JP5736632B2 - Signal identification apparatus and method, and control program thereof - Google Patents
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Description
この発明は、信号特定装置及びその方法並びにこれらの制御プログラム方法に関し、詳しくは雑音等の発生箇所の特定に有用な信号特定装置及びその方法並びにこれらの制御プログラムに関する。 The present invention relates to a signal specifying apparatus and method and a control program method thereof, and more particularly to a signal specifying apparatus and method and a control program useful for specifying a location where noise or the like is generated.
電子機器においては不要電磁波（電磁雑音）が発生するので、従来から不要電磁波の低減対策に対する要求があり、その技術的開発が進められている。
このことが求められるのは、不要電磁波が、無線通信障害を起こしたり、電子機器の誤動作を発生させたりするためである。
不要電磁波を低減するためには、その発生原因となっている回路を特定する必要がある。
Since unnecessary electromagnetic waves (electromagnetic noise) are generated in electronic devices, there has been a demand for measures for reducing unnecessary electromagnetic waves, and technical development thereof has been advanced.
This is required because unnecessary electromagnetic waves cause wireless communication failures and malfunctions of electronic devices.
In order to reduce unnecessary electromagnetic waves, it is necessary to identify the circuit that causes the generation.
特許文献１には、電子機器の電磁界分布を測定してその電磁界発生源を特定する技術的手段が開示されている。特許文献１では電磁界分布は、雑音強度が所定のレベルを超える時間確率を、時間と確率との関係式で表現した振幅確率分布（ＡＰＤ：Amplitude Probability Distribution）を下にして測定している。測定される振幅確率分布は、指定した確率での強度分布を表しており、これにより、特許文献１では時間変動を考慮した電磁界分布を得ている。 Patent Document 1 discloses a technical means for measuring an electromagnetic field distribution of an electronic device and identifying the electromagnetic field generation source. In Patent Document 1, the electromagnetic field distribution is measured with an amplitude probability distribution (APD: Amplitude Probability Distribution) representing a time probability that the noise intensity exceeds a predetermined level as a relational expression between time and probability. The measured amplitude probability distribution represents an intensity distribution at a specified probability, and as a result, Patent Document 1 obtains an electromagnetic field distribution that takes into account temporal variations.
また、アンテナ電磁界分布と不要輻射ノイズである基板近傍電磁界分布との相関を取って不要輻射ノイズが電子機器の送受信機能に与える影響についての情報を得る技術的手段が、特許文献２に開示されている。
上述のように、特許文献１は、振幅確率分布を下にして時間変動を考慮に入れた電磁界分布を測定して不要電磁波が被測定物に与える度合いの特定に役立つ技術的手段を提供しているとは言える。
しかし、その電磁界分布が示す強度分布だけでは、不要電磁界の原因を特定することが困難である。それは、電磁界の強度に時間変動が考慮された雑音情報が得られたとしても、電磁界分布で示される電磁界の強度が大きい当該電磁界発生部分から、必ずしも不要電磁界が放射されているとは限らないからである。
それ故、強い電磁界が電磁界分布上で見出せたとしても、そこが原因部であるとは特定できず、そのほかの部位に原因があることもある。
このようなことから、従来は、強度分布を参考にしつつ、経験により原因部位の特定をしているのが実情である。
As described above, Patent Document 1 provides a technical means that is useful for specifying the degree to which an unnecessary electromagnetic wave is given to an object to be measured by measuring an electromagnetic field distribution taking an amplitude probability distribution down and taking time fluctuations into account. It can be said that.
However, it is difficult to specify the cause of the unnecessary electromagnetic field only by the intensity distribution indicated by the electromagnetic field distribution. Even if noise information in which time fluctuation is taken into account in the electromagnetic field intensity is obtained, an unnecessary electromagnetic field is not necessarily radiated from the electromagnetic field generating part where the electromagnetic field intensity indicated by the electromagnetic field distribution is large. This is not always the case.
Therefore, even if a strong electromagnetic field can be found on the electromagnetic field distribution, it cannot be identified as the cause, and there may be a cause in another part.
For these reasons, the actual situation is that the causal site has been identified by experience while referring to the intensity distribution.
また、特許文献２に開示される技術的手段は、アンテナ電磁界分布と不要輻射ノイズである基板近傍電磁界分布との相関を取っているに過ぎず、電磁界の強度についてだけの相関であり、なお、特許文献１に開示される技術的手段と同様の技術的課題がある。 Further, the technical means disclosed in Patent Document 2 merely correlates the antenna electromagnetic field distribution and the near-substrate electromagnetic field distribution, which is unwanted radiation noise, and is a correlation only for the electromagnetic field strength. In addition, there is a technical problem similar to the technical means disclosed in Patent Document 1.
この発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、既知の基準情報を用いて雑音源等の特定支援に役立ち得る信号特定装置及びその方法並びにこれらの制御プログラムを提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object thereof is to provide a signal specifying device and method, and a control program thereof, which can be useful for specifying noise sources and the like using known reference information. .
上記課題を解決するために、この発明の第１の構成は、信号特定装置に係り、信号出力装置から出力される信号に基づいて、測定対象領域の表面から所定距離離れた平面上の第１の強度確率分布データを導出して出力する第１の情報出力手段と、上記第１の情報出力手段から出力される上記第１の強度確率分布データと所定の対応関係となる第２の強度確率分布データを出力する第２の情報出力手段と、上記第１の情報出力手段から出力される上記第１の強度確率分布データと上記第２の情報出力手段から出力される上記第２の強度確率分布データとの相関を求めることで、上記信号を特定するための情報を演算する演算手段とを備えてなることを特徴としている。 In order to solve the above-described problem, a first configuration of the present invention relates to a signal specifying device, and based on a signal output from the signal output device , a first on a plane separated from the surface of the measurement target region by a predetermined distance . The first information output means for deriving and outputting the intensity probability distribution data of the second, and the second intensity probability having a predetermined correspondence with the first intensity probability distribution data output from the first information output means Second information output means for outputting distribution data; the first intensity probability distribution data output from the first information output means; and the second intensity probability output from the second information output means. An arithmetic means for calculating information for specifying the signal by obtaining a correlation with the distribution data is provided.
この発明の第２の構成は、信号特定方法に係り、信号出力装置から出力される信号に基づいて、測定対象領域の表面から所定距離離れた平面上の第１の強度確率分布データを導出して出力し、出力される上記第１の強度確率分布データと所定の対応関係となる第２の強度確率分布データを出力し、出力される上記第１の強度確率分布データと、出力される上記第２の強度確率分布データとの相関を求めることで、上記信号を特定するための情報を演算することを特徴としている。 A second configuration of the present invention relates to a signal identification method, and derives first intensity probability distribution data on a plane separated by a predetermined distance from the surface of a measurement target region based on a signal output from a signal output device. The second intensity probability distribution data having a predetermined correspondence with the output first intensity probability distribution data is output, and the output first intensity probability distribution data is output. Information for specifying the signal is calculated by obtaining a correlation with the second intensity probability distribution data.
この発明によれば、信号出力装置から出力される信号に基づいて導出されて出力される第１の強度確率分布データと、該第１の強度確率分布データと所定の対応関係となる第２の強度確率分布データとに基づいて信号を特定するための情報を演算して信号の特定を行うようにしているから、信号の特定精度の向上になり、その支援に役立つ。 According to the present invention, the first intensity probability distribution data derived and output based on the signal output from the signal output device, and the second intensity probability distribution data having a predetermined correspondence relationship with the first intensity probability distribution data Since the signal is specified by calculating information for specifying the signal based on the intensity probability distribution data , the signal specifying accuracy is improved, which is useful for the support.
この発明は、信号出力装置から出力される信号に基づいて第１の強度確率分布データを導出して出力すること、出力される第１の強度確率分布データと所定の対応関係となる第２の強度確率分布データを得ること、及び第１の強度確率分布データと第２の強度確率分布データとに基づいて信号を特定するための情報を演算することを含んで構成される。 The present invention derives and outputs the first intensity probability distribution data based on the signal output from the signal output device, the second intensity probability distribution data having a predetermined correspondence relationship with the output first intensity probability distribution data . Obtaining intensity probability distribution data , and calculating information for specifying a signal based on the first intensity probability distribution data and the second intensity probability distribution data .
図１は、この発明の実施形態１である雑音分布測定装置の電気的構成を示すブロック図、また、図２は、同雑音分布測定装置の処理手順を示すフローチャートである。
この実施例の雑音分布測定装置１０は、測定された仮想平面上の振幅確率分布データと入力される相関元データとの相関値を求めて表示する装置に係り、図１に示すように、入力部１１と、制御部１２と、プローブ走査部１３と、振幅確率分布測定部１４と、データ記憶部１５と、相関演算部１６と、出力部１７とから概略構成されている。
FIG. 1 is a block diagram showing an electrical configuration of a noise distribution measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a flowchart showing a processing procedure of the noise distribution measuring apparatus.
The noise
入力部１１は、測定しようとする電磁界の周波数（具体的には、各測定点に共通の同一周波数）や測定位置情報（測定条件）、並びに相関の対象となる相関元データ（振幅確率分布データ）を制御部１２に入力する手段である。ここで、相関元データは、試供品について予め計測されるか又はシミュレーションにより予め求められ、或いは理論的に予め算定されて入力部１１から入力される既知の振幅確率分布データである。
制御部１２は、プローブ走査部１３、振幅確率分布測定部１４、データ記憶部１５、相関演算部１６及び出力部１７の各部を制御する手段である。
プローブ走査部１３は、電磁界を測定するプローブと、プローブを走査するステージとから構成されている。プローブは、電磁界を測定するためのループアンテナ等を有して構成される。ステージは、ループアンテナを制御部１２により設定された位置に移動させることができる３軸のステージである。
The
The
The
振幅確率分布測定部１４は、プローブ走査部１３のプローブに接続されており、そのプローブが受けた電磁界を測定し、振幅確率分布を計算する手段であり、例えば、振幅確率分布表示機能を有するスペクトラムアナライザ等で構成される。
データ記憶部１５は、振幅確率分布測定部１４で測定された振幅確率分布のデータ（振幅確率分布データともいう）を記憶する手段である。
相関演算部１６は、入力部１１によって入力された元データ（相関元データ）とデータ記憶部１５に記憶された振幅確率分布データとの相関演算を行い、両者間の相関値を求める手段である。相関演算は、例えば、ピアソンの積率相関係数を用いて、相関元データと振幅確率分布データとから、同じ確率のときの強度（振幅）について計算する。
出力部１７は、測定対象の上面から所定距離離れた仮想平面上の相関値の分布を表示する手段である。その表示は、相関値で色分けした図や等高線等の平面上で大小を視認し得る情報を出力して行う。
The amplitude probability
The
The
The
次に、図１及び図２を参照して、この実施形態の動作を説明する。
雑音分布測定装置１０で測定が開始するのに先だって、入力部１１から測定に必要な相関元データが制御部１２に入力される。
この入力の後に、測定が開始されると、制御部１２は、入力された測定位置情報（例えば、始点と終点の座標情報及び刻み距離）を下にしてプローブを測定位置に移動させる（図２のステップＳ２１）。そして、制御部１２は、振幅確率分布の測定開始信号及び入力された測定条件（例えば、周波数及び測定時間）を振幅確率分布測定部１４に送出する。
Next, the operation of this embodiment will be described with reference to FIGS.
Prior to the start of measurement by the noise
When measurement is started after this input, the
振幅確率分布測定部１４は、上述の測定位置において測定条件に従って振幅確率分布を測定する（図２のステップＳ２２）。測定された振幅確率分布のデータをデータ記憶部１５に記憶する（図２のステップＳ２３）。
この記憶に続いて、入力された測定位置情報のうちに測定未了の測定位置情報があれば（図２のステップＳ２４のＮｏ）、制御部１２がプローブ走査部１３を制御してプローブを測定未了の測定位置へ移動させて上述したと同様の振幅確率分布の測定を行う。
The amplitude probability
Following this storage, if there is measurement position information that has not been measured in the input measurement position information (No in step S24 in FIG. 2), the
測定位置のすべてについて振幅確率分布が測定されているならば（図２のステップＳ４のYes）、データ記憶部１５に記憶されている仮想平面上の振幅確率分布データと入力部１１から入力された相関元データとの相関値を相関演算部１６により演算する（図２のステップＳ２５）。相関演算部１６での相関演算は、例えば、ビアソンの積率相関係数を用いて、相関元データとデータ記憶部１５に記憶されている仮想平面上の振幅確率分布データとから、同じ確率のときの強度について計算する。
計算された相関値は、制御部１２の制御の下にデータ記憶部１５に記憶される（図２のステップＳ２６）
If the amplitude probability distribution has been measured for all measurement positions (Yes in step S4 in FIG. 2), the amplitude probability distribution data on the virtual plane stored in the
The calculated correlation value is stored in the
相関演算部１６で求められてデータ記憶部１５に記憶されている仮想平面上の相関値の分布を出力部１７が表示する（図２のステップＳ２７）。その表示は、相関値に従って色分けされた分布図、或いは等高線等の平面状の大小を視認し得る分布図にて行う。
上述した振幅確率分布の相関を用いた表示から、同じ雑音発生原因で生じた雑音か否を判断することができる。この判断を得ることができるのは、同じ雑音発生原因で生じた雑音から測定される電磁界は、強度に違いがあっても、非常に近い振幅確率分布を呈するからである。
The
From the display using the correlation of the amplitude probability distribution described above, it is possible to determine whether or not the noise is caused by the same noise generation. This judgment can be obtained because the electromagnetic field measured from the noise caused by the same noise generation exhibits a very close amplitude probability distribution even if the intensity is different.
このように、この実施形態の構成によれば、測定された仮想平面上の振幅確率分布データと入力相関元データとの相関値を求めて振幅確率分布の相関データを表示しているから、電磁界の強度分布だけを用いる手段では雑音発生原因の特定が難しくなる不要電磁波が発生していたとしても、そのような電磁界の特定に強力な支援手段を提供することができる。 As described above, according to the configuration of this embodiment, the correlation value between the measured amplitude probability distribution data on the virtual plane and the input correlation source data is obtained and the correlation data of the amplitude probability distribution is displayed. Even if an unnecessary electromagnetic wave that makes it difficult to identify the cause of noise generation is generated by means using only the intensity distribution of the field, it is possible to provide a powerful support means for specifying such an electromagnetic field.
図３は、この発明の実施形態２である振幅確率分布測定装置の電気的構成を示すブロック図である。
この実施形態の構成が、実施形態１のそれと大きく異なる点は、振幅確率分布のパターンの類似度を雑音発生原因の電磁界の特定に用いるようにした点である。
この実施形態の振幅確率分布測定装置１０Ａは、図３に示す相関演算部３２で振幅確率分布が描くパターンの類似度の演算を行うようにして構成したことにこの実施形態の特徴部分がある。相関演算部３２は、実施形態１の相関演算部１６と同様の相関演算を行う処理部で、その演算によって求めようとするパターンの類似度は、例えば、相互情報量やKullback-Leibler情報量、Hellinger距離、Mahalanobis距離などの距離関数を相関値として演算して求める。
FIG. 3 is a block diagram showing an electrical configuration of the amplitude probability distribution measuring apparatus according to the second embodiment of the present invention.
The configuration of this embodiment is greatly different from that of the first embodiment in that the similarity of the amplitude probability distribution pattern is used to identify the electromagnetic field causing the noise.
The amplitude probability
振幅確率分布測定装置１０Ａは、相関演算部３２のほかに、入力部３１、データ記憶部３３及び出力部３４を有して構成される。
入力部３１は、実施形態１のプローブ走査部１３、振幅確率分布測定部１４及び制御部１２を特許文献１に記載されている既存の装置を用いてこの装置で得られる仮想平面上の振幅確率分布のデータ及び該データとの相関演算に供される相関元データを入力する手段である。
データ記憶部３３は、仮想平面上の振幅確率分布データ、相関元データ及び相関演算の演算結果のデータを記憶する手段である。
出力部３４は、パターンの類似度の分布を実施形態１と同様にして、表示する手段である。
The amplitude probability
The
The
The
次に、図３を参照して、この実施形態の動作について説明する。
実施形態１と同様の、振幅確率分布データ及び相関元データは、入力部３１から入力され、データ記憶部３３に記憶される。
データ記憶部３３の両データは、相関演算部３２でデータパターン間の類似度の演算に用いられ、その演算から得られる類似度のパターンは、出力部３４へ出力されて表示される。
Next, the operation of this embodiment will be described with reference to FIG.
Similar to the first embodiment, the amplitude probability distribution data and the correlation source data are input from the
Both data in the
このように、この実施形態の構成によっても、類似度の演算に振幅確率分布データを用いているから、実施形態１と同効が得られる。
また、平面電磁界の測定を行う装置に、従来の装置をそのまま利用できるから、低コストでの実施が可能になる。
Thus, even with the configuration of this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained because the amplitude probability distribution data is used for the similarity calculation.
Further, since a conventional apparatus can be used as it is for an apparatus for measuring a planar electromagnetic field, it can be implemented at a low cost.
図４は、この発明の実施形態３である振幅確率分布測定装置の電気的構成を示すブロック図である。
この実施形態の構成が、実施形態２のそれと大きく異なる点は、実施形態２の処理手順をプログラム処理で行うようにした点である。
すなわち、この実施形態の振幅確率分布測定装置１０Ｂは、入力装置４１が実施形態２の入力部３１に、記憶装置４３が実施形態２のデータ記憶部３３に、コンピュータ４２及び電子回路解析プログラム（相関:計算プログラム）４５が実施形態２の相関演算部３２に、そして出力装置４４が実施形態２の出力部３４に相当する。
FIG. 4 is a block diagram showing an electrical configuration of the amplitude probability distribution measuring apparatus according to the third embodiment of the present invention.
The configuration of this embodiment differs greatly from that of Embodiment 2 in that the processing procedure of Embodiment 2 is performed by program processing.
That is, in the amplitude probability
入力装置４１は、実施形態２と同様、仮想平面上の振幅確率分布のデータ及び該データとの相関演算に供される相関元データ、並びにコンピュータプログラムを入力する手段である。
コンピュータ４２は、入力装置４１から入力されるコンピュータプログラムによってその動作が制御されるもので、相関プログラム４５を実行して振幅確率分布データと相関元データとの相関を計算する手段である。
記憶装置４３は、仮想平面上の振幅確率分布データ、相関元データ及び相関演算の演算結果のデータを記憶する手段である。
出力部装置４４は、パターンの類似度の分布を表示する手段である。
As in the second embodiment, the
The operation of the
The
The
次に、図４を参照して、この実施形態の動作について説明する。
実施形態２と同様の、振幅確率分布データ及び相関元データは、入力装置４１から入力され、コンピュータ４２を介して記憶装置４３に記憶される。
記憶装置４３の両データは、コンピュータ４２において相関計算プログラム４５を実行することにより、振幅確率分布データと相関元データとの間の類似度の演算に用いられ、その演算から得られる類似度のパターンは、出力部３４へ出力されて表示される。
Next, the operation of this embodiment will be described with reference to FIG.
Similar to the second embodiment, the amplitude probability distribution data and the correlation source data are input from the
Both data in the
このように、この実施形態の構成によっても、類似度の演算に振幅確率分布データを用いているから、実施形態２と同効が得られる。 Thus, even with the configuration of this embodiment, the same effect as that of the second embodiment can be obtained because the amplitude probability distribution data is used for the similarity calculation.
図５は、この発明の実施例１である振幅確率分布測定装置の測定対象装置のブロック図、図６は、上記測定対象装置の相関分布を振幅確率分布測定装置によって測定する処理手順を示すフローチャート、図７は、上記測定対象装置について測定した相関分布図、また、図８は、図５に示す測定対象装置の平面図と図７に示す相関分布図とを重ね合わせた図ある。
この実施例は、実施形態１の振幅確率分布測定装置の測定処理手順を図６に示すようにして構成されている。この実施例における測定対象装置５０１は、図５に示すように、ボード５０２が搭載されており、そのボード５０２上にＬＳＩ５０３、ＬＳＩ５０４、ＬＳＩ５０５、モジュール５０６が搭載されている。測定対象装置５０１のサイズは、横が約３６０mm、縦が約２６０mmである。
FIG. 5 is a block diagram of a measurement target apparatus of the amplitude probability distribution measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a flowchart showing a processing procedure for measuring the correlation distribution of the measurement target apparatus by the amplitude probability distribution measuring apparatus. 7 is a correlation distribution diagram measured for the measurement target device, and FIG. 8 is a diagram in which the plan view of the measurement target device shown in FIG. 5 and the correlation distribution diagram shown in FIG. 7 are superimposed.
In this example, the measurement processing procedure of the amplitude probability distribution measuring apparatus according to the first embodiment is configured as shown in FIG. As shown in FIG. 5, the
次に、図５乃至図８を参照して、この実施例の動作を説明する。
この実施例における相関分布の測定手順は、基本的には、実施形態1乃至実施形態３と同じであり、測定が開始されると、入力部１１（図１参照）より、測定する周波数、測定する位置、測定時間、相関元データ等を入力する。
この実施例においては、測定する周波数として、２．４１２ＧＨｚを中心とした２０ＧＨｚ帯域、測定時間として１００ms、測定する位置として装置より３０mm上の仮想平面とし前後左右２０mmずつ大きい範囲（４００mm×２００mm）を、ステップ２０mm（２０×１５点）とした。相関元データとしては、ＬＳＩ５０４の地点の振幅確率分布データとした。相関元データとしては、他に例えば、遠方電界の振幅確率分布データ等がある。
Next, the operation of this embodiment will be described with reference to FIGS.
The procedure for measuring the correlation distribution in this example is basically the same as that in the first to third embodiments. When the measurement is started, the frequency to be measured and the measurement from the input unit 11 (see FIG. 1). Enter the position, measurement time, correlation source data, etc.
In this embodiment, the frequency to be measured is a 20 GHz band centered on 2.412 GHz, the measurement time is 100 ms, and the measurement position is a virtual plane 30 mm above the apparatus and a large range (400 mm × 200 mm) by 20 mm in the front, rear, left and right directions. Step 20 mm (20 × 15 points). As the correlation source data, amplitude probability distribution data at a point of the
入力された測定条件を下に制御部１２（図１）がプローブ走査部１３（図１）を制御する。プローブ走査部１３は、上下前後左右の３軸に沿って移動可能な３軸ステージで、ステージの先に電界を測定するプローブとしてスリーブアンテナが接続されている。
プローブ走査ブ１３は、制御部１２からの信号に応答してスリーブアンテナを測定地点間で移動させる。その測定開始位置は、測定範囲の左前の端に移動させる（図６のＳ６１）。
Under the input measurement conditions, the control unit 12 (FIG. 1) controls the probe scanning unit 13 (FIG. 1). The
The
移動完了後に、制御部１２は、振幅確率分布測定部１４（図１）へ測定開始信号を出力する。振幅確率分布測定部１４は、測定開始信号を受け取ると測定を開始し、入力部１１から入力された測定時間の間、振幅確率分布を測定する（図６のＳ６２）。
測定後、測定した振幅確率分布のデータをデータ記憶部１５（図１）に記憶する（図６のＳ６３）。相関演算部１６（図１）は、データ記憶部１５に記憶されている振幅確率分布データと入力された相関元データとの相関を演算する（図６のＳ６４）。
After the movement is completed, the
After the measurement, the measured amplitude probability distribution data is stored in the data storage unit 15 (FIG. 1) (S63 in FIG. 6). The correlation calculation unit 16 (FIG. 1) calculates the correlation between the amplitude probability distribution data stored in the
記憶されている振幅確率分布のデータを確率毎の強度とする。これをこの実施例について言えば、確率が１０分の１になる間を１２等分し、確率１から確率１０−６までの間に点在する７３点のうちの任意の確率での強度を振幅確率分布データの各各とする。
そして、上記相関の演算は、ピアソンの相関度式である次式（１）を用いる。
The stored amplitude probability distribution data is set as the intensity for each probability. Speaking of this example, when the probability becomes 1/10, the probability is divided into 12 equal parts, and the intensity at an arbitrary probability among 73 points scattered between the probability 1 and the
The correlation calculation uses the following equation (1), which is a Pearson correlation expression.
上式で、ｘｉは、測定した振幅確率分布のうちの任意の確率での強度データであり、また、ｙｉは、相関元データのうちの対応する強度データである。ｘａは、測定した振幅確率分布のうちの任意の確率での強度データの平均値であり、また、ｙａは、相関元データの平均値である。
上式を用いて計算した相関値をデータ記憶部１５に記憶する（図６のＳ６５）。
In the above equation, x i is intensity data at an arbitrary probability in the measured amplitude probability distribution, and y i is corresponding intensity data in the correlation source data. x a is the mean value of the intensity data in any probability of the measured amplitude probability distribution, also, y a is an average value of the correlation reference data.
The correlation value calculated using the above equation is stored in the data storage unit 15 (S65 in FIG. 6).
次に、まだ測定していない測定点があれば（図６のＳ６６のＮｏ）、その測定点へプローブを移動させ（図６のＳ６１）、測定を繰り返す（図６のＳ６２〜Ｓ６５）。
すべての測定点の測定終了後（図６のＳ６６のYes）、相関値を色分けされた画像を出力部１７（図１）の画面に表示する。その表示される画面例を図７に示す。図８は、その画面に図５の測定対象装置の平面図を重ね合わせた状態を示す。図７及び図８の右側の数字は、相関度を表し、その１が最大の相関度を表し、数値が大きいほど相関度が高いことを表している。
この実施例においても、実施形態１と同効が得られる。
Next, if there is a measurement point that has not been measured yet (No in S66 in FIG. 6), the probe is moved to that measurement point (S61 in FIG. 6), and the measurement is repeated (S62 to S65 in FIG. 6).
After the measurement of all measurement points is completed (Yes in S66 in FIG. 6), an image in which the correlation values are color-coded is displayed on the screen of the output unit 17 (FIG. 1). An example of the displayed screen is shown in FIG. FIG. 8 shows a state in which the plan view of the measurement target device of FIG. 5 is superimposed on the screen. The numbers on the right side of FIGS. 7 and 8 represent the degree of correlation, where 1 represents the maximum degree of correlation, and the larger the numerical value, the higher the degree of correlation.
Also in this example, the same effect as in the first embodiment can be obtained.
以上、この発明の実施形態及び実施例を、図面を参照して詳述してきたが、この発明の具体的な構成は、これらの実施形態及び実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもそれらはこの発明に含まれる。
例えば、相関元データは、既知の振幅確率分布データであると説明したが、振幅確率分布測定装置で測定される仮想平面上の振幅確率分布のデータの任意の点を相関の対象とすることもできる。
また、相関元データを１つ用いるだけでなく、複数用いて相関度の異なることを利用して雑音の特定支援に役立てることもできる。
また、振幅確率分布の測定を各測定点に共通の同一周波数で行うこと説明したが、異なる周波数で振幅確率分布のデータを得てそれらデータ間の相関を取って雑音発生原因が探査対象のどの部位にあるかの特定に役立てるようにしてもよい。
また、振幅確率分布の測定に磁界を用いてもよい。
また、雑音源の特定だけでなく、その他の信号、パターン情報の特定乃至判定に用いるように構成してもよい。
Although the embodiments and examples of the present invention have been described in detail with reference to the drawings, the specific configuration of the present invention is not limited to these embodiments and examples, and the gist of the present invention. Even if there is a design change or the like without departing from the scope of the invention, they are included in the present invention.
For example, the correlation source data has been described as the known amplitude probability distribution data, but an arbitrary point of the amplitude probability distribution data on the virtual plane measured by the amplitude probability distribution measuring apparatus may be the target of correlation. it can.
In addition to using only one correlation source data, it is possible to use a plurality of correlation source data to assist in noise identification support by utilizing the fact that the correlation degree is different.
In addition, it was explained that the measurement of the amplitude probability distribution is performed at the same frequency common to each measurement point. However, the amplitude probability distribution data is obtained at different frequencies and the correlation between the data is obtained, and the cause of the noise generation is determined. You may make it use for the identification of whether it exists in a site | part.
A magnetic field may be used for measuring the amplitude probability distribution.
Further, not only the noise source but also other signals and pattern information may be specified or determined.
ここに開示している信号特定装置及びその方法並びにこれらの制御プログラムは、雑音以外の信号、パターン情報の特定を必要とする各種の装置、例えば、認証装置等にも利用し得る。 The signal specifying device and method disclosed herein and these control programs can be used for various devices that require specification of signals other than noise and pattern information, such as authentication devices.
１０、１１Ａ、１１Ｂ 振幅確率分布測定装置（信号特定装置）
１１ 入力部（第２の情報出力手段の一部）
１２ 制御部（第１の情報出力手段の一部、第２の情報出力手段の一部、演算手段の一部）
１３ プローブ走査部（第１の情報出力手段の一部）
１４ 振幅確率分布測定部（第１の情報出力手段の残部、演算手段の一部）
１５ データ記憶部（第１の情報出力手段の残部、第２の情報出力手段の残部）
１６ 相関演算部（演算手段の残部）
１７ 出力部（出力手段）
３１ 入力部（第１の情報出力手段の一部、第２の情報出力手段の一部）
３２ 相関演算部（第１の情報出力手段の一部、演算手段）
３３ データ記憶部（第１の情報出力手段の残部、第２の情報出力手段の残部）
３４ 出力部（出力手段）
４１ 入力装置（第１の情報出力手段の一部、第２の情報出力手段の一部）
４２ コンピュータ（第１の情報出力手段の一部、第２の情報出力手段の一部、演算手段の一部）
４３ 記憶装置（第１の情報出力手段の残部、第２の情報出力手段の残部）
４４ 出力装置（出力手段）
４５ 相関:計算プログラム（演算手段の残部）
10, 11A, 11B Amplitude probability distribution measuring device (signal specifying device)
11 Input unit (part of second information output means)
12 control unit (part of first information output means, part of second information output means, part of calculation means)
13 Probe scanning unit (part of first information output means)
14 Amplitude probability distribution measurement unit (remaining part of first information output unit, part of calculation unit)
15 Data storage (remaining part of first information output means, remaining part of second information output means)
16 Correlation calculation part (remainder of calculation means)
17 Output unit (output means)
31 Input section (part of first information output means, part of second information output means)
32. Correlation calculation unit (part of first information output means, calculation means)
33 Data storage (remaining part of first information output means, remaining part of second information output means)
34 Output unit (output means)
41 Input device (part of first information output means, part of second information output means)
42 Computer (part of first information output means, part of second information output means, part of calculation means)
43 Storage device (remaining part of first information output means, remaining part of second information output means)
44 Output device (output means)
45 Correlation: Calculation program (remainder of calculation means)
Claims (16)
前記第１の情報出力手段から出力される前記第１の強度確率分布データと所定の対応関係となる第２の強度確率分布データを出力する第２の情報出力手段と、
前記第１の情報出力手段から出力される前記第１の強度確率分布データと前記第２の情報出力手段から出力される前記第２の強度確率分布データとの相関を求めることで、前記信号を特定するための情報を演算する演算手段とを備えてなることを特徴とする信号特定装置。 First information output means for deriving and outputting first intensity probability distribution data on a plane separated from the surface of the measurement target region by a predetermined distance based on a signal output from the signal output device;
Second information output means for outputting second intensity probability distribution data having a predetermined correspondence with the first intensity probability distribution data output from the first information output means;
By obtaining a correlation between the first intensity probability distribution data output from the first information output means and the second intensity probability distribution data output from the second information output means, the signal is A signal specifying device comprising: an operation means for calculating information for specifying.
前記第１の情報出力手段から出力される前記第１の強度確率分布パターンと所定の対応関係となる第２の強度確率分布パターンを出力する第２の情報出力手段と、
前記第１の情報出力手段から出力される前記第１の強度確率分布パターンと前記第２の情報出力手段から出力される前記第２の強度確率分布パターンとの類似度を求めることで、前記信号を特定するための情報を演算する演算手段とを備えてなることを特徴とする信号特定装置。 First information output means for deriving and outputting a first intensity probability distribution pattern on a plane separated from the surface of the measurement target region by a predetermined distance based on a signal output from the signal output device;
Second information output means for outputting a second intensity probability distribution pattern having a predetermined correspondence with the first intensity probability distribution pattern output from the first information output means;
The signal is obtained by obtaining a similarity between the first intensity probability distribution pattern output from the first information output means and the second intensity probability distribution pattern output from the second information output means. A signal specifying device comprising: an operation means for calculating information for specifying the signal.
該計測手段から出力される前記雑音信号に基づいて、測定対象領域の表面から所定距離離れた平面上の第１の強度確率分布データを導出して出力する第１の情報出力手段と、
前記第１の情報出力手段から出力される前記第１の強度確率分布データと所定の対応関係となる第２の強度確率分布データを出力する第２の情報出力手段と、
前記第１の情報出力手段から出力される前記第１の強度確率分布データと前記第２の情報出力手段から出力される前記第２の強度確率分布データとの相関を求めることで、雑音源を特定するための情報を演算する演算手段とを備えてなることを特徴とする信号特定装置。 A measuring means for measuring a noise signal of a noise source;
First information output means for deriving and outputting first intensity probability distribution data on a plane separated by a predetermined distance from the surface of the measurement target region based on the noise signal output from the measurement means;
Second information output means for outputting second intensity probability distribution data having a predetermined correspondence with the first intensity probability distribution data output from the first information output means;
By obtaining a correlation between the first intensity probability distribution data output from the first information output means and the second intensity probability distribution data output from the second information output means, a noise source is obtained. A signal specifying device comprising: an operation means for calculating information for specifying.
該計測手段から出力される前記雑音信号に基づいて、測定対象領域の表面から所定距離離れた平面上の第１の強度確率分布パターンを導出して出力する第１の情報出力手段と、
前記第１の情報出力手段から出力される前記第１の強度確率分布パターンと所定の対応関係となる第２の強度確率分布パターンを出力する第２の情報出力手段と、
前記第１の情報出力手段から出力される前記第１の強度確率分布パターンと前記第２の情報出力手段から出力される前記第２の強度確率分布パターンとの類似度を求めることで、雑音源を特定するための情報を演算する演算手段とを備えてなることを特徴とする信号特定装置。 A measuring means for measuring a noise signal of a noise source;
First information output means for deriving and outputting a first intensity probability distribution pattern on a plane separated from the surface of the measurement target region by a predetermined distance based on the noise signal output from the measurement means;
Second information output means for outputting a second intensity probability distribution pattern having a predetermined correspondence with the first intensity probability distribution pattern output from the first information output means;
By obtaining a similarity between the first intensity probability distribution pattern output from the first information output means and the second intensity probability distribution pattern output from the second information output means, a noise source is obtained. A signal specifying device comprising: an operation means for calculating information for specifying the signal.
出力される前記第１の強度確率分布データと所定の対応関係となる第２の強度確率分布データを出力し、
出力される前記第１の強度確率分布データと、出力される前記第２の強度確率分布データとの相関を求めることで、前記信号を特定するための情報を演算することを特徴とする信号特定方法。 Based on the signal output from the signal output device , the first intensity probability distribution data on a plane separated by a predetermined distance from the surface of the measurement target region is derived and output,
Outputting second intensity probability distribution data having a predetermined correspondence with the output first intensity probability distribution data;
Information for specifying the signal is calculated by obtaining a correlation between the output first intensity probability distribution data and the output second intensity probability distribution data. Method.
出力される前記第１の強度確率分布パターンと所定の対応関係となる第２の強度確率分布パターンを出力し、
出力される前記第１の強度確率分布パターンと、出力される前記第２の強度確率分布パターンとの類似度を求めることで、前記信号を特定するための情報を演算することを特徴とする信号特定方法。 Based on the signal output from the signal output device , the first intensity probability distribution pattern on a plane separated by a predetermined distance from the surface of the measurement target region is derived and output,
Outputting a second intensity probability distribution pattern having a predetermined correspondence with the output first intensity probability distribution pattern;
Information for specifying the signal is calculated by obtaining a similarity between the output first intensity probability distribution pattern and the output second intensity probability distribution pattern Identification method.
計測される前記雑音信号に基づいて、測定対象領域の表面から所定距離離れた平面上の第１の強度確率分布データを導出して出力し、
出力される前記第１の強度確率分布データと所定の対応関係となる第２の強度確率分布データを出力し、
出力される前記第１の強度確率分布データと、出力される前記第２の強度確率分布データとの相関を求めることで、雑音源を特定するための情報を演算することを特徴とする信号特定方法。 Measure the noise signal of the noise source,
Based on the measured noise signal, the first intensity probability distribution data on a plane separated by a predetermined distance from the surface of the measurement target region is derived and output,
Outputting second intensity probability distribution data having a predetermined correspondence with the output first intensity probability distribution data;
Information for identifying a noise source is calculated by obtaining a correlation between the output first intensity probability distribution data and the output second intensity probability distribution data. Method.
計測される前記雑音信号に基づいて、測定対象領域の表面から所定距離離れた平面上の第１の強度確率分布パターンを導出して出力し、
出力される前記第１の強度確率分布パターンと所定の対応関係となる第２の強度確率分布パターンを出力し、
出力される前記第１の強度確率分布パターンと、出力される前記第２の強度確率分布パターンとの類似度を求めることで、雑音源を特定するための情報を演算することを特徴とする信号特定方法。 Measure the noise signal of the noise source,
Based on the measured noise signal, a first intensity probability distribution pattern on a plane separated by a predetermined distance from the surface of the measurement target region is derived and output,
Outputting a second intensity probability distribution pattern having a predetermined correspondence with the output first intensity probability distribution pattern;
Signals for calculating information for specifying a noise source by obtaining a similarity between the output first intensity probability distribution pattern and the output second intensity probability distribution pattern Identification method.
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