JP5691296B2 - Ball screw - Google Patents

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    • F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
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Description

この発明は、ボールねじに関する。   The present invention relates to a ball screw.

半導体素子や液晶表示パネルを製造する環境に塵埃が存在すると歩留まり低下の原因になるため、これらの製造はクリーンルーム等の清浄な環境下で行われている。よって、半導体素子や液晶表示パネルの製造に使用される装置（製造装置や搬送装置）を構成するボールねじには、使用状態で塵埃が発生しないことが求められている。
下記の特許文献１には、ボールねじのボール戻し経路が、ボールを循環チューブのタングに衝突させてナットの外部にすくい上げる構造であると、衝突の際にボール等に付着しているグリースの油分が飛散して、ねじ軸とナットの間から外部に微粒子として放出されるため、発塵の原因になることが記載されている。この原因をなくすために、ボールねじのボール戻し経路を、ナットの軸方向に延びる貫通穴（ボール戻し通路）と、これに連続するボール循環コマで形成し、ボール循環コマを、ボールがタングに衝突しない状態で循環できる形状にすることが記載されている。 When dust is present in an environment for manufacturing a semiconductor element or a liquid crystal display panel, it causes a decrease in yield. Therefore, these manufactures are performed in a clean environment such as a clean room. Therefore, it is required that dust is not generated in a use state in a ball screw constituting a device (manufacturing device or transport device) used for manufacturing a semiconductor element or a liquid crystal display panel.
In Patent Document 1 below, when the ball return path of the ball screw has a structure in which the ball collides with the tongue of the circulation tube and scoops it out of the nut, the oil content of the grease adhering to the ball or the like at the time of the collision is disclosed. Is scattered and discharged as fine particles from between the screw shaft and the nut to the outside. In order to eliminate this cause, the ball return path of the ball screw is formed by a through hole (ball return path) extending in the axial direction of the nut and a ball circulation piece continuous therewith. It describes that the shape can be circulated without colliding.

また、特許文献１に記載されたボールねじは、低発塵性グリースで潤滑され、ねじ軸とナットの環状隙間が、ナットの軸方向両端に配置されたリング状の接触シールで塞がれている。
下記の特許文献２には、ボールねじのナットに設けた給油孔に吸引配管を接続して、ナットの内部に発生した塵埃を吸引除去することが記載されている。また、ねじ軸にグリースプレーティング（潤滑剤含有溶液に浸漬後、乾燥することで潤滑剤被膜を形成する方法）を施すことで、潤滑剤からの発塵を抑制することが記載されている。 In addition, the ball screw described in Patent Document 1 is lubricated with low dusting grease, and the annular gap between the screw shaft and the nut is closed by ring-shaped contact seals arranged at both axial ends of the nut. Yes.
Patent Document 2 below describes that a suction pipe is connected to an oil supply hole provided in a nut of a ball screw, and dust generated inside the nut is sucked and removed. Further, it is described that dust generation from the lubricant is suppressed by applying grease plating to the screw shaft (a method of forming a lubricant film by drying after being immersed in a lubricant-containing solution).

特開２００６−１１２５１７号公報JP 2006-112517 A 特許第２６３８９５５号公報Japanese Patent No. 2638955

しかしながら、特許文献１および２に記載されたボールねじには、発塵低減効果の点でさらなる改善の余地がある。
この発明の課題は、ナット内部に発生した塵埃を外部に極力出さないようにして、従来のボールねじよりも高い発塵低減効果を得ることである。 However, the ball screws described in Patent Documents 1 and 2 have room for further improvement in terms of the dust reduction effect.
An object of the present invention is to obtain a dust reduction effect higher than that of a conventional ball screw by preventing dust generated inside the nut from being emitted to the outside as much as possible.

