JP5698331B2 - Injection molding machine - Google Patents

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洋 森田
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敦 加藤
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Description

本発明は、金型の変位を精度よく測定できる射出成型機に関する
The present invention relates to an injection molding machine that can accurately measure the displacement of a mold .

2台のカメラを用いて同一のマークを撮像することにより、ステレオ計測を行うことができる(特許文献1)。一般的なステレオ計測を行う際には、2つのカメラのレンズの光軸を相互に平行に配置し、光軸方向に関して、2つのカメラのレンズの主点の位置を一致させる。1つの目標マークを2つのカメラで同時に撮像することにより、目標マークの位置を検出することができる。   Stereo measurement can be performed by imaging the same mark using two cameras (Patent Document 1). When performing general stereo measurement, the optical axes of the lenses of the two cameras are arranged in parallel to each other, and the positions of the principal points of the lenses of the two cameras are matched with respect to the optical axis direction. The position of the target mark can be detected by simultaneously imaging one target mark with two cameras.

特開2003−242485号公報JP 2003-242485 A

従来のステレオ計測においては、2つのカメラの位置及び姿勢に高い精度が要求される。また、1つのマークを2つのカメラで同時に撮像する必要があるため、計測時のカメラの設置条件が制約を受ける。また、静止したマークの位置の測定には有用であるが、マークの位置の変位の時刻暦の測定には適さない。特に、測定期間中にカメラ自体が変位すると、測定結果に誤差が重畳される。   In conventional stereo measurement, high accuracy is required for the position and orientation of the two cameras. In addition, since it is necessary to capture one mark with two cameras at the same time, the camera installation conditions during measurement are restricted. Although it is useful for measuring the position of a stationary mark, it is not suitable for measuring the time calendar of the displacement of the mark position. In particular, if the camera itself is displaced during the measurement period, an error is superimposed on the measurement result.

本発明の一観点によると、
測定対象マーク及び基準マークを撮像し、画像データを取得する観測装置と、
前記観測装置で取得された画像データが入力され、画像解析を行う制御装置と、
を有し、
前記制御装置は、
画像解析を行うことにより、前記測定対象マークの異なる時刻における位置情報から、該測定対象マークの変位量を算出し、
前記基準マークの像の前記異なる時刻の間の変位に基づいて、前記観測装置の変位量を算出し、
前記観測装置の変位量に基づいて、前記測定対象マークの変位量を補正する変位測定装
置が提供される。
According to one aspect of the invention,
An observation device that images the measurement target mark and the reference mark and obtains image data;
A control device for inputting image data acquired by the observation device and performing image analysis;
Have
The controller is
By performing image analysis, the displacement amount of the measurement target mark is calculated from the position information of the measurement target mark at different times,
Based on the displacement between the different times of the image of the reference mark, the amount of displacement of the observation device is calculated,
A displacement measuring device for correcting the displacement amount of the measurement target mark based on the displacement amount of the observation device is provided.

本発明の他の観点によると、
測定対象マーク及び基準マークを、少なくとも2つの時刻において、観測装置で撮像し
て画像データを取得する工程と、
前記測定対象マーク及び前記基準マークの画像データに基づいて、前記測定対象マーク
の位置の時刻暦を算出する工程と、
前記基準マークの画像データに基づいて、該基準マークの像の、前記2つの時刻の間の
変位に基づいて、前記観測装置の変位量を算出する工程と、
前記観測装置の変位量に基づいて、前記測定対象マークの位置の時刻暦を補正する工程

を有する変位測定方法が提供される。
According to another aspect of the invention,
Capturing the measurement target mark and the reference mark with an observation device at at least two times to obtain image data;
Calculating a time calendar of the position of the measurement target mark based on the image data of the measurement target mark and the reference mark;
Calculating the displacement of the observation device based on the displacement between the two times of the image of the reference mark based on the image data of the reference mark;
And a step of correcting a time calendar of the position of the measurement target mark based on a displacement amount of the observation device.

観測装置自体の変位量に基づいて、測定対象マークの位置の時刻暦を補正するため、測定期間中に観測装置自体の変位及び姿勢変化の影響を受けることなく、測定対象マークの位置の時刻暦を求めることができる。   Since the time calendar of the position of the measurement target mark is corrected based on the displacement amount of the observation apparatus itself, the time calendar of the position of the measurement target mark is not affected by the displacement and orientation change of the observation apparatus itself during the measurement period. Can be requested.

図1に、実施例による変位測定装置の概略図を示す。XYZ直交座標系(グローバル座標系)が定義された空間にステージ12が配置され、その上に測定対象物10が載置され、固定されている。測定対象物10の表面に、複数の測定対象マークAが固定されている。測定対象マークAは、測定対象物10の表面に直接描画することにより形成してもよいし、マークが形成された部材を測定対象物10の表面に貼り付けてもよい。   FIG. 1 shows a schematic diagram of a displacement measuring apparatus according to an embodiment. A stage 12 is arranged in a space in which an XYZ orthogonal coordinate system (global coordinate system) is defined, and a measurement object 10 is placed thereon and fixed. A plurality of measurement object marks A are fixed on the surface of the measurement object 10. The measurement target mark A may be formed by drawing directly on the surface of the measurement target 10, or a member on which the mark is formed may be attached to the surface of the measurement target 10.

測定対象物10は、外力が加えられることにより変形する。測定対象物10が変形すると、測定対象マークAが変位する。   The measuring object 10 is deformed when an external force is applied. When the measurement object 10 is deformed, the measurement object mark A is displaced.

ステージ12の上に、第1の基準部材13及び第2の基準部材14が固定されている。第1の基準部材13の表面に、複数の第1の基準マークE1、E2、E3が固定され、第2の基準部材14の表面に、複数の第2の基準マークF1、F2、F3が固定されている。   A first reference member 13 and a second reference member 14 are fixed on the stage 12. A plurality of first reference marks E 1, E 2, E 3 are fixed to the surface of the first reference member 13, and a plurality of second reference marks F 1, F 2, F 3 are fixed to the surface of the second reference member 14. Has been.

第1の観測装置20及び第2の観測装置30が、測定対象マークAを観測する。第1の観測装置20及び第2の観測装置30には、例えば、ディジタルカメラ等の撮像装置が用いられる。観測対象マークAに、1からnまで通番を付したとき、一部の観測対象マークA1〜Aiが第1の観測装置20で観測され、他の観測対象マークAi+1〜Anが第2の観測装置30で観測される。なお、すべての観測対象マークA1〜Anが、両方の観測装置20及び30で観測されるようにしてもよいし、一部の観測対象マークAj〜Aj+mが、両方の観測装置20及び30で観測されるようにしてもよい。   The first observation device 20 and the second observation device 30 observe the measurement target mark A. For the first observation device 20 and the second observation device 30, for example, an imaging device such as a digital camera is used. When the observation object mark A is assigned a serial number from 1 to n, some of the observation object marks A1 to Ai are observed by the first observation device 20, and the other observation object marks Ai + 1 to An are the second observation device. Observed at 30. Note that all the observation target marks A1 to An may be observed by both observation apparatuses 20 and 30, or some of the observation target marks Aj to Aj + m are observed by both observation apparatuses 20 and 30. You may be made to do.

第1の基準マークE1〜E3が、第1の観測装置20で観測され、第2の基準マークF1〜F3が、第2の観測装置30で観測される。   The first reference marks E1 to E3 are observed by the first observation device 20, and the second reference marks F1 to F3 are observed by the second observation device 30.

第1の観測装置20及び第2の観測装置30の各々は、レンズと受像面とを含む。第1の観測装置20に固定された第1のローカル座標系が定義され、第2の観測装置30に固定された第2のローカル座標系が定義される。第1のローカル座標系は、第1の観測装置20のレンズの光軸に一致するW軸、W軸に垂直で、かつ相互に直交するU軸及びV軸で定義され、その原点は、レンズの主点に一致する。受像面は、UV面に平行である。第2のローカル座標系は、第2の観測装置30のレンズの光軸に一致するT軸、T軸に垂直で、かつ相互に直交するR軸及びS軸で定義され、その原点は、レンズの主点に一致する。受像面は、RS面に平行である。   Each of the first observation device 20 and the second observation device 30 includes a lens and an image receiving surface. A first local coordinate system fixed to the first observation device 20 is defined, and a second local coordinate system fixed to the second observation device 30 is defined. The first local coordinate system is defined by a W axis that coincides with the optical axis of the lens of the first observation apparatus 20, a U axis and a V axis that are perpendicular to the W axis and orthogonal to each other. Matches the principal point of The image receiving surface is parallel to the UV surface. The second local coordinate system is defined by a T-axis that coincides with the optical axis of the lens of the second observation device 30, an R-axis and an S-axis that are perpendicular to the T-axis and orthogonal to each other, and the origin is the lens Matches the principal point of The image receiving surface is parallel to the RS surface.

