部材、21 内周面、31 支持軸、32A 円盤部材、40,40A〜40D 光ファイバ、40a 下端部、42 先端部、48a 検出光、48b 反射光、50,70 ベアリング、54,74 プーリ、54a,74a 円形部、60 ベルト部材、79 開口部、80 偏光素子、81 レンズ部、82 筐体、83 偏光フィルタ、85 集光レンズ、91 投光用ファイバ、92 受光用ファイバ、100 測定対象ユニット、101 測定対象物、R1 第1角速度、R2 第2角速度、M 基準位置、θ 角度。   1A to 1G Optical measuring device, 10 Rotation drive device, 11 Rotating shaft, 12, 12B, 32, 32B, 55, 61, 75 Gear, 12A Connecting member, 12Ba, 32Ba, 55a, 75a Gear portion, 13, 33 Outer circumference Surface, 15 Oscillator, 16 Detector, 20 Toothed belt member, 21 Inner circumferential surface, 31 Support shaft, 32A Disk member, 40, 40A to 40D Optical fiber, 40a Lower end, 42 Front end, 48a Detection light, 48b Reflection Light, 50, 70 Bearing, 54, 74 Pulley, 54a, 74a Circular part, 60 Belt member, 79 Opening part, 80 Polarizing element, 81 Lens part, 82 Case, 83 Polarizing filter, 85 Condensing lens, 91 Light projection Fiber, 92 light receiving fiber, 100 measuring unit, 101 measuring object, R1 first angular velocity, R2 second Speed, M reference position, theta angle.

Claims (4)

円周上に沿うように並んで配置された複数の測定対象物の特性を光ファイバを用いて測定する光学式測定装置であって、
固定体と、
前記固定体を中心に第1角速度で公転しつつ、第2角速度で自転可能な回転体と、
前記回転体によって保持され、複数の前記測定対象物に検出光を投光するとともに前記測定対象物からの反射光を受光する前記光ファイバと、を備え、
前記第1角速度および前記第2角速度は、大きさが同一であり且つ向きが反対であり、
前記特性を測定する際には、前記光ファイバの下方に配置された複数の前記測定対象物を固定させた状態で前記光ファイバを複数の前記測定対象物に対して円周方向に沿って相対移動させ、相対移動する前記光ファイバからそれぞれの前記測定対象物に検出光を投光するとともに、それぞれの前記測定対象物からの反射光を前記光ファイバが受光し、
前記固定体の上方に位置し、前記固定体と同軸上に設けられた回転可能な第1歯車と、
前記固定体および前記第1歯車の双方を貫通するように設けられ、前記固定体とは互いに固定されており、前記第1歯車との間に設けられたベアリングを介して前記第1歯車を回転自在に支持している支持軸と、
前記第1歯車と水平方向において隣り合うように位置し、前記第1歯車との間に間隔を空けて配置された回転可能な第2歯車と、
前記第1歯車の外周面および前記第2歯車の外周面に巻回された歯付ベルト部材と、
前記第2歯車に回転動力を付与する回転駆動装置と、をさらに備え、
前記回転体は、前記第1歯車の下面側に設けられ、
前記光ファイバは、前記支持軸と離間した位置において前記第1歯車および前記回転体を順に貫通するように設けられ、
前記光ファイバは、前記回転体とは互いに固定されており、前記第1歯車との間に設けられた他のベアリングを介して前記第1歯車に回転自在に支持されている、
光学式測定装置。
An optical measurement device that measures the characteristics of a plurality of measurement objects arranged side by side along the circumference using an optical fiber,
A fixed body,
A rotating body capable of rotating at a second angular velocity while revolving around the fixed body at a first angular velocity;
The held by the rotary body, and a said optical fiber for receiving light reflected from the object to be measured while projecting a detection light to a plurality of the measurement object,
It said first angular velocity and the second angular velocity, Ri is the same and orientation opposite der size,
When measuring the characteristics, the plurality of measurement objects arranged below the optical fiber are fixed, and the optical fiber is relative to the plurality of measurement objects along the circumferential direction. The detection light is projected to each measurement object from the optical fiber that is moved and relatively moved, and the optical fiber receives reflected light from each measurement object,
A rotatable first gear located above the fixed body and provided coaxially with the fixed body;
It is provided so as to penetrate both the fixed body and the first gear, and is fixed to the fixed body, and rotates the first gear via a bearing provided between the fixed body and the first gear. A support shaft that freely supports,
A rotatable second gear that is positioned adjacent to the first gear in the horizontal direction and is spaced from the first gear;
A toothed belt member wound around the outer peripheral surface of the first gear and the outer peripheral surface of the second gear;
A rotation drive device for applying rotational power to the second gear,
The rotating body is provided on the lower surface side of the first gear,
The optical fiber is provided so as to penetrate the first gear and the rotating body in order at a position separated from the support shaft,
The optical fiber is fixed to the rotating body, and is rotatably supported by the first gear via another bearing provided between the optical fiber and the first gear.
Optical measuring device.
前記固定体は、外形が円形状の第1円形部を有し、
前記回転体は、外形が円形状の第2円形部を有し、
前記第1円形部と前記第2円形部とは同径であり、
前記第1円形部の外周面および前記第2円形部の外周面を取り囲む環状のベルト部材をさらに備える、
請求項1に記載の光学式測定装置。
The fixed body has a first circular portion having a circular outer shape,
The rotating body has a second circular portion having a circular outer shape,
The first circular portion and the second circular portion have the same diameter,
An annular belt member surrounding the outer peripheral surface of the first circular portion and the outer peripheral surface of the second circular portion;
The optical measurement apparatus according to claim 1.
前記固定体は、歯車状に形成された第1歯車部を有し、
前記回転体は、前記第1歯車部と同径の歯車状に形成された第2歯車部を有し、
前記第1歯車部および前記第2歯車部の間に配置される歯車をさらに備える、
請求項1に記載の光学式測定装置。
The fixed body has a first gear portion formed in a gear shape,
The rotating body has a second gear portion formed in a gear shape having the same diameter as the first gear portion,
A gear disposed between the first gear portion and the second gear portion;
The optical measurement apparatus according to claim 1.
前記回転体が前記固定体を中心に所定の角度だけ公転する毎に、前記回転体の公転方向は逆向きになる、
請求項1から3のいずれかに記載の光学式測定装置。
Each time the rotating body revolves a predetermined angle around the fixed body, the revolving direction of the rotating body is reversed.
The optical measuring device according to claim 1.
JP2014201290A 2014-09-30 2014-09-30 Optical measuring device Expired - Fee Related JP5783313B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014201290A JP5783313B2 (en) 2014-09-30 2014-09-30 Optical measuring device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014201290A JP5783313B2 (en) 2014-09-30 2014-09-30 Optical measuring device