上記課題を解決するために、この発明は、内周面に螺旋溝が形成されたナットが間座を介して二個連結されたダブルナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、前記二個のナットの螺旋溝と前記ねじ軸の螺旋溝で形成される各軌道の間に配置されたボールと、ボールを各軌道の終点から始点に戻す二個のボール戻し経路とを備え、前記各軌道内をボールが転動することで前記ダブルナットがねじ軸に対して相対移動する、循環回路を二個有するボールねじであって、前記ダブルナットの軸方向両端に、リング状の非接触シールが配置され、前記ダブルナットを径方向に貫通する吸引穴が、前記間座にのみ形成されていることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, the present invention includes a double nut in which two nuts each having a spiral groove formed on an inner peripheral surface are connected via a spacer, and a screw shaft having a spiral groove formed on an outer peripheral surface. A ball disposed between the tracks formed by the spiral grooves of the two nuts and the spiral groove of the screw shaft, and two ball return paths for returning the balls from the end point of each track to the start point. A ball screw having two circulation circuits in which the double nut moves relative to the screw shaft as the ball rolls in each track, and has a ring shape at both ends of the double nut in the axial direction. A non-contact seal is disposed, and a suction hole penetrating the double nut in the radial direction is formed only in the spacer.

ボールねじの発塵源は潤滑剤であり、ボールが軌道を転動する際に潤滑剤を飛び散らすことによって塵埃が生じる。ねじ軸のナットの外側にある部分にも潤滑剤は付着しているが、その部分の螺旋溝にはボールが存在しないため、ねじ軸が回転していてもその部分からの発塵は少ない。すなわち、ボールねじにおいては、主にナット内部の軌道の範囲（ボールが転動する範囲）内で塵埃が発生している。   The dust generation source of the ball screw is a lubricant, and dust is generated by scattering the lubricant when the ball rolls on the track. Lubricant is also attached to the portion outside the nut of the screw shaft, but since there is no ball in the spiral groove of that portion, there is little dust generation from that portion even if the screw shaft is rotating. That is, in the ball screw, dust is generated mainly within the range of the track inside the nut (the range in which the ball rolls).

この発明のボールねじは、ナットが間座を介して二個連結されたダブルナットを備え、前記間座にのみ吸引穴が形成されているため、前記吸引穴からの吸引時に、各ナットの軌道の範囲に存在している塵埃が前記間座とねじ軸との間に移行することで、各ナット内部の塵埃が効率的に吸引除去される。
また、非接触シールが配置されているため、ねじ軸とシールとの接触による発塵が防止される。 The ball screw according to the present invention includes a double nut in which two nuts are connected via a spacer, and a suction hole is formed only in the spacer. When the dust existing in the range moves between the spacer and the screw shaft, the dust inside each nut is efficiently sucked and removed.
Further, since the non-contact seal is disposed, dust generation due to contact between the screw shaft and the seal is prevented.

また、ボール戻し経路が各ナットの内部に形成されていると、各ナット内部の塵埃が外部に出る経路がダブルナットの軸方向両端に限定されるため好ましい。このダブルナットの軸方向両端にはリング状の非接触シールが配置されているため、ダブルナットとねじ軸との隙間は、ねじ軸と非接触シールとの隙間のみになる。よって、吸引穴に吸引手段を接続してダブルナットの内部を吸引している間、ダブルナットの外部の空気が非接触シールとねじ軸との隙間を通ってダブルナットの内部に入り、ダブルナットの内部の空気が非接触シールとねじ軸との隙間を通って外部に向かうことを妨げる。   Further, it is preferable that the ball return path is formed inside each nut because the path through which the dust inside each nut comes out is limited to both ends in the axial direction of the double nut. Since the ring-shaped non-contact seal is disposed at both axial ends of the double nut, the gap between the double nut and the screw shaft is only the gap between the screw shaft and the non-contact seal. Therefore, while connecting the suction means to the suction hole and sucking the inside of the double nut, the air outside the double nut enters the double nut through the gap between the non-contact seal and the screw shaft, and the double nut The air inside is prevented from going outside through the gap between the non-contact seal and the screw shaft.

なお、この発明のボールねじは、ねじ軸と非接触シールとで形成される円環状隙間が周方向全体でほぼ同じになるように、非接触シールの内周部の形状とねじ軸の螺旋溝の形状を組合せることが好ましい。例えば、ねじ軸の螺旋溝を研削逃げが形成されていない単純なゴシックアーク形状とし、非接触シールの内周部をこれに対応させた形状とする。これにより、吸引時に、円環状隙間の周方向全体からナット内部に均一に空気が導入されて、空気の流れが周方向全体で均一になるため吸引効率が高くなる。ねじ軸と非接触シールとで形成される円環状隙間は０．５ｍｍ以下であることが好ましい。   The ball screw of the present invention has a shape of the inner peripheral portion of the non-contact seal and a spiral groove of the screw shaft so that the annular gap formed by the screw shaft and the non-contact seal is substantially the same in the entire circumferential direction. It is preferable to combine these shapes. For example, the spiral groove of the screw shaft has a simple gothic arc shape in which no grinding relief is formed, and the inner peripheral portion of the non-contact seal has a shape corresponding thereto. Thereby, at the time of suction, air is uniformly introduced into the nut from the entire circumferential direction of the annular gap, and the air flow becomes uniform throughout the circumferential direction, so that the suction efficiency is increased. The annular gap formed by the screw shaft and the non-contact seal is preferably 0.5 mm or less.

この発明のボールねじのダブルナットに、その内部に潤滑剤を供給する給脂穴を形成する場合は、前記吸引穴が形成されている間座以外の部分（すなわち、二個のナットのいずれか）に形成することが好ましい。前記給脂穴から供給された潤滑剤は、ボールの転動に伴うダブルナットのねじ軸に対する相対的往復移動により、ダブルナットの軸方向両端の非接触シールの内側に溜まり易く、各ナット内部の軌道の範囲には溜まりにくい。この発明のボールねじでは、両ナットの前記軌道の範囲で挟まれた間座に吸引穴が形成されているため、吸引穴が潤滑剤で塞がれにくく、安定的に吸引を行うことができる。 In the case of forming a greasing hole for supplying a lubricant into the double nut of the ball screw according to the present invention, a portion other than the spacer in which the suction hole is formed (that is, one of the two nuts) ). The lubricant supplied from the greasing hole tends to accumulate inside the non-contact seals at both axial ends of the double nut due to the relative reciprocation of the double nut relative to the screw shaft accompanying the rolling of the ball. It is difficult to accumulate in the orbital range. In the ball screw according to the present invention, since the suction hole is formed in the spacer sandwiched in the range of the track of both nuts, the suction hole is not easily blocked by the lubricant, and stable suction can be performed. .

これにより、ボールねじの潤滑をダブルナットの内部へ潤滑剤を供給することで行いながら、ナットの内部に発生した塵埃のほとんどを外部に向かわせずに、効率的に吸引除去することができる。
前記潤滑剤としては、ちょう度が３００以下の低発塵性グリースを使用することが好ましい。
また、ナットの内部に潤滑剤を供給して慣らし運転をすることにより、非接触シールとねじ軸との隙間に潤滑剤を介在させると、ねじ軸と非接触シールとの間に微小な隙間ができる。よって、この発明のボールねじは、慣らし運転を行った後に使用することで吸引効率が向上する。 Accordingly, it is possible to efficiently suck and remove the dust generated inside the nut without facing the outside while lubricating the ball screw by supplying a lubricant to the inside of the double nut.
As the lubricant, it is preferable to use a low dusting grease having a consistency of 300 or less.
In addition, if a lubricant is interposed in the gap between the non-contact seal and the screw shaft by supplying a lubricant to the inside of the nut and performing a break-in operation, a minute gap is formed between the screw shaft and the non-contact seal. it can. Therefore, the suction efficiency is improved by using the ball screw of the present invention after the running-in operation.

この発明のボールねじによれば、ナットの内部に発生した塵埃のほとんどが外部に向かわず、効率的に吸引除去されるため、従来のボールねじよりも高い発塵低減効果が得られる。   According to the ball screw of the present invention, most of the dust generated inside the nut does not go to the outside and is efficiently sucked and removed, so that a higher dust generation reduction effect than the conventional ball screw can be obtained.

この発明の第１実施形態のボールねじを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the ball screw of 1st Embodiment of this invention. この発明の第２実施形態のボールねじを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the ball screw of 2nd Embodiment of this invention. この発明の第３実施形態のボールねじを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the ball screw of 3rd Embodiment of this invention.

以下、この発明の実施形態について説明する。
図１は、第１実施形態のボールねじを示す断面図である。
図１に示すように、このボールねじは、ダブルナット１０と、ねじ軸２と、ボール３と、リング状の非接触シール４と、エンドデフレクタ５と、環状のスペーサ６とで構成されている。ダブルナット１０は、第１のナット１と第２のナット１Ａが、環状体からなる間座９を介して連結されたものである。
第１のナット１の軸方向一端にはフランジ１１が形成されているが、第２のナット１Ａにはフランジが形成されていない。両ナット１，１Ａの内周面に螺旋溝１ａが形成され、ねじ軸２の外周面に螺旋溝２ａが形成されている。両ナット１，１Ａの螺旋溝１ａとねじ軸２の螺旋溝２ａで形成される軌道の間に、ボール３が配置されている。 Embodiments of the present invention will be described below.
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the ball screw of the first embodiment.
As shown in FIG. 1, this ball screw includes a double nut 10, a screw shaft 2, a ball 3, a ring-shaped non-contact seal 4, an end deflector 5, and an annular spacer 6. . The double nut 10 is obtained by connecting a first nut 1 and a second nut 1A via a spacer 9 made of an annular body.
A flange 11 is formed at one axial end of the first nut 1, but no flange is formed on the second nut 1A. A spiral groove 1 a is formed on the inner peripheral surface of both nuts 1, 1 A, and a spiral groove 2 a is formed on the outer peripheral surface of the screw shaft 2. A ball 3 is disposed between the tracks formed by the spiral groove 1a of both nuts 1 and 1A and the spiral groove 2a of the screw shaft 2.

両ナット１，１Ａには、軸方向に延びる貫通穴１３が形成されている。両ナット１，１Ａの貫通穴１３の両端部に、エンドデフレクタ５を配置する凹部１５が形成されている。すなわち、このボールねじの二個のボール戻し経路は、貫通穴１３からなるボール戻し通路と、その両端に接続されたエンドデフレクタ５とにより、両ナット１，１Ａの内部に形成されている。エンドデフレクタ５は接線すくい上げ形状のものを用いている。   Both nuts 1, 1 </ b> A are formed with through holes 13 extending in the axial direction. Concave portions 15 in which the end deflectors 5 are disposed are formed at both end portions of the through holes 13 of both nuts 1 and 1A. That is, the two ball return paths of the ball screw are formed inside the nuts 1 and 1A by the ball return path formed of the through hole 13 and the end deflectors 5 connected to both ends thereof. The end deflector 5 has a tangential scooping shape.

ダブルナット１０の軸方向両端に、スペーサ６と非接触シール４を取り付けるための凹部１４が形成されている。ダブルナット１０の凹部１４内に、軸方向内側から順に、スペーサ６、非接触シール５が配置され、これらが、図示されないボルトで凹部１４の端面１４ａに固定されている。これにより、ダブルナット１０の軸方向両端に、非接触シール４とスペーサ６とねじ軸２とで囲まれた空間４６が生じる。これらの空間４６が、グリ−ス（潤滑剤）溜まり空間となる。スペーサ６は両ナット１，１Ａと一体に形成されていてもよい。   Concave portions 14 for attaching the spacer 6 and the non-contact seal 4 are formed at both ends of the double nut 10 in the axial direction. The spacer 6 and the non-contact seal 5 are disposed in the concave portion 14 of the double nut 10 in this order from the inner side in the axial direction. Thereby, spaces 46 surrounded by the non-contact seal 4, the spacer 6, and the screw shaft 2 are formed at both axial ends of the double nut 10. These spaces 46 become grease (lubricant) accumulation spaces. The spacer 6 may be formed integrally with both nuts 1 and 1A.

ダブルナット１０の間座９に、吸引手段に接続する吸引穴７が形成されている。吸引穴７は、ダブルナット１０の軸方向中央となる位置に、間座９をなす環状体の径方向に貫通する貫通穴として形成されている。吸引穴７の間座９の外周側は拡径されて、吸引配管の先端を挿入して取り付ける取り付け穴７１となっている。
第１のナット１のフランジ１１が形成されている部分の隣り合う螺旋溝１ａの間となる位置に、内部に潤滑剤を供給する給脂穴８が、径方向に貫通する貫通穴として形成されている。給脂穴８のナット外周側は（フランジ１１に配置されている部分は全て）拡径されて、給脂配管の先端を挿入して取り付ける取り付け穴８１となっている。 A suction hole 7 connected to the suction means is formed in the spacer 9 of the double nut 10. The suction hole 7 is formed as a through hole penetrating in the radial direction of the annular body forming the spacer 9 at a position that is the center of the double nut 10 in the axial direction. The outer peripheral side of the spacer 9 of the suction hole 7 is enlarged in diameter to form an attachment hole 71 for inserting and attaching the tip of the suction pipe.
A greasing hole 8 for supplying a lubricant to the inside is formed as a through-hole penetrating in the radial direction at a position between adjacent spiral grooves 1a of a portion where the flange 11 of the first nut 1 is formed. ing. The nut outer peripheral side of the greasing hole 8 is expanded in diameter (all portions disposed on the flange 11), and serves as a mounting hole 81 to which the tip of the greasing pipe is inserted and attached.

ねじ軸２の螺旋溝２ａの断面形状は、研削逃げ溝が形成されていない単純なゴシックアーク形状である。これに対応させて、非接触シール４の内周部の形状を、ねじ軸２と非接触シール４とで形成される円環状隙間が周方向全体でほぼ同じになるようにしてある。
このボールねじは、例えば以下の手順で使用される。
第１のナット１の給脂穴８の取り付け穴８１に、ちょう度が３００以下の低発塵グリースの給脂配管の先端を取り付け、間座９の吸引穴７の取り付け穴７１に吸引配管の先端を取り付ける。そして、先ず、給脂穴８から第１のナット１の内部に、ダブルナット１０の内部空間の１／４程度となる量の低発塵グリースを供給することで、グリ−ス溜まり空間４６にグリースを溜める。 The cross-sectional shape of the spiral groove 2a of the screw shaft 2 is a simple gothic arc shape in which no grinding relief groove is formed. Correspondingly, the shape of the inner peripheral portion of the non-contact seal 4 is such that the annular gap formed by the screw shaft 2 and the non-contact seal 4 is substantially the same in the entire circumferential direction.
This ball screw is used in the following procedure, for example.
The tip of a low dusting grease supply pipe having a consistency of 300 or less is attached to the attachment hole 81 of the grease supply hole 8 of the first nut 1, and the suction pipe is attached to the attachment hole 71 of the suction hole 7 of the spacer 9. Attach the tip. First, by supplying low dusting grease in an amount that is about 1/4 of the internal space of the double nut 10 from the greasing hole 8 to the inside of the first nut 1, Accumulate grease.

次に、慣らし運転として、ダブルナット１０を、ねじ軸２に対してダブルナット１０の長さ分のストロークで数回相対移動させることで、グリース溜まり空間４６のグリースを移動させて、非接触シール４とねじ軸２との隙間にグリースを介在させる。これにより、非接触シール４とねじ軸２との間に微小な（０．５ｍｍ以下の）円環状の隙間が形成される。   Next, as a break-in operation, the double nut 10 is moved relative to the screw shaft 2 several times with a stroke corresponding to the length of the double nut 10, thereby moving the grease in the grease reservoir space 46 and non-contact sealing. Grease is interposed in the gap between 4 and the screw shaft 2. Thereby, a minute (0.5 mm or less) annular gap is formed between the non-contact seal 4 and the screw shaft 2.

次に、吸引配管の吸引源を作動させてダブルナット１０の内部を吸引し、この状態でボールねじの運転を開始する。これにより、ボール３の転動により両ナット１，１Ａの内部に発生した塵埃が、間座９とねじ軸２との間に移行して、吸引穴７から吸引除去される。また、外部の空気が非接触シール４とねじ軸２との微小な隙間を通って両ナット１，１Ａの内部に入り、両ナット１，１Ａの内部の空気が非接触シール４とねじ軸２との隙間を通って外部に向かうことを妨げる。   Next, the suction source of the suction pipe is operated to suck the inside of the double nut 10, and in this state, the operation of the ball screw is started. As a result, dust generated inside the nuts 1, 1 </ b> A due to the rolling of the ball 3 moves between the spacer 9 and the screw shaft 2 and is sucked and removed from the suction hole 7. Further, outside air passes through the small gap between the non-contact seal 4 and the screw shaft 2 and enters the both nuts 1 and 1A, and the air inside the nuts 1 and 1A passes through the non-contact seal 4 and the screw shaft 2. To go outside through the gap.

このようにして、ダブルナット１０の内部の塵埃が効率的に吸引除去される。グリース溜まり空間４６を設けたことで、非接触シール４とねじ軸２との間に微小な円環状の隙間が形成されるため、吸引効率が特に高くなる。また、非接触シール４を用いているため、ねじ軸２との接触による発塵が防止される。
したがって、この実施形態のボールねじによれば、ボールねじの潤滑をダブルナットの内部へ潤滑剤を供給することで行いながら、ダブルナットの内部に発生した塵埃のほとんどが外部に向かわず吸引除去されるため、従来のボールねじよりも高い発塵低減効果が得られる。
なお、長期間の使用により、吸引時にダブルナット１０の内部のグリースが吸引穴７から吸引配管に入ることが考えられるが、吸引配管にグリースを溜める部分を設けて、その部分から定期的にグリースを取り除くこと等により、長期間の使用でも吸引効率を低下させないようにすることができる。 In this way, dust inside the double nut 10 is efficiently removed by suction. By providing the grease reservoir space 46, a minute annular gap is formed between the non-contact seal 4 and the screw shaft 2, so that the suction efficiency is particularly high. Further, since the non-contact seal 4 is used, dust generation due to contact with the screw shaft 2 is prevented.
Therefore, according to the ball screw of this embodiment, while the ball screw is lubricated by supplying a lubricant to the inside of the double nut, most of the dust generated inside the double nut is sucked and removed without going outward. Therefore, a higher dust generation reduction effect than the conventional ball screw can be obtained.
In addition, it is conceivable that the grease inside the double nut 10 enters the suction pipe through the suction hole 7 during suction for a long period of time. By removing the etc., it is possible to prevent the suction efficiency from being lowered even after long-term use.

図２は、第２実施形態のボールねじを示す断面図である。
この実施形態では、ダブルナット１０の軸方向両端の凹部１４に、それぞれスペーサ６を介して２枚の非接触シール４１，４２を取り付けている。これにより、グリース溜まり空間４６が非接触シール４１，４２の間に形成されている。これ以外の点は第１実施形態と同じである。
図３は、第３実施形態のボールねじを示す断面図である。
第１および第２実施形態では、第１のナット１のフランジ１１に給脂穴８が形成され、この給脂穴８からグリースを供給しているが、第３実施形態では、第１のナット１に給脂穴８を設けず、ねじ軸２にグリースプレーティングを施すことで潤滑を行っている。これにより、図３のボールねじは、シール４とねじ軸２との隙間がほぼ一定に保持されるとともに、吸引穴７にグリースが入らない。 FIG. 2 is a cross-sectional view showing the ball screw of the second embodiment.
In this embodiment, two non-contact seals 41 and 42 are attached to the recesses 14 at both ends in the axial direction of the double nut 10 via spacers 6, respectively. Thereby, the grease reservoir space 46 is formed between the non-contact seals 41 and 42. Other points are the same as in the first embodiment.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a ball screw according to a third embodiment.
In the first and second embodiments, the greasing hole 8 is formed in the flange 11 of the first nut 1 and the grease is supplied from the greasing hole 8, but in the third embodiment, the first nut No lubrication hole 8 is provided in 1, and lubrication is performed by applying grease plating to the screw shaft 2. As a result, in the ball screw of FIG. 3, the gap between the seal 4 and the screw shaft 2 is held substantially constant, and grease does not enter the suction hole 7.

これに対して、図１および図２のボールねじでは、給脂穴８から供給したグリースが吸引穴７に入る可能性がないとは言えない。そして、吸引穴７にグリースが入ると吸引効果が低減する場合がある。よって、図３のボールねじは、図１および図２のボールねじよりも高い発塵低減効果が得られる可能性がある。
ねじ軸２にグリースプレーティングを施すことに代えて、固体潤滑剤からなる被膜をねじ軸２の表面に形成することによっても、上記と同様の効果を得ることができる。前記被膜をなす固体潤滑剤としては、二硫化モリブデン、有機モリブデン化合物、軟質金属（例えば、金、銀、鉛）、および高分子材料（例えば、ＰＴＦＥ、ポリイミド）の少なくとも１種からなるものが挙げられる。
また、これらの実施形態のボールねじは、貫通穴１３からなるボール戻し通路とエンドデフレクタ５とからなるボール戻し経路を有するが、この発明は、ボール戻し経路がエンドキャップ式、循環チューブ式、コマ式であるボールねじにも適用できる。 On the other hand, in the ball screw of FIGS. 1 and 2, it cannot be said that there is no possibility that the grease supplied from the greasing hole 8 enters the suction hole 7. If the grease enters the suction hole 7, the suction effect may be reduced. Therefore, the ball screw of FIG. 3 may have a higher dust generation reduction effect than the ball screw of FIGS.
The same effect as described above can be obtained by forming a film made of a solid lubricant on the surface of the screw shaft 2 instead of applying grease plating to the screw shaft 2. Examples of the solid lubricant forming the coating include those composed of at least one of molybdenum disulfide, an organic molybdenum compound, a soft metal (for example, gold, silver, lead), and a polymer material (for example, PTFE, polyimide). It is done.
In addition, the ball screw of these embodiments has a ball return path consisting of a ball return path consisting of the through hole 13 and an end deflector 5. However, according to the present invention, the ball return path is an end cap type, a circulation tube type, a top piece. It can also be applied to a ball screw that is a formula.

１ 第１のナット
１Ａ 第２のナット
１ａ ナットの螺旋溝
１０ ダブルナット
１１ フランジ
１３ ボール戻し通路をなす貫通穴
１４ シール取り付け用の凹部
１４ａ 凹部１４の端面
１５ エンドデフレクタ取り付け用の凹部
２ ねじ軸
２ａ ねじ軸の螺旋溝
３ ボール
４ 非接触シール
４１ 非接触シール
４２ 非接触シール
４６ グリース溜まり空間
５ エンドデフレクタ
６ スペーサ
７ 吸引穴
７１ 取り付け部
８ 給脂穴
８１ 取り付け部
９ 間座 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st nut 1A 2nd nut 1a Spiral groove of nut 10 Double nut 11 Flange 13 Through-hole which makes ball return passage 14 Recessed part for seal attachment 14a End surface of recessed part 15 Recessed part for attaching end deflector 2 Screw shaft 2a Spiral groove of screw shaft 3 Ball 4 Non-contact seal 41 Non-contact seal 42 Non-contact seal 46 Grease pool space 5 End deflector 6 Spacer 7 Suction hole 71 Mounting portion 8 Grease hole 81 Mounting portion 9 Spacer

Claims (2)

内周面に螺旋溝が形成されたナットが間座を介して二個連結されたダブルナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、前記二個のナットの螺旋溝と前記ねじ軸の螺旋溝で形成される各軌道の間に配置されたボールと、ボールを各軌道の終点から始点に戻す二個のボール戻し経路とを備え、前記各軌道内をボールが転動することで前記ダブルナットがねじ軸に対して相対移動する、循環回路を二個有するボールねじであって、
前記ダブルナットの軸方向両端に、リング状の非接触シールが配置され、
前記ダブルナットを径方向に貫通する吸引穴が、前記間座にのみ形成されていることを特徴とするボールねじ。 A double nut in which two nuts each having a spiral groove formed on an inner peripheral surface are connected via a spacer; a screw shaft having a spiral groove formed on an outer peripheral surface; and the spiral grooves and the screws of the two nuts A ball disposed between each track formed by the spiral groove of the shaft, and two ball return paths for returning the ball from the end point of each track to the start point, the ball rolling in each track A ball screw having two circulation circuits in which the double nut moves relative to the screw shaft,
Ring-shaped non-contact seals are arranged at both axial ends of the double nut,
A ball screw characterized in that a suction hole penetrating the double nut in the radial direction is formed only in the spacer. 前記吸引穴が形成されている間座以外の部分に、前記ダブルナットの内部に潤滑剤を供給する給脂穴が形成され、
前記ナットの軸方向両端の前記非接触シールよりも内側に、前記非接触シールとスペーサと前記ねじ軸とで囲まれた潤滑剤溜まり空間を有する請求項１記載のボールねじ。 In a portion other than the spacer where the suction hole is formed , a greasing hole for supplying a lubricant to the inside of the double nut is formed,
2. The ball screw according to claim 1 , further comprising a lubricant reservoir space surrounded by the non-contact seal, a spacer, and the screw shaft inside the non-contact seal at both axial ends of the nut .
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