第1の観測装置20及び第2の観測装置30で撮像された画像データが、処理装置40に入力される。処理装置40は、入力された画像データを処理し、観測対象物10の形状変化の時刻暦を求める。形状変化の時刻暦は、画像表示装置41に画像として表示される。   Image data captured by the first observation device 20 and the second observation device 30 are input to the processing device 40. The processing device 40 processes the input image data and obtains a time calendar of the shape change of the observation object 10. The time calendar of the shape change is displayed on the image display device 41 as an image.

図2に、実施例による変位測定方法のフローチャートを示す。まず、ステップSA1において、CADを用いて測定対象物の形状を定義する。測定対象物の形状は、CAD座標系内に定義される。   FIG. 2 shows a flowchart of the displacement measuring method according to the embodiment. First, in step SA1, the shape of the measurement object is defined using CAD. The shape of the measurement object is defined in the CAD coordinate system.

ステップSA2において、CAD座標系と関連付けたグローバル座標系(XYZ座標系)を定義する。通常は、CAD座標系をグローバル座標系として採用すればよい。   In step SA2, a global coordinate system (XYZ coordinate system) associated with the CAD coordinate system is defined. Usually, the CAD coordinate system may be adopted as the global coordinate system.

ステップSA3において、CADで定義された測定対象物を、仮想的に複数の有限要素に分割する。   In step SA3, the measurement object defined by CAD is virtually divided into a plurality of finite elements.

図3に、有限要素に分割された測定対象物10を示す。測定対象物10の表面に複数の測定対象マークAが固定されている。図3は、測定対象物10が立方体の多数の要素に分割された例を示している。各要素の頂点に節点Bが画定される。各要素を、多角形の表面を持つ任意の立体形状としてもよい。この場合、多角形の表面の頂点が節点Bとなる。制御装置40は、グローバル座標系における各節点Bの位置を記憶する。   FIG. 3 shows the measurement object 10 divided into finite elements. A plurality of measurement object marks A are fixed to the surface of the measurement object 10. FIG. 3 shows an example in which the measurement object 10 is divided into a large number of cubic elements. A node B is defined at the vertex of each element. Each element may have an arbitrary three-dimensional shape having a polygonal surface. In this case, the vertex of the polygonal surface is the node B. The control device 40 stores the position of each node B in the global coordinate system.

ステップSA4において、実際の測定対象物10に取り付けられている測定対象マークAのグローバル座標系における位置を、制御装置40に記憶させる。さらに、第1の基準マークE1〜E3及び第2の基準マークF1〜F3の各々のグローバル座標系における位置を、制御装置40に記憶させる。   In step SA4, the position of the measurement target mark A attached to the actual measurement object 10 in the global coordinate system is stored in the control device 40. Further, the positions of the first reference marks E1 to E3 and the second reference marks F1 to F3 in the global coordinate system are stored in the control device 40.

ステップSA5において、グローバル座標系が定義された空間内に、第1の観測装置20及び第2の観測装置30を配置し、固定する。制御装置40に、第1の観測装置20及び第2の観測装置30の、グローバル座標系内における位置と姿勢を記憶させる。第1の観測装置20の位置は、そのレンズの主点のグローバル座標で特定される。第1の観測装置20の姿勢は、そのレンズの光軸、即ちW軸の方向と、U軸の方向とで特定される。同様に、第2の観測装置30の位置は、そのレンズの主点のグローバル座標で特定され、姿勢は、T軸及びR軸の方向で特定される。   In step SA5, the first observation device 20 and the second observation device 30 are arranged and fixed in the space in which the global coordinate system is defined. The control device 40 stores the positions and orientations of the first observation device 20 and the second observation device 30 in the global coordinate system. The position of the first observation device 20 is specified by the global coordinates of the principal point of the lens. The attitude of the first observation device 20 is specified by the optical axis of the lens, that is, the direction of the W axis and the direction of the U axis. Similarly, the position of the second observation device 30 is specified by the global coordinates of the principal point of the lens, and the posture is specified by the directions of the T axis and the R axis.

実施例では、第1の観測装置20に固定された第1のローカル座標系のW軸が、グローバル座標系のZ軸に平行になり、第2の観測装置30に固定された第2のローカル座標系のT軸が、グローバル座標系のX軸に平行になるように、第1及び第2の観測装置20、30を配置した。この配置の場合、第1の観測装置20は、W軸に直交する方向、すなわちXY面内方向の変位を観測し、第2の観測装置30は、T軸に直交する方向、すなわちYZ面内方向の変位を観測することができる。   In the embodiment, the W axis of the first local coordinate system fixed to the first observation device 20 is parallel to the Z axis of the global coordinate system, and the second local coordinate system fixed to the second observation device 30 is used. The first and second observation devices 20 and 30 are arranged so that the T axis of the coordinate system is parallel to the X axis of the global coordinate system. In this arrangement, the first observation device 20 observes the displacement in the direction orthogonal to the W axis, that is, the XY in-plane direction, and the second observation device 30 is in the direction orthogonal to the T axis, that is, in the YZ plane. Directional displacement can be observed.

観測対象物10に予想される変形に応じて、第1及び第2の観測装置20、30を配置することが好ましい。例えば、外力の向きがXY面に平行であり、その大きさがZ方向に関してほぼ一定であれば、測定対象物10の変形は、ほぼXY面に平行な方向に生じると予測される。この変形は、主として第1の観測装置20によって観測することができる。   It is preferable to arrange the first and second observation devices 20 and 30 according to the deformation expected for the observation object 10. For example, if the direction of the external force is parallel to the XY plane and the magnitude thereof is substantially constant with respect to the Z direction, the deformation of the measurement object 10 is predicted to occur in a direction substantially parallel to the XY plane. This deformation can be observed mainly by the first observation device 20.

以下の説明では、観測対象物10が、主としてXY面内に平行な方向に変形すると予測される場合について説明する。   In the following description, a case will be described in which the observation object 10 is predicted to deform mainly in a direction parallel to the XY plane.

ステップSA6において、測定対象物10に外力を加えながら、観測対象マークA及び第1の基準マークE1〜E3を、第1の観測装置20で撮像し、観測対象マークA及び第2の基準マークF1〜F3を、第2の観測装置30で撮像する。撮像された画像データは、制御装置40に入力される。制御装置40は、画像解析を行うことにより、受像面内における観測対象マークAの像の位置を計測する。以下の工程では、第1の観測装置20で取得された画像データの処理について説明する。第2の観測装置30で取得された画像データの処理も、同様に行われる。   In step SA6, while applying an external force to the measurement object 10, the observation object mark A and the first reference marks E1 to E3 are imaged by the first observation device 20, and the observation object mark A and the second reference mark F1 are captured. -F3 is imaged by the second observation apparatus 30. The captured image data is input to the control device 40. The control device 40 measures the position of the image of the observation target mark A in the image receiving plane by performing image analysis. In the following steps, processing of image data acquired by the first observation apparatus 20 will be described. Processing of the image data acquired by the second observation apparatus 30 is performed in the same manner.

第1の観測装置20の受像面は、第1のローカル座標系のUV面に平行である。このため、受像面内の位置は、U座標及びV座標で特定される。観測時刻t0、t1、t2・・・における画像データを解析することにより、これらの観測時刻における観測対象マークAの受像面内の位置、すなわち(U,V)座標を検出する。以下、観測対象マークA1の位置の検出方法の一例について説明する。   The image receiving plane of the first observation apparatus 20 is parallel to the UV plane of the first local coordinate system. For this reason, the position in the image receiving surface is specified by the U coordinate and the V coordinate. By analyzing the image data at the observation times t0, t1, t2,..., The positions of the observation target marks A at the observation times, that is, (U, V) coordinates are detected. Hereinafter, an example of a method for detecting the position of the observation target mark A1 will be described.

まず、画像データから、観測対象マークA1を含む長方形の領域を切り取る。切り取られた領域の(U,V)座標、例えば長方形の1つの頂点の(U,V)座標を記憶する。切り取られた画像データに、ノイズ除去を目的として、低域通過フィルタ、または収縮膨張操作等の処理を行う。ノイズが除去された画像データを用い、切り取られた領域内における観測対象マークA1の位置を検出する。   First, a rectangular area including the observation target mark A1 is cut out from the image data. The (U, V) coordinates of the clipped area, for example, the (U, V) coordinates of one vertex of the rectangle are stored. The cut image data is subjected to processing such as a low-pass filter or contraction / expansion operation for the purpose of noise removal. Using the image data from which the noise has been removed, the position of the observation target mark A1 within the clipped region is detected.

マーク位置の検出には、重心演算かピーク値検出法を用いることが好ましい。マークの像がぼやけている場合があるため、エッジ検出法やパターンマッチング法による位置検出は適さない。光強度にしきい値を設定し、しきい値以上の画素についてのみ重心演算を行うことにより、背景の光強度の強弱の影響を受けにくくすることができる。   For the detection of the mark position, it is preferable to use the center of gravity calculation or the peak value detection method. Since the mark image may be blurred, position detection by the edge detection method or pattern matching method is not suitable. By setting a threshold value for the light intensity and performing the centroid calculation only for pixels that are equal to or greater than the threshold value, it is possible to make it less susceptible to the influence of the background light intensity.

切り取られた領域の位置、及び切り取られた領域内における観測対象マークA1の位置により、受像面内における観測対象マークA1の(U,V)座標を算出することができる。同様の方法で、他の観測対象マークA2〜Anの(U,V)座標を求める。さらに、第1の基準マークE1〜E3の(U,V)座標を求める。   The (U, V) coordinates of the observation target mark A1 in the image receiving plane can be calculated from the position of the cut-out region and the position of the observation target mark A1 in the cut-out region. In the same way, the (U, V) coordinates of the other observation target marks A2 to An are obtained. Further, the (U, V) coordinates of the first reference marks E1 to E3 are obtained.

図4に示すように、観測対象マークA1、A2・・・、及び第1の基準マークE1〜E3ごとに、座標及び変位量の時刻暦テーブルが準備されている。この時刻暦テーブルには、時刻ごとに、(U,V)座標及び変位量(ΔU,ΔV)を記憶する領域が確保されている。求められた(U,V)座標の値を、図4に示した時刻暦テーブルの(U,V)座標記憶領域に記憶する。   As shown in FIG. 4, a time calendar table of coordinates and displacement amounts is prepared for each of the observation target marks A1, A2,... And the first reference marks E1 to E3. In this time calendar table, an area for storing (U, V) coordinates and displacement amounts (ΔU, ΔV) is secured for each time. The obtained (U, V) coordinate values are stored in the (U, V) coordinate storage area of the time calendar table shown in FIG.

ステップSA7において、観測対象マークA及び第1の基準マークE1〜E3の各々の受像面内における時刻暦から、観測対象マークA及び第1の基準マークE1〜E3の各々について、観測時刻ごとの変位を計算する。例えば、観測対象マークA1の時刻t0及びt1における位置が(U10,V10)及び(U11,V11)である場合、観測時刻t1における観測対象マークA1の変位(ΔU11,ΔV11)は、(U11−U10、V11−V10)になる。図4に示した時刻暦テーブルの変位量記憶領域に、計算により求められた変位量(ΔU,ΔV)を記憶する。   In step SA7, the displacement at each observation time for each of the observation target mark A and the first reference marks E1 to E3 from the time calendar in the image receiving plane of each of the observation target mark A and the first reference marks E1 to E3. Calculate For example, when the positions of the observation target mark A1 at times t0 and t1 are (U10, V10) and (U11, V11), the displacement (ΔU11, ΔV11) of the observation target mark A1 at the observation time t1 is (U11−U10). , V11-V10). The displacement amounts (ΔU, ΔV) obtained by calculation are stored in the displacement amount storage area of the time calendar table shown in FIG.

次に、観測対象マークごと、及び観測時刻ごとの変位量から、(U,V)座標上で抽出された複数の点(抽出点)における変位量を観測時刻ごとに算出し、算出結果を記憶する。以下、抽出点の変位量を算出する方法について説明する。   Next, the displacement amount at a plurality of points (extraction points) extracted on the (U, V) coordinates is calculated for each observation time from the displacement amount for each observation target mark and each observation time, and the calculation result is stored. To do. Hereinafter, a method for calculating the displacement amount of the extraction point will be described.

図5に、算出された変位量を記憶するテーブルの一例を示す。観測時刻ごとに、抽出点の変位量を記憶するテーブルが準備されている。抽出点は、例えば、U軸方向及びV軸方向に、ある格子間隔で設けた正方格子の格子点に一致するように抽出される。抽出点のU座標は、U1、U2、U3・・・となり、V座標は、V1、V2、V3・・・となる。抽出点ごとに、変位量(ΔU,ΔV)を記憶する領域が確保されている。   FIG. 5 shows an example of a table that stores the calculated displacement amount. A table for storing the displacement amount of the extraction point is prepared for each observation time. For example, the extraction points are extracted so as to coincide with the lattice points of a square lattice provided at certain lattice intervals in the U-axis direction and the V-axis direction. The U coordinates of the extraction points are U1, U2, U3..., And the V coordinates are V1, V2, V3. An area for storing the displacement (ΔU, ΔV) is secured for each extraction point.

図6を参照して、抽出点(Ui,Vj)における変位量の算出方法について説明する。
(U,V)平面上に、複数の観測対象マークA1〜Anが分布する。観測時刻t1における観測対象マークA1〜Anの各々のU軸方向の変位量ΔUは、図4に示したように既に求められている。抽出点(Ui,Vj)における変位量は、変位量が既知の複数の点の変位量から、例えば補間演算等により推測することができる。V軸方向の変位量ΔVも、同様に推測することができる。観測時刻t2以降の各観測時刻について同様の処理を行い、観測時刻ごとに、図5に示したテーブルの変位量記憶領域に、算出された変位量を格納する。
With reference to FIG. 6, a method of calculating the displacement amount at the extraction point (Ui, Vj) will be described.
A plurality of observation target marks A1 to An are distributed on the (U, V) plane. The displacement amount ΔU in the U-axis direction of each of the observation target marks A1 to An at the observation time t1 has already been obtained as shown in FIG. The displacement amount at the extraction point (Ui, Vj) can be estimated from the displacement amounts of a plurality of points whose displacement amounts are known, for example, by interpolation calculation. The displacement amount ΔV in the V-axis direction can be similarly estimated. The same processing is performed for each observation time after the observation time t2, and the calculated displacement amount is stored in the displacement amount storage area of the table shown in FIG. 5 for each observation time.

なお、図5に示した変位量記憶用のテーブルを準備する代わりに、変位量の近似関数を決定してもよい。変位量の近似関数fu、fvは、受像面上の位置を(U,V)とし、経過時間をtとして、下記のように表記することができる。
ΔU=fu(U,V,t)
ΔV=fv(U,V,t)
ステップSA8において、レンズ特性を考慮して、受像面上の(U,V)座標を、第1のローカル座標系のW軸を基準とした2つの極角φU及びφVに変換する。さらに、変位量ΔU及びΔVを、極角の変化量ΔφU及びΔφVに変換する。
Instead of preparing the displacement amount storage table shown in FIG. 5, an approximate function of the displacement amount may be determined. The approximate functions fu and fv of the displacement amount can be expressed as follows, where the position on the image receiving surface is (U, V) and the elapsed time is t.
ΔU = fu (U, V, t)
ΔV = fv (U, V, t)
In step SA8, in consideration of the lens characteristics, the (U, V) coordinates on the image receiving surface are converted into two polar angles φU and φV with reference to the W axis of the first local coordinate system. Further, the displacement amounts ΔU and ΔV are converted into polar angle variations ΔφU and ΔφV.

図7に、角度φU及びφVの定義を示す。受像面上のUV座標上に1つの点(着目点)が決まると、UVWローカル座標系内に、受像面上の着目点及びUVW座標系の原点を通過する1つのベクトルGが決まる。ベクトルGは、受像面上の着目点の位置に像を結ぶ観測対象マークに向かう。ベクトルGをUW面に垂直投影した像GUとW軸とのなす角度をφUと定義し、ベクトルGをVW面に垂直投影した像GVとW軸とのなす角度をφVと定義する。受像面上の1つの点が、1つのベクトルGに対応する。ベクトルGは、角度座標(φU,φV)で表すことができる。このため、受像面上の1つの座標(U,V)が、1つの角度座標(φU,φV)に対応する。このため、受像面上の(U,V)座標を、角度座標(φU,φV)に変換し、変位量(ΔU,ΔV)を、角度の変化量(ΔφU,ΔφV)に変換することができる。   FIG. 7 shows the definitions of the angles φU and φV. When one point (point of interest) is determined on the UV coordinates on the image receiving plane, one vector G passing through the point of interest on the image receiving plane and the origin of the UVW coordinate system is determined in the UVW local coordinate system. The vector G goes to the observation target mark that connects the image to the position of the point of interest on the image receiving surface. An angle formed by an image GU obtained by vertically projecting the vector G on the UW plane and the W axis is defined as φU, and an angle formed by an image GV obtained by vertically projecting the vector G on the VW plane and the W axis is defined by φV. One point on the image receiving surface corresponds to one vector G. The vector G can be represented by angle coordinates (φU, φV). Therefore, one coordinate (U, V) on the image receiving surface corresponds to one angular coordinate (φU, φV). Therefore, (U, V) coordinates on the image receiving surface can be converted into angle coordinates (φU, φV), and displacement amounts (ΔU, ΔV) can be converted into angle change amounts (ΔφU, ΔφV). .

図8に示すように、観測時刻ごとに、抽出点に対応する角度座標(φU,φV)と、角度の変化量(ΔφU、ΔφV)との関係を示す角度変化量テーブルが準備されている。角度変化量テーブルには、抽出点ごとに、角度変化量を記憶する領域が確保されている。変換により算出された角度変化量(ΔφU、ΔφV)を、角度変化量の記憶領域に格納する。   As shown in FIG. 8, for each observation time, an angle change amount table indicating the relationship between the angle coordinates (φU, φV) corresponding to the extraction point and the angle change amounts (ΔφU, ΔφV) is prepared. In the angle change amount table, an area for storing the angle change amount is secured for each extraction point. The angle change amounts (ΔφU, ΔφV) calculated by the conversion are stored in the storage area for the angle change amount.

なお、図8に示した角度変化量テーブルの代わりに、角度変化量の近似関数を決定してもよい。角度変化量の近似関数fφU、fφVは、経過時間をtとして、下記のように表記することができる。
ΔφU=fφU(φU,φV,t)
ΔφV=fφV(φU,φV,t)
ステップSA9において、基準マークE1〜E3の像の変位に基づいて、第1の観測装置20の変位及び姿勢の変化を求める。基準マークE1〜E3は観測期間中は移動しないものとする。基準マークE1〜E3の像が移動したように観測された場合、第1の観測装置20自体が移動し、またはその姿勢が変化したためと考えられる。以下、第1の観測装置20の変位及び姿勢の変化を求める方法について説明する。
Instead of the angle change amount table shown in FIG. 8, an approximate function of the angle change amount may be determined. The approximate functions fφU and fφV for the angle change amount can be expressed as follows, where the elapsed time is t.
ΔφU = fφU (φU, φV, t)
ΔφV = fφV (φU, φV, t)
In step SA9, based on the displacement of the images of the reference marks E1 to E3, the displacement of the first observation device 20 and the change in posture are obtained. The reference marks E1 to E3 are not moved during the observation period. If the images of the reference marks E1 to E3 are observed as if they have moved, it is considered that the first observation device 20 itself has moved or its posture has changed. Hereinafter, a method for obtaining the displacement and the posture change of the first observation apparatus 20 will be described.

図9に、第1の撮像装置20の外乱による変位、及び姿勢の変化と、ローカル座標系との関係を示す。第1の撮像装置がU、V、W軸方向に並進移動する変位を、それぞれΔUD、ΔVD、及びΔWDとする。また、U軸、V軸、及びW軸を中心とした回転方向の変位を、それぞれΔθUD、ΔθVD、ΔθWDとする。また、原点から基準マークE1までの距離をdとする。   FIG. 9 shows the relationship between the displacement and posture change caused by the disturbance of the first imaging device 20 and the local coordinate system. The displacements in which the first imaging device translates in the U, V, and W axis directions are denoted by ΔUD, ΔVD, and ΔWD, respectively. Further, the displacements in the rotational direction around the U axis, the V axis, and the W axis are denoted by ΔθUD, ΔθVD, and ΔθWD, respectively. Further, the distance from the origin to the reference mark E1 is d.

第1の観測装置20に、外乱による角度変化ΔθUDが生じたときの第1の基準マークE1の角度座標(φU,φV)の変化量(ΔφUD,ΔφVD)は、下記の式または近似式で表される。   The amount of change (ΔφUD, ΔφVD) of the angle coordinates (φU, φV) of the first reference mark E1 when the angle change ΔθUD due to disturbance occurs in the first observation device 20 is expressed by the following equation or approximate equation: Is done.

第1の観測装置20に、外乱による角度変化ΔθVDが生じたときの第1の基準マークE1の角度座標(φU,φV)の変化量(ΔφUD,ΔφVD)は、下記の式または近似式で表される。   The amount of change (ΔφUD, ΔφVD) of the angle coordinates (φU, φV) of the first reference mark E1 when the angle change ΔθVD due to disturbance occurs in the first observation device 20 is expressed by the following equation or approximate equation: Is done.

第1の観測装置20に、外乱による変位ΔUDが生じたときの第1の基準マークE1の角度座標(φU,φV)の変化量(ΔφUD,ΔφVD)は、下記の近似式で表される。   The amount of change (ΔφUD, ΔφVD) of the angle coordinates (φU, φV) of the first reference mark E1 when the displacement ΔUD due to disturbance occurs in the first observation device 20 is expressed by the following approximate expression.

第1の観測装置20に、外乱による変位ΔVDが生じたときの第1の基準マークE1の角度座標(φU,φV)の変化量(ΔφUD,ΔφVD)は、下記の近似式で表される。   The amount of change (ΔφUD, ΔφVD) of the angle coordinates (φU, φV) of the first reference mark E1 when the displacement ΔVD due to disturbance occurs in the first observation device 20 is expressed by the following approximate expression.

第1の観測装置20に、外乱による角度変化ΔθWDが生じたときの第1の基準マークE1の角度座標(φU,φV)の変化量(ΔφUD,ΔφVD)は、比例定数をk1として、下記の近似式で表される。   The amount of change (ΔφUD, ΔφVD) of the angle coordinates (φU, φV) of the first reference mark E1 when the angle change ΔθWD due to the disturbance occurs in the first observation device 20 is expressed as follows, where the proportionality constant is k1. It is expressed by an approximate expression.

第1の観測装置20に、外乱による変位ΔWDが生じたときの第1の基準マークE1の角度座標(φU,φV)の変化量(ΔφUD,ΔφVD)は、比例定数をk2として、下記の近似式で表される。   The amount of change (ΔφUD, ΔφVD) of the angle coordinates (φU, φV) of the first reference mark E1 when the displacement ΔWD due to the disturbance occurs in the first observation device 20 is set to the following approximation with the proportionality constant as k2. It is expressed by a formula.

上述の式及び近似式から、第1の観測装置20に、外乱による変位(ΔUD,ΔVD,ΔWD,ΔθUD,ΔθVD,ΔθWD)が生じたときの第1の基準マークE1の角度座標(φU,φV)の変化量(ΔφUD,ΔφVD)は、下記の近似式で表されると考えられる。   From the above equation and the approximate equation, the angular coordinates (φU, φV) of the first reference mark E1 when displacement (ΔUD, ΔVD, ΔWD, ΔθUD, ΔθVD, ΔθWD) due to disturbance occurs in the first observation device 20. ) Change amount (ΔφUD, ΔφVD) is considered to be expressed by the following approximate expression.

上述の近似式のうち、角度変化量ΔφUD及びΔφVDは、基準マークE1を観測することにより得られる。基準マークE1までの距離d、基準マークE1の角度座標(φU,φV)は既知である。未知数は、ΔUD、ΔVD、k2ΔWD、ΔθUD、ΔθVD、及びk1ΔθWDの6個である。3個の基準マークE1〜E3の変位を観測すれば、6個の連立方程式が得られる。従って、上記6個の未知数を決定することができる。すなわち、第1の観測装置の変位量、及び姿勢の変化量が決定される。なお、3個の基準マークE1〜E3は、6個の連立方程式から1組の解を決定できるような位置に配置されている。   Among the above approximate expressions, the angle change amounts ΔφUD and ΔφVD are obtained by observing the reference mark E1. The distance d to the reference mark E1 and the angle coordinates (φU, φV) of the reference mark E1 are known. There are six unknowns: ΔUD, ΔVD, k2ΔWD, ΔθUD, ΔθVD, and k1ΔθWD. If the displacements of the three reference marks E1 to E3 are observed, six simultaneous equations can be obtained. Therefore, the six unknowns can be determined. That is, the displacement amount of the first observation device and the change amount of the posture are determined. Note that the three fiducial marks E1 to E3 are arranged at positions where one set of solutions can be determined from the six simultaneous equations.

図8に示した角度変化量テーブルに記憶されている角度変化量(ΔφU,ΔφV)は、第1の観測装置20が移動せず、その姿勢も変化しないことを前提としている。第1の観測装置20に外乱による変位(ΔUD,ΔVD,ΔWD,ΔθUD,ΔθVD,ΔθWD)が生じている場合には、角度変化量テーブルに記憶されている角度変位量(ΔφU,ΔφV)を補正しなければならない。   The angle change amounts (ΔφU, ΔφV) stored in the angle change amount table shown in FIG. 8 are based on the premise that the first observation apparatus 20 does not move and its posture does not change. When displacements (ΔUD, ΔVD, ΔWD, ΔθUD, ΔθVD, ΔθWD) are generated in the first observation device 20, the angular displacement amounts (ΔφU, ΔφV) stored in the angle variation table are corrected. Must.

ステップSA10において、第1の観測装置20に生じた外乱による変位(ΔUD,ΔVD,ΔWD,ΔθUD,ΔθVD,ΔθWD)に基づいて、角度変化量テーブルに記憶されている角度変化量(ΔφU,ΔφV)を補正する。例えば、抽出点の角度座標が(φU0,φV0)であり、ローカル座標の原点から抽出点までの距離がd0であり、補正前の角度変化量が(ΔφU0,ΔφV0)である場合、補正後の角度変化量(ΔφU,ΔφV)は、下記の近似式で表される。   In step SA10, based on the displacements (ΔUD, ΔVD, ΔWD, ΔθUD, ΔθVD, ΔθWD) caused by the disturbance generated in the first observation device 20, the angle change amounts (ΔφU, ΔφV) stored in the angle change amount table. Correct. For example, when the angular coordinates of the extraction point are (φU0, φV0), the distance from the origin of the local coordinates to the extraction point is d0, and the amount of change in angle before correction is (ΔφU0, ΔφV0), The angle change amounts (ΔφU, ΔφV) are expressed by the following approximate expressions.

第1の観測装置20の外乱による変位及び姿勢変化ΔUD,ΔVD、ΔWD、ΔθWDは、その変化量が微小であれば、観測対象物10から第1の観測装置20までの距離によらず、測定結果に与える影響は小さい。これに対し、観測対象物10から第1の観測装置20までの距離が遠い場合には、第1の観測装置20の外乱による姿勢の変化ΔθUD、及びΔθVDは、その変化量が微小であっても、測定結果に与える影響が大きくなる。   Displacement and attitude changes ΔUD, ΔVD, ΔWD, and ΔθWD due to disturbance of the first observation device 20 are measured regardless of the distance from the observation object 10 to the first observation device 20 if the amount of change is small. The effect on the result is small. On the other hand, when the distance from the observation object 10 to the first observation device 20 is long, the change amounts of the posture changes ΔθUD and ΔθVD due to the disturbance of the first observation device 20 are minute. However, the influence on the measurement result is increased.

第1の観測対象物20の外乱による変位及び姿勢変化が微小である場合には、近似的にΔUD,ΔVD、ΔWD、ΔθWDを0とし、ΔθUD、及びΔθVDのみに基づいて、角度変化量テーブルに記憶されている角度変化量(ΔφU,ΔφV)を補正してもよい。この場合には、3個の基準マークを観測する必要はなく、1つの基準マークを観測することによって、補正を行うことが可能である。   When the displacement and posture change due to the disturbance of the first observation object 20 are very small, ΔUD, ΔVD, ΔWD, and ΔθWD are approximately set to 0, and the angle change amount table is based on only ΔθUD and ΔθVD. The stored angle change amounts (ΔφU, ΔφV) may be corrected. In this case, it is not necessary to observe three reference marks, and correction can be performed by observing one reference mark.

ステップSA11において、図8に示した補正後の角度変化量テーブルに基づいて、第1の観測装置20で観測されている表面上の節点Bの各々の角度変化量(ΔφU,ΔφV)を、観測時刻ごとに算出する。   In step SA11, based on the corrected angle change amount table shown in FIG. 8, each angle change amount (ΔφU, ΔφV) of each node B on the surface observed by the first observation device 20 is observed. Calculate for each time.

節点Bのグローバル座標は、ステップSA3で既に記憶されている。グローバル座標系と第1のローカル座標系との関係は、ステップSA5で既に記憶されているため、節点Bのグローバル座標から、当該節点Bの角度座標(φU、φV)を求めることができる。図8に示した補正後の角度変化量テーブルを参照して、節点Bの角度座標(φU,φV)から、その角度変化量(ΔφU,ΔφV)を、補間演算等により算出することができる。   The global coordinates of node B are already stored in step SA3. Since the relationship between the global coordinate system and the first local coordinate system is already stored in step SA5, the angle coordinates (φU, φV) of the node B can be obtained from the global coordinates of the node B. With reference to the corrected angle change amount table shown in FIG. 8, from the angle coordinates (φU, φV) of the node B, the angle change amounts (ΔφU, ΔφV) can be calculated by interpolation calculation or the like.

図10に示すように、節点B1、B2・・・の角度変化量(ΔφU,ΔφV)の時刻暦を記憶するためのテーブルが準備されている。このテーブルには、節点ごと、及び観測時刻ごとに、角度変化量(ΔφU,ΔφV)を記憶する領域が確保されている。算出された角度変化量(ΔφU,ΔφV)を、図10に示したテーブルの角度変化量記憶領域に格納する。   As shown in FIG. 10, a table for storing the time calendar of the angle change amounts (ΔφU, ΔφV) of the nodes B1, B2,. In this table, an area for storing the amount of change in angle (ΔφU, ΔφV) is secured for each node and each observation time. The calculated angle change amounts (ΔφU, ΔφV) are stored in the angle change amount storage area of the table shown in FIG.

ステップSA12において、第1の観測装置20で観測されている表面上の節点Bの各々の角度変化量(ΔφU,ΔφV)を、グローバル座標系における変位量(ΔX,ΔY)に変換する。   In step SA12, each angle change amount (ΔφU, ΔφV) of the node B on the surface observed by the first observation device 20 is converted into a displacement amount (ΔX, ΔY) in the global coordinate system.

図11を参照して、節点B1の角度変化量(ΔφU,ΔφV)を、グローバル座標系における変位量(ΔX,ΔY)に変換する方法について説明する。第1の観測装置20では、第1のローカル座標系のW軸に垂直な方向への変位を計測することとしたため、節点B1の変位方向は、W軸に垂直であると仮定する。   With reference to FIG. 11, a method of converting the angle change amount (ΔφU, ΔφV) of the node B1 into the displacement amount (ΔX, ΔY) in the global coordinate system will be described. Since the first observation apparatus 20 measures the displacement in the direction perpendicular to the W axis of the first local coordinate system, it is assumed that the displacement direction of the node B1 is perpendicular to the W axis.

節点B1を含みW軸に垂直な仮想平面Swを定義する。第1のローカル座標系において(φU,φV)方向に延びる仮想直線と仮想平面Swとの交点が、時刻t=tiにおける節点B1に一致する。(φU+ΔφU,φV+ΔφV)方向に延びる仮想直線と仮想平面Swとの交点が、時刻t=ti+1における節点B1に一致する。このようにして、時刻tiからti+1までの節点B1の変位(ΔX,ΔY)を算出することができる。   A virtual plane Sw including the node B1 and perpendicular to the W axis is defined. In the first local coordinate system, the intersection of the virtual straight line extending in the (φU, φV) direction and the virtual plane Sw coincides with the node B1 at time t = ti. The intersection of the virtual line extending in the (φU + ΔφU, φV + ΔφV) direction and the virtual plane Sw coincides with the node B1 at time t = ti + 1. In this way, the displacement (ΔX, ΔY) of the node B1 from time ti to ti + 1 can be calculated.

外力がZ方向に関して均一であり、その向きがXY面に平行である場合には、各節点の変位量は、Z方向に関してほぼ一定であると考えられる。この条件下で、第1の観測装置20で観測される表面上の節点以外の節点の変位量を算出することができる。具体的には、点(X,Y,Z)の節点の変位量は、(X,Y)座標が、この節点の(X,Y)座標と等しく、かつ第1の観測装置20で観測される表面上に位置する節点の変位量と同一であると推測される。   When the external force is uniform in the Z direction and the direction is parallel to the XY plane, the displacement amount of each node is considered to be substantially constant in the Z direction. Under this condition, the displacement amount of the nodes other than the nodes on the surface observed by the first observation device 20 can be calculated. Specifically, the displacement amount of the node of the point (X, Y, Z) is the same as the (X, Y) coordinate of the node and is observed by the first observation device 20. It is presumed that the amount of displacement of the node located on the surface is the same.

図12に示すように、節点B1、B2・・・の各々の変位(ΔX,ΔY)を記憶する変位時刻暦テーブルが準備されている。このテーブルには、節点ごと、及び観測時刻ごとに、変位(ΔX,ΔY)を記憶するための領域が確保されている。算出された変位量を、この変位量時刻暦テーブルの該当記憶領域に格納する。   As shown in FIG. 12, a displacement time calendar table for storing the displacements (ΔX, ΔY) of the nodes B1, B2,. In this table, an area for storing displacement (ΔX, ΔY) is secured for each node and each observation time. The calculated displacement amount is stored in the corresponding storage area of the displacement amount time calendar table.

第2の観測装置30で得られた画像データにより、同様の方法で、第2の観測装置30で観測される表面上の節点の各々の観測時刻ごとの変位(ΔY,ΔZ)が求まる。第2の観測装置30で得られた画像データに基づいて算出された各節点の変位ΔYが、Z方向に関してほぼ一定であれば、第1の観測装置20で得られた画像データに基づいて算出された変位(ΔX,ΔY)がZ方向に関してほぼ一定であるという予測が妥当であったことがと確認される。   Based on the image data obtained by the second observation device 30, the displacement (ΔY, ΔZ) at each observation time of each node on the surface observed by the second observation device 30 is obtained in the same manner. If the displacement ΔY of each node calculated based on the image data obtained by the second observation device 30 is substantially constant in the Z direction, the calculation is performed based on the image data obtained by the first observation device 20. It is confirmed that the prediction that the displacement (ΔX, ΔY) made is substantially constant in the Z direction was valid.

ステップSA13において、図12に示した節点の変位量時刻暦テーブルに基づいて、測定対象物10の形状の変化の様子を、画像表示装置41に動画として表示する。   In step SA13, the change of the shape of the measuring object 10 is displayed on the image display device 41 as a moving image based on the nodal displacement amount time calendar table shown in FIG.

図13に、画像表示装置41の概略図を示す。表示画面内に対象物表示領域42が確保されており、その外側に、操作部43、経過時間表示バー44、及び表示指令部45が表示されている。対象物表示領域42内に、対象物が3次元的に表示される。操作部43を通して、表示開始、表示停止、表示一時停止等の操作を行う。経過時間表示バー44には、現在表示されている時刻までの経過時間が棒状に表示される。また、経過時間表示バーを介して観測開始からの経過時間を指定して、指定された時刻からの形状の変化を表示させることができる。   FIG. 13 shows a schematic diagram of the image display device 41. An object display area 42 is secured in the display screen, and an operation unit 43, an elapsed time display bar 44, and a display command unit 45 are displayed on the outside thereof. In the object display area 42, the object is displayed three-dimensionally. Through the operation unit 43, operations such as display start, display stop, and display pause are performed. In the elapsed time display bar 44, the elapsed time up to the currently displayed time is displayed in a bar shape. In addition, the elapsed time from the start of observation can be specified via the elapsed time display bar, and the change in shape from the specified time can be displayed.

表示指令部45を通して、対象物表示領域42内に表示されている画像の拡大、縮小、回転等の指示を行う。このため、種々の視点から観測対象物10の変形を確認することができる。なお、各節点の変位量を拡大して表示することができる。観測対象物の形状を変化が僅かである場合には、変位量を拡大して表示することにより、形状の変化を視認しやすくなる。   An instruction to enlarge, reduce, rotate, etc. the image displayed in the object display area 42 is given through the display command unit 45. For this reason, the deformation of the observation object 10 can be confirmed from various viewpoints. The displacement amount of each node can be enlarged and displayed. When the change in the shape of the observation object is slight, it is easy to visually recognize the change in the shape by displaying the displacement amount in an enlarged manner.

測定対象物の形状を、時間の経過と共に連続的に表示することにより、測定対象物10の形状の変化を、視覚的に容易に把握することができる。各部の変形量を容易に把握できるようにするために、等変位量線を表示したり、変位量に応じて表示色を変えるコンター表示を行ってもよい。   By continuously displaying the shape of the measurement object as time passes, the change in the shape of the measurement object 10 can be easily grasped visually. In order to make it easy to grasp the deformation amount of each part, an equal displacement amount line may be displayed, or a contour display in which the display color is changed according to the displacement amount may be performed.

上記実施例では、観測対象物10が、主としてXY面に平行な方向にのみ変位するという条件を仮定した。次に、第2の観測装置30により、Z方向への変位が検出された場合について説明する。   In the above-described embodiment, it is assumed that the observation object 10 is displaced mainly only in the direction parallel to the XY plane. Next, a case where a displacement in the Z direction is detected by the second observation apparatus 30 will be described.

図14に示すように、観測対象物10上の観測対象マークAiが、第1の観測装置20で観測され、観測対象マークAjが、第2の観測装置30で観測される。第1の観測装置20で取得された画像データの解析により、観測対象マークAiが、W軸に垂直な方向、すなわちXY面に平行な方向に、Ai(t=ti)からAi(t=ti+1)に変位したと推測される。同様に、第2の観測装置30で取得された画像データの解析により、観測対象マークAjが、T軸に垂直な方向、すなわちYZ面に平行な方向に、Aj(t=ti)からAj(t=ti+1)に変位したと推測される。   As shown in FIG. 14, the observation target mark Ai on the observation target 10 is observed by the first observation device 20, and the observation target mark Aj is observed by the second observation device 30. According to the analysis of the image data acquired by the first observation apparatus 20, the observation target mark Ai is changed from Ai (t = ti) to Ai (t = ti + 1) in the direction perpendicular to the W axis, that is, the direction parallel to the XY plane. ). Similarly, from the analysis of the image data acquired by the second observation device 30, the observation target mark Aj is changed from Aj (t = ti) to Aj (Aj (t = ti) in the direction perpendicular to the T axis, that is, the direction parallel to the YZ plane. It is estimated that the displacement was made at t = ti + 1).

観測対象マークAi及びAjの近傍の節点Bkの変位は、観測対象マークAi及びAjの変位の影響を受ける。観測対象マークAiの変位のみを考慮すると、節点Bkの変位先は、XY面に平行な方向に変位した点Bkiと予測される。観測対象マークAjの変位のみを考慮すると、節点Bkの変位先は、YZ面に平行な方向に変位した点Bkjと予測される。実際の変位は、変位先Bkiへの変位と、変位先Bkjへの変位とを合成したものとなる。変位先Bkiへの変位と、変位先Bkjへの変位とを重み付けして合成することにより、実際の変位先Bk(t=ti+1)が求まる。重み付けは、節点Bkから観測対象マークAi及びAjまでの距離等を考慮して行う。   The displacement of the node Bk near the observation target marks Ai and Aj is affected by the displacement of the observation target marks Ai and Aj. Considering only the displacement of the observation target mark Ai, the displacement destination of the node Bk is predicted as the point Bki displaced in the direction parallel to the XY plane. Considering only the displacement of the observation target mark Aj, the displacement destination of the node Bk is predicted to be the point Bkj displaced in the direction parallel to the YZ plane. The actual displacement is a combination of the displacement to the displacement destination Bki and the displacement to the displacement destination Bkj. The actual displacement destination Bk (t = ti + 1) is obtained by weighting and combining the displacement to the displacement destination Bki and the displacement to the displacement destination Bkj. The weighting is performed in consideration of the distance from the node Bk to the observation target marks Ai and Aj.

一般的なステレオ計測においては、1つの観測対象マークを2台のカメラで同時に観測しなければならない。上記実施例による方法では、2台の観測装置20、30で、異なる観測対象マークAi、Ajを観測しても、節点Bkの3次元方向の変位を推測することができる。なお、観測装置の数は、1台または2台に限定されない。3台以上の観測装置を用いてもよい。   In general stereo measurement, one observation target mark must be observed simultaneously by two cameras. In the method according to the above-described embodiment, even when different observation target marks Ai and Aj are observed with the two observation devices 20 and 30, the displacement of the node Bk in the three-dimensional direction can be estimated. Note that the number of observation devices is not limited to one or two. Three or more observation devices may be used.

次に、1つの観測対象マークを2台の観測装置20、30で観測する場合の変位の算出方法について説明する。   Next, a displacement calculation method when observing one observation target mark with the two observation devices 20 and 30 will be described.

図15に示すように、1つの観測対象マークAiを第1の観測装置20及び第2の観測装置30の両方で観測している。第1の観測装置20で取得された画像データの解析により、W軸に対して垂直な方向への変位先Ai1(t=ti+1)が決定される。第2の観測装置30で取得された画像データの解析により、T軸に対して垂直な方向への変位先Ai2(t=ti+1)が決定される。実際の変位先Ai(t=ti+1)は、第1のローカル座標系の原点と変位先Ai1(t=ti+1)とを結ぶ直線SL1と、第2のローカル座標系の原点と変位先Ai2(t=ti+1)とを結ぶ直線SL2との交点に一致する。このようにして、実際の変位先Ai(t=ti+1)を算出することができる。   As shown in FIG. 15, one observation target mark Ai is observed by both the first observation device 20 and the second observation device 30. By analyzing the image data acquired by the first observation apparatus 20, a displacement destination Ai1 (t = ti + 1) in a direction perpendicular to the W axis is determined. By analyzing the image data acquired by the second observation apparatus 30, a displacement destination Ai2 (t = ti + 1) in a direction perpendicular to the T axis is determined. The actual displacement destination Ai (t = ti + 1) includes a straight line SL1 connecting the origin of the first local coordinate system and the displacement destination Ai1 (t = ti + 1), and the origin of the second local coordinate system and the displacement destination Ai2 (t = Ti + 1) coincides with the intersection with the straight line SL2. In this way, the actual displacement destination Ai (t = ti + 1) can be calculated.

上記実施例では、ステップSA8において、ローカル座標系における極角φU及びφVで、抽出点の位置及び変位を表している。極角φU及びφVは、観測装置と観測対象マークとの距離に依存する倍率の影響を受けない。倍率の違いを考慮して演算を行う必要がないため、変位量算出のための演算時間を短縮することが可能になる。   In the above embodiment, in step SA8, the positions and displacements of the extraction points are represented by polar angles φU and φV in the local coordinate system. The polar angles φU and φV are not affected by the magnification depending on the distance between the observation apparatus and the observation target mark. Since it is not necessary to perform calculation in consideration of the difference in magnification, it is possible to reduce the calculation time for calculating the displacement.

次に、図16を参照して、観測対象物10に測定対象マークを固定する他の構成例について説明する。   Next, with reference to FIG. 16, another configuration example for fixing the measurement target mark to the observation target 10 will be described.

図16に示すように、例えば観測対象物10の1つの表面14が、第1の観測対象物20に対向している。第1の観測装置20から見て横方向を向く表面15に、複数のマーク表示部材11が取り付けられている。マーク表示部材15の各々は、表面15から突出しており、第1の観測装置20に対向する表面を含む。第1の観測装置20に対向する表面に、観測対象マークCが表示されている。   As shown in FIG. 16, for example, one surface 14 of the observation target object 10 faces the first observation target object 20. A plurality of mark display members 11 are attached to a surface 15 that faces in the lateral direction when viewed from the first observation device 20. Each of the mark display members 15 protrudes from the surface 15 and includes a surface facing the first observation device 20. An observation target mark C is displayed on the surface facing the first observation apparatus 20.

表面15がW軸に平行である場合、表面15に直接描画したマークを第1の観測装置20で観測することはできない。図16に示したように、表面15から突出したマーク表示部材11を取り付けることにより、表面15に対して固定された観測対象マークCを第1の観測装置20で観測することができる。   When the surface 15 is parallel to the W axis, the mark drawn directly on the surface 15 cannot be observed by the first observation device 20. As shown in FIG. 16, by attaching the mark display member 11 protruding from the surface 15, the observation target mark C fixed to the surface 15 can be observed by the first observation device 20.

図1に示した第2の観測装置30では、図16の表面15に固定された観測対象マークのX軸方向の変位を検出することができない。マーク表示部材11を用いて表面15に固定された観測対象マークCを、第1の観測装置20で観察することにより、観測対象マークCのX軸方向の変位を検出することが可能になる。   The second observation apparatus 30 shown in FIG. 1 cannot detect the displacement in the X-axis direction of the observation target mark fixed to the surface 15 in FIG. By observing the observation target mark C fixed to the surface 15 using the mark display member 11 with the first observation device 20, the displacement of the observation target mark C in the X-axis direction can be detected.

W軸に直交し、表面15に含まれる方向(図16においてはV軸方向)に関して、マーク表示部材11同士が重ならないように配置することが好ましい。このように配置すると、表面15に固定されたすべての観測対象マークCを第1の観測装置20で観測することができる。   It is preferable to arrange the mark display members 11 so as not to overlap each other with respect to the direction (V-axis direction in FIG. 16) perpendicular to the W axis and included in the surface 15. With this arrangement, all the observation target marks C fixed on the surface 15 can be observed with the first observation device 20.

W軸方向に関して異なる位置に配置される観測対象マークCのうち、第1の観測装置20の被写界深度内に位置するものは、受像面上に結像させることができる。被写界深度からはずれて受像面上に結像しない場合でも、重心演算等の手法を用いて、観測対象マークCの像の(U,V)座標を検出することができる。   Of the observation target marks C arranged at different positions in the W-axis direction, those located within the depth of field of the first observation device 20 can be imaged on the image receiving surface. Even when the image is not formed on the image receiving surface outside the depth of field, the (U, V) coordinates of the image of the observation target mark C can be detected by using a technique such as centroid calculation.

図17に、上記実施例による形状変化測定装置を搭載することができる射出成型機の正面図を示す。射出成型機340が、射出装置350及び型締装置370を含んで構成される。   FIG. 17 shows a front view of an injection molding machine in which the shape change measuring device according to the above embodiment can be mounted. The injection molding machine 340 includes an injection device 350 and a mold clamping device 370.

射出装置350は、加熱シリンダ351を備え、加熱シリンダ351に、樹脂を供給するホッパ352が配設される。また、加熱シリンダ351内に、スクリュー353が進退自在かつ回転自在に配設される。スクリュー353の後端は、支持部材354によって回転自在に支持される。支持部材354に、サーボモータ等の計量モータ355が駆動部として取り付けられている。計量モータ355の回転が、計量モータ355の出力軸361に取り付けられたタイミングベルト356を介して、被駆動部のスクリュー353に伝達される。計量モータ355の出力軸361の後端に、検出器362が直結している。検出器362は、計量モータ355の回転数または回転量を検出する。検出器362により検出された回転数または回転量に基づいて、スクリュー353の回転速度が求められる。   The injection device 350 includes a heating cylinder 351, and a hopper 352 that supplies resin is disposed in the heating cylinder 351. Further, a screw 353 is disposed in the heating cylinder 351 so as to be able to advance and retreat and to be rotatable. The rear end of the screw 353 is rotatably supported by the support member 354. A measuring motor 355 such as a servo motor is attached to the support member 354 as a drive unit. The rotation of the weighing motor 355 is transmitted to the screw 353 of the driven portion via a timing belt 356 attached to the output shaft 361 of the weighing motor 355. A detector 362 is directly connected to the rear end of the output shaft 361 of the weighing motor 355. The detector 362 detects the rotation speed or rotation amount of the metering motor 355. Based on the number of rotations or amount of rotation detected by the detector 362, the rotational speed of the screw 353 is obtained.

射出装置350はさらに、スクリュー353と平行なねじ軸357を回転自在に備える。ねじ軸357の後端は、サーボモータ等の射出モータ359の出力軸363に取り付けられたタイミングベルト358を介して、射出モータ359に連結されている。従って、射出モータ359によってねじ軸357を回転させることができる。ねじ軸357の前端は支持部材354に固定されたナット360と螺合させられる。駆動部である射出モータ359を駆動し、タイミングベルト358を介して駆動伝達部であるねじ軸357を回転させると、支持部材354が前後進する。   The injection device 350 further includes a screw shaft 357 parallel to the screw 353 so as to be rotatable. The rear end of the screw shaft 357 is connected to the injection motor 359 via a timing belt 358 attached to the output shaft 363 of the injection motor 359 such as a servo motor. Therefore, the screw shaft 357 can be rotated by the injection motor 359. The front end of the screw shaft 357 is screwed with a nut 360 fixed to the support member 354. When the injection motor 359 that is a drive unit is driven and the screw shaft 357 that is a drive transmission unit is rotated via the timing belt 358, the support member 354 moves forward and backward.

支持部材354に、荷重の検出器であるロードセル365が取り付けられている。支持部材354の前後進運動が、ロードセル365を介してスクリュー353に伝えられることにより、スクリュー353が前後進する。ロードセル365により検出された力に対応するデータが、制御装置310に送出される。射出モータ359の出力軸363の後端に、検出器364が直結している。検出器364は、射出モータ359の回転数または回転量を検出する。検出器364により検出された回転数及び回転量に基づいて、スクリュー353の前後進方向の移動速度または前後進方向の位置が求められる。   A load cell 365 as a load detector is attached to the support member 354. The forward / backward movement of the support member 354 is transmitted to the screw 353 via the load cell 365, whereby the screw 353 moves forward / backward. Data corresponding to the force detected by the load cell 365 is sent to the control device 310. A detector 364 is directly connected to the rear end of the output shaft 363 of the injection motor 359. The detector 364 detects the rotation speed or rotation amount of the injection motor 359. Based on the number of rotations and the amount of rotation detected by the detector 364, the moving speed of the screw 353 in the forward / backward direction or the position in the forward / backward direction is obtained.

型締装置370は、可動側の金型371が取り付けられた可動プラテン372と、固定側の金型373が取り付けられた固定プラテン374とを含む。可動プラテン372と固定プラテン374とは、タイバー375によって連結される。可動プラテン372はタイバー375に沿って摺動可能である。また、型締装置370は、トグル機構377を含む。トグル機構377は、一端が可動プラテン372と連結し、他端がトグルサポート376と連結する。トグルサポート376の中央において、ボールねじ軸379が回転自在に支持されている。トグル機構377に設けられたクロスヘッド380に固定されたナット381が、ボールねじ軸379に螺合させられている。また、ボールねじ軸379の後端にプーリ382が配設され、サーボモータ等の型締モータ378の出力軸383とプーリ382との間に、タイミングベルト384が架け渡されている。   The mold clamping device 370 includes a movable platen 372 to which a movable mold 371 is attached, and a fixed platen 374 to which a fixed mold 373 is attached. The movable platen 372 and the fixed platen 374 are connected by a tie bar 375. The movable platen 372 is slidable along the tie bar 375. The mold clamping device 370 includes a toggle mechanism 377. The toggle mechanism 377 has one end connected to the movable platen 372 and the other end connected to the toggle support 376. A ball screw shaft 379 is rotatably supported at the center of the toggle support 376. A nut 381 fixed to a cross head 380 provided in the toggle mechanism 377 is screwed onto the ball screw shaft 379. A pulley 382 is disposed at the rear end of the ball screw shaft 379, and a timing belt 384 is bridged between the output shaft 383 of the mold clamping motor 378 such as a servo motor and the pulley 382.

型締装置370において、駆動部である型締モータ378を駆動すると、型締モータ378の回転が、タイミングベルト384を介して、駆動伝達部であるボールねじ軸379に伝達される。そして、ボールねじ軸379及びナット381によって、運動方向が回転運動から直線運動に変換され、トグル機構377が作動させられる。トグル機構377の作動により、可動プラテン372がタイバー375に沿って摺動し、型閉じ、型締め及び型開きが行われる。   In the mold clamping device 370, when the mold clamping motor 378 that is a drive unit is driven, the rotation of the mold clamping motor 378 is transmitted to the ball screw shaft 379 that is the drive transmission unit via the timing belt 384. Then, the ball screw shaft 379 and the nut 381 change the direction of motion from rotational motion to linear motion, and the toggle mechanism 377 is operated. By the operation of the toggle mechanism 377, the movable platen 372 slides along the tie bar 375, and mold closing, mold clamping, and mold opening are performed.

型締モータ378の出力軸383の後端に、検出器385が直結している。検出器385は、型締モータ378の回転数または回転量を検出する。検出器385により検出された回転数または回転量に基づいて、ボールねじ軸379の回転に伴って進退するクロスヘッド380の位置、または、トグル機構377によってクロスヘッド380に連結された被駆動部である可動プラテン372の位置が求められる。制御装置310が、計量モータ355、射出モータ359、型締モータ378を制御する。   A detector 385 is directly connected to the rear end of the output shaft 383 of the mold clamping motor 378. The detector 385 detects the rotation speed or rotation amount of the mold clamping motor 378. Based on the number of rotations or the amount of rotation detected by the detector 385, the position of the crosshead 380 that moves forward and backward with the rotation of the ball screw shaft 379, or the driven part connected to the crosshead 380 by the toggle mechanism 377 The position of a certain movable platen 372 is determined. The control device 310 controls the measuring motor 355, the injection motor 359, and the mold clamping motor 378.

可動側の金型371と固定側の金型373との間に、キャビティcavが形成される。キャビティcavと加熱シリンダ351の内部とが連通している。   A cavity cav is formed between the movable mold 371 and the fixed mold 373. The cavity cav and the inside of the heating cylinder 351 communicate with each other.

型締めを行うと、可動側の金型371及び固定側の金型373に応力が印加され、これらの金型がわずかに変形する。射出成形品の形状の精密度を高めるために、金型のわずかな変形を観測することが望まれる。   When the mold clamping is performed, stress is applied to the movable mold 371 and the fixed mold 373, and these molds are slightly deformed. In order to increase the precision of the shape of the injection molded product, it is desired to observe a slight deformation of the mold.

可動側の金型371と固定側の金型373の側面に複数の観測対象マークが固定される。これらの観測対象マークを、上記実施例による形状変化装置を用いて観測することにより、金型の変形の様子を画像により確認することができる。   A plurality of observation target marks are fixed to the side surfaces of the movable mold 371 and the fixed mold 373. By observing these observation target marks using the shape change device according to the above embodiment, the state of deformation of the mold can be confirmed by an image.

上記実施例では、観測対象マークAの変位量を検出するための観測装置20。30にディジタルカメラを用いたが、他の方法で変位量を検出してもよい。例えば、レーザ変位計を用いて観測対象マークの変位量を検出することも可能である。   In the above-described embodiment, the digital camera is used for the observation device 20 and 30 for detecting the displacement amount of the observation target mark A. However, the displacement amount may be detected by other methods. For example, it is also possible to detect the displacement amount of the observation target mark using a laser displacement meter.

また、上記実施例では、図5に示した抽出点の座標(Ui,Vj)(i,j=1、2、3・・・)及びその変位(ΔU,ΔV)を、図8に示したすように、角度座標(φUi,φVj)(i,j=1、2、3・・・)に変換したが、観測対象マークAi(i=1、2、3・・・)の座標(U,V)及びその変位(ΔU,ΔV)を、角度座標(φU,φV)及び角度変化量(ΔφU,ΔφV)に変換することも可能である。   In the above embodiment, the coordinates (Ui, Vj) (i, j = 1, 2, 3,...) And the displacements (ΔU, ΔV) of the extraction points shown in FIG. 5 are shown in FIG. As described above, the angle coordinates (φUi, φVj) (i, j = 1, 2, 3,...) Are converted into coordinates (U = 1, 2, 3,...). , V) and their displacements (ΔU, ΔV) can be converted into angular coordinates (φU, φV) and angular variations (ΔφU, ΔφV).

以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。
例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
Although the present invention has been described with reference to the embodiments, the present invention is not limited thereto.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, improvements, combinations, and the like can be made.

実施例による形状変化測定装置の概略図である。It is the schematic of the shape change measuring apparatus by an Example. 実施例による形状変化測定方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the shape change measuring method by an Example. 測定対象物を仮想的に複数の有限要素に分割した状態を示す線図である。It is a diagram which shows the state which divided | segmented the measurement object into the some finite element virtually. 観測対象マークの座標及び変位量の時刻暦を記憶するテーブルを示す図表で ある。It is a graph which shows the table which memorize | stores the coordinate of an observation object mark, and the time calendar of displacement amount. 抽出点(U,V)の変位量(ΔU,ΔV)を記憶するテーブルを示す図表で ある。10 is a chart showing a table for storing displacement amounts (ΔU, ΔV) of extraction points (U, V). 観測対象マークの変位量から、抽出点の変位量を算出方法を説明するための グラフである。It is a graph for demonstrating the calculation method of the displacement amount of an extraction point from the displacement amount of an observation object mark. ローカル座標の角度φU、φVの定義を示す線図である。It is a diagram which shows the definition of angle (phi) U and (phi) V of a local coordinate. 抽出点(φU,φV)の角度変化量(ΔφU,ΔφV)を記憶するテーブル を示す図表である。It is a chart which shows the table which memorizes the angle variation (ΔφU, ΔφV) of the extraction point (φU, φV). 観測装置の変位(ΔU,ΔV,ΔW,ΔθU,ΔθV,ΔθW)の定義を示 す線図である。It is a diagram showing the definition of displacement (ΔU, ΔV, ΔW, ΔθU, ΔθV, ΔθW) of the observation device. 節点の角度変化量(ΔφU,ΔφV)の時刻暦を記憶するテーブルを示す 線図である。FIG. 5 is a diagram showing a table for storing a time calendar of angle change amounts (ΔφU, ΔφV) of nodes. 角度変化量(ΔφU,ΔφV)を、グローバル座標系の変位量(ΔX,Δ Y)に変換する方法を説明するための線図である。It is a diagram for explaining a method of converting an angle change amount (ΔφU, ΔφV) into a displacement amount (ΔX, ΔY) of the global coordinate system. 節点の変位量(ΔX,ΔY)の時刻暦を記憶するテーブルを示す線図である。It is a diagram which shows the table which memorize | stores the time calendar of the displacement amount ((DELTA) X, (DELTA) Y) of a node. 実施例による形状変化測定装置に用いられる画像表示装置の概略図である。It is the schematic of the image display apparatus used for the shape change measuring apparatus by an Example. 第1の観測装置で観測された観測対象マークの変位と、第2の観測装置で 観測された他の観測対象マークの変位とに基づいて、節点の変位量を算出する方法を 説明するための線図である。To explain how to calculate the displacement of a node based on the displacement of the observation target mark observed by the first observation device and the displacement of other observation target marks observed by the second observation device FIG. 1つの観測対象マークを、第1及び第2の観測装置で観測した場合に、観 測対象マークの変位量を算出する方法を説明するための線図である。FIG. 5 is a diagram for explaining a method of calculating a displacement amount of an observation target mark when one observation target mark is observed by the first and second observation apparatuses. 観測対象マークの固定方法の他の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the other example of the fixing method of an observation object mark. 実施例による形状変化測定装置を装着することが可能な射出成型機の正面 図である。It is a front view of the injection molding machine which can mount | wear with the shape change measuring apparatus by an Example.

10 観測対象物
11 マーク表示部材
12 ステージ
13 第1の基準部材
14 第2の基準部材
20 第1の観測装置
30 第2の観測装置
40 処理装置
41 画像表示装置
42 対象物表示領域
43 操作部
44 経過時間表示バー
45 表示指令部
A、C 観測対象マーク
B 節点
E1〜E3 第1の基準マーク
F1〜F3 第2の基準マーク
XYZ グローバル座標系
UVW 第1のローカル座標系
RST 第2のローカル座標系








10 observation object 11 mark display member 12 stage 13 first reference member 14 second reference member 20 first observation device 30 second observation device 40 processing device 41 image display device 42 object display region 43 operation unit 44 Elapsed time display bar 45 Display command part A, C Observation target mark B Nodes E1-E3 First reference mark F1-F3 Second reference mark XYZ Global coordinate system UVW First local coordinate system RST Second local coordinate system








Claims (2)

射出装置と、
金型を含む型締装置と、
前記金型における複数の測定対象マークを撮像し、画像データを取得する観測装置と、
前記観測装置で取得された画像データが入力され、画像解析を行うことにより前記複数の測定対象マークの異なる時刻における位置情報から、該複数の測定対象マークの変位量を算出する制御装置と、
観測時刻毎の前記変位量に基づいて前記金型の変形の様子を動画として表示させる画像表示装置と、を有する射出成型機。
An injection device;
A mold clamping device including a mold;
An observation device that images a plurality of measurement target marks in the mold and obtains image data;
A control device that calculates the amount of displacement of the plurality of measurement target marks from position information at different times of the plurality of measurement target marks by inputting image data acquired by the observation device and performing image analysis;
An injection molding machine comprising: an image display device that displays a state of deformation of the mold as a moving image based on the displacement amount at each observation time.
前記画像表示装置は前記変位量を拡大して表示させることが可能な請求項1に記載の射出成型機 The injection molding machine according to claim 1, wherein the image display device can display the displacement amount in an enlarged manner .
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