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010163990A Division JP5663993B2 (en) 2010-07-21 2010-07-21 Optical measuring device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015025815A JP2015025815A (en) 2015-02-05
JP5783313B2 true JP5783313B2 (en) 2015-09-24

Family

ID=52490555

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014201290A Expired - Fee Related JP5783313B2 (en) 2014-09-30 2014-09-30 Optical measuring device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5783313B2 (en)

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS622104A (en) * 1985-06-28 1987-01-08 Oak Seisakusho:Kk Film thickness gauge
JPS62145166A (en) * 1985-12-20 1987-06-29 Toshiba Corp Automatic chemical analyzer
US4936135A (en) * 1989-07-31 1990-06-26 University Of Georgia Research Foundation, Inc. Material wear testing devices and techniques
JPH07294704A (en) * 1994-04-22 1995-11-10 Sumitomo Electric Ind Ltd Formation of antireflection film on optical fiber connector and device therefor
JPH09129367A (en) * 1995-10-31 1997-05-16 Suzuki Motor Corp Temperature detecting device of microwave heater heater
JP2001091463A (en) * 1999-09-22 2001-04-06 Tosoh Corp Scanner type fluorescence detector using small-sized exciting light source
JP4300102B2 (en) * 2003-12-05 2009-07-22 株式会社三菱化学ヤトロン Analyzer and collector
JP2009214202A (en) * 2008-03-07 2009-09-24 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Cutting device, and rotary press provided with it

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015025815A (en) 2015-02-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5663993B2 (en) Optical measuring device
JP2018059714A5 (en) Eccentricity calculation method, rotary encoder, robot arm, robot apparatus, and lens barrel
WO2021205948A1 (en) Tilt sensor and data acquring device
CN102323644A (en) Tunable filter based on rotary optical filter and filtering method thereof
JP5250286B2 (en) Tracking laser interferometer
JP5783313B2 (en) Optical measuring device
CN101398290A (en) Angle measurement device
JP6181183B2 (en) Rotational speed detection apparatus, viscosity measuring apparatus using the apparatus, rotational speed detection method, and rotating body used in the method
JP2012220713A5 (en)
JP6839335B2 (en) Optical scanning device
CN106052863B (en) A kind of light-source system
WO2015001649A1 (en) V-block refractometer
JP6019310B1 (en) Vapor deposition apparatus and manufacturing method including film forming process by vapor deposition apparatus
JP4349513B2 (en) Vibration correction device inspection device, interchangeable lens, camera, vibration correction device inspection method, and vibration correction effect observation method
KR101306016B1 (en) Mass properties measuring apparatus and method
US9939375B2 (en) Concentration measurement device
JP5667276B2 (en) Microscope revolver drive
JP3746777B2 (en) Inner diameter measuring device
WO2016027323A1 (en) Facing-type strain wave gearing
JP5474406B2 (en) Axial run-out measuring device
RU2016131863A (en) VIDEO CAPSULE
JP2000304513A (en) Measuring apparatus of optical fiber outer diameter
JPH11149025A (en) Device for detecting sz groove of rod with sz groove
JP5958105B2 (en) Inspection system, inspection object receiver and inspection method
JP6665509B2 (en) Position detection device

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20141117

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150623

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150624

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150706

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5783313

